JP7092882B2 - クロック分配システム - Google Patents

Description

本発明は、概して、コンピュータシステムに関し、具体的には、クロック分配システムに関する。本出願は、２０１８年３月６日に出願された米国特許出願第１５／９１３，４７１号の優先権を主張し、その全体が本明細書に組み込まれる。

論理機能を実装する一般的な回路はクロックに基づいて動作することで、データの同期および／または論理機能の時間に基づくフローの提供を行うことができる。相補型金属酸化膜半導体（ＣＭＯＳ）テクノロジーに基づく回路は、所与の論理回路またはゲートが１つまたは複数の入力でデータをキャプチャしてデータを処理したり他の論理機能に転送したりするタイミングを示すのにクロックを実装することができる。したがって、所与のクロックは、回路内の種々のデバイスにクロック信号を供給して必要なタイミング情報を供給することができ、それによりデータ転送およびタイミング機能を実質的に同期させることができる。他のタイプの回路は、レシプロカル量子論理（ＲＱＬ）回路などのクロック信号を実装することができる。ＲＱＬ回路は、例えば、実質的に安定した周波数を有する信号として供給されるクロックに基づいてタイミング情報を実装することができる。

一実施例は、クロック分配システムを含む。当該システムは、クロック信号を伝搬する少なくとも１つの共振器スパインと、前記少なくとも１つの共振器スパインに導電的に結合され、定在波共振器として配置された少なくとも１つの共振器リブとを含む。前記少なくとも１つの共振器リブのうちの少なくとも１つは、前記少なくとも１つの共振器リブのうちの当該対応する１つの長さに沿って変化する厚さを有する。また、前記システムは、少なくとも１つのトランス結合ラインを含む。前記少なくとも１つのトランス結合ラインの各々は、関連する回路に導電結合されるとともに前記少なくとも１つの共振器リブに誘導結合されて、前記クロック信号に対応するクロック電流を誘導的に生成して前記関連する回路の機能を提供し得る。

別の実施例は、クロック分配システムを含む。当該システムは、クロック信号を伝搬する少なくとも１つの共振器スパインと、前記少なくとも１つの共振器スパインに導電的に結合され、定在波共振器として配置された少なくとも１つの共振器リブとを含む。前記少なくとも１つの共振器リブのうちの少なくとも１つは、前記少なくとも１つの共振器リブのうちの当該対応する１つの長さに沿ってテーパ状に変化する厚さを有する。前記システムはさらに、少なくとも１つのトランス結合ラインを含む。前記少なくとも１つのトランス結合ラインの各々は、関連する回路に導電結合されるとともに前記少なくとも１つの共振器リブに誘導結合されて、前記クロック信号に対応するクロック電流を誘導的に生成して前記関連する回路の機能を提供し得る。

別の実施例は、クロック分配システムを含む。当該システムは、クロック信号を伝搬する少なくとも１つの共振器スパインと、前記少なくとも１つの共振器スパインに導電的に結合され、定在波共振器として配置された少なくとも１つの共振器リブとを含む。前記少なくとも１つの共振器リブのうちの少なくとも１つは、前記少なくとも１つの共振器リブのうちの当該対応する１つの長さに沿って段階的に変化する厚さを有する。また、前記システムは、少なくとも１つのトランス結合ラインを含む。前記少なくとも１つのトランス結合ラインの各々は、関連する回路に導電結合されるとともに前記少なくとも１つの共振器リブに誘導結合されて、前記クロック信号に対応するクロック電流を誘導的に生成して前記関連する回路の機能を提供し得る。

クロック分配システムの一例を示す図。 共振器システムの一例を示す図。 共振器システムおよび電流のグラフの一例を示す図。 共振器システムおよび電流のグラフの別の例を示す図。 共振器システムおよび電流のグラフの別の例を示す図。 共振器システムおよび電流のグラフの別の例を示す図。 共振器システムおよび電流のグラフの別の例を示す図。 共振器システムおよび電流のグラフの別の例を示す図。 共振器システムおよび電流のグラフの別の例を示す図。

本発明は、概して、コンピュータシステムに関し、具体的には、クロック分配システムに関する。本明細書に記載されるクロック分配システムは、共振器「スパイン」（spine）および「リブ」（rib）の構成として配置される。本明細書の記載において、共振器に関連する「スパイン」という用語は、クロック信号（例えば、正弦波クロック信号）を伝搬するように構成された導体を表す。また、共振器に関連する「リブ」という用語は、スパインに導電結合され、クロック信号を伝搬する定在波共振器として配置される導体を表す。クロック分配システムは、各々同じ共振器スパインに導電結合される複数の共振器リブを含むことができ、したがって、各共振器リブ共振器スパインからのクロック信号を別々に伝搬することができる。

また、クロック分配システムは、関連する回路に導電結合される少なくとも１つのトランス結合ラインを含む。トランス結合ラインは、複数の誘導結合を介して共振器リブに誘導結合され、クロック信号に対応するクロック電流を誘導的に生成して関連する回路の機能を提供する。本明細書に記載されるように、共振器リブおよび共振器スパインの多くの様々な構成が存在し、したがって、共振器リブへのトランス結合ラインの誘導結合を提供する多くの様々な方法が存在する。

共振器リブの各々は、対応する共振器リブの長さに沿って変化する厚さを有し得る。本明細書の記載において、共振器リブに関連する「厚さ」という用語は、各共振器リブの断面の少なくとも１つの寸法（例えば、幅）を表す。トランス結合ラインと共振器リブとの誘導結合は、対応する共振器リブの所与の部分におけるその共振器リブの厚さに基づき得るため、トランス結合ラインと共振器リブとの誘導結合は、共振器リブの相対的な厚さに基づいて制御することができる。したがって、共振器リブの長さに沿った共振器リブの厚さの変化は、同じ共振器リブに誘導結合された異なるトランス結合ラインに対して所与のトランス結合ラインの誘導クロック電流の振幅に影響を与える方法を提供することができる。

図１は、クロック分配システム１０の一例を示す。クロック分配システム１０は、レシプロカル量子論理（ＲＱＬ）回路設計などの種々の用途で実装することができる。例えば、クロック分配システム１０は、集積回路（ＩＣ）チップ内にまたはその一部として実装することができる。

クロック分配システム１０は、少なくとも１つの共振器システム１２を含む。共振器システム１２は、本明細書に記載されるクロック分配システム１０が実装されるＩＣチップ全体にわたって分配され得る１つまたは複数の回路１４の各々にクロック信号ＣＬＫを供給するように構成され得る。一例として、クロック信号ＣＬＫは、正弦波クロック信号として供給可能であり、同相クロック信号および直角位相クロック信号のうちの１つとすることができる。図１の例では、各共振器システム１２は、少なくとも１つの共振器スパイン１６と少なくとも１つの共振器リブ１８を含む。共振器リブ１８は各々、共振器スパイン１６のうちの所与の１つに導電的に結合される。したがって、共振器スパイン１６に（例えば、局部発振器から）供給されるクロック信号ＣＬＫは、対応する共振器リブ１８を伝搬するように供給することができる。一例として、クロック分配システム１０は、例えば、参照によりその全体が本明細書に組み込まれる、２０１７年１１月１７日に出願された米国特許出願第１５／８１６，５１８号に記載されるものなどのような、クロック信号ＣＬＫを回路１４に分配する種々の方法で配置することができる。したがって、クロック分配システム１０は、上記特許出願に記載される種々の異なるクロック分配アーキテクチャのいずれかに対応することができる。しかしながら、本明細書に記載されるように、共振器リブ１８は、その長さに沿って変化する厚さを有することができる。

