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JP7144119B2 - LASER PROCESSING DEVICE AND METHOD OF PROCESSING LONG WORKED WORK WITH LASER PROCESSING DEVICE - Google Patents
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LASER PROCESSING DEVICE AND METHOD OF PROCESSING LONG WORKED WORK WITH LASER PROCESSING DEVICE Download PDF

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Description

本発明は、レーザー加工装置およびレーザー加工装置による長尺状の被加工物の加工方法に関する。 TECHNICAL FIELD The present invention relates to a laser processing apparatus and a method for processing a long workpiece using the laser processing apparatus.

近年、紙やフィルムなどの長尺状の被加工物に対しても、加工自由度の高いレーザー加工装置による加工が提案されている。例えば、特許文献1にかかる例が記載されている。 In recent years, processing by a laser processing apparatus with a high degree of processing freedom has been proposed even for long workpieces such as paper and film. For example, Patent Literature 1 describes an example.

金属加工用のレーザー加工装置においては、引用文献2の特に図1に記載されているように、被加工物に閉じた線状の加工を行う場合、例えば、レーザー加工装置を用いて矩形や円形の加工をする場合に、図7に示すように、外周線R以外の場所に加工開始点Sを置き、加工開始点Sに貫通孔を開けてから、閉じた線である外周線Rに向けて加工を続け、外周線Rに達した点を方向転換点Tとして、後は外周線Rに沿ってレーザー加工することが一般的である。このとき加工終了点Eは、方向転換点Tと一致する。なお、加工開始点Sは本図のように外周線Rの内部に置く場合も、外部に置く場合もある。 In a laser processing apparatus for metal processing, as described in Cited Document 2 in particular in FIG. 7, a machining start point S is placed at a location other than the outer peripheral line R, a through hole is opened at the machining start point S, and then the closed line is directed to the outer peripheral line R After that, laser processing is generally performed along the outer peripheral line R with the point where the outer peripheral line R is reached as a direction change point T. At this time, the machining end point E coincides with the direction change point T. Note that the machining start point S may be placed inside the outer peripheral line R as shown in this figure, or may be placed outside.

ところで、レーザー光の方向を変化させて、加工を行うレーザー加工装置において、レーザー光の方向の制御は、通常ガルバノスキャナと呼ばれる鏡の制御を行う装置を用いて行われる。レーザー光を反射させる鏡の方向を変化させることにより、レーザー光の向きを変え、その結果、加工点を制御する。そのため、鏡に慣性力が働き、方向転換時には、程度の差はあれ、鏡の揺れが生じることにより、加工線が不安定となる。一方、レーザー光の方向を一定として、加工装置全体を被加工物の表面上を移動させる方式や、被加工物を2次元方向に移動させる方式であれば、加工装置や被加工物の慣性は一般的に鏡の慣性より一層大きいため、加工装置や被加工物に揺れが生じることにより、加工線が不安定となる。 By the way, in a laser processing apparatus that performs processing by changing the direction of laser light, control of the direction of laser light is usually performed using a device called a galvanometer scanner that controls a mirror. By changing the direction of the mirror that reflects the laser light, the direction of the laser light is changed and the processing point is thus controlled. Therefore, an inertial force acts on the mirror, and when the direction is changed, the mirror shakes to some extent, making the machining line unstable. On the other hand, if the direction of the laser beam is fixed and the entire processing device is moved on the surface of the workpiece, or if the processing device is moved in two-dimensional directions, the inertia of the processing device and the workpiece is Since the inertia is generally greater than the inertia of the mirror, the machined line becomes unstable due to shaking of the machining device and the workpiece.

特開2016-107288号公報JP 2016-107288 A 特開平7-284974号公報JP-A-7-284974

したがって、レーザー光の方向を変化させる方式のレーザー加工装置においても、加工装置全体を被加工物の表面上を移動させる方式、および被加工物を2次元方向に移動させる方式のレーザー加工装置においても、加工すべき外周線の以外の場所から外周線に近づいてゆき、外周線に達したところで方向転換して、外周線をレーザー加工する方式のレーザー加工装置では、加工開始点周辺の加工が不安定となり、加工精度が低下することは避けられない。 Therefore, even in a laser processing apparatus that changes the direction of the laser beam, in a method that moves the entire processing apparatus on the surface of the workpiece, and in a laser processing apparatus that moves the workpiece in two-dimensional directions. In the case of a laser processing device that approaches the outer peripheral line from a place other than the outer peripheral line to be processed, changes direction when it reaches the outer peripheral line, and processes the outer peripheral line with laser, it is impossible to process the periphery of the processing start point. It becomes stable, and it is inevitable that the machining accuracy is lowered.

