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JP7180657B2 - resin composition - Google Patents
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JP7180657B2 - resin composition - Google Patents

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JP7180657B2 JP2020170423A JP2020170423A JP7180657B2 JP 7180657 B2 JP7180657 B2 JP 7180657B2 JP 2020170423 A JP2020170423 A JP 2020170423A JP 2020170423 A JP2020170423 A JP 2020170423A JP 7180657 B2 JP7180657 B2 JP 7180657B2
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Description

本発明は、樹脂組成物に関する。さらには、当該樹脂組成物を含有する、シート状積層材料、当該樹脂組成物の硬化物により形成された絶縁層を含むプリント配線板、及び半導体装置に関する。 The present invention relates to resin compositions. Furthermore, it relates to a sheet-like laminate material containing the resin composition, a printed wiring board including an insulating layer formed of a cured product of the resin composition, and a semiconductor device.

プリント配線板の製造技術としては、内層基板上に絶縁層と導体層を交互に積み重ねるビルドアップ方式による製造方法が知られている。絶縁層は、一般に、樹脂組成物を硬化させることにより形成される。 As a technique for manufacturing a printed wiring board, a manufacturing method using a build-up method in which insulating layers and conductor layers are alternately stacked on an inner layer substrate is known. An insulating layer is generally formed by curing a resin composition.

例えば、特許文献1には、少なくともエポキシ樹脂(A)と、ナフタレン構造を含む活性エステル化合物(B)を含有する樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合の前記ナフタレン構造を含む活性エステル化合物(B)の含有量が0.1~30質量%である、熱硬化性エポキシ樹脂組成物が開示されている。 For example, Patent Document 1 describes an active compound containing the naphthalene structure when the non-volatile component in the resin composition containing at least an epoxy resin (A) and an active ester compound (B) containing a naphthalene structure is 100% by mass. A thermosetting epoxy resin composition is disclosed in which the content of the ester compound (B) is 0.1 to 30% by mass.

また、特許文献2には、(A)ラジカル重合性化合物、(B)エポキシ樹脂、(C)硬化剤及び(D)粗化成分を含有することを特徴とする樹脂組成物が開示されている。 Further, Patent Document 2 discloses a resin composition characterized by containing (A) a radically polymerizable compound, (B) an epoxy resin, (C) a curing agent, and (D) a roughening component. .

上記のように、内層回路基板の絶縁層の形成に適したエポキシ樹脂組成物の提案は多くなされてきているが、低誘電正接であるとともに、耐熱性や密着性に優れるという特性をバランスよく備えた絶縁層を形成できる樹脂組成物に対する要望はさらに高まってきている。 As described above, many proposals have been made for epoxy resin compositions suitable for forming insulating layers of inner layer circuit boards. There is a growing demand for a resin composition that can form an insulating layer with a higher thickness.

特開2014-47318号公報JP 2014-47318 A 特開2014-34580号公報JP 2014-34580 A

本発明の課題は、低誘電正接、高ガラス転移温度、高密着性である絶縁層を形成可能な樹脂組成物を提供することである。 An object of the present invention is to provide a resin composition capable of forming an insulating layer having a low dielectric loss tangent, a high glass transition temperature, and high adhesion.

本発明者は、前記課題につき鋭意検討した結果、(A)エポキシ樹脂、(B)炭素-炭素不飽和結合を有する活性エステル化合物、及び(C)不飽和炭化水素基を有する樹脂を組み合わせて含む樹脂組成物により、前記の課題を解決できることを見出し、本発明を完成させるに至った。
すなわち、本発明は、下記の内容を含む。
As a result of intensive studies on the above problems, the present inventors have found that (A) an epoxy resin, (B) an active ester compound having a carbon-carbon unsaturated bond, and (C) a resin having an unsaturated hydrocarbon group are combined. The inventors have found that the above problems can be solved by a resin composition, and have completed the present invention.
That is, the present invention includes the following contents.

〔1〕(A)エポキシ樹脂(以下、本明細書中「(A)成分」ともいう)、(B)炭素-炭素不飽和結合を有する活性エステル化合物(以下、本明細書中「(B)成分」ともいう)、及び(C)不飽和炭化水素基を有する樹脂(以下、本明細書中「(C)成分」ともいう)を含有する樹脂組成物。
〔2〕前記(B)成分の含有量が、樹脂成分を100質量%とした場合、10~60質量%である上記〔1〕に記載の樹脂組成物。
〔3〕前記(A)成分の含有量が、樹脂成分を100質量%とした場合、10~50質量%であり、前記(C)成分の含有量が、樹脂成分を100質量%とした場合、3~30質量%である上記〔1〕又は〔2〕に記載の樹脂組成物。
〔4〕前記(B)成分が、炭素-炭素二重結合を有する活性エステル化合物である上記〔1〕~〔3〕のいずれかに記載の樹脂組成物。
〔5〕前記(B)成分が、ビニル基、メタクリル基、アクリル基、アリル基、スチリル基又はプロペニル基を有する活性エステル化合物である上記〔4〕に記載の樹脂組成物。
〔6〕前記(B)成分が、スチリル基を有する活性エステル化合物である上記〔5〕に記載の樹脂組成物。
〔7〕前記(B)成分が、下記一般式(1)で表される化合物を含む上記〔6〕に記載の樹脂組成物。

Figure 0007180657000001
(前記一般式(1)中、mは1~6の整数を表し、nは1~20の整数を表す。)
〔8〕前記(C)成分が、アクリル基、メタクリル基、スチリル基、又はオレフィン基を有する樹脂である上記〔1〕~〔7〕のいずれかに記載の樹脂組成物。
〔9〕プリント配線板の絶縁層形成用である上記〔1〕~〔8〕のいずれかに記載の樹脂組成物。
〔10〕上記〔1〕~〔9〕のいずれかに記載の樹脂組成物を含む、シート状積層材料。
〔11〕上記〔1〕~〔9〕のいずれかに記載の樹脂組成物の硬化物により形成された絶縁層を含む、プリント配線板。
〔12〕上記〔11〕に記載のプリント配線板を含む、半導体装置。 [1] (A) epoxy resin (hereinafter also referred to as "(A) component" in this specification), (B) an active ester compound having a carbon-carbon unsaturated bond (hereinafter referred to as "(B) component”), and (C) a resin having an unsaturated hydrocarbon group (hereinafter also referred to as “component (C)” in this specification).
[2] The resin composition according to [1] above, wherein the content of component (B) is 10 to 60% by mass based on 100% by mass of the resin component.
[3] When the content of the component (A) is 10 to 50% by mass when the resin component is 100% by mass, and the content of the component (C) is 100% by mass when the resin component is 100% by mass , 3 to 30% by mass of the resin composition according to [1] or [2] above.
[4] The resin composition according to any one of [1] to [3] above, wherein the component (B) is an active ester compound having a carbon-carbon double bond.
[5] The resin composition as described in [4] above, wherein the component (B) is an active ester compound having a vinyl group, a methacrylic group, an acrylic group, an allyl group, a styryl group, or a propenyl group.
[6] The resin composition as described in [5] above, wherein the component (B) is an active ester compound having a styryl group.
[7] The resin composition according to [6] above, wherein the component (B) contains a compound represented by the following general formula (1).
Figure 0007180657000001
(In the general formula (1), m represents an integer of 1 to 6, and n represents an integer of 1 to 20.)
[8] The resin composition as described in any one of [1] to [7] above, wherein the component (C) is a resin having an acrylic group, a methacrylic group, a styryl group, or an olefin group.
[9] The resin composition according to any one of [1] to [8], which is used for forming an insulating layer of a printed wiring board.
[10] A sheet-like laminate material comprising the resin composition according to any one of [1] to [9] above.
[11] A printed wiring board comprising an insulating layer formed from a cured product of the resin composition according to any one of [1] to [9] above.
[12] A semiconductor device comprising the printed wiring board according to [11] above.

本発明によれば、ガラス転移温度が高く、導体層との密着性が良好であり、誘電正接が低い硬化物を得ることができる樹脂組成物;当該樹脂組成物を含むシート状積層材料;並びに、当該樹脂組成物の硬化物を含むプリント配線板及び半導体装置を提供することができる。 According to the present invention, a resin composition having a high glass transition temperature, good adhesion to a conductor layer, and capable of obtaining a cured product having a low dielectric loss tangent; a sheet-like laminate material containing the resin composition; , a printed wiring board and a semiconductor device containing a cured product of the resin composition can be provided.

以下、本発明について、実施形態及び例示物を示して詳細に説明する。ただし、本発明は下記の実施形態及び例示物に限定されるものでは無く、本発明の特許請求の範囲及びその均等の範囲を逸脱しない範囲において任意に変更して実施しうる。 Hereinafter, the present invention will be described in detail by showing embodiments and examples. However, the present invention is not limited to the following embodiments and examples, and can be arbitrarily modified without departing from the scope of the claims of the present invention and their equivalents.

以下の説明において、樹脂組成物中の各成分の量は、別途明示のない限り、樹脂組成物中の樹脂成分100質量%に対する値である。
なお、以下の説明において、「樹脂成分」とは、別途明示のない限り、樹脂組成物に含まれる不揮発成分のうち、(D)無機充填材(以下、本明細書中「(D)成分」ともいう)を除いた成分をいう。
In the following description, the amount of each component in the resin composition is a value based on 100% by mass of the resin component in the resin composition, unless otherwise specified.
In the following description, unless otherwise specified, the term “resin component” refers to (D) inorganic filler (hereinafter referred to as “(D) component” in this specification) among the non-volatile components contained in the resin composition. (Also called).

[1.樹脂組成物の概要]
本発明の樹脂組成物は、(A)エポキシ樹脂、(B)炭素-炭素不飽和結合を有する活性エステル化合物、及び(C)不飽和炭化水素基を有する樹脂を含有する。本発明の樹脂組成物を硬化して形成される硬化物は、(B)成分の不飽和結合部位と、(C)成分の不飽和炭化水素基と、が反応して形成される分子構造部位を含む。この分子構造部位は、(B)成分の不飽和結合部位及び(C)成分の不飽和炭化水素基の作用により、極性が小さい。そのため、硬化物の極性が小さくなり、誘電正接の値を低減することができる。
また、本発明の樹脂組成物を硬化して形成される硬化物は、(B)成分の不飽和結合部位と、(C)成分の不飽和炭化水素基との反応により形成される分子構造部位だけでなく、(B)成分の活性エステル部位と、(A)成分と、が反応して形成される分子構造部位を含む。そのため、架橋密度が密となり(即ち、構造が密となり)、硬化物のガラス転移温度が高くなる。更に、架橋密度が密となることで、硬化物の機械的強度が向上し、硬化物の破壊を伴う剥離が生じ難くなるので、硬化物と導体層との密着性に優れたものとなる。
[1. Overview of resin composition]
The resin composition of the present invention contains (A) an epoxy resin, (B) an active ester compound having a carbon-carbon unsaturated bond, and (C) a resin having an unsaturated hydrocarbon group. The cured product formed by curing the resin composition of the present invention is a molecular structure site formed by reacting the unsaturated bond site of component (B) with the unsaturated hydrocarbon group of component (C). including. This molecular structure site has a small polarity due to the action of the unsaturated bond site of component (B) and the unsaturated hydrocarbon group of component (C). Therefore, the polarity of the cured product is reduced, and the value of the dielectric loss tangent can be reduced.
In addition, the cured product formed by curing the resin composition of the present invention is a molecular structural site formed by the reaction between the unsaturated bond site of component (B) and the unsaturated hydrocarbon group of component (C). In addition, the active ester site of the component (B) and the component (A) react to form a molecular structure site. Therefore, the crosslink density becomes dense (that is, the structure becomes dense), and the glass transition temperature of the cured product becomes high. Furthermore, since the cross-linking density is high, the mechanical strength of the cured product is improved, and peeling accompanied by destruction of the cured product is less likely to occur, resulting in excellent adhesion between the cured product and the conductor layer.

このように、本発明の樹脂組成物は、(B)成分が、(A)成分及び(C)成分と反応し得る反応部位を化合物中に有するので、(A)成分と(C)成分をそれぞれ単独で用いた場合に発現し得る効果を同時に奏する硬化物を形成することができる。
さらには、(A)成分と反応し得るエステル化合物と、(C)成分と反応し得る不飽和結合を有する化合物と、を別々に用いる場合と(B)成分を用いる場合を比較すると、(A)成分、(B)成分及び(C)成分の混和性を向上させることができる。そのため、硬化物における組成の均一性を向上させることができるので、前記の効果をより高いレベルで得ることができる。
As described above, in the resin composition of the present invention, the component (B) has a reaction site capable of reacting with the component (A) and the component (C). It is possible to form a cured product that simultaneously exhibits the effects that can be exhibited when each is used alone.
Furthermore, when comparing the case where the ester compound that can react with the component (A) and the compound having an unsaturated bond that can react with the component (C) are used separately and the case where the component (B) is used, (A ) component, (B) component and (C) component can be improved in miscibility. Therefore, the uniformity of the composition in the cured product can be improved, and the above effects can be obtained at a higher level.

[2.(A)エポキシ樹脂]
本発明の樹脂組成物は、(A)成分を含有する。(A)成分と(B)成分の活性エステル部位とが反応して形成される分子構造部位を硬化物が有することにより、構造が密となり、硬化物のガラス転移温度が高く、密着性に優れるものとなる。
(A)成分としては、例えば、ビキシレノール型エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、トリスフェノール型エポキシ樹脂、ナフトールノボラック型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、tert-ブチル-カテコール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、アントラセン型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、線状脂肪族エポキシ樹脂、ブタジエン構造を有するエポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、スピロ環含有エポキシ樹脂、シクロヘキサンジメタノール型エポキシ樹脂、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂、トリメチロール型エポキシ樹脂、テトラフェニルエタン型エポキシ樹脂、ハロゲン化エポキシ樹脂が挙げられる。
[2. (A) Epoxy resin]
The resin composition of the present invention contains component (A). Since the cured product has a molecular structure site formed by the reaction of the active ester site of the component (A) and the component (B), the structure becomes dense, the glass transition temperature of the cured product is high, and the adhesion is excellent. become a thing.
Component (A) includes, for example, bixylenol type epoxy resin, bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, bisphenol AF type epoxy resin, dicyclopentadiene type epoxy resin, trisphenol type epoxy resin. resins, naphthol novolak-type epoxy resins, phenol novolak-type epoxy resins, tert-butyl-catechol-type epoxy resins, naphthalene-type epoxy resins, naphthol-type epoxy resins, anthracene-type epoxy resins, glycidylamine-type epoxy resins, glycidyl ester-type epoxy resins, cresol novolak type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, linear aliphatic epoxy resin, epoxy resin having a butadiene structure, alicyclic epoxy resin, heterocyclic epoxy resin, spiro ring-containing epoxy resin, cyclohexanedimethanol type epoxy resin, Naphthylene ether-type epoxy resins, trimethylol-type epoxy resins, tetraphenylethane-type epoxy resins, and halogenated epoxy resins can be mentioned.

これらの中でも、(A)成分としては、密着性を向上させるという観点から、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂及びアントラセン型エポキシ樹脂が好ましく、平均線熱膨張率を低下させる観点から、芳香族骨格を含有するエポキシ樹脂が好ましい。ここで、芳香族骨格とは、多環芳香族及び芳香族複素環をも含む概念である。芳香族骨格を含有するエポキシ樹脂は、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、及びナフトール型エポキシ樹脂からなる群より選択される1種以上のエポキシ樹脂が好ましく、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、及びナフタレン型エポキシ樹脂からなる群より選択される1種以上のエポキシ樹脂が更に好ましい。 Among these, from the viewpoint of improving adhesion, component (A) includes bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, naphthol type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, and naphthylene ether. type epoxy resins, glycidyl ester type epoxy resins and anthracene type epoxy resins are preferred, and epoxy resins containing an aromatic skeleton are preferred from the viewpoint of lowering the average coefficient of linear thermal expansion. Here, the aromatic skeleton is a concept including polycyclic aromatics and aromatic heterocycles. The epoxy resin containing an aromatic skeleton is selected from the group consisting of bisphenol A-type epoxy resins, bisphenol F-type epoxy resins, naphthalene-type epoxy resins, biphenyl-type epoxy resins, dicyclopentadiene-type epoxy resins, and naphthol-type epoxy resins. and more preferably one or more epoxy resins selected from the group consisting of bisphenol A type epoxy resins, biphenyl type epoxy resins, and naphthalene type epoxy resins.

また、樹脂組成物は、(A)成分として、1分子中に2個以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂を含むことが好ましい。(A)成分の不揮発成分100質量%に対して、1分子中に2個以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂の割合は、好ましくは50質量%以上、より好ましくは60質量%以上、特に好ましくは70質量%以上である。中でも、樹脂組成物は、(A)成分として、1分子中に3個以上のエポキシ基を有し、温度20℃で固体状のエポキシ樹脂(以下「固体状エポキシ樹脂」と称することがある。)を含むことが好ましい。 Moreover, it is preferable that the resin composition contains an epoxy resin having two or more epoxy groups in one molecule as the component (A). The ratio of the epoxy resin having two or more epoxy groups in one molecule is preferably 50% by mass or more, more preferably 60% by mass or more, and particularly preferably It is 70% by mass or more. Among them, the resin composition has, as the component (A), an epoxy resin that has three or more epoxy groups in one molecule and is solid at a temperature of 20° C. (hereinafter sometimes referred to as “solid epoxy resin”). ) is preferably included.

(A)成分は、1種単独で用いてもよく、2種以上を任意の比率で組み合わせて用いてもよい。よって、樹脂組成物は、(A)成分として、固体状エポキシ樹脂のみを含んでもよく、固形状エポキシ樹脂とこれ以外のエポキシ樹脂とを組み合わせて含んでいてもよい。中でも、樹脂組成物は、(A)成分として、固体状エポキシ樹脂と、1分子中に2個以上のエポキシ基を有し、温度20℃で液状のエポキシ樹脂(以下「液状エポキシ樹脂」と称することがある。)とを、組み合わせて含むことが好ましい。(A)成分として、液状エポキシ樹脂と固体状エポキシ樹脂とを組み合わせて用いることで、樹脂組成物の可撓性を向上させたり、樹脂組成物の硬化物の破断強度を向上させたりすることができる。 Component (A) may be used singly or in combination of two or more at any ratio. Therefore, the resin composition may contain only the solid epoxy resin as the component (A), or may contain a combination of the solid epoxy resin and other epoxy resins. Among them, the resin composition has, as the component (A), a solid epoxy resin and an epoxy resin that has two or more epoxy groups in one molecule and is liquid at a temperature of 20°C (hereinafter referred to as "liquid epoxy resin"). ) in combination. By using a combination of a liquid epoxy resin and a solid epoxy resin as component (A), the flexibility of the resin composition can be improved, and the breaking strength of the cured product of the resin composition can be improved. can.

液状エポキシ樹脂としては、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、エステル骨格を有する脂環式エポキシ樹脂、シクロヘキサンジメタノール型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、及びブタジエン構造を有するエポキシ樹脂が好ましく、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂及びナフタレン型エポキシ樹脂がより好ましい。 Examples of liquid epoxy resins include bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol AF type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin, glycidyl ester type epoxy resin, glycidyl amine type epoxy resin, phenol novolak type epoxy resin, ester skeleton. An alicyclic epoxy resin having a type epoxy resins and naphthalene type epoxy resins are more preferred.

液状エポキシ樹脂としては、例えば、DIC社製の「HP4032」、「HP4032D」、「HP4032SS」(ナフタレン型エポキシ樹脂);三菱化学社製の「YL980」、「828US」、「jER828EL」、「825」、「エピコート828EL」(ビスフェノールA型エポキシ樹脂);三菱化学社製の「jER806H」、「jER807」、「YL983U」、「1750」(ビスフェノールF型エポキシ樹脂);三菱化学社製の「jER152」(フェノールノボラック型エポキシ樹脂);三菱化学社製の「630」、「630LSD」(グリシジルアミン型エポキシ樹脂);新日鉄住金化学社製の「ZX1059」(ビスフェノールA型エポキシ樹脂とビスフェノールF型エポキシ樹脂の混合品);ナガセケムテックス社製の「EX-721」(グリシジルエステル型エポキシ樹脂);ダイセル社製の「セロキサイド2021P」(エステル骨格を有する脂環式エポキシ樹脂);ダイセル社製の「PB-3600」(ブタジエン構造を有するエポキシ樹脂);新日鐵化学社製の「ZX1658」、「ZX1658GS」(液状1,4-グリシジルシクロヘキサン型エポキシ樹脂)が挙げられる。これらは、1種単独で用いてもよく、2種以上を任意の比率で組み合わせて用いてもよい。 Examples of liquid epoxy resins include "HP4032", "HP4032D", and "HP4032SS" (naphthalene-type epoxy resins) manufactured by DIC Corporation; "YL980", "828US", "jER828EL", and "825" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation. , "Epikote 828EL" (bisphenol A type epoxy resin); "jER806H", "jER807", "YL983U", "1750" (bisphenol F type epoxy resin) manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation; "jER152" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation ( Phenol novolac type epoxy resin); "630" and "630LSD" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation (glycidylamine type epoxy resin); "ZX1059" manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd. product); "EX-721" (glycidyl ester type epoxy resin) manufactured by Nagase ChemteX; "Celoxide 2021P" manufactured by Daicel (alicyclic epoxy resin having an ester skeleton); "PB-3600" manufactured by Daicel (epoxy resin having a butadiene structure); "ZX1658" and "ZX1658GS" (liquid 1,4-glycidylcyclohexane type epoxy resin) manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd.; These may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more types by arbitrary ratios.

