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JP7101229B2 - Cathode assembly for plating equipment - Google Patents
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Description

本発明は、メッキ設備用陰極アセンブリに関するものであり、より詳細には、優れたメッキ皮膜の品質を確保し、製造コストを削減することができるメッキ装置用陰極アセンブリに関するものである。 The present invention relates to a cathode assembly for a plating facility, and more particularly to a cathode assembly for a plating device capable of ensuring excellent plating film quality and reducing manufacturing costs.

ロール・ツー・ロール方式（Ｒｏｌｌ Ｔｏ Ｒｏｌｌ）方式のメッキ設備は、フィルムにメッキ皮膜を形成するためにメッキ槽と陰極を含む。陰極は、シャフトとロール本体を含む。メッキ槽には、メッキ液と陽極が配置される。フィルムは、陰極を通じて搬送され得る。このとき、フィルムはメッキ槽内部のメッキ液に浸漬される。陽極と陰極に電源が印加されると、メッキ液が電解されながら、銅がフィルムに電着する。 Roll-to-roll plating equipment includes a plating tank and a cathode to form a plating film on the film. The cathode includes a shaft and a roll body. A plating solution and an anode are arranged in the plating tank. The film can be conveyed through the cathode. At this time, the film is immersed in the plating solution inside the plating tank. When a power source is applied to the anode and cathode, copper is electrodeposited on the film while the plating solution is electrolyzed.

図１は、従来技術によるメッキ設備用陰極アセンブリを示す図である。 FIG. 1 is a diagram showing a cathode assembly for plating equipment according to the prior art.

従来技術によるメッキ設備の場合、負極に電流が流れるときに発生する熱とメッキ液の接触による表面不均一などによりメッキ皮膜の品質が低下する。これにより、陰極の交換が頻繁に発生するので、製造コストなどが加重される問題がある。特に図１を参照すると、シャフトとロール本体は溶接で結合される。溶接結合によって、ロールの真円度不良が発生する。これにより、フィルム搬送の不安定が惹起されフィルムにシワなどが発生する問題がある。 In the case of plating equipment based on the prior art, the quality of the plating film deteriorates due to surface non-uniformity due to contact between the heat generated when a current flows through the negative electrode and the plating solution. As a result, the cathode is frequently replaced, which causes a problem that the manufacturing cost is weighted. In particular, referring to FIG. 1, the shaft and the roll body are welded together. Weld coupling causes poor roundness of the roll. As a result, there is a problem that instability of film transport is caused and wrinkles are generated on the film.

本発明の一実施例は、優れたメッキ皮膜の品質を確保し、製造コストを削減することができるメッキ装置用陰極アセンブリを提供することを目的とする。 An embodiment of the present invention is an object of the present invention to provide a cathode assembly for a plating apparatus capable of ensuring excellent plating film quality and reducing manufacturing costs.

上記のような目的を達成するために、本発明の一実施例に係るメッキ装置用陰極アセンブリは、第１締結部と第２締結部を有するロール本体、第１締結部に対応する第３締結部を有し、ロール本体の一端に結合解除可能に連結した第１シャフト、及び第２締結部に対応する第４締結部を有し、ロール本体の他端部に結合解除可能に連結した第２シャフトを含むことを特徴とする。 In order to achieve the above object, the cathode assembly for a plating apparatus according to an embodiment of the present invention has a roll body having a first fastening portion and a second fastening portion, and a third fastening corresponding to the first fastening portion. A first shaft having a portion and being detachably connected to one end of the roll body, and a fourth fastening portion corresponding to the second fastening portion to be detachably connected to the other end of the roll body. It is characterized by including two shafts.

本発明によると、ロール本体とシャフトの結合および結合解除が容易で組み立て工数を軽減させ、必要に応じてロール本体のみを交換可能なので交換費用を削減することができる。 According to the present invention, it is easy to connect and disconnect the roll body and the shaft, the assembly man-hours are reduced, and only the roll body can be replaced as needed, so that the replacement cost can be reduced.

