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JP7223938B2 - Method for manufacturing light emitting device - Google Patents
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Description

実施形態は、発光装置及びその製造方法に関する。 TECHNICAL FIELD Embodiments relate to a light emitting device and a manufacturing method thereof.

特許文献1には、側面発光型の発光装置が開示されている。特許文献1の発光装置では、背面側に回路基板を備えることにより発光面と背面との間の厚みが厚くなる傾向がある。 Patent Document 1 discloses a side emission type light emitting device. In the light emitting device of Patent Document 1, the thickness between the light emitting surface and the back surface tends to increase due to the circuit board provided on the back surface side.

特開2012-124191号公報JP 2012-124191 A

実施形態は、小型の発光装置及びその製造方法を提供することを目的とする。 An object of the embodiments is to provide a compact light-emitting device and a method for manufacturing the same.

実施形態に係る発光装置の製造方法は、光反射部材内に第1積層体および前記第1積層体と隣接する第2積層体が第1方向に配列された中間構造体であって、前記第1積層体および前記第2積層体は、それぞれ、前記第1方向と直交する第2方向に配列された第1電極および第2電極と、前記第1電極および第2電極と接続する半導体積層体と、前記半導体積層体上に配置された透光性部材と、を備え、前記第1電極および第2電極が前記光反射部材から露出する第1面を有する中間構造体を準備する工程と、前記第1面において、前記第1積層体の第1電極と前記第2積層体の第1電極との間、および、前記第1積層体の第2電極と前記第2積層体の第2電極との間を接続する一対の第1導電部材を形成する工程と、前記第1積層体と前記第2積層体の間に位置する前記光反射部材及び前記一対の第1導電部材を切断することにより切断面を形成する工程と、前記切断面上に、前記一対の第1導電部材にそれぞれ接続されるように、一対の第2導電部材を形成する工程と、を備える。 A method for manufacturing a light-emitting device according to an embodiment provides an intermediate structure in which a first laminate and a second laminate adjacent to the first laminate are arranged in a first direction in a light reflecting member, The first laminated body and the second laminated body are respectively first electrodes and second electrodes arranged in a second direction orthogonal to the first direction, and semiconductor laminated bodies connected to the first electrodes and the second electrodes. and a translucent member disposed on the semiconductor laminate, the step of preparing an intermediate structure having a first surface where the first electrode and the second electrode are exposed from the light reflecting member; On the first surface, between the first electrode of the first laminate and the first electrode of the second laminate, and between the second electrode of the first laminate and the second electrode of the second laminate and cutting the light reflecting member and the pair of first conductive members positioned between the first laminate and the second laminate. and forming a pair of second conductive members on the cut surface so as to be connected to the pair of first conductive members, respectively.

実施形態に係る発光装置は、構造体と、一対の第1導電層と、一対の第2導電層と、を備える。前記構造体は、第1電極および第2電極を有する発光素子と、前記発光素子上に設けられた透光性部材と、前記発光素子及び前記透光性部材を含む積層体の側面を被覆する光反射部材と、を有し、前記第1電極および前記第2電極が前記光反射部材から露出する第1面と、前記第1面と連続し前記光反射部材からなる第2面とを有する。前記一対の第1導電層は、前記第1面において、前記第1電極および前記第2電極にそれぞれ接続され、前記第2面に到達している。前記一対の第2導電層は、前記第1面上から前記第2面上にわたって設けられ、前記一対の第1導電層にそれぞれ接続されている。 A light emitting device according to an embodiment includes a structure, a pair of first conductive layers, and a pair of second conductive layers. The structure covers a side surface of a light-emitting element having a first electrode and a second electrode, a light-transmitting member provided on the light-emitting element, and a laminate including the light-emitting element and the light-transmitting member. a light reflecting member, wherein the first electrode and the second electrode have a first surface exposed from the light reflecting member, and a second surface continuous with the first surface and formed of the light reflecting member. . The pair of first conductive layers are connected to the first electrode and the second electrode on the first surface and reach the second surface. The pair of second conductive layers are provided over the first surface and the second surface, and are connected to the pair of first conductive layers, respectively.

実施形態によれば、小型の発光装置及びその製造方法を実現できる。 According to the embodiments, it is possible to realize a compact light emitting device and a method for manufacturing the same.

第1の実施形態に係る発光装置を示す端面図である。1 is an end view showing a light emitting device according to a first embodiment; FIG. 第1の実施形態に係る発光装置を示す正面図である。1 is a front view showing a light emitting device according to a first embodiment; FIG. 第1の実施形態に係る発光装置を示す下面図である。It is a bottom view showing the light emitting device according to the first embodiment. 第1の実施形態に係る発光装置を示す背面図である。1 is a rear view showing a light emitting device according to a first embodiment; FIG. 第1の実施形態に係る発光装置を搭載した光源装置を示す端面図である。1 is an end view showing a light source device equipped with a light emitting device according to a first embodiment; FIG. 第1の実施形態に係る発光装置を搭載した光源装置を示す正面図である。It is a front view which shows the light source device which mounts the light-emitting device which concerns on 1st Embodiment. 第1の実施形態に係る発光装置の製造方法を示す平面図である。FIG. 4 is a plan view showing the method for manufacturing the light emitting device according to the first embodiment; 図4Aに示すD-D’線による端面図である。4B is an end view taken along line D-D' shown in FIG. 4A; FIG. 第1の実施形態に係る発光装置の製造方法を示す平面図である。FIG. 4 is a plan view showing the method for manufacturing the light emitting device according to the first embodiment; 図5Aに示すD-D’線による端面図である。5B is an end view taken along line D-D' shown in FIG. 5A; FIG. 第1の実施形態に係る発光装置の製造方法を示す平面図である。FIG. 4 is a plan view showing the method for manufacturing the light emitting device according to the first embodiment; 図6Aに示すD-D’線による端面図である。6B is an end view taken along line D-D' shown in FIG. 6A; FIG. 第1の実施形態に係る発光装置の製造方法を示す平面図である。FIG. 4 is a plan view showing the method for manufacturing the light emitting device according to the first embodiment; 図7Aに示すD-D’線による端面図である。7B is an end view taken along line D-D' shown in FIG. 7A; FIG. 第1の実施形態に係る発光装置の製造方法を示す平面図である。FIG. 4 is a plan view showing the method for manufacturing the light emitting device according to the first embodiment; 図8Aに示すE-E’線による端面図である。8B is an end view taken along line E-E' shown in FIG. 8A. FIG. 第1の実施形態に係る発光装置の製造方法を示す平面図である。FIG. 4 is a plan view showing the method for manufacturing the light emitting device according to the first embodiment; 図9Aに示すE-E’線による端面図である。9B is an end view taken along line E-E' shown in FIG. 9A; FIG. 第1の実施形態に係る発光装置の製造方法を示す平面図である。FIG. 4 is a plan view showing the method for manufacturing the light emitting device according to the first embodiment; 図10Aに示すF-F’線による端面図である。10B is an end view taken along line F-F' shown in FIG. 10A; FIG. 第1の実施形態に係る発光装置の製造方法を示す平面図である。FIG. 4 is a plan view showing the method for manufacturing the light emitting device according to the first embodiment; 図11Aに示すG-G’線による端面図である。11B is an end view taken along line G-G' shown in FIG. 11A. FIG. 第1の実施形態に係る発光装置の製造方法を示す平面図である。FIG. 4 is a plan view showing the method for manufacturing the light emitting device according to the first embodiment; 図12Aに示すG-G’線による端面図である。12B is an end view taken along line G-G' shown in FIG. 12A. FIG. 第1の実施形態に係る発光装置の製造方法を示す平面図である。FIG. 4 is a plan view showing the method for manufacturing the light emitting device according to the first embodiment; 図13Aに示すG-G’線による端面図である。13B is an end view taken along line G-G' shown in FIG. 13A. FIG. 第1の実施形態に係る発光装置の製造方法を示す平面図である。FIG. 4 is a plan view showing the method for manufacturing the light emitting device according to the first embodiment; 図14Aに示すG-G’線による端面図である。14B is an end view taken along line G-G' shown in FIG. 14A; FIG. 第2の実施形態に係る発光装置を示す端面図である。It is an end elevation which shows the light-emitting device which concerns on 2nd Embodiment. 第2の実施形態に係る発光装置の製造方法を示す平面図である。It is a top view which shows the manufacturing method of the light-emitting device which concerns on 2nd Embodiment. 図16Aに示すH-H’線による端面図である。16B is an end view taken along line H-H' shown in FIG. 16A; FIG. 第2の実施形態に係る発光装置の製造方法を示す平面図である。It is a top view which shows the manufacturing method of the light-emitting device which concerns on 2nd Embodiment. 図17Aに示すH-H’線による端面図である。17B is an end view taken along line H-H' shown in FIG. 17A; FIG. 第2の実施形態に係る発光装置の製造方法を示す平面図である。It is a top view which shows the manufacturing method of the light-emitting device which concerns on 2nd Embodiment. 図18Aに示すH-H’線による端面図である。18B is an end view taken along line H-H' shown in FIG. 18A; FIG. 第3の実施形態に係る発光装置を示す端面図である。It is an end elevation which shows the light-emitting device which concerns on 3rd Embodiment.

<第1の実施形態>
先ず、第1の実施形態について説明する。
以下、本実施形態に係る発光装置の構成、及び、発光装置の製造方法について順に説明する。
<First embodiment>
First, the first embodiment will be described.
Hereinafter, the configuration of the light emitting device according to this embodiment and the method for manufacturing the light emitting device will be described in order.

なお、以下で参照する各図は模式的なものであり、構成要素は適宜強調又は省略されている。また、図間において、構成要素の寸法比は必ずしも一致していない。また、本開示において「垂直」及び「直交」とは、特に他の言及がない限り、2つの直線、辺、面等のなす角度が90°から±3°程度の範囲にある場合を含む。本開示において「平行」とは、特に他の言及がない限り、2つの直線、辺、面等のなす角度が0°から±3°程度の範囲にある場合を含む。 It should be noted that each drawing referred to below is schematic, and constituent elements are appropriately emphasized or omitted. Also, the dimensional ratios of the constituent elements do not necessarily match between the drawings. In the present disclosure, “perpendicular” and “perpendicular” include cases in which the angle formed by two straight lines, sides, planes, etc. is in the range of about 90° to ±3°, unless otherwise specified. In the present disclosure, “parallel” includes cases where the angle formed by two straight lines, sides, planes, etc. is in the range of 0° to ±3°, unless otherwise specified.

(発光装置1)
図1は本実施形態に係る発光装置1を示す端面図である。
図2Aは図1に示す発光装置1を方向Aから見た図であり、図2Bは図1に示す発光装置1を方向Bから見た図であり、図2Cは図1に示す発光装置1を方向Cから見た図である。図2Bおよび図2Cでは、発光装置1の外観に表れない部分の一部を破線で示している。
図3Aは本実施形態に係る発光装置1を搭載した光源装置50を示す端面図であり、図3Bはその正面図である。
(Light emitting device 1)
FIG. 1 is an end view showing a light emitting device 1 according to this embodiment.
2A is a view of the light emitting device 1 shown in FIG. 1 as seen from direction A, FIG. 2B is a view of the light emitting device 1 shown in FIG. 1 as seen from direction B, and FIG. 2C is a view of the light emitting device 1 shown in FIG. is viewed from direction C. FIG. In FIGS. 2B and 2C, a portion of the light-emitting device 1 that is hidden from the outside is indicated by a dashed line.
FIG. 3A is an end view showing a light source device 50 equipped with the light emitting device 1 according to this embodiment, and FIG. 3B is a front view thereof.

図1および図2A~図2Cに示すように、本実施形態に係る発光装置1は、第1電極11a及び第2電極11bを有する発光素子10と、発光素子10上に設けられた透光性部材14と、発光素子10及び透光性部材14を含む積層体20の側面を被覆する光反射部材21と、を有する構造体40を備える。構造体40は、第1電極11a及び第2電極11bが光反射部材21から露出する第1面40aと、第1面40aと連続し光反射部材21からなる第2面40bとを有する。また、発光装置1は、構造体40の第1面40aにおいて、第1電極11a及び第2電極11bにそれぞれ接続され、第2面40bに到達した一対の第1導電層25a及び25bと、第1面40a上から第2面40b上にわたって設けられ、一対の第1導電層25a及び25bにそれぞれ接続された一対の第2導電層26a及び26bと、を備える。 As shown in FIGS. 1 and 2A to 2C, the light-emitting device 1 according to the present embodiment includes a light-emitting element 10 having a first electrode 11a and a second electrode 11b, and a translucent electrode provided on the light-emitting element 10. A structure 40 having a member 14 and a light reflecting member 21 covering a side surface of a laminate 20 including the light emitting element 10 and the translucent member 14 is provided. The structure 40 has a first surface 40a where the first electrode 11a and the second electrode 11b are exposed from the light reflecting member 21, and a second surface 40b which is continuous with the first surface 40a and made of the light reflecting member 21. In addition, the light emitting device 1 includes a pair of first conductive layers 25a and 25b connected to the first electrode 11a and the second electrode 11b on the first surface 40a of the structure 40 and reaching the second surface 40b, and the second electrode 11b. A pair of second conductive layers 26a and 26b provided over the first surface 40a and the second surface 40b and connected to the pair of first conductive layers 25a and 25b, respectively.

以下、各構成部材を詳細に説明する。 Each component will be described in detail below.

構造体40は、第3面(光出射面)40cと、第3面40cの反対側に位置する第1面(背面)40aと、第3面40c及び第1面40aに接続され第1面40aに連続する第2面(実装面)40bを有する。図1等で示す構造体40は、さらに第2面40bの反対側に位置する第4面40dと、第5面40e及び第6面40fを有する。第3面(光出射面)40cは第2面40b、第4面40d、第5面40e及び第6面40fと稜線を介して連続している。また、第1面(背面)40aは、第2面40b、第4面40d、第5面40e及び第6面40fと稜線を介して連続している。第5面40e及び第6面40fは平坦であり、全体が光反射部材21により形成されている。 The structure 40 includes a third surface (light emitting surface) 40c, a first surface (back surface) 40a located on the opposite side of the third surface 40c, and a first surface connected to the third surface 40c and the first surface 40a. It has a second surface (mounting surface) 40b that is continuous with 40a. The structure 40 shown in FIG. 1 and the like further has a fourth surface 40d located on the opposite side of the second surface 40b, a fifth surface 40e and a sixth surface 40f. The third surface (light emitting surface) 40c is continuous with the second surface 40b, the fourth surface 40d, the fifth surface 40e, and the sixth surface 40f via ridge lines. The first surface (back surface) 40a is continuous with the second surface 40b, the fourth surface 40d, the fifth surface 40e, and the sixth surface 40f via ridge lines. The fifth surface 40e and the sixth surface 40f are flat and entirely formed of the light reflecting member 21. As shown in FIG.

構造体40の形状は、例えば、概ね直方体である。発光装置1は、第2面40bを実装面とし、第2面40bと実装基板の上面とが対向して配置される側面発光型(サイドビュータイプ)の発光装置である。 The shape of the structure 40 is, for example, a substantially rectangular parallelepiped. The light-emitting device 1 is a side-view type light-emitting device in which the second surface 40b is used as a mounting surface, and the second surface 40b and the upper surface of the mounting substrate are arranged to face each other.

構造体40は、少なくとも1つの積層体20を有する。積層体20は、発光装置1の光源として機能し、発光素子10と透光性部材14とを有する。発光素子10は、例えば発光ダイオード(Light Emitting Diode:LED)であり、半導体積層体12と、第1電極11a及び第2電極11bを有する。半導体積層体12においては、n層、発光層、p層が積層されており、n層及びp層のうち一方は第1電極11aに接続されており、他方は第2電極11bに接続されている。第1電極11a及び第2電極11bは、構造体40の第1面40aにおいて、光反射部材21から露出する。これにより、発光素子10が発する熱を構造体40の第1面40aから効率的に放熱することができる。図1では、第1面40aは平坦であり、第1電極11a及び第2電極11bの周囲には光反射部材21が設けられている。構造体40は、第1面40aにおいて、第1電極11aおよび第2電極11bの表面に金等の金属層を有することができる。これにより、第1電極11aおよび第2電極11bが銅等の酸化しやすい部材からなる場合であっても、各電極の表面が酸化することを抑制できる。 Structure 40 has at least one laminate 20 . The laminate 20 functions as the light source of the light emitting device 1 and has the light emitting element 10 and the translucent member 14 . The light emitting element 10 is, for example, a light emitting diode (LED), and has a semiconductor laminate 12, a first electrode 11a and a second electrode 11b. In the semiconductor laminated body 12, an n layer, a light emitting layer, and a p layer are laminated. One of the n layer and the p layer is connected to the first electrode 11a, and the other is connected to the second electrode 11b. there is The first electrode 11 a and the second electrode 11 b are exposed from the light reflecting member 21 on the first surface 40 a of the structure 40 . Thereby, the heat generated by the light emitting element 10 can be efficiently radiated from the first surface 40 a of the structure 40 . In FIG. 1, the first surface 40a is flat, and the light reflecting member 21 is provided around the first electrode 11a and the second electrode 11b. The structure 40 can have a metal layer such as gold on the surfaces of the first electrode 11a and the second electrode 11b on the first surface 40a. As a result, even when the first electrode 11a and the second electrode 11b are made of an easily oxidizable material such as copper, the surface of each electrode can be prevented from being oxidized.

