JP7384635B2 - 流体センサ - Google Patents

Description

本発明は、流体センサに関する。

従来、自動車のエアコン装置の冷媒回路で使用する流動媒体の圧力および温度を測定する差込みセンサが知られている。差込みセンサは、センサ軸を備えるセンサ本体と、このセンサ本体に実質的に同心に配置された圧力センサとを備えている。

さらにセンサ本体には、圧力センサを流動媒体と接続するための貫通孔部と、温度センサをその中に収容する温度センサ孔部が設けられている。温度センサ孔部は温度センサ孔軸を有し、この温度センサ孔軸は、流動媒体に向いた側のセンサ軸の端部に向かって傾斜している。

特許第５２２２２９５号公報

ところで、従来のセンサでは、金属で構成されているセンサ本体（筐体）に斜めに細長い穴をあけて、この穴内にリードタイプのサーミスタを設置している。したがって、金属で構成されている筐体の薄肉部を伝わってきた熱を測定する際の応答性は良くなっている。しかし、金属筐体への穴加工がし難く、加工された穴内へのサーミスタの設置作業が煩わしくなり、製造工程が煩雑になる。

本発明は、被測定流体の温度を測定する際の応答性が良く、しかも、製造が容易である流体センサを提供することを目的とする。

本発明の態様に係る流体センサは、被測定流体が内部に入る筐体と、熱伝導率の高い材料で構成され、一方の側にある第１の面が前記筐体内に入ってきた被測定流体に触れるように前記筐体内に設けられており、前記第１の面から入った熱を他方の側にある第２の面に向かって熱伝導により伝達する熱伝達材と、熱伝導率の低い材料で構成され、前記熱伝達材の第２の面側で前記熱伝達材に係合することで前記熱伝達材を支持し、前記筐体内に設置されている熱伝達材支持体と、熱伝導率の高い材料で構成され、前記熱伝達材支持体に設けられ、前記熱伝達材支持体の一方の側にある第１の面から前記熱伝達材支持体の他方の側にある第２の面に向かう方向で、熱伝導によって熱伝達をする熱伝導部位と、前記熱伝導部位を伝わってきた熱の温度を測定することで被測定流体の温度を測定する温度測定部とを有する。

また、本発明の態様に係る流体センサでは、前記熱伝達材支持体に、前記熱伝達材支持体の第１の面から前記熱伝達材支持体の第２の面まで貫通している貫通孔が設けられており、前記熱伝導部位が、前記熱伝達材支持体に設けられている貫通孔に充填されている熱伝導ポッティング剤で構成されており、前記温度測定部が、前記熱伝導ポッティング剤に入り込んでいる温度測定素子を備えて構成されている。

また、本発明の態様に係る流体センサでは、前記筐体内に入ってきた被測定流体の圧力を測定する圧力測定部が設けられており、前記圧力測定部が、圧力センサ素子と、前記被測定流体の温度に応じて前記圧力センサ素子の出力を補償する演算回路とを備えて構成されており、前記演算回路が、前記温度測定部が測定した被測定流体の温度に応じて前記補償をするように構成されている。

また、本発明の態様に係る流体センサは、前記筐体内に入ってきた被測定流体の圧力を測定する圧力測定部が設けられており、前記圧力測定部は、圧力センサ素子と、前記圧力センサ素子の出力を補償する演算回路とを備えて構成されており、前記演算回路は、環境温度に応じて前記補償をするように構成されている。

また、本発明の態様に係る流体センサでは、前記熱伝達材が、所定の厚さの平板状部位を備えて構成されており、前記熱伝達材の第１の面が、前記平板状部位の厚さ方向の一方の面になっており、前記熱伝達材の第２の面が、前記平板状部位の厚さ方向の他方の面になっており、前記筐体内に入ってくる被測定流体が流れる方向が、前記熱伝達材の第１の面に対して直交しているかもしくは直角に近い角度になっており、前記筐体内に入ってきた被測定流体が前記熱伝達材の第１の面にぶつかることで前記筐体内に入ってきた被測定流体が流れる方向が変わるように構成されている。

本発明によれば、被測定流体の温度を測定する際の応答性が良く、しかも、製造が容易である流体センサを提供することができるという効果を奏する。

本発明の実施形態に係る流体センサの外観を示す図である。 本発明の実施形態に係る流体センサの断面図である。 図２におけるＩＩＩ部の拡大図である。 本発明の実施形態に係る流体センサの熱伝達材と熱伝達材支持体との斜視図である。 比較例に係るセンサを示す図である。

