Deprecated: The each() function is deprecated. This message will be suppressed on further calls in /home/zhenxiangba/zhenxiangba.com/public_html/phproxy-improved-master/index.php on line 456
JP7369916B2 - Component mounting system and component mounting method - Google Patents
[go: Go Back, main page]

JP7369916B2 - Component mounting system and component mounting method - Google Patents

Component mounting system and component mounting method Download PDF

Info

Publication number
JP7369916B2
JP7369916B2 JP2021550522A JP2021550522A JP7369916B2 JP 7369916 B2 JP7369916 B2 JP 7369916B2 JP 2021550522 A JP2021550522 A JP 2021550522A JP 2021550522 A JP2021550522 A JP 2021550522A JP 7369916 B2 JP7369916 B2 JP 7369916B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
component
mounting
board
electronic component
group
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2021550522A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPWO2021070540A1 (en
Inventor
利彦 永冶
昌弘 谷口
貴之 北
聖 古市
正宏 木原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd
Original Assignee
Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd filed Critical Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd
Publication of JPWO2021070540A1 publication Critical patent/JPWO2021070540A1/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7369916B2 publication Critical patent/JP7369916B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K13/00Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
    • H05K13/08Monitoring manufacture of assemblages
    • H05K13/089Calibration, teaching or correction of mechanical systems, e.g. of the mounting head
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K13/00Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
    • H05K13/08Monitoring manufacture of assemblages
    • H05K13/081Integration of optical monitoring devices in assembly lines; Processes using optical monitoring devices specially adapted for controlling devices or machines in assembly lines
    • H05K13/0812Integration of optical monitoring devices in assembly lines; Processes using optical monitoring devices specially adapted for controlling devices or machines in assembly lines the monitoring devices being integrated in the mounting machine, e.g. for monitoring components, leads, component placement
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03BAPPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
    • G03B9/00Exposure-making shutters; Diaphragms
    • G03B9/08Shutters
    • G03B9/36Sliding rigid plate
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03BAPPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
    • G03B9/00Exposure-making shutters; Diaphragms
    • G03B9/58Means for varying duration of "open" period of shutter
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N23/00Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
    • H04N23/50Constructional details
    • H04N23/54Mounting of pick-up tubes, electronic image sensors, deviation or focusing coils
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N23/00Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
    • H04N23/70Circuitry for compensating brightness variation in the scene
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N23/00Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
    • H04N23/70Circuitry for compensating brightness variation in the scene
    • H04N23/75Circuitry for compensating brightness variation in the scene by influencing optical camera components
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N25/00Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
    • H04N25/50Control of the SSIS exposure
    • H04N25/53Control of the integration time
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K13/00Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
    • H05K13/08Monitoring manufacture of assemblages
    • H05K13/081Integration of optical monitoring devices in assembly lines; Processes using optical monitoring devices specially adapted for controlling devices or machines in assembly lines
    • H05K13/0815Controlling of component placement on the substrate during or after manufacturing
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N23/00Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
    • H04N23/90Arrangement of cameras or camera modules, e.g. multiple cameras in TV studios or sports stadiums

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Operations Research (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)

Description

本開示は、基板に電子部品を搭載する部品搭載システムおよび部品搭載方法に関する。 The present disclosure relates to a component mounting system and a component mounting method for mounting electronic components on a board.

部品搭載装置は、ヘッド移動部と、搭載ヘッド移動部によって水平に移動する搭載ヘッドとを有する。搭載ヘッドの部品保持ノズルは、テープフィーダなどの部品供給装置が供給する電子部品を取り出して基板に搭載する。この種の装置では、搭載ヘッド移動部の発熱などに起因する経時変動により、電子部品が搭載目標位置からずれた位置に搭載される事象が発生する。従来、このような搭載位置のずれ(以下、搭載ずれと称する)を検出して搭載精度を向上させる対策が取られている。例えば、特許文献1では、基板上に搭載された電子部品の搭載位置のずれを検査装置等が検査し、この搭載位置のずれを基に算出されたキャリブレーションデータを用いて部品搭載装置の搭載動作の経時変動が補正される。 The component mounting device includes a head moving section and a mounting head that is horizontally moved by the mounting head moving section. The component holding nozzle of the mounting head takes out electronic components supplied by a component supply device such as a tape feeder and mounts them on the board. In this type of apparatus, an electronic component may be mounted at a position deviated from a target mounting position due to temporal fluctuations caused by heat generation in the mounting head moving section. Conventionally, measures have been taken to improve the mounting accuracy by detecting such deviations in the mounting position (hereinafter referred to as mounting deviations). For example, in Patent Document 1, an inspection device or the like inspects the deviation of the mounting position of an electronic component mounted on a board, and the mounting of the component mounting device is performed using calibration data calculated based on this deviation of the mounting position. Changes in motion over time are corrected.

特許文献1の部品搭載システムでは、部品搭載装置の下流に配置された検査装置が有する検出用カメラが、基板に搭載された電子部品を撮影する。この撮像データに基づき、基板上に搭載された電子部品の搭載ずれが検出される。 In the component mounting system of Patent Document 1, a detection camera included in an inspection device disposed downstream of a component mounting device photographs an electronic component mounted on a board. Based on this imaging data, the mounting misalignment of electronic components mounted on the board is detected.

特開2016―58603号公報Unexamined Japanese Patent Publication No. 2016-58603

本開示の部品搭載システムは、部品搭載装置を含む部品搭載システムである。部品搭載装置は、搭載ヘッドと、搭載ヘッド移動部と、部品認識カメラと、部品認識部と、制御部とを含む。搭載ヘッドは、第一の面と、その裏側の第二の面とを有する電子部品の第一の面を保持して基板に搭載する。この電子部品は、第二の面に設けられて第一の面からは検出できない端子群を有する。搭載ヘッド移動部は、搭載ヘッドを移動させる。部品認識カメラは、搭載ヘッドに保持された電子部品の第二の面を撮影する。部品認識部は、部品認識カメラが撮影した画像を処理して、端子群の位置を認識する。制御部は、部品認識部で認識した端子群の位置に基づいて、搭載ヘッド移動部を制御して搭載ヘッドを移動させて、搭載ヘッドに保持された電子部品を基板の定められた搭載目標位置に搭載する。部品搭載システムは、部品計測部と、搭載済部品検査装置と、算出部とをさらに有する。部品計測部は、電子部品を基板に搭載する前に、電子部品の端子群と電子部品の外形形状との位置関係を計測する。搭載済部品検査装置は、部品搭載装置が基板に電子部品を搭載することでそれぞれ作製された複数枚の部品搭載済基板のそれぞれの外観を検査する。さらに、電子部品の外形形状から定まる、複数枚の部品搭載済基板のそれぞれにおける電子部品の所定の部分の位置と、電子部品の端子群と電子部品の外形形状との位置関係とに基づいて、複数枚の部品搭載済基板のそれぞれにおける電子部品の搭載位置を計測する。そして複数枚の部品搭載済基板のそれぞれにおける電子部品の搭載目標位置に対する搭載位置のずれを検査する。算出部は、複数枚の部品搭載済基板の搭載位置のずれに基づいて、部品搭載装置の経時変動に起因する搭載位置のずれを補正するためのキャリブレーションデータを算出する。 The component mounting system of the present disclosure is a component mounting system including a component mounting device. The component mounting device includes a mounting head, a mounting head moving section, a component recognition camera, a component recognition section, and a control section. The mounting head holds a first surface of an electronic component having a first surface and a second surface on the back side of the electronic component and mounts the electronic component on the substrate. This electronic component has a group of terminals that are provided on the second surface and cannot be detected from the first surface . The mounting head moving section moves the mounting head. The component recognition camera photographs the second surface of the electronic component held by the mounting head. The component recognition unit processes the image taken by the component recognition camera and recognizes the position of the terminal group. The control unit controls the mounting head moving unit to move the mounting head based on the position of the terminal group recognized by the component recognition unit, and moves the electronic component held by the mounting head to a predetermined target mounting position on the board. be installed on. The component mounting system further includes a component measurement section, a mounted component inspection device, and a calculation section. The component measurement unit measures the positional relationship between the terminal group of the electronic component and the external shape of the electronic component before mounting the electronic component on the board. The mounted component inspection device inspects the appearance of each of a plurality of component-mounted boards, each of which is manufactured by the component mounting device mounting electronic components on the board. Furthermore, based on the position of a predetermined portion of the electronic component on each of the plurality of component-mounted boards, which is determined from the external shape of the electronic component, and the positional relationship between the terminal group of the electronic component and the external shape of the electronic component, The mounting position of the electronic component on each of the plurality of component-mounted boards is measured. Then, the deviation of the mounting position of the electronic component from the target mounting position on each of the plurality of component-mounted boards is inspected. The calculation unit calculates calibration data for correcting deviations in mounting positions caused by changes in the component mounting device over time, based on deviations in mounting positions of the plurality of component-mounted boards.

本開示の部品搭載方法は、第一の面と、その裏側の第二の面とを有するとともに、第二の面に設けられて第一の面からは検出できない端子群を有する電子部品を基板に搭載する部品搭載方法である。この方法では、搭載ヘッドに電子部品の第一の面を保持させる。一方、搭載ヘッドに保持された電子部品の第二の面を部品認識カメラに撮影させる。そして、撮影された画像を処理して端子群の位置を認識する。そして、電子部品の端子群と電子部品の外形形状との位置関係を計測する。認識された端子群の位置に基づいて、搭載ヘッドを移動させて搭載ヘッドに保持された電子部品を基板に定められた搭載目標位置に搭載する。その後、基板に電子部品を搭載することでそれぞれ作製された複数枚の部品搭載済基板のそれぞれの外観検査を行う。そして、電子部品の外形形状から定まる、複数枚の部品搭載済基板のそれぞれにおける電子部品における所定の部分の位置と、電子部品の端子群と電子部品の外形形状との位置関係とに基づいて、複数枚の部品搭載済基板のそれぞれにおける電子部品の搭載位置を計測する。これにより、複数枚の部品搭載済基板のそれぞれにおける電子部品の搭載目標位置に対する搭載位置のずれを検査する。さらに、複数枚数の基板の搭載位置のずれに基づいて、経時変動に起因する電子部品の搭載位置のずれを補正するためのキャリブレーションデータを算出する。このキャリブレーションデータを使用して、次の電子部品を次の基板の搭載目標位置に搭載するときの搭載ヘッドの停止位置を補正する。 The component mounting method of the present disclosure mounts an electronic component on a board, which has a first surface, a second surface on the back side thereof, and a group of terminals provided on the second surface and which cannot be detected from the first surface. This is a method of mounting parts on the machine. In this method , the mounting head holds the first side of the electronic component. On the other hand, the second surface of the electronic component held by the mounting head is photographed by the component recognition camera. The captured images are then processed to recognize the positions of the terminal groups. Then, the positional relationship between the terminal group of the electronic component and the external shape of the electronic component is measured. Based on the recognized position of the terminal group, the mounting head is moved and the electronic component held by the mounting head is mounted at a mounting target position determined on the board. Thereafter, a visual inspection is performed on each of the plurality of component-mounted boards, each of which is manufactured by mounting electronic components on the board. Then, based on the position of a predetermined portion of the electronic component on each of the plurality of component-mounted boards, which is determined from the external shape of the electronic component, and the positional relationship between the terminal group of the electronic component and the external shape of the electronic component, The mounting position of the electronic component on each of the plurality of component-mounted boards is measured. Thereby, the deviation of the mounting position of each of the plurality of component-mounted boards with respect to the mounting target position of the electronic component is inspected. Furthermore, based on the deviations in the mounting positions of the plurality of boards, calibration data for correcting deviations in the mounting positions of electronic components due to changes over time is calculated. This calibration data is used to correct the stop position of the mounting head when mounting the next electronic component at the mounting target position of the next board.

本開示によれば、部品搭載装置の経時変動に起因する裏面端子部品の搭載ずれを精度良く補正することができる。 According to the present disclosure, it is possible to accurately correct mounting displacement of back terminal components due to changes over time in the component mounting device.

本開示の実施の形態に係る部品搭載システムの構成を示す概略図Schematic diagram showing the configuration of a component mounting system according to an embodiment of the present disclosure 図1に示す部品搭載システムにおけるスクリーン印刷装置の正面図Front view of the screen printing device in the component mounting system shown in Figure 1 図2に示すスクリーン印刷装置の機能説明図Function explanatory diagram of the screen printing device shown in FIG. 2 図1に示す部品搭載システムにおける基板計測装置、はんだ部検査装置、搭載済部品検査装置、実装基板検査装置の正面図A front view of the board measuring device, solder part inspection device, mounted component inspection device, and mounted board inspection device in the component mounting system shown in Figure 1. 図1に示す部品搭載システムにおける部品搭載装置の側面図Side view of the component mounting device in the component mounting system shown in Figure 1 図5に示す部品搭載装置の部品認識カメラによるチップ部品の撮影の説明図An explanatory diagram of photographing a chip component by the component recognition camera of the component mounting device shown in FIG. 図5に示す部品搭載装置の部品認識カメラによる裏面端子部品の撮影の説明図An explanatory diagram of photographing a back terminal component by the component recognition camera of the component mounting device shown in FIG. 図1に示す部品搭載システムにおける情報管理装置および部品搭載装置の制御系の構成を示す機能ブロック図A functional block diagram showing the configuration of the information management device and the control system of the component mounting device in the component mounting system shown in Figure 1. 本開示の実施の形態に係る部品搭載システムにおいて使用される部品情報の一例を示す図A diagram showing an example of component information used in a component mounting system according to an embodiment of the present disclosure 図5に示す部品搭載装置によるチップ部品の認識処理の説明図An explanatory diagram of the chip component recognition process by the component mounting device shown in FIG. 図5に示す部品搭載装置による裏面端子部品の認識処理の説明図An explanatory diagram of the recognition process of back terminal components by the component mounting device shown in FIG. 5 図4に示す基板計測装置における処理を示すフローチャートFlowchart showing processing in the board measuring device shown in FIG. 4 図4に示す基板計測装置における処理の説明図An explanatory diagram of the processing in the board measuring device shown in FIG. 4 図2に示すスクリーン印刷装置における処理を示すフローチャートFlowchart showing processing in the screen printing device shown in FIG. 2 図2に示すスクリーン印刷装置における処理の説明図An explanatory diagram of processing in the screen printing device shown in FIG. 2 図4に示すはんだ部検査装置における処理を示すフローチャートFlowchart showing processing in the solder part inspection device shown in FIG. 4 図4に示すはんだ部検査装置における処理の説明図An explanatory diagram of the processing in the solder part inspection device shown in Fig. 4 図15Aの部分拡大図Partially enlarged view of Figure 15A 図7に示す情報管理装置における処理を示すフローチャートFlowchart showing processing in the information management device shown in FIG. 7 図7に示す情報管理装置における処理の説明図An explanatory diagram of processing in the information management device shown in FIG. 7 図17Aの部分拡大図Partially enlarged view of Figure 17A 図5に示す部品搭載装置における処理を示すフローチャートFlowchart showing processing in the component mounting device shown in FIG. 5 図5に示す部品搭載装置における処理の説明図An explanatory diagram of the processing in the component mounting device shown in FIG. 図4に示す搭載済部品検査装置における処理を示すフローチャートFlowchart showing the processing in the mounted component inspection device shown in FIG. 4 図4に示す搭載済部品検査装置における処理の説明図An explanatory diagram of the processing in the mounted component inspection device shown in FIG. 4 図21Aの部分拡大図Partially enlarged view of Figure 21A 図4に示す実装基板検査装置における処理を示すフローチャートFlowchart showing processing in the mounted board inspection device shown in FIG. 4 図4に示す実装基板検査装置における処理の説明図An explanatory diagram of the processing in the mounted board inspection apparatus shown in FIG. 4

本開示の実施の形態の説明に先立ち、本開示の発想に至った経緯を簡単に説明する。電子部品には、電子部品の裏面に複数の端子が形成されたCSP(Chip Size Package)などの裏面端子部品がある。裏面端子部品では、製造時の加工精度に起因して外形形状に対する裏面の端子群の位置がばらつくため、個々の裏面端子部品の端子群の位置を基準に基板上に搭載される。特許文献1を含む従来技術では、検査装置は基板上に搭載された電子部品の外形形状は検出できる。しかしながら、基板上に搭載された裏面端子部品の裏面の端子群の位置は検出できない。そのため、裏面端子部品は経時変動のキャリブレーションの対象から外されており、裏面端子部品の搭載精度を向上させるためにはさらなる改善の余地がある。 Prior to describing the embodiments of the present disclosure, the circumstances that led to the idea of the present disclosure will be briefly explained. Electronic components include back terminal components such as CSP (Chip Size Package) in which a plurality of terminals are formed on the back surface of the electronic component. In back terminal components, the positions of the terminal groups on the back surface with respect to the external shape vary due to processing precision during manufacturing, so the positions of the terminal groups of the individual back terminal components are mounted on the board as a reference. In conventional techniques including Patent Document 1, an inspection device can detect the external shape of an electronic component mounted on a board. However, the position of the terminal group on the back surface of the back terminal component mounted on the board cannot be detected. Therefore, the back terminal components are excluded from the calibration of changes over time, and there is still room for further improvement in order to improve the mounting accuracy of the back terminal components.

本開示は、部品搭載装置の経時変動に起因する裏面端子部品の搭載ずれを精度良く補正することができる部品搭載システムおよび部品搭載方法を提供する。 The present disclosure provides a component mounting system and a component mounting method that can accurately correct mounting displacement of back terminal components due to changes over time in a component mounting device.

次に図面を参照しながら、本開示の実施の形態を説明する。まず図1を参照して、本実施の形態における部品搭載システム1の構成および機能について説明する。部品搭載システム1は、基板に電子部品を実装して実装基板を製造する。部品搭載システム1は複数の部品実装用装置を連結した部品実装ライン1aを主体とする。部品実装ライン1aを構成する装置は、通信ネットワーク2によって相互に接続されるとともに、通信ネットワーク2を介して情報管理装置3に接続されている。 Next, embodiments of the present disclosure will be described with reference to the drawings. First, with reference to FIG. 1, the configuration and functions of a component mounting system 1 in this embodiment will be described. The component mounting system 1 mounts electronic components on a board to manufacture a mounted board. The component mounting system 1 mainly includes a component mounting line 1a that connects a plurality of component mounting devices. The devices constituting the component mounting line 1a are connected to each other by a communication network 2, and are also connected to an information management device 3 via the communication network 2.

部品実装ライン1aでは、上流から順に、基板供給装置M1、基板識別情報付与装置M2、基板計測装置M3、スクリーン印刷装置M4、はんだ部検査装置M5、部品搭載装置M6、M7、搭載済部品検査装置M8、リフロー装置M9、実装基板検査装置M10、基板回収装置M11が、基板搬送方向(X軸)に沿って直列に接続されている。これらの部品実装用装置は、部品搭載装置M6、M7を含む。部品搭載装置M6、M7は、部品保持ノズルで電子部品を保持してはんだ部が形成された基板の実装点にその電子部品を搭載する。 In the component mounting line 1a, in order from upstream, there are a board supply device M1, a board identification information providing device M2, a board measurement device M3, a screen printing device M4, a solder part inspection device M5, component mounting devices M6 and M7, and a mounted component inspection device. M8, a reflow device M9, a mounted board inspection device M10, and a board recovery device M11 are connected in series along the board transport direction (X-axis). These component mounting devices include component mounting devices M6 and M7. The component mounting devices M6 and M7 hold the electronic component with component holding nozzles and mount the electronic component on the mounting point of the board on which the solder portion is formed.

基板供給装置M1は生産対象となる未実装の基板4(図2参照)を下流の装置へ供給する。基板識別情報付与装置M2は、基板供給装置M1から供給された基板4に、基板4を識別するための固有の識別情報を付与する。一例として、基板4に識別情報である識別コードをレーザにより印字するレーザーマーカが基板識別情報付与装置M2として用いられている。 The board supply device M1 supplies an unmounted board 4 (see FIG. 2) to be produced to a downstream device. The substrate identification information providing device M2 provides unique identification information for identifying the substrate 4 to the substrate 4 supplied from the substrate supply device M1. As an example, a laser marker that prints an identification code, which is identification information, on the board 4 using a laser is used as the board identification information adding device M2.

基板計測装置M3は、基板4を撮影することにより、基板4に形成された基準マークとランドの位置(ランド位置)やランドのサイズを実測する。そして、計測されたランド位置やサイズを含むランド計測データを、基板4の識別情報とともにはんだ部検査装置M5へフィードフォワードする。また、基板計測装置M3は、計測結果から、実装点の位置を計算する。実装点の位置は基板4の基準マークとの相対的な位置関係で特定される。 The board measuring device M3 actually measures the position of the reference mark formed on the board 4 and the land (land position) and the size of the land by photographing the board 4. Then, the land measurement data including the measured land position and size is fed forward together with the identification information of the board 4 to the solder portion inspection device M5. Further, the board measuring device M3 calculates the position of the mounting point from the measurement result. The position of the mounting point is specified by the relative positional relationship with the reference mark on the board 4.

基板計測装置M3は、計測結果から、基板4の基準マークと実装点との位置関係を含む実装点位置データを計算する。そして、その実装点位置データを基板4の識別情報と関連付けて通信ネットワーク2を介して情報管理装置3および下流の装置にフィードフォワードする。下流の装置とは、スクリーン印刷装置M4、はんだ部検査装置M5、部品搭載装置M6、M7、搭載済部品検査装置M8、実装基板検査装置M10を意味する。 The board measuring device M3 calculates mounting point position data including the positional relationship between the reference mark on the board 4 and the mounting point from the measurement results. Then, the mounting point position data is associated with the identification information of the board 4 and fed forward via the communication network 2 to the information management device 3 and downstream devices. The downstream devices refer to the screen printing device M4, the solder part inspection device M5, the component mounting devices M6 and M7, the mounted component inspection device M8, and the mounted board inspection device M10.

