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JP6989102B2 - Manufacturing method of zinc sulfide sintered body and zinc sulfide sintered body - Google Patents
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Description

本発明は、硫化亜鉛焼結体および硫化亜鉛焼結体の製造方法に関する。 The present invention relates to a zinc sulfide sintered body and a method for producing a zinc sulfide sintered body.

硫化亜鉛焼結体や、硫化亜鉛焼結体の製造方法が種々提案されている(例えば、特許文献1,2,3等参照)。 Various methods for producing a zinc sulfide sintered body and a zinc sulfide sintered body have been proposed (see, for example, Patent Documents 1, 2, 3 and the like).

特許文献1,2,3は、それぞれ、所定の光学特性を有する硫化亜鉛焼結体、およびその製造方法を開示している。例えば、特許文献1は、遠赤外光の高い透過率を有する硫化亜鉛焼結体、およびその製造方法を開示している。また、特許文献2は、遠赤外光の高い透過率と近赤外光の高い遮光性とを有する硫化亜鉛焼結体、およびその製造方法を開示している。特許文献3は、中赤外領域の波長に高い透過率を有する硫化亜鉛焼結体、およびその製造方法を開示している。 Patent Documents 1, 2 and 3, respectively, disclose a zinc sulfide sintered body having predetermined optical properties and a method for producing the same. For example, Patent Document 1 discloses a zinc sulfide sintered body having a high transmittance of far-infrared light, and a method for producing the same. Further, Patent Document 2 discloses a zinc sulfide sintered body having a high transmittance of far-infrared light and a high light-shielding property of near-infrared light, and a method for producing the same. Patent Document 3 discloses a zinc sulfide sintered body having a high transmittance in a wavelength in the mid-infrared region, and a method for producing the same.

特開2007−31208号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2007-31208 特開2008−195593号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2008-195593 特開2015−189622号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 2015-189622

赤外線を利用した分析用カメラや暗視カメラ等の光学装置において、例えば、窓材料やレンズ材料として用いられる硫化亜鉛焼結体の中赤外領域の光の透過率は、高いことが好ましい。 In an optical device such as an analysis camera or a night-vision camera using infrared rays, for example, the zinc sulfide sintered body used as a window material or a lens material preferably has a high light transmittance in the mid-infrared region.

硫化亜鉛焼結体の中赤外領域の光の透過率を向上させるために、以下の方法が考えられる。 In order to improve the light transmittance in the mid-infrared region of the zinc sulfide sintered body, the following methods can be considered.

第1に、硫化亜鉛の焼結処理の前処理として、硫化亜鉛の粉末を微細化する方法が考えられる。例えば、硫化亜鉛の粉末の粒径を1μm以下に微細化し、その粉末を焼結することによって、硫化亜鉛焼結体を製造することが考えられる。以下、この方法を、第1の方法と記す。 First, as a pretreatment for the zinc sulfide sintering treatment, a method of refining the zinc sulfide powder can be considered. For example, it is conceivable to manufacture a zinc sulfide sintered body by reducing the particle size of the zinc sulfide powder to 1 μm or less and sintering the powder. Hereinafter, this method will be referred to as a first method.

第2に、硫化亜鉛の焼結処理の後処理として、硫化亜鉛焼結体に対して熱間等方圧加圧(HIP:Hot Isostatic Pressing)処理を行う方法が考えられる。以下、この方法を、第2の方法と記す。なお、焼結処理では、1軸方向に圧力を印加するのに対して、HIP処理では、焼結体に対して、ガス等を用いて全方向から高温で圧力を印加する。 Secondly, as a post-treatment of the zinc sulfide sintering treatment, a method of performing a hot isostatic pressing (HIP) treatment on the zinc sulfide sintered body can be considered. Hereinafter, this method will be referred to as a second method. In the sintering treatment, pressure is applied in the uniaxial direction, whereas in the HIP treatment, pressure is applied to the sintered body at a high temperature from all directions using gas or the like.

第3に、特殊な材料で作られた成形型を使用し、超高圧を印加する方法が考えられる。以下、この方法を第3の方法と記す。 Thirdly, a method of applying an ultrahigh pressure using a molding die made of a special material can be considered. Hereinafter, this method will be referred to as a third method.

第4に、硫化亜鉛の焼結処理の条件として、荷重の印加を、焼結温度の近傍に達したときに開始し、硫化亜鉛の粉末に印加する荷重を増加させ、粉末の温度が焼結温度に達したときに最大荷重を印加する方法が考えられる。以下、この方法を第4の方法と記す。 Fourth, as a condition for the zinc sulfide sintering process, the application of the load is started when the vicinity of the sintering temperature is reached, the load applied to the zinc sulfide powder is increased, and the temperature of the powder is sintered. A method of applying the maximum load when the temperature is reached can be considered. Hereinafter, this method will be referred to as a fourth method.

第1の方法では、硫化亜鉛の粉末を微細化する際に不純物が混入する可能性があるという問題がある。不純物の混入は、性能の不均一性の要因となる。また、粉末が微細であると、成形型に粉末を充填する作業が困難になる。そのため、第1の方法は、大型の硫化亜鉛焼結体を製造する場合には不適当である。 The first method has a problem that impurities may be mixed in when the zinc sulfide powder is miniaturized. Impurity contamination causes performance non-uniformity. Further, if the powder is fine, it becomes difficult to fill the molding die with the powder. Therefore, the first method is not suitable for producing a large zinc sulfide sintered body.

第2の方法では、HIP処理に要するコストが高いという問題がある。また、硫化亜鉛焼結体の機械強度が低下するという問題がある。 The second method has a problem that the cost required for HIP processing is high. Further, there is a problem that the mechanical strength of the zinc sulfide sintered body is lowered.

第3の方法では、特殊な材料で成形型を作成するため、製造コストが高くなる。また、超高圧を印加するため成形型が破損する可能性があるという問題がある。 In the third method, since the molding die is made of a special material, the manufacturing cost is high. Further, there is a problem that the molding die may be damaged because an ultrahigh pressure is applied.

第4の方法では、特殊な処理をしないため、低コストで中赤外領域の光を透過する焼結体が得られるが、粉末に含まれる不純物を起因とする光の散乱や吸収により、透過率が低いという問題がある。 In the fourth method, since no special treatment is performed, a sintered body that transmits light in the mid-infrared region can be obtained at low cost, but it is transmitted by scattering and absorption of light due to impurities contained in the powder. There is a problem that the rate is low.

また、光学装置で窓材料やレンズ材料等として用いられる光学材料を、加圧焼結法ではなく、化学気相蒸着(CVD:Chemical Vapor Deposition)法で製造し、光学特性を向上させることも考えられる。しかし、CVD法では、毒性のガスを用いるという問題がある。また、気相からの蒸着速度が極めて遅いため、CVD法では光学材料の生産性が低い。そのため、製造コストが高くなる。 It is also conceivable to manufacture optical materials used as window materials, lens materials, etc. in optical devices by the chemical vapor deposition (CVD) method instead of the pressure sintering method to improve the optical characteristics. Be done. However, the CVD method has a problem of using a toxic gas. Further, since the vapor deposition rate from the vapor phase is extremely slow, the productivity of the optical material is low in the CVD method. Therefore, the manufacturing cost is high.

本発明の目的は、中赤外領域の光の透過率が非常に優れ、かつ安価である硫化亜鉛焼結体および硫化亜鉛焼結体の製造方法を提供することを目的とする。 An object of the present invention is to provide a zinc sulfide sintered body and a method for producing a zinc sulfide sintered body, which have very excellent light transmittance in the mid-infrared region and are inexpensive.

本発明の第1の態様の硫化亜鉛焼結体は、厚さを5mmとした場合における、3μm以上5μm以下の波長域全体での光の透過率が60%以上75%以下である。 The zinc sulfide sintered body according to the first aspect of the present invention has a light transmittance of 60% or more and 75% or less in the entire wavelength range of 3 μm or more and 5 μm or less when the thickness is 5 mm.

