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JP7189832B2 - Functional titanium member and method for producing functional titanium member - Google Patents
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JP7189832B2 JP2019081647A JP2019081647A JP7189832B2 JP 7189832 B2 JP7189832 B2 JP 7189832B2 JP 2019081647 A JP2019081647 A JP 2019081647A JP 2019081647 A JP2019081647 A JP 2019081647A JP 7189832 B2 JP7189832 B2 JP 7189832B2
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Description

本発明は、チタン部材およびチタン部材の製造方法に関する。 The present invention relates to a titanium member and a method for manufacturing a titanium member.

特許文献1には、一次時効硬化処理、結晶析出処理および二次時効硬化処理を含むチタン製品の製造方法が記載されている。具体的には、一次時効硬化処理では、チタン合金の成型物を、大気、真空または不活性ガス雰囲気中において350~600℃の温度に一定時間保持する。結晶析出処理では、上記一次時効硬化処理を経た上記成型物に対し、真空炉中において1000~1400℃に加熱することにより、上記成型物の表面にチタン結晶を析出させる。二次時効硬化処理では、上記結晶析出処理を経た上記成型物を、大気、真空または不活性ガス雰囲気中において放冷する過程において、350~600℃に一定時間保持する。 Patent Literature 1 describes a method for manufacturing titanium products including primary age hardening treatment, crystal precipitation treatment and secondary age hardening treatment. Specifically, in the primary age hardening treatment, the titanium alloy molding is held at a temperature of 350 to 600° C. for a certain period of time in the air, vacuum or inert gas atmosphere. In the crystal precipitation treatment, titanium crystals are precipitated on the surface of the molding by heating the molding that has undergone the primary age hardening treatment to 1000 to 1400° C. in a vacuum furnace. In the secondary age hardening treatment, the above-mentioned molding that has undergone the above-mentioned crystal precipitation treatment is held at 350 to 600° C. for a certain period of time in the process of allowing it to cool in the air, vacuum or inert gas atmosphere.

特開平11-61366号公報JP-A-11-61366

しかしながら、特許文献1のチタン製品は、ビッカース硬度がHV750以上であることが記載されている。これについて、実験的に検証したが、不活性ガス雰囲気で加熱したのみのチタン製品の硬度はここまで上昇しない。 However, the titanium product of Patent Document 1 is described to have a Vickers hardness of HV750 or higher. This was verified experimentally, but the hardness of titanium products only heated in an inert gas atmosphere did not increase to this level.

そこで、本発明の目的は、高い硬さを有するとともに、表面に細かい凹凸模様が現れているチタン部材の製造方法を提供することにある。 SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to provide a method for producing a titanium member having a high hardness and a fine uneven pattern appearing on the surface.

本発明に係るチタン部材は、純チタンまたはチタン合金を含むチタン部材であって、少なくとも一つの面が粗面であり、上記粗面の表面に凹凸模様を有し、ビッカース硬さがHV500以上である。 A titanium member according to the present invention is a titanium member containing pure titanium or a titanium alloy, at least one surface of which is rough, the surface of the rough surface has an uneven pattern, and has a Vickers hardness of HV500 or more. be.

本発明に係るチタン部材は、高い硬さを有するとともに、表面に細かい凹凸模様が現れている。 The titanium member according to the present invention has high hardness and a fine uneven pattern on the surface.

図1は、チタン部材の製造方法を説明するための図である。FIG. 1 is a diagram for explaining a method of manufacturing a titanium member. 図2は、チタン部材の製造方法を説明するための図である。FIG. 2 is a diagram for explaining a method of manufacturing a titanium member. 図3は、実施例1-1の機能性チタン部材10の構造を示す断面模式図である。FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing the structure of the functional titanium member 10 of Example 1-1. 図4は、#800研磨したJIS2種の純チタン板材のマイクロスコープ像である。FIG. 4 is a microscope image of a JIS type 2 pure titanium plate material that has been polished to #800. 図5は、ブラスト処理済チタン基板のマイクロスコープ像である。FIG. 5 is a microscope image of a blasted titanium substrate. 図6は、熱処理条件1により得られたチタン部材11のマイクロスコープ像である。6 is a microscope image of the titanium member 11 obtained under the heat treatment condition 1. FIG. 図7は、熱処理条件2により得られたチタン部材11のマイクロスコープ像である。FIG. 7 is a microscope image of the titanium member 11 obtained under the heat treatment condition 2. FIG. 図8は、純チタン板材、ブラスト処理済チタン基板およびチタン部材11の結晶性を説明するための図である。FIG. 8 is a diagram for explaining the crystallinity of the pure titanium plate material, the blasted titanium substrate, and the titanium member 11. FIG. 図9は、実施例1-2の機能性チタン部材20の構造を示す断面模式図である。FIG. 9 is a schematic cross-sectional view showing the structure of the functional titanium member 20 of Example 1-2. 図10は、熱処理条件3により得られたチタン部材21のマイクロスコープ像である。FIG. 10 is a microscope image of the titanium member 21 obtained under heat treatment condition 3. FIG. 図11は、純チタン板材、青色結晶部、白色結晶部および黒色結晶部の結晶性を説明するための図である。FIG. 11 is a diagram for explaining the crystallinity of the pure titanium plate material, the blue crystal portion, the white crystal portion, and the black crystal portion. 図12は、実施例2の機能性チタン部材30の構造を示す断面模式図である。FIG. 12 is a schematic cross-sectional view showing the structure of the functional titanium member 30 of Example 2. FIG. 図13は、ブラスト処理済チタン基板のマイクロスコープ像である。FIG. 13 is a microscope image of the blasted titanium substrate. 図14は、熱処理条件4により得られたチタン部材31のマイクロスコープ像である。FIG. 14 is a microscope image of the titanium member 31 obtained under the heat treatment condition 4. FIG. 図15は、熱処理条件5により得られたチタン部材31のマイクロスコープ像である。FIG. 15 is a microscope image of the titanium member 31 obtained under heat treatment condition 5. FIG. 図16は、純チタン板材、ブラスト処理済チタン基板およびチタン部材31の結晶性を説明するための図である。FIG. 16 is a diagram for explaining the crystallinity of the pure titanium plate, the blasted titanium substrate, and the titanium member 31. FIG. 図17は、実施例3の機能性チタン部材40の構造を示す断面模式図である。FIG. 17 is a schematic cross-sectional view showing the structure of the functional titanium member 40 of Example 3. As shown in FIG. 図18は、ブラスト処理済チタン基板のマイクロスコープ像である。FIG. 18 is a microscope image of the blasted titanium substrate. 図19は、熱処理条件6により得られたチタン部材41のマイクロスコープ像である。FIG. 19 is a microscope image of the titanium member 41 obtained under the heat treatment condition 6. FIG. 図20は、純チタン板材、ブラスト処理済チタン基板およびチタン部材41の結晶性を説明するための図である。FIG. 20 is a diagram for explaining the crystallinity of the pure titanium plate, the blasted titanium substrate, and the titanium member 41. As shown in FIG. 図21は、実施例4の機能性チタン部材50の構造を示す断面模式図である。FIG. 21 is a schematic cross-sectional view showing the structure of the functional titanium member 50 of Example 4. FIG. 図22は、ブラスト処理済チタン基板のマイクロスコープ像である。FIG. 22 is a microscope image of a blasted titanium substrate. 図23は、熱処理条件7により得られたチタン部材51のマイクロスコープ像である。23 is a microscope image of the titanium member 51 obtained under heat treatment condition 7. FIG. 図24は、純チタン板材、ブラスト処理済チタン基板およびチタン部材51の結晶性を説明するための図である。FIG. 24 is a diagram for explaining the crystallinity of the pure titanium plate material, the blasted titanium substrate, and the titanium member 51. FIG. 図25は、実施例5の機能性チタン部材60の構造を示す断面模式図である。25 is a schematic cross-sectional view showing the structure of the functional titanium member 60 of Example 5. FIG. 図26は、熱処理条件8により得られたチタン部材61のマイクロスコープ像である。FIG. 26 is a microscope image of the titanium member 61 obtained under heat treatment condition 8. FIG. 図27は、純チタン板材およびチタン部材61の結晶性を説明するための図である。FIG. 27 is a diagram for explaining the crystallinity of the pure titanium plate material and the titanium member 61. FIG. 図28は、実施例6の機能性チタン部材70の構造を示す断面模式図である。28 is a schematic cross-sectional view showing the structure of the functional titanium member 70 of Example 6. FIG. 図29は、熱処理条件9により得られたチタン部材71のマイクロスコープ像である。29 is a microscope image of the titanium member 71 obtained under the heat treatment condition 9. FIG. 図30は、純チタン板材およびチタン部材71の結晶性を説明するための図である。FIG. 30 is a diagram for explaining the crystallinity of the pure titanium plate material and the titanium member 71. FIG. 図31は、複合硬度と耐傷性能の測定結果との関係を示した図である。FIG. 31 is a diagram showing the relationship between composite hardness and measurement results of scratch resistance.

本発明を実施するための形態(実施形態)につき、詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換または変更を行うことができる。 A form (embodiment) for carrying out the present invention will be described in detail. The present invention is not limited by the contents described in the following embodiments. In addition, the components described below include those that can be easily assumed by those skilled in the art and those that are substantially the same. Furthermore, the configurations described below can be combined as appropriate. In addition, various omissions, substitutions, or changes in configuration can be made without departing from the gist of the present invention.

<機能性チタン部材>
実施形態の機能性チタン部材は、純チタンまたはチタン合金を含むチタン部材と、該チタン部材の上に設けられた機能性層とを含む機能性チタン部材であって、上記チタン部材は、表面に凹凸模様を有し、上記機能性層は、表面に上記チタン部材の上記凹凸模様に由来する凹凸模様を有し、上記機能性チタン部材は、ビッカース硬さがHV500以上である。すなわち、上記チタン部材は、凹凸模様を有する面を含み、上記凹凸模様に追従するように、上記面上に機能性層が設けられ、上記機能性層の表面には、上記凹凸模様が保持されている。なお、上記チタン部材は、部材中の少なくとも1つの面に凹凸模様を有していればよい。また、その面の少なくとも一部に凹凸模様を有していればよい。
<Functional titanium member>
A functional titanium member of an embodiment is a functional titanium member including a titanium member containing pure titanium or a titanium alloy, and a functional layer provided on the titanium member, wherein the titanium member has a It has an uneven pattern, the functional layer has an uneven pattern on its surface derived from the uneven pattern of the titanium member, and the functional titanium member has a Vickers hardness of HV500 or higher. That is, the titanium member includes a surface having an uneven pattern, a functional layer is provided on the surface so as to follow the uneven pattern, and the uneven pattern is held on the surface of the functional layer. ing. Note that the titanium member may have an uneven pattern on at least one surface of the member. In addition, it is sufficient that at least part of the surface has an uneven pattern.

機能性チタン部材に含まれるチタン部材は、純チタンまたはチタン合金を含むチタン部材であって、表面に凹凸模様を有し、チタン本来の色みを呈し、ビッカース硬さが原料チタン部材よりもHV30以上大きい。凹凸模様、色み、およびビッカース硬さの詳細については、後述するチタン部材の製造方法で説明する。また、機能性チタン部材が有する凹凸模様および機能の詳細についても、後述する機能性チタン部材の製造方法で説明する。 The titanium member included in the functional titanium member is a titanium member containing pure titanium or a titanium alloy, has an uneven pattern on the surface, exhibits the original color of titanium, and has a Vickers hardness of HV30 higher than that of the raw material titanium member. Bigger than that. The details of the uneven pattern, color, and Vickers hardness will be described later in the method for manufacturing a titanium member. In addition, details of the uneven pattern and functions of the functional titanium member will be described later in the manufacturing method of the functional titanium member.

実施形態の機能性チタン部材は、装飾品に用いることができる。装飾品としては、腕時計などの時計;眼鏡、アクセサリーなどの装身具;スポーツ用品などの装飾部材が挙げられる。より具体的には、ケース、バンドの駒など時計の構成部材が挙げられる。時計は、光発電時計、熱発電時計、標準時電波受信型自己修正時計、機械式時計、一般の電子式時計のいずれであってもよい。このような時計は、上記機能性チタン部材を用いて公知の方法により製造される。 The functional titanium member of the embodiment can be used for ornaments. Examples of accessories include clocks such as wristwatches; accessories such as spectacles and accessories; and decorative members such as sporting goods. More specifically, watch constituent members such as a case and a piece of a band can be mentioned. The clock may be a photovoltaic clock, a thermoelectric clock, a standard time radio wave receiving self-correcting clock, a mechanical clock, or a general electronic clock. Such a timepiece is manufactured by a known method using the functional titanium member.

<チタン部材の製造方法>
まず、機能性チタン部材に含まれるチタン部材の製造方法について説明する。チタン部材の製造方法としては、たとえば、第一のチタン部材の製造方法~第三のチタン部材の製造方法が挙げられる。
<Method for manufacturing titanium member>
First, a method for manufacturing a titanium member included in the functional titanium member will be described. Examples of the method for manufacturing the titanium member include a method for manufacturing a first titanium member to a method for manufacturing a third titanium member.

[第一のチタン部材の製造方法]
第一のチタン部材の製造方法(第一の製造方法)は、ブラスト処理工程、第一加熱工程および第二加熱工程を含む。第一の製造方法によれば、表面に凹凸模様を有するチタン部材が得られる。また、チタン部材は、少なくとも一つの面が粗面であり、上記粗面の表面に凹凸模様を有する。
[Method for producing first titanium member]
A first titanium member manufacturing method (first manufacturing method) includes a blasting step, a first heating step, and a second heating step. According to the first manufacturing method, a titanium member having an uneven pattern on its surface is obtained. Also, the titanium member has at least one rough surface, and the surface of the rough surface has an uneven pattern.

チタン部材に現れる微細構造(凹凸模様)は、チタンのα相からβ相への相転移温度(885℃)以上に加熱すると発現する。純チタンは室温でα相、稠密六法最密構造(HCP)であるが、相転移温度以上ではβ相、面心立法格子構造(FCC)へ相転移する。純チタンを相転移温度以上に加熱すると、昇温中に稠密六法最密構造(HCP)から面心立法格子構造(FCC)へ、金属結晶のすべりが発生して結晶が成長する。得られる結晶のサイズは、後述する工程での加熱条件(昇温開始温度、昇温速度、到達温度、保持時間など)により制御可能である。 The fine structure (uneven pattern) that appears in the titanium member appears when heated above the phase transition temperature (885° C.) from the α phase to the β phase of titanium. Pure titanium has an α phase and a hexagonal close-packed structure (HCP) at room temperature, but changes to a β phase and a face-centered cubic lattice structure (FCC) above the phase transition temperature. When pure titanium is heated above the phase transition temperature, metal crystals slide from the close-packed hexagonal close-packed structure (HCP) to the face-centered cubic lattice structure (FCC) during the temperature rise, and the crystal grows. The size of the obtained crystals can be controlled by the heating conditions (heating start temperature, temperature rising rate, reaching temperature, holding time, etc.) in the steps described later.

凹凸模様は、たとえば、小片がモザイク状に並んで形成されている。また、堆積岩、火成岩、変成岩などの岩石が有する表面模様のように見える場合もある。本明細書において、凹凸模様を結晶模様ともいう。また、実施例にて後述するように、L*の差が50以上ある領域が2種以上存在する場合には、結晶模様が確かに存在することを視認できる。 The uneven pattern is formed, for example, by arranging small pieces in a mosaic pattern. In addition, it may look like a surface pattern of rocks such as sedimentary rocks, igneous rocks, and metamorphic rocks. In this specification, the uneven pattern is also referred to as a crystal pattern. Moreover, as will be described later in Examples, when there are two or more types of regions with a difference in L * of 50 or more, it is possible to visually recognize that the crystal pattern certainly exists.

また、得られるチタン部材は、チタン本来の色みを呈する。すなわち、特定の色味がないグレー色、具体的には無彩色を呈する。チタン本来の色みであることは、実施例にて後述するように、RGB測定によるR、G、B値の差が10以下であることから確認できる。 In addition, the obtained titanium member exhibits the original color of titanium. That is, it exhibits a gray color without a specific tint, specifically an achromatic color. The original color of titanium can be confirmed from the difference of 10 or less in the R, G, and B values obtained by RGB measurement, as will be described later in Examples.

また、得られるチタン部材は、ビッカース硬さがHV240以上であり、好ましくはHV280以上である。具体的には、ビッカース硬さが原料チタン部材よりもHV30以上大きい。また、得られるチタン部材は、実施例に記載する耐傷性測定で求めた二乗平均粗さRqが通常3000Å程度である。 Further, the obtained titanium member has a Vickers hardness of HV240 or higher, preferably HV280 or higher. Specifically, the Vickers hardness is HV30 or more higher than that of the material titanium member. In addition, the resulting titanium member generally has a root-mean-square roughness Rq of about 3000 Å as determined by the scratch resistance measurement described in the Examples.

ブラスト処理工程では、純チタンまたはチタン合金を含む原料チタン部材の表面に対して、粗面を形成するブラスト処理を行い、ブラスト処理済チタン部材を得る。原料チタン部材に用いる純チタンとしては、具体的には、JIS1種、JIS2種、JIS3種またはJIS4種に相当する工業用純チタンが挙げられる。原料チタン部材に用いるチタン合金としては、具体的には、5Al-2.5、Sn1.5Al(JIS50種)などのα合金が挙げられる。原料チタン部材の形状は、特に限定されず、用途に応じた形状であればよい。たとえば、ケース、バンドの駒など時計の構成部材に用いる場合は、このような時計の構成部材の形状を有する。 In the blasting step, the raw material titanium member containing pure titanium or a titanium alloy is blasted to form a rough surface, thereby obtaining a blasted titanium member. As pure titanium used for raw material titanium members, industrial pure titanium corresponding to JIS type 1, JIS type 2, JIS type 3 or JIS type 4 can be specifically mentioned. Specific examples of titanium alloys used for raw material titanium members include alpha alloys such as 5Al-2.5 and Sn1.5Al (JIS class 50). The shape of the raw material titanium member is not particularly limited as long as it is a shape suitable for the application. For example, when it is used for watch components such as cases and band pieces, it has the shape of such watch components.

ブラスト処理は、通常、金属製品に対してアルミナやガラスビーズなどの専用メディアを高速で噴射して行われる。金属製品の表面質感・肌ざわりといった表面特性の変化付けや、物理的な硬さ・靭性・残留圧縮応力の向上が可能である。金属に対して専用メディアが高速でぶつかると、金属表面の結晶の微細化による亀裂進展が抑制される、圧縮残留応力の付加による疲労強度が向上される、表面が硬くなって傷が入りにくくなるなど、強度アップの効果が付与できる。ブラスト処理時のメディア条件、噴射圧力条件により様々な表面状態を作り出すことが可能である。加えて、後述する第一加熱工程、第二加熱工程での熱処理条件を様々に調整することで、多種多様の結晶模様を付与し得る。熱処理のみを行って結晶を肥大化させた場合には、通常表面硬度が低下する。一方、第一の製造方法のように熱処理前にブラスト処理を施すことにより、表面硬度が高い状態に維持されるとともに、多種多様の結晶模様が付与できる。 Blasting is usually performed by spraying special media such as alumina or glass beads at high speed on metal products. It is possible to change the surface characteristics of metal products such as surface texture and touch, and to improve physical hardness, toughness, and residual compressive stress. When the special media collides with the metal at high speed, the growth of cracks is suppressed due to the refinement of crystals on the metal surface, the fatigue strength is improved due to the addition of compressive residual stress, and the surface becomes hard and scratch resistant. Such as, you can give the effect of increasing strength. It is possible to create various surface conditions depending on the media conditions and injection pressure conditions during blasting. In addition, various crystal patterns can be imparted by variously adjusting the heat treatment conditions in the first heating step and the second heating step, which will be described later. If only the heat treatment is performed to enlarge the crystals, the surface hardness usually decreases. On the other hand, by applying blasting treatment before heat treatment as in the first manufacturing method, the surface hardness can be maintained at a high level and a wide variety of crystal patterns can be imparted.

ブラスト処理としては、具体的にはサンドブラスト処理が好適に用いられる。また、本明細書においては、ブラスト処理には、ショットピーニングの一種であるWPC処理(登録商標)(FPB(Fine Particle Bombarding))も含む。このWPC処理(登録商標)も好適に用いられる。 Specifically, sandblasting is suitably used as the blasting treatment. In this specification, blasting treatment also includes WPC treatment (registered trademark) (FPB (Fine Particle Bombarding)), which is a type of shot peening. This WPC treatment (registered trademark) is also preferably used.

サンドブラスト処理において、メディアの材料としては、アルミナ、金剛砂、硅砂、ガラス、炭化ケイ素、酸化チタン、ジルコニア、ダイヤモンドが挙げられる。これらのうちで、アルミナ、ガラスが好ましい。WPC処理(登録商標)において、メディアの材料としては、鋼、ステンレス、ガラス、セラミック、インジウム鉛、錫、銀、二硫化モリブデン、二硫化タングステン、窒化ホウ素、フッ素樹脂が挙げられる。これらのうちで、鋼が好ましい。 In sandblasting, media materials include alumina, diamond sand, silica sand, glass, silicon carbide, titanium oxide, zirconia, and diamond. Among these, alumina and glass are preferred. In the WPC treatment (registered trademark), media materials include steel, stainless steel, glass, ceramics, indium lead, tin, silver, molybdenum disulfide, tungsten disulfide, boron nitride, and fluororesin. Of these, steel is preferred.

吐出圧力は、得られたチタン部材において高い硬さと凹凸模様とが実現できるため、0.10MPa以上0.5MPa以下であることが好ましい。0.10MPa未満であると、ブラストによる表面変化が少なく圧縮応力による硬度上昇度も少なくなる場合がある。0.5MPaを超えると、圧縮応力が増大しすぎて基材が大きく反る場合がある。また、メディアが打ち込まれて取れなくなり、結晶化させたときにチタンとの混合物を形成する場合がある。 The discharge pressure is preferably 0.10 MPa or more and 0.5 MPa or less, since high hardness and uneven pattern can be realized in the obtained titanium member. If it is less than 0.10 MPa, the surface change due to blasting is small, and the degree of increase in hardness due to compressive stress may be small. If it exceeds 0.5 MPa, the compressive stress may increase excessively and the substrate may warp greatly. In addition, the media may not be removed due to being struck, and may form a mixture with titanium when crystallized.

その他、噴射するメディアの量、噴射時間などの条件は、適宜設定することができる。 In addition, conditions such as the amount of media to be ejected and the ejection time can be appropriately set.

得られたブラスト処理済チタン部材は、ビッカース硬さが通常HV280以上である。通常、原料チタン部材よりもHV30以上硬くなる。また、ブラスト処理済チタン部材は、ブラスト処理により、少なくとも一つの面が粗面となっている。 The resulting blasted titanium member generally has a Vickers hardness of HV280 or higher. Generally, it becomes harder than the material titanium member by HV30 or more. Also, the blasted titanium member has at least one surface roughened by blasting.

