JP7312445B2

JP7312445B2 - Heater, heater mounting method, and fluid supply unit

Info

Publication number: JP7312445B2
Application number: JP2019157388A
Authority: JP
Inventors: 貴洋吉田; 敏之稲田
Original assignee: Fujikin Inc
Current assignee: Fujikin Inc
Priority date: 2019-08-29
Filing date: 2019-08-29
Publication date: 2023-07-21
Anticipated expiration: 2039-08-29
Also published as: JP2021032399A

Description

本発明は、ヒータ、ヒータの装着方法及び流体供給ユニットに関する。 The present invention relates to a heater, a heater mounting method, and a fluid supply unit.

特許文献１には、板状のヒータが開示されている。 Patent Literature 1 discloses a plate-shaped heater.

特開２０１６－８４９１７号公報JP 2016-84917 A

流体供給ユニットの一例として、筐体と、筐体に設けられる基板と、基板上に設けられる流体装置と、一部が基板によって覆われるように基板と筐体の底壁との間に設けられる配管と、を備えるものが挙げられる。しかしながら、このような配管に特許文献１に記載の板状のヒータを後付けする場合、基板を取り外す必要があり、施工性に問題があった。 An example of a fluid supply unit includes a housing, a substrate provided in the housing, a fluid device provided on the substrate, and a pipe provided between the substrate and the bottom wall of the housing so as to be partially covered by the substrate. However, when the plate-shaped heater described in Patent Literature 1 is retrofitted to such piping, it is necessary to remove the substrate, which poses a problem in workability.

本発明は、上記のような事情に鑑みてなされたものであり、基板を取り外すことなく、一部が基板によって覆われる配管に容易に装着することができるヒータ、ヒータの装着方法及び流体供給ユニットを提供することを目的とする。 SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a heater, a method for attaching the heater, and a fluid supply unit that can be easily attached to a pipe partly covered by the substrate without removing the substrate.

本発明のある一つの態様によれば、筐体と、前記筐体に設けられる支持機構と、前記筐体の底壁と接触しないように前記支持機構によって支持される配管と、前記配管と接触することなく、前記配管の一部を覆うように前記筐体の前記底壁上に架設される基板と、前記基板上に設けられる流体装置と、可撓性を有するとともに、前記配管の外周面を取り囲むように装着される筒状のヒータと、を備え、前記ヒータは、前記ヒータの軸方向の一端から前記ヒータの軸方向の他端まで延在するとともに前記ヒータの内周面と前記ヒータの外周面とを接続するように形成されるスリットと、前記スリットから前記ヒータの内周面と前記ヒータの外周面とを接続するように形成される切り込みと、を有する、流体供給ユニットが提供される。 According to one aspect of the present invention, a housing, a support mechanism provided in the housing, a pipe supported by the support mechanism so as not to come into contact with the bottom wall of the housing, a substrate installed over the bottom wall of the housing so as to cover a part of the pipe without coming into contact with the pipe, a fluid device provided on the substrate, and a flexible tubular heater mounted so as to surround the outer peripheral surface of the pipe, wherein the heater extends from one axial end of the heater in the axial direction of the heater. and a slit formed to connect the inner peripheral surface of the heater and the outer peripheral surface of the heater, and a notch formed to connect the inner peripheral surface of the heater and the outer peripheral surface of the heater from the slit.

本発明のある他の態様によれば、可撓性を有する筒状のヒータであって、軸方向の一端から軸方向の他端まで延在するとともに内周面と外周面とを接続するように形成されるスリットと、前記スリットから内周面と外周面とを接続するように形成される切り込みと、を備える、ヒータが提供される。 According to another aspect of the present invention, there is provided a flexible tubular heater comprising a slit extending from one end in the axial direction to the other end in the axial direction and formed to connect the inner peripheral surface and the outer peripheral surface, and a notch formed from the slit so as to connect the inner peripheral surface and the outer peripheral surface.

本発明の態様によれば、基板を取り外すことなく、一部が基板によって覆われる配管にヒータを容易に装着することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to the aspect of this invention, a heater can be easily mounted to the piping partially covered by the substrate without removing the substrate.

本発明の実施形態に係る流体供給ユニットを示す正面斜視図であり、流体供給ユニットのカバーを省略している。1 is a front perspective view showing a fluid supply unit according to an embodiment of the present invention, omitting a cover of the fluid supply unit; FIG. 流体供給ユニットを示す背面斜視図であり、流体供給ユニットのカバーを省略している。FIG. 4 is a rear perspective view showing the fluid supply unit, omitting the cover of the fluid supply unit; 流体供給ユニットを示す上面図であり、流体供給ユニットのカバーを省略している。FIG. 4 is a top view showing the fluid supply unit, omitting the cover of the fluid supply unit; 配管の周辺を示す概略断面図であり、配管、流路形成ブロック及び連通管の断面視を省略している。It is a schematic cross-sectional view showing the periphery of a pipe, omitting a cross-sectional view of the pipe, the flow path forming block, and the communicating pipe. 本実施形態に係るヒータを示す斜視図である。It is a perspective view which shows the heater which concerns on this embodiment. ヒータを示す正面図である。It is a front view which shows a heater. ヒータを示す背面図である。It is a rear view showing a heater. ヒータを示す上面図である。It is a top view which shows a heater. ヒータを示す底面図である。It is a bottom view showing a heater. ヒータを示す側面図である。It is a side view which shows a heater. 第１変形例に係るヒータを示す展開図である。FIG. 11 is an exploded view showing a heater according to a first modified example; 第２変形例に係るヒータを示す側面図である。It is a side view which shows the heater which concerns on a 2nd modification.

以下、添付図面を参照しながら本発明の実施形態（以下、本実施形態と称する。）について説明する。本明細書においては、全体を通じて、同一の要素には同一の符号を付する。 An embodiment of the present invention (hereinafter referred to as the present embodiment) will be described below with reference to the accompanying drawings. In this specification, the same reference numerals are given to the same elements throughout.

まず、図１から図４を参照しながら本実施形態に係る流体供給ユニット１について説明する。なお、図１から図３において、流体供給ユニット１の長手方向、幅方向及び高さ方向を、それぞれＸ軸に沿う方向、Ｙ軸に沿う方向及びＺ軸に沿う方向とする。以下、説明の便宜上、流体供給ユニット１の長手方向、幅方向及び高さ方向を単に長手方向、幅方向及び高さ方向と称する。 First, a fluid supply unit 1 according to this embodiment will be described with reference to FIGS. 1 to 4. FIG. 1 to 3, the longitudinal direction, the width direction and the height direction of the fluid supply unit 1 are the directions along the X axis, the direction along the Y axis and the direction along the Z axis, respectively. Hereinafter, for convenience of explanation, the longitudinal direction, the width direction and the height direction of the fluid supply unit 1 are simply referred to as the longitudinal direction, the width direction and the height direction.

