JP7363666B2

JP7363666B2 - Measuring device

Info

Publication number: JP7363666B2
Application number: JP2020083692A
Authority: JP
Inventors: 康平宮本; 哲宏梶浦; 誠田中
Original assignee: Daifuku Co Ltd
Current assignee: Daifuku Co Ltd
Priority date: 2020-05-12
Filing date: 2020-05-12
Publication date: 2023-10-18
Anticipated expiration: 2040-05-12
Also published as: JP2021178701A; CN113654731A

Description

本発明は、それぞれに物品が収容される複数の収容部と、物品を搬送する搬送装置と、を備えていると共に、収容部に向けてフィルタを通過させた気体を供給するファンフィルタユニットが複数の収容部のそれぞれに設けられた物品搬送設備において用いられる計測装置に関する。 The present invention includes a plurality of storage sections in which articles are respectively stored, a conveyance device that conveys the articles, and a plurality of fan filter units that supply gas passed through a filter toward the storage sections. The present invention relates to a measuring device used in article conveyance equipment provided in each of the storage sections.

このような計測装置の一例が、下記の特許文献１に開示されている。以下、この背景技術の説明（「背景技術」及び「発明が解決しようとする課題」の説明）では、特許文献１における符号を括弧内に引用する。 An example of such a measuring device is disclosed in Patent Document 1 below. Hereinafter, in the explanation of this background art (explanation of "background art" and "problem to be solved by the invention"), the reference numerals in Patent Document 1 will be cited in parentheses.

特許文献１の計測装置（２）は、搬送装置（４０）によって搬送可能、かつ、複数の収容部（２２）のそれぞれに収容可能に構成された支持部（４）と、当該支持部に支持されて、パーティクルの量を計測する計測機（１６）と、を備えている。 The measuring device (2) of Patent Document 1 includes a support section (4) configured to be transportable by a transport device (40) and accommodated in each of a plurality of storage sections (22), and a support section (4) that is supported by the support section. and a measuring device (16) for measuring the amount of particles.

特許文献１の計測装置（２）によれば、支持部（４）がいずれかの収容部（２２）に収容された状態で、パーティクルの量を計測機（１６）によって計測することにより、作業者が収容部（２２）に立ち入ることなく、容易に収容部（２２）の清浄度を測定できる。 According to the measuring device (2) of Patent Document 1, the amount of particles is measured by the measuring device (16) while the supporting part (4) is housed in one of the housing parts (22), thereby performing the work. The cleanliness of the storage section (22) can be easily measured without a person entering the storage section (22).

特開２００７－２９７１９６号公報Japanese Patent Application Publication No. 2007-297196

ところで、特許文献１の計測装置（２）が用いられる物品搬送設備では、各ファンフィルタユニット（２８）により各収容部の清浄度が適切に維持されているが、いずれかのファンフィルタユニット（２８）に異常が生じた場合、当該ファンフィルタユニットが設けられた収容部（２２）の清浄度が不十分となるおそれがある。そのため、計測機（１６）によって計測されたパーティクルの量が規定の閾値よりも多い場合等であって、ファンフィルタユニット（２８）の不具合が予想される場合には、ファンフィルタユニット（２８）のフィルタの検査（リーク検査）を行うことがある。 By the way, in the article conveying equipment in which the measurement device (2) of Patent Document 1 is used, the cleanliness of each storage section is appropriately maintained by each fan filter unit (28). ), there is a risk that the cleanliness of the housing section (22) in which the fan filter unit is provided may be insufficient. Therefore, if the amount of particles measured by the measuring device (16) is greater than a specified threshold and a malfunction of the fan filter unit (28) is expected, the fan filter unit (28) Filter inspection (leak inspection) may be performed.

このようなファンフィルタユニットのリーク検査は、これまで、作業者が収容部に立ち入り、ファンフィルタユニットの全体に集気ダクトを当てた状態で、当該集気ダクトによって集めたファンフィルタユニットからの供給気体に含まれるパーティクルの量を、計測機を用いて計測する、というような作業を行っていた。しかしながら、作業者が収容部に立ち入る必要があるため、作業が煩雑になったり、清浄度の低下を招いたりするという課題があった。 Until now, leak inspection of fan filter units has been carried out by a worker entering the storage area and applying the air collection duct to the entire fan filter unit. The work involved measuring the amount of particles contained in gas using a measuring device. However, since it is necessary for the operator to enter the housing section, there are problems in that the work becomes complicated and the cleanliness level deteriorates.

そこで、ファンフィルタユニットのリーク検査を、作業者が収容部に立ち入ることなく遠隔で適切に行うことができる計測装置の実現が望まれる。 Therefore, it is desired to realize a measuring device that can appropriately perform a leakage test on a fan filter unit remotely without requiring an operator to enter the housing section.

上記に鑑みた、計測装置の特徴構成は、
それぞれに物品が収容される複数の収容部と、前記物品を搬送する搬送装置と、を備えていると共に、前記収容部に向けてフィルタを通過させた気体を供給するファンフィルタユニットが複数の前記収容部のそれぞれに設けられた物品搬送設備において用いられる計測装置であって、
前記搬送装置によって搬送可能、かつ、複数の前記収容部のそれぞれに収容可能に構成された支持部と、
前記支持部に支持されて、パーティクルの量を計測する計測機と、
前記計測機に取り付けられた集気ダクトと、を備え、
前記集気ダクトは、前記支持部が複数の前記収容部のいずれかに収容された状態で、当該収容部に設けられた前記ファンフィルタユニットの気体出口の全体を覆うと共に、当該気体出口から供給された気体を前記計測機の吸引口へ導くように形成され、
前記集気ダクトは、前記計測機に対して着脱可能に構成され、
前記ファンフィルタユニットのリーク検査を行う場合には、前記集気ダクトが前記計測機に取り付けられ、
前記搬送装置による前記支持部の搬送範囲における任意の場所において前記支持部の周辺のパーティクルの量を計測する場合には、前記集気ダクトが前記計測機から取り外される点にある。 In view of the above, the characteristic configuration of the measuring device is as follows:
A fan filter unit is provided with a plurality of accommodating sections each containing an article, and a conveying device for conveying the article, and a fan filter unit that supplies gas passed through the filter toward the accommodating section. A measuring device used in article conveyance equipment provided in each storage section,
a support section configured to be transportable by the transport device and accommodated in each of the plurality of storage sections;
a measuring device that is supported by the support section and measures the amount of particles;
an air collection duct attached to the measuring device,
The air collection duct covers the entire gas outlet of the fan filter unit provided in the housing part while the support part is housed in one of the plurality of housing parts, and supplies air from the gas outlet. formed so as to guide the gas to the suction port of the measuring device ,
The air collection duct is configured to be detachable from the measuring device,
When performing a leak test of the fan filter unit, the air collection duct is attached to the measuring device,
When measuring the amount of particles around the support part at any location within the range of transport of the support part by the transport device, the air collection duct is removed from the measuring device.

この特徴構成によれば、ファンフィルタユニットの気体出口から供給された気体のほぼ全てを、集気ダクトにより集めて計測機の吸引口へ導くことができる。そのため、例えばファンフィルタユニットが備えるフィルタのごく一部に損傷がある場合であっても、当該損傷に起因して増加するパーティクルの量を計測機によって適切に計測することができる。つまり、ファンフィルタユニットのリーク検査を適切に行うことができる。そして、このような集気ダクトが取り付けられた計測機は支持部に支持されており、搬送装置によって任意の収容部に搬送される。したがって、作業者が収容部に立ち入ってリーク検査のための作業を行う必要がない。このように、本構成によれば、ファンフィルタユニットのリーク検査を、作業者が収容部に立ち入ることなく遠隔で適切に行うことができる。
また、本特徴構成によれば、集気ダクトを計測機に取り付けた場合には、上述したように、支持部が複数の収容部のいずれかに収容された状態で、当該収容部に設けられたファンフィルタユニットのリーク検査を行うことができる。一方、集気ダクトを計測機から取り外した場合には、任意の場所において支持部の周辺のパーティクルの量を計測機によって計測することができる。このように、本構成によれば、ファンフィルタユニットのリーク検査を行う場合と、それ以外で支持部の周辺のパーティクルの量を計測する場合とを、容易に切り替えることができる。 According to this characteristic configuration, almost all of the gas supplied from the gas outlet of the fan filter unit can be collected by the air collection duct and guided to the suction port of the measuring device. Therefore, even if a small portion of the filter included in the fan filter unit is damaged, for example, the amount of particles that increases due to the damage can be appropriately measured by the measuring device. In other words, the fan filter unit can be properly inspected for leaks. The measuring device to which such an air collection duct is attached is supported by a support section, and is transported to an arbitrary storage section by a transport device. Therefore, there is no need for an operator to enter the housing section and perform work for leak inspection. In this way, according to the present configuration, a leak test of the fan filter unit can be appropriately performed remotely without the operator having to enter the housing section.
Furthermore, according to this characteristic configuration, when the air collection duct is attached to the measuring instrument, as described above, the support part is housed in one of the plurality of housing parts, and the support part is installed in the housing part. A leak test can be performed on the fan filter unit. On the other hand, when the air collection duct is removed from the measuring device, the amount of particles around the support portion can be measured by the measuring device at any location. In this manner, according to the present configuration, it is possible to easily switch between performing a leakage test on the fan filter unit and measuring the amount of particles around the support portion in other cases.