図1は、チタン部材の製造方法を説明するための図である。図1の実線で示すように、第一加熱工程では、ブラスト処理済チタン部材を、減圧下で、室温(たとえば10℃以上30℃以下)から835℃以上935℃以下の温度T1(上記範囲内で設定した所定の温度T1)まで昇温させて加熱する。このように、温度T1(昇温開始温度、到達温度1)は、α相からβ相へ相転移する885℃±50℃の範囲にあることが望ましい。温度T1が835℃未満であると、結晶成長にあまり効果が見られないことがある。また、温度T1が950℃を超えると、視認される結晶量、結晶模様ともに減少することがある。 FIG. 1 is a diagram for explaining a method of manufacturing a titanium member. As shown by the solid line in FIG. 1, in the first heating step, the blasted titanium member is heated under reduced pressure to a temperature T1 from room temperature (for example, 10° C. or higher and 30° C. or lower) to 835° C. or higher and 935° C. or lower (within the above range). The temperature is raised to the predetermined temperature T1) set in 1) and heated. Thus, it is desirable that the temperature T1 (heating start temperature, reached temperature 1) be in the range of 885° C.±50° C. at which the phase transitions from the α phase to the β phase. If the temperature T1 is less than 835°C, the crystal growth may not be so effective. Moreover, when the temperature T1 exceeds 950° C., both the visible amount of crystals and the crystal pattern may decrease.

第一加熱工程は減圧下で行うが、圧力は8.0×10-3Pa以下であることが好ましい。また、第一加熱工程での加熱時間HT1(昇温時間1)は、具体的には、室温から、上記範囲内で設定した所定の温度T1になるまでにかかる時間であり、たとえば30分以上3時間以下である。 Although the first heating step is performed under reduced pressure, the pressure is preferably 8.0×10 −3 Pa or less. Further, the heating time HT1 (heating time 1) in the first heating step is, specifically, the time required to reach a predetermined temperature T1 set within the above range from room temperature, for example, 30 minutes or more. 3 hours or less.

図1の実線で示すように、第二加熱工程では、第一加熱工程を経たブラスト処理済チタン部材を、減圧下で、温度T1から、950℃以上1150℃以下の温度T2(上記範囲内で設定した所定の温度T2)まで、30分以上8時間以下の時間HT2をかけて昇温させて加熱し、チタン部材を得る。時間HT2(昇温時間2)は、具体的には、上記範囲内で設定した所定の温度T1から、上記範囲内で設定した所定の温度T2になるまでにかかる時間である。時間HT2は、結晶模様を作製するために最も重要な条件である。時間HT2が小さすぎて昇温速度が大きすぎると、相転移によるすべりが急激に起こるため微細な凹凸構造や結晶模様の形成が難しくなる傾向がある。また、時間HT2が8時間を超えると、得られる結晶に大きな差は見られなくなる。温度T2(到達温度2)は、結晶サイズをコントロールする上で重要な条件である。たとえば、結晶サイズを小さくしたい場合は950℃付近で、結晶サイズを大きくしたい場合は1150℃付近とする。温度T2が950℃未満であると、結晶が小さくなりすぎる傾向がある。また、温度T2が1150℃を超えると、結晶が成長しすぎて肥大化し、結晶模様が消失することがある。 As shown by the solid line in FIG. 1, in the second heating step, the blasted titanium member that has undergone the first heating step is heated under reduced pressure from a temperature T1 to a temperature T2 of 950° C. or more and 1150° C. or less (within the above range The titanium member is obtained by raising the temperature to the set predetermined temperature T2) over a period of time HT2 of 30 minutes or more and 8 hours or less. Specifically, the time HT2 (heating time 2) is the time required for the predetermined temperature T1 set within the above range to reach the predetermined temperature T2 set within the above range. Time HT2 is the most important condition for producing crystal patterns. If the time HT2 is too short and the heating rate is too high, slippage due to phase transition occurs rapidly, which tends to make it difficult to form fine uneven structures and crystal patterns. Further, when the time HT2 exceeds 8 hours, no significant difference is observed in the obtained crystals. The temperature T2 (reaching temperature 2) is an important condition for controlling the crystal size. For example, the temperature is around 950° C. when the crystal size is to be reduced, and around 1150° C. when the crystal size is to be increased. If the temperature T2 is less than 950°C, the crystal tends to be too small. On the other hand, if the temperature T2 exceeds 1150° C., the crystals grow excessively and enlarge, and the crystal pattern may disappear.

第二加熱工程は減圧下で行うが、圧力は8.0×10-3Pa以下であることが好ましい。 The second heating step is performed under reduced pressure, preferably at a pressure of 8.0×10 −3 Pa or less.

通常、第二加熱工程での昇温速度S2は、第一加熱工程での昇温速度S1よりも小さい。なお、昇温速度S1(℃/時間)は、(温度T1-室温)/加熱時間HT1で求められ、昇温速度S2(℃/時間)は、(温度T2-温度T1)/加熱時間HT2で求められる。昇温速度S2が大きすぎると、結晶模様を形成することが難しくなる傾向にある。 Usually, the heating rate S2 in the second heating step is lower than the heating rate S1 in the first heating step. The temperature increase rate S1 (° C./hour) is obtained by (temperature T1−room temperature)/heating time HT1, and the temperature increase rate S2 (° C./hour) is (temperature T2−temperature T1)/heating time HT2. Desired. If the heating rate S2 is too high, it tends to be difficult to form a crystal pattern.

なお、第一加熱工程および第二加熱工程での昇温速度は、一定であってもよく、変化させてもよい。さらには、第一加熱工程および第二加熱工程は、いわゆるギザギザ昇温パターンであってもよい。いいかえると、第一加熱工程は、室温以上温度T1以下の範囲で昇温および降温を繰り返しながら、全体としては昇温する工程であってもよい。また、第二加熱工程は、温度T1以上温度T2以下の範囲で昇温および降温を繰り返しながら、全体としては昇温する工程であってもよい。 In addition, the temperature increase rate in the first heating step and the second heating step may be constant or may be changed. Furthermore, the first heating step and the second heating step may have a so-called jagged heating pattern. In other words, the first heating step may be a step of raising the temperature as a whole while repeating temperature rise and fall within the range of room temperature to temperature T1 or less. Further, the second heating step may be a step of raising the temperature as a whole while repeating the temperature rise and fall within the range of temperature T1 or higher and temperature T2 or lower.

第二加熱工程に続いて、通常、冷却工程を行う。冷却工程では、第二加熱工程で得られたチタン部材を、温度T2から、温度T2よりも低い温度まで降温させて冷却する。好ましくは室温以上150℃以下の温度まで冷却する。冷却工程における冷却速度は、β相に転移した結晶がα相に戻るための条件であり、できるだけ低速が望ましい。ゆっくり冷却しても急冷しても結晶模様、結晶サイズに大きな変化は見られない。しかしながら、急冷した場合においては結晶の界面に鋸歯状(きょしじょう)の組織が現れる場合がある。このような組織が形成されても機械的性質はほとんど変化しないが延性が低下するおそれがある。 A cooling step is usually performed following the second heating step. In the cooling step, the titanium member obtained in the second heating step is cooled by lowering the temperature from the temperature T2 to a temperature lower than the temperature T2. It is preferably cooled to a temperature between room temperature and 150°C. The cooling rate in the cooling step is a condition for crystals that have transitioned to the β phase to return to the α phase, and is preferably as low as possible. No significant change in crystal pattern and crystal size is observed whether the crystal is cooled slowly or rapidly. However, in the case of rapid cooling, a serrated structure may appear at the crystal interface. Even if such a structure is formed, the mechanical properties hardly change, but the ductility may decrease.

なお、冷却工程での冷却速度は、一定であってもよく、変化させてもよい。冷却工程の途中で、ある温度で一定時間保持してもよい。また、冷却工程は大気圧下で行うか、または減圧下で行う。減圧下で行う場合は、圧力は8.0×10-3Pa以下であることが好ましい。 In addition, the cooling rate in the cooling step may be constant or may be changed. A certain temperature may be held for a certain period of time during the cooling process. Also, the cooling step is performed under atmospheric pressure or under reduced pressure. When it is performed under reduced pressure, the pressure is preferably 8.0×10 −3 Pa or less.

第一の製造方法は、図1の破線で示すように、さらに、第一保持工程および第二保持工程を含んでいてもよい。また、第一保持工程および第二保持工程のいずれか一方を含んでいてもよい。 The first manufacturing method may further include a first holding step and a second holding step, as indicated by broken lines in FIG. Moreover, either one of the first holding step and the second holding step may be included.

具体的には、第一の製造方法は、さらに、第一加熱工程を経たブラスト処理済チタン部材を、減圧下で、温度T1で30分以上3時間以下の時間KT1の間保持する第一保持工程を含んでいてもよい。この場合、第二加熱工程は、第一保持工程を経たブラスト処理済チタン部材を加熱し、チタン部材を得る工程である。時間KT1(保持時間1)を設けると、ブラスト処理済チタン部材全体を確実に温度T1とできる。このため、結晶模様の形成の制御がしやすくなる。 Specifically, in the first manufacturing method, the blasted titanium member that has undergone the first heating step is further held under reduced pressure at a temperature T1 for a time KT1 of 30 minutes or more and 3 hours or less. A process may be included. In this case, the second heating step is a step of heating the blasted titanium member that has undergone the first holding step to obtain a titanium member. By providing the time KT1 (holding time 1), the entire blasted titanium member can be reliably brought to the temperature T1. Therefore, it becomes easier to control the formation of the crystal pattern.

第一保持工程は減圧下で行うが、圧力は8.0×10-3Pa以下であることが好ましい。 Although the first holding step is performed under reduced pressure, the pressure is preferably 8.0×10 −3 Pa or less.

また、具体的には、第一の製造方法は、さらに、第二加熱工程を経たチタン部材を、減圧下で、温度T2で30分以上6時間以下の時間KT2の間保持する第二保持工程を含んでいてもよい。この場合、冷却工程は、第二保持工程を経たチタン部材を、温度T2から、温度T2よりも低い温度まで降温させて冷却する工程である。好ましくは室温以上150℃以下の温度まで冷却する。時間KT2(保持時間2)により、結晶サイズ、結晶模様、表面全体の面状態を制御できる。たとえば、時間KT2を大きくすると、結晶サイズを大きくできる。 Further, specifically, the first manufacturing method further includes a second holding step of holding the titanium member that has undergone the second heating step under reduced pressure at a temperature T2 for a time KT2 of 30 minutes or more and 6 hours or less. may contain In this case, the cooling step is a step of cooling the titanium member that has undergone the second holding step from the temperature T2 to a temperature lower than the temperature T2. It is preferably cooled to a temperature between room temperature and 150°C. Time KT2 (holding time 2) can control the crystal size, crystal pattern, and surface state of the entire surface. For example, increasing the time KT2 can increase the crystal size.

第二保持工程は減圧下で行うが、圧力は8.0×10-3Pa以下であることが好ましい。 Although the second holding step is performed under reduced pressure, the pressure is preferably 8.0×10 −3 Pa or less.

このように、ブラスト処理を経て得られたチタン部材においては、上記粗面の表面に、細かい凹凸模様が形成されている。 Thus, in the titanium member obtained through the blasting process, a fine uneven pattern is formed on the surface of the rough surface.

[第二のチタン部材の製造方法]
第二のチタン部材の製造方法(第二の製造方法)は、第一加熱工程および第二加熱工程を含む。第二の製造方法によれば、表面に凹凸模様を有するチタン部材が得られる。また、得られるチタン部材は、チタン本来の色みを呈し、ビッカース硬さが原料チタン部材よりもHV30以上大きい。得られるチタン部材の詳細については、第一の製造方法での説明と同様である。
[Second Method for Manufacturing Titanium Member]
A second titanium member manufacturing method (second manufacturing method) includes a first heating step and a second heating step. According to the second manufacturing method, a titanium member having an uneven pattern on its surface is obtained. In addition, the resulting titanium member exhibits the original color of titanium, and has a Vickers hardness higher than that of the starting titanium member by HV30 or more. The details of the obtained titanium member are the same as those described in the first manufacturing method.

図2は、チタン部材の製造方法を説明するための図である。図2の実線で示すように、第一加熱工程では、純チタンまたはチタン合金を含む原料チタン部材を、減圧下で、室温(たとえば10℃以上30℃以下)から835℃以上935℃以下の温度T1(上記範囲内で設定した所定の温度T1)まで昇温させて加熱する。なお、純チタンまたはチタン合金を含む原料チタン部材の詳細については、第一の製造方法での説明と同様である。このように、温度T1(昇温開始温度、到達温度1)は、α相からβ相へ相転移する885℃±50℃の範囲にあることが望ましい。温度T1が835℃未満であると、結晶成長にあまり効果が見られないことがある。また、温度T1が950℃を超えると、視認される結晶量、結晶模様ともに減少することがある。 FIG. 2 is a diagram for explaining a method of manufacturing a titanium member. As shown by the solid line in FIG. 2, in the first heating step, a raw material titanium member containing pure titanium or a titanium alloy is heated from room temperature (for example, 10° C. or higher and 30° C. or lower) to a temperature of 835° C. or higher and 935° C. or lower under reduced pressure. The temperature is raised to T1 (predetermined temperature T1 set within the above range) and heated. Details of the raw material titanium member containing pure titanium or a titanium alloy are the same as those described in the first manufacturing method. Thus, it is desirable that the temperature T1 (heating start temperature, reached temperature 1) be in the range of 885° C.±50° C. at which the phase transitions from the α phase to the β phase. If the temperature T1 is less than 835°C, the crystal growth may not be so effective. Moreover, when the temperature T1 exceeds 950° C., both the visible amount of crystals and the crystal pattern may decrease.

第一加熱工程は減圧下で行うが、圧力は8.0×10-3Pa以下であることが好ましい。また、第一加熱工程での加熱時間HT1(昇温時間1)は、具体的には、室温から、上記範囲内で設定した所定の温度T1になるまでにかかる時間であり、たとえば30分以上3時間以下である。 Although the first heating step is performed under reduced pressure, the pressure is preferably 8.0×10 −3 Pa or less. Further, the heating time HT1 (heating time 1) in the first heating step is, specifically, the time required to reach a predetermined temperature T1 set within the above range from room temperature, for example, 30 minutes or more. 3 hours or less.

図2の実線で示すように、第二加熱工程では、第一加熱工程を経た原料チタン部材を、減圧下で、温度T1から、950℃以上1150℃以下の温度T2(上記範囲内で設定した所定の温度T2)まで、30分以上8時間以下の時間HT2をかけて昇温させて加熱し、チタン部材を得る。時間HT2(昇温時間2)は、具体的には、上記範囲内で設定した所定の温度T1から、上記範囲内で設定した所定の温度T2になるまでにかかる時間である。時間HT2は、結晶模様を作製するために最も重要な条件である。時間HT2が小さすぎて昇温速度が大きすぎると、相転移によるすべりが急激に起こるため微細な凹凸構造や結晶模様の形成が難しくなる傾向がある。また、時間HT2が8時間を超えると、得られる結晶に大きな差は見られなくなる。温度T2(到達温度2)は、結晶サイズをコントロールする上で重要な条件である。たとえば、結晶サイズを小さくしたい場合は950℃付近で、結晶サイズを大きくしたい場合は1150℃付近とする。温度T2が950℃未満であると、結晶が小さくなりすぎる傾向がある。また、温度T2が1150℃を超えると、結晶が成長しすぎて肥大化し、結晶模様が消失することがある。 As shown by the solid line in FIG. 2, in the second heating step, the raw material titanium member that has undergone the first heating step is heated under reduced pressure from a temperature T1 to a temperature T2 of 950° C. or more and 1150° C. or less (set within the above range). It is heated to a predetermined temperature T2) over a period of time HT2 of 30 minutes to 8 hours to obtain a titanium member. Specifically, the time HT2 (heating time 2) is the time required for the predetermined temperature T1 set within the above range to reach the predetermined temperature T2 set within the above range. Time HT2 is the most important condition for producing crystal patterns. If the time HT2 is too short and the heating rate is too high, slippage due to phase transition occurs rapidly, which tends to make it difficult to form fine uneven structures and crystal patterns. Further, when the time HT2 exceeds 8 hours, no significant difference is observed in the obtained crystals. The temperature T2 (reaching temperature 2) is an important condition for controlling the crystal size. For example, the temperature is around 950° C. when the crystal size is to be reduced, and around 1150° C. when the crystal size is to be increased. If the temperature T2 is less than 950°C, the crystal tends to be too small. On the other hand, if the temperature T2 exceeds 1150° C., the crystals grow excessively and enlarge, and the crystal pattern may disappear.

第二加熱工程は減圧下で行うが、圧力は8.0×10-3Pa以下であることが好ましい。 The second heating step is performed under reduced pressure, preferably at a pressure of 8.0×10 −3 Pa or less.

第二加熱工程において、時間HT2の内、30分以上8時間以下の間、6.7Pa以上67Pa以下となるように、窒素ガスまたは水蒸気を導入する。すなわち、時間HT2の内、少なくとも一部の時間の間、窒素ガスまたは水蒸気を導入する。このように窒素ガスまたは水蒸気を導入すると、得られるチタン部材において、高い硬さと凹凸模様とが実現できる。さらに、得られるチタン部材は、チタン本来の色みを示す。なお、第二加熱工程において、窒素ガスまたは水蒸気を導入しないときは、圧力は8.0×10-3Pa以下であることが好ましい。 In the second heating step, nitrogen gas or water vapor is introduced so that the pressure is 6.7 Pa or more and 67 Pa or less for 30 minutes or more and 8 hours or less during the time HT2. That is, nitrogen gas or water vapor is introduced for at least part of the time HT2. By introducing nitrogen gas or water vapor in this way, the resulting titanium member can have a high hardness and an uneven pattern. Furthermore, the resulting titanium member exhibits the inherent color of titanium. In addition, in the second heating step, the pressure is preferably 8.0×10 −3 Pa or less when nitrogen gas or water vapor is not introduced.

窒素ガスまたは水蒸気の導入について、導入量と導入時間とを適宜調整することが好ましい。たとえば、導入量が多い場合は、導入時間を短くしてもよく、導入量が少ない場合は、導入時間を長くしてもよい。より具体的には、6.7Paの場合は、5時間程度としてもよく、67Paの場合0.5時間程度としてもよい。 Regarding the introduction of nitrogen gas or water vapor, it is preferable to appropriately adjust the introduction amount and introduction time. For example, when the introduction amount is large, the introduction time may be shortened, and when the introduction amount is small, the introduction time may be lengthened. More specifically, in the case of 6.7 Pa, it may be about 5 hours, and in the case of 67 Pa, it may be about 0.5 hours.

また、水蒸気は、アルゴンガスをキャリアとして導入してもよい。 Moreover, water vapor may introduce argon gas as a carrier.

通常、第二加熱工程での昇温速度S2は、第一加熱工程での昇温速度S1よりも小さい。なお、昇温速度S1(℃/時間)は、(温度T1-室温)/加熱時間HT1で求められ、昇温速度S2(℃/時間)は、(温度T2-温度T1)/加熱時間HT2で求められる。昇温速度S2が大きすぎると、結晶模様を形成することが難しくなる傾向にある。 Usually, the heating rate S2 in the second heating step is lower than the heating rate S1 in the first heating step. The temperature increase rate S1 (° C./hour) is obtained by (temperature T1−room temperature)/heating time HT1, and the temperature increase rate S2 (° C./hour) is (temperature T2−temperature T1)/heating time HT2. Desired. If the heating rate S2 is too high, it tends to be difficult to form a crystal pattern.

なお、第一加熱工程および第二加熱工程での昇温速度の詳細については、第一の製造方法での説明と同様である。また、第二加熱工程に続いて、通常、冷却工程を行う。冷却工程の詳細については、第一の製造方法での説明と同様である。 The details of the heating rate in the first heating step and the second heating step are the same as those described in the first manufacturing method. Moreover, following the second heating step, a cooling step is usually performed. The details of the cooling step are the same as those described in the first manufacturing method.

第二の製造方法は、さらに、第一保持工程および第二保持工程を含んでいてもよい。また、第一保持工程および第二保持工程のいずれか一方を含んでいてもよい。 The second manufacturing method may further include a first holding step and a second holding step. Moreover, either one of the first holding step and the second holding step may be included.

具体的には、第二の製造方法は、さらに、第一加熱工程を経た原料チタン部材を、減圧下で、温度T1で30分以上3時間以下の時間KT1の間保持する第一保持工程を含んでいてもよい。この場合、第二加熱工程は、第一保持工程を経た原料チタン部材を加熱し、チタン部材を得る工程である。時間KT1(保持時間1)を設けると、原料チタン部材全体を確実に温度T1とできる。このため、結晶模様の形成の制御がしやすくなる。 Specifically, the second manufacturing method further includes a first holding step of holding the raw titanium member that has undergone the first heating step under reduced pressure at a temperature T1 for a time KT1 of 30 minutes or more and 3 hours or less. may contain. In this case, the second heating step is a step of heating the material titanium member that has undergone the first holding step to obtain a titanium member. By providing the time KT1 (holding time 1), the entire raw material titanium member can be reliably brought to the temperature T1. Therefore, it becomes easier to control the formation of the crystal pattern.

第一保持工程は減圧下で行うが、圧力は8.0×10-3Pa以下であることが好ましい。 Although the first holding step is performed under reduced pressure, the pressure is preferably 8.0×10 −3 Pa or less.

また、具体的には、第二の製造方法は、さらに、第二加熱工程を経たチタン部材を、減圧下で、温度T2で30分以上6時間以下の時間KT2の間保持する第二保持工程を含んでいてもよい。この場合、冷却工程は、第二保持工程を経たチタン部材を、温度T2から、温度T2よりも低い温度まで降温させて冷却する工程である。好ましくは室温以上150℃以下の温度まで冷却する。時間KT2(保持時間2)により、結晶サイズ、結晶模様、表面全体の面状態を制御できる。たとえば、時間KT2を大きくすると、結晶サイズを大きくできる。 Further, specifically, the second manufacturing method further includes a second holding step of holding the titanium member that has undergone the second heating step under reduced pressure at a temperature T2 for a time KT2 of 30 minutes or more and 6 hours or less. may contain In this case, the cooling step is a step of cooling the titanium member that has undergone the second holding step from the temperature T2 to a temperature lower than the temperature T2. It is preferably cooled to a temperature between room temperature and 150°C. Time KT2 (holding time 2) can control the crystal size, crystal pattern, and surface state of the entire surface. For example, increasing the time KT2 can increase the crystal size.

第二保持工程は減圧下で行うが、圧力は8.0×10-3Pa以下であることが好ましい。 Although the second holding step is performed under reduced pressure, the pressure is preferably 8.0×10 −3 Pa or less.

[第三のチタン部材の製造方法]
第三のチタン部材の製造方法(第三の製造方法)は、第一加熱工程、第二加熱工程および第二保持工程を含む。第三の製造方法によれば、表面に凹凸模様を有するチタン部材が得られる。また、得られるチタン部材は、チタン本来の色みを呈し、ビッカース硬さが原料チタン部材よりもHV30以上大きい。得られるチタン部材の詳細については、第一の製造方法での説明と同様である。
[Third Method for Manufacturing Titanium Member]
A third titanium member manufacturing method (third manufacturing method) includes a first heating step, a second heating step, and a second holding step. According to the third manufacturing method, a titanium member having an uneven pattern on its surface is obtained. In addition, the resulting titanium member exhibits the original color of titanium, and has a Vickers hardness higher than that of the starting titanium member by HV30 or more. The details of the obtained titanium member are the same as those described in the first manufacturing method.

