JP7215537B2

JP7215537B2 - LIQUID EJECTOR AND LIQUID EJECTOR UNIT

Info

Publication number: JP7215537B2
Application number: JP2021136109A
Authority: JP
Inventors: 秀樹林
Original assignee: Brother Industries Ltd
Current assignee: Brother Industries Ltd
Priority date: 2020-06-05
Filing date: 2021-08-24
Publication date: 2023-01-31
Anticipated expiration: 2035-03-31
Also published as: JP2021181233A

Description

本発明は、ノズルから液体を吐出する液体吐出装置、及び、液体吐出装置ユニットに関する。 The present invention relates to a liquid ejecting apparatus that ejects liquid from nozzles, and a liquid ejecting apparatus unit.

特許文献１に記載のインクジェットヘッドでは、複数のノズルが搬送方向に配列されることによって形成されたノズル列が、走査方向に４列に配列されている。また、走査方向において、左側から１番目のノズル列と２番目のノズル列との間、及び、右側から１番目のノズル列と２番目のノズル列との間に、それぞれ、搬送方向に延びたマニホールド流路が配置されている。 In the inkjet head described in Patent Document 1, nozzle rows formed by arranging a plurality of nozzles in the transport direction are arranged in four rows in the scanning direction. Also, in the scanning direction, between the first nozzle row and the second nozzle row from the left and between the first nozzle row and the second nozzle row from the right, respectively, A manifold flow path is arranged.

特開２０１４－１９５９２９号公報JP 2014-195929 A

ここで、特許文献１に記載されているようなインクジェットヘッドでは、上記のとおり、走査方向における２つのノズル列の間に、マニホールド流路が配置された構造となっている。一方、特許文献１のインクジェットヘッドでは、圧電アクチュエータを駆動させたときに圧力室で発生し、マニホールド流路に伝播してきた圧力波を、マニホールド流路において十分に減衰させるために、マニホールド流路の幅（走査方向の長さ）をある程度広くする必要がある。マニホールド流路の幅を広くすると、インクジェットヘッドが走査方向に大型化してしまう。 Here, as described above, the inkjet head described in Patent Document 1 has a structure in which a manifold channel is arranged between two nozzle rows in the scanning direction. On the other hand, in the inkjet head of Patent Document 1, the pressure wave generated in the pressure chamber when the piezoelectric actuator is driven and propagated to the manifold channel is sufficiently attenuated in the manifold channel. The width (length in the scanning direction) must be widened to some extent. If the width of the manifold channel is widened, the size of the inkjet head becomes large in the scanning direction.

本発明の目的は、装置の大型化を抑えつつ、複数のノズルに共通のマニホールド流路の幅を広くすることが可能な液体吐出装置、及び、液体吐出装置ユニットを提供することである。 SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a liquid ejecting apparatus and a liquid ejecting apparatus unit capable of increasing the width of a common manifold channel for a plurality of nozzles while suppressing an increase in the size of the apparatus.

本発明の液体吐出装置は、複数の個別流路が形成された個別流路部材と、前記個別流路部材と第１方向に接合され、前記複数の個別流路に共通の共通流路が形成された共通流路部材と、を備え、複数の個別流路は、前記個別流路部材の、前記第１方向における前記共通流路部材と反対側の面に開口した複数のノズルが、前記第１方向と直交する第２方向に沿って配列されることによって形成されたノズル群と、前記複数のノズルに対して個別に設けられ、前記個別流路部材の前記第１方向における前記共通流路部材側の面に開口した、前記共通流路との接続を行うための複数の接続孔が、前記第２方向に沿って配列されることによって形成された接続孔群と、を有し、前記共通流路は、前記接続孔群に対して設けられており、前記第２方向に延びたマニホールド流路と、前記第１方向における前記マニホールド流路と前記接続孔群との間に配置され、前記第２方向に延び、前記マニホールド流路と前記接続孔群とを接続する接続流路と、を有し、前記個別流路部材は、前記第１方向及び前記第２方向のいずれとも直交する第３方向に配列された複数の前記ノズル群と、前記第３方向に配列された複数の前記接続孔群と、を有し、前記共通流路部材は、前記第３方向に配列された複数の前記マニホールド流路と、前記第３方向に配列された複数の前記接続流路と、を有し、前記第３方向において、前記複数のマニホールド流路の間隔の少なくとも一部は、前記複数の接続孔群の間隔よりも大きい。 In the liquid ejection device of the present invention, an individual channel member in which a plurality of individual channels are formed is joined to the individual channel member in a first direction to form a common channel common to the plurality of individual channels. and a common flow path member having a plurality of individual flow paths, wherein a plurality of nozzles opened to a surface of the individual flow path member opposite to the common flow path member in the first direction are provided in the first direction. a nozzle group formed by arranging along a second direction perpendicular to the first direction; a group of connection holes formed by arranging a plurality of connection holes for connection with the common flow path, which are opened in the member-side surface, along the second direction; A common flow path is provided for the connection hole group, and is arranged between the manifold flow path extending in the second direction and the manifold flow path and the connection hole group in the first direction, a connection channel that extends in the second direction and connects the manifold channel and the connection hole group, and the individual channel member is orthogonal to both the first direction and the second direction a plurality of nozzle groups arranged in a third direction; and a plurality of connection hole groups arranged in the third direction; and a plurality of connection flow paths arranged in the third direction, and in the third direction, at least part of the intervals between the plurality of manifold flow paths are the plurality of It is larger than the interval between the connection hole groups.

第１実施形態に係るプリンタ１の概略構成図である。1 is a schematic configuration diagram of a printer 1 according to a first embodiment; FIG. 図１のインクジェットヘッド３の平面図である。FIG. 2 is a plan view of the inkjet head 3 of FIG. 1; 図２のIII－III線断面図である。3 is a cross-sectional view taken along line III-III of FIG. 2; FIG. 図２のIV－IV線断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view taken along line IV-IV of FIG. 2; ヘッドチップ１１の平面図である。3 is a plan view of the head chip 11; FIG. 図５の部分拡大図である。FIG. 6 is a partially enlarged view of FIG. 5; （ａ）が図６のＡ－Ａ線断面図であり、（ｂ）が図６のＢ－Ｂ線断面図である。6A is a cross-sectional view along line AA of FIG. 6, and FIG. 6B is a cross-sectional view along line BB of FIG. 図２からダンパフィルム５３、プレート５４及びフィルタ５５を除いた図である。FIG. 3 is a view of FIG. 2 with a damper film 53, a plate 54 and a filter 55 removed; 図８から第１共通流路部材５１を除いた図である。FIG. 9 is a view of FIG. 8 with the first common channel member 51 removed; 第２実施形態の図１相当の図である。It is a figure equivalent to FIG. 1 of 2nd Embodiment. 変形例１のダンパフィルム５３、プレート５４及びフィルタ５５を除いたインクジェットヘッドの平面図である。FIG. 10 is a plan view of an inkjet head excluding a damper film 53, a plate 54, and a filter 55 of Modification 1; 変形例２のダンパフィルム５３、プレート５４及びフィルタ５５を除いたインクジェットヘッドの平面図である。FIG. 11 is a plan view of an inkjet head excluding a damper film 53, a plate 54, and a filter 55 of Modification 2; 変形例３のインクジェットヘッドの断面図である。FIG. 11 is a cross-sectional view of an inkjet head of Modification 3; 変形例４のインクジェットヘッドの断面図である。FIG. 11 is a cross-sectional view of an inkjet head of Modification 4; 変形例５のインクジェットヘッドの断面図である。FIG. 11 is a cross-sectional view of an inkjet head of Modification 5; 変形例６のインクジェットヘッドの断面図である。FIG. 12 is a cross-sectional view of an inkjet head of Modification 6; 変形例７のインクジェットヘッドの平面図である。FIG. 11 is a plan view of an inkjet head of Modification 7; 変形例８のインクジェットヘッドの断面図である。FIG. 12 is a cross-sectional view of an inkjet head of Modification 8; 変形例９のインクジェットヘッドの断面図である。FIG. 14 is a cross-sectional view of an inkjet head of Modification 9; 変形例１０のインクジェットヘッドの断面図である。FIG. 12 is a cross-sectional view of an inkjet head of Modification 10; 変形例１１のインクジェットヘッドの断面図である。FIG. 12 is a cross-sectional view of an inkjet head of Modification 11;

［第１実施形態］
以下、本発明の好適な第１実施形態について説明する。 [First embodiment]
A first preferred embodiment of the present invention will be described below.

（プリンタの全体構成）
図１に示すように、第１実施形態に係るプリンタ１は、キャリッジ２、インクジェットヘッド３、２つの用紙搬送ローラ４、プラテン５などを備えている。キャリッジ２は、走査方向の延びた２本のガイドレール６に支持され、ガイドレール６に沿って走査方向に移動する。なお、以下では、図１に示すように走査方向の右側及び左側を定義して説明を行う。 (Overall configuration of the printer)
As shown in FIG. 1, the printer 1 according to the first embodiment includes a carriage 2, an inkjet head 3, two paper transport rollers 4, a platen 5, and the like. The carriage 2 is supported by two guide rails 6 extending in the scanning direction, and moves along the guide rails 6 in the scanning direction. In the following description, right and left sides in the scanning direction are defined as shown in FIG.

インクジェットヘッド３は、キャリッジ２に搭載され、その下面に形成された複数のノズル１５からインクを吐出する。インクジェットヘッド３の構成については後程詳細に説明する。２つの用紙搬送ローラ４は、走査方向と直交する方向におけるキャリッジ２の両側に配置され、記録用紙Ｐを搬送方向に搬送する。プラテン５は、搬送方向における２つの用紙搬送ローラ４の間に、インクジェットヘッド３と対向して配置され、用紙搬送ローラ４に搬送される記録用紙Ｐを下側から支持する。 The inkjet head 3 is mounted on the carriage 2 and ejects ink from a plurality of nozzles 15 formed on its lower surface. The configuration of the inkjet head 3 will be described later in detail. Two paper transport rollers 4 are arranged on both sides of the carriage 2 in the direction orthogonal to the scanning direction, and transport the recording paper P in the transport direction. The platen 5 is arranged between the two paper transport rollers 4 in the transport direction so as to face the inkjet head 3 and supports the recording paper P transported by the paper transport rollers 4 from below.

そして、プリンタ１は、用紙搬送ローラ４によって記録用紙Ｐを搬送しつつ、キャリッジ２とともに走査方向に往復移動するインクジェットヘッド３からインクを吐出することによって、記録用紙Ｐに印刷を行う。 The printer 1 prints on the recording paper P by ejecting ink from the inkjet head 3 that reciprocates in the scanning direction together with the carriage 2 while transporting the recording paper P by the paper transport rollers 4 .