本発明の第2の態様の硫化亜鉛焼結体の製造方法は、成形型に硫化亜鉛の粉末を配置し、前記硫化亜鉛の粉末に対する加熱を開始し、前記硫化亜鉛の粉末の温度を上昇させ、前記硫化亜鉛の粉末の温度が焼結温度に達する前に、前記硫化亜鉛の粉末を前記焼結温度未満のプリベーク温度で加熱し、前記硫化亜鉛の粉末の温度が、前記プリベーク温度よりも高く前記焼結温度よりも低い、前記焼結温度の近傍の温度に達したときに、前記硫化亜鉛の粉末に対する荷重の印加を開始し、前記硫化亜鉛の粉末に印加する荷重を上昇させ、前記硫化亜鉛の粉末の温度が前記焼結温度に達したときに、前記硫化亜鉛の粉末に最大荷重を印加し、前記硫化亜鉛の粉末の温度が前記焼結温度に達した後に、前記硫化亜鉛の粉末の温度を前記焼結温度に維持しながら、前記硫化亜鉛の粉末に対する前記最大荷重の印加を維持する硫化亜鉛焼結体の製造方法であるIn the method for producing a zinc sulfide sintered body according to the second aspect of the present invention, the zinc sulfide powder is placed in a mold, heating of the zinc sulfide powder is started, and the temperature of the zinc sulfide powder is raised. Before the temperature of the zinc sulfide powder reaches the sintering temperature, the zinc sulfide powder is heated at a prebake temperature lower than the sintering temperature, and the temperature of the zinc sulfide powder is higher than the prebaking temperature. When the temperature near the sintering temperature, which is lower than the sintering temperature, is reached, the application of the load to the zinc sulfide powder is started, the load applied to the zinc sulfide powder is increased, and the sulfide is applied. When the temperature of the zinc powder reaches the sintering temperature, a maximum load is applied to the zinc sulfide powder, and after the temperature of the zinc sulfide powder reaches the sintering temperature, the zinc sulfide powder is used. while maintaining the temperature in the sintering temperature, a method for producing a zinc sulfide sintered compact to maintain the application of the maximum load for the powder of the zinc sulfide.

本発明によれば、中赤外領域の光の透過率が非常に優れ、かつ安価である硫化亜鉛焼結体および硫化亜鉛焼結体の製造方法を提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a zinc sulfide sintered body and a method for producing a zinc sulfide sintered body, which have very excellent light transmittance in the mid-infrared region and are inexpensive.

本発明の実施形態に係る硫化亜鉛焼結体の製造に用いる硫化亜鉛焼結体の製造装置の一例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows an example of the manufacturing apparatus of the zinc sulfide sintered body used for manufacturing the zinc sulfide sintered body which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る硫化亜鉛焼結体の製造方法の流れを示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the flow of the manufacturing method of the zinc sulfide sintered body which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る硫化亜鉛焼結体の製造装置のその他の例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the other example of the manufacturing apparatus of the zinc sulfide sintered body which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る硫化亜鉛焼結体の製造方法によって製造した硫化亜鉛焼結体の透過率特性を示すグラフである。It is a graph which shows the transmittance characteristic of the zinc sulfide sintered body produced by the manufacturing method of the zinc sulfide sintered body which concerns on embodiment of this invention. 図4に示す透過率特性の具体的な値を示す表である。It is a table which shows the specific value of the transmittance characteristic shown in FIG.

[実施形態]
本発明の実施形態に係る硫化亜鉛焼結体は、その硫化亜鉛焼結体の厚さを5mmにした場合における、3μm以上5μm以下の波長域の光の透過率が60%以上である。
[Embodiment]
The zinc sulfide sintered body according to the embodiment of the present invention has a light transmittance of 60% or more in a wavelength range of 3 μm or more and 5 μm or less when the thickness of the zinc sulfide sintered body is 5 mm.

厚さを5mmにした場合における、3μm以上5μm以下の波長域の光の透過率は、60%以上75%以下の範囲に含まれていてもよい。 When the thickness is 5 mm, the transmittance of light in the wavelength range of 3 μm or more and 5 μm or less may be included in the range of 60% or more and 75% or less.

そして、厚さを5mmにした場合における、3μm以上5μm以下の波長域の光の透過率は、64%以上であってもよい。さらに、厚さを5mmにした場合における、3μm以上5μm以下の波長域の光の透過率は、64%以上69%以下であってもよい。 When the thickness is 5 mm, the transmittance of light in the wavelength range of 3 μm or more and 5 μm or less may be 64% or more. Further, when the thickness is 5 mm, the transmittance of light in the wavelength range of 3 μm or more and 5 μm or less may be 64% or more and 69% or less.

また、厚さを5mmとした場合における、8μm以上12μm以下の波長域の光の透過率が39%以上であってもよい。 Further, when the thickness is 5 mm, the transmittance of light in the wavelength range of 8 μm or more and 12 μm or less may be 39% or more.

なお、上記の光の透過率は、直線透過率として測定した透過率である。 The above-mentioned light transmittance is a transmittance measured as a linear transmittance.

また、3μm以上5μm以下の波長域は、中赤外領域に該当する。厚さを5mmとした場合におけるこの波長域の光の透過率が50%以上の硫化亜鉛焼結体であれば、赤外線を利用した分析用カメラや暗視カメラ等の光学装置において、良好な光学材料として用いることができる。また、この波長の透過率が60%以上であれば、光学装置の性能をさらに高くできる。例えば、窓材料やレンズ材料として、本発明の実施形態に係る硫化亜鉛焼結体を好適に用いることができる。ここでは、窓材料やレンズ材料を例示したが、これらは例示であり、本発明を限定するものではない。本発明の実施形態に係る硫化亜鉛焼結体は、赤外線を利用した光学装置の他の部材の材料として用いられてもよい。 Further, the wavelength range of 3 μm or more and 5 μm or less corresponds to the mid-infrared region. If the zinc sulfide sintered body has a light transmittance of 50% or more in this wavelength range when the thickness is 5 mm, it has good optical properties in an optical device such as an analysis camera or a night-vision camera using infrared rays. It can be used as a material. Further, if the transmittance of this wavelength is 60% or more, the performance of the optical device can be further improved. For example, the zinc sulfide sintered body according to the embodiment of the present invention can be preferably used as a window material or a lens material. Here, the window material and the lens material are exemplified, but these are examples and do not limit the present invention. The zinc sulfide sintered body according to the embodiment of the present invention may be used as a material for other members of an optical device using infrared rays.

また、前述のように、厚さを5mmとした場合における、8μm以上12μm以下の波長域の光の透過率が39%以上であってもよい。さらに、厚さを5mmとした場合における、8μm以上12μm以下の波長域の光の透過率が、39%以上80%以下の範囲に含まれていてもよい。これらの場合には、8μm以上12μm以下の波長域においても透過率を良好にすることができる。 Further, as described above, when the thickness is 5 mm, the transmittance of light in the wavelength range of 8 μm or more and 12 μm or less may be 39% or more. Further, the transmittance of light in the wavelength range of 8 μm or more and 12 μm or less when the thickness is 5 mm may be included in the range of 39% or more and 80% or less. In these cases, the transmittance can be improved even in the wavelength range of 8 μm or more and 12 μm or less.

本発明の実施形態に係る硫化亜鉛焼結体は、厚さ5mmに限定されない。厚さが5mmでなくても、厚さが5mmになるように切り出したときに、前述の透過率の特性が得られる硫化亜鉛焼結体は、本発明の実施形態に係る硫化亜鉛焼結体に含まれる。 The zinc sulfide sintered body according to the embodiment of the present invention is not limited to a thickness of 5 mm. Even if the thickness is not 5 mm, the zinc sulfide sintered body that can obtain the above-mentioned transmittance characteristics when cut out to a thickness of 5 mm is the zinc sulfide sintered body according to the embodiment of the present invention. include.

[製造方法]
次に、上記の硫化亜鉛焼結体の製造方法について説明する。まず、この製造方法で用いる製造装置について説明する。
[Production method]
Next, a method for producing the above zinc sulfide sintered body will be described. First, the manufacturing apparatus used in this manufacturing method will be described.

図1は、本発明の実施形態に係る硫化亜鉛焼結体の製造方法で用いられる硫化亜鉛焼結体の製造装置の例を示す説明図である。図1は、放電プラズマ焼結法を用いる製造装置を示している。 FIG. 1 is an explanatory diagram showing an example of an apparatus for manufacturing a zinc sulfide sintered body used in the method for manufacturing a zinc sulfide sintered body according to the embodiment of the present invention. FIG. 1 shows a manufacturing apparatus using the discharge plasma sintering method.

