JP7359191B2

JP7359191B2 - Lamination device and method

Info

Publication number: JP7359191B2
Application number: JP2021073020A
Authority: JP
Inventors: 亮平川嶋; 駿介能方; 聖牧野
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2021-04-23
Filing date: 2021-04-23
Publication date: 2023-10-11
Anticipated expiration: 2041-04-23
Also published as: JP2022167297A; CN115229966B; CN115229966A

Description

本発明は、積層装置および積層方法に関する。 The present invention relates to a laminating apparatus and a laminating method.

従来、複数の積層対象物を積層する積層装置が知られている。 2. Description of the Related Art Conventionally, a laminating apparatus for laminating a plurality of laminated objects is known.

そのような積層装置の１つとして、特許文献１には、セラミックグリーンシートを積層する積層装置が記載されている。この積層装置は、Ｘ軸方向に移動可能な圧着ヘッドと、Ｙ軸方向に移動可能なＹθテーブルと、セラミックグリーンシートを積層するための積層ジグとを備える。 As one such laminating apparatus, Patent Document 1 describes a laminating apparatus for laminating ceramic green sheets. This lamination apparatus includes a pressure bonding head movable in the X-axis direction, a Yθ table movable in the Y-axis direction, and a lamination jig for laminating ceramic green sheets.

この積層装置では、セラミックグリーンシートが載置されているＹθテーブルがＹ軸方向に沿って圧着ヘッドの下方の位置に移動する。圧着ヘッドは、降下してセラミックグリーンシートを吸着した後、上昇し、セラミックグリーンシートを保持した状態で、Ｘ軸方向に沿って積層ジグの上方の位置まで移動する。その後、圧着ヘッドは降下し、積層ジグの上にセラミックグリーンシートを載置する。この処理を繰り返すことにより、積層ジグの上に、複数のセラミックグリーンシートを積層する。 In this laminating apparatus, the Yθ table on which the ceramic green sheet is placed moves along the Y-axis direction to a position below the pressure bonding head. The crimping head descends and adsorbs the ceramic green sheet, then rises and moves along the X-axis direction to a position above the lamination jig while holding the ceramic green sheet. Thereafter, the crimping head descends and places the ceramic green sheet on the lamination jig. By repeating this process, a plurality of ceramic green sheets are laminated on the lamination jig.

また、特許文献１の図５には、セラミックグリーンシートに付着しているキャリアフィルムが下側の向きに載置される第１のＹθテーブルと、キャリアフィルムが上側の向きに載置される第２のＹθテーブルの２つのＹθテーブルを設けた構成も示されている。この構成によれば、セラミックグリーンシートに付着しているキャリアフィルムが上下いずれの側になるようにも積層することができるとされている。 Further, FIG. 5 of Patent Document 1 shows a first Yθ table on which the carrier film attached to the ceramic green sheet is placed facing downward, and a first Yθ table on which the carrier film is placed facing upward. A configuration in which two Yθ tables are provided is also shown. According to this configuration, it is said that the ceramic green sheets can be laminated so that the carrier film attached to the ceramic green sheets can be placed on either the upper or lower side.

特開２００３－１５４５１２号公報Japanese Patent Application Publication No. 2003-154512

上述したように、特許文献１に記載の積層装置では、圧着ヘッドが積層ジグの上にセラミックグリーンシートを積層した後、Ｙθテーブルの上方に移動してセラミックグリーンシートを吸着保持し、再び積層ジグの上方に移動してからセラミックグリーンシートを積層するという構成になっている。すなわち、１枚のセラミックグリーンシートを積層するために、圧着ヘッドがＹθテーブルと積層ジグの間を往復する必要があるため、積層するまでに時間を要する。これは、２つのＹθテーブルを設けた構成でも同じである。 As described above, in the laminating apparatus described in Patent Document 1, after the crimping head laminates the ceramic green sheets on the lamination jig, it moves above the Yθ table to suction and hold the ceramic green sheets, and then laminates the lamination jig again. The structure is such that the ceramic green sheets are laminated after the ceramic green sheets are moved above the surface. That is, in order to laminate one ceramic green sheet, it is necessary for the crimping head to move back and forth between the Yθ table and the laminate jig, so it takes time to laminate the sheets. This also applies to a configuration in which two Yθ tables are provided.

本発明は、上記課題を解決するものであり、積層時間を短縮することが可能な積層装置および積層方法を提供することを目的とする。 The present invention solves the above problems, and aims to provide a laminating apparatus and a laminating method that can shorten the laminating time.

本発明の積層装置は、
主面上に積層対象物を載置するための複数の載置スペースを有するステージと、
前記ステージ上の複数の前記載置スペース毎に前記積層対象物を載置可能な複数の載置部と、
前記ステージと対向して、前記載置スペースに載置されている前記各積層対象物を順次ピックアップして保持することにより複数の前記積層対象物が積層された積層体を保持可能な保持部と、
前記ステージ、複数の前記載置部、及び前記保持部の動作を制御するための制御部と、を備え、
前記保持部及び前記ステージは、前記主面と平行なＸ軸方向、及び前記主面と平行で前記Ｘ軸に直交するＹ軸方向に相対移動可能であり、
複数の前記載置部は、前記主面と平行な一方向に移動可能であり、
前記制御部は、
前記保持部が前記ステージ上の前記載置スペースに載置されている前記積層対象物をピックアップする動作を行っているときに、複数の前記載置部のうちの少なくとも１つを前記ステージ上の別の前記載置スペースにさせて当該載置スペースに前記積層対象物を載置するように、前記保持部及び前記載置部の動作を制御する
ことを特徴とする。 The laminating apparatus of the present invention includes:
a stage having a plurality of placement spaces for placing objects to be laminated on the main surface ;
a plurality of placement units capable of placing the stacked objects in each of the plurality of placement spaces on the stage;
a holding unit that faces the stage and is capable of holding a laminate in which a plurality of the stacked objects are stacked by sequentially picking up and holding each of the stacked objects placed in the placement space; ,
A control unit for controlling the operation of the stage, the plurality of placement units, and the holding unit,
The holding unit and the stage are relatively movable in an X-axis direction parallel to the main surface and a Y-axis direction parallel to the main surface and orthogonal to the X-axis,
The plurality of mounting parts are movable in one direction parallel to the main surface,
The control unit includes:
When the holding unit is performing an operation of picking up the stacked objects placed in the placement space on the stage, at least one of the plurality of placement units is placed on the stage. controlling the operations of the holding section and the placing section so as to set the object to be stacked in another placing space;
It is characterized by

本発明の積層方法は、積層対象物を積層する方法であって、
主面上に複数の載置スペースを有するステージの前記載置スペースの１つに前記積層対象物を載置する載置工程と、
前記積層対象物を保持部によってピックアップして保持する保持工程と、を備え、
前記保持工程を繰り返して複数の前記載置スペースの前記積層対象物を順次ピックアップすることにより、複数の前記積層対象物を積層し、
前記載置工程では、前記保持工程が行われているときに、ピックアップされる前記積層対象物が載置されている前記載置スペースとは別の前記載置スペースに前記積層対象物を載置する
ことを特徴とする。 The lamination method of the present invention is a method of laminating objects to be laminated, comprising:
a placing step of placing the object to be stacked in one of the placement spaces of a stage having a plurality of placement spaces on the main surface ;
a holding step of picking up and holding the laminated object by a holding part,
Stacking a plurality of the stacking objects by repeating the holding step and sequentially picking up the stacking objects in the plurality of placement spaces,
In the placing step, when the holding step is being performed, the stacking object is placed in a placement space that is different from the placement space in which the stacking object to be picked up is placed. It is characterized by:

本発明の積層装置によれば、保持部がステージ上の載置スペースに載置されている積層対象物をピックアップする動作を行っているときに、複数の載置部のうちの少なくとも１つがステージ上の別の載置スペースに積層対象物を載置するように構成されているので、保持部は、載置スペースに載置されている積層対象物をピックアップした後、積層対象物が載置されている別の載置スペースに移動してすぐに次の積層対象物をピックアップすることができる。したがって、保持部は、ステージ上の載置スペースから別の載置スペースへと移動する毎に、積層対象物をピックアップして積層することができるので、積層時間を短縮することができる。 According to the stacking apparatus of the present invention, when the holding section is performing an operation of picking up the stacking objects placed in the mounting space on the stage, at least one of the plurality of mounting sections is placed on the stage. Since the stacking object is configured to be placed in another placement space above, the holding unit picks up the stacking object placed in the placement space, and then picks up the stacking object placed in the placement space. You can move to another loading space and immediately pick up the next object to be stacked. Therefore, the holding section can pick up and stack the objects to be stacked each time it moves from one mounting space on the stage to another, so that the stacking time can be shortened.

本発明の積層方法によれば、保持部がステージ上の載置スペースに載置されている積層対象物をピックアップして保持する保持工程が行われているときに、ピックアップされる積層対象物が載置されている載置スペースとは別の載置スペースに積層対象物を載置するので、保持部は、載置スペースに載置されている積層対象物をピックアップした後、積層対象物が載置されている別の載置スペースに移動してすぐに次の積層対象物をピックアップすることができる。したがって、保持部は、ステージ上の載置スペースから別の載置スペースへと移動する毎に、積層対象物をピックアップして積層することができるので、積層時間を短縮することができる。 According to the stacking method of the present invention, when the holding section picks up and holds the stacked objects placed in the mounting space on the stage, the stacked objects to be picked up are Since the objects to be stacked are placed in a mounting space that is different from the mounting space in which they are placed, the holding unit picks up the objects to be stacked that are placed in the mounting space, and then The next stacked object can be immediately picked up by moving to another stacking space. Therefore, the holding section can pick up and stack the objects to be stacked each time it moves from one mounting space on the stage to another, so that the stacking time can be shortened.

