JP7205212B2 - 液体噴射装置及び供給システム - Google Patents

Description

本発明は、液体噴射装置及び供給システムに関し、特に液体としてインクを噴射するインクジェット式記録装置及び供給システムに関する。

液体噴射装置の代表例としては、インクを噴射するインクジェット式記録装置が挙げられる。インクジェット式記録装置は、インクを貯留するインクタンクと、インクを噴射するインクジェット式記録ヘッドと、インクタンクからインクジェット式記録ヘッドへインクを送液するための供給流路と、供給流路に設けられたインク中の異物を除去するための交換可能なフィルターとを備えている（例えば、特許文献１参照）。

特開平４ー２１２８６４号公報

フィルターは、異物の捕捉には有効であるが、インク中の気泡も捕捉しやすい。捕捉された気泡は、フィルターの有効面積を低下させるため、フィルターの流路抵抗が増大してしまい、インクの圧力損失を引き起こす虞がある。また、気泡の大きさは圧力などによって変化するため、圧力損失が一定とはならず、インクの噴射性能が不安定になる虞がある。

なお、このような問題はインクジェット式記録装置だけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射装置や、液体を噴射するノズルを備えた液体噴射ヘッドなどの装置に液体を供給する供給システムにおいても同様に存在する。

本発明は、このような事情に鑑み、異物の捕捉と気泡の排出性の向上を両立した液体噴射装置及び供給システムを提供することを目的とする。

上記課題を解決する本発明の態様は、液体を貯留するための液体貯留部と、液体を噴射する噴射部と、液体を前記液体貯留部から前記噴射部へと供給する供給流路と、前記供給流路から分岐して液体を前記液体貯留部へと環流させる第１の環流流路と、前記供給流路に設けられ、第１のフィルターを有する第１のフィルター室と、前記供給流路の前記第１のフィルター室よりも下流側に設けられ、第２のフィルターを有する第２のフィルター室と、を備え、前記供給流路から前記第１の環流流路への分岐口は、少なくとも前記第２のフィルターよりも上流側に設けられ、前記第１のフィルター室は、前記第１のフィルター室で生じる浮力の向きに沿って液体が前記第１のフィルターを通過するように構成され、前記第２のフィルター室は、前記第２のフィルター室で生じる浮力の向きに逆らって液体前記が第２のフィルターを通過するように構成されていることを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、第２のフィルター室の第２のフィルターよりも上流側の部分から環流流路にかけて圧力差が生じる。このような圧力差によって、第２のフィルターの面で捕捉された液体中の気泡を、液体と共に、分岐口から環流流路へ排出することができる。換言すれば、第２のフィルターの表面に気泡が付着し続けることを抑制することができるため、第２のフィルターの有効面積が気泡によって減少することを抑制することができる。これにより、液体を安定して下流側の噴射部に供給することができる。
また、液体に含まれる異物は、第１のフィルターの下方側の面で捕捉される。この捕捉された異物は、液体よりも比重が重いものが通常であるため、第１のフィルターから離れて第１のフィルター室の底部に沈降する。換言すれば、液体中の異物が第１のフィルターの表面に付着し続けることを抑制することができるため、第１のフィルターが目詰まりすることを抑制することができる。第１のフィルターの目詰まりを抑制できることから、第１のフィルターを高寿命化することができ、第１のフィルターの交換頻度を低減することができる。さらに、第１のフィルターの下流にある第２のフィルターや噴射部に液体中の異物が到達しにくくすることができるため、第２のフィルターや噴射部を高寿命化することができる。
このように、本発明によれば、異物の捕捉と気泡の排出性を向上することができ、また、第１のフィルター及び第２のフィルターの目詰まりを抑制して流路抵抗の増大を抑制しているため、噴射部に安定して液体を供給することができる。そして、噴射部では長期に亘り安定して液体を噴射することができる。

また、前記噴射部に供給された液体を前記液体貯留部へ環流させる第２の環流流路を備えることが好ましい。これによれば、第２の環流流路をもつ循環型の噴射部を備える場合では、初期充填や、液体の増粘を抑制するときなど、液体を噴射せずに循環させることがある。このような液体の非噴射時においても、第２のフィルターにおいて気泡が成長したり、噴射部に気泡が混入することを抑制することができる。

また、前記第１のフィルターの平均孔径は、前記第２のフィルターの平均孔径よりも小さいことが好ましい。これによれば、第１のフィルターにより、より確実に異物を捕捉することができる。

また、前記第２のフィルターの流路抵抗は、前記第１のフィルターの流路抵抗よりも小さいことが好ましい。これによれば、第１のフィルターにより、より確実に異物を捕捉することができる。

また、前記第１のフィルター及び前記第１のフィルター室を有するフィルターユニットを備え、前記フィルターユニットは交換可能であることが好ましい。これによれば、第１のフィルターにより、より確実に異物を捕捉することができる。

また、前記第１のフィルター室の上流室は、水平方向から浮力方向へと流れの向きを変える屈曲部を有することが好ましい。これによれば、第１のフィルター室の上流室においては、液体の流れが水平方向から浮力方向に変化する。このとき、液体に含まれる異物は、水平方向に進もうとする慣性、又は水平方向から浮力方向へ流れの向きを変える際に掛かる遠心力によって、上流室の底部に沈降する。このように屈曲部を設けることで、液体中の異物の一部を第１のフィルターに到達する前に沈降させることができるので、第１のフィルターにより捕捉される異物の量を低減することができる。この結果、第１のフィルターが目詰まりすることをより一層抑制することができる。

また、前記第１のフィルター室と前記第２のフィルター室との間に設けられて液体の圧力を検出する圧力計を備えることが好ましい。これによれば、第１のフィルター室から第２のフィルター室へ所定の圧力で液体が供給されているかを確認することができる。

また、前記圧力計で検出された圧力に基づいて前記液体貯留部から送出する液体の流量を制御するレギュレーターを備えることが好ましい。これによれば、また、圧力計により検出された圧力に基づいてレギュレーターにより液体の流量を制御することで、液体の圧力変動が低減され、噴射部において安定した液体の噴射を行うことができる。

上記課題を解決する本発明の他の態様は、液体を噴射する噴射部に液体を供給する供給システムであって、液体を貯留するための液体貯留部と、液体を前記液体貯留部から前記噴射部へと供給する供給流路と、前記供給流路から分岐して液体を前記液体貯留部へと環流させる第１の環流流路と、前記供給流路に設けられ、第１のフィルターを有する第１のフィルター室と、前記供給流路の前記第１のフィルター室よりも下流側に設けられ、第２のフィルターを有する第２のフィルター室と、を備え、前記供給流路から前記第１の環流流路への分岐口は、少なくとも第２のフィルターよりも上流側に設けられ、前記第１のフィルター室は、前記第１のフィルター室で生じる浮力の向きに沿って液体が前記第１のフィルターを通過するように構成され、前記第２のフィルター室は、前記第２のフィルター室で生じる浮力の向きに逆らって液体が前記第２のフィルターを通過するように構成されていることを特徴とする供給システムにある。
かかる態様では、異物の捕捉と気泡の排出性を向上することができ、また、第１のフィルター及び第２のフィルターの目詰まりを抑制して流路抵抗の増大を抑制しているため、噴射部に安定して液体を供給することができる。

供給システムを備えたインクジェット式記録装置の斜視図である。 供給システムを備えたインクジェット式記録装置のブロック図である。 記録ヘッドの断面図である。 供給システムを備えたインクジェット式記録装置の概略図である。 実施形態２に係る第１のフィルター室を示す断面図である。