実施形態に係る物品搬送設備の平面図Plan view of article conveyance equipment according to an embodiment 実施形態に係る物品搬送設備の収容倉庫の平面図A plan view of a storage warehouse for article conveyance equipment according to an embodiment. 実施形態に係る物品の斜視図A perspective view of an article according to an embodiment 実施形態に係る計測装置の一部を示す斜視図A perspective view showing a part of a measuring device according to an embodiment. 収容部に収容された支持部、及び当該支持部に支持された装置を示す側面図A side view showing a support part housed in a housing part and a device supported by the support part. 収容部に収容された支持部、及び当該支持部に支持された装置を示す正面図A front view showing a support section housed in a storage section and a device supported by the support section. 実施形態に係る計測装置の構成を示すブロック図Block diagram showing the configuration of a measuring device according to an embodiment 表示部が表示した計測結果情報及び計測状態情報の一例を示す図A diagram showing an example of measurement result information and measurement status information displayed by the display unit パーティクル情報マップの一例を示す図Diagram showing an example of a particle information map

以下では、実施形態に係る計測装置１００について、図面を参照して説明する。計測装置１００は、物品搬送設備１０において用いられる。 Below, a measuring device 100 according to an embodiment will be described with reference to the drawings. The measuring device 100 is used in the article conveyance facility 10.

まず、物品搬送設備１０について説明する。図１に示すように、物品搬送設備１０は、それぞれに物品Ａが収容される複数の収容部Ｓと、物品Ａを搬送する搬送装置Ｔと、を備えている。 First, the article conveyance equipment 10 will be explained. As shown in FIG. 1, the article conveyance facility 10 includes a plurality of storage sections S in which articles A are stored in each storage section S, and a conveyance device T that conveys the articles A.

本実施形態では、複数の収容部Ｓを含む収容倉庫ＳＴが、互いに離間して複数配置されている。複数の収容倉庫ＳＴのそれぞれは、壁体Ｗによって周囲を囲まれている。 In this embodiment, a plurality of storage warehouses ST including a plurality of storage units S are arranged at a distance from each other. Each of the plurality of storage warehouses ST is surrounded by a wall W.

本実施形態では、搬送装置Ｔは、複数の収容倉庫ＳＴのそれぞれに配置され、複数の収容部Ｓのいずれかとの間で物品Ａの受け渡しを行うと共に、レールＲ１に沿って物品Ａを搬送するスタッカクレーンＴ１と、隣接する一対の収容倉庫ＳＴを接続するように配置された倉庫間コンベヤＴ２と、収容倉庫ＳＴへ物品Ａを入庫するための入庫コンベヤＴ３と、収容倉庫ＳＴから物品Ａを出庫するための出庫コンベヤＴ４と、物品搬送設備１０の天井に設置された天井レールＲ２に沿って走行し、入庫コンベヤＴ３及び出庫コンベヤＴ４との間で物品Ａの受け渡しを行う天井搬送車Ｔ５と、を含む。 In this embodiment, the transport device T is arranged in each of the plurality of storage warehouses ST, transfers the article A to or from one of the plurality of storage sections S, and transports the article A along the rail R1. A stacker crane T1, an inter-warehouse conveyor T2 arranged to connect a pair of adjacent storage warehouses ST, a warehousing conveyor T3 for receiving articles A into the storage warehouse ST, and a conveyor T3 for receiving articles A from the storage warehouse ST. a ceiling conveyor T5 that travels along a ceiling rail R2 installed on the ceiling of the article conveyance equipment 10 and transfers the articles A between the incoming conveyor T3 and the outgoing conveyor T4; including.

スタッカクレーンＴ１による物品Ａの搬送元は、収容部Ｓ、倉庫間コンベヤＴ２、及び入庫コンベヤＴ３を含む。また、スタッカクレーンＴ１による物品Ａの搬送先は、収容部Ｓ、倉庫間コンベヤＴ２、及び出庫コンベヤＴ４を含む。 The transport source of the article A by the stacker crane T1 includes the storage section S, the inter-warehouse conveyor T2, and the warehousing conveyor T3. Further, the destinations where the article A is transported by the stacker crane T1 include the storage section S, the inter-warehouse conveyor T2, and the delivery conveyor T4.

図２に示すように、本実施形態では、スタッカクレーンＴ１は、一対のレールＲ１に沿って走行する走行台車Ｔ１１と、当該走行台車Ｔ１１に立設された一対のマストＴ１２と、当該一対のマストＴ１２に案内された状態で昇降移動する昇降台Ｔ１３と、当該昇降台Ｔ１３に取り付けられ、複数の収容部Ｓのいずれかとの間で物品Ａの受け渡しを行う移載機構Ｔ１４と、を備えている。移載機構Ｔ１４は、物品Ａを下方から支持するフォーク部Ｔ１４ａと、当該フォーク部Ｔ１４ａを収容部Ｓに対して出退移動させるアーム部Ｔ１４ｂと、を備えている。 As shown in FIG. 2, in this embodiment, the stacker crane T1 includes a traveling trolley T11 that runs along a pair of rails R1, a pair of masts T12 erected on the traveling trolley T11, and a pair of masts T12 that are erected on the traveling trolley T11. It includes a lifting platform T13 that moves up and down while being guided by T12, and a transfer mechanism T14 that is attached to the lifting platform T13 and transfers the article A to or from one of the plurality of storage sections S. . The transfer mechanism T14 includes a fork part T14a that supports the article A from below, and an arm part T14b that moves the fork part T14a in and out of the storage part S.

本実施形態では、複数の収容部Ｓが、レールＲ１に沿って水平方向に並んで配置されていると共に、鉛直方向に並ぶように複数段に配置されている。また、本例では、複数の収容部Ｓを備えた収容棚ＳＲが、レールＲ１を挟んで対向するように配置されている。 In this embodiment, the plurality of accommodating portions S are arranged in parallel in the horizontal direction along the rail R1, and are also arranged in multiple stages in the vertical direction. Further, in this example, storage shelves SR including a plurality of storage sections S are arranged to face each other with the rail R1 in between.

以下の説明では、収容部ＳにおけるレールＲ１に沿う方向を、収容部Ｓの「幅方向Ｘ」とする。また、平面視で幅方向Ｘに直交する方向を、収容部Ｓの「奥行方向Ｙ」とする。そして、奥行方向Ｙにおいて、レールＲ１の側を「手前側Ｙ１」とし、その反対側を「奥側Ｙ２」とする。また、鉛直方向に沿う方向を「上下方向Ｚ」とする。 In the following description, the direction along the rail R1 in the storage section S will be referred to as the "width direction X" of the storage section S. Further, the direction orthogonal to the width direction X in a plan view is defined as the "depth direction Y" of the storage section S. In the depth direction Y, the side of the rail R1 is defined as the "front side Y1", and the opposite side is defined as the "back side Y2". Further, the direction along the vertical direction is referred to as the "vertical direction Z".

