JP7316901B2 - 切削ブレードの識別方法及び加工装置 - Google Patents

Description

本発明は、切削ブレードの識別方法及び加工装置に関する。

半導体ウエーハなどのワークを個々のチップに分割する切削装置は、ワークを切削加工する切削ブレードを用いている（例えば、特許文献１参照）。

特開２０１１－７９０９８号公報

通常、切削ブレードを収容するブレードケースには、ブレードのスペック等を示すブレード情報が記載されているが、ブレードケースから取りだした切削ブレードは、スペックが分からなくなってしまう。

ブレード情報は、ボンドや砥粒の種類・砥粒径・刃先長さ・刃厚などを含む切削ブレードの品種を示す情報が含まれる。中古の切削ブレードの場合には、ブレード情報は、前述した切削ブレードの品種を示す情報に加え、カット長さや摩耗量などの使用データを含む。誤ったブレード情報を基づいて、切削ブレードを用いて加工をすると加工不良が生じる。

特にブレード交換装置を有する特許文献１等に示された切削装置は、ブレードストッカーにケースから取りだした複数の切削ブレードを収容しているので切削ブレード単体でも切削ブレードのスペックを管理出来る体制にする必要がある。

そのため、特許文献１に示された切削装置は、基台付き切削ブレードの基台部分にブレード情報を記録するバーコードを印字することで管理する手法が用いられている。しかしながら、全ての切削ブレードに決まった方法で印字する必要があり柔軟性に欠けるという問題があった。

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、切削ブレードのブレード情報を容易に識別することができる切削ブレードの識別方法及び加工装置を提供することである。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の切削ブレードの識別方法は、切削ブレードの切り刃の砥粒及びボンド材が露出した表面の一部を撮像した画像と、切削ブレードの品種と使用履歴との少なくともいずれか一つを含むブレード情報と、を紐づけてブレード管理部に登録するブレード管理ステップと、該ブレード情報を確認したい切削ブレードの切り刃の砥粒及びボンド材が露出した表面の一部を撮像する撮像ステップと、該撮像ステップにて撮像された画像と一致する切り刃の画像を該ブレード管理部から探し、一致した画像と紐づけられたブレード情報を確認するブレード情報確認ステップと、を備えることを特徴とする。

前記切削ブレードの識別方法では、加工装置において実施される前述の切削ブレードの識別方法であって、該加工装置は、切削ブレードを先端に固定するスピンドルと、ワークを保持する保持テーブルと、複数の切削ブレードを収容するブレードストッカーと、該スピンドルと該ブレードストッカーとの間で切削ブレードを搬送し着脱するブレード交換部と、切削ブレードの切り刃の砥粒及びボンド材が露出した表面の一部を撮像する撮像部と、を備え、該ブレード管理ステップは、該ブレードストッカーに収容される切削ブレードに対して実施され、該撮像ステップ及び該ブレード情報確認ステップは、該スピンドルに装着するために該ブレード交換部が該ブレードストッカーから搬送する切削ブレードに対して実施されても良い。

本発明の加工装置は、保持テーブルに保持されたワークを加工する切削ブレードを先端に固定するスピンドルと、複数の切削ブレードを収容するブレードストッカーと、該スピンドルと該ブレードストッカーとの間で切削ブレードを搬送し着脱するブレード交換部と、切削ブレードの切り刃の砥粒及びボンド材が露出した表面の一部を撮像する撮像部と、該ブレードストッカーに収容される切削ブレードの切り刃の砥粒及びボンド材が露出した表面の一部の画像と、品種と使用履歴との少なくともいずれかを含むブレード情報と、を紐づけて記憶するブレード管理部と、データ処理部と、を備え、該撮像部は、該ブレード交換部が該スピンドルに装着するために該ブレードストッカーから搬送する切削ブレードの切り刃の表面の一部を撮像し、該データ処理部は、撮像された画像と一致する画像を該ブレード管理部から探し、一致した画像と紐づけられたブレード情報を確認することを特徴とする。

本発明は、切削ブレードのブレード情報を容易に識別することができるという効果を奏する。

図１は、実施形態１に係る加工装置の構成例を示す斜視図である。 図２は、図１に示された加工装置の切削ユニットの断面図である。 図３は、実施形態１に係る切削ブレードの平面図である。 図４は、図３中のＩＶ部を拡大して示す平面図である。 図５は、図１に示された加工装置のブレード交換ユニットの構成例を示す斜視図である。 図６は、図５に示されたブレード交換ユニットのブレードストッカーの構成例を示す斜視図である。 図７は、図５に示されたブレード交換ユニットのブレード着脱ユニットの構成例を示す斜視図である。 図８は、図７に示されたブレード着脱ユニットのブレードチャックの斜視図である。 図９は、図７に示されたブレード着脱ユニットのナットホルダの斜視図である。 図１０は、図１に示された制御ユニットのブレード管理部が記憶した管理データの一例を示す図である。 図１１は、実施形態１に係る切削ブレードの識別方法の流れを示すフローチャートである。 図１２は、図１１に示された切削ブレードの識別方法のブレード管理ステップを示す斜視図である。 図１３は、図１１に示された切削ブレードの識別方法の撮像ステップを示す断面図である。 図１４は、実施形態２に係る加工装置の制御ユニットのブレード管理部が記憶した管理データの一例を示す図である。 図１５は、実施形態３に係る切削ブレードの識別方法を実施するブレード識別装置の構成を示す図である。 図１６は、図１５に示されたブレード識別装置の撮像ユニットにより撮像される切削ブレードの表面の領域を示す平面図である。 図１７は、図１５に示されたブレード識別装置のブレード管理部に記憶される管理データを示す図である。

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。

〔実施形態１〕
本発明の実施形態１に係る加工装置を図面に基づいて説明する。図１は、実施形態１に係る加工装置の構成例を示す斜視図である。図２は、図１に示された加工装置の切削ユニットの断面図である。図３は、実施形態１に係る切削ブレードの平面図である。図４は、図３中のＩＶ部を拡大して示す平面図である。図５は、図１に示された加工装置のブレード交換ユニットの構成例を示す斜視図である。

（加工装置）
実施形態１に係る加工装置１は、図１に示すワーク２００を切削加工する切削装置である。実施形態１では、ワーク２００は、シリコン、サファイア、ガリウムなどを母材とする円板状の半導体ウエーハや光デバイスウエーハ等のウエーハである。ワーク２００は、表面２０１に格子状に形成された複数の分割予定ライン２０２によって格子状に区画された領域にデバイス２０３が形成されている。

また、本発明のワーク２００は、中央部が薄化され、外周部に厚肉部が形成された所謂ＴＡＩＫＯ（登録商標）ウエーハでもよく、ウエーハの他に、樹脂により封止されたデバイスを複数有した矩形状のパッケージ基板、セラミックス基板、フェライト基板、又はニッケル及び鉄の少なくとも一方を含む基板等でも良い。実施形態１において、ワーク２００は、裏面２０４が外周縁に環状フレーム２０５が装着された粘着テープ２０６に貼着されて、環状フレーム２０５に支持されている。

図１に示された加工装置１は、ワーク２００を保持テーブル１０で保持し分割予定ライン２０２に沿って切削ブレード２１で切削加工（加工に相当）する切削装置である。加工装置１は、図１に示すように、ワーク２００を保持面１１で吸引保持する保持テーブル１０と、保持テーブル１０が保持するワーク２００を切削ブレード２１で切削する切削ユニット２０と、保持テーブル１０に保持されたワーク２００を撮影する撮像ユニット３０と、ブレード交換ユニット７と、制御ユニット１００とを備える。

また、加工装置１は、図１に示すように、保持テーブル１０と切削ユニット２０とを相対的に移動させる移動ユニット４０を備える。移動ユニット４０は、保持テーブル１０を水平方向と平行なＸ軸方向に加工送りするＸ軸移動ユニット４１と、切削ユニット２０を水平方向と平行でかつＸ軸方向に直交するＹ軸方向に割り出し送りするＹ軸移動ユニット４２と、切削ユニット２０をＸ軸方向とＹ軸方向との双方と直交する鉛直方向に平行なＺ軸方向に切り込み送りするＺ軸移動ユニット４３と、保持テーブル１０をＺ軸方向と平行な軸心回りに回転する回転移動ユニット４４とを備える。加工装置１は、図１に示すように、切削ユニット２０を２つ備えた、即ち、２スピンドルのダイサ、いわゆるフェイシングデュアルタイプの切削装置である。

Ｘ軸移動ユニット４１は、保持テーブル１０を加工送り方向であるＸ軸方向に移動させることで、保持テーブル１０と切削ユニット２０とを相対的にＸ軸方向に沿って加工送りするものである。Ｙ軸移動ユニット４２は、切削ユニット２０を割り出し送り方向であるＹ軸方向に移動させることで、保持テーブル１０と切削ユニット２０とを相対的にＹ軸方向に沿って割り出し送りするものである。Ｚ軸移動ユニット４３は、切削ユニット２０を切り込み送り方向であるＺ軸方向に移動させることで、保持テーブル１０と切削ユニット２０とを相対的にＺ軸方向に沿って切り込み送りするものである。