本実施の形態では、基板計測装置M3は、実測によって得られた基板4の基準マークと実装点との位置関係に関する実装点位置データを取得する実装点位置データ取得部として機能する。なお、基板計測装置M3以外の他装置(例えば情報管理装置3)が、実装点位置データの計算とフィードフォワードとを実施してもよい。この場合、基板計測装置M3と他装置とが実装点位置データ取得部として機能する。 In this embodiment, the board measuring device M3 functions as a mounting point position data acquisition unit that obtains mounting point position data regarding the positional relationship between the reference mark of the board 4 and the mounting point obtained by actual measurement. Note that a device other than the board measuring device M3 (for example, the information management device 3) may perform the calculation and feedforward of the mounting point position data. In this case, the board measuring device M3 and other devices function as a mounting point position data acquisition section.

また、スクリーン印刷装置M4、部品搭載装置M6、M7、搭載済部品検査装置M8については、実装点位置データは必須ではなく、フィードフォワードの対象から除外してもよい。このように、実装点位置データ取得部は、実測による計測結果に基づいて実装点位置データを取得する。そのため、製造過程における基板4の変形などに起因する位置誤差を排除して、実装点と基板4の基準マークとの位置関係を正確に求めることが可能となっている。 Further, mounting point position data is not essential for the screen printing device M4, the component mounting devices M6 and M7, and the mounted component inspection device M8, and may be excluded from feedforward targets. In this way, the mounting point position data acquisition section acquires mounting point position data based on the measurement results obtained by actual measurements. Therefore, it is possible to eliminate positional errors caused by deformation of the board 4 during the manufacturing process, and to accurately determine the positional relationship between the mounting point and the reference mark on the board 4.

スクリーン印刷装置M4は、基板4に設けられた複数のランド(ランド群)のそれぞれにスクリーン印刷によりはんだ部を形成する。すなわち、スクリーン印刷装置M4は、はんだ部群を形成する。ランド群には、電子部品の複数の端子(端子群)が接続される。したがってスクリーン印刷装置M4は、基板4のランドにはんだ部を形成するはんだ部形成装置として機能する。なお、はんだ部形成装置としては、スクリーン印刷装置以外にも、ランドにはんだを塗布することによってはんだ部を形成するはんだ塗布装置などを用いることができる。 The screen printing device M4 forms a solder portion on each of a plurality of lands (land group) provided on the substrate 4 by screen printing. That is, the screen printing device M4 forms a solder group. A plurality of terminals (terminal group) of the electronic component are connected to the land group. Therefore, the screen printing device M4 functions as a solder portion forming device that forms solder portions on the lands of the substrate 4. Note that as the solder portion forming device, in addition to the screen printing device, a solder coating device that forms the solder portion by applying solder to the lands can be used.

はんだ部検査装置M5は、はんだ部形成装置であるスクリーン印刷装置M4によって基板4に形成されたはんだ部群の位置を計測する。そして、基準マークとはんだ部群との位置関係を含むはんだ部群位置データを作成する。はんだ部検査装置M5は、作成したはんだ部群位置データを基板4の識別情報と関連付けて通信ネットワーク2を介して情報管理装置3および下流の装置にフィードフォワードする。下流の装置とは、部品搭載装置M6、M7、搭載済部品検査装置M8、実装基板検査装置M10を意味する。なお、はんだ部検査装置M5以外の他装置(例えば、情報管理装置3)が、はんだ部群位置データの計算とフィードフォワードとを実施してもよい。 The solder portion inspection device M5 measures the position of the solder portion group formed on the substrate 4 by the screen printing device M4, which is a solder portion forming device. Then, solder group position data including the positional relationship between the reference mark and the solder group is created. The solder part inspection device M5 associates the created solder part group position data with the identification information of the board 4 and feeds it forward to the information management device 3 and downstream devices via the communication network 2. The downstream devices refer to the component mounting devices M6 and M7, the mounted component inspection device M8, and the mounted board inspection device M10. Note that a device other than the solder portion inspection device M5 (for example, the information management device 3) may perform the calculation and feedforward of the solder portion group position data.

部品搭載装置M6、M7は、電子部品を保持する部品保持ノズルを含み、スクリーン印刷装置M4によってはんだ部群が形成された基板(はんだ部形成済基板)の実装点に電子部品を搭載する。部品搭載装置M6、M7は、電子部品をはんだ部形成済基板に搭載する前に、部品保持ノズルが保持する電子部品の端子(端子群)の位置を認識し、認識された端子の位置に基づいて、電子部品をはんだ部形成済基板に搭載する。 The component mounting devices M6 and M7 each include a component holding nozzle that holds an electronic component, and mount the electronic component at a mounting point on a board on which a group of solder parts has been formed by the screen printing device M4 (a board with solder parts formed thereon). The component mounting devices M6 and M7 recognize the position of the terminal (terminal group) of the electronic component held by the component holding nozzle, and perform a process based on the recognized position of the terminal before mounting the electronic component on the board on which the solder portion has been formed. Then, electronic components are mounted on the solder-formed board.

また、本実施の形態では、はんだ部形成済基板に搭載する電子部品が裏面に端子がある裏面端子部品の場合、部品搭載装置M6、M7は、裏面端子部品をはんだ部形成済基板に搭載する前に裏面端子部品の端子群と外形形状とを認識する。そして、端子群と外形形状との位置関係である裏面端子位置を計測する。部品搭載装置M6、M7は、この裏面端子位置を基板4の識別情報、電子部品(裏面端子部品)の識別情報と関連付けた裏面端子位置データとして通信ネットワーク2を介して情報管理装置3および下流の装置にフィードフォワードする。下流の装置とは、搭載済部品検査装置M8、実装基板検査装置M10を意味する。 Furthermore, in this embodiment, when the electronic component to be mounted on the board with solder parts formed thereon is a back terminal part having terminals on the back side, the component mounting devices M6 and M7 mount the back terminal part on the board with solder parts formed thereon. First, the terminal group and external shape of the back terminal component are recognized. Then, the back terminal position, which is the positional relationship between the terminal group and the external shape, is measured. The component mounting devices M6 and M7 send this back terminal position to the information management device 3 and downstream via the communication network 2 as back terminal position data in which the back terminal position is associated with the identification information of the board 4 and the identification information of the electronic component (back terminal component). feed forward to the device. The downstream devices refer to the mounted component inspection device M8 and the mounted board inspection device M10.

本実施の形態では、部品搭載装置M6、M7の作業対象となるはんだ部形成済基板に含まれる基板4には、基板識別情報付与装置M2によって固有の識別情報が付与されている。これにより、上述のはんだ部群位置データ、実装点位置データ、裏面端子位置データと基板4との対応関係が、基板4に付与された識別情報を介して正しく判断される。 In this embodiment, unique identification information is given to the board 4 included in the solder-formed board to be worked by the component mounting devices M6 and M7 by the board identification information giving device M2. As a result, the correspondence between the solder group position data, the mounting point position data, the back surface terminal position data, and the board 4 is correctly determined via the identification information given to the board 4.

搭載済部品検査装置M8は、部品搭載装置M6、M7によってはんだ部形成済基板に電子部品を搭載することで作製された部品搭載済基板の外観を検査して電子部品の搭載位置を計測する。そして、搭載済部品検査装置M8は、計測結果に基づいて電子部品の搭載位置のずれ(以下、搭載ずれと称す)を検査する。その際、搭載済部品検査装置M8は、検査対象が裏面端子部品の場合は、認識した外形位置と部品搭載装置M6、M7または情報管理装置3から送信された裏面端子位置に基づいて、裏面端子部品の搭載ずれを検査する。裏面端子位置とは、前述のように裏面端子部品の端子群と裏面端子部品の外形形状との位置関係を意味する。 The mounted component inspection device M8 measures the mounting position of the electronic component by inspecting the appearance of the component-mounted board produced by mounting the electronic component on the solder-formed board by the component mounting devices M6 and M7. Then, the mounted component inspection device M8 inspects the deviation of the mounting position of the electronic component (hereinafter referred to as mounting deviation) based on the measurement results. At this time, if the inspection target is a back terminal component, the mounted component inspection device M8 detects the back terminal based on the recognized external shape position and the back terminal position transmitted from the component mounting devices M6, M7 or the information management device 3. Inspect components for misalignment. The back terminal position means the positional relationship between the terminal group of the back terminal component and the external shape of the back terminal component, as described above.

本実施の形態においては、搭載ずれに関する部品搭載ずれデータを部品搭載装置M6、M7にフィードバックすることにより、部品搭載装置M6、M7の経時変動に起因する電子部品の搭載ずれを補正するキャリブレーションが実行される。なお、搭載済部品検査装置M8は、上述の部品搭載済基板について電子部品の搭載ずれを計測する場合は、使用された基板4の識別情報に関連付けられた搭載目標位置データが電子部品の搭載ずれ計測の基準として使用される。 In the present embodiment, by feeding back component mounting misalignment data regarding mounting misalignment to the component mounting devices M6 and M7, calibration is performed to correct mounting misalignment of electronic components caused by changes over time in the component mounting devices M6 and M7. executed. In addition, when measuring the mounting deviation of the electronic component on the above-mentioned component-mounted board, the mounted component inspection device M8 uses the mounting target position data associated with the identification information of the used board 4 to determine the mounting deviation of the electronic component. Used as a standard for measurement.

リフロー装置M9は、部品搭載済基板を所定の加熱プロファイルにしたがって加熱することにより、ランド上のはんだ部を溶融固化させて電子部品を基板4にはんだ接合することで実装基板を作製する。実装基板検査装置M10は、リフローにより作製された実装基板を撮影して取得された画像に基づき、実装基板の良否を判定するための検査を行う。すなわち実装基板検査装置M10は、取得された画像を認識処理することにより、実装基板における電子部品の実装状態、すなわちはんだ接合後の電子部品の位置や姿勢などの良否を検査する。基板回収装置M11は、実装基板検査装置M10による実装基板検査後の完成した実装基板を回収する。 The reflow apparatus M9 heats the component-mounted board according to a predetermined heating profile to melt and solidify the solder portions on the lands and solder-bond the electronic components to the board 4, thereby producing a mounting board. The mounted board inspection apparatus M10 performs an inspection to determine the quality of the mounted board based on an image obtained by photographing the mounted board produced by reflow. That is, the mounted board inspection apparatus M10 performs recognition processing on the acquired image to inspect the quality of the mounting state of the electronic components on the mounted board, that is, the position and orientation of the electronic components after soldering. The board collection device M11 collects the completed mounted board after the mounted board inspection device M10 has inspected the mounted board.

次に、図2~図6Bを参照して、上述の部品実装ライン1aを構成する装置のそれぞれの構成を説明する。なお、ここではこれらの装置のうち、スクリーン印刷装置M4、基板計測装置M3、はんだ部検査装置M5、搭載済部品検査装置M8、実装基板検査装置M10、部品搭載装置M6、M7についてのみ説明し、他の装置については記載を省略する。 Next, with reference to FIGS. 2 to 6B, the configuration of each of the devices that make up the above-mentioned component mounting line 1a will be explained. Of these devices, only the screen printing device M4, the board measuring device M3, the solder part inspection device M5, the mounted component inspection device M8, the mounted board inspection device M10, and the component mounting devices M6 and M7 will be explained here. Descriptions of other devices will be omitted.

まず、図2を参照して、スクリーン印刷装置M4の構成を説明する。スクリーン印刷装置M4は、スクリーン印刷制御部10と、基板位置決め部11と、印刷ステージ13と、基板サポート部14と、基板搬送部15と、スクリーン印刷部16とを含む。基板位置決め部11は、アライメント機構である印刷ステージテーブル11aと、その上面に設けられた昇降機構11bとを含む。印刷ステージテーブル11aには、以下に説明する各部を制御するスクリーン印刷制御部10が内蔵されている。印刷ステージ13は、昇降テーブル13aにおいて、昇降機構11bに保持されている。 First, with reference to FIG. 2, the configuration of the screen printing apparatus M4 will be described. Screen printing apparatus M4 includes a screen printing control section 10, a substrate positioning section 11, a printing stage 13, a substrate support section 14, a substrate transport section 15, and a screen printing section 16. The substrate positioning unit 11 includes a printing stage table 11a, which is an alignment mechanism, and a lifting mechanism 11b provided on the top surface of the printing stage table 11a. The print stage table 11a has a built-in screen printing control section 10 that controls each section described below. The printing stage 13 is held by a lifting mechanism 11b on a lifting table 13a.

印刷ステージ13は、印刷ステージテーブル11aを駆動することにより、X軸、Y軸に沿って水平移動するとともに、Z軸周りに水平に回転する。昇降機構11bを駆動することにより印刷ステージ13は昇降する。昇降テーブル13aの上面には、基板サポートピン14aを有する基板サポート部14が設けられている。基板サポート部14は、昇降機構14bにより昇降する。 By driving the print stage table 11a, the print stage 13 moves horizontally along the X-axis and the Y-axis, and rotates horizontally around the Z-axis. The printing stage 13 is raised and lowered by driving the raising and lowering mechanism 11b. A substrate support section 14 having substrate support pins 14a is provided on the upper surface of the lifting table 13a. The substrate support section 14 is raised and lowered by a raising and lowering mechanism 14b.

さらに昇降テーブル13aは、基板搬送部15を構成する第2コンベア15bを下方から支持している。基板搬送部15は第2コンベア15bの上流、下流にそれぞれ位置する第1コンベア15a、第3コンベア15cをさらに含む。上流から第1コンベア15aに搬入された基板4は第2コンベア15bに受け渡され、基板4には、以下に説明するスクリーン印刷部16によりスクリーン印刷が施される。スクリーン印刷後の基板4は第3コンベア15cを経て下流へ搬出される。 Furthermore, the elevating table 13a supports a second conveyor 15b that constitutes the substrate transport section 15 from below. The substrate transport section 15 further includes a first conveyor 15a and a third conveyor 15c located upstream and downstream of the second conveyor 15b, respectively. The substrate 4 carried into the first conveyor 15a from upstream is transferred to the second conveyor 15b, and screen printing is performed on the substrate 4 by the screen printing section 16 described below. The board 4 after screen printing is carried downstream via the third conveyor 15c.

印刷ステージ13の上方には、スクリーン印刷部16が配置されている。スクリーン印刷部16は、基板4にはんだを印刷するための印刷パターンが設けられたスクリーンマスク18を含む。スクリーンマスク18の上方には、スキージ17およびスキージ17をスクリーンマスク18に当接させてスキージング動作を行わせるための駆動機構17aが設けられている。 A screen printing section 16 is arranged above the printing stage 13. The screen printing unit 16 includes a screen mask 18 provided with a printing pattern for printing solder on the substrate 4. Above the screen mask 18, a squeegee 17 and a drive mechanism 17a for bringing the squeegee 17 into contact with the screen mask 18 to perform a squeezing operation are provided.

印刷ステージ13とスクリーンマスク18との間には、マスクカメラ19aおよび基板カメラ19bを含むカメラユニット19が配置されている。カメラユニット19は、カメラ移動機構(図示省略)によりX軸、Y軸に沿って移動可能となっている。これにより、マスクカメラ19a、基板カメラ19bは、それぞれスクリーンマスク18、基板4の所望の位置を撮影可能となっている。この撮影により取得された画像を認識処理することにより、スクリーン印刷制御部10は、スクリーンマスク18、基板4の水平方向の位置を検出する。この位置検出結果に基づいて印刷ステージ13を水平移動させることにより、スクリーン印刷制御部10は、基板4とスクリーンマスク18とを位置合わせする。 A camera unit 19 including a mask camera 19a and a substrate camera 19b is arranged between the print stage 13 and the screen mask 18. The camera unit 19 is movable along the X-axis and the Y-axis by a camera movement mechanism (not shown). Thereby, the mask camera 19a and the board camera 19b can photograph desired positions of the screen mask 18 and the board 4, respectively. The screen printing control unit 10 detects the positions of the screen mask 18 and the substrate 4 in the horizontal direction by performing recognition processing on the image obtained by this photographing. By horizontally moving the printing stage 13 based on the position detection result, the screen printing control unit 10 aligns the substrate 4 and the screen mask 18.

スクリーン印刷装置M4によるはんだのスクリーン印刷においては、スクリーン印刷制御部10がカメラユニット19をスクリーンマスク18と基板4との間の位置から外へ移動させる。そして、図3に示すように、第2コンベア15bが基板4を保持した状態で、矢印aで示すように、スクリーン印刷制御部10は、昇降機構11bを駆動して印刷ステージ13を上昇させる。これとともに、昇降機構14bを駆動して矢印bで示すように基板サポート部14を基板サポートピン14aとともに上昇させる。これにより、基板サポートピン14aが基板4を下面から下受けしてスクリーンマスク18の下面に押しつける。 During solder screen printing by the screen printing device M4, the screen printing control section 10 moves the camera unit 19 out of the position between the screen mask 18 and the substrate 4. Then, as shown in FIG. 3, while the second conveyor 15b holds the substrate 4, the screen printing control unit 10 drives the lifting mechanism 11b to raise the printing stage 13 as indicated by arrow a. At the same time, the lifting mechanism 14b is driven to raise the board support part 14 together with the board support pin 14a as shown by arrow b. As a result, the substrate support pins 14a support the substrate 4 from below and press it against the lower surface of the screen mask 18.

この状態でスクリーン印刷制御部10は、矢印cで示すようにスキージ17を下降させてスクリーンマスク18に当接させる。次いでスキージ17を、Y軸に沿ったスキージング方向に移動させる。これにより、基板4にはスクリーンマスク18に形成されたパターン孔を介してはんだがスクリーン印刷され、基板4のランドのそれぞれに、はんだ部が形成される。 In this state, the screen printing control unit 10 lowers the squeegee 17 as shown by arrow c to bring it into contact with the screen mask 18. Next, the squeegee 17 is moved in the squeezing direction along the Y axis. As a result, solder is screen printed on the substrate 4 through the pattern holes formed in the screen mask 18, and a solder portion is formed on each land of the substrate 4.

次に、図4を参照して、基板計測装置M3、はんだ部検査装置M5、搭載済部品検査装置M8、実装基板検査装置M10の構成および機能を説明する。なお、これらの装置は検査・計測の対象が異なることから詳細構成は装置毎に異なっている。しかし、検査・計測の対象をカメラで撮影して光学的に認識する点では共通していることから、便宜上同一図面にて説明する。 Next, with reference to FIG. 4, the configurations and functions of the board measuring device M3, the solder part testing device M5, the mounted component testing device M8, and the mounted board testing device M10 will be described. Note that these devices have different objects for inspection and measurement, so the detailed configuration differs from device to device. However, since the inspection/measurement target is photographed with a camera and recognized optically, it will be explained using the same drawing for convenience.

基板計測装置M3の基台21には処理部20が内蔵されている。はんだ部検査装置M5、搭載済部品検査装置M8、実装基板検査装置M10の場合、それぞれ、処理部20A、20B、20Cが基台21に内蔵されている。処理部20~20Cは、それぞれの装置における各種の作業動作や処理、例えば基板搬送動作、撮影処理、撮影により得られた画像の認識処理や画像に基づく検査・計測処理を制御する。基台21の上面には、基板搬送部22が配列されている。基台21の上面には、基板搬送部22が配置されている。基板搬送部22は上流から搬入された検査・計測対象の基板4を搬送して、以下に説明する検査ヘッド24による検査・計測作業位置に基板を位置させる。なお検査・計測対象は、基板計測装置M3では、はんだ部群を形成前の基板4であり、はんだ部検査装置M5では、はんだ部形成済基板4Sであり、搭載済部品検査装置M8では、部品搭載済基板4Mであり、実装基板検査装置M10では、リフロー工程を経た実装基板4Fである。 A processing section 20 is built into the base 21 of the substrate measuring device M3. In the case of the solder part inspection device M5, the mounted component inspection device M8, and the mounted board inspection device M10, processing units 20A, 20B, and 20C are built into the base 21, respectively. The processing units 20 to 20C control various work operations and processes in the respective devices, such as a substrate transport operation, a photographing process, a recognition process of an image obtained by photographing, and an inspection/measurement process based on the image. On the upper surface of the base 21, a substrate transport section 22 is arranged. A substrate transport section 22 is arranged on the upper surface of the base 21 . The substrate transport unit 22 transports the substrate 4 to be inspected and measured, which has been carried in from upstream, and positions the substrate at a position where an inspection head 24, which will be described below, performs inspection and measurement. In the board measuring device M3, the target of inspection and measurement is the board 4 before the solder group is formed, in the solder part inspection device M5, the board 4S on which the solder part has been formed, and in the mounted component inspection device M8, the board 4 is This is a mounted board 4M, and in the mounted board inspection apparatus M10, it is a mounted board 4F that has undergone a reflow process.

検査ヘッド24は、鏡筒部24aと、撮影方向を下向きにして鏡筒部24aに内蔵されたカメラ26と、鏡筒部24aの下端部に設けられた照明ユニット24bとを含む。検査ヘッド24は、XYテーブルを有する移動機構25によってX軸、Y軸に沿って水平移動する。移動機構25は、カメラ26を、基板4の所望の部位の上方に位置させることが可能である。照明ユニット24bには、上段照明28bと下段照明28aとが内蔵されている。 The inspection head 24 includes a lens barrel portion 24a, a camera 26 built into the lens barrel portion 24a with the photographing direction facing downward, and an illumination unit 24b provided at the lower end of the lens barrel portion 24a. The inspection head 24 is horizontally moved along the X and Y axes by a moving mechanism 25 having an XY table. The moving mechanism 25 can position the camera 26 above a desired portion of the substrate 4. The lighting unit 24b includes an upper lighting 28b and a lower lighting 28a.

