JP7294174B2

JP7294174B2 - 光学駆動装置

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Publication number: JP7294174B2
Application number: JP2020019624A
Authority: JP
Inventors: 尚輝遊佐
Original assignee: TDK Corp
Current assignee: TDK Corp
Priority date: 2020-02-07
Filing date: 2020-02-07
Publication date: 2023-06-20
Anticipated expiration: 2040-02-07
Also published as: JP2021124662A

Description

本発明は、圧電素子を用いて光学部材を駆動する光学駆動装置に関する。

圧電素子を用いて光学部材を駆動する光学駆動装置は、レンズやプリズムなどの光学部材を、圧電素子を用いて所定の軸方向に移動させる。このような光学駆動装置は、たとえばカメラのレンズ部分などに用いられ、光学ズームやオートフォーカスなどを実現することができる。

このような光学駆動装置として、固定部の表面に形成される配線部を介して、圧電素子などに電力を供給するものが提案されている。しかしながら、従来の配線形状では、固定部の表面に配線を設けるため、圧電素子表面や周辺の導電部材に対して配線部の絶縁特性を確保する点で、課題を有している。また、固定部表面の配線部を避けて他の部材を配置する必要が生じることなどにより、小型化の観点でも課題を有している。

特開２０１８－５０５７号

本発明は、このような実状に鑑みてなされ、好適に絶縁性を確保可能で小型化に有利な配線部を有する光学駆動装置を提供する。

上記目的を達成するために、本発明に係る光学駆動装置は、
固定部と、
圧電素子と、前記圧電素子に接続しており前記圧電素子により運動する第１部材と、前記第１部材とは反対側で前記圧電素子に接続し前記圧電素子と前記固定部の間に配置される第２部材と、を有する駆動部と、
光学部材を保持する保持部材と、前記第１部材に摩擦係合する係合部と、を有する可動部と、を有し、
前記固定部は、前記駆動部が固定されるベースと、前記圧電素子に電気的に接続する配線部と、を有し、
前記配線部は、前記ベースの内部に埋め込まれた第１部分と、配線経路として前記第１部分より前記圧電素子の近くで前記ベースの表面に露出する第２部分と、を有し、
前記第１部分は、前記第１部材の運動方向である第１方向から見て前記駆動部に重なる第１方向重複部と、前記第１方向に垂直な方向である第２方向から見て前記駆動部に重なる第２方向重複部と、を有する。

本発明に係る光学駆動装置では、配線部がベースの内部に埋め込まれている第１部分を有するため、他の部材と配線部との絶縁性を好適に確保できる。また、圧電素子の近くで、圧電素子に対する配線に用いる第２部分が露出することにより、配線部から圧電素子への電気的な接続も容易に行うことができる。さらに、配線部は、駆動部に対して重なる第１方向重複部と第２方向重複部を有していることにより、絶縁性を確保しつつ、駆動部の周りに配線部をコンパクトに配置した構造を実現できるため、このような光学駆動装置は小型化に対して有利である。

また、たとえば、前記配線部は、配線経路として前記第１部分より前記圧電素子の遠くで前記ベースの表面から露出する第３部分を有し、
前記第３部分は、前記第１方向の一方側であって前記圧電素子から前記第２部材へ向かう第１方向負方向に関して、前記駆動部における前記第１方向負方向側の端部より前記第１方向負方向側に位置してもよく、
前記第２部分は、前記第１方向負方向の反対方向である第１方向正方向に関して、前記駆動部における前記第１方向負方向側の端部より、前記第１方向正方向側に位置してもよい。

このような配線部では、駆動部の下端（第１方向負方向側の端部）より下方（第１方向負方向側）に位置する第３部分と、駆動部の下端より上方に位置する第２部分とを、ベース内部の第１部分が接続する。これにより、ベースの内部に埋め込まれた第１部分が、駆動部の周り少なくとも部分的に囲む構造となるため、たとえば固定部の衝撃が加えられた場合であっても、その衝撃から駆動部を保護することができる。また、第３部分と第２部分との第１方向の位置が異なることにより、第３部分に対して配線する際の熱や振動が、第２部分および第２部分と圧電素子との接続部分に伝わり難くすることができる。

