JP7130247B2 - Probes and measuring devices for solar cells - Google Patents
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Description
本発明は太陽電池セルの出力測定に用いられるプローブ及びそのプローブを用いた太陽電池セル用測定装置に関するものである。 The present invention relates to a probe used for measuring the output of a solar cell and a measuring device for a solar cell using the probe.
太陽電池セルの品質チェックや分類は、太陽電池セルがソーラシミュレータから光を照射された際に発電する電流、電圧特性の測定結果に基づいて行われている。 The quality check and classification of solar cells are performed based on the measurement results of the current and voltage characteristics generated when the solar cells are irradiated with light from a solar simulator.
例えばバスバーレスの太陽電池セルの場合、従来バスバー電極があった位置にバー型のプローブを配置して複数のフィンガー電極に接触させ、太陽電池セルからの出力を測定する。 For example, in the case of a busbar-less solar cell, a bar-shaped probe is arranged at the position where the conventional busbar electrode was, and is brought into contact with a plurality of finger electrodes to measure the output from the solar cell.
ところで、スクリーン印刷により太陽電池セルの表面に形成されるフィンガー電極には高さに微小なばらつきが生じている。このため、従来のプローブでは各フィンガー電極の接触状態が不安定となり、測定のたびに電気抵抗も大きく変化し、測定の再現性に問題がある。 By the way, the finger electrodes formed on the surface of the solar cell by screen printing have minute variations in height. For this reason, in the conventional probe, the contact state of each finger electrode becomes unstable, and the electrical resistance greatly changes each time measurement is performed, resulting in a problem of reproducibility of measurement.
このような問題を解決するために本出願人は、金属の細線で形成された線状の多数の接触子と、各接触子を弾性的に支持するためのばね要素とを備えた概略櫛歯状のバー型プローブを提案している(特許文献1参照)。 In order to solve such a problem, the present applicant has developed a general comb-teeth structure having a large number of linear contacts formed of thin metal wires and spring elements for elastically supporting each contact. proposed a bar-shaped probe (see Patent Document 1).
上記のようなバー型プローブについて本願発明者らが鋭意検討を行ったところ、各接触子の姿勢変化をより小さくすることで、太陽電池セルの出力測定の再現性や耐久性をさらに向上させられることを初めて見出した。 The inventors of the present application conducted extensive studies on the above-described bar-type probe, and found that by reducing the change in the posture of each contact, the reproducibility and durability of the output measurement of the solar cell can be further improved. I discovered that for the first time.
本発明は、上述したような発見に基づいてなされたものであり、太陽電池セルの出力測定の再現性や耐久性をさらに改善することを目的とする。 The present invention has been made based on the above findings, and aims to further improve the reproducibility and durability of the output measurement of a solar cell.
すなわち、本発明に係るプローブは、太陽電池セルの電気的特性の測定に用いられるプローブであって、厚み方向に積層された複数の薄板体と、前記複数の薄板体を外側から厚み方向に挟み込む一対のカバーと、を備え、前記薄板体が、長尺薄板状の本体部と、前記本体部の長手方向に所定幅を有する薄板であり、幅方向が前記本体部の長手方向に沿って揃うように並べて設けられる複数の接触子と、前記本体部と前記複数の接触子との間をそれぞれ接続する細線で形成されたばね要素と、を具備し、前記一対のカバーが、前記接触子を厚み方向に対して挟み込み、当該接触子の倒れを規制する一対の倒れ規制部を具備することを特徴とする。 That is, the probe according to the present invention is a probe used for measuring the electrical characteristics of a solar cell, comprising a plurality of thin plate bodies stacked in the thickness direction, and the plurality of thin plate bodies sandwiched from the outside in the thickness direction. and a pair of covers, wherein the thin plate body is a long thin plate-like main body and a thin plate having a predetermined width in the longitudinal direction of the main body, and the width direction is aligned along the longitudinal direction of the main body. and a spring element formed of a fine wire connecting between the main body and the plurality of contacts, wherein the pair of covers cover the contacts with a thickness. It is characterized by comprising a pair of tilting regulating portions that sandwich the contact in a direction and regulate tilting of the contact.