図1に示す製造装置100は、成形型1と、成形型1のパンチ部13を一軸方向(図1において、上下方向)に移動させる駆動部3と、硫化亜鉛の粉末を加熱するために用いられる電圧設定部2と、成形型1および駆動部3を収容する容器(以下、チャンバと記す。)7と、を備える。 The manufacturing apparatus 100 shown in FIG. 1 is used to heat the molding die 1, the driving section 3 for moving the punch portion 13 of the molding die 1 in the uniaxial direction (vertical direction in FIG. 1), and the zinc sulfide powder. A voltage setting unit 2 to be formed and a container (hereinafter referred to as a chamber) 7 accommodating a molding die 1 and a drive unit 3 are provided.

成形型1は、側部11と、底部12と、パンチ部13とを備える。側部11は、空間を囲むようにして形成される。底部12は、側部11の下側の開口部を塞ぐ。パンチ部13は、側部11の内壁に嵌合する嵌合部13aを備える。嵌合部13aは側部11に対して摺動可能である。側部11は、例えば、カーボンによって形成される。底部12およびパンチ部13は、例えば、金属で形成される。 The molding die 1 includes a side portion 11, a bottom portion 12, and a punch portion 13. The side portion 11 is formed so as to surround the space. The bottom 12 closes the lower opening of the side 11. The punch portion 13 includes a fitting portion 13a that fits into the inner wall of the side portion 11. The fitting portion 13a is slidable with respect to the side portion 11. The side portion 11 is formed of, for example, carbon. The bottom portion 12 and the punch portion 13 are formed of, for example, metal.

駆動部3がパンチ部13を引き上げた状態で、側部11および底部12によって形成されている空間内に、硫化亜鉛の粉末が配置される。駆動部3は、パンチ部13を下方に押し込むことで、硫化亜鉛の粉末に荷重を印加する。 With the punch portion 13 pulled up by the drive portion 3, zinc sulfide powder is arranged in the space formed by the side portions 11 and the bottom portion 12. The drive unit 3 applies a load to the zinc sulfide powder by pushing the punch unit 13 downward.

電圧設定部2は、パンチ部13と底部12との間に電圧差が生じるように、パンチ部13および底部12に対してそれぞれ電圧を設定する。これにより、パンチ部13と底部12との間に配置された成形型の側部11に電流が流れ、パンチ部13、底部12、および側部11が発熱し、これに伴って硫化亜鉛の粉末が加熱される。 The voltage setting unit 2 sets a voltage for each of the punch unit 13 and the bottom portion 12 so that a voltage difference is generated between the punch portion 13 and the bottom portion 12. As a result, an electric current flows through the side portion 11 of the molding die arranged between the punch portion 13 and the bottom portion 12, and the punch portion 13, the bottom portion 12, and the side portion 11 generate heat, and the zinc sulfide powder accompanies this. Is heated.

また、パンチ部13と底部12との間に電圧差が生じるように、パンチ部13および底部12に対してそれぞれ電圧を設定すると、パンチ部13と底部12との間に配置された硫化亜鉛の粉末に電流が流れるが、側部11に流れる電流に比べると、その配分は小さい。 Further, when the voltage is set for the punch portion 13 and the bottom portion 12 so that a voltage difference is generated between the punch portion 13 and the bottom portion 12, zinc sulfide arranged between the punch portion 13 and the bottom portion 12 is provided. A current flows through the powder, but its distribution is smaller than the current flowing through the side 11.

また、成形型1の側部11の内部には、温度計4が配置される。温度計4が示す温度は、成形型1の内部の硫化亜鉛の粉末の温度であるとみなすことができる。 Further, a thermometer 4 is arranged inside the side portion 11 of the molding die 1. The temperature indicated by the thermometer 4 can be regarded as the temperature of the zinc sulfide powder inside the molding die 1.

なお、駆動部3および電圧設定部2は、制御装置(図示略)の制御に従って動作してもよく、あるいは、オペレータの操作に従って動作してもよい。以下、駆動部3および電圧設定部2が制御装置の制御に従って動作する場合を例にして説明する。この場合、制御装置は、温度計4が示す温度を監視する。なお、オペレータが駆動部3および電圧設定部2を操作する場合、オペレータが温度を視認できるように、温度計4が示す温度をチャンバ7の外部のディスプレイ装置(図示略)に表示する構成であればよい。 The drive unit 3 and the voltage setting unit 2 may operate according to the control of the control device (not shown), or may operate according to the operation of the operator. Hereinafter, a case where the drive unit 3 and the voltage setting unit 2 operate according to the control of the control device will be described as an example. In this case, the control device monitors the temperature indicated by the thermometer 4. When the operator operates the drive unit 3 and the voltage setting unit 2, the temperature indicated by the thermometer 4 may be displayed on an external display device (not shown) of the chamber 7 so that the operator can visually recognize the temperature. Just do it.

図2は、本発明の硫化亜鉛焼結体の製造方法の処理経過の例を示すフローチャートである。まず、成形型1に硫化亜鉛の粉末を配置する(ステップS1)。例えば、駆動部3がパンチ部13を引き上げた状態で、側部11の上側の開口部から、側部11および底部12によって形成されている空間内に硫化亜鉛の粉末を充填する。ステップS1では、粉末配置後、駆動部3が、制御装置の制御に従って、嵌合部13aの下面が硫化亜鉛の粉末に接触する状態まで、パンチ部13を降下させる。この状態では、嵌合部13aの下面が硫化亜鉛の粉末に接触しているだけであり、粉末への荷重は無視できる程度である。 FIG. 2 is a flowchart showing an example of the processing process of the method for producing a zinc sulfide sintered body of the present invention. First, the zinc sulfide powder is placed in the molding die 1 (step S1). For example, with the punch portion 13 pulled up, the space formed by the side portion 11 and the bottom portion 12 is filled with zinc sulfide powder from the upper opening of the side portion 11. In step S1, after the powder is arranged, the drive unit 3 lowers the punch unit 13 until the lower surface of the fitting unit 13a comes into contact with the zinc sulfide powder under the control of the control device. In this state, the lower surface of the fitting portion 13a is only in contact with the zinc sulfide powder, and the load on the powder is negligible.

なお、硫化亜鉛の粉末は、市販の高純度硫化亜鉛の粉末でよい。また、硫化亜鉛の粉末の粒径にばらつきがあってもよい。例えば、硫化亜鉛の粉末は、粒径5μm程度の粉末を中心として、粒径1μmから粒径10μm程度の範囲でばらついていてもよい。 The zinc sulfide powder may be a commercially available high-purity zinc sulfide powder. Further, the particle size of the zinc sulfide powder may vary. For example, the zinc sulfide powder may have a particle size of about 1 μm to a particle size of about 10 μm, centering on a powder having a particle size of about 5 μm.

次に、電圧設定部2は、制御装置の制御に従って、パンチ部13と底部12との間に電圧差が生じるようにパンチ部13および底部12に対してそれぞれ電圧を設定することによって、成形型1内の硫化亜鉛の粉末に対する加熱を開始し、硫化亜鉛の粉末の温度を上昇させる(ステップS2)。前述のように、パンチ部13および底部12に電圧差が生じることで、パンチ部13と底部12との間に配置された側部11に電流が流れ、その結果、硫化亜鉛の粉末は加熱される。そして、電圧設定部2がパンチ部13と底部12との電圧差を大きくして電流量を増加させることで、硫化亜鉛の粉末の温度は上昇していく。ここで、硫化亜鉛の粉末の温度上昇の速度が0.5℃/分〜5℃/分になるように、硫化亜鉛の粉末の温度上昇を調節することが好ましい。 Next, the voltage setting unit 2 sets the voltage for the punch portion 13 and the bottom portion 12 so that a voltage difference is generated between the punch portion 13 and the bottom portion 12, respectively, according to the control of the control device. Heating of the zinc sulfide powder in 1 is started to raise the temperature of the zinc sulfide powder (step S2). As described above, the voltage difference between the punch portion 13 and the bottom portion 12 causes a current to flow through the side portion 11 arranged between the punch portion 13 and the bottom portion 12, and as a result, the zinc sulfide powder is heated. Ru. Then, the voltage setting unit 2 increases the voltage difference between the punch unit 13 and the bottom portion 12 to increase the amount of current, so that the temperature of the zinc sulfide powder rises. Here, it is preferable to adjust the temperature rise of the zinc sulfide powder so that the temperature rise of the zinc sulfide powder becomes 0.5 ° C./min to 5 ° C./min.