また、たとえば、前記第２部分は、前記第１方向の一方側であって前記圧電素子から前記第２部材へ向かう第１方向負方向の反対方向である第１方向正方向に関して、前記第２部材における前記第１方向正方向側の端部より前記第１方向正方向側に位置してもよい。

第２部分が第２部材より上方（第１方向性方向側）に位置することにより、第２部分から圧電素子までの配線に対して、第２部材が干渉する問題を防止できる。

前記第１方向重複部は、前記第１方向からみて前記駆動部を横断するように重なっていてもよい。

第１方向重複部が、駆動部を横断するように重なることにより、衝撃から駆動部を保護する効果を高めることができる。

前記配線部は、前記第１方向および前記第２方向と垂直な第３方向からみて、前記駆動部に重なる第３方向重複部を有してもよい。

第１～第３方向重複部を有する配線部は、省スペースで効率的な配線構造を実現することができるとともに、衝撃から駆動部を好適に保護することができる。

また、たとえば、前記第３方向重複部は、前記第１方向に平行な方向に延在してもよい。

このような第３重複部は、固定部に対して加えられる第１方向への衝撃から、駆動部を好適に保護できる。

また、たとえば、前記固定部は、前記可動部の位置を検出する位置検出センサと、前記位置検出センサに電気的に接続する検出配線部と、を有してもよく、
前記検出配線部は、前記ベースの内部に埋め込まれた検出第１部分を有してもよい。

このような光学駆動装置では、検出配線部についても、ベースの内部に埋め込まれた検出第１部分を有することにより、固定部周辺の他の部材と配線部との絶縁性を好適に確保できる。

また、たとえば、前記検出第１部分は、前記第１部材の運動方向に平行な方向に延在する平行部を有してもよい。

検出第１部分を有することにより、第１部材の運動方向に沿って可動部の近くまで、検出配線部をベースの内部に埋め込ませて配線できる。したがって、このような配線部は、他の部材と配線部との絶縁性をより好適に確保できる。

また、たとえば、前記検出第１部分は、前記圧電素子の運動方向に平行な方向に延在する平行部と、前記平行部より前記位置検出センサの近くに配置されており前記圧電素子の運動方向に垂直な方向に延在する垂直部と、を有してもよく、
前記平行部は、前記垂直部より延在方向に直交する断面積が広くてもよい。

平行部の断面積が広いことにより、平行部およびその周辺の強度が向上するとともに、位置検出センサに近い垂直部の断面積が狭いことにより、小型の位置検出センサに対しても適切に配線できる。

また、たとえば、前記第１部材は前記第１部材の運動方向に延びるシャフトであり、前記第２部材は前記第１部材より比重の大きい錘であってもよい。

配線部がベースの内部に埋め込まれている第１部分を有するため、第２部材が比重の大きい導電性の金属のような部材である場合であっても、配線部と第２部材との絶縁性を好適に確保できる。

図１は、本発明の一実施形態に係る光学駆動装置を示す概略斜視図である。図２は、図１に示す光学駆動装置に含まれる固定部における配線部の構造を示す概略斜視図である。図３は、図２に示す固定部に含まれる配線部の構造を示す平面図である。図４は、図２に示す固定部に含まれる検出配線部の構造を示す第１の側面図である。図５は、図２に示す固定部に含まれる検出配線部の構造を示す第２の平面図である。

以下に、本発明の実施形態を図面に基づき説明する。

図１は、本発明の一実施形態に係る光学駆動装置１０を示す概略斜視図である。光学駆動装置１０は、固定部８０と、固定部８０に接続する圧電素子３０等を有する駆動部２０と、駆動部２０による駆動によって所定方向（Ｚ軸方向）に移動する可動部７０とを有する。

固定部８０は、駆動部２０が固定されるベース８１と、第１配線部８２、第２配線部８４および検出配線部８６などの各種配線部と、位置センサー７１（図４等参照）などを有する。光学駆動装置１０では、固定部８０の第１配線部８２および第２配線部８４を介して、駆動部２０の圧電素子３０に電力を供給する。さらに、光学駆動装置１０では、駆動部２０の駆動力により、可動部７０の保持部材７２が保持する光学部材（不図示）を動かすことができる。固定部８０の詳細については、後程述べる。

