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JP7175802B2 - vacuum circuit breaker - Google Patents
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Description

本発明は、真空となる空間内で接触子を離間して電流を遮断する真空遮断器に関する。 BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a vacuum circuit breaker that cuts off current by separating contacts in a vacuum space.

従来、真空容器内に接離可能な一対の電極を設け、電流遮断時に電極間に発生したアークを真空中で消弧する真空遮断器が利用されている(特許文献1参照)。真空遮断器は、変電機器や受配電機器での高電圧大電流を遮断できるよう遮断性能を向上することが要求される。また、地球温暖化係数の大きな絶縁ガスを使うことなく運用できるクリーンな機器として真空遮断器のニーズがある。 Conventionally, a vacuum circuit breaker has been used in which a pair of separable electrodes are provided in a vacuum container, and an arc generated between the electrodes during current interruption is extinguished in vacuum (see Patent Document 1). Vacuum circuit breakers are required to improve breaking performance so that they can break high voltages and large currents in substation equipment and power receiving/distribution equipment. There is also a need for a vacuum circuit breaker as a clean device that can be operated without using an insulating gas with a large global warming potential.

特開2003-92050号公報JP-A-2003-92050

真空遮断器の電流遮断時における電極間の絶縁破壊(アークの発生)については、パッシェン曲線に基づいて説明できる。図12は、パッシェン曲線のグラフである。図12のパッシェン曲線のグラフでは、横軸を気圧×ギャップ長、縦軸を絶縁破壊電圧(絶縁強さ)とする。パッシェン曲線では、絶縁破壊電圧の極小値Vminが得られる横軸のギャップ長×気圧をさらに小さくすると、絶縁破壊電圧は急激に立ち上がることがわかっている。 Dielectric breakdown (arc generation) between electrodes when current is interrupted in a vacuum circuit breaker can be explained based on the Paschen curve. FIG. 12 is a graph of the Paschen curve. In the graph of the Paschen curve in FIG. 12, the horizontal axis is atmospheric pressure×gap length, and the vertical axis is dielectric breakdown voltage (insulation strength). In the Paschen curve, it is known that if the gap length×atmospheric pressure on the horizontal axis at which the minimum value Vmin of the dielectric breakdown voltage is obtained is further reduced, the dielectric breakdown voltage rises sharply.

真空遮断器で扱う真空圧力下(例えば10-4Pa以下程度)では、図12のグラフにおいて、絶縁破壊電圧が極小値Vminとなる横軸の値より小さい値での条件下で絶縁破壊が発生する。また、気圧が真空となって略一定なので、横軸の気圧×ギャップ長の値は、ギャップ長に応じて変化し、ギャップ長が大きくなる程、絶縁破壊電圧が小さくなる。従って、ギャップ長が小さくなる領域に比べて大きくなる領域の方が、絶縁破壊が発生し易い条件となる。 Under the vacuum pressure handled by the vacuum circuit breaker (for example, about 10 −4 Pa or less), dielectric breakdown occurs under the condition of a value smaller than the value on the horizontal axis where the dielectric breakdown voltage is the minimum value Vmin in the graph of FIG. do. Also, since the air pressure becomes a vacuum and is substantially constant, the value of air pressure×gap length on the horizontal axis changes according to the gap length, and the breakdown voltage decreases as the gap length increases. Therefore, the region where the gap length is large is more likely to cause dielectric breakdown than the region where the gap length is small.

本発明者は、このようなギャップ長による絶縁破壊の発生条件について研究し、接点部に凹部を形成する電極を用いることを検討した。 The inventor of the present invention studied the conditions under which dielectric breakdown occurs due to such a gap length, and studied the use of an electrode in which a concave portion is formed in the contact portion.

ところで、真空遮断器における真空下の絶縁破壊は、大気中や高圧力下におけるガス雰囲気環境での気中絶縁破壊と異なる。ガス雰囲気環境下では、ガス分子と電圧によって加速された電子との衝突電離によって電子増倍が進み、電子雪崩となって絶縁破壊に至る。これに対し、真空遮断器で扱う真空圧力下では、ガス雰囲気が少ない条件であるため、電子がガス分子と衝突するために必要な平均自由工程が著しく長い、具体的には、陰極から出た電子が無衝突で電極に衝突する長さとなる。よって、絶縁破壊のきっかけとなるのは、最初に陰極から電界電子放出によって発生する電子である。 By the way, dielectric breakdown under vacuum in a vacuum circuit breaker is different from dielectric breakdown in the atmosphere in the atmosphere or in a gas atmosphere environment under high pressure. In a gas atmosphere environment, collision ionization between gas molecules and electrons accelerated by voltage advances electron multiplication, resulting in an electron avalanche and dielectric breakdown. On the other hand, under the vacuum pressure handled by the vacuum circuit breaker, the gas atmosphere is less, so the mean free path required for electrons to collide with gas molecules is remarkably long. This is the length at which electrons collide with the electrode without collision. Therefore, what triggers dielectric breakdown is electrons first generated by field electron emission from the cathode.