以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。ただし、以下の説明は、本発明の一態様を示すものであって、本発明の範囲内で任意に変更可能である。各図において同じ符号を付したものは、同一の部材を示しており、適宜説明が省略されている。また、各図においてＸ、Ｙ、Ｚは、互いに直交する３つの空間軸を表している。本明細書では、これらの軸に沿った方向をＸ方向、Ｙ方向、及びＺ方向とし、各図の矢印が向かう方向を正（＋）方向、矢印の反対方向を負（－）方向として説明する。また、Ｚ方向は、鉛直方向を示し、＋Ｚ方向は鉛直下向き、－Ｚ方向は直上向きを示す。

〈実施形態１〉
液体噴射装置の一例としてインクジェット方式記録装置Ｉ（以下、記録装置Ｉ）、及び記録装置Ｉに適用される供給システムを例示する。

図１及び図２に示すように、記録装置Ｉは、液体の一例であるインクを噴射する装置であり、記録ヘッド１と供給システム１０とを備える。

記録ヘッド１は、液体を噴射する噴射部の一例であり、供給システム１０から供給されたインクを噴射するノズルを備えている。また、本実施形態では、記録ヘッド１は、噴射されなかったインクを供給システム１０へ環流するように構成されている。具体的な記録ヘッド１の構造については後述する。

供給システム１０は、記録ヘッド１にインクを供給するシステムであり、第１の供給手段２０と、循環手段３０と、第２の供給手段４０と、供給流路５０と、第１の環流流路６１と、第２の環流流路６２と、第１のフィルターユニット７０と、第２のフィルターユニット８０と、を備えている。

第１の供給手段２０は、インクを貯留するとともに、インクを供給流路５０に送液するための装置である。具体的には、第１の供給手段２０は、第１のタンク２１とコンプレッサー２２とを備えている。

第１のタンク２１は、インクを貯留するための液体貯留部の一例であり、インクを貯留する貯留室を有し、供給流路５０が接続されている。コンプレッサー２２は、空気を加圧し、その空気の圧力で第１のタンクの貯留室の壁を加圧するように構成されている。コンプレッサー２２によって第１のタンク２１の貯留室の壁を加圧することで、第１のタンク２１に貯留されたインクが供給流路５０に供給される。

供給流路５０は、インクを第１のタンク２１から記録ヘッド１へと供給する流路である。本実施形態では、供給流路５０は、第１のタンク２１と第１のフィルターユニット７０とを接続する第１のチューブ５１、第１のフィルターユニット７０の内部流路、第１のフィルターユニット７０と第２のフィルターユニット８０とを接続する第２のチューブ５２、第２のフィルターユニット８０の内部流路、及び第２のフィルターユニット８０と記録ヘッド１とを接続する接続流路５３とを備えている。第１のチューブ５１及び第２のチューブ５２は、可撓性のあるチューブ状の部材からなり、記録装置Ｉに配設されている。接続流路５３は第２のフィルターユニット８０に設けられている。

第１のフィルターユニット７０は、供給流路５０を流通するインクに含まれる異物を捕捉するための装置である。第１のフィルターユニット７０には、供給流路５０を介して第１のタンク２１からインクが供給される。第１のフィルターユニット７０ではフィルタ（図示せず）により異物が捕捉され、当該フィルターを通過したインクは、供給流路５０を介して第２のフィルターユニット８０に供給される。第１のフィルターユニット７０の詳細な構造については後述する。

第２のフィルターユニット８０は、供給流路５０を流通するインクに含まれる気泡を捕捉するための装置である。第２のフィルターユニット８０には、供給流路５０を介して第１のフィルターユニット７０からインクが供給される。第２のフィルターユニット８０ではフィルタ（図示せず）により気泡が捕捉され、フィルターを通過したインクは、接続流路５３を介して記録ヘッドに供給される。また、第２のフィルターユニット８０には、フィルターよりも上流側（第１のフィルターユニット７０側）に第１の環流流路６１が接続されている。フィルターで捕捉された気泡は、インクとともに第１の環流流路６１に排出されるようになっている。第２のフィルターユニット８０の詳細な構造については後述する。

第１の環流流路６１は、供給流路５０から分岐してインクを第１のタンク２１へと環流させるための流路である。本実施形態では、第１の環流流路６１は、可撓性のあるチューブ状の部材から形成されている。

第１の環流流路６１から第１のタンク２１へインクを環流させるとは、第１の環流流路６１から直接的に第１のタンク２１にインクを環流させる構成に限定されず、本実施形態のように、第２のタンク３２及び第１の送液ポンプ３１などを介して間接的に第１のタンク２１にインクを環流させる構成も含む。

第２の環流流路６２は、記録ヘッド１で噴射されなかったインクを第１のタンク２１へと環流させるための流路である。本実施形態では、第２の環流流路６２は、記録ヘッド１に接続されるとともに、第１の環流流路６１の途中部分に合流している。

第２の環流流路６２から第１のタンク２１へインクを環流させるとは、第２の環流流路６２から直接的に第１のタンク２１にインクを環流させる構成に限定されず、本実施形態のように、第２の環流流路６２から第１の環流流路６１、第２のタンク３２、第１の送液ポンプ３１を介して間接的に第１のタンク２１にインクを環流させる構成も含む。

循環手段３０は、記録ヘッド１で噴射されなかったインク、及び第２のフィルターユニット８０からのインクを回収するとともに、回収したインクを第１のタンク２１に供給するための装置である。具体的には、循環手段３０は、第１の送液ポンプ３１と、第２のタンク３２と、真空ポンプ３３と、を備えている。

第２のタンク３２は、インクを貯留する容器であり、第１の環流流路６１が接続されている。また、第２のタンク３２には、真空ポンプ３３が接続されている。真空ポンプ３３により生じた負圧で記録ヘッド１内のインクや第２のフィルターユニット８０内の気泡を含むインクは第２のタンク３２に回収される。

また、第２のタンク３２は、第１の送液ポンプ３１を介して第１のタンク２１に接続されている。第１の送液ポンプ３１は、第２のタンク３２に貯留されたインクを第１のタンク２１に送液するためのポンプである。このような第１の送液ポンプ３１により、第２のタンク３２に回収されたインクは、第１のタンク２１へ循環する。

第２の供給手段４０は、第１のタンク２１にインクを供給するための装置である。本実施形態では、第２の供給手段４０は、メインタンク４１と、第２の送液ポンプ４２とを備え、循環手段３０を介して間接的に第１のタンク２１にインクを供給するように構成されている。なお、図１では第２の供給手段４０の図示は省略してある。

メインタンク４１は、インクを貯留する容器である。メインタンク４１は、第２の送液ポンプ４２を介して第２のタンク３２に接続されている。第２の送液ポンプ４２は、メインタンク４１に貯留されたインクを第２のタンク３２に送液するためのポンプである。このような第２の送液ポンプ４２により、メインタンク４１に貯留されたインクは、第２のタンク３２に供給され、さらに、上述したように、循環手段３０によって第１のタンク２１へ供給される。

上述した供給システム１０のうち第２のフィルターユニット８０は、記録ヘッド１とともにキャリッジ４に搭載されている。また、第２のフィルターユニット８０は、記録ヘッド１に着脱可能となっている。第２のフィルターユニット８０を記録ヘッド１に装着することで、第２のフィルターユニット８０の接続流路５３が記録ヘッド１内の流路と連通し、第２のフィルターユニット８０から記録ヘッド１にインクが供給される。