また、ロールの真円度を維持することができ、メッキ皮膜の優れた品質を確保することができる。 In addition, the roundness of the roll can be maintained, and the excellent quality of the plating film can be ensured.

従来技術によるメッキ設備用陰極アセンブリを示した図である。It is a figure which showed the cathode assembly for plating equipment by the prior art. 本発明の一実施例に係るメッキ装置用陰極アセンブリを概略的に示した図である。It is a figure which showed schematically the cathode assembly for a plating apparatus which concerns on one Example of this invention. 図２に図示したメッキ設備用陰極アセンブリの両端部を拡大して示した図である。FIG. 2 is an enlarged view showing both ends of the cathode assembly for plating equipment shown in FIG. 2.

以下、本発明の好適な一実施例に係るメッキ装置用陰極アセンブリ１０を詳細に説明する。 Hereinafter, the cathode assembly 10 for a plating apparatus according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail.

図２は、本発明の一実施例に係るメッキ装置用陰極アセンブリ１０を概略的に示した図であり、図３は、図２に示したメッキ設備用陰極アセンブリ１０の両端部を拡大して示した図である。 FIG. 2 is a diagram schematically showing a cathode assembly 10 for a plating apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3 is an enlarged view of both ends of the cathode assembly 10 for a plating facility shown in FIG. It is a figure shown.

図２および図３を参照すると、本発明の一実施例に係るメッキ装置用陰極アセンブリ１０は、メッキの優れた品質を確保し、製造コストを削減するために、ロール本体１００、第１シャフト２００及び第２シャフト３００を含む。第１シャフト２００と第２シャフト３００は、ロール本体１００の両端部に容易に結合および結合解除可能に連結される。これにより、ロール本体とシャフトを分離した後、ロール本体のみを交換することができるので、製造コスト（交換コスト）を削減することができる。 Referring to FIGS. 2 and 3, the cathode assembly 10 for a plating apparatus according to an embodiment of the present invention has a roll body 100 and a first shaft 200 in order to ensure excellent plating quality and reduce manufacturing costs. And the second shaft 300. The first shaft 200 and the second shaft 300 are easily coupled and discoupled to both ends of the roll body 100. As a result, after separating the roll body and the shaft, only the roll body can be replaced, so that the manufacturing cost (replacement cost) can be reduced.

ロール本体１００は、第１締結部１１０と第２締結部１３０を有する。第１締結部１１０は、ロール本体１００の一端部に配置される。第２締結部１３０は、ロール本体１００の他端部に配置される。第１シャフト２００は、第３締結部２１０を有する。第１シャフト２００の第３締結部２１０は、第１締結部１１０に対応して締結および締結解除することができる。第２シャフト３００は、第４締結部３１０を有する。第４締結部３１０は、第２締結部１３０に対応して締結および締結解除することができる。 The roll body 100 has a first fastening portion 110 and a second fastening portion 130. The first fastening portion 110 is arranged at one end of the roll body 100. The second fastening portion 130 is arranged at the other end of the roll body 100. The first shaft 200 has a third fastening portion 210. The third fastening portion 210 of the first shaft 200 can be fastened and unfastened corresponding to the first fastening portion 110. The second shaft 300 has a fourth fastening portion 310. The fourth fastening portion 310 can be fastened and unfastened corresponding to the second fastening portion 130.

一実施例では、ロール本体１００は、円筒形状を有することができる。また、第１締結部１１０と第２締結部１３０は、ロール本体１００の内周面に配置される。第１締結部１１０と第２締結部１３０は、ネジ山およびネジ溝形状を有することができる。したがって、第１締結部１１０と第２締結部１３０は、ロール本体１００の内周面に沿って円周方向に延長される。第１締結部１１０は、ロール本体１００の一端部に配置され、第２締結部１３０は、ロール本体１００の他端部に配置される。 In one embodiment, the roll body 100 can have a cylindrical shape. Further, the first fastening portion 110 and the second fastening portion 130 are arranged on the inner peripheral surface of the roll main body 100. The first fastening portion 110 and the second fastening portion 130 can have a thread and a thread groove shape. Therefore, the first fastening portion 110 and the second fastening portion 130 are extended in the circumferential direction along the inner peripheral surface of the roll body 100. The first fastening portion 110 is arranged at one end of the roll main body 100, and the second fastening portion 130 is arranged at the other end of the roll main body 100.

