Deprecated: The each() function is deprecated. This message will be suppressed on further calls in /home/zhenxiangba/zhenxiangba.com/public_html/phproxy-improved-master/index.php on line 456
JP7189664B2 - LASER DEVICE AND LASER DEVICE CONTROL METHOD - Google Patents
[go: Go Back, main page]

JP7189664B2 - LASER DEVICE AND LASER DEVICE CONTROL METHOD - Google Patents

LASER DEVICE AND LASER DEVICE CONTROL METHOD Download PDF

Info

Publication number
JP7189664B2
JP7189664B2 JP2018020417A JP2018020417A JP7189664B2 JP 7189664 B2 JP7189664 B2 JP 7189664B2 JP 2018020417 A JP2018020417 A JP 2018020417A JP 2018020417 A JP2018020417 A JP 2018020417A JP 7189664 B2 JP7189664 B2 JP 7189664B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
current
laser element
heaters
supplied
oscillation wavelength
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2018020417A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2019140183A (en
Inventor
直記 征矢
篤司 山本
卓弘 横山
良貴 屋冨祖
賢宜 木村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Furukawa Electric Co Ltd
Original Assignee
Furukawa Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Furukawa Electric Co Ltd filed Critical Furukawa Electric Co Ltd
Priority to JP2018020417A priority Critical patent/JP7189664B2/en
Publication of JP2019140183A publication Critical patent/JP2019140183A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP7189664B2 publication Critical patent/JP7189664B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Semiconductor Lasers (AREA)

Description

本発明は、レーザ装置およびレーザ素子の制御方法に関するものである。 The present invention relates to a laser device and a method of controlling a laser element.

従来、半導体レーザ素子等のレーザ素子において、発熱量の変化に起因する発振波長の変化を抑制するために様々な技術が開示されている(特許文献1~3)。これらの技術は、レーザ素子の駆動電流や温度を制御することで、発振波長の変化を抑制するものである。 2. Description of the Related Art Conventionally, various techniques have been disclosed for suppressing changes in oscillation wavelength caused by changes in the amount of heat generated in laser devices such as semiconductor laser devices (Patent Documents 1 to 3). These techniques control the drive current and temperature of the laser element to suppress changes in the oscillation wavelength.

一方、波長可変レーザ素子において、バーニア効果を利用して発振波長を可変とする構成が開示されている(特許文献4)。この波長可変レーザ素子では、回折格子やリング共振器などの波長特性可変素子をヒータによって加熱することによって波長特性を変更し、これによって発振波長を変更する。また、波長可変レーザ素子に半導体光増幅器が集積されている場合もある。 On the other hand, in a wavelength tunable laser device, a configuration is disclosed in which the oscillation wavelength is made variable using the vernier effect (Patent Document 4). In this wavelength tunable laser element, the wavelength characteristic is changed by heating a wavelength characteristic variable element such as a diffraction grating or a ring resonator with a heater, thereby changing the oscillation wavelength. In some cases, a semiconductor optical amplifier is integrated in the tunable laser device.

特許第6000494号公報Japanese Patent No. 6000494 特開2015-201549号公報JP 2015-201549 A 特許第5473451号公報Japanese Patent No. 5473451 特開2016-178283号公報JP 2016-178283 A

特許文献4に開示される波長可変レーザ素子のようなレーザ素子は、ヒータや半導体光増幅器等、レーザ素子内に複数の発熱源が存在する。これらの発熱源は、電力が供給されることによってレーザ素子の発振波長または光出力を制御するためのものであり、以下、制御素子と記載する。 A laser element such as the wavelength tunable laser element disclosed in Patent Document 4 has a plurality of heat sources such as heaters and semiconductor optical amplifiers in the laser element. These heat sources are for controlling the oscillation wavelength or optical output of the laser element by being supplied with electric power, and are hereinafter referred to as control elements.

レーザ素子内に複数の制御素子が存在する結果、或る制御素子が発する熱が他の制御素子に影響を与えて、レーザ素子の発振波長が設定値から変化してしまう場合がある。 As a result of the presence of a plurality of control elements in the laser element, heat generated by one control element may affect other control elements, causing the oscillation wavelength of the laser element to change from its set value.

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、レーザ素子の発振波長の変化を抑制できるレーザ装置およびレーザ素子の制御方法を提供することを目的とする。 SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a laser device and a laser element control method capable of suppressing changes in the oscillation wavelength of a laser element.

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の一態様に係るレーザ装置は、電力が供給されることで発振波長または光出力を制御する複数の制御素子を有するレーザ素子と、前記複数の制御素子に供給する前記電力を制御する制御部と、を備え、前記制御部は、前記電力として、前記制御素子の少なくとも一つの発熱量を示す指標値に応じて設定された補償量によって補償された電力を、少なくとも一つの他の前記制御素子に供給することを特徴とする。 In order to solve the above-described problems and achieve the object, a laser device according to an aspect of the present invention includes a laser element having a plurality of control elements for controlling an oscillation wavelength or an optical output when power is supplied; a control unit configured to control the electric power supplied to the plurality of control elements, wherein the control unit includes, as the electric power, a compensation amount set according to an index value indicating an amount of heat generated by at least one of the control elements. to at least one other control element.

本発明の一態様に係るレーザ装置は、前記複数の制御素子は、前記レーザ素子の発振波長を制御する波長特性可変素子を加熱するヒータ、および、前記レーザ素子の光出力を制御するための半導体光増幅器を含むことを特徴とする。 In the laser device according to an aspect of the present invention, the plurality of control elements include a heater that heats a wavelength characteristic variable element that controls the oscillation wavelength of the laser element, and a semiconductor that controls the optical output of the laser element. It is characterized by including an optical amplifier.

本発明の一態様に係るレーザ装置は、波長特性変化の周期が互いに異なる複数の前記波長特性可変素子を含み、前記レーザ素子は、前記複数の波長特性可変素子の組み合わせによるバーニア効果を利用して発振波長が制御されることを特徴とする。 A laser device according to an aspect of the present invention includes a plurality of wavelength characteristic variable elements having different wavelength characteristic change periods, and the laser element utilizes a vernier effect due to a combination of the plurality of wavelength characteristic variable elements. It is characterized in that the oscillation wavelength is controlled.