図１は、流体供給ユニット１を示す正面斜視図である。図２は、流体供給ユニット１を示す背面斜視図である。図３は、流体供給ユニット１を示す上面図である。図４は、配管４の周辺を示す概略断面図であり、配管４、流路形成ブロック６１及び連通管８の断面視を省略している。図１から図３において、流体供給ユニット１のカバーを省略している。 FIG. 1 is a front perspective view showing the fluid supply unit 1. FIG. FIG. 2 is a rear perspective view showing the fluid supply unit 1. FIG. FIG. 3 is a top view showing the fluid supply unit 1. FIG. FIG. 4 is a schematic cross-sectional view showing the periphery of the pipe 4, omitting cross-sectional views of the pipe 4, the flow path forming block 61, and the communicating pipe 8. As shown in FIG. 1 to 3, the cover of the fluid supply unit 1 is omitted.

本実施形態に係る流体供給ユニット１は、半導体製造装置（ＣＶＤ装置、スパッタリング装置、エッチング装置等）におけるプロセスガス及びパージガスの供給手段に用いられる。 The fluid supply unit 1 according to the present embodiment is used as means for supplying process gas and purge gas in semiconductor manufacturing equipment (CVD equipment, sputtering equipment, etching equipment, etc.).

図１から図３に示すように、流体供給ユニット１は、筐体２、カバー（図示しない）、支持機構３、複数の配管４、基板５、流体装置６、複数のヒータ７及び複数の連通管８を備える。なお、配管４の数は、ヒータ７の数及び連通管８の数と同じである。すなわち、配管４の数は、ヒータ７及び連通管８の数に対応している。なお、図２において、一つのヒータ７のみを示している。 As shown in FIGS. 1 to 3, the fluid supply unit 1 includes a housing 2, a cover (not shown), a support mechanism 3, a plurality of pipes 4, a substrate 5, a fluid device 6, a plurality of heaters 7, and a plurality of communication pipes 8. The number of pipes 4 is the same as the number of heaters 7 and the number of communicating pipes 8 . That is, the number of pipes 4 corresponds to the number of heaters 7 and communication pipes 8 . 2, only one heater 7 is shown.

筐体２は、支持機構３、配管４、基板５、流体装置６及びヒータ７を収容するための収容部である。筐体２は、矩形状の底壁２１と、底壁２１の長手方向の両側から立設される一対の矩形状の側壁２２（２２ａ，２２ｂ）と、底壁２１の幅方向の両端側から立設される一対の支持枠２３（２３ａ，２３ｂ）と、を有する。支持枠２３（２３ａ，２３ｂ）には、複数の半円形状の切り欠き２３１が長手方向に沿って配列されるように形成される。複数の切り欠き２３１は、それぞれ、配管４に接続される複数の外部配管（図示しない）の端部を支持する。 The housing 2 is a housing portion for housing the support mechanism 3 , the pipe 4 , the substrate 5 , the fluid device 6 and the heater 7 . The housing 2 has a rectangular bottom wall 21, a pair of rectangular side walls 22 (22a, 22b) erected from both sides in the longitudinal direction of the bottom wall 21, and a pair of support frames 23 (23a, 23b) erected from both ends in the width direction of the bottom wall 21. A plurality of semicircular notches 231 are formed in the support frame 23 (23a, 23b) so as to be arranged along the longitudinal direction. The plurality of cutouts 231 support ends of a plurality of external pipes (not shown) connected to the pipe 4, respectively.

カバーは、筐体２の上部（具体的には、側壁２２の上端）を覆うための蓋体であり、その詳細な説明を省略する。 The cover is a lid body for covering the upper portion of the housing 2 (specifically, the upper end of the side wall 22), and detailed description thereof will be omitted.

支持機構３は、複数の配管４を支持するための支持機構である。支持機構３は、支持枠２３ａに対向するとともに長手方向に沿って延在するように筐体２の底壁２１に設けられる複数（ここでは、三つ）の支持体３１を有する。複数の支持体３１は、長手方向に沿う同一直線上に設けられる。 The support mechanism 3 is a support mechanism for supporting the multiple pipes 4 . The support mechanism 3 has a plurality (here, three) of supports 31 provided on the bottom wall 21 of the housing 2 so as to face the support frame 23a and extend along the longitudinal direction. A plurality of supports 31 are provided on the same straight line along the longitudinal direction.

支持体３１は、例えばねじ締めによって底壁２１に設けられる下支持部３１１と、下支持部３１１に対応して設けられる上支持部３１２と、を有する。上支持部３１２を例えばねじ締めによって下支持部３１１に装着することができる。下支持部３１１の上支持部３１２に対向する上面と、上支持部３１２の下支持部３１１に対向する下面とのいずれにも、複数の凹部が長手方向に沿って配列されるように形成される。配管４は、下支持部３１１の上面に形成される凹部と上支持部３１２の下面に形成される凹部との間に挟み込まれる。これにより、配管４は、支持機構３によって支持される。 The support body 31 has a lower support portion 311 provided on the bottom wall 21 by screwing, for example, and an upper support portion 312 provided corresponding to the lower support portion 311 . The upper support 312 can be attached to the lower support 311 by screwing, for example. Both the upper surface of the lower support portion 311 facing the upper support portion 312 and the lower surface of the upper support portion 312 facing the lower support portion 311 are formed with a plurality of recesses arranged along the longitudinal direction. The pipe 4 is sandwiched between a recess formed in the upper surface of the lower support portion 311 and a recess formed in the lower surface of the upper support portion 312 . The pipe 4 is thereby supported by the support mechanism 3 .

本実施形態では、支持機構３は、複数の支持体３１によって構成されているが、例えば単一の支持体３１によって構成されてもよい。 Although the support mechanism 3 is composed of a plurality of supports 31 in this embodiment, it may be composed of a single support 31, for example.

複数の配管４は、流体を供給するための円筒状の配管である。複数の配管４は、筐体２の底壁２１と接触しないように支持機構３によって支持される。また、複数の配管４は、幅方向に沿って延在するとともに長手方向に沿って配列されるように設けられる。 The plurality of pipes 4 are cylindrical pipes for supplying fluid. The multiple pipes 4 are supported by the support mechanism 3 so as not to contact the bottom wall 21 of the housing 2 . Moreover, the plurality of pipes 4 are provided so as to extend along the width direction and be arranged along the longitudinal direction.

複数の配管４の一端部４１は、幅方向に沿って支持機構３と支持枠２３ａとの間に位置するとともに、外部配管の端部と連通する。一方、複数の配管４の他端部４２は、支持枠２３ｂに対向するとともに、他の外部配管の端部と連通する。 One ends 41 of the plurality of pipes 4 are positioned between the support mechanism 3 and the support frame 23a along the width direction and communicate with the ends of the external pipes. On the other hand, the other ends 42 of the plurality of pipes 4 face the support frame 23b and communicate with the ends of other external pipes.

図４に示すように、配管４は、基板５によって覆われる非露出領域４３と、基板から露出する露出領域４４と、をさらに有する。図３及び図４に示すように、露出領域４４は、非露出領域４３よりも幅方向の一方側であって、基板５と支持枠２３ａとの間に位置する第１露出領域４４１と、非露出領域４３よりも幅方向の他方側であって、基板５と支持枠２３ｂとの間に位置する第２露出領域４４２とによって構成される。なお、第１露出領域４４１は、ヒータ７を配管４に装着するための装着領域でもある。配管４の一端部４１は、配管４の第１露出領域４４１に含まれ、配管４の他端部４２は、配管４の第２露出領域４４２に含まれる。 As shown in FIG. 4, the pipe 4 further has an unexposed area 43 covered by the substrate 5 and an exposed area 44 exposed from the substrate. As shown in FIGS. 3 and 4, the exposed region 44 includes a first exposed region 441 located on one widthwise side of the non-exposed region 43 and between the substrate 5 and the support frame 23a, and a second exposed region 442 located on the other widthwise side of the non-exposed region 43 and between the substrate 5 and the support frame 23b. The first exposed area 441 is also a mounting area for mounting the heater 7 on the pipe 4 . One end 41 of the pipe 4 is included in the first exposed area 441 of the pipe 4 , and the other end 42 of the pipe 4 is included in the second exposed area 442 of the pipe 4 .