駆動部２０は、圧電素子３０と、圧電素子３０に接続しており圧電素子３０によりＺ軸方向に往復運動する第１部材４０と、第１部材４０とは反対側で圧電素子３０に接続し圧電素子３０と固定部８０の間に配置される第２部材５０とを有する。また、駆動部２０は、圧電素子３０、第１部材４０および第２部材５０の他に、駆動部保持部材６０を有する。

駆動部保持部材６０は、脆性材料である圧電素子３０および圧電素子３０と他の部材の接続部分を、衝撃などの外力から保護するために、圧電素子３０の周りで第１部材４０と第２部材５０とを保持する。駆動部保持部材６０は、一方の端部で第１部材４０の外周に摺動可能に接触するとともに、他方の端部が第２部材５０に固定されており、圧電素子３０を衝撃などの外力から保護する。

第１部材４０は圧電素子３０の一方の端部（Ｚ軸正方向側の端部）に固定されており、第２部材５０は圧電素子３０の他方の端部（Ｚ軸負方向側の端部）に固定されている。第１部材４０および第２部材５０は、圧電素子３０に対して接着剤等により固定される。圧電素子３０が第２部材５０を介して固定部８０に固定されていることにより、圧電素子３０で生じた変形に応じて、第１部材４０がＺ軸方向に往復運動する。

第１部材４０は、たとえば第１部材４０の運動方向に延びるシャフトなどで構成され、材質としてはカーボン、カーボン樹脂複合材、樹脂、アルミニウム、チタンなどの金属などが挙げられるが、特に限定されない。圧電素子３０の他方の端部に接続する第２部材５０は、例えば、圧電素子３０及び第１部材４０より比重の大きい材料で構成され、錘として機能する。第２部材５０の材質は特に限定されないが、例えば、タングステン等の比重の大きい金属又はそのような金属を含む合金等を採用することができる。

圧電素子３０が有する圧電体層の材質は、圧電効果あるいは逆圧電効果を示す材料であれば、特に制限されず、たとえば、ＰｂＺｒ_ｘＴｉ_１－ｘＯ_３、ＢａＴｉＯ_３などが挙げられる。また、特性向上等のための成分が含有されていてもよく、その含有量は、所望の特性に応じて適宜決定すればよい。圧電素子３０において圧電体層に電圧を印可する電極層を構成する導電材としては、たとえば、Ａｇ、Ｐｄ、Ａｕ、Ｐｔ等の貴金属およびこれらの合金（Ａｇ－Ｐｄなど）、あるいはＣｕ、Ｎｉ等の卑金属およびこれらの合金などが挙げられるが、特に限定されない。

可動部７０は、光学部材を保持する保持部材７２と、駆動部２０の第１部材４０に摩擦係合する係合部７３とを有する。保持部材７２には、光学部材が挿入・固定される貫通孔７２ｂが形成されており、保持部材７２は、貫通孔７２ｂを介して光学部材を保持する。

なお、光学駆動装置１０の説明では、図１に示すように、第１部材４０の軸方向であって可動部７０の移動方向をＺ軸方向、Ｚ軸に垂直な方向であって、後述する第１配線部８２の第１部分８２ａにおける第１方向重複部８２ａａ（図２、図３参照）が延びる方向をＹ軸方向、Ｚ軸方向およびＹ軸方向に垂直な方向をＸ軸方向として説明を行う。

図２は、光学駆動装置１０に含まれる固定部８０の第１配線部８２および第２配線部８４の構造を示す概略斜視図である。図２に示すように、固定部８０におけるベース８１には、駆動部２０が固定される固定凹部８１ａが形成されている。固定凹部８１ａは、Ｚ軸正方向側に開口しており、固定凹部８１ａの内部には、駆動部２０のうち、第２部材５０の全体と、圧電素子３０の一部が収容される。このように、圧電素子３０は、固定凹部８１ａに対して、第２部材５０を介して接続される。なお、図２では、駆動部２０については、圧電素子３０と第２部材５０のみを表示しており、駆動部２０の他の部材および可動部７０については、説明の便宜上、図示を省略している。図３～図５についても同様である。

図２に示すように、第１配線部８２と第２配線部８４の少なくとも一部は、駆動部２０が固定されるベース８１の周辺に配置される。第１配線部８２と第２配線部８４とは、圧電素子３０に対して、図２では図示されていないリード線、ワイヤボンディング、はんだまたは導電性接着剤などにより、電気的に接続される。ベース８１の材質としては、たとえば樹脂などの絶縁材料が挙げられるが、特に限定されない。

