JP7312430B2

JP7312430B2 - Cutter wheel and holder unit

Info

Publication number: JP7312430B2
Application number: JP2019099187A
Authority: JP
Inventors: 陽輔平栗; 洋平小木曽; 規幸小笠原; 良太阪口
Original assignee: Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd
Current assignee: Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd
Priority date: 2019-05-28
Filing date: 2019-05-28
Publication date: 2023-07-21
Anticipated expiration: 2039-05-28
Also published as: CN112008894A; KR102716170B1; TWI862558B; TW202045446A; KR20200136818A; JP2020192717A

Description

本発明は、基板の表面にスクライブラインを形成するためのカッターホイール、およびカッターホイールを備えるホルダユニットに関する。 The present invention relates to a cutter wheel for forming scribe lines on the surface of a substrate, and a holder unit provided with the cutter wheel.

従来、ガラス基板等の脆性材料基板の分断では、ホイールの刃先が基板の表面に押し付けられながら、所定のラインに沿って移動され、スクライブラインが形成される。ホイールとホイールの回転軸とが別体である場合、ホイールの軸孔と回転軸との間のクリアランスにより、ホイールの回転にがたつきが生じ、ホイールは安定して回転できない虞がある。ホイールの回転が安定しない場合、良好なスクライブラインを形成することは困難である。 Conventionally, in cutting a brittle material substrate such as a glass substrate, the cutting edge of a wheel is pressed against the surface of the substrate and moved along a predetermined line to form a scribe line. When the wheel and the rotating shaft of the wheel are separate bodies, there is a possibility that the rotation of the wheel is jolted due to the clearance between the shaft hole of the wheel and the rotating shaft, and the wheel cannot rotate stably. If the rotation of the wheel is not stable, it is difficult to form a good scribe line.

そこで、回転軸とホイールとを一体化することにより、ホイールの軸孔と回転軸との間にクリアランスを生じさせないカッターホイールがある。このようなカッターホイールでは、ホイールの軸孔と回転軸との間にクリアランスが生じないよう、回転軸とホイールとを強固に接合する必要がある。 Therefore, there is a cutter wheel that does not create a clearance between the shaft hole of the wheel and the rotating shaft by integrating the rotating shaft and the wheel. In such a cutter wheel, it is necessary to firmly join the rotating shaft and the wheel so that there is no clearance between the shaft hole of the wheel and the rotating shaft.

特許文献１のカッターホイールでは、二分割した回転軸のそれぞれにフランジ部が設けられ、そのフランジ部をホイールの側面で受けることにより、回転軸とホイールとが一体化されている。２つの回転軸の端部がそれぞれホイールの軸孔に挿入され、各回転軸のフランジ部でホイールが挟まれる。さらに、回転軸とホイールとが接着剤で固定される。 In the cutter wheel disclosed in Patent Literature 1, each of the two divided rotating shafts is provided with a flange portion, and the rotating shaft and the wheel are integrated by receiving the flange portion on the side surface of the wheel. The ends of the two rotating shafts are respectively inserted into the shaft holes of the wheels, and the wheels are sandwiched between the flanges of the respective rotating shafts. Furthermore, the rotating shaft and the wheel are fixed with an adhesive.

特開２００１－０５８８４１号公報JP 2001-058841 A

特許文献１の構成では、２つの回転軸をそれぞれホイールの軸孔に挿入するといった煩雑な作業が必要となる。このような作業は、特に、ホイールの小型化に伴いホイールの厚みが小さくなると、極めて精緻なものとなり、かなりの手間がかかる。 The configuration of Patent Document 1 requires complicated work such as inserting the two rotating shafts into the shaft holes of the wheels. Such work is extremely elaborate and requires a considerable amount of time and effort, especially when the thickness of the wheel is reduced as the size of the wheel is reduced.

かかる課題に鑑み、本発明は、ホイールと回転軸とを簡易かつ強固に接合することが可能なカッターホイール、およびこのようなカッターホイールを備えるホルダユニットを提供することを目的とする。 In view of such problems, an object of the present invention is to provide a cutter wheel capable of easily and firmly joining a wheel and a rotating shaft, and a holder unit provided with such a cutter wheel.

本発明の第１の態様は、基板の表面にスクライブラインを形成するためのカッターホイールに関する。この態様に係るカッターホイールは、回転軸と、前記回転軸が挿入される軸孔、および前記基板に前記スクライブラインを形成する刃先を有するホイールと、を備え、前記回転軸は、少なくとも一部に、前記軸孔の径よりも小さい径から前記軸孔の径よりも大きい径に向かって広がるように形成されたテーパ部分を有し、前記回転軸の前記テーパ部分が前記軸孔に圧入されることにより、前記回転軸と前記ホイールとが一体化されている。 A first aspect of the present invention relates to a cutter wheel for forming scribe lines on the surface of a substrate. The cutter wheel according to this aspect includes a rotating shaft, a shaft hole into which the rotating shaft is inserted, and a wheel having a cutting edge that forms the scribe line in the substrate. The rotating shaft has, at least in part, a tapered portion formed so as to widen from a diameter smaller than the diameter of the shaft hole toward a diameter larger than the diameter of the shaft hole, and the rotating shaft and the wheel are integrated by press-fitting the tapered portion of the rotating shaft into the shaft hole.

本態様に係るカッターホイールによれば、回転軸のテーパ部分において、ホイールの軸孔の径より小さい側から、回転軸をホイールの軸孔に通すと、ホイールはテーパ部分において軸孔よりも大きい径の部分で止まる。この状態で、テーパ部分を軸孔に圧入することにより、ホイールを回転軸に強固に接合することができる。このように、回転軸にテーパ部分を設けることにより、ホイールの軸孔に回転軸を圧入するといった簡易な作業により、強固に、回転軸とホイールとを一体化することができる。 According to the cutter wheel according to this aspect, in the tapered portion of the rotating shaft, when the rotating shaft is passed through the wheel shaft hole from the smaller diameter side of the wheel shaft hole, the wheel stops at the portion of the tapered portion having a larger diameter than the shaft hole. By press-fitting the tapered portion into the shaft hole in this state, the wheel can be firmly joined to the rotating shaft. By providing the rotating shaft with the tapered portion in this manner, the rotating shaft and the wheel can be firmly integrated by a simple operation such as press-fitting the rotating shaft into the shaft hole of the wheel.

本態様に係るカッターホイールにおいて、前記テーパ部分におけるテーパ比の値は、１／５以下であることが好ましく、また、テーパ比の値が、１／１０以下であることがさらに好ましい。 In the cutter wheel according to this aspect, the taper ratio of the tapered portion is preferably 1/5 or less, and more preferably 1/10 or less.

テーパ部分のテーパ比が大きくなるほど、ホイールに対する回転軸の固定が不安定となる。すなわち、テーパ比が大きくなるとテーパ角が大きくなるため、軸孔に圧入された回転軸のテーパ部分が軸孔から抜けやすくなる。したがって、ホイールに対する回転軸の固定の安定化の観点から、テーパ部分のテーパ比は、ある程度の大きさに制限することが好ましい。この観点から、テーパ部分のテーパ比は、上記のように、１／５以下に設定されることが好ましく、１／１０以下に設定されることがさらに好ましい。これにより、ホイールに対して回転軸を安定的に固定できる。 As the taper ratio of the tapered portion increases, the fixation of the rotating shaft to the wheel becomes more unstable. That is, since the taper angle increases as the taper ratio increases, the tapered portion of the rotating shaft press-fitted into the shaft hole is more likely to come out of the shaft hole. Therefore, from the viewpoint of stabilizing the fixation of the rotating shaft to the wheel, it is preferable to limit the taper ratio of the tapered portion to a certain extent. From this point of view, the taper ratio of the tapered portion is preferably set to 1/5 or less, more preferably 1/10 or less, as described above. Thereby, the rotating shaft can be stably fixed to the wheel.

本発明の第２の態様は、ホルダユニットに関する。この態様に係るホルダユニットは、第１の態様に係るカッターホイールと、前記カッターホイールを回転可能に保持するホルダと、を備える。 A second aspect of the present invention relates to a holder unit. A holder unit according to this aspect includes the cutter wheel according to the first aspect and a holder that rotatably holds the cutter wheel.

この構成によれば、上記第１の態様と同様の効果を奏し得る。 According to this configuration, the same effects as those of the first aspect can be obtained.

上記第１の態様と同様、本態様においても、前記テーパ部分におけるテーパ比の値は、１／５以下であることが好ましく、また、テーパ比の値が、１／１０以下であることがさらに好ましい。 As in the first aspect, also in this aspect, the taper ratio of the tapered portion is preferably 1/5 or less, and more preferably 1/10 or less.