本発明の一態様に係るレーザ装置は、前記制御部は、前記少なくとも一つの制御素子の指標値の時間変化に応じて、前記補償量を時間的に変化させることを特徴とする。 A laser device according to an aspect of the present invention is characterized in that the control unit temporally changes the compensation amount in accordance with a temporal change in the index value of the at least one control element.

本発明の一態様に係るレーザ装置は、電力が供給されることで発振波長または光出力を制御する複数の制御素子を有するレーザ素子と、前記複数の制御素子に供給する前記電力を制御する制御部と、を備え、前記複数の制御素子は、前記レーザ素子の発振波長を制御する複数の波長特性可変素子を加熱する複数のヒータを含み、前記制御部は、前記電力として、前記制御素子の少なくとも一つの発熱量を示す指標値および設定された発振波長に応じて定まる、前記複数のヒータに供給する電力の相関関係によって決定される電力を、前記複数のヒータに供給することを特徴とする。 A laser device according to an aspect of the present invention includes a laser element having a plurality of control elements for controlling an oscillation wavelength or an optical output when power is supplied, and a controller for controlling the power supplied to the plurality of control elements. a unit, wherein the plurality of control elements include a plurality of heaters for heating a plurality of wavelength characteristic variable elements that control the oscillation wavelength of the laser element; Power determined by a correlation of power supplied to the plurality of heaters, which is determined according to at least one index value indicating a heat generation amount and a set oscillation wavelength, is supplied to the plurality of heaters. .

本発明の一態様に係るレーザ素子の制御方法は、電力が供給されることで発振波長または光出力を制御する複数の制御素子を有するレーザ素子の制御方法であって、前記複数の制御素子に供給する前記電力を制御する制御工程を含み、前記制御工程において、前記電力として、前記制御素子の少なくとも一つの発熱量を示す指標値に応じて設定された補償量によって補償された電力を、少なくとも一つの他の前記制御素子に供給することを特徴とする。 A method of controlling a laser element according to an aspect of the present invention is a method of controlling a laser element having a plurality of control elements for controlling an oscillation wavelength or an optical output by supplying electric power, wherein the plurality of control elements have a control step of controlling the electric power to be supplied, wherein the electric power is at least electric power compensated by a compensation amount set in accordance with an index value indicating the amount of heat generated by at least one of the control elements; It is characterized in that it is supplied to one other control element.

本発明の一態様に係るレーザ素子の制御方法は、電力が供給されることで発振波長または光出力を制御する複数の制御素子を有し、前記複数の制御素子が前記発振波長を制御する複数の波長特性可変素子を加熱する複数のヒータを含むレーザ素子の制御方法であって、前記複数の制御素子に供給する前記電力を制御する制御工程を含み、前記制御工程において、前記電力として、前記制御素子の少なくとも一つの発熱量を示す指標値および設定された発振波長に応じて定まる、前記複数のヒータに供給する電力の相関関係によって決定される電力を、前記複数のヒータに供給することを特徴とする。 A method for controlling a laser element according to an aspect of the present invention includes a plurality of control elements that control an oscillation wavelength or an optical output by being supplied with power, and the plurality of control elements control the oscillation wavelength. A control method for a laser element including a plurality of heaters for heating a wavelength characteristic variable element of the above, comprising a control step of controlling the power supplied to the plurality of control elements, wherein the power is the supplying to the plurality of heaters the power determined by the correlation of the power supplied to the plurality of heaters, which is determined according to at least one index value indicating the amount of heat generated by the control element and the set oscillation wavelength; Characterized by

本発明によれば、レーザ素子の発振波長の変化を抑制できるという効果を奏する。 Advantageous Effects of Invention According to the present invention, it is possible to suppress changes in the oscillation wavelength of a laser element.

図1は、実施形態に係るレーザ装置の構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram of a laser device according to an embodiment. 図2は、制御例1の制御フローを示す図である。FIG. 2 is a diagram illustrating a control flow of Control Example 1. FIG. 図3は、SOA電流と補償量との時間変化の一例を説明する図である。FIG. 3 is a diagram illustrating an example of temporal changes in SOA current and compensation amount. 図4は、DBR電流、リング電流、発振波長の関係の一例を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing an example of the relationship between DBR current, ring current, and oscillation wavelength. 図5は、DBR電流、リング電流、発振波長の関係の変化の一例を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing an example of changes in the relationship between the DBR current, ring current, and oscillation wavelength. 図6は、制御例2の制御フローを示す図である。FIG. 6 is a diagram illustrating a control flow of Control Example 2. FIG.

以下に、図面を参照して本発明の実施形態を詳細に説明する。なお、この実施形態によりこの発明が限定されるものではない。また、各図面において、同一または対応する要素には適宜同一の符号を付し、重複説明を省略する。 Embodiments of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings. In addition, this invention is not limited by this embodiment. Further, in each drawing, the same or corresponding elements are denoted by the same reference numerals as appropriate, and redundant description is omitted.

図1は、実施形態に係るレーザ装置の構成図である。このレーザ装置100は、レーザ素子101と、制御部102と、受光素子103と、を備えている。 FIG. 1 is a configuration diagram of a laser device according to an embodiment. This laser device 100 includes a laser element 101 , a control section 102 and a light receiving element 103 .

レーザ素子101は、たとえば特許文献4に開示されている、光導波路で構成された波長可変型の半導体レーザ素子であって、リング状導波路101aと、アーム部101b、101cと、DBR(Distributed Bragg Reflector)回折格子101dと、利得部101eと、半導体光増幅器(SOA)101fと、ヒータ101g、101h、101iと、を備えている。 The laser element 101 is a wavelength tunable semiconductor laser element composed of an optical waveguide disclosed in Patent Document 4, for example, and includes a ring waveguide 101a, arm portions 101b and 101c, and a DBR (Distributed Bragg reflector) diffraction grating 101d, a gain section 101e, a semiconductor optical amplifier (SOA) 101f, and heaters 101g, 101h, and 101i.

