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JP7439487B2 - Wiring board, mounting board, and wiring board manufacturing method - Google Patents
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JP7439487B2 - Wiring board, mounting board, and wiring board manufacturing method - Google Patents

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Description

本開示は、配線基板、実装基板、および配線基板の製造方法に関する。 The present disclosure relates to a wiring board, a mounting board, and a method for manufacturing a wiring board.

配線基板においては、静電破壊が問題となっている。配線基板は、例えば基材の片面または両面に配線および絶縁層が配置された構造を有しており、配線基板の表面は絶縁層で覆われているため帯電しやすい。配線基板表面の絶縁層が帯電していると、配線基板に素子を実装する際に、配線基板表面の絶縁層と素子との間で静電気の放電が起き、素子が静電気によって破壊されてしまう場合がある。 Electrostatic damage has become a problem in wiring boards. A wiring board has a structure in which, for example, wiring and an insulating layer are arranged on one or both sides of a base material, and the surface of the wiring board is covered with an insulating layer and is therefore easily charged. If the insulating layer on the surface of the wiring board is charged, electrostatic discharge may occur between the insulating layer on the surface of the wiring board and the element when mounting the element on the wiring board, and the element may be destroyed by static electricity. There is.

静電破壊の対策としては、静電破壊から素子を保護するための保護素子を設けるのが一般的である。例えば特許文献1には、プリント基板の回路パターンに半導体素子の静電破壊を防止する保護用の抵抗器を取り付けてから、上記回路パターンに半導体素子を取り付ける、半導体素子の実装方法が開示されている。 As a countermeasure against electrostatic discharge damage, it is common to provide a protection element to protect the element from electrostatic discharge damage. For example, Patent Document 1 discloses a method for mounting a semiconductor element, in which a protective resistor for preventing electrostatic damage to the semiconductor element is attached to a circuit pattern of a printed circuit board, and then the semiconductor element is attached to the circuit pattern. There is.

特開平11-340412号公報Japanese Patent Application Publication No. 11-340412

しかしながら、保護素子を設ける場合、専用の回路を設ける必要があるため、設計が煩雑となりコストが高くなるという問題や、配線スペースや実装スペースを必要とするため、小型化が困難となるという問題がある。 However, when providing a protection element, it is necessary to provide a dedicated circuit, which complicates the design and increases costs, and requires wiring and mounting space, which makes miniaturization difficult. be.

本開示は、上記実情に鑑みてなされた発明であり、簡素な構成で静電破壊を抑制することが可能な配線基板、実装基板、および配線基板の製造方法を提供することを主目的とする。 The present disclosure has been made in view of the above circumstances, and its main purpose is to provide a wiring board, a mounting board, and a method for manufacturing a wiring board that can suppress electrostatic damage with a simple configuration. .

上記目的を達成するために、本開示は、第1面および上記第1面に対向する第2面を有する基材と、上記基材の上記第1面側に配置され、パッド部を含む配線層と、上記基材の上記第1面側に配置され、上記パッド部上に位置するパッド開口部を有する絶縁層と、上記絶縁層の上記基材側の面とは反対の面側の、上記パッド開口部以外の領域に配置された導電層と、を有し、上記導電層は、配線として機能せず、接地されていない、配線基板を提供する。 In order to achieve the above object, the present disclosure provides a base material having a first surface and a second surface opposite to the first surface, and a wiring line disposed on the first surface side of the base material and including a pad portion. an insulating layer disposed on the first surface side of the base material and having a pad opening located on the pad portion; and a surface side of the insulating layer opposite to the surface on the base material side. a conductive layer disposed in a region other than the pad opening, the conductive layer does not function as a wiring and is not grounded.

本開示においては、上記導電層が、上記絶縁層の上記基材側の面とは反対の面側の、上記パッド開口部以外の領域であって、上記配線基板の端部に配置されていてもよい。また、上記導電層が、上記絶縁層の上記基材側の面とは反対の面側の、上記パッド開口部以外の領域であって、上記パッド開口部の周囲に配置されていることが好ましい。さらに、上記導電層が、上記絶縁層の上記基材側の面とは反対の面側の、上記パッド開口部以外の領域に全体的に配置されていることがより好ましい。 In the present disclosure, the conductive layer is disposed at an end of the wiring board in a region other than the pad opening on a side of the insulating layer opposite to the base material side. Good too. Further, it is preferable that the conductive layer is disposed around the pad opening in a region other than the pad opening on the side of the insulating layer opposite to the base material side. . Furthermore, it is more preferable that the conductive layer is entirely disposed in a region other than the pad opening on the side of the insulating layer opposite to the surface on the base material side.

また、本開示においては、上記導電層が、金属膜または金属酸化物膜であることが好ましい。 Further, in the present disclosure, it is preferable that the conductive layer is a metal film or a metal oxide film.

本開示における配線基板は、上記配線層の上記パッド部の上記基材側の面とは反対の面側に配置された保護層をさらに有し、上記導電層および上記保護層の材料が同一であることが好ましい。 The wiring board according to the present disclosure further includes a protective layer disposed on a surface of the pad portion of the wiring layer opposite to the surface on the base material side, and the conductive layer and the protective layer are made of the same material. It is preferable that there be.

