Deprecated: The each() function is deprecated. This message will be suppressed on further calls in /home/zhenxiangba/zhenxiangba.com/public_html/phproxy-improved-master/index.php on line 456
JP7315282B2 - Appearance inspection device - Google Patents
[go: Go Back, main page]

JP7315282B2 - Appearance inspection device - Google Patents

Appearance inspection device Download PDF

Info

Publication number
JP7315282B2
JP7315282B2 JP2019123396A JP2019123396A JP7315282B2 JP 7315282 B2 JP7315282 B2 JP 7315282B2 JP 2019123396 A JP2019123396 A JP 2019123396A JP 2019123396 A JP2019123396 A JP 2019123396A JP 7315282 B2 JP7315282 B2 JP 7315282B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
inspection
unit
quality
evaluation
display unit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2019123396A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2021009086A (en
Inventor
佳憲 伴
真也 梅谷
幸世 川野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Daiichi Jitsugyo Viswill Co Ltd
Original Assignee
Daiichi Jitsugyo Viswill Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Daiichi Jitsugyo Viswill Co Ltd filed Critical Daiichi Jitsugyo Viswill Co Ltd
Priority to JP2019123396A priority Critical patent/JP7315282B2/en
Priority to KR1020200078555A priority patent/KR102828579B1/en
Priority to CN202010625531.5A priority patent/CN112179906A/en
Publication of JP2021009086A publication Critical patent/JP2021009086A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP7315282B2 publication Critical patent/JP7315282B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
    • G01N2021/8841—Illumination and detection on two sides of object
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
    • G01N2021/8854—Grading and classifying of flaws
    • G01N2021/8858—Flaw counting
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
    • G01N2021/8854—Grading and classifying of flaws
    • G01N2021/888—Marking defects
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
    • G01N2021/8887—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges based on image processing techniques
    • G01N2021/8893—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges based on image processing techniques providing a video image and a processed signal for helping visual decision

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Description

本発明は、医薬品（錠剤，カプセル等），食品，機械部品や電子部品等（以下、「検査対象物」という）の外観を検査する装置に関する。 The present invention relates to an apparatus for inspecting the appearance of pharmaceuticals (tablets, capsules, etc.), foods, mechanical parts, electronic parts, etc. (hereinafter referred to as "inspection objects").

従来、前記検査対象物の外観を検査する装置として、例えば特開２００６－２０８０６４号公報（下記特許文献１）に開示された検査装置が知られている。 2. Description of the Related Art Conventionally, an inspection apparatus disclosed in, for example, Japanese Patent Laying-Open No. 2006-208064 (Patent Document 1 below) is known as an apparatus for inspecting the appearance of an inspection object.

上記特許文献１によれば、この検査装置は、情報表示を行うための表示手段と、検査対象となる錠剤の画像データに基づき、検査のための計測を行い、設定される判定値を用いて検査計測結果に基づく検査を行うことにより錠剤を検査する検査処理を実行すると共に、当該検査処理に際し、所定の検査項目に関して、前記検査計測結果を統計する統計処理、及び、当該統計処理の結果に基づき、前記検査計測結果の度数分布を、前記検査項目毎に、前記表示手段を用いて表示する表示処理を実行する処理実行手段と、前記検査項目毎に、良品許容限界値、良品錯誤率、及び、前記判定値を入力するための入力手段とを備えている。 According to Patent Document 1, the inspection apparatus includes display means for displaying information, measurement for inspection based on image data of a tablet to be inspected, and an inspection process for inspecting a tablet by performing an inspection based on the inspection and measurement results using a set judgment value.In addition, during the inspection process, statistical processing for statistically statistically processing the inspection and measurement results with respect to a predetermined inspection item, and based on the results of the statistical processing, the frequency distribution of the inspection and measurement results is displayed for each inspection item using the display means. It comprises processing execution means for executing display processing for display, and input means for inputting a non-defective product permissible limit value, a non-defective product error rate, and the judgment value for each inspection item.

そして、前記処理実行手段は、前記表示処理において、前記度数分布に対応させ、前記良品許容限界値及び前記良品錯誤率に基づき、前記判定値の対応する前記度数分布の区分である判定区分の限界を表示すると共に、前記度数分布の区分の中で前記判定区分を区別できる形式で前記判定値に基づく表示を行い、さらに、前記良品許容限界値以上の検査計測結果を得た錠剤を良品とみなした場合における当該良品の度数の割合である良品発生率を表示するよう構成される。 Then, in the display process, the processing execution means displays the limit of the judgment division, which is the division of the frequency distribution corresponding to the judgment value, based on the allowable limit value of good products and the error rate of non-defective products, displays based on the judgment values in a format that allows the judgment division to be distinguished in the divisions of the frequency distribution, and furthermore, the non-defective product occurrence rate, which is the frequency ratio of the non-defective products when tablets that have obtained inspection and measurement results equal to or greater than the allowable non-defective limit value are considered to be non-defective tablets. is configured to display

この検査装置では、以下のような効果が奏される、とのことである。即ち、
良品許容限界値及び良品錯誤率に基づき判定区分の限界が表示されるため、良品許容限界値に基づく限界と良品錯誤率に基づく限界との間に判定区分が入るように判定値を設定することができる。一方、予め設定された判定値に対応する判定区分が両限界の間に入っていれば、当該判定値は妥当なものと判断できる。 It is said that this inspection apparatus has the following effects. Namely
Since the limit of the judgment classification is displayed based on the acceptable product tolerance limit value and the good product error rate, the judgment value can be set so that the judgment classification falls between the limit based on the acceptable product tolerance limit value and the limit based on the good product error rate. On the other hand, if the determination section corresponding to the preset determination value is between both limits, it can be determined that the determination value is appropriate.

したがって、判定値の設定及び判定値の妥当性の確認が容易になる。しかも、度数分布の区分の中で判定区分を区別できる形式で判定値に基づく表示を行う。その結果、経験の浅い作業者であっても現在の判定値がどの区分に対応しているのかが瞬時に把握できるため、判定値の妥当性の確認を容易にするという効果が際立つ。 Therefore, it becomes easy to set the judgment value and confirm the validity of the judgment value. Moreover, the display based on the judgment value is performed in a format that allows the judgment division to be distinguished among the divisions of the frequency distribution. As a result, even an inexperienced operator can instantly grasp which category the current judgment value corresponds to, so that the effect of facilitating confirmation of the validity of the judgment value is outstanding.

また、良品許容限界、良品錯誤率、及び、判定値を入力するための入力手段を備えている。このようにすれば、一度設定された判定値が検査の途中で妥当性を欠いた場合などに設定値の変更が容易になるという点で、設定値の設定が容易になる。また、検査対象となる錠剤が変更された場合であっても、良品許容限界値及び良品錯誤率を入力手段を介して入力できるため、検査がスムーズに実施できる。 It also has input means for inputting the allowable limit of non-defective products, error rate of non-defective products, and judgment values. In this way, the setting of the set value is facilitated in that the set value can be easily changed in the event that the once set determination value lacks validity during the inspection. In addition, even if the tablet to be inspected is changed, the allowable limit value for non-defective products and the error rate for non-defective products can be input via the input means, so that the inspection can be carried out smoothly.

さらに、処理実行手段が良品発生率を表示するため、検査計測結果を度数のみで示す場合と比べ、同様に割合で示される良品錯誤率との対応が容易にとれるようになる。結果として、判定値の設定及び判定値の妥当性の確認を容易にするという目的に寄与する。 Furthermore, since the process execution means displays the non-defective product rate, it is easier to deal with the non-defective product error rate, which is also indicated by a ratio, compared to the case where the inspection measurement result is indicated only by the frequency. As a result, it contributes to the purpose of facilitating setting of the judgment value and confirmation of the validity of the judgment value.

特開２００６－２０８０６４号公報JP 2006-208064 A

ところで、品質管理上の観点すれば、不良品が発生した場合に、どのような不良状態であったかを確認することができれば、その製造工程において、当該不良の発生を抑制することができる妥当な対策を講じることができて好ましい。 By the way, from the viewpoint of quality control, if a defective product can be confirmed in what kind of defective state it was, it is preferable to be able to take appropriate measures that can suppress the occurrence of the defective product in the manufacturing process.

ところが、上述した従来の検査装置では、品質上の統計情報が表示されることから、検査対象である錠剤の品質上の性状を一見して把握することができるというメリットを有する反面、不良と判定された錠剤が具体的にどのような不良状態であったかを画像を通じて視覚的に確認することができないため、この点において改善の余地があった。この従来の検査装置では、錠剤の画像データを取得しているが、当該画像データは、錠剤の良否判定にしか用いられていなかった。 However, the above-described conventional inspection apparatus has the advantage of being able to grasp the quality characteristics of the tablets to be inspected at a glance because statistical information on quality is displayed. Although this conventional inspection apparatus acquires image data of tablets, the image data is used only for quality determination of tablets.

また、所定の製造工程を経て生産される製品は、その生産ロット毎に品質性状が異なっている場合がある。例えば、一部の製造装置等に異常が発生すると、それまで低く安定していた不良率が急に高くなるといったことが起こり得る。したがて、品質上の性状について、過去の生産ロット分も含めて考察することで、品質上の性状が生産ロット間でどのように推移しているかを認識することができ、製造工程が安定しているか、或いは不安定となっているかを判別することができる。そして、製造工程が不安定となっていることが分かれば、その状況に応じた対策を採ることができて有益である。 In addition, products manufactured through a predetermined manufacturing process may have different quality characteristics for each production lot. For example, if an abnormality occurs in a part of the manufacturing equipment or the like, it is possible that the defect rate, which had been low and stable until then, suddenly increases. Therefore, by considering the quality properties including past production lots, it is possible to recognize how the quality properties change between production lots, and to determine whether the manufacturing process is stable or unstable. If it is found that the manufacturing process is unstable, it is beneficial to be able to take countermeasures according to the situation.

