JP7263281B2 - Hydrogen permeable membrane - Google Patents
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Description
本発明の実施形態は、水素透過膜に関する。 Embodiments of the present invention relate to hydrogen permeable membranes.
二酸化炭素の排出量が少ない水素社会の実現に向けて、水素の製造、輸送、貯蔵、利用の水素エネルギーシステムバリューチェーンの構築が検討されている。 Toward the realization of a hydrogen society with low carbon dioxide emissions, construction of a hydrogen energy system value chain for hydrogen production, transportation, storage, and utilization is under consideration.
製造された水素の分離は、水素の純度や、設備の規模によって、プロセスが異なる。大量の水素を分離する場合には、吸収法や深冷分離法が利用される。中規模の分離の場合には、高純度の水素が得られる圧力変動吸着法(PSA法)が主体的に行われている。この一方で、たとえば、低濃度環境下での分離では、操作性が高く運転が容易な膜法が利用される。そして、高温かつ超高純度な精製を行う際には、水素透過膜の活用が期待されている。 Separation of the produced hydrogen differs in process depending on the purity of the hydrogen and the scale of the facility. Absorption methods and cryogenic separation methods are used to separate large amounts of hydrogen. In the case of medium-scale separation, the pressure swing adsorption method (PSA method), which yields high-purity hydrogen, is predominantly used. On the other hand, for example, in separation under a low-concentration environment, a membrane method with high operability and easy operation is used. And when performing high-temperature and ultra-high-purity refining, utilization of a hydrogen-permeable membrane is expected.
水素透過膜に関して、様々な材料開発が進められてきている。例えば、パラジウム合金を用いて形成された水素透過膜は、水素の解離速度が速く、水素原子を容易に透過する。一方、バナジウム、ニオブ、タンタルなどの非パラジウム系金属は、パラジウムよりも透過係数が大きく、透過性能が高いことが知られている。透過性能は、金属の結晶格子に由来すると考えられており、パラジウムは、面心立方格子(fcc)であり、上記非パラジウム系金属は、体心立方格子(bcc)である。面心立方格子金属では八面体位置に水素が入り、体心立方格子金属では四面体位置に水素が入る。体心立方格子金属における四面体位置の空隙間の距離が、八面体位置での距離と比較して短いこと、つまり、拡散距離が短いことが優れた水素透過性能を与えると考えられている。 Various materials have been developed for hydrogen permeable membranes. For example, a hydrogen-permeable membrane formed using a palladium alloy has a high dissociation rate of hydrogen and easily permeates hydrogen atoms. On the other hand, non-palladium-based metals such as vanadium, niobium, and tantalum are known to have higher permeability coefficients and higher permeability than palladium. The permeation performance is believed to be derived from the crystal lattice of the metal, palladium being face-centered cubic (fcc) and the non-palladium-based metals being body-centered cubic (bcc). In face-centered cubic lattice metals, hydrogen enters at octahedral sites, and in body-centered cubic lattice metals, hydrogen enters at tetrahedral sites. It is believed that the short distance between the tetrahedral positions in the body-centered cubic lattice metal compared to the octahedral position, that is, the short diffusion distance, provides excellent hydrogen permeation performance.
上記の水素透過膜においては、効率的に純度の高い水素を得るために、水素の透過性能を更に高めることが要求されている。 In order to efficiently obtain hydrogen of high purity, the above hydrogen-permeable membrane is required to further improve the hydrogen permeation performance.
したがって、本発明が解決しようとする課題は、水素の透過性能を高めることが可能な水素透過膜、および、その使用方法を提供することである。 Accordingly, the problem to be solved by the present invention is to provide a hydrogen-permeable membrane capable of enhancing hydrogen permeation performance, and a method for using the same.
