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JP7369869B2 - Particulate collection system and particulate collection method - Google Patents
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Description

本発明は、微粒子回収システム及び微粒子回収方法の技術に関する。 The present invention relates to a technology for a particulate collection system and a particulate collection method.

世界的にテロの脅威が増している。特に爆発物は、日用品を原料とした強力な爆薬の製造方法がインターネットを介して拡散したことから、近年のテロにおいて使用されるケースが増えている。爆発物テロを防止する有効な手段の一つは、爆発物検査装置により隠蔽されている爆発物を発見することである。爆発物の検査方法は2つあり、爆発物の塊を見つけるバルク検査と、微量の爆薬の痕跡を見つけるトレース検査が知られている。バルク検査とトレース検査とでは得られる情報が異なり、相補的に運用できる。そのため、その両方の検査方法を併用することによりセキュリティを向上できることが知られている。 The threat of terrorism is increasing worldwide. Explosives, in particular, have been increasingly used in terrorist attacks in recent years, as methods for manufacturing powerful explosives using everyday items have spread through the Internet. One of the effective means of preventing explosive terrorism is to discover hidden explosives using explosive detection equipment. There are two known methods for testing explosives: bulk testing, which finds chunks of explosives, and trace testing, which finds traces of explosives. Bulk inspection and trace inspection provide different information and can be used in a complementary manner. Therefore, it is known that security can be improved by using both inspection methods together.

特許文献1には、「上記従来技術の問題を解決するためには、ニトロ化合物に代表される危険物を負のコロナ放電を用いて効率的にイオン化し、生成した負イオンを質量分析計を用いて高感度に検出する」試料ガス採取装置及び危険物探知装置が開示されている(要約参照)。 Patent Document 1 states, ``In order to solve the above-mentioned problems of the prior art, dangerous substances such as nitro compounds are efficiently ionized using negative corona discharge, and the generated negative ions are analyzed using a mass spectrometer. A sample gas sampling device and a dangerous substance detection device for highly sensitive detection are disclosed (see abstract).

特許文献2には、「付着物検査装置(1)は、試料物質が付着した検査対象物(25)に圧縮ガスを吹き付けて、剥離した前記試料物質を補集フィルタ(52)により捕集する捕集部(5)と、この捕集フィルタ(52)に捕集された前記試料物質を分析する検査部(2)と、を備えるとともに、さらに手荷物を検査部(2)に配送する手荷物配送部(3)と、補集フィルタ(52)を捕集部(5)から検査部(2)へ搬送する搬送部(4)とから構成されることを特徴とする」付着物検査装置及び付着物検査方法が開示されている(要約参照)。 Patent Document 2 states, ``The deposit inspection device (1) sprays compressed gas onto the inspection object (25) to which a sample substance has adhered, and collects the peeled sample substance with a collection filter (52). A baggage delivery system that includes a collection section (5) and an inspection section (2) that analyzes the sample substance collected on the collection filter (52), and further delivers the baggage to the inspection section (2). a part (3) and a conveyance part (4) for conveying the collection filter (52) from the collection part (5) to the inspection part (2). A kimono inspection method is disclosed (see abstract).

特許文献3には、「除電ブース(20)は、第一区域(11)と第二区域(12)との境界に設けられる。除電ブースは、第一区域とブース内空間とを仕切る第一パーティション(26)、第二区域とブース内空間とを仕切る第二パーティション(27)、および第一パーティションと第二パーティションとの間のブース内空間に設けられた加湿ノズル(21)を備える。加湿ノズルは、水または水蒸気を噴霧して、ブース内空間の湿度を高める」除電ブース、除電システムおよび除電方法が開示されている(要約参照)。 Patent Document 3 states, ``The static elimination booth (20) is provided at the boundary between the first area (11) and the second area (12). A partition (26), a second partition (27) that partitions the second area and the booth interior space, and a humidification nozzle (21) provided in the booth interior space between the first partition and the second partition.Humidification. A static elimination booth, a static elimination system, and a static elimination method are disclosed in which the nozzle sprays water or steam to increase the humidity in the booth interior space (see abstract).

特許文献4には、「加硫性ゴム組成物を用いて医薬品及び医療品用ゴム栓を製造するに際し、成形工程、洗浄・乾燥工程を経て製造された上記ゴム栓を除電処理することを特徴とする医薬品及び医療品用ゴム栓の製造方法及び成形工程、洗浄・乾燥工程を経て製造された上記ゴム栓を除電処理してから画像処理による最終外観検査をおこなう」医薬品及び医療品用ゴム栓の製造方法、該ゴム栓の検査方法及び検査装置が開示されている(要約参照)。 Patent Document 4 states, ``When manufacturing rubber stoppers for pharmaceuticals and medical products using a vulcanizable rubber composition, the rubber stopper manufactured through a molding process and a washing/drying process is characterized in that it is subjected to static neutralization treatment. Rubber stoppers for drugs and medical products are manufactured through a molding process, a washing and drying process, and the above-mentioned rubber stoppers are subjected to static electricity removal treatment and then subjected to a final appearance inspection using image processing.'' Rubber stoppers for drugs and medical products A method for manufacturing the rubber stopper, a method for inspecting the rubber stopper, and an inspection device are disclosed (see abstract).

特開2006-58318号公報Japanese Patent Application Publication No. 2006-58318 国際公開2006/097990号International Publication 2006/097990 特開2019-15447号公報JP 2019-15447 Publication 特開2000-302144号公報Japanese Patent Application Publication No. 2000-302144

荷物に付着している爆薬微粒子等の微粒子を気流により剥離及び回収し、その微粒子を分析することで爆薬の痕跡の有無を明らかにするトレース検査装置がある。このようなトレース検査装置では、気流の噴射圧力や流量が等しい場合、微粒子の剥離効率が表面の素材の影響を受けることが分かった。 There is a trace inspection device that uses airflow to separate and collect fine particles such as explosive particles attached to luggage and analyzes the fine particles to determine whether there are traces of explosives. In such a trace inspection device, it has been found that when the jetting pressure and flow rate of the airflow are the same, the particle removal efficiency is affected by the surface material.

このような背景に鑑みて本発明がなされたのであり、本発明は、被検査物に付着している微粒子の回収効率を向上させることを課題とする。 The present invention has been made in view of this background, and an object of the present invention is to improve the collection efficiency of fine particles adhering to an object to be inspected.

前記課題を解決するため、本発明は、噴射ノズルにより被検査物に向けて圧縮空気を噴射することで発生する第1の気流により前記被検査物に付着する微粒子を剥離する剥離部と、前記剥離部により前記被検査物から剥離された前記微粒子を回収する回収部と、前記被検査物の表面の静電気を除電する除電部と、を備え、前記除電部の後段に前記剥離部及び前記回収部を有することを特徴とする。
その他の解決手段は実施形態中において、適宜記載する。
In order to solve the above-mentioned problems, the present invention includes a peeling section that peels off particulates adhering to the test object with a first airflow generated by jetting compressed air toward the test object with a jet nozzle; A collection unit that collects the fine particles peeled off from the object to be inspected by the separation unit, and a static eliminator that removes static electricity on the surface of the object to be inspected, and the separation unit and the recovery unit are provided after the static electricity removal unit. It is characterized by having a part.
Other solutions will be described as appropriate in the embodiments.

本発明によれば、被検査物に付着している微粒子の回収効率を向上させることができる。 According to the present invention, it is possible to improve the collection efficiency of fine particles adhering to an object to be inspected.

第1実施形態に係る微粒子検査装置の外観図である。FIG. 1 is an external view of a particle inspection device according to a first embodiment. 微粒子検査装置の構成を上から見た内部透視模式図である。FIG. 2 is a schematic internal transparent diagram of the configuration of the particle inspection device viewed from above. トレース検査部の構成を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing the configuration of a trace inspection section. 制御装置の構成を示す機能ブロック図である。FIG. 2 is a functional block diagram showing the configuration of a control device. 除電部の位置を具体的に示す図である。FIG. 3 is a diagram specifically showing the position of a static eliminator. 剥離回収部の具体的な構成を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing a specific configuration of a peeling and collecting section. 第1実施形態における微粒子検査装置が行う処理の手順を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the procedure of the process performed by the particle inspection apparatus in 1st Embodiment. トレース検査部の構成を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing the configuration of a trace inspection section. 静電気センサ部の位置を具体的に示す図である。It is a figure specifically showing the position of an electrostatic sensor part. 制御装置の構成を示す機能ブロック図である。FIG. 2 is a functional block diagram showing the configuration of a control device. 第2実施形態における微粒子検査装置が行う処理の手順を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the procedure of the process performed by the particle inspection apparatus in 2nd Embodiment. 第3実施形態に係る剥離部の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the peeling part based on 3rd Embodiment. 第4実施形態におけるトレース検査部の構成を示す図である。It is a figure showing the composition of the trace inspection part in a 4th embodiment. 微粒子検査装置が行う処理の手順を示すフローチャートである。It is a flow chart which shows the procedure of processing performed by a particulate inspection device. 爆薬微粒子を気流により剥離・回収し、検出するトレース検査装置において、一定量の爆薬微粒子を様々な種類の被検査物の表面に付着させて検出された信号強度を比較したグラフ(除電前)である。This graph compares the signal strength detected when a certain amount of explosive particles are attached to the surface of various types of objects to be inspected (before static electricity removal) using a trace inspection device that detects explosive particles by peeling them off and collecting them using airflow. be. 爆薬微粒子を気流により剥離・回収し、検出するトレース検査装置において、一定量の爆薬微粒子を様々な種類の被検査物の表面に付着させて検出された信号強度を比較したグラフ(除電後)である。This graph compares the signal strength detected when a certain amount of explosive particles are attached to the surface of various types of objects to be inspected (after static elimination) using a trace inspection device that detects explosive particles by peeling them off and collecting them using airflow. be.

次に、本発明を実施するための形態(「実施形態」という)について、適宜図面を参照しながら詳細に説明する。なお、各図面において、同様の構成要素については、同一の符号を付して説明を省略する。 Next, modes for carrying out the present invention (referred to as "embodiments") will be described in detail with reference to the drawings as appropriate. In addition, in each drawing, the same reference numerals are given to the same components, and the description thereof will be omitted.

実施形態を説明する前に、被検査物に付着している微粒子の回収効率に関しての考察を説明する。金属表面よりも、荷物の素材として用いられやすい絶縁材の方が、微粒子が剥離しにくい傾向があった。発明者らによる実験では素材よる表面の粗さの違いでは説明ができなかったため、絶縁材から微粒子が剥離しにくい原因は静電気によるものと発明者らは推定した。 Before describing the embodiments, consideration regarding the collection efficiency of fine particles attached to the object to be inspected will be explained. Particles tended to be more difficult to peel off from insulating materials, which are often used as materials for luggage, than from metal surfaces. In experiments conducted by the inventors, the difference in surface roughness depending on the material could not explain the difference, so the inventors assumed that static electricity was the reason why fine particles were difficult to peel off from the insulating material.