図１の例において、共振器システム１２は、少なくとも１つのトランス結合ライン２０をさらに含む。各トランス結合ライン２０は、共振器リブ１８の１つまたは複数に誘導結合されて、回路１４の関連する１つにクロック電流Ｉ_ＣＬＫを誘導的に供給することができる。特に、トランス結合ライン２０は、複数の誘導結合を介して対応する共振器リブ１８に誘導結合され、クロック信号に対応するクロック電流Ｉ_ＣＬＫを誘導的に生成して、関連する回路１４の機能（例えば、タイミング機能および／または電力分配機能）を提供する。本明細書に記載されるように、共振器リブ１８および共振器スパイン１６についての多くの様々な構成が存在し、したがって、共振器リブ１８へのトランス結合ライン２０の誘導結合を提供する多くの様々な方法が存在し得る。本明細書に記載された様々な構成の各々において、トランス結合ライン２０の所与の１つから共振器リブ１８への誘導結合は、そのトランス結合ライン２０の所与の１つにおいて、誘導されたクロック電流Ｉ_ＣＬＫの振幅に影響を及ぼす方法でもたらされる。一例として、共振器リブ（複数可）１８のテーパ状の厚さを変化させることにより、同じ共振器リブ１８に同様に誘導結合された異なるトランス結合ライン２０に対する所与のトランス結合ライン２０の誘導クロック電流Ｉ_ＣＬＫの不均一性を緩和することができる。別の例として、共振器リブ（複数可）１８のテーパ状の厚さを変化させることにより、同じ共振器リブ１８に同様に誘導結合された異なるトランス結合ライン２０に対して所与のトランス結合ライン２０の誘導クロック電流Ｉ_ＣＬＫの変動または不均一性を導入することができる。

一例として、各共振器リブ１８は、対応する共振器リブ１８の長さに沿って変化する厚さを有し得る。トランス結合ライン２０と共振器リブ１８との誘導結合は、対応する共振器リブ１８の所与の部分における共振器リブ１８の厚さに基づき得るため、トランス結合ライン２０と共振器リブとの誘導結合は、共振器リブ１８の相対的な厚さに基づいて制御することができる。したがって、共振器リブ１８の長さに沿った共振器リブ１８の厚さの変化は、同じ共振器リブに誘導結合された異なるトランス結合ラインに対して所与のトランス結合ラインにおける誘導クロック電流の不均一性を軽減する方法を提供することができる。

第１の例として、厚さは、各共振器リブ１８の長さに沿ってテーパ状に変化し得る。本明細書の記載において、厚さに対する「テーパ状」という用語は、共振器リブ１８の長さに沿って厚さが徐々に変化することを指し、これは各共振器リブ１８の長さに沿った厚さの線形的または非線形的な（例えば、指数関数、累乗根、正弦関数）変化に対応し得る。第２の例として、厚さは、各共振器リブ１８の長さに沿って段階的に変化し得る。本明細書の記載において、厚さに対する「段階的」という用語は、共振器リブ１８の長さに沿って厚さが不連続に段階的に変化することを指し、これにより、対応する共振器リブ１８の長さ方向における複数の異なる不均一厚さ部分に沿って厚さは一定のままとなる。

図２は、共振器システム５０の別の例を示す。共振器システム５０は、図１の例における共振器システム１２の１つに対応し得る。したがって、以下の図２の例の説明では、図１の例を参照する。

共振器システム５０は、クロック信号ＣＬＫを供給するように構成された信号源５２を含む。信号源５２は、クロック信号ＣＬＫを伝搬するための導体として配置される共振器スパイン５４に結合される。図２の例では、共振器システム５０は、同様にクロック信号ＣＬＫを伝搬するために共振器スパイン５４に導電結合された複数の共振器リブ５６を含む。一例として、各共振器リブ５６は、定在波共振器として構成することができ、クロック信号ＣＬＫの波長に関連する所定の長さにほぼ等しい物理長を有し得る。例えば、各共振器リブ５６は、第１端における共振器スパイン５４との導電結合から低電圧レール（例えば、グランド）に結合された第２端まで、クロック信号ＣＬＫの波長λの４分の１（すなわち、λ／４）にほぼ等しい全長「Ｌ」を有し得る。したがって、共振器リブ５６の定在波共振器構成に基づいて、クロック信号ＣＬＫは第２端で最大となり、第１端で最小となる大きさを有し得る。また、図２の例では、各共振器リブ５６は、第１端における共振器スパイン５４から第２端における低電圧レールまで延びる線状延出部（例えば、直線）として示されている。また、各共振器リブ５６は、第２端から第１端に向けてテーパ状のものとして示されている。

図２の例では、複数（Ｎ個）の回路５８は各々、対応するトランス結合ライン６０を介して共振器リブ５６の１つに誘導結合されるものとして示されている。各回路５８の共振器リブ５６への誘導結合は、対応するトランス結合ライン６０に関連する誘導結合６２を介してもたらされる。誘導結合６２は、トランス結合ライン６０の対応する誘導結合部分と共振器リブ５６の一部との間に存在している。したがって、トランス結合ライン６０は、共振器リブ５６と協働して誘導結合６２に変圧器を形成し、その結果、誘導結合６２によりクロック信号ＣＬＫの一部が供給されて、対応する回路５８に供給される対応するクロック電流Ｉ_ＣＬＫ１～Ｉ_ＣＬＫＮの一部が誘導される。したがって、誘導結合６２は、クロック信号ＣＬＫに対応するクロック電流Ｉ_ＣＬＫを、対応する回路５８に誘導的に供給する。

本明細書の記載において、トランス結合ライン６０と共振器リブ５６との誘導結合６２は、対応する共振器リブ５６の所与の部分におけるその共振器リブ５６の厚さに基づき得る。例えば、誘導結合６２は、より厚い共振器リブ５６の部分よりも、より薄い共振器リブ５６の部分で大きくなり得る。また、上記のように、クロック信号ＣＬＫは、第２端で最大となり、第１端で最小となる振幅を有し得る。したがって、図２の例では、共振器リブ５６がテーパ状の厚さを有することにより、誘導結合６２がクロック信号ＣＬＫの振幅の変化とは逆に変化するものとなる。換言すれば、誘導結合６２は、クロック信号ＣＬＫの振幅が最大となる共振器リブ５６の第２端で最小となり、クロック信号ＣＬＫの振幅が最小となる共振器リブ５６の第１端で最大となり得る。したがって、各共振器リブ５６の長さに沿った共振器リブ５６の厚さの変化は、同じ共振器リブ５６に沿った誘導クロック電流Ｉ_ＣＬＫ１～Ｉ_ＣＬＫＮの不均一性を軽減する方法を提供することができる。

図３は、共振器システム１００およびクロック電流Ｉ_ＣＬＫのグラフ１０２の別の例を示す。共振器システム１００は、図２の例における共振器スパイン５４の一部および共振器リブ５６の１つに対応し得る。特に、図３の例では、共振器システム１００は、第１端で共振器スパイン１０６に導電結合された共振器リブ１０４を含み、第１端と反対側の第２端は接地されている。共振器リブ１０４は、第１端と第２端との間の長さ「Ｌ」を有するものとして示されている。図３の例では、共振器リブ１０４は、第１端の共振器スパイン１０４から第２端の低電圧レールまで延びる線状延出部（例えば、直線）として示されている。また、共振器リブ１０４は、第２端から第１端に向かってテーパ状の厚さを有するものとして示されている。図３の例では、厚さは線形状のテーパとして示されている。

