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JP7400926B2 - Thermosetting composition for forming stretchable resin, stretchable resin, and semiconductor device - Google Patents
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JP7400926B2 - Thermosetting composition for forming stretchable resin, stretchable resin, and semiconductor device - Google Patents

Thermosetting composition for forming stretchable resin, stretchable resin, and semiconductor device Download PDF

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本発明は、主として、伸縮性樹脂形成用熱硬化性組成物、及びこれを用いて形成された伸縮性樹脂層を有する半導体装置に関する。 The present invention mainly relates to a thermosetting composition for forming a stretchable resin, and a semiconductor device having a stretchable resin layer formed using the thermosetting composition.

ウェアラブル機器、生体センサ、及び接続コネクタ部材等を構成する樹脂部材に関して、従来よりも高いフレキシブル性及び伸縮性を有することが求められる場合がある。例えば、ウェアラブル機器を構成する樹脂部材は、身体の曲面への装着のし易さ、及び脱着にともなう接続不良の抑制のために、高いフレキシブル性及び伸縮性を有することが求められる。高いフレキシブル性及び伸縮性を有する従来の伸縮性樹脂は、一般に、液状シリコーン又は液状ポリウレタンによって形成される。 Resin members constituting wearable devices, biosensors, connector members, and the like may be required to have higher flexibility and stretchability than before. For example, resin members constituting wearable devices are required to have high flexibility and stretchability in order to be easily attached to curved surfaces of the body and to suppress connection failures that occur when attached and detached. Conventional stretchable resins with high flexibility and stretchability are generally formed by liquid silicone or liquid polyurethane.

しかしながら、液状シリコーンから形成された伸縮性樹脂は、他材料との密着性が不足することがある。液状ポリウレタンから形成される伸縮性樹脂は、耐熱性が不足する傾向がある。 However, stretchable resins made from liquid silicone may lack adhesion to other materials. Stretchable resins formed from liquid polyurethane tend to lack heat resistance.

一方、特許文献1は、共重合体ゴムを含む防湿絶縁塗料を開示している。 On the other hand, Patent Document 1 discloses a moisture-proof insulating paint containing a copolymer rubber.

特開2005-162986号公報Japanese Patent Application Publication No. 2005-162986

エポキシ樹脂を含む熱硬化性組成物から形成される伸縮性樹脂は、他材料に対する高い密着性を有し、しかも高い耐熱性を有する傾向がある。しかし、伸縮性樹脂の破断伸び率及び伸縮性の点で、改善の余地がある。 Stretchable resins formed from thermosetting compositions containing epoxy resins tend to have high adhesion to other materials and high heat resistance. However, there is room for improvement in terms of elongation at break and stretchability of the stretchable resin.

そこで、本発明の一側面の目的は、エポキシ樹脂を含む熱硬化性組成物の硬化によって形成される伸縮性樹脂に関して、破断伸び率及び伸縮性の更なる向上を図ることにある。 Therefore, an object of one aspect of the present invention is to further improve the elongation at break and the stretchability of a stretchable resin formed by curing a thermosetting composition containing an epoxy resin.

本発明の一側面は、(A)エポキシ樹脂と、(B)2以上のチオール基を有するチオール化合物と、を含有する、伸縮性樹脂形成用熱硬化性組成物に関する。(A)エポキシ樹脂が、(A1)共重合エポキシ樹脂を含む。(A1)共重合エポキシ樹脂は、芳香族基又は脂環基を有する構成単位と、オキシアルキレン基又は炭素数4~8のアルキレン基を有する構成単位とを含む共重合体である。 One aspect of the present invention relates to a thermosetting composition for forming a stretchable resin, which contains (A) an epoxy resin and (B) a thiol compound having two or more thiol groups. (A) Epoxy resin contains (A1) copolymerized epoxy resin. (A1) The copolymerized epoxy resin is a copolymer containing a constitutional unit having an aromatic group or an alicyclic group and a constitutional unit having an oxyalkylene group or an alkylene group having 4 to 8 carbon atoms.

本発明の別の一側面は、上記伸縮性樹脂形成用熱硬化性組成物の硬化物からなる、伸縮性樹脂に関する。本発明の更に別の一側面は、上記伸縮性樹脂形成用熱硬化性組成物の硬化物からなる伸縮性樹脂層を備える、半導体装置に関する。 Another aspect of the present invention relates to a stretchable resin comprising a cured product of the thermosetting composition for forming stretchable resin. Yet another aspect of the present invention relates to a semiconductor device including a stretchable resin layer made of a cured product of the thermosetting composition for forming stretchable resin.

本発明によれば、十分な破断伸び率及び伸縮性を有する伸縮性樹脂を形成できる熱硬化性組成物が提供される。形成される伸縮性樹脂は、耐熱性及び多材料との密着性の点でも良好な特性を有する。本発明の一側面に係る熱硬化性組成物は、保存時の安定性の点でも優れる。本発明の熱硬化性組成物は、無溶剤であることができる。無溶剤の熱硬化性組成物は、溶剤を含む熱硬化性組成物と比較して、取り扱い性及び生産性の点で有利である。 According to the present invention, a thermosetting composition capable of forming a stretchable resin having sufficient elongation at break and stretchability is provided. The stretchable resin formed has good properties in terms of heat resistance and adhesion to many materials. The thermosetting composition according to one aspect of the present invention also has excellent stability during storage. The thermosetting composition of the present invention can be solvent-free. Solvent-free thermosetting compositions are advantageous in terms of handling and productivity compared to solvent-containing thermosetting compositions.

伸縮回復率の測定例を示す応力-ひずみ曲線である。It is a stress-strain curve showing an example of measurement of stretch recovery rate. 半導体装置の一実施形態を示す断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view showing one embodiment of a semiconductor device. フレキシブル基板および回路部品の一実施形態を示す断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view showing an embodiment of a flexible board and a circuit component. 複数の半導体装置を得る工程の一実施形態を示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view showing an embodiment of a process for obtaining a plurality of semiconductor devices.

以下、本発明の一実施形態について具体的に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。以下の実施の形態において、その構成要素(要素ステップ等も含む)は、特に明示した場合および原理的に明らかに必須であると考えられる場合等を除き、必ずしも必須のものではないことは言うまでもない。このことは、数値および範囲についても同様であり、本発明を不当に制限するものではないと解釈すべきである。 Hereinafter, one embodiment of the present invention will be specifically described, but the present invention is not limited thereto. It goes without saying that in the following embodiments, the constituent elements (including elemental steps, etc.) are not necessarily essential, except when explicitly stated or when it is considered to be clearly essential in principle. . This also applies to numerical values and ranges, and should not be construed as unduly limiting the present invention.

本明細書において「工程」との語は、独立した工程だけではなく、他の工程と明確に区別できない場合であってもその工程の所期の作用が達成されれば、本用語に含まれる。
本明細書において「~」を用いて示された数値範囲は、「~」の前後に記載される数値をそれぞれ最小値および最大値として含む範囲を示す。
本明細書において組成物中の各成分の量について言及する場合、組成物中に各成分に該当する物質が複数存在する場合には、特に断らない限り、組成物中に存在する当該複数の物質の合計量を意味する。
In this specification, the term "process" is used not only to refer to an independent process, but also to include a process in which the intended effect of the process is achieved even if the process cannot be clearly distinguished from other processes. .
In this specification, a numerical range indicated using "-" indicates a range that includes the numerical values before and after "-" as the minimum and maximum values, respectively.
When referring to the amount of each component in the composition herein, if there are multiple substances corresponding to each component in the composition, unless otherwise specified, those multiple substances present in the composition means the total amount of

[伸縮性樹脂形成用熱硬化性組成物]
一実施形態に係る熱硬化性組成物は、(A)エポキシ樹脂と、(B)2以上のチオール基を有するチオール化合物とを含有する。(A)エポキシ樹脂が、(A1)芳香族基又は脂環基を有する構成単位と、オキシアルキレン基又は炭素数4~8のアルキレン基を有する構成単位とを含む共重合体である共重合エポキシ樹脂を含む。この熱硬化性組成物が、エポキシ基とチオール基との反応等によって硬化すると、十分な伸縮性を有する伸縮性樹脂が形成される。一実施形態に係る熱硬化性組成物は、一液型の熱硬化性組成物であってもよいし、(A)エポキシ樹脂を含む主剤液と(B)チオール化合物を含む硬化剤液とから構成される二液型の熱硬化性組成物であってもよい。
[Thermosetting composition for forming stretchable resin]
A thermosetting composition according to one embodiment contains (A) an epoxy resin and (B) a thiol compound having two or more thiol groups. (A) A copolymerized epoxy resin in which the epoxy resin is a copolymer containing (A1) a constitutional unit having an aromatic group or an alicyclic group and a constitutional unit having an oxyalkylene group or an alkylene group having 4 to 8 carbon atoms. Contains resin. When this thermosetting composition is cured by a reaction between an epoxy group and a thiol group, a stretchable resin having sufficient stretchability is formed. The thermosetting composition according to one embodiment may be a one-component thermosetting composition, or may be composed of (A) a base liquid containing an epoxy resin and (B) a curing agent liquid containing a thiol compound. It may be a two-component thermosetting composition.