固体状エポキシ樹脂としては、ナフタレン型エポキシ樹脂、ナフタレン型4官能エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、トリスフェノール型エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂、アントラセン型エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、テトラフェニルエタン型エポキシ樹脂、ビキシレノール型エポキシ樹脂が好ましく、ナフタレン型エポキシ樹脂、ナフタレン型4官能エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、ビキシレノール型エポキシ樹脂及びビフェニル型エポキシ樹脂がより好ましい。 Solid epoxy resins include naphthalene-type epoxy resins, naphthalene-type tetrafunctional epoxy resins, cresol novolac-type epoxy resins, dicyclopentadiene-type epoxy resins, trisphenol-type epoxy resins, naphthol-type epoxy resins, biphenyl-type epoxy resins, and naphthylene. Ether-type epoxy resin, anthracene-type epoxy resin, bisphenol A-type epoxy resin, tetraphenylethane-type epoxy resin, bixylenol-type epoxy resin are preferred, naphthalene-type epoxy resin, naphthalene-type tetrafunctional epoxy resin, naphthol-type epoxy resin, bixylenol. type epoxy resins and biphenyl type epoxy resins are more preferred.

固体状エポキシ樹脂としては、例えば、DIC社製の「HP4032H」(ナフタレン型エポキシ樹脂);DIC社製の「HP-4700」、「HP-4710」(ナフタレン型4官能エポキシ樹脂);DIC社製の「N-690」、「N-695」(クレゾールノボラック型エポキシ樹脂);DIC社製の「HP-7200」、「HP-7200HH」、「HP-7200H」(ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂);DIC社製の「EXA-7311」、「EXA-7311-G3」、「EXA-7311-G4」、「EXA-7311-G4S」、「HP6000」(ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂);日本化薬社製の「EPPN-502H」(トリスフェノール型エポキシ樹脂);日本化薬社製の「NC7000L」(ナフトールノボラック型エポキシ樹脂);日本化薬社製の「NC3000H」、「NC3000」、「NC3000L」、「NC3100」(ビフェニル型エポキシ樹脂);新日鉄住金化学社製の「ESN475V」(ナフトールナフタレン型エポキシ樹脂);新日鉄住金化学社製の「ESN485」(ナフトールノボラック型エポキシ樹脂);三菱化学社製の「YL6121」(ビフェニル型エポキシ樹脂);三菱化学社製の「YX4000H」、「YX4000」、「YX4000HK」(ビキシレノール型エポキシ樹脂);三菱化学社製の「YX8800」(アントラセン型エポキシ樹脂);大阪ガスケミカル社製の「PG-100」、「CG-500」;三菱化学社製の「YL7760」(ビスフェノールAF型エポキシ樹脂);三菱化学社製の「YL7800」(フルオレン型エポキシ樹脂);三菱化学社製の「jER1010」(固体状ビスフェノールA型エポキシ樹脂);三菱化学社製の「jER1031S」(テトラフェニルエタン型エポキシ樹脂)が挙げられる。これらは、1種単独で用いてもよく、2種以上を任意の比率で組み合わせて用いてもよい。 Solid epoxy resins include, for example, DIC's "HP4032H" (naphthalene-type epoxy resin); DIC's "HP-4700" and "HP-4710" (naphthalene-type tetrafunctional epoxy resin); DIC's "N-690", "N-695" (cresol novolac type epoxy resin); "HP-7200", "HP-7200HH", "HP-7200H" manufactured by DIC (dicyclopentadiene type epoxy resin); DIC's "EXA-7311", "EXA-7311-G3", "EXA-7311-G4", "EXA-7311-G4S", "HP6000" (naphthylene ether type epoxy resin); Nippon Kayaku Co., Ltd. "EPPN-502H" (trisphenol type epoxy resin) manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.; "NC7000L" (naphthol novolak type epoxy resin) manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.; "NC3100" (biphenyl type epoxy resin); Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd. "ESN475V" (naphtholnaphthalene type epoxy resin); Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd. "ESN485" (naphthol novolac type epoxy resin); YL6121" (biphenyl-type epoxy resin); "YX4000H", "YX4000", "YX4000HK" (bixylenol-type epoxy resin) manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation; "YX8800" (anthracene-type epoxy resin) manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation; Osaka Gas "PG-100" and "CG-500" manufactured by Chemical Company; "YL7760" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation (bisphenol AF type epoxy resin); "YL7800" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation (fluorene type epoxy resin); "jER1010" (solid bisphenol A type epoxy resin) manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation; and "jER1031S" (tetraphenylethane type epoxy resin) manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation. These may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more types by arbitrary ratios.

(A)成分として、液状エポキシ樹脂と固体状エポキシ樹脂とを組み合わせて用いる場合、それらの質量比(液状エポキシ樹脂:固体状エポキシ樹脂)は、好ましくは1:0.1~1:15、より好ましくは1:0.5~1:10、特に好ましくは1:1~1:8である。
液状エポキシ樹脂の質量比が斯かる範囲にあることで、接着フィルムの形態で使用する場合に、十分な可撓性が得られ、取扱い性が向上し、ラミネートの際の十分な流動性を得ることができる。
固体状エポキシ樹脂の質量比が斯かる範囲にあることで、エポキシ樹脂の粘性を低下させ、接着フィルムの形態で使用する場合に、真空ラミネート時の脱気性を向上させることができる。また、真空ラミネート時に保護フィルムや支持フィルムの剥離性を良好にし、硬化後の耐熱性を向上させることができる。
When a combination of a liquid epoxy resin and a solid epoxy resin is used as component (A), the mass ratio (liquid epoxy resin: solid epoxy resin) is preferably 1:0.1 to 1:15, and more. It is preferably 1:0.5 to 1:10, particularly preferably 1:1 to 1:8.
When the mass ratio of the liquid epoxy resin is within this range, sufficient flexibility is obtained when used in the form of an adhesive film, handling is improved, and sufficient fluidity is obtained during lamination. be able to.
When the mass ratio of the solid epoxy resin is within this range, the viscosity of the epoxy resin can be reduced, and when used in the form of an adhesive film, the degassing property during vacuum lamination can be improved. In addition, it is possible to improve the releasability of the protective film and the support film during vacuum lamination, and to improve the heat resistance after curing.

(A)成分のエポキシ当量は、好ましくは50~5000、より好ましくは50~3000、さらに好ましくは80~2000、特に好ましくは110~1000である。(A)成分のエポキシ当量が前記の範囲にあることにより、樹脂組成物の硬化物の架橋密度が十分となり、表面粗さの小さい絶縁層を得ることができる。
エポキシ当量は、1当量のエポキシ基を含む樹脂の質量であり、JIS K7236に従って測定し得る。
The epoxy equivalent of component (A) is preferably 50 to 5,000, more preferably 50 to 3,000, even more preferably 80 to 2,000, and particularly preferably 110 to 1,000. When the epoxy equivalent of component (A) is within the above range, the crosslink density of the cured product of the resin composition is sufficient, and an insulating layer with a small surface roughness can be obtained.
An epoxy equivalent is the mass of a resin containing one equivalent of epoxy groups, and can be measured according to JIS K7236.

(A)成分の重量平均分子量は、本発明の所望の効果を顕著に得る観点から、好ましくは100~5000、より好ましくは250~3000、さらに好ましくは400~1500である。
(A)成分の重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)法により、ポリスチレン換算の値として測定し得る。例えば、樹脂の重量平均分子量は、測定装置として島津製作所社製LC-9A/RID-6Aを、カラムとして昭和電工社製Shodex K-800P/K-804L/K-804Lを、移動相としてクロロホルム等を用いて、カラム温度40℃にて測定し、標準ポリスチレンの検量線を用いて算出することができる。
The weight average molecular weight of component (A) is preferably 100 to 5,000, more preferably 250 to 3,000, and still more preferably 400 to 1,500 from the viewpoint of significantly obtaining the desired effects of the present invention.
The weight average molecular weight of component (A) can be measured as a polystyrene-equivalent value by gel permeation chromatography (GPC). For example, the weight-average molecular weight of the resin is measured by LC-9A/RID-6A manufactured by Shimadzu Corporation as a measuring device, Shodex K-800P/K-804L/K-804L manufactured by Showa Denko Co., Ltd. as a column, and chloroform as a mobile phase. can be measured at a column temperature of 40° C. and calculated using a standard polystyrene calibration curve.

樹脂組成物における(A)成分の量は、高ガラス転移温度、高密着性を示す絶縁層を得る観点から、樹脂組成物中の樹脂成分100質量%に対して、好ましくは5質量%以上、より好ましくは10質量%以上、さらに好ましくは20質量%以上である。(A)成分の量の上限は、本発明の効果が奏される限り任意であり、好ましくは70質量%以下、より好ましくは65質量%以下、さらに好ましくは60質量%以下、特に好ましくは50質量%以下である。 From the viewpoint of obtaining an insulating layer exhibiting a high glass transition temperature and high adhesion, the amount of component (A) in the resin composition is preferably 5% by mass or more with respect to 100% by mass of the resin component in the resin composition. More preferably 10% by mass or more, still more preferably 20% by mass or more. The upper limit of the amount of component (A) is arbitrary as long as the effect of the present invention is exhibited, and is preferably 70% by mass or less, more preferably 65% by mass or less, still more preferably 60% by mass or less, and particularly preferably 50% by mass. % by mass or less.

[3.(B)炭素-炭素不飽和結合を有する活性エステル化合物]
本発明の樹脂組成物は、(B)成分を含有する。(B)成分を用いることにより、(A)成分及び(C)成分の両成分と反応し、硬化物を形成する。
(B)成分の不飽和結合部位と、(C)成分と、が反応して形成される分子構造部位を硬化物が有することにより、硬化物の極性が小さくなり、誘電正接の値を低減することができる。
また、(B)成分の活性エステル部位と、(A)成分と、が反応して形成される分子構造部位を硬化物が有することにより、構造が密となり、硬化物のガラス転移温度が高く、密着性に優れるものとなる。
[3. (B) an active ester compound having a carbon-carbon unsaturated bond]
The resin composition of the present invention contains component (B). By using component (B), it reacts with both component (A) and component (C) to form a cured product.
The cured product has a molecular structure site formed by the reaction between the unsaturated bond site of the component (B) and the component (C), thereby reducing the polarity of the cured product and reducing the value of the dielectric loss tangent. be able to.
In addition, since the cured product has a molecular structure site formed by the reaction between the active ester site of the component (B) and the component (A), the structure becomes dense and the glass transition temperature of the cured product is high. It becomes a thing excellent in adhesiveness.

従来、2つの異なる反応性を有する樹脂を併用した場合、各樹脂の混和性が悪く、硬化物は均一に形成され難いものであった。従って、上記の効果を高いレベルで同時に発現することは困難であった。
一方、本願発明の樹脂組成物においては、(B)成分が、2つの異なる反応性を有する樹脂とそれぞれ反応可能な部位を同一化合物中に有する。そのため、(B)成分が各樹脂を連結して硬化物を形成し、均一な硬化物を形成することができる。従って、上記の特性を高いレベルで同時に発現することができ、本願発明の所望の効果を奏することができる。
さらには、(B)成分を用いると、(A)成分、(B)成分及び(C)成分の混和性を向上させることができる。そのため、硬化物における組成の均一性を向上させることができるので、上記の効果をより高いレベルで得ることができる。
Conventionally, when two resins having different reactivities are used together, the miscibility of each resin is poor, and it is difficult to form a uniform cured product. Therefore, it was difficult to express the above effects at a high level at the same time.
On the other hand, in the resin composition of the present invention, the component (B) has sites in the same compound that can react with resins having two different reactivities. Therefore, the component (B) connects each resin to form a cured product, and a uniform cured product can be formed. Therefore, the above characteristics can be exhibited at a high level at the same time, and the desired effects of the present invention can be achieved.
Furthermore, the miscibility of the (A) component, the (B) component and the (C) component can be improved by using the (B) component. Therefore, the uniformity of the composition in the cured product can be improved, and the above effect can be obtained at a higher level.

炭素-炭素不飽和結合としては、例えば、炭素-炭素二重結合、炭素-炭素三重結合が挙げられる。中でも、炭素-炭素二重結合が好ましい。炭素-炭素二重結合としては、例えば、ビニル基、メタクリル基、アクリル基、アリル基、スチリル基、プロペニル基が挙げられる。中でも、耐熱性に優れるという観点から、スチリル基が特に好ましい。 Carbon-carbon unsaturated bonds include, for example, carbon-carbon double bonds and carbon-carbon triple bonds. Among them, a carbon-carbon double bond is preferred. Carbon-carbon double bonds include, for example, vinyl groups, methacryl groups, acryl groups, allyl groups, styryl groups, and propenyl groups. Among them, a styryl group is particularly preferable from the viewpoint of excellent heat resistance.

(B)成分としては、下記一般式(1)で表される化合物を含むことが好ましい。

Figure 0007180657000002
一般式(1)中、mは1~6の整数を表し、nは1~20の整数を表す。 Component (B) preferably contains a compound represented by the following general formula (1).
Figure 0007180657000002
In general formula (1), m represents an integer of 1-6, and n represents an integer of 1-20.

一般式(1)中、mは、好ましくは1~6の整数であり、より好ましくは1~3の整数である。また、nは、好ましくは1~10の整数であり、より好ましくは1~5の整数であり、特に好ましくは1~3の整数である。斯かる数値範囲であることにより、(B)成分は(C)成分と適切な割合で反応し、誘電正接の低下を実現し得る。 In general formula (1), m is preferably an integer of 1-6, more preferably an integer of 1-3. Also, n is preferably an integer of 1 to 10, more preferably an integer of 1 to 5, and particularly preferably an integer of 1 to 3. With such a numerical range, the component (B) reacts with the component (C) in an appropriate proportion, and the dielectric loss tangent can be lowered.

(B)成分は、一般式(1)で表される化合物のm、nの値が異なる化合物の混合物であってもよい。混合物である場合、(B)成分は、一般式(1)で表される化合物を含む限り、一般式(1)においてnが0の化合物(下記式(0-1)で表される化合物)や、nが1~20の整数であり、mが0の化合物(下記一般式(0-2)で表される化合物)を含むものであってもよい。
なお、(B)成分100質量%に対して、式(0-1)で表される化合物及び一般式(0-2)で表される化合物の合計の割合は、好ましくは10質量%以下、より好ましくは5質量%以下、更に好ましくは3質量%以下、特に好ましくは1質量%以下、0質量%である。斯かる範囲であることで、(B)成分は(C)成分と適切な割合で反応し、誘電正接の低下を実現し得る。

Figure 0007180657000003
一般式(0-2)中、nは1~20の整数を表す。 The component (B) may be a mixture of compounds represented by the general formula (1) having different m and n values. In the case of a mixture, the component (B) is a compound represented by the general formula (1) where n is 0 (compound represented by the following formula (0-1)), as long as it contains the compound represented by the general formula (1). and compounds in which n is an integer of 1 to 20 and m is 0 (compounds represented by the following general formula (0-2)).
The total ratio of the compound represented by the formula (0-1) and the compound represented by the general formula (0-2) to 100% by mass of the component (B) is preferably 10% by mass or less, It is more preferably 5% by mass or less, still more preferably 3% by mass or less, particularly preferably 1% by mass or less, and 0% by mass. Within this range, the component (B) reacts with the component (C) in an appropriate proportion, and the dielectric loss tangent can be lowered.
Figure 0007180657000003
In general formula (0-2), n represents an integer of 1-20.

一般式(1)で表される化合物は市販品を用いてもよく、合成品を用いてもよい。市販品としては、例えば、商品名「PC1300-02-65MA」(エア・ウォーター社製)が挙げられる。 A commercially available product or a synthetic product may be used as the compound represented by the general formula (1). Commercially available products include, for example, the trade name “PC1300-02-65MA” (manufactured by Air Water).

樹脂組成物における(B)成分の量は、低誘電正接、高ガラス転移温度、高密着性を示す絶縁層を得る観点から、樹脂組成物中の樹脂成分100質量%に対して、好ましくは5質量%以上、より好ましくは10質量%以上、さらに好ましくは20質量%以上である。(B)成分の量の上限は、本発明の効果が奏される限り任意であり、好ましくは70質量%以下、より好ましくは65質量%以下、さらに好ましくは60質量%以下である。 The amount of component (B) in the resin composition is preferably 5% with respect to 100% by mass of the resin component in the resin composition, from the viewpoint of obtaining an insulating layer exhibiting a low dielectric loss tangent, a high glass transition temperature, and high adhesion. % by mass or more, more preferably 10% by mass or more, and even more preferably 20% by mass or more. The upper limit of the amount of component (B) is arbitrary as long as the effects of the present invention are exhibited, and is preferably 70% by mass or less, more preferably 65% by mass or less, and still more preferably 60% by mass or less.

[4.(C)不飽和炭化水素基を有する樹脂]
本発明の樹脂組成物は、(C)成分を含有する。(C)成分と(B)成分の不飽和結合部位が反応して形成される分子構造部位を硬化物が有することにより、硬化物の極性が小さくなり、誘電正接の値を低減することができる。
(C)成分としては、不飽和炭化水素基を有していれば、特に限定されない。不飽和炭化水素基を使用することで、硬化物の誘電正接を低下させることができる。不飽和炭化水素としては、アクリル基、メタクリル基、スチリル基、オレフィン基であることが好ましい。中でも、耐熱性に優れるという観点からスチリル基を有することがより好ましい。
ここで、「オレフィン基」とは、分子中に炭素-炭素二重結合を有する脂肪族炭化水素基をいう。例えば、アリル基、ビニル基、プロペニル基が挙げられる。
[4. (C) Resin having an unsaturated hydrocarbon group]
The resin composition of the present invention contains component (C). When the cured product has a molecular structure site formed by the reaction of the unsaturated bond sites of the component (C) and the component (B), the polarity of the cured product is reduced, and the value of the dielectric loss tangent can be reduced. .
Component (C) is not particularly limited as long as it has an unsaturated hydrocarbon group. By using the unsaturated hydrocarbon group, the dielectric loss tangent of the cured product can be lowered. Preferred unsaturated hydrocarbons are acryl groups, methacryl groups, styryl groups, and olefin groups. Among them, it is more preferable to have a styryl group from the viewpoint of excellent heat resistance.
As used herein, the term "olefin group" refers to an aliphatic hydrocarbon group having a carbon-carbon double bond in its molecule. Examples include allyl, vinyl and propenyl groups.

(C)成分としては、下記一般式(2)で表される化合物が好ましい。 As component (C), compounds represented by the following general formula (2) are preferred.

Figure 0007180657000004
一般式(2)中、R~Rは、それぞれ独立に、水素原子又は炭素数1~4のアルキル基を表し、好ましくは水素原子である。Aは、下記一般式(3)又は下記一般式(4)で表される構造を表す。
Figure 0007180657000004
In general formula (2), R 1 to R 6 each independently represent a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, preferably a hydrogen atom. A represents a structure represented by the following general formula (3) or the following general formula (4).

Figure 0007180657000005
一般式(3)中、Bは、下記一般式(B-1)、(B-2)又は(B-3)で表される構造を表す。
Figure 0007180657000005
In general formula (3), B represents a structure represented by general formula (B-1), (B-2) or (B-3) below.

Figure 0007180657000006
一般式(4)中、Dは、下記一般式(5)で表される構造を表す。
Figure 0007180657000006
In general formula (4), D represents a structure represented by general formula (5) below.