第３締結部２１０は、第１シャフト２００の外周面に配置される。第４締結部３１０は、第２シャフト３００の外周面に配置される。第３締結部２１０と第４締結部３１０は、ネジ山およびネジ溝形状を有することができる。したがって、第３締結部２１０と第４締結部３１０のそれぞれは、第１シャフト２００と第２シャフト３００の外周面に沿って円周方向に延長される。これにより、第１シャフト２００は、ロール本体１００の第１締結部１１０にネジ結合または結合解除することができる。また、第２シャフト３００は、ロール本体１００の第２締結部１３０にネジ結合または結合解除することができる。したがって、負極の組立および交換が容易で、不良を防止し、製造コストを削減することができる。 The third fastening portion 210 is arranged on the outer peripheral surface of the first shaft 200. The fourth fastening portion 310 is arranged on the outer peripheral surface of the second shaft 300. The third fastening portion 210 and the fourth fastening portion 310 can have a thread and a thread groove shape. Therefore, each of the third fastening portion 210 and the fourth fastening portion 310 is extended in the circumferential direction along the outer peripheral surfaces of the first shaft 200 and the second shaft 300, respectively. As a result, the first shaft 200 can be screwed or disconnected from the first fastening portion 110 of the roll body 100. Further, the second shaft 300 can be screwed or disconnected from the second fastening portion 130 of the roll body 100. Therefore, the negative electrode can be easily assembled and replaced, defects can be prevented, and the manufacturing cost can be reduced.

第１シャフト２００及び第２シャフト３００のそれぞれは、シャフト本体２２０とシャフトフランジ２４０を含む。シャフト本体２２０は、回転軸として、ロール本体１００を支持する。シャフトフランジ２４０は、シャフト本体２２０に連結し、ロール本体１００に少なくとも一部挿入される。ここで、シャフトフランジ２４０は、第３締結部２１０と第４締結部３１０を有する。 Each of the first shaft 200 and the second shaft 300 includes a shaft body 220 and a shaft flange 240. The shaft body 220 supports the roll body 100 as a rotation shaft. The shaft flange 240 is connected to the shaft body 220 and is at least partially inserted into the roll body 100. Here, the shaft flange 240 has a third fastening portion 210 and a fourth fastening portion 310.

また、シャフトフランジ２４０は、ロール本体１００の延長方向に沿ってだんだんロール本体１００の外径から内径に徐々に直径が減少する傾斜部位とロール本体１００の内側に挿入される挿入部位を含む。ここで、シャフトフランジ２４０とロール本体１００の締結後、シャフトフランジ２４０の傾斜部分と、これに対応するロール本体１００の間は熱圧着方式で接合することができる。これにより、ロール本体１００とシャフトフランジ２４０の間に密閉することができる。つまり、ロール本体１００とシャフトフランジ２４０の間の密閉性を確保しながらも、ロール本体１００とシャフトフランジ２４０が結合および結合解除可能に連結することができる。 Further, the shaft flange 240 includes an inclined portion whose diameter gradually decreases from the outer diameter of the roll main body 100 to the inner diameter along the extension direction of the roll main body 100, and an insertion portion inserted inside the roll main body 100. Here, after fastening the shaft flange 240 and the roll body 100, the inclined portion of the shaft flange 240 and the corresponding roll body 100 can be joined by a thermocompression bonding method. As a result, it is possible to seal between the roll body 100 and the shaft flange 240. That is, the roll body 100 and the shaft flange 240 can be connected and disconnected so as to be hermetically sealed between the roll body 100 and the shaft flange 240.