図１は、本発明の第１の実施形態における積層装置の構成を模式的に示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view schematically showing the configuration of a laminating apparatus according to a first embodiment of the present invention. 図２（ａ）は、ステージの移動によって、その中心位置が描く移動軌跡の一例を示し、図２（ｂ）は、保持部の移動によって、その中心位置が描く移動軌跡の一例を示す図である。FIG. 2(a) shows an example of a movement trajectory drawn by the center position as the stage moves, and FIG. 2(b) shows an example of a movement trajectory drawn by the center position as the holding part moves. be. （ａ）は、慣性力キャンセリングの効果を確認するために用いた実験機の構成を模式的に示す図であり、（ｂ１）～（ｂ４）は、保持部およびステージを想定した２つのスライダーを使い、いくつかの動かし方により生じた振動を測定した結果を示す図であって、（ｂ１）は、第１のスライダーの質量と第２のスライダーの質量とが同一であって、第２のスライダーは動かずに第１のスライダーだけが移動する場合の振動の時間変化を示し、（ｂ２）は、第１のスライダーの質量と第２のスライダーの質量とが同一であって、第１のスライダーと第２のスライダーがそれぞれ同じ距離を移動する場合の振動の時間変化を示し、（ｂ３）は、第１のスライダーの質量と第２のスライダーの質量が相違しており、第１のスライダーと第２のスライダーがそれぞれ同じ距離を移動する場合の振動の時間変化を示し、（ｂ４）は、第１のスライダーの質量と第２のスライダーの質量が相違しており、第１のスライダーの慣性力と第２のスライダーの慣性力の総和が０となるように、第１のスライダーと第２のスライダーの移動距離が調整されている場合の振動の時間変化を示す。(a) is a diagram schematically showing the configuration of the experimental machine used to confirm the effect of inertial force canceling, and (b1) to (b4) are two sliders assumed to be a holding part and a stage. (b1) is a diagram showing the results of measuring vibrations caused by several movement methods using (b2) shows the time change of vibration when the slider does not move and only the first slider moves, and (b2) shows that the mass of the first slider and the mass of the second slider are the same and the first slider (b3) shows the time change of vibration when the slider and the second slider move the same distance, and (b3) shows that the mass of the first slider and the mass of the second slider are different, and the mass of the first slider is different. It shows the time change of vibration when the slider and the second slider each move the same distance, and (b4) shows the difference in the mass of the first slider and the mass of the second slider, and the first slider Fig. 3 shows the change in vibration over time when the moving distances of the first slider and the second slider are adjusted so that the sum of the inertial force of the slider and the inertial force of the second slider becomes 0. 第１の実施形態における積層装置の積層動作を説明するための図であって、保持部がステージ上の第１の載置スペースに載置されている積層対象物をピックアップする状態を示す図である。FIG. 3 is a diagram for explaining the stacking operation of the stacking apparatus in the first embodiment, and shows a state in which the holding section picks up the stacked object placed in the first placement space on the stage. be. 第１の実施形態における積層装置の積層動作を説明するための図であって、保持部がステージ上の第２の載置スペースに載置されている積層対象物をピックアップする状態を示す図である。FIG. 3 is a diagram for explaining the stacking operation of the stacking device in the first embodiment, and shows a state in which the holding unit picks up the stacked object placed in the second placement space on the stage. be. 第１の実施形態における積層装置の積層動作を説明するための図であって、保持部がステージ上の第３の載置スペースに載置されている積層対象物をピックアップする状態を示す図である。FIG. 4 is a diagram for explaining the stacking operation of the stacking apparatus in the first embodiment, and shows a state in which the holding unit picks up the stacked object placed in the third placement space on the stage. be. 第１の実施形態における積層装置の積層動作を説明するための図であって、保持部がステージ上の第４の載置スペースに載置されている積層対象物をピックアップする状態を示す図である。FIG. 3 is a diagram for explaining the stacking operation of the stacking apparatus in the first embodiment, and shows a state in which the holding unit picks up the stacked object placed in the fourth placement space on the stage. be. ステージ上に２つの載置スペースが設けられた構成において、ステージと、第１の載置部および第２の載置部と、保持部の動作を説明するための図である。FIG. 7 is a diagram for explaining the operations of the stage, the first mounting section, the second mounting section, and the holding section in a configuration in which two mounting spaces are provided on the stage.

以下に本発明の実施形態を示して、本発明の特徴を具体的に説明する。 Embodiments of the present invention will be shown below, and features of the present invention will be specifically explained.

＜第１の実施形態＞
図１は、本発明の第１の実施形態における積層装置１００の構成を模式的に示す斜視図である。第１の実施形態における積層装置１００は、ステージ１０と、複数の載置部２０と、保持部３０とを備える。積層装置１００は、ステージ１０と、複数の載置部２０と、保持部３０の動作を制御するための制御部４０をさらに備えていてもよい。なお、図１では、構成が分かりやすいように、ステージ１０と、複数の載置部２０と、保持部３０とがそれぞれ分離した状態を示しているが、実際は、それぞれが図示しないフレームに接続されており、分離はしていない。 <First embodiment>
FIG. 1 is a perspective view schematically showing the configuration of a laminating apparatus 100 according to a first embodiment of the present invention. The laminating apparatus 100 in the first embodiment includes a stage 10, a plurality of mounting sections 20, and a holding section 30. The stacking apparatus 100 may further include a control unit 40 for controlling the operations of the stage 10 , the plurality of mounting units 20 , and the holding unit 30 . In addition, in FIG. 1, the stage 10, the plurality of mounting parts 20, and the holding part 30 are shown in a separated state to make the configuration easier to understand, but in reality, each is connected to a frame (not shown). It is not separated.

本実施形態における積層装置１００は、保持部３０がステージ１０上に載置されている複数の積層対象物１を順次ピックアップして保持することによって、複数の積層対象物１が積層された積層体を得る。積層対象物１は、例えば、シート状の部材である。 The laminating apparatus 100 according to the present embodiment has a laminate in which the plurality of laminated objects 1 are stacked by the holding unit 30 sequentially picking up and holding the plurality of laminated objects 1 placed on the stage 10. get. The object to be laminated 1 is, for example, a sheet-like member.

ステージ１０は、その主面１０ａ上に、積層対象物１を載置するための複数の載置スペース１１を有する。本実施形態では、複数の載置スペース１１として、第１の載置スペース１１ａ、第２の載置スペース１１ｂ、第３の載置スペース１１ｃ、および、第４の載置スペース１１ｄの４つの載置スペース１１が設けられている。ステージ１０上に４つの載置スペース１１を設けた構成では、４種類の積層対象物１を順に積層して１セットとなる構造体を得る際、４つの載置スペース１１にそれぞれ同一種類の積層対象物１を載置すればよいので、生産性が向上する。ただし、ステージ１０上の載置スペース１１の数が４つに限定されることはない。 The stage 10 has a plurality of mounting spaces 11 on its main surface 10a, in which the objects 1 to be stacked are mounted. In this embodiment, the plurality of mounting spaces 11 include four mounting spaces: a first mounting space 11a, a second mounting space 11b, a third mounting space 11c, and a fourth mounting space 11d. A storage space 11 is provided. In a configuration in which four mounting spaces 11 are provided on the stage 10, when four types of stacked objects 1 are sequentially stacked to obtain one set of structures, the same type of stacked objects are placed in each of the four mounting spaces 11. Since it is only necessary to place the object 1, productivity is improved. However, the number of mounting spaces 11 on the stage 10 is not limited to four.

第１の載置スペース１１ａ、第２の載置スペース１１ｂ、第３の載置スペース１１ｃ、および、第４の載置スペース１１ｄの４つの載置スペース１１は、図２（ａ）に示すように、２行２列となる位置に配置されている。４つの載置スペース１１が２行２列となる位置に配置されることにより、後述するように、ステージ１０および保持部３０が移動する際の移動距離を短くすることが可能となる。本実施形態では、第１の載置スペース１１ａ～第４の載置スペース１１ｄの２行２列の配置に応じて、行方向をＸ軸方向、列方向をＹ軸方向、Ｘ軸方向およびＹ軸方向のいずれの方向にも直交する方向をＺ軸方向と定める。 The four mounting spaces 11, the first mounting space 11a, the second mounting space 11b, the third mounting space 11c, and the fourth mounting space 11d, are arranged as shown in FIG. 2(a). They are arranged in two rows and two columns. By arranging the four mounting spaces 11 in two rows and two columns, it is possible to shorten the moving distance when the stage 10 and the holding section 30 move, as will be described later. In this embodiment, the row direction is the X-axis direction, the column direction is the Y-axis direction, and the X-axis direction and the Y-axis direction are A direction perpendicular to any axial direction is defined as the Z-axis direction.

本実施形態において、ステージ１０の主面１０ａは、矩形の形状を有する。また、第１の載置スペース１１ａ、第２の載置スペース１１ｂ、第３の載置スペース１１ｃ、および、第４の載置スペース１１ｄも、載置される積層対象物１の形状に応じて、矩形の形状を有する。ただし、積層対象物１および載置スペース１１の形状が矩形に限定されることはない。第１の載置スペース１１ａの中心位置Ｃ１、第２の載置スペース１１ｂの中心位置Ｃ２、第３の載置スペース１１ｃの中心位置Ｃ３、および、第４の載置スペース１１ｄの中心位置Ｃ４は、ステージ１０の中心位置Ｃ０から等距離の位置にある（図２（ａ））。 In this embodiment, the main surface 10a of the stage 10 has a rectangular shape. Further, the first placement space 11a, the second placement space 11b, the third placement space 11c, and the fourth placement space 11d are also arranged according to the shape of the stacked objects 1 to be placed. , has a rectangular shape. However, the shapes of the stacked objects 1 and the mounting space 11 are not limited to rectangular shapes. The center position C1 of the first mounting space 11a, the center position C2 of the second mounting space 11b, the center position C3 of the third mounting space 11c, and the center position C4 of the fourth mounting space 11d are , are located equidistant from the center position C0 of the stage 10 (FIG. 2(a)).

ステージ１０上において、第１の載置スペース１１ａと第２の載置スペース１１ｂは、Ｘ軸方向において隣り合う位置に配置されており、第３の載置スペース１１ｃと第４の載置スペース１１ｄは、Ｘ軸方向において隣り合う位置に配置されている。また、第１の載置スペース１１ａと第４の載置スペース１１ｄは、Ｙ軸方向において隣り合う位置に配置されており、第２の載置スペース１１ｂと第３の載置スペース１１ｃは、Ｙ軸方向において隣り合う位置に配置されている。第１の載置スペース１１ａと第３の載置スペース１１ｃは、互いに対角線上の位置に配置されており、第２の載置スペース１１ｂと第４の載置スペース１１ｄは、互いに対角線上の位置に配置されている。各載置スペース１１ａ～１１ｄは、ステージ１０上で互いに重ならない位置に設けられている。 On the stage 10, the first mounting space 11a and the second mounting space 11b are arranged at adjacent positions in the X-axis direction, and the third mounting space 11c and the fourth mounting space 11d are arranged at adjacent positions in the X-axis direction. Further, the first mounting space 11a and the fourth mounting space 11d are arranged at adjacent positions in the Y-axis direction, and the second mounting space 11b and the third mounting space 11c are arranged at positions adjacent to each other in the Y-axis direction. They are arranged at adjacent positions in the axial direction. The first mounting space 11a and the third mounting space 11c are arranged diagonally to each other, and the second mounting space 11b and the fourth mounting space 11d are arranged diagonally to each other. It is located in The mounting spaces 11a to 11d are provided on the stage 10 at positions that do not overlap with each other.

複数の載置部２０は、ステージ１０上の複数の載置スペース１１毎に積層対象物１を載置可能に構成されている。本実施形態では、４つの載置スペース１１ａ～１１ｄに対応して、第１の載置部２０ａ、第２の載置部２０ｂ、第３の載置部２０ｃ、および、第４の載置部２０ｄの４つの載置部２０が設けられている。第１の載置部２０ａ～第４の載置部２０ｄはそれぞれ、Ｘ軸およびＹ軸で規定されるＸＹ座標上の一方向、本実施形態ではＹ軸方向に移動可能に構成されている。 The plurality of placement units 20 are configured to be able to place the stacked objects 1 in each of the plurality of placement spaces 11 on the stage 10 . In this embodiment, a first placing section 20a, a second placing section 20b, a third placing section 20c, and a fourth placing section correspond to the four placing spaces 11a to 11d. Four mounting sections 20 20d are provided. Each of the first mounting section 20a to the fourth mounting section 20d is configured to be movable in one direction on the XY coordinate defined by the X axis and the Y axis, in this embodiment, in the Y axis direction.

第１の載置部２０ａは、ステージ１０上の第１の載置スペース１１ａに積層対象物１を載置可能に構成されている。一例として、第１の載置部２０ａは、積層対象物１として、樹脂フィルムを第１の載置スペース１１ａに載置する。樹脂フィルムは、セパレータとして機能するシート状の電池材料であって、例えば、ポリエチレンからなる。本実施形態において、樹脂フィルムは、矩形の形状を有しており、例えば、長尺状の樹脂フィルムシートを切り出して使用することが可能である。 The first mounting section 20a is configured to be able to place the stacked objects 1 in the first mounting space 11a on the stage 10. As an example, the first mounting section 20a places a resin film as the object to be laminated 1 in the first mounting space 11a. The resin film is a sheet-shaped battery material that functions as a separator, and is made of polyethylene, for example. In this embodiment, the resin film has a rectangular shape, and for example, a long resin film sheet can be cut out and used.