図2は、チタン部材の製造方法を説明するための図である。図2の破線で示すように、第一加熱工程では、純チタンまたはチタン合金を含む原料チタン部材を、減圧下で、室温(たとえば10℃以上30℃以下)から835℃以上935℃以下の温度T1(上記範囲内で設定した所定の温度T1)まで昇温させて加熱する。なお、純チタンまたはチタン合金を含む原料チタン部材の詳細については、第一の製造方法での説明と同様である。このように、温度T1(昇温開始温度、到達温度1)は、α相からβ相へ相転移する885℃±50℃の範囲にあることが望ましい。温度T1が835℃未満であると、結晶成長にあまり効果が見られないことがある。また、温度T1が950℃を超えると、視認される結晶量、結晶模様ともに減少することがある。 FIG. 2 is a diagram for explaining a method of manufacturing a titanium member. As indicated by the dashed line in FIG. 2, in the first heating step, a raw material titanium member containing pure titanium or a titanium alloy is heated from room temperature (for example, 10° C. or higher and 30° C. or lower) to a temperature of 835° C. or higher and 935° C. or lower under reduced pressure. The temperature is raised to T1 (predetermined temperature T1 set within the above range) and heated. Details of the raw material titanium member containing pure titanium or a titanium alloy are the same as those described in the first manufacturing method. Thus, it is desirable that the temperature T1 (heating start temperature, reached temperature 1) be in the range of 885° C.±50° C. at which the phase transitions from the α phase to the β phase. If the temperature T1 is less than 835°C, the crystal growth may not be so effective. Moreover, when the temperature T1 exceeds 950° C., both the visible amount of crystals and the crystal pattern may decrease.

第一加熱工程は減圧下で行うが、圧力は8.0×10-3Pa以下であることが好ましい。また、第一加熱工程での加熱時間HT1(昇温時間1)は、具体的には、室温から、上記範囲内で設定した所定の温度T1になるまでにかかる時間であり、たとえば30分以上3時間以下である。 Although the first heating step is performed under reduced pressure, the pressure is preferably 8.0×10 −3 Pa or less. Further, the heating time HT1 (heating time 1) in the first heating step is, specifically, the time required to reach a predetermined temperature T1 set within the above range from room temperature, for example, 30 minutes or more. 3 hours or less.

図2の破線で示すように、第二加熱工程では、第一加熱工程を経た原料チタン部材を、減圧下で、温度T1から、950℃以上1150℃以下の温度T2(上記範囲内で設定した所定の温度T2)まで、30分以上8時間以下の時間HT2をかけて昇温させて加熱する。時間HT2(昇温時間2)は、具体的には、上記範囲内で設定した所定の温度T1から、上記範囲内で設定した所定の温度T2になるまでにかかる時間である。時間HT2は、結晶模様を作製するために最も重要な条件である。時間HT2が小さすぎて昇温速度が大きすぎると、相転移によるすべりが急激に起こるため微細な凹凸構造や結晶模様の形成が難しくなる傾向がある。また、時間HT2が8時間を超えると、得られる結晶に大きな差は見られなくなる。温度T2(到達温度2)は、結晶サイズをコントロールする上で重要な条件である。たとえば、結晶サイズを小さくしたい場合は950℃付近で、結晶サイズを大きくしたい場合は1150℃付近とする。温度T2が950℃未満であると、結晶が小さくなりすぎる傾向がある。また、温度T2が1150℃を超えると、結晶が成長しすぎて肥大化し、結晶模様が消失することがある。 As shown by the dashed line in FIG. 2, in the second heating step, the raw material titanium member that has undergone the first heating step is heated under reduced pressure from temperature T1 to temperature T2 (set within the above range) from temperature T1 to temperature T2 (set within the above range). It is heated to a predetermined temperature T2) over a period of time HT2 of 30 minutes to 8 hours. Specifically, the time HT2 (heating time 2) is the time required for the predetermined temperature T1 set within the above range to reach the predetermined temperature T2 set within the above range. Time HT2 is the most important condition for producing crystal patterns. If the time HT2 is too short and the heating rate is too high, slippage due to phase transition occurs rapidly, which tends to make it difficult to form fine uneven structures and crystal patterns. Further, when the time HT2 exceeds 8 hours, no significant difference is observed in the obtained crystals. The temperature T2 (reaching temperature 2) is an important condition for controlling the crystal size. For example, the temperature is around 950° C. when the crystal size is to be reduced, and around 1150° C. when the crystal size is to be increased. If the temperature T2 is less than 950°C, the crystal tends to be too small. On the other hand, if the temperature T2 exceeds 1150° C., the crystals grow excessively and enlarge, and the crystal pattern may disappear.

第二加熱工程は減圧下で行うが、圧力は8.0×10-3Pa以下であることが好ましい。 The second heating step is performed under reduced pressure, preferably at a pressure of 8.0×10 −3 Pa or less.

通常、第二加熱工程での昇温速度S2は、第一加熱工程での昇温速度S1よりも小さい。なお、昇温速度S1(℃/時間)は、(温度T1-室温)/加熱時間HT1で求められ、昇温速度S2(℃/時間)は、(温度T2-温度T1)/加熱時間HT2で求められる。昇温速度S2が大きすぎると、結晶模様を形成することが難しくなる傾向にある。 Usually, the heating rate S2 in the second heating step is lower than the heating rate S1 in the first heating step. The temperature increase rate S1 (° C./hour) is obtained by (temperature T1−room temperature)/heating time HT1, and the temperature increase rate S2 (° C./hour) is (temperature T2−temperature T1)/heating time HT2. Desired. If the heating rate S2 is too high, it tends to be difficult to form a crystal pattern.

図2の破線で示すように、第二保持工程では、第二加熱工程を経た原料チタン部材を、減圧下で、温度T2で30分以上6時間以下の時間KT2(保持時間2)の間保持して、チタン部材を得る。 As indicated by the dashed line in FIG. 2, in the second holding step, the raw material titanium member that has undergone the second heating step is held under reduced pressure at a temperature T2 for a time KT2 (holding time 2) of 30 minutes or more and 6 hours or less. to obtain a titanium member.

第二保持工程において、時間KT2の内、10分以上5時間以下の間、6.7Pa以上67Pa以下となるように、窒素ガスまたは水蒸気を導入する。すなわち、時間KT2の内、少なくとも一部の時間の間、窒素ガスまたは水蒸気を導入する。このように窒素ガスまたは水蒸気を導入すると、得られるチタン部材において、高い硬さと凹凸模様とが実現できる。さらに、得られるチタン部材は、チタン本来の色みを示す。なお、第二保持工程において、窒素ガスまたは水蒸気を導入しないときは、圧力は8.0×10-3Pa以下であることが好ましい。 In the second holding step, nitrogen gas or water vapor is introduced so that the pressure is 6.7 Pa or more and 67 Pa or less for 10 minutes or more and 5 hours or less within the time KT2. That is, nitrogen gas or water vapor is introduced during at least part of the time KT2. By introducing nitrogen gas or water vapor in this way, the resulting titanium member can have a high hardness and an uneven pattern. Furthermore, the resulting titanium member exhibits the inherent color of titanium. In addition, in the second holding step, the pressure is preferably 8.0×10 −3 Pa or less when nitrogen gas or water vapor is not introduced.

窒素ガスまたは水蒸気の導入について、導入量、導入時間、および第二保持工程での加熱温度である温度T2を適宜調整することが好ましい。たとえば、導入量が多い場合は、導入時間を短くするか、または加熱温度を低くしてもよく、導入量が少ない場合は、導入時間を長くするか、または加熱温度を高くしてもよい。より具体的には、6.7Paの場合は、5時間程度としてもよく、67Paの場合0.5時間程度としてもよい。 Regarding the introduction of nitrogen gas or water vapor, it is preferable to appropriately adjust the introduction amount, the introduction time, and the temperature T2, which is the heating temperature in the second holding step. For example, when the introduction amount is large, the introduction time may be shortened or the heating temperature may be lowered, and when the introduction amount is small, the introduction time may be lengthened or the heating temperature may be raised. More specifically, in the case of 6.7 Pa, it may be about 5 hours, and in the case of 67 Pa, it may be about 0.5 hours.

また、水蒸気は、アルゴンガスをキャリアとして導入してもよい。 Moreover, water vapor may introduce argon gas as a carrier.

なお、第一加熱工程および第二加熱工程での昇温速度の詳細については、第一の製造方法での説明と同様である。また、第二保持工程に続いて、通常、冷却工程を行う。冷却工程の詳細については、第一の製造方法での説明と同様である。 The details of the heating rate in the first heating step and the second heating step are the same as those described in the first manufacturing method. Moreover, following the second holding step, a cooling step is usually performed. The details of the cooling step are the same as those described in the first manufacturing method.

第三の製造方法は、さらに、第一保持工程を含んでいてもよい。 The third manufacturing method may further include a first holding step.

具体的には第三の製造方法は、さらに、第一加熱工程を経た原料チタン部材を、減圧下で、温度T1で30分以上3時間以下の時間KT1の間保持する第一保持工程を含んでいてもよい。この場合、第二加熱工程は、第一保持工程を経た原料チタン部材を加熱する工程である。時間KT1(保持時間1)を設けると、原料チタン部材全体を確実に温度T1とできる。このため、結晶模様の形成の制御がしやすくなる。 Specifically, the third manufacturing method further includes a first holding step of holding the raw material titanium member that has undergone the first heating step under reduced pressure at temperature T1 for a time KT1 of 30 minutes or more and 3 hours or less. You can stay. In this case, the second heating step is a step of heating the raw material titanium member that has undergone the first holding step. By providing the time KT1 (holding time 1), the entire raw material titanium member can be reliably brought to the temperature T1. Therefore, it becomes easier to control the formation of the crystal pattern.

第一保持工程は減圧下で行うが、圧力は8.0×10-3Pa以下であることが好ましい。 Although the first holding step is performed under reduced pressure, the pressure is preferably 8.0×10 −3 Pa or less.

<機能性チタン部材の製造方法>
次に、機能性チタン部材の製造方法について説明する。機能性チタン部材の製造方法は、たとえば、第一の製造方法~第三の製造方法で得られたチタン部材の上に、機能性層を形成し、機能性チタン部材を得る機能性層形成工程を含む。すなわち、機能性チタン部材の製造方法は、純チタンまたはチタン合金を含むチタン部材と、該チタン部材の上に設けられた機能性層とを含む機能性チタン部材を製造する方法である。機能性チタン部材の製造方法によれば、表面に凹凸模様を有し、ビッカース硬さがHV500以上である機能性チタン部材が得られる。詳細には、上記チタン部材は、表面に凹凸模様を有し、上記機能性層は、表面に上記チタン部材の上記凹凸模様に由来する凹凸模様を有する。機能性チタン部材に含まれるチタン部材の詳細、すなわち凹凸模様、色み、およびビッカース硬さなどの詳細については、第一の製造方法での説明と同様である。また、機能性チタン部材が有する凹凸模様の詳細についても、第一の製造方法での説明と同様である。
<Manufacturing method of functional titanium member>
Next, a method for manufacturing a functional titanium member will be described. The method for producing a functional titanium member includes, for example, a functional layer forming step of forming a functional layer on the titanium member obtained by the first to third production methods to obtain a functional titanium member. including. That is, the method for producing a functional titanium member is a method for producing a functional titanium member including a titanium member containing pure titanium or a titanium alloy and a functional layer provided on the titanium member. According to the method for producing a functional titanium member, a functional titanium member having an uneven pattern on the surface and a Vickers hardness of HV500 or higher can be obtained. Specifically, the titanium member has an uneven pattern on its surface, and the functional layer has an uneven pattern on its surface derived from the uneven pattern of the titanium member. The details of the titanium member included in the functional titanium member, ie, the details of the uneven pattern, color, Vickers hardness, etc., are the same as those described in the first manufacturing method. Further, the details of the concave-convex pattern of the functional titanium member are the same as those described in the first manufacturing method.

機能性層は、たとえば、硬化の機能を有する。この場合は、機能性チタン部材は、機能性層の硬さに応じて硬化される。すなわち、機能性チタン部材は、ビッカース硬さがHV500以上である。また、機能性層は、硬化の機能とともに、着色の機能も有することがある。この場合は、機能性チタン部材は、機能性層の硬さに応じて硬化されるとともに、機能性層の色に応じた色を示す。上記チタン部材は、特許文献1のチタン製品のような白、ブルー、ピンクなどの結晶を有しておらず、チタン本来の色みを有する。このため、機能性チタン部材においても、上記チタン製品由来の白、ブルー、ピンクなどの結晶は現れず、機能性層の色に応じた色を示す。 The functional layer has, for example, a curing function. In this case, the functional titanium member is hardened according to the hardness of the functional layer. That is, the functional titanium member has a Vickers hardness of HV500 or higher. Moreover, the functional layer may have a coloring function as well as a curing function. In this case, the functional titanium member is hardened according to the hardness of the functional layer and exhibits a color according to the color of the functional layer. The titanium member does not have crystals such as white, blue, and pink like the titanium product of Patent Document 1, but has the original color of titanium. Therefore, even in the functional titanium member, crystals such as white, blue, and pink derived from the titanium product do not appear, and the color corresponding to the color of the functional layer is exhibited.

機能性層は、具体的には、炭素、窒素および酸素のうち少なくとも一つの元素と結合した金属または半導体を含む。上記金属または半導体としては、チタン(Ti)、タングステン(W)、タンタル(Ta)、ジルコニウム(Zr)、ハフニウム(Hf)、ニオブ(Nb)、ボロン(B)、シリコン(Si)が挙げられる。たとえば、上記金属または半導体がチタンの場合、機能性層は、炭素と結合したチタンであるチタンカーバイド、窒素と結合したチタンであるチタンナイトライド、炭素および窒素と結合したチタンである窒炭化チタンなどを含む。その他の上記金属または半導体についても同様である。機能性層としては、より具体的には、金色を呈するTiN、ZrN、HfN等の金属窒化物膜、ピンク色からブラウン色を呈するTiCN、ZrCN、HfCN、TiON、ZrON、HfON等の金属炭窒化物膜および金属酸窒化物膜、グレー色を呈するTiC等の金属炭化物膜などが挙げられる。なお、上記膜は、実施形態の目的を損なわない範囲で、上記以外の他の元素を含んでいてもよい。あるいは、機能性層は、黒色を呈するダイヤモンドライクカーボン(DLC)を含む。優れた硬化の機能を発揮させるためには、より硬度の高い金属と非金属との化合物膜が好的に用いられる。 The functional layer specifically contains a metal or semiconductor combined with at least one element of carbon, nitrogen and oxygen. Examples of the metal or semiconductor include titanium (Ti), tungsten (W), tantalum (Ta), zirconium (Zr), hafnium (Hf), niobium (Nb), boron (B), and silicon (Si). For example, when the metal or semiconductor is titanium, the functional layer is titanium carbide, which is titanium bonded with carbon, titanium nitride, which is titanium bonded with nitrogen, titanium nitrocarbide, which is titanium bonded with carbon and nitrogen, and the like. including. The same applies to other metals or semiconductors mentioned above. As the functional layer, more specifically, metal nitride films such as TiN, ZrN, and HfN exhibiting gold color, and metal carbonitrides such as TiCN, ZrCN, HfCN, TiON, ZrON, and HfON exhibiting pink to brown color. and metal oxynitride films, and gray-colored metal carbide films such as TiC. In addition, the film may contain elements other than those described above as long as the object of the embodiment is not impaired. Alternatively, the functional layer contains black diamond-like carbon (DLC). In order to exhibit an excellent hardening function, a compound film of metal and non-metal having higher hardness is preferably used.

機能性層は、1層であっても、2層以上の積層体であってもよい。 The functional layer may be one layer or a laminate of two or more layers.

機能性層の厚さは、結晶模様が現れるよう、0.02μm以上3.0μm以下であることが好ましく、0.02μm以上2.0μm以下であることがより好ましい。機能性層が、チタン部材上の模様を形成する凹凸上に倣って形成され、同様の凹凸を有すると、結晶模様が現れる。機能性層の厚さが上記範囲にあると、通常、結晶模様が現れるため好ましい。 The thickness of the functional layer is preferably 0.02 μm or more and 3.0 μm or less, more preferably 0.02 μm or more and 2.0 μm or less so that the crystal pattern appears. When the functional layer is formed following the unevenness forming the pattern on the titanium member and has the same unevenness, a crystal pattern appears. When the thickness of the functional layer is within the above range, a crystal pattern usually appears, which is preferable.

機能性層形成工程は、たとえば、上記機能性層として炭素、窒素および酸素のうち少なくとも一つの元素と結合した金属または半導体を含む層またはダイヤモンドライクカーボンを含む層を形成する。具体的には、上記機能性層は、スパッタリング法、CVD法、イオンプレーティング法などの乾式成膜によって形成することができる。 In the functional layer forming step, for example, a layer containing a metal or semiconductor combined with at least one element of carbon, nitrogen and oxygen or a layer containing diamond-like carbon is formed as the functional layer. Specifically, the functional layer can be formed by dry film formation such as a sputtering method, a CVD method, or an ion plating method.

なお、機能性チタン部材の製造方法は、さらに、密着層形成工程を含んでいてもよい。すなわち、第一の製造方法~第三の製造方法で得られたチタン部材の上に、密着層を形成する密着層形成工程を含み、機能性層形成工程は、密着層形成工程を経た密着層を有するチタン部材の上に、機能性層を形成し、機能性チタン部材を得る工程であってもよい。密着層は、チタン、シリコン等の膜である。 In addition, the manufacturing method of the functional titanium member may further include an adhesion layer forming step. That is, it includes an adhesion layer forming step of forming an adhesion layer on the titanium member obtained by the first to third production methods, and the functional layer forming step includes the adhesion layer forming step. may be a step of forming a functional layer on the titanium member having the above to obtain a functional titanium member. The adhesion layer is a film of titanium, silicon, or the like.

また、機能性チタン部材の製造方法は、さらに、着色層形成工程を含んでいてもよい。すなわち、さらに、得られた機能性チタン部材の上に、着色層を形成する着色層形成工程を含んでいてもよい。たとえば、積層体として、チタン部材上に、硬化機能を発揮するTiC膜を形成し、次いで、着色機能を発揮するPt、Pd、Rh等の白色貴金属膜をさらに形成してもよい。 Moreover, the method for producing a functional titanium member may further include a colored layer forming step. That is, it may further include a colored layer forming step of forming a colored layer on the obtained functional titanium member. For example, as a laminate, a TiC film exhibiting a hardening function may be formed on a titanium member, and then a white noble metal film such as Pt, Pd, Rh, etc. exhibiting a coloring function may be further formed.

密着層または着色層を形成する場合は、密着層、機能性層および着色層の合計の厚さが、結晶模様が現れるよう、0.02μm以上3.0μm以下であることが好ましい。密着層形成工程および着色層形成工程は、スパッタリング法、CVD法、イオンプレーティング法などによって形成することができる。 When the adhesion layer or the colored layer is formed, the total thickness of the adhesion layer, the functional layer and the colored layer is preferably 0.02 μm or more and 3.0 μm or less so that the crystal pattern appears. The adhesion layer forming step and the colored layer forming step can be formed by a sputtering method, a CVD method, an ion plating method, or the like.

上述したように、第一の製造方法~第三の製造方法によって得られるチタン部材では、高い硬さを有するとともに、チタン本来の色みを有し、表面に細かい凹凸模様が現れている。また、上記機能性チタン部材の製造方法によって得られる機能性チタン部材では、高い硬さを有するとともに、表面に細かい凹凸模様が現れている。 As described above, the titanium members obtained by the first to third manufacturing methods have high hardness, have the original color of titanium, and have a fine uneven pattern on the surface. In addition, the functional titanium member obtained by the method for producing a functional titanium member described above has a high degree of hardness and a fine uneven pattern on the surface.

ところで、チタン独特の結晶パターンを作り出すためにはβ相転移温度(885℃)以上の温度を加える必要がある。相転移温度以上の温度を加えると、結晶構造がα相からα+β相へ相変換し、結晶の成長に伴い独特の模様が現れてくる。しかしながら、α相からα+β相に結晶が変化すると、ヤング率が低下し硬度が低下するとともに、相転移に伴う結晶の滑りによる針状結晶の成長により、不均質な回折結晶が現れることがある。装飾品としてチタンを使用する場合、この硬度低下は耐傷性を低下させる要因となる。なお、真空浸炭処理によれば、熱処理中に酸素、窒素などのガスを反応させて硬度を上昇させることができる。しかしながら、この方法では着色しやすく、また、独特の模様を付与できない。これに対して、上述した製造方法では、ブラスト処理を用いたり、特定のガス導入工程を設けたりすることにより、結晶変態による硬度低下を抑制できる。さらに、チタンに独特な結晶模様を析出させて意匠性を向上できる。 By the way, in order to create a crystal pattern unique to titanium, it is necessary to apply a temperature higher than the β-phase transition temperature (885°C). When a temperature higher than the phase transition temperature is applied, the crystal structure undergoes phase conversion from the α phase to the α + β phase, and a unique pattern appears as the crystal grows. However, when the crystal changes from the α phase to the α + β phase, the Young's modulus decreases and the hardness decreases, and inhomogeneous diffraction crystals may appear due to the growth of needle crystals due to crystal slippage accompanying the phase transition. When titanium is used as an ornament, this reduction in hardness is a factor in reducing scratch resistance. Incidentally, according to the vacuum carburizing treatment, the hardness can be increased by reacting gases such as oxygen and nitrogen during the heat treatment. However, this method tends to cause coloring and cannot impart a unique pattern. On the other hand, in the manufacturing method described above, the reduction in hardness due to crystal transformation can be suppressed by using blasting or providing a specific gas introduction step. Furthermore, a unique crystal pattern can be deposited on titanium to improve the design.

<その他の機能性チタン部材およびその製造方法>
その他の実施形態の機能性チタン部材は、高い硬さを有するとともに、装飾性に優れた青色を示し、表面に細かい凹凸模様が現れている。装飾性に優れた青色を示すこと以外は、機能性チタン部材と同様である。具体的には、上述のように、チタン部材の凹凸模様は、たとえば小片がモザイク状に並んで形成されているが、その他の実施形態では、この小片の一部が青色を示す。そして、機能性層が設けられた機能性チタン部材においても、この青色が視認できる。なお、本明細書において、装飾性に優れるとは、キラキラと螺鈿調に、美しく輝いて見えることをいう。
<Other functional titanium members and manufacturing methods thereof>
The functional titanium members of other embodiments have high hardness, exhibit a highly decorative blue color, and have a fine uneven pattern on the surface. It is the same as the functional titanium member except that it exhibits a blue color that is excellent in decorativeness. Specifically, as described above, the uneven pattern of the titanium member is formed by, for example, small pieces lined up in a mosaic pattern, but in other embodiments, some of the small pieces exhibit a blue color. This blue color can also be visually recognized in the functional titanium member provided with the functional layer. In the present specification, the term "excellent in decorativeness" means that the material looks beautifully shining in a glittering and mother-of-pearl style.

チタン部材において、青色を示す小片では、特定の高さの凹凸が特定のピッチで規則的に並んでいると考えられる。特定の凹凸構造およびピッチ間隔が青色を強く反射する要因となり、青色を示すと推察される。この凹凸構造およびピッチ間隔はAFM測定より確認できる。上記原理によって青色が発色するため、機能性層が設けられていても、キラキラとした青色が視認できる。 In the titanium member, small pieces showing blue color are considered to have irregularities of a specific height regularly arranged at a specific pitch. It is presumed that the specific concave-convex structure and pitch interval are factors that strongly reflect blue light, and that blue color is exhibited. This uneven structure and pitch interval can be confirmed by AFM measurement. Since blue color develops according to the principle described above, sparkling blue color can be visually recognized even when a functional layer is provided.