本実施形態では、複数の収容部Ｓのそれぞれは、上下方向Ｚに延在するように形成された複数の支柱Ｓ１と、当該複数の支柱Ｓ１に固定され、物品Ａを下方から支持する支持部材Ｓ２と、を備えている。図２に示す例では、奥行方向Ｙに互いに離間して配置された３本１組の支柱Ｓ１が、幅方向Ｘに離間しつつ幅方向Ｘに並ぶように複数組設けられている。そして、奥行方向Ｙに延在する支持部材Ｓ２のそれぞれが、各組における手前側Ｙ１の２本の支柱Ｓ１に支持されている。幅方向Ｘに隣り合う２組の支柱Ｓ１に支持されて、当該２組の支柱Ｓ１の幅方向Ｘの間において同じ高さに配置された一対の支持部材Ｓ２により、収容部Ｓのそれぞれが構成されている。 In this embodiment, each of the plurality of storage sections S includes a plurality of columns S1 formed to extend in the vertical direction Z, and a support member fixed to the plurality of columns S1 and supporting the article A from below. It is equipped with S2. In the example shown in FIG. 2, a plurality of sets of three pillars S1 are arranged so as to be spaced apart from each other in the depth direction Y, and a plurality of sets are provided so as to be spaced apart from each other in the width direction X and lined up in the width direction X. Each of the support members S2 extending in the depth direction Y is supported by two columns S1 on the front side Y1 in each set. Each of the accommodating portions S is configured by a pair of support members S2 supported by two sets of support columns S1 adjacent to each other in the width direction X and arranged at the same height between the two sets of support columns S1 in the width direction X. has been done.

複数の収容部Ｓのそれぞれには、ファンフィルタユニットＦが設けられている。ファンフィルタユニットＦは、対応する収容部Ｓに向けて清浄気体を供給するように構成されている。具体的には、ファンフィルタユニットＦは、ファンＦ１の回転によって、対応する収容部Ｓの外部から取り込まれた気体がフィルタＦ２を通り、対応する収容部Ｓの内部を向く気体出口Ｆａから放出されるように構成されている。上記の清浄気体は、フィルタＦ２を通過した気体である。 A fan filter unit F is provided in each of the plurality of accommodating portions S. The fan filter unit F is configured to supply clean gas toward the corresponding housing section S. Specifically, in the fan filter unit F, as the fan F1 rotates, gas taken in from the outside of the corresponding housing part S passes through the filter F2 and is released from the gas outlet Fa facing the inside of the corresponding housing part S. It is configured to The above-mentioned clean gas is the gas that has passed through the filter F2.

本実施形態では、ファンフィルタユニットＦは、対応する収容部Ｓの奥側Ｙ２から内部に向けて清浄気体を供給するように配置されている。図２に示す例では、ファンフィルタユニットＦは、対応する収容部Ｓにおいて互いに幅方向Ｘに離間して配置された、最も奥側Ｙ２の一対の支柱Ｓ１の間に位置するように、当該一対の支柱Ｓ１に支持されている。 In this embodiment, the fan filter unit F is arranged so as to supply clean gas toward the inside of the corresponding storage section S from the back side Y2. In the example shown in FIG. 2, the fan filter unit F is arranged between the pair of supports S1 on the innermost side Y2, which are arranged apart from each other in the width direction X in the corresponding housing part S. It is supported by the support column S1.

図３に示すように、本実施形態では、物品Ａは、ガラス基板を収容する直方体状の容器である。そして、物品Ａは、容器の上面部分を構成する容器上枠部Ａ１と、容器の下面部分を構成する容器下枠部Ａ２と、容器の対向する一対の側面部分のそれぞれを構成する容器側枠部Ａ３と、容器におけるガラス基板を出し入れするための前面部分を構成する容器開口部Ａ４と、容器における前面部分の側とは反対側の後面部分を構成する容器後枠部Ａ５と、を有している。 As shown in FIG. 3, in this embodiment, article A is a rectangular parallelepiped-shaped container that accommodates a glass substrate. The article A includes a container upper frame portion A1 that constitutes the upper surface portion of the container, a container lower frame portion A2 that constitutes the lower surface portion of the container, and a container side frame that constitutes each of a pair of opposing side surface portions of the container. A container opening A4 which constitutes a front part for taking in and out a glass substrate in the container, and a container rear frame part A5 which constitutes a rear part of the container on the side opposite to the front part. ing.

本実施形態では、容器上枠部Ａ１及び容器下枠部Ａ２のそれぞれは、平面視で矩形状の外枠を有する格子状に形成されている。一対の容器側枠部Ａ３のそれぞれは、容器上枠部Ａ１と容器下枠部Ａ２とを連結する複数本（ここでは５本）の縦枠を有している。容器後枠部Ａ５は、容器上枠部Ａ１と容器下枠部Ａ２とを連結する一対の縦枠と、当該一対の縦枠を水平方向に連結する一対の横枠と、を有している。容器開口部Ａ４は、物品Ａ（容器）の内部と外部との間でガラス基板を出し入れするための出入口として構成されている。そのため、容器開口部Ａ４には、例えば容器後枠部Ａ５が有するような枠は設けられていない。 In this embodiment, each of the container upper frame portion A1 and the container lower frame portion A2 is formed in a lattice shape having a rectangular outer frame in plan view. Each of the pair of container side frame portions A3 has a plurality of vertical frames (five in this case) that connect the container upper frame portion A1 and the container lower frame portion A2. The container rear frame portion A5 has a pair of vertical frames that connect the container upper frame portion A1 and the container lower frame portion A2, and a pair of horizontal frames that connect the pair of vertical frames in the horizontal direction. . The container opening A4 is configured as an entrance/exit for taking the glass substrate in and out between the inside and outside of the article A (container). Therefore, the container opening A4 is not provided with a frame such as, for example, the container rear frame portion A5.

また、本実施形態では、物品Ａは、各容器側枠部Ａ３の各縦枠から物品Ａの内部に向けて水平方向に突出する第１支持部材Ａ３ａと、容器後枠部Ａ５の各縦枠から物品Ａの内部に向けて水平方向に突出する第２支持部材Ａ５ａと、を有している。複数の第１支持部材Ａ３ａと複数の第２支持部材Ａ５ａとは、互いに同じ高さに配置されており、ガラス基板を下方から支持するように構成されている。そして、このような複数の第１支持部材Ａ３ａと複数の第２支持部材Ａ５ａとの組が、上下方向Ｚに沿って複数組配置されている。これにより、物品Ａは、複数のガラス基板を上下方向Ｚの複数段に亘って収納することが可能となっている。 In the present embodiment, the article A includes a first support member A3a that projects horizontally from each vertical frame of each container side frame portion A3 toward the inside of the article A, and each vertical frame of the container rear frame portion A5. A second support member A5a horizontally protrudes toward the inside of the article A from the second support member A5a. The plurality of first support members A3a and the plurality of second support members A5a are arranged at the same height and are configured to support the glass substrate from below. A plurality of such sets of a plurality of first support members A3a and a plurality of second support members A5a are arranged along the vertical direction Z. Thereby, the article A can store a plurality of glass substrates in multiple stages in the vertical direction Z.

図４に示すように、計測装置１００は、搬送装置Ｔによって搬送可能、かつ、複数の収容部Ｓのそれぞれに収容可能に構成された支持部１と、当該支持部１に支持されて、パーティクルの量を計測する計測機２と、当該計測機２に取り付けられた集気ダクト３と、を備えている。 As shown in FIG. 4, the measurement device 100 includes a support section 1 configured to be transportable by a transport device T and accommodated in each of a plurality of storage sections S, and a particle particle supported by the support section 1. It includes a measuring device 2 that measures the amount of water, and an air collection duct 3 attached to the measuring device 2.

支持部１は、搬送装置Ｔによって搬送可能、かつ、各収容部Ｓに収容可能な外形を有している。本実施形態では、支持部１は、搬送装置Ｔの搬送対象かつ各収容部Ｓの収容対象である物品Ａと同様の外形を有している。具体的には、本実施形態では、支持部１は、容器上枠部Ａ１と同様に構成された上枠部１１と、容器下枠部Ａ２と同様に構成された下枠部１２と、一対の容器側枠部Ａ３と同様に構成された一対の側枠部１３と、容器開口部Ａ４と同様に構成された開口部１４と、容器後枠部Ａ５と同様に構成された後枠部１５と、を有している。また、本実施形態では、支持部１は、計測機２を支持する支持板１６を有している。支持板１６は、下枠部１２を覆う板状に形成されている。支持板１６は、下枠部１２に載置された状態で、当該下枠部１２に固定されている。 The support part 1 has an outer shape that can be transported by the transport device T and accommodated in each storage part S. In this embodiment, the support section 1 has the same external shape as the article A to be transported by the transport device T and to be stored in each storage section S. Specifically, in the present embodiment, the support section 1 includes a pair of upper frame section 11 configured similarly to the container upper frame section A1 and a lower frame section 12 configured similarly to the container lower frame section A2. A pair of side frames 13 configured similarly to the container side frame A3, an opening 14 configured similarly to the container opening A4, and a rear frame 15 configured similarly to the container rear frame A5. It has . Further, in this embodiment, the support section 1 includes a support plate 16 that supports the measuring device 2. The support plate 16 is formed into a plate shape that covers the lower frame portion 12. The support plate 16 is placed on the lower frame portion 12 and is fixed to the lower frame portion 12 .

