JP7250591B2 - A method for producing a polymerizable unsaturated group-containing alkali-soluble resin, a polymerizable unsaturated group-containing alkali-soluble resin, a photosensitive resin composition containing the same, a cured product obtained by curing the same, and a touch panel containing the cured product as a constituent component and color filters - Google Patents
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Description
本発明は、重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂の製造方法、重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂、それを含む感光性樹脂組成物、それを硬化してなる硬化物、その硬化物を構成成分として含むタッチパネルおよびカラーフィルターに関する。 The present invention comprises a method for producing a polymerizable unsaturated group-containing alkali-soluble resin, a polymerizable unsaturated group-containing alkali-soluble resin, a photosensitive resin composition containing the same, a cured product obtained by curing the same, and a cured product thereof. It relates to touch panels and color filters that are included as components.
近年、モバイル端末の発達により、屋外や車載にて使用するタッチパネルおよび液晶パネル等の表示装置が増加している。上記表示装置において、タッチパネル外枠には背面の液晶パネル周辺部の光漏れを遮光するために遮光膜が設けられ、上記液晶パネルには黒色表示時に画面から光が漏れるのを抑制するため、および隣接し合うカラーレジスト同士の混色を抑制するために、ブラックマトリックスが設けられている。 In recent years, with the development of mobile terminals, the number of display devices such as touch panels and liquid crystal panels used outdoors or in vehicles is increasing. In the display device, the outer frame of the touch panel is provided with a light-shielding film to block light leakage around the liquid crystal panel on the back, and the liquid crystal panel is provided with a light-shielding film to suppress light from leaking from the screen during black display, and A black matrix is provided to suppress color mixture between adjacent color resists.
表示装置等において、光漏れ等を抑制して上記表示装置等の画面の視認性を改善するために、遮光膜中の黒色顔料の濃度を高くして、遮光膜の遮光性を上げる(遮光膜の光透過性を下げる)ことがある。透明基材や硬化性樹脂の屈折率と比較して、黒色顔料の屈折率は高いため、遮光膜中の黒色顔料濃度を高くしていくと、透明基材の遮光膜が形成された面、および遮光膜が形成された反対の面側から見たときの反射率が高くなってしまう。そのため、透明基材上に形成した遮光膜と透明基材の界面における反射が増加し、遮光膜上への映り込みや、カラーフィルター着色部との反射率の差異でブラックマトリックス境界が目立つという不具合が生じる。また、高精細のブラックマトリックス形成用レジストに用いられる樹脂は屈折率が高い。そのため、黒色顔料の濃度調整だけでは、遮光性と低反射性の両立を図るのは困難である。 In a display device or the like, in order to suppress light leakage or the like and improve the visibility of the screen of the display device or the like, the black pigment concentration in the light shielding film is increased to increase the light shielding property of the light shielding film (light shielding film (lower the light transmittance of the material). Since the refractive index of the black pigment is higher than the refractive index of the transparent base material and the curable resin, increasing the black pigment concentration in the light-shielding film causes the surface of the transparent base material on which the light-shielding film is formed, And the reflectance when viewed from the side opposite to the side on which the light shielding film is formed becomes high. As a result, reflection at the interface between the light-shielding film formed on the transparent base material and the transparent base material increases, resulting in reflections on the light-shielding film and the difference in reflectance between the colored portion of the color filter and the black matrix boundary. occurs. Moreover, the resin used for the high-definition black matrix forming resist has a high refractive index. Therefore, it is difficult to achieve both light-shielding properties and low reflectivity only by adjusting the density of the black pigment.
このため、低屈折率のブラックレジスト用感光性樹脂組成物が要望されている。 Therefore, there is a demand for a photosensitive resin composition for black resists having a low refractive index.
たとえば、特許文献1では、少なくとも2種以上の樹脂と、着色剤と、光酸発生剤とを含む樹脂膜であって、樹脂膜の光散乱測定において、横軸に散乱角、縦軸に散乱光強度をプロットしたスペクトルにおけるピークの半値幅をA1、上記ピークの最大光強度の散乱角をA2とするとき、A1/A2の値が0.1超2.5以下であるピークを有する樹脂膜が開示されている。上記樹脂膜は、2種以上の樹脂によって相分離構造を形成することができるので低反射性に優れるとされている。 For example, in Patent Document 1, a resin film containing at least two kinds of resins, a colorant, and a photoacid generator is used. A resin film having a peak where the value of A1/A2 is more than 0.1 and 2.5 or less, where A1 is the half-value width of the peak in the spectrum plotting the light intensity, and A2 is the scattering angle of the maximum light intensity of the peak. is disclosed. The resin film is said to be excellent in low reflectivity because a phase separation structure can be formed by two or more kinds of resins.
しかしながら、本発明者らが検討したところ、特許文献1に記載の樹脂膜では、所望する反射率を達成するための屈折率を得ることができなかった。 However, as a result of investigation by the present inventors, it was not possible to obtain a refractive index for achieving a desired reflectance with the resin film described in Patent Document 1.
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、現像特性に優れた感光性樹脂組成物を得ることができる不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂の製造方法、上記不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂、上記不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂を含む感光性樹脂組成物、上記感光性樹脂組成物が硬化してなる硬化物、上記硬化物を構成成分として含むタッチパネルおよびカラーフィルターを提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above points, and includes a method for producing an unsaturated group-containing alkali-soluble resin capable of obtaining a photosensitive resin composition having excellent developing properties, the unsaturated group-containing alkali-soluble resin, An object of the present invention is to provide a photosensitive resin composition containing the unsaturated group-containing alkali-soluble resin, a cured product obtained by curing the photosensitive resin composition, and a touch panel and a color filter containing the cured product as a component. .
本発明の重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂の製造方法は、式(1)で表される構造を有するエポキシ化合物(a)と、不飽和基含有モノカルボン酸と、の反応物に対して、ジカルボン酸もしくはトリカルボン酸またはそれらの酸一無水物(b)、およびテトラカルボン酸またはその酸二無水物(c)を反応させる、製造方法である。 In the method for producing a polymerizable unsaturated group-containing alkali-soluble resin of the present invention, a reaction product of an epoxy compound (a) having a structure represented by formula (1) and an unsaturated group-containing monocarboxylic acid is , a dicarboxylic acid or tricarboxylic acid or their acid unihydride (b), and a tetracarboxylic acid or their acid dianhydride (c) are reacted.
本発明の重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂は、式(2)で表される構造を有する。 The polymerizable unsaturated group-containing alkali-soluble resin of the present invention has a structure represented by Formula (2).
本発明の感光性樹脂組成物は、(A)式(2)で表される重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂と、(B)光重合開始剤と、を含む。 The photosensitive resin composition of the present invention contains (A) a polymerizable unsaturated group-containing alkali-soluble resin represented by formula (2) and (B) a photopolymerization initiator.
本発明の硬化物は、上記感光性樹脂組成物をフォトリソグラフィー法によりパターニングした上記感光性樹脂組成物を硬化してなる。 The cured product of the present invention is obtained by curing the photosensitive resin composition obtained by patterning the photosensitive resin composition by photolithography.
本発明のタッチパネルは、上記硬化物を構成成分として含む。 The touch panel of the present invention contains the cured product as a constituent.
本発明のカラーフィルターは、上記硬化物を構成成分として含む。 The color filter of the present invention contains the cured product as a constituent.
本発明によれば、現像特性に優れた感光性樹脂組成物を得ることができる不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂の製造方法、上記不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂、上記不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂を含む感光性樹脂組成物、上記感光性樹脂組成物が硬化してなる硬化物、上記硬化物を構成成分として含むタッチパネルおよびカラーフィルターを提供することができる。 According to the present invention, there is provided a method for producing an unsaturated group-containing alkali-soluble resin capable of obtaining a photosensitive resin composition having excellent development properties, the unsaturated group-containing alkali-soluble resin, and the unsaturated group-containing alkali-soluble resin. It is possible to provide a photosensitive resin composition containing the composition, a cured product obtained by curing the photosensitive resin composition, and a touch panel and a color filter containing the cured product as a component.
以下、本発明の実施形態を説明するが、本発明は以下の実施形態に限定されるものではない。 Embodiments of the present invention will be described below, but the present invention is not limited to the following embodiments.
本発明の式(2)で表される1分子内にカルボキシ基および重合性不飽和基を有するアルカリ可溶性樹脂は、1分子内に2個のエポキシ基を有するエポキシ化合物(a)と不飽和基含有モノカルボン酸との反応物に対して、ジカルボン酸もしくはトリカルボン酸またはそれらの酸一無水物(b)、およびテトラカルボン酸またはその酸二無水物(c)を反応させることにより得られる。また、上記重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂は、原料となるエポキシ化合物としていくつかのオキシアルキレン基と、2個のシクロアルキル基を1分子内に2個有するエポキシ化合物(a-1)を用いることを特徴とする。 The alkali-soluble resin having a carboxy group and a polymerizable unsaturated group in one molecule represented by the formula (2) of the present invention is an epoxy compound (a) having two epoxy groups in one molecule and an unsaturated group It is obtained by reacting a dicarboxylic acid or tricarboxylic acid or their acid dianhydride (b) and a tetracarboxylic acid or their acid dianhydride (c) with a reactant with a contained monocarboxylic acid. In addition, the polymerizable unsaturated group-containing alkali-soluble resin contains several oxyalkylene groups and an epoxy compound (a-1) having two cycloalkyl groups in one molecule as an epoxy compound serving as a raw material. It is characterized by using
下記式(2)で表される、1分子内にカルボキシ基および重合性不飽和基を有するアルカリ可溶性樹脂(以下、単に、「重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂」ともいう)の製造方法について詳細に説明する。 A method for producing an alkali-soluble resin having a carboxyl group and a polymerizable unsaturated group in one molecule (hereinafter also simply referred to as "polymerizable unsaturated group-containing alkali-soluble resin") represented by the following formula (2): I will explain in detail.
先ず、式(1)で表される1分子内に2個のエポキシシクロアルキル基を有するエポキシ化合物(a-1)(以下、単に「エポキシ化合物(a-1)」ともいう)に不飽和基含有モノカルボン酸(例えば(メタ)アクリル酸)を反応させ、エポキシ(メタ)アクリレートを得る。 First, an unsaturated group is added to an epoxy compound (a-1) having two epoxycycloalkyl groups in one molecule represented by formula (1) (hereinafter also simply referred to as "epoxy compound (a-1)"). The contained monocarboxylic acid (for example, (meth)acrylic acid) is reacted to obtain an epoxy (meth)acrylate.
上記不飽和基含有モノカルボン酸化合物の例には、アクリル酸、メタクリル酸以外に、アクリル酸やメタクリル酸に無水コハク酸、無水マレイン酸、無水フタル酸等の酸一無水物を反応させた化合物などが含まれる。 Examples of the unsaturated group-containing monocarboxylic acid compounds include, in addition to acrylic acid and methacrylic acid, compounds obtained by reacting acrylic acid or methacrylic acid with succinic anhydride, maleic anhydride, phthalic anhydride and the like. and so on.
上記エポキシ化合物(a-1)と(メタ)アクリル酸との反応は、公知の方法を使用することができる。たとえば、特開平4-355450号公報には、2つのエポキシ基を有するエポキシ化合物1モルに対し、約2モルの(メタ)アクリル酸を使用することにより、重合性不飽和基を含有するジオール化合物が得られることが記載されている。本発明において、上記反応で得られる化合物は、重合性不飽和基を含有するジオール化合物であり、式(6)で表されるジオール(d)である。 A known method can be used for the reaction between the epoxy compound (a-1) and (meth)acrylic acid. For example, Japanese Patent Laid-Open No. 4-355450 discloses a diol compound containing a polymerizable unsaturated group by using about 2 mol of (meth)acrylic acid per 1 mol of an epoxy compound having two epoxy groups. is obtained. In the present invention, the compound obtained by the above reaction is a diol compound containing a polymerizable unsaturated group, which is the diol (d) represented by formula (6).
式(1)で表されるエポキシ化合物(a-1)のXは、内部にヘテロ元素を含んでいてもよい炭素数1~20の2価の有機基、-CO-、-SO2-、-Si(CH3)2-、-O-または単結合である。内部にヘテロ元素を含んでいてもよい炭素数1~20の2価の有機基の例には、2価の炭化水素基、炭化水素基の末端の一つまたは二つにカルボキシ基を有する2価の基などが含まれる。なお、上記炭化水素基は内部にエーテル結合性の酸素原子またはエステル結合を有していてもよい。 X in the epoxy compound (a-1) represented by the formula (1) is a divalent organic group having 1 to 20 carbon atoms which may contain a hetero element therein, -CO-, -SO 2 -, —Si(CH 3 ) 2 —, —O— or a single bond. Examples of the divalent organic group having 1 to 20 carbon atoms which may contain a hetero element inside include a divalent hydrocarbon group, a 2 having a carboxy group at one or two ends of the hydrocarbon group. Valence groups and the like are included. The hydrocarbon group may have an ether oxygen atom or an ester bond inside.
2価の炭化水素基の例には、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、イソプロピリデン基、sec-ブチレン基、メチルイソブチレン基、へキシレン基、デシレン基、ドデシレン基などの直鎖または分岐鎖を有する炭化水素基が含まれる。また、炭化水素基の末端にエステル基を有する2価の基の例には、式(7)~(10)で表される2価の有機基が含まれる。 Examples of divalent hydrocarbon groups include linear or branched chains such as methylene group, ethylene group, propylene group, isopropylidene group, sec-butylene group, methylisobutylene group, hexylene group, decylene group and dodecylene group. including hydrocarbon groups with Examples of divalent groups having an ester group at the end of a hydrocarbon group include divalent organic groups represented by formulas (7) to (10).
上記式(1)における2つのシクロヘキサン環はXを介して結合している。上記シクロヘキサン環はそれぞれの1位および2位で酸素原子と結合し、4位または5位でXと結合している。Xの結合位置は4位または5位のいずれでもよく、4位と5位でランダムに結合していてもよい。 Two cyclohexane rings in the above formula (1) are bonded via X. The cyclohexane ring is bonded to oxygen atoms at the 1- and 2-positions, respectively, and to X at the 4- or 5-position. The bonding position of X may be either 4-position or 5-position, and may be randomly bonded at 4-position and 5-position.