図２に示すように、配線部としての第１配線部８２は、ベース８１の内部に埋め込まれた第１部分８２ａと、第１部分８２ａの一方の端部に接続する第２部分８２ｂと、第１部分８２ａの他方の端部に接続する第３部分８２ｃとを有する。第２部分８２ｂは、配線経路として第１部分８２ａより圧電素子３０の近くでベース８１の表面に露出する。一方、第３部分８２ｃは、配線経路として第１部分８２ａより圧電素子３０から遠い位置で、ベース８１から露出する。

図２に示すように、第１部分８２ａは、ベース８１の内部でＬ字状に屈曲しており、Ｙ軸方向に沿って伸びる部分と、Ｚ軸方向に沿って伸びる部分とを有している。図３は、第１配線部８２の構造を示す平面図である。図３に示すように、第１配線部８２の第１部分８２ａは、第１部材４０の運動方向である第１方向（Ｚ軸方向）から見て駆動部２０に重なる第１方向重複部８２ａａを有する。

図３に示すように、第１部分８２ａのうち、Ｙ軸方向に沿って延びる部分の一部が、Ｚ軸方向から見て駆動部２０に重なっており、この部分が、第１方向重複部８２ａａを構成している。第１方向重複部８２ａａは、Ｚ軸方向からみて駆動部２０を横断するように、駆動部２０に対して重なる。第１方向重複部８２ａａは、Ｚ軸方向から見て、駆動部２０のうち第２部材５０に重なるが圧電素子３０には重ならない部分と、圧電素子３０と第２部材５０の両方に重なる部分とを有する。第１方向重複部８２ａａが、Ｚ軸方向から見て圧電素子３０と第２部材５０との双方に重なる部分を有することは、第１配線部８２をコンパクトに形成する観点から好ましい。

図２および図３に示すように、第１配線部８２の第１部分８２ａは、第１方向（Ｚ軸方向）に垂直な方向である第２方向（Ｙ軸方向）から見て駆動部２０に重なる第２方向重複部８２ａｂを有する。第１部分８２ａのうち、Ｚ軸方向に沿って延びる部分の一部が、Ｙ軸方向から見て駆動部２０に重なっており、この部分が、第２方向重複部８２ａｂを構成している。なお、第２方向は、第１方向（Ｚ軸方向）に垂直な任意の方向と考えることができるが、第１方向（Ｚ軸方向）に垂直な方向であって、第１方向重複部８２ａａの延在方向に平行な方向（Ｙ軸方向）であることが好ましい。

図２および図３に示すように、第２方向重複部８２ａｂは、Ｙ軸方向から見て、駆動部２０のうち第２部材５０に重なる部分と、圧電素子３０に重なる部分とを有する。第２方向重複部８２ａｂが、Ｙ軸方向から見て圧電素子３０と重なる部分を有することは、第１配線部８２をコンパクトに形成する観点から好ましい。

図２および図３に示すように、第１配線部８２の第２部分８２ｂは、ベース８１における段差面８１ｃに露出している。段差面８１ｃは、第１部材４０の運動方向である第１方向（Ｚ軸方向）に直交する面であり、圧電素子３０におけるＺ軸方向の一方の端部から他方の端部までの間の高さに位置する。段差面８１ｃに露出する第２部分８２ｂと、圧電素子３０に形成される一対の外部電極の一方とが、図示されていないリード線、ワイヤボンディング等により接続される。

図２および図３に示すように、第１配線部８２の第３部分８２ｃは、ベース８１の外周面に露出している。第３部分８２ｃは、フレキシブル基板やリジット基板などに電気的に接続され、第１配線部８２および第２配線部８４を含む圧電素子３０への配線経路が形成される。図５に示すように、第３部分８２ｃは、第１方向（Ｚ軸方向）の一方側であって圧電素子３０から第２部材５０へ向かう第１方向負方向（Ｚ軸負方向）に関して、駆動部２０における第１方向負方向側の端部である駆動部下端２０ｂより第１方向負方向（Ｚ軸負方向）側に位置する。