本明細書において、「伸縮性」は、引張荷重によってひずみを生じた後、荷重からの解放により元の形状またはそれに近い形状に回復できる性質を意味する。例えば、引張荷重によって50%のひずみを生じた後、元の形状またはそれに近い形状に回復できる材料は、伸縮性を有するということができる。より具体的には、後述の伸縮回復率が80%以上である樹脂は、伸縮性樹脂であるといえる。 As used herein, "stretchability" refers to the property of being able to recover to its original shape or a shape close to it upon release from the load after being strained by a tensile load. For example, a material that can recover to or near its original shape after being subjected to a 50% strain under a tensile load can be said to be stretchable. More specifically, a resin having a stretch recovery rate of 80% or more, which will be described later, can be said to be a stretchable resin.

<(A1)共重合エポキシ樹脂>
(A1)成分の共重合エポキシ樹脂は、芳香族基又は脂環基を有する構成単位を剛直成分として有し、炭素数4以上のアルキレン基を有する構成単位を柔軟成分として有する。共重合エポキシ樹脂は、通常、共重合体鎖の両末端に位置する2つのエポキシ基を有する。この共重合エポキシ樹脂を用いることで、耐熱信頼性と柔軟性を兼ね備えた硬化物を得ることができる。
<(A1) Copolymerized epoxy resin>
The copolymerized epoxy resin of component (A1) has a structural unit having an aromatic group or an alicyclic group as a rigid component, and a structural unit having an alkylene group having 4 or more carbon atoms as a flexible component. Copolymerized epoxy resins typically have two epoxy groups located at both ends of the copolymer chain. By using this copolymerized epoxy resin, it is possible to obtain a cured product that has both heat resistance reliability and flexibility.

共重合エポキシ樹脂は、例えば、芳香族基又は脂環基を有するジオールと炭素数4~8のアルキレン基を有するグリシジルエーテルとの共重合体、炭素数4~8のアルキレン基を有するジオールと芳香族基又は脂環基を有するジグリシジルエーテルとの共重合体、又はこれらの組み合わせであってもよい。芳香族基又は脂環基を有するジオールは、下記式(21)で表される化合物であってもよい。炭素数4以上のアルキレン基を有するグリシジルエーテルは、下記式(31)で表される化合物であってもよい。炭素数4~8のアルキレン基を有するジオールは、下記式(22)で表される化合物であってもよい。芳香族基又は脂環基を有するジオールは、下記式(32)で表される化合物であってもよい。これら式中、Rは芳香族基又は脂環基を示し、Rは炭素数4以上のアルキレン基を示す。Rは炭素数4~8のアルキレン基であってもよい。

Figure 0007400926000001
The copolymerized epoxy resin is, for example, a copolymer of a diol having an aromatic group or an alicyclic group and a glycidyl ether having an alkylene group having 4 to 8 carbon atoms, or a copolymer of a diol having an alkylene group having 4 to 8 carbon atoms and an aromatic It may be a copolymer with a diglycidyl ether having a group group or an alicyclic group, or a combination thereof. The diol having an aromatic group or an alicyclic group may be a compound represented by the following formula (21). The glycidyl ether having an alkylene group having 4 or more carbon atoms may be a compound represented by the following formula (31). The diol having an alkylene group having 4 to 8 carbon atoms may be a compound represented by the following formula (22). The diol having an aromatic group or an alicyclic group may be a compound represented by the following formula (32). In these formulas, R a represents an aromatic group or an alicyclic group, and R b represents an alkylene group having 4 or more carbon atoms. R b may be an alkylene group having 4 to 8 carbon atoms.
Figure 0007400926000001

芳香族基は、例えば、ベンゼン環、ナフタレン環、アントラセン環及びピレン環等の芳香族炭化水素基、又は、ピロール環及びチオフェン環等の芳香族複素環基であってもよい。芳香族基は、2以上の芳香環を有しそれらが直接結合、メタンジイル基、2,2-プロパンジイル基、4級スピロ炭素原子又はこれらの組み合わせによって結合されている基であってもよく、その例としては、ビフェニレン基、テトラメチルビフェニレン基、カルド構造を有する基、及びフルオレン環が挙げられる。脂環基は、例えば、シクロヘキサン環、又はジシクロペンタジエン基であってもよい。 The aromatic group may be, for example, an aromatic hydrocarbon group such as a benzene ring, a naphthalene ring, an anthracene ring, and a pyrene ring, or an aromatic heterocyclic group such as a pyrrole ring and a thiophene ring. The aromatic group may be a group having two or more aromatic rings, which are bonded by a direct bond, a methanediyl group, a 2,2-propanediyl group, a quaternary spiro carbon atom, or a combination thereof, Examples include a biphenylene group, a tetramethylbiphenylene group, a group having a cardo structure, and a fluorene ring. The alicyclic group may be, for example, a cyclohexane ring or a dicyclopentadiene group.

炭素数4以上のアルキレン基としては、公知のものを用いることができる。例えば、炭素数4以上のアルキレン基は、1,4-ブタンジイル基、又は1,6-ヘキサンジイル基であってもよい。オキシアルキレン基は、例えば、オキシエチレン基、オキシプロピレン基、又はオキシブチレン基であってもよい。 As the alkylene group having 4 or more carbon atoms, known ones can be used. For example, the alkylene group having 4 or more carbon atoms may be a 1,4-butanediyl group or a 1,6-hexanediyl group. The oxyalkylene group may be, for example, an oxyethylene group, an oxypropylene group, or an oxybutylene group.

共重合エポキシ樹脂の例としては、ビスフェノールFと1,6-ヘキサンジオールジグリシジルエーテルとの共重合体、1,6-ヘキサンジオールとビスフェノールFジグリシジルエーテルの共重合体、ビスフェノールFと1,4-ブタンジオールジグリシジルエーテルとの共重合体、1,4-ブタンジオールとビスフェノールFジグリシジルエーテルとの共重合体、ビスフェノールAと1,6-ヘキサンジオールジグリシジルエーテルとの共重合体、1,6-ヘキサンジオールとビスフェノールAジグリシジルエーテルとの共重合体、ビスフェノールAと1,4-ブタンジオールジグリシジルエーテルの共重合体、1,4-ブタンジオールとビスフェノールAジグリシジルエーテルとの共重合体、テトラメチルビフェノールと1,6-ヘキサンジオールジグリシジルエーテルとの共重合体、1,6-ヘキサンジオールとテトラメチルビフェノールジグリシジルエーテルとの共重合体、テトラメチルビフェノールと1,4-ブタンジオールジグリシジルエーテルとの共重合体、1,4-ブタンジオールとテトラメチルビフェノールジグリシジルエーテルとの共重合体、ビフェノールと1,6-ヘキサンジオールジグリシジルエーテルとの共重合体、1,6-ヘキサンジオールとビフェノールジグリシジルエーテルの共重合体、ビフェノールと1,4-ブタンジオールジグリシジルエーテルとの共重合体、1,4-ブタンジオールとビフェノールジグリシジルエーテルとの共重合体、1,4-ナフタレンジオールと1,6-ヘキサンジオールジグリシジルエーテルとの共重合体、1,6-ヘキサンジオールと1,4-ナフタレンジオールジグリシジルエーテルとの共重合体、1,4-ナフタレンジオールと1,4-ブタンジオールジグリシジルエーテルとの共重合体、1,4-ブタンジオールと1,4-ナフタレンジオールジグリシジルエーテルとの共重合体、1,6-ナフタレンジオールと1,6-ヘキサンジオールジグリシジルエーテルとの共重合体、1,6-ヘキサンジオールと1,6-ナフタレンジオールジグリシジルエーテルとの共重合体、1,6-ナフタレンジオールと1,4-ブタンジオールジグリシジルエーテルとの共重合体、及び、1,4-ブタンジオールと1,6-ナフタレンジオールジグリシジルエーテルとの共重合体が挙げられる。これらは、1種を単独で用いてもよく、2種以上を任意の組み合わせで用いてもよい。 Examples of copolymerized epoxy resins include copolymers of bisphenol F and 1,6-hexanediol diglycidyl ether, copolymers of 1,6-hexanediol and bisphenol F diglycidyl ether, and copolymers of bisphenol F and 1,4 - copolymer with butanediol diglycidyl ether, copolymer with 1,4-butanediol and bisphenol F diglycidyl ether, copolymer with bisphenol A and 1,6-hexanediol diglycidyl ether, 1, Copolymer of 6-hexanediol and bisphenol A diglycidyl ether, copolymer of bisphenol A and 1,4-butanediol diglycidyl ether, copolymer of 1,4-butanediol and bisphenol A diglycidyl ether , copolymer of tetramethylbiphenol and 1,6-hexanediol diglycidyl ether, copolymer of 1,6-hexanediol and tetramethylbiphenol diglycidyl ether, tetramethylbiphenol and 1,4-butanediol diglycidyl ether, Copolymer with glycidyl ether, copolymer with 1,4-butanediol and tetramethylbiphenol diglycidyl ether, copolymer with biphenol and 1,6-hexanediol diglycidyl ether, 1,6-hexanediol copolymer of biphenol and biphenol diglycidyl ether, copolymer of biphenol and 1,4-butanediol diglycidyl ether, copolymer of 1,4-butanediol and biphenol diglycidyl ether, 1,4-naphthalenediol and 1,6-hexanediol diglycidyl ether, 1,6-hexanediol and 1,4-naphthalenediol diglycidyl ether, 1,4-naphthalenediol and 1,4-butane Copolymer with diol diglycidyl ether, copolymer with 1,4-butanediol and 1,4-naphthalenediol diglycidyl ether, copolymer with 1,6-naphthalenediol and 1,6-hexanediol diglycidyl ether A copolymer, a copolymer of 1,6-hexanediol and 1,6-naphthalenediol diglycidyl ether, a copolymer of 1,6-naphthalenediol and 1,4-butanediol diglycidyl ether, and Examples include copolymers of 1,4-butanediol and 1,6-naphthalenediol diglycidyl ether. These may be used alone or in any combination of two or more.