本態様に係るホルダユニットにおいて、前記ホルダは、前記回転軸の両端部を受ける受け部を備え、前記回転軸は、先細り形状の端部を有しており、前記受け部には、前記回転軸の前記端部の斜面と接触し、且つ、前記斜面とは異なる傾斜角の斜面が設けられている。 In the holder unit according to this aspect, the holder includes a receiving portion that receives both ends of the rotating shaft, the rotating shaft has a tapered end, and the receiving portion is provided with a slope that contacts the slope of the end of the rotating shaft and has a different inclination angle from the slope.

本態様に係るホルダユニットによれば、受け部によって、回転軸の両端部を、摩擦による制動力を抑制しながら回転可能に保持できる。よって、スクライブ動作時に、ホイールを円滑に回転させることができる。また、回転軸の両端が、受け部の斜面によって支持されるため、回転軸が長手方向に大きく移動することがない。このため、スクライブ動作時に、ホイールが回転軸に平行な方向に動くことが防がれる。よって、ホイールによるスクライブ性能を高めることができる。 According to the holder unit of this aspect, the receiving portions can rotatably hold both end portions of the rotating shaft while suppressing braking force due to friction. Therefore, the wheel can be rotated smoothly during the scribing operation. In addition, since both ends of the rotating shaft are supported by the slopes of the receiving portion, the rotating shaft does not move significantly in the longitudinal direction. This prevents the wheel from moving in a direction parallel to the axis of rotation during the scribing operation. Therefore, the scribing performance of the wheel can be enhanced.

以上のとおり、本発明によれば、ホイールと回転軸とを簡易かつ強固に接合することが可能なカッターホイール、およびこのようなカッターホイールを備えるホルダユニットを提供することができる。 As described above, according to the present invention, it is possible to provide a cutter wheel capable of easily and firmly joining the wheel and the rotating shaft, and a holder unit having such a cutter wheel.

本発明の効果ないし意義は、以下に示す実施の形態の説明により更に明らかとなろう。ただし、以下に示す実施の形態は、あくまでも、本発明を実施化する際の１つの例示であって、本発明は、以下の実施の形態に記載されたものに何ら制限されるものではない。 The effects and significance of the present invention will become clearer from the description of the embodiments shown below. However, the embodiment shown below is merely an example of carrying out the present invention, and the present invention is not limited to the embodiments described below.

図１（ａ）は、実施形態に係るホルダユニットが適用されるスクライブ装置の構成を模式的に示す図である。図１（ｂ）は、実施形態に係るホルダユニットの側面図である。FIG. 1(a) is a diagram schematically showing the configuration of a scribing device to which a holder unit according to an embodiment is applied. FIG.1(b) is a side view of the holder unit which concerns on embodiment. 図２は、実施形態に係るホルダユニットの構成を示す分解斜視図である。FIG. 2 is an exploded perspective view showing the configuration of the holder unit according to the embodiment. 図３（ａ）、（ｂ）は、それぞれ、実施形態に係るホルダユニットの構成を示す斜視図である。3A and 3B are perspective views showing the configuration of the holder unit according to the embodiment. 図４は、実施形態に係るカッターホイールが、受け部に支持されている様子を示す模式図である。FIG. 4 is a schematic diagram showing how the cutter wheel according to the embodiment is supported by a receiving portion. 図５（ａ）～（ｃ）は、実施形態に係るカッターホイールの構成を説明するための模式図である。図５（ａ）は、カッターホイールの構成を示す側面図であり、図５（ｂ）は、カッターホイールの回転軸の拡大図であり、図５（ｃ）は、カッターホイールの回転軸に形成されているテーパ部分に関する図である。5A to 5C are schematic diagrams for explaining the configuration of the cutter wheel according to the embodiment. FIG. 5(a) is a side view showing the configuration of the cutter wheel, FIG. 5(b) is an enlarged view of the rotating shaft of the cutter wheel, and FIG. 5(c) is a diagram relating to a tapered portion formed on the rotating shaft of the cutter wheel.

以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。なお、各図には、便宜上、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸が付記されている。Ｚ軸は、鉛直方向に平行である。上方および下方は、それぞれＺ軸正方向およびＺ軸負方向に対応する。 BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. For convenience, X-, Y-, and Z-axes that are orthogonal to each other are added to each drawing. The Z-axis is parallel to the vertical direction. Upward and downward correspond to the Z-axis positive direction and the Z-axis negative direction, respectively.

＜スクライブ装置の構成＞
図１（ａ）は、ホルダユニット５０が適用されるスクライブ装置１の構成を模式的に示す図である。 <Configuration of scribing device>
FIG. 1(a) is a diagram schematically showing the configuration of a scribing device 1 to which a holder unit 50 is applied.

図１（ａ）に示すように、スクライブ装置１は、スクライブヘッド１０と、移動機構２０と、支持機構３０と、を備える。スクライブヘッド１０は、支持機構３０に支持された基板Ｆにスクライブラインを形成する。移動機構２０は、スクライブヘッド１０をスクライブ方向（Ｘ軸正方向）に移動させる。支持機構３０は、上面に基板Ｆが載せられ、基板Ｆを支持する。また、支持機構３０は、支持した基板Ｆをスクライブラインの形成ピッチでＹ軸方向に送る。 As shown in FIG. 1( a ), the scribing device 1 includes a scribing head 10 , a moving mechanism 20 and a supporting mechanism 30 . The scribe head 10 forms scribe lines on the substrate F supported by the support mechanism 30 . The moving mechanism 20 moves the scribing head 10 in the scribing direction (X-axis positive direction). The support mechanism 30 supports the substrate F with the substrate F placed thereon. Further, the support mechanism 30 feeds the supported substrate F in the Y-axis direction at the formation pitch of the scribe lines.

基板Ｆは、ガラス基板やセラミックス基板等の脆性材料基板である。あるいは、脆性材料基板の上に、ＰＥＴ、ポリイミド樹脂等の樹脂を積層した基板としてもよい。さらに、複数の脆性材料基板を、接着材層を介して貼り合わせた貼合せ基板としてもよい。 The substrate F is a brittle material substrate such as a glass substrate or a ceramics substrate. Alternatively, a substrate obtained by laminating a resin such as PET or polyimide resin on a brittle material substrate may be used. Furthermore, a laminated substrate may be formed by laminating a plurality of brittle material substrates via an adhesive layer.

移動機構２０は、移動部材２１と、移送部２２と、支持部２３ａ、２３ｂと、駆動機構２４とを備える。 The moving mechanism 20 includes a moving member 21 , a transfer section 22 , support sections 23 a and 23 b and a drive mechanism 24 .

移動部材２１は、板状の部材からなり、スクライブヘッド１０を支持する。移送部２２は、移動部材２１をＸ軸方向に案内するレール等を備え、移動部材２１をＸ軸方向に移送する。支持部２３ａ、２３ｂは、移送部２２を支持する。駆動機構２４は、移送部２２の駆動源であり、モータからなっている。 The moving member 21 is a plate-like member and supports the scribing head 10 . The transfer section 22 includes a rail or the like for guiding the moving member 21 in the X-axis direction, and transfers the moving member 21 in the X-axis direction. The support portions 23 a and 23 b support the transfer portion 22 . The drive mechanism 24 is a drive source for the transfer section 22 and is composed of a motor.

支持機構３０は、テーブル３１と、ガイドレール３２ａおよび３２ｂと、駆動軸３３とを備える。テーブル３１は、上面に基板Ｆが載せられ、基板Ｆを支持する。ガイドレール３２ａおよび３２ｂは、テーブル３１をＹ軸方向に移送する。駆動軸３３は、外周にギア溝を有する軸であり、テーブル３１に形成された孔のギア溝と噛み合っている。図示しないモータにより駆動軸３３が回転されることにより、テーブル３１がＹ軸方向に駆動される。 The support mechanism 30 includes a table 31 , guide rails 32 a and 32 b and a drive shaft 33 . The table 31 supports the substrate F with the substrate F placed thereon. Guide rails 32a and 32b transport table 31 in the Y-axis direction. The drive shaft 33 is a shaft having a gear groove on its outer circumference, and meshes with the gear groove of a hole formed in the table 31 . The table 31 is driven in the Y-axis direction by rotating the drive shaft 33 by a motor (not shown).