式(1)で表されるエポキシ化合物(a-1)の具体例には、式(11)~(17)で表されるエポキシ化合物が含まれる。 Specific examples of the epoxy compound (a-1) represented by formula (1) include epoxy compounds represented by formulas (11) to (17).
一般式(6)で表されるジオール(d)の合成、およびそれに続く多価カルボン酸またはその無水物の付加反応、さらにカルボキシ基との反応性を有する重合性不飽和基を有する単官能エポキシ化合物等を反応させて、一般式(2)で表される重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂の製造においては、通常、溶媒中で必要に応じて触媒を用いて反応を行う。 Synthesis of diol (d) represented by general formula (6), subsequent addition reaction of polyvalent carboxylic acid or its anhydride, monofunctional epoxy having polymerizable unsaturated group reactive with carboxy group In the production of the polymerizable unsaturated group-containing alkali-soluble resin represented by the general formula (2) by reacting compounds and the like, the reaction is usually carried out in a solvent using a catalyst if necessary.
溶媒の例には、エチルセロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート等のセロソルブ系溶媒;ジグライム、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等の高沸点のエーテル系もしくはエステル系の溶媒;シクロヘキサノン、ジイソブチルケトン等のケトン系溶媒等が含まれる。なお、使用する溶媒、触媒等の反応条件に関しては特に制限されないが、例えば、水酸基を持たず、反応温度より高い沸点を有する溶媒を反応溶媒として用いることが好ましい。 Examples of solvents include cellosolve solvents such as ethyl cellosolve acetate and butyl cellosolve acetate; high boiling point ether or ester solvents such as diglyme, ethyl carbitol acetate, butyl carbitol acetate and propylene glycol monomethyl ether acetate; Ketone solvents such as diisobutyl ketone and the like are included. Although there are no particular restrictions on the reaction conditions such as the solvent and catalyst used, it is preferable to use, as the reaction solvent, a solvent that does not have a hydroxyl group and has a boiling point higher than the reaction temperature.
また、カルボキシ基とエポキシ基との反応においては触媒を使用することが好ましく、特開平9-325494号公報には、テトラエチルアンモニウムブロマイド、トリエチルベンジルアンモニウムクロライド等のアンモニウム塩、トリフェニルホスフィン、トリス(2,6-ジメトキシフェニル)ホスフィン等のホスフィン類等が記載されている。 Further, it is preferable to use a catalyst in the reaction between the carboxyl group and the epoxy group. ,6-dimethoxyphenyl)phosphine and other phosphines.
次に、エポキシ化合物と(メタ)アクリル酸との反応で得られる式(6)で表されるジオール(d)と酸成分(b)および(c)とを反応させて、式(18)で表される1分子内にカルボキシ基および重合性不飽和基を有するアルカリ可溶性樹脂(以下、「式(18)で表されるアルカリ可溶性樹脂」と記載。)を得ることができる。 Next, the diol (d) represented by the formula (6) obtained by the reaction of the epoxy compound and (meth)acrylic acid is reacted with the acid components (b) and (c) to obtain the formula (18). It is possible to obtain an alkali-soluble resin having a carboxyl group and a polymerizable unsaturated group in one molecule (hereinafter referred to as "alkali-soluble resin represented by formula (18)").
式(18)で表されるアルカリ可溶性樹脂を合成するために使用される酸成分は、式(6)で表されるジオール(d)分子中の水酸基と反応し得る多価の酸成分であり、ジカルボン酸もしくはトリカルボン酸またはそれらの酸一無水物(b)とテトラカルボン酸またはその酸二無水物(c)とを併用することが必要である。上記酸成分のカルボン酸残基は、飽和炭化水素基または不飽和炭化水素基のいずれでもよい。また、これらのカルボン酸残基には-O-、-S-、カルボニル基等のヘテロ元素を含む結合を含んでいてもよい。 The acid component used to synthesize the alkali-soluble resin represented by formula (18) is a polyvalent acid component capable of reacting with hydroxyl groups in the diol (d) molecule represented by formula (6). , a dicarboxylic acid or tricarboxylic acid or their monoanhydride (b) and a tetracarboxylic acid or their dianhydride (c). The carboxylic acid residue of the acid component may be either a saturated hydrocarbon group or an unsaturated hydrocarbon group. In addition, these carboxylic acid residues may contain a bond containing a heteroatom such as —O—, —S—, or a carbonyl group.
ジカルボン酸もしくはトリカルボン酸またはそれらの酸一無水物(b)としては、鎖式炭化水素ジカルボン酸もしくはトリカルボン酸、脂環式炭化水素ジカルボン酸もしくはトリカルボン酸、芳香族炭化水素ジカルボン酸もしくはトリカルボン酸、またはそれらの酸一無水物等を用いることができる。 Dicarboxylic or tricarboxylic acids or their monoanhydrides (b) include chain hydrocarbon dicarboxylic or tricarboxylic acids, alicyclic hydrocarbon dicarboxylic or tricarboxylic acids, aromatic hydrocarbon dicarboxylic or tricarboxylic acids, or Their acid monoanhydrides and the like can be used.
鎖式炭化水素ジカルボン酸またはトリカルボン酸の酸一無水物の例には、コハク酸、アセチルコハク酸、マレイン酸、アジピン酸、イタコン酸、アゼライン酸、シトラリンゴ酸、マロン酸、グルタル酸、クエン酸、酒石酸、オキソグルタル酸、ピメリン酸、セバシン酸、スベリン酸、ジグリコール酸等の酸一無水物、および任意の置換基が導入されたジカルボン酸またはトリカルボン酸の酸一無水物等が含まれる。また、脂環式ジカルボン酸またはトリカルボン酸の酸一無水物の例には、シクロブタンジカルボン酸、シクロペンタンジカルボン酸、ヘキサヒドロフタル酸、テトラヒドロフタル酸、ノルボルナンジカルボン酸等の酸一無水物、および任意の置換基が導入されたジカルボン酸またはトリカルボン酸の酸一無水物等が含まれる。また、芳香族ジカルボン酸またはトリカルボン酸の酸一無水物の例には、フタル酸、イソフタル酸、トリメリット酸等の酸一無水物、および任意の置換基が導入されたジカルボン酸またはトリカルボン酸の酸一無水物が含まれる。 Examples of monoanhydrides of chain hydrocarbon dicarboxylic or tricarboxylic acids include succinic acid, acetylsuccinic acid, maleic acid, adipic acid, itaconic acid, azelaic acid, citramalic acid, malonic acid, glutaric acid, citric acid, Acid unianhydrides such as tartaric acid, oxoglutaric acid, pimelic acid, sebacic acid, suberic acid and diglycolic acid, and dicarboxylic or tricarboxylic acid unianhydrides introduced with optional substituents are included. Examples of acid unianhydrides of alicyclic dicarboxylic acids or tricarboxylic acids include acid unianhydrides such as cyclobutanedicarboxylic acid, cyclopentanedicarboxylic acid, hexahydrophthalic acid, tetrahydrophthalic acid, norbornanedicarboxylic acid, and any dicarboxylic acid or tricarboxylic acid monoanhydride into which a substituent of is introduced. In addition, examples of acid unihydrides of aromatic dicarboxylic acids or tricarboxylic acids include acid unihydrides such as phthalic acid, isophthalic acid and trimellitic acid, and dicarboxylic acids or tricarboxylic acids into which optional substituents have been introduced. Contains monoanhydride.
ジカルボン酸またはトリカルボン酸の酸一無水物の中では、コハク酸、イタコン酸、テトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロトリメリット酸、フタル酸、トリメリット酸が好ましく、コハク酸、イタコン酸、テトラヒドロフタル酸であることがより好ましい。また、ジカルボン酸もしくはトリカルボン酸においては、それらの酸一無水物を用いることが好ましい。上述したジカルボン酸またはトリカルボン酸の酸一無水物は、その1種のみを単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。 Among the monoanhydrides of dicarboxylic or tricarboxylic acids, succinic acid, itaconic acid, tetrahydrophthalic acid, hexahydrotrimellitic acid, phthalic acid, trimellitic acid are preferred, and succinic acid, itaconic acid, tetrahydrophthalic acid. is more preferable. Moreover, it is preferable to use those acid monoanhydrides in dicarboxylic acid or tricarboxylic acid. The acid 1 anhydrides of dicarboxylic acids or tricarboxylic acids described above may be used alone or in combination of two or more thereof.
また、テトラカルボン酸またはその酸二無水物(c)としては、鎖式炭化水素テトラカルボン酸、脂環式炭化水素テトラカルボン酸、芳香族炭化水素テトラカルボン酸、またはそれらの酸二無水物等を用いることができる。 In addition, as the tetracarboxylic acid or its acid dianhydride (c), chain hydrocarbon tetracarboxylic acid, alicyclic hydrocarbon tetracarboxylic acid, aromatic hydrocarbon tetracarboxylic acid, or acid dianhydride thereof, etc. can be used.
鎖式炭化水素テトラカルボン酸の例には、ブタンテトラカルボン酸、ペンタンテトラカルボン酸、ヘキサンテトラカルボン酸、および脂環式炭化水素基、不飽和炭化水素基等の置換基が導入された鎖式炭化水素テトラカルボン酸等が含まれる。また、上記脂環式テトラカルボン酸の例には、シクロブタンテトラカルボン酸、シクロペンタンテトラカルボン酸、シクロヘキサンテトラカルボン酸、シクロへプタンテトラカルボン酸、ノルボルナンテトラカルボン酸、および鎖式炭化水素基、不飽和炭化水素基等の置換基が導入された脂環式テトラカルボン酸等が含まれる。また、芳香族テトラカルボン酸の例には、ピロメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸、ビフェニルテトラカルボン酸、ジフェニルエーテルテトラカルボン酸、ジフェニルスルホンテトラカルボン酸等が含まれる。 Examples of chain hydrocarbon tetracarboxylic acids include butanetetracarboxylic acid, pentanetetracarboxylic acid, hexanetetracarboxylic acid, and chain chains into which substituents such as alicyclic hydrocarbon groups and unsaturated hydrocarbon groups are introduced. Hydrocarbon tetracarboxylic acids and the like are included. Examples of the alicyclic tetracarboxylic acids include cyclobutanetetracarboxylic acid, cyclopentanetetracarboxylic acid, cyclohexanetetracarboxylic acid, cycloheptanetetracarboxylic acid, norbornanetetracarboxylic acid, chain hydrocarbon groups, Alicyclic tetracarboxylic acids into which substituents such as saturated hydrocarbon groups have been introduced are included. Examples of aromatic tetracarboxylic acids include pyromellitic acid, benzophenonetetracarboxylic acid, biphenyltetracarboxylic acid, diphenylethertetracarboxylic acid, diphenylsulfonetetracarboxylic acid and the like.
テトラカルボン酸またはその酸二無水物の中では、ビフェニルテトラカルボン酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸、ジフェニルエーテルテトラカルボン酸であることが好ましく、ビフェニルテトラカルボン酸、ジフェニルエーテルテトラカルボン酸であることがより好ましい。また、テトラカルボン酸またはその酸二無水物においては、その酸二無水物を用いることが好ましい。なお、上述したテトラカルボン酸またはその酸二無水物は、その1種のみを単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。 Among tetracarboxylic acids or acid dianhydrides thereof, biphenyltetracarboxylic acid, benzophenonetetracarboxylic acid and diphenylethertetracarboxylic acid are preferable, and biphenyltetracarboxylic acid and diphenylethertetracarboxylic acid are more preferable. Moreover, in tetracarboxylic acid or its acid dianhydride, it is preferable to use the acid dianhydride. In addition, the tetracarboxylic acid or its acid dianhydride mentioned above may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together.
式(6)で表されるジオール(d)と酸成分(b)および(c)との反応については、特に限定されるものではなく、公知の方法を採用することができる。たとえば、特開平9-325494号公報には、反応温度が90~140℃でエポキシ(メタ)アクリレートとテトラカルボン酸二無水物を反応させる方法が記載されている。 The reaction between the diol (d) represented by formula (6) and the acid components (b) and (c) is not particularly limited, and known methods can be employed. For example, JP-A-9-325494 describes a method of reacting epoxy (meth)acrylate and tetracarboxylic dianhydride at a reaction temperature of 90 to 140°C.
ここで、化合物の末端がカルボキシ基となるように、エポキシ(メタ)アクリレート(d)、ジカルボン酸もしくはトリカルボン酸またはそれらの酸一無水物(b)、テトラカルボン酸二無水物(c)とのモル比が(d):(b):(c)=1:0.01~1.0:0.2~1.0となるように反応させることが好ましい。 Here, epoxy (meth)acrylate (d), dicarboxylic acid or tricarboxylic acid or their acid unihydride (b), tetracarboxylic dianhydride (c) so that the terminal of the compound is a carboxy group It is preferable to carry out the reaction so that the molar ratio (d):(b):(c)=1:0.01-1.0:0.2-1.0.