本発明は上記課題を解決することを課題としてなされたものであって、従来に比して、閉じた線形上の加工精度を向上させることができる、長尺状の被加工物を連続的に加工するためのレーザー加工装置およびレーザー加工装置による長尺状の被加工物の加工方法を提供することである。 SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems. An object of the present invention is to provide a laser processing apparatus for processing and a method for processing a long work piece using the laser processing apparatus.

(1)本発明のレーザー加工装置は、一定の方向に連続的に供給される長尺状の被加工物を切断加工するためのレーザー加工装置であって、前記被加工物に閉じた線形状の加工を行う場合に、加工開始点と加工終了点とが、前記閉じた線の上に位置しており、前記加工終了点が加工方向において前記加工開始点を超えて位置するように制御し、前記加工開始点から最初に前記加工終了点を加工するまでの間は、通常よりも弱い強度の加工を行うように制御し、前記加工終了点を最初に加工した後は、通常の強度の加工を行うように制御する。
(1) A laser processing apparatus of the present invention is a laser processing apparatus for cutting a long work piece that is continuously supplied in a fixed direction , wherein the work piece has a closed linear shape. When performing machining, the machining start point and the machining end point are positioned on the closed line, and the machining end point is controlled to be positioned beyond the machining start point in the machining direction. , from the processing start point to the first processing of the processing end point, control is performed so that processing is performed with a weaker strength than usual, and after the processing end point is first processed, normal strength is performed. Control to process.

上記構成によると、加工の開始点が閉じた線の上に設けられるため、閉じた線以外の場所から閉じた線に加工線が向かうことがない。よって、閉じた線以外の場所から閉じた線の加工に移るときに生ずる方向転換に伴う加工の不安定要因を取り除くことが可能となる。また、加工開始点において、通常より弱い強度の加工を行うため、加工開始点において被加工物に穴が開く等の過剰加工が生じない。また、加工終了点を、加工開始点を超えた線の上に設けたことにより、加工開始点から加工終了点については、再加工を行うことになる。そのため、加工開始時に加工開始点において、通常より弱い強度の加工を行ったとしても、再加工時に補うことにより、必要十分な加工を行うことができる。
According to the above configuration, since the starting point of machining is provided on the closed line, the machining line does not go to the closed line from a place other than the closed line. Therefore, it is possible to remove the unstable factor of machining due to the change of direction that occurs when moving from a place other than a closed line to machining of a closed line. In addition, since the working strength is weaker than usual at the starting point of working, excessive working such as making a hole in the workpiece at the starting point of working does not occur. Further, since the machining end point is provided on the line extending beyond the machining start point, re-machining is performed from the machining start point to the machining end point. Therefore, even if a weaker than usual working is performed at the working start point at the start of working, necessary and sufficient working can be performed by compensating for the reworking.

(3)前記通常より弱い強度の加工は、レーザー加工条件中のレーザー出力、パルス周波数、デューティ比及び加工速度からなる群より選択される少なくとも一つの条件が調整されることにより行われることが好ましい。 (3) The above-mentioned weaker-than-usual-strength processing is preferably performed by adjusting at least one condition selected from the group consisting of laser output, pulse frequency, duty ratio, and processing speed among laser processing conditions. .

通常より弱い強度の加工を行う方法として、レーザーの出力を低下させる方法の他に、パルス周波数を少なくしたり、デューティ比を下げたり、加工速度を早くするなどの方法が例示され、これらを単独で用いても、組み合わせて用いても良い。 As a method of processing with weaker intensity than usual, in addition to the method of lowering the laser output, there are methods such as reducing the pulse frequency, lowering the duty ratio, and increasing the processing speed. may be used in combination with each other.

(4)本発明のレーザー加工装置による長尺状の被加工物の加工方法は、一定の方向に連続的に供給される被加工物を切断して閉じた線形状の加工を行う場合に、加工開始点と加工終了点とが、前記閉じた線の上に位置しており、前記加工終了点が加工方向において前記加工開始点を超えて位置し、前記加工開始点から最初に前記加工終了点を加工するまでの間は、通常よりも弱い強度の加工を行い、前記加工終了点を最初に加工した後は、通常の強度の加工を行うことを特徴とする。 (4) In the method for processing a long work piece by the laser processing apparatus of the present invention, when processing a closed linear shape by cutting the work piece that is continuously supplied in a fixed direction , A machining start point and a machining end point are located on the closed line, the machining end point is located beyond the machining start point in the machining direction, and the machining end is first from the machining start point. Until the point is processed, processing with a weaker strength than usual is performed, and after processing the processing end point first, processing with a normal strength is performed .

