JP7204389B2 - テープ貼着装置 - Google Patents

Description

本発明は、リングフレームとウェーハとにテープを貼着するテープ貼着装置に関する。

円形の開口を備えるリングフレームに円形のダイシングテープを貼着して開口を塞ぎ、開口部分のダイシングテープにウェーハを貼着し、ダイシングテープでリングフレームとウェーハとを一体化させるテープ貼着装置がある（例えば、特許文献１参照）。

特開２０１１－０８６６８７号公報

上記テープ貼着装置においては、円形のダイシングテープを帯状のシートの長手方向に、等間隔で並べて貼着して一体化させたテープユニットを用いている。このテープユニットは、ダイシングテープ側を内側にしてロール状に巻筒に巻回されている。このロール状のテープユニットがテープ貼着装置の支持柱に巻筒が貫装された状態で、ロールテープの外周の端からシートを把持して引き出し、シート側を内側にしてピールプレートを押し当てて屈曲させつつシートからダイシングテープの端を剥がす。そして、シートから剥がしたダイシングテープの端をリングフレームの上に位置づけ、転動するローラでダイシングテープをリングフレームに押し付け、ダイシングテープの端をリングフレームに貼着し、さらに、シートを剥がしながらダイシングテープをローラで押し付けていき、ウェーハ上面とリングフレーム上面との被貼着面に貼着している。

ここで、シートに押し当てるピールプレートの先端の高さ位置で、ダイシングテープがシートから剥がれされるので、リングフレーム及びウェーハの被貼着面とダイシングテープとの間にゴミや気泡が入らないようにするために、ピールプレートは該被貼着面に近づけているほうがよい。

しかし、ピールプレートを該被貼着面に近づけると、ピールプレートの先端とローラの側面との間に隙間ができ、その隙間によりダイシングテープに弛みが生じ、リングフレームとウェーハとに貼着したダイシングテープのテンションが均一にならないという問題がある。即ち、ダイシングテープの貼り始めのテンションが弱く、その後、均一のテンションになるため、全体的にはテンションが不均一となる。また、ダイシングテープの種類によってはリングフレームとウェーハとの間に皺が入る問題も生じる。そして、貼着されたダイシングテープのテンションが均一になっていないと、ウェーハを分割した際等にチップ同士が接触しチップ欠けが発生するという問題がある。

よって、リングフレームとウェーハとにダイシングテープを貼着するテープ貼着装置においては、貼着したダイシングテープのテンションが均一になるようにするという課題がある。

上記課題を解決するための本発明は、帯状のシートの長手方向に円形のダイシングテープを並べて貼着した帯状のテープユニットの該シートから該ダイシングテープを剥がして、リングフレームと該リングフレームの開口に配置したウェーハとに貼着し、該リングフレームとウェーハとを該ダイシングテープで一体化させるテープ貼着装置であって、該リングフレームを保持するリングフレーム保持部と、該リングフレームの該開口内でウェーハを保持するウェーハ保持部とからなる保持手段と、該テープユニットを挟んで回転し該テープユニットを送り出す送り出しユニットと、該ダイシングテープが剥がされた該シートを挟んで回転し該シートを巻き取る巻き取りユニットと、該送り出しユニットと該巻き取りユニットとの間で該シートに接触させ該シートを内側にして該テープユニットを屈曲させ該シートから該ダイシングテープを剥離させるピールプレートと、該シートから剥離した該ダイシングテープをリングフレームとウェーハとに押し付けながら貼着する貼着ローラと、該シートから剥がされた該ダイシングテープを該貼着ローラに沿わせるように該ウェーハ保持部の上方に配置され該ウェーハ保持部の上面に平行な方向にエアを噴き付けるエアノズルと、を備え、該ピールプレートの先端部と該貼着ローラの側面との隙間を該テープユニットが通過できるだけの大きさまで小さくし、該ピールプレートの先端部で剥離された該ダイシングテープを該エアノズルから噴き付けるエアにより該貼着ローラの側面に沿わせ、該ダイシングテープに弛みを発生させないようにした状態で、該リングフレームと該ウェーハとに貼着するテープ貼着装置である。