カメラ26による撮影時には、撮影対象に適した照明条件に応じて上段照明28b、下段照明28aのいずれかまたは双方を点灯させる。さらに鏡筒部24aの側面には同軸照明28cが設けられており、同軸照明28cを点灯することにより、鏡筒部24aの内部に配置されたハーフミラー27を介して基板4をカメラ26の撮影方向と同軸方向から照明することができるようになっている。上段照明28b、下段照明28a、同軸照明28cは、照明光源部28を構成する。 When photographing with the camera 26, either or both of the upper stage illumination 28b and the lower stage illumination 28a are turned on according to illumination conditions suitable for the subject to be photographed. Further, a coaxial illumination 28c is provided on the side surface of the lens barrel section 24a, and by turning on the coaxial illumination 28c, the board 4 can be photographed by the camera 26 through a half mirror 27 disposed inside the lens barrel section 24a. It is now possible to illuminate from the same direction as the direction. The upper stage illumination 28b, the lower stage illumination 28a, and the coaxial illumination 28c constitute the illumination light source section 28.

このように、照明条件を切り替えることにより、同一のカメラ26によって異なる用途の検査・計測を実行することができる。基板計測装置M3は、実装点位置データを取得し、はんだ部検査装置M5は、はんだ部群位置データを取得する。そして搭載済部品検査装置M8は、部品搭載ずれデータを取得し、実装基板検査装置M10は、実装基板検査データを取得する。 In this way, by switching the illumination conditions, the same camera 26 can perform inspections and measurements for different purposes. The board measuring device M3 acquires mounting point position data, and the solder part inspection device M5 acquires solder part group position data. Then, the mounted component inspection device M8 acquires component mounting deviation data, and the mounted board inspection device M10 acquires mounted board inspection data.

次に、図5を参照して、部品搭載装置M6、M7の構成および機能を説明する。部品搭載装置M6、M7では、部品保持ノズル37bが、電子部品を保持して固有の識別情報が付与されたはんだ部形成済基板(以下、基板)4Sの実装点に搭載する。基台31には、以下に説明する部品搭載装置M6、M7の作業動作の制御や各装置が有するカメラによって取得された画像の認識処理を行う機能を有する搭載制御部30が内蔵されている。搭載制御部30は、例えば基板搬送動作、部品搭載機構による部品搭載作業、電子部品を認識する第1カメラ36、基板4Sを認識する第2カメラ39による認識処理などを制御する。 Next, with reference to FIG. 5, the configuration and functions of the component mounting devices M6 and M7 will be explained. In the component mounting devices M6 and M7, the component holding nozzle 37b holds an electronic component and mounts it on a mounting point of a solder-formed board (hereinafter referred to as a board) 4S that is given unique identification information. The base 31 has a built-in mounting control unit 30 that has a function of controlling the work operations of the component mounting devices M6 and M7, which will be described below, and performing recognition processing of images captured by cameras included in each device. The mounting control unit 30 controls, for example, the board transport operation, the component mounting work by the component mounting mechanism, the recognition process by the first camera 36 that recognizes electronic components, and the second camera 39 that recognizes the board 4S.

基台31の上面には、1対の基板搬送コンベアを有する基板搬送部35が基板4の搬送方向に沿って配置されている。すなわち基板搬送部35はX軸に沿って配置されている。基板搬送部35は、作業対象の基板4SをX軸に沿って搬送する。基台31の上面において基板搬送部35の間には、基板下受け部34が配置されている。基板下受け部34では、昇降機構34bが複数のサポートピン34aを昇降させる。基板4Sが搭載作業位置に搬入された状態において、搭載制御部30は、昇降機構34bを駆動してサポートピン34aを上昇させる。これにより、複数のサポートピン34aが基板4Sの下面を支持する。 On the upper surface of the base 31, a substrate transport section 35 having a pair of substrate transport conveyors is arranged along the transport direction of the substrates 4. That is, the substrate transport section 35 is arranged along the X axis. The substrate transport unit 35 transports the work target board 4S along the X-axis. A substrate lower receiving section 34 is arranged between the substrate transport sections 35 on the upper surface of the base 31 . In the substrate lower receiving part 34, an elevating mechanism 34b moves the plurality of support pins 34a up and down. In the state where the board 4S is carried into the mounting work position, the mounting control section 30 drives the lifting mechanism 34b to raise the support pin 34a. Thereby, the plurality of support pins 34a support the lower surface of the substrate 4S.

Y軸における基台31の両側には、それぞれ部品供給用の台車32がセットされている。台車32の上面には、部品供給ユニットであるテープフィーダ33が装着されている。テープフィーダ33は、基板4Sに搭載される電子部品を収納したキャリアテープをピッチ送りすることにより、以下に説明する部品搭載機構による部品取出し位置に電子部品を供給する。 Carts 32 for supplying components are set on both sides of the base 31 on the Y axis. A tape feeder 33, which is a parts supply unit, is mounted on the upper surface of the cart 32. The tape feeder 33 feeds the electronic components to a component extraction position by the component mounting mechanism described below by pitch-feeding a carrier tape containing electronic components to be mounted on the board 4S.

次に部品搭載機構の構成を説明する。基台31によって支持されたフレーム部(図示省略)には、XYテーブルを有するヘッド移動部38が配置されている。ヘッド移動部38には、移動部材37aを介して搭載ヘッド37が装着されている。ヘッド移動部38を駆動することにより、搭載ヘッド37はX軸およびY軸に沿って移動する。これにより、搭載ヘッド37は基板搬送部35に位置決め保持された基板4Sとテープフィーダ33との間で移動する。搭載ヘッド37は、その下端部に設けられた部品保持ノズル37bによってテープフィーダ33から取り出した電子部品を基板4Sに搭載する。このように、ヘッド移動部38は、電子部品を保持して基板4に搭載する搭載ヘッド37を移動させる。 Next, the configuration of the component mounting mechanism will be explained. A head moving section 38 having an XY table is disposed on a frame section (not shown) supported by the base 31. The mounting head 37 is attached to the head moving section 38 via a moving member 37a. By driving the head moving section 38, the mounting head 37 moves along the X-axis and the Y-axis. As a result, the mounting head 37 moves between the tape feeder 33 and the substrate 4S, which is positioned and held by the substrate transport section 35. The mounting head 37 mounts the electronic component taken out from the tape feeder 33 onto the substrate 4S using a component holding nozzle 37b provided at its lower end. In this way, the head moving unit 38 moves the mounting head 37 that holds the electronic component and mounts it on the substrate 4.

基板搬送部35とテープフィーダ33との間には第1カメラ36が配置されている。テープフィーダ33から電子部品を取り出した搭載ヘッド37を第1カメラ36の上方に位置させることにより、第1カメラ36は搭載ヘッド37に保持された電子部品を下方から撮影する。これにより、搭載ヘッド37に保持された状態の電子部品が認識され、電子部品の識別や保持位置ずれの検出、電子部品の外形形状の検出、端子(端子群)の位置の検出が行われる。 A first camera 36 is arranged between the substrate transport section 35 and the tape feeder 33. By positioning the mounting head 37 that has taken out the electronic component from the tape feeder 33 above the first camera 36, the first camera 36 photographs the electronic component held by the mounting head 37 from below. As a result, the electronic component held by the mounting head 37 is recognized, identification of the electronic component, detection of displacement in the holding position, detection of the external shape of the electronic component, and detection of the position of the terminal (terminal group) are performed.

ここで図6A、図6Bを参照して、第1カメラ36による電子部品の撮影について説明する。ここでは、電子部品として図6Aに示すチップ部品Pと、図6Bに示す裏面端子部品Pbについて説明する。部品保持ノズル37bとして、保持する電子部品の大きさに対応してノズル径の異なる複数の部品保持ノズル37bが用意されている。図6Aに示す部品保持ノズル37bは、チップ部品Pの上面(第一の面)を真空吸着して保持し、図6Bに示す部品保持ノズル37bは、裏面端子部品Pbの上面(第一の面)を真空吸着して保持している。裏面端子部品Pbの裏面(第二の面)には端子である複数のバンプB(以下「端子群Bb」と称す)が設けられている。このように、第1カメラ36は、搭載ヘッド37に保持された電子部品(チップ部品P、裏面端子部品Pb)の保持された面(第一の面)の裏面(第二の面)を撮影する。 Here, with reference to FIGS. 6A and 6B, photographing of electronic components by the first camera 36 will be described. Here, a chip component P shown in FIG. 6A and a back terminal component Pb shown in FIG. 6B will be described as electronic components. As the component holding nozzle 37b, a plurality of component holding nozzles 37b having different nozzle diameters are prepared depending on the size of the electronic component to be held. The component holding nozzle 37b shown in FIG. 6A holds the top surface (first surface) of the chip component P by vacuum suction, and the component holding nozzle 37b shown in FIG. 6B holds the top surface (first surface) of the back terminal component Pb. ) is held by vacuum suction. A plurality of bumps B (hereinafter referred to as "terminal group Bb") which are terminals are provided on the back surface (second surface) of the back terminal component Pb. In this way, the first camera 36 photographs the back surface (second surface) of the surface (first surface) where the electronic components (chip component P, back terminal component Pb) held by the mounting head 37 are held. do.

図5に示すように、移動部材37aには、第2カメラ39が撮影方向を下向きにして配置されている。第2カメラ39を搭載ヘッド37とともに移動させて基板4Sの上方に位置させることにより、第2カメラ39は基板搬送部35に保持された基板4Sを撮影する。この撮影により取得された識別情報や基準マークおよび実装点の画像を認識処理することにより、基板4の識別や基準マークおよび実装点の位置検出を行うことができる。部品搭載装置M6、M7による部品搭載においては、このようにして取得された基板4の識別結果や位置検出結果に基づいて、部品搭載機構による部品搭載動作が補正される。 As shown in FIG. 5, a second camera 39 is arranged on the moving member 37a with the photographing direction facing downward. By moving the second camera 39 together with the mounting head 37 and positioning it above the substrate 4S, the second camera 39 photographs the substrate 4S held by the substrate transport section 35. By performing recognition processing on the identification information and images of the reference marks and mounting points acquired through this photographing, it is possible to identify the board 4 and detect the positions of the reference marks and mounting points. In the component mounting by the component mounting devices M6 and M7, the component mounting operation by the component mounting mechanism is corrected based on the thus obtained identification results and position detection results of the board 4.

上述の構成において、基板搬送部35は以下の機能を有している。まず基板搬送部35は、スクリーン印刷装置M4によってはんだ部が形成され、はんだ部検査装置M5によるはんだ部群の計測が済んだ基板4Sを受け取って搭載作業位置に位置させる。次いで部品保持ノズル37bによる電子部品の搭載が済んだ部品搭載済基板4Mを搭載作業位置から下流の装置へ搬出する。 In the above configuration, the substrate transport section 35 has the following functions. First, the board transport unit 35 receives the board 4S on which the solder parts have been formed by the screen printing device M4 and the solder part group has been measured by the solder part inspection device M5, and positions it at the mounting work position. Next, the component-mounted board 4M on which electronic components have been mounted by the component holding nozzle 37b is carried out from the mounting work position to a downstream device.

次に、図7を参照して、部品搭載システム1を構成する各装置のうち、情報管理装置3および部品搭載装置M6、M7の制御系の構成について説明する。情報管理装置3は、内部処理機能としての第1記憶部41、第2記憶部42、第3記憶部43、作成部44および第4記憶部45を含む。第1記憶部41は、基板計測装置M3からフィードフォワードされた実装点位置データを記憶する。すなわち第1記憶部41は、基板4Sを実測して得られた基板4(基板4S)の基準マークと実装点との位置関係に関するデータを、基板4を個別に識別する識別情報と関連付けて記憶する。 Next, with reference to FIG. 7, the configuration of the control system of the information management device 3 and the component mounting devices M6 and M7 among the devices constituting the component mounting system 1 will be described. The information management device 3 includes a first storage section 41, a second storage section 42, a third storage section 43, a creation section 44, and a fourth storage section 45 as internal processing functions. The first storage unit 41 stores mounting point position data fed forward from the board measuring device M3. That is, the first storage unit 41 stores data regarding the positional relationship between the reference mark and the mounting point of the board 4 (board 4S) obtained by actually measuring the board 4S in association with identification information that individually identifies the board 4. do.

第2記憶部42は、はんだ部群位置データを記憶する。はんだ部群位置データは、スクリーン印刷装置M4によって基板4に形成されたはんだ部群の位置をはんだ部検査装置M5によって計測して取得された、基板4の基準マークとはんだ部群との位置関係を含む。第3記憶部43は、部品情報を、基板4Sに搭載する電子部品の識別情報と関連付けて記憶する。部品情報は、作成部44が作成する電子部品の搭載目標位置を算出するための条件と、部品搭載装置M6、M7におけるキャリブレーションを実行するための条件とを含む。 The second storage unit 42 stores solder group position data. The solder group position data is the positional relationship between the reference mark on the board 4 and the solder group, which is obtained by measuring the position of the solder group formed on the board 4 by the screen printing device M4 using the solder test device M5. including. The third storage unit 43 stores component information in association with identification information of electronic components mounted on the board 4S. The component information includes conditions for calculating the mounting target position of the electronic component created by the creation unit 44 and conditions for performing calibration in the component mounting devices M6 and M7.

ここで図8を参照して、第3記憶部43に記憶される部品情報の例について説明する。部品情報は、基板4Sに搭載される電子部品の実装点を特定する実装点番号61毎に、部品識別情報62、部品種類63、セルフアライメント考慮フラグ64、キャリブレーション対象フラグ65を含む。部品識別情報62は、電子部品の種類を特定する識別情報であり、識別番号や部品名などが記憶されている。 Here, with reference to FIG. 8, an example of component information stored in the third storage section 43 will be described. The component information includes component identification information 62, component type 63, self-alignment consideration flag 64, and calibration target flag 65 for each mounting point number 61 that specifies the mounting point of the electronic component mounted on the board 4S. The component identification information 62 is identification information that specifies the type of electronic component, and stores identification numbers, component names, and the like.

部品種類63は、角チップ(チップ部品)やCSPなどの電子部品の種類を特定する情報である。なお、後述する作成部44は、電子部品が裏面端子部品Pbであるか否かを条件として搭載目標位置の算出方法を切り替えている。また、部品情報は部品種類63の他に、または部品種類63として、電子部品が裏面端子部品Pbであるか否かの情報をフラグとして第3記憶部43が記憶してもよい。図8の例では、CSPが裏面端子部品Pbである。 The component type 63 is information that specifies the type of electronic component such as a square chip (chip component) or CSP. Note that the creation unit 44, which will be described later, switches the calculation method of the mounting target position based on whether the electronic component is the back terminal component Pb or not. In addition to the component type 63, or as the component type 63, the third storage unit 43 may store the component information using information as to whether the electronic component is a back terminal component Pb as a flag. In the example of FIG. 8, CSP is the back terminal component Pb.

次にセルフアライメント考慮フラグ64について説明する。リフロー装置M9における部品搭載済基板4Mの加熱によって融解したはんだの表面張力で、電子部品がランドに向かって移動するることがある。このような搭載ずれが補正されるセルフアライメントを考慮する電子部品には「1」が設定され、セルフアライメントを考慮しない電子部品には「0」が設定されている。セルフアライメントを考慮しない電子部品には、表面張力で動きにくい重い電子部品や、端子を基板4に挿入する電子部品や、リフロー前に接着剤などで基板4に固定する電子部品などがある。 Next, the self-alignment consideration flag 64 will be explained. The electronic component may move toward the land due to the surface tension of the solder melted by heating the component-mounted board 4M in the reflow device M9. "1" is set for electronic components that take self-alignment into consideration to correct such mounting deviations, and "0" is set for electronic components that do not take self-alignment into consideration. Electronic components that do not take self-alignment into consideration include heavy electronic components that are difficult to move due to surface tension, electronic components whose terminals are inserted into the board 4, and electronic components that are fixed to the board 4 with adhesive or the like before reflow.

図8の例では、実装点番号61が「7」のCSPはサイズが大きくて重量がある。また実装点番号61が「9」のコネクタは端子が基板4に挿入される。そのため、いずれもセルフアライメントを考慮しない電子部品に設定されている。なお、実装点番号61が「5」のCSPはサイズが小さくて融解したはんだの表面張力で移動するため、セルフアライメントを考慮する電子部品に設定されている。このように、第3記憶部43は、融解したはんだ部の表面張力の影響を考慮するか否かの情報(セルフアライメント考慮フラグ64)を含んだ部品情報を記憶する。 In the example of FIG. 8, the CSP whose mounting point number 61 is "7" is large and heavy. Further, the terminals of the connector whose mounting point number 61 is "9" are inserted into the board 4. Therefore, both electronic components are designed without taking self-alignment into consideration. Note that since the CSP with the mounting point number 61 of "5" is small in size and moves by the surface tension of melted solder, it is set as an electronic component that takes self-alignment into consideration. In this way, the third storage unit 43 stores component information including information (self-alignment consideration flag 64) as to whether or not to take into account the influence of the surface tension of the melted solder portion.

次にキャリブレーション対象フラグ65について説明する。部品搭載装置M6、M7の経時変動に起因して電子部品の搭載ずれが生じることがある。このような搭載ずれを補正するキャリブレーションを必要とする電子部品には「1」が設定され、キャリブレーションを必要としない電子部品には「0」が設定されている。キャリブレーションを必要としない電子部品には、端子が基板4に挿入されることで位置決めされる電子部品や、基板4に搭載される位置ずれの許容範囲が大きな電子部品などがある。図8の例では、実装点番号61が「9」のコネクタは、端子が基板4に挿入されるためキャリブレーションを必要としない電子部品に設定されている。 Next, the calibration target flag 65 will be explained. Misalignment of electronic components may occur due to changes over time in the component mounting devices M6 and M7. "1" is set for electronic components that require calibration to correct such mounting misalignment, and "0" is set for electronic components that do not require calibration. Electronic components that do not require calibration include electronic components whose positions are determined by inserting terminals into the board 4, and electronic components mounted on the board 4 that have a large tolerance for positional deviation. In the example of FIG. 8, the connector whose mounting point number 61 is "9" is set as an electronic component that does not require calibration because its terminals are inserted into the board 4.

図7に示す作成部44は、同一の基板識別情報で特定される実装点位置データ、はんだ部群位置データ、および部品情報に基づいて、所定の識別情報で特定される基板4Sにおける電子部品の搭載目標位置を含む搭載目標位置データを作成する。第4記憶部45は、作成部44によって作成された搭載目標位置データを記憶する。 The creation unit 44 shown in FIG. 7 creates electronic components on the board 4S specified by predetermined identification information based on mounting point position data, solder group position data, and component information specified by the same board identification information. Create onboard target position data including the onboard target position. The fourth storage unit 45 stores the mounting target position data created by the creation unit 44.

より具体的には、作成部44は、部品情報に含まれるセルフアライメント考慮フラグ64が「1」であり表面張力の影響を考慮する電子部品の場合は、実装点位置データとはんだ部群位置データとに基づいて搭載目標位置を定める。実装点位置データは、ランド群の位置を示し、はんだ部群位置データは、はんだ部群の位置を示す。また、作成部44は、部品情報に含まれるセルフアライメント考慮フラグ64が「0」であり表面張力の影響を考慮しない電子部品の場合は、実装点位置データに基づいて搭載目標位置を定める。このように、作成部44は、ランド群の位置(実装点位置データ)と、はんだ部群の位置(はんだ部群位置データ)とに基づいて、基板4S毎に搭載目標位置を定める搭載目標位置決定部として機能する。 More specifically, in the case of an electronic component in which the self-alignment consideration flag 64 included in the component information is "1" and the influence of surface tension is considered, the creation unit 44 creates mounting point position data and solder group position data. Determine the loading target position based on The mounting point position data indicates the position of the land group, and the solder part group position data indicates the position of the solder part group. Further, in the case of an electronic component in which the self-alignment consideration flag 64 included in the component information is "0" and the influence of surface tension is not considered, the creation unit 44 determines the mounting target position based on the mounting point position data. In this way, the creation unit 44 determines the mounting target position for each board 4S based on the position of the land group (mounting point position data) and the position of the solder part group (solder part group position data). Functions as a decision-making unit.

部品搭載装置M6、M7による部品搭載作業において、搭載制御部30は、はんだ部検査装置M5によるはんだ部群の位置の計測が済んだ基板4Sを搭載作業位置に位置させて、第2カメラ39によって基板4Sを撮影させる。これにより搭載制御部30は、基板4(基板4S)の基準マークの位置を検出し、検出した基準マークの位置と、基板識別情報に関連付けられた搭載目標位置データとに基づき、基板4Sが位置する搭載作業位置における電子部品の搭載目標位置を認識する。すなわち、搭載制御部30は、基板識別情報によって関連付けられたはんだ位置データと実装点位置データとを介して、基板4の基準マークに関連付けられた搭載目標位置を推定する。そして部品保持ノズル37bを制御して、この搭載目標位置を目標に電子部品を基板4Sに搭載する。 During the component mounting work by the component mounting devices M6 and M7, the mounting control unit 30 positions the board 4S, whose position of the solder parts has been measured by the solder part inspection device M5, at the mounting work position, and then uses the second camera 39 to The board 4S is photographed. Thereby, the mounting control unit 30 detects the position of the reference mark on the board 4 (board 4S), and based on the detected position of the reference mark and the mounting target position data associated with the board identification information, the mounting control unit 30 detects the position of the board 4S. Recognizes the target mounting position of electronic components at the mounting work position. That is, the mounting control unit 30 estimates the mounting target position associated with the reference mark on the board 4 via the solder position data and the mounting point position data that are associated with the board identification information. Then, the electronic component is mounted on the board 4S by controlling the component holding nozzle 37b, aiming at this mounting target position.

