JP7164564B2 - Vacuum system and method for identifying electronic modules within the vacuum system - Google Patents
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Description
本発明は真空システム、及び、真空システム内の複数の電子モジュールを識別するための方法に関する。真空システムは少なくとも1つの真空機器、複数の電子モジュール、及び、複数のモジュール間に少なくとも1つの電気接続部を確立する接続装置を有している。 The present invention relates to vacuum systems and methods for identifying multiple electronic modules within a vacuum system. A vacuum system includes at least one vacuum device, a plurality of electronic modules, and a connection device that establishes at least one electrical connection between the plurality of modules.
真空機器には通常、1つ又は複数の真空ポンプ及び/又は圧力計ならびに制御装置及び/又は調整装置が含まれており、これらはそれぞれ複数の電子モジュールを有することができる。さらに、真空機器は複数の外部電子モジュールと接続することができ、例えば真空装置又は真空システムはこれら外部電子モジュールと共に全体として制御される。真空機器のコンポーネントと複数の内部モジュールとの間、ならびに内部モジュールと外部モジュールとの間の接続は通常は電線を用いて行われ、内部電子モジュールと外部電子モジュールとの間のデータ伝送のための伝送路全体はバスと呼ばれる。 Vacuum equipment typically includes one or more vacuum pumps and/or pressure gauges and controllers and/or regulators, each of which may have multiple electronic modules. Furthermore, the vacuum equipment can be connected with a plurality of external electronic modules, eg the vacuum apparatus or the vacuum system is controlled as a whole with these external electronic modules. The connections between the components of the vacuum equipment and the internal modules, as well as between the internal and external modules, are usually made with electrical wires for data transmission between the internal and external electronic modules. The entire transmission line is called a bus.
真空機器の制御又は調整を確実かつ正しく行えるようにするために、電子モジュールは、アドレス指定という形で一義的に識別する必要がある。既知の真空機器においては、ある電子モジュールの各タイプに、それぞれのモジュールのそのタイプを特徴づけるオフセットアドレスがそれぞれ割り当てられている。しかしながら、同じタイプの複数のモジュールがある真空機器内にある場合、又はそれらがある真空機器に接続されている場合は、モジュールへの正しいデータ伝送のために、あるモジュールの一義的な識別子又はアドレス指定を確立するために、モジュールタイプのそれぞれのオフセットアドレスに加えてさらなる識別マークが必要となる。 In order to be able to control or regulate the vacuum equipment reliably and correctly, the electronic modules must be uniquely identified in the form of addressing. In known vacuum equipment, each type of electronic module is assigned an offset address that characterizes that type of respective module. However, when multiple modules of the same type are in a vacuum device or when they are connected to a vacuum device, a unique identifier or address of a module is required for correct data transmission to the module. In addition to the respective offset address of the module type a further identification mark is required to establish the designation.
既知のシステムにおいては従来、ある真空機器又は真空システム内において、同一構造のモジュールを一義的に識別又はアドレス指定するために、それぞれのモジュールにおいてスイッチが用いられている。同一構造の複数のモジュールの各モジュールには、真空システム又は真空機器内に取り付ける際にそれぞれ別の接点が与えられる。代替的に、これらモジュールのそれぞれに、プログラミングインターフェースをそれぞれ設け、モジュール製造時にそこに個別で一義的な識別子又はアドレスを記憶又はプログラムすることもできる。そのためいずれの場合も、ある真空機器又は真空システム内に同一構造の複数のモジュールが存在する場合は、モジュールの一義的な識別子又はアドレス指定を行うための手段がそれぞれのモジュールに必要となる。それには追加の手間がかかる。それぞれのモジュールにおいてスイッチを用いる場合はさらに、真空機器又は真空システム内における異なる複数の接点の最大数、それにより同一構造のモジュールの最大数が制限される。 Known systems conventionally employ switches in respective modules to uniquely identify or address identically constructed modules within a given vacuum equipment or vacuum system. Each module of a plurality of identically constructed modules is provided with a separate contact for installation in a vacuum system or vacuum equipment. Alternatively, each of these modules may be provided with a respective programming interface in which a separate and unique identifier or address may be stored or programmed during module manufacture. In any case, therefore, when there are several modules of identical construction in a given vacuum equipment or system, each module requires means for providing a unique identifier or addressing of the module. It takes extra effort. The use of switches in each module further limits the maximum number of different contacts in the vacuum equipment or vacuum system and thus the maximum number of modules of identical construction.
本発明の課題は、それぞれの電子モジュールにおいて追加の補助手段を必要とすることなしに、同種の電子モジュールがそれぞれ一義的に識別される、真空システム並びに真空システムの複数の電子モジュールを識別するための方法を提供することにある。 The object of the present invention is to identify a vacuum system and a plurality of electronic modules of a vacuum system in which each electronic module of the same type is uniquely identified without requiring additional auxiliary means in each electronic module. to provide a method of
この課題は、請求項1に記載の:
少なくとも1つの真空機器(13)と、
同じモジュールタイプの複数の電子モジュールを含む複数の電子モジュール(19、21、23)と、
これらの電子モジュール(19、21、23)間に少なくとも1つの電気接続部を確立する接続装置(25)と、を有する真空システム(11)において、
前記接続装置は、それぞれの前記電子モジュール(19、21、23)に対してそれぞれ1つの電気接点(27)を有し、
各接点(27)は、一義的な識別マーク(29)を有する当該真空システム(11)において、
各電子モジュール(19、21、23)は、1つのモジュールタイプに割り当てられている1つのタイプ識別子(18)を有し、各電子モジュール(19、21、23)の一義的な識別子(28)を提供するため、前記タイプ識別子(18)は、それぞれの前記電子モジュール(19、21、23)の接点(27)の一義的な識別マーク(29)と組み合わせ可能であるか又は組み合わせられていること、及び
各接点(27)の一義的な識別マーク(29)が、符号化部を含むことによって解決される。
さらに、本発明は、請求項11に記載の:
複数の電子モジュール(19、21、23)間に少なくとも1つの電気接続部を確立するための接続装置(25)を有する、少なくとも1つの真空機器(13)を有する真空システム(11)の、同じモジュールタイプの複数の電子モジュールを含む前記複数の電子モジュール(19、21、23)を識別するための方法であって、
前記接続装置(25)は、それぞれの前記電子モジュール(19、21、23)に対するそれぞれ1つの接点(27)を有し、
各接点(27)は、一義的な1つの識別マーク(29)を有する当該方法において、
各電子モジュール(19、21、23)は、1つのモジュールタイプに割り当てられている1つのタイプ識別子(18)を有し、
前記方法の場合、前記複数の電子モジュール(19、21、23)がそれぞれ、これらの電子モジュールの接点(27)の一義的な識別マーク(29)と、これらの電子モジュールのタイプ識別子(18)との組み合わせに基づいて識別され、
各接点(27)の一義的な識別マーク(29)が、符号化部を含むことによって解決される。
This task is according to claim 1:
at least one vacuum device (13);
a plurality of electronic modules (19, 21, 23) comprising a plurality of electronic modules of the same module type;
a connection device (25) for establishing at least one electrical connection between the electronic modules (19, 21, 23),
said connecting device having one electrical contact (27) each for each said electronic module (19, 21, 23);
Each contact (27) has a unique identification mark (29) in the vacuum system (11):
Each electronic module (19, 21, 23) has one type identifier (18) assigned to one module type and a unique identifier (28) for each electronic module (19, 21, 23) said type identifier (18) is combinable or combined with a unique identification mark (29) of a contact (27) of each said electronic module (19, 21, 23) to provide that , and
A unique identification mark (29) of each contact (27) is resolved by including a coding portion .
Furthermore, the present invention is defined in claim 11:
of a vacuum system (11) having at least one vacuum device (13) with a connection device (25) for establishing at least one electrical connection between a plurality of electronic modules (19, 21, 23) A method for identifying a plurality of electronic modules (19, 21, 23) comprising a plurality of electronic modules of module type, comprising:
said connecting device (25) having one contact (27) each for each said electronic module (19, 21, 23);
each contact (27) having a unique identification mark (29), wherein
each electronic module (19, 21, 23) has one type identifier (18) assigned to one module type;
In the case of said method, said plurality of electronic modules (19, 21, 23) each have a unique identification mark (29) of their contacts (27) and a type identifier (18) of these electronic modules. identified based on a combination of
A unique identification mark (29) of each contact (27) is resolved by including a coding portion .
真空システムは、少なくとも1つの真空機器、複数の電子モジュール、複数のモジュール間に少なくとも1つの電気接続部を確立する接続装置を有している。本発明において接続装置は複数のモジュールのそれぞれについてそれぞれ1つの電気接点を有している。このときこれら接点のそれぞれは一義的な識別マークを有している。 A vacuum system includes at least one vacuum device, a plurality of electronic modules, and a connection device for establishing at least one electrical connection between the plurality of modules. According to the invention, the connection device has one electrical contact for each of the modules. Each of these contacts then has a unique identification mark .
一義的な識別マークは、それぞれの接点に割り当てられており、複数のモジュールの1つに割り当てられているものではないため、同種のモジュールは、それぞれの同種のモジュールが配置されている接点のそれぞれ一義的な識別マークを用いて区別することができる。そのため、同種のモジュールを区別できるようにそれぞれのモジュールにスイッチなどの補助手段を設ける必要はない。接点のそれぞれは一義的な識別マークを有しているため、複数のモジュールの1つにそれぞれ割り当てられている、真空システムの全ての接点の識別マークは、互いに異なっている。換言すると、ある一義的な識別マークは、その真空システムにおいては1つのみ存在する。そのため、真空システム内に取り付けられる同種の又は同一構造のモジュールの最大個数が制限されることはない。 Since a unique identifying mark is assigned to each contact and not to one of the modules, like modules are identified by each of the contacts on which they are located. They can be distinguished using unique identification marks . Therefore, it is not necessary to provide each module with an auxiliary means such as a switch so that modules of the same type can be distinguished from each other. Since each contact has a unique identification mark , the identification marks of all contacts of the vacuum system, each assigned to one of the modules, are different from each other. In other words, a unique identification mark exists only once in the vacuum system. As such, there is no limit to the maximum number of modules of the same type or construction that can be installed in a vacuum system.
本発明の有利な発展形については従属請求項、以下の説明及び図で説明する。 Advantageous developments of the invention are explained in the dependent claims, the following description and the figures.
ある実施態様によると各モジュールは、1つのモジュールタイプに割り当てられた1つのタイプ識別子を有している。タイプ識別子は、それぞれのモジュールの接点の一義的な識別マークと組み合わせ可能であるか又は組み合わされており、それにより各モジュールを一義的に識別することができる。 According to one embodiment, each module has one type identifier assigned to one module type. The type identifier can be or is associated with a unique identification mark on the contacts of the respective module, thereby uniquely identifying each module.
そのため同種の又は同一構造のモジュールはそれぞれ同じタイプ識別子を有しているものの、真空システム内では区別可能であり、それは、タイプ識別子と、それぞれのモジュールが接続されている接点のそれぞれの一義的な識別マークとを組み合わせることにより、各モジュールが一義的に識別されるためである。換言すると、同一構造であり得るそれぞれのモジュール間の識別マークは、モジュールから、それぞれの接点へと移動される。 Modules of the same kind or of identical construction therefore each have the same type identifier, but are distinguishable within the vacuum system, which is the unique identification of the type identifier and of each of the contacts to which each module is connected. This is because each module is uniquely identified by combining it with the identification mark . In other words, the identification mark between each module, which may be of identical construction, is moved from the module to the respective contact.
真空システム内の接続装置が望ましくは、真空システム内におけるそれぞれの電気接点の空間的な位置が既知であるように設定されている場合、モジュールが一義的に識別されているため、あるタイプのモジュールが、対応する電気接点に接続されると、そのモジュールのそれぞれの空間的な位置も既知となる。モジュールの一義的な識別子は、そのモジュールのタイプ識別子と、そのモジュールの接点の一義的な識別子との組み合わせであるため、タイプ識別子が既知であればそれぞれの接点の識別マークは一義的な識別子から導き出すことができる。逆に、一義的な識別子を介して接点の既知の空間的な位置をモジュールのタイプ識別子に割り当てることができるため、どのモジュールタイプがどの接点にあるのかをすぐに知ることができる。 If the connection device within the vacuum system is preferably set up such that the spatial position of each electrical contact within the vacuum system is known, the module is uniquely identified and therefore a type of module is connected to the corresponding electrical contacts, the spatial position of each of the modules is also known. Since the unique identifier of a module is the combination of the type identifier for that module and the unique identifier for the contacts of that module, the identifying mark for each contact is derived from the unique identifier if the type identifier is known. can be derived. Conversely, it is possible to assign known spatial locations of contacts to module type identifiers via unique identifiers, so that it is immediately known which module type is at which contact.
一義的な識別子はとりわけ、タイプ識別子とそれぞれの一義的な識別マークとの組み合わせにより、それぞれのモジュールにおいて又はそれぞれのモジュールにより提供可能であるか、又は、提供される。 A unique identifier can be provided or is provided, in particular, in or by the respective module by a combination of a type identifier and a respective unique identification mark .
それぞれのモジュールの一義的な識別子が提供可能であるか又は提供されている場合、例えば中央モジュール又は上位モジュールがそれぞれのモジュールのタイプ識別子、及び、このモジュールに割り当てられている接点の一義的な識別マークを読み出すことができ、それにより、タイプ識別子と接点の識別マークとを組み合わせることによりモジュールの一義的な識別子を生成し、例えば、それぞれのモジュールにいずれにせよ設けられている可能性がある記憶装置内など、それぞれのモジュールで提供することができる。代替的に、それぞれのモジュールは一義的な識別子を自身で生成することもでき、それは、そのモジュールの接点の一義的な識別マークを読み出して、そのモジュールのタイプ識別子と組み合わせることにより行われる。いずれの場合においてもそれぞれのモジュールに個別の識別マークは必要なく、それは、それぞれのモジュールの一義的な識別子がタイプ識別子と、接点のそれぞれの一義的な識別マークとの組み合わせにより生成されるからである。 If a unique identifier for each module can be provided or is provided, for example the central module or the superordinate module will The mark can be read out, so that the combination of the type identifier and the identification mark of the contact generates a unique identifier for the module, e.g. It can be provided in respective modules, such as within the device. Alternatively, each module can generate its own unique identifier by reading the unique identification marks of its contacts and combining them with its module's type identifier. In any case, each module does not require a separate identification mark , since each module's unique identifier is generated by the combination of the type identifier and the contact's respective unique identification mark . be.
一義的な識別マークには望ましくは接点のそれぞれのアドレス指定が含まれており、一方でタイプ識別子には望ましくはモジュールタイプの基準アドレス指定が含まれている。この実施態様においてはそれぞれのモジュールの一義的なアドレス指定は、それぞれのモジュールタイプの基準アドレス指定と、それぞれのモジュール用の接点のアドレス指定との組み合わせに基づいている。 The unique identification marks preferably contain the respective addressing of the contacts, while the type identifier preferably contains the reference addressing of the module type. In this embodiment, the unique addressing of each module is based on a combination of the reference addressing of each module type and the addressing of the contacts for each module.
つまりこの実施態様においては各モジュールの一義的な識別子はそれぞれのモジュールの一義的なアドレス指定により実現され、これは、それぞれの接点のアドレス指定と、モジュールタイプの基準アドレス指定とを組み合わせたものである。この実施態様において接続装置はアドレス指定のための通信チャネルを有することができる。また、それぞれのモジュールの一義的なアドレス指定は、モジュールタイプの基準アドレス指定にそれぞれの接点のアドレス指定を加算することにより生成することもできる。それによりそれぞれのモジュールの一義的なアドレス指定を特に簡単に生成することができる。 Thus, in this embodiment the unique identifier of each module is realized by the unique addressing of the respective module, which is a combination of the addressing of the respective contacts and the reference addressing of the module type. be. In this embodiment, the connecting device can have a communication channel for addressing. The unique addressing of each module can also be generated by adding the addressing of each contact to the reference addressing of the module type. A unique addressing for each module can thus be generated in a particularly simple manner.
あるさらなる実施態様によると、複数のモジュールが、1つのメインモジュールを有し、このメインモジュールは、各接点の一義的な識別マーク及び/又はそれぞれのモジュールの一義的なアドレス指定を識別するように構成されている。そのためメインモジュールは、真空システムの運転開始の際にそれぞれのモジュールの存在を点検することができる。さらに、メインモジュールを用いたそれぞれのモジュールの識別は、メインモジュールを介して例えば真空機器の内部電子モジュールと外部電子モジュールとの間の通信を行うために使用することができる。 According to a further embodiment, the plurality of modules has a main module so as to identify a unique identification mark of each contact and/or a unique addressing of the respective module. It is configured. The main module can thus check the presence of the respective module at the start-up of the vacuum system. Further, the identification of each module with the main module can be used to communicate via the main module, for example between internal and external electronic modules of the vacuum equipment.
接続装置は、個々のモジュール間の電気接続部を確立するために1つ又は複数の単線を有することができ、これはとりわけ平形ケーブル又は電導経路装置として、また望ましくはフレキシブルな回路基盤又は回路カードの形で構成されている。それにより接続装置を簡単かつ低コストで実現することができる。 The connection device can have one or more single wires for establishing electrical connections between the individual modules, especially as flat cables or conductive path devices, and preferably as flexible circuit boards or circuit cards. is constructed in the form of As a result, the connecting device can be realized simply and at low cost.
あるさらなる実施態様によると、各接点の一義的な識別マークに少なくとも1つの識別抵抗が含まれている。接続装置はさらに識別線及び接地線を有することができる。このような実施態様においてそれぞれの接点の識別抵抗は、それぞれ識別線と接地線との間に配置される。代替的に識別抵抗は別の単線の間に配置することもできる。少なくとも1つの識別抵抗を用いて簡単かつロバストに一義的な識別マークを実現できる。追加的に識別線はモジュールに電気を供給することができる。そのため識別線は接点の一義的な識別マークのためだけでなく、追加的にそれぞれのモジュールの運転を支援するために使用できる。 According to a further embodiment, the unique identification mark of each contact includes at least one identification resistor. The connection device can also have an identification line and a ground line. In such an embodiment the identification resistor of each contact is placed between the respective identification line and the ground line. Alternatively, the identification resistor can be placed between separate single wires. A unique identification mark can be realized simply and robustly with at least one identification resistor. Additionally, the identification line can supply electricity to the module. The identification lines can thus be used not only for unique identification marks of the contacts, but additionally for supporting the operation of the respective module.
代替的に又は追加的に各接点の一義的な識別マークは符号化部を含むことができる。符号化部は例えばそれぞれの接点にある記憶装置、例えば固定記憶装置(EPROM)に記憶することができる。すると接点の取り付けの際に例えばファームウェアを用いて、それぞれの接点の一義的な識別マークである個別の符号化部を接点に付与することができる。それにより、真空システムの複数の電子モジュールの接点は、まずはまったく同じユニットとして製造し、真空システムの取り付けの際に符号化部を用いてそれぞれ一義的な個別の識別マークを与えることができる。このような実施態様においては、それぞれの接点を、例えば一義的に決められた識別抵抗をつけて個別に製造する必要はない。 Alternatively or additionally, the unique identification mark of each contact may include an encoding portion. The encoding part can be stored, for example, in a memory device, for example a permanent memory (EPROM), at each contact. When mounting the contacts, the firmware can then be used, for example, to give the contacts an individual coding which is a unique identification mark for each contact. Thereby, the contacts of a plurality of electronic modules of a vacuum system can initially be manufactured as one and the same unit and each given a unique individual identification mark by means of the coding during installation of the vacuum system. In such an embodiment, each contact need not be manufactured separately, eg with a uniquely defined identification resistor.
本発明はまた、少なくとも1つの真空機器を有する真空システムの複数の電子モジュールを識別する方法にも関する。真空システムはさらに、複数のモジュール間に少なくとも1つの電気接続部を確立するための接続装置も有している。 The invention also relates to a method of identifying electronic modules of a vacuum system having at least one vacuum component. The vacuum system also has a connection device for establishing at least one electrical connection between the plurality of modules.
各モジュールは、モジュールタイプに割り当てられたタイプ識別子を有しており、一方で接続装置は複数のモジュールの各モジュールための接点を有している。これら接点のそれぞれはさらに一義的な識別マークを有している。本方法によるとモジュールはそれぞれ、モジュールの接点の一義的な識別マークとモジュールのタイプ識別子との組み合わせを用いて識別される。 Each module has a type identifier assigned to the module type, while the connection device has contacts for each module of the plurality of modules. Each of these contacts also has a unique identification mark . According to the method, each module is identified using a combination of unique identification marks on the contacts of the module and a type identifier of the module.
つまり、モジュールのそれぞれの接点に割り当てられた一義的な識別マークと、モジュールのタイプ識別子との組み合わせにより、それぞれのモジュールに一義的な識別子が与えられる。同種の又は同一構造のモジュールの識別を可能にするために必要であるのは、タイプ識別子を有していることのみであって、さらなる識別マークを有していることは必要ではなく、それは、それぞれのモジュールに割り当てられた接点が一義的な識別マークを有しているからである。換言すると、同一構造又は同種のモジュールも含めてそれぞれのモジュールの個別化が、モジュールそのものから、モジュールのそれぞれの接点へと移動される。それにより同一構造又は同種のモジュールはまず全く同じ方法で製造されてタイプ識別子が付与され、その際、例えばスイッチを用いて個別の識別マークを設定する必要はない。 That is, the combination of the unique identifying marks assigned to each contact of the module and the type identifier of the module gives each module a unique identifier. It is only necessary to have a type identifier, not a further identification mark , to allow identification of modules of the same kind or of the same structure, which This is because the contacts assigned to each module have a unique identification mark . In other words, the individualization of each module, including modules of the same construction or of the same kind, is moved from the module itself to the respective contact of the module. Modules of the same construction or of the same kind are thereby initially produced in exactly the same way and given a type identification, without the need for individual identification markings , for example by means of switches.
ある実施態様によると、一義的な識別子特徴はそれぞれの接点のアドレス指定を含んでおり、一方でタイプ識別子はモジュールタイプの基準アドレス指定を含んでいる。すると、それぞれのモジュールの一義的なアドレス指定はそれぞれのモジュールタイプの基準アドレス指定と、それぞれのモジュールについての接点のアドレス指定との組み合わせにより生成することができる。それにより一義的なアドレス指定はそれぞれのモジュールの一義的な識別となる。単純な場合においては、基準アドレス指定と接点のアドレス指定の組み合わせにおいてそれぞれのアドレスの加算が行われる。 According to one embodiment, the unique identifier feature comprises the addressing of the respective contact, while the type identifier comprises the reference addressing of the module type. A unique addressing for each module can then be generated by combining the reference addressing for each module type and the addressing of the contacts for each module. The unique addressing thereby becomes the unique identification of each module. In the simple case, the respective addresses are added in the combination of reference addressing and contact addressing.
また、一義的な識別マークとタイプ識別子との組み合わせはそれぞれのモジュールにおいて又はそれぞれのモジュールにより行うことができる。前者の場合、例えば上位モジュールが、一義的な接点の識別マークとモジュールのタイプ識別子との組み合わせを実行し、この組み合わせを一義的な識別子としてそれぞれのモジュールに記憶することができる。後者の場合、それぞれのモジュール自身が一義的な接点の識別マークを読み出してタイプ識別子と組み合わせることができる。 Also, the combination of unique identification marks and type identifiers can be made in or by the respective module. In the former case, for example, the superordinate module can carry out a combination of the unique contact identification mark and the module type identifier and store this combination as a unique identifier in the respective module. In the latter case, each module itself can read out the unique contact identification mark and combine it with the type identifier.
あるさらなる実施態様によると、複数のモジュールの1つがメインモジュールであり、各接点の一義的な識別マーク及び/又はそれぞれのモジュールの一義的なアドレス指定はメインモジュールを用いて識別される。換言すると、この実施態様においてメインモジュールは、真空システムの全ての電子モジュールのそれぞれの一義的な識別子を用いて、例えばそれぞれのモジュール間のデータ伝送を制御することができる。 According to a further embodiment, one of the plurality of modules is a main module, and unique identification markings of each contact and/or unique addressing of the respective module are identified using the main module. In other words, in this embodiment the main module can use the respective unique identifiers of all electronic modules of the vacuum system to control, for example, data transmission between the respective modules.
以下、本発明について有利な実施態様を例に、付属の図を用いて詳しく説明する。 In the following, the invention is explained in more detail by way of example of an advantageous embodiment with reference to the attached figures.
図1は、1つの真空機器13を有する真空システム11を図式的に表した図である。真空機器13は、1つの真空ポンプ15を有している。真空システム11はさらに圧力計17及び複数の電子モジュール19を有しており、これらは真空ポンプ15及び/又は圧力計17に接続されている。
FIG. 1 is a diagrammatic representation of a
真空機器13は真空ポンプ15に加えて内部電子モジュール21を有している。真空システム11はさらにモジュール23も有しており、これは圧力計17を制御するものであって、真空ポンプ15を制御するものではない。そのためモジュール23は真空機器13に関しては外部モジュール23と呼ばれる。
The
複数のモジュール19は、接続装置25を用いて互い同士で、及び、真空ポンプ15及び/又は圧力計17に接続されている。接続装置25は、平形ケーブル37の形で形成された複数の単線26を有している(図3参照)。代替的に又は追加的に複数の単線26はフレキシブルな回路基盤又は回路カードの形で形成することもできる。接続装置25は、複数のモジュール19同士の間、ならびに複数のモジュール19と真空ポンプ15又は圧力計17との間のデータ伝送のための共通の伝送路であるため、接続装置25はバスと呼ぶこともできる。
The
複数のモジュール19のそれぞれは、基準アドレス20の形で形成されたタイプ識別子18を有している。複数の内部モジュール21が、1つのメインモジュール22を有し、これはタイプ識別子18又は基準アドレス20として#1を有しており、サブモジュール24は、タイプ識別子18又は基準アドレス20として#2を有している。内部モジュール21はさらに基準アドレス#10を持つモジュール、及び、基準アドレス#20を持つ2つのモジュールを有しており、これらは真空ポンプ15の構成部品を制御するために設けられている。基準アドレス#30又は#40を有する外部電子モジュール23のうち、基準アドレス#30を持つモジュールは圧力計17を用いて圧力測定を行うために設けられている。
Each of the
丸で囲まれた基準アドレス#20を有する2つの内部モジュール21は、アドレス指定のために基準アドレス20の形のタイプ識別子18のみが使用される限り、さらなるモジュール、とりわけメインモジュール22にとって接続装置又はバス25を介して区別することは不可能である。真空システム11の運転中に接続装置25を介した正しいデータ伝送を可能にするためには、基準アドレス#20を持つ2つのモジュールには、それぞれのモジュールの一義的なアドレス指定をするために使用できるさらなる識別マークが必要である。
The two
図2は、図1の一部を図式的に表した図であり、接続装置25及び2つの内部モジュール21のみが図示されており、これらはタイプ識別子18又は基準アドレス20としてそれぞれ#20を有している。接続装置25は単線26に加えてそれぞれの接点27を有しており、これらはそれぞれモジュール21の1つに割り当てられてそれに接続されている。単線26はそれぞれの接点27を通って延在しており、電子モジュール21の電気供給のため、及び、図示されたモジュール21間ならびにさらなるモジュール19との間のデータ伝送又は通信のために設けられている。
FIG. 2 is a diagrammatic representation of part of FIG. 1, showing only the
追加的に各接点27は一義的な識別マーク29を有しており、これは、それぞれの接点27の一義的なアドレス指定i1、i2をそれぞれ含んでいる。真空システム11のモジュールがそれぞれ接続された全ての接点27の識別マーク29は互いに異なっており、つまり、各識別マーク29は真空システム11内において1つのみ存在する。接点27のそれぞれのアドレス指定i1、i2は、図2に図示された2つの電子モジュール21のそれぞれのための一義的なアドレス指定の形で一義的な識別子28を生成するために用いられる。この目的のために、接点のそれぞれのアドレス指定i1、i2は、それぞれのモジュール21のそれぞれの基準アドレス20に加算されて、それぞれのモジュール21の一義的なアドレス指定が生成される。接点27の2つのアドレス指定i1、i2が異なるため、同じタイプのモジュール21のそれぞれのアドレス指定は、基準アドレス指定20又はタイプ識別子18が同じであっても異なっており、それは、それぞれの接点27の2つのアドレス指定i1とi2とが異なるからである。
Additionally each
それにより、とりわけ図2に図示された同じタイプのモジュール21のようなモジュールにおいては、電子モジュール19の個別のアドレス指定は、真空システム11の接点27がそれぞれ異なる識別マーク29又はアドレス指定i1、i2を持つことにより、それぞれのモジュール19、21から接点27に移動される。それによりモジュール21は同じ構造であることができ、モジュールを真空システム11に取り付ける際に、それぞれ異なるアドレス指定を確立できるような識別子を設ける必要はない。
Thereby , in particular in modules such as the
また、真空機器13内での取り付けにおいてはそれぞれの接点27の位置、つまり空間的な位置が既知である。つまり、それぞれの接点27の識別マーク29による、モジュール19、21の一義的なアドレス指定又は一義的な識別子28により、それぞれのモジュール19、21の物理的な位置又は取り付け場所も既知であるということである。しかしこのことは、例えば接点の形でそれぞれのモジュール19、21に識別マークが付与されている場合には当てはまらない。その場合モジュール19、21は、2つのモジュールのアドレス指定を読み出すさらなるモジュールが、モジュール19、21が交換されたことに関する情報を得ないまま、入れ替えることが可能である。それぞれのモジュールのアドレスはこの場合、物理的な位置又は取り付け場所に関わらず同じになるからである。これに対して本書の真空システム11においては、各接点27は異なる識別マーク29又は異なるアドレス指定i1、i2を有しており、これらに基づいて、及び基準アドレス指定20又はタイプ識別子18も一緒に用いて、どの接点27において、それにより真空システム11内においてどの場所に、どのモジュールタイプが存在するかが識別可能である。
In addition, the position of each
図3には、図1の真空システム11の接続装置又はバス25の詳細図が図式的に図示されている。接続装置25は複数の単線26を有しており、そのうちの1つは接地線31又はGNDとして、もう1つは識別線33又はGND/IDとして形成されている。接続装置25はメインモジュール22を3つのさらなるモジュール19-1、19-2又は19-3にそれぞれ電気的に接続している。
FIG. 3 schematically shows a detailed view of the connection device or
メインモジュール22は2つの線(+24V又は+5V)を用いてモジュール19-1、19-2及び19-3の電気供給を行っている。データ伝送用のさらなる2つの線CAN_H又はCAN_Lも図示されている。
The