なお、支持部１は、物品Ａに設けられている複数の第１支持部材Ａ３ａ及び複数の第２支持部材Ａ５ａ（図３参照）を有していない。一方で、上述したように、支持部１は、物品Ａには設けられていない支持板１６を有している。つまり、本実施形態では、複数の第１支持部材Ａ３ａ及び複数の第２支持部材Ａ５ａを物品Ａから取り除くと共に、支持板１６を物品Ａに追加することで、支持部１を形成している。 Note that the support section 1 does not have the plurality of first support members A3a and the plurality of second support members A5a (see FIG. 3) provided on the article A. On the other hand, as described above, the support section 1 includes the support plate 16 that is not provided on the article A. That is, in this embodiment, the support part 1 is formed by removing the plurality of first support members A3a and the plurality of second support members A5a from the article A and adding the support plate 16 to the article A.

計測機２は、当該計測機２の周囲のパーティクルの量を計測する機器である。本実施形態では、計測機２は、当該計測機２の周囲の気体を吸引口２ａから取り込み、当該気体に含まれるパーティクルの粒径及び数量を計測するパーティクルカウンタである。計測機２は、支持部１に支持されている。本実施形態では、計測機２は、支持板１６に載置された状態で、当該支持板１６に固定されている。また、本実施形態では、計測機２は、支持板１６に支持された蓄電装置（図示を省略）と電気的に接続されており、当該蓄電装置を電源として作動する。 The measuring device 2 is a device that measures the amount of particles around the measuring device 2. In this embodiment, the measuring device 2 is a particle counter that takes in gas around the measuring device 2 from the suction port 2a and measures the particle size and number of particles contained in the gas. The measuring device 2 is supported by the support section 1 . In this embodiment, the measuring device 2 is placed on the support plate 16 and is fixed to the support plate 16 . Further, in the present embodiment, the measuring device 2 is electrically connected to a power storage device (not shown) supported by the support plate 16, and operates using the power storage device as a power source.

集気ダクト３は、計測機２の吸引口２ａに連通するように、計測機２に取り付けられている。本実施形態では、集気ダクト３は、計測機２に対して着脱可能に構成されている。また、本実施形態では、集気ダクト３は、支持板１６から上方に延在するように形成されたダクト支持体３ａによって下方から支持されている。集気ダクト３と計測機２との着脱機構としては、例えば、ボルトとナット（或いは雌ねじ）を用いた機構、嵌合を用いた機構、クランプ機構等、公知の各種の機構を用いることができる。 The air collection duct 3 is attached to the measuring device 2 so as to communicate with the suction port 2a of the measuring device 2. In this embodiment, the air collection duct 3 is configured to be detachable from the measuring device 2 . Further, in this embodiment, the air collection duct 3 is supported from below by a duct support body 3a formed to extend upward from the support plate 16. As a mechanism for attaching and detaching the air collection duct 3 and the measuring device 2, various known mechanisms can be used, such as a mechanism using bolts and nuts (or female screws), a mechanism using fitting, a clamp mechanism, etc. .

図５に示すように、集気ダクト３は、支持部１が複数の収容部Ｓのいずれかに収容された状態で、当該収容部Ｓに設けられたファンフィルタユニットＦの気体出口Ｆａの全体を覆うと共に、当該気体出口Ｆａから供給された気体を計測機２の吸引口２ａへ導くように形成されている。本実施形態では、集気ダクト３は、ファンフィルタユニットＦの気体出口Ｆａに対向して配置された対向部３１と、気体出口Ｆａから供給された気体を案内するように内面３２ａがテーパ状に形成されたテーパ部３２と、を備えている。 As shown in FIG. 5, in the air collection duct 3, when the support part 1 is housed in one of the plurality of housing parts S, the entire gas outlet Fa of the fan filter unit F provided in the housing part S is opened. It is formed so as to cover the gas outlet Fa and guide the gas supplied from the gas outlet Fa to the suction port 2a of the measuring device 2. In the present embodiment, the air collection duct 3 includes a facing portion 31 disposed opposite to the gas outlet Fa of the fan filter unit F, and an inner surface 32a tapered to guide the gas supplied from the gas outlet Fa. A tapered portion 32 is formed.

テーパ部３２の内面３２ａは、対向部３１から計測機２の吸引口２ａに向かうに従って先細りとなるテーパ状に形成されている。つまり、テーパ部３２は、対向部３１から計測機２の吸引口２ａに向かうに従って、気体の流路断面積が縮小するように形成されている。 The inner surface 32a of the tapered portion 32 is formed in a tapered shape that tapers from the facing portion 31 toward the suction port 2a of the measuring device 2. In other words, the tapered portion 32 is formed such that the cross-sectional area of the gas flow path decreases from the opposing portion 31 toward the suction port 2a of the measuring device 2.

図６に示すように、対向部３１は、ファンフィルタユニットＦの気体出口Ｆａを正面から見た正面視で当該気体出口Ｆａの全体を覆うように、気体出口Ｆａに対向して配置されている。つまり、上記正面視で、集気ダクト３の外縁よりも内側に、ファンフィルタユニットＦの気体出口Ｆａが配置されている。 As shown in FIG. 6, the opposing portion 31 is arranged to face the gas outlet Fa of the fan filter unit F so as to cover the entire gas outlet Fa when viewed from the front. . That is, in the front view, the gas outlet Fa of the fan filter unit F is arranged inside the outer edge of the air collection duct 3.

図７に示すように、本実施形態では、計測装置１００は、計測機２の位置を検出する位置検出装置４と、作業者Ｐ（図１参照）が操作する操作端末５と、計測機２と信号を送受信可能に構成されていると共に操作端末５と無線通信可能に構成された第１通信ユニット６と、位置検出装置４と信号を送受信可能に構成されていると共に操作端末５と無線通信可能に構成された第２通信ユニット７と、を更に備えている。 As shown in FIG. 7, in this embodiment, the measuring device 100 includes a position detecting device 4 that detects the position of the measuring device 2, an operating terminal 5 operated by a worker P (see FIG. 1), and a measuring device 2. A first communication unit 6 is configured to be able to send and receive signals to and receive signals from the operating terminal 5, and is configured to be able to wirelessly communicate with the operating terminal 5. It further includes a second communication unit 7 configured to allow communication.

本実施形態では、位置検出装置４は、ビーコン信号を発信する発信機４１と、当該発信機４１から発信されたビーコン信号を受信する複数の受信機４２と、を備えている。 In this embodiment, the position detection device 4 includes a transmitter 41 that transmits a beacon signal, and a plurality of receivers 42 that receive the beacon signal transmitted from the transmitter 41.

図４及び図５に示すように、発信機４１は、支持部１に支持されている。本実施形態では、発信機４１は、支持板１６に載置された状態で、当該支持板１６に固定されている。複数の受信機４２は、互いに規定の距離を空けて、物品搬送設備１０の異なる箇所に配置されている。図１に示す例では、一方の収容倉庫ＳＴを囲む壁体Ｗの外側に隣接して１つの受信機４２が配置され、他方の収容倉庫ＳＴを囲む壁体Ｗの外側に隣接する２箇所のそれぞれに受信機４２が配置されている。このような位置検出装置４として、例えば、発信機４１から発信されるビーコン信号を３箇所以上の受信機４２により受信し、各受信機４２での信号強度に基づいて３点測位の原理で発信機４１の位置情報を取得する装置等を採用可能である。 As shown in FIGS. 4 and 5, the transmitter 41 is supported by the support section 1. As shown in FIGS. In this embodiment, the transmitter 41 is placed on the support plate 16 and is fixed to the support plate 16 . The plurality of receivers 42 are arranged at different locations of the article conveyance facility 10 with a prescribed distance from each other. In the example shown in FIG. 1, one receiver 42 is placed adjacent to the outside of the wall W surrounding one storage warehouse ST, and two receivers 42 are placed adjacent to the outside of the wall W surrounding the other storage warehouse ST. A receiver 42 is arranged in each. As such a position detection device 4, for example, a beacon signal transmitted from a transmitter 41 is received by three or more receivers 42, and the signal is transmitted based on the signal strength at each receiver 42 based on the principle of three-point positioning. It is possible to employ a device or the like that acquires position information of the aircraft 41.

