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JP7152964B2 - Method for manufacturing gas sensor element - Google Patents
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Description

本発明は、ガスセンサ素子の製造方法に関する。 The present invention relates to a method of manufacturing a gas sensor element.

内燃機関の排気ガス中に含まれる特定成分(酸素等)の濃度を検出するためのガスセンサが知られている。この種のガスセンサは、その内部に、細長く延びた板状のガスセンサ素子を備えている。ガスセンサ素子の先端部には、特定成分を検知するための検知部が設けられている。検知部は、電極等で構成されており、そのような検知部が設けられたガスセンサ素子の先端部が、排気ガスに晒される。 A gas sensor for detecting the concentration of a specific component (such as oxygen) contained in the exhaust gas of an internal combustion engine is known. This type of gas sensor has an elongated plate-shaped gas sensor element inside. A detection part for detecting a specific component is provided at the tip of the gas sensor element. The detection section is composed of an electrode or the like, and the tip of the gas sensor element provided with such a detection section is exposed to the exhaust gas.

排気ガス中には、特定成分以外に、シリコンやリン等の被毒物質が含まれており、そのような被毒物質が、ガスセンサ素子の先端部(検知部等)に付着してしまうことがあった。また、排気ガス中には水分も含まれており、そのような水分や、排気管の凝縮水等の水分が、ガスセンサ素子の先端部に付着してしまうこともある。水分がガスセンサ素子に付着すると、ガスセンサ素子にクラック等の損傷が発生する虞がある。そのため、従来のガスセンサ素子の先端部には、被毒物質の付着や、水分(水滴)の接触を抑制するための多孔質保護層が形成されている。多孔質保護層は、ガスセンサ素子の先端部にある検知部を被覆するように形成されている。 Exhaust gas contains poisonous substances such as silicon and phosphorus in addition to specific components, and such poisonous substances may adhere to the tip (detection part, etc.) of the gas sensor element. there were. In addition, the exhaust gas contains moisture, and such moisture and moisture such as condensed water in the exhaust pipe may adhere to the tip of the gas sensor element. If moisture adheres to the gas sensor element, damage such as cracks may occur in the gas sensor element. For this reason, a porous protective layer is formed at the tip of a conventional gas sensor element to suppress the adhesion of poisonous substances and the contact of moisture (water droplets). The porous protective layer is formed so as to cover the sensing portion at the tip of the gas sensor element.

このような多孔質保護層をガスセンサ素子に形成する従来技術として、例えば、多孔質保護層用のスラリーに、ガスセンサ素子を浸漬させる方法が知られている(特許文献1参照)。この種の方法では、ガスセンサ素子の先端部をスラリーに浸漬することで、その先端部にスラリーを付着させている。その後、付着させたスラリーを焼成することにより、ガスセンサ素子の先端部に多孔質保護層が形成される。 As a conventional technique for forming such a porous protective layer on a gas sensor element, for example, a method of immersing the gas sensor element in slurry for the porous protective layer is known (see Patent Document 1). In this type of method, the tip of the gas sensor element is immersed in the slurry so that the slurry adheres to the tip. After that, by baking the deposited slurry, a porous protective layer is formed on the tip of the gas sensor element.

特開2017-203716号公報JP 2017-203716 A

上記のような、ガスセンサ素子をスラリーに浸漬させる方法では、多孔質保護層の厚みを制御することが難しく、問題となっていた。例えば、ガスセンサ素子の角部は、その他の部分と比べてスラリーが付着し難い部分となっており、そのような角部における多孔質保護層の厚みを大きくしようとすると、ガスセンサ素子の角部以外の大部分の箇所に必要以上のスラリーが付着してしまう。このような状態のスラリーを焼成すると、結果的に、厚み(容積)の大きな多孔質保護層が形成されてしまう。この場合、多孔質保護層の熱容量が大きくなり過ぎて、加熱によるガスセンサ素子の活性化が遅延することとなる。そのため、上記従来技術では、多孔質保護層の厚みを小さくするために、焼成後、多孔質保護層の周りにある余剰部分をカッター等で切断する処理を行っていた。しかしながら、焼成後に切断した余剰部分は廃棄されるため、その廃棄コストや、切断のための工数が増加するという問題もあった。 In the method of immersing the gas sensor element in the slurry as described above, it is difficult to control the thickness of the porous protective layer, which poses a problem. For example, corners of the gas sensor element are portions to which slurry is less likely to adhere than other portions. Slurry more than necessary adheres to most of the parts. Firing the slurry in such a state results in the formation of a porous protective layer having a large thickness (volume). In this case, the heat capacity of the porous protective layer becomes too large, and activation of the gas sensor element by heating is delayed. Therefore, in the above-described prior art, in order to reduce the thickness of the porous protective layer, after firing, the surplus portion around the porous protective layer is cut with a cutter or the like. However, since the surplus portion cut after firing is discarded, there is also a problem that the disposal cost and man-hours for cutting increase.

本発明の目的は、多孔質保護層用のスラリーにガスセンサ素子を浸漬した後、焼成前に、そのスラリーからなる塗膜の厚みを小さく調整することが可能なガスセンサ素子の製造方法を提供することである。 An object of the present invention is to provide a method for manufacturing a gas sensor element that can adjust the thickness of a coating film made of the slurry to be small after the gas sensor element is immersed in slurry for a porous protective layer and before firing. is.

前記課題を解決するための手段は、以下の通りである。即ち、
<1> 軸方向に延びるガスセンサ素子の先端側に配置された検知部に、多孔質保護層を被覆するガスセンサ素子の製造方法であって、前記ガスセンサ素子の前記先端側を多孔質保護層形成用のスラリーに浸漬することで前記ガスセンサ素子の先端面及び周面に前記スラリーの塗膜を形成する浸漬工程と、前記塗膜を擦り切って前記塗膜の一部を除去する擦切工程と、前記擦切工程を経た後の前記塗膜を焼成して、前記多孔質保護層を得る焼成工程と、を備えるガスセンサ素子の製造方法。
Means for solving the above problems are as follows. Namely
<1> A method for manufacturing a gas sensor element in which a detection portion disposed on the tip side of a gas sensor element extending in the axial direction is covered with a porous protective layer, wherein the tip side of the gas sensor element is used for forming a porous protective layer. an immersion step of forming a coating film of the slurry on the tip surface and the peripheral surface of the gas sensor element by immersing it in the slurry of; a scraping step of scraping off the coating film to remove a part of the coating film; and a baking step of baking the coating film after the scraping step to obtain the porous protective layer.

<2> 前記浸漬工程は、前記焼成工程の前に複数回行われ、先に行った前記浸漬工程と、その次に行う前記浸漬工程との間に、前記塗膜を乾燥させる乾燥工程を備える請求項1に記載のガスセンサ素子の製造方法。 <2> The immersion step is performed multiple times before the baking step, and includes a drying step of drying the coating film between the previously performed immersion step and the subsequent immersion step. A method for manufacturing the gas sensor element according to claim 1 .

<3> 前記擦切工程において、擦切型の内側に設けられた貫通孔に前記ガスセンサ素子を通過させることで前記周面に形成された周面塗膜のうち余分な塗膜が前記貫通孔の開口縁部によって擦り切られる請求項1又は請求項2に記載のガスセンサ素子の製造方法。 <3> In the scraping step, the gas sensor element is passed through a through-hole provided inside the scraping die, and an excess coating film of the peripheral surface coating film formed on the peripheral surface is exposed to the opening of the through-hole. 3. The method of manufacturing a gas sensor element according to claim 1, wherein the edge is abraded.

<4> 前記擦切工程において、前記先端面に形成された先端塗膜のうち余分な塗膜が前記軸方向に対して垂直に交わる方向に沿って移動する擦切刃によって擦り切られる請求項1~請求項3の何れか一項に記載のガスセンサ素子の製造方法。 <4> In the scraping step, an excess coating film of the tip coating film formed on the tip surface is scraped off by a scraping blade that moves along a direction perpendicular to the axial direction. A method for manufacturing the gas sensor element according to claim 3 .

<5> 前記スラリーは、せん断速度が0.1s-1のとき43000mPa・s以上であり、かつせん断速度が10s-1のとき2500mPa・s以下である請求項1~請求項4の何れか一項に記載のガスセンサ素子の製造方法。 <5> Any one of claims 1 to 4, wherein the slurry has a shear rate of 43,000 mPa·s or more at a shear rate of 0.1 s −1 and a shear rate of 2,500 mPa·s or less at a shear rate of 10 s −1 . 10. A method for manufacturing the gas sensor element according to claim 1.

本発明によれば、多孔質保護層用のスラリーにガスセンサ素子を浸漬した後、焼成前に、そのスラリーからなる塗膜の厚みを小さく調整することが可能なガスセンサ素子の製造方法を提供することができる。 According to the present invention, there is provided a method for manufacturing a gas sensor element that can adjust the thickness of a coating film made of the slurry to be small after the gas sensor element is immersed in slurry for a porous protective layer and before firing. can be done.

軸線方向に沿って切断された実施形態1に係るガスセンサの断面図Sectional view of the gas sensor according to the first embodiment cut along the axial direction ガスセンサ素子を構成する検出素子部及びヒータ部を模式的に表した分解斜視図FIG. 2 is an exploded perspective view schematically showing a detection element section and a heater section that constitute a gas sensor element; 軸線方向に沿って切断されたガスセンサ素子の先端側の構成を模式的に表した断面図FIG. 2 is a cross-sectional view schematically showing the configuration of the tip side of the gas sensor element cut along the axial direction; 軸線方向に直交する方向で切断されたガスセンサ素子の先端側の構成を模式的に表した断面図FIG. 2 is a cross-sectional view schematically showing the configuration of the tip side of the gas sensor element cut in a direction orthogonal to the axial direction; ガスセンサ素子本体を先端側から見た斜視図Perspective view of the main body of the gas sensor element seen from the tip side 浸漬工程において、ガスセンサ素子本体が、ディッピング槽の上方で待機している状態を示す説明図Explanatory drawing showing a state in which the main body of the gas sensor element is waiting above the dipping tank in the dipping process. 擦切型の平面図Top view of scraping type 浸漬工程において、待機位置から下降したガスセンサ素子本体の先端部が、ディッピング槽内のスラリーに浸漬している状態を示す説明図FIG. 6 is an explanatory view showing a state in which the tip of the gas sensor element main body lowered from the standby position is immersed in the slurry in the dipping tank in the immersion step; 擦切工程において、擦切型を利用して、ガスセンサ素子本体の先端部の周面に形成された周面塗膜の一部(余分な塗膜)が除去される様子を示す説明図FIG. 10 is an explanatory view showing how a part of the peripheral surface coating (excess coating) formed on the peripheral surface of the tip portion of the gas sensor element body is removed using a scraping die in the scraping step; 擦切工程において、擦切刃を利用して、ガスセンサ素子本体の先端部の先端面に形成された先端塗膜の一部(余分な塗膜)が除去される様子を示す説明図FIG. 6 is an explanatory view showing how a part of the tip coating (excess coating) formed on the tip surface of the tip of the gas sensor element main body is removed by using the scraping blade in the scraping step; 擦切工程後、擦切刃が退避位置へ戻される様子を示す説明図Explanatory drawing showing how the scraping blade is returned to the retracted position after the scraping process. 実施形態2のガスセンサ素子の製造方法における浸漬工程において、ガスセンサ素子本体が、ディッピング槽の上方で待機している状態を示す説明図FIG. 8 is an explanatory view showing a state in which the gas sensor element main body is waiting above the dipping tank in the dipping step in the method for manufacturing the gas sensor element of Embodiment 2; 実施形態2のガスセンサ素子の製造方法における擦切工程において、擦切刃を利用して、ガスセンサ素子本体の先端部の先端面に形成された先端塗膜の一部(余分な塗膜)が除去される様子を示す説明図In the scraping step in the method for manufacturing the gas sensor element of Embodiment 2, a scraping blade is used to remove part of the tip coating (excess coating) formed on the tip surface of the tip of the gas sensor element main body. Explanatory diagram showing the situation 軸線方向に沿って切断された実施形態3に係るガスセンサ素子の先端側の構成を模式的に表した断面図FIG. 11 is a cross-sectional view schematically showing the configuration of the distal end side of the gas sensor element according to Embodiment 3 cut along the axial direction; 実施形態3のガスセンサ素子の製造方法における浸漬工程において、ガスセンサ素子本体が、ディッピング槽の上方で待機している状態を示す説明図FIG. 11 is an explanatory view showing a state in which the gas sensor element main body is waiting above the dipping tank in the dipping step in the method for manufacturing the gas sensor element of Embodiment 3;