Ｘ軸移動ユニット４１、Ｙ軸移動ユニット４２及びＺ軸移動ユニット４３は、軸心回りに回転自在に設けられた周知のボールねじ、ボールねじを軸心回りに回転させる周知のモータ及び保持テーブル１０又は切削ユニット２０をＸ軸方向、Ｙ軸方向又はＺ軸方向に移動自在に支持する周知のガイドレールを備える。

保持テーブル１０は、円盤形状であり、ワーク２００を保持する保持面１１がポーラスセラミック等から形成されている。また、保持テーブル１０は、Ｘ軸移動ユニット４１により切削ユニット２０の下方の加工領域６３と、切削ユニット２０の下方から離間してワーク２００が搬入出される搬入出領域６４とに亘ってＸ軸方向に移動自在に設けられ、かつ回転移動ユニット４４によりＺ軸方向と平行な軸心回りに回転自在に設けられている。保持テーブル１０は、図示しない真空吸引源と接続され、真空吸引源により吸引されることで、保持面１１に載置されたワーク２００を吸引、保持する。実施形態１では、保持テーブル１０は、粘着テープ２０６を介してワーク２００の裏面２０４側を吸引、保持する。また、保持テーブル１０の周囲には、図１に示すように、環状フレーム２０５をクランプするクランプ部１２が複数設けられている。

切削ユニット２０は、保持テーブル１０に保持されたワーク２００を切削する切削ブレード２１を着脱自在に装着した切削手段である。切削ユニット２０は、それぞれ、保持テーブル１０に保持されたワーク２００に対して、Ｙ軸移動ユニット４２によりＹ軸方向に移動自在に設けられ、かつ、Ｚ軸移動ユニット４３によりＺ軸方向に移動自在に設けられている。

一方の切削ユニット２０は、Ｙ軸移動ユニット４２、Ｚ軸移動ユニット４３などを介して、装置本体２から立設した門型の支持フレーム３の一方の柱部に設けられている。他方の切削ユニット２０は、Ｙ軸移動ユニット４２、Ｚ軸移動ユニット４３などを介して、支持フレーム３の他方の柱部に設けられている。なお、支持フレーム３は、柱部の上端同士を水平梁により連結している。切削ユニット２０は、Ｙ軸移動ユニット４２及びＺ軸移動ユニット４３により、保持テーブル１０の保持面１１の任意の位置に切削ブレード２１を位置付け可能となっている。

切削ユニット２０は、図２に示すように、切削ブレード２１と、Ｙ軸移動ユニット４２及びＺ軸移動ユニット４３によりＹ軸方向及びＺ軸方向に移動自在に設けられたスピンドルハウジング２２と、スピンドルハウジング２２に軸心回りに回転自在に設けられた回転軸となるスピンドル２３と、固定フランジ２４と、押さえフランジ２５と、固定ナット２６とを備える。

切削ブレード２１は、略リング形状を有する極薄の切削砥石である。実施形態１において、切削ブレード２１は、図３に示すように、ワーク２００を切削する円環状の切り刃２１１のみからなる所謂ワッシャーブレードである。切削ブレード２１の切り刃２１１は、中央にスピンドル２３に対する装着用の円形の装着穴２１２を有する円盤状に形成されている。切り刃２１１は、ダイヤモンドやＣＢＮ（Cubic Boron Nitride）等の砥粒と、金属や樹脂等のボンド材（結合材）とからなり所定厚みに形成されている。

また、切削ブレード２１は、図３に示すように、切り刃２１１の表面２１３に砥粒２１４及びボンド材が露出している。切削ブレード２１の切り刃２１１の図４に例示する表面２１３に露出した砥粒２１４及びボンド材により構成される模様は、同じ品種の切削ブレード２１であっても異なり、かつ同一の切削ブレード２１の位置毎に異なる。

スピンドルハウジング２２は、Ｚ軸移動ユニット４３によりＺ軸方向に移動自在に支持され、Ｚ軸移動ユニット４３を介してＹ軸移動ユニット４２によりＹ軸方向に移動自在に支持されている。スピンドルハウジング２２は、スピンドル２３の先端部を除く部分及び図示しないスピンドルモータ等を収容し、スピンドル２３を軸心回りに回転可能に支持する。

スピンドル２３は、切削ブレード２１を先端に固定するものである。スピンドル２３は、図示しないスピンドルモータにより回転される回転軸となるとともに、先端部がスピンドルハウジング２２の先端面２２１より突出している。スピンドル２３の先端部は、先端に向かうにしたがって徐々に細く形成されており、先端面に開口したねじ孔２３１が設けられている。

固定フランジ２４は、円筒状のボス部２４１と、ボス部２４１の軸心方向の中央部から径方向に外周側に突出したフランジ部２４２とを備えている。ボス部２４１は、スピンドル２３の先端部に固定される。ボス部２４１は、図２に示すように、内周面に段差部２４３と、テーパー部２４４とを備える。段差部２４３は、フランジ部２４２よりもスピンドルハウジング２２から離れた先端側に設けられ、ボス部２４１の内径をスピンドルハウジング２２から離れた先端からスピンドルハウジング２２よりの基端側に向かうにしたがって段階的に小さくしている。段差部２４３の表面は、ボス部２４１即ち固定フランジ２４の軸心に対して直交する方向に沿って平坦に形成されている。

テーパー部４３２は、ボス部２４１の軸心方向の中央から基端に亘って形成され、ボス部２４１の内径を軸心方向の中央から基端側に向かって徐々に拡大させている。固定フランジ２４は、ボス部２４１の基端側にスピンドル２３の先端部が挿入され、段差部２４３の表面に重ねられたワッシャ２７内を通った固定ねじ２８がスピンドル２３の先端面に設けられたねじ孔２３１と螺合してスピンドル２３の先端部に固定される。固定フランジ２４がスピンドル２３の先端部に固定されると、テーパー部４３２がスピンドル２３の先端部に密に接触する。また、ボス部２４１は、外周面の先端に雄ねじ２４５が形成されている。

フランジ部２４２は、ボス部２４１の軸心方向の中央部から径方向外向きに突出する円環状の部材である。フランジ部２４２の外径は、切削ブレード２１の外径よりも小径である。フランジ部２４２は、外縁の全周に切削ブレード２１に対面し、切削ブレード２１を支持する支持面２４６が形成されている。支持面２４６は、固定フランジ２４の軸心に対して直交する方向に沿って平坦に形成されている。フランジ部２４２は、支持面２４６に切削ブレード２１を密着させて、切削ブレード２１を支持する。支持面２４６は、外縁のみボス部２４１の延在方向に突出する端面が形成され、端面に切削ブレード２１が支持されるようにして支持面との接触面積を減らし、より垂直に切削ブレード２１を保持できるようにしても良い。

押さえフランジ２５は、中央に固定フランジ２４のボス部２４１に装着される装着穴２５１を有した円環状に形成されている。押さえフランジ２５は、外径が切削ブレード２１の外径よりも小径である。押さえフランジ２５は、装着穴２５１内に固定フランジ２４のボス部２４１の先端側を通すと、固定フランジ２４に対面したブレード支持用ボス部２５２を備える。ブレード支持用ボス部２５２は、外径が切削ブレード２１の装着穴２１２の内径と等しく形成されている。ブレード支持用ボス部２５２は、基端側から切削ブレード２１の装着穴２１２に挿通されて、外周面上に切削ブレード２１を支持する。

また、押さえフランジ２５は、装着穴２５１内に固定フランジ２４のボス部２４１の先端側を通して、固定フランジ２４の支持面２４６との間に切削ブレード２１を挟持する挟持面２５３をブレード支持用ボス部２５２の外周側の全周に有している。挟持面２５３は、押さえフランジ２５の軸心に対して直交する方向に沿って平坦に形成されている。押さえフランジ２５は、挟持面２５３が切削ブレード２１を固定フランジ２４の支持面２４６との間に挟持する。

また、押さえフランジ２５は、装着穴２５１内にスピンドル２３の先端に固定された固定フランジ２４のボス部２４１を通すと先端側の端面２５４と挟持面２５３とに亘って吸引通路２５５が形成されている、吸引通路２５５は、端面２５４と挟持面２５３とに亘って押さえフランジ２５を貫通した孔であり、端面２５４側から吸引されることで、挟持面２５３に切削ブレード２１を吸引保持する。