本実施形態において、第１の載置部２０ａは、ステージ１０と対向する面である下面で吸着保持した積層対象物１をステージ１０上の第１の載置スペース１１ａに載置する。具体的には、第１の載置部２０ａは、Ｙ軸方向およびＺ軸方向に移動可能であり、所定の位置で積層対象物１を吸引保持してステージ１０の第１の載置スペース１１ａの上方に移動した後、ステージ１０に向かって下降して吸引を停止することにより、ステージ１０上の第１の載置スペース１１ａに積層対象物１を載置する。 In the present embodiment, the first mounting section 20a places the stacked object 1, which is held by suction on the lower surface that faces the stage 10, in the first mounting space 11a on the stage 10. Specifically, the first mounting section 20a is movable in the Y-axis direction and the Z-axis direction, and sucks and holds the stacking object 1 at a predetermined position to place it in the first mounting space 11a of the stage 10. After moving upward, the stacking object 1 is placed in the first placement space 11a on the stage 10 by descending toward the stage 10 and stopping suction.

第２の載置部２０ｂは、ステージ１０上の第２の載置スペース１１ｂに積層対象物１を載置可能に構成されている。一例として、第２の載置部２０ｂは、積層対象物１として、第１の金属箔を第２の載置スペース１１ｂに載置する。第１の金属箔は、正極および負極のうちの一方の電極として機能するシート状の電池材料であって、例えば、アルミニウムからなる。本実施形態において、第１の金属箔は、矩形の形状を有する。第１の金属箔には、位置合わせのためのアライメントマークが設けられていてもよい。 The second placement section 20b is configured to be able to place the stacked objects 1 in the second placement space 11b on the stage 10. As an example, the second mounting section 20b places the first metal foil as the object to be laminated 1 in the second mounting space 11b. The first metal foil is a sheet-shaped battery material that functions as one of the positive electrode and the negative electrode, and is made of, for example, aluminum. In this embodiment, the first metal foil has a rectangular shape. The first metal foil may be provided with alignment marks for positioning.

本実施形態において、第２の載置部２０ｂは、ステージ１０と対向する面である下面で吸着保持した積層対象物１をステージ１０上の第２の載置スペース１１ｂに載置する。具体的には、第２の載置部２０ｂは、Ｙ軸方向およびＺ軸方向に移動可能であり、所定の位置で積層対象物１を吸引保持してステージ１０の第２の載置スペース１１ｂの上方に移動した後、ステージ１０に向かって下降して吸引を停止することにより、ステージ１０上の第２の載置スペース１１ｂに積層対象物１を載置する。 In the present embodiment, the second mounting section 20b places the stacked object 1, which is held by suction on the lower surface that faces the stage 10, in the second mounting space 11b on the stage 10. Specifically, the second mounting section 20b is movable in the Y-axis direction and the Z-axis direction, and sucks and holds the stacked object 1 at a predetermined position to move it into the second mounting space 11b of the stage 10. After moving above, the stacking object 1 is placed in the second placement space 11b on the stage 10 by descending toward the stage 10 and stopping suction.

第３の載置部２０ｃは、ステージ１０上の第３の載置スペース１１ｃに積層対象物１を載置可能に構成されている。一例として、第３の載置部２０ｃは、積層対象物１として、樹脂フィルムを第３の載置スペース１１ｃに載置する。樹脂フィルムは、セパレータとして機能するシート状の電池材料であって、例えば、ポリエチレンからなる。本実施形態において、樹脂フィルムは、矩形の形状を有しており、例えば、長尺状の樹脂フィルムシートを切り出して使用することが可能である。 The third placement section 20c is configured to be able to place the stacked objects 1 in the third placement space 11c on the stage 10. As an example, the third mounting section 20c places a resin film as the object 1 to be laminated in the third mounting space 11c. The resin film is a sheet-shaped battery material that functions as a separator, and is made of polyethylene, for example. In this embodiment, the resin film has a rectangular shape, and for example, a long resin film sheet can be cut out and used.

本実施形態において、第３の載置部２０ｃは、ステージ１０と対向する面である下面で吸着保持した積層対象物１をステージ１０上の第３の載置スペース１１ｃに載置する。具体的には、第３の載置部２０ｃは、Ｙ軸方向およびＺ軸方向に移動可能であり、所定の位置で積層対象物１を吸引保持してステージ１０の第３の載置スペース１１ｃの上方に移動した後、ステージ１０に向かって下降して吸引を停止することにより、ステージ１０上の第３の載置スペース１１ｃに積層対象物１を載置する。 In the present embodiment, the third mounting section 20c places the stacked object 1, which is suction-held on the lower surface that faces the stage 10, in the third mounting space 11c on the stage 10. Specifically, the third mounting section 20c is movable in the Y-axis direction and the Z-axis direction, and sucks and holds the stacked object 1 at a predetermined position to move it into the third mounting space 11c of the stage 10. After moving above, the stacking object 1 is placed in the third placement space 11c on the stage 10 by descending toward the stage 10 and stopping suction.

第４の載置部２０ｄは、ステージ１０上の第４の載置スペース１１ｄに積層対象物１を載置可能に構成されている。一例として、第４の載置部２０ｄは、積層対象物１として、第２の金属箔を載置する。第２の金属箔は、正極および負極のうちの他方の電極として機能するシート状の電池材料であって、例えば、アルミニウムからなる。本実施形態において、第２の金属箔は、矩形の形状を有する。第２の金属箔には、位置合わせのためのアライメントマークが設けられていてもよい。 The fourth mounting section 20d is configured to be able to place the stacked objects 1 in the fourth mounting space 11d on the stage 10. As an example, the fourth placing section 20d places a second metal foil as the object 1 to be laminated. The second metal foil is a sheet-shaped battery material that functions as the other electrode of the positive electrode and the negative electrode, and is made of, for example, aluminum. In this embodiment, the second metal foil has a rectangular shape. The second metal foil may be provided with alignment marks for positioning.

本実施形態において、第４の載置部２０ｄは、ステージ１０と対向する面である下面で吸着保持した積層対象物１をステージ１０上の第４の載置スペース１１ｄに載置する。具体的には、第４の載置部２０ｄは、Ｙ軸方向およびＺ軸方向に移動可能であり、所定の位置で積層対象物１を吸引保持してステージ１０の第４の載置スペース１１ｄの上方に移動した後、ステージ１０に向かって下降して吸引を停止することにより、ステージ１０上の第４の載置スペース１１ｄに積層対象物１を載置する。 In the present embodiment, the fourth mounting section 20d places the stacked object 1, which is held by suction on the lower surface that faces the stage 10, in the fourth mounting space 11d on the stage 10. Specifically, the fourth mounting section 20d is movable in the Y-axis direction and the Z-axis direction, and suction-holds the stacked objects 1 at a predetermined position to place the stacked objects 1 in the fourth mounting space 11d of the stage 10. After moving upward, the stacking object 1 is placed in the fourth placement space 11d on the stage 10 by descending toward the stage 10 and stopping suction.

なお、複数の載置部２０が積層対象物１を運搬する方法が積層対象物１を吸着保持して運搬する方法に限定されることもない。 Note that the method by which the plurality of placement units 20 transport the stacked objects 1 is not limited to the method of holding and transporting the stacked objects 1 by suction.

保持部３０は、ステージ１０と対向して、ステージ１０上の載置スペース１１に載置されている積層対象物１をピックアップして保持することができるように構成されている。保持部３０は、例えば、吸引することによって積層対象物１をピックアップして保持する。保持部３０が複数の積層対象物１を順次ピックアップして保持することにより、複数の積層対象物１が積層された積層体が得られる。すなわち、保持部３０が積層対象物１を積層する積層機能を有することにより、積層対象物１を保持しながら順次ピックアップすることができる。このため、別の場所に積層部を設ける必要がなくなるので、積層部へと積層対象物１を搬送する必要がなくなり、積層スピードを向上させることができる。 The holding unit 30 is configured to face the stage 10 and to be able to pick up and hold the stacking object 1 placed in the placement space 11 on the stage 10 . The holding unit 30 picks up and holds the stacking object 1 by suction, for example. When the holding unit 30 sequentially picks up and holds the plurality of objects 1 to be stacked, a laminate in which the objects 1 to be stacked are stacked is obtained. That is, since the holding unit 30 has a stacking function of stacking the stacking objects 1, it is possible to sequentially pick up the stacking objects 1 while holding them. Therefore, there is no need to provide a stacking section in a separate location, so there is no need to transport the objects 1 to be stacked to the stacking section, and the stacking speed can be increased.

ステージ１０および保持部３０のうちの少なくとも一方は、ステージ１０の主面１０ａと平行な方向に移動可能である。本実施形態では、ステージ１０および保持部３０の両方がステージ１０の主面１０ａと平行な方向に移動可能である。 At least one of the stage 10 and the holding section 30 is movable in a direction parallel to the main surface 10a of the stage 10. In this embodiment, both the stage 10 and the holding part 30 are movable in a direction parallel to the main surface 10a of the stage 10.

具体的には、ステージ１０は、移動軌跡が矩形を描くように移動可能に構成されている。「移動軌跡が矩形を描くように移動」とは、ステージ１０上の任意の位置を基準点としたときに、ステージ１０の移動によって基準点の移動軌跡が矩形を描くことを意味する。図２（ａ）は、ステージ１０の中心位置Ｃ０を基準点としたときに、ステージ１０の移動によって描かれる中心位置Ｃ０の移動軌跡Ｓ１の一例を示している。なお、図２（ａ）では、ステージ１０が反時計回りの方向に環状に移動することによって、移動軌跡が矩形となることを示しているが、時計回りの方向に移動するように構成されていてもよい。 Specifically, the stage 10 is configured to be movable so that its movement trajectory draws a rectangular shape. "Moving so that the movement locus draws a rectangle" means that when an arbitrary position on the stage 10 is set as a reference point, the movement locus of the reference point draws a rectangle due to the movement of the stage 10. FIG. 2A shows an example of a movement trajectory S1 of the center position C0 drawn by the movement of the stage 10, when the center position C0 of the stage 10 is used as a reference point. Note that although FIG. 2(a) shows that the stage 10 moves in a counterclockwise direction in a circular manner, the movement locus becomes a rectangle, but the stage 10 is configured to move in a clockwise direction. It's okay.

すなわち、ステージ１０は、Ｘ軸方向およびＹ軸方向にそれぞれ移動可能に構成されている。移動軌跡が矩形を描くようにステージ１０が移動することにより、ステージ１０をＸ軸方向およびＹ軸方向の両方向に同時に移動させる必要がないため、ステージ１０の位置の繰り返し精度が向上し、位置ずれを抑制することができる。また、ステージ１０がＸ軸方向およびＹ軸方向にそれぞれ移動可能に構成されていることにより、一方向にだけ移動可能に構成されている場合と比べて、ステージ１０の駆動手段、例えばモータの負荷を低減することができる。なお、ステージ１０は、さらにＺ軸方向に移動可能に構成されていてもよい。 That is, the stage 10 is configured to be movable in the X-axis direction and the Y-axis direction. By moving the stage 10 so that the movement locus draws a rectangular shape, there is no need to move the stage 10 in both the X-axis direction and the Y-axis direction at the same time, improving the repeatability of the position of the stage 10 and reducing positional deviation. can be suppressed. Furthermore, since the stage 10 is configured to be movable in each of the X-axis direction and the Y-axis direction, the load on the driving means of the stage 10, for example, a motor, is lower than in the case where the stage 10 is configured to be movable in only one direction. can be reduced. Note that the stage 10 may be configured to be further movable in the Z-axis direction.