本発明に係るテープ貼着装置は、ピールプレートの先端部と貼着ローラの側面との隙間をテープユニットが通るだけの大きさまで小さくし、ピールプレートにより屈曲させたシートから剥がされたダイシングテープをエアノズルから噴き付けるエアにより貼着ローラの側面に沿わせ、ダイシングテープに弛みを発生させないよう貼着ローラの側面に沿わせた状態でリングフレームとウェーハとに貼着するので、貼着したダイシングテープのテンションを均一にすることができる。

ロール状に巻回されたテープユニットの一例を示す斜視図である。 テープ貼着装置の構成の一例を示す模式的な断面図である。 貼着ローラをダイシングテープをリングフレームに貼着する停止位置よりも少しだけ上方の位置に待機させ、エアノズルからエアを噴射させて貼着ローラの側面にダイシングテープを沿わせている状態を説明する断面図である。 ダイシングテープをリングフレームとウェーハとに貼着している状態を説明する断面図である。 ピールプレートの傾きを従来よりも倒した状態で、ダイシングテープをリングフレームとウェーハとに貼着している場合を説明する断面図である。 ダイシングテープをリングフレームとウェーハとに貼着している状態における従来の問題点を説明する断面図である。

図１に示すテープユニットＴＵ（例えば、厚み２００μｍ）は、帯状の粘着テープＴ５と、帯状のシートＴ１とが貼り合わせられた構造となっている。粘着テープＴ５は、例えばポリオレフィン系樹脂等からなる基材Ｔ５１と基材Ｔ５１上の粘着剤層Ｔ５２とからなり、粘着剤層Ｔ５２側にシートＴ１（例えば、厚み１００μｍ）が貼着されている。本実施形態に示す粘着テープＴ５は、予め貼着対象となるリングフレームＦ（図２参照）の径に応じて円形状に複数プリカットされており、シートＴ１に粘着テープＴ５がプリカットされて形成されたダイシングテープＴ２が複数、シートＴ１の長手方向（図１においてはＸ軸方向）に等間隔を空けて貼着された状態になっている。なお、粘着テープＴ５及びシートＴ１は、特に材質などが限定されない。

上記の帯状のシートＴ１の長手方向に円形のダイシングテープＴ２を並べて貼着したテープユニットＴＵは、図１に示すように巻筒Ｔ３にダイシングテープＴ２を内側にしてロール状に巻回された状態となっている。

図２に示すテープ貼着装置１は、リングフレームＦとウェーハＷとを図１に示すダイシングテープＴ２で一体化させる装置であり、リングフレームＦを保持するリングフレーム保持部３０と、リングフレームＦの開口内でウェーハＷを保持するウェーハ保持部３１とからなる保持手段３と、テープユニットＴＵを挟んで回転しテープユニットＴＵを送り出す送り出しユニット２と、ダイシングテープＴ２が剥がされたシートＴ１を挟んで回転しシートＴ１を巻き取る巻き取りユニット４と、送り出しユニット２と巻き取りユニット４との間でシートＴ１に接触させシートＴ１を内側にしてテープユニットＴＵを屈曲させシートＴ１からダイシングテープＴ２を剥離させるピールプレート５０と、シートＴ１から剥離したダイシングテープＴ２をリングフレームＦとウェーハＷとに押し付けながら貼着する貼着ローラ６０と、シートＴ１から剥がされたダイシングテープＴ２を貼着ローラ６０に沿わせるようにエアを噴き付けるエアノズル３９と、を少なくとも備えている。

テープ貼着装置１は、例えば、ロール状に巻回されたテープユニットＴＵを支持する第一のテープユニット支持手段１１及び第二のテープユニット支持手段１２を備えている。第一のテープユニット支持手段１１と第二のテープユニット支持手段１２とは同様の構成となっているため、以下に第一のテープユニット支持手段１１の構成について説明する。