本発明の実施形態に係る流体センサ１は、たとえば、オイルの温度を測定するオイルセンサとして使用されるものであり、さらに具体的には、車載用オイルセンサとして使用されるものである。

車載用オイルセンサ１は、図１～図４で示すように、筐体３と熱伝達材５と熱伝達材支持体７と熱伝導部位９と温度測定部１１とを備えて構成されている。筐体３の内部には、被測定流体（オイル）が入るようになっている。

ここで、説明の便宜のために、車載用オイルセンサ１における所定の一方向をＸ方向とし、Ｘ方向に対して直交する所定の一方向をＹ方向とし、Ｘ方向とＹ方向とに対して直交する方向をＺ方向とする。

熱伝達材５は、金属等の熱伝導率の高い材料で構成されており、筐体３内で熱伝達材支持体７を介して筐体３に一体的に設けられている。熱伝達材５の一方の側にある第１の面１３は、筐体３内に入ってきたオイルに触れるようになっている。

熱伝達材５は、第１の面１３から入った熱を他方の側にある第２の面１５に向かって熱伝導により伝達するようになっている。なお、第１の面は、Ｚ方向の下側に位置しており、第２の面１５は第１の面１３とは反対側であるＺ方向の上側に位置している。第２の面は、オイルには接しないようになっている。

熱伝達材支持体７は、熱伝達材５よりも熱伝導率が低く型を用いた成形が容易である合成樹脂等の材料で構成されている。熱伝達材支持体７は、熱伝達材５の第２の面１５側であるＺ方向上側で熱伝達材５に係合することで熱伝達材５を一体的に支持している。

たとえば、熱伝達材支持体７は、一方の側であるＺ方向下側にある第１の面１７が熱伝達材の第２の面１５に接して熱伝達材５を一体的に支持している。また、熱伝達材支持体７は、筐体３内で筐体３に一体的に設置されている。

熱伝導部位９は、熱伝達材支持体７よりも熱伝導率の高い熱伝導ポッティング剤２５の材料で構成されており、熱伝達材支持体７に設けられている。熱伝導部位９は、熱伝達材支持体７の第１の面１７から熱伝達材支持体７の他方の側にある第２の面１９に向かう方向で、熱伝達材５を伝わってきた熱を熱伝導によって伝達をするようになっている。熱伝達材支持体７の第２の面１９は、熱伝達材支持体７の第１の面１７とは反対側であるＺ方向上側に位置している。

温度測定部１１はサーミスタ等の温度測定素子２１を備えて構成されている。サーミスタ２１は、熱伝導部位９を伝わってきた熱の温度を測定することで筐体３内に入ってきたオイルの温度を測定するようになっている。

熱伝達材支持体７には、熱伝達材支持体７の第１の面１７から熱伝達材支持体７の第２の面１９まで貫通している貫通孔２３が設けられている。熱伝導部位９は、熱伝達材支持体７に設けられている貫通孔２３に充填されている熱伝導ポッティング剤（たとえば、エポキシ系ポッティング剤、もしくは、シリコーン系ポッティング剤）２５で構成されている。なお、貫通孔２３は、空隙が存在しないようにして熱伝導ポッティング剤２５で充填されている。

温度測定部１１を構成しているサーミスタ２１は、熱伝導ポッティング剤２５内に入り込んでいる。すなわち、サーミスタ２１の少なくとも一部は、熱伝導ポッティング剤２５内に埋め込まれており、熱伝導ポッティング剤２５と接触している。

なお、熱伝達材支持体７に貫通孔２３を設けることに代えて、熱伝達材支持体７の一部に凹部を設けることで、熱伝達材支持体７の一部で熱伝達材支持体７の厚さを薄くしてもよい。そして、上記凹部に熱伝導ポッティング剤２５を充填し、熱伝導ポッティング剤２５にサーミスタ２１を入れ込んでもよい。熱伝達材支持体７の凹部の厚さ寸法は、熱伝達材支持体７の第１の面１７から熱伝達材支持体７の第２の面１９に向かう方向であるＺ方向における寸法である。