保持部３０も、移動軌跡が矩形を描くように移動可能に構成されている。「移動軌跡が矩形を描くように移動」とは、保持部３０上の任意の位置を基準点としたときに、保持部３０の移動によって基準点の移動軌跡が矩形を描くことを意味する。図２（ｂ）は、保持部３０の中心位置Ｃ５を基準点としたときに、保持部３０の移動によって描かれる中心位置Ｃ５の移動軌跡Ｓ２の一例を示している。なお、図２（ｂ）では、保持部３０が反時計回りの方向に環状に移動することによって、移動軌跡が矩形となることを示しているが、時計回りの方向に移動するように構成されていてもよい。 The holding part 30 is also configured to be movable so that its movement locus draws a rectangular shape. "Moving so that the movement locus draws a rectangle" means that when an arbitrary position on the holding part 30 is set as a reference point, the movement locus of the reference point draws a rectangle due to the movement of the holding part 30. FIG. 2B shows an example of a movement trajectory S2 of the center position C5 drawn by the movement of the holding part 30, when the center position C5 of the holding part 30 is used as a reference point. Note that although FIG. 2B shows that the holding portion 30 moves in a counterclockwise direction in a circular manner, the movement locus becomes rectangular. You can leave it there.

すなわち、保持部３０は、Ｘ軸方向およびＹ軸方向にそれぞれ移動可能に構成されている。移動軌跡が矩形を描くように保持部３０が移動することにより、保持部３０をＸ軸方向およびＹ軸方向の両方向に同時に移動させる必要がないため、保持部３０の位置の繰り返し精度が向上し、位置ずれを抑制することができる。また、保持部３０がＸ軸方向およびＹ軸方向にそれぞれ移動可能に構成されていることにより、一方向にだけ移動可能に構成されている場合と比べて、保持部３０の駆動手段、例えばモータの負荷を低減することができる。 That is, the holding portion 30 is configured to be movable in the X-axis direction and the Y-axis direction. By moving the holding part 30 so that the movement locus draws a rectangular shape, there is no need to move the holding part 30 in both the X-axis direction and the Y-axis direction at the same time, so the repeatability of the position of the holding part 30 is improved. , misalignment can be suppressed. Further, since the holding part 30 is configured to be movable in the X-axis direction and the Y-axis direction, compared to a case in which the holding part 30 is configured to be movable in only one direction, the driving means of the holding part 30, for example, a motor, load can be reduced.

また、本実施形態において、保持部３０は、Ｚ軸方向に移動可能に構成されており、さらに、Ｘ軸およびＹ軸で規定されるＸＹ座標上において、中心位置Ｃ５を基準として回転可能に構成されている。 Furthermore, in the present embodiment, the holding part 30 is configured to be movable in the Z-axis direction, and further configured to be rotatable with respect to the center position C5 on the XY coordinate defined by the X-axis and the Y-axis. has been done.

保持部３０とステージ１０がそれぞれ矩形を描くように環状に移動する際、保持部３０が環状に移動する動きとステージ１０が環状に移動する動きは、互いに半周期ずれている。すなわち、保持部３０とステージ１０は、それぞれ矩形を描くように、同一方向に環状に移動するが、環状に１周移動する際の移動時間を１周期としたときに、互いに半周期ずれた状態で移動する。このため、Ｘ軸およびＹ軸によって規定されるＸＹ座標上を保持部３０とステージ１０が同時に移動する際、保持部３０とステージ１０は互いに逆方向に移動する。 When the holding part 30 and the stage 10 each move annularly in a rectangular manner, the annular movement of the holding part 30 and the annular movement of the stage 10 are shifted by a half cycle from each other. In other words, the holding unit 30 and the stage 10 each move annularly in the same direction so as to draw a rectangle, but when the movement time for one round of annular movement is taken as one cycle, they are shifted by half a cycle from each other. Move with. Therefore, when the holding section 30 and the stage 10 move simultaneously on the XY coordinates defined by the X-axis and the Y-axis, the holding section 30 and the stage 10 move in opposite directions.

本実施形態では、保持部３０が次の積層対象物１をピックアップする際、保持部３０とステージ１０はそれぞれ、保持部３０とステージ１０が対向する方向から見て互いに近づく方向に移動可能に構成されている。保持部３０が次の積層対象物１をピックアップする際、保持部３０は、ステージ１０の上方で移動するが、互いに近づく方向とは、保持部３０の移動方向とステージ１０の移動方向が逆方向であって、互いに遠ざかる方向ではない方向のことである。また、本実施形態において、保持部３０とステージ１０が対向する方向は、Ｚ軸と平行な方向であるため、保持部３０とステージ１０は、Ｘ軸およびＹ軸によって規定されるＸＹ平面において、互いに近づく方向に移動可能である。保持部３０とステージ１０がそれぞれ互いに近づく方向に移動することにより、保持部３０だけが移動する場合およびステージ１０だけが移動する場合と比べて、保持部３０が１つの載置スペース１１から次の載置スペース１１へと移動する時間を短縮することができるので、積層対象物１の積層時間をより短縮することができる。 In this embodiment, when the holding part 30 picks up the next stacked object 1, the holding part 30 and the stage 10 are configured to be movable in the direction toward each other when viewed from the direction in which the holding part 30 and the stage 10 face each other. has been done. When the holding unit 30 picks up the next stacked object 1, the holding unit 30 moves above the stage 10, but the moving direction of the holding unit 30 and the moving direction of the stage 10 are opposite to the direction in which they approach each other. It is a direction that does not move away from each other. Furthermore, in this embodiment, since the direction in which the holding part 30 and the stage 10 face is parallel to the Z-axis, the holding part 30 and the stage 10 face each other in the XY plane defined by the X-axis and the Y-axis. They can move toward each other. By moving the holding part 30 and the stage 10 in the direction closer to each other, the holding part 30 moves from one mounting space 11 to the next, compared to cases where only the holding part 30 moves and cases where only the stage 10 moves. Since the time for moving to the mounting space 11 can be shortened, the time for stacking the stacking objects 1 can be further shortened.

また、保持部３０とステージ１０がそれぞれ互いに近づく方向に移動することにより、保持部３０だけが移動する場合と比べて保持部３０の移動量を低減することができるので、保持部３０の駆動手段、例えばモータの負荷を低減することができる。同様に、ステージ１０だけが移動する場合と比べてステージ１０の移動量を低減することができるので、ステージ１０の駆動手段、例えばモータの負荷を低減することができる。 Further, by moving the holding part 30 and the stage 10 in the direction approaching each other, the amount of movement of the holding part 30 can be reduced compared to the case where only the holding part 30 moves. , for example, the load on the motor can be reduced. Similarly, since the amount of movement of the stage 10 can be reduced compared to when only the stage 10 moves, the load on the driving means for the stage 10, for example, the motor, can be reduced.

ここで、保持部３０とステージ１０が互いに近づく方向に移動して停止するときの保持部３０の慣性力とステージ１０の慣性力の総和は０となるように構成されている。互いに近づく方向に移動して停止するときの保持部３０の慣性力とステージ１０の慣性力の総和が０となるように構成することにより、積層装置１００に生じる振動の大きさを低減し、積層装置１００に生じる振動が所定の範囲内に収まるまでの整定時間を短くすることができる。 Here, when the holding part 30 and the stage 10 move toward each other and stop, the total sum of the inertial force of the holding part 30 and the inertial force of the stage 10 is zero. By configuring the structure so that the sum of the inertial force of the holding part 30 and the inertial force of the stage 10 when moving toward each other and stopping is 0, the magnitude of vibration generated in the laminating apparatus 100 is reduced, and the laminating apparatus 100 is It is possible to shorten the settling time until the vibrations generated in the device 100 fall within a predetermined range.

具体的には、保持部３０が次の積層対象物１をピックアップするために、保持部３０とステージ１０がそれぞれ移動を開始してから停止するまでの保持部３０の移動量をＬ_A、ステージ１０の移動量をＬ_B、保持部３０の質量をｍ_A、ステージ１０の質量をｍ_Bとすると、加速時間とストロークが比例するような、例えば三角形の動作において、次式（１）の関係が成り立つように構成する。ただし、繰返し精度±２０μｍ、整定時間２０ｍｓ程度の条件であれば、移動量Ｌまたは質量ｍの誤差は±１０％程度許される。
ｍ_A×Ｌ_A＝ｍ_B×Ｌ_B （１） Specifically, in order for the holding unit 30 to pick up the next stacked object 1, the moving amount of the holding unit 30 from when the holding unit 30 and the stage 10 each start to when they stop is defined as L _A and the stage 10, the mass of the holding part 30 is _mA , and the mass of the stage 10 is _mB . For example, in a triangular motion in which the _acceleration time and stroke are proportional, the following equation (1) is satisfied. Configure it so that it holds true. However, under the conditions of repeatability of ±20 μm and settling time of approximately 20 ms, an error of approximately ±10% in the movement amount L or mass m is allowed.
m _A × L _A = m _B × L _B (1)

ここで、保持部３０の移動量Ｌ_Aと、ステージ１０の移動量をＬ_Bの合計は、保持部３０が移動する２つの載置スペース１１間の距離Ｌと一致するため、Ｌ＝Ｌ_A＋Ｌ_Bの関係が成り立つ。したがって、保持部３０の慣性力とステージ１０の慣性力の総和を０にするための保持部３０の移動量Ｌ_Aとステージ１０の移動量をＬ_Bは、隣接する２つの載置スペース１１間の距離Ｌを用いて、それぞれ次式（２）、（３）で表される。
Ｌ_A＝（ｍ_B／（ｍ_A＋ｍ_B））×Ｌ（２）
Ｌ_B＝（ｍ_A／（ｍ_A＋ｍ_B））×Ｌ（３） Here, since the sum of the moving amount L _A of the holding section 30 and the moving amount L _B of the stage 10 matches the distance L between the two mounting spaces 11 in which the holding section 30 moves, L=L _A The relationship +L _B holds true. Therefore, the moving amount L _A of the holding section 30 and the moving amount L _B of the stage 10 in order to make the sum of the inertial force of the holding section 30 and the inertial force of the stage 10 0 are the distance between the two adjacent mounting spaces 11. are expressed by the following equations (2) and (3), respectively, using the distance L.
L _A = (m _B / (m _A + m _B )) x L (2)
L _B = (m _A / (m _A + m _B )) x L (3)

すなわち、保持部３０の移動量Ｌ_Aを式（２）で表される距離とし、ステージ１０の移動量Ｌ_Bを式（３）で表される距離とすることにより、保持部３０とステージ１０が互いに近づく方向に移動して停止するときの保持部３０の慣性力とステージ１０の慣性力の総和を０にすることができる。 That is, by setting the moving amount L _A of the holding section 30 to the distance expressed by equation (2) and setting the moving amount L _B of the stage 10 to the distance expressed by equation (3), the holding section 30 and the stage 10 The sum of the inertial force of the holding section 30 and the inertial force of the stage 10 when the two move toward each other and stop can be reduced to zero.