たとえば、(b)酸一無水物、(c)酸二無水物を用いる場合には、重合性不飽和基を含有するジオール化合物(エポキシ(メタ)アクリレート)(d)に対する酸成分の量〔(b)/2+(c)〕のモル比[(d)/〔(b)/2+(c)〕]が0.5~1.0となるように反応させることが好ましい。ここで、モル比が1.0以下である場合には、未反応の重合性不飽和基を含有するジオール化合物の含有量を増大させることがないのでアルカリ可溶性樹脂組成物の経時安定性を高めることができる。一方、モル比が0.5を超える場合には、式(2)で表されるアルカリ可溶性樹脂の末端が酸無水物とならないので、未反応酸二無水物の含有量が増大することを抑制できることから、アルカリ可溶性樹脂組成物の経時安定性を高めることができる。なお、上記式(2)で表されるアルカリ可溶性樹脂の酸価、分子量を調整する目的で、(d)、(b)および(c)の各成分のモル比は、上述の範囲で任意に変更することができる。 For example, when using (b) an acid dianhydride and (c) an acid dianhydride, the amount of the acid component with respect to the diol compound containing a polymerizable unsaturated group (epoxy (meth) acrylate) (d) [( It is preferable to carry out the reaction so that the molar ratio [(d)/[(b)/2+(c)]] of b)/2+(c)] is 0.5 to 1.0. Here, when the molar ratio is 1.0 or less, the content of the diol compound containing an unreacted polymerizable unsaturated group is not increased, so the aging stability of the alkali-soluble resin composition is enhanced. be able to. On the other hand, when the molar ratio exceeds 0.5, the end of the alkali-soluble resin represented by formula (2) does not become an acid anhydride, so the content of unreacted acid dianhydride is suppressed from increasing. Therefore, the stability over time of the alkali-soluble resin composition can be enhanced. For the purpose of adjusting the acid value and molecular weight of the alkali-soluble resin represented by the above formula (2), the molar ratio of each component of (d), (b) and (c) is arbitrarily within the above range. can be changed.
式(6)で表されるジオール(d)と酸成分(b)および(c)との反応で得られるアルカリ可溶性樹脂は、式(2)中のGが全て水素原子である、式(18)の構造を有する。本実施形態では、式(18)のカルボキシ基に対して、式(20)で表される不飽和基含有エポキシ化合物を反応させる。式(18)と式(20)で表される不飽和基含有エポキシ化合物との反応は、公知の方法を使用することができ、例えば、式(6)で表されるようなエポキシ(メタ)アクリレートの製造方法を用いることができる。これにより、式(2)で表される重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂を得ることができる。さらに、上記重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂の水酸基に対して、ジカルボン酸もしくはトリカルボン酸またはそれらの酸一無水物を反応させてもよい。 The alkali-soluble resin obtained by the reaction of the diol (d) represented by the formula (6) with the acid components (b) and (c) is represented by the formula (18), wherein all G in the formula (2) are hydrogen atoms. ). In this embodiment, the unsaturated group-containing epoxy compound represented by formula (20) is reacted with the carboxy group of formula (18). A known method can be used for the reaction of the unsaturated group-containing epoxy compound represented by Formula (18) and Formula (20). Methods for making acrylates can be used. Thereby, the polymerizable unsaturated group-containing alkali-soluble resin represented by formula (2) can be obtained. Furthermore, the hydroxyl group of the polymerizable unsaturated group-containing alkali-soluble resin may be reacted with a dicarboxylic acid, tricarboxylic acid, or acid unihydride thereof.
式(18)のカルボキシ基に対する式(20)で表される不飽和基含有エポキシ化合物のエポキシ基のモル比は、式(2)で表されるアルカリ可溶性樹脂の光反応の感度(重合性二重結合の量の大小による)や酸価を調整する目的で任意に変更できる。また、式(20)のモル数は、(b)成分のモル数と(c)成分のモル数の2倍の合計モル数に対して、90%以下であればアルカリ現像性の付与が可能であり、光パターニング性を有する感光性樹脂組成物に用いることができる。また、光反応の感度向上効果を付与したい場合は、10%以上にすることが必要であるので、10~90%であることが好ましく、30~70%であることがより好ましい。また、使用する式(2)で表されるアルカリ可溶性樹脂の酸価は、20~180であることが好ましく、30~120であることがより好ましい。 The molar ratio of the epoxy group of the unsaturated group-containing epoxy compound represented by formula (20) to the carboxy group of formula (18) is determined by the photoreaction sensitivity of the alkali-soluble resin represented by formula (2). It can be arbitrarily changed for the purpose of adjusting the amount of heavy bonds) and acid value. Further, if the number of moles of the formula (20) is 90% or less of the total number of moles of the number of moles of the component (b) and twice the number of moles of the component (c), alkali developability can be imparted. and can be used for a photosensitive resin composition having photopatternability. Further, when the effect of improving the sensitivity of the photoreaction is to be imparted, it is necessary to make it 10% or more. The acid value of the alkali-soluble resin represented by formula (2) to be used is preferably 20-180, more preferably 30-120.
本発明の式(2)で表されるアルカリ可溶性樹脂のゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)測定(HLC-8220GPC、東ソー株式会社製)によるポリスチレン換算の重量平均分子量(Mw)は、通常1000~100000であり、2000~20000であることが好ましい。重量平均分子量が1000以上の場合には、アルカリ現像時のパターンの密着性の低下を抑制することができる。また、重量平均分子量が100000未満である場合には、塗布に好適な感光性樹脂組成物の溶液粘度に調整しやすく、アルカリ現像に時間を要しすぎることがない。上記アルカリ可溶性樹脂のゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)測定は、「HLC-8220GPC」(東ソー株式会社製)を用いて測定することができる。 The weight average molecular weight (Mw) in terms of polystyrene measured by gel permeation chromatography (GPC) (HLC-8220GPC, manufactured by Tosoh Corporation) of the alkali-soluble resin represented by the formula (2) of the present invention is usually 1000 to 100000. and preferably from 2000 to 20000. When the weight-average molecular weight is 1,000 or more, it is possible to suppress deterioration of pattern adhesion during alkali development. Moreover, when the weight average molecular weight is less than 100,000, it is easy to adjust the solution viscosity of the photosensitive resin composition suitable for coating, and alkali development does not take too much time. Gel permeation chromatography (GPC) measurement of the alkali-soluble resin can be performed using "HLC-8220GPC" (manufactured by Tosoh Corporation).
次に、式(21)の不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂(以下、「式(21)で表されるアルカリ可溶性樹脂」と記載する)について説明する。なお、式(21)で表される不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂は、式(2)、および式(5)で表される重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂との混合物である。 Next, the unsaturated group-containing alkali-soluble resin of formula (21) (hereinafter referred to as "alkali-soluble resin represented by formula (21)") will be described. The unsaturated group-containing alkali-soluble resin represented by formula (21) is a mixture with the polymerizable unsaturated group-containing alkali-soluble resin represented by formulas (2) and (5).
式(21)で表されるアルカリ可溶性樹脂の製造方法は、式(2)で表されるアルカリ可溶性樹脂の製造方法で実施することができるが、第一ステップの1分子内に2個のエポキシ基を有するエポキシ化合物(a)と不飽和基含有モノカルボン酸を反応させる際に、(a)成分として上記エポキシ化合物(a-1)とビスフェノール類から誘導されるエポキシ樹脂(a-2)とを併用する。 The method for producing an alkali-soluble resin represented by formula (21) can be carried out in the method for producing an alkali-soluble resin represented by formula (2), but in the first step, two epoxy When the epoxy compound (a) having a group and the unsaturated group-containing monocarboxylic acid are reacted, the epoxy compound (a-1) and the epoxy resin (a-2) derived from bisphenols are used as components (a). used together.
ビスフェノール類から誘導されるエポキシ樹脂(a-2)は式(22)で表される。 Epoxy resin (a-2) derived from bisphenols is represented by formula (22).
上記(a-2)成分は、ビスフェノール類とエピクロルヒドリンを反応させて2個のグリシジルエーテル基を有するエポキシ化合物である。この反応の際には、一般にジグリシジルエーテル化合物のオリゴマー化を伴うため、式(21)に示すようなオリゴマーとなるが、個々の分子は異なるmの値となり、上記のとおりmの平均値としては0超10以下であり、0.05以上5以下であることが好ましい。 The above component (a-2) is an epoxy compound having two glycidyl ether groups obtained by reacting bisphenols with epichlorohydrin. Since this reaction generally involves oligomerization of the diglycidyl ether compound, an oligomer as shown in formula (21) is formed, but each molecule has a different value of m, and as described above, the average value of m is is more than 0 and 10 or less, preferably 0.05 or more and 5 or less.
上記(a-2)成分の原料として使用されるビスフェノール類の例には、ビス(4-ヒドロキシフェニル)ケトン、ビス(4-ヒドロキシ-3,5-ジメチルフェニル)ケトン、ビス(4-ヒドロキシ-3,5-ジクロロフェニル)ケトン、ビス(4-ヒドロキシフェニル)スルホン、ビス(4-ヒドロキシ-3,5-ジメチルフェニル)スルホン、ビス(4-ヒドロキシ-3,5-ジクロロフェニル)スルホン、ビス(4-ヒドロキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン、ビス(4-ヒドロキシ-3,5-ジメチルフェニル)ヘキサフルオロプロパン、ビス(4-ヒドロキシ-3,5-ジクロロフェニル)ヘキサフルオロプロパン、ビス(4-ヒドロキシフェニル)ジメチルシラン、ビス(4-ヒドロキシ-3,5-ジメチルフェニル)ジメチルシラン、ビス(4-ヒドロキシ-3,5-ジクロロフェニル)ジメチルシラン、ビス(4-ヒドロキシフェニル)メタン、ビス(4-ヒドロキシ-3,5-ジクロロフェニル)メタン、ビス(4-ヒドロキシ-3,5-ジブロモフェニル)メタン、2,2-ビス(4-ヒドロキシフェニル)プロパン、2,2-ビス(4-ヒドロキシ-3,5-ジメチルフェニル)プロパン、2,2-ビス(4-ヒドロキシ-3,5-ジクロロフェニル)プロパン、2,2-ビス(4-ヒドロキシ-3-メチルフェニル)プロパン、2,2-ビス(4-ヒドロキシ-3-クロロフェニル)プロパン、ビス(4-ヒドロキシフェニル)エーテル、ビス(4-ヒドロキシ-3,5-ジメチルフェニル)エーテル、ビス(4-ヒドロキシ-3,5-ジクロロフェニル)エーテル、9,9-ビス(4-ヒドロキシフェニル)フルオレン、9,9-ビス(4-ヒドロキシ-3-メチルフェニル)フルオレン、9,9-ビス(4-ヒドロキシ-3-クロロフェニル)フルオレン、9,9-ビス(4-ヒドロキシ-3-ブロモフェニル)フルオレン、9,9-ビス(4-ヒドロキシ-3-フルオロフェニル)フルオレン、9,9-ビス(4-ヒドロキシ-3,5-ジメチルフェニル)フルオレン、9,9-ビス(4-ヒドロキシ-3,5-ジクロロフェニル)フルオレン、9,9-ビス(4-ヒドロキシ-3,5-ジブロモフェニル)フルオレン、4,4’-ビフェノール、3,3’-ビフェノール等およびこれらの誘導体が含まれる。上記ビスフェノール類の中では、2,2-ビス(4-ヒドロキシフェニル)プロパンが好ましい。(a―2)成分の原料として使用されるビスフェノール類は、その1種のみを単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。 Examples of bisphenols used as starting materials for component (a-2) above include bis(4-hydroxyphenyl)ketone, bis(4-hydroxy-3,5-dimethylphenyl)ketone, bis(4-hydroxy- 3,5-dichlorophenyl)ketone, bis(4-hydroxyphenyl)sulfone, bis(4-hydroxy-3,5-dimethylphenyl)sulfone, bis(4-hydroxy-3,5-dichlorophenyl)sulfone, bis(4- hydroxyphenyl)hexafluoropropane, bis(4-hydroxy-3,5-dimethylphenyl)hexafluoropropane, bis(4-hydroxy-3,5-dichlorophenyl)hexafluoropropane, bis(4-hydroxyphenyl)dimethylsilane, bis(4-hydroxy-3,5-dimethylphenyl)dimethylsilane, bis(4-hydroxy-3,5-dichlorophenyl)dimethylsilane, bis(4-hydroxyphenyl)methane, bis(4-hydroxy-3,5- dichlorophenyl)methane, bis(4-hydroxy-3,5-dibromophenyl)methane, 2,2-bis(4-hydroxyphenyl)propane, 2,2-bis(4-hydroxy-3,5-dimethylphenyl)propane , 2,2-bis(4-hydroxy-3,5-dichlorophenyl)propane, 2,2-bis(4-hydroxy-3-methylphenyl)propane, 2,2-bis(4-hydroxy-3-chlorophenyl) Propane, bis(4-hydroxyphenyl) ether, bis(4-hydroxy-3,5-dimethylphenyl) ether, bis(4-hydroxy-3,5-dichlorophenyl) ether, 9,9-bis(4-hydroxyphenyl) ) fluorene, 9,9-bis(4-hydroxy-3-methylphenyl)fluorene, 9,9-bis(4-hydroxy-3-chlorophenyl)fluorene, 9,9-bis(4-hydroxy-3-bromophenyl ) fluorene, 9,9-bis(4-hydroxy-3-fluorophenyl)fluorene, 9,9-bis(4-hydroxy-3,5-dimethylphenyl)fluorene, 9,9-bis(4-hydroxy-3 ,5-dichlorophenyl)fluorene, 9,9-bis(4-hydroxy-3,5-dibromophenyl)fluorene, 4,4'-biphenol, 3,3'-biphenol and the like, and derivatives thereof. Among the above bisphenols, 2,2-bis(4-hydroxyphenyl)propane is preferred. The bisphenols used as raw materials for component (a-2) may be used singly or in combination of two or more.
式(21)で表される化合物の製造の第一ステップでは、(a-1)成分と(a-2)成分とを、(a-1)成分100質量部に対して、(a-2)成分を10~100質量部(好ましくは、30~60質量部)になるように添加し、2つのエポキシ基を有するエポキシ化合物(a-1)および(a-2)の合計のモル数の2倍の(メタ)アクリル酸を反応させ、エポキシ(メタ)アクリレート(d’)を得る。この反応は前述のように、溶剤中で触媒を用いて実施することが好ましい。なお、(a-1)の1モルに対して2モルの(メタ)アクリル酸を反応させたエポキシアクリレートと、別途(a-2)の1モルに対して2モルの(メタ)アクリル酸を反応させたエポキシアクリレートとを混合してエポキシ(メタ)アクリレート(d’)を得ても構わない。 In the first step of producing the compound represented by formula (21), (a-1) component and (a-2) component are combined with (a-2 ) component is added so as to be 10 to 100 parts by mass (preferably 30 to 60 parts by mass), and the total number of moles of epoxy compounds (a-1) and (a-2) having two epoxy groups Epoxy (meth)acrylate (d') is obtained by reacting twice as much (meth)acrylic acid. The reaction is preferably carried out catalyzed in a solvent, as described above. In addition, epoxy acrylate obtained by reacting 2 mol (meth)acrylic acid with respect to 1 mol of (a-1) and separately 2 mol of (meth)acrylic acid with respect to 1 mol of (a-2) Epoxy (meth)acrylate (d') may be obtained by mixing with reacted epoxy acrylate.