粉末の温度を上昇させ、焼結温度未満で温度を一定となるよう制御する(ステップS3)。この温度をプリベーク温度という。プリベークを行うことで、粉末にわずかに含まれる不純物が加熱によりSOxなどの気体となり除去され、粉末は高純度の硫化亜鉛となる。プリベーク温度は、250℃〜750℃が適している。 The temperature of the powder is raised and controlled so that the temperature becomes constant below the sintering temperature (step S3). This temperature is called the prebake temperature. By prebaking, impurities slightly contained in the powder are removed as a gas such as SOx by heating, and the powder becomes high-purity zinc sulfide. The prebake temperature is preferably 250 ° C to 750 ° C.

ここで、あらかじめ硫化亜鉛の粉末を250℃〜750℃に加熱して不純物を除去した後冷却し、前記工程の粉末として再度加熱してもよい。または、250℃〜750℃の温度範囲での加熱による温度上昇をわずかとし、温度上昇中に一定温度の保持と同等の効果が出るように制御してもよい。この場合、温度上昇の速度は0.01℃/分〜5℃/分が好ましい。 Here, the zinc sulfide powder may be heated to 250 ° C. to 750 ° C. in advance to remove impurities, cooled, and then heated again as the powder in the above step. Alternatively, the temperature rise due to heating in the temperature range of 250 ° C. to 750 ° C. may be made small, and the temperature may be controlled so as to have the same effect as maintaining a constant temperature during the temperature rise. In this case, the rate of temperature rise is preferably 0.01 ° C./min to 5 ° C./min.

粉末を焼結する場合、粉末の温度は、粉末の物質の融点よりも低いある温度まで上昇するように制御され、その温度で維持される。この温度を焼結温度という。焼結温度で粉末は焼結される。硫化亜鉛の粉末を焼結する場合の焼結温度は、850℃〜950℃が適している。 When sintering a powder, the temperature of the powder is controlled to rise to a temperature below the melting point of the substance of the powder and is maintained at that temperature. This temperature is called the sintering temperature. The powder is sintered at the sintering temperature. When the zinc sulfide powder is sintered, the sintering temperature is preferably 850 ° C to 950 ° C.

硫化亜鉛の粉末の温度が焼結温度の近傍温度に達したときに、駆動部3は、制御装置の制御に従ってパンチ部13の降下を開始させることによって、硫化亜鉛の粉末に対する荷重の印加を開始する(ステップS4)。そして、駆動部3は、パンチ部13を降下させ続け、硫化亜鉛の粉末に印加する荷重を上昇させる(ステップS5)。なお、焼結温度よりも100℃低い温度を、ステップS4で用いる近傍温度としてもよい。硫化亜鉛の粉末を焼結する場合の焼結温度は、850℃〜950℃が好ましく、この温度より100℃低い温度は、焼結温度の近傍温度であると言える。例えば、焼結温度として900℃を採用する場合、駆動部3は、800℃(=900−100)で粉末に対する荷重の印加を開始すればよい。また、例えば、焼結温度として950℃を採用する場合、駆動部3は、850℃(=950−100)で粉末に対する荷重の印加を開始すればよい。 When the temperature of the zinc sulfide powder reaches a temperature close to the sintering temperature, the drive unit 3 starts applying a load to the zinc sulfide powder by starting the descent of the punch unit 13 according to the control of the control device. (Step S4). Then, the drive unit 3 continues to lower the punch unit 13 to increase the load applied to the zinc sulfide powder (step S5). A temperature 100 ° C. lower than the sintering temperature may be used as the vicinity temperature used in step S4. The sintering temperature when the zinc sulfide powder is sintered is preferably 850 ° C to 950 ° C, and a temperature 100 ° C lower than this temperature can be said to be a temperature near the sintering temperature. For example, when 900 ° C. is adopted as the sintering temperature, the drive unit 3 may start applying a load to the powder at 800 ° C. (= 900-100). Further, for example, when 950 ° C. is adopted as the sintering temperature, the drive unit 3 may start applying the load to the powder at 850 ° C. (= 950-100).

ここでは、焼結温度が900℃であり、800℃で粉末に対する荷重の印加を開始する場合を例にして説明する。制御装置は、温度計4が示す温度を監視し、温度計4が示す温度が800℃になったときに、硫化亜鉛の粉末が800℃まで上昇したと判定する。そして、制御装置は、駆動部3にパンチ部13の降下を開始させ、パンチ部13の降下を継続させればよい。ここでは、制御装置が駆動部3等を制御する場合を例示しているが、オペレータが駆動部3や電圧設定部2を操作する場合には、温度計4が示す温度をオペレータが監視する。そして、オペレータは、温度計4の温度が800℃になったときに、駆動部3を操作し、パンチ部13の降下を開始させ、パンチ部13の降下を継続させればよい。 Here, a case where the sintering temperature is 900 ° C. and the application of the load to the powder is started at 800 ° C. will be described as an example. The control device monitors the temperature indicated by the thermometer 4, and determines that the zinc sulfide powder has risen to 800 ° C. when the temperature indicated by the thermometer 4 reaches 800 ° C. Then, the control device may cause the drive unit 3 to start the descent of the punch unit 13 and continue the descent of the punch unit 13. Here, the case where the control device controls the drive unit 3 and the like is illustrated, but when the operator operates the drive unit 3 and the voltage setting unit 2, the operator monitors the temperature indicated by the thermometer 4. Then, when the temperature of the thermometer 4 reaches 800 ° C., the operator may operate the drive unit 3 to start the descent of the punch portion 13 and continue the descent of the punch portion 13.

パンチ部13が降下するほど、硫化亜鉛の粉末に印加される荷重は大きくなる。従って、パンチ部13の降下が停止したときの荷重が、硫化亜鉛の粉末に印加される最大荷重となる。 As the punch portion 13 descends, the load applied to the zinc sulfide powder increases. Therefore, the load when the descent of the punch portion 13 is stopped becomes the maximum load applied to the zinc sulfide powder.

そして、硫化亜鉛の温度が焼結温度に達したときに、駆動部3は、パンチ部13によって、硫化亜鉛の粉末に最大荷重を印加する(ステップS6)。ステップS6で、焼結温度で高い荷重が印加されることによって、硫化亜鉛の粉末は焼結し、硫化亜鉛焼結体になる。側部11がカーボン製である場合、カーボンの耐性を考慮すると、硫化亜鉛の粉末に対する最大荷重は、40〜60MPaであることが好ましい。ここでは、硫化亜鉛の粉末に対する最大荷重が50MPaである場合を例にして説明する。 Then, when the temperature of zinc sulfide reaches the sintering temperature, the drive unit 3 applies the maximum load to the zinc sulfide powder by the punch unit 13 (step S6). In step S6, when a high load is applied at the sintering temperature, the zinc sulfide powder is sintered and becomes a zinc sulfide sintered body. When the side portion 11 is made of carbon, the maximum load of zinc sulfide on the powder is preferably 40 to 60 MPa in consideration of the resistance of carbon. Here, a case where the maximum load on the zinc sulfide powder is 50 MPa will be described as an example.

制御装置は、温度計4が示す温度、および温度上昇の速度を監視し、硫化亜鉛の粉末が900℃に達するときに、硫化亜鉛の粉末に最大荷重(本例では50MPa)が印加されるように、駆動部3がパンチ部13を降下させる速度を制御する。そして、温度計4が示す温度(すなわち、硫化亜鉛の粉末の温度)が900℃になった時に、制御装置は、駆動部3にパンチ部13の降下を停止させ、電圧設定部2に、硫化亜鉛の粉末の温度上昇を停止させる。パンチ部13の降下を停止させるということは、硫化亜鉛の粉末に対する荷重の上昇を停止させるということである。この結果、硫化亜鉛の粉末が900℃に達するときに、硫化亜鉛の粉末に最大荷重50MPaが印加される。ここでは、制御装置が駆動部3等を制御する場合を例示しているが、オペレータが駆動部3や電圧設定部2を操作する場合には、オペレータが、温度計4が示す温度、および温度上昇の速度を監視し、硫化亜鉛の粉末が900℃に達するときに、硫化亜鉛の粉末に最大荷重(本例では50MPa)が印加されるように、駆動部3がパンチ部13を降下させる速度を制御すればよい。 The control device monitors the temperature indicated by the thermometer 4 and the rate of temperature rise so that the maximum load (50 MPa in this example) is applied to the zinc sulfide powder when the zinc sulfide powder reaches 900 ° C. In addition, the drive unit 3 controls the speed at which the punch unit 13 is lowered. Then, when the temperature indicated by the thermometer 4 (that is, the temperature of the zinc sulfide powder) reaches 900 ° C., the control device causes the drive unit 3 to stop the descent of the punch unit 13, and causes the voltage setting unit 2 to sulfurize. Stop the temperature rise of the zinc powder. Stopping the descent of the punch portion 13 means stopping the increase of the load on the zinc sulfide powder. As a result, when the zinc sulfide powder reaches 900 ° C., a maximum load of 50 MPa is applied to the zinc sulfide powder. Here, the case where the control device controls the drive unit 3 and the like is illustrated, but when the operator operates the drive unit 3 and the voltage setting unit 2, the operator causes the temperature and temperature indicated by the thermometer 4. The rate at which the drive unit 3 lowers the punch portion 13 so that the ascending speed is monitored and the maximum load (50 MPa in this example) is applied to the zinc sulfide powder when the zinc sulfide powder reaches 900 ° C. Should be controlled.