さらに、サーミスタ２１が熱伝達材５に直接するようにして、サーミスタ２１を貫通孔２３内に設置してもよい。また、熱伝導ポッティング剤２５を設けることなく、サーミスタ２１が熱伝達材５に直接するようにして、サーミスタ２１を貫通孔２３内に設置してもよい。

熱伝達材支持体７は、所定の厚さの平板状部位２７を備えて構成されている。この場合、熱伝達材支持体７の第１の面１７は、平板状部位２７の厚さ方向の一方の面で形成されており、熱伝達材支持体７の第２の面１９は、平板状部位の厚さ方向の他方の面で形成されている。

熱伝達材支持体７の平板状部位２７の上側にある第２の面１９には、平板状の回路基板２９が設けられている。熱伝達材支持体７の平板状部位２７の厚さ方向と、回路基板２９の厚さ方向とはＺ方向になっておりお互いが一致している。

サーミスタ２１は、回路基板２９の厚さ方向の一方の面であるＺ方向下側の面に直接設けられている。これにより、高価なリードタイプのサーミスタ２１を採用することなくオイルの温度を測定することができる。なお、回路基板２９の厚さ方向の一方の面は、すでに理解されるように、Ｚ方向下側の面であり、熱伝達材支持体７の平板状部位２７側の面である。

また、車載用オイルセンサ１には、筐体３内に入ってきたオイル圧力を測定する圧力測定部３１が設けられている。圧力測定部３１は、圧力センサ素子３３と演算回路３５とを備えて構成されている。

圧力センサ素子３３は、温度特性をもっている。すなわち、圧力センサ素子３３は、周囲の温度変化によって出力値が変動してしまう。演算回路３５は、たとえばＩＣを備えて構成されており、温度測定部１１が測定したオイルの温度に応じて圧力センサ素子３３の出力（アナログ出力）を補償するように構成されている。

熱伝達材５も、所定の厚さの平板状部位３７を備えて構成されている。熱伝達材５の第１の面１３は、平板状部位３７の厚さ方向の一方の面でありＺ方向下側の面である。熱伝達材５の第２の面１５は、平板状部位３７の厚さ方向の他方の面でありＺ方向上側の面である。

熱伝達材５の第１の面１３、熱伝達材５の第２の面１５、熱伝達材支持体７の第１の面１７、および、熱伝達材支持体７の第２の面１９は、Ｚ方向に対して直交している。

車載用オイルセンサ１では、図３に矢印Ａ１で示すように、筐体３内に入ってくるオイルが流れる方向がＺ方向で下から上に向かう方向になっており、熱伝達材５の第１の面１３に対して直交している。なお、筐体３内に入ってくるオイルが流れる方向が、熱伝達材５の第１の面１３に対して直角に近い角度になっていてもよい。すなわち、筐体３内に入ってくるオイルが流れる方向と、熱伝達材５の第１の面１３との交差角度が７０°～１１０°程度の角度になっていてもよい。

車載用オイルセンサ１では、筐体３内に入ってきたオイルが熱伝達材５の第１の面１３にぶつかることで筐体３内に入ってきたオイルが流れる方向が、たとえば逆方向になって変わるように構成されている。すなわち、筐体３内から筐体３の外に出ていくオイルの流れる方向が、熱伝達材５の第１の面１３に対して直交し上側から下側に向かう方向になっている。

なお、筐体３内から筐体３の外に出ていくオイルの流れる方向が、熱伝達材５の第１の面１３に対して直角に近い角度になっていてもよい。すなわち、筐体３から出ていくオイルが流れる方向と、熱伝達材５の第１の面１３との交差角度が７０°～１１０°程度の角度になっていてもよい。

ここで、車載用オイルセンサ１についてさらに詳しく説明する。

筐体３はたとえば金属で構成されており、円筒状の大径部３９と円筒状の小径部４１とを備えて構成されている。大径部３９の中心軸と小径部４１の中心軸とはお互いが一致しておりＺ方向に延びている。大径部３９は小径部４１の上側に位置している。小径部４１の外周には、車載用オイルセンサ１を車両のエンジンのシリンダブロック等に取り付けるための管用ネジが形成されている。

筐体３の内側には、円柱状の第１の内部空間４３と円柱状の第２の内部空間４５と円柱状の第３の内部空間４７と円柱状の第４の内部空間４９とが形成されている。第１の内部空間４３の中心軸と第２の内部空間４５の中心軸と第３の内部空間４７の中心軸と第４の内部空間４９の中心軸とはお互いが一致しておりＺ方向に延びている。