Figure 0007180657000007
一般式(5)中、R~R14は、それぞれ独立に、水素原子、炭素数6以下のアルキル基又はフェニル基を表し、好ましくは水素原子又はメチル基である。特にR、R、R13、R14は、より好ましくはメチル基である。a、bは、少なくとも一方が0でない0~100の整数である。Bは、下記一般式(B-1)、(B-2)又は(B-3)で表される構造を表す。
Figure 0007180657000007
In general formula (5), R 7 to R 14 each independently represent a hydrogen atom, an alkyl group having 6 or less carbon atoms or a phenyl group, preferably a hydrogen atom or a methyl group. In particular, R 7 , R 8 , R 13 and R 14 are more preferably methyl groups. a and b are integers from 0 to 100, at least one of which is not 0; B represents a structure represented by the following general formula (B-1), (B-2) or (B-3).

Figure 0007180657000008
一般式(B-1)中、R15~R18は、それぞれ独立に、水素原子、炭素数6以下のアルキル基又はフェニル基を表し、好ましくは水素原子又はメチル基である。
一般式(B-2)中、R19~R26は、それぞれ独立に、水素原子、炭素数6以下のアルキル基又はフェニル基を表し、好ましくは水素原子又はメチル基である。
一般式(B-3)中、R27~R34は、それぞれ独立に、水素原子、炭素数6以下のアルキル基又はフェニル基を表し、好ましくは水素原子又はメチル基である。Eは、炭素数20以下の直鎖状、分岐状又は環状の2価の炭化水素基を表す。
Figure 0007180657000008
In general formula (B-1), R 15 to R 18 each independently represent a hydrogen atom, an alkyl group having 6 or less carbon atoms or a phenyl group, preferably a hydrogen atom or a methyl group.
In general formula (B-2), R 19 to R 26 each independently represent a hydrogen atom, an alkyl group having 6 or less carbon atoms or a phenyl group, preferably a hydrogen atom or a methyl group.
In general formula (B-3), R 27 to R 34 each independently represent a hydrogen atom, an alkyl group having 6 or less carbon atoms or a phenyl group, preferably a hydrogen atom or a methyl group. E represents a linear, branched or cyclic divalent hydrocarbon group having 20 or less carbon atoms.

(C)成分としては、下記一般式(6)、下記式(7)又は下記式(8)で表される化合物であることがより好ましい。 Component (C) is more preferably a compound represented by the following general formula (6), formula (7) or formula (8) below.

Figure 0007180657000009
一般式(6)中、R~Rは、一般式(2)中のR~Rと同義であり、Bは、一般式(3)中のBと同義であり、a、bは、一般式(5)中のa、bと同義である。
Figure 0007180657000009
In general formula (6), R 1 to R 6 have the same definitions as R 1 to R 6 in general formula (2), B has the same meaning as B in general formula (3), and a, b is synonymous with a and b in general formula (5).

Figure 0007180657000010
Figure 0007180657000010

Figure 0007180657000011
Figure 0007180657000011

市販されている(C)成分としては、例えば、スチレン変性ポリフェニレンエーテル樹脂(三菱瓦斯化学社製「OPE-2St 1200(数平均分子量1200)」、一般式(6)相当)、ビキシレノールジアリルエーテル樹脂(三菱化学社製「YL7776(数平均分子量331)」、式(7)相当)、ジオキサンアクリルモノマーグリコールジアクリレート(新中村化学工業社製「A-DOG(数平均分子量326)」、式(8)相当)が挙げられる。 Commercially available component (C) includes, for example, styrene-modified polyphenylene ether resin (“OPE-2St 1200 (number average molecular weight: 1200)” manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd., equivalent to general formula (6)), bixylenol diallyl ether resin. ("YL7776 (number average molecular weight 331)" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, equivalent to formula (7)), dioxane acrylic monomer glycol diacrylate (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd. "A-DOG (number average molecular weight 326)", formula (8 ) equivalent).

(C)成分の数平均分子量は、樹脂ワニス乾燥時の揮発防止、樹脂組成物の溶融粘度が上昇しすぎるのを防止するという観点から、好ましくは100~10000の範囲であり、より好ましくは200~3000の範囲である。なお、本発明における数平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)法(ポリスチレンン換算)で測定される。GPC法による数平均分子量としては、例えば、測定装置として島津製作所社製LC-9A/RID-6Aを、カラムとして昭和電工社製Shodex K-800P/K-804L/K-804Lを、移動相としてクロロホルム等を用いて、カラム温度40℃にて測定し、標準ポリスチレンの検量線を用いて算出することができる。 The number average molecular weight of component (C) is preferably in the range of 100 to 10,000, more preferably 200, from the viewpoint of preventing volatilization during drying of the resin varnish and preventing excessive increase in melt viscosity of the resin composition. ~3000. The number average molecular weight in the present invention is measured by a gel permeation chromatography (GPC) method (converted to polystyrene). As the number average molecular weight by GPC method, for example, LC-9A / RID-6A manufactured by Shimadzu Corporation as a measuring device, Shodex K-800P / K-804L / K-804L manufactured by Showa Denko Co., Ltd. as a column, and a mobile phase. It can be measured using chloroform or the like at a column temperature of 40° C. and calculated using a standard polystyrene calibration curve.

樹脂組成物における(C)成分の量は、硬化物の誘電正接の値を小さくする観点から、樹脂組成物中の樹脂成分100質量%に対して、好ましくは3質量%以上、より好ましくは5質量%以上、さらに好ましくは10質量%以上である。(C)成分の量の上限は、本発明の効果が奏される限り任意であり、好ましくは50質量%以下、より好ましくは40質量%以下、さらに好ましくは30質量%以下である。 The amount of component (C) in the resin composition is preferably 3% by mass or more, more preferably 5% by mass, based on 100% by mass of the resin component in the resin composition, from the viewpoint of reducing the dielectric loss tangent value of the cured product. It is at least 10% by mass, more preferably at least 10% by mass. The upper limit of the amount of component (C) is arbitrary as long as the effects of the present invention are exhibited, and is preferably 50% by mass or less, more preferably 40% by mass or less, and still more preferably 30% by mass or less.

[5.硬化剤]
樹脂組成物は、本発明の効果を損なわない限り、(B)成分とは異なる硬化剤を含有してもよい。硬化剤としては、特に限定されるものではなく、例えば、フェノール系硬化剤、ナフトール系硬化剤、活性エステル系硬化剤、ベンゾオキサジン系硬化剤、シアネートエステル系硬化剤、及びカルボジイミド系硬化剤が挙げられる。中でも、導体層との密着性に優れる絶縁層を得る観点からは、活性エステル系硬化剤が好ましい。なお、硬化剤は、1種単独で用いてもよく、2種以上を任意の比率で組み合わせて用いてもよい。
[5. Curing agent]
The resin composition may contain a curing agent different from component (B) as long as the effects of the present invention are not impaired. The curing agent is not particularly limited, and examples thereof include phenol-based curing agents, naphthol-based curing agents, active ester-based curing agents, benzoxazine-based curing agents, cyanate ester-based curing agents, and carbodiimide-based curing agents. be done. Among them, an active ester curing agent is preferable from the viewpoint of obtaining an insulating layer having excellent adhesion to the conductor layer. The curing agent may be used singly or in combination of two or more at any ratio.

フェノール系硬化剤又はナフトール系硬化剤としては、耐熱性及び耐水性の観点から、ノボラック構造を有するフェノール系硬化剤又はノボラック構造を有するナフトール系硬化剤が好ましい。また、導体層との密着性の観点から、含窒素フェノール系硬化剤又は含窒素ナフトール系硬化剤が好ましく、トリアジン骨格含有フェノール系硬化剤又はトリアジン骨格含有ナフトール系硬化剤がより好ましい。中でも、耐熱性、耐水性、及び導体層との密着性を高度に満足させる観点から、トリアジン骨格含有フェノールノボラック硬化剤又はトリアジン骨格含有ナフトールノボラック硬化剤が好ましい。 As the phenol-based curing agent or naphthol-based curing agent, a phenol-based curing agent having a novolac structure or a naphthol-based curing agent having a novolac structure is preferable from the viewpoint of heat resistance and water resistance. From the viewpoint of adhesion to the conductor layer, a nitrogen-containing phenolic curing agent or a nitrogen-containing naphthol curing agent is preferable, and a triazine skeleton-containing phenolic curing agent or a triazine skeleton-containing naphthol curing agent is more preferable. Among them, a triazine skeleton-containing phenol novolac curing agent or a triazine skeleton-containing naphthol novolak curing agent is preferable from the viewpoint of highly satisfying heat resistance, water resistance, and adhesion to the conductor layer.

フェノール系硬化剤及びナフトール系硬化剤としては、例えば、明和化成社製の「MEH-7700」、「MEH-7810」、「MEH-7851」、日本化薬社製の「NHN」、「CBN」、「GPH」、新日鉄住金社製の「SN-170」、「SN-180」、「SN-190」、「SN-475」、「SN-485」、「SN-495」、「SN-375」、「SN-395」、DIC社製の「TD-2090」、「LA-7052」、「LA-7054」、「LA-1356」、「LA-3018-50P」等が挙げられる。 Examples of phenol-based curing agents and naphthol-based curing agents include "MEH-7700", "MEH-7810", and "MEH-7851" manufactured by Meiwa Kasei Co., Ltd., and "NHN" and "CBN" manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. , “GPH”, “SN-170”, “SN-180”, “SN-190”, “SN-475”, “SN-485”, “SN-495”, “SN-375” manufactured by Nippon Steel & Sumikin Co., Ltd. ", "SN-395", DIC's "TD-2090", "LA-7052", "LA-7054", "LA-1356", "LA-3018-50P" and the like.

活性エステル系硬化剤としては、特に限定されない。例えば、フェノールエステル類、チオフェノールエステル類、N-ヒドロキシアミンエステル類、複素環ヒドロキシ化合物のエステル類等の、反応活性の高いエステル基を1分子中に2個以上有する化合物を用いることができる。該活性エステル系硬化剤は、カルボン酸化合物及びチオカルボン酸化合物の少なくともいずれかの化合物と、ヒドロキシ化合物及びチオール化合物の少なくともいずれかの化合物と、の縮合反応によって得られるものが好ましい。特に耐熱性向上の観点から、カルボン酸化合物と、ヒドロキシ化合物と、から得られる活性エステル系硬化剤が好ましい。 The active ester curing agent is not particularly limited. For example, compounds having two or more highly reactive ester groups in one molecule, such as phenol esters, thiophenol esters, N-hydroxyamine esters, and esters of heterocyclic hydroxy compounds, can be used. The active ester curing agent is preferably obtained by a condensation reaction of at least one of a carboxylic acid compound and a thiocarboxylic acid compound and at least one of a hydroxy compound and a thiol compound. In particular, from the viewpoint of improving heat resistance, an active ester-based curing agent obtained from a carboxylic acid compound and a hydroxy compound is preferred.

カルボン酸化合物としては、例えば、安息香酸、酢酸、コハク酸、マレイン酸、イタコン酸、フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、ピロメリット酸が挙げられる。フェノール化合物又はナフトール化合物としては、例えば、ハイドロキノン、レゾルシン、ビスフェノールA、ビスフェノールF、ビスフェノールS、フェノールフタリン、メチル化ビスフェノールA、メチル化ビスフェノールF、メチル化ビスフェノールS、フェノール、o-クレゾール、m-クレゾール、p-クレゾール、カテコール、α-ナフトール、β-ナフトール、1,5-ジヒドロキシナフタレン、1,6-ジヒドロキシナフタレン、2,6-ジヒドロキシナフタレン、ジヒドロキシベンゾフェノン、トリヒドロキシベンゾフェノン、テトラヒドロキシベンゾフェノン、フロログルシン、ベンゼントリオール、ジシクロペンタジエン型ジフェノール化合物、フェノールノボラック等が挙げられる。ここで、「ジシクロペンタジエン型ジフェノール化合物」とは、ジシクロペンタジエン1分子にフェノール2分子が縮合して得られるジフェノール化合物をいう。 Examples of carboxylic acid compounds include benzoic acid, acetic acid, succinic acid, maleic acid, itaconic acid, phthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid, and pyromellitic acid. Examples of phenol compounds or naphthol compounds include hydroquinone, resorcinol, bisphenol A, bisphenol F, bisphenol S, phenolphthalin, methylated bisphenol A, methylated bisphenol F, methylated bisphenol S, phenol, o-cresol, m- cresol, p-cresol, catechol, α-naphthol, β-naphthol, 1,5-dihydroxynaphthalene, 1,6-dihydroxynaphthalene, 2,6-dihydroxynaphthalene, dihydroxybenzophenone, trihydroxybenzophenone, tetrahydroxybenzophenone, phloroglucine, Benzenetriol, dicyclopentadiene-type diphenol compound, phenol novolak, and the like. Here, the term "dicyclopentadiene-type diphenol compound" refers to a diphenol compound obtained by condensing one molecule of dicyclopentadiene with two molecules of phenol.

活性エステル系硬化剤としては、ジシクロペンタジエン型ジフェノール構造を含む活性エステル化合物、ナフタレン構造を含む活性エステル化合物、フェノールノボラックのアセチル化物を含む活性エステル化合物、フェノールノボラックのベンゾイル化物を含む活性エステル化合物が好ましく、ナフタレン構造を含む活性エステル化合物、ジシクロペンタジエン型ジフェノール構造を含む活性エステル化合物がより好ましい。「ジシクロペンタジエン型ジフェノール構造」とは、フェニレン-ジシクロペンチレン-フェニレンからなる2価の構造単位を表す。 Active ester curing agents include active ester compounds containing a dicyclopentadiene type diphenol structure, active ester compounds containing a naphthalene structure, active ester compounds containing acetylated phenol novolacs, and active ester compounds containing benzoylated phenol novolacs. is preferred, and an active ester compound containing a naphthalene structure and an active ester compound containing a dicyclopentadiene-type diphenol structure are more preferred. "Dicyclopentadiene-type diphenol structure" represents a divalent structural unit consisting of phenylene-dicyclopentylene-phenylene.

活性エステル系硬化剤の市販品としては、例えば、DIC社製の「EXB9451」、「EXB9460」、「EXB9460S」、「HPC-8000-65T」、「EXB-8000L-65TM」、「HPC-8000H-65M」(ジシクロペンタジエン型ジフェノール構造を含む活性エステル化合物)、DIC社製の「EXB-9416L-70BK」(ナフタレン構造を含む活性エステル化合物)、三菱化学社製の「DC808」(フェノールノボラックのアセチル化物を含む活性エステル化合物)、三菱化学社製の「YLH1026」(フェノールノボラックのベンゾイル化物を含む活性エステル化合物)、DIC社製の「EXB-9050L-62M」(リン原子含有活性エステル化合物)等が挙げられる。 Examples of commercially available active ester curing agents include DIC's "EXB9451", "EXB9460", "EXB9460S", "HPC-8000-65T", "EXB-8000L-65TM", and "HPC-8000H- 65M” (an active ester compound containing a dicyclopentadiene type diphenol structure), DIC’s “EXB-9416L-70BK” (an active ester compound containing a naphthalene structure), Mitsubishi Chemical Corp.’s “DC808” (phenol novolac active ester compound containing acetylated product), Mitsubishi Chemical's "YLH1026" (active ester compound containing benzoylated phenol novolac), DIC's "EXB-9050L-62M" (phosphorus atom-containing active ester compound), etc. is mentioned.

ベンゾオキサジン系硬化剤としては、例えば、昭和高分子社製の「HFB2006M」、四国化成工業社製の「P-d」、「F-a」が挙げられる。 Examples of the benzoxazine-based curing agent include "HFB2006M" manufactured by Showa Kobunshi Co., Ltd., and "Pd" and "Fa" manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd.

シアネートエステル系硬化剤としては、特に限定されない。例えば、フェノールノボラック型、アルキルフェノールノボラック型等の、ノボラック型シアネートエステル系硬化剤;ジシクロペンタジエン型シアネートエステル系硬化剤;ビスフェノールA型、ビスフェノールF型、ビスフェノールS型等の、ビスフェノール型シアネートエステル系硬化剤;並びに、これらが一部トリアジン化したプレポリマー等が挙げられる。シアネートエステル系硬化剤としては、例えば、ビスフェノールAジシアネート、ポリフェノールシアネート、オリゴ(3-メチレン-1,5-フェニレンシアネート)、4,4’-メチレンビス(2,6-ジメチルフェニルシアネート)、4,4’-エチリデンジフェニルジシアネート、ヘキサフルオロビスフェノールAジシアネート、2,2-ビス(4-シアネート)フェニルプロパン、1,1-ビス(4-シアネートフェニルメタン)、ビス(4-シアネート-3,5-ジメチルフェニル)メタン、1,3-ビス(4-シアネートフェニル-1-(メチルエチリデン))ベンゼン、ビス(4-シアネートフェニル)チオエーテル、及びビス(4-シアネートフェニル)エーテル等の2官能シアネート樹脂;フェノールノボラック及びクレゾールノボラック等から誘導される多官能シアネート樹脂;及び、これらシアネート樹脂が一部トリアジン化したプレポリマーが挙げられる。市販品としては、ロンザジャパン社製の「PT30」、「PT60」(いずれもフェノールノボラック型多官能シアネートエステル樹脂)、「BA230」(ビスフェノールAジシアネートの一部又は全部がトリアジン化され三量体となったプレポリマー)が挙げられる。 The cyanate ester curing agent is not particularly limited. For example, novolac type cyanate ester curing agents such as phenol novolak type and alkylphenol novolak type; dicyclopentadiene type cyanate ester type curing agents; bisphenol type cyanate ester curing agents such as bisphenol A type, bisphenol F type and bisphenol S type. agents; and prepolymers in which these are partially triazined. Examples of cyanate ester curing agents include bisphenol A dicyanate, polyphenolcyanate, oligo(3-methylene-1,5-phenylenecyanate), 4,4′-methylenebis(2,6-dimethylphenylcyanate), 4,4 '-ethylidene diphenyl dicyanate, hexafluorobisphenol A dicyanate, 2,2-bis(4-cyanate)phenylpropane, 1,1-bis(4-cyanatophenylmethane), bis(4-cyanate-3,5-dimethyl Bifunctional cyanate resins such as phenyl)methane, 1,3-bis(4-cyanatophenyl-1-(methylethylidene))benzene, bis(4-cyanatophenyl)thioether, and bis(4-cyanatophenyl)ether; phenol polyfunctional cyanate resins derived from novolacs, cresol novolaks, etc.; and prepolymers obtained by partially triazinizing these cyanate resins. Commercially available products include "PT30" and "PT60" (both of which are phenol novolak type polyfunctional cyanate ester resins) and "BA230" (part or all of bisphenol A dicyanate is triazined and trimerized by Lonza Japan). prepolymer).

カルボジイミド系硬化剤としては、例えば、日清紡ケミカル社製の「V-03」、「V-07」が挙げられる。 Carbodiimide-based curing agents include, for example, “V-03” and “V-07” manufactured by Nisshinbo Chemical Co., Ltd.

硬化剤は、フェノール系硬化剤、ナフトール系硬化剤、活性エステル系硬化剤及びカルボジイミド系硬化剤から選択される1種以上であることが好ましく、フェノール系硬化剤及び活性エステル系硬化剤の少なくともいずれかであることが更に好ましい。 The curing agent is preferably one or more selected from phenol-based curing agents, naphthol-based curing agents, active ester-based curing agents and carbodiimide-based curing agents. It is more preferable that

(A)成分のエポキシ基数を1とした場合、機械的強度の良好な絶縁層を得る観点から、硬化剤の反応基数の下限は、好ましくは0.1以上、より好ましくは0.2以上、更に好ましくは0.3以上、特に好ましくは0.4以上である。上限は、好ましくは2以下、より好ましくは1.5以下、更に好ましくは1以下である。
ここで、「硬化剤の反応基」は、活性水酸基、活性エステル基等であり、硬化剤の種類によって異なる。また、「(A)成分のエポキシ基数」とは、樹脂組成物中の各エポキシ樹脂の固形分質量をエポキシ当量で除した値を全てのエポキシ樹脂について合計した値である。更に、「硬化剤の反応基数」とは、樹脂組成物中に存在する各硬化剤の固形分質量を反応基当量で除した値を全ての硬化剤について合計した値である。(A)エポキシ樹脂と硬化剤との量比を斯かる範囲とすることにより、樹脂組成物の硬化物の耐熱性をより向上することができる。
When the number of epoxy groups in component (A) is 1, the lower limit of the number of reactive groups of the curing agent is preferably 0.1 or more, more preferably 0.2 or more, from the viewpoint of obtaining an insulating layer with good mechanical strength. More preferably 0.3 or more, particularly preferably 0.4 or more. The upper limit is preferably 2 or less, more preferably 1.5 or less, and even more preferably 1 or less.
Here, the "reactive group of the curing agent" is an active hydroxyl group, an active ester group, or the like, and varies depending on the type of curing agent. The "number of epoxy groups in component (A)" is the sum of the values obtained by dividing the mass of the solid content of each epoxy resin in the resin composition by the epoxy equivalent for all the epoxy resins. Furthermore, the "reactive group number of the curing agent" is the sum of the values obtained by dividing the solid content mass of each curing agent present in the resin composition by the reactive group equivalent for all curing agents. (A) By setting the ratio between the epoxy resin and the curing agent within such a range, the heat resistance of the cured product of the resin composition can be further improved.