本発明は以上の実情に鑑みなされたものであって、不良品が発生した場合に、どのような不良状態であったかを画像を通じて視覚的に認識することができる外観検査装置の提供を、その一の目的とする。また、本発明は、品質上の性状が生産ロット毎にどのように推移しているかを認識することができる外観検査装置の提供を、他の目的とする。 SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above circumstances, and one of its objects is to provide a visual inspection apparatus that can visually recognize the defective state through an image when a defective product occurs. Another object of the present invention is to provide a visual inspection apparatus capable of recognizing how the quality characteristics change for each production lot.

上記課題を解決するための本発明は、
所定の搬送路に沿って検査対象物を搬送する搬送装置と、
前記搬送装置によって搬送される前記検査対象物の外観を撮像する撮像カメラと、
前記撮像カメラによって撮像された前記検査対象物の画像を基に、該画像に対し設定された一以上の評価項目について、その良否を判定する評価部を有する品質評価装置と、
前記品質評価装置に接続され、該品質評価装置に情報を入力する入力部、及び該品質評価装置から出力される情報を画面表示する表示部を有する入出力装置と、
前記評価部によって不良と判定された検査対象物を選別する選別装置とを備えた外観検査装置において、
前記品質評価装置は、更に、
前記評価部により不良と判定された検査対象物について、その品質情報として、少なくとも、該検査対象物の識別情報と、不良と判定された評価項目とを関連付けて記憶する品質情報記憶部と、
前記評価部により不良と判定された検査対象物について、その画像情報として、該検査対象物の識別情報と、該検査対象物の画像データとを関連付けて記憶する画像記憶部と、
前記品質情報記憶部に格納された前記品質情報に基づき、前記評価項目について、その品質に係る統計情報を前記表示部に画面表示する品質情報表示部と、
前記入力部を介して前記評価項目を選択する選択信号を受け付け、該選択信号に対応した評価項目について不良と判定された検査対象物の画像データを前記画像記憶部から読み出して、前記表示部に画面表示する画像表示部とを備えた外観検査装置に係る。 The present invention for solving the above problems is
a conveying device that conveys an inspection object along a predetermined conveying path;
an imaging camera that captures the appearance of the inspection object transported by the transport device;
a quality evaluation device having an evaluation unit that determines the quality of one or more evaluation items set for the image based on the image of the inspection object captured by the imaging camera;
an input/output device connected to the quality evaluation device and having an input unit for inputting information to the quality evaluation device and a display unit for displaying information output from the quality evaluation device on a screen;
A visual inspection apparatus comprising a sorting device that sorts out inspection objects determined to be defective by the evaluation unit,
The quality evaluation device further
a quality information storage unit that associates and stores, as quality information, at least identification information of the inspection object and evaluation items that are determined to be defective, as quality information for the inspection object determined to be defective by the evaluation unit;
an image storage unit that associates and stores identification information of the inspection object and image data of the inspection object as image information of the inspection object determined to be defective by the evaluation unit;
a quality information display unit for displaying statistical information relating to the quality of the evaluation item on the display unit based on the quality information stored in the quality information storage unit;
and an image display unit that receives a selection signal for selecting the evaluation item via the input unit, reads out from the image storage unit image data of an inspection object determined to be defective with respect to the evaluation item corresponding to the selection signal, and displays the image data on the display unit.

本発明に係る外観検査装置によれば、まず、前記搬送装置により所定の搬送路に沿って検査対象物が順次搬送され、各検査対象物が所定位置（検査位置）に搬送されたとき、その外観が前記撮像カメラによって撮像される。そして、撮像カメラによって撮像された各検査対象物の画像は前記評価部において処理され、当該画像に対し設定された一以上の評価項目について、その良否が判定される。評価項目としては、例えば、汚点の有無、欠けの有無、表面形状の適否、印刷が施されている場合には、その適否等を例示することができる。 According to the appearance inspection apparatus according to the present invention, first, the objects to be inspected are sequentially conveyed along a predetermined conveying path by the conveying device. Then, the image of each object to be inspected captured by the imaging camera is processed by the evaluation section, and the quality of one or more evaluation items set for the image is determined. Examples of evaluation items include presence/absence of stains, presence/absence of chipping, suitability of surface shape, suitability in the case of printing, and the like.

そして、前記評価部によって不良と判定された検査対象物は選別装置によって選別される。また、評価部により不良と判定された検査対象物については、その品質情報として、少なくとも、当該検査対象物の識別情報と、不良と判定された評価項目とが関連付けられて品質情報記憶部に格納されると共に、画像情報として、当該検査対象物の識別情報と、当該検査対象物の画像データとが関連付けられて画像記憶部に格納される。 Then, the inspection object judged to be defective by the evaluation unit is sorted by the sorting device. For an inspection object determined to be defective by the evaluation unit, at least the identification information of the inspection object and the evaluation item determined to be defective are stored in the quality information storage unit in association with each other as the quality information thereof, and the identification information of the inspection object and the image data of the inspection object are stored in the image storage unit in association with each other as image information.

次に、全ての検査対象物についてその外観検査を終えると、前記品質情報記憶部に格納された前記品質情報に基づいて、品質情報表示部により、前記評価項目について、その品質に係る統計情報が前記表示部に画面表示される。尚、統計情報としては、例えば、評価項目ごとの不良数及び不良比率などを例示することができる。 Next, when the visual inspection of all the inspection objects is completed, the quality information display unit displays statistical information related to the quality of the evaluation items on the display unit based on the quality information stored in the quality information storage unit. As the statistical information, for example, the number of defects and the proportion of defects for each evaluation item can be exemplified.

また、前記入力部から前記評価項目を選択する選択信号が入力されると、前記画像表示部により、前記選択信号に対応した評価項目について不良と判定された検査対象物の画像データが前記画像記憶部から読み出され、読み出された画像データに係る画像が前記表示部に画面表示される。 Further, when a selection signal for selecting the evaluation item is input from the input unit, the image display unit reads the image data of the inspection object judged to be defective with respect to the evaluation item corresponding to the selection signal from the image storage unit, and displays an image related to the read image data on the screen of the display unit.

斯くして、本発明に係る外観検査装置によれば、検査対象物の品質上の統計情報が表示部に画面表示されるので、当該検査対象物の品質上の性状を一見して把握することができる。また、評価項目を選択することにより、当該評価項目について不良と判定された検査対象物の画像が表示部に画面表示されるので、不良と判定された検査対象物が具体的にどのような不良状態であったかを画像を通じて視覚的に確認することができる。そして、このようにして、品質上の統計情報や不良品の画像を確認することにより、当該検査対象物の製造工程において、不良品が発生するのを抑えるための妥当な対策を講じることが可能となる。 Thus, according to the visual inspection apparatus of the present invention, the statistical information on the quality of the object to be inspected is displayed on the display unit, so that the quality characteristics of the object to be inspected can be grasped at a glance. Further, by selecting an evaluation item, an image of an inspection object judged to be defective for the evaluation item is displayed on the screen of the display unit, so that the defective state of the inspection object judged to be defective can be visually confirmed through the image. By checking the quality statistical information and images of defective products in this way, it is possible to take reasonable measures to suppress the occurrence of defective products in the manufacturing process of the inspection object.

また、本発明に係る検査装置において、前記撮像カメラは、前記検査対象物に対し設定された複数の検査面の画像を撮像するように構成されていても良い。
この場合、前記評価部は、前記各検査面の画像に対し設定された一以上の評価項目について、その良否を判定するように構成され、
前記品質情報記憶部は、前記評価部により不良と判定された検査対象物について、その品質情報として、少なくとも、該検査対象物の識別情報と、不良と判定された検査面の情報と、不良と判定された評価項目とを関連付けて記憶するように構成され、
前記画像記憶部は、前記評価部により不良と判定された検査対象物について、その画像情報として、該検査対象物の識別情報と、検査面についての識別情報と、対応する画像データとを関連付けて記憶するように構成され、
前記品質情報表示部は、前記品質情報記憶部に格納された情報に基づいて、各検査面の評価項目について、その品質に係る統計情報を前記表示部に画面表示するように構成され、
画像表示部は、前記入力部を介して、各検査面に対し設定された評価項目を選択する選択信号を受け付け、該選択信号に対応した検査面の評価項目について不良と判定された検査対象物の画像データを前記画像記憶部から読み出して前記表示部に画面表示するように構成される。 Moreover, in the inspection apparatus according to the present invention, the imaging camera may be configured to capture images of a plurality of inspection surfaces set for the inspection object.
In this case, the evaluation unit is configured to determine the quality of one or more evaluation items set for the image of each inspection surface,
The quality information storage unit is configured to associate and store at least identification information of the inspection object, information of the inspection surface determined to be defective, and evaluation items determined to be defective as quality information for the inspection object determined to be defective by the evaluation unit,
The image storage unit is configured to associate and store identification information of the inspection object, identification information of the inspection surface, and corresponding image data as image information for the inspection object determined to be defective by the evaluation unit,
The quality information display unit is configured to display on the display unit statistical information related to the quality of evaluation items for each inspection surface based on the information stored in the quality information storage unit,
The image display unit is configured to receive, via the input unit, a selection signal for selecting an evaluation item set for each inspection surface, read image data of an inspection object judged to be defective for the evaluation item of the inspection surface corresponding to the selection signal from the image storage unit, and display the image data on the display unit.