第２の内部空間４５の内径は、第１の内部空間４３の内径よりも小さくなっており、第３の内部空間４７の内径は、第２の内部空間４５の内径よりも小さくなっており、第４の内部空間４９の内径は、第３の内部空間４７の内径よりも小さくなっている。第１の内部空間４３、第２の内部空間４５、第３の内部空間４７、第４の内部空間４９はＺ方向で上から下に向かってこの順にならんでいる。

また、第１の内部空間４３と第２の内部空間４５と第３の内部空間４７とは、大径部３９の内側に位置しており、第４の内部空間４９は小径部４１の内側に位置している。

熱伝達材５は、円筒状部位５１と円板状部位５３とを備えて構成されている。円筒状部位５１の中心軸は、各内部空間４３、４５、４７、４９の中心軸と一致している。円板状部位５３は、円筒状部位５１の上端の開口部を塞ぐようにして、円筒状部位５１に設けられている。なお、円板状部位５３は、上述した平板状部位３７を構成している。また、円筒状部位５１と円板状部位５３とによって、Ｚ方向下側に開口している円柱状の熱伝達材内部空間５５が形成されている。

熱伝達材支持体７は、概ね円板状に形成されている。熱伝達材支持体７の円板が上述した平板状部位２７を構成している。熱伝達材支持体７は、たとえばインサート成形によって熱伝達材５に一体的に設けられている。熱伝達材支持体７は、少なくとも、熱伝達材５の熱伝達材内部空間５５と円筒状部位５１の下端部とが露出するようにして、熱伝達材５の上側部位を覆っている。

熱伝達材支持体７には、サーミスタ２１および熱伝導ポッティング剤２５を設置するための貫通孔２３と、圧力センサ素子３３等を設置するための貫通孔５７とが設けられている。貫通孔５７も、貫通孔２３と同様に、熱伝達材支持体７をＺ方向で貫通している。

回路基板２９の下側の面にはサーミスタ２１が僅かに突出して設けられており、回路基板２９が熱伝達材支持体７に設置されている状態では、サーミスタ２１が貫通孔２３内に位置している。さらに、貫通孔２３内には、熱伝導ポッティング剤２５が充填されており、サーミスタ２１は、熱伝導ポッティング剤２５内に埋まっている。演算回路３５は、熱伝達材支持体７上面の所定の箇所に設けられている。

熱伝達材５は、概ね第２の内部空間４５内に位置しており、熱伝達材支持体７は、概ね第３の内部空間４７内に位置している。熱伝達材支持体７の下面の外周部は、第２の内部空間４５の下端の段差部５９に接している。

また、車載用オイルセンサ１には、端子部６１とオイル流路形成体６９とが設けられている。端子部６１は、金属製の端子６３とたとえば合成樹脂で構成された端子支持部６５とを備えて構成されている。端子部６１の下側の部位は、第１の内部空間４３内に位置している。

端子支持部６５の下端の外周部は、熱伝達材支持体７の上端の外周部にたとえば付勢力をもって接している。また、筐体３の上端部をカシメたことで、端子部６１と熱伝達材支持体７と熱伝達材５とが筐体３とが一体化している。なお、図２等に参照符号６７で示すものは、シール材としての機能を有するＯリングである。

オイル流路形成体６９は、たとえば合成樹脂で一体成形されて得られたものであり、円筒状部位７１と仕切り壁７３とオイルガイド壁部７５とを備えて構成されている。仕切り壁７３は平板状に形成されており、円筒状部位７１の内側の円柱状の空間を少なくとも２つに仕切っている。

また、オイルガイド壁部７５は、円筒状部位７１よりも下側に突出している。この突出している部位の一方の側がオイルの入口７７になっており、他方の側がオイルの出口７９になっている。仕切り壁７３は円板状に形成されており、厚さ方向がＺ方向になるようにして仕切り壁７３の下端に設けられている。

オイル流路形成体６９は、筐体３の第４の内部空間４９に嵌まり込んでいる。これによってオイル流路形成体６９が筐体３に一体的に設けられている。

なお、車載用オイルセンサ１において、演算回路３５が、オイルの温度に応じて圧力センサ素子３３の出力を補償することに加えてもしくは代えて環境温度に応じて圧力センサ素子３３の出力を補償するように構成されていてもよい。