固定ナット２６は、円環状に形成され、ボス部２４１の雄ねじ２４５と螺合する雌ねじ２６１が内周面に形成されている。固定ナット２６は、押さえフランジ２５の装着穴２５１内に固定フランジ２４のボス部２４１が通され、支持面２４６が挟持面２５３との間に切削ブレード２１を挟持した固定フランジ２４のボス部２４１の雄ねじ２４５に雌ねじ２６１が螺合して、ボス部２４１に締結する。固定ナット２６は、ボス部２４１に締結して、押さえフランジ２５を介して固定フランジ２４と押さえフランジ２５との間に切削ブレード２１を固定する。固定ナット２６は、図２に示すように、端面に４つのピン嵌合穴２６２を周方向に等間隔に設けている。なお、ピン嵌合穴２６２は、嵌合ピン１１５がより深く嵌合して回転する力を伝えるため、固定ナット２６を貫通して形成されていてもよい。

このように構成された切削ユニット２０は、固定フランジ２４がボス部２４１の基端側の内側にスピンドル２３の先端部を通して、固定ねじ２６等によりスピンドル２３の先端部に固定され、切削ブレード２１の装着穴２１２の内周面をブレード支持用ボス部２５２の外周面上に支持する。切削ユニット２０は、固定フランジ２４のボス部２４１の先端側を押さえフランジ２５の装着穴２５１の内側に通して、雄ねじ２４５に雌ねじ２６１を螺合させて、固定ナット２６で押さえフランジ２５及び切削ブレード２１をスピンドル２３の先端部に固定する。

なお、切削ユニット２０のスピンドル２３、固定フランジ２４、切削ブレード２１、押さえフランジ２５及び固定ナット２６は、互いに同軸となる位置に配置されている。切削ユニット２０のスピンドル２３、固定フランジ２４、切削ブレード２１、押さえフランジ２５及び固定ナット２６の軸心は、Ｙ軸方向と平行に設定されている。

撮像ユニット３０は、切削ユニット２０と一体的に移動するように、切削ユニット２０に固定されている。撮像ユニット３０は、保持テーブル１０に保持された切削前のワーク２００の分割すべき領域を撮影する撮像素子を備えている。撮像素子は、例えば、ＣＣＤ（Charge-Coupled Device）撮像素子又はＣＭＯＳ（Complementary MOS）撮像素子である。撮像ユニット３０は、保持テーブル１０に保持されたワーク２００を撮影して、ワーク２００と切削ブレード２１との位置合わせを行なうアライメントを遂行するため等の画像を得、得た画像を制御ユニット１００に出力する。

また、加工装置１は、保持テーブル１０のＸ軸方向の位置を検出するため図示しないＸ軸方向位置検出ユニットと、切削ユニット２０のＹ軸方向の位置を検出するための図示しないＹ軸方向位置検出ユニットと、切削ユニット２０のＺ軸方向の位置を検出するためのＺ軸方向位置検出ユニットとを備える。Ｘ軸方向位置検出ユニット及びＹ軸方向位置検出ユニットは、Ｘ軸方向、又はＹ軸方向と平行なリニアスケールと、読み取りヘッドとにより構成することができる。Ｚ軸方向位置検出ユニットは、モータのパルスで切削ユニット２０のＺ軸方向の位置を検出する。Ｘ軸方向位置検出ユニット、Ｙ軸方向位置検出ユニット及びＺ軸方向位置検出ユニットは、保持テーブル１０のＸ軸方向、切削ユニット２０のＹ軸方向又はＺ軸方向の位置を制御ユニット１００に出力する。なお、実施形態１では、加工装置１の各構成要素のＸ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向の位置は、予め定められた図示しない基準位置を基準とした位置で定められる。

また、加工装置１は、切削前後のワーク２００を収容するカセット５１が載置されかつカセット５１をＺ軸方向に移動させるカセットエレベータ５０と、切削後のワーク２００を洗浄する洗浄ユニット６０と、カセット５１にワーク２００を出し入れするとともにワーク２００を搬送する搬送ユニット６１とを備える。

（ブレード交換ユニット）
図５にしめすブレード交換ユニット７は、着脱位置に位置付けられた切削ユニット２０のスピンドル２３の先端部に固定された固定フランジ２４のボス部２４１に切削ブレード２１を押さえフランジ２５毎着脱して、交換するものである。なお、着脱位置とは、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向の位置が予め定められた位置であり、各切削ユニット２０がブレード交換ユニット７により切削ブレード２１が押さえフランジ２５毎着脱される際に位置付けられる位置である。また、実施形態１では、ブレード交換ユニット７は、固定フランジ２４のボス部２４１に装着する切削ブレード２１を押さえフランジ２５とともに交換する。要するに、ブレード交換ユニット７は、固定フランジ２４のボス部２４１に押さえフランジ２５毎切削ブレード２１を着脱する。

ブレード交換ユニット７は、図１に示すように、支持フレーム３の図１中の背面側でかつ加工領域６３よりも搬入出領域６４から離れた位置に設置されている。ブレード交換ユニット７は、図５に示すように、交換前後の複数の切削ブレード２１を押さえフランジ２５毎収容するブレードストッカー７０と、撮像部である第２撮像ユニット７６と、切削ユニット２０のスピンドル２３に切削ブレード２１を押さえフランジ２５毎着脱するとともにブレードストッカー７０と切削ユニット２０との間で切削ブレード２１を押さえフランジ２５毎搬送し着脱するブレード交換部であるブレード着脱ユニット８０とを備える。

実施形態１では、ブレードストッカー７０は、切削ユニット２０と１対１で対応して設けられている。即ち、実施形態１では、ブレード交換ユニット７は、ブレードストッカー７０を一対備えている。

また、実施形態１では、一方のブレードストッカー７０は、一方の切削ユニット２０のスピンドル２３の交換前後の切削ブレード２１を押さえフランジ２５のブレード支持用ボス部２５２に支持された状態で複数保持し、他方のブレードストッカー７０は、他方の切削ユニット２０のスピンドル２３の交換前後の切削ブレード２１を押さえフランジ２５のブレード支持用ボス部２５２に支持された状態で複数保持する。このように、各ブレードストッカー７０は、複数の切削ブレード２１を収容する。

なお、各ブレードストッカー７０が収容する切削ブレード２１は、未使用のものの他、既使用であるが寿命に達しておらず使用可能なもの、同種類および／または異種類のものを含む。

次に、本明細書は、ブレード交換ユニット７の各構成要素を説明する。

（ブレードストッカー）
図６は、図５に示されたブレード交換ユニットのブレードストッカーの構成例を示す斜視図である。ブレードストッカー７０は、対応する切削ユニット２０に装着される前の交換用の切削ブレード２１を押さえフランジ２５毎保持するとともに、対応する切削ユニット２０から取り外された交換後の切削ブレード２１を押さえフランジ２５毎保持するものである。なお、本明細書は、一対のブレードストッカー７０のうちこれらの構成が等しいので、図５中奥側のブレードストッカー７０を代表して説明し、一対のブレードストッカー７０の同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

ブレードストッカー７０は、図６に示すように、装置本体２に配設された支柱７１と、支柱７１の上端に回転軸７２を介して取り付けられた支持部材７３とを備える。支持部材７３は、対応するブレード着脱ユニット８０とＹ軸方向に対向して配置され、対応するブレード着脱ユニット８０に対向する表面側に複数（実施形態１では、４つ）のブレード保持部７４が同心円状に配設されており、対応する切削ユニット２０に着脱される切削ブレード２１を複数個（実施形態１では、４つ）保持可能である。

ブレード保持部７４は、切削ブレード２１を押さえフランジ２５毎保持するものである。ブレード保持部７４は、押さえフランジ２５の装着穴２５１内に通される円筒状のブレード嵌合部７４１と、このブレード嵌合部７４１の外周面に設けられかつボス部２４１内にブレード嵌合部７４１が通された押さえフランジ２５を位置決めする位置決め部７４２とを備える。位置決め部７４２は、ブレード嵌合部７４１の外周面から突没自在に設けられたボールと、ボールを径方向外側に押圧するスプリングとを含み、ボールに作用する径方向内側の力が所定の値になるまでボールが押さえフランジ２５の装着穴２５１の内縁に嵌合して位置決め機能が働く。各ブレード保持部７４は、予め、ブレード保持部７４同士を識別可能とする番号（以下、保持部番号と記す）が予め付されている。

このように構成されたブレードストッカー７０は、ブレード保持部７４に切削ブレード２１を重ね、ブレード支持用ボス部２５２の外周面に切削ブレード２１を支持した押さえフランジ２５の装着穴２５１内にブレード嵌合部７４１が通されて、ブレード嵌合部７４１が装着穴２５１の内縁に嵌合して、切削ブレード２１を押さえフランジ２５毎保持する。具体的には、ブレード保持部７４は、ブレード嵌合部７４１が押さえフランジ２５の装着穴２５１内に通される際に、位置決め部７４２のボールが一旦ブレード嵌合部７４１内に没し、押さえフランジ２５が乗り越えた後に復帰した位置決め部７４２のボールが装着穴２５１の内縁に嵌合して、切削ブレード２１を押さえフランジ２５毎保持する。また、実施形態１では、ブレード嵌合部７４１の軸心は、Ｙ軸方向と平行である。