また、供給システム１０のうち第１の供給手段２０、循環手段３０、第２の供給手段４０、供給流路５０、第１の環流流路６１、第２の環流流路６２、及び第１のフィルターユニット７０は、装置本体２に配設されている。第１のフィルターユニット７０は、交換可能となっている。具体的には、供給流路５０（第１のチューブ５１及び第２のチューブ５２）は、第１のフィルターユニット７０に着脱可能となっている。そして、第１のフィルターユニット７０は、装置本体２に着脱可能となっている。第１のフィルターユニット７０を交換する際には、供給流路５０を第１のフィルターユニット７０から取外し、新たな第１のフィルターユニット７０を装置本体２に取り付けるとともに、供給流路５０を取り付ける。これにより、第１のフィルター７１が異物により目詰まりして劣化した場合などでは、第１のフィルターユニット７０ごと交換することで、容易に新たな第１のフィルター７１を使用することができる。

もちろん、このような配置は一例であり、任意の箇所に配置されていてもよい。例えば、第２のフィルターユニット８０は、キャリッジ４に搭載されている必要はなく、装置本体２に配設されていてもよい。この場合は、第２のフィルターユニット８０と記録ヘッド１とをチューブなどで接続し、当該チューブによりインクの供給を行うようにすればよい。

このような供給システム１０を備える記録装置Ｉは、制御装置３と移動機構と搬送機構とを具備する。
制御装置３は、特に図示していないが、例えばＣＰＵ（Central Processing Unit）またはＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）等の制御装置と半導体メモリ等の記録装置とを含んで構成され、記憶装置に記憶されたプログラムを制御装置が実行することで記録装置Ｉの各要素を統括的に制御する。

移動機構は、制御装置３に制御されてキャリッジ４をＹ方向に往復させる。移動機構によってキャリッジ４が往復するＹ方向は、媒体Ｓが搬送されるＸ方向に交差する方向である。本実施形態の移動機構は、キャリッジ４とキャリッジ軸５とタイミングベルト６と駆動モーター７とを具備する。

装置本体２には、軸方向がＹ方向に沿うようにキャリッジ軸５が取り付けられている。キャリッジ４はキャリッジ軸５の軸方向に沿って移動可能に設けられている。タイミングベルト６は、Ｙ方向に沿って架設された無端ベルトである。タイミングベルト６は、駆動モーター７の駆動力をキャリッジ４に伝達するように構成されている。制御装置３による制御のもとで駆動モーター７が駆動すると、駆動モーター７の駆動力がタイミングベルト６を介してキャリッジ４に作用し、キャリッジ４がキャリッジ軸５に沿って往復移動する。

搬送機構は、制御装置３によって制御されて媒体ＳをＸ方向に搬送するものであり、例えば、搬送ローラー８を有する。なお、媒体Ｓを搬送する搬送機構は、搬送ローラー８に限らず、ベルトやドラムによって媒体Ｓを搬送するものであってもよい。

このような記録装置Ｉでは、第１のタンク２１に貯留されたインクが記録ヘッド１に供給される。記録ヘッド１は、第１のタンク２１から供給されたインクを制御装置３による制御のもとで媒体Ｓにインク滴として噴射する。なお、記録ヘッド１からのインク滴の噴射は、Ｚ方向の正側に向かって行われる。そして、搬送機構によって媒体ＳがＸ方向に搬送されると共に移動機構によって記録ヘッド１がＹ方向に搬送される際に、記録ヘッド１が媒体Ｓにインク滴を噴射することで、媒体Ｓには所望の画像が形成される。

さらに、記録ヘッド１で噴射されなかったインクは第２のタンク３２へ回収され、第２のフィルターユニット８０内のフィルターで捕捉された空気はインクとともに第２のタンク３２へ回収される。そして、第１の送液ポンプ３１によって第２のタンク３２から第１のタンク２１へインクが送液されることでインクが循環する。

また、記録ヘッド１によって消費されたインクに応じて、メインタンク４１から第２のタンク３２に補充される。なお、メインタンク４１から第２のタンク３２へのインクの補充は、例えば、第２のタンク３２内のインクの液面が所定の高さよりも低くなったタイミングで行えばよい。

ここで、図３を用いて記録ヘッド１について詳細に説明する。
記録ヘッド１を構成する流路形成基板１１１は、ステンレス鋼やニッケル（Ｎｉ）などの金属、ＺｒＯ_２あるいはＡＬ_２Ｏ_３を代表とするセラミック材料、ガラスセラミック材料、ＭｇＯ、ＬａＡｌＯ_３のような酸化物などを用いることができる。本実施形態では、流路形成基板１１１は、シリコン単結晶基板からなる。この流路形成基板１１１には、一方面側から異方性エッチングすることにより複数の隔壁によって区画された複数の圧力発生室１１２が並設されている。複数の圧力発生室１１２が並設される方向は、インクを吐出する複数のノズル１２６が並設される方向に沿っている。以降、この方向を圧力発生室１１２の並設方向、又はＸ方向と称する。また、流路形成基板１１１の面内であって、Ｘ方向と直交する方向をＹ方向と称する。また、Ｘ方向及びＹ方向の両方に直交する方向をＺ方向と称する。

流路形成基板１１１の連通板１１５とは反対面側には、振動板１５０が形成されている。本実施形態では、振動板１５０として、流路形成基板１１１側に設けられた酸化シリコンからなる弾性膜１５３と、弾性膜１５３上に設けられた酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜１５４と、を設けるようにした。なお、圧力発生室１１２等の液体流路は、流路形成基板１１１をノズルプレート１２５が接合された面側から異方性エッチングすることにより形成されており、圧力発生室１１２の他方面は、弾性膜１５３によって画成されている。

流路形成基板１１１の振動板１５０上には、第１電極１６０と圧電体層１７０と第２電極１８０とを有する圧電アクチュエーター３００が設けられている。本実施形態では、圧電アクチュエーター３００が、圧力発生室１１２内のインクに圧力変化を生じさせる圧力発生手段となっている。

圧電アクチュエーター３００は、第１電極１６０と第２電極１８０との間に電圧を印加することで変位が生じる。すなわち第１電極１６０及び第２電極１８０の間に電圧を印加することで、第１電極１６０と第２電極１８０とで挟まれている圧電体層１７０に圧電歪みが生じる。この電圧の印加により圧電体層１７０に圧電歪みが生じる部分を活性部３１０と称する。すなわち、活性部３１０は、圧電体層１７０が第１電極１６０と第２電極１８０とによってＺ方向で挟まれた部分を言う。これに対して、圧電体層１７０に圧電歪みが生じない部分を非活性部と称する。本実施形態では、圧力発生室１１２毎に活性部３１０が形成されている。

第１電極１６０は、圧力発生室１１２毎に切り分けてあり、圧電アクチュエーター３００の実質的な駆動部である活性部３１０毎に独立する個別電極を構成する。

圧電体層１７０は、Ｙ方向が所定の幅となるように、第１の方向Ｘに亘って連続して設けられている。

圧電体層１７０は、第１電極１６０上に形成される分極構造を有する酸化物の圧電材料からなり、例えば、一般式ＡＢＯ_３で示されるペロブスカイト型酸化物からなることができ、鉛を含む鉛系圧電材料や鉛を含まない非鉛系圧電材料などを用いることができる。

第２電極１８０は、圧電体層１７０の第１電極１６０とは反対面側に設けられており、複数の活性部３１０に共通する共通電極を構成する。

圧電アクチュエーター３００の第１電極１６０からは、引き出し配線である個別配線１９１が引き出されている。また、第２電極１８０からは、引き出し配線である共通配線（図示せず）が引き出されている。そして、これら個別配線１９１及び共通配線には、フレキシブルケーブル１２０が接続されている。フレキシブルケーブル１２０は、可撓性を有する配線基板であって、本実施形態では、半導体素子である駆動回路１２１が実装されている。