<実施形態1>
以下、本発明の実施形態1を、図1~図11を参照しつつ説明する。先ずは、本実施形態に係るガスセンサ素子の製造方法により製造されるガスセンサ素子100を含むガスセンサ(酸素センサ)1の構成について説明する。図1は、軸線L方向に沿って切断された実施形態1に係るガスセンサ1の断面図であり、図2は、ガスセンサ素子100を構成する検出素子部300及びヒータ部200を模式的に表した分解斜視図である。なお、本明細書では、図1に示されるガスセンサ1の下側を、「先端側」と称し、その反対側(図1の上側)を、「後端側」と称する。
<Embodiment 1>
Embodiment 1 of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 to 11. FIG. First, the configuration of a gas sensor (oxygen sensor) 1 including a gas sensor element 100 manufactured by the method for manufacturing a gas sensor element according to this embodiment will be described. FIG. 1 is a cross-sectional view of the gas sensor 1 according to Embodiment 1 cut along the direction of the axis L, and FIG. It is an exploded perspective view. In this specification, the lower side of the gas sensor 1 shown in FIG. 1 is called "front end side", and the opposite side (upper side in FIG. 1) is called "rear end side".

ガスセンサ1は、図1に示されるように、検出素子部300及びヒータ部200の積層体からなるガスセンサ素子100と、そのガスセンサ素子100等を内部に収容する形で保持する主体金具30と、その主体金具30の先端部に装着されるプロテクタ24を備えている。ガスセンサ素子100は、全体的には、細長く延びた板状をなしており、その長手方向が、軸線L方向に沿うように配置されている。なお、後述するように、ガスセンサ素子100の先端側には、多孔質保護層20が形成されている。 As shown in FIG. 1, the gas sensor 1 includes a gas sensor element 100 composed of a laminate of a detection element section 300 and a heater section 200, a metal shell 30 for holding the gas sensor element 100 and the like in a manner to accommodate them, and A protector 24 attached to the tip of the metal shell 30 is provided. The gas sensor element 100 has an elongated plate shape as a whole, and is arranged such that its longitudinal direction is along the axis L direction. As will be described later, a porous protective layer 20 is formed on the tip side of the gas sensor element 100 .

図2に示されるように、ヒータ部200は、全体的には、細長く延びた板状をなしており、アルミナを主体とする第1基体101及び第2基体103と、第1基体101と第2基体103とに挟まれ、白金を主体とする発熱体102とを有している。発熱体102は、先端側に位置する発熱部102aと、その発熱部102aから第1基体101の長手方向(軸線L方向)に沿って延びる一対のヒータリード部102bとを有している。そして、ヒータリード部102bの末端は、第1基体101に設けられているヒータ側スルーホール101aに形成された導体を介してヒータ側パッド120と電気的に接続されている。 As shown in FIG. 2, the heater section 200 has an elongated plate-like shape as a whole, and includes a first substrate 101 and a second substrate 103 mainly made of alumina, and a first substrate 101 and a second substrate. It is sandwiched between two substrates 103 and has a heating element 102 mainly made of platinum. The heating element 102 has a heating portion 102a located on the tip side and a pair of heater lead portions 102b extending from the heating portion 102a along the longitudinal direction (axis L direction) of the first substrate 101. As shown in FIG. The end of the heater lead portion 102b is electrically connected to the heater-side pad 120 via a conductor formed in the heater-side through-hole 101a provided in the first substrate 101. As shown in FIG.

検出素子部300は、ヒータ部200と同様、全体的には、細長く延びた板状をなしており、酸素濃度検出セル130と酸素ポンプセル140とを備えている。酸素濃度検出セル130は、第1固体電解質体105と、その第1固体電解質体105の両面に形成された第1電極104及び第2電極106とから構成されている。第1電極104は、第1電極部104aと、その第1電極部104aから第1固体電解質体105の長手方向(軸線L方向)に沿って延びる第1リード部104bとから構成されている。第2電極106は、第2電極部106aと、その第2電極部106aから第1固体電解質体105の長手方向(軸線L方向)に沿って延びる第2リード部106bとから構成されている。 As with the heater section 200 , the detection element section 300 has an elongated plate shape as a whole, and includes an oxygen concentration detection cell 130 and an oxygen pump cell 140 . The oxygen concentration detection cell 130 is composed of a first solid electrolyte body 105 and a first electrode 104 and a second electrode 106 formed on both sides of the first solid electrolyte body 105 . The first electrode 104 is composed of a first electrode portion 104a and a first lead portion 104b extending from the first electrode portion 104a along the longitudinal direction (axis L direction) of the first solid electrolyte body 105. As shown in FIG. The second electrode 106 is composed of a second electrode portion 106a and a second lead portion 106b extending from the second electrode portion 106a along the longitudinal direction of the first solid electrolyte body 105 (the direction of the axis L).

第1リード部104bの末端は、第1固体電解質体105に設けられる第1スルーホール105a、後述する絶縁層107に設けられる第2スルーホール107a、第2固体電解質体109に設けられる第4スルーホール109a及び保護層111に設けられる第6スルーホール111aのそれぞれに形成される導体を介して検出素子側パッド121と電気的に接続される。第2リード部106bの末端は、後述する絶縁層107に設けられる第3スルーホール107b、第2固体電解質体109に設けられる第5スルーホール109b及び保護層111に設けられる第7スルーホール111bのそれぞれに形成される導体を介して検出素子側パッド121と電気的に接続される。 The ends of the first lead portions 104b are connected to a first through-hole 105a provided in the first solid electrolyte body 105, a second through-hole 107a provided in the insulating layer 107, which will be described later, and a fourth through-hole 107a provided in the second solid electrolyte body 109. The hole 109 a and the sixth through hole 111 a provided in the protective layer 111 are electrically connected to the detection element side pad 121 via conductors formed respectively. The ends of the second lead portion 106b are connected to a third through hole 107b provided in the insulating layer 107, a fifth through hole 109b provided in the second solid electrolyte body 109, and a seventh through hole 111b provided in the protective layer 111, which will be described later. They are electrically connected to the detection element side pads 121 via conductors formed respectively.

酸素ポンプセル140は、第2固体電解質体109と、その第2固体電解質体109の両面に形成された第3電極108及び第4電極110とから構成されている。第3電極108は、第3電極部108aと、この第3電極部108aから第2固体電解質体109の長手方向(軸線L方向)に沿って延びる第3リード部108bとから構成されている。第4電極110は、第4電極部110aと、この第4電極部110aから第2固体電解質体109の長手方向(軸線L方向)に沿って延びる第4リード部110bとから構成されている。 The oxygen pump cell 140 is composed of a second solid electrolyte body 109 and a third electrode 108 and a fourth electrode 110 formed on both sides of the second solid electrolyte body 109 . The third electrode 108 is composed of a third electrode portion 108a and a third lead portion 108b extending from the third electrode portion 108a along the longitudinal direction (axis L direction) of the second solid electrolyte body 109. As shown in FIG. The fourth electrode 110 is composed of a fourth electrode portion 110a and a fourth lead portion 110b extending from the fourth electrode portion 110a along the longitudinal direction of the second solid electrolyte body 109 (axis L direction).

第3リード部108bの末端は、第2固体電解質体109に設けられる第5スルーホール109b及び保護層111に設けられる第7スルーホール111bのそれぞれに形成される導体を介して検出素子側パッド121と電気的に接続される。第4リード部110bの末端は、保護層111に設けられる第8スルーホール111cに形成される導体を介して検出素子側パッド121と電気的に接続される。なお、第2リード部106bと第3リード部108bは同電位となっている。 The end of the third lead portion 108b is connected to the detecting element side pad 121 via conductors formed in the fifth through hole 109b provided in the second solid electrolyte body 109 and the seventh through hole 111b provided in the protective layer 111, respectively. is electrically connected to The end of the fourth lead portion 110b is electrically connected to the detection element side pad 121 via a conductor formed in the eighth through hole 111c provided in the protective layer 111. FIG. The second lead portion 106b and the third lead portion 108b are at the same potential.

第1固体電解質体105及び第2固体電解質体109は、ジルコニア(ZrO)に安定化剤としてイットリア(Y)又はカルシア(CaO)を添加してなる部分安定化ジルコニア焼結体から構成される。 The first solid electrolyte body 105 and the second solid electrolyte body 109 are partially stabilized zirconia sintered bodies obtained by adding yttria (Y 2 O 3 ) or calcia (CaO) as a stabilizer to zirconia (ZrO 2 ). Configured.

発熱体102、第1電極104、第2電極106、第3電極108、第4電極110、ヒータ側パッド120及び検出素子側パッド121は、白金族元素で形成することができる。これらを形成する好適な白金族元素としては、Pt、Rh、Pd等が挙げられる。なお、これらの白金族元素は、単独で又は2種以上を組み合わせて用いてもよい。 The heating element 102, the first electrode 104, the second electrode 106, the third electrode 108, the fourth electrode 110, the heater-side pad 120, and the detection element-side pad 121 can be made of platinum group elements. Suitable platinum group elements forming these include Pt, Rh, Pd, and the like. In addition, you may use these platinum group elements individually or in combination of 2 or more types.

上記発熱体102等は、耐熱性及び耐酸化性の観点より、Ptを主体にして形成することが好ましい。また、上記発熱体102等は、主体となる白金族元素の他にセラミック成分を含有することが好ましい。このセラミック成分は、固着という観点より、積層される側の主体となる材料と同様の成分であることが好ましい。 From the viewpoint of heat resistance and oxidation resistance, the heating element 102 and the like are preferably made mainly of Pt. In addition, the heating element 102 and the like preferably contain a ceramic component in addition to the platinum group element as the main component. From the viewpoint of fixation, this ceramic component is preferably the same component as the main material on the laminated side.