上記構成によると、加工の開始点が閉じた線の上に設けられる、即ち、加工線が閉じた線以外の場所から閉じた線に向かうことがない。そのため、閉じた線以外の場所から閉じた線に加工が移るときに生ずる方向転換に伴う加工の不安定要因を取り除くことが可能となる。 According to the above configuration, the starting point of machining is provided on the closed line, that is, the machining line does not move toward the closed line from any place other than the closed line. Therefore, it is possible to remove the unstable factor of machining due to the direction change that occurs when machining moves from a place other than a closed line to a closed line.

本発明によれば、長尺状の被加工物を連続的に加工するためのレーザー加工装置であって、閉じた線以外の場所から閉じた線に加工線が移るときに生ずる方向転換に伴う加工の不安定要因を取り除くことにより、従来に比して、閉じた線形上の加工精度を向上させることができる構成のレーザー加工装置およびレーザー加工装置による長尺状の被加工物の加工方法を提供することができる。 According to the present invention, there is provided a laser processing apparatus for continuously processing a long work piece, which is accompanied by a change of direction when the processing line moves from a location other than the closed line to the closed line. A laser processing apparatus and a method for processing a long workpiece using a laser processing apparatus configured to improve processing accuracy on a closed line compared to the conventional method by removing unstable factors of processing. can provide.

実施形態に係るレーザー加工装置の斜視図である。1 is a perspective view of a laser processing device according to an embodiment; FIG. 実施形態に係るレーザー加工装置の正面図である。1 is a front view of a laser processing apparatus according to an embodiment; FIG. 実施形態に係るレーザー加工装置の平面図である。1 is a plan view of a laser processing apparatus according to an embodiment; FIG. 実施形態に係るレーザー加工装置の側面図である。1 is a side view of a laser processing device according to an embodiment; FIG. 同レーザー加工装置に用いるガルバノスキャナの模式斜視図である。It is a model perspective view of the galvanometer scanner used for the same laser processing apparatus. 同レーザー加工装置による閉じた線形状の加工の一例を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows an example of closed line-shaped processing by the same laser processing apparatus. 従来のレーザー加工装置による閉じた線状の加工の一例を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows an example of closed linear processing by the conventional laser processing apparatus.

以下に、図1~図6を参照し、本発明のレーザー加工装置の一実施形態について説明する。なお、以下の説明において、図中に記載したように、x方向とは、被加工物である長尺状のフィルムの移動方向を指す。y方向とは、同フィルムの表面上において、x方向に対して垂直な方向、即ちフィルムの幅方向を指す。また、z方向とは、x方向およびy方向に対して垂直な方向、即ち同フィルムの表面に対して垂直な方向を指す。 An embodiment of the laser processing apparatus of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 to 6. FIG. In the following description, as shown in the drawings, the x-direction refers to the moving direction of the long film that is the workpiece. The y-direction refers to the direction perpendicular to the x-direction on the surface of the film, that is, the width direction of the film. Also, the z-direction refers to a direction perpendicular to the x-direction and the y-direction, that is, a direction perpendicular to the surface of the film.

図1・図2・図3・図4は、それぞれ本実施形態に係るレーザー加工装置の斜視図・正面図・平面図・側面図である。図1および図3からあきらかなように、このレーザー加工装置において、レーザー光を発射するためのレーザー発射部であるレーザー発振器1と、折り返しミラー21,22,23とビームエキスパンダー3および走査部4は略同一平面上に設けられている。図1~図3に示されるように、この平面と略平行な平面、即ちx-y平面に沿って、被加工物である長尺状のフィルム9が、図示しないフィルム供給装置によって、x方向に一定速度で供給される。 1, 2, 3, and 4 are a perspective view, a front view, a plan view, and a side view, respectively, of a laser processing apparatus according to this embodiment. As is clear from FIGS. 1 and 3, in this laser processing apparatus, a laser oscillator 1 which is a laser emitting section for emitting laser light, folding mirrors 21, 22 and 23, a beam expander 3 and a scanning section 4 are They are provided on substantially the same plane. As shown in FIGS. 1 to 3, along a plane substantially parallel to this plane, that is, the xy plane, a long film 9 as a workpiece is fed in the x direction by a film feeder (not shown). is supplied at a constant speed to

なお、図3に示すように、レーザー発振器1および折り返しミラー21の間や、折り返しミラー21および折り返しミラー22の間などには、安全のため、それぞれダクトが設けられているが、説明の便のため他の図では図示していない。また同様に、実際には安全上等の目的で必要となるカバー類も、図示していない。 As shown in FIG. 3, ducts are provided between the laser oscillator 1 and the folding mirror 21 and between the folding mirror 21 and the folding mirror 22 for safety. Therefore, it is not shown in other figures. Similarly, covers that are actually required for safety purposes are not shown.