この外観検査装置によれば、検査対象物の各検査面について、それぞれ品質上の統計情報が前記表示部に画面表示される。したがって、この外観検査装置においても、検査対象物の品質上の性状を一見して把握することができる。また、各検査面に対し設定された評価項目を選択することにより、当該評価項目について不良と判定された検査対象物の画像が表示部に画面表示されるので、不良と判定された検査対象物が具体的にどのような不良状態であったかを、画像を通じて視覚的に確認することができる。そして、このようにして、品質上の統計情報や不良品の画像を確認することにより、当該検査対象物の製造工程において、不良品が発生するのを抑えるための妥当な対策を講じることが可能となる。 According to this visual inspection apparatus, statistical information on quality is displayed on the screen on the display unit for each inspection surface of the inspection object. Therefore, also in this appearance inspection apparatus, it is possible to grasp the quality characteristics of the inspection object at a glance. Further, by selecting an evaluation item set for each inspection surface, an image of an inspection object judged to be defective for the evaluation item is displayed on the screen of the display unit, so that the defective state of the inspection object judged to be defective can be visually confirmed through the image. By checking the quality statistical information and images of defective products in this way, it is possible to take reasonable measures to suppress the occurrence of defective products in the manufacturing process of the inspection object.

また、本発明において、前記品質情報記憶部は、前記品質情報を、検査ロット毎に記憶するように構成され、
前記画像記憶部は、前記画像情報を、前記検査ロット毎に記憶するように構成され、
前記品質情報表示部は、検査を終了した直近の検査ロット、及び所定の一以上の過去の検査ロットに係る前記統計情報を比較可能に前記表示部に画面表示するように構成され、
前記画像表示部は、前記直近の検査ロット及び前記過去の検査ロットについて、前記選択信号に対応した画像データを前記画像記憶部から読み出して、比較可能に前記表示部に画面表示するように構成されていても良い。 Further, in the present invention, the quality information storage unit is configured to store the quality information for each inspection lot,
The image storage unit is configured to store the image information for each inspection lot,
The quality information display unit is configured to display on the display unit the statistical information relating to the most recent inspection lot for which inspection has been completed and one or more predetermined past inspection lots so as to be comparable,
The image display unit may be configured to read image data corresponding to the selection signal for the most recent inspection lot and the past inspection lot from the image storage unit and display the image data on the display unit for comparison.

このように構成された外観検査装置によれば、品質情報表示部により、検査を終了した直近の検査ロット、及び所定の一以上の過去の検査ロットに係る品質上の統計情報が比較可能に前記表示部に画面表示される。斯くして、このようにして表示された各検査ロットの統計情報を確認することで、品質上の性状が検査ロット（即ち、生産ロット）間でどのように推移しているかを認識することができ、製造工程が安定しているか、或いは不安定となっているかを容易に判別することができる。そして、製造工程が不安定となっていることが分かれば、その状況に応じた対策を採ることが可能となる。また、画像表示部により、直近の検査ロット及び過去の検査ロットについて、選択された評価項目の画像が比較可能に表示部に画面表示されるので、各検査ロットにおける不良品の発生状況を、画像を通じて具体的に認識することができ、その相違点などを容易に認識することができる。 According to the appearance inspection apparatus configured in this way, the quality information display unit displays quality statistical information on the most recent inspection lot that has been inspected and one or more predetermined past inspection lots on the screen so that the quality information can be compared. Thus, by confirming the statistical information of each inspection lot displayed in this way, it is possible to recognize how the quality characteristics change between inspection lots (that is, production lots), and to easily determine whether the manufacturing process is stable or unstable. Then, if it is found that the manufacturing process is unstable, it becomes possible to take countermeasures according to the situation. In addition, the image display unit displays the images of the selected evaluation items for the most recent inspection lot and the past inspection lot so that the images can be compared on the display unit, so that the occurrence of defective products in each inspection lot can be specifically recognized through the images, and the differences can be easily recognized.

尚、前記過去の検査ロットは、前記入力部を介して入力される選択信号によって選定することができる。 The past inspection lot can be selected by a selection signal input through the input section.

また、前記品質情報表示部は、各検査ロットの統計情報を横並びで前記表示部に表示するように構成され、前記画像表示部は、各検査ロットの画像を横並びで前記表示部に表示するように構成されていても良い。 Further, the quality information display unit may be configured to display the statistical information of each inspection lot side by side on the display unit, and the image display unit may be configured to display the images of each inspection lot side by side on the display unit.

また、本発明に係る外観検査装置を適用可能な検査対象物は、例えば、医薬品（錠剤，カプセル等），食品，機械部品や電子部品等を例示することができるが、これに限定されるものではない。 In addition, inspection objects to which the appearance inspection apparatus according to the present invention can be applied include, for example, pharmaceuticals (tablets, capsules, etc.), foods, mechanical parts, electronic parts, etc., but are not limited to these.

以上説明したように、本発明に係る外観検査装置によれば、検査対象物の品質上の統計情報が表示部に画面表示されるので、当該検査対象物の品質上の性状を一見して把握することができる。また、評価項目を選択することにより、当該評価項目について不良と判定された検査対象物の画像が表示部に画面表示されるので、不良と判定された検査対象物が具体的にどのような不良状態であったかを、画像を通じて視覚的に確認することができる。そして、このようにして、品質上の統計情報や不良品の画像を確認することにより、当該検査対象物の製造工程において、不良品が発生するのを抑えるための妥当な対策を講じることが可能となる。 As described above, according to the visual inspection apparatus according to the present invention, the statistical information on the quality of the inspection object is displayed on the display unit, so that the quality characteristics of the inspection object can be grasped at a glance. Further, by selecting an evaluation item, an image of an inspection object judged to be defective for the evaluation item is displayed on the screen of the display unit, so that it is possible to visually confirm through the image what kind of defective condition the inspection object judged to be defective was specifically. By checking the quality statistical information and images of defective products in this way, it is possible to take reasonable measures to suppress the occurrence of defective products in the manufacturing process of the inspection object.

また、品質情報表示部により、検査を終了した直近の検査ロット、及び所定の一以上の過去の検査ロットに係る品質上の統計情報が比較可能に前記表示部に画面表示されるので、表示された各検査ロットの統計情報を確認することで、品質上の性状が検査ロット（即ち、生産ロット）間でどのように推移しているかを認識することができ、製造工程が安定しているか、或いは不安定となっているかを容易に判別することができる。そして、製造工程が不安定となっていることが分かれば、その状況に応じた対策を採ることが可能となる。また、画像表示部により、直近の検査ロット及び過去の検査ロットについて、選択された評価項目についての画像が比較可能に表示部に画面表示されるので、各検査ロットにおける不良品の発生状況を、画像を通じて具体的に認識することができ、その相違点などを容易に認識することができる。 In addition, the quality information display unit displays on the screen the statistical information on the quality of the most recent inspection lot for which inspection has been completed and one or more predetermined inspection lots in the past in a comparable manner. By confirming the displayed statistical information of each inspection lot, it is possible to recognize how the quality properties change between inspection lots (that is, production lots), and to easily determine whether the manufacturing process is stable or unstable. Then, if it is found that the manufacturing process is unstable, it becomes possible to take countermeasures according to the situation. In addition, the image display unit displays images of the selected evaluation items for the most recent inspection lot and the past inspection lot on the screen so that the images can be compared, so that the occurrence of defective products in each inspection lot can be specifically recognized through the images, and the differences can be easily recognized.

本発明の一実施形態に係る外観検査装置の概略構成を示した正面図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is the front view which showed schematic structure of the visual inspection apparatus which concerns on one Embodiment of this invention. 本実施形態に係る外観検査装置の概略構成を示した機能ブロック図である。1 is a functional block diagram showing a schematic configuration of an appearance inspection apparatus according to this embodiment; FIG. 本実施形態に係る品質情報記憶部に格納される品質情報を示したデータテーブルである。4 is a data table showing quality information stored in a quality information storage unit according to the embodiment; 本実施形態に係る画像記憶部に格納される画像データについてのデータ構造を示した説明図である。4 is an explanatory diagram showing the data structure of image data stored in an image storage unit according to the embodiment; FIG. 本実施形態に係る表示部における表示画面の一例を示した説明図である。It is an explanatory view showing an example of a display screen in a display part concerning this embodiment. 本実施形態に係る表示部における表示画面の一例を示した説明図である。It is an explanatory view showing an example of a display screen in a display part concerning this embodiment. 本発明の他の実施形態に係る表示部における表示画面の一例を示した説明図である。FIG. 10 is an explanatory diagram showing an example of a display screen in a display section according to another embodiment of the present invention; 本発明の他の実施形態に係る表示部における表示画面の一例を示した説明図である。FIG. 10 is an explanatory diagram showing an example of a display screen in a display section according to another embodiment of the present invention; 本発明の他の実施形態に係る表示部における表示画面の一例を示した説明図である。FIG. 10 is an explanatory diagram showing an example of a display screen in a display section according to another embodiment of the present invention; 本発明の他の実施形態に係る表示部における表示画面の一例を示した説明図である。FIG. 10 is an explanatory diagram showing an example of a display screen in a display section according to another embodiment of the present invention;

以下、本発明の具体的な実施の形態について、図面を参照しながら説明する。図１は、本発明の一実施形態に係る外観検査装置の概略構成を示した正面図であり、図２は、本実施形態に係る外観検査装置の概略構成を示した機能ブロック図である。 Hereinafter, specific embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a front view showing a schematic configuration of a visual inspection apparatus according to one embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a functional block diagram showing a schematic configuration of the visual inspection apparatus according to this embodiment.

