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JP7227939B2 - Light-shielding film photosensitive resin composition, light-shielding film and color filter obtained by curing the same - Google Patents
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Light-shielding film photosensitive resin composition, light-shielding film and color filter obtained by curing the same Download PDF

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Description

本発明は、遮光膜用感光性樹脂組成物、及びこれを硬化した遮光膜に関し、詳しくは、透明基板上に微細な遮光膜を形成するのに適したアルカリ水溶液現像型の遮光膜用感光性樹脂組成物、及びこれを硬化した遮光膜に関し、硬化させて得た遮光膜は、カラーフィルターのブラックマトリックス等を形成する際に好適に利用されるものである。 TECHNICAL FIELD The present invention relates to a photosensitive resin composition for a light-shielding film and a light-shielding film obtained by curing the composition. More specifically, the present invention relates to a photosensitive resin composition for a light-shielding film developed with an alkaline aqueous solution suitable for forming a fine light-shielding film on a transparent substrate. Regarding the resin composition and the light-shielding film obtained by curing the resin composition, the light-shielding film obtained by curing the resin composition is suitably used when forming a black matrix of a color filter or the like.

カラー液晶表示装置は、光の透過量あるいは反射量を制御する液晶部とカラーフィルターとを構成要素とするが、そのカラーフィルターの製造方法は、通常、ガラス、プラスチックシート等の透明基板の表面に黒色のマトリックスを形成し、続いて、赤、緑、青の異なる色相を順次、ストライプ状あるいはモザイク状等の色パターンで形成する方法が用いられている。 A color liquid crystal display device is composed of a liquid crystal portion that controls the amount of light transmission or reflection and a color filter. A method is used in which a black matrix is formed, and then different hues of red, green, and blue are sequentially formed in a color pattern such as stripes or mosaics.

ここ数年、液晶テレビ、液晶モニター、カラー液晶携帯電話など、あらゆる分野でカラー液晶表示装置が用いられてきた。カラーフィルターはカラー液晶表示装置の視認性を左右する重要な部材の一つであり、視認性の向上、すなわち、鮮明な画像を得るためには、カラーフィルターを構成する赤(R)、緑(G)、青(B)などの画素を今まで以上に高色純度化すると共に、ブラックマトリックスでは高遮光化を達成する必要があり、そのためには、感光性樹脂組成物に着色剤を従来より多量に添加しなければならない。 In recent years, color liquid crystal display devices have been used in various fields such as liquid crystal televisions, liquid crystal monitors, and color liquid crystal mobile phones. Color filters are one of the important components that affect the visibility of color liquid crystal display devices. It is necessary to improve the color purity of pixels such as G) and blue (B) to a higher degree than ever before, and to achieve a high degree of light shielding in the black matrix. A large amount must be added.

また、液晶表示装置において視野角、コントラスト、応答速度等の特性の向上のための改善が活発に行われており、カラーフィルターが接着されるパネルの構造が複雑化し、樹脂ブラックマトリックスパターンの基板に対する密着性、絶縁性などの要求特性が厳しくなってきている。 In addition, in liquid crystal display devices, improvements are actively being made to improve characteristics such as viewing angle, contrast, and response speed. The required properties such as adhesion and insulation are becoming stricter.

ところで、樹脂ブラックマトリックス用遮光材(黒色色材)としては、一般にカーボンブラックが知られているが、カーボンブラックは電気抵抗が低いため、表示装置の誤作動を引き起こす原因となる場合がある。特に広い視野角が得られるインプレーンスイッチング(IPS)方式の液晶表示装置においては、液晶層面内方向に電界を加えるため、ブラックマトリックスの抵抗値が低いと電界が正常に印加されず、液晶配向に乱れが生じて表示ムラの原因となる。 Incidentally, carbon black is generally known as a light-shielding material (black color material) for a resin black matrix. However, since carbon black has low electric resistance, it may cause malfunction of the display device. In an in-plane switching (IPS) liquid crystal display device, which provides a particularly wide viewing angle, an electric field is applied in the in-plane direction of the liquid crystal layer. Disturbance occurs and causes display unevenness.

そこで、カーボンブラックを用いてブラックマトリックスの電気抵抗を大きくする方法として、カーボンブラックの表面に樹脂を被覆する技術(特許文献1参照)が適用されてきたが、高抵抗にするために樹脂被覆量を増やすと、光パターンニング性を十分に保持した上で実現できる遮光度に限界があり、要求されるレベルの高遮光、高抵抗を実現することが困難になってきた。そこで、比較的高抵抗で高遮光が実現できるチタンブラックを遮光材として用いる技術(特許文献2参照)が開発されているが、光パターニング性や保存安定性が不足することが懸念される。 Therefore, as a method of increasing the electrical resistance of the black matrix using carbon black, a technique of coating the surface of carbon black with a resin (see Patent Document 1) has been applied. is increased, there is a limit to the degree of light shielding that can be achieved while maintaining sufficient photopatternability, and it has become difficult to achieve the required level of high light shielding and high resistance. Therefore, a technique using titanium black as a light-shielding material, which can achieve relatively high resistance and high light-shielding properties (see Patent Document 2), has been developed, but there is concern that photo-patternability and storage stability will be insufficient.

現在使用されているブラックマトリクスは、一般的に体積抵抗率(印加電圧1~10V)で1×1010Ω・cm以上であると言われており、上記特許文献2には1×1012Ω・cmの体積抵抗率が記載されている。ただし、それは、数V程度の交番電流をかけて測定された数値であり、一般に印加電圧が大きくなるほど体積抵抗率値は小さくなるものであるため、10Vの印加電圧では体積抵抗率値は更に低下してしまうことが懸念される。 Black matrices currently in use are generally said to have a volume resistivity (applied voltage of 1 to 10 V) of 1×10 10 Ω·cm or more. · cm volume resistivity is described. However, it is a numerical value measured by applying an alternating current of about several volts, and since the volume resistivity value generally decreases as the applied voltage increases, the volume resistivity value decreases further at an applied voltage of 10 V. It is feared that

特開2001-207079号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-207079 特開2008-260927号公報JP 2008-260927 A

本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、感光性樹脂組成物において、光学濃度ODが3.5/μm以上OD4.0/μm未満で電圧10V印加時に1×1012Ω・cm以上の体積抵抗率を保持する、またOD4.0/μm以上で電圧10V印加時に1×1011Ω・cm以上の体積抵抗率を保持する、といったように、高遮光と高抵抗を維持しつつ、例えば10μm以下といった細線を形成した場合にも現像密着性に優れ、8μmや6μmといった細線の形成も可能であり、ガラス基板との密着性も十分に確保できる、遮光膜用感光性樹脂組成物を提供することにある。本発明はまた、当該感光性樹脂組成物を用い、フォトリソグラフィー法により形成した遮光膜パターン等の硬化物であり、更には、当該硬化物を含むカラーフィルターやタッチパネルを提供することにある。 The present invention has been made in view of the above problems, and its object is to apply a voltage of 10 V to a photosensitive resin composition having an optical density OD of 3.5/μm or more and less than OD 4.0/μm. It maintains a volume resistivity of 1×10 12 Ω·cm or more at times, and maintains a volume resistivity of 1×10 11 Ω·cm or more when a voltage of 10 V is applied at an OD of 4.0/μm or more. While maintaining light shielding and high resistance, it has excellent development adhesion even when forming fine lines of, for example, 10 μm or less. An object of the present invention is to provide a photosensitive resin composition for a light shielding film. The present invention also provides a cured product such as a light-shielding film pattern formed by photolithography using the photosensitive resin composition, and further provides a color filter and a touch panel containing the cured product.

本発明者らは前記の課題を解決すべく検討を行った結果、重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂、光重合性モノマー、光重合開始剤、遮光成分、及び溶剤を含む感光性樹脂組成物の重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂として、特定の構造および酸価を有する重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂を配合することで、光パターニング特性に優れる感光性樹脂組成物とすることができ、高遮光と高抵抗の特性に優れた遮光性の硬化膜を得ることが可能であることを見い出し、本発明を完成させた。
すなわち、本発明の要旨は次のとおりである。
As a result of studies conducted by the present inventors to solve the above problems, a photosensitive resin composition containing a polymerizable unsaturated group-containing alkali-soluble resin, a photopolymerizable monomer, a photopolymerization initiator, a light shielding component, and a solvent By blending a polymerizable unsaturated group-containing alkali-soluble resin having a specific structure and acid value as the polymerizable unsaturated group-containing alkali-soluble resin, a photosensitive resin composition having excellent photopatterning properties can be obtained. , found that it is possible to obtain a light-shielding cured film having excellent properties of high light-shielding and high resistance, and completed the present invention.
That is, the gist of the present invention is as follows.

(1)本発明は、下記(A)~(E)成分、
(A)下記一般式(I)で表される化合物と(メタ)アクリル酸との反応物に、更に多価カルボン酸又はその無水物と反応させて得られる重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂、
(B)少なくとも1個のエチレン性不飽和結合を有する光重合性モノマー、
(C)光重合開始剤、
(D)黒色有機顔料、混色有機顔料及び遮光材からなる群から選ばれた1種以上の遮光成分、及び
(E)溶剤を、必須成分として含む遮光膜用感光性樹脂組成物において、
(A)成分が、重量平均分子量4000~7000、且つ、酸価が80~120mgKOH/gである重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂であることを特徴とする遮光膜用感光性樹脂組成物。

Figure 0007227939000001


但し、一般式(I)において、R1及びR2は、独立に水素原子、炭素数1~5のアルキル基、又はハロゲン原子を示し、Xは、フルオレン-9,9-ジイル基を示し、nは平均値0~10を示す。 (1) The present invention provides the following components (A) to (E),
(A) A polymerizable unsaturated group-containing alkali-soluble resin obtained by reacting a compound represented by the following general formula (I) with (meth)acrylic acid and further reacting it with a polyvalent carboxylic acid or its anhydride. ,
(B) a photopolymerizable monomer having at least one ethylenically unsaturated bond;
(C) a photoinitiator,
(D) one or more light-shielding components selected from the group consisting of black organic pigments, mixed-color organic pigments, and light-shielding materials;
A photosensitive resin composition for a light-shielding film, wherein the component (A) is a polymerizable unsaturated group-containing alkali-soluble resin having a weight average molecular weight of 4,000 to 7,000 and an acid value of 80 to 120 mgKOH/g.
Figure 0007227939000001


However, in general formula (I), R 1 and R 2 independently represent a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, or a halogen atom, X represents a fluorene-9,9-diyl group, n indicates an average value of 0-10.

(2)本発明はまた、前記(A)成分が、前記多価カルボン酸又はその無水物として(a)ジカルボン酸若しくはトリカルボン酸又はその酸無水物、及び(b)テトラカルボン酸又はその酸二無水物を、(a)/(b)のモル比が0.1~0.5となる範囲で反応させて得られたものであることを特徴とする(1)に記載の感光性樹脂組成物である。 (2) The present invention also provides that the component (A) comprises (a) a dicarboxylic acid or tricarboxylic acid or an acid anhydride thereof, and (b) a tetracarboxylic acid or an acid dicarboxylic acid thereof as the polycarboxylic acid or its anhydride. The photosensitive resin composition according to (1), which is obtained by reacting an anhydride at a molar ratio of (a)/(b) in the range of 0.1 to 0.5. It is a thing.

(3)本発明はまた、(A)成分と(B)成分との質量割合(A)/(B)が60/40~80/20であり、(A)成分と(B)成分の合計100質量部に対して(C)成分を2~30質量部含有し、且つ、(D)成分が遮光膜用感光性樹脂組成物の光硬化により固形分となる成分を含めた固形分中に40~70質量%含まれることを特徴とする(1)に記載の遮光膜用感光性樹脂組成物である。
(4)本発明はまた、(D)遮光成分が、カーボンブラックである(1)又は(2)に記載の遮光膜用感光性樹脂組成物である。
(5)本発明はまた、光学濃度ODが3.5/μm以上4.0/μm未満のとき、電圧10V印加時の体積抵抗率が1×1012Ω・cm以上となる塗膜を形成するのに用いられる(1)~(3)のいずれかに記載の遮光膜用感光性樹脂組成物である。
(6)本発明はまた、光学濃度ODが4.0/μm以上のとき、電圧10V印加時の体積抵抗率が1×1011Ω・cm以上となる塗膜を形成するのに用いられる(1)~(3)のいずれかに記載の遮光膜用感光性樹脂組成物である。
(7)本発明はまた、(1)~(6)のいずれかに記載の遮光膜用感光性樹脂組成物を硬化させて形成したことを特徴とする遮光膜である。
(8)本発明はまた、(1)~(6)のいずれかに記載の遮光膜用感光性樹脂組成物を透明基板上に塗布し、プリベークした後、紫外線露光装置による露光、アルカリ水溶液による現像、及びポストベークして作製された遮光膜を備えたことを特徴とするカラーフィルターである。
(3) In the present invention, the mass ratio (A)/(B) of component (A) and component (B) is 60/40 to 80/20, and the total of component (A) and component (B) 2 to 30 parts by mass of the component (C) per 100 parts by mass, and the solid content including the component where the component (D) becomes a solid content by photocuring of the photosensitive resin composition for a light shielding film 40 to 70% by mass of the photosensitive resin composition for a light-shielding film according to (1).
(4) The present invention also provides the photosensitive resin composition for a light-shielding film according to (1) or (2), wherein (D) the light-shielding component is carbon black.
(5) The present invention also forms a coating film having a volume resistivity of 1×10 12 Ω·cm or more when a voltage of 10 V is applied when the optical density OD is 3.5/μm or more and less than 4.0/μm. The photosensitive resin composition for a light-shielding film according to any one of (1) to (3), which is used for forming a light-shielding film.
(6) The present invention is also used to form a coating film having an optical density OD of 4.0/μm or more and a volume resistivity of 1×10 11 Ω·cm or more when a voltage of 10 V is applied ( A photosensitive resin composition for a light shielding film according to any one of 1) to (3).
(7) The present invention also provides a light-shielding film formed by curing the photosensitive resin composition for a light-shielding film according to any one of (1) to (6).
(8) The present invention also provides a method in which the photosensitive resin composition for a light-shielding film according to any one of (1) to (6) is coated on a transparent substrate, pre-baked, exposed with an ultraviolet exposure device, and subjected to an alkaline aqueous solution. A color filter characterized by comprising a light-shielding film produced by development and post-baking.