(A1)共重合エポキシ樹脂の市販品の例としては、三菱ケミカル(株)製「YX7105」及び「YX7110」(ビスフェノールFと1,6-ヘキサンジオールジグリシジルエーテルとの共重合体)が挙げられる。 (A1) Examples of commercially available copolymerized epoxy resins include "YX7105" and "YX7110" (copolymers of bisphenol F and 1,6-hexanediol diglycidyl ether) manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation. .

(A1)共重合エポキシ樹脂の含有量は、(A)エポキシ樹脂の総量100質量部に対して、30質量部以上、又は50質量部以上であってもよい。(A1)成分の含有量が30質量部以上であると、特に高い柔軟性を有する硬化物を容易に得ることができる。 The content of the copolymerized epoxy resin (A1) may be 30 parts by mass or more, or 50 parts by mass or more with respect to 100 parts by mass of the total amount of the epoxy resin (A). When the content of component (A1) is 30 parts by mass or more, a cured product having particularly high flexibility can be easily obtained.

<(B)2以上のチオール基を有するチオール化合物>
(B)成分のチオール化合物は、2以上のチオール基(-SH)を有する。(B)チオール化合物は、チオール基を2~5個、3~5個、又は3~4個有していてもよい。(B)チオール化合物が有するチオール基は、2級チオール基であってもよい。2級チオール基を有するチオール化合物を含有する熱硬化性組成物は、特に優れた保存安定性を有することができる。2級チオール基は、2個の炭素原子及び1個の水素原子に結合した炭素原子に結合したチオール基である。
<(B) Thiol compound having two or more thiol groups>
The thiol compound of component (B) has two or more thiol groups (-SH). (B) The thiol compound may have 2 to 5, 3 to 5, or 3 to 4 thiol groups. (B) The thiol group that the thiol compound has may be a secondary thiol group. A thermosetting composition containing a thiol compound having a secondary thiol group can have particularly excellent storage stability. A secondary thiol group is a thiol group bonded to a carbon atom that is bonded to two carbon atoms and one hydrogen atom.

(B)チオール化合物は、下記式(1)、(2)又は(3)で表される化合物であってもよい。

Figure 0007400926000002

Figure 0007400926000003

Figure 0007400926000004
(B) The thiol compound may be a compound represented by the following formula (1), (2) or (3).
Figure 0007400926000002

Figure 0007400926000003

Figure 0007400926000004

式(1)中、X、X、X及びXは、それぞれ独立にチオール基を有する1価の基、又は水素原子を示し、X、X、X及びXのうち2個以上はチオール基を有する1価の基である。式(2)中、X、X及びXは、それぞれ独立にチオール基を有する1価の基、又は水素原子を示し、X、X及びXのうち2個以上はチオール基を有する1価の基である。式(3)中、X及びXは、それぞれ独立にチオール基を有する1価の基を示し、Rはアルキレン基を示す。Rは、炭素数2~10のアルキレン基であってもよい。チオール基を有する基は、2級チオール基を有する下記式(11)で表される基であってもよいし、1級チオール基を有する下記式(12)又は(13)で表される基であってもよい。式(11)中、Rはアルキレン基を示す。式(12)中、Rはアルキレン基を示す。式(13)中、Rはアルキレン基を示す。Rは、炭素数1~8のアルキレン基であってもよい。R及びRは、炭素数2~10のアルキレン基であってもよい。

Figure 0007400926000005
In formula (1), X 1 , X 2 , X 3 and X 4 each independently represent a monovalent group having a thiol group or a hydrogen atom; Two or more are monovalent groups having a thiol group. In formula (2), X 5 , X 6 and X 7 each independently represent a monovalent group having a thiol group or a hydrogen atom, and two or more of X 5 , X 6 and X 7 are thiol groups. It is a monovalent group having In formula (3), X 8 and X 9 each independently represent a monovalent group having a thiol group, and R 1 represents an alkylene group. R 1 may be an alkylene group having 2 to 10 carbon atoms. The group having a thiol group may be a group represented by the following formula (11) having a secondary thiol group, or a group represented by the following formula (12) or (13) having a primary thiol group. It may be. In formula (11), R 2 represents an alkylene group. In formula (12), R 3 represents an alkylene group. In formula (13), R 4 represents an alkylene group. R 2 may be an alkylene group having 1 to 8 carbon atoms. R 3 and R 4 may be alkylene groups having 2 to 10 carbon atoms.
Figure 0007400926000005

2級チオール基を有するチオール化合物としては、例えば、下記式(1a)で表されるペンタエリスリトールテトラキス(3-メルカプトブチレート)(例えば、昭和電工(株)製「カレンズMT PE-1」)、下記式(2a)で表される1,3,5-トリス(2-(3-メルカプトブチリルオキシ)エチル)-1,3,5-トリアジン-2,4,6(1H,3H,5H)-トリオン(例えば、昭和電工(株)製「カレンズMT NR-1」)、及び、下記式(3a)で表される1,4-ビス(3-メルカプトブチリルオキシ)ブタン(例えば、昭和電工(株)製「カレンズMT BD-1」)が挙げられる。

Figure 0007400926000006

Figure 0007400926000007

Figure 0007400926000008
Examples of the thiol compound having a secondary thiol group include pentaerythritol tetrakis (3-mercaptobutyrate) represented by the following formula (1a) (for example, "Karens MT PE-1" manufactured by Showa Denko K.K.), 1,3,5-tris(2-(3-mercaptobutyryloxy)ethyl)-1,3,5-triazine-2,4,6(1H,3H,5H) represented by the following formula (2a) - Trion (for example, “Karens MT NR-1” manufactured by Showa Denko K.K.) and 1,4-bis(3-mercaptobutyryloxy)butane represented by the following formula (3a) (for example, “Karens MT NR-1” manufactured by Showa Denko K.K.) ``Karens MT BD-1'' manufactured by Co., Ltd.).
Figure 0007400926000006

Figure 0007400926000007

Figure 0007400926000008

2級チオール基を有するチオール化合物のその他の例としては、エチレングリコールビス(3-メルカプトブチレート)、トリメチロールエタントリス(3-メルカプトブチレート)、ブタンジオールビス(3-メルカプトブチレート)、ペンタエリスリトールトリ(3-メルカプトブチレート)、トリメチロールエタン(3-メルカプトブチレート)、トリメチロールプロパントリス(3-メルカプトブチレート)、及びジペンタエリスリトールヘキサキス(3-メルカプトブチレート)が挙げられる。 Other examples of thiol compounds having secondary thiol groups include ethylene glycol bis(3-mercaptobutyrate), trimethylolethane tris(3-mercaptobutyrate), butanediol bis(3-mercaptobutyrate), penta Erythritol tris(3-mercaptobutyrate), trimethylolethane (3-mercaptobutyrate), trimethylolpropane tris(3-mercaptobutyrate), and dipentaerythritol hexakis(3-mercaptobutyrate).

