JP7401896B2

JP7401896B2 - valve

Info

Publication number: JP7401896B2
Application number: JP2019196268A
Authority: JP
Inventors: 朋貴中田; 伸夫中村; 知宏中田; 努篠原
Original assignee: Fujikin Inc
Current assignee: Fujikin Inc
Priority date: 2019-10-29
Filing date: 2019-10-29
Publication date: 2023-12-20
Anticipated expiration: 2039-10-29
Also published as: JP2021071128A

Description

本開示は、半導体製造装置等に用いるバルブに関する。 The present disclosure relates to a valve used in semiconductor manufacturing equipment and the like.

ゴム部材と金属部材とを係合させた部材を弁座とし、当該金属部材に対して、静止シール体の突出部を塑性変形させて押圧し、弁座を静止シール体に固定したバルブがある（例えば、特許文献１参照。）。 There is a valve in which the valve seat is a member made by engaging a rubber member and a metal member, and the valve seat is fixed to the stationary seal member by plastically deforming and pressing the protruding part of the stationary seal body against the metal member. (For example, see Patent Document 1.).

特開平０７－２９３５１８号公報Japanese Patent Application Publication No. 07-293518

しかし、上記のバルブでは、静止シール体の突部の先端の位置が、ダイヤフラムに対して近いため、ダイヤフラムが静止シール体の突出部に接触する恐れがあった。 However, in the above valve, the position of the tip of the protrusion of the stationary seal body is close to the diaphragm, so there is a risk that the diaphragm may come into contact with the protrusion of the stationary seal body.

そこで本開示は、閉状態において、ダイヤフラムがシートを保持するボディに接触するのを抑制することができるバルブを提供することを目的の一つとする。 Therefore, one of the objects of the present disclosure is to provide a valve that can suppress the diaphragm from coming into contact with the body that holds the seat in the closed state.

上記目的を解決するために、本開示の一態様であるバルブは、弁室、前記弁室に開口する環状溝、および、流体通路が形成されたボディと、前記環状溝に配置され前記ボディに保持された環状のシートと、前記シートに当接および離間することで前記流体通路を開閉するダイヤフラムと、を備え、前記ボディは、前記ダイヤフラムに向かって突出する内側環状部と、前記内側環状部の外周に位置し前記ダイヤフラムに向かって突出する外側環状部と、を有し、前記環状溝は、前記内側環状部と前記外側環状部とにより画成され、前記シートは、環状のゴム部材と、前記ゴム部材の内周側に配置された環状の金属部材と、を有し、前記ゴム部材は、前記ボディに保持された基部と、前記基部の前記弁室側の端面から前記ダイヤフラムに向かって突出する突出部と、を有し、前記シートの軸方向において、前記内側環状部の先端は、前記基部の前記端面から前記突出部の先端までの高さの半分の位置よりも前記端面側に位置する。 In order to solve the above object, a valve according to an aspect of the present disclosure includes a body in which a valve chamber, an annular groove opening into the valve chamber, and a fluid passage are formed, and a body disposed in the annular groove and connected to the body. The body includes an annular seat held, and a diaphragm that opens and closes the fluid passage by contacting and separating from the seat, and the body includes an inner annular portion protruding toward the diaphragm, and an inner annular portion. an outer annular portion located on the outer periphery of the diaphragm and protruding toward the diaphragm, the annular groove is defined by the inner annular portion and the outer annular portion, and the sheet includes an annular rubber member and an annular rubber member. , an annular metal member disposed on the inner circumferential side of the rubber member, the rubber member having a base portion held by the body, and a metal member extending toward the diaphragm from an end surface of the base portion on the valve chamber side. a protrusion that protrudes from the base, and in the axial direction of the sheet, the tip of the inner annular portion is closer to the end surface than a position half the height from the end surface of the base to the tip of the protrusion. Located in

前記内側環状部の先端は、前記基部の前記端面と同一平面上または前記端面よりも弁室側に対する反対側に位置もしてもよい。 The tip of the inner annular portion may be located on the same plane as the end surface of the base, or on the opposite side of the end surface to the valve chamber side.

前記内側環状部および前記外側環状部は、前記シート側へ加締められてもよい。 The inner annular portion and the outer annular portion may be crimped toward the seat.