第一のテープユニット支持手段１１は、テープユニットＴＵが収容されるケース１１０を有している。ケース１１０の底壁には、テープユニットＴＵを通過させるための開口１１０ａが形成されている。開口１１０ａの端部には、光センサ等からなりテープユニットＴＵの先端を検出する先端検出部１１１が配設されている。

ケース１１０内には、テープユニットＴＵが巻回されている巻筒Ｔ３が貫装される支持柱１１３を備えており、該支持柱１１３は、回転手段１１４によってＹ軸方向の軸心周りに回転可能となっている。
なお、ケース１１０の手前側（Ｙ軸方向紙面手前側）には、開閉可能な図示しない蓋が配設されている。

第一のテープユニット支持手段１１及び第二のテープユニット支持手段１２のそれぞれのケース１１０の開口１１０ａの直下には、一対のガイドローラ１４がそれぞれ配設されており、ケース１１０から引き出されたテープユニットＴＵを、図１に示すテープユニット引渡し手段１７に向かってガイドすることができる。
図示の例では、第二のテープユニット支持手段１２側のガイドローラ１４の近傍に送り出しユニット２に向けてテープユニットＴＵをガイドするガイドローラ１５が配設されている。

テープユニット引渡し手段１７は、支持部材１７１の下端に接続された回転機構１７２と、回転機構１７２に接続されたアーム部１７３と、クランプ等からなりアーム部１７３の先端に配設されたテープユニット挟持部１７４と、支持部材１７１をＸ軸方向にスライド移動させるスライド機構１７５とを備えている。テープユニット挟持部１７４は、テープユニットＴＵの端部のＹ軸方向両端を挟持することが可能となっている。

回転機構１７２は、Ｙ軸方向から見て時計回り方向又は反時計回り方向に回転可能となっており、テープユニット挟持部１７４を、第一のテープユニット支持手段１１から引き出されたテープユニットＴＵをテープユニット挟持部１７４が挟持可能となる第１の挟持位置Ｐ１と、第二のテープユニット支持手段１２から引き出されたテープユニットＴＵを挟持する第２の挟持位置Ｐ２と、テープユニットＴＵが送り出しユニット２によって挟まれた後にテープユニット挟持部１７４がテープユニットＴＵを開放する開放位置Ｐ３とに位置づけることができる。

スライド機構１７５は、Ｘ軸方向に延在するベース１７５ａと、ベース１７５ａにおいてＸ軸方向にスライド移動可能なスライダ１７５ｂと、スライダ１７５ｂを移動させる図示しないボールネジ機構とにより構成されている。そして、スライダ１７５ｂがベース１７５ａにおいてＸ軸方向にスライド移動することにより、回転機構１７２とともにテープユニット挟持部１７４をＸ軸方向にスライド移動させることができる。

送り出しユニット２は、少なくとも駆動ローラ２１と、Ｚ軸方向において対向する２つの従動ローラ２２と、駆動ローラ２１と従動ローラ２２とを相対的に接近又は離間させる移動機構２３とにより構成されている。移動機構２３は、Ｘ軸方向に延在するガイドレール２３１と、ガイドレール２３１においてＸ軸方向に移動可能な移動部２３２とにより構成されている。側面視略コの字状の移動部２３２は、その各先端において２つの従動ローラ２２を支持している。移動部２３２がガイドレール２３１に沿って移動することにより、駆動ローラ２１と２つの従動ローラ２２とをＸ軸方向において相対的に接近又は離間させることができる。