透光性部材14は、発光素子10上に設けられる。発光素子10上に透光性部材14を配置することで、外部応力から発光素子10を保護することができる。透光性部材14の側面は、光反射部材21に被覆される。これにより、発光領域と非発光領域とのコントラストが高くなり、見切り性の良好な発光装置とすることができる。図1では、光出射面である第3面40cは平坦であり、透光性部材14の周囲には光反射部材21が設けられている。 A translucent member 14 is provided on the light emitting element 10 . By disposing the translucent member 14 on the light emitting element 10, the light emitting element 10 can be protected from external stress. The side surface of the translucent member 14 is covered with the light reflecting member 21 . As a result, the contrast between the light-emitting region and the non-light-emitting region can be increased, and the light-emitting device can be made to have good visibility. In FIG. 1, the third surface 40c, which is the light emitting surface, is flat, and the light reflecting member 21 is provided around the translucent member 14. As shown in FIG.

透光性部材14は、蛍光体層15aおよび15b(以下、総称して「蛍光体層15」ともいう)および/または透光層16を有することができる。透光性部材14は、蛍光体を含有する蛍光体層15を有することが好ましい。これにより、発光素子10が発する光と、蛍光体が発する光とを混色して、所望の混色光を出力することができる。蛍光体は蛍光体層15に均一に分散させてもよく、また、蛍光体層15の上面よりも発光素子10側に蛍光体を偏在させてもよい。蛍光体層15の上面よりも発光素子10側に蛍光体を偏在させることで、水分に弱い蛍光体の水分による劣化を容易に抑制することができる。水分に弱い蛍光体としては、例えばマンガン賦活フッ化物系蛍光体を挙げることができる。マンガン賦活フッ化物系蛍光体は、スペクトル線幅の比較的狭い発光が得られるため、色再現性の観点において好ましい蛍光体である。蛍光体は、1種の蛍光体であってもよく、また複数種の蛍光体であってもよい。 The translucent member 14 can have phosphor layers 15 a and 15 b (hereinafter collectively referred to as “phosphor layers 15 ”) and/or a translucent layer 16 . The translucent member 14 preferably has a phosphor layer 15 containing a phosphor. As a result, the light emitted by the light emitting element 10 and the light emitted by the phosphor can be mixed to output desired mixed color light. The phosphor may be uniformly dispersed in the phosphor layer 15 , or the phosphor may be unevenly distributed on the light emitting element 10 side of the upper surface of the phosphor layer 15 . By unevenly distributing the phosphor closer to the light emitting element 10 than the upper surface of the phosphor layer 15, it is possible to easily suppress deterioration of the phosphor, which is sensitive to moisture, due to moisture. Examples of phosphors that are sensitive to moisture include manganese-activated fluoride-based phosphors. Manganese-activated fluoride-based phosphors are preferable phosphors from the viewpoint of color reproducibility because they can emit light with a relatively narrow spectral line width. The phosphor may be one type of phosphor, or may be a plurality of types of phosphors.

蛍光体層15は、複数の蛍光体層を有することができる。図1に示す例では、蛍光体層15は蛍光体層15aと蛍光体層15bとを有する。例えば、蛍光体層15aは、βサイアロン系蛍光体を含有し、蛍光体層15bは、マンガン賦活フッ化物系蛍光体を含有する。なお、蛍光体層15は単層でもよく、単層の蛍光体層15にマンガン賦活フッ化物系蛍光体およびβサイアロン系蛍光体が含有されてもよい。 The phosphor layer 15 can have multiple phosphor layers. In the example shown in FIG. 1, the phosphor layer 15 has a phosphor layer 15a and a phosphor layer 15b. For example, the phosphor layer 15a contains a β-sialon phosphor, and the phosphor layer 15b contains a manganese-activated fluoride phosphor. The phosphor layer 15 may be a single layer, and the single layer phosphor layer 15 may contain the manganese-activated fluoride-based phosphor and the β-sialon-based phosphor.

図1において、透光性部材14は、蛍光体層15a、蛍光体層15bおよび透光層16がこの順に積層されている。蛍光体層15a及び15bにおいては、それぞれ、透明材料からなる母材中に蛍光体が含有されている。これにより、発光装置1は、発光素子10が出力する光と、蛍光体層15a中の蛍光体が射する光と、蛍光体層15b中の蛍光体が放射する光を混色して、所望の混色光を出力することができる。一例では、発光素子10は青色の光を出力し、蛍光体層15aは緑色の光を放射し、蛍光体層15bは赤色の光を放射し、発光装置1全体としては白色の光を出力する。透光層16は透明材料からなり、蛍光体を実質的に含有していない。なお、本明細書において「実質的に含有していない」とは、不可避的な混入は許容することを意味する。 In FIG. 1, the translucent member 14 has a phosphor layer 15a, a phosphor layer 15b, and a translucent layer 16 laminated in this order. In each of the phosphor layers 15a and 15b, a phosphor is contained in a base material made of a transparent material. As a result, the light emitting device 1 mixes the light output from the light emitting element 10, the light emitted by the phosphor in the phosphor layer 15a, and the light emitted by the phosphor in the phosphor layer 15b to obtain a desired color. It can output mixed color light. In one example, the light emitting element 10 outputs blue light, the phosphor layer 15a emits green light, the phosphor layer 15b emits red light, and the light emitting device 1 as a whole outputs white light. . The translucent layer 16 is made of a transparent material and does not substantially contain phosphor. In the present specification, "substantially free of" means that unavoidable contamination is allowed.

積層体20は、発光素子10と透光性部材14との間に導光部材13を有することができる。導光部材13は、発光素子10の側面を被覆し、発光素子10の側面から出射される光を発光装置1の上面(光出射面である第3面40c)方向に導光する。発光素子10の側面に導光部材13を配置することで、発光素子10の側面に到達した光の一部が該側面で反射され発光素子10内で減衰することを抑制できる。導光部材13は、発光素子10の上面および側面を被覆することができる。これにより、発光素子10と導光部材13との密着強度を向上させることができる。導光部材13は、例えば、樹脂材料を母材として含む部材である。樹脂材料としては、例えば、シリコーン樹脂、シリコーン変性樹脂、エポキシ樹脂、フェノール樹脂などの透光性の樹脂を好適に用いることができる。なお、導光部材13は、光の透過率が高いことが好ましい。そのため、導光部材13は、光を反射、吸収又は散乱する物質は有していないことが好ましい。導光部材13は、光反射部材21よりも発光素子10からの光の透過率が高い部材が選択される。 The laminate 20 can have a light guide member 13 between the light emitting element 10 and the translucent member 14 . The light guide member 13 covers the side surface of the light emitting element 10 and guides the light emitted from the side surface of the light emitting element 10 toward the upper surface of the light emitting device 1 (the third surface 40c that is the light emitting surface). By arranging the light guide member 13 on the side surface of the light emitting element 10 , it is possible to suppress part of the light reaching the side surface of the light emitting element 10 from being reflected by the side surface and attenuating within the light emitting element 10 . The light guide member 13 can cover the top and side surfaces of the light emitting element 10 . Thereby, the adhesion strength between the light emitting element 10 and the light guide member 13 can be improved. The light guide member 13 is, for example, a member containing a resin material as a base material. As the resin material, translucent resins such as silicone resins, silicone-modified resins, epoxy resins, and phenol resins can be suitably used. In addition, it is preferable that the light guide member 13 has a high light transmittance. Therefore, it is preferable that the light guide member 13 does not have a substance that reflects, absorbs, or scatters light. For the light guide member 13, a member having a higher transmittance of light from the light emitting element 10 than the light reflecting member 21 is selected.

光反射部材21は、発光装置1の外表面を構成する。図1および図2A~図2Cで示す発光装置1では、光反射部材21は、構造体40の第1面40a、第2面40b、第3面40c、第4面40d、第5面40e及び第6面40fの何れの外表面にも位置している。また、光反射部材21は、発光素子10の側面と、透光性部材14の側面とを被覆している。光反射部材21が発光素子10の側方に位置することで、発光素子10の側方に出射される光を光反射部材21で反射することができ、上方向に効率的に光を取り出すことができる。光反射部材21は、発光素子10の下面も被覆することが好ましい。これにより、例えば、発光素子10から下方に出射される光を上方に反射させることができる。また、光反射部材21が発光素子10の下面を被覆することで、発光素子10と光反射部材21との密着強度を向上させることができる。 The light reflecting member 21 constitutes the outer surface of the light emitting device 1 . In the light emitting device 1 shown in FIGS. 1 and 2A to 2C, the light reflecting member 21 includes the first surface 40a, the second surface 40b, the third surface 40c, the fourth surface 40d, the fifth surface 40e and the It is positioned on either outer surface of the sixth surface 40f. Also, the light reflecting member 21 covers the side surface of the light emitting element 10 and the side surface of the translucent member 14 . Since the light reflecting member 21 is positioned on the side of the light emitting element 10, the light emitted to the side of the light emitting element 10 can be reflected by the light reflecting member 21, and the light can be efficiently extracted upward. can be done. It is preferable that the light reflecting member 21 also cover the lower surface of the light emitting element 10 . Thereby, for example, the light emitted downward from the light emitting element 10 can be reflected upward. In addition, since the light reflecting member 21 covers the lower surface of the light emitting element 10, the adhesion strength between the light emitting element 10 and the light reflecting member 21 can be improved.

導光部材13と発光素子10との熱膨張率差(これを「第1の熱膨張率差ΔT30」と称する)と、光反射部材21と発光素子10との熱膨張率差(これを「第2の熱膨張率差ΔT40」と称する)とを比較したときに、例えば、ΔT40<ΔT30となるように、光反射部材21の材料を選択することが好ましい。これにより、導光部材13が発光素子10から剥離することを抑制できる。 The thermal expansion coefficient difference between the light guide member 13 and the light emitting element 10 (this is referred to as “first thermal expansion coefficient difference ΔT30”) and the thermal expansion coefficient difference between the light reflecting member 21 and the light emitting element 10 (this is referred to as “ It is preferable to select the material of the light reflecting member 21 so that, for example, ΔT40<ΔT30 when compared with a second thermal expansion coefficient difference ΔT40″. This can prevent the light guide member 13 from peeling off from the light emitting element 10 .

発光装置1は、さらに一対の第1導電層25a及び25bと一対の第2導電層26a及び26bを有する。一対の第1導電層25a及び25bと一対の第2導電層26a及び26bは、発光装置1の外部電極として機能する。 The light emitting device 1 further has a pair of first conductive layers 25a and 25b and a pair of second conductive layers 26a and 26b. The pair of first conductive layers 25 a and 25 b and the pair of second conductive layers 26 a and 26 b function as external electrodes of the light emitting device 1 .

一対の第1導電層25a及び25bは、構造体40の第1面(背面)40a上に設けられている。第1導電層25aは、一端が発光素子10の第1電極11aに接続され、他端が構造体40の第2面40bに到達している。第1導電層25bは、一端が発光素子10の第2電極11bに接続され、他端が構造体40の第2面40bに到達している。第1導電層25aと第1導電層25bは相互に離隔している。第1導電層25a及び25bは導電性材料からなり、例えば、固体化した導電ペーストからなる。一対の第1導電層25a及び25bのそれぞれの形状は、例えば、柱状または半円柱状である。 A pair of first conductive layers 25 a and 25 b are provided on the first surface (back surface) 40 a of the structure 40 . The first conductive layer 25 a has one end connected to the first electrode 11 a of the light emitting element 10 and the other end reaching the second surface 40 b of the structure 40 . The first conductive layer 25 b has one end connected to the second electrode 11 b of the light emitting element 10 and the other end reaching the second surface 40 b of the structure 40 . The first conductive layer 25a and the first conductive layer 25b are separated from each other. The first conductive layers 25a and 25b are made of a conductive material, such as a solidified conductive paste. The shape of each of the pair of first conductive layers 25a and 25b is, for example, columnar or semi-columnar.

一対の第1導電層25a及び25bは、発光素子10の第1電極11a及び第2電極11bと電気的に接続される。図1および図2Cでは、一対の第1導電層25a及び25bは、発光素子10の第1電極11a及び第2電極11bの側面とのみ電気的に接続されている。なお、一対の第1導電層25a及び25bは、発光素子10の第1電極11a及び第2電極11bの下面とのみ電気的に接続されていてもよく、第1電極11a及び第2電極11bの側面および下面の双方と電気的に接続されていてもよい。 A pair of first conductive layers 25 a and 25 b are electrically connected to the first electrode 11 a and the second electrode 11 b of the light emitting element 10 . 1 and 2C, the pair of first conductive layers 25a and 25b are electrically connected only to the side surfaces of the first electrode 11a and the second electrode 11b of the light emitting element 10. In FIGS. Note that the pair of first conductive layers 25a and 25b may be electrically connected only to the lower surfaces of the first electrode 11a and the second electrode 11b of the light emitting element 10. It may be electrically connected to both the side surface and the bottom surface.

一対の第1導電層25a及び25bは、構造体40の第5面40e及び第6面40fから離隔していることが好ましい。これにより、接合部材を用いて発光装置1を実装基板上に実装する際に、第5面40e及び第6面40fの外側に接合部材が流れていくことを抑制できる。その結果、接合部材を含んだ発光装置1の実装面積を小さくすることができる。例えば、エッジ型の液晶表示装置の光源として、実装基板上に複数の発光装置を配置したものを用いる場合、発光装置間は暗部になりやすい。しかし、第1導電層25a及び25bを上記のように配置すれば、実装基板上に一の発光装置の第5面40eと隣接する他の発光装置の第6面40fとが対向するように複数の発光装置を配置する場合に、各発光装置間の距離を短くすることができる。これにより、各発光装置間において、暗部となる領域を減らすことができる。また、第5面40e又は第6面40fと第1面40aとの境界を含む発光装置1の角部は、外力により欠けや変形が生じやすい。しかし、第1導電層25a及び25bが第5面40e及び第5面40fから離隔していることで、発光装置1の角部に上記の外力が生じたとしても、その外力が第1導電層25a及び25bに影響を及ぼす可能性を低減できる。 The pair of first conductive layers 25 a and 25 b are preferably separated from the fifth surface 40 e and the sixth surface 40 f of the structure 40 . Accordingly, when the light-emitting device 1 is mounted on the mounting board using the bonding member, it is possible to prevent the bonding member from flowing outside the fifth surface 40e and the sixth surface 40f. As a result, the mounting area of the light emitting device 1 including the bonding member can be reduced. For example, when a plurality of light emitting devices arranged on a mounting substrate is used as a light source for an edge-type liquid crystal display device, the space between the light emitting devices tends to be dark. However, by arranging the first conductive layers 25a and 25b as described above, the fifth surface 40e of one light emitting device and the sixth surface 40f of the other adjacent light emitting device face each other on the mounting substrate. , the distance between each light emitting device can be shortened. As a result, dark areas can be reduced between the light emitting devices. In addition, the corners of the light emitting device 1 including the boundary between the fifth surface 40e or the sixth surface 40f and the first surface 40a are likely to be chipped or deformed by an external force. However, since the first conductive layers 25a and 25b are separated from the fifth surface 40e and the fifth surface 40f, even if the above external force is applied to the corners of the light emitting device 1, the external force is The possibility of affecting 25a and 25b can be reduced.

なお、第1導電層25a及び25bは、第5面40e及び第6面40fまで延出していてもよい。この場合、例えば、第1導電層25a及び25bの端部を第5面40e及び第6面40fの端部と一致させることができる。また、第1導電層25a及び25bの一部を、第1面40aに加えて第5面40e及び第6面40fにも形成することができる。これにより、発光装置1の放熱性を向上させることができる。 The first conductive layers 25a and 25b may extend to the fifth surface 40e and the sixth surface 40f. In this case, for example, the ends of the first conductive layers 25a and 25b can be aligned with the ends of the fifth surface 40e and the sixth surface 40f. Also, portions of the first conductive layers 25a and 25b can be formed on the fifth surface 40e and the sixth surface 40f in addition to the first surface 40a. Thereby, the heat dissipation of the light-emitting device 1 can be improved.