第二ステップでは、第一ステップで得たエポキシ(メタ)アクリレート(d’)に、ジカルボン酸もしくはトリカルボン酸またはそれらの酸一無水物(b)とテトラカルボン酸またはその酸二無水物(c)を反応させ、式(23)の1分子内にカルボキシ基および重合性不飽和基を有するアルカリ可溶性樹脂(以下「式(22)のアルカリ可溶性樹脂」と記載)を得る。 In the second step, the epoxy (meth)acrylate (d') obtained in the first step is combined with a dicarboxylic acid or tricarboxylic acid or their unianhydride (b) and a tetracarboxylic acid or their dianhydride (c). to obtain an alkali-soluble resin of formula (23) having a carboxyl group and a polymerizable unsaturated group in one molecule (hereinafter referred to as "alkali-soluble resin of formula (22)").
ここで、式(23)で表されるアルカリ可溶性樹脂の個々の1分子内においてfは整数であり、当該1分子内におけるPおよびQで表されるユニット数をそれぞれfPおよびfQとした場合にf=fP+fQである。なお、W’=Pである場合はfQ≠0であり、W’=Qである場合はfP≠0であり、W’がPのときはWが必ずQを含み、W’がQのときはWが必ずPを含む。 Here, f is an integer in each molecule of the alkali-soluble resin represented by formula (23), and the number of units represented by P and Q in the molecule is fP and fQ, respectively. f=fP+fQ. When W'=P, fQ≠0; when W'=Q, fP≠0; when W' is P, W always includes Q; means that W always contains P.
第二のステップにおいて、式(23)のアルカリ可溶性樹脂を製造する際に使用する酸成分(b)および(c)の種類、添加量、および反応条件等については、式(18)のアルカリ可溶性樹脂を製造する場合と同様である。 In the second step, the type, addition amount, reaction conditions, etc. of the acid components (b) and (c) used in producing the alkali-soluble resin of formula (23) are as follows: It is the same as when manufacturing resin.
第三のステップでは、式(23)で表されるアルカリ可溶性樹脂に、式(20)で表される不飽和基含有エポキシ化合物を反応させる。この反応についても、式(18)のアルカリ可溶性樹脂から式(2)で表されるアルカリ可溶性樹脂を製造する場合と同様にして、式(23)で表されるアルカリ可溶性樹脂から式(21)で表されるアルカリ可溶性樹脂を得る。式(20)のモル数は、(b)成分のモル数と(c)成分のモル数の2倍の合計モル数に対して、90%以下であればアルカリ現像性の付与が可能であり、光パターニング性を有する感光性樹脂組成物に用いることができる。また、光反応の感度向上効果を付与したい場合は、10%以上にすることが必要であるので、10~90%であることが好ましく、30~70%であることがより好ましい。 In the third step, the unsaturated group-containing epoxy compound represented by Formula (20) is reacted with the alkali-soluble resin represented by Formula (23). For this reaction, the alkali-soluble resin represented by formula (23) is converted to formula (21) in the same manner as in the case of producing the alkali-soluble resin represented by formula (2) from the alkali-soluble resin represented by formula (18). An alkali-soluble resin represented by is obtained. If the number of moles of the formula (20) is 90% or less of the total number of moles, which is twice the number of moles of the component (b) and the number of moles of the component (c), alkali developability can be imparted. , can be used in a photosensitive resin composition having photopatternability. Further, when the effect of improving the sensitivity of the photoreaction is to be imparted, it is necessary to make it 10% or more.
式(21)で表されるアルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量は、1000~100000であることがよく、2000~30000であることが好ましい。また式(21)のアルカリ可溶性樹脂の酸価は、20~180であることがよく、30~120であることが好ましい。 The weight average molecular weight of the alkali-soluble resin represented by formula (21) is preferably 1,000 to 100,000, preferably 2,000 to 30,000. The acid value of the alkali-soluble resin of formula (21) is preferably 20-180, preferably 30-120.
次に、本発明の式(2)で表されるアルカリ可溶性樹脂および/または式(21)のアルカリ可溶性樹脂を用いた感光性樹脂組成物について説明する。(E)分散質を含む場合と含まない場合で、好ましい感光性樹脂組成物の成分比率が異なるが、先ずは、(E)分散質を含まない場合について説明する。 Next, the photosensitive resin composition using the alkali-soluble resin represented by the formula (2) and/or the alkali-soluble resin represented by the formula (21) of the present invention will be described. Although the preferred photosensitive resin composition component ratio differs depending on whether (E) dispersoid is included or not, the case of (E) not including dispersoid will be described first.
(A)式(2)および/または式(21)で表されるアルカリ可溶性樹脂に、(B)光重合開始剤を添加し、溶剤を使用して塗膜を形成するのに適した溶液粘度にすることによって、感光性樹脂組成物を得る。 (A) an alkali-soluble resin represented by formula (2) and / or formula (21), (B) a photopolymerization initiator is added, and a solution viscosity suitable for forming a coating film using a solvent to obtain a photosensitive resin composition.
本発明の感光性樹脂組成物としては、当該感光性樹脂組成物の固形分中、(A)成分は1~55質量%であり、(C)成分は上記(A)成分100質量部に対して0~100質量部であり、(B)成分は上記(A)成分と上記(C)成分との合計量100質量部に対して0.1~40質量部であり、(E)成分は1~95質量%である。 In the photosensitive resin composition of the present invention, the component (A) is 1 to 55% by mass in the solid content of the photosensitive resin composition, and the component (C) is 100 parts by mass of the component (A). is 0 to 100 parts by mass, component (B) is 0.1 to 40 parts by mass per 100 parts by mass of the total amount of component (A) and component (C), and component (E) is 1 to 95% by mass.
また、上記(A)成分は、式(2)で表される重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂と、式(5)で表される樹脂と、を含み、式(2)で表される重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂の質量mA-1と、式(5)で表される樹脂の質量mA-2との比率は、mA-1/mA-2=75/25~25/75である。 Further, the component (A) includes a polymerizable unsaturated group-containing alkali-soluble resin represented by formula (2) and a resin represented by formula (5), and is represented by formula (2) The ratio between the mass m A-1 of the polymerizable unsaturated group-containing alkali-soluble resin and the mass m A-2 of the resin represented by formula (5) is m A-1 /m A-2 =75/25. ~25/75.
本発明の感光性樹脂組成物における(B)光重合開始剤の例には、アセトフェノン、2,2-ジエトキシアセトフェノン、p-ジメチルアセトフェノン、p-ジメチルアミノプロピオフェノン、ジクロロアセトフェノン、トリクロロアセトフェノン、p-tert-ブチルアセトフェノン等のアセトフェノン類;ベンゾフェノン、2-クロロベンゾフェノン、p,p’-ビスジメチルアミノベンゾフェノン等のベンゾフェノン類;ベンジル、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル等のベンゾインエーテル類;2-(o-クロロフェニル)-4,5-フェニルビイミダゾール、2-(o-クロロフェニル)-4,5-ジ(m-メトキシフェニル)ビイミダゾール、2-(o-フルオロフェニル)-4,5-ジフェニルビイミダゾール、2-(o-メトキシフェニル)-4,5-ジフェニルビイミダゾール、2、4,5-トリアリールビイミダゾール等のビイミダゾール系化合物類;2-トリクロロメチル-5-スチリル-1,3,4-オキサジアゾ-ル、2-トリクロロメチル-5-(p-シアノスチリル)-1,3,4-オキサジアゾール、2-トリクロロメチル-5-(p-メトキシスチリル)-1,3,4-オキサジアゾール等のハロメチルジアゾール化合物類;2,4,6-トリス(トリクロロメチル)-1,3,5-トリアジン、2-メチル-4,6-ビス(トリクロロメチル)-1,3,5-トリアジン、2-フェニル-4、6-ビス(トリクロロメチル)-1,3,5-トリアジン、2-(4-クロロフェニル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-1,3,5-トリアジン、2-(4-メトキシフェニル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-1,3,5-トリアジン、2-(4-メトキシナフチル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-1,3,5-トリアジン、2-(4-メトキシスチリル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-1,3,5-トリアジン、2-(3,4,5-トリメトキシスチリル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-1,3,5-トリアジン、2-(4-メチルチオスチリル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-1,3,5-トリアジン等のハロメチル-s-トリアジン系化合物類;1,2-オクタンジオン,1-[4-(フェニルチオ)フェニル]-,2-(O-ベンゾイルオキシム)、1-(4-フェニルスルファニルフェニル)ブタン-1,2-ジオン-2-オキシム-O-ベンゾア-ト、1-(4-メチルスルファニルフェニル)ブタン-1,2-ジオン-2-オキシム-O-アセタート、1-(4-メチルスルファニルフェニル)ブタン-1-オンオキシム-O-アセタート等のO-アシルオキシム系化合物類;ベンジルジメチルケタール、チオキサンソン、2-クロロチオキサンソン、2,4-ジエチルチオキサンソン、2-メチルチオキサンソン、2-イソプロピルチオキサンソン等のイオウ化合物;2-エチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、1,2-ベンズアントラキノン、2,3-ジフェニルアントラキノン等のアントラキノン類;アゾビスイソブチルニトリル、ベンゾイルパーオキサイド、クメンパーオキシド等の有機過酸化物;2-メルカプトベンゾイミダゾール、2-メルカプトベンゾオキサゾール、2-メルカプトベンゾチアゾール等のチオール化合物;トリエタノールアミン、トリエチルアミン等の第3級アミンなどが含まれる。なお、これら光重合開始剤は、その1種のみを単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。 Examples of the (B) photopolymerization initiator in the photosensitive resin composition of the present invention include acetophenone, 2,2-diethoxyacetophenone, p-dimethylacetophenone, p-dimethylaminopropiophenone, dichloroacetophenone, trichloroacetophenone, Acetophenones such as p-tert-butylacetophenone; Benzophenones such as benzophenone, 2-chlorobenzophenone and p,p'-bisdimethylaminobenzophenone; Benzoins such as benzyl, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin isopropyl ether and benzoin isobutyl ether Ethers; 2-(o-chlorophenyl)-4,5-phenylbiimidazole, 2-(o-chlorophenyl)-4,5-di(m-methoxyphenyl)biimidazole, 2-(o-fluorophenyl)- Biimidazole compounds such as 4,5-diphenylbiimidazole, 2-(o-methoxyphenyl)-4,5-diphenylbiimidazole, 2,4,5-triarylbiimidazole; 2-trichloromethyl-5- Styryl-1,3,4-oxadiazole, 2-trichloromethyl-5-(p-cyanostyryl)-1,3,4-oxadiazole, 2-trichloromethyl-5-(p-methoxystyryl)- Halomethyldiazole compounds such as 1,3,4-oxadiazole; 2,4,6-tris(trichloromethyl)-1,3,5-triazine, 2-methyl-4,6-bis(trichloromethyl )-1,3,5-triazine, 2-phenyl-4,6-bis(trichloromethyl)-1,3,5-triazine, 2-(4-chlorophenyl)-4,6-bis(trichloromethyl)- 1,3,5-triazine, 2-(4-methoxyphenyl)-4,6-bis(trichloromethyl)-1,3,5-triazine, 2-(4-methoxynaphthyl)-4,6-bis( trichloromethyl)-1,3,5-triazine, 2-(4-methoxystyryl)-4,6-bis(trichloromethyl)-1,3,5-triazine, 2-(3,4,5-trimethoxy styryl)-4,6-bis(trichloromethyl)-1,3,5-triazine, 2-(4-methylthiostyryl)-4,6-bis(trichloromethyl)-1,3,5-triazine, etc. -s-triazine compounds; 1,2-octanedione, 1-[4-(phenylthio)phenyl]-,2-(O-benzoyloxime), 1-(4-phenylsulfanylphenyl)butane-1,2 -dione-2-oxime-O-benzoate, 1-(4-methylsulfanylphenyl)butane-1,2-dione-2-oxime-O-acetate, 1-(4-methylsulfanylphenyl)butane-1 O-acyl oxime compounds such as -one oxime-O-acetate; sulfur compounds such as; 2-ethylanthraquinone, octamethylanthraquinone, 1,2-benzanthraquinone, 2,3-diphenylanthraquinone and other anthraquinones; azobisisobutylnitrile, benzoyl peroxide, cumene peroxide and other organic peroxides thiol compounds such as 2-mercaptobenzimidazole, 2-mercaptobenzoxazole and 2-mercaptobenzothiazole; and tertiary amines such as triethanolamine and triethylamine. In addition, these photoinitiators may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together.
特に、後述する着色剤等の分散質を含む感光性樹脂組成物とする場合には、O-アシルオキシム系化合物類(ケトオキシムを含む)を用いることが好ましい。具体的化合物群としては、式(26)または式(27)で示されるO-アシルオキシム系光重合開始剤がある。それらの中でも、着色剤を高顔料濃度で用いる場合および遮光膜パターンを形成する場合には、365nmにおけるモル吸光係数が10000L/mol・cm以上であるO-アシルオキシム系光重合開始剤を用いることが好ましい。なお、本発明でいう「光重合開始剤」とは、増感剤を含む意味で使用される。 In particular, O-acyloxime compounds (including ketoximes) are preferably used when a photosensitive resin composition containing a dispersoid such as a coloring agent, which will be described later, is used. A specific group of compounds includes O-acyloxime-based photopolymerization initiators represented by formula (26) or (27). Among them, when using a colorant at a high pigment concentration and when forming a light-shielding film pattern, an O-acyloxime-based photopolymerization initiator having a molar absorption coefficient at 365 nm of 10000 L/mol cm or more should be used. is preferred. In addition, the "photopolymerization initiator" as used in the field of this invention is used in the meaning containing a sensitizer.