（インクジェットヘッド）
次に、インクジェットヘッド３について詳細に説明する。図２、図３に示すように、インクジェットヘッド３は、ヘッドチップ１１、支持基板１２、及び、マニホールドユニット１３を備えている。ただし、図３等では、図面を見やすくするために、後述の凹部３７及び圧電アクチュエータ２４の高さを高く図示している。 (inkjet head)
Next, the inkjet head 3 will be described in detail. As shown in FIGS. 2 and 3, the inkjet head 3 includes a head chip 11, a support substrate 12, and a manifold unit 13. FIG. However, in FIG. 3 and the like, the recesses 37 and the piezoelectric actuators 24, which will be described later, are shown to be high in order to make the drawings easier to see.

ヘッドチップ１１は、図５～図７に示すように、ノズルプレート２１、圧力室プレート２２、振動膜２３、及び、８つの圧電アクチュエータ２４を備えている。ただし、図５、図６では、支持基板１２及び後述の凹部３７の位置を二点鎖線で図示している。 The head chip 11 includes a nozzle plate 21, a pressure chamber plate 22, a vibration film 23, and eight piezoelectric actuators 24, as shown in FIGS. However, in FIGS. 5 and 6, the positions of the support substrate 12 and the recesses 37, which will be described later, are indicated by two-dot chain lines.

ノズルプレート２１は、合成樹脂材料などからなる。ノズルプレート２１には、複数のノズル１５が形成されている。複数のノズル１５は、搬送方向に配列されることによってノズル列３１を形成している。また、ノズルプレート２１では、ノズル列３１が、走査方向に８列に配列されている。また、走査方向の右側から奇数番目のノズル列３１を形成する複数のノズル１５は、偶数番目のノズル列３１を形成する複数のノズル１５に対して、各ノズル列３１におけるノズル１５同士の間隔の半分の長さだけ、搬送方向の下流側にずれている。 The nozzle plate 21 is made of a synthetic resin material or the like. A plurality of nozzles 15 are formed in the nozzle plate 21 . The plurality of nozzles 15 form a nozzle row 31 by being arranged in the transport direction. Further, in the nozzle plate 21, the nozzle rows 31 are arranged in eight rows in the scanning direction. In addition, the plurality of nozzles 15 forming the odd-numbered nozzle rows 31 from the right side in the scanning direction are different from the plurality of nozzles 15 forming the even-numbered nozzle rows 31 in that the intervals between the nozzles 15 in each nozzle row 31 are different. It is shifted downstream in the conveying direction by half the length.

そして、走査方向の右側から１、２番目のノズル列３１によって構成されるノズル群３２を形成する複数のノズル１５からは、ブラックインクが吐出される。右側から３、４番目のノズル列３１によって構成されるノズル群３２を形成する複数のノズル１５からは、イエローインクが吐出される。右側から５、６番目のノズル列３１によって構成されるノズル群３２を形成する複数のノズル１５からはシアンインクが吐出される。右側から７、８番目のノズル列３１によって構成されるノズル群３２を形成する複数のノズル１５からは、マゼンタインクが吐出される。 Black ink is ejected from a plurality of nozzles 15 forming a nozzle group 32 composed of the first and second nozzle rows 31 from the right in the scanning direction. Yellow ink is ejected from a plurality of nozzles 15 forming a nozzle group 32 composed of the third and fourth nozzle rows 31 from the right. Cyan ink is ejected from a plurality of nozzles 15 forming a nozzle group 32 composed of the fifth and sixth nozzle rows 31 from the right. Magenta ink is ejected from a plurality of nozzles 15 forming a nozzle group 32 composed of the seventh and eighth nozzle rows 31 from the right.

圧力室プレート２２は、シリコン（Ｓｉ）などからなり、ノズルプレート２１の上面に配置されている。圧力室プレート２２には、複数の圧力室１０が形成されている。複数の圧力室１０は、複数のノズル１５に対して個別に設けられたものである。走査方向の右側から奇数番目のノズル列３１を形成するノズル１５に対応する圧力室１０は、右端部においてノズル１５と重なっている。走査方向の右側から偶数番目のノズル列３１を形成するノズル１５に対応する圧力室１０は、左端部においてノズル１５と重なっている。そして、複数の圧力室１０は、このように配置されることにより、８列のノズル列３１に対応する８列の圧力室列３３を形成している。 The pressure chamber plate 22 is made of silicon (Si) or the like, and is arranged on the upper surface of the nozzle plate 21 . A plurality of pressure chambers 10 are formed in the pressure chamber plate 22 . A plurality of pressure chambers 10 are provided individually for a plurality of nozzles 15 . The pressure chambers 10 corresponding to the nozzles 15 forming the odd-numbered nozzle row 31 from the right side in the scanning direction overlap the nozzles 15 at the right end. The pressure chambers 10 corresponding to the nozzles 15 forming the even-numbered nozzle row 31 from the right side in the scanning direction overlap the nozzles 15 at the left end. By arranging the plurality of pressure chambers 10 in this manner, eight pressure chamber rows 33 corresponding to the eight nozzle rows 31 are formed.

振動膜２３は、二酸化ケイ素（ＳｉＯ₂）などの絶縁性材料からなり、圧力室プレート２２の上面に配置されている。振動膜２３は、複数の圧力室１０にまたがって連続的に延び、複数の圧力室１０を覆っている。 The vibrating membrane 23 is made of an insulating material such as silicon dioxide (SiO ₂ ) and arranged on the upper surface of the pressure chamber plate 22 . The vibrating film 23 extends continuously across the plurality of pressure chambers 10 and covers the plurality of pressure chambers 10 .

８つの圧電アクチュエータ２４は、８列の圧力室列３３に対応して設けられている。各圧電アクチュエータ２４は、圧電層４１、共通電極４２及び複数の個別電極４３を備えている。圧電層４１は、チタン酸ジルコン酸鉛を主成分とする圧電材料からなり、圧力室列３３を形成する複数の圧力室１０にまたがって搬送方向に連続的に延びている。共通電極４２は、金属などの導電性材料からなり、圧電層４１の下面のほぼ全域にわたって配置されている。共通電極４２は、常にグランド電位に保持されている。複数の個別電極４３は、複数の圧力室１０に対して個別に設けられ、対応する圧力室１０と重なっている。複数の個別電極４３は、図示しないドライバＩＣに接続されている。複数の個別電極４３には、ドライバＩＣにより、それぞれ、グランド電位、及び、２０Ｖ程度の所定の駆動電位のいずれかが選択的に付与される。また、共通電極４２及び複数の個別電極４３の配置に対応して、圧電層４１の共通電極４２と各個別電極４３とに挟まれた部分は、それぞれ、厚み方向に分極されている。 The eight piezoelectric actuators 24 are provided corresponding to the eight pressure chamber rows 33 . Each piezoelectric actuator 24 comprises a piezoelectric layer 41 , a common electrode 42 and a plurality of individual electrodes 43 . The piezoelectric layer 41 is made of a piezoelectric material containing lead zirconate titanate as a main component, and extends continuously in the transport direction across a plurality of pressure chambers 10 forming the pressure chamber row 33 . The common electrode 42 is made of a conductive material such as metal, and is arranged over substantially the entire lower surface of the piezoelectric layer 41 . The common electrode 42 is always held at ground potential. The plurality of individual electrodes 43 are individually provided for the plurality of pressure chambers 10 and overlap the corresponding pressure chambers 10 . The plurality of individual electrodes 43 are connected to a driver IC (not shown). Either a ground potential or a predetermined drive potential of about 20 V is selectively applied to each of the individual electrodes 43 by the driver IC. Also, corresponding to the arrangement of the common electrode 42 and the plurality of individual electrodes 43, the portions of the piezoelectric layer 41 sandwiched between the common electrode 42 and the individual electrodes 43 are each polarized in the thickness direction.

＜圧電アクチュエータの駆動方法＞
ここで、圧電アクチュエータ２４を駆動させて、ノズル１５からインクを吐出させる方法について説明する。インクジェットヘッド３では、予め、全ての個別電極４３がグランド電位に保持されている。ノズル１５からインクを吐出させるためには、対応する個別電極４３の電位をグランド電位から駆動電位に切り換える。すると、個別電極４３と共通電極４２との電位差により、圧電層４１のこれらの電極に挟まれた部分に分極方向と平行な電界が発生する。この電界により、圧電層４１のこの部分が分極方向と直交する面方向に収縮し、これにより、圧電層４１と振動膜２３とが全体として、圧力室１０側に凸となるように変形して、圧力室１０の容積が減少する。その結果、圧力室１０内のインクの圧力が上昇し、圧力室１０に連通するノズル１５からインクが吐出される。 <Method of Driving Piezoelectric Actuator>
Here, a method of driving the piezoelectric actuator 24 to eject ink from the nozzles 15 will be described. In the inkjet head 3, all the individual electrodes 43 are held at ground potential in advance. In order to eject ink from the nozzles 15, the potential of the corresponding individual electrode 43 is switched from the ground potential to the driving potential. Then, due to the potential difference between the individual electrode 43 and the common electrode 42, an electric field parallel to the polarization direction is generated in the portion of the piezoelectric layer 41 sandwiched between these electrodes. This electric field causes this portion of the piezoelectric layer 41 to contract in the plane direction perpendicular to the polarization direction, thereby deforming the piezoelectric layer 41 and the vibration film 23 as a whole so as to protrude toward the pressure chamber 10 side. , the volume of the pressure chamber 10 decreases. As a result, the pressure of the ink inside the pressure chamber 10 increases, and the ink is ejected from the nozzle 15 communicating with the pressure chamber 10 .

＜支持基板＞
支持基板１２は、シリコン（Ｓｉ）などからなり、振動膜２３の上面に配置されている。支持基板１２は、走査方向の長さがプレート２１、２２よりも短く、プレート２１、２２は、走査方向の両側に支持基板１２からはみ出している。支持基板１２及び振動膜２３の、走査方向における複数の圧力室１０のノズル１５と反対側の端部と重なる部分には、上下方向に延びて支持基板１２及び振動膜２３を貫通する複数の絞り流路１６が形成されている。これにより、複数の絞り流路１６は、８列のノズル列３１に対応する８列の絞り流路列３５を形成している。また、右側から１、２番目の絞り流路列３５、右側から３、４番目の絞り流路列３５、右側から５、６番目の絞り流路列３５、及び、右側から７、８番目の絞り流路列３５は、それぞれ、走査方向に近接して配置されることで絞り流路群３６ａ～３６ｄを形成している。また、支持基板１２の下面の各圧電アクチュエータ２４と重なる部分には、凹部３７が形成されている。圧電アクチュエータ２４は、凹部３７内に収容されている。 <Supporting substrate>
The support substrate 12 is made of silicon (Si) or the like, and is arranged on the upper surface of the vibrating membrane 23 . The support substrate 12 is shorter in the scanning direction than the plates 21 and 22, and the plates 21 and 22 protrude from the support substrate 12 on both sides in the scanning direction. A plurality of apertures extending vertically and penetrating through the support substrate 12 and the vibration film 23 are formed in portions of the support substrate 12 and the vibration film 23 that overlap the ends of the plurality of pressure chambers 10 opposite to the nozzles 15 in the scanning direction. A flow path 16 is formed. Thus, the plurality of throttle channels 16 form eight rows of throttle channels 35 corresponding to the eight rows of nozzles 31 . 1st and 2nd throttle channel rows 35 from the right side, 3rd and 4th throttle channel rows 35 from the right side, 5th and 6th throttle channel rows 35 from the right side, and 7th and 8th throttle channel rows 35 from the right side. The throttle channel rows 35 are arranged close to each other in the scanning direction to form throttle channel groups 36a to 36d. In addition, recesses 37 are formed in portions of the lower surface of the support substrate 12 that overlap with the piezoelectric actuators 24 . The piezoelectric actuator 24 is accommodated within the recess 37 .