第１露出領域４４１の幅方向（配管４の軸方向）における長さ及び第２露出領域４４２の幅方向における長さは、配管４の非露出領域４３の幅方向における長さより短い。第１露出領域４４１の幅方向における長さは、第２露出領域４４２の幅方向における長さよりも短い。 The length of the first exposed region 441 in the width direction (the axial direction of the pipe 4 ) and the length of the second exposed region 442 in the width direction are shorter than the length of the non-exposed region 43 of the pipe 4 in the width direction. The length in the width direction of the first exposed region 441 is shorter than the length in the width direction of the second exposed region 442 .

基板５は、流体装置６を設けるための矩形状の基板である。基板５は、複数の配管４と接触することなく、複数の配管４の非露出領域４３（図４参照）を覆うように脚部９（図１及び図２参照）によって筐体２の底壁２１上に架設される。すなわち、複数の配管４は、高さ方向に沿って底壁２１と基板５との間に支持される。また、支持機構３は、幅方向に沿って支持枠２３ａと基板５との間に設けられる。なお、脚部９は、基板５と一体に形成されてもよいし、基板５と別体に形成されてもよい。 The substrate 5 is a rectangular substrate on which the fluid device 6 is provided. The substrate 5 is mounted on the bottom wall 21 of the housing 2 by the legs 9 (see FIGS. 1 and 2) so as to cover the non-exposed areas 43 (see FIG. 4) of the plurality of pipes 4 without contacting the plurality of pipes 4. That is, the plurality of pipes 4 are supported between the bottom wall 21 and the substrate 5 along the height direction. Further, the support mechanism 3 is provided between the support frame 23a and the substrate 5 along the width direction. Note that the leg portion 9 may be formed integrally with the substrate 5 or may be formed separately from the substrate 5 .

流体装置６は、ガス（具体的には、プロセスガス及びパージガス）の流れを制御し、流れが制御されたガスを、例えば連通管８及び配管４を通じて供給先としてのチャンバに供給するための装置である。流体装置６は、基板５上に設けられる。また、流体装置６は、基板５上に設けられる複数の流路形成ブロック６１と、複数の流路形成ブロック６１上に設けられる複数の流体機器６２（例えば、バルブ及びマスフローコントローラ等を含む）と、を有する。 The fluid device 6 is a device for controlling the flow of gas (specifically, process gas and purge gas) and supplying the flow-controlled gas to a chamber as a supply destination, for example, through a communication pipe 8 and a pipe 4. A fluidic device 6 is provided on the substrate 5 . The fluidic device 6 also includes a plurality of flow path forming blocks 61 provided on the substrate 5 and a plurality of fluidic devices 62 (including, for example, valves and mass flow controllers) provided on the plurality of flow path forming blocks 61.

複数のヒータ７は、それぞれ複数の配管４（具体的には、配管４の非露出領域４３）を加熱するための加熱器である。なお、ヒータ７の詳細については後述する。 A plurality of heaters 7 are heaters for respectively heating a plurality of pipes 4 (specifically, non-exposed regions 43 of pipes 4). Details of the heater 7 will be described later.

図２及び図４に示すように、連通管８は、それぞれ配管４と流路形成ブロック６１とを連通するための円筒状の管である。具体的には、連通管８は、それぞれ配管４の周面と流路形成ブロック６１とを連通するように高さ方向（すなわち、配管４の径方向）に沿って設けられる。また、連通管８は、基板５の近傍であって幅方向に沿って基板５と支持枠２３ｂとの間に位置するように設けられる。 As shown in FIGS. 2 and 4, the communication pipes 8 are cylindrical pipes for communicating the pipes 4 and the flow path forming blocks 61, respectively. Specifically, the communication pipes 8 are provided along the height direction (that is, the radial direction of the pipe 4) so as to communicate the peripheral surface of the pipe 4 and the flow path forming block 61, respectively. Further, the communicating pipe 8 is provided so as to be positioned near the substrate 5 and between the substrate 5 and the support frame 23b along the width direction.

次に、図５から図６Ｅを参照しながら本実施形態に係るヒータ７の詳細について説明する。 Next, details of the heater 7 according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. 5 to 6E.

図５は、本実施形態に係るヒータ７を示す斜視図である。図６Ａは、ヒータ７を示す正面図である。図６Ｂは、ヒータ７を示す背面図である。図６Ｃは、ヒータ７を示す上面図である。図６Ｄは、ヒータ７を示す底面図である。図６Ｅは、ヒータ７を示す側面図である。なお、図５から図６Ｅにおいて、説明の便宜上、ヒータ７の軸方向、径方向及び周方向を単に軸方向、径方向及び周方向と称する。 FIG. 5 is a perspective view showing the heater 7 according to this embodiment. 6A is a front view showing the heater 7. FIG. 6B is a rear view showing the heater 7. FIG. 6C is a top view showing the heater 7. FIG. 6D is a bottom view showing the heater 7. FIG. 6E is a side view showing the heater 7. FIG. 5 to 6E, for convenience of explanation, the axial direction, radial direction and circumferential direction of the heater 7 are simply referred to as axial direction, radial direction and circumferential direction.

ヒータ７は、流体供給ユニット１の組み付け後に配管４に装着され、可撓性を有する筒状（具体的には、円筒状）のヒータである。これにより、ヒータ７は、配管４の外周面全体を取り囲んで、むらなく加熱することができる。また、上述したように、ヒータ７は、少なくとも配管４の非露出領域４３を加熱するための加熱器であるため、その軸方向における長さ（すなわち、ヒータ７の幅方向における長さ）が非露出領域４３の幅方向における長さ以上となる。 The heater 7 is a flexible tubular (specifically, cylindrical) heater that is attached to the pipe 4 after the fluid supply unit 1 is assembled. Thereby, the heater 7 can surround the entire outer peripheral surface of the pipe 4 and heat it evenly. Further, as described above, since the heater 7 is a heater for heating at least the non-exposed region 43 of the pipe 4, the length in the axial direction (that is, the length in the width direction of the heater 7) is equal to or greater than the length in the width direction of the non-exposed region 43.

ヒータ７は、配管４の装着領域としての第１露出領域４４１から装着される。これにより、ヒータ７を配管４に装着（後付け）することが容易に実現される。 The heater 7 is attached from the first exposed area 441 as an attachment area for the pipe 4 . This facilitates mounting (retrofitting) of the heater 7 to the pipe 4 .