図１及び図２に示すように、本例の外観検査装置１は、検査対象物Ｋを整列して供給する供給部３、供給された検査対象物Ｋを直線搬送する第１直線搬送部１０及び第２直線搬送部１５、第１直線搬送部１０の搬送経路近傍に配設された第１撮像部１１及び第２撮像部１３、第２直線搬送部１５の搬送経路近傍に配設された第３撮像部１６及び第４撮像部１８、選別部２０、制御装置２５、品質評価装置３０並びに入出力装置４０を備えて構成される。 As shown in FIGS. 1 and 2, the appearance inspection apparatus 1 of the present embodiment includes a supply unit 3 that supplies inspection objects K in a row, a first linear transportation unit 10 and a second linear transportation unit 15 that linearly transport the supplied inspection objects K, a first imaging unit 11 and a second imaging unit 13 arranged near the transportation path of the first linear transportation unit 10, a third imaging unit 16 and a fourth imaging unit 18 arranged near the transportation path of the second linear transportation unit 15, and a sorting unit 20. , a control device 25 , a quality evaluation device 30 and an input/output device 40 .

なお、本例における検査対象物Ｋとしては、医薬品（錠剤，カプセル等），食品，機械部品や電子部品等を例示することができるが、これらに限定されるものではない。 Examples of the object to be inspected K in this example include pharmaceuticals (tablets, capsules, etc.), food, mechanical parts, electronic parts, etc., but are not limited to these.

前記供給部３は、多数の検査対象物Ｋが投入されるホッパ４、ホッパ４の下端部から排出される検査対象物Ｋに振動を付与して前進させる振動フィーダ５、振動フィーダ５の搬送終端から排出される検査対象物Ｋを滑落させるシュート６、水平回転し、シュート６から供給された検査対象物Ｋを一列に整列して排出する整列テーブル７、垂直面内で回転する円盤状の部材を有し、前記整列テーブル７から排出された検査対象物Ｋをこの円盤状の部材の外周面に吸着して矢示Ａ方向に搬送する回転搬送部８からなり、多数の検査対象物Ｋを一列に整列させて、順次前記第１直線搬送部１０に受け渡す。 The supply unit 3 has a hopper 4 into which a large number of inspection objects K are loaded, a vibrating feeder 5 that vibrates the inspection objects K discharged from the lower end of the hopper 4 to move them forward, a chute 6 that slides down the inspection objects K discharged from the conveying end of the vibrating feeder 5, an alignment table 7 that rotates horizontally and aligns and discharges the inspection objects K supplied from the chute 6 in a line, and a disc-shaped member that rotates in a vertical plane. A large number of inspection objects K are arranged in a line and sequentially transferred to the first linear conveying unit 10.

前記第１直線搬送部１０及び第２直線搬送部１５は同じ構造を有するもので、第２直線搬送部１５は第１直線搬送部１０に対し上下反転した状態で配置される。これら第１直線搬送部１０及び第２直線搬送部１５は、それぞれ無端環状に形成された搬送ベルトを備えており、第１直線搬送部１０はその搬送ベルトに検査対象物Ｋを吸着して矢示Ｂ方向に搬送する搬送路をその上部に有し、第２直線搬送部１５は同様にして矢示Ｃ方向に搬送する搬送路をその下部に有する。 The first linear conveying section 10 and the second linear conveying section 15 have the same structure, and the second linear conveying section 15 is arranged in a vertically inverted state with respect to the first linear conveying section 10 . Each of the first linear conveying section 10 and the second linear conveying section 15 has a conveying belt formed in an endless ring shape. The first linear conveying section 10 has a conveying path at its upper portion for conveying the inspection object K by attracting it to the conveying belt in the direction of arrow B, and the second linear conveying section 15 similarly has a conveying path at its lower portion for conveying in the direction of arrow C.

そして、第１直線搬送部１０の搬送始端は前記回転搬送部８の搬送終端に接続され、第１直線搬送部１０の搬送終端は第２直線搬送部１５の搬送始端に接続されており、第１直線搬送部１０は回転搬送部８から順次検査対象物Ｋを受け取り、その下面を吸着して搬送終端に搬送し、第２直線搬送部１５に引き渡す。同様に、第２直線搬送部１５は第１直線搬送部１０から順次検査対象物Ｋを受け取り、その上面を吸着して搬送終端に向けて搬送する。 The first linear conveying unit 10 has a conveying start end connected to the conveying end of the rotary conveying unit 8, and the conveying end of the first linear conveying unit 10 is connected to the conveying end of the second linear conveying unit 15. The first linear conveying unit 10 sequentially receives inspection objects K from the rotary conveying unit 8, sucks their lower surfaces, conveys them to the conveying end, and delivers them to the second linear conveying unit 15. Similarly, the second linear transport unit 15 sequentially receives inspection objects K from the first linear transport unit 10, sucks their upper surfaces, and transports them toward the end of transport.

前記第１撮像部１１は第１カメラ１２を備え、前記第２撮像部１３は第２カメラ１４を備え、前記第３撮像部１６は第３カメラ１７を備え、前記第４撮像部１８は第４カメラ１９を備えている。そして、第１撮像部１１及び第３撮像部１６は帯状のレーザ光を検査対象物Ｋに照射して、所謂光切断法により当該検査対象物Ｋの高さ方向の寸法を測定するための画像を第１カメラ１２及び第３カメラ１７によって撮像する。 The first imaging section 11 has a first camera 12 , the second imaging section 13 has a second camera 14 , the third imaging section 16 has a third camera 17 , and the fourth imaging section 18 has a fourth camera 19 . Then, the first imaging unit 11 and the third imaging unit 16 irradiate the inspection object K with belt-shaped laser light, and the first camera 12 and the third camera 17 capture an image for measuring the dimension of the inspection object K in the height direction by a so-called light section method.

また、前記第２カメラ１４は検査対象物Ｋの上面（「表面１」）、前面（「側面１」）及び搬送方向に向かって左側の側面（「側面２」）の画像を撮像し、前記第４カメラ１９は検査対象物Ｋの下面（「表面３」）、後面（「側面５」）及び搬送方向に向かって右側の側面（「側面６」）の画像を撮像する。 The second camera 14 captures images of the upper surface (“surface 1”), the front surface (“side surface 1”), and the left side surface (“side surface 2”) of the inspection object K, and the fourth camera 19 captures the images of the lower surface (“surface 3”), the rear surface (“side surface 5”), and the right side surface (“side surface 6”) of the inspection object K.

そして、第１カメラ１２、第２カメラ１４、第３カメラ１７及び第４カメラ１９によって撮像された画像はそれぞれ前記品質評価装置３０に入力される。尚、第２カメラ１４及び第４カメラ１９によって撮像される検査対象物Ｋの撮像面（検査面）はこれに限られるものではない。また、「表面１」、「側面１」、「側面２」、「表面３」、「側面５」及び「側面６」は、便宜上付けた名称に過ぎないものであり、特に、数字は識別を目的としたものに過ぎない。 The images captured by the first camera 12, the second camera 14, the third camera 17 and the fourth camera 19 are input to the quality evaluation device 30, respectively. The imaging surface (inspection surface) of the inspection object K imaged by the second camera 14 and the fourth camera 19 is not limited to this. In addition, "Surface 1", "Side 1", "Side 2", "Surface 3", "Side 5", and "Side 6" are only names given for convenience, and in particular, the numbers are only for identification purposes.

前記選別部２０は、第２直線搬送部１５の搬送終端に設けられるもので、図示しない選別回収機構と良品回収室及び不良品回収室とを備え、前記品質評価装置３０からの指令に従い前記選別回収機構を駆動して、第２直線搬送部１５の搬送終端に搬送された検査対象物Ｋの内、良品を良品回収室に回収し、不良品を不良品回収室に回収する。 The sorting unit 20 is provided at the transfer end of the second linear transport unit 15, and includes a sorting/recovery mechanism (not shown), a non-defective product recovery chamber, and a defective product recovery chamber. The sorting/recovery mechanism is driven in accordance with a command from the quality evaluation device 30 to recover non-defective products from among the inspection objects K transported to the transport end of the second linear transport unit 15 to the non-defective product recovery chamber, and to collect defective products to the defective product recovery chamber.

尚、前記供給部３、第１直線搬送部１０、第２直線搬送部１５及び選別部２０は前記制御装置２５によってその作動が制御される。 The operation of the supply section 3 , the first linear conveying section 10 , the second linear conveying section 15 and the sorting section 20 is controlled by the control device 25 .

前記入出力装置４０は所謂タッチパネルから構成され、画面表示する表示部４１と、この表示部４１上に重ね合された状態で配設され、オペレータが指などで接触した位置に係るデータを入力する入力部４２とから構成され、この入力部４２を透して外部から前記表示部４１を視認することができるようになっている。 The input/output device 40 is composed of a so-called touch panel, and is composed of a display unit 41 for displaying a screen and an input unit 42 which is superimposed on the display unit 41 and is used to input data relating to a position touched by an operator with a finger or the like.