本発明の一実施例に係るメッキ装置用陰極アセンブリ１０は、支持シャフト４００をさらに含む。支持シャフト４００は、第１シャフト２００と第２シャフト３００を連結する。支持シャフト４００、第１シャフト２００及び第２シャフト３００は、同じ軸を中心軸に有する。支持シャフト４００は、第１シャフト２００と第２シャフト３００の結合を支持力を補強する。したがって、第１シャフト２００と第２シャフト３００の結合または結合解除にも、ロール本体１００の真円度を維持することができる。 The cathode assembly 10 for a plating apparatus according to an embodiment of the present invention further includes a support shaft 400. The support shaft 400 connects the first shaft 200 and the second shaft 300. The support shaft 400, the first shaft 200, and the second shaft 300 have the same axis as the central axis. The support shaft 400 reinforces the support force by connecting the first shaft 200 and the second shaft 300. Therefore, the roundness of the roll body 100 can be maintained even when the first shaft 200 and the second shaft 300 are connected or disconnected.

一実施例では、支持シャフト４００の一端部は、第１シャフト２００及び第２シャフト３００のいずれか一つに固定することができる。支持シャフト４００は、第２シャフト３００または第１シャフト２００と一体（一筐体）で形成することができる。したがって、支持シャフト４００と第２シャフト３００は、同一の材質からなることができる。つまり、支持シャフト４００と第２シャフト３００の間に接合部位がない。他の実施例として、第１シャフト２００及び第２シャフト３００のいずれか一つと支持シャフト４００は、溶接等によって一体に形成することができる。この場合、第１シャフト２００及び第２シャフト３００のいずれか一つと支持シャフト４００の間に接合部位を有することができる。したがって、接合部位の有無にかかわらず、第１シャフト２００及び第２シャフト３００のいずれか一つと支持シャフト４００は、分離不可能に結合した一体に形成することができる。 In one embodiment, one end of the support shaft 400 can be fixed to any one of the first shaft 200 and the second shaft 300. The support shaft 400 can be formed integrally with the second shaft 300 or the first shaft 200 (one housing). Therefore, the support shaft 400 and the second shaft 300 can be made of the same material. That is, there is no joint portion between the support shaft 400 and the second shaft 300. As another embodiment, any one of the first shaft 200 and the second shaft 300 and the support shaft 400 can be integrally formed by welding or the like. In this case, a joint portion can be provided between any one of the first shaft 200 and the second shaft 300 and the support shaft 400. Therefore, regardless of the presence or absence of the joint portion, any one of the first shaft 200 and the second shaft 300 and the support shaft 400 can be integrally formed by being inseparably connected.

支持シャフト４００が、第１シャフト２００及び第２シャフト３００のいずれか一つと一体に形成されると、組み立てが容易でありながら高精度に組み立てることができる。例えば、ロール本体１００と第１シャフト２００が結合した状態で、第２シャフト３００をロール本体１００に締結すると、支持シャフト４００の端部が第１シャフト２００の締結ホーム（図３のＨ２）に挿入される。つまり、支持シャフト４００の端部と第１シャフト２００の結合面は、ロール本体１００の両端部の間に配置される。これにより、簡単な組み立てで、第１シャフト２００、支持シャフト４００、第２シャフト３００が同じ中心軸を有するように容易に締結することができる。逆に、ロール本体１００に第２シャフト３００が結合された状態で、第１シャフト２００をロール本体１００に締結する場合にも、支持シャフト４００の端部は、第１シャフト２００の締結ホームに挿入される。つまり、支持シャフト４００の端部が第１シャフト２００の締結ホームに挿入されながら、第１シャフト２００、第２シャフト３００および支持シャフト４００が同じ中心軸に配置され得る。 When the support shaft 400 is integrally formed with any one of the first shaft 200 and the second shaft 300, it can be assembled with high accuracy while being easy to assemble. For example, when the second shaft 300 is fastened to the roll main body 100 with the roll main body 100 and the first shaft 200 coupled, the end portion of the support shaft 400 is inserted into the fastening platform of the first shaft 200 (H2 in FIG. 3). Will be done. That is, the end portion of the support shaft 400 and the joint surface of the first shaft 200 are arranged between both ends of the roll body 100. Thereby, with simple assembly, the first shaft 200, the support shaft 400, and the second shaft 300 can be easily fastened so as to have the same central axis. On the contrary, even when the first shaft 200 is fastened to the roll main body 100 with the second shaft 300 coupled to the roll main body 100, the end portion of the support shaft 400 is inserted into the fastening platform of the first shaft 200. Will be done. That is, the first shaft 200, the second shaft 300, and the support shaft 400 may be arranged on the same central axis while the end of the support shaft 400 is inserted into the fastening platform of the first shaft 200.