リング状導波路101aと、アーム部101b、101cとの組み合わせは、光の周波数的に周期的な反射ピークを持つ第1櫛状反射スペクトルを有する反射ミラーとして機能する。DBR回折格子101dは、たとえば標本化回折格子であり、光の周波数的に周期的な反射ピークを持つ第2櫛状反射スペクトルを有する回折格子として機能する。第1櫛状反射スペクトルと第2櫛状反射スペクトルとは反射ピークの周期(波長特性変化の周期)が互いに異なる。また、この反射ミラーと回折格子とがレーザ素子101におけるレーザ共振器を構成している。利得部101eは活性コア層を有し、電力が供給されることで発光し、かつ光増幅作用を発揮する。レーザ素子101は、反射ミラーの第1櫛状反射スペクトルの反射ピークと、回折格子の第2櫛状スペクトルの反射ピークと、レーザ共振器の縦モードとが一致した波長でレーザ発振する。レーザ発振によって発生したレーザ光は、活性コア層を有しており、電力が供給されることで光増幅作用を発揮するSOA101fによって光増幅され、レーザ光Lとして出力される。 The combination of the ring-shaped waveguide 101a and the arm portions 101b and 101c functions as a reflection mirror having a first comb-shaped reflection spectrum with periodic reflection peaks in terms of light frequency. The DBR diffraction grating 101d is, for example, a sampling diffraction grating, and functions as a diffraction grating having a second comb-shaped reflection spectrum with frequency-periodic reflection peaks of light. The first comb-shaped reflection spectrum and the second comb-shaped reflection spectrum have different periods of reflection peaks (periods of changes in wavelength characteristics). Also, the reflecting mirror and the diffraction grating constitute a laser resonator in the laser element 101 . The gain section 101e has an active core layer, emits light when supplied with power, and exhibits an optical amplification effect. The laser element 101 oscillates at a wavelength at which the reflection peak of the first comb-shaped reflection spectrum of the reflecting mirror, the reflection peak of the second comb-shaped spectrum of the diffraction grating, and the longitudinal mode of the laser resonator coincide. A laser beam generated by laser oscillation is optically amplified by the SOA 101f that has an active core layer and exerts an optical amplification action by being supplied with power, and is output as laser beam L. FIG.

ヒータ101gは、リング状導波路101aに設けられたリング状のヒータであり、制御部102から電力を供給されることでリング状導波路101aを加熱する。リング状導波路101aが加熱されることで、第1櫛状反射スペクトの反射ピークが波長軸上でシフトする。 The heater 101g is a ring-shaped heater provided in the ring-shaped waveguide 101a, and heats the ring-shaped waveguide 101a by being supplied with electric power from the control section 102. FIG. By heating the ring-shaped waveguide 101a, the reflection peak of the first comb-shaped reflection spectrum shifts on the wavelength axis.

ヒータ101hは、アーム部101cの一部に設けられたヒータであり、制御部102から電力を供給されることでアーム部101cの一部を加熱する。アーム部101cの一部が加熱されることで、レーザ共振器の共振器長(光学長)が変化し、縦モードの波長が波長軸上で全体的にシフトする。ヒータ101hで加熱された部分は位相調整部として機能する。 The heater 101h is a heater provided in a portion of the arm portion 101c, and heats a portion of the arm portion 101c by being supplied with power from the control portion 102. FIG. By heating a part of the arm portion 101c, the cavity length (optical length) of the laser cavity changes, and the wavelength of the longitudinal mode shifts as a whole on the wavelength axis. The portion heated by the heater 101h functions as a phase adjuster.

ヒータ101iは、DBR回折格子101dに設けられたヒータであり、制御部102から電力を供給されることでDBR回折格子101dを加熱する。DBR回折格子101dが加熱されることで、第2櫛状反射スペクトの反射ピークが波長軸上でシフトする。 The heater 101i is a heater provided in the DBR diffraction grating 101d, and heats the DBR diffraction grating 101d by being supplied with power from the control unit 102. FIG. By heating the DBR diffraction grating 101d, the reflection peak of the second comb-shaped reflection spectrum shifts on the wavelength axis.

ヒータ101gおよびヒータ101iの少なくとも一方およびヒータ101hによって加熱を行うことで、反射ミラーの第1櫛状反射スペクトルの反射ピークと、回折格子の第2櫛状スペクトルの反射ピークと、レーザ共振器の縦モードとが一致する波長、すなわち発振波長を変化させることができる。これによりレーザ素子101は波長可変レーザ素子として機能する。 By heating with at least one of the heater 101g and the heater 101i and the heater 101h, the reflection peak of the first comb-shaped reflection spectrum of the reflecting mirror, the reflection peak of the second comb-shaped spectrum of the diffraction grating, and the vertical The wavelength that matches the mode, that is, the oscillation wavelength can be changed. Thereby, the laser element 101 functions as a wavelength tunable laser element.

以上のように、レーザ素子101は、2つの波長特性可変素子である回折格子と反射ミラーとの組み合わせによるバーニア効果を利用して発振波長が制御される。そして、ヒータ101g、101h、101iは、電力が供給されることでレーザ素子101の発振波長を制御す制御素子である。また、SOA101fは、電力が供給されることでレーザ素子101の光出力(レーザ光Lのパワー)を制御する制御素子である。なお、ヒータ101g、101h、101iは発熱体であり、SOA101fは、供給された電力のエネルギーのうち、光増幅に使用されなかったエネルギーの一部が熱となって発熱する発熱体である。 As described above, the oscillation wavelength of the laser element 101 is controlled using the vernier effect resulting from the combination of the two wavelength characteristic variable elements, the diffraction grating and the reflecting mirror. The heaters 101g, 101h, and 101i are control elements that control the oscillation wavelength of the laser element 101 by being supplied with electric power. The SOA 101f is a control element that controls the optical output of the laser element 101 (the power of the laser light L) by supplying power. The heaters 101g, 101h, and 101i are heat generating elements, and the SOA 101f is a heat generating element that generates heat from a part of the energy of the supplied electric power that is not used for optical amplification.

制御部102は、ヒータ101g、101h、101i、SOA101f、利得部101eに供給する電力を制御する。受光素子103は、たとえばフォトダイオードであり、レーザ素子101が出力するレーザ光Lの一部を受光して、その受光強度に応じた電流信号を制御部102に出力する。 The control unit 102 controls power supplied to the heaters 101g, 101h, 101i, the SOA 101f, and the gain unit 101e. The light receiving element 103 is, for example, a photodiode, receives part of the laser light L output from the laser element 101, and outputs a current signal corresponding to the received light intensity to the control unit 102. FIG.