実施形態の水素透過膜は、水素透過金属層と解離部と再結合部とを有し、原料ガスに含まれる水素分子が一次側から二次側へ選択的に透過する。水素透過金属層は、面心立方格子構造の第1金属と体心立方格子構造の第2金属とを含む。解離部は、水素透過金属層において一次側に設けられており、原料ガスに含まれる水素分子が水素原子へ解離する。再結合部は、水素透過金属層において二次側に設けられており、解離部で解離した水素原子が再結合する。水素透過金属層において、一次側は、第1金属が第2金属よりも多く含有し、二次側は、第2金属が第1金属よりも多く含有するように構成されている。水素透過金属層は、一次側から二次側に向かって、組成が第1金属から第2金属へ連続的に傾斜して変化するように形成されている。そして、一次側が二次側よりも温度が高い状態になるように使用される。
The hydrogen-permeable membrane of the embodiment has a hydrogen-permeable metal layer, a dissociation portion, and a recombination portion, and selectively permeates hydrogen molecules contained in the source gas from the primary side to the secondary side. The hydrogen-permeable metal layer includes a first metal having a face-centered cubic lattice structure and a second metal having a body-centered cubic lattice structure. The dissociation section is provided on the primary side of the hydrogen-permeable metal layer, and dissociates hydrogen molecules contained in the source gas into hydrogen atoms. The recombination part is provided on the secondary side of the hydrogen-permeable metal layer, and recombines the hydrogen atoms dissociated in the dissociation part. In the hydrogen-permeable metal layer, the primary side contains more of the first metal than the second metal, and the secondary side contains more of the second metal than the first metal. The hydrogen-permeable metal layer is formed such that the composition is continuously graded from the first metal to the second metal from the primary side to the secondary side. It is used so that the primary side is at a higher temperature than the secondary side.
<第1実施形態>
[A]水素透過膜1の構成
図1は、第1実施形態に係る水素透過膜1の断面図である。
<First embodiment>
[A] Structure of Hydrogen-
本実施形態において、水素透過膜1は、図1に示すように、水素透過金属層10と解離部20と再結合部30とを有し、原料ガスに含まれる水素が一次側PSから二次側SSへ選択的に透過するように構成されている。
In this embodiment, the hydrogen-
具体的には、原料ガスに含まれる水素分子は、一次側PSにおいて、解離部20で水素原子に解離する。解離部20において解離した水素原子は、水素透過金属層10の内部に溶解して拡散する。水素透過金属層10の内部に拡散した水素原子は、二次側SSにおいて再結合部30で再結合し、水素分子に戻り、放出される。
Specifically, hydrogen molecules contained in the raw material gas are dissociated into hydrogen atoms in the
水素透過膜1を構成する各部について順次説明する。
Each part constituting the hydrogen
[A-1]水素透過金属層10
水素透過金属層10は、第1水素透過金属層部11と第2水素透過金属層部12との積層体である。
[A-1] Hydrogen-
The hydrogen-
第1水素透過金属層部11は、水素透過金属層10において一次側PSに位置している。第1水素透過金属層部11は、面心立方格子構造の第1金属を用いて形成されている。面心立方格子(fcc)構造の第1金属としては、たとえば、Ni,Pd,Pt,Ag,Pb,Al,Sr,Rh,Fe(γ),Ir,Au,Cu,Ca、または、オーステナイト鋼が挙げられる。
The first hydrogen-permeable
第2水素透過金属層部12は、水素透過金属層10において二次側SSに位置している。第2水素透過金属層部12は、第1水素透過金属層部11と異なり、体心立方格子構造の第2金属を用いて形成されている。体心立方格子(bcc)構造の第2金属としては、たとえば、W,V,Ta,Na,Rb,Nb,Mo,Li,Fe(α),Cr、Ba,Cs,K、または、マルテンサイト鋼が挙げられる。
The second hydrogen-permeable
[A-2]解離部20
解離部20は、水素透過金属層10において一次側PSの面に設けられ、原料ガスに含まれる水素分子が水素原子へ解離する。
[A-2]
The
図示を省略しているが、本実施形態では、解離部20において一次側PSの面には、水素分子の解離を促進するために、凹凸が形成されている。
Although not shown, in the present embodiment, the surface of the primary side PS in the
[A-3]再結合部30