グラフ１０２は、共振器リブ１０４の長さ「Ｌ」に応じた（例えば、トランス結合ライン６０で供給される）誘導クロック電流Ｉ_ＣＬＫの振幅を示す。図３の例に示されるように、クロック電流Ｉ_ＣＬＫは、長さ「Ｌ」に沿って左から右に、すなわち、第１端（例えば、共振器スパイン１０６に対する共振器リブ１０４の導電結合）から、共振器リブ１０４の長さに沿って、接地された第２端まで増加する。特に、クロック電流Ｉ_ＣＬＫは、左側の振幅Ｉ_ＭＩＮから接地端側の振幅Ｉ_ＰＫまで増加し、図３の例では（例えば、クロック電流Ｉ_ＣＬＫが長さ「Ｌ」の一端から長さ「Ｌ」の他端まで増加することに基づいて）傾斜して増加するとともに湾曲する（例えば、長さ「Ｌ」に沿って非線形である）ものとして示されている。図３の例では、振幅Ｉ_ＭＩＮは、共振器リブ１０４の長さに沿って一定の厚さを有する定在波共振器リブに対して電流Ｉ_ＣＬＫが長さに沿って大きく変化しにくいように振幅Ｉ_ＰＫに近い振幅とすることができる。結果として、共振器リブ１０４の長さに沿った厚さの変化は、共振器リブ１０４に沿った誘導結合回路（例えば、図２の例における回路５８）の誘導クロック電流の不均一性を緩和する方法を提供することができる。

図４は、共振器システム１５０およびクロック電流Ｉ_ＣＬＫのグラフ１５２のさらに別の例を示す。共振器システム１５０は、図２の例における共振器スパイン５４の一部および共振器リブ５６の１つに対応し得る。特に、図４の例では、共振器システム１５０は、共振器スパイン１５６に導電結合された共振器リブ１５４を含み、この共振器リブ１５４は、共振器スパイン１５６に対する導電結合とは反対側の接地端を含む。共振器リブ１５４は、第１の平行部分１５８と第２の平行部分１６０とを含むように配置される屈曲部を含むものとして示されている。第１の平行部分１５８は、共振器スパイン１５６に導電結合された第１端と、第２の平行部分１６０の第１端に結合された第２端とを有し、第２の平行部分１６０は、接地された第２端を有している。

グラフ１５２は、共振器リブ１５４の長さ「Ｌ／２」に応じた（例えば、トランス結合ライン６０で供給される）誘導クロック電流Ｉ_ＣＬＫの振幅を示す。グラフ１５２の長さ「Ｌ／２」は、共振器リブ１５４を完全に伸ばした場合の長さ「Ｌ」のほぼ半分に直接対応し、したがって、平行部分１５８，１６０の各々の長さにほぼ対応する。したがって、グラフ１５２の長さ「Ｌ／２」は、共振器スパイン１５６に対する共振器リブ１５４の導電結合から共振器リブ１５４の長さのほぼ半分に沿って略屈曲部まで延びるとともに、略屈曲部から再び共振器リブ１５４の長さに沿って接地端まで（右から左に）延びる。

図４の例では、各平行部分１５８，１６０は、平行部分１５８，１６０の対応する長さに沿って変化する厚さを有している。特に、平行部分１５８，１６０の各々は、平行部分１５８，１６０の各々の第１端における最大厚さから、平行部分１５８，１６０の各々の第２端における最小厚さまでテーパ状の厚さを有する。図４の例では、平行部分１５８，１６０の各々の長さに沿ったテーパ状の厚さは線状のものとして示されている。したがって、上記と同様に、このテーパ状の厚さは、共振器リブ１５４と、その共振器リブ１５４に誘導結合されたトランス結合ライン（図示せず）との間の誘導結合を変化させる（例えば、相互インダクタンスの強度を変化させる）ことができる。

図４の例では、クロック電流Ｉ_ＣＬＫが左から右に長さ「Ｌ／２」に沿って示されている。クロック電流Ｉ_ＣＬＫは、平行部分１５８，１６０の両方への単一のトランス結合ラインの誘導結合に関連する総クロック電流Ｉ_ＣＬＫに対応し、これにより、クロック電流Ｉ_ＣＬＫは（例えば、米国特許出願第１５／８１６，５１８号に示されるものと同様に）各誘導結合からの追加のクロック電流に対応する。したがって、クロック電流Ｉ_ＣＬＫは、各平行部分１５８，１６０の長さに沿ったクロック電流Ｉ_ＣＬＫの合計を表す合計電流である。特に、クロック電流Ｉ_ＣＬＫの振幅は、ほぼ振幅Ｉ_ＭＩＮから、長さ「Ｌ／２」の約半分の長さ（すなわち、共振器リブ１５４の全長「Ｌ」の約１／４）位置における最大振幅Ｉ_ＰＫまで変化する。しかしながら、クロック電流Ｉ_ＣＬＫは、平行部分１５８，１６０の各々の長さ「Ｌ／２」にわたって変化し、かつそのような変化は、平行部分１５８，１６０に関して逆方向に増加するので、クロック電流Ｉ_ＣＬＫは、振幅Ｉ_ＭＩＮと振幅Ｉ_ＰＫとの間で小さな振幅の変動を有し得る。特に、クロック電流Ｉ_ＣＬＫは、ほぼ一定の厚さの２つの平行部分を有する共振器リブ（例えば、米国特許出願第１５／８１６，５１８号に示されているものなど）よりも小さい振幅変動を有し得る。結果として、長さに沿った共振器リブ１５４の厚さの変化は、共振器リブ１５４に沿った平行部分１５８，１６０の両方に誘導結合された回路（例えば、図２の例における回路５８）の誘導クロック電流の不均一性を緩和する方法を提供することができる。

図５は、共振器システム２００およびクロック電流Ｉ_ＣＬＫのグラフ２０２のさらに別の例を示す。共振器システム２００は、図２の例における共振器スパイン５４の一部および共振器リブ５６の１つに対応し得る。特に、図５の例では、共振器システム２００は、共振器スパイン２０６に導電結合される共振器リブ２０４を含み、この共振器リブ２０４は、共振器スパイン２０６に対する導電結合とは反対側の接地端を含む。共振器リブ２０４は、第１の平行部分２０８と第２の平行部分２１０とを含むように配置される屈曲部を含むものとして示されている。第１の平行部分２０８は、共振器スパイン２０６に導電結合された第１端と、第２の平行部分２１０の第１端に結合された第２端とを有し、第２の並列部分２１０は、接地された第２の端を有する。

グラフ２０２は、共振器リブ２０４の長さ「Ｌ／２」に応じた（例えば、トランス結合ライン６０で供給される）誘導クロック電流Ｉ_ＣＬＫの振幅を示す。グラフ２０２の長さ「Ｌ／２」は、共振器リブ２０４を完全に伸ばした場合の長さ「Ｌ」のほぼ半分に直接対応し、したがって、平行部分２０８，２１０の各々の長さにほぼ対応する。したがって、グラフ２０２の長さ「Ｌ／２」は、共振器スパイン２０６に対する共振器リブ２０４の導電結合から共振器リブ２０４の長さのほぼ半分に沿って略屈曲部まで延びるとともに、略屈曲部から再び共振器リブ２０４の長さに沿って接地端まで（右から左に）延びる。

図５の例では、各平行部分２０８，２１０は、平行部分２０８，２１０の対応する長さに沿って変化する厚さを有している。特に、平行部分２０８，２１０の各々は、平行部分２０８，２１０の各々の第１端における最大厚さから、平行部分２０８，２１０の各々の第２端における最小厚さまでテーパ状の厚さを有する。図５の例では、平行部分２０８，２１０の各々の長さに沿ったテーパ状の厚さは、正弦関数または指数関数などの非線形として示されている。したがって、上記と同様に、このテーパ状の厚さは、共振器リブ２０４と、その共振器リブ２０４に誘導結合されたトランス結合ライン（図示せず）との間の誘導結合を変化させる（例えば、相互インダクタンスの強度を変化させる）ことができる。なお、図５の例は、各平行部分２０８，２１０について非線形的な可変厚さを示しているが、可変厚さの他の変化でもよいことが理解され得る。例えば、平行部分２０８，２１０の一方が線形的な可変厚さを有し、平行部分２０８，２１０の他方が非線形的な可変厚さを有することができる。さらに別の例として、平行部分２０８，２１０のうちの一方は、厚さが変化しないものでもよい。したがって、共振器リブ２０４は、様々な異なる方法のいずれかで配置することができる。