また、本開示においては、上記絶縁層が、オーバーハング形状を有することが好ましい。 Further, in the present disclosure, it is preferable that the insulating layer has an overhang shape.

本開示における配線基板は、上記基材の貫通孔に配置された貫通配線と、上記基材の上記第2面側に配置され、第2パッド部を含む第2配線層と、上記基材の上記第2面側に配置され、上記第2パッド部上に位置する第2パッド開口部を有する第2絶縁層と、上記第2絶縁層の上記基材側の面とは反対の面側の、上記第2パッド開口部以外の領域に配置された第2導電層と、をさらに有していてもよい。上記第2導電層は、配線として機能せず、接地されていない。 The wiring board according to the present disclosure includes a through wiring disposed in the through hole of the base material, a second wiring layer disposed on the second surface side of the base material and including a second pad portion, and a second wiring layer disposed in the through hole of the base material. a second insulating layer disposed on the second surface side and having a second pad opening located above the second pad portion; , and a second conductive layer disposed in a region other than the second pad opening. The second conductive layer does not function as a wiring and is not grounded.

また、本開示は、上述の配線基板と、上記配線基板のパッド部に実装された素子と、を有する、実装基板を提供する。 Further, the present disclosure provides a mounting board including the above-described wiring board and an element mounted on a pad portion of the wiring board.

さらに、本開示は、第1面および上記第1面に対向する第2面を有する基材の上記第1面に、パッド部を含む配線層を形成する配線層形成工程と、上記基材の上記第1面に、上記パッド部上に位置するパッド開口部を有する絶縁層を形成する絶縁層形成工程と、上記絶縁層の上記基材側の面とは反対の面の、上記パッド開口部以外の領域に、導電層を形成する導電層形成工程と、上記配線層の上記パッド部の上記基材側の面とは反対の面に、保護層を形成する保護層形成工程と、を有する配線基板の製造方法であって、上記導電層は、配線として機能せず、接地されていなく、上記絶縁層形成工程では、オーバーハング形状を有する上記絶縁層を形成し、上記導電層形成工程および上記保護層形成工程では、同一の材料を用いて、乾式成膜法により、上記導電層および上記保護層を同時に形成する、配線基板の製造方法を提供する。 Further, the present disclosure includes a wiring layer forming step of forming a wiring layer including a pad portion on the first surface of the base material having a first surface and a second surface opposite to the first surface; an insulating layer forming step of forming an insulating layer having a pad opening located on the pad portion on the first surface; and a step of forming an insulating layer having a pad opening located on the pad portion on the first surface; a conductive layer forming step of forming a conductive layer in a region other than the above, and a protective layer forming step of forming a protective layer on a surface of the wiring layer opposite to the surface of the pad portion on the base material side. The method for manufacturing a wiring board, wherein the conductive layer does not function as a wiring and is not grounded, and in the insulating layer forming step, the insulating layer having an overhang shape is formed, and the conductive layer forming step and In the protective layer forming step, a method for manufacturing a wiring board is provided, in which the conductive layer and the protective layer are simultaneously formed using the same material by a dry film forming method.

本開示においては、簡素な構成で静電破壊を抑制することが可能な配線基板および実装基板を提供することができるという効果を奏する。 The present disclosure has the advantage that it is possible to provide a wiring board and a mounting board that can suppress electrostatic damage with a simple configuration.

本開示における配線基板を例示する概略平面図および断面図である。FIG. 1 is a schematic plan view and a cross-sectional view illustrating a wiring board according to the present disclosure. 本開示における配線基板を例示する概略平面図である。FIG. 2 is a schematic plan view illustrating a wiring board according to the present disclosure. 本開示における配線基板を例示する概略平面図である。FIG. 2 is a schematic plan view illustrating a wiring board according to the present disclosure. 本開示における配線基板を例示する概略断面図である。1 is a schematic cross-sectional view illustrating a wiring board according to the present disclosure. 本開示における配線基板の製造方法を例示する工程図である。FIG. 3 is a process diagram illustrating a method for manufacturing a wiring board according to the present disclosure. 本開示における配線基板を例示する概略断面図である。1 is a schematic cross-sectional view illustrating a wiring board according to the present disclosure. 本開示における配線基板を例示する概略断面図である。1 is a schematic cross-sectional view illustrating a wiring board according to the present disclosure. 本開示における実装基板を例示する概略断面図である。FIG. 2 is a schematic cross-sectional view illustrating a mounting board according to the present disclosure.

下記に、図面等を参照しながら本開示の実施の形態を説明する。ただし、本開示は多くの異なる態様で実施することが可能であり、下記に例示する実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。また、図面は説明をより明確にするため、実際の形態に比べ、各部の幅、厚さ、形状等について模式的に表わされる場合があるが、あくまで一例であって、本開示の解釈を限定するものではない。また、本明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には、同一の符号を付して、詳細な説明を適宜省略することがある。 Embodiments of the present disclosure will be described below with reference to the drawings and the like. However, the present disclosure can be implemented in many different ways, and should not be construed as being limited to the description of the embodiments exemplified below. Further, in order to make the explanation clearer, the drawings may schematically represent the width, thickness, shape, etc. of each part compared to the actual form, but this is just an example and does not limit the interpretation of the present disclosure. It's not something you do. In addition, in this specification and each figure, the same elements as those described above with respect to the previously shown figures are denoted by the same reference numerals, and detailed explanations may be omitted as appropriate.