そして、上述した酸素ポンプセル140と酸素濃度検出セル130との間に、絶縁層107が形成されている。絶縁層107は、絶縁部114と拡散抵抗部115とからなる。この絶縁層107の絶縁部114には、第2電極部106a及び第3電極部108aに対応する位置に中空の測定室107cが形成されている。この測定室107cは、絶縁層107の幅方向で外部と連通しており、その連通した部分には、外部と測定室107cとの間のガス拡散を所定の律速条件下で実現する拡散抵抗部115が配置されている。 An insulating layer 107 is formed between the oxygen pump cell 140 and the oxygen concentration detection cell 130 described above. The insulating layer 107 is composed of an insulating portion 114 and a diffusion resistance portion 115 . A hollow measurement chamber 107c is formed in the insulating portion 114 of the insulating layer 107 at a position corresponding to the second electrode portion 106a and the third electrode portion 108a. This measurement chamber 107c communicates with the outside in the width direction of the insulating layer 107, and a diffusion resistance portion for realizing gas diffusion between the outside and the measurement chamber 107c under a predetermined rate-determining condition is provided in the communicating portion. 115 are arranged.

絶縁部114は、絶縁性を有するセラミック焼結体であれば限定されず、例えば、アルミナやムライト等の酸化物系セラミック等から構成される。 The insulating part 114 is not limited as long as it is a ceramic sintered body having insulating properties, and is made of, for example, an oxide-based ceramic such as alumina or mullite.

拡散抵抗部115は、アルミナからなる多孔質体であり、この多孔質体からなる拡散抵抗部115によって、検出ガスが測定室107cへ流入する際の速度が調整される。 The diffusion resistance section 115 is a porous body made of alumina, and the diffusion resistance section 115 made of this porous body adjusts the velocity of the detection gas flowing into the measurement chamber 107c.

また、第2固体電解質体109の表面には、第4電極110を挟み込むようにして、保護層111が形成されている。この保護層111は、第4電極部110aを挟み込むようにして、第4電極部110aを被毒から防御するための多孔質の電極保護部113aと、第4リード部110bを挟み込むようにして、第2固体電解質体109を保護するための補強部112とからなる。なお、本実施形態のガスセンサ素子100は、酸素濃度検出セル130の電極間に生じる電圧(起電力)が所定の値(例えば、450mV)となるように、酸素ポンプセル140の電極間に流れる電流の方向及び大きさが調整され、酸素ポンプセル140に流れる電流に応じた被測定ガス中の酸素濃度をリニアに検出する酸素センサ素子となっている。 A protective layer 111 is formed on the surface of the second solid electrolyte body 109 so as to sandwich the fourth electrode 110 therebetween. The protective layer 111 sandwiches the fourth electrode portion 110a, a porous electrode protection portion 113a for protecting the fourth electrode portion 110a from poisoning, and the fourth lead portion 110b. and a reinforcing portion 112 for protecting the second solid electrolyte body 109 . It should be noted that the gas sensor element 100 of the present embodiment is designed so that the voltage (electromotive force) generated between the electrodes of the oxygen concentration detection cell 130 has a predetermined value (for example, 450 mV). The direction and size are adjusted, and the oxygen sensor element linearly detects the oxygen concentration in the gas to be measured according to the current flowing through the oxygen pump cell 140 .

図1に戻り、主体金具30は、SUS430製であり、ガスセンサ1を排気管に取り付けるための雄ねじ部31と、取り付け時に取り付け工具をあてがう六角部32とを備えている。また、主体金具30には、径方向内側に向かって突出する金具側段部33が設けられており、その金具側段部33はガスセンサ素子100を保持するための金属ホルダ34を支持している。そしてこの金属ホルダ34の内側にはセラミックホルダ35、滑石36が先端側から順に配置されている。この滑石36は、金属ホルダ34内に配置される第1滑石37と、金属ホルダ34の後端に配置される第2滑石38とからなる。金属ホルダ34内で第1滑石37が圧縮充填されることによって、ガスセンサ素子100は金属ホルダ34に対して固定される。また、主体金具30内で第2滑石38が圧縮充填されることによって、ガスセンサ素子100の外面と主体金具30の内面との間のシール性が確保される。そして第2滑石38の後端側には、アルミナ製のスリーブ39が配置されている。このスリーブ39は多段の円筒状に形成されており、軸線Lに沿うように軸孔39aが設けられ、そのような軸孔39aを含むスリーブ39の内部にガスセンサ素子100が挿通される。そして、主体金具30の後端側にある加締め部30aが内側に折り曲げられており、そのような加締め部30aにより、スリーブ39がステンレス製のリング部材40を介して主体金具30の先端側に押圧されている。 Returning to FIG. 1, the metal shell 30 is made of SUS430, and has a male threaded portion 31 for attaching the gas sensor 1 to an exhaust pipe, and a hexagonal portion 32 to which an attachment tool is applied during attachment. The metal shell 30 is provided with a metal fitting side stepped portion 33 projecting radially inward, and the metal fitting side stepped portion 33 supports a metal holder 34 for holding the gas sensor element 100 . . Inside the metal holder 34, a ceramic holder 35 and a talc 36 are arranged in order from the tip side. This talc 36 consists of a first talc 37 arranged in the metal holder 34 and a second talc 38 arranged at the rear end of the metal holder 34 . The gas sensor element 100 is fixed to the metal holder 34 by compressing and filling the first talc 37 in the metal holder 34 . In addition, since the second talc 38 is compressed and filled in the metal shell 30 , sealing between the outer surface of the gas sensor element 100 and the inner surface of the metal shell 30 is ensured. A sleeve 39 made of alumina is arranged on the rear end side of the second talc 38 . This sleeve 39 is formed in a multistage cylindrical shape, and is provided with a shaft hole 39a along the axis L, and the gas sensor element 100 is inserted through the sleeve 39 including the shaft hole 39a. A crimping portion 30a on the rear end side of the metal shell 30 is bent inward, and the crimping portion 30a allows the sleeve 39 to move toward the front end of the metal shell 30 via a ring member 40 made of stainless steel. is pressed by

また、主体金具30の先端側外周には、金属製のプロテクタ24が溶接によって取り付けられている。プロテクタ24は、二重構造をなしており、外側には一様な外径を有する有底円筒状の外側プロテクタ41が配置され、内側には後端部42aの外径が先端部42bの外径よりも大きく形成された有底円筒状の内側プロテクタ42が配置されている。このようなプロテクタ24は、主体金具30の先端から突出するガスセンサ素子100の先端部を覆うと共に、複数のガス取り入れ孔24aを有する。 A protector 24 made of metal is attached to the outer circumference of the metal shell 30 on the front end side by welding. The protector 24 has a double structure, and an outer protector 41 having a uniform outer diameter and having a bottomed cylindrical shape is arranged on the outer side, and an inner outer protector 41 having a rear end portion 42a whose outer diameter is the outer diameter of the tip portion 42b. A bottomed cylindrical inner protector 42 formed to be larger than the diameter is arranged. Such a protector 24 covers the tip of the gas sensor element 100 protruding from the tip of the metallic shell 30 and has a plurality of gas intake holes 24a.

主体金具30の後端側には、SUS430製の外筒25の先端側が挿入されている。外筒25は、先端側が拡径した先端部25aを備えており、その先端部25aが、主体金具30にレーザ溶接等で固定されている。外筒25の後端側の内部には、セパレータ50が配置されており、そのセパレータ50と外筒25との間で形成される隙間に、保持部材51が介在されている。保持部材51は、セパレータ50の周面から外側に盛り上がった突出部50aに係合しつつ、加締められた外筒25とセパレータ50との間で固定されている。 The front end side of an outer cylinder 25 made of SUS430 is inserted into the rear end side of the metallic shell 30 . The outer cylinder 25 has a distal end portion 25a with an enlarged diameter on the distal end side, and the distal end portion 25a is fixed to the metal shell 30 by laser welding or the like. A separator 50 is arranged inside the rear end side of the outer cylinder 25 , and a holding member 51 is interposed in a gap formed between the separator 50 and the outer cylinder 25 . The holding member 51 is fixed between the caulked outer cylinder 25 and the separator 50 while engaging with the protruding portion 50a rising outward from the peripheral surface of the separator 50 .

また、セパレータ50には、検出素子部300用やヒータ部200用の各種のリード線11,12,13を挿入するための通孔50bが先端側から後端側に亘って貫通する形で設けられている。なお、図1には、説明の便宜上、3本のリード線11,12,13のみが示され、それら以外のリード線の図示は、省略した。通孔50b内には、上記リード線11等と、検出素子部300の検出素子側パッド121及びヒータ部200のヒータ側パッド120とを接続する接続端子16が収容されている。各リード線11等は、外部において、図示されないコネクタに接続可能な構成となっており、そのようなコネクタを介してECU等の外部機器と各リード線11等との間で、電気信号の入出力が行われる。 Further, through holes 50b for inserting various lead wires 11, 12 and 13 for the detection element section 300 and the heater section 200 are provided in the separator 50 so as to penetrate from the front end side to the rear end side. It is For convenience of explanation, only three lead wires 11, 12, and 13 are shown in FIG. 1, and illustration of other lead wires is omitted. Connection terminals 16 for connecting the lead wires 11 and the like to the detection element side pads 121 of the detection element section 300 and the heater side pads 120 of the heater section 200 are accommodated in the through holes 50b. Each lead wire 11 and the like is configured to be externally connectable to a connector (not shown), and electrical signals are input between an external device such as an ECU and each lead wire 11 and the like via such a connector. Output is done.

更に、セパレータ50の後端側には、外筒25の後端側の開口部25bを閉塞するための略円柱状のゴムキャップ52が配置されている。このゴムキャップ52は、外筒25の後端内に収容された状態で、外筒25が径方向内側に向かって加締められることにより、外筒25に固着される。また、ゴムキャップ52にも、リード線11等をそれぞれ挿入するための通孔52aが先端側から後端側に亘って貫通する形で設けられている。 Further, on the rear end side of the separator 50, a substantially cylindrical rubber cap 52 for closing the rear end side opening 25b of the outer cylinder 25 is arranged. The rubber cap 52 is fixed to the outer cylinder 25 by crimping the outer cylinder 25 radially inward while being accommodated in the rear end of the outer cylinder 25 . The rubber cap 52 is also provided with through holes 52a for inserting the lead wires 11 and the like so as to penetrate from the front end side to the rear end side.

図3は、軸線L方向に沿って切断されたガスセンサ素子100の先端側の構成を模式的に表した断面図であり、図4は、軸線L方向に直交する方向で切断されたガスセンサ素子100の先端側の構成を模式的に表した断面図である。図3及び図4に示されるように、ガスセンサ素子100の先端側に、多孔質保護層20が形成されている。なお、本明細書において、多孔質保護層20が形成されていない状態のガスセンサ素子100を、特に、「ガスセンサ素子本体100a」と称する場合がある。 3 is a cross-sectional view schematically showing the configuration of the tip side of the gas sensor element 100 cut along the direction of the axis L, and FIG. 4 is a cross-sectional view of the gas sensor element 100 cut in a direction orthogonal to the direction of the axis L. Fig. 2 is a cross-sectional view schematically showing the configuration of the distal end side of the. As shown in FIGS. 3 and 4, a porous protective layer 20 is formed on the tip side of the gas sensor element 100 . In this specification, the gas sensor element 100 in which the porous protective layer 20 is not formed may be particularly referred to as "gas sensor element main body 100a".

ガスセンサ素子本体100aの先端部100bには、排気ガス中に含まれる特定成分(酸素等)を検知するための検知部150が設けられている。検知部150は、主として、検出素子部300が有する各電極部(第1電極部104a、第2電極部106a、第3電極部108a、及び第4電極部110a)、及び測定室107cにより構成される。そのような検知部150の周りを被覆する形で、ガスセンサ素子本体100aの先端部100bに多孔質保護層20が形成されている。多孔質保護層20には、ガス透過が可能なように三次元網目構造の気孔が形成されている。 A detection unit 150 for detecting a specific component (such as oxygen) contained in the exhaust gas is provided at the tip portion 100b of the gas sensor element main body 100a. The detection section 150 is mainly composed of each electrode section (the first electrode section 104a, the second electrode section 106a, the third electrode section 108a, and the fourth electrode section 110a) of the detection element section 300, and the measurement chamber 107c. be. A porous protective layer 20 is formed on the tip portion 100b of the gas sensor element main body 100a so as to cover the periphery of such a detection portion 150. As shown in FIG. The porous protective layer 20 is formed with pores having a three-dimensional network structure so as to allow gas permeation.

図5は、ガスセンサ素子本体100aを先端側から見た斜視図である。説明の便宜上、図5において、多孔質保護層20は、仮想的に示されている。多孔質保護層20は、ガスセンサ素子本体100aの先端部100bにおける先端面100c及び周面100dを覆う形で、ガスセンサ素子本体100aの先端部100bに形成されている。 FIG. 5 is a perspective view of the gas sensor element main body 100a viewed from the tip side. For convenience of explanation, the porous protective layer 20 is shown virtually in FIG. The porous protective layer 20 is formed on the tip portion 100b of the gas sensor element main body 100a so as to cover the tip surface 100c and the peripheral surface 100d of the tip portion 100b of the gas sensor element main body 100a.

多孔質保護層20は、例えば、チタニア、アルミナ、スピネル、ジルコニア、ムライト、ジルコン及びコージェライトからなる群より選ばれる1種以上のセラミック粒子を焼成等により結合して形成することができる。これらの粒子を含むスラリーを焼結することで、セラミック粒子間に気孔を形成することができる。なお、上記粒子を含むスラリーに、カーボン、樹脂製ビーズ、有機又は無機バインダ等からなる焼失性の造孔材が添加されてもよい。 The porous protective layer 20 can be formed, for example, by bonding ceramic particles of one or more selected from the group consisting of titania, alumina, spinel, zirconia, mullite, zircon and cordierite by firing or the like. By sintering a slurry containing these particles, pores can be formed between the ceramic particles. It should be noted that a burnable pore-forming material made of carbon, resin beads, organic or inorganic binders, or the like may be added to the slurry containing the particles.

以上のようなガスセンサ1に、本実施形態の製造方法で製造されたガスセンサ素子100が使用される。 The gas sensor element 100 manufactured by the manufacturing method of this embodiment is used for the gas sensor 1 as described above.

次いで、実施形態1に係るガスセンサ素子の製造方法について説明する。本実施形態のガスセンサ素子の製造方法は、浸漬工程、擦切工程及び焼成工程を備えている。 Next, a method for manufacturing the gas sensor element according to Embodiment 1 will be described. The method for manufacturing the gas sensor element of the present embodiment includes an immersion step, a scraping step, and a baking step.

浸漬工程は、ガスセンサ素子本体100a(ガスセンサ素子100)の先端側を、多孔質保護層20形成用のスラリー(以下、単に「スラリー」と称する)Sに浸漬することで、ガスセンサ素子本体100aにおける先端部100bの先端面100c及び周面100dに、スラリーSの塗膜700を形成する工程である。 In the immersion step, the tip end side of the gas sensor element main body 100a (gas sensor element 100) is immersed in the slurry S for forming the porous protective layer 20 (hereinafter simply referred to as "slurry"), so that the tip end of the gas sensor element main body 100a In this step, a coating film 700 of the slurry S is formed on the tip surface 100c and the peripheral surface 100d of the portion 100b.

スラリーSは、従来、この種の浸漬工程で使用されるものと同様、例えば、チタニア、アルミナ、スピネル、ジルコニア、ムライト、ジルコン及びコージェライトからなる群より選ばれる1種以上のセラミック粒子を含む溶液からなる。ただし、スラリーSは、従来、使用されるものと比べて、せん断速度が0.1s-1のときの粘度は高く設定されることが好ましく、せん断速度が10s-1のときの粘度は低く設定されることが好ましい。スラリーSの粘度(mPa・s)は、例えば、室温(23℃)条件下において、せん断速度が0.1s-1のときは、43000mPa・s以上に設定されることが好ましく、せん断速度が10s-1のときは、2500mPa・s以下に設定されることが好ましい。なお、スラリーSの粘度については、本発明の目的を損なわない限り、特に制限はないが、例えば、室温(23℃)条件下において、せん断速度が0.1s-1のとき、65000mPa・sに設定され、せん断速度が10s-1のとき、2400mPa・sに設定される。スラリーSの粘度が、このように設定されると、後述する擦切工程において、ガスセンサ素子本体100aに形成された、スラリーSからなる塗膜700の厚みを調整し易くなる。なお、スラリーSの粘度は、スラリーS中に、例えば、合成樹脂、天然高分子等からなる有機バインダ、アルミナゾル、水等を添加することで、適宜、調整される。なお、スラリーSの粘度は粘度計(レオメータMCR102:Anton-Paar社製)を用いて計測した。 Slurry S is a solution containing ceramic particles of one or more kinds, for example selected from the group consisting of titania, alumina, spinel, zirconia, mullite, zircon and cordierite, similar to those conventionally used in this type of dipping process. consists of However, the slurry S is preferably set to have a higher viscosity when the shear rate is 0.1 s -1 than that used conventionally, and the viscosity when the shear rate is 10 s -1 is set low. preferably. The viscosity (mPa s) of the slurry S is preferably set to 43000 mPa s or more when the shear rate is 0.1 s −1 under room temperature (23° C.) conditions, and the shear rate is 10 s. When −1 , it is preferably set to 2500 mPa·s or less. The viscosity of the slurry S is not particularly limited as long as it does not impair the purpose of the present invention. is set to 2400 mPa·s when the shear rate is 10 s −1 . When the viscosity of the slurry S is set in this way, it becomes easier to adjust the thickness of the coating film 700 made of the slurry S formed on the gas sensor element main body 100a in the scraping step, which will be described later. The viscosity of the slurry S is appropriately adjusted by adding, for example, an organic binder made of a synthetic resin or natural polymer, alumina sol, water, or the like. The viscosity of the slurry S was measured using a viscometer (Rheometer MCR102: manufactured by Anton-Paar).

ここで、浸漬工程で使用されるスラリーの調合例について説明する。チタニア粉末、スピネル粉末、アルミナゾル、有機バインダ(例えば、アクリル系共重合物)、分散剤(例えば、アニオン性高分子分散剤)、消泡剤(例えば、アマイドワックス系消泡剤)、及び水を、それぞれ所定の割合で配合し、それらを所定時間の間、混合することで、目的とするスラリーが得られる。 Here, an example of preparation of the slurry used in the immersion step will be described. Titania powder, spinel powder, alumina sol, organic binder (e.g., acrylic copolymer), dispersant (e.g., anionic polymer dispersant), antifoaming agent (e.g., amide wax antifoaming agent), and water , are blended in predetermined proportions, and mixed for a predetermined period of time to obtain the desired slurry.

図6は、浸漬工程において、ガスセンサ素子本体100aが、ディッピング槽400の上方で待機している状態を示す説明図である。図6には、浸漬工程が開始される前のガスセンサ素子本体100a等の状態が示されている。図6には、スラリーSを収容する上方に開口した容器状のディッピング槽400と、そのディッピング槽400の上方で静止した状態で待機するガスセンサ素子本体100aが示されている。ガスセンサ素子本体100aは、その長手方法が鉛直方向に沿い、かつその先端部100bが下側を向く形で、所定の冶具を利用して固定されている。ガスセンサ素子本体100aの先端部100bは、ディッピング槽400に収容されたスラリーSと対向した状態となっている。図6には、ガスセンサ素子本体100aの表面のうち、電極保護部113aが形成されている側の表面が、紙面手前側を向く形で、示されている。なお、図6に示されるように、ガスセンサ素子本体100aがディッピング槽400の上方で静止して待機している位置を、「待機位置」と称する。 FIG. 6 is an explanatory view showing a state in which the gas sensor element main body 100a stands by above the dipping tank 400 in the dipping step. FIG. 6 shows the state of the gas sensor element main body 100a and the like before the immersion process is started. FIG. 6 shows a container-like dipping tank 400 that contains slurry S and has an upward opening, and a gas sensor element main body 100a standing by above the dipping tank 400 in a stationary state. The gas sensor element main body 100a is fixed using a predetermined jig so that its longitudinal direction is along the vertical direction and its tip portion 100b faces downward. The tip portion 100b of the gas sensor element main body 100a faces the slurry S contained in the dipping tank 400. As shown in FIG. In FIG. 6, of the surfaces of the gas sensor element main body 100a, the surface on which the electrode protection portion 113a is formed faces the front side of the paper. As shown in FIG. 6, the position where the gas sensor element main body 100a stands still above the dipping tank 400 and stands by is referred to as a "standby position".

ガスセンサ素子本体100aは、所定の冶具に固定された状態で、上下方向(鉛直方向)に沿いつつ、待機位置と、その下方にあるディッピング槽400の内側の位置(後述する浸漬位置)との間を、往復移動できるように構成されている。ガスセンサ素子本体100aを往復移動させる機構としては、本発明の目的を損なわない限り、特に制限はなく、サーボモータ等を利用した公知の往復機構が適用される。 The gas sensor element main body 100a is fixed to a predetermined jig, and along the up-down direction (vertical direction), between the standby position and the position inside the dipping bath 400 below it (immersion position described later). is configured to be able to move back and forth. The mechanism for reciprocating the gas sensor element main body 100a is not particularly limited as long as the object of the present invention is not impaired, and a known reciprocating mechanism using a servomotor or the like is applied.