図7に示すように、さらに情報管理装置3は、第1の情報処理部46、第2の情報処理部47、第3の情報処理部48を含む。これらの情報処理部はそれぞれ、部品実装ライン1aのうちの特定の装置と通信可能に構成されて、その特定の装置との間で特定のデータを授受する。第1の情報処理部46は、はんだ部検査装置M5および部品搭載装置M6、M7と通信可能となっている。 As shown in FIG. 7, the information management device 3 further includes a first information processing section 46, a second information processing section 47, and a third information processing section 48. Each of these information processing units is configured to be able to communicate with a specific device in the component mounting line 1a, and exchanges specific data with the specific device. The first information processing unit 46 is capable of communicating with the solder part inspection device M5 and the component mounting devices M6 and M7.

すなわちはんだ部検査装置M5によって作成されたはんだ部群位置データは第1の情報処理部46に内部データとして記憶される。そして部品搭載装置M6、M7から対象とする基板4の識別情報が送られ、さらに実装点位置データが基板計測装置M3から送られることにより、第1の情報処理部46は作成部44の機能によって作成された搭載目標位置データを、部品搭載装置M6、M7に出力する。 That is, the solder group position data created by the solder part inspection device M5 is stored in the first information processing section 46 as internal data. Then, the identification information of the target board 4 is sent from the component mounting devices M6 and M7, and the mounting point position data is sent from the board measuring device M3, so that the first information processing section 46 uses the function of the creation section 44. The created mounting target position data is output to the component mounting devices M6 and M7.

第2の情報処理部47は、2台以上の部品搭載装置(ここでは部品搭載装置M6、M7の2台)および搭載済部品検査装置M8と通信可能となっている。第2の情報処理部47は、上述の2台以上の部品搭載装置のそれぞれで参照された搭載目標位置データを、搭載済部品検査装置M8へ提供する。また第3の情報処理部48は、同様に2台以上の部品搭載装置(ここでは部品搭載装置M6、M7の2台)および搭載済部品検査装置M8と通信可能となっている。そして第3の情報処理部48は、搭載済部品検査装置M8から出力された部品搭載ずれデータを、その部品搭載ずれデータに係る電子部品の搭載を実行した部品搭載装置に振り分けて提供する。 The second information processing unit 47 is capable of communicating with two or more component mounting devices (here, two component mounting devices M6 and M7) and a mounted component inspection device M8. The second information processing unit 47 provides the mounting target position data referenced by each of the two or more component mounting devices described above to the mounted component inspection device M8. Similarly, the third information processing section 48 can communicate with two or more component mounting devices (here, two component mounting devices M6 and M7) and the mounted component inspection device M8. The third information processing unit 48 then distributes and provides the component mounting deviation data output from the mounted component inspection device M8 to the component mounting device that has executed the mounting of the electronic component related to the component mounting deviation data.

なお、上述の第1の情報処理部46、第2の情報処理部47、第3の情報処理部48の構成および区分は任意である。例えば本実施の形態に示すように、第1の情報処理部46、第2の情報処理部47、第3の情報処理部48をそれぞれ専用の機能を有する単独の情報処理装置としてもよく、また第2の情報処理部47、第3の情報処理部48の機能をまとめて単一の情報処理装置としてもよい。さらに、第1の情報処理部46、第2の情報処理部47、第3の情報処理部48の機能を全てまとめて、全体で一つの情報処理装置を構成するようにしてもよい。 Note that the configuration and division of the first information processing section 46, second information processing section 47, and third information processing section 48 described above are arbitrary. For example, as shown in this embodiment, the first information processing section 46, the second information processing section 47, and the third information processing section 48 may each be a single information processing device having a dedicated function, or The functions of the second information processing section 47 and the third information processing section 48 may be combined into a single information processing device. Furthermore, the functions of the first information processing section 46, the second information processing section 47, and the third information processing section 48 may all be combined to form one information processing device as a whole.

情報管理装置3は通信ネットワーク2を介して部品搭載装置M6、M7のそれぞれの搭載制御部30と接続されている。搭載制御部30は搭載ヘッド37、ヘッド移動部38、基板搬送部35と接続されて、これらを制御する。また搭載制御部30には第1カメラ36、第2カメラ39による撮影結果が取り込まれる。 The information management device 3 is connected to the mounting control section 30 of each of the component mounting devices M6 and M7 via the communication network 2. The mounting control section 30 is connected to the mounting head 37, head moving section 38, and substrate transport section 35, and controls these. Further, the mounting control unit 30 receives the photographic results obtained by the first camera 36 and the second camera 39.

搭載制御部30は、内部処理機能として、基板認識部51、部品認識部52、処理部54、データ取得部55、算出部56、取得部57、データ出力部58を含む。さらに搭載制御部30は、内部メモリとしての第5記憶部53、第6記憶部55a、第7記憶部55b、第8記憶部55c、第9記憶部55d、第10記憶部57aを含む。 The mounting control section 30 includes a board recognition section 51, a component recognition section 52, a processing section 54, a data acquisition section 55, a calculation section 56, an acquisition section 57, and a data output section 58 as internal processing functions. Furthermore, the mounting control section 30 includes a fifth storage section 53, a sixth storage section 55a, a seventh storage section 55b, an eighth storage section 55c, a ninth storage section 55d, and a tenth storage section 57a as internal memories.

部品認識部52、基板認識部51は、それぞれ第1カメラ36、第2カメラ39によって取得された画像を認識処理する。これにより、基板認識部51は、基板搬送部35によって搬送されて基板下受け部34に位置保持された基板4S(基板4)の識別情報の検出、基準マーク、実装点の位置認識を行い、部品認識部52は、搭載ヘッド37に保持された状態の電子部品の識別や保持位置のずれの状態を検出する。 The component recognition unit 52 and the board recognition unit 51 perform recognition processing on images acquired by the first camera 36 and the second camera 39, respectively. Thereby, the board recognition unit 51 detects the identification information of the board 4S (board 4) transported by the board transport unit 35 and held in position on the board lower receiving part 34, and recognizes the position of the reference mark and mounting point. The component recognition unit 52 identifies the electronic component held by the mounting head 37 and detects the state of displacement of the holding position.

ここで図9A、図9Bを参照して、部品認識部52による、第1カメラ36によって撮影された電子部品の画像の処理について説明する。図9Aは、図6Aに示す部品保持ノズル37bが保持するチップ部品Pを第1カメラ36が撮影した画像36aを示している。部品情報に含まれる部品種類63(図8参照)が裏面端子部品Pbでない場合、部品認識部52は、画像36aを処理してチップ部品Pの外形形状を抽出する。そして、外形形状の中心をチップ部品Pの基準位置PCとして認識する。チップ部品Pの基準位置PCは、チップ部品Pを保持する部品保持ノズル37bの基準位置(例えば、部品保持ノズル37bの中心)を基準とする相対座標として取得される。部品認識部52は、この相対座標をノズル保持位置として内蔵する記憶部に一時的に記憶する。また、部品認識部52は、チップ部品Pの外形形状から水平面における角度も取得して、この角度も内蔵する記憶部に一時的に記憶する。 Here, with reference to FIGS. 9A and 9B, processing of an image of an electronic component taken by the first camera 36 by the component recognition unit 52 will be described. FIG. 9A shows an image 36a taken by the first camera 36 of the chip component P held by the component holding nozzle 37b shown in FIG. 6A. If the component type 63 (see FIG. 8) included in the component information is not the back terminal component Pb, the component recognition unit 52 processes the image 36a and extracts the external shape of the chip component P. Then, the center of the external shape is recognized as the reference position PC of the chip component P. The reference position PC of the chip component P is acquired as relative coordinates with respect to the reference position of the component holding nozzle 37b that holds the chip component P (for example, the center of the component holding nozzle 37b). The component recognition unit 52 temporarily stores this relative coordinate as a nozzle holding position in a built-in storage unit. The component recognition unit 52 also acquires an angle in a horizontal plane from the external shape of the chip component P, and temporarily stores this angle in a built-in storage unit.

図9Bは図6Bに示す部品保持ノズル37bが保持する裏面端子部品Pbを第1カメラ36が撮影した画像36bを示している。部品情報に含まれる部品種類63(図8参照)が裏面端子部品Pbである場合、部品認識部52は、画像36bを処理して裏面端子部品Pbの外形形状とバンプBとを抽出する。そして部品認識部52は、外形形状の中心を、裏面端子部品Pbの外形の基準位置PCb1として認識する。また部品認識部52は、複数のバンプBの幾何中心を、裏面端子部品Pbの端子群Bbの基準位置PCb2として認識する。 FIG. 9B shows an image 36b taken by the first camera 36 of the back terminal component Pb held by the component holding nozzle 37b shown in FIG. 6B. When the component type 63 (see FIG. 8) included in the component information is the back terminal component Pb, the component recognition unit 52 processes the image 36b and extracts the external shape and bumps B of the back terminal component Pb. The component recognition unit 52 then recognizes the center of the outer shape as the reference position PCb1 of the outer shape of the back terminal component Pb. The component recognition unit 52 also recognizes the geometric center of the plurality of bumps B as the reference position PCb2 of the terminal group Bb of the back terminal component Pb.

裏面端子部品Pbの端子群Bbの基準位置PCb2は、裏面端子部品Pbを保持する部品保持ノズル37bの基準位置を基準とする相対座標として取得される。部品認識部52は、この相対座標をノズル保持位置として、内蔵する記憶部に一時的に記憶する。また、部品認識部52は、複数のバンプBの配列から水平面における角度も取得して、この角度も内蔵する記憶部に一時的に記憶する。なお、基準位置PCb2は、端子群Bbを代表する一部の端子(バンプB)の位置に基づいて認識してもよい。例えば行列配列の端子群Bbの場合は、コーナー部に位置する端子の位置に基づいて端子群Bbの位置を求めてもよい。 The reference position PCb2 of the terminal group Bb of the back terminal component Pb is acquired as relative coordinates with respect to the reference position of the component holding nozzle 37b that holds the back terminal component Pb. The component recognition unit 52 temporarily stores these relative coordinates as the nozzle holding position in its built-in storage unit. The component recognition unit 52 also acquires the angle in the horizontal plane from the arrangement of the plurality of bumps B, and temporarily stores this angle in the built-in storage unit. Note that the reference position PCb2 may be recognized based on the positions of some terminals (bumps B) representing the terminal group Bb. For example, in the case of the terminal group Bb in a matrix arrangement, the position of the terminal group Bb may be determined based on the position of the terminal located at the corner portion.

図7に示すように、部品認識部52は、内部処理機能として部品計測部52aを含んでいる。部品計測部52aは、図9Bにおいて、部品認識部52が認識した裏面端子部品Pbの外形の基準位置PCb1と裏面端子部品Pbの端子群Bbの基準位置PCb2の偏差である裏面端子位置(ΔXc,ΔYc)を算出(計測)する。部品計測部52aは、裏面端子位置(ΔXc,ΔYc)を基板4の識別情報と部品情報に含まれる実装点番号61とに関連付けた裏面端子位置として第9記憶部55dに記憶させる。このように、部品計測部52aは、電子部品(裏面端子部品Pb)を基板4Sに搭載する前にその電子部品の端子群Bbと外形形状との位置関係(裏面端子位置)を計測する。 As shown in FIG. 7, the component recognition section 52 includes a component measurement section 52a as an internal processing function. In FIG. 9B, the component measurement unit 52a calculates the back terminal position (ΔXc, ΔYc) is calculated (measured). The component measuring unit 52a stores the back terminal position (ΔXc, ΔYc) in the ninth storage unit 55d as a back terminal position associated with the identification information of the board 4 and the mounting point number 61 included in the component information. In this way, the component measurement unit 52a measures the positional relationship (back terminal position) between the terminal group Bb and the external shape of the electronic component (back terminal component Pb) before mounting the electronic component on the board 4S.

なお、本実施の形態では、部品計測部52aは、部品搭載装置M6、M7が備える部品認識部52に含まれているが、部品計測部52aはこれに限定されることはない。例えば、第1カメラ36とは別に、部品計測用の第3カメラと第4カメラを部品搭載装置に配置し、第3カメラで得た裏面端子部品Pbの上面の画像と第4カメラで得た裏面の画像から裏面端子位置(ΔXc、ΔYc)を取得するように構成してもよい。また、部品計測部52aと部品を認識するカメラとを含む装置が、キャリアテープに裏面端子部品Pbを収納する前に裏面端子位置(ΔXc,ΔYc)を計測しておいてもよい。その場合、そのキャリアテープを部品搭載装置M6、M7に装着されたテープフィーダ33に取付ける際に、予め計測された裏面端子位置(ΔXc,ΔYc)を第9記憶部55dに記憶させてもよい。 In this embodiment, the component measuring section 52a is included in the component recognizing section 52 included in the component mounting devices M6 and M7, but the component measuring section 52a is not limited to this. For example, apart from the first camera 36, a third camera and a fourth camera for component measurement are arranged on the component mounting device, and an image of the top surface of the back terminal component Pb obtained by the third camera and an image obtained by the fourth camera are The configuration may be such that the back surface terminal positions (ΔXc, ΔYc) are acquired from the back surface image. Further, a device including the component measuring section 52a and a camera that recognizes components may measure the back terminal position (ΔXc, ΔYc) before storing the back terminal component Pb in the carrier tape. In that case, when attaching the carrier tape to the tape feeder 33 mounted on the component mounting devices M6 and M7, the back terminal positions (ΔXc, ΔYc) measured in advance may be stored in the ninth storage unit 55d.

図7に示すデータ取得部55は、基板計測装置M3からフィードフォワードされる実装点位置データを取得して、第6記憶部55aに記憶させる。実装点位置データは、基板計測装置M3から直接取得しても、情報管理装置3を介して取得してもよい。また、データ取得部55は、情報管理装置3の第3記憶部43に記憶されている部品情報を取得して、第7記憶部55bに記憶させる。部品情報は、実装基板の生産開始前に第7記憶部55bに記憶される。 The data acquisition unit 55 shown in FIG. 7 acquires the mounting point position data fed forward from the board measuring device M3 and stores it in the sixth storage unit 55a. The mounting point position data may be obtained directly from the board measuring device M3 or via the information management device 3. Furthermore, the data acquisition unit 55 acquires the component information stored in the third storage unit 43 of the information management device 3 and stores it in the seventh storage unit 55b. The component information is stored in the seventh storage unit 55b before the production of the mounting board starts.

また、データ取得部55は、情報管理装置3の作成部44によって作成された搭載目標位置データを取得して、第8記憶部55cに記憶させる。データ取得部55は、情報管理装置3から部品情報、搭載目標位置データを取得する際は、全ての部品搭載装置M6、M7に関する情報を一緒に取得しても、その装置に必要な情報のみを抽出して取得してもよい。 Furthermore, the data acquisition unit 55 acquires the loading target position data created by the creation unit 44 of the information management device 3, and stores it in the eighth storage unit 55c. When acquiring component information and mounting target position data from the information management device 3, the data acquisition unit 55 acquires only the information necessary for the device, even if it acquires information regarding all component mounting devices M6 and M7 together. It may be extracted and obtained.

図7に示す取得部57は、複数の部品搭載済基板4Mについて、搭載済部品検査装置M8で計測された電子部品の搭載ずれに関する部品搭載ずれデータを取得して、第10記憶部57aに記憶させる。この部品搭載ずれデータの取得において、2台以上の部品搭載装置で部品搭載ずれデータを取得する場合には、前述の第3の情報処理部48の機能が用いられる。すなわち第3の情報処理部48は、部品搭載ずれデータを、その部品搭載ずれデータに係る電子部品の搭載を実行した部品搭載装置に振り分けて提供する。 The acquisition unit 57 shown in FIG. 7 acquires component mounting deviation data regarding the mounting deviation of electronic components measured by the mounted component inspection device M8 for the plurality of component-mounted boards 4M, and stores the data in the tenth storage unit 57a. let In acquiring this component mounting deviation data, when acquiring component mounting deviation data using two or more component mounting apparatuses, the function of the third information processing section 48 described above is used. That is, the third information processing unit 48 distributes and provides the component mounting deviation data to the component mounting apparatus that has executed the mounting of the electronic component related to the component mounting deviation data.

算出部56は、第10記憶部57aが記憶する部品搭載ずれデータに基づいて、部品搭載装置M6、M7の経時変動に起因する電子部品の搭載ずれを補正するためのキャリブレーションデータを算出する。算出部56は、第7記憶部55bに記憶された部品情報に含まれるキャリブレーション対象フラグ65が「1」の電子部品に関してのみキャリブレーションデータを算出する。算出部56は、キャリブレーション対象フラグ65が「0」の電子部品に関してはキャリブレーションデータを算出しない。 The calculation unit 56 calculates calibration data for correcting the mounting deviation of electronic components caused by temporal fluctuations of the component mounting devices M6 and M7, based on the component mounting deviation data stored in the tenth storage unit 57a. The calculation unit 56 calculates calibration data only for electronic components for which the calibration target flag 65 included in the component information stored in the seventh storage unit 55b is “1”. The calculation unit 56 does not calculate calibration data for electronic components whose calibration target flag 65 is "0".

また、算出部56は、第10記憶部57aに所定枚数分(例えば10枚分)の部品搭載済基板4Mの部品搭載ずれデータが蓄積されると、キャリブレーションデータを算出する。すなわち、算出部56は、複数枚の部品搭載済基板4Mの搭載ずれに基づいて、キャリブレーションデータを算出する。 Further, the calculation unit 56 calculates calibration data when component mounting deviation data of a predetermined number (for example, 10) of component-mounted boards 4M is accumulated in the tenth storage unit 57a. That is, the calculation unit 56 calculates the calibration data based on the mounting deviation of the plurality of component-mounted boards 4M.

図7に示す処理部54は、基板搬送部35、搭載ヘッド37、ヘッド移動部38を制御してこれらに対し、搬入された基板4Sに電子部品を搭載する部品搭載処理を実行させる。部品搭載処理において参照される実装データなどの各種の生産関連データは、第5記憶部53に記憶されている。処理部54は、部品認識部52で認識されたノズル保持位置と、第8記憶部55cに記憶された搭載目標位置とに基づいて、部品保持ノズル37bに保持された電子部品が基板4Sの搭載目標位置に着地するように、ヘッド移動部38を制御する。 The processing section 54 shown in FIG. 7 controls the substrate transport section 35, the mounting head 37, and the head moving section 38 and causes them to perform a component mounting process of mounting electronic components on the loaded board 4S. Various production-related data such as mounting data referred to in the component mounting process are stored in the fifth storage unit 53. The processing unit 54 causes the electronic component held by the component holding nozzle 37b to be mounted on the board 4S based on the nozzle holding position recognized by the component recognition unit 52 and the mounting target position stored in the eighth storage unit 55c. The head moving unit 38 is controlled so as to land at the target position.

すなわち、部品保持ノズル37bが保持する電子部品がチップ部品Pの場合、処理部54(制御部)は、部品認識部52が認識した基準位置PCに基づいて、ヘッド移動部38を制御する。これにより、処理部54は、搭載ヘッド37を移動させて搭載ヘッド37に保持されたチップ部品Pを基板4(基板4S)に定められた搭載目標位置に搭載する。また、部品保持ノズル37bが保持する電子部品が裏面端子部品Pbの場合、処理部54(制御部)は、部品認識部52が認識した端子群Bbの基準位置PCb2(端子群の位置)に基づいてヘッド移動部38を制御する。これにより、処理部54は、搭載ヘッド37を移動させて搭載ヘッド37に保持された裏面端子部品Pbを基板4(基板4S)に定められた搭載目標位置に搭載する。 That is, when the electronic component held by the component holding nozzle 37b is a chip component P, the processing section 54 (control section) controls the head moving section 38 based on the reference position PC recognized by the component recognition section 52. Thereby, the processing unit 54 moves the mounting head 37 and mounts the chip component P held by the mounting head 37 at a predetermined mounting target position on the substrate 4 (substrate 4S). Further, when the electronic component held by the component holding nozzle 37b is a back terminal component Pb, the processing unit 54 (control unit) uses the reference position PCb2 (position of the terminal group) of the terminal group Bb recognized by the component recognition unit 52 to to control the head moving section 38. As a result, the processing unit 54 moves the mounting head 37 and mounts the back terminal component Pb held by the mounting head 37 at a predetermined mounting target position on the substrate 4 (substrate 4S).

その際、処理部54は、第7記憶部55bに記憶される部品情報に含まれるキャリブレーション対象フラグ65を参照する。キャリブレーション対象フラグ65が「1」の電子部品の部品搭載処理では、処理部54は、算出されたキャリブレーションデータを使用して、電子部品を搭載目標位置に搭載するときのヘッド移動部38による搭載ヘッド37の停止位置を補正する。これによって、部品搭載装置M6、M7の経時変動に起因する電子部品(チップ部品P、裏面端子部品Pb)の搭載ずれを精度良く補正することができる。 At this time, the processing unit 54 refers to the calibration target flag 65 included in the component information stored in the seventh storage unit 55b. In the component mounting process for an electronic component for which the calibration target flag 65 is "1", the processing unit 54 uses the calculated calibration data to control the head moving unit 38 when mounting the electronic component at the target mounting position. The stopping position of the mounting head 37 is corrected. Thereby, it is possible to accurately correct mounting deviations of electronic components (chip components P, back terminal components Pb) caused by changes over time in the component mounting devices M6 and M7.