また、各ブレード保持部７４は、図６に示す貫通孔７７が形成されている。貫通孔７７は、ブレード保持部７４を貫通している。貫通孔７７は、切削ブレード２１の切り刃２１１の表面２１３の固定フランジ２４のフランジ部２４２に重ねる領域２１５（図２に示す）の一部と対面する位置に配置されている。貫通孔７７は、ブレード保持部７４に保持された切削ブレード２１の切り刃２１１の表面２１３の領域２１５の一部を露出させる。

支持部材７３を支柱７１の上端に取り付けている回転軸７２は、一端が支柱７１の上端に配設され、他端が支持部材７３の裏面中央に連結されている。そして、回転軸７２の一端側は、支柱７１の内部に配設されたモータ７５の駆動軸に連結されており、支持部材７３は、回転軸７２を中心とした間欠的な回転が可能に構成されている。実施形態１では、支持部材７３は、９０度毎に間欠的に回転可能に構成されている。そして、支持部材７３は、回転軸７２の間欠的な回転によって各ブレード保持部７４をその移動経路上の予め設定された所定の受け渡し位置７４４に選択的に位置付ける。受け渡し位置７４４に位置付けられたブレード保持部７４の軸心のＺ軸方向の高さは、着脱位置に位置付けられた切削ユニット２０の軸心のＺ軸方向の高さと等しい。

第２撮像ユニット７６は、切削ブレード２１の切り刃２１１の表面２１３を撮像するものである。第２撮像ユニット７６は、受け渡し位置７４４のブレード保持部７４の貫通孔７７と対面し、受け渡し位置７４４のブレード保持部７４に保持された切削ブレード２１の切り刃２１１の表面２１３の領域２１５を貫通孔７７を通して撮影する撮像素子を備えている。撮像素子は、例えば、ＣＣＤ（Charge-Coupled Device）撮像素子又はＣＭＯＳ（Complementary MOS）撮像素子である。第２撮像ユニット７６は、切削ブレード２１の切り刃２１１の表面２１３の領域２１５の一部を貫通孔７７を通して撮影して、撮像して得た画像を制御ユニット１００に出力する。

（ブレード着脱ユニット）
図７は、図５に示されたブレード交換ユニットのブレード着脱ユニットの構成例を示す斜視図である。図８は、図７に示されたブレード着脱ユニットのブレードチャックの斜視図である。図９は、図７に示されたブレード着脱ユニットのナットホルダの斜視図である。

ブレード着脱ユニット８０は、各切削ユニット２０のスピンドル２３とブレードストッカー７０との間で切削ブレード２１を押さえフランジ２５毎搬送し、切削ブレード２１を押さえフランジ２５毎スピンドル２３に着脱するものである。ブレード着脱ユニット８０は、図７に示すように、ユニット本体８１と、ユニット本体８１をＸ軸方向に移動させる移動ユニット８２と、一対のブレード交換機構９０と、一対のナットホルダ１１０と、着脱移動機構１２０を備えている。

移動ユニット８２は、図５に示すように、ユニット本体８１に設けられたナット８１１と螺合するとともにＸ軸方向に延在したねじ軸８２１と、ねじ軸８２１を軸心回りに回転することでユニット本体８１をＸ軸方向に移動させるモータ８２２とを備える。ねじ軸８２１は、固定板８１２を介して装置本体２等に固定された固定板８１２に軸心回りに回転自在に支持されている。モータ８２２は、固定板８１２に取り付けられている。

ブレード交換機構９０とナットホルダ１１０とは、１対１で対応しており、ブレードストッカー７０及び切削ユニット２０とも１対１で対応している。ブレード交換機構９０は、対応する切削ユニット２０のスピンドル２３の先端部に固定された固定フランジ２４に切削ブレード２１を押さえフランジ２５毎着脱するものである。

また、実施形態１では、ブレード交換機構９０は、対応するブレードストッカー７０に保持された交換用の切削ブレード２１を押さえフランジ２５毎保持し、対応する切削ユニット２０から取り外された交換後の切削ブレード２１を押さえフランジ２５毎保持する。また、ブレード交換機構９０は、保持した交換用の切削ブレード２１を押さえフランジ２５毎切削ユニット２０に装着し、対応する切削ユニット２０から取り外された交換後の切削ブレード２１を押さえフランジ２５毎を対応するブレードストッカー７０に保持させる。

各ブレード交換機構９０は、図５及び図７に示すように、直線状に延びた回動アーム９１と、回動アーム９１の両端部に設けられた一対のブレードチャック９２とを備える。

回動アーム９１は、直線状に延在したアーム状に形成されている。回動アーム９１は、長手方向の中央がＹ軸方向と平行な軸心回りに着脱移動機構１２０の回転移動ユニット１２１により間欠的に回転されるとともに、Ｙ軸方向に着脱移動機構１２０のスライド移動ユニット１２２によりスライド移動される。実施形態１では、回動アーム９１は、長手方向がＸ軸方向と平行になるように、回転移動ユニット１２１により１８０度毎に間欠的に回転される。

ブレードチャック９２は、回動アーム９１の長手方向の両端部に配置されている。各ブレードチャック９２の軸心は、Ｙ軸方向と平行である。ブレードチャック９２は、図８に示すように、厚手の円板状のチャック本体９２１を備える。チャック本体９２１は、回動アーム９１に取り付けられたモータ９１１により軸心回りに回転される。チャック本体９２１は、ブレードストッカー７０のブレード保持部７４及び着脱位置の切削ユニット２０と対向する端面９２２にリング状の吸引溝９２３が形成されている。

吸引溝９２３は、開閉弁９２４を介して吸引源９２５に接続している。ブレードチャック９２は、開閉弁９２４が開いて吸引源９２５により吸引溝９２３内が吸引されることで、チャック本体９２１の端面９２２に押さえフランジ２５を吸引保持する。また、吸引溝９２３は、ブレードチャック９２がチャック本体９２１の端面９２２に押さえフランジ２５を吸引保持すると、吸引通路２５５と連通して、吸引通路２５５内を吸引する。ブレードチャック９２は、開閉弁９２４が開いて吸引源９２５により吸引溝９２３内が吸引されることで、チャック本体９２１の端面９２２に押さえフランジ２５を吸引保持するとともに、押さえフランジ２５の挟持面２５３に切削ブレード２１を吸引保持する。また、実施形態１では、ブレードチャック９２は、端面９２２の中央に固定フランジ２４のボス部２４１の先端側が侵入可能なボス部侵入穴９２６を設けている。

各ブレードチャック９２の軸心のＺ軸方向の高さは、受け渡し位置７４４に位置付けられたブレード保持部７４の軸心のＺ軸方向の高さ、及び着脱位置に位置付けられた切削ユニット２０の軸心のＺ軸方向の高さと等しい。

ナットホルダ１１０は、対応する切削ユニット２０の固定ナット２６を固定フランジ２４から着脱する。ナットホルダ１１０は、ユニット本体８１上に設置され、対応するブレード交換機構９０とＸ軸方向に並ぶ位置に配置されている。ナットホルダ１１０の軸心は、Ｙ軸方向と平行である。

ナットホルダ１１０は、図９に示すように、箱状のホルダ本体１１１と、ホルダ本体１１１の対応する切削ユニット２０のスピンドル２３と対向する面に設けられた厚手の円板状の支持基台１１２と、支持基台１１２に取り付けられた爪１１３と、支持基台１１２の着脱位置の切削ユニット２０に対面する端面１１４に設けられた複数の嵌合ピン１１５とを備える。

支持基台１１２は、ナットホルダ１１０内に設けられたモータ１１６により軸心回りに回転される。爪１１３は、支持基台１１２の端面１１４に周方向に間隔をあけて複数配置されている。実施形態１では、爪１１３は、支持基台１１２の端面１１４に周方向に等間隔に四つ設けられている。複数の爪１１３は、支持基台１１２内等に設けられた図示しない駆動機構により、端面１１４の径方向に移動自在に設けられ、互いに近付くことで固定ナット２６の外周面を把持し、互いに離れることで固定ナット２６の把持を解除する。

嵌合ピン１１５は、端面１１４から突没自在に支持基台１１２に支持され、実施形態１では、端面１１４に周方向に等間隔に４つ設けられている。嵌合ピン１１５は、端面１１４から突出すると固定ナット２６のピン嵌合穴２６２に嵌合可能である。

ナットホルダ１１０は、端面１１４を固定ナット２６の端面に密着させ、爪１１３で固定ナット２６を把持した状態で、支持基台１１２がモータ１１６により軸心回りに回転されることで、嵌合ピン１１５がピン嵌合穴２６２内に嵌合する。ナットホルダ１１０は、嵌合ピン１１５がピン嵌合穴２６２に嵌合した状態で、支持基台１１２がモータ１１６により軸心回りに回転されることで、固定ナット２６を固定フランジ２４のボス部２４１の雄ねじ２４５に着脱する。