図５の例では、クロック電流Ｉ_ＣＬＫが左から右に「Ｌ／２」の長さに沿って示されている。クロック電流Ｉ_ＣＬＫは、平行部分２０８，２１０の両方への単一のトランス結合ラインの誘導結合に関連する総クロック電流Ｉ_ＣＬＫに対応し、これにより、クロック電流Ｉ_ＣＬＫは（例えば、米国特許出願第１５／８１６，５１８号に示されるものと同様に）各誘導結合からの追加のクロック電流に対応する。したがって、クロック電流Ｉ_ＣＬＫは、各平行部分２０８，２１０の長さに沿ったクロック電流Ｉ_ＣＬＫの合計を表す合計電流である。特に、クロック電流Ｉ_ＣＬＫは、図５の例では、長さ「Ｌ／２」に沿ってほぼ一定の振幅Ｉ_ＰＫを有するものとして示されている。一例として、クロック電流Ｉ_ＣＬＫは、各平行部分２０８，２１０の長さ「Ｌ／２」にわたって変化するため、および、平行部分２０８，２１０の非線形的なテーパ厚さのため、この変化は、長さ「Ｌ／２」に沿ってほぼ一定の合計クロック電流Ｉ_ＣＬＫをもたらし得る。結果として、長さに沿った共振器リブ２０４の厚さの変化は、共振器リブ２０４に沿った平行部分２０８，２１０の両方に誘導結合された回路（例えば、図２の例における回路５８）の誘導クロック電流の不均一性を緩和する方法を提供することができる。

図６は、共振器システム２５０およびクロック電流Ｉ_ＣＬＫのグラフ２５２のさらに別の例を示す。共振器システム２５０は、図２の例における共振器スパイン５４の一部および共振器リブ５６の１つに対応し得る。特に、図６の例では、共振器システム２５０は、共振器スパイン２５６に導電結合された共振器リブ２５４を含み、この共振器リブ２５４は、共振器スパイン２５６に対する導電結合とは反対側の接地端を含む。共振器リブ２５４は、第１の平行部分２５８と第２の平行部分２６０とを含むように配置される屈曲部を含むものとして示されている。第１の平行部分２５８は、共振器スパイン２５６に導電結合された第１端と、第２の平行部分２６０の第１端に結合された第２端とを有し、第２の平行部分２６０は、接地された第２端を有している。

グラフ２５２は、共振器リブ２５４の長さ「Ｌ／２」に応じた（例えば、トランス結合ライン６０で供給される）誘導クロック電流Ｉ_ＣＬＫの振幅を示す。グラフ２５２の長さ「Ｌ／２」は、共振器リブ２５４を完全に伸ばした場合の長さ「Ｌ」のほぼ半分に直接対応し、したがって、平行部分２５８，２６０の各々の長さにほぼ対応する。したがって、グラフ２５２の長さ「Ｌ／２」は、共振器スパイン２５６に対する共振器リブ２５４の導電結合から共振器リブ２５４の長さのほぼ半分に沿って略屈曲部まで延びるとともに、略屈曲部から再び共振器リブ２５４の長さに沿って接地端まで（右から左へ）延びる。

図６の例では、各平行部分２５８，２６０は、平行部分２５８，２６０の対応する長さに沿って変化する厚さを有している。特に、各平行部分２５８，２６０は、最大厚さから各平行部分２５８，２６０の第１端における第１の最小厚さまで、および最大厚さから各平行部分２５８，２６０の第２端における第２の最小厚さまでテーパ状となる厚さを有している。一例として、各平行部分２５８，２６０の第１端の第１の最小厚さと第２端の第２の最小厚さは、ほぼ等しい厚さとすることができる。別の例として、各平行部分２５８，２６０の最大厚さは、第１および第２平行部分２５８，２６０の各々の第１端および第２端の間の長さの約半分の位置とすることができる。図６の例では、テーパ状の厚さは、ほぼ中央の最大値から各端の最小値まで、非線形（例えば、正弦関数または指数関数）として示されている。しかしながら、さらに別の例として、テーパ状の厚さはほぼ線形とされてもよい。したがって、上記と同様に、このテーパ状の厚さは、共振器リブ２５４と、その共振器リブ２５４に誘導結合されたトランス結合ライン（図示せず）との間の誘導結合を変化させる（例えば、相互インダクタンスの強度を変化させる）ことができる。

図６の例では、クロック電流Ｉ_ＣＬＫが左から右に長さ「Ｌ／２」に沿って示されている。クロック電流Ｉ_ＣＬＫは、平行部分２５８，２６０の両方への単一のトランス結合ラインの誘導結合に関連する総クロック電流Ｉ_ＣＬＫに対応し、これにより、クロック電流Ｉ_ＣＬＫは（例えば、米国特許出願第１５／８１６，５１８号に示されるものと同様に）各誘導結合からの追加のクロック電流に対応する。したがって、クロック電流Ｉ_ＣＬＫは、各平行部分２５８，２６０の長さに沿ったクロック電流Ｉ_ＣＬＫの合計を表す合計電流である。特に、クロック電流Ｉ_ＣＬＫは、左側の振幅Ｉ_ＭＩＮから長さ「Ｌ／２」に沿って振幅Ｉ_ＰＫまで増加し、図６の例では（例えば、クロック電流Ｉ_ＣＬＫが長さ「Ｌ／２」の一端から長さ「Ｌ／２」の他端まで増加することに基づいて）ほぼ線形的に傾斜して増加する（例えば、長さ「Ｌ／２」に沿って湾曲しない）ものとして示されている。特に、クロック電流Ｉ_ＣＬＫは、ほぼ振幅Ｉ_ＭＩＮからほぼ長さ「Ｌ／２」（すなわち、共振器リブ２５４の全長「Ｌ」のほぼ半分）の最大振幅Ｉ_ＰＫまで振幅が変化する。しかしながら、クロック電流Ｉ_ＣＬＫは、平行部分２５８，２６０の各々の長さ「Ｌ／２」にわたって変化し、かつそのような変化は、平行部分２５８，２６０に関して逆方向に増加するので、クロック電流Ｉ_ＣＬＫは、振幅Ｉ_ＭＩＮと振幅Ｉ_ＰＫとの間で振幅の変動を有し得る。しかしながら、クロック電流Ｉ_ＣＬＫは、ほぼ一定の厚さの２つの平行部分を有する共振器リブ（例えば、米国特許出願第１５／８１６，５１８号に示されているものなど）よりも小さい振幅変動を有し得る。結果として、長さに沿った共振器リブ２５４の厚さの変化は、共振器リブ２５４に沿った平行部分２５８，２６０の両方に誘導結合された回路（例えば、図２の例における回路５８）の誘導クロック電流の不均一性を軽減する方法を提供することができる。