本明細書において、ある部材の上に他の部材を配置する態様を表現するにあたり、単に「上に」、あるいは「下に」と表記する場合、特に断りの無い限りは、ある部材に接するように、直上、あるいは直下に他の部材を配置する場合と、ある部材の上方、あるいは下方に、さらに別の部材を介して他の部材を配置する場合との両方を含むものとする。また、本明細書において、ある部材の面に他の部材を配置する態様を表現するにあたり、単に「面側に」または「面に」と表記する場合、特に断りの無い限りは、ある部材に接するように、直上、あるいは直下に他の部材を配置する場合と、ある部材の上方、あるいは下方に、さらに別の部材を介して他の部材を配置する場合との両方を含むものとする。 In this specification, when expressing a mode in which another member is placed on top of a certain member, when it is simply expressed as “above” or “below”, unless otherwise specified, the term This includes both cases in which another member is placed directly above or below a certain member, and cases in which another member is placed above or below a certain member via another member. In addition, in this specification, when expressing a mode in which another member is arranged on the surface of a certain member, when it is simply expressed as "on the surface side" or "on the surface", unless otherwise specified, This includes both cases in which another member is placed directly above or directly below a certain member, and cases in which another member is placed above or below a certain member via another member.

以下、本開示における配線基板および実装基板について詳細に説明する。 Hereinafter, the wiring board and the mounting board in the present disclosure will be described in detail.

A.配線基板
本開示における配線基板は、第1面および上記第1面に対向する第2面を有する基材と、上記基材の上記第1面側に配置され、パッド部を含む配線層と、上記基材の上記第1面側に配置され、上記パッド部上に位置するパッド開口部を有する絶縁層と、上記絶縁層の上記基材側の面とは反対の面側の、上記パッド開口部以外の領域に配置された導電層と、を有し、上記導電層は、配線として機能せず、接地されていない。
A. Wiring Board The wiring board in the present disclosure includes: a base material having a first surface and a second surface opposite to the first surface; a wiring layer disposed on the first surface side of the base material and including a pad portion; an insulating layer disposed on the first surface side of the base material and having a pad opening located on the pad portion; and the pad opening on a surface side of the insulating layer opposite to the surface on the base material side. and a conductive layer disposed in a region other than the area, and the conductive layer does not function as a wiring and is not grounded.

図1(a)、(b)は、本開示における配線基板の一例を示す概略平面図および断面図であり、図1(b)は図1(a)のA-A線断面図である。図1(a)、(b)に示すように、本開示における配線基板1は、第1面2aおよび第1面2aに対向する第2面2bを有する基材2と、基材2の第1面2a側に配置され、パッド部13を含む配線層3と、基材2の第1面2a側に配置され、パッド部13上に位置するパッド開口部14を有する絶縁層4と、絶縁層4の基材2側の面とは反対の面側の、パッド開口部14以外の領域に配置された導電層5と、を有する。導電層5は、配線として機能していなく、配線層3と電気的に接続されていない。また、導電層5は、接地されていない。 1(a) and 1(b) are a schematic plan view and a cross-sectional view showing an example of a wiring board according to the present disclosure, and FIG. 1(b) is a cross-sectional view taken along the line AA in FIG. 1(a). As shown in FIGS. 1(a) and 1(b), a wiring board 1 according to the present disclosure includes a base material 2 having a first surface 2a and a second surface 2b opposite to the first surface 2a; A wiring layer 3 disposed on the first surface 2a side and including a pad section 13; an insulating layer 4 disposed on the first surface 2a side of the base material 2 and having a pad opening 14 located above the pad section 13; A conductive layer 5 is disposed in a region other than the pad opening 14 on the side of the layer 4 opposite to the surface on the base material 2 side. The conductive layer 5 does not function as a wiring and is not electrically connected to the wiring layer 3. Further, the conductive layer 5 is not grounded.

図1(b)に示す例において、導電層5は、絶縁層4の基材2側の面とは反対の面側の、パッド開口部14以外の領域に全体的に配置されているが、導電層の配置はこの限りではない。 In the example shown in FIG. 1(b), the conductive layer 5 is disposed entirely in a region other than the pad opening 14 on the side of the insulating layer 4 opposite to the surface on the base material 2 side. The arrangement of the conductive layers is not limited to this.

配線基板においては、配線基板の最表面に絶縁層が配置されている場合、人や機械との接触により帯電しやすい。これに対し、本開示によれば、絶縁層の基材側の面とは反対の面側の、パッド開口部以外の領域に導電層が配置されており、配線基板の最表面に導電層が配置されているため、配線基板を帯電しにくくすることができる。また、配線基板が帯電している場合であっても、導電層を接地することにより静電気を除去することができる。よって、本開示における配線基板に素子を実装する際に、静電破壊が起きるのを抑制することが可能である。 In a wiring board, if an insulating layer is disposed on the outermost surface of the wiring board, it is likely to be charged by contact with a person or a machine. In contrast, according to the present disclosure, the conductive layer is disposed in a region other than the pad opening on the side of the insulating layer opposite to the base material side, and the conductive layer is disposed on the outermost surface of the wiring board. Because of this arrangement, it is possible to make the wiring board less likely to be charged. Furthermore, even if the wiring board is electrically charged, static electricity can be removed by grounding the conductive layer. Therefore, when mounting elements on the wiring board according to the present disclosure, it is possible to suppress electrostatic damage from occurring.