1級チオール基を有するチオール化合物のその他の例としては、ペンタエリスリトールトリプロパンチオール、1,2-エタンジチオール、1,3-プロパンジチオール、1,4-ブタンジチオール、2,3-ブタンジチオール、1,5-ペンタンジチオール、1,6-ヘキサンジチオール、1,8-オクタンジチオール、1,10-デカンジチオール、1,3-ベンゼンジチオール、1,4-ベンゼンジチオール、4,4’-チオビスベンゼンチオール、4,4’-ビフェニルジチオール、1,5-ジメルカプトナフタレン、4,5-ビス(メルカプトメチル)-オルト-キシレン、1,3,5-ベンゼントリチオール、1,4-ブタンジオールビス(チオグリコレート)、ジチオエチスリトール、3,6-ジオキサ-1,8-オクタンジチオール、3,7-ジチア-1,9-ノナンジチオール、ビス(2-メルカプトエチル)スルフィド、エチレングリコールビス(メルカプトアセテート)、エチレングリコールビス(3-メルカプトプロピオネート)、エチレングリコールビス(3-メルカプトイソブチレート)、ブタンジオールビス(メルカプトアセテート)、ブタンジオールビス(3-メルカプトプロピオネート)、ブタンジオールビス(3-メルカプトイソブチレート)、ペンタエリトリトールトリ(メルカプトアセテート)、ペンタエリトリトールトリ(3-メルカプトプロピオネート)、ペンタエリトリトールトリ(3-メルカプトイソブチレート)、ペンタエリスリトールテトラキス(メルカプトアセテート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3-メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3-メルカプトイソブチレート)、トリメチロールエタン(メルカプトアセテート)、トリメチロールエタン(3-メルカプトプロピオネート)、トリメチロールエタン(3-メルカプトイソブチレート)、トリメチロールプロパントリス(メルカプトアセテート)、トリメチロールプロパントリス(3-メルカプトプロピオネート)、トリメチロールプロパントリス(3-メルカプトイソブチレート)、ジペンタエリスリトールヘキサキス(メルカプトアセテート)、ジペンタエリスリトールヘキサキス(3-メルカプトプロピオネート)、ジペンタエリスリトールヘキサキス(3-メルカプトイソブチレート)、1,4-ビス(3-メルカプトプロピルオキシ)ブタン、トリス[(3-メルカプトプロピオニルオキシ)エチル]イソシアヌレート、及びテトラエチレングリコールビス(3-メルカプトプロピオネート)が挙げられる。 Other examples of thiol compounds having a primary thiol group include pentaerythritol tripropanethiol, 1,2-ethanedithiol, 1,3-propanedithiol, 1,4-butanedithiol, 2,3-butanedithiol, 1 ,5-pentanedithiol, 1,6-hexanedithiol, 1,8-octanedithiol, 1,10-decanedithiol, 1,3-benzenedithiol, 1,4-benzenedithiol, 4,4'-thiobisbenzenedithiol , 4,4'-biphenyldithiol, 1,5-dimercaptonaphthalene, 4,5-bis(mercaptomethyl)-ortho-xylene, 1,3,5-benzenedithiol, 1,4-butanediol bis(thio glycolate), dithioethithritol, 3,6-dioxa-1,8-octanedithiol, 3,7-dithia-1,9-nonanedithiol, bis(2-mercaptoethyl) sulfide, ethylene glycol bis(mercaptoacetate) ), ethylene glycol bis(3-mercaptopropionate), ethylene glycol bis(3-mercaptoisobutyrate), butanediol bis(mercaptoacetate), butanediol bis(3-mercaptopropionate), butanediol bis( 3-mercaptoisobutyrate), pentaerythritol tri(mercaptoacetate), pentaerythritol tri(3-mercaptopropionate), pentaerythritol tri(3-mercaptoisobutyrate), pentaerythritol tetrakis(mercaptoacetate), pentaerythritol Tetrakis (3-mercaptopropionate), Pentaerythritol Tetrakis (3-mercaptoisobutyrate), Trimethylolethane (Mercaptoacetate), Trimethylolethane (3-Mercaptopropionate), Trimethylolethane (3-Mercaptoisobutyrate) butyrate), trimethylolpropane tris (mercaptoacetate), trimethylolpropane tris (3-mercaptopropionate), trimethylolpropane tris (3-mercaptoisobutyrate), dipentaerythritol hexakis (mercaptoacetate), dipentaerythritol hexakis (mercaptoacetate), Pentaerythritol hexakis (3-mercaptopropionate), dipentaerythritol hexakis (3-mercaptoisobutyrate), 1,4-bis(3-mercaptopropyloxy)butane, tris[(3-mercaptopropionyloxy) ethyl] isocyanurate, and tetraethylene glycol bis(3-mercaptopropionate).

以上例示したチオール化合物は、単独で又は2種以上を組み合わせて使用することができる。 The thiol compounds exemplified above can be used alone or in combination of two or more.

(B)チオール化合物のチオール当量(チオール基の当量)が、(A)エポキシ樹脂の総量のエポキシ当量に対して、0.5~1.5、又は0.8~1.2であってもよい。チオール化合物のチオール当量がこの範囲であると、未反応の(A)エポキシ樹脂及び(B)チオール化合物が硬化物中に残存し難い。 (B) Even if the thiol equivalent (equivalent of thiol group) of the thiol compound is 0.5 to 1.5 or 0.8 to 1.2 with respect to the epoxy equivalent of the total amount of the epoxy resin (A) good. When the thiol equivalent of the thiol compound is within this range, unreacted epoxy resin (A) and thiol compound (B) are unlikely to remain in the cured product.

<(A2)炭素数6以上のアルキル基を有する単官能エポキシ樹脂>
一実施形態に係る熱硬化性組成物は、(A)エポキシ樹脂として、(A2)炭素数6以上のアルキル基を有する単官能エポキシ樹脂を更に含有してもよい。(A2)成分の単官能エポキシ樹脂は、炭素数6以上のアルキル基及び1個のエポキシ基を有するエポキシ化合物を1種又は2種以上含む。アルキル基の炭素数は8以上であってもよく、20以下、又は17以下であってもよい。アルキル基の炭素数がこれら数値範囲内であると、硬化物が白濁し難い傾向がある。(A2)単官能エポキシ樹脂が有する炭素数6以上のアルキル基は、直鎖アルキル基であってもよい。
<(A2) Monofunctional epoxy resin having an alkyl group having 6 or more carbon atoms>
The thermosetting composition according to one embodiment may further contain (A2) a monofunctional epoxy resin having an alkyl group having 6 or more carbon atoms as the epoxy resin (A). The monofunctional epoxy resin as component (A2) contains one or more epoxy compounds having an alkyl group having 6 or more carbon atoms and one epoxy group. The number of carbon atoms in the alkyl group may be 8 or more, 20 or less, or 17 or less. When the number of carbon atoms in the alkyl group is within these numerical ranges, the cured product tends not to become cloudy. (A2) The alkyl group having 6 or more carbon atoms that the monofunctional epoxy resin has may be a linear alkyl group.

(A2)単官能エポキシ樹脂は、下記式(5)で表されるグリシジルエーテル化合物、下記式(6)で表されるグリシジルエステル化合物、又はこれらの組み合わせを含んでいてもよい。式(5)及び(6)中のR及びRが、炭素数6以上のアルキル基である。

Figure 0007400926000009
(A2) The monofunctional epoxy resin may contain a glycidyl ether compound represented by the following formula (5), a glycidyl ester compound represented by the following formula (6), or a combination thereof. R 5 and R 6 in formulas (5) and (6) are alkyl groups having 6 or more carbon atoms.
Figure 0007400926000009

(A2)単官能エポキシ樹脂の例としては、炭素数12~13のアルキル基を有するグリシジルエーテル化合物(例えば、(株)ADEKA製「アデカグリシロールED-502」)、及び炭素数17のアルキル基を有するグリシジルエステル化合物(例えば、ナガセケムテックス(株)製「デナコールEX-1113」)が挙げられる。これらの化合物は、単独で又は2種以上を組み合わせて使用することができる。 (A2) Examples of monofunctional epoxy resins include glycidyl ether compounds having an alkyl group having 12 to 13 carbon atoms (for example, "ADEKA Glycilol ED-502" manufactured by ADEKA Co., Ltd.), and alkyl groups having 17 carbon atoms. Examples include glycidyl ester compounds having the following: (eg, "Denacol EX-1113" manufactured by Nagase ChemteX Co., Ltd.). These compounds can be used alone or in combination of two or more.

(A2)単官能エポキシ樹脂の含有量は、(A)エポキシ樹脂の総量100質量部に対して、60質量部以下、又は50質量部以下であってもよく、10質量部以上であってもよい。(A2)成分の含有量がこれら数値範囲内であると、伸縮性樹脂としての硬化物が特に容易に形成される傾向がある。 (A2) The content of the monofunctional epoxy resin may be 60 parts by mass or less, or 50 parts by mass or less, or 10 parts by mass or more, based on 100 parts by mass of the total amount of the epoxy resin (A). good. When the content of component (A2) is within these numerical ranges, a cured product as a stretchable resin tends to be particularly easily formed.

<(A3)脂環基含有多官能エポキシ樹脂>
一実施形態に係る熱硬化性組成物は、(A)エポキシ樹脂として、(A3)脂環基含有多官能エポキシ樹脂を含有してもよい。(A3)成分の脂環基含有多官能エポキシ樹脂は、脂環基と2個以上のエポキシ基とを有するエポキシ樹脂であり、(A1)成分の共重合エポキシ樹脂とは異なるものである。脂環基は、例えば、シクロヘキサン環、又はジシクロペンタジエン基であってもよい。
<(A3) Alicyclic group-containing polyfunctional epoxy resin>
The thermosetting composition according to one embodiment may contain (A3) an alicyclic group-containing polyfunctional epoxy resin as the (A) epoxy resin. The alicyclic group-containing polyfunctional epoxy resin of component (A3) is an epoxy resin having an alicyclic group and two or more epoxy groups, and is different from the copolymerized epoxy resin of component (A1). The alicyclic group may be, for example, a cyclohexane ring or a dicyclopentadiene group.