その他の実施形態の機能性チタン部材は、たとえば、以下の製造方法により得られる。すなわち、その他の実施形態の機能性チタン部材の製造方法は、純チタンまたはチタン合金を含む原料チタン部材を、減圧下で、室温から835℃以上935℃以下の温度T1まで昇温させて加熱する第一加熱工程と、上記第一加熱工程を経た上記原料チタン部材を、減圧下で、温度T1から、950℃以上1150℃以下の温度T2まで、30分以上8時間以下の時間HT2をかけて昇温させて加熱し、チタン部材を得る第二加熱工程と、第二加熱工程で得られたチタン部材の上に、機能性層を形成し、機能性チタン部材を得る機能性層形成工程とを含む。ここで、チタン部材は、表面に凹凸模様を有し、上記機能性層は、表面に上記チタン部材の上記凹凸模様に由来する凹凸模様を有し、上記機能性チタン部材は、ビッカース硬さがHV500以上である。このように、チタン部材の製造については、ブラスト処理工程を行わない以外は、第一の製造方法と同様である。また、機能性層形成工程については、上述した実施形態の機能性チタン部材の製造方法と同様である。 Functional titanium members of other embodiments are obtained, for example, by the following manufacturing method. That is, in another embodiment of the method for producing a functional titanium member, a raw material titanium member containing pure titanium or a titanium alloy is heated from room temperature to a temperature T1 of 835° C. or higher and 935° C. or lower under reduced pressure. After the first heating step and the first heating step, the raw material titanium member is heated under reduced pressure from a temperature T1 to a temperature T2 of 950° C. or more and 1150° C. or less for a time HT2 of 30 minutes or more and 8 hours or less. A second heating step of heating to obtain a titanium member, and a functional layer forming step of forming a functional layer on the titanium member obtained in the second heating step to obtain a functional titanium member. including. Here, the titanium member has an uneven pattern on the surface, the functional layer has an uneven pattern on the surface derived from the uneven pattern of the titanium member, and the functional titanium member has a Vickers hardness. HV500 or more. Thus, the production of the titanium member is the same as the first production method, except that the blasting process is not performed. Moreover, the functional layer forming step is the same as the method for manufacturing the functional titanium member of the above-described embodiment.

この機能性チタン部材の製造方法によれば、高い硬さを有するとともに、装飾性に優れた青色を示し、表面に細かい凹凸模様が現れているチタン部材が得られる。 According to this method for producing a functional titanium member, a titanium member having a high hardness, a highly decorative blue color, and a fine uneven pattern on the surface can be obtained.

以上より、本発明は以下に関する。
[1] 純チタンまたはチタン合金を含むチタン部材であって、少なくとも一つの面が粗面であり、上記粗面の表面に凹凸模様を有し、ビッカース硬さがHV500以上である、チタン部材。
[2] 上記チタン部材の上に設けられた機能性層を有し、上記機能性層は、上記凹凸模様に由来する凹凸模様を有する、[1]に記載のチタン部材。
[3] 上記機能性層が、炭素、窒素および酸素のうち少なくとも一つの元素と結合した金属または半導体を含む層またはダイヤモンドライクカーボンを含む層である、[2]に記載のチタン部材。
[4] 純チタンまたはチタン合金を含む原料チタン部材の表面に対して、粗面を形成するブラスト処理を行い、ブラスト処理済チタン部材を得るブラスト処理工程と、上記ブラスト処理済チタン部材を、減圧下で、室温から835℃以上935℃以下の温度T1まで昇温させて加熱する第一加熱工程と、上記第一加熱工程を経た上記ブラスト処理済チタン部材を、減圧下で、温度T1から、950℃以上1150℃以下の温度T2まで、30分以上8時間以下の時間HT2をかけて昇温させて加熱し、チタン部材を得る第二加熱工程と、を有し、上記チタン部材の表面に凹凸模様を形成する、チタン部材の製造方法。
[5] さらに、上記チタン部材の上に、機能性層を形成する機能性層形成工程を含み、上記機能性層形成工程は、表面に上記チタン部材の上記凹凸模様に由来する凹凸模様を形成する、[4]に記載のチタン部材の製造方法。
[6] 上記機能性層形成工程は、上記機能性層として炭素、窒素および酸素のうち少なくとも一つの元素と結合した金属または半導体を含む層またはダイヤモンドライクカーボンを含む層を形成する、[5]に記載のチタン部材の製造方法。
As described above, the present invention relates to the following.
[1] A titanium member containing pure titanium or a titanium alloy, wherein at least one surface is rough, the surface of the rough surface has an uneven pattern, and has a Vickers hardness of HV500 or more.
[2] The titanium member according to [1], having a functional layer provided on the titanium member, wherein the functional layer has an uneven pattern derived from the uneven pattern.
[3] The titanium member according to [2], wherein the functional layer is a layer containing a metal or semiconductor combined with at least one element selected from carbon, nitrogen and oxygen, or a layer containing diamond-like carbon.
[4] A blasting step of performing a blasting treatment to form a rough surface on the surface of a raw titanium member containing pure titanium or a titanium alloy to obtain a blasted titanium member, and reducing the pressure of the blasted titanium member. a first heating step in which the temperature is raised from room temperature to a temperature T1 of 835° C. or higher and 935° C. or lower and heated, and the blasted titanium member that has undergone the first heating step is heated from the temperature T1 under reduced pressure, a second heating step of heating to a temperature T2 of 950° C. or more and 1150° C. or less over a period of time HT2 of 30 minutes or more and 8 hours or less to obtain a titanium member; A method for manufacturing a titanium member, which forms an uneven pattern.
[5] Further comprising a functional layer forming step of forming a functional layer on the titanium member, wherein the functional layer forming step forms an uneven pattern derived from the uneven pattern of the titanium member on the surface. The method for manufacturing a titanium member according to [4].
[6] The functional layer forming step forms, as the functional layer, a layer containing a metal or semiconductor bonded to at least one element selected from carbon, nitrogen and oxygen, or a layer containing diamond-like carbon; [5] A method for manufacturing the titanium member according to 1.

以下、実施例に基づいて本発明をさらに具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。 EXAMPLES The present invention will be described in more detail below based on examples, but the present invention is not limited to these examples.

[実施例]
<分析方法および評価方法>
(純チタン板材の硬度測定)
純チタン板材の硬度測定は、微小押込み硬さ試験機(FISCHER製、H100)を用いて荷重5mNで行った。
(チタン部材の硬度測定)
チタン部材の硬度測定は、微小押込み硬さ試験機(FISCHER製、H100)を用いて行った。
ブラスト処理あるいは窒素ガスまたは水蒸気の導入を実施すると、表面の状態が著しく変化し、表面からの硬度測定結果に影響を及ぼす。このため、すべて集束イオンビーム(Focused Ion Beam:FIB)装置を用いて表面と垂直に切断を行い、切断面を研磨して測定を行った。表面近傍の硬度測定は、加重を5mNで最表面から深さ方向に10μm±5μmの位置で、水平方向に100μm以上の間隔をあけて測定した。測定は12点実施し、その平均を試料の硬度とした。
[Example]
<Analysis method and evaluation method>
(Hardness measurement of pure titanium plate material)
The hardness of the pure titanium plate material was measured using a micro-indentation hardness tester (manufactured by FISCHER, H100) with a load of 5 mN.
(Hardness measurement of titanium member)
The hardness of the titanium member was measured using a micro-indentation hardness tester (manufactured by FISCHER, H100).
Blasting or introduction of nitrogen gas or water vapor significantly changes the state of the surface and affects the hardness measurement results from the surface. For this reason, a focused ion beam (FIB) apparatus was used to cut perpendicularly to the surface, and the cut surfaces were polished and measured. The hardness in the vicinity of the surface was measured at a position of 10 μm±5 μm in the depth direction from the outermost surface under a load of 5 mN at intervals of 100 μm or more in the horizontal direction. The measurement was performed at 12 points, and the average was used as the hardness of the sample.

(硬質膜の硬度測定)
硬質膜の硬度測定は、微小押込み硬さ試験機(FISCHER製、H100)を用いて荷重5mNで行った。硬質膜の硬度測定は、成膜時に同梱したSiウエハーにて実施した。
(Hardness measurement of hard film)
The hardness of the hard film was measured using a micro-indentation hardness tester (manufactured by FISCHER, H100) with a load of 5 mN. The hardness measurement of the hard film was carried out using the Si wafer included in the film formation.

(結晶性測定)
結晶の配向性測定には、株式会社リガク製のAmartlabを使用して行った。測定条件は以下の条件で行った。
全体定性分析条件 X線出力:40kV、30mA、スキャン軸:2θ/θ、スキャン範囲:5°~120°、0.02ステップ、ソーラースリット:5deg、長手制限スリット:15mm
微小部定性分析条件 X線出力:40kV、30mA、スキャン軸:2θ/θ、スキャン範囲:5°~120°、0.02ステップ、ソーラースリット:2.5deg、長手制限スリット:15mm
(Crystallinity measurement)
Amartlab manufactured by Rigaku Corporation was used to measure the crystal orientation. Measurement conditions were performed under the following conditions.
Overall qualitative analysis conditions X-ray output: 40 kV, 30 mA, scan axis: 2θ/θ, scan range: 5° to 120°, 0.02 step, solar slit: 5 deg, longitudinal limit slit: 15 mm
Micropart qualitative analysis conditions X-ray output: 40 kV, 30 mA, scan axis: 2θ/θ, scan range: 5° to 120°, 0.02 step, solar slit: 2.5 deg, longitudinal limit slit: 15 mm

(結晶の表面観察)
・RGB測定
結晶の表面観察には、株式会社キーエンス製VHX-5000マイクロスコープを用いた。測定は白色光リング照明の落射方式を用いて、明るさ70、ゲイン30、倍率は20倍にて実施した。色調測定は同装置のRGB測定により実施した。マイクロスコープ上で異なった色調に見える結晶粒子について、異なる色調ごとに、RGB測定を8点以上測定し、R、G、Bそれぞれの平均値を算出した。異なる色調ごとに、R、G、Bの平均値の最大値からR、G、Bの平均値の最小値を減じた値を色味の判定に使用した。たとえば、ある色調において、Rの平均値が100、Gの平均値が100、Bの平均値が120の場合、120-100=20となる。
・色調判定
R、G、Bの平均値の最大値から最小値を減じた値が10以下の場合、青やピンクのような色調はないと判定した。つまり白色やグレー色、黒色(無彩色)であり、螺鈿細工のような色味にならずチタン本来の金属色になることが確認できる。
・凹凸模様判定
異なる色調ごとに、R、G、Bの平均値から、以下の計算式を用いて輝度L*を算出した。異なって見える色調のL*の差が50以上である場合は、結晶模様(凹凸模様)が存在することに対応するといえる。結晶模様が存在しており、これが視認できるならば、少なくとも見え方(輝度)が異なるためである。
*=0.299×R+0.587×G+0.114×B (輝度最大値:255)
(Crystal surface observation)
• RGB measurement A VHX-5000 microscope manufactured by Keyence Corporation was used for surface observation of the crystal. The measurement was carried out using an epi-illumination method of white light ring illumination at a brightness of 70, a gain of 30, and a magnification of 20 times. Color tone measurement was performed by RGB measurement of the same device. For crystal grains that appear to have different color tones on a microscope, 8 or more RGB measurements were performed for each different color tone, and the average values of R, G, and B were calculated. For each different color tone, a value obtained by subtracting the minimum average value of R, G, and B from the maximum average value of R, G, and B was used to judge the tint. For example, in a certain color tone, if the average value of R is 100, the average value of G is 100, and the average value of B is 120, 120−100=20.
Color Tone Judgment When the value obtained by subtracting the minimum value from the maximum value of the average values of R, G, and B was 10 or less, it was judged that there was no color tone such as blue or pink. In other words, it is white, gray, and black (achromatic), and it can be confirmed that it does not look like mother-of-pearl work and has the original metallic color of titanium.
Determination of Concavo-convex Pattern Luminance L * was calculated from the average values of R, G, and B for each different color tone using the following formula. A difference of 50 or more in L * between different color tones can be said to correspond to the presence of a crystal pattern (uneven pattern). This is because if a crystal pattern exists and can be visually recognized, at least the appearance (brightness) is different.
L * =0.299×R+0.587×G+0.114×B (maximum luminance value: 255)

(複合硬度計算)
作製したチタン部材および機能性チタン部材の複合硬度Hcを算出した。具体的には、複合硬度Hcは下記の計算式(1)を用いて算出した。
(Composite hardness calculation)
The composite hardness Hc of the manufactured titanium member and functional titanium member was calculated. Specifically, the composite hardness Hc was calculated using the following formula (1).

Figure 0007189832000001

f:薄膜硬度、Hs:基材硬度、Ef:薄膜ヤング率、n=2、t:薄膜の膜厚、d:ビッカース圧痕サイズ、θ:ビッカース圧子の対面角度の1/2=68度。
Figure 0007189832000001

H f : thin film hardness, H s : substrate hardness, E f : thin film Young's modulus, n=2, t: thickness of thin film, d: Vickers indentation size, θ: ½ of facing angle of Vickers indenter=68 Every time.

(耐傷性能の測定)
耐傷性試験は、以下のように行った。アルミナ粒子が均一に分散した磨耗紙を試験サンプルに一定加重で接触させ、一定回数擦ることで傷を発生させた。傷がついた試験サンプルの表面を、キズの方向と垂直方向にスキャンして表面粗さを測定し、二乗平均粗さを求めた。この二乗平均粗さから耐傷性を評価した。なお、傷の発生量が多いほど、傷の深さが深いほど二乗平均粗さの数値が大きくなり、逆に傷の発生量が少ないほど、傷の深さが浅いほど二乗平均粗さの数値が小さくなる。このことから、耐傷性を数値的に評価できる。
(Measurement of scratch resistance)
The scratch resistance test was performed as follows. Abrasive paper in which alumina particles were uniformly dispersed was brought into contact with the test sample under a constant load, and the test sample was rubbed a constant number of times to generate scratches. The scratched surface of the test sample was scanned in the direction perpendicular to the scratch to measure the surface roughness, and the root-mean-square roughness was obtained. The scratch resistance was evaluated from this root-mean-square roughness. The larger the number of scratches and the deeper the scratches, the larger the mean square roughness value. becomes smaller. From this, the scratch resistance can be evaluated numerically.

(膜厚測定)
膜厚測定では、マスクを施したSiウエハーを基材とともに成膜装置内に導入し、成膜後にマスクを除去して、マスクされていた部分とマスクされていない部分での段差を測定した。
(Film thickness measurement)
In the film thickness measurement, the masked Si wafer was introduced into the film forming apparatus together with the base material, the mask was removed after film formation, and the step between the masked and unmasked portions was measured.

[実施例1-1]
図3は、実施例1-1の機能性チタン部材10の構造を示す断面模式図である。実施例1-1では、JIS規定の純チタンにサンドブラスト処理を施し、次いで、真空熱処理を実施し、結晶模様を析出させたチタン部材11を得た。このチタン部材11上に、TiCからなる硬化層(機能性層)12を形成し、機能性チタン部材10を得た。なお、断面模式図においては、チタン部材および機能性チタン部材上の凹凸模様は省略している。
[Example 1-1]
FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing the structure of the functional titanium member 10 of Example 1-1. In Example 1-1, JIS-specified pure titanium was sandblasted and then subjected to vacuum heat treatment to obtain a titanium member 11 having crystal patterns deposited thereon. A hardened layer (functional layer) 12 made of TiC was formed on this titanium member 11 to obtain a functional titanium member 10 . In the schematic cross-sectional view, the uneven pattern on the titanium member and the functional titanium member is omitted.

チタン部材11の作製には、#800研磨したJIS2種の純チタン板材を使用した。純チタン板材に対して、株式会社不二製作所製ニューマブラスターサンドブラスト装置を用いて、WAフジランダム#46のメディア(アルミナのメディア)を0.4MPaの吐出圧力で吹付け、ブラスト処理済チタン基板を得た。続いて、拡散ポンプを備え、-4Paの高真空まで排気できる真空熱処理装置(株式会社アルバック製FHH-30GHS)を用いて、上記ブラスト処理済チタン基板を相転移温度以上の温度領域まで加熱し、結晶を析出させてチタン部材11を作製した。 A #800-polished JIS class 2 pure titanium plate material was used for the production of the titanium member 11 . A WA Fujirandom #46 media (alumina media) is sprayed onto the pure titanium plate at a discharge pressure of 0.4 MPa using a pneumatic blaster sandblasting device manufactured by Fuji Seisakusho Co., Ltd. to form a blasted titanium substrate. Obtained. Subsequently, using a vacuum heat treatment apparatus (FHH-30GHS manufactured by ULVAC, Inc.) equipped with a diffusion pump and capable of evacuating to a high vacuum of −4 Pa, the blasted titanium substrate is heated to a temperature range equal to or higher than the phase transition temperature, A titanium member 11 was produced by depositing crystals.

続いて、反応ガス量を調整できるイオンプレーティング装置にチタン部材11をセットし、蒸発源にTi、反応ガスにCH4ガスを使用して、チタン部材11上に硬化層(TiC硬質膜)12を形成し、機能性チタン部材10を作製した。 Subsequently, the titanium member 11 was set in an ion plating apparatus capable of adjusting the amount of reaction gas, and a hardened layer (TiC hard film) 12 was formed on the titanium member 11 using Ti as an evaporation source and CH 4 gas as a reaction gas. was formed, and a functional titanium member 10 was produced.

実施例1-1は、ブラスト処理済チタン基板を真空熱処理炉内にセットし、9.0E-4Paまで排気した後、表1に示す熱処理条件1、2で実施した。すなわち、到達温度1、昇温時間1、保持時間1、到達温度2、昇温時間2、保持時間2、150℃まで降温する冷却時間について、表1のようにして実施した。 In Example 1-1, heat treatment conditions 1 and 2 shown in Table 1 were applied after setting the blasted titanium substrate in a vacuum heat treatment furnace and evacuating the furnace to 9.0E-4Pa. That is, the temperature reached 1, the temperature rising time 1, the holding time 1, the reaching temperature 2, the temperature rising time 2, the holding time 2, and the cooling time to lower the temperature to 150° C. were carried out as shown in Table 1.

Figure 0007189832000002
Figure 0007189832000002

図4は、#800研磨したJIS2種の純チタン板材のマイクロスコープ像である。図5~7は、チタン部材11の作製過程でのチタン表面形状のマイクロスコープ像を示している。すなわち、図5は、ブラスト処理済チタン基板のマイクロスコープ像である。図6は、熱処理条件1により得られたチタン部材11のマイクロスコープ像である。図7は、熱処理条件2により得られたチタン部材11のマイクロスコープ像である。純チタン板材は、光沢があり、写真撮影時に使用したリング照明光が反射するほど平滑な表面を呈する。その純チタン板材にサンドブラストを実施すると、全体的に表面が削られ凹凸間のある梨地表面に変化する。表面が削られることによる内部応力の増加と、メディアを高速で表面に叩きつけることによる圧縮残留応力の付与とにより、ブラスト処理済チタン基板の硬度は、純チタンのHV240に対して、HV302まで上昇した。 FIG. 4 is a microscope image of a JIS type 2 pure titanium plate material that has been polished to #800. 5 to 7 show microscope images of the titanium surface shape during the production process of the titanium member 11. FIG. That is, FIG. 5 is a microscope image of the blasted titanium substrate. 6 is a microscope image of the titanium member 11 obtained under the heat treatment condition 1. FIG. FIG. 7 is a microscope image of the titanium member 11 obtained under the heat treatment condition 2. FIG. The pure titanium plate material is glossy and exhibits a smooth surface that reflects the ring illumination light used for photographing. When the pure titanium plate material is sandblasted, the surface is scraped as a whole and changes to a satin surface with irregularities. The hardness of the blasted titanium substrate increased to HV302 compared to HV240 of pure titanium due to the increase in internal stress due to surface scraping and the application of compressive residual stress due to high-speed hitting of the media against the surface. .

ブラスト処理済チタン基板の硬度上昇は、結晶構造の変化にも起因していると考えられる。図8は、純チタン板材、ブラスト処理済チタン基板およびチタン部材11の結晶性を説明するための図である。通常、純チタンの結晶はhcp構造を有するα相を形成している。図8に示すように、主に35°付近の[100]面、39°付近の[002]面、41°付近の[101]に配向した結晶構造を呈する。ブラスト処理を実施すると、41°付近の[101]面に優先配向した結晶構造になることが分かる。これはブラスト処理による残留圧縮応力の増大に伴う結晶変化であり、この結晶変化が硬度上昇の一つの要因と推察される。 It is believed that the increase in hardness of the blasted titanium substrate is also caused by changes in the crystal structure. FIG. 8 is a diagram for explaining the crystallinity of the pure titanium plate material, the blasted titanium substrate, and the titanium member 11. FIG. Crystals of pure titanium usually form an α phase having an hcp structure. As shown in FIG. 8, it exhibits a crystal structure oriented mainly in the [100] plane around 35°, the [002] plane around 39°, and the [101] plane around 41°. It can be seen that the blast treatment results in a crystal structure preferentially oriented in the [101] plane near 41°. This is a crystal change accompanying an increase in residual compressive stress due to blasting, and this crystal change is presumed to be one of the factors for the increase in hardness.

熱処理条件1により得られたチタン部材11は、1050℃で3時間加熱することで、表面に全体的にチタンの結晶が析出し、和紙のような趣のある模様が形成された。熱処理条件1により得られたチタン部材11の硬度は、HV292であり、ブラスト処理済チタン基板よりもわずかに低下したが、純チタン板材よりも高い。また、チタン部材11の結晶については、ブラスト処理済チタン基板と比較して、41°付近の[101]がさらに優先的に成長することが分かった。この結晶配向性の変化は、結晶が成長してチタン基材全体に結晶模様が現れた明らかな証である。純チタン板材との優先配向性の違いは、圧縮残留応力による硬度上昇に寄与すると推察される。また、熱処理条件2により得られたチタン部材11は、1100℃で3時間加熱することで、熱処理条件1と同様の結晶模様が析出した。その結晶サイズは、熱処理条件1と比較して大きかった。高温になるほど結晶成長が促進され、得られる結晶サイズが大きくなると考えられた。 By heating the titanium member 11 obtained under the heat treatment condition 1 at 1050° C. for 3 hours, titanium crystals precipitated on the entire surface, forming a tasteful pattern like Japanese paper. The hardness of the titanium member 11 obtained under heat treatment condition 1 is HV292, which is slightly lower than that of the blasted titanium substrate but higher than that of the pure titanium plate. In addition, it was found that the crystals of the titanium member 11 preferentially grow [101] around 41° compared to the blasted titanium substrate. This change in crystal orientation is a clear proof that crystals have grown and a crystal pattern has appeared on the entire titanium base material. It is speculated that the difference in preferred orientation from pure titanium sheet material contributes to the increase in hardness due to compressive residual stress. Also, the titanium member 11 obtained under the heat treatment condition 2 was heated at 1100° C. for 3 hours, and a crystal pattern similar to that of the heat treatment condition 1 was precipitated. The crystal size was larger than that of heat treatment condition 1. It was thought that the higher the temperature, the faster the crystal growth and the larger the crystal size obtained.