図３（ａ）は、慣性力キャンセリングの効果を確認するために用いた実験機３００の構成を模式的に示す図であり、図３（ｂ１）～（ｂ４）は、式（１）、（２）、（３）が成り立つ事を実験機３００により確認した結果を示す図である。ここでは、移動時間を固定して、ｍ_A、ｍ_B、Ｌ_A、Ｌ_Bを変化させ、式（１）、（２）、（３）が成立した際の振動抑制効果を実証した。実験では、図３（ａ）に示すように、第１のスライダー３０１と第２のスライダー３０２を、ベース板３０３の平面に対して並行に設置した。式（１）、（２）、（３）の効果は、スライダー３０１，３０２がそれぞれ、図１に示す積層装置１００のステージ１０、保持部３０である構成でも変わらない。例えば、第１のスライダー３０１を保持部３０ととらえ、第２のスライダー３０２をステージ１０ととらえることができる。実験機３００において、各パラメータは、第１のスライダー３０１の質量ｍ_A ＝０．３ｋｇ、Ｌ＝６０ｍｍ、第２のスライダー３０２の質量ｍ_Bを第１のスライダー３０１の質量ｍ_Aのｎ倍（ｎ＝１，１．５）、動作時間は７０ｍｓ程度である。振動は、レーザー変位計で、スライダー３０１，３０２が乗っているベース板３０３の動作方向の変位を測定することにより評価している。 FIG. 3(a) is a diagram schematically showing the configuration of an experimental machine 300 used to confirm the effect of inertial force canceling, and FIGS. 3(b1) to (b4) represent equation (1), FIG. 3 is a diagram showing the results of confirming that (2) and (3) hold true using the experimental machine 300. Here, we fixed the travel time and varied m _A , m _B , L _A , and L _B to demonstrate the vibration suppression effect when formulas (1), (2), and (3) were established. In the experiment, the first slider 301 and the second slider 302 were installed parallel to the plane of the base plate 303, as shown in FIG. 3(a). The effects of equations (1), (2), and (3) do not change even if the sliders 301 and 302 are the stage 10 and the holding section 30 of the laminating apparatus 100 shown in FIG. 1, respectively. For example, the first slider 301 can be regarded as the holding section 30 and the second slider 302 can be regarded as the stage 10. In the experimental machine 300, each parameter is as follows: mass m _A of the first slider 301 = 0.3 kg, L = 60 mm, mass m _B of the second slider 302 n times the mass m _A of the first slider 301 ( n=1, 1.5), and the operating time is about 70 ms. The vibration is evaluated by measuring the displacement of the base plate 303 on which the sliders 301 and 302 are mounted in the operating direction using a laser displacement meter.

図３（ｂ１）は、第１のスライダー３０１の質量ｍ_Aと第２のスライダー３０２の質量ｍ_Bとが同一（ｎ＝１）であり、第２のスライダー３０２は動かずに、第１のスライダー３０１だけが移動する場合の振動の時間変化を示す図である。ただし、実験設備の関係上、第１のスライダー３０１の移動距離は、Ｌではなく、Ｌ／２とした。図３（ｂ２）は、第１のスライダー３０１の質量ｍ_Aと第２のスライダー３０２の質量ｍ_Bとが同一（ｎ＝１）であり、第１のスライダー３０１と第２のスライダー３０２が互いに対向に移動するときの第１のスライダー３０１の移動量Ｌ_Aと第２のスライダー３０２の移動量Ｌ_BをそれぞれＬ／２とした場合の振動の時間変化を示す図である。ただし、「互いに対向に移動」とは、第１のスライダー３０１と第２のスライダー３０２が互いに近づく移動と互いに遠ざかる移動とが交互に行われる移動を意味する。この場合、第１のスライダー３０１の移動量Ｌ_Aは、式（２）で表される値となり、第２のスライダー３０２の移動量Ｌ_Bは、式（３）で表される値となる。 In FIG. 3(b1), the mass m _A of the first slider 301 and the mass m B of the second slider 302 are the same (n=1), and the second slider 302 does not move and the mass m _B of the second slider 302 is the same (n=1). FIG. 7 is a diagram showing changes in vibration over time when only the slider 301 moves. However, due to the experimental equipment, the moving distance of the first slider 301 was set to L/2 instead of L. In FIG. 3(b2), the mass m _A of the first slider 301 and the mass m _B of the second slider 302 are the same (n=1), and the first slider 301 and the second slider 302 are mutually FIG. 7 is a diagram showing changes in vibration over time when the moving amount L _A of the first slider 301 and the moving amount L _B of the second slider 302 are each set to L/2 when they move in opposite directions. However, "movement facing each other" means movement in which the first slider 301 and the second slider 302 alternately move toward each other and move away from each other. In this case, the amount of movement _LA of the first slider 301 is a value expressed by equation (2), and the amount of movement L _B of the second slider 302 is a value expressed by equation (3).

図３（ｂ３）は、第２のスライダー３０２の質量ｍ_Bが第１のスライダー３０１の質量ｍ_Aより大きく（ｎ＞１）、第１のスライダー３０１と第２のスライダー３０２が互いに対向に移動するときの第１のスライダー３０１の移動量Ｌ_Aと第２のスライダー３０２の移動量Ｌ_BをそれぞれＬ／２とした場合の振動の時間変化を示す図である。図３（ｂ４）は、第２のスライダー３０２の質量ｍ_Bが第１のスライダー３０１の質量ｍ_Aより大きく（ｎ＞１）、第１のスライダー３０１と第２のスライダー３０２が互いに対向に移動するときの第１のスライダー３０１の移動量Ｌ_Aを式（２）で表される値とし、第２のスライダー３０２の移動量Ｌ_Bを式（３）で表される値とした場合の振動の時間変化を示す図である。 In FIG. 3(b3), the mass m _B of the second slider 302 is larger than the mass m _A of the first slider 301 (n>1), and the first slider 301 and the second slider 302 move toward each other. FIG. 4 is a diagram showing a change in vibration over time when the moving amount L _A of the first slider 301 and the moving amount L _B of the second slider 302 are each set to L/2. In FIG. 3(b4), the mass m _B of the second slider 302 is larger than the mass m _A of the first slider 301 (n>1), and the first slider 301 and the second slider 302 move toward each other. Vibration when the amount of movement L _A of the first slider 301 is the value expressed by equation (2), and the amount of movement L _B of the second slider 302 is the value expressed by equation (3). FIG. 3 is a diagram showing changes over time.

図３（ｂ１）に示すように、第２のスライダー３０２は動かずに、第１のスライダー３０１のみが移動する場合のベース板３０３の振動量は大きい。これに対して、第２のスライダー３０２の質量ｍ_Bが第１のスライダー３０１の質量ｍ_Aのｎ（ｎ＞１）倍であり、第１のスライダー３０１と第２のスライダー３０２が互いに対向に移動し、第２のスライダー３０２の移動量Ｌ_Bと第１のスライダー３０１の移動量Ｌ_AをそれぞれＬ／２とした場合には、図３（ｂ３）に示すように、第１のスライダー３０１のみが移動する場合と比べて振動量は小さくなっている。 As shown in FIG. 3(b1), when the second slider 302 does not move and only the first slider 301 moves, the amount of vibration of the base plate 303 is large. On the other hand, the mass m _B of the second slider 302 is n (n>1) times the mass m _A of the first slider 301, and the first slider 301 and the second slider 302 are opposed to each other. If the movement amount L _B of the second slider 302 and the movement amount L _A of the first slider 301 are each L/2, as shown in FIG. 3(b3), the first slider 301 The amount of vibration is smaller compared to when only one part moves.

また、第１のスライダー３０１と第２のスライダー３０２が互いに対向に移動するように構成されており、第１のスライダー３０１の移動量Ｌ_Aを式（２）で表される値とし、第２のスライダー３０２の移動量Ｌ_Bを式（３）で表される値とした場合には、図３（ｂ２）および図３（ｂ４）に示すように、ベース板３０３の振動量はさらに小さくなった。 Further, the first slider 301 and the second slider 302 are configured to move oppositely to each other, and the moving amount L _A of the first slider 301 is a value expressed by equation (2), and the second slider 301 is configured to move oppositely to each other. When the amount of movement L _B of the slider 302 is set to the value expressed by equation (3), the amount of vibration of the base plate 303 becomes even smaller, as shown in FIGS. 3(b2) and 3(b4). Ta.

すなわち、第１のスライダー３０１と第２のスライダー３０２を互いに対向に移動させるとともに、第１のスライダー３０１の移動量Ｌ_Aを式（２）で表される値とし、第２のスライダー３０２の移動量Ｌ_Bを式（３）で表される値とすることにより、ベース板３０３に生じる振動量を効果的に抑制することができる。図３（ｂ４）は、ｎ＞１とした場合の実験結果を示しているが、ｎ＜１とした場合も同様である。 That is, the first slider 301 and the second slider 302 are moved opposite to each other, the amount of movement L _A of the first slider 301 is set to the value expressed by equation (2), and the movement of the second slider 302 is By setting the amount L _B to the value expressed by equation (3), the amount of vibration generated in the base plate 303 can be effectively suppressed. Although FIG. 3(b4) shows the experimental results when n>1, the same applies when n<1.

（積層方法）
本発明の積層方法は、複数の載置スペース１１ａ～１１ｄを有するステージ１０の載置スペースの１つに積層対象物１を載置する載置工程と、積層対象物１を保持部３０によってピックアップして保持する保持工程とを備え、載置工程では、保持工程が行われているときに、ピックアップされる積層対象物１が載置されている載置スペースとは別の載置スペースに積層対象物１を載置する。以下では、図４～図７を参照しながら、本実施形態における積層装置１００の積層動作について説明する。図４～図７では、Ｘ軸およびＹ軸によって規定されるＸＹ座標上におけるステージ１０、第１の載置部２０ａ～第４の載置部２０ｄ、および、保持部３０の各位置を示している。 (Lamination method)
The stacking method of the present invention includes a mounting step of placing the stacking object 1 in one of the mounting spaces of the stage 10 having a plurality of mounting spaces 11a to 11d, and picking up the stacking object 1 by the holding section 30. and a holding step in which the stacked objects 1 to be picked up are placed in a holding space different from the holding space in which the stacked objects 1 to be picked up are placed while the holding step is being performed. Place the object 1. The stacking operation of the stacking apparatus 100 in this embodiment will be described below with reference to FIGS. 4 to 7. 4 to 7 show the positions of the stage 10, the first mounting section 20a to the fourth mounting section 20d, and the holding section 30 on the XY coordinates defined by the X axis and the Y axis. There is.

なお、後述するステージ１０、第１の載置部２０ａ～第４の載置部２０ｄ、および、保持部３０の動作は、制御部４０によって制御することが可能である。 Note that the operations of the stage 10, the first mounting section 20a to the fourth mounting section 20d, and the holding section 30, which will be described later, can be controlled by the control section 40.

図４は、ステージ１０上の第１の載置スペース１１ａ、第２の載置スペース１１ｂ、および、第３の載置スペース１１ｃに積層対象物１が載置されており、保持部３０が第１の載置スペース１１ａに載置されている積層対象物１をピックアップする状態を示している。この状態では、図４に示すように、第４の載置スペース１１ｄに積層対象物１は載置されていない。 In FIG. 4, the stacked objects 1 are placed in the first placement space 11a, the second placement space 11b, and the third placement space 11c on the stage 10, and the holding unit 30 is placed in the third placement space 11c. 1 shows a state in which a stacked object 1 placed in one placement space 11a is picked up. In this state, as shown in FIG. 4, the stacked objects 1 are not placed in the fourth placement space 11d.

保持部３０が第１の載置スペース１１ａに載置されている積層対象物１をピックアップする動作を行っているときに、第３の載置部２０ｃは、第１の載置スペース１１ａに載置されており、保持部３０によってピックアップされる積層対象物１と対角線上の位置にある第３の載置スペース１１ｃに積層対象物１を載置する。なお、ここでの「積層対象物１をピックアップする動作」には、保持部３０が実際に積層対象物１をピックアップする動作だけでなく、積層対象物１をピックアップするために保持部３０が第１の載置スペース１１ａへと向かって下降する動作、および、積層対象物１をピックアップした保持部３０が上昇する動作も含まれる。すなわち、保持部３０による積層対象物１のピックアップと、第３の載置部２０ｃによる積層対象物１の載置のタイミングは、完全に同一でなくてもよい。以後の動作説明においても同様である。 When the holding part 30 is performing an operation of picking up the stacked object 1 placed in the first placement space 11a, the third placement part 20c picks up the stacked object 1 placed in the first placement space 11a. The stacking object 1 is placed in the third mounting space 11c which is diagonally diagonal to the stacking object 1 which is placed there and is picked up by the holding unit 30. Note that the "operation of picking up the stacking object 1" here includes not only the operation of the holding section 30 actually picking up the stacking object 1, but also the operation of the holding section 30 for picking up the stacking object 1. This also includes an operation in which the holding section 30 that has picked up the stacking object 1 moves up toward the stacking space 11a. That is, the timing of picking up the stacked object 1 by the holding section 30 and the timing of placing the stacked object 1 by the third mounting section 20c may not be completely the same. The same applies to the subsequent explanation of the operation.