(9)本発明はまた、下記(A)~(F)成分、
(A)前記一般式(I)で表される化合物と(メタ)アクリル酸との反応物に、更に多価カルボン酸又はその無水物と反応させて得られる重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂、
(B)少なくとも1個のエチレン性不飽和結合を有する光重合性モノマー、
(C)光重合開始剤、
(D)黒色有機顔料、混色有機顔料及び遮光材からなる群から選ばれた1種以上の遮光成分、
(E)溶剤、及び
(F)分散剤を、必須成分として含む遮光膜用感光性樹脂組成物の製造方法であって、
前記(A)成分が、前記多価カルボン酸又はその無水物として(a)ジカルボン酸若しくはトリカルボン酸又はその酸無水物、及び(b)テトラカルボン酸又はその酸二無水物を、(a)/(b)のモル比が0.1~0.5となる範囲で反応させて得られたものであり、且つ、酸価が80~120mgKOH/gである重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂であり、
前記(D)成分を(A)成分の一部及び(F)分散剤と共に、予め(E)成分の一部に分散させた後、残りの(A)成分、(B)成分、(C)成分、及び残りの(E)成分と混合することを特徴とする遮光膜用感光性樹脂組成物の製造方法である。
(9) The present invention also provides the following components (A) to (F),
(A) a polymerizable unsaturated group-containing alkali-soluble resin obtained by further reacting a reaction product of the compound represented by the general formula (I) and (meth)acrylic acid with a polyvalent carboxylic acid or an anhydride thereof; ,
(B) a photopolymerizable monomer having at least one ethylenically unsaturated bond;
(C) a photoinitiator,
(D) one or more light-shielding components selected from the group consisting of black organic pigments, mixed-color organic pigments, and light-shielding materials;
A method for producing a photosensitive resin composition for a light-shielding film containing (E) a solvent and (F) a dispersant as essential components,
The component (A) contains (a) a dicarboxylic acid or tricarboxylic acid or an acid anhydride thereof and (b) a tetracarboxylic acid or an acid anhydride thereof as the polyvalent carboxylic acid or anhydride thereof, and (a)/ A polymerizable unsaturated group-containing alkali-soluble resin obtained by reacting (b) at a molar ratio of 0.1 to 0.5 and having an acid value of 80 to 120 mgKOH/g can be,
After previously dispersing the component (D) in part of the component (E) together with a portion of the component (A) and a dispersant (F), the remaining components (A), (B), and (C) A method for producing a photosensitive resin composition for a light-shielding film, characterized by mixing the component and the remaining component (E).

本発明の遮光膜用感光性樹脂組成物は、OD3.5/μm程度の高遮光の遮光膜で、10Vの印加電圧でも体積抵抗率1×1012Ω・cm以上といった高抵抗を維持することが可能であり、線幅が10μm、さらに、8μm、6μmといった細線を形成した場合にも現像密着性に優れており、しかも、ガラス基板との密着性を十分に確保できる。 The photosensitive resin composition for a light-shielding film of the present invention is a highly light-shielding film with an OD of about 3.5/μm, and maintains a high resistance such as a volume resistivity of 1×10 12 Ω·cm or more even when a voltage of 10 V is applied. is possible, and even when thin lines with a line width of 10 μm, 8 μm, and 6 μm are formed, the development adhesion is excellent, and the adhesion to the glass substrate can be sufficiently secured.

以下、本発明について詳細に説明する。
(A)成分の重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂は、一般式(I)で表されるエポキシ化合物に、(メタ)アクリル酸(これは「アクリル酸及び/又はメタクリル酸」の意味である)を反応させ、得られたヒドロキシ基を有する化合物に(a)ジカルボン酸若しくはトリカルボン酸又はその酸無水物、及び(b)テトラカルボン酸又はその酸二無水物を反応させて得られるエポキシ(メタ)アクリレート酸付加物である。一般式(I)で表されるエポキシ化合物は、ビスフェノール類とエピハロヒドリンを反応させて得られるエポキシ化合物又はこれと同等物を意味する。(A)成分は、重合性不飽和二重結合とカルボキシル基とを併せ持つため、感光性樹脂組成物に優れた光硬化性、良現像性、パターニング特性を与え遮光膜の物性向上をもたらす。

Figure 0007227939000002


但し、一般式(I)において、R1及びR2は、独立に水素原子、炭素数1~5のアルキル基、又はハロゲン原子を示し、Xは、‐CO‐、-SO2-、‐C(CF3)2-、-Si(CH3)2‐、-CH2‐、-C(CH3)2‐、-O-、又は、フルオレン-9,9-ジイル基又は不存在を示し、nは0~10の平均値である。 The present invention will be described in detail below.
The polymerizable unsaturated group-containing alkali-soluble resin of the component (A) is an epoxy compound represented by the general formula (I), (meth)acrylic acid (which means "acrylic acid and / or methacrylic acid" ), and the obtained compound having a hydroxy group is reacted with (a) a dicarboxylic acid or tricarboxylic acid or its acid anhydride, and (b) a tetracarboxylic acid or its acid dianhydride to obtain an epoxy (meta ) is an acrylate acid adduct. The epoxy compound represented by formula (I) means an epoxy compound obtained by reacting a bisphenol with epihalohydrin or an equivalent thereof. Since component (A) has both a polymerizable unsaturated double bond and a carboxyl group, it imparts excellent photocurability, good developability, and patterning properties to the photosensitive resin composition, and improves the physical properties of the light-shielding film.
Figure 0007227939000002


However, in general formula (I), R 1 and R 2 independently represent a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, or a halogen atom, and X represents -CO-, -SO 2 -, -C ( CF3 ) 2- , -Si( CH3 ) 2- , -CH2- , -C( CH3 ) 2- , -O-, or fluorene-9,9-diyl group or absent; n is an average value of 0-10.

一般式(I)のエポキシ化合物を与えるビスフェノール類としては、ビス(4-ヒドロキシフェニル)ケトン、ビス(4-ヒドロキシ-3,5-ジメチルフェニル)ケトン、ビス(4-ヒドロキシ-3,5-ジクロロフェニル)ケトン、ビス(4-ヒドロキシフェニル)スルホン、ビス(4-ヒドロキシ-3,5-ジメチルフェニル)スルホン、ビス(4-ヒドロキシ-3,5-ジクロロフェニル)スルホン、ビス(4-ヒドロキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン、ビス(4-ヒドロキシ-3,5-ジメチルフェニル)ヘキサフルオロプロパン、ビス(4-ヒドロキシ-3,5-ジクロロフェニル)ヘキサフルオロプロパン、ビス(4-ヒドロキシフェニル)ジメチルシラン、ビス(4-ヒドロキシ-3,5-ジメチルフェニル)ジメチルシラン、ビス(4-ヒドロキシ-3,5-ジクロロフェニル)ジメチルシラン、ビス(4-ヒドロキシフェニル)メタン、ビス(4-ヒドロキシ-3,5-ジクロロフェニル)メタン、ビス(4-ヒドロキシ-3,5-ジブロモフェニル)メタン、2,2-ビス(4-ヒドロキシフェニル)プロパン、2,2-ビス(4-ヒドロキシ-3,5-ジメチルフェニル)プロパン、2,2-ビス(4-ヒドロキシ-3,5-ジクロロフェニル)プロパン、2,2-ビス(4-ヒドロキシ-3-メチルフェニル)プロパン、2,2-ビス(4-ヒドロキシ-3- クロロフェニル)プロパン、ビス(4-ヒドロキシフェニル)エーテル、ビス(4-ヒドロキシ-3,5-ジメチルフェニル)エーテル、ビス(4-ヒドロキシ-3,5-ジクロロフェニル)エーテル、9,9-ビス(4-ヒドロキシフェニル)フルオレン、9,9-ビス(4-ヒドロキシ-3-メチルフェニル)フルオレン、9,9-ビス(4-ヒドロキシ-3-クロロフェニル)フルオレン、9, 9-ビス(4-ヒドロキシ-3-ブロモフェニル)フルオレン、9,9-ビス(4-ヒドロキシ-3-フルオロフェニル)フルオレン、9,9-ビス(4-ヒドロキシ-3-メトキシフェニル)フルオレン、9,9-ビス(4-ヒドロキシ-3,5-ジメチルフェニル)フルオレン、9,9-ビス(4-ヒドロキシ-3,5-ジクロロフェニル)フルオレン、9,9-ビス(4-ヒドロキシ-3,5-ジブロモフェニル)フルオレン、4,4'-ビフェノール、3,3'-ビフェノール等を挙げられる。この中でも、一般式(I)におけるXがフルオレン-9,9-ジイル基であるビスフェノール類を特に好ましく用いることができる。 Bisphenols that give the epoxy compound of general formula (I) include bis(4-hydroxyphenyl)ketone, bis(4-hydroxy-3,5-dimethylphenyl)ketone, bis(4-hydroxy-3,5-dichlorophenyl) ) ketone, bis(4-hydroxyphenyl)sulfone, bis(4-hydroxy-3,5-dimethylphenyl)sulfone, bis(4-hydroxy-3,5-dichlorophenyl)sulfone, bis(4-hydroxyphenyl)hexafluoro Propane, bis(4-hydroxy-3,5-dimethylphenyl)hexafluoropropane, bis(4-hydroxy-3,5-dichlorophenyl)hexafluoropropane, bis(4-hydroxyphenyl)dimethylsilane, bis(4-hydroxy -3,5-dimethylphenyl)dimethylsilane, bis(4-hydroxy-3,5-dichlorophenyl)dimethylsilane, bis(4-hydroxyphenyl)methane, bis(4-hydroxy-3,5-dichlorophenyl)methane, bis (4-hydroxy-3,5-dibromophenyl)methane, 2,2-bis(4-hydroxyphenyl)propane, 2,2-bis(4-hydroxy-3,5-dimethylphenyl)propane, 2,2- Bis(4-hydroxy-3,5-dichlorophenyl)propane, 2,2-bis(4-hydroxy-3-methylphenyl)propane, 2,2-bis(4-hydroxy-3-chlorophenyl)propane, bis(4 -hydroxyphenyl) ether, bis(4-hydroxy-3,5-dimethylphenyl) ether, bis(4-hydroxy-3,5-dichlorophenyl) ether, 9,9-bis(4-hydroxyphenyl)fluorene, 9, 9-bis(4-hydroxy-3-methylphenyl)fluorene, 9,9-bis(4-hydroxy-3-chlorophenyl)fluorene, 9,9-bis(4-hydroxy-3-bromophenyl)fluorene, 9, 9-bis(4-hydroxy-3-fluorophenyl)fluorene, 9,9-bis(4-hydroxy-3-methoxyphenyl)fluorene, 9,9-bis(4-hydroxy-3,5-dimethylphenyl)fluorene , 9,9-bis(4-hydroxy-3,5-dichlorophenyl)fluorene, 9,9-bis(4-hydroxy-3,5-dibromophenyl)fluorene, 4,4′-biphenol, 3,3′- Biphenol etc. are mentioned. Among these, bisphenols in which X in general formula (I) is a fluorene-9,9-diyl group can be particularly preferably used.

(A)のアルカリ可溶性樹脂へと誘導するための一般式(I)の化合物は、上記ビスフェノール類とエピクロルヒドリンとを反応させて得られる2個のグリシジルエーテル基を有するエポキシ化合物である。この反応の際には、一般にジグリシジルエーテル化合物のオリゴマー化を伴い、nは通常は複数の値が混在するため平均値0~10(整数とは限らない)となるが、好ましいnの平均値は0~3である。nの平均値が上限値を超えると、当該エポキシ化合物使用して合成したアルカリ可溶性樹脂を用いた感光性樹脂組成物としたときに組成物の粘度が大きくなりすぎて塗工がうまく行かなくなったり、アルカリ可溶性を十分に付与できずアルカリ現像性が非常に悪くなったりする。 The compound of general formula (I) for deriving the alkali-soluble resin (A) is an epoxy compound having two glycidyl ether groups obtained by reacting the above bisphenols with epichlorohydrin. This reaction generally involves oligomerization of a diglycidyl ether compound, and n usually has a plurality of values, so the average value of 0 to 10 (not necessarily an integer) is preferred, but the preferred average value of n is 0-3. If the average value of n exceeds the upper limit, when the composition is made into a photosensitive resin composition using the alkali-soluble resin synthesized using the epoxy compound, the viscosity of the composition becomes too large, and the coating becomes difficult. In other words, sufficient alkali solubility cannot be imparted, and the alkali developability is very poor.