本発明者は、かかる電界電子放出による初期電子の発生を抑制することが、真空遮断器の絶縁性能向上において重要なポイントと捉えた。更に、本発明者は、様々な試行錯誤の結果、電界電子放出による初期電子発生の抑制と接点部の表面粗さとの関係性について鋭意研究し、この研究にて上述の凹部を形成した接点部での絶縁性能を向上できる発明を案出した。 The present inventor considered that suppressing the generation of initial electrons due to such field electron emission is an important point in improving the insulation performance of a vacuum circuit breaker. Furthermore, as a result of various trials and errors, the present inventor conducted extensive research on the relationship between the suppression of initial electron generation due to field electron emission and the surface roughness of the contact portion. I devised an invention that can improve the insulation performance in

本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、接点部での絶縁性能向上を図ることができる真空遮断器を提供することを目的とする。 SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a vacuum circuit breaker capable of improving insulation performance at a contact portion.

本発明における一態様の真空遮断器は、真空容器の内部で接離可能に設けられて接触状態で通電し、離間状態で通電を遮断する可動接触子及び固定接触子を備えた真空遮断器であって、前記可動接触子及び前記固定接触子の電極部は、相互に対向する対向面が形成された接点部を備え、前記対向面の少なくとも一方は、前記接触状態で他方の前記対向面に接触する接触領域と、他方の前記対向面からの距離が前記接触領域よりも大きい凹部と備え、前記凹部の底部は、前記接触領域に比べて最大表面粗さ(Rmax)が小さく形成されていることを特徴とする。 A vacuum circuit breaker according to one aspect of the present invention is a vacuum circuit breaker that includes a movable contact and a fixed contact that are provided in a vacuum vessel so that they can be brought into and out of contact with each other, and conduct electricity in a contact state and cut off electricity in a separated state. The electrode portions of the movable contactor and the fixed contactor have contact portions formed with opposing surfaces facing each other, and at least one of the opposing surfaces faces the other of the opposing surfaces in the contact state. It comprises a contact area that makes contact and a recess that is located at a greater distance from the other opposing surface than the contact area, and the bottom of the recess is formed to have a smaller maximum surface roughness (Rmax) than the contact area. It is characterized by

本発明によれば、電流遮断時に各接触子の接点部は真空下にて離間するので、接点部間の距離が長い方、つまり、凹部の底部の方に電界を集中でき、接触領域に比べて凹部を放電し易い状態にすることができる。更に、凹部の表面粗さが小さくなる、言い換えると放電し易い領域の表面粗さが小さくなるので、電界電子放出による初期電子の発生を抑制でき、結果として接点部での絶縁性能向上を図ることができる。 According to the present invention, since the contact portions of each contactor are separated under vacuum when the current is interrupted, the electric field can be concentrated on the side where the distance between the contact portions is long, that is, on the bottom of the concave portion, and the contact area can be reduced. It is possible to put the concave portion into a state in which it is easy to discharge. Furthermore, since the surface roughness of the concave portion is reduced, in other words, the surface roughness of the area where discharge is likely to occur is reduced, the generation of initial electrons due to field electron emission can be suppressed, and as a result, the insulation performance at the contact portion can be improved. can be done.

第1の実施の形態に係る真空遮断器を一部断面視した概略構成図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is the schematic block diagram which carried out the partial cross section view of the vacuum circuit breaker which concerns on 1st Embodiment. 図2Aは、第1の実施の形態における固定接触子の電極部を上方から見た説明図である。図2Bは、接点部における図2AのA-A線の縦断面図である。FIG. 2A is an explanatory view of the electrode portion of the fixed contact in the first embodiment as viewed from above. FIG. 2B is a vertical cross-sectional view of the contact portion taken along line AA of FIG. 2A. 図3A及び図3Bは、第2の実施の形態に係る電極部の図2A及び図2Bと同様の説明図である。3A and 3B are explanatory diagrams similar to FIGS. 2A and 2B of the electrode portion according to the second embodiment. 図4A及び図4Bは、第3の実施の形態に係る電極部の図2A及び図2Bと同様の説明図である。4A and 4B are explanatory diagrams similar to FIGS. 2A and 2B of the electrode portion according to the third embodiment. 図5A及び図5Bは、第4の実施の形態に係る電極部の図2A及び図2Bと同様の説明図である。5A and 5B are explanatory diagrams similar to FIGS. 2A and 2B of the electrode portion according to the fourth embodiment. 第5の実施の形態に係る接点部の説明用断面図である。FIG. 11 is an explanatory cross-sectional view of a contact portion according to a fifth embodiment; 第6の実施の形態に係る接点部の説明用断面図である。FIG. 11 is an explanatory cross-sectional view of a contact portion according to a sixth embodiment; 図8A及び図8Bは、第7の実施の形態に係る電極部の図2A及び図2Bと同様の説明図である。8A and 8B are explanatory diagrams similar to FIGS. 2A and 2B of the electrode portion according to the seventh embodiment. 第8の実施の形態に係る接点部の説明用断面図である。FIG. 20 is an explanatory cross-sectional view of a contact portion according to an eighth embodiment; 第9の実施の形態に係る接点部の説明用断面図である。FIG. 20 is an explanatory cross-sectional view of a contact portion according to a ninth embodiment; 第10の実施の形態に係る接点部の説明用断面図である。FIG. 20 is an explanatory cross-sectional view of a contact portion according to a tenth embodiment; パッシェン曲線のグラフである。It is a graph of a Paschen curve.

以下に、本発明の実施の形態について、添付図面を参照して詳細に説明する。なお、本発明は、下記の実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を変更しない範囲内で適宜変形して実施することができるものである。以下の図においては、説明の便宜上、一部の構成を省略することがある。 BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Below, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. It should be noted that the present invention is not limited to the following embodiments, and can be modified appropriately without changing the gist of the invention. In the following diagrams, part of the configuration may be omitted for convenience of explanation.