＜共通流路部材＞
マニホールドユニット１３は、支持基板１２の上面に接合され、第１共通流路部材５１、第２共通流路部材５２、ダンパフィルム５３、プレート５４及びフィルタ５５を備えている。 <Common channel member>
The manifold unit 13 is bonded to the upper surface of the support substrate 12 and includes a first common channel member 51, a second common channel member 52, a damper film 53, a plate 54 and a filter 55.

共通流路部材５１、５２は、セラミックなどからなる。図３、図８に示すように、第１共通流路部材５１と第２共通流路部材５２とは、第２共通流路部材５２が下側となるように上下方向に積層され、第２共通流路部材５２が支持基板１２の上面に接合されている。共通流路部材５１、５２は、走査方向の長さが、支持基板１２及びプレート２１、２２よりも長く、走査方向における両端部が、支持基板１２及びヘッドチップ１１からはみ出している。共通流路部材５１、５２には、４つのマニホールド流路６１～６４、及び、４つの接続流路６６～６９が形成されている。 The common channel members 51 and 52 are made of ceramic or the like. As shown in FIGS. 3 and 8, the first common flow path member 51 and the second common flow path member 52 are stacked vertically so that the second common flow path member 52 is on the lower side. A common channel member 52 is bonded to the upper surface of the support substrate 12 . The common channel members 51 and 52 are longer in the scanning direction than the supporting substrate 12 and the plates 21 and 22 , and both ends in the scanning direction protrude from the supporting substrate 12 and the head chip 11 . Four manifold channels 61 to 64 and four connection channels 66 to 69 are formed in the common channel members 51 and 52 .

４つのマニホールド流路６１～６４は、第１共通流路部材５１の、下端部を除く部分に形成されている。マニホールド流路６１～６４は、それぞれが搬送方向に延び、走査方向に配列されている。最も右側に配置されたマニホールド流路６１は、絞り流路群３６ａよりも右側に位置しており、絞り流路群３６ａとは重ならない。右側から２番目のマニホールド流路６２は、左端部において絞り流路群３６ｂと重なっている。右側から３番目のマニホールド流路６２は、右端部において絞り流路群３６ｃと重なっている。最も左側に配置されたマニホールド流路６４は、絞り流路群３６ｄよりも左側に位置しており、絞り流路群３６ｄとは重ならない。これにより、マニホールド流路６１～６４同士の間隔Ｄ１は、絞り流路群３６ａ～３６ｄ同士の間隔Ｄ２よりも大きくなっている。具体的には、間隔Ｄ１は間隔Ｄ２の１．５～２．５倍程度となっている。例えば、間隔Ｄ１が１．５ｍｍ程度であり、間隔Ｄ２が１ｍｍ程度である。また、マニホールド流路６１～６４は、幅が同じＷ１となっており、搬送方向の長さも同じとなっている。これにより、マニホールド流路６１～６４は容積も同じとなっている。 Four manifold channels 61 to 64 are formed in a portion of the first common channel member 51 excluding the lower end portion. The manifold channels 61 to 64 each extend in the transport direction and are arranged in the scanning direction. The rightmost manifold channel 61 is positioned to the right of the throttle channel group 36a and does not overlap with the throttle channel group 36a. The second manifold channel 62 from the right overlaps the throttle channel group 36b at the left end. The third manifold channel 62 from the right overlaps the throttle channel group 36c at the right end. The leftmost manifold channel 64 is positioned to the left of the throttle channel group 36d and does not overlap with the throttle channel group 36d. As a result, the interval D1 between the manifold channels 61 to 64 is larger than the interval D2 between the throttle channel groups 36a to 36d. Specifically, the interval D1 is approximately 1.5 to 2.5 times the interval D2. For example, the interval D1 is approximately 1.5 mm, and the interval D2 is approximately 1 mm. The manifold channels 61 to 64 have the same width W1 and the same length in the transport direction. As a result, the manifold channels 61 to 64 have the same volume.

ここで、マニホールド流路６１～６４同士の間隔というのは、例えば、図３に示す各マニホールド流路６１～６４の走査方向における中心位置同士の間隔等、マニホールド流路６１～６４の互いに対応する部分同士の間隔のことである。また、絞り流路群３６ａ～３６ｄ同士の間隔Ｄ２というのは、例えば、図３に示す各絞り流路群３６ａ～３６ｄを構成する２つの絞り流路列３５のうち、左側の絞り流路列同士の間隔等、絞り流路群３６ａ～３６ｄの対応する部分同士の間隔のことである。 Here, the intervals between the manifold channels 61 to 64 correspond to the intervals between the centers of the manifold channels 61 to 64 in the scanning direction shown in FIG. It is the space between parts. Further, the interval D2 between the throttle channel groups 36a to 36d is, for example, the left throttle channel row of the two throttle channel rows 35 forming each of the throttle channel groups 36a to 36d shown in FIG. It means the distance between the corresponding portions of the throttle channel groups 36a to 36d, such as the distance between them.

４つの接続流路６６～６９は、第１共通流路部材５１の下端部と第２共通流路部材５２とにまたがって形成されている。接続流路６６～６９は、それぞれが搬送方向に延び、走査方向に配列されている。 The four connecting channels 66 to 69 are formed across the lower end portion of the first common channel member 51 and the second common channel member 52 . The connection channels 66 to 69 each extend in the transport direction and are arranged in the scanning direction.

また、最も右側の接続流路６６は、走査方向の左側に位置する部分ほど、下側に位置するように延びている。そして、接続流路６６は、その右上端部において、マニホールド流路６１の左下端部と連通し、その左下端部において絞り流路群３６ａを形成する複数の絞り流路１６と連通する。また、接続流路６６がこのように延びているのに対応して、接続流路６６の下面６６ａは、走査方向の左側にいくほど、下側に位置するような階段状に形成されている。また、接続流路６６の下面６６ａには、第１共通流路部材５１の、マニホールド流路６１とマニホールド流路６２とを隔てる隔壁５１ａと重なる部分に、上方に突出した複数の突出部６６ｂが形成されている。複数の突出部６６ｂは、搬送方向に配列され、その上端部が、第１共通流路部材５１の隔壁５１aの下面に接合されている。また、
図９に示すように、突出部６６ｂの搬送方向における両端面６６ｃは、上方から見て円弧状の曲面となっている。 Further, the rightmost connection flow path 66 extends so as to be positioned lower toward the left side in the scanning direction. The connecting channel 66 communicates at its upper right end with the lower left end of the manifold channel 61, and communicates at its lower left end with the plurality of throttle channels 16 forming the throttle channel group 36a. In addition, corresponding to the extension of the connecting channel 66, the lower surface 66a of the connecting channel 66 is formed in a stepped shape such that the further left in the scanning direction, the lower the lower surface 66a. . In addition, on the lower surface 66a of the connecting channel 66, a plurality of projecting portions 66b that protrude upward are formed in a portion of the first common channel member 51 that overlaps with the partition wall 51a that separates the manifold channel 61 and the manifold channel 62. formed. The plurality of protrusions 66b are arranged in the transport direction, and their upper ends are joined to the lower surface of the partition wall 51a of the first common channel member 51. As shown in FIG. again,
As shown in FIG. 9, both end surfaces 66c of the projecting portion 66b in the conveying direction are arc-shaped curved surfaces when viewed from above.

右側から２番目の接続流路６７は、上下方向に延び、その上端部においてマニホールド流路６２の左下端部と連通し、その下端部において絞り流路群３６ｂを形成する複数の絞り流路１６と連通する。右側から３番目の接続流路６８は、上下方向に延び、その上端部においてマニホールド流路６３の右下端部と連通し、その下端部において絞り流路群３６ｃを形成する複数の絞り流路１６と連通する。 The second connection channel 67 from the right extends in the vertical direction, communicates at its upper end with the lower left end of the manifold channel 62, and at its lower end forms a plurality of throttle channels 16 forming the group of throttle channels 36b. communicate with. The third connection channel 68 from the right extends in the vertical direction, communicates at its upper end with the lower right end of the manifold channel 63, and at its lower end forms a plurality of throttle channels 16 forming the group of throttle channels 36c. communicate with.

最も左側の接続流路６９は、走査方向の右側に位置する部分ほど下側に位置するように延びている。そして、接続流路６９は、その左上端部において、マニホールド流路６４の右下端部と連通し、その右下端部において絞り流路群３６ｄを形成する複数の絞り流路１６と連通する。また、接続流路６９がこのように延びているのに対応して、接続流路６９の下面６９ａは、走査方向の右側にいくほど、下側に位置するような階段状に形成されている。また、接続流路６９の下面６９ａには、第１流路部材５１のマニホールド流路６３とマニホールド流路６４とを隔てる隔壁５１ｂと重なる部分に、上方に突出した複数の突出部６９ｂが形成されている。複数の突出部６９ｂは、搬送方向に配列され、その上端部が、第１共通流路部材５１の下面に接合されている。また、図９に示すように、突出部６９ｂの搬送方向における両端面６９ｃは、上方から見て円弧状の曲面となっている。 The leftmost connection channel 69 extends so that the part located on the right side in the scanning direction is positioned downward. The upper left end of the connection channel 69 communicates with the lower right end of the manifold channel 64, and the lower right end communicates with the plurality of throttle channels 16 forming the throttle channel group 36d. In addition, corresponding to the connection channel 69 extending in this way, the lower surface 69a of the connection channel 69 is formed in a stepped shape so that the closer to the right side in the scanning direction, the lower the lower surface 69a is. . A plurality of projections 69b that protrude upward are formed on the lower surface 69a of the connection channel 69 in a portion that overlaps with the partition wall 51b that separates the manifold channel 63 and the manifold channel 64 of the first channel member 51. ing. The plurality of protruding portions 69b are arranged in the transport direction, and their upper end portions are joined to the lower surface of the first common channel member 51. As shown in FIG. Further, as shown in FIG. 9, both end surfaces 69c of the projecting portion 69b in the conveying direction are arc-shaped curved surfaces when viewed from above.