次に、一般式(I)の化合物に対して、例えば不飽和基含有モノカルボン酸としてアクリル酸若しくはメタクリル酸又はこれらの両方を反応させ、これにより得られたヒドロキシ基を有する反応物に対して、(a)ジカルボン酸若しくはトリカルボン酸又はその酸無水物、及び(b)テトラカルボン酸又はその酸二無水物を反応させる。その際、(a)/(b)のモル比が0.01~0.5となる範囲で反応させる。この反応によりエポキシ(メタ)アクリレート酸付加物の構造を有する重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂を得る。 Next, the compound of general formula (I) is reacted with, for example, acrylic acid or methacrylic acid as an unsaturated group-containing monocarboxylic acid, or both of them, and the resulting reaction product having a hydroxy group is , (a) a dicarboxylic or tricarboxylic acid or anhydride thereof, and (b) a tetracarboxylic acid or anhydride thereof. At that time, the reaction is carried out in a range where the molar ratio of (a)/(b) is 0.01 to 0.5. This reaction yields a polymerizable unsaturated group-containing alkali-soluble resin having the structure of an epoxy (meth)acrylate acid adduct.

エポキシ(メタ)アクリレート酸付加物に利用される(a)ジカルボン酸若しくはトリカルボン酸又はその酸無水物としては、鎖式炭化水素ジカルボン酸若しくはトリカルボン酸又はその酸無水物や脂環式ジカルボン酸若しくはトリカルボン酸又はその酸無水物、芳香族ジカルボン酸若しくはトリカルボン酸又はその酸無水物が使用される。ここで、鎖式炭化水素ジカルボン酸若しくはトリカルボン酸又はその酸無水物としては、例えば、コハク酸、アセチルコハク酸、マレイン酸、アジピン酸、イタコン酸、アゼライン酸、シトラリンゴ酸、マロン酸、グルタル酸、クエン酸、酒石酸、オキソグルタル酸、ピメリン酸、セバシン酸、スベリン酸、ジグリコール酸等の化合物があり、更には任意の置換基が導入されたジカルボン酸若しくはトリカルボン酸又はその酸無水物でもよい。また、脂環式ジカルボン酸若しくはトリカルボン酸又はその酸無水物としては、例えば、シクロブタンジカルボン酸、シクロペンタンジカルボン酸、ヘキサヒドロフタル酸、テトラヒドロフタル酸、ノルボルナンジカルボン酸等の化合物があり、更には任意の置換基が導入されたジカルボン酸若しくはトリカルボン酸又はその酸無水物でもよい。更に、芳香族ジカルボン酸若しくはトリカルボン酸又はその酸無水物としては、例えばフタル酸、イソフタル酸、トリメリット酸等の化合物があり、更には任意の置換基が導入されたジカルボン酸若しくはトリカルボン酸又はその酸無水物でもよい。 As the (a) dicarboxylic acid or tricarboxylic acid or its acid anhydride used for the epoxy (meth)acrylate acid adduct, a chain hydrocarbon dicarboxylic acid or tricarboxylic acid or its acid anhydride or an alicyclic dicarboxylic acid or tricarboxylic acid Acids or their anhydrides, aromatic dicarboxylic or tricarboxylic acids or their anhydrides are used. Examples of chain hydrocarbon dicarboxylic acids or tricarboxylic acids or acid anhydrides thereof include succinic acid, acetylsuccinic acid, maleic acid, adipic acid, itaconic acid, azelaic acid, citralalic acid, malonic acid, glutaric acid, There are compounds such as citric acid, tartaric acid, oxoglutaric acid, pimelic acid, sebacic acid, suberic acid, diglycolic acid, and dicarboxylic or tricarboxylic acids or acid anhydrides thereof into which optional substituents are introduced. Examples of alicyclic dicarboxylic acids or tricarboxylic acids or acid anhydrides thereof include compounds such as cyclobutanedicarboxylic acid, cyclopentanedicarboxylic acid, hexahydrophthalic acid, tetrahydrophthalic acid, and norbornanedicarboxylic acid. It may be a dicarboxylic acid or tricarboxylic acid or an acid anhydride thereof into which a substituent of is introduced. Furthermore, aromatic dicarboxylic acids or tricarboxylic acids or acid anhydrides thereof include compounds such as phthalic acid, isophthalic acid, and trimellitic acid, and dicarboxylic acids or tricarboxylic acids into which optional substituents have been introduced, or their It may be an acid anhydride.

また、エポキシ(メタ)アクリレート酸付加物に利用される(b)テトラカルボン酸又はその酸二無水物としては、鎖式炭化水素テトラカルボン酸又はその酸二無水物や脂環式テトラカルボン酸又はその酸二無水物、又は、芳香族多価カルボン酸又はその酸二無水物が使用される。ここで、鎖式炭化水素テトラカルボン酸又はその酸二無水物としては、例えば、ブタンテトラカルボン酸、ペンタンテトラカルボン酸、ヘキサンテトラカルボン酸等があり、更には任意の置換基が導入されたテトラカルボン酸又はその酸二無水物でもよい。また、脂環式テトラカルボン酸又はその酸二無水物としては、例えば、シクロブタンテトラカルボン酸、シクロペンタンテトラカルボン酸、シクロヘキサンテトラカルボン酸、シクロへプタンテトラカルボン酸、ノルボルナンテトラカルボン酸等があり、更には任意の置換基の導入されたテトラカルボン酸又はその酸二無水物でもよい。更に、芳香族テトラカルボン酸やその酸二無水物としては、例えば、ピロメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸、ビフェニルテトラカルボン酸、ビフェニルエーテルテトラカルボン酸又はその酸二無水物が挙げられ、更には任意の置換基の導入されたテトラカルボン酸又はその酸二無水物でもよい。 In addition, as the (b) tetracarboxylic acid or its acid dianhydride used for the epoxy (meth)acrylate acid adduct, a chain hydrocarbon tetracarboxylic acid or its acid dianhydride, an alicyclic tetracarboxylic acid or Its dianhydride, or an aromatic polycarboxylic acid or its dianhydride is used. Examples of chain hydrocarbon tetracarboxylic acids or acid dianhydrides thereof include butanetetracarboxylic acid, pentanetetracarboxylic acid, hexanetetracarboxylic acid and the like. It may be a carboxylic acid or its dianhydride. Examples of alicyclic tetracarboxylic acids or acid dianhydrides thereof include cyclobutanetetracarboxylic acid, cyclopentanetetracarboxylic acid, cyclohexanetetracarboxylic acid, cycloheptanetetracarboxylic acid, and norbornanetetracarboxylic acid. Further, it may be a tetracarboxylic acid or an acid dianhydride thereof into which an arbitrary substituent has been introduced. Furthermore, aromatic tetracarboxylic acids and acid dianhydrides thereof include, for example, pyromellitic acid, benzophenonetetracarboxylic acid, biphenyltetracarboxylic acid, biphenylethertetracarboxylic acid and acid dianhydrides thereof. It may be a tetracarboxylic acid or an acid dianhydride thereof into which a substituent of is introduced.

エポキシ(メタ)アクリレート酸付加物に使用される(a)ジカルボン酸若しくはトリカルボン酸又はその酸無水物と(b)テトラカルボン酸又はその酸二無水物とのモル比(a)/(b)は、上述したように0.01~0.5であり、好ましくは0.02以上0.1未満であるのがよい。モル比(a)/(b)が上記範囲を逸脱すると、本発明の高遮光かつ高抵抗であり、かつ良好な光パターニング性を有する感光性樹脂組成物とするための最適分子量が得られないため、好ましくない。なお、モル比(a)/(b)が小さいほどアルカリ溶解性が大となり、分子量が大となる傾向がある。 The molar ratio (a)/(b) of (a) dicarboxylic acid or tricarboxylic acid or anhydride thereof and (b) tetracarboxylic acid or dianhydride thereof used in the epoxy (meth)acrylate acid adduct is , is 0.01 to 0.5 as described above, preferably 0.02 or more and less than 0.1. If the molar ratio (a)/(b) deviates from the above range, it is not possible to obtain the optimum molecular weight for obtaining the photosensitive resin composition of the present invention having high light blocking and high resistance and good photopatternability. Therefore, it is not preferable. There is a tendency that the smaller the molar ratio (a)/(b), the higher the alkali solubility and the higher the molecular weight.

エポキシ(メタ)アクリレート酸付加物は、上述の工程により、既知の方法、例えば特開平8-278629号公報や特開2008-9401号公報等に記載の方法により製造することができる。先ず、一般式(I)のエポキシ化合物に(メタ)アクリル酸を反応させる方法としては、例えば、エポキシ化合物のエポキシ基と等モルの(メタ)アクリル酸を溶剤中に添加し、触媒(トリエチルベンジルアンモニウムクロライド、2,6-ジイソブチルフェノール等)の存在下、空気を吹き込みながら90~120℃に加熱・攪拌して反応させるという方法がある。次に、反応生成物であるエポキシアクリレート化合物の水酸基に酸無水物を反応させる方法としては、エポキシアクリレート化合物と酸二無水物および酸一無水物の所定量を溶剤中に添加し、触媒(臭化テトラエチルアンモニウム、トリフェニルホスフィン等)の存在下、90~130℃で加熱・攪拌して反応させるという方法がある。 The epoxy (meth)acrylate acid adduct can be produced through the above-described steps by known methods such as those described in JP-A-8-278629 and JP-A-2008-9401. First, as a method of reacting (meth)acrylic acid with the epoxy compound of general formula (I), for example, (meth)acrylic acid is added to a solvent in an amount equimolar with the epoxy group of the epoxy compound, and a catalyst (triethylbenzyl ammonium chloride, 2,6-diisobutylphenol, etc.), heating to 90 to 120.degree. Next, as a method for reacting the acid anhydride with the hydroxyl group of the epoxy acrylate compound that is the reaction product, a predetermined amount of the epoxy acrylate compound and the acid dianhydride and the acid dianhydride are added to a solvent, and a catalyst (odor tetraethylammonium chloride, triphenylphosphine, etc.), heating and stirring at 90 to 130° C. for reaction.

重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂(A)の重量平均分子量(Mw)については、4000~20000の範囲であることが好ましく、4500~7000の間であることがより好ましい。重量平均分子量(Mw)が4000に満たないと(A)を使用した感光性樹脂組成物の高抵抗を1V~10Vに渡って維持することが難しい傾向がみられ、また、重量平均分子量(Mw)が20000を超えると高遮光の感光性樹脂組成物としたときに現像残渣や未露光部の残膜が残り易くなる。更に、(A)は、その酸価が80~120mgKOH/gの範囲である。この値が80mgKOH/gより小さいと(A)を使用した感光性樹脂組成物のアルカリ現像時に残渣が残りやすくなり、120mgKOH/gを超えると(A)を使用した高遮光の感光性樹脂組成物へのアルカリ現像液の浸透が早くなり過ぎ、剥離現像が起きるので、何れも好ましくない。なお、(A)の重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂については、その1種のみを使用しても、2種以上の混合物を使用することもできる。 The weight average molecular weight (Mw) of the polymerizable unsaturated group-containing alkali-soluble resin (A) is preferably in the range of 4,000 to 20,000, more preferably in the range of 4,500 to 7,000. If the weight average molecular weight (Mw) is less than 4000, it tends to be difficult to maintain the high resistance of the photosensitive resin composition using (A) over 1V to 10V. ) exceeds 20,000, development residues and residual films in unexposed areas tend to remain when a highly light-shielding photosensitive resin composition is formed. Furthermore, (A) has an acid value in the range of 80 to 120 mgKOH/g. If this value is less than 80 mgKOH/g, a residue tends to remain during alkali development of the photosensitive resin composition using (A), and if it exceeds 120 mgKOH/g, a highly light-shielding photosensitive resin composition using (A). Both are undesirable because the penetration of the alkaline developer into the film becomes too fast and peeling development occurs. The polymerizable unsaturated group-containing alkali-soluble resin (A) may be used alone or as a mixture of two or more thereof.

次に、(B)少なくとも1個のエチレン性不飽和結合を有する光重合性モノマーとしては、例えば、2-ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2-ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2-ヒドロキシヘキシル(メタ)アクリレート等の水酸基を有する(メタ)アクリル酸エステル類や、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、テトラエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、テトラメチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールエタントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、グリセロール(メタ)アクリレート、ソルビトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、又はジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ソルビトールヘキサ(メタ)アクリレート、フォスファゼンのアルキレンオキサイド変性ヘキサ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート等の(メタ)アクリル酸エステル類を挙げることができ、これらの1種又は2種以上を使用することができる。なお、(B)少なくとも1個のエチレン性不飽和結合を有する光重合性モノマーは遊離のカルボキシ基を有しない。 (B) Photopolymerizable monomers having at least one ethylenically unsaturated bond include, for example, 2-hydroxyethyl (meth)acrylate, 2-hydroxypropyl (meth)acrylate, 2-hydroxyhexyl (meth) ) (Meth) acrylic esters having a hydroxyl group such as acrylate, ethylene glycol di (meth) acrylate, diethylene glycol di (meth) acrylate, triethylene glycol di (meth) acrylate, tetraethylene glycol di (meth) acrylate, tetra methylene glycol di(meth)acrylate, trimethylolpropane tri(meth)acrylate, trimethylolethane tri(meth)acrylate, pentaerythritol di(meth)acrylate, pentaerythritol tri(meth)acrylate, pentaerythritol tetra(meth)acrylate, dipentaerythritol tetra(meth)acrylate, glycerol (meth)acrylate, sorbitol penta(meth)acrylate, dipentaerythritol penta(meth)acrylate, or dipentaerythritol hexa(meth)acrylate, sorbitol hexa(meth)acrylate, phosphazene (Meth)acrylic acid esters such as alkylene oxide-modified hexa(meth)acrylate and caprolactone-modified dipentaerythritol hexa(meth)acrylate can be mentioned, and one or more of these can be used. In addition, (B) the photopolymerizable monomer having at least one ethylenically unsaturated bond does not have a free carboxyl group.

