JP7053191B2 - オゾン生成装置および紫外線照射装置 - Google Patents
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Description
10R 内部空間
10S 側面
10W1 窓
10W2 窓
30 エキシマランプ
40 エキシマランプ
100 オゾン生成装置
Claims (12)
- 放電によって紫外線を放射するエキシマランプと、
前記エキシマランプを収容し、装置外と装置内とに区画するケーシングであって、紫外線を照射してオゾンを生成する内部空間を装置内に形成する筐体とを備え、
前記筐体において、紫外線とともに前記エキシマランプから放射される可視光を透過する窓が、形成されていることを特徴とするオゾン生成装置。 - 放電によって紫外線を放射するエキシマランプと、
前記エキシマランプを収容し、紫外線を照射してオゾンを生成する内部空間を区画する筐体とを備え、
前記筐体において、紫外線とともに前記エキシマランプから放射される可視光を透過する窓が、放電発生領域を視認可能なように、装置設置状態における前記筐体の側面および/または天井面に形成されていることを特徴とするオゾン生成装置。 - 前記窓が、前記筐体の鉛直方向に沿った表面に形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載のオゾン生成装置。
- 前記窓の鉛直方向長さが、筐体鉛直方向長さの半分以上の長さであることを特徴とする請求項3に記載のオゾン生成装置。
- 前記窓の水平方向長さが、筐体水平方向長さの半分以上の長さであることを特徴とする請求項3に記載のオゾン生成装置。
- 前記窓が、筐体外部からの可視光の少なくとも一部を反射する光学部材を備えることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載のオゾン生成装置。
- 前記エキシマランプが、局所的放電によって紫外線を放射することを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載のオゾン生成装置。
- 前記エキシマランプが、紫外線よりもスペクトル強度の小さい可視光を、紫外線とともに放射することを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載のオゾン生成装置。
- 前記エキシマランプから放射される可視光の波長域が、400nm~450nmおよび500nm~650nmの少なくともいずれかの波長域を含むことを特徴とする請求項1乃至8のいずれかに記載のオゾン生成装置。
- 前記エキシマランプから放射される可視光の波長が、545nm付近の波長を含むことを特徴とする請求項1乃至9のいずれかに記載のオゾン生成装置。
- 前記エキシマランプが、前記内部空間で生成されたオゾンの流れる方向に沿って配置され、
生成されたオゾンが前記筐体から外部に放出されることを特徴とする請求項1乃至10のいずれかに記載のオゾン生成装置。 - 装置外と装置内とに区画するケーシングであって、エキシマランプによる紫外線照射により除菌、殺菌を行う内部空間を装置内に形成する筐体を備え、
前記筐体において、前記エキシマランプに生じた局所的放電を視認可能な位置に、前記エキシマランプから放射される可視光を透過する窓が、形成されていることを特徴とする紫外線照射装置。
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