これに対して、第２部分８２ｂは、第１方向負方向の反対方向である第１方向正方向（Ｚ軸正方向）に関して、駆動部２０における駆動部下端２０ｂより、第１方向正方向（Ｚ軸正方向）側に位置する。とくに、第２部分８２ｂは、第１方向正方向（Ｚ軸正方向）に関して、第２部材５０における第１方向正方向（Ｚ軸正方向）側の端部である第２部材上端５０ａより第１方向正方向（Ｚ軸正方向）側に位置する。

図２に示すように、第２配線部８４は、ベース８１の内部に埋め込まれた第１部分８４ａと、第１部分８４ａの一方の端部に接続する第２部分８４ｂと、第１部分８４ａの他方の端部に接続する第３部分８４ｃとを有する。第２部分８４ｂは、配線経路として第１部分８４ａより圧電素子３０の近くでベース８１の表面に露出する。一方、第３部分８４ｃは、配線経路として第１部分８４ａより圧電素子３０から遠い位置で、ベース８１から露出する。

図２に示すように、第２配線部８４の第１部分８４ａは、Ｚ軸方向に延在する第１方向部分８４ａａと、Ｙ軸方向に延在する第２方向部分８４ａｃと、Ｘ軸方向に延在する第３方向部分８４ａｂとを有する。第２配線部８３の第１方向部分８４ａａには、第１方向（Ｚ軸方向）に垂直な方向であって第２方向（Ｙ軸方向）に垂直な方向である第３方向（Ｘ軸方向）から見て駆動部２０に重なる第３方向重複部分が含まれる。

図２および図３に示すように、第２配線部８４の第２部分８４ｂは、第１配線部８２の第２部分８２ｂと同様に、ベース８１における段差面８１ｃに露出している。第２配線部８４の第２部分８４ｂは、圧電素子３０に形成される一対の外部電極の一つであって第１配線部８２の第２部分８２ｂが接続される側とは異なる側に、図示されていないリード線、ワイヤボンディング等により接続される。

図３に示すように、第２配線部８４の第３部分８４ｃは、ベース８１の外周面に露出している。第２配線部８４の第３部分８４ｃは、第１配線部８２の第３部分８２ｃと同様に、フレキシブル基板やリジット基板などに電気的に接続される。

図４は、図２に示す固定部８０に含まれる検出配線部８６の構造を示す第１の側面図であり、固定部８０をＹ軸負方向側から見た側面図である。図４は、ベース８１を透視した部分透視図であり、ベース８１を仮想線で表示している。

図４に示すように、固定部８０は、可動部７０（図１参照）の位置を検出する位置検出センサ８８と、位置検出センサ８８に電気的に接続する検出配線部８６と、を有する。図５は、図２に示す固定部８０に含まれる検出配線部８６の構造を示す第２の側面図であり、固定部８０をＸ軸負方向側から見た側面図である。

図４および図５に示すように、検出配線部８６の少なくとも一部と位置検出センサ８８は、ベース８１のうち、Ｚ軸正方向に延びるベース延長部８１ｄに設けられる。これにより、位置検出センサ８８は、第１部材４０の運動方向である第１方向（Ｚ軸方向）に直交する方向（実施形態ではＹ軸方向）に関して、可動部７０（図１参照）に対向する位置に配置される。

位置検出センサ８８は、たとえばホール素子、磁気抵抗効果素子または磁気インピーダンス素子などを有し、可動部７０に備えられる磁石などの被検出素子（不図示）の位置変化を検出する。検出配線部８６は、互いに絶縁されて位置検出センサ８８に接続する複数の配線経路で構成される。複数の配線経路には、たとえば位置検出センサ８８からの検出信号を伝える経路や、位置検出センサ８８への給電経路が含まれる。

図４および図５に示すように、検出配線部８６は、ベース８１の内部に埋め込まれた検出第１部分８６ａを有する。検出第１部分８６ａの少なくとも一部は、ベース延長部８１ｄに埋め込まれている。また、図４および図５に示すように、検出第１部分８６ａのＺ軸正方向端部は、圧電素子３０のＺ軸正方向端部より高い位置にあり、検出第１部分８６ａのＺ軸負方向端部は、圧電素子３０のＺ軸負方向端部より低い位置にある。このように、検出第１部分８６ａが、Ｚ軸方向に長く形成されていることにより、検出配線部８６の絶縁性を好適に確保できる。