[第1の実施の形態]
図1は、第1の実施の形態に係る真空遮断器を一部断面視した概略構成図である。図1に示すように、真空遮断器10は、真空容器11と、真空容器11の内部で接離可能に設けられた可動接触子12及び固定接触子14を備えている。真空遮断器10では、可動接触子12及び固定接触子14が接触状態(図示省略)で通電(閉路)し、図1に示す離間状態で通電を遮断(開路)するものである。
[First embodiment]
FIG. 1 is a schematic diagram showing a partial cross-section of a vacuum circuit breaker according to a first embodiment. As shown in FIG. 1 , the vacuum circuit breaker 10 includes a vacuum container 11 , and a movable contactor 12 and a fixed contactor 14 that are detachably provided inside the vacuum container 11 . In the vacuum circuit breaker 10, the movable contactor 12 and the fixed contactor 14 are energized (closed) when they are in contact (not shown), and energized (opened) when they are separated as shown in FIG.

真空容器11は、セラミック等によって形成される絶縁筒15と、絶縁筒15の図1中上端側及び下端側を閉塞するように設けられた端板16、17とを備えている。上方の端板16には、可動接触子12が上下動可能に貫通して設けられている。下方の端板17には、固定接触子14が固定されている。 The vacuum container 11 includes an insulating cylinder 15 made of ceramic or the like, and end plates 16 and 17 provided to close the upper and lower ends of the insulating cylinder 15 in FIG. A movable contactor 12 is provided through the upper end plate 16 so as to be vertically movable. A fixed contact 14 is fixed to the lower end plate 17 .

可動接触子12は、可動側ロッド19を備え、可動側ロッド19は、ベローズ等の気密部材(不図示)を介して真空容器11内の真空状態を保ちながら軸方向(上下方向)に移動可能に設けられる。可動側ロッド19は、引張りばねとなる遮断ばね20に接続されており、遮断ばね20を引き伸ばした状態でラッチ等(不図示)を介して係止されつつ、可動接触子12及び固定接触子14が接触して通電される。この状態から、ラッチ等を動作させることで、遮断ばね20の復元力で可動側ロッド19を上方に移動させて固定接触子14から可動接触子12を離間動作して通電が遮断される。 The movable contactor 12 is provided with a movable rod 19, and the movable rod 19 is movable in the axial direction (vertical direction) while maintaining the vacuum state in the vacuum container 11 via an airtight member (not shown) such as a bellows. provided in The movable-side rod 19 is connected to a breaking spring 20 that functions as a tension spring. contacts and is energized. From this state, by operating a latch or the like, the movable rod 19 is moved upward by the restoring force of the breaking spring 20 to move the movable contact 12 away from the fixed contact 14, thereby cutting off the energization.

固定接触子14は、固定側ロッド22を備え、固定側ロッド22は、下方の端板17に装着された固定ブロック23を介して固定されている。 The fixed contact 14 has a fixed rod 22 fixed via a fixed block 23 attached to the lower end plate 17 .

可動接触子12は、可動側ロッド19の一端部(図1中下端部)に電極部30を備えている。固定接触子14は、固定側ロッド22の一端部(図1中上端部)に電極部40を備えている。本実施の形態では、各電極部30、40は、上下対称となる向きに設けられて対向するように配置されている。各電極部30、40の外側には絶縁筒15の内周面を保護するシールド25が設けられている。 The movable contact 12 has an electrode portion 30 at one end (lower end in FIG. 1) of the movable rod 19 . The fixed contact 14 has an electrode portion 40 at one end (upper end in FIG. 1) of the fixed rod 22 . In the present embodiment, the electrodes 30 and 40 are vertically symmetrical and arranged to face each other. A shield 25 is provided outside each of the electrode portions 30 and 40 to protect the inner peripheral surface of the insulating cylinder 15 .

電極部30、40は、円柱状の外形をなす電極本体部31、41と、電極本体部31、41の端部にろう付け等によって連結された円板状の接点部32、42とを備えている。固定接触子14の接点部42にあっては上面が対向面43として形成され、可動接触子12の接点部32の下面となる対向面33と相互に対向するようになる。 The electrode portions 30 and 40 include electrode body portions 31 and 41 having a cylindrical outer shape and disk-shaped contact portions 32 and 42 connected to the ends of the electrode body portions 31 and 41 by brazing or the like. ing. The upper surface of the contact portion 42 of the fixed contactor 14 is formed as a facing surface 43, and faces the facing surface 33, which is the lower surface of the contact portion 32 of the movable contactor 12, mutually.

電極本体部31、41には、その軸線に対して傾斜しつつ螺旋状に延びる傾斜スリット34、44が複数本(本実施の形態では6本)形成されている。傾斜スリット34、44は、電極本体部31、41の外周面から所定深さで形成されている。接点部32、42には、その外周縁に一端が形成されるスリット35、45が形成され、スリット35、45の一端と傾斜スリット34、44の上端とが連続するように形成される。 A plurality of (six in the present embodiment) inclined slits 34 and 44 are formed in the electrode main body portions 31 and 41 so as to extend spirally while being inclined with respect to the axis thereof. The inclined slits 34 and 44 are formed at a predetermined depth from the outer peripheral surfaces of the electrode main bodies 31 and 41 . Slits 35 and 45 are formed in the contact portions 32 and 42, one ends of which are formed at the outer peripheral edges thereof, and the one ends of the slits 35 and 45 and the upper ends of the inclined slits 34 and 44 are formed so as to be continuous.