一対の第1導電層25a及び25bは、図2Cで示すように、第1面(背面)40aにおいて、一対の溝105a及び105b内に配置されることが好ましい。第1導電層25aは溝105a内に位置し、第1導電層25bは溝105b内に位置している。一対の溝105a及び105bは、第1電極11a及び第2電極11bと第2面40bとの間に形成される。 The pair of first conductive layers 25a and 25b are preferably disposed within a pair of grooves 105a and 105b on the first surface (rear surface) 40a, as shown in FIG. 2C. The first conductive layer 25a is located within the groove 105a, and the first conductive layer 25b is located within the groove 105b. A pair of grooves 105a and 105b are formed between the first and second electrodes 11a and 11b and the second surface 40b.

図2Cでは、一対の溝105a及び105bは、第1電極11a及び第2電極11bと第2面40bとの双方に達している。なお、一対の溝105a及び105bは、第1電極11a及び第2電極11bと第2面40bの一方にのみ達してもよく、双方から離隔していてもよい。一対の溝105a及び105bが第1電極11a及び第2電極11bに達する場合は、第1電極11a及び第2電極11b上にも溝の一部を形成することができる。これにより、一対の第1導電層25a及び25bと構造体40との密着強度を向上させることができる。一対の第1導電層25a及び25が一対の溝105a及び105b内に配置されることで、光反射部材21と第1導電層25a及び25bとの密着強度を向上させることができる。一対の溝105a及び105bは、第1導電層および第2導電層を形成する前の構造体40において、例えば構造体40の第1面(背面)40aにレーザを照射することで形成することができる。 In FIG. 2C, the pair of grooves 105a and 105b reach both the first and second electrodes 11a and 11b and the second surface 40b. The pair of grooves 105a and 105b may reach only one of the first electrode 11a and the second electrode 11b and the second surface 40b, or may be separated from both. When the pair of grooves 105a and 105b reach the first electrode 11a and the second electrode 11b, part of the grooves can also be formed on the first electrode 11a and the second electrode 11b. Thereby, the adhesion strength between the pair of first conductive layers 25a and 25b and the structure 40 can be improved. By arranging the pair of first conductive layers 25a and 25 in the pair of grooves 105a and 105b, the adhesion strength between the light reflecting member 21 and the first conductive layers 25a and 25b can be improved. The pair of grooves 105a and 105b can be formed by, for example, irradiating the first surface (back surface) 40a of the structure 40 with a laser in the structure 40 before forming the first conductive layer and the second conductive layer. can.

一対の第2導電層26a及び26bは、構造体40の第1面(背面)40a上から第2面(実装面)40b上にわたって設けられている。第2導電層26a及び26bは導電性材料からなり、例えば、固体化した導電ペーストからなる。第2導電層26aと第2導電層26bは相互に離隔している。第2導電層26aは第1導電層25aに接続されており、第2導電層26bは第1導電層25bに接続されている。一対の第2導電層26a及び26bが構造体40の第1面(背面)40a上から第2面(実装面)40b上にわたって形成されていることで、発光素子10が発する熱を第1面40a側および第2面40b側の双方から効率的に放熱することができる。第2導電層26a及び26bの形状は、例えば、構造体40の第1面40aと第2面40bとの境界で屈曲した略円板状である。 The pair of second conductive layers 26a and 26b are provided from the first surface (back surface) 40a of the structure 40 to the second surface (mounting surface) 40b. The second conductive layers 26a and 26b are made of a conductive material, such as a solidified conductive paste. The second conductive layer 26a and the second conductive layer 26b are separated from each other. The second conductive layer 26a is connected to the first conductive layer 25a, and the second conductive layer 26b is connected to the first conductive layer 25b. Since the pair of second conductive layers 26a and 26b are formed from the first surface (back surface) 40a of the structure 40 to the second surface (mounting surface) 40b, the heat generated by the light emitting element 10 is transferred to the first surface. Heat can be efficiently radiated from both the 40a side and the second surface 40b side. The shape of the second conductive layers 26a and 26b is, for example, a substantially disc shape that is bent at the boundary between the first surface 40a and the second surface 40b of the structure 40 .

第2面40bにおいて、第2導電層26a及び26bは、第3面(光出射面)40cから離隔していることが好ましい。これにより、接合部材を用いて発光装置1を実装基板上に実装する際、第3面(光出射面)40c側に接合部材が流れていくことを抑制できる。その結果、発光装置1から出射される光が接合部材によって遮られる等の可能性を低減することができる。 On the second surface 40b, the second conductive layers 26a and 26b are preferably separated from the third surface (light exit surface) 40c. As a result, when the light emitting device 1 is mounted on the mounting substrate using the bonding member, it is possible to prevent the bonding member from flowing toward the third surface (light emitting surface) 40c. As a result, it is possible to reduce the possibility that the light emitted from the light emitting device 1 is blocked by the bonding member.

なお、第2導電層26a及び26bは、第3面40cまで延出していてもよい。この場合、例えば、第2導電層26a及び26bの端部を第3面40cの端部と一致させることができる。また、第2導電層26a及び26bの一部を、第2面40bに加えて第3面40cにも形成することができる。これにより、発光装置1の放熱性を向上させることができる。 The second conductive layers 26a and 26b may extend to the third surface 40c. In this case, for example, the ends of the second conductive layers 26a and 26b can be aligned with the ends of the third surface 40c. Also, portions of the second conductive layers 26a and 26b can be formed on the third surface 40c in addition to the second surface 40b. Thereby, the heat dissipation of the light-emitting device 1 can be improved.

また、第2導電層26a及び26bは、第5面40e及び第6面40fから離隔していることが好ましい。これにより、接合部材を用いて発光装置1を実装基板上に実装する際、第5面40e及び第6面40fの外側に接合部材が流れていくことを抑制することができる。その結果、接合部材を含んだ発光装置1の実装面積を小さくすることができる。 Also, the second conductive layers 26a and 26b are preferably separated from the fifth surface 40e and the sixth surface 40f. Accordingly, when the light emitting device 1 is mounted on the mounting substrate using the bonding member, it is possible to prevent the bonding member from flowing outside the fifth surface 40e and the sixth surface 40f. As a result, the mounting area of the light emitting device 1 including the bonding member can be reduced.

なお、第2導電層26a及び26bは、第5面40e及び第6面40fまで延出していてもよい。この場合、例えば、第2導電層26a及び26bの端部を第5面40e及び第6面40fの端部と一致させることができる。また、第2導電層26a及び26bの一部を、第2面40bに加えて第5面40e及び第6面40fにも形成することができる。これにより、発光装置1の放熱性を向上させることができる。 The second conductive layers 26a and 26b may extend to the fifth surface 40e and the sixth surface 40f. In this case, for example, the ends of the second conductive layers 26a and 26b can be aligned with the ends of the fifth surface 40e and the sixth surface 40f. Also, portions of the second conductive layers 26a and 26b can be formed on the fifth surface 40e and the sixth surface 40f in addition to the second surface 40b. Thereby, the heat dissipation of the light-emitting device 1 can be improved.

第5面40eから第6面40fに向かう方向において、第1導電層25a及び25bの幅と、第2導電層26a及び26bの幅は、一定であり、かつ互いに同じ幅にすることができる。これにより、例えば、導電層の幅が狭くなる部分に応力が集中し、該箇所にクラック等が発生することを抑制することができる。なお、第1導電層25a及び25bの幅と、第2導電層26a及び26bの幅は異なっていてもよい。また、第1導電層25aの平面形状と第1導電層25bの平面形状は異なっていてもよく、第2導電層26aの平面形状と第2導電層26bの平面形状は異なっていてもよい。これにより、例えば、発光装置1の極性が外観から判別可能になる。 In the direction from the fifth surface 40e to the sixth surface 40f, the width of the first conductive layers 25a and 25b and the width of the second conductive layers 26a and 26b are constant and can be the same width. As a result, for example, it is possible to prevent stress from concentrating on a portion where the width of the conductive layer is narrowed, thereby preventing cracks or the like from occurring at that portion. The width of the first conductive layers 25a and 25b may be different from the width of the second conductive layers 26a and 26b. The planar shape of the first conductive layer 25a and the planar shape of the first conductive layer 25b may be different, and the planar shape of the second conductive layer 26a and the planar shape of the second conductive layer 26b may be different. Thereby, for example, the polarity of the light emitting device 1 can be determined from the appearance.

次に、本実施形態に係る発光装置1を用いた光源装置50について説明する。
図3A及び図3Bに示すように、発光装置1は、光源装置50の一部を構成する。光源装置50においては、実装基板51が設けられており、実装基板51の実装面51aに、一対の接合部材52a及び52bを介して、発光装置1が搭載されている。発光装置1は、構造体40の第2面(実装面)40bが実装基板51の実装面51aに対向する向きで配置されている。接合部材52a及び52bは導電性材料からなり、例えば、半田からなる。
Next, a light source device 50 using the light emitting device 1 according to this embodiment will be described.
As shown in FIGS. 3A and 3B, the light emitting device 1 constitutes part of the light source device 50 . A mounting substrate 51 is provided in the light source device 50, and the light emitting device 1 is mounted on a mounting surface 51a of the mounting substrate 51 via a pair of bonding members 52a and 52b. The light-emitting device 1 is arranged such that the second surface (mounting surface) 40 b of the structure 40 faces the mounting surface 51 a of the mounting substrate 51 . The joining members 52a and 52b are made of a conductive material, such as solder.

実装基板51の配線は、一対の接合部材52a及び52bを介して、発光装置1の一対の第2導電層26a及び26bにそれぞれ接続されている。これにより、一対の接合部材52a及び52bを介して、発光装置1に電力が供給され、発光装置1より光Lが出射される。光Lの主な出射方向は、実装基板51の実装面51aに対して略平行である。このようにして、側面発光型の光源装置50が実現される。実装基板51上には、複数の発光装置1を配置することができ、複数の発光装置1は、好適には実装基板51の実装面51aに平行な一方向に沿って配置される。 The wiring of the mounting substrate 51 is connected to the pair of second conductive layers 26a and 26b of the light emitting device 1 via the pair of joint members 52a and 52b, respectively. As a result, power is supplied to the light emitting device 1 through the pair of bonding members 52a and 52b, and the light L is emitted from the light emitting device 1. As shown in FIG. The main emitting direction of the light L is substantially parallel to the mounting surface 51 a of the mounting substrate 51 . In this manner, the side emission type light source device 50 is realized. A plurality of light emitting devices 1 can be arranged on the mounting substrate 51 , and the plurality of light emitting devices 1 are preferably arranged along one direction parallel to the mounting surface 51 a of the mounting substrate 51 .

なお、図3Bに示すように、接合部材52aと接合部材52bとの間に、樹脂材料からなる接着部材53を設けてもよい。発光装置1は、一対の接合部材52a及び52bに加えて、接着部材53によっても、実装基板51に接合される。これにより、発光装置1と実装基板51との接合強度をより強固にすることができる。また、接着部材53が一対の接合部材52の間に位置することで、例えば、一対の接合部材52a及び52bが溶融した際に、互いに意図せず接することを抑制することができる。つまり、一対の接合部材52a及び52bの間に絶縁性の接着部材53が配置することで、発光装置1における電気的な短絡を容易に抑制することができる。接着部材53は、例えば、エポキシ樹脂により形成することができる。光反射部材21の母材となる樹脂材料としてエポキシ樹脂を用いれば、接着部材53と光反射部材21との接合強度をより一層向上させることができる。発光装置1のうち、光反射部材21のみが接着部材53と接していてもよい。 In addition, as shown in FIG. 3B, an adhesive member 53 made of a resin material may be provided between the joint member 52a and the joint member 52b. The light emitting device 1 is bonded to the mounting substrate 51 by the bonding member 53 in addition to the pair of bonding members 52a and 52b. Thereby, the bonding strength between the light emitting device 1 and the mounting substrate 51 can be increased. Further, by positioning the adhesive member 53 between the pair of joint members 52, for example, when the pair of joint members 52a and 52b are melted, they can be prevented from coming into contact with each other unintentionally. That is, by arranging the insulating bonding member 53 between the pair of bonding members 52a and 52b, an electrical short circuit in the light emitting device 1 can be easily suppressed. The adhesive member 53 can be made of, for example, epoxy resin. If an epoxy resin is used as the base material of the light reflecting member 21, the bonding strength between the adhesive member 53 and the light reflecting member 21 can be further improved. Only the light reflecting member 21 of the light emitting device 1 may be in contact with the adhesive member 53 .

次に、本実施形態に係る発光装置の製造方法について説明する。本実施形態に係る発光装置の製造方法は、中間構造体30を準備する工程と、第1導電部材25c及び25dを形成する工程と、切断面106を形成する工程と、第2導電部材26a及び26bを形成する工程と、を備える。 Next, a method for manufacturing the light emitting device according to this embodiment will be described. The method for manufacturing the light emitting device according to the present embodiment includes steps of preparing the intermediate structural body 30, forming the first conductive members 25c and 25d, forming the cut surface 106, forming the second conductive member 26a and 26b.

図4A~図14Bは、本実施形態に係る発光装置の製造方法を示す図である。図4A、図5A、図6A~図14Aは平面図であり、図4B、図5B、図6B~図14Bは各平面図に対応する端面図である。図4Bは図4Aに示すD-D’線による端面図であり、図4Aと同じ工程を示す。図5B~図7Bについても同様である。図8Bは図8Aに示すE-E’線による端面図であり、図8Aと同じ工程を示す。図9Bについても同様である。図10Bは図10Aに示すF-F’線による端面図であり、図10Aと同じ工程を示す。図11Bは図11Aに示すG-G’線による端面図であり、図11Aと同じ工程を示す。図12B、図13B、図14Bについても同様である。 4A to 14B are diagrams showing the manufacturing method of the light emitting device according to this embodiment. 4A, 5A, and 6A to 14A are plan views, and FIGS. 4B, 5B, and 6B to 14B are end views corresponding to the plan views. FIG. 4B is an end view along line D-D' shown in FIG. 4A, showing the same process as in FIG. 4A. The same applies to FIGS. 5B to 7B. FIG. 8B is an end view along line E-E' shown in FIG. 8A, showing the same process as in FIG. 8A. The same applies to FIG. 9B. FIG. 10B is an end view along line F-F' shown in FIG. 10A, showing the same process as in FIG. 10A. FIG. 11B is an end view along line G-G' shown in FIG. 11A, showing the same process as in FIG. 11A. The same applies to FIGS. 12B, 13B, and 14B.

(中間構造体30を準備する工程)
先ず、光反射部材21内に第1積層体20Aおよび第1積層体20Aと隣接する第2積層体20Bが第1方向(X方向)に配列された中間構造体30を準備する。第1積層体20Aおよび第2積層体20Bは、それぞれ、第1方向(X方向)と直交する第2方向(Y方向)に配列された第1電極11aおよび第2電極11bと、第1電極11aおよび第2電極11bと接続する半導体積層体12と、半導体積層体12上に配置された透光性部材14と、を備える。中間構造体30は、第1電極11aおよび第2電極11bが光反射部材21から露出する第1面30aを有する。中間構造体30は、以下に説明する製造工程の一例により製造して準備してもよく、予め製造された中間構造体30を購入する等して準備してもよい。以下、第1積層体20Aおよび第2積層体20Bを含む複数の積層体を、総称して「積層体20」ともいう。また、第1電極11aおよび第2電極11bを総称して、単に「電極」ともいう。
(Step of preparing intermediate structure 30)
First, the intermediate structural body 30 is prepared in which the first laminated body 20A and the second laminated body 20B adjacent to the first laminated body 20A are arranged in the light reflecting member 21 in the first direction (X direction). The first stacked body 20A and the second stacked body 20B are respectively composed of first electrodes 11a and second electrodes 11b arranged in a second direction (Y direction) orthogonal to the first direction (X direction), and first electrodes 11a and 11b. A semiconductor laminate 12 connected to 11a and the second electrode 11b, and a translucent member 14 arranged on the semiconductor laminate 12 are provided. The intermediate structure 30 has a first surface 30a where the first electrode 11a and the second electrode 11b are exposed from the light reflecting member 21. As shown in FIG. The intermediate structural body 30 may be prepared by being manufactured by an example of the manufacturing process described below, or may be prepared by purchasing a pre-manufactured intermediate structural body 30 . Hereinafter, a plurality of laminated bodies including the first laminated body 20A and the second laminated body 20B will be collectively referred to as "laminated body 20". Also, the first electrode 11a and the second electrode 11b are collectively referred to simply as "electrodes".