スクライブヘッド１０は、基板Ｆの表面の上方（Ｚ軸正方向）の位置において、移動機構２０の移動部材２１に設置されている。スクライブヘッド１０は、移動部材２１に案内されてＸ軸方向に移動するように設置されている。スクライブヘッド１０の下端に、ホルダユニット５０が着脱可能に設置されている。 The scribing head 10 is installed on a moving member 21 of a moving mechanism 20 at a position above the surface of the substrate F (positive direction of the Z-axis). The scribing head 10 is installed so as to be guided by a moving member 21 and move in the X-axis direction. A holder unit 50 is detachably installed at the lower end of the scribing head 10 .

図１（ｂ）は、スクライブヘッド１０に対するホルダユニット５０の装着状態を示す図である。図１（ｂ）では、スクライブヘッド１０側の構成が、Ｘ－Ｚ平面に平行な平面で切断された断面図で示されており、ホルダユニット５０側の構成は側面図で示されている。 FIG. 1(b) is a diagram showing a mounting state of the holder unit 50 with respect to the scribing head 10. As shown in FIG. In FIG. 1(b), the configuration on the scribing head 10 side is shown in a cross-sectional view cut along a plane parallel to the XZ plane, and the configuration on the holder unit 50 side is shown in a side view.

スクライブヘッド１０の下端に、ホルダジョイント４０が設置されている。ホルダジョイント４０は、軸４１およびジョイント４２を備える。軸４１は、ベアリング４３ａ、４３ｂで軸支されている。ベアリング４３ａ、４３ｂの間には、筒状のスペーサ４４が配置されている。ジョイント４２は、軸４１に固定されている。したがって、ジョイント４２は、ベアリング４３ａ、４３ｂの中心軸について、回転可能となっている。 A holder joint 40 is installed at the lower end of the scribing head 10 . Holder joint 40 comprises shaft 41 and joint 42 . The shaft 41 is supported by bearings 43a and 43b. A cylindrical spacer 44 is arranged between the bearings 43a and 43b. Joint 42 is fixed to shaft 41 . Therefore, the joint 42 is rotatable about the central axes of the bearings 43a and 43b.

ジョイント４２の下面には、Ｚ軸負側に開口する円形の穴４５が形成されている。穴４５の最奥部４５ａに磁石４６が設置されている。また、穴４５の内部には、穴４５の中心軸Ｍ１から径方向に変位した位置に、穴４５の中心軸Ｍ１と垂直な方向に位置決めピン４７が設けられる。穴４５にホルダユニット５０の突出部１０１が挿入されることにより、ホルダユニット５０がジョイント４２に装着される。すなわち、突出部１０１が穴４５に挿入されると、磁性材料からなる突出部１０１が磁石４６に吸引され、突出部１０１の傾斜面１０１ａがピン４７に当接する。これにより、ホルダユニット５０が、ホルダジョイント４０に装着される。 A circular hole 45 that opens to the Z-axis negative side is formed in the lower surface of the joint 42 . A magnet 46 is installed in the innermost portion 45 a of the hole 45 . Inside the hole 45 , a positioning pin 47 is provided in a direction perpendicular to the central axis M<b>1 of the hole 45 at a position radially displaced from the central axis M<b>1 of the hole 45 . The holder unit 50 is attached to the joint 42 by inserting the projecting portion 101 of the holder unit 50 into the hole 45 . That is, when the projecting portion 101 is inserted into the hole 45 , the projecting portion 101 made of a magnetic material is attracted to the magnet 46 and the inclined surface 101 a of the projecting portion 101 contacts the pin 47 . Thereby, the holder unit 50 is attached to the holder joint 40 .

図２は、ホルダユニット５０の構成を示す分解斜視図である。図２に示すように、ホルダユニット５０は、ホルダ１００と、カッターホイール２００と、を備える。 FIG. 2 is an exploded perspective view showing the configuration of the holder unit 50. As shown in FIG. As shown in FIG. 2, the holder unit 50 includes a holder 100 and a cutter wheel 200. As shown in FIG.

ホルダ１００は、突出部１０１と、保持部１０２ａ、１０２ｂと、押しネジ１０３と、引きネジ１０４と、支持部材１１０ａ、１１０ｂと、を備えている。 The holder 100 includes a projecting portion 101, holding portions 102a and 102b, a push screw 103, a pull screw 104, and support members 110a and 110b.

突出部１０１と保持部１０２ａ、１０２ｂとによって、ホルダ１００の本体が構成される。突出部１０１および保持部１０２ａ、１０２ｂは、磁性材料によって一体形成されている。突出部１０１は、円筒状の形状を有する。上記のように、突出部１０１の外側面の一部が切り欠かれることにより、傾斜面１０１ａが形成されている。突出部１０１の下端に、保持部１０２ａ、１０２ｂがＹ軸方向に向き合って形成されている。 The main body of the holder 100 is configured by the projecting portion 101 and the holding portions 102a and 102b. Protruding portion 101 and holding portions 102a and 102b are integrally formed of a magnetic material. The protrusion 101 has a cylindrical shape. As described above, the inclined surface 101a is formed by cutting out a part of the outer surface of the projecting portion 101 . Holding portions 102a and 102b are formed at the lower end of the projecting portion 101 so as to face each other in the Y-axis direction.

保持部１０２ａ、１０２ｂは、Ｙ軸方向から見た場合に、下端に向かって幅が狭くなる台形形状となっている。保持部１０２ａ、１０２ｂとの間に保持溝１０５が形成されている。Ｙ軸方向における保持溝１０５の幅は、カッターホイール２００の回転軸２２０よりもやや広い。 The holding portions 102a and 102b have a trapezoidal shape that narrows toward the lower end when viewed in the Y-axis direction. A holding groove 105 is formed between the holding portions 102a and 102b. The width of the holding groove 105 in the Y-axis direction is slightly wider than the rotating shaft 220 of the cutter wheel 200 .

保持部１０２ａ、１０２ｂの下端には、円形の孔１０６ａ、１０６ｂが保持溝１０５を跨ぐようにして同軸上に形成されている。孔１０６ａ、１０６ｂの中心軸は、Ｙ軸に平行である。孔１０６ａ、１０６ｂの下端は、保持部１０２ａ、１０２ｂの下面まで切り欠かれている。 Circular holes 106a and 106b are coaxially formed across the holding groove 105 at the lower ends of the holding portions 102a and 102b. The central axes of the holes 106a, 106b are parallel to the Y-axis. The lower ends of the holes 106a and 106b are notched to the lower surfaces of the holding portions 102a and 102b.

孔１０６ａ、１０６ｂには、カッターホイール２００の回転軸２２０を支持する円柱形状の支持部材１１０ａ、１１０ｂが装着される。支持部材１１０ａ、１１０ｂは、孔１０６ａ、１０６ｂよりもＹ軸方向の長さが長く、直径が孔１０６ａ、１０６ｂよりも僅かに大きい。支持部材１１０ａ、１１０ｂの一方の端部には、カッターホイール２００の回転軸２２０を受ける受け部１１１ａ、１１１ｂが設けられている。 Columnar support members 110a and 110b for supporting the rotation shaft 220 of the cutter wheel 200 are mounted in the holes 106a and 106b. The support members 110a, 110b are longer in the Y-axis direction than the holes 106a, 106b and slightly larger in diameter than the holes 106a, 106b. Receiving portions 111a and 111b for receiving the rotating shaft 220 of the cutter wheel 200 are provided at one end of the supporting members 110a and 110b.

カッターホイール２００は、支持部材１１０ａ、１１０ｂを介して孔１０６ａ、１０６ｂに保持される。上記のように、孔１０６ａ、１０６ｂは、中心軸が同軸かつＹ軸に平行となるように、保持部１０２ａ、１０２ｂに形成されている。このため、支持部材１１０ａ、１１０ｂは、中心軸が同軸かつＹ軸に平行となるように孔１０６ａ、１０６ｂに配置される。 Cutter wheel 200 is held in holes 106a, 106b via support members 110a, 110b. As described above, the holes 106a and 106b are formed in the holding portions 102a and 102b such that the central axes are coaxial and parallel to the Y-axis. Therefore, the support members 110a and 110b are arranged in the holes 106a and 106b so that the center axes thereof are coaxial and parallel to the Y-axis.