樹脂組成物中の硬化剤の含有量は特に限定されない。例えば、樹脂組成物中の樹脂成分100質量%に対して、上限は、好ましくは30質量%以下、より好ましくは25質量%以下、さらに好ましくは20質量%以下、特に好ましくは18質量%以下、15質量%以下である。また、下限は、好ましくは1質量%以上、より好ましくは3質量%以上、さらに好ましくは5質量%以上、特に好ましくは7質量%以上、10質量%以上である。硬化剤の含有量を斯かる範囲とすることにより、樹脂組成物の線熱膨張係数、誘電正接、導体層との密着性において一層優れた硬化物を形成し得る。 The content of the curing agent in the resin composition is not particularly limited. For example, the upper limit is preferably 30% by mass or less, more preferably 25% by mass or less, still more preferably 20% by mass or less, and particularly preferably 18% by mass or less, relative to 100% by mass of the resin component in the resin composition. It is 15% by mass or less. The lower limit is preferably 1% by mass or more, more preferably 3% by mass or more, still more preferably 5% by mass or more, and particularly preferably 7% by mass or more and 10% by mass or more. By setting the content of the curing agent within this range, it is possible to form a cured product that is more excellent in the linear thermal expansion coefficient, dielectric loss tangent, and adhesion to the conductor layer of the resin composition.

[6.(D)無機充填材]
樹脂組成物は、通常、(D)成分を含有する。(D)成分を用いることにより、樹脂組成物の硬化物の熱膨張係数を小さくできるので、絶縁層のリフロー反りを抑制することができる。
[6. (D) Inorganic filler]
The resin composition usually contains component (D). By using the component (D), the thermal expansion coefficient of the cured product of the resin composition can be reduced, so that reflow warping of the insulating layer can be suppressed.

(D)成分の材料は特に限定されないが、例えば、シリカ、アルミナ、ガラス、コーディエライト、シリコン酸化物、硫酸バリウム、炭酸バリウム、タルク、クレー、雲母粉、酸化亜鉛、ハイドロタルサイト、ベーマイト、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、酸化マグネシウム、窒化ホウ素、窒化アルミニウム、窒化マンガン、ホウ酸アルミニウム、炭酸ストロンチウム、チタン酸バリウム、チタン酸ストロンチウム、チタン酸カルシウム、チタン酸マグネシウム、チタン酸ビスマス、酸化チタン、酸化ジルコニウム、チタン酸ジルコン酸バリウム、ジルコン酸バリウム、ジルコン酸カルシウム、リン酸ジルコニウム、及びリン酸タングステン酸ジルコニウムが挙げられる。これらの中でも、シリカが好ましく、無定形シリカ、粉砕シリカ、溶融シリカ、結晶シリカ、合成シリカ、中空シリカ、球状シリカがより好ましく、絶縁層の表面粗さを低下させるという観点から、溶融シリカ、球状シリカがさらに好ましく、球状溶融シリカが特に好ましい。(D)成分は、1種単独で用いてもよく、2種以上を任意の比率で組み合わせて用いてもよい。 The material of component (D) is not particularly limited, but examples include silica, alumina, glass, cordierite, silicon oxide, barium sulfate, barium carbonate, talc, clay, mica powder, zinc oxide, hydrotalcite, boehmite, Aluminum hydroxide, magnesium hydroxide, calcium carbonate, magnesium carbonate, magnesium oxide, boron nitride, aluminum nitride, manganese nitride, aluminum borate, strontium carbonate, barium titanate, strontium titanate, calcium titanate, magnesium titanate, titanium Bismuth oxide, titanium oxide, zirconium oxide, barium zirconate titanate, barium zirconate, calcium zirconate, zirconium phosphate, and zirconium tungstate phosphate. Among these, silica is preferred, and amorphous silica, pulverized silica, fused silica, crystalline silica, synthetic silica, hollow silica and spherical silica are more preferred. From the viewpoint of reducing the surface roughness of the insulating layer, fused silica and spherical silica are preferred. Silica is more preferred, and spherical fused silica is particularly preferred. Component (D) may be used singly or in combination of two or more at any ratio.

通常、(D)成分は、粒子の状態で樹脂組成物に含まれる。(D)成分の粒子の平均粒径は、回路埋め込み性を向上させ、表面粗さの小さい絶縁層を得る観点から、好ましくは5μm以下、より好ましくは3μm以下、さらに好ましくは2μm以下、特に好ましくは1μm以下、0.8μm以下、0.6μm以下、0.4μm以下である。該平均粒径の下限は、樹脂ワニスとした際の、ワニスの粘度が上昇し、取扱い性が低下することを防止する観点から、好ましくは0.01μm以上、より好ましくは0.03μm以上、更に好ましくは0.05μm以上、特に好ましくは0.07μm以上、0.1μm以上である。 The component (D) is usually contained in the resin composition in the form of particles. The average particle diameter of the particles of component (D) is preferably 5 μm or less, more preferably 3 μm or less, even more preferably 2 μm or less, and particularly preferably from the viewpoint of improving circuit embedding properties and obtaining an insulating layer with a small surface roughness. is 1 μm or less, 0.8 μm or less, 0.6 μm or less, or 0.4 μm or less. The lower limit of the average particle size is preferably 0.01 μm or more, more preferably 0.03 μm or more, and further preferably 0.03 μm or more, from the viewpoint of preventing the viscosity of the varnish from increasing and the handleability from decreasing when it is made into a resin varnish. It is preferably 0.05 μm or more, particularly preferably 0.07 μm or more and 0.1 μm or more.

前記のような平均粒径を有する(D)成分の市販品としては、例えば、新日鉄住金マテリアルズ社製「SP60-05」、「SP507-05」;アドマテックス社製「YC100C」、「YA050C」、「YA050C-MJE」、「YA010C」;デンカ社製「UFP-30」;トクヤマ社製「シルフィルNSS-3N」、「シルフィルNSS-4N」、「シルフィルNSS-5N」;アドマテックス社製「SC2500SQ」、「SO-C4」、「SO-C2」、「SO-C1」が挙げられる。 Commercially available products of the component (D) having the above average particle size include, for example, Nippon Steel & Sumikin Materials Co., Ltd. “SP60-05” and “SP507-05”; Admatechs Co., Ltd. “YC100C” and “YA050C”. , "YA050C-MJE", "YA010C"; Denka "UFP-30"; Tokuyama "Silfil NSS-3N", "Silfil NSS-4N", "Silfil NSS-5N"; ”, “SO—C4”, “SO—C2”, and “SO—C1”.

(D)成分等の粒子の平均粒径は、ミー(Mie)散乱理論に基づくレーザー回折・散乱法により、測定し得る。例えば、レーザー回折散乱式粒度分布測定装置により、粒子の粒径分布を体積基準で測定し、その粒径分布からメディアン径として平均粒径を測定可能である。測定サンプルは、粒子を超音波により水中に分散させたものを好ましく使用可能である。レーザー回折散乱式粒度分布測定装置としては、堀場製作所社製「LA-500」等を使用可能である。 The average particle size of the particles of component (D) can be measured by a laser diffraction/scattering method based on Mie scattering theory. For example, it is possible to measure the particle size distribution of particles on a volume basis with a laser diffraction scattering type particle size distribution analyzer, and measure the average particle size as the median size from the particle size distribution. As the measurement sample, particles dispersed in water by ultrasonic waves can be preferably used. As a laser diffraction scattering type particle size distribution analyzer, "LA-500" manufactured by Horiba Ltd. can be used.

(D)成分は、任意の表面処理剤で表面処理されていてもよい。表面処理剤としては、例えば、アミノシラン系カップリング剤、エポキシシラン系カップリング剤、メルカプトシラン系カップリング剤、アルコキシシラン化合物、オルガノシラザン化合物、チタネート系カップリング剤等が挙げられる。これらの表面処理剤で(D)成分を表面処理することにより、(D)成分の耐湿性及び分散性を高めることができる。 The component (D) may be surface-treated with any surface treatment agent. Examples of surface treatment agents include aminosilane coupling agents, epoxysilane coupling agents, mercaptosilane coupling agents, alkoxysilane compounds, organosilazane compounds, and titanate coupling agents. By surface-treating component (D) with these surface-treating agents, the moisture resistance and dispersibility of component (D) can be enhanced.

表面処理剤の市販品としては、例えば、信越化学工業社製「KBM-22」(ジメチルジメトキシシラン)、信越化学工業社製「KBM-403」(3-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン)、信越化学工業社製「KBM-803」(3-メルカプトプロピルトリメトキシシラン)、信越化学工業社製「KBE-903」(3-アミノプロピルトリエトキシシラン)、信越化学工業社製「KBM-573」(N-フェニル-3-アミノプロピルトリメトキシシラン)、信越化学工業社製「SZ-31」(ヘキサメチルジシラザン)、信越化学工業社製「KBM-103」(フェニルトリメトキシシラン)、信越化学工業社製「KBM-4803」(長鎖エポキシ型シランカップリング剤)が挙げられる。また、表面処理剤は、1種単独で用いてもよく、2種以上を任意の比率で組み合わせて用いてもよい。 Examples of commercially available surface treatment agents include "KBM-22" (dimethyldimethoxysilane) manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., "KBM-403" (3-glycidoxypropyltrimethoxysilane) manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., Shin-Etsu Chemical Industry Co., Ltd. "KBM-803" (3-mercaptopropyltrimethoxysilane), Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. "KBE-903" (3-aminopropyltriethoxysilane), Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. "KBM-573" ( N-phenyl-3-aminopropyltrimethoxysilane), Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. "SZ-31" (hexamethyldisilazane), Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. "KBM-103" (phenyltrimethoxysilane), Shin-Etsu Chemical "KBM-4803" (long-chain epoxy-type silane coupling agent) manufactured by K.K. The surface treatment agents may be used singly or in combination of two or more at any ratio.

表面処理剤による表面処理の程度は、(D)成分の単位表面積当たりのカーボン量によって評価し得る。(D)成分の単位表面積当たりのカーボン量は、(D)成分の分散性向上の観点から、好ましくは0.02mg/m以上、より好ましくは0.1mg/m以上、特に好ましくは0.2mg/m以上である。一方、樹脂組成物の溶融粘度及びシート形態での溶融粘度の上昇を抑制する観点から、前記のカーボン量は、好ましくは1mg/m以下、より好ましくは0.8mg/m以下、特に好ましくは0.5mg/m以下である。 The degree of surface treatment with a surface treatment agent can be evaluated by the amount of carbon per unit surface area of component (D). From the viewpoint of improving dispersibility of component (D), the amount of carbon per unit surface area of component (D) is preferably 0.02 mg/m 2 or more, more preferably 0.1 mg/m 2 or more, and particularly preferably 0. .2 mg/m2 or more . On the other hand, from the viewpoint of suppressing an increase in the melt viscosity of the resin composition and the melt viscosity in the form of a sheet, the amount of carbon is preferably 1 mg/m 2 or less, more preferably 0.8 mg/m 2 or less, and particularly preferably is less than or equal to 0.5 mg/ m2 .

(D)成分の単位表面積当たりのカーボン量は、表面処理後の(D)成分を溶媒(例えば、メチルエチルケトン(以下「MEK」と略称することがある。))により洗浄処理した後に、測定し得る。例えば、十分な量のメチルエチルケトンと、表面処理剤で表面処理された(D)成分とを混合して、25℃で5分間、超音波洗浄する。その後、上澄液を除去し、固形分を乾燥させた後、カーボン分析計を用いて、(D)成分の単位表面積当たりのカーボン量を測定し得る。カーボン分析計としては、堀場製作所社製「EMIA-320V」を使用し得る。 The amount of carbon per unit surface area of the component (D) can be measured after the surface-treated component (D) is washed with a solvent (for example, methyl ethyl ketone (hereinafter sometimes abbreviated as “MEK”)). . For example, a sufficient amount of methyl ethyl ketone and component (D) surface-treated with a surface treatment agent are mixed, and ultrasonically cleaned at 25° C. for 5 minutes. Then, after removing the supernatant liquid and drying the solid content, the amount of carbon per unit surface area of component (D) can be measured using a carbon analyzer. As a carbon analyzer, "EMIA-320V" manufactured by Horiba Ltd. can be used.

樹脂組成物における(D)成分の量の下限は、熱膨張率の低い絶縁層を得る観点から、樹脂組成物中の樹脂成分100質量部に対して、好ましくは100質量部以上、より好ましくは200質量部以上、更に好ましくは250質量部以上である。上限は、絶縁層の機械的強度、特に伸びの観点から、好ましくは500質量部以下、より好ましくは400質量部以下、さらに好ましくは350質量部以下である。 From the viewpoint of obtaining an insulating layer with a low coefficient of thermal expansion, the lower limit of the amount of component (D) in the resin composition is preferably 100 parts by mass or more, more preferably 100 parts by mass or more, with respect to 100 parts by mass of the resin component in the resin composition. 200 parts by mass or more, more preferably 250 parts by mass or more. The upper limit is preferably 500 parts by mass or less, more preferably 400 parts by mass or less, and even more preferably 350 parts by mass or less, from the viewpoint of mechanical strength, particularly elongation, of the insulating layer.

[7.(E)硬化促進剤]
本発明の樹脂組成物は、必要に応じて、(E)硬化促進剤(以下、本明細書中「(E)成分」ともいう)を更に含有するものであってもよい。(E)成分を用いることにより、樹脂組成物を硬化させる際に硬化を促進できる。
[7. (E) Curing accelerator]
The resin composition of the present invention may further contain (E) a curing accelerator (hereinafter also referred to as "component (E)" in this specification), if necessary. By using the component (E), curing can be accelerated when the resin composition is cured.

(E)成分としては、例えば、リン系硬化促進剤、アミン系硬化促進剤、イミダゾール系硬化促進剤、グアニジン系硬化促進剤、金属系硬化促進剤、過酸化物系硬化促進剤等が挙げられる。中でも、リン系硬化促進剤、アミン系硬化促進剤、イミダゾール系硬化促進剤、過酸化物系硬化促進剤又は金属系硬化促進剤が好ましく、アミン系硬化促進剤、イミダゾール系硬化促進剤、過酸化物系硬化促進剤又は金属系硬化促進剤がより好ましい。
なお、(E)成分は、1種単独で用いてもよく、2種以上を任意の比率で組み合わせて用いてもよい。
Examples of component (E) include phosphorus-based curing accelerators, amine-based curing accelerators, imidazole-based curing accelerators, guanidine-based curing accelerators, metal-based curing accelerators, and peroxide-based curing accelerators. . Among them, phosphorus-based curing accelerators, amine-based curing accelerators, imidazole-based curing accelerators, peroxide-based curing accelerators or metal-based curing accelerators are preferable, and amine-based curing accelerators, imidazole-based curing accelerators, peroxide A physical curing accelerator or a metallic curing accelerator is more preferable.
In addition, (E) component may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more types by arbitrary ratios.

リン系硬化促進剤としては、例えば、トリフェニルホスフィン、ホスホニウムボレート化合物、テトラフェニルホスホニウムテトラフェニルボレート、n-ブチルホスホニウムテトラフェニルボレート、テトラブチルホスホニウムデカン酸塩、(4-メチルフェニル)トリフェニルホスホニウムチオシアネート、テトラフェニルホスホニウムチオシアネート、ブチルトリフェニルホスホニウムチオシアネートが挙げられる。中でも、トリフェニルホスフィン、テトラブチルホスホニウムデカン酸塩が好ましい。 Phosphorus curing accelerators include, for example, triphenylphosphine, phosphonium borate compounds, tetraphenylphosphonium tetraphenylborate, n-butylphosphonium tetraphenylborate, tetrabutylphosphonium decanoate, (4-methylphenyl)triphenylphosphonium thiocyanate. , tetraphenylphosphonium thiocyanate, and butyltriphenylphosphonium thiocyanate. Among them, triphenylphosphine and tetrabutylphosphonium decanoate are preferred.

アミン系硬化促進剤としては、例えば、トリエチルアミン、トリブチルアミン等のトリアルキルアミン、4-ジメチルアミノピリジン、ベンジルジメチルアミン、2,4,6,-トリス(ジメチルアミノメチル)フェノール、1,8-ジアザビシクロ[5,4,0]-ウンデセンが挙げられる。中でも、4-ジメチルアミノピリジン、1,8-ジアザビシクロ[5,4,0]-ウンデセンが好ましい。 Examples of amine curing accelerators include trialkylamines such as triethylamine and tributylamine, 4-dimethylaminopyridine, benzyldimethylamine, 2,4,6-tris(dimethylaminomethyl)phenol, 1,8-diazabicyclo [5,4,0]-undecene can be mentioned. Among them, 4-dimethylaminopyridine and 1,8-diazabicyclo[5,4,0]-undecene are preferred.

イミダゾール系硬化促進剤としては、例えば、2-メチルイミダゾール、2-ウンデシルイミダゾール、2-ヘプタデシルイミダゾール、1,2-ジメチルイミダゾール、2-エチル-4-メチルイミダゾール、2-フェニルイミダゾール、2-フェニル-4-メチルイミダゾール、1-ベンジル-2-メチルイミダゾール、1-ベンジル-2-フェニルイミダゾール、1-シアノエチル-2-メチルイミダゾール、1-シアノエチル-2-ウンデシルイミダゾール、1-シアノエチル-2-エチル-4-メチルイミダゾール、1-シアノエチル-2-フェニルイミダゾール、1-シアノエチル-2-ウンデシルイミダゾリウムトリメリテイト、1-シアノエチル-2-フェニルイミダゾリウムトリメリテイト、2,4-ジアミノ-6-[2’-メチルイミダゾリル-(1’)]-エチル-s-トリアジン、2,4-ジアミノ-6-[2’-ウンデシルイミダゾリル-(1’)]-エチル-s-トリアジン、2,4-ジアミノ-6-[2’-エチル-4’-メチルイミダゾリル-(1’)]-エチル-s-トリアジン、2,4-ジアミノ-6-[2’-メチルイミダゾリル-(1’)]-エチル-s-トリアジンイソシアヌル酸付加物、2-フェニルイミダゾールイソシアヌル酸付加物、2-フェニル-4,5-ジヒドロキシメチルイミダゾール、2-フェニル-4-メチル-5-ヒドロキシメチルイミダゾール、2,3-ジヒドロ-1H-ピロロ[1,2-a]ベンズイミダゾール、1-ドデシル-2-メチル-3-ベンジルイミダゾリウムクロライド、2-メチルイミダゾリン、2-フェニルイミダゾリンのイミダゾール化合物及びイミダゾール化合物とエポキシ樹脂とのアダクト体が挙げられる。中でも、2-エチル-4-メチルイミダゾール、1-ベンジル-2-フェニルイミダゾールが好ましい。 Examples of imidazole curing accelerators include 2-methylimidazole, 2-undecylimidazole, 2-heptadecylimidazole, 1,2-dimethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 2- Phenyl-4-methylimidazole, 1-benzyl-2-methylimidazole, 1-benzyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazole, 1-cyanoethyl-2- ethyl-4-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazolium trimellitate, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazolium trimellitate, 2,4-diamino-6 -[2′-methylimidazolyl-(1′)]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6-[2′-undecylimidazolyl-(1′)]-ethyl-s-triazine, 2, 4-diamino-6-[2′-ethyl-4′-methylimidazolyl-(1′)]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6-[2′-methylimidazolyl-(1′)] -ethyl-s-triazine isocyanurate, 2-phenylimidazole isocyanurate, 2-phenyl-4,5-dihydroxymethylimidazole, 2-phenyl-4-methyl-5-hydroxymethylimidazole, 2,3- Dihydro-1H-pyrrolo[1,2-a]benzimidazole, 1-dodecyl-2-methyl-3-benzylimidazolium chloride, 2-methylimidazoline, 2-phenylimidazoline imidazole compounds and imidazole compounds and epoxy resins Adduct bodies are mentioned. Among them, 2-ethyl-4-methylimidazole and 1-benzyl-2-phenylimidazole are preferred.