レーザー発射部であるレーザー発振器1としては、レーザー媒体で分類すると、CO2レーザーやエキシマレーザー等の気体レーザー、ルビーレーザーやNd:YAGレーザー等の固体レーザー、色素レーザー等の液体レーザー、レーザーダイオード等を用いる半導体レーザー等が挙げられる。また、励起源としては、放電を用いるもの、フラッシュランプを用いるもの、レーザーダイオードを用いるもの、化学反応を用いるもの等が挙げられる。用途に応じていずれかを組み合わせて使用すれば良い。一般的には、高出力が得られる炭酸ガスレーザー(CO2レーザー)が好ましい。 The laser oscillator 1, which is a laser emitting part, can be classified by laser medium into gas lasers such as CO2 lasers and excimer lasers, solid lasers such as ruby lasers and Nd:YAG lasers, liquid lasers such as dye lasers, laser diodes, and the like. and a semiconductor laser using Excitation sources include those using discharge, those using flash lamps, those using laser diodes, those using chemical reactions, and the like. Either one may be used in combination depending on the application. Carbon dioxide lasers (CO 2 lasers) are generally preferred because they provide high output.

折り返しミラー21~23は、レーザー発振器1から発射されたレーザー光をビームエキスパンダー3の入射口に誘導するために用いられる。レーザー発振器1から発射されたレーザー光を折り返しミラー21~23によって順に反射させた後、ビームエキスパンダー3に入射させることにより、レーザー発振器1からビームエキスパンダー3の入射口までに一定の光路長を確保することができる。その間に、レーザー光中の不純な成分を取り除くことができる。 Folding mirrors 21 to 23 are used to guide the laser light emitted from laser oscillator 1 to the entrance of beam expander 3 . A constant optical path length is secured from the laser oscillator 1 to the entrance of the beam expander 3 by causing the laser light emitted from the laser oscillator 1 to be sequentially reflected by the folding mirrors 21 to 23 and then incident on the beam expander 3. be able to. During that time, impurities in the laser light can be removed.

ビームエキスパンダー3はレーザー光を一定の倍率の平行光束に広げるレンズである。入射したレーザー光を走査部4内に設けられたガルバノスキャナのミラーに合った光束に調整するために使用する。また、このビームエキスパンダー3をy方向に移動させることにより、レーザー光の焦点距離を調整することができる。 The beam expander 3 is a lens that expands the laser beam into a parallel beam with a constant magnification. It is used to adjust the incident laser beam to match the mirror of the galvanometer scanner provided in the scanning unit 4 . Further, the focal length of the laser beam can be adjusted by moving the beam expander 3 in the y direction.

イメージ図である図5に示すように、走査部4内には、2組のガルバノスキャナ5,6およびfθレンズ7が備えられている。ガルバノスキャナ5は、ミラー51と、ミラー51に取り付けられた回動軸52と、回動軸52を制御する図示しない制御装置を備えている。この制御装置により回動角を制御された回動軸52を回動させることにより、ミラー51の角度を、回動軸を中心とした自在な角度に高速で変化させることができる。よって、ミラー51に照射されたレーザー光8を、1次元方向において自在な角度に反射させ、誘導することができる。 As shown in FIG. 5, which is an image diagram, the scanning unit 4 is provided with two pairs of galvanometer scanners 5 and 6 and an fθ lens 7 . The galvanometer scanner 5 includes a mirror 51 , a rotating shaft 52 attached to the mirror 51 , and a control device (not shown) that controls the rotating shaft 52 . By rotating the rotation shaft 52 whose rotation angle is controlled by this control device, the angle of the mirror 51 can be changed at high speed to a free angle around the rotation shaft. Therefore, the laser beam 8 irradiated to the mirror 51 can be reflected and guided at any angle in one-dimensional direction.