このとき、第４の載置部２０ｄは、所定の位置で、積層対象物１を受け取る。所定の位置には、任意の方法で積層対象物１を運搬することが可能であり、例えば、ベルトコンベアで積層対象物１を運搬する。 At this time, the fourth mounting section 20d receives the stacking object 1 at a predetermined position. The stacked objects 1 can be transported to a predetermined position by any method, for example, the stacked objects 1 are transported by a belt conveyor.

保持部３０が第１の載置スペース１１ａに載置されている積層対象物１をピックアップすると、保持部３０とステージ１０はそれぞれ、互いに近づく方向に移動する。具体的には、保持部３０は、ピックアップした積層対象物１を保持した状態で上昇し、Ｘ軸方向に沿って第２の載置スペース１１ｂの方向へと移動し、ステージ１０は、Ｘ軸方向に沿って、保持部３０の移動方向とは逆方向に移動する。保持部３０は、ステージ１０の第２の載置スペース１１ｂの上方で停止して下降し、第２の載置スペース１１ｂに載置されている積層対象物１をピックアップする（図５）。上述したように、保持部３０とステージ１０が互いに近づく方向に移動して停止したときの保持部３０の慣性力とステージ１０の慣性力の総和が０となるように、保持部３０の移動量Ｌ_Aとステージ１０の移動量Ｌ_Bは調整されている。 When the holding part 30 picks up the stacking object 1 placed in the first mounting space 11a, the holding part 30 and the stage 10 each move in a direction toward each other. Specifically, the holding unit 30 rises while holding the picked up stacking object 1 and moves in the direction of the second placement space 11b along the X-axis direction, and the stage 10 moves along the X-axis direction. The holding part 30 moves in a direction opposite to the moving direction of the holding part 30 along the direction. The holding unit 30 stops above the second placement space 11b of the stage 10, descends, and picks up the stacked object 1 placed in the second placement space 11b (FIG. 5). As described above, the amount of movement of the holding part 30 is adjusted so that the sum of the inertial force of the holding part 30 and the inertial force of the stage 10 becomes 0 when the holding part 30 and the stage 10 move toward each other and stop. L _A and the amount of movement L _B of the stage 10 are adjusted.

保持部３０が第２の載置スペース１１ｂに載置されている積層対象物１をピックアップする動作を行っているときに、第４の載置部２０ｄは、第２の載置スペース１１ｂに載置されており、保持部３０によってピックアップされる積層対象物１と対角線上の位置にある第４の載置スペース１１ｄに積層対象物１を載置する。 When the holding section 30 is performing an operation of picking up the stacking target object 1 placed on the second placement space 11b, the fourth placement section 20d picks up the stacking object 1 placed on the second placement space 11b. The stacking object 1 is placed in the fourth mounting space 11d, which is diagonally diagonal to the stacking object 1 that is placed there and is picked up by the holding unit 30.

ここで、図４と図５から分かるように、第４の載置部２０ｄは、ステージ１０がＸ軸方向に沿って第４の載置部２０ｄに近づく方向に移動してきたタイミングで、Ｙ軸方向に沿って第４の載置スペース１１ｄへと移動して、第４の載置スペース１１ｄに積層対象物１を載置する。すなわち、保持部３０が第２の載置スペース１１ｂに載置されている積層対象物１をピックアップする動作を行っているときに、第４の載置部２０ｄが第２の載置スペース１１ｂに載置されている積層対象物１と対角線上の位置にある第４の載置スペース１１ｄに積層対象物１を載置する構成とすることにより、ステージ１０上に積層対象物１を載置する際の第４の載置部２０ｄとステージ１０の移動距離をそれぞれ最短にすることができる。これにより、Ｘ軸およびＹ軸によって規定されるＸＹ座標上において、積層装置１００の占める面積を小さくすることができるので、面積あたりの生産性が向上する。 Here, as can be seen from FIGS. 4 and 5, the fourth mounting section 20d is moved along the Y-axis at the timing when the stage 10 moves in the direction approaching the fourth mounting section 20d along the X-axis direction. The stacking object 1 is moved along the direction to the fourth placement space 11d and placed in the fourth placement space 11d. That is, when the holding part 30 is performing an operation of picking up the stacking object 1 placed in the second placement space 11b, the fourth placement part 20d is placed in the second placement space 11b. The stacked object 1 is placed on the stage 10 by placing the stacked object 1 in the fourth placement space 11d located diagonally to the placed stacked object 1. The moving distances of the fourth mounting portion 20d and the stage 10 can be respectively minimized. Thereby, the area occupied by the laminating apparatus 100 can be reduced on the XY coordinates defined by the X-axis and the Y-axis, so productivity per area is improved.

このとき、第１の載置部２０ａは、所定の位置で、積層対象物１を受け取る。所定の位置には、任意の方法で積層対象物１を運搬することが可能であり、例えば、ベルトコンベアで積層対象物１を運搬する。 At this time, the first mounting section 20a receives the stacking object 1 at a predetermined position. The stacked objects 1 can be transported to a predetermined position by any method, for example, the stacked objects 1 are transported by a belt conveyor.

保持部３０が第２の載置スペース１１ｂに載置されている積層対象物１をピックアップすると、２枚の積層対象物１が積層された状態で、保持部３０によって保持される。なお、保持部３０は、積層される積層対象物１の位置ずれを抑制するために、積層対象物１の位置および傾きを把握した後、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、および、回転方向に移動して位置を調整してから、積層対象物１をピックアップすることが好ましい。 When the holding unit 30 picks up the stacked objects 1 placed in the second placement space 11b, the holding unit 30 holds the two stacked objects 1 in a stacked state. In addition, in order to suppress the displacement of the stacked objects 1 to be stacked, the holding section 30 moves in the X-axis direction, Y-axis direction, and rotational direction after grasping the position and inclination of the stacked objects 1. It is preferable to pick up the stacked object 1 after adjusting the position.

保持部３０が第２の載置スペース１１ｂに載置されている積層対象物１をピックアップすると、保持部３０とステージ１０はそれぞれ、互いに近づく方向に移動する。具体的には、保持部３０は、ピックアップした積層対象物１を保持した状態で上昇し、Ｙ軸方向に沿って第３の載置スペース１１ｃの方向へと移動し、ステージ１０は、Ｙ軸方向に沿って、保持部３０の移動方向とは逆方向に移動する。保持部３０は、ステージ１０の第３の載置スペース１１ｃの上方で停止して下降し、第３の載置スペース１１ｃに載置されている積層対象物１をピックアップする（図６）。上述したように、保持部３０とステージ１０が互いに近づく方向に移動して停止したときの保持部３０の慣性力とステージ１０の慣性力の総和が０となるように、保持部３０の移動量Ｌ_Aとステージ１０の移動量Ｌ_Bは調整されている。 When the holding unit 30 picks up the stacked object 1 placed in the second placement space 11b, the holding unit 30 and the stage 10 each move in a direction toward each other. Specifically, the holding unit 30 rises while holding the picked up stacking object 1 and moves in the direction of the third mounting space 11c along the Y-axis direction, and the stage 10 moves along the Y-axis direction. The holding part 30 moves in a direction opposite to the moving direction of the holding part 30 along the direction. The holding unit 30 stops above the third placement space 11c of the stage 10, descends, and picks up the stacked object 1 placed in the third placement space 11c (FIG. 6). As described above, the amount of movement of the holding part 30 is adjusted so that the sum of the inertial force of the holding part 30 and the inertial force of the stage 10 becomes 0 when the holding part 30 and the stage 10 move toward each other and stop. L _A and the amount of movement L _B of the stage 10 are adjusted.

保持部３０が第３の載置スペース１１ｃに載置されている積層対象物１をピックアップする動作を行っているときに、第１の載置部２０ａは、第３の載置スペース１１ｃに載置されており、保持部３０によってピックアップされる積層対象物１と対角線上の位置にある第１の載置スペース１１ａに積層対象物１を載置する。また、第２の載置部２０ｂは、所定の位置で、積層対象物１を受け取る。所定の位置には、任意の方法で積層対象物１を運搬することが可能であり、例えば、ベルトコンベアで積層対象物１を運搬する。 When the holding section 30 is performing an operation of picking up the stacking target object 1 placed on the third placement space 11c, the first placement section 20a picks up the stacking object 1 placed on the third placement space 11c. The stacking object 1 is placed in the first mounting space 11a located diagonally to the stacking object 1 to be picked up by the holding unit 30. Further, the second mounting section 20b receives the stacking object 1 at a predetermined position. The stacked objects 1 can be transported to a predetermined position by any method, for example, the stacked objects 1 are transported by a belt conveyor.

保持部３０が第３の載置スペース１１ｃに載置されている積層対象物１をピックアップすると、３枚の積層対象物１が積層された状態で、保持部３０によって保持される。 When the holding unit 30 picks up the stacked objects 1 placed in the third mounting space 11c, the holding unit 30 holds the three stacked objects 1 in a stacked state.

保持部３０が第３の載置スペース１１ｃに載置されている積層対象物１をピックアップすると、保持部３０とステージ１０はそれぞれ、互いに近づく方向に移動する。具体的には、保持部３０は、ピックアップした積層対象物１を保持した状態で上昇し、Ｘ軸方向に沿って第４の載置スペース１１ｄの方向へと移動し、ステージ１０は、Ｘ軸方向に沿って、保持部３０の移動方向とは逆方向に移動する。保持部３０は、ステージ１０の第４の載置スペース１１ｄの上方で停止して下降し、第４の載置スペース１１ｄに載置されている積層対象物１をピックアップする（図７）。上述したように、保持部３０とステージ１０が互いに近づく方向に移動して停止したときの保持部３０の慣性力とステージ１０の慣性力の総和が０となるように、保持部３０の移動量Ｌ_Aとステージ１０の移動量Ｌ_Bは調整されている。 When the holding part 30 picks up the stacking object 1 placed in the third mounting space 11c, the holding part 30 and the stage 10 each move in a direction toward each other. Specifically, the holding unit 30 rises while holding the picked up stacking object 1 and moves in the direction of the fourth placement space 11d along the X-axis direction, and the stage 10 moves along the X-axis direction. The holding part 30 moves in a direction opposite to the moving direction of the holding part 30 along the direction. The holding unit 30 stops above the fourth placement space 11d of the stage 10, descends, and picks up the stacked object 1 placed in the fourth placement space 11d (FIG. 7). As described above, the amount of movement of the holding part 30 is adjusted so that the sum of the inertial force of the holding part 30 and the inertial force of the stage 10 becomes 0 when the holding part 30 and the stage 10 move toward each other and stop. L _A and the amount of movement L _B of the stage 10 are adjusted.