図15A及び図15Bは、爆薬微粒子を気流により剥離・回収し、検出するトレース検査装置において、一定量の爆薬微粒子を様々な種類の被検査物の表面に付着させて検出された信号強度を比較したグラフである。
図15A及び図15Bでは、ステンレスに微粒子を付着させて試験した場合の信号強度を「1」として正規化した上で示している。図15Aは被検査物を除電しない状態で被検査物の表面に付着した爆薬微粒子を剥離・回収した際における信号強度を示している。また、図15Bは被検査物を除電した状態で被検査物の表面に付着した爆薬微粒子を剥離・回収した際における信号強度を示している。
Figures 15A and 15B compare the signal intensities detected by attaching a certain amount of explosive particles to the surfaces of various types of objects to be inspected, using a trace inspection device that detects explosive particles by peeling them off and collecting them using airflow. This is a graph.
In FIGS. 15A and 15B, the signal intensity in the case of testing with fine particles attached to stainless steel is normalized to "1" and shown. FIG. 15A shows the signal intensity when explosive particles attached to the surface of the test object are peeled off and collected without static electricity being removed from the test object. Further, FIG. 15B shows the signal intensity when explosive fine particles adhering to the surface of the test object are peeled off and collected in a state where the charge is removed from the test object.

図15Aに示すように、除電を行わない場合、絶縁材の被検査物(石英ガラス、合成皮革、ゴム、コルク)から検出される信号強度はステンレスに比べて半分程度であった。そこで、絶縁材の被検査物について、その表面を除電してからトレース検査装置で試験すると、図15Bに示すように、絶縁材からでもステンレスと同程度の信号強度が得られることが分かった。このように、被検査物の表面の除電を行うと、絶縁材でも金属と同程度の剥離効率が得られることが分かった。
以下、この考察・知見に基づく実施形態を説明する。
As shown in FIG. 15A, when static elimination was not performed, the signal intensity detected from the insulating material to be inspected (quartz glass, synthetic leather, rubber, cork) was about half that of stainless steel. Therefore, when an insulating material to be inspected was tested with a trace inspection device after static electricity was removed from its surface, it was found that signal strength comparable to that of stainless steel could be obtained even from the insulating material, as shown in FIG. 15B. In this way, it has been found that by removing static electricity from the surface of the object to be inspected, even insulating materials can have a peeling efficiency comparable to that of metals.
Hereinafter, embodiments based on this consideration and knowledge will be described.

[第1実施形態]
まず、図1~図7を参照して、本発明の第1実施形態を示す。第1実施形態では、被検査物の表面を除電した後、微粒子を被検査物から剥離・回収する例を示す。
[First embodiment]
First, a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 7. In the first embodiment, an example will be shown in which after static electricity is removed from the surface of the object to be inspected, fine particles are peeled off and collected from the object to be inspected.

(微粒子検査装置D)
図1は、第1実施形態に係る微粒子検査装置Dの外観図である。
被検査物である荷物5(図3参照)が、ベルトコンベアに代表される搬送部3の上に載置されると、搬送部3によって荷物5が微粒子検査装置Dの内部へと搬送される。筐体4において、荷物5が微粒子検査装置Dに入る入口E1の部分にはすだれやシャッタ、スライド式ドア等の遮蔽部41が設けられるのが好ましい。これは、微粒子検査装置Dの内部に、X線源、放射線源、紫外線源等が設けられる場合があるので、微粒子検査装置Dの外にいる人への被爆や、誤って人やペットが微粒子検査装置Dの内部に入り込むことを防ぐためである。
(Particle inspection device D)
FIG. 1 is an external view of a particle inspection device D according to the first embodiment.
When the baggage 5 (see FIG. 3), which is the object to be inspected, is placed on the conveyance section 3, which is represented by a belt conveyor, the conveyance section 3 conveys the baggage 5 into the particulate inspection device D. . In the housing 4, it is preferable that a shielding part 41 such as a blind, a shutter, or a sliding door be provided at the entrance E1 where the baggage 5 enters the particulate inspection device D. This is because an X-ray source, radiation source, ultraviolet light source, etc. may be installed inside the particle inspection device D, so people outside the particle inspection device D may be exposed to radiation, or people or pets may be accidentally exposed to particles. This is to prevent it from entering the inside of the inspection device D.

図2は、微粒子検査装置Dの構成を上から見た内部透視模式図である。
微粒子検査装置Dの内部にはトレース検査部1が設けられている。トレース検査部1は、荷物5の表面に付着した微粒子を回収し、その成分を分析する。トレース検査部1については後記する。また、図2に示すように、搬送部3に載せられた荷物5が搬送される方向(太矢印)に沿って、トレース検査部1と直列にバルク検査を行うバルク検査部2が設けられてもよい。バルク検査とはX線検査装置のように形状や、密度等を基に爆発物の有無に関する検査を行うことである。このようにすることで一度の検査で荷物5に付着したトレース検査部1による微粒子の分析と、X線検査等のバルク検査による荷物5の内部の確認とを同時に行うことができる。なお、微粒子分析とバルク検査の順番は、どちらが先に実施されてもよい。また、バルク検査部2は省略されてもよい。
FIG. 2 is a schematic internal transparent diagram of the structure of the particle inspection device D viewed from above.
Inside the particle inspection device D, a trace inspection section 1 is provided. The trace inspection unit 1 collects fine particles attached to the surface of the luggage 5 and analyzes their components. The trace inspection unit 1 will be described later. Further, as shown in FIG. 2, a bulk inspection section 2 that performs bulk inspection is provided in series with the trace inspection section 1 along the direction (thick arrow) in which the cargo 5 placed on the transportation section 3 is conveyed. Good too. Bulk inspection is an inspection for the presence or absence of explosives based on shape, density, etc., similar to an X-ray inspection device. By doing so, analysis of fine particles attached to the luggage 5 by the trace inspection unit 1 and confirmation of the inside of the luggage 5 by a bulk inspection such as an X-ray inspection can be performed simultaneously in a single inspection. Note that either the particle analysis or the bulk inspection may be performed first. Further, the bulk inspection section 2 may be omitted.

バルク検査部2を通過した荷物5は、搬送部3によって微粒子検査装置Dの出口E2から排出される。 The cargo 5 that has passed through the bulk inspection section 2 is discharged from the exit E2 of the particle inspection device D by the conveyance section 3.

(トレース検査部1)
図3は、トレース検査部1の構成を示す図である(上から見た内部透視模式図)。
荷物5が搬送部3に載置されると、搬送部3によって荷物5が微粒子検査装置D内に搬送される。微粒子検査装置D内に搬送された荷物5は、除電部11の近くに搬送される。除電部11は、荷物5の表面から静電気を除去する除電を行う。除電部11により表面が除電された荷物5は、荷物5の表面に付着した微粒子をサンプリングするため剥離回収部100に搬送される。具体的には、剥離部120と、回収部130との間に荷物5が搬送される。
(Trace inspection section 1)
FIG. 3 is a diagram showing the configuration of the trace inspection section 1 (a schematic internal perspective view seen from above).
When the luggage 5 is placed on the transport unit 3, the transport unit 3 transports the luggage 5 into the particle inspection device D. The cargo 5 transported into the particulate inspection device D is transported near the static eliminator 11. The static eliminator 11 performs static electricity removal to remove static electricity from the surface of the package 5 . The baggage 5 whose surface has been neutralized by the static eliminator 11 is transported to the peeling and recovery unit 100 in order to sample fine particles attached to the surface of the baggage 5. Specifically, the cargo 5 is transported between the peeling section 120 and the collection section 130.

剥離回収部100は、圧縮空気供給部110、剥離部120、回収部130、濃縮部140及び分析部150によって構成されている。剥離部120は、配管P1を介して、コンプレッサ等の圧縮空気供給部110に接続されている。圧縮空気供給部110が、剥離部120に圧縮空気を送り、剥離部120から圧縮空気が噴射することにより荷物5の表面に付着している微粒子が剥離される。剥離された微粒子は、回収部130から回収され、配管P2を介して濃縮部140に送られる。濃縮部140で濃縮された微粒子は配管P3を介して分析部150に送られる。そして、分析部150は、送られた微粒子を分析し、その成分を検出する。 The stripping and recovery section 100 includes a compressed air supply section 110, a stripping section 120, a recovery section 130, a concentration section 140, and an analysis section 150. The peeling section 120 is connected to a compressed air supply section 110 such as a compressor via a pipe P1. The compressed air supply section 110 sends compressed air to the stripping section 120, and the compressed air is jetted from the stripping section 120, thereby stripping the fine particles attached to the surface of the luggage 5. The peeled particulates are collected from the collection section 130 and sent to the concentration section 140 via the pipe P2. The fine particles concentrated in the concentration section 140 are sent to the analysis section 150 via a pipe P3. The analysis unit 150 then analyzes the sent particulates and detects their components.

制御装置7は、剥離部120の噴射ノズル121(図6参照)を制御することで、圧縮空気の噴射制御を行う。 The control device 7 controls the injection of compressed air by controlling the injection nozzle 121 (see FIG. 6) of the peeling section 120.

(制御装置7)
図4は、制御装置7の構成を示す機能ブロック図である。
制御装置7は、メモリ701、CPU(Central Processing Unit)702、HD(Hard Disk)等の記憶装置703を有する。さらに、制御装置7は静電気センサ部12等から信号を受信し、噴射ノズル121等に信号を送信する通信装置を有する。
記憶装置703に格納されているプログラムがメモリ701に展開され、CPU702によって実行される。これにより、処理部710、及び、処理部710を構成するノズル制御部711が具現化する。
ノズル制御部711は噴射ノズル121による圧縮空気の噴射のON・OFFを制御する。
(Control device 7)
FIG. 4 is a functional block diagram showing the configuration of the control device 7. As shown in FIG.
The control device 7 includes a memory 701, a CPU (Central Processing Unit) 702, and a storage device 703 such as an HD (Hard Disk). Further, the control device 7 includes a communication device that receives signals from the electrostatic sensor section 12 and the like and transmits the signals to the injection nozzle 121 and the like.
A program stored in the storage device 703 is loaded into the memory 701 and executed by the CPU 702. As a result, the processing section 710 and the nozzle control section 711 that constitutes the processing section 710 are realized.
The nozzle control unit 711 controls ON/OFF of the injection of compressed air by the injection nozzle 121.