図7に示すデータ出力部58は、搭載目標位置に関する部品搭載目標位置データを、基板4(基板4S)の基板識別情報と関連付けて出力する。部品搭載目標位置データは、部品の搭載ずれ計測の基準として搭載済部品検査装置M8で利用される。この部品搭載目標位置データの出力において、2台以上の部品搭載装置のそれぞれで参照された部品搭載目標位置データを出力の対象とする場合には、前述の第2の情報処理部47の機能が用いられる。すなわち、2台以上の部品搭載装置のそれぞれで参照された搭載目標位置データが、搭載済部品検査装置M8へ提供される。また、データ出力部58は、搭載目標位置データに裏面端子部品Pbの搭載目標位置を含む場合は、その搭載目標位置に搭載された裏面端子部品Pbの裏面端子位置(ΔXc,ΔYc)を搭載目標位置データに含めて搭載済部品検査装置M8、実装基板検査装置M10に出力する。 The data output unit 58 shown in FIG. 7 outputs component mounting target position data regarding the mounting target position in association with the board identification information of the board 4 (board 4S). The component mounting target position data is used by the mounted component inspection device M8 as a reference for measuring component mounting deviation. In outputting this component mounting target position data, when the component mounting target position data referenced by each of two or more component mounting devices is to be output, the function of the second information processing section 47 described above is used. That is, the mounting target position data referenced by each of the two or more component mounting devices is provided to the mounted component inspection device M8. In addition, when the mounting target position data includes the mounting target position of the back terminal component Pb, the data output unit 58 outputs the back terminal position (ΔXc, ΔYc) of the back terminal component Pb mounted at the mounting target position to the mounting target position. It is included in the position data and output to the mounted component inspection device M8 and the mounted board inspection device M10.

上記構成において、搭載ヘッド37、第2カメラ39、ヘッド移動部38、第1カメラ36、基板認識部51、部品認識部52、部品計測部52a、第5記憶部53、処理部54は、電子部品を搭載する作業を実行する搭載作業部を構成する。すなわち搭載作業部は、搭載ヘッド37による作業位置に位置する基板4の基準マークの位置を検出する。そして、検出した基準マークの位置と基板4の識別情報に関連付けられた搭載目標位置データに基づき、作業位置における電子部品の搭載目標位置を認識する。一方、部品保持ノズル37bが保持する電子部品の位置(ノズル保持位置)を認識し、この搭載目標位置を目標に部品保持ノズル37bにより電子部品を搭載する。 In the above configuration, the mounting head 37, the second camera 39, the head moving unit 38, the first camera 36, the board recognition unit 51, the component recognition unit 52, the component measurement unit 52a, the fifth storage unit 53, and the processing unit 54 are A loading work unit is configured to carry out the work of loading parts. That is, the mounting work unit detects the position of the reference mark on the substrate 4 located at the work position of the mounting head 37. Then, based on the position of the detected reference mark and the target mounting position data associated with the identification information of the board 4, the target mounting position of the electronic component at the work position is recognized. On the other hand, the position of the electronic component held by the component holding nozzle 37b (nozzle holding position) is recognized, and the electronic component is mounted by the component holding nozzle 37b aiming at this target mounting position.

なお、第1記憶部41~第10記憶部57aは書き換え可能なRAM(ランダムアクセスメモリ)やフラッシュメモリ等、ハードディスク等で構成されている。基板認識部51、部品認識部52、処理部54、データ取得部55、算出部56、所得部57、データ出力部58はCPU(中央演算処理装置)またはLSI(大規模集積回路)で構成されている。また情報管理装置3もCPUまたはLSIを含む。すなわち、作成部44、第1の情報処理部46~第3の情報処理部4は、CPUまたはLSIを含む。また、スクリーン印刷制御部10や、処理部20~20Cも上記の記憶装置(メモリ)やCPUなどのプロセッサを含む。記憶部以外の構成は専用回路で構成されていてもよく、汎用のハードウェアを、一過性または非一過性の記憶装置から読みだしたソフトウェアで制御して実現してもよい。またこれらの2つ以上を一体に構成してもよい。 Note that the first storage section 41 to the tenth storage section 57a are composed of a rewritable RAM (random access memory), a flash memory, or a hard disk. The board recognition section 51, the component recognition section 52, the processing section 54, the data acquisition section 55, the calculation section 56, the income section 57, and the data output section 58 are composed of a CPU (central processing unit) or an LSI (large scale integrated circuit). ing. Further, the information management device 3 also includes a CPU or an LSI. That is, the creation unit 44 and the first information processing unit 46 to the third information processing unit 4 include a CPU or an LSI. Further, the screen printing control section 10 and the processing sections 20 to 20C also include the above-mentioned storage device (memory) and a processor such as a CPU. The configuration other than the storage unit may be configured by a dedicated circuit, or may be implemented by controlling general-purpose hardware with software read from a temporary or non-transitory storage device. Moreover, two or more of these may be configured integrally.

次に、図10~図23を参照しながら、基板計測装置M3~実装基板検査装置M10のそれぞれにおける処理のフローおよびこれらの処理において実行される作業内容を説明する。ここでは、基板供給装置M1から供給されて基板識別情報付与装置M2によって識別情報である識別コードが付与された後の基板4を対象として、以下の処理が順次行われる。これらの処理は、部品保持ノズル37bが電子部品を保持して基板4Sの実装点に搭載する部品搭載装置における部品搭載方法と、部品搭載装置を使用した実装基板製造方法とを示している。以下、基板4Sにチップ部品Pと裏面端子部品Pbを搭載する例を説明する。 Next, with reference to FIGS. 10 to 23, the flow of processing in each of the board measurement device M3 to the mounted board inspection device M10 and the contents of the work performed in these processing will be described. Here, the following processes are sequentially performed on the substrate 4 that has been supplied from the substrate supply device M1 and has been given an identification code as identification information by the board identification information giving device M2. These processes show a component mounting method in a component mounting device in which the component holding nozzle 37b holds an electronic component and mounts it on a mounting point of the board 4S, and a mounting board manufacturing method using the component mounting device. An example in which a chip component P and a back terminal component Pb are mounted on the substrate 4S will be described below.

まず図10、図11を参照して、基板計測装置M3における処理について説明する。図10において、図4に示す基板搬送部22は、搬入された基板4を検査ヘッド24の直下に位置決めする(ST1)。次いで基準マークが計測される(ST2)。すなわち、基板4における基準マークをカメラ26が撮影し、取得された画像を処理部20が認識処理することにより基準マークの位置を検出する。なお、図11では基準マークの図示を省略している。 First, with reference to FIGS. 10 and 11, processing in the substrate measuring device M3 will be described. In FIG. 10, the substrate transport section 22 shown in FIG. 4 positions the loaded substrate 4 directly below the inspection head 24 (ST1). Next, the reference mark is measured (ST2). That is, the camera 26 photographs the reference mark on the substrate 4, and the processing section 20 performs recognition processing on the acquired image, thereby detecting the position of the reference mark. Note that in FIG. 11, illustration of the reference mark is omitted.

次いでランドが計測される(ST3)。すなわち、図11に示すように、電子部品のはんだ接合のために基板4に設けられたランドの位置および寸法を、図4に示すカメラ26が取得した画像に基づき、処理部20が計測する。図11は、設計データ上のチップ部品Pに対応するランド(L)および実装点(J)、裏面端子部品Pbに対応するランド群(Lb)および実装点(Jb)をそれぞれ破線で示している。また図11は、実際の基板4におけるチップ部品Pに対応するランドLおよび実装点J、裏面端子部品Pbに対応するランド群Lbおよび実装点Jbをそれぞれ実線で示している。 Next, the land is measured (ST3). That is, as shown in FIG. 11, the processing unit 20 measures the positions and dimensions of lands provided on the board 4 for soldering electronic components based on the image acquired by the camera 26 shown in FIG. In FIG. 11, the land (L) and mounting point (J) corresponding to the chip component P on the design data, and the land group (Lb) and mounting point (Jb) corresponding to the back terminal component Pb are shown by broken lines, respectively. . Furthermore, in FIG. 11, the land L and mounting point J corresponding to the chip component P on the actual board 4, and the land group Lb and mounting point Jb corresponding to the back terminal component Pb are shown by solid lines, respectively.

チップ部品Pの実装点Jは、実装点Jに実装されるチップ部品Pにはんだ接合する複数のランドLの位置によって定められる。一例として、チップ部品Pは、両端に接続端子を有する矩形型の角チップであり、チップ部品Pをはんだ接合する複数のランドのパターンとして1対のランドLが設けられている。この例では1対のランドLを結ぶ直線の中点が実装点Jとして定められている。 The mounting point J of the chip component P is determined by the positions of a plurality of lands L that are soldered to the chip component P mounted at the mounting point J. As an example, the chip component P is a rectangular square chip having connection terminals at both ends, and a pair of lands L are provided as a pattern of a plurality of lands to which the chip component P is soldered. In this example, the midpoint of the straight line connecting the pair of lands L is determined as the mounting point J.

裏面端子部品Pbの実装点Jbは、実装点Jbに実装される裏面端子部品Pbにはんだ接合する複数のランド(ランド群Lb)の位置によって定められる。この例では、複数のランドの幾何中心が実装点Jbとして定められている。ランドL、ランド群Lbの位置は製造過程における誤差などの要因により設計データ上のランド(L)の位置、ランド群(Lb)の位置とは一致せず、ずれている場合が多い。 The mounting point Jb of the back terminal component Pb is determined by the positions of a plurality of lands (land group Lb) that are soldered to the back terminal component Pb mounted at the mounting point Jb. In this example, the geometric centers of the plural lands are determined as the mounting point Jb. The positions of the land L and the land group Lb do not match and often deviate from the positions of the land (L) and the land group (Lb) on the design data due to factors such as errors in the manufacturing process.

次いで計測されたランドLの位置、ランド群Lbの位置に基づいて、処理部20は、実装点J、Jbの位置を計算する(図10のST4)。すなわち計測によって求められた1対のランドLのランド位置L1、L2を結ぶ直線の中点や、ランド群Lbの幾何中心を計算する。そして、計算された中点が実装点Jとして特定され、幾何中心が実装点Jbとして特定される。特定された実装点J、Jbの位置は、計測に供した基板4の識別情報と関連付けられて、実装点位置データとして通信ネットワーク2を介してアップロードされる(図10のST5)。 Next, based on the measured positions of the land L and the land group Lb, the processing unit 20 calculates the positions of the mounting points J and Jb (ST4 in FIG. 10). That is, the midpoint of the straight line connecting the land positions L1 and L2 of the pair of lands L determined by measurement and the geometric center of the land group Lb are calculated. Then, the calculated midpoint is specified as the mounting point J, and the geometric center is specified as the mounting point Jb. The positions of the identified mounting points J and Jb are associated with the identification information of the board 4 subjected to measurement, and are uploaded as mounting point position data via the communication network 2 (ST5 in FIG. 10).

アップロードされた実装点位置データは、下流の後工程装置にフィードフォワードされ、それぞれの装置において記憶される。例えば部品搭載装置M6、M7では、実装点位置データは、第6記憶部55aに記憶される。すなわち第6記憶部55aは、基板4を実測して得られた基板4の基準マークと実装点との位置関係に関する実装点位置データを、基板4を個別に識別する識別情報と関連付けて記憶する。この後、基板4は下流に搬出されて(図10のST6)、基板計測装置M3による処理を終了する。なお、本実施の形態では、基板計測装置M3が、実装点の位置の計算(ST4)とアップロード(ST5)を実施するが、基板計測装置M3以外の他装置(例えば、情報管理装置3)がST4とST5とを実施してもよい。 The uploaded mounting point position data is fed forward to downstream post-processing devices and stored in each device. For example, in the component mounting apparatuses M6 and M7, the mounting point position data is stored in the sixth storage unit 55a. That is, the sixth storage unit 55a stores mounting point position data regarding the positional relationship between the reference mark of the board 4 and the mounting point obtained by actually measuring the board 4 in association with identification information that individually identifies the board 4. . Thereafter, the substrate 4 is carried out downstream (ST6 in FIG. 10), and the processing by the substrate measuring device M3 is completed. In this embodiment, the board measuring device M3 calculates the position of the mounting point (ST4) and uploads (ST5), but other devices other than the board measuring device M3 (for example, the information management device 3) You may perform ST4 and ST5.

次に図12、図13を参照して、スクリーン印刷装置M4における処理について説明する。図12において、図2に示す第1コンベア15aに搬入された基板4は、第2コンベア15bに受け渡たされる。第2コンベア15bは、受け取った基板4をスクリーン印刷部16による印刷作業位置に位置決めする(ST11)。次いで、スクリーン印刷制御部10は、基板計測装置M3からフィードフォワードされた実装点位置データを取得する(図12のST12)。次にスクリーン印刷制御部10は、基板4を認識して、印刷作業位置における実装点J、Jbを認識する(図12のST13)。すなわち、基板4の基準マークを基板カメラ19bが撮影して印刷作業位置における基準マークの位置を検出する。そして検出された基準マークの位置と取得した実装点位置データに基づき、スクリーン印刷制御部10は、図13に示す印刷作業位置における実装点J、Jbを計算する。 Next, processing in the screen printing device M4 will be described with reference to FIGS. 12 and 13. In FIG. 12, the substrate 4 carried into the first conveyor 15a shown in FIG. 2 is delivered to the second conveyor 15b. The second conveyor 15b positions the received substrate 4 at a printing work position by the screen printing unit 16 (ST11). Next, the screen printing control unit 10 acquires the mounting point position data fed forward from the board measuring device M3 (ST12 in FIG. 12). Next, the screen printing control unit 10 recognizes the board 4 and recognizes the mounting points J and Jb at the printing work position (ST13 in FIG. 12). That is, the board camera 19b photographs the reference mark on the board 4 and detects the position of the reference mark at the printing work position. Then, based on the detected position of the reference mark and the acquired mounting point position data, the screen printing control unit 10 calculates mounting points J and Jb at the printing work position shown in FIG. 13.

図12に示すように、次いでスクリーンマスク18と基板4とが位置合わせされる(ST14)。すなわちマスクカメラ19a、基板カメラ19bが、それぞれスクリーンマスク18、基板4を撮影して位置認識し、位置認識結果に基づいて、スクリーン印刷制御部10は、第2コンベア15bを制御して、基板4をスクリーンマスク18に対して位置合わせする。これにより、基板4がスクリーンマスク18の下面に接触した状態で位置合わせされる。また、基板4を認識することで特定された実装点J、Jbに基づいて、スクリーン印刷制御部10が印刷ステージテーブル11aを制御する。これにより基板4のランドL、ランド群Lbとスクリーンマスク18のパターン孔とを精度よく一致させることができる。 As shown in FIG. 12, the screen mask 18 and the substrate 4 are then aligned (ST14). That is, the mask camera 19a and the board camera 19b respectively photograph the screen mask 18 and the board 4 and recognize their positions. Based on the position recognition results, the screen printing control unit 10 controls the second conveyor 15b to print the board 4. are aligned with respect to the screen mask 18. Thereby, the substrate 4 is aligned with the lower surface of the screen mask 18 in contact with it. Furthermore, the screen printing control unit 10 controls the printing stage table 11a based on the mounting points J and Jb specified by recognizing the board 4. This allows the lands L and land groups Lb of the substrate 4 to be aligned with the pattern holes of the screen mask 18 with high precision.

次いで、印刷が実行される(ST15)。すなわち図3に示すように、基板4をスクリーンマスク18の下面に当接させた状態で、スクリーン印刷制御部10は、はんだペーストが供給されたスクリーンマスク18の上面でスキージ17をスキージングさせる。これにより、スクリーンマスク18に形成されたパターン孔を介して基板4にはんだが印刷され、はんだ部が形成される(ST15)。このとき、図13に示すように、印刷により形成されるはんだ部S、Sbの位置は、基板4の上面のランドL、ランド群Lbの位置に正しく一致しているとは限らず、ランドL、ランド群Lbからずれている場合(はんだパターンずれ)がある。このはんだパターンずれは、次工程のはんだ部検査装置M5によるはんだ検査で計測される。 Next, printing is executed (ST15). That is, as shown in FIG. 3, with the substrate 4 in contact with the lower surface of the screen mask 18, the screen printing control unit 10 causes the squeegee 17 to squeeze the upper surface of the screen mask 18 to which the solder paste has been supplied. As a result, solder is printed on the substrate 4 through the pattern holes formed in the screen mask 18, and a solder portion is formed (ST15). At this time, as shown in FIG. 13, the positions of the solder parts S and Sb formed by printing do not necessarily correspond to the positions of the land L and land group Lb on the upper surface of the substrate 4, and the positions of the land L , there are cases where the solder pattern is shifted from the land group Lb (solder pattern shift). This solder pattern deviation is measured in the solder inspection by the solder part inspection device M5 in the next step.

このようにしてスクリーン印刷が完了した後には版離れが実行され、スクリーンマスク18と基板4とが分離される(図12のST16)。すなわち、スクリーン印刷制御部10は、印刷ステージ13に保持された基板4を印刷ステージ13とともに下降させることにより、基板4上に印刷されたはんだ部S、Sbをスクリーンマスク18のパターン孔から抜き出す。これにより、基板計測装置M3における処理が完了し、はんだ部形成済基板(以下、基板)4Sが完成する。その後、基板4Sは下流へ搬出される(図12のST17)。 After screen printing is completed in this manner, plate separation is performed to separate the screen mask 18 and the substrate 4 (ST16 in FIG. 12). That is, the screen printing control unit 10 lowers the substrate 4 held on the printing stage 13 together with the printing stage 13, thereby extracting the solder portions S and Sb printed on the substrate 4 from the pattern holes of the screen mask 18. As a result, the processing in the substrate measuring device M3 is completed, and a solder portion-formed substrate (hereinafter referred to as a substrate) 4S is completed. Thereafter, the substrate 4S is carried out downstream (ST17 in FIG. 12).

次に図14~図15Bを参照して、はんだ部検査装置M5における処理について説明する。図15Bは、図15Aに一点鎖線で示す領域Z1の拡大図である。図14に示すように、基板4Sが搬入された後、位置決めされる(ST21)。すなわち、図4に示すように、基板搬送部22に搬入された基板4Sが検査・計測作業位置に位置決めされる。次いで、はんだ部検査装置M5の処理部20Aは、基板計測装置M3からフィードフォワードされたランド計測データと実装点位置データを取得する(図14のST22)。 Next, with reference to FIGS. 14 to 15B, processing in the solder portion inspection apparatus M5 will be described. FIG. 15B is an enlarged view of region Z1 indicated by a dashed line in FIG. 15A. As shown in FIG. 14, after the substrate 4S is carried in, it is positioned (ST21). That is, as shown in FIG. 4, the substrate 4S carried into the substrate transport section 22 is positioned at the inspection/measurement work position. Next, the processing unit 20A of the solder part inspection device M5 acquires the land measurement data and the mounting point position data fed forward from the board measurement device M3 (ST22 in FIG. 14).

次いで、処理部20Aは、基板4Sを認識し、検査・計測作業位置におけるランド位置や実装点を認識する(図14のST23)。この際、カメラ26が、検査・計測作業位置に配置された基板4Sにおける基準マークの位置を検出する。そして検出された基準マークの位置と、取得されたランド計測データと実装点位置データとに基づき、処理部20Aは、図15A、図15Bに示すように、検査・計測作業位置における実際のランドL、ランド群Lbおよび実装点J、Jbを計算する。なお、はんだ部検査装置M5において実装点位置データの取得は必須ではなく省略してもよい。 Next, the processing unit 20A recognizes the board 4S and recognizes the land position and mounting point at the inspection/measurement work position (ST23 in FIG. 14). At this time, the camera 26 detects the position of the reference mark on the board 4S placed at the inspection/measurement work position. Based on the detected position of the reference mark, the acquired land measurement data, and the mounting point position data, the processing unit 20A determines the actual land L at the inspection/measurement work position, as shown in FIGS. 15A and 15B. , land group Lb and mounting points J, Jb are calculated. Note that the acquisition of mounting point position data in the solder part inspection device M5 is not essential and may be omitted.

次いではんだ部群の位置が計測される(図14のST24)。すなわち、カメラ26が、はんだ部形成済基板4Sを撮影して取得された画像を処理することにより、処理部20Aは、基板4に形成されたはんだ部S、Sbの群の位置(はんだパターン位置SP、SPb)や面積、3次元計測が可能な場合は体積を計測する。すなわちここでは、はんだ部形成工程によって基板4に形成されたはんだ部S、Sbの群の位置を計測して、基準マークとはんだ部S、Sbの群との位置関係を含むはんだ部群位置データを作成する。 Next, the positions of the solder parts are measured (ST24 in FIG. 14). That is, by processing the image acquired by the camera 26 photographing the board 4S on which the solder parts have been formed, the processing part 20A determines the position of the group of solder parts S and Sb formed on the board 4 (solder pattern position). SP, SPb), area, and volume if three-dimensional measurement is possible. That is, here, the position of the group of solder parts S and Sb formed on the substrate 4 in the solder part forming process is measured, and solder part group position data including the positional relationship between the reference mark and the group of solder parts S and Sb is obtained. Create.

図15Aにおいて、具体的には、処理部20Aは、チップ部品Pのはんだ部Sの位置S1、S2を結ぶ線分の中点を、はんだパターン位置SPとして算出する。さらに、実装点Jからのはんだパターン位置SPのX軸、Y軸におけるそれぞれの位置ずれをチップ部品Pのはんだパターンずれ(ΔX,ΔY)として算出する。図15Bにおいて、処理部20Aは、裏面端子部品Pbの複数のはんだ部Sbの幾何中心をはんだパターン位置SPbとして算出する。また、実装点Jbからのはんだパターン位置SPbのX軸、Y軸におけるそれぞれの位置ずれを裏面端子部品Pbのはんだパターンずれ(ΔXb,ΔYb)として算出する。なお、はんだパターン位置SPbの算出方法としては、はんだパターンを構成する全てのはんだ部Sbの位置から統計的求める方法や、一部のはんだ部Sbの位置から算出する方法があるが、いずれの方法を採用してもよい。 In FIG. 15A, specifically, the processing unit 20A calculates the midpoint of the line segment connecting the positions S1 and S2 of the solder portion S of the chip component P as the solder pattern position SP. Furthermore, the respective positional deviations of the solder pattern position SP from the mounting point J in the X-axis and Y-axis are calculated as the solder pattern deviations (ΔX, ΔY) of the chip component P. In FIG. 15B, the processing unit 20A calculates the geometric center of the plurality of solder portions Sb of the back terminal component Pb as the solder pattern position SPb. Further, the respective positional deviations of the solder pattern position SPb from the mounting point Jb in the X-axis and Y-axis are calculated as the solder pattern deviations (ΔXb, ΔYb) of the back terminal component Pb. The solder pattern position SPb can be calculated using either a statistical method based on the positions of all the solder parts Sb constituting the solder pattern or a method calculated from the positions of some solder parts Sb. may be adopted.