図７は、共振器システム３００およびクロック電流Ｉ_ＣＬＫのグラフ３０２のさらに別の例を示す。共振器システム３００は、図２の例における共振器スパイン５４の一部および共振器リブ５６の１つに対応し得る。特に、図７の例では、共振器システム３００は、第１の共振器スパイン３０６に導電結合された第１の共振器リブ３０４を含み、この第１の共振器リブ３０４は、第１の共振器スパイン３０６との導電結合とは反対側の接地端を含む。また、この共振器システム３００はさらに、第２の共振器スパイン３１０に導電結合された第２の共振器リブ３０８を含み、同様に、この第２の共振器リブ３０８は、第２の共振器スパイン３１０との導電結合とは反対側の接地端を含む。第１および第２の共振器スパイン３０６，３１０の各々は、対応する信号源３１２からのクロック信号ＣＬＫを伝搬するものとして示されている。一例として、信号源３１２は、同じ信号源に対応するものとすることができ、あるいは、各々クロック信号ＣＬＫを供給する異なる信号源とすることができる。別の例として、第１および第２の共振器スパイン３０６，３１０は、クロック信号ＣＬＫを伝搬する同じ共振器スパインに対応し得る。

第１の共振器リブ３０４は、共振器スパイン３０６に導電結合された第１の平行部分３１４と、接地端を有する第２の平行部分３１６とを含むように配置される屈曲部を含むものとして示されている。同様に、第２の共振器リブ３０８は、共振器スパイン３１０に導電結合された第１の平行部分３１８と、接地端を有する第２の平行部分３２０とを含むように配置される屈曲部を含むものとして示されている。したがって、第１および第２の共振器リブ３０４，３０８は、互いにほぼ同一に配置される。しかしながら、図７の例では、第１および第２の共振器リブ３０４，３０８は、それら第１および第２の共振器リブ３０４，３０８が、対応する共振器スパイン３０６，３１に対する結合から接地端までの配向に関して互いに逆に配置されるという点で、互いに逆平行配置されるものとして示されている。

グラフ３０２は、各共振器リブ３０４，３０８の長さ「Ｌ／２」に応じた（例えば、トランス結合ライン６０で供給される）誘導クロック電流Ｉ_ＣＬＫの振幅を示す。グラフ３０２の長さ「Ｌ／２」は、共振器リブ３０４，３０８を完全に伸ばした場合の長さ「Ｌ」のほぼ半分に直接対応し、したがって、平行部分３１４，３１６，３１８，３２０の各々の長さにほぼ対応する。

図７の例では、各平行部分３１４，３１６，３１８，３２０は、平行部分３１４，３１６，３１８，３２０の対応する長さに沿って変化する厚さを有している。特に、各平行部分３１４，３１６，３１８，３２０は、最大厚さから各平行部分３１４，３１６，３１８，３２０の第１端における第１の最小厚さまで、および最大厚さから各平行部分３１４，３１６，３１８，３２０の第２端における第２の最小厚さまでテーパ状となる厚さを有している。一例として、各平行部分３１４，３１６，３１８，３２０の第１端の第１の最小厚さと第２端の第２の最小厚さは、ほぼ等しい厚さとすることができる。別の例として、各平行部分３１４，３１６，３１８，３２０の最大厚さは、第１および第２の平行部分３１４，３１６，３１８，３２０の各々の第１端および第２端の間の長さの約半分の位置とすることができる。図７の例では、テーパ状の厚さは、ほぼ中央の最大値から各端の最小値まで、非線形（例えば、正弦関数または指数関数）として示されている。しかしながら、さらに別の例として、テーパ状の厚さはほぼ線形とされてもよい。したがって、上記と同様に、このテーパ状の厚さは、共振器リブ３０４，３０８と、それら各共振器リブ３０４，３０８に誘導結合されたトランス結合ライン（図示せず）との間の誘導結合を変化させる（例えば、相互インダクタンスの強度を変化させる）ことができる。

図７の例では、クロック電流Ｉ_ＣＬＫが左から右に長さ「Ｌ／２」に沿って示されている。クロック電流Ｉ_ＣＬＫは、平行部分３１４，３１６，３１８，３２０の全てに対する単一のトランス結合ラインの誘導結合に関連する総クロック電流Ｉ_ＣＬＫに対応し、これにより、クロック電流Ｉ_ＣＬＫは（例えば、米国特許出願第１５／８１６，５１８号に示されるものと同様に）各誘導結合からの追加のクロック電流に対応する。したがって、クロック電流Ｉ_ＣＬＫは、各平行部分３１４，３１６，３１８，３２０の長さに沿ったクロック電流Ｉ_ＣＬＫの合計を表す合計電流である。特に、クロック電流Ｉ_ＣＬＫは、図７の例では、長さ「Ｌ／２」に沿ってほぼ一定の振幅Ｉ_ＰＫを有するものとして示されている。一例として、クロック電流Ｉ_ＣＬＫは、平行部分３１４，３１６，３１８，３２０の長さ「Ｌ／２」にわたって変化し、および平行部分３１４，３１６，３１８，３２０の非線形的なテーパ厚さのため、この変化は、長さ「Ｌ／２」に沿ってほぼ一定の合計クロック電流Ｉ_ＣＬＫをもたらし得る。結果として、長さに沿った共振器リブ３０４，３０８の厚さの変化は、共振器リブ３０４，３０８に沿った平行部分３１４，３１６，３１８，３２０に誘導結合された回路（例えば、図２の例における回路５８）の誘導クロック電流の不均一性を緩和する方法を提供することができる。

図７の例は、平行部分３１４，３１６，３１８，３２０のすべてが可変厚さを有し、その可変厚さが、各平行部分の長さの約半分の位置から端まで非線形テーパ厚さであることを示しているが、他の変化も可能であることが理解され得る。例えば、テーパ状の厚さは線形であってもよく、平行部分３１４，３１６，３１８，３２０のうちの１つの第１端における最大厚さから、平行部分３１４，３１６，３１８，３２０のうちの１つの第２端における最小厚さまでとすることができる。別の例として、平行部分３１４，３１６，３１８，３２０のすべてが可変の厚さを有していなくてもよい。例えば、第１の共振器リブ３０４の平行部分３１４，３１６の１つと、第２の共振器リブ３０８の平行部分３１８，３２０の１つは、各長さに沿って変化しない厚さを有することができる。したがって、平行部分３１４，３１６，３１８，３２０の少なくとも１つの可変厚さについて種々の変更形態が可能である。

図８は、共振器システム３５０およびクロック電流Ｉ_ＣＬＫのグラフ３５２の別の例を示す。共振器システム３５０は、図２の例における共振器スパイン５４の一部および共振器リブ５６の１つに対応し得る。特に、図８の例では、共振器システム３５０は、第１端において共振器スパイン３５６に導電結合された共振器リブ３５４を含み、この共振器リブ３５４は、第１端とは反対側において接地された第２端を含む。共振器リブ３５４は、第１端と第２端との間の長さ「Ｌ」を有するものとして示されている。

図８の例では、共振器リブ３５４は、第１端の共振器スパイン３５４から第２端の低電圧レールまで延びる線状延出部（例えば、直線）として示されている。また、共振器リブ３５４は、第１端から第２端まで段階的に増加する厚さを有するものとして示されている。特に、図８の例では、共振器リブ３５４は、各々ほぼ一定の厚さを有するが、第１端から第２端に向かって徐々に大きくなる厚さを有する４つの個別部分を含む。共振器リブ３５４は、ほぼ一定の厚さの４つの個別部分を含むものとして示されているが、これに代えて、共振器リブ３５４が、ほぼ一定の厚さの４つの個別部分よりも多いまたは少ない個別部分を含むことで、段階的に厚さを変化させてもよい。別の例として、共振器リブ３５４は、ほぼ一定の厚さの個別部分を有することに限定されず、ほぼ線形のテーパ状の厚さを有する個別部分を有するものとすることができる。例えば、製造プロセスのために、個別部分の各々は、その個別部分に関して異なるテーパ状の厚さ（例えば、線形または非線形）を有することができる。