環境温度とは車載用オイルセンサ１が設置されている環境における温度である。たとえば、車載用オイルセンサ１がエンジンのシリンダブロック等に設置されて使用されているときにおける外気、シリンダブロック等の温度である。

さらに説明すると、車載用オイルセンサ１がエンジンのシリンダブロックに設置されて使用されているときに、外気、シリンダブロック等から、端子（バスバー）６３、金属筐体３を介して圧力センサ素子３３に熱が伝わってしまう。そして、圧力センサ素子３３の温度が上昇し圧力センサ素子３３の出力値が変動してしまう。そこで、演算回路３５が環境温度に応じて圧力センサ素子３３の出力を補償するのである。

なお、環境温度も温度測定部（第１の温度測定部）１１によって測定されるが、第２の温度測定部（図示せず）を別途設け、この第２の温度測定部によって環境温度を測定するように構成してもよい。第２の温度測定部は、たとえば、圧力センサ素子３３のところ、もしくは、圧力センサ素子３３の近傍に設けられ、圧力センサ素子３３の温度を測定するようになっている。なお、第２の温度測定部によって、筐体３の温度、端子６３の温度、外気の温度を測定するようになっていてもよい。

次に、車載用オイルセンサ１の動作について説明する。

図３で示すように、車両のエンジンのシリンダブロックに車載用オイルセンサ１が設置されており、オイル流路８１をＸ方向左から右に向かってオイルが流れているものとする。

図３で示す状態では、矢印Ａ１で示すように、一部のオイルがオイルの入口７７から入ってＺ方向上向きに流れて、円筒状部位５１の下端と熱伝達材５の平板状部位３７の下面とにぶつかる。平板状部位３７にぶつかったオイルはＺ方向下向きに流れ、オイルの出口７９から出ていく。オイルの出口７９から出たオイルは、オイル流路８１をＸ方向左から右に向かって流れる。

筐体３内に入ったオイルが熱伝達材５の平板状部位３７にぶつかることで、オイルの熱が平板状部位３７と熱伝導ポッティング剤２５とを介してサーミスタ２１に伝わり、オイルの温度が測定される。また、平板状部位３７まで流れてきたオイルの圧力が、圧力測定部３１によって検出される。

車載用オイルセンサ１では、熱伝達材支持体７に設けられている熱伝導部位９を伝わってきた熱の温度をサーミスタ２１が測定し、また、熱伝導部位９が熱伝導率の高い材料で構成されている熱伝達材５に接している。これにより、オイルの温度を測定する際の応答性が良くなっている。

また、車載用オイルセンサ１では、サーミスタ２１が熱伝導部位９を伝わってきた熱の温度を測定することでオイルの温度を測定するように構成されている。これにより、金属製の筐体３への細長い穴の加工が不要になっており、車載用オイルセンサ１の製造が容易になっている。

図６で示す比較例に係るセンサ３０１では、温度センサ３０３をその中に収容する細長い温度センサ孔部３０５が設けられている。温度センサ孔部３０５は温度センサ孔軸３０７を有し、この温度センサ孔軸３０７は、流動媒体に向いた側のセンサ軸３０９に向かって傾斜している。

したがって、比較例に係るセンサ３０１では、細長い温度センサ孔部３０５の加工がし難く、加工された細長い温度センサ孔部３０５内へのサーミスタの設置作業が煩わしくなり、製造工程が煩雑になっている。

これに対して、車載用オイルセンサ１では、サーミスタ２１を設置するための細長い穴が設けられておらず、細長い穴内へのサーミスタ２１の設置作業が無くなるので、製造が容易になる。

また、車載用オイルセンサ１では、熱伝達材支持体７に貫通孔２３が設けられており、熱伝導部位９が貫通孔２３に充填されている熱伝導ポッティング剤２５で構成されており、サーミスタ２１が、熱伝導ポッティング剤２５に入り込んでいる。これにより、熱伝達材５と熱伝導ポッティング剤２５とを介して、オイルからサーミスタ２１への熱伝導が効率良くされる。そして、応答性の良い状態でサーミスタ２１がオイルの温度を測定することができる。