図2Aは、第1の実施の形態における固定接触子の電極部を上方から見た図である。図2Bは、固定接触子の接点部における図2AのA-A線の縦断面図である。図2A及び図2Bに示すように、固定接触子14における接点部42の対向面43には、その外周縁に沿う所定幅で円環状に形成される接触領域47と、接触領域47より面内中心側に形成される凹部48とが形成される。かかる接触領域47及び凹部48の形成によって、対向面43では、接触領域47より凹部48の方が可動接触子12の対向面33(図1参照)に対する距離が長くなる。また、対向面43において、通電(閉路)時に可動接触子12の対向面33と接触する領域が接触領域47となる。 FIG. 2A is a top view of the electrode portion of the fixed contact according to the first embodiment. FIG. 2B is a vertical cross-sectional view of the contact portion of the stationary contact, taken along line AA of FIG. 2A. As shown in FIGS. 2A and 2B, the opposing surface 43 of the contact portion 42 of the stationary contactor 14 has a contact region 47 formed in an annular shape with a predetermined width along the outer peripheral edge thereof, and an in-plane contact region 47 . A concave portion 48 is formed on the center side. By forming the contact area 47 and the recess 48 , the distance of the recess 48 from the facing surface 33 (see FIG. 1 ) of the movable contactor 12 is longer than that of the contact area 47 . A contact area 47 is an area of the facing surface 43 that contacts the facing surface 33 of the movable contact 12 when energized (closed).

ここで、凹部48の内部における底部48a(図2Aで網点を付した領域)は、接触領域47より最大表面粗さ(Rmax)が小さく滑らかな面として形成されている。一例を挙げると、底部48aの最大表面粗さRmaxが0.25μm、接触領域47の最大表面粗さRmaxが8μmに形成される。 Here, the bottom portion 48a (the dotted area in FIG. 2A) inside the concave portion 48 has a smaller maximum surface roughness (Rmax) than the contact area 47 and is formed as a smooth surface. For example, the maximum surface roughness Rmax of the bottom portion 48a is 0.25 μm, and the maximum surface roughness Rmax of the contact region 47 is 8 μm.

接点部42におけるスリット45は、複数本(本実施の形態では6本)形成され、接点部42外周縁の一端から内方となる凹部48の底部48aに延出している。そして、スリット45の他端(内方端)は、接触領域47と凹部48との境界より内方となる底部48aに位置するように形成される。なお、図示省略したが、可動接触子12における接点部32においては、対向面33に凹部が形成されていないものの、スリット35がスリット45と同様の形状をなしている。スリット35、45及び傾斜スリット34、44によって、電極部30、40の通電路がコイル状となって縦磁界(図1中上下方向に平行な方向の磁界)が発生し、遮断特性を向上できるようになる。 A plurality of slits 45 (six in this embodiment) are formed in the contact portion 42 and extend from one end of the outer peripheral edge of the contact portion 42 to the bottom portion 48a of the concave portion 48 which is inward. The other end (inner end) of the slit 45 is formed so as to be located on the bottom portion 48 a inside the boundary between the contact area 47 and the recess 48 . Although not shown, in the contact portion 32 of the movable contactor 12, the slit 35 has the same shape as the slit 45, although the facing surface 33 does not have a concave portion. Due to the slits 35, 45 and the inclined slits 34, 44, the conducting path of the electrode parts 30, 40 becomes coiled, generating a vertical magnetic field (a magnetic field in a direction parallel to the vertical direction in FIG. 1), thereby improving the cut-off characteristics. become.

なお、本実施の形態では、可動接触子12における接点部32の対向面33は、スリット35の形成領域以外は平坦な面として形成され、対向面33全体が接触領域とされる。 In the present embodiment, the facing surface 33 of the contact portion 32 of the movable contactor 12 is formed as a flat surface except for the area where the slits 35 are formed, and the entire facing surface 33 serves as the contact area.

真空遮断器10において、可動接触子12及び固定接触子14が接触する通電状態では、固定接触子14の接触領域47と、これに対向する位置の可動接触子12の対向面33とが接触する。一方、遮断状態において、可動接触子12の対向面33と、固定接触子14における接触領域47及び凹部48の底部48aとは所定距離離れた非接触状態で対向することとなる。 In the vacuum circuit breaker 10, in the energized state where the movable contact 12 and the fixed contact 14 are in contact with each other, the contact area 47 of the fixed contact 14 and the facing surface 33 of the movable contact 12 at a position opposite thereto come into contact. . On the other hand, in the interrupted state, the facing surface 33 of the movable contactor 12 faces the contact area 47 and the bottom portion 48a of the recessed portion 48 of the fixed contactor 14 in a non-contact state separated by a predetermined distance.

真空遮断器10にて通電状態から電流を遮断すべく、固定接触子14及び可動接触子12の各接点部32、42が離間されると、各接点部32、42の間にアークが発生する。 When the contact portions 32, 42 of the fixed contact 14 and the movable contact 12 are separated from each other in order to interrupt the current from the energized state in the vacuum circuit breaker 10, an arc is generated between the contact portions 32, 42. .

