JP7135582B2 - キャピラリホルダおよびｘ線回折測定方法 - Google Patents

Description

本発明は、キャピラリホルダおよびＸ線回折測定方法に関する。

Ｘ線回折装置は、Ｘ線源から放射されたＸ線を試料に照射したとき、試料から反射又は透過してくる回折Ｘ線を検出して、試料の結晶構造等を分析するための分析装置であり、各種物質の非破壊分析に広く用いられている。

粉末試料のＸ線回折測定においては、試料量が十分にある場合、平板のガラスなどのホルダの中央にある凹み部に粉末試料を入れ、ガラス平板を使って余分な試料を掻き取るという作業を、粉末試料の高さがガラスホルダの基準面と同じ高さとなるまで繰り返し行うことになる。ガラスホルダの基準面と粉末試料の高さを一致させることは回折ピークの角度ズレを防止する点で重要である。

ただし、この方法では、余分な粉末試料を擦り切るためにガラス板に加える力加減で粉末粒子がある結晶方位に揃ってしまうことがある。そのような粉末試料をＸ線回折測定すると一部の回折ピークの強度が強く検出されるなど粒子配向の影響が生じてしまう。この場合、定性分析の際、参照する結晶構造データベース（ＩＣＤＤ）に登録されている回折ピークの強度比が変わり、試料本来の結晶構造解析、定量分析に誤差が生じてしまうおそれがある。

そこで、粉末試料の調製時の粒子配向の問題を回避するため、粉末試料を例えばガラス製のキャピラリに充填し、無配向でＸ線回折測定する方法が提案されている（例えば特許文献１を参照）。

具体的には、特許文献１に示すように、片端部が封止されたガラス製のキャピラリに微量の粉末試料を導入した後、キャピラリに振動を与え、粉末試料を充填し、キャピラリを適宜の長さに切断する。その後、切断したキャピラリを固定するために金属製などのマウント治具（キャピラリホルダ）に設けた孔部に挿入し、接着剤などによってマウント治具の孔部にキャピラリを固定し、これらを直接、Ｘ線回折装置のゴニオメータの試料装着部に配置して測定を行う。

Ｘ線回折装置ではキャピラリを回転させながら測定を行うことから、装置の光軸中心に対してキャピラリのＸ線が照射される部分（測定部）が偏心してしまうと粉末試料の回折ピーク位置がずれて検出されてしまう。そのため、キャピラリの角度調整をマウント治具に装着した後、もしくは装置の試料装着部に取り付けた後にキャピラリの角度調整を行っている。

特開２００５－２９１８１７号公報

ところで、Ｘ線回折測定で取得できる回折パターンには、試料由来の回折パターンの他に、キャピラリの形成材料（例えば、ガラスなど）に由来するハローピークが検出されるため、これを補正する必要がある。この補正は、一般に、バックグラウンドを減算する方法が採用される。具体的には、粉末試料を充填していない空のキャピラリを測定し、その後、同一材質かつ同一寸法の別のキャピラリに粉末試料を充填してＸ線回折測定を行い、後者のＸ線回折パターンから前者のＸ線回折パターンを取り除くことで、バックグラウンド補正を行う。この補正により、キャピラリに由来するハローピークの影響を低減して、粉末試料のＸ線回折パターンを精度よく得ることができる。

しかし、キャピラリは同じ材質、同じ寸法でもその作製方法から肉厚、外径などの寸法に個体差があるため、バックグラウンドの測定と粉末試料の測定とで異なるキャピラリを使用することによって、それぞれの測定でＸ線の吸収の程度が変わってしまうことがある。これにより、バックグラウンド形状に個体差が生じることで、バックグラウンドをうまく減算できないことがある。つまり、補正をうまくできず、分析に誤差が生じることがある。

また、ひとつの粉末試料の測定に、少なくとも測定用と補正用で複数本のキャピラリを使用することになるので、キャピラリの角度調整や測定に時間がかかってしまう。つまり、測定効率が低くなる。

また、特許文献１に示す方法では、キャピラリを切断した時に生じる振動により、粉末試料の充填状態が変わることで分析に誤差が生じたり、試料が周囲に散らばるなど環境面で安全性が損なわたりすることがある。