保持部１０２ａの上部には、押しネジ１０３が挿入されるネジ孔１０７が形成されている。なお、ネジ孔１０７は、図２には図示されず、図３（ａ）に図示されている。また、Ｙ軸正側の保持部１０２ａの上部には、２つの引きネジ１０４がそれぞれ挿入される２つのネジ孔１０８ａが形成されている。また、Ｙ軸負側の保持部１０２ｂの上部には、２つの引きネジ１０４の頭部１０４ａがそれぞれ嵌まる円形の凹部１０８ｂが形成され、これら凹部１０８ｂの底部中央に、保持部１０２ｂのＹ軸正側の側面に貫通するネジ孔１０８ｃがそれぞれ形成されている。ネジ孔１０８ａとネジ孔１０８ｃは、保持溝１０５を跨ぐように同軸上に形成されている。 A screw hole 107 into which the set screw 103 is inserted is formed in the upper portion of the holding portion 102a. The screw hole 107 is not shown in FIG. 2, but is shown in FIG. 3(a). Two screw holes 108a into which the two pull screws 104 are respectively inserted are formed in the upper portion of the holding portion 102a on the positive side of the Y axis. Circular recesses 108b in which the heads 104a of the two pull screws 104 are respectively fitted are formed in the upper part of the holding portion 102b on the Y-axis negative side, and screw holes 108c are formed in the center of the bottoms of these recesses 108b to penetrate the side surfaces of the holding portion 102b on the Y-axis positive side. The screw holes 108 a and 108 c are formed coaxially across the holding groove 105 .

このように、本実施の形態では、引きネジ１０４が２つ用いられるため、ネジ孔１０８ａ、１０８ｃは、保持部１０２ａ、１０２ｂにＸ軸方向に２つ並んで形成されている。ネジ孔１０７、および２つのネジ孔１０８ａ、１０８ｃは、中心軸がＹ軸に平行となるように保持部１０２ａ、１０２ｂに形成されている。 Thus, in this embodiment, since two pull screws 104 are used, two screw holes 108a and 108c are formed side by side in the X-axis direction in holding portions 102a and 102b. A screw hole 107 and two screw holes 108a and 108c are formed in the holding portions 102a and 102b so that their central axes are parallel to the Y-axis.

押しネジ１０３は、球面状の当接部１０３ａと、ネジ部１０３ｂとを有しており、引きネジ１０４は、円柱状の頭部１０４ａと、ネジ部１０４ｂとを有する。押しネジ１０３の当接部１０３ａは、保持部１０２ｂの内側面に当接する。引きネジ１０４のネジ部１０４ｂは、保持部１０２ａ側のネジ孔１０８ａに噛み合う。引きネジ１０４の頭部１０４ａは、上記のように、保持部１０２ｂの凹部１０８ｂに嵌まる。 The push screw 103 has a spherical contact portion 103a and a threaded portion 103b, and the pull screw 104 has a cylindrical head portion 104a and a threaded portion 104b. The contact portion 103a of the set screw 103 contacts the inner surface of the holding portion 102b. The threaded portion 104b of the pull screw 104 meshes with the threaded hole 108a on the holding portion 102a side. The head 104a of the pull screw 104 fits into the recess 108b of the holding portion 102b as described above.

カッターホイール２００は、ホイール２１０と回転軸２２０とが一体化されることにより形成されている。よって、ホイール２１０と回転軸２２０とは、一体的に回転する。回転軸２２０をホイール２１０に圧入することにより、ホイール２１０と回転軸２２０とが接合される。ホイール２１０は、回転軸２２０が挿入される軸孔２１１と、ホイール２１０の外周に沿って設けられている刃先２１２と、を備えている。回転軸２２０の端部２２０ａ、２２０ｂは、先細りの形状に形成されている。ここでは、円錐状の傾斜面に球面状の曲面が続くように、端部２２０ａ、２２０ｂが形成されている。刃先２１２は、スクライブ動作時に基板Ｆに押し当てられ、回転軸２２０が回転すると基板Ｆの表面上にスクライブラインを形成する。 Cutter wheel 200 is formed by integrating wheel 210 and rotating shaft 220 . Therefore, the wheel 210 and the rotating shaft 220 rotate integrally. Wheel 210 and rotating shaft 220 are joined by pressing rotating shaft 220 into wheel 210 . The wheel 210 has a shaft hole 211 into which the rotating shaft 220 is inserted, and a cutting edge 212 provided along the outer periphery of the wheel 210 . Ends 220a and 220b of rotating shaft 220 are tapered. Here, the end portions 220a and 220b are formed such that a conical inclined surface is followed by a spherically curved surface. The cutting edge 212 is pressed against the substrate F during the scribing operation, and forms a scribe line on the surface of the substrate F when the rotating shaft 220 rotates.

ホイール２１０は、刃先２１２が予め加工されたものが採用される。回転軸２２０は、ホイール２１０と接合された後、ホイール２１０を挟んで両側の長さが揃えられ、端部２２０ａ、２２０ｂが先細りの形状に加工される。 As the wheel 210, one having a cutting edge 212 pre-machined is adopted. After the rotating shaft 220 is joined to the wheel 210, the lengths of both sides of the rotating shaft 220 are aligned with the wheel 210 interposed therebetween, and the ends 220a and 220b are processed into a tapered shape.

上記のとおり、支持部材１１０ａ、１１０ｂは、カッターホイール２００の回転軸２２０を支持する。具体的には、回転軸２２０の端部２２０ａ、２２０ｂが支持部材１１０ａ、１１０ｂの受け部１１１ａ、１１１ｂで受けられる。すなわち、ホイール２１０と回転軸２２０が接合された状態で、カッターホイール２００が、保持部１０２ａ、１０２ｂ間の保持溝１０５に挿入される。このとき、回転軸２２０の両端が、それぞれ、孔１０６ａ、１０６ｂに向き合う。この状態で、支持部材１１０ａ、１１０ｂが、それぞれ、保持部１０２ａ、１０２ｂの外側から、孔１０６ａ、１０６ｂに嵌め込まれる。これにより、回転軸２２０の両端が、支持部材１１０ａ、１１０ｂの受け部１１１ａ、１１１ｂに受けられ、回転軸２２０が支持部材１１０ａ、１１０ｂに挟まれる。さらに、支持部材１１０ａ、１１０ｂが、接着剤で、保持部１０２ａ、１０２ｂに固定される。こうして、カッターホイール２００が、保持部１０２ａ、１０２ｂに支持される。 As described above, support members 110 a and 110 b support rotating shaft 220 of cutter wheel 200 . Specifically, end portions 220a and 220b of rotating shaft 220 are received by receiving portions 111a and 111b of support members 110a and 110b. That is, the cutter wheel 200 is inserted into the holding groove 105 between the holding portions 102a and 102b while the wheel 210 and the rotary shaft 220 are joined. At this time, both ends of the rotating shaft 220 face the holes 106a and 106b, respectively. In this state, the support members 110a and 110b are fitted into the holes 106a and 106b from outside the holding portions 102a and 102b, respectively. As a result, both ends of the rotating shaft 220 are received by the receiving portions 111a and 111b of the supporting members 110a and 110b, and the rotating shaft 220 is sandwiched between the supporting members 110a and 110b. Further, support members 110a and 110b are fixed to holding portions 102a and 102b with an adhesive. Thus, the cutter wheel 200 is supported by the holding portions 102a and 102b.

なお、支持部材１１０ａ、１１０ｂによるカッターホイール２００の支持方法に関しては、追って図４を参照して、さらに詳述する。また、カッターホイール２００の構成の詳細に関しては、追って図５（ａ）～（ｃ）を参照して説明する。 The method of supporting the cutter wheel 200 by the support members 110a and 110b will be described in more detail later with reference to FIG. Details of the configuration of the cutter wheel 200 will be described later with reference to FIGS. 5(a) to 5(c).

図３（ａ）、（ｂ）は、それぞれ、組み立て後のホルダユニット５０の構成を示す斜視図である。 3A and 3B are perspective views showing the configuration of the holder unit 50 after assembly.

図３（ａ）、（ｂ）に示すように、押しネジ１０３は、当接部１０３ａ側からネジ孔１０７に噛み合わされる。押しネジ１０３は、右回りに回転させると、押しネジ１０３の当接部１０３ａが保持部１０２ｂの内側面に当接し、さらに右回りに回転させると、保持部１０２ｂをＹ軸負側へ押し出す。これにより、保持溝１０５のＹ軸方向の幅が広がる。 As shown in FIGS. 3A and 3B, the set screw 103 is engaged with the screw hole 107 from the contact portion 103a side. When the push screw 103 is rotated clockwise, the abutting portion 103a of the push screw 103 contacts the inner surface of the holding portion 102b, and when further rotated clockwise, the holding portion 102b is pushed out to the Y-axis negative side. This increases the width of the holding groove 105 in the Y-axis direction.

