JP7414982B2 - 基板収納容器 - Google Patents

Description

本発明は、半導体ウェーハ等からなる基板を収納、保管、搬送、輸送等する際に使用される基板収納容器に関する。

半導体ウェーハからなる基板を収納して搬送するための基板収納容器としては、容器本体と蓋体とを備える構成のものが、従来より知られている。

容器本体は、一端部に容器本体開口部が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部を有する。容器本体内には基板収納空間が形成されている。基板収納空間は、壁部により取り囲まれて形成されており、複数の基板を収納可能である。蓋体は、容器本体開口部に対して着脱可能であり、容器本体開口部を閉塞可能である。

蓋体の部分であって容器本体開口部を閉塞しているときに基板収納空間に対向する部分には、フロントリテーナが設けられている。フロントリテーナは、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、複数の基板の縁部を支持可能である。また、フロントリテーナと対をなすようにして、リヤリテーナが壁部に設けられている。リヤリテーナは、複数の基板の縁部を支持可能である。リヤリテーナは、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、フロントリテーナと協働して複数の基板を支持することにより、隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板を保持する。

フロントリテーナは、基板収納空間から離間する方向へ窪んだ複数の溝を有している（例えば、特許文献１，２，３参照）。前記公報記載の従来の基板収納容器においては、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されて、基板収納空間に収納されている基板が搬送されているときには、基板の端部は、常時、フロントリテーナに当接している。このため、基板収納容器による基板の搬送時に、基板収納容器が衝撃を受けたときに、フロントリテーナにおいて、基板が破損しやすい。

特許第４９０３８９３号公報 特許第４４１２２３５号公報 特許第５４８３３５１号公報

近年では、基板収納容器に作用する衝撃に対する、更なる基板の保護が要求されている。また、基板収納容器に作用する衝撃により、フロントリテーナの所定の位置に支持されている基板が、当該所定の位置から外れて、当該所定の位置に隣接する位置へ移動して挿入されて配置されてしまう、いわゆるクロススロットの発生の抑制についても、高い要求がある。

本発明は、フロントリテーナにおいて、基板収納容器に作用する衝撃に対して基板の保護が可能であり、クロススロットの発生を抑えることができる基板収納容器を提供することを目的とする。

本発明は、一端部に容器本体開口部が形成され他端部が閉塞された筒状の壁部を備え、前記壁部の内面によって、複数の基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と、前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、前記蓋体の部分であって前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに前記基板収納空間に対向する部分に配置され、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記複数の基板の縁部を支持可能な蓋体側基板支持部と、前記基板収納空間内において前記蓋体側基板支持部と対をなすように配置され、前記複数の基板の縁部を支持可能であり、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに前記蓋体側基板支持部と協働して、前記複数の基板の縁部を並列させた状態で、前記複数の基板を支持する奥側基板支持部と、前記蓋体の部分であって前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに前記基板収納空間に対向する部分に配置され、前記基板の縁部を挿入可能に前記基板の縁部の厚さよりも広い開口を有する複数の補助溝が形成された基板縁部補助部と、を備え、前記複数の補助溝は、対向する溝形成面を有し、少なくとも前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記複数の基板の縁部が１つずつ挿入され、また、筒状の壁部の中心軸に対して、前記蓋体側基板支持部よりも前記基板の縁部の周方向の外側又は内側に配置されており、
前記基板の縁部は、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記基板の縁部と前記溝形成面との間に空間が形成されて前記基板の縁部が前記溝形成面に接触していない非接触の状態で、前記補助溝に挿入される、基板収納容器に関する。

また、同じ前記基板に対応する前記蓋体側基板支持部と前記基板縁部補助部とは、連結されていることが好ましい。

また、前記溝形成面は、略直平面状であり、前記基板の表面又は裏面と前記溝形成面とのなす角度は、３０度以下であることが好ましい。

また、前記基板収納空間内において対をなすように配置され、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されていないときに、前記複数の基板のうちの隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、前記複数の基板の縁部を支持可能な側方基板支持部を備え、前記補助溝は、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されておらず前記側方基板支持部によって前記複数の基板の縁部が支持されているときには、前記補助溝に前記基板の縁部が挿入されず、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときには、前記補助溝に前記基板の縁部が挿入される深さを有することが好ましい。

また、前記蓋体側基板支持部は、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記容器本体の他端部から一端部へと向う方向へ第１の変位量で弾性的に変位可能であり、前記基板縁部補助部は、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記容器本体の他端部から一端部へと向う方向へ、前記第１の変位量よりも小さい第２の変位量で弾性的に変位可能であることが好ましい。