また、本開示によれば、導電層は、絶縁層の基材側の面とは反対の面側の、パッド開口部以外の領域に配置するため、従来の保護素子のように複雑な設計やスペースを要することがなく、配線基板を簡素な構成とすることができる。よって、本開示における配線基板は、簡素な構成で静電破壊を抑制することが可能である。さらには、配線基板の製造コストを削減することもできる。 Furthermore, according to the present disclosure, the conductive layer is disposed in a region other than the pad opening on the side of the insulating layer opposite to the base material side, so it does not require a complicated design like a conventional protection element. No space is required, and the wiring board can have a simple configuration. Therefore, the wiring board according to the present disclosure can suppress electrostatic damage with a simple configuration. Furthermore, the manufacturing cost of the wiring board can also be reduced.

以下、本開示における配線基板について説明する。 The wiring board according to the present disclosure will be described below.

1.導電層
本開示における導電層は、絶縁層の基材側の面とは反対の面側の、パッド開口部以外の領域に配置され、配線として機能せず、接地されていない部材である。
1. Conductive Layer The conductive layer in the present disclosure is a member that is disposed in a region other than the pad opening on the side of the insulating layer opposite to the base material side, does not function as a wiring, and is not grounded.

ここで、導電層が配線として機能しないとは、導電層が、信号層(信号配線)、電源層(電源配線)、グランド層(グランド配線)、アース層(アース配線)等の配線として機能しないことをいう。導電層は配線として機能しないため、配線層と電気的に接続されていない。また、本開示における配線基板のパッド部に接合部材を介して素子を実装した場合、導電層は配線として機能しないため、接合部材および素子と電気的に接続されない。 Here, when we say that the conductive layer does not function as wiring, we mean that the conductive layer does not function as wiring for the signal layer (signal wiring), power supply layer (power supply wiring), ground layer (ground wiring), earth layer (earth wiring), etc. Say something. Since the conductive layer does not function as a wiring, it is not electrically connected to the wiring layer. Further, when an element is mounted on a pad portion of a wiring board according to the present disclosure via a bonding member, the conductive layer does not function as a wiring, and therefore is not electrically connected to the bonding member and the element.

また、導電層が接地されていないとは、導電層がアースおよびグランドされていないことをいう。すなわち、導電層はアース層およびグランド層として機能しない。 Furthermore, the expression "the conductive layer is not grounded" means that the conductive layer is not earthed or grounded. That is, the conductive layer does not function as an earth layer or a ground layer.

なお、本開示における配線基板において、導電層は外から接地することが可能であり、本開示における配線基板のパッド部に素子を実装するに際しては、例えば導電テープや銅線等を用いて、外から導電層を接地することで、静電気を除去することができる。 Note that in the wiring board of the present disclosure, the conductive layer can be grounded from the outside, and when mounting an element on the pad portion of the wiring board of the present disclosure, it is possible to ground the conductive layer from the outside using, for example, a conductive tape or copper wire. Static electricity can be removed by grounding the conductive layer.

導電層の配置としては、導電層が、絶縁層の基材側の面とは反対の面側の、パッド開口部以外の領域に配置されており、また導電層が配線層と電気的に接続されないように配置されており、さらに配線基板のパッド部に接合部材を介して素子を実装した場合に導電層が接合部材および素子と電気的に接続されないように配置されていれば特に限定されない。例えば、導電層5は、図1(a)に示すように、絶縁層4の基材2側の面とは反対の面側の、パッド開口部14以外の領域に全体的に配置されていてもよく、図2に示すように、絶縁層4の基材2側の面とは反対の面側の、パッド開口部14以外の領域に部分的に配置されていてもよい。 The conductive layer is arranged in a region other than the pad opening on the side of the insulating layer opposite to the base material side, and the conductive layer is electrically connected to the wiring layer. There is no particular limitation as long as the conductive layer is arranged so that it is not electrically connected to the bonding member and the element when the element is mounted on the pad portion of the wiring board via the bonding member. For example, as shown in FIG. 1(a), the conductive layer 5 is disposed entirely in a region other than the pad opening 14 on the side of the insulating layer 4 opposite to the surface on the base material 2 side. Alternatively, as shown in FIG. 2, it may be partially arranged in a region other than the pad opening 14 on the side of the insulating layer 4 opposite to the surface on the base material 2 side.