また、支持シャフト４００の他端部は、残りの他の一つに結合解除可能に連結することができる。このため、第１シャフト２００または第２シャフト３００は、締結ホーム（Ｈ２）を有することができる。支持シャフト４００の他端部は、締結ホーム（Ｈ２）に挿入して支持することができる。他の実施例では、締結ホーム（Ｈ２）の内周面にネジ山を配置することができる。これに対応して支持シャフト４００もネジ山を有することができる。つまり、支持シャフト４００の他端部は、締結ホーム（Ｈ２）でネジ結合することができる。締結ホーム（Ｈ２）は、ロール本体１００の中心軸を基準に円周方向に延長される。また、締付ホーム（Ｈ２）は、ロール本体１００の一端と第１シャフト２００の締結部位（ねじ込み部）から第２シャフト３００に向かって所定距離離隔することができる。他の実施例では、締結ホーム（Ｈ２）は、ロール本体１００の他端と第２シャフト３００の締結部位（ねじ込み部）から第１シャフト２００に向かって所定距離離隔することができる。 Further, the other end of the support shaft 400 can be detachably connected to the other remaining one. Therefore, the first shaft 200 or the second shaft 300 can have a fastening platform (H2). The other end of the support shaft 400 can be inserted and supported by the fastening platform (H2). In another embodiment, threads can be placed on the inner peripheral surface of the fastening platform (H2). Correspondingly, the support shaft 400 can also have threads. That is, the other end of the support shaft 400 can be screw-coupled at the fastening platform (H2). The fastening platform (H2) is extended in the circumferential direction with respect to the central axis of the roll body 100. Further, the tightening platform (H2) can be separated from one end of the roll main body 100 and the fastening portion (screwed portion) of the first shaft 200 toward the second shaft 300 by a predetermined distance. In another embodiment, the fastening platform (H2) can be separated from the other end of the roll body 100 and the fastening portion (screwed portion) of the second shaft 300 toward the first shaft 200 by a predetermined distance.

本発明の一実施例に係るメッキ装置用陰極アセンブリ１０は、シーリング部材５００をさらに含む。シーリング部材５００は、リング形状を有することができる。シーリング部材５００は、シャフトフランジ２４０とロール本体１００の間に配置され、密閉させる。シャフトフランジ２４０は、シーリング部材５００に対応した挿入ホーム（Ｈ１）を有する。シーリング部材５００は、挿入ホーム（Ｈ１）挿入して固定することができる。これにより、シャフトフランジ２４０とロール本体１００の結合および結合解除の間、シーリング部材５００が離脱しないことが可能となる。 The cathode assembly 10 for a plating apparatus according to an embodiment of the present invention further includes a sealing member 500. The sealing member 500 can have a ring shape. The sealing member 500 is arranged between the shaft flange 240 and the roll body 100 and is sealed. The shaft flange 240 has an insertion platform (H1) corresponding to the sealing member 500. The sealing member 500 can be fixed by inserting the insertion home (H1). This makes it possible that the sealing member 500 does not come off during the coupling and disengagement of the shaft flange 240 and the roll body 100.