グラフ３５２は、共振器リブ３５４の長さ「Ｌ」に応じた（例えば、トランス結合ライン６０で供給される）誘導クロック電流Ｉ_ＣＬＫの振幅を示す。図８の例に示されるように、クロック電流Ｉ_ＣＬＫは、長さ「Ｌ」に沿って左から右に、すなわち、第１端（例えば、共振器スパイン３５６に対する共振器リブ３５４の導電結合）から、共振器リブ３５４の長さに沿って、接地された第２端まで増加する。特に、クロック電流Ｉ_ＣＬＫは、左側の振幅Ｉ_ＭＩＮから接地端の振幅Ｉ_ＰＫに増加する。図８の例では、振幅Ｉ_ＭＩＮは、振幅Ｉ_ＰＫよりもわずかに小さなものとすることができ、その結果、電流Ｉ_ＣＬＫは、長さに沿って一定の厚さを有する定在波共振器リブと比べて、共振器リブ３５４の長さに沿って極めて小さな変化とすることができる。また、共振器リブ３５４の１つの個別部分から共振器リブの次の個別部分への各遷移で、クロック電流Ｉ_ＣＬＫは、共振器リブ３５４の厚さの段階的な変化によるインダクタンスの変化に基づいてわずかに減少するものとなり得る。したがって、クロック電流Ｉ_ＣＬＫの振幅は、共振器リブ３５４の長さにわたってほぼ均一性を維持することができる。結果として、長さに沿った共振器リブ３５４の厚さの変化は、共振器リブ３５４に沿った誘導結合回路（例えば、図２の例における回路５８）の誘導クロック電流の不均一性を緩和する方法を提供することができる。

図９は、共振器システム４００のおよびクロック電流Ｉ_ＣＬＫのグラフ４０２さらに別の例を示す。共振器システム４００は、図２の例における共振器スパイン５４の一部および共振器リブ５６の１つに対応し得る。特に、図９の例では、共振器システム４００は、共振器スパイン４０６に導電結合された共振器リブ４０４を含み、この共振器リブ４０４は、共振器スパイン４０６に対する導電結合とは反対側の接地端を含む。共振器リブ４０４は、第１の平行部分４０８と第２の平行部分４１０とを含むように配置される屈曲部を含むものとして示されている。第１の平行部分４０８は、共振器スパイン４０６に導電結合された第１端と、第２の平行部分４１０の第１端に結合された第２端とを有し、第２の平行部分４１０は、接地された第２端を有している。

グラフ４０２は、共振器リブ４０４の長さ「Ｌ／２」に応じた（例えば、トランス結合ライン６０で供給される）誘導クロック電流Ｉ_ＣＬＫの振幅を示す。グラフ４０２の長さ「Ｌ／２」は、共振器リブ４０４を完全に伸ばした場合の長さ「Ｌ」のほぼ半分に直接対応し、したがって、平行部分４０８，４１０の各々の長さにほぼ対応する。したがって、グラフ４０２の長さ「Ｌ／２」は、共振器スパイン４０６に対する共振器リブ４０４の導電結合から共振器リブ４０４の長さのほぼ半分に沿って略屈曲部まで延びるとともに、略屈曲部から再び共振器リブ４０４の長さに沿って接地端まで（右から左に）延びる。

図９の例では、各平行部分４０８，４１０は、平行部分４０８，４１０の対応する長さに沿って変化する厚さを有している。特に、各平行部分４０８，４１０は、各平行部分４０８，４１０の第１端における第１の最小厚さおよび各平行部分４０８，４１０の第２端における第２の最小厚さから、第１および第２の平行部分４０８，４１０の間の最大厚さまで、段階的に増加する厚さを有している。図９の例では、各平行部分４０８，４１０は、ほぼ一定の厚さの５つの個別部分を含む。図９の例は、平行部分４０８，４１０の両方（すなわち、各々）が、対応する平行部分４０８，４１０の長さに沿って可変厚さを有することを示しているが、すべての平行部分よりも少ない平行部分（例えば、図９の例では１つのみ）が可変の厚さを有し、残りの平行部分が種々の他の寸法配置（例えば、長さに沿った不変の厚さ）を有することができる。また、上記で説明したものと同様に、可変厚さの他の変更形態を実装することができる。例えば、段階的な個別部分は各々、対応する長さに沿って可変厚さを有することができる。別の例として、追加の共振器リブ（例えば、図７の例で上記説明したものと同様なもの）を実装することができ、この追加の共振器リブは、厚さが変化しないもしくは非段階的な可変厚さを有する１つまたは複数の平行部分を有することができる。したがって、本明細書に記載されるような種々の可変厚さの共振器リブ構成が可能である。

一例として、各平行部分４０８，４１０の第１端および第２端の各々における個別部分がほぼ等しい厚さとなるように、各平行部分４０８，４１０の第１端の第１の最小厚さと第２端の第２の最小厚さとをほぼ等しくすることができる。別の例として、最も中央の個別部分がほぼ一定の最大厚さを有するように、第１および第２の平行部分４０８，４１０の各々の最大厚さを、各平行部分４０８，４１０の第１端および第２端の間の長さの約半分の位置とすることができる。さらに別の例として、平行部分４０８，４１０は、対応する長さに沿ったほぼ半分の位置に対して対称であることに限定されない。したがって、上記と同様に、このテーパ状の厚さは、共振器リブ４０４と、その共振器リブ４０４に誘導結合されたトランス結合ライン（図示せず）との間の誘導結合を変化させる（例えば、相互インダクタンスの強度を変化させる）ことができる。

図９の例では、クロック電流Ｉ_ＣＬＫが左から右に長さ「Ｌ／２」に沿って示されている。クロック電流Ｉ_ＣＬＫは、平行部分４０８，４１０の両方への単一のトランス結合ラインの誘導結合に関連する総クロック電流Ｉ_ＣＬＫに対応し、これにより、クロック電流Ｉ_ＣＬＫは（例えば、米国特許出願第１５／８１６，５１８号に示されるものと同様に）各誘導結合からの追加のクロック電流に対応する。したがって、クロック電流Ｉ_ＣＬＫは、各平行部分４０８，４１０の長さに沿ったクロック電流Ｉ_ＣＬＫの合計を表す合計電流である。特に、クロック電流Ｉ_ＣＬＫの振幅は、ほぼ振幅Ｉ_ＭＩＮから、長さ「Ｌ／２」の約半分の長さ（すなわち、共振器リブ４０４の全長「Ｌ」の約１／４）位置における最大振幅Ｉ_ＰＫまで変化する。特に、クロック電流Ｉ_ＣＬＫは、左側の振幅Ｉ_ＭＩＮから長さ「Ｌ／２」に沿って振幅Ｉ_ＰＫまで増加し、図９の例では（例えば、クロック電流Ｉ_ＣＬＫが長さ「Ｌ／２」の一端から長さ「Ｌ／２」の他端まで増加することに基づいて）傾斜して増加するとともに湾曲する（例えば、長さ「Ｌ／２」に沿って共振器リブ４０４の対称部分に対して可変傾斜を有する）ものとして示されている。

しかしながら、クロック電流Ｉ_ＣＬＫは、平行部分４０８，４１０の各々の長さ「Ｌ／２」にわたって変化し、かつそのような変化は、平行部分４０８，４１０に関して逆方向に増加するので、クロック電流Ｉ_ＣＬＫは、振幅Ｉ_ＭＩＮと振幅Ｉ_ＰＫとの間で小さな振幅の変動を有し得る。特に、クロック電流Ｉ_ＣＬＫは、ほぼ一定の厚さの２つの平行部分を有する共振器リブ（例えば、米国特許出願第１５／８１６，５１８号に示されているものなど）よりも小さい振幅変動を有し得る。また、各平行部分４０８，４１０の第１端および第２端のうちの一方からほぼ中央までにおける、各平行部分４０８，４１０の１つの個別部分から次の個別部分への各遷移において、クロック電流Ｉ_ＣＬＫは、共振器リブ４０４の厚さの段階的な変化によるインダクタンスの変化に基づいてわずかに減少するものとなり得る。したがって、クロック電流Ｉ_ＣＬＫの振幅は、各平行部分４０８，４１０の長さにわたってほぼ均一性を維持することができる。結果として、長さに沿った共振器リブ４０４の厚さの変化は、共振器リブ４０４に沿った平行部分４０８，４１０の両方に誘導結合された回路（例えば、図２の例における回路５８）の誘導クロック電流の不均一性を緩和する方法を提供することができる。