再結合部30は、水素透過金属層10において二次側SSの面に設けられ、水素透過金属層10に拡散された水素原子が再結合する。
[A-3] Recombining
The
図示を省略しているが、本実施形態では、再結合部30において二次側SSの面には、水素原子の再結合を促進するために、凹凸が形成されている。
Although not shown, in the present embodiment, unevenness is formed on the surface of the secondary side SS in the
[B]製造方法
本実施形態の水素透過膜1を製造する製造方法の一例に関して説明する。
[B] Manufacturing Method An example of a manufacturing method for manufacturing the hydrogen
[B-1]水素透過金属層10の形成
水素透過膜1を製造する際には、まず、第1水素透過金属層部11と第2水素透過金属層部12との積層体である水素透過金属層10を形成する。
[B-1] Formation of Hydrogen-
ここでは、たとえば、板状体である第1水素透過金属層部11と板状体である第2水素透過金属層部12とを貼り付けることによって、水素透過金属層10の形成を実施する。この他に、スパッタリング法などの成膜法によって、第1水素透過金属層部11と第2水素透過金属層部12とのそれぞれを積層して、水素透過金属層10の形成を実施してもよい。
Here, for example, the hydrogen-
第1水素透過金属層部11および第2水素透過金属層部12は、たとえば、下記に示すような厚みになるように設けられている。
・第1水素透過金属層部11の厚み: 0.1μm以上、10mm以下
・第2水素透過金属層部12の厚み: 0.1μm以上、10mm以下
The first hydrogen-permeable
・Thickness of first hydrogen-permeable metal layer portion 11: 0.1 μm or more and 10 mm or less ・Thickness of second hydrogen-permeable metal layer portion 12: 0.1 μm or more and 10 mm or less
[B-2]解離部20の形成
つぎに、水素透過金属層10のうち一次側PSに位置する面について表面処理を行うことによって、解離部20の形成を行う。つまり、第1水素透過金属層部11において一次側PSに位置する面に関して表面処理を行う。
[B-2] Formation of Dissociated
ここでは、表面処理として、たとえば、ピーニング処理を施す。ピーニング処理としては、レーザーピーニング、ショットピーニング、ウォータージェット、エアーハンマーなどが挙げられる。ピーニング処理の実施により、水素透過金属層10のうち一次側PSに位置する面に微小な凹凸を形成することで、解離部20の比表面積を増加させる。たとえば、解離部20の表面は、厚みに応じて、算術平均粗さRaが0.1μm以上10μm以下になるように、処理が施される。
Here, for example, peening treatment is applied as the surface treatment. Examples of peening treatment include laser peening, shot peening, water jet, and air hammer. The specific surface area of the dissociated
[B-3]再結合部30の表面処理
[B-3] Surface treatment of
つぎに、水素透過金属層10のうち二次側SSに位置する面について表面処理を行うことによって、再結合部30の形成を行う。つまり、第2水素透過金属層部12において二次側SSに位置する面に関して表面処理を行う。
Next, the surface of the hydrogen-
ここでは、解離部20の形成の場合と同様に、表面処理として、たとえば、ピーニング処理を施す。ピーニング処理の実施により、水素透過金属層10のうち二次側SSに位置する面に微小な凹凸を形成することで、再結合部30の比表面積を増加させる。たとえば、解離部20の表面は、厚みに応じて、算術平均粗さRaが0.1μm以上10μm以下になるように、処理が施される。
Here, as in the case of forming the dissociated
[C]使用方法
本実施形態の水素透過膜1を使用する方法の一例に関して説明する。
[C] Method of use An example of a method of using the hydrogen-
本実施形態の水素透過膜1において、原料ガスに含まれる水素を一次側PSから二次側SSへ選択的に透過させる場合には、水素透過金属層10に関して、一次側PSが二次側SSよりも温度が高い状態にする。たとえば、化学プラントなどの高温反応容器や配管、あるいは、自然に発熱が生じる密閉容器中に混在する水素を分離する場合には、その容器などの側に一次側PSが位置するように水素透過膜1を用いる。この他に、一次側PSを加熱してもよい。これにより、本実施形態の水素透過膜1では、水素の透過性能が高くなり、効率的に純度の高い水素を得ることができる。
In the hydrogen-
上記の効果が得られる理由に関して説明する。 The reason why the above effects are obtained will be described.
図2は、各金属材料について、温度Tと水素透過係数Xとの関係を示す図である。図2は、「Buxbaum RE, Subramanian R, Park JH, Smith DL : Ind.Eng. Chem. Res., 530-537(1996)」の文献に記載された内容を参照して作成している。 FIG. 2 is a diagram showing the relationship between temperature T and hydrogen permeability coefficient X for each metal material. FIG. 2 is prepared with reference to the contents described in the document "Buxbaum RE, Subramanian R, Park JH, Smith DL: Ind. Eng. Chem. Res., 530-537 (1996)".