一方、引きネジ１０４は、ネジ部１０４ｂがネジ孔１０８ｃに噛み合い、さらに、保持溝１０５を跨いでネジ孔１０８ａに噛み合っている。引きネジ１０４の頭部１０４ａは、凹部１０８ｂに嵌まっている。引きネジ１０４は、右回りに回転させると、保持部１０２ａをＹ軸負側へ引き込み、保持溝１０５のＹ軸方向の幅が狭められる。このように、押しネジ１０３および引きネジ１０４を回転させて、保持溝１０５のＹ軸方向の幅を調整することができる。すなわち、この保持溝１０５のＹ軸方向の幅の調整により、保持部１０２ａ、１０２ｂの開閉を調整でき、これにより、保持部１０２ａ、１０２ｂの孔１０６ａ、１０６ｂに装着されている支持部材１１０ａ、１１０ｂの開閉を調整することができる。 On the other hand, the threaded portion 104b of the pull screw 104 meshes with the threaded hole 108c, and also straddles the holding groove 105 and meshes with the threaded hole 108a. The head 104a of the pull screw 104 is fitted in the recess 108b. When the pull screw 104 is rotated clockwise, the holding portion 102a is pulled in to the Y-axis negative side, and the width of the holding groove 105 in the Y-axis direction is narrowed. By rotating the push screw 103 and the pull screw 104 in this manner, the width of the holding groove 105 in the Y-axis direction can be adjusted. That is, by adjusting the width of the holding groove 105 in the Y-axis direction, it is possible to adjust the opening and closing of the holding portions 102a and 102b.

上記のとおり、支持部材１１０ａ、１１０ｂの受け部１１１ａ、１１１ｂは、回転軸２２０の端部２２０ａ、２２０ｂを受ける。このため、押しネジ１０３および引きネジ１０４を回転させて、支持部材１１０ａ、１１０ｂが閉じる方向に移動した場合、回転軸２２０の端部２２０ａ、２２０ｂと受け部１１１ａ、１１１ｂの間隔が狭められ、逆に、支持部材１１０ａ、１１０ｂが開く方向に移動した場合は、回転軸２２０の端部２２０ａ、２２０ｂに対する受け部１１１ａ、１１１ｂの間隔が広げられる。これにより、ホイール２１０が安定して回転し得る適度な間隔で受け部１１１ａ、１１１ｂを回転軸２２０の端部２２０ａ、２２０ｂに接触させることができる。 As described above, the receiving portions 111a, 111b of the support members 110a, 110b receive the ends 220a, 220b of the rotating shaft 220. As shown in FIG. Therefore, when the support members 110a and 110b are moved in the closing direction by rotating the set screw 103 and the pull screw 104, the distance between the end portions 220a and 220b of the rotating shaft 220 and the receiving portions 111a and 111b is narrowed. 111b is widened. As a result, the receiving portions 111a and 111b can be brought into contact with the ends 220a and 220b of the rotating shaft 220 at appropriate intervals that allow the wheel 210 to rotate stably.

図４は、スクライブ時にカッターホイール２００の回転軸２２０が、支持部材１１０ａ、１１０ｂに支持されている様子を示す模式図である。 FIG. 4 is a schematic diagram showing how the rotating shaft 220 of the cutter wheel 200 is supported by the support members 110a and 110b during scribing.

図４に示すように、支持部材１１０ａ、１１０ｂには、先端に受け部１１１ａ、１１１ｂが形成されている。受け部１１１ａ、１１１ｂには、外方に向かって広がるテーパ状の斜面１１２ａ、１１２ｂが設けられている。受け部１１１ａ、１１１ｂの斜面１１２ａ、１１２ｂの傾斜角と、先細り形状の回転軸２２０の端部２２０ａ、２２０ｂの傾斜角とは、互いに相違している。これにより、受け部１１１ａ、１１１ｂの斜面１１２ａ、１１２ｂで回転軸２２０の端部２２０ａ、２２０ｂを、略線接触の状態で受けることができる。 As shown in FIG. 4, the support members 110a and 110b are formed with receiving portions 111a and 111b at their ends. The receiving portions 111a and 111b are provided with tapered slopes 112a and 112b that widen outward. The inclination angle of the slopes 112a and 112b of the receiving portions 111a and 111b and the inclination angle of the end portions 220a and 220b of the tapered rotating shaft 220 are different from each other. As a result, the end portions 220a and 220b of the rotating shaft 220 can be received in substantially line contact with the slopes 112a and 112b of the receiving portions 111a and 111b.

スクライブ時には、基板からの反力によりカッターホイール２００が上方へ押し上げられるため、回転軸２２０の端部２２０ａ、２２０ｂは、受け部１１１ａ、１１１ｂの斜面１１２ａ、１１２ｂの上側に接触する。図４の黒丸は、回転軸２２０の端部２２０ａ、２２０ｂが受け部１１１ａ、１１１ｂの斜面１１２ａ、１１２ｂの上側と接触することを示している。このため、回転軸２２０の端部２２０ａ、２２０ｂと受け部１１１ａ、１１１ｂの斜面１１２ａ、１１２ｂの下側との間に、微小な隙間１１３ａ、１１３ｂが生じる。 During scribing, the cutter wheel 200 is pushed upward by the reaction force from the substrate, so that the ends 220a and 220b of the rotating shaft 220 contact the upper sides of the slopes 112a and 112b of the receiving portions 111a and 111b. The black circles in FIG. 4 indicate that the ends 220a and 220b of the rotating shaft 220 contact the upper sides of the slopes 112a and 112b of the receiving portions 111a and 111b. Therefore, minute gaps 113a and 113b are formed between the ends 220a and 220b of the rotating shaft 220 and the lower sides of the slopes 112a and 112b of the receiving portions 111a and 111b.

ここで、押しネジ１０３および引きネジ１０４を回転させて、支持部材１１０ａ、１１０ｂを閉じる方向（図４の矢印の方向）に移動させると、回転軸２２０の端部２２０ａ、２２０ｂと受け部１１１ａ、１１１ｂとの間隔、たとえば、図４で示されている隙間１１３ａ、１１３ｂが小さくなり、回転軸２２０が回転しにくくなる。逆に、押しネジ１０３および引きネジ１０４を回転させて、支持部材１１０ａ、１１０ｂを開く方向に移動させると、回転軸２２０の端部２２０ａ、２２０ｂと受け部１１１ａ、１１１ｂとの間隔、たとえば、図４で示されている隙間１１３ａ、１１３ｂが大きくなり、回転軸２２０が回転しやすくなる。ただし、支持部材１１０ａ、１１０ｂが開きすぎると、回転軸２２０の端部２２０ａ、２２０ｂと受け部１１１ａ、１１１ｂとの間の間隔が大きくなりすぎ、回転軸２２０が長手方向にガタつきやすくなる。 Here, when the push screw 103 and the pull screw 104 are rotated to move the support members 110a and 110b in the closing direction (the direction of the arrow in FIG. 4), the distance between the end portions 220a and 220b of the rotating shaft 220 and the receiving portions 111a and 111b, for example, the gaps 113a and 113b shown in FIG. Conversely, when the push screw 103 and the pull screw 104 are rotated to move the support members 110a and 110b in the opening direction, the distance between the end portions 220a and 220b of the rotating shaft 220 and the receiving portions 111a and 111b, for example, the gaps 113a and 113b shown in FIG. However, if the support members 110a and 110b are opened too much, the distance between the end portions 220a and 220b of the rotating shaft 220 and the receiving portions 111a and 111b becomes too large, and the rotating shaft 220 tends to rattle in the longitudinal direction.

したがって、受け部１１１ａ、１１１ｂと回転軸２２０の端部２２０ａ、２２０ｂとの間隔が、回転軸２２０がほとんどガタつくことなく滑らかに回転し得るように、押しネジ１０３および引きネジ１０４の回転が調整される。これにより、ホイール２１０を安定的に回転させることができる。 Therefore, the rotation of the push screw 103 and the pull screw 104 is adjusted so that the distance between the receiving portions 111a, 111b and the end portions 220a, 220b of the rotating shaft 220 allows the rotating shaft 220 to rotate smoothly with almost no play. Thereby, the wheel 210 can be stably rotated.

次に、カッターホイール２００の構成について説明する。図５（ａ）は、カッターホイール２００の構成を示す側面図であり、図５（ｂ）は、中央付近からＹ軸負側の回転軸２２０の拡大図であり、図５（ｃ）は、テーパ比の値について説明する模式図である。 Next, the configuration of the cutter wheel 200 will be described. FIG. 5(a) is a side view showing the configuration of the cutter wheel 200, FIG. 5(b) is an enlarged view of the rotating shaft 220 on the Y-axis negative side from the vicinity of the center, and FIG. 5(c) is a schematic diagram for explaining the value of the taper ratio.