ガルバノスキャナ6は、ミラー61と、ミラー61に取り付けられた回動軸62と、回動軸62を制御する図示しない制御装置を備えている。回動軸62の軸芯方向は、回動軸52の軸芯方向とは異なる方向に向けられている。このガルバノスキャナ6もガルバノスキャナ5と同様に、ミラー61に照射されたレーザー光8を1次元方向に自在に誘導することができる。したがって、2組のガルバノスキャナ5およびガルバノスキャナ6を組み合わせることにより、2次元方向、即ちx-y平面上の一定領域を占める加工領域91上の任意の加工点92にレーザー光を誘導することが可能となる。つまり、ガルバノスキャナ5およびガルバノスキャナ6は誘導部として機能する。 The galvanometer scanner 6 includes a mirror 61 , a rotating shaft 62 attached to the mirror 61 , and a control device (not shown) that controls the rotating shaft 62 . The axial direction of the rotating shaft 62 is directed in a different direction from the axial direction of the rotating shaft 52 . Like the galvanometer scanner 5, the galvanometer scanner 6 can also freely guide the laser beam 8 irradiated to the mirror 61 in one-dimensional direction. Therefore, by combining two sets of galvano-scanner 5 and galvano-scanner 6, it is possible to guide laser light to an arbitrary processing point 92 on a processing area 91 occupying a certain area on the two-dimensional direction, that is, the xy plane. It becomes possible. That is, the galvano-scanner 5 and the galvano-scanner 6 function as guiding units.

ガルバノスキャナ5およびガルバノスキャナ6により誘導されたレーザー光は、fθレンズ7に照射される。fθレンズとは、入射角度θに比例した像高Yをもち、焦点距離がfである場合にY=fθの関係を有するレンズである。本実施例においては、ガルバノスキャナ6により偏向されたレーザー光を平面上に分布する焦点に集光することができる。 The fθ lens 7 is irradiated with the laser light guided by the galvanometer scanner 5 and the galvanometer scanner 6 . The fθ lens is a lens that has an image height Y proportional to the incident angle θ and has a relationship of Y=fθ when the focal length is f. In this embodiment, the laser light deflected by the galvanometer scanner 6 can be focused on the focal point distributed on the plane.

フィルム9を供給する被加工物供給部としては、図1および図3を参酌し、リールに巻回された加工前のフィルム9を取り付ける巻出し軸と、加工後のフィルムを巻き取るリールを取り付ける巻取り軸とを備えた、図示しないフィルム供給装置が例示される。かかるフィルム供給装置によりフィルム9はx方向に順次供給される。 Referring to FIGS. 1 and 3, as the workpiece supplying unit for supplying the film 9, an unwinding shaft for attaching the unprocessed film 9 wound on a reel and a reel for winding the processed film are attached. A film feeding device (not shown) having a winding shaft is exemplified. The film 9 is sequentially supplied in the x direction by such a film supply device.

このレーザー加工装置によるフィルム9の加工は、例えば、以下のように行う。まず、被加工物であるリールに巻回されたフィルム9を巻出し軸に取り付け、巻出し端部を巻き取り軸に取り付けられたリールに巻き付ける。 Processing of the film 9 by this laser processing apparatus is performed, for example, as follows. First, the film 9 wound on the reel, which is the workpiece, is attached to the unwinding shaft, and the unwinding end is wound around the reel attached to the winding shaft.

続いて、レーザー光を発射し、安定したら、ビームエキスパンダー3をy方向に移動させることにより焦点をフィルム9の被加工面上に合わせる。この作業はフィルム9を止めた状態で行っても良いが、移動させた状態で行うことにより、より正確に行うことができる。 Subsequently, a laser beam is emitted, and when it is stabilized, the beam expander 3 is moved in the y-direction to focus on the surface of the film 9 to be processed. Although this operation may be performed while the film 9 is stopped, it can be performed more accurately by moving it.

その後加工を開始し、加工が終了したら、巻き取り軸に巻き取られた加工されたフィルムを回収する。 After that, processing is started, and when the processing is completed, the processed film wound around the take-up shaft is recovered.

図6に示すように、閉じた線形状の外周線Rをこのレーザー加工装置により切断加工する場合には、制御装置により2組のガルバノスキャナ5,6を含む誘導部を制御して、外周線R上の場所に加工開始点Sを置き、外周線Rに沿ってレーザー加工を開始する。このとき、通常は加工開始点Sに貫通孔を設ける必要はない。むしろ、加工開始時は、通常より弱い強度で加工が行われるよう制御する。 As shown in FIG. 6, when a closed linear outer peripheral line R is to be cut by this laser processing apparatus, the control device controls the guiding unit including the two sets of galvanometer scanners 5 and 6 so that the outer peripheral line A processing start point S is placed on the R, and laser processing is started along the outer peripheral line R. At this time, it is usually not necessary to provide a through hole at the processing start point S. Rather, at the start of processing, the processing is controlled so that the strength is weaker than usual.