感光性樹脂組成物に含まれる溶剤の例には、メタノール、エタノール、n-プロパノール、イソプロパノール、エチレングリコール、プロピレングリコール等のアルコール類;α-もしくはβ-テルピネオール等のテルペン類;アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、N-メチル-2-ピロリドン等のケトン類;トルエン、キシレン、テトラメチルベンゼン等の芳香族炭化水素類;セロソルブ、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、カルビトール、メチルカルビトール、エチルカルビトール、ブチルカルビトール、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル等のグリコールエーテル類;酢酸エチル、酢酸ブチル、セロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート、カルビトールアセテート、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート等の酢酸エステル類が含まれる。これらを単独または2種類以上を併用して溶解、混合させることにより、均一な溶液状の組成物とすることができる。溶剤の量は、目標とする粘度によって変化するが、感光性樹脂組成物溶液中60~90質量%の範囲が好ましい。 Examples of solvents contained in the photosensitive resin composition include alcohols such as methanol, ethanol, n-propanol, isopropanol, ethylene glycol, propylene glycol; terpenes such as α- or β-terpineol; acetone, methyl ethyl ketone, cyclohexanone. , N-methyl-2-pyrrolidone and other ketones; toluene, xylene, tetramethylbenzene and other aromatic hydrocarbons; cellosolve, methyl cellosolve, ethyl cellosolve, carbitol, methyl carbitol, ethyl carbitol, butyl carbitol , diethylene glycol ethyl methyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, dipropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monoethyl ether, triethylene glycol monomethyl ether, triethylene glycol monoethyl ether and other glycol ethers; ethyl acetate , butyl acetate, cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, butyl cellosolve acetate, carbitol acetate, ethyl carbitol acetate, butyl carbitol acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, and propylene glycol monoethyl ether acetate. By dissolving and mixing these alone or in combination of two or more, a uniform solution composition can be obtained. The amount of the solvent varies depending on the target viscosity, but is preferably in the range of 60 to 90% by mass in the photosensitive resin composition solution.
本発明の感光性樹脂組成物には、上述したような(A)特定構造のアルカリ可溶性樹脂と(B)光重合開始剤に加えて、必要に応じて、(C)少なくとも1個のエチレン性不飽和結合を有する光重合性モノマーや、(D)エポキシ基を2つ以上含むエポキシ化合物またはエポキシ樹脂を添加することができ、これら(C)成分と(D)成分を併用して使用することができる。 In the photosensitive resin composition of the present invention, in addition to (A) an alkali-soluble resin having a specific structure and (B) a photopolymerization initiator as described above, if necessary, (C) at least one ethylenic A photopolymerizable monomer having an unsaturated bond, or (D) an epoxy compound or epoxy resin containing two or more epoxy groups can be added, and these components (C) and (D) can be used in combination. can be done.
(C)光重合性モノマーの例には、2-ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2-ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2-エチルヘキシル(メタ)アクリレート等の水酸基を有する(メタ)アクリル酸エステル類;エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、テトラエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、テトラメチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールエタントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、グリセロール(メタ)アクリレート、ソルビトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、またはジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ソルビトールヘキサ(メタ)アクリレート、フォスファゼンのアルキレンオキサイド変性ヘキサ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート等の(メタ)アクリル酸エステル類;デンドリマー型多官能アクリレートが含まれる。これらの光重合性モノマーは、その1種類のみを単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。 (C) Examples of photopolymerizable monomers include (meth)acrylic acid esters having a hydroxyl group such as 2-hydroxyethyl (meth)acrylate, 2-hydroxypropyl (meth)acrylate, and 2-ethylhexyl (meth)acrylate; Ethylene glycol di(meth)acrylate, diethylene glycol di(meth)acrylate, triethylene glycol di(meth)acrylate, tetraethylene glycol di(meth)acrylate, tetramethylene glycol di(meth)acrylate, trimethylolpropane tri(meth)acrylate , trimethylolethane tri(meth)acrylate, pentaerythritol di(meth)acrylate, pentaerythritol tri(meth)acrylate, pentaerythritol tetra(meth)acrylate, dipentaerythritol tetra(meth)acrylate, glycerol (meth)acrylate, sorbitol penta(meth)acrylate, dipentaerythritol penta(meth)acrylate, or dipentaerythritol hexa(meth)acrylate, sorbitol hexa(meth)acrylate, alkylene oxide-modified hexa(meth)acrylate of phosphazene, caprolactone-modified dipentaerythritol hexa( (Meth)acrylic acid esters such as meth)acrylates; dendrimer-type polyfunctional acrylates are included. These photopolymerizable monomers may be used alone or in combination of two or more.
また、当該少なくとも1個のエチレン性不飽和結合を有する光重合性モノマーは、光重合性基を2個以上有して不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂の分子同士を架橋することができるものを用いることが好ましい。なお、(C)少なくとも1個のエチレン性不飽和結合を有する光重合性モノマーは遊離のカルボキシ基を有しない。 The photopolymerizable monomer having at least one ethylenically unsaturated bond is a photopolymerizable monomer having two or more photopolymerizable groups and capable of cross-linking the molecules of the unsaturated group-containing alkali-soluble resin. is preferred. In addition, (C) the photopolymerizable monomer having at least one ethylenically unsaturated bond does not have a free carboxy group.
(D)2つ以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂又はエポキシ化合物の例には、3,3’,5,5’-テトラメチル-4,4’-ビフェノール型エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールフルオレン型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、3,4-エポキシシクロヘキセニルメチル-3’,4’-エポキシシクロヘキセンカルボキシレート、2,2-ビス(ヒドロキシメチル)-1-ブタノールの1,2-エポキシ-4-(2-オキシラニル)シクロヘキサン付加物、エポキシシリコーン樹脂等が含まれる。これらは、1種類の化合物のみを用いてもよく、複数を組み合わせて用いてもよい。 (D) Examples of epoxy resins or epoxy compounds having two or more epoxy groups include 3,3′,5,5′-tetramethyl-4,4′-biphenol type epoxy resins, bisphenol A type epoxy resins, Bisphenol fluorene type epoxy resin, phenol novolak type epoxy resin, 3,4-epoxycyclohexenylmethyl-3′,4′-epoxycyclohexene carboxylate, 2,2-bis(hydroxymethyl)-1-butanol 1,2- Epoxy-4-(2-oxiranyl)cyclohexane adducts, epoxy silicone resins and the like are included. These compounds may be used alone or in combination.
(E)成分を含まない感光性樹脂組成物において、(C)成分および/または(D)成分を使用する場合の好ましい配合比率は、(C)成分が(A)成分100質量部に対して0~100質量部であり、(D)成分を使用する場合には(A)成分と(C)成分の合計量100質量部に対して5~30質量部であることが好ましい。(C)成分を使用する目的は、感光性樹脂組成物の光硬化反応の感度を向上させることであり、添加量を増せば感度は高くなる。ただし、(A)成分よりも多量に添加すると感光性樹脂組成物のアルカリ可溶性が不足して現像性が低下することになる。一方、(D)成分を添加する目的は、光硬化反応、アルカリ現像に引き続き、熱硬化により光パターニングした膜の物性を向上させることであり、特にエポキシ基を2つ以上有す売るエポキシ化合物を用いた場合、樹脂成分を架橋することにより表面硬度等を改善することができる。ただし、光硬化成分に対して量が多すぎると光パターニング性に悪影響を及ぼすことになる。 In a photosensitive resin composition that does not contain component (E), the preferred blending ratio when using component (C) and/or component (D) is component (C) per 100 parts by mass of component (A). It is preferably 0 to 100 parts by mass, and when component (D) is used, it is preferably 5 to 30 parts by mass per 100 parts by mass of the total amount of components (A) and (C). The purpose of using component (C) is to improve the sensitivity of the photocuring reaction of the photosensitive resin composition, and the sensitivity increases as the amount added increases. However, if it is added in an amount larger than that of the component (A), the alkali solubility of the photosensitive resin composition becomes insufficient, resulting in a decrease in developability. On the other hand, the purpose of adding the component (D) is to improve the physical properties of the photo-patterned film by heat curing following the photo-curing reaction and alkali development. When used, the surface hardness and the like can be improved by cross-linking the resin component. However, if the amount is too large relative to the photocurable component, the photopatternability will be adversely affected.
上述の感光性樹脂組成物は、(E)分散質を加えた感光性樹脂組成物として使用することもできる。分散質入りの感光性樹脂組成物として使用する場合の好ましい配合比率は、光硬化により固化する成分を含めた固形分中に(A)成分の含有量は1~55質量%であり、(C)成分は(A)成分の100質量部に対して0~100質量部であり、(B)成分は(A)成分と(C)成分の合計量100質量部に対して0.1~40質量部であり、(E)は固形分中1~95質量%であり、(D)成分を使用する場合は(A)成分と(C)成分の合計量100質量部に対し5~30質量部であることが好ましい。 The above photosensitive resin composition can also be used as (E) a photosensitive resin composition to which a dispersoid is added. A preferable blending ratio when used as a photosensitive resin composition containing dispersoids is that the content of component (A) in the solid content including the component that solidifies by photocuring is 1 to 55% by mass, and (C ) component is 0 to 100 parts by mass per 100 parts by mass of component (A), and component (B) is 0.1 to 40 parts by mass per 100 parts by mass of the total amount of components (A) and (C). parts by mass, (E) is 1 to 95% by mass of the solid content, and when component (D) is used, 5 to 30 mass parts per 100 parts by mass of the total amount of components (A) and (C) It is preferable that it is a part.
本発明で使用できる(E)分散質としては、1~1000nmの平均粒径(レーザー回折・散乱法粒径分布計または動的光散乱法粒径分布計測定された平均粒径)で分散されたものであれば、従来感光性樹脂組成物に用いられている公知の分散質を特に制限なく使用することができる。 The (E) dispersoid that can be used in the present invention is dispersed with an average particle size of 1 to 1000 nm (average particle size measured by a laser diffraction/scattering method particle size distribution analyzer or a dynamic light scattering method particle size distribution analyzer). Known dispersoids that have been used in conventional photosensitive resin compositions can be used without any particular restrictions, as long as they are the same.
ここで、黒色顔料の例には、ペリレンブラック、シアニンブラック、アニリンブラック、カーボンブラック、チタンブラックなどが含まれる。混色有機顔料の例には、アゾ顔料、縮合アゾ顔料、アゾメチン顔料、フタロシアニン顔料、キナクリドン顔料、イソインドリノン顔料、イソインドリン顔料、ジオキサジン顔料、スレン顔料、ペリレン顔料、ペリノン顔料、キノフタロン顔料、ジケトピロロピロール顔料、チオインジゴ顔料などの有機顔料から選択される少なくとも2色が混合された顔料が含まれる。白色顔料の例には、酸化チタン顔料、複合酸化物顔料;ケイ酸カルシウム、炭酸マグネシウム、炭酸カルシウム、硫酸カルシウム、硫酸バリウムなどの無機フィラーが含まれる。これらの(E)成分は、目的とする感光性樹脂組成物の機能に応じて、その1種のみを単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。 Here, examples of black pigments include perylene black, cyanine black, aniline black, carbon black, titanium black and the like. Examples of mixed color organic pigments include azo pigments, condensed azo pigments, azomethine pigments, phthalocyanine pigments, quinacridone pigments, isoindolinone pigments, isoindoline pigments, dioxazine pigments, threne pigments, perylene pigments, perinone pigments, quinophthalone pigments, diketo Pigments in which at least two colors selected from organic pigments such as pyrrolopyrrole pigments and thioindigo pigments are mixed are included. Examples of white pigments include titanium oxide pigments, composite oxide pigments; inorganic fillers such as calcium silicate, magnesium carbonate, calcium carbonate, calcium sulfate and barium sulfate. These (E) components may be used alone or in combination of two or more depending on the intended function of the photosensitive resin composition.
また、上記(E)分散質は目的とする感光性樹脂組成物の機能に応じて単独でまたは複数組み合わせて用いることができる。たとえば、カラーフィルターのブラックマトリクスの製造に用いられる遮光レジストとしては、カーボンブラック、チタンブラック、黒色有機顔料等を用いることができ、カラーフィルターの画素の製造に用いられる着色レジストとしては、赤色、橙色、黄色、緑色、青色、紫色の有機顔料等を用いることができ、プリント配線板の絶縁膜の製造に用いられるソルダーレジストとしては、有機顔料、無機顔料、無機フィラー等を用いることができ、タッチパネルの前面ガラスの意匠に用いられる加飾レジストとしては、カーボンブラック、チタンブラック、黒色有機顔料、白色顔料等を、高硬度、高耐久性の透明レジストとしてはシリカ等の透明フィラーを用いることができ、それぞれ適宜選定して使用することができる。 In addition, the dispersoid (E) can be used alone or in combination according to the intended function of the photosensitive resin composition. For example, carbon black, titanium black, black organic pigments, etc. can be used as light-shielding resists used for manufacturing the black matrix of color filters, and red and orange resists can be used as coloring resists used for manufacturing pixels of color filters. , yellow, green, blue, purple organic pigments, etc. can be used, and organic pigments, inorganic pigments, inorganic fillers, etc. can be used as the solder resist used for manufacturing the insulating film of the printed wiring board, and the touch panel Carbon black, titanium black, black organic pigments, white pigments, etc. can be used as decorative resists used for the design of the front glass, and transparent fillers such as silica can be used as transparent resists with high hardness and high durability. , can be appropriately selected and used.