前記品質評価装置３０は、表示制御部３１、入力制御部３２、評価部３３、品質情報記憶部３４、画像記憶部３５、品質情報表示部３６、画像表示部３７及び通信インターフェース３８から構成される。尚、この品質評価装置３０は、ＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭなどを含むコンピュータから構成され、前記表示制御部３１、入力制御部３２、評価部３３、品質情報記憶部３４、画像記憶部３５、品質情報表示部３６及び画像表示部３７は、コンピュータプログラムによってその機能が実現され、後述する処理を実行する。また、品質情報記憶部３４及び画像記憶部３５はＲＡＭなどの適宜記憶媒体から構成される。 The quality evaluation device 30 comprises a display control section 31 , an input control section 32 , an evaluation section 33 , a quality information storage section 34 , an image storage section 35 , a quality information display section 36 , an image display section 37 and a communication interface 38 . The quality evaluation device 30 is composed of a computer including a CPU, a RAM, a ROM, etc. The display control unit 31, the input control unit 32, the evaluation unit 33, the quality information storage unit 34, the image storage unit 35, the quality information display unit 36, and the image display unit 37 have their functions realized by a computer program, and execute the processes described later. Also, the quality information storage unit 34 and the image storage unit 35 are configured by an appropriate storage medium such as RAM.

前記表示制御部３１は、前記入出力装置４０の表示部４１における画面表示を制御する機能部であり、品質情報表示部３６及び画像表示部３７によって生成された画面を表示部４１に表示する。
The display control unit 31 is a functional unit that controls screen display on the display unit 41 of the input/output device 40 , and displays the screens generated by the quality information display unit 36 and the image display unit 37 on the display unit 41 .

また、前記入力制御部３２は、前記入出力装置４０の入力部４２から入力される信号を処理する機能部であり、例えば、表示部４１の表示画面上でポインタが操作されることによって、当該表示画面上の特定の領域が選択されると、その領域に対して設定された信号を前記品質情報表示部３６及び画像表示部３７に送信する処理を行う。 The input control unit 32 is a functional unit that processes signals input from the input unit 42 of the input/output device 40. For example, when a specific area on the display screen is selected by operating a pointer on the display screen of the display unit 41, the signal set for that area is transmitted to the quality information display unit 36 and the image display unit 37.

前記評価部３３は、前記第１カメラ１２、第２カメラ１４、第３カメラ１７及び第４カメラ１９によって撮像された画像を処理し、当該各画像に対し設定された一以上の評価項目について、その良否を判定する。そして、少なくとも一つの評価項目について不良と判断された場合には、評価部３３は、前記通信インターフェース３８を介して前記制御装置２５に選別信号を送信する。 The evaluation unit 33 processes the images captured by the first camera 12, the second camera 14, the third camera 17, and the fourth camera 19, and determines the quality of one or more evaluation items set for each image. Then, when at least one evaluation item is determined to be defective, the evaluation section 33 transmits a selection signal to the control device 25 via the communication interface 38 .

また、評価部３３は、選別信号の送信とともに、品質情報として、当該検査ロットの識別情報と、検査対象物Ｋの識別情報と、不良と判定された検査面の識別情報と、不良と判定された評価項目とを関連付けて、図３に示したデータテーブルとして前記品質情報記憶部３４に格納する処理、並びに当該検査ロットの識別情報と、検査対象物Ｋの識別情報と、検査面についての識別情報と、その画像データとを関連付けて、図４に示すようなデータ構造で、前記画像記憶部３５に格納する処理を実行する。また、検査対象物Ｋの検査総数をカウントして、検査を終了した時点で、当該検査ロットの検査総数に係るデータを前記品質情報記憶部３４に格納する。 In addition to transmitting the selection signal, the evaluation unit 33 associates the identification information of the inspection lot, the identification information of the inspection object K, the identification information of the inspection surface determined to be defective, and the evaluation item determined to be defective as quality information, and stores the data table shown in FIG. A process of storing in the image storage unit 35 is executed. In addition, the total number of inspected objects K is counted, and data relating to the total number of inspections of the inspection lot is stored in the quality information storage unit 34 when the inspection is completed.

斯くして、前記品質情報記憶部３４には、図３に示すように、前記品質情報が検査ロット毎に格納され、設定された評価項目について不良と判定された場合には、当該検査対象物Ｋに対して割り当てられた不良番号（通し番号）の該当する評価項目にフラグが立てられる。また、前記画像記憶部３５には、不良番号毎に、不良と判定された評価項目に対応する検査面の画像データが格納される。 Thus, as shown in FIG. 3, the quality information storage unit 34 stores the quality information for each inspection lot, and when the set evaluation item is determined to be defective, the corresponding evaluation item of the defect number (serial number) assigned to the inspection object K is flagged. Further, the image storage unit 35 stores image data of inspection surfaces corresponding to evaluation items determined to be defective for each defect number.

尚、本例では、第１カメラ１２によって撮像された画像から算出される上面の高さ情報「３Ｄ１」、及び第３カメラ１７によって撮像された画像から算出される下面の高さ情報「３Ｄ２」については、その評価項目として「欠け」及び「形状」が設定されている。また、第２カメラ１４によって撮像された「表面１」、及び第３カメラ１７によって撮像された「表面３」については、評価項目として「汚点」、「欠け」、「印刷」及び「形状」が設定され、更に、第２カメラ１４によって撮像された「側面１」及び「側面２」、並びに第３カメラ１７によって撮像された「側面５」及び「側面６」については、評価項目として「汚点」、「欠け」及び「形状」が設定されている。また、本例では、便宜上、高さ情報「３Ｄ１」及び「３Ｄ２」、並びに「表面１」、「表面３」、「側面１」、「側面２」、「側面５」及び「側面６」を検査面と称する。 In this example, for the top surface height information “3D1” calculated from the image captured by the first camera 12 and the bottom surface height information “3D2” calculated from the image captured by the third camera 17, “missing” and “shape” are set as evaluation items. Also, for the "Surface 1" imaged by the second camera 14 and the "Surface 3" imaged by the third camera 17, "Spot", "Crack", "Print", and "Shape" are set as evaluation items, and "Spot", "Crack", and "Shape" are set as evaluation items for "Side 1" and "Side 2" imaged by the second camera 14, and "Side 5" and "Side 6" imaged by the third camera 17. In addition, in this example, for convenience, the height information "3D1" and "3D2" and "surface 1", "surface 3", "side surface 1", "side surface 2", "side surface 5" and "side surface 6" are referred to as inspection surfaces.

前記品質情報表示部３６は、検査を終了した直後の検査ロットについて、前記品質情報記憶部３４に格納された品質情報に基づき、各評価項目について、その品質に係る統計情報を、前記表示制御部３１を介して前記表示部４１に画面表示する。表示部４１に表示される統計情報の一例を図５に示す。この図５では、統計情報として、「検査総数」、「良品数」、「不良品数」、「良品率」、「不良率」、各検査面における評価項目ごとの不良品数の他、各評価項目についての不良品の内訳を帯グラフの形式で示している。「不良品数」は「不良品番号」の最後の数字が該当する。また、各検査面における評価項目ごとの不良品数は、前記品質情報記憶部３４に格納された品質情報を基に、各検査面における評価項目ごとに付されたフラグ数をカウントすることによって算出される。 Based on the quality information stored in the quality information storage unit 34, the quality information display unit 36 displays statistical information related to the quality of each evaluation item on the display unit 41 via the display control unit 31 for the inspection lot immediately after the inspection is completed. An example of statistical information displayed on the display unit 41 is shown in FIG. In FIG. 5, as statistical information, the "total number of inspections", "number of non-defective products", "number of defective products", "percentage of non-defective products", "percentage of defective products", the number of defective products for each evaluation item on each inspection surface, and the breakdown of defective products for each evaluation item are shown in the form of a bar graph. The last number of the "defective item number" corresponds to the "defective item number". The number of defective products for each evaluation item on each inspection surface is calculated by counting the number of flags attached to each evaluation item on each inspection surface based on the quality information stored in the quality information storage unit 34.

また、図５において、「系列１」及び「系列２」という項目が表示されているが、本例では、図１に示した供給部３、第１直線搬送部１０、第２直線搬送部１５、第１撮像部１１、第２撮像部１３、第３撮像部１６、第４撮像部１８及び選別部２０から構成される装置が２系列あり、一方を「系列１」と称し、他方を「系列２」と称している。したがって、前記品質情報記憶部３４には系列毎に図３に示した品質情報が格納され、前記画像記憶部３５には系列毎に図４に示した画像データが格納される。 In FIG. 5, items "system 1" and "system 2" are displayed, but in this example, there are two systems of the apparatus composed of the supply unit 3, the first linear transport unit 10, the second linear transport unit 15, the first imaging unit 11, the second imaging unit 13, the third imaging unit 16, the fourth imaging unit 18, and the sorting unit 20 shown in FIG. Therefore, the quality information storage unit 34 stores the quality information shown in FIG. 3 for each series, and the image storage unit 35 stores the image data shown in FIG. 4 for each series.

前記画像表示部３７は、前記入力部４２及び入力制御部３２を介して前記評価項目を選択する選択信号を受け付け、該選択信号に対応した評価項目について不良と判定された検査対象物の画像データを前記画像記憶部３５から読み出し、対応する画像を前記表示制御部３１を介して前記表示部４１に画面表示する。 The image display unit 37 receives a selection signal for selecting the evaluation item via the input unit 42 and the input control unit 32, reads the image data of the inspection object determined to be defective for the evaluation item corresponding to the selection signal from the image storage unit 35, and displays the corresponding image on the display unit 41 via the display control unit 31.