一方、本発明に係るメッキ装置の陰極アセンブリ１０は、メッキ皮膜を形成するためにフィルム（未図示）をメッキ槽（未図示）を通過するように搬送する。ここで、フィルムは、金属層（未図示）を含む。金属層は、メッキ実行前、その面に所定の厚さで形成される。金属層は、電気導電役割を果たし、スパッタリングまたはメッキを通じて形成することができる。金属層は、５００～１５００Åの厚さを有することができる。ここで、金属層は、銅（Ｃｕ）ｓｅｅｄ層を含む。 On the other hand, the cathode assembly 10 of the plating apparatus according to the present invention conveys a film (not shown) so as to pass through a plating tank (not shown) in order to form a plating film. Here, the film includes a metal layer (not shown). The metal layer is formed on the surface thereof to a predetermined thickness before plating is performed. The metal layer serves an electrically conductive role and can be formed through sputtering or plating. The metal layer can have a thickness of 500-1500 Å. Here, the metal layer includes a copper (Cu) seed layer.

また、垂直電解メッキ段階で、メッキ槽に収容されたメッキ液は、３０～４０ｇ／Ｌの銅濃度、１７０～１８０ｇ／Ｌの硫酸濃度、および４５～５５ｐｐｍの塩素（Ｃｌ）濃度を有する。また、メッキは１０～２０個のメッキ槽を通過するように構成することができる。また、メッキ槽は０．１～３．５ＡＳＤの電流密度を有するように調整することができる。 Further, in the vertical electrolytic plating step, the plating solution contained in the plating tank has a copper concentration of 30 to 40 g / L, a sulfuric acid concentration of 170 to 180 g / L, and a chlorine (Cl) concentration of 45 to 55 ppm. Further, the plating can be configured to pass through 10 to 20 plating tanks. Further, the plating tank can be adjusted to have a current density of 0.1 to 3.5 ASD.

また、フィルムは、金属層の厚さが０．５μｍ以上で、電流密度（ＡＳＤ）０．１Ａ／ｍ２～３．５Ａ／ｍ２、温度３４℃以上でメッキ工程を実行することができる。ここで、フィルムは、垂直または水平方式で、片面または両面に銅メッキ層を１．８～２．４μｍの厚さで電気メッキされる。 Further, the film can be plated at a metal layer thickness of 0.5 μm or more, a current density (ASD) of 0.1 A / m 2 to 3.5 A / m 2 , and a temperature of 34 ° C. or more. Here, the film is electroplated with a copper plating layer on one side or both sides in a vertical or horizontal manner to a thickness of 1.8 to 2.4 μm.

以上、本発明者によってなされた発明を実施例に基づいて具体的に説明したが、本発明は、上記実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲でさまざまに変更可能なことはもちろんである。 Although the invention made by the present inventor has been specifically described above based on Examples, the present invention is not limited to the above Examples and can be variously modified without departing from the gist thereof. Of course.

１０：メッキ設備用陰極アセンブリ
１００：ロール本体
１１０：第１締結部
１３０：第２締結部
２００：第１シャフト
２１０：第３締結部
２２０：シャフト本体
２４０：シャフトフランジ
３００：第２シャフト
３１０：第４締結部
４００：支持シャフト
５００：シーリング部材
Ｈ１：挿入ホーム
Ｈ２：締結ホーム
10: Cathode assembly for plating equipment 100: Roll body 110: First fastening part 130: Second fastening part 200: First shaft 210: Third fastening part 220: Shaft body 240: Shaft flange 300: Second shaft 310: First 4 Fastening part 400: Support shaft 500: Sealing member H1: Insertion home H2: Fastening home

Claims (7)