図５から図６Ｅに示すように、ヒータ７は、加熱層としての筒状のラバーシート７１と、ラバーシート７１の外周面に設けられる断熱層としての有底筒状のシリコン材７２と、を有する。ラバーシート７１には、全域に亘って熱電線（図示しない）が均等に設けられる。シリコン材７２の軸方向における先端としての一端には、閉塞体７２１が設けられる。 As shown in FIGS. 5 to 6E, the heater 7 has a tubular rubber sheet 71 as a heating layer and a bottomed tubular silicon material 72 as a heat insulating layer provided on the outer peripheral surface of the rubber sheet 71 . Heat wires (not shown) are evenly provided over the entire area of the rubber sheet 71 . A closing body 721 is provided at one end of the silicon material 72 as a tip in the axial direction.

ラバーシート７１の軸方向における長さは、シリコン材７２の軸方向における長さよりも短くなる。そして、ラバーシート７１の軸方向における先端としての一端は、シリコン材７２の軸方向における先端としての一端よりも後方に位置する。一方、ラバーシート７１の軸方向における後端としての他端は、シリコン材７２の軸方向における後端としての他端と同じ位置に位置する。 The axial length of the rubber sheet 71 is shorter than the axial length of the silicon material 72 . One end of the rubber sheet 71 as a leading end in the axial direction is located behind the one end of the silicon material 72 as a leading end in the axial direction. On the other hand, the other end of the rubber sheet 71 as the rear end in the axial direction is located at the same position as the other end of the silicon material 72 as the rear end in the axial direction.

ヒータ７は、スリット７３、切り込み７４及び開口部７５をさらに有する。 The heater 7 further has slits 73 , notches 74 and openings 75 .

スリット７３は、軸方向の一端から軸方向の他端まで延在するとともにヒータ７の内周面とヒータ７の外周面とを接続するように形成される。すなわち、スリット７３は、ヒータ７のラバーシート７１の内周面とヒータ７のシリコン材７２の外周面とを接続して、ラバーシート７１の周面及びシリコン材７２の周面の両方を貫通するように形成される。これにより、スリット７３を通じて、ヒータ７を軸方向ではなく、径方向から配管４に装着することができる。また、スリット７３は、ヒータ７を径方向に沿って貫通させることが好ましい。 The slit 73 extends from one end in the axial direction to the other end in the axial direction and is formed to connect the inner peripheral surface of the heater 7 and the outer peripheral surface of the heater 7 . That is, the slit 73 is formed so as to connect the inner peripheral surface of the rubber sheet 71 of the heater 7 and the outer peripheral surface of the silicon material 72 of the heater 7 and penetrate both the peripheral surface of the rubber sheet 71 and the peripheral surface of the silicon material 72 . Thereby, the heater 7 can be attached to the pipe 4 not in the axial direction but in the radial direction through the slit 73 . Moreover, it is preferable that the slit 73 penetrates the heater 7 along the radial direction.

切り込み７４は、スリット７３からヒータ７の内周面とヒータ７の外周面とを接続するように形成される。すなわち、切り込み７４は、ラバーシート７１の内周面とシリコン材７２の外周面とを接続して、ラバーシート７１の周面及びシリコン材７２の周面の両方を貫通するように形成される。 The cut 74 is formed so as to connect the inner peripheral surface of the heater 7 and the outer peripheral surface of the heater 7 from the slit 73 . That is, the cut 74 is formed to connect the inner peripheral surface of the rubber sheet 71 and the outer peripheral surface of the silicon material 72 and penetrate both the peripheral surfaces of the rubber sheet 71 and the silicone material 72 .

これにより、ヒータ７全体を大きく変形し（折り曲げ）やすくすることができる。このため、装着領域としての第１露出領域４４１が短い場合であっても、ヒータ７を、切り込み７４によって大きく変形した状態で、配管４の第１露出領域４４１に装着しながら、配管４の延在方向（すなわち、幅方向）に沿って配管４の非露出領域４３側に押し込むことができる。この結果、ヒータ７を配管４の非露出領域４３に容易に装着（後付け）することができる。また、切り込み７４は、ヒータ７を径方向に沿って貫通させることが好ましい。 Thereby, the heater 7 as a whole can be largely deformed (bent) easily. Therefore, even if the first exposed region 441 as the mounting region is short, the heater 7 can be pushed into the non-exposed region 43 side of the pipe 4 along the extending direction (that is, the width direction) of the pipe 4 while being mounted on the first exposed region 441 of the pipe 4 in a state greatly deformed by the cut 74. As a result, the heater 7 can be easily attached (retrofitted) to the non-exposed area 43 of the pipe 4 . Moreover, it is preferable that the cut 74 penetrates the heater 7 along the radial direction.

本実施形態では、切り込み７４は、複数の切り込みによって構成される。そして、複数（ここでは、二本）の切り込み７４は、軸方向に沿って所定の間隔を空けて配列される。そして、ヒータ７は、このような複数の切り込み７４によって、軸方向に沿って均等に複数（ここでは、三つ）の部分に分割される。なお、複数の切り込み７４によって均等に分割されたヒータ７の部分の軸方向における長さは、第１露出領域４４１の幅方向における長さよりも長くなる。 In this embodiment, the cut 74 is configured by a plurality of cuts. A plurality of (here, two) cuts 74 are arranged at predetermined intervals along the axial direction. The heater 7 is equally divided into a plurality of (here, three) portions along the axial direction by such a plurality of cuts 74 . The length in the axial direction of the portions of the heater 7 equally divided by the plurality of cuts 74 is longer than the length in the width direction of the first exposed region 441 .

これにより、ヒータ７全体をより大きく変形しやすくすることができる。このため、第１露出領域４４１が極めて短い場合であっても、ヒータ７を、複数の切り込み７４によってより大きく変形した状態で、配管４の第１露出領域４４１に装着しながら、配管４の延在方向（すなわち、幅方向）に沿って配管４の非露出領域４３側に押し込むことができる。この結果、ヒータ７を配管４の非露出領域４３により容易に装着（後付け）することができる。 Thereby, the heater 7 as a whole can be easily deformed to a greater extent. Therefore, even when the first exposed region 441 is extremely short, the heater 7 can be pushed into the non-exposed region 43 side of the pipe 4 along the extending direction (that is, the width direction) of the pipe 4 while being attached to the first exposed region 441 of the pipe 4 in a state of being greatly deformed by the plurality of cuts 74. As a result, the heater 7 can be more easily attached (retrofitted) to the non-exposed region 43 of the pipe 4 .

また、本実施形態では、切り込み７４は、複数の切り込みによって構成されているが、これに限定されるものではなく、例えば単一の切り込みとしてもよい。この場合、ヒータ７は、単一の切り込み７４によって、二つの部分に分割される。 Also, in the present embodiment, the cut 74 is configured by a plurality of cuts, but is not limited to this, and may be, for example, a single cut. In this case the heater 7 is divided into two parts by a single cut 74 .

さらに、切り込み７４は、円周方向に沿って延在するように形成されることが好ましい。すなわち、切り込み７４は、スリット７３と直交するように形成されることが好ましい。これにより、切り込み７４を回避しながらヒータ７の全域に亘って均等に設けられる熱電線の配線がしやすくなる。 Furthermore, the notches 74 are preferably formed to extend along the circumferential direction. That is, the cut 74 is preferably formed perpendicular to the slit 73 . This facilitates the wiring of the heating wires that are evenly provided over the entire area of the heater 7 while avoiding the notch 74 .