これら(A)成分と(B)成分の配合割合は、質量比(A)/(B)で50/50~90/10であるのがよく、好ましくは60/40~80/20であるのがよい。(A)成分の配合割合が(A)/(B)で50/50より少ないと、光硬化後の硬化物が脆くなり、また、未露光部において塗膜の酸価が低いためにアルカリ現像液に対する溶解性が低下し、パターンエッジがぎざつきシャープにならないといった問題が生じ、また、(A)/(B)で90/10よりも多いと、樹脂に占める光反応性官能基の割合が少なく架橋構造の形成が十分でなく、更に、樹脂成分における酸価度が高過ぎて、露光部におけるアルカリ現像液に対する溶解性が高くなることから、形成されたパターンが目標とする線幅より細くなったり、パターンの欠落が生じや易くなるといった問題が生じる恐れがある。 The blending ratio of these components (A) and (B) is preferably 50/50 to 90/10, preferably 60/40 to 80/20 in mass ratio (A)/(B). is good. If the blending ratio of component (A) is less than 50/50 (A)/(B), the cured product after photocuring becomes brittle, and the acid value of the coating film is low in the unexposed areas, resulting in alkali development. Solubility in liquids is lowered, and pattern edges become rough and unsharp. In addition, the acid value of the resin component is too high, and the solubility in the alkaline developer in the exposed area increases, so that the formed pattern becomes narrower than the target line width. There is a risk that problems such as pattern dropouts or easy pattern dropouts may occur.

また、(C)成分の光重合開始剤としては、例えば、アセトフェノン、2,2-ジエトキシアセトフェノン、p-ジメチルアセトフェノン、p-ジメチルアミノプロピオフェノン、ジクロロアセトフェノン、トリクロロアセトフェノン、p-tert-ブチルアセトフェノン等のアセトフェノン類、ベンゾフェノン、2-クロロベンゾフェノン、p,p'-ビスジメチルアミノベンゾフェノン等のベンゾフェノン類、ベンジル、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル等のベンゾインエーテル類、2-(o-クロロフェニル)-4,5-フェニルビイミダゾール、2-(o-クロロフェニル)-4,5-ジ(m-メトキシフェニル)ビイミダゾール、2-(o-フルオロフェニル)-4,5-ジフェニルビイミダゾール、2-(o-メトキシフェニル)-4,5-ジフェニルビイミダゾール、2,4,5-トリアリールビイミダゾール等のビイミダゾール系化合物類、2-トリクロロメチル-5-スチリル-1,3,4-オキサジアゾール、2-トリクロロメチル-5-(p-シアノスチリル)-1,3,4-オキサジアゾール、2-トリクロロメチル-5-(p-メトキシスチリル)-1,3,4-オキサジアゾール等のハロメチルジアゾール化合物類、2,4,6-トリス(トリクロロメチル)-1,3,5-トリアジン、2-メチル-4,6-ビス(トリクロロメチル)-1,3,5-トリアジン、2-フェニル-4,6-ビス(トリクロロメチル)-1,3,5-トリアジン、2-(4-クロロフェニル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-1,3,5-トリアジン、2-(4-メトキシフェニル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-1,3,5-トリアジン、2-(4-メトキシナフチル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-1,3,5-トリアジン、2-(4-メトキシスチリル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-1,3,5-トリアジン、2-(3,4,5-トリメトキシスチリル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-1,3,5-トリアジン、2-(4-メチルチオスチリル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-1,3,5-トリアジン等のハロメチル-s-トリアジン系化合物類、1,2-オクタンジオン,1-[4-(フェニルチオ)フェニル]-,2-(O-ベンゾイルオキシム)、1-(4-フェニルスルファニルフェニル)ブタン-1,2-ジオン-2-オキシム-O-ベンゾアート、1-(4-メチルスルファニルフェニル)ブタン-1,2-ジオン-2-オキシム-O-アセタート、1-(4-メチルスルファニルフェニル)ブタン-1-オンオキシム-O-アセタート等のO-アシルオキシム系化合物類、ベンジルジメチルケタール、チオキサンソン、2-クロロチオキサンソン、2,4-ジエチルチオキサンソン、2-メチルチオキサンソン、2-イソプロピルチオキサンソン等のイオウ化合物、2-エチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、1,2-ベンズアントラキノン、2,3-ジフェニルアントラキノン等のアントラキノン類、アゾビスイソブチルニトリル、ベンゾイルパーオキサイド、クメンパーオキシド等の有機過酸化物、2-メルカプトベンゾイミダゾール、2-メルカプトベンゾオキサゾール、2-メルカプトベンゾチアゾール等のチオール化合物などが挙げられる。この中でも、高感度の遮光膜用感光性樹脂組成物を得られやすい観点から、O-アシルオキシム系化合物類を用いることが好ましい。また、これら光重合開始剤を2種類以上使用することもできる。なお、本発明でいう光重合開始剤とは、増感剤を含む意味で使用される。 Examples of photopolymerization initiators for component (C) include acetophenone, 2,2-diethoxyacetophenone, p-dimethylacetophenone, p-dimethylaminopropiophenone, dichloroacetophenone, trichloroacetophenone, and p-tert-butyl. Acetophenones such as acetophenone, benzophenones such as benzophenone, 2-chlorobenzophenone, p,p'-bisdimethylaminobenzophenone, benzoin ethers such as benzyl, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin isobutyl ether, 2- (o-Chlorophenyl)-4,5-phenylbiimidazole, 2-(o-chlorophenyl)-4,5-di(m-methoxyphenyl)biimidazole, 2-(o-fluorophenyl)-4,5-diphenyl Biimidazole compounds such as biimidazole, 2-(o-methoxyphenyl)-4,5-diphenylbiimidazole, 2,4,5-triarylbiimidazole, 2-trichloromethyl-5-styryl-1,3 ,4-oxadiazole, 2-trichloromethyl-5-(p-cyanostyryl)-1,3,4-oxadiazole, 2-trichloromethyl-5-(p-methoxystyryl)-1,3,4 -halomethyldiazole compounds such as oxadiazole, 2,4,6-tris(trichloromethyl)-1,3,5-triazine, 2-methyl-4,6-bis(trichloromethyl)-1,3 ,5-triazine, 2-phenyl-4,6-bis(trichloromethyl)-1,3,5-triazine, 2-(4-chlorophenyl)-4,6-bis(trichloromethyl)-1,3,5 -triazine, 2-(4-methoxyphenyl)-4,6-bis(trichloromethyl)-1,3,5-triazine, 2-(4-methoxynaphthyl)-4,6-bis(trichloromethyl)-1 ,3,5-triazine, 2-(4-methoxystyryl)-4,6-bis(trichloromethyl)-1,3,5-triazine, 2-(3,4,5-trimethoxystyryl)-4, Halomethyl-s-triazines such as 6-bis(trichloromethyl)-1,3,5-triazine and 2-(4-methylthiostyryl)-4,6-bis(trichloromethyl)-1,3,5-triazine compounds, 1,2-octanedione, 1-[4-(phenylthio)phenyl]-,2-(O-benzoyloxime), 1-(4-phenyl Rusulfanylphenyl)butane-1,2-dione-2-oxime-O-benzoate, 1-(4-methylsulfanylphenyl)butane-1,2-dione-2-oxime-O-acetate, 1-(4 O-acyloxime compounds such as -methylsulfanylphenyl)butan-1-one oxime-O-acetate, benzyldimethylketal, thioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2-methylthioxane Sulfur compounds such as sodium chloride, 2-isopropylthioxanthone, anthraquinones such as 2-ethylanthraquinone, octamethylanthraquinone, 1,2-benzanthraquinone, 2,3-diphenylanthraquinone, azobisisobutylnitrile, benzoyl peroxide, cumene Examples include organic peroxides such as peroxides, thiol compounds such as 2-mercaptobenzimidazole, 2-mercaptobenzoxazole, and 2-mercaptobenzothiazole. Among these, O-acyloxime compounds are preferably used from the viewpoint of easily obtaining a highly sensitive photosensitive resin composition for a light shielding film. Two or more kinds of these photopolymerization initiators can also be used. In addition, the photoinitiator as used in the field of this invention is used in the meaning containing a sensitizer.

これらの光重合開始剤や増感剤は、その1種のみを単独で使用できるほか、2種以上を組み合わせて使用することもできる。また、それ自体では光重合開始剤や増感剤として作用しないが、組み合わせて用いることにより、光重合開始剤や増感剤の能力を増大させ得るような化合物を添加することもできる。そのような化合物としては、例えば、ベンゾフェノンと組み合わせて使用すると効果のあるトリエタノールアミン、トリエチルアミン等の第3級アミンを挙げることができる。 These photopolymerization initiators and sensitizers can be used alone or in combination of two or more. Also, a compound that does not act as a photopolymerization initiator or sensitizer by itself but can be used in combination to increase the ability of the photopolymerization initiator or sensitizer can be added. Examples of such compounds include tertiary amines such as triethanolamine and triethylamine, which are effective when used in combination with benzophenone.

(C)成分の光重合開始剤の使用量は、(A)成分と(B)成分の合計100質量部を基準として2~30質量部であるのがよく、好ましくは5~25質量部であるのがよい。(C)成分の配合割合が2質量部未満の場合には、光重合の速度が遅くなって、感度が低下し、一方、30質量部を超える場合には、感度が強すぎて、パターン線幅がパターンマスクに対して太った状態になり、マスクに対して忠実な線幅が再現できない、又は、パターンエッジがぎざつきシャープにならないといった問題が生じる恐れがある。 The amount of the photopolymerization initiator used as component (C) is preferably 2 to 30 parts by mass, preferably 5 to 25 parts by mass based on 100 parts by mass of components (A) and (B) combined. It is good to have When the blending ratio of component (C) is less than 2 parts by mass, the speed of photopolymerization slows down, resulting in a decrease in sensitivity. The width becomes thicker than the pattern mask, which may cause problems such as the line width being unable to be faithfully reproduced with respect to the mask, or the pattern edge being jagged and not sharp.

(D)成分は、黒色有機顔料、混色有機顔料又は遮光材から選ばれる遮光成分であり、耐熱性、耐光性及び耐溶剤性に優れたものであるのがよい。ここで、黒色有機顔料としては、例えばペリレンブラック、アニリンブラック、シアニンブラック等が挙げられる。混色有機顔料としては、赤、青、緑、紫、黄色、シアニン、マゼンタ等から選ばれる2種以上の顔料を混合して擬似黒色化されたものが挙げられる。遮光材としては、カーボンブラック、酸化クロム、酸化鉄、チタンブラック等を挙げることができる。遮光成分は、2種以上を適宜選択して用いることもできるが、特にカーボンブラックが遮光性、表面平滑性、分散安定性、樹脂との相溶性が良好な点で好ましい。更に、カーボンブラックを用いて遮光膜の抵抗値をより高めたい場合には、カーボンブラック表面を染料、顔料、樹脂等で被覆した表面被覆カーボンブラックを用いるようにしてもよい。 Component (D) is a light-shielding component selected from black organic pigments, mixed-color organic pigments, and light-shielding materials, and preferably has excellent heat resistance, light resistance, and solvent resistance. Examples of black organic pigments include perylene black, aniline black, and cyanine black. Examples of mixed-color organic pigments include pseudo-black pigments obtained by mixing two or more pigments selected from red, blue, green, purple, yellow, cyanine, magenta, and the like. Examples of the light shielding material include carbon black, chromium oxide, iron oxide, and titanium black. Although two or more kinds of light-shielding components can be appropriately selected and used, carbon black is particularly preferred because of its light-shielding properties, surface smoothness, dispersion stability, and compatibility with resins. Furthermore, when carbon black is used to increase the resistance of the light-shielding film, surface-coated carbon black obtained by coating the surface of the carbon black with a dye, pigment, resin, or the like may be used.

また、(E)成分の溶剤としては、例えば、メタノール、エタノール、n-プロパノール、イソプロパノール、エチレングリコール、プロピレングリコール等のアルコール類、α-もしくはβ-テルピネオール等のテルペン類等、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、N-メチル-2-ピロリドン等のケトン類、トルエン、キシレン、テトラメチルベンゼン等の芳香族炭化水素類、セロソルブ、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、カルビトール、メチルカルビトール、エチルカルビトール、ブチルカルビトール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル等のグリコールエーテル類、酢酸エチル、酢酸ブチル、セロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート、カルビトールアセテート、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート等の酢酸エステル類等が挙げられ、これらを用いて溶解、混合させることにより、均一な溶液状の組成物とすることができる。 Examples of solvents for component (E) include alcohols such as methanol, ethanol, n-propanol, isopropanol, ethylene glycol and propylene glycol, terpenes such as α- or β-terpineol, acetone, methyl ethyl ketone, and cyclohexanone. , N-methyl-2-pyrrolidone and other ketones, toluene, xylene, tetramethylbenzene and other aromatic hydrocarbons, cellosolve, methyl cellosolve, ethyl cellosolve, carbitol, methyl carbitol, ethyl carbitol, butyl carbitol , propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, dipropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monoethyl ether, triethylene glycol monomethyl ether, triethylene glycol monoethyl ether, ethyl acetate, butyl acetate, cellosolve Acetate, ethyl cellosolve acetate, butyl cellosolve acetate, carbitol acetate, ethyl carbitol acetate, butyl carbitol acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate and other acetic acid esters, etc., and dissolution using these , can be mixed to form a uniform solution-like composition.