はんだパターンずれ(ΔX,ΔY)、(ΔXb,ΔYb)は、実装点J、Jbに対するはんだパターン位置SP、SPbの偏差を示している。すなわちはんだパターンずれは、本来、はんだ部S、Sbの群が形成されるべき位置と実際に形成されたはんだ部S、Sbの群の位置とのずれ量を示している。はんだ部S、SbがランドL、Lbに位置ずれなく形成されていれば、実装点J、Jbとはんだパターン位置SP、SPbとは同じ位置となり、はんだパターンずれ(ΔX,ΔY)、(ΔXb,ΔYb)もゼロとなる。逆に、はんだ部S、Sbの群とランドL、Lbの群との位置ずれが大きくなると、はんだパターンずれ(ΔX,ΔY)、(ΔXb,ΔYb)も大きくなる。 Solder pattern deviations (ΔX, ΔY) and (ΔXb, ΔYb) indicate deviations of solder pattern positions SP and SPb with respect to mounting points J and Jb. That is, the solder pattern deviation indicates the amount of deviation between the position where the group of solder parts S and Sb should originally be formed and the position of the group of solder parts S and Sb that are actually formed. If the solder parts S and Sb are formed on the lands L and Lb without positional deviation, the mounting points J and Jb and the solder pattern positions SP and SPb will be at the same position, and the solder pattern deviations (ΔX, ΔY), (ΔXb, ΔYb) also becomes zero. Conversely, as the positional deviation between the group of solder parts S and Sb and the group of lands L and Lb increases, the solder pattern deviations (ΔX, ΔY) and (ΔXb, ΔYb) also increase.

図14において、このようにして作成されたはんだ部群位置データは、個々の基板4Sの識別情報と関連付けられて、通信ネットワーク2を介して情報管理装置3にアップロードされ(ST25)、第2記憶部42に個々の基板4Sの識別情報と関連付けて記憶される。これにより、はんだ部検査装置M5における処理が完了し、基板4Sは下流へ搬出される(ST26)。 In FIG. 14, the solder group position data created in this way is associated with the identification information of each board 4S, is uploaded to the information management device 3 via the communication network 2 (ST25), and is stored in the second memory. It is stored in the unit 42 in association with the identification information of each board 4S. Thereby, the processing in the solder portion inspection device M5 is completed, and the substrate 4S is carried out downstream (ST26).

次に図16~図17Bを参照して、情報管理装置3における処理について説明する。図17Bは、図17Aに一点鎖線で示す領域Z2の拡大図である。図16に示すように、まず実装点位置データ、はんだ部群位置データ、部品情報が読み取られる(ST31)。すなわち、作成部44は、第1記憶部41に記憶されている実装点位置データと第2記憶部42に記憶されているはんだ部群位置データとを読み取る。また、作成部44は、第3記憶部43に記憶されている部品情報を読み取る。すなわち、作成部44は、融解したはんだ部の表面張力の影響を考慮するか否かの情報(図8に示すセルフアライメント考慮フラグ64)を含んだ部品情報を取得する。 Next, processing in the information management device 3 will be explained with reference to FIGS. 16 to 17B. FIG. 17B is an enlarged view of region Z2 indicated by a dashed line in FIG. 17A. As shown in FIG. 16, first, mounting point position data, solder group position data, and component information are read (ST31). That is, the creation unit 44 reads the mounting point position data stored in the first storage unit 41 and the solder group position data stored in the second storage unit 42. The creation unit 44 also reads component information stored in the third storage unit 43. That is, the creation unit 44 acquires component information including information (self-alignment consideration flag 64 shown in FIG. 8) as to whether or not the influence of the surface tension of the melted solder portion is to be considered.

なお、本実施の形態において作成部44は、はんだ部検査装置M5で計算されたはんだパターンずれ(ΔX,ΔY)、(ΔXb,ΔYb)を取得している。しかし、はんだ部検査装置M5が個々のはんだ部の位置の計測までしか実行しない場合は、作成部44がこれに代わってはんだパターンずれ(ΔX,ΔY)、(ΔXb,ΔYb)の計算を行ってもよい。すなわち、はんだ部検査装置M5は、個々のはんだ部の位置を含むはんだ部群位置データを、基板4Sの識別情報と関連付けて情報管理装置3にアップロードする。そして作成部44は、アップロードされたはんだ部群位置データに含まれる個々のはんだ部の位置を用いてはんだパターンずれを計算する。 Note that in the present embodiment, the creation unit 44 acquires the solder pattern deviations (ΔX, ΔY) and (ΔXb, ΔYb) calculated by the solder part inspection device M5. However, when the solder part inspection device M5 only measures the position of each solder part, the creation part 44 calculates the solder pattern deviations (ΔX, ΔY) and (ΔXb, ΔYb) instead. Good too. That is, the solder part inspection device M5 uploads solder part group position data including the positions of individual solder parts to the information management device 3 in association with the identification information of the board 4S. The creation unit 44 then calculates the solder pattern shift using the positions of the individual solder parts included in the uploaded solder part group position data.

次いで、搭載目標位置の計算が作成部44の処理機能により行われる(図16のST34)。搭載目標位置の算出方法は、算出対象の電子部品の部品情報に含まれるセルフアライメント考慮フラグ64によって切り替えられる。まず図8に示すセルフアライメント考慮フラグ64が「1」の場合、すなわちセルフアライメントを考慮する場合について説明する。図17Aに示すようにチップ部品Pの場合、作成部44は、実装点Jとはんだパターン位置SPとの中間に、基板4にチップ部品Pを搭載する場合の目標となる搭載目標位置MPを設定する。図17Bに示すように裏面端子部品Pbの場合、作成部44は、実装点Jbとはんだパターン位置SPbとの中間に、基板4に裏面端子部品Pbを搭載する場合の目標となる搭載目標位置MPbを設定する。 Next, calculation of the loading target position is performed by the processing function of the creation unit 44 (ST34 in FIG. 16). The method of calculating the mounting target position is switched by a self-alignment consideration flag 64 included in the component information of the electronic component to be calculated. First, a case where the self-alignment consideration flag 64 shown in FIG. 8 is "1", that is, a case where self-alignment is considered will be described. As shown in FIG. 17A, in the case of a chip component P, the creation unit 44 sets a mounting target position MP, which is a target when mounting the chip component P on the board 4, between the mounting point J and the solder pattern position SP. do. As shown in FIG. 17B, in the case of the back terminal component Pb, the creation unit 44 creates a mounting target position MPb, which is a target when mounting the back terminal component Pb on the board 4, between the mounting point Jb and the solder pattern position SPb. Set.

前述のように、セルフアライメントを考慮する場合とは、融解したはんだの表面張力の影響を考慮する場合である。この場合、作成部44は、同一の基板識別情報で特定される実装点位置データとはんだ部群位置データとに基づいて、その識別情報で特定される基板4Sにおける搭載目標位置MP、MPbを定める。実装点位置データとは、ランドL、ランド群Lbの位置であり、はんだ部群位置データとは、はんだ部S、Sbのはんだパターン位置SP、SPbである。なお作成部44は、リフロー装置M9によるリフロー過程におけるはんだ溶融による部品の挙動などを考慮して、実装点J、Jbとはんだパターン位置SP、SPbとの間に搭載目標位置MP、MPbを適宜設定する。ここに示す例では、実装点J、Jbとはんだパターン位置SP、SPbとの略中間位置に搭載目標位置MP、MPbが設定されている。 As mentioned above, the case where self-alignment is considered is the case where the influence of the surface tension of the molten solder is considered. In this case, the creation unit 44 determines the mounting target positions MP and MPb on the board 4S specified by the identification information, based on the mounting point position data and the solder group position data specified by the same board identification information. . The mounting point position data is the position of the land L and the land group Lb, and the solder part group position data is the solder pattern positions SP and SPb of the solder parts S and Sb. Note that the creation unit 44 appropriately sets mounting target positions MP and MPb between the mounting points J and Jb and the solder pattern positions SP and SPb, taking into account the behavior of the components due to solder melting during the reflow process by the reflow device M9. do. In the example shown here, the mounting target positions MP, MPb are set at substantially intermediate positions between the mounting points J, Jb and the solder pattern positions SP, SPb.

前述のように、セルフアライメント考慮フラグ64が「0」の場合とは、セルフアライメントを考慮しない場合である。この場合、作成部44は、実装点位置データによって与えられる実装点J、Jbを搭載目標位置MP、MPbに設定する。すなわち、セルフアライメントを考慮しない場合、作成部44は、はんだ部群位置データ(はんだ部S、Sb)を考慮せず、同一の基板識別情報で特定される実装点位置データ(ランドL、ランド群Lbの位置)に基づいて、その識別情報で特定される基板4Sにおける搭載目標位置MP、MPbを定める。設定された搭載目標位置MP、MPbは個々の基板4(基板4S)の識別情報と関連付けられて、搭載目標位置データとして第4記憶部45に記憶される(図16のST35)。 As described above, the case where the self-alignment consideration flag 64 is "0" means that self-alignment is not considered. In this case, the creation unit 44 sets the mounting points J and Jb given by the mounting point position data as the mounting target positions MP and MPb. That is, when self-alignment is not considered, the creation unit 44 does not take into account the solder part group position data (solder parts S, Sb), and creates the mounting point position data (land L, land group) specified by the same board identification information. Based on the position of Lb), the target mounting positions MP and MPb on the board 4S specified by the identification information are determined. The set target mounting positions MP and MPb are associated with the identification information of each board 4 (substrate 4S) and stored in the fourth storage unit 45 as target mounting position data (ST35 in FIG. 16).

次に図18、図19を参照して、部品搭載装置M6における処理について説明する。なお、部品搭載装置M7の処理も同じなのでここでは部品搭載装置M6の処理についてのみ説明する。図18に示すように、まず基板4Sが部品搭載装置M6に搬入され、位置決めされる(ST41)。すなわち図5に示す基板搬送部35は、上流の装置であるはんだ部検査装置M5から基板4Sを受け取って、搭載ヘッド37の部品保持ノズル37bによる部品搭載の作業位置に位置させる。 Next, processing in the component mounting device M6 will be described with reference to FIGS. 18 and 19. Note that since the processing of the component mounting device M7 is the same, only the processing of the component mounting device M6 will be described here. As shown in FIG. 18, the board 4S is first carried into the component mounting device M6 and positioned (ST41). That is, the board transfer unit 35 shown in FIG. 5 receives the board 4S from the solder part inspection device M5, which is an upstream device, and positions it at a work position for mounting the component by the component holding nozzle 37b of the mounting head 37.

次に、搭載制御部30は、実装点位置データを取得する(図18のST42)。すなわち図7に示すデータ取得部55は、基板計測装置M3での実測によって得られた基板4の基準マークと実装点との位置関係に関する実装点位置データを取得する。なお、実装点位置データの取得のタイミングは特に限定されず、基板4Sが作業位置に到達する以前であればどのタイミングでもよい。さらに、部品搭載装置M6において実装点位置データの取得は必須ではなく省略してもよい。 Next, the mounting control unit 30 acquires mounting point position data (ST42 in FIG. 18). That is, the data acquisition unit 55 shown in FIG. 7 acquires mounting point position data regarding the positional relationship between the reference mark on the board 4 and the mounting point obtained by actual measurement with the board measuring device M3. Note that the timing of acquiring the mounting point position data is not particularly limited, and may be any timing before the board 4S reaches the work position. Furthermore, acquisition of mounting point position data in the component mounting apparatus M6 is not essential and may be omitted.

次に搭載制御部30は、搭載目標位置データを取得する(図18のST43)。すなわちデータ取得部55は、情報管理装置3によって作成された搭載目標位置データを取得する。次に搭載制御部30は、部品搭載ずれデータを更新し、キャリブレーションデータを算出する(図18のST44。すなわち、ST44では、搭載制御部30は、搭載済部品検査装置M8で計測された最新の部品搭載ずれデータを取得して更新するとともに、更新した複数枚数の基板4の搭載ずれに基づいて、図7に示す算出部56により、経時変動に起因する電子部品の搭載ずれを補正するためのキャリブレーションデータを算出する。 Next, the loading control unit 30 acquires loading target position data (ST43 in FIG. 18). That is, the data acquisition unit 55 acquires the mounting target position data created by the information management device 3. Next, the mounting control unit 30 updates the component mounting deviation data and calculates the calibration data (ST44 in FIG. 18. That is, in ST44, the mounting control unit 30 updates the In order to obtain and update the component mounting deviation data of , and to correct the mounting deviation of electronic components due to changes over time using the calculation unit 56 shown in FIG. 7 based on the updated mounting deviation of the plurality of boards 4. Calculate the calibration data for.

図18において、次に基板認識が実行され、搭載作業位置における部品の搭載目標位置が認識される(ST45)。基板認識では認識によって検出された基準マークの位置と、搭載目標位置データによって与えられる基準マークと搭載目標位置との位置関係とに基づいて、搭載作業位置における搭載目標位置MP、MPbが計算される。この計算は情報管理装置3の作成部44によって実行される。次いで搭載制御部30は、搭載ヘッド37を制御して電子部品(チップ部品P、裏面端子部品Pb)の上面(第一の面)を保持する。そして、第1カメラ36に、搭載ヘッド37に保持された電子部品の裏面(第二の面)を撮影させる。 In FIG. 18, board recognition is then executed, and the target mounting position of the component at the mounting work position is recognized (ST45). In board recognition, the mounting target positions MP and MPb at the mounting work position are calculated based on the position of the reference mark detected by recognition and the positional relationship between the reference mark and the mounting target position given by the mounting target position data. . This calculation is executed by the creation unit 44 of the information management device 3. Next, the mounting control unit 30 controls the mounting head 37 to hold the upper surface (first surface) of the electronic component (chip component P, back terminal component Pb). Then, the first camera 36 is caused to photograph the back surface (second surface) of the electronic component held by the mounting head 37.

部品認識部52は、撮影された画像を処理して、図19に示すチップ部品Pの基準位置PCと、裏面端子部品Pbの外形の基準位置PCb1と端子群Bbの基準位置PCb2とを認識する(図18のST46)。さらに、部品情報に含まれる部品種類63が裏面端子部品Pbの場合、部品計測部52aは、裏面端子部品Pbの外形の基準位置PCb1と、端子群の基準位置PCb2との偏差(ΔXc,ΔYc)を算出(計測)する(図18のST47)。この偏差は、裏面端子部品Pbの端子群Bbと外形形状との位置関係を示し、裏面端子位置と称する。算出された裏面端子位置(ΔXc,ΔYc)は、裏面端子位置データとして第9記憶部55dに記憶される。 The component recognition unit 52 processes the photographed image and recognizes the reference position PC of the chip component P shown in FIG. 19, the reference position PCb1 of the outer shape of the back terminal component Pb, and the reference position PCb2 of the terminal group Bb. (ST46 in FIG. 18). Further, when the component type 63 included in the component information is a back terminal component Pb, the component measuring unit 52a calculates the deviation (ΔXc, ΔYc) between the reference position PCb1 of the outer shape of the back terminal component Pb and the reference position PCb2 of the terminal group. is calculated (measured) (ST47 in FIG. 18). This deviation indicates the positional relationship between the terminal group Bb and the outer shape of the back terminal component Pb, and is referred to as a back terminal position. The calculated back surface terminal positions (ΔXc, ΔYc) are stored in the ninth storage unit 55d as back surface terminal position data.

この後、部品搭載が実行される(図18のST48)。ST48においては、処理部54がヘッド移動部38と搭載ヘッド37とを制御して、電子部品(チップ部品P、裏面端子部品Pb)を基板4Sに搭載する。その際、図19に示すように、チップ部品Pの基準位置PC、裏面端子部品Pbの端子群Bbの基準位置PCb2が搭載目標位置MP、MPbに一致するように。ヘッド移動部38が制御される。すなわち、処理部54は、認識された端子群Bbの位置(基準位置PCb2)に基づいて、搭載ヘッド37を移動させて搭載ヘッド37に保持された裏面端子部品Pbを、基板4に定められた搭載目標位置MPbに搭載する。 After this, component mounting is executed (ST48 in FIG. 18). In ST48, the processing section 54 controls the head moving section 38 and the mounting head 37 to mount the electronic components (chip component P, back terminal component Pb) on the substrate 4S. At this time, as shown in FIG. 19, the reference position PC of the chip component P and the reference position PCb2 of the terminal group Bb of the back terminal component Pb are made to coincide with the mounting target positions MP and MPb. The head moving unit 38 is controlled. That is, the processing unit 54 moves the mounting head 37 based on the recognized position of the terminal group Bb (reference position PCb2), and moves the back terminal component Pb held by the mounting head 37 to the position defined on the board 4. It is loaded at the loading target position MPb.

その際、部品情報に含まれるキャリブレーション対象フラグ65が「1」のチップ部品Pを基板4Sに搭載する場合には、キャリブレーションデータを使用して、チップ部品Pを搭載目標位置MPに搭載するときのヘッド移動部38による搭載ヘッド37の停止位置が補正される。同様に、部品情報に含まれるキャリブレーション対象フラグ65が「1」の裏面端子部品Pbを基板4Sに搭載する場合には、キャリブレーションデータを使用して、裏面端子部品Pbを搭載目標位置MPbに搭載するときのヘッド移動部38による搭載ヘッド37の停止位置が補正される。また、キャリブレーション対象フラグ65が「0」のチップ部品Pは、キャリブレーションデータを使用せずに、搭載目標位置MPにチップ部品Pの基準位置PCが一致するように搭載される。キャリブレーション対象フラグ65が「0」の裏面端子部品Pbは、キャリブレーションデータを使用せずに、搭載目標位置MPbに裏面端子部品Pbの端子群Bbの基準位置PCb2が一致するように搭載される。これによって、部品搭載装置M6の経時変動に起因する裏面端子部品Pbの搭載ずれを精度良く補正することができる。 At that time, when mounting a chip component P whose calibration target flag 65 included in the component information is "1" on the board 4S, the chip component P is mounted at the mounting target position MP using the calibration data. The stop position of the mounting head 37 by the head moving unit 38 at this time is corrected. Similarly, when mounting a back terminal component Pb whose calibration target flag 65 included in the component information is "1" on the board 4S, the calibration data is used to move the back terminal component Pb to the mounting target position MPb. The stopping position of the mounting head 37 by the head moving section 38 during mounting is corrected. Further, the chip component P whose calibration target flag 65 is "0" is mounted so that the reference position PC of the chip component P matches the mounting target position MP without using the calibration data. The back terminal component Pb whose calibration target flag 65 is "0" is mounted without using calibration data so that the reference position PCb2 of the terminal group Bb of the back terminal component Pb matches the mounting target position MPb. . As a result, it is possible to accurately correct the mounting deviation of the back terminal component Pb due to changes over time in the component mounting device M6.

部品搭載装置M6による電子部品の搭載が全て完了したら、データ出力部58は、使用された搭載目標位置データと算出された裏面端子位置とをアップロードする(図18のST49)。アップロードされた搭載目標位置データと裏面端子位置とは、搭載済部品検査装置M8、実装基板検査装置M10に送られる。このアップロードにより、部品搭載装置M6、M7にて搭載の目標として使用された搭載目標位置MPbと計測された裏面端子位置(ΔXc,ΔYc)とが、搭載済部品検査装置M8の搭載位置ずれ計測、実装基板検査装置M10の実装位置ずれ検査に利用される。その後、部品搭載済基板(以下、基板)4Mが搬出され(図18のST50)、部品搭載装置M6、M7による処理を終了する。 When the mounting of all electronic components by the component mounting device M6 is completed, the data output unit 58 uploads the used mounting target position data and the calculated back surface terminal position (ST49 in FIG. 18). The uploaded mounting target position data and back surface terminal positions are sent to the mounted component inspection device M8 and the mounted board inspection device M10. By this upload, the mounting target position MPb used as the mounting target in the component mounting devices M6 and M7 and the measured back terminal position (ΔXc, ΔYc) are changed to the mounting position deviation measurement of the mounted component inspection device M8. It is used for the mounting position deviation inspection of the mounting board inspection apparatus M10. Thereafter, the component-mounted board (hereinafter referred to as a board) 4M is carried out (ST50 in FIG. 18), and the processing by the component mounting devices M6 and M7 is completed.

次に図20~図21Bを参照して、図4に示す搭載済部品検査装置M8における処理について説明する。図21Bは、図21Aに一点鎖線で示す領域Z3の拡大図である。図20に示すように、図4に示す基板搬送部22は、基板4Mを搭載済部品検査装置M8に搬入し、検査・計測作業位置に位置決めする(ST51)。次いで、処理部20Bは、基板計測装置M3からフィードフォワードされた実装点位置データを取得し(図20のST52)、さらに部品搭載装置M6、M7のデータ出力部58から出力された搭載目標位置データ、裏面端子位置を取得する(図20のST53)。 Next, with reference to FIGS. 20 to 21B, processing in the mounted component inspection apparatus M8 shown in FIG. 4 will be described. FIG. 21B is an enlarged view of region Z3 indicated by a dashed line in FIG. 21A. As shown in FIG. 20, the board transport section 22 shown in FIG. 4 carries the board 4M into the mounted component inspection apparatus M8, and positions it at the inspection/measurement work position (ST51). Next, the processing unit 20B acquires the mounting point position data fed forward from the board measuring device M3 (ST52 in FIG. 20), and further acquires the mounting target position data output from the data output unit 58 of the component mounting devices M6 and M7. , acquires the rear surface terminal position (ST53 in FIG. 20).