各ナットホルダ１１０の軸心のＺ軸方向の高さは、着脱位置に位置付けられた切削ユニット２０の軸心のＺ軸方向の高さと等しい。

着脱移動機構１２０は、回動アーム９１を軸心回りに１８０度毎間欠的に回転する回転移動ユニット１２１と、回動アーム９１をユニット本体８１に対してＹ軸方向にスライド移動させるスライド移動ユニット１２２と、ナットホルダ１１０のホルダ本体１１１をユニット本体８１に対してＹ軸方向にスライド移動される第２スライド移動ユニット１２３とを備える。

（制御ユニット）
図１０は、図１に示された制御ユニットのブレード管理部が記憶した管理データの一例を示す図である。

制御ユニット１００は、加工装置１の各構成要素をそれぞれ制御して、ワーク２００に対する加工動作を加工装置１に実施させるものでもある。なお、制御ユニット１００は、ＣＰＵ（central processing unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（read only memory）又はＲＡＭ（random access memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有するコンピュータである。制御ユニット１００の演算処理装置は、記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、加工装置１を制御するための制御信号を、入出力インターフェース装置を介して加工装置１の各構成要素に出力する。

制御ユニット１００は、加工動作の状態や画像などを表示する液晶表示装置などにより構成される表示ユニット１０１と、オペレータが加工内容情報などを登録する際に用いる入力ユニット１０２と、報知ユニット１０３とに接続されている。入力ユニット１０２は、表示ユニット１０１に設けられたタッチパネルと、キーボード等の外部入力装置とのうち少なくとも一つにより構成される。報知ユニット１０３は、音と光の少なくとも一方を発して、オペレータに報知するものである。

また、制御ユニット１００は、図１に示すように、ブレード管理部１０４と、データ処理部１０５とを備える。ブレード管理部１０４は、ブレードストッカー７０に収容される切削ブレード２１の切り刃２１１の表面２１３の領域２１５の一部の画像と、ブレード情報とを紐付けた図１０に示す管理データ３００を記憶するものである。

実施形態１において、管理データ３００は、各切削ユニット２０と１対１で対応付けられている。このため、実施形態１において、管理データ３００は、ブレード管理部１０４に２つ記憶される。実施形態１において、各管理データ３００は、図１０に示すように、対応する切削ユニット２０に対応するブレードストッカー７０のブレード保持部７４の各保持部番号と、各ブレード保持部７４に収容した切削ブレード２１のブレード情報と、各ブレード保持部７４に収容した切削ブレード２１の切り刃２１１の表面２１３の領域２１５の一部の画像とを１対１で対応付けて、即ち互いに紐付けている。なお、ブレード情報は、切削ブレード２１の品種を示す情報を含んでいるが、本発明では、切削ブレード２１の使用履歴を示す情報を含んでも良い。要するに、本発明では、ブレード情報は、切削ブレード２１の品種を示す情報と使用履歴を示す情報との少なくともいずれかを含めば良い。

なお、切削ブレード２１の品種を示す情報は、切削ブレード２１のボンド材の種類、砥粒２１４の種類、砥粒径、切り刃２１１の刃先の長さ、切り刃２１１の厚さなどを示す情報を含んでいる。切削ブレード２１の使用履歴を示す情報は、カット長さ、摩耗量などを示す情報を含んでいる。なお、ブレード情報は、制御ユニット１００がオペレータからの入力ユニット１０２の操作を受け付けること、又は、切削ブレード２１を収容するブレードケースの外表面に付されたブレード情報を読み取った読み取り装置からの読み取り結果を受け付けることで、ブレード管理部１０４に登録される。

画像は、各ブレード保持部７４に切削ブレード２１が収容された後に、第２撮像ユニット７６により貫通孔７７を通して撮像されることで、得られ、第２撮像ユニット７６が得た画像を得た画像を制御ユニット１００が受け付けることで、ブレード管理部１０４に登録する。

データ処理部１０５は、ブレード保持部７４からブレード交換ユニット７のブレードストッカー７０が切削ブレード２１を取り外して保持する際に、第２撮像ユニット７６が撮像して得た画像と一致する画像をブレード管理部１０４の管理データ３００から抽出して探し、第２撮像ユニット７６が撮像して得た画像と一致する画像と紐付けられたブレード情報を確認するものである。

なお、ブレード管理部１０４の機能は、前述した記憶装置により実現される、データ処理部１０５の機能は、記憶装置に記憶されたコンピュータプログラムを演算処理装置が実行することで実現される。

（加工装置の加工動作）
加工装置１は、オペレータが、加工内容情報を制御ユニット１００に登録し、切削加工前のワーク２００をカセット５１に収容して、カセット５１をカセットエレベータ５０の上面に設置し、ブレード交換ユニット７の各ブレードストッカー７０のブレード保持部７４に切削ブレード２１を取り付ける。加工内容情報は、ワーク２００を切削加工する際に用いる切削ブレード２１のブレード情報と、各ブレードストッカー７０の各ブレード保持部７４に保持されたブレード情報とを含む。

その後、加工装置１は、オペレータから加工動作の開始指示があった場合に加工動作を開始する。加工装置１は、加工動作を開始すると、搬送ユニット６１がカセット５１内からワーク２００を搬入出領域６４の保持テーブル１０に搬送し、粘着テープ２０６を介して裏面２０４側を保持テーブル１０の保持面１１に吸引保持するとともに、クランプ部１２で環状フレーム２０５をクランプする。

加工動作では、加工装置１は、Ｘ軸移動ユニット４１が保持テーブル１０を加工領域６３に向かって移動して、撮像ユニット３０がワーク２００を撮影して、撮像ユニット３０が撮影して得た画像に基づいて、アライメントを遂行する。加工装置１は、分割予定ライン２０２に沿ってワーク２００と切削ユニット２０とを相対的に移動させながら、切削ブレード２１を各分割予定ライン２０２に切り込ませてワーク２００を個々のデバイス２０３に分割する。加工装置１は、個々のデバイス２０３に分割されたワーク２００を搬送ユニット６１が保持テーブル１０から洗浄ユニット６０に搬送し、洗浄ユニット６０がワーク２００を洗浄する。

加工装置１は、搬送ユニット６１が切削加工後で洗浄後のワーク２００を洗浄ユニット６０からカセット５１まで搬送し、カセット５１内に収容する。加工装置１は、切削ユニット２０等がカセット５１内に収容したワーク２００を順に切削加工して、カセット５１内の全てのワーク２００の切削加工が完了すると加工動作を終了する。

（切削ブレードの着脱動作）
実施形態１において、加工装置１は、次に、制御ユニット１００が、加工装置１の加工動作中に、少なくとも一方の切削ユニット２０の切削ブレード２１がブレード交換タイミングであると判定すると切削ブレード２１の着脱動作を実施する。ブレード交換タイミングは、各切削ユニット２０の切削ブレード２１を交換するタイミングであることをいう。ブレード交換タイミングは、例えば、予め設定された数のワーク２００を切削する毎や、測定された切削ブレード２１の外径が事前に設定した数値を下回ったとき等であり、加工内容情報の一部として制御ユニット１００に登録される。また、本発明のブレード交換タイミングは、まさに１枚のワーク２００を加工している途中でも良く、複数のワーク２００を連続して加工する際に、ワーク２００を交換するタイミングでも良い。

着脱動作は、切削ユニット２０のスピンドル２３から固定ナット２６を取り外し、切削ブレード２１を押さえフランジ２５毎取り外し、ブレードストッカー７０に保持された切削ブレード２１を押さえフランジ２５毎スピンドル２３取り付け、固定ナット２６をスピンドル２３に取り付ける動作である。即ち、切削ブレード２１の着脱動作は、ブレードストッカー７０に保持された切削ブレードと、切削ユニット２０に装着された切削ブレードとを押さえフランジ２５時毎交換する動作である。

着脱動作では、加工装置１は、ブレード交換タイミングの切削ユニット２０のスピンドル２３の回転を停止し、ブレード交換タイミングの切削ユニット２０を着脱位置に位置付ける。着脱動作では、加工装置１は、ブレード交換タイミングの切削ユニット２０に装着すべき品種の切削ブレード２１を保持したブレード保持部７４を受け渡し位置７４４に位置付ける。着脱動作では、加工装置１は、ブレード着脱ユニット８０のブレード交換タイミングの切削ユニット２０に対応したブレード交換機構９０の一方のブレードチャック９２をブレードストッカー７０の受け渡し位置７４４のブレード保持部７４とＹ軸方向に対向させる。

加工装置１は、一方のブレードチャック９２で受け渡し位置７４４のブレード保持部７４に収容された交換用の切削ブレード２１を押さえフランジ２５毎吸引保持し、ブレード着脱ユニット８０をＸ軸方向に移動して、ブレード交換タイミングの切削ユニット２０に対応したナットホルダ１１０を着脱位置の切削ユニット２０とＹ軸方向に対向させる。加工装置１は、ナットホルダ１１０で固定ナット２６を把持して、固定フランジ２４の雄ねじ２４５から取り外す。