このようなものであれば、各接触子をばね要素によって非常に柔らかく支持することができ、太陽電池セルの各フィンガー電極間に高さの違いあったとしてもプローブを太陽電池セルに対して押し付けた際に前記ばね要素の弾性によってその違いを吸収できる。 With such a structure, each contact can be very softly supported by the spring element, and the probe can be pressed against the solar cell even if there is a difference in height between the finger electrodes of the solar cell. The difference can be absorbed by the elasticity of the spring element.
さらに、前記一対の倒れ規制部によって各接触子の倒れが規制されているため、プローブを太陽電池セルに押し付けた際に各接触子の姿勢をほぼ揃えることができる。このため、各接触子において姿勢の違いによる接触状態の変化が生じにくくなる。 Furthermore, since the tilting of each contactor is regulated by the pair of tilting regulating portions, the attitudes of the contactors can be substantially aligned when the probe is pressed against the solar battery cell. For this reason, it becomes difficult for each contactor to cause a change in contact state due to a difference in posture.
これらのことから、太陽電池セルの出力特性の測定における再現性を従来よりもさらに向上させることができる。また、接触子において大きな姿勢変化や変形が生じにくくなるので、プローブとしての耐久性も向上させることができる。 For these reasons, it is possible to further improve the reproducibility in the measurement of the output characteristics of the photovoltaic cell compared to the conventional art. In addition, since the contactor is less likely to undergo a large change in posture or deformation, the durability of the probe can be improved.
前記接触子の倒れを所定範囲内に規制するとともに、前記ばね要素によるフィンガー電極における凹凸の吸収のために押圧方向に前記接触子が自由に動けるようにするには、前記一対の倒れ規制部が、一対の平行板を具備し、それらの内側面と前記接触子の面板部との間に隙間が形成されていればよい。 In order to restrict the tilting of the contactor within a predetermined range and to allow the contactor to move freely in the pressing direction in order to absorb unevenness of the finger electrodes by the spring element, the pair of tilting restricting portions are provided. , a pair of parallel plates, and a gap is formed between the inner surfaces of the plates and the face plate portion of the contactor.
前記一対の平行板と前記接触子の面板部との間に微小な隙間を形成し、その隙間を一定に保てるようにするには、前記一対の倒れ規制部が、前記一対の平行板間に介在して前記一対の平行板の離間間隔を所定値に保つスペーサ構造を具備するものであればよい。 In order to form a minute gap between the pair of parallel plates and the face plate portion of the contactor and to keep the gap constant, the pair of tilt regulating portions are provided between the pair of parallel plates. What is necessary is just to provide the spacer structure which interposes and maintains the space|interval of said pair of parallel plates to a predetermined value.
前記スペーサ構造の具体的な実施の態様としては、一対の平行板から互いの対向面に対して突出する一対の凸部であり、前記一対の凸部同士が接触することで前記一対の平行板の離間間隔が所定値に保たれるように構成されているものが挙げられる。 As a specific embodiment of the spacer structure, it is a pair of protrusions protruding from a pair of parallel plates toward the surfaces facing each other, and the pair of protrusions are in contact with each other to form the pair of parallel plates. is configured such that the distance between them is maintained at a predetermined value.
多数の前記接触子を密集させて前記本体部の長手方向に配列させつつ、前記凸部と前記接触子とを干渉させずに前記一対の凸部同士を接触させることができるようにするには、前記複数の接触子の少なくとも一部に、前記凸部が挿通される穴、又は、前記凸部を迂回するための切り欠きが形成されたものであればよい。 To allow the pair of protrusions to come into contact with each other without causing interference between the protrusions and the contacts while a large number of the contacts are densely arranged in the longitudinal direction of the main body. A hole through which the projection is inserted or a notch for bypassing the projection may be formed in at least a part of the plurality of contacts.
前記カバーが設けられていても、前記ばね要素を大きく変形可能にして前記接触子が非常に柔らかく支持されるようにするには、前記ばね要素が、前記本体部よりも外側に突出するように前記薄板体の厚み方向に対して湾曲しており、前記一対のカバーが、前記ばね要素の少なくとも一部を露出する開口部をさらに具備するものであればよい。 In order to allow the spring element to be greatly deformed and the contactor to be supported very softly even with the cover provided, the spring element should protrude outside the main body portion. It is sufficient that the pair of covers is curved with respect to the thickness direction of the thin plate body, and that the pair of covers further includes an opening that exposes at least part of the spring element.
本発明に係るプローブによって太陽電池セルの各フィンガー電極に対していずれかの接触子が接触しやすくするには、前記複数の接触子が、前記本体部の長手方向に沿って所定間隔ごとに設けられており、少なくとも2つの薄板体における前記複数の接触子の設けられている周期がずれていればよい。 In order for the probe according to the present invention to make it easier for any of the contactors to contact each finger electrode of the solar cell, the plurality of contactors are provided at predetermined intervals along the longitudinal direction of the main body. It is sufficient that the plurality of contactors provided in at least two thin plate bodies are provided at different intervals.
例えば連続する3つのフィンガー電極において両端の2つのフィンガー電極に対して1つの接触子が橋渡しされてしまい、真ん中のフィンガー電極に接触子が接触しなくなってしまうのを防ぐには、前記複数の接触子の配列方向の長さ寸法が、各フィンガー電極の設置間隔の2倍よりも小さく設定されていればよい。 For example, in three continuous finger electrodes, one contact bridges two finger electrodes at both ends, and the contact does not contact the middle finger electrode. It is sufficient that the length dimension in the arrangement direction of the child is set to be smaller than twice the installation interval of each finger electrode.
前記複数の接触子を設置する間隔の具体例としては、前記所定間隔が、複数の前記接触子が1又は2のフィンガー電極と接触するように設定されているものが挙げられる。 As a specific example of the interval at which the plurality of contacts are arranged, the predetermined interval may be set such that the plurality of contacts are in contact with one or two finger electrodes.
例えば太陽電池セルのI-V特性を四端子法等による測定に適したプローブとするには、厚み方向に対して重ね合わされた前記複数の薄板体のうち、少なくとも1つの前記薄板体が電圧測定用の薄板体であり、その他の前記薄板体が電流測定用の薄板体であり、電圧測定用の前記薄板体と、電流測定用の前記薄板体との間に形成された絶縁層をさらに備えたものであればよい。 For example, in order to use a probe suitable for measuring the IV characteristics of a solar cell by a four-probe method or the like, at least one of the plurality of thin plate bodies stacked in the thickness direction is used for voltage measurement. and the other thin plate is a thin plate for current measurement, further comprising an insulating layer formed between the thin plate for voltage measurement and the thin plate for current measurement. Anything is fine.
本発明に係るプローブと、前記プローブに接続された電流電圧測定機構と、を備えた太陽電池セル用測定装置であれば、太陽電池セルの出力測定において再現性と、装置としての耐久性を従来よりも向上させることができる。 A solar cell measuring device comprising a probe according to the present invention and a current-voltage measuring mechanism connected to the probe can improve reproducibility in output measurement of a solar cell and durability as a device conventionally. can be improved.
このように本発明に係るプローブであれば、前記接触子を具備する前記薄板体の外側から挟み込む前記カバーによって前記倒れ規制部が形成されるので、プローブを太陽電池セルに押し付ける際に前記接触子が倒れて姿勢変化してしまうのを防ぐことができる。この結果、各測定において複数の接触子の姿勢をほぼ一定に保つことができるので、従来よりも太陽電池セルの出力測定における再現性とプローブとしての耐久性を向上させることができる。 As described above, according to the probe according to the present invention, since the fall-regulating portion is formed by the cover sandwiched from the outside of the thin plate body having the contactor, the contactor is prevented from being pressed against the solar cell when the probe is pressed against the solar cell. You can prevent it from falling down and changing its posture. As a result, since the postures of the plurality of contacts can be kept substantially constant in each measurement, the reproducibility in the output measurement of the photovoltaic cell and the durability as a probe can be improved more than ever.
本発明の一実施形態に係るプローブ3、及び、それを用いた太陽電池セル測定装置100について図1乃至図5を参照しながら説明する。本実施形態の太陽電池セル測定装置100は、太陽電池セルSCのI-V特性を測定するためのものであり、例えば、製造された太陽電池セルSCについて評価し、その特性ごとに分類するために用いられるものである。この実施形態では、太陽電池セルSCとして、例えばヘテロ接合型太陽電池等の高効率太陽電池のI-V特性の測定対象としている。
A
次に太陽電池セル測定装置100を構成する各部の概略について説明すると、当該太陽電池セル測定装置100は、図1に示すように疑似太陽光を太陽電池セルSCに対して照射するソーラシミュレータ1と、ソーラシミュレータ1を制御する照射制御部13と、太陽電池セルSCが載置される試料台2と、太陽電池セルSCの表面に形成されたフィンガー電極Fと接触するプローブ3と、太陽電池セルSCのI-V特性を測定するI-Vテスタ5と、各部の制御及び各種演算を行う制御演算装置6(パソコン)を少なくとも備えたものである。
Next, an outline of each part constituting the photovoltaic
ソーラシミュレータ1は、底面が開口した概略直方体形状の筺体11と、筺体11の内部の上面側に収容された光源12とから構成してある。光源12は、例えば概略リング状に形成されたロングアークキセノンランプであり、疑似太陽光をフラッシュ光(パルス光)として前記太陽電池セルSCに対して照射する。
The solar simulator 1 is composed of a substantially rectangular parallelepiped housing 11 with an open bottom and a
照射制御部13は、ソーラシミュレータ1が太陽電池セルSCに対して照射する疑似太陽光の照射状態を制御するものである。
The
試料台2は、太陽電池セルSCの裏面を吸着保持できるように真空ポンプ22に接続されているとともに、I-V出力測定時において前記太陽電池セルSCの温度を測定条件として推奨される温度で一定に保つため、チラー21により冷却してある。
The
I-Vテスタ5は、太陽電池セルSCが試料台2に対して載置されると当該太陽電池セルSCに電気的に接続されるとともに、太陽電池セルSCに対して印加電圧を掃引する負荷電源と、負荷電源が太陽電池セルSCに対して印加する電圧を制御する印加電圧制御部と、負荷電源により太陽電池セルSCに対して印加電圧の掃引が行われている間に当該太陽電池セルSCから出力される電流、電圧についてプローブ3を介して測定する電流計、電圧計からなる電流電圧測定機構と、を少なくとも備えたものである。I-Vテスタ5で測定された電流、電圧に基づいて制御演算装置6は、太陽電池セルSCのI-V特性、最大出力Pmax、短絡電流Isc、開放電圧Voc等を算出する。
The IV tester 5 is electrically connected to the photovoltaic cell SC when the photovoltaic cell SC is placed on the
次にバー型のプローブ3の詳細について説明する。
Next, details of the bar-
プローブ3は図示しない駆動機構に固定されており、試料台2に載置されている太陽電池セルSCに対して接離するように上下方向に駆動される。プローブ3は、I-Vテスタ5内の電流計、電圧計とケーブルを介して接続している。
The
第1実施形態では図2に示すように、1つの太陽電池セルSCに対して合計5本のプローブ3が各フィンガー電極Fに対して直交するように平行に配置される。すなわち、太陽電池セルSCはバスバーレス太陽電池セルであり,基板の各点から出力される電流を集めるための複数のフィンガー電極Fが銀ペースト等によって平行にスクリーン印刷されている。さらに別の表現をすると各フィンガー電極Fは所定間隔ごとに設けられており、この実施形態のプローブ3はその長手方向が各フィンガー電極Fの配列方向に沿って配置される。そして、プローブ3は各フィンガー電極Fと同時に接触するように配置される。ここで、プローブ3が配置されている場所は、後工程において複数の太陽電池セルSCから太陽光パネルが形成される際にワイヤ電極等が形成される場所でもある。
In the first embodiment, as shown in FIG. 2, a total of five
スクリーン印刷により形成される各フィンガー電極Fは、基板の表面に形成されている反射構造等の微細な凹凸や、印刷精度の問題によって、その高さにはばらつきが発生している。具体的には、1つのフィンガー電極Fを延伸方向に沿って見た場合に高さが変化しているだけでなく、各フィンガー電極Fにおいてプローブ3が配置されている点での高さもそれぞれ微小に異なっている。
The heights of the finger electrodes F formed by screen printing vary due to fine irregularities such as reflection structures formed on the surface of the substrate and printing accuracy problems. Specifically, when one finger electrode F is viewed along the extending direction, not only does the height change, but also the height at the point where the
したがって、プローブが剛体状のものであり、各フィンガー電極Fの高さの違いを吸収できないものの場合、基板表面に対して他のものよりも高く形成されているフィンガー電極Fのみでプローブ3が支持されてしまい、すべてのフィンガー電極Fと接触できない恐れがある。フィンガー電極Fのうちいくつかがプローブ3に接触指定ない状態でI-V特性が測定されると、電流又は電圧が過小に評価されることにより正しい測定ができないことになる。
Therefore, if the probe is rigid and cannot absorb the difference in height between the finger electrodes F, the
このため、この実施形態のプローブ3は、各フィンガー電極Fとの接触点において高さの違いがあったとしても全てのフィンガー電極Fと良好な接触状態を実現できるように高さの違いを吸収するように構成されている。
For this reason, the
具体的にはプローブ3は、図3乃至図5に示すように導電体によって形成された2枚の薄板体3Aを厚み方向に対して重ねて貼り合わせるとともに、積層された薄板体3Aを厚み方向に対して外側から一対のカバー3Bで挟み込むことで形成されている。
Specifically, as shown in FIGS. 3 to 5, the
この薄板体3Aは、図3及び図4に示すように長尺薄板状の本体部31と、本体部31の長手方向に対して所定幅を有するとともに、本体部31の長手方向に沿って揃うように並べられた複数の接触子32と、本体部31と接触子32との間を接続する細線で形成されたばね要素33と、を具備している。
As shown in FIGS. 3 and 4, the
ここで薄板体3Aは例えば銅合金の薄板を打ち抜き加工及び曲げ加工を施すことで、細線で形成されているばね要素33が形成される。ここで、薄板体3Aの厚みは例えば1mm以下のものであり、ばね要素33の直径も1mm以下にしてある。
Here, the
本体部31は、概略長尺長方形板状のものであり、図示しない駆動機構に対してその両端部が保持されている。また、この本体部31は、太陽電池セルSCから接触子32及びばね要素33を経由した電流又は電圧を電流計又は電圧計へと伝達するものである。各薄板体3Aの本体部31は接着されて一体とされる。本実施形態では一方の薄板体3Aが電流測定用のものであり、他方の薄板体3Aが電圧測定用のものである。電圧測定用の薄板体3Aと電流測定用の薄板体3Aとの間は例えば絶縁紙により絶縁層を形成した状態でそれぞれの間が接着剤により接着されている。すなわち、この実施形態のプローブ3は1つで電流測定と電圧測定の両方を行うことができるようにしてある。
The
接触子32は、図4及び図5に示すようにこの実施形態では本体部31の長手方向に対して所定幅を有する長方形状の薄板部分であり、所定間隔ごとに周期的に配置されている。ここで、接触子32は太陽電池セルSCへの接離方向を長手方向、本体部31の長手方向を短手方向とする長方形状に形成されている。各接触子32の短手方向の長さ寸法である幅寸法はフィンガー電極Fの設置間隔の2倍よりも小さく設定されている。例えば接触子32の幅寸法、及び、設置間隔は接触子32に対して1本又は2本のフィンガー電極Fが接触し得るように構成されている。この実施形態では接触子32は、図5に示すように、本体部31と接触子32は自然状態においてほぼ同一平面上に配置される。接触子32の一部には、後述する凸部38が挿通される穴、もしくは、凸部38を迂回するための切り欠きが形成されている。図4に示すように2つの薄板体3Aにおける接触子32の設置間隔は同じであるが、その周期が半周期ずらしてある。
As shown in FIGS. 4 and 5, the
ばね要素33は、図3乃至図5に示すように、本体部31と複数の接触子32との間をそれぞれ接続する細線である。ばね要素33は、1つの接触子32の両端をそれぞれ別々に本体部31に対して接続するように形成されている。言い換えると、各接触子32は独立に弾性支持されており、それぞれの接触子32において個別の変位が発生する。各ばね要素33は、同一形状であり、薄板体3Aの厚み方向に対して湾曲する概略正弦波状をなすものである。なお、この実施形態では各ばね要素33の振幅についてはほぼ一定としているが、場所によって振幅を異ならせてもよい。また、2つの薄板体3Aのそれぞれのばね要素33は、その向きが対称となっており、積層された状態において一方の薄板体3Aにおける隣接するばね要素33の間の空間に対して、他方の薄板体3Aのばね要素33が挿入される。また、図5に示すように、それぞれの薄板体3Aの接触子32はばね要素33の弾性復帰力により内側へと押し合うように構成されている。
The
カバー3Bは、図3及び図5に示すように本体部31に対して貼り付けられて固定される固定部34と、前記ばね要素33の少なくとも一部をカバー3Bの外側へと露出させる開口部35と、積層された薄板体3Aの接触子32を厚み方向に対して外側から挟み込み、接触子32の倒れを規制する倒れ規制部36と、を備えている。
As shown in FIGS. 3 and 5, the
固定部34は、概略長尺長方形板状の部分であり、薄板体3Aに対して絶縁された状態で固定される。なお、この実施形態では固定部34は薄板体3Aに対して絶縁されているので、薄板体3Aに対して電流又は電圧を測定するための端子が接続されるが、例えば固定部34と薄板体3Aを導通させた状態で固定し、固定部34又は固定部34に設けられる導電体を介して太陽電池セルSCの電流又は電圧を測定できるようにしてもよい。
The fixing
開口部35は、カバー3Bの中央部分に開口する概略長方形状の部分であり、ばね要素33において外側に膨出している各部分をカバー3Bの外側に露出するものである。すなわち、開口部35が形成されているので、ばね要素33に変形が生じた場合でもばね要素33は阻害されない。
The
倒れ規制部36は、図5に示すように開口部35の下側に設けられた接触子32を厚み方向に対して挟み込む一対の平行板37と、平行板37間の離間間隔を一定に保つスペーサ構造と、を備えている。
As shown in FIG. 5, the fall-regulating
図5の断面図に示すように、一対の平行板37は接触子32の面板部に対して微小な隙間を保って接触子32を挟み込むように構成されている。すなわち、太陽電池セルSCへのプローブ3の接離方向に対して接触子32が変位してもその面板部が平行板37に対して接触することがなく、移動が阻害されない。また、平行板37と接触子32の面板部との間には僅かな隙間しか存在しないため、接触子32は変位の際にその姿勢変化範囲はごく限られた範囲内に規制される。したがって、実質的に接触子32をプローブ3の接離方向にのみ変位するようにできる。なお、平行板37と接触子32との間の隙間については許容できる接触子32の姿勢変化量に基づいて所定値に設定される。
As shown in the cross-sectional view of FIG. 5, the pair of
スペーサ構造は、一対の平行板37の内側面から互いの対向面に対して突出させた一対の凸部38からなる。薄板体3Aに対してカバー3Bを貼り付けた場合に、各凸部38が接触してそれ以上平行板37同士が近づけないようにし、平行板37の内側面と接触子32の面板部との間の隙間が所定値に保たれる。本実施形態では、各凸部38は本体部31の長手方向に所定間隔ごとに並べて設けられており、平行板37の場所によらずほぼ一定の離間間隔が保たれる。
The spacer structure consists of a pair of
このように構成された本実施形態のプローブ3によれば、カバー3Bが接触子32の基端側から半分程度を覆って挟み込む平行板37により倒れ規制部36が構成されているので、プローブ3を太陽電池セルSCに対して押し付けた際に、接触子32に倒れをほとんど発生させずに、接離方向の変位のみを生じさせることができる。
According to the
したがって、倒れが発生することによりファインガー電極に対する各接触子32の接触状態が姿勢変化によって変化してしまい、測定の再現性が低下してしまうといった自体が発生するのを防ぐことができる。また、図5の断面図に示すように本実施形態では薄板体3Aの本体部31と、接触子32は同一平面上にあり、接離方向に対して一直線上に並ぶように配置されているので、プローブ3が太陽電池セル3Aに押圧された場合でも、接触子32に対して真っ直ぐに力がかかり、モーメントは発生しにくい。このことによっても接触子32の姿勢変化が生じにくくなっている。
Therefore, it is possible to prevent a situation in which the contact state of each contactor 32 with respect to the finger electrode is changed due to a change in attitude due to the tilting, and the reproducibility of measurement is lowered. Further, as shown in the cross-sectional view of FIG. 5, in this embodiment, the
その他の実施形態について説明する。 Other embodiments will be described.
前記実施形態では、ばね要素は厚み方向に対して湾曲する正弦波状に形成された細線であったが、本発明はこのようなものに限定されない。例えば、ばね要素が正弦波状に形成されている場合には、その波の数は前記実施形態に示したものに限られず、ばね要素は概略S字状に形成されていてもよい。また、ばね要素の各部分において振幅が変化するものであっても構わない。さらに、ばね要素を本体部と接触子とを含む平面内でのみ形成し、変形もこの平面内で生じるようにしてもよい。具体的には、ばね要素は平面内で弾性変形する概略く形状の細線であっても構わない。 In the above-described embodiment, the spring element is a fine wire formed in a sinusoidal shape that curves in the thickness direction, but the present invention is not limited to such. For example, when the spring element is formed in a sinusoidal shape, the number of waves is not limited to that shown in the above embodiment, and the spring element may be formed in an approximately S-shape. Also, the amplitude may vary at each portion of the spring element. Furthermore, the spring element may be formed only in the plane containing the body and the contact, and the deformation also occurs in this plane. Specifically, the spring element may be a generally rectangular thin wire that is elastically deformable in a plane.
上記のような形態のばね要素であれば、カバーは開口部を備えていなくてもよい。 If the spring element has the form described above, the cover need not have an opening.
薄板体の積層については2枚に限られるものではなく、3枚以上であっても構わない。また、スペーサ構造を形成する凸部については前記実施形態に示した物に限られない。例えば一方の平行板から他方の平行板の面板部まで届くように片側だけに凸部を形成してもよい。 The number of laminated thin plates is not limited to two, and may be three or more. Further, the protrusions forming the spacer structure are not limited to those shown in the above embodiments. For example, a convex portion may be formed only on one side so as to reach from one parallel plate to the face plate portion of the other parallel plate.
その他、本発明の趣旨に反しない限りにおいて様々な実施形態の変形や、各実施形態の一部同士を組み合わせても構わない。 In addition, as long as it does not contradict the gist of the present invention, various modifications of the embodiments and parts of the embodiments may be combined.
100・・・太陽電池セル用測定装置
3 ・・・プローブ
3A ・・・薄板体
31 ・・・本体部
32 ・・・接触子
33 ・・・ばね要素
3B ・・・カバー
34 ・・・固定部
35 ・・・開口部
36 ・・・倒れ規制部
37 ・・・平行板
38 ・・・凸部
DESCRIPTION OF
Claims (11)
厚み方向に積層された複数の薄板体と、
前記複数の薄板体を外側から厚み方向に挟み込む一対のカバーと、を備え、
前記薄板体が、
長尺薄板状の本体部と、
前記本体部の長手方向に所定幅を有するとともに、前記太陽電池セルへの接離方向に対して延びる薄板であり、幅方向が前記本体部の長手方向に沿って揃うように並べて設けられる複数の接触子と、
前記本体部と前記複数の接触子との間をそれぞれ接続する細線で形成されたばね要素と、を具備し、
前記一対のカバーが、
薄板である前記複数の接触子をそれぞれ厚み方向に対して挟む一対の平面を具備することを特徴とするプローブ。 A probe used to measure the electrical characteristics of the solar cell by contacting and separating from the solar cell,
a plurality of thin plate bodies laminated in the thickness direction;
a pair of covers that sandwich the plurality of thin plate bodies from the outside in the thickness direction,
The thin plate body
a long thin plate-like main body;
A plurality of thin plates having a predetermined width in the longitudinal direction of the main body and extending in a direction toward and away from the solar cell, and arranged side by side so that their width directions are aligned along the longitudinal direction of the main body. a contact;
a spring element formed of a fine wire connecting between the main body and the plurality of contacts,
the pair of covers,
A probe comprising a pair of flat surfaces sandwiching the plurality of thin plate contacts in a thickness direction.
前記一対のカバーが、
前記ばね要素の少なくとも一部を露出する開口部をさらに具備する請求項1記載のプローブ。 the spring element is curved with respect to the thickness direction of the thin plate body so as to protrude outward from the main body;
the pair of covers,
2. The probe of claim 1, further comprising an opening exposing at least a portion of said spring element.
少なくとも2つの薄板体における前記複数の接触子の設けられている周期がずれている請求項1記載のプローブ。 The plurality of contacts are provided at predetermined intervals along the longitudinal direction of the main body,
2. The probe according to claim 1, wherein the plurality of contactors provided in at least two thin plate bodies are provided at different intervals.
電圧測定用の前記薄板体と、電流測定用の前記薄板体との間に形成された絶縁層をさらに備えた請求項1記載のプローブ。 At least one of the plurality of thin plate bodies stacked in the thickness direction is a thin plate body for voltage measurement, and the other thin plate bodies are thin plate bodies for current measurement,
2. The probe according to claim 1, further comprising an insulating layer formed between said thin plate for voltage measurement and said thin plate for current measurement.
前記プローブに接続された電流電圧測定機構と、を備えた太陽電池セル用測定装置。
a probe according to claim 1;
and a current-voltage measuring mechanism connected to the probe.
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