図２、３に示すように、引き出されたテープユニットＴＵを屈曲させシートＴ１からダイシングテープＴ２を剥離させるピールプレート５０は、例えば、テープユニットＴＵの幅（Ｙ軸方向長さ）以上の長さでＹ軸方向に延在しており、貼着ローラ６０に向かって斜め上から延在する基台５１上に可動部材５２を介して配設されている。例えば、ピールプレート５０の下端側の先端部５００は、Ｒ状に丸まっている。可動部材５２は、図示しない基台５１を往復移動可能となっており、可動部材５２が基台５１の下端側まで移動することで、ピールプレート５０がテープユニットＴＵのうちシートＴ１を押圧して鋭角に屈曲させることにより、シートＴ１からダイシングテープＴ２を剥離することができる。

例えば、基台５１はＹ軸方向の軸心周りに回動可能となっており、基台５１が所定角度回動することで、ピールプレート５０の貼着ローラ６０に対する角度を可変することができる。

図２に示すリングフレーム保持部３０は、平面視円環状であり、その上面はポーラス部材等からなり図示しない吸引源に連通する保持面となる。
リングフレーム保持部３０に囲繞されリングフレームＦの開口内でウェーハＷを保持するウェーハ保持部３１は、平面視円形状であり、その上面はポーラス部材等からなり図示しない吸引源に連通する保持面となる。

ウェーハ保持部３１とリングフレーム保持部３０とは、支持台３２によって下方から支持されている。支持台３２の下方には、支持台３２を介して保持手段３をＸ軸方向に往復移動させる保持手段移動手段３４が配設されている。保持手段移動手段３４は、Ｘ軸方向に延在するベース３４１と、ベース３４１に沿ってＸ軸方向に移動可能な移動基台３４２と、移動基台３４２を移動させる図示しないボールネジ機構等とを備えている。

支持台３２と移動基台３４２とは、例えば、シリンダー機構等からなる保持手段昇降手段３５を介して接続されている。保持手段昇降手段３５は、支持台３２を介して保持手段３をＺ軸方向に昇降させる。

Ｙ軸方向の軸心周りに回転可能な貼着ローラ６０は、保持手段３の上方に配設されており、少なくともダイシングテープＴ２の直径以上の長さでＹ軸方向に延在している。貼着ローラ６０には、例えばシリンダー機構等からなる貼着ローラ位置づけ手段６１が接続され、貼着ローラ位置づけ手段６１によって保持手段３に接近又は離間するＺ軸方向に昇降可能となっている。
なお、本実施形態においては貼着ローラ６０と保持手段３との両方がＺ軸方向に往復移動可能となっているが、いずれか一方のみがＺ軸方向に往復移動可能な構成となっていてもよい。

例えばウェーハ保持部３１の上方には、シートＴ１から剥がされたダイシングテープＴ２を貼着ローラ６０に沿わせるようにエアを噴き付けるエアノズル３９が配設されている。エアノズル３９は＋Ｘ方向側を向く噴射口３９０を備えており、コンプレッサー等からなるエア供給源３９３に連通している。

保持手段３の移動経路上方には、図２に示すテープユニット引取り手段７６をＸ軸方向に往復移動可能とするスライド機構７１が配設されている。スライド機構７１は、Ｘ軸方向に延在するベース７１０と、テープユニット引取り手段７６が固定されベース７１０においてＸ軸方向にスライド移動可能なスライダ７１１と、スライダ７１１を移動させる図示しないボールネジ機構とにより構成されている。

テープユニット引取り手段７６は、支持部材７６１と、支持部材７６１の上端に配設されたクランプ等のテープユニット把持部７６２とを備えている。テープユニット把持部７６２は、テープユニット引渡し手段１７のテープユニット挟持部１７４が挟持するテープユニットＴＵの端部のＹ軸方向両端を引き継いで把持することができる。