以下、中間構造体30を製造して準備する場合の一例を順に説明する。
先ず、図4A及び図4Bに示すように、基板100を準備する。基板100は、例えば、母材として絶縁性の基材を有し、上面100aに金属層101a及び金属層101bが設けられている。金属層101a及び金属層101bは複数対あり、例えばマトリクス状に配列されている。
An example of manufacturing and preparing the intermediate structure 30 will be described below in order.
First, as shown in FIGS. 4A and 4B, a substrate 100 is prepared. The substrate 100 has, for example, an insulating base material as a base material, and a metal layer 101a and a metal layer 101b are provided on the upper surface 100a. A plurality of pairs of metal layers 101a and 101b are arranged in a matrix, for example.

以下の説明においては、便宜上、XYZ直交座標系を採用する。金属層101aが配列された方向、及び、金属層101bが配列された方向を「X方向」とし、対をなす金属層101a及び金属層101bが配列された方向を「Y方向」とし、X方向及びY方向に対して直交する方向、すなわち、上面100aに対して垂直な方向を「Z方向」とする。 In the following description, an XYZ orthogonal coordinate system is used for convenience. The direction in which the metal layer 101a is arranged and the direction in which the metal layer 101b is arranged are defined as the "X direction", and the direction in which the pair of metal layers 101a and 101b are arranged is defined as the "Y direction". and the direction perpendicular to the Y direction, that is, the direction perpendicular to the upper surface 100a is defined as the “Z direction”.

金属層101a及び金属層101bの上面には、凸部101cが設けられていてもよい。凸部101cは、発光素子10の第1電極11a及び第2電極11bに対向する領域に位置する。凸部101cの上面の平面形状は、対応する発光素子10の第1電極11a及び第2電極11bの平面形状と略同じであることが好ましい。これにより、後述する接合部材103を介して一対の凸部101c上に発光素子10を配置する際に、発光素子10にセルフアライメントが効果的に働き、発光素子10の実装精度を向上させることができる。例えば、凸部101c及び発光素子10の電極の平面形状は、それぞれの対応する辺が略同じ長さ(許容範囲は±5%以下であり、好ましくは±3%以下である)を有する矩形状とすることができる。なお、本実施形態においては、図を簡略化するために、基板100に金属層101a及び101bが4対のみ設けられた例を示しているが、これには限定されず、より多くの金属層101a及び101bが設けられてもよい。 A convex portion 101c may be provided on the upper surface of the metal layer 101a and the metal layer 101b. The convex portion 101c is located in a region facing the first electrode 11a and the second electrode 11b of the light emitting element 10 . The planar shape of the upper surface of the convex portion 101c is preferably substantially the same as the planar shape of the corresponding first electrode 11a and second electrode 11b of the light emitting element 10 . As a result, when the light emitting element 10 is arranged on the pair of protrusions 101c via the bonding member 103, which will be described later, self-alignment works effectively on the light emitting element 10, and the mounting accuracy of the light emitting element 10 can be improved. can. For example, the planar shape of the projection 101c and the electrode of the light emitting element 10 is a rectangular shape in which corresponding sides have approximately the same length (allowable range is ±5% or less, preferably ±3% or less). can be In this embodiment, in order to simplify the drawing, an example in which only four pairs of metal layers 101a and 101b are provided on the substrate 100 is shown, but the present invention is not limited to this, and more metal layers can be used. 101a and 101b may be provided.

基板100は、後述するように、発光装置1を製造する一連の工程の途中で除去される。基板100の最大厚みは、例えば、100μm以上500μm以下であり、200μm以上300μm以下であることが好ましい。これにより、基板100の強度を保ちつつ、基板100の除去工程を容易にすることができる。基板100の母材としては、例えば、ガラス繊維強化樹脂を用いることができる。ガラス繊維強化樹脂は、例えば、熱膨張係数が3ppm/℃~10ppm/℃のBTレジンを用いることが好ましい。これにより、接合部材103としてAuSn合金等の融点の高い接合部材を用いることができる。また、ガラス繊維強化樹脂は、熱膨張係数が14~15ppm/℃のFR4材であってもよい。この場合は、接合部材103として融点が低い半田等を用いることで、基板100の信頼性を確保することができる。また、母材中に含まれるガラス繊維の含有率は、例えば30重量%~70重量%であり、40重量%~60重量%であることが好ましい。これにより、基板100を容易に除去することができる。 The substrate 100 is removed during a series of steps for manufacturing the light emitting device 1, as will be described later. The maximum thickness of the substrate 100 is, for example, 100 μm or more and 500 μm or less, preferably 200 μm or more and 300 μm or less. This makes it possible to facilitate the removal process of the substrate 100 while maintaining the strength of the substrate 100 . Glass fiber reinforced resin, for example, can be used as the base material of the substrate 100 . As the glass fiber reinforced resin, it is preferable to use, for example, BT resin having a thermal expansion coefficient of 3 ppm/°C to 10 ppm/°C. Thereby, a joining member having a high melting point such as an AuSn alloy can be used as the joining member 103 . Also, the glass fiber reinforced resin may be an FR4 material having a thermal expansion coefficient of 14 to 15 ppm/°C. In this case, the reliability of the substrate 100 can be ensured by using solder or the like with a low melting point as the bonding member 103 . Further, the content of the glass fiber contained in the base material is, for example, 30% to 70% by weight, preferably 40% to 60% by weight. Thereby, the substrate 100 can be easily removed.

金属層101a及び101bは、例えば銅や銅合金等を母材として形成することができる。また、金属層101a及び101bは、銅又は銅合金の母材上に、リンを含むニッケルめっき、パラジウムめっき、第1金めっき及び第2金めっきをこの順に施すことによって形成してもよい。銅又は銅合金を含む母材上に上記のめっきを積層することで、銅または銅合金に含まれる銅成分が拡散することを抑制でき、さらに金属層101a及び101bの表面において、酸化や硫化等の腐食を抑制することができる。これにより、例えば、基板100を長期間に渡って保管したとしても、基板100の劣化を抑制することができる。 The metal layers 101a and 101b can be formed using copper, a copper alloy, or the like as a base material, for example. Alternatively, the metal layers 101a and 101b may be formed by plating a copper or copper alloy base material with nickel plating containing phosphorus, palladium plating, first gold plating and second gold plating in this order. By laminating the above plating on a base material containing copper or a copper alloy, it is possible to suppress the diffusion of the copper component contained in the copper or copper alloy, and furthermore, the surfaces of the metal layers 101a and 101b may be oxidized, sulfided, or the like. corrosion can be suppressed. Thereby, for example, even if the substrate 100 is stored for a long period of time, deterioration of the substrate 100 can be suppressed.

基板100は、上面100aに、アライメントマーク102を有することが好ましい。アライメントマーク102は上面100a側から見たときの金属層101a及び金属層101bとの位置関係を把握するための目印である。アライメントマーク102は、凸部、凹部または凸部と凹部を組み合わせた形状とすることができる。アライメントマーク102の位置及び数は任意であるが、後の工程において光反射部材21によって覆われない位置に配置する。 Substrate 100 preferably has alignment marks 102 on top surface 100a. The alignment mark 102 is a mark for grasping the positional relationship between the metal layer 101a and the metal layer 101b when viewed from the upper surface 100a side. The alignment mark 102 can have a shape of a convex portion, a concave portion, or a combination of a convex portion and a concave portion. The position and number of the alignment marks 102 are arbitrary, but they are arranged at positions not covered by the light reflecting member 21 in the later steps.

アライメントマーク102は、金属層101a及び金属層101bを形成する工程と同時に形成することができる。これにより、後述するアライメントマーク102を目印とした発光素子10の載置工程において、位置決めの精度が向上する。アライメントマーク102は、例えば、銅又は銅合金の母材上に、リンを含むニッケルめっき、パラジウムめっき、第1金めっき及び第2金めっきがこの順に積層された部材とすることができる。 The alignment marks 102 can be formed simultaneously with the steps of forming the metal layers 101a and 101b. This improves the positioning accuracy in the process of mounting the light emitting element 10 using the alignment marks 102 described later. The alignment mark 102 can be, for example, a member in which phosphorous-containing nickel plating, palladium plating, first gold plating and second gold plating are laminated in this order on a copper or copper alloy base material.

次に、図5A及び図5Bに示すように、金属層101a上及び金属層101b上に接合部材103を設ける。接合部材103は、例えば半田である。金属層101a及び金属層101bが凸部101cを有する場合は、凸部101c上に接合部材103を設ける。そして、アライメントマーク102を基準として、基板100に発光素子10を実装する。発光素子10は、例えば、発光ダイオード(Light Emitting Diode:LED)であり、例えば、青色の光を出力する。 Next, as shown in FIGS. 5A and 5B, a bonding member 103 is provided on the metal layer 101a and the metal layer 101b. The joining member 103 is solder, for example. When the metal layer 101a and the metal layer 101b have the convex portion 101c, the joining member 103 is provided on the convex portion 101c. Then, the light emitting element 10 is mounted on the substrate 100 using the alignment mark 102 as a reference. The light emitting element 10 is, for example, a light emitting diode (LED), and outputs blue light, for example.

発光素子10には、第1電極11a及び第2電極11bと、半導体積層体12が設けられている。発光素子10は、第1電極11a及び第2電極11bの下面と、基板100の金属層101a及び金属層101bの上面とが対向するように実装される。発光素子10は、半導体積層体12における第1電極11a及び第2電極11bと接続する面の反対側の面に成長基板を有していてもよい。半導体積層体12においては、n層、発光層及びp層が積層されている。n層及びp層のうちの一方は第1電極11aに接続されており、他方は第2電極11bに接続されている。第1電極11a及び第2電極11bが例えば銅等の金属材料からなる場合は、第1電極11aおよび第2電極11bの表面に金等の金属層を設けることが好ましい。これにより、第1電極11aおよび第2電極11bの表面が酸化することを抑制できる。発光素子10を基板100に搭載することにより、発光素子10の第1電極11aは接合部材103を介して金属層101aに接続され、第2電極11bは接合部材103を介して金属層101bに接続される。 The light emitting element 10 is provided with a first electrode 11a, a second electrode 11b, and a semiconductor laminate 12 . The light emitting element 10 is mounted such that the lower surfaces of the first electrode 11a and the second electrode 11b and the upper surfaces of the metal layers 101a and 101b of the substrate 100 are opposed to each other. The light emitting element 10 may have a growth substrate on the surface of the semiconductor laminate 12 opposite to the surface connected to the first electrode 11a and the second electrode 11b. In the semiconductor laminate 12, an n layer, a light emitting layer and a p layer are laminated. One of the n-layer and p-layer is connected to the first electrode 11a, and the other is connected to the second electrode 11b. When the first electrode 11a and the second electrode 11b are made of a metal material such as copper, it is preferable to provide a metal layer such as gold on the surface of the first electrode 11a and the second electrode 11b. This can suppress oxidation of the surfaces of the first electrode 11a and the second electrode 11b. By mounting the light emitting element 10 on the substrate 100, the first electrode 11a of the light emitting element 10 is connected to the metal layer 101a via the bonding member 103, and the second electrode 11b is connected to the metal layer 101b via the bonding member 103. be done.

次に、図6A及び図6Bに示すように、透光性部材14を準備する。透光性部材14は、例えば、蛍光体層15a、蛍光体層15b、透光層16が積層された部材である。透光性部材14は、例えば、シート状の樹脂層からなる蛍光体層15a、蛍光体層15bおよび透光層16をこの順に貼り合わせることで形成される。 Next, as shown in FIGS. 6A and 6B, the translucent member 14 is prepared. The translucent member 14 is, for example, a member in which a phosphor layer 15a, a phosphor layer 15b, and a translucent layer 16 are laminated. The translucent member 14 is formed, for example, by laminating a phosphor layer 15a, a phosphor layer 15b, and a translucent layer 16 made of sheet-like resin layers in this order.

次に、図7A及び図7Bに示すように、発光素子10の上面上に樹脂材料からなる接着剤層13aを配置する。そして、透光性部材14を接着剤層13aを介して発光素子10に接着させる。透光性部材14が蛍光体層15a、蛍光体層15b及び透光層16を有する場合、蛍光体層15aと接着剤層13aとが接触するような向きで透光性部材14を発光素子10の上面上に配置する。このとき、接着剤層13aは、発光素子10と透光性部材14との間から溢れ出て、発光素子10の側面を被覆する。その後、接着剤層13aを固体化させる。これにより、透光性部材14が発光素子10に接着される。固体化した接着剤層13aは、導光部材13となる。 Next, as shown in FIGS. 7A and 7B, an adhesive layer 13a made of a resin material is arranged on the upper surface of the light emitting element 10. Next, as shown in FIGS. Then, the translucent member 14 is adhered to the light emitting element 10 via the adhesive layer 13a. When the translucent member 14 has the phosphor layer 15a, the phosphor layer 15b, and the translucent layer 16, the translucent member 14 is attached to the light emitting element 10 in such a direction that the phosphor layer 15a and the adhesive layer 13a are in contact with each other. placed on top of the At this time, the adhesive layer 13 a overflows from between the light emitting element 10 and the translucent member 14 to cover the side surfaces of the light emitting element 10 . After that, the adhesive layer 13a is solidified. Thereby, the translucent member 14 is adhered to the light emitting element 10 . The solidified adhesive layer 13 a becomes the light guide member 13 .

導光部材13が発光素子10の上面に加えて発光素子10の側面を被覆することにより、透光性部材14と発光素子10との接着力を向上させることができる。また、導光部材13が発光素子10の発光層を被覆することにより、発光素子10の側面に到達した光の一部が側面で反射され発光素子10内で減衰することを抑制でき、その光を導光部材13を通して積層体20の外側に取り出すことができる。これにより、発光装置1における光の取出効率を高めることができる。この効果を得るためには、導光部材13の光の透過率は高いことが好ましい。そのため通常、導光部材13は、光を反射、吸収又は散乱する添加物を実質的に含有しないことが好ましい。但し、導光部材13は、光拡散粒子及び/又は蛍光体を含有してもよい。 By covering the side surface of the light emitting element 10 in addition to the upper surface of the light emitting element 10 with the light guide member 13, the adhesion between the translucent member 14 and the light emitting element 10 can be improved. In addition, by covering the light emitting layer of the light emitting element 10 with the light guide member 13, it is possible to suppress part of the light that has reached the side surface of the light emitting element 10 from being reflected by the side surface and attenuating inside the light emitting element 10. can be extracted to the outside of the laminate 20 through the light guide member 13 . Thereby, the light extraction efficiency in the light emitting device 1 can be improved. In order to obtain this effect, it is preferable that the light transmittance of the light guide member 13 is high. Therefore, it is generally preferred that the light guide member 13 does not substantially contain additives that reflect, absorb, or scatter light. However, the light guide member 13 may contain light diffusing particles and/or phosphors.

このようにして、基板100上に、Y方向に配列された第1電極11a及び第2電極11b、第1電極11a及び第2電極11bと接続する半導体積層体12、及び半導体積層体12上に配置された透光性部材14を含む積層体20が複数形成される。複数の積層体20は、少なくともX方向に沿って配列されている。複数の積層体20は、X方向及びY方向の双方に沿って、マトリクス状に配列されていてもよい。複数の積層体20のうち、X方向において隣り合う2つの積層体20を、第1積層体20Aおよび第2積層体20Bともいう。 In this manner, on the substrate 100, the first electrode 11a and the second electrode 11b arranged in the Y direction, the semiconductor laminate 12 connected to the first electrode 11a and the second electrode 11b, and the semiconductor laminate 12 A plurality of laminates 20 including the arranged translucent members 14 are formed. A plurality of stacked bodies 20 are arranged along at least the X direction. The multiple laminates 20 may be arranged in a matrix along both the X direction and the Y direction. Among the plurality of laminates 20, two laminates 20 adjacent in the X direction are also referred to as a first laminate 20A and a second laminate 20B.

次に、図8A及び図8Bに示すように、基板100上に光反射部材21を形成する。光反射部材21は、金属層101a及び101b、接合部材103、並びに積層体20を覆う。光反射部材21を形成する工程は、例えば、複数の積層体20が形成された基板100を金型内に配置し、金型内に光反射部材21となる樹脂材料を注入し、樹脂材料を固体化することによって実施可能である。光反射部材21は、トランスファ成形、射出成形、圧縮成形またはポッティング法などの方法により形成することができる。光反射部材21は、アライメントマーク102を覆わないように形成することが好ましい。光反射部材21は、例えば、白色樹脂により形成する。このようにして、基板100上に光反射部材21及び複数の積層体20を含む中間構造体30が形成される。中間構造体30においては、光反射部材21内に複数の積層体20が少なくともX方向に沿って配列されている。 Next, as shown in FIGS. 8A and 8B, the light reflecting member 21 is formed on the substrate 100. FIG. The light reflecting member 21 covers the metal layers 101 a and 101 b, the joining member 103 and the laminate 20 . The process of forming the light reflecting member 21 includes, for example, placing the substrate 100 on which a plurality of laminates 20 are formed in a mold, injecting a resin material that will become the light reflecting member 21 into the mold, and filling the resin material. It can be carried out by solidification. The light reflecting member 21 can be formed by a method such as transfer molding, injection molding, compression molding or potting. It is preferable to form the light reflecting member 21 so as not to cover the alignment mark 102 . The light reflecting member 21 is made of, for example, white resin. In this manner, the intermediate structure 30 including the light reflecting member 21 and the multiple laminates 20 is formed on the substrate 100 . In the intermediate structural body 30 , a plurality of laminates 20 are arranged at least along the X direction within the light reflecting member 21 .