流路形成基板１１１の圧電アクチュエーター３００側の面には、流路形成基板１１１と略同じ大きさを有する保護基板１３０が接合されている。保護基板１３０は、圧電アクチュエーター３００を保護するための空間である保持部１３１を有する。また、保護基板１３０には、Ｚ方向に貫通する貫通孔１３２が設けられている。そして、圧電アクチュエーター３００の第１電極１６０から引き出された個別配線１９１と第２電極１８０から引き出された共通配線の端部は、この貫通孔１３２内に露出するように延設されており、貫通孔１３２内でフレキシブルケーブル１２０と電気的に接続されている。

一方、流路形成基板１１１のＺ方向の一方面側には、連通板１１５とノズルプレート１２５とが順次積層されている。

ノズルプレート１２５には、インク滴が吐出されるノズル１２６が設けられている。このノズルプレート１２５のノズル１２６は、連通板１１５に設けられたノズル連通路１１６を介して圧力発生室１１２と連通されている。

連通板１１５は、流路形成基板１１１よりも大きな面積を有し、ノズルプレート１２５は流路形成基板１１１よりも小さい面積を有する。このように連通板１１５を設けることによってノズルプレート１２５のノズル１２６と圧力発生室１１２とを離せるため、圧力発生室１１２の中にあるインクは、ノズル１２６付近のインクで生じるインク中の水分の蒸発による増粘の影響を受け難くなる。また、ノズルプレート１２５は圧力発生室１１２とノズル１２６とを連通するノズル連通路１１６の開口を覆うだけで良いので、ノズルプレート１２５の面積を比較的小さくすることができ、コストの削減を図ることができる。

また、連通板１１５は、本実施形態では、第１の連通板１５１と第２の連通板１５２とを有する。第１の連通板１５１と第２の連通板１５２とは、流路形成基板１１１側である－Ｚ側が第１の連通板１５１、ノズルプレート１２５側である＋Ｚ側が第２の連通板１５２となるように互いにＺ方向に積層されている。

第１の連通板１５１及び第２の連通板１５２としては、ステンレス鋼やニッケル（Ｎｉ）などの金属、またはジルコニウム（Ｚｒ）などのセラミックス等を用いることができる。第１の連通板１５１と第２の連通板１５２とは、同じ材料、すなわち、線膨張係数が同等の材料を用いるのが好ましい。第１の連通板１５１と第２の連通板１５２とに同じ材料を用いることで、第１の連通板１５１と第２の連通板１５２との線膨張係数の違いによる反りによる剥離はクラック等の破壊を抑制することができる。

連通板１１５には、複数の圧力発生室１１２に連通する第１のマニホールド部１７１と第２のマニホールド部１７２と第３のマニホールド部１７３とが設けられている。第１のマニホールド部１７１と第２のマニホールド部１７２と第３のマニホールド部１７３と、詳しくは後述するケース部材１４０に設けられた第４のマニホールド部１４２とによって、複数の圧力発生室１１２に共通して連通するマニホールド１００が構成されている。

第１のマニホールド部１７１は、第１の流路部材である第１の連通板１５１をＺ方向に貫通して設けられている。

第２のマニホールド部１７２は、第２の流路部材である第２の連通板１５２をＺ方向に貫通して設けられている。

第３のマニホールド部１７３は、第２の連通板１５２をＺ方向に貫通することなく、第２の連通板１５２のノズルプレート１２５側に開口して設けられている。第３のマニホールド部１７３は、第２のマニホールド部１７２のＹ方向においてノズル１２６側に連通して設けられている。

連通板１１５には、圧力発生室１１２のＹ方向の一端部に連通する供給連通路１１８が、圧力発生室１１２の各々に対して独立して設けられている。この供給連通路１１８は、第３のマニホールド部１７３と圧力発生室１１２とを連通する。すなわち、供給連通路１１８は、第３のマニホールド部１７３に対して、第１の方向Ｘに並設されている。

さらに、連通板１１５には、循環用連通路１１９と第１の循環用マニホールド部２０１と第２の循環用マニホールド部２０２と第３の循環用マニホールド部２０３とが設けられている。

循環用連通路１１９は、第２の連通板１５２をＺ方向に貫通することなく、第２の連通板１５２のノズルプレート１２５側に開口して設けられている。この循環用連通路１１９は、一端がノズル連通路１１６の各々に連通するように、ノズル連通路１１６に対応して複数設けられている。

第１の循環用マニホールド部２０１は、第２の連通板１５２をＺ方向に貫通して設けられている。第１の循環用マニホールド部２０１は、複数の循環用連通路１１９に共通して連通するものであり、循環用連通路１１９の並設された第１の方向Ｘに亘って連続して設けられている。この第１の循環用マニホールド部２０１のＹ方向のノズル１２６側に循環用連通路１１９の他端が連通している。

第２の循環用マニホールド部２０２は、第１の連通板１５１をＺ方向に貫通することなく、第２の連通板１５２側に開口して設けられている。すなわち、第２の循環用マニホールド部２０２は、第１の連通板１５１と第２の連通板１５２との接合面に設けられている。

第３の循環用マニホールド部２０３は、第１の連通板１５１をＺ方向に貫通して設けられている。

連通板１１５に設けられた第１の循環用マニホールド部２０１、第２の循環用マニホールド部２０２及び第３の循環用マニホールド部２０３と、詳しくは後述するケース部材１４０に設けられた第４の循環用マニホールド部１４３とによって循環用マニホールド１１０が構成されている。

このような記録ヘッド１では、マニホールド１００から供給連通路１１８、圧力発生室１１２及びノズル連通路１１６にインクが供給され、ノズル連通路１１６に供給されたインクは、循環用連通路１１９を介して循環用マニホールド１１０に供給される。

保護基板１３０及び連通板１１５の－Ｚ側には、ケース部材１４０が固定されている。ケース部材１４０は、平面視において上述した連通板１１５と略同一形状を有し、保護基板１３０と連通板１１５との両方に接合されている。具体的には、ケース部材１４０は、流路形成基板１１１及び保護基板１３０が収容される深さの凹部１４１を有する。この凹部１４１は、保護基板１３０よりも広い開口面積を有する。そして、凹部１４１に流路形成基板１１１及び保護基板１３０が収容された状態で凹部１４１のノズルプレート１２５側の開口面が連通板１１５によって封止されている。

ケース部材１４０には、Ｙ方向の両側のそれぞれにＺ方向における連通板１１５側に開口する第４のマニホールド部１４２と第４の循環用マニホールド部１４３とが設けられている。

連通板１１５に設けられた第１のマニホールド部１７１、第２のマニホールド部１７２及び第３のマニホールド部１７３と、ケース部材１４０に設けられた第４のマニホールド部１４２とによってマニホールド１００が構成されている。

連通板１１５に設けられた第１の循環用マニホールド部２０１、第２の循環用マニホールド部２０２及び第３の循環用マニホールド部２０３と、ケース部材１４０に設けられた第４の循環用マニホールド部１４３とによって循環用マニホールド１１０が構成されている。

また、ケース部材１４０には、マニホールド１００に連通してマニホールド１００にインクを供給するための導入口１４４と、循環用マニホールド１１０に連通して循環用マニホールド１１０からインクを排出するための排出口１４５とが設けられている。