巻き取りユニット４は、テープユニット引取り手段７６のＸ軸方向の移動経路上に配設されており、送り出しユニット２と略同様の構成となっている。即ち、巻き取りユニット４は、少なくとも駆動ローラ４１と、Ｘ軸方向において対向する２つの従動ローラ４２と、駆動ローラ４１と従動ローラ４２とを相対的に接近又は離間させる移動機構４３とにより構成されている。移動機構４３は、Ｚ軸方向に延在するガイドレール４３１と、ガイドレール４３１においてＺ軸方向に移動可能な移動部４３２とにより構成されている。移動部４３２は、その各上端において２つの従動ローラ４２を支持している。移動部４３２がガイドレール４３１に沿って移動することにより、駆動ローラ４１と従動ローラ４２とをＺ軸方向において相対的に接近又は離間させることができる。

スライド機構７１のベース７１０の－Ｘ方向側の端側には、シートＴ１を廃棄する廃棄手段７３が配置されている。廃棄手段７３は、シートＴ１の端部のＹ軸方向の両端を把持部７３１ａによって把持するとともにその外周面にシートＴ１をロール状に巻き取る巻き取り部７３１と、巻き取り部７３１を回転させる図示しないモータと、巻き取り部７３１の下方に配設されロール状に巻かれたシートＴ１を把持部７３１ａが離すことでシートＴ１が落下する廃棄ボックス７３２とを備えている。

以下に、テープ貼着装置１の動作例について説明する。
まず、ウェーハＷが保持手段３のウェーハ保持部３１に互いの中心を略合わせて載置されるとともに、リングフレームＦがリングフレーム保持部３０に載置される。続いて、図示しない吸引源が作動し、ウェーハ保持部３１の保持面でウェーハＷが吸引保持され、リングフレーム保持部３０の保持面でリングフレームＦが吸引保持される。

テープユニット引渡し手段１７は、例えば、第一のテープユニット支持手段１１を選択して、第一のテープユニット支持手段１１からテープユニットＴＵを引き出す。即ち、回転手段１１４により、第一のテープユニット支持手段１１内のロール状のテープユニットＴＵを正転方向（例えば、紙面手前から見て時計回り方向）に回転させながら、帯状となったテープユニットＴＵが開口１１０ａ及び一対のガイドローラ１４の間に通され、一対のガイドローラ１４によって下方に送り出される。また、回転機構１７２及びスライド機構１７５によって第１の挟持位置Ｐ１にテープユニット挟持部１７４が位置づけられ、一対のガイドローラ１４により送り出されてくるテープユニットＴＵの端部のＹ軸方向両端をテープユニット挟持部１７４が挟持する。

スライド機構１７５によって、テープユニットＴＵを挟持したテープユニット挟持部１７４が＋Ｘ方向に移動し、これにともない、テープユニットＴＵが第一のテープユニット支持手段１１からさらに引き出される。回転機構１７２が例えば時計回り方向に回転することにより、テープユニット挟持部１７４で挟持しているテープユニットＴＵを、ガイドローラ１５に引っ掛けるとともに送り出しユニット２の駆動ローラ２１と従動ローラ２２との間を通して駆動ローラ２１に引っ掛け、テープユニット挟持部１７４を開放位置Ｐ３に移動させる。

次いで、スライド機構７１によって、スライダ７１１がベース７１０に沿って例えば＋Ｘ方向にスライド移動し、テープユニット把持部７６２が開放位置Ｐ３に移動する。テープユニット挟持部１７４が開放位置Ｐ３でテープユニットＴＵを開放したら、テープユニット把持部７６２によりテープユニットＴＵの端部のＹ軸方向両端を引き継いで把持する。さらに、スライド機構７１によって、テープユニット把持部７６２が－Ｘ方向に移動し、テープユニット把持部７６２で把持しているテープユニットＴＵが同方向に引っ張られ、巻き取りユニット４の駆動ローラ４１と従動ローラ４２との間を通過し、テープユニットＴＵが廃棄手段７３の巻き取り部７３１まで導かれる。そして、巻き取り部７３１の把持部７３１ａがテープユニットＴＵの端部のＹ軸方向両端を把持する。