電流遮断時の各接点部32、42にて、相互に接触する対向面33と接触領域47とが離間された直後には、対向面33と接触領域47との離間距離に対し、対向面33と凹部48の底部48aとの離間距離の方が大きくなる。上述のパッシェン曲線(図12参照)の説明に基づき、対向面33に対して離間距離が大きい凹部48の底部48aの方が放電し易い状態となり、アークが選択的に発生する。つまり、接触領域47でアークが発生することを抑制し、凹部48の底部48aで安定して絶縁破壊可能な状態にすることができる。 Immediately after the opposing surface 33 and the contact area 47 that are in contact with each other are separated from each other at the contact portions 32 and 42 when the current is interrupted, the opposing surface 33 and the bottom portion 48a of the recess 48 becomes larger. Based on the explanation of the Paschen curve (see FIG. 12), the bottom 48a of the concave portion 48, which is separated from the facing surface 33, is more likely to be discharged, and an arc is selectively generated. In other words, it is possible to suppress the arc from being generated in the contact area 47, and to stably create a state in which dielectric breakdown is possible at the bottom 48a of the recess 48. FIG.

また、凹部48の底部48aにおける表面粗さを小さくしたので、絶縁破壊が発生する部位の表面粗さを小さくでき、底部48aにて、上述した電界電子放出による初期電子の発生を抑制することができる。これにより、絶縁破壊のきっかけが生じ難くなり、絶縁破壊電圧を高い値に保持して対向面33と凹部48の底部48aとの間の絶縁性能を向上でき、ひいては、真空遮断器10の遮断性能を向上することができる。 In addition, since the surface roughness of the bottom portion 48a of the concave portion 48 is reduced, the surface roughness of the portion where dielectric breakdown occurs can be reduced, and the generation of initial electrons due to the field electron emission described above can be suppressed at the bottom portion 48a. can. As a result, the dielectric breakdown is less likely to occur, and the dielectric breakdown voltage can be maintained at a high value to improve the insulation performance between the facing surface 33 and the bottom portion 48 a of the recess 48 , and the breaking performance of the vacuum circuit breaker 10 . can be improved.

ここで、電流遮断時にあっては、縦磁界を発生させるためのスリット35、45におけるエッヂ部分にマクロな電界集中が発生する。固定接触子14のスリット45は、凹部48の底部48aと接触領域47との両方に形成されるので、より放電し易い底部48a内に位置するスリット45のエッヂ部分で電界集中して絶縁破壊するようになる。これにより、接触領域47での絶縁破壊を防止して凹部48にて安定して絶縁破壊が可能となり、絶縁性能(絶縁破壊電圧)を向上させることができる。 Here, when the current is interrupted, macroscopic electric field concentration occurs at the edge portions of the slits 35 and 45 for generating the vertical magnetic field. Since the slit 45 of the fixed contact 14 is formed in both the bottom 48a of the recess 48 and the contact region 47, electric field concentration occurs at the edge of the slit 45 located in the bottom 48a where discharge is more likely to occur, resulting in dielectric breakdown. become. As a result, dielectric breakdown can be prevented in the contact area 47 and stable dielectric breakdown can occur in the recess 48, thereby improving the insulation performance (dielectric breakdown voltage).

このような第1の実施の形態によれば、底部48aの最大表面粗さRmaxを小さく設定することで、到達耐電界強度を上昇することができる。かかる到達耐電界強度は、電極材料、到達真空度、コンディショニングの有無、加工条件によって大きく異なるものの、底部48aの最大表面粗さRmaxの変化(例えば、2.5μmと0.8μm)で約1.7倍程度上昇可能となる。 According to the first embodiment as described above, by setting the maximum surface roughness Rmax of the bottom portion 48a small, the ultimate electric field strength can be increased. Although the ultimate electric field strength varies greatly depending on the electrode material, the degree of vacuum, the presence or absence of conditioning, and the processing conditions, it is about 1.5 μm depending on the change in the maximum surface roughness Rmax of the bottom portion 48a (for example, 2.5 μm and 0.8 μm). It is possible to increase about 7 times.

ところで、真空遮断器10にあっては、保管や流通、施工時に、可動接触子12の対向面33に対して接触領域47が接触或いは圧接したり、実運転前の試験時に各接触子12、14を繰り返し開閉したりする場合がある。この場合であっても、凹部48の底部48aにあっては、可動接触子12の接点部32に対して非接触に保つことができ、最大表面粗さが小さい良好な表面状態を安定して確保でき、上述の絶縁性能を維持することができる。しかも、凹部48の底部48aに比べて接触領域47を粗い面とする関係性になり、実運転前の試験や運搬等を行ったとしても接触領域47の方が粗くなる傾向が強くなるので、かかる関係性を維持し易くすることができる。 By the way, in the vacuum circuit breaker 10, the contact area 47 contacts or presses against the facing surface 33 of the movable contactor 12 during storage, distribution, or construction, and during testing before actual operation, each contactor 12, 14 may be repeatedly opened and closed. Even in this case, the bottom portion 48a of the concave portion 48 can be kept out of contact with the contact portion 32 of the movable contactor 12, and a good surface condition with a small maximum surface roughness can be stably maintained. can be ensured and the insulation performance described above can be maintained. In addition, the contact area 47 has a rougher surface than the bottom 48a of the recess 48, and the contact area 47 tends to be rougher even if tests and transportation are performed before actual operation. This relationship can be easily maintained.