第１通信ユニット６は、支持部１に支持されている。本実施形態では、第１通信ユニット６は、支持板１６に載置された状態で、当該支持板１６に固定されている。図７に示すように、本実施形態では、第１通信ユニット６は、計測機２が計測したパーティクルの量を示す計測結果情報Ｉｒを取得する計測結果取得部６１と、当該計測結果取得部６１が取得した計測結果情報Ｉｒを操作端末５に送信する第１通信部６２と、を備えている。このように、第１通信ユニット６は、支持部１に支持されて、計測機２が計測したパーティクルの量を示す計測結果情報Ｉｒを取得可能に構成されていると共に、操作端末５と無線通信可能に構成された「通信ユニット」に相当する。 The first communication unit 6 is supported by the support section 1 . In this embodiment, the first communication unit 6 is fixed to the support plate 16 while being placed on the support plate 16 . As shown in FIG. 7, in the present embodiment, the first communication unit 6 includes a measurement result acquisition section 61 that acquires measurement result information Ir indicating the amount of particles measured by the measuring device 2; The first communication unit 62 transmits the measurement result information Ir acquired by the controller to the operation terminal 5. In this way, the first communication unit 6 is supported by the support part 1 and is configured to be able to acquire measurement result information Ir indicating the amount of particles measured by the measuring device 2, and also communicates wirelessly with the operating terminal 5. Corresponds to a "communication unit" configured to enable communication.

第２通信ユニット７は、物品搬送設備１０における規定の箇所に配置されている。本実施形態では、第２通信ユニット７は、位置検出装置４が検出した計測機２の位置を示す計測位置情報Ｉｐを取得する位置取得部７１と、当該位置取得部７１が取得した計測位置情報Ｉｐを操作端末５に送信する第２通信部７２と、を備えている。本実施形態では、位置取得部７１は、複数の受信機４２の少なくとも一部が受信した、発信機４１からのビーコン信号に基づいて、計測機２の位置を示す計測位置情報Ｉｐを算出する。 The second communication unit 7 is arranged at a prescribed location in the article conveyance facility 10. In the present embodiment, the second communication unit 7 includes a position acquisition unit 71 that acquires measurement position information Ip indicating the position of the measuring device 2 detected by the position detection device 4, and measurement position information acquired by the position acquisition unit 71. A second communication unit 72 that transmits IP to the operating terminal 5 is provided. In this embodiment, the position acquisition unit 71 calculates the measurement position information Ip indicating the position of the measuring device 2 based on the beacon signal from the transmitter 41 that is received by at least some of the plurality of receivers 42 .

本実施形態では、操作端末５は、作業者Ｐが入力を行う入力部５１と、種々の情報処理を行う処理部５２と、当該処理部５２が処理した情報を表示する表示部５３と、第１通信ユニット６及び第２通信ユニット７と無線通信を行う端末側通信部５４と、を備えている。本例では、操作端末５は、入力部５１と処理部５２と表示部５３と端末側通信部５４とが一体的に構成されたタブレット型コンピュータである。 In the present embodiment, the operating terminal 5 includes an input section 51 for input by the worker P, a processing section 52 for performing various information processing, a display section 53 for displaying information processed by the processing section 52, and a display section 53 for displaying information processed by the processing section 52. The terminal side communication section 54 performs wireless communication with the first communication unit 6 and the second communication unit 7. In this example, the operating terminal 5 is a tablet computer in which an input section 51, a processing section 52, a display section 53, and a terminal-side communication section 54 are integrally configured.

図８に示すように、本実施形態では、表示部５３は、計測機２が計測したパーティクルの量を示す計測結果情報Ｉｒ、計測機２の状態を示す計測状態情報Ｉｓを表示する。具体的には、まず、第１通信ユニット６の計測結果取得部６１が、計測機２の出力信号に基づいて計測結果情報Ｉｒ及び計測状態情報Ｉｓを取得する。次に、第１通信ユニット６の第１通信部６２が、それら計測結果情報Ｉｒ及び計測状態情報Ｉｓを端末側通信部５４に送信する。そして、処理部５２が、端末側通信部５４から計測結果情報Ｉｒ及び計測状態情報Ｉｓを取得し、これら計測結果情報Ｉｒ及び計測状態情報Ｉｓを表示部５３が表示する。このように、本実施形態では、第１通信ユニット６は、計測結果情報Ｉｒ、及び計測機２の状態を示す計測状態情報Ｉｓを操作端末５に送信する。 As shown in FIG. 8, in this embodiment, the display unit 53 displays measurement result information Ir indicating the amount of particles measured by the measuring device 2 and measurement state information Is indicating the state of the measuring device 2. Specifically, first, the measurement result acquisition section 61 of the first communication unit 6 acquires measurement result information Ir and measurement state information Is based on the output signal of the measuring device 2. Next, the first communication section 62 of the first communication unit 6 transmits the measurement result information Ir and the measurement state information Is to the terminal side communication section 54. Then, the processing section 52 acquires the measurement result information Ir and the measurement state information Is from the terminal side communication section 54, and the display section 53 displays the measurement result information Ir and the measurement state information Is. In this manner, in the present embodiment, the first communication unit 6 transmits the measurement result information Ir and the measurement state information Is indicating the state of the measuring device 2 to the operation terminal 5.

なお、図８は、タブレット型コンピュータである操作端末５の表示部５３に表示された計測結果情報Ｉｒ及び計測状態情報Ｉｓの一例を示している。図８に示す例では、計測結果情報Ｉｒとして、パーティクルの粒径と、当該粒径に対応するパーティクルの数量とが表示されている。また、計測状態情報Ｉｓとして、計測機２の電源として機能する上記蓄電装置の残容量（State of Charge）と、計測機２の計測データを記憶する記憶装置の空き容量の比率とが表示されている。 Note that FIG. 8 shows an example of measurement result information Ir and measurement state information Is displayed on the display unit 53 of the operating terminal 5, which is a tablet computer. In the example shown in FIG. 8, the particle size of the particles and the number of particles corresponding to the particle size are displayed as the measurement result information Ir. Furthermore, as the measurement state information Is, the remaining capacity (State of Charge) of the power storage device that functions as a power source for the measuring device 2 and the ratio of the free space of the storage device that stores the measurement data of the measuring device 2 are displayed. There is.

本実施形態では、操作端末５は、作業者Ｐにより入力部５１を介して、計測機２を作動させるための作動指令Ｃ１と、計測機２を停止させるための停止指令Ｃ２とを入力可能に構成されている。図８に示す例では、入力部５１と表示部５３とが一体化されたタッチパネルに、作動指令Ｃ１を入力するための「ＯＮ」ボタンと、停止指令Ｃ２を入力するための「ＯＦＦ」ボタンとが表示されている。また、本実施形態では、第１通信ユニット６は、計測機２の状態を切り替える状態切替部６３を更に備えている。 In the present embodiment, the operation terminal 5 allows the operator P to input an operation command C1 for operating the measuring device 2 and a stop command C2 for stopping the measuring device 2 through the input unit 51. It is configured. In the example shown in FIG. 8, a touch panel in which the input section 51 and the display section 53 are integrated has an "ON" button for inputting the operation command C1 and an "OFF" button for inputting the stop command C2. is displayed. Further, in this embodiment, the first communication unit 6 further includes a state switching section 63 that switches the state of the measuring device 2.