制御部102は、演算部102aと、記録部102bと、入力部102cと、出力部102dと、電力供給部102eと、を少なくとも備えている。演算部102aは、たとえばCPUを含んでおり、制御のための各種演算処理を行う。記録部102bは、演算部102aが演算処理を行うために使用する各種プログラムやデータ等が格納されるROMなどの記録部と、演算部102aが演算処理を行う際の作業スペースや演算部102aの演算処理の結果等を記録する等のために使用されるRAMなどの記録部とを備えている。 The control unit 102 includes at least a calculation unit 102a, a recording unit 102b, an input unit 102c, an output unit 102d, and a power supply unit 102e. The calculation unit 102a includes, for example, a CPU, and performs various calculation processes for control. The recording unit 102b includes a recording unit such as a ROM in which various programs and data used by the calculation unit 102a for arithmetic processing are stored, a work space when the calculation unit 102a performs calculation processing, and a storage space for the calculation unit 102a. It also has a recording unit such as a RAM used for recording the results of arithmetic processing.

入力部102cは、レーザ装置100の上位装置などからの指示信号や、受光素子103からの電流信号や、SOA101fの電流モニタ信号の入力を受け付ける。受け付けた信号に含まれる情報は記録部102bに記録される。入力部102cはたとえばアナログ-デジタルコンバータ(ADC)を備えている。出力部102dは、演算部102aが演算処理により生成した指示信号を受け付け、適当な指示信号に変換して電力供給部102eに出力する。出力部102dたとえばデジタル-アナログコンバータ(DAC)を備えている。電力供給部102eは、指示信号に基づいてヒータ101g、101h、101i、SOA101f、利得部101eに電力を供給するものであり、たとえばDC電源を備えている。 The input unit 102c receives an instruction signal from a host device of the laser device 100, a current signal from the light receiving element 103, and a current monitor signal from the SOA 101f. Information contained in the received signal is recorded in the recording unit 102b. Input section 102c comprises, for example, an analog-to-digital converter (ADC). The output unit 102d receives the instruction signal generated by the arithmetic processing performed by the arithmetic unit 102a, converts it into an appropriate instruction signal, and outputs it to the power supply unit 102e. Output section 102d comprises, for example, a digital-to-analog converter (DAC). The power supply unit 102e supplies power to the heaters 101g, 101h, 101i, the SOA 101f, and the gain unit 101e based on the instruction signal, and includes, for example, a DC power supply.

(制御例1)
つぎに、制御部102が実行するレーザ素子101の制御例1について、図2のフロー図を参照して説明する。始めに、ステップS101において、演算部102aは、レーザ装置100の上位装置などからの指示信号に基づいて、ヒータ101g、101h、101i、SOA101f、利得部101eに供給する電力を設定する。この電力は、補償の際の基準となる電力である。本例では、電圧は一定であるので、電力に代えて電流を設定するものとし、電力と電流は適宜変換できるものとする。これらの供給する電流の値は、指示信号に情報として含まれていてもよいし、テーブルデータとして記録部102bに記録されており、指示信号に含まれる、レーザ素子101に対する設定発振波長と設定光出力の値の情報に基づいてテーブルデータから選択されてもよい。
(Control example 1)
Next, control example 1 of the laser device 101 executed by the control unit 102 will be described with reference to the flowchart of FIG. First, in step S101, the calculation unit 102a sets power to be supplied to the heaters 101g, 101h, 101i, the SOA 101f, and the gain unit 101e, based on an instruction signal from a host device of the laser device 100 or the like. This power is a reference power for compensation. In this example, since the voltage is constant, the current is set instead of the power, and the power and the current can be appropriately converted. These supplied current values may be included as information in the instruction signal, or may be recorded as table data in the recording unit 102b. It may be selected from the table data based on the output value information.

つづいて、ステップS102において、演算部102aは、補償量を取得する。本例では、表1に示すように、SOA101fに設定された電流(SOA電流)の値に対応して、ヒータ101iに設定された電流に対する電流補償量(DBR電流補償量)、ヒータ101gに設定された電流に対する電流補償量(リング電流補償量)、ヒータ101hに設定された電流に対する電流補償量(位相電流補償量)がテーブルデータとして記録部102bに記録されている。演算部102aは記録部102bに記録されているテーブルデータから補償量を読み出して取得する。SOA電流は、SOA101fの発熱量を示す指標値であり、各補償量は、この指標値である電流値に応じて設定されている。具体的には、各補償量は、SOA101fが発した熱の流入によって、設定された発振波長を得るためにリング状導波路101a、アーム部101cの一部(位相調整部)、DBR回折格子101dが本来受けるべき熱量に対して、熱を過剰に受けてしまうことの影響を相殺するためのものである。表1からわかるように、SOA電流が大きい程、SOA101fが発する熱量は大きくなるので、それだけ補償量は大きくなる。なお、設定されたSOA電流がテーブルデータに無い場合は、テーブルデータに有るSOA電流から線形補間等で補完して求めた補償量を用いてもよい。 Subsequently, in step S102, the calculation unit 102a acquires the compensation amount. In this example, as shown in Table 1, the current compensation amount (DBR current compensation amount) for the current set to the heater 101i is set to the heater 101g corresponding to the value of the current (SOA current) set to the SOA 101f. A current compensation amount (ring current compensation amount) for the set current and a current compensation amount (phase current compensation amount) for the current set to the heater 101h are recorded as table data in the recording unit 102b. The calculation unit 102a reads and acquires the compensation amount from the table data recorded in the recording unit 102b. The SOA current is an index value indicating the amount of heat generated by the SOA 101f, and each compensation amount is set according to the current value, which is the index value. Specifically, each amount of compensation is set to the ring-shaped waveguide 101a, part of the arm portion 101c (phase adjustment portion), and the DBR diffraction grating 101d in order to obtain the set oscillation wavelength by the inflow of heat generated by the SOA 101f. This is to offset the influence of receiving excessive heat with respect to the amount of heat that should originally be received. As can be seen from Table 1, the larger the SOA current, the larger the amount of heat generated by the SOA 101f, and the larger the amount of compensation. If the set SOA current does not exist in the table data, a compensation amount obtained by interpolating the SOA current in the table data by linear interpolation or the like may be used.