本発明によれば、フロントリテーナにおいて、基板収納容器に作用する衝撃に対して基板の保護が可能であり、クロススロットの発生を抑えることができる基板収納容器を提供することができる。

本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１に複数の基板Ｗが収納された様子を示す分解斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２を示す斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の蓋体３を示す斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１のフロントリテーナ７を示す斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１のフロントリテーナ７を示す部分正面図である。 図５に示すＡ－Ａ線断面図である。 図６に示すＢ－Ｂ線断面図である。 図６に示すＣ－Ｃ線断面図である。 閉蓋状態における基板収納容器１と基板Ｗとの位置関係を示す平面断面図である。 図８の部分拡大図である（図６対応図）。 図９に示すＤ－Ｄ線断面図である。 図９に示すＥ－Ｅ線断面図である。 開蓋状態と閉蓋状態とにおける、蓋体側基板支持部及び基板縁部補助部それぞれの変位量を示す部分拡大図である。 本発明の第２実施形態に係るフロントリテーナ７Ａの断面図（図６対応図）である。 本発明の第３実施形態に係るフロントリテーナ７Ｂの断面図（図６対応図）である。 本発明の第４実施形態に係るフロントリテーナ７Ｃの断面図（図６対応図）である。

〔第１実施形態〕
以下、第１実施形態による基板収納容器１について、図面を参照しながら説明する。
図１は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１に複数の基板Ｗが収納された様子を示す分解斜視図である。図２は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２を示す斜視図である。

ここで、説明の便宜上、後述の容器本体２から蓋体３へ向かう方向（図１における右上から左下へ向かう方向）を前方向Ｄ１１と定義し、その反対の方向を後方向Ｄ１２と定義し、これらをあわせて前後方向Ｄ１と定義する。また、後述の下壁２４から上壁２３へと向かう方向（図１における上方向）を上方向Ｄ２１と定義し、その反対の方向を下方向Ｄ２２と定義し、これらをあわせて上下方向Ｄ２と定義する。また、後述する第２側壁２６から第１側壁２５へと向かう方向（図１における右下から左上へ向かう方向）を左方向Ｄ３１と定義し、その反対の方向を右方向Ｄ３２と定義し、これらをあわせて左右方向Ｄ３と定義する。主要な図面には、これらの方向を示す矢印を図示している。

また、基板収納容器１に収納される基板Ｗ（図１参照）は、円盤状のシリコンウェーハ、ガラスウェーハ、サファイアウェーハ等であり、産業に用いられる薄いものである。本実施形態における基板Ｗは、直径３００ｍｍのシリコンウェーハである。

図１及び図２に示すように、基板収納容器１は、上述のようなシリコンウェーハからなる基板Ｗを収納して、陸運手段・空運手段・海運手段等の輸送手段により基板Ｗを輸送するための出荷容器として用いられたりするものであり、容器本体２と、蓋体３とから構成される。容器本体２は、側方基板支持部としての基板支持板状部５と、リアリテーナとも呼ばれる奥側基板支持部６とを備えている。蓋体３は、蓋体側基板支持部７３と基板縁部補助部７５とを有するフロントリテーナ７（図３～図６参照）を備えている。

容器本体２は、図１等に示すように、一端部に容器本体開口部２１が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部２０を有する。容器本体２内には基板収納空間２７が形成されている。基板収納空間２７は、壁部２０により取り囲まれて形成されている。壁部２０の部分であって基板収納空間２７を形成している部分には、図２に示すように、基板支持板状部５が配置されている。基板収納空間２７には、図１に示すように、複数の基板Ｗを収納可能である。

基板支持板状部５は、基板収納空間２７内において対をなすように壁部２０に設けられている。基板支持板状部５は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されていないときに（開蓋状態のときに）、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能である。容器本体２の壁部２０の奥壁２２（後述）には、奥側基板支持部６が設けられている。

奥側基板支持部６（図２等参照）は、基板収納空間２７内において後述するフロントリテーナ７（図８等参照）と対をなすように壁部２０に設けられている。奥側基板支持部６は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに（閉蓋状態のときに）、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより、複数の基板Ｗの縁部の後部を支持可能である。

蓋体３は、容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８（図１等）に対して着脱可能であり、容器本体開口部２１を閉塞可能である。フロントリテーナ７は、蓋体３の部分であって蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに基板収納空間２７に対向する部分に設けられている。フロントリテーナ７は、基板収納空間２７の内部において奥側基板支持部６と対をなすように配置されている。