このような構成において、作業者Ｐが入力部５１を介して作動指令Ｃ１又は停止指令Ｃ２を入力した場合、当該作動指令Ｃ１又は停止指令Ｃ２を処理部５２が取得する。そして、処理部５２が取得した作動指令Ｃ１又は停止指令Ｃ２を、端末側通信部５４が第１通信ユニット６の第１通信部６２に送信する。続いて、状態切替部６３は、第１通信部６２が受信した作動指令Ｃ１又は停止指令Ｃ２に応じて、計測機２の状態を作動状態及び停止状態のいずれかに切り替える。具体的には、第１通信部６２が作動指令Ｃ１を受信した場合、状態切替部６３は、計測機２の状態を作動状態に切り替える。一方、第１通信部６２が停止指令Ｃ２を受信した場合、状態切替部６３は、計測機２の状態を停止状態に切り替える。このように、本実施形態では、第１通信ユニット６は、作業者Ｐによって操作端末５に入力された作動指令Ｃ１及び停止指令Ｃ２を受信し、当該指令Ｃ１，Ｃ２に応じて、計測機２の状態を作動状態及び停止状態のいずれかに切り替える。 In such a configuration, when the worker P inputs the operation command C1 or the stop command C2 via the input section 51, the processing section 52 acquires the operation command C1 or the stop command C2. Then, the terminal side communication section 54 transmits the operation command C1 or the stop command C2 acquired by the processing section 52 to the first communication section 62 of the first communication unit 6. Subsequently, the state switching unit 63 switches the state of the measuring device 2 to either the operating state or the stopped state in accordance with the operation command C1 or the stop command C2 received by the first communication unit 62. Specifically, when the first communication unit 62 receives the operation command C1, the state switching unit 63 switches the state of the measuring device 2 to the operating state. On the other hand, when the first communication unit 62 receives the stop command C2, the state switching unit 63 switches the state of the measuring device 2 to the stopped state. As described above, in the present embodiment, the first communication unit 6 receives the operation command C1 and the stop command C2 input into the operation terminal 5 by the worker P, and responds to the measuring device 2 according to the commands C1 and C2. Switch the state between the operating state and the stopped state.

また、本実施形態では、処理部５２は、計測結果情報Ｉｒ及び計測位置情報Ｉｐに基づいて、パーティクル情報マップＭを作成する。そして、表示部５３は、処理部５２で作成したパーティクル情報マップＭを表示する。なお、本実施形態では、上述したように、計測位置情報Ｉｐは、第２通信ユニット７により取得され、第２通信部７２から端末側通信部５４に送信される。そして、処理部５２は、端末側通信部５４から計測位置情報Ｉｐを取得する。図９に示すように、パーティクル情報マップＭは、パーティクルの量が物品搬送設備１０のレイアウトに関連付けて示された情報である。図９に示す例では、計測結果情報Ｉｒに基づくパーティクルの量が３段階で相対的に表されている。ここでは、計測位置情報Ｉｐに基づく搬送装置Ｔによる支持部１の搬送経路が矢印で表されている。そして、この矢印が、パーティクルの３段階の量に応じて、３種類の色又は模様が付与された状態で表示されている。 Further, in this embodiment, the processing unit 52 creates a particle information map M based on the measurement result information Ir and the measurement position information Ip. The display unit 53 then displays the particle information map M created by the processing unit 52. Note that in this embodiment, as described above, the measured position information Ip is acquired by the second communication unit 7 and transmitted from the second communication section 72 to the terminal side communication section 54. The processing unit 52 then acquires the measured position information Ip from the terminal side communication unit 54. As shown in FIG. 9, the particle information map M is information in which the amount of particles is shown in association with the layout of the article transport facility 10. In the example shown in FIG. 9, the amount of particles based on the measurement result information Ir is relatively expressed in three stages. Here, the transport route of the support part 1 by the transport device T based on the measured position information Ip is represented by an arrow. This arrow is displayed with three different colors or patterns depending on the three levels of particle amounts.

〔その他の実施形態〕
（１）上記の実施形態では、集気ダクト３が計測機２に対して着脱可能である構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、例えば、集気ダクト３が計測機２と一体的に構成され、集気ダクト３が計測機２から取り外せない構成であっても良い。 [Other embodiments]
(1) In the above embodiment, the configuration in which the air collection duct 3 is detachable from the measuring device 2 has been described as an example. However, without being limited to such a configuration, for example, the air collection duct 3 may be configured integrally with the measuring device 2, and the air collecting duct 3 may be configured not to be detachable from the measuring device 2.

（２）上記の実施形態では、集気ダクト３が、ファンフィルタユニットＦの気体出口Ｆａを正面から見た正面視で当該気体出口Ｆａの全体を覆うように、気体出口Ｆａに対向して配置された対向部３１を備えた構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、対向部３１が、正面視で気体出口Ｆａの一部を覆うように形成された構成としても良い。この場合、ファンフィルタユニットＦのリークが発生し易い場所、例えばファンフィルタユニットＦの周縁部を覆うように形成されていると好適である。 (2) In the above embodiment, the air collection duct 3 is arranged opposite to the gas outlet Fa of the fan filter unit F so as to cover the entire gas outlet Fa when viewed from the front. The configuration including the facing portion 31 has been described as an example. However, the configuration is not limited to such a configuration, and the opposing portion 31 may be configured to cover a part of the gas outlet Fa when viewed from the front. In this case, it is preferable that the fan filter unit F is formed so as to cover a location where leakage is likely to occur, for example, the peripheral edge of the fan filter unit F.

（３）上記の実施形態では、集気ダクト３が、対向部３１から計測機２の吸引口２ａに向かうに従って流路断面積が縮小するように形成されたテーパ部３２を備えた構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、例えば、テーパ部３２が、対向部３１から計測機２の吸引口２ａに向かうに従って流路断面積が変化しない構成又は増減を繰り返す構成としても良い。 (3) In the above embodiment, the air collection duct 3 is provided with a tapered part 32 formed such that the cross-sectional area of the flow path decreases as it goes from the opposing part 31 toward the suction port 2a of the measuring device 2. It was explained as follows. However, without being limited to such a configuration, for example, a configuration in which the cross-sectional area of the flow path does not change as the tapered portion 32 moves from the facing portion 31 toward the suction port 2a of the measuring device 2 may be configured, or a configuration in which the cross-sectional area increases and decreases repeatedly. .

（４）上記の実施形態では、位置検出装置４が、発信機４１から発信されるビーコン信号を３箇所以上の受信機４２により受信し、各受信機４２での信号強度等に基づいて３点測位の原理で発信機４１の位置情報を取得する装置である構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、例えば、位置検出装置４が、発信機４１から発信されたビーコンを最も近くで（最も強い信号強度で）受信した受信機４２に紐づけられた位置情報を発信機４１の位置情報とする、いわゆる近接性方式を用いた装置であっても良い。また、位置検出装置４を備えていない構成としても良い。 (4) In the above embodiment, the position detection device 4 receives the beacon signal transmitted from the transmitter 41 using the receivers 42 at three or more locations, and based on the signal strength etc. at each receiver 42, the position detecting device 4 receives the beacon signal transmitted from the transmitter 41 at three points. The configuration has been described as an example of a device that acquires position information of the transmitter 41 based on the principle of positioning. However, without being limited to such a configuration, for example, the position detection device 4 may be linked to the receiver 42 that received the beacon transmitted from the transmitter 41 closest to it (with the strongest signal strength). It may be an apparatus using a so-called proximity method in which the position information is the position information of the transmitter 41. Alternatively, a configuration may be adopted in which the position detection device 4 is not provided.

（５）上記の実施形態では、発信機４１が支持部１に支持され、複数の受信機４２が物品搬送設備１０の異なる箇所に配置されている構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、発信機４１と受信機４２との関係を逆にしても良い。すなわち、受信機４２が支持部１に支持され、複数の発信機４１が物品搬送設備１０の異なる箇所に配置されている構成としても良い。 (5) In the above embodiment, the transmitter 41 is supported by the support section 1 and the plurality of receivers 42 are arranged at different locations in the article conveyance equipment 10. However, the configuration is not limited to this, and the relationship between the transmitter 41 and the receiver 42 may be reversed. That is, a configuration may be adopted in which the receiver 42 is supported by the support section 1 and a plurality of transmitters 41 are arranged at different locations in the article conveyance equipment 10.

（６）上記の実施形態では、パーティクル情報マップＭを作成する処理部５２が操作端末５に設けられた構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、処理部５２が第１通信ユニット６又は第２通信ユニット７に設けられていても良い。或いは、処理部５２が物品搬送設備１０における規定の箇所に配置された別の演算処理装置に設けられていても良い。 (6) In the above embodiment, the configuration in which the processing unit 52 that creates the particle information map M is provided in the operation terminal 5 has been described as an example. However, the processing section 52 may be provided in the first communication unit 6 or the second communication unit 7 without being limited to such a configuration. Alternatively, the processing section 52 may be provided in another arithmetic processing device disposed at a prescribed location in the article transport facility 10.