脂環基含有多官能エポキシ樹脂の例としては、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂(例えば、DIC(株)製「EPICLON HP-7200シリーズ」)、3,4-エポキシシクロヘキシルメチル-3’,4’-エポキシシクロヘキサンカルボキシレート(例えば、(株)ダイセル製「セロキサイド2021P、セロキサイド2081、セロキサイド8000」)、水素添加ビスフェノールA型エポキシ樹脂(例えば、三菱ケミカル(株)製「エピコートYX8000、エピコートYX8034、エピコートYL8040」)、2,2-ビス(ヒドロキシメチル)-1-ブタノールの1,2-エポキシ-4-(2-オキシラニル)シクロヘキサン付加物(例えば、(株)ダイセル製「EHPE3150」)、ブタンテトラカルボン酸 テトラ(3、4-エポキシシクロヘキシルメチル)修飾ε-カプロラクトン(例えば、(株)ダイセル製「エポリードGT-401」)、脂環基及びエポキシ基を有するシリコーンオリゴマー(例えば、信越化学工業(株)製「X-40-2670」)が挙げられる。耐熱信頼性の観点から、(A3)脂環式含有多官能エポキシ樹脂がジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂を含んでいてもよい。これらのエポキシ樹脂は、単独で又は2種以上を組み合わせて使用することができる。 Examples of alicyclic group-containing polyfunctional epoxy resins include dicyclopentadiene type epoxy resins (for example, "EPICLON HP-7200 series" manufactured by DIC Corporation), 3,4-epoxycyclohexylmethyl-3',4'- Epoxycyclohexane carboxylate (for example, "Celoxide 2021P, Celoxide 2081, Celoxide 8000" manufactured by Daicel Corporation), hydrogenated bisphenol A epoxy resin (for example, "Epicote YX8000, Epicote YX8034, Epicote YL8040" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) ), 1,2-epoxy-4-(2-oxiranyl)cyclohexane adduct of 2,2-bis(hydroxymethyl)-1-butanol (for example, "EHPE3150" manufactured by Daicel Corporation), butanetetracarboxylic acid tetra (3,4-epoxycyclohexylmethyl)-modified ε-caprolactone (e.g., "Epolead GT-401" manufactured by Daicel Corporation), silicone oligomers having an alicyclic group and an epoxy group (e.g., "Epolead GT-401" manufactured by Daicel Corporation), X-40-2670''). From the viewpoint of heat resistance reliability, (A3) alicyclic-containing polyfunctional epoxy resin may contain a dicyclopentadiene type epoxy resin. These epoxy resins can be used alone or in combination of two or more.

(A3)脂環基含有多官能エポキシ樹脂の含有量は、(A)エポキシ樹脂の総量100質量部に対して、5質量部以上、又は10質量部以上であってもよく、50質量部以下、又は40質量部以下であってもよい。(A3)成分の含有量が5質量部以上であると、強度及び耐熱性が特に高い硬化物が形成される傾向がある。(A3)成分の含有量が50質量部以下であると、硬化物がより一層高い伸縮性を示す傾向がある。 (A3) The content of the alicyclic group-containing polyfunctional epoxy resin may be 5 parts by mass or more, or 10 parts by mass or more, and 50 parts by mass or less, based on 100 parts by mass of the total amount of the epoxy resin (A). , or 40 parts by mass or less. When the content of component (A3) is 5 parts by mass or more, a cured product with particularly high strength and heat resistance tends to be formed. When the content of component (A3) is 50 parts by mass or less, the cured product tends to exhibit even higher elasticity.

<その他の成分>
一実施形態に係る熱硬化性組成物は、以上説明した(A)エポキシ樹脂及び(B)チオール化合物に加えて、必要に応じて、その他の成分を含有していてもよい。(A)エポキシ樹脂が、(A1)成分、(A2)成分及び(A3)成分以外のエポキシ樹脂を含んでいてもよい。ただし、(A)エポキシ樹脂の総量に対する(A1)成分、(A2)成分及び(A3)成分の合計量の割合は、通常、80~100質量%、又は90~100質量%である。(A)エポキシ樹脂及び(B)チオール化合物の合計量は、熱硬化性組成物のうち溶剤を除く部分の質量に対して50~100質量%、60~100質量%、70~100質量%、80~100質量%、又は90~100質量%であってもよい。
<Other ingredients>
In addition to the above-described (A) epoxy resin and (B) thiol compound, the thermosetting composition according to one embodiment may contain other components as necessary. The epoxy resin (A) may contain epoxy resins other than the components (A1), (A2), and (A3). However, the ratio of the total amount of components (A1), (A2) and (A3) to the total amount of epoxy resin (A) is usually 80 to 100% by mass or 90 to 100% by mass. The total amount of (A) epoxy resin and (B) thiol compound is 50 to 100% by mass, 60 to 100% by mass, 70 to 100% by mass, based on the mass of the thermosetting composition excluding the solvent. It may be 80 to 100% by mass, or 90 to 100% by mass.

一実施形態に係る熱硬化性組成物は、無機微粒子、硬化触媒、消泡在、レベリング剤、シランカップリング剤、酸化防止剤、黄変防止剤、紫外線吸収剤、可視光吸収剤、着色剤、可塑剤、及び難燃剤から選ばれるその他の成分を含有してもよい。無機微粒子の例としては、シリカ(SiO)、アルミナ(Al)、ジルコニア(ZrO)、炭酸バリウム(BaCO)、タルク(3MgO・4SiO・HO)、酸化亜鉛(ZnO)、硫酸バリウム(BaSO)、有機ベントナイト、及びハイドロタルサイトが挙げられる。硬化触媒の例としては、3級アミン、イミダゾール、リン化合物、4級アンモニウム塩、及び有機金属塩が挙げられる。消泡剤及びレベリング剤は、例えば、シリコーン系、フッ素系、又は高分子系であることできる。シランカップリング剤は、例えば、チアゾール系、又はトリアゾール系であることができる。熱硬化性組成物が、溶剤を含有する樹脂ワニスであってもよい。 The thermosetting composition according to one embodiment includes inorganic fine particles, a curing catalyst, an antifoaming agent, a leveling agent, a silane coupling agent, an antioxidant, an anti-yellowing agent, an ultraviolet absorber, a visible light absorber, and a colorant. , a plasticizer, and a flame retardant. Examples of inorganic fine particles include silica (SiO 2 ), alumina (Al 2 O 3 ), zirconia (ZrO 2 ), barium carbonate (BaCO 3 ), talc (3MgO・4SiO 2・H 2 O), and zinc oxide (ZnO). ), barium sulfate (BaSO 4 ), organic bentonite, and hydrotalcite. Examples of curing catalysts include tertiary amines, imidazoles, phosphorus compounds, quaternary ammonium salts, and organometallic salts. Defoamers and leveling agents can be silicone-based, fluorine-based, or polymeric, for example. The silane coupling agent can be, for example, thiazole-based or triazole-based. The thermosetting composition may be a resin varnish containing a solvent.

[伸縮性樹脂/伸縮性樹脂層]
一実施形態に係る伸縮性樹脂は、以上説明した実施形態に係る熱硬化性組成物の熱硬化によって形成される硬化物からなる。伸縮性樹脂は、任意の形状を有することが可能であり、例えば伸縮性樹脂層を形成してもよい。
[Stretchable resin/stretchable resin layer]
The stretchable resin according to one embodiment is a cured product formed by thermosetting the thermosetting composition according to the embodiment described above. The stretchable resin can have any shape, and may form a stretchable resin layer, for example.

一実施形態に係る伸縮性樹脂又は伸縮性樹脂層は、例えば、ウェアラブル機器、生体センサ、接続コネクタ部材の封止層若しくは保護膜として、又は、フレキシブル基板の配線の保護膜として用いることができる。 The stretchable resin or stretchable resin layer according to one embodiment can be used, for example, as a sealing layer or protective film of a wearable device, a biosensor, a connection connector member, or as a protective film of wiring of a flexible substrate.

伸縮性樹脂の引張試験による破断伸び率は、100%以上であってもよい。破断伸び率が100%以上であれば十分な引張り強度を得ることができる。 The elongation at break of the stretchable resin in a tensile test may be 100% or more. Sufficient tensile strength can be obtained if the elongation at break is 100% or more.

伸縮性樹脂の伸縮性は、2回の引張試験を含む以下の手順で測定される伸縮回復率を指標として評価することができる。
1)長さ40mm、幅5mmの短冊状の伸縮性樹脂を試験片として準備する。
2)試験片を、チャック間距離20mmのチャックで保持した状態で、1回目の引張試験で変位量(ひずみ)Xまで試験片を引張る。
3)チャックを初期位置に戻す。
4)2回目の引張試験を行い、荷重がかかっている区間の変位量(ひずみ)Yを記録する。
5)式:伸縮回復率R(%)=(Y/X)×100によって伸縮回復率を算出する。
引張試験は、25℃の環境下で行われる。Xは変位量10mm(ひずみ50%)に設定することができる。試験機としては、例えばマイクロフォース試験機(Illinois Tool Works Inc、「Instron 5948」)を用いることができる。図1は、伸縮回復率を求めるための引張試験から得られた応力-ひずみ曲線の例である。
The stretchability of the stretchable resin can be evaluated using the stretch recovery rate measured by the following procedure including two tensile tests as an index.
1) A strip of stretchable resin with a length of 40 mm and a width of 5 mm is prepared as a test piece.
2) While holding the test piece with a chuck with a distance between chucks of 20 mm, the test piece is pulled to a displacement (strain) X in the first tensile test.
3) Return the chuck to its initial position.
4) Perform a second tensile test and record the amount of displacement (strain) Y in the section where the load is applied.
5) Calculate the elasticity recovery rate using the equation: elasticity recovery rate R (%) = (Y/X) x 100.
The tensile test is conducted in a 25°C environment. X can be set to a displacement of 10 mm (50% strain). As the testing machine, for example, a micro force testing machine (Illinois Tool Works Inc., "Instron 5948") can be used. FIG. 1 is an example of a stress-strain curve obtained from a tensile test to determine the stretch recovery rate.