上記のとおり、カッターホイール２００は、軸孔２１１と刃先２１２とを有するホイール２１０と、回転軸２２０とが一体化して構成されている。また、図５（ｂ）に示すように、回転軸２２０は、Ｙ軸負側からＹ軸正側に向かって径が広がるようにテーパ部分Ｒ１が形成されている。 As described above, the cutter wheel 200 is configured by integrating the wheel 210 having the shaft hole 211 and the cutting edge 212 and the rotating shaft 220 . Further, as shown in FIG. 5B, the rotary shaft 220 is formed with a tapered portion R1 so that the diameter increases from the Y-axis negative side toward the Y-axis positive side.

テーパ部分Ｒ１は、最小径Ｌ１が軸孔２１１の径よりも小さく、最大径Ｌ２が軸孔２１１の径よりも大きくなるように形成されている。また、回転軸２２０において、テーパ部分Ｒ１を挟んでＹ軸負側に位置する回転軸部Ｒ２は、端部２２０ｂ以外の部分においてテーパ部分Ｒ１の最小径Ｌ１と等しい径を有するように形成されている。テーパ部分Ｒ１を挟んでＹ軸正側に位置する回転軸部Ｒ３は、端部２２０ａ以外の部分においてテーパ部分Ｒ１の最大径Ｌ２と等しい径を有するように形成されている。 Tapered portion R1 is formed such that minimum diameter L1 is smaller than the diameter of shaft hole 211 and maximum diameter L2 is larger than the diameter of shaft hole 211 . Further, in the rotary shaft 220, a rotary shaft portion R2 located on the Y-axis negative side across the tapered portion R1 is formed to have a diameter equal to the minimum diameter L1 of the tapered portion R1 at portions other than the end portion 220b. Rotation shaft portion R3 positioned on the Y-axis positive side across tapered portion R1 is formed to have a diameter equal to maximum diameter L2 of tapered portion R1 at portions other than end portion 220a.

ホイール２１０と回転軸２２０とを一体化する場合、ホイール２１０の軸孔２１１に、回転軸２２０を、テーパ部分Ｒ１の最小の径の側から挿入する。これにより、テーパ部分Ｒ１が軸孔２１１の内側に当接する。その後、回転軸２２０を軸孔２１１にさらに押し込む。これにより、テーパ部分Ｒ１が軸孔２１１に圧入される。これにより、ホイール２１０と回転軸２２０とが一体化される。 When the wheel 210 and the rotating shaft 220 are integrated, the rotating shaft 220 is inserted into the shaft hole 211 of the wheel 210 from the smallest diameter side of the tapered portion R1. As a result, the tapered portion R1 contacts the inner side of the shaft hole 211 . After that, the rotating shaft 220 is further pushed into the shaft hole 211 . As a result, the tapered portion R1 is press-fitted into the shaft hole 211. As shown in FIG. Thereby, the wheel 210 and the rotating shaft 220 are integrated.

ホイール２１０と回転軸２２０とが一体化された後、ホイール２１０が回転軸２２０の中央に位置付けられるように、回転軸２２０は、ホイール２１０を挟んで回転軸部Ｒ２と回転軸部Ｒ３との長さが等しくなるように加工される。また、回転軸２２０の端部２２０ａ、２２０ｂが、先細りの形状に加工される。 After the wheel 210 and the rotating shaft 220 are integrated, the rotating shaft 220 is processed so that the lengths of the rotating shaft portion R2 and the rotating shaft portion R3 with the wheel 210 therebetween are equal so that the wheel 210 is positioned at the center of the rotating shaft 220. Also, the ends 220a and 220b of the rotary shaft 220 are processed into a tapered shape.

一般に、テーパ比は、テーパ部分の最大径をａ、最小径をｂ、ａとｂとの距離をｃとした場合、以下の演算式で算出される。 In general, the taper ratio is calculated by the following arithmetic expression, where a is the maximum diameter of the tapered portion, b is the minimum diameter, and c is the distance between a and b.

テーパ比＝（ａ－ｂ）／ｃ …（１） Taper ratio = (ab)/c (1)

式（１）に基づいて算出されたテーパ比の値が大きいほどテーパ角は大きい。ここで、図５（ｂ）に示すテーパ部分Ｒ１のテーパ角が大きくなるほど、ホイール２１０の軸孔２１１に圧入されたテーパ部分Ｒ１は、軸孔２１１から抜け易くなる。このため、ホイール２１０が安定して回転軸２２０のテーパ部分Ｒ１に固定されるためには、テーパ比の値をある程度の大きさに制限することが好ましい。 The larger the taper ratio calculated based on the formula (1), the larger the taper angle. Here, as the taper angle of the tapered portion R1 shown in FIG. Therefore, in order to stably fix the wheel 210 to the tapered portion R1 of the rotary shaft 220, it is preferable to limit the value of the taper ratio to a certain level.

また、テーパ比の値が小さいほどテーパ角は小さい。ここで、図５（ｂ）に示すテーパ部分Ｒ１のテーパ角が小さくなるほど、ホイール２１０の軸孔２１１に圧入されたテーパ部分Ｒ１は軸孔２１１から抜けにくくなる。このため、ホイール２１０に対する回転軸２２０の固定が安定化する。 Also, the smaller the value of the taper ratio, the smaller the taper angle. Here, the smaller the taper angle of the tapered portion R1 shown in FIG. Therefore, the fixation of rotating shaft 220 to wheel 210 is stabilized.

しかしながら、テーパ比の値が小さい場合、ホイール２１０の軸孔２１１の径の公差によって、軸孔２１１に圧入される際のテーパ部分Ｒ１の挿入量にばらつきが生じる。テーパ部分Ｒ１におけるホイール２１０の軸孔２１１の挿入量が大きくばらつくと、テーパ部分Ｒ１をホイール２１０の軸孔２１１に圧入した後、回転軸部Ｒ２と回転軸部Ｒ３との長さを調整する工程において、回転軸部Ｒ２および回転軸部Ｒ３を端部から広い範囲で切断する必要がある。このような端部の切断は、回転軸２２０を無駄に消費することになるため、好ましくない。このため、テーパ比の値は、ある程度の小ささに制限することが好ましい。 However, when the value of the taper ratio is small, the insertion amount of the tapered portion R1 when it is press-fitted into the shaft hole 211 varies due to the tolerance of the diameter of the shaft hole 211 of the wheel 210 . If the amount of insertion of the tapered portion R1 into the shaft hole 211 of the wheel 210 varies greatly, after the tapered portion R1 is press-fitted into the shaft hole 211 of the wheel 210, in the process of adjusting the lengths of the rotating shaft portions R2 and R3, it is necessary to cut the rotating shaft portions R2 and R3 from their ends over a wide range. Such cutting of the end portion is not preferable because it wastes the rotating shaft 220 . Therefore, it is preferable to limit the value of the taper ratio to a certain small value.

そこで、本願発明者は、ホイール２１０の軸孔２１１の径の公差を考慮しつつ、ホイール２１０に対する回転軸２２０の固定の安定化の観点から、テーパ部分Ｒ１におけるテーパ比の値の最適な範囲を検討した。 Therefore, the inventors of the present application considered the tolerance of the diameter of the shaft hole 211 of the wheel 210, and from the viewpoint of stabilizing the fixation of the rotating shaft 220 to the wheel 210, studied the optimum range of the value of the taper ratio in the tapered portion R1.

＜テーパ比の値の検討＞
図５（ｃ）に示すように、本願発明者は、テーパ部分の最小の径が０．８０５ｍｍ、ホイールの軸孔の径が公差により０．８２～０．８２２ｍｍの範囲でばらつく場合について検討した。図５（ｃ）において、Ｌは、テーパ部分にホイールの軸孔を挿入したときにホイールが固定される位置のばらつき量である。 <Examination of value of taper ratio>
As shown in FIG. 5(c), the inventor of the present application examined a case where the minimum diameter of the tapered portion is 0.805 mm and the diameter of the shaft hole of the wheel varies within the range of 0.82 to 0.822 mm due to tolerance. In FIG. 5(c), L is the amount of variation in the position where the wheel is fixed when the shaft hole of the wheel is inserted into the tapered portion.