第１締結部と第２締結部を有するロール本体；
第１締結部に対応する第３締結部を有し、ロール本体の一端部に結合解除可能に連結した第１シャフト；
第２締結部に対応する第４締結部を有し、ロール本体の他端部に結合解除可能に連結した第２シャフト；および
第１シャフトと第２シャフトを連結する支持シャフトを含み、
前記第１シャフトは、前記第２シャフトに向かって直径が減少する傾斜部位と、前記ロール本体の内側に挿入される挿入部位とを含み、
前記第２シャフトは、前記第１シャフトに向かって直径が減少する傾斜部位と、前記ロール本体の内側に挿入される挿入部位とを含み、
前記支持シャフトの一端部は、第１シャフト又は第２シャフトと固定され、
前記支持シャフトの他端部は、第１シャフト又は第２シャフトの締結ホームに挿入され、
前記第１シャフトの挿入部位は第３締結部を有し、前記第２シャフトの挿入部位は第４締結部を有し、
前記第１シャフト及び前記第２シャフトの挿入部位は、前記第１シャフトの傾斜部位と前記第２シャフトの傾斜部位との間に配置され、
支持シャフトの他端には、第１シャフトまたは第２シャフトの内周面と接触する接合面が形成されるメッキ設備用陰極アセンブリ。 A roll body having a first fastening part and a second fastening part;
A first shaft that has a third fastening portion corresponding to the first fastening portion and is detachably connected to one end of the roll body;
A second shaft having a fourth fastening corresponding to the second fastening and disconnectably coupled to the other end of the roll body; and a support shaft connecting the first and second shafts.
The first shaft includes an inclined portion whose diameter decreases toward the second shaft and an insertion portion inserted inside the roll body.
The second shaft includes an inclined portion whose diameter decreases toward the first shaft and an insertion portion inserted inside the roll body.
One end of the support shaft is fixed to the first shaft or the second shaft.
The other end of the support shaft is inserted into the fastening platform of the first shaft or the second shaft.
The insertion portion of the first shaft has a third fastening portion, and the insertion portion of the second shaft has a fourth fastening portion.
The first shaft and the insertion portion of the second shaft are arranged between the inclined portion of the first shaft and the inclined portion of the second shaft.
A cathode assembly for plating equipment in which a joint surface in contact with the inner peripheral surface of the first shaft or the second shaft is formed at the other end of the support shaft . 第１締結部と第２締結部が、ネジ山およびネジ溝であり、
第３締結部と第４締結部は、第１締結部と第２締結部に対応するネジ山およびネジ溝である、請求項１に記載のメッキ設備用陰極アセンブリ。 The first fastening part and the second fastening part are threads and threads, and are
The cathode assembly for plating equipment according to claim 1, wherein the third fastening portion and the fourth fastening portion are threads and threads corresponding to the first fastening portion and the second fastening portion. 第１シャフトおよび第２シャフトのそれぞれが、
シャフト本体、および
シャフト本体の端部に配置され、ロール本体に結合するシャフトフランジを含む、請求項１に記載のメッキ設備用陰極アセンブリ。 Each of the first shaft and the second shaft
The cathode assembly for plating equipment according to claim 1, comprising a shaft body and a shaft flange located at the end of the shaft body and coupled to the roll body. ロール本体と第１シャフトの間、および
ロール本体と第２シャフトの間に配置されたシーリング部材をさらに含む、請求項１に記載のメッキ設備用陰極アセンブリ。 The cathode assembly for plating equipment according to claim 1, further comprising a sealing member disposed between the roll body and the first shaft, and between the roll body and the second shaft. ロール本体が、シーリング部材の挿入ホームを有する、請求項４に記載のメッキ設備用陰極アセンブリ。 The cathode assembly for plating equipment according to claim 4, wherein the roll body has an insertion platform for a sealing member. 請求項１に記載のメッキ設備用陰極アセンブリが、メッキ皮膜を形成するためにフィルムを搬送し、
フィルムは、メッキ実行前、その面に所定の厚さに配置された金属層を含み、
フィルムは、金属層の厚さが０．５μｍ以上で、電流密度０．１Ａ／ｍ２～３．５Ａ／ｍ２、温度３４℃以上でメッキが行なわれる、メッキ皮膜の形成方法。 The cathode assembly for plating equipment according to claim 1 carries a film to form a plating film.
The film contains a metal layer placed on its surface to a predetermined thickness prior to plating.
A method for forming a plating film, wherein the film is plated at a metal layer thickness of 0.5 μm or more, a current density of 0.1 A / m 2 to 3.5 A / m 2 , and a temperature of 34 ° C. or more. 第１シャフトおよび第２シャフトのいずれか一つと支持シャフトが、一体に形成された、請求項１に記載のメッキ設備用陰極アセンブリ。 The cathode assembly for plating equipment according to claim 1, wherein any one of the first shaft and the second shaft and the support shaft are integrally formed.
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