上述したように、本実施形態の水素透過金属層10において、一次側PSに設けられた第1水素透過金属層部11は、面心立方格子(fcc)構造の第1金属からなる。面心立方格子(fcc)構造の第1金属であるPd(パラジウム)およびNi(ニッケル)は、図2に示すように、温度Tが上昇するに伴って、水素透過係数Xが上昇し、水素が透過しやすくなる。
As described above, in the hydrogen-
これに対して、本実施形態の水素透過金属層10において、二次側SSに設けられた第2水素透過金属層部12は、体心立方格子(bcc)構造の第2金属からなる。体心立方格子(bcc)構造の第2金属であるNb(ニオブ)、V(バナジウム)、および、Ta(タンタル)は、図2に示すように、温度Tが下降するに伴って、水素透過係数Xが上昇し、水素が透過しやすくなる。
In contrast, in the hydrogen-
このため、本実施形態では、面心立方格子(fcc)構造の第1金属からなる第1水素透過金属層部11については、たとえば、667Kの温度にする。そして、体心立方格子(bcc)構造の第2金属からなる第2水素透過金属層部12については、たとえば、400Kの温度にする。これにより、図2から判るように、第1水素透過金属層部11の水素透過係数X、および、第2水素透過金属層部12の水素透過係数Xの両者が高い状態になる。このように、温度を変えることで水素透過係数Xを調整し、水素の透過性能を高めることができる。
Therefore, in the present embodiment, the temperature of the first hydrogen-permeable
したがって、本実施形態の水素透過膜1では、水素の透過性能が高いため、効率的に純度の高い水素を得ることができる。
Therefore, the hydrogen-
また、第2水素透過金属層部12を構成する体心立方格子(bcc)構造の第2金属(Nb、V、Taなど)は、水素解離に対する触媒活性が低い。しかしながら、本実施形態では、面心立方格子(fcc)構造の第1金属(Pd、Niなど)からなる第1水素透過金属層部11が、第2水素透過金属層部12の一次側PSに設けられている。面心立方格子(fcc)構造の第1金属は、水素解離に対する触媒活性が、体心立方格子(bcc)構造の第2金属よりも高い。このため、本実施形態の水素透過膜1では、水素解離が効率的に実行されるので、効率的に純度の高い水素を得ることができる。
In addition, the second metal (Nb, V, Ta, etc.) having a body-centered cubic lattice (bcc) structure forming the second hydrogen-permeable
そして、本実施形態では、解離部20において一次側PSに位置する面、および、再結合部30において二次側SSに位置する面には、凹凸が形成されている。このため、本実施形態では、解離部20において一次側PSに位置する面の比表面積が大きいので、水素原子への解離が効率的に進行する。また、再結合部30において二次側SSに位置する面の比表面積が大きいので、水素分子への再結合が効率的に進行する。
In this embodiment, the surface of the
[D]変形例
上記実施形態の変形例に関して説明する。
[D] Modification A modification of the above embodiment will be described.
本実施形態では、解離部20において一次側PSに位置する面は、凹凸が形成されている場合について説明したが、これに限らない。たとえば、解離部20において一次側PSに位置する面に、原料ガスに含まれる水素分子を水素原子へ解離することを促進させる金属を付着等させることが好ましい。具体的には、Hf,Zr,Ti,Mn,Fe,Re,Ni,Co,Tc,Os,Ir,Ru,Pt,Rh,Pdなどの金属の粒子を付着させる。また、イオン注入によって、上記のような金属を混在させてもよい。これにより、更に効率的に水素原子へ解離させることができる。
In the present embodiment, the case where the surface of the
また、解離部20において一次側PSに位置する面は、金属新生面を含むように構成されていることが好ましい。金属新生面は、たとえば、化学的な表面改質処理の実施によって形成される。たとえば、対象金属を特殊溶液によって化学的に溶解させることで、表面に微小な凹凸を形成すると共に、金属新生面を形成することができる。具体的には、酸洗浄処理、アルカリ洗浄処理、中性剤洗浄処理が挙げられる。よく使用される酸洗浄処理としては、フッ化水素酸処理、硝酸処理、塩酸処理、硫酸処理、リン酸処理、王水処理が挙げられる。これにより、更に効率的に水素原子へ解離させることができる。
Moreover, it is preferable that the surface of the
上記のような表面改質処理は、金属の特性に応じて、適宜、組み合わせて実行してもよい。たとえば、フッ化水素酸処理を施した表面に、水素解離促進金属であるPdを付着させてもよい。また、レーザーピーニングを施した表面に、水素解離促進剤であるNiをイオン注入で導入してもよい。 The above surface modification treatments may be combined as appropriate according to the properties of the metal. For example, Pd, which is a hydrogen dissociation promoting metal, may be adhered to the surface treated with hydrofluoric acid. Further, Ni, which is a hydrogen dissociation accelerator, may be introduced by ion implantation into the laser peened surface.