Figure 0007189664000001
Figure 0007189664000001

つづいて、ステップS103において、演算部102aは、補償量の立ち上げ方を計算する。SOA電流を変更する場合には、変更前の現在値から変更後の目標値にステップ的に変更するのではなく、図3に示すように変更開始時である時間ゼロから徐々に増加させ、時間t1で目標値に達するように時間変化させる場合がある。この場合、SOA電流の時間変化に応じて、補償量も現在値から目標値に連続的に変化させることが好ましい。尚このような場合、SOA電流の変更に応じてDBR電流補償量、リング電流補償量、位相電流補償量のうちいずれか複数の補償量を時間変化させる場合には、互いに異なる時定数をもって変化させるようにしても良い。これにより、SOA電流の時間変化に応じた最適な補償量を各時間において適用することができる。 Subsequently, in step S103, the calculation unit 102a calculates how to raise the compensation amount. When changing the SOA current, instead of stepwise changing the current value before change to the target value after change, as shown in FIG. In some cases, the time is changed so that the target value is reached at t1. In this case, it is preferable to continuously change the compensation amount from the current value to the target value in accordance with the time change of the SOA current. In such a case, if any one of the DBR current compensation amount, the ring current compensation amount, and the phase current compensation amount is to be changed with time according to the change in the SOA current, they are changed with different time constants. You can do it. This makes it possible to apply an optimum amount of compensation at each time according to the time change of the SOA current.

つづいて、ステップS104において、演算部102aは、電力供給部102eに出力する指示信号に含まれる情報としての指示値を計算し、ステップS105において、指示値の情報を含んだ指示信号を電力供給部102eに出力する。電力供給部102eは、指示値に基づいて、ヒータ101g、101h、101i、SOA101f、利得部101eに電流を供給する。 Subsequently, in step S104, the calculation unit 102a calculates an instruction value as information included in the instruction signal to be output to the power supply unit 102e. 102e. The power supply unit 102e supplies current to the heaters 101g, 101h, 101i, the SOA 101f, and the gain unit 101e based on the indicated value.

ここで、電力供給部102eが、SOA101f以外の他の制御素子であるヒータ101g、101h、101iに与える電流は、レーザ装置100の上位装置などからの指示信号に基づいてヒータ101g、101h、101iに対して設定された電流値(補償の基準となる値)から、それぞれの補償量を減算した、補償された電流である。なお、図3のようにSOA電流を時間的に変化させる場合は、ステップS104、S105における指示値も時間的に変化させる。その結果、リング状導波路101a、アーム部101cの一部(位相調整部)、DBR回折格子101dは、それぞれ設定された発振波長を得るために本来受ける熱量が与えられる。これにより、SOA101fが発する熱の影響によるレーザ素子101の発振波長の変化を抑制できる。 Here, currents supplied from the power supply unit 102e to the heaters 101g, 101h, and 101i, which are control elements other than the SOA 101f, are supplied to the heaters 101g, 101h, and 101i based on instruction signals from a higher-level device of the laser device 100 or the like. It is a compensated current obtained by subtracting the amount of each compensation from the current value (value that serves as a reference for compensation) set for each. When the SOA current is changed with time as shown in FIG. 3, the indicated values in steps S104 and S105 are also changed with time. As a result, the ring-shaped waveguide 101a, part of the arm portion 101c (phase adjustment portion), and the DBR diffraction grating 101d are given the amount of heat that they should receive in order to obtain the set oscillation wavelength. This can suppress the change in the oscillation wavelength of the laser element 101 due to the heat generated by the SOA 101f.

なお、上記実施形態では、SOA電流の設定値に対応してDBR電流補償量、リング電流補償量、位相電流補償量がテーブルデータとして記録部102bに記録されているが、表2のように、SOA電流の設定値に対応してDBR電力補償量、リング電力補償量、位相電力補償量がテーブルデータとして記録部102bに記録されていてもよい。 In the above embodiment, the DBR current compensation amount, the ring current compensation amount, and the phase current compensation amount are recorded as table data in the recording unit 102b corresponding to the set value of the SOA current. The DBR power compensation amount, the ring power compensation amount, and the phase power compensation amount may be recorded as table data in the recording unit 102b corresponding to the set value of the SOA current.

Figure 0007189664000002
Figure 0007189664000002

また、表1や表2のテーブルデータでは、SOA電流は設定値であるが、設定値の代わりにSOA101fの電流モニタ値でもよい。また、SOA101fの光出力に対応して、DBR電流補償量、リング電流補償量、位相電流補償量、またはこれらに対応する電力補償量がテーブルデータとして記録部102bに記録されており、受光素子103からの電流信号に基づいてSOA101fの光出力をモニタし、モニタしたSOA光出力に対応する補償量をテーブルデータから取得するようにしてもよい。 Also, in the table data of Tables 1 and 2, the SOA current is a set value, but the current monitor value of the SOA 101f may be used instead of the set value. Further, corresponding to the optical output of the SOA 101f, DBR current compensation amount, ring current compensation amount, phase current compensation amount, or power compensation amount corresponding to these are recorded as table data in the recording unit 102b. The optical output of the SOA 101f may be monitored based on the current signal from the SOA 101f, and the compensation amount corresponding to the monitored SOA optical output may be obtained from the table data.

また、上記実施形態では、SOA電流を、SOA101fの発熱量を示す指標値とし、各補償量は、この指標値である電流値に応じて設定されている。しかしながら、本発明はこれに限らず、表3に示すように、DBR電流とリング電流を、それぞれヒータ101i、101gの発熱量を示す指標値として、各電流値に応じて、位相補償量を設定するようにしてもよい。その他、DBR電流とリング電流と位相電流とのいずれか2つを指標値として、各電流に応じて、他の1つの補償量を設定してもよい。 In the above embodiment, the SOA current is used as an index value indicating the amount of heat generated by the SOA 101f, and each compensation amount is set according to the current value, which is the index value. However, the present invention is not limited to this. As shown in Table 3, the DBR current and the ring current are used as index values indicating the amount of heat generated by the heaters 101i and 101g, respectively, and the phase compensation amount is set according to each current value. You may make it Alternatively, any two of the DBR current, the ring current, and the phase current may be used as index values, and another compensation amount may be set according to each current.