次に、図9A及び図9Bに示すように、中間構造体30の上面から光反射部材21を除去する。これにより、光反射部材21の新たに形成された上面において透光性部材14の透光層16が露出する。光反射部材21を除去する際には、光反射部材21に加えて、その下方に位置する透光層16の一部を除去してもよい。蛍光体層15bの上方に透光層16が配置されることで、光反射部材21を除去する工程において、蛍光体層15bが意図せず除去される可能性を低減することができる。光反射部材21を除去する方法としては、研削、エッチング、切削、ブラスト等の公知の方法を用いることができる。 Next, as shown in FIGS. 9A and 9B, the light reflecting member 21 is removed from the upper surface of the intermediate structure 30. Next, as shown in FIGS. As a result, the translucent layer 16 of the translucent member 14 is exposed on the newly formed upper surface of the light reflecting member 21 . When removing the light reflecting member 21, in addition to the light reflecting member 21, part of the translucent layer 16 located thereunder may be removed. By arranging the translucent layer 16 above the phosphor layer 15b, it is possible to reduce the possibility of the phosphor layer 15b being unintentionally removed in the step of removing the light reflecting member 21. FIG. As a method for removing the light reflecting member 21, known methods such as grinding, etching, cutting, and blasting can be used.

次に、図10A及び図10Bに示すように、中間構造体30の上面を粘着シート121を介してキャリア122に固定する。キャリア122は、例えば、シリコンウェハ又は金属基板である。以後の説明においては、これまでの説明に対して、図示の上下方向を逆転させる。すなわち、図4A~図9Bにおいては、半導体積層体12から透光性部材14に向かう方向を図示の上方向としていたが、図10A~図14Bにおいては、透光性部材14から半導体積層体12に向かう方向を図示の上方向とし、説明もこれに合わせて記載する。例えば、中間構造体30における基板100側の面を「上面30a」という。 Next, as shown in FIGS. 10A and 10B, the upper surface of intermediate structure 30 is fixed to carrier 122 via adhesive sheet 121 . Carrier 122 is, for example, a silicon wafer or a metal substrate. In the following description, the vertical direction of the drawings is reversed with respect to the description so far. That is, in FIGS. 4A to 9B, the direction from the semiconductor laminate 12 to the translucent member 14 is the upper direction in the drawing, but in FIGS. , is the upward direction in the drawing, and the description is also given accordingly. For example, the surface of the intermediate structural body 30 on the substrate 100 side is referred to as "upper surface 30a".

次に、基板100を除去する。基板100を除去する工程においては、基板100の上側から発光素子10の第1電極11a及び第2電極11bの一部までの範囲を除去する。このとき、光反射部材21の一部及び接合部材103の一部も除去される。なお、接合部材103は、一部のみが除去されてもよく、全てが除去されてもよい。基板100を除去することにより、製造後の発光装置1を小型化することができる。 Next, substrate 100 is removed. In the step of removing the substrate 100, the range from the upper side of the substrate 100 to part of the first electrode 11a and the second electrode 11b of the light emitting element 10 is removed. At this time, part of the light reflecting member 21 and part of the joining member 103 are also removed. Note that the joining member 103 may be partially removed, or may be entirely removed. By removing the substrate 100, the size of the light emitting device 1 after manufacturing can be reduced.

基板100の除去方法としては、研削、エッチング、切削、ブラスト等の公知の方法を用いることができる。特に、基板100を除去する方法として研削を用いることが好ましい。これにより、光反射部材21の露出面、第1電極11aの露出面、第2電極11bの露出面、及び、接合部材103の露出面が同一平面上に位置し、中間構造体30の上面30aを平坦にすることができる。その結果、製造される複数の発光装置1の形状のばらつきを抑制することができる。このようにして、中間構造体30を準備することができる。中間構造体30の第1面30a(上面30a)においては、第1電極11a及び第2電極11bが光反射部材21から露出している。 As a method for removing the substrate 100, known methods such as grinding, etching, cutting, and blasting can be used. In particular, it is preferable to use grinding as a method for removing the substrate 100 . As a result, the exposed surface of the light reflecting member 21, the exposed surface of the first electrode 11a, the exposed surface of the second electrode 11b, and the exposed surface of the bonding member 103 are positioned on the same plane, and the upper surface 30a of the intermediate structural body 30 is aligned. can be flattened. As a result, variations in the shape of the plurality of light emitting devices 1 to be manufactured can be suppressed. Thus, the intermediate structure 30 can be prepared. The first electrode 11 a and the second electrode 11 b are exposed from the light reflecting member 21 on the first surface 30 a (upper surface 30 a ) of the intermediate structure 30 .

また、基板100を除去する工程の後に、洗浄工程を行うことが好ましい。洗浄工程を行うことにより、中間構造体30の表面に基板100等の除去くずが付着して残存していたとしても、除去くずを効果的に除去することができる。洗浄工程は、気体若しくは液体の吹き付け、固体二酸化炭素等の昇華する粒子の吹き付け、又は液体に浸漬等をすることにより行われる。 Moreover, it is preferable to perform a cleaning process after the process of removing the substrate 100 . By performing the cleaning step, even if removal debris such as the substrate 100 adheres to the surface of the intermediate structure 30 and remains, the removal debris can be effectively removed. The cleaning step is performed by blowing gas or liquid, blowing sublimating particles such as solid carbon dioxide, or immersing in liquid.

以上が、中間構造体30を製造して準備する場合の一例の説明である。なお、前述したように、中間構造体30を準備する工程は、例えば図10A及び図10Bで示す中間構造体30を購入等して準備してもよい。 An example of manufacturing and preparing the intermediate structure 30 has been described above. As described above, the step of preparing the intermediate structural body 30 may be prepared by purchasing the intermediate structural body 30 shown in FIGS. 10A and 10B, for example.

(溝105a及び105bを形成する工程)
次に、好適には、図11A及び図11Bに示すように、中間構造体30の第1面30a(上面30a)に、X方向において隣り合う2つの第1電極11aに到達する溝105aを形成すると共に、X方向において隣り合う2つの第2電極11bに到達する溝105bを形成する。溝105aは、X方向において隣り合う2つの第1電極11aの一方から他方に向けてX方向に延びる。すなわち、溝105aは、第1積層体20Aの第1電極11aと第2積層体20Bの第1電極11aとの間に形成される。溝105bは、X方向において隣り合う2つの第2電極11bの一方から他方に向けてX方向に延びる。すなわち、溝105bは、第1積層体20Aの第2電極11bと第2積層体20Bの第2電極11bとの間に形成される。なお、各電極間に形成される溝105a及び溝105bはそれぞれ、1つであってもよく、複数であってもよい。溝105a及び105bの深さは、例えば、半導体積層体12に達しない深さであり、例えば、5μm以上30μm以下であり、好ましくは10μm以上20μm以下である。溝105a及び105bの幅、すなわち、Y方向における長さは、第1電極11a及び第2電極11bの幅よりも小さく、例えば、10μm以上200μm以下であり、好ましくは20μm以上100μm以下である。溝105a及び105bのYZ断面における形状は、例えば、半円形である。
(Step of forming grooves 105a and 105b)
Next, preferably, as shown in FIGS. 11A and 11B, grooves 105a reaching two first electrodes 11a adjacent in the X direction are formed in the first surface 30a (upper surface 30a) of the intermediate structure 30. At the same time, grooves 105b reaching two second electrodes 11b adjacent in the X direction are formed. The groove 105a extends in the X direction from one to the other of the two first electrodes 11a adjacent in the X direction. That is, the groove 105a is formed between the first electrode 11a of the first laminate 20A and the first electrode 11a of the second laminate 20B. The groove 105b extends in the X direction from one to the other of the two second electrodes 11b adjacent in the X direction. That is, the groove 105b is formed between the second electrode 11b of the first laminate 20A and the second electrode 11b of the second laminate 20B. Note that the number of grooves 105a and grooves 105b formed between the electrodes may be one, or plural. The depth of the grooves 105a and 105b is, for example, a depth that does not reach the semiconductor laminate 12, and is, for example, 5 μm or more and 30 μm or less, preferably 10 μm or more and 20 μm or less. The width of the grooves 105a and 105b, that is, the length in the Y direction, is smaller than the width of the first electrode 11a and the second electrode 11b, and is, for example, 10 μm or more and 200 μm or less, preferably 20 μm or more and 100 μm or less. The shape of the grooves 105a and 105b in the YZ cross section is, for example, semicircular.

溝105a及び105bを形成する方法は、例えば、レーザ光の照射、エッチング、ブラスト等の公知の方法を用いることができる。溝105a及び105bを形成する方法として、レーザ光の照射を用いることが好ましい。レーザ光を照射することでマスクなどを用いることがなく、光反射部材の一部のみを除去することができる。光反射部材の一部を除去する方法としてレーザ光の照射を用いる場合には、レーザ光の波長は、光反射部材に対する反射率が低い波長、例えば反射率が90%以下である波長を選択することが好ましい。レーザ光の例は、COレーザ、Nd:YAGレーザ、Nd:YVOレーザ等である。あるいは、532nmの波長を有するレーザを出力する、グリーンレーザと呼ばれるレーザ光を用いることも可能である。 As a method for forming the grooves 105a and 105b, known methods such as laser light irradiation, etching, and blasting can be used. As a method for forming the grooves 105a and 105b, laser light irradiation is preferably used. Only a part of the light reflecting member can be removed by irradiating with laser light without using a mask or the like. When laser light irradiation is used as a method for partially removing the light reflecting member, the wavelength of the laser light is selected to have a low reflectance with respect to the light reflecting member, for example, a wavelength with a reflectance of 90% or less. is preferred. Examples of laser light are CO2 lasers, Nd:YAG lasers, Nd: YVO4 lasers, and the like. Alternatively, it is also possible to use laser light called a green laser that outputs a laser having a wavelength of 532 nm.

(第1導電部材25c及び25dを形成する工程)
次に、図12A及び図12Bに示すように、中間構造体30の第1面30a(上面30a)において、X方向において隣り合う2つの第1電極11a間及び2つの第2電極11b間に、一対の第1導電部材25c及び25dを形成する。第1導電部材25cは、第1積層体20Aの第1電極11aと第2積層体20Bの第1電極11aとの間に形成する。また、第1導電部材25dは、第1積層体20Aの第2電極11bと第2積層体20Bの第2電極11bとの間に形成する。中間構造体30が溝105a及び105bを備える場合は、第1導電部材25cは溝105a内に配置され、第1導電部材25dは溝105b内に配置される。一対の第1導電部材25c及び25dは、例えば、上面30aにおいて、導電材料をスパッタ、蒸着、塗布、スタンプ、めっき等の公知の方法を用いて形成する。
(Step of forming first conductive members 25c and 25d)
Next, as shown in FIGS. 12A and 12B, on the first surface 30a (upper surface 30a) of the intermediate structural body 30, between two first electrodes 11a and two second electrodes 11b adjacent in the X direction, A pair of first conductive members 25c and 25d are formed. The first conductive member 25c is formed between the first electrode 11a of the first laminate 20A and the first electrode 11a of the second laminate 20B. Also, the first conductive member 25d is formed between the second electrode 11b of the first laminate 20A and the second electrode 11b of the second laminate 20B. Where intermediate structure 30 includes grooves 105a and 105b, first conductive member 25c is positioned within groove 105a and first conductive member 25d is positioned within groove 105b. The pair of first conductive members 25c and 25d are formed, for example, on the upper surface 30a by using a known method such as sputtering, vapor deposition, coating, stamping, or plating using a conductive material.

(切断面106を形成する工程)
次に、図13A及び図13Bに示すように、積層体20間に位置する光反射部材21並びに一対の第1導電部材25c及び25dを切断することにより、切断面106を形成する。第1の実施形態に係る発光装置1の製造方法では、切断面106を形成する工程は中間構造体30を個片化する工程により実施される。換言すると、中間構造体30を積層体20毎に個片化することにより、切断面106を形成する。切断面106においては、光反射部材21と、第1導電部材25c及び25dが露出する。2つに切断された第1導電部材25cが第1導電層25aとなり、2つに切断された第1導電部材25dが第1導電層25bとなる。中間構造体30を個片化する方法としては、例えば、中間構造体30の切断面に水等の流体を当てながらダイシングにより切断する。これにより、切断によって生じる熱に起因した光反射部材21等の変形を抑制できる。なお、切断方法としては、ドライカット法を含むダイシングやレーザ等の公知の切断方法を用いて実施することができる。
(Step of forming cut surface 106)
Next, as shown in FIGS. 13A and 13B, cut surfaces 106 are formed by cutting the light reflecting member 21 and the pair of first conductive members 25c and 25d positioned between the laminates 20. As shown in FIGS. In the method for manufacturing the light emitting device 1 according to the first embodiment, the step of forming the cut surface 106 is performed by the step of singulating the intermediate structure 30 . In other words, the cut surfaces 106 are formed by singulating the intermediate structure 30 into individual laminates 20 . At the cut surface 106, the light reflecting member 21 and the first conductive members 25c and 25d are exposed. The first conductive member 25c cut in two becomes the first conductive layer 25a, and the first conductive member 25d cut in two becomes the first conductive layer 25b. As a method for separating the intermediate structure 30 into individual pieces, for example, the intermediate structure 30 is cut by dicing while applying a fluid such as water to the cut surface of the intermediate structure 30 . As a result, deformation of the light reflecting member 21 and the like due to heat generated by cutting can be suppressed. As a cutting method, a known cutting method such as dicing including a dry cutting method or a laser can be used.

なお、中間構造体30を個片化する工程では、1つの積層体20のみを含むように個片化してもよく、複数の積層体20を含むように個片化してもよい。例えば、中間構造体30は、一方向に複数の積層体20が配列された状態で、個片化することができる。これにより、用途に応じた種々の発光装置を製造することができる。 In the step of singulating the intermediate structure 30 , it may be singulated so as to include only one layered body 20 or may be singulated so as to include a plurality of layered bodies 20 . For example, the intermediate structural body 30 can be singulated with a plurality of laminated bodies 20 arranged in one direction. As a result, various light-emitting devices can be manufactured according to their uses.

(第2導電部材26a及び26bを形成する工程)
次に、図14A及び図14Bに示すように、切断面106上に、第1導電部材25c(第1導電層25a)及び第1導電部材25d(第1導電層25b)にそれぞれ接続されるように、第2導電部材26a及び26bを形成する。図14Aおよび図14Bでは、第2導電部材26aは、第1面30a(上面30a)および切断面106において第1導電部材25cと接続するように形成されている。また、第2導電部材26bは、第1面30a(上面30a)および切断面106において第1導電部材25dと接続するように形成されている。なお、第2導電部材26a及び26bは、切断面106においてのみ第1導電部材25c及び25dと接続するように形成してもよい。
(Step of Forming Second Conductive Members 26a and 26b)
Next, as shown in FIGS. 14A and 14B, on the cut surface 106, the first conductive member 25c (first conductive layer 25a) and the first conductive member 25d (first conductive layer 25b) are connected to each other. , second conductive members 26a and 26b are formed. 14A and 14B, the second conductive member 26a is formed to connect with the first conductive member 25c at the first surface 30a (upper surface 30a) and the cut surface 106. In FIGS. Further, the second conductive member 26b is formed so as to be connected to the first conductive member 25d at the first surface 30a (upper surface 30a) and the cut surface 106. As shown in FIG. The second conductive members 26a and 26b may be formed so as to be connected to the first conductive members 25c and 25d only at the cut surface 106. FIG.