テーパ比の値が、１／４、１／５、および１／１０の場合、ばらつき量Ｌは、それぞれ、０．００８ｍｍ、０．０１０ｍｍ、および０．０２ｍｍと算出された。また、テーパ比の値が、１／４、１／５、および１／１０の場合のテーパ角度は、それぞれ、１４.０４度、１１.３１度、および５．７１度であった。 When the taper ratio is 1/4, 1/5, and 1/10, the amount of variation L is calculated to be 0.008 mm, 0.010 mm, and 0.02 mm, respectively. The taper angles for taper ratios of 1/4, 1/5 and 1/10 were 14.04 degrees, 11.31 degrees and 5.71 degrees, respectively.

この結果から、テーパ比の値が１／４の場合、ばらつき量Ｌを抑制できることが分かる。しかし、テーパ比の値が１／４の場合は、テーパ角度が１４．０４度と大きいため、スクライブ時のカッターホイールの転動に伴い、特に、軸方向への力がホイールに加わった場合にテーパ部分からホイールが脱落しやすくなると考えられる。これに対し、テーパ比が１／５の場合は、テーパ比が１／４の場合に比べて、ばらつき量Ｌがやや増加するものの、スクライブ時にテーパ部分からホイールが抜け落ちることを抑制することができる。さらに、テーパ比が１／１０の場合は、ホイールを回転軸により確実に接合できると考えられる。 From this result, it can be seen that the variation amount L can be suppressed when the taper ratio is 1/4. However, when the taper ratio is 1/4, the taper angle is as large as 14.04 degrees, so it is considered that the wheel tends to fall off from the tapered portion as the cutter wheel rolls during scribing, especially when force is applied to the wheel in the axial direction. On the other hand, when the taper ratio is 1/5, the variation L is slightly increased compared to when the taper ratio is 1/4, but it is possible to prevent the wheel from falling off from the taper portion during scribing. Furthermore, when the taper ratio is 1/10, it is believed that the wheel can be reliably joined to the rotating shaft.

この検証から、テーパ部分のテーパ比は、１／５以下であることが好ましく、１／１０以下であることがさらに好ましいと言える。 From this verification, it can be said that the taper ratio of the tapered portion is preferably 1/5 or less, and more preferably 1/10 or less.

次に、テーパ比の値が、１／２００、１／１００、および１／７０の場合、ばらつき量Ｌは、それぞれ、０．４００ｍｍ、０．２００ｍｍ、および０．１４０ｍｍと算出された。また、テーパ比の値が、１／２００、１／１００、および１／７０の場合のテーパ角度は、それぞれ、０．２９度、０．５７度、および０．８２度であった。 Next, when the taper ratio is 1/200, 1/100, and 1/70, the variation amount L is calculated to be 0.400 mm, 0.200 mm, and 0.140 mm, respectively. The taper angles for taper ratios of 1/200, 1/100, and 1/70 were 0.29 degrees, 0.57 degrees, and 0.82 degrees, respectively.

この結果から、テーパ比の値が１／２００の場合、ばらつき量Ｌは０．４００ｍｍまで拡大することが分かった。この場合、テーパ部分をホイールの軸孔に圧入すると、回転軸の左右の長さを調整する際、回転軸の端部を広い範囲で切断することとなり、回転軸を無駄に消費する結果となる。これに対し、テーパ比が１／１００の場合、ばらつき量は、０．２００ｍｍに減少し、さらに、テーパ比が１／７０の場合、ばらつき量は、０．１４０ｍｍまで減少する。 From this result, it was found that when the taper ratio is 1/200, the amount of variation L increases to 0.400 mm. In this case, if the tapered portion is press-fitted into the shaft hole of the wheel, the end of the rotating shaft will be cut off in a wide range when adjusting the lateral length of the rotating shaft, resulting in wasted consumption of the rotating shaft. On the other hand, when the taper ratio is 1/100, the amount of variation is reduced to 0.200 mm, and when the taper ratio is 1/70, the amount of variation is reduced to 0.140 mm.

この検証から、テーパ部分のテーパ比は、１／１００以上であることが好ましく、１／７０以上であることがさらに好ましいと言える。 From this verification, it can be said that the taper ratio of the tapered portion is preferably 1/100 or more, and more preferably 1/70 or more.

以上２つの検討より、テーパ部分のテーパ比の値は、１／５～１／１００の範囲に設定されることが好ましく、１／１０～１／７０に設定されることがさらに好ましいことが分かった。テーパ部分のテーパ比の値が１／５～１／１００の範囲に設定されると、ホイールに対して回転軸を安定的に固定できるとともに、圧入時における回転軸の挿入量のばらつきを抑制でき、且つ、回転軸の無駄な切断を抑制することができる。 From the above two studies, it was found that the taper ratio of the tapered portion is preferably set in the range of 1/5 to 1/100, and more preferably set in the range of 1/10 to 1/70. When the taper ratio of the tapered portion is set in the range of 1/5 to 1/100, the rotating shaft can be stably fixed to the wheel, variations in the insertion amount of the rotating shaft during press-fitting can be suppressed, and unnecessary cutting of the rotating shaft can be suppressed.

＜実施形態の効果＞
本実施形態によれば、以下の効果が奏される。 <Effects of Embodiment>
According to this embodiment, the following effects are obtained.

テーパ部分Ｒ１を軸孔２１１に圧入することにより、ホイール２１０を回転軸２２０に強固に接合することができる。回転軸２２０にテーパ部分Ｒ１を設けることにより、ホイール２１０の軸孔２１１に回転軸２２０を圧入するといった簡易な作業により、強固に、回転軸２２０とホイール２１０とを一体化することができる。 The wheel 210 can be firmly joined to the rotating shaft 220 by press-fitting the tapered portion R1 into the shaft hole 211 . By providing the tapered portion R1 on the rotating shaft 220, the rotating shaft 220 and the wheel 210 can be firmly integrated by a simple operation such as press-fitting the rotating shaft 220 into the shaft hole 211 of the wheel 210.

上記検証で示したとおり、テーパ部分Ｒ１におけるテーパ比の値は、１／５以下であることが好ましく、また、テーパ比の値が、１／１０以下であることがさらに好ましい。これにより、ホイール２１０に対して回転軸２２０を安定的に固定できる。 As shown in the above verification, the taper ratio of the tapered portion R1 is preferably 1/5 or less, and more preferably 1/10 or less. Thereby, the rotating shaft 220 can be stably fixed to the wheel 210 .

なお、上記検証で示したとおり、テーパ部分Ｒ１におけるテーパ比の値は、１／１００以上であることが好ましく、また、テーパ比の値が、１／７０以上であることがさらに好ましい。これにより、圧入時における回転軸２２０の挿入量のばらつきを抑制でき、回転軸２２０の無駄な切断を抑制することができる。 As shown in the above verification, the taper ratio of the tapered portion R1 is preferably 1/100 or more, and more preferably 1/70 or more. As a result, variations in the insertion amount of the rotating shaft 220 during press-fitting can be suppressed, and useless cutting of the rotating shaft 220 can be suppressed.

図４に示したように、回転軸２２０は、先細り形状の端部２２０ａ、２２０ｂを有しており、受け部１１１ａ、１１１ｂには、回転軸２２０の端部２２０ａ、２２０ｂの斜面と接触し、且つ、この斜面とは異なる傾斜角の斜面１１２ａ、１１２ｂが設けられている。これにより、受け部１１１ａ、１１１ｂによって、回転軸２２０の端部２２０ａ、２２０ｂを、摩擦による抵抗を抑制しながら回転可能に保持できる。よって、スクライブ動作時に、ホイール２１０を円滑に回転させることができる。また、回転軸２２０の両端が、受け部１１１ａ、１１１ｂの斜面によって支持されるため、回転軸２２０が長手方向に大きく移動することがない。このため、スクライブ動作時に、ホイール２１０が回転軸２２０に平行な方向に動くことが防がれる。よって、ホイール２１０によるスクライブ性能を高めることができる。 As shown in FIG. 4, the rotating shaft 220 has tapered ends 220a and 220b, and the receiving portions 111a and 111b are provided with slopes 112a and 112b that are in contact with the slopes of the ends 220a and 220b of the rotating shaft 220 and have an inclination angle different from the slopes. As a result, the end portions 220a and 220b of the rotating shaft 220 can be rotatably held by the receiving portions 111a and 111b while suppressing resistance due to friction. Therefore, the wheel 210 can be smoothly rotated during the scribing operation. Moreover, since both ends of the rotating shaft 220 are supported by the slopes of the receiving portions 111a and 111b, the rotating shaft 220 does not move significantly in the longitudinal direction. Therefore, the wheel 210 is prevented from moving in a direction parallel to the rotating shaft 220 during the scribing operation. Therefore, the scribing performance of the wheel 210 can be enhanced.