次に、加工方向に従い、外周線R上をなぞるように加工を進める。外周線R上を一周して加工開始点Sを超えても加工を継続し、加工方向において加工開始点Sを超えたところに設けられた加工終了点Eにおいて加工を終了する。つまり、加工終了点Eは加工方向において加工開始点Sを超えた外周線R上に設けられている。 Next, according to the processing direction, the processing is advanced so as to trace the outer peripheral line R. Machining is continued even after passing the machining start point S by going around the outer peripheral line R, and is finished at the machining end point E provided beyond the machining start point S in the machining direction. That is, the machining end point E is provided on the outer peripheral line R beyond the machining start point S in the machining direction.

上述のように、加工開始点Sでは、通常より弱い強度で加工が開始され、その後暫時強度を高め、最初に加工終了点Eを通過する際に通常の加工強度となるように制御される。そのため、外周線R加工の初期段階では、加工開始点Sから加工終了点Eまでの間の加工が不十分となるが、この間は加工の最終段階で再度加工されるため、外周線Rの加工終了時には十分な加工状態となる。 As described above, at the processing start point S, processing is started with a weaker strength than usual, and then the strength is gradually increased, and when the processing end point E is first passed, the processing strength is controlled to be normal. Therefore, in the initial stage of machining the peripheral line R, the machining from the machining start point S to the machining end point E is insufficient. At the end, it will be in a sufficient working state.

上述の加工強度の調節はいかなる方法で行っても良い。直接的にレーザー光の出力を制御する方法で行っても良いし、パルス周波数やデューティ比を変えることにより行っても良い。また、これらが全て同一値であっても、加工速度を制御することで、単位面積あたりに掛けられるエネルギーを制御できるため、加工強度を変化させることができる。これらは、単独で制御しても良いし、いくつかを組み合わせて制御しても良い。 Any method may be used to adjust the working strength described above. It may be performed by a method of directly controlling the output of the laser light, or by changing the pulse frequency or the duty ratio. Moreover, even if all of these have the same value, the energy applied per unit area can be controlled by controlling the machining speed, so that the machining intensity can be changed. These may be controlled independently, or may be controlled in combination.

以上に説明した本実施形態によれば、以下の効果を得ることができる。 According to this embodiment described above, the following effects can be obtained.

・本実施形態のレーザー加工装置によると、加工開始点Sが閉じた線形状の外周線R上に設けられるため、外周線R以外の場所から外周線Rに加工線が向かうことがない。そのため、方向転換点Tを設ける必要はなく、閉じた線以外の場所の加工から閉じた線の加工に移るときに生ずる方向転換に伴う加工の不安定要因を取り除くことが可能となり、その結果、加工精度が従来に比して向上する。 According to the laser processing apparatus of this embodiment, since the processing start point S is provided on the closed linear outer peripheral line R, the processing line does not go to the outer peripheral line R from a place other than the outer peripheral line R. Therefore, there is no need to provide a direction change point T, and it is possible to eliminate the unstable factor of machining accompanying the direction change that occurs when the machining of a place other than a closed line shifts to the machining of a closed line, and as a result, Machining accuracy is improved as compared with the conventional one.

・本実施形態のレーザー加工装置は、加工開始点Sにおいて、通常より弱い強度の加工を行うため、加工開始点Sにおいて被加工物に穴が開く等の過剰加工が生じない。また、加工終了点Eを、加工方向において加工開始点Sを超えた外周線R上に設けことにより、加工開始点Sから加工終了点Eについては、再加工を行うことになる。そのため、加工開始時に加工開始点において、通常より弱い強度の加工を行ったとしても、再加工時に補うことにより、必要十分な加工を行うことができる。 Since the laser processing apparatus of the present embodiment performs processing at the processing start point S with a weaker strength than usual, excessive processing such as a hole in the workpiece at the processing start point S does not occur. Further, by setting the machining end point E on the outer peripheral line R beyond the machining start point S in the machining direction, the area from the machining start point S to the machining end point E is to be re-machined. Therefore, even if a weaker than usual working is performed at the working start point at the start of working, necessary and sufficient working can be performed by compensating for the reworking.