そして、これらの遮光成分は、好ましくは、予め溶剤に(F)分散剤とともに分散させて遮光性分散液としたうえで、遮光膜用感光性樹脂組成物として配合するのがよい。ここで、分散させる溶剤は、(E)成分の一部になるため、上記の(E)成分に挙げたものであれば使用することができるが、例えばプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、3メトキシブチルアセテート等が好適に用いられる。遮光性分散液を形成する(D)の遮光成分の配合割合については、本発明の遮光膜用感光性樹脂組成物の全固形分に対して40~70質量%の範囲で用いられるのがよく、40~60質量%の範囲が特に好ましい。40質量%より少ないと、高遮光用としては遮光性が十分でなくなる。70質量%を越えると、本来のバインダーとなる感光性樹脂の含有量が減少するため、現像特性を損なうと共に膜形成能が損なわれるという好ましくない問題が生じる。 These light-shielding components are preferably dispersed in advance in a solvent together with the (F) dispersant to obtain a light-shielding dispersion liquid, and then blended as a photosensitive resin composition for a light-shielding film. Here, since the solvent to be dispersed is part of the component (E), it can be used as long as it is listed as the component (E) above. Examples include propylene glycol monomethyl ether acetate and 3-methoxybutyl acetate. etc. are preferably used. The mixing ratio of the light-shielding component (D) that forms the light-shielding dispersion is preferably in the range of 40 to 70% by mass based on the total solid content of the photosensitive resin composition for a light-shielding film of the present invention. , 40 to 60% by weight is particularly preferred. If it is less than 40% by mass, the light-shielding properties are not sufficient for high light-shielding applications. If the amount exceeds 70% by mass, the content of the photosensitive resin, which is the original binder, is reduced, resulting in unfavorable problems such as impairing the developing properties and impairing the film-forming ability.

また、遮光性分散液には、遮光成分を安定的に分散させるために(F)分散剤を使用するが、この目的には各種高分子分散剤等の公知の分散剤を使用することができる。分散剤の例としては、従来顔料分散に用いられている公知の化合物(分散剤、分散湿潤剤、分散促進剤等の名称で市販されている化合物等)を特に制限なく使用することができるが、例えば、カチオン性高分子系分散剤、アニオン性高分子系分散剤、ノニオン性高分子系分散剤、顔料誘導体型分散剤(分散助剤)等を挙げることができる。特に、顔料への吸着点としてイミダゾリル基、ピロリル基、ピリジル基、一級、二級又は三級のアミノ基等のカチオン性の官能基を有し、アミン価が1~100mgKOH/g、数平均分子量が1千~10万の範囲にあるカチオン性高分子系分散剤は好適である。この分散剤の配合量については、遮光成分に対して1~30質量%、好ましくは2~25質量%である。 In the light-shielding dispersion, (F) a dispersant is used in order to stably disperse the light-shielding component. For this purpose, known dispersants such as various polymer dispersants can be used. . Examples of the dispersant include known compounds conventionally used for dispersing pigments (compounds commercially available under the names of dispersants, dispersion wetting agents, dispersion accelerators, etc.) can be used without particular limitation. , for example, cationic polymeric dispersants, anionic polymeric dispersants, nonionic polymeric dispersants, pigment derivative dispersants (dispersion aids), and the like. In particular, it has a cationic functional group such as an imidazolyl group, pyrrolyl group, pyridyl group, primary, secondary or tertiary amino group as an adsorption point to the pigment, and has an amine value of 1 to 100 mgKOH/g and a number average molecular weight. A cationic polymeric dispersant having a is in the range of 1,000 to 100,000 is preferred. The content of the dispersant is 1 to 30% by weight, preferably 2 to 25% by weight, based on the light-shielding component.

さらに、遮光性分散液を調製する際に、上記分散剤に加えて(A)成分の重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂の一部を共分散させることにより、遮光膜用感光性樹脂組成物としたとき、露光感度を高感度に維持しやすくし、現像時の密着性が良好で残渣の問題も発生しにくい感光性樹脂組成物とすることができる。(A)成分の配合量は、遮光性分散液中2~20質量%であるのが好ましく、5~15質量%であることがより好ましい。(A)成分が2質量%未満であると共分散した効果である感度向上、密着性向上、残渣低減といった効果を得ることができない。また、20質量%以上であると、特に遮光材の含有量が大きいときに、遮光性分散液の粘度が高く、均一に分散させることが困難あるいは非常に時間を要することになり、高抵抗の塗膜を得るための感光性樹脂組成物を得ることが難しくなる。そして、得られた遮光性分散液は、残りの(A)成分、(B)成分、(C)成分、及び残りの(E)成分と混合することで、遮光膜用感光性樹脂組成物とすることができる。 Furthermore, when preparing the light-shielding dispersion, a part of the polymerizable unsaturated group-containing alkali-soluble resin of the component (A) is co-dispersed in addition to the dispersant, thereby obtaining a photosensitive resin composition for light-shielding films. , the exposure sensitivity can be easily maintained at a high level, and a photosensitive resin composition can be obtained which has good adhesion during development and is less likely to cause the problem of residue. The blending amount of component (A) is preferably 2 to 20% by mass, more preferably 5 to 15% by mass in the light-shielding dispersion. If the amount of component (A) is less than 2% by mass, the effects of co-dispersion such as improved sensitivity, improved adhesion, and reduced residue cannot be obtained. On the other hand, when the content is 20% by mass or more, the viscosity of the light-shielding dispersion liquid is high, especially when the content of the light-shielding material is large, and it is difficult or takes an extremely long time to uniformly disperse the liquid, resulting in high resistance. It becomes difficult to obtain a photosensitive resin composition for obtaining a coating film. Then, the obtained light-shielding dispersion is mixed with the remaining components (A), (B), (C), and the remaining (E) to form a light-shielding film photosensitive resin composition. can do.

また、本発明の感光性樹脂組成物には、必要に応じて硬化促進剤、熱重合禁止剤、可塑剤、充填材、溶剤、レベリング剤、消泡剤、カップリング剤、界面活性剤等の添加剤を配合することができる。熱重合禁止剤としては、ハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、ピロガロール、tert-ブチルカテコール、フェノチアジン等を挙げることができ、可塑剤としては、ジブチルフタレート、ジオクチルフタレート、リン酸トリクレジル等を挙げることができ、充填材としては、ガラスファイバー、シリカ、マイカ、アルミナ等を挙げることができ、消泡剤やレベリング剤としては、シリコーン系、フッ素系、アクリル系の化合物を挙げることができる。また、界面活性剤としてはフッ素系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤等を挙げることができ、カップリング剤としては3-(グリシジルオキシ)プロピルトリメトキシシラン、3-イソシアナトプロピルトリエトキシシラン、3-ウレイドプロピルトリエトキシシラン等のシランカップリング剤を挙げることができる。 In addition, the photosensitive resin composition of the present invention may optionally contain curing accelerators, thermal polymerization inhibitors, plasticizers, fillers, solvents, leveling agents, antifoaming agents, coupling agents, surfactants, and the like. Additives can be added. Examples of thermal polymerization inhibitors include hydroquinone, hydroquinone monomethyl ether, pyrogallol, tert-butylcatechol, and phenothiazine. Examples of plasticizers include dibutyl phthalate, dioctyl phthalate, tricresyl phosphate, and the like. Examples of the material include glass fiber, silica, mica, and alumina. Examples of the antifoaming agent and leveling agent include silicone-, fluorine-, and acrylic-based compounds. Examples of surfactants include fluorine-based surfactants and silicone-based surfactants. Examples of coupling agents include 3-(glycidyloxy)propyltrimethoxysilane, 3-isocyanatopropyltriethoxysilane, Silane coupling agents such as 3-ureidopropyltriethoxysilane can be mentioned.

本発明の感光性樹脂組成物は、上記(A)~(E)成分を主成分として含有する。溶剤を除いた固形分(固形分には硬化後に固形分となるモノマーを含む)中に、(A)~(D)成分が合計で80質量%、好ましくは90質量%以上含むことが望ましい。(E)溶剤の量は、目標とする粘度によって変化するが、感光性樹脂組成物中に70~90質量%の範囲で含まれるようにするのがよい。 The photosensitive resin composition of the present invention contains the above components (A) to (E) as main components. It is desired that the total amount of components (A) to (D) is 80% by mass, preferably 90% by mass or more, in the solid content excluding the solvent (the solid content includes monomers that become solid content after curing). (E) The amount of the solvent varies depending on the target viscosity, but it is preferable that the amount is in the range of 70 to 90% by weight in the photosensitive resin composition.

本発明における遮光膜用感光性樹脂組成物は、例えばカラーフィルター遮光膜形成用の感光性樹脂組成物として優れるものであり、遮光膜の形成方法としては、以下のようなフォトリソグラフィー法がある。先ず、感光性樹脂組成物を透明基板上に塗布し、次いで溶媒を乾燥させた(プリベーク)後、このようにして得られた被膜の上にフォトマスクをあて、紫外線を照射して露光部を硬化させ、更にアルカリ水溶液を用いて未露光部を溶出させる現像を行ってパターンを形成し、更に後乾燥としてポストベーク(熱焼成)を行う方法が挙げられる。 The photosensitive resin composition for a light-shielding film in the present invention is excellent as, for example, a photosensitive resin composition for forming a color filter light-shielding film, and the method for forming the light-shielding film includes the following photolithography methods. First, a photosensitive resin composition is applied onto a transparent substrate, then the solvent is dried (pre-baking), a photomask is placed on the film thus obtained, and ultraviolet rays are irradiated to expose the exposed area. A method of curing, further performing development using an alkaline aqueous solution to elute the unexposed portions to form a pattern, and further performing post-baking (thermal baking) as post-drying can be used.

感光性樹脂組成物を塗布する透明基板としては、ガラス基板のほか、透明フィルム(例えば、ポリカーボネート、ポリエチレンテレフタレート、ポリエーテルスルフォン等)上にITOや金などの透明電極が蒸着あるいはパターニングされたものなどが例示できる。透明基板上に感光性樹脂組成物の溶液を塗布する方法としては、公知の溶液浸漬法、スプレー法の他、ローラーコーター機、ランドコーター機、スリットコーター機やスピナー機を用いる方法等の何れの方法をも採用することができる。これらの方法によって、所望の厚さに塗布した後、溶剤を除去する(プリベーク)ことにより、被膜が形成される。プリベークはオーブン、ホットプレート等により加熱することによって行われる。プリベークにおける加熱温度及び加熱時間は使用する溶剤に応じて適宜選択され、例えば60~110℃の温度で1~3分間行われる。 Examples of the transparent substrate to which the photosensitive resin composition is applied include glass substrates, transparent films (for example, polycarbonate, polyethylene terephthalate, polyethersulfone, etc.) on which transparent electrodes such as ITO and gold are vapor-deposited or patterned. can be exemplified. As a method for applying the solution of the photosensitive resin composition onto the transparent substrate, any method such as a method using a roller coater, a land coater, a slit coater or a spinner, in addition to a known solution dipping method, a spray method, etc. can be used. methods can also be employed. By these methods, a film is formed by applying a desired thickness and then removing the solvent (pre-baking). Pre-baking is performed by heating with an oven, hot plate, or the like. The heating temperature and heating time in prebaking are appropriately selected according to the solvent used, and the prebaking is performed at a temperature of 60 to 110° C. for 1 to 3 minutes, for example.

プリベーク後に行われる露光は、紫外線露光装置によって行なわれ、フォトマスクを介して露光することによりパターンに対応した部分のレジストのみを感光させる。露光装置及びその露光照射条件は適宜選択され、超高圧水銀灯、高圧水銀ランプ、メタルハライドランプ、遠紫外線灯等の光源を用いて露光を行い、塗膜中の感光性樹脂組成物を光硬化させる。 The exposure performed after prebaking is performed by an ultraviolet exposure device, and by exposing through a photomask, only the portions of the resist corresponding to the pattern are exposed. The exposure apparatus and its exposure irradiation conditions are appropriately selected, and exposure is performed using a light source such as an ultrahigh-pressure mercury lamp, a high-pressure mercury lamp, a metal halide lamp, and a deep ultraviolet lamp to photocure the photosensitive resin composition in the coating film.

露光後のアルカリ現像は、露光されない部分のレジストを除去する目的で行われ、この現像によって所望のパターンが形成される。このアルカリ現像に適した現像液としては、例えばアルカリ金属やアルカリ土類金属の炭酸塩の水溶液、アルカリ金属の水酸化物の水溶液等を挙げることができるが、特に炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸リチウム等の炭酸塩を0.05~3質量%含有する弱アルカリ性水溶液を用いて23~28℃の温度で現像するのがよく、市販の現像機や超音波洗浄機等を用いて微細な画像を精密に形成することができる。 Alkaline development after exposure is performed for the purpose of removing the resist from the unexposed portions, and a desired pattern is formed by this development. Examples of the developer suitable for this alkaline development include aqueous solutions of carbonates of alkali metals and alkaline earth metals, and aqueous solutions of hydroxides of alkali metals, particularly sodium carbonate, potassium carbonate and lithium carbonate. It is preferable to develop at a temperature of 23 to 28° C. using a weakly alkaline aqueous solution containing 0.05 to 3% by mass of carbonate such as, and fine images are formed using a commercially available developing machine, an ultrasonic cleaner, or the like. It can be formed precisely.