ヒータ７は、切り込み７４と同一円周上に形成される接続領域７６（図５、図６Ｃ、図６Ｅにおいて、二点鎖線により示される領域）をさらに有する。そして、熱電線は、接続領域７６を通るように設けられる。これにより、熱電線をヒータ７の全域に亘って均等に設けることができるので、配管４の非露出領域４３をむらなく加熱することができる。 The heater 7 further has a connection area 76 (area indicated by a two-dot chain line in FIGS. 5, 6C, and 6E) formed on the same circumference as the cut 74 . A hot wire is then provided to pass through the connection region 76 . As a result, the heating wires can be evenly provided over the entire area of the heater 7, so that the non-exposed area 43 of the pipe 4 can be evenly heated.

そして、接続領域７６の数（ここでは、二つ）は、切り込み７４の数と同じである。すなわち、接続領域７６の数は、切り込み７４の数に対応している。複数の接続領域７６は、複数の切り込み７４と同様に、軸方向に沿って所定の間隔を空けて配列される。 The number of connecting regions 76 (here, two) is the same as the number of notches 74 . That is, the number of connection regions 76 corresponds to the number of notches 74 . The plurality of connection regions 76 are arranged at predetermined intervals along the axial direction, similar to the plurality of cuts 74 .

くわえて、ヒータ７の変形しやすさとヒータ７の強度維持との両立を図る観点から、切り込み７４の長さは、ヒータ７の全周長の１／３以上ヒータ７の全周長の２／３以下であることが好ましい。そして、切り込み７４の長さがヒータ７の全周長の１／３を下回ると、ヒータ７の強度を維持することができるものの、ヒータ７の変形しやすさが確保しにくくなる。一方、切り込み７４の長さがヒータの全周長の２／３を上回ると、ヒータ７の変形しやすさが確保しやすくなるものの、ヒータ７の強度を維持できなくなる。また、接続領域７６の円周方向における長さが確保できなくなるので、熱電線に断線が発生する可能性が高まる。 In addition, from the viewpoint of achieving both ease of deformation of the heater 7 and maintaining the strength of the heater 7, the length of the cut 74 is preferably 1/3 or more of the total circumferential length of the heater 7 and 2/3 or less of the total circumferential length of the heater 7. If the length of the cut 74 is less than ⅓ of the total circumferential length of the heater 7, the strength of the heater 7 can be maintained, but the easiness of deformation of the heater 7 becomes difficult to ensure. On the other hand, if the length of the cut 74 exceeds 2/3 of the total circumferential length of the heater, although the ease of deformation of the heater 7 can be easily ensured, the strength of the heater 7 cannot be maintained. In addition, since the length in the circumferential direction of the connection region 76 cannot be secured, the possibility of disconnection of the hot wire increases.

切り込み７４は、スリット７３を挟んで一方側に形成される第１切り込み７４１と、スリット７３を挟んで他方側に形成される第２切り込み７４２とによって構成される。すなわち、第１切り込み７４１及び第２切り込み７４２によって構成される切り込み７４は、スリット７３と交差するように設けられる。そして、第１切り込み７４１と第２切り込み７４２とは、一対となり、両者の周方向における長さが同じである。これにより、ヒータ７を部分的にバランスよく変形させながら配管４の第１露出領域４４１に装着することができるので、ヒータ７をスムーズに配管４の非露出領域４３側に押し込むことができる。 The cut 74 is composed of a first cut 741 formed on one side with the slit 73 interposed therebetween and a second cut 742 formed on the other side with the slit 73 interposed therebetween. That is, the cut 74 composed of the first cut 741 and the second cut 742 is provided so as to intersect the slit 73 . The first cut 741 and the second cut 742 form a pair and have the same length in the circumferential direction. As a result, the heater 7 can be attached to the first exposed area 441 of the pipe 4 while being partially deformed in a well-balanced manner, so that the heater 7 can be smoothly pushed into the non-exposed area 43 side of the pipe 4 .

また、本実施形態では、切り込み７４は、一対となる第１切り込み７４１及び第２切り込み７４２によって構成されているが、これに限定されるものではなく、例えばスリット７３の片方側に形成される単一の切り込みによって構成されてもよい。 In addition, in the present embodiment, the cut 74 is configured by a pair of the first cut 741 and the second cut 742, but is not limited to this, and may be configured by a single cut formed on one side of the slit 73, for example.

開口部７５は、配管４と流路形成ブロック６１とを連通する連通管８と係合するようにヒータ７の一端に形成される。これにより、配管４に対しヒータ７の位置決めがされる。 The opening 75 is formed at one end of the heater 7 so as to engage with the communicating pipe 8 that communicates the pipe 4 and the flow path forming block 61 . Thereby, the heater 7 is positioned with respect to the pipe 4 .

開口部７５は、シリコン材７２の先端としての一端から軸方向に沿って延在するように形成されるスリット７５１と、スリット７５１に連通する貫通孔７５２と、を有する。スリット７５１、貫通孔７５２及びスリット７３は、軸線を通るように軸方向に沿って延在する同一断面上に設けられる。 The opening 75 has a slit 751 extending axially from one end of the silicon material 72 as a tip, and a through hole 752 communicating with the slit 751 . The slit 751, the through hole 752, and the slit 73 are provided on the same cross section extending along the axial direction so as to pass through the axis.

スリット７５１は、シリコン材７２の内周面とシリコン材７２の外周面とを接続するとともにシリコン材７２の閉塞体７２１の内面と閉塞体７２１の外面とを接続するように形成される。すなわち、スリット７５１は、シリコン材７２の周面を貫通するとともにシリコン材７２の閉塞体７２１を貫通するように形成される。なお、スリット７５１は、スリット７３と連通するように形成される。 The slit 751 is formed to connect the inner peripheral surface of the silicon material 72 and the outer peripheral surface of the silicon material 72 and connect the inner surface of the closing body 721 of the silicon material 72 and the outer surface of the closing body 721 . That is, the slit 751 is formed so as to penetrate the peripheral surface of the silicon material 72 and penetrate the blocking body 721 of the silicon material 72 . Note that the slit 751 is formed so as to communicate with the slit 73 .

貫通孔７５２は、シリコン材７２の周面を貫通するように形成される。そして、ヒータ７が配管４の非露出領域４３に装着された状態において、貫通孔７５２は、連通管８の外周面全体を取り囲むように連通管８に係合する。 The through hole 752 is formed so as to penetrate the peripheral surface of the silicon material 72 . When the heater 7 is attached to the non-exposed area 43 of the pipe 4 , the through hole 752 is engaged with the communicating pipe 8 so as to surround the entire outer peripheral surface of the communicating pipe 8 .

なお、ヒータ７は、その一端の外周面を巻き付けるバンド（図示しない）をさらに有してもよい。この場合、ヒータ７が配管４の非露出領域４３に装着された状態において、バンドは、貫通孔７５２を回避してヒータ７の一端の外周面を巻き付ける。これにより、ヒータ７の閉塞体７２１を、ハンドによって押し潰された状態で、配管４の外周面に密着させることができる。 In addition, the heater 7 may further have a band (not shown) around the outer peripheral surface of one end thereof. In this case, with the heater 7 attached to the non-exposed region 43 of the pipe 4 , the band wraps around the outer peripheral surface of one end of the heater 7 while avoiding the through hole 752 . As a result, the closing body 721 of the heater 7 can be brought into close contact with the outer peripheral surface of the pipe 4 while being crushed by the hand.