・本実施形態のレーザー加工装置は、加工開始点Sにおいて行う通常より弱い強度の加工は、レーザー加工条件中のレーザー出力、パルス周波数、デューティ比及び加工速度の少なくとも一つの条件を調整することにより実施される。
これらはいずれもレーザー加工装置において標準的に調整可能な条件であるので、通常より弱い強度の加工は特段の装置の追加を行わずに実現しうる。
In the laser processing apparatus of the present embodiment, processing with a weaker intensity than usual performed at the processing start point S is performed by adjusting at least one of the laser output, pulse frequency, duty ratio, and processing speed among the laser processing conditions. be implemented.
Since all of these are conditions that can be standardly adjusted in a laser processing apparatus, processing with weaker strength than usual can be realized without adding a special device.

・本実施形態のレーザー加工装置による長尺状の被加工物の加工方法は、被加工物に閉じた線形状の加工を行うレーザー加工装置による加工方法であって、加工開始点Sが閉じた線の上に設けられる。よって、加工線が閉じた線、即ち外周線R以外の場所から、外周線Rに向かうことがない。そのため、外周線R以外の場所から外周線Rに移るときに生ずる方向転換に伴う加工の不安定要因を取り除くことが可能となり、その結果加工精度が従来に比して向上する。 The method for processing a long workpiece by the laser processing apparatus of the present embodiment is a processing method by a laser processing apparatus that performs closed linear processing on the workpiece, and the processing start point S is closed. placed on the line. Therefore, the machining line does not move from a closed line, that is, a place other than the outer peripheral line R to the outer peripheral line R. Therefore, it is possible to remove the unstable factor of machining due to the direction change that occurs when moving from a place other than the outer peripheral line R to the outer peripheral line R, and as a result, the machining accuracy is improved as compared with the conventional one.

なお、上記実施形態は以下のように変更しても良い。 Note that the above embodiment may be modified as follows.

・上記実施形態において、被加工物として長尺状のフィルム9を用いているが、他の被加工物を用いても良い。長尺状の加工物であれば特に制限はなく、フィルムや樹脂膜の他、紙、布などであっても良い。また、裏紙のない粘着紙や裏紙つきの粘着紙(いわゆるタック紙)の加工に用いてもよい。 - In the above-described embodiment, the elongated film 9 is used as the workpiece, but other workpieces may be used. There is no particular limitation as long as it is a long processed object, and it may be a film, a resin film, paper, cloth, or the like. It may also be used for processing adhesive paper without backing paper or adhesive paper with backing paper (so-called tack paper).

・上記実施形態のレーザー加工装置において、通常より弱い強度の加工は、レーザー切断条件中のレーザー出力、パルス周波数、デューティ及び加工速度の少なくとも一つの条件を調整することにより実施しているが、加工条件によっては、他の方法で行ってもよい。たとえば、レーザー発振器1として例示した異なる種類のレーザー装置を2つ以上有する場合には、それらを切り替えて使用してもよい。 · In the laser processing apparatus of the above embodiment, processing with a weaker intensity than usual is performed by adjusting at least one of the laser output, pulse frequency, duty and processing speed in the laser cutting conditions. Other methods may be used depending on the conditions. For example, if two or more laser devices of different types exemplified as the laser oscillator 1 are provided, they may be used by switching.

・上記実施形態において、レーザー加工装置は、再度加工を行う際、すなわち、加工開始点Sから加工終了点Eに向かって2度目に加工を行う際にも通常より弱い強度で加工を行ってもよい。こうすることにより過剰な加工を防止することができる。
特に、裏紙つきの粘着紙を加工する場合であって、裏紙を切断せずに、粘着紙のみを加工したい際に有効な手段となる。
In the above embodiment, the laser processing apparatus performs processing with a weaker intensity than usual when performing processing again, that is, when processing is performed for the second time from the processing start point S to the processing end point E. good. Excessive processing can be prevented by carrying out like this.
In particular, in the case of processing adhesive paper with a backing paper, it is an effective means when it is desired to process only the adhesive paper without cutting the backing paper.