第2導電部材26a及び26bは、例えば、図14Aで示すように中間構造体30の第1面30a(上面30a)において、第1面30aの上方から導電材料をスタンプすることにより形成することができる。具体的には、第1積層体20Aの第1導電層25aおよび第2積層体20Bの第1導電層25aの双方に跨るように導電材料をスタンプする。これにより、各切断面106に導電材料が流れ込み、第1積層体20A側の第2導電部材26aおよび第2積層体20B側の第2導電部材26aを連続して形成することができる。第1積層体20A側の第2導電部材26aと、第2積層体20B側の第2導電部材26aとは、後の個片化工程において相互に分離される。第2導電部材26bについても、第2導電部材26aと同様に形成することができる。なお、第2導電部材26a及び26bは、各積層体20ごとに形成してもよい。第2導電部材26aと第2導電部材26bは相互に離隔させる。第2導電部材26a及び26bは、それぞれ、第2導電層26a及び26bとなる。 The second conductive members 26a and 26b can be formed, for example, by stamping a conductive material on the first surface 30a (upper surface 30a) of the intermediate structure 30 from above the first surface 30a as shown in FIG. 14A. can. Specifically, the conductive material is stamped across both the first conductive layer 25a of the first stacked body 20A and the first conductive layer 25a of the second stacked body 20B. Thereby, the conductive material flows into each cut surface 106, and the second conductive member 26a on the side of the first laminate 20A and the second conductive member 26a on the side of the second laminate 20B can be continuously formed. The second conductive member 26a on the side of the first laminate 20A and the second conductive member 26a on the side of the second laminate 20B are separated from each other in a later singulation step. The second conductive member 26b can also be formed in the same manner as the second conductive member 26a. Note that the second conductive members 26 a and 26 b may be formed for each laminate 20 . The second conductive member 26a and the second conductive member 26b are separated from each other. The second conductive members 26a and 26b become second conductive layers 26a and 26b, respectively.

また、第2導電部材26a及び26bは、塗布装置を用いてノズルから導電材料を塗布することにより形成することができる。具体的には、第1積層体20Aの第1導電層25aおよび第2積層体20Bの第1導電層25aの双方に跨るように導電材料を塗布することにより、各切断面106に導電材料が流れ込み、第1積層体20A側の第2導電部材26aおよび第2積層体20B側の第2導電部材26aを同時に形成することができる。この場合、ノズルを中間構造体30からZ方向に十分に離隔させて塗布するか、X方向に移動させながら塗布する。これにより、第1導電層25aに接するように第2導電部材26aが形成され、第1導電層25bに接するように第2導電部材26bが形成される。 Also, the second conductive members 26a and 26b can be formed by applying a conductive material from a nozzle using a coating device. Specifically, the conductive material is applied so as to straddle both the first conductive layer 25a of the first stacked body 20A and the first conductive layer 25a of the second stacked body 20B, so that the conductive material is applied to each cut surface 106. It is possible to simultaneously form the second conductive member 26a on the side of the first laminate 20A and the second conductive member 26a on the side of the second laminate 20B. In this case, the nozzle is sufficiently spaced from the intermediate structure 30 in the Z direction for application, or the application is performed while moving in the X direction. Thereby, the second conductive member 26a is formed so as to be in contact with the first conductive layer 25a, and the second conductive member 26b is formed so as to be in contact with the first conductive layer 25b.

このようにして、図1、図2A~図2Cに示す発光装置1が複数製造される。発光装置1は、粘着シート121から剥がす、又は、粘着シート121を除去することにより、個別に扱うことができる。なお、第2導電部材26a及び26bを形成する工程は、粘着シート121を除去した後に、個別に実施してもよい。 In this manner, a plurality of light emitting devices 1 shown in FIGS. 1 and 2A to 2C are manufactured. The light emitting device 1 can be handled individually by peeling off the adhesive sheet 121 or by removing the adhesive sheet 121 . The step of forming the second conductive members 26a and 26b may be performed separately after the adhesive sheet 121 is removed.

以下、本実施形態に係る発光装置1の製造方法、発光装置1及び光源装置50に含まれる各構成要素について、具体例を説明する。 Specific examples of the method for manufacturing the light emitting device 1 according to the present embodiment and the components included in the light emitting device 1 and the light source device 50 will be described below.

(発光素子10)
発光素子10は、例えばLEDチップである。発光素子10は、例えば、紫外~可視域の発光が可能な窒化物半導体(InAlGa1-x-yN、0≦x、0≦y、x+y≦1)を含む半導体積層構造を有し得る。発光素子10の発光ピーク波長は、発光装置1の発光効率、蛍光体の励起スペクトル及び混色性等を考慮して、400nm以上530nm以下が好ましく、420nm以上490nm以下がより好ましく、450nm以上475nm以下がさらに好ましい。
(Light emitting element 10)
The light emitting element 10 is, for example, an LED chip. The light-emitting element 10 has a semiconductor multilayer structure including, for example, a nitride semiconductor (In x Al y Ga 1-x-y N, 0≦x, 0≦y, x+y≦1) capable of emitting light in the ultraviolet to visible range. can have The emission peak wavelength of the light emitting element 10 is preferably 400 nm or more and 530 nm or less, more preferably 420 nm or more and 490 nm or less, and 450 nm or more and 475 nm or less, in consideration of the luminous efficiency of the light emitting device 1, the excitation spectrum of the phosphor, the color mixing property, and the like. More preferred.

発光装置1に含まれる発光素子10は1つでもよく、2つ以上でもよい。発光装置1に発光素子10が複数含まれる場合は、複数の発光素子は、例えば、青色光を出射する複数の青色発光素子、青色光、緑色光及び赤色光をそれぞれ出射する3つの発光素子、または、青色光を出射する発光素子と緑色光を出射する発光素子とを組み合わせたものを用いることができる。発光装置1を液晶表示装置等の光源として用いる場合、発光素子として、青色光を出射する1つの発光素子、青色光を出射する2つの発光素子、青色光を出射する3つ以上の発光素子、または、青色光を出射する発光素子と緑色光を出射する発光素子とを組み合わせたものを用いることが好ましい。青色光を出射する発光素子と緑色光を出射する発光素子は、いずれも半値幅が40nm以下の発光素子を用いることが好ましく、半値幅が30nm以下の発光素子を用いることがより好ましい。これにより、青色光及び緑色光が容易に鋭いピークを持つことができる。その結果、例えば、発光装置を液晶表示装置等の光源として用いる場合、液晶表示装置は高い色再現性を達成することができる。また、複数の発光素子は、直列、並列、または直列と並列を組み合わせた接続方法で電気的に接続することができる。 The number of light emitting elements 10 included in the light emitting device 1 may be one, or two or more. When the light-emitting device 1 includes a plurality of light-emitting elements 10, the plurality of light-emitting elements are, for example, a plurality of blue light-emitting elements that emit blue light, three light-emitting elements that emit blue light, green light, and red light, respectively; Alternatively, a combination of a light-emitting element that emits blue light and a light-emitting element that emits green light can be used. When the light-emitting device 1 is used as a light source for a liquid crystal display device or the like, the light-emitting elements include one light-emitting element that emits blue light, two light-emitting elements that emit blue light, three or more light-emitting elements that emit blue light, Alternatively, it is preferable to use a combination of a light-emitting element that emits blue light and a light-emitting element that emits green light. A light-emitting element that emits blue light and a light-emitting element that emits green light preferably have a half-value width of 40 nm or less, and more preferably have a half-value width of 30 nm or less. This allows blue light and green light to easily have sharp peaks. As a result, for example, when the light-emitting device is used as a light source for a liquid crystal display device, the liquid crystal display device can achieve high color reproducibility. Also, the plurality of light emitting elements can be electrically connected in series, in parallel, or in a connection method combining series and parallel.

発光素子10の平面形状は、特に限定されないが、正方形状や一方向に長い長方形状とすることができる。また、発光素子10の平面形状として、六角形状やその他の多角形状としてもよい。発光素子10は、一対の正負電極を有する。正負電極は、金、銀、銅、錫、白金、ロジウム、チタン、アルミニウム、タングステン、パラジウム、ニッケル又はこれらの合金で構成することができる。発光素子10の側面は、発光素子10の上面に対して垂直であってもよいし、内側又は外側に傾斜していてもよい。 The planar shape of the light emitting element 10 is not particularly limited, but may be a square shape or a rectangular shape elongated in one direction. Moreover, the planar shape of the light emitting element 10 may be a hexagonal shape or other polygonal shapes. The light emitting element 10 has a pair of positive and negative electrodes. The positive and negative electrodes can be composed of gold, silver, copper, tin, platinum, rhodium, titanium, aluminum, tungsten, palladium, nickel, or alloys thereof. The side surface of the light emitting element 10 may be perpendicular to the top surface of the light emitting element 10, or may be inclined inward or outward.

(透光性部材14)
透光性部材14は発光素子10上に設けられ、発光素子10を保護する部材である。透光性部材14は、単層であってもよく多層であってもよい。透光性部材14が複数の層を有する場合、各層の母材は同じであってもよく、異なっていてもよい。
(translucent member 14)
The translucent member 14 is provided on the light emitting element 10 to protect the light emitting element 10 . The translucent member 14 may be a single layer or multiple layers. When the translucent member 14 has a plurality of layers, the base material of each layer may be the same or different.

透光性部材14の母材としては、発光素子10が発する光に対して透光性を有するものが用いられる。本明細書において透光性を有するとは、発光素子10の発光ピーク波長における光透過率が、60%以上であることを指し、好ましくは70%以上であり、より好ましくは80%以上である。透光性部材14の母材は、例えば、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリカーボネート樹脂、アクリル樹脂、又はこれらの変性樹脂を用いることができる。特に、シリコーン樹脂及びエポキシ樹脂は、耐熱性及び耐光性に優れるため好適に用いられる。シリコーン樹脂としては、ジメチルシリコーン樹脂、フェニル-メチルシリコーン樹脂、ジフェニルシリコーン樹脂などが挙げられる。なお、本明細書における変性樹脂とは、ハイブリッド樹脂を含む。また、透光性部材14の母材はガラスであってもよい。 As the base material of the translucent member 14, a material having translucency to the light emitted from the light emitting element 10 is used. In this specification, having translucency means that the light transmittance at the emission peak wavelength of the light emitting element 10 is 60% or more, preferably 70% or more, and more preferably 80% or more. . For the base material of the translucent member 14, for example, silicone resin, epoxy resin, phenol resin, polycarbonate resin, acrylic resin, or modified resin thereof can be used. In particular, silicone resins and epoxy resins are preferably used because of their excellent heat resistance and light resistance. Examples of silicone resins include dimethylsilicone resin, phenyl-methylsilicone resin, and diphenylsilicone resin. In addition, the modified resin in this specification includes a hybrid resin. Also, the base material of the translucent member 14 may be glass.

透光性部材14は、光拡散粒子を含有していてもよい。光拡散粒子としては、酸化珪素、酸化アルミニウム、酸化ジルコニウム、酸化亜鉛などが挙げられる。光拡散粒子は、これらのうちの1種を単独で、又はこれらのうちの2種以上を組み合わせて用いることができる。特に、光拡散粒子として、線膨張係数の小さい酸化珪素を用いることが好ましい。また、光拡散粒子として、ナノ粒子を用いることが好ましい。これにより、発光素子が発する光の散乱が増大し、蛍光体の使用量を低減することができる。なお、ナノ粒子とは粒径が1nm以上100nm以下の粒子のことをいう。また、本明細書における粒径とは、主にD50で定義される。 The translucent member 14 may contain light diffusing particles. Light diffusing particles include silicon oxide, aluminum oxide, zirconium oxide, zinc oxide, and the like. The light diffusing particles can be used singly or in combination of two or more of them. In particular, it is preferable to use silicon oxide, which has a small linear expansion coefficient, as the light diffusing particles. Moreover, it is preferable to use nanoparticles as the light diffusing particles. As a result, scattering of light emitted by the light emitting element is increased, and the amount of phosphor used can be reduced. Note that nanoparticles refer to particles with a particle size of 1 nm or more and 100 nm or less. Moreover, the particle size in this specification is mainly defined by D50.

透光性部材14は、蛍光体を含むことができる。蛍光体は、発光素子10が発する一次光の少なくとも一部を吸収して、一次光とは異なる波長の二次光を発する部材である。蛍光体は、以下に示す蛍光体のうちの1種を単独で、又は2種以上を組み合わせて用いることができる。また、透光性部材14は、蛍光体と例えばアルミナなどの無機物との焼結体、又は蛍光体の板状結晶であってもよい。 The translucent member 14 may contain phosphor. The phosphor is a member that absorbs at least part of the primary light emitted by the light emitting element 10 and emits secondary light with a wavelength different from that of the primary light. As the phosphor, one of the phosphors shown below can be used alone, or two or more of them can be used in combination. Also, the translucent member 14 may be a sintered body of a phosphor and an inorganic material such as alumina, or a plate crystal of the phosphor.

蛍光体としては、イットリウム・アルミニウム・ガーネット系蛍光体(例えばY(Al,Ga)12:Ce)、ルテチウム・アルミニウム・ガーネット系蛍光体(例えばLu(Al,Ga)12:Ce)、テルビウム・アルミニウム・ガーネット系蛍光体(例えばTb(Al,Ga)12:Ce)、シリケート系蛍光体(例えば(Ba,Sr)SiO:Eu)、クロロシリケート系蛍光体(例えばCaMg(SiOCl:Eu)、βサイアロン系蛍光体(例えばSi6-zAl8-z:Eu(0<z<4.2))、SGS系蛍光体(例えばSrGa:Eu)、アルカリ土類アルミネート系蛍光体(例えば(Ba,Sr,Ca)MgAl1017-x:Eu,Mn)、αサイアロン系蛍光体(例えばM(Si,Al)12(O,N)16(但し、0<z≦2であり、MはLi、Mg、Ca、Y、及びLaとCeを除くランタニド元素))、窒素含有アルミノ珪酸カルシウム系蛍光体(例えば(Sr,Ca)AlSiN:Eu)、マンガン賦活フッ化物系蛍光体(一般式(I)A[M1-aMn]で表される蛍光体(但し、上記一般式(I)中、Aは、K、Li、Na、Rb、Cs及びNHからなる群から選ばれる少なくとも1種であり、Mは、第4族元素及び第14族元素からなる群から選ばれる少なくとも1種の元素であり、aは0<a<0.2を満たす))が挙げられる。イットリウム・アルミニウム・ガーネット系蛍光体は、Yの一部をGdで置換することで発光ピーク波長を長波長側にシフトさせることができる。また、マンガン賦活フッ化物系蛍光体の代表例としては、マンガン賦活フッ化珪酸カリウムの蛍光体(例えばKSiF:Mn)が挙げられる。 Examples of phosphors include yttrium-aluminum-garnet-based phosphors (eg, Y 3 (Al, Ga) 5 O 12 :Ce), lutetium-aluminum-garnet-based phosphors (eg, Lu 3 (Al, Ga) 5 O 12 : Ce), terbium-aluminum-garnet-based phosphors (e.g., Tb3 (Al, Ga) 5O12 :Ce), silicate-based phosphors (e.g., (Ba, Sr)2SiO4 : Eu), chlorosilicate-based phosphors (e.g. Ca 8 Mg(SiO 4 ) 4 Cl 2 :Eu), β-sialon phosphors (e.g. Si 6-z Al z O z N 8-z :Eu (0<z<4.2)), SGS-based Phosphors (eg SrGa 2 S 4 :Eu), alkaline earth aluminate phosphors (eg (Ba,Sr,Ca)Mg x Al 10 O 17-x :Eu,Mn), α-sialon phosphors (eg M z (Si, Al) 12 (O, N) 16 (where 0<z≦2, and M is a lanthanide element excluding Li, Mg, Ca, Y, and La and Ce)), nitrogen-containing aluminosilicate calcium-based phosphors (for example, (Sr, Ca)AlSiN 3 :Eu), manganese-activated fluoride-based phosphors (phosphors represented by the general formula (I) A 2 [M 1-a Mna F 6 ] (where , in the above general formula (I), A is at least one selected from the group consisting of K, Li, Na, Rb, Cs and NH4 , and M is composed of Group 4 elements and Group 14 elements is at least one element selected from the group, and a satisfies 0<a<0.2)); In the yttrium-aluminum-garnet-based phosphor, by substituting part of Y with Gd, the emission peak wavelength can be shifted to the longer wavelength side. A representative example of the manganese-activated fluoride-based phosphor is a manganese-activated potassium fluorosilicate phosphor (for example, K 2 SiF 6 :Mn).

透光性部材14は、蛍光体を含む蛍光体層15a及び/又は15bと、蛍光体を実質的に含有しない透光層16を備えることができる。蛍光体層15bの上面上に透光層16を備えることで、透光層16が保護層として機能を果たし、蛍光体層15b内の蛍光体の劣化を抑制することができる。 The translucent member 14 can include phosphor layers 15a and/or 15b containing phosphor and a translucent layer 16 that does not substantially contain phosphor. By providing the light-transmitting layer 16 on the upper surface of the phosphor layer 15b, the light-transmitting layer 16 functions as a protective layer, and deterioration of the phosphor in the phosphor layer 15b can be suppressed.