現像後、好ましくは180~250℃の温度及び20~60分の条件で熱処理(ポストベーク)が行われる。このポストベークは、パターニングされた遮光膜と基板との密着性を高めるため等の目的で行われる。これはプリベークと同様に、オーブン、ホットプレート等により加熱することによって行われる。本発明のパターニングされた遮光膜は、以上のフォトリソグラフィー法による各工程を経て形成される。 After development, heat treatment (post-baking) is preferably performed at a temperature of 180 to 250° C. for 20 to 60 minutes. This post-baking is performed for the purpose of improving the adhesion between the patterned light shielding film and the substrate. This is done by heating with an oven, hot plate or the like, similar to pre-baking. The patterned light-shielding film of the present invention is formed through each step of the photolithographic method described above.

本発明の感光性樹脂組成物は、上述したように、露光、アルカリ現像等の操作によって微細なパターンを形成するのに適している。また、本発明の遮光膜用感光性樹脂組成物は、コーティング材として好適に用いることができ、特に液晶の表示装置あるいは撮影素子に使われるカラーフィルター用インキとして好適であり、これにより形成された遮光膜はカラーフィルター、液晶プロジェクション用のブラックマトリックス、遮光膜、タッチパネル用遮光膜等として有用である。 As described above, the photosensitive resin composition of the present invention is suitable for forming fine patterns by operations such as exposure and alkali development. In addition, the photosensitive resin composition for a light-shielding film of the present invention can be suitably used as a coating material, and is particularly suitable as an ink for color filters used in liquid crystal display devices or imaging devices. The light-shielding film is useful as a color filter, a black matrix for liquid crystal projection, a light-shielding film, a light-shielding film for touch panels, and the like.

本発明で得られた高遮光、高抵抗の遮光膜は、OD3.5/μm以上OD4.0/μm未満のときに、10Vの印加電圧で1×1012Ω・cm以上の体積抵抗率となるものである。また、OD4.0/μm以上といった遮光レベルにおいても、10V印加電圧で1×1011Ω・cm以上の体積抵抗率を確保できるものであり、より好ましくは10V印加電圧で1×1012Ω・cm以上の体積抵抗率を確保できるものである。更に、本発明の感光性樹脂組成物を用いて形成したパターンは、ポストベーク時に熱ダレしにくく、パターンの断面形状を矩形に維持し、パターンの側面が基材に対して垂直な形状の遮光膜パターンを形成するのに適している。 The high light shielding and high resistance light shielding film obtained by the present invention has a volume resistivity of 1×10 12 Ω·cm or more at an applied voltage of 10 V when the OD is 3.5/μm or more and less than OD4.0/μm. It will be. Also, even at a light shielding level of OD 4.0/μm or more, a volume resistivity of 1×10 11 Ω·cm or more can be secured at an applied voltage of 10 V, and more preferably 1×10 12 Ω·cm at an applied voltage of 10 V. cm or more can be secured. Furthermore, the pattern formed using the photosensitive resin composition of the present invention is resistant to heat sagging during post-baking, maintains a rectangular cross-sectional shape of the pattern, and has a light-shielding shape in which the side surface of the pattern is perpendicular to the substrate. Suitable for forming film patterns.

以下、実施例及び比較例に基づいて、本発明の実施形態を具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be specifically described based on examples and comparative examples, but the present invention is not limited to these.

先ず、本発明の(A)重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂の合成例を示す。合成例における樹脂の評価は、以下の通りに行った。 First, a synthesis example of the (A) polymerizable unsaturated group-containing alkali-soluble resin of the present invention is shown. Evaluation of resins in Synthesis Examples was performed as follows.

[固形分濃度]
合成例中で得られた樹脂溶液1gをガラスフィルター〔重量:W0(g)〕に含浸させて秤量し〔W1(g)〕、160℃にて2hr加熱した後の重量〔W2(g)〕から次式より求めた。
固形分濃度(重量%)=100×(W2-W0)/(W1-W0)。
[Solid content concentration]
A glass filter [weight: W 0 (g)] was impregnated with 1 g of the resin solution obtained in the Synthesis Example, weighed [W 1 (g)], heated at 160° C. for 2 hours, and weighed [W 2 ( g)] from the following formula.
Solid content concentration (% by weight)=100×(W 2 −W 0 )/(W 1 −W 0 ).

[酸価]
樹脂溶液をジオキサンに溶解させ、電位差滴定装置〔平沼産業(株)製 商品名COM-1600〕を用いて1/10N-KOH水溶液で滴定して求めた。
[Acid value]
The resin solution was dissolved in dioxane and titrated with a 1/10 N-KOH aqueous solution using a potentiometric titrator [manufactured by Hiranuma Sangyo Co., Ltd., trade name COM-1600].

[分子量]
ゲルパーミュエーションクロマトグラフィー(GPC)[東ソー(株)製商品名HLC-8220GPC、溶媒:テトラヒドロフラン、カラム:TSKgelSuperH-2000(2本)+TSKgelSuperH-3000(1本)+TSKgelSuperH-4000(1本)+TSKgelSuper-H5000(1本)〔東ソー(株)製〕、温度:40℃、速度:0.6ml/min]にて測定し、標準ポリスチレン〔東ソー(株)製PS-オリゴマーキット〕換算値として重量平均分子量(Mw)を求めた。
[Molecular weight]
Gel permeation chromatography (GPC) [manufactured by Tosoh Corporation, trade name HLC-8220GPC, solvent: tetrahydrofuran, column: TSKgelSuperH-2000 (2) + TSKgelSuperH-3000 (1) + TSKgelSuperH-4000 (1) + TSKgelSuper- Measured with H5000 (1 piece) [manufactured by Tosoh Corporation], temperature: 40 ° C., speed: 0.6 ml / min], and converted to standard polystyrene [PS-oligomer kit manufactured by Tosoh Corporation] weight average molecular weight ( Mw).

また、合成例及び比較合成例で使用する略号は次のとおりである。
BPFE:9,9-ビス(4-ヒドロキシフェニル)フルオレンとクロロメチルオキシランとの反応物。一般式(I)の化合物において、Xがフルオレン-9,9-ジイル、R1、R2が水素の化合物。
BPDA:3,3',4,4'-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物
THPA:1,2,3,6-テトラヒドロフタル酸無水物
TPP:トリフェニルホスフィン
PGMEA:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
Abbreviations used in Synthesis Examples and Comparative Synthesis Examples are as follows.
BPFE: A reaction product of 9,9-bis(4-hydroxyphenyl)fluorene and chloromethyloxirane. A compound of general formula (I) wherein X is fluorene-9,9-diyl and R 1 and R 2 are hydrogen.
BPDA: 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride
THPA: 1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride
TPP: Triphenylphosphine
PGMEA: Propylene glycol monomethyl ether acetate

[合成例1]
還留冷却器付き1Lの四つ口フラスコ中に、BPFE 244.3g(0.50mol)、アクリル酸72.1g(1.0mol)、TPP 0.45g、及びPGMEA 334gを仕込み、100~105℃の加熱下で12hr撹拌し、反応生成物を得た。
[Synthesis Example 1]
244.3 g (0.50 mol) of BPFE, 72.1 g (1.0 mol) of acrylic acid, 0.45 g of TPP, and 334 g of PGMEA were placed in a 1 L four-necked flask equipped with a reflux condenser, and heated at 100-105°C for 12 hours. Stirred to obtain a reaction product.

次いで、得られた反応生成物にBPDA 94.15g(0.32mol)及びTHPA 22.82g(0.15mol)を仕込み、115~120℃の加熱下で6hr撹拌し、重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂溶液(A)-1を得た。得られた樹脂溶液の固形分濃度は56.5wt%であり、酸価(固形分換算)は102mgKOH/gであり、GPC分析によるMwは5200であった。 Next, 94.15 g (0.32 mol) of BPDA and 22.82 g (0.15 mol) of THPA were added to the resulting reaction product, stirred for 6 hours under heating at 115 to 120 ° C., and the polymerizable unsaturated group-containing alkali-soluble resin solution ( A)-1 was obtained. The resulting resin solution had a solid content concentration of 56.5 wt %, an acid value (in terms of solid content) of 102 mgKOH/g, and an Mw of 5,200 by GPC analysis.

[合成例2]
還留冷却器付き1Lの四つ口フラスコ中に、BPFE 244.3g(0.50mol)、アクリル酸72.1g(1.0mol)、TPP 0.45g、及びPGMEA 318gを仕込み、100~105℃の加熱下で12hr撹拌し、反応生成物を得た。
[Synthesis Example 2]
244.3 g (0.50 mol) of BPFE, 72.1 g (1.0 mol) of acrylic acid, 0.45 g of TPP, and 318 g of PGMEA were placed in a 1 L four-necked flask equipped with a reflux condenser, and heated at 100-105°C for 12 hours. Stirred to obtain a reaction product.

次いで、得られた反応生成物にBPDA 94.15g(0.32mol)及びTHPA 3.04g(0.02mol)を仕込み、115~120℃の加熱下で6hr撹拌し、重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂溶液(A)-2を得た。得られた樹脂溶液の固形分濃度は56.5wt%であり、酸価(固形分換算)は90mgKOH/gであり、GPC分析によるMwは4600であった。 Next, 94.15 g (0.32 mol) of BPDA and 3.04 g (0.02 mol) of THPA were added to the resulting reaction product, stirred for 6 hours under heating at 115 to 120 ° C., and the polymerizable unsaturated group-containing alkali-soluble resin solution ( A)-2 was obtained. The resulting resin solution had a solid content concentration of 56.5 wt %, an acid value (in terms of solid content) of 90 mgKOH/g, and an Mw of 4,600 by GPC analysis.

[合成例3]
還留冷却器付き1Lの四つ口フラスコ中に、BPFE 219.9g(0.45mol)、アクリル酸64.9g(0.9mol)、TPP 0.45g、及びPGMEA 294gを仕込み、100~105℃の加熱下で12hr撹拌し、反応生成物を得た。
[Synthesis Example 3]
219.9 g (0.45 mol) of BPFE, 64.9 g (0.9 mol) of acrylic acid, 0.45 g of TPP, and 294 g of PGMEA were placed in a 1 L four-neck flask equipped with a reflux condenser, and heated at 100-105°C for 12 hours. Stirred to obtain a reaction product.

次いで、得られた反応生成物にBPDA 94.15g(0.32mol)及びTHPA 3.04g(0.02mol)を仕込み、115~120℃の加熱下で6hr撹拌し、重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂溶液(A)-3を得た。得られた樹脂溶液の固形分濃度は56.5wt%であり、酸価(固形分換算)は97mgKOH/gであり、GPC分析によるMwは5500であった。 Next, 94.15 g (0.32 mol) of BPDA and 3.04 g (0.02 mol) of THPA were added to the resulting reaction product, stirred for 6 hours under heating at 115 to 120 ° C., and the polymerizable unsaturated group-containing alkali-soluble resin solution ( A)-3 was obtained. The resulting resin solution had a solid content concentration of 56.5 wt %, an acid value (in terms of solid content) of 97 mgKOH/g, and an Mw of 5,500 by GPC analysis.

[比較合成例1]
還留冷却器付き1Lの四つ口フラスコ中に、BPFE 244.3g(0.50mol)、アクリル酸72.1g(1.0mol)、TPP 0.45g、及びPGMEA 329gを仕込み、100~105℃の加熱下で12hr撹拌し、反応生成物を得た。
[Comparative Synthesis Example 1]
244.3 g (0.50 mol) of BPFE, 72.1 g (1.0 mol) of acrylic acid, 0.45 g of TPP, and 329 g of PGMEA were placed in a 1 L four-necked flask equipped with a reflux condenser, and heated at 100-105°C for 12 hours. Stirred to obtain a reaction product.

次いで、得られた反応生成物にBPDA 73.56g(0.25mol)及びTHPA 38.03g(0.25mol)を仕込み、115~120℃の加熱下で6hr撹拌し、重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂溶液(A)-4を得た。得られた樹脂溶液の固形分濃度は56.5wt%であり、酸価(固形分換算)は70mgKOH/gであり、GPC分析によるMwは3600であった。 Next, 73.56 g (0.25 mol) of BPDA and 38.03 g (0.25 mol) of THPA were added to the resulting reaction product, stirred for 6 hours under heating at 115 to 120 ° C., and the polymerizable unsaturated group-containing alkali-soluble resin solution ( A)-4 was obtained. The resulting resin solution had a solid content concentration of 56.5 wt %, an acid value (in terms of solid content) of 70 mgKOH/g, and an Mw of 3600 by GPC analysis.

[調製例1]染料被覆カーボンブラックの調製
カーボンブラック 1000gを水と混合してスラリー10Lを調製し、95℃で1時間撹拌させ放冷した後水洗した。これを再び水と混合処理してスラリー10Lを調製し、70%の硝酸42.9gを添加して40℃で4時間撹拌した。これを放冷して水洗した後再び水と混合してスラリー10Lを調製し、13%の次亜塩素酸ナトリウム水溶液769.2gを添加して40℃で6時間撹拌した。これを放冷して水洗した後再び水と混合してスラリー10Lを調製し、純度38.4%の染料(Direct Deep BLACK)38.1gを添加して40℃で1時間撹拌し、その後更に硫酸アルミニウム10.1gを添加して40℃で1時間撹拌した。これを放冷した後水洗し、ろ過乾燥させて、染料被覆カーボンブラックを得た。
[Preparation Example 1] Preparation of dye-coated carbon black 10 L of slurry was prepared by mixing 1000 g of carbon black with water, stirred at 95°C for 1 hour, allowed to cool, and then washed with water. This was again mixed with water to prepare 10 L of slurry, 42.9 g of 70% nitric acid was added, and the mixture was stirred at 40° C. for 4 hours. After standing to cool and washing with water, the slurry was mixed with water again to prepare 10 L of slurry, 769.2 g of 13% sodium hypochlorite aqueous solution was added, and the mixture was stirred at 40° C. for 6 hours. After allowing to cool and washing with water, 10 L of slurry is prepared by mixing with water again, 38.1 g of a dye (Direct Deep BLACK) with a purity of 38.4% is added and stirred at 40 ° C. for 1 hour, and then further 10.1 g of aluminum sulfate was added and stirred at 40° C. for 1 hour. This was allowed to cool, washed with water, filtered and dried to obtain dye-coated carbon black.

(実施例1~4、比較例1)
次に、遮光膜用感光性樹脂組成物及びその硬化物の製造に係る実施例及び比較例に基づいて、本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。ここで、以降の実施例及び比較例の遮光膜用感光性樹脂組成物及びその硬化物の製造で用いた原料及び略号は以下の通りである。
(Examples 1 to 4, Comparative Example 1)
Next, the present invention will be specifically described based on Examples and Comparative Examples relating to the production of a photosensitive resin composition for light shielding films and cured products thereof, but the present invention is not limited to these. Here, the raw materials and abbreviations used in the production of the photosensitive resin compositions for light-shielding films and their cured products in the following Examples and Comparative Examples are as follows.

(重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂)
(A)-1成分:上記合成例1で得られたアルカリ可溶性樹脂溶液
(A)-2成分:上記合成例2で得られたアルカリ可溶性樹脂溶液
(A)-3成分:上記合成例3で得られたアルカリ可溶性樹脂溶液
(A)-4成分:上記比較合成例1で得られたアルカリ可溶性樹脂溶液
(Polymerizable unsaturated group-containing alkali-soluble resin)
(A)-1 component: the alkali-soluble resin solution obtained in Synthesis Example 1 above
(A)-2 components: the alkali-soluble resin solution obtained in Synthesis Example 2 above
(A)-3 components: the alkali-soluble resin solution obtained in Synthesis Example 3 above
(A)-4 components: the alkali-soluble resin solution obtained in Comparative Synthesis Example 1 above

(光重合性モノマー)
(B):ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートとジペンタエリスリトールペンタアクリレートとの混合物(日本化薬(株)製 商品名DPHA)
(Photopolymerizable monomer)
(B): A mixture of dipentaerythritol hexaacrylate and dipentaerythritol pentaacrylate (trade name DPHA manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)

(光重合開始剤)
(C):エタノン,1-[9-エチル-6-(2-メチルベンゾイル)-9H-カルバゾール-3-イル]-,1-(0-アセチルオキシム)(BASFジャパン社製、製品名イルガキュアOXE02)
(Photoinitiator)
(C): Ethanone, 1-[9-ethyl-6-(2-methylbenzoyl)-9H-carbazol-3-yl]-,1-(0-acetyloxime) (manufactured by BASF Japan, product name Irgacure OXE02) )

(遮光性分散顔料)
(D)-1:カーボンブラック濃度25.0質量%、高分子分散剤濃度5.0質量%のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート分散液(固形分30.0%)
(D)-2 :調製例1で調製した染料被覆カーボンブラック300.0gと、ウレタン系分散剤24.0gと、合成例2で得られたアルカリ可溶性樹脂溶液146.0gと、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート729.6gとをビーズミルで分散して得られた分散液(固形分33.9%)
(Light-shielding dispersion pigment)
(D)-1: Propylene glycol monomethyl ether acetate dispersion with a carbon black concentration of 25.0% by mass and a polymer dispersant concentration of 5.0% by mass (solid content: 30.0%)
(D)-2: 300.0 g of the dye-coated carbon black prepared in Preparation Example 1, 24.0 g of the urethane-based dispersant, 146.0 g of the alkali-soluble resin solution obtained in Synthesis Example 2, and propylene glycol monomethyl ether Dispersion obtained by dispersing 729.6 g of acetate with a bead mill (solid content: 33.9%)

(溶剤)
(E)-1:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
(E)-2:シクロヘキサノン
(solvent)
(E)-1: Propylene glycol monomethyl ether acetate
(E)-2: cyclohexanone

(シランカップリング剤)
(F):3-メルカプトプロピルトリメトキシシラン(商品名:KBM-803:信越化学(株)製)
(Silane coupling agent)
(F): 3-mercaptopropyltrimethoxysilane (trade name: KBM-803: manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.)

(界面活性剤)
(G):BYK-330(ビックケミー社製)
(Surfactant)
(G): BYK-330 (manufactured by BYK-Chemie)

上記の配合成分を表1に示す割合で配合して、実施例1~4及び比較例1の感光性樹脂組成物を調製した。尚、表1中の数値はすべて質量部を表す。また、溶剤の欄中の(E)-1は、不飽和基含有樹脂溶液(重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂溶液)中のPGMEA((E)-1と同じ)、及び遮光性分散液中のPGMEA((E)-1と同じ)を含まない量である。 The above ingredients were blended in the proportions shown in Table 1 to prepare photosensitive resin compositions of Examples 1 to 4 and Comparative Example 1. All numerical values in Table 1 represent parts by mass. In addition, (E)-1 in the solvent column is PGMEA (same as (E)-1) in the unsaturated group-containing resin solution (polymerizable unsaturated group-containing alkali-soluble resin solution) and a light-shielding dispersion It is the amount that does not include PGMEA (same as (E)-1) in the medium.

Figure 0007227939000003
Figure 0007227939000003

[評価]
実施例1~4および比較例1の遮光膜用感光性樹脂組成物を用いて、以下に記す評価を行った。これらの評価結果を表2に示す。
[evaluation]
Using the photosensitive resin compositions for light-shielding films of Examples 1 to 4 and Comparative Example 1, the following evaluations were performed. These evaluation results are shown in Table 2.

<現像特性(パターン線幅・パターン直線性)の評価>
上記で得られた各感光性樹脂組成物を、スピンコーターを用いて125mm×125mmのガラス基板(コーニング1737)上にポストベーク後の膜厚が1.1μmとなるように塗布し、90℃で1分間プリベークした。その後、露光ギャップを100μmに調整し、乾燥塗膜の上に10μm又は6μmのネガ型フォトマスクを被せ、i線照度30mW/cm2の超高圧水銀ランプで80mJ/cm2の紫外線を照射し、感光部分の光硬化反応を行った。
<Evaluation of development characteristics (pattern line width/pattern linearity)>
Each of the photosensitive resin compositions obtained above was applied to a 125 mm × 125 mm glass substrate (Corning 1737) using a spin coater so that the film thickness after post-baking was 1.1 µm, and the coating was performed at 90°C. Pre-baked for 1 minute. After that, the exposure gap was adjusted to 100 μm, a 10 μm or 6 μm negative photomask was placed on the dried coating film, and 80 mJ/cm 2 ultraviolet rays were irradiated from an ultra-high pressure mercury lamp with an i-line illuminance of 30 mW/cm 2 , A photo-curing reaction of the photosensitive area was performed.

次に、この露光済み塗板を25℃、0.05%水酸化カリウム水溶液中、1kgf/cmのシャワー現像圧にて、パターンが現れ始める現像時間(ブレイクタイム=BT)から、+20秒および+30秒の現像後、5kgf/cm2圧のスプレー水洗を行い、塗膜の未露光部を除去してガラス基板上に画素パターンを形成し、その後、熱風乾燥機を用いて230℃、30分間熱ポストベークした後の10μm線および6μm線のマスク幅に対する線幅、パターン直線性を評価した。現像時間80秒を過ぎてもパターン像が現れない場合は現像不可とした。なお、各評価方法は次のとおりである。 Next, the exposed coated plate was placed in an aqueous 0.05% potassium hydroxide solution at 25° C. under a shower development pressure of 1 kgf/cm 2 . After developing for 2 seconds, the film was washed with water spray at a pressure of 5 kgf/cm 2 to remove the unexposed areas of the coating film to form a pixel pattern on the glass substrate. The line width and pattern linearity with respect to the mask width of 10 μm line and 6 μm line after post-baking were evaluated. If the pattern image did not appear even after the development time of 80 seconds, it was determined that the development was not possible. In addition, each evaluation method is as follows.

パターン線幅:測長顕微鏡(ニコン社製「XD-20」)を用いてマスク幅10μmおよび6μmのパターン線幅を測定した。
パターン直線性:ポストベーク後の10μm又は6μmマスクパターンを顕微鏡観察し、基板に対する剥離やパターンエッジ部分のギザツキが認められないものを○、一部に認められるものを△、全体に渡って認められるものを×と評価した。
Pattern line width: Pattern line widths with mask widths of 10 µm and 6 µm were measured using a length measuring microscope ("XD-20" manufactured by Nikon Corporation).
Pattern linearity: A 10 μm or 6 μm mask pattern after post-baking is observed under a microscope, and when peeling from the substrate or burrs at the pattern edge portion is not observed, ◯ is observed, Δ is observed partially, and is observed over the entire surface. A thing was evaluated as x.

<OD/μmの評価>
上記で得られた各感光性樹脂組成物を、スピンコーターを用いて125mm×125mmのガラス基板(コーニング1737)上にポストベーク後の膜厚が1.1μmとなるように塗布し、90℃で1分間プリベークした。その後、ネガ型フォトマスクを被せず、i線照度30mW/cm2の超高圧水銀ランプで80mJ/cm2の紫外線を照射し、感光部分の光硬化反応を行った。
<Evaluation of OD/μm>
Each of the photosensitive resin compositions obtained above was applied to a 125 mm × 125 mm glass substrate (Corning 1737) using a spin coater so that the film thickness after post-baking was 1.1 µm, and the coating was performed at 90°C. Pre-baked for 1 minute. Thereafter, without covering with a negative type photomask, ultraviolet rays of 80 mJ/cm 2 were irradiated from an ultra-high pressure mercury lamp with an i-line illuminance of 30 mW/cm 2 to carry out a photo-curing reaction of the exposed portion.

次に、この露光済み塗板を25℃、0.05%水酸化カリウム水溶液中、1kgf/cmのシャワー現像圧にて、60秒の現像後、5kgf/cm2圧のスプレー水洗を行い、その後、熱風乾燥機を用いて230℃、30分間熱ポストベークした後、光照射部のODをマクベス透過濃度計を用いて評価した。さらに、光照射部の膜厚を測定し、OD値を膜厚で割った値をOD/μmとした。 Next, the exposed coated plate was developed in a 0.05% potassium hydroxide aqueous solution at 25° C. under a shower development pressure of 1 kgf/cm 2 for 60 seconds, then spray washed with water at a pressure of 5 kgf/cm 2 . After heat post-baking at 230° C. for 30 minutes using a hot air dryer, the OD of the light-irradiated portion was evaluated using a Macbeth transmission densitometer. Furthermore, the film thickness of the light-irradiated portion was measured, and the value obtained by dividing the OD value by the film thickness was defined as OD/μm.

<ガラス基板との密着強度の評価>
上記で得られた各感光性樹脂組成物をスピンコーターを用いて125mm×125mmのガラス基板(コーニング1737)上にポストベーク後の膜厚が1.1μmとなるように塗布し、90℃で1分間プリベークした。その後、フォトマスクを用いずにi線照度30mW/cmの超高圧水銀ランプで80mJ/cmでベタ露光し、熱風乾燥機を用いて230℃、30分間熱ポストベークした。そして、上記で得られたポストベーク基板について、JIS K6856-1994の3点折り曲げ密着試験方法に準じた評価法により、以下のようにしてガラス基板との密着強度を評価した。上記のポストベーク済みの塗膜付基板、および樹脂組成物を塗布してないガラス基板(コーニング1737)(塗膜なし基板)をそれぞれ20mm×63mmの短冊状に切断し、試験片を用意した。ポストベーク済みの塗膜付基板と塗膜なし基板とが一定の量のシール剤エポキシ系接着剤を介して重ね合わせ幅が8mmになるように、双方の基板(試験片)を貼りあわせた。重ね合わせたときのシール剤エポキシ系接着剤の形が円形でかつ直径は約5mmである。その後、重ね合わせた試験片を90℃、20分のプリベーク、続いて、150℃、2時間ポストベークをそれぞれ実施し、三点折り曲げ試験片を作成した。さらに20mm×63mmの塗膜なし基板試験片同士も上記と同じ方法で貼り合わせた比較試験用のサンプルも作成した。
<Evaluation of adhesion strength with glass substrate>
Each of the photosensitive resin compositions obtained above was coated on a 125 mm × 125 mm glass substrate (Corning 1737) using a spin coater so that the film thickness after post-baking was 1.1 µm. Prebaked for 1 minute. Then, without using a photomask, the film was solidly exposed at 80 mJ/cm 2 with an ultra-high pressure mercury lamp with an i-line illuminance of 30 mW/cm 2 , and thermal post-baked at 230° C. for 30 minutes using a hot air dryer. Then, the post-baked substrate obtained above was evaluated for adhesion strength to the glass substrate by an evaluation method according to the three-point bending adhesion test method of JIS K6856-1994 as follows. The post-baked substrate with coating film and the glass substrate (Corning 1737) not coated with the resin composition (substrate without coating film) were each cut into strips of 20 mm x 63 mm to prepare test pieces. A post-baked substrate with a coating film and a substrate without a coating film were pasted together with a certain amount of sealant epoxy adhesive so that the overlap width was 8 mm. The shape of the sealant epoxy adhesive when superimposed is circular and the diameter is about 5 mm. Thereafter, the superimposed test piece was prebaked at 90° C. for 20 minutes and then post-baked at 150° C. for 2 hours to prepare a three-point bending test piece. Furthermore, a sample for comparison test was also prepared by bonding 20 mm x 63 mm non-coated substrate test pieces together in the same manner as above.

上記で得られた試験片において、重ね合わせ部位が中心となるよう、塗膜付基板と塗膜なし基板、あるいは、比較試験用のサンプルを2点の支持体で支え(2点の支持体の間隔は3cm)、重ね合わせ部の真上から真下に向かってORIENTEC(製)商品名UCT-100を用いて1mm/分の速度で加重をかけていって貼り合せ部を剥離させた。ここで、剥離したときの加重を読み取り、シール剤エポキシ系接着剤の塗布面積で割り、単位面積当たりの加重を密着強度とした。また、121℃、100%RH、2atm、及び5時間の条件下においてPCT(プレッシャー・クッカー)テストを実施した後、同様の密着強度テストを実施し、PCT前後での密着強度を求めた。PCT前後における比較試験用サンプルの密着強度をそれぞれ100としたときの、各組成における密着強度を相対値として示した。PCT前後において70以上を○とした。 In the test piece obtained above, a substrate with a coating film and a substrate without a coating film, or a sample for comparison test is supported by two supports so that the overlapping part is in the center (two supports The gap was 3 cm), and a weight was applied from directly above the overlapped portion to directly below using UCT-100 (trade name, manufactured by ORIENTEC) at a rate of 1 mm/min to separate the laminated portion. Here, the load at the time of peeling was read, divided by the applied area of the sealant epoxy adhesive, and the load per unit area was defined as the adhesion strength. Also, after a PCT (pressure cooker) test was conducted under the conditions of 121° C., 100% RH, 2 atm, and 5 hours, a similar adhesion strength test was conducted to determine the adhesion strength before and after PCT. The adhesion strength of each composition is shown as a relative value when the adhesion strength of the sample for comparison test before and after PCT is set to 100, respectively. A score of 70 or more before and after PCT was evaluated as ◯.

<体積抵抗率の評価>
上記で得られた各感光性樹脂組成物を、スピンコーターを用いて125mm×125mmのガラス基板(コーニング1737)上にポストベーク後の膜厚が3.0μmとなるように塗布し、90℃で1分間プリベークした。その後、熱風乾燥機を用いて230℃、180分間熱ポストベークした後、エレクトロメーター(ケースレー社製、「6517A型」)を用い、印加電圧1Vから10Vにおける体積抵抗率を測定した。1Vステップで各印加電圧で60秒ずつ電圧保持する条件で測定し、1V印加時と10V印加時の体積抵抗率を表2に示した。
<Evaluation of Volume Resistivity>
Each of the photosensitive resin compositions obtained above was coated on a 125 mm × 125 mm glass substrate (Corning 1737) using a spin coater so that the film thickness after post-baking was 3.0 µm, and the coating was carried out at 90°C. Pre-baked for 1 minute. Then, after thermal post-baking at 230° C. for 180 minutes using a hot air dryer, the volume resistivity was measured at an applied voltage of 1 V to 10 V using an electrometer (manufactured by Keithley, Model 6517A). Table 2 shows the volume resistivity when 1 V was applied and when 10 V was applied.

Figure 0007227939000004
Figure 0007227939000004

実施例1~4の遮光膜用感光性樹脂組成物を用いた場合は、BT+20秒では若干線幅が太い傾向があり現像時間が若干長くする必要性があるが、十分な光パターニング性を有しており、OD3.8/μmで印加電圧10Vでの体積抵抗率が1×1013Ω・cmになっており、必要とされる1×1012Ω・cm以上の体積抵抗率を実現できることがわかる。その中でも特に実施例4は、遮光度を上げたOD4.0/μmにおいても体積抵抗が1×1013Ω・cmを維持しており高遮光高抵抗化が可能でまたガラス基板との密着強度(シール密着)も高いことがわかる。これらの効果は、不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂をカーボンブラック分散体に共分散したことにより、現像密着性等の改善効果が得られたとともに、高抵抗、高シール密着に適した染料被覆カーボンブラックの特徴を十分に発現させることができることが分かった。 When the photosensitive resin compositions for light-shielding films of Examples 1 to 4 were used, the line width tended to be slightly thicker at BT+20 seconds, and the development time needed to be slightly longer, but sufficient photopatternability was obtained. and has a volume resistivity of 1×10 13 Ω·cm at an applied voltage of 10 V at an OD of 3.8 /μm. I know it can be done. Especially in Example 4, the volume resistance is maintained at 1×10 13 Ω·cm even at an OD of 4.0/μm where the light shielding degree is increased, and high light shielding and high resistance is possible, and adhesion strength with the glass substrate is also possible. (seal adhesion) is also high. These effects are obtained by co-dispersing the unsaturated group-containing alkali-soluble resin in the carbon black dispersion, which has the effect of improving development adhesion, etc., and dye-coated carbon black suitable for high resistance and high sealing adhesion. It was found that the characteristics of can be sufficiently expressed.

一方の比較例1では、体積抵抗率が1V印加時では1×1012Ω・cm以上を確保できるものの、10V印加時には1×1012Ω・cm未満に体積抵抗率が低下してしまっており、現状の液晶ディスプレイのカラーフィルター用途等の高遮光、高抵抗の要求特性には満たせないことが分かる。
On the other hand, in Comparative Example 1, a volume resistivity of 1×10 12 Ω·cm or more can be secured when 1 V is applied, but the volume resistivity drops below 1×10 12 Ω·cm when 10 V is applied. , it can be seen that the required characteristics of high light shielding and high resistance for color filters of current liquid crystal displays cannot be satisfied.

Claims (6)

下記(A)~(E)成分、
(A)下記一般式(I)で表される化合物と(メタ)アクリル酸との反応物に、更に多価カルボン酸又はその無水物と反応させて得られる重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂、
(B)少なくとも1個のエチレン性不飽和結合を有する光重合性モノマー、
(C)光重合開始剤、
(D)黒色有機顔料、混色有機顔料及び遮光材からなる群から選ばれた1種以上の遮光成分、及び
(E)溶剤を、必須成分として含む遮光膜用感光性樹脂組成物において、
前記(A)成分が、多価カルボン酸又はその無水物として(a)ジカルボン酸若しくはトリカルボン酸又はその酸無水物、及び(b)テトラカルボン酸又はその酸二無水物を、(a)/(b)のモル比が0.01~0.5となる範囲で反応させて得られたものであって、重量平均分子量4000~7000、且つ、酸価が80~120mgKOH/gの重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂であり、
前記(A)成分と前記(B)成分との質量割合(A)/(B)が60/40~80/20であり、前記(A)成分と前記(B)成分の合計100質量部に対して前記(C)成分を2~30質量部含有し、
前記(D)成分が、該遮光膜用感光性樹脂組成物の光硬化により固形分となる成分を含めた固形分中に40~70質量%含まれ、
光学濃度ODが3.5/μm以上4.0/μm未満のとき、電圧10V印加時の体積抵抗率が1×1012Ω・cm以上となる塗膜を形成するのに用いられることを特徴とする遮光膜用感光性樹脂組成物。
Figure 0007227939000005

但し、一般式(I)において、R1及びR2は、独立に水素原子、炭素数1~5のアルキル基、又はハロゲン原子を示し、Xは、フルオレン-9,9-ジイル基を示し、nは平均値0~10を示す。
the following (A) ~ (E) components,
(A) A polymerizable unsaturated group-containing alkali-soluble resin obtained by reacting a compound represented by the following general formula (I) with (meth)acrylic acid and further reacting it with a polyvalent carboxylic acid or its anhydride. ,
(B) a photopolymerizable monomer having at least one ethylenically unsaturated bond;
(C) a photoinitiator,
(D) one or more light-shielding components selected from the group consisting of black organic pigments, mixed-color organic pigments, and light-shielding materials;
The component (A) contains (a) a dicarboxylic acid or tricarboxylic acid or an acid anhydride thereof, and (b) a tetracarboxylic acid or an acid anhydride thereof as a polyvalent carboxylic acid or anhydride thereof, and (a)/( b) obtained by reacting at a molar ratio of 0.01 to 0.5, having a weight average molecular weight of 4000 to 7000 and an acid value of 80 to 120 mgKOH/g. A group-containing alkali-soluble resin,
The mass ratio (A)/(B) of the component (A) and the component (B) is 60/40 to 80/20, and the total of the component (A) and the component (B) is 100 parts by mass. Containing 2 to 30 parts by mass of the component (C),
The component (D) is contained in an amount of 40 to 70% by mass in the solid content including the component that becomes a solid content by photocuring of the photosensitive resin composition for a light shielding film,
It is characterized by being used to form a coating film having an optical density OD of 3.5/μm or more and less than 4.0/μm and a volume resistivity of 1×10 12 Ω·cm or more when a voltage of 10 V is applied. A photosensitive resin composition for a light-shielding film.
Figure 0007227939000005

However, in general formula (I), R 1 and R 2 independently represent a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, or a halogen atom, X represents a fluorene-9,9-diyl group, n indicates an average value of 0-10.
下記(A)~(E)成分、
(A)下記一般式(I)で表される化合物と(メタ)アクリル酸との反応物に、更に多価カルボン酸又はその無水物と反応させて得られる重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂、
(B)少なくとも1個のエチレン性不飽和結合を有する光重合性モノマー、
(C)光重合開始剤、
(D)黒色有機顔料、混色有機顔料及び遮光材からなる群から選ばれた1種以上の遮光成分、及び
(E)溶剤を、必須成分として含む遮光膜用感光性樹脂組成物において、
前記(A)成分が、多価カルボン酸又はその無水物として(a)ジカルボン酸若しくはトリカルボン酸又はその酸無水物、及び(b)テトラカルボン酸又はその酸二無水物を、(a)/(b)のモル比が0.01~0.5となる範囲で反応させて得られたものであって、重量平均分子量4000~7000、且つ、酸価が80~120mgKOH/gの重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂であり、
前記(A)成分と前記(B)成分との質量割合(A)/(B)が60/40~80/20であり、前記(A)成分と前記(B)成分の合計100質量部に対して前記(C)成分を2~30質量部含有し、
前記(D)成分が、該遮光膜用感光性樹脂組成物の光硬化により固形分となる成分を含めた固形分中に40~70質量%含まれ、
光学濃度ODが4.0/μm以上のとき、電圧10V印加時の体積抵抗率が1×1011Ω・cm以上となる塗膜を形成するのに用いられることを特徴とする遮光膜用感光性樹脂組成物。
Figure 0007227939000006

但し、一般式(I)において、R1及びR2は、独立に水素原子、炭素数1~5のアルキル基、又はハロゲン原子を示し、Xは、フルオレン-9,9-ジイル基を示し、nは平均値0~10を示す。
the following (A) ~ (E) components,
(A) A polymerizable unsaturated group-containing alkali-soluble resin obtained by reacting a compound represented by the following general formula (I) with (meth)acrylic acid and further reacting it with a polyvalent carboxylic acid or its anhydride. ,
(B) a photopolymerizable monomer having at least one ethylenically unsaturated bond;
(C) a photoinitiator,
(D) one or more light-shielding components selected from the group consisting of black organic pigments, mixed-color organic pigments, and light-shielding materials;
The component (A) contains (a) a dicarboxylic acid or tricarboxylic acid or an acid anhydride thereof, and (b) a tetracarboxylic acid or an acid anhydride thereof as a polyvalent carboxylic acid or anhydride thereof, and (a)/( b) obtained by reacting at a molar ratio of 0.01 to 0.5, having a weight average molecular weight of 4000 to 7000 and an acid value of 80 to 120 mgKOH/g. A group-containing alkali-soluble resin,
The mass ratio (A)/(B) of the component (A) and the component (B) is 60/40 to 80/20, and the total of the component (A) and the component (B) is 100 parts by mass. Containing 2 to 30 parts by mass of the component (C),
The component (D) is contained in an amount of 40 to 70% by mass in the solid content including the component that becomes a solid content by photocuring of the photosensitive resin composition for a light shielding film,
A photosensitive material for a light-shielding film, which is used to form a coating film having an optical density OD of 4.0/μm or more and a volume resistivity of 1×10 11 Ω·cm or more when a voltage of 10 V is applied. elastic resin composition.
Figure 0007227939000006

However, in general formula (I), R 1 and R 2 independently represent a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, or a halogen atom, X represents a fluorene-9,9-diyl group, n indicates an average value of 0-10.
前記(A)成分の重量平均分子量が4600~5500であることを特徴とする請求項1又は2に記載の遮光膜用感光性樹脂組成物。 3. The photosensitive resin composition for a light-shielding film according to claim 1 , wherein the weight average molecular weight of component (A) is 4,600 to 5,500 . (D)遮光成分が、カーボンブラックである請求項1~3のいずれかに記載の遮光膜用感光性樹脂組成物。 (D) The photosensitive resin composition for a light-shielding film according to any one of claims 1 to 3, wherein the light-shielding component is carbon black. 請求項1~4のいずれかに記載の遮光膜用感光性樹脂組成物を硬化させて形成したことを特徴とする遮光膜。 A light-shielding film formed by curing the photosensitive resin composition for a light-shielding film according to any one of claims 1 to 4. 請求項1~5のいずれかに記載の遮光膜用感光性樹脂組成物を透明基板上に塗布し、プリベークした後、紫外線露光装置による露光、アルカリ水溶液による現像、及びポストベークして作製された遮光膜を備えたことを特徴とするカラーフィルター。 The photosensitive resin composition for a light-shielding film according to any one of claims 1 to 5 is coated on a transparent substrate, pre-baked, exposed with an ultraviolet exposure device, developed with an alkaline aqueous solution, and post-baked. A color filter comprising a light shielding film.
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