イミダゾール系硬化促進剤としては、市販品を用いてもよく、例えば、三菱化学社製の「P200-H50」等が挙げられる。 As the imidazole-based curing accelerator, a commercially available product may be used, and examples thereof include "P200-H50" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation.

グアニジン系硬化促進剤としては、例えば、ジシアンジアミド、1-メチルグアニジン、1-エチルグアニジン、1-シクロヘキシルグアニジン、1-フェニルグアニジン、1-(o-トリル)グアニジン、ジメチルグアニジン、ジフェニルグアニジン、トリメチルグアニジン、テトラメチルグアニジン、ペンタメチルグアニジン、1,5,7-トリアザビシクロ[4.4.0]デカ-5-エン、7-メチル-1,5,7-トリアザビシクロ[4.4.0]デカ-5-エン、1-メチルビグアニド、1-エチルビグアニド、1-n-ブチルビグアニド、1-n-オクタデシルビグアニド、1,1-ジメチルビグアニド、1,1-ジエチルビグアニド、1-シクロヘキシルビグアニド、1-アリルビグアニド、1-フェニルビグアニド、1-(o-トリル)ビグアニドが挙げられる。中でも、ジシアンジアミド、1,5,7-トリアザビシクロ[4.4.0]デカ-5-エンが好ましい。 Guanidine curing accelerators include, for example, dicyandiamide, 1-methylguanidine, 1-ethylguanidine, 1-cyclohexylguanidine, 1-phenylguanidine, 1-(o-tolyl)guanidine, dimethylguanidine, diphenylguanidine, trimethylguanidine, Tetramethylguanidine, Pentamethylguanidine, 1,5,7-triazabicyclo[4.4.0]dec-5-ene, 7-methyl-1,5,7-triazabicyclo[4.4.0] Dec-5-ene, 1-methylbiguanide, 1-ethylbiguanide, 1-n-butylbiguanide, 1-n-octadecylbiguanide, 1,1-dimethylbiguanide, 1,1-diethylbiguanide, 1-cyclohexylbiguanide, 1 -allylbiguanide, 1-phenylbiguanide, 1-(o-tolyl)biguanide. Among them, dicyandiamide and 1,5,7-triazabicyclo[4.4.0]dec-5-ene are preferred.

金属系硬化促進剤としては、例えば、コバルト、銅、亜鉛、鉄、ニッケル、マンガン、スズ等の金属の、有機金属錯体又は有機金属塩が挙げられる。有機金属錯体として、例えば、コバルト(II)アセチルアセトナート、コバルト(III)アセチルアセトナート等の有機コバルト錯体;銅(II)アセチルアセトナート等の有機銅錯体;亜鉛(II)アセチルアセトナート等の有機亜鉛錯体;鉄(III)アセチルアセトナート等の有機鉄錯体;ニッケル(II)アセチルアセトナート等の有機ニッケル錯体;マンガン(II)アセチルアセトナート等の有機マンガン錯体が挙げられる。有機金属塩としては、例えば、オクチル酸亜鉛、オクチル酸錫、ナフテン酸亜鉛、ナフテン酸コバルト、ステアリン酸スズ、ステアリン酸亜鉛が挙げられる。 Metal-based curing accelerators include, for example, organometallic complexes or organometallic salts of metals such as cobalt, copper, zinc, iron, nickel, manganese, and tin. Examples of organic metal complexes include organic cobalt complexes such as cobalt (II) acetylacetonate and cobalt (III) acetylacetonate; organic copper complexes such as copper (II) acetylacetonate; and zinc (II) acetylacetonate and the like. organic zinc complexes; organic iron complexes such as iron (III) acetylacetonate; organic nickel complexes such as nickel (II) acetylacetonate; and organic manganese complexes such as manganese (II) acetylacetonate. Examples of organic metal salts include zinc octoate, tin octoate, zinc naphthenate, cobalt naphthenate, tin stearate and zinc stearate.

過酸化物系硬化促進剤としては、例えば、シクロヘキサノンパーオキサイド、tert-ブチルパーオキシベンゾエート、メチルエチルケトンパーオキサイド、ジクミルパーオキサイド、tert-ブチルクミルパーオキサイド、ジ-tert-ブチルパーオキシド、ジイソプロピルベンゼンハイドロパーオキサイド、クメンハイドロパーオキサイド、tert-ブチルハイドロパーオキサイドが挙げられる。 Examples of peroxide-based curing accelerators include cyclohexanone peroxide, tert-butyl peroxybenzoate, methyl ethyl ketone peroxide, dicumyl peroxide, tert-butyl cumyl peroxide, di-tert-butyl peroxide, and diisopropylbenzene hydrochloride. Peroxide, cumene hydroperoxide, tert-butyl hydroperoxide.

過酸化物系硬化促進剤としては、市販品を用いてもよく、例えば、日油社製の「パークミル D」が挙げられる。 As the peroxide-based curing accelerator, a commercially available product may be used.

樹脂組成物における(E)成分の量は、本発明の所望の効果を顕著に得る観点から、樹脂組成物中の樹脂成分100質量%に対して、0.01~3質量%の範囲が好ましい。 The amount of component (E) in the resin composition is preferably in the range of 0.01 to 3% by mass with respect to 100% by mass of the resin component in the resin composition from the viewpoint of significantly obtaining the desired effects of the present invention. .

[8.(F)熱可塑性樹脂]
本発明の樹脂組成物は、(F)熱可塑性樹脂(以下、本明細書中「(F)成分」ともいう)を更に含んでもよい。(F)成分としては、例えば、フェノキシ樹脂、ポリビニルアセタール樹脂、ポリオレフィン樹脂、ポリブタジエン樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリフェニレンエーテル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、ポリエステル樹脂、インデンクマロン樹脂が挙げられる。中でも、相溶性向上という観点から、インデンクマロン樹脂が好ましい。なお、(F)成分は1種単独で用いてもよく、2種以上を任意の比率で組み合わせて用いてもよい。
[8. (F) Thermoplastic resin]
The resin composition of the present invention may further contain (F) a thermoplastic resin (hereinafter also referred to as “(F) component” in the specification). Examples of component (F) include phenoxy resins, polyvinyl acetal resins, polyolefin resins, polybutadiene resins, polyimide resins, polyamideimide resins, polyetherimide resins, polysulfone resins, polyethersulfone resins, polyphenylene ether resins, polycarbonate resins, poly Ether ether ketone resins, polyester resins, and indene cumarone resins can be mentioned. Among them, an indene cumarone resin is preferable from the viewpoint of improving compatibility. In addition, (F) component may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more types by arbitrary ratios.

(F)成分のポリスチレン換算の重量平均分子量は、8,000~70,000の範囲が好ましく、10,000~60,000の範囲がより好ましく、20,000~60,000の範囲がさらに好ましい。
(F)成分のポリスチレン換算の重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)法で測定される。例えば、(F)成分のポリスチレン換算の重量平均分子量は、測定装置として島津製作所社製LC-9A/RID-6Aを、カラムとして昭和電工社製Shodex K-800P/K-804L/K-804Lを、移動相としてクロロホルム等を用いて、カラム温度40℃にて測定し、標準ポリスチレンの検量線を用いて算出することができる。
The polystyrene equivalent weight average molecular weight of component (F) is preferably in the range of 8,000 to 70,000, more preferably in the range of 10,000 to 60,000, and even more preferably in the range of 20,000 to 60,000. .
(F) The polystyrene equivalent weight average molecular weight of the component is measured by a gel permeation chromatography (GPC) method. For example, the polystyrene-equivalent weight average molecular weight of the component (F) is measured by Shimadzu Corporation's LC-9A/RID-6A as a measuring device, and Showa Denko's Shodex K-800P/K-804L/K-804L as a column. , using chloroform or the like as a mobile phase, measuring at a column temperature of 40° C., and calculating using a standard polystyrene calibration curve.

フェノキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールA骨格、ビスフェノールF骨格、ビスフェノールS骨格、ビスフェノールアセトフェノン骨格、ノボラック骨格、ビフェニル骨格、フルオレン骨格、ジシクロペンタジエン骨格、ノルボルネン骨格、ナフタレン骨格、アントラセン骨格、アダマンタン骨格、テルペン骨格、及びトリメチルシクロヘキサン骨格からなる群から選択される1種以上の骨格を有するフェノキシ樹脂が挙げられる。フェノキシ樹脂の末端は、フェノール性水酸基、エポキシ基等のいずれの官能基でもよい。フェノキシ樹脂は、1種単独で用いてもよく、2種以上を任意の比率で組み合わせて用いてもよい。 Examples of phenoxy resins include bisphenol A skeleton, bisphenol F skeleton, bisphenol S skeleton, bisphenolacetophenone skeleton, novolac skeleton, biphenyl skeleton, fluorene skeleton, dicyclopentadiene skeleton, norbornene skeleton, naphthalene skeleton, anthracene skeleton, adamantane skeleton, and terpene. and a phenoxy resin having one or more skeletons selected from the group consisting of a trimethylcyclohexane skeleton. The terminal of the phenoxy resin may be any functional group such as a phenolic hydroxyl group or an epoxy group. The phenoxy resins may be used singly or in combination of two or more at any ratio.

フェノキシ樹脂としては、例えば、三菱化学社製の「1256」及び「4250」(いずれもビスフェノールA骨格含有フェノキシ樹脂);三菱化学社製の「YX8100」(ビスフェノールS骨格含有フェノキシ樹脂);三菱化学社製の「YX6954」(ビスフェノールアセトフェノン骨格含有フェノキシ樹脂);新日鉄住金化学社製の「FX280」及び「FX293」;三菱化学社製の「YX6954BH30」、「YX7553」、「YX7553BH30」、「YL7769BH30」、「YL6794」、「YL7213」、「YL7290」、「YL7891BH30」及び「YL7482」等が挙げられる。 Examples of phenoxy resins include Mitsubishi Chemical's "1256" and "4250" (both bisphenol A skeleton-containing phenoxy resins); Mitsubishi Chemical's "YX8100" (bisphenol S skeleton-containing phenoxy resin); "YX6954" (bisphenolacetophenone skeleton-containing phenoxy resin) manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd. "FX280" and "FX293"; YL6794", "YL7213", "YL7290", "YL7891BH30" and "YL7482".

インデンクマロン樹脂としては、例えば、日塗化学社製の「H-100」、「WS-100G」、「WS-100H」、「WS-120V」、「WS-100GC」;ノバレス・ルトガーズ社製の「C10」、「C30」、「CA80」が挙げられる。 Examples of indene cumarone resins include "H-100", "WS-100G", "WS-100H", "WS-120V", and "WS-100GC" manufactured by Nichinuri Chemical Co.; "C10", "C30", and "CA80" of

樹脂組成物における(F)成分の量の下限は、樹脂組成物中の樹脂成分100質量%に対して、好ましくは0.1質量%以上、より好ましくは0.5質量%以上である。また、その上限は、好ましくは10質量%以下、より好ましくは5質量%以下である。斯かる範囲であることにより、フィルム成型能や機械的強度向上の効果が発揮され、更に溶融粘度の上昇や湿式粗化工程後の絶縁層表面の粗度を低下させることができる。 The lower limit of the amount of component (F) in the resin composition is preferably 0.1% by mass or more, more preferably 0.5% by mass or more, relative to 100% by mass of the resin component in the resin composition. Moreover, the upper limit thereof is preferably 10% by mass or less, more preferably 5% by mass or less. Within this range, the effect of improving the film moldability and mechanical strength can be exhibited, and furthermore, the melt viscosity can be increased and the surface roughness of the insulating layer after the wet roughening process can be reduced.

[9.任意成分]
本発明の樹脂組成物は、上述した成分以外に、任意成分を含み得る。このような任意成分としては、例えば、難燃剤;有機充填材;有機銅化合物、有機亜鉛化合物及び有機コバルト化合物等の有機金属化合物;増粘剤;消泡剤;レベリング剤;密着性付与剤;着色剤等の樹脂添加剤が挙げられる。
[9. Optional component]
The resin composition of the present invention may contain optional components in addition to the components described above. Examples of such optional components include flame retardants; organic fillers; organometallic compounds such as organocopper compounds, organozinc compounds and organocobalt compounds; thickeners; Resin additives such as colorants are included.

<難燃剤>
本発明の樹脂組成物は、難燃剤を用いることにより、樹脂組成物の硬化物のガラス転移温度をさらに向上し得る。
難燃剤としては、例えば、有機リン系難燃剤、有機系窒素含有リン化合物、窒素化合物、シリコーン系難燃剤、金属水酸化物等が挙げられる。難燃剤としては、市販品を用いてもよく、例えば、三光社製の「HCA-HQ」、「HCA-HQ-HS」、大八化学工業社製の「PX-200」が挙げられる。なお、難燃剤は、1種単独で用いてもよく、2種以上を任意の比率で組み合わせて用いてもよい。
<Flame retardant>
The resin composition of the present invention can further improve the glass transition temperature of the cured product of the resin composition by using a flame retardant.
Examples of flame retardants include organic phosphorus flame retardants, organic nitrogen-containing phosphorus compounds, nitrogen compounds, silicone flame retardants, and metal hydroxides. As the flame retardant, commercially available products may be used, and examples thereof include “HCA-HQ” and “HCA-HQ-HS” manufactured by Sanko Co., Ltd., and “PX-200” manufactured by Daihachi Chemical Industry Co., Ltd. In addition, a flame retardant may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more types by arbitrary ratios.

樹脂組成物における難燃剤の量は、耐熱性を付与する観点から、樹脂組成物中の樹脂成分100質量%に対して、0.5~20質量%の範囲が好ましく、0.5質量%~15質量%の範囲がより好ましく、0.5~10質量%の範囲がさらに好ましい。 From the viewpoint of imparting heat resistance, the amount of the flame retardant in the resin composition is preferably in the range of 0.5 to 20% by mass with respect to 100% by mass of the resin component in the resin composition, and 0.5% by mass to A range of 15 mass % is more preferred, and a range of 0.5 to 10 mass % is even more preferred.

<有機充填材>
本発明の樹脂組成物は、有機充填材を用いることにより、樹脂組成物の硬化物の柔軟性を向上させられるので、絶縁層の伸び性を改善できる。
有機充填材としては、プリント配線板の絶縁層を形成するに際し使用し得る任意の有機充填材を使用できる。例えば、ゴム粒子、ポリアミド粒子、シリコーン粒子が挙げられる。また、ゴム粒子としては、市販品を用いてもよく、例えば、ダウ・ケミカル日本社製の「EXL-2655」、アイカ工業社製の「AC3816N」が挙げられる。なお、有機充填材は、1種単独で用いてもよく、2種以上を任意の比率で組み合わせて用いてもよい。
<Organic filler>
By using an organic filler, the resin composition of the present invention can improve the flexibility of the cured product of the resin composition, so that the elongation of the insulating layer can be improved.
As the organic filler, any organic filler that can be used in forming the insulating layer of a printed wiring board can be used. Examples include rubber particles, polyamide particles, and silicone particles. As the rubber particles, commercially available products may be used, and examples thereof include "EXL-2655" manufactured by Dow Chemical Japan Co., Ltd. and "AC3816N" manufactured by Aica Kogyo Co., Ltd. In addition, an organic filler may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more types by arbitrary ratios.

有機充填材の粒子の平均粒径は、樹脂組成物中の分散性に優れるという観点から、好ましくは5μm以下、より好ましくは4μm以下、さらに好ましくは3μm以下である。有機充填材の平均粒径の下限は、好ましくは0.05μm以上、より好ましくは0.08μm以上、特に好ましくは0.10μm以上である。 The average particle size of the organic filler particles is preferably 5 μm or less, more preferably 4 μm or less, and even more preferably 3 μm or less, from the viewpoint of excellent dispersibility in the resin composition. The lower limit of the average particle size of the organic filler is preferably 0.05 μm or more, more preferably 0.08 μm or more, and particularly preferably 0.10 μm or more.

樹脂組成物における有機充填材の量は、樹脂組成物の硬化物の機械的物性を適切な範囲に調整する観点から、樹脂組成物中の樹脂成分100質量%に対して、0.1~20質量%の範囲が好ましく、0.2~10質量%の範囲がより好ましく、0.3~5質量%の範囲がさらに好ましく、0.5~3質量%の範囲が特に好ましい。 From the viewpoint of adjusting the mechanical properties of the cured product of the resin composition to an appropriate range, the amount of the organic filler in the resin composition is 0.1 to 20% with respect to 100% by mass of the resin component in the resin composition. A range of 0.2 to 10% by mass is preferred, a range of 0.3 to 5% by mass is even more preferred, and a range of 0.5 to 3% by mass is particularly preferred.

[10.樹脂組成物の製法及び特性]
本発明の樹脂組成物の調製方法は、特に限定されるものではなく、例えば、配合成分を、必要により溶媒等を添加し、回転ミキサー等を用いて混合・分散する方法が挙げられる。
[10. Production method and properties of the resin composition]
The method of preparing the resin composition of the present invention is not particularly limited, and examples thereof include a method of adding a solvent or the like to the compounding ingredients, if necessary, and mixing and dispersing using a rotary mixer or the like.

本発明の樹脂組成物は、ガラス転移温度の高い硬化物をもたらすことができる。本発明の樹脂組成物の硬化物のガラス転移温度は、後述の<ガラス転移温度の測定>に記載の方法により測定することができる。具体的には、引張加重法で熱機械分析を行うことにより、荷重1g、昇温速度5℃/minで測定することができる。本発明の樹脂組成物の硬化物は、好ましくは158℃以上、より好ましくは160℃以上、さらに好ましくは162℃以上のガラス転移温度を示すことができる。ガラス転移温度の上限は特に限定されなく、通常、250℃以下である。 The resin composition of the present invention can provide a cured product with a high glass transition temperature. The glass transition temperature of the cured product of the resin composition of the present invention can be measured by the method described in <Measurement of glass transition temperature> below. Specifically, by performing thermomechanical analysis by a tensile loading method, measurement can be performed with a load of 1 g and a heating rate of 5° C./min. A cured product of the resin composition of the present invention can exhibit a glass transition temperature of preferably 158° C. or higher, more preferably 160° C. or higher, and even more preferably 162° C. or higher. The upper limit of the glass transition temperature is not particularly limited, and is usually 250° C. or lower.

本発明の樹脂組成物は、誘電正接の低い硬化物をもたらすことができる。本発明の樹脂組成物の硬化物の誘電正接は、後述の<誘電正接の測定>に記載の方法により測定することができる。具体的には、空洞共振器摂動法により周波数5.8GHz、測定温度23℃で測定することができる。誘電正接の値は、高周波での発熱防止、信号遅延及び信号ノイズの低減の観点から、好ましくは0.0037以下、より好ましくは0.0035以下である。誘電正接の値の下限は、低いほど好ましく、通常、0.0001以上等とし得る。 The resin composition of the present invention can provide a cured product with a low dielectric loss tangent. The dielectric loss tangent of the cured product of the resin composition of the present invention can be measured by the method described in <Measurement of dielectric loss tangent> below. Specifically, it can be measured at a frequency of 5.8 GHz and a measurement temperature of 23° C. by the cavity resonator perturbation method. The dielectric loss tangent value is preferably 0.0037 or less, more preferably 0.0035 or less, from the viewpoints of preventing heat generation at high frequencies and reducing signal delay and signal noise. The lower limit of the value of the dielectric loss tangent is preferably as low as possible, and can usually be 0.0001 or more.

本発明の樹脂組成物は、導体層との密着性の高い硬化物をもたらすことができる。本発明の樹脂組成物の硬化物の密着性は、後述の<密着性の測定>に記載の方法により評価することができる。得られる導体層と絶縁層との密着性は、好ましくは0.60kgf/cm以上、より好ましくは0.70kgf/cm以上である。密着性の上限は特に限定されなく、通常、1.2kgf/cm以下等とし得る。 The resin composition of the present invention can provide a cured product having high adhesion to the conductor layer. The adhesion of the cured product of the resin composition of the present invention can be evaluated by the method described in <Measurement of Adhesion> below. The resulting adhesion between the conductor layer and the insulating layer is preferably 0.60 kgf/cm or more, more preferably 0.70 kgf/cm or more. The upper limit of the adhesion is not particularly limited, and can be usually 1.2 kgf/cm or less.