上述したように配線基板においては人や機械の接触により帯電しやすいため、導電層は、絶縁層の基材側の面とは反対の面側の、パッド開口部以外の領域であって、配線基板において人や機械が接触する部分に配置されていることが好ましい。例えば、配線基板に素子を実装する際、配線基板の搬送、移動、固定等のために、人や機械は配線基板の端部に接触する場合が多い。そのため、導電層は、絶縁層の基材側の面とは反対の面側の、パッド開口部以外の領域であって、配線基板の端部に配置することができる。導電層が配線基板の端部に配置されていることにより、人や機械の接触による静電気の発生を抑制することができる。例えば図3(a)において、導電層5は、絶縁層4の基材2側の面とは反対の面側の、パッド開口部14以外の領域であって、配線基板1の端部に配置されている。 As mentioned above, wiring boards are easily charged due to contact with humans or machines, so the conductive layer is a region other than the pad opening on the side of the insulating layer opposite to the base material side, and It is preferable to arrange it in a part of the board that comes into contact with people or machines. For example, when mounting elements on a wiring board, people or machines often come into contact with the edges of the wiring board in order to transport, move, fix, etc. the wiring board. Therefore, the conductive layer can be disposed at the end of the wiring board in a region other than the pad opening on the side of the insulating layer opposite to the base material side. By disposing the conductive layer at the end of the wiring board, generation of static electricity due to contact between humans and machines can be suppressed. For example, in FIG. 3A, the conductive layer 5 is disposed at the end of the wiring board 1 in a region other than the pad opening 14 on the side of the insulating layer 4 opposite to the surface on the base material 2 side. has been done.

また、導電層は、絶縁層の基材側の面とは反対の面側の、パッド開口部以外の領域であって、パッド開口部の周囲に配置されていることが好ましい。導電層がパッド開口部の周囲に配置されていることにより、配線基板のパッド部に素子を実装する際に静電破壊が起きるのを効果的に抑制することができる。例えば図3(b)において、導電層5は、絶縁層4の基材2側の面とは反対の面側の、パッド開口部14以外の領域であって、パッド開口部14の周囲に配置されている。 Further, the conductive layer is preferably disposed around the pad opening in a region other than the pad opening on the side of the insulating layer opposite to the base material side. By disposing the conductive layer around the pad opening, it is possible to effectively suppress electrostatic discharge damage when mounting an element on the pad portion of the wiring board. For example, in FIG. 3B, the conductive layer 5 is arranged around the pad opening 14 in a region other than the pad opening 14 on the side of the insulating layer 4 opposite to the surface on the base material 2 side. has been done.

特に、導電層は、絶縁層の基材側の面とは反対の面側の、パッド開口部以外の領域に全体的に配置されていることが好ましい。導電層により配線基板を帯電しにくくすることができ、配線基板のパッド部に素子を実装する際に静電破壊が起きるのを効果的に抑制することができるからである。 In particular, the conductive layer is preferably disposed entirely in a region other than the pad opening on the side of the insulating layer opposite to the base material side. This is because the conductive layer can make it difficult to charge the wiring board, and it is possible to effectively suppress electrostatic damage when mounting elements on the pad portion of the wiring board.

ここで、導電層が、絶縁層の基材側の面とは反対の面側の、パッド開口部以外の領域に全体的に配置されているとは、平面視において、絶縁層の基材側の面とは反対の面側の、パッド開口部以外の領域の面積を100%としたとき、導電層が配置されている領域の面積が、70%以上であることをいう。 Here, when the conductive layer is entirely arranged in a region other than the pad opening on the side of the insulating layer opposite to the base material side, it means that the conductive layer is arranged entirely on the base material side of the insulating layer in a plan view. This means that the area of the region where the conductive layer is arranged is 70% or more when the area of the region other than the pad opening on the side opposite to the surface is taken as 100%.

平面視において、絶縁層の基材側の面とは反対の面側の、パッド開口部以外の領域の面積を100%としたとき、導電層が配置されている領域の面積は、例えば、70%以上であることが好ましく、75%以上であることがより好ましく、80%以上であることがさらに好ましく、90%以上であることが特に好ましい。導電層が配置されている領域の面積が上記範囲であることにより、配線基板のパッド部に素子を実装する際に静電破壊が起きるのを効果的に抑制することができるからである。 In plan view, when the area of the area other than the pad opening on the side of the insulating layer opposite to the base material side is taken as 100%, the area of the area where the conductive layer is arranged is, for example, 70%. % or more, more preferably 75% or more, even more preferably 80% or more, particularly preferably 90% or more. This is because when the area of the region where the conductive layer is arranged is within the above range, it is possible to effectively suppress electrostatic damage when mounting an element on a pad portion of a wiring board.

導電層が絶縁層のパッド開口部の周囲に配置されている場合、例えば、導電層は絶縁層のパッド開口部上に位置する開口部を有することができ、平面視上、絶縁層のパッド開口部は導電層の開口部内に位置することができる。この場合、導電層の開口部の大きさは、絶縁層のパッド開口部の大きさと同一であってもよく、絶縁層のパッド開口部の大きさよりも大きくてもよい。導電層の開口部の大きさは、導電層が配線層と電気的に接続されないように配置されており、また配線基板のパッド部に接合部材を介して素子を実装した場合に導電層が接合部材および素子と電気的に接続されないように配置されていれば、特に限定されるものではなく、絶縁層のパッド開口部の大きさや絶縁層の厚さ等に応じて適宜調整される。 When the conductive layer is disposed around the pad opening in the insulating layer, for example, the conductive layer can have an opening located over the pad opening in the insulating layer, and in plan view, the conductive layer can have an opening located over the pad opening in the insulating layer. The portion can be located within the opening of the conductive layer. In this case, the size of the opening in the conductive layer may be the same as the size of the pad opening in the insulating layer, or may be larger than the size of the pad opening in the insulating layer. The size of the opening in the conductive layer is arranged so that the conductive layer is not electrically connected to the wiring layer, and the conductive layer is arranged so that it is not electrically connected to the wiring layer. It is not particularly limited as long as it is arranged so as not to be electrically connected to members and elements, and may be adjusted as appropriate depending on the size of the pad opening in the insulating layer, the thickness of the insulating layer, etc.