フロントリテーナ７は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより複数の基板Ｗの縁部の前部を支持可能である。フロントリテーナ７は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、奥側基板支持部６と協働して複数の基板Ｗを支持することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で保持する。

基板収納容器１は、プラスチック材等の樹脂で構成されており、その材料の樹脂としては、たとえば、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマーといった熱可塑性樹脂やこれらのアロイ等が挙げられる。これらの成形材料の樹脂には、導電性を付与する場合には、カーボン繊維、カーボンパウダー、カーボンナノチューブ、導電性ポリマー等の導電性物質が選択的に添加される。また、剛性を上げるためにガラス繊維や炭素繊維等を添加することも可能である。

以下、各部について、詳細に説明する。図１に示すように、容器本体２の壁部２０は、奥壁２２と上壁２３と下壁２４と第１側壁２５と第２側壁２６とを有する。奥壁２２、上壁２３、下壁２４、第１側壁２５、及び第２側壁２６は、上述した材料により構成されており、一体成形されて構成されている。

第１側壁２５と第２側壁２６とは対向しており、上壁２３と下壁２４とは対向している。上壁２３の後端、下壁２４の後端、第１側壁２５の後端、及び第２側壁２６の後端は、全て奥壁２２に接続されている。上壁２３の前端、下壁２４の前端、第１側壁２５の前端、及び第２側壁２６の前端は、奥壁２２に対向する位置関係を有し、略長方形状をした容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８を構成する。

開口周縁部２８は、容器本体２の一端部に設けられており、奥壁２２は、容器本体２の他端部に位置している。壁部２０の外面により形成される容器本体２の外形は箱状である。壁部２０の内面、即ち、奥壁２２の内面、上壁２３の内面、下壁２４の内面、第１側壁２５の内面、及び第２側壁２６の内面は、これらによって取り囲まれた基板収納空間２７を形成している。開口周縁部２８に形成された容器本体開口部２１は、壁部２０により取り囲まれて容器本体２の内部に形成された基板収納空間２７に連通している。基板収納空間２７には、最大で２５枚の基板Ｗを収納可能である。

図１に示すように、上壁２３及び下壁２４の部分であって、開口周縁部２８の近傍の部分には、基板収納空間２７の外方へ向かって窪んだラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂが形成されている。ラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂは、上壁２３及び下壁２４の左右両端部近傍に１つずつ、計４つ形成されている。

図１に示すように、上壁２３の中央部には、トップフランジ２３６が固定される。トップフランジ２３６は、ＡＭＨＳ（自動ウェーハ搬送システム）、ＰＧＶ（ウェーハ基板搬送台車）等において基板収納容器１を吊り下げる際に、基板収納容器１において掛けられて吊り下げられる部分となる部材である。

基板支持板状部５は、第１側壁２５及び第２側壁２６にそれぞれ一体成形されて設けられており、左右方向Ｄ３において対をなすようにして配置されている。なお、基板支持板状部５は、第１側壁２５及び第２側壁２６と別体であってもよい。

基板支持板状部５は、板状の略弧形状を有している。基板支持板状部５は、第１側壁２５、第２側壁２６それぞれに、上下方向Ｄ２に２５枚ずつ計５０枚設けられている。隣接する基板支持板状部５は、上下方向Ｄ２において１０ｍｍ～１２ｍｍ間隔で互いに離間して平行な位置関係で配置されている。なお、最も上に位置する基板支持板状部５の上方には、もう一枚、基板支持板状部５と平行に板状の部材が配置されている。これは、最も上に位置して基板収納空間２７内へ挿入される基板Ｗに対して、当該挿入の際のガイドの役割をする部材である。

また、第１側壁２５に設けられた２５枚の基板支持板状部５と、第２側壁２６に設けられた２５枚の基板支持板状部５とは、互いに左右方向Ｄ３において対向する位置関係を有している。また、５０枚の基板支持板状部５、及び、基板支持板状部５と平行な板状のガイドの役割をする部材は、下壁２４の内面に平行な位置関係を有している。図２等に示すように、基板支持板状部５の上面には、凸部が設けられている。基板支持板状部５に支持された基板Ｗは、凸部の突出端にのみ接触し、面状には基板支持板状部５に接触しない。

基板支持板状部５は、複数の基板Ｗのうちの隣接する基板Ｗ同士を、所定の間隔で離間した状態で且つ互いに平行な位置関係とした状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能である。

奥側基板支持部６は、奥壁２２に設けられ、基板収納空間２７内に配置された内装部品である。奥側基板支持部６の構成については、簡単に説明する。奥側基板支持部６は、少なくとも、下側傾斜面と、上側傾斜面と、を有している。