連通板１１５の＋Ｚ側の面には、コンプライアンス基板１４９が設けられている。コンプライアンス基板１４９は、第２のマニホールド部１７２と第３のマニホールド部１７３の＋Ｚ側の開口を封止している。このようなコンプライアンス基板１４９は、本実施形態では、可撓性を有する薄膜からなる封止膜４９１と、金属等の硬質の材料からなる固定基板４９２と、を具備する。固定基板４９２のマニホールド１００に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４９３となっているため、マニホールド１００の一方面は可撓性を有する封止膜４９１のみで封止された可撓部であるコンプライアンス部４９４となっている。コンプライアンス基板１４９は、コンプライアンス部４９４が撓むことにより、マニホールド１００等における圧力変動を吸収する。

また、コンプライアンス基板１４９を、固定基板４９２のみにより形成してもよい。具体的には、固定基板４９２の一部を薄くすることにより、当該一部を、マニホールド１００等における圧力変動を吸収するコンプライアンス部４９４とする。

さらにケース部材１４０には、保護基板１３０の貫通孔１３２に連通してフレキシブルケーブル１２０が挿通される接続口１４６が設けられている。

このような記録ヘッド１には、供給システム１０から導入口１４４を介してマニホールド１００、圧力発生室１１２、及び循環用マニホールド１１０に供給される。また、循環用マニホールド１１０に供給されたインクは、排出口１４５から供給システム１０に排出される。これにより供給システム１０と記録ヘッド１との間でインクの循環が行われる。

ここで、図４を用いて、第１のフィルターユニット７０及び第２のフィルターユニット８０の構成について詳細に説明する。
第１のフィルターユニット７０は、供給流路５０の一部を構成する第１のフィルター室７２を備えている。本実施形態では、箱状部材の内部に設けられた内部流路が第１のフィルター室７２となっている。第１のフィルター室７２には、二つの開口である第１の入口部７３と第１の出口部７４とが設けられている。これらの第１の入口部７３と第１の出口部７４との間に第１のフィルター７１が設けられている。

第１のフィルター７１は、インクに含まれる異物を捕捉して、インクを濾過するものであり、例えば、金属や樹脂等の繊維を細かく織る又は編むことで複数の微細孔が形成されたシート状のものや、金属や樹脂等の板状部材に複数の微細孔を貫通させたもの、不織布などを用いることができる。

第１の入口部７３には、第１のチューブ５１が接続されており、第１の出口部７４には第２のチューブ５２が接続されている。供給システム１０（第１のタンク２１）から第１のチューブ５１を経由して、第１の入口部７３にインクが供給される。また、第１の入口部７３から流入したインクは、第１のフィルター７１を通過し、第１の出口部７４から第２のチューブ５２に排出される。

ここで、第１のフィルター室７２は、第１のフィルター室７２で生じる浮力の向きに沿ってインクが第１のフィルター７１を通過するように構成されている。浮力の向きとは、第１のフィルター室７２に供給されたインクによる浮力の向きであり、本実施形態では、Ｚ方向において＋Ｚ側から－Ｚ側に向かう向きである。そして、「第１のフィルター室７２は第１のフィルター室７２で生じる浮力の向きに沿ってインクが第１のフィルター７１を通過するように構成されている」とは、インクの流れは浮力の向きにおける下方側（＋Ｚ側）から上方側（－Ｚ側）へ向かう流れが支配的となり、その流れを遮断するように第１のフィルター７１が配置されていることをいう。

具体的には、第１のフィルター室７２には、浮力の向き（Ｚ方向）において、下方に第１の入口部７３が設けられ、上方に第１の出口部７４が設けられている。そして、第１のフィルター室７２には、第１の入口部７３と第１の出口部７４との間に、インクの流れを遮断するようにほぼ水平の第１のフィルター７１が設けられている。もちろん、第１のフィルター７１は略水平である必要はなく、浮力の向きに対して傾いていてもよい。

このような構成の第１のフィルターユニット７０では、コンプレッサー２２による正圧又は真空ポンプ３３による負圧の作用によって、第１の入口部７３から第１の出口部７４に向かってインクが流れる。すなわち、第１のフィルター室７２におけるインクの流れは、浮力の向きにおける下方側（＋Ｚ側）から上方側（－Ｚ側）へ向かう流れが支配的となっている。このため、インクは、第１のフィルター７１を下方から上方へ通過する。このとき、インクに含まれる異物は、第１のフィルター７１の下方側の面で捕捉されるので、異物が除去されたインクが第１のフィルターユニット７０から第２のフィルターユニット８０へ供給される。

第２のフィルターユニット８０は、供給流路５０の一部を構成する第２のフィルター室８２を備えている。本実施形態では、箱状部材の内部に設けられた内部流路が第２のフィルター室８２となっている。第２のフィルター室８２には、３つの開口である第２の入口部８３と第２の出口部８４と分岐口８５とが設けられている。第２の入口部８３及び分岐口８５と、第２の出口部８４との間に第２のフィルター８１が設けられている。すなわち、第２のフィルター室８２には、第２のフィルター８１よりも上流側に第２の入口部８３及び分岐口８５が設けられ、第２のフィルター８１よりも下流側に第２の出口部８４が設けられている。

第２のフィルター８１は、インクに含まれる気泡を捕捉するものであり、例えば、金属や樹脂等の繊維を細かく織る又は編むことで複数の微細孔が形成されたシート状のものや、金属や樹脂等の板状部材に複数の微細孔を貫通させたもの、不織布などを用いることができる。

分岐口８５は、第２のフィルター室８２に設けられた開口であって、供給流路５０から第１の環流流路６１への分岐となる開口であって、第２のフィルター８１よりも上流側（第１のフィルターユニット７０側）に設けられた開口である。この分岐口８５には、第１の環流流路６１が接続されている。

第２の入口部８３には、第２のチューブ５２が接続されており、第２の出口部８４には接続流路５３が接続されている。第１のフィルターユニット７０から第２のチューブ５２を経由して、第２の入口部８３にインクが供給される。第２の入口部８３から流入したインクは、第２のフィルター８１を通過し第２の出口部８４から接続流路５３に排出される。または、第２の入口部８３から流入したインクは、分岐口８５から第１の環流流路６１に排出される。

ここで、第２のフィルター室８２は、第２のフィルター室８２で生じる浮力の向きに逆らってインクが第２のフィルター８１を通過するように構成されている。浮力の向きとは、第２のフィルター室８２に供給されたインクによる浮力の向きであり、本実施形態では、Ｚ方向において＋Ｚ側から－Ｚ側に向かう向きである。そして、「第２のフィルター室８２は第２のフィルター室８２で生じる浮力の向きに逆らってインクが第２のフィルター８１を通過するように構成されている」とは、インクの流れは浮力の向きにおける上方側（－Ｚ側）から下方側（＋Ｚ側）へ向かう流れが支配的となり、その流れを遮断するように第２のフィルター８１が配置されていることをいう。

具体的には、第２のフィルター室８２には、浮力の向き（Ｚ方向）において、上方に第２の入口部８３が設けられ、下方に第２の出口部８４が設けられている。そして、第２のフィルター室８２には、第２の入口部８３と第２の出口部８４との間に、インクの流れを遮断するようにほぼ水平の第２のフィルター８１が設けられている。もちろん、第２のフィルター８１は略水平である必要はなく、浮力の向きに対して傾いていてもよい。

このような構成の第２のフィルターユニット８０では、コンプレッサー２２による正圧又は真空ポンプ３３による負圧の作用によって、第２の入口部８３から第２の出口部８４に向かってインクが流れる。すなわち、第２のフィルター室８２におけるインクの流れは、浮力の向きに逆らった上方側（－Ｚ側）から下方側（＋Ｚ側）へ向かう流れが支配的となっている。このため、インクは、第２のフィルター８１を上方から下方へ通過する。このとき、インクに含まれる気泡は、第２のフィルター８１の上方側の面で捕捉されるので、気泡が除去されたインクが第２のフィルターユニット８０から記録ヘッド１へ供給される。