次に処理部20Bは、基板認識を実行して検査・計測作業位置における実装点J、Jbと搭載目標位置を認識する(図20のST54)。基板認識では、図4に示すカメラ26が基板4Mにおける基準マークを撮影して、検査・計測作業位置における基準マークの位置を検出する。そして検出された基準マークの位置と取得された実装点位置データとに基づき、処理部20Bは、検査・計測作業位置における実装点J、Jbの位置を計算する。また、検出された基準マークの位置と取得された搭載目標位置データに基づき、処理部20Bは、検査・計測作業位置における搭載目標位置MP、MPbを計算する。 Next, the processing unit 20B executes board recognition to recognize the mounting points J and Jb at the inspection/measurement work position and the mounting target position (ST54 in FIG. 20). In board recognition, the camera 26 shown in FIG. 4 photographs the reference mark on the board 4M, and detects the position of the reference mark at the inspection/measurement work position. Based on the detected position of the reference mark and the acquired mounting point position data, the processing unit 20B calculates the positions of the mounting points J and Jb at the inspection/measurement work position. Further, based on the detected position of the reference mark and the acquired mounting target position data, the processing unit 20B calculates the mounting target positions MP and MPb at the inspection/measurement work position.

次いで、処理部20Bは、搭載済部品位置を計測する(図20のST55)。ここでは図21A、図21Bに示すように、処理部20Bは、まず部品搭載装置M6、M7によって搭載された搭載済チップ部品P*、搭載済裏面端子部品Pb*のそれぞれの外形中心の位置を示す部品中心PC*、PCb1*を求める。そしてこの計測結果に基づき、部品搭載ずれを計算する(図20のST56)。 Next, the processing unit 20B measures the mounted component position (ST55 in FIG. 20). Here, as shown in FIGS. 21A and 21B, the processing unit 20B first determines the center position of each of the mounted chip components P* and the mounted back terminal components Pb* mounted by the component mounting devices M6 and M7. Find the component center PC* and PCb1* shown. Then, based on this measurement result, component mounting deviation is calculated (ST56 in FIG. 20).

搭載済チップ部品P*の場合、図21Aに示すように、処理部20Bは、搭載目標位置MPと部品中心PC*との偏差を、搭載ずれ(ΔX*,ΔY*)として求める。なお、搭載目標位置MPは、部品搭載装置M6、M7からフィードフォワードされた搭載目標位置データによって処理部20Bに与えられる。すなわち処理部20Bは、部品搭載装置M6、M7によるST48によりチップ部品Pが搭載された部品搭載済基板4Mについて、搭載済チップ部品P*の搭載ずれ(ΔX*,ΔY*)を計測(検査)する。 In the case of a mounted chip component P*, as shown in FIG. 21A, the processing unit 20B calculates the deviation between the mounting target position MP and the component center PC* as a mounting deviation (ΔX*, ΔY*). Note that the mounting target position MP is given to the processing unit 20B based on the mounting target position data fed forward from the component mounting devices M6 and M7. That is, the processing unit 20B measures (inspects) the mounting deviation (ΔX*, ΔY*) of the mounted chip component P* on the component-mounted board 4M on which the chip component P is mounted in ST48 by the component mounting devices M6 and M7. do.

搭載済裏面端子部品Pb*の場合、図21Bに示すように、処理部20Bは、部品中心PCb1*と、裏面端子位置(ΔXc,ΔYc)とに基づき、搭載済裏面端子部品Pb*の端子群(複数のバンプB*)の基準位置PCb2*を求める。部品中心PCb1*は、計測された搭載済裏面端子部品Pb*の外形中心の位置を示す。また裏面端子位置(ΔXc,ΔYc)は、部品搭載装置M6、M7からフィードフォワードされている。さらに処理部20Bは、搭載目標位置MPbと搭載済裏面端子部品Pb*の端子群Bbの基準位置PCb2*との偏差を、搭載ずれ(ΔXb*,ΔYb*)として算出する。搭載目標位置MPbは、部品搭載装置M6、M7からフィードフォワードされた搭載目標位置データによって処理部20Bに与えられる。 In the case of the mounted back terminal component Pb*, as shown in FIG. 21B, the processing unit 20B divides the terminal group of the mounted back terminal component Pb* based on the component center PCb1* and the back terminal positions (ΔXc, ΔYc). A reference position PCb2* of (a plurality of bumps B*) is determined. The component center PCb1* indicates the position of the measured outer center of the mounted back terminal component Pb*. Further, the rear surface terminal positions (ΔXc, ΔYc) are feedforwarded from the component mounting devices M6 and M7. Further, the processing unit 20B calculates the deviation between the mounting target position MPb and the reference position PCb2* of the terminal group Bb of the mounted back terminal component Pb* as a mounting deviation (ΔXb*, ΔYb*). The target mounting position MPb is given to the processing unit 20B based on the target mounting position data fed forward from the component mounting devices M6 and M7.

すなわち処理部20Bは、裏面端子部品Pbが搭載された基板4Mの外観を検査する。そして、計測された搭載済裏面端子部品Pb*の外形形状から定まる部品中心PCb1*と、裏面端子部品Pbの端子群Bbと外形形状との位置関係(裏面端子位置(ΔXc,ΔYc))から搭載ずれ(ΔXb*,ΔYb*)を計測(検査)する。なお、搭載済裏面端子部品Pb*の外形形状から定まる位置は、部品中心PCb1*に限定されず、所定の部分の位置であればよい。例えば、裏面端子部品Pbの四隅のうちの所定の1つの位置でもよい。 That is, the processing unit 20B inspects the appearance of the board 4M on which the back terminal component Pb is mounted. Then, mounting is performed based on the positional relationship between the component center PCb1* determined from the measured external shape of the mounted back terminal component Pb* and the terminal group Bb of the back terminal component Pb and the external shape (back terminal position (ΔXc, ΔYc)). Measure (inspect) the deviation (ΔXb*, ΔYb*). Note that the position determined from the external shape of the mounted back terminal component Pb* is not limited to the component center PCb1*, but may be any position in a predetermined portion. For example, it may be located at one predetermined position among the four corners of the back terminal component Pb.

次いで処理部20Bは、搭載ずれを基板4Mの識別情報と部品情報に含まれる実装点番号61とに関連付けて、部品搭載ずれデータとしてアップロードする(図20のST57)。この後、基板搬送部22が基板4Mを下流へ搬出して(図20のST58)、搭載済部品検査装置M8における処理を完了する。ST57においてアップロードされた部品搭載ずれデータは部品搭載装置M6、M7にフィードバックされ、算出部56によるキャリブレーションデータの算出(図18のST44)に用いられる。すなわち部品搭載装置M6、M7は、複数の部品搭載済基板4Mについて搭載済部品検査装置M8で計測された電子部品(チップ部品P、裏面端子部品Pb)の搭載ずれに関する部品搭載ずれデータを取得する。 Next, the processing unit 20B associates the mounting deviation with the identification information of the board 4M and the mounting point number 61 included in the component information, and uploads it as component mounting deviation data (ST57 in FIG. 20). Thereafter, the board transport unit 22 transports the board 4M downstream (ST58 in FIG. 20), completing the processing in the mounted component inspection device M8. The component mounting deviation data uploaded in ST57 is fed back to the component mounting devices M6 and M7, and used for calculation of calibration data by the calculation unit 56 (ST44 in FIG. 18). That is, the component mounting devices M6 and M7 acquire component mounting deviation data regarding the mounting deviation of electronic components (chip components P, back terminal components Pb) measured by the mounted component inspection device M8 on the plurality of component-mounted boards 4M. .

そして部品搭載装置M6、M7のそれぞれの算出部56は、取得した電子部品の搭載ずれに関する部品搭載ずれデータを基にキャリブレーションデータを計算する(図18のST44)。すなわち本実施の形態において経時変動に起因する電子部品の搭載ずれを補正するためのキャリブレーションデータは、複数の部品搭載済基板4Mについて搭載済部品検査装置M8で計測された電子部品の搭載ずれに関するデータを基に計算される。 Then, the calculation units 56 of each of the component mounting devices M6 and M7 calculate calibration data based on the acquired component mounting deviation data regarding the mounting deviation of the electronic component (ST44 in FIG. 18). In other words, in this embodiment, the calibration data for correcting the mounting misalignment of electronic components due to changes over time is related to the mounting misalignment of electronic components measured by the mounted component inspection device M8 on a plurality of component-mounted boards 4M. Calculated based on data.

なお本実施の形態のように部品実装ライン1aに2台以上の部品搭載装置M6、M7を有する場合には、これら複数の部品搭載装置でそれぞれキャリブレーションデータが算出される。そして前述の搭載済部品の位置の計測(図20のST55)においては、各部品搭載装置で参照された搭載目標位置データが搭載ずれ計測の基準として使用される。また2台以上の部品搭載装置で前述の部品搭載(図18のST48)を実行する場合には、図20のST55で計測された搭載ずれデータを、その部品搭載ずれに係る電子部品を搭載した部品搭載装置に振り分けて、提供する。 Note that when the component mounting line 1a has two or more component mounting apparatuses M6 and M7 as in this embodiment, calibration data is calculated for each of these plurality of component mounting apparatuses. In the measurement of the position of the mounted component described above (ST55 in FIG. 20), the mounting target position data referenced by each component mounting device is used as a reference for measuring the mounting deviation. In addition, when performing the above-mentioned component mounting (ST48 in Fig. 18) using two or more component mounting devices, the mounting deviation data measured in ST55 in Fig. Distribute and provide to parts mounting equipment.

次に図22、図23を参照して、図4に示す実装基板検査装置M10における処理について説明する。実装基板検査装置M10は、リフロー装置M9におけるリフローによってはんだ接合された状態の実装済電子部品(実装済チップ部品P*、実装済裏面端子部品Pb*)の位置を含む実装状態の良否を検査する。図22に示すように、図4に示す基板搬送部22は、実装基板4Fを実装基板検査装置M10に搬入し、検査・計測作業位置に位置決めする(ST61)。次いで、処理部20Cは、基板計測装置M3からフィードフォワードされた実装点位置データ、部品搭載装置M6、M7のデータ出力部58から出力された裏面電極位置を取得する(図22のST62)。 Next, with reference to FIGS. 22 and 23, processing in the mounted board inspection apparatus M10 shown in FIG. 4 will be described. The mounted board inspection device M10 inspects the quality of the mounting state including the position of the mounted electronic components (mounted chip components P*, mounted back terminal components Pb*) that are soldered together by reflow in the reflow device M9. . As shown in FIG. 22, the board transport section 22 shown in FIG. 4 carries the mounted board 4F into the mounted board inspection apparatus M10, and positions it at an inspection/measurement work position (ST61). Next, the processing unit 20C acquires the mounting point position data fed forward from the board measuring device M3 and the back electrode positions output from the data output units 58 of the component mounting devices M6 and M7 (ST62 in FIG. 22).

次に処理部20Cは、基板認識を実行して検査・計測作業位置における実装点J、Jbを認識する(図22のST63)。基板認識では、図4に示すカメラ26が実装基板4Fにおける基準マークを撮影して、検査・計測作業位置における基準マークの位置を検出する。そして検出された基準マークの位置と取得された実装点位置データとに基づき、処理部20Cは、検査・計測作業位置における実装点J、Jbの位置を計算する。次いで実装基板4Fを検査する(図22のST64)。 Next, the processing unit 20C executes board recognition and recognizes the mounting points J and Jb at the inspection/measurement work position (ST63 in FIG. 22). In board recognition, the camera 26 shown in FIG. 4 photographs the reference mark on the mounting board 4F, and detects the position of the reference mark at the inspection/measurement work position. Based on the detected position of the reference mark and the acquired mounting point position data, the processing unit 20C calculates the positions of the mounting points J and Jb at the inspection/measurement work position. Next, the mounting board 4F is inspected (ST64 in FIG. 22).

実装済チップ部品P*の場合、図23に示すように、処理部20Cは、部品実装位置Pmの座標と、ランドLに実装されるチップ部品Pの正しい実装点Jとの偏差を、実装位置ずれデータ(ΔXm,ΔYm)として求める。部品実装位置Pmは、実装済チップ部品P*の部品中心に相当する。また、実装済裏面端子部品Pb*の場合、処理部20Cは、実装済裏面端子部品Pbの端子群(複数のバンプB)の位置Pbmと、実装点Jbとの偏差を、実装位置ずれデータ(ΔXbm,ΔYbm)として求める。実装点J、Jbは基板計測装置M3で得られた実装点位置データより取得されている。したがって実装位置ずれデータ(ΔXm,ΔYm)、(ΔXbm,ΔYbm)は設計データ上の実装点(J)、(Jb)からの実装位置ずれではなく、計測によって得られた実装点J,Jbからの実装位置ずれである。なお、実装済裏面端子部品Pb*の端子群(複数のバンプB)の位置は、装済裏面端子部品Pb*の外形の基準位置PCb1と、部品搭載装置M6、M7からフィードフォワードされた裏面端子位置(ΔXc,ΔYc)とから求められる。部品実装位置Pbmの座標は、実装済裏面端子部品Pb*の端子群Bbの位置Pcb2に相当する。 In the case of a mounted chip component P*, as shown in FIG. It is obtained as deviation data (ΔXm, ΔYm). The component mounting position Pm corresponds to the component center of the mounted chip component P*. In addition, in the case of the mounted back terminal component Pb*, the processing unit 20C calculates the deviation between the position Pbm of the terminal group (a plurality of bumps B) of the mounted back terminal component Pb and the mounting point Jb using the mounting position deviation data ( ΔXbm, ΔYbm). The mounting points J and Jb are obtained from the mounting point position data obtained by the board measuring device M3. Therefore, the mounting position deviation data (ΔXm, ΔYm) and (ΔXbm, ΔYbm) are not the mounting position deviations from the mounting points (J) and (Jb) on the design data, but from the mounting points J and Jb obtained by measurement. This is due to mounting position misalignment. Note that the positions of the terminal group (a plurality of bumps B) of the mounted back terminal component Pb* are between the reference position PCb1 of the external shape of the mounted back terminal component Pb* and the back terminals fed forward from the component mounting devices M6 and M7. It is determined from the position (ΔXc, ΔYc). The coordinates of the component mounting position Pbm correspond to the position Pcb2 of the terminal group Bb of the mounted back terminal component Pb*.

図23に示すように、リフロー後の基板4を撮影して取得された画像においては、ランドLに形成されたはんだ部Sが溶融固化して実装済チップ部品P*をランドLにはんだ接合するはんだ部S*が形成されている。このとき、リフロー過程における溶融はんだの挙動により、実装済チップ部品P*の部品中心に相当する部品実装位置Pmは必ずしも実装点Jとは一致せず、実装位置ずれが存在する。この実装位置ずれのデータ(ΔXm,ΔYm)が許容値以上である場合、処理部20Cは、検査した基板4Fを不良と判定する。実装済裏面端子部品Pb*も同様である。そして全ての検査対象部品について検査処理が終了すると検査結果がアップロードされ(図22のST65)、基板4Fは下流へ搬出される(図22のST66)。 As shown in FIG. 23, in the image obtained by photographing the board 4 after reflow, the solder portion S formed on the land L melts and solidifies, and the mounted chip component P* is soldered to the land L. A solder portion S* is formed. At this time, due to the behavior of the molten solder in the reflow process, the component mounting position Pm corresponding to the component center of the mounted chip component P* does not necessarily coincide with the mounting point J, and there is a mounting position shift. If the mounting position shift data (ΔXm, ΔYm) is greater than or equal to the allowable value, the processing unit 20C determines that the inspected board 4F is defective. The same applies to the mounted back terminal component Pb*. When the inspection process is completed for all parts to be inspected, the inspection results are uploaded (ST65 in FIG. 22), and the board 4F is carried out downstream (ST66 in FIG. 22).

以上説明したように、本実施の形態に示す部品搭載システム1は、部品搭載装置M6、M7を含む。部品搭載装置M6、M7はそれぞれ、搭載ヘッド37と、ヘッド移動部38と、部品認識カメラとしての第1カメラ36と、部品認識部52と、制御部としての処理部54とを含む。搭載ヘッド37は、電子部品である裏面端子部品Pbの上面を保持して基板4Sに搭載する。裏面端子部品Pbは、第一の面としての上面と、その裏側の第二の面としての下面を有し、下面には端子群Bbが設けられている。ヘッド移動部38は、搭載ヘッド37を移動させる。第1カメラ36は、搭載ヘッド37に保持された裏面端子部品Pbの下面を撮影する。部品認識部52は、第1カメラ36が撮影した画像を処理して、下面における端子群Bbの位置(基準位置PCb2)を認識する。処理部54は、部品認識部52が認識した端子群Bbの位置に基づいてヘッド移動部38を制御して搭載ヘッド37を移動させる。そして、搭載ヘッド37に保持された裏面端子部品Pbを基板4Sの定められた搭載目標位置MPbに搭載する。 As explained above, the component mounting system 1 shown in this embodiment includes component mounting devices M6 and M7. Each of the component mounting devices M6 and M7 includes a mounting head 37, a head moving section 38, a first camera 36 as a component recognition camera, a component recognition section 52, and a processing section 54 as a control section. The mounting head 37 holds the upper surface of the back terminal component Pb, which is an electronic component, and mounts it on the substrate 4S. The back terminal component Pb has an upper surface as a first surface and a lower surface as a second surface on the back side, and the terminal group Bb is provided on the lower surface. The head moving unit 38 moves the mounting head 37. The first camera 36 photographs the lower surface of the back terminal component Pb held by the mounting head 37. The component recognition unit 52 processes the image taken by the first camera 36 and recognizes the position of the terminal group Bb on the bottom surface (reference position PCb2). The processing unit 54 controls the head moving unit 38 to move the mounting head 37 based on the position of the terminal group Bb recognized by the component recognition unit 52. Then, the back terminal component Pb held by the mounting head 37 is mounted at a predetermined mounting target position MPb on the board 4S.

部品搭載システム1は、部品計測部52aと、搭載済部品検査装置M8と、算出部56とをさらに含む。部品計測部52aは、裏面端子部品Pbを基板4Sに搭載する前に裏面端子部品Pbの端子群Bbと裏面端子部品Pbの外形形状との位置関係(裏面端子位置(ΔXc,ΔYc))を計測する。搭載済部品検査装置M8は、部品搭載装置M6、M7が基板4Sに裏面端子部品Pbを搭載することでそれぞれ作製された複数枚の部品搭載済基板4Mのそれぞれの外観を検査する。さらに、複数枚の部品搭載済基板4Mのそれぞれにおける裏面端子部品Pbの所定の部分の位置と、裏面端子部品Pbの端子群Bbと裏面端子部品Pbの外形形状との位置関係とに基づいて、複数枚の部品搭載済基板のそれぞれにおける裏面端子部品Pbの搭載位置を計測する。裏面端子部品Pbの所定の部分の位置とは、例えば部品中心PCb1*である。裏面端子部品Pbの搭載位置とは、端子群の基準位置PCb2*である。そして複数枚の部品搭載済基板4Mのそれぞれにおける裏面端子部品Pbの搭載目標位置に対する搭載位置のずれ(ΔXb*,ΔYb*)を検査する。算出部56は、複数枚の部品搭載済基板4Mの搭載位置のずれに基づいて、部品搭載装置M6、M7の経時変動に起因する搭載位置のずれを補正するためのキャリブレーションデータを算出する。 The component mounting system 1 further includes a component measurement section 52a, a mounted component inspection device M8, and a calculation section 56. The component measurement unit 52a measures the positional relationship (back terminal position (ΔXc, ΔYc)) between the terminal group Bb of the back terminal component Pb and the external shape of the back terminal component Pb before mounting the back terminal component Pb on the board 4S. do. The mounted component inspection device M8 inspects the appearance of each of the plurality of component-mounted boards 4M, each of which is produced by the component mounting devices M6 and M7 mounting the back terminal components Pb on the board 4S. Furthermore, based on the position of a predetermined portion of the back terminal component Pb on each of the plurality of component-mounted boards 4M, and the positional relationship between the terminal group Bb of the back terminal component Pb and the external shape of the back terminal component Pb, The mounting position of the back terminal component Pb on each of the plurality of component-mounted boards is measured. The position of the predetermined portion of the back terminal component Pb is, for example, the component center PCb1*. The mounting position of the back terminal component Pb is the reference position PCb2* of the terminal group. Then, the deviation (ΔXb*, ΔYb*) of the mounting position of the back terminal component Pb from the mounting target position on each of the plurality of component-mounted boards 4M is inspected. The calculation unit 56 calculates calibration data for correcting deviations in the mounting positions caused by changes over time in the component mounting devices M6 and M7, based on deviations in the mounting positions of the plurality of component-mounted boards 4M.

そして処理部54は、キャリブレーションデータを使用して、裏面端子部品Pbを搭載目標位置MPbに搭載するときのヘッド移動部38による搭載ヘッド37の停止位置を補正する。この構成により、部品搭載装置M6、M7の経時変動に起因する裏面端子部品Pbの搭載ずれ(ΔXb*,ΔYb*)を精度良く補正することができる。 Then, the processing unit 54 uses the calibration data to correct the stop position of the mounting head 37 by the head moving unit 38 when mounting the back terminal component Pb at the mounting target position MPb. With this configuration, it is possible to accurately correct mounting deviations (ΔXb*, ΔYb*) of the back terminal components Pb caused by changes over time in the component mounting devices M6 and M7.

なお、図7において、算出部56は、部品搭載装置M6、M7に設けられているが、これに限定されない。例えば、算出部56は、情報管理装置3に含まれていてもよい。 Note that in FIG. 7, the calculation unit 56 is provided in the component mounting devices M6 and M7, but the calculation unit 56 is not limited thereto. For example, the calculation unit 56 may be included in the information management device 3.

本開示の部品搭載システムおよび部品搭載方法は、部品搭載装置の経時変動に起因する裏面端子部品の搭載ずれを精度良く補正することができるという効果を有し、電子部品を基板に実装する分野において有用である。 INDUSTRIAL APPLICABILITY The component mounting system and component mounting method of the present disclosure have the effect of being able to accurately correct mounting misalignment of back terminal components caused by changes over time in a component mounting device, and are useful in the field of mounting electronic components on a board. Useful.