送り出しユニット２の移動機構２３により、２つの従動ローラ２２が駆動ローラ２１に接近し、駆動ローラ２１と２つの従動ローラ２２とによってテープユニットＴＵが挟み込まれる。また、巻き取りユニット４の移動機構４３により、２つの従動ローラ４２が駆動ローラ４１に接近し、駆動ローラ４１と２つの従動ローラ４２とによってテープユニットＴＵが挟み込まれる。

図３に示すように、保持手段移動手段３４が保持手段３をＸ軸方向に移動させることで、リングフレームＦを保持するリングフレーム保持部３０が貼着ローラ６０の直下に位置付けられる。
また、図３に示すように、例えば、保持手段昇降手段３５が保持手段３をＺ軸方向に移動させることで、貼着ローラ６０が、ダイシングテープＴ２をリングフレーム保持部３０で保持されたリングフレームＦに貼着する際の停止高さ位置より少しだけ上方に位置した状態になる。

また、図３に示すように、可動部材５２が基台５１の下端側まで移動することで、例えば、先端部５００がエアノズル３９から噴射されるエアの移動経路上よりも僅かに上方の位置に位置するように、ピールプレート５０が移動される。そして、ピールプレート５０の先端部５００と貼着ローラ６０の側面との隙間ＳをテープユニットＴＵが通過している状態になる。なお、隙間Ｓは、テープユニットＴＵがぎりぎり通過できるだけの僅かな隙間である。また、ピールプレート５０の先端部５００がテープユニットＴＵのシートＴ１に接触・押圧して、シートＴ１を内側にしてテープユニットＴＵを屈曲させ鋭角に形成する。そうすると、テープユニットＴＵからダイシングテープＴ２が剥離され、貼着ローラ６０の下方にダイシングテープＴ２が送り込まれる。

この状態で、エア供給源３９３から圧縮エアがエアノズル３９に供給される。そして、エアノズル３９から噴射されたエアが、貼着ローラ６０の下方に送り込まれたダイシングテープＴ２に噴き付けられ、これによって、貼着ローラ６０の側面にダイシングテープＴ２が沿わせられる。

図４に示すように、エアにより貼着ローラ６０の側面にダイシングテープＴ２を沿わせた状態で、貼着ローラ６０が所定の回転速度で回転しながら、貼着ローラ位置づけ手段６１により貼着ローラ６０が貼着する際の停止位置まで下降することで、リングフレーム保持部３０に保持されたリングフレームＦの一方側からダイシングテープＴ２が押し付けられる。なお、例えば、図４に示すピールプレート５０の先端部５００の最下端と、ウェーハＷの上面Ｗｂとの距離は従来よりも大きい４．７ｍｍに設定されている。また、図３に示す隙間Ｓはさらに小さくなる。

保持手段移動手段３４によってリングフレーム保持部３０及びウェーハ保持部３１が＋Ｘ方向に送り出されていき、回転する貼着ローラ６０によってウェーハＷ及びリングフレームＦに対してダイシングテープＴ２が押し付けられる。このとき、図２に示す送り出しユニット２は、駆動ローラ２１を所定の回転速度で回転させつつ、２つの従動ローラ２２も駆動ローラ２１の回転にともなって回転させ、テープユニットＴＵを保持手段３に向けて下方に導く。また、巻き取りユニット４においては、駆動ローラ４１を所定の回転速度で回転させつつ、２つの従動ローラ４２も駆動ローラ４１の駆動にともなって回転させ、ピールプレート５０によりダイシングテープＴ２が剥離されたシートＴ１をピールプレート５０から廃棄手段７３まで導く。

そして、貼着ローラ６０でダイシングテープＴ２を押し付けながら、保持手段３を所定の位置に至るまで＋Ｘ方向に移動させると、ウェーハＷとリングフレームＦとに一枚のダイシングテープＴ２を貼着することができる。

