JP7312941B2 - 高周波加熱装置 - Google Patents
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Description
図1は、本実施の形態に係る高周波加熱装置1の構成を示す概略図である。図1に示すように、高周波加熱装置1は、第1電極11と、第2電極12と、加熱室13と、位置調整部20と、高周波電源30と、整合器40と、制御部50とを備える。
第1電極11は、加熱室13内の上部に配置された、矩形形状を有する平板状の電極である。
第2電極12は、矩形形状を有する平板状の電極である。第2電極12は、加熱室13の底面上に第1電極11に対向して配置される。
図2は、位置調整部20の全体構成を示す斜視図である。図3は、位置調整部20の詳細な構成を示す拡大斜視図である。図2、図3において、加熱室13の内部が見えるように、高周波電源30、整合器40、制御部50などの要素、および、高周波加熱装置1の筐体が省略されている。
上述の通り、高周波電源30は第1電極11に接続され、第1電極11に高周波電力を供給する。図6は、高周波電源30の構成を示す概略図である。図6に示すように、高周波電源30は、高周波発振器31と、増幅器32と、増幅器33とを備える。高周波発振器31は、HF~VHF帯域の高周波信号を発振する。増幅器32、33は、制御部50からの指示に応じて、高周波発振器31により発振された高周波信号を増幅する。
図1に示すように、整合器40は、第1電極11と高周波電源30との間に配置される。整合器40は、高周波電源30のインピーダンスと、第1電極11、第2電極12、加熱対象物90を含む加熱室13内のインピーダンスとのインピーダンス整合をとる。
制御部50は、例えば、マイクロコンピュータにより構成される。図1に示すように、制御部50は、第1電極11と第2電極12との間に配置される加熱対象物90の寸法に応じて、第1電極11の位置(具体的には高さ)を調整するように、位置調整部20を制御する。
本実施の形態によれば、以下の効果を得ることができる。
11 第1電極
12 第2電極
13 加熱室
20 位置調整部
21 重り
22、22a、22b、22c、22d、22e 接続線
23、23a、23b 滑車
24 駆動部
25 重りガイド
26a、26b 線状部材
30 高周波電源
31 高周波発振器
32、33 増幅器
40、40a 整合器
50 制御部
90 加熱対象物
Claims (10)
- 第1電極と、
前記第1電極に対向して配置された第2電極と、
前記第1電極または前記第2電極に高周波電力を供給するように構成された高周波電源と、
前記第1電極の位置を調整するように構成された位置調整部と、
前記位置調整部を制御するように構成された制御部と、
を備え、
前記位置調整部は、
重りと、
前記重りと前記第1電極とを接続する一つ以上の接続線と、
前記一つ以上の接続線を支持する一つ以上の滑車と、
前記一つ以上の滑車に取り付けられ、前記一つ以上の滑車を駆動するように構成された一つ以上の駆動部と、を有し、
前記第1電極の中央には、前記高周波電源から前記第1電極に前記高周波電力を供給するように構成された給電部が設けられ、
前記一つ以上の接続線が、前記給電部とは異なる位置で前記第1電極に接続された、高周波加熱装置。 - 前記重りが前記第1電極よりも軽い、請求項1に記載の高周波加熱装置。
- 前記第1電極を高さ方向に案内するように構成されたガイドをさらに備えた、請求項1に記載の高周波加熱装置。
- 前記第1電極が前記ガイドに支持された、請求項3に記載の高周波加熱装置。
- 前記一つ以上の滑車が、前記一つ以上の接続線と前記第1電極との接続位置よりも前記ガイドの近くに配置された、請求項4に記載の高周波加熱装置。
- 前記一つ以上の接続線が、前記第1電極に対して傾斜するように、前記第1電極に接続
された、請求項5に記載の高周波加熱装置。 - 第1電極と、
前記第1電極に対向して配置された第2電極と、
前記第1電極または前記第2電極に高周波電力を供給するように構成された高周波電源と、
前記第1電極の位置を調整するように構成された位置調整部と、
前記位置調整部を制御するように構成された制御部と、
を備え、
前記位置調整部は、
重りと、
前記重りと前記第1電極とを接続する一つ以上の接続線と、
前記一つ以上の接続線を支持する一つ以上の滑車と、
前記一つ以上の滑車に取り付けられ、前記一つ以上の滑車を駆動するように構成された一つ以上の駆動部と、を有し、
前記一つ以上の接続線が、前記第1電極の重心で前記第1電極に接続され、
前記一つ以上の滑車が、前記一つ以上の接続線が前記第1電極と垂直になるように、前記第1電極の前記重心の上方に配置された、高周波加熱装置。 - 前記一つ以上の接続線が、複数の接続線を含み、
前記第1電極の重心が、前記複数の接続線が前記第1電極と接続される複数の接続位置を結んで形成される線分の重点、または、前記複数の接続位置を結んで形成される多角形の重心に位置する、請求項1に記載の高周波加熱装置。 - 前記一つ以上の接続線のそれぞれが、互いに独立した複数の線状部材を有し、
前記複数の線状部材が、前記一つ以上の滑車を介して接続された、請求項1に記載の高周波加熱装置。 - 前記位置調整部が、前記重りを高さ方向に案内する重りガイドをさらに備えた、請求項1に記載の高周波加熱装置。
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|---|---|---|---|
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