前記ダイヤフラムを押圧するダイヤフラム押さえの下面は、球面状をなしており、前記端面は、前記突出部の内側に位置する環状の内側端面と、前記突出部の外側に位置する環状の外側端面と、を有し、前記ゴム部材の径方向において、前記内側端面の幅は、前記外側端面の幅と同じまたは前記外側端面の幅より狭く構成されていてもよい。 The lower surface of the diaphragm presser that presses the diaphragm has a spherical shape, and the end surfaces include an annular inner end surface located inside the protrusion, and an annular outer end surface located outside the protrusion. In the radial direction of the rubber member, the width of the inner end surface may be the same as or narrower than the width of the outer end surface.

前記ゴム部材は、フッ素ゴムにより構成されていてもよい。 The rubber member may be made of fluororubber.

前記ダイヤフラムの前記シート側の面には、炭素膜またはフッ素樹脂膜からなる薄膜層が形成されていてもよい。 A thin film layer made of a carbon film or a fluororesin film may be formed on the surface of the diaphragm on the sheet side.

本開示によれば、閉状態において、ダイヤフラムがシートを保持するボディに接触するのを抑制することができるバルブを提供することができる。 According to the present disclosure, it is possible to provide a valve that can suppress the diaphragm from coming into contact with the body that holds the seat in the closed state.

実施形態に係る開状態にあるバルブの部分断面図である。FIG. 2 is a partial cross-sectional view of the valve in an open state according to the embodiment. バルブのシート近傍の拡大断面図である。FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view of the vicinity of the valve seat. シートの一部の断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of a portion of the sheet.

本開示の一実施形態に係るバルブ１について、図面を参照して説明する。 A valve 1 according to an embodiment of the present disclosure will be described with reference to the drawings.

図１は、本実施形態に係る開状態にあるバルブ１の部分断面図である。
図２は、バルブ１のシート２０近傍の拡大断面図である。 FIG. 1 is a partial sectional view of a valve 1 in an open state according to the present embodiment.
FIG. 2 is an enlarged sectional view of the vicinity of the seat 20 of the valve 1.

図１に示すように、バルブ１は、弁部１０と、アクチュエータ２と、を備える。なお、以下の説明において、バルブ１の、アクチュエータ２側を上側、弁部１０側を下側として説明する。なお、本実施形態に係るバルブ１は、通常状態（駆動流体が供給されていない状態）では閉状態である。 As shown in FIG. 1, the valve 1 includes a valve section 10 and an actuator 2. In the following description, the actuator 2 side of the valve 1 is assumed to be the upper side, and the valve portion 10 side is assumed to be the lower side. Note that the valve 1 according to the present embodiment is in a closed state in a normal state (a state in which driving fluid is not supplied).

弁部１０は、ボディ１１と、弁座であるシート２０と、ボンネット１２と、ダイヤフラム１３と、押えアダプタ１４と、ダイヤフラム押え１５と、ホルダ１６と、圧縮コイルスプリング１７と、を備える。 The valve portion 10 includes a body 11, a seat 20 serving as a valve seat, a bonnet 12, a diaphragm 13, a press adapter 14, a diaphragm press 15, a holder 16, and a compression coil spring 17.

図１、２に示すように、ボディ１１には、弁室１１ａと、流入路１１ｂ、流出路１１ｃ、および環状溝１１ｄが形成されている。流入路１１ｂおよび流出路１１ｃは、弁室１１ａに連通している。ボディ１１は、弁室１１ａへ突出する環状部１１Ｅを有する。環状部１１Ｅはその先端部に、ダイヤフラム１３に向かって突出する内側環状部１１Ｆと、内側環状部１１Ｆの外周に位置しダイヤフラム１３に向かって突出する外側環状部１１Ｇとを有する。環状溝１１ｄは、内側環状部１１Ｆと外側環状部１１Ｇとにより画成され、弁室１１ａに向かって開口している。流入路１１ｂおよび流出路１１ｃは流体通路に相当する。 As shown in FIGS. 1 and 2, the body 11 is formed with a valve chamber 11a, an inflow path 11b, an outflow path 11c, and an annular groove 11d. The inflow path 11b and the outflow path 11c communicate with the valve chamber 11a. The body 11 has an annular portion 11E that projects into the valve chamber 11a. The annular portion 11E has an inner annular portion 11F protruding toward the diaphragm 13 at its tip, and an outer annular portion 11G located on the outer periphery of the inner annular portion 11F and protruding toward the diaphragm 13. The annular groove 11d is defined by an inner annular portion 11F and an outer annular portion 11G, and opens toward the valve chamber 11a. The inflow path 11b and the outflow path 11c correspond to fluid passages.