(除電部11の位置)
図5は、除電部11の位置を具体的に示す図である。
図5は、図3のA-A断面図を示している。
スーツケースのような大きな荷物5を運ぶ場合、下にキャスタ52が設けられるとともに、運びやすいよう、上部に取っ手51が設けれている場合が多い。取っ手51の付近は運搬や荷物5の出し入れ等の際に手で触る機会が多く、手を介して爆薬微粒子が転写される可能性が高い。このため、トレース検査部1において微粒子を回収する場所は取っ手51付近が好ましい。
(Position of static eliminator 11)
FIG. 5 is a diagram specifically showing the position of the static eliminator 11. As shown in FIG.
FIG. 5 shows a cross-sectional view taken along line AA in FIG.
When carrying a large baggage 5 such as a suitcase, casters 52 are provided at the bottom and a handle 51 is often provided at the top to make it easier to carry. The area around the handle 51 is often touched by hands during transportation, loading and unloading of luggage 5, etc., and there is a high possibility that explosive fine particles will be transferred through the hands. For this reason, it is preferable that the particulates are collected in the vicinity of the handle 51 in the trace inspection section 1.

このように荷物5の取っ手51の付近に付着する微粒子を検出することが好適であるため、荷物5の表面に付着している静電気を除去するための除電部11も、取っ手51の近くの天井付近に設置されることが好ましい。このようにして、除電部11は微粒子を回収する箇所付近の表面の静電気を除去する。
なお、除電部11は、取っ手51(すなわち、除電対象箇所)の付近となるよう設置されなくてもよい。
Since it is preferable to detect fine particles adhering to the vicinity of the handle 51 of the luggage 5 in this way, the static eliminator 11 for removing static electricity adhering to the surface of the luggage 5 is also installed on the ceiling near the handle 51. It is preferable to install it nearby. In this way, the static eliminator 11 removes static electricity on the surface near the part where the particles are collected.
Note that the static eliminator 11 does not need to be installed near the handle 51 (that is, the static neutralization target location).

除電部11によって、荷物5(本体)や荷物5の取っ手51の表面の静電気が除去(除電)される。ここで、除電の方法には大きく分けて電離気体を利用する手法と、湿度を使用する手法の2つがある。電離気体を利用する場合、除電部11は、放電、紫外線、X線、放射線等の手段により大気を電離する。電離された大気の気体(電離気体)はプラスとマイナスの電荷を持っているため、取っ手51(除電対象箇所)付近の静電気は電離気体に含まれる逆極性の電荷により中和され除電される。 The static electricity removing unit 11 removes static electricity from the surface of the baggage 5 (main body) and the handle 51 of the baggage 5. Here, there are two main methods of static elimination: a method that uses ionized gas and a method that uses humidity. When using ionized gas, the static eliminator 11 ionizes the atmosphere by means such as discharge, ultraviolet rays, X-rays, and radiation. Since the ionized atmospheric gas (ionized gas) has positive and negative charges, the static electricity near the handle 51 (the area to be neutralized) is neutralized and neutralized by the opposite polarity charges contained in the ionized gas.

また、湿度を利用する場合、除電部11は、水蒸気又は霧吹きによる水滴を荷物5(被検査物)付着させる。このようにして、トレース検査部1の内部の相対湿度が80%程度又はそれ以上に保たれる。この場合、このようにすることで、荷物5(被検査物)の全体表面に水による導通が生じ、静電気を搬送部3に逃がすことができる。その際、搬送部3の素材は導電性を有していることが望ましく、これにより静電気を逃がしやすくなる。なお、湿度による除電を行う場合、除電後の剥離部120による微粒子の剥離を容易にするため、図示しない乾燥部が設けられるとよい。 Further, when using humidity, the static eliminator 11 causes water vapor or water droplets by spraying to adhere to the cargo 5 (object to be inspected). In this way, the relative humidity inside the trace inspection section 1 is maintained at about 80% or more. In this case, by doing so, water conduction occurs on the entire surface of the cargo 5 (object to be inspected), and static electricity can be released to the transport section 3. At this time, it is desirable that the material of the conveyance section 3 has conductivity, which facilitates the release of static electricity. Note that when performing static elimination using humidity, a drying section (not shown) may be provided in order to facilitate the peeling off of fine particles by the peeling section 120 after static elimination.

(剥離回収部100の具体的な構成)
図6は、剥離回収部100の具体的な構成を示す図である。
前記したように搬送部3により荷物5が剥離部120と回収部130との間に搬送されてくると、剥離部120を構成する噴射ノズル121は、配管P1を介して圧縮空気供給部110(図3参照)から供給される圧縮空気を噴射する。噴射された圧縮空気により、荷物5又は取っ手51に付着していた微粒子Pが剥離される。剥離された微粒子Pは圧縮空気の気流F1により回収部130の方向に剥離される。剥離部120と回収部130の間の気流F1が乱れないようドーム状の覆い(ドーム161と称する)が設けられるのが好適である。この場合、噴射ノズル121はノズル支持部162によりドーム161に固定されるのが好ましい。なお、ドーム161は、筐体4の内側に筐体4とは別に設置されているものである。
(Specific configuration of peeling and recovery section 100)
FIG. 6 is a diagram showing a specific configuration of the peeling and recovery section 100.
As described above, when the cargo 5 is transported between the stripping section 120 and the collection section 130 by the transportation section 3, the injection nozzle 121 that constitutes the stripping section 120 is connected to the compressed air supply section 110 ( (see Figure 3). The jetted compressed air peels off the particulates P attached to the luggage 5 or the handle 51. The separated fine particles P are separated in the direction of the recovery unit 130 by the compressed air flow F1. It is preferable to provide a dome-shaped cover (referred to as a dome 161) so that the airflow F1 between the peeling section 120 and the recovery section 130 is not disturbed. In this case, the injection nozzle 121 is preferably fixed to the dome 161 by a nozzle support 162. Note that the dome 161 is installed inside the casing 4 and separately from the casing 4.

剥離された微粒子Pは、回収部130を構成する吸気口131に吸い込まれ、配管P2を介して濃縮部140に導入される。濃縮部140はサイクロン濃縮部141によって構成されている。サイクロン濃縮部141により微粒子Pと、気体とが分離され、分離された微粒子Pは分析部150へ導入される。回収部130による微粒子Pの吸気は、サイクロン濃縮部141に設けられている排気ファン142の排気量や、質量分析計154による吸気量によって制御される。 The separated particulates P are sucked into the intake port 131 constituting the recovery section 130 and introduced into the concentration section 140 via the pipe P2. The concentration section 140 is constituted by a cyclone concentration section 141. The cyclone concentration section 141 separates the particles P from the gas, and the separated particles P are introduced into the analysis section 150. The intake of particulates P by the collection unit 130 is controlled by the exhaust volume of an exhaust fan 142 provided in the cyclone concentration unit 141 and the intake volume by the mass spectrometer 154.

分析部150は、フィルタ151、加熱器152、ヒータ153、質量分析計15によって構成されている。
サイクロン濃縮部141によって分離され微粒子Pはフィルタ151に集積される。また、サイクロン濃縮部141によって微粒子Pと分離された気体は、サイクロン濃縮部141に設けられている排気ファン142により排気される(図6の太矢印)。フィルタ151は加熱器152により180℃~200℃程度に加熱されている。フィルタ151に集められた微粒子Pは加熱器152による熱により気化する。質量分析計154は吸気を行っている。質量分析計154による吸気によって、気化した微粒子Pに由来する化学物質はヒータ153により180℃程度に加熱されている配管P3を介して質量分析計154に導入される。質量分析計154は、導入された微粒子Pに由来する化学物質の分析を行う。質量分析計154による分析の結果、爆薬成分が検出された場合、図示しない警告部がアラームを発報する等の処理が行われる。
The analysis section 150 includes a filter 151, a heater 152, a heater 153, and a mass spectrometer 15.
The fine particles P separated by the cyclone concentrator 141 are accumulated in the filter 151 . Further, the gas separated from the particulates P by the cyclone concentrator 141 is exhausted by an exhaust fan 142 provided in the cyclone concentrator 141 (thick arrow in FIG. 6). The filter 151 is heated to about 180° C. to 200° C. by a heater 152. The particulates P collected on the filter 151 are vaporized by heat from the heater 152. The mass spectrometer 154 is inhaling air. By the intake air by the mass spectrometer 154, chemical substances originating from the vaporized particles P are introduced into the mass spectrometer 154 via the pipe P3, which is heated to about 180° C. by the heater 153. The mass spectrometer 154 analyzes chemical substances originating from the introduced fine particles P. If an explosive component is detected as a result of the analysis by the mass spectrometer 154, a warning section (not shown) issues an alarm and other processing is performed.

なお、図6に示す構成は、そのすべてが図1に示す筐体4の内部に収納されているものとするが、例えば、分析部150が筐体4の外部に備えられていてもよい。 It is assumed that the configuration shown in FIG. 6 is entirely housed inside the casing 4 shown in FIG. 1, but the analysis section 150 may be provided outside the casing 4, for example.

(フローチャート)
図7は、第1実施形態における微粒子検査装置Dが行う処理の手順を示すフローチャートである。
除電部11は、搬送部3によって搬送された荷物5の表面を除電する(S101)。前記したように、除電部11は電離気体G又は湿度により荷物5の表面(取っ手51を含む)の除電を行う。この際、荷物5は、除電部11において数秒間停止していることや搬送速度が低下していることが望ましい(例えば制御装置7が搬送部3を制御)。
続いて、制御装置7のノズル制御部711が剥離部120(噴射ノズル121)から圧縮空気が噴射される(S102)ことによる微粒子の剥離が行われるとともに、回収部130(吸気口131)から微粒子が回収される(S103)。
回収された微粒子は、濃縮部140(サイクロン濃縮部141)によって濃縮された後、フィルタ151において気化される(S104)。
気化された微粒子は質量分析計154において分析される(S105)。
(flowchart)
FIG. 7 is a flowchart showing the procedure of processing performed by the particle inspection device D in the first embodiment.
The static eliminator 11 removes static electricity from the surface of the baggage 5 transported by the transport unit 3 (S101). As described above, the static eliminator 11 removes static electricity from the surface of the baggage 5 (including the handle 51) using the ionized gas G or humidity. At this time, it is preferable that the cargo 5 is stopped for several seconds in the static eliminator 11 and that the conveyance speed is reduced (for example, the control device 7 controls the conveyance section 3).
Subsequently, the nozzle control unit 711 of the control device 7 injects compressed air from the peeling unit 120 (injection nozzle 121) (S102) to peel off the particles, and also removes the particles from the collection unit 130 (intake port 131). is collected (S103).
The collected fine particles are concentrated by the concentrator 140 (cyclone concentrator 141) and then vaporized by the filter 151 (S104).
The vaporized fine particles are analyzed in the mass spectrometer 154 (S105).