・上記実施形態において、レーザー加工装置は、加工開始点Sでは、通常より弱い強度で加工が開始され、その後暫時強度を高め、最初に加工終了点Eを通過する際に通常の加工強度となるように制御されるが、通常より弱い強度で加工が開始されてから、加工終了点Eを通過する際の加工強度の高め方はいかなる方法であっても良い。直線的に強度を高めても、任意の曲線に沿って高めても、1段または多段の階段的に強度を高めても良い。再加工時の加工強度を含めて、加工状態が最良となるよう制御されれば良い。 In the above embodiment, the laser processing apparatus starts processing with a weaker intensity than usual at the processing start point S, increases the intensity for a while, and reaches the normal processing intensity when passing the processing end point E for the first time. However, any method may be used to increase the working strength when passing through the working end point E after working is started with a strength weaker than usual. The strength may be increased linearly, along an arbitrary curve, or stepwise in one or multiple steps. It is sufficient that the working state is controlled to be the best, including the working strength at the time of reworking.

・上記実施形態において、レーザー加工装置は、fθレンズ7を有しているため、平面上の各点に均一に集光することができる。ただし、他の方法でかかる効果を実現できるのであれば、fθレンズ7に変えて、通常の集光レンズを用いてもよい。 - In the above embodiment, since the laser processing apparatus has the fθ lens 7, the light can be uniformly focused on each point on the plane. However, if such an effect can be realized by another method, an ordinary condensing lens may be used instead of the fθ lens 7 .

・上記実施形態および上記変更例は、本発明の実施形態の一例であって、本発明にはその他多くの実施形態が考えられることは、当然のことである。 - The above-described embodiment and modification are examples of embodiments of the present invention, and it is a matter of course that many other embodiments can be considered for the present invention.

1 …レーザー発振器
21,22,23…折り返しミラー
3 …ビームエキスパンダー
4 …走査部
5,6 …ガルバノスキャナ
51,61 …ミラー
52,62 …回動軸
7 …fθレンズ
8 …レーザー光
9 …フィルム(被加工物)
91 …加工領域
92 …加工点
E …加工終了点
R …外周線
S …加工開始点
T …方向転換点
REFERENCE SIGNS LIST 1 Laser oscillator 21, 22, 23 Folding mirror 3 Beam expander 4 Scanning part 5, 6 Galvano scanner 51, 61 Mirror 52, 62 Rotating shaft 7 fθ lens 8 Laser light 9 Film ( work piece)
91 Machining area 92 Machining point E Machining end point R Peripheral line S Machining start point T Turning point

Claims (3)

一定の方向に連続的に供給される長尺状の被加工物を切断加工するためのレーザー加工装置であって、
前記被加工物に閉じた線形状の加工を行う場合に、
加工開始点と加工終了点とが、前記閉じた線の上に位置しており、前記加工終了点が加工方向において前記加工開始点を超えて位置するように制御し、
前記加工開始点から最初に前記加工終了点を加工するまでの間は、通常よりも弱い強度の加工を行うように制御し、
前記加工終了点を最初に加工した後は、通常の強度の加工を行うように制御するレーザー加工装置。
A laser processing device for cutting a long workpiece that is continuously supplied in a fixed direction ,
When performing closed linear processing on the workpiece,
A machining start point and a machining end point are positioned on the closed line, and the machining end point is controlled to be positioned beyond the machining start point in the machining direction;
Between the processing start point and the first processing of the processing end point, control is performed so that processing is performed with a weaker strength than usual,
A laser processing apparatus controlled to perform normal intensity processing after processing the processing end point first .
前記通常より弱い強度の加工は、レーザー加工条件中のレーザー出力、パルス周波数、デューティ比及び加工速度からなる群より選択される少なくとも一つの条件が調整されることにより行われる請求項1に記載のレーザー加工装置。 2. According to claim 1 , wherein the processing with an intensity weaker than usual is performed by adjusting at least one condition selected from the group consisting of laser output, pulse frequency, duty ratio and processing speed among laser processing conditions. Laser processing equipment. 一定の方向に連続的に供給される被加工物を切断して閉じた線形状の加工を行う場合に、
加工開始点と加工終了点とが、前記閉じた線の上に位置しており、前記加工終了点が加工方向において前記加工開始点を超えて位置し、
前記加工開始点から最初に前記加工終了点を加工するまでの間は、通常よりも弱い強度の加工を行い、
前記加工終了点を最初に加工した後は、通常の強度の加工を行うレーザー加工装置による長尺状の被加工物の加工方法。
When processing a closed linear shape by cutting a workpiece that is continuously supplied in a fixed direction ,
A machining start point and a machining end point are located on the closed line, and the machining end point is located beyond the machining start point in the machining direction,
During the period from the processing start point to the first processing of the processing end point, processing with a weaker strength than usual is performed,
A method of processing a long work piece by a laser processing device in which normal strength processing is performed after the processing end point is processed first .
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