また、上述したように、本開示における配線基板のパッド部に接合部材を介して素子を実装する場合、導電層は接合部材および素子と電気的に接続されない。そのため、例えば接合部材にはんだ等を用いる場合には、導電層が接合部材と電気的に接続されないように、絶縁層のパッド開口部の周囲の所定の範囲内には導電層が配置されていないことが好ましい。具体的には、導電層は、絶縁層のパッド開口部の周囲の10μm以内に配置されていないことが好ましく、50μm以内に配置されていないことがより好ましく、100μm以内に配置されていないことがさらに好ましい。なお、絶縁層のパッド開口部の周囲の所定の範囲内とは、例えば図2に示すような、絶縁層4のパッド開口部14の端部からの距離dが所定の範囲内であることをいう。 Further, as described above, when an element is mounted on a pad portion of a wiring board according to the present disclosure via a bonding member, the conductive layer is not electrically connected to the bonding member and the element. Therefore, for example, when using solder or the like as a bonding member, the conductive layer is not placed within a predetermined range around the pad opening of the insulating layer so that the conductive layer is not electrically connected to the bonding member. It is preferable. Specifically, the conductive layer is preferably not disposed within 10 μm, more preferably not within 50 μm, and preferably not within 100 μm of the pad opening of the insulating layer. More preferred. Note that "within a predetermined range around the pad opening of the insulating layer" means that the distance d from the end of the pad opening 14 of the insulating layer 4 is within a predetermined range, as shown in FIG. 2, for example. say.

導電層のシート抵抗としては、例えば、10Ω/□以下であることが好ましく、10Ω/□以下であることがより好ましく、10Ω/□以下であることがさらに好ましい。また、導電層のシート抵抗は、例えば10-8Ω/□以上とすることができる。導電層のシート抵抗が上記範囲であるように導電層の導電性が高いことにより、配線基板を帯電しにくくすることができる。 The sheet resistance of the conductive layer is, for example, preferably 10 5 Ω/□ or less, more preferably 10 4 Ω/□ or less, and even more preferably 10 3 Ω/□ or less. Further, the sheet resistance of the conductive layer can be, for example, 10 −8 Ω/□ or more. When the conductive layer has high conductivity such that the sheet resistance of the conductive layer is within the above range, the wiring board can be made less likely to be charged.

ここで、上記シート抵抗は、四端子四深針法により測定された値である。抵抗率計は、例えば、三菱化学社製の低抵抗率計 ロレスタ-GX MCP-T700を用いることができる。 Here, the above-mentioned sheet resistance is a value measured by a four-terminal four-probe method. As the resistivity meter, for example, a low resistivity meter Lorestar GX MCP-T700 manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation can be used.

導電層の材料としては、導電性を有する材料であれば特に限定されず、一般的に配線基板の配線に用いられる導電性材料を使用することができる。導電層に用いられる導電性材料としては、例えば、金属や金属酸化物等の金属材料、導電性フィラーおよび樹脂を含有する導電性樹脂、導電性高分子等が挙げられる。 The material for the conductive layer is not particularly limited as long as it has conductivity, and conductive materials commonly used for wiring on wiring boards can be used. Examples of the conductive material used in the conductive layer include metal materials such as metals and metal oxides, conductive resins containing conductive fillers and resins, and conductive polymers.

金属材料としては、導電層は配線基板の最表面に配置されることから、酸化により電気抵抗が変化しにくい金属材料であることが好ましい。このような金属材料としては、例えば、クロム、モリブデン、アルミニウム、チタン、金、白金、パラジウム等の金属、これらの金属から選択される少なくとも1つを含む合金、あるいは酸化インジウム錫(ITO)、酸化インジウム亜鉛(IZO)、アルミニウムが添加された酸化亜鉛(AZO)、ガリウムが添加された酸化亜鉛(GZO)等の金属酸化物等を挙げることができる。 Since the conductive layer is disposed on the outermost surface of the wiring board, the metal material is preferably a metal material whose electrical resistance does not easily change due to oxidation. Examples of such metal materials include metals such as chromium, molybdenum, aluminum, titanium, gold, platinum, and palladium, alloys containing at least one selected from these metals, and indium tin oxide (ITO) and oxide. Examples include metal oxides such as indium zinc (IZO), aluminum-added zinc oxide (AZO), and gallium-added zinc oxide (GZO).