硫化亜鉛の粉末が焼結温度に達した後、電圧設定部2は、制御装置の制御に従って、
成形型1内の硫化亜鉛の粉末の温度を焼結温度のまま維持する。また、駆動部3は、制御装置の制御に従って、硫化亜鉛の粉末に対する荷重を、最大荷重で維持する(ステップS7)。この状態で、硫化亜鉛の粉末の焼結が進行し、パンチ部13は、成形型1に配置した硫化亜鉛の粉末材料が収縮する方法(下方方向)に変位する。
After the zinc sulfide powder reaches the sintering temperature, the voltage setting unit 2 follows the control of the control device.
The temperature of the zinc sulfide powder in the mold 1 is maintained at the sintering temperature. Further, the drive unit 3 maintains the load on the zinc sulfide powder at the maximum load according to the control of the control device (step S7). In this state, sintering of the zinc sulfide powder proceeds, and the punch portion 13 is displaced in a method (downward direction) in which the zinc sulfide powder material arranged in the molding die 1 shrinks.

電圧設定部2および駆動部3は、硫化亜鉛の粉末の温度を焼結温度のまま維持し、硫化亜鉛の粉末に対する荷重を最大荷重のまま維持する状態を、所定時間継続する。この所定時間とは、例えば、1〜24時間である。また、パンチ部13の変位がゼロになる時間が、上記の所定時間の目安である。 The voltage setting unit 2 and the drive unit 3 maintain the temperature of the zinc sulfide powder at the sintering temperature, and maintain the load on the zinc sulfide powder at the maximum load for a predetermined time. This predetermined time is, for example, 1 to 24 hours. Further, the time when the displacement of the punch portion 13 becomes zero is a guideline for the above-mentioned predetermined time.

続いて、電圧設定部2は、制御装置の制御に従って、硫化亜鉛焼結体の温度を低下させ、駆動部3は、制御装置の制御に従って、硫化亜鉛焼結体に対する荷重を低下させる(ステップS8)。ステップS8では、硫化亜鉛焼結体の上側と下側の温度差に起因する割れが生じないように、温度および荷重を低下させればよい。荷重を低下させるということは、駆動部3がパンチ部13を上昇させるということである。温度を低下させることは、パンチ部13と底部12との間の電圧差をゼロにすること、あるいは、パンチ部13および底部12との間の電圧差を少しずつ小さくするように電圧設定部2を制御することで実現する。 Subsequently, the voltage setting unit 2 lowers the temperature of the zinc sulfide sintered body according to the control of the control device, and the drive unit 3 lowers the load on the zinc sulfide sintered body according to the control of the control device (step S8). ). In step S8, the temperature and the load may be lowered so that cracks due to the temperature difference between the upper side and the lower side of the zinc sulfide sintered body do not occur. Reducing the load means that the drive unit 3 raises the punch unit 13. To lower the temperature, the voltage difference between the punch portion 13 and the bottom portion 12 is made zero, or the voltage difference between the punch portion 13 and the bottom portion 12 is gradually reduced. It is realized by controlling.

パンチ部13と底部12との間の電圧差をゼロにする場合、パンチ部13、底部12、および側部11の発熱がなくなる。これにより、パンチ部13が接触する駆動部3、および底部12が接触するステージ(図示略)への熱の流れが生じるため、速い速度で温度が低下する。そのため、硫化亜鉛焼結体の温度も、速い速度で低下する。 When the voltage difference between the punch portion 13 and the bottom portion 12 is set to zero, heat generation of the punch portion 13, the bottom portion 12, and the side portion 11 is eliminated. As a result, heat flows to the drive portion 3 with which the punch portion 13 contacts and the stage (not shown) with which the bottom portion 12 contacts, so that the temperature drops at a high speed. Therefore, the temperature of the zinc sulfide sintered body also decreases at a high rate.

このとき、荷重を低下させるためにパンチ部13を上昇させ、パンチ部13と硫化亜鉛焼結体との接触がなくなると、熱の流れは底部12方向のみに生じる。このため、硫化亜鉛焼結体の上側の温度が高く、下側の温度が低くなり、硫化亜鉛焼結体の上側と下側とで温度差が生じる。この温度差が大きくなると、硫化亜鉛焼結体の割れが生じるため、適切なタイミングで硫化亜鉛焼結体の荷重を低下させて、温度および荷重を低下させる。 At this time, when the punch portion 13 is raised in order to reduce the load and the contact between the punch portion 13 and the zinc sulfide sintered body disappears, heat flow occurs only in the bottom 12 direction. Therefore, the temperature of the upper side of the zinc sulfide sintered body is high and the temperature of the lower side is low, and a temperature difference occurs between the upper side and the lower side of the zinc sulfide sintered body. When this temperature difference becomes large, the zinc sulfide sintered body cracks, so that the load of the zinc sulfide sintered body is reduced at an appropriate timing to reduce the temperature and the load.

一方、パンチ部13および底部12との間の電圧差を少しずつ小さくするように電圧設定部2を制御する場合、パンチ部13、底部12、および側部11には発熱があり、硫化亜鉛焼結体を所望の温度で低下させることができる。ただし、この場合も、パンチ部13を上昇させると硫化亜鉛焼結体の上側と下側とで温度差が生じるため、適切なタイミングで硫化亜鉛焼結体の荷重を低下させて、温度および荷重を低下させる。 On the other hand, when the voltage setting unit 2 is controlled so as to gradually reduce the voltage difference between the punch portion 13 and the bottom portion 12, the punch portion 13, the bottom portion 12, and the side portion 11 generate heat, and zinc sulfide is fired. The blotting can be lowered at the desired temperature. However, also in this case, if the punch portion 13 is raised, a temperature difference occurs between the upper side and the lower side of the zinc sulfide sintered body, so that the load of the zinc sulfide sintered body is lowered at an appropriate timing to reduce the temperature and load. To reduce.

例えば、パンチ部13の移動方向に沿った硫化亜鉛焼結体の長さが長いほど(本例では、硫化亜鉛焼結体の高さが高いほど)、駆動部3は、硫化亜鉛焼結体に対する荷重の低下速度を遅くする(すなわち、パンチ部13の上昇速度を遅くする)。 For example, the longer the length of the zinc sulfide sintered body along the moving direction of the punch portion 13 (in this example, the higher the height of the zinc sulfide sintered body), the more the driving unit 3 is the zinc sulfide sintered body. (That is, slow down the ascending speed of the punch portion 13).

以上のような方法によって、前述のような、本発明による硫化亜鉛焼結体を製造することができる。この硫化亜鉛焼結体は、中赤外領域(3μm以上5μm以下の波長域)における光の透過率が良好であり、赤外線を利用した分析用カメラや暗視カメラ等の光学装置において、良好な光学材料として用いることができる。また、8μm以上12μm以下の波長域の光の透過率も良好とすることができる。 By the above method, the zinc sulfide sintered body according to the present invention can be produced as described above. This zinc sulfide sintered body has good light transmittance in the mid-infrared region (wavelength range of 3 μm or more and 5 μm or less), and is good in optical devices such as analysis cameras and night-vision cameras using infrared rays. It can be used as an optical material. Further, the transmittance of light in the wavelength range of 8 μm or more and 12 μm or less can be improved.

以上の説明では、駆動部3および電圧設定部2が制御装置の制御に従って動作する場合を例にして説明した。既に述べたように、駆動部3および電圧設定部2は、オペレータの操作に従って動作してもよい。 In the above description, the case where the drive unit 3 and the voltage setting unit 2 operate under the control of the control device has been described as an example. As described above, the drive unit 3 and the voltage setting unit 2 may operate according to the operation of the operator.