第２の環流流路６２は、記録ヘッド１の排出口１４５（図３参照）と、第１の環流流路６１の途中とを接続している。記録ヘッド１の排出口１４５から排出されたインクは、第２の環流流路６２、第１の環流流路６１等を介して第１のタンク２１へ環流される。

なお、第１の環流流路６１と第２の環流流路６２の具体的な構成は、特に限定はないが、例えば次のような構成としてもよい。第１の環流流路６１は、環流流路部６１ａと環流流路部６１ｂとからなる。環流流路部６１ａは、第２のフィルターユニット８０の一部として形成された流路であり、分岐口８５に接続されている。また、第２の環流流路６２も、第２のフィルターユニット８０の一部として形成された流路であり、記録ヘッド１の排出口１４５に接続されている。第２の環流流路６２は第２のフィルターユニット８０内で環流流路部６１ａに合流している。そして、チューブ状の部材からなる環流流路部６１ｂを、環流流路部６１ａに接続する。このような構成とすることで、分岐口８５及び記録ヘッド１からのインクが第１の環流流路６１及び第２の環流流路６２等を介して第１のタンク２１へ環流させることができる。

以上に説明した本実施形態の記録装置Ｉでは、第１のタンク２１から供給流路５０を介して記録ヘッド１にインクを供給するとともに、供給流路５０から第１の環流流路６１に分岐して第１のタンク２１にインクが環流する構成となっている。このようなインクの循環は、コンプレッサー２２により供給流路５０側を正圧、真空ポンプ３３により第１の環流流路６１側を負圧にすることにより実現されており、相対的に供給流路５０側は正圧となっている。

このような構成とすることで、第２のフィルター室８２の第２のフィルター８１よりも上流側の部分から第１の環流流路６１にかけて圧力差が生じる。このような圧力差によって、第２のフィルター８１の上方側の面で捕捉されたインク中の気泡を、インクと共に、分岐口８５から第１の環流流路６１へ排出することができる。換言すれば、第２のフィルター８１の表面に気泡が付着し続けることを抑制することができるため、第２のフィルター８１の有効面積が気泡によって減少することを抑制することができる。これにより、インクを安定して下流側の記録ヘッド１に供給することができる。

ちなみに、供給流路５０を正圧として、第１の環流流路６１を設けない構成であっても、気泡は第２のフィルター８１に捕捉される。捕捉された気泡が集まって第２のフィルター８１の全面を覆う程度まで大きくなると、インクに押されて第２のフィルター８１を通過するものの、その程度まで大きくならない限り、第２のフィルター８１に溜まったままとなる。すなわち、第１の環流流路６１を設けない構成では、気泡によって第２のフィルター８１の有効面積が減少して流路抵抗が増大してしまう。このように流路抵抗が増大すると、記録ヘッド１へのインクの供給が良好に行えない虞がある。

また、本実施形態の記録装置Ｉでは、インクに含まれる異物は、第１のフィルター７１の下方側の面で捕捉される。この捕捉された異物は、インクよりも比重が重いものが通常であるため、第１のフィルター７１から離れて第１のフィルター室７２の底部に沈降する。換言すれば、インク中の異物が第１のフィルター７１の表面に付着し続けることを抑制することができるため、第１のフィルター７１が目詰まりすることを抑制することができる。このようにして第１のフィルター７１の目詰まりを抑制できることから、第１のフィルター７１を高寿命化することができ、第１のフィルター７１の交換頻度を低減することができる。さらに、第１のフィルター７１の下流にある第２のフィルター８１や記録ヘッド１にインク中の異物が到達しにくくすることができるため、第２のフィルター８１や記録ヘッド１を高寿命化することができる。

また、本実施形態の記録装置Ｉでは、第１のフィルター７１では異物を捕捉する一方、気泡は通過する。しかしながら、第２のフィルター８１によって気泡を捕捉し、第１の環流流路６１から排出することができるので、記録ヘッド１に気泡が混入することを抑制することができる。

このように、本実施形態の供給システム１０によれば、異物の捕捉と気泡の排出性を向上することができ、また、第１のフィルター７１及び第２のフィルター８１の目詰まりを抑制して流路抵抗の増大を抑制しているため、記録ヘッド１に安定してインクを供給することができる。そして、本実施形態の記録装置Ｉによれば、異物の捕捉と気泡の排出性を向上することができ、また、第１のフィルター７１及び第２のフィルター８１の目詰まりを抑制して流路抵抗の増大を抑制しているため、記録ヘッド１に安定してインクを供給することができ、さらに記録ヘッド１では長期に亘り安定してインクを噴射することができる。

本実施形態の記録装置Ｉでは、記録ヘッド１から第１のタンク２１へインクを環流させる第２の環流流路６２を備えている。つまり、記録ヘッド１は、供給されたインクのうち、噴射しなかったインクを第２の環流流路６２に環流する循環型の記録ヘッドである。このような循環型の記録ヘッドにおいても、上述したような異物の捕捉と気泡の排出性を向上し、長期に亘り安定してインクを噴射することができる。

さらに、このような記録ヘッド１では、例えば、インクの初期充填や、インクの増粘を抑制するときなど、ノズル１２６からインクを噴射しない場合においても、上述のごとくインクを循環させることがある。このようなインクの非噴射時においても、第２のフィルター８１で気泡を捕捉して第１の環流流路６１へ排出することができるので、第２のフィルター８１において気泡が成長したり、記録ヘッドに気泡が混入することを抑制することができる。

ここで、第１のフィルター７１の平均孔径は、第２のフィルター８１の平均孔径よりも小さくすることが好ましい。インクに含まれる異物の大きさは、インクに含まれる気泡よりも大きい場合が多い。このため、上述した平均孔径とすることで、第１のフィルター７１により、より確実に異物を捕捉することができる。なお、平均孔径とは第１のフィルター７１及び第２のフィルター８１の一方面又は他方面の表面での平均直径のことをいい、公知の手段、例えば水銀圧入法や、窒素吸着法、ＳＥＭ画像観察等で測定可能である。

また、上述したように、第１のフィルター７１の平均孔径を第２のフィルター８１の平均孔径よりも小さくした場合、第２のフィルター８１の流路抵抗は、第１のフィルター７１の流路抵抗よりも小さくなる。したがって、このような流路抵抗の関係にある第１のフィルター７１によっても、より確実に異物を捕捉することができる。

本実施形態の記録装置Ｉでは、第１のフィルター７１及び第１のフィルター室７２を有する第１のフィルターユニット７０は、交換可能である。つまり、記録ヘッド１とは分離して第１のフィルターユニット７０を単独で交換することができる。これにより、第１のフィルター７１が異物により目詰まりして劣化した場合などでは、第１のフィルターユニット７０ごと交換することで、新たな第１のフィルター７１を使用することができる。このように本実施形態の記録装置Ｉは、目詰まりする可能性が相対的に高い第１のフィルター７１を容易に交換することができるので、保守性に優れたものとなる。また、記録ヘッド１とは別に第１のフィルターユニット７０を交換できるので、記録ヘッド１の消耗状況に関わらず交換することができる。

〈実施形態２〉
図５を用いて、実施形態２に係る記録装置について説明する。実施形態２に係る記録装置は、実施形態１の記録装置Ｉとは第１のフィルターユニット７０の構成が異なっており、その他の構成は同一である。なお、実施形態１と同一のものには同一の符号を付し、重複する説明は省略する。