中でも、導電層の材料は、金属材料であることが好ましく、酸化により電気抵抗が変化しにくい金属材料であることがより好ましい。すなわち、導電層は、金属膜または金属酸化物膜であることが好ましい。導電層の導電性を高めることにより、本開示における配線基板のパッド部に素子を実装する際に静電破壊が起きるのを効果的に抑制することができるからである。 Among these, the material of the conductive layer is preferably a metal material, and more preferably a metal material whose electrical resistance does not easily change due to oxidation. That is, the conductive layer is preferably a metal film or a metal oxide film. This is because by increasing the conductivity of the conductive layer, it is possible to effectively suppress electrostatic discharge damage when mounting an element on the pad portion of the wiring board according to the present disclosure.

導電層の厚さとしては、例えば、1nm以上10μm以下とすることができ、好ましくは1nm以上5μm以下、より好ましくは1nm以上1μm以下とすることができる。導電層の厚さが上記範囲内であれば、十分な導電性を得ることができる。 The thickness of the conductive layer can be, for example, 1 nm or more and 10 μm or less, preferably 1 nm or more and 5 μm or less, and more preferably 1 nm or more and 1 μm or less. If the thickness of the conductive layer is within the above range, sufficient conductivity can be obtained.

導電層の形成方法としては、絶縁層の基材側の面とは反対の面側の、パッド開口部以外の領域に導電層を形成することができる方法であればよく、一般的な配線の形成方法を用いることができ、導電層の材料等に応じて適宜選択される。例えば、CVD法やスパッタリング法等のPVD法等の乾式成膜法、めっき法、塗布法等により導電膜を形成した後、フォトリソグラフィ法により導電膜をパターニングする方法、あるいは印刷法等が挙げられる。また、後述するように、絶縁層がオーバーハング形状を有する場合には、オーバーハング形状を有する絶縁層を利用して、CVD法やPVD法等の乾式成膜法により導電層を形成することもできる。 The method for forming the conductive layer may be any method that can form the conductive layer in the area other than the pad opening on the side of the insulating layer opposite to the base material side, and can be any method that can be used for general wiring. Any formation method can be used and is appropriately selected depending on the material of the conductive layer and the like. Examples include a method in which a conductive film is formed by a dry film forming method such as a PVD method such as a CVD method or a sputtering method, a plating method, a coating method, etc., and then patterned by a photolithography method, or a printing method. . Furthermore, as described later, when the insulating layer has an overhang shape, a conductive layer may be formed by a dry film forming method such as a CVD method or a PVD method using the insulating layer having an overhang shape. can.

2.絶縁層
本開示における絶縁層は、基材の第1面側に配置され、配線層のパッド部上に位置するパッド開口部を有する部材である。
2. Insulating Layer The insulating layer in the present disclosure is a member that is disposed on the first surface side of the base material and has a pad opening located above the pad portion of the wiring layer.

パッド開口部の断面形状としては、特に限定されないが、中でも、パッド開口部が、絶縁層の基材側の面から絶縁層の基材側の面とは反対の面に向かって水平断面の面積が小さくなるテーパー形状を有することが好ましい。すなわち、絶縁層は、オーバーハング形状を有することが好ましい。例えば図4において、絶縁層4はオーバーハング形状を有しており、パッド開口部14はテーパー形状を有している。絶縁層がオーバーハング形状を有することにより、本開示における配線基板のパッド部に接合部材を介して素子を実装した場合に、絶縁層のオーバーハング部分に接合部材がひっかかりやすくなることで、素子を外れにくくすることができる。 The cross-sectional shape of the pad opening is not particularly limited, but in particular, the pad opening has an area of horizontal cross-section from the surface of the insulating layer on the base material side to the surface of the insulating layer opposite to the surface of the base material. It is preferable to have a tapered shape in which . That is, it is preferable that the insulating layer has an overhang shape. For example, in FIG. 4, the insulating layer 4 has an overhang shape, and the pad opening 14 has a tapered shape. Since the insulating layer has an overhang shape, when an element is mounted on the pad portion of the wiring board according to the present disclosure via a bonding member, the bonding member is likely to catch on the overhang portion of the insulating layer, thereby preventing the element from being mounted. It can be made difficult to come off.