以上のような製造方法によれば、硫化亜鉛の粉末を1μm以下に微細化する前処理を行う必要がない。また、ステップS7の後に、硫化亜鉛焼結体に対してHIP処理を行う必要もない。そして、成形型1の材料は、カーボンや金属でよく、成形型1に特殊な材料を用いる必要もない。さらに、不純物が十分に除去されるため、残留不純物により透過率が低下することもない。従って、硫化亜鉛の粉末を微細化する処理やHIP処理を行わずに、中赤外領域の光の透過率が良好な硫化亜鉛焼結体を低コストで製造することができる。従って、硫化亜鉛焼結体も安価にすることができる。 According to the above-mentioned production method, it is not necessary to perform a pretreatment for refining the zinc sulfide powder to 1 μm or less. Further, it is not necessary to perform HIP treatment on the zinc sulfide sintered body after step S7. The material of the molding die 1 may be carbon or metal, and it is not necessary to use a special material for the molding die 1. Furthermore, since impurities are sufficiently removed, the transmittance does not decrease due to residual impurities. Therefore, it is possible to produce a zinc sulfide sintered body having good light transmittance in the mid-infrared region at low cost without performing a treatment for refining the zinc sulfide powder or a HIP treatment. Therefore, the zinc sulfide sintered body can also be inexpensive.

なお、上記のような製造方法によって、3μm以上5μm以下の波長域での透過率特性が良い硫化亜鉛焼結体が得られる理由については分かっていないが、本発明の発明者は、以下のような理由を推測している。 Although it is not known why a zinc sulfide sintered body having good transmittance characteristics in a wavelength range of 3 μm or more and 5 μm or less can be obtained by the above-mentioned manufacturing method, the inventor of the present invention is as follows. I'm guessing the reason.

不純物が残留したまま高温に加熱されると、硫化亜鉛粉末が焼結体として緻密化した状態でガスとなるため、焼結体から除去されず、ガスとして残留して気孔の原因となる。この気孔が焼結体内部に入射した光を散乱させ、透過率を低下させる。また、残留不純物は母体の硫化亜鉛と不純物との間で屈折率界面を形成し、この界面で光を散乱し、透過率を低下させるほか、不純物自体の光吸収により透過率が低下する。そのため、不純物の除去は高い透過率の達成に不可欠であり、その最適なプリベーク温度が250℃〜750℃の範囲であることを、発明者は見出した。250℃よりプリベーク温度が低いと、不純物が十分に除去されず、750℃よりプリベーク温度が高いと、焼結が進行し、不純物が除去される前に焼結体内に取り込まれ、除去することができない可能性がある。このときのプリベーク温度を保持する時間は、30分以上が好ましい。 When the zinc sulfide powder is heated to a high temperature with impurities remaining, it becomes a gas in a state where the zinc sulfide powder is densified as a sintered body, so that it is not removed from the sintered body and remains as a gas to cause pores. These pores scatter the light incident on the inside of the sintered body and reduce the transmittance. Further, the residual impurities form a refractive index interface between the zinc sulfide of the mother body and the impurities, and the light is scattered at this interface to reduce the transmittance, and the transmittance is lowered by the light absorption of the impurities themselves. Therefore, the inventor has found that the removal of impurities is essential for achieving high transmittance, and the optimum prebake temperature is in the range of 250 ° C to 750 ° C. If the prebake temperature is lower than 250 ° C, impurities are not sufficiently removed, and if the prebake temperature is higher than 750 ° C, sintering proceeds, and impurities are taken into the sintered body and removed before they are removed. It may not be possible. The time for maintaining the prebake temperature at this time is preferably 30 minutes or more.

硫化亜鉛の粉末をプリベーク温度で保持することで、不純物から発生したガスをほぼ完全に除去できるため、高純度の焼結体とすることができ、良好な特性が得られるということを、発明者は理由として推測している。 By keeping the zinc sulfide powder at the prebake temperature, the gas generated from the impurities can be almost completely removed, so that a high-purity sintered body can be obtained and good characteristics can be obtained. Is guessing as the reason.

硫化亜鉛の粉末を加熱し不純物を除去する手段としては、第一は、硫化亜鉛の粉末に対する加熱を開始したあと、硫化亜鉛の粉末の焼結温度未満で温度を保持する。第二は、あらかじめ硫化亜鉛の粉末を加熱して不純物を除去した後、その粉末を前記工程の硫化亜鉛粉末として用いる。第三は、適した温度範囲での加熱による温度上昇をわずかとし、温度上昇中に一定温度の保持と同等の効果が出るように制御する方法がある。 As a means for heating the zinc sulfide powder to remove impurities, the first method is to start heating the zinc sulfide powder and then maintain the temperature below the sintering temperature of the zinc sulfide powder. Second, the zinc sulfide powder is heated in advance to remove impurities, and then the powder is used as the zinc sulfide powder in the above step. Thirdly, there is a method of controlling the temperature rise due to heating in a suitable temperature range so as to have the same effect as maintaining a constant temperature during the temperature rise.

第一の手段では、製造工程としては硫化亜鉛の粉末を加熱して焼結するための製造装置の加熱プログラムを調整するだけなので、工程が複雑にならないという特徴がある。第二の手段では、あらかじめ硫化亜鉛の粉末を加熱するため、第一の手段よりも粉末を焼結するための製造装置の使用時間が短縮できるという特徴がある。第三の手段では、第一の手段の特徴に加え、製造装置の温度を一定にして保持する必要がないことから、温度制御が容易になるため、連続炉などの温度制御が困難な製造装置への応用が容易である。 In the first means, as the manufacturing process, only the heating program of the manufacturing apparatus for heating and sintering the zinc sulfide powder is adjusted, so that the process is not complicated. Since the zinc sulfide powder is heated in advance in the second means, there is a feature that the usage time of the manufacturing apparatus for sintering the powder can be shortened as compared with the first means. In the third means, in addition to the characteristics of the first means, it is not necessary to keep the temperature of the manufacturing device constant, so that the temperature control becomes easy, so that the temperature control of the manufacturing device such as a continuous furnace is difficult. Easy to apply to.

また、本発明による硫化亜鉛焼結体の製造方法で用いる製造装置は図1に例示する構成に限定されない。 Further, the manufacturing apparatus used in the method for manufacturing a zinc sulfide sintered body according to the present invention is not limited to the configuration exemplified in FIG.

図3は、硫化亜鉛焼結体の製造装置の他の例を示す説明図である。図1に示す要素と同一の要素については、図1と同一の符号を付し、詳細な説明を省略する。 FIG. 3 is an explanatory diagram showing another example of the manufacturing apparatus for the zinc sulfide sintered body. The same elements as those shown in FIG. 1 are designated by the same reference numerals as those in FIG. 1, and detailed description thereof will be omitted.

図3に示す硫化亜鉛焼結体の製造装置100Aは、図1に示す電圧設定部2を備えずに、チャンバ7内にヒータ9を備える。そして、製造装置100Aは、放電プラズマ焼結法を採用するのではなく、ヒータ9によってチャンバ7内全体を加熱することで、硫化亜鉛の粉末を加熱する。すなわち、図1に示す製造装置100は、放電プラズマ焼結法によって硫化亜鉛の粉末を中心に加熱を行うのに対して、製造装置100Aは、ヒータ9によってチャンバ7内全体を加熱する。また、製造装置100Aでは、底部12およびパンチ部13は、金属ではなく、カーボンで形成されていてもよい。また、図3では、図1と同様に、温度計4が側部11の内部に配置されている場合を示しているが、図3に示す構成では、温度計4は、チャンバ7内で側部11の外部に配置されていてもよい。 The zinc sulfide sintered body manufacturing apparatus 100A shown in FIG. 3 does not include the voltage setting unit 2 shown in FIG. 1, but includes a heater 9 in the chamber 7. Then, the manufacturing apparatus 100A does not adopt the discharge plasma sintering method, but heats the entire inside of the chamber 7 by the heater 9 to heat the zinc sulfide powder. That is, while the manufacturing apparatus 100 shown in FIG. 1 heats mainly zinc sulfide powder by the discharge plasma sintering method, the manufacturing apparatus 100A heats the entire inside of the chamber 7 by the heater 9. Further, in the manufacturing apparatus 100A, the bottom portion 12 and the punch portion 13 may be formed of carbon instead of metal. Further, FIG. 3 shows a case where the thermometer 4 is arranged inside the side portion 11 as in FIG. 1, but in the configuration shown in FIG. 3, the thermometer 4 is on the side in the chamber 7. It may be arranged outside the part 11.