また、上述の支持基板１２の、右側から２番目と３番目の凹部３７を隔てる隔壁３８ａは、第２流路形成部材５２の、接続流路６６と接続流路６７の絞り流路１６との接続部分同士を隔てる隔壁５２ａと重なるように配置されている。また、支持基板１２の、右側から４番目と５番目の凹部３７を隔てる隔壁３８ｂは、第２流路形成部材５２の、接続流路６７と接続流路６８の絞り流路１６との接続部分同士を隔てる隔壁５２ｂと重なるように配置されている。また、支持基板１２の、右側から６番目と７番目の凹部３７を隔てる隔壁３８ｃは、第２流路形成部材５２の、接続流路６８と接続流路６９の絞り流路１６との接続部分同士を隔てる隔壁３８ｃと重なるように配置されている。 In addition, the partition wall 38a separating the second and third concave portions 37 from the right side of the support substrate 12 described above is the connecting flow path 66 of the second flow path forming member 52 and the narrowed flow path 16 of the connecting flow path 67. It is arranged so as to overlap with the partition wall 52a that separates the connecting portions. The partition wall 38 b separating the fourth and fifth concave portions 37 from the right side of the support substrate 12 is the connection portion of the second flow path forming member 52 between the connection flow path 67 and the connection flow path 68 and the narrowed flow path 16 . They are arranged so as to overlap with the partition wall 52b that separates them. A partition wall 38c separating the sixth and seventh concave portions 37 from the right side of the support substrate 12 is a connection portion of the second flow path forming member 52 between the connection flow path 68 and the connection flow path 69 and the narrowed flow path 16. They are arranged so as to overlap with the partition wall 38c that separates them.

ダンパフィルム５３は、第１共通流路部材５１の上面に接合され、４つのマニホールド流路６１～６４にまたがって連続的に延びている。これにより、ダンパフィルム５３の、マニホールド流路６１～６４と重なる部分が、それぞれ、マニホールド流路６１～６４の上側の壁面を形成するダンパ膜５３ａとなっている。圧電アクチュエータ２４を駆動したときには圧力室１０に圧力波が発生し、この圧力波はマニホールド流路６１～６４に伝播する、このとき、ダンパ膜５３ａが変形することによって、圧力波を減衰させることができる。 The damper film 53 is joined to the upper surface of the first common channel member 51 and continuously extends across the four manifold channels 61-64. As a result, portions of the damper film 53 that overlap with the manifold channels 61 to 64 form damper films 53a that form upper wall surfaces of the manifold channels 61 to 64, respectively. When the piezoelectric actuator 24 is driven, a pressure wave is generated in the pressure chamber 10 and propagates to the manifold channels 61 to 64. At this time, the damper film 53a is deformed to attenuate the pressure wave. can.

プレート５４は、ダンパフィルム５３の上面に接合されている。プレート５４及びダンパフィルム５３の、マニホールド流路６１～６４の搬送方向における両端部と重なる部分には、それぞれ、プレート５４及びダンパフィルム５３を貫通するインク導入口７１が形成されている。各インク導入口７１は、図示しないチューブなどを介して、図示しないインクカートリッジに接続されており、マニホールド流路６１～６４には、インク導入口７１からインクが導入される。また、プレート５４の、マニホールド流路６１～６４の両端部を除く部分と重なる部分には、それぞれ、搬送方向に延びた貫通孔７２が形成されている。これにより、ダンパ膜５３ａの変形がプレート５４によって阻害されないようになっている。 The plate 54 is bonded to the upper surface of the damper film 53 . Ink inlets 71 penetrating through the plate 54 and the damper film 53 are formed in portions of the plate 54 and the damper film 53 that overlap both end portions of the manifold channels 61 to 64 in the conveying direction. Each ink introduction port 71 is connected to an ink cartridge (not shown) via a tube or the like (not shown), and ink is introduced from the ink introduction ports 71 into the manifold channels 61 to 64 . Through holes 72 extending in the conveying direction are formed in portions of the plate 54 that overlap portions of the manifold channels 61 to 64 excluding both end portions. Thereby, deformation of the damper film 53a is not hindered by the plate 54. As shown in FIG.

フィルタ５５は、プレート５４の上面の、搬送方向における両端部に接合され、インク導入口７１を覆っている。これにより、インク導入口７１からマニホールド流路６１～６４にインクが導入される際に、フィルタ５５によって、インク中の気泡や異物等が捕捉され、マニホールド流路６１～６４に気泡や異物が流れ込んでしまうのが防止される。 The filters 55 are bonded to both ends of the upper surface of the plate 54 in the transport direction and cover the ink inlets 71 . As a result, when ink is introduced from the ink inlet 71 into the manifold channels 61 to 64, the filter 55 traps air bubbles and foreign matter in the ink, causing the air bubbles and foreign matter to flow into the manifold channels 61 to 64. It is prevented from being put away.

以上に説明した実施の形態によると、マニホールド流路６１～６４が、ヘッドチップ１１及び支持基板１２の上側に配置され、マニホールド流路６１～６４同士の間隔Ｄ１が、絞り流路群３６ａ～３６ｄ同士の間隔Ｄ２よりも大きくなっている。これにより、マニホールド流路が、ヘッドチップ内に形成され、ノズルとマニホールド流路とが走査方向に並んで配置されている場合と比較して、インクジェットヘッド３の走査方向への大型化を抑えつつも、マニホールド流路６１～６４の幅を広く（走査方向の長さを長く）して、マニホールド流路６１～６４の容積を大きくすることができる。その結果、マニホールド流路６１～６４に伝播してきた圧力波を効率よく減衰させることができる。 According to the embodiment described above, the manifold channels 61 to 64 are arranged above the head chip 11 and the support substrate 12, and the interval D1 between the manifold channels 61 to 64 is equal to the throttle channel groups 36a to 36d. It is larger than the interval D2 between them. As a result, compared to the case where the manifold channels are formed in the head chip and the nozzles and the manifold channels are arranged side by side in the scanning direction, the ink jet head 3 is prevented from being enlarged in the scanning direction. Also, the width of the manifold channels 61 to 64 can be increased (the length in the scanning direction can be increased) to increase the volume of the manifold channels 61 to 64 . As a result, the pressure waves propagating to the manifold channels 61-64 can be efficiently attenuated.

また、第１実施形態では、マニホールド流路６１～６４の上側の壁面が、ダンパ膜５３ａによって形成されているため、マニホールド流路６１～６４内のインクの圧力が変動したときに、ダンパ膜５３ａが変形することで、圧力波をより確実に減衰させることができる。 Further, in the first embodiment, since the upper wall surfaces of the manifold channels 61 to 64 are formed by the damper film 53a, when the pressure of the ink in the manifold channels 61 to 64 fluctuates, the damper film 53a can more reliably attenuate the pressure wave.

また、第１実施形態のように、マニホールド流路６１～６４同士の間隔Ｄ１を、絞り流路群３６ａ～３６ｄ同士の間隔Ｄ２の、１．５倍以上２．５倍以下とすれば、インクジェットヘッド３（マニホールドユニット１３）の走査方向の長さを極力短くしつつ、マニホールド流路６１～６４内で圧力波を確実に減衰させることができる。 Further, as in the first embodiment, if the interval D1 between the manifold channels 61 to 64 is 1.5 times or more and 2.5 times or less than the interval D2 between the restrictor channel groups 36a to 36d, the ink jet While minimizing the length of the head 3 (manifold unit 13) in the scanning direction, pressure waves can be reliably attenuated in the manifold channels 61-64.

また、第１実施形態では、マニホールド流路６１～６４が同じ容積を有しているため、絞り流路列３５間で、絞り流路１６から供給されるインクの量にばらつきが生じない。これにより、各ノズル列３１を形成する複数のノズル１５からのインクの吐出特性を均一にすることができる。 Further, in the first embodiment, since the manifold channels 61 to 64 have the same volume, there is no variation in the amount of ink supplied from the throttle channel 16 among the throttle channel arrays 35 . As a result, the ink ejection characteristics from the plurality of nozzles 15 forming each nozzle row 31 can be made uniform.

また、第１実施形態では、インク導入口７１が、マニホールド流路６１～６４の搬送方向における両端部と重なる位置に配置されている。したがって、走査方向におけるマニホールド流路６１～６４よりも外側にインク導入口を配置する場合などと比較して、インクジェットヘッド３の走査方向への大型化を抑えることができる。また、インク導入口７１を、マニホールド流路６１～６４の搬送方向における片側の端部と重なる位置のみに配置するよりも、マニホールド流路６１～６４の全域に確実にインクを供給することができる。 Further, in the first embodiment, the ink introduction port 71 is arranged at a position overlapping both ends of the manifold channels 61 to 64 in the transport direction. Therefore, compared to the case where the ink introduction ports are arranged outside the manifold channels 61 to 64 in the scanning direction, it is possible to suppress the increase in size of the inkjet head 3 in the scanning direction. In addition, ink can be reliably supplied to the entire area of the manifold flow paths 61 to 64, rather than arranging the ink introduction port 71 only at a position that overlaps with one end of the manifold flow paths 61 to 64 in the transport direction. .

また、第１実施形態では、インク導入口７１を覆うフィルタ５５が設けられているため、インク導入口７１からマニホールド流路６１～６４にインクが流れ込む際に、インク中の気泡や異物をフィルタ５５で捕捉して、インクジェットヘッド３内に気泡や異物が流れ込んでしまうのを防止することができる。 Further, in the first embodiment, since the filter 55 covering the ink introduction port 71 is provided, when the ink flows from the ink introduction port 71 into the manifold channels 61 to 64, the filter 55 removes air bubbles and foreign substances in the ink. It is possible to prevent air bubbles and foreign matter from flowing into the inkjet head 3 by catching them.

また、第１実施形態では、マニホールド流路６１が、絞り流路群３６ａよりも右側に位置しているのに対して、接続流路６６が、走査方向の左側に位置する部分ほど、下側に位置するように延びている。これにより、マニホールド流路６１から絞り流路群３６ａを形成する複数の絞り流路１６にインクが流れ込みやすくなる。同様に、第１実施形態では、マニホールド流路６４が、絞り流路群３６ｄよりも左側に位置しているのに対して、接続流路６９が、走査方向の右側に位置する部分ほど、下側に位置するように延びている。これにより、マニホールド流路６４から絞り流路群３６ｄを形成する複数の絞り流路１６にインクが流れ込みやすくなる。 In addition, in the first embodiment, the manifold channel 61 is located on the right side of the narrowed channel group 36a, whereas the connection channel 66 is located on the left side in the scanning direction, the lower side is located. It extends so that it is located in This makes it easier for the ink to flow from the manifold channel 61 into the plurality of throttle channels 16 forming the throttle channel group 36a. Similarly, in the first embodiment, the manifold flow path 64 is located on the left side of the throttle flow path group 36d, whereas the connecting flow path 69 is located on the right side in the scanning direction. It extends so as to be located on the side. This makes it easier for the ink to flow from the manifold channel 64 into the plurality of throttle channels 16 forming the throttle channel group 36d.