保持部３０が第４の載置スペース１１ｄに載置されている積層対象物１をピックアップする動作を行っているときに、第２の載置部２０ｂは、第４の載置スペース１１ｄに載置されており、保持部３０によってピックアップされる積層対象物１と対角線上の位置にある第２の載置スペース１１ｂに積層対象物１を載置する。また、第３の載置部２０ｃは、所定の位置で、積層対象物１を受け取る。所定の位置には、任意の方法で積層対象物１を運搬することが可能であり、例えば、ベルトコンベアで積層対象物１を運搬する。 When the holding section 30 is performing an operation of picking up the stacking target object 1 placed on the fourth placement space 11d, the second placement section 20b picks up the stacking object 1 placed on the fourth placement space 11d. The stacking object 1 is placed in the second mounting space 11b which is diagonally diagonal to the stacking object 1 which is placed there and is picked up by the holding unit 30. Further, the third mounting section 20c receives the stacked objects 1 at a predetermined position. The stacked objects 1 can be transported to a predetermined position by any method, for example, the stacked objects 1 are transported by a belt conveyor.

保持部３０が第４の載置スペース１１ｄに載置されている積層対象物１をピックアップすると、４枚の積層対象物１が積層された状態で、保持部３０によって保持される。 When the holding unit 30 picks up the stacked objects 1 placed in the fourth placement space 11d, the holding unit 30 holds the four stacked objects 1 in a stacked state.

保持部３０が第４の載置スペース１１ｄに載置されている積層対象物１をピックアップすると、保持部３０とステージ１０はそれぞれ、互いに近づく方向に移動する。具体的には、保持部３０は、ピックアップした積層対象物１を保持した状態で上昇し、Ｙ軸方向に沿って、第１の載置スペース１１ａの方向へと移動し、ステージ１０は、Ｙ軸方向に沿って、保持部３０の移動方向とは逆方向に移動する。保持部３０は、ステージ１０の第１の載置スペース１１ａの上方で停止して下降し、第１の載置スペース１１ａに載置されている積層対象物１をピックアップする（図４）。 When the holding unit 30 picks up the stacked object 1 placed in the fourth placement space 11d, the holding unit 30 and the stage 10 each move in a direction toward each other. Specifically, the holding unit 30 rises while holding the picked-up stacking object 1 and moves along the Y-axis direction toward the first placement space 11a, and the stage 10 moves along the Y-axis direction. It moves along the axial direction in a direction opposite to the moving direction of the holding part 30. The holding unit 30 stops above the first placement space 11a of the stage 10, descends, and picks up the stacked object 1 placed in the first placement space 11a (FIG. 4).

以後、上述した動作が繰り返されることにより、ステージ上の各載置スペース１１ａ～１１ｄに載置されている積層対象物１が保持部３０によって順にピックアップされて、複数の積層対象物１からなる積層体が得られる。 Thereafter, by repeating the above-described operation, the stacking objects 1 placed in each of the mounting spaces 11a to 11d on the stage are sequentially picked up by the holding section 30, and a stack consisting of a plurality of stacking objects 1 is stacked. You get a body.

上述した図４～図７における保持部３０の位置、ステージ１０上の第１の載置スペース１１ａ～第４の載置スペース１１ｄにおいて行われる動作、および、第１の載置部２０ａ～第４の載置部２０ｄの動作を表１にまとめておく。 The positions of the holding section 30 in FIGS. 4 to 7 described above, the operations performed in the first mounting space 11a to the fourth mounting space 11d on the stage 10, and the positions of the first mounting section 20a to the fourth mounting space 11d on the stage 10 Table 1 summarizes the operations of the mounting section 20d.

表１において、「積層」は、載置スペース１１に載置されている積層対象物１が保持部３０によってピックアップされることによって、積層されることを表している。「載置」は、載置部２０によって載置スペース１１に積層対象物１が載置されることを表している。「受取」は、載置部２０が所定の位置で積層対象物１を受け取ることを表している。 In Table 1, "stacking" indicates that the stacking objects 1 placed in the mounting space 11 are picked up by the holding unit 30 and stacked. “Place” indicates that the stacking object 1 is placed in the placement space 11 by the placement unit 20. “Receiving” indicates that the placing unit 20 receives the stacked object 1 at a predetermined position.

このように、本実施形態における積層装置１００によれば、保持部３０がステージ１０上の各載置スペース１１に載置されている積層対象物１をピックアップする動作を行っているときに、複数の載置部２０のうちの少なくとも１つがステージ１０上の別の載置スペース１１に積層対象物１を載置するように構成されているので、保持部３０は、載置スペース１１に載置されている積層対象物１をピックアップした後、積層対象物１が載置されている別の載置スペース１１に移動してすぐに次の積層対象物１をピックアップすることができる。したがって、保持部３０は、ステージ１０上の載置スペース１１から別の載置スペース１１へと移動する毎に、積層対象物１をピックアップして積層することができるので、積層時間を短縮することができる。 As described above, according to the stacking apparatus 100 of the present embodiment, when the holding unit 30 performs an operation of picking up the stacking objects 1 placed in each of the mounting spaces 11 on the stage 10, a plurality of stacking objects 1 are picked up. Since at least one of the placing parts 20 is configured to place the stacked object 1 in another placing space 11 on the stage 10, the holding part 30 is configured to place the stacked object 1 in another placing space 11 on the stage 10. After picking up the stacked object 1 that is being stacked, the stacking object 1 can be moved to another mounting space 11 where the stacked object 1 is placed, and the next stacked object 1 can be picked up immediately. Therefore, the holding unit 30 can pick up and stack the stacking objects 1 each time it moves from one mounting space 11 on the stage 10 to another mounting space 11, so that the stacking time can be shortened. I can do it.

＜第２の実施形態＞
第１の実施形態における積層装置１００では、ステージ１０上に４つの載置スペース１１が設けられているが、載置スペース１１の数が４つに限定されることはない。以下では、ステージ１０上に２つの載置スペース１１が設けられた構成について説明する。 <Second embodiment>
In the stacking apparatus 100 in the first embodiment, four mounting spaces 11 are provided on the stage 10, but the number of mounting spaces 11 is not limited to four. Below, a configuration in which two mounting spaces 11 are provided on the stage 10 will be described.

図８は、ステージ１０上に、第１の載置スペース１１ａと第２の載置スペース１１ｂの２つの載置スペース１１が設けられた構成におけるステージ１０と、第１の載置部２０ａおよび第２の載置部２０ｂと、保持部３０の動作を説明するための図である。図８では、第１の載置スペース１１ａと第２の載置スペース１１ｂとが並ぶ方向をＸ軸方向とし、ステージ１０と保持部３０とが対向する方向をＺ軸方向としている。 FIG. 8 shows the stage 10 in a configuration in which two mounting spaces 11, a first mounting space 11a and a second mounting space 11b, are provided on the stage 10, and a first mounting section 20a and a second mounting space 11b. FIG. 2 is a diagram for explaining the operation of the mounting section 20b and the holding section 30 of No. 2; In FIG. 8, the direction in which the first mounting space 11a and the second mounting space 11b are lined up is the X-axis direction, and the direction in which the stage 10 and the holding part 30 face each other is the Z-axis direction.

図８（ａ）は、ステージ１０上の第１の載置スペース１１ａに積層対象物１が載置されており、保持部３０が第１の載置スペース１１ａの上方に位置している状態を示している。第１の載置スペース１１ａの隣に位置する第２の載置スペース１１ｂには、積層対象物１は載置されていない。このとき、第２の載置部２０ｂは、積層対象物１を保持しており、ステージ１０の第２の載置スペース１１ｂの上方に位置している。 FIG. 8(a) shows a state in which the stacked objects 1 are placed in the first placement space 11a on the stage 10, and the holding part 30 is located above the first placement space 11a. It shows. The stacking object 1 is not placed in the second placement space 11b located next to the first placement space 11a. At this time, the second mounting section 20b holds the stacking object 1 and is located above the second mounting space 11b of the stage 10.

図８（ａ）に示す状態から、図８（ｂ）に示すように、保持部３０は降下し、第１の載置スペース１１ａに載置されている積層対象物１をピックアップする。また、保持部３０とともに第２の載置部２０ｂも降下し、保持している積層対象物１を第２の載置スペース１１ｂに載置する。すなわち、保持部３０がステージ１０上の第１の載置スペース１１ａに載置されている積層対象物１をピックアップする動作を行っているときに、第２の載置部２０ｂは、ステージ１０上の第２の載置スペース１１ｂに積層対象物１を載置する。また、本実施形態では、積層対象物１を受け取るために、第１の載置部２０ａも降下する。 From the state shown in FIG. 8(a), as shown in FIG. 8(b), the holding unit 30 descends and picks up the stacked object 1 placed in the first placement space 11a. Further, the second mounting section 20b also descends together with the holding section 30, and the stacked objects 1 that are being held therein are placed in the second mounting space 11b. That is, when the holding section 30 is performing an operation of picking up the stacking object 1 placed on the first placement space 11a on the stage 10, the second placement section 20b picks up the stacking object 1 placed on the first placement space 11a on the stage 10 The object to be laminated 1 is placed in the second placement space 11b. Furthermore, in this embodiment, the first mounting section 20a also descends in order to receive the stacked objects 1.

続いて、図８（ｃ）に示すように、保持部３０は、積層対象物１を保持した状態で上昇する。また、保持部３０とともに、積層対象物１を保持した第１の載置部２０ａと、第２の載置スペース１１ｂに積層対象物１を載置した第２の載置部２０ｂも上昇する。 Subsequently, as shown in FIG. 8(c), the holding section 30 rises while holding the stacking object 1. In addition, together with the holding section 30, the first mounting section 20a holding the stacking object 1 and the second mounting section 20b holding the stacking object 1 in the second mounting space 11b also rise.

続いて、図８（ｄ）に示すように、保持部３０とステージ１０はそれぞれ、互いに近づく方向に移動する。具体的には、保持部３０は、Ｘ軸方向に沿って、ステージ１０上の第２の載置スペース１１ｂに近づく方向に移動するとともに、ステージ１０は、Ｘ軸方向に沿って、保持部３０の移動方向とは逆方向に移動する。 Subsequently, as shown in FIG. 8(d), the holding section 30 and the stage 10 each move in a direction toward each other. Specifically, the holding section 30 moves along the X-axis direction in a direction approaching the second mounting space 11b on the stage 10, and the stage 10 moves along the X-axis direction toward the second mounting space 11b on the stage 10. move in the opposite direction to the direction of movement.

また、保持部３０とともに、第１の載置部２０ａおよび第２の載置部２０ｂも、Ｘ軸方向に沿って移動する。保持部３０は、ステージ１０上の第２の載置スペース１１ｂの上方で停止し、第１の載置部２０ａは、ステージ１０上の第１の載置スペース１１ａの上方で停止する。本実施形態でも、保持部３０とステージ１０が互いに近づく方向に移動して停止するときの保持部３０の慣性力とステージ１０の慣性力の総和は０となるように構成されている。 Further, together with the holding section 30, the first mounting section 20a and the second mounting section 20b also move along the X-axis direction. The holding part 30 stops above the second mounting space 11b on the stage 10, and the first mounting part 20a stops above the first mounting space 11a on the stage 10. This embodiment is also configured such that the sum of the inertial force of the holding part 30 and the inertial force of the stage 10 is zero when the holding part 30 and the stage 10 move toward each other and stop.

続いて、図８（ｅ）に示すように、保持部３０は降下し、第２の載置スペース１１ｂに載置されている積層対象物１をピックアップする。また、保持部３０とともに、第１の載置部２０ａも降下して、保持している積層対象物１を第１の載置スペース１１ａに載置する。 Subsequently, as shown in FIG. 8(e), the holding unit 30 descends and picks up the stacked object 1 placed in the second placement space 11b. Further, together with the holding section 30, the first mounting section 20a also descends to place the stacked objects 1 held therein into the first mounting space 11a.