図４に示すように、検出第１部分８６ａは、第１部材４０の運動方向であるＺ軸方向に平行な方向に延在する平行部８６ａａと、平行部８６ａａより位置検出センサ８８の近くに配置されておりＺ軸方向に垂直な方向に延在する垂直部８６ａｂとを有する。

平行部８６ａａと垂直部８６ａｂとを有する検出第１部分８６ａは、厚みの薄いベース延長部８１ｄの内部を通って、位置検出センサ８８までの複数の配線経路を、効率的に形成できる。また、図４に示すように、平行部８６ａａは垂直部８６ａｂに比べて幅広であり、平行部８６ａａは、その延在方向に直交する断面積が、垂直部８６ａｂより広い。平行部８６ａａの断面積を広くすることにより、検出配線部８６および固定部８０の強度を向上させることができるとともに、垂直部８６ａｂの断面積を狭くすることにより、小型の位置検出センサ８８に対しても容易に配線することができる。

図４および図５に示すように、検出配線部８６は、検出第１部分８６ａにおける位置検出センサ８８に接続する側とは反対側の端部に接続する検出第３部分８６ｃを有する。検出第３部分８６ｃは、ベース８１の外周面から露出している。検出第３部分８６ｃは、第１配線部８２および第２配線部８４の第３部分８２ｃ、８４ｃと同様に、フレキシブル基板やリジット基板などに電気的に接続される。

第１配線部８２、第２配線部８４および検出配線部８６の一部がベース８１に埋め込まれた固定部８０は、たとえば、ベース８１を成形する際、第１配線部８２、第２配線部８４および検出配線部８６を金型内に挿入し、ベース８１をインサート成形することにより作製することができる。これにより、金属製の第１配線部８２、第２配線部８４および検出配線部８６が、樹脂製のベース８１と一体化した固定部８０が得られる。

第１配線部８２、第２配線部８４および検出配線部８６の材質としては、導電材料であれば特に限定されないが、銅、鉄、ニッケル、アルミニウム、銀、金などの単体金属または合金の良導体であることが好ましい。

光学駆動装置１０では、図２に示すように、第１配線部８２がベース８１の内部に埋め込まれている第１部分８２ａを有するため、他の部材と第１配線部８２との絶縁性を好適に確保できる。また、圧電素子３０の近くで、圧電素子３０に対する配線に用いる第２部分８２ｂが露出することにより、第１配線部８２から圧電素子３０への電気的な接続も容易に行うことができる。さらに、第１配線部９２は、特定の方向から見て駆動部２０に対して重なる第１方向重複部８２ａａと第２方向重複部８２ａｂを有していることにより、絶縁性を確保しつつ、駆動部２０の周りに第１配線部８２をコンパクトに配置した構造を実現できる。

さらに、光学駆動装置１０は、第２配線部８４や検出配線部８６についても、ベース８１の内部に埋め込まれている第１部分８４ａおよび検出第１部分８６ａを有するため、絶縁性を好適に確保したコンパクトな構造を実現できる。なぜなら、駆動部２０や可動部７０に含まれる導電性の部材に対して、第２配線部８４や検出配線部８６の絶縁性を好適に確保することができるからである。また、第１配線部８２、第２配線部８４および検出配線部８６がベース８１に対してインサート成形されて一体となっている固定部８０は、各配線部８２、８４、８６とベース８１との結合性が良好である。したがって、光学駆動装置１０は小型化に対して有利である。

以上、本発明を実施形態を挙げて説明したが、本発明は上述した実施形態のみに限定されるものではなく、他の多くの実施形態や変形例を含むことは言うまでもない。たとえば、図２に示す第１配線部８２の第２部分８２ｂおよび第２配線部８４の第２部分８４ｂの配置は、圧電素子３０の外部電極の位置に応じて変更してもよい。すなわち、圧電素子３０に対してＹ軸負方向側に配置される第１配線部８２の第２部分８２ｂは、圧電素子３０のＹ軸負方向側の側面に形成される外部電極に接続されてもよい。また、圧電素子３０に対してＸ軸正方向側に配置される第２配線部８４の第２部分８４ｂは、圧電素子３０のＸ軸正方向側の側面に形成される外部電極に接続されてもよい。