以上の説明は本発明の例示である。本開示を説明する目的のために構成要素または方法のあらゆる考えられる組み合わせを記載することは勿論不可能であり、当業者は本開示のさらなる多くの組み合わせおよび置換が可能であることを認識し得る。したがって、本開示は、添付の特許請求の範囲を含む本出願の範囲内に含まれるすべてのそのような代替、変形、および変更を包含することが意図される。また、本開示または請求項が「１つの～」、「第１の～」、または「別の～」という要素を列挙するかまたはそれらの同等物を列挙する場合には、１つまたは２つ以上のそのような要素を含むと解釈されるべきであり、２つ以上のそのような要素を必須とするものでも、２つ以上のそのような要素を除外するものでもない。本明細書で使用される「含む」という用語は、含むがそれに限定されないことを意味する。「に基づく」という用語は、少なくとも部分的に基づくことを意味する。
本開示に含まれる技術的思想を以下に記載する。
（付記１）
クロック分配システムであって、
クロック信号を伝搬する少なくとも１つの共振器スパインと、
前記少なくとも１つの共振器スパインに導電結合され、定在波共振器として配置される少なくとも１つの共振器リブであって、前記少なくとも１つの共振器リブのうちの少なくとも１つが、前記少なくとも１つの共振器リブのうちの当該対応する１つの長さに沿って変化する厚さを有する、前記少なくとも１つの共振器リブと、
前記少なくとも１つのトランス結合ラインであって、前記少なくとも１つのトランス結合ラインの各々が、関連する回路に導電結合されるとともに前記少なくとも１つの共振器リブに誘導結合されて、前記クロック信号に対応するクロック電流を誘導的に生成して前記関連する回路の機能を提供する、前記少なくとも１つのトランス結合ラインと、
を備えるクロック分配システム。
（付記２）
前記少なくとも１つの共振器リブの各々が、前記少なくとも１つの共振器リブの各々の複数の平行部分を提供する少なくとも１つの屈曲部を含み、前記複数の平行部分の各々が第１端と第２端とを含み、前記複数の平行部分の各々の第２端が、前記少なくとも１つの屈曲部のうちの対応する１つを介して、前記複数の平行部分のうちの隣接する１つの第１端に導電結合され、前記少なくとも１つの共振器リブの各々の前記複数の平行部分の少なくとも１つの厚さが、前記複数の平行部分のちの当該対応する１つの長さに沿って変化する、付記１に記載のクロック分配システム。
（付記３）
前記少なくとも１つの屈曲部が、前記複数の平行部分を３つ以上の平行部分として提供するように配置される複数の屈曲部である、付記２に記載のクロック分配システム。
（付記４）
前記少なくとも１つの共振器リブの各々の前記複数の平行部分の少なくとも１つの厚さが、前記第１端における第１の最小厚さおよび前記第２端における第２の最小厚さから、前記第１端と前記第２端との間の最大厚さまで増加する、付記２に記載のクロック分配システム。
（付記５）
前記最大厚さが、前記複数の平行部分のうちの対応する１つの前記第１端と前記第２端との間の長さの約半分の位置に存在する、付記４に記載のクロック分配システム。
（付記６）
前記少なくとも１つの共振器リブの各々の前記複数の平行部分の少なくとも１つの厚さが、前記第１の最小厚さおよび前記第２の最小厚さの各々から前記最大厚さまで段階的に増加する、付記４に記載のクロック分配システム。
（付記７）
前記少なくとも１つの共振器リブの各々の前記複数の平行部分の少なくとも１つの厚さが、前記最大厚さから前記第１の最小厚さおよび前記第２の最小厚さの各々までテーパ状である、付記４に記載のクロック分配システム。
（付記８）
前記第１の最小厚さと前記第２の最小厚さとがほぼ等しい、付記４に記載のクロック分配システム。
（付記９）
前記少なくとも１つの共振器リブの各々が、前記少なくとも１つの共振器スパインの近位の第１端と低電圧レールに結合された第２端との間の線状延出部として構成されている、付記１に記載のクロック分配システム。
（付記１０）
前記少なくとも１つの共振器リブの厚さが、前記第２端から前記第１端に向かってテーパ状である、付記９に記載のクロック分配システム。
（付記１１）
前記少なくとも１つの共振器リブの厚さが、前記第１端から前記第２端まで段階的に増加する、付記９に記載のクロック分配システム。
（付記１２）
クロック分配システムであって、
クロック信号を伝搬する少なくとも１つの共振器スパインと、
前記少なくとも１つの共振器スパインに導電結合され、定在波共振器として配置される少なくとも１つの共振器リブであって、前記少なくとも１つの共振器リブのうちの少なくとも１つが、前記少なくとも１つの共振器リブのうちの当該対応する１つの長さに沿ってテーパ状に変化する厚さを有する、前記少なくとも１つの共振器リブと、
前記少なくとも１つのトランス結合ラインであって、前記少なくとも１つのトランス結合ラインの各々が、関連する回路に導電結合されるとともに前記少なくとも１つの共振器リブに誘導結合されて、前記クロック信号に対応するクロック電流を誘導的に生成して前記関連する回路の機能を提供する、前記少なくとも１つのトランス結合ラインと、
を備えるクロック分配システム。
（付記１３）
前記少なくとも１つの共振器リブの各々が、前記少なくとも１つの共振器リブの各々の複数の平行部分を提供する少なくとも１つの屈曲部を含み、前記複数の平行部分の各々が第１端と第２端とを含み、前記複数の平行部分の各々の第２端が、前記少なくとも１つの屈曲部のちの対応する１つを介して、前記複数の平行部分のうちの隣接する１つの第１端に導電結合され、前記少なくとも１つの共振器リブの各々の前記複数の平行部分の少なくとも１つの厚さが、前記複数の平行部分のうちの当該対応する１つの長さに沿ってテーパ状に変化する、付記１２に記載のクロック分配システム。
（付記１４）
前記少なくとも１つの共振器リブの各々の前記複数の平行部分の少なくとも１つの厚さが、前記第１端と前記第２端との間の最大厚さから、前記第１端における第１の最小厚さおよび前記第２端における第２の最小厚さの各々まで、テーパ状に減少する、付記１３に記載のクロック分配システム。
（付記１５）
前記最大厚さが、前記複数の平行部分のうちの対応する１つの前記第１端と前記第２端との間の長さの約半分の位置に存在する、付記１４に記載のクロック分配システム。
（付記１６）
前記少なくとも１つの共振器リブの各々が、前記少なくとも１つの共振器スパインの近位の第１端と低電圧レールに結合された第２端との間の線状延出部として構成されており、前記少なくとも１つの共振器リブのうちの少なくとも１つが、前記第１端から前記第２端まで段階的に増加する厚さを有する、付記１２に記載のクロック分配システム。
（付記１７）
クロック分配システムであって、
クロック信号を伝搬する少なくとも１つの共振器スパインと、
前記少なくとも１つの共振器スパインに導電結合され、定在波共振器として配置される少なくとも１つの共振器リブであって、前記少なくとも１つの共振器リブのうちの少なくとも１つが、前記少なくとも１つの共振器リブのうちの当該対応する１つの長さに沿って段階的に変化する厚さを有する、前記少なくとも１つの共振器リブと、
前記少なくとも１つのトランス結合ラインであって、前記少なくとも１つのトランス結合ラインの各々が、関連する回路に導電結合されるとともに前記少なくとも１つの共振器リブに誘導結合されて、前記クロック信号に対応するクロック電流を誘導的に生成して前記関連する回路の機能を提供する、前記少なくとも１つのトランス結合ラインと、
を備えるクロック分配システム。
（付記１８）
前記少なくとも１つの共振器リブの各々が、前記少なくとも１つの共振器リブの各々の複数の平行部分を提供する少なくとも１つの屈曲部を含み、前記複数の平行部分の各々が第１端と第２端とを含み、前記複数の平行部分の各々の第２端が、前記少なくとも１つの屈曲部のうちの対応する１つを介して、前記複数の平行部分のうちの隣接する１つの第１端に導電結合され、前記少なくとも１つの共振器リブの各々の前記複数の平行部分の少なくとも１つの厚さが、前記複数の平行部分のうちの当該対応する１つの長さに沿って段階的に変化する、付記１７に記載のクロック分配システム。
（付記１９）
前記少なくとも１つの共振器リブの各々の前記複数の平行部分の少なくとも１つの厚さが、前記第１端における第１の最小厚さおよび前記第２端における第２の最小厚さから、前記第１端と前記第２端との間の最大厚さまで、段階的に増加する、付記１８に記載のクロック分配システム。
（付記２０）
前記少なくとも１つの共振器リブの各々が、前記少なくとも１つの共振器スパインの近位の第１端と低電圧レールに結合された第２端との間の線状延出部として構成されており、前記少なくとも１つの共振器リブのうちの少なくとも１つが、前記第１端から前記第２端まで段階的に増加する厚さを有する、付記１７に記載のクロック分配システム。