次に、本実施形態に係るヒータ７の装着方法について説明する。 Next, a method for mounting the heater 7 according to this embodiment will be described.

スリット７３を通じて、切り込み７４によって変形したヒータ７の一端からヒータ７の他端までの各部分をヒータ７の一端側から順に配管４の第１露出領域４４１の外周面に装着させる。このとき、第１露出領域４４１の外周面に装着されたヒータ７の各部分を、順に配管４の延在方向（すなわち、幅方向）に沿って配管４の非露出領域４３側へ押し込む。具体的には、連通管８がヒータ７の開口部７５における貫通孔７５２に係合するまでに、第１露出領域４４１の外周面に装着されたヒータ７の各部分を、順に配管４の延在方向（すなわち、幅方向）に沿って配管４の非露出領域４３側へ押し込む。 Each part from one end of the heater 7 deformed by the cut 74 to the other end of the heater 7 is attached to the outer peripheral surface of the first exposed region 441 of the pipe 4 through the slit 73 in order from the one end side of the heater 7 . At this time, each part of the heater 7 attached to the outer peripheral surface of the first exposed area 441 is pushed into the non-exposed area 43 side of the pipe 4 along the extending direction (that is, width direction) of the pipe 4 in order. Specifically, each part of the heater 7 attached to the outer peripheral surface of the first exposed region 441 is pushed into the non-exposed region 43 side of the pipe 4 along the extending direction (that is, the width direction) of the pipe 4 in order until the communicating pipe 8 engages the through hole 752 in the opening 75 of the heater 7.

そして、連通管８が開口部７５における貫通孔７５２に係合すると、配管４に対しヒータ７の位置決めがされる。このため、ヒータ７を配管４の非露出領域４３に確実に装着することができる。 Then, when the communication pipe 8 is engaged with the through hole 752 in the opening 75 , the heater 7 is positioned with respect to the pipe 4 . Therefore, the heater 7 can be reliably attached to the non-exposed area 43 of the pipe 4 .

次に、本実施形態による作用効果について説明する。 Next, the effects of this embodiment will be described.

本実施形態に係る流体供給ユニット１は、筐体２と、筐体２に設けられる支持機構３と、筐体２の底壁２１と接触しないように支持機構３によって支持される配管４と、配管４と接触することなく、配管４の非露出領域４３を覆うように筐体２の底壁２１上に架設される基板５と、基板５上に設けられる流体装置６と、可撓性を有するとともに、配管４の外周面を取り囲むように装着される筒状のヒータ７と、を備える。ヒータ７は、ヒータ７の軸方向の一端からヒータ７の軸方向の他端まで延在するとともにヒータ７の内周面とヒータ７の外周面とを接続するように形成されるスリット７３と、スリット７３からヒータ７の内周面とヒータ７の外周面とを接続するように形成される切り込み７４と、を有する。 A fluid supply unit 1 according to the present embodiment includes a housing 2, a support mechanism 3 provided in the housing 2, a pipe 4 supported by the support mechanism 3 so as not to contact the bottom wall 21 of the housing 2, a substrate 5 suspended over the bottom wall 21 of the housing 2 so as to cover a non-exposed region 43 of the pipe 4 without contacting the pipe 4, a fluid device 6 provided on the substrate 5, and a flexible cylindrical heater 7 mounted so as to surround the outer peripheral surface of the pipe 4. The heater 7 has a slit 73 extending from one axial end of the heater 7 to the other axial end of the heater 7 and formed to connect the inner peripheral surface of the heater 7 and the outer peripheral surface of the heater 7, and a cut 74 formed to connect the inner peripheral surface of the heater 7 and the outer peripheral surface of the heater 7 from the slit 73.

本実施形態に係るヒータ７は、可撓性を有する筒状のヒータ７であって、軸方向の一端から軸方向の他端まで延在するとともに内周面と外周面とを接続するように形成されるスリット７３と、スリット７３から内周面と外周面とを接続するように形成される切り込み７４と、を備える。 The heater 7 according to the present embodiment is a flexible cylindrical heater 7, and includes a slit 73 extending from one end in the axial direction to the other end in the axial direction and formed to connect the inner peripheral surface and the outer peripheral surface, and a cut 74 formed from the slit 73 to connect the inner peripheral surface and the outer peripheral surface.

これらの構成によれば、ヒータ７にヒータ７の軸方向の一端からヒータ７の軸方向の他端まで延在するスリット７３を形成することにより、スペースが小さくてヒータ７を軸方向から配管４に装着できないような場合であっても、ヒータ７をスリット７３を通じて、径方向から配管４に装着することができる。 According to these configurations, by forming the slit 73 extending from one axial end of the heater 7 to the other axial end of the heater 7 in the heater 7, the heater 7 can be radially installed in the pipe 4 through the slit 73 even when the heater 7 cannot be axially installed in the pipe 4 due to a small space.

さらに、ヒータ７においてスリット７３から切り込み７４を形成することにより、ヒータ７全体を大きく変形しやすくすることができる。このため、例えば装着領域としての第１露出領域４４１が短い場合であっても、ヒータ７を、切り込み７４によって大きく変形した状態で、配管４の第１露出領域４４１に装着しながら、配管４の延在方向（すなわち、幅方向）に沿って配管４の非露出領域４３側に押し込むことができる。この結果、基板５を取り外すことなく、ヒータ７を配管４の非露出領域４３に容易に装着（後付け）することができる。 Further, by forming the slits 73 and the cuts 74 in the heater 7, the heater 7 as a whole can be easily deformed greatly. Therefore, for example, even if the first exposed region 441 as the mounting region is short, the heater 7 can be pushed into the non-exposed region 43 side of the pipe 4 along the extending direction (that is, the width direction) of the pipe 4 while being mounted on the first exposed region 441 of the pipe 4 in a state of being greatly deformed by the cut 74. As a result, the heater 7 can be easily attached (retrofitted) to the non-exposed region 43 of the pipe 4 without removing the substrate 5 .

また、本実施形態では、切り込み７４は、複数の切り込みによって構成され、複数の切り込み７４は、軸方向に沿って所定の間隔を空けて配列される。 Further, in the present embodiment, the cut 74 is composed of a plurality of cuts, and the plurality of cuts 74 are arranged at predetermined intervals along the axial direction.

この構成によれば、ヒータ７全体をより大きく変形しやすくすることができる。このため、例えば第１露出領域４４１が極めて短い場合であっても、ヒータ７を、複数の切り込み７４によってより大きく変形した状態で、配管４の第１露出領域４４１に装着しながら、配管４の延在方向（すなわち、幅方向）に沿って配管４の非露出領域４３側に押し込むことができる。この結果、基板５を取り外すことなく、ヒータ７を配管４の非露出領域４３により容易に装着（後付け）することができる。 According to this configuration, the heater 7 as a whole can be easily deformed to a greater extent. Therefore, even if the first exposed region 441 is extremely short, for example, the heater 7 can be pushed into the non-exposed region 43 side of the pipe 4 along the extending direction (that is, the width direction) of the pipe 4 while being attached to the first exposed region 441 of the pipe 4 in a state of being greatly deformed by the plurality of cuts 74. As a result, the heater 7 can be easily attached (retrofitted) to the non-exposed region 43 of the pipe 4 without removing the substrate 5 .