下側傾斜面は、上方向Ｄ２１に進むにつれて、基板収納空間２７の中心から離間するように傾斜して延びる傾斜面により構成されている。下側傾斜面には、基板Ｗの裏面の端部が摺動する。上側傾斜面は、上方向Ｄ２１に進むにつれて、基板収納空間２７の中心に接近するように傾斜して延びる傾斜面により構成されている。

下側傾斜面及び上側傾斜面は、基板Ｗの端部が係合可能な基板収納空間２７の中心から離間するように窪んだ凹溝であるＶ字状溝を形成する。蓋体３により容器本体開口部２１を閉塞したときに、基板Ｗが下側傾斜面に対して摺動してせり上がり、基板ＷがＶ字状溝の頂点の位置に至ったときに、Ｖ字状溝は、基板Ｗの縁部を支持する。なお、Ｖ字状溝は、全体視で略Ｖ字状であればよく、追加的に、Ｄ１－Ｄ３平面に略平行な面や、Ｄ２－Ｄ３平面に略平行な面などを有していてもよい。奥側基板支持部６は、奥壁２２と一体であってもよい。

次に、蓋体３及びフロントリテーナ７について詳細に説明する。図３は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の蓋体３を示す斜視図である。図４は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１のフロントリテーナ７を示す斜視図である。図５は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１のフロントリテーナ７を示す部分正面図である。

蓋体３は、図１等に示すように、容器本体２の開口周縁部２８の形状と略一致する略長方形状を有している。蓋体３は容器本体２の開口周縁部２８に対して着脱可能であり、開口周縁部２８に蓋体３が装着されることにより、蓋体３は、容器本体開口部２１を閉塞可能である。蓋体３の内面（図１に示す蓋体３の裏側の面）には、環状のシール部材４が取り付けられている。シール部材４は、弾性変形可能なポリエステル系、ポリオレフィン系など各種熱可塑性エラストマー、フッ素ゴム製、シリコンゴム製等により構成されている。シール部材４は、蓋体３の外周縁部を一周するように配置されている。

蓋体３が開口周縁部２８に装着されたときに、シール部材４は、開口周縁部２８と蓋体３の内面とにより挟まれて弾性変形し、蓋体３は、容器本体開口部２１を密閉した状態で閉塞する。開口周縁部２８から蓋体３が取り外されることにより、容器本体２内の基板収納空間２７に対して、基板Ｗを出し入れ可能となる。

蓋体３は、蓋体３の外形をなす蓋体本体を有しており、蓋体本体には、ラッチ機構が設けられている。ラッチ機構は、蓋体本体の左右両端部近傍に設けられており、図１に示すように、蓋体本体の上辺から上方向Ｄ２１へ突出可能な２つの上側ラッチ部３２Ａと、蓋体本体の下辺から下方向Ｄ２２へ突出可能な２つの下側ラッチ部３２Ｂと、を備えている。２つの上側ラッチ部３２Ａは、蓋体本体の上辺の左右両端近傍に配置されており、２つの下側ラッチ部３２Ｂは、蓋体本体の下辺の左右両端近傍に配置されている。

蓋体本体の外面側には操作部３３が設けられている。操作部３３を蓋体本体の前側から操作することにより、上側ラッチ部３２Ａ、下側ラッチ部３２Ｂを蓋体本体の上辺、下辺から突出させることができ、又は、上辺、下辺から突出させない状態とすることができる。
上側ラッチ部３２Ａが蓋体本体の上辺から上方向Ｄ２１へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂに係合し、且つ、下側ラッチ部３２Ｂが蓋体本体の下辺から下方向Ｄ２２へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部２４１Ａ、２４１Ｂに係合することにより、蓋体３は、容器本体２の開口周縁部２８に固定される。

図３に示すように、蓋体３を構成する蓋体本体の内側においては、基板収納空間２７の外方（前方向Ｄ１１）へ窪んだ凹部３４が形成されている。凹部３４の内側の蓋体本体の部分には、フロントリテーナ７が固定されて設けられている。

図６は、図５に示すＡ－Ａ線断面図である。図７Ａは、図６に示すＢ－Ｂ線断面図である。図７Ｂは、図６に示すＣ－Ｃ線断面図である。図８は、閉蓋状態における基板収納容器１と基板Ｗとの位置関係を示す平面断面図である。図９は、図８の部分拡大図である（図６対応図）。図１０Ａは、図９に示すＤ－Ｄ線断面図である。図１０Ｂは、図９に示すＥ－Ｅ線断面図である。図１１は、開蓋状態と閉蓋状態とにおける、蓋体側基板支持部及び基板縁部補助部それぞれの変位量を示す部分拡大図である。