硬化層(TiC硬質膜)12は、イオンプレーティング装置にチタン部材11をセットし、3.0E-3Paまで排気した後、膜材料であるチタンを蒸発させながら、反応ガスとしてCH4ガスを投入して作製した。硬化層12は、膜硬度HV1100であり、膜厚1.0μmであった。TiC硬質膜の色調は、純チタンと同様のグレー色であり、機能性チタン部材10の色調はグレー色を示した。 The hardened layer (TiC hard film) 12 is formed by setting the titanium member 11 in an ion plating apparatus, evacuating the titanium member 11 to 3.0E-3Pa, and then adding CH 4 gas as a reaction gas while evaporating the titanium film material. and made. The hardened layer 12 had a film hardness of HV1100 and a film thickness of 1.0 μm. The color tone of the TiC hard film was gray like that of pure titanium, and the color tone of the functional titanium member 10 was gray.

チタン部材11上に硬化層12を形成しても、結晶パターンは消失することなく成膜前と同じ状態を示した。これは、硬化層12の膜厚が1.0μmと薄く、また、イオンプレーティングなどの乾式成膜では、表面の凹凸に倣って膜が形成されるためと考えられる。 Even when the hardened layer 12 was formed on the titanium member 11, the crystal pattern did not disappear and showed the same state as before the film formation. This is probably because the film thickness of the cured layer 12 is as thin as 1.0 μm, and in dry film formation such as ion plating, the film is formed along the unevenness of the surface.

硬化層12を成膜することにより、機能性チタン部材10の複合硬度は著しく向上する。チタン材料はそもそも材料の硬度が低く、たとえば眼鏡、アクセサリー、時計等の装身具または装飾品、スポーツ用品などの外装部品へ適用した場合、使用環境によってはたちまち傷がついてしまい、実使用環境に耐えうるとは言い難い。これに対して、機能性チタン部材10では、チタン部材11に硬化層12を密着性良く形成したため、実使用環境に耐えうる耐傷性が確保されている。 By forming the hardened layer 12, the composite hardness of the functional titanium member 10 is remarkably improved. Titanium material has low hardness in the first place, and when it is applied to accessories such as eyeglasses, accessories, watches, etc., or exterior parts such as decorations, sports equipment, etc., it may be scratched immediately depending on the usage environment, and it can withstand the actual usage environment. Hard to say. On the other hand, in the functional titanium member 10, since the hardened layer 12 is formed on the titanium member 11 with good adhesion, scratch resistance that can withstand the actual use environment is ensured.

耐傷性能は、おおよそ基材上に積層される硬化層全体の硬質膜硬度、基材硬度、硬質膜膜厚、基材との密着性(複合硬度)によって決定される。このため、硬化層12を形成した機能性チタン部材10の耐傷性は著しく向上する。表2に、熱処理条件1で作製したチタン部材11、およびこれを用いて作製した機能性チタン部材10の複合硬度の計算値及び耐傷性能の測定結果を示した。機能性チタン部材10は、チタン部材11と比較し、およそ4倍の耐傷性を発揮した。硬化層12の形成により、チタンの独特な結晶パターンを維持しながら、実使用上に耐え得る耐傷性が得られた。さらに、#800研磨した純チタン板材に硬化層を形成した比較例と比べると、結晶パターンの存在により、キズが目立ち難いという効果が見られた。 The scratch resistance is roughly determined by the hard film hardness of the entire cured layer laminated on the substrate, the substrate hardness, the hard film thickness, and the adhesion to the substrate (composite hardness). Therefore, the scratch resistance of the functional titanium member 10 having the hardened layer 12 is significantly improved. Table 2 shows the calculated values of the composite hardness and the measurement results of the scratch resistance of the titanium member 11 produced under the heat treatment condition 1 and the functional titanium member 10 produced using this. The functional titanium member 10 exhibited approximately four times the scratch resistance as compared with the titanium member 11 . By forming the hardened layer 12, while maintaining the unique crystal pattern of titanium, scratch resistance that can withstand actual use was obtained. Furthermore, compared with the comparative example in which a hardened layer was formed on a pure titanium plate material that had been polished to #800, an effect was seen in that scratches were less noticeable due to the existence of the crystal pattern.

Figure 0007189832000003
Figure 0007189832000003

実施例1-1で得られたチタン部材11の色調は、明るく見える部分でのR、G、Bの平均値はそれぞれ235、231、235であり、輝度L*は232であった(最大255)。また、R、G、Bの平均値の最大値から最小値を減じた値は4であり、色味のないグレー色であることが分かる。暗く見える部分でのR、G、Bの平均値はそれぞれ161、161、160であり、輝度L*は161であった(最大255)。また、R、G、Bの平均値の最大値から最小値を減じた値は1であり、色味のないグレー色であることが分かる。明るく見える部分と、暗く見える部分の輝度の差は72と大きい。この輝度差があることによって、確かに模様の存在を視認できる。 Regarding the color tone of the titanium member 11 obtained in Example 1-1, the average values of R, G, and B in the bright portion were 235, 231, and 235, respectively, and the luminance L * was 232 (maximum 255 ). Also, the value obtained by subtracting the minimum value from the maximum value of the average values of R, G, and B is 4, and it can be seen that the color is neutral gray. The average values of R, G, and B in the dark portion were 161, 161, and 160, respectively, and the luminance L * was 161 (maximum 255). Also, the value obtained by subtracting the minimum value from the maximum value of the average values of R, G, and B is 1, and it can be seen that the color is neutral gray. The difference in brightness between a portion that looks bright and a portion that looks dark is 72, which is large. The presence of this luminance difference makes it possible to visually recognize the presence of the pattern.

[実施例1-2]
図9は、実施例1-2の機能性チタン部材20の構造を示す断面模式図である。実施例1-2では、JIS規定の純チタンに真空熱処理を実施し、結晶模様を析出させたチタン部材21を得た。このチタン部材21上に、TiCからなる硬化層(機能性層)22を形成し、機能性チタン部材20を得た。
[Example 1-2]
FIG. 9 is a schematic cross-sectional view showing the structure of the functional titanium member 20 of Example 1-2. In Example 1-2, vacuum heat treatment was performed on JIS-defined pure titanium to obtain a titanium member 21 in which a crystal pattern was precipitated. A hardened layer (functional layer) 22 made of TiC was formed on this titanium member 21 to obtain a functional titanium member 20 .

チタン部材21の作製には、#800研磨したJIS2種の純チタン板材を使用した。拡散ポンプを備え、-4Paの高真空まで排気できる真空熱処理装置(株式会社アルバック製FHH-30GHS)を用いて、上記純チタン板材を相転移温度以上の温度領域まで加熱し、結晶を析出させてチタン部材21を作製した。 A #800-polished JIS class 2 pure titanium plate material was used to manufacture the titanium member 21 . Using a vacuum heat treatment apparatus (FHH-30GHS manufactured by ULVAC, Inc.) equipped with a diffusion pump and capable of evacuating to a high vacuum of −4 Pa, the pure titanium plate material is heated to a temperature range equal to or higher than the phase transition temperature to precipitate crystals. A titanium member 21 was produced.

続いて、反応ガス量を調整できるイオンプレーティング装置にチタン部材21をセットし、蒸発源にTi、反応ガスにCH4ガスを使用して、チタン部材21上に硬化層(TiC硬質膜)22を形成し、機能性チタン部材20を作製した。 Subsequently, the titanium member 21 is set in an ion plating apparatus capable of adjusting the amount of reaction gas, and a hardened layer (TiC hard film) 22 is formed on the titanium member 21 using Ti as an evaporation source and CH 4 gas as a reaction gas. was formed, and a functional titanium member 20 was produced.

実施例1-2は、純チタン板材を真空熱処理炉内にセットし、9.0E-4Paまで排気した後、表3に示す熱処理条件3で実施した。すなわち、到達温度1、昇温時間1、保持時間1、到達温度2、昇温時間2、保持時間2、150℃まで降温する冷却時間について、表3のようにして実施した。 In Example 1-2, the pure titanium plate material was placed in a vacuum heat treatment furnace, and heat treatment conditions 3 shown in Table 3 were applied after exhausting the atmosphere to 9.0E-4Pa. That is, it was carried out as shown in Table 3 with respect to reaching temperature 1, heating time 1, holding time 1, reaching temperature 2, heating time 2, holding time 2, and cooling time to lower the temperature to 150°C.

Figure 0007189832000004
Figure 0007189832000004

図10は、チタン部材21の作製過程でのチタン表面形状のマイクロスコープ像を示している。すなわち、図10は、熱処理条件3により得られたチタン部材21のマイクロスコープ像である。熱処理条件3により得られたチタン部材21では、チタン表面に青色や白色、黒色の結晶がまばらに見られる。熱処理条件3により得られたチタン部材21の硬度は、HV219であり、純チタン板材よりもわずかに低下した。 FIG. 10 shows a microscope image of the titanium surface profile during the production process of the titanium member 21 . 10 is a microscope image of the titanium member 21 obtained under the heat treatment condition 3. FIG. In the titanium member 21 obtained under heat treatment condition 3, blue, white, and black crystals are sparsely observed on the titanium surface. The hardness of the titanium member 21 obtained under heat treatment condition 3 was HV219, which was slightly lower than that of the pure titanium plate material.

図11は、純チタン板材、青色結晶部、白色結晶部および黒色結晶部の結晶性を説明するための図である。図11に示すように、チタン部材21では、青色結晶部の結晶は71°付近の(103)面に優先配向した結晶構造を示した。また、白色結晶部の結晶は53°付近の(102)面および56°付近のβ結晶に帰属する(200)面に優先配向した結晶構造を示した。また、黒色結晶部の結晶は53°付近の(102)面および63°付近の(110)面に優先配向した結晶構造を示した。結晶構造の変化によって、ヤング率といった強度パラメーターの違いがもたらされ、チタン部材21の硬度が低下したと考えられる。さらに、56°付近に現れたβ結晶は、α結晶と比較して変形を担う転位の移動度が大きくなり、柔らかい。このため、チタン部材21は純チタン板よりも硬度が低くなったと考えられる。 FIG. 11 is a diagram for explaining the crystallinity of the pure titanium plate material, the blue crystal portion, the white crystal portion, and the black crystal portion. As shown in FIG. 11, in the titanium member 21, the crystal of the blue crystal portion exhibited a crystal structure in which the (103) plane was preferentially oriented near 71°. In addition, crystals in the white crystal part exhibited a crystal structure preferentially oriented to the (102) plane near 53° and the (200) plane attributed to the β crystal near 56°. In addition, the crystals of the black crystal portion exhibited a crystal structure in which the (102) plane near 53° and the (110) plane near 63° were preferentially oriented. It is believed that the change in the crystal structure brought about a difference in strength parameters such as Young's modulus and reduced the hardness of the titanium member 21 . Furthermore, the β-crystal appearing around 56° has a larger mobility of dislocations responsible for deformation than the α-crystal, and is soft. For this reason, it is considered that the hardness of the titanium member 21 is lower than that of the pure titanium plate.

硬化層(TiC硬質膜)22は、イオンプレーティング装置にチタン部材21をセットし、3.0E-3Paまで排気した後、膜材料であるチタンを蒸発させながら、反応ガスとしてCH4ガスを投入して作製した。硬化層22は、膜硬度はHV1100、膜厚1.0μmであった。TiC硬質膜の色調は、青色結晶部、白色結晶部および黒色結晶部以外の部分では、純チタンと同様のグレー色であった。また、機能性チタン部材20の色調は、青色結晶部、白色結晶部および黒色結晶部以外の部分では、グレー色を示した。 The hardened layer (TiC hard film) 22 is formed by setting the titanium member 21 in an ion plating apparatus, evacuating the titanium member 21 to 3.0E-3Pa, and adding CH 4 gas as a reaction gas while evaporating the titanium film material. and made. The hardened layer 22 had a film hardness of HV 1100 and a film thickness of 1.0 μm. The color tone of the TiC hard film was gray similar to that of pure titanium except for the blue crystal portion, white crystal portion and black crystal portion. Further, the color tone of the functional titanium member 20 was gray in portions other than the blue crystal portion, the white crystal portion, and the black crystal portion.

チタン部材21上に硬化層22を形成しても、結晶パターンは消失することなく成膜前と同じ状態を示した。これは、硬化層22の膜厚が1.0μmと薄く、また、イオンプレーティングなどの乾式成膜では、表面の凹凸に倣って膜が形成されるためと考えられる。 Even when the hardened layer 22 was formed on the titanium member 21, the crystal pattern did not disappear and showed the same state as before the film formation. This is probably because the film thickness of the hardened layer 22 is as thin as 1.0 μm, and in dry film formation such as ion plating, the film is formed along the unevenness of the surface.

硬化層22を成膜することにより、機能性チタン部材20の複合硬度は著しく向上する。機能性チタン部材20では、チタン部材21に硬化層22を密着性良く形成したため、実使用環境に耐えうる耐傷性が確保されている。 By forming the hardened layer 22, the composite hardness of the functional titanium member 20 is remarkably improved. In the functional titanium member 20, since the hardened layer 22 is formed on the titanium member 21 with good adhesion, scratch resistance that can withstand the actual use environment is ensured.

耐傷性能は、おおよそ基材上に積層される硬化層全体の硬質膜硬度、基材硬度、硬質膜膜厚、基材との密着性(複合硬度)によって決定される。このため、硬質膜22を形成した機能性チタン部材20の耐傷性は著しく向上する。表4に、熱処理条件3で作製したチタン部材21および機能性チタン部材20の耐傷性能の測定結果を示した。また、比較として純チタン板材、および純チタン板材に硬質膜処理を施した硬質膜処理済純チタン板材の複合硬度の計算値及び測定結果も示した。機能性チタン部材20は、チタン部材21と比較し、およそ4倍の耐傷性を発揮した。しかしながら、実施例1-1の機能性チタン部材10と比較すると耐傷性能は約12%低下していた。さらに、硬質膜処理済純チタン板材と比較すると5%低下していた。これは、チタン部材21の基材硬度が、実施例1-1のチタン部材11や純チタン板材よりも低くなったことに起因すると考えられる。 The scratch resistance is roughly determined by the hard film hardness of the entire cured layer laminated on the substrate, the substrate hardness, the hard film thickness, and the adhesion to the substrate (composite hardness). Therefore, the scratch resistance of the functional titanium member 20 having the hard film 22 formed thereon is remarkably improved. Table 4 shows the measurement results of the scratch resistance performance of the titanium member 21 and the functional titanium member 20 produced under heat treatment condition 3. For comparison, the calculated values and measurement results of the composite hardness of a pure titanium plate material and a hard film-treated pure titanium plate material obtained by applying a hard film treatment to a pure titanium plate material are also shown. The functional titanium member 20 exhibited approximately four times the scratch resistance as compared with the titanium member 21 . However, compared with the functional titanium member 10 of Example 1-1, the scratch resistance was lowered by about 12%. Furthermore, it was 5% lower than that of the hard-film-treated pure titanium plate material. This is probably because the base material hardness of the titanium member 21 is lower than that of the titanium member 11 and the pure titanium plate material of Example 1-1.

Figure 0007189832000005
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実施例1-2で得られたチタン部材21の色調は、青く見える部分でのR、G、Bの平均値はそれぞれ108、113、219であり、輝度L*は122であった。R、G、Bのうち、BがR、Gと比較して100以上高いことから、この結晶相は青色に視認される。白く見える部分でのR、G、Bの平均値はそれぞれ201、204、201であり、輝度L*は202であった。R、G、Bの平均値の最大値から最小値を減じた値は3であり、色味のない明るいグレー色であることが分かる。黒く見える部分でのR、G、Bの平均値はそれぞれ43、41、45であり、輝度L*は42であった。R、G、Bの平均値の最大値から最小値を減じた値は4であり、色味のない暗いグレー色であることが分かる。青色部、白色部、黒色部の輝度差が50以上と大きい。これより、基材上に明らかな結晶模様が存在することが分かる。特に、青色部はB値のみが100以上高く、青色が強く視認される結晶相を呈していることが分かる。 As for the color tone of the titanium member 21 obtained in Example 1-2, the average values of R, G, and B were 108, 113, and 219, respectively, and the luminance L * was 122 in the portion that looked blue. Among R, G, and B, since B is higher than R and G by 100 or more, this crystal phase is visually recognized as blue. The average values of R, G, and B in the portion that looked white were 201, 204, and 201, respectively, and the luminance L * was 202. The value obtained by subtracting the minimum value from the maximum value of the average values of R, G, and B is 3, and it can be seen that the color is bright gray with no tint. The average values of R, G, and B in the black portion were 43, 41, and 45, respectively, and the luminance L * was 42. The value obtained by subtracting the minimum value from the maximum value of the average values of R, G, and B is 4, and it can be seen that the color is a dull dark gray color. The luminance difference between the blue portion, the white portion, and the black portion is as large as 50 or more. From this, it can be seen that there is a clear crystal pattern on the substrate. In particular, only the B value of the blue portion is higher than 100, indicating that the crystal phase exhibits a strong blue color.

[実施例2]
図12は、実施例2の機能性チタン部材30の構造を示す断面模式図である。実施例2では、JIS規定の純チタンにサンドブラスト処理を施し、次いで、真空熱処理を実施し、結晶模様を析出させたチタン部材31を得た。このチタン部材31上に、DLCからなる硬化層(機能性層)32を形成し、機能性チタン部材30を得た。なお、DLCからなる硬化層32は、硬化とともに着色の機能を有する。
[Example 2]
FIG. 12 is a schematic cross-sectional view showing the structure of the functional titanium member 30 of Example 2. FIG. In Example 2, JIS-specified pure titanium was sandblasted and then subjected to vacuum heat treatment to obtain a titanium member 31 having crystal patterns deposited thereon. A hardened layer (functional layer) 32 made of DLC was formed on this titanium member 31 to obtain a functional titanium member 30 . The cured layer 32 made of DLC has a function of coloring as well as curing.

チタン部材31の作製には、#800研磨したJIS2種の純チタン板材を使用した。純チタン板材に対して、株式会社不二製作所製ニューマブラスターサンドブラスト装置を用いて、ガラスビーズ#300のメディアを0.4MPaの吐出圧力で吹付け、ブラスト処理済チタン基板を得た。続いて、拡散ポンプを備え、-4Paの高真空まで排気できる真空熱処理装置(株式会社アルバック製FHH-30GHS)を用いて、上記ブラスト処理済チタン基板を相転移温度以上の温度領域まで加熱し、結晶を析出させてチタン部材31を作製した。 A #800-polished JIS class 2 pure titanium plate material was used to manufacture the titanium member 31 . A media of glass beads #300 was sprayed onto the pure titanium plate material using a Pneumatic Blaster sandblasting apparatus manufactured by Fuji Seisakusho Co., Ltd. at a discharge pressure of 0.4 MPa to obtain a blasted titanium substrate. Subsequently, using a vacuum heat treatment apparatus (FHH-30GHS manufactured by ULVAC, Inc.) equipped with a diffusion pump and capable of evacuating to a high vacuum of −4 Pa, the blasted titanium substrate is heated to a temperature range equal to or higher than the phase transition temperature, A titanium member 31 was produced by depositing crystals.

続いて、CVD装置にチタン部材31をセットし、反応ガスにベンゼンガスを使用して、チタン部材31上に硬化層(DLC硬質膜)32を形成し、機能性チタン部材30を作製した。 Subsequently, a titanium member 31 was set in a CVD apparatus, and a hardened layer (DLC hard film) 32 was formed on the titanium member 31 using benzene gas as a reaction gas, thereby producing a functional titanium member 30 .

実施例2は、ブラスト処理済チタン基板を真空熱処理炉内にセットし、9.0E-4Paまで排気した後、表5に示す熱処理条件4、5で実施した。すなわち、到達温度1、昇温時間1、保持時間1、到達温度2、昇温時間2、保持時間2、150℃まで降温する冷却時間について、表5のようにして実施した。 Example 2 was carried out under heat treatment conditions 4 and 5 shown in Table 5 after setting the blasted titanium substrate in a vacuum heat treatment furnace and evacuating to 9.0E-4Pa. That is, the temperature reached 1, the temperature rising time 1, the holding time 1, the reaching temperature 2, the temperature rising time 2, the holding time 2, and the cooling time to lower the temperature to 150° C. were carried out as shown in Table 5.

Figure 0007189832000006
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図13~15は、チタン部材31の作製過程でのチタン表面形状のマイクロスコープ像を示している。すなわち、図13は、ブラスト処理済チタン基板のマイクロスコープ像である。図14は、熱処理条件4により得られたチタン部材31のマイクロスコープ像である。図15は、熱処理条件5により得られたチタン部材31のマイクロスコープ像である。純チタン板材にサンドブラストを実施すると、全体的に表面が削られ凹凸間のある梨地表面に変化する。メディアを高速で表面に叩きつけることによる圧縮残留応力の付与により、ブラスト処理済チタン基板の硬度は、純チタンのHV240に対して、HV316まで上昇した。ブラスト処理に使用したガラスビーズは、実施例1-1で使用したWAフジランダムと比較して、ビーズ状に球体となっている。このため、基材を削る効果は少なくなるが、その分叩きつける効果が高くなり、実施例1-1のブラスト処理済チタン基板よりも硬度が上昇したと考えられる。 13 to 15 show microscope images of the titanium surface profile during the fabrication process of the titanium member 31. FIG. That is, FIG. 13 is a microscope image of the blasted titanium substrate. FIG. 14 is a microscope image of the titanium member 31 obtained under the heat treatment condition 4. FIG. FIG. 15 is a microscope image of the titanium member 31 obtained under heat treatment condition 5. FIG. When a pure titanium plate material is sandblasted, the surface is scraped as a whole and changes to a satin surface with irregularities. The hardness of the blasted titanium substrate increased to HV316 from HV240 of pure titanium by imparting compressive residual stress by hitting the media against the surface at high speed. The glass beads used in the blasting process are bead-like spheres compared to the WA Fujirandom used in Example 1-1. For this reason, although the effect of scraping the base material is reduced, the effect of striking the base material is increased accordingly, and it is considered that the hardness is higher than that of the blasted titanium substrate of Example 1-1.

ブラスト処理済チタン基板の硬度上昇は、結晶構造の変化にも起因していると考えられる。図16は、純チタン板材、ブラスト処理済チタン基板およびチタン部材31の結晶性を説明するための図である。ブラスト処理を実施すると、実施例1-1と同様に、41°付近の[101]面に優先配向した結晶構造になることが分かる。これはブラスト処理による残留圧縮応力の増大に伴う結晶変化であり、この結晶変化が硬度上昇の要因と推察される。 It is believed that the increase in hardness of the blasted titanium substrate is also caused by changes in the crystal structure. FIG. 16 is a diagram for explaining the crystallinity of the pure titanium plate, the blasted titanium substrate, and the titanium member 31. FIG. It can be seen that when the blasting treatment is performed, the crystal structure is preferentially oriented in the [101] plane near 41°, as in Example 1-1. This is a crystal change accompanying an increase in residual compressive stress due to blasting, and this crystal change is presumed to be the cause of the increase in hardness.