本実施形態の第１のフィルターユニット７０Ａは、第１のフィルター７１が設けられた第１のフィルター室７２を有している。この第１のフィルター室７２のうち、第１のフィルター７１よりも上流側（第１の入口部７３側）の一部を上流室７５、第１のフィルター７１よりも下流側（第１の出口部７４側）の一部を下流室７６と称する。

第１のフィルター室７２の上流室７５は、インクが水平方向から浮力方向（＋Ｚ側から－Ｚ側）へと流れの向きを変える屈曲部７８を有する。具体的には、上流室７５は、第１上流室部７７、屈曲部７８、第２上流室部７９とを備えている。第１上流室部７７は、第１の入口部７３に連通して水平方向に延設された流路である。なお、第１上流室部７７が水平方向に延設されているとは、第１上流室部７７が水平若しくは水平から傾斜した方向に延設されていることをいう。ただし、第１上流室部７７は水平方向に垂直、すなわち浮力方向に平行な流路ではない。

第２上流室部７９は、第１のフィルター７１に対向した流路である。特に図示しないが、第１上流室部７７のＸＹ平面における断面形状は、直線的であってもよいし、曲線的であってもよいし、円形や矩形状などであってもよい。また、第２上流室部７９のＸＹ平面における断面形状は、第１のフィルター７１とほぼ同形状となっている。

第１上流室部７７には、第１の入口部７３とは反対側に、浮力方向に沿って延びる流路である屈曲部７８が接続されている。屈曲部７８が浮力方向に沿うとは、浮力方向に平行又は公差していることをいう。ただし、屈曲部７８は浮力方向に対して垂直、つまり、ＸＹ平面に平行な流路ではない。

このような第１のフィルターユニット７０では、第１のチューブ５１から供給されたインクは、第１の入口部７３から第１上流室部７７により水平方向に流れる。そして、インクは、屈曲部７８に流入することで浮力方向へ流れの向きを変える。その後、第２上流室部７９から第１のフィルター７１を通過して下流室７６に至り、第１の出口部７４から排出される。

上流室７５においては、インクの流れが水平方向から浮力方向に変化する。このとき、インクに含まれる異物は、水平方向に進もうとする慣性、又は水平方向から浮力方向へ流れの向きを変える際に掛かる遠心力によって、屈曲部７８の側面部７８ａに当たり、第１上流室部７７の底部に沈降する。このような屈曲部７８を設けることで、インク中の異物の一部を第１のフィルター７１に到達する前に沈降させることができるので、第１のフィルター７１により捕捉される異物の量を低減することができる。この結果、第１のフィルター７１が目詰まりすることをより一層抑制することができる。

また、第１上流室部７７の長さ、すなわち第１の入口部７３から屈曲部７８に至るまでの長さは、特に限定はないが、第１の平面方向における長さの半分よりも長くすることが好ましい。具体的には、第１上流室部７７を、第１の入口部７３から、Ｙ方向における第１のフィルター７１の中心部を通りＺ方向に沿う直線Ｌよりも屈曲部７８側まで延設することが好ましい。このような第１上流室部７７とすることで、インクの水平方向に沿う流れが強まり、屈曲部７８で沈降する異物をより多くすることができる。

〈実施形態３〉
実施形態３に係る記録装置は、実施形態１の記録装置Ｉと同様の構成であるが、第１のフィルター室７２とは第２のフィルター室８２との間に圧力計を備え、第１の供給手段２０にレギュレーターが設けられている点で相違する。

圧力計は、第１のフィルター室７２と第２のフィルター室８２との間を流通するインクの圧力を検出する装置である。このような圧力計は、例えば、第２のチューブ５２に設けられていてもよいし、第２のフィルター室８２の第２のフィルター８１よりも上流側に設けられていてもよい。

レギュレーターは、圧力計で検出された圧力に基づいて第１のタンク２１から送出する液体の流量を制御する装置である。具体的には、レギュレーターは、圧力計で計測されたインクの圧力が所定圧力となるように、コンプレッサー２２から供給される空気の圧力に調整する。

このような圧力計を設けることで、第１のフィルター室７２から第２のフィルター室８２へ所定の圧力でインクが供給されているかを確認することができる。また、圧力計により検出された圧力に基づいてレギュレーターによりインクの流量を制御することで、インクの圧力変動が低減され、記録ヘッド１において安定したインクの噴射を行うことができる。

〈他の実施形態〉
以上、本発明の各実施形態について説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。
上述した実施形態では、第１のタンク２１と第２のタンク３２とを備えていたが、第２のタンク３２を不要とし、第１の環流流路６１から直接的に第１のタンク２１にインクを環流させてもよい。

上述した実施形態では、インクが導入口１４４、マニホールド１００、圧力発生室１１２、循環用マニホールド１１０、排出口１４５を経由して循環する記録ヘッド１を用いたが、このような構成の記録ヘッド１に限定されない。例えば、マニホールド１００と循環用マニホールド１１０とを接続するバイパス流路を備え、マニホールド１００のインクが個別の圧力発生室１１２及びバイパス流路を介して循環用マニホールド１１０へ流れるようにした循環型の記録ヘッドであっても、本発明を適用することができる。

さらには、循環用マニホールド１１０を備えず、マニホールド１００のみを備え、マニホールド１００に導入口１４４と排出口１４５とを設け、導入口１４４から供給されたインクはマニホールド１００を介して個別の圧力発生室１１２及び排出口１４５へ流れるようにした循環型の記録ヘッドであっても、本発明を適用することができる。

また、上述した実施形態では、循環型の記録ヘッド１を用いていたが、非循環型の記録ヘッド１を用いてもよい。この場合、第２の環流流路６２を設ける必要がない。このような非循環型の記録ヘッド１を用いた場合でも本発明を適用することができる。

また、上述した実施形態では、第２のフィルターユニット８０は、記録ヘッド１に装着する構成であったが、このような態様に限定されない。例えば、第２のフィルターユニット８０と記録ヘッド１とが一体的に構成されていてもよい。

また、上述した実施形態では、記録装置Ｉとして、記録ヘッド１が搬送機構によって移動する所謂シリアル型記録装置であったが、これに限定されない。例えば、記録ヘッド１を記録装置Ｉに固定し、媒体Ｓを搬送するだけで印刷を行う、所謂ライン式記録装置にも本発明を適用することができる。

また、上記実施形態においては、インクを供給する供給システム、及び液体噴射装置の一例としてインクを噴射する記録装置を挙げて説明したが、本発明は、インク以外の液体を噴射する液体噴射装置及びインク以外の液体を供給する供給システムにも勿論適用することができる。その他の液体噴射装置としては、例えば、プリンター等の画像記録装置、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射装置、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射装置、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射装置等が挙げられる。また、供給システムはこのような各種の液体噴射装置に液体を供給するものとして適用できる。

Ｉ…インクジェット方式記録装置（液体噴射装置）、１…記録ヘッド、１０…供給システム、２０…第１の供給手段、２１…第１のタンク（液体貯留部）、５０…供給流路、６１…第１の環流流路、６２…第２の環流流路、７０、７０Ａ…第１のフィルターユニット、７１…第１のフィルター、７２…第１のフィルター室、７５…上流室、７６…下流室、７８…屈曲部、８０…第２のフィルターユニット、８１…第２のフィルター、８２…第２のフィルター室、８５…分岐口

Claims (12)