このようにキャピラリを用いたＸ線回折測定方法では、分析精度や測定効率が低くなることがある。

そこで、本発明は、キャピラリを用いたＸ線回折測定において分析精度および測定効率を向上させる技術を提供することを一目的とする。

本発明の第１の態様は、
粉末試料を充填するための管状部と、前記管状部の開口に接続され、前記管状部に前記粉末試料を導入するための外側に向かって拡径する漏斗状部とを備えるキャピラリをＸ線回折装置に装着するためのキャピラリホルダであって、
ホルダ本体部と、
前記ホルダ本体部の厚さ方向に貫通して、前記キャピラリが挿入される挿入口および前記キャピラリの前記管状部が挿出される挿出口を有する孔部と、を備え、
前記孔部は、前記挿出口から前記挿入口に向かって径が大きくなるように形成されており、前記キャピラリを前記孔部に挿入させたときに、前記挿出口から前記管状部を突出させるとともに前記漏斗状部を前記孔部の内周面で係止させることで前記キャピラリを固定するように構成されている、
キャピラリホルダが提供される。

本発明の第２の態様は、第１の態様のキャピラリホルダにおいて、
前記挿出口は、前記管状部の径よりも大きく、かつ前記漏斗状部の径よりも小さな径を有し、前記挿入口は、前記漏斗状部の径よりも大きな径を有する。

本発明の第３の態様は、第１又は第２の態様のキャピラリホルダにおいて、
前記孔部は、前記ホルダ本体部の厚さ方向の断面において、前記漏斗状部の外形と相似する形状を有する。

本発明の第４の態様は、第１又は第２の態様のいずれかのキャピラリホルダにおいて、
前記孔部は、前記ホルダ本体部の厚さ方向の断面において、テーパ形状を有する。

本発明の第５の態様は、
粉末試料を充填するための管状部と、前記管状部の開口に接続され、前記管状部に前記粉末試料を導入するための外側に向かって拡径する漏斗状部とを備えるキャピラリを用いて粉末試料のＸ線回折測定を行う方法であって、
ホルダ本体部と、前記ホルダ本体部の厚さ方向に貫通して、前記キャピラリが挿入される挿入口および前記キャピラリの前記管状部が挿出される挿出口を有し、前記挿出口から前記挿入口に向かって径が大きくなるように形成される孔部とを備えるキャピラリホルダを準備する準備工程と、
前記キャピラリホルダに対して、前記孔部に前記キャピラリを挿入させて、前記挿出口から前記管状部を突出させるとともに前記漏斗状部を前記孔部の内周面で係止させることで、前記キャピラリを固定する固定工程と、を有する、
粉末試料のＸ線回折測定方法が提供される。

本発明の第６の態様は、第５の態様の粉末試料のＸ線回折測定方法において、
前記挿出口は、前記管状部の径よりも大きく、かつ前記漏斗状部の径よりも小さな径を有し、前記挿入口は、前記漏斗状部の径よりも大きな径を有する。

本発明の第７の態様は、第５又は第６の態様の粉末試料のＸ線回折測定方法において、
前記孔部は、前記キャピラリホルダの厚さ方向の断面において、前記漏斗状部の外形と相似する形状を有する。

本発明の第８の態様は、第５又は第６の態様の粉末試料のＸ線回折測定方法において、
前記孔部は、前記キャピラリホルダの厚さ方向の断面において、テーパ形状を有する。

本発明の第９の態様は、第５～第８の態様のいずれかの粉末試料のＸ線回折測定方法において、
前記挿出口から突出する前記管状部と、前記挿出口の周縁部とを、固着材で固着させる。

本発明の第１０の態様は、第５～第９の態様のいずれかの粉末試料のＸ線回折測定方法において、
前記キャピラリを前記キャピラリホルダに固定した後、前記管状部にＸ線を照射することで、前記キャピラリに由来するＸ線回折パターンを測定する第１の測定工程と、
前記キャピラリホルダに固定された状態の前記キャピラリに前記粉末試料を充填する充填工程と、
前記粉末試料が充填された前記管状部にＸ線を照射することで、前記キャピラリおよび前記粉末試料に由来するＸ線回折パターンを測定する第２の測定工程と、
前記第２の測定工程で得られた結果を前記第１の測定工程で得られた結果で補正して分析する分析工程と、を有する。