なお、(E)成分として使用可能な有機顔料の例には、カラーインデックス名で以下のナンバーのものが含まれるが、これに限定されない。
ピグメント・レッド2、3、4、5、9、12、14、22、23、31、38、112、122、144、146、147、149、166、168、170、175、176、177、178、179、184、185、187、188、202、207、208、209、210、213、214、220、221、242、247、253、254、255、256、257、262、264、266、272、279等
ピグメント・オレンジ5、13、16、34、36、38、43、61、62、64、67、68、71、72、73、74、81等
ピグメント・イエロー1、3、12、13、14、16、17、55、73、74、81、83、93、95、97、109、110、111、117、120、126、127、128、129、130、136、138、139、150、151、153、154、155、173、174、175、176、180、181、183、185、191、194、199、213、214等
ピグメント・グリーン7、36、58等
ピグメント・ブルー15、15:1、15:2、15:3、15:4、15:6、16、60、80等ピグメント・バイオレット19、23、37等
Examples of organic pigments that can be used as the component (E) include, but are not limited to, those with the following numbers in the name of the color index.
Pigment Red 2, 3, 4, 5, 9, 12, 14, 22, 23, 31, 38, 112, 122, 144, 146, 147, 149, 166, 168, 170, 175, 176, 177, 178 , 179, 184, 185, 187, 188, 202, 207, 208, 209, 210, 213, 214, 220, 221, 242, 247, 253, 254, 255, 256, 257, 262, 264, 266, 272 , 279 etc. Pigment Orange 5, 13, 16, 34, 36, 38, 43, 61, 62, 64, 67, 68, 71, 72, 73, 74, 81 etc. Pigment Yellow 1, 3, 12, 13 , 14, 16, 17, 55, 73, 74, 81, 83, 93, 95, 97, 109, 110, 111, 117, 120, 126, 127, 128, 129, 130, 136, 138, 139, 150 , 151, 153, 154, 155, 173, 174, 175, 176, 180, 181, 183, 185, 191, 194, 199, 213, 214, etc. Pigment Green 7, 36, 58, etc. Pigment Blue 15, 15 : 1, 15:2, 15:3, 15:4, 15:6, 16, 60, 80, etc. Pigment Violet 19, 23, 37, etc.
(E)成分の着色剤の配合割合については、所望の遮光度によって任意に決めることができるが、感光性樹脂組成物中の固形成分に対して1~80質量%であることが好ましい。 The mixing ratio of the component (E) colorant can be arbitrarily determined according to the desired degree of light blocking, but it is preferably 1 to 80% by mass based on the solid components in the photosensitive resin composition.
上記(E)成分は溶剤に分散させた着色剤分散体として他の配合成分と混合するのが通常であり、この際には分散剤(E’成分)を添加することができる。分散剤は、顔料(着色剤)分散に用いられている公知の化合物(分散剤、分散湿潤剤、分散促進剤等の名称で市販されている化合物等)等を特に制限なく使用することができる。 The component (E) is usually mixed with other ingredients as a colorant dispersion dispersed in a solvent, and in this case, a dispersant (component E') can be added. As the dispersant, known compounds used for dispersing pigments (colorants) (compounds commercially available under the names of dispersants, dispersion wetting agents, dispersion accelerators, etc.) can be used without particular limitation. .
分散剤の例には、カチオン性高分子系分散剤、アニオン性高分子系分散剤、ノニオン性高分子系分散剤、顔料誘導体型分散剤(分散助剤)が含まれる。特に、分散剤は、着色剤への吸着点としてイミダゾリル基、ピロリル基、ピリジル基、一級、二級または三級のアミノ基等のカチオン性の官能基を有し、アミン価が1~100mgKOH/g、数平均分子量が1千~10万の範囲にあるカチオン性高分子系分散剤であることが好ましい。この分散剤の配合量は、着色剤に対して1~35質量%であることが好ましく、2~25質量%であることがより好ましい。なお、樹脂類のような高粘度物質は、一般に分散を安定させる作用を有するが、分散促進能を有しないものは分散剤として扱わない。しかし、分散を安定させる目的で使用することを制限するものではない。 Examples of dispersants include cationic polymeric dispersants, anionic polymeric dispersants, nonionic polymeric dispersants, and pigment derivative dispersants (dispersing aids). In particular, the dispersant has a cationic functional group such as an imidazolyl group, pyrrolyl group, pyridyl group, primary, secondary or tertiary amino group as an adsorption point to the colorant, and has an amine value of 1 to 100 mgKOH/ g. It is preferably a cationic polymeric dispersant having a number average molecular weight in the range of 1,000 to 100,000. The blending amount of the dispersant is preferably 1 to 35% by mass, more preferably 2 to 25% by mass, based on the colorant. High-viscosity substances such as resins generally have the effect of stabilizing dispersion, but those that do not have dispersion-promoting properties are not treated as dispersants. However, it does not limit its use for the purpose of stabilizing the dispersion.
上述のように、本発明の感光性樹脂組成物は様々な(E)分散質を加えた感光性樹脂組成物として、例えば耐光性の要求のある用途に使用することができる。 As described above, the photosensitive resin composition of the present invention can be used as a photosensitive resin composition to which various (E) dispersoids are added, for applications requiring light resistance, for example.
なお、本発明では、必要に応じて、光または熱によって重合または硬化するその他の樹脂成分を併用してもよい。その他の樹脂成分としては、例えば、フェノールノボラック、クレゾールノボラック等のノボラック類から誘導されるノボラックエポキシ樹脂に(メタアクリル酸および酸無水物を反応させて得られるアルカリ可溶性樹脂、(メタ)アクリル酸と(メタ)アクリル酸エステル類との共重合体中のカルボキシ基にエポキシ基含有(メタ)アクリレートを反応させて得られるアルカリ可溶性樹脂等が挙げられる。 In addition, in the present invention, if necessary, other resin components that are polymerized or cured by light or heat may be used together. Other resin components include, for example, a novolac epoxy resin derived from novolaks such as phenol novolak and cresol novolak (an alkali-soluble resin obtained by reacting methacrylic acid and an acid anhydride, (meth)acrylic acid and Alkali-soluble resins obtained by reacting epoxy group-containing (meth)acrylates with carboxy groups in copolymers with (meth)acrylic acid esters can be used.
本発明の感光性樹脂組成物には、必要に応じて硬化剤、硬化促進剤、熱重合禁止剤および酸化防止剤、可塑剤、レベリング剤、消泡剤、界面活性剤、カップリング剤等の添加剤を配合することができる。ここで、硬化剤としては、エポキシ樹脂の硬化に寄与するアミン系化合物、多価カルボン酸系化合物、フェノール樹脂、アミノ樹脂、ジシアンジアミド、ルイス酸錯化合物等が含まれ、硬化促進剤としては、エポキシ樹脂の硬化に寄与する三級アミン、四級アンモニウム塩、三級ホスフィン、四級ホスホニウム塩、ホウ酸エステル、ルイス酸、有機金属化合物、イミダゾール類等が含まれる。熱重合禁止剤および酸化防止剤の例には、ハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、ピロガロール、tert-ブチルカテコール、フェノチアジン、ヒンダードフェノール系化合物等が含まれる。可塑剤の例には、ジブチルフタレート、ジオクチルフタレート、リン酸トリクレジル等が含まれる。消泡剤やレベリング剤の例には、シリコーン系、フッ素系、アクリル系の化合物が含まれる。界面活性剤の例には、フッ素系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤などが含まれる。カップリング剤の例には、3-(グリシジルオキシ)プロピルトリメトキシシラン、3-アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3-イソシアナトプロピルトリエトキシシラン、3-ウレイドプロピルトリエトキシシラン等が含まれる。 The photosensitive resin composition of the present invention may optionally contain curing agents, curing accelerators, thermal polymerization inhibitors and antioxidants, plasticizers, leveling agents, antifoaming agents, surfactants, coupling agents and the like. Additives can be added. The curing agent includes amine compounds, polycarboxylic acid compounds, phenolic resins, amino resins, dicyandiamide, Lewis acid complex compounds, etc., which contribute to the curing of epoxy resins. Tertiary amines, quaternary ammonium salts, tertiary phosphines, quaternary phosphonium salts, borate esters, Lewis acids, organometallic compounds, imidazoles, etc., which contribute to curing of the resin are included. Examples of thermal polymerization inhibitors and antioxidants include hydroquinone, hydroquinone monomethyl ether, pyrogallol, tert-butylcatechol, phenothiazine, hindered phenolic compounds and the like. Examples of plasticizers include dibutyl phthalate, dioctyl phthalate, tricresyl phosphate, and the like. Examples of antifoaming agents and leveling agents include silicone-based, fluorine-based, and acrylic-based compounds. Examples of surfactants include fluorine-based surfactants, silicone-based surfactants, and the like. Examples of coupling agents include 3-(glycidyloxy)propyltrimethoxysilane, 3-acryloxypropyltrimethoxysilane, 3-isocyanatopropyltriethoxysilane, 3-ureidopropyltriethoxysilane, and the like.
本発明の硬化物は、本発明の感光性樹脂組成物を用いてフォトリソグラフィー法により形成される。その製造工程としては、先ず、感光性樹脂組成物溶液を基板表面に塗布し、次いで溶媒を乾燥させた(プリベーク)後、このようにして得られた被膜の上にフォトマスクをあて、紫外線を照射して露光部を硬化させ、さらにアルカリ水溶液を用いて未露光部を溶出させる現像を行ってパターンを形成し、さらに後硬化としてポストベークを行う方法が挙げられる。ここで、感光性樹脂組成物溶液を塗布する基板としては、ガラス、透明フィルム(例えば、ポリカーボネート、ポリエチレンテレフタレート、ポリエーテルスルフォン等)等が用いられる。 The cured product of the present invention is formed by photolithography using the photosensitive resin composition of the present invention. As the manufacturing process, first, a photosensitive resin composition solution is applied to the surface of the substrate, and then the solvent is dried (pre-baking). A method of curing the exposed portion by irradiation, further performing development to dissolve the unexposed portion using an alkaline aqueous solution to form a pattern, and performing post-baking as post-curing can be mentioned. Here, glass, transparent films (for example, polycarbonate, polyethylene terephthalate, polyethersulfone, etc.) and the like are used as the substrate on which the photosensitive resin composition solution is applied.
感光性樹脂組成物溶液を基板に塗布する方法としては、公知の溶液浸漬法、スプレー法の他、ローラーコーター機、ランドコーター機、スリットコーター機やスピナ-機を用いる方法等の何れの方法を採用することができる。これらの方法によって、所望の厚さに塗布した後、溶剤を除去する(プリベーク)ことにより、被膜が形成される。プリベークはオーブン、ホットプレート等により加熱することによって行われる。プリベークにおける加熱温度および加熱時間は使用する溶剤に応じて適宜選択され、例えば80~120℃で、1~10分間行われることが好ましい。 As a method for applying the photosensitive resin composition solution to the substrate, any method such as a method using a roller coater, a land coater, a slit coater, a spinner, or the like can be used in addition to the known solution dipping method and spray method. can be adopted. By these methods, a film is formed by applying a desired thickness and then removing the solvent (pre-baking). Pre-baking is performed by heating with an oven, hot plate, or the like. The heating temperature and heating time in prebaking are appropriately selected according to the solvent used, and are preferably carried out at 80 to 120° C. for 1 to 10 minutes, for example.
露光に使用される放射線としては、例えば、可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、X線等を使用することができるが、放射線の波長の範囲は、250~450nmであることが好ましい。また、このアルカリ現像に適した現像液としては、例えば、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、水酸化カリウム、ジエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド等の水溶液を用いることができる。これらの現像液は、樹脂層の特性に合わせて適宜選択されうるが、必要に応じて界面活性剤を添加することも有効である。現像温度は、20~35℃であることが好ましく、市販の現像機や超音波洗浄機等を用いて微細な画像を精密に形成することができる。なお、アルカリ現像後は、通常、水洗される。現像処理法としては、シャワー現像法、スプレー現像法、ディップ(浸漬)現像法、パドル(液盛り)現像法等を適用することができる。 As the radiation used for exposure, for example, visible light, ultraviolet rays, deep ultraviolet rays, electron beams, X-rays, etc. can be used, and the wavelength range of the radiation is preferably 250 to 450 nm. As a developer suitable for this alkali development, for example, an aqueous solution of sodium carbonate, potassium carbonate, potassium hydroxide, diethanolamine, tetramethylammonium hydroxide, or the like can be used. These developers can be appropriately selected according to the properties of the resin layer, and it is also effective to add a surfactant as necessary. The developing temperature is preferably 20 to 35° C., and a fine image can be precisely formed using a commercially available developing machine, ultrasonic cleaning machine, or the like. After alkali development, the film is usually washed with water. As a development processing method, a shower development method, a spray development method, a dip (immersion) development method, a puddle (liquid puddle) development method, or the like can be applied.
露光後のアルカリ現像は、露光されない部分の感光性樹脂組成物を除去する目的で行われ、この現像によって所望のパターンが形成される。このアルカリ現像に適した現像液としては、例えば、アルカリ金属やアルカリ土類金属の炭酸塩の水溶液、アルカリ金属の水酸化物の水溶液等を挙げることができるが、特に炭酸ナトリウム、炭酸カリウム等の炭酸塩を0.03~1重量%含有する弱アルカリ性水溶液を用いて23~27℃の温度で現像するのがよく、市販の現像機や超音波洗浄機等を用いて微細な画像を精密に形成することができる。 Alkaline development after exposure is carried out for the purpose of removing the photosensitive resin composition from the unexposed portions, and a desired pattern is formed by this development. Examples of the developer suitable for this alkaline development include aqueous solutions of carbonates of alkali metals and alkaline earth metals, and aqueous solutions of hydroxides of alkali metals. It is preferable to develop at a temperature of 23 to 27° C. using a weakly alkaline aqueous solution containing 0.03 to 1% by weight of carbonate. can be formed.