本発明の樹脂組成物は、ガラス転移温度が高く、誘電正接が低く、導体層との密着性が良好な硬化物をもたらすことができる。従って、本発明の樹脂組成物は、プリント配線板の絶縁層を形成するための樹脂組成物(プリント配線板の絶縁層用樹脂組成物)として好適に使用することができ、プリント配線板の層間絶縁層を形成するための樹脂組成物(プリント配線板の層間絶縁層用樹脂組成物)としてより好適に使用することができる。本発明の樹脂組成物はまた、接着フィルム、プリプレグ等のシート状積層材料、ソルダーレジスト、アンダーフィル材、ダイボンディング材、半導体封止材、穴埋め樹脂、部品埋め込み樹脂等、樹脂組成物が必要とされる用途の広範囲に使用できる。 The resin composition of the present invention can provide a cured product having a high glass transition temperature, a low dielectric loss tangent, and good adhesion to a conductor layer. Therefore, the resin composition of the present invention can be suitably used as a resin composition for forming an insulating layer of a printed wiring board (resin composition for an insulating layer of a printed wiring board). It can be used more preferably as a resin composition for forming an insulating layer (a resin composition for an interlayer insulating layer of a printed wiring board). The resin composition of the present invention also includes adhesive films, sheet laminate materials such as prepreg, solder resists, underfill materials, die bonding materials, semiconductor sealing materials, hole-filling resins, component-embedding resins, and the like. Can be used for a wide range of applications.

[11.シート状積層材料]
本発明の樹脂組成物は、ワニス状態で塗布して使用することもできるが、工業的には一般に、該樹脂組成物を含有するシート状積層材料の形態で用いることが好適である。
[11. Sheet laminated material]
Although the resin composition of the present invention can be applied in the form of a varnish, it is industrially preferably used in the form of a sheet-like laminated material containing the resin composition.

シート状積層材料としては、以下に示す接着フィルム、プリプレグが好ましい。 Adhesive films and prepregs shown below are preferable as the sheet-like laminate material.

一実施形態において、接着フィルムは、支持体と、該支持体と接合している樹脂組成物層(接着層)とを含んでなり、樹脂組成物層(接着層)が本発明の樹脂組成物から形成される。 In one embodiment, the adhesive film comprises a support and a resin composition layer (adhesive layer) bonded to the support, wherein the resin composition layer (adhesive layer) is the resin composition of the present invention. formed from

樹脂組成物層の厚さは、プリント配線板の薄型化の観点から、好ましくは100μm以下、より好ましくは80μm以下、さらに好ましくは60μm以下、特に好ましくは50μm以下、40μm以下である。樹脂組成物層の厚さの下限は、特に限定されなく、通常、1μm以上、好ましくは5μm以上、更に好ましくは10μm以上等とし得る。 The thickness of the resin composition layer is preferably 100 µm or less, more preferably 80 µm or less, still more preferably 60 µm or less, and particularly preferably 50 µm or less and 40 µm or less, from the viewpoint of thinning the printed wiring board. The lower limit of the thickness of the resin composition layer is not particularly limited, and is usually 1 μm or more, preferably 5 μm or more, more preferably 10 μm or more.

支持体としては、例えば、プラスチック材料からなるフィルム、金属箔、離型紙が挙げられ、プラスチック材料からなるフィルム、金属箔が好ましい。 Examples of the support include a film made of a plastic material, a metal foil, and a release paper, and a film made of a plastic material and a metal foil are preferable.

支持体としてプラスチック材料からなるフィルムを使用する場合、プラスチック材料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)等のポリエステル;ポリカーボネート(PC)、ポリメチルメタクリレート(PMMA)等のアクリル;環状ポリオレフィン、トリアセチルセルロース(TAC)、ポリエーテルサルファイド(PES)、ポリエーテルケトン、ポリイミドが挙げられる。中でも、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレートが好ましく、安価なポリエチレンテレフタレートが特に好ましい。 When a film made of a plastic material is used as the support, examples of the plastic material include polyesters such as polyethylene terephthalate (PET) and polyethylene naphthalate (PEN); acrylics such as polycarbonate (PC) and polymethyl methacrylate (PMMA); ; cyclic polyolefin, triacetyl cellulose (TAC), polyether sulfide (PES), polyether ketone, and polyimide. Among them, polyethylene terephthalate and polyethylene naphthalate are preferable, and inexpensive polyethylene terephthalate is particularly preferable.

支持体として金属箔を使用する場合、金属箔としては、例えば、銅箔、アルミニウム箔が挙げられる。中でも、銅箔が好ましい。銅箔としては、銅の単金属からなる箔を用いてもよく、銅と他の金属(例えば、スズ、クロム、銀、マグネシウム、ニッケル、ジルコニウム、ケイ素、チタン等)との合金からなる箔を用いてもよい。 When a metal foil is used as the support, examples of the metal foil include copper foil and aluminum foil. Among them, copper foil is preferable. As the copper foil, a foil made of a single metal of copper may be used, and a foil made of an alloy of copper and other metals (for example, tin, chromium, silver, magnesium, nickel, zirconium, silicon, titanium, etc.) may be used. may be used.

支持体は、樹脂組成物層と接合する側の表面にマット処理、コロナ処理を施してあってもよい。また、支持体としては、樹脂組成物層と接合する側の表面に離型層を有する離型層付き支持体を使用してもよい。離型層付き支持体の離型層に使用する離型剤としては、例えば、アルキド樹脂、オレフィン樹脂、ウレタン樹脂、及びシリコーン樹脂からなる群から選択される1種以上の離型剤が挙げられる。離型剤の市販品としては、例えば、アルキド樹脂系離型剤である、リンテック社製の「SK-1」、「AL-5」、「AL-7」が挙げられる。 The support may be subjected to matte treatment or corona treatment on the surface thereof to be bonded to the resin composition layer. Further, as the support, a support with a release layer having a release layer on the surface of the side bonded to the resin composition layer may be used. The release agent used in the release layer of the release layer-attached support includes, for example, one or more release agents selected from the group consisting of alkyd resins, olefin resins, urethane resins, and silicone resins. . Examples of commercially available releasing agents include “SK-1”, “AL-5” and “AL-7” manufactured by Lintec Co., Ltd., which are alkyd resin releasing agents.

支持体の厚さは、特に限定されなく、5~75μmの範囲が好ましく、10~60μmの範囲がより好ましい。なお、支持体が離型層付き支持体である場合、離型層付き支持体全体の厚さが上記範囲であることが好ましい。 The thickness of the support is not particularly limited, and is preferably in the range of 5-75 μm, more preferably in the range of 10-60 μm. When the support is a release layer-attached support, the thickness of the release layer-attached support as a whole is preferably within the above range.

接着フィルムは、例えば、有機溶剤に樹脂組成物を溶解した樹脂ワニスを調製し、この樹脂ワニスを、ダイコーター等を用いて支持体上に塗布し、更に乾燥させて樹脂組成物層を形成させることにより製造することができる。 For the adhesive film, for example, a resin varnish is prepared by dissolving a resin composition in an organic solvent, the resin varnish is applied onto a support using a die coater or the like, and dried to form a resin composition layer. It can be manufactured by

有機溶剤としては、例えば、アセトン、メチルエチルケトン(MEK)及びシクロヘキサノン等のケトン類;酢酸エチル、酢酸ブチル、セロソルブアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート及びカルビトールアセテート等の酢酸エステル類;セロソルブ及びブチルカルビトール等のカルビトール類;トルエン及びキシレン等の芳香族炭化水素類;ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド(DMAc)及びN-メチルピロリドン等のアミド系溶媒を挙げることができる。有機溶剤は、1種単独で用いてもよく、2種以上を任意の比率で組み合わせて用いてもよい。 Examples of organic solvents include ketones such as acetone, methyl ethyl ketone (MEK) and cyclohexanone; acetic acid esters such as ethyl acetate, butyl acetate, cellosolve acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate and carbitol acetate; cellosolve and butyl carbitol; aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene; amide solvents such as dimethylformamide, dimethylacetamide (DMAc) and N-methylpyrrolidone. The organic solvent may be used singly or in combination of two or more at any ratio.

乾燥は、加熱、熱風吹きつけ等の公知の方法により実施してよい。乾燥条件は特に限定されなく、樹脂組成物層中の有機溶剤の含有量が10質量%以下、好ましくは5質量%以下となるように乾燥させる。樹脂ワニス中の有機溶剤の沸点によっても異なるが、例えば30~60質量%の有機溶剤を含む樹脂ワニスを用いる場合、50~150℃で3~10分間乾燥させることにより、樹脂組成物層を形成することができる。 Drying may be carried out by a known method such as heating or blowing hot air. Drying conditions are not particularly limited, and drying is performed so that the content of the organic solvent in the resin composition layer is 10% by mass or less, preferably 5% by mass or less. Depending on the boiling point of the organic solvent in the resin varnish, for example, when using a resin varnish containing 30 to 60% by mass of organic solvent, the resin composition layer is formed by drying at 50 to 150° C. for 3 to 10 minutes. can do.

接着フィルムにおいて、樹脂組成物層の支持体と接合していない面(即ち、支持体とは反対側の面)には、支持体に準じた保護フィルムをさらに積層することができる。保護フィルムの厚さは、特に限定されるものではなく、例えば、1~40μmである。保護フィルムを積層することにより、樹脂組成物層の表面へのゴミ等の付着やキズを防止することができる。接着フィルムは、ロール状に巻きとって保存することが可能である。接着フィルムが保護フィルムを有する場合、保護フィルムを剥がすことによって使用可能となる。 In the adhesive film, a protective film conforming to the support can be further laminated on the surface of the resin composition layer that is not bonded to the support (that is, the surface opposite to the support). The thickness of the protective film is not particularly limited, and is, for example, 1 to 40 μm. By laminating the protective film, it is possible to prevent dust from adhering to the surface of the resin composition layer and scratches on the surface of the resin composition layer. The adhesive film can be wound into a roll and stored. When the adhesive film has a protective film, it can be used by peeling off the protective film.

一実施形態において、プリプレグは、シート状繊維基材に本発明の樹脂組成物を含浸させて形成される。 In one embodiment, a prepreg is formed by impregnating a sheet-like fiber base material with the resin composition of the present invention.

プリプレグに用いるシート状繊維基材は特に限定されず、ガラスクロス、アラミド不織布、液晶ポリマー不織布等のプリプレグ用基材として常用されているものを用いることができる。プリント配線板の薄型化の観点から、シート状繊維基材の厚さは、好ましくは50μm以下、より好ましくは40μm以下、さらに好ましくは30μm以下、特に好ましくは20μm以下である。シート状繊維基材の厚さの下限は特に限定されない。通常、10μm以上である。 The sheet-like fiber base material used for the prepreg is not particularly limited, and those commonly used as prepreg base materials such as glass cloth, aramid nonwoven fabric, and liquid crystal polymer nonwoven fabric can be used. From the viewpoint of thinning the printed wiring board, the thickness of the sheet-like fiber base material is preferably 50 μm or less, more preferably 40 μm or less, still more preferably 30 μm or less, and particularly preferably 20 μm or less. The lower limit of the thickness of the sheet-like fiber base material is not particularly limited. Usually, it is 10 μm or more.

プリプレグは、ホットメルト法、ソルベント法等の公知の方法により製造することができる。 A prepreg can be manufactured by a known method such as a hot melt method or a solvent method.

プリプレグの厚さは、上述の接着フィルムにおける樹脂組成物層と同様の範囲とし得る。 The thickness of the prepreg can be in the same range as the resin composition layer in the adhesive film described above.

(A)成分、(B)成分、及び(C)成分を組み合わせて含む樹脂組成物を使用する本発明においては、ガラス転移温度が高く、誘電正接が低く、導体層との密着性が良好な硬化物をもたらす、プリント配線板の製造に際して極めて有用なシート状積層材料を実現することができる。 In the present invention using a resin composition containing a combination of components (A), (B), and (C), the glass transition temperature is high, the dielectric loss tangent is low, and the adhesion to the conductor layer is good. A sheet-like laminate material that yields a cured product and is extremely useful in the production of printed wiring boards can be realized.

本発明のシート状積層材料は、プリント配線板の絶縁層を形成するため(プリント配線板の絶縁層用)に好適に使用することができ、プリント配線板の層間絶縁層を形成するため(プリント配線板の層間絶縁層用)により好適に使用することができる。 The sheet-like laminated material of the present invention can be suitably used for forming an insulating layer of a printed wiring board (for an insulating layer of a printed wiring board), and for forming an interlayer insulating layer of a printed wiring board (for a printed wiring board). for interlayer insulating layers of wiring boards).

[12.プリント配線板]
本発明のプリント配線板は、本発明の樹脂組成物又は本発明のシート状積層材料を熱硬化して得られた絶縁層を含む。
[12. Printed wiring board]
The printed wiring board of the present invention includes an insulating layer obtained by thermosetting the resin composition of the present invention or the sheet-like laminate material of the present invention.

一実施形態において、本発明のプリント配線板は、上述の接着フィルムを用いて、下記(I)及び(II)の工程を含む方法により製造することができる。
(I)内層基板上に、接着フィルムを、該接着フィルムの樹脂組成物層が内層基板と接合するように積層する工程
(II)樹脂組成物層を熱硬化して絶縁層を形成する工程
In one embodiment, the printed wiring board of the present invention can be produced by a method including the following steps (I) and (II) using the adhesive film described above.
(I) Step of laminating an adhesive film on the inner layer substrate so that the resin composition layer of the adhesive film is bonded to the inner layer substrate (II) Step of thermosetting the resin composition layer to form an insulating layer

工程(I)で用いる「内層基板」とは、主として、ガラスエポキシ基板、金属基板、ポリエステル基板、ポリイミド基板、BTレジン基板、熱硬化型ポリフェニレンエーテル基板等の基板、又は該基板の片面又は両面にパターン加工された導体層(回路)が形成された回路基板をいう。またプリント配線板を製造する際に、さらに絶縁層及び導体層の少なくともいずれかが形成されるべき中間製造物の内層回路基板も本発明でいう「内層基板」に含まれる。プリント配線板が部品内蔵回路板である場合、部品を内蔵した内層基板を使用すればよい。 The "inner layer substrate" used in step (I) mainly means a substrate such as a glass epoxy substrate, a metal substrate, a polyester substrate, a polyimide substrate, a BT resin substrate, a thermosetting polyphenylene ether substrate, or a substrate having A circuit board on which a patterned conductor layer (circuit) is formed. Further, an inner layer circuit board, which is an intermediate product on which at least one of an insulating layer and a conductor layer is further formed when manufacturing a printed wiring board, is also included in the "inner layer board" of the present invention. When the printed wiring board is a component-embedded circuit board, an inner layer board containing components may be used.

内層基板と接着フィルムの積層は、例えば、支持体側から接着フィルムを内層基板に加熱圧着することにより行うことができる。接着フィルムを内層基板に加熱圧着する部材(以下、「加熱圧着部材」ともいう。)としては、例えば、加熱された金属板(SUS鏡板等)又は金属ロール(SUSロール)等が挙げられる。なお、加熱圧着部材を接着フィルムに直接プレスするのではなく、内層基板の表面凹凸に接着フィルムが十分に追随するよう、耐熱ゴム等の弾性材を介してプレスするのが好ましい。 The lamination of the inner layer substrate and the adhesive film can be performed, for example, by thermocompression bonding the adhesive film to the inner layer substrate from the support side. Examples of the member for thermocompression bonding the adhesive film to the inner layer substrate (hereinafter also referred to as “thermocompression member”) include heated metal plates (such as SUS end plates) and metal rolls (SUS rolls). Instead of directly pressing the thermocompression member onto the adhesive film, it is preferable to press the adhesive film through an elastic material such as heat-resistant rubber so that the adhesive film can sufficiently follow the unevenness of the surface of the inner layer substrate.

内層基板と接着フィルムの積層は、真空ラミネート法により実施してよい。真空ラミネート法において、加熱圧着温度は、好ましくは60~160℃、より好ましくは80~140℃の範囲である。加熱圧着圧力は、好ましくは0.098~1.77MPa、より好ましくは0.29~1.47MPaの範囲である。加熱圧着時間は、好ましくは20~400秒間、より好ましくは30~300秒間の範囲である。積層は、好ましくは圧力26.7hPa以下の減圧条件下で実施する。 Lamination of the inner layer substrate and the adhesive film may be carried out by a vacuum lamination method. In the vacuum lamination method, the thermocompression bonding temperature is preferably 60 to 160°C, more preferably 80 to 140°C. The thermocompression pressure is preferably in the range of 0.098-1.77 MPa, more preferably 0.29-1.47 MPa. The thermocompression bonding time is preferably 20 to 400 seconds, more preferably 30 to 300 seconds. Lamination is preferably carried out under reduced pressure conditions of 26.7 hPa or less.

積層は、市販の真空ラミネーターによって行うことができる。市販の真空ラミネーターとしては、例えば、名機製作所社製の真空加圧式ラミネーター、ニッコー・マテリアルズ社製のバキュームアップリケーター等が挙げられる。 Lamination can be done with a commercially available vacuum laminator. Commercially available vacuum laminators include, for example, a vacuum pressurized laminator manufactured by Meiki Seisakusho, a vacuum applicator manufactured by Nikko Materials, and the like.

積層の後に、常圧下(大気圧下)、例えば、加熱圧着部材を支持体側からプレスすることにより、積層された接着フィルムの平滑化処理を行ってもよい。平滑化処理のプレス条件は、上記積層の加熱圧着条件と同様の条件とすることができる。平滑化処理は、市販のラミネーターによって行うことができる。なお、積層と平滑化処理は、上記の市販の真空ラミネーターを用いて連続的に行ってもよい。 After lamination, the laminated adhesive film may be smoothed under normal pressure (atmospheric pressure), for example, by pressing a thermocompression member from the support side. The pressing conditions for the smoothing treatment may be the same as the thermocompression bonding conditions for the lamination described above. Smoothing treatment can be performed with a commercially available laminator. Lamination and smoothing may be performed continuously using the above-mentioned commercially available vacuum laminator.

支持体は、工程(I)と工程(II)の間に除去してもよく、工程(II)の後に除去してもよい。 The support may be removed between steps (I) and (II) or after step (II).

工程(II)において、樹脂組成物層を熱硬化して絶縁層を形成する。 In step (II), the resin composition layer is thermally cured to form an insulating layer.

樹脂組成物層の熱硬化条件は特に限定されず、プリント配線板の絶縁層を形成するに際して通常採用される条件を使用してよい。 The thermosetting conditions for the resin composition layer are not particularly limited, and conditions that are commonly used for forming insulating layers of printed wiring boards may be used.

例えば、樹脂組成物層の熱硬化条件は、樹脂組成物の種類等によっても異なる。例えば、硬化温度は120~240℃の範囲(好ましくは150~220℃の範囲、より好ましくは170~200℃の範囲)である。硬化時間は5~120分間の範囲(好ましくは10~100分間、より好ましくは15~90分間)である。 For example, the thermosetting conditions for the resin composition layer differ depending on the type of the resin composition. For example, the curing temperature is in the range of 120-240°C (preferably in the range of 150-220°C, more preferably in the range of 170-200°C). Curing times range from 5 to 120 minutes (preferably 10 to 100 minutes, more preferably 15 to 90 minutes).

樹脂組成物層を熱硬化させる前に、樹脂組成物層を硬化温度よりも低い温度にて予備加熱してもよい。例えば、樹脂組成物層を熱硬化させるのに先立ち、50℃以上120℃未満(好ましくは60℃以上110℃以下、より好ましくは70℃以上100℃以下)の温度にて、樹脂組成物層を5分間以上(好ましくは5~150分間、より好ましくは15~120分間)予備加熱してもよい。 Before thermosetting the resin composition layer, the resin composition layer may be preheated at a temperature lower than the curing temperature. For example, prior to thermosetting the resin composition layer, the resin composition layer is cured at a temperature of 50° C. or more and less than 120° C. (preferably 60° C. or more and 110° C. or less, more preferably 70° C. or more and 100° C. or less). Preheating may be performed for 5 minutes or more (preferably 5 to 150 minutes, more preferably 15 to 120 minutes).

プリント配線板を製造するに際しては、(III)絶縁層に穴あけする工程、(IV)絶縁層を粗化処理する工程、(V)絶縁層表面に導体層を形成する工程をさらに実施してもよい。これらの工程(III)乃至(V)は、プリント配線板の製造に用いられる、当業者に公知の各種方法に従って実施してよい。なお、支持体を工程(II)の後に除去する場合、該支持体の除去は、工程(II)と工程(III)との間、工程(III)と工程(IV)の間、又は工程(IV)と工程(V)との間に実施してよい。 When manufacturing a printed wiring board, (III) the step of drilling holes in the insulating layer, (IV) the step of roughening the insulating layer, and (V) the step of forming a conductor layer on the surface of the insulating layer may be further carried out. good. These steps (III) to (V) may be carried out according to various methods known to those skilled in the art that are used in the manufacture of printed wiring boards. When the support is removed after step (II), the support may be removed between step (II) and step (III), between step (III) and step (IV), or step ( It may be carried out between IV) and step (V).

他の実施形態において、本発明のプリント配線板は、上述のプリプレグを用いて製造することができる。製造方法は基本的に接着フィルムを用いる場合と同様である。 In another embodiment, the printed wiring board of the present invention can be manufactured using the prepreg described above. The manufacturing method is basically the same as in the case of using an adhesive film.

工程(III)は、絶縁層に穴あけする工程であり、これにより絶縁層にビアホール、スルーホール等のホールを形成することができる。工程(III)は、絶縁層の形成に使用した樹脂組成物の組成等に応じて、例えば、ドリル、レーザー、プラズマを使用して実施してよい。ホールの寸法や形状は、プリント配線板のデザインに応じて適宜決定してよい。 Step (III) is a step of making holes in the insulating layer, whereby holes such as via holes and through holes can be formed in the insulating layer. Step (III) may be performed using, for example, a drill, laser, or plasma depending on the composition of the resin composition used for forming the insulating layer. The dimensions and shape of the holes may be appropriately determined according to the design of the printed wiring board.

工程(IV)は、絶縁層を粗化処理する工程である。粗化処理の手順、条件は特に限定されず、プリント配線板の絶縁層を形成するに際して通常使用される公知の手順、条件を採用することができる。例えば、膨潤液による膨潤処理、酸化剤による粗化処理、中和液による中和処理をこの順に実施して絶縁層を粗化処理することができる。 Step (IV) is a step of roughening the insulating layer. The procedure and conditions of the roughening treatment are not particularly limited, and known procedures and conditions that are commonly used in forming insulating layers of printed wiring boards can be employed. For example, the insulating layer can be roughened by performing a swelling treatment with a swelling liquid, a roughening treatment with an oxidizing agent, and a neutralizing treatment with a neutralizing liquid in this order.

膨潤液としては特に限定されない。例えば、アルカリ溶液、界面活性剤溶液が挙げられる。好ましくはアルカリ溶液であり、該アルカリ溶液としては、水酸化ナトリウム溶液、水酸化カリウム溶液がより好ましい。市販されている膨潤液としては、例えば、アトテックジャパン社製の「スウェリング・ディップ・セキュリガンスP」、「スウェリング・ディップ・セキュリガンスSBU」が挙げられる。膨潤液による膨潤処理は、特に限定されない。例えば、30~90℃の膨潤液に絶縁層を1~20分間浸漬することにより行うことができる。絶縁層の樹脂の膨潤を適度なレベルに抑える観点から、40~80℃の膨潤液に硬化体を5~15分間浸漬することが好ましい。 The swelling liquid is not particularly limited. Examples include alkaline solutions and surfactant solutions. An alkaline solution is preferable, and sodium hydroxide solution and potassium hydroxide solution are more preferable as the alkaline solution. Examples of commercially available swelling liquids include "Swelling Dip Securigans P" and "Swelling Dip Securigans SBU" manufactured by Atotech Japan. The swelling treatment with the swelling liquid is not particularly limited. For example, the insulating layer can be immersed in a swelling liquid of 30 to 90° C. for 1 to 20 minutes. From the viewpoint of suppressing swelling of the resin of the insulating layer to an appropriate level, it is preferable to immerse the cured body in a swelling liquid at 40 to 80° C. for 5 to 15 minutes.

酸化剤としては、特に限定されない。例えば、水酸化ナトリウムの水溶液に過マンガン酸カリウムや過マンガン酸ナトリウムを溶解したアルカリ性過マンガン酸溶液が挙げられる。アルカリ性過マンガン酸溶液等の酸化剤による粗化処理は、60~80℃に加熱した酸化剤溶液に絶縁層を10~30分間浸漬して行うことが好ましい。また、アルカリ性過マンガン酸溶液における過マンガン酸塩の濃度は5~10質量%が好ましい。市販されている酸化剤としては、例えば、アトテックジャパン社製の「コンセントレート・コンパクトCP」、「ドージングソリューション・セキュリガンスP」等のアルカリ性過マンガン酸溶液が挙げられる。また、中和液としては、酸性の水溶液が好ましく、市販品としては、例えば、アトテックジャパン社製の「リダクションソリューション・セキュリガントP」が挙げられる。 The oxidizing agent is not particularly limited. For example, an alkaline permanganate solution in which potassium permanganate or sodium permanganate is dissolved in an aqueous solution of sodium hydroxide can be used. The roughening treatment with an oxidizing agent such as an alkaline permanganate solution is preferably carried out by immersing the insulating layer in an oxidizing agent solution heated to 60 to 80° C. for 10 to 30 minutes. Further, the permanganate concentration in the alkaline permanganate solution is preferably 5 to 10% by mass. Examples of commercially available oxidizing agents include alkaline permanganate solutions such as "Concentrate Compact CP" and "Dosing Solution Security P" manufactured by Atotech Japan. Moreover, as a neutralizing liquid, an acidic aqueous solution is preferable, and as a commercial product, for example, "Reduction Solution Securigant P" manufactured by Atotech Japan Co., Ltd. can be mentioned.

中和液による処理は、酸化剤による粗化処理がなされた処理面を30~80℃の中和液に5~30分間浸漬することにより行うことができる。作業性等の点から、酸化剤による粗化処理がなされた対象物を、40~70℃の中和液に5~20分間浸漬する方法が好ましい。 The treatment with the neutralizing solution can be carried out by immersing the treated surface roughened with the oxidizing agent in the neutralizing solution at 30 to 80° C. for 5 to 30 minutes. From the viewpoint of workability, etc., a method of immersing an object roughened with an oxidizing agent in a neutralizing solution at 40 to 70° C. for 5 to 20 minutes is preferable.

工程(V)は、導体層を形成する工程である。 Step (V) is a step of forming a conductor layer.

導体層に使用する導体材料は特に限定されない。好適な実施形態では、導体層は、金、白金、パラジウム、銀、銅、アルミニウム、コバルト、クロム、亜鉛、ニッケル、チタン、タングステン、鉄、スズ及びインジウムからなる群から選択される1種以上の金属を含む。導体層は、単金属層であっても合金層であってもよく、合金層としては、例えば、上記の群から選択される2種以上の金属の合金(例えば、ニッケル・クロム合金、銅・ニッケル合金及び銅・チタン合金)から形成された層が挙げられる。中でも、導体層形成の汎用性、コスト、パターニングの容易性等の観点から、クロム、ニッケル、チタン、アルミニウム、亜鉛、金、パラジウム、銀若しくは銅の単金属層、又はニッケル・クロム合金、銅・ニッケル合金、銅・チタン合金の合金層が好ましく、クロム、ニッケル、チタン、アルミニウム、亜鉛、金、パラジウム、銀若しくは銅の単金属層、又はニッケル・クロム合金の合金層がより好ましく、銅の単金属層が更に好ましい。 The conductor material used for the conductor layer is not particularly limited. In a preferred embodiment, the conductor layer contains one or more selected from the group consisting of gold, platinum, palladium, silver, copper, aluminum, cobalt, chromium, zinc, nickel, titanium, tungsten, iron, tin and indium. Contains metal. The conductor layer may be a single metal layer or an alloy layer, and the alloy layer may be, for example, an alloy of two or more metals selected from the above group (for example, a nickel-chromium alloy, a copper- nickel alloys and copper-titanium alloys). Among them, from the viewpoint of versatility of conductor layer formation, cost, ease of patterning, etc., single metal layers of chromium, nickel, titanium, aluminum, zinc, gold, palladium, silver or copper, nickel-chromium alloys, copper- Nickel alloys and copper/titanium alloy alloy layers are preferred, and single metal layers of chromium, nickel, titanium, aluminum, zinc, gold, palladium, silver or copper, or nickel/chromium alloy alloy layers are more preferred, and copper single metal layers are preferred. A metal layer is more preferred.

導体層は、単層構造であってもよく、異なる種類の金属若しくは合金からなる単金属層又は合金層が2層以上積層した複層構造であってもよい。導体層が複層構造である場合、絶縁層と接する層は、クロム、亜鉛若しくはチタンの単金属層、又はニッケル・クロム合金の合金層であることが好ましい。 The conductor layer may have a single layer structure, or may have a multi-layer structure in which two or more single metal layers or alloy layers made of different kinds of metals or alloys are laminated. When the conductor layer has a multilayer structure, the layer in contact with the insulating layer is preferably a single metal layer of chromium, zinc or titanium, or an alloy layer of nickel-chromium alloy.

導体層の厚さは、所望のプリント配線板のデザインによるが、一般に3~35μmであり、好ましくは5~30μmである。 The thickness of the conductor layer is generally 3-35 μm, preferably 5-30 μm, depending on the desired printed wiring board design.

一実施形態において、導体層は、メッキにより形成してよい。例えば、セミアディティブ法、フルアディティブ法等の従来公知の技術により絶縁層の表面にメッキして、所望の配線パターンを有する導体層を形成することができる。 In one embodiment, the conductor layer may be formed by plating. For example, a conductive layer having a desired wiring pattern can be formed by plating the surface of the insulating layer by a conventionally known technique such as a semi-additive method or a full-additive method.

他の実施形態において、導体層は、金属箔を使用して形成してよい。金属箔を使用して導体層を形成する場合、工程(V)は、工程(I)と工程(II)の間に実施することが好適である。例えば、工程(I)の後、支持体を除去し、露出した樹脂組成物層の表面に金属箔を積層する。樹脂組成物層と金属箔との積層は、真空ラミネート法により実施してよい。積層の条件は、工程(I)について説明した条件と同様としてよい。次いで、工程(II)を実施して絶縁層を形成する。その後、絶縁層上の金属箔を利用して、サブトラクティブ法、モディファイドセミアディティブ法等の従来の公知の技術により、所望の配線パターンを有する導体層を形成することができる。 In other embodiments, the conductor layer may be formed using a metal foil. When forming the conductor layer using a metal foil, step (V) is preferably performed between step (I) and step (II). For example, after step (I), the support is removed and a metal foil is laminated on the exposed surface of the resin composition layer. Lamination of the resin composition layer and the metal foil may be carried out by a vacuum lamination method. The lamination conditions may be the same as those described for step (I). Then, step (II) is performed to form an insulating layer. After that, using the metal foil on the insulating layer, a conductor layer having a desired wiring pattern can be formed by conventional known techniques such as the subtractive method and the modified semi-additive method.

金属箔は、例えば、電解法、圧延法等の公知の方法により製造することができる。金属箔の市販品としては、例えば、JX日鉱日石金属社製のHLP箔、JXUT-III箔、三井金属鉱山社製の3EC-III箔、TP-III箔等が挙げられる。 A metal foil can be manufactured by a known method such as an electrolysis method or a rolling method. Commercially available metal foils include, for example, HLP foil and JXUT-III foil manufactured by JX Nippon Mining & Metals Co., Ltd., 3EC-III foil and TP-III foil manufactured by Mitsui Kinzoku Mining Co., Ltd., and the like.

(A)成分、(B)成分、及び(C)成分を組み合わせて含む本発明の樹脂組成物を使用してプリント配線板を製造する場合、導体層をメッキにより形成するか金属箔を使用して形成するかの別を問わず、導体層と絶縁層との密着性を著しく向上させることができる。 When producing a printed wiring board using the resin composition of the present invention containing a combination of components (A), (B), and (C), the conductor layer is formed by plating or a metal foil is used. Adhesion between the conductor layer and the insulating layer can be remarkably improved regardless of whether or not the layer is formed through the contact.

[13.半導体装置]
本発明の半導体装置は、本発明のプリント配線板を含む。
[13. semiconductor device]
A semiconductor device of the present invention includes the printed wiring board of the present invention.

半導体装置としては、電気製品(例えば、コンピューター、携帯電話、デジタルカメラ及びテレビ等)及び乗物(例えば、自動二輪車、自動車、電車、船舶及び航空機等)等に供される各種半導体装置が挙げられる。 Examples of semiconductor devices include various semiconductor devices used in electrical appliances (eg, computers, mobile phones, digital cameras, televisions, etc.) and vehicles (eg, motorcycles, automobiles, trains, ships, aircraft, etc.).

本発明の半導体装置は、プリント配線板の導通箇所に、部品(半導体チップ)を実装することにより製造することができる。「導通箇所」とは、「プリント配線板における電気信号を伝える箇所」であって、その場所は表面であっても、埋め込まれた箇所であってもいずれでも構わない。また、半導体チップは半導体を材料とする電気回路素子であれば特に限定されない。 The semiconductor device of the present invention can be manufactured by mounting a component (semiconductor chip) on a conductive portion of a printed wiring board. A "conducting part" is a "part where an electric signal is transmitted on a printed wiring board", and the place may be a surface or an embedded part. Also, the semiconductor chip is not particularly limited as long as it is an electric circuit element made of a semiconductor.

本発明の半導体装置を製造する際の半導体チップの実装方法は、半導体チップが有効に機能しさえすれば、特に限定されない。例えば、ワイヤボンディング実装方法、フリップチップ実装方法、バンプなしビルドアップ層(BBUL)による実装方法、異方性導電フィルム(ACF)による実装方法、非導電性フィルム(NCF)による実装方法が挙げられる。ここで、「バンプなしビルドアップ層(BBUL)による実装方法」とは、「半導体チップをプリント配線板の凹部に直接埋め込み、半導体チップとプリント配線板上の配線とを接続させる実装方法」のことである。 The method of mounting the semiconductor chip when manufacturing the semiconductor device of the present invention is not particularly limited as long as the semiconductor chip functions effectively. For example, there are a wire bonding mounting method, a flip chip mounting method, a mounting method using a bumpless buildup layer (BBUL), a mounting method using an anisotropic conductive film (ACF), and a mounting method using a non-conductive film (NCF). Here, "a mounting method using a build-up layer without bumps (BBUL)" means "a mounting method in which a semiconductor chip is directly embedded in a concave portion of a printed wiring board and the semiconductor chip and wiring on the printed wiring board are connected." is.

以下、本発明について、実施例を示して具体的に説明する。ただし、本発明は、以下に示す実施例に限定されるものでは無い。以下の説明において、量を表す「部」及び「%」は、別に断らない限り、質量基準である。 EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be specifically described with reference to examples. However, the present invention is not limited to the examples shown below. In the following description, "parts" and "%" representing amounts are based on mass unless otherwise specified.

<実施例1>
ビキシレノール型エポキシ樹脂(三菱化学社製「YX4000HK」、エポキシ当量約185)25部、ビスフェノールA型エポキシ樹脂(三菱化学社製「828US」、エポキシ当量約180)10部をソルベントナフサ25部に撹拌しながら加熱溶解し、その後室温にまで冷却した。無機充填材(アドマテックス社製「SO-C2」、平均粒径0.5μm、単位表面積当たりのカーボン量0.38mg/m)315部を混合し、3本ロールで混練し分散させた。そこへ、ビニル基を有する活性エステル系硬化剤(エア・ウォーター社製「PC1300-02-65MA」、活性基当量約199の不揮発分65%のメチルアミルケトン溶液)69.2部、ビニル基を有する樹脂(三菱瓦斯化学社製「OPE-2St 1200」、不揮発分60%のトルエン溶液)25部、インデンクマロン樹脂(日塗化学製「H-100」)15部、硬化促進剤として4-ジメチルアミノピリジン(DMAP)の5%のMEK溶液2部及びジクミルパーオキサイド(日油社製「パークミル D」)0.13部を混合し、回転ミキサーで均一に分散して、樹脂ワニス1を作製した。
<Example 1>
25 parts of bixylenol type epoxy resin ("YX4000HK" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, epoxy equivalent of about 185) and 10 parts of bisphenol A type epoxy resin ("828US" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, epoxy equivalent of about 180) are stirred into 25 parts of solvent naphtha. The solution was dissolved by heating while stirring, and then cooled to room temperature. 315 parts of an inorganic filler (“SO-C2” manufactured by Admatechs, average particle size 0.5 μm, carbon amount per unit surface area 0.38 mg/m 2 ) was mixed and kneaded and dispersed with a triple roll. Then, 69.2 parts of an active ester curing agent having a vinyl group ("PC1300-02-65MA" manufactured by Air Water Co., Ltd., a methyl amyl ketone solution having an active group equivalent of about 199 and a non-volatile content of 65%) and a vinyl group were added. Resin ("OPE-2St 1200" manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd., a toluene solution with a nonvolatile content of 60%) 25 parts, indene cumarone resin (manufactured by Nihon Chemical "H-100") 15 parts, 4 as a curing accelerator 2 parts of a 5% MEK solution of dimethylaminopyridine (DMAP) and 0.13 parts of dicumyl peroxide ("Percumyl D" manufactured by NOF Corporation) are mixed and uniformly dispersed in a rotating mixer to obtain resin varnish 1. made.

樹脂ワニス1を、アルキド系離型処理付きポリエチレンテレフタレートフィルム(リンテック社製「AL-5」、厚さ38μm)の離型面上に、乾燥後の樹脂組成物層の厚みが40μmとなるようにダイコーターにて均一に塗布し、80~110℃(平均95℃)で5分間乾燥し、接着フィルム1を作製した。 Resin varnish 1 is applied on the release surface of a polyethylene terephthalate film with alkyd release treatment (“AL-5” manufactured by Lintec, thickness 38 μm) so that the thickness of the resin composition layer after drying is 40 μm. The adhesive film 1 was prepared by uniformly coating with a die coater and drying at 80 to 110° C. (average 95° C.) for 5 minutes.

<実施例2>
実施例1において、ビニル基を有する活性エステル系硬化剤(エア・ウォーター社製「PC1300-02-65MA」、活性基当量約199の不揮発分65%のメチルアミルケトン溶液)69.2部中30.8部を活性エステル系硬化剤(DIC者製「HPC-8000-65T」、活性基当量約223の不揮発分65%のトルエン溶液)30.8部に変更した。以上の事項以外は実施例1と同様にして樹脂ワニス2及び接着フィルム2を作製した。
<Example 2>
In Example 1, 30 out of 69.2 parts of an active ester curing agent having a vinyl group (“PC1300-02-65MA” manufactured by Air Water Co., Ltd., a methyl amyl ketone solution with an active group equivalent weight of about 199 and a non-volatile content of 65%) 8 parts was replaced with 30.8 parts of an active ester curing agent ("HPC-8000-65T" manufactured by DIC, a toluene solution with an active group equivalent weight of about 223 and a non-volatile content of 65%). A resin varnish 2 and an adhesive film 2 were produced in the same manner as in Example 1 except for the above matters.

<実施例3>
実施例1において、ビキシレノール型エポキシ樹脂(三菱化学社製「YX4000HK」、エポキシ当量約185)25部中5部をビニル基を有する樹脂(三菱瓦斯化学社製「OPE-2St 1200」、不揮発分60%のトルエン溶液)8.3部に変更した。以上の事項以外は実施例1と同様にして樹脂ワニス3及び接着フィルム3を作製した。
<Example 3>
In Example 1, 5 parts out of 25 parts of bixylenol type epoxy resin ("YX4000HK" manufactured by Mitsubishi Chemical Co., epoxy equivalent of about 185) was added to resin having a vinyl group ("OPE-2St 1200" manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd., non-volatile 60% toluene solution) to 8.3 parts. A resin varnish 3 and an adhesive film 3 were produced in the same manner as in Example 1 except for the above matters.

<実施例4>
実施例1において、ビニル基を有する樹脂(三菱瓦斯化学社製「OPE-2St 1200」、不揮発分60%のトルエン溶液)25部をジオキサンアクリルモノマー(新中村化学工業社製「A-DOG」)15部に変更した。以上の事項以外は実施例1と同様にして樹脂ワニス4及び接着フィルム4を作製した。
<Example 4>
In Example 1, a resin having a vinyl group ("OPE-2St 1200" manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd., a toluene solution with a nonvolatile content of 60%) was added to 25 parts of a dioxane acrylic monomer ("A-DOG" manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.). Changed to 15 copies. A resin varnish 4 and an adhesive film 4 were produced in the same manner as in Example 1 except for the above matters.