ここで、ダイシングテープＴ２のウェーハＷ及びリングフレームＦに対する貼着時の従来の問題点について、図６を用いて簡潔に説明する。従来においては、可動部材５２が基台５１の下端側まで移動することで、先端部５００がエアノズル３９から噴射されるエアの移動経路上に位置するようにピールプレート５０が移動されており、例えば、貼着する際の停止高さ位置に位置づけられたピールプレート５０の先端部５００の最下端と、ウェーハＷの上面Ｗｂとの距離は３．５ｍｍに設定されていた。そして、先端部５００と貼着ローラ６０の側面との間に大きな隙間Ｓ１が形成されることで、ダイシングテープＴ２が弛んでしまい、エアノズル３９からエアを噴射しても貼着ローラ６０の側面にダイシングテープＴ２が十分に沿っていなかった。
そのため、リングフレームＦとウェーハＷとに貼着したダイシングテープＴ２のテンションが均一にならなかった。

一方、本発明に係るテープ貼着装置１においては、貼着する際のピールプレート５０を従来よりも上方に位置づけてピールプレート５０の先端部５００と貼着ローラ６０の側面との隙間Ｓを小さくし、ピールプレート５０により屈曲させたシートＴ１から剥がされたダイシングテープＴ２を、エアノズル３９から噴き付けるエアにより貼着ローラ６０の側面に沿わせ、ダイシングテープＴ２に弛みを発生させないように貼着ローラ６０の側面に沿っている状態でリングフレームＦとウェーハＷとに貼着するので、貼着したダイシングテープＴ２のテンションを均一にすることができる。
なお、リングフレームＦにダイシングテープＴ２を貼着する方法は、エアノズル３９から噴き付けるエアにより貼着ローラ６０の側面にダイシングテープＴ２を沿わせた状態で、貼着ローラ６０をリングフレーム保持部３０に向かって貼着ローラ位置づけ手段６１で下降させても良いし、貼着ローラ６０に向かってウェーハ保持部３１とリングフレーム保持部３０とを保持手段昇降手段３５で上昇させてもよい。

図２、４に示すダイシングテープＴ２が剥離されたシートＴ１は、巻き取りユニット４によって巻き取られ、巻き取りユニット４から廃棄手段７３の巻き取り部７３１に送り出される。
シートＴ１は、図示しないモータにより回転する巻き取り部７３１の外周面においてロール状に巻き取られていき、シートロールに形成される。巻き取り部７３１が所定の長さ分シートＴ１を巻き取りシートロールを形成した後、把持部７３１ａがシートロールの把持を解除して、シートロールを廃棄ボックス７３２に廃棄する。

ダイシングテープＴ２を介してリングフレームＦと一体となったウェーハＷは、図示しない搬送手段によって例えばダイシング装置等に移送されてダイシング等が行われる。このようにして１枚のウェーハＷに対するダイシングテープＴ２の貼着動作が完了したら、順次新たなウェーハＷをウェーハ保持部３１に搬送するとともにリングフレームＦをリングフレーム保持部３０に搬送して、上記と同様、ダイシングテープＴ２の貼着動作と、ダイシングテープＴ２から剥離されたシートＴ１の巻き取り動作とを繰り返し行う。

本発明に係るテープ貼着装置１は本実施形態に限定されるものではなく、本発明の効果を発揮できる範囲内で適宜変更可能である。
例えば、図５に示すように、基台５１が＋Ｚ方向から－Ｘ方向に反時計回り方向に回動し、ピールプレート５０が水平方向に向かって所定角度倒されることで、ダイシングテープＴ２貼着時におけるテープユニットＴＵの角度が、二点鎖線で示す従来のテープユニットＴＵの角度よりもより鋭角になるようにしてもよい。図５に示すように、ピールプレート５０が水平方向に向かって従来よりも倒されることで、ピールプレート５０の先端部５００と貼着ローラ６０の側面との隙間をテープユニットＴＵが通過するだけの非常に僅かな隙間とすることが可能となる。