シート２０は、環状をなし、環状溝１１ｄに配置され、環状部１１Ｅに保持されている。内側環状部１１Ｆおよび外側環状部１１Ｇは、シート２０側へ加締められており、これにより、シート２０はボディ１１に保持される。シート２０の構成については後述する。 The sheet 20 has an annular shape, is disposed in the annular groove 11d, and is held by the annular portion 11E. The inner annular portion 11F and the outer annular portion 11G are crimped toward the seat 20, thereby holding the seat 20 on the body 11. The configuration of the sheet 20 will be described later.

図１に示すように、ボンネット１２は、有蓋の略円筒状をなし、その下端部をボディ１１に螺合させることにより、弁室１１ａを覆うようにボディ１１に固定されている。 As shown in FIG. 1, the bonnet 12 has a substantially cylindrical shape with a lid, and is fixed to the body 11 by screwing its lower end to the body 11 so as to cover the valve chamber 11a.

ダイヤフラム１３は、ボンネット１２の下端に配置された押えアダプタ１４とボディ１１の弁室１１ａを形成する底面とにより、その外周縁部が挟圧され保持されている。ダイヤフラム１３は、金属製からなり、例えば、ニッケルコバルト合金、ステンレス鋼等により構成されている。ダイヤフラム１３がシート２０に対し離間および当接（圧接）することによって、流体通路の開閉が行われる。 The diaphragm 13 is held by a presser adapter 14 disposed at the lower end of the bonnet 12 and a bottom surface of the body 11 forming the valve chamber 11a, with its outer peripheral edge being pressed. The diaphragm 13 is made of metal, for example, nickel cobalt alloy, stainless steel, or the like. When the diaphragm 13 separates from and contacts (pressures) the seat 20, the fluid passage is opened and closed.

図２に示すように、ダイヤフラム１３のシート２０側の接液面１３Ａには、薄膜層１３Ｂが形成されている。薄膜層１３Ｂは、例えば、炭素膜またはフッ素樹脂膜である。炭素膜は、例えば、ＤＬＣ（Diamond like Carbon）膜であり、フッ素樹脂膜は、例えば、四フッ化エチレン樹脂（ＰＴＦＥ）や四フッ化エチレン六フッ化プロピレン共重合体（ＦＥＰ）やテトラフルオロエチレン－パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）である。 As shown in FIG. 2, a thin film layer 13B is formed on the liquid contact surface 13A of the diaphragm 13 on the sheet 20 side. The thin film layer 13B is, for example, a carbon film or a fluororesin film. The carbon film is, for example, a DLC (Diamond-like Carbon) film, and the fluororesin film is, for example, a tetrafluoroethylene resin (PTFE), a tetrafluoroethylene hexafluoropropylene copolymer (FEP), or a tetrafluoroethylene film. -Perfluoroalkyl vinyl ether copolymer (PFA).

図１、２に示すように、ダイヤフラム押え１５は、ダイヤフラム１３の上側に設けられ、ダイヤフラム１３の中央部を押圧可能に構成されている。ダイヤフラム押さえ１５は、ホルダ１６に嵌合されている。ダイヤフラム押え１５の下面は、球面状をなしている。 As shown in FIGS. 1 and 2, the diaphragm presser 15 is provided above the diaphragm 13 and is configured to be able to press the center of the diaphragm 13. The diaphragm retainer 15 is fitted into the holder 16. The lower surface of the diaphragm presser 15 has a spherical shape.

ホルダ１６は、略円柱状をなし、ボンネット１２内に上下移動可能に配置されている。アクチュエータ２の図示せぬステムは、ホルダ１６の上部に対し螺合されている。 The holder 16 has a substantially cylindrical shape and is arranged within the bonnet 12 so as to be vertically movable. A stem (not shown) of the actuator 2 is screwed onto the top of the holder 16.