上記伸縮回復率は、繰り返し使用への耐性の観点から、80%以上、85%以上、又は90%以上であってもよい。伸縮回復率の上限は、100%である。上述の実施形態に係る熱硬化性組成物は、通常、80%の伸縮回復率を示す硬化物を容易に形成することができる。 The stretch recovery rate may be 80% or more, 85% or more, or 90% or more from the viewpoint of durability against repeated use. The upper limit of the stretch recovery rate is 100%. The thermosetting composition according to the embodiment described above can usually easily form a cured product exhibiting a stretch recovery rate of 80%.

伸縮性樹脂の引張弾性率は、0.1MPa以上50MPa以下であってもよい。引張弾性率が0.1MPa以上50MPa以下であると、より容易に伸縮性樹脂を伸縮させることができる。同様の観点から、伸縮性樹脂の引張弾性率が0.1MPa以上30MPa以下、又は0.1MPa以上10MPa以下であってもよい。 The tensile modulus of the stretchable resin may be 0.1 MPa or more and 50 MPa or less. When the tensile modulus is 0.1 MPa or more and 50 MPa or less, the stretchable resin can be expanded and contracted more easily. From the same viewpoint, the tensile modulus of the stretchable resin may be 0.1 MPa or more and 30 MPa or less, or 0.1 MPa or more and 10 MPa or less.

伸縮性樹脂又は伸縮性樹脂層は、熱硬化性組成物を、ディスペンス、ディッピング、各種コーティング又は注型等の方法により所望の形態で配置することと、その後、熱硬化性組成物を熱硬化させることとを含む方法により、形成することができる。熱硬化のための加熱の条件は、十分に熱硬化が進行する範囲で設定すればよいが、例えば100℃~200℃の温度であってもよい。 The stretchable resin or stretchable resin layer is prepared by disposing a thermosetting composition in a desired form by dispensing, dipping, various coatings, casting, etc., and then thermosetting the thermosetting composition. It can be formed by a method including. The heating conditions for thermal curing may be set within a range where thermal curing sufficiently proceeds, and may be, for example, a temperature of 100° C. to 200° C.

[半導体装置]
図2は、半導体装置の一実施形態を示す断面図である。図2に示す半導体装置100は、伸縮性を有するフレキシブル基板1と、回路部品2と、封止樹脂層3とを有する。回路部品2は、フレキシブル基板1上に実装されている。封止樹脂層3は、上述の実施形態に係る熱硬化性組成物から形成された伸縮性樹脂であることができる。封止樹脂層3は、フレキシブル基板1及び回路部品2を封止し、それによりこれらを保護している。
[Semiconductor device]
FIG. 2 is a cross-sectional view showing one embodiment of a semiconductor device. A semiconductor device 100 shown in FIG. 2 includes a stretchable flexible substrate 1, a circuit component 2, and a sealing resin layer 3. Circuit component 2 is mounted on flexible substrate 1. The sealing resin layer 3 can be a stretchable resin formed from the thermosetting composition according to the above embodiment. The sealing resin layer 3 seals the flexible substrate 1 and the circuit components 2, thereby protecting them.

フレキシブル基板1は、ポリイミド樹脂、アクリル樹脂、シリコーン樹脂、ウレタン樹脂、ビスマレイミド樹脂、エポキシ樹脂及びポリエチレングリコール樹脂からなる群より選ばれる少なくとも1種の樹脂を含む樹脂フィルムであってもよい。伸縮性に優れる観点から、フレキシブル基板1が、シロキサン基、脂肪族エーテル基又はジエン構造を有するポリイミド樹脂、アクリル樹脂、シリコーン樹脂、ウレタン樹脂、長鎖アルキル鎖(例えば、炭素数1~20のアルキル鎖)を有するビスマレイミド樹脂、エポキシ樹脂、及び、ロタキサン構造を有するポリエチレングリコール樹脂からなる群より選ばれる少なくとも1種の樹脂を含む樹脂フィルムであってもよい。同様の観点から、フレキシブル基板1が、シロキサン基、脂肪族エーテル基又はジエン構造を有するポリイミド樹脂、シリコーン樹脂、ウレタン樹脂、及び、長鎖アルキル鎖を有するビスマレイミド樹脂からなる群より選ばれる少なくとも1種の樹脂を含む樹脂フィルムであってもよい。 The flexible substrate 1 may be a resin film containing at least one resin selected from the group consisting of polyimide resin, acrylic resin, silicone resin, urethane resin, bismaleimide resin, epoxy resin, and polyethylene glycol resin. From the viewpoint of excellent elasticity, the flexible substrate 1 may be made of polyimide resin, acrylic resin, silicone resin, urethane resin, long-chain alkyl chain (for example, alkyl having 1 to 20 carbon atoms) having a siloxane group, an aliphatic ether group, or a diene structure. The resin film may include at least one resin selected from the group consisting of a bismaleimide resin having a chain), an epoxy resin, and a polyethylene glycol resin having a rotaxane structure. From the same viewpoint, the flexible substrate 1 is made of at least one selected from the group consisting of polyimide resins having siloxane groups, aliphatic ether groups or diene structures, silicone resins, urethane resins, and bismaleimide resins having long alkyl chains. It may also be a resin film containing a seed resin.

回路部品2は、1種類又は2種類以上の部品であることができる。回路部品2は、例えば、制御回路、メモリーチップ、発光ダイオード(LED)、RFタグ(RFID)、温度センサ、加速度センサ、又はこれらの組み合わせであってもよい。 The circuit component 2 can be one type or two or more types of components. The circuit component 2 may be, for example, a control circuit, a memory chip, a light emitting diode (LED), an RF tag (RFID), a temperature sensor, an acceleration sensor, or a combination thereof.

半導体装置100は、例えば、図3に示すようにフレキシブル基板1上に回路部品2を実装する工程と、フレキシブル基板1及び回路部品2を封止する封止樹脂層3を形成する工程とを含む方法によって製造することができる。封止樹脂層3は、フレキシブル基板1上に形成された熱硬化性組成物の膜を硬化させることにより形成される。熱硬化性組成物の膜は、例えば、フレキシブル基板1及び回路部品2に熱硬化性組成物を塗布又は印刷すること、又は、熱硬化性組成物にフレキシブル基板1及び回路部品2を浸漬することによって形成することができる。 The semiconductor device 100 includes, for example, as shown in FIG. 3, a step of mounting a circuit component 2 on a flexible substrate 1, and a step of forming a sealing resin layer 3 for sealing the flexible substrate 1 and the circuit component 2. It can be manufactured by a method. The sealing resin layer 3 is formed by curing a film of a thermosetting composition formed on the flexible substrate 1. The film of the thermosetting composition can be formed, for example, by coating or printing the thermosetting composition on the flexible substrate 1 and the circuit components 2, or by immersing the flexible substrate 1 and the circuit components 2 in the thermosetting composition. can be formed by

必要に応じて、図4に示すように、半導体装置となる複数の部分を含む封止構造体を形成し、これを切断し分離することにより、複数の半導体装置を得てもよい。これにより、複数の半導体装置を一括して製造することができる。 If necessary, as shown in FIG. 4, a plurality of semiconductor devices may be obtained by forming a sealing structure including a plurality of parts that become semiconductor devices, and cutting and separating the structure. Thereby, a plurality of semiconductor devices can be manufactured at once.

以下、実施例を挙げて本発明についてさらに具体的に説明する。ただし、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。 Hereinafter, the present invention will be explained in more detail with reference to Examples. However, the present invention is not limited to these examples.