また、本実施形態では、切り込みは７４、円周方向に沿って延在するように形成される。 Also, in this embodiment, the notches 74 are formed to extend along the circumferential direction.

この構成によれば、切り込み７４を回避しながらヒータ７の全域に亘って均等に設けられる熱電線の配線がしやすくなる。 According to this configuration, it is easy to wire the thermal wires uniformly provided over the entire area of the heater 7 while avoiding the notch 74 .

また、本実施形態では、ヒータ７は、切り込み７４と同一円周上に形成される接続領域７６と、接続領域７６を通るように設けられる熱電線と、をさらに有する。 In addition, in this embodiment, the heater 7 further has a connection region 76 formed on the same circumference as the cut 74 and a hot wire provided so as to pass through the connection region 76 .

この構成によれば、熱電線をヒータ７の全域に亘って均等に設けることができるので、配管４の非露出領域４３をむらなく加熱することができる。 According to this configuration, the heating wires can be evenly provided over the entire area of the heater 7, so that the non-exposed area 43 of the pipe 4 can be evenly heated.

また、本実施形態では、配管４は、基板５から露出する第１露出領域４４１と、基板５によって覆われる非露出領域４３と、を有し、ヒータ７は、配管４の第１露出領域４４１から装着される。 Further, in this embodiment, the pipe 4 has a first exposed region 441 exposed from the substrate 5 and a non-exposed region 43 covered with the substrate 5, and the heater 7 is attached from the first exposed region 441 of the pipe 4.

この構成によれば、ヒータ７を配管４に装着（後付け）することが容易に実現される。 According to this configuration, it is easy to attach (retrofit) the heater 7 to the pipe 4 .

また、ヒータ７を配管４に装着するヒータの装着方法は、スリット７３を通じて、切り込み７４によって変形したヒータ７の一端からヒータ７の他端までの各部分をヒータ７の一端側から順に配管４の第１露出領域４４１の外周面に装着させるとともに、第１露出領域４４１の外周面に装着されたヒータ７の各部分を、順に配管４に沿って配管４の非露出領域４３側へ押し込む。 In addition, the heater mounting method for mounting the heater 7 on the pipe 4 is to sequentially mount the parts from one end of the heater 7 deformed by the cut 74 to the other end of the heater 7 through the slit 73 from one end side of the heater 7 to the outer peripheral surface of the first exposed region 441 of the pipe 4, and push each part of the heater 7 mounted on the outer peripheral surface of the first exposed region 441 sequentially along the pipe 4 toward the non-exposed region 43 side of the pipe 4.

この構成によれば、ヒータ７の各部分を配管４の第１露出領域４４１から装着しながら、配管４の非露出領域４３側へ押し込むことができるので、第１露出領域４４１が短い場合であっても、ヒータ７を、切り込み７４によって大きく変形した状態で、配管４の第１露出領域４４１に装着しながら、配管４の延在方向（すなわち、幅方向）に沿って配管４の非露出領域４３側に押し込むことができる。この結果、基板５を取り外すことなく、ヒータ７を配管４の非露出領域４３に容易に装着（後付け）することができる。 According to this configuration, each part of the heater 7 can be pushed into the non-exposed region 43 side of the pipe 4 while being attached from the first exposed region 441 of the pipe 4. Therefore, even if the first exposed region 441 is short, the heater 7 can be pushed into the non-exposed region 43 side of the pipe 4 along the extending direction (that is, the width direction) of the pipe 4 while being attached to the first exposed region 441 of the pipe 4 while being greatly deformed by the cut 74. As a result, the heater 7 can be easily attached (retrofitted) to the non-exposed region 43 of the pipe 4 without removing the substrate 5 .

以上、本実施形態について説明したが、上述した実施形態は、本発明の適用例の一部を示したに過ぎず、本発明の技術的範囲を上述した実施形態の具体的構成に限定する趣旨ではない。 Although the present embodiment has been described above, the above-described embodiment merely shows a part of application examples of the present invention, and is not intended to limit the technical scope of the present invention to the specific configuration of the above-described embodiment.

（第１変形例）
次に、図７を参照しながら第１変形例に係るヒータ７ａについて説明する。なお、本変形例では、上述した実施形態と同様の点については説明を省略し、主に上述した実施形態と異なる点について説明する。 (First modification)
Next, a heater 7a according to a first modified example will be described with reference to FIG. Note that in this modified example, the description of the same points as the above-described embodiment is omitted, and mainly the points different from the above-described embodiment are described.

図７は、第１変形例に係るヒータ７ａを示す展開図である。 FIG. 7 is an exploded view showing a heater 7a according to the first modified example.

上述した実施形態では、複数（ここでは、二つ）の接続領域７６は、周方向に沿って揃うように配列されているが、これに限定されるものではなく、例えば、図７に示すように周方向に沿ってずれるように配列されてもよい。 In the above-described embodiment, the plurality of (here, two) connection regions 76 are arranged so as to be aligned along the circumferential direction, but are not limited to this, and may be arranged so as to be offset along the circumferential direction, for example, as shown in FIG.

（第２変形例）
次に、図８を参照しながら第２変形例に係るヒータ７ｂについて説明する。なお、本変形例では、上述した実施形態と同様の点については説明を省略し、主に上述した実施形態と異なる点について説明する。 (Second modification)
Next, a heater 7b according to a second modified example will be described with reference to FIG. Note that in this modified example, the description of the same points as the above-described embodiment is omitted, and mainly the points different from the above-described embodiment are described.

図８は、第２変形例に係るヒータ７ｂを示す側面図である。 FIG. 8 is a side view showing a heater 7b according to a second modification.

図８に示すように、ヒータ７ｂは、複数（ここでは、二つ）の第１面ファスナー７７と、複数（ここでは、二つ）のバンド７８と、をさらに有する。なお、第１面ファスナー７７の数とバンド７８の数とは、同じである。すなわち、第１面ファスナー７７の数は、バンド７８の数に対応している。 As shown in FIG. 8 , the heater 7 b further has a plurality (here, two) first hook-and-loop fasteners 77 and a plurality (here, two) of bands 78 . The number of first surface fasteners 77 and the number of bands 78 are the same. That is, the number of first hook-and-loop fasteners 77 corresponds to the number of bands 78 .

複数の第１面ファスナー７７は、それぞれ複数の切り込み７４を取り囲むようにヒータ７（具体的には、シリコン材７２）の外周面に設けられる。具体的には、第１面ファスナー７７は、ヒータ７（具体的には、シリコン材７２）の外周面において、切り込み７４を挟んで一方側に設けられる第３面ファスナー７７１と、切り込み７４を挟んで他方側に設けられる第４面ファスナー７７２とによって構成される。 A plurality of first hook-and-loop fasteners 77 are provided on the outer peripheral surface of the heater 7 (specifically, the silicon material 72) so as to surround the plurality of cuts 74, respectively. Specifically, the first hook-and-loop fastener 77 is composed of a third hook-and-loop fastener 771 provided on one side across the cut 74 and a fourth hook-and-loop fastener 772 provided on the other side across the cut 74 on the outer peripheral surface of the heater 7 (specifically, the silicon material 72).