接地線31と識別線33との間にはそれぞれのモジュール19-1、19-2又は19-3の各接点27のために異なる識別抵抗35が配置されており、これら識別抵抗は、それぞれの接点27のそれぞれの一義的な識別マーク29として機能する。詳しく説明すると、それぞれの識別抵抗35は、それぞれの接点27-1、27-2又は27-3のアドレスオフセットを生成し、これらはそれぞれのモジュール19-1、19-2又は19-3に割り当てられる。各モジュールは、それぞれのモジュール19-1、19-2又は19-3のタイプ固有の基準アドレス指定と共に、それぞれ一義的な識別子28又はアドレス指定を与えられる。各モジュール19-1、19-2及び19-3のタイプ固有のアドレス指定は、それぞれの接点27-1、27-2及び27-3のアドレスオフセットに加算される。
Between the
第1モジュール19-1の接点27-1内で識別線33と接地線31は導電的に互いに接続されているため、接点27-1の識別抵抗35はほぼゼロである。そのため識別線33は追加の接地線として使用され、それにより第1モジュール19-1のための電気供給を高めることができる。電気供給が高められたそのようなモジュール19-1により、例えば、モジュール19-1に接続されている測定装置において加熱プロセス又はガス排出プロセス(ガス抜き)を可能にすることができる。しかし真空システム11内にはそのようなモジュール19-1は1つのみ存在しており、それは、対応する接点27-1には、およそゼロという識別抵抗35に割り当てられた所与のアドレスオフセットYが決められているからである。識別抵抗35がやはりおおよそゼロであるさらなる接点27があるとすると、それには同じアドレスオフセットYが与えられるため、接点27-1により区別できなくなる。
Since the
これに対して、接点27-2に接続されている第2モジュール19-2においては、ゼロより大きい有限抵抗R2=Xが接地線31と識別線33との間に設けられている。この抵抗は、モジュールが異なれば異なる大きさを選ぶことができるため、真空システム11内において複数のモジュールが同じ構造であることが可能である。識別抵抗35がアドレスオフセットとして使用されるため、同一構造のモジュールも区別できるようにするには、接点27-2の識別抵抗のみがそれぞれ異なっている必要がある。
In contrast, in the second module 19-2 connected to the contact 27-2, a finite resistance R2=X greater than zero is provided between the
接点27-3に接続された第3モジュール19-3においては、識別線33と接地線31との間に抵抗は設けられていない(R=∞)。この場合接点27-3にはゼロのアドレスオフセットが割り当てられているため、真空システム11内においてこのタイプのモジュール19-3は1つのみ可能である。モジュールは、モジュールが割り当てられた接点27-1、27-2又は27-3のアドレスオフセットによりすでに区別可能でなくてはならないため、すべてのさらなるモジュールの接点27が有するアドレスオフセットは0より大きい必要がある。
No resistor is provided between the
すでに述べたように、接続装置25の単線26は平形ケーブル37として形成されている。接点27-2及び27-3については、R=Xを持つ適切な識別抵抗35を挿入するか(接点27-2)、又は、接地線31及び識別線33を分けておく(R=∞、接点27-3)ために、それぞれ平形ケーブル37の1つの線が分離されている。図3から分かるように、接点27-1、27-3又は27-3のそれぞれの識別ケーブル33は互いに接続されておらず、そのため接点27-1、27-2及び27-3は独立して識別することができる。
As already mentioned, the
代替的なある実施態様においては、タイプ27-1、27-2又は27-3の接点を実現できるようにするために接続装置25は、平形ケーブル37の代わりに、対応する導体経路構成を持つフレックス回路カードを有することもできる。フレックス回路カードを用いるこの実施態様においてはタイプ27-1の接点において、接地線31及び識別線33に対応する導体経路の間に導電的な接続が設けられている。これに対してタイプ27-2の接点においてはこれら導体経路の間に対応する抵抗R=Xが設けられており、一方でタイプ27-3の接点においては接地線31及び識別線33に対応する導体経路の間に抵抗は設けられていない。
In an alternative embodiment, the
さらなる代替的な実施態様においてはそれぞれの接点27の識別マーク29は、識別抵抗により実現されるのではなく、それぞれの接点27に記憶され、それぞれの接点27のそれぞれのアドレス指定i1、i2(図2参照)を決定するそれぞれの符号化部により実現される。この実施態様において真空システム11のそれぞれのモジュール19、21は、それぞれの符号化部及びそれによりそれぞれの接点の個別のアドレス指定27を読み出し、アドレスオフセットとしてそれぞれのモジュール19のそれぞれの基準アドレス20を加算するよう設定されている。それにより各モジュール19には、アドレス指定i1、i2を接点27の識別マーク29として用いることにより、それぞれのモジュール19の一義的なアドレス指定という形で、各モジュールの一義的な識別子が与えられる。
In a further alternative embodiment the
11 真空システム
13 真空機器
15 真空ポンプ
17 圧力計
18 タイプ識別子
19 電子モジュール
20 基準アドレス
21 内部モジュール
22 メインモジュール
23 外部モジュール
24 サブモジュール
25 接続装置
26 単線
27 接点
28 一義的な識別子
29 一義的な識別マーク
31 接地線
33 識別線
35 識別抵抗
37 平形ケーブル
11
31
Claims (10)
同じモジュールタイプの複数の電子モジュールを含む複数の電子モジュール(19、21、23)と、
これらの電子モジュール(19、21、23)間に少なくとも1つの電気接続部を確立する接続装置(25)と、を有する真空システム(11)において、
前記接続装置は、それぞれの前記電子モジュール(19、21、23)に対してそれぞれ1つの電気接点(27)を有し、
各接点(27)は、一義的な識別マーク(29)を有する当該真空システム(11)において、
各電子モジュール(19、21、23)は、同種の又は同一構造の1つのモジュールタイプに割り当てられている、基準アドレス(20)の形で形成された1つのタイプ識別子(18)を有し、各電子モジュール(19、21、23)の一義的な識別子(28)を提供するため、前記タイプ識別子(18)は、それぞれの前記電子モジュール(19、21、23)の接点(27)の一義的な識別マーク(29)と組み合わせ可能であるか又は組み合わせられていること、及び
各接点(27)の一義的な識別マーク(29)が、1つのコードから成ることを特徴とする真空システム(11)。 at least one vacuum device (13);
a plurality of electronic modules (19, 21, 23) comprising a plurality of electronic modules of the same module type;
a connection device (25) for establishing at least one electrical connection between the electronic modules (19, 21, 23),