また、車載用オイルセンサ１では、温度測定部１１が測定したオイルの温度に応じて演算回路３５が圧力センサ素子３３の出力を補償するように構成されている。これにより、温度特性を持っている圧力センサ素子３３を用いて温度が変化するオイルの圧力を正確に測定することができる。

また、車載用オイルセンサ１では、筐体３内に入ってくるオイルが流れる方向が熱伝達材５の第１の面１３に対して直交しており、筐体３内に入ってきたオイルが熱伝達材５の第１の面１３にぶつかるように構成されている。これにより、オイルの熱が熱伝達材５に勢いよくぶつかり、オイルの熱が一層効率良く熱伝達材５に伝わるようになっている。

以上、本実施形態を説明したが、本実施形態はこれらに限定されるものではなく、本実施形態の要旨の範囲内で種々の変形が可能である。

１ 流体センサ（車載用オイルセンサ）
３ 筐体
５ 熱伝達材
７ 熱伝達材支持体
９ 熱伝導部位
１１ 温度測定部
１３ 第１の面（熱伝達材の下側の面）
１５ 第２の面（熱伝達材の上側の面）
１７ 第１の面（熱伝達材支持体の下側の面）
１９ 第２の面（熱伝達材支持体の上側の面）
２１ 温度測定素子
２３ 貫通孔（熱伝導部位の貫通孔）
２５ 熱伝導ポッティング剤
３１ 圧力測定部
３３ 圧力センサ素子
３５ 演算回路
３７ 平板状部位（熱伝達材の平板状部位）

Claims (5)

1. 被測定流体が内部に入る筐体と、
   熱伝導率の高い材料で構成され、一方の側にある第１の面が前記筐体内に入ってきた被測定流体に触れるように前記筐体内に設けられており、前記第１の面から入った熱を他方の側にある第２の面に向かって熱伝導により伝達する熱伝達材と、
   熱伝導率の低い材料で構成され、前記熱伝達材の第２の面側で前記熱伝達材に係合することで前記熱伝達材を支持し、前記筐体内に設置されている熱伝達材支持体と、
   熱伝導率の高い材料で構成され、前記熱伝達材支持体に設けられ、前記熱伝達材支持体の一方の側にある第１の面から前記熱伝達材支持体の他方の側にある第２の面に向かう方向で、熱伝導によって熱伝達をする熱伝導部位と、
   前記熱伝導部位を伝わってきた熱の温度を測定することで被測定流体の温度を測定する温度測定部と、
   を有し、
   前記熱伝達材支持体には、前記熱伝達材支持体の第１の面から前記熱伝達材支持体の第２の面まで貫通している貫通孔が設けられており、前記熱伝導部位は、前記貫通孔に充填されている流体センサ。
2. 前記熱伝導部位は、熱伝導ポッティング剤で構成されており、
   前記温度測定部は、前記熱伝導ポッティング剤に入り込んでいる温度測定素子を備えて構成されている請求項１に記載の流体センサ。
3. 前記筐体内に入ってきた被測定流体の圧力を測定する圧力測定部が設けられており、
   前記圧力測定部は、圧力センサ素子と、前記被測定流体の温度に応じて前記圧力センサ素子の出力を補償する演算回路とを備えて構成されており、
   前記演算回路は、前記温度測定部が測定した被測定流体の温度に応じて前記補償をするように構成されている請求項１または請求項２に記載の流体センサ。
4. 前記筐体内に入ってきた被測定流体の圧力を測定する圧力測定部が設けられており、
   前記圧力測定部は、圧力センサ素子と、前記圧力センサ素子の出力を補償する演算回路とを備えて構成されており、
   前記演算回路は、前記流体センサが設置されている箇所の外気温度に応じて前記補償をするように構成されている請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の流体センサ。
5. 前記熱伝達材は、所定の厚さの平板状部位を備えて構成されており、前記熱伝達材の第１の面は、前記平板状部位の厚さ方向の一方の面であり、前記熱伝達材の第２の面は、前記平板状部位の厚さ方向の他方の面であり、
   前記筐体内に入ってくる被測定流体が流れる方向が、前記熱伝達材の第１の面に対して直交しているかもしくは直角に近い角度になっており、
   前記筐体内に入ってきた被測定流体が前記熱伝達材の第１の面にぶつかることで前記筐体内に入ってきた被測定流体が流れる方向が変わるように構成されている請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の流体センサ。

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