1. 液体を貯留するための液体貯留部と、
   液体を噴射する噴射部と、
   液体を前記液体貯留部から前記噴射部へと供給する供給流路と、
   前記供給流路から分岐して液体を前記液体貯留部へと環流させる第１の環流流路と、
   前記供給流路に設けられ、第１のフィルターを有する第１のフィルター室と、
   前記供給流路の前記第１のフィルター室よりも下流側に設けられ、第２のフィルターを
   有する第２のフィルター室と、を備え、
   前記供給流路から前記第１の環流流路への分岐口は、少なくとも前記第２のフィルター
   よりも上流側に設けられ、
   前記第１のフィルター室は、前記第１のフィルター室で生じる浮力の向きに沿って液体
   が前記第１のフィルターを通過するように構成され、
   前記第２のフィルター室は、前記第２のフィルター室で生じる浮力の向きに逆らって液
   体が前記第２のフィルターを通過するように構成されており、
   前記第１のフィルターの平均孔径は、前記第２のフィルターの平均孔径よりも小さい
   ことを特徴とする液体噴射装置。
2. 液体を貯留するための液体貯留部と、
   液体を噴射する噴射部と、
   液体を前記液体貯留部から前記噴射部へと供給する供給流路と、
   前記供給流路から分岐して液体を前記液体貯留部へと環流させる第１の環流流路と、
   前記供給流路に設けられ、第１のフィルターを有する第１のフィルター室と、
   前記供給流路の前記第１のフィルター室よりも下流側に設けられ、第２のフィルターを
   有する第２のフィルター室と、を備え、
   前記供給流路から前記第１の環流流路への分岐口は、少なくとも前記第２のフィルター
   よりも上流側に設けられ、
   前記第１のフィルター室は、前記第１のフィルター室で生じる浮力の向きに沿って液体
   が前記第１のフィルターを通過するように構成され、
   前記第２のフィルター室は、前記第２のフィルター室で生じる浮力の向きに逆らって液
   体が前記第２のフィルターを通過するように構成されており、
   前記第２のフィルターの流路抵抗は、前記第１のフィルターの流路抵抗よりも小さい
   ことを特徴とする液体噴射装置。
3. 請求項１又は請求項２に記載の液体噴射装置において、
   前記第１のフィルター室と前記第２のフィルター室との間に設けられて液体の圧力を検
   出する圧力計を備える
   ことを特徴とする液体噴射装置。
4. 請求項３に記載の液体噴射装置において、
   前記圧力計で検出された圧力に基づいて前記液体貯留部から送出する液体の流量を制御
   するレギュレーターを備える
   ことを特徴とする液体噴射装置。
5. 液体を貯留するための液体貯留部と、
   液体を噴射する噴射部と、
   液体を前記液体貯留部から前記噴射部へと供給する供給流路と、
   前記供給流路から分岐して液体を前記液体貯留部へと環流させる第１の環流流路と、
   前記供給流路に設けられ、第１のフィルターを有する第１のフィルター室と、
   前記供給流路の前記第１のフィルター室よりも下流側に設けられ、第２のフィルターを
   有する第２のフィルター室と、を備え、
   前記供給流路から前記第１の環流流路への分岐口は、少なくとも前記第２のフィルター
   よりも上流側に設けられ、
   前記第１のフィルター室は、前記第１のフィルター室で生じる浮力の向きに沿って液体
   が前記第１のフィルターを通過するように構成され、
   前記第２のフィルター室は、前記第２のフィルター室で生じる浮力の向きに逆らって液
   体が前記第２のフィルターを通過するように構成されており、
   前記第１のフィルター室と前記第２のフィルター室との間に設けられて液体の圧力を検
   出する圧力計を備える
   ことを特徴とする液体噴射装置。
6. 請求項５に記載の液体噴射装置において、
   前記圧力計で検出された圧力に基づいて前記液体貯留部から送出する液体の流量を制御
   するレギュレーターを備える
   ことを特徴とする液体噴射装置。
7. 請求項１から請求項６の何れか一項に記載の液体噴射装置において、
   前記噴射部に供給された液体を前記液体貯留部へ環流させる第２の環流流路を備える
   ことを特徴とする液体噴射装置。
8. 請求項１から請求項７の何れか一項に記載の液体噴射装置において、
   前記第１のフィルター及び前記第１のフィルター室を有するフィルターユニットを備え
   、
   前記フィルターユニットは交換可能である
   ことを特徴とする液体噴射装置。
9. 請求項１から請求項８の何れか一項に記載する液体噴射装置において、
   前記第１のフィルター室の上流室は、水平方向から浮力方向へと流れの向きを変える屈
   曲部を有する
   ことを特徴とする液体噴射装置。
10. 液体を噴射する噴射部に液体を供給する供給システムであって、
    液体を貯留するための液体貯留部と、
    液体を前記液体貯留部から前記噴射部へと供給する供給流路と、
    前記供給流路から分岐して液体を前記液体貯留部へと環流させる第１の環流流路と、
    前記供給流路に設けられ、第１のフィルターを有する第１のフィルター室と、
    前記供給流路の前記第１のフィルター室よりも下流側に設けられ、第２のフィルターを
    有する第２のフィルター室と、を備え、
    前記供給流路から前記第１の環流流路への分岐口は、少なくとも第２のフィルターより
    も上流側に設けられ、
    前記第１のフィルター室は、前記第１のフィルター室で生じる浮力の向きに沿って液体
    が前記第１のフィルターを通過するように構成され、
    前記第２のフィルター室は、前記第２のフィルター室で生じる浮力の向きに逆らって液
    体が前記第２のフィルターを通過するように構成されており、
    前記第１のフィルターの平均孔径は、前記第２のフィルターの平均孔径よりも小さい
    ことを特徴とする供給システム。
11. 液体を噴射する噴射部に液体を供給する供給システムであって、
    液体を貯留するための液体貯留部と、
    液体を前記液体貯留部から前記噴射部へと供給する供給流路と、
    前記供給流路から分岐して液体を前記液体貯留部へと環流させる第１の環流流路と、
    前記供給流路に設けられ、第１のフィルターを有する第１のフィルター室と、
    前記供給流路の前記第１のフィルター室よりも下流側に設けられ、第２のフィルターを
    有する第２のフィルター室と、を備え、
    前記供給流路から前記第１の環流流路への分岐口は、少なくとも第２のフィルターより
    も上流側に設けられ、
    前記第１のフィルター室は、前記第１のフィルター室で生じる浮力の向きに沿って液体
    が前記第１のフィルターを通過するように構成され、
    前記第２のフィルター室は、前記第２のフィルター室で生じる浮力の向きに逆らって液
    体が前記第２のフィルターを通過するように構成されており、
    前記第２のフィルターの流路抵抗は、前記第１のフィルターの流路抵抗よりも小さい
    ことを特徴とする供給システム。
12. 液体を噴射する噴射部に液体を供給する供給システムであって、
    液体を貯留するための液体貯留部と、
    液体を前記液体貯留部から前記噴射部へと供給する供給流路と、
    前記供給流路から分岐して液体を前記液体貯留部へと環流させる第１の環流流路と、
    前記供給流路に設けられ、第１のフィルターを有する第１のフィルター室と、
    前記供給流路の前記第１のフィルター室よりも下流側に設けられ、第２のフィルターを
    有する第２のフィルター室と、を備え、
    前記供給流路から前記第１の環流流路への分岐口は、少なくとも第２のフィルターより
    も上流側に設けられ、
    前記第１のフィルター室は、前記第１のフィルター室で生じる浮力の向きに沿って液体
    が前記第１のフィルターを通過するように構成され、
    前記第２のフィルター室は、前記第２のフィルター室で生じる浮力の向きに逆らって液
    体が前記第２のフィルターを通過するように構成されており、
    前記第１のフィルター室と前記第２のフィルター室との間に設けられて液体の圧力を検
    出する圧力計を備える
    ことを特徴とする供給システム。

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