なお、図6に示されるように、待機位置にあるガスセンサ素子本体100aと、ディッピング槽400との間には、浸漬工程後に行われる擦切工程で使用される擦切型500及び擦切刃600が配置されている。図7は、擦切型500の平面図である。擦切型500は、水平方向に沿うように配される板状の擦切本体部501と、この擦切本体部501の内側に、厚み方向に貫通する形で設けられた貫通孔502と、この貫通孔502を取り囲む開口縁部503とを備えている。貫通孔502及び開口縁部503の大きさは、ガスセンサ素子本体100aが、開口縁部503内にある貫通孔502を通過できるように設定されている。待機位置において、ガスセンサ素子本体100aの先端部100bは、平面視した際に、開口縁部503の内側に収まるように配されている。図7には、平面視した際に、開口縁部503の内側に収まっている状態のガスセンサ素子本体100aの先端部106が仮想的に示されている。擦切刃600は、図6に示されるように、貫通孔502と上下方向で重ならないように、貫通孔502よりも外側の位置に退避しており、その位置を、擦切刃600の「退避位置」と称する。なお、本実施形態の場合、擦切刃600は、擦切型500の上面500a側に配されている。擦切刃600は、擦切型500の上面500aとの間に隙間が形成されるような高さ位置に配置されている。 As shown in FIG. 6, between the gas sensor element main body 100a at the standby position and the dipping tank 400, a scraping die 500 and a scraping blade 600 used in the scraping process performed after the dipping process are arranged. ing. FIG. 7 is a plan view of the scraping die 500. FIG. The scraping die 500 includes a plate-shaped scraping main body 501 arranged along the horizontal direction, a through hole 502 provided inside the scraping main body 501 so as to penetrate in the thickness direction, and and an opening edge 503 surrounding 502 . The sizes of the through hole 502 and the opening edge 503 are set so that the gas sensor element main body 100 a can pass through the through hole 502 in the opening edge 503 . At the standby position, the tip portion 100b of the gas sensor element main body 100a is arranged so as to be accommodated inside the opening edge portion 503 when viewed from above. FIG. 7 virtually shows the tip portion 106 of the gas sensor element main body 100a in a state of being accommodated inside the opening edge portion 503 when viewed from above. As shown in FIG. 6, the scraping blade 600 is retracted to a position outside the through hole 502 so as not to overlap the through hole 502 in the vertical direction. ”. In addition, in the case of the present embodiment, the scraping blade 600 is arranged on the upper surface 500 a side of the scraping die 500 . The scraping blade 600 is arranged at a height position such that a clearance is formed between the scraping blade 500 and the upper surface 500 a of the scraping die 500 .

図8は、浸漬工程において、待機位置から下降したガスセンサ素子本体100aの先端部100bが、ディッピング槽400内のスラリーに浸漬している状態を示す説明図である。待機位置で待機していたガスセンサ素子本体100a(図6参照)が、下方に向かって移動すると、先端部100bは、擦切型500の開口縁部503内の貫通孔502を上側から下側へ通り抜ける。その際、先端部100bは、開口縁部503と接触することなく、貫通孔502を通過する。その後、ガスセンサ素子本体100aは、更に、下方へ向かって移動し、先端部100bが、ディッピング槽400内に収容されているスラリー中に浸漬される。スラリー中に浸漬する先端部100bの高さ位置は、ディッピング槽40の底と接触せず、かつスラリーが、先端部100bの先端面100c及び周面100dに万遍なく付着するように設定される。なお、図8に示されるように、先端面100c及び周面100dにスラリーが付着するように、スラリー中に浸漬されているガスセンサ素子本体100aの位置を、「浸漬位置」と称する。ガスセンサ素子本体100aは、必要に応じて、所定時間の間、浸漬位置で静止してもよいし、浸漬位置に到達した後、直ちに引き上げられてもよい。 FIG. 8 is an explanatory diagram showing a state in which the tip portion 100b of the gas sensor element main body 100a lowered from the standby position is immersed in the slurry in the dipping bath 400 in the immersion step. When the gas sensor element main body 100a (see FIG. 6) waiting at the standby position moves downward, the tip portion 100b passes through the through hole 502 in the opening edge portion 503 of the scraping die 500 from above to below. . At that time, the tip portion 100 b passes through the through hole 502 without contacting the opening edge portion 503 . After that, the gas sensor element main body 100 a further moves downward, and the tip portion 100 b is immersed in the slurry contained in the dipping bath 400 . The height position of the tip portion 100b immersed in the slurry is set so that it does not contact the bottom of the dipping tank 40 and the slurry evenly adheres to the tip surface 100c and the peripheral surface 100d of the tip portion 100b. . As shown in FIG. 8, the position of the gas sensor element main body 100a immersed in the slurry so that the slurry adheres to the tip surface 100c and the peripheral surface 100d is referred to as the "immersion position". The gas sensor element main body 100a may, if necessary, remain stationary at the immersion position for a predetermined time, or may be pulled up immediately after reaching the immersion position.

このような浸漬工程により、ガスセンサ素子本体100aの先端部100bを、スラリーに浸漬することで、先端部100bの先端面100c及び周面100dに、スラリーの塗膜700を形成することができる。なお、スラリー中に浸漬されたガスセンサ素子本体100aの先端部100bは、その後、引き上げられ、次の擦切工程に付される。 By dipping tip portion 100b of gas sensor element main body 100a in the slurry by such an immersion step, slurry coating 700 can be formed on tip surface 100c and peripheral surface 100d of tip portion 100b. The tip portion 100b of the gas sensor element main body 100a immersed in the slurry is then pulled up and subjected to the next scraping step.

擦切工程は、ガスセンサ素子本体100aの先端部100bに付着したスラリーの塗膜700を擦り切って、塗膜700の一部を除去する工程である。上述したように、浸漬工程の後、スラリーからガスセンサ素子本体100aの先端部100bが引き上げられると、その先端部100bには、スラリーの付着物からなる塗膜700が形成される。そして、浸漬工程後、先端部100bに形成されている塗膜700の厚みが、多孔質保護層20として必要な厚みを超えていると、その超えた分の塗膜が、擦切工程により除去される。なお、本明細書において、多孔質保護層20として必要な塗膜700の厚みを、「必要厚み」と称する The scraping step is a step of scraping off the coating film 700 of the slurry adhering to the tip portion 100b of the gas sensor element main body 100a to remove a part of the coating film 700. FIG. As described above, when the tip portion 100b of the gas sensor element main body 100a is pulled up from the slurry after the immersion step, the coating film 700 made of the slurry deposit is formed on the tip portion 100b. After the immersion step, if the thickness of the coating film 700 formed on the tip portion 100b exceeds the thickness required for the porous protective layer 20, the excess coating film is removed by the scraping step. be. In this specification, the thickness of the coating film 700 required as the porous protective layer 20 is referred to as "required thickness".

本明細書では、浸漬工程後に先端部100bに付着した塗膜700のうち、先端部100bの周面100dに形成された塗膜を、「周面塗膜701」と称し、また、先端部100bの先端面100cに形成された塗膜を、「先端塗膜702」と称する。本明細書では、軸方向(軸線L方向)において、先端部100bの先端面100cよりも先側にある塗膜を、先端塗膜702とする。 In this specification, of the coating film 700 adhering to the tip portion 100b after the immersion step, the coating film formed on the peripheral surface 100d of the tip portion 100b is referred to as the “peripheral coating film 701”, and the tip portion 100b The coating film formed on the tip end surface 100c of is referred to as "tip coating film 702". In the present specification, the tip coating film 702 is the coating film on the front side of the tip surface 100c of the tip portion 100b in the axial direction (the direction of the axis L).

本実施形態の擦切工程は、先端部100bに付着した塗膜700のうち、先端部100bの周面100dに形成された周面塗膜701の一部(余分な塗膜)701aを、擦切型500を利用して除去する工程(周面擦切工程)と、先端部100bの先端面100cに形成された先端塗膜702の一部(余分な塗膜)702aを、擦切刃600を利用して除去する工程(先端面擦切工程)とを備えている。本実施形態では、先に周面擦切工程が行われ、その後、先端面擦切工程が行われる。 In the scraping step of the present embodiment, of the coating film 700 adhering to the tip portion 100b, part of the peripheral surface coating film 701 formed on the peripheral surface 100d of the tip portion 100b (excess coating film) 701a is scraped off. 500 is used to remove (peripheral surface scraping step), and a portion of the tip coating 702 (excess coating) 702a formed on the tip surface 100c of the tip 100b is removed using the scraping blade 600. and a removing step (tip surface scraping step). In this embodiment, the circumferential surface scraping step is performed first, and then the tip surface scraping step is performed.

図9は、擦切工程において、擦切型500を利用して、ガスセンサ素子本体100aの先端部100bの周面100dに形成された周面塗膜701の一部(余分な塗膜)701aが除去される様子を示す説明図である。図9には、上述した周面擦切工程の内容が示されている。浸漬工程後、引き上げられたガスセンサ素子本体100aの先端部100bに、必要厚みを超えた周面塗膜701が付着していると、その超えた分の塗膜(余分な塗膜)701aが、先端部100bが擦切型500の開口縁部503内(貫通孔502)を下側から上側へ通り抜ける際に、開口縁部503によって擦り切られる。このようにして、先端部100bが、開口縁部503内を通過する際に、余分な塗膜701aが、必要厚み分の周面塗膜701から分離される。 FIG. 9 shows that in the scraping step, a scraping die 500 is used to remove a portion (excess coating film) 701a of the peripheral surface coating film 701 formed on the peripheral surface 100d of the tip portion 100b of the gas sensor element main body 100a. It is an explanatory view showing a state of FIG. 9 shows the contents of the above-described peripheral surface scraping process. After the immersion step, if the peripheral coating film 701 exceeding the required thickness adheres to the tip portion 100b of the gas sensor element main body 100a that has been pulled up, the excess coating film (excess coating film) 701a is The tip 100b is scraped off by the opening edge 503 as it passes through the opening edge 503 (through hole 502) of the scraping die 500 from the lower side to the upper side. In this way, when the tip portion 100b passes through the opening edge portion 503, the excess coating film 701a is separated from the peripheral coating film 701 of the required thickness.

なお、分離された余分な塗膜701aの一部は、自重等により落下し、ディッピング槽400内へ戻される。擦切型500は、例えば、金属製の板材が所定形状に加工されたものからなる。擦切型500の開口縁部503の大きさ(貫通孔502の大きさ)は、上述したように、ガスセンサ素子本体100aが通過できると共に、多孔質保護層20を形成するために、必要な厚みの塗膜700(周面塗膜701)が、周面擦切工程後に先端部100bの周りに形成されるように設定されている。本実施形態の場合、開口縁部503は、平面視で、矩形状をなしており、図示されない固定装置を利用して固定されている。開口縁部503の長手方向(長辺方向)は、ガスセンサ素子本体100aの短手方向(幅方向)に沿って配され、開口縁部503の短手方向(短辺方向)は、ガスセンサ素子本体100aの厚み方向に沿って配されている。 A part of the separated excess coating film 701a drops due to its own weight or the like and is returned into the dipping tank 400. FIG. The scraping die 500 is made of, for example, a metal plate processed into a predetermined shape. The size of the opening edge portion 503 (the size of the through hole 502) of the scraping die 500 is such that the gas sensor element main body 100a can pass therethrough and the thickness required for forming the porous protective layer 20 is sufficient as described above. A coating film 700 (peripheral coating film 701) is set to be formed around the tip portion 100b after the peripheral surface scraping process. In the case of this embodiment, the opening edge 503 has a rectangular shape in plan view, and is fixed using a fixing device (not shown). The longitudinal direction (long side direction) of the opening edge portion 503 is arranged along the short side direction (width direction) of the gas sensor element main body 100a, and the short side direction (short side direction) of the opening edge portion 503 is arranged along the gas sensor element main body. It is arranged along the thickness direction of 100a.

図10は、擦切工程において、擦切刃600を利用して、ガスセンサ素子本体100aの先端部100bの先端面100cに形成された先端塗膜702の一部(余分な塗膜)702aが除去される様子を示す説明図である。図10には、上述した先端面擦切工程の内容が示されている。周面擦切工程後、擦切型500の開口縁部503内を下側から上側へ通過したガスセンサ素子本体100aは、先端部100bの先端面100cの位置が、先端面擦切工程のために、予め定められた所定の高さ位置となるように上方へ移動する。先端面擦切工程のための先端面100cの所定の高さ位置は、先端面100cに形成される先端塗膜702の厚みが、先端面擦切工程後に、多孔質保護層20として必要な厚みとなるように設定される。本実施形態の場合、先端面擦切工程が行われる際の先端面100cの高さ位置は、上述した待機位置で静止したガスセンサ素子本体100aの先端面100cの高さ位置と同じになるように設定されている。他の実施形態においては、先端面擦切工程が行われる際の先端面100cの高さ位置は、待機位置で静止したガスセンサ素子本体100aの先端面100cの高さ位置と異なってもよい。 FIG. 10 shows that in the scraping step, a scraping blade 600 is used to remove a portion (excess coating) 702a of the tip coating 702 formed on the tip surface 100c of the tip portion 100b of the gas sensor element main body 100a. It is explanatory drawing which shows a state. FIG. 10 shows the content of the tip surface scraping process described above. After the circumferential surface scraping step, the gas sensor element main body 100a that has passed through the opening edge portion 503 of the scraping die 500 from the bottom to the upper side has the tip surface 100c of the tip portion 100b at a predetermined position for the tip surface scraping step. move upward to the predetermined height position. The predetermined height position of the tip surface 100c for the tip surface scraping step is such that the thickness of the tip coating film 702 formed on the tip surface 100c becomes the thickness necessary for the porous protective layer 20 after the tip surface scraping step. is set to In the case of this embodiment, the height position of the tip surface 100c when the step of scraping the tip surface is performed is set to be the same as the height position of the tip surface 100c of the gas sensor element main body 100a stationary at the standby position described above. It is In another embodiment, the height position of the tip face 100c when the step of scraping the tip face is performed may differ from the height position of the tip face 100c of the gas sensor element main body 100a stationary at the standby position.

図10には、待機位置で静止した状態のガスセンサ素子本体100aが示されている。その状態のガスセンサ素子本体100aの先端部100bには、余分な塗膜701aが除去されて厚みが調整された周面塗膜701を含む塗膜700が形成されている。このような塗膜700のうち、先端面100cに形成された先端塗膜702が、必要厚みを超えていると、その超えた分の塗膜(余分な塗膜702a)が、擦切刃600により擦り切られる。 FIG. 10 shows the gas sensor element main body 100a in a stationary state at the standby position. At the tip portion 100b of the gas sensor element main body 100a in this state, a coating film 700 including a peripheral coating film 701 whose thickness has been adjusted by removing an excess coating film 701a is formed. Among such coating films 700, if the tip coating film 702 formed on the tip surface 100c exceeds the required thickness, the excess coating film (excess coating film 702a) is removed by the scraping blade 600. be worn out.

擦切刃600は、例えば、金属製の板材が所定形状に加工されたものからなる。擦切刃600は、その先端部601が水平方向に沿って往復移動できるように、公知の往復機構等を利用して構成されている。擦切工程において、擦切刃600の先端部601の高さ位置、及びガスセンサ素子本体100aの先端部100bの高さ位置は、必要厚み分の先端塗膜702が、先端面100cに残されるように設定される。なお、図6において、ガスセンサ素子本体100aは、その長手方向が、鉛直方向(上下方向)に沿う形で配されている。そのようなガスセンサ素子本体100aの軸方向(軸線L方向)は、鉛直方向に沿った状態となっている。そのため、擦切刃600は、ガスセンサ素子本体100aの軸方向に対して垂直に交わる方向に沿って移動すると言える。 The scraping blade 600 is made of, for example, a metal plate processed into a predetermined shape. The scraping blade 600 is configured using a known reciprocating mechanism or the like so that the tip portion 601 thereof can reciprocate along the horizontal direction. In the scraping step, the height position of the tip portion 601 of the scraping blade 600 and the height position of the tip portion 100b of the gas sensor element main body 100a are set so that the tip coating film 702 of the required thickness is left on the tip surface 100c. be done. In FIG. 6, the gas sensor element main body 100a is arranged such that its longitudinal direction extends along the vertical direction (vertical direction). The axial direction (the direction of the axis L) of such a gas sensor element main body 100a is along the vertical direction. Therefore, it can be said that the scraping blade 600 moves along a direction perpendicular to the axial direction of the gas sensor element main body 100a.

擦切刃600は、上述した浸漬工程の間、及び周面擦切工程の間は、それぞれ図6等に示されるように、退避位置で静止している。ガスセンサ素子本体100aが、周面擦切工程後、待機位置へ戻されて静止すると、擦切刃600は、先端塗膜702の余分な塗膜702aを擦り切るように、水平方向へ移動する。擦切刃600は、その先端部601が、退避位置から、スセンサ素子本体100a側へ水平移動し、更に、開口縁部503の上方において、開口縁部503を長手方向に横切るように水平移動する。擦切刃600は、開口縁部503を横切るように水平移動する際に、先端部601が、必要厚みを超えた余分な塗膜702aを、必要厚み分の先端塗膜702から削り取る形となる。このようにして、先端面100cに形成された先端塗膜702が、必要厚みを超えていると、その超えた分の塗膜(余分な塗膜702a)が、擦切刃600により擦り切られる。 The scraping blade 600 is stationary at the retracted position as shown in FIG. When the gas sensor element main body 100a is returned to the standby position and stands still after the peripheral surface scraping process, the scraping blade 600 moves horizontally so as to scrape off the excess coating film 702a of the tip coating film 702. FIG. The tip 601 of the scraping blade 600 horizontally moves from the retracted position toward the sensor element main body 100a, and further moves horizontally above the opening edge 503 so as to cross the opening edge 503 in the longitudinal direction. When the scraping blade 600 horizontally moves across the opening edge 503, the tip 601 scrapes off the excess coating 702a exceeding the required thickness from the tip coating 702 of the required thickness. In this way, if the tip coating film 702 formed on the tip surface 100c exceeds the required thickness, the excess coating film (excess coating film 702a) is scraped off by the scraping blade 600. FIG.

図11は、擦切工程後、擦切刃600が退避位置へ戻される様子を示す説明図である。擦切刃600は、先端塗膜702の余分な塗膜702aを擦り切った後、再び、退避位置へ戻るように、擦り切り時とは逆向きに水平移動する。 FIG. 11 is an explanatory view showing how the scraping blade 600 is returned to the retracted position after the scraping process. After scraping off the excess coating film 702a of the tip coating film 702, the scraping blade 600 moves horizontally in a direction opposite to that during scraping so as to return to the retracted position.

以上のような擦切工程(周面擦切工程、先端面擦切工程)を経ることで、ガスセンサ素子本体100aの先端部100bに形成された塗膜700は、厚みが大きくなり過ぎないように調整される。 Through the scraping process (peripheral surface scraping process, tip surface scraping process) as described above, the coating film 700 formed on the tip portion 100b of the gas sensor element main body 100a is adjusted so as not to be too thick. .

擦切工程後、ガスセンサ素子本体100aの先端部100bに、多孔質保護層20を形成するための十分な厚みの塗膜700が形成されると、そのガスセンサ素子本体100aは、焼成工程に付される。 After the scraping process, when the coating film 700 having a sufficient thickness for forming the porous protective layer 20 is formed on the tip portion 100b of the gas sensor element main body 100a, the gas sensor element main body 100a is subjected to a firing process. .

焼成工程は、擦切工程を経た後の塗膜700を焼成して、多孔質保護層20を得る工程である。焼成工程における焼成温度、及び焼成時間等の諸条件は、塗膜700が焼結されて、多孔質保護層20が得られるのであれば、特に制限はなく、目的に応じて適宜、設定される。焼成工程は、例えば、1000℃、3時間の条件で実施される。 The firing step is a step of firing the coating film 700 after the scraping step to obtain the porous protective layer 20 . Various conditions such as the firing temperature and firing time in the firing step are not particularly limited as long as the coating film 700 is sintered to obtain the porous protective layer 20, and are appropriately set according to the purpose. . The firing process is performed, for example, at 1000° C. for 3 hours.

以上のように、本実施形態のガスセンサ素子の製造方法では、浸漬工程、擦切工程及び焼成工程を経ることで、ガスセンサ素子100(ガスセンサ素子本体100a)の検知部150が配置された先端部100bに、多孔質保護層20を被覆することができ、上述したような多孔質保護層20を備えたガスセンサ素子100(図3~図5参照)が得られる。このような本実施形態のガスセンサ素子の製造方法によれば、焼成工程の前に、スラリーからなる塗膜700の厚みを、擦切工程により、所望の厚みに調整することができる。そのため、本実施形態のガスセンサ素子の製造方法によれば、従来技術よりも、多孔質保護層20全体の容積が抑えられ、かつ活性時間の短いガスセンサ素子100を製造することも可能である。 As described above, in the method for manufacturing the gas sensor element of the present embodiment, the tip portion 100b of the gas sensor element 100 (gas sensor element main body 100a) where the detection section 150 is arranged is subjected to the immersion process, the scraping process, and the baking process. , the porous protective layer 20 can be coated, and the gas sensor element 100 (see FIGS. 3 to 5) provided with the porous protective layer 20 as described above is obtained. According to the method for manufacturing the gas sensor element of the present embodiment, the thickness of the coating film 700 made of slurry can be adjusted to a desired thickness by the scraping process before the firing process. Therefore, according to the method for manufacturing the gas sensor element of the present embodiment, it is possible to manufacture the gas sensor element 100 with a smaller volume of the entire porous protective layer 20 and a shorter active time than the conventional technique.

なお、後述する実施形態2と比べて、本実施形態のように、擦切刃600を、擦切型500の上面500a側に配置し、かつ上面500aから離した状態で、先端面擦切工程を行う方が好ましい。何故ならば、除去した余分な塗膜702a等の硬化物の影響等により、擦切刃600の水平移動が妨げられ難いからである。 In addition, compared with the second embodiment described later, the scraping blade 600 is arranged on the upper surface 500a side of the scraping die 500 and separated from the upper surface 500a as in the present embodiment, and the tip surface scraping step is performed. is preferred. This is because the horizontal movement of the scraping blade 600 is less likely to be hindered due to the influence of the cured material such as the removed excess coating film 702a.

<実施形態2>
次いで、実施形態2に係るガスセンサ素子の製造方法を、図12及び図13を参照しつつ説明する。実施形態2は、擦切工程(先端面擦切工程)で使用する擦切刃600Aの構成等が、上述した実施形態1のものと異なる。ここでは、実施形態2の周面擦切工程を中心に説明する。なお、実施形態2等の以降の実施形態において、実施形態1で説明した部分と同一の部分については、同一の符号を付し、その説明を省略する。
<Embodiment 2>
Next, a method for manufacturing a gas sensor element according to Embodiment 2 will be described with reference to FIGS. 12 and 13. FIG. Embodiment 2 differs from Embodiment 1 described above in the configuration and the like of the scraping blade 600A used in the scraping step (tip surface scraping step). Here, the peripheral surface scraping process of the second embodiment will be mainly described. In the subsequent embodiments such as the second embodiment, the same reference numerals are given to the same parts as those explained in the first embodiment, and the explanation thereof will be omitted.

図12は、実施形態2のガスセンサ素子の製造方法における浸漬工程において、ガスセンサ素子本体100aが、ディッピング槽400の上方で待機している状態を示す説明図である。図12に示されるように、待機位置にあるガスセンサ素子本体100aと、ディッピング槽400との間には、実施形態1と同様の擦切型500が配置されている。擦切刃600Aは、実施形態1と同様、金属製の板材が所定形状に加工されたものからなり、その先端部601Aが水平方向に沿って往復移動できるように構成されている。擦切刃600Aは、図12に示されるように、貫通孔502と上下方向で重ならないように、貫通孔502よりも外側の位置に退避している。ただし、本実施形態の擦切刃600Aは、擦切型500の上面500a側ではなく、下面500b側に配されており、かつその下面500bに沿って移動できるように構成されている。 FIG. 12 is an explanatory diagram showing a state in which the gas sensor element main body 100a stands by above the dipping tank 400 in the dipping step in the method for manufacturing the gas sensor element of the second embodiment. As shown in FIG. 12, between the gas sensor element main body 100a at the standby position and the dipping tank 400, a scraping die 500 similar to that of the first embodiment is arranged. The scraping blade 600A is made of a metal plate processed into a predetermined shape, as in the first embodiment, and is configured such that the tip portion 601A thereof can reciprocate along the horizontal direction. As shown in FIG. 12, the scraping blade 600A is retracted to a position outside the through hole 502 so as not to overlap the through hole 502 in the vertical direction. However, the scraping blade 600A of this embodiment is arranged on the lower surface 500b side of the scraping die 500, not on the upper surface 500a side, and is configured to be movable along the lower surface 500b.

図13は、実施形態2のガスセンサ素子の製造方法における擦切工程(周面擦切工程)において、擦切刃600Aを利用して、ガスセンサ素子本体100aの先端部100bの先端面100cに形成された先端塗膜702の一部(余分な塗膜)702aが除去される様子を示す説明図である。本実施形態では、実施形態1と同様の浸漬工程が行われ、その後、ガスセンサ素子本体100aが、先端部100bにスラリーの塗膜700が付着した状態で、ディッピング槽400内から引き上げられる。そして、実施形態1と同様、塗膜700が付着した状態の先端部100bを、擦切型500の開口縁部503内(貫通孔502)を下側から上側へ通過させることで、開口縁部503により、周面塗膜701の一部(余分な塗膜)701aが除去される。だだし、本実施形態の周面擦切工程では、塗膜700が付着した先端部100bが完全に開口縁部503内を通り抜ける前に、先端面擦切工程のために、先端部100bの先端面100cの位置が、予め定められた所定の高さ位置となったところで、ガスセンサ素子本体100aの移動が停止される。 FIG. 13 shows a front end coating formed on the front end surface 100c of the front end portion 100b of the gas sensor element main body 100a by using the front end coating 600A in the front end coating (peripheral surface front end) in the method of manufacturing the gas sensor element according to the second embodiment. FIG. 7 is an explanatory diagram showing how a part (excess coating film) 702a of the film 702 is removed; In the present embodiment, the same dipping process as in the first embodiment is performed, and then the gas sensor element main body 100a is lifted out of the dipping bath 400 with the slurry coating film 700 adhering to the tip portion 100b. Then, as in the first embodiment, the tip portion 100b to which the coating film 700 is attached is passed through the opening edge portion 503 (the through hole 502) of the scraping die 500 from the bottom to the top, so that the opening edge portion 503 is A part (excess coating film) 701a of the peripheral surface coating film 701 is removed by this. However, in the circumferential surface scraping step of the present embodiment, before the tip portion 100b to which the coating film 700 is adhered completely passes through the opening edge portion 503, the tip surface 100c of the tip portion 100b is removed for the tip surface scraping step. reaches a predetermined height position, the movement of the gas sensor element main body 100a is stopped.

先端面擦切工程のための先端面100cの所定の高さ位置は、先端面100cに形成される先端塗膜702の厚みが、先端面擦切工程後に、多孔質保護層20として必要な厚みとなるように設定される。先端面100cが、前記所定の高さ位置で停止した際、先端面100cに付着している先端塗膜702の一部が、擦切型500の下面500bよりも下側にはみ出した場合、そのはみ出した分が、余分な塗膜702aとして擦切刃600Aにより擦り切られる。図13には、余分な塗膜702aが、擦切型500の下面500bに沿って移動する擦切刃600Aの先端部601Aによって、擦り切られて除去される様子が示されている。擦切刃600Aによる余分な塗膜702aの除去が終わった後、擦切刃600Aは、退避位置まで戻される。 The predetermined height position of the tip surface 100c for the tip surface scraping step is such that the thickness of the tip coating film 702 formed on the tip surface 100c becomes the thickness necessary for the porous protective layer 20 after the tip surface scraping step. is set to When the tip surface 100c stops at the predetermined height position, if part of the tip coating 702 adhering to the tip surface 100c protrudes below the lower surface 500b of the scraping die 500, the protrusion The excess coating film 702a is scraped off by the scraping blade 600A. FIG. 13 shows how the extra coating film 702a is scraped off by the tip 601A of the scraping blade 600A moving along the lower surface 500b of the scraping die 500 and removed. After the excess coating film 702a is removed by the scraping blade 600A, the scraping blade 600A is returned to the retracted position.

先端面擦切工程の終了後、周面擦切工程が再開され、ガスセンサ素子本体100aが上昇し、塗膜700が形成された先端部100bが開口縁部503内を通り抜け、ガスセンサ素子本体100aは、待機位置まで戻される。このように、擦切型500の下面500b側に擦切刃600Aを配置して、先端面擦切工程を行ってもよい。 After the tip surface scraping process is completed, the peripheral surface scraping process is restarted, the gas sensor element main body 100a is lifted, the tip part 100b having the coating film 700 formed thereon passes through the opening edge part 503, and the gas sensor element main body 100a is ready for standby. returned to position. In this way, the scraping blade 600A may be arranged on the side of the lower surface 500b of the scraping die 500 to perform the tip surface scraping step.

<実施形態3>
次いで、実施形態3に係るガスセンサ素子の製造方法を、図14及び図15を参照しつつ説明する。先ずは、本実施形態に係るガスセンサ素子の製造方法により製造されるガスセンサ素子100Aの構成について説明する。図14は、軸線方向に沿って切断された実施形態3に係るガスセンサ素子100Aの先端側の構成を模式的に表した断面図である。本実施形態のガスセンサ素子100Aは、実施形態1と同様の構成のガスセンサ素子本体100aを備えている。本実施形態のガスセンサ素子100Aは、そのガスセンサ素子100Aの先端部100b(検知部150)の周りに、実施形態1と同様、多孔質保護層20Aを備えているものの、その多孔質保護層20Aの構成が、実施形態1のものと異なっている。多孔質保護層20Aは、先端部100bの先端面100c及び周面100dに直接、形成される内側多孔質保護層21と、その内側多孔質保護層21を覆うように内側多孔質保護層21上に形成される外側多孔質保護層22とを備えている。つまり、多孔質保護層20Aは、実施形態1の単層型とは異なり、多層型となっている。多孔質保護層20Aの内側多孔質保護層21は、外側多孔質保護層22よりも、低密度であり、気孔率(%)が高い構造となっている。
<Embodiment 3>
Next, a method for manufacturing a gas sensor element according to Embodiment 3 will be described with reference to FIGS. 14 and 15. FIG. First, the configuration of the gas sensor element 100A manufactured by the method for manufacturing a gas sensor element according to this embodiment will be described. FIG. 14 is a cross-sectional view schematically showing the configuration of the distal end side of the gas sensor element 100A according to Embodiment 3 cut along the axial direction. A gas sensor element 100A of this embodiment includes a gas sensor element main body 100a having the same configuration as that of the first embodiment. The gas sensor element 100A of the present embodiment includes a porous protective layer 20A around the tip portion 100b (detection section 150) of the gas sensor element 100A, as in the first embodiment. The configuration is different from that of the first embodiment. The porous protective layer 20A is composed of the inner porous protective layer 21 formed directly on the distal end surface 100c and the peripheral surface 100d of the distal end portion 100b, and the inner porous protective layer 21 on the inner porous protective layer 21 so as to cover the inner porous protective layer 21. and an outer porous protective layer 22 formed on. In other words, the porous protective layer 20A is of a multi-layer type unlike the single-layer type of the first embodiment. The inner porous protective layer 21 of the porous protective layer 20</b>A has a lower density and a higher porosity (%) than the outer porous protective layer 22 .

外側多孔質保護層22は、例えば、上述した実施形態1と同様のスラリーを利用して形成することができる。これに対し、内側多孔質保護層21は、外側多孔質保護層22用のスラリーとは異なる、他のスラリー(内側多孔質保護層21用のスラリー)を用いて形成される。内側多孔質保護層21用のスラリーとしては、例えば、外側多孔質保護層22用のスラリーよりも、造孔材の添加量を多くしたものが利用される。 The outer porous protective layer 22 can be formed using, for example, slurry similar to that of the first embodiment described above. On the other hand, the inner porous protective layer 21 is formed using another slurry (slurry for the inner porous protective layer 21) different from the slurry for the outer porous protective layer 22. As the slurry for the inner porous protective layer 21, for example, a slurry containing a larger amount of pore-forming material than the slurry for the outer porous protective layer 22 is used.

本実施形態のガスセンサ素子の製造方法では、多孔質保護層20Aのうち、最も外側に配される外側多孔質保護層22のみが、焼成工程の前に、擦切工程によって、厚みが調整される。 In the method for manufacturing the gas sensor element of the present embodiment, only the outermost porous protective layer 22 among the porous protective layers 20A has its thickness adjusted by the scraping process before the firing process.

図15は、実施形態3のガスセンサ素子の製造方法における浸漬工程において、ガスセンサ素子本体100aが、ディッピング槽400の上方で待機している状態を示す説明図である。本実施形態では、図15に示されるように、ガスセンサ素子本体100aの先端部100bの先端面100c及び周面100dを被覆する形で、内側多孔質保護層21用のスラリーによる塗膜800が予め形成されている。このように、本実施形態のガスセンサ素子の製造方法で利用されるガスセンサ素子100A(ガスセンサ素子本体100a)としては、予め先端部100bに、外側多孔質保護層22用のスラリーとは組成の異なる他のスラリーの塗膜800が形成されたものが用いられる。なお、この塗膜800は、先端部100bの先端面100c及び周面100dに対して、所謂、公知の浸漬工程(ディッピング)を経て形成されてもよいし、それ以外の他の塗布工程(例えば、スプレー塗布)を経て形成されてもよい。 FIG. 15 is an explanatory view showing a state in which the gas sensor element main body 100a stands by above the dipping tank 400 in the dipping step in the method for manufacturing the gas sensor element of the third embodiment. In the present embodiment, as shown in FIG. 15, a slurry coating 800 for the inner porous protective layer 21 is applied in advance so as to cover the front end surface 100c and the peripheral surface 100d of the front end portion 100b of the gas sensor element main body 100a. formed. As described above, the gas sensor element 100A (gas sensor element main body 100a) used in the method of manufacturing the gas sensor element of the present embodiment has a slurry different in composition from the slurry for the outer porous protective layer 22 and is previously applied to the tip portion 100b. A slurry coated film 800 is used. Note that the coating film 800 may be formed on the tip surface 100c and the peripheral surface 100d of the tip portion 100b through a so-called dipping process, or may be formed by another coating process (for example, , spray coating).

本実施形態のガスセンサ素子の製造方法では、塗膜800付きのガスセンサ素子本体100aを使用すること以外は、実施形態1と同様、浸漬工程、擦切工程及び焼成工程が行われる。このような本実施形態のガスセンサ素子の製造方法により、多層型の多孔質保護層20Aを備えたガスセンサ素子100Aを製造してもよい。 In the method for manufacturing the gas sensor element of the present embodiment, the dipping process, the scraping process and the baking process are performed in the same manner as in the first embodiment except that the gas sensor element main body 100a with the coating film 800 is used. A gas sensor element 100A having a multi-layered porous protective layer 20A may be manufactured by the method for manufacturing a gas sensor element of this embodiment.

<他の実施形態>
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれる。
<Other embodiments>
The present invention is not limited to the embodiments explained by the above description and drawings, and the following embodiments are also included in the technical scope of the present invention.

(1)上記実施形態1等では、浸漬工程を1回のみ行う場合を例示したが、本発明はこれに限られず、他の実施形態においては、浸漬工程及び擦切工程を、焼成工程の前に、それぞれ2回以上行ってもよい。例えば、1回の浸漬工程では、ガスセンサ素子本体100aの先端部100bの全ての面(先端面100c及び周面100d)に、多孔質保護層20を形成するために十分な厚みの塗膜700を形成できない場合、更に浸漬工程を行ってもよい。浸漬工程は、ガスセンサ素子本体100aの先端部100bの全ての面(先端面100c及び周面100d)に、十分な厚みの塗膜700が形成されるまで行われる。なお、周面塗膜701の厚みが、必要厚みよりも小さい場合、その周面塗膜701は、周面擦切工程において、擦り切られず、また、先端面塗膜702の厚みが、必要厚みよりも小さい場合、その先端面塗膜702は、先端面擦切工程において、擦り切られない。 (1) In Embodiment 1 and the like, the case where the immersion step is performed only once was exemplified, but the present invention is not limited to this, and in other embodiments, the immersion step and the scraping step are performed before the baking step. , may be performed twice or more. For example, in one immersion step, the coating film 700 having a thickness sufficient to form the porous protective layer 20 is applied to all the surfaces (the front end surface 100c and the peripheral surface 100d) of the front end portion 100b of the gas sensor element main body 100a. If it cannot be formed, an additional dipping step may be performed. The immersion step is performed until a coating film 700 having a sufficient thickness is formed on all surfaces (tip surface 100c and peripheral surface 100d) of tip portion 100b of gas sensor element main body 100a. When the thickness of the peripheral coating 701 is smaller than the required thickness, the peripheral coating 701 is not scraped off in the peripheral scraping process, and the thickness of the tip surface coating 702 is less than the required thickness. is smaller, the tip coating 702 will not be scraped off during the tip scraping process.

(2)上記実施形態1等では、擦切工程の後、直ちに焼成工程を行ったが、他の実施形態においては、擦切工程と、焼成工程との間に、乾燥工程を行ってもよい。乾燥工程を行うことで、ガスセンサ素子本体100aの先端部100bに形成された塗膜700中の水分が減少し、更には、塗膜700中の有機バインダ等が熱硬化することで、塗膜700がある程度、硬くなり、塗膜700の形状が保たれ易くなる。乾燥工程における乾燥温度、及び乾燥時間等の諸条件は、特に制限はないが、例えば、90℃で、1分間以上で行われてもよい。特に、浸漬工程を、焼成工程の前に複数回行う場合、先に行った浸漬工程と、その次に行う浸漬工程との間に、塗膜700を乾燥させるための乾燥工程を行うことが好ましい。先に行った浸漬工程の後に、乾燥工程を行うと、次に行う浸漬工程において、既に形成された塗膜の上に、新たなスラリーの塗膜を重ねて形成し易く、多孔質保護層を形成するための十分な厚みの塗膜700を得やすい。 (2) In Embodiment 1 and the like, the baking process is performed immediately after the scraping process, but in other embodiments, the drying process may be performed between the scraping process and the baking process. By performing the drying process, the water content in the coating film 700 formed on the tip portion 100b of the gas sensor element main body 100a is reduced, and further, the organic binder and the like in the coating film 700 are thermally cured, so that the coating film 700 is dried. becomes hard to some extent, and the shape of the coating film 700 is easily maintained. Various conditions such as drying temperature and drying time in the drying step are not particularly limited, but for example, drying may be performed at 90° C. for 1 minute or more. In particular, when the immersion process is performed multiple times before the baking process, it is preferable to perform a drying process for drying the coating film 700 between the first immersion process and the subsequent immersion process. . When the drying step is performed after the previous dipping step, it is easy to form a new slurry coating film on top of the already formed coating film in the next dipping step, thereby forming a porous protective layer. It is easy to obtain a sufficiently thick coating film 700 for forming.

(3)他の実施形態において、擦切工程を2回以上行う場合、各擦切工程(周面擦切工程)において、開口縁部の大きさ、形状等が異なる擦切型を用いてもよい。また、他の実施形態において、擦切工程を2回以上行う場合、各擦切工程(先端面擦切工程)において、高さ位置の異なる擦切刃等を用いてもよい。また、他の実施形態においては、浸漬工程の後、先に先端面擦切工程を行い、その後、周面擦切工程を行ってもよい。 (3) In another embodiment, when the scraping process is performed twice or more, scraping dies having different sizes, shapes, etc. of the opening edges may be used in each scraping process (peripheral surface scraping process). In another embodiment, when the scraping process is performed twice or more, scraping blades having different height positions may be used in each scraping process (tip surface scraping process). In another embodiment, after the immersion step, the tip surface scraping step may be performed first, and then the peripheral surface scraping step may be performed.

(4)上記実施形態1では、擦切型の開口縁部は、矩形状であったが、他の実施形態ではこれに限られず、求められる多孔質保護層の形状に応じて、適宜、矩形状以外の形に設定されてもよい。 (4) In the above Embodiment 1, the opening edge of the scraping type has a rectangular shape, but in other embodiments, it is not limited to this. It may be set in other forms.

(5)上記実施形態1等の製造方法で製造されたガスセンサ素子の多孔質保護層に対して、必要に応じて、レーザや刃物等による切削加工等を施し、多孔質保護層の形状を微調整してもよい。 (5) If necessary, the porous protective layer of the gas sensor element manufactured by the manufacturing method of Embodiment 1 or the like is subjected to cutting or the like using a laser or a blade to finely shape the porous protective layer. may be adjusted.

1…ガスセンサ、100…ガスセンサ素子、100a…ガスセンサ素子本体、100b…先端部、100c…先端面、100d…周面、150…検知部、500…擦切型、503…開口縁部、600…擦切刃、700…スラリーの塗膜、701…周面塗膜、702…先端面塗膜、701a,702a…余分な塗膜 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1... Gas sensor 100... Gas sensor element 100a... Gas sensor element main body 100b... Tip part 100c... Tip surface 100d... Peripheral surface 150... Detection part 500... Scraping die 503... Opening edge part 600... Scraping blade , 700... Slurry coating film 701... Peripheral surface coating film 702... Tip surface coating film 701a, 702a... Excess coating film

Claims (5)

軸方向に延びる板状のガスセンサ素子の先端側に配置された検知部に、多孔質保護層を被覆するガスセンサ素子の製造方法であって、
前記ガスセンサ素子の前記先端側を多孔質保護層形成用のスラリーに浸漬することで前記ガスセンサ素子の先端面及び周面に前記スラリーの塗膜を形成する浸漬工程と、
前記塗膜を擦り切って前記塗膜の一部を除去する擦切工程と、
前記擦切工程を経た後の前記塗膜を焼成して、前記多孔質保護層を得る焼成工程と、を備えるガスセンサ素子の製造方法。
A method for manufacturing a gas sensor element in which a detecting portion disposed on the tip side of a plate-shaped gas sensor element extending in an axial direction is covered with a porous protective layer,
an immersion step of immersing the tip side of the gas sensor element in slurry for forming a porous protective layer to form a coating film of the slurry on the tip surface and the peripheral surface of the gas sensor element;
A scraping step of scraping off the coating film to remove a portion of the coating film;
and a baking step of baking the coating film after the scraping step to obtain the porous protective layer.
軸方向に延びるガスセンサ素子の先端側に配置された検知部に、多孔質保護層を被覆するガスセンサ素子の製造方法であって、A method for manufacturing a gas sensor element in which a detecting portion disposed on the tip side of the gas sensor element extending in the axial direction is covered with a porous protective layer,
前記ガスセンサ素子の前記先端側を多孔質保護層形成用のスラリーに浸漬することで前記ガスセンサ素子の先端面及び周面に前記スラリーの塗膜を形成する浸漬工程と、an immersion step of immersing the tip side of the gas sensor element in slurry for forming a porous protective layer to form a coating film of the slurry on the tip surface and the peripheral surface of the gas sensor element;
前記塗膜を擦り切って前記塗膜の一部を除去する擦切工程と、A scraping step of scraping off the coating film to remove a portion of the coating film;
前記擦切工程を経た後の前記塗膜を焼成して、前記多孔質保護層を得る焼成工程と、を備え、a baking step of baking the coating film after the scraping step to obtain the porous protective layer,
前記浸漬工程は、前記焼成工程の前に複数回行われ、The dipping step is performed multiple times before the firing step,
先に行った前記浸漬工程と、その次に行う前記浸漬工程との間に、前記塗膜を乾燥させる乾燥工程を備えるガスセンサ素子の製造方法。A method for manufacturing a gas sensor element, comprising a drying step of drying the coating film between the first dipping step and the subsequent dipping step.
前記擦切工程において、擦切型の内側に設けられた貫通孔に前記ガスセンサ素子を通過させることで前記周面に形成された周面塗膜のうち余分な塗膜が前記貫通孔の開口縁部によって擦り切られる請求項1又は請求項2に記載のガスセンサ素子の製造方法。 In the scraping step, the gas sensor element is passed through a through hole provided inside a scraping die, and an excess coating film of the peripheral surface coating film formed on the peripheral surface is removed by the opening edge of the through hole. 3. The method for manufacturing the gas sensor element according to claim 1, wherein the gas sensor element is abraded. 前記擦切工程において、前記先端面に形成された先端塗膜のうち余分な塗膜が前記軸方向に対して垂直に交わる方向に沿って移動する擦切刃によって擦り切られる請求項1~請求項3の何れか一項に記載のガスセンサ素子の製造方法。 In the scraping step, an excess coating film of the tip coating film formed on the tip surface is scraped off by a scraping blade moving along a direction perpendicular to the axial direction. A method for manufacturing a gas sensor element according to any one of 1. 前記スラリーは、せん断速度が0.1s-1のとき43000mPa・s以上であり、かつせん断速度が10s-1のとき2500mPa・s以下である請求項1~請求項4の何れか一項に記載のガスセンサ素子の製造方法。 5. The slurry according to any one of claims 1 to 4, wherein the slurry has a shear rate of 43000 mPa·s or more at a shear rate of 0.1 s −1 and a shear rate of 2500 mPa·s or less at a shear rate of 10 s −1 . of the gas sensor element.
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