フロントリテーナ７は、図４～図１１に示すように、蓋体側基板支持部７３と基板縁部補助部７５と脚部７２と縦枠体７１とを有している。同じ基板Ｗに対応する蓋体側基板支持部７３と基板縁部補助部７５とは、脚部７２を介して連結されている。

蓋体側基板支持部７３は、左右方向Ｄ３に所定の間隔で離間して対をなすようにして２つ配置されている。このように対をなすようにして２つ配置された蓋体側基板支持部７３は、上下方向Ｄ２に２５対並列した状態で設けられており、それぞれ弾性変形可能な脚部７２により支持されている。脚部７２は、２つずつ配置された蓋体側基板支持部７３からそれぞれ互いに離間するように左右方向Ｄ３へ延び、それぞれ前方向Ｄ１１へ折れ曲がる。そして図４、図５に示すように、脚部７２の端部には、上下方向Ｄ２に沿って平行に延びている縦枠体７１が、脚部７２に一体成形されて設けられている。基板収納空間２７内に基板Ｗが収納され、蓋体３が閉じられることにより、蓋体側基板支持部７３は、脚部７２の弾性力により、基板Ｗの縁部の端縁を、基板収納空間２７の中心へ付勢した状態で挟持して支持する。

蓋体側基板支持部７３は、図７Ａ及び図１０Ａに示すように、上側傾斜面７３１と下側傾斜面７３２とを有している。

上側傾斜面７３１は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、基板Ｗの表面（上面）の端縁に当接する。下側傾斜面７３２は、基板Ｗの裏面（下面）の端縁に当接する。具体的には、上側傾斜面７３１は、上方向Ｄ２１に進むにつれて、前後方向Ｄ１において基板収納空間２７の中心に接近するように傾斜して延びる傾斜面により構成されている。下側傾斜面７３２は、上方向Ｄ２１に進むにつれて、前後方向Ｄ１において基板収納空間２７の中心から離間するように傾斜して延びる傾斜面により構成されている。上側傾斜面７３１、下側傾斜面７３２は、基板収納空間２７の中心から離間するように窪んだ凹溝であるＶ字状溝７４を形成する。上側傾斜面７３１、下側傾斜面７３２には、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、それぞれ基板Ｗの表面の端縁、基板Ｗの裏面の端縁が当接する。

基板縁部補助部７５は、左右方向Ｄ３に所定の間隔で離間して対をなすようにして２つ配置されている。このように対をなすようにして２つ配置された基板縁部補助部７５は、上下方向Ｄ２に２５対並列した状態で設けられており、それぞれ脚部７２により支持されている。本実施形態においては、基板縁部補助部７５は、左右方向Ｄ３において蓋体側基板支持部７３と縦枠体７１との間に、配置されている。

基板縁部補助部７５は、蓋体３の部分であって蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに基板収納空間２７に対向する部分に配置されている。基板縁部補助部７５には、基板Ｗの縁部を挿入可能に基板Ｗの縁部の厚さよりも広い開口を有する複数の補助溝７６が、形成されている。補助溝７６を形成している溝形成面は、表面対向面部７６１と、裏面対向面部７６２と、底面部７６３とを有している。

基板Ｗの縁部は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、図１０Ｂに示すように、基板Ｗの縁部と補助溝７６の溝形成面（表面対向面部７６１、裏面対向面部７６２、底面部７６３）との間に空間が形成されて基板Ｗの縁部が溝形成面に接触していない非接触の状態で、補助溝７６に挿入される。

図７Ｂ及び図１０Ｂに示すように、補助溝７６は、断面視で、略矩形状を有している。補助溝７６は、対向する溝形成面（表面対向面部７６１、裏面対向面部７６２）を有している。補助溝７６には、少なくとも蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部が１つずつ挿入される。また、図６に示すように、補助溝７６は、筒状の壁部２０の中心軸Ｊ２０に対して、蓋体側基板支持部７３よりも基板Ｗの縁部の周方向ＤＣの外側に配置されている。

表面対向面部７６１は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、基板Ｗの表面Ｗ１に略平行な位置関係を有しており、表面対向面部７６１の一部は、表面Ｗ１と裏面Ｗ２とを結ぶ方向である上下方向Ｄ２において表面Ｗ１に対向する。裏面対向面部７６２は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、基板Ｗの裏面Ｗ２に略平行な位置関係を有しており、裏面対向面部７６２の一部は、表面Ｗ１と裏面Ｗ２とを結ぶ方向である上下方向Ｄ２において裏面Ｗ２に対向する。底面部７６３は、補助溝７６の底部を形成し、表面対向面部７６１と裏面対向面部７６２とにそれぞれ接続されている。

表面対向面部７６１及び裏面対向面部７６２は、略直平面状である。表面対向面部７６１と裏面対向面部７６２とは、補助溝７６の底部から補助溝７６の開口７６４に近づくにつれて、開口７６４が僅かに広がるように、僅かに傾斜する一対の傾斜面を構成する。基板Ｗの表面Ｗ１と表面対向面部７６１とのなす角度θ１、及び／又は、裏面Ｗ２と裏面対向面部７６２とのなす角度θ２は、例えば３０度以下であり、好ましくは１５度以下である。

補助溝７６は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されておらず、側方基板支持部である基板支持板状部５によって複数の基板Ｗの縁部が支持されているときには、補助溝７６に基板Ｗの縁部が挿入されず（図７Ｂ参照）、一方、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときには、補助溝７６に基板Ｗの縁部が挿入される（図１０Ｂ参照）深さＨ７６（図７Ｂ参照）を、有する。

図１１に示すように、フロントリテーナ７の蓋体側基板支持部７３は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、容器本体２の他端部から一端部へと向う方向（前方向Ｄ１１）へ第１の変位量Ｈ７３で弾性的に変位可能である。基板縁部補助部７５は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、容器本体２の他端部から一端部へと向う方向（前方向Ｄ１１）へ、第１の変位量Ｈ７３よりも小さい第２の変位量Ｈ７５で弾性的に変位可能である。

次に、上述した基板収納容器１において、基板Ｗを基板収納空間２７へ収納し、蓋体３によって容器本体開口部２１を閉塞する際の動作について説明する。
先ず、図１に示すように、前後方向Ｄ１及び左右方向Ｄ３が水平面に平行の位置関係となるように容器本体２を配置させる。次に、複数枚の基板Ｗを基板支持板状部５及び奥側基板支持部６の下側傾斜面に載置する。このとき、基板Ｗは、図６～図７Ｂに示すように、蓋体側基板支持部７３のＶ字状溝７４及び基板縁部補助部７５の補助溝７６の中に位置していない（平面視において重なっていない）。

次に、蓋体３を容器本体開口部２１へ接近させてゆき、図８～図１０Ａに示すように、フロントリテーナ７の下側傾斜面７３２に、基板Ｗの裏面（下面）の端縁に当接させると共に、フロントリテーナ７の上側傾斜面７３１に、基板Ｗの表面の端縁に当接させる。そして、更に蓋体３を容器本体開口部２１へ接近させてゆくと、基板Ｗは、前部においてフロントリテーナ７の下側傾斜面７３２及び上側傾斜面７３１によって後方向Ｄ１２へ押圧され、また、後部において奥側基板支持部６に当接して前方向Ｄ１１へ押圧されており、前方向Ｄ１１と後方向Ｄ１２とからに挟まれるように保持されている。基板Ｗは、その奥側（後方向Ｄ１２の側）の部分については上下方向Ｄ２へ移動し、一方、その開口側（前方向Ｄ１１の側）の部分については上下方向Ｄ２へ移動しない。このとき、図１０Ｂに示すように、基板Ｗは、基板縁部補助部７５の補助溝７６の中に位置している（平面視において重なっている）。

その後、基板収納容器１は、９０°回転させられて、容器本体開口部２１が鉛直上方向を向いた状態とされて搬送されるか、又は、９０°回転させられずに、容器本体開口部２１が水平方向を向いた状態のまま搬送される。

基板Ｗが収納された状態の基板収納容器１の搬送中に、基板収納容器１に基板収納容器１の外部から衝撃が作用すると、蓋体側基板支持部７３のＶ字状溝７４に当接していた基板ＷがＶ字状溝７４から外れそうになることがある。このような場合であっても、基板Ｗは、基板縁部補助部７５の補助溝７６に当接していないため、基板縁部補助部７５の補助溝７６の中から外れにくい。そのため、基板Ｗが蓋体側基板支持部７３から外れること、すなわち、クロススロットの発生は抑制される。