圧縮コイルスプリング１７は、ボンネット１２内に設けられ、ホルダ１６を常に下側に付勢している。バルブ１は、圧縮コイルスプリング１７によって、通常時（アクチュエータ２の非作動時）は閉状態に保たれる。 A compression coil spring 17 is provided within the bonnet 12 and always urges the holder 16 downward. The valve 1 is kept closed by the compression coil spring 17 under normal conditions (when the actuator 2 is not in operation).

アクチュエータ２は、例えば、エア駆動式であり、全体で略円柱形状をなしている。駆動流体によって、図示せぬステム、ホルダ１６、およびダイヤフラム押え１５がダイヤフラム１３から離間する側へ移動し、ダイヤフラム１３がシート２０から離間して、流入路１１ｂと流出路１１ｃとが連通し、バルブ１は開状態となる。 The actuator 2 is, for example, an air-driven type, and has a generally cylindrical shape as a whole. The driving fluid moves the stem (not shown), the holder 16, and the diaphragm retainer 15 away from the diaphragm 13, and the diaphragm 13 separates from the seat 20, causing the inflow path 11b and the outflow path 11c to communicate with each other, and the valve 1 is in the open state.

次に、シート２０について図２、３を参照して説明する。
図３は、シート２０の一部の断面図である。 Next, the sheet 20 will be explained with reference to FIGS. 2 and 3.
FIG. 3 is a cross-sectional view of a portion of the sheet 20. As shown in FIG.

シート２０は、ゴム部材２１と、金属部材２２とを備える。ゴム部材２１は、例えば、フッ素ゴム（例えば、パーフルオロエラストマー（ＦＦＫＭ））により構成されている。ＦＦＫＭとしては、例えば、カルレッツ（登録商標）、バイトン（登録商標）が挙げられる。 The sheet 20 includes a rubber member 21 and a metal member 22. The rubber member 21 is made of, for example, fluororubber (for example, perfluoroelastomer (FFKM)). Examples of FFKM include Kalrez (registered trademark) and Viton (registered trademark).

ゴム部材２１は、環状をなし、基部２３と、突出部２４とを有する。基部２３は、内周全体に渡って内周溝２３ｄを有し、断面形状が略横Ｕ字状をなしている。基部２３は、弁室１１ａ側に端面２３Ａを有する。端面２３Ａは、シート２０の軸方向に対し直交している。端面２３Ａは、突出部２４の内側に位置する環状の内側端面２３Ｂと、突出部２４の外側に位置する環状の外側端面２３Ｃとを有する。ゴム部材２１の径方向において、内側端面２３Ｂの幅Ｗ１は、外側端面２３Ｃの幅Ｗ２と同じまたは外側端面２３Ｃの幅Ｗ２より狭く構成されている。突出部２４は、基部２３の端面２３Ａからダイヤフラム１３に向かって突出している。バルブ１が閉状態のときに、ダイヤフラム１３は突出部２４に当接する。 The rubber member 21 has an annular shape and includes a base 23 and a protrusion 24 . The base portion 23 has an inner circumferential groove 23d over the entire inner circumference, and has a substantially horizontal U-shape in cross section. The base 23 has an end surface 23A on the valve chamber 11a side. The end surface 23A is perpendicular to the axial direction of the sheet 20. The end surface 23A has an annular inner end surface 23B located inside the protrusion 24 and an annular outer end surface 23C located outside the protrusion 24. In the radial direction of the rubber member 21, the width W1 of the inner end surface 23B is configured to be the same as the width W2 of the outer end surface 23C or narrower than the width W2 of the outer end surface 23C. The protrusion 24 protrudes from the end surface 23A of the base 23 toward the diaphragm 13. When the valve 1 is in the closed state, the diaphragm 13 abuts against the protrusion 24.

金属部材２２は、環状をなし、例えば、ステンレス鋼により構成されている。金属部材２２は、外周全体に渡って突出するフランジ部２５を有する。フランジ部２５が、基部２３の内周溝２３ｄに挿入されて、ゴム部材２１と金属部材２２とが一体化されている。金属部材２２は、ゴム部材２１の端面２３Ａと面一の端面２２Ａを有する。また、ゴム部材２１の内周面と金属部材２２の内周面とは面一に構成されている。 The metal member 22 has an annular shape and is made of stainless steel, for example. The metal member 22 has a flange portion 25 that protrudes over the entire outer periphery. The flange portion 25 is inserted into the inner circumferential groove 23d of the base portion 23, and the rubber member 21 and the metal member 22 are integrated. The metal member 22 has an end surface 22A flush with the end surface 23A of the rubber member 21. Moreover, the inner circumferential surface of the rubber member 21 and the inner circumferential surface of the metal member 22 are configured to be flush with each other.