（７）上記の実施形態では、操作端末５がタブレット型コンピュータである構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、例えば、操作端末５がデスクトップ型コンピュータ、ラップトップ型コンピュータであっても良い。また、操作端末５を備えていない構成としても良い。この場合、第１通信ユニット６及び第２通信ユニット７を備えていなくても良い。 (7) In the above embodiment, the configuration in which the operating terminal 5 is a tablet computer has been described as an example. However, without being limited to such a configuration, the operating terminal 5 may be a desktop computer or a laptop computer, for example. Alternatively, a configuration may be adopted in which the operation terminal 5 is not provided. In this case, the first communication unit 6 and the second communication unit 7 may not be provided.

（８）上記の実施形態では、第１通信ユニット６が作動指令Ｃ１及び停止指令Ｃ２に応じて、計測機２の状態を作動状態及び停止状態のいずれかに切り替える構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、計測機２の状態を遠隔で切り替えることなく、作業者Ｐが計測機２を直接操作して状態を切り替える構成としても良い。 (8) In the above embodiment, the first communication unit 6 switches the state of the measuring device 2 to either the operating state or the stopped state in response to the operating command C1 and the stop command C2. However, the present invention is not limited to such a configuration, and a configuration may be adopted in which the worker P directly operates the measuring device 2 to change the state of the measuring device 2 without remotely switching the state of the measuring device 2.

（９）上記の実施形態では、処理部５２が、計測結果情報Ｉｒ及び計測位置情報Ｉｐに基づいて、パーティクル情報マップＭを作成し、表示部５３が、処理部５２で作成したパーティクル情報マップＭを表示する構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、例えば、処理部５２が、計測結果情報Ｉｒ及び計測位置情報Ｉｐに基づいて、パーティクルの量の計測位置と、当該計測位置におけるパーティクルの量とを示す表を作製し、当該表を表示部５３が表示する構成としても良い。 (9) In the above embodiment, the processing unit 52 creates the particle information map M based on the measurement result information Ir and the measurement position information Ip, and the display unit 53 displays the particle information map M created by the processing unit 52. The explanation has been given using an example of a configuration that displays . However, without being limited to such a configuration, for example, the processing unit 52 may calculate the measurement position of the amount of particles and the amount of particles at the measurement position based on the measurement result information Ir and the measurement position information Ip. A configuration may also be adopted in which a table is created and the table is displayed on the display unit 53.

（１０）なお、上述した各実施形態で開示された構成は、矛盾が生じない限り、他の実施形態で開示された構成と組み合わせて適用することも可能である。その他の構成に関しても、本明細書において開示された実施形態は全ての点で単なる例示に過ぎない。したがって、本開示の趣旨を逸脱しない範囲内で、適宜、種々の改変を行うことが可能である。 (10) Note that the configurations disclosed in each of the embodiments described above can be applied in combination with the configurations disclosed in other embodiments as long as no contradiction occurs. Regarding other configurations, the embodiments disclosed herein are merely illustrative in all respects. Therefore, various modifications can be made as appropriate without departing from the spirit of the present disclosure.

〔上記実施形態の概要〕
以下では、上記において説明した計測装置の概要について説明する。 [Summary of the above embodiment]
Below, an overview of the measuring device described above will be explained.

計測装置は、
それぞれに物品が収容される複数の収容部と、前記物品を搬送する搬送装置と、を備えていると共に、前記収容部に向けてフィルタを通過させた気体を供給するファンフィルタユニットが複数の前記収容部のそれぞれに設けられた物品搬送設備において用いられる計測装置であって、
前記搬送装置によって搬送可能、かつ、複数の前記収容部のそれぞれに収容可能に構成された支持部と、
前記支持部に支持されて、パーティクルの量を計測する計測機と、
前記計測機に取り付けられた集気ダクトと、を備え、
前記集気ダクトは、前記支持部が複数の前記収容部のいずれかに収容された状態で、当該収容部に設けられた前記ファンフィルタユニットの気体出口の全体を覆うと共に、当該気体出口から供給された気体を前記計測機の吸引口へ導くように形成されている。 The measuring device is
A fan filter unit is provided with a plurality of accommodating sections each containing an article, and a conveying device for conveying the article, and a fan filter unit that supplies gas passed through the filter toward the accommodating section. A measuring device used in article conveyance equipment provided in each storage section,
a support section configured to be transportable by the transport device and accommodated in each of the plurality of storage sections;
a measuring device that is supported by the support section and measures the amount of particles;
an air collection duct attached to the measuring device,
The air collection duct covers the entire gas outlet of the fan filter unit provided in the housing part while the support part is housed in one of the plurality of housing parts, and supplies air from the gas outlet. It is formed so as to guide the generated gas to the suction port of the measuring device.

この構成によれば、ファンフィルタユニットの気体出口から供給された気体のほぼ全てを、集気ダクトにより集めて計測機の吸引口へ導くことができる。そのため、例えばファンフィルタユニットが備えるフィルタのごく一部に損傷がある場合であっても、当該損傷に起因して増加するパーティクルの量を計測機によって適切に計測することができる。つまり、ファンフィルタユニットのリーク検査を適切に行うことができる。そして、このような集気ダクトが取り付けられた計測機は支持部に支持されており、搬送装置によって任意の収容部に搬送される。したがって、作業者が収容部に立ち入ってリーク検査のための作業を行う必要がない。このように、本構成によれば、ファンフィルタユニットのリーク検査を、作業者が収容部に立ち入ることなく遠隔で適切に行うことができる。 According to this configuration, almost all of the gas supplied from the gas outlet of the fan filter unit can be collected by the air collection duct and guided to the suction port of the measuring device. Therefore, even if a small portion of the filter included in the fan filter unit is damaged, for example, the amount of particles that increases due to the damage can be appropriately measured by the measuring device. In other words, the fan filter unit can be properly inspected for leaks. The measuring device to which such an air collection duct is attached is supported by a support section, and is transported to an arbitrary storage section by a transport device. Therefore, there is no need for an operator to enter the housing section and perform work for leak inspection. In this way, according to the present configuration, a leak test of the fan filter unit can be appropriately performed remotely without the operator having to enter the housing section.

ここで、前記集気ダクトは、前記計測機に対して着脱可能に構成されていると好適である。 Here, it is preferable that the air collection duct is configured to be detachable from the measuring device.

この構成によれば、集気ダクトを計測機に取り付けた場合には、上述したように、支持部が複数の収容部のいずれかに収容された状態で、当該収容部に設けられたファンフィルタユニットのリーク検査を行うことができる。一方、集気ダクトを計測機から取り外した場合には、任意の場所において支持部の周辺のパーティクルの量を計測機によって計測することができる。このように、本構成によれば、ファンフィルタユニットのリーク検査を行う場合と、それ以外で支持部の周辺のパーティクルの量を計測する場合とを、容易に切り替えることができる。 According to this configuration, when the air collection duct is attached to the measuring instrument, as described above, the support part is housed in one of the plurality of housing parts, and the fan filter provided in the housing part is Units can be tested for leaks. On the other hand, when the air collection duct is removed from the measuring device, the amount of particles around the support portion can be measured by the measuring device at any location. In this manner, according to the present configuration, it is possible to easily switch between performing a leakage test on the fan filter unit and measuring the amount of particles around the support portion in other cases.

また、前記集気ダクトは、前記気体出口を正面から見た正面視で当該気体出口の全体を覆うように、前記気体出口に対向して配置された対向部と、当該対向部から前記計測機の前記吸引口に向かうに従って流路断面積が縮小するように形成されたテーパ部と、を備えていると好適である。 Further, the air collection duct includes a facing part disposed opposite to the gas outlet so as to cover the entire gas outlet in a front view of the gas outlet, and a facing part arranged to face the gas outlet, and a connecting part extending from the facing part to the measuring device. It is preferable to include a tapered part formed such that the cross-sectional area of the flow path decreases toward the suction port.