また、第１実施形態では、共通流路部材５１、５２のマニホールド流路６１が形成された部分が、支持基板１２から走査方向の右側にはみ出している。また、共通流路部材５１、５２のマニホールド流路６４が形成された部分が、支持基板１２から走査方向の左側にはみ出している。そのため、上記はみ出した部分の剛性が低いと、共通流路部材５１、５２と、支持基板１２とを接合する際に、共通流路部材５１、５２が変形してしまう虞がある。また、共通流路部材５１、５２の支持基板１２からはみ出した部分のうち、支持基板１２から離れた部分ほど、剛性が低い場合に変形しやすい。 Further, in the first embodiment, portions of the common flow path members 51 and 52 where the manifold flow paths 61 are formed protrude from the support substrate 12 to the right in the scanning direction. Also, the portions of the common flow path members 51 and 52 where the manifold flow paths 64 are formed protrude from the support substrate 12 to the left in the scanning direction. Therefore, if the rigidity of the protruding portion is low, the common flow path members 51 and 52 may be deformed when the common flow path members 51 and 52 and the support substrate 12 are joined together. In addition, among the portions of the common flow path members 51 and 52 protruding from the support substrate 12, the portions farther from the support substrate 12 are more likely to be deformed when the rigidity is lower.

これに対して、第１実施形態では、接続流路６６の下面６６ａが、走査方向の左側に位置する部分ほど、下側に位置するような階段状に形成されている。これにより、第２共通流路部材５２の支持基板１２から右側にはみ出した部分は、走査方向に支持基板１２から離れるほど厚みが大きくなる。同様に、接続流路６９の下面６９ａが、走査方向の右側の部分ほど、下側に位置するような階段状に形成されている。これにより、第２共通流路部材５２の支持基板１２から左側にはみ出した部分は、走査方向に支持基板１２から離れるほど厚みが大きくなる。これらのことから、第１実施形態では、共通流路部材５１、５２の、走査方向に支持基板１２からはみ出した部分の剛性を確保することができ、共通流路部材５１、５２と支持基板１２との接合時に、共通流路部材５１、５２が変形してしまうのを防止することができる。 On the other hand, in the first embodiment, the lower surface 66a of the connection flow path 66 is formed in a stepped shape such that the portion located on the left side in the scanning direction is located on the lower side. As a result, the portion of the second common flow path member 52 protruding from the support substrate 12 to the right side becomes thicker as the distance from the support substrate 12 increases in the scanning direction. Similarly, the lower surface 69a of the connection flow path 69 is formed in a stepped shape such that the portion on the right side in the scanning direction is located on the lower side. As a result, the portion of the second common flow path member 52 protruding leftward from the supporting substrate 12 becomes thicker as the distance from the supporting substrate 12 increases in the scanning direction. For these reasons, in the first embodiment, it is possible to ensure the rigidity of the portions of the common flow path members 51 and 52 protruding from the support substrate 12 in the scanning direction. It is possible to prevent the common flow path members 51 and 52 from being deformed at the time of joining.

また、第１実施形態では、接続流路６６の下面６６ａの、第１共通流路部材５１のマニホールド流路６１とマニホールド流路６２とを隔てる隔壁５１ａと上下方向において重なる部分に、複数の突出部６６ｂが形成され、突出部６６ｂの上端部が第１共通流路部材５１の隔壁５１aの下面に接合されている。これにより、第１共通流路部材５１と第２共通流路部材５２とを接合する際に、第１共通流路部材５１の隔壁５１ａとなる部分が下側に変形してしまうのを防止することができる。 In addition, in the first embodiment, a plurality of protrusions are formed in a portion of the lower surface 66a of the connection channel 66 that vertically overlaps the partition wall 51a that separates the manifold channel 61 and the manifold channel 62 of the first common channel member 51. A portion 66b is formed, and the upper end portion of the projecting portion 66b is joined to the lower surface of the partition wall 51a of the first common flow path member 51 . As a result, when the first common flow path member 51 and the second common flow path member 52 are joined together, it is possible to prevent downward deformation of the partition walls 51a of the first common flow path member 51. be able to.

同様に、第１実施形態では、接続流路６９の下面６９ａの、第１共通流路部材５１のマニホールド流路６３とマニホールド流路６４とを隔てる隔壁５１ｂと上下方向において重なる部分に、複数の突出部６９ｂが形成され、突出部６９ｂの上端部が第１共通流路部材５１の隔壁５１aの下面に接合されている。これにより、第１共通流路部材５１と第２共
通流路部材５２とを接合する際に、第１共通流路部材５１の隔壁５１ｂとなる部分が下側に変形してしまうのを防止することができる。 Similarly, in the first embodiment, a portion of the lower surface 69a of the connection channel 69 vertically overlapping the partition wall 51b separating the manifold channel 63 and the manifold channel 64 of the first common channel member 51 has a plurality of A projecting portion 69 b is formed, and the upper end of the projecting portion 69 b is joined to the lower surface of the partition wall 51 a of the first common flow path member 51 . As a result, when the first common flow path member 51 and the second common flow path member 52 are joined together, the portion that becomes the partition wall 51b of the first common flow path member 51 is prevented from being deformed downward. be able to.

また、第１実施形態では、突出部６６ｂ、６９ｂの搬送方向における両端面６６ｃ、６９ｃが、上側から見て円弧状の曲面となっている。これにより、端面６６ｃ、６９ｃに気泡を溜まりにくくすることができる。 Further, in the first embodiment, both end surfaces 66c and 69c of the protruding portions 66b and 69b in the transport direction are arc-shaped curved surfaces when viewed from above. This makes it difficult for air bubbles to accumulate on the end faces 66c and 69c.

また、第１実施形態では、支持基板１２における、接続流路６６～６９の絞り流路１６との接続部分同士を隔てる隔壁５２ａ～５２ｃと重なる部分に、凹部３７同士を隔てる隔壁３８ａ～３８ｃが配置されている。これにより、共通流路部材５１、５２と支持基板１２との接合時に、支持基板１２が隔壁５２ａ～５２ｃに押されて凹部３７がつぶれてしまうのを防止することができる。その結果、圧電アクチュエータ２４が損傷してしまうのを防止することができる。 Further, in the first embodiment, the partition walls 38a to 38c that separate the recesses 37 are provided in the support substrate 12 at portions overlapping the partition walls 52a to 52c that separate the connecting portions of the connection channels 66 to 69 from the throttle channel 16. are placed. As a result, when the common flow path members 51 and 52 and the support substrate 12 are joined, the support substrate 12 is prevented from being pushed by the partition walls 52a to 52c and the recesses 37 are crushed. As a result, damage to the piezoelectric actuator 24 can be prevented.

なお、第１実施形態では、圧力室プレート２２が本発明の圧力室形成部材に相当し、支持基板１２が本発明の接続孔形成部材に相当する。そして、ノズルプレート２１と圧力室プレート２２と振動膜２３と支持基板１２とを合わせたものが、本発明の個別流路部材に相当する。また、互いに連通するノズル１５、圧力室１０及び絞り流路１６を合わせたものが、本発明の個別流路に相当する。また、絞り流路１６が本発明の接続孔に相当し、絞り流路群３６ａ～３６ｄが本発明の接続孔群に相当する。また、マニホールドユニット１３が本発明の共通流路部材に相当する。また、マニホールド流路６１～６４と接続流路６６～６９とを合わせたものが、本発明の共通流路に相当する。また、上下方向が本発明の第１方向に相当し、搬送方向が本発明の第２方向に相当し、走査方向が本発明の第３方向に相当する。 In the first embodiment, the pressure chamber plate 22 corresponds to the pressure chamber forming member of the invention, and the support substrate 12 corresponds to the connection hole forming member of the invention. A combination of the nozzle plate 21, the pressure chamber plate 22, the vibrating membrane 23, and the support substrate 12 corresponds to the individual channel member of the present invention. Also, a combination of the nozzle 15, the pressure chamber 10, and the throttle channel 16, which communicate with each other, corresponds to the individual channel of the present invention. Also, the throttle channel 16 corresponds to the connection hole of the present invention, and the groups of throttle channels 36a to 36d correspond to the connection hole group of the present invention. Also, the manifold unit 13 corresponds to the common flow path member of the present invention. A combination of the manifold channels 61 to 64 and the connection channels 66 to 69 corresponds to the common channel of the present invention. The vertical direction corresponds to the first direction of the invention, the transport direction corresponds to the second direction of the invention, and the scanning direction corresponds to the third direction of the invention.

［第２実施形態］
次に、本発明の好適な第２実施形態について説明する。第２実施形態に係るプリンタ１００は、図１０に示すように、搬送方向における２つの用紙搬送ローラ４の間に配置された、ヘッドユニット１０１を備えている。 [Second embodiment]
Next, a preferred second embodiment of the invention will be described. A printer 100 according to the second embodiment, as shown in FIG. 10, includes a head unit 101 arranged between two paper transport rollers 4 in the transport direction.

ヘッドユニット１０１は、６つのインクジェットヘッド３と、保持プレート１０３とを有している。インクジェットヘッド３は、複数のノズル１５（図５参照）が配列されるノズル配列方向が搬送方向と直交するような向きに配置されている。また、６つのインクジェットヘッド３は、これらのうち３つずつが、ノズル配列方向に配列されることによって２つのヘッド列１０４ａ、１０４ｂを形成している。ヘッド列１０４ａとヘッド列１０４ｂとは、搬送方向に配列されている。また、ヘッド列１０４ａを形成するインクジェットヘッド３と、ヘッド列１０４ｂを形成するインクジェットヘッド３とは、各ヘッド列１０４ａ、１０４ｂにおけるインクジェットヘッド３同士の間隔の半分の長さだけノズル配列方向にずれている。 The head unit 101 has six inkjet heads 3 and a holding plate 103 . The inkjet head 3 is arranged such that the nozzle arrangement direction in which the plurality of nozzles 15 (see FIG. 5) are arranged is orthogonal to the transport direction. Also, the six inkjet heads 3 form two head rows 104a and 104b by arranging three of them in the nozzle arrangement direction. The head row 104a and the head row 104b are arranged in the transport direction. In addition, the inkjet heads 3 forming the head row 104a and the inkjet heads 3 forming the head row 104b are shifted in the nozzle arrangement direction by half the distance between the inkjet heads 3 in the respective head rows 104a and 104b. there is

保持プレート１０３は、ノズル配列方向に記録用紙Ｐの全長にわたって延びた、ノズル配列方向に長尺の板状体である。６つのインクジェットヘッド３は、上述したような位置関係となるように保持プレート１０３の下面に接合されることによって、保持プレート１０３に保持されている。 The holding plate 103 is a plate-like body elongated in the nozzle arrangement direction and extending over the entire length of the recording paper P in the nozzle arrangement direction. The six inkjet heads 3 are held by the holding plate 103 by being joined to the lower surface of the holding plate 103 so as to have the positional relationship described above.