図３（ａ）、（ｂ）を参照して説明したとおり、押しネジ１０３および引きネジ１０４の回転を調整することにより、保持溝１０５のＹ軸方向の幅を調整でき、支持部材１１０ａ、１１０ｂの開閉を調整することができる。これにより、回転軸２２０の端部２２０ａ、２２０ｂと受け部１１１ａ、１１１ｂとの間隔、たとえば、図４で示される隙間１１３ａ、１１３ｂを適切な大きさとすることができる。よって、ホイール２１０を安定的に回転させることができる。また、ホイール２１０が基板Ｆの表面を円滑に回転するため、刃先２１２の稜線が摩耗しにくくなる。よって、ホイール２１０の寿命を延ばすことができる。 As described with reference to FIGS. 3A and 3B, by adjusting the rotation of the push screw 103 and the pull screw 104, the width of the holding groove 105 in the Y-axis direction can be adjusted, and the opening and closing of the support members 110a and 110b can be adjusted. As a result, the gaps between the end portions 220a, 220b of the rotating shaft 220 and the receiving portions 111a, 111b, for example, the gaps 113a, 113b shown in FIG. 4 can be appropriately sized. Therefore, the wheel 210 can be stably rotated. Further, since the wheel 210 smoothly rotates on the surface of the substrate F, the ridgeline of the cutting edge 212 is less likely to be worn. Therefore, the life of the wheel 210 can be extended.

＜変更例＞
上記実施の形態に係るカッターホイール２００では、回転軸２２０に１箇所のみテーパ部分Ｒ１が設けられたが、回転軸２２０にテーパ部分が２箇所以上設けられてもよい。 <Change example>
In the cutter wheel 200 according to the above embodiment, the rotating shaft 220 is provided with the tapered portion R1 only at one location, but the rotating shaft 220 may be provided with two or more tapered portions.

たとえば、図５（ｂ）において、テーパ部分Ｒ１が配置された領域に、テーパ角が異なる２段のテーパ部分が連続的に設けられてもよい。あるいは、図５（ｂ）のテーパ部分Ｒ１のテーパ角が狭められ、テーパ部分Ｒ１の隣にテーパ部分Ｒ１よりもテーパ角が大きいテーパ部分が追加されてもよい。回転軸２２０に設けられるテーパ部分は、３箇所以上であってもよい。 For example, in FIG. 5B, two tapered portions having different taper angles may be continuously provided in the region where the tapered portion R1 is arranged. Alternatively, the taper angle of the tapered portion R1 in FIG. 5B may be narrowed, and a tapered portion having a larger taper angle than the tapered portion R1 may be added next to the tapered portion R1. The number of tapered portions provided on rotating shaft 220 may be three or more.

また、上記実施形態では、回転軸２２０の一部にテーパ部分Ｒ１が設けられたが、回転軸２２０全体がテーパ状に形成されてもよい。つまり、図５（ａ）、（ｂ）において、回転軸２２０は、長手方向の全ての範囲において、端部２２０ｂから端部２２０ａに向かって径が広がるように形成されてもよい。このように、回転軸２２０全体がテーパ形状であると、上記実施の形態に比べて、回転軸２２０を加工し易い。 Further, in the above embodiment, a portion of the rotating shaft 220 is provided with the tapered portion R1, but the entire rotating shaft 220 may be tapered. That is, in FIGS. 5A and 5B, the rotating shaft 220 may be formed so that the diameter increases from the end portion 220b toward the end portion 220a over the entire lengthwise range. Thus, when the entire rotating shaft 220 is tapered, it is easier to machine the rotating shaft 220 than in the above-described embodiment.

また、上記実施の形態に係るカッターホイール２００では、回転軸２２０のテーパ部分Ｒ１が、直線状に傾いた形状であったが、テーパ部分Ｒ１は、曲線状に傾いていてもよい。たとえば、テーパ部分Ｒ１が外方に膨らむように傾斜する、軸孔２１１にテーパ部分Ｒ１を圧入により接合すると、外方に膨らんだテーパ部分Ｒ１の外側面と軸孔２１１とが面接触し易い。よって、軸孔２１１とテーパ部分Ｒ１との接触面積が増加するため、ホイール２１０を回転軸２２０のテーパ部分Ｒ１に圧入すると、より強固にホイール２１０と回転軸２２０とが接合される。 Further, in the cutter wheel 200 according to the above-described embodiment, the tapered portion R1 of the rotary shaft 220 has a linearly inclined shape, but the tapered portion R1 may be curvedly inclined. For example, if the tapered portion R1 is press-fitted into the shaft hole 211, which is inclined to expand outward, the outer surface of the outwardly expanded tapered portion R1 and the shaft hole 211 are likely to come into surface contact. Therefore, since the contact area between the shaft hole 211 and the tapered portion R1 increases, when the wheel 210 is press-fitted into the tapered portion R1 of the rotating shaft 220, the wheel 210 and the rotating shaft 220 are joined more firmly.

なお、回転軸２２０のテーパ部分Ｒ１をホイール２１０の軸孔２１１に圧入した後、たとえば、軸孔２１１とテーパ部分Ｒ１との境界部分に接着剤を塗布してもよい。これにより、ホイール２１０と回転軸２２０との接合を補強することができる。 After tapered portion R1 of rotating shaft 220 is press-fitted into shaft hole 211 of wheel 210, for example, an adhesive may be applied to the boundary portion between shaft hole 211 and tapered portion R1. Thereby, the joint between the wheel 210 and the rotating shaft 220 can be reinforced.

この他、本発明の実施の形態は、特許請求の範囲に示された技術的思想の範囲内において、適宜、種々の変更が可能である。 In addition, the embodiments of the present invention can be appropriately modified in various ways within the scope of the technical idea indicated in the scope of claims.

１ …スクライブ装置
５０ … ホルダユニット
１００ … ホルダ
１１１ａ、１１１ｂ … 受け部
１１２ａ、１１２ｂ … 受け部の斜面
２００ … カッターホイール
２１０ … ホイール
２１１ … 軸孔
２１２ …刃先
２２０ … 回転軸
２２０ａ、２２０ｂ …回転軸の端部
Ｆ … 基板
Ｌ１ … テーパ部分の最小の径
Ｌ２ … テーパ部分の最大の径
Ｒ１ … テーパ部分 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1... Scribing device 50... Holder unit 100... Holder 111a, 111b... Receiving part 112a, 112b... Inclined surface of receiving part 200... Cutter wheel 210... Wheel 211... Shaft hole 212... Cutting edge 220... Rotating shaft 220a, 220b... End of rotating shaft F... Substrate L1 … Minimum diameter of taper portion L2 … Maximum diameter of taper portion R1 … Taper portion

Claims

A cutter wheel for forming a scribe line on the surface of a substrate,
a rotating shaft;
A wheel having a shaft hole into which the rotating shaft is inserted and a cutting edge that forms the scribe line on the substrate,
At least a portion of the rotating shaft has a tapered portion formed to widen from a diameter smaller than the diameter of the shaft hole toward a diameter larger than the diameter of the shaft hole,
A cutter wheel, wherein the rotating shaft and the wheel are integrated by press-fitting the tapered portion of the rotating shaft into the shaft hole.

A cutter wheel according to claim 1,
The tapered portion has a taper ratio value of 1/5 or less.
A cutter wheel characterized by:

A cutter wheel according to claim 1,
The value of the taper ratio in the tapered portion is 1/10 or less,
A cutter wheel characterized by:

a cutter wheel for forming a scribe line on the surface of the substrate;
a holder that rotatably holds the cutter wheel,
The cutter wheel is
a rotating shaft;
A wheel having a shaft hole into which the rotating shaft is inserted and a cutting edge that forms the scribe line on the substrate,
At least a portion of the rotating shaft has a tapered portion formed to widen from a diameter smaller than the diameter of the shaft hole toward a diameter larger than the diameter of the shaft hole,
The rotating shaft and the wheel are integrated by press-fitting the tapered portion of the rotating shaft into the shaft hole,
A holder unit characterized by:

In the holder unit according to claim 4,
The tapered portion has a taper ratio value of 1/5 or less.
A holder unit characterized by:

In the holder unit according to claim 4,
The value of the taper ratio in the tapered portion is 1/10 or less,
A holder unit characterized by:

In the holder unit according to any one of claims 4 to 6,
The holder includes a receiving portion for receiving both ends of the rotating shaft,
The rotating shaft has a tapered end,
The receiving portion is provided with an inclined surface that is in contact with the inclined surface of the end portion of the rotating shaft and has an inclination angle different from that of the inclined surface.
A holder unit characterized by: