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JP7402676B2 - Heat treatment equipment and method for manufacturing heat-treated products - Google Patents
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JP7402676B2 - Heat treatment equipment and method for manufacturing heat-treated products - Google Patents

Heat treatment equipment and method for manufacturing heat-treated products Download PDF

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Description

本発明は、被処理物を熱処理して加熱処理物を得る熱処理装置および加熱処理物の製造方法に関する。 The present invention relates to a heat treatment apparatus for heat-treating an object to obtain a heat-treated object, and a method for producing a heat-treated object.

従来廃棄処理されていた資源を有効活用することを目的に、使用済の炭素繊維強化樹脂の製品(成形品)、製造工程から発生する炭素繊維強化樹脂の中間製品(プリプレグ)の切れ端等から炭素繊維を回収すること、使用済の太陽電池モジュールからセルやガラス基板を回収すること等が検討されている。 With the aim of effectively utilizing resources that were previously disposed of as waste, we are collecting carbon from used carbon fiber reinforced resin products (molded products) and scraps of carbon fiber reinforced resin intermediate products (prepreg) generated during the manufacturing process. Collecting fibers, cells and glass substrates from used solar cell modules, etc. are being considered.

特許文献1には、炭素繊維強化樹脂を無酸素状態で乾留して炭素繊維強化樹脂に含まれるマトリックス樹脂を固定炭素に転換するバッチ式の炭化乾留炉と、固定炭素が付着した炭素繊維を連続的に加熱して固定炭素の一部を除去する連続式炉とを備えた再生炭素繊維の製造装置が記載されている。
特許文献2には、太陽電池モジュールを低酸素または制御された酸素含有雰囲気の連続式熱処理炉内で搬送しながら加熱することによって封止材を除去し、セルおよびガラス基板を分離、回収する方法が記載されている。
Patent Document 1 describes a batch-type carbonization carbonization furnace that carbonizes carbon fiber-reinforced resin in an oxygen-free state and converts the matrix resin contained in the carbon-fiber-reinforced resin into fixed carbon, and a carbonization furnace that continuously carbonizes carbon fibers with fixed carbon attached. An apparatus for producing recycled carbon fiber is described, which is equipped with a continuous furnace that heats the fiber continuously to remove a portion of the fixed carbon.
Patent Document 2 describes a method of removing the sealing material by heating the solar cell module while being transported in a continuous heat treatment furnace in a low-oxygen or controlled oxygen-containing atmosphere, and separating and recovering the cell and the glass substrate. is listed.

特開2013-064219号公報Japanese Patent Application Publication No. 2013-064219 特開2014-108375号公報Japanese Patent Application Publication No. 2014-108375

特許文献1の装置では、炭化乾留炉がバッチ式であり、連続的に熱処理できない。そのため、時間あたりの処理量を多くすることができない。
特許文献2の方法では、連続的に熱処理できるものの、連続式熱処理炉の搬入口および搬出口が開放状態にあり、連続式熱処理炉から不活性ガスが漏れ出しやすく、連続式熱処理炉内の酸素濃度が上昇しやすい。また、封止材が熱分解して発生した熱分解ガスが連続式熱処理炉から漏れ出しやすい。また、出入口に設けられた傾斜型ラビリンス構造は、連続式熱処理炉の密閉性を維持するために開口部の高さを高くすることができない。
In the apparatus of Patent Document 1, the carbonization carbonization furnace is of a batch type, and continuous heat treatment cannot be performed. Therefore, it is not possible to increase the amount of processing per hour.
Although the method of Patent Document 2 allows continuous heat treatment, the inlet and outlet of the continuous heat treatment furnace are open, and inert gas easily leaks from the continuous heat treatment furnace, causing oxygen in the continuous heat treatment furnace to leak. Concentration tends to increase. Furthermore, pyrolysis gas generated by thermal decomposition of the sealing material tends to leak from the continuous heat treatment furnace. Further, in the inclined labyrinth structure provided at the entrance/exit, the height of the opening cannot be increased in order to maintain the airtightness of the continuous heat treatment furnace.

本発明は、トンネル炉内の不活性ガスや熱分解ガスが外に漏れ出すことを抑え、非酸化性雰囲気または制御された酸素含有雰囲気を維持しつつかつ連続して被処理物を熱処理して加熱処理物を得ることができる熱処理装置および加熱処理物の製造方法を提供する。 The present invention suppresses leakage of inert gas and pyrolysis gas inside a tunnel furnace to the outside, and continuously heat-treats objects while maintaining a non-oxidizing atmosphere or a controlled oxygen-containing atmosphere. A heat treatment apparatus capable of obtaining a heat-treated product and a method for producing a heat-treated product are provided.

本発明は、下記の態様を有する。
<1>樹脂と基材を含む複合材または混合物である被処理物を無端ベルトで搬送しながら非酸化性雰囲気または制御された酸素含有雰囲気で熱処理して加熱処理物を得るトンネル炉を備えた熱処理装置であり、
前記トンネル炉が、前記被処理物を加熱する加熱部を有し、
前記加熱部よりも上流の前記トンネル炉内には、前記被処理物の搬送方向を横断し、かつ前記無端ベルトに接する、可とう性のシールカーテンが吊り下げられ、
前記加熱部よりも下流の前記トンネル炉内には、前記加熱処理物の搬送方向を横断し、かつ前記無端ベルトに接する、可とう性のシールカーテンが吊り下げられている、熱処理装置。
<2>前記加熱部よりも上流には、前記被処理物の搬送方向に間隔をあけて複数段の前記シールカーテンが吊り下げられ、
前記加熱部よりも下流には、前記加熱処理物の搬送方向に間隔をあけて複数段の前記シールカーテンが吊り下げられている、前記<1>の熱処理装置。
<3>前記加熱部よりも上流にある前記シールカーテンの段数が、2~100段であり、
前記加熱部よりも下流にある前記シールカーテンの段数が、2~100段である、前記<2>の熱処理装置。
<4>前記加熱部よりも上流にある前記シールカーテンが、前記被処理物の搬送方向を横断する方向に隙間なく並べられた複数の帯体からなり、
前記加熱部よりも下流にある前記シールカーテンが、前記加熱処理物の搬送方向を横断する方向に隙間なく並べられた複数の帯体からなる、前記<1>~<3>のいずれかの熱処理装置。
<5>前記シールカーテンの幅方向の1mあたりの前記帯体の数が、2~50本/mである、前記<4>の熱処理装置。
<6>前記熱処理装置が、前記トンネル炉における前記シールカーテンが吊り下げられた領域に不活性ガスを供給する手段をさらに備える、前記<1>~<5>のいずれかの熱処理装置。
<7>前記熱処理装置が、前記加熱部に不活性ガスを供給する手段をさらに備え、
前記加熱部内には、前記被処理物に向けて前記不活性ガスを噴射するノズルが設けられている、前記<1>~<6>のいずれかの熱処理装置。
<8>前記トンネル炉が、繊維強化樹脂を搬送しながら熱処理することによって前記繊維強化樹脂に含まれるマトリックス樹脂を熱分解して加熱処理物を得るもの、または太陽電池モジュールを搬送しながら熱処理することによって前記太陽電池モジュールに含まれる封止材を熱分解して加熱処理物を得るものである、前記<1>~<7>のいずれかの熱処理装置。
<9>樹脂と基材を含む複合材または混合物である被処理物を加熱する加熱部を有するトンネル炉内で被処理物を無端ベルトで搬送しながら非酸化性雰囲気または制御された酸素含有雰囲気で熱処理して加熱処理物を得る方法であり、
前記加熱部よりも上流の前記トンネル炉内には、前記被処理物の搬送方向を横断し、かつ前記無端ベルトに接する、可とう性のシールカーテンが吊り下げられ、
前記加熱部よりも下流の前記トンネル炉内には、前記加熱処理物の搬送方向を横断し、かつ前記無端ベルトに接する、可とう性のシールカーテンが吊り下げられ、
前記被処理物および前記加熱処理物が、前記トンネル炉内において前記シールカーテンを押し上げつつ搬送される、加熱処理物の製造方法。
<10>前記加熱部よりも上流には、前記被処理物の搬送方向に間隔をあけて複数段の前記シールカーテンが吊り下げられ、
前記加熱部よりも下流には、前記加熱処理物の搬送方向に間隔をあけて複数段の前記シールカーテンが吊り下げられている、前記<9>の加熱処理物の製造方法。
<11>前記加熱部よりも上流にある前記シールカーテンの段数が、2~100段であり、
前記加熱部よりも下流にある前記シールカーテンの段数が、2~100段である、前記<10>の加熱処理物の製造方法。
<12>前記加熱部よりも上流にある前記シールカーテンが、前記被処理物の搬送方向を横断する方向に隙間なく並べられた複数の帯体からなり、
前記加熱部よりも下流にある前記シールカーテンが、前記加熱処理物の搬送方向を横断する方向に隙間なく並べられた複数の帯体からなる、前記<9>~<11>のいずれかの加熱処理物の製造方法。
<13>前記シールカーテンの幅方向の1mあたりの前記帯体の数が、2~50本/mである、前記<12>の加熱処理物の製造方法。
<14>前記トンネル炉における前記シールカーテンが吊り下げられた領域に不活性ガスを供給する、前記<9>~<13>のいずれかの加熱処理物の製造方法。
<15>前記加熱部に供給された不活性ガスを前記加熱部内のノズルから前記被処理物に向けて噴射する、前記<9>~<14>のいずれかの加熱処理物の製造方法。
<16>前記加熱部に供給された前記不活性ガスが、窒素ガスまたは過熱水蒸気である、前記<15>の加熱処理物の製造方法。
<17>繊維強化樹脂を搬送しながら熱処理することによって前記繊維強化樹脂に含まれるマトリックス樹脂を熱分解して加熱処理物を得る方法、または太陽電池モジュールを搬送しながら熱処理することによって前記太陽電池モジュールに含まれる封止材を熱分解して加熱処理物を得る方法である、前記<9>~<16>のいずれかの加熱処理物の製造方法。
The present invention has the following aspects.
<1> Equipped with a tunnel furnace for heat-treating the workpiece, which is a composite material or mixture containing a resin and a base material, in a non-oxidizing atmosphere or a controlled oxygen-containing atmosphere while conveying the workpiece with an endless belt to obtain a heat-treated workpiece. It is a heat treatment equipment,
The tunnel furnace has a heating part that heats the object to be processed,
A flexible seal curtain is suspended in the tunnel furnace upstream of the heating section, and extends across the conveyance direction of the workpiece and is in contact with the endless belt,
A heat treatment apparatus, wherein a flexible seal curtain is suspended in the tunnel furnace downstream of the heating section, intersecting the conveyance direction of the heat-treated material and in contact with the endless belt.
<2> Upstream of the heating section, a plurality of stages of the seal curtains are suspended at intervals in the conveyance direction of the workpiece,
The heat treatment apparatus according to <1>, wherein a plurality of stages of the seal curtains are suspended downstream of the heating section at intervals in the conveyance direction of the heat-treated material.
<3> The number of stages of the seal curtain upstream of the heating section is 2 to 100 stages,
The heat treatment apparatus according to <2>, wherein the number of stages of the seal curtain downstream of the heating section is 2 to 100 stages.
<4> The seal curtain located upstream of the heating section is composed of a plurality of strips arranged without gaps in a direction transverse to the conveying direction of the object to be processed,
The heat treatment according to any one of <1> to <3>, wherein the seal curtain located downstream of the heating section is composed of a plurality of strips arranged without gaps in a direction transverse to the conveyance direction of the heat-treated material. Device.
<5> The heat treatment apparatus according to <4>, wherein the number of the strips per meter in the width direction of the seal curtain is 2 to 50 strips/m.
<6> The heat treatment apparatus according to any one of <1> to <5>, further comprising means for supplying an inert gas to a region of the tunnel furnace where the seal curtain is suspended.
<7> The heat treatment apparatus further includes means for supplying an inert gas to the heating section,
The heat treatment apparatus according to any one of <1> to <6>, wherein a nozzle for injecting the inert gas toward the object to be processed is provided in the heating section.
<8> The tunnel furnace heat-treats the fiber-reinforced resin while transporting it, thereby thermally decomposing the matrix resin contained in the fiber-reinforced resin to obtain a heat-treated product, or heat-processes the solar cell module while transporting it. The heat treatment apparatus according to any one of <1> to <7>, wherein a heat-treated product is obtained by thermally decomposing the sealing material contained in the solar cell module.
<9> A non-oxidizing atmosphere or a controlled oxygen-containing atmosphere while conveying the workpiece with an endless belt in a tunnel furnace having a heating section that heats the workpiece, which is a composite material or mixture containing a resin and a base material. This is a method of obtaining a heat-treated product by heat-treating it with
A flexible seal curtain is suspended in the tunnel furnace upstream of the heating section, and extends across the conveyance direction of the workpiece and is in contact with the endless belt,
A flexible seal curtain is suspended in the tunnel furnace downstream of the heating section, and extends across the conveying direction of the heat-treated material and is in contact with the endless belt,
A method for manufacturing a heat-treated product, wherein the workpiece and the heat-treated product are transported in the tunnel furnace while pushing up the seal curtain.
<10> Upstream of the heating section, a plurality of stages of the seal curtains are suspended at intervals in the conveyance direction of the workpiece,
The method for producing a heat-treated product according to <9>, wherein a plurality of stages of the seal curtains are suspended downstream of the heating section at intervals in the conveying direction of the heat-treated product.
<11> The number of stages of the seal curtain upstream of the heating section is 2 to 100 stages,
The method for producing a heat-treated product according to <10> above, wherein the number of stages of the seal curtain downstream of the heating section is 2 to 100 stages.
<12> The seal curtain located upstream of the heating section is composed of a plurality of strips arranged without gaps in a direction transverse to the conveyance direction of the object to be processed,
The heating according to any one of <9> to <11>, wherein the seal curtain located downstream of the heating section is composed of a plurality of strips arranged without gaps in a direction transverse to the conveying direction of the heated object. Method for manufacturing treated products.
<13> The method for producing a heat-treated product according to <12>, wherein the number of the bands per 1 m in the width direction of the seal curtain is 2 to 50/m.
<14> The method for producing a heat-treated product according to any one of <9> to <13>, wherein an inert gas is supplied to a region in the tunnel furnace where the seal curtain is suspended.
<15> The method for producing a heat-treated object according to any one of <9> to <14>, wherein the inert gas supplied to the heating section is injected from a nozzle in the heating section toward the object to be processed.
<16> The method for producing a heat-treated product according to <15>, wherein the inert gas supplied to the heating section is nitrogen gas or superheated steam.
<17> A method of thermally decomposing a matrix resin contained in the fiber-reinforced resin to obtain a heat-treated product by heat-treating the fiber-reinforced resin while transporting the fiber-reinforced resin, or heat-treating the solar cell module while transporting the solar cell module. The method for producing a heat-treated product according to any one of <9> to <16> above, which is a method of obtaining a heat-treated product by thermally decomposing a sealing material contained in a module.

本発明の熱処理装置によれば、トンネル炉内の不活性ガスや熱分解ガスが外に漏れ出すことを抑え、非酸化性雰囲気または制御された酸素含有雰囲気を維持しつつかつ連続して被処理物を熱処理して加熱処理物を得ることができる。
本発明の加熱処理物の製造方法によれば、トンネル炉内の不活性ガスや熱分解ガスが外に漏れ出すことを抑え、非酸化性雰囲気または制御された酸素含有雰囲気を維持しつつかつ連続して被処理物を熱処理して加熱処理物を得ることができる。
According to the heat treatment apparatus of the present invention, inert gas and pyrolysis gas in the tunnel furnace are suppressed from leaking outside, and a non-oxidizing atmosphere or a controlled oxygen-containing atmosphere is maintained while being continuously treated. A heat-treated product can be obtained by heat-treating an object.
According to the method for producing a heat-treated product of the present invention, inert gas and pyrolysis gas in the tunnel furnace are prevented from leaking outside, and a non-oxidizing atmosphere or a controlled oxygen-containing atmosphere is maintained and continuous production is possible. A heat-treated object can be obtained by heat-treating the object.

本発明の熱処理装置の一例を示す概略構成図である。1 is a schematic configuration diagram showing an example of a heat treatment apparatus of the present invention. シールカーテンを被処理物の搬送方向から見た図である。FIG. 2 is a diagram of the seal curtain viewed from the direction of conveyance of the object to be processed. 加熱炉内におけるノズルの配置の一例を示す斜視図である。It is a perspective view showing an example of arrangement of nozzles in a heating furnace. トンネル炉のシール室内において被処理物がシールカーテンを押し上げつつ搬送される様子を側面から見た図である。FIG. 2 is a side view of the workpiece being transported inside the sealing chamber of the tunnel furnace while pushing up the sealing curtain. トンネル炉のシール室内において被処理物がシールカーテンを押し上げつつ搬送される様子を被処理物の搬送方向の後ろ側から見た図である。FIG. 2 is a diagram showing how the workpiece is transported while pushing up the seal curtain in the sealing chamber of the tunnel furnace, as seen from the rear side in the transport direction of the workpiece. トンネル炉のシール室内において被処理物がシールカーテンを押し上げつつ搬送される様子を被処理物の搬送方向の後ろ側から見た図である。FIG. 2 is a diagram showing how the workpiece is transported while pushing up the seal curtain in the sealing chamber of the tunnel furnace, as seen from the rear side in the transport direction of the workpiece.

以下の用語の定義は、本明細書および特許請求の範囲にわたって適用される。
「繊維強化樹脂」とは、強化繊維およびマトリックス樹脂を含むものをいい、成形後の製品および成形前の中間製品を包含する。
「非酸化性雰囲気」とは、酸素ガスを含まない雰囲気、または酸素ガスを実質的に含まない雰囲気をいう。「酸素ガスを実質的に含まない」とは、被処理物を加熱する際に雰囲気中に不可避的に酸素ガスが混入したとしても、酸素ガスの量が、酸素ガスによる回収対象物の熱分解がほとんど見られない範囲の量であることをいう。
「酸化性雰囲気」とは、酸素ガスを含む雰囲気であり、非酸化性雰囲気以外の雰囲気をいう。
「過熱水蒸気」とは、沸点以上の温度に加熱された水蒸気をいう。
本明細書および特許請求の範囲において数値範囲を示す「~」は、その前後に記載された数値を下限値および上限値として含むことを意味する。
図1~図6における寸法比は、説明の便宜上、実際のものとは異なったものである。
The following definitions of terms apply throughout the specification and claims.
"Fiber-reinforced resin" refers to a resin containing reinforcing fibers and a matrix resin, and includes products after molding and intermediate products before molding.
"Non-oxidizing atmosphere" refers to an atmosphere that does not contain oxygen gas or an atmosphere that does not substantially contain oxygen gas. "Substantially does not contain oxygen gas" means that even if oxygen gas inevitably gets mixed into the atmosphere when heating the object, the amount of oxygen gas will be reduced by the thermal decomposition of the object to be recovered. This means that the amount is such that it is hardly seen.
The term "oxidizing atmosphere" refers to an atmosphere containing oxygen gas, other than a non-oxidizing atmosphere.
"Superheated steam" refers to steam heated to a temperature above the boiling point.
In the present specification and claims, the symbol "~" indicating a numerical range means that the numerical values listed before and after it are included as lower and upper limits.
The dimensional ratios in FIGS. 1 to 6 are different from the actual ones for convenience of explanation.

<被処理物>
本発明における被処理物は、熱分解される樹脂と、熱分解されない回収対象物とを含むものであればよい。
被処理物としては、樹脂を含む製品(繊維強化樹脂、太陽電池モジュール、プリント配線板等)、油脂または有機物が付着した製品、油脂または有機物が吸着または含有された製品等が挙げられる。
被処理物としては、加熱処理によって樹脂を熱分解し、基材をリサイクル資源として回収できる点で、樹脂と基材を含む複合材または混合物であることが好ましく、樹脂と基材を含む複合材がより好ましく、繊維強化樹脂または太陽電池モジュールであることがさらに好ましい。
基材としては、揮発温度が樹脂よりも低く、複合材または混合物中の樹脂を熱分解して除去することによって、基材の回収が可能なものであれば特に限定されない。
基材としては、例えば、金属、ガラス、セラミック、炭素繊維等が挙げられる。
<Object to be processed>
The object to be treated in the present invention may be any object as long as it contains a resin that is thermally decomposed and an object to be recovered that is not thermally decomposed.
Examples of the objects to be treated include products containing resin (fiber-reinforced resins, solar cell modules, printed wiring boards, etc.), products to which oils and fats or organic substances are attached, products in which oils and fats or organic substances are adsorbed or contained, and the like.
The material to be treated is preferably a composite material or a mixture containing a resin and a base material, since the resin can be thermally decomposed by heat treatment and the base material can be recovered as a recycled resource. is more preferable, and even more preferably a fiber reinforced resin or a solar cell module.
The base material is not particularly limited as long as it has a volatilization temperature lower than that of the resin and can be recovered by thermally decomposing and removing the resin in the composite material or mixture.
Examples of the base material include metal, glass, ceramic, and carbon fiber.

(繊維強化樹脂)
繊維強化樹脂は、強化繊維およびマトリックス樹脂を含む。
繊維強化樹脂は、強化繊維およびマトリックス樹脂以外の他の材料(無機フィラー等)等を含んでいてもよい。
(fiber reinforced resin)
The fiber reinforced resin includes reinforcing fibers and matrix resin.
The fiber-reinforced resin may contain reinforcing fibers and materials other than the matrix resin (such as inorganic filler).

繊維強化樹脂は、成形後の製品(成形品)であってもよく、成形前の中間製品(プリプレグ、トウプレグ、シートモールディングコンパウンド、バルクモールディングコンパウンド、スタンパブルシート、繊維強化樹脂ペレット等)であってもよい。
プリプレグ等を処理する場合、プリプレグ等を複数積み重ねた積層物であっても単層であってもよい。繊維強化樹脂としてプリプレグ等を複数積み重ねた積層物を用いた場合、同時に再生処理できるプリプレグ等の量を増やすことができ、低コストで熱処理できる。
繊維強化樹脂は、他の部材(強化繊維を含まない樹脂成形品、金属、セラミックス等)との複合体の状態であってもよい。
The fiber reinforced resin may be a product after molding (molded product) or an intermediate product before molding (prepreg, tow preg, sheet molding compound, bulk molding compound, stampable sheet, fiber reinforced resin pellet, etc.). Good too.
When processing prepreg or the like, it may be a laminate made by stacking a plurality of prepregs or the like or a single layer. When a laminate made by stacking a plurality of prepregs etc. is used as the fiber reinforced resin, the amount of prepregs etc. that can be recycled at the same time can be increased and heat treatment can be performed at low cost.
The fiber-reinforced resin may be in the form of a composite with other members (resin molded products that do not contain reinforcing fibers, metals, ceramics, etc.).

繊維強化樹脂の形状は、特に限定されない。炭素繊維強化樹脂の形状としては、シート状、板状、断面L形状(アングル状)、断面T形状、断面C形状(チャンネル状)、断面H形状、角パイプ状、丸パイプ状、任意の立体形状等が挙げられる。 The shape of the fiber reinforced resin is not particularly limited. The shapes of carbon fiber reinforced resin include sheet, plate, L-shaped cross section (angle shape), T-shaped cross section, C-shaped cross section (channel shape), H-shaped cross section, square pipe shape, round pipe shape, and any three-dimensional shape. Examples include shape.

(強化繊維)
強化繊維は、熱分解されない、または熱分解されにくく、熱処理されても繊維としての形状を保持できるものであればよい。
強化繊維としては、炭素繊維(黒鉛繊維を含む。)、ガラス繊維、炭化ケイ素繊維、アルミナ繊維、ボロン繊維、タングステンカーバイド繊維、金属繊維等が挙げられ、繊維強化樹脂の機械特性の点から、炭素繊維が好ましい。
(reinforced fiber)
The reinforcing fibers may be of any type as long as they are not thermally decomposed or are not easily thermally decomposed and can maintain their shape as fibers even when subjected to heat treatment.
Examples of reinforcing fibers include carbon fibers (including graphite fibers), glass fibers, silicon carbide fibers, alumina fibers, boron fibers, tungsten carbide fibers, and metal fibers. Fibers are preferred.

炭素繊維としては、ポリアクリロニトリル繊維を原料に用いたPAN系炭素繊維、石炭ピッチまたは石油ピッチを原料に用いたピッチ系炭素繊維等が挙げられる。
強化繊維は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
Examples of the carbon fiber include PAN-based carbon fiber using polyacrylonitrile fiber as a raw material, pitch-based carbon fiber using coal pitch or petroleum pitch as a raw material, and the like.
One type of reinforcing fiber may be used alone, or two or more types may be used in combination.

強化繊維の形態は、繊維束、織物、ノンクリンプファブリック等の強化繊維基材であってもよく、強化繊維基材を構成していない強化繊維(ミルド強化繊維等)であってもよい。強化繊維の形態としては、繊維強化樹脂から再生強化繊維として回収しやすい点から、強化繊維基材が好ましい。
繊維強化樹脂に含まれる強化繊維基材の層数は、中間製品の用途、特性等に応じて適宜設定され、特に限定されない。
強化繊維基材は、シート状であってもよく、チップ状であってもよい。
The form of the reinforcing fibers may be a reinforcing fiber base material such as a fiber bundle, a woven fabric, or a non-crimped fabric, or may be a reinforcing fiber that does not constitute a reinforcing fiber base material (such as milled reinforcing fibers). As for the form of the reinforcing fibers, a reinforcing fiber base material is preferred since it can be easily recovered as recycled reinforcing fibers from the fiber-reinforced resin.
The number of layers of the reinforcing fiber base material contained in the fiber-reinforced resin is appropriately set depending on the use, characteristics, etc. of the intermediate product, and is not particularly limited.
The reinforcing fiber base material may be in the form of a sheet or a chip.

シート状の強化繊維基材の形態としては、複数の強化繊維を一方向に引き揃えた繊維束(トウ)、強化繊維の繊維束を経糸および緯糸に用いた織物、ノンクリンプファブリック、強化繊維の不織布等が挙げられる。
チップ状の強化繊維基材の形態としては、繊維束を切断したチョップド強化繊維、チップ状の織物等が挙げられる。
Forms of sheet-like reinforcing fiber base materials include fiber bundles (tows) in which multiple reinforcing fibers are aligned in one direction, woven fabrics using fiber bundles of reinforcing fibers in the warp and weft, non-crimp fabrics, and reinforcing fibers. Examples include nonwoven fabrics.
Examples of the form of the chip-shaped reinforcing fiber base material include chopped reinforcing fibers obtained by cutting fiber bundles, chip-shaped woven fabrics, and the like.

繊維強化樹脂に含まれる強化繊維基材の形態は、1種類のみであってもよく、2種類以上であってもよい。繊維強化樹脂に含まれる複数の強化繊維基材は、例えば、シート状強化繊維基材とチップ状強化繊維基材との組み合わせ等からなる。 The number of forms of the reinforcing fiber base material contained in the fiber-reinforced resin may be only one type, or two or more types. The plurality of reinforcing fiber base materials contained in the fiber reinforced resin are, for example, a combination of a sheet-like reinforcing fiber base material and a chip-like reinforcing fiber base material.

繊維束を構成する強化繊維の本数は、繊維強化樹脂の用途、特性等に応じて適宜設定され、特に限定されない。
強化繊維の長さおよび繊維径は、繊維強化樹脂の用途、特性等に応じて適宜設定され、特に限定されない。
繊維強化樹脂に含まれる強化繊維の割合は、繊維強化樹脂の用途、特性等に応じて適宜設定され、特に限定されない。
The number of reinforcing fibers constituting the fiber bundle is appropriately set depending on the use, characteristics, etc. of the fiber-reinforced resin, and is not particularly limited.
The length and fiber diameter of the reinforcing fibers are appropriately set depending on the use, characteristics, etc. of the fiber-reinforced resin, and are not particularly limited.
The proportion of reinforcing fibers contained in the fiber-reinforced resin is appropriately set depending on the use, characteristics, etc. of the fiber-reinforced resin, and is not particularly limited.

(マトリックス樹脂)
マトリックス樹脂は、熱硬化性樹脂であってもよく、熱可塑性樹脂であってもよい。熱硬化性樹脂は、未硬化のものであってもよく、硬化物であってもよい。
(matrix resin)
The matrix resin may be a thermosetting resin or a thermoplastic resin. The thermosetting resin may be uncured or cured.

熱硬化性樹脂としては、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ビニルエステル樹脂、フェノール樹脂、シアネート樹脂、メラミン樹脂、ユリア樹脂、ジアリルフタレート樹脂、ベンゾグアナミン樹脂、アルキド樹脂、ビニルエステル樹脂、ジアリルテレフタレート、シリコーン樹脂、ウレタン樹脂、フラン樹脂、ケトン樹脂、キシレン樹脂、熱硬化性ポリイミド樹脂等が挙げられる。
熱硬化性樹脂は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
Thermosetting resins include epoxy resin, unsaturated polyester resin, vinyl ester resin, phenol resin, cyanate resin, melamine resin, urea resin, diallyl phthalate resin, benzoguanamine resin, alkyd resin, vinyl ester resin, diallyl terephthalate, and silicone resin. , urethane resin, furan resin, ketone resin, xylene resin, thermosetting polyimide resin, and the like.
One type of thermosetting resin may be used alone, or two or more types may be used in combination.

熱可塑性樹脂としては、ポリアミド(ナイロン等)、ポリオレフィン(ポリエチレン、ポリプロピレン等)、ポリエステル(ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリトリメチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等)、ポリカーボネート、アクリル樹脂(ポリメチルメタクリレート等)、アクリロニトリル-ブタジエン-スチレン共重合体、ポリフェニレンスルフィド、ポリスチレン、ポリフェニレンエーテル、ポリオキシメチレン、ポリ塩化ビニル、ポリウレタン、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルイミド、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリケトン、ポリエーテルケトン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリアリレート、ポリエーテルニトリル、フェノキシ樹脂、ポリブタジエン系樹脂、ポリイソプレン系樹脂、熱可塑エラストマー、これらの共重合体、変性体、ブレンド樹脂等が挙げられる。さらに、エラストマーやゴム成分を添加した樹脂であってもよい。
熱可塑性樹脂は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
Thermoplastic resins include polyamide (nylon, etc.), polyolefin (polyethylene, polypropylene, etc.), polyester (polyethylene terephthalate, polybutylene terephthalate, polytrimethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, etc.), polycarbonate, acrylic resin (polymethyl methacrylate, etc.) , acrylonitrile-butadiene-styrene copolymer, polyphenylene sulfide, polystyrene, polyphenylene ether, polyoxymethylene, polyvinyl chloride, polyurethane, polyimide, polyamideimide, polyetherimide, polysulfone, polyethersulfone, polyketone, polyetherketone, poly Examples include ether ether ketone, polyarylate, polyether nitrile, phenoxy resin, polybutadiene resin, polyisoprene resin, thermoplastic elastomer, copolymers, modified products, and blend resins thereof. Furthermore, a resin containing an elastomer or a rubber component may be used.
One type of thermoplastic resin may be used alone, or two or more types may be used in combination.

マトリックス樹脂は、必要に応じて添加剤を含んでいてもよい。添加剤としては、硬化剤、硬化助剤、内部離型剤、難燃剤、酸化防止剤、光安定剤、紫外線吸収剤、着色剤等が挙げられる。
繊維強化樹脂に含まれるマトリックス樹脂の割合は、繊維強化樹脂の用途、特性等に応じて適宜設定され、特に限定されない。
The matrix resin may contain additives as necessary. Examples of additives include curing agents, curing aids, internal mold release agents, flame retardants, antioxidants, light stabilizers, ultraviolet absorbers, colorants, and the like.
The proportion of the matrix resin contained in the fiber-reinforced resin is appropriately set depending on the use, characteristics, etc. of the fiber-reinforced resin, and is not particularly limited.

(太陽電池モジュール)
太陽電池モジュールは、セル、ガラス基板および封止材を有する。
太陽電池モジュールは、配線電極、取り出し電極、バックシート、フレーム等を有していてもよい。
本発明においては、太陽電池モジュールからフレーム等の機械的に取り外し容易な構成部材を取り除き、さらにバックシートを外したものを被処理物とすることが好ましい。
(Solar cell module)
A solar cell module has a cell, a glass substrate, and a sealing material.
The solar cell module may have wiring electrodes, lead-out electrodes, a back sheet, a frame, and the like.
In the present invention, it is preferable to use a solar cell module from which mechanically easily removable components such as the frame are removed, and further from which the back sheet is removed, as the object to be processed.

セルとしては、シリコン系(単結晶シリコン系、多結晶シリコン系、アモルファスシリコン系等)、化合物系(GaAs系、CIS系、CdTe-CdS系)等が挙げられる。
ガラス基板としては、ソーダライムガラス、無アルカリガラス等が挙げられる。
封止材としては、エチレン-酢酸ビニル共重合体(EVA)、エチレン-(メタ)アクリル酸エステル共重合体等が挙げられ、EVAが好ましい。
Examples of the cell include silicon-based cells (monocrystalline silicon-based, polycrystalline silicon-based, amorphous silicon-based, etc.), compound-based cells (GaAs-based, CIS-based, CdTe-CdS-based), and the like.
Examples of the glass substrate include soda lime glass and alkali-free glass.
Examples of the sealant include ethylene-vinyl acetate copolymer (EVA), ethylene-(meth)acrylate copolymer, and the like, with EVA being preferred.

<熱処理装置>
図1は、本発明の熱処理装置の一例を示す概略構成図である。図1においては、トンネル炉は断面を示す。
熱処理装置1は、被処理物100を非酸化性雰囲気または制御された酸素含有雰囲気で熱処理して加熱処理物102を得るトンネル炉10と;トンネル炉10内を通過するように被処理物100および加熱処理物102を搬送する搬送手段30と;トンネル炉10にシール用または冷却用の不活性ガスを供給する第一不活性ガス供給手段40と;トンネル炉10に熱処理用の不活性ガスを供給する第二不活性ガス供給手段50と;トンネル炉10からの排気ガスを外部に排出する排気ガス排出手段60と;トンネル炉10に冷却水を供給する冷却水供給手段70とを備える。
<Heat treatment equipment>
FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing an example of a heat treatment apparatus of the present invention. In FIG. 1, the tunnel furnace is shown in cross section.
The heat treatment apparatus 1 includes a tunnel furnace 10 for heat-treating a workpiece 100 in a non-oxidizing atmosphere or a controlled oxygen-containing atmosphere to obtain a heat treatment workpiece 102; A transport means 30 for transporting the heat-treated material 102; a first inert gas supply means 40 for supplying an inert gas for sealing or cooling to the tunnel furnace 10; and a first inert gas supply means 40 for supplying an inert gas for heat treatment to the tunnel furnace 10. a second inert gas supply means 50; an exhaust gas discharge means 60 for discharging exhaust gas from the tunnel furnace 10 to the outside; and a cooling water supply means 70 for supplying cooling water to the tunnel furnace 10.

(トンネル炉)
トンネル炉10は、上流側から順に、搬入口側排気室11と、搬入口側シール室12と、加熱室13(加熱部)と、冷却室14(冷却部)と、搬出口側シール室15と、搬出口側排気室16とを有する。
(Tunnel furnace)
The tunnel furnace 10 includes, in order from the upstream side, a loading port side exhaust chamber 11, a loading port side sealing chamber 12, a heating chamber 13 (heating section), a cooling chamber 14 (cooling section), and a loading port side sealing chamber 15. and an outlet side exhaust chamber 16.

搬入口側排気室11は、搬入口11aから流れ込む外気を、搬入口側シール室12からの不活性ガスや熱分解性ガスとともに排気するための領域である。
搬入口側排気室11には、トンネル炉10に被処理物100を搬入するための搬入口11aが形成されている。搬入口11aには、トンネル炉10の通路(搬入口11a)の開度を調整する第一開度調整板20が設けられている。搬入口側排気室11の上部には、搬入口11aから流れ込む外気を、搬入口側シール室12からの不活性ガスや熱分解性ガスとともに排気するための第一排気口11bが形成されている。第一排気口11bには、第一排気口11bの開度を調整する開度調整手段21が設けられている。開度調整手段21としては、開度調整板等が挙げられる。
The carry-in port side exhaust chamber 11 is an area for exhausting the outside air flowing in from the carry-in port 11a together with the inert gas and pyrolyzable gas from the carry-in port side seal chamber 12.
A carry-in port 11 a for carrying the workpiece 100 into the tunnel furnace 10 is formed in the carry-in port side exhaust chamber 11 . A first opening degree adjusting plate 20 that adjusts the opening degree of the passageway (carrying inlet 11a) of the tunnel furnace 10 is provided at the loading port 11a. A first exhaust port 11b is formed in the upper part of the carry-in port side exhaust chamber 11 for exhausting the outside air flowing in from the carry-in port 11a together with the inert gas and pyrolyzable gas from the carry-in port side seal chamber 12. . The first exhaust port 11b is provided with an opening adjustment means 21 that adjusts the opening degree of the first exhaust port 11b. Examples of the opening adjustment means 21 include an opening adjustment plate and the like.

搬入口側シール室12は、加熱室13への外気の侵入および加熱室13からの不活性ガスや熱分解ガスの漏れ出しを抑えるための領域である。
搬入口側シール室12の上部の、搬入口側シール室12の長さ方向の中央には、不活性ガスを搬入口側シール室12内に導入するための不活性ガス導入口12aが形成されている。搬入口側シール室12には、被処理物100の搬送方向を横断し、かつ無端ベルト32に接する、可とう性のシールカーテン22が吊り下げられている。搬入口側シール室12には、シールカーテン22よりも上流の位置に、トンネル炉10の通路(搬入口側シール室12の入口)の開度を調整する第二開度調整板23が設けられている。
The entrance-side seal chamber 12 is an area for suppressing the intrusion of outside air into the heating chamber 13 and the leakage of inert gas and pyrolysis gas from the heating chamber 13 .
An inert gas introduction port 12a for introducing inert gas into the loading port side sealing chamber 12 is formed in the upper part of the loading port side sealing chamber 12 at the center in the length direction of the loading port side sealing chamber 12. ing. A flexible seal curtain 22 is suspended in the seal chamber 12 on the import entrance side, which extends across the transport direction of the workpiece 100 and is in contact with the endless belt 32 . A second opening degree adjusting plate 23 for adjusting the opening degree of the passage of the tunnel furnace 10 (the entrance of the loading port side sealing chamber 12) is provided in the loading port side sealing chamber 12 at a position upstream of the seal curtain 22. ing.

シールカーテン22の上下方向の長さは、トンネル炉10内の無端ベルト32に接する長さであればよい。シールカーテン22の下端と無端ベルト32とが接触していることが好ましく、シールカーテン22の下端が無端ベルト32に押し付けられてたわんでいることがより好ましい。
シールカーテン22は、可とう性を有しかつ耐熱性を有するものであればよい。シールカーテン22としては、薄いシート等が挙げられ、耐熱性の薄いシートが好ましく、薄い金属シートがより好ましい。
The length of the seal curtain 22 in the vertical direction may be such that it contacts the endless belt 32 inside the tunnel furnace 10 . It is preferable that the lower end of the seal curtain 22 and the endless belt 32 are in contact with each other, and it is more preferable that the lower end of the seal curtain 22 is pressed against the endless belt 32 and bent.
The seal curtain 22 may be any material as long as it has flexibility and heat resistance. Examples of the seal curtain 22 include thin sheets, preferably heat-resistant thin sheets, and more preferably thin metal sheets.

搬入口側シール室12には、被処理物100の搬送方向に間隔をあけて複数段のシールカーテン22が吊り下げられている。シールカーテン22の段数は、2~100段が好ましい。シールカーテン22の段数が前記範囲の下限値以上であれば、加熱室13への外気の侵入および加熱室13からの不活性ガスや熱分解ガスの漏れ出しが十分に抑えられる。シールカーテン22の段数が前記範囲の上限値以下であれば、被処理物100が搬入口側シール室12を通過しやすい。 A plurality of seal curtains 22 are suspended in the import entrance side seal chamber 12 at intervals in the transport direction of the object to be processed 100 . The number of stages of the seal curtain 22 is preferably 2 to 100 stages. If the number of stages of the seal curtain 22 is equal to or greater than the lower limit of the range, the intrusion of outside air into the heating chamber 13 and the leakage of inert gas and pyrolysis gas from the heating chamber 13 can be sufficiently suppressed. If the number of stages of the seal curtain 22 is less than or equal to the upper limit of the range, the workpiece 100 can easily pass through the seal chamber 12 on the entrance side.

シールカーテン22は、図2に示すように、被処理物100の搬送方向を横断する方向に隙間なく並べられた、上下方向に延びる複数の帯体22Aからなる。シールカーテン22の幅方向の1mあたりの帯体22Aの数は、2~50本/mが好ましく、10~30本/mがより好ましい。帯体22Aの数が前記範囲の下限値以上であれば、後述する作用機序によって、被処理物100の側面と帯体22Aとの隙間をできるだけ小さくでき、加熱室13への外気の侵入および加熱室13からの不活性ガスや熱分解ガスの漏れ出しが十分に抑えられる。帯体22Aの数が前記範囲の上限値以下であれば、隣り合う帯体22Aの隙間の数が抑えられ、加熱室13への外気の侵入および加熱室13からの不活性ガスや熱分解ガスの漏れ出しが十分に抑えられる。 As shown in FIG. 2, the seal curtain 22 is made up of a plurality of vertically extending bands 22A arranged without gaps in a direction transverse to the conveying direction of the object 100. The number of bands 22A per meter in the width direction of the seal curtain 22 is preferably 2 to 50 bands/m, more preferably 10 to 30 bands/m. If the number of strips 22A is equal to or greater than the lower limit of the above range, the gap between the side surface of the object to be processed 100 and the strips 22A can be made as small as possible by the mechanism described later, thereby preventing outside air from entering the heating chamber 13. Leakage of inert gas and pyrolysis gas from the heating chamber 13 can be sufficiently suppressed. If the number of strips 22A is below the upper limit of the above range, the number of gaps between adjacent strips 22A is suppressed, preventing outside air from entering the heating chamber 13 and inert gas or pyrolysis gas from the heating chamber 13. leakage is sufficiently suppressed.

加熱室13は、被処理物100を加熱して熱処理するための領域である。被処理物100が熱処理されることによって、被処理物100に含まれる樹脂(マトリックス樹脂、封止剤等)が熱分解されて加熱処理物102が得られる。
加熱室13の上部には、被処理物100に含まれる樹脂が熱分解して発生した熱分解ガスを含む排気ガスを加熱室13から排気するための第三排気口13aが形成されている。加熱室13内には、被処理物100を搬送する無端ベルト32を挟んで一対の電気ヒーター24が、被処理物100の搬送方向に間隔をあけて三か所に設置されている。一対の電気ヒーター24が設置された各領域を、上流側から予熱領域13A、第一加熱領域13B、第二加熱領域13Cとする。各領域は、一対の電気ヒーター24によってそれぞれ任意の温度に設定できる。領域の数は必要に応じて適宜設定できる。加熱室13内の予熱領域13Aおよび第一加熱領域13Bのそれぞれには、無端ベルト32の下側に、被処理物100に向けて不活性ガスを噴射するノズル25が設けられている。ノズル25は、図3に示すように、無端ベルト32の移動方向を横切る方向に配置された不活性ガス供給配管54に複数設けられてもよい。このような配置とすることによって、被処理物100に不活性ガスを連続的かつ直接的に吹き付けることができ、被処理物100に含まれる樹脂(マトリックス樹脂、封止材等)を効率的に熱分解できる。
The heating chamber 13 is a region for heating the object 100 to perform heat treatment. When the object to be processed 100 is heat-treated, the resin (matrix resin, sealant, etc.) contained in the object to be processed 100 is thermally decomposed, and a heat-treated object 102 is obtained.
A third exhaust port 13a is formed in the upper part of the heating chamber 13 for exhausting exhaust gas containing pyrolysis gas generated by thermal decomposition of the resin contained in the object 100 from the heating chamber 13. Inside the heating chamber 13, a pair of electric heaters 24 are installed at three locations with an endless belt 32 for transporting the workpiece 100 interposed therebetween, at intervals in the transport direction of the workpiece 100. The regions in which the pair of electric heaters 24 are installed are defined as a preheating region 13A, a first heating region 13B, and a second heating region 13C from the upstream side. Each region can be set to an arbitrary temperature by a pair of electric heaters 24. The number of areas can be appropriately set as necessary. In each of the preheating area 13A and the first heating area 13B in the heating chamber 13, a nozzle 25 for injecting an inert gas toward the workpiece 100 is provided below the endless belt 32. As shown in FIG. 3, a plurality of nozzles 25 may be provided in an inert gas supply pipe 54 arranged in a direction crossing the moving direction of the endless belt 32. With this arrangement, the inert gas can be continuously and directly sprayed onto the object to be processed 100, and the resin (matrix resin, sealing material, etc.) contained in the object to be processed 100 can be efficiently removed. Can be thermally decomposed.

冷却室14は、加熱処理物102を冷却するための領域である。
加熱室13と冷却室14との境界付近には、不活性ガスを加熱室13と冷却室14との境界付近に導入するための不活性ガス導入口14aが形成されている。冷却室14内には、冷却水を流すための冷却管(図示略)が配設されている。
The cooling chamber 14 is an area for cooling the heat-treated object 102.
An inert gas introduction port 14a is formed near the boundary between the heating chamber 13 and the cooling chamber 14 for introducing inert gas into the vicinity of the boundary between the heating chamber 13 and the cooling chamber 14. A cooling pipe (not shown) for flowing cooling water is provided in the cooling chamber 14 .

搬出口側シール室15は、冷却室14および加熱室13への外気の侵入ならびに加熱室13および冷却室14からの不活性ガスや熱分解ガスの漏れ出しを抑えるための領域である。
搬出口側シール室15の上部の、搬出口側シール室15の長さ方向の中央には、不活性ガスを搬出口側シール室15内に導入するための不活性ガス導入口15aが形成されている。搬出口側シール室15には、加熱処理物102の搬送方向を横断し、かつ無端ベルト32に接する、可とう性のシールカーテン26が、加熱処理物102の搬送方向に間隔をあけて複数段吊り下げられている。搬出口側シール室15には、シールカーテン26よりも下流の位置に、トンネル炉10の通路(搬出口側シール室15の出口)の開度を調整する第三開度調整板27が設けられている。
シールカーテン26としては、搬入口側シール室12におけるシールカーテン22と同様のものが挙げられ、好ましい形態も同様である。
The exit-side seal chamber 15 is an area for suppressing the intrusion of outside air into the cooling chamber 14 and the heating chamber 13 and the leakage of inert gas and pyrolysis gas from the heating chamber 13 and the cooling chamber 14.
An inert gas inlet 15a for introducing inert gas into the exit sealing chamber 15 is formed in the upper part of the exit exit sealing chamber 15 at the center in the longitudinal direction of the exit exit sealing chamber 15. ing. In the exit-side sealing chamber 15, a flexible seal curtain 26 that crosses the conveyance direction of the heat-treated material 102 and is in contact with the endless belt 32 is arranged in multiple stages at intervals in the conveyance direction of the heat-treated material 102. It is suspended. A third opening adjustment plate 27 for adjusting the opening degree of the passage of the tunnel furnace 10 (the exit of the exit side sealing chamber 15) is provided in the unloading port side sealing chamber 15 at a position downstream of the seal curtain 26. ing.
The seal curtain 26 may be similar to the seal curtain 22 in the entrance side seal chamber 12, and its preferred form is also the same.

搬出口側排気室16は、搬出口16aから流れ込む外気を、搬出口側シール室15からの不活性ガスや熱分解性ガスとともに排気するための領域である。
搬出口側排気室16には、トンネル炉10から加熱処理物102を搬出するための搬出口16aが形成されている。搬出口16aには、トンネル炉10の通路(搬出口16a)の開度を調整する第四開度調整板29が設けられている。搬出口側排気室16の上部には、搬出口16aから流れ込む外気を、搬出口側シール室15からの不活性ガスや熱分解性ガスとともに排気するための第二排気口16bが形成されている。第二排気口16bには、第二排気口16bの開度を調整する開度調整手段28が設けられている。開度調整手段28としては、開度調整板等が挙げられる。
The outlet side exhaust chamber 16 is an area for exhausting the outside air flowing in from the outlet 16a together with the inert gas and pyrolyzable gas from the outlet side seal chamber 15.
The outlet side exhaust chamber 16 is formed with an outlet 16 a for carrying out the heat-treated material 102 from the tunnel furnace 10 . A fourth opening adjustment plate 29 is provided at the export port 16a to adjust the opening degree of the passage (export port 16a) of the tunnel furnace 10. A second exhaust port 16b is formed in the upper part of the outlet side exhaust chamber 16 for exhausting the outside air flowing from the outlet 16a together with the inert gas and pyrolyzable gas from the outlet side seal chamber 15. . The second exhaust port 16b is provided with an opening adjustment means 28 that adjusts the opening degree of the second exhaust port 16b. Examples of the opening adjustment means 28 include an opening adjustment plate and the like.

(搬送手段)
搬送手段30は、トンネル炉10の上流側に設けられたロール34と;トンネル炉10の下流側に設けられたロール36と;ロール36の下方に設けられたロール37と;ロール34の下方に設けられたロール38と;トンネル炉10内に挿通された状態でこれらロールに架け渡された無端ベルト32と;少なくとも1つのロールに設けられた回転駆動機構(図示略)とを備えるベルトコンベアである。無端ベルト32は、被処理物100および加熱処理物102を載置した状態で、トンネル炉10の上流側からトンネル炉10内を通過してトンネル炉10の下流側に向かって移動する。
無端ベルト32は、通気性、可とう性および耐熱性を有するものであればよい。無端ベルト32としては、耐熱性のメッシュベルト等が挙げられ、金属製のメッシュベルトが好ましい。
(Transportation means)
The conveying means 30 includes a roll 34 provided on the upstream side of the tunnel furnace 10; a roll 36 provided on the downstream side of the tunnel furnace 10; a roll 37 provided below the roll 36; and a roll 37 provided below the roll 34. A belt conveyor comprising: rolls 38 provided; an endless belt 32 extending over these rolls while being inserted into the tunnel furnace 10; and a rotational drive mechanism (not shown) provided on at least one roll. be. The endless belt 32 moves from the upstream side of the tunnel furnace 10, passes through the tunnel furnace 10, and moves toward the downstream side of the tunnel furnace 10, with the workpiece 100 and the heat treatment object 102 placed thereon.
The endless belt 32 may be any material as long as it has air permeability, flexibility, and heat resistance. Examples of the endless belt 32 include a heat-resistant mesh belt, and a metal mesh belt is preferable.

(第一不活性ガス供給手段)
第一不活性ガス供給手段40は、不活性ガス供給源42と;不活性ガス供給源42から供給された不活性ガスを、搬入口側シール室12の不活性ガス導入口12a、加熱室13と冷却室14との境界付近の不活性ガス導入口14a、および搬出口側シール室15の不活性ガス導入口15aに送気するための不活性ガス供給配管44と;不活性ガス供給配管44の途中に設けられた不活性ガス加熱装置46を備える。
不活性ガス供給源42としては、膜分離式窒素ガス発生装置、不活性ガスボンベ、不活性ガスタンク等が挙げられる。不活性ガスとしては、窒素ガス、アルゴンガス、ヘリウムガス、キセノンガス、二酸化炭素ガス等が挙げられ、経済性の点から、窒素ガスが好ましい。
(First inert gas supply means)
The first inert gas supply means 40 is connected to an inert gas supply source 42 ; and an inert gas supply pipe 44 for supplying air to the inert gas inlet 14a near the boundary between the cooling chamber 14 and the inert gas inlet 15a of the sealing chamber 15 on the exit side; An inert gas heating device 46 is provided in the middle.
Examples of the inert gas supply source 42 include a membrane separation type nitrogen gas generator, an inert gas cylinder, an inert gas tank, and the like. Examples of the inert gas include nitrogen gas, argon gas, helium gas, xenon gas, carbon dioxide gas, and nitrogen gas is preferred from the economic point of view.

(第二不活性ガス供給手段)
第二不活性ガス供給手段50は、不活性ガス供給源52と;不活性ガス供給源52から供給された不活性ガスを、加熱室13内のノズル25に送気するための不活性ガス供給配管54とを備える。
不活性ガス供給源42としては、過熱水蒸気発生装置、膜分離式窒素ガス発生装置、不活性ガスボンベ、不活性ガスタンク等が挙げられる。不活性ガスとしては、過熱水蒸気、窒素ガス、アルゴンガス、ヘリウムガス、キセノンガス、二酸化炭素ガス等が挙げられ、経済性の点から、窒素ガスまたは過熱水蒸気が好ましく、熱伝導性の点から、過熱水蒸気がより好ましい。また、不活性ガス中に制御された量の酸素ガスが含まれていてもよい。
(Second inert gas supply means)
The second inert gas supply means 50 includes an inert gas supply source 52; an inert gas supply for supplying the inert gas supplied from the inert gas supply source 52 to the nozzle 25 in the heating chamber 13; and piping 54.
Examples of the inert gas supply source 42 include a superheated steam generator, a membrane separation type nitrogen gas generator, an inert gas cylinder, an inert gas tank, and the like. Examples of the inert gas include superheated steam, nitrogen gas, argon gas, helium gas, xenon gas, carbon dioxide gas, etc. From the economic point of view, nitrogen gas or superheated steam is preferable, and from the point of thermal conductivity, Superheated steam is more preferred. A controlled amount of oxygen gas may also be included in the inert gas.

(排気ガス排出手段)
排気ガス排出手段60は、加熱室13の第三排気口13aから排気された熱分解ガスを含む排気ガスを燃焼処理するアフターバーナー61と;加熱室13の第三排気口13aからアフターバーナー61に熱分解ガスを含む排気ガスを吸気する第一排気配管62と;アフターバーナー61から排気される排気ガスを外部に排出する第二排気配管63と;搬入口側排気室11の第一排気口11bおよび搬出口側排気室16の第二排気口16bから排気された不活性ガスや熱分解性ガスを含む排気ガスを第二排気配管63に合流させる第三排気配管64と;第三排気配管64の途中に設けられた排気ファン65とを備える。
(Exhaust gas discharge means)
The exhaust gas discharge means 60 includes an afterburner 61 that burns exhaust gas containing pyrolysis gas exhausted from the third exhaust port 13a of the heating chamber 13; A first exhaust pipe 62 that takes in exhaust gas containing gas; a second exhaust pipe 63 that discharges exhaust gas exhausted from the afterburner 61 to the outside; a first exhaust port 11b of the exhaust chamber 11 on the entrance side and an exit A third exhaust pipe 64 that connects the exhaust gas containing inert gas and pyrolyzable gas exhausted from the second exhaust port 16b of the side exhaust chamber 16 to the second exhaust pipe 63; An exhaust fan 65 is provided.

(冷却水供給手段)
冷却水供給手段70は、冷却室14の冷却管から戻された冷却水を貯留する冷却水タンク71と;冷却室14の冷却管から冷却水タンク71に冷却水を戻す第一冷却水配管72と;冷却水タンク71の冷却水を冷却室14の冷却管に供給する第二冷却水配管73と;第二冷却水配管73の途中に設けられた送液ポンプ74と;第二冷却水配管73の途中に設けられた、冷却水を冷却するための熱交換器75とを備える。
(Cooling water supply means)
The cooling water supply means 70 includes a cooling water tank 71 that stores the cooling water returned from the cooling pipe of the cooling room 14; and a first cooling water pipe 72 that returns the cooling water from the cooling pipe of the cooling room 14 to the cooling water tank 71. A second cooling water pipe 73 that supplies the cooling water from the cooling water tank 71 to the cooling pipe of the cooling chamber 14; A liquid sending pump 74 provided in the middle of the second cooling water pipe 73; A second cooling water pipe A heat exchanger 75 for cooling the cooling water is provided in the middle of the cooling water.

<加熱処理物の製造方法>
図1の熱処理装置1を用いた加熱処理物102の製造方法について説明する。
第一不活性ガス供給手段40の不活性ガス供給源42から不活性ガスを、常時、搬入口側シール室12、加熱室13と冷却室14との境界付近、および搬出口側シール室15に供給する。また、第二不活性ガス供給手段50の不活性ガス供給源52から不活性ガスを、常時、加熱室13に供給する。これによって、加熱室13内を非酸化性雰囲気とする。また、加熱室13に酸素を含有するガスを供給し、加熱室13内を制御された酸素含有雰囲気とすることもできる。
<Method for producing heat-treated product>
A method for manufacturing the heat-treated product 102 using the heat treatment apparatus 1 of FIG. 1 will be described.
Inert gas is always supplied from the inert gas supply source 42 of the first inert gas supply means 40 to the entrance side seal chamber 12, the vicinity of the boundary between the heating chamber 13 and the cooling chamber 14, and the exit side seal chamber 15. supply Further, inert gas is constantly supplied to the heating chamber 13 from the inert gas supply source 52 of the second inert gas supply means 50 . This makes the inside of the heating chamber 13 a non-oxidizing atmosphere. Alternatively, a gas containing oxygen can be supplied to the heating chamber 13 to create a controlled oxygen-containing atmosphere inside the heating chamber 13.

搬入口側シール室12および搬出口側シール室15内に供給されるシール用の不活性ガスとしては、窒素ガス、アルゴンガス、ヘリウムガス、キセノンガス、二酸化炭素ガス等が挙げられ、経済性の点から、窒素ガスが好ましい。また、不活性ガスは、体積膨張によってガスの使用量を削減できる点から、加熱されていることが好ましい。
加熱室13と冷却室14との境界付近に供給される冷却用の不活性ガスとしては、過熱水蒸気、窒素ガス、アルゴンガス、ヘリウムガス、キセノンガス、二酸化炭素ガス等が挙げられ、経済性の点から、過熱水蒸気または窒素ガスが好ましい。
加熱室13内の雰囲気としては、被処理物100に含まれる回収対象物の酸化ダメージを抑えつつ樹脂を十分に熱分解できる点から、不活性ガス雰囲気が好ましい。加熱室13に供給される熱処理用の不活性ガスとしては、過熱水蒸気、窒素ガス、アルゴンガス、ヘリウムガス、キセノンガス、二酸化炭素ガス等が挙げられ、経済性の点から、窒素ガスまたは過熱水蒸気が好ましく、熱伝導性の点から、過熱水蒸気がより好ましい。また、不活性ガス中に制御された量の酸素が含まれていてもよい。
Examples of the inert gas for sealing supplied into the loading port side sealing chamber 12 and the loading port side sealing chamber 15 include nitrogen gas, argon gas, helium gas, xenon gas, carbon dioxide gas, etc. From this point of view, nitrogen gas is preferable. Further, the inert gas is preferably heated, since the volumetric expansion can reduce the amount of gas used.
Examples of the inert gas for cooling supplied near the boundary between the heating chamber 13 and the cooling chamber 14 include superheated steam, nitrogen gas, argon gas, helium gas, xenon gas, carbon dioxide gas, etc. From this point of view, superheated steam or nitrogen gas is preferable.
The atmosphere in the heating chamber 13 is preferably an inert gas atmosphere, since the resin can be sufficiently thermally decomposed while suppressing oxidative damage to the recovery target contained in the processing object 100. Examples of the inert gas for heat treatment supplied to the heating chamber 13 include superheated steam, nitrogen gas, argon gas, helium gas, xenon gas, carbon dioxide gas, etc. From the economic point of view, nitrogen gas or superheated steam is recommended. is preferable, and superheated steam is more preferable from the viewpoint of thermal conductivity. A controlled amount of oxygen may also be included in the inert gas.

また、排気ガス排出手段60の排気ファン65を駆動させ、トンネル炉10の搬入口11aから流れ込む外気を、搬入口側シール室12からの不活性ガスや熱分解ガスとともに第一排気口11bから常時排気する。第一開度調整板20によって、トンネル炉10の搬入口11aから流れ込む外気の量を調整し、トンネル炉10内の不活性ガスや熱分解ガスが外に漏れ出すことを抑える。また、トンネル炉10の搬出口16aから流れ込む外気を、搬出口側シール室15からの不活性ガスや熱分解ガスとともに第二排気口16bから常時排気する。第四開度調整板29によって、トンネル炉10の搬出口16aから流れ込む外気の量を調整し、トンネル炉10内の不活性ガスや熱分解ガスが外に漏れ出すことを抑える。必要に応じて、開度調整手段21よって第一排気口11bの開度を調整する。また、開度調整手段28によって第二排気口16bの開度を調整する。 In addition, the exhaust fan 65 of the exhaust gas exhaust means 60 is driven, and the outside air flowing in from the entrance 11a of the tunnel furnace 10 is constantly supplied from the first exhaust port 11b together with the inert gas and pyrolysis gas from the entrance-side seal chamber 12. Exhaust. The first opening adjustment plate 20 adjusts the amount of outside air flowing in from the entrance 11a of the tunnel furnace 10, thereby suppressing inert gas and pyrolysis gas inside the tunnel furnace 10 from leaking outside. Furthermore, the outside air flowing in from the outlet 16a of the tunnel furnace 10 is constantly exhausted from the second exhaust port 16b together with the inert gas and pyrolysis gas from the seal chamber 15 on the outlet side. The fourth opening adjustment plate 29 adjusts the amount of outside air flowing in from the outlet 16a of the tunnel furnace 10, thereby suppressing inert gas and pyrolysis gas inside the tunnel furnace 10 from leaking outside. If necessary, the opening degree of the first exhaust port 11b is adjusted by the opening degree adjusting means 21. Further, the opening degree of the second exhaust port 16b is adjusted by the opening degree adjusting means 28.

トンネル炉10の上流側からトンネル炉10内を通過してトンネル炉10の下流側に向かって移動する無端ベルト32に、トンネル炉10の上流側において被処理物100を載置する。被処理物100は、無端ベルト32によってトンネル炉10の搬入口11aから搬入され、トンネル炉10内を搬送される。
搬入口側シール室12内においては、被処理物100がシールカーテン22を押し上げつつ搬送される。必要に応じて、第二開度調整板23によって搬入口側シール室12の入口の開度を調整する。
The workpiece 100 is placed on the endless belt 32 that moves from the upstream side of the tunnel furnace 10 through the tunnel furnace 10 toward the downstream side of the tunnel furnace 10 on the upstream side of the tunnel furnace 10 . The workpiece 100 is carried in through the entrance 11a of the tunnel furnace 10 by the endless belt 32, and is transported inside the tunnel furnace 10.
In the entrance-side seal chamber 12, the workpiece 100 is transported while pushing up the seal curtain 22. If necessary, the opening degree of the entrance of the entrance side sealing chamber 12 is adjusted by the second opening degree adjusting plate 23.

加熱室13内においては、被処理物100を搬送しながら非酸化性雰囲気または制御された酸素含有雰囲気に維持された状態で熱処理する。これによって、被処理物100に含まれる樹脂(マトリックス樹脂、封止材等)を熱分解して加熱処理物102を得る。
加熱室13内の酸素濃度は、被処理物100に含まれる回収対象物(強化繊維、セル、ガラス基板等)の酸化ダメージが十分に抑えられ、爆鳴気の形成が抑えられる点から、3.0体積%以下が好ましく、1.0体積%以下がより好ましく、0.1体積%以下がさらに好ましい。
In the heating chamber 13, the workpiece 100 is heat-treated while being transported and maintained in a non-oxidizing atmosphere or a controlled oxygen-containing atmosphere. As a result, the resin (matrix resin, sealing material, etc.) contained in the object to be processed 100 is thermally decomposed to obtain the heated object 102 .
The oxygen concentration in the heating chamber 13 is set to 3 to sufficiently suppress oxidation damage to the objects to be recovered (reinforced fibers, cells, glass substrates, etc.) included in the processing object 100 and to suppress the formation of explosive gas. The content is preferably .0 volume% or less, more preferably 1.0 volume% or less, and even more preferably 0.1 volume% or less.

被処理物100が繊維強化樹脂の場合、予熱領域13Aの雰囲気温度は、例えば、300~600℃に設定され、第一加熱領域13Bの雰囲気温度は、例えば、500~800℃に設定され、第二加熱領域13Cの雰囲気温度は、例えば、500~800℃に設定される。
被処理物100が繊維強化樹脂の場合、加熱室13内における加熱時間は、例えば、加熱温度に応じて10~180分の範囲で適宜設定される。
When the object to be processed 100 is a fiber reinforced resin, the ambient temperature of the preheating area 13A is set to, for example, 300 to 600°C, the ambient temperature of the first heating area 13B is set to, for example, 500 to 800°C, and the ambient temperature of the first heating area 13B is set to, for example, 500 to 800°C. The ambient temperature of the second heating area 13C is set to, for example, 500 to 800°C.
When the object to be processed 100 is a fiber-reinforced resin, the heating time in the heating chamber 13 is appropriately set, for example, in the range of 10 to 180 minutes depending on the heating temperature.

被処理物100が太陽電池モジュールの場合、予熱領域13Aの雰囲気温度は、例えば、300~400℃に設定され、第一加熱領域13Bの雰囲気温度は、例えば、400~550℃に設定され、第二加熱領域13Cの雰囲気温度は、例えば、400~550℃に設定される。
被処理物100太陽電池モジュールの場合、加熱室13内における加熱時間は、例えば、加熱温度に応じて10~180分の範囲で適宜設定される。
When the object to be processed 100 is a solar cell module, the atmospheric temperature of the preheating region 13A is set to, for example, 300 to 400°C, the atmospheric temperature of the first heating region 13B is set to, for example, 400 to 550°C, and the The ambient temperature of the second heating area 13C is set to, for example, 400 to 550°C.
In the case of the solar cell module to be processed 100, the heating time in the heating chamber 13 is appropriately set, for example, in the range of 10 to 180 minutes depending on the heating temperature.

加熱室13内にて被処理物100を熱処理する際には、予熱領域13Aおよび第一加熱領域13Bにて、第二不活性ガス供給手段50から供給された熱処理用の不活性ガスを加熱室13内のノズル25から被処理物100に向けて噴射する。
被処理物100に含まれる樹脂が熱分解して発生した熱分解ガスを含む排気ガスは、加熱室13から排気され、排気ガス排出手段60のアフターバーナー61によって燃焼処理された後、外部に排気される。
When heat-treating the workpiece 100 in the heating chamber 13, the inert gas for heat treatment supplied from the second inert gas supply means 50 is supplied to the heating chamber in the preheating region 13A and the first heating region 13B. The liquid is ejected from the nozzle 25 in the object 13 toward the object 100 to be treated.
Exhaust gas containing pyrolysis gas generated by thermal decomposition of the resin contained in the object to be processed 100 is exhausted from the heating chamber 13, burned by the afterburner 61 of the exhaust gas exhaust means 60, and then exhausted to the outside. Ru.

加熱室13と冷却室14との境界付近においては、冷却用の不活性ガスによって加熱処理物102が徐冷される。その後、冷却水供給手段70から冷却水が供給される冷却室14内において、加熱処理物102に含まれる回収対象物の酸化ダメージが十分に抑えられる温度、例えば、100℃以下まで加熱処理物102が冷却される。 In the vicinity of the boundary between the heating chamber 13 and the cooling chamber 14, the heated object 102 is slowly cooled by an inert gas for cooling. Thereafter, in the cooling chamber 14 to which cooling water is supplied from the cooling water supply means 70, the heat-treated material 102 is heated to a temperature of 100° C. or lower, at which oxidation damage to the recovery target contained in the heat-treated material 102 is sufficiently suppressed. is cooled.

搬出口側シール室15内においては、加熱処理物102がシールカーテン26を押し上げつつ搬送される。必要に応じて、第三開度調整板27によって搬出口側シール室15の出口の開度を調整する。
無端ベルト32によってトンネル炉10内を搬送された加熱処理物102がトンネル炉10の搬出口16aから搬出される。
Inside the seal chamber 15 on the exit side, the heat-treated material 102 is transported while pushing up the seal curtain 26 . If necessary, the third opening adjustment plate 27 adjusts the opening of the exit of the seal chamber 15 on the exit side.
The heat-treated material 102 transported through the tunnel furnace 10 by the endless belt 32 is transported out from the exit 16a of the tunnel furnace 10.

トンネル炉10から搬出される加熱処理物102は、被処理物100が繊維強化樹脂の場合、樹脂残渣が付着した強化繊維であり、被処理物100が太陽電池モジュールの場合、樹脂残渣が付着したセル、ガラス基板等である。
必要に応じて、加熱処理物を酸化性雰囲気下でさらに加熱して樹脂残渣を低減してもよい。加熱処理物を酸化性雰囲気下で加熱するときの雰囲気温度は、例えば、300~500℃に設定される。加熱時間は、例えば、加熱温度に応じて10~180分の範囲で適宜設定される。
When the object to be treated 100 is a fiber-reinforced resin, the heat-treated object 102 carried out from the tunnel furnace 10 is reinforced fiber with resin residue attached to it, and when the object to be treated 100 is a solar cell module, it is a reinforced fiber with resin residue attached to it. Cells, glass substrates, etc.
If necessary, the heat-treated product may be further heated in an oxidizing atmosphere to reduce resin residue. The ambient temperature when heating the heat-treated product in an oxidizing atmosphere is set to, for example, 300 to 500°C. The heating time is appropriately set, for example, in the range of 10 to 180 minutes depending on the heating temperature.

<作用機序>
以上説明した熱処理装置1にあっては、被処理物100を搬送しながら熱処理して加熱処理物102を得るトンネル炉10を備えているため、連続して被処理物100を熱処理して加熱処理物102を得ることができる。その結果、バッチ処理と比べて、時間あたりの処理量を多くすることができる。
また、被処理物100を加熱する加熱室13よりも上流の搬入口側シール室12内には、被処理物100の搬送方向を横断し、かつ無端ベルト32に接する長さで垂れ下がったシールカーテン22が吊り下げられている。そのため、搬入口側シール室12内に侵入した外気および加熱室13からの不活性ガスや熱分解ガスは、搬入口側シール室12内を通過しにくい。また、加熱室13よりも下流の搬出口側シール室15内にも、加熱処理物102の搬送方向を横断し、かつ無端ベルト32に接する長さで垂れ下がったシールカーテン26が吊り下げられている。そのため、搬出口側シール室15内に侵入した外気および加熱室13や冷却室14からの不活性ガスや熱分解ガスは、搬出口側シール室15内を通過しにくい。
また、搬入口側シール室12内のシールカーテン22は、可とう性を有する。そのため、図4に示すように、搬入口側シール室12を被処理物100が通過する際には、シールカーテン22は、たわんだ状態で押し上げられる。このとき、シールカーテン22が、被処理物100に押しつけられ、図5および図6に示すように、被処理物100の厚さや上面形状に追随して被処理物100の表面に密に接するため、シールカーテン22と被処理物100の上面との隙間が最小限に抑えられる。よって、搬入口側シール室12内に侵入した外気および加熱室13からの不活性ガスや熱分解ガスは、搬入口側シール室12を被処理物100が通過する際にも、搬入口側シール室12内を通過しにくい。また、搬出口側シール室15内のシールカーテン26も、可とう性を有する。そのため、シールカーテン22と同じ理由によって、シールカーテン26と加熱処理物102との隙間が最小に抑えられる。よって、搬出口側シール室15内に侵入した外気および加熱室13や冷却室14からの不活性ガスや熱分解ガスは、搬出口側シール室15を加熱処理物102が通過する際にも、搬出口側シール室15内を通過しにくい。
このように、熱処理装置1にあっては、加熱室13への外気の侵入が抑えられる。そのため、加熱室13内の酸素濃度が上昇しにくく、加熱室13内の非酸化性雰囲気または制御された酸素含有雰囲気を維持しつつ、非酸化性雰囲気下で連続して被処理物100を熱処理して加熱処理物102を得ることができる。その結果、加熱処理物102に含まれる回収対象物の酸化ダメージが抑えられ、爆鳴気の形成が抑えられる。また、トンネル炉10内の不活性ガスや熱分解ガスが外に漏れ出すことが抑えられる。
<Mechanism of action>
The heat treatment apparatus 1 described above includes the tunnel furnace 10 that heats the workpiece 100 while conveying it to obtain the heat treatment workpiece 102, so that the workpiece 100 is continuously heat-treated and heat-treated. Object 102 can be obtained. As a result, the amount of processing per hour can be increased compared to batch processing.
In addition, in the seal chamber 12 on the import entrance side upstream of the heating chamber 13 that heats the workpiece 100, a seal curtain is hung with a length that crosses the conveyance direction of the workpiece 100 and touches the endless belt 32. 22 is hanging. Therefore, the outside air that has entered the entrance-side seal chamber 12 and the inert gas and pyrolysis gas from the heating chamber 13 are difficult to pass through the entrance-side seal chamber 12 . Furthermore, a seal curtain 26 is suspended within the seal chamber 15 on the exit side downstream of the heating chamber 13, crossing the conveying direction of the heat-treated material 102 and extending to a length that touches the endless belt 32. . Therefore, outside air that has entered the sealing chamber 15 on the exit side and inert gas and pyrolysis gas from the heating chamber 13 and the cooling chamber 14 do not easily pass through the sealing chamber 15 on the exit side.
Furthermore, the seal curtain 22 in the entrance-side seal chamber 12 has flexibility. Therefore, as shown in FIG. 4, when the workpiece 100 passes through the entrance-side seal chamber 12, the seal curtain 22 is pushed up in a bent state. At this time, the seal curtain 22 is pressed against the workpiece 100 and closely contacts the surface of the workpiece 100, following the thickness and top shape of the workpiece 100, as shown in FIGS. 5 and 6. , the gap between the seal curtain 22 and the upper surface of the object to be processed 100 is minimized. Therefore, the outside air and the inert gas and pyrolysis gas from the heating chamber 13 that have entered the entrance-side seal chamber 12 can be removed from the entrance-side seal even when the workpiece 100 passes through the entrance-side seal chamber 12. It is difficult to pass through the chamber 12. Further, the seal curtain 26 in the seal chamber 15 on the exit side also has flexibility. Therefore, for the same reason as the seal curtain 22, the gap between the seal curtain 26 and the heat-treated object 102 is minimized. Therefore, the outside air that has entered the sealing chamber 15 on the exit side, as well as the inert gas and pyrolysis gas from the heating chamber 13 and the cooling chamber 14, can be removed even when the heated material 102 passes through the sealing chamber 15 on the exit side. It is difficult to pass through the seal chamber 15 on the exit side.
In this manner, in the heat treatment apparatus 1, entry of outside air into the heating chamber 13 is suppressed. Therefore, the oxygen concentration within the heating chamber 13 is difficult to increase, and the workpiece 100 is continuously heat-treated in a non-oxidizing atmosphere while maintaining a non-oxidizing atmosphere or a controlled oxygen-containing atmosphere within the heating chamber 13. The heat-treated product 102 can be obtained by doing so. As a result, oxidation damage to the recovery target contained in the heat-treated material 102 is suppressed, and the formation of explosive gas is suppressed. Further, leakage of inert gas and pyrolysis gas inside the tunnel furnace 10 to the outside is suppressed.

また、以上説明した熱処理装置1にあっては、搬入口側シール室12内には、被処理物100の搬送方向に間隔をあけて複数段のシールカーテン22が吊り下げられているため、搬入口側シール室12内に侵入した外気および加熱室13からの不活性ガスや熱分解ガスは、搬入口側シール室12内をさらに通過しにくい。また、搬出口側シール室15には、加熱処理物102の搬送方向に間隔をあけて複数段のシールカーテン26が吊り下げられているため、搬出口側シール室15内に侵入した外気および加熱室13や冷却室14からの不活性ガスや熱分解ガスは、搬出口側シール室15内をさらに通過しにくい。よって、加熱室13への外気の侵入およびトンネル炉10内からの不活性ガスや熱分解ガスの漏れ出しが十分に抑えられる。 In addition, in the heat treatment apparatus 1 described above, a plurality of seal curtains 22 are suspended in the seal chamber 12 on the import entrance side at intervals in the transport direction of the workpieces 100. The outside air that has entered the entrance side seal chamber 12 and the inert gas and pyrolysis gas from the heating chamber 13 are more difficult to pass through the entrance side seal chamber 12 . In addition, since a plurality of seal curtains 26 are hung in the sealing chamber 15 on the exit side at intervals in the conveying direction of the heat-treated material 102, outside air entering the sealing chamber 15 on the exit side and heating Inert gas and pyrolysis gas from the chamber 13 and the cooling chamber 14 are more difficult to pass through the seal chamber 15 on the exit side. Therefore, the intrusion of outside air into the heating chamber 13 and the leakage of inert gas and pyrolysis gas from inside the tunnel furnace 10 are sufficiently suppressed.

また、以上説明した熱処理装置1にあっては、搬入口側シール室12内のシールカーテン22が、被処理物100の搬送方向を横断する方向に隙間なく並べられた複数の帯体22Aからなる、すなわち、シールカーテン22が細かく分割されている。そのため、図5および図6に示すように、被処理物100の搬送方向を横断する方向の被処理物100の幅に応じて、最小限の帯体22Aのみが押し上げられる。そのため、被処理物100によって押し上げられる帯体22Aの合計の幅と被処理物100の幅との差をできるだけ小さくでき、被処理物100の搬送方向を横断する方向の被処理物100の両側に形成される、被処理物100の側面と帯体22Aとの隙間をできるだけ小さくできる。そのため、搬入口側シール室12内に侵入した外気および加熱室13からの不活性ガスや熱分解ガスは、搬入口側シール室12内をさらに通過しにくい。また、搬出口側シール室15内のシールカーテン26も、加熱処理物102の搬送方向を横断する方向に隙間なく並べられた複数の帯体(図示略)からなる。そのため、シールカーテン22と同じ理由によって、搬出口側シール室15内に侵入した外気および加熱室13や冷却室14からの不活性ガスや熱分解ガスは、搬出口側シール室15内をさらに通過しにくい。よって、加熱室13への外気の侵入およびトンネル炉10内からの不活性ガスや熱分解ガスの漏れ出しが十分に抑えられる。 Furthermore, in the heat treatment apparatus 1 described above, the seal curtain 22 in the seal chamber 12 on the entrance side is composed of a plurality of strips 22A arranged without gaps in a direction transverse to the transport direction of the workpiece 100. That is, the seal curtain 22 is finely divided. Therefore, as shown in FIGS. 5 and 6, only the minimum band 22A is pushed up according to the width of the object to be processed 100 in the direction transverse to the conveying direction of the object to be processed 100. Therefore, the difference between the total width of the band 22A pushed up by the workpiece 100 and the width of the workpiece 100 can be made as small as possible. The gap formed between the side surface of the object to be processed 100 and the band 22A can be made as small as possible. Therefore, the outside air and the inert gas and pyrolysis gas from the heating chamber 13 that have entered the entrance-side seal chamber 12 are more difficult to pass through the entrance-side seal chamber 12 . Further, the seal curtain 26 in the seal chamber 15 on the exit side is also made up of a plurality of bands (not shown) arranged without gaps in a direction transverse to the conveying direction of the heat-treated material 102. Therefore, for the same reason as the seal curtain 22, outside air that has entered the sealing chamber 15 on the exit side and inert gas and pyrolysis gas from the heating chamber 13 and the cooling chamber 14 further pass through the sealing chamber 15 on the exit side. It's hard to do. Therefore, the intrusion of outside air into the heating chamber 13 and the leakage of inert gas and pyrolysis gas from inside the tunnel furnace 10 are sufficiently suppressed.

また、以上説明した熱処理装置1にあっては、搬入口側シール室12内および搬出口側シール室15内にシール用の不活性ガスを供給する第一不活性ガス供給手段40をさらに備えるため、搬入口側シール室12内および搬出口側シール室15内がガスシールされる。そのため、搬入口側シール室12内および搬出口側シール室15に侵入した外気および加熱室13からの不活性ガスや熱分解ガスは、搬入口側シール室12および搬出口側シール室15内をさらに通過しにくい。よって、加熱室13への外気の侵入およびトンネル炉10内からの不活性ガスや熱分解ガスの漏れ出しが十分に抑えられる。また、第一不活性ガス供給手段40が不活性ガス加熱装置46を備えるため、不活性ガスを加熱でき、加熱された不活性ガスの体積膨張によって、不活性ガスの使用量を削減できる。 Furthermore, the heat treatment apparatus 1 described above further includes a first inert gas supply means 40 for supplying a sealing inert gas into the loading port side sealing chamber 12 and the loading port side sealing chamber 15. , the inside of the seal chamber 12 on the carry-in port side and the seal chamber 15 on the carry-out port side are gas-sealed. Therefore, the outside air and the inert gas and pyrolysis gas from the heating chamber 13 that have entered the loading port side seal chamber 12 and the loading port side seal chamber 15 are prevented from entering the loading port side seal chamber 12 and the loading port side seal chamber 15. Even more difficult to pass. Therefore, the intrusion of outside air into the heating chamber 13 and the leakage of inert gas and pyrolysis gas from inside the tunnel furnace 10 are sufficiently suppressed. Further, since the first inert gas supply means 40 includes the inert gas heating device 46, the inert gas can be heated, and the volume expansion of the heated inert gas can reduce the amount of inert gas used.

また、以上説明した熱処理装置1にあっては、搬入口側シール室12のシールカーテン22よりも上流の位置に、搬入口側シール室12の入口の開度を調整する第二開度調整板23が設けられている。そのため、被処理物100の高さに合わせて、搬入口側シール室12の入口の開度を最小限に調整でき、搬入口側シール室12内に外気が侵入しにくく、搬入口側シール室12から不活性ガスや熱分解ガスが漏れ出しにくい。また、搬出口側シール室15のシールカーテン26よりも下流の位置に、搬出口側シール室15の出口の開度を調整する第三開度調整板27が設けられている。そのため、加熱処理物102の高さに合わせて、搬出口側シール室15の出口の開度を最小限に調整でき、搬出口側シール室15内に外気が侵入しにくく、搬出口側シール室15から不活性ガスや熱分解ガスが漏れ出しにくい。よって、加熱室13への外気の侵入およびトンネル炉10内からの不活性ガスや熱分解ガスの漏れ出しが十分に抑えられる。 In addition, in the heat treatment apparatus 1 described above, a second opening degree adjusting plate for adjusting the opening degree of the entrance of the loading port side sealing chamber 12 is provided at a position upstream of the seal curtain 22 of the loading port side sealing chamber 12. 23 are provided. Therefore, the degree of opening of the entrance of the entrance-side seal chamber 12 can be adjusted to the minimum according to the height of the workpiece 100, making it difficult for outside air to enter the entrance-side seal chamber 12. Inert gas and pyrolysis gas are difficult to leak from 12. Further, a third opening degree adjusting plate 27 for adjusting the opening degree of the exit of the discharge port side seal chamber 15 is provided at a position downstream of the seal curtain 26 of the discharge port side seal chamber 15. Therefore, the degree of opening of the outlet of the sealing chamber 15 on the exit side can be adjusted to the minimum according to the height of the heated object 102, making it difficult for outside air to enter the sealing chamber 15 on the exit side. Inert gas and pyrolysis gas are difficult to leak from 15. Therefore, the intrusion of outside air into the heating chamber 13 and the leakage of inert gas and pyrolysis gas from inside the tunnel furnace 10 are sufficiently suppressed.

また、以上説明した熱処理装置1にあっては、搬入口側シール室12よりも上流の位置に第一排気口11bが設けられている。そのため、トンネル炉10の搬入口11aから流れ込む外気を、搬入口側シール室12からの不活性ガスや熱分解ガスとともに排気でき、搬入口側シール室12内に外気が侵入しにくい。また、搬入口11aには、トンネル炉10の通路の開度を調整する第一開度調整板20が設けられている。そのため、トンネル炉10の搬入口11aから流れ込む外気の量を調整でき、トンネル炉10内の不活性ガスや熱分解ガスが外に漏れ出すことを抑えることができる。また、搬出口側シール室15よりも下流の位置に第二排気口16bが設けられている。そのため、トンネル炉10の搬出口16aから流れ込む外気を、搬出口側シール室15からの不活性ガスや熱分解ガスとともに排気でき、搬出口側シール室15内に外気が侵入しにくい。また、搬出口16aには、トンネル炉10の通路の開度を調整する第四開度調整板29が設けられている。そのため、トンネル炉10の搬出口16aから流れ込む外気の量を調整でき、トンネル炉10内の不活性ガスや熱分解ガスが外に漏れ出すことを抑えることができる。よって、加熱室13への外気の侵入およびトンネル炉10内からの不活性ガスや熱分解ガスの漏れ出しが十分に抑えられる。 Furthermore, in the heat treatment apparatus 1 described above, the first exhaust port 11b is provided at a position upstream of the seal chamber 12 on the entrance side. Therefore, the outside air flowing in from the entrance 11a of the tunnel furnace 10 can be exhausted together with the inert gas and pyrolysis gas from the entrance-side seal chamber 12, and the outside air is difficult to enter into the entrance-side seal chamber 12. Further, a first opening degree adjusting plate 20 for adjusting the opening degree of the passage of the tunnel furnace 10 is provided at the entrance 11a. Therefore, the amount of outside air flowing in from the entrance 11a of the tunnel furnace 10 can be adjusted, and leakage of inert gas and pyrolysis gas inside the tunnel furnace 10 to the outside can be suppressed. Further, a second exhaust port 16b is provided at a position downstream of the seal chamber 15 on the exit side. Therefore, the outside air flowing in from the exit port 16a of the tunnel furnace 10 can be exhausted together with the inert gas and pyrolysis gas from the exit exit seal chamber 15, and the outside air is less likely to enter into the exit exit seal chamber 15. Further, a fourth opening adjustment plate 29 for adjusting the opening of the passage of the tunnel furnace 10 is provided at the export port 16a. Therefore, the amount of outside air flowing in from the outlet 16a of the tunnel furnace 10 can be adjusted, and leakage of inert gas and pyrolysis gas inside the tunnel furnace 10 to the outside can be suppressed. Therefore, the intrusion of outside air into the heating chamber 13 and the leakage of inert gas and pyrolysis gas from inside the tunnel furnace 10 are sufficiently suppressed.

また、以上説明した熱処理装置1にあっては、第一排気口11bに開度調整手段21が設けられ、第二排気口16bに開度調整手段28が設けられているため、第一排気口11bや第二排気口16bからの外気の侵入を抑えることができる。よって、加熱室13への外気の侵入が十分に抑えられる。 In addition, in the heat treatment apparatus 1 described above, since the first exhaust port 11b is provided with the opening adjustment means 21 and the second exhaust port 16b is provided with the opening adjustment means 28, the first exhaust port 11b is provided with the opening adjustment means 28. Intrusion of outside air from the exhaust port 11b and the second exhaust port 16b can be suppressed. Therefore, entry of outside air into the heating chamber 13 is sufficiently suppressed.

また、以上説明した熱処理装置1にあっては、加熱室13と搬出口側シール室15との間に、加熱処理物102を冷却する冷却室14をさらに有するため、加熱処理物102が高温状態でトンネル炉10の外に搬出されることがない。そのため、加熱処理物102が高温状態で外気に触れることがなく、加熱処理物102に含まれる回収対象物の酸化ダメージがさらに抑えられる。 In addition, the heat treatment apparatus 1 described above further includes a cooling chamber 14 for cooling the heat-treated material 102 between the heating chamber 13 and the sealing chamber 15 on the exit side, so that the heat-treated material 102 is in a high temperature state. Therefore, it is not carried out of the tunnel furnace 10. Therefore, the heat-treated material 102 does not come into contact with the outside air in a high-temperature state, and oxidation damage to the recovery targets contained in the heat-treated material 102 is further suppressed.

また、以上説明した熱処理装置1にあっては、加熱室13と冷却室14との境界付近に不活性ガスを供給する第一不活性ガス供給手段40をさらに備えるため、加熱処理物102を冷却することができ、加熱処理物102に含まれる回収対象物の酸化ダメージがさらに抑えられる。また、加熱処理物102が、不活性ガスによって軽く冷却された後、冷却室14で冷却されるため、段階的に冷却されることになり、冷却室14にて急冷されることがない。そのため、回収対象物がガラス基板の場合は、ガラス基板の割れを抑えることができる。 In addition, the heat treatment apparatus 1 described above further includes a first inert gas supply means 40 that supplies an inert gas near the boundary between the heating chamber 13 and the cooling chamber 14, so that the heat treatment object 102 is cooled. As a result, oxidation damage to the recovery object contained in the heat-treated material 102 can be further suppressed. Moreover, since the heat-treated material 102 is cooled in the cooling chamber 14 after being lightly cooled by the inert gas, it is cooled in stages and is not rapidly cooled in the cooling chamber 14. Therefore, when the object to be collected is a glass substrate, cracking of the glass substrate can be suppressed.

また、以上説明した熱処理装置1にあっては、加熱室13に熱処理用の不活性ガスを供給する第二不活性ガス供給手段50をさらに備え、加熱室13内には、被処理物100に向けて不活性ガスを噴射するノズル25が設けられている。そのため、熱処理用の不活性ガスによって被処理物100に含まれる樹脂の熱分解が促進される。 Furthermore, the heat treatment apparatus 1 described above further includes a second inert gas supply means 50 for supplying an inert gas for heat treatment to the heating chamber 13. A nozzle 25 is provided to inject inert gas toward the target. Therefore, thermal decomposition of the resin contained in the object to be treated 100 is promoted by the inert gas for heat treatment.

また、以上説明した加熱処理物102の製造方法にあっては、熱処理装置1を用いているため、上述した熱処理装置1と同じ作用機序を発揮できる。 Further, in the method for manufacturing the heat-treated product 102 described above, since the heat treatment apparatus 1 is used, the same mechanism of action as the heat treatment apparatus 1 described above can be exhibited.

なお、本発明の熱処理装置は、被処理物を無端ベルトで搬送しながら非酸化性雰囲気または制御された酸素含有雰囲気で熱処理して加熱処理物を得るトンネル炉を備えた熱処理装置であり、被処理物を加熱する加熱部よりも上流のトンネル炉内に、被処理物の搬送方向を横断し、かつ無端ベルトに接する、可とう性のシールカーテンが吊り下げられ、加熱部よりも下流のトンネル炉内に、加熱処理物の搬送方向を横断し、かつ無端ベルトに接する、可とう性のシールカーテンが吊り下げられているものであればよく、図示例の熱処理装置1に限定されるものではない。 The heat treatment apparatus of the present invention is a heat treatment apparatus equipped with a tunnel furnace for obtaining a heat-treated object by heat-treating the object in a non-oxidizing atmosphere or a controlled oxygen-containing atmosphere while conveying the object with an endless belt. A flexible seal curtain is suspended in the tunnel furnace upstream of the heating section that heats the processing material, and extends across the transport direction of the processing material and in contact with the endless belt. Any device may be used as long as a flexible seal curtain is suspended in the furnace, crossing the direction of conveyance of the heat-treated material and in contact with the endless belt, and is not limited to the heat treatment device 1 shown in the figure. do not have.

また、本発明の加熱処理物の製造方法は、被処理物を加熱する加熱部を有するトンネル炉内で被処理物を無端ベルトで搬送しながら非酸化性雰囲気または制御された酸素含有雰囲気で熱処理して加熱処理物を得る方法であり、加熱部よりも上流のトンネル炉内に、被処理物の搬送方向を横断し、かつ無端ベルトに接する、可とう性のシールカーテンが吊り下げられ、加熱部よりも下流のトンネル炉内に、加熱処理物の搬送方向を横断し、かつ無端ベルトに接する、可とう性のシールカーテンが吊り下げられ、被処理物および加熱処理物が、トンネル炉内においてシールカーテンを押し上げつつ搬送される方法であればよく、図示例の熱処理装置1を用いた方法に限定されるものではない。 Furthermore, in the method for producing a heat-treated product of the present invention, the workpiece is heat-treated in a non-oxidizing atmosphere or a controlled oxygen-containing atmosphere while being conveyed by an endless belt in a tunnel furnace having a heating section for heating the workpiece. In this method, a flexible seal curtain is suspended in the tunnel furnace upstream of the heating section, and is in contact with the endless belt, and is suspended in a tunnel furnace upstream from the heating section. A flexible seal curtain is suspended in the tunnel furnace downstream of the section, and crosses the conveyance direction of the heat-treated material and is in contact with the endless belt. Any method may be sufficient as long as the seal curtain is pushed up while being transported, and the method is not limited to the method using the illustrated heat treatment apparatus 1.

本発明の熱処理装置および加熱処理物の製造方法は、使用済の繊維強化樹脂の製品、製造工程から発生する繊維強化樹脂の中間製品の切れ端等から強化繊維を回収する装置および方法、使用済の太陽電池モジュールからセルやガラス基板を回収する装置および方法等として有用である。 The heat treatment apparatus and the method for producing heat-treated products of the present invention include an apparatus and method for recovering reinforcing fibers from used fiber-reinforced resin products, scraps of intermediate products of fiber-reinforced resin generated in the manufacturing process, The present invention is useful as a device and method for recovering cells and glass substrates from solar cell modules.

1 熱処理装置、10 トンネル炉、11 搬入口側排気室、11a 搬入口、11b 第一排気口、12 搬入口側シール室、12a 不活性ガス導入口、13 加熱室、13a 第三排気口、13A 予熱領域、13B 第一加熱領域、13C 第二加熱領域、14 冷却室、14a 不活性ガス導入口、15 搬出口側シール室、15a 不活性ガス導入口、16 搬出口側排気室、16a 搬出口、16b 第二排気口、20 第一開度調整板、21 開度調整手段、22 シールカーテン、22A 帯体、23 第二開度調整板、24 電気ヒーター、25 ノズル、26 シールカーテン、27 第三開度調整板、28 開度調整手段、29 第四開度調整板、30 搬送手段、32 無端ベルト、34 ロール、36 ロール、37 ロール、38 ロール、40 第一不活性ガス供給手段、42 不活性ガス供給源、44 不活性ガス供給配管、46 不活性ガス加熱装置、50 第二不活性ガス供給手段、52 不活性ガス供給源、54 不活性ガス供給配管、60 排気ガス排出手段、61 アフターバーナー、62 第一排気配管、63 第二排気配管、64 第三排気配管、65 排気ファン、70 冷却水供給手段、71 冷却水タンク、72 第一冷却水配管、73 第二冷却水配管、74 送液ポンプ、75 熱交換器、100 被処理物、102 加熱処理物。 1 Heat treatment equipment, 10 Tunnel furnace, 11 Exhaust chamber on the loading port side, 11a Loading port, 11b First exhaust port, 12 Sealing chamber on the loading port side, 12a Inert gas inlet, 13 Heating chamber, 13a Third exhaust port, 13A Preheating area, 13B First heating area, 13C Second heating area, 14 Cooling chamber, 14a Inert gas inlet, 15 Seal chamber on the exit side, 15a Inert gas inlet, 16 Exhaust chamber on the exit side, 16a Exhaust port , 16b second exhaust port, 20 first opening adjustment plate, 21 opening adjustment means, 22 seal curtain, 22A band, 23 second opening adjustment plate, 24 electric heater, 25 nozzle, 26 seal curtain, 27 Three opening adjusting plates, 28 Opening adjusting means, 29 Fourth opening adjusting plate, 30 Conveying means, 32 Endless belt, 34 Roll, 36 Roll, 37 Roll, 38 Roll, 40 First inert gas supply means, 42 Inert gas supply source, 44 Inert gas supply piping, 46 Inert gas heating device, 50 Second inert gas supply means, 52 Inert gas supply source, 54 Inert gas supply piping, 60 Exhaust gas discharge means, 61 Afterburner, 62 First exhaust piping, 63 Second exhaust piping, 64 Third exhaust piping, 65 Exhaust fan, 70 Cooling water supply means, 71 Cooling water tank, 72 First cooling water piping, 73 Second cooling water piping, 74 liquid sending pump, 75 heat exchanger, 100 object to be treated, 102 object to be heated.

Claims (17)

樹脂と基材を含む複合材または混合物である被処理物を無端ベルトで搬送しながら非酸化性雰囲気または制御された酸素含有雰囲気で熱処理することによって、前記被処理物に含まれる樹脂を熱分解して加熱処理物を得るトンネル炉を備えた熱処理装置であり、
前記熱処理装置が、前記トンネル炉にシール用の不活性ガスを供給する手段をさらに備え、
前記トンネル炉が、前記被処理物を加熱する加熱部と、前記加熱部の上流側に設けられた搬入口側シール室と、前記搬入口側シール室の上流側に設けられた搬入口側排気室と、前記加熱部の下流側に設けられた搬出口側シール室と、前記搬出口側シール室の下流側に設けられた搬出口側排気室と、を有し、
前記搬入口側シール室内には、前記被処理物の搬送方向を横断し、かつ前記無端ベルトに接する、可とう性のシールカーテンが吊り下げられ、
前記搬出口側シール室内には、前記加熱処理物の搬送方向を横断し、かつ前記無端ベルトに接する、可とう性のシールカーテンが吊り下げられ
前記搬入口側排気室には、搬入口から流れ込む外気を、前記搬入口側シール室からの不活性ガス、および前記樹脂が熱分解されて発生した熱分解ガスとともに排出するための第一排気口が形成され、
前記搬出口側排気室には、搬出口から流れ込む外気を、前記搬出口側シール室からの不活性ガス、および前記樹脂が熱分解されて発生した熱分解ガスとともに排出するための第二排気口が形成されている、熱処理装置。
The resin contained in the workpiece is thermally decomposed by heat-treating the workpiece, which is a composite material or mixture containing a resin and a base material, in a non-oxidizing atmosphere or a controlled oxygen-containing atmosphere while being conveyed by an endless belt. It is a heat treatment equipment equipped with a tunnel furnace to obtain a heat-treated product.
The heat treatment apparatus further includes means for supplying a sealing inert gas to the tunnel furnace,
The tunnel furnace includes a heating section that heats the object to be processed , a sealing chamber provided upstream of the heating section, and an exhaust port side exhaust provided upstream of the sealing chamber. a chamber, an exit-side sealing chamber provided downstream of the heating section, and an exit-side exhaust chamber provided downstream of the exit-side sealing chamber,
A flexible seal curtain is suspended in the seal chamber on the import entrance side , and extends across the conveyance direction of the object to be processed and is in contact with the endless belt.
A flexible sealing curtain is suspended in the sealing chamber on the exit side , the curtain crossing the conveying direction of the heat-treated material and being in contact with the endless belt ,
The carry-in port side exhaust chamber includes a first exhaust port for discharging outside air flowing from the carry-in port together with inert gas from the carry-in port side seal chamber and pyrolysis gas generated by thermally decomposing the resin. is formed,
The outlet side exhaust chamber includes a second exhaust port for discharging outside air flowing from the outlet, together with inert gas from the outlet side seal chamber and pyrolysis gas generated by thermally decomposing the resin. Heat treatment equipment where is formed .
前記搬入口側シール室には、前記被処理物の搬送方向に間隔をあけて複数段の前記シールカーテンが吊り下げられ、
前記搬出口側シール室には、前記加熱処理物の搬送方向に間隔をあけて複数段の前記シールカーテンが吊り下げられている、請求項1に記載の熱処理装置。
A plurality of stages of the seal curtains are suspended in the import entrance side seal chamber at intervals in the transport direction of the processed material,
2. The heat treatment apparatus according to claim 1, wherein a plurality of stages of the seal curtains are suspended in the exit-side seal chamber at intervals in the transport direction of the heat-treated material.
前記搬入口側シール室にある前記シールカーテンの段数が、2~100段であり、
前記搬出口側シール室にある前記シールカーテンの段数が、2~100段である、請求項2に記載の熱処理装置。
The number of stages of the seal curtain in the import entrance side seal chamber is 2 to 100 stages,
The heat treatment apparatus according to claim 2, wherein the number of stages of the seal curtain in the exit side seal chamber is 2 to 100 stages.
前記搬入口側シール室にある前記シールカーテンが、前記被処理物の搬送方向を横断する方向に隙間なく並べられた複数の帯体からなり、
前記搬出口側シール室にある前記シールカーテンが、前記加熱処理物の搬送方向を横断する方向に隙間なく並べられた複数の帯体からなる、請求項1~3のいずれか一項に記載の熱処理装置。
The seal curtain located in the seal chamber on the import entrance side is composed of a plurality of bands arranged without gaps in a direction transverse to the conveyance direction of the to-be-processed object,
4. The seal curtain in the sealing chamber on the exit side is composed of a plurality of strips arranged without gaps in a direction transverse to the conveying direction of the heat-treated material. Heat treatment equipment.
前記シールカーテンの幅方向の1mあたりの前記帯体の数が、2~50本/mである、請求項4に記載の熱処理装置。 The heat treatment apparatus according to claim 4, wherein the number of the strips per meter in the width direction of the seal curtain is 2 to 50 strips/m. 前記トンネル炉にシール用の不活性ガスを供給する手段により、前記トンネル炉における前記シールカーテンが吊り下げられた領域に不活性ガス供給される、請求項1~5のいずれか一項に記載の熱処理装置。 According to any one of claims 1 to 5, the means for supplying sealing inert gas to the tunnel furnace supplies inert gas to a region of the tunnel furnace where the sealing curtain is suspended. heat treatment equipment. 前記熱処理装置が、前記加熱部に不活性ガスを供給する手段をさらに備え、
前記加熱部内には、前記被処理物に向けて前記不活性ガスを噴射するノズルが設けられている、請求項1~6のいずれか一項に記載の熱処理装置。
The heat treatment apparatus further includes means for supplying an inert gas to the heating section,
The heat treatment apparatus according to any one of claims 1 to 6, wherein a nozzle for injecting the inert gas toward the object to be treated is provided in the heating section.
前記トンネル炉が、繊維強化樹脂を搬送しながら熱処理することによって前記繊維強化樹脂に含まれるマトリックス樹脂を熱分解して加熱処理物を得るもの、または太陽電池モジュールを搬送しながら熱処理することによって前記太陽電池モジュールに含まれる封止材を熱分解して加熱処理物を得るものである、請求項1~7のいずれか一項に記載の熱処理装置。 The tunnel furnace heat-treats the fiber-reinforced resin while conveying it, thereby thermally decomposing the matrix resin contained in the fiber-reinforced resin to obtain a heat-treated product, or The heat treatment apparatus according to any one of claims 1 to 7, which obtains a heat-treated product by thermally decomposing a sealing material contained in a solar cell module. 樹脂と基材を含む複合材または混合物である被処理物を加熱する加熱部を有するトンネル炉内で被処理物を無端ベルトで搬送しながら非酸化性雰囲気または制御された酸素含有雰囲気で熱処理することによって、前記被処理物に含まれる樹脂を熱分解して加熱処理物を得る方法であり、
前記トンネル炉は、前記加熱部の上流側に設けられた搬入口側シール室と、前記搬入口側シール室の上流側に設けられた搬入口側排気室と、前記加熱部の下流側に設けられた搬出口側シール室と、前記搬出口側シール室の下流側に設けられた搬出口側排気室と、をさらに有し、
前記搬入口側シール室内には、前記被処理物の搬送方向を横断し、かつ前記無端ベルトに接する、可とう性のシールカーテンが吊り下げられ、
前記搬出口側シール室内には、前記加熱処理物の搬送方向を横断し、かつ前記無端ベルトに接する、可とう性のシールカーテンが吊り下げられ、
前記被処理物および前記加熱処理物が、前記トンネル炉内において前記シールカーテンを押し上げつつ搬送され
前記トンネル炉にシール用の不活性ガスを供給し、
搬入口から流れ込む外気を、前記搬入口側シール室からの不活性ガス、および前記樹脂が熱分解されて発生した熱分解ガスとともに、前記搬入口側排気室に形成された第一排気口から排出し、
搬出口から流れ込む外気を、前記搬出口側シール室からの不活性ガス、および前記樹脂が熱分解されて発生した熱分解ガスとともに、前記搬出口側排気室に形成された第二排気口から排出する、加熱処理物の製造方法。
The workpiece is heat-treated in a non-oxidizing atmosphere or a controlled oxygen-containing atmosphere while being transported by an endless belt in a tunnel furnace that has a heating section that heats the workpiece, which is a composite material or mixture containing a resin and a base material. A method of thermally decomposing a resin contained in the object to be treated to obtain a heat-treated object,
The tunnel furnace includes a loading port side seal chamber provided upstream of the heating section, a loading port side exhaust chamber provided upstream of the loading port seal chamber, and a loading port side exhaust chamber provided downstream of the heating section. further comprising an exit-side seal chamber provided with an exit-side seal chamber, and an exit-exhaust exhaust chamber provided downstream of the exit-side seal chamber;
A flexible seal curtain is suspended in the seal chamber on the import entrance side , and extends across the conveyance direction of the object to be processed and is in contact with the endless belt.
A flexible sealing curtain is suspended in the sealing chamber on the exit side , the curtain crossing the conveying direction of the heat-treated material and being in contact with the endless belt,
The object to be processed and the object to be heated are transported in the tunnel furnace while pushing up the seal curtain ,
supplying an inert gas for sealing to the tunnel furnace;
The outside air flowing in from the loading port is discharged from a first exhaust port formed in the loading port side exhaust chamber along with inert gas from the loading port side seal chamber and pyrolysis gas generated by thermal decomposition of the resin. death,
Exhaust the outside air flowing from the outlet, together with inert gas from the seal chamber on the outlet side and pyrolysis gas generated by thermal decomposition of the resin, from a second exhaust port formed in the exhaust chamber on the outlet side. A method for producing a heat-treated product.
前記搬入口側シール室には、前記被処理物の搬送方向に間隔をあけて複数段の前記シールカーテンが吊り下げられ、
前記搬出口側シール室には、前記加熱処理物の搬送方向に間隔をあけて複数段の前記シールカーテンが吊り下げられている、請求項9に記載の加熱処理物の製造方法。
A plurality of stages of the seal curtains are suspended in the import entrance side seal chamber at intervals in the transport direction of the processed material,
10. The method for producing a heat-treated product according to claim 9, wherein a plurality of stages of the seal curtains are suspended in the sealing chamber on the exit side at intervals in a conveyance direction of the heat-treated product.
前記搬入口側シール室にある前記シールカーテンの段数が、2~100段であり、
前記搬出口側シール室にある前記シールカーテンの段数が、2~100段である、請求項10に記載の加熱処理物の製造方法。
The number of stages of the seal curtain in the import entrance side seal chamber is 2 to 100 stages,
The method for producing a heat-treated product according to claim 10, wherein the number of stages of the seal curtain in the sealing chamber on the exit side is 2 to 100 stages.
前記搬入口側シール室にある前記シールカーテンが、前記被処理物の搬送方向を横断する方向に隙間なく並べられた複数の帯体からなり、
前記搬出口側シール室にある前記シールカーテンが、前記加熱処理物の搬送方向を横断する方向に隙間なく並べられた複数の帯体からなる、請求項9~11のいずれか一項に記載の加熱処理物の製造方法。
The seal curtain located in the seal chamber on the import entrance side is composed of a plurality of bands arranged without gaps in a direction transverse to the conveyance direction of the to-be-processed object,
According to any one of claims 9 to 11, the seal curtain in the sealing chamber on the exit side is composed of a plurality of bands arranged without gaps in a direction transverse to the conveyance direction of the heat-treated material. A method for producing a heat-treated product.
前記シールカーテンの幅方向の1mあたりの前記帯体の数が、2~50本/mである、請求項12に記載の加熱処理物の製造方法。 13. The method for producing a heat-treated product according to claim 12, wherein the number of the strips per meter in the width direction of the seal curtain is 2 to 50 strips/m. 前記トンネル炉における前記シールカーテンが吊り下げられた領域に不活性ガスを供給する、請求項9~13のいずれか一項に記載の加熱処理物の製造方法。 The method for producing a heat-treated product according to any one of claims 9 to 13, wherein an inert gas is supplied to a region in the tunnel furnace where the seal curtain is suspended. 前記加熱部に供給された不活性ガスを前記加熱部内のノズルから前記被処理物に向けて噴射する、請求項9~14のいずれか一項に記載の加熱処理物の製造方法。 The method for producing a heat-treated object according to any one of claims 9 to 14, wherein the inert gas supplied to the heating section is injected from a nozzle in the heating section toward the object to be processed. 前記加熱部に供給された前記不活性ガスが、窒素ガスまたは過熱水蒸気である、請求項15に記載の加熱処理物の製造方法。 The method for producing a heat-treated product according to claim 15, wherein the inert gas supplied to the heating section is nitrogen gas or superheated steam. 繊維強化樹脂を搬送しながら熱処理することによって前記繊維強化樹脂に含まれるマトリックス樹脂を熱分解して加熱処理物を得る方法、または太陽電池モジュールを搬送しながら熱処理することによって前記太陽電池モジュールに含まれる封止材を熱分解して加熱処理物を得る方法である、請求項9~16のいずれか一項に記載の加熱処理物の製造方法。 A method of thermally decomposing the matrix resin contained in the fiber-reinforced resin to obtain a heat-treated product by heat-treating the fiber-reinforced resin while transporting the fiber-reinforced resin, or heat-treating the matrix resin contained in the fiber-reinforced resin while transporting the solar cell module, The method for producing a heat-treated product according to any one of claims 9 to 16, which is a method of obtaining a heat-treated product by thermally decomposing a sealing material.
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