加工装置１は、ブレード着脱ユニット８０をＸ軸方向に移動して、ブレード交換タイミングの切削ユニット２０に対応したブレード交換機構９０の他方のブレードチャック９２を着脱位置の切削ユニット２０とＹ軸方向に対向させる。加工装置１は、他方のブレードチャック９２で固定ナット２６が取り外された切削ユニット２０の切削ブレード２１を押さえフランジ２５毎吸引保持して、ブレード交換タイミングの切削ユニット２０から取り外す。

加工装置１は、ブレード交換機構９０の回動アーム９１を１８０度回転して、交換用の切削ブレード２１を押さえフランジ２５毎吸引保持した一方のブレードチャック９２を、着脱位置の切削ブレード２１が取り外された切削ユニット２０とＹ軸方向に対向させる。加工装置１は、一方のブレードチャック９２を着脱位置の切削ユニット２０のスピンドル２３にＹ軸方向に沿って近付けて、交換用の切削ブレード２１を押さえフランジ２５毎切削ユニット２０の固定フランジ２４に取り付け、一方のブレードチャック９２の吸引保持を解除した後、一方のブレードチャック９２を切削ユニット２０から遠ざける。

加工装置１は、ブレード着脱ユニット８０をＸ軸方向に移動して、固定ナット２６を保持したナットホルダ１１０を着脱位置の切削ユニット２０とＹ軸方向に対向させた後、ナットホルダ１１０で固定ナット２６の雌ねじ２６１を固定フランジ２４の雄ねじ２４５に螺合させて、切削ブレード２１をスピンドル２３の先端部に固定し、ナットホルダ１１０を着脱位置の切削ユニット２０からＹ軸方向に沿って遠ざける。

加工装置１は、ブレード着脱ユニット８０をＸ軸方向に移動して、切削ユニット２０から取り外された交換後の切削ブレード２１を押さえフランジ２５毎保持した他方のブレードチャック９２をブレードストッカー７０の受け渡し位置７４４のブレード保持部７４とＹ軸方向に対向させる。加工装置１は、他方のブレードチャック９２を受け渡し位置７４４のブレード保持部７４にＹ軸方向に沿って近付けて、ブレード保持部７４に交換後の切削ブレード２１を押さえフランジ２５毎を保持した後、他方のブレードチャック９２を受け渡し位置７４４のブレード保持部７４からＹ軸方向に沿って遠ざけて、着脱動作を完了する。

（切削ブレードの識別方法）
本発明の実施形態１に係る切削ブレードの識別方法を図面に基づいて説明する。図１１は、実施形態１に係る切削ブレードの識別方法の流れを示すフローチャートである。実施形態１に係る切削ブレードの識別方法は、切削ブレード２１の識別方法であって、実施形態１では、前述した加工装置１において実施される。切削ブレードの識別方法は、図１１に示すように、ブレード管理ステップＳＴ１と、撮像ステップＳＴ２と、ブレード情報確認ステップＳＴ３とを備える。

（ブレード管理ステップ）
図１２は、図１１に示された切削ブレードの識別方法のブレード管理ステップを示す斜視図である。ブレード管理ステップＳＴ１は、切削ブレード２１の切り刃２１１を撮像した画像と、ブレード情報と、を紐づけてブレード管理部１０４に登録するステップである。

実施形態１において、ブレード管理ステップＳＴ１は、各ブレードストッカー７０の各ブレード保持部７４に切削ブレード２１が収容され、オペレータから入力ユニット１０２を介して各ブレードストッカー７０の各ブレード保持部７４に収容される切削ブレード２１のブレード情報が加工内容情報として登録された後、加工装置１が加工動作を開始すると実施される。実施形態１において、ブレード管理ステップＳＴ１では、加工装置１は、図１２に示すように、各ブレードストッカー７０の支持部材７３を９０度毎間欠的に回転させながら受け渡し位置７４４のブレード保持部７４に収容された切削ブレード２１の切り刃２１１の表面２１３の領域２１５の一部を貫通孔７７を通して第２撮像ユニット７６で撮像する。

実施形態１において、ブレード管理ステップＳＴ１では、加工装置１は、制御ユニット１００が第２撮像ユニット７６が撮像して得た切り刃２１１の画像と、各ブレード保持部７４に付された保持部番号と、加工内容情報として登録されたブレード情報とを対応付けて、これらを対応付けた図１０に示す管理データ３００をブレード管理部１０４に記憶する。

（撮像ステップ）
図１３は、図１１に示された切削ブレードの識別方法の撮像ステップを示す断面図である。撮像ステップＳＴ２は、ブレード情報を確認したい切削ブレード２１の切り刃２１１を撮像するステップである。

実施形態１において、撮像ステップＳＴ２は、ブレード交換ユニット７がブレード交換タイミングの切削ユニット２０のスピンドル２３に装着するために、ブレード交換ユニット７がブレードストッカー７０から搬送する切削ブレード２１に対して実施される。実施形態１において、撮像ステップＳＴ２では、制御ユニット１００が、着脱動作の際に、交換タイミングの切削ユニット２０に装着される加工内容情報として登録されたブレード情報を記憶装置から読み出し、管理データ３００から加工内容情報として登録されたブレード情報と対応付けられている保持部番号を抽出する。

実施形態１において、撮像ステップＳＴ２では、制御ユニット１００が、抽出した保持部番号のブレード保持部７４を受け渡し位置７４４に位置付け、第２撮像ユニット７６で貫通孔７７を通して切り刃２１１の表面２１３の領域２１５を撮像する。このとき、撮像ステップＳＴ２では、制御ユニット１００が、図１３に示すように、一方のブレードチャック９２で受け渡し位置７４４の切削ブレード２１を吸引保持し、軸心回りに間欠的に切削ブレード２１を回転させながら第２撮像ユニット７６で撮像する。

（ブレード情報確認ステップ）
ブレード情報確認ステップＳＴ３では、制御ユニット１００のデータ処理部１０５が撮像ステップＳＴ２にて撮像された画像と一致する切り刃２１１の画像をブレード管理部１０４に記憶された管理データ３００から探し、紐づけられたブレード情報を確認するステップである。

実施形態１において、ブレード情報確認ステップＳＴ３は、撮像ステップＳＴ２に引き続いて、ブレード交換ユニット７がブレード交換タイミングの切削ユニット２０のスピンドル２３に装着するために、ブレード交換ユニット７がブレードストッカー７０から搬送する切削ブレード２１に対して実施される。実施形態１において、ブレード情報確認ステップＳＴ３では、制御ユニット１００のデータ処理部１０５が、管理データ３００から加工内容情報として登録されたブレード情報と対応付けられている画像を抽出し、第２撮像ユニット７６が撮像して得た複数の画像と正規化相関等のパターンマッチングを実施し、相関値を算出する。

こうして、実施形態１では、ブレード情報確認ステップＳＴ３では、制御ユニット１００のデータ処理部１０５が管理データ３００から抽出された加工内容情報として登録されたブレード情報と対応付けられている画像と、第２撮像ユニット７６が撮像して得た複数の画像とのパターンマッチングを実施することで、撮像ステップＳＴ２にて撮像された画像と一致する切り刃２１１の画像をブレード管理部１０４に記憶された管理データ３００から探し、紐づけられたブレード情報を確認する。

実施形態１において、ブレード情報確認ステップＳＴ３では、制御ユニット１００のデータ処理部１０５が、第２撮像ユニット７６が撮像して得た複数の画像のうち予め定められた所定の相関値以上の画像が少なくとも一つ以上あると、切削ブレードの識別方法を終了し、加工装置１は、受け渡し位置の切削ブレード２１を前述したように、切削ユニット２０に装着する。なお、所定の相関値は、加工内容情報として登録されたブレード情報と対応付けられている画像と、第２撮像ユニット７６が撮像して得た画像とが一致していることを示す値である。また、実施形態１において、ブレード情報確認ステップＳＴ３では、制御ユニット１００のデータ処理部１０５が、第２撮像ユニット７６が撮像して得た複数の画像のうち予め定められた所定の相関値以上の画像が存在しないと、報知ユニット１０３を動作させて、オペレータに報知して、着脱動作を停止する。

なお、実施形態１において、ブレード情報確認ステップＳＴ３では、制御ユニット１００のデータ処理部１０５が、第２撮像ユニット７６が撮像して得た複数の画像のうち予め定められた所定の相関値以上の画像が存在しないと、オペレータに報知して、着脱動作を停止するが、本発明では、撮像ステップＳＴ２において、他のブレード保持部７４に収容された切削ブレード２１の切り刃２１１の表面２１３を第２撮像ユニット７６で撮像し、所定の相関値以上の画像が少なくとも一以上ある切削ブレード２１を切削ユニット２０に装着しても良い。このように、ブレード情報確認ステップＳＴ３では、ブレードストッカー７０に収容された複数の切削ブレード２１から加工内容情報として登録されたブレード情報と対応付けられている画像と一致する切削ブレード２１を切削ユニット２０に装着しても良い。