１０…光学駆動装置
２０…駆動部
２０ｂ…駆動部下端
３０…圧電素子
４０…第１部材
５０…第２部材
５０ａ…第２部材上端
６０…駆動部保持部材
７０…可動部
７２…保持部材
７２ｂ…貫通孔
７３…係合部
８０…固定部
８１…ベース
８１ａ…固定凹部
８１ｃ…段差面
８１ｄ…ベース延長部
８２…第１配線部
８４…第２配線部
８２ａ、８４ａ…第１部分
８２ａａ…第１方向重複部
８２ａｂ…第２方向重複部
８２ｂ、８４ｂ… 第２部分
８２ｃ、８４ｃ…第３部分
８４…第２配線部
８４ａａ…第１方向部分
８４ａｂ…第２方向部分
８６…検出配線部
８６ａ…検出第１部分
８６ａａ…平行部
８６ａｂ…垂直部
８６ｃ…検出第３部分
８８…位置検出センサ

Claims

固定部と、
圧電素子と、前記圧電素子に接続しており前記圧電素子により運動する第１部材と、前記第１部材とは反対側で前記圧電素子に接続し前記圧電素子と前記固定部の間に配置される第２部材と、を有する駆動部と、
光学部材を保持する保持部材と、前記第１部材に摩擦係合する係合部と、を有する可動部と、を有し、
前記固定部は、前記駆動部が固定されるベースと、前記圧電素子に電気的に接続する配線部と、を有し、
前記配線部は、前記ベースの内部に埋め込まれた第１部分と、配線経路として前記第１部分より前記圧電素子の近くで前記ベースの表面に露出する第２部分と、を有し、
前記第１部分は、前記第１部材の運動方向である第１方向から見て前記駆動部に重なる第１方向重複部と、前記第１方向に垂直な方向である第２方向から見て前記駆動部に重なる第２方向重複部と、を有する光学駆動装置。
前記配線部は、配線経路として前記第１部分より前記圧電素子の遠くで前記ベースの表面から露出する第３部分を有し、
前記第３部分は、前記第１方向の一方側であって前記圧電素子から前記第２部材へ向かう第１方向負方向に関して、前記駆動部における前記第１方向負方向側の端部より前記第１方向負方向側に位置し、
前記第２部分は、前記第１方向負方向の反対方向である第１方向正方向に関して、前記駆動部における前記第１方向負方向側の端部より、前記第１方向正方向側に位置する請求項１に記載の光学駆動装置。
前記第２部分は、前記第１方向の一方側であって前記圧電素子から前記第２部材へ向かう第１方向負方向の反対方向である第１方向正方向に関して、前記第２部材における前記第１方向正方向側の端部より前記第１方向正方向側に位置する請求項１または請求項２に記載の光学駆動装置。
前記第１方向重複部は、前記第１方向からみて前記駆動部を横断するように重なる請求項１から請求項３までのいずれかに記載の光学駆動装置。
前記配線部は、前記第１方向および前記第２方向と垂直な第３方向からみて、前記駆動部に重なる第３方向重複部を有する請求項１から請求項４までのいずれかに記載の光学駆動装置。
前記第３方向重複部は、前記第１方向に平行な方向に延在する請求項５に記載の光学駆動装置。
前記固定部は、前記可動部の位置を検出する位置検出センサと、前記位置検出センサに電気的に接続する検出配線部と、を有し、
前記検出配線部は、前記ベースの内部に埋め込まれた検出第１部分を有する請求項１から請求項６までのいずれかに記載の光学駆動装置。
前記検出第１部分は、前記第１方向に平行な方向に延在する平行部を有する請求項７に記載の光学駆動装置。
前記検出第１部分は、前記第１方向に平行な方向に延在する平行部と、前記平行部より前記位置検出センサの近くに配置されており前記圧電素子の運動方向に垂直な方向に延在する垂直部と、を有し、
前記平行部は、前記垂直部より延在方向に直交する断面積が広いことを特徴とする請求項７に記載の光学駆動装置。
前記第１部材は前記第１方向に延びるシャフトであり、前記第２部材は前記第１部材より比重の大きい錘であることを特徴とする請求項１から請求項９までのいずれかに記載の光学駆動装置。