Figure 0007189664000003
Figure 0007189664000003

(制御例2)
つぎに、制御部102が実行するレーザ素子101の制御例2について説明する。レーザ素子101の発振波長は、主に反射ミラーの第1櫛状反射スペクトルの反射ピークと、回折格子の第2櫛状スペクトルの反射ピークとの一致で決定される。第1櫛状反射スペクトルはリング電流に応じて変化し、第2櫛状スペクトルはDBR電流に応じて変化するので、発振波長は、DBR電流とリング電流とをパラメータとして、たとえば図4のように曲面で示すことができる。この曲面は、DBR電流とリング電流との相関関係を表しているとも言える。
(Control example 2)
Next, control example 2 of the laser device 101 executed by the control unit 102 will be described. The oscillation wavelength of the laser element 101 is mainly determined by the coincidence of the reflection peak of the first comb-shaped reflection spectrum of the reflecting mirror and the reflection peak of the second comb-shaped spectrum of the diffraction grating. The first comb-shaped reflection spectrum changes according to the ring current, and the second comb-shaped spectrum changes according to the DBR current. It can be represented by a curved surface. It can be said that this curved surface represents the correlation between the DBR current and the ring current.

この曲面は、レーザ素子101の動作状態によって変化する。レーザ素子101の動作状態は、ヒータ101g、101h、101i、SOA101f、利得部101e等の動作状態によって決まるものであり、各素子の動作状態に応じて、各素子に供給される電力も変化する。 This curved surface changes depending on the operating state of the laser element 101 . The operating state of the laser element 101 is determined by the operating state of the heaters 101g, 101h, 101i, the SOA 101f, the gain section 101e, etc. The power supplied to each element changes according to the operating state of each element.

図5は、DBR電流、リング電流、発振波長の関係の変化の一例を示す図であって、図4に示すような曲線を別の形式で表したものである。なお、DBR電流、リング電流の代わりにDBR電力、リング電力をパラメータとしても、同様のグラフとなる。 FIG. 5 is a diagram showing an example of changes in the relationship between the DBR current, the ring current, and the oscillation wavelength, and represents the curve shown in FIG. 4 in another format. It should be noted that even if DBR power and ring power are used as parameters instead of DBR current and ring current, the same graph is obtained.

図5において、λa1、λa2、・・・、λak、・・・、λb1、λb2、・・・、λbk、・・・、λn1、λn2、・・・、λnk、・・・は、特定のリング電流とDBR電流との組み合わせによって得られる発振波長を示しており、互いに異なる波長である。また、たとえばλa1、λa2、・・・、λak、・・・は互いに隣あう設定波長に対応している。同様に、λb1、λb2、・・・、λbk、・・・も互いに隣あう設定波長に対応し、λn1、λn2、・・・、λnk、・・・も互いに隣あう設定波長に対応している。従って、発振波長を連続的に変化させたい場合は、たとえばλa1、λa2、・・・、λak、・・・を結んでいる傾斜した破線に沿うように、リング電流とDBR電流との組み合わせを変化させればよい。 5, λa1, λa2, . . . , λak, . . . , λb1, λb2, . The oscillation wavelengths obtained by combining the current and the DBR current are shown, which are different wavelengths. Also, for example, λa1, λa2, . . . , λak, . Similarly, λb1, λb2, . . . , λbk, . . Therefore, when it is desired to continuously change the oscillation wavelength, the combination of the ring current and the DBR current can be changed along the inclined dashed line connecting λa1, λa2, . Let it be.

ここで、レーザ素子101の動作状態を変化させると、曲面の形状が変化し、λa1、λa2、・・・、λak、・・・を結んでいる傾斜した破線の傾斜角が変化する。このことは、レーザ素子101の動作状態によって、DBR電流とリング電流との相関関係が変化することを意味する。このように動作状態によって相関関係が変化する理由は、以下のように考えられる。すなわち、たとえばレーザ素子101の動作状態によってSOA11fへ供給されるSOA電流やヒータ101hに供給される位相電流が変化し、それぞれの発熱量も変化するので、その熱の影響により、DBR電流とリング電流との相関関係が変化する。 Here, when the operating state of the laser element 101 is changed, the shape of the curved surface changes, and the inclination angle of the inclined dashed line connecting λa1, λa2, . This means that the correlation between the DBR current and the ring current changes depending on the operating state of the laser device 101 . The reason why the correlation changes depending on the operating state is considered as follows. That is, for example, the SOA current supplied to the SOA 11f and the phase current supplied to the heater 101h change depending on the operating state of the laser element 101, and the amount of heat generated by each changes. changes in the correlation with

本制御例2では、制御素子の少なくとも一つの発熱量を示す指標値および設定された発振波長に応じて定まる、DBR電流とリング電流との相関関係を用いてDBR電流とリング電流とを決定し、ヒータ101i、101gにそれぞれ供給する。 In this control example 2, the DBR current and the ring current are determined using the correlation between the DBR current and the ring current, which is determined according to the index value indicating the heat generation amount of at least one of the control elements and the set oscillation wavelength. , heaters 101i and 101g.

以下、制御部102が実行するレーザ素子101の制御例2について、図6のフロー図を参照して説明する。始めに、ステップS201において、演算部102aは、レーザ装置100の上位装置などからの指示信号に基づいて、ヒータ101h、SOA101f、利得部101eに供給する電力を設定する。本例でも、電圧は一定であるので、電力に代えて電流を設定するものとする。これらの供給する電流の値は、指示信号に情報として含まれていてもよいし、テーブルデータとして記録部102bに記録されており、指示信号に含まれる、レーザ素子101に対する設定発振波長と設定光出力の値の情報に基づいてテーブルデータから選択されてもよい。 A control example 2 of the laser element 101 executed by the control unit 102 will be described below with reference to the flowchart of FIG. First, in step S201, the calculation unit 102a sets the power to be supplied to the heater 101h, the SOA 101f, and the gain unit 101e based on an instruction signal from a host device of the laser device 100 or the like. Also in this example, since the voltage is constant, the current is set instead of the power. These supplied current values may be included as information in the instruction signal, or may be recorded as table data in the recording unit 102b. It may be selected from the table data based on the output value information.

つづいて、ステップS202において、演算部102aは、相関関係を取得する。本例では、SOA電流および設定発振波長に応じて定まる、DBR電流とリング電流との相関関係が、テーブルデータまたは関数として記録部102bに記録されている。SOA電流は、SOA101fの発熱量を示す指標値である。SOA101fの発熱量は、設定発振波長を実現する際のDBR電流とリング電流との相関関係に影響を与える。なお、設定されたSOA電流がテーブルデータに無い場合は、テーブルデータに有るSOA電流から線形補間等で補完して求めた相関関係を用いてもよい。 Subsequently, in step S202, the calculation unit 102a acquires the correlation. In this example, the correlation between the DBR current and the ring current determined according to the SOA current and the set oscillation wavelength is recorded in the recording unit 102b as table data or a function. The SOA current is an index value indicating the amount of heat generated by the SOA 101f. The amount of heat generated by the SOA 101f affects the correlation between the DBR current and the ring current when achieving the set oscillation wavelength. If the set SOA current is not found in the table data, the correlation obtained by complementing the SOA current found in the table data by linear interpolation or the like may be used.