図２に示すように、シート２０の軸方向において、内側環状部１１Ｆの先端は、基部２３の端面２３Ａから突出部２４の先端までの高さの半分の位置よりも端面２３Ａ側に位置する。本実施形態では、シート２０の軸方向において、内側環状部１１Ｆの先端は、基部２３の端面２３Ａと同一平面上に位置する。なお、シート２０の軸方向において、内側環状部１１Ｆの先端は、基部２３の端面２３Ａよりも弁室１１ａ側に対する反対側に位置してもよい。 As shown in FIG. 2, in the axial direction of the seat 20, the tip of the inner annular portion 11F is located closer to the end surface 23A than a position half the height from the end surface 23A of the base 23 to the tip of the protrusion 24. In this embodiment, the tip of the inner annular portion 11F is located on the same plane as the end surface 23A of the base 23 in the axial direction of the seat 20. In addition, in the axial direction of the seat 20, the tip of the inner annular portion 11F may be located on the opposite side of the end surface 23A of the base portion 23 to the valve chamber 11a side.

以上説明した本実施形態のバルブ１によれば、ボディ１１は、ダイヤフラム１３に向かって突出する内側環状部１１Ｆと、内側環状部１１Ｆの外周に位置しダイヤフラム１３に向かって突出する外側環状部１１Ｇとを有し、ゴム部材２１は、ボディ１１に保持された基部２３と、基部２３の端面２３Ａからダイヤフラム１３に向かって突出する突出部２４とを有し、シート２０の軸方向において、内側環状部１１Ｆの先端は、基部２３の端面２３Ａから突出部２４の先端までの高さの半分の位置よりも端面２３Ａ側に位置する。 According to the valve 1 of the present embodiment described above, the body 11 includes an inner annular portion 11F that protrudes toward the diaphragm 13, and an outer annular portion 11G that is located on the outer periphery of the inner annular portion 11F and protrudes toward the diaphragm 13. The rubber member 21 has a base 23 held by the body 11 and a protrusion 24 that protrudes from the end surface 23A of the base 23 toward the diaphragm 13, and has an inner annular shape in the axial direction of the seat 20. The tip of the portion 11F is located closer to the end surface 23A than a position half the height from the end surface 23A of the base 23 to the tip of the protrusion 24.

かかる構成によれば、閉状態におけるバルブ１において、ダイヤフラム押え１５に押圧され突出部２４に当接するダイヤフラム１３が、ボディ１１の内側環状部１１Ｆに接触するのを抑制することができる。 According to this configuration, in the valve 1 in the closed state, the diaphragm 13 pressed by the diaphragm retainer 15 and abutting the protrusion 24 can be prevented from contacting the inner annular portion 11F of the body 11.

シート２０の軸方向において、内側環状部１１Ｆの先端を、基部２３の端面２３Ａと同一平面上または、基部２３の端面２３Ａよりも弁室１１ａ側に対する反対側に位置させることにより、ダイヤフラム１３が、内側環状部１１Ｆに接触するのを確実に抑制することができる。 In the axial direction of the seat 20, by locating the tip of the inner annular portion 11F on the same plane as the end surface 23A of the base 23 or on the opposite side of the end surface 23A of the base 23 to the valve chamber 11a, the diaphragm 13 can Contact with the inner annular portion 11F can be reliably suppressed.

内側環状部１１Ｆおよび外側環状部１１Ｇは、シート２０側へ加締められているので、シート２０がボディ１１へ強固に固定される。 Since the inner annular portion 11F and the outer annular portion 11G are crimped toward the seat 20, the seat 20 is firmly fixed to the body 11.