このようにして現像した後、180~250℃で、20~100分間、熱処理(ポストベーク)が行われる。ただし、製膜する基板等の耐熱性が低い場合には、80~180℃で、30~100分間のポストベーク条件にできるように組成物の配合を設計することもできる。このポストベークは、パターニングされた塗膜と基板との密着性を高めるため等の目的で行われる。これはプレベークと同様に、オーブン、ホットプレート等により加熱することによって行われる。本発明のパターニングされた硬化物は、以上のフォトリソグラフィー法による各工程を経て形成される。 After development in this manner, heat treatment (post-baking) is performed at 180 to 250° C. for 20 to 100 minutes. However, if the substrate on which the film is to be formed has low heat resistance, the formulation of the composition can be designed so that post-baking conditions can be set at 80 to 180° C. for 30 to 100 minutes. This post-baking is performed for the purpose of improving the adhesion between the patterned coating film and the substrate. This is done by heating with an oven, hot plate or the like, similar to pre-baking. The patterned cured product of the present invention is formed through each step of the photolithography method described above.
以下、実施例および比較例に基づいて、本発明の実施形態を具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。 EXAMPLES Hereinafter, embodiments of the present invention will be specifically described based on Examples and Comparative Examples, but the present invention is not limited to these.
まず、式(2)で表される構造を含む重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂の合成例から説明するが、これらの合成例における樹脂の評価は、断りのない限り以下の通りに行った。 First, synthesis examples of the polymerizable unsaturated group-containing alkali-soluble resin containing the structure represented by the formula (2) will be described. Unless otherwise specified, the resins in these synthesis examples were evaluated as follows. .
[固形分濃度]
合成例および比較合成例中で得られた樹脂溶液、感光性樹脂組成物等の1gをガラスフィルター〔質量:W0(g)〕に含浸させて秤量し〔W1(g)〕、160℃にて2時間加熱した後の質量〔W2(g)〕から下記式(1)より求めた。
固形分濃度(質量%)=100×(W2-W0)/(W1-W0)
[Solid content concentration]
A glass filter [mass: W 0 (g)] was impregnated with 1 g of the resin solutions and photosensitive resin compositions obtained in Synthesis Examples and Comparative Synthesis Examples and weighed [W 1 (g)], and the temperature was 160 ° C. It was obtained from the following formula (1) from the mass [W 2 (g)] after heating for 2 hours at .
Solid content concentration (mass%) = 100 × (W 2 - W 0 )/(W 1 - W 0 )
[酸価]
樹脂溶液をテトラヒドロフランに溶解させ、電位差滴定装置「COM-1600」(平沼産業株式会社製)を用いて1/10N-KOH水溶液で滴定して、固形分1gあたりに必要となったKOHの量を酸価とした。
[Acid value]
The resin solution is dissolved in tetrahydrofuran and titrated with a 1/10 N-KOH aqueous solution using a potentiometric titrator "COM-1600" (manufactured by Hiranuma Sangyo Co., Ltd.) to determine the amount of KOH required per 1 g of solid content. acid value.
[分子量]
ゲルパーミュエーションクロマトグラフィー(GPC)「HLC-8220GPC」(東ソー株式会社製、溶媒:テトラヒドロフラン、カラム:TSKgelSuperH-2000(2本)+TSKgelSuperH-3000(1本)+TSKgelSuperH-4000(1本)+TSKgelSuper-H5000(1本)(東ソー株式会社製)、温度:40℃、速度:0.6ml/min)にて測定し、標準ポリスチレン(東ソー株式会社製、PS-オリゴマーキット)換算値として重量平均分子量(Mw)を求めた。
[Molecular weight]
Gel permeation chromatography (GPC) "HLC-8220GPC" (manufactured by Tosoh Corporation, solvent: tetrahydrofuran, column: TSKgelSuperH-2000 (2) + TSKgelSuperH-3000 (1) + TSKgelSuperH-4000 (1) + TSKgelSuper-H5000 (1 piece) (manufactured by Tosoh Corporation), temperature: 40 ° C., speed: 0.6 ml / min), standard polystyrene (manufactured by Tosoh Corporation, PS-oligomer kit) conversion value weight average molecular weight (Mw ).
また、合成例および比較合成例で使用する略号は次のとおりである。
HBPA-EA1:水添BisAエポキシ(エポキシ当量201g/eq)(式(1)
の骨格を有する)とアクリル酸との反応物(エポキシ基とカルボ
キシ基の等当量反応物)
HBPA-EA2:水添BisAエポキシ(エポキシ当量265g/eq)(式(1)
の骨格を有する)とアクリル酸との反応物(エポキシ基とカルボ
キシ基の等当量反応物)
BPA-EA :BisAエポキシ(エポキシ当量189g/eq)(式(22)
の骨格を有する)とアクリル酸との反応物(エポキシ基とカル
ボキシ基の等当量反応物)
BPF-EA :Bisフェノールフルオレン型エポキシ(エポキシ当量250
g/eq)(式(22)の骨格を有する)とアクリル酸との反応
物(エポキシ基とカルボキシル基の等当量反応物)
BPDA :3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物
HPMDA :1,2,4,5-シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物
THPA :1,2,3,6-テトラヒドロフタル酸無水物
TEAB :臭化テトラエチルアンモニウム
PGMEA :プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
Abbreviations used in Synthesis Examples and Comparative Synthesis Examples are as follows.
HBPA-EA1: hydrogenated BisA epoxy (epoxy equivalent 201 g/eq) (formula (1)
skeleton) and acrylic acid reaction product (epoxy group and carbo
Equivalent reactant of oxy group)
HBPA-EA2: hydrogenated BisA epoxy (epoxy equivalent weight 265 g/eq) (formula (1)
skeleton) and acrylic acid reaction product (epoxy group and carbo
Equivalent reactant of oxy group)
BPA-EA: BisA epoxy (epoxy equivalent weight 189 g/eq) (formula (22)
skeleton) and a reaction product with acrylic acid (epoxy group and calcium
Equivalent reactant of boxy group)
BPF-EA: Bis phenol fluorene type epoxy (epoxy equivalent 250
g/eq) (having a skeleton of formula (22)) with acrylic acid
substance (equivalent reactant of epoxy group and carboxyl group)
BPDA: 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride HPMDA: 1,2,4,5-cyclohexanetetracarboxylic dianhydride THPA: 1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride TEAB: Tetraethylammonium bromide PGMEA: Propylene glycol monomethyl ether acetate
[合成例1]
還留冷却器付き1000ml四つ口フラスコ中に、HBPA-EA1の50%PGMEA溶液(329.1g)と、BPDA(44.1g)と、THPA(22.8g)と、TEAB(0.43g)と、PGMEA(8.5g)と、を仕込み、120~125℃で6時間撹拌し、アルカリ可溶性樹脂(i)-1を得た。得られた樹脂の固形分濃度は61.2質量%、酸価(固形分換算)は123.1mgKOH/g、および分子量(Mw)は3210であった。
[Synthesis Example 1]
A 50% PGMEA solution of HBPA-EA1 (329.1 g), BPDA (44.1 g), THPA (22.8 g), and TEAB (0.43 g) were placed in a 1000 ml four-necked flask equipped with a reflux condenser. and PGMEA (8.5 g) were charged and stirred at 120 to 125° C. for 6 hours to obtain an alkali-soluble resin (i)-1. The resulting resin had a solid content concentration of 61.2% by mass, an acid value (in terms of solid content) of 123.1 mgKOH/g, and a molecular weight (Mw) of 3,210.
[合成例2]
還留冷却器付き1000ml四つ口フラスコ中に、HBPA-EA1の50%PGMEA溶液(340.0g)と、HPMDA(34.7g)と、THPA(23.6g)と、TEAB(0.43g)と、PGMEA(8.5g)と、を仕込み、120~125℃で6時間撹拌し、アルカリ可溶性樹脂(i)-2を得た。得られた樹脂の固形分濃度は61.1質量%、酸価(固形分換算)は120.4mgKOH/g、および分子量(Mw)は3230であった。
[Synthesis Example 2]
A 50% PGMEA solution of HBPA-EA1 (340.0 g), HPMDA (34.7 g), THPA (23.6 g), and TEAB (0.43 g) were placed in a 1000 ml four-necked flask equipped with a reflux condenser. and PGMEA (8.5 g) were charged and stirred at 120 to 125° C. for 6 hours to obtain an alkali-soluble resin (i)-2. The resulting resin had a solid content concentration of 61.1% by mass, an acid value (in terms of solid content) of 120.4 mgKOH/g, and a molecular weight (Mw) of 3,230.
[合成例3]
還留冷却器付き1000ml四つ口フラスコ中に、HBPA-EA2の50%PGMEA溶液(338.2g)と、BPDA(36.8g)と、THPA(19.0g)と、TEAB(0.43g)と、PGMEA(8.5g)と、仕込み、120~125℃で6時間撹拌し、アルカリ可溶性樹脂(i)-3を得た。得られた樹脂の固形分濃度は73.8質量%、酸価(固形分換算)は93.0mgKOH/g、および分子量(Mw)は4980であった。
[Synthesis Example 3]
A 50% PGMEA solution of HBPA-EA2 (338.2 g), BPDA (36.8 g), THPA (19.0 g), and TEAB (0.43 g) were placed in a 1000 ml four-necked flask equipped with a reflux condenser. and PGMEA (8.5 g), and stirred at 120 to 125° C. for 6 hours to obtain an alkali-soluble resin (i)-3. The resulting resin had a solid content concentration of 73.8% by mass, an acid value (in terms of solid content) of 93.0 mgKOH/g, and a molecular weight (Mw) of 4,980.
[合成例4]
還留冷却器付き1000ml四つ口フラスコ中に、HBPA-EA2の50%PGMEA溶液(338.2g)と、HPMDA(28.0g)と、THPA(19.0g)と、TEAB(0.43g)と、PGMEA(8.5g)と、を仕込み、120~125℃で6時間撹拌し、アルカリ可溶性樹脂(i)-4を得た。得られた樹脂の固形分濃度は64.2質量%、酸価(固形分換算)は100.8mgKOH/g、および分子量(Mw)は3960であった。
[Synthesis Example 4]
A 50% PGMEA solution of HBPA-EA2 (338.2 g), HPMDA (28.0 g), THPA (19.0 g), and TEAB (0.43 g) were placed in a 1000 ml four-necked flask equipped with a reflux condenser. and PGMEA (8.5 g) were charged and stirred at 120 to 125° C. for 6 hours to obtain an alkali-soluble resin (i)-4. The resulting resin had a solid content concentration of 64.2% by mass, an acid value (in terms of solid content) of 100.8 mgKOH/g, and a molecular weight (Mw) of 3,960.
[比較合成例1]
還留冷却器付き1000ml四つ口フラスコ中に、BPA-EAの50%PGMEA溶液(325.1g)と、BPDA(45.6g)と、THPA(23.6g)と、TEAB(0.43g)と、PGMEA(8.5g)と、を仕込み、120~125℃で加熱下に6時間撹拌し、アルカリ可溶性樹脂(i)-5を得た。得られた樹脂の固形分濃度は68.5質量%、酸価(固形分換算)は113.0mgKOH/g、および分子量(Mw)は2080であった。
[Comparative Synthesis Example 1]
50% PGMEA solution of BPA-EA (325.1 g), BPDA (45.6 g), THPA (23.6 g), and TEAB (0.43 g) in a 1000 ml four-necked flask equipped with a reflux condenser. and PGMEA (8.5 g) were charged and stirred for 6 hours while heating at 120 to 125° C. to obtain an alkali-soluble resin (i)-5. The resulting resin had a solid content concentration of 68.5% by mass, an acid value (in terms of solid content) of 113.0 mgKOH/g, and a molecular weight (Mw) of 2,080.
[比較合成例2]
還留冷却器付き1000ml四つ口フラスコ中にBPA-EAの50%PGMEA溶液(335.6g)と、HPMDA(35.9g)と、THPA(24.3g)と、TEAB(0.43g)と、PGMEA(8.5g)と、を仕込み、120~125℃で6時間撹拌し、アルカリ可溶性樹脂(i)-6を得た。得られた樹脂の固形分濃度は69.5質量%、酸価(固形分換算)は116.5mgKOH/g、および分子量(Mw)は2630であった。
[Comparative Synthesis Example 2]
A 50% PGMEA solution of BPA-EA (335.6 g), HPMDA (35.9 g), THPA (24.3 g), and TEAB (0.43 g) were placed in a 1000 ml four-necked flask equipped with a reflux condenser. , PGMEA (8.5 g), and stirred at 120 to 125° C. for 6 hours to obtain an alkali-soluble resin (i)-6. The resulting resin had a solid content concentration of 69.5% by mass, an acid value (in terms of solid content) of 116.5 mgKOH/g, and a molecular weight (Mw) of 2,630.
[比較合成例3]
還留冷却器付き1000ml四つ口フラスコ中に、BPF-EAの50%PGMEA溶液(313.7g)と、BPDA(47.1g)と、THPA(24.3g)と、TEAB(0.43g)と、PGMEA(8.5g)と、仕込み、120~125℃で6時間撹拌し、アルカリ可溶性樹脂(i)-7を得た。得られた樹脂の固形分濃度は56.55質量%、酸価(固形分換算)は103.0mgKOH/g、および分子量(Mw)は3600であった。
[Comparative Synthesis Example 3]
A 50% PGMEA solution of BPF-EA (313.7 g), BPDA (47.1 g), THPA (24.3 g), and TEAB (0.43 g) were placed in a 1000 ml four-necked flask equipped with a reflux condenser. and PGMEA (8.5 g), and stirred at 120 to 125° C. for 6 hours to obtain an alkali-soluble resin (i)-7. The obtained resin had a solid content concentration of 56.55% by mass, an acid value (in terms of solid content) of 103.0 mgKOH/g, and a molecular weight (Mw) of 3,600.
次に、感光性樹脂組成物および硬化物に係る実施例および比較例に基づいて、本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。ここで、以降の実施例および比較例で用いた原料および略号は以下の通りである。 Next, the present invention will be specifically described based on Examples and Comparative Examples relating to the photosensitive resin composition and the cured product, but the present invention is not limited to these. Raw materials and abbreviations used in the following examples and comparative examples are as follows.
(i)-1 :上記合成例1で得られたアルカリ可溶性樹脂
(i)-2 :上記合成例2で得られたアルカリ可溶性樹脂
(i)-3 :上記合成例3で得られたアルカリ可溶性樹脂
(i)-4 :上記合成例4で得られたアルカリ可溶性樹脂
(i)-5 :上記比較合成例1で得られたアルカリ可溶性樹脂
(i)-6 :上記比較合成例2で得られたアルカリ可溶性樹脂
(i)-7 :上記比較合成例3で得られたアルカリ可溶性樹脂
(ii) :ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
(iii) :Irgacure184(BASF社製、「Irgacure」は同
社の登録商標)
(iv) :カーボンブラック20.0質量%、高分子分散剤5.0質量%のP
GMEA分散液(固形分25.0%、カーボンブラックの平均二次
粒径162nm)
(v) :プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
(i)-1: alkali-soluble resin obtained in Synthesis Example 1 above (i)-2: alkali-soluble resin obtained in Synthesis Example 2 above (i)-3: alkali-soluble resin obtained in Synthesis Example 3 above Resin (i)-4: alkali-soluble resin obtained in Synthesis Example 4 above (i)-5: alkali-soluble resin obtained in Comparative Synthesis Example 1 above (i)-6: obtained in Comparative Synthesis Example 2 above Alkali-soluble resin (i)-7: Alkali-soluble resin obtained in Comparative Synthesis Example 3 (ii): Dipentaerythritol hexaacrylate (iii): Irgacure 184 (manufactured by BASF, “Irgacure” is the same
company's registered trademark)
(iv): 20.0% by weight of carbon black, 5.0% by weight of polymeric dispersant P
GMEA dispersion (25.0% solids, average secondary of carbon black
particle size 162 nm)
(v): propylene glycol monomethyl ether acetate
[感光性樹脂組成物の評価]
表1に、合成例1~4、比較例1および2の感光性樹脂組成物溶液の各成分の含有量(単位は質量%)を示す。
[Evaluation of photosensitive resin composition]
Table 1 shows the content (unit: % by mass) of each component in the photosensitive resin composition solutions of Synthesis Examples 1 to 4 and Comparative Examples 1 and 2.
(サンプル作製)
実施例1~4、比較例1および2の感光性樹脂組成物溶液を、ガラス板上にスピンコ-タ-を用いて1.5μmの乾燥膜厚になる条件で塗布・乾燥した後、フォトマスクを介さずに500Wの高圧水銀灯ランプを用いて波長365nmの照度10mW/cm2の紫外線を照射して露光した。露光後、0.4%炭酸ナトリウム水溶液を用いて23℃で60秒間0.1MPaの圧力で現像液処理を行った。その後、熱風乾燥機を用いて230℃で30分間、加熱硬化処理を行い、硬化膜(硬化膜を形成したガラス基板)を得た。
(Sample preparation)
The photosensitive resin composition solutions of Examples 1 to 4 and Comparative Examples 1 and 2 were coated on a glass plate using a spin coater under the conditions of a dry film thickness of 1.5 μm and dried, followed by a photomask. The film was exposed by irradiating ultraviolet rays having a wavelength of 365 nm and an illuminance of 10 mW/cm 2 using a 500 W high-pressure mercury lamp without passing through a filter. After the exposure, the film was processed with a developer using a 0.4% sodium carbonate aqueous solution at 23° C. for 60 seconds under a pressure of 0.1 MPa. Thereafter, a heat curing treatment was performed at 230° C. for 30 minutes using a hot air dryer to obtain a cured film (a glass substrate having a cured film formed thereon).
上記硬化膜を形成したガラス基板について透過率および屈折率を評価した。その結果を表2に示す。 The transmittance and refractive index of the glass substrate on which the cured film was formed were evaluated. Table 2 shows the results.
(透過率の測定方法)
分光光度計「UH-4150」(株式会社日立ハイテクサイエンス製)を用いて、400nmにおける光透過率を測定した。
(Method for measuring transmittance)
Using a spectrophotometer "UH-4150" (manufactured by Hitachi High-Tech Science Co., Ltd.), the light transmittance at 400 nm was measured.
(評価基準)
評価は下記の基準で行った。
○:光透過率は85%以上である
×:光透過率は85%未満である
(Evaluation criteria)
Evaluation was performed according to the following criteria.
○: Light transmittance is 85% or more ×: Light transmittance is less than 85%
(屈折率の測定方法)
プリズムカップラー膜厚・屈折計「モデル2010/M」(メトリコン社製)を用いて、633nmの光線の屈折率を測定した。なお、測定した屈折率は表2に示している。
(Method for measuring refractive index)
Using a prism coupler film thickness/refractometer "Model 2010/M" (manufactured by Metricon), the refractive index of a light beam of 633 nm was measured. Table 2 shows the measured refractive indices.
上記実施例1~4、比較例1および2の結果から明らかなように、本発明の式(1)のアルカリ可溶性樹脂(i)-1~(i)-4を含む感光性樹脂組成物を用いることにより、透過率は高く、屈折率は低い硬化物が得られることが分かった。 As is clear from the results of Examples 1 to 4 and Comparative Examples 1 and 2, photosensitive resin compositions containing the alkali-soluble resins (i)-1 to (i)-4 of the formula (1) of the present invention It was found that a cured product having a high transmittance and a low refractive index can be obtained by using these.
[着色感光性樹脂組成物の評価]
表3に、合成例5~8、比較例3および4の着色感光性樹脂組成物溶液の各成分の含有量(単位は質量%)を示す。
[Evaluation of colored photosensitive resin composition]
Table 3 shows the content (unit: % by mass) of each component in the colored photosensitive resin composition solutions of Synthesis Examples 5 to 8 and Comparative Examples 3 and 4.
(反射率測定用のサンプル作製)
実施例5~8および比較例3、4の着色感光性樹脂組成物溶液を、ガラス板上にスピンコ-タ-を用いて1.5μmの乾燥膜厚になる条件で塗布・乾燥した後、フォトマスクを介さずに500Wの高圧水銀灯ランプを用いて波長365nmの照度10mW/cm2の紫外線を照射して露光した。露光後、0.4%炭酸ナトリウム水溶液を用いて23℃で60秒間0.1MPaの圧力で現像液処理を行った。その後、熱風乾燥機を用いて230℃で30分間加熱硬化処理を行い、着色硬化膜(着色硬化膜を形成したガラス基板)を得た。
(Sample preparation for reflectance measurement)
The colored photosensitive resin composition solutions of Examples 5 to 8 and Comparative Examples 3 and 4 were coated on a glass plate using a spin coater under the conditions of a dry film thickness of 1.5 μm. The film was exposed by irradiating ultraviolet rays with a wavelength of 365 nm and an illuminance of 10 mW/cm 2 using a 500 W high-pressure mercury lamp without a mask. After the exposure, the film was processed with a developer using a 0.4% sodium carbonate aqueous solution at 23° C. for 60 seconds under a pressure of 0.1 MPa. Thereafter, heat curing treatment was performed at 230° C. for 30 minutes using a hot air dryer to obtain a colored cured film (a glass substrate having a colored cured film formed thereon).
上記着色硬化膜を形成したガラス基板について反射率を測定した。その結果を表4に示す。 The reflectance was measured for the glass substrate on which the colored cured film was formed. Table 4 shows the results.
(反射率の測定方法)
分光光度計「UH-4150」(株式会社日立ハイテクサイエンス製)を用いて、Y値を測定した。
(Measurement method of reflectance)
The Y value was measured using a spectrophotometer "UH-4150" (manufactured by Hitachi High-Tech Science Co., Ltd.).
(評価基準)
着色硬化膜表面の外観を目視で確認した。
◎:色ムラが全く確認されない
〇:表面の1/4以下の領域に色ムラが観察される
△:表面の1/3以下の領域に色ムラが観察される
×:全体に色ムラが観察される
(Evaluation criteria)
The appearance of the surface of the colored cured film was visually confirmed.
◎: Color unevenness is not observed at all ○: Color unevenness is observed in an area of 1/4 or less of the surface △: Color unevenness is observed in an area of 1/3 or less of the surface ×: Color unevenness is observed throughout be done
(アルカリ現像性評価用のサンプル作製)
実施例5~8、比較例3および4の着色感光性樹脂組成物溶液を、ガラス板上にスピンコ-タ-を用いて1.5μmの乾燥膜厚になる条件で塗布・乾燥した後、パターン形成用のマスクを介して500Wの高圧水銀灯ランプを用いて波長365nmの照度10mW/cm2の紫外線を照射して露光した。露光後、23℃の0.15%炭酸ナトリウム水溶液を用いて現像液処理を行った。その後、熱風乾燥機を用いて230℃で30分間加熱硬化処理を行い、着色硬化膜(着色硬化膜を形成したガラス基板)を得た。
(Sample preparation for alkali developability evaluation)
The colored photosensitive resin composition solutions of Examples 5 to 8 and Comparative Examples 3 and 4 were coated on a glass plate using a spin coater under conditions to give a dry film thickness of 1.5 μm, dried, and then patterned. Exposure was performed by irradiating ultraviolet rays having a wavelength of 365 nm and an illuminance of 10 mW/cm 2 using a 500 W high-pressure mercury lamp through a mask for formation. After exposure, it was processed with a developing solution using a 0.15% sodium carbonate aqueous solution at 23°C. Thereafter, heat curing treatment was performed at 230° C. for 30 minutes using a hot air dryer to obtain a colored cured film (a glass substrate having a colored cured film formed thereon).
上記着色硬化膜を形成したガラス基板について、アルカリ現像性および密着性を評価した。その結果を表5に示す。 The alkali developability and adhesion were evaluated for the glass substrate on which the colored cured film was formed. Table 5 shows the results.
(評価方法:アルカリ現像性)
現像時において、乾燥した着色感光性樹脂組成物の薄膜が現像液に溶解するかどうかを目視で確認した。
(Evaluation method: alkali developability)
At the time of development, it was visually confirmed whether or not the dried thin film of the colored photosensitive resin composition was dissolved in the developer.
(評価基準:アルカリ現像性)
○:現像時において、紫外線を照射していない領域が現像液に溶解する
×:現像時において、紫外線を照射していない領域が現像液に溶解しないか、破片
として剥離する
(Evaluation criteria: alkali developability)
○: During development, the area not irradiated with ultraviolet rays dissolves in the developer. ×: During development, the area that is not irradiated with ultraviolet rays does not dissolve in the developer, or peels off as fragments.
(評価方法:密着性)
レジスト膜パターンの細線形成を光学顕微鏡「ECLIPSE LV100」(株式会社Nikon製)で確認した。
(Evaluation method: adhesion)
Fine line formation of the resist film pattern was confirmed with an optical microscope "ECLIPSE LV100" (manufactured by Nikon Corporation).
(評価基準:密着性)
○:L/S(ライン幅/スペース幅)が20μm/20μm以上のパターンが残渣
なく形成されているもの
×:L/S(ライン幅/スペース幅)が20μm/20μm未満のパターンが形成
されていないか、パターンの裾引きや残渣が目立つもの
(Evaluation criteria: adhesion)
○: A pattern with an L/S (line width/space width) of 20 μm/20 μm or more was formed without residue ×: A pattern with an L/S (line width/space width) of less than 20 μm/20 μm was formed There is no pattern, or the hemming or residue of the pattern is conspicuous.
上記実施例5~8、比較例3および4の結果から明らかなように、本発明の式(1)のアルカリ可溶性樹脂(i)-1~(i)-4を含む感光性樹脂組成物を用いることにより、精細なパターン形成をすることができることがわかった。 As is clear from the results of Examples 5 to 8 and Comparative Examples 3 and 4, photosensitive resin compositions containing the alkali-soluble resins (i)-1 to (i)-4 of the formula (1) of the present invention It has been found that fine patterns can be formed by using this.
本発明のアルカリ可溶性樹脂によれば、精細なパターン形成が可能であって、耐光性の要求に満足できる感光性樹脂組成物を得ることができる。そのため、例えば、タッチパネル、カラーフィルターなどに有用である。すなわち、フォトリソグラフィーでパターン形成できることから、既存のフォトリソグラフィー工程で形成できる利点が有り、さらには、薄膜で形成出来ることから、構造体の薄型化に寄与することが可能となり、タッチパネル、カラーフィルターの作製に好適である。 According to the alkali-soluble resin of the present invention, it is possible to obtain a photosensitive resin composition which enables fine pattern formation and satisfies the requirements for light resistance. Therefore, it is useful for touch panels, color filters, and the like, for example. In other words, since it can be patterned by photolithography, it has the advantage of being able to be formed by an existing photolithography process, and furthermore, since it can be formed with a thin film, it can contribute to the thinning of structures, and can be used for touch panels and color filters. Suitable for fabrication.
Claims (12)
(B)光重合開始剤と、
を含む、感光性樹脂組成物。 (A) a polymerizable unsaturated group-containing alkali-soluble resin containing the polymerizable unsaturated group-containing alkali-soluble resin according to claim 4;
(B) a photoinitiator;
A photosensitive resin composition comprising:
任意成分である(D)エポキシ基を2つ以上有するエポキシ化合物またはエポキシ樹脂と、
を含む、請求項5に記載の感光性樹脂組成物。 (C) a photopolymerizable monomer having at least one polymerizable unsaturated group;
(D) an epoxy compound or epoxy resin having two or more epoxy groups, which is an optional component;
The photosensitive resin composition according to claim 5, comprising:
前記式(2)で表される重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂と、
式(5)で表される樹脂と、
を含み、
前記式(2)で表される重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂の質量mA-1と、前記式(5)で表される樹脂の質量mA-2との比率は、mA-1/mA-2=75/25~25/75である、請求項5~8のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。
A polymerizable unsaturated group-containing alkali-soluble resin represented by the formula (2);
a resin represented by formula (5);
including
The ratio between the mass m A-1 of the polymerizable unsaturated group-containing alkali-soluble resin represented by the formula (2) and the mass m A-2 of the resin represented by the formula (5) is m A- 9. The photosensitive resin composition according to any one of claims 5 to 8, wherein 1 /m A-2 =75/25 to 25/75.
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