次に、本発明の前記以外の実施の形態について説明する。なお、以下の説明において、説明する実施の形態より前に記載された実施の形態と同一若しくは同等の構成部分については同一符号を用いる場合があり、説明を省略若しくは簡略にする場合がある。また、図3以降の図面にて、図2Aと同様の網点が付された領域は、第1の実施の形態の底部48aと同様の最大表面粗さに形成される。 Next, embodiments of the present invention other than those described above will be described. In the following description, the same reference numerals may be used for components that are the same as or equivalent to those in the embodiments described before, and the description may be omitted or simplified. In addition, in the drawings after FIG. 3, the halftone dot area similar to that in FIG. 2A is formed to have the same maximum surface roughness as that of the bottom portion 48a of the first embodiment.

[第2の実施の形態]
次に、本発明の第2の実施の形態について図3を参照して説明する。図3A及び図3Bは、第1の実施の形態に係る電極部の図2A及び図2Bと同様の説明図である。図3A及び図3Bに示すように、第2の実施の形態では、第1の実施の形態に対し、凹部48の形状を変更している。
[Second embodiment]
Next, a second embodiment of the invention will be described with reference to FIG. 3A and 3B are explanatory diagrams similar to FIGS. 2A and 2B of the electrode portion according to the first embodiment. As shown in FIGS. 3A and 3B, in the second embodiment, the shape of recess 48 is changed from that in the first embodiment.

第2の実施の形態において、凹部48は溝状に形成され、接点部42の外周縁と同一中心となる1つの円(閉ループ)の軌跡に沿って形成されている。第2の実施の形態においても、スリット45の他端(内方端)は、凹部48の底部48aに位置するように形成される。なお、接点部42の対向面43にて、凹部48の外側領域だけでなく内側領域も接触領域47として形成されるようになる。第2の実施の形態においても、底部48aは、接触領域47より最大表面粗さ(Rmax)が小さく滑らかな面として形成されている。 In the second embodiment, the concave portion 48 is formed in a groove shape and is formed along the trajectory of one circle (closed loop) having the same center as the outer peripheral edge of the contact portion 42 . Also in the second embodiment, the other end (inner end) of the slit 45 is formed so as to be positioned at the bottom 48 a of the recess 48 . In addition, on the facing surface 43 of the contact portion 42 , not only the outer region of the recess 48 but also the inner region are formed as the contact region 47 . Also in the second embodiment, the bottom portion 48 a is formed as a smooth surface having a smaller maximum surface roughness (Rmax) than the contact area 47 .

[第3の実施の形態]
次に、本発明の第3の実施の形態について図4を参照して説明する。図4A及び図4Bは、第3の実施の形態に係る電極部の図2A及び図2Bと同様の説明図である。図4A及び図4Bに示すように、第3の実施の形態では、第2の実施の形態に対し、溝状の凹部48を同心円上に二重に形成した点を変更している。第3の実施の形態においては、スリット45の他端(内方端)は、二重の凹部48のうち、内側の凹部48の底部48aに位置するように形成される。
[Third embodiment]
Next, a third embodiment of the invention will be described with reference to FIG. 4A and 4B are explanatory diagrams similar to FIGS. 2A and 2B of the electrode portion according to the third embodiment. As shown in FIGS. 4A and 4B, the third embodiment differs from the second embodiment in that the groove-shaped concave portion 48 is formed in two concentric circles. In the third embodiment, the other end (inner end) of the slit 45 is positioned at the bottom 48 a of the inner recess 48 of the double recesses 48 .

[第4の実施の形態]
次に、本発明の第4の実施の形態について図5を参照して説明する。図5A及び図5Bは、第4の実施の形態に係る電極部の図2A及び図2Bと同様の説明図である。図5A及び図5Bに示すように、第4の実施の形態では、第2の実施の形態に対し、溝状の凹部48を同心円上に三重に形成した点を変更している。第4の実施の形態においては、スリット45の他端(内方端)は、三重の凹部48のうち、最も外側の凹部48の底部48aに位置するように形成される。第2~第4の実施の形態によれば、溝状に凹部48を形成しても、第1の実施の形態と同様の効果を得ることができ、加工容易性や材質等を考慮して凹部48の形成数を変更することで製造コストの削減効果と絶縁性能向上効果とがバランス良く得られるようになる。
[Fourth embodiment]
Next, a fourth embodiment of the invention will be described with reference to FIG. 5A and 5B are explanatory diagrams similar to FIGS. 2A and 2B of the electrode portion according to the fourth embodiment. As shown in FIGS. 5A and 5B, the fourth embodiment is different from the second embodiment in that the groove-shaped recesses 48 are formed concentrically in three layers. In the fourth embodiment, the other end (inner end) of the slit 45 is positioned at the bottom 48 a of the outermost recess 48 among the triple recesses 48 . According to the second to fourth embodiments, even if the concave portion 48 is formed in a groove shape, it is possible to obtain the same effects as in the first embodiment. By changing the number of recesses 48 to be formed, it is possible to obtain a good balance between the effect of reducing the manufacturing cost and the effect of improving the insulation performance.

[第5の実施の形態]
次に、本発明の第5の実施の形態について図6を参照して説明する。図6は、第5の実施の形態に係る接点部の説明用断面図である。図6に示すように、第5の実施の形態では、第1の実施の形態に対し、可動接触子12の接点部32においても、固定接触子14の接点部42における凹部48と同様の凹部38を形成している。図6では、平面視した場合の各凹部38、48の大きさ及び形状を同一としたが、これに限られず、各凹部38、48の大きさ、形状、形成位置が異なっていてもよい。
[Fifth embodiment]
Next, a fifth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 6 is an explanatory cross-sectional view of the contact portion according to the fifth embodiment. As shown in FIG. 6, in the fifth embodiment, the contact portion 32 of the movable contact 12 also has recesses similar to the recesses 48 in the contact portion 42 of the fixed contact 14, unlike the first embodiment. 38 is formed. In FIG. 6, the recesses 38 and 48 have the same size and shape when viewed from above, but the recesses 38 and 48 may have different sizes, shapes, and formation positions.