熱処理条件4により得られたチタン部材31は、1050℃で3時間加熱することで、表面に全体的にチタンの結晶が析出し、岸壁のような趣のある模様が形成された。熱処理条件4により得られたチタン部材31の硬度は、HV301であり、ブラスト処理済チタン基板よりもわずかに低下したが、純チタン板材よりも高い。また、チタン部材31の結晶については、ブラスト処理済チタン基板と比較して、41°付近の[101]がさらに優先的に成長することが分かった。この結晶配向性の変化は、結晶が成長してチタン基材全体に結晶模様が現れた明らかな証である。純チタン板材との優先配向性の違いは、圧縮残留応力による硬度上昇に寄与すると推察される。また、熱処理条件5により得られたチタン部材31は、1100℃で3時間加熱することで、熱処理条件4と同様の結晶模様が析出した。その結晶サイズは、熱処理条件4と比較して大きかった。高温になるほど結晶成長が促進され、得られる結晶サイズが大きくなると考えられる。 By heating the titanium member 31 obtained under the heat treatment condition 4 at 1050° C. for 3 hours, titanium crystals precipitated on the entire surface, forming an interesting pattern like a quay wall. The hardness of the titanium member 31 obtained under heat treatment condition 4 is HV301, which is slightly lower than that of the blasted titanium substrate but higher than that of the pure titanium plate. It was also found that the crystals of the titanium member 31 preferentially grow [101] around 41° compared to the blasted titanium substrate. This change in crystal orientation is a clear proof that crystals have grown and a crystal pattern has appeared on the entire titanium base material. It is speculated that the difference in preferred orientation from pure titanium sheet material contributes to the increase in hardness due to compressive residual stress. Also, the titanium member 31 obtained under the heat treatment condition 5 was heated at 1100° C. for 3 hours, and a crystal pattern similar to that of the heat treatment condition 4 was precipitated. The crystal size was large compared to heat treatment condition 4. It is believed that the higher the temperature, the more the crystal growth is promoted and the larger the crystal size obtained.

硬化層(DLC硬質膜)32は、CVDとスパッタリングの複合装置にチタン部材31をセットし、3.0E-3Paまで排気し、スパッタリングでチタン密着層0.1μm、シリコン密着層0.1μmの順に形成した後、ベンゼンガスを用いて作製した。硬化層32は、膜硬度HV1580であり、膜厚0.8μmであった。なお、膜厚は全体で1.0μmであった。DLC硬質膜の色調は、黒色であり、機能性チタン部材30の色調は黒色を示した。 The hardened layer (DLC hard film) 32 is formed by setting the titanium member 31 in a combined CVD and sputtering apparatus, evacuating to 3.0E-3Pa, and sputtering a titanium adhesion layer of 0.1 μm and a silicon adhesion layer of 0.1 μm in this order. After forming, it was fabricated using benzene gas. The hardened layer 32 had a film hardness of HV1580 and a film thickness of 0.8 μm. In addition, the film thickness was 1.0 μm as a whole. The color tone of the DLC hard film was black, and the color tone of the functional titanium member 30 was black.

チタン部材31上に硬化層32を形成しても、結晶パターンは消失することなく成膜前と同じ状態を示した。これは、硬化層32等の全体の膜厚が1.0μmと薄く、また、CVDやスパッタリングなどの乾式成膜では、表面の凹凸に倣って膜が形成されるためと考えられる。 Even when the hardened layer 32 was formed on the titanium member 31, the crystal pattern did not disappear and showed the same state as before the film formation. This is probably because the entire film thickness of the hardened layer 32 and the like is as thin as 1.0 μm, and in dry film formation such as CVD and sputtering, the film is formed along the unevenness of the surface.

硬化層32を成膜することにより、機能性チタン部材30の複合硬度は著しく向上する。チタン材料はそもそも材料の硬度が低く、たとえば眼鏡、アクセサリー、時計等の装身具または装飾品、スポーツ用品などの外装部品へ適用した場合、使用環境によってはたちまち傷がついてしまい、実使用環境に耐えうるとは言い難い。これに対して、機能性チタン部材30では、チタン部材31に硬化層32を密着性良く形成したため、実使用環境に耐えうる耐傷性が確保されている。 By forming the hardened layer 32, the composite hardness of the functional titanium member 30 is remarkably improved. Titanium material has low hardness in the first place, and when it is applied to accessories such as eyeglasses, accessories, watches, etc., or exterior parts such as decorations, sports equipment, etc., it may be scratched immediately depending on the usage environment, and it can withstand the actual usage environment. Hard to say. On the other hand, in the functional titanium member 30, since the hardened layer 32 is formed on the titanium member 31 with good adhesion, scratch resistance that can withstand the actual use environment is ensured.

耐傷性能は、おおよそ基材上に積層される硬化層全体の硬質膜硬度、基材硬度、硬質膜膜厚、基材との密着性(複合硬度)によって決定される。このため、硬質膜32を形成した機能性チタン部材30の耐傷性は著しく向上する。表6に、熱処理条件4で作製したチタン部材31、およびこれを用いて作製した機能性チタン部材30の複合硬度の計算値及び耐傷性能の測定結果を示した。機能性チタン部材30は、チタン部材31と比較し、およそ8.5倍の耐傷性を発揮した。硬化層32の形成により、チタンの独特な結晶パターンを維持しながら、実使用上に耐え得る耐傷性が得られた。さらに、#800研磨した純チタン板材に硬化層を形成した比較例と比べると、結晶パターンの存在により、キズが目立ち難いという効果が見られた。 The scratch resistance is roughly determined by the hard film hardness of the entire cured layer laminated on the substrate, the substrate hardness, the hard film thickness, and the adhesion to the substrate (composite hardness). Therefore, the scratch resistance of the functional titanium member 30 having the hard film 32 formed thereon is remarkably improved. Table 6 shows the calculated values of the composite hardness and the measurement results of the scratch resistance of the titanium member 31 produced under the heat treatment condition 4 and the functional titanium member 30 produced using this. The functional titanium member 30 exhibited approximately 8.5 times higher scratch resistance than the titanium member 31 . By forming the hardened layer 32, scratch resistance that can withstand actual use was obtained while maintaining the unique crystal pattern of titanium. Furthermore, compared with the comparative example in which a hardened layer was formed on a pure titanium plate material that had been polished to #800, an effect was seen in that scratches were less noticeable due to the existence of the crystal pattern.

Figure 0007189832000007
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実施例2は実施例1-1と熱処理条件は全く同様であるが、ブラスト処理による基板面状態の違いにより得られる結晶模様が異なることが分かる。 Although the heat treatment conditions of Example 2 are exactly the same as those of Example 1-1, it can be seen that the obtained crystal patterns are different due to the difference in the substrate surface state due to the blasting treatment.

実施例2で得られたチタン部材31の色調は、明るく見える部分でのR、G、Bの平均値はそれぞれ235、234、234であり、輝度L*は234であった。また、R、G、Bの平均値の最大値から最小値を減じた値は1であり、色味のない明るいグレー色であることが分かる。暗く見える部分でのR、G、Bの平均値はそれぞれ49、48、47であり、輝度L*は48であった。また、R、G、Bの平均値の最大値から最小値を減じた値は2であり、色味のない暗いグレー色であることが分かる。明るく見える部分と暗く見える部分との中間部分でのR、G、Bの平均値はそれぞれ125、125、122であり、輝度L*は124であった。またR、G、Bの平均値の最大値から最小値を減じた値は3であり、色味のないグレー色であることが分かる。明るく見える部分と、暗く見える部分および中間部分との輝度の差は50以上と大きい。この輝度差があることによって、確かに模様の存在を視認できる。 Regarding the color tone of the titanium member 31 obtained in Example 2, the average values of R, G, and B in the bright portion were 235, 234, and 234, respectively, and the luminance L * was 234. Also, the value obtained by subtracting the minimum value from the maximum value of the average values of R, G, and B is 1, and it can be seen that the color is a bright gray color with no tint. The average values of R, G, and B in the dark portion were 49, 48, and 47, respectively, and the luminance L * was 48. Also, the value obtained by subtracting the minimum value from the maximum value of the average values of R, G, and B is 2, and it can be seen that the color is a dull dark gray color. The average values of R, G, and B were 125, 125, and 122, respectively, and the luminance L * was 124 in the middle portion between the bright portion and the dark portion. Also, the value obtained by subtracting the minimum value from the maximum value of the average values of R, G, and B is 3, and it can be seen that the color is neutral gray. The difference in brightness between the portion that looks bright and the portion that looks dark and the intermediate portion is as large as 50 or more. The presence of this luminance difference makes it possible to visually recognize the presence of the pattern.

[実施例3]
図17は、実施例3の機能性チタン部材40の構造を示す断面模式図である。実施例3では、JIS規定の純チタンにサンドブラスト処理を施し、次いで、真空熱処理を実施し、結晶模様を析出させたチタン部材41を得た。このチタン部材41上に、TiCからなる硬化層(機能性層)42を形成し、機能性チタン部材40を得た。
[Example 3]
FIG. 17 is a schematic cross-sectional view showing the structure of the functional titanium member 40 of Example 3. As shown in FIG. In Example 3, JIS-specified pure titanium was sandblasted and then subjected to vacuum heat treatment to obtain a titanium member 41 on which a crystal pattern was deposited. A hardened layer (functional layer) 42 made of TiC was formed on this titanium member 41 to obtain a functional titanium member 40 .

チタン部材41の作製には、#800研磨したJIS2種の純チタン板材を使用した。純チタン板材に対して、株式会社不二製作所製ニューマブラスターサンドブラスト装置を用いて、アルミナ#150のメディアを0.2MPaの吐出圧力で吹付け、ブラスト処理済チタン基板を得た。続いて、拡散ポンプを備え-4Paの高真空まで排気できる真空熱処理装置(株式会社アルバック製FHH-30GHS)を用いて、上記ブラスト処理済チタン基板を相転移温度以上の温度領域まで加熱し、結晶を析出させてチタン部材41を作製した。 A #800-polished JIS class 2 pure titanium plate material was used to manufacture the titanium member 41 . Alumina #150 media was sprayed onto the pure titanium plate at a discharge pressure of 0.2 MPa using a pneumatic blaster sandblaster manufactured by Fuji Seisakusho Co., Ltd. to obtain a blasted titanium substrate. Subsequently, using a vacuum heat treatment apparatus (FHH-30GHS manufactured by ULVAC, Inc.) equipped with a diffusion pump and capable of evacuating to a high vacuum of −4 Pa, the blasted titanium substrate is heated to a temperature range equal to or higher than the phase transition temperature, and crystals are formed. was deposited to produce a titanium member 41 .

続いて、反応ガス量を調整できるイオンプレーティング装置にチタン部材41をセットし、蒸発源にTi、反応ガスにCH4ガスを使用して、チタン部材41上に硬化層(TiC硬質膜)42を形成し、機能性チタン部材40を作製した。 Subsequently, the titanium member 41 is set in an ion plating apparatus capable of adjusting the amount of reaction gas, and a hardened layer (TiC hard film) 42 is formed on the titanium member 41 using Ti as an evaporation source and CH 4 gas as a reaction gas. was formed, and a functional titanium member 40 was produced.

実施例3は、ブラスト処理済チタン基板を真空熱処理炉内にセットし、9.0E-4Paまで排気した後、表7に示す熱処理条件6で実施した。すなわち、到達温度1、昇温時間1、保持時間1、到達温度2、昇温時間2、保持時間2、150℃まで降温する冷却時間について、表7のようにして実施した。 In Example 3, the blasted titanium substrate was placed in a vacuum heat treatment furnace, and heat treatment conditions 6 shown in Table 7 were applied after the furnace was evacuated to 9.0E-4Pa. That is, the temperature reached 1, the temperature rising time 1, the holding time 1, the reaching temperature 2, the temperature rising time 2, the holding time 2, and the cooling time to lower the temperature to 150° C. were carried out as shown in Table 7.

Figure 0007189832000008
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図18、図19は、チタン部材41の作製過程でのチタン表面形状のマイクロスコープ像を示している。すなわち、図18は、ブラスト処理済チタン基板のマイクロスコープ像である。図19は、熱処理条件6により得られたチタン部材41のマイクロスコープ像である。純チタン板材にサンドブラストを実施すると、全体的に表面が削られ凹凸間のある梨地表面に変化する。表面が削られることによる内部応力の増加と、メディアを高速で表面に叩きつけることによる圧縮残留応力の付与とにより、ブラスト処理済チタン基板の硬度は、純チタンのHV240に対して、HV300まで上昇した。 18 and 19 show microscope images of the titanium surface profile during the production process of the titanium member 41. FIG. That is, FIG. 18 is a microscope image of the blasted titanium substrate. FIG. 19 is a microscope image of the titanium member 41 obtained under the heat treatment condition 6. FIG. When a pure titanium plate material is sandblasted, the surface is scraped as a whole and changes to a satin surface with irregularities. The hardness of the blasted titanium substrate increased to HV300 compared to HV240 of pure titanium due to the increase in internal stress due to surface scraping and the application of compressive residual stress due to high-speed hitting of the media against the surface. .

ブラスト処理済チタン基板の硬度上昇は、結晶構造の変化にも起因していると考えられる。図20は、純チタン板材、ブラスト処理済チタン基板およびチタン部材41の結晶性を説明するための図である。通常、純チタンの結晶はhcp構造を有するα相を形成している。図20に示すように、主に35°付近の[100]面、39°付近の[002]面、41°付近の[101]に配向した結晶構造を呈する。ブラスト処理を実施すると、41°付近の[101]面に優先配向した結晶構造になることが分かる。これはブラスト処理による残留圧縮応力の増大に伴う結晶変化であり、この結晶変化が硬度上昇の要因と推察される。 It is believed that the increase in hardness of the blasted titanium substrate is also caused by changes in the crystal structure. FIG. 20 is a diagram for explaining the crystallinity of the pure titanium plate, the blasted titanium substrate, and the titanium member 41. As shown in FIG. Crystals of pure titanium usually form an α phase having an hcp structure. As shown in FIG. 20, it exhibits a crystal structure oriented mainly in the [100] plane around 35°, the [002] plane around 39°, and the [101] plane around 41°. It can be seen that the blast treatment results in a crystal structure preferentially oriented in the [101] plane near 41°. This is a crystal change accompanying an increase in residual compressive stress due to blasting, and this crystal change is presumed to be the cause of the increase in hardness.

熱処理条件6により得られたチタン部材41は、実施例1-1の熱処理条件と比較し、昇温時間2を3時間に延ばしたため、結晶成長が促進され、趣のあるマーブル模様が現れたと考えられる。チタンは室温でα相、稠密六法最密構造(HCP)であるが、885℃以上ではβ相、面心立法格子構造(FCC)へ相転移する。純チタンはこの相転移温度以上に加熱されると昇温中に稠密六法最密構造(HCP)から面心立法格子構造(FCC)へ金属結晶のすべりが発生し針状結晶が成長する。実施例3では、この滑り過程に伴う結晶成長がゆっくりと行われたため、結晶成長が促進され、実施例1-1よりもはっきりとした結晶が現れたと考えられる。また、熱処理条件6により得られたチタン部材41の硬度は、HV289であり、ブラスト処理済チタン基板よりもわずかに低下したが、純チタン板材よりも高い。また、チタン部材41の結晶については、ブラスト処理済チタン基板と比較して、41°付近の[101]がさらに優先的に成長することが分かった。この結晶配向性の変化は、結晶が成長してチタン基材全体に結晶模様が現れた明らかな証である。純チタン板材との優先配向性の違いは、圧縮残留応力による硬度上昇に寄与すると推察される。 It is believed that the titanium member 41 obtained under the heat treatment condition 6 had the temperature rise time 2 extended to 3 hours compared to the heat treatment conditions of Example 1-1, and therefore crystal growth was accelerated and a tasteful marble pattern appeared. be done. Titanium is α-phase, hexagonal close-packed structure (HCP) at room temperature, but at 885° C. or higher, it undergoes a phase transition to β-phase, face-centered cubic lattice structure (FCC). When pure titanium is heated above this phase transition temperature, metal crystals slide from the close-packed hexagonal close-packed structure (HCP) to the face-centered cubic lattice structure (FCC) during the temperature rise, and needle-like crystals grow. In Example 3, the crystal growth accompanied by this sliding process occurred slowly, so it is thought that the crystal growth was accelerated and crystals appeared clearer than in Example 1-1. The hardness of the titanium member 41 obtained under the heat treatment condition 6 is HV289, which is slightly lower than that of the blasted titanium substrate but higher than that of the pure titanium plate. In addition, it was found that the crystals of the titanium member 41 preferentially grow [101] around 41° compared to the blasted titanium substrate. This change in crystal orientation is a clear proof that crystals have grown and a crystal pattern has appeared on the entire titanium base material. It is speculated that the difference in preferred orientation from pure titanium sheet material contributes to the increase in hardness due to compressive residual stress.

硬化層(TiC硬質膜)42は、イオンプレーティング装置にチタン部材41をセットし、3.0E-3Paまで排気した後、膜材料であるチタンを蒸発させながら、反応ガスとしてCH4ガスを投入して作製した。硬化層42は、膜硬度HV1100であり、膜厚1.0μmであった。TiC硬質膜の色調は、純チタンと同様のグレー色であり、機能性チタン部材40の色調はグレー色を示した。 The hardened layer (TiC hard film) 42 is formed by setting the titanium member 41 in an ion plating apparatus, evacuating the titanium member 41 to 3.0E-3Pa, and then introducing CH 4 gas as a reaction gas while evaporating titanium, which is the film material. and made. The hardened layer 42 had a film hardness of HV1100 and a film thickness of 1.0 μm. The color tone of the TiC hard film was gray like that of pure titanium, and the color tone of the functional titanium member 40 was gray.

チタン部材41上に硬化層42を形成しても、結晶パターンは消失することなく成膜前と同じ状態を示した。これは、硬化層42の膜厚が1.0μmと薄く、また、イオンプレーティングなどの乾式成膜では、表面の凹凸に倣って膜が形成されるためと考えられる。 Even when the hardened layer 42 was formed on the titanium member 41, the crystal pattern did not disappear and showed the same state as before the film formation. This is probably because the film thickness of the hardened layer 42 is as thin as 1.0 μm, and in dry film formation such as ion plating, the film is formed along the unevenness of the surface.

硬化層42を成膜することにより、機能性チタン部材40の複合硬度は著しく向上する。チタン材料はそもそも材料の硬度が低く、たとえば眼鏡、アクセサリー、時計等の装身具または装飾品、スポーツ用品などの外装部品へ適用した場合、使用環境によってはたちまち傷がついてしまい、実使用環境に耐えうるとは言い難い。これに対して、機能性チタン部材40では、チタン部材41に硬化層42を密着性良く形成したため、実使用環境に耐えうる耐傷性が確保されている。 By forming the hardened layer 42, the composite hardness of the functional titanium member 40 is remarkably improved. Titanium material has low hardness in the first place, and when it is applied to accessories such as eyeglasses, accessories, watches, etc., or exterior parts such as decorations, sports equipment, etc., it may be scratched immediately depending on the usage environment, and it can withstand the actual usage environment. Hard to say. On the other hand, in the functional titanium member 40, since the hardened layer 42 is formed on the titanium member 41 with good adhesion, scratch resistance that can withstand the actual usage environment is ensured.

耐傷性能は、おおよそ基材上に積層される硬化層全体の硬質膜硬度、基材硬度、硬質膜膜厚、基材との密着性(複合硬度)によって決定される。このため、硬化層42を形成した機能性チタン部材40の耐傷性は著しく向上する。表8に、熱処理条件6で作製したチタン部材41、およびこれを用いて作製した機能性チタン部材40の複合硬度の計算値及び耐傷性能の測定結果を示した。機能性チタン部材40は、チタン部材41と比較し、およそ4倍の耐傷性を発揮した。硬化層42の形成により、チタンの独特な結晶パターンを維持しながら、実使用上に耐え得る耐傷性が得られた。さらに、#800研磨した純チタン板材に硬化層を形成した比較例と比べると、結晶パターンの存在により、キズが目立ち難いという効果が見られた。 The scratch resistance is roughly determined by the hard film hardness of the entire cured layer laminated on the substrate, the substrate hardness, the hard film thickness, and the adhesion to the substrate (composite hardness). Therefore, the scratch resistance of the functional titanium member 40 having the hardened layer 42 is significantly improved. Table 8 shows the calculated values of the composite hardness and the measurement results of the scratch resistance of the titanium member 41 produced under the heat treatment condition 6 and the functional titanium member 40 produced using this. The functional titanium member 40 exhibited approximately four times the scratch resistance as compared with the titanium member 41 . By forming the hardened layer 42, while maintaining the unique crystal pattern of titanium, scratch resistance that can withstand actual use was obtained. Furthermore, compared with the comparative example in which a hardened layer was formed on a pure titanium plate material that had been polished to #800, an effect was seen in that scratches were less noticeable due to the existence of the crystal pattern.

Figure 0007189832000009
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実施例3で得られたチタン部材41の色調は、明るく見える部分でのR、G、Bの平均値はそれぞれ235、235、235であり、輝度L*は234であった。また、R、G、Bの平均値の最大値から最小値を減じた値は0であり、色味のない明るいグレー色であることが分かる。暗く見える部分でのR、G、Bの平均値はそれぞれ73、71、67であり、輝度L*は71であった。また、R、G、Bの平均値の最大値から最小値を減じた値は6であり、色味のない暗いグレー色であることが分かる。明るく見える部分と暗く見える部分との中間部分でのR、G、Bの平均値はそれぞれ139、141、138であり、輝度L*は140であった。またR、G、Bの平均値の最大値から最小値を減じた値は3であり、色味のないグレー色であることが分かる。明るく見える部分と、暗く見える部分および中間部分との輝度の差は50以上と大きい。この輝度差があることによって、確かに模様の存在を視認できる。 As for the color tone of the titanium member 41 obtained in Example 3, the average values of R, G, and B in the bright portion were 235, 235, and 235, respectively, and the luminance L * was 234. Also, the value obtained by subtracting the minimum value from the maximum value of the average values of R, G, and B is 0, and it can be seen that the color is bright gray with no tint. The average values of R, G, and B in the dark portion were 73, 71, and 67, respectively, and the luminance L * was 71. Also, the value obtained by subtracting the minimum value from the maximum value of the average values of R, G, and B is 6, and it can be seen that the color is a dull dark gray color. The average values of R, G, and B were 139, 141, and 138, respectively, and the luminance L * was 140 in the intermediate portion between the bright portion and the dark portion. Also, the value obtained by subtracting the minimum value from the maximum value of the average values of R, G, and B is 3, and it can be seen that the color is neutral gray. The difference in brightness between the portion that looks bright and the portion that looks dark and the intermediate portion is as large as 50 or more. The presence of this luminance difference makes it possible to visually recognize the presence of the pattern.

[実施例4]
図21は、実施例4の機能性チタン部材50の構造を示す断面模式図である。実施例4では、JIS規定の純チタンにサンドブラスト処理を施し、次いで、真空熱処理を実施し、結晶模様を析出させたチタン部材51を得た。このチタン部材51上に、TiCからなる硬化層(機能性層)52を形成し、機能性チタン部材50を得た。
[Example 4]
FIG. 21 is a schematic cross-sectional view showing the structure of the functional titanium member 50 of Example 4. FIG. In Example 4, JIS-specified pure titanium was sandblasted and then subjected to vacuum heat treatment to obtain a titanium member 51 having crystal patterns deposited thereon. A hardened layer (functional layer) 52 made of TiC was formed on this titanium member 51 to obtain a functional titanium member 50 .

チタン部材51の作製には、#800研磨したJIS2種の純チタン板材を使用した。純チタン板材に対して、株式会社不二製作所製ニューマブラスターサンドブラスト装置を用いて、粒径200μm以下のスチールビーズを0.45MPaの吐出圧力で吹付け、ブラスト処理済チタン基板を得た。続いて、拡散ポンプを備え-4Paの高真空まで排気できる真空熱処理装置(株式会社アルバック製FHH-30GHS)を用いて、上記ブラスト処理済チタン基板を相転移温度以上の温度領域まで加熱し、結晶を析出させてチタン部材51を作製した。 A #800-polished JIS class 2 pure titanium plate material was used to manufacture the titanium member 51 . Steel beads having a particle size of 200 μm or less were sprayed onto a pure titanium plate using a pneumatic sandblasting apparatus manufactured by Fuji Seisakusho Co., Ltd. at a discharge pressure of 0.45 MPa to obtain a blasted titanium substrate. Subsequently, using a vacuum heat treatment apparatus (FHH-30GHS manufactured by ULVAC, Inc.) equipped with a diffusion pump and capable of evacuating to a high vacuum of −4 Pa, the blasted titanium substrate is heated to a temperature range equal to or higher than the phase transition temperature, and crystals are formed. was deposited to produce a titanium member 51 .

続いて、反応ガス量を調整できるイオンプレーティング装置にチタン部材51をセットし、蒸発源にTi、反応ガスにCH4ガスを使用して、チタン部材51上に硬化層(TiC硬質膜)52を形成し、機能性チタン部材50を作製した。 Subsequently, the titanium member 51 was set in an ion plating apparatus capable of adjusting the amount of reaction gas, and a hardened layer (TiC hard film) 52 was formed on the titanium member 51 using Ti as an evaporation source and CH 4 gas as a reaction gas. was formed, and a functional titanium member 50 was produced.

実施例4は、ブラスト処理済チタン基板を真空熱処理炉内にセットし、9.0E-4Paまで排気した後、表9に示す熱処理条件7で実施した。すなわち、到達温度1、昇温時間1、保持時間1、到達温度2、昇温時間2、保持時間2、150℃まで降温する冷却時間について、表9のようにして実施した。 In Example 4, the blast-treated titanium substrate was placed in a vacuum heat treatment furnace, and heat treatment conditions 7 shown in Table 9 were applied after the furnace was evacuated to 9.0E-4Pa. That is, it was carried out as shown in Table 9 with respect to reaching temperature 1, heating time 1, holding time 1, reaching temperature 2, heating time 2, holding time 2, and cooling time to lower the temperature to 150°C.

Figure 0007189832000010
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図22、図23は、チタン部材51の作製過程でのチタン表面形状のマイクロスコープ像を示している。すなわち、図22は、ブラスト処理済チタン基板のマイクロスコープ像である。図23は、熱処理条件7により得られたチタン部材51のマイクロスコープ像である。純チタン板材にサンドブラストを実施すると、全体的に表面が削られ凹凸間のある梨地表面に変化する。表面が削られることによる内部応力の増加と、メディアを高速で表面に叩きつけることによる圧縮残留応力の付与とにより、ブラスト処理済チタン基板の硬度は、純チタンのHV240に対して、HV416まで上昇した。ブラスト時にスチールやジルコン等の金属粉を高圧力で吹き付けると、アルミナやガラスビーズよりも重量が重く、基材表面上に付加する圧縮残留応力が高いことから、硬度は著しく向上する。 22 and 23 show microscope images of the titanium surface profile during the production process of the titanium member 51. FIG. That is, FIG. 22 is a microscope image of the blasted titanium substrate. 23 is a microscope image of the titanium member 51 obtained under heat treatment condition 7. FIG. When a pure titanium plate is sandblasted, the surface is scraped as a whole and changes to a satin surface with irregularities. The hardness of the blasted titanium substrate increased to HV416, compared to HV240 of pure titanium, due to the increase in internal stress due to surface scraping and the application of compressive residual stress due to high-speed hitting of the media against the surface. . When metal powder such as steel or zircon is sprayed at high pressure during blasting, the weight is heavier than alumina or glass beads, and the compressive residual stress applied to the substrate surface is high, so the hardness is significantly improved.

ブラスト処理済チタン基板の硬度上昇は、結晶構造の変化にも起因していると考えられる。図24は、純チタン板材、ブラスト処理済チタン基板およびチタン部材51の結晶性を説明するための図である。通常、純チタンの結晶はhcp構造を有するα相を形成している。図24に示すように、主に35°付近の[100]面、39°付近の[002]面、41°付近の[101]に配向した結晶構造を呈する。ブラスト処理を実施すると、41°付近の[101]面に優先配向した結晶構造になることが分かる。これはブラスト処理による残留圧縮応力の増大に伴う結晶変化であり、この結晶変化が硬度上昇の要因と推察される。 It is believed that the increase in hardness of the blasted titanium substrate is also caused by changes in the crystal structure. FIG. 24 is a diagram for explaining the crystallinity of the pure titanium plate material, the blasted titanium substrate, and the titanium member 51. FIG. Crystals of pure titanium usually form an α phase having an hcp structure. As shown in FIG. 24, it exhibits a crystal structure oriented mainly in the [100] plane around 35°, the [002] plane around 39°, and the [101] plane around 41°. It can be seen that the blast treatment results in a crystal structure preferentially oriented in the [101] plane near 41°. This is a crystal change accompanying an increase in residual compressive stress due to blasting, and this crystal change is presumed to be the cause of the increase in hardness.

熱処理条件7により得られたチタン部材51は、実施例1-1の熱処理条件と比較し、昇温時間2を5時間に延ばしたため、結晶成長が促進され、結晶サイズの大きな模様が現れたと考えられる。チタンは室温でα相、稠密六法最密構造(HCP)であるが、885℃以上ではβ相、面心立法格子構造(FCC)へ相転移する。純チタンはこの相転移温度以上に加熱されると昇温中に稠密六法最密構造(HCP)から面心立法格子構造(FCC)へ金属結晶のすべりが発生し針状結晶が成長する。実施例4では、この滑り過程に伴う結晶成長がゆっくりと行われたため、結晶成長が促進され、実施例1-1よりもはっきりとした結晶が現れたと考えられる。また、熱処理条件7により得られたチタン部材51の硬度は、HV400であり、ブラスト処理済チタン基板よりもわずかに低下したが、純チタン板材よりも高い。また、チタン部材51の結晶については、ブラスト処理済チタン基板と比較して、41°付近の[101]がさらに優先的に成長することが分かった。この結晶配向性の変化は、結晶が成長してチタン基材全体に結晶模様が現れた明らかな証である。純チタン板材との優先配向性の違いは、圧縮残留応力による硬度上昇に寄与すると推察される。 In the titanium member 51 obtained under the heat treatment conditions 7, the temperature rise time 2 was extended to 5 hours compared to the heat treatment conditions of Example 1-1, so it is thought that crystal growth was promoted and a pattern with a large crystal size appeared. be done. Titanium has an α phase and a hexagonal close-packed structure (HCP) at room temperature, but at 885° C. or higher, it undergoes a phase transition to a β phase and a face-centered cubic lattice structure (FCC). When pure titanium is heated above this phase transition temperature, metal crystals slide from the close-packed hexagonal close-packed structure (HCP) to the face-centered cubic lattice structure (FCC) during the temperature rise, and needle-like crystals grow. In Example 4, the crystal growth accompanied by this slipping process occurred slowly, so it is thought that the crystal growth was accelerated and crystals appeared clearer than in Example 1-1. The hardness of the titanium member 51 obtained under the heat treatment condition 7 is HV400, which is slightly lower than that of the blasted titanium substrate but higher than that of the pure titanium plate. In addition, it was found that the crystals of the titanium member 51 preferentially grow [101] around 41° compared to the blasted titanium substrate. This change in crystal orientation is a clear proof that crystals have grown and a crystal pattern has appeared on the entire titanium base material. It is speculated that the difference in preferred orientation from pure titanium sheet material contributes to the increase in hardness due to compressive residual stress.

硬化層(TiC硬質膜)52は、イオンプレーティング装置にチタン部材51をセットし、3.0E-3Paまで排気した後、膜材料であるチタンを蒸発させながら、反応ガスとしてCH4ガスを投入して作製した。硬化層52は、膜硬度HV1100であり、膜厚1.0μmであった。TiC硬質膜の色調は、純チタンと同様のグレー色であり、機能性チタン部材50の色調はグレー色を示した。 The hardened layer (TiC hard film) 52 is formed by setting the titanium member 51 in an ion plating apparatus, evacuating the titanium member 51 to 3.0E-3Pa, and then introducing CH 4 gas as a reaction gas while evaporating titanium, which is the film material. and made. The hardened layer 52 had a film hardness of HV1100 and a film thickness of 1.0 μm. The color tone of the TiC hard film was gray like that of pure titanium, and the color tone of the functional titanium member 50 was gray.

チタン部材51上に硬化層52を形成しても、結晶パターンは消失することなく成膜前と同じ状態を示した。これは、硬化層52の膜厚が1.0μmと薄く、また、イオンプレーティングなどの乾式成膜では、表面の凹凸に倣って膜が形成されるためと考えられる。 Even when the hardened layer 52 was formed on the titanium member 51, the crystal pattern did not disappear and showed the same state as before the film formation. This is probably because the film thickness of the hardened layer 52 is as thin as 1.0 μm, and in dry film formation such as ion plating, the film is formed along the unevenness of the surface.

硬化層52を成膜することにより、機能性チタン部材50の複合硬度は著しく向上する。チタン材料はそもそも材料の硬度が低く、たとえば眼鏡、アクセサリー、時計等の装身具または装飾品、スポーツ用品などの外装部品へ適用した場合、使用環境によってはたちまち傷がついてしまい、実使用環境に耐えうるとは言い難い。これに対して、機能性チタン部材50では、チタン部材51に硬化層52を密着性良く形成したため、実使用環境に耐えうる耐傷性が確保されている。 By forming the hardened layer 52, the composite hardness of the functional titanium member 50 is remarkably improved. Titanium material has low hardness in the first place, and when it is applied to accessories such as eyeglasses, accessories, watches, etc., or exterior parts such as decorations, sports equipment, etc., it may be scratched immediately depending on the usage environment, and it can withstand the actual usage environment. Hard to say. On the other hand, in the functional titanium member 50, since the hardened layer 52 is formed on the titanium member 51 with good adhesion, scratch resistance that can withstand the actual usage environment is ensured.

耐傷性能は、おおよそ基材上に積層される硬化層全体の硬質膜硬度、基材硬度、硬質膜膜厚、基材との密着性(複合硬度)によって決定される。このため、硬化層52を形成した機能性チタン部材50の耐傷性は著しく向上する。表10に、熱処理条件7で作製したチタン部材51、およびこれを用いて作製した機能性チタン部材50の複合硬度の計算値及び耐傷性能の測定結果を示した。機能性チタン部材50は、チタン部材51と比較し、およそ4倍の耐傷性を発揮した。硬化層52の形成により、チタンの独特な結晶パターンを維持しながら、実使用上に耐え得る耐傷性が得られた。さらに、#800研磨した純チタン板材に硬化層を形成した比較例と比べると、結晶パターンの存在により、キズが目立ち難いという効果が見られた。 The scratch resistance is roughly determined by the hard film hardness of the entire cured layer laminated on the substrate, the substrate hardness, the hard film thickness, and the adhesion to the substrate (composite hardness). Therefore, the scratch resistance of the functional titanium member 50 having the hardened layer 52 is remarkably improved. Table 10 shows the calculated values of the composite hardness and the measurement results of the scratch resistance of the titanium member 51 produced under heat treatment condition 7 and the functional titanium member 50 produced using this. The functional titanium member 50 exhibited approximately four times the scratch resistance as compared with the titanium member 51 . By forming the hardened layer 52, scratch resistance that can withstand actual use was obtained while maintaining the unique crystal pattern of titanium. Furthermore, compared with the comparative example in which a hardened layer was formed on a pure titanium plate material that had been polished to #800, an effect was seen in that scratches were less noticeable due to the existence of the crystal pattern.

Figure 0007189832000011
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実施例1-1~4のように、ブラスト処理条件や熱処理条件を様々に変更すると、チタン独特の結晶模様を付与できる。また、ブラスト処理条件によってチタン基材の残留圧縮応力を増大させ、基材の硬度を上昇させることができる。基材の硬度が上昇することで耐傷性も向上させられる。 As in Examples 1-1 to 1-4, by variously changing the blasting conditions and heat treatment conditions, a crystal pattern unique to titanium can be imparted. Also, depending on the blasting conditions, the residual compressive stress of the titanium base material can be increased, and the hardness of the base material can be increased. Increased hardness of the substrate also improves scratch resistance.

表11に、実施例1-1~4のチタン部材硬度、硬質膜硬度、複合硬度および耐傷性能の測定結果をまとめた。実施例2は、硬化層を硬度の高いDLCにしたため耐傷性が著しく高い。実施例2を除いた結果を比較すると、チタン部材硬度の上昇に伴い、複合硬度が上昇し、耐傷性が向上していることが分かる。これは、耐傷性能が積層される硬質膜硬度、基材硬度、硬質膜厚、基材との密着性によって決定されるためである。すなわち、ブラスト処理により基材硬度が上昇したためと考えられる。 Table 11 summarizes the measurement results of titanium member hardness, hard film hardness, composite hardness and scratch resistance of Examples 1-1 to 1-4. In Example 2, since the hardened layer is made of DLC with high hardness, the scratch resistance is remarkably high. Comparing the results excluding Example 2, it can be seen that as the hardness of the titanium member increases, the composite hardness increases and the scratch resistance improves. This is because the scratch resistance is determined by the hardness of the laminated hard film, the hardness of the substrate, the thickness of the hard film, and the adhesion to the substrate. That is, it is considered that the blasting treatment increased the hardness of the base material.

Figure 0007189832000012
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以上の結果から、チタン基材にブラスト処理を施し、さらに真空熱処理を実施すると、独特の模様を付与しつつ、耐傷性の優れた装飾部品を提供できることが理解できる。 From the above results, it can be understood that by subjecting the titanium base material to blasting treatment and further vacuum heat treatment, it is possible to provide a decorative part having excellent scratch resistance while imparting a unique pattern.

実施例4で得られたチタン部材51の色調は、明るく見える部分でのR、G、Bの平均値はそれぞれ246、244、246であり、輝度L*は244であった。また、R、G、Bの平均値の最大値から最小値を減じた値は2であり、色味のない明るいグレー色であることが分かる。暗く見える部分でのR、G、Bの平均値はそれぞれ69、70、71であり、輝度L*は71であった。また、R、G、Bの平均値の最大値から最小値を減じた値は2であり、色味のない暗いグレー色であることが分かる。明るく見える部分と暗く見える部分との中間部分でのR、G、Bの平均値はそれぞれ148、149、148であり、輝度L*は148であった。またR、G、Bの平均値の最大値から最小値を減じた値は1であり、色味のないグレー色であることが分かる。明るく見える部分と、暗く見える部分および中間部分との輝度の差は50以上と大きい。この輝度差があることによって、確かに模様の存在を視認できる。 Regarding the color tone of the titanium member 51 obtained in Example 4, the average values of R, G, and B were 246, 244, and 246, respectively, and the luminance L * was 244 in the bright portion. Also, the value obtained by subtracting the minimum value from the maximum value of the average values of R, G, and B is 2, and it can be seen that the color is bright gray with no tint. The average values of R, G, and B in the dark portion were 69, 70, and 71, respectively, and the luminance L * was 71. Also, the value obtained by subtracting the minimum value from the maximum value of the average values of R, G, and B is 2, and it can be seen that the color is a dull dark gray color. The average values of R, G, and B were 148, 149, and 148, respectively, and the luminance L * was 148 in the intermediate portion between the bright portion and the dark portion. Also, the value obtained by subtracting the minimum value from the maximum value of the average values of R, G, and B is 1, and it can be seen that the color is neutral gray. The difference in brightness between the portion that looks bright and the portion that looks dark and the intermediate portion is as large as 50 or more. The presence of this luminance difference makes it possible to visually recognize the presence of the pattern.

[実施例5]
実施例1-1~4では、チタン基材にブラスト処理を施して硬度を上昇させ、結晶模様を作製する場合について述べた。実施例5、6では、ブラスト処理を施さずに硬度を上昇させ、結晶模様を付与する場合について示す。
[Example 5]
In Examples 1-1 to 1-4, the case where a titanium base material is subjected to blasting treatment to increase the hardness and to produce a crystal pattern has been described. In Examples 5 and 6, the case where the hardness is increased and the crystal pattern is imparted without performing the blasting treatment is shown.

図25は、実施例5の機能性チタン部材60の構造を示す断面模式図である。実施例5では、JIS規定の純チタンに、水を導入しながら真空熱処理を施し、結晶模様を析出させたチタン部材61を得た。このチタン部材61上に、TiCからなる硬化層(機能性層)62を形成し、機能性チタン部材60を得た。 25 is a schematic cross-sectional view showing the structure of the functional titanium member 60 of Example 5. FIG. In Example 5, pure titanium specified by JIS was subjected to vacuum heat treatment while water was introduced to obtain a titanium member 61 in which a crystal pattern was precipitated. A hardened layer (functional layer) 62 made of TiC was formed on this titanium member 61 to obtain a functional titanium member 60 .

チタン部材61の作製には、#800研磨したJIS2種の純チタン板材を使用した。拡散ポンプを備え-4Paの高真空まで排気できる真空熱処理装置(株式会社アルバック製FHH-30GHS)に、純チタン板材を投入し、純チタン板材を相転移温度以上の温度領域まで加熱しながら水と反応させ、結晶を析出させてチタン部材61を作製した。 A #800-polished JIS class 2 pure titanium plate material was used to manufacture the titanium member 61 . A pure titanium plate material is put into a vacuum heat treatment apparatus (FHH-30GHS manufactured by ULVAC, Inc.) equipped with a diffusion pump and capable of evacuating to a high vacuum of -4 Pa. The pure titanium plate material is heated to a temperature range above the phase transition temperature and mixed with water. A titanium member 61 was produced by reacting and depositing crystals.

続いて、反応ガス量を調整できるイオンプレーティング装置にチタン部材61をセットし、蒸発源にTi、反応ガスにCH4ガスを使用して、チタン部材61上に硬化層(TiC硬質膜)62を形成し、機能性チタン部材60を作製した。 Subsequently, the titanium member 61 was set in an ion plating apparatus capable of adjusting the amount of reaction gas, and a hardened layer (TiC hard film) 62 was formed on the titanium member 61 using Ti as an evaporation source and CH 4 gas as a reaction gas. was formed, and a functional titanium member 60 was produced.

実施例5は、純チタン板材を真空熱処理炉内にセットし、9.0E-4Paまで排気した後、表12に示す熱処理条件8で実施した。すなわち、到達温度1、昇温時間1、保持時間1、到達温度2、昇温時間2、保持時間2、150℃まで降温する冷却時間について、表12のようにして実施した。 In Example 5, the pure titanium plate material was placed in a vacuum heat treatment furnace, and heat treatment conditions 8 shown in Table 12 were applied after exhausting the atmosphere to 9.0E-4Pa. That is, the temperature reached 1, the temperature rising time 1, the holding time 1, the reaching temperature 2, the temperature rising time 2, the holding time 2, and the cooling time to lower the temperature to 150° C. were carried out as shown in Table 12.

Figure 0007189832000013
Figure 0007189832000013

また、保持時間2がスタートするタイミングで、Arガスをキャリアにして水蒸気を0.25Torr(33Pa)になるまで導入して1時間供給した。その後、水の供給をやめ1時間保持した。その後、再度Arガスをキャリアにして水蒸気を0.25Torr(33Pa)になるまで導入して1時間供給した。このように、保持時間2の3時間のうち、2時間水蒸気を供給した。 Also, at the timing when holding time 2 started, water vapor was introduced using Ar gas as a carrier until the pressure reached 0.25 Torr (33 Pa) and was supplied for 1 hour. After that, the water supply was stopped and the mixture was kept for 1 hour. After that, using Ar gas as a carrier again, water vapor was introduced to 0.25 Torr (33 Pa) and supplied for 1 hour. Thus, water vapor was supplied for 2 hours out of 3 hours of holding time 2.

図26は、熱処理条件8により得られたチタン部材61のマイクロスコープ像である。純チタン板材に、水蒸気を導入しながら真空熱処理を実施すると、石のようなごつごつとした模様が現れた。チタン部材61の硬度は、HV799であった。純チタンのHV240に比較しおよそ3.3倍に上昇した。 FIG. 26 is a microscope image of the titanium member 61 obtained under heat treatment condition 8. FIG. When a pure titanium plate was subjected to vacuum heat treatment while steam was introduced, a stone-like rugged pattern appeared. The hardness of the titanium member 61 was HV799. Compared with HV240 of pure titanium, it increased about 3.3 times.

図27は、純チタン板材およびチタン部材61の結晶性を説明するための図である。通常、純チタンの結晶はhcp構造を有するα相を形成している。図27に示すように、主に35°付近の[100]面、39°付近の[002]面、41°付近の[101]に配向した結晶構造を呈する。水と反応させながら熱処理を施すと、41°付近の[101]面にのみ強く優先配向した結晶構造に変態することが分かる。この結晶変化が硬度上昇の要因の一つと推察される。また、水と反応させることで二酸化チタン等の結晶が析出されて硬度が上昇した可能性も考えられる。しかしながら、二酸化チタンの結晶は25°付近に優先配向する結晶構造を呈するため、二酸化チタンを形成しているとは言い難い。また、水との作用により、水を形成する水素がチタンの内部に侵入し結晶間隔を歪ませたため、圧縮応力が増大し、硬度を上昇させた可能性も考えられる。いずれにしても結晶構造の変化や結晶の歪みによる圧縮応力の増大が硬度上昇に大きく関与していると考えられる。 FIG. 27 is a diagram for explaining the crystallinity of the pure titanium plate material and the titanium member 61. FIG. Crystals of pure titanium usually form an α phase having an hcp structure. As shown in FIG. 27, it exhibits a crystal structure oriented mainly in the [100] plane around 35°, the [002] plane around 39°, and the [101] plane around 41°. It can be seen that when heat treatment is performed while reacting with water, the crystal structure transforms into a crystal structure in which only the [101] plane near 41° is strongly preferentially oriented. This crystal change is presumed to be one of the factors for the increase in hardness. It is also possible that the reaction with water precipitated crystals such as titanium dioxide and increased the hardness. However, since titanium dioxide crystals have a crystal structure with preferential orientation at around 25°, it is difficult to say that titanium dioxide is formed. In addition, it is also possible that the hydrogen that forms water penetrates into the interior of titanium and distorts the crystal spacing due to the action with water, increasing the compressive stress and increasing the hardness. In any case, it is considered that the change in the crystal structure and the increase in compressive stress due to the distortion of the crystal greatly contribute to the increase in hardness.

硬化層(TiC硬質膜)62は、イオンプレーティング装置にチタン部材61をセットし、3.0E-3Paまで排気した後、膜材料であるチタンを蒸発させながら、反応ガスとしてCH4ガスを投入して作製した。硬化層62は、膜硬度HV1100であり、膜厚1.0μmであった。TiC硬質膜の色調は、純チタンと同様のグレー色であり、機能性チタン部材60の色調はグレー色を示した。 The hardened layer (TiC hard film) 62 is formed by setting the titanium member 61 in an ion plating apparatus, evacuating the titanium member 61 to 3.0E-3Pa, and then introducing CH 4 gas as a reaction gas while evaporating titanium, which is the film material. and made. The hardened layer 62 had a film hardness of HV1100 and a film thickness of 1.0 μm. The TiC hard film had a gray color similar to that of pure titanium, and the functional titanium member 60 had a gray color.