<第2実施形態>
図3は、第2実施形態に係る水素透過膜1bの断面図である。
<Second embodiment>
FIG. 3 is a cross-sectional view of a hydrogen
本実施形態の水素透過膜1bは、図3に示すように、水素透過金属層10の構成が第1実施形態の場合(図1参照)と異なる。この点および関連する点を除き、本実施形態は、第1実施形態の場合と同様であるため、重複する事項に関しては、適宜、説明を省略する。
As shown in FIG. 3, the hydrogen-
図4は、第2実施形態に係る水素透過膜1bにおいて、水素透過金属層10を構成する面心立方格子(fcc)構造の第1金属および体心立方格子(bcc)構造の第2金属の組成比を示す図である。図4において、縦軸は、面心立方格子(fcc)構造の第1金属と体心立方格子(bcc)構造の第2金属との組成比([fcc]:[bcc])を示し、横軸は、水素透過金属層10の厚み方向の位置tを示している。横軸では、水素透過金属層10の厚み方向において、一次側PSの端部の位置を「0」と示し、二次側SSの端部の位置を「t1」と示している。
FIG. 4 shows the first metal having a face-centered cubic lattice (fcc) structure and the second metal having a body-centered cubic lattice (bcc) structure constituting the hydrogen-
図4に示すように、本実施形態の水素透過金属層10は、一次側PSから二次側SSに向かって、組成が第1金属(fcc)から第2金属(bcc)へ連続的に傾斜して変化するように形成されている。ここでは、一次側PSの端部では、全てが第1金属(fcc)で形成されている。そして、一次側PSから二次側SSへ向かうに伴って、第1金属(fcc)の割合が減少し、第2金属(bcc)の割合が上昇している。そして、二次側SSの端部では、全てが第2金属(bcc)で形成されている。
As shown in FIG. 4, the hydrogen-
本実施形態の水素透過金属層10は、たとえば、粉末焼結積層造形法の3Dプリンター(三次元積層造形装置)を用いて形成される。
The hydrogen-
本実施形態では、第1実施形態の場合と同様に、水素透過金属層10において、一次側PSは、第1金属(fcc)が第2金属(bcc)よりも多く含有し、二次側SSは、第2金属(bcc)が第1金属(fcc)よりも多く含有するように構成されている。このため、本実施形態では、第1実施形態の場合と同様に、水素透過金属層10に関して、一次側PSが二次側SSよりも温度が高い状態にすることで、水素の透過性能が高くなり、効率的に純度の高い水素を得ることができる。
In the present embodiment, as in the case of the first embodiment, in the hydrogen-
本実施形態の水素透過金属層10は、上記の第1実施形態の場合と異なり、第1金属(fcc)の層と第2金属(bcc)の層との間の境界がない。このため、境界障壁がなくなる状態であるので、物質移動量増加の効果を奏することができる。
Unlike the first embodiment, the hydrogen-
本実施形態の水素透過金属層10は、たとえば、第1金属(fcc)としてニッケル(Ni)を用い、第2金属(bcc)としてバナジウム(V)を用いて形成される。バナジウム(V)は、水素脆化が生じやすい。しかし、高温になる一次側PSは、ニッケル(Ni)の割合が多くなるように形成されているので、水素脆化の発生を抑制可能である。
The hydrogen-
<その他>
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
<Others>
While several embodiments of the invention have been described, these embodiments have been presented by way of example and are not intended to limit the scope of the invention. These novel embodiments can be implemented in various other forms, and various omissions, replacements, and modifications can be made without departing from the scope of the invention. These embodiments and modifications thereof are included in the scope and gist of the invention, and are included in the scope of the invention described in the claims and equivalents thereof.