つづいて、ステップS204において、演算部102aは、電力供給部102eに出力する指示信号に含まれる情報としての指示値を計算し、ステップS205において、指示値の情報を含んだ指示信号を電力供給部102eに出力する。電力供給部102eは、指示値に基づいて、ヒータ101g、101h、101i、SOA101f、利得部101eに電流を供給する。 Subsequently, in step S204, the calculation unit 102a calculates an instruction value as information included in the instruction signal to be output to the power supply unit 102e. 102e. The power supply unit 102e supplies current to the heaters 101g, 101h, 101i, the SOA 101f, and the gain unit 101e based on the indicated value.

電力供給部102eがヒータ101g、101iに与える電流(それぞれ、リング電流、DBR電流)は、SOA電流および設定発振波長に応じて定まる相関関係によって決定された電流である。その結果、リング状導波路101a、DBR回折格子101dは、それぞれ設定された発振波長を得るために適正な熱量が与えられる。これにより、SOA101fが発する熱の影響によるレーザ素子101の発振波長の変化を抑制できる。 The currents (ring current and DBR current, respectively) supplied to the heaters 101g and 101i by the power supply unit 102e are currents determined by the correlation determined according to the SOA current and the set oscillation wavelength. As a result, the ring-shaped waveguide 101a and the DBR diffraction grating 101d are given an appropriate amount of heat to obtain the respective set oscillation wavelengths. This can suppress the change in the oscillation wavelength of the laser element 101 due to the heat generated by the SOA 101f.

なお、上記制御例2では、SOA101fの発熱量を示す指標値であるSOA電流および設定発振波長に応じて定まる、DBR電流とリング電流との相関関係を用いているが、ヒータ101hの発熱量を示す指標値である位相電流および設定発振波長に応じて定まる、DBR電流とリング電流との相関関係を用いてもよい。 In the control example 2, the correlation between the DBR current and the ring current, which is determined according to the SOA current, which is an index value indicating the amount of heat generated by the SOA 101f, and the set oscillation wavelength, is used. A correlation between the DBR current and the ring current, which is determined according to the phase current and the set oscillation wavelength, which are index values, may be used.

また、上記実施形態により本発明が限定されるものではない。上述した各構成要素を適宜組み合わせて構成したものも本発明に含まれる。また、さらなる効果や変形例は、当業者によって容易に導き出すことができる。よって、本発明のより広範な態様は、上記の実施形態に限定されるものではなく、様々な変更が可能である。 Moreover, the present invention is not limited by the above embodiments. The present invention also includes those configured by appropriately combining the respective constituent elements described above. Further effects and modifications can be easily derived by those skilled in the art. Therefore, broader aspects of the present invention are not limited to the above-described embodiments, and various modifications are possible.

100 レーザ装置
101 レーザ素子
101a リング状導波路
101b、101c アーム部
101d DBR回折格子
101e 利得部
101g、101h、101i ヒータ
102 制御部
102a 演算部
102b 記録部
102c 入力部
102d 出力部
102e 電力供給部
103 受光素子
L レーザ光
100 laser device 101 laser element 101a ring-shaped waveguides 101b, 101c arm portion 101d DBR diffraction grating 101e gain portions 101g, 101h, 101i heater 102 control portion 102a calculation portion 102b recording portion 102c input portion 102d output portion 102e power supply portion 103 light receiving Device L Laser light

Claims (2)

レーザ素子であって、
前記レーザ素子の発振波長を制御する、波長特性変化の周期が互いに異なる複数の波長特性可変素子と、
電力が供給されることで複数の前記波長特性可変素子を加熱する複数のヒータと、
電力が供給されることで前記レーザ素子の光出力を制御する半導体光増幅器と、
を含むレーザ素子と、
前記複数のヒータおよび前記半導体光増幅器に供給する前記電力を制御する制御部と、
発振波長と、前記半導体光増幅器の発熱量を示す指標値とに対応づけて、複数の前記ヒータに供給する電力の相関関係を記憶する記憶部と、
を備え、
前記半導体光増幅器の発熱量を示す前記指標値は、所定の発振波長を実現する際の前記複数のヒータに供給する電力の前記相関関係に影響を与え、
前記制御部は、前記複数の波長特性可変素子の組み合わせによるバーニア効果を利用して前記発振波長を制御するとともに、前記半導体光増幅器に供給される電力のモニタ値を前記指標値とし、前記指標値および設定された発振波長に応じて定まる、複数の前記ヒータに供給する電力の前記相関関係によって決定される電力を、複数の前記ヒータに供給することを特徴とするレーザ装置。
A laser element,
a plurality of wavelength characteristic variable elements having different cycles of wavelength characteristic change for controlling the oscillation wavelength of the laser element;
a plurality of heaters that heat the plurality of wavelength characteristic variable elements by being supplied with electric power;
a semiconductor optical amplifier that controls the optical output of the laser element by being supplied with electric power;
a laser element comprising
a control unit that controls the power supplied to the plurality of heaters and the semiconductor optical amplifier;
a storage unit that stores a correlation of power supplied to the plurality of heaters in association with an oscillation wavelength and an index value indicating an amount of heat generated by the semiconductor optical amplifier;
with
the index value indicating the amount of heat generated by the semiconductor optical amplifier affects the correlation of power supplied to the plurality of heaters when realizing a predetermined oscillation wavelength,
The control unit controls the oscillation wavelength by using a vernier effect resulting from a combination of the plurality of wavelength characteristic variable elements, and uses a monitor value of power supplied to the semiconductor optical amplifier as the index value. and a power determined by the correlation of the power supplied to the plurality of heaters, which is determined according to the set oscillation wavelength, to the plurality of heaters.
レーザ素子であって、前記レーザ素子の発振波長を制御する、波長特性変化の周期が互いに異なる複数の波長特性可変素子と、電力が供給されることで複数の前記波長特性可変素子を加熱する複数のヒータと、電力が供給されることで前記レーザ素子の光出力を制御する半導体光増幅器と、を含み、前記半導体光増幅器の発熱量を示す指標値は、所定の発振波長を実現する際の前記複数のヒータに供給する電力の相関関係に影響を与えるレーザ素子の制御方法であって、
複数の前記ヒータおよび前記半導体光増幅器に供給する前記電力を制御する制御工程を含み、
前記制御工程において、前記複数の波長特性可変素子の組み合わせによるバーニア効果を利用して前記発振波長を制御するとともに、発振波長と、前記半導体光増幅器の発熱量を示す前記指標値とに対応づけて、複数の前記ヒータに供給する電力の前記相関関係を取得し、前記半導体光増幅器に供給される電力のモニタ値を前記指標値とし、前記指標値および設定された発振波長に応じて定まる、複数の前記ヒータに供給する電力の前記相関関係によって決定される電力を、複数の前記ヒータに供給することを特徴とするレーザ素子の制御方法。
A laser element, comprising: a plurality of wavelength characteristic variable elements having different wavelength characteristic change periods for controlling an oscillation wavelength of the laser element; and a plurality of wavelength characteristic variable elements heated by being supplied with electric power. and a semiconductor optical amplifier that controls the optical output of the laser element by being supplied with electric power . A method of controlling a laser element that affects the correlation of power supplied to the plurality of heaters of
a control step of controlling the power supplied to the plurality of heaters and the semiconductor optical amplifier;
In the control step, the oscillation wavelength is controlled using a vernier effect resulting from a combination of the plurality of wavelength characteristic variable elements, and the oscillation wavelength is associated with the index value indicating the amount of heat generated by the semiconductor optical amplifier. obtaining the correlation of power supplied to the plurality of heaters, setting a monitor value of the power supplied to the semiconductor optical amplifier as the index value, and determining according to the index value and a set oscillation wavelength; A method of controlling a laser element, wherein the electric power determined by the correlation of the electric power supplied to the heater is supplied to a plurality of the heaters.
JP2018020417A 2018-02-07 2018-02-07 LASER DEVICE AND LASER DEVICE CONTROL METHOD Active JP7189664B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018020417A JP7189664B2 (en) 2018-02-07 2018-02-07 LASER DEVICE AND LASER DEVICE CONTROL METHOD