バンド７８は、その一端が固定されるようにヒータ７（具体的には、シリコン材７２）の外周面に設けられる。バンド７８は、第１面ファスナー７７（具体的には、第３面ファスナー７７１及び第４面ファスナー７７２）に係合可能な第２面ファスナー７８１を有する。第２面ファスナー７８１が第１面ファスナー７７に係合した場合、複数のバンド７８は、それぞれ複数の切り込み７４を覆う。これにより、ヒータ７が発生する熱を切り込み７４によって逃がしてしまうことを抑制することができる。このため、ヒータ７の加熱効率を向上させるとともに、熱逃げによる加熱のむらを低減することができる。 The band 78 is provided on the outer peripheral surface of the heater 7 (specifically, the silicon material 72) so that one end of the band 78 is fixed. The band 78 has a second hook-and-loop fastener 781 that can be engaged with the first hook-and-loop fastener 77 (specifically, the third hook-and-loop fastener 771 and the fourth hook-and-loop fastener 772). When the second hook-and-loop fastener 781 is engaged with the first hook-and-loop fastener 77 , the multiple bands 78 respectively cover the multiple cuts 74 . As a result, the heat generated by the heater 7 can be prevented from escaping through the cuts 74 . Therefore, the heating efficiency of the heater 7 can be improved, and uneven heating due to heat escape can be reduced.

また、第２面ファスナー７８１が第１面ファスナー７７に係合した場合、バンド７８は、スリット７３及び切り込み７４の両方を覆うことが好ましい。これにより、ヒータ７が発生する熱をスリット７３及び切り込み７４の両方によって逃してしまうことを抑制することができる。これにより、ヒータ７が発生する熱をスリット７３及び切り込み７４の両方によって逃がしてしまうことを抑制することができる。このため、ヒータ７の加熱効率をより向上させるとともに、熱逃げによる加熱のむらをより低減することができる。 Moreover, when the second hook-and-loop fastener 781 is engaged with the first hook-and-loop fastener 77 , the band 78 preferably covers both the slit 73 and the notch 74 . Thereby, it is possible to prevent the heat generated by the heater 7 from escaping through both the slit 73 and the notch 74 . Thereby, it is possible to prevent the heat generated by the heater 7 from escaping through both the slit 73 and the notch 74 . Therefore, the heating efficiency of the heater 7 can be further improved, and uneven heating due to heat escape can be further reduced.

１流体供給ユニット
２筐体
３支持機構
４配管
４３非露出領域
４４露出領域
５基板
６流体装置
７ヒータ
７１ラバーシート
７２シリコン材
７３スリット
７４切り込み
７６接続領域
４４１第１露出領域（装着領域） 1 Fluid Supply Unit 2 Housing 3 Support Mechanism 4 Piping 43 Non-Exposed Area 44 Exposed Area 5 Substrate 6 Fluid Device 7 Heater 71 Rubber Sheet 72 Silicon Material 73 Slit 74 Notch 76 Connection Area 441 First Exposed Area (Mounting Area)

Claims

a housing;
a support mechanism provided in the housing;
a pipe supported by the support mechanism so as not to contact the bottom wall of the housing;
a substrate mounted on the bottom wall of the housing so as to cover a portion of the pipe without coming into contact with the pipe;
a fluidic device provided on the substrate;
a tubular heater having flexibility and mounted so as to surround the outer peripheral surface of the pipe;
The heater is
a slit extending from one end in the axial direction of the heater to the other end in the axial direction of the heater and formed to connect the inner peripheral surface of the heater and the outer peripheral surface of the heater;
a notch formed so as to connect the inner peripheral surface of the heater and the outer peripheral surface of the heater from the slit ;
a first hook-and-loop fastener provided on the outer peripheral surface of the heater so as to surround the notch;
a band provided on the outer peripheral surface of the heater and having a second hook-and-loop fastener engageable with the first hook-and-loop fastener;
A fluid supply unit, wherein when the second hook-and-loop fastener engages the first hook-and-loop fastener, the band covers the notch to prevent heat generated by the heater from escaping through the notch.

The notch is configured by a plurality of notches,
2. The fluid supply unit according to claim 1, wherein said plurality of cuts are arranged at predetermined intervals along said axial direction.

3. The fluid supply unit according to claim 1, wherein said cut is formed to extend along the circumferential direction of said heater.

The heater is
a heating layer provided with a heating wire;
a heat insulating layer provided on the outer peripheral surface of the heating layer;
a connection region formed on the same circumference as the cut,
The slit is formed in the heating layer and the heat insulating layer so as to connect the inner peripheral surface of the heating layer and the outer peripheral surface of the heat insulating layer,
The cut is formed in the heating layer and the heat insulating layer so as to connect the inner peripheral surface of the heating layer and the outer peripheral surface of the heat insulating layer from the slit,
2. The fluid supply unit according to claim 1, wherein the heat wire is provided so as to pass through the connection region, and the width of the slit in the heating layer and the width of the slit in the heat insulating layer are the same before the heater is attached to the pipe.

the pipe has an exposed area exposed from the substrate and a non-exposed area covered by the substrate;
5. The fluid supply unit according to any one of claims 1 to 4 , wherein the heater is attached from the exposed area of the pipe.

A heater mounting method for mounting the heater to the pipe in the fluid supply unit according to claim 5 ,
Through the slit, each part from one end of the heater to the other end of the heater deformed by the cut is attached to the outer peripheral surface of the exposed area of the pipe in order from one end side of the heater,
A method of attaching a heater, wherein each portion of the heater attached to the outer peripheral surface of the exposed area is sequentially pushed along the piping toward the non-exposed area of the piping.

A tubular heater having flexibility,
a slit extending from one end in the axial direction to the other end in the axial direction and connecting the inner peripheral surface and the outer peripheral surface;
a notch formed so as to connect the inner peripheral surface and the outer peripheral surface from the slit ;
a first hook-and-loop fastener provided on the outer peripheral surface of the heater so as to surround the notch;
a band provided on the outer peripheral surface of the heater and having a second hook-and-loop fastener that can be engaged with the first hook-and-loop fastener;
A heater, wherein when the second hook-and-loop fastener engages the first hook-and-loop fastener, the band covers the notch so as to prevent heat generated by the heater from escaping through the notch.

a heating layer provided with a heating wire;
a heat insulating layer provided on the outer peripheral surface of the heating layer;
A connection region formed on the same circumference as the cut,
The slit is formed in the heating layer and the heat insulating layer so as to connect the inner peripheral surface of the heating layer and the outer peripheral surface of the heat insulating layer,
The cut is formed in the heating layer and the heat insulating layer so as to connect the inner peripheral surface of the heating layer and the outer peripheral surface of the heat insulating layer from the slit,
The heater according to claim 7, wherein the heat wire is provided so as to pass through the connection region, and the width of the slit in the heating layer and the width of the slit in the heat insulating layer are the same before the heater is attached to the pipe.