said connecting device having one electrical contact (27) each for each said electronic module (19, 21, 23);
Each contact (27) has a unique identification mark (29) in the vacuum system (11):
each electronic module (19, 21, 23) has one type identifier (18) formed in the form of a reference address (20) assigned to one module type of similar or identical construction ; In order to provide a unique identifier (28) for each electronic module (19, 21, 23), said type identifier (18) is unique for the contacts (27) of each said electronic module (19, 21, 23). A vacuum system ( 11).
前記タイプ識別子(18)は、前記モジュールタイプの基準アドレス指定(20)を有し、
それぞれの電子モジュール(19、21、23)の一義的なアドレス指定が、それぞれのモジュールタイプの基準アドレス指定(20)とそれぞれの電子モジュール(19、21、23)に対する接点(27)のアドレス指定との組み合わせに基づく請求項1又は2に記載の真空システム(11)。 said unique identification mark (29) comprises the addressing of said contact (27);
said type identifier (18) comprises a reference addressing (20) of said module type;
The unique addressing of each electronic module (19, 21, 23) includes the reference addressing (20) of the respective module type and the addressing of the contacts (27) for each electronic module (19, 21, 23). A vacuum system (11) according to claim 1 or 2 in combination with
前記接続装置(25)は、それぞれの前記電子モジュール(19、21、23)に対するそれぞれ1つの接点(27)を有し、
各接点(27)は、一義的な1つの識別マーク(29)を有する当該方法において、
各電子モジュール(19、21、23)は、同種の又は同一構造の1つのモジュールタイプに割り当てられている、基準アドレス(20)の形で形成された1つのタイプ識別子(18)を有し、
前記方法の場合、前記複数の電子モジュール(19、21、23)がそれぞれ、これらの電子モジュールの接点(27)の一義的な識別マーク(29)と、これらの電子モジュールのタイプ識別子(18)との組み合わせに基づいて識別され、
各接点(27)の一義的な識別マーク(29)が、1つのコードから成ることを特徴とする方法。 of a vacuum system (11) having at least one vacuum device (13) with a connection device (25) for establishing at least one electrical connection between a plurality of electronic modules (19, 21, 23) A method for identifying a plurality of electronic modules (19, 21, 23) comprising a plurality of electronic modules of module type, comprising:
said connecting device (25) having one contact (27) each for each said electronic module (19, 21, 23);
each contact (27) having a unique identification mark (29), wherein
each electronic module (19, 21, 23) has one type identifier (18) formed in the form of a reference address (20) assigned to one module type of similar or identical construction ;
In the case of said method, said plurality of electronic modules (19, 21, 23) each have a unique identification mark (29) of their contacts (27) and a type identifier (18) of these electronic modules. identified based on a combination of
A method, characterized in that the unique identification mark (29) of each contact (27) consists of a code .
前記タイプ識別子(18)は、前記モジュールタイプの基準アドレス指定(20)を含み、
それぞれの電子モジュール(19、21、23)の一義的なアドレス指定が、それぞれの前記モジュールタイプの基準アドレス指定(20)と、それぞれの前記電子モジュール(19、21、23)に対する前記接点(27)のアドレス指定との組み合わせに基づいて生成される請求項7に記載の方法。 said unique identification marks (29) comprise respective addressing of said contacts (27);
said type identifier (18) comprises a reference addressing (20) of said module type;
The unique addressing of each electronic module (19, 21, 23) includes the reference addressing (20) of each said module type and the contact (27) to each said electronic module (19, 21, 23). 8. The method of claim 7, wherein the method of claim 7 is generated based on a combination of ) with addressing.
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