第1実施形態によれば、被検査物(荷物5)の表面を除電する除電部11を有することで、被検査物(荷物5)に付着している微粒子の回収効率を向上させることができる。
また、本実施形態の微粒子検査装置Dは、分析部150を有することで、微粒子の回収効率の向上に伴う分析精度の向上を実現することができる。
さらに、バルク検査部2を有することで、トレース検査とバルク検査とを微粒子検査装置Dで実行することができるため、検査効率を向上させることができる。
According to the first embodiment, by having the static eliminator 11 that eliminates static electricity from the surface of the object to be inspected (baggage 5), it is possible to improve the collection efficiency of fine particles attached to the object to be inspected (baggage 5). .
Furthermore, by including the analysis section 150, the particle inspection device D of the present embodiment can realize an improvement in analysis accuracy due to an improvement in the collection efficiency of particles.
Furthermore, by having the bulk inspection section 2, trace inspection and bulk inspection can be performed by the particle inspection device D, so inspection efficiency can be improved.

[第2実施形態]
次に、図8~図11を参照して、本発明の第2実施形態について示す。第2実施形態では、第1実施形態の除電部11に加えて、静電気センサ部12を有している。
第2実施形態において、第1実施形態と同様の構成については、同一の符号を付して、適宜説明を省略する。また、第2実施形態に係る微粒子検査装置Daの外観図は図1と同様であるため、ここでの図示及び説明を省略する。
[Second embodiment]
Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 8 to 11. The second embodiment includes a static electricity sensor section 12 in addition to the static eliminator 11 of the first embodiment.
In the second embodiment, the same components as in the first embodiment are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted as appropriate. Moreover, since the external view of the particle inspection apparatus Da according to the second embodiment is the same as that in FIG. 1, illustration and description here will be omitted.

(トレース検査部1a)
図8は、トレース検査部1aの構成を示す図である。
図8に示すように、トレース検査部1aでは、除電部11の前段、すなわち、トレース検査部1aの入り口付近に、荷物5の帯電の状況を測定する静電気センサ部12が設けられている。荷物5が静電気センサ部12の近傍を通過する際に、静電気センサ部12によって荷物5の表面の電圧が測定される。これによって、静電気センサ部12は、荷物5の表面の帯電量を測定する。静電気センサ部12による測定結果は、制御装置7aへ送信される。後記するように、制御装置7aは静電気センサ部12による測定結果を基に圧縮空気供給部110、剥離部120、回収部130、分析部150を制御する。また、制御装置7aは、除電部11のON・OFFを制御する。制御装置7aが行う処理については後記する。
(Trace inspection unit 1a)
FIG. 8 is a diagram showing the configuration of the trace inspection section 1a.
As shown in FIG. 8, in the trace inspection section 1a, an electrostatic sensor section 12 for measuring the charging state of the baggage 5 is provided before the static elimination section 11, that is, near the entrance of the trace inspection section 1a. When the baggage 5 passes near the electrostatic sensor section 12, the electrostatic sensor section 12 measures the voltage on the surface of the baggage 5. Thereby, the electrostatic sensor section 12 measures the amount of charge on the surface of the luggage 5. The measurement results by the static electricity sensor section 12 are transmitted to the control device 7a. As will be described later, the control device 7a controls the compressed air supply section 110, the stripping section 120, the collection section 130, and the analysis section 150 based on the measurement results by the static electricity sensor section 12. Further, the control device 7a controls ON/OFF of the static eliminator 11. The processing performed by the control device 7a will be described later.

静電気センサ部12によって荷物5の表面の電圧が測定された荷物5は、除電部11の近くに搬送される。そして、除電部11によって、荷物5の表面の静電気を除去する除電が行われる。除電部11により表面が除電された荷物5は、荷物5の表面に付着した微粒子をサンプリングするため剥離回収部100に搬送される。除電部11の処理は第1実施形態と同様であるので、ここでの説明を省略する。また、剥離回収部100の構成は、第1実施形態と同様であるので、ここでの説明を省略する。 The load 5 whose surface voltage has been measured by the static electricity sensor section 12 is transported near the static eliminator 11 . Then, the static electricity removal unit 11 performs static electricity removal to remove static electricity from the surface of the baggage 5. The baggage 5 whose surface has been neutralized by the static eliminator 11 is transported to the peeling and recovery unit 100 in order to sample fine particles attached to the surface of the baggage 5. Since the processing of the static eliminator 11 is the same as that in the first embodiment, the explanation here will be omitted. Furthermore, since the configuration of the peeling and recovery section 100 is the same as that in the first embodiment, the explanation here will be omitted.

(静電気センサ部12の位置)
図9は、微粒子検査装置Daにおける静電気センサ部12の位置を具体的に示す図である。
図9は、図8のB-B断面図を示している。
前記したように、スーツケースのような大きな荷物5を運ぶ場合、取っ手51付近は運搬や荷物5の出し入れ等の時に手で触る機会が多く、手を介して爆薬微粒子が転写される可能性が高い。このため、トレース検査部1aにおいて微粒子を回収する場所は取っ手51付近が好ましい。静電気センサ部12は、図9に示すように、取っ手51の近くの天井付近に設置し、微粒子を回収する付近の表面の静電気の量(帯電量)を測定することが好ましい。なお、静電気センサ部12は、取っ手51付近となるよう設置されなくてもよい。
なお、除電部11の設置位置は第1実施形態と同様であるので、ここでの説明を省略する。
(Position of static electricity sensor section 12)
FIG. 9 is a diagram specifically showing the position of the electrostatic sensor section 12 in the particle inspection device Da.
FIG. 9 shows a sectional view taken along line BB in FIG.
As mentioned above, when carrying a large baggage 5 such as a suitcase, there are many opportunities to touch the area around the handle 51 when carrying the baggage 5, putting it in and taking it out, etc., and there is a possibility that explosive particles may be transferred through the hands. expensive. For this reason, it is preferable that the particulates be collected near the handle 51 in the trace inspection section 1a. As shown in FIG. 9, the static electricity sensor unit 12 is preferably installed near the ceiling near the handle 51 to measure the amount of static electricity (charge amount) on the surface near where the particles are collected. Note that the static electricity sensor section 12 does not have to be installed near the handle 51.
Note that the installation position of the static eliminator 11 is the same as that in the first embodiment, so a description thereof will be omitted here.

前記したように、荷物5や取っ手51が静電気で帯電していると、付着している微粒子が剥離しにくくなる。帯電した表面から微粒子を剥離させるには、噴射ノズル121から噴射する圧縮空気の噴射圧力を高めるか、噴射ノズル121を荷物5や取っ手51に近づけて、より強い気流を当てるとよい。しかしながら、噴射ノズル121から強い噴射圧力で圧縮空気(強い風圧)を噴射すると、回収部130で吸引される気体の流量よりも、瞬間的に噴射される流量の方が多くなるから、吹き飛ばされた微粒子のうち回収部130で回収される割合は限られる。つまり、帯電量が小さいときに、大きな風圧で微粒子を剥離しても、かえって回収率が低下する。同様に、帯電率が大きいときに小さい風圧で微粒子を剥離しても、回収率が低下する。 As described above, if the baggage 5 or the handle 51 is electrostatically charged, it becomes difficult for the attached particles to be peeled off. In order to separate the fine particles from the charged surface, it is recommended to increase the jet pressure of the compressed air jetted from the jet nozzle 121, or to move the jet nozzle 121 closer to the baggage 5 or the handle 51 to apply a stronger airflow. However, when compressed air (strong wind pressure) is injected from the injection nozzle 121 with a strong injection pressure, the amount of gas injected instantaneously becomes larger than the amount of gas sucked in by the recovery section 130, so that the gas is blown away. The proportion of fine particles collected by the collection unit 130 is limited. In other words, even if the fine particles are peeled off with a large wind pressure when the amount of charge is small, the recovery rate will actually decrease. Similarly, even if the particles are peeled off with a small wind pressure when the charge rate is high, the recovery rate decreases.

従って、闇雲に圧縮空気の圧力を上げたり、噴射ノズル121と荷物5や取っ手51との距離を短くしたりしても、微粒子を高感度に検出することは難しい。そこで、静電気センサ部12により荷物5や取っ手51の表面の静電気の量を測定する。また、あらかじめ静電気の量と、最適な圧縮空気の噴射圧力や、噴射ノズル121と荷物5や取っ手51との間の距離、適切な回収部130による吸気量等を測定しておく。このように、静電気センサ部12により表面の静電気の量を測定し、その静電気の量に応じて圧縮空気の噴射圧力や、噴射ノズル121と荷物5との距離、回収部130による吸気量等を最適に制御することにより、荷物5の表面が帯電していた場合でも微粒子の回収効率を向上させることができる。 Therefore, even if the pressure of the compressed air is increased blindly or the distance between the injection nozzle 121 and the baggage 5 or the handle 51 is shortened, it is difficult to detect fine particles with high sensitivity. Therefore, the static electricity sensor unit 12 measures the amount of static electricity on the surfaces of the luggage 5 and the handle 51. In addition, the amount of static electricity, the optimum injection pressure of compressed air, the distance between the injection nozzle 121 and the baggage 5 or the handle 51, the appropriate amount of air intake by the collection unit 130, etc. are measured in advance. In this way, the static electricity sensor unit 12 measures the amount of static electricity on the surface, and depending on the amount of static electricity, the injection pressure of compressed air, the distance between the injection nozzle 121 and the cargo 5, the amount of air intake by the collection unit 130, etc. are adjusted. By optimally controlling it, it is possible to improve the collection efficiency of particulates even when the surface of the cargo 5 is electrically charged.

(制御装置7a)
図10は、制御装置7aの構成を示す機能ブロック図である。図10において、図4と同様の構成については同一の符号を付して説明を省略する。
記憶装置703に格納されているプログラムがメモリ701に展開され、CPU702によって実行される。これにより、処理部710a、及び、処理部710aを構成するノズル制御部711、判定部712、除電制御部713、剥離回収制御部714が具現化する。
(Control device 7a)
FIG. 10 is a functional block diagram showing the configuration of the control device 7a. In FIG. 10, the same components as those in FIG. 4 are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted.
A program stored in the storage device 703 is loaded into the memory 701 and executed by the CPU 702. As a result, the processing section 710a, and the nozzle control section 711, determination section 712, static elimination control section 713, and peeling and recovery control section 714 that constitute the processing section 710a are realized.