例えば、図５に示した表示画面において、ポインタなどにより、「系列１」についての「表面１」の「汚点」の数字が選択されると、選択されたことを強調表示するために、その数字が四角で囲まれるとともに、当該選択信号が入力部４２及び入力制御部３２を介して入力される。そして、画像表示部３７はこの選択信号を受けて、品質情報記憶部３４に格納された品質情報を基に、「系列１」について、「表面１」の「汚点」にフラグが付けられた不良番号を読み出すと共に、読み出した各不良番号の「表面１」の画像データを前記画像記憶部３５から読み出し、その画像を前記表示制御部３１を介して表示部４１に画面表示する。尚、図６に示した例では、画面上でスクロールすることにより、不良と判定された４５１個の画像が表示部４１に表示される。 For example, on the display screen shown in FIG. 5, when the number of "Blemish" of "Surface 1" for "Series 1" is selected with a pointer or the like, the number is surrounded by a square to highlight the selection, and the selection signal is input via the input unit 42 and the input control unit 32. In response to this selection signal, the image display unit 37 reads out the defect number flagged as the “dirt” of the “surface 1” for the “series 1” based on the quality information stored in the quality information storage unit 34, reads the image data of the read defect number “surface 1” from the image storage unit 35, and displays the image on the display unit 41 via the display control unit 31. In the example shown in FIG. 6, 451 images determined to be defective are displayed on the display unit 41 by scrolling the screen.

以上の構成を備えた本例の外観検査装置１によれば、多数の検査対象物Ｋがホッパ４に投入され、投入された検査対象物Ｋは当該ホッパ４から振動フィーダ５、シュート６を経て整列テーブル７に供給される。そして、この整列テーブル７により一列に整列された後、回転搬送部８を経由して順次前記第１直線搬送部１０に受け渡される。 According to the visual inspection apparatus 1 of this example having the above configuration, a large number of inspection objects K are put into the hopper 4, and the put inspection objects K are supplied from the hopper 4 to the alignment table 7 via the vibrating feeder 5 and the chute 6. After being aligned in a line by the aligning table 7 , the wafers are successively delivered to the first linear transport section 10 via the rotary transport section 8 .

ついで、各検査対象物Ｋは順次前記第１直線搬送部１０によりその下面を吸着された状態で矢示Ｂ方向に搬送されて、その搬送終端で前記第２直線搬送部１５に受け渡され、次に、当該第２直線搬送部１５によりその上面を吸着された状態で矢示Ｃ方向に搬送される。そして、各検査対象物Ｋは、第１直線搬送部１０によって矢示Ｂ方向に搬送される過程で、第１撮像部１１（第１カメラ１２）及び第２撮像部１３（第２カメラ１４）によりそれぞれ画像が撮像されて、当該画像データが品質評価装置３０に入力され、また、第２直線搬送部１５によって矢示Ｃ方向に搬送される過程で、第３撮像部１６（第３カメラ１７）及び第４撮像部１８（第４カメラ１９）によりそれぞれ画像が撮像されて、当該画像データが前記品質評価装置３０に入力される。 Next, each inspection object K is sequentially conveyed in the direction of arrow B with its lower surface sucked by the first linear conveying unit 10, transferred to the second linear conveying unit 15 at the end of the conveying, and then conveyed in the direction of arrow C with its upper surface sucked by the second linear conveying unit 15. Then, while each inspection object K is conveyed in the arrow B direction by the first linear conveying unit 10, images are captured by the first imaging unit 11 (first camera 12) and the second imaging unit 13 (second camera 14), respectively, and the image data is input to the quality evaluation device 30. Also, in the process of being conveyed in the arrow C direction by the second linear conveying unit 15, the third imaging unit 16 (third camera 17) and the fourth imaging unit 18 (fourth camera 19). , respectively, and the image data is input to the quality evaluation device 30 .

そして、品質評価装置３０では、前記評価部３３により、第１カメラ１２、第２カメラ１４、第３カメラ１７及び第４カメラ１９から入力された画像データが処理され、当該各画像に対し設定された評価項目について、その良否が判定される。そして、少なくとも一つの評価項目について不良と判断された場合には、評価部３３は、前記通信インターフェース３８を介して前記制御装置２５に選別信号を送信し、この制御装置２５による制御の下で、該当する検査対象物Ｋが選別装置２０の不良品回収室に回収される。尚、選別信号が送信されない良品については、良品回収室に回収される。 In the quality evaluation device 30, the image data input from the first camera 12, the second camera 14, the third camera 17, and the fourth camera 19 are processed by the evaluation unit 33, and the quality of the evaluation items set for each image is determined. When at least one evaluation item is determined to be defective, the evaluation unit 33 transmits a sorting signal to the control device 25 via the communication interface 38, and under the control of the control device 25, the corresponding inspection object K is collected in the defective product collection chamber of the sorting device 20. Non-defective products for which the sorting signal is not transmitted are collected in the non-defective product collection room.

また、評価部３３は、選別信号の送信とともに、品質情報として、当該検査ロットの識別情報と、検査対象物Ｋの識別情報と、不良と判定された検査面の識別情報と、不良と判定された評価項目とを関連付けて、系列ごとに前記品質情報記憶部３４に格納し、また、当該検査ロットの識別情報と、検査対象物Ｋの識別情報と、検査面についての識別情報と、その画像データとを関連付けて、系列ごとに前記画像記憶部３５に格納する処理を行う。また、評価部３３は、検査対象物Ｋの検査総数をカウントして、検査を終了した時点で、当該検査ロットの検査総数に係るデータを前記品質情報記憶部３４に格納する。 In addition to transmitting the selection signal, the evaluation unit 33 associates, as quality information, the identification information of the inspection lot, the identification information of the inspection object K, the identification information of the inspection surface determined to be defective, and the evaluation item determined to be defective in the quality information storage unit 34 for each series, and stores the identification information of the inspection lot, the identification information of the inspection object K, the identification information of the inspection surface, and the image data thereof in the image storage unit 35 for each series. do In addition, the evaluation unit 33 counts the total number of inspections of the inspection object K, and stores the data related to the total number of inspections of the inspection lot in the quality information storage unit 34 when the inspection is completed.

このようにして、当該検査ロットの全ての検査対象物Ｋについて検査を終了すると、前記品質情報表示部３６は、検査を終了した当該検査ロットについて、前記品質情報記憶部３４に格納された品質情報に基づき、各評価項目について、例えば、図５に示すように、その品質に係る統計情報を、前記表示制御部３１を介して前記表示部４１に画面表示する。 When the inspection of all the inspection objects K of the inspection lot is completed in this way, the quality information display unit 36 displays statistical information related to the quality of each evaluation item on the display unit 41 via the display control unit 31 based on the quality information stored in the quality information storage unit 34, for example, as shown in FIG.

そして、例えば、図５に示した表示画面において、ポインタなどにより、「系列１」についての「表面１」の「汚点」の数字が選択されると、当該選択信号が入力部４２及び入力制御部３２を介して入力され、画像表示部３７はこの選択信号を受けて、図６に示すように、これに対応した画像データを前記画像記憶部３５から読み出し、その画像を前記表示制御部３１を介して表示部４１に画面表示する。同様にして、系列、検査面及び評価項目によって特定される欄を任意に選択することにより、画像表示部３７によって該当する画像データが前記画像記憶部３５から読み出され、その画像が表示部４１に表示される。 Then, for example, on the display screen shown in FIG. 5, when the number of "Blemish" of "Front 1" for "Series 1" is selected by a pointer or the like, the selection signal is input via the input unit 42 and the input control unit 32, and the image display unit 37 receives this selection signal, reads the corresponding image data from the image storage unit 35 as shown in FIG. 6, and displays the image on the display unit 41 via the display control unit 31. Similarly, by arbitrarily selecting a column specified by the series, inspection surface, and evaluation item, the corresponding image data is read out from the image storage unit 35 by the image display unit 37, and the image is displayed on the display unit 41.

斯くして、本例の外観検査装置１によれば、検査対象物Ｋの品質上の統計情報が表示部４１に画面表示されるので、当該検査対象物Ｋの品質上の性状を一見して把握することができる。また、表示画面上でポインタなどを介して評価項目を選択することにより、当該評価項目について不良と判定された検査対象物Ｋの画像が表示部４１に画面表示されるので、不良と判定された検査対象物Ｋが具体的にどのような不良状態であったかを、画像を通じて視覚的に確認することができる。そして、このようにして、品質上の統計情報や不良品の画像を確認することにより、当該検査対象物Ｋの製造工程において、不良品が発生するのを抑えるための妥当な対策を講じることが可能となる。 Thus, according to the visual inspection apparatus 1 of the present embodiment, the statistical information on the quality of the inspection object K is displayed on the screen on the display unit 41, so that the quality characteristics of the inspection object K can be grasped at a glance. Further, by selecting an evaluation item on the display screen via a pointer or the like, the image of the inspection object K judged to be defective for the evaluation item is displayed on the screen of the display unit 41, so that it is possible to visually confirm what kind of defective condition the inspection object K judged to be defective was specifically through the image. By checking the quality statistical information and images of defective products in this way, it is possible to take reasonable measures to suppress the occurrence of defective products in the manufacturing process of the inspection object K.

以上、本発明の一実施の形態について説明したが、本発明が採り得る具体的な態様は、何ら上例のものに限定されるものではない。 Although one embodiment of the present invention has been described above, specific aspects that the present invention can take are not limited to the above examples.

例えば、前記品質情報表示部３６は、検査を終了した直後の検査ロット及び所定の一以上の過去の検査ロットに係る前記統計情報を比較可能に前記表示部４１に画面表示するように構成されていても良い。 For example, the quality information display unit 36 may be configured to display on the display unit 41 the statistical information related to the inspection lot immediately after the inspection and one or more predetermined inspection lots in the past so as to be comparable.