Claims (15)

1. クロック分配システムであって、
   クロック信号を伝搬する少なくとも１つの共振器スパインと、
   前記少なくとも１つの共振器スパインに導電結合され、定在波共振器として配置される少なくとも１つの共振器リブであって、前記少なくとも１つの共振器リブのうちの少なくとも１つが、前記少なくとも１つの共振器リブのうちの対応する１つの長さに沿って変化する厚さを有する、前記少なくとも１つの共振器リブと、
   前記少なくとも１つのトランス結合ラインであって、前記少なくとも１つのトランス結合ラインの各々が、関連する回路に導電結合されるとともに前記少なくとも１つの共振器リブに誘導結合されて、前記クロック信号に対応するクロック電流を誘導的に生成して前記関連する回路の機能を提供する、前記少なくとも１つのトランス結合ラインと、
   を備えるクロック分配システム。
2. 前記少なくとも１つの共振器リブの各々が、前記少なくとも１つの共振器リブの各々の複数の平行部分を提供する少なくとも１つの屈曲部を含み、前記複数の平行部分の各々が第１端と第２端とを含み、前記複数の平行部分の各々の第２端が、前記少なくとも１つの屈曲部のうちの１つを介して、前記複数の平行部分のうちの隣接する１つの第１端に導電結合され、前記少なくとも１つの共振器リブのうちの対応する１つの前記複数の平行部分の少なくとも１つの厚さが、前記複数の平行部分の少なくとも１つの長さに沿って変化する、請求項１に記載のクロック分配システム。
3. 前記少なくとも１つの屈曲部が、前記複数の平行部分を３つ以上の平行部分として提供するように配置される複数の屈曲部である、請求項２に記載のクロック分配システム。
4. 前記少なくとも１つの共振器リブのうちの対応する１つの前記複数の平行部分の少なくとも１つの厚さが、前記第１端における第１の最小厚さおよび前記第２端における第２の最小厚さから、前記第１端と前記第２端との間の最大厚さまで増加する、請求項２に記載のクロック分配システム。
5. 前記最大厚さが、前記複数の平行部分の少なくとも１つの前記第１端と前記第２端との間の長さの約半分の位置に存在する、請求項４に記載のクロック分配システム。
6. 前記少なくとも１つの共振器リブのうちの対応する１つの前記複数の平行部分の少なくとも１つの厚さが、前記第１の最小厚さおよび前記第２の最小厚さの各々から前記最大厚さまで段階的に増加する、請求項４に記載のクロック分配システム。
7. 前記少なくとも１つの共振器リブのうちの対応する１つの前記複数の平行部分の少なくとも１つの厚さが、前記最大厚さから前記第１の最小厚さおよび前記第２の最小厚さの各々までテーパ状である、請求項４に記載のクロック分配システム。
8. 前記第１の最小厚さと前記第２の最小厚さとがほぼ等しい、請求項４に記載のクロック分配システム。
9. 前記少なくとも１つの共振器リブの各々が、前記少なくとも１つの共振器スパインの近位の第１端と低電圧レールに結合された第２端との間の線状延出部として構成されている、請求項１に記載のクロック分配システム。
10. 前記少なくとも１つの共振器リブの厚さが、前記第２端から前記第１端に向かってテーパ状である、請求項９に記載のクロック分配システム。
11. 前記少なくとも１つの共振器リブの厚さが、前記第１端から前記第２端まで段階的に増加する、請求項９に記載のクロック分配システム。
12. クロック分配システムであって、
    クロック信号を伝搬する少なくとも１つの共振器スパインと、
    前記少なくとも１つの共振器スパインに導電結合され、定在波共振器として配置される少なくとも１つの共振器リブであって、前記少なくとも１つの共振器リブのうちの少なくとも１つが、前記少なくとも１つの共振器リブのうちの対応する１つの長さに沿ってテーパ状に変化する厚さを有する、前記少なくとも１つの共振器リブと、
    前記少なくとも１つのトランス結合ラインであって、前記少なくとも１つのトランス結合ラインの各々が、関連する回路に導電結合されるとともに前記少なくとも１つの共振器リブに誘導結合されて、前記クロック信号に対応するクロック電流を誘導的に生成して前記関連する回路の機能を提供する、前記少なくとも１つのトランス結合ラインと、
    を備えるクロック分配システム。
13. 前記少なくとも１つの共振器リブの各々が、前記少なくとも１つの共振器リブの各々の複数の平行部分を提供する少なくとも１つの屈曲部を含み、前記複数の平行部分の各々が第１端と第２端とを含み、前記複数の平行部分の各々の第２端が、前記少なくとも１つの屈曲部のうちの１つを介して、前記複数の平行部分のうちの隣接する１つの第１端に導電結合され、前記少なくとも１つの共振器リブのうちの対応する１つの前記複数の平行部分の少なくとも１つの厚さが、前記複数の平行部分の少なくとも１つの長さに沿ってテーパ状に変化する、請求項１２に記載のクロック分配システム。
14. 前記少なくとも１つの共振器リブのうちの対応する１つの前記複数の平行部分の少なくとも１つの厚さが、前記第１端と前記第２端との間の最大厚さから、前記第１端における第１の最小厚さおよび前記第２端における第２の最小厚さの各々まで、テーパ状に減少し、
    前記最大厚さが、前記複数の平行部分の少なくとも１つの前記第１端と前記第２端との間の長さの約半分の位置に存在する、請求項１３に記載のクロック分配システム。
15. 前記少なくとも１つの共振器リブの各々が、前記少なくとも１つの共振器スパインの近位の第１端と低電圧レールに結合された第２端との間の線状延出部として構成されており、前記少なくとも１つの共振器リブのうちの少なくとも１つが、前記第１端から前記第２端まで段階的に増加する厚さを有する、請求項１２に記載のクロック分配システム。

Images