1:水素透過膜、10:水素透過金属層、11:第1水素透過金属層部、12:第2水素透過金属層部、20:解離部、30:再結合部、PS:一次側、SS:二次側 1: Hydrogen-permeable membrane 10: Hydrogen-permeable metal layer 11: First hydrogen-permeable metal layer portion 12: Second hydrogen-permeable metal layer portion 20: Dissociation portion 30: Recombination portion PS: Primary side SS :Secondary side
Claims (5)
面心立方格子構造の第1金属と体心立方格子構造の第2金属とを含む水素透過金属層と、
前記水素透過金属層の前記一次側の面に設けられており、前記原料ガスに含まれる水素分子が水素原子へ解離する解離部と、
前記水素透過金属層の前記二次側の面に設けられており、前記解離部で解離した水素原子が再結合する再結合部と
を有し、
前記水素透過金属層において、前記一次側は、前記第1金属が前記第2金属よりも多く含有し、前記二次側は、前記第2金属が前記第1金属よりも多く含有するように構成され、
前記水素透過金属層は、前記一次側から前記二次側に向かって、組成が前記第1金属から前記第2金属へ連続的に傾斜して変化するように形成されており、
前記一次側が前記二次側よりも温度が高い状態になるように使用される、
水素透過膜。 A hydrogen permeable membrane through which hydrogen molecules contained in a raw material gas selectively permeate from the primary side to the secondary side,
a hydrogen-permeable metal layer containing a first metal having a face-centered cubic lattice structure and a second metal having a body-centered cubic lattice structure;
a dissociation unit provided on the primary side surface of the hydrogen-permeable metal layer for dissociating hydrogen molecules contained in the source gas into hydrogen atoms;
a recombination portion provided on the secondary side surface of the hydrogen-permeable metal layer, in which hydrogen atoms dissociated in the dissociation portion recombine,
In the hydrogen-permeable metal layer, the primary side contains more of the first metal than the second metal, and the secondary side contains more of the second metal than the first metal. is ,
the hydrogen-permeable metal layer is formed so that the composition changes continuously from the first metal to the second metal from the primary side toward the secondary side,
used such that the primary side is at a higher temperature than the secondary side;
Hydrogen permeable membrane.
請求項1に記載の水素透過膜。 Concavities and convexities are formed on a surface of the dissociation portion located on the primary side and a surface of the recombination portion located on the secondary side,
The hydrogen permeable membrane according to claim 1 .
請求項1または2に記載の水素透過膜。 A metal that promotes dissociation of hydrogen molecules contained in the raw material gas into hydrogen atoms is adhered to the surface of the dissociation unit located on the primary side.
The hydrogen permeable membrane according to claim 1 or 2 .
請求項1から3のいずれかに記載の水素透過膜。 The surface located on the primary side in the dissociation section includes a new metal surface,
The hydrogen permeable membrane according to any one of claims 1 to 3 .
前記水素透過膜は、面心立方格子構造の第1金属と体心立方格子構造の第2金属とを含む水素透過金属層
を有し、
前記水素透過金属層において、前記一次側は、前記第1金属が前記第2金属よりも多く含有し、前記二次側は、前記第2金属が前記第1金属よりも多く含有するように構成されており、
前記水素透過金属層は、前記一次側から前記二次側に向かって、組成が前記第1金属から前記第2金属へ連続的に傾斜して変化するように形成されており、
前記水素透過金属層において、前記一次側が前記二次側よりも温度が高い状態になるように使用する、
水素透過膜の使用方法。 A method for using a hydrogen permeable membrane that selectively permeates hydrogen contained in a raw material gas from the primary side to the secondary side, comprising:
The hydrogen-permeable film has a hydrogen-permeable metal layer containing a first metal having a face-centered cubic lattice structure and a second metal having a body-centered cubic lattice structure,
In the hydrogen-permeable metal layer, the primary side contains more of the first metal than the second metal, and the secondary side contains more of the second metal than the first metal. has been
the hydrogen-permeable metal layer is formed such that the composition changes from the primary side to the secondary side with a continuous gradient from the first metal to the second metal;
In the hydrogen-permeable metal layer, the primary side is used so that the temperature is higher than the secondary side.
How to use the hydrogen permeable membrane.
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