例えば、図７に示した表示画面において、ポインタなどにより「ロット比較」というタブを選択する信号が前記入力部４２及び入力制御部３２を介して入力され、ついで、「比較」というタブを選択する信号が入力された後、比較すべき検査ロットの識別情報が前記入力部４２及び入力制御部３２を介して入力されると、品質情報表示部３６は、選択された検査ロットの品質情報を前記品質情報記憶部３４から読み出し、図８及び図９に示すように、比較すべき品質情報を横並びで表示部４１に画面表示する。図８に示した画面例は、選択された各検査ロットの品質情報等を総合的に表示した画面であり、不良率を帯グラフで示し、処理量を棒グラフで示し、稼働率を円グラフで示している。また、図９に示した画面例は、選択された各検査ロットの不良内訳を帯グラフで示し、各評価項目における不良個数を棒グラフで示している。 For example, on the display screen shown in FIG. 7, when a signal for selecting the tab "lot comparison" is input by a pointer or the like via the input unit 42 and the input control unit 32, and then a signal for selecting the tab "comparison" is input, the identification information of the inspection lot to be compared is input via the input unit 42 and the input control unit 32. When the identification information of the inspection lot to be compared is input via the input unit 42 and the input control unit 32, the quality information display unit 36 reads the quality information of the selected inspection lot from the quality information storage unit 34, and displays as shown in FIGS. , the quality information to be compared is displayed side by side on the display unit 41 on the screen. The screen example shown in FIG. 8 is a screen that comprehensively displays the quality information and the like of each selected inspection lot. The defective rate is indicated by a band graph, the processing amount is indicated by a bar graph, and the operating rate is indicated by a pie chart. In the screen example shown in FIG. 9, the breakdown of defects in each selected inspection lot is shown in a band graph, and the number of defects in each evaluation item is shown in a bar graph.

斯くして、このように、複数の検査ロットについて、その品質上の統計情報を比較可能に表示部４１に表示すれば、各検査ロットにおける不良品の発生状況を具体的に認識することができ、また、その相違点などを認識することができる。更に、品質上の性状が検査ロット（即ち、生産ロット）間でどのように推移しているかを容易に認識することができ、製造工程が安定しているか、或いは不安定となっているかを容易に判別することができる。そして、製造工程が不安定となっていることが分かれば、その状況に応じた対策を採ることが可能となる。 Thus, by displaying statistical information on the quality of a plurality of inspection lots on the display unit 41 in a comparable manner, it is possible to specifically recognize the occurrence of defective products in each inspection lot, and also to recognize the differences. Furthermore, it is possible to easily recognize how quality properties change between inspection lots (that is, production lots), and to easily determine whether the manufacturing process is stable or unstable. Then, if it is found that the manufacturing process is unstable, it becomes possible to take countermeasures according to the situation.

また、同様にして、前記画像表示部３７は、検査を終了した直後の検査ロット及び所定の一以上の過去の検査ロットに係る画像を比較可能に前記表示部４１に画面表示するように構成されていても良い。このようにして表示部４１に表示される画面の一例を図１０に示す。 Similarly, the image display unit 37 may be configured to display on the display unit 41 an image of an inspection lot immediately after the inspection and one or more predetermined inspection lots in the past so that the images can be compared. An example of the screen displayed on the display unit 41 in this way is shown in FIG.

このような態様は、例えば、図７に示した表示画面において、ポインタなどにより「ロット比較」というタブを選択する信号が前記入力部４２及び入力制御部３２を介して入力され、ついで、「比較」というタブを選択する信号が入力された後、比較すべき検査ロットの識別情報が前記入力部４２及び入力制御部３２を介して入力され、且つ表示すべき検査面の選択信号が前記入力部４２及び入力制御部３２を介して入力されると、画像表示部３７は、選択された各検査ロットについて、選択された検査面の画像データを前記画像記憶部３５から読み出し、図１０に示すように、比較すべき画像を横並びで表示部４１に表示する。 In such a mode, for example, on the display screen shown in FIG. reads the image data of the selected surface to be inspected from the image storage unit 35 for each selected inspection lot, and displays the images to be compared side by side on the display unit 41 as shown in FIG.

斯くして、検査直後の検査ロット及び過去の検査ロットについて、選択された評価項目の画像を比較可能に表示部４１に表示すれば、各検査ロットにおける不良品の発生状況を、画像を通じて具体的に認識することができ、その相違点などを容易に認識することができる。 In this way, if the images of the selected evaluation items are displayed on the display unit 41 so as to allow comparison between the inspection lot immediately after the inspection and the inspection lot in the past, the occurrence of defective products in each inspection lot can be specifically recognized through the images, and the differences can be easily recognized.

１ 外観検査装置
２ 搬送装置
３ 供給部
１０ 第１直線搬送部
１１ 第１カメラ
１２ 第２カメラ
１５ 第２直線搬送部
１６ 第３カメラ
１７ 第４カメラ
２０ 選別蔵置
２５ 制御装置
３０ 品質評価装置
３１ 表示制御部
３２ 入力制御部
３３ 評価部
３４ 品質情報記憶部
３５ 画像記憶部
３６ 品質情報表示部
３７ 画像表示部
４０ タッチパネル（入出力装置）
４１ 表示部
４２ 入力部
Ｋ 検査対象物
1 visual inspection device 2 conveying device 3 supply unit 10 first linear conveying unit 11 first camera 12 second camera 15 second linear conveying unit 16 third camera 17 fourth camera 20 sorting and storing unit 25 control device 30 quality evaluation device 31 display control unit 32 input control unit 33 evaluation unit 34 quality information storage unit 35 image storage unit 36 quality information display unit 37 Image display unit 40 touch panel (input/output device)
41 display unit 42 input unit K object to be inspected

Claims (4)

所定の搬送路に沿って検査対象物を搬送する搬送装置と、
前記搬送装置によって搬送される前記検査対象物の外観を撮像する撮像カメラと、
前記撮像カメラによって撮像された前記検査対象物の画像を基に、該画像に対し設定された一以上の評価項目について、その良否を判定する評価部を有する品質評価装置と、
前記品質評価装置に接続され、該品質評価装置に情報を入力する入力部、及び該品質評価装置から出力される情報を画面表示する表示部を有する入出力装置と、
前記評価部によって不良と判定された検査対象物を選別する選別装置とを備えた外観検査装置において、
前記品質評価装置は、更に、
前記評価部により不良と判定された検査対象物について、その品質情報として、少なくとも、該検査対象物の識別情報と、不良と判定された評価項目とを関連付けて、検査ロット毎に記憶する品質情報記憶部と、
前記評価部により不良と判定された検査対象物について、その画像情報として、該検査対象物の識別情報と、該検査対象物の画像データとを関連付けて、前記検査ロット毎に記憶する画像記憶部と、
前記品質情報記憶部に格納された前記品質情報に基づき、前記評価項目について、その品質に係る統計情報を前記表示部に画面表示する品質情報表示部と、
前記入力部を介して前記評価項目を選択する選択信号を受け付け、該選択信号に対応した評価項目について不良と判定された検査対象物の画像データを前記画像記憶部から読み出して前記表示部に画面表示する画像表示部とを備え、
前記品質情報表示部は、更に、検査を終了した直近の検査ロット、及び所定の一以上の過去の検査ロットに係る前記統計情報を比較可能に前記表示部に画面表示するように構成され、
前記画像表示部は、更に、前記直近の検査ロット及び前記過去の検査ロットについて、前記選択信号に対応した画像データを前記画像記憶部から読み出して、比較可能に前記表示部に画面表示するように構成されていることを特徴とする外観検査装置。 a conveying device that conveys an inspection object along a predetermined conveying path;
an imaging camera that captures the appearance of the inspection object transported by the transport device;
a quality evaluation device having an evaluation unit that determines the quality of one or more evaluation items set for the image based on the image of the inspection object captured by the imaging camera;
an input/output device connected to the quality evaluation device and having an input unit for inputting information to the quality evaluation device and a display unit for displaying information output from the quality evaluation device on a screen;
A visual inspection apparatus comprising a sorting device that sorts out inspection objects determined to be defective by the evaluation unit,
The quality evaluation device further
a quality information storage unit that associates, as quality information, at least identification information of the inspection object with an evaluation item that is determined to be defective, and stores the inspection object determined to be defective by the evaluation unit for each inspection lot ;
an image storage unit that associates identification information of the inspection object with image data of the inspection object as image information of the inspection object determined to be defective by the evaluation unit, and stores the image data of the inspection object for each inspection lot ;
a quality information display unit for displaying statistical information relating to the quality of the evaluation item on the display unit based on the quality information stored in the quality information storage unit;
an image display unit that receives a selection signal for selecting the evaluation item via the input unit, reads image data of an inspection object determined to be defective for the evaluation item corresponding to the selection signal from the image storage unit, and displays the image data on the display unit ;
The quality information display unit is further configured to display on the display unit the statistical information relating to the most recent inspection lot for which inspection has been completed and one or more predetermined past inspection lots so as to be comparable,
The image display unit is further configured to read image data corresponding to the selection signal for the most recent inspection lot and the past inspection lot from the image storage unit, and display the image data on the display unit for comparison. 前記撮像カメラは、前記検査対象物に対し設定された複数の検査面の画像を撮像するように構成され、
前記評価部は、前記各検査面の画像に対し設定された一以上の評価項目について、その良否を判定するように構成され、
前記品質情報記憶部は、前記評価部により不良と判定された検査対象物について、その品質情報として、少なくとも、該検査対象物の識別情報と、不良と判定された検査面の情報と、不良と判定された評価項目とを関連付けて記憶するように構成され、
前記画像記憶部は、前記評価部により不良と判定された検査対象物について、その画像情報として、該検査対象物の識別情報と、検査面についての識別情報と、対応する画像データとを関連付けて記憶するように構成され、
前記品質情報表示部は、前記品質情報記憶部に格納された情報に基づいて、各検査面の評価項目について、その品質に係る統計情報を前記表示部に画面表示するように構成され、
画像表示部は、前記入力部を介して、各検査面に対し設定された評価項目を選択する選択信号を受け付け、該選択信号に対応した検査面の評価項目について不良と判定された検査対象物の画像データを前記画像記憶部から読み出して、前記表示部に画面表示するように構成されていることを特徴とする請求項１記載の外観検査装置。 The imaging camera is configured to capture images of a plurality of inspection planes set for the inspection object,
The evaluation unit is configured to determine the quality of one or more evaluation items set for the image of each inspection surface,
The quality information storage unit is configured to associate and store at least identification information of the inspection object, information of the inspection surface determined to be defective, and evaluation items determined to be defective as quality information for the inspection object determined to be defective by the evaluation unit,
The image storage unit is configured to associate and store identification information of the inspection object, identification information of the inspection surface, and corresponding image data as image information for the inspection object determined to be defective by the evaluation unit,
The quality information display unit is configured to display on the display unit statistical information related to the quality of evaluation items for each inspection surface based on the information stored in the quality information storage unit,
2. The appearance inspection apparatus according to claim 1, wherein the image display unit receives a selection signal for selecting an evaluation item set for each inspection surface via the input unit, reads image data of an inspection object determined as being defective for the evaluation item of the inspection surface corresponding to the selection signal from the image storage unit, and displays the image data on the display unit. 前記過去の検査ロットは、前記入力部を介して入力される選択信号によって選定されることを特徴とする請求項１又は２記載の外観検査装置。 3. The visual inspection apparatus according to claim 1 , wherein said past inspection lot is selected by a selection signal input through said input section. 前記品質情報表示部は、各検査ロットの統計情報を横並びで前記表示部に表示するように構成され、
前記画像表示部は、各検査ロットの画像を横並びで前記表示部に表示するように構成されていることを特徴とする請求項１から３記載のいずれかの外観検査装置。 The quality information display unit is configured to display statistical information of each inspection lot side by side on the display unit,
4. The visual inspection apparatus according to claim 1 , wherein the image display unit displays the images of the inspection lots side by side on the display unit.
JP2019123396A 2019-07-02 2019-07-02 Appearance inspection device Active JP7315282B2 (en)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019123396A JP7315282B2 (en) 2019-07-02 2019-07-02 Appearance inspection device
KR1020200078555A KR102828579B1 (en) 2019-07-02 2020-06-26 Appearance inspection apparatus
CN202010625531.5A CN112179906A (en) 2019-07-02 2020-07-02 Appearance inspection device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019123396A JP7315282B2 (en) 2019-07-02 2019-07-02 Appearance inspection device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2021009086A JP2021009086A (en) 2021-01-28
JP7315282B2 true JP7315282B2 (en) 2023-07-26