<比較例1>
実施例1において、ビニル基を有する活性エステル系硬化剤(エア・ウォーター社製「PC1300-02-65MA」、活性基当量約199の不揮発分65%のメチルアミルケトン溶液)を活性エステル系硬化剤(DIC社製「HPC-8000-65T」、活性基当量約223の不揮発分65%のトルエン溶液)に変更した。以上の事項以外は実施例1と同様にして樹脂ワニス5及び接着フィルム5を作製した。
<Comparative Example 1>
In Example 1, an active ester curing agent having a vinyl group (“PC1300-02-65MA” manufactured by Air Water, a methyl amyl ketone solution having an active group equivalent of about 199 and a non-volatile content of 65%) was added as an active ester curing agent. ("HPC-8000-65T" manufactured by DIC, a toluene solution with an active group equivalent of about 223 and a non-volatile content of 65%). A resin varnish 5 and an adhesive film 5 were produced in the same manner as in Example 1 except for the above matters.

<比較例2>
実施例1において、ビニル基を有する活性エステル系硬化剤(エア・ウォーター社製「PC1300-02-65MA」、活性基当量約199の不揮発分65%のメチルアミルケトン溶液)を活性エステル系硬化剤(DIC社製「EXB-8000L-65TM」、活性基当量約220の不揮発分65%のトルエン溶液)に変更した。以上の事項以外は実施例1と同様にして樹脂ワニス6及び接着フィルム6を作製した。
<Comparative Example 2>
In Example 1, an active ester curing agent having a vinyl group (“PC1300-02-65MA” manufactured by Air Water, a methyl amyl ketone solution having an active group equivalent of about 199 and a non-volatile content of 65%) was added as an active ester curing agent. ("EXB-8000L-65TM" manufactured by DIC, a toluene solution with an active group equivalent of about 220 and a non-volatile content of 65%). A resin varnish 6 and an adhesive film 6 were produced in the same manner as in Example 1 except for the above matters.

<比較例3>
実施例1において、ビニル基を有する活性エステル系硬化剤(エア・ウォーター社製「PC1300-02-65MA」、活性基当量約199の不揮発分65%のメチルアミルケトン溶液)69.2部を活性エステル系硬化剤(DIC社製「EXB-9416L-70BK」、活性基当量約330の不揮発分70%のトルエン溶液)64.3部に変更した。以上の事項以外は実施例1と同様にして樹脂ワニス7及び接着フィルム7を作製した。
<Comparative Example 3>
In Example 1, 69.2 parts of an active ester curing agent having a vinyl group (“PC1300-02-65MA” manufactured by Air Water Co., Ltd., a methyl amyl ketone solution with an active group equivalent of about 199 and a non-volatile content of 65%) was activated. The ester curing agent (“EXB-9416L-70BK” manufactured by DIC, a toluene solution with an active group equivalent of about 330 and a non-volatile content of 70%) was changed to 64.3 parts. A resin varnish 7 and an adhesive film 7 were produced in the same manner as in Example 1 except for the above matters.

[評価方法]
上述した実施例及び比較例で得た接着フィルムを、下記の方法によって評価した。
[Evaluation method]
The adhesive films obtained in the above Examples and Comparative Examples were evaluated by the following methods.

<硬化物性評価用サンプルの作製>
実施例及び比較例で得た接着フィルムを190℃で90分間熱硬化させ、支持体のPETを剥離することによりシート状の硬化物評価用サンプルを作製した。
<Preparation of sample for evaluation of cured physical properties>
The adhesive films obtained in Examples and Comparative Examples were thermally cured at 190° C. for 90 minutes, and the PET support was peeled off to prepare a sheet-like cured product evaluation sample.

<誘電正接の測定>
硬化物性評価用サンプルから、幅2mm、長さ80mmの試験片を切り取った。切り出した試験片について、アジレントテクノロジーズ(Agilent Technologies)社製の測定装置「HP8362B」を用いて、空洞共振摂動法により、測定周波数5.8GHz、測定温度23℃にて誘電正接を測定した。
なお、0.0035以下である場合を「優」と評価し、0.0037以下である場合を「良」と評価し、0.0037超である場合を「不良」と評価した。
<Measurement of dielectric loss tangent>
A test piece having a width of 2 mm and a length of 80 mm was cut from the cured physical property evaluation sample. The dielectric loss tangent of the cut test piece was measured at a measurement frequency of 5.8 GHz and a measurement temperature of 23° C. by a cavity resonance perturbation method using a measuring device "HP8362B" manufactured by Agilent Technologies.
A value of 0.0035 or less was evaluated as "excellent", a value of 0.0037 or less was evaluated as "good", and a value of more than 0.0037 was evaluated as "bad".

<ガラス転移温度の測定>
硬化物性評価用サンプルを、幅約5mm、長さ約15mmの試験片に切断し、熱機械分析装置(リガク社製「Thermo Plus TMA8310」)を使用して、引張加重法にて熱機械分析を行った。詳細には、試験片を前記熱機械分析装置に装着した後、荷重1g、昇温速度5℃/分の測定条件にて連続して2回測定した。そして2回目の測定において、ガラス転移温度(Tg;℃)を算出した。
なお、138℃超である場合を「良」と評価し、138℃以下である場合を「不良」と評価した。
<Measurement of glass transition temperature>
A sample for evaluation of cured physical properties is cut into a test piece having a width of about 5 mm and a length of about 15 mm, and a thermomechanical analysis device ("Thermo Plus TMA8310" manufactured by Rigaku Co., Ltd.) is used to perform thermomechanical analysis by a tensile load method. gone. Specifically, after mounting the test piece on the thermomechanical analyzer, the measurement was performed twice continuously under the measurement conditions of a load of 1 g and a temperature increase rate of 5° C./min. Then, in the second measurement, the glass transition temperature (Tg; °C) was calculated.
In addition, the case of exceeding 138° C. was evaluated as “good”, and the case of 138° C. or lower was evaluated as “poor”.

<密着性の測定>
(1)銅箔の下地処理
三井金属鉱山社製「3EC-III」(電界銅箔、35μm)の光沢面をメック社製メックエッチボンド「CZ-8101」に浸漬して銅表面に粗化処理(Ra値=1μm)を行い、防錆処理(CL8300)を施した。この銅箔をCZ銅箔という。さらに、130℃のオーブンで30分間加熱処理した。
<Measurement of adhesion>
(1) Surface treatment of copper foil The glossy surface of “3EC-III” (electrolytic copper foil, 35 μm) manufactured by Mitsui Kinzoku Mining Co., Ltd. is immersed in MEC Etch Bond “CZ-8101” manufactured by MEC Co., Ltd. to roughen the copper surface. (Ra value = 1 µm), and an antirust treatment (CL8300) was applied. This copper foil is called CZ copper foil. Further, heat treatment was performed in an oven at 130° C. for 30 minutes.

(2)銅箔のラミネートと絶縁層形成
実施例及び比較例で作製した接着フィルムを、バッチ式真空加圧ラミネーター(名機社製「MVLP-500」)を用いて、樹脂組成物層が内層回路基板と接合するように、内層回路基板の両面にラミネート処理した。ラミネート処理は、30秒間減圧して気圧を13hPa以下とした後、100℃、圧力0.74MPaで30秒間圧着することにより行った。ラミネート処理された接着フィルムから支持体であるPETフィルムを剥離した。その樹脂組成物層上に、「3EC-III」のCZ銅箔の処理面を、上記と同様の条件で、ラミネートした。そして、190℃、90分の硬化条件で樹脂組成物層を硬化して絶縁層を形成することで、サンプルを作製した。
(2) Lamination of copper foil and formation of an insulating layer The adhesive films prepared in Examples and Comparative Examples are laminated using a batch-type vacuum pressure laminator ("MVLP-500" manufactured by Meiki Co., Ltd.), and the resin composition layer is the inner layer. Both sides of the inner layer circuit board were laminated so as to be bonded to the circuit board. The lamination process was carried out by pressure bonding for 30 seconds at 100° C. and pressure of 0.74 MPa after reducing the pressure to 13 hPa or less for 30 seconds. The PET film as the support was peeled off from the laminated adhesive film. The treated surface of the "3EC-III" CZ copper foil was laminated on the resin composition layer under the same conditions as above. Then, a sample was produced by curing the resin composition layer under curing conditions of 190° C. for 90 minutes to form an insulating layer.

(3)銅箔引き剥がし強さ(密着性)の測定
作製したサンプルを150×30mmの小片に切断した。小片の銅箔部分に、カッターを用いて幅10mm、長さ100mmの部分の切込みをいれて、銅箔の一端を剥がしてつかみ具(ティー・エス・イー社製、オートコム型試験機、「AC-50C-SL」)で掴み、インストロン万能試験機を用いて、室温中にて、50mm/分の速度で垂直方向に35mmを引き剥がした時の荷重をJIS C6481に準拠して測定し、「密着性」とした。
なお、0.3kgf/cm超である場合を「良」と評価し、0.3kgf/cm以下である場合を「不良」と評価した。
(3) Measurement of Copper Foil Peeling Strength (Adhesion) The prepared sample was cut into small pieces of 150×30 mm. Using a cutter, cut the copper foil portion of the small piece with a width of 10 mm and a length of 100 mm. AC-50C-SL"), and using an Instron universal testing machine, at room temperature, measure the load when peeling off 35 mm in the vertical direction at a speed of 50 mm / min in accordance with JIS C6481. , "adhesion".
In addition, the case of exceeding 0.3 kgf/cm was evaluated as "good", and the case of 0.3 kgf/cm or less was evaluated as "poor".

<結果>
上述した実施例及び比較例の結果を、下記の表に示す。下記の表において、略称の意味は、下記のとおりである。
YX4000HK:ビキシレノール型エポキシ樹脂(三菱化学社製「YX4000HK」)
828US:ビスフェノールA型エポキシ樹脂(三菱化学社製「828US」)
PC1300-02:ビニル基を有する活性エステル系硬化剤(エア・ウォーター社製「PC1300-02-65MA」)
HPC-8000:活性エステル系硬化剤(DIC社製「HPC-8000-65T」)
EXB-8000L:活性エステル系硬化剤(DIC社製「EXB-8000L-65TM」)
EXB-9416:活性エステル系硬化剤(DIC社製「EXB-9416L-70BK」)
OPE-2St 1200:ビニル基を有する樹脂(三菱瓦斯化学社製「OPE-2St 1200」)
A-DOG:ジオキサンアクリルモノマー(新中村化学工業社製「A-DOG」)
H-100:インデンクマロン樹脂(日塗化学製「H-100」)
SOC2:球状シリカ(アドマテックス社製「SO-C2」)
パークミル D:ジクミルパーオキサイド(日油社製「パークミル D」)
DMAP:4-ジメチルアミノピリジン
なお、表中、配合量は固形分換算値である。
<Results>
The results of the examples and comparative examples described above are shown in the table below. In the table below, the abbreviations have the following meanings.
YX4000HK: bixylenol type epoxy resin ("YX4000HK" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation)
828US: Bisphenol A type epoxy resin ("828US" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation)
PC1300-02: Active ester curing agent having a vinyl group ("PC1300-02-65MA" manufactured by Air Water)
HPC-8000: Active ester curing agent ("HPC-8000-65T" manufactured by DIC)
EXB-8000L: Active ester curing agent (manufactured by DIC "EXB-8000L-65TM")
EXB-9416: Active ester curing agent (manufactured by DIC "EXB-9416L-70BK")
OPE-2St 1200: resin having a vinyl group (“OPE-2St 1200” manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd.)
A-DOG: dioxane acrylic monomer (“A-DOG” manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.)
H-100: Indene cumarone resin ("H-100" manufactured by Nichinori Chemical)
SOC2: Spherical silica ("SO-C2" manufactured by Admatechs)
Parkmil D: dicumyl peroxide (NOF Corporation "Parkmil D")
DMAP: 4-dimethylaminopyridine In addition, in the table, the compounding amount is a solid content conversion value.

Figure 0007180657000012
Figure 0007180657000012

[検討]
活性エステル系硬化剤を用いた比較例1~3は、ガラス転移温度、及び密着性に劣る。特に、比較例3で用いたナフタレン構造を含む活性エステル系硬化剤では、誘電正接も僅かに劣るものであった。
これに対して、(B)成分を用いた実施例1~4は、誘電正接の値を低く維持したまましたまま、ガラス転移温度を高くし、且つ、良好な密着性を示した。よって、これら実施例1~4、比較例1~3の結果から、(A)成分、(B)成分、及び(C)成分を組み合わせることによって、誘電正接が低く、ガラス転移温度が高く、導電層との密着性の良好な絶縁層を得ることができる樹脂組成物を実現できることが確認された。
[examination]
Comparative Examples 1 to 3 using an active ester curing agent are inferior in glass transition temperature and adhesiveness. In particular, the active ester curing agent containing a naphthalene structure used in Comparative Example 3 was slightly inferior in dielectric loss tangent.
On the other hand, Examples 1 to 4 using the component (B) increased the glass transition temperature while maintaining a low dielectric loss tangent value, and exhibited good adhesion. Therefore, from the results of Examples 1 to 4 and Comparative Examples 1 to 3, by combining the (A) component, (B) component, and (C) component, the dielectric loss tangent is low, the glass transition temperature is high, and the conductive It was confirmed that a resin composition capable of obtaining an insulating layer having good adhesion to a layer can be realized.

Claims (10)

(A)エポキシ樹脂、(B)炭素-炭素不飽和結合を有する活性エステル化合物、及び(C)不飽和炭化水素基を有する樹脂を含有し、
前記(A)成分の含有量が、樹脂成分を100質量%とした場合、10~50質量%であり、
前記(B)成分が、スチリル基を有する活性エステル化合物であり、
(C)成分が、一般式(2)で表される化合物、及び一般式(8)で表される化合物のいずれかである樹脂組成物。
Figure 0007180657000013
一般式(2)中、R~Rは、それぞれ独立に、水素原子又は炭素数1~4のアルキル基を表し、Aは、下記一般式(3)又は下記一般式(4)で表される構造を表す。
Figure 0007180657000014
一般式(3)中、Bは、下記一般式(B-1)、(B-2)又は(B-3)で表される構造を表す。
Figure 0007180657000015
一般式(4)中、Dは、下記一般式(5)で表される構造を表す。
Figure 0007180657000016
一般式(5)中、R~R14は、それぞれ独立に、水素原子、炭素数6以下のアルキル基又はフェニル基を表し、a、bは、少なくとも一方が0でない0~100の整数である。Bは、下記一般式(B-1)、(B-2)又は(B-3)で表される構造を表す。
Figure 0007180657000017
一般式(B-1)中、R15~R18は、それぞれ独立に、水素原子、炭素数6以下のアルキル基又はフェニル基を表す。
一般式(B-2)中、R19~R26は、それぞれ独立に、水素原子、炭素数6以下のアルキル基又はフェニル基を表す。
一般式(B-3)中、R27~R34は、それぞれ独立に、水素原子、炭素数6以下のアルキル基又はフェニル基を表す。Eは、炭素数20以下の直鎖状、分岐状又は環状の2価の炭化水素基を表す。
Figure 0007180657000018
(A) an epoxy resin, (B) an active ester compound having a carbon-carbon unsaturated bond, and (C) a resin having an unsaturated hydrocarbon group,
The content of the component (A) is 10 to 50% by mass when the resin component is 100% by mass,
the component (B) is an active ester compound having a styryl group,
A resin composition in which the component (C) is either a compound represented by the general formula (2) or a compound represented by the general formula (8).
Figure 0007180657000013
In general formula (2), R 1 to R 6 each independently represent a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, and A is represented by general formula (3) or general formula (4) below. represents a structure that is
Figure 0007180657000014
In general formula (3), B represents a structure represented by general formula (B-1), (B-2) or (B-3) below.
Figure 0007180657000015
In general formula (4), D represents a structure represented by general formula (5) below.
Figure 0007180657000016
In general formula (5), R 7 to R 14 each independently represent a hydrogen atom, an alkyl group having 6 or less carbon atoms, or a phenyl group, and at least one of a and b is an integer of 0 to 100 and not 0. be. B represents a structure represented by the following general formula (B-1), (B-2) or (B-3).
Figure 0007180657000017
In general formula (B-1), R 15 to R 18 each independently represent a hydrogen atom, an alkyl group having 6 or less carbon atoms, or a phenyl group.
In general formula (B-2), R 19 to R 26 each independently represent a hydrogen atom, an alkyl group having 6 or less carbon atoms, or a phenyl group.
In general formula (B-3), R 27 to R 34 each independently represent a hydrogen atom, an alkyl group having 6 or less carbon atoms, or a phenyl group. E represents a linear, branched or cyclic divalent hydrocarbon group having 20 or less carbon atoms.
Figure 0007180657000018
前記(B)成分の含有量が、樹脂成分を100質量%とした場合、10~60質量%である請求項1に記載の樹脂組成物。 2. The resin composition according to claim 1, wherein the content of component (B) is 10 to 60% by mass based on 100% by mass of the resin component. 前記(C)成分の含有量が、樹脂成分を100質量%とした場合、3~30質量%である請求項1又は2に記載の樹脂組成物。 3. The resin composition according to claim 1, wherein the content of the component (C) is 3 to 30% by mass when the resin component is 100% by mass. 前記(B)成分が、下記一般式(1)で表される化合物を含む請求項1~3のいずれか1項に記載の樹脂組成物。
Figure 0007180657000019
(前記一般式(1)中、mは1~6の整数を表し、nは1~20の整数を表す。)
The resin composition according to any one of claims 1 to 3, wherein the component (B) contains a compound represented by the following general formula (1).
Figure 0007180657000019
(In the general formula (1), m represents an integer of 1 to 6, and n represents an integer of 1 to 20.)
前記(C)成分が、アクリル基、スチリル基、又はアリル基を有する樹脂である請求項1~4のいずれか1項に記載の樹脂組成物。 5. The resin composition according to any one of claims 1 to 4, wherein the component (C) is a resin having an acrylic group , a styryl group, or an allyl group. プリント配線板の絶縁層形成用である請求項1~5のいずれか1項に記載の樹脂組成物。 The resin composition according to any one of claims 1 to 5, which is used for forming an insulating layer of a printed wiring board. (C)成分が、下記一般式(6)、下記式(7)又は下記式(8)で表される化合物である、請求項1から6のいずれか1項に記載の樹脂組成物。
Figure 0007180657000020
一般式(6)中、R~Rは、それぞれ独立に、水素原子又は炭素数1~4のアルキル基を表し、Bは、下記一般式(B-1)、(B-2)又は(B-3)で表される構造を表し、a、bは、少なくとも一方が0でない0~100の整数である。
Figure 0007180657000021
一般式(B-1)中、R15~R18は、それぞれ独立に、水素原子、炭素数6以下のアルキル基又はフェニル基を表す。
一般式(B-2)中、R19~R26は、それぞれ独立に、水素原子、炭素数6以下のアルキル基又はフェニル基を表す。
一般式(B-3)中、R27~R34は、それぞれ独立に、水素原子、炭素数6以下のアルキル基又はフェニル基を表し、Eは、炭素数20以下の直鎖状、分岐状又は環状の2価の炭化水素基を表す。
7. The resin composition according to any one of claims 1 to 6, wherein component (C) is a compound represented by the following general formula (6), formula (7) or formula (8) below.
Figure 0007180657000020
In general formula (6), R 1 to R 6 each independently represent a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, and B is the following general formula (B-1), (B-2) or Represents the structure represented by (B-3), in which at least one of a and b is an integer of 0 to 100 and not 0.
Figure 0007180657000021
In general formula (B-1), R 15 to R 18 each independently represent a hydrogen atom, an alkyl group having 6 or less carbon atoms, or a phenyl group.
In general formula (B-2), R 19 to R 26 each independently represent a hydrogen atom, an alkyl group having 6 or less carbon atoms, or a phenyl group.
In general formula (B-3), R 27 to R 34 each independently represent a hydrogen atom, an alkyl group having 6 or less carbon atoms or a phenyl group, and E is a linear or branched chain having 20 or less carbon atoms. or represents a cyclic divalent hydrocarbon group.
請求項1~のいずれか1項に記載の樹脂組成物を含む、シート状積層材料。 A sheet-like laminate material comprising the resin composition according to any one of claims 1 to 7 . 請求項1~のいずれか1項に記載の樹脂組成物の硬化物により形成された絶縁層を含む、プリント配線板。 A printed wiring board comprising an insulating layer formed from a cured product of the resin composition according to any one of claims 1 to 7 . 請求項に記載のプリント配線板を含む、半導体装置。 A semiconductor device comprising the printed wiring board according to claim 9 .
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