また、保持プレート１０３には、各インクジェットヘッド３のインク導入口７１と重なる部分に、それぞれ、貫通孔１０３ａが形成されている。これにより、貫通孔１０３ａを介してインク導入口７１からマニホールド流路６１～６４（図３参照）にインクを導入することができる。また、保持プレート１０３には、各インクジェットヘッド３の搬送方向における両端部を除いた部分と重なる部分に貫通孔１０３ｂが形成されている。貫通孔１０３ｂが形成されているのは、保持プレート１０３によってダンパ膜５３ａの変形が阻害されないようするためである。 Further, through holes 103 a are formed in the holding plate 103 at portions overlapping the ink inlets 71 of the inkjet heads 3 . As a result, ink can be introduced from the ink introduction port 71 to the manifold channels 61 to 64 (see FIG. 3) through the through holes 103a. Further, the holding plate 103 has a through hole 103b formed in a portion overlapping with a portion of each inkjet head 3 except for both end portions in the transport direction. The through hole 103b is formed so that the holding plate 103 does not hinder the deformation of the damper film 53a.

そして、プリンタ１００では、用紙搬送ローラ４により記録用紙Ｐを搬送方向に搬送しつつ、ヘッドユニット１０１を形成する６つのインクジェットヘッド３の複数のノズル１５からインクを吐出させることによって、記録用紙Ｐに印刷を行う。 In the printer 100, while the recording paper P is conveyed in the conveying direction by the paper conveying rollers 4, ink is ejected from the plurality of nozzles 15 of the six inkjet heads 3 forming the head unit 101. print.

第２実施形態では、マニホールド流路６１～６４（図７参照）の長手方向（ノズル配列方向）における両端部にインク導入口７１が配置されているため、インクジェットヘッド３の搬送方向への大型化を抑えることができる。これにより、２つのヘッド列１０４ａ、１０４ｂが搬送方向に配列された、ヘッドユニット１０１の搬送方向への大型化を抑えることができる。 In the second embodiment, since the ink inlets 71 are arranged at both ends in the longitudinal direction (nozzle arrangement direction) of the manifold channels 61 to 64 (see FIG. 7), the size of the inkjet head 3 is increased in the transport direction. can be suppressed. Accordingly, it is possible to prevent the head unit 101, in which the two head rows 104a and 104b are arranged in the transport direction, from increasing in size in the transport direction.

ここで、第２実施形態では、図１０に示すように、ノズル配列方向において、ヘッド列１０４ａを形成するインクジェットヘッド３が配置されている範囲内に、ヘッド列１０４ｂの隣接する２つのインクジェットヘッド３のインク導入口７１が配置される。また、ノズル配列方向において、ヘッド列１０４ｂを形成するインクジェットヘッド３が配置されている範囲内に、ヘッド列１０４ａの隣接する２つのインクジェットヘッド３のインク導入口７１が配置される。したがって、インク導入口７１を設けたことにより、インクジェットヘッド３がノズル配列方向に大型化しても、ヘッドユニット１０１のノズル配列方向への大型化はそれほど大きなものとはならない。 Here, in the second embodiment, as shown in FIG. 10, two adjacent inkjet heads 3 of the head row 104b are arranged within a range in which the inkjet heads 3 forming the head row 104a are arranged in the nozzle arrangement direction. of ink introduction ports 71 are arranged. Further, in the nozzle arrangement direction, the ink introduction ports 71 of two adjacent inkjet heads 3 of the head row 104a are arranged within the range where the inkjet heads 3 forming the head row 104b are arranged. Therefore, even if the inkjet head 3 is enlarged in the nozzle arrangement direction by providing the ink inlet 71, the increase in the size of the head unit 101 in the nozzle arrangement direction is not so large.

なお、第２実施形態では、ヘッドユニット１０１が、本発明の液体吐出装置ユニットに相当する。また、インクジェットヘッド３が、本発明の液体吐出装置に相当する。また、上下方向（図１０の紙面直交方向）が本発明の第１方向に相当し、ノズル配列方向が本発明の第２方向に相当し、搬送方向が本発明の第３方向に相当する。 Note that in the second embodiment, the head unit 101 corresponds to the liquid ejection device unit of the invention. Also, the inkjet head 3 corresponds to the liquid ejection device of the present invention. The vertical direction (perpendicular to the plane of FIG. 10) corresponds to the first direction of the invention, the nozzle array direction corresponds to the second direction of the invention, and the transport direction corresponds to the third direction of the invention.

次に、第１、第２実施形態に種々の変更を加えた変形例について説明する。 Next, modified examples in which various modifications are made to the first and second embodiments will be described.

第１、第２実施形態では、突出部６６ｂ、６９ｂの搬送方向における両端面６６ｃ、６９ｃが曲面となっていたが、これには限られない。変形例１では、図１１に示すように、突出部１６６ｂ、１６９ｂの両端面１６６ｃ、１６９ｃが、走査方向と平行な平面となっている。 In the first and second embodiments, both end surfaces 66c and 69c of the protrusions 66b and 69b in the transport direction are curved surfaces, but the present invention is not limited to this. In Modification 1, as shown in FIG. 11, both end surfaces 166c and 169c of protrusions 166b and 169b are planes parallel to the scanning direction.

また、第１、第２実施形態では、接続流路６６、６９の下面６６ａ、６９ａに、第１共通流路部材５１の下面に接合される突出部６６ｂ、６９ｂが形成されていたが、これには限られない。変形例２では、図１２に示すように、接続流路６６、６９の下面６６ａ、６９ａに突出部６６ｂ、６９ｂ（図９参照）が形成されていない。 In addition, in the first and second embodiments, the lower surfaces 66a and 69a of the connection channels 66 and 69 are formed with the projecting portions 66b and 69b that are joined to the lower surface of the first common channel member 51. However, this is not the case. is not limited to In Modified Example 2, as shown in FIG. 12, protrusions 66b and 69b (see FIG. 9) are not formed on the lower surfaces 66a and 69a of the connection channels 66 and 69, respectively.

また、第１、第２実施形態では、各マニホールド流路６１～６４の上側の壁面を形成するダンパ膜５３ａが同じ厚み、同じ面積を有するものであったが、これには限られない。変形例３では、図１３に示すように、第１共通流路部材５１の上面に、ダンパフィルム５３（図３参照）の代わりに、マニホールド流路６１、６４を覆うダンパフィルム２０１と、マニホールド流路６２、６３を覆うダンパフィルム２０２とが接合されている。また、ダンパフィルム２０１の厚みＴ１は、ダンパフィルム２０２の厚みＴ２よりも薄くなっている。 In addition, in the first and second embodiments, the damper films 53a forming the upper wall surfaces of the manifold channels 61 to 64 have the same thickness and the same area, but the present invention is not limited to this. In Modified Example 3, as shown in FIG. 13, instead of the damper film 53 (see FIG. 3), a damper film 201 covering the manifold channels 61 and 64 and a manifold flow channel member 51 are provided on the upper surface of the first common channel member 51. A damper film 202 covering the paths 62, 63 is joined. Also, the thickness T1 of the damper film 201 is thinner than the thickness T2 of the damper film 202 .

マニホールド流路６１、６４は、絞り流路群３６ａ、３６ｄと重なっていないのに対して、マニホールド流路６２、６３は、絞り流路群３６ｂ、３６ｃと重なっている。そのため、マニホールド流路６１、６４には、マニホールド流路６２、６３よりも圧力波が伝播しにくい。そのため、絞り流路群３６ａ、３６ｄに対応する圧力室１０（図５参照）で発生した圧力波は、絞り流路群３６ａ、３６ｄに対応する圧力室１０（図５参照）で発生した圧力波よりも減衰されにくい。変形例３では、上記のとおり、ダンパフィルム２０１の厚みＴ１をダンパフィルム２０２の厚みＴ２よりも薄くすることにより、マニホールド流路６１、６４の上側の壁面を形成するダンパ膜２０１ａの厚みＴ１が、マニホールド流路６２、６３の上側の壁面を形成するダンパ膜２０２ａの厚みＴ２よりも薄くなる。これにより、ダンパ膜２０１ａは、ダンパ膜２０２ａよりも変形しやすく、圧力波が伝播しにくいマニホールド流路６１、６４において、圧力波を効率よく減衰させることができる。 The manifold channels 61 and 64 do not overlap with the throttle channel groups 36a and 36d, whereas the manifold channels 62 and 63 overlap with the throttle channel groups 36b and 36c. Therefore, pressure waves are less likely to propagate to the manifold channels 61 and 64 than to the manifold channels 62 and 63 . Therefore, the pressure waves generated in the pressure chambers 10 (see FIG. 5) corresponding to the throttle channel groups 36a and 36d are the pressure waves generated in the pressure chambers 10 (see FIG. 5) corresponding to the throttle channel groups 36a and 36d. less attenuated than In Modified Example 3, as described above, by making the thickness T1 of the damper film 201 thinner than the thickness T2 of the damper film 202, the thickness T1 of the damper film 201a forming the upper wall surfaces of the manifold flow paths 61 and 64 is It is thinner than the thickness T2 of the damper film 202a forming the upper wall surfaces of the manifold channels 62 and 63. As shown in FIG. As a result, the damper film 201a deforms more easily than the damper film 202a, and can efficiently attenuate pressure waves in the manifold channels 61 and 64 where pressure waves are less likely to propagate.

なお、変形例３では、マニホールド流路６２、６３が本発明の第１マニホールド流路に相当し、マニホールド流路６１、６４が本発明の第２マニホールド流路に相当する。 In Modified Example 3, the manifold channels 62 and 63 correspond to the first manifold channel of the invention, and the manifold channels 61 and 64 correspond to the second manifold channel of the invention.

変形例４では、図１４に示すように、絞り流路群３６ａ、３６ｄと重なるマニホールド流路２２１、２２４の幅Ｗ２が、絞り流路群３６ｂ、３６ｃと重ならないマニホールド流路６２、６３の幅Ｗ１よりも広くなっている。 In Modified Example 4, as shown in FIG. 14, the width W2 of the manifold channels 221 and 224 that overlap the throttle channel groups 36a and 36d is the width of the manifold channels 62 and 63 that do not overlap the throttle channel groups 36b and 36c. Wider than W1.