ノズル制御部711は図4と同様であるので、ここでの説明を省略する。
判定部712は、種々の判定を行う。
除電制御部713は、除電部のON・OFFを制御する。
剥離回収制御部714は、剥離対象箇所(本実施形態では、取っ手51)に吹き付けられる圧縮空気の風圧を制御する。剥離回収制御部714は、圧縮空気の噴射圧力を上げたり、噴射ノズル121と荷物5や取っ手51との距離を短くしたりすることで剥離対象箇所(本実施形態では、取っ手51)における圧縮空気の風圧が大きくなるよう制御する。風圧を小さく制御する場合では、この逆の制御が行われる。また、剥離回収制御部714は、サイクロン濃縮部141に設けられている排気ファン142(図6参照)の排気量や、質量分析計154(図6参照)による吸気量を制御することで、回収部130による吸気量を制御する。一般的に、剥離回収制御部714は、剥離対象箇所での風圧が大きくなればなるほど(大きくなれば)、回収部130の吸気量が大きくなるよう制御する。逆に、剥離回収制御部714は、剥離対象箇所での風圧が小さくなればなるほど(小さくなれば)、回収部130の吸気量が小さくなるよう制御する。
Since the nozzle control unit 711 is the same as that shown in FIG. 4, the explanation here will be omitted.
The determination unit 712 performs various determinations.
The static elimination control unit 713 controls ON/OFF of the static elimination unit.
The peeling and recovery control unit 714 controls the wind pressure of compressed air that is blown onto the peeling target location (in this embodiment, the handle 51). The peeling and recovery control unit 714 increases the compressed air at the peeling target location (in this embodiment, the handle 51) by increasing the jet pressure of compressed air or shortening the distance between the jet nozzle 121 and the baggage 5 or the handle 51. control so that the wind pressure increases. When controlling the wind pressure to a small value, the opposite control is performed. In addition, the stripping and recovery control unit 714 controls the exhaust volume of the exhaust fan 142 (see FIG. 6) provided in the cyclone concentration unit 141 and the intake air volume of the mass spectrometer 154 (see FIG. 6). The intake air amount by the section 130 is controlled. In general, the separation and recovery control unit 714 controls the amount of air taken into the recovery unit 130 to increase as the wind pressure at the area to be removed increases (if it becomes greater). Conversely, the separation and recovery control unit 714 controls the air intake amount of the recovery unit 130 to become smaller as the wind pressure at the separation target location becomes smaller (lower).

(フローチャート)
図11は、第2実施形態における微粒子検査装置Dが行う処理の手順を示すフローチャートである。図10を適宜参照する。
まず、静電気センサ部12によって、荷物5の表面の帯電量Qが測定される(S201)。
次に、制御装置7aの判定部712は、ステップS201によって測定された帯電量Qが所定の値Q1より大きいか否かを判定する(Q>Q1;S202)。所定の値Q1は、これより帯電量Qが大きいと、微粒子の剥離が困難となる値である。
帯電量Qが所定の値Q1より大きい場合(S202→Yes)、制御装置7aの除電制御部713が除電部11をONにする(S211)。つまり、帯電量の値に基づいて除電部11による除電を実行する。
そして、除電部11は、搬送部3によって搬送された荷物5の表面を除電する(S212)。前記したように、除電部11は電離気体G又は湿度により荷物5の表面の除電を行う。この際、荷物5は、除電部11において数秒間停止していることが望ましい。その後、処理部710aはステップS231へ処理を進める。
(flowchart)
FIG. 11 is a flowchart showing the procedure of processing performed by the particle inspection device D in the second embodiment. Refer to FIG. 10 as appropriate.
First, the electrostatic sensor unit 12 measures the amount of charge Q on the surface of the luggage 5 (S201).
Next, the determination unit 712 of the control device 7a determines whether the charge amount Q measured in step S201 is larger than a predetermined value Q1 (Q>Q1; S202). The predetermined value Q1 is a value at which it becomes difficult to peel off the particles when the charge amount Q is larger than this value.
When the charge amount Q is larger than the predetermined value Q1 (S202→Yes), the static elimination control unit 713 of the control device 7a turns on the static elimination unit 11 (S211). In other words, the static elimination section 11 performs static elimination based on the value of the amount of charge.
Then, the static eliminator 11 neutralizes the surface of the baggage 5 transported by the transport unit 3 (S212). As described above, the static eliminator 11 removes static electricity from the surface of the baggage 5 using the ionized gas G or humidity. At this time, it is desirable that the baggage 5 is stopped in the static eliminator 11 for several seconds. After that, the processing unit 710a advances the process to step S231.

帯電量Qが所定の値Q1以下である場合(S202→Yes)、制御装置7aの剥離回収制御部714は、測定された帯電量Qに応じて剥離対象箇所(本実施形態では取っ手51)における圧縮空気の風圧が最適となるよう圧縮空気供給部110や、剥離部120、回収部130を制御する(剥離回収制御:S221)。ステップS221において、剥離回収制御部714は帯電量Qが大きければ大きいほど、剥離対象箇所における圧縮空気の風圧が強くなるよう制御する。また、剥離回収制御部714は帯電量Qが小さければ小さいほど、剥離対象箇所における圧縮空気の風圧が弱くなるよう制御する。加えて、剥離回収制御部714は帯電量Qが大きければ大きいほど、回収部130による吸気量が大きくなるよう制御する。また、剥離回収制御部714は帯電量Qが小さければ小さいほど、剥離対象箇所における回収部130による吸気量が小さくなるよう制御する。 When the charge amount Q is less than or equal to the predetermined value Q1 (S202→Yes), the peeling and recovery control unit 714 of the control device 7a controls the removal target location (the handle 51 in this embodiment) according to the measured charge amount Q. The compressed air supply section 110, the stripping section 120, and the recovery section 130 are controlled so that the wind pressure of the compressed air is optimized (separation and recovery control: S221). In step S221, the peeling and recovery control unit 714 controls so that the larger the charge amount Q, the stronger the wind pressure of the compressed air at the peeling target location. Further, the peeling and recovery control unit 714 controls so that the smaller the amount of charge Q, the weaker the wind pressure of the compressed air at the peeling target location. In addition, the peeling and recovery control unit 714 controls the amount of air taken in by the recovery unit 130 to increase as the amount of charge Q increases. Further, the peeling and recovery control unit 714 controls the amount of air taken in by the recovery unit 130 at the area to be peeled to become smaller as the amount of charge Q becomes smaller.

具体的には、あらかじめ測定しておいた静電気の量と、風圧及び吸気量とに基づいて、剥離対象箇所における最適な風圧や、回収部130による最適な吸気量等を制御する。剥離対象箇所における風圧は、圧縮空気の噴射圧力や、噴射ノズル121と荷物5や取っ手51との間の距離等を基に制御される。また、回収部130による吸気量の制御は、前記したように、サイクロン濃縮部141に設けられている排気ファン142(図6参照)の排気量や、質量分析計154(図6参照)による吸気量を制御することで行われる。 Specifically, based on the amount of static electricity measured in advance, the wind pressure, and the amount of intake air, the optimal wind pressure at the area to be peeled, the optimal amount of intake air by the recovery unit 130, etc. are controlled. The wind pressure at the peeling target location is controlled based on the jet pressure of compressed air, the distance between the jet nozzle 121 and the luggage 5 or the handle 51, and the like. Further, as described above, the intake air amount by the recovery unit 130 is controlled by the exhaust amount of the exhaust fan 142 (see FIG. 6) provided in the cyclone concentrator 141 or the intake air amount by the mass spectrometer 154 (see FIG. 6). This is done by controlling the amount.

ステップS221の処理が完了すると、ノズル制御部711の制御によって剥離部120(噴射ノズル121)から圧縮空気が噴射される(S231)。また、噴射された圧縮空気による微粒子の剥離とともに、回収部130(吸気口131)から微粒子が回収される(S232)。
回収された微粒子は、濃縮部140(サイクロン濃縮部141)によって濃縮された後、フィルタ141において気化される(S233)。
気化された微粒子は質量分析計154において分析される(S234)。
When the process of step S221 is completed, compressed air is injected from the peeling section 120 (injection nozzle 121) under the control of the nozzle control section 711 (S231). Furthermore, as the particles are separated by the injected compressed air, the particles are collected from the collection unit 130 (intake port 131) (S232).
The collected particulates are concentrated by the concentrator 140 (cyclone concentrator 141) and then vaporized in the filter 141 (S233).
The vaporized fine particles are analyzed in the mass spectrometer 154 (S234).

第2実施形態では、除電部11に加え、静電気センサ部12を有し、静電気センサ部12によって被検査物(荷物5)の表面の帯電量Qが所定の値Q1より大きい場合、除電部11による除電が実行される。これにより、帯電量Qが所定の値Q1より小さい、すなわち、除電しなくても微粒子の剥離が可能であれば、除電の処理を行わない。これによりスループットの向上が可能となる。 In the second embodiment, in addition to the static electricity eliminator 11, the static electricity sensor part 12 is provided. static electricity removal is performed. As a result, if the amount of charge Q is smaller than the predetermined value Q1, that is, if it is possible to separate the particles without removing the charge, the charge removal process is not performed. This makes it possible to improve throughput.

また、第2実施形態では、静電気センサ部12によって測定された帯電量Qが大きければ大きいほど、剥離対象箇所(本実施形態では取っ手51)における圧縮空気の風圧が大きくなるよう調整される。また、帯電量Qが小さければ小さいほど、剥離対象箇所(本実施形態では取っ手51)における圧縮空気の風圧が小さくなるよう調整される。加えて、帯電量Qが大きければ大きいほど、回収部130による吸気量が大きくなるよう制御される。また、帯電量Qが小さければ小さいほど、剥離対象箇所における回収部130による吸気量が小さくなるよう制御される。これにより、帯電量Qに応じた適切な風圧が実現し、微粒子の回収効率を向上させることができる。 Further, in the second embodiment, the wind pressure of the compressed air at the part to be peeled off (the handle 51 in this embodiment) is adjusted so as to increase as the amount of charge Q measured by the electrostatic sensor unit 12 increases. Further, the smaller the charge amount Q, the smaller the wind pressure of the compressed air at the part to be peeled off (the handle 51 in this embodiment). In addition, control is performed so that the larger the amount of charge Q is, the larger the amount of air taken in by the recovery unit 130 is. Furthermore, the smaller the amount of charge Q, the smaller the amount of air taken in by the collection unit 130 at the location to be removed. Thereby, it is possible to realize an appropriate wind pressure according to the amount of electrification Q, and improve the collection efficiency of particulates.