(光反射部材21)
光反射部材21は、発光装置1の上面方向への光取り出し効率の観点から、発光素子10の発光ピーク波長における光反射率が、70%以上であることが好ましく、80%以上であることがより好ましく、90%以上であることがさらに好ましい。さらに、光反射部材21は、白色であることが好ましい。光反射部材21は、母材となる樹脂材料に光反射性物質を含有することができる。光反射部材21は、液体状の樹脂材料を固体化することにより得ることができる。
(Light reflecting member 21)
From the viewpoint of the light extraction efficiency in the upper surface direction of the light emitting device 1, the light reflecting member 21 preferably has a light reflectance of 70% or more, more preferably 80% or more, at the emission peak wavelength of the light emitting element 10. More preferably, it is 90% or more. Furthermore, the light reflecting member 21 is preferably white. The light-reflecting member 21 can contain a light-reflecting substance in a resin material serving as a base material. The light reflecting member 21 can be obtained by solidifying a liquid resin material.

光反射部材21は、母材として樹脂材料を含むことができる。母材となる樹脂材料は、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂などを用いることができる。具体的には、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、シリコーン変性エポキシ樹脂などの変性エポキシ樹脂、エポキシ変性シリコーン樹脂などの変性シリコーン樹脂、変成シリコーン樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、飽和ポリエステル樹脂、ポリイミド樹脂、変性ポリイミド樹脂、ポリフタルアミド(PPA)、ポリカーボネート樹脂、ポリフェニレンサルファイド(PPS)、液晶ポリマー(LCP)、ABS樹脂、フェノール樹脂、アクリル樹脂、PBT樹脂等の樹脂を用いることができる。特に、光反射部材21の樹脂材料として、耐熱性及び耐光性に優れたエポキシ樹脂やシリコーン樹脂の熱硬化性樹脂を用いることが好ましい。 The light reflecting member 21 can contain a resin material as a base material. A thermosetting resin, a thermoplastic resin, or the like can be used as the resin material that serves as the base material. Specifically, epoxy resin, silicone resin, modified epoxy resin such as silicone-modified epoxy resin, modified silicone resin such as epoxy-modified silicone resin, modified silicone resin, unsaturated polyester resin, saturated polyester resin, polyimide resin, modified polyimide resin , polyphthalamide (PPA), polycarbonate resin, polyphenylene sulfide (PPS), liquid crystal polymer (LCP), ABS resin, phenol resin, acrylic resin, PBT resin, and the like. In particular, as the resin material of the light reflecting member 21, it is preferable to use a thermosetting resin such as an epoxy resin or a silicone resin that is excellent in heat resistance and light resistance.

光反射部材21においては、上記の母材となる樹脂材料が光反射性物質を含有することが好ましい。光反射性物質としては、発光素子10からの光を吸収しにくく、且つ、母材となる樹脂材料に対して屈折率差の大きい部材を用いることが好ましい。このような光反射性物質は、例えば、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化ケイ素、酸化ジルコニウム、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム等である。 In the light reflecting member 21, it is preferable that the resin material, which is the base material, contains a light reflecting substance. As the light-reflecting substance, it is preferable to use a member that hardly absorbs the light from the light-emitting element 10 and that has a large difference in refractive index with respect to the resin material that is the base material. Such light-reflecting substances are, for example, titanium oxide, zinc oxide, silicon oxide, zirconium oxide, aluminum oxide, aluminum nitride and the like.

(接着剤層13a、導光部材13)
導光部材13は、発光素子10の側面を被覆し、発光素子10の側面から出射される光を発光装置1の上面方向、すなわち、第3面40c側に導光する。接着剤層13a及び導光部材13の材料は、光反射部材21で例示した樹脂材料を用いることができる。特に、接着剤層13a及び導光部材13として、シリコーン樹脂、シリコーン変性樹脂、エポキシ樹脂、フェノール樹脂などの熱硬化性の透光性樹脂を用いることが好ましい。なお、接着剤層13a及び導光部材13は、光の透過率が高いことが好ましい。そのため通常、接着剤層13a及び導光部材13は、光を反射、吸収又は散乱する添加物は実質的に含有しないことが好ましい。なお、接着剤層13a及び導光部材13は、上述の透光性部材14と同様の光拡散粒子及び/又は蛍光体を含有してもよい。
(Adhesive layer 13a, light guide member 13)
The light guide member 13 covers the side surface of the light emitting element 10 and guides the light emitted from the side surface of the light emitting element 10 toward the upper surface of the light emitting device 1, that is, toward the third surface 40c. As materials for the adhesive layer 13a and the light guide member 13, the resin materials exemplified for the light reflecting member 21 can be used. In particular, it is preferable to use thermosetting translucent resin such as silicone resin, silicone-modified resin, epoxy resin, and phenol resin for the adhesive layer 13a and the light guide member 13 . The adhesive layer 13a and the light guide member 13 preferably have high light transmittance. Therefore, it is usually preferable that the adhesive layer 13a and the light guide member 13 do not substantially contain additives that reflect, absorb, or scatter light. The adhesive layer 13a and the light guide member 13 may contain light diffusing particles and/or phosphors similar to those of the translucent member 14 described above.

光反射部材21、導光部材13及び透光性部材14は、母材となる樹脂材料としてエポキシ樹脂を選択することができる。固体化した際にシリコーン樹脂よりも強度の高いエポキシ樹脂を選択することで、発光装置1の強度を向上させることができる。また、各部材の母材を同一種の樹脂材料で形成することで、各部材の密着強度を向上させることができる。また、上述の接着部材としてエポキシ樹脂を選択した場合、接着部材と光反射部材21等との接合強度を向上させることができる。 For the light reflecting member 21, the light guiding member 13, and the translucent member 14, an epoxy resin can be selected as a base resin material. The strength of the light-emitting device 1 can be improved by selecting an epoxy resin that is stronger than the silicone resin when solidified. Further, by forming the base material of each member from the same kind of resin material, it is possible to improve the adhesion strength of each member. Further, when epoxy resin is selected as the adhesive member, the bonding strength between the adhesive member and the light reflecting member 21 or the like can be improved.

(実装基板51)
実装基板51は、ガラスエポキシ樹脂、セラミック又はポリイミドなどからなる板状の母材を備えている。また、実装基板51は、母材上に、銅、金、銀、ニッケル、パラジウム、タングステン、クロム、チタン、又はこれらの合金などからなるランド部や配線パターンを備えている。ランド部や配線パターンは例えばメッキ、積層圧着、貼り付け、スパッタ、蒸着、エッチングなどの方法を用いて形成される。
(Mounting board 51)
The mounting substrate 51 has a plate-like base material made of glass epoxy resin, ceramic, polyimide, or the like. Moreover, the mounting substrate 51 has land portions and wiring patterns made of copper, gold, silver, nickel, palladium, tungsten, chromium, titanium, or alloys thereof on the base material. The land portion and the wiring pattern are formed using methods such as plating, lamination press-bonding, pasting, sputtering, vapor deposition, and etching.

(接合部材52a及び52b)
接合部材52a及び52bは、当該分野で公知の材料のいずれをも用いることができる。具体的には、接合部材52a及び52bは、例えば、錫-ビスマス系、錫-銅系、錫-銀系、金-錫系等の半田(具体的には、AgとCuとSnとを主成分とする合金、CuとSnとを主成分とする合金、BiとSnとを主成分とする合金等)、共晶合金(AuとSnとを主成分とする合金、AuとSiとを主成分とする合金、AuとGeとを主成分とする合金等)、銀、金、パラジウム等の導電性ペースト、バンプ、異方性導電材、低融点金属等のろう材等が挙げられる。
(Joining members 52a and 52b)
The joining members 52a and 52b can use any material known in the art. Specifically, the bonding members 52a and 52b are made of, for example, tin-bismuth-based, tin-copper-based, tin-silver-based, gold-tin-based solder (specifically, mainly Ag, Cu, and Sn). alloys containing Cu and Sn as main components, alloys containing Bi and Sn as main components, etc.), eutectic alloys (alloys containing Au and Sn as main components, Au and Si as main components, etc.) conductive pastes such as silver, gold, and palladium, bumps, anisotropic conductive materials, brazing materials such as low-melting metals, and the like.

(接着部材53)
接着部材53を設ける場合は、例えば、透光性部材14で列挙したエポキシ樹脂等の樹脂材料、又は、接合部材52a及び52bで列挙した材料により、接着部材53を形成することができる。接合部材52a及び52bと、接着部材53は、同一の材料により形成してもよく、別の材料により形成してもよい。接合部材52a及び52b、接着部材53を異なる材料により形成する場合は、接合部材52a及び52bは導電性の材料である半田により形成し、接着部材53はエポキシ樹脂等の樹脂材料により形成することができる。
(Adhesive member 53)
When the adhesive member 53 is provided, the adhesive member 53 can be formed of, for example, a resin material such as an epoxy resin listed for the translucent member 14 or a material listed for the bonding members 52a and 52b. The joining members 52a and 52b and the bonding member 53 may be made of the same material or may be made of different materials. When the bonding members 52a and 52b and the bonding member 53 are formed from different materials, the bonding members 52a and 52b can be formed from solder, which is a conductive material, and the bonding member 53 can be formed from a resin material such as epoxy resin. can.

次に、本実施形態の効果について説明する。
本実施形態においては、図12A及び図12Bに示す工程において、中間構造体30の上面30a上に一対の第1導電部材25c及び25dを形成している。第1導電部材25c及び25dは第1電極11a及び第2電極11bのそれぞれに接続され、X方向に延びる。次に、図13A及び図13Bに示す工程において、光反射部材21及び一対の第1導電部材25c及び25dを切断することにより、切断面106を形成している。これにより、第1導電部材25c及び25dが、それぞれ、第1導電層25a及び25bに分断される。次に、図14A及び図14Bに示す工程において、切断面106上に、一対の第1導電層25a及び25bに接続されるように、一対の第2導電層26a及び26bを形成している。この結果、構造体40の第1面40aと隣接した第2面40b上に、一対の第2導電層26a及び26bを設けることができる。
Next, the effects of this embodiment will be described.
In this embodiment, a pair of first conductive members 25c and 25d are formed on the upper surface 30a of the intermediate structure 30 in the steps shown in FIGS. 12A and 12B. The first conductive members 25c and 25d are connected to the first electrode 11a and the second electrode 11b, respectively, and extend in the X direction. 13A and 13B, a cut surface 106 is formed by cutting the light reflecting member 21 and the pair of first conductive members 25c and 25d. As a result, the first conductive members 25c and 25d are divided into the first conductive layers 25a and 25b, respectively. 14A and 14B, a pair of second conductive layers 26a and 26b are formed on the cut surface 106 so as to be connected to the pair of first conductive layers 25a and 25b. As a result, a pair of second conductive layers 26a and 26b can be provided on the second surface 40b of the structure 40 adjacent to the first surface 40a.

第2導電層26a及び26bは、発光装置1の主な外部電極として機能する。図3Aおよび図3Bに示すように、第2導電層26a及び26bを接合部材52a及び52bを介して実装基板51に接続することにより、側面発光型の発光装置1を実現することができる。構造体40の第1面40a側には、第1導電層25a及び25bと、第2導電層26a及び26bしか設けられていないため、発光装置1の小型化が可能である。 The second conductive layers 26 a and 26 b function as main external electrodes of the light emitting device 1 . As shown in FIGS. 3A and 3B, by connecting the second conductive layers 26a and 26b to the mounting board 51 through the bonding members 52a and 52b, the side emission type light emitting device 1 can be realized. Since only the first conductive layers 25a and 25b and the second conductive layers 26a and 26b are provided on the first surface 40a side of the structure 40, the size of the light emitting device 1 can be reduced.

また、本実施形態においては、図11A及び図11Bに示す工程において、中間構造体30の上面30aに一対の溝105a及び105bを形成し、図12A及び図12Bに示す工程において、一対の第1導電部材25c及び25dをそれぞれ一対の溝105a及び105b内に配置している。これにより、第1導電部材25c及び25dの位置を正確に決定することができる。この結果、例えば、第1導電層25aと第1導電層25bが短絡することを防止できる。また、第1導電層25a及び25bが構造体40の第1面40aから突出する高さを低減し、発光装置1をより小型化することができる。 11A and 11B, a pair of grooves 105a and 105b are formed in the upper surface 30a of the intermediate structural body 30, and a pair of first grooves 105a and 105b are formed in the steps shown in FIGS. Conductive members 25c and 25d are placed in a pair of grooves 105a and 105b, respectively. Thereby, the positions of the first conductive members 25c and 25d can be accurately determined. As a result, for example, short-circuiting between the first conductive layers 25a and 25b can be prevented. In addition, the height of the protrusion of the first conductive layers 25a and 25b from the first surface 40a of the structure 40 can be reduced, and the light emitting device 1 can be further miniaturized.

更に、本実施形態においては、図13A及び図13Bに示す工程において、中間構造体30を個片化することにより、切断面106を形成している。このため、切断面106を形成するための特別な工程が不要である。この結果、発光装置1の製造プロセスを簡略化でき、製造コストを低減することができる。 Furthermore, in the present embodiment, the cut surface 106 is formed by singulating the intermediate structure 30 in the steps shown in FIGS. 13A and 13B. Therefore, a special process for forming the cut surface 106 is not required. As a result, the manufacturing process of the light emitting device 1 can be simplified, and the manufacturing cost can be reduced.

<第2の実施形態>
次に、第2の実施形態について説明する。
図15は、本実施形態に係る発光装置2を示す端面図である。
<Second embodiment>
Next, a second embodiment will be described.
FIG. 15 is an end view showing the light emitting device 2 according to this embodiment.

(発光装置2)
図15に示すように、本実施形態に係る発光装置2は、構造体40の第2面(実装面)40bにある光反射部材21に部分的に突出する突出部21tを有する。突出部21tは、構造体40の第2面(実装面)40bにおける第3面(光出射面)40c側の領域において、積層体20から遠ざかる方向に突出している。そして、第2導電層26a及び26bの端部26tが、突出部21tの側面上に配置されている。端部26tは、第1導電層25a及び25b側の端部の反対側に位置する。
(Light emitting device 2)
As shown in FIG. 15, the light emitting device 2 according to this embodiment has a projecting portion 21t partially projecting to the light reflecting member 21 on the second surface (mounting surface) 40b of the structure 40. As shown in FIG. The protruding portion 21t protrudes away from the laminate 20 in a region of the second surface (mounting surface) 40b of the structure 40 on the side of the third surface (light emitting surface) 40c. End portions 26t of the second conductive layers 26a and 26b are arranged on the side surfaces of the projecting portion 21t. The end 26t is located on the side opposite to the end on the first conductive layers 25a and 25b side.

第2面(実装面)40bの第3面(光出射面)40c側に突出部21tが位置することで、発光装置2は第2面(実装面)40bの第1面40a側(背面側)に凹部41を有する。凹部41内には、発光装置2を実装基板上に配置する際に接合部材が入り込む。発光装置2が凹部41を有することで、第2面(実装面)40bが平坦面である場合に比べて接合部材と接する面積が増加する。その結果、発光装置2と実装基板との接合強度を向上させることができる。また、第2面(実装面)40bの第3面40c(光出射面)側に突出部21tが位置することで、第3面40c側に接合部材が流れていくことを抑制できる。その結果、発光装置2から出射される光が接合部材によって遮られる等の可能性を低減することができる。 Since the projecting portion 21t is positioned on the third surface (light emitting surface) 40c side of the second surface (mounting surface) 40b, the light emitting device 2 is positioned on the first surface 40a side (back side) of the second surface (mounting surface) 40b. ) has a recess 41 . A bonding member enters into the concave portion 41 when the light emitting device 2 is arranged on the mounting substrate. Since the light emitting device 2 has the concave portion 41, the area in contact with the bonding member is increased compared to the case where the second surface (mounting surface) 40b is a flat surface. As a result, the bonding strength between the light emitting device 2 and the mounting substrate can be improved. In addition, since the projecting portion 21t is positioned on the third surface 40c (light emitting surface) side of the second surface (mounting surface) 40b, it is possible to suppress the joining member from flowing toward the third surface 40c side. As a result, it is possible to reduce the possibility that the light emitted from the light emitting device 2 is blocked by the bonding member.

次に、本実施形態に係る発光装置の製造方法について説明する。
図16A~図18Bは本実施形態に係る発光装置の製造方法を示す図である。図16A~図18Aは平面図であり、図16B~図18Bは各平面図に対応する端面図である。図16Bは図16Aに示すH-H’線による端面図であり、図16Aと同じ工程を示す。図17B及び図18Bについても同様である。
Next, a method for manufacturing the light emitting device according to this embodiment will be described.
16A to 18B are diagrams showing the manufacturing method of the light emitting device according to this embodiment. 16A-18A are plan views, and FIGS. 16B-18B are end views corresponding to each plan view. FIG. 16B is an end view along line HH' shown in FIG. 16A, showing the same process as in FIG. 16A. The same applies to FIGS. 17B and 18B.