1.原材料
(A1)共重合エポキシ樹脂
・YX7105:三菱ケミカル(株)製、ビスフェノールFと1,6-ヘキサンジオールジグリシジルエーテルとの共重合体、エポキシ当量487
(B)チオール化合物
・PEPT:SC有機化学(株)製、ペンタエリスリトールトリプロパンチオール、3官能1級チオール、分子量358.6
・PE-1:カレンズMT PE-1、昭和電工(株)製、ペンタエリスリトールテトラキス(3-メルカプトブチレート、4官能2級チオール、分子量544
(A2)炭素数6以上のアルキル鎖を有する単官能エポキシ樹脂
・ED-502:アデカグリシロールED-502、(株)ADEKA製、炭素数12又は13のアルキルアルコールのグリシジルエーテル、エポキシ当量320
(A3)脂環基含有多官能エポキシ樹脂
・HP-7200L:EPICLON HP-7200L、DIC(株)製、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、エポキシ当量248
(酸無水物)
・HN-5500:日立化成(株)製、3又は4-メチル-ヘキサヒドロ無水フタル酸、分子量168
(硬化触媒)
・2E4MZ:キュアゾール2E4MZ、四国化成(株)製、2-エチル-4-メチルイミダゾール
(その他のエポキシ樹脂)
・セロキサイド2081:(株)ダイセル製、ε-カプロラクトン変性3’,4’-エポキシシクロヘキシルメチル3,4-エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、エポキシ当量200
・デナコールEX-991L:ナガセケムテックス(株)製、ポリエーテルグリコールジグリシジルエーテル、エポキシ当量450
・デナレックスR15-EPT:ナガセケムテックス(株)製、ポリブタジエン/水添ボリブタジエン骨格含有2官能エポキシ樹脂、エポキシ当量910
・デナレックスR45-EPT:ナガセケムテックス(株)製、ポリブタジエン/水添ボリブタジエン骨格含有2官能エポキシ樹脂、エポキシ当量1570
1. Raw material (A1) Copolymerized epoxy resin YX7105: manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, copolymer of bisphenol F and 1,6-hexanediol diglycidyl ether, epoxy equivalent 487
(B) Thiol compound/PEPT: manufactured by SC Organic Chemical Co., Ltd., pentaerythritol tripropanethiol, trifunctional primary thiol, molecular weight 358.6
・PE-1: Karenz MT PE-1, manufactured by Showa Denko K.K., pentaerythritol tetrakis (3-mercaptobutyrate, tetrafunctional secondary thiol, molecular weight 544)
(A2) Monofunctional epoxy resin with an alkyl chain having 6 or more carbon atoms・ED-502: ADEKA Glycilol ED-502, manufactured by ADEKA Co., Ltd., glycidyl ether of alkyl alcohol having 12 or 13 carbon atoms, epoxy equivalent: 320
(A3) Alicyclic group-containing polyfunctional epoxy resin/HP-7200L: EPICLON HP-7200L, manufactured by DIC Corporation, dicyclopentadiene type epoxy resin, epoxy equivalent 248
(acid anhydride)
・HN-5500: Hitachi Chemical Co., Ltd., 3 or 4-methyl-hexahydrophthalic anhydride, molecular weight 168
(curing catalyst)
・2E4MZ: Curazole 2E4MZ, manufactured by Shikoku Kasei Co., Ltd., 2-ethyl-4-methylimidazole (other epoxy resins)
・Celoxide 2081: manufactured by Daicel Corporation, ε-caprolactone modified 3',4'-epoxycyclohexylmethyl 3,4-epoxycyclohexane carboxylate, epoxy equivalent 200
・Denacol EX-991L: manufactured by Nagase ChemteX Co., Ltd., polyether glycol diglycidyl ether, epoxy equivalent 450
・Denarex R15-EPT: Manufactured by Nagase ChemteX Co., Ltd., bifunctional epoxy resin containing polybutadiene/hydrogenated polybutadiene skeleton, epoxy equivalent: 910
・Denarex R45-EPT: Manufactured by Nagase ChemteX Co., Ltd., bifunctional epoxy resin containing polybutadiene/hydrogenated polybutadiene skeleton, epoxy equivalent 1570

2.樹脂ワニス(伸縮性樹脂形成用熱硬化性組成物)の調製
実施例1
ふた付きポリ容器に、YX7105を60.0質量部、PEPTを14.7質量部、及びキュアゾール2E4MZを0.1質量部入れ、これらの混合物を自転・公転ミキサー((株)シンキー製「ARE-250」)にて撹拌して、伸縮性樹脂を形成するための樹脂ワニスを作製した。
2. Preparation Example 1 of resin varnish (thermosetting composition for forming stretchable resin)
Put 60.0 parts by mass of YX7105, 14.7 parts by mass of PEPT, and 0.1 parts by mass of Curesol 2E4MZ into a plastic container with a lid, and mix these mixtures with an autorotating/revolving mixer ("ARE-" manufactured by Shinky Co., Ltd.). 250'') to produce a resin varnish for forming a stretchable resin.

実施例2~7、比較例1~5
表1に示す配合比(質量部)に変更したこと以外は実施例1と同様にして、実施例2~7及び比較例1~5の樹脂ワニスを調製した。比較例1の樹脂ワニスは、(B)チオール化合物の代わりに酸無水物を含む。比較例2~5の樹脂ワニスは、(A1)共重合エポキシ樹脂の代わりに柔軟構造を有するその他のエポキシ樹脂を含む。
Examples 2 to 7, Comparative Examples 1 to 5
Resin varnishes of Examples 2 to 7 and Comparative Examples 1 to 5 were prepared in the same manner as Example 1 except that the blending ratio (parts by mass) shown in Table 1 was changed. The resin varnish of Comparative Example 1 contains an acid anhydride instead of the thiol compound (B). The resin varnishes of Comparative Examples 2 to 5 contain other epoxy resins having a flexible structure instead of the copolymerized epoxy resin (A1).

3.評価用フィルムの作製
アルミ製容器(L102mm×W45mm×H23mm)の底部に離型剤(ダイキン工業(株)製「ダイフリーGA-7500」)を塗布し、塗膜を、熱風式加熱炉を用いて120℃で3分間加熱することによって、容器の底部を離型処理した。次いで、アルミ製容器に各実施例及び比較例の樹脂ワニスを流し入れた。アルミ製容器内の樹脂ワニスを120℃で1時間加熱することにより硬化して、熱硬化性組成物の硬化物からなる評価用フィルム(厚さ1mm)を得た。
3. Preparation of film for evaluation: Apply a mold release agent (“Daifree GA-7500” manufactured by Daikin Industries, Ltd.) to the bottom of an aluminum container (L 102 mm x W 45 mm x H 23 mm), and apply the coating film using a hot air heating furnace. The bottom of the container was subjected to mold release treatment by heating at 120° C. for 3 minutes. Next, the resin varnishes of each example and comparative example were poured into an aluminum container. The resin varnish in the aluminum container was cured by heating at 120° C. for 1 hour to obtain an evaluation film (1 mm thick) consisting of a cured product of the thermosetting composition.

4.評価
[弾性率、伸び率]
評価用フィルムから、長さ40mm、幅5mmの試験片を切り出した。この試験片の引張試験を、オートグラフ((株)島津製作所「EZ-S」)を用いて行い、応力-ひずみ曲線を得た。得られた応力-ひずみ曲線から、硬化物の弾性率及び破断伸び率を求めた。引張試験は、チャック間距離20mm、引張速度50mm/minの条件で行った。弾性率は、加重0.1~0.5Nにおける値であり、伸び率は試験片が破断した時点の伸び(破断伸び率)である。比較例2の樹脂ワニスからは硬化物が形成されなかったため、硬化物の弾性率及び伸び率を測定できなかった。
4. Evaluation [elastic modulus, elongation rate]
A test piece with a length of 40 mm and a width of 5 mm was cut out from the evaluation film. A tensile test of this test piece was conducted using an autograph (Shimadzu Corporation "EZ-S") to obtain a stress-strain curve. The elastic modulus and elongation at break of the cured product were determined from the obtained stress-strain curve. The tensile test was conducted under conditions of a distance between chucks of 20 mm and a tensile speed of 50 mm/min. The elastic modulus is a value under a load of 0.1 to 0.5N, and the elongation rate is the elongation at the time the test piece breaks (elongation at break). Since no cured product was formed from the resin varnish of Comparative Example 2, the elastic modulus and elongation rate of the cured product could not be measured.

[伸縮回復率]
評価用フィルムから、長さ40mm、幅5mmの試験片を切り出した。この試験片の引張試験をマイクロフォース試験機(Illinois Tool Works Inc製「Instron 5948」)を用いて2回行った。試験片を一対のチャックで挟み、1回目の引張試験で変位量(ひずみ)をXまで試験片に引張応力を加えた。次いでチャックを初期位置に戻し、再度、変位量(ひずみ)Xまで引張試験を行ったときに荷重がかかっている区間の変位量(ひずみ)Yを測定した。伸縮回復率Rを、式:R=(Y/X)×100により求めた。本測定では初期長さ(チャック間の距離)を20mm、Xを10mm(ひずみ50%)とした。比較例4の樹脂ワニスから形成されたフィルムは、1回目の引張試験でひずみ50%に達する前に破断した。
[Stretch recovery rate]
A test piece with a length of 40 mm and a width of 5 mm was cut out from the evaluation film. A tensile test of this test piece was performed twice using a micro force tester ("Instron 5948" manufactured by Illinois Tool Works Inc.). The test piece was held between a pair of chucks, and tensile stress was applied to the test piece up to a displacement (strain) of X in the first tensile test. Next, the chuck was returned to the initial position, and a tensile test was performed again up to the displacement (strain) X, and the displacement (strain) Y in the section where the load was applied was measured. The stretch recovery rate R was determined by the formula: R=(Y/X)×100. In this measurement, the initial length (distance between chucks) was 20 mm, and X was 10 mm (50% strain). The film formed from the resin varnish of Comparative Example 4 broke before reaching 50% strain in the first tensile test.