上記構成を有する第１実施形態に係る基板収納容器１によれば、以下のような効果を得ることができる。
第１実施形態に係る基板収納容器１は、一端部に容器本体開口部２１が形成され他端部が閉塞された筒状の壁部２０を備え、壁部２０の内面によって、複数の基板Ｗを収納可能であり容器本体開口部２１に連通する基板収納空間２７が形成された容器本体２と、容器本体開口部２１に対して着脱可能であり、容器本体開口部２１を閉塞可能な蓋体３と、蓋体３の部分であって蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに基板収納空間２７に対向する部分に配置され、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部を支持可能な蓋体側基板支持部７３と、基板収納空間２７内において蓋体側基板支持部７３と対をなすように配置され、複数の基板Ｗの縁部を支持可能であり、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに蓋体側基板支持部７３と協働して、複数の基板Ｗの縁部を並列させた状態で、複数の基板Ｗを支持する奥側基板支持部６と、蓋体３の部分であって蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに基板収納空間２７に対向する部分に配置され、基板Ｗの縁部を挿入可能に基板Ｗの縁部の厚さよりも広い開口を有する複数の補助溝７６が形成された基板縁部補助部７５と、を備える。複数の補助溝７６は、対向する溝形成面７６１，７６２を有し、少なくとも蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部が１つずつ挿入され、また、筒状の壁部２０の中心軸Ｊ２０に対して、蓋体側基板支持部７３よりも基板Ｗの縁部の周方向ＤＣの外側に配置されている。基板Ｗの縁部は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、基板Ｗの縁部と溝形成面７６１，７６２との間に空間が形成されて基板Ｗの縁部が溝形成面７６１，７６２に接触していない非接触の状態で、補助溝７６に挿入される。

上記構成により、基板Ｗが収納された状態の基板収納容器１の搬送中に、基板収納容器１に基板収納容器１の外部から衝撃が作用し、蓋体側基板支持部７３に当接していた基板Ｗが蓋体側基板支持部７３から外れそうになったとしても、基板Ｗは、基板縁部補助部７５の補助溝７６に当接していないため、基板縁部補助部７５の補助溝７６の中から外れにくい。そのため、基板収納容器１に作用する衝撃に対して基板Ｗの保護が可能であると共に、基板Ｗが蓋体側基板支持部７３から外れること、すなわち、クロススロットの発生を抑えることができる。

また、同じ基板Ｗに対応する蓋体側基板支持部７３と基板縁部補助部７５とは、連結されている。

上記構成により、同じ基板Ｗに対応する蓋体側基板支持部７３と基板縁部補助部７５とは、基板Ｗが蓋体側基板支持部７３を押圧して変位させると、連動して基板縁部補助部７５も変位される。そのため、蓋体側基板支持部７３と基板縁部補助部７５とは、連動して、それぞれの主な機能を発揮するのに適当な位置に配置される。

また、第１実施形態に係る基板収納容器１は、基板収納空間２７内において対をなすように配置され、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されていないときに、複数の基板Ｗのうちの隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能な側方基板支持部（基板支持板状部５）を備える。補助溝７６は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されておらず側方基板支持部（基板支持板状部５）によって複数の基板Ｗの縁部が支持されているときには、補助溝７６に基板Ｗの縁部が挿入されず、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときには、補助溝７６に基板Ｗの縁部が挿入される深さＨ７６を有する。

上記構成により、側方基板支持部（基板支持板状部５）によって複数の基板Ｗの縁部が支持されているときに、意図しない事象により基板Ｗが大きく移動したとしても、基板Ｗの縁部が補助溝７６に接触することを抑制される。

〔第２実施形態〕
次に、本発明の第２実施形態に係る基板収納容器について、図面を参照しながら説明する。図１２は、本発明の第２実施形態に係るフロントリテーナ７Ａの断面図（図６対応図）である。

図１２に示すように、第２実施形態では、第１実施形態と比べて、蓋体側基板支持部７３において基板縁部補助部７５が左右方向Ｄ３の内側（壁部２０の中心軸Ｊ２０寄り）に配置されている。第２実施形態におけるその他の構成については、第１実施形態と同一であるため、同一の部材については、同一の符号で図示し、説明を省略する。

〔第３実施形態〕
次に、本発明の第３実施形態に係る基板収納容器について、図面を参照しながら説明する。図１３は、本発明の第３実施形態に係るフロントリテーナ７Ｂの断面図（図６対応図）である。

図１３に示すように、第３実施形態では、第１実施形態と比べて、蓋体側基板支持部７３において基板縁部補助部７５の幅（左右方向Ｄ３の幅）が広くなっている。第３実施形態におけるその他の構成については、第１実施形態と同一であるため、同一の部材については、同一の符号で図示し、説明を省略する。

〔第４実施形態〕
次に、本発明の第４実施形態に係る基板収納容器について、図面を参照しながら説明する。図１４は、本発明の第４実施形態に係るフロントリテーナ７Ｃの断面図（図６対応図）である。

図１４に示すように、第４実施形態では、第１実施形態と比べて、蓋体側基板支持部７３において基板縁部補助部７５が左右方向Ｄ３の内側（壁部２０の中心軸Ｊ２０寄り）に配置され、蓋体側基板支持部７３が左右方向Ｄ３の外側に配置されている。別の見方とすると、基板縁部補助部７５の複数の補助溝７６は、壁部２０の中心軸Ｊ２０に対して、蓋体側基板支持部７３よりも基板Ｗの縁部の周方向ＤＣの内側に配置されている。第４実施形態におけるその他の構成については、第１実施形態と同一であるため、同一の部材については、同一の符号で図示し、説明を省略する。

本発明は、上述した実施形態に限定されることはなく、特許請求の範囲に記載された技術的範囲において変形が可能である。

例えば、容器本体及び蓋体の形状、容器本体に収納可能な基板Ｗの枚数や寸法は、本実施形態における容器本体２及び蓋体３の形状、容器本体２に収納可能な基板Ｗの枚数や寸法に限定されない。即ち、側方基板支持部（基板支持板状部５）や、フロントリテーナ７や、奥側基板支持部６の構成は、実施形態の構成に限定されない。また、本実施形態における基板Ｗは、直径３００ｍｍのシリコンウェーハであったが、この値に限定されない。

１ 基板収納容器
２ 容器本体
３ 蓋体
５ 基板支持板状部（側方基板支持部）
６ 奥側基板支持部
２１ 容器本体開口部
２７ 基板収納空間
２８ 開口周縁部
７３ 蓋体側基板支持部
７５ 基板縁部補助部
７６ 補助溝
７６１ 表面対向面部（溝形成面）
７６２ 裏面対向面部（溝形成面）
ＤＣ 周方向
Ｈ７３ 第１の変位量
Ｈ７５ 第２の変位量
Ｈ７６ 深さ
Ｊ２０ 中心軸
Ｗ 基板
θ１ 角度
θ２ 角度

Claims (5)

1. 一端部に容器本体開口部が形成され他端部が閉塞された筒状の壁部を備え、前記壁部の内面によって、複数の基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と、
   前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、
   前記蓋体の部分であって前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに前記基板収納空間に対向する部分に配置され、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記複数の基板の縁部を支持可能な蓋体側基板支持部と、
   前記基板収納空間内において前記蓋体側基板支持部と対をなすように配置され、前記複数の基板の縁部を支持可能であり、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに前記蓋体側基板支持部と協働して、前記複数の基板の縁部を並列させた状態で、前記複数の基板を支持する奥側基板支持部と、
   前記蓋体の部分であって前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに前記基板収納空間に対向する部分に配置され、前記基板の縁部を挿入可能に前記基板の縁部の厚さよりも広い開口を有する複数の補助溝が形成された基板縁部補助部と、を備え、
   前記複数の補助溝は、対向する溝形成面を有し、少なくとも前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記複数の基板の縁部が１つずつ挿入され、また、筒状の壁部の中心軸に対して、前記蓋体側基板支持部よりも前記基板の縁部の周方向の外側又は内側に配置されており、
   前記基板の縁部は、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記基板の縁部と前記溝形成面との間に空間が形成されて前記基板の縁部が前記溝形成面に接触していない非接触の状態で、前記補助溝に挿入される、基板収納容器。
2. 同じ前記基板に対応する前記蓋体側基板支持部と前記基板縁部補助部とは、連結されている、請求項１に記載の基板収納容器。
3. 前記溝形成面は、略直平面状であり、前記基板の表面又は裏面と前記溝形成面とのなす角度は、３０度以下である、請求項１又は請求項２に記載の基板収納容器。
4. 前記基板収納空間内において対をなすように配置され、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されていないときに、前記複数の基板のうちの隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、前記複数の基板の縁部を支持可能な側方基板支持部を備え、
   前記補助溝は、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されておらず前記側方基板支持部によって前記複数の基板の縁部が支持されているときには、前記補助溝に前記基板の縁部が挿入されず、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときには、前記補助溝に前記基板の縁部が挿入される深さを有する、請求項１～請求項３のいずれかに記載の基板収納容器。
5. 前記蓋体側基板支持部は、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記容器本体の他端部から一端部へと向う方向へ第１の変位量で弾性的に変位可能であり、
   前記基板縁部補助部は、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記容器本体の他端部から一端部へと向う方向へ、前記第１の変位量よりも小さい第２の変位量で弾性的に変位可能である、請求項１～請求項４のいずれかに記載の基板収納容器。

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