本発明によれば、キャピラリを用いたＸ線回折測定において分析精度および測定効率を向上させることができる。

図１は、本発明の一実施形態にかかるキャピラリホルダの断面概略図である。 図２は、キャピラリをキャピラリホルダに固定したときを説明するための図である。 図３は、本発明の他の一実施形態にかかるキャピラリホルダの断面概略図である。 図４は、キャピラリをＸ線回折装置に導入したときを説明するための斜視図である。 図５は、キャピラリと光学系との位置関係を説明するための平面図である。 図６は、キャピラリへのＸ線の照射を説明するための図である。 図７は、キャピラリの斜視図である。

キャピラリは、例えば石英ガラス、リンデマンガラス、ボロシリケートガラス、ソーダガラスなどの材料から形成され、Ｘ線回折装置で微小量の粉末試料を測定するために使用される試料容器である。具体的には、図７に示すように、キャピラリ２０は、粉末試料を充填するための一端が閉じた管状部２１と、管状部２１の他端の開口に接続され、管状部２１に粉末試料を導入するための外側に向かって拡径する漏斗状部２２とを備えて構成されている。径の広い漏斗状部２２から粉末試料を供給することで、内径の細い（例えば０．１ｍｍほど）管状部２１へと粉末試料を導入することができ、キャピラリ２０へ粉末試料を充填することができる。

従来、キャピラリ２０を用いて粉末試料のＸ線回折測定を行う場合は、キャピラリ２０のうち、漏斗状部２２を切断により取り除き、管状部２１のみをキャピラリホルダの孔部に挿通させて固定していた。この場合、キャピラリ２０を切断するため、バックグラウンドの測定と、粉末試料の測定とで、異なる複数のキャピラリを使用する必要があった。その結果、分析精度や測定効率が低くなることがあった。

このことから、本発明者は、キャピラリを切断せずにＸ線回折装置に固定する方法について検討を行った。その結果、キャピラリを挿入固定するためのキャピラリホルダにおいて、その孔部を、キャピラリの漏斗状部を収容できるように構成するとよいことを見出した。これにより、キャピラリを切断することなく、キャピラリホルダの孔部に挿入して固定させることができるので、従来のキャピラリの切断にともなう課題を解決することができる。本発明は、このような発明者の知見に基づいて成されたものである。

＜本発明の一実施形態＞
以下、本発明の一実施形態について図を用いて説明する。図１は、本発明の一実施形態にかかるキャピラリホルダの断面概略図である。図２は、キャピラリをキャピラリホルダに固定したときを説明するための図である。なお、図１および図２は、キャピラリホルダ１を、孔部１２を通るように厚さ方向に切断したときの断面を示す。

（キャピラリホルダ）
キャピラリホルダ１は、図１に示すように、ホルダ本体部１１と、ホルダ本体部１１の厚さ方向に貫通する孔部１２を備えて構成されている。

ホルダ本体部１１は、例えば、金属材料から形成され、ゴニオメータヘッド３０に取り付けられるように構成されている。

ホルダ本体部１１には、厚さ方向に貫通するように孔部１２が形成されている。孔部１２は、キャピラリ２０を挿入固定できるように構成されている。具体的には、孔部１２は、キャピラリ２０が挿入される挿入口１２ａをホルダ本体部１１の一方の主面側に、キャピラリ２０の管状部２１が挿出する挿出口１２ｂをもう一方の主面側に、それぞれ有する。本実施形態では、孔部１２は、挿出口１２ｂから挿入口１２ａに向かって径が大きくなるように形成され、キャピラリ２０を挿入したときに、挿出口１２ｂから管状部２１を突出させるとともに漏斗状部２２を孔部１２の内周面で係止させることでキャピラリ２０を固定するように構成されている。つまり、孔部１２は、孔径が挿入口１２ａから離れるにしたがって狭くなっており、キャピラリ２０の漏斗状部２２が孔部１２の内部で引っ掛かるように構成されている。

孔部１２において、挿入口１２ａおよび挿出口１２ｂの径は、特に限定されないが、挿入口１２ａの径は漏斗状部２２の径よりも大きく、挿出口１２ｂの径は管状部２１の径よりも大きく、かつ漏斗状部２２の径よりも小さいことが好ましい。