第5の実施の形態によれば、凹部38、48の底部38a、48a間の距離(ギャップ長)を長くすることができ、高電界でも安定した絶縁性能を維持することができる。 According to the fifth embodiment, the distance (gap length) between the bottoms 38a, 48a of the recesses 38, 48 can be increased, and stable insulation performance can be maintained even in a high electric field.

[第6の実施の形態]
次に、本発明の第6の実施の形態について図7を参照して説明する。図7は、第6の実施の形態に係る接点部の説明用断面図である。図7に示すように、第6の実施の形態では、第5の実施の形態に対し、可動接触子12の接点部32における凹部38を変更している。
[Sixth embodiment]
Next, a sixth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 7 is an explanatory cross-sectional view of a contact portion according to the sixth embodiment. As shown in FIG. 7, in the sixth embodiment, the concave portion 38 in the contact portion 32 of the movable contactor 12 is changed from the fifth embodiment.

第6の実施の形態において、可動接触子12の凹部38は、第2の実施の形態の凹部48と同様に円の軌跡に沿う溝状に形成されている。図7では、固定接触子14の凹部48より可動接触子12の凹部38の方が大きい形寸法に形成され、上下に重ならない位置に設定されている。第6の実施の形態によれば、絶縁破壊する部位が同じになり難くなって当該部位の自由度を確保することができる。 In the sixth embodiment, the concave portion 38 of the movable contact 12 is formed in a groove shape along a circular trajectory like the concave portion 48 of the second embodiment. In FIG. 7, the concave portion 38 of the movable contactor 12 is formed to be larger than the concave portion 48 of the fixed contactor 14, and is set at a position where they do not overlap vertically. According to the sixth embodiment, it becomes difficult for the parts to undergo dielectric breakdown to be the same, and the degree of freedom of the parts can be ensured.

[第7の実施の形態]
次に、本発明の第7の実施の形態について図8を参照して説明する。図8A及び図8Bは、第7の実施の形態に係る電極部の図2A及び図2Bと同様の説明図である。図8A及び図8Bに示すように、第7の実施の形態では、第1の実施の形態に対し、凹部48の底部48aに段差を設けて2段の高さを有する形状に形成している。なお、かかる段差の段数は適宜増加させてもよい。
[Seventh embodiment]
A seventh embodiment of the present invention will now be described with reference to FIG. 8A and 8B are explanatory diagrams similar to FIGS. 2A and 2B of the electrode portion according to the seventh embodiment. As shown in FIGS. 8A and 8B, in the seventh embodiment, the bottom 48a of the recess 48 is stepped to have a two-step height, unlike the first embodiment. . Note that the number of such steps may be increased as appropriate.

[第8の実施の形態]
次に、本発明の第8の実施の形態について図9を参照して説明する。図9は、第8の実施の形態に係る接点部の説明用断面図である。図9に示すように、第8の実施の形態では、第5の実施の形態に対し、両方の凹部38、48の底部38a、48aに段差を設けて2段の高さを有する形状に形成している。
[Eighth embodiment]
Next, an eighth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 9 is an explanatory cross-sectional view of the contact portion according to the eighth embodiment. As shown in FIG. 9, in the eighth embodiment, the bottoms 38a and 48a of both recesses 38 and 48 are stepped to have a two-step height, unlike the fifth embodiment. is doing.

[第9の実施の形態]
次に、本発明の第9の実施の形態について図10を参照して説明する。図10は、第9の実施の形態に係る接点部の説明用断面図である。図10に示すように、第9の実施の形態では、第6の実施の形態(図7参照)に対し、両方の凹部38、48の底部38a、48aに段差を設けて2段の高さを有する形状に形成している。
[Ninth Embodiment]
Next, a ninth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 10 is an explanatory cross-sectional view of a contact portion according to the ninth embodiment. As shown in FIG. 10, in the ninth embodiment, the bottoms 38a, 48a of both the recesses 38, 48 are provided with steps to provide two steps in height, unlike the sixth embodiment (see FIG. 7). It is formed into a shape having

[第10の実施の形態]
次に、本発明の第10の実施の形態について図11を参照して説明する。図11は、第10の実施の形態に係る接点部の説明用断面図である。図11に示すように、第10の実施の形態では、第5の実施の形態(図6参照)に対し、可動接触子12における凹部38の底部38aに段差を設けて2段の高さを有する形状に形成している。固定接触子14の凹部48については、第1及び第5の実施の形態と同様に、段差を有しない形状に形成している。
[Tenth embodiment]
Next, a tenth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 11 is an explanatory cross-sectional view of the contact portion according to the tenth embodiment. As shown in FIG. 11, in the tenth embodiment, the bottom portion 38a of the concave portion 38 in the movable contactor 12 is provided with a step to increase the height of two steps compared to the fifth embodiment (see FIG. 6). It is formed into a shape that has The recessed portion 48 of the fixed contact 14 is formed in a step-free shape as in the first and fifth embodiments.