なお、この場合、制御ユニット１００のデータ処理部１０５は、全てのブレード保持部７４に収容された切削ブレード２１を第２撮像ユニット７６が撮像して得た複数の画像のうち所定の相関値以上の画像が存在しない場合、即ち、ブレードストッカー７０に収容された複数の切削ブレード２１の全てが加工内容情報として登録されたブレード情報と対応付けられている画像と一致しない場合、オペレータに報知して、着脱動作を停止するのが望ましい。また、加工内容情報として登録されたブレード情報と対応付けられている画像と一致した切削ブレード２１が複数存在する場合には、加工装置１は、所定の相関値以上の画像の数が多い切削ブレード２１又は相関値が最も高い切削ブレード２１を切削ユニット２０に装着するのが望ましい。

以上説明したように、実施形態１に係る切削ブレードの識別方法及び加工装置１は、ブレード管理ステップＳＴ１において、各ブレード保持部７４に収容された切削ブレード２１の切り刃２１１の表面２１３の領域２１５の画像と、ブレード情報とを紐づけて管理データ３００としてブレード管理部１０４に登録する。このために、切削ブレードの識別方法及び加工装置１は、撮像ステップＳＴ２において、切削ブレード２１の切り刃２１１の表面２１３の領域２１５を撮像して、ブレード情報確認ステップＳＴ３において、撮像して得た画像を管理データ３００から探し、一致した画像と紐づけられたブレード情報を確認することで、表面２１３にブレード情報が印字されていない切削ブレード２１でも個体情報を識別出来る。よって、実施形態１に係る切削ブレードの識別方法及び加工装置１は、表面２１３にブレード情報が印字されていない切削ブレードでも、切削ブレード２１のブレード情報することができるという効果を奏する。

実施形態１に係る切削ブレードの識別方法及び加工装置１は、ブレード管理ステップＳＴ１において、各ブレード保持部７４に切削ブレード２１が収容された後に、ブレード情報と保持部番号とを紐付けておくので、ブレード情報確認ステップＳＴ３において、ブレード情報を確認することで、各ブレード保持部７４に収容されている切削ブレード２１が正規のものか否かを判定出来る。

このために、実施形態１に係る切削ブレードの識別方法及び加工装置１は、各ブレードストッカー７０に収容された切削ブレード２１がオペレータにより勝手に取り除かれたり追加された場合でも、ブレード情報確認ステップＳＴ３でどのブレード情報の切削ブレード２１がブレード保持部７４に収容されているのかを正しく判定できる。

〔実施形態２〕
本発明の実施形態２に係る切削ブレードの識別方法及び加工装置を図面に基づいて説明する。図１４は、実施形態２に係る加工装置の制御ユニットのブレード管理部が記憶した管理データの一例を示す図である。

実施形態２に係る加工装置１は、制御ユニット１００のブレード管理部１０４に記憶された各管理データ３００が、図１４に示すように、切削ブレード２１のブレード情報と、切削ブレード２１の切り刃２１１の画像とを１対１で対応付けて、即ち互いに紐付けていること以外、実施形態１と同じである。

実施形態２に係る切削ブレードの管理方法のブレード管理ステップＳＴ１では、加工装置１が、各ブレードストッカー７０の支持部材７３を９０度毎間欠的に回転させながら受け渡し位置のブレード保持部７４に収容された切削ブレード２１の切り刃２１１の表面２１３の領域２１５を貫通孔７７を通して第２撮像ユニット７６で撮像し、制御ユニット１００が第２撮像ユニット７６が撮像して得た切り刃２１１の画像と、加工内容情報として登録されたブレード情報とを対応付けて、これらを対応付けた図１４に示す管理データ３００－２をブレード管理部１０４に記憶する。

実施形態２に係る切削ブレードの管理方法の撮像ステップＳＴ２では、制御ユニット１００が、着脱動作の際に、交換タイミングの切削ユニット２０に装着される加工内容情報として登録されたブレード情報を記憶装置から読み出し、管理データ３００から加工内容情報として登録されたブレード情報と対応付けられている画像を抽出する。

実施形態２において、撮像ステップＳＴ２では、各ブレードストッカー７０の支持部材７３を９０度毎間欠的に回転させながら受け渡し位置のブレード保持部７４に収容された切削ブレード２１の切り刃２１１の表面２１３の領域２１５を貫通孔７７を通して第２撮像ユニット７６で撮像する。また、実施形態２において、撮像ステップＳＴ２では、各ブレード保持部７４に収容された切削ブレード２１の切り刃２１１の表面２１３の領域２１５を撮像する際には、制御ユニット１００が、実施形態１と同様に、図１３に示すように、一方のブレードチャック９２で受け渡し位置７４４の切削ブレード２１を吸引保持し、軸心回りに間欠的に切削ブレード２１を回転させながら第２撮像ユニット７６で撮像する。

実施形態２に係る切削ブレードの管理方法のブレード情報確認ステップＳＴ３では、制御ユニット１００のデータ処理部１０５が、管理データ３００から抽出した加工内容情報として登録されたブレード情報と対応付けられている画像と、第２撮像ユニット７６が撮像して得た複数の画像とに正規化相関等のパターンマッチングを実施し、相関値を算出する。

実施形態２において、ブレード情報確認ステップＳＴ３では、制御ユニット１００のデータ処理部１０５が、第２撮像ユニット７６が撮像して得た複数の画像のうち予め定められた所定の相関値以上の画像が少なくとも一つ以上あると、切削ブレードの識別方法を終了し、加工装置１は、所定の相関値以上の画像が少なくとも一つ以上の切削ブレード２１を実施形態１と同様に、切削ユニット２０に装着する。また、実施形態２において、ブレード情報確認ステップＳＴ３では、制御ユニット１００のデータ処理部１０５が、第２撮像ユニット７６が撮像して得た複数の画像のうち予め定められた所定の相関値以上の画像が存在しないと、報知ユニット１０３を動作させて、オペレータに報知して、着脱動作を停止する。

以上説明したように、実施形態２に係る切削ブレードの識別方法及び加工装置１は、ブレード管理ステップＳＴ１において、各ブレード保持部７４に収容された切削ブレード２１の切り刃２１１の表面２１３の領域２１５の画像と、ブレード情報とを紐づけて管理データ３００－２としてブレード管理部１０４に登録する。このために、切削ブレードの識別方法及び加工装置１は、撮像ステップＳＴ２において、切削ブレード２１の切り刃２１１の表面２１３の領域２１５を撮像して、ブレード情報確認ステップＳＴ３において、撮像して得た画像を管理データ３００から探し、一致した画像と紐づけられたブレード情報を確認することで、表面２１３にブレード情報が印字がされていない切削ブレードでも個体情報を識別出来る。よって、実施形態１に係る切削ブレードの識別方法及び加工装置１は、表面２１３にブレード情報が印字されていない切削ブレード２１でも、切削ブレード２１のブレード情報することができるという効果を奏する。

〔実施形態３〕
本発明の実施形態３に係る切削ブレードの識別方法を図面に基づいて説明する。図１５は、実施形態３に係る切削ブレードの識別方法を実施するブレード識別装置の構成を示す図である。図１６は、図１５に示されたブレード識別装置の撮像ユニットにより撮像される切削ブレードの表面の領域を示す平面図である。図１７は、図１５に示されたブレード識別装置のブレード管理部に記憶される管理データを示す図である。なお、図１５、図１６及び図１７は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

実施形態３に係る切削ブレードの識別方法は、図１５に示すブレード識別装置４００により実施される。ブレード識別装置４００は、図１５に示すように、撮像部である撮像ユニット５０６と、データ管理装置５００とを備える。

撮像ユニット５０６は、切削ブレード２１の切り刃２１１の表面２１３を撮像するものである。実施形態３において、撮像ユニット５０６は、切削ブレード２１の切り刃２１１の表面２１３を撮像する撮像素子を備えている。撮像素子は、例えば、ＣＣＤ（Charge-Coupled Device）撮像素子又はＣＭＯＳ（Complementary MOS）撮像素子である。撮像ユニット３０は、切削ブレード２１の切り刃２１１の表面２１３を撮影し、撮像して得た画像をデータ管理装置５００に出力する。

データ管理装置５００は、ＣＰＵ（central processing unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（read only memory）又はＲＡＭ（random access memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有するコンピュータである。データ管理装置５００の演算処理装置は、記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施する。データ管理装置５００は、入出力インターフェース装置を介して撮像ユニット５０６等と接続する。