変形例３と同様、マニホールド流路２２１、２２４には、マニホールド流路６２、６３よりも圧力波が伝播されにくい。変形例４では、上記のとおり、マニホールド流路２２１、２２４の幅Ｗ２を、マニホールド流路６２、６３の幅Ｗ１よりも大きくしている。これにより、マニホールド流路２２１、２２４の上側の壁面を形成するダンパ膜５３ｂの面積が、マニホールド流路６２、６３の上側の壁面を形成するダンパ膜５３ａの面積よりも大きくなる。したがって、ダンパ膜５３ｂは、ダンパ膜５３ａよりも変形しやすく、圧力波が伝播しにくいマニホールド流路２２１、２２４において、圧力波を効率よく減衰させることができる。 As in the third modification, pressure waves are less likely to propagate to the manifold channels 221 and 224 than to the manifold channels 62 and 63 . In Modification 4, the width W2 of the manifold channels 221 and 224 is made larger than the width W1 of the manifold channels 62 and 63, as described above. As a result, the area of the damper film 53b forming the upper wall surfaces of the manifold channels 221 and 224 becomes larger than the area of the damper film 53a forming the upper wall surfaces of the manifold channels 62 and 63. FIG. Therefore, the damper film 53b is more deformable than the damper film 53a, and can efficiently attenuate the pressure waves in the manifold channels 221 and 224 where the pressure waves are less likely to propagate.

なお、変形例４では、マニホールド流路６２、６３が本発明の第１マニホールド流路に相当し、マニホールド流路２２１、２２４が本発明の第２マニホールド流路に相当する。 In Modification 4, the manifold channels 62 and 63 correspond to the first manifold channels of the invention, and the manifold channels 221 and 224 correspond to the second manifold channels of the invention.

また、上述の実施の形態では、接続流路６６～６９の複数の絞り流路１６との接続部分が、全て上下方向と平行に延びていたが、これには限られない。変形例５では、図１５に示すように、マニホールド流路６１と、絞り流路群３６ａとを接続するための接続流路２３１の、複数の絞り流路１６との接続部分が、走査方向における左側の部分ほど、下側に位置するように、上下方向に対して傾いている。また、マニホールド流路６４と、絞り流路群３６ｄとを接続するための接続流路２３４の、複数の絞り流路１６との接続部分が、走査方向における右側の部分ほど、下側に位置するように、上下方向に対して傾いている。この場合には、接続流路２３１、２３４内のインクが、複数の絞り流路１６により流れ込みやすくなる。 Further, in the above-described embodiment, all of the connection portions of the connection channels 66 to 69 with the plurality of throttle channels 16 extend parallel to the vertical direction, but this is not restrictive. In Modified Example 5, as shown in FIG. 15 , a connection portion of a connection channel 231 for connecting a manifold channel 61 and a throttle channel group 36a to a plurality of throttle channels 16 is arranged in the scanning direction. The portion on the left side is tilted with respect to the vertical direction so as to be located on the lower side. In addition, the connecting portion of the connection channel 234 for connecting the manifold channel 64 and the throttle channel group 36d to the plurality of throttle channels 16 is positioned lower toward the right side in the scanning direction. , it is tilted with respect to the vertical direction. In this case, the ink in the connection channels 231 and 234 can easily flow into the plurality of throttle channels 16 .

また、第１、第２実施形態では、接続流路６６、６９の下面６６ａ、６９ａが、階段状に形成されていたが、これには限られない。変形例６では、図１６に示すように、マニホールド流路６１と絞り流路群３６ａを形成する複数の絞り流路１６とを接続するための接続流路２４１の下面２４１ａ、及び、マニホールド流路６４と絞り流路群３６ｄを形成する複数の絞り流路１６とを接続するための接続流路２４４の下面２４４ａが、走査方向及び搬送方向と平行な平面となっている。 Moreover, in the first and second embodiments, the lower surfaces 66a and 69a of the connection channels 66 and 69 are formed in a stepped shape, but this is not restrictive. In Modified Example 6, as shown in FIG. 16, a lower surface 241a of a connection channel 241 for connecting a manifold channel 61 and a plurality of throttle channels 16 forming a throttle channel group 36a, and a manifold channel A lower surface 244a of a connection channel 244 for connecting the throttle channel 64 and the plurality of throttle channels 16 forming the throttle channel group 36d is a plane parallel to the scanning direction and the transport direction.

また、第１、第２実施形態では、マニホールド流路６１～６４の搬送方向における両端部と重なる位置に、インク導入口７１が配置されていたが、これには限られない。変形例７では、図１７に示すように、マニホールド流路６１～６４の搬送方向における上流側の端部と重なる位置にのみ、インク導入口７１が配置されている。また、変形例７とは逆に、マニホールド流路６１～６４の搬送方向における下流側の端部と重なる位置にのみ、インク導入口７１が配置されていてもよい。 In addition, in the first and second embodiments, the ink introduction ports 71 are arranged at positions overlapping both ends of the manifold channels 61 to 64 in the transport direction, but this is not the only option. In Modified Example 7, as shown in FIG. 17, the ink introduction port 71 is arranged only at a position that overlaps the ends of the manifold channels 61 to 64 on the upstream side in the transport direction. Further, contrary to Modification 7, the ink introduction port 71 may be arranged only at a position that overlaps with the end portion of the manifold channels 61 to 64 on the downstream side in the transport direction.

また、第１、第２実施形態において、マニホールド流路６１～６４の搬送方向における両端部と重なる位置に配置されたインク導入口７１のうち、片側のインク導入口７１を、マニホールド流路６１～６４からインクカートリッジに向けてインクを流出させるためのインク流出口とし、インクカートリッジとマニホールド流路６１～６４との間でインクを循環させるようにしてもよい。 Further, in the first and second embodiments, of the ink introduction ports 71 arranged at positions overlapping both ends of the manifold channels 61 to 64 in the conveying direction, the ink introduction port 71 on one side is 64 may be used as an ink outlet for discharging ink toward the ink cartridge, and the ink may be circulated between the ink cartridge and the manifold channels 61-64.

また、第１、第２実施形態では、フィルタ５５がインク導入口７１を覆うように配置されていたが、フィルタ５５はなくてもよい。 Further, in the first and second embodiments, the filter 55 is arranged so as to cover the ink introduction port 71, but the filter 55 may be omitted.

また、第１、第２実施形態では、マニホールド流路６１～６４同士の間隔Ｄ１が、絞り流路群３６ａ～３６ｄ同士の間隔Ｄ２の１．５倍以上２．５倍以下であったが、これには限られない。マニホールド流路６１～６４同士の間隔Ｄ１が、絞り流路群３６ａ～３６ｄ同士の間隔Ｄ２よりも大きければ、間隔Ｄ１は、間隔Ｄ２の１．５倍未満であってもよいし、間隔Ｄ２の２．５倍よりも大きくてもよい。 In addition, in the first and second embodiments, the interval D1 between the manifold channels 61 to 64 was 1.5 times or more and 2.5 times or less than the interval D2 between the throttle channel groups 36a to 36d. It is not limited to this. If the interval D1 between the manifold channels 61-64 is larger than the interval D2 between the throttle channel groups 36a-36d, the interval D1 may be less than 1.5 times the interval D2, or the interval D2. It may be greater than 2.5 times.

また、第１、第２実施形態では、マニホールド流路６１～６４同士の間隔Ｄ１が全て同じであり、絞り流路群３６ａ～３６ｄ同士の間隔Ｄ２よりも大きくなっていたが、これには限られない。変形例８では、図１８に示すように、絞り流路群３６ａを形成する複数の絞り流路１６と連通するマニホールド流路２５１は、マニホールド流路２５１と絞り流路群３６ａを形成する複数の絞り流路１６とを接続する接続流路２５６よりも幅が広くなっている。同様に、絞り流路群３６ｄを形成する複数の絞り流路１６と連通するマニホールド流路２５４は、マニホールド流路２５４と絞り流路群３６ｄを形成する複数の絞り流路１６とを接続する接続流路２５９よりも幅が広くなっている。 In addition, in the first and second embodiments, the intervals D1 between the manifold channels 61 to 64 are all the same, and are larger than the intervals D2 between the throttle channel groups 36a to 36d. can't In Modified Example 8, as shown in FIG. 18, a manifold channel 251 communicating with the plurality of throttle channels 16 forming the throttle channel group 36a is connected to the manifold channel 251 and the plurality of throttle channels forming the throttle channel group 36a. It is wider than the connection channel 256 that connects with the throttle channel 16 . Similarly, the manifold channel 254 communicating with the plurality of throttle channels 16 that form the throttle channel group 36d is a connection that connects the manifold channel 254 and the plurality of throttle channels 16 that form the throttle channel group 36d. It is wider than the channel 259 .

一方で、絞り流路群３６ｂを形成する複数の絞り流路１６と連通するマニホールド流路２５２は、マニホールド流路２５２と絞り流路群３６ｂを形成する複数の絞り流路１６とを接続する接続流路２５７と幅が同じとなっている。同様に、絞り流路群３６ｃを形成する複数の絞り流路１６と連通するマニホールド流路２５３は、マニホールド流路２５３と絞り流路群３６ｃを形成する複数の絞り流路１６とを接続する接続流路２５８と幅が同じとなっている。 On the other hand, the manifold channel 252 communicating with the plurality of throttle channels 16 that form the throttle channel group 36b is the connection that connects the manifold channel 252 and the plurality of throttle channels 16 that form the throttle channel group 36b. It has the same width as the flow path 257 . Similarly, the manifold channel 253 communicating with the plurality of throttle channels 16 that form the throttle channel group 36c is a connection that connects the manifold channel 253 and the plurality of throttle channels 16 that form the throttle channel group 36c. It has the same width as the flow path 258 .

そして、マニホールド流路２５１とマニホールド流路２５２との間隔、及び、マニホールド流路２５３とマニホールド流路２５４との間隔が、絞り流路群３６ａ～３６ｄ同士の間隔Ｄ２よりも大きい間隔Ｄ３となっている。一方、マニホールド流路２５２とマニホールド流路２５３との間隔は、絞り流路群３６ａ～３６ｄ同士の間隔と同じ間隔Ｄ２となっている。 The interval between the manifold channel 251 and the manifold channel 252 and the interval between the manifold channel 253 and the manifold channel 254 are the interval D3 that is larger than the interval D2 between the throttle channel groups 36a to 36d. there is On the other hand, the interval between the manifold channel 252 and the manifold channel 253 is the same interval D2 as the interval between the throttle channel groups 36a to 36d.

また、第１、第２実施形態では、マニホールド流路６１～６４の容積が全て同じであったが、マニホールド流路間で容積を異ならせてもよい。例えば、上述の変形例４では、マニホールド流路２２１、２２４の幅Ｗ２を、マニホールド流路６２、６３の幅Ｗ１よりも広くしているため、マニホールド流路２２１、２２４の容積が、マニホールド流路６２、６３の容積よりも大きくなる。また、上述の変形例８ではマニホールド流路２５１、２５４の容積が、マニホールド流路２５２、２５３の容積よりも大きくなる。 Further, in the first and second embodiments, the volumes of the manifold channels 61 to 64 are all the same, but the volumes may be different among the manifold channels. For example, in Modification 4 described above, the width W2 of the manifold channels 221 and 224 is wider than the width W1 of the manifold channels 62 and 63, so that the volume of the manifold channels 221 and 224 is It becomes larger than the volume of 62,63. Further, in the eighth modification described above, the volumes of the manifold channels 251 and 254 are larger than the volumes of the manifold channels 252 and 253 .