Family

ID=73919949

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2019123396A Active JP7315282B2 (en) 2019-07-02 2019-07-02 Appearance inspection device

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP7315282B2 (en)
KR (1) KR102828579B1 (en)
CN (1) CN112179906A (en)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7484733B2 (en) * 2021-01-06 2024-05-16 オムロン株式会社 Management system, management device, management method, and program
JP7803068B2 (en) * 2021-09-30 2026-01-21 オムロン株式会社 Image inspection method and image inspection device
JP7630406B2 (en) * 2021-10-15 2025-02-17 アンリツ株式会社 Product Inspection Equipment
JP7189642B1 (en) 2022-07-20 2022-12-14 株式会社ティー・エム・ピー Deep-fried tofu inspection equipment
KR102681311B1 (en) * 2023-12-18 2024-07-04 (주)보원메탈 Locknut manufacturing and inspection method using ai solutions
KR102795538B1 (en) * 2024-05-30 2025-04-15 주식회사 엔비지 Device of tapered roller appearance inspection

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000077290A (en) 1998-08-28 2000-03-14 Oki Electric Ind Co Ltd Managing system for semiconductor production process
JP2000200819A (en) 2000-01-25 2000-07-18 Hitachi Ltd Inspection data analysis system and inspection data analysis method
JP2001153621A (en) 1999-11-30 2001-06-08 Nidek Co Ltd Appearance inspecting device
JP2004228163A (en) 2003-01-20 2004-08-12 On Denshi Kk Method and apparatus for collecting inspection data of respective solder ball locations
JP2006208064A (en) 2005-01-26 2006-08-10 Ckd Corp Inspection device and PTP packaging machine
JP2006214814A (en) 2005-02-02 2006-08-17 Ckd Corp Inspection device and PTP packaging machine
JP2006220448A (en) 2005-02-08 2006-08-24 Ckd Corp Inspection device and PTP packaging machine
JP2006308351A (en) 2005-04-27 2006-11-09 Jst Mfg Co Ltd Electronic component inspection method and electronic component inspection system using the same
JP2010078592A (en) 2008-08-28 2010-04-08 Sii Nanotechnology Inc Fluorescence x-ray analyzer
JP2015200595A (en) 2014-04-09 2015-11-12 Ckd株式会社 Inspection device and PTP packaging machine

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06300698A (en) * 1993-04-19 1994-10-28 Toshiba Eng Co Ltd Ptp sheet external appearance inspecting apparatus
JPH08271433A (en) * 1995-03-30 1996-10-18 Nikon Corp Tablet inspection device
JP3639636B2 (en) * 1995-04-25 2005-04-20 株式会社ルネサステクノロジ Semiconductor wafer failure analysis apparatus and failure analysis method
JPH1145919A (en) * 1997-07-24 1999-02-16 Hitachi Ltd Semiconductor substrate manufacturing method
JP6451142B2 (en) * 2014-08-20 2019-01-16 オムロン株式会社 Quality control device and control method for quality control device
JP2016208064A (en) * 2015-04-15 2016-12-08 リコーイメージング株式会社 Imaging apparatus and imaging method
CN108090669B (en) * 2017-12-15 2021-12-28 江西汇仁药业股份有限公司 Traditional Chinese medicine quality evaluation method

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000077290A (en) 1998-08-28 2000-03-14 Oki Electric Ind Co Ltd Managing system for semiconductor production process
JP2001153621A (en) 1999-11-30 2001-06-08 Nidek Co Ltd Appearance inspecting device
JP2000200819A (en) 2000-01-25 2000-07-18 Hitachi Ltd Inspection data analysis system and inspection data analysis method
JP2004228163A (en) 2003-01-20 2004-08-12 On Denshi Kk Method and apparatus for collecting inspection data of respective solder ball locations
JP2006208064A (en) 2005-01-26 2006-08-10 Ckd Corp Inspection device and PTP packaging machine
JP2006214814A (en) 2005-02-02 2006-08-17 Ckd Corp Inspection device and PTP packaging machine
JP2006220448A (en) 2005-02-08 2006-08-24 Ckd Corp Inspection device and PTP packaging machine
JP2006308351A (en) 2005-04-27 2006-11-09 Jst Mfg Co Ltd Electronic component inspection method and electronic component inspection system using the same
JP2010078592A (en) 2008-08-28 2010-04-08 Sii Nanotechnology Inc Fluorescence x-ray analyzer
JP2015200595A (en) 2014-04-09 2015-11-12 Ckd株式会社 Inspection device and PTP packaging machine

Also Published As

Publication number Publication date
KR102828579B1 (en) 2025-07-02
JP2021009086A (en) 2021-01-28
CN112179906A (en) 2021-01-05
KR20210003677A (en) 2021-01-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP7315282B2 (en) Appearance inspection device
JP6520885B2 (en) Inspection device
EP3106948B1 (en) Quality control apparatus and control method
JP6022860B2 (en) Article inspection apparatus and article inspection method
JP5297049B2 (en) Inspection equipment
JP6412034B2 (en) Inspection equipment
US8131060B2 (en) Process control method, data registration program, and method for manufacturing electronic device
JP7484733B2 (en) Management system, management device, management method, and program
US20240085896A1 (en) Quality improvement assisting device and quality improvement assisting system
US20240202660A1 (en) Production management system and non-transitory storage medium storing production management program
JP4925589B2 (en) Inspection device and PTP packaging machine
JP2011117866A (en) Visual inspection apparatus
JP6188620B2 (en) Inspection device and PTP packaging machine
JP4849805B2 (en) Inspection device and PTP packaging machine
JP7784987B2 (en) Video recording system, video recording method, and program
TW202227810A (en) Inspection result display device, manufacturing system, inspection result display method, manufacturing method, and program
JP7438570B2 (en) Inspection equipment and inspection method
TWI678327B (en) Warehousing system based on printed circuit board appearance image picking
JP4907119B2 (en) Article processing equipment
JP6978131B1 (en) Visual inspection method and visual inspection equipment
CN116669868B (en) Sorting device
JP2020091170A (en) Article inspection information management device, program therefor, and article inspection system
JP4164113B1 (en) Isoclass sorter
CN115848870A (en) Lean material sorting method, device, equipment and medium based on high-density board card
JP6527094B2 (en) Article inspection device

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20220517

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20230217

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20230228

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20230420

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20230613

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20230707

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7315282

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150