孔部１２の、ホルダ本体部１１の厚さ方向における断面形状は、挿出口１２ｂから挿入口１２ａに向かって径が大きくなっていれば特に限定されない。孔部１２の断面形状は、図１に示すようなキャピラリ２０の漏斗状部２２の外形と相似する形状、図３に示すような孔径が連続して変化するようなテーパ形状、もしくは、孔径が段階的に変化するような形状であってもよい。キャピラリ２０を孔部１２に挿入したときに、キャピラリ２０を安定して固定させる観点からは、漏斗状部２２の外形と相似する形状であることが好ましい。

（Ｘ線回折測定方法）
続いて、上述したキャピラリホルダ１を用いて粉末試料のＸ線回折測定を行う方法について説明する。本実施形態の測定方法は、キャピラリホルダ１の準備工程と、キャピラリホルダ１に空のキャピラリ２０を固定する固定工程と、空のキャピラリ２０についてＸ線回折測定を行う第１の測定工程と、キャピラリ２０に粉末試料を充填する充填工程と、粉末試料を充填したキャピラリ２０についてＸ線回折測定を行う第２の測定工程と、第１および第２の測定工程の結果に基づいて粉末試料を分析する分析工程とを有する。

（準備工程）
まず、上述したキャピラリホルダ１を準備する。

（固定工程）
次に、空のキャピラリ２０をキャピラリホルダ１に固定する。具体的には、図２に示すように、粉末試料を充填していない空のキャピラリ２０を、管状部２１側からキャピラリホルダ１の挿入口１２ａに挿入して、管状部２１が挿出口１２ｂから突き出て、漏斗状部２２が孔部１２の内周面に当たるまで挿入する。これにより、キャピラリ２０をキャピラリホルダ１に挿入固定する。

キャピラリ２０をキャピラリホルダ１により安定して固定させる観点からは、挿出口１２ｂから突出する管状部２１と、ホルダ本体部１１における挿出口１２ｂの周縁部とを、固着材１３で固着させることが好ましい。固着材１３としては、例えばワックス（ろう）、接着剤、粘土および熱収縮チューブのいずれかを用いることができる。ワックス（ろう）および粘土としては、取り扱いが容易なことから、手で触れたときに軟化変形できるような物を用いるとよい。この場合、ワックスや粘土を管状部２１と周縁部との間に設けるとよい。熱収縮チューブとしては、その材質は特に限定されず、キャピラリ２０の耐熱性に応じて適宜選択するとよい。熱収縮チューブを用いる場合は、熱収縮チューブを細い筒状に成形して管状部２１と周縁部との間に設けた後に加熱するとよい。

（第１の測定工程）
次に、キャピラリ２０を固定したキャピラリホルダ１をＸ線回折装置に導入し、粉末試料を充填していない空のキャピラリ２０についてＸ線回折測定を行う。これは、キャピラリ２０に由来するハローピークを検出し、バックグラウンド補正を行うためである。

キャピラリ２０のＸ線回折装置への導入は以下のように行うことができる。
例えば図４に示すように、キャピラリ２０を固定したキャピラリホルダ１を、ゴニオメータヘッド３０に取り付ける。ゴニオメータヘッド３０には、その頭頂部にキャピラリホルダ１を埋め込む孔部（図示略）と、キャピラリ２０の管状部２１の角度を調整するための角度調整ステージ（図示略）が設けられている。この角度調整ステージの位置を微調整することにより、キャピラリ２０を回転させ、Ｘ線回折測定中にキャピラリ２０のＸ線照射部が偏心しないように管状部２１の角度を調整する。
管状部２１の角度を調整した後、図５に示すように、ゴニオメータヘッド３０をＸ線回折装置におけるゴニオメータ５０の試料装着部４０（いわゆる試料ステージ）に配置し、キャピラリ２０をＸ線回折装置内に導入する。ゴニオメータ５０には、第１のアーム５１と第２のアーム５２とが設けられている。第１のアーム５１には、キャピラリ２０にＸ線を照射するためのＸ線源６０が配置され、第２のアーム５２には、キャピラリ２０で回折された回折Ｘ線を検出する検出器７０が配置されている。なお、図５は、キャピラリ２０の管状部２１が突出する方向からゴニオメータ５０を見たときの平面図を示している。

続いて、図５および図６に示すように、Ｘ線源６０から管状部２１に対してＸ線を照射する。そして、入射角度θと回折角度２θとの関係を維持するように、Ｘ線源６０や受光スリット、検出器７０の位置をゴニオメータ５０で相対的に変化させることにより、Ｘ線回折測定を行う。ここでは、管状部２１に粉末試料が充填されていないため、キャピラリ２０に由来するハローピークが検出される。つまり、このＸ線回折測定で得られるＸ線回折パターンには、キャピラリ２０の形成材料（例えばガラスなど）の結晶情報が含まれる。

（充填工程）
続いて、試料装着部４０からゴニオメータヘッド３０を取り外して、ゴニオメータヘッド３０からキャピラリホルダ１を取り外す。そして、キャピラリホルダ１に固定された状態のキャピラリ２０に漏斗状部２２から粉末試料を供給することで、管状部２１に粉末試料を充填させる。例えば、スパチュラなどを用いて粉末試料を少量ずつ漏斗状部２２へ添加して、キャピラリ２０をタッピングすることで粉末試料を管状部２１へと導入することを、粉末試料がキャピラリ２０の所定の位置まで充填されるまで、繰り返し行う。なお、粉末試料の充填は、キャピラリ２０をキャピラリホルダ１から取り外して行ってもよい。

（第２の測定工程）
続いて、粉末試料が充填されたキャピラリ２０に対して、第１の測定工程と同様にＸ線回折測定を行う。具体的には、粉末試料が充填されたキャピラリ２０を固定するキャピラリホルダ１をゴニオメータヘッド３０に取り付け、管状部２１の角度調整を行う。そして、ゴニオメータヘッド３０を試料装着部４０に取り付け、管状部２１に対してＸ線を照射する。これにより、Ｘ線回折パターンを取得する。このＸ線回折パターンには、キャピラリ２０の形成材料と粉末試料の両方の結晶情報が含まれる。

（分析工程）
続いて、第１および第２の測定工程の結果に基づいて粉末試料の分析を行う。具体的には、第２の測定工程で得られたＸ線回折パターンの回折強度から、第１の測定工程で得られた、キャピラリ２０のみに由来するＸ線回折パターンの回折強度を減算する。この処理により、粉末試料のみのＸ線回折パターンを得る。この回折パターンを分析することにより、粉末試料の結晶情報を取得する。

以上により、粉末試料のＸ線回折測定を行う。

なお、本実施形態では、キャピラリ２０を管状部２１が上方に向くようにゴニオメータヘッド３０を取り付ける場合を説明したが、例えば、管状部２１が水平方向に向くようにゴニオメータヘッド３０を取り付けるようにしてもよい。また、固着材１３は、キャピラリ２０をキャピラリホルダ１で安定して挿入固定できれば設けなくてもよく、キャピラリ２０を水平方向に取り付ける場合は固着材１３による固定を省略してもよい。

また、キャピラリ２０としては、充填した粉末試料が落ちないようにする観点からは管状部２１の一端が閉じたものが好ましいが、管状部２１の一端が開放されたものを用いてもよい。

なお、上述の実施形態では、キャピラリホルダ１をゴニオメータヘッド３０に取り付けてＸ線装置に導入する場合を説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、キャピラリ２０を固定したキャピラリホルダ１をアタッチメントを介して試料装着部に配置した後、そのアタッチメントにより角度調整を行うようにしてもよい。

＜本実施形態に係る効果＞
本実施形態によれば、以下に示す１つ又は複数の効果を奏する。

上述したように、これまでのキャピラリホルダは、その孔部にキャピラリ２０の漏斗状部２２までを収容できるように構成されていないので、キャピラリ２０の漏斗状部２２を取り除き、管状部２１のみを固定することでＸ線回折測定を行っていた。この場合、バックグラウンドの測定と、粉末試料の測定とで、異なるキャピラリ２０を使用する必要があるため、バックグラウンド補正の精度低下により、分析精度が悪くなるばかりか、測定効率が低くなることがあった。

これに対して、本実施形態のキャピラリホルダ１では、挿出口１２ｂから挿入口１２ａに向かって径が大きくなるように孔部１２が形成され、キャピラリ２０を孔部１２に挿入させたときに、挿出口１２ｂから管状部２１を突出させるとともに漏斗状部２２を孔部１２の内周面で係止させることでキャピラリ２０を固定することができる。このようなキャピラリホルダ１によれば、キャピラリ２０を、漏斗状部２２を取り除くことなく、漏斗状部２２を残した状態で、つまり非破壊で、Ｘ線回折装置に導入することができる。

このようなキャピラリホルダ１を用いて粉末試料のＸ線回折測定を行う場合、第１の測定工程にて、空のキャピラリ２０にＸ線を照射してキャピラリ２０に由来するＸ線回折パターンを取得した後、キャピラリホルダ１に固定した状態のキャピラリ２０に粉末試料を充填し、第２の測定工程にて、粉末試料が充填されたキャピラリ２０にＸ線を照射して粉末試料およびキャピラリ２０に由来するＸ線回折パターンを取得する。そして、第２の測定工程で得られた結果を、第１の測定工程で得られた結果でバックグラウンド補正することにより、粉末試料のＸ線回折パターンを取得することができる。このようにキャピラリ２０を非破壊とすることにより、バックグラウンドの測定と、粉末試料の測定とを、同じキャピラリ２０を用いて行うことができる。しかも、キャピラリ２０をキャピラリホルダ１に固定したまま粉末試料を充填できるので、キャピラリ２０の固定操作の回数を減らすことができる。したがって、本実施形態のキャピラリホルダ１によれば、粉末試料をＸ線回折測定するときの分析精度を向上できるとともに、その測定効率を向上させることができる。

また、挿出口１２ｂは、管状部２１の径よりも大きく、かつ漏斗状部２２の径よりも小さな径を有し、挿入口１２ａは、漏斗状部２２の径よりも大きな径を有することが好ましい。このように孔部１２を構成することにより、キャピラリ２０をより安定して固定することができる。

また、孔部１２は、ホルダ本体部１１の厚さ方向の断面において、テーパ形状を有することが好ましく、漏斗状部２２の外形と相似する形状を有することがさらに好ましい。孔部１２がこのような形状を有することにより、キャピラリ２０をより安定して固定することができ、分析精度をより高めることができる。

また、キャピラリホルダ１の挿出口１２ｂから突出するキャピラリ２０の管状部２１と、挿出口１２ｂの周縁部とを、固着材１３で固着させることが好ましい。これにより、キャピラリホルダ１に対してキャピラリ２０をより安定して固定させることができ、測定精度を高く維持することができる。

以上、本発明の実施形態について説明してきたが、本発明は、上述した実施形態に何等限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々に改変することができる。

１ キャピラリホルダ
１１ ホルダ本体部
１２ 孔部
１２ａ 挿入口
１２ｂ 挿出口
１３ 固着材
２０ キャピラリ
２１ 管状部
２２ 漏斗状部
３０ ゴニオメータヘッド
４０ 試料装着部
５０ ゴニオメータ
５１ 第１のアーム
５２ 第２のアーム
６０ Ｘ線源
７０ 検出器

Claims (8)