駆動部3およびヒータ9は、制御装置(図示略)の制御に従って動作してもよく、あるいは、オペレータの操作に従って動作してもよい。 The drive unit 3 and the heater 9 may be operated according to the control of the control device (not shown), or may be operated according to the operation of the operator.

図3に示す製造装置100Aを用いた場合であっても、本発明の実施形態に係る硫化亜鉛焼結体の製造方法を実現でき、本発明の実施形態に係る硫化亜鉛焼結体が得られる。 Even when the manufacturing apparatus 100A shown in FIG. 3 is used, the method for manufacturing a zinc sulfide sintered body according to the embodiment of the present invention can be realized, and the zinc sulfide sintered body according to the embodiment of the present invention can be obtained. ..

本発明の発明者は、本発明の実施形態に係る硫化亜鉛焼結体の製造方法により硫化亜鉛焼結体を製造し、その硫化亜鉛焼結体の透過率を確認した。プリベーク温度は400℃とし、4時間の保持を行った。図4は、本発明による硫化亜鉛焼結体の製造方法によって製造した硫化亜鉛焼結体の透過率特性の例を示すグラフである。また、図5は、図4に示す波長3μm、4μm、5μmでの透過率、および3〜5μmの波長域での平均透過率を示す表である。なお、図4および図5では、硫化亜鉛焼結体の厚さを5mmにした場合における透過率を示している。図4に示すように、3μm以上5μm以下の波長域での透過率は60%以上である。また、3μm以上5μm以下の波長域での透過率は、60%以上75%以下の範囲に含まれている。また、図4および図5から分かるように、3μm以上5μm以下の波長域での透過率は、64%以上になっている。より具体的には、3μm以上5μm以下の波長域での透過率は、64%以上69%以下になっている。 The inventor of the present invention produced a zinc sulfide sintered body by the method for producing a zinc sulfide sintered body according to the embodiment of the present invention, and confirmed the permeability of the zinc sulfide sintered body. The prebake temperature was 400 ° C. and the holding was carried out for 4 hours. FIG. 4 is a graph showing an example of the transmittance characteristics of the zinc sulfide sintered body produced by the method for producing a zinc sulfide sintered body according to the present invention. Further, FIG. 5 is a table showing the transmittance at wavelengths of 3 μm, 4 μm, and 5 μm shown in FIG. 4, and the average transmittance in the wavelength range of 3 to 5 μm. Note that FIGS. 4 and 5 show the transmittance when the thickness of the zinc sulfide sintered body is 5 mm. As shown in FIG. 4, the transmittance in the wavelength range of 3 μm or more and 5 μm or less is 60% or more. Further, the transmittance in the wavelength range of 3 μm or more and 5 μm or less is included in the range of 60% or more and 75% or less. Further, as can be seen from FIGS. 4 and 5, the transmittance in the wavelength range of 3 μm or more and 5 μm or less is 64% or more. More specifically, the transmittance in the wavelength range of 3 μm or more and 5 μm or less is 64% or more and 69% or less.

実施例で製造した焼結体は、上述した[特許文献3]の焼結体と比較して、プリベーク処理を施した点で異なっている。また、実施例で製造した焼結体の透過率は、上述した[特許文献3]の焼結体の透過率と比較して、波長3μm以上5μm以下の平均値において、10%以上高い値であり、非常に優れた透過率を有する。 The sintered body produced in the examples is different from the sintered body of [Patent Document 3] described above in that it is prebaked. Further, the transmittance of the sintered body produced in the examples is 10% or more higher than the transmittance of the sintered body of the above-mentioned [Patent Document 3] at an average value of a wavelength of 3 μm or more and 5 μm or less. Yes, it has a very good transmittance.

また、図4に示すように、厚さを5mmとした場合における、8μm以上12μm以下の波長域の光の透過率は、39%以上である。また、図4に示すように、厚さを5mmとした場合における、8μm以上12μm以下の波長域の光の透過率は、39%以上80%以下の範囲に含まれている。 Further, as shown in FIG. 4, when the thickness is 5 mm, the transmittance of light in the wavelength range of 8 μm or more and 12 μm or less is 39% or more. Further, as shown in FIG. 4, the transmittance of light in the wavelength range of 8 μm or more and 12 μm or less when the thickness is 5 mm is included in the range of 39 % or more and 80% or less.

上記の実施形態の一部又は全部は、以下の付記のようにも記載され得るが以下には限られない。 Some or all of the above embodiments may also be described, but not limited to:

(付記1)
厚さを5mmとした場合における、3μm以上5μm以下の波長域の光の透過率が60%以上である、硫化亜鉛焼結体。
(Appendix 1)
A zinc sulfide sintered body having a light transmittance of 60% or more in a wavelength range of 3 μm or more and 5 μm or less when the thickness is 5 mm.

(付記2)
厚さを5mmとした場合における、3μm以上5μm以下の波長域の光の透過率が60%以上75%以下である、付記1に記載の硫化亜鉛焼結体。
(Appendix 2)
The zinc sulfide sintered body according to Appendix 1, wherein the light transmittance in the wavelength range of 3 μm or more and 5 μm or less is 60% or more and 75% or less when the thickness is 5 mm.

(付記3)
厚さを5mmとした場合における、3μm以上5μm以下の波長域の光の透過率が64%以上である、付記1または2に記載の硫化亜鉛焼結体。
(Appendix 3)
The zinc sulfide sintered body according to Appendix 1 or 2, wherein the light transmittance in the wavelength range of 3 μm or more and 5 μm or less is 64% or more when the thickness is 5 mm.

(付記4)
厚さを5mmとした場合における、8μm以上12μm以下の波長域の光の透過率が39%以上である、付記1から3のいずれか1つに記載の硫化亜鉛焼結体。
(Appendix 4)
The zinc sulfide sintered body according to any one of Supplementary note 1 to 3, wherein the light transmittance in the wavelength range of 8 μm or more and 12 μm or less is 39% or more when the thickness is 5 mm.

(付記5)
厚さを5mmとした場合における、8μm以上12μm以下の波長域の光の透過率が39%以上80%以下である、付記1から付記4のいずれか1つに記載の硫化亜鉛焼結体。
(Appendix 5)
The zinc sulfide sintered body according to any one of Supplementary note 1 to Supplementary note 4, wherein the light transmittance in the wavelength range of 8 μm or more and 12 μm or less is 39% or more and 80% or less when the thickness is 5 mm.

(付記6)
成形型に硫化亜鉛の粉末を配置し、
前記硫化亜鉛の粉末に対する加熱を開始し、前記硫化亜鉛の粉末の温度を上昇させ、
前記硫化亜鉛の粉末の温度が焼結温度に達する前に、前記硫化亜鉛の粉末を前記焼結温度未満のプリベーク温度で加熱し、
前記硫化亜鉛の粉末の温度が、前記プリベーク温度よりも高く前記焼結温度よりも低い、前記焼結温度の近傍の温度に達したときに、前記硫化亜鉛の粉末に対する荷重の印加を開始し、前記硫化亜鉛の粉末に印加する荷重を上昇させ、
前記硫化亜鉛の粉末の温度が前記焼結温度に達したときに、前記硫化亜鉛の粉末に最大荷重を印加し、
前記硫化亜鉛の粉末の温度が前記焼結温度に達した後に、前記硫化亜鉛の粉末の温度を前記焼結温度に維持しながら、前記硫化亜鉛の粉末に対する前記最大荷重の印加を維持する硫化亜鉛焼結体の製造方法であって、
前記硫化亜鉛の粉末が前記焼結温度に達する前に、前記焼結温度未満の温度で加熱する、硫化亜鉛焼結体の製造方法。
(Appendix 6)
Place zinc sulfide powder in the mold and place it in the mold.
Heating of the zinc sulfide powder is started to raise the temperature of the zinc sulfide powder.
Before the temperature of the zinc sulfide powder reaches the sintering temperature, the zinc sulfide powder is heated to a prebake temperature lower than the sintering temperature.
When the temperature of the zinc sulfide powder reaches a temperature near the sintering temperature, which is higher than the prebake temperature and lower than the sintering temperature, the application of a load to the zinc sulfide powder is started. The load applied to the zinc sulfide powder is increased to increase the load.
When the temperature of the zinc sulfide powder reaches the sintering temperature, a maximum load is applied to the zinc sulfide powder.
After the temperature of the zinc sulfide powder reaches the sintering temperature, the zinc sulfide powder maintains the temperature of the zinc sulfide powder at the sintering temperature while maintaining the application of the maximum load to the zinc sulfide powder. It is a method of manufacturing a sintered body.
A method for producing a zinc sulfide sintered body, in which the zinc sulfide powder is heated at a temperature lower than the sintering temperature before it reaches the sintering temperature.

(付記7)
前記硫化亜鉛の粉末が前記焼結温度に達する前に250℃〜750℃の範囲である前記プリベーク温度で加熱する、付記6に記載の硫化亜鉛焼結体の製造方法。
(Appendix 7)
The method for producing a zinc sulfide sintered body according to Appendix 6, wherein the zinc sulfide powder is heated at the prebaking temperature in the range of 250 ° C. to 750 ° C. before reaching the sintering temperature.

(付記8)
硫化亜鉛の粉末の温度が温度上昇中250℃〜750℃の範囲である前記プリベーク温度を保持する、付記6または7に記載の硫化亜鉛焼結体の製造方法。
(Appendix 8)
The method for producing a zinc sulfide sintered body according to Appendix 6 or 7, wherein the temperature of the zinc sulfide powder is maintained in the range of 250 ° C to 750 ° C while the temperature is rising.

(付記9)
硫化亜鉛の粉末をあらかじめ250℃〜750℃の範囲である前記プリベーク温度で加熱し冷却した後、前記硫化亜鉛の粉末の加熱を開始する、付記6または7に記載の硫化亜鉛焼結体の製造方法。
(Appendix 9)
The production of the zinc sulfide sintered body according to Appendix 6 or 7 , wherein the zinc sulfide powder is previously heated and cooled at the prebake temperature in the range of 250 ° C. to 750 ° C., and then the heating of the zinc sulfide powder is started. Method.

(付記10)
硫化亜鉛の粉末の温度が温度上昇中250℃〜750℃の範囲である前記プリベーク温度であるときに温度上昇をわずかとし、前記温度上昇の速度を0.01℃/分〜5℃/分とする、付記6または7に記載の硫化亜鉛焼結体の製造方法。
(Appendix 10)
Just as the temperature rise when the temperature of the powder zinc sulfide is the pre-bake temperature in the range of 250 ° C. to 750 ° C. in a temperature rise, the rate of the temperature rise 0.01 ° C. / min to 5 ° C. / minute The method for producing a zinc sulfide sintered body according to Appendix 6 or 7.

(付記11)
硫化亜鉛の粉末の温度が焼結温度よりも100℃低い温度に達したときに、前記硫化亜鉛の粉末に対する荷重の印加を開始する、付記6または7に記載の硫化亜鉛焼結体の製造方法。
(Appendix 11)
The method for producing a zinc sulfide sintered body according to Appendix 6 or 7, wherein when the temperature of the zinc sulfide powder reaches a temperature 100 ° C. lower than the sintering temperature, the application of a load to the zinc sulfide powder is started. ..

1・・・成形型
2・・・電圧設定部
3・・・駆動部
4・・・温度計
7・・・チャンバ
9・・・ヒータ
11・・・側部
12・・・底部
13・・・パンチ部
13a・・・嵌合部
1 ... Molding mold 2 ... Voltage setting unit 3 ... Drive unit 4 ... Thermometer 7 ... Chamber 9 ... Heater 11 ... Side 12 ... Bottom 13 ... Punch part 13a ... Fitting part

Claims (8)

厚さを5mmとした場合における、3μm以上5μm以下の波長域全体での光の透過率が60%以上75%以下である、硫化亜鉛焼結体。 In the case where a thickness of 5 mm, a light transmittance of at 5μm across a wavelength range more than 3μm is 75% or less 60%, sulfuric zinc sintered. 厚さを5mmとした場合における、3μm以上5μm以下の波長域全体での光の透過率が64%以上である、請求項1に記載の硫化亜鉛焼結体。 The zinc sulfide sintered body according to claim 1, wherein the light transmittance in the entire wavelength range of 3 μm or more and 5 μm or less is 64% or more when the thickness is 5 mm. 厚さを5mmとした場合における、8μm以上12μm以下の波長域全体での光の透過率が39%以上である、請求項1または請求項2に記載の硫化亜鉛焼結体。 The zinc sulfide sintered body according to claim 1 or 2 , wherein the light transmittance in the entire wavelength range of 8 μm or more and 12 μm or less when the thickness is 5 mm is 39% or more. 厚さを5mmとした場合における、8μm以上12μm以下の波長域全体での光の透過率が39%以上80%以下である、請求項1から請求項のいずれか1項に記載の硫化亜鉛焼結体。 The zinc sulfide according to any one of claims 1 to 3 , wherein the light transmittance in the entire wavelength range of 8 μm or more and 12 μm or less is 39% or more and 80% or less when the thickness is 5 mm. Sulfide. 成形型に硫化亜鉛の粉末を配置し、
前記硫化亜鉛の粉末に対する加熱を開始し、前記硫化亜鉛の粉末の温度を上昇させ、
前記硫化亜鉛の粉末の温度が焼結温度に達する前に、前記硫化亜鉛の粉末を前記焼結温度未満のプリベーク温度で加熱し、
前記硫化亜鉛の粉末の温度が、前記プリベーク温度よりも高く前記焼結温度よりも低い、前記焼結温度の近傍の温度に達したときに、前記硫化亜鉛の粉末に対する荷重の印加を開始し、前記硫化亜鉛の粉末に印加する荷重を上昇させ、
前記硫化亜鉛の粉末の温度が前記焼結温度に達したときに、前記硫化亜鉛の粉末に最大荷重を印加し、
前記硫化亜鉛の粉末の温度が前記焼結温度に達した後に、前記硫化亜鉛の粉末の温度を前記焼結温度に維持しながら、前記硫化亜鉛の粉末に対する前記最大荷重の印加を維持する硫化亜鉛焼結体の製造方法。
Place zinc sulfide powder in the mold and place it in the mold.
Heating of the zinc sulfide powder is started to raise the temperature of the zinc sulfide powder.
Before the temperature of the zinc sulfide powder reaches the sintering temperature, the zinc sulfide powder is heated to a prebake temperature lower than the sintering temperature.
When the temperature of the zinc sulfide powder reaches a temperature near the sintering temperature, which is higher than the prebake temperature and lower than the sintering temperature, the application of a load to the zinc sulfide powder is started. The load applied to the zinc sulfide powder is increased to increase the load.
When the temperature of the zinc sulfide powder reaches the sintering temperature, a maximum load is applied to the zinc sulfide powder.
After the temperature of the zinc sulfide powder reaches the sintering temperature, the zinc sulfide powder maintains the temperature of the zinc sulfide powder at the sintering temperature while maintaining the application of the maximum load to the zinc sulfide powder. A method for manufacturing a sintered body.
硫化亜鉛の粉末の温度が温度上昇中250℃〜750℃の範囲である前記プリベーク温度を保持する、請求項に記載の硫化亜鉛焼結体の製造方法。 The method for producing a zinc sulfide sintered body according to claim 5 , wherein the temperature of the zinc sulfide powder is maintained in the range of 250 ° C to 750 ° C while the temperature is rising. 硫化亜鉛の粉末をあらかじめ250℃〜750℃の範囲である前記プリベーク温度で加熱し冷却した後、前記硫化亜鉛の粉末の加熱を開始する、請求項に記載の硫化亜鉛焼結体の製造方法。 The method for producing a zinc sulfide sintered body according to claim 5 , wherein the zinc sulfide powder is heated in advance at the prebake temperature in the range of 250 ° C. to 750 ° C. and cooled, and then the heating of the zinc sulfide powder is started. .. 硫化亜鉛の粉末の温度が温度上昇中250℃〜750℃の範囲である前記プリベーク温度であるときに温度上昇をわずかとし、前記温度上昇の速度を0.01℃/分〜5℃/分とする、請求項に記載の硫化亜鉛焼結体の製造方法。 When the temperature of the zinc sulfide powder is in the range of 250 ° C to 750 ° C during the temperature rise, the temperature rise is slight, and the rate of the temperature rise is 0.01 ° C / min to 5 ° C / min. The method for producing a zinc sulfide sintered body according to claim 5.
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