ダイヤフラム押え１５の下面は、球面状をなし、ゴム部材２１の径方向において、内側端面２３Ｂの幅Ｗ１は、外側端面２３Ｃの幅Ｗ２と同じまたは外側端面２３Ｃの幅Ｗ２より狭く構成されている。かかる構成によれば、内側端面２３Ｂの幅Ｗ１が外側端面２３Ｃの幅Ｗ２よりも広く構成されている場合と比較して、突出部２４を内方側に位置させることができる。これにより、突出部２４がダイヤフラム１３と接触する位置が、より内方側になるので、ダイヤフラム１３が、内側環状部１１Ｆに接触するのをさらに防止することができる。また、面圧を小さくすることができ、少ない推力でバルブ１を閉めることができる。 The lower surface of the diaphragm presser 15 has a spherical shape, and in the radial direction of the rubber member 21, the width W1 of the inner end surface 23B is configured to be the same as the width W2 of the outer end surface 23C or narrower than the width W2 of the outer end surface 23C. According to this configuration, the protrusion 24 can be located inward compared to the case where the width W1 of the inner end surface 23B is wider than the width W2 of the outer end surface 23C. Thereby, the position where the protruding portion 24 contacts the diaphragm 13 is further inward, so that the diaphragm 13 can be further prevented from contacting the inner annular portion 11F. Moreover, the surface pressure can be reduced, and the valve 1 can be closed with less thrust.

ゴム部材２１は、フッ素ゴムにより構成され、ダイヤフラム１３のシート２０側の接液面１３Ａには、炭素膜またはフッ素樹脂膜からなる薄膜層１３Ｂが形成されている。これにより、高温でも使用可能なバルブ１を提供することができ、ゴム部材２１のダイヤフラム１３への転写を抑制することができる。 The rubber member 21 is made of fluororubber, and a thin film layer 13B made of a carbon film or a fluororesin film is formed on the liquid contact surface 13A of the diaphragm 13 on the sheet 20 side. Thereby, it is possible to provide a valve 1 that can be used even at high temperatures, and it is possible to suppress transfer of the rubber member 21 to the diaphragm 13.

なお、本開示は、上述した実施例に限定されない。当業者であれば、本開示の範囲内で、種々の追加や変更等を行うことができる。 Note that the present disclosure is not limited to the embodiments described above. Those skilled in the art can make various additions, changes, etc. within the scope of the present disclosure.

１：バルブ
１１：ボディ
１１ａ：弁室
１１ｂ：流入路
１１ｃ：流出路
１１ｄ：環状溝
１１Ｆ：内側環状部
１１Ｇ：外側環状部
１３：ダイヤフラム
２０：シート
２１：ゴム部材
２２：金属部材
２３：基部
２４：突出部
２３Ａ：端面
２３Ｂ：内側端面
２３Ｃ：外側端面

1: Valve 11: Body 11a: Valve chamber 11b: Inflow path 11c: Outflow path 11d: Annular groove 11F: Inner annular portion 11G: Outer annular portion 13: Diaphragm 20: Sheet 21: Rubber member 22: Metal member 23: Base 24 : Projection 23A: End face 23B: Inner end face 23C: Outer end face

Claims

a body in which a valve chamber, an annular groove opening into the valve chamber, and a fluid passage are formed;
an annular sheet disposed in the annular groove and held by the body;
a diaphragm that opens and closes the fluid passage by contacting and separating from the sheet,
The body has an inner annular portion protruding toward the diaphragm, and an outer annular portion located on an outer periphery of the inner annular portion and protruding toward the diaphragm,
The annular groove is defined by the inner annular part and the outer annular part,
The sheet includes an annular rubber member and an annular metal member disposed on the inner peripheral side of the rubber member,
The rubber member has a base portion held by the body, and a protrusion portion that protrudes toward the diaphragm from an end surface of the base portion on the valve chamber side,
In the axial direction of the sheet, the tip of the inner annular portion is located closer to the end surface than a position half the height from the end surface of the base to the tip of the protrusion ,
The lower surface of the diaphragm holder that presses the diaphragm has a spherical shape,
The end face has an annular inner end face located inside the protrusion and an annular outer end face located outside the protrusion,
In the radial direction of the rubber member, the width of the inner end surface is the same as or narrower than the width of the outer end surface.

The valve according to claim 1, wherein the tip of the inner annular portion is located on the same plane as the end surface of the base or on the opposite side of the valve chamber side than the end surface.

The valve according to claim 1 or 2, wherein the inner annular portion and the outer annular portion are crimped toward the seat.

The valve according to any one of claims 1 to 3 , wherein the rubber member is made of fluororubber.

The valve according to any one of claims 1 to 4 , wherein a thin film layer made of a carbon film or a fluororesin film is formed on a surface of the diaphragm on the seat side.