[第3実施形態]
図12を参照して、本発明の第3実施形態を示す。第3実施形態は第1実施形態及び第2実施形態における剥離部120と、除電部11とが一体となっているものである。
(剥離部120bの構成)
図12は、第3実施形態に係る剥離部120bの構成を示す図である。図12において、図6と同様の構成については同一の符号を付して、説明を省略する。
図12に示すように、剥離部120bでは、噴射ノズル121と荷物5との間に、あるいは、噴射ノズル121の近傍に、電離気体Gを生成するための放電電極122が設けられている。放電電極122は、除電部11の機能を有するものである。放電電極122は放電電極支持部123により噴射ノズル121と位置関係が変わらないように固定されている。放電電極122には配線W1を介して電源125から高電圧が印加されている。放電電極122は、第1実施形態及び第2実施形態における除電部11である。このように、図12に示す例では、剥離部120bは、除電部11を含む構成となっている。
[Third embodiment]
Referring to FIG. 12, a third embodiment of the present invention is shown. In the third embodiment, the peeling section 120 and the static eliminator 11 in the first and second embodiments are integrated.
(Configuration of peeling part 120b)
FIG. 12 is a diagram showing the configuration of a peeling section 120b according to the third embodiment. In FIG. 12, the same components as those in FIG. 6 are denoted by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted.
As shown in FIG. 12, in the peeling section 120b, a discharge electrode 122 for generating ionized gas G is provided between the injection nozzle 121 and the cargo 5 or in the vicinity of the injection nozzle 121. The discharge electrode 122 has the function of the static eliminator 11. The discharge electrode 122 is fixed by a discharge electrode support 123 so that the positional relationship with the injection nozzle 121 does not change. A high voltage is applied to the discharge electrode 122 from a power source 125 via the wiring W1. The discharge electrode 122 is the static eliminator 11 in the first embodiment and the second embodiment. In this way, in the example shown in FIG. 12, the peeling section 120b is configured to include the static eliminating section 11.

圧縮空気を供給する配管P1には途中にバルブ124が設けられており、このバルブ124は配線W2を介して制御装置7bに接続されている。荷物5の取っ手51付近が噴射ノズル121の近傍に搬送されてきた際、制御装置7bの剥離回収制御部714(図10参照)から送信される信号によりバルブ124の一部が開放される。このとき、噴射ノズル121からは弱い気流F2が噴出されるよう、バルブ124の開度が調整される。ここで、弱い気流F2と、図6に示す気流F1との関係は、F2<F1である。 A valve 124 is provided in the middle of the pipe P1 that supplies compressed air, and this valve 124 is connected to the control device 7b via a wiring W2. When the handle 51 of the baggage 5 is transported to the vicinity of the injection nozzle 121, a part of the valve 124 is opened by a signal transmitted from the peeling and recovery control section 714 (see FIG. 10) of the control device 7b. At this time, the opening degree of the valve 124 is adjusted so that a weak airflow F2 is ejected from the injection nozzle 121. Here, the relationship between the weak airflow F2 and the airflow F1 shown in FIG. 6 is F2<F1.

放電電極122の近傍に生成された電離気体Gは、噴射ノズル121から送られてくる弱い気流F2により取っ手51付近に吹き付けられる。このように弱い気流F2により取っ手51の付近に電離気体Gが吹き付けられることにより、電離気体Gが取っ手51の付近に留まり、取っ手51の付近の表面の除電が行われる。つまり、弱い気流F2は気流が取っ手51の付近に留まる程度の強さである。数秒間除電が行われた後に、制御装置7bからの信号により、噴射ノズル121から高い噴射圧力で圧縮空気噴出されるよう、バルブ124が開放される。これにより噴射ノズル121から高い噴射圧力で圧縮空気が噴射され、取っ手51付近に付着していた微粒子が気流F1(図6参照)により剥離される。剥離された微粒子は回収部130から回収され、分析部150によって、その成分が分析される。なお、弱い気流F2は常時噴射されていてもよいし、荷物5が搬送されたときのみ噴射されてもよい。 The ionized gas G generated near the discharge electrode 122 is blown near the handle 51 by a weak airflow F2 sent from the injection nozzle 121. As the ionized gas G is blown near the handle 51 by the weak airflow F2 in this manner, the ionized gas G remains near the handle 51, and the surface near the handle 51 is neutralized. In other words, the weak airflow F2 is strong enough to remain in the vicinity of the handle 51. After static elimination is performed for several seconds, the valve 124 is opened in response to a signal from the control device 7b so that the compressed air is jetted from the jet nozzle 121 at a high jetting pressure. As a result, compressed air is injected from the injection nozzle 121 at a high injection pressure, and the particles adhering to the vicinity of the handle 51 are peeled off by the airflow F1 (see FIG. 6). The peeled fine particles are collected from the collection section 130, and their components are analyzed by the analysis section 150. Note that the weak airflow F2 may be injected all the time, or may be injected only when the luggage 5 is transported.

このように、第3実施形態では、剥離部120bに除電部11を設けている。すなわち、剥離部120bと、除電部11とが一体の構成となっている。このように、剥離部120bと、除電部11とが一体の構成となることで、微粒子検査装置Dの全体がコンパクトになる。なお、電離気体Gの生成には、放電電極122による放電に限らず、X線、放射線等によって電離気体Gが生成されてもよい。 In this way, in the third embodiment, the static eliminating section 11 is provided in the peeling section 120b. That is, the peeling section 120b and the static eliminator 11 are integrated. In this way, the peeling section 120b and the static eliminating section 11 are integrated, so that the entire particle inspection device D becomes compact. Note that the generation of the ionized gas G is not limited to the discharge by the discharge electrode 122, and the ionized gas G may be generated by X-rays, radiation, or the like.

[第4実施形態]
次に、図13~図14を参照して、本発明の第4実施形態を示す。第4実施形態は、第1実施形態における除電部11の代わりに静電気センサ部12が設けられているものである。
(トレース検査部1c)
図13は、第4実施形態におけるトレース検査部1cの構成を示す図である。
図13において、図8と同様の構成については同一の符号を付して、説明を省略する。
図13に示すトレース検査部1cは、図8のトレース検査部1aの除電部11が省略されている子構成となっている。その他の構成は図8と同様である。
[Fourth embodiment]
Next, a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 13 and 14. In the fourth embodiment, a static electricity sensor section 12 is provided in place of the static eliminator 11 in the first embodiment.
(Trace inspection unit 1c)
FIG. 13 is a diagram showing the configuration of the trace inspection section 1c in the fourth embodiment.
In FIG. 13, the same components as those in FIG. 8 are denoted by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted.
The trace inspection section 1c shown in FIG. 13 has a substructure in which the static eliminator 11 of the trace inspection section 1a of FIG. 8 is omitted. The other configurations are the same as in FIG. 8.

また、静電気センサ部12は、図9に示すように取っ手51近傍となるよう設置されるのが好ましいが、取っ手51近傍に設置されなくてもよい。 Moreover, although it is preferable that the electrostatic sensor section 12 is installed near the handle 51 as shown in FIG. 9, it does not have to be installed near the handle 51.

なお、第4実施形態において、トレース検査部1cの具体的な構成は図12と同様であるため図示及び説明を省略する。 Note that in the fourth embodiment, the specific configuration of the trace inspection unit 1c is the same as that in FIG. 12, so illustration and description thereof will be omitted.

第2実施形態で前記したように闇雲に圧縮空気の噴射圧力を上げたり、噴射ノズル121と荷物5や取っ手51との距離を短くしたりしても、微粒子を高感度に検出することは難しい。 As described above in the second embodiment, even if you blindly increase the injection pressure of compressed air or shorten the distance between the injection nozzle 121 and the luggage 5 or the handle 51, it is difficult to detect fine particles with high sensitivity. .

そこで、静電気センサ部12により荷物5や取っ手51の表面の静電気の量(帯電量)が測定される。また、第2実施形態と同様、あらかじめ荷物5や取っ手51の表面の静電気の量(帯電量)と、最適な圧縮空気の噴射圧力や、噴射ノズル121と荷物5や取っ手51との間の距離、適切な回収部130の吸気量等が測定されている。そして、制御装置7aは、静電気センサ部12により測定された荷物5や取っ手51の表面の静電気の量(帯電量)を測定し、その帯電量に応じて圧縮空気の噴射圧力や噴射ノズル121と荷物5との距離、回収部130の吸気量等を最適に制御する。これにより、荷物5の表面が帯電していた場合でも高感度で微粒子を検出することができる。ちなみに、制御装置7aの構成は図10に示す構成と同様であるので、ここでの説明を省略する。 Therefore, the static electricity sensor section 12 measures the amount of static electricity (charge amount) on the surface of the luggage 5 and the handle 51. In addition, as in the second embodiment, the amount of static electricity (amount of charge) on the surface of the luggage 5 and the handle 51, the optimum injection pressure of compressed air, and the distance between the injection nozzle 121 and the luggage 5 and the handle 51 are determined in advance. , the appropriate intake air amount of the recovery unit 130, etc. are measured. Then, the control device 7a measures the amount of static electricity (charge amount) on the surface of the baggage 5 and the handle 51 measured by the static electricity sensor section 12, and adjusts the injection pressure of compressed air and the injection nozzle 121 according to the amount of charge. The distance to the baggage 5, the intake amount of the collecting section 130, etc. are optimally controlled. Thereby, even if the surface of the baggage 5 is charged, fine particles can be detected with high sensitivity. Incidentally, since the configuration of the control device 7a is similar to the configuration shown in FIG. 10, the explanation here will be omitted.

(フローチャート)
図14は、微粒子検査装置Dが行う処理の手順を示すフローチャートである。
前記したように、制御装置7aの構成は図10に示す構成と同様であるので、図示及び説明を省略し、図14において適宜図10を参照する。
まず、静電気センサ部12によって、荷物5(取っ手51)の表面の帯電量Qが測定される(S301)。
次に、制御装置7aの剥離回収制御部714は、測定された帯電量Qに応じて剥離対象箇所(本実施形態では取っ手51)における圧縮空気の風圧が最適となるよう圧縮空気供給部110や、剥離部120、回収部130を制御する(剥離回収制御:S311)。ステップS311において、剥離回収制御部714は、図11のステップS221と同様の処理を行う。
剥離部120(噴射ノズル121)から圧縮空気が噴射される(S312)ことによる微粒子の剥離が行われるとともに、回収部130(吸気口131)から微粒子が回収される(S313)。
回収された微粒子は、濃縮部140(サイクロン濃縮部141)によって濃縮された後、フィルタ141において気化される(S314)。
気化された微粒子は質量分析計154において分析される(S315)。
(flowchart)
FIG. 14 is a flowchart showing the procedure of processing performed by the particle inspection device D.
As described above, the configuration of the control device 7a is the same as that shown in FIG. 10, so illustration and description will be omitted, and FIG. 10 will be referred to as appropriate in FIG. 14.
First, the electrostatic sensor unit 12 measures the amount of charge Q on the surface of the luggage 5 (handle 51) (S301).
Next, the peeling and recovery control unit 714 of the control device 7a controls the compressed air supply unit 110 and , the peeling section 120, and the collecting section 130 (separating and collecting control: S311). In step S311, the peeling and recovery control unit 714 performs the same process as step S221 in FIG. 11.
Compressed air is injected from the peeling section 120 (injection nozzle 121) (S312) to peel off the particles, and the particles are collected from the collection section 130 (intake port 131) (S313).
The collected particulates are concentrated by the concentrator 140 (cyclone concentrator 141) and then vaporized in the filter 141 (S314).
The vaporized fine particles are analyzed in the mass spectrometer 154 (S315).