先ず、図4A~図12Bに示す工程を実施する。これらの工程の詳細な内容は、第1の実施形態と同様である。 First, the steps shown in FIGS. 4A to 12B are performed. The detailed contents of these steps are the same as in the first embodiment.

(切断面116を形成する工程)
次に、図16A及び図16Bに示すように、中間構造体30の上面30aに、孔115を形成する。孔115は、中間構造体30におけるX方向において隣り合う積層体20間の部分であって、第1導電部材25c及び25dを分断する位置に形成する。孔115を形成することにより、第1導電部材25cは2つの第1導電層25aに分割され、第1導電部材25dは2つの第1導電層25bに分割される。孔115の側面が、中間構造体30の切断面116となる。
(Step of forming cut surface 116)
Next, as shown in FIGS. 16A and 16B, holes 115 are formed in the upper surface 30a of the intermediate structure 30. Next, as shown in FIGS. The hole 115 is formed in a portion of the intermediate structural body 30 between the stacked bodies 20 adjacent in the X direction and at a position dividing the first conductive members 25c and 25d. By forming the hole 115, the first conductive member 25c is divided into two first conductive layers 25a and the first conductive member 25d is divided into two first conductive layers 25b. A side surface of the hole 115 becomes a cut surface 116 of the intermediate structure 30 .

孔115の幅、すなわち、X方向における長さは、例えば、X方向において隣り合う積層体20間の離隔距離の0.2倍以上1.0倍以下であり、好ましくは、0.5倍以上0.8倍以下である。孔115の深さは、第1導電部材25c及び25dの厚さ以上とする。孔115の深さは、例えば、第1導電部材25c及び25dの厚さの40倍以上であり、中間構造体30の厚さ、すなわち、Z方向の長さの0.5倍以下である。より好ましくは、孔115の深さは、第1導電部材25c及び25dの厚さの20倍以上であり、中間構造体30の厚さの0.8倍以下である。なお、図16A及び図16Bに示す例では、孔115は中間構造体30をZ方向に貫通していないが、貫通していてもよい。 The width of the hole 115, that is, the length in the X direction is, for example, 0.2 times or more and 1.0 times or less, preferably 0.5 times or more, the separation distance between the stacked bodies 20 adjacent in the X direction. 0.8 times or less. The depth of the hole 115 is greater than or equal to the thickness of the first conductive members 25c and 25d. The depth of the hole 115 is, for example, 40 times or more the thickness of the first conductive members 25c and 25d, and 0.5 times or less the thickness of the intermediate structure 30, that is, the length in the Z direction. More preferably, the depth of the hole 115 is 20 times or more the thickness of the first conductive members 25c and 25d and 0.8 times or less the thickness of the intermediate structure 30. FIG. In the example shown in FIGS. 16A and 16B, the hole 115 does not pass through the intermediate structure 30 in the Z direction, but it may pass through.

(第2導電部材26c及び26dを形成する工程)
次に、図17A及び図17Bに示すように、中間構造体30の上面30aから切断面116にわたって、第2導電部材26c及び26dを形成する。具体的には、液体状、ペースト状又は粉末状等の流動性を有する導電材料を、スパッタ、蒸着、塗布、スタンプ、めっき等の公知の方法を用いて形成する。
(Step of Forming Second Conductive Members 26c and 26d)
Next, as shown in FIGS. 17A and 17B, second conductive members 26c and 26d are formed from the upper surface 30a of the intermediate structure 30 to the cut surface 116. Next, as shown in FIGS. Specifically, a conductive material having fluidity such as liquid, paste, or powder is formed using a known method such as sputtering, vapor deposition, coating, stamping, or plating.

第2導電部材26cは第1導電層25a及び第1電極11aに接し、第2導電部材26dは第1導電層25b及び第2電極11bに接する。第2導電部材26cと第2導電部材26dは相互に離隔している。なお、第2導電部材26cは第1電極11aから離隔していてもよく、第2導電部材26dは第2電極11bから離隔していてもよい。 The second conductive member 26c contacts the first conductive layer 25a and the first electrode 11a, and the second conductive member 26d contacts the first conductive layer 25b and the second electrode 11b. The second conductive member 26c and the second conductive member 26d are separated from each other. The second conductive member 26c may be separated from the first electrode 11a, and the second conductive member 26d may be separated from the second electrode 11b.

(中間構造体30を個片化する工程)
次に、図18A及び図18Bに示すように、孔115を分断するように光反射部材21並びに第2導電部材26c及び26dを切断することにより、中間構造体30を個片化する。具体的には、X方向及びY方向に延び、中間構造体30をZ方向に貫通する溝117を形成する。溝117の幅(溝117のX方向の長さ)は、第2導電部材26c及び26dが除去されない範囲で設定される。例えば、溝117の幅をW117とし、孔115の幅をW115とし、第2導電部材26c及び26dの厚さをt26としたとき、以下の式を満たすように幅W117を設定する。
(Step of Individualizing Intermediate Structural Body 30)
Next, as shown in FIGS. 18A and 18B, the intermediate structure 30 is singulated by cutting the light reflecting member 21 and the second conductive members 26c and 26d so as to divide the hole 115. As shown in FIG. Specifically, grooves 117 extending in the X and Y directions and penetrating the intermediate structure 30 in the Z direction are formed. The width of the groove 117 (the length of the groove 117 in the X direction) is set within a range in which the second conductive members 26c and 26d are not removed. For example, when the width of the groove 117 is W117 , the width of the hole 115 is W115 , and the thickness of the second conductive members 26c and 26d is t26 , the width W117 is set so as to satisfy the following equation. .

117≦W115-2×t26 W 117 ≦W 115 −2×t 26

これにより、切断面116に第2導電部材26c及び26dを残留させることができる。第2導電部材26c及び26dの残留部分が、第2導電層26a及び26bとなる。このようにして、図15に示す発光装置2が製造される。光反射部材21のうち、孔115によっては分断されず、溝117によって分断された部分が、突出部21tとなる。 Thereby, the second conductive members 26 c and 26 d can be left on the cut surface 116 . The remaining portions of the second conductive members 26c and 26d become the second conductive layers 26a and 26b. Thus, the light emitting device 2 shown in FIG. 15 is manufactured. A portion of the light reflecting member 21 that is not divided by the hole 115 but is divided by the groove 117 serves as the projecting portion 21t.

一例では、孔115の幅W115は、20μm以上200μm以下であり、好ましくは、50μm以上100μm以下である。第2導電部材26c及び26dの厚さt26は、1μm以上10μm以下であり、好ましくは、3μm以上7μm以下である。溝117の幅W117は、15μm以上100μm以下であり、好ましくは、30μm以上70μm以下である。従って、突出部21tの高さは、1μm以上20μm以下であり、好ましくは、5μm以上10μm以下である。 In one example, the width W 115 of the hole 115 is between 20 μm and 200 μm, preferably between 50 μm and 100 μm. The thickness t26 of the second conductive members 26c and 26d is 1 μm or more and 10 μm or less, preferably 3 μm or more and 7 μm or less. The width W 117 of the groove 117 is 15 μm or more and 100 μm or less, preferably 30 μm or more and 70 μm or less. Therefore, the height of the projecting portion 21t is 1 μm or more and 20 μm or less, preferably 5 μm or more and 10 μm or less.

本実施形態によれば、光反射部材21に突出部21tを設けることにより、発光装置2を実装基板51に搭載したときに、構造体40の第2面40bと実装基板51の実装面51aとの間に、接合部材52a及び52bの少なくとも一部が収納されるスペースを形成することができる。これにより、実装基板51に対する発光装置2の位置が安定する。本実施形態における上記以外の構成、製造方法及び効果は、前述の第1の実施形態と同様である。 According to the present embodiment, by providing the projecting portion 21t on the light reflecting member 21, when the light emitting device 2 is mounted on the mounting board 51, the second surface 40b of the structure 40 and the mounting surface 51a of the mounting board 51 are separated from each other. A space in which at least a portion of the joining members 52a and 52b is accommodated can be formed between them. This stabilizes the position of the light emitting device 2 with respect to the mounting board 51 . The configuration, manufacturing method, and effects of this embodiment other than those described above are the same as those of the above-described first embodiment.

<第3の実施形態>
次に、第3の実施形態について説明する。
図19は、本実施形態に係る発光装置3を示す端面図である。
<Third Embodiment>
Next, a third embodiment will be described.
FIG. 19 is an end view showing the light emitting device 3 according to this embodiment.

(発光装置3)
図19に示すように、本実施形態に係る発光装置3においては、構造体40の第1面40aに溝105a及び105bが形成されておらず、第1導電層25a及び25bが第1面40aから突出している。このような発光装置3は、第1の実施形態に係る発光装置の製造方法において、図11A及び図11Bに示す工程を省略することにより、製造することができる。本実施形態によれば、第1の実施形態と比較して、製造プロセスをより簡略化することができる。本実施形態における上記以外の構成、製造方法及び効果は、前述の第1の実施形態と同様である。
(Light emitting device 3)
As shown in FIG. 19, in the light emitting device 3 according to this embodiment, the grooves 105a and 105b are not formed in the first surface 40a of the structural body 40, and the first conductive layers 25a and 25b are formed on the first surface 40a. protruding from Such a light emitting device 3 can be manufactured by omitting the steps shown in FIGS. 11A and 11B in the manufacturing method of the light emitting device according to the first embodiment. According to this embodiment, the manufacturing process can be simplified as compared with the first embodiment. The configuration, manufacturing method, and effects of this embodiment other than those described above are the same as those of the above-described first embodiment.

本発明は、例えば、表示装置の光源等に利用することができる。 INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can be used, for example, as a light source for a display device.

1、2、3:発光装置
10:発光素子
11a、11b:電極
12:半導体積層体
13:導光部材
13a:接着剤層
14:透光性部材
15a、15b:蛍光体層
16:透光層
20、20A、20B:積層体
21:光反射部材
21t:突出部
25a、25b:第1導電層
25c、25d:第1導電部材
26a、26b:第2導電層
26c、26d:第2導電部材
26t:端部
30:中間構造体
30a:上面
40:構造体
40a:第1面
40b:第2面
40c:第3面
40d:第4面
40e:第5面
40f:第6面
41:凹部
50:光源装置
51:実装基板
51a:実装面
52a、52b:接合部材
53:接着部材
100:基板
100a:上面
101a、101b:金属層
101c:凸部
102:アライメントマーク
103:接合部材
105a、105b:溝
106:切断面
115:孔
116:切断面
117:溝
121:粘着シート
122:キャリア
L:光
1, 2, 3: Light emitting device 10: Light emitting element 11a, 11b: Electrode 12: Semiconductor laminate 13: Light guide member 13a: Adhesive layer 14: Translucent member 15a, 15b: Phosphor layer 16: Translucent layer 20, 20A, 20B: Laminated body 21: Light reflecting member 21t: Protruding portion 25a, 25b: First conductive layer 25c, 25d: First conductive member 26a, 26b: Second conductive layer 26c, 26d: Second conductive member 26t : Edge 30: Intermediate structure 30a: Upper surface 40: Structure 40a: First surface 40b: Second surface 40c: Third surface 40d: Fourth surface 40e: Fifth surface 40f: Sixth surface 41: Concave portion 50: Light source device 51: Mounting substrate 51a: Mounting surface 52a, 52b: Joining member 53: Adhesive member 100: Substrate 100a: Upper surface 101a, 101b: Metal layer 101c: Projection 102: Alignment mark 103: Joining member 105a, 105b: Groove 106 : Cut surface 115: Hole 116: Cut surface 117: Groove 121: Adhesive sheet 122: Carrier L: Light

Claims (7)

光反射部材、前記光反射部材内に埋め込まれた第1積層体および前記光反射部材内に埋め込まれた第2積層体を含み、前記第1積層体と前記第2積層体が第1方向に配列された中間構造体であって、前記第1積層体および前記第2積層体は、それぞれ、発光素子および透光性部材を含み、前記発光素子は、前記第1方向と直交する第2方向に配列された第1電極および第2電極、ならびに、前記第1電極および前記第2電極と接続し、前記第1方向および前記第2方向の双方と直交する第3方向に積層された半導体積層体を含み前記透光性部材と前記半導体積層体は前記第3方向に配列されており前記第1電極および前記第2電極を基準として前記第3方向に位置し前記第1電極および前記第2電極が前記光反射部材から露出する第1面を有する中間構造体を準備する工程と、
前記第1面において、前記第1積層体の第1電極と前記第2積層体の第1電極との間、および、前記第1積層体の第2電極と前記第2積層体の第2電極との間を接続する一対の第1導電部材を形成する工程と、
前記第1積層体と前記第2積層体の間に位置する前記光反射部材及び前記一対の第1導電部材を切断することにより切断面を形成する工程と、
前記切断面上に、前記一対の第1導電部材にそれぞれ接続されるように、一対の第2導電部材を形成する工程と、
を備えた発光装置の製造方法。
a light reflecting member, a first layered body embedded in the light reflecting member , and a second layered body embedded in the light reflecting member , wherein the first layered body and the second layered body extend in a first direction; In the arranged intermediate structure, the first laminate and the second laminate respectively include a light-emitting element and a translucent member, and the light-emitting element extends in a second direction perpendicular to the first direction. and a semiconductor stack connected to the first electrode and the second electrode and stacked in a third direction orthogonal to both the first direction and the second direction. and the translucent member and the semiconductor laminate are arranged in the third direction , and are positioned in the third direction with respect to the first electrode and the second electrode. preparing an intermediate structure having a first surface where a second electrode is exposed from the light reflecting member;
On the first surface, between the first electrode of the first laminate and the first electrode of the second laminate, and between the second electrode of the first laminate and the second electrode of the second laminate forming a pair of first conductive members connecting between
a step of forming cut surfaces by cutting the light reflecting member and the pair of first conductive members positioned between the first laminate and the second laminate;
forming a pair of second conductive members on the cut surface so as to be connected to the pair of first conductive members, respectively;
A method for manufacturing a light-emitting device comprising
前記中間構造体の前記第1面において、前記第1積層体の第1電極と前記第2積層体の第1電極との間、および、前記第1積層体の第2電極と前記第2積層体の第2電極との間に一対の溝を形成する工程をさらに備え、
前記一対の第1導電部材は、前記一対の溝内に配置する請求項1記載の発光装置の製造方法。
Between the first electrode of the first laminate and the first electrode of the second laminate, and between the second electrode of the first laminate and the second laminate, on the first surface of the intermediate structure. further comprising forming a pair of grooves between the body and the second electrode;
2. The method of manufacturing a light-emitting device according to claim 1, wherein the pair of first conductive members are arranged in the pair of grooves.
前記一対の第1導電部材は導電ペーストであり、前記一対の第1導電部材を形成する工程は、前記導電ペーストを塗布する工程である請求項1または2に記載の発光装置の製造方法。 3. The method of manufacturing a light emitting device according to claim 1, wherein the pair of first conductive members is a conductive paste, and the step of forming the pair of first conductive members is a step of applying the conductive paste. 前記一対の第2導電部材を形成する工程は、導電材料を前記切断面にスタンプする工程を有する請求項1~3のいずれか1つに記載の発光装置の製造方法。 4. The method of manufacturing a light-emitting device according to claim 1, wherein the step of forming the pair of second conductive members includes stamping a conductive material onto the cut surface. 前記一対の第2導電部材を形成する工程は、導電材料を前記切断面に対してノズルを用いて塗布する工程を有する請求項1~3のいずれか1つに記載の発光装置の製造方法。 4. The method of manufacturing a light emitting device according to claim 1, wherein the step of forming the pair of second conductive members includes applying a conductive material to the cut surface using a nozzle. 前記切断面を形成する工程は、前記中間構造体を個片化する工程である請求項1~5のいずれか1つに記載の発光装置の製造方法。 6. The method of manufacturing a light-emitting device according to claim 1, wherein the step of forming the cut surface is a step of singulating the intermediate structure. 前記切断面を形成する工程は、前記第1積層体と前記第2積層体の間に位置する前記光反射部材に孔を形成する工程であり、
前記一対の第2導電部材を形成する工程の後、前記孔を分断するように切断することにより、前記中間構造体を個片化する工程をさらに備えた請求項1~5のいずれか1つに記載の発光装置の製造方法。
The step of forming the cut surface is a step of forming a hole in the light reflecting member positioned between the first laminate and the second laminate,
6. The method according to any one of claims 1 to 5, further comprising, after the step of forming the pair of second conductive members, the step of separating the intermediate structure into individual pieces by cutting the holes so as to separate them. 3. A method for manufacturing the light emitting device according to 1.
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