[ポリイミドとの密着性]
各実施例の樹脂ワニスを、厚さ50μmのポリイミドフィルム(東レ・デュポン(株)製「カプトン200EN」上にフィルムアプリケーター(テスター産業(株))を用いて塗布した。塗膜を表1又は表2に示す硬化条件で硬化した。形成された硬化膜に、1mm間隔の碁盤目の切れ目を入れ、硬化膜を100個の正方形部分に分割した。碁盤目の切れ目が形成された部分の全体に粘着テープを強く圧着させ、粘着テープの端を45°の角度で一気に引き剥がした。その後、100個の正方形部分のうち、ポリイミドフィルムから剥離しなかったものの個数に基づいて、密着性を以下の3段階で評価した。
A:100(剥離なし)
B:95~99
C:95未満
[Adhesion with polyimide]
The resin varnish of each example was applied onto a polyimide film ("Kapton 200EN" manufactured by DuPont-Toray Co., Ltd.) with a thickness of 50 μm using a film applicator (Tester Sangyo Co., Ltd.). It was cured under the curing conditions shown in 2.The formed cured film was cut in a grid pattern at 1 mm intervals, and the cured film was divided into 100 square parts. The adhesive tape was strongly pressed and the end of the adhesive tape was peeled off at once at a 45° angle.Then, based on the number of square parts that did not peel off from the polyimide film out of 100 square parts, the adhesion was evaluated as follows. Evaluation was made on a three-level scale.
A: 100 (no peeling)
B:95-99
C: Less than 95

[粘度(保管安定性)]
各実施例の樹脂ワニスの初期、及び室温(25℃)で24時間保管後の25℃における粘度を、E型粘度計(東機産業(株)製「TVE25H」)で測定した。粘度の変化に基づいて、樹脂ワニスの保存安定性を評価した。
[Viscosity (storage stability)]
The viscosity of the resin varnish of each Example at the initial stage and at 25° C. after being stored at room temperature (25° C.) for 24 hours was measured using an E-type viscometer (“TVE25H” manufactured by Toki Sangyo Co., Ltd.). The storage stability of the resin varnish was evaluated based on the change in viscosity.

Figure 0007400926000010
Figure 0007400926000010

Figure 0007400926000011
Figure 0007400926000011

実施例の樹脂ワニスから形成された硬化物(伸縮性樹脂)は、130%以上の高い破断伸び率を示し、且つ、90%以上の高い伸縮回復率を示した。特に、実施例3~7の樹脂ワニスから形成された硬化物(伸縮性樹脂)は、200%を超える非常に高い破断伸び率を示した。2級チオール基を有するチオール化合物を用いた実施例6及び7の樹脂ワニスは、室温24時間保管後の粘度上昇が小さく、保管安定性に優れている。 The cured product (stretchable resin) formed from the resin varnish of the example exhibited a high elongation at break of 130% or more, and a high elastic recovery rate of 90% or more. In particular, the cured products (stretchable resins) formed from the resin varnishes of Examples 3 to 7 exhibited extremely high elongation at break exceeding 200%. The resin varnishes of Examples 6 and 7 using thiol compounds having a secondary thiol group showed a small increase in viscosity after being stored at room temperature for 24 hours, and had excellent storage stability.

1…フレキシブル基板、2…回路部品、3…封止樹脂層(伸縮性樹脂)、100…半導体装置。

DESCRIPTION OF SYMBOLS 1... Flexible board, 2... Circuit component, 3... Sealing resin layer (stretchable resin), 100... Semiconductor device.

Claims (9)

(A)エポキシ樹脂と、
(B)2以上のチオール基を有するチオール化合物と、
を含有し、
(A)エポキシ樹脂が、(A1)芳香族基又は脂環基を有する構成単位と、炭素数4以上のアルキレン基を有する構成単位とを含む共重合体である共重合エポキシ樹脂を含む、
伸縮性樹脂形成用熱硬化性組成物であって、
(A1)共重合エポキシ樹脂が、芳香族基又は脂環基を有するジオールと炭素数4~8のアルキレン基を有するグリシジルエーテルとの共重合体、炭素数4~8のアルキレン基を有するジオールと芳香族基又は脂環基を有するジグリシジルエーテルとの共重合体、又はこれらの組み合わせを含み、
当該熱硬化性組成物の熱硬化によって形成される伸縮性樹脂の引張弾性率が0.1MPa以上2.2MPa以下であ
前記引張弾性率が、長さ40mm、幅5mm、厚さ1mmの試験片の引張試験によって得られた応力-ひずみ曲線から求められる、荷重0.1~0.5Nにおける値であり、前記引張試験が、25℃の環境下で、チャック間距離20mm、引張速度50mm/minの条件で行われる、
伸縮性樹脂形成用熱硬化性組成物。
(A) an epoxy resin;
(B) a thiol compound having two or more thiol groups;
Contains
(A) The epoxy resin includes (A1) a copolymerized epoxy resin that is a copolymer containing a constitutional unit having an aromatic group or an alicyclic group and a constitutional unit having an alkylene group having 4 or more carbon atoms.
A thermosetting composition for forming a stretchable resin,
(A1) The copolymerized epoxy resin is a copolymer of a diol having an aromatic group or an alicyclic group and a glycidyl ether having an alkylene group having 4 to 8 carbon atoms, or a diol having an alkylene group having 4 to 8 carbon atoms. Contains a copolymer with diglycidyl ether having an aromatic group or an alicyclic group, or a combination thereof,
The tensile modulus of the stretchable resin formed by thermosetting the thermosetting composition is 0.1 MPa or more and 2.2 MPa or less,
The tensile modulus is a value at a load of 0.1 to 0.5 N, determined from a stress-strain curve obtained by a tensile test of a test piece with a length of 40 mm, a width of 5 mm, and a thickness of 1 mm, and is carried out in an environment of 25°C, with a distance between chucks of 20 mm, and a pulling speed of 50 mm/min.
Thermosetting composition for forming stretchable resin.
(A)エポキシ樹脂が、(A2)炭素数6以上のアルキル基を有する単官能エポキシ樹脂を更に含む、請求項1に記載の伸縮性樹脂形成用熱硬化性組成物。 The thermosetting composition for forming a stretchable resin according to claim 1, wherein (A) the epoxy resin further comprises (A2) a monofunctional epoxy resin having an alkyl group having 6 or more carbon atoms. (A2)単官能エポキシ樹脂が、炭素数6以上17以下のアルキル基を有する単官能エポキシ樹脂である、請求項2に記載の伸縮性樹脂形成用熱硬化性組成物。 The thermosetting composition for forming a stretchable resin according to claim 2, wherein the monofunctional epoxy resin (A2) is a monofunctional epoxy resin having an alkyl group having 6 to 17 carbon atoms. (A)エポキシ樹脂が、(A3)脂環基を有する脂環基含有多官能エポキシ樹脂を更に含み、(A3)脂環基含有多官能エポキシ樹脂が、(A1)共重合エポキシ樹脂とは異なる化合物である、請求項1~3のいずれか一項に記載の伸縮性樹脂形成用熱硬化性組成物。 (A) The epoxy resin further includes (A3) an alicyclic group-containing polyfunctional epoxy resin having an alicyclic group, and (A3) the alicyclic group-containing polyfunctional epoxy resin is different from (A1) the copolymerized epoxy resin. The thermosetting composition for forming a stretchable resin according to any one of claims 1 to 3, which is a compound. (A3)脂環基含有多官能エポキシ樹脂が、ジシクロペンタジエン基を有する多官能エポキシ樹脂を含む、請求項4に記載の伸縮性樹脂形成用熱硬化性組成物。 (A3) The thermosetting composition for forming a stretchable resin according to claim 4, wherein the alicyclic group-containing polyfunctional epoxy resin includes a dicyclopentadiene group-containing polyfunctional epoxy resin. (B)チオール化合物が、2級チオール基を有するチオール化合物を含む、請求項1~5いずれか一項に記載の伸縮性樹脂形成用熱硬化性組成物。 The thermosetting composition for forming a stretchable resin according to any one of claims 1 to 5, wherein the thiol compound (B) contains a thiol compound having a secondary thiol group. (A1)共重合エポキシ樹脂の含有量が、(A)エポキシ樹脂100質量部に対して50質量部以上である、請求項1~6いずれか一項に記載の伸縮性樹脂形成用熱硬化性組成物。 The thermosetting resin for forming a stretchable resin according to any one of claims 1 to 6, wherein the content of the copolymerized epoxy resin (A1) is 50 parts by mass or more based on 100 parts by mass of the (A) epoxy resin. Composition. 請求項1~7いずれか一項に記載の伸縮性樹脂形成用熱硬化性組成物の硬化物からなる、伸縮性樹脂。 A stretchable resin comprising a cured product of the thermosetting composition for forming a stretchable resin according to any one of claims 1 to 7. 請求項1~7いずれか一項に記載の伸縮性樹脂形成用熱硬化性組成物の硬化物からなる伸縮性樹脂層を備える、半導体装置。 A semiconductor device comprising a stretchable resin layer made of a cured product of the thermosetting composition for forming stretchable resin according to any one of claims 1 to 7.
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