第4実施形態では、静電気センサ部12によって測定された帯電量Qが大きければ大きいほど、剥離箇所圧力が大きくなるよう風圧が調整され、帯電量Qが小さければ小さいほど、剥離箇所圧力が小さくなるよう風圧が調整される。加えて、帯電量Qが大きければ大きいほど、回収部130による吸気量が大きくなるよう制御される。また、帯電量Qが小さければ小さいほど、剥離対象箇所における回収部130による吸気量が小さくなるよう制御される。これにより、帯電量Qに応じた適切な剥離箇所圧力が実現し、被検査物(荷物5)に付着している微粒子の回収効率を向上させることができる。 In the fourth embodiment, the wind pressure is adjusted so that the greater the charge amount Q measured by the electrostatic sensor unit 12, the greater the pressure at the peeling point, and the smaller the charge amount Q, the lower the pressure at the peeling point. The wind pressure is adjusted accordingly. In addition, control is performed so that the larger the amount of charge Q is, the larger the amount of air taken in by the recovery unit 130 is. Furthermore, the smaller the amount of charge Q, the smaller the amount of air taken in by the collection unit 130 at the location to be removed. As a result, it is possible to realize an appropriate peeling point pressure according to the amount of charge Q, and improve the collection efficiency of fine particles adhering to the object to be inspected (baggage 5).

なお、本発明は前記した実施形態に限定されるものではなく、様々な変形例が含まれる。例えば、前記した実施形態は本発明を分かりやすく説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明したすべての構成を有するものに限定されるものではない。また、ある実施形態の構成の一部を他の実施形態の構成に置き換えることが可能であり、ある実施形態の構成に他の実施形態の構成を加えることも可能である。また、各実施形態の構成の一部について、他の構成の追加・削除・置換をすることが可能である。 Note that the present invention is not limited to the embodiments described above, and includes various modifications. For example, the embodiments described above are described in detail to explain the present invention in an easy-to-understand manner, and the present invention is not necessarily limited to having all the configurations described. Furthermore, it is possible to replace a part of the configuration of one embodiment with the configuration of another embodiment, and it is also possible to add the configuration of another embodiment to the configuration of one embodiment. Furthermore, it is possible to add, delete, or replace some of the configurations of each embodiment with other configurations.

また、噴射ノズル121はロボットアーム(不図示)に保持されることも可能である。このような構成とすることで、噴射ノズル121の位置を所望の位置に変えたり、荷物5の表面をなめるように気流を噴射したりすることが可能となる。また、噴射ノズル121の首が上下左右に振れるよう構成することも可能である。なお、噴射ノズル121がロボットアームに保持されたり、噴射ノズル121の首が上下左右に振れるよう構成されたりする場合、噴射ノズル121の動きに対応して、回収部130の向きや、位置が変えられる。 The injection nozzle 121 can also be held by a robot arm (not shown). With such a configuration, it is possible to change the position of the injection nozzle 121 to a desired position and to spray the airflow so as to lick the surface of the baggage 5. It is also possible to configure the head of the injection nozzle 121 to swing vertically and horizontally. Note that when the injection nozzle 121 is held by a robot arm or the neck of the injection nozzle 121 is configured to swing vertically and horizontally, the direction and position of the collection unit 130 may change in response to the movement of the injection nozzle 121. It will be done.

また、前記した各構成、機能、処理部710,710a、記憶装置703等は、それらの一部又はすべてを、例えば集積回路で設計すること等によりハードウェアで実現してもよい。また、図4及び図10で示すように、前記した各構成、機能等は、CPU702等のプロセッサがそれぞれの機能を実現するプログラムを解釈し、実行することによりソフトウェアで実現してもよい。各機能を実現するプログラム、テーブル、ファイル等の情報は、HDに格納すること以外に、メモリや、SSD(Solid State Drive)等の記録装置、又は、IC(Integrated Circuit)カードや、SD(Secure Digital)カード、DVD(Digital Versatile Disc)等の記録媒体に格納することができる。
また、各実施形態において、制御線や情報線は説明上必要と考えられるものを示しており、製品上必ずしもすべての制御線や情報線を示しているとは限らない。実際には、ほとんどすべての構成が相互に接続されていると考えてよい。
Further, a part or all of the configurations, functions, processing units 710, 710a, storage device 703, etc. described above may be realized by hardware, for example, by designing an integrated circuit. Further, as shown in FIGS. 4 and 10, each of the above-described configurations, functions, etc. may be realized by software by a processor such as the CPU 702 interpreting and executing a program for realizing each function. In addition to storing information such as programs, tables, and files that realize each function on the HD, it can also be stored in memory, storage devices such as SSD (Solid State Drive), IC (Integrated Circuit) cards, and SD (Secure). The data can be stored in a recording medium such as a Digital Versatile Disc (Digital) card or a DVD (Digital Versatile Disc).
Furthermore, in each embodiment, control lines and information lines are shown that are considered necessary for explanation, and not all control lines and information lines are necessarily shown in terms of the product. In reality, almost all configurations can be considered interconnected.

2 バルク検査部
5 荷物(非検査物)
51 取っ手(剥離対象箇所)
7,7a,7b 制御装置(制御部)
11 除電部
12 静電気センサ部(帯電量測定部)
120 剥離部
121 噴射ノズル
122 放電電極(電離気体生成部)
130 回収部
150 分析部
D 微粒子検査装置(微粒子回収システム)
F1 気流(第1の気流)
F2 弱い気流(第2の気流)
P 微粒子
Q1 所定の値
S101,S212 除電(除電ステップ)
S102,S231 圧縮空気噴射(噴射ステップ)
S103,S232 回収(回収ステップ)
S105,S234 分析(分析ステップ)
S201,S301 帯電量Q測定(帯電量測定ステップ)
S221,S311 剥離回収制御(剥離回収制御ステップ)
2 Bulk Inspection Department 5 Baggage (non-inspection items)
51 Handle (point to be peeled off)
7, 7a, 7b Control device (control unit)
11 Static electricity removal section 12 Static electricity sensor section (charge amount measuring section)
120 Peeling part 121 Injection nozzle 122 Discharge electrode (ionized gas generation part)
130 Recovery Department 150 Analysis Department D Particulate inspection device (particulate collection system)
F1 airflow (first airflow)
F2 Weak airflow (second airflow)
P Fine particles Q1 Predetermined value S101, S212 Static elimination (static elimination step)
S102, S231 Compressed air injection (injection step)
S103, S232 Collection (recovery step)
S105, S234 Analysis (analysis step)
S201, S301 Charge amount Q measurement (charge amount measurement step)
S221, S311 Peeling and recovery control (peeling and recovery control step)

Claims (13)