この状態で、エアノズル３９から噴射されたエアが、貼着ローラ６０の下方に送り込まれたダイシングテープＴ２に噴き付けられ、これによって、貼着ローラ６０の側面にダイシングテープＴ２が沿わせられるため、ダイシングテープＴ２に弛みを発生させないよう貼着ローラ６０の側面に沿っている状態でダイシングテープＴ２はリングフレームＦとウェーハＷとに貼着されるので、貼着したダイシングテープＴ２のテンションを均一にすることができる。

ＴＵ：テープユニット Ｔ１：シート Ｔ５：粘着テープ Ｔ５１：基材 Ｔ５２：粘着剤層 Ｔ２：ダイシングテープ Ｔ３：巻筒
Ｗ：ウェーハ Ｆ：リングフレーム
１：テープ貼着装置
１１：第一のテープユニット支持手段 １１０：ケース １１０ａ：開口 １１１：先端検出部
１１３：支持柱 １１４：回転手段
１２：第二のテープユニット支持手段 １４：一対のガイドローラ １５：ガイドローラ
１７：テープユニット引渡し手段 １７１：支持部材 １７２：回転機構
１７３：アーム部 １７４：テープユニット挟持部
１７５：スライド機構 １７５ａ：ベース １７５ｂ：スライダ
３：保持手段 ３０：リングフレーム保持部 ３１：ウェーハ保持部 ３２：支持台
３４：保持手段移動手段 ３４１：ベース ３４２：移動基台 ３５：保持手段昇降手段
２：送り出しユニット ２１：駆動ローラ ２２：従動ローラ ２３：移動機構
２３１：ガイドレール ２３２：移動部
４：巻き取りユニット ４１：駆動ローラ ４２：従動ローラ ４３：移動機構
４３１：ガイドレール ４３２：移動部
５０：ピールプレート ５００：先端部 ５１：基台 ５２：可動部材
６０：貼着ローラ ６１：貼着ローラ位置づけ手段
３９：エアノズル ３９０：噴射口 ３９３：エア供給源
７６：テープユニット引取り手段 ７６１：支持部材 ７６２：テープユニット把持部
７１：スライド機構 ７１０：ベース ７１１：スライダ
７３：廃棄手段 ７３１：巻き取り部 ７３１ａ：把持部 ７３２：廃棄ボックス

Claims (1)

1. 帯状のシートの長手方向に円形のダイシングテープを並べて貼着した帯状のテープユニットの該シートから該ダイシングテープを剥がして、リングフレームと該リングフレームの開口に配置したウェーハとに貼着し、該リングフレームとウェーハとを該ダイシングテープで一体化させるテープ貼着装置であって、
   該リングフレームを保持するリングフレーム保持部と、該リングフレームの該開口内でウェーハを保持するウェーハ保持部とからなる保持手段と、
   該テープユニットを挟んで回転し該テープユニットを送り出す送り出しユニットと、
   該ダイシングテープが剥がされた該シートを挟んで回転し該シートを巻き取る巻き取りユニットと、
   該送り出しユニットと該巻き取りユニットとの間で該シートに接触させ該シートを内側にして該テープユニットを屈曲させ該シートから該ダイシングテープを剥離させるピールプレートと、
   該シートから剥離した該ダイシングテープをリングフレームとウェーハとに押し付けながら貼着する貼着ローラと、該シートから剥がされた該ダイシングテープを該貼着ローラに沿わせるように該ウェーハ保持部の上方に配置され該ウェーハ保持部の上面に平行な方向にエアを噴き付けるエアノズルと、を備え、
   該ピールプレートの先端部と該貼着ローラの側面との隙間を該テープユニットが通過できるだけの大きさまで小さくし、該ピールプレートの先端部で剥離された該ダイシングテープを該エアノズルから噴き付けるエアにより該貼着ローラの側面に沿わせ、該ダイシングテープに弛みを発生させないようにした状態で、該リングフレームと該ウェーハとに貼着するテープ貼着装置。

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