すなわち、保持部３０がステージ１０上の第２の載置スペース１１ｂに載置されている積層対象物１をピックアップする動作を行っているときに、第１の載置部２０ａは、ステージ１０上の第１の載置スペース１１ａに積層対象物１を載置する。また、本実施形態では、積層対象物１を受け取るために、第２の載置部２０ｂも降下する。 That is, when the holding section 30 is performing an operation of picking up the stacking object 1 placed on the second placement space 11b on the stage 10, the first placement section 20a is placed on the stage 10. The object to be laminated 1 is placed in the first placement space 11a. Furthermore, in this embodiment, the second mounting section 20b also descends in order to receive the stacked objects 1.

続いて、図８（ｆ）に示すように、保持部３０は、積層対象物１を保持した状態で上昇する。保持部３０は、積層された２つの積層対象物１を保持した状態となる。また、保持部３０とともに、第１の載置スペース１１ａに積層対象物１を載置した第１の載置部２０ａと、積層対象物１を保持した第２の載置部２０ｂも上昇する。 Subsequently, as shown in FIG. 8(f), the holding section 30 rises while holding the stacked object 1. The holding unit 30 is in a state where it holds the two stacked objects 1 stacked together. In addition, together with the holding section 30, the first mounting section 20a with the stacking object 1 placed in the first mounting space 11a and the second mounting section 20b holding the stacking object 1 also rise.

以後、上述した動作が繰り返されることにより、ステージ１０上の載置スペース１１に載置されている積層対象物１が保持部３０によって順にピックアップされて、複数の積層対象物１からなる積層体が保持部３０によって保持される。 Thereafter, by repeating the above-described operation, the stacking objects 1 placed in the mounting space 11 on the stage 10 are sequentially picked up by the holding section 30, and a stacked body consisting of a plurality of stacking objects 1 is formed. It is held by the holding part 30.

本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内において、種々の応用、変形を加えることが可能である。例えば、上述した実施形態では、ステージ１０上の積層対象物１を保持部３０が順次ピックアップするために、ステージ１０と保持部３０の両方がステージ１０の主面１０ａと平行な方向に移動可能であるものとして説明したが、ステージ１０は移動せずに、保持部３０だけが移動可能に構成されていてもよいし、保持部３０が移動せずに、ステージ１０だけが移動可能に構成されていてもよい。ただし、上述したように、保持部３０とステージ１０がそれぞれ互いに近づく方向に移動することにより、保持部３０だけが移動する場合およびステージ１０だけが移動する場合と比べて、保持部３０が１つの載置スペース１１から次の載置スペース１１へと移動する時間を短縮することができるので、積層対象物１の積層時間をより短縮することができる。 The present invention is not limited to the above embodiments, and various applications and modifications can be made within the scope of the present invention. For example, in the embodiment described above, in order for the holding unit 30 to sequentially pick up the stacked objects 1 on the stage 10, both the stage 10 and the holding unit 30 are movable in a direction parallel to the main surface 10a of the stage 10. Although it has been described that the stage 10 does not move, only the holding section 30 may be configured to be movable, or the holding section 30 may not move and only the stage 10 may be configured to be movable. It's okay. However, as described above, by moving the holding part 30 and the stage 10 in the direction closer to each other, the holding part 30 is moved closer to each other than when only the holding part 30 moves or when only the stage 10 moves. Since the time required to move from one mounting space 11 to the next mounting space 11 can be shortened, the time required to stack the objects 1 to be stacked can be further shortened.

上述した実施形態において、保持部３０は、積層対象物１をピックアップするために下降することによって、ステージ１０へと接近するように構成されているが、ステージ１０が上昇することによって保持部３０に接近するように構成されていてもよい。 In the embodiment described above, the holding section 30 is configured to approach the stage 10 by descending to pick up the stacked object 1, but when the stage 10 rises, the holding section 30 They may be configured to approach each other.

積層対象物１のピックアップ時の位置ずれを抑制するために、保持部３０が回転方向に移動する代わりに、ステージ１０が回転方向に移動するように構成されていてもよい。 In order to suppress positional displacement when picking up the stacked objects 1, the stage 10 may be configured to move in the rotational direction instead of the holding section 30 moving in the rotational direction.

積層対象物１がシート状の電池材料に限定されることはない。例えば、複数種類の積層対象物１がシート状の導電層および絶縁層であり、複数種類の積層対象物１を積層することによって、多層基板を作製することもできる。その場合、導電層は、例えば、銅、銀、銅を含む合金、銀を含む合金、または、Ｓｎ－Ａｇ系のはんだなどからなり、絶縁層は、例えば、液晶ポリマー、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルイミド、ポリイミドなどの熱可塑性樹脂、または、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステルなどの熱硬化性樹脂からなる。 The object to be laminated 1 is not limited to a sheet-like battery material. For example, the plurality of types of lamination objects 1 are sheet-like conductive layers and insulating layers, and a multilayer substrate can also be produced by laminating the plurality of types of lamination objects 1. In that case, the conductive layer is made of, for example, copper, silver, an alloy containing copper, an alloy containing silver, or Sn-Ag solder, and the insulating layer is made of, for example, liquid crystal polymer, polyether ether ketone, polyether It is made of thermoplastic resin such as etherimide and polyimide, or thermosetting resin such as epoxy resin and unsaturated polyester.

また、積層対象物１がシート状の１枚のものに限定されることはなく、シート状のものが複数枚重ねられたものであってもよい。例えば、樹脂フィルムと金属箔とが重ねられたものが積層対象物１として、載置スペース１１に載置されるように構成されていてもよい。 Furthermore, the object to be laminated 1 is not limited to one sheet-like object, but may be a plurality of sheet-like objects stacked one on top of the other. For example, a structure in which a resin film and a metal foil are stacked may be placed in the placement space 11 as the stacked object 1.

上述したように、保持部３０とステージ１０が互いに近づく方向に移動して停止したときの保持部３０の慣性力とステージ１０の慣性力の総和が０となるように、保持部３０の移動量Ｌ_Aとステージ１０の移動量Ｌ_Bは調整することにより、積層装置１００に生じる振動の大きさを低減することができる。同様に、載置部２０がステージ１０上に積層対象物１を載置する際、ステージ１０と載置部２０が互いに近づく方向に移動して停止したときのステージ１０の慣性力と載置部２０の慣性力の総和が０となるように制御することにより、積層装置１００に生じる振動の大きさをさらに低減することが可能となる。 As described above, the amount of movement of the holding part 30 is adjusted so that the sum of the inertial force of the holding part 30 and the inertial force of the stage 10 becomes 0 when the holding part 30 and the stage 10 move toward each other and stop. By adjusting L _A and the amount of movement L _B of the stage 10, the magnitude of vibration generated in the laminating apparatus 100 can be reduced. Similarly, when the mounting section 20 places the stacked objects 1 on the stage 10, the inertia force of the stage 10 and the mounting section when the stage 10 and the mounting section 20 move toward each other and stop. By controlling the total inertial force of 20 to be 0, it is possible to further reduce the magnitude of vibrations generated in the laminating device 100.

１積層対象物
１０ステージ
１０ａステージの主面
１１ａ第１の載置スペース
１１ｂ第２の載置スペース
１１ｃ第３の載置スペース
１１ｄ第４の載置スペース
２０ａ第１の載置部
２０ｂ第２の載置部
２０ｃ第３の載置部
２０ｄ第４の載置部
３０保持部
４０制御部
１００積層装置
３００実験機
３０１第１のスライダー
３０２第２のスライダー
３０３ベース板 1 Stacking object 10 Stage 10a Stage main surface 11a First placement space 11b Second placement space 11c Third placement space 11d Fourth placement space 20a First placement section 20b Second Placement section 20c Third placement section 20d Fourth placement section 30 Holding section 40 Control section 100 Lamination device 300 Experimental machine 301 First slider 302 Second slider 303 Base plate

Claims

a stage having four placement spaces for placing objects to be laminated on the main surface;
four mounting parts having means for adsorbing and holding the object to be stacked on a surface facing the stage, and capable of placing the object to be stacked in each of the four placement spaces on the stage;
A holder capable of holding a laminate in which a plurality of stacked objects are stacked by sequentially picking up and holding each of the stacked objects placed in the four placement spaces facing the stage. Department and
A control unit for controlling the operation of the stage, the four mounting units, and the holding unit,
The holding portion and the stage are arranged in an X-axis direction parallel to the main surface , a Y-axis direction parallel to the main surface and perpendicular to the X-axis direction , and a Y-axis direction perpendicular to the X-axis direction and perpendicular to the X-axis direction. It is movable relative to the Z-axis direction perpendicular to
The four placement units are movable in a direction that is parallel to the main surface and reciprocate between a position where the stacked objects are supplied and a predetermined position in the placement space, and are movable in the Z-axis direction. It is possible and
The four placement spaces are arranged in two rows and two columns on the main surface of the stage,
The control unit includes:
When the holding section picks up the stacked objects placed in the placement space on the stage, at least one of the four placement sections is placed on the stage. A stacking apparatus, characterized in that the operation of the holding section and the mounting section is controlled so that the object to be stacked is moved to another mounting space and placed in the mounting space.

2. The laminating apparatus according to claim 1, wherein the center positions of the four placement spaces are equidistant from the center position of the stage.

a stage having a plurality of placement spaces for placing objects to be laminated on the main surface;
a plurality of mounting units having means for adsorbing and holding the stacking objects on a surface facing the stage, and capable of mounting the stacking objects in each of the plurality of placement spaces on the stage;
A holder capable of holding a stacked body in which a plurality of stacked objects are stacked by sequentially picking up and holding each of the stacked objects placed in the plurality of placement spaces facing the stage; Department and
A control unit for controlling the operation of the stage, the plurality of placement units, and the holding unit,
The holding portion and the stage are arranged in an X-axis direction parallel to the main surface , a Y-axis direction parallel to the main surface and perpendicular to the X-axis direction , and a Y-axis direction perpendicular to the X-axis direction and perpendicular to the X-axis direction. It is movable relative to the Z-axis direction perpendicular to
The plurality of placement units are movable in a direction parallel to the main surface and reciprocating between a position where the stacked objects are supplied and a predetermined position in the placement space, and are movable in the Z-axis direction. It is possible and
The control unit includes:
When the holding unit is performing an operation of picking up the stacked objects placed in the placement space on the stage, at least one of the plurality of placement units is placed on the stage. controlling the operation of the holding unit and the placing unit so as to move the object to another placing space and place the object to be stacked in the placing space;
When the holding section picks up the next object to be stacked, the holding section and the stage move closer to each other when viewed from the direction in which the holding section and the stage face each other. A laminating device characterized by controlling the operation of.

A method of laminating objects to be laminated using the laminating apparatus according to claim 1, comprising :
a placing step of placing the object to be stacked in one of the placement spaces of a stage having four placement spaces;
a holding step of picking up and holding the stacked object by a holding section;
Equipped with
The four placement spaces are arranged in two rows and two columns on the main surface of the stage,
By repeating the holding step and sequentially picking up the stacking objects in the four placement spaces, a plurality of the stacking objects are stacked,
In the placing step, when the holding step is being performed, the stacking object is placed in a placement space that is different from the placement space in which the stacking object to be picked up is placed. A lamination method characterized by:

A method of laminating objects to be laminated using the laminating apparatus according to claim 3, comprising :
a placing step of placing the object to be stacked in one of the placement spaces of a stage having a plurality of placement spaces;
a holding step of picking up and holding the stacked object by a holding section;
Equipped with
Stacking a plurality of the stacking objects by repeating the holding step and sequentially picking up the stacking objects in the plurality of placement spaces,
In the placing step, when the holding step is being performed, the stacking object is placed in a placement space that is different from the placement space in which the stacking object to be picked up is placed. death,
When the holding unit picks up the next stacked object, the holding unit and the stage are moved in a direction toward each other when viewed from a direction in which the holding unit and the stage face each other. Lamination method.