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018020417A JP7189664B2 (en) 2018-02-07 2018-02-07 LASER DEVICE AND LASER DEVICE CONTROL METHOD

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2019140183A JP2019140183A (en) 2019-08-22
JP7189664B2 true JP7189664B2 (en) 2022-12-14

Family

ID=67694383

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2018020417A Active JP7189664B2 (en) 2018-02-07 2018-02-07 LASER DEVICE AND LASER DEVICE CONTROL METHOD

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP7189664B2 (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20240039242A1 (en) * 2020-12-22 2024-02-01 Nippon Telegraph And Telephone Corporation Wavelength Tunable Laser
JP7736082B2 (en) * 2021-11-11 2025-09-09 日本電気株式会社 Optical module, optical system, and optical output method

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20130156052A1 (en) 2011-12-16 2013-06-20 Laurent Diehl Methods and apparatus for temperature tuning of semiconductor lasers
JP2016178283A (en) 2015-03-20 2016-10-06 古河電気工業株式会社 Wavelength variable laser element and laser module

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5853599B2 (en) * 2011-11-01 2016-02-09 富士通株式会社 Light emitting device and control method thereof

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20130156052A1 (en) 2011-12-16 2013-06-20 Laurent Diehl Methods and apparatus for temperature tuning of semiconductor lasers
JP2016178283A (en) 2015-03-20 2016-10-06 古河電気工業株式会社 Wavelength variable laser element and laser module

Also Published As

Publication number Publication date
JP2019140183A (en) 2019-08-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4943255B2 (en) Semiconductor laser control method
JP7502201B2 (en) Tunable wavelength light source device and method for controlling tunable wavelength laser element
JP5457873B2 (en) Control method of wavelength tunable laser
JP5303124B2 (en) Method for controlling semiconductor laser device
JP6951983B2 (en) Tunable laser device and wavelength control method for tunable laser device
JPWO2009099050A1 (en) Laser device and control data of laser device
JP7634581B2 (en) Method and apparatus for stabilizing electromagnetic radiation from an optical oscillator - Patents.com
JP2003318481A (en) Laser control circuit and laser module
JP2015144191A (en) Method for switching wavelength of wavelength variable laser
JP7189664B2 (en) LASER DEVICE AND LASER DEVICE CONTROL METHOD
JP5556137B2 (en) Semiconductor laser device
JP6292499B2 (en) Control method of wavelength tunable laser
JP2009044024A (en) Semiconductor laser device, and control method of semiconductor laser
JP2015050284A (en) Method for controlling wavelength-tunable laser
JP5474338B2 (en) Tuning method of semiconductor laser
CN115066814B (en) Laser device and control method thereof
JP7433958B2 (en) Laser device and its control method
JP6998903B2 (en) Control method of tunable light source device and tunable light source device
JP2023115762A (en) WAVELENGTH TUNABLE LASER DEVICE AND CONTROL METHOD OF WAVELENGTH TUNABLE LASER DEVICE
JP7575290B2 (en) Laser Equipment
JP6555698B2 (en) Control method of wavelength tunable laser
JP2025070448A (en) Laser device and method for controlling same
JP2022123688A (en) Laser device and method of controlling the same
JP2015201549A (en) Wavelength control method and wavelength control apparatus for wavelength tunable laser
JP2021128970A (en) Laser device and its control method

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20190620

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20200527

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20200707

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20200831

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20210202

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20210402

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20210907

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20211206

C60 Trial request (containing other claim documents, opposition documents)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C60

Effective date: 20211206

A911 Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

Effective date: 20211214

C21 Notice of transfer of a case for reconsideration by examiners before appeal proceedings

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C21

Effective date: 20211221

A912 Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912

Effective date: 20220210

C211 Notice of termination of reconsideration by examiners before appeal proceedings

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C211

Effective date: 20220215

C22 Notice of designation (change) of administrative judge

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C22

Effective date: 20221018

C23 Notice of termination of proceedings

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C23

Effective date: 20221025

C03 Trial/appeal decision taken

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C03

Effective date: 20221129

C30A Notification sent

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C3012

Effective date: 20221129

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20221202

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 7189664

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151