第7~第10の実施の形態のように、底部38a、48aを2段の高さにすることによっても、ギャップ長となる底部38a、48a間の距離や、底部38a、48a及びこれに対向する対向面33、43間の距離を長くすることができ、高電界でも安定した絶縁性能を維持することができる。 By making the bottom portions 38a and 48a two steps high as in the seventh to tenth embodiments, the distance between the bottom portions 38a and 48a, which is the gap length, and the distance between the bottom portions 38a and 48a The distance between the facing surfaces 33 and 43 can be lengthened, and stable insulation performance can be maintained even in a high electric field.

なお、本発明は上記各実施の形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。上記実施の形態において、添付図面に図示されている大きさや形状、向きなどについては、これに限定されず、本発明の効果を発揮する範囲内で適宜変更することが可能である。その他、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施することが可能である。 It should be noted that the present invention is not limited to the above embodiments, and can be implemented with various modifications. In the above embodiments, the sizes, shapes, directions, etc. shown in the accompanying drawings are not limited to these, and can be changed as appropriate within the scope of exhibiting the effects of the present invention. In addition, it is possible to carry out by appropriately modifying the present invention as long as it does not deviate from the scope of the purpose of the present invention.

上記各実施の形態において、可動接触子12の接点部32と、固定接触子14の接点部42とで凹部38、48の形状、大きさ、形成位置、形成の有無が異なるものにあっては、各接点部32、42の形状等を逆にしてもよい。更に、平面視した場合の各凹部38、48の形状等は、円形及び円環状に限定されるものでなく、底部38a、48aの最大表面粗さRmaxが小さくなる限りにおいて、楕円形や多角形にする等、種々の変更が可能である。 In each of the above embodiments, if the contact portion 32 of the movable contact 12 and the contact portion 42 of the fixed contact 14 are different in shape, size, formation position, and presence/absence of the concave portions 38 and 48, , the shapes of the contact portions 32 and 42 may be reversed. Furthermore, the shape of each recess 38, 48 when viewed from above is not limited to a circular shape or an annular shape, but may be an elliptical shape or a polygonal shape as long as the maximum surface roughness Rmax of the bottoms 38a, 48a is small. Various changes are possible, such as

また、スリット35、45は、上記各実施の形態と同様の縦磁界を発生する限りにおいて、延出方向に対し不連続に形成してもよい。但し、電流遮断時にマクロな電界集中を発生させるべく、スリット35、45の一部が凹部38、48の底部38a、48aに形成されることが好ましい。 Moreover, the slits 35 and 45 may be formed discontinuously in the extension direction as long as they generate the same vertical magnetic field as in the above embodiments. However, it is preferable that part of the slits 35, 45 be formed in the bottoms 38a, 48a of the recesses 38, 48 in order to generate macroscopic electric field concentration at the time of current interruption.

また、電極部30、40において、接点部32、42と電極本体部31、41とを別体として固定した構成としたが、これらを一体に形成してもよい。 Further, in the electrode portions 30 and 40, the contact portions 32 and 42 and the electrode body portions 31 and 41 are separately fixed, but they may be integrally formed.

10 真空遮断器
11 真空容器
12 可動接触子
14 固定接触子
30 電極部
32 接点部
33 対向面
35 スリット
37 接触領域
38 凹部
38a 底部
40 電極部
42 接点部
43 対向面
45 スリット
47 接触領域
48 凹部
48a 底部
REFERENCE SIGNS LIST 10 vacuum circuit breaker 11 vacuum vessel 12 movable contact 14 stationary contact 30 electrode section 32 contact section 33 facing surface 35 slit 37 contact area 38 recess 38a bottom 40 electrode section 42 contact section 43 facing surface 45 slit 47 contact area 48 recess 48a bottom

Claims (3)

真空容器の内部で接離可能に設けられて接触状態で通電し、離間状態で通電を遮断する可動接触子及び固定接触子を備えた真空遮断器であって、
前記可動接触子及び前記固定接触子の電極部は、相互に対向する対向面が形成された接点部を備え、
前記対向面の少なくとも一方は、前記接触状態で他方の前記対向面に接触する接触領域と、他方の前記対向面からの距離が前記接触領域よりも大きい凹部と備え、
前記凹部の底部は、前記接触領域に比べて最大表面粗さ(Rmax)が小さく形成されていることを特徴とする真空遮断器。
A vacuum circuit breaker comprising a movable contactor and a fixed contactor which are arranged to be contactable and detachable inside a vacuum vessel, are energized in a contact state, and cut off the energization in a separated state,
The electrode portions of the movable contact and the fixed contact include contact portions formed with facing surfaces facing each other,
At least one of the opposing surfaces includes a contact area that contacts the other opposing surface in the contact state, and a recess that is located at a distance from the other opposing surface that is greater than the contact area,
A vacuum circuit breaker according to claim 1, wherein the bottom of the recess is formed to have a maximum surface roughness (Rmax) smaller than that of the contact area.
前記接点部は、前記対向面に縦磁界を発生させるためのスリットを備えていることを特徴とする請求項1に記載の真空遮断器。 2. The vacuum circuit breaker according to claim 1, wherein said contact portion has a slit for generating a vertical magnetic field on said facing surface. 前記スリットは、前記接点部の外縁から前記凹部の前記底部に延出していることを特徴とする請求項2に記載の真空遮断器。 3. The vacuum circuit breaker according to claim 2, wherein the slit extends from the outer edge of the contact portion to the bottom portion of the recess.
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