データ管理装置５００は、加工動作の状態や画像などを表示する液晶表示装置などにより構成される表示ユニット５０１と、オペレータが加工内容情報などを登録する際に用いる入力ユニット５０２と、報知ユニット５０３とに接続されている。入力ユニット５０２は、表示ユニット１０１に設けられたタッチパネルと、キーボード等の外部入力装置とのうち少なくとも一つにより構成される。報知ユニット５０３は、音と光の少なくとも一方を発して、オペレータに報知するものである。

また、データ管理装置５００は、図１５に示すように、ブレード管理部５０４と、データ処理部５０５とを備える。ブレード管理部５０４は、撮像ユニット５０６が切削ブレード２１の切り刃２１１の表面２１３のうち図１６に一点鎖線で示す予め定められた領域２１６を撮像して得た画像と、ブレード情報とを紐付けた図１７に示す管理データ３００－３を記憶するものである。

実施形態３において、管理データ３００－３は、図１７に示すように、切削ブレード２１のブレード情報と、切削ブレード２１の切り刃２１１の表面２１３の領域２１６の画像とを１対１で対応付けて、即ち互いに紐付けている。なお、ブレード情報は、実施形態１と同様に、切削ブレード２１の品種を示す情報を含んでいるが、本発明では、切削ブレード２１の使用履歴を示す情報を含んでも良い。要するに、本発明では、ブレード情報は、切削ブレード２１の品種を示す情報と使用履歴を示す情報との少なくともいずれかを含めば良い。ブレード情報は、データ管理装置５００がオペレータからの入力ユニット１０２の操作を受け付けること、又は、切削ブレード２１を収容するブレードケースの外表面に付されたブレード情報を読み取った読み取り装置からの読み取り結果を受け付けることで、ブレード管理部１０４に登録される。

画像は、ブレード情報を登録する所定のタイミング等で撮像ユニット５０６により切削ブレード２１の切り刃２１１の表面２１３の領域２１６が撮像されることで、得られ、撮像ユニット５０６が得た画像を得た画像をデータ管理装置５００が受け付けることで、ブレード管理部１０４に登録する。

データ処理部１０５は、ブレード情報を登録した後のタイミングにおいて、撮像ユニット５０６が撮像して得た画像と一致する画像をブレード管理部１０４の管理データ３００から抽出して探し、撮像ユニット５０６が撮像して得た画像と一致する画像と紐付けられたブレード情報を確認するものである。

なお、ブレード管理部１０４の機能は、前述した記憶装置により実現される、データ処理部１０５の機能は、記憶装置に記憶されたコンピュータプログラムを演算処理装置が実行することで実現される。

実施形態３に係る切削ブレードの識別方法は、実施形態１と同様に、切削ブレード２１の識別方法であって、実施形態３では、前述したブレード識別装置４００において実施される。切削ブレードの識別方法は、実施形態１と同様に、ブレード管理ステップＳＴ１と、撮像ステップＳＴ２と、ブレード情報確認ステップＳＴ３とを備える。

実施形態３において、ブレード管理ステップＳＴ１は、ブレード情報を登録する所定のタイミング等で実施される。実施形態１において、ブレード管理ステップＳＴ１では、撮像ユニット５０６が切削ブレード２１の切り刃２１１の表面２１３の領域２１６を撮像し、入力ユニット１０２を介してデータ管理装置５００がオペレータが入力したブレード情報を受け付ける。ブレード管理ステップＳＴ１では、データ管理装置５００は、制御ユニット１００が撮像ユニット５０６が撮像して得た切り刃２１１の表面２１３の領域２１６の画像と、ブレード情報とを対応付けて、これらを対応付けた図１７に示す管理データ３００－３をブレード管理部１０４に記憶する。

実施形態３において、撮像ステップＳＴ２は、ブレード情報を登録した後のタイミングにおいて、ブレード情報を確認したい切削ブレード２１が存在する時等に実施される。実施形態３において、撮像ステップＳＴ２では、撮像ユニット５０６でブレード情報を確認したい切削ブレード２１の切り刃２１１の表面２１３の領域２１６を撮像する。

実施形態３において、ブレード情報確認ステップＳＴ３は、撮像ステップＳＴ２に引き続いて実施される。実施形態３において、ブレード情報確認ステップＳＴ３では、データ管理装置５００のデータ処理部１０５が、撮像ステップＳＴ２にて撮像ユニット５０６が撮像して得た画像と、管理データ３００に登録された画像とに正規化相関等のパターンマッチングを実施し、相関値を算出する。

こうして、実施形態３では、ブレード情報確認ステップＳＴ３では、制御ユニット１００のデータ処理部１０５が管理データ３００に登録された画像と、撮像ユニット５０６が撮像して得た複数の画像とのパターンマッチングを実施することで、撮像ステップＳＴ２にて撮像された画像と一致する切り刃２１１の画像をブレード管理部１０４に記憶された管理データ３００から探し、紐づけられたブレード情報を確認する。

実施形態３において、ブレード情報確認ステップＳＴ３では、制御ユニット１００のデータ処理部１０５が、撮像ユニット５０６が撮像して得た画像との相関値が所定の相関値以上でかつ最も相関値の高い画像を管理データ３００－３から抽出し、抽出した最も相関値の高い画像に対応するブレード情報を表示ユニット１０１に表示して、切削ブレードの識別方法を終了する。また、実施形態３において、ブレード情報確認ステップＳＴ３では、制御ユニット１００のデータ処理部１０５が、撮像ユニット５０６が撮像して得た画像との相関値が所定の相関値以上の画像が管理データ３００に存在しない場合には、ブレード情報が不明である旨等を表示ユニット１０１に表示し、報知ユニット５０３を動作させてオペレータに報知して、切削ブレードの識別方法を終了する。

なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。なお、前述した実施形態では、切削ブレード２１は、切り刃２１１のみからなる所謂ワッシャーブレードであるが、本発明では、リング状の基台と基台の外縁部に配設された切り刃２１１とを備える所謂ハブブレードでも良い。

１ 加工装置
７ ブレード交換ユニット（ブレード交換部）
１０ 保持テーブル
２１ 切削ブレード
２３ スピンドル
７０ ブレードストッカー
７６ 第２撮像ユニット（撮像部）
１０４ ブレード管理部
１０５ データ処理部
２００ ワーク
２１１ 切り刃
５０４ ブレード管理部
５０５ データ処理部
５０６ 撮像ユニット（撮像部）
ＳＴ１ ブレード管理ステップ
ＳＴ２ 撮像ステップ
ＳＴ３ ブレード情報確認ステップ

Claims (3)

1. 切削ブレードの識別方法であって、
   切削ブレードの切り刃の砥粒及びボンド材が露出した表面の一部を撮像した画像と、切削ブレードの品種と使用履歴との少なくともいずれか一つを含むブレード情報と、を紐づけてブレード管理部に登録するブレード管理ステップと、
   該ブレード情報を確認したい切削ブレードの切り刃の砥粒及びボンド材が露出した表面の一部を撮像する撮像ステップと、
   該撮像ステップにて撮像された画像と一致する切り刃の画像を該ブレード管理部から探し、一致した画像と紐づけられたブレード情報を確認するブレード情報確認ステップと、
   を備える切削ブレードの識別方法。
2. 加工装置において実施される請求項１に記載の切削ブレードの識別方法であって、
   該加工装置は、
   切削ブレードを先端に固定するスピンドルと、
   ワークを保持する保持テーブルと、
   複数の切削ブレードを収容するブレードストッカーと、
   該スピンドルと該ブレードストッカーとの間で切削ブレードを搬送し着脱するブレード交換部と、
   切削ブレードの切り刃の砥粒及びボンド材が露出した表面の一部を撮像する撮像部と、を備え、
   該ブレード管理ステップは、該ブレードストッカーに収容される切削ブレードに対して実施され、
   該撮像ステップ及び該ブレード情報確認ステップは、該スピンドルに装着するために該ブレード交換部が該ブレードストッカーから搬送する切削ブレードに対して実施されることを特徴とする、
   請求項１に記載の切削ブレードの識別方法。
3. 加工装置であって、
   該加工装置は、
   保持テーブルに保持されたワークを加工する切削ブレードを先端に固定するスピンドルと、
   複数の切削ブレードを収容するブレードストッカーと、
   該スピンドルと該ブレードストッカーとの間で切削ブレードを搬送し着脱するブレード交換部と、
   切削ブレードの切り刃の砥粒及びボンド材が露出した表面の一部を撮像する撮像部と、
   該ブレードストッカーに収容される切削ブレードの切り刃の砥粒及びボンド材が露出した表面の一部の画像と、品種と使用履歴との少なくともいずれかを含むブレード情報と、を紐づけて記憶するブレード管理部と、
   データ処理部と、を備え、
   該撮像部は、
   該ブレード交換部が該スピンドルに装着するために該ブレードストッカーから搬送する切削ブレードの切り刃の表面の一部を撮像し、
   該データ処理部は、
   撮像された画像と一致する画像を該ブレード管理部から探し、一致した画像と紐づけられたブレード情報を確認することを特徴とする加工装置。