また、第１、第２実施形態では、第１共通流路部材５１と第２共通流路部材５２との積層体に、マニホールド流路６１～６４と、接続流路６６～６９とが形成されていたが、これには限られない。変形例９では、図１９に示すように、１つの流路部材２６０に、マニホールド流路６１～６４と、接続流路６６～６９とが形成されている。なお、この場合には、例えば、流路部材２６０を合成樹脂からなるものとし、樹脂成型によって流路部材２６０を形成する。 Further, in the first and second embodiments, the manifold channels 61 to 64 and the connection channels 66 to 69 are formed in the laminate of the first common channel member 51 and the second common channel member 52. However, it is not limited to this. In the ninth modification, manifold channels 61 to 64 and connecting channels 66 to 69 are formed in one channel member 260, as shown in FIG. In this case, for example, the channel member 260 is made of synthetic resin and formed by resin molding.

また、第１、第２実施形態では、支持基板１２の、隔壁５２ａ～５２ｃと重なる位置に、凹部３７同士を隔てる隔壁３８ａ～３８ｃが配置されていたが、これには限られない。変形例１０では、図２０に示すように、走査方向の右側から２、３番目の圧電アクチュエータ２４、走査方向の右側から４、５番目の圧電アクチュエータ２４、及び、走査方向の右側から６、７番目の圧電アクチュエータ２４が、それぞれ、支持基板１２の下面に形成された１つの凹部２６１に収容されている。すなわち、変形例１０では、第１、第２実施形態の隔壁３８ａ～３８ｃ（図３参照）が存在しない。 In addition, in the first and second embodiments, the partition walls 38a to 38c that separate the concave portions 37 are arranged at positions overlapping the partition walls 52a to 52c of the support substrate 12, but the present invention is not limited to this. In the tenth modification, as shown in FIG. 20, the second and third piezoelectric actuators 24 from the right side in the scanning direction, the fourth and fifth piezoelectric actuators 24 from the right side in the scanning direction, and the 6th and 7th piezoelectric actuators 24 from the right side in the scanning direction. th piezoelectric actuators 24 are accommodated in one recess 261 formed in the lower surface of the support substrate 12 . That is, in Modification 10, the partitions 38a to 38c (see FIG. 3) of the first and second embodiments do not exist.

また、第１、第２実施形態では、インクジェットヘッド３が、４つの絞り流路群３６ａ～３６ｄや、マニホールド流路６１～６４などが、走査方向に配列されたものであったが、これには限られない。変形例１１では、図２１に示すように、ヘッドチップ２７１に、第１、第２実施形態の、複数のノズル列３１（図４参照）のうち、中央の２列のノズル列３１に対応するインク流路が形成されている。また、支持基板２７２にはこれらのインク流路に対応する複数の絞り流路１６によってそれぞれ形成される２つの絞り流路列２７３ａ、２７３ｂが形成されている。 In addition, in the first and second embodiments, the inkjet head 3 has four throttle channel groups 36a to 36d, manifold channels 61 to 64, etc. arranged in the scanning direction. is not limited. In Modified Example 11, as shown in FIG. 21, a head chip 271 corresponds to two central nozzle rows 31 among the plurality of nozzle rows 31 (see FIG. 4) of the first and second embodiments. An ink flow path is formed. Further, the support substrate 272 is formed with two throttle channel rows 273a and 273b each formed by a plurality of throttle channels 16 corresponding to these ink channels.

また、第１共通流路部材２７４に、上記２つの絞り流路列２７３ａ、２７３ｂに対応して、２つのマニホールド流路２７６、２７７が形成されている。また、共通流路部材２７４、２７５に、マニホールド流路２７６と絞り流路列２７３ａを形成する複数の絞り流路１６とを接続させる接続流路２７８と、マニホールド流路２７７と絞り流路列２７３ｂを形成する複数の絞り流路１６とを接続させる接続流路２７９とが形成されている。マニホールド流路２７６、２７７の形状は、第１、第２実施形態のマニホールド流路６２、６３と同様である。また、接続流路２７８、２７９の形状は、第１、第２実施形態の接続流路６７、６８と同様である。 Two manifold channels 276 and 277 are formed in the first common channel member 274 corresponding to the two throttle channel rows 273a and 273b. In addition, the common flow path members 274 and 275 are connected to a manifold flow path 276 and a plurality of throttle flow paths 16 forming a throttle flow path array 273a, and a manifold flow path 277 and a throttle flow path array 273b. A connecting channel 279 is formed to connect the plurality of throttle channels 16 forming the . The manifold channels 276 and 277 have the same shape as the manifold channels 62 and 63 of the first and second embodiments. Moreover, the shape of the connecting channels 278 and 279 is the same as the connecting channels 67 and 68 of the first and second embodiments.

さらには、インクジェットヘッドは、３又は５以上のノズル群、絞り流路群、マニホールド流路などが、走査方向に配列されたものであってもよい。 Furthermore, the inkjet head may have three or five or more nozzle groups, throttle channel groups, manifold channels, etc. arranged in the scanning direction.

また、第２実施形態では、２つのヘッド列１０４ａ、１０４ｂが搬送方向に配列されていたが、これには限られない。ヘッド列が搬送方向に３列以上に配列されていてもよい。 Also, in the second embodiment, the two head rows 104a and 104b are arranged in the transport direction, but this is not restrictive. Head rows may be arranged in three or more rows in the transport direction.

また、以上では、ノズルからインクを吐出することによって印刷を行うプリンタに本発明を適用した例について説明したが、これには限られない。ノズルからインク以外の液体を吐出するプリンタ以外の液体吐出装置に本発明を適用することも可能である。 In the above description, an example in which the present invention is applied to a printer that prints by ejecting ink from nozzles has been described, but the present invention is not limited to this. The present invention can also be applied to liquid ejecting apparatuses other than printers that eject liquid other than ink from nozzles.

３インクジェットヘッド
１２支持基板
１３マニホールドユニット
１５ノズル
２１ノズルプレート
２２圧力室プレート
２３振動膜
２４圧電アクチュエータ
３２ノズル群
３６ａ～３６ｄ絞り流路群
３７凹部
３８ａ～３８ｃ隔壁
５１、３７４第１共通流路部材
５２、３７５第２共通流路部材
５１ａ、５１ｂ隔壁
５２ａ～５２ｃ隔壁
５３ａ、２０１ａ、２０１ｂダンパ膜
７１インク導入口
５５フィルタ
６１～６４、２２２、２２３、２５１～２５４、２７６、２７７マニホールド流路
６６～６９、２３１、２３２、２４１、２４４、２７８、２７９連通流路
６６ａ、６９ａ、２３４ａ、２４１ａ、２４４ａ下面
６６ｂ、６９ｂ、１６６ｂ、１６９ｂ突出部
６６ｃ、６９ｃ端面
１０１ヘッドユニット
２５６流路部材 3 inkjet head 12 support substrate 13 manifold unit 15 nozzle 21 nozzle plate 22 pressure chamber plate 23 vibrating membrane 24 piezoelectric actuator 32 nozzle group 36 a to 36 d throttle channel group 37 concave portion 38 a to 38 c partition wall 51 , 374 first common channel member 52 , 375 second common channel members 51a, 51b partition walls 52a to 52c partition walls 53a, 201a, 201b damper membrane 71 ink inlet 55 filter 61 to 64, 222, 223, 251 to 254, 276, 277 manifold channel 66 to 69 , 231, 232, 241, 244, 278, 279 communication flow path 66a, 69a, 234a, 241a, 244a lower surface 66b, 69b, 166b, 169b protrusion 66c, 69c end surface 101 head unit 256 flow path member

Claims

an individual channel member in which a plurality of individual channels are formed;
a common channel member joined to the individual channel members in a first direction and formed with a common channel connecting to the plurality of individual channels;
a film covering the common flow path,
The individual channel member has a nozzle group and a connection hole group,
The individual channel member has a first surface and a second surface on both end surfaces in the first direction, the first surface is located farther from the common channel member than the second surface, and the The nozzle group is provided on the first surface, the connection hole group is provided on the second surface,
The common channel member has a common channel connected to correspond to the connection hole group,
The nozzle group is arranged along a second direction perpendicular to the first direction,
The connection hole group is arranged along the second direction,
The common flow path is
extending in the second direction and connected to the nozzle group through the connection hole group;
The common flow path member is penetrated and opened in the first direction by the common flow path, forms a wall surface of the common flow path, and has a third surface and a fourth surface on both end surfaces in the first direction. death,
the third surface is in contact with the second surface of the individual channel member;
The liquid ejection head, wherein the fourth surface is on the opposite side of the third surface in the first direction and is covered with the film.

2. The liquid ejection head according to claim 1, wherein the film is formed with a liquid introduction port for introducing liquid into the common flow path.

3. The liquid according to claim 2, wherein the length of the liquid inlet in the second direction is longer than the length of the liquid inlet in a third direction orthogonal to the first direction and the second direction. ejection head.

4. The liquid ejection head according to claim 2, wherein the liquid inlets are provided on both sides of the common flow path in the second direction.

The film has a fifth surface and a sixth surface, the fifth surface is arranged on the opposite side of the sixth surface in the first direction, the fifth surface is in contact with the common channel member, 5. The liquid ejection head according to claim 2, wherein a plate is arranged on said sixth surface.

6. The liquid ejection head according to claim 5, wherein the plate is formed with the liquid inlet.

7. The liquid ejection head according to claim 5, wherein a through hole is formed in the plate, and the film overlaps with the through hole.

The common flow path includes a first common flow path that accommodates a first ink;
a second common flow path containing a second ink different from the first ink;
8. The liquid ejection head according to claim 1, further comprising:

9. A liquid ejection head according to claim 8, wherein the volume of said first common channel is larger than the volume of said second common channel.

10. The liquid ejection head according to claim 8, wherein the first common channel is outside the second common channel in a third direction perpendicular to the first direction and the second direction. .

The individual channel members are
A plurality of pressure chambers are provided individually for each nozzle of the nozzle group, are arranged between the nozzle group and the connection hole group in the first direction, and communicate with the nozzle and the connection hole group . a pressure chamber forming member;
a connecting hole group forming member formed between the common flow path member and the pressure chamber forming member and having the connecting hole group formed thereon;
11. The liquid ejection head according to any one of claims 1 to 10, comprising:

12. The liquid ejection head according to claim 11, wherein the connection hole group forming member is made of silicon.

The individual channel members are
13. A liquid ejection head according to claim 11, further comprising a pressure generating element for generating pressure in the liquid in said pressure chamber.

14. A liquid ejection head according to claim 13, wherein said pressure generating element and said connection hole group overlap in a third direction orthogonal to said first direction and said second direction.

14. A liquid ejection head according to claim 13, wherein said pressure generating element and said common flow path do not overlap in a third direction orthogonal to said first direction and said second direction.