1. 粉末試料を充填するための管状部と、前記管状部の開口に接続され、前記管状部に前記粉末試料を導入するための外側に向かって拡径する漏斗状部とを備えるキャピラリをＸ線回折装置に装着するためのキャピラリホルダであって、
   ホルダ本体部と、
   前記ホルダ本体部の厚さ方向に貫通して、前記キャピラリが挿入される挿入口および前記キャピラリの前記管状部が挿出される挿出口を有する孔部と、を備え、
   前記孔部は、前記挿出口から前記挿入口に向かって径が大きくなるように形成され、前記ホルダ本体部の厚さ方向の断面において、前記漏斗状部の外形と相似する形状を有しており、前記キャピラリを前記孔部に挿入させたときに、前記挿出口から前記管状部を突出させるとともに前記漏斗状部を前記孔部の内周面で係止させることで前記キャピラリを固定するように構成されている、
   キャピラリホルダ。
2. 粉末試料を充填するための管状部と、前記管状部の開口に接続され、前記管状部に前記粉末試料を導入するための外側に向かって拡径する漏斗状部とを備えるキャピラリをＸ線回折装置に装着するためのキャピラリホルダであって、
   ホルダ本体部と、
   前記ホルダ本体部の厚さ方向に貫通して、前記キャピラリが挿入される挿入口および前記キャピラリの前記管状部が挿出される挿出口を有する孔部と、を備え、
   前記孔部は、前記挿出口から前記挿入口に向かって径が大きくなるように形成され、前記ホルダ本体部の厚さ方向の断面において、テーパ形状を有しており、前記キャピラリを前記孔部に挿入させたときに、前記挿出口から前記管状部を突出させるとともに前記漏斗状部を前記孔部の内周面で係止させることで前記キャピラリを固定するように構成されている、
   キャピラリホルダ。
3. 前記挿出口は、前記管状部の径よりも大きく、かつ前記漏斗状部の径よりも小さな径を有し、前記挿入口は、前記漏斗状部の径よりも大きな径を有する、
   請求項１又は２に記載のキャピラリホルダ。
4. 粉末試料を充填するための管状部と、前記管状部の開口に接続され、前記管状部に前記粉末試料を導入するための外側に向かって拡径する漏斗状部とを備えるキャピラリを用いて粉末試料のＸ線回折測定を行う方法であって、
   ホルダ本体部と、前記ホルダ本体部の厚さ方向に貫通して、前記キャピラリが挿入される挿入口および前記キャピラリの前記管状部が挿出される挿出口を有し、前記挿出口から前記挿入口に向かって径が大きくなるように形成される孔部とを備えるキャピラリホルダを準備する準備工程と、
   前記キャピラリホルダに対して、前記孔部に前記キャピラリを挿入させて、前記挿出口から前記管状部を突出させるとともに前記漏斗状部を前記孔部の内周面で係止させることで、前記キャピラリを固定する固定工程と、を有し、
   前記孔部は、前記キャピラリホルダの厚さ方向の断面において、前記漏斗状部の外形と相似する形状を有する、
   粉末試料のＸ線回折測定方法。
5. 粉末試料を充填するための管状部と、前記管状部の開口に接続され、前記管状部に前記粉末試料を導入するための外側に向かって拡径する漏斗状部とを備えるキャピラリを用いて粉末試料のＸ線回折測定を行う方法であって、
   ホルダ本体部と、前記ホルダ本体部の厚さ方向に貫通して、前記キャピラリが挿入される挿入口および前記キャピラリの前記管状部が挿出される挿出口を有し、前記挿出口から前記挿入口に向かって径が大きくなるように形成される孔部とを備えるキャピラリホルダを準備する準備工程と、
   前記キャピラリホルダに対して、前記孔部に前記キャピラリを挿入させて、前記挿出口から前記管状部を突出させるとともに前記漏斗状部を前記孔部の内周面で係止させることで、前記キャピラリを固定する固定工程と、を有し、
   前記孔部は、前記キャピラリホルダの厚さ方向の断面において、テーパ形状を有する、
   粉末試料のＸ線回折測定方法。
6. 前記挿出口は、前記管状部の径よりも大きく、かつ前記漏斗状部の径よりも小さな径を有し、前記挿入口は、前記漏斗状部の径よりも大きな径を有する、
   請求項４又は５に記載の粉末試料のＸ線回折測定方法。
7. 前記挿出口から突出する前記管状部と、前記挿出口の周縁部とを、固着材で固着させる、
   請求項４～６のいずれか１項に記載の粉末試料のＸ線回折測定方法。
8. 前記キャピラリを前記キャピラリホルダに固定した後、前記管状部にＸ線を照射することで、前記キャピラリに由来するＸ線回折パターンを測定する第１の測定工程と、
   前記キャピラリホルダに固定された状態の前記キャピラリに前記粉末試料を充填する充填工程と、
   前記粉末試料が充填された前記管状部にＸ線を照射することで、前記キャピラリおよび前記粉末試料に由来するＸ線回折パターンを測定する第２の測定工程と、
   前記第２の測定工程で得られた結果を前記第１の測定工程で得られた結果で補正して分析する分析工程と、を有する、
   請求項４～７のいずれか１項に記載の粉末試料のＸ線回折測定方法。

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