この構成によれば、支持部が複数の収容部のいずれかに収容された状態で、当該収容部に設けられたファンフィルタユニットの気体出口から供給された気体のほぼ全てを、集気ダクトにより集めて計測機の吸引口へ導くことができる。したがって、ファンフィルタユニットのリーク検査を精度良く行うことができる。 According to this configuration, when the support part is housed in one of the plurality of housing parts, almost all of the gas supplied from the gas outlet of the fan filter unit provided in the housing part is transported by the air collection duct. It can be collected and guided to the suction port of the measuring device. Therefore, the fan filter unit can be tested for leaks with high accuracy.

また、前記計測機の位置を検出する位置検出装置を更に備えていると好適である。 Further, it is preferable that the measuring device further includes a position detection device that detects the position of the measuring device.

この構成によれば、計測機がリーク検査を行った位置を測定することができる。したがって、どのファンフィルタユニットのリーク検査を行ったかを容易に把握することができる。 According to this configuration, it is possible to measure the position where the measuring device performs the leak test. Therefore, it is possible to easily know which fan filter unit has been tested for leakage.

前記位置検出装置を備えた構成において、
前記計測機が計測したパーティクルの量を示す計測結果情報を取得する計測結果取得部と、
前記位置検出装置が検出した前記計測機の位置を示す計測位置情報を取得する位置取得部と、
前記計測結果情報及び前記計測位置情報に基づいて、パーティクルの量が前記物品搬送設備のレイアウトに関連付けて示されたパーティクル情報マップを作成する処理部と、
作業者が操作する操作端末に設けられ、前記処理部で作成した前記パーティクル情報マップを表示する表示部と、を更に備えていると好適である。 In the configuration including the position detection device,
a measurement result acquisition unit that acquires measurement result information indicating the amount of particles measured by the measuring device;
a position acquisition unit that acquires measurement position information indicating the position of the measuring device detected by the position detection device;
a processing unit that creates a particle information map in which the amount of particles is shown in association with the layout of the article conveyance equipment based on the measurement result information and the measurement position information;
Preferably, the apparatus further includes a display section that is provided on an operating terminal operated by a worker and displays the particle information map created by the processing section.

この構成によれば、表示部に表示されたパーティクル情報マップを作業者が視認することで、物品搬送設備の各所のパーティクルの量を容易に把握することができる。 According to this configuration, by visually confirming the particle information map displayed on the display section, the operator can easily grasp the amount of particles at each location of the article transport facility.

また、作業者が操作する操作端末と、
前記支持部に支持されて、前記計測機が計測したパーティクルの量を示す計測結果情報を取得可能に構成されていると共に、前記操作端末と無線通信可能に構成された通信ユニットと、を更に備え、
前記通信ユニットは、前記計測結果情報、及び前記計測機の状態を示す計測状態情報を前記操作端末に送信すると好適である。 In addition, the operation terminal operated by the worker,
The device further includes a communication unit supported by the support portion, configured to be capable of acquiring measurement result information indicating the amount of particles measured by the measuring device, and configured to be capable of wireless communication with the operation terminal. ,
Preferably, the communication unit transmits the measurement result information and measurement state information indicating the state of the measuring device to the operation terminal.

この構成によれば、計測機によるパーティクルの量の計測結果と、計測機の状態とを、遠隔で取得することができる。したがって、作業者が計測機を回収する作業等を行うことなく、計測機によるパーティクルの量の計測結果と、計測機の状態とを、容易に取得することができる。 According to this configuration, the result of measuring the amount of particles by the measuring device and the state of the measuring device can be obtained remotely. Therefore, the result of measuring the amount of particles by the measuring device and the state of the measuring device can be easily obtained without the operator performing work such as collecting the measuring device.

前記操作端末と前記通信ユニットとを備えた構成において、
前記通信ユニットは、前記作業者によって前記操作端末に入力された作動指令及び停止指令を受信し、当該指令に応じて、前記計測機の状態を作動状態及び停止状態のいずれかに切り替えると好適である。 In the configuration including the operation terminal and the communication unit,
Preferably, the communication unit receives an activation command and a stop command inputted into the operating terminal by the worker, and switches the state of the measuring device to either an activated state or a stopped state in accordance with the commands. be.

この構成によれば、作業者が遠隔で計測機の状態を作動状態及び停止状態のいずれかに切り替えることができる。したがって、計測機の状態を作動状態又は停止状態とする作業を容易に行うことができる。また、計測機が蓄電装置を電源として用いている場合には、計測が不要な場合に停止状態とすることで、蓄電装置の電力消費を抑え、計測機の稼働時間を長く確保することができる。 According to this configuration, an operator can remotely switch the state of the measuring device to either the operating state or the stopped state. Therefore, it is possible to easily change the state of the measuring device into an operating state or a stopped state. In addition, if the measuring device uses a power storage device as a power source, by turning it off when measurement is not required, the power consumption of the power storage device can be reduced and the operating time of the measuring device can be extended. .

本開示に係る技術は、それぞれに物品が収容される複数の収容部と、物品を搬送する搬送装置と、を備えていると共に、収容部に向けてフィルタを通過させた気体を供給するファンフィルタユニットが複数の収容部のそれぞれに設けられた物品搬送設備において用いられる計測装置に利用することができる。 The technology according to the present disclosure includes a plurality of storage sections in which articles are stored in each storage section, a conveyance device that transports the articles, and a fan filter that supplies gas passed through the filter toward the storage sections. The present invention can be used in a measuring device used in article conveyance equipment in which a unit is provided in each of a plurality of storage sections.

１００：計測装置
１：支持部
２：計測機
２ａ：吸引口
３：集気ダクト
１０：物品搬送設備
Ａ：物品
Ｓ：収容部
Ｔ：搬送装置
Ｆ：ファンフィルタユニット
Ｆａ：気体出口 100 : Measuring device 1 : Support part 2 : Measuring device 2a : Suction port 3 : Air collection duct 10 : Article transport equipment A : Article S : Storage part T : Transport device F : Fan filter unit Fa : Gas outlet

Claims

A fan filter unit is provided with a plurality of accommodating sections each containing an article, and a conveying device for conveying the article, and a fan filter unit that supplies gas passed through the filter toward the accommodating section. A measuring device used in article conveyance equipment provided in each storage section,
a support section configured to be transportable by the transport device and accommodated in each of the plurality of storage sections;
a measuring device that is supported by the support section and measures the amount of particles;
an air collection duct attached to the measuring device,
The air collection duct covers the entire gas outlet of the fan filter unit provided in the housing part while the support part is housed in one of the plurality of housing parts, and supplies air from the gas outlet. formed so as to guide the gas to the suction port of the measuring device ,
The air collection duct is configured to be detachable from the measuring device,
When performing a leak test of the fan filter unit, the air collection duct is attached to the measuring device,
A measuring device in which the air collection duct is removed from the measuring device when measuring the amount of particles around the supporting portion at an arbitrary location in a range in which the supporting portion is conveyed by the conveying device.

The air collecting duct includes a facing part disposed opposite to the gas outlet so as to cover the entire gas outlet when viewed from the front, and a facing part disposed to face the gas outlet, and a connecting part of the measuring device from the facing part to the opposite part. The measuring device according to claim 1 , further comprising: a tapered portion formed such that the cross-sectional area of the flow path decreases toward the suction port.

The measuring device according to claim 1 or 2 , further comprising a position detection device that detects the position of the measuring device.

a measurement result acquisition unit that acquires measurement result information indicating the amount of particles measured by the measuring device;
a position acquisition unit that acquires measurement position information indicating the position of the measuring device detected by the position detection device;
a processing unit that creates a particle information map in which the amount of particles is shown in association with the layout of the article conveyance equipment based on the measurement result information and the measurement position information;
The measuring device according to claim 3 , further comprising a display unit provided on an operating terminal operated by a worker and displaying the particle information map created by the processing unit.

An operation terminal operated by a worker,
The device further includes a communication unit supported by the support portion, configured to be capable of acquiring measurement result information indicating the amount of particles measured by the measuring device, and configured to be capable of wireless communication with the operation terminal. ,
The measuring device according to any one of claims 1 to 4 , wherein the communication unit transmits the measurement result information and measurement state information indicating a state of the measuring device to the operation terminal.

The communication unit receives an activation command and a stop command inputted into the operation terminal by the worker, and switches the state of the measuring device to either an activated state or a stopped state in accordance with the commands. 5. The measuring device according to 5 .