噴射ノズルにより被検査物に向けて圧縮空気を噴射することで発生する第1の気流により前記被検査物に付着する微粒子を剥離する剥離部と、
前記剥離部により前記被検査物から剥離された前記微粒子を回収する回収部と、
前記被検査物の表面の静電気を除電する除電部と、
を備え、
前記除電部の後段に前記剥離部及び前記回収部を有する
ことを特徴とする微粒子回収システム。
a peeling section that peels off fine particles adhering to the test object with a first airflow generated by jetting compressed air toward the test object with a jet nozzle;
a collection unit that collects the fine particles peeled off from the inspection object by the peeling unit;
a static eliminator that removes static electricity from the surface of the object to be inspected;
Equipped with
A particulate collection system comprising: the stripping section and the collection section at a stage subsequent to the static eliminator.
前記被検査物の表面の帯電量を測定する帯電量測定部と、
前記除電部による除電の実行を制御する制御部と、
を備え、
前記制御部は、
前記帯電量測定部によって測定された前記被検査物の表面の帯電量の値に基づいて、前記除電部による除電を実行する
ことを特徴とする請求項1に記載の微粒子回収システム。
a charge amount measurement unit that measures the charge amount on the surface of the inspected object;
a control unit that controls execution of static elimination by the static elimination unit;
Equipped with
The control unit includes:
The particulate collection system according to claim 1, wherein the charge removal unit performs charge removal based on the value of the charge amount on the surface of the inspected object measured by the charge amount measurement unit.
前記制御部は、前記剥離部から噴射される前記圧縮空気の圧力、及び、前記回収部における吸気量を制御し、
前記回収部は、吸気を行うことで前記微粒子の回収を行い、
前記制御部は、
前記帯電量測定部によって測定された前記被検査物の表面の帯電量が大きくなれば、剥離対象箇所における前記第1の気流の風圧も大きくなるよう前記圧縮空気の圧力を制御し、前記帯電量測定部によって測定された前記被検査物の表面の帯電量が小さくなれば、前記剥離対象箇所における前記第1の気流の風圧も小さくなるよう前記圧縮空気の圧力を制御し、
前記帯電量測定部によって測定された前記被検査物の表面の帯電量が大きくなれば、前記回収部における前記吸気量も大きくなるよう前記回収部における前記吸気量を制御し、前記帯電量測定部によって測定された前記被検査物の表面の帯電量が小さくなれば、前記回収部における前記吸気量も小さくなるよう前記回収部における前記吸気量を制御する
ことを特徴とする請求項2に記載の微粒子回収システム。
The control unit controls the pressure of the compressed air injected from the peeling unit and the amount of air intake in the recovery unit,
The collection unit collects the particulates by sucking air,
The control unit includes:
The pressure of the compressed air is controlled so that as the amount of charge on the surface of the object to be inspected, which is measured by the charge amount measurement unit, increases, the wind pressure of the first air flow at the part to be separated increases, and the amount of charge is increased. controlling the pressure of the compressed air so that when the amount of charge on the surface of the object to be inspected measured by the measurement unit becomes smaller, the wind pressure of the first airflow at the separation target location also becomes smaller;
Controlling the intake air amount in the recovery section so that as the amount of charge on the surface of the inspection object measured by the charge amount measurement section increases, the amount of air intake in the recovery section also increases, and the charge amount measurement section 3. The air intake amount in the collection section is controlled so that the amount of air intake in the collection section is also reduced as the amount of charge on the surface of the test object measured by is reduced. Particulate collection system.
前記除電部と、前記剥離部とが一体となっている
ことを特徴とする請求項1に記載の微粒子回収システム。
The particulate collection system according to claim 1, wherein the static eliminator and the peeling part are integrated.
前記噴射ノズルの近傍に、大気を電離させる電離気体生成部
を備え、
前記噴射ノズルは、前記電離気体生成部によって電離された前記大気が前記第1の気流より弱い気流である第2の気流を前記被検査物に向けて噴射する
ことを特徴とする請求項4に記載の微粒子回収システム。
An ionized gas generation unit that ionizes the atmosphere is provided near the injection nozzle,
According to claim 4, the injection nozzle injects a second airflow, in which the atmosphere ionized by the ionized gas generation unit is weaker than the first airflow, toward the object to be inspected. Particulate collection system as described.
噴射ノズルにより被検査物に向けて圧縮空気を噴射することで発生する第1の気流により前記被検査物に付着する微粒子を剥離する剥離部と、
前記剥離部により前記被検査物から剥離された前記微粒子を回収する回収部と、
前記被検査物の表面の帯電量を測定する帯電量測定部と、
前記剥離部から噴射される前記圧縮空気の圧力、及び、前記回収部における吸気量を制御する制御部と、
を備え、
前記制御部は、
前記帯電量測定部によって測定された前記被検査物の表面の帯電量が大きくなれば、剥離対象箇所における前記第1の気流の風圧も大きくなるよう前記圧縮空気の圧力を制御し、前記帯電量測定部によって測定された前記被検査物の表面の帯電量が小さくなれば、前記剥離対象箇所における前記第1の気流の風圧も小さくなるよう前記圧縮空気の圧力を制御し、
前記帯電量測定部によって測定された前記被検査物の表面の帯電量が大きくなれば、前記回収部における前記吸気量も大きくなるよう前記回収部における前記吸気量を制御し、前記帯電量測定部によって測定された前記被検査物の表面の帯電量が小さくなれば、前記回収部における前記吸気量も小さくなるよう前記回収部における前記吸気量を制御する
ことを特徴とする微粒子回収システム。
a peeling section that peels off fine particles adhering to the test object with a first airflow generated by jetting compressed air toward the test object with a jet nozzle;
a collection unit that collects the fine particles peeled off from the inspection object by the peeling unit;
a charge amount measurement unit that measures the charge amount on the surface of the inspected object;
a control unit that controls the pressure of the compressed air injected from the separation unit and the amount of air intake in the recovery unit;
Equipped with
The control unit includes:
The pressure of the compressed air is controlled so that as the amount of charge on the surface of the object to be inspected, which is measured by the charge amount measurement unit, increases, the wind pressure of the first air flow at the part to be separated increases, and the amount of charge is increased. controlling the pressure of the compressed air so that when the amount of charge on the surface of the object to be inspected measured by the measurement unit becomes smaller, the wind pressure of the first airflow at the separation target location also becomes smaller;
Controlling the intake air amount in the recovery section so that as the amount of charge on the surface of the inspection object measured by the charge amount measurement section increases, the amount of air intake in the recovery section also increases, and the charge amount measurement section A particulate collection system characterized in that the amount of intake air in the collection section is controlled so that the amount of air intake in the collection section also decreases as the amount of charge on the surface of the object to be inspected is reduced.
前記回収部により回収された前記微粒子を分析する分析部を備える
ことを特徴とする請求項1又は請求項6に記載の微粒子回収システム。
The particulate collection system according to claim 1 or 6, further comprising an analysis part that analyzes the particulates collected by the collection part.
形状及び密度を含む情報を基に検査対象物質の有無に関する検査をするバルク検査を前記被検査物に対して行うバルク検査部を備える
ことを特徴とする請求項1又は請求項6に記載の微粒子回収システム。
The fine particles according to claim 1 or claim 6, further comprising a bulk inspection section that performs a bulk inspection on the inspection object to inspect the presence or absence of the substance to be inspected based on information including shape and density. collection system.
噴射ノズルにより被検査物に向けて圧縮空気を噴射することで発生する第1の気流により前記被検査物に付着する微粒子を剥離する剥離部と、
前記剥離部により前記被検査物から剥離された前記微粒子を回収する回収部と、
前記被検査物の表面の静電気を除電する除電部と、
を備える微粒回収システムが、
前記除電部が、前記被検査物の表面の静電気を除電する除電ステップと、
前記噴射ノズルが前記被検査物に向けて前記圧縮空気を噴射する噴射ステップと、
前記回収部が、前記圧縮空気によって前記被検査物から剥離された前記微粒子を回収する回収ステップと、
を実行することを特徴とする微粒子回収方法。
a peeling section that peels off fine particles adhering to the test object with a first airflow generated by jetting compressed air toward the test object with a jet nozzle;
a collection unit that collects the fine particles peeled off from the inspection object by the peeling unit;
a static eliminator that removes static electricity from the surface of the object to be inspected;
A particle collection system equipped with
a static eliminating step in which the static eliminating unit eliminates static electricity on the surface of the inspected object;
an injection step in which the injection nozzle injects the compressed air toward the object to be inspected;
a collecting step in which the collecting unit collects the fine particles peeled off from the test object by the compressed air;
A method for collecting particulates, characterized by carrying out the following.
前記被検査物の表面の帯電量を測定する帯電量測定部と、
前記除電部による除電の実行を制御する制御部と、
を備え、
前記除電ステップの前に、前記帯電量測定部によって前記被検査物の表面の帯電量を測定する帯電量測定ステップを実行し、
前記帯電量測定部によって測定された前記被検査物の表面の帯電量が所定の値より大きい場合、前記制御部が前記除電ステップを実行する
ことを特徴とする請求項9に記載の微粒子回収方法。
a charge amount measurement unit that measures the charge amount on the surface of the inspected object;
a control unit that controls execution of static elimination by the static elimination unit;
Equipped with
Before the static eliminating step, performing a charging amount measuring step of measuring the charging amount on the surface of the object to be inspected by the charging amount measuring unit,
The method for collecting particulates according to claim 9, wherein when the amount of charge on the surface of the object to be inspected measured by the amount of charge measuring section is larger than a predetermined value, the control section executes the static elimination step. .
前記制御部は、前記剥離部から噴射される前記圧縮空気の圧力、及び、前記回収部における吸気量を制御し、
前記回収部は、吸気を行うことで前記微粒子の回収を行い、
前記制御部は、
前記帯電量測定部によって測定された前記被検査物の表面の帯電量が大きくなれば、剥離対象箇所における前記第1の気流も風圧大きくなるよう前記圧縮空気の圧力を制御し、前記帯電量測定部によって測定された前記被検査物の表面の帯電量が小さくなれば、前記剥離対象箇所における前記第1の気流の風圧も小さくなるよう前記圧縮空気の圧力を制御し、
前記帯電量測定部によって測定された前記被検査物の表面の帯電量が大きくなれば、前記回収部における前記吸気量も大きくなるよう前記回収部における前記吸気量を制御し、前記帯電量測定部によって測定された前記被検査物の表面の帯電量が小さくなれば、前記回収部における前記吸気量も小さくなるよう前記回収部における前記吸気量を制御する
剥離回収制御ステップ
を実行することを特徴とする請求項10に記載の微粒子回収方法。
The control unit controls the pressure of the compressed air injected from the peeling unit and the amount of air intake in the recovery unit,
The collection unit collects the particulates by sucking air,
The control unit includes:
The pressure of the compressed air is controlled so that when the amount of charge on the surface of the object to be inspected as measured by the charge amount measurement unit increases, the pressure of the first air flow at the part to be peeled also increases, and the amount of charge is measured. controlling the pressure of the compressed air so that if the amount of charge on the surface of the inspected object measured by the section decreases, the wind pressure of the first airflow at the separation target location also decreases;
Controlling the intake air amount in the recovery section so that as the amount of charge on the surface of the inspection object measured by the charge amount measurement section increases, the amount of air intake in the recovery section also increases, and the charge amount measurement section A peeling and recovery control step is performed in which the intake air amount in the recovery section is controlled so that if the amount of charge on the surface of the inspection object measured by is reduced, the intake air amount in the recovery section is also reduced. The method for collecting fine particles according to claim 10.
噴射ノズルにより被検査物に向けて圧縮空気を噴射することで発生する第1の気流により前記被検査物に付着する微粒子を剥離する剥離部と、
前記剥離部により前記被検査物から剥離された前記微粒子を回収する回収部と、
前記被検査物の表面の帯電量を測定する帯電量測定部と、
前記剥離部から噴射される前記圧縮空気の圧力、及び、前記回収部における吸気量を制御する制御部と、
を備え、
前記帯電量測定部によって前記被検査物の表面の帯電量を測定する帯電量測定ステップと、
前記噴射ノズルが前記被検査物に向けて前記圧縮空気を噴射する噴射ステップと、
前記回収部が、前記圧縮空気によって前記被検査物から剥離された前記微粒子を回収する回収ステップと、
を実行し、
前記制御部は、
前記帯電量測定部によって測定された前記被検査物の表面の帯電量が大きくなれば、剥離対象箇所における前記第1の気流の風圧も大きくなるよう前記圧縮空気の圧力を制御し、前記帯電量測定部によって測定された前記被検査物の表面の帯電量が小さくなれば、前記剥離対象箇所における前記第1の気流の風圧も小さくなるよう前記圧縮空気の圧力を制御し、
前記帯電量測定部によって測定された前記被検査物の表面の帯電量が大きくなれば、前記回収部における前記吸気量も大きくなるよう前記回収部における前記吸気量を制御し、前記帯電量測定部によって測定された前記被検査物の表面の帯電量が小さくなれば、前記回収部における前記吸気量も小さくなるよう前記回収部における前記吸気量を制御する
剥離回収制御ステップ
を実行することを特徴とする微粒子回収方法。
a peeling section that peels off fine particles adhering to the test object with a first airflow generated by jetting compressed air toward the test object with a jet nozzle;
a collection unit that collects the fine particles peeled off from the inspection object by the peeling unit;
a charge amount measurement unit that measures the charge amount on the surface of the inspected object;
a control unit that controls the pressure of the compressed air injected from the separation unit and the amount of air intake in the recovery unit;
Equipped with
a charge amount measuring step of measuring a charge amount on the surface of the object to be inspected by the charge amount measuring section;
an injection step in which the injection nozzle injects the compressed air toward the object to be inspected;
a collecting step in which the collecting unit collects the fine particles peeled off from the test object by the compressed air;
Run
The control unit includes:
The pressure of the compressed air is controlled so that as the amount of charge on the surface of the object to be inspected, which is measured by the charge amount measurement unit, increases, the wind pressure of the first air flow at the part to be separated increases, and the amount of charge is increased. controlling the pressure of the compressed air so that when the amount of charge on the surface of the object to be inspected measured by the measurement unit becomes smaller, the wind pressure of the first airflow at the separation target location also becomes smaller;
Controlling the intake air amount in the recovery section so that as the amount of charge on the surface of the inspection object measured by the charge amount measurement section increases, the amount of air intake in the recovery section also increases, and the charge amount measurement section A peeling and recovery control step is performed in which the intake air amount in the recovery section is controlled so that if the amount of charge on the surface of the inspection object measured by is reduced, the intake air amount in the recovery section is also reduced. A method for collecting fine particles.
分析部が、前記回収部により回収された前記微粒子を分析する分析ステップ
を実行することを特徴とする請求項9又は請求項12に記載の微粒子回収方法。
The method for collecting particles according to claim 9 or 12, characterized in that an analysis section executes an analysis step of analyzing the particles collected by the collection section.
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