チタン部材61上に硬化層62を形成しても、結晶パターンは消失することなく成膜前と同じ状態を示した。これは、硬化層62の膜厚が1.0μmと薄く、また、イオンプレーティングなどの乾式成膜では、表面の凹凸に倣って膜が形成されるためと考えられる。 Even when the hardened layer 62 was formed on the titanium member 61, the crystal pattern did not disappear and showed the same state as before the film formation. This is probably because the film thickness of the hardened layer 62 is as thin as 1.0 μm, and in dry film formation such as ion plating, the film is formed along the unevenness of the surface.

硬化層62を成膜することにより、機能性チタン部材60の複合硬度は著しく向上する。チタン材料はそもそも材料の硬度が低く、たとえば眼鏡、アクセサリー、時計等の装身具または装飾品、スポーツ用品などの外装部品へ適用した場合、使用環境によってはたちまち傷がついてしまい、実使用環境に耐えうるとは言い難い。これに対して、機能性チタン部材60では、チタン部材61に硬化層62を密着性良く形成したため、実使用環境に耐えうる耐傷性が確保されている。 By forming the hardened layer 62, the composite hardness of the functional titanium member 60 is remarkably improved. Titanium material has low hardness in the first place, and when it is applied to accessories such as eyeglasses, accessories, watches, etc., or exterior parts such as decorations, sports equipment, etc., it may be scratched immediately depending on the usage environment, and it can withstand the actual usage environment. Hard to say. On the other hand, in the functional titanium member 60, since the hardened layer 62 is formed on the titanium member 61 with good adhesion, scratch resistance that can withstand the actual use environment is ensured.

耐傷性能は、おおよそ基材上に積層される硬化層全体の硬質膜硬度、基材硬度、硬質膜膜厚、基材との密着性(複合硬度)によって決定される。このため、硬化層62を形成した機能性チタン部材60の耐傷性は著しく向上する。表13に、熱処理条件8で作製したチタン部材61、およびこれを用いて作製した機能性チタン部材60の複合硬度の計算値及び耐傷性能の測定結果を示した。機能性チタン部材60は、チタン部材61と比較し、およそ3倍の耐傷性を発揮した。硬化層62の形成により、チタンの独特な結晶パターンを維持しながら、実使用上に耐え得る耐傷性が得られた。さらに、#800研磨した純チタン板材に硬化層を形成した比較例と比べると、結晶パターンの存在により、キズが目立ち難いという効果が見られた。 The scratch resistance is roughly determined by the hard film hardness of the entire cured layer laminated on the substrate, the substrate hardness, the hard film thickness, and the adhesion to the substrate (composite hardness). Therefore, the scratch resistance of the functional titanium member 60 having the hardened layer 62 is significantly improved. Table 13 shows the calculated values of the composite hardness and the measurement results of the scratch resistance of the titanium member 61 produced under heat treatment condition 8 and the functional titanium member 60 produced using this. The functional titanium member 60 exhibited approximately three times the scratch resistance as compared with the titanium member 61 . By forming the hardened layer 62, scratch resistance that can withstand actual use was obtained while maintaining the unique crystal pattern of titanium. Furthermore, compared with the comparative example in which a hardened layer was formed on a pure titanium plate material that had been polished to #800, an effect was seen in that scratches were less noticeable due to the existence of the crystal pattern.

Figure 0007189832000014
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なお、水の供給量を多くしすぎた場合、供給時間を長くしすぎた場合は、いずれも硬度は著しく向上したが、結晶模様が乱れ、所々にぼそぼその表面を呈するチタンとなることがあった。逆に、水の供給量を少なくしすぎた場合、供給時間が短すぎた場合は、結晶模様は得られたが、実施例1-2のような青色や白色、黒色の結晶がまばらに析出し、硬度上昇もわずかとなることがあった。導入する水の量、水の供給時間、熱処理温度、導入タイミングなどが重要である。 In addition, when the amount of water supplied was too large, and when the supply time was too long, the hardness was significantly improved, but the crystal pattern was disturbed and the surface of the titanium was rough in some places. rice field. Conversely, when the amount of water supplied was too small or the supply time was too short, a crystal pattern was obtained, but blue, white, and black crystals were sparsely deposited as in Example 1-2. However, the increase in hardness was sometimes slight. The amount of water to be introduced, water supply time, heat treatment temperature, introduction timing, etc. are important.

実施例5で得られたチタン部材61の色調は、明るく見える部分でのR、G、Bの平均値はそれぞれ229、227、228であり、輝度L*は228であった。また、R、G、Bの平均値の最大値から最小値を減じた値は2であり、色味のない明るいグレー色であることが分かる。暗く見える部分でのR、G、Bの平均値はそれぞれ65、68、68であり、輝度L*は67であった。また、R、G、Bの平均値の最大値から最小値を減じた値は3であり、色味のない暗いグレー色であることが分かる。明るく見える部分と暗く見える部分との中間部分でのR、G、Bの平均値はそれぞれ135、138、138であり、輝度L*は148であった。またR、G、Bの平均値の最大値から最小値を減じた値は3であり、色味のないグレー色であることが分かる。明るく見える部分と、暗く見える部分および中間部分との輝度の差は50以上と大きい。この輝度差があることによって、確かに模様の存在を視認できる。 Regarding the color tone of the titanium member 61 obtained in Example 5, the average values of R, G, and B in the bright portion were 229, 227, and 228, respectively, and the luminance L * was 228. Also, the value obtained by subtracting the minimum value from the maximum value of the average values of R, G, and B is 2, and it can be seen that the color is bright gray with no tint. The average values of R, G, and B in the dark portion were 65, 68, and 68, respectively, and the luminance L * was 67. Also, the value obtained by subtracting the minimum value from the maximum value of the average values of R, G, and B is 3, and it can be seen that the color is a dull dark gray color. The average values of R, G, and B were 135, 138, and 138, respectively, and the luminance L * was 148 in the intermediate portion between the bright portion and the dark portion. Also, the value obtained by subtracting the minimum value from the maximum value of the average values of R, G, and B is 3, and it can be seen that the color is neutral gray. The difference in brightness between the portion that looks bright and the portion that looks dark and the intermediate portion is as large as 50 or more. The presence of this luminance difference makes it possible to visually recognize the presence of the pattern.

[実施例6]
図28は、実施例6の機能性チタン部材70の構造を示す断面模式図である。実施例6では、JIS規定の純チタンに、窒素を導入しながら真空熱処理を施し、結晶模様を析出させたチタン部材71を得た。このチタン部材71上に、TiCからなる硬化層(機能性層)72を形成し、機能性チタン部材70を得た。
[Example 6]
28 is a schematic cross-sectional view showing the structure of the functional titanium member 70 of Example 6. FIG. In Example 6, pure titanium specified by JIS was subjected to vacuum heat treatment while nitrogen was introduced to obtain a titanium member 71 in which a crystal pattern was precipitated. A hardened layer (functional layer) 72 made of TiC was formed on this titanium member 71 to obtain a functional titanium member 70 .

チタン部材71の作製には、#800研磨したJIS2種の純チタン板材を使用した。拡散ポンプを備え-4Paの高真空まで排気できる真空熱処理装置(株式会社アルバック製FHH-30GHS)に、純チタン板材を投入し、純チタン板材を相転移温度以上の温度領域まで加熱しながら窒素と反応させ、結晶を析出させてチタン部材71を作製した。 A #800-polished JIS class 2 pure titanium plate material was used to manufacture the titanium member 71 . A pure titanium plate material is put into a vacuum heat treatment apparatus (FHH-30GHS manufactured by ULVAC, Inc.) equipped with a diffusion pump and capable of evacuating to a high vacuum of -4 Pa, and nitrogen is added while heating the pure titanium plate material to a temperature range above the phase transition temperature. A titanium member 71 was produced by reacting and depositing crystals.

続いて、反応ガス量を調整できるイオンプレーティング装置にチタン部材71をセットし、蒸発源にTi、反応ガスにCH4ガスを使用して、チタン部材71上に硬化層(TiC硬質膜)72を形成し、機能性チタン部材70を作製した。 Subsequently, the titanium member 71 was set in an ion plating apparatus capable of adjusting the reaction gas amount, and a hard layer (TiC hard film) 72 was formed on the titanium member 71 using Ti as an evaporation source and CH 4 gas as a reaction gas. was formed, and a functional titanium member 70 was produced.

実施例6は、純チタン板材を真空熱処理炉内にセットし、9.0E-4Paまで排気した後、表14に示す熱処理条件9で実施した。すなわち、到達温度1、昇温時間1、保持時間1、到達温度2、昇温時間2、保持時間2、150℃まで降温する冷却時間について、表14のようにして実施した。 In Example 6, the pure titanium plate material was set in a vacuum heat treatment furnace, and heat treatment conditions 9 shown in Table 14 were applied after the vacuum was exhausted to 9.0E-4Pa. That is, the temperature reached 1, the temperature rising time 1, the holding time 1, the reaching temperature 2, the temperature rising time 2, the holding time 2, and the cooling time to lower the temperature to 150° C. were carried out as shown in Table 14.

Figure 0007189832000015
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また、昇温時間2がスタートするタイミングで、窒素ガスを0.3Torr(40Pa)になるまで導入して1.5時間供給した後、窒素の供給を停止した。このように、昇温時間2の1.5時間の間、窒素ガスを供給した。 Further, at the timing when the heating period 2 started, nitrogen gas was introduced to 0.3 Torr (40 Pa) and supplied for 1.5 hours, after which the supply of nitrogen was stopped. In this way, nitrogen gas was supplied during the heating time 2 of 1.5 hours.

図29は、熱処理条件9により得られたチタン部材71のマイクロスコープ像である。純チタン板材に、窒素を導入しながら真空熱処理を実施すると、火成岩のようなごつごつとした模様が現れた。チタン部材71の硬度は、HV446であった。純チタンのHV240に比較しおよそ1.9倍に上昇した。 29 is a microscope image of the titanium member 71 obtained under the heat treatment condition 9. FIG. When pure titanium plate material was subjected to vacuum heat treatment while introducing nitrogen, a rugged pattern resembling igneous rock appeared. The hardness of the titanium member 71 was HV446. Compared with HV240 of pure titanium, it increased about 1.9 times.

図30は、純チタン板材およびチタン部材71の結晶性を説明するための図である。通常、純チタンの結晶はhcp構造を有するα相を形成している。図27に示すように、主に35°付近の[100]面、39°付近の[002]面、41°付近の[101]に配向した結晶構造を呈する。窒素を導入させながら熱処理を施すと、39°付近の[002]面に強く優先配向した結晶構造に変態することが分かる。さらに、窒化チタン(TiN)と思われる結晶が確認された。窒化チタンとチタンとの混合結晶の生成により硬度が上昇したと考えられる。 FIG. 30 is a diagram for explaining the crystallinity of the pure titanium plate material and the titanium member 71. FIG. Crystals of pure titanium usually form an α phase having an hcp structure. As shown in FIG. 27, it exhibits a crystal structure oriented mainly in the [100] plane around 35°, the [002] plane around 39°, and the [101] plane around 41°. It can be seen that when heat treatment is performed while introducing nitrogen, the crystal structure is transformed into a crystal structure strongly preferentially oriented to the [002] plane near 39°. Furthermore, crystals thought to be titanium nitride (TiN) were confirmed. It is believed that the hardness increased due to the formation of mixed crystals of titanium nitride and titanium.

硬化層(TiC硬質膜)72は、イオンプレーティング装置にチタン部材71をセットし、3.0E-3Paまで排気した後、膜材料であるチタンを蒸発させながら、反応ガスとしてCH4ガスを投入して作製した。硬化層72は、膜硬度HV1100であり、膜厚1.0μmであった。TiC硬質膜の色調は、純チタンと同様のグレー色であり、機能性チタン部材70の色調はグレー色を示した。 The hardened layer (TiC hard film) 72 is formed by setting the titanium member 71 in an ion plating apparatus, evacuating the titanium member 71 to 3.0E-3Pa, and then introducing CH 4 gas as a reaction gas while evaporating titanium, which is the film material. and made. The hardened layer 72 had a film hardness of HV1100 and a film thickness of 1.0 μm. The TiC hard film had a gray color similar to that of pure titanium, and the functional titanium member 70 had a gray color.

チタン部材71上に硬化層72を形成しても、結晶パターンは消失することなく成膜前と同じ状態を示した。これは、硬化層72の膜厚が1.0μmと薄く、また、イオンプレーティングなどの乾式成膜では、表面の凹凸に倣って膜が形成されるためと考えられる。 Even when the hardened layer 72 was formed on the titanium member 71, the crystal pattern did not disappear and showed the same state as before the film formation. This is probably because the film thickness of the hardened layer 72 is as thin as 1.0 μm, and in dry film formation such as ion plating, the film is formed along the unevenness of the surface.

硬化層72を成膜することにより、機能性チタン部材70の複合硬度は著しく向上する。チタン材料はそもそも材料の硬度が低く、たとえば眼鏡、アクセサリー、時計等の装身具または装飾品、スポーツ用品などの外装部品へ適用した場合、使用環境によってはたちまち傷がついてしまい、実使用環境に耐えうるとは言い難い。これに対して、機能性チタン部材70では、チタン部材71に硬化層72を密着性良く形成したため、実使用環境に耐えうる耐傷性が確保されている。 By forming the hardened layer 72, the composite hardness of the functional titanium member 70 is remarkably improved. Titanium material has low hardness in the first place, and when it is applied to accessories such as eyeglasses, accessories, watches, etc., or exterior parts such as decorations, sports equipment, etc., it may be scratched immediately depending on the usage environment, and it can withstand the actual usage environment. Hard to say. On the other hand, in the functional titanium member 70, since the hardened layer 72 is formed on the titanium member 71 with good adhesion, scratch resistance that can withstand the actual use environment is ensured.

耐傷性能は、おおよそ基材上に積層される硬化層全体の硬質膜硬度、基材硬度、硬質膜膜厚、基材との密着性(複合硬度)によって決定される。このため、硬化層72を形成した機能性チタン部材70の耐傷性は著しく向上する。表14に、熱処理条件9で作製したチタン部材71、およびこれを用いて作製した機能性チタン部材70の複合硬度の計算値及び耐傷性能の測定結果を示した。機能性チタン部材70は、チタン部材71と比較し、およそ4倍の耐傷性を発揮した。硬化層72の形成により、チタンの独特な結晶パターンを維持しながら、実使用上に耐え得る耐傷性が得られた。さらに、#800研磨した純チタン板材に硬化層を形成した比較例と比べると、結晶パターンの存在により、キズが目立ち難いという効果が見られた。 The scratch resistance is roughly determined by the hard film hardness of the entire cured layer laminated on the substrate, the substrate hardness, the hard film thickness, and the adhesion to the substrate (composite hardness). Therefore, the scratch resistance of the functional titanium member 70 having the hardened layer 72 is remarkably improved. Table 14 shows the calculated values of the composite hardness and the measurement results of the scratch resistance of the titanium member 71 produced under heat treatment condition 9 and the functional titanium member 70 produced using this. The functional titanium member 70 exhibited approximately four times the scratch resistance as compared with the titanium member 71 . By forming the hardened layer 72, scratch resistance that can withstand actual use was obtained while maintaining the unique crystal pattern of titanium. Furthermore, compared with the comparative example in which a hardened layer was formed on a pure titanium plate material that had been polished to #800, an effect was seen in that scratches were less noticeable due to the existence of the crystal pattern.

Figure 0007189832000016
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なお、窒素の供給量を多くしすぎた場合、供給時間を長くしすぎた場合、保持時間2中まで窒素を導入した場合、いずれも結晶模様は消失し、全体的に金色を呈する(いわゆる窒化チタンになる)ことがあった。図30に、保持時間2中まで窒素を導入した場合の結晶構造を合わせて示したが、窒化チタンの結晶構造であった。逆に、窒素の供給量を少なくしすぎた場合、供給時間が短すぎた場合は、実施例1-2のような青色や白色、黒色の結晶がまばらに析出し、硬度上昇もわずかとなることがあった。導入する窒素の量、窒素の供給時間、熱処理温度、導入タイミングなどが重要である。 In addition, when the amount of nitrogen supplied is too large, when the supply time is too long, and when nitrogen is introduced during the holding time 2, the crystal pattern disappears and the overall gold color is exhibited (so-called nitriding titanium). FIG. 30 also shows the crystal structure when nitrogen was introduced during the holding time 2, which was the crystal structure of titanium nitride. Conversely, if the supply amount of nitrogen is too small, or if the supply time is too short, blue, white, and black crystals like those in Example 1-2 are sparsely precipitated, and the increase in hardness is slight. something happened. The amount of nitrogen introduced, nitrogen supply time, heat treatment temperature, introduction timing, etc. are important.

実施例6で得られたチタン部材71の色調は、明るく見える部分でのR、G、Bの平均値はそれぞれ237、236、241であり、輝度L*は237であった。また、R、G、Bの平均値の最大値から最小値を減じた値は5であり、色味のない明るいグレー色であることが分かる。暗く見える部分でのR、G、Bの平均値はそれぞれ57、61、57であり、輝度L*は59であった。また、R、G、Bの平均値の最大値から最小値を減じた値は4であり、色味のない暗いグレー色であることが分かる。明るく見える部分と暗く見える部分との中間部分でのR、G、Bの平均値はそれぞれ135、137、136であり、輝度L*は136であった。またR、G、Bの平均値の最大値から最小値を減じた値は2であり、色味のないグレー色であることが分かる。明るく見える部分と、暗く見える部分および中間部分との輝度の差は50以上と大きい。この輝度差があることによって、確かに模様の存在を視認できる。 As for the color tone of the titanium member 71 obtained in Example 6, the average values of R, G, and B were 237, 236, and 241, respectively, and the luminance L * was 237 in the bright portion. Also, the value obtained by subtracting the minimum value from the maximum value of the average values of R, G, and B is 5, and it can be seen that the color is bright gray with no tint. The average values of R, G, and B in the dark portion were 57, 61, and 57, respectively, and the luminance L * was 59. Also, the value obtained by subtracting the minimum value from the maximum value of the average values of R, G, and B is 4, and it can be seen that the color is a dull dark gray color. The average values of R, G, and B were 135, 137, and 136, respectively, and the luminance L * was 136 in the middle portion between the bright portion and the dark portion. Also, the value obtained by subtracting the minimum value from the maximum value of the average values of R, G, and B is 2, and it can be seen that the color is neutral gray. The difference in brightness between the portion that looks bright and the portion that looks dark and the intermediate portion is as large as 50 or more. The presence of this luminance difference makes it possible to visually recognize the presence of the pattern.

図31は、複合硬度と耐傷性能の測定結果との関係を示した図である。耐傷性は、基板の硬度の上昇による複合硬度の上昇により指数関数的に向上することが分かる。ブラスト処理やガス処理を実施すると、基板硬度が上昇するとともに、チタン特有の結晶模様を付与できる。これにより、耐傷性に優れ、かつ、意匠性の高い機能性チタン部材を提供できる。 FIG. 31 is a diagram showing the relationship between composite hardness and measurement results of scratch resistance. It can be seen that the scratch resistance is exponentially improved with an increase in composite hardness due to an increase in substrate hardness. By performing blasting or gas treatment, the hardness of the substrate increases and a crystal pattern peculiar to titanium can be imparted. As a result, it is possible to provide a functional titanium member having excellent scratch resistance and high designability.

10、20、30、40、50、60、70 機能性チタン部材
11、21、31、41、51、61、71 チタン部材
12、22、32、42、52、62、72 硬化層
10, 20, 30, 40, 50, 60, 70 Functional titanium member 11, 21, 31, 41, 51, 61, 71 Titanium member 12, 22, 32, 42, 52, 62, 72 Hardened layer

Claims (4)

純チタンからなるチタン部材と、前記チタン部材の上に設けられた機能性層とを含む機能性チタン部材であって、
前記チタン部材は、少なくとも一つの面が粗面であり、前記粗面の表面に凹凸模様を有し、
前記機能性層は、前記凹凸模様に由来する凹凸模様を有し、
前記機能性チタン部材は、ビッカース硬さがHV500以上である、
機能性チタン部材。
A functional titanium member comprising a titanium member made of pure titanium and a functional layer provided on the titanium member ,
The titanium member has at least one rough surface, and the surface of the rough surface has an uneven pattern,
The functional layer has an uneven pattern derived from the uneven pattern,
The functional titanium member has a Vickers hardness of HV500 or more,
Functional titanium material.
前記機能性層が、炭素、窒素および酸素のうち少なくとも一つの元素と結合した金属または半導体を含む層またはダイヤモンドライクカーボンを含む層である、
請求項に記載の機能性チタン部材。
wherein the functional layer is a layer containing a metal or semiconductor bonded to at least one element selected from carbon, nitrogen and oxygen, or a layer containing diamond-like carbon;
The functional titanium member according to claim 1 .
純チタンからなる原料チタン部材の表面に対して、粗面を形成するブラスト処理を行い、ブラスト処理済チタン部材を得るブラスト処理工程と、
前記ブラスト処理済チタン部材を、減圧下で、室温から835℃以上935℃以下の温度T1まで昇温させて加熱する第一加熱工程と、
前記第一加熱工程を経た前記ブラスト処理済チタン部材を、減圧下で、温度T1から、950℃以上1150℃以下の温度T2まで、30分以上8時間以下の時間HT2をかけて昇温させて加熱し、チタン部材を得る第二加熱工程と、
前記第二加熱工程で得られたチタン部材の上に、機能性層を形成し、機能性チタン部材を得る機能性層形成工程とを含み、
前記チタン部材の表面に凹凸模様を形成
前記機能性層形成工程は、表面に前記チタン部材の前記凹凸模様に由来する凹凸模様を形成し、
前記機能性チタン部材は、ビッカース硬さがHV500以上である、
機能性チタン部材の製造方法。
a blasting step of performing blasting to form a rough surface on the surface of a raw material titanium member made of pure titanium to obtain a blasted titanium member;
a first heating step of heating the blasted titanium member from room temperature to a temperature T1 of 835° C. or more and 935° C. or less under reduced pressure;
The blasted titanium member that has undergone the first heating step is heated under reduced pressure from temperature T1 to temperature T2 of 950° C. or more and 1150° C. or less over a time HT2 of 30 minutes or more and 8 hours or less. a second heating step of heating to obtain a titanium member;
a functional layer forming step of forming a functional layer on the titanium member obtained in the second heating step to obtain a functional titanium member;
forming an uneven pattern on the surface of the titanium member;
In the functional layer forming step, an uneven pattern derived from the uneven pattern of the titanium member is formed on the surface,
The functional titanium member has a Vickers hardness of HV500 or more,
A method for producing a functional titanium member.
前記機能性層形成工程は、前記機能性層として炭素、窒素および酸素のうち少なくとも一つの元素と結合した金属または半導体を含む層またはダイヤモンドライクカーボンを含む層を形成する、
請求項に記載の機能性チタン部材の製造方法。
In the functional layer forming step, a layer containing a metal or semiconductor combined with at least one element selected from carbon, nitrogen and oxygen or a layer containing diamond-like carbon is formed as the functional layer.
The method for manufacturing the functional titanium member according to claim 3 .
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