1 部品搭載システム
1a 部品実装ライン
2 通信ネットワーク
3 情報管理装置
4 基板
4S はんだ部形成済基板(基板)
4M 部品搭載済基板(基板)
4F 実装基板
10 スクリーン印刷制御部
11 基板位置決め部
11a 印刷ステージテーブル
11b,14b 昇降機構
13 印刷ステージ
13a 昇降テーブル
14 基板サポート部
14a 基板サポートピン
15,22,35 基板搬送部
15a 第1コンベア
15b 第2コンベア
15c 第3コンベア
16 スクリーン印刷部
17 スキージ
17a 駆動機構
18 スクリーンマスク
19 カメラユニット
19a マスクカメラ
19b 基板カメラ
20,20A,20B,20C 処理部
21,31 基台
24 検査ヘッド
24a 鏡筒部
24b 照明ユニット
25 移動機構
26 カメラ
27 ハーフミラー
28 照明光源部
28a 下段照明
28b 上段照明
28c 同軸照明
30 搭載制御部
32 台車
33 テープフィーダ
34 基板下受け部
34a サポートピン
34b 昇降機構
36 第1カメラ
36a,36b 画像
37 搭載ヘッド
37a 移動部材
37b 部品保持ノズル
38 ヘッド移動部
39 第2カメラ
41 第1記憶部
42 第2記憶部
43 第3記憶部
44 作成部
45 第4記憶部
46 第1の情報処理部
47 第2の情報処理部
48 第3の情報処理部
51 基板認識部
52 部品認識部
52a 部品計測部
53 第5記憶部
54 処理部
55 データ取得部
55a 第6記憶部
55b 第7記憶部
55c 第8記憶部
55d 第9記憶部
56 算出部
61 実装点番号
62 部品識別情報
63 部品種類
64 セルフアライメント考慮フラグ
65 キャリブレーション対象フラグ
B,B* バンプ
Bb 端子群
J,Jb 実装点
L ランド
Lb ランド群
L1,L2 ランド位置
M1 基板供給装置
M2 基板識別情報付与装置
M3 基板計測装置
M4 スクリーン印刷装置
M5 はんだ部検査装置
M6,M7 部品搭載装置
M8 搭載済部品検査装置
M9 リフロー装置
M10 実装基板検査装置
MP,MPb 搭載目標位置
P チップ部品
P* 搭載済チップ部品
Pb 裏面端子部品
Pb* 搭載済裏面端子部品
PC*,PCb1* 部品中心
PC,PCb1,PCb2 基準位置
PCb2* 基準位置
Pm,Pbm 部品実装位置
S,Sb はんだ部
S1,S2 位置
SP,SPb はんだパターン位置
ΔX,ΔY,ΔXb,ΔYb はんだパターンずれ
ΔXc,ΔYc 裏面端子位置
ΔXm,ΔYm,ΔXbm,ΔYbm 実装位置ずれデータ
ΔX*,ΔY*,ΔXb*,ΔYb* 搭載ずれ
Z1,Z2,Z3 領域
1 Component mounting system 1a Component mounting line 2 Communication network 3 Information management device 4 Board 4S Board with solder parts formed (board)
4M Parts mounted board (board)
4F Mounting board 10 Screen printing control unit 11 Board positioning unit 11a Printing stage tables 11b, 14b Lifting mechanism 13 Printing stage 13a Lifting table 14 Board support unit 14a Board support pins 15, 22, 35 Board transport unit 15a First conveyor 15b Second Conveyor 15c Third conveyor 16 Screen printing section 17 Squeegee 17a Drive mechanism 18 Screen mask 19 Camera unit 19a Mask camera 19b Board cameras 20, 20A, 20B, 20C Processing sections 21, 31 Base 24 Inspection head 24a Lens barrel section 24b Lighting unit 25 Moving mechanism 26 Camera 27 Half mirror 28 Illumination light source section 28a Lower stage illumination 28b Upper stage illumination 28c Coaxial illumination 30 Mounting control section 32 Dolly 33 Tape feeder 34 Board lower receiving section 34a Support pin 34b Lifting mechanism 36 First camera 36a, 36b Image 37 Mounting head 37a Moving member 37b Component holding nozzle 38 Head moving section 39 Second camera 41 First storage section 42 Second storage section 43 Third storage section 44 Creation section 45 Fourth storage section 46 First information processing section 47 Second Information processing unit 48 Third information processing unit 51 Board recognition unit 52 Component recognition unit 52a Component measurement unit 53 Fifth storage unit 54 Processing unit 55 Data acquisition unit 55a Sixth storage unit 55b Seventh storage unit 55c Eighth storage unit 55d Ninth storage unit 56 Calculation unit 61 Mounting point number 62 Component identification information 63 Component type 64 Self-alignment consideration flag 65 Calibration target flag B, B* Bump Bb Terminal group J, Jb Mounting point L Land Lb Land group L1, L2 Land position M1 Board supply device M2 Board identification information adding device M3 Board measuring device M4 Screen printing device M5 Solder part inspection device M6, M7 Component mounting device M8 Mounted component inspection device M9 Reflow device M10 Mounted board inspection device MP, MPb Mounting target Position P Chip component P* Mounted chip component Pb Back terminal component Pb* Mounted back terminal component PC*, PCb1* Component center PC, PCb1, PCb2 Reference position PCb2* Reference position Pm, Pbm Component mounting position S, Sb Solder part S1, S2 Position SP, SPb Solder pattern position ΔX, ΔY, ΔXb, ΔYb Solder pattern deviation ΔXc, ΔYc Back terminal position ΔXm, ΔYm, ΔXbm, ΔYbm Mounting position deviation data ΔX*, ΔY*, ΔXb*, ΔYb* Mounting deviation Z1, Z2, Z3 area

Claims (8)

部品搭載装置を含む部品搭載システムであって、
前記部品搭載装置は、
第一の面と、前記第一の面の裏側の第二の面とを有するとともに、前記第二の面に設けられて前記第一の面からは検出できない端子群を有する電子部品の前記第一の面を保持して基板に搭載する搭載ヘッドと、
前記搭載ヘッドを移動させる搭載ヘッド移動部と、
前記搭載ヘッドに保持された前記電子部品の前記第二の面を撮影する部品認識カメラと、
前記部品認識カメラが撮影した画像を処理して前記端子群の位置を認識する部品認識部と、
前記部品認識部が認識した前記端子群の前記位置に基づいて前記搭載ヘッド移動部を制御して前記搭載ヘッドを移動させて前記搭載ヘッドに保持された前記電子部品を前記基板の定められた搭載目標位置に搭載する制御部と、を含み、
前記部品搭載システムは、
前記電子部品を前記基板に搭載する前に前記電子部品の前記端子群と前記電子部品の外形形状との位置関係を計測する部品計測部と、
前記部品搭載装置が前記基板に前記電子部品を搭載することでそれぞれ作製された複数枚の部品搭載済基板のそれぞれの外観を検査し、前記電子部品の前記外形形状から定まる、前記複数枚の部品搭載済基板のそれぞれにおける前記電子部品の所定の部分の位置と前記位置関係とに基づいて、前記複数枚の部品搭載済基板のそれぞれにおける前記電子部品の搭載位置を計測して前記複数枚の部品搭載済基板のそれぞれにおける前記電子部品の前記搭載目標位置に対する前記搭載位置のずれを検査する搭載済部品検査装置と、
前記複数枚の部品搭載済基板の前記搭載位置の前記ずれに基づいて、前記部品搭載装置の経時変動に起因する前記搭載位置の前記ずれを補正するためのキャリブレーションデータを算出する算出部と、をさらに備え、
前記制御部は、前記キャリブレーションデータを使用して、電子部品を前記基板に搭載するときの前記搭載ヘッド移動部による前記搭載ヘッドの停止位置を補正する、
部品搭載システム。
A component mounting system including a component mounting device,
The component mounting device is
The electronic component has a first surface and a second surface on the back side of the first surface, and has a terminal group provided on the second surface and not detectable from the first surface. a mounting head that holds one side and mounts it on the board;
a mounting head moving unit that moves the mounting head;
a component recognition camera that photographs the second surface of the electronic component held by the mounting head;
a component recognition unit that processes an image taken by the component recognition camera to recognize the position of the terminal group;
Based on the position of the terminal group recognized by the component recognition unit, the mounting head moving unit is controlled to move the mounting head to mount the electronic component held by the mounting head on the board at a predetermined location. A control unit mounted at the target position,
The component mounting system is
a component measuring unit that measures the positional relationship between the terminal group of the electronic component and the external shape of the electronic component before mounting the electronic component on the board;
The component mounting device inspects the appearance of each of a plurality of component-mounted boards each manufactured by mounting the electronic component on the board, and determines the appearance of the plurality of components determined from the external shape of the electronic component. Based on the position of a predetermined portion of the electronic component on each of the mounted boards and the positional relationship, the mounting position of the electronic component on each of the plurality of component-mounted boards is measured, and the plurality of parts are a mounted component inspection device that inspects a deviation of the mounting position of the electronic component on each of the mounted boards with respect to the mounting target position;
a calculation unit that calculates calibration data for correcting the deviation of the mounting position caused by temporal fluctuations of the component mounting device, based on the deviation of the mounting position of the plurality of component-loaded boards; Furthermore,
The control unit uses the calibration data to correct a stop position of the mounting head by the mounting head moving unit when mounting the electronic component on the board.
Parts mounting system.
前記部品計測部は、前記部品認識部に含まれており、前記部品認識カメラが撮影した前記画像から、前記電子部品の前記端子群と前記電子部品の前記外形形状との前記位置関係を計測する、
請求項1に記載の部品搭載システム。
The component measurement unit is included in the component recognition unit, and measures the positional relationship between the terminal group of the electronic component and the external shape of the electronic component from the image taken by the component recognition camera. ,
The component mounting system according to claim 1.
前記端子群が接続される前記基板のランド群を構成する複数のランドのそれぞれにはんだ部を形成することで、はんだ部群を形成するはんだ部形成装置と、
前記基板に形成された前記はんだ部群の位置を計測するはんだ部検査装置と、
前記ランド群の位置と前記はんだ部群の前記位置とに基づいて、前記基板に前記搭載目標位置を定める搭載目標位置決定部と、をさらに備えた、
請求項1または2に記載の部品搭載システム。
a solder part forming device that forms a solder part group by forming a solder part on each of a plurality of lands constituting a land group of the board to which the terminal group is connected;
a solder part inspection device that measures the position of the solder part group formed on the substrate;
further comprising: a mounting target position determination unit that determines the mounting target position on the board based on the position of the land group and the position of the solder part group;
The component mounting system according to claim 1 or 2.
融解した前記はんだ部の表面張力の影響を考慮するか否かの情報を含んだ部品情報を記憶した部品情報記憶部をさらに備え、
前記電子部品に、前記表面張力の前記影響を考慮する場合、前記搭載目標位置決定部は、前記ランド群の前記位置と前記はんだ部群の前記位置に基づいて前記搭載目標位置を定め、
前記電子部品に、前記表面張力の前記影響を考慮しない場合、前記搭載目標位置決定部は、前記ランド群の前記位置のみに基づいて前記搭載目標位置を定める、
請求項3に記載の部品搭載システム。
further comprising a component information storage unit storing component information including information on whether or not to consider the influence of surface tension of the melted solder portion,
When considering the influence of the surface tension on the electronic component, the target mounting position determining unit determines the target mounting position based on the position of the land group and the position of the solder group,
When the influence of the surface tension on the electronic component is not considered, the target mounting position determination unit determines the target mounting position based only on the position of the land group.
The component mounting system according to claim 3.
第一の面と、前記第一の面の裏側の第二の面とを有するとともに、前記第二の面に設けられて前記第一の面からは検出できない端子群を有する電子部品を基板に搭載する部品搭載方法であって
載ヘッドに前記電子部品の前記第一の面を保持させるステップと、
前記搭載ヘッドに保持された前記電子部品の前記第二の面を部品認識カメラに撮影させるステップと、
前記撮影された画像を処理して、前記端子群の位置を認識するステップと、
前記電子部品の前記端子群と前記電子部品の外形形状との位置関係を計測するステップと、
認識された前記端子群の前記位置に基づいて、前記搭載ヘッドを移動させて前記搭載ヘッドに保持された前記電子部品を前記基板の定められた搭載目標位置に搭載するステップと、
前記基板に前記電子部品を搭載することでそれぞれ作製された複数枚の部品搭載済基板のそれぞれの外観を検査し、前記電子部品の前記外形形状から定まる、前記複数枚の部品搭載済基板のそれぞれにおける前記電子部品における所定の部分の位置と前記位置関係とに基づいて、前記複数枚の部品搭載済基板のそれぞれにおける前記電子部品の搭載位置を計測して前記複数枚の部品搭載済基板のそれぞれにおける前記電子部品の前記搭載目標位置に対する前記搭載位置のずれを検査するステップと、
前記複数枚の部品搭載済基板の前記搭載位置の前記ずれに基づいて、経時変動に起因する前記搭載位置の前記ずれを補正するためのキャリブレーションデータを算出するステップと、
前記キャリブレーションデータを使用して、次の電子部品を次の基板の搭載目標位置に搭載するときの前記搭載ヘッドの停止位置を補正するステップと、を備えた、
部品搭載方法。
An electronic component having a first surface and a second surface on the back side of the first surface, and having a group of terminals provided on the second surface and not detectable from the first surface. A method of mounting parts to be mounted ,
causing a mounting head to hold the first surface of the electronic component;
a step of causing a component recognition camera to photograph the second surface of the electronic component held by the mounting head;
processing the photographed image to recognize the position of the terminal group;
measuring the positional relationship between the terminal group of the electronic component and the external shape of the electronic component;
moving the mounting head based on the recognized position of the terminal group to mount the electronic component held by the mounting head at a predetermined target mounting position on the board;
Inspecting the appearance of each of a plurality of component-loaded boards each produced by mounting the electronic component on the board, and determining the appearance of each of the plurality of component-loaded boards determined from the external shape of the electronic component. Based on the position of a predetermined portion of the electronic component and the positional relationship, the mounting position of the electronic component on each of the plurality of component-mounted boards is measured, and the mounting position of the electronic component on each of the plurality of component-mounted boards is measured. Inspecting the deviation of the mounting position of the electronic component from the target mounting position;
Calculating calibration data for correcting the deviation of the mounting position due to fluctuations over time based on the deviation of the mounting position of the plurality of component-loaded boards;
using the calibration data to correct the stop position of the mounting head when mounting the next electronic component at the mounting target position of the next board;
How to mount parts.
前記部品認識カメラにより前記電子部品の前記第二の面を撮影することで取得された画像から、前記電子部品の前記端子群と前記電子部品の前記外形形状との前記位置関係を計測する、
請求項5に記載の部品搭載方法。
measuring the positional relationship between the terminal group of the electronic component and the external shape of the electronic component from an image obtained by photographing the second surface of the electronic component with the component recognition camera;
The component mounting method according to claim 5.
前記端子群が接続される前記基板のランド群を構成する複数のランドのそれぞれにはんだ部を形成することで、はんだ部群を形成するステップと、
前記基板に形成された前記はんだ部群の位置を計測するステップと、
前記ランド群の位置と前記はんだ部群の前記位置とに基づいて、前記基板に前記搭載目標位置を定めるステップと、をさらに備えた、
請求項5または6に記載の部品搭載方法。
forming a solder portion group by forming a solder portion on each of a plurality of lands constituting the land group of the substrate to which the terminal group is connected;
Measuring the position of the solder group formed on the substrate;
The method further comprises the step of determining the target mounting position on the board based on the position of the land group and the position of the solder part group.
The component mounting method according to claim 5 or 6.
融解した前記はんだ部の表面張力の影響を考慮するか否かの情報を含んだ部品情報を取得するステップをさらに備え、
前記電子部品に、前記表面張力の前記影響を考慮する場合、前記ランド群の前記位置と前記はんだ部群の前記位置とに基づいて前記搭載目標位置を定め、
前記電子部品に、前記表面張力の前記影響を考慮しない場合、前記ランド群の前記位置のみに基づいて前記搭載目標位置を定める、
請求項7に記載の部品搭載方法。
further comprising the step of acquiring component information including information on whether or not to consider the influence of surface tension of the melted solder portion,
When considering the influence of the surface tension on the electronic component, determining the target mounting position based on the position of the land group and the position of the solder part group,
determining the target mounting position based only on the position of the land group when the influence of the surface tension on the electronic component is not considered;
The component mounting method according to claim 7.
JP2021550522A 2019-10-10 2020-09-09 Component mounting system and component mounting method Active JP7369916B2 (en)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019186613 2019-10-10
JP2019186613 2019-10-10
PCT/JP2020/034044 WO2021070540A1 (en) 2019-10-10 2020-09-09 Component mounting system and component mounting method

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPWO2021070540A1 JPWO2021070540A1 (en) 2021-04-15
JP7369916B2 true JP7369916B2 (en) 2023-10-27

Family

ID=75437160

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2021550522A Active JP7369916B2 (en) 2019-10-10 2020-09-09 Component mounting system and component mounting method

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP7369916B2 (en)
CN (1) CN114503797B (en)
DE (1) DE112020004916T5 (en)
WO (1) WO2021070540A1 (en)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7814814B2 (en) * 2022-08-02 2026-02-17 ヤマハ発動機株式会社 Inspection method, inspection device, and production system
WO2026013771A1 (en) * 2024-07-09 2026-01-15 ヤマハ発動機株式会社 Inspecting machine, component mounting machine, board production system, and inspection method
CN121335086B (en) * 2025-12-15 2026-03-17 深圳一苇科技有限公司 High-speed high-precision chip mounter for mounting LED lamp beads

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04180300A (en) * 1990-11-14 1992-06-26 Matsushita Electric Ind Co Ltd Electronic component mounting equipment and mounting method
JPH06260794A (en) * 1993-03-08 1994-09-16 Toshiba Corp Method and equipment for recognizing position of electronic part
JP2929926B2 (en) * 1993-12-28 1999-08-03 松下電器産業株式会社 Electronic component bonding apparatus and bonding method
JP3403818B2 (en) * 1994-07-14 2003-05-06 松下電器産業株式会社 Inspection method and device for mounted parts
JP3873757B2 (en) * 2002-02-05 2007-01-24 松下電器産業株式会社 Electronic component mounting system and electronic component mounting method
JP4147923B2 (en) * 2002-12-03 2008-09-10 松下電器産業株式会社 Electronic component mounting apparatus and electronic component mounting method
JP4029855B2 (en) * 2004-03-26 2008-01-09 松下電器産業株式会社 Electronic component mounting apparatus and electronic component mounting method
JP4595857B2 (en) * 2006-03-27 2010-12-08 パナソニック株式会社 Electronic component mounting system and electronic component mounting method
JP5384085B2 (en) * 2008-11-11 2014-01-08 ヤマハ発動機株式会社 Component mounting method and component mounting system
JP5385010B2 (en) * 2009-05-29 2014-01-08 Juki株式会社 Electronic component mounting equipment
JP5392303B2 (en) * 2011-06-13 2014-01-22 パナソニック株式会社 Electronic component mounting system and mounting board manufacturing method in electronic component mounting system
JP2014017364A (en) * 2012-07-09 2014-01-30 Panasonic Corp Manufacturing system and manufacturing method of component mounting substrate
JP6277422B2 (en) * 2014-09-11 2018-02-14 パナソニックIpマネジメント株式会社 Component mounting method and component mounting system
JP6582240B2 (en) * 2016-02-23 2019-10-02 パナソニックIpマネジメント株式会社 Electronic component mounting method and electronic component mounting apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
WO2021070540A1 (en) 2021-04-15
CN114503797A (en) 2022-05-13
CN114503797B (en) 2024-09-24
DE112020004916T5 (en) 2022-06-23
JPWO2021070540A1 (en) 2021-04-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP7369916B2 (en) Component mounting system and component mounting method
KR100881908B1 (en) Electronic component mounting device and electronic component mounting method
US7841079B2 (en) Electronic component mounting system and electronic component mounting method
CN102293076B (en) Component assembling apparatus and component assembling method
JP2007287779A (en) Electronic component mounting system, mounting state inspection apparatus, and electronic component mounting method
CN110213900A (en) PCB printing press visible detection method and system based on CCD identification
JP7641544B2 (en) Mounting board manufacturing apparatus and mounting board manufacturing method
KR20130124310A (en) Screen printing device and screen printing method
CN113508652B (en) Component mounting device, component mounting method, mounted substrate manufacturing system, mounted substrate manufacturing method, and mounted component inspection device
JP2617378B2 (en) Component mounting equipment
JP3873757B2 (en) Electronic component mounting system and electronic component mounting method
JP4379348B2 (en) Electronic component mounting system and electronic component mounting method
JP3128891B2 (en) Component mounting method and component mounting device
JP3071584B2 (en) Component mounting method
JP5927504B2 (en) Component mounting system and component mounting method
JP7496537B2 (en) Calibration data calculation device and calibration data calculation method
JP2633147B2 (en) Component mounting method
JPH07162200A (en) Method and apparatus for mounting electronic part
JP4676886B2 (en) Mounting system, mounting machine, printing machine, and electronic component mounting method
KR101316209B1 (en) Flexible printed circuit board module ground con-nection equipment and ground con-nection method
JP2003060397A (en) Electronic component mounting apparatus and electronic component mounting method
KR950002211B1 (en) Component mounting device
JP2003092496A (en) Electronic component mounting apparatus and electronic component mounting method
KR101541332B1 (en) Apparatus for mounting PCB on JIG
JP2024139862A (en) Component mounting device and component mounting method

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20220329

RD01 Notification of change of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421

Effective date: 20221024

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20230404

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20230512

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20230905

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20230918

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 7369916

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151