また、図5(a)~(c)は、本開示における配線基板の製造方法の一例を示す工程図であり、絶縁層がオーバーハング形状を有する場合の例である。まず、図5(a)に示すように基材2の第1面2aに配線層3を形成し、次いで、図5(b)に示すように基材2の第1面2aに、配線層3のパッド部13上に位置するパッド開口部14を有し、オーバーハング形状を有する絶縁層4を形成し、次に、図5(c)に示すように配線層3のパッド部13および絶縁層4上に導電性材料をスパッタリング法等により蒸着して、絶縁層4上に導電層5を形成するとともに配線層3のパッド部13上に保護層6を形成する。このように、配線層のパッド部の基材側の面とは反対の面側に保護層が配置されている場合には、絶縁層がオーバーハング形状を有することにより、導電層および保護層の形成時に、導電層および保護層がつながって形成されるのを防ぎ、導電層および保護層が電気的に接続されるのを防ぐことができる。また、導電層および保護層の形成方法としては、フォトリソグラフィ法を用いることもできるが、図5(a)~(c)に例示するようにオーバーハング形状を有する絶縁層を利用する方法では、フォトリソグラフィ法のようにエッチングを行う必要がないことから、エッチング残渣がなく、エッチング残渣による信頼性の低下を回避することができ、信頼性を高めることができる。 Further, FIGS. 5(a) to 5(c) are process diagrams showing an example of the method for manufacturing a wiring board according to the present disclosure, and are examples in which the insulating layer has an overhang shape. First, as shown in FIG. 5(a), the wiring layer 3 is formed on the first surface 2a of the base material 2, and then, as shown in FIG. 5(b), the wiring layer 3 is formed on the first surface 2a of the base material 2. An insulating layer 4 having an overhang shape and having a pad opening 14 located on the pad part 13 of the wiring layer 3 is formed, and then, as shown in FIG. A conductive material is deposited on the layer 4 by sputtering or the like to form a conductive layer 5 on the insulating layer 4 and a protective layer 6 on the pad portion 13 of the wiring layer 3. In this way, when the protective layer is arranged on the side opposite to the base material side of the pad part of the wiring layer, the overhanging shape of the insulating layer prevents the conductive layer and the protective layer from forming. During formation, it is possible to prevent the conductive layer and the protective layer from being connected and to prevent the conductive layer and the protective layer from being electrically connected. Further, as a method for forming the conductive layer and the protective layer, a photolithography method can be used, but a method using an insulating layer having an overhang shape as illustrated in FIGS. 5(a) to 5(c), Since there is no need to perform etching as in photolithography, there is no etching residue, and reliability degradation due to etching residue can be avoided and reliability can be improved.

また、パッド開口部の平面視形状としては、特に限定されるものではなく、例えば、円形状、楕円形状、正方形状、長方形状等の任意の形状とすることができる。 Further, the shape of the pad opening in plan view is not particularly limited, and may be any shape such as a circle, an ellipse, a square, or a rectangle.

絶縁層の材料としては、絶縁性を有する材料であれば特に限定されず、一般的に配線基板の絶縁層に用いられる絶縁性材料を使用することができ、有機材料および無機材料のいずれも用いることができる。絶縁層がオーバーハング形状を有する場合には、絶縁層の材料は感光性樹脂組成物であることが好ましい。感光性樹脂組成物を用いることにより、オーバーハング形状を有する絶縁層を容易に形成することができるからである。 The material of the insulating layer is not particularly limited as long as it has insulating properties, and insulating materials commonly used for insulating layers of wiring boards can be used, and both organic materials and inorganic materials can be used. be able to. When the insulating layer has an overhang shape, the material of the insulating layer is preferably a photosensitive resin composition. This is because by using the photosensitive resin composition, an insulating layer having an overhang shape can be easily formed.

絶縁層の厚さとしては、本開示における配線基板のパッド部に接合部材を介して素子を実装した場合に、導電層と接合部材とが電気的に接続されないようにすることが可能であれば特に限定されるものではなく、一般的な配線基板における絶縁層の厚さと同様とすることができ、素子の種類や実装方法等に応じて適宜選択される。絶縁層の厚さは、例えば、1μm以上500μm以下とすることができ、1μm以上300μm以下であってもよく、1μm以上50μm以下であってもよい。 The thickness of the insulating layer is determined as long as it is possible to prevent electrical connection between the conductive layer and the bonding member when the element is mounted on the pad portion of the wiring board according to the present disclosure via the bonding member. The thickness is not particularly limited, and can be the same as the thickness of an insulating layer in a general wiring board, and is appropriately selected depending on the type of element, mounting method, etc. The thickness of the insulating layer can be, for example, 1 μm or more and 500 μm or less, 1 μm or more and 300 μm or less, or 1 μm or more and 50 μm or less.

絶縁層の形成方法としては、パッド開口部を有する絶縁層を形成することができる方法であればよく、一般的な絶縁層の形成方法を採用することができ、絶縁層の材料等に応じて適宜選択される。例えば、感光性樹脂組成物を用いたフォトリソグラフィ法、塗布法や乾式成膜法等により絶縁膜を形成した後、フォトリソグラフィ法により絶縁膜をパターニングする方法、あるいは印刷法等が挙げられる。絶縁層がオーバーハング形状を有する場合には、感光性樹脂組成物を用いたフォトリソグラフィ法が好ましい。オーバーハング形状を有する絶縁層を容易に形成することができるからである。 The method for forming the insulating layer may be any method that can form an insulating layer having a pad opening, and a general method for forming an insulating layer may be adopted, depending on the material etc. of the insulating layer. Selected appropriately. Examples include a method in which an insulating film is formed by a photolithography method using a photosensitive resin composition, a coating method, a dry film forming method, etc., and then patterned by a photolithography method, or a printing method. When the insulating layer has an overhang shape, a photolithography method using a photosensitive resin composition is preferred. This is because an insulating layer having an overhang shape can be easily formed.

3.配線層
本開示における配線層は、基材の第1面側に配置され、パッド部を含む部材である。
3. Wiring Layer The wiring layer in the present disclosure is a member that is disposed on the first surface side of the base material and includes a pad portion.

配線層の材料としては、導電性を有する材料であれば特に限定されず、一般的な配線層に用いられる導電性材料を使用することができる。配線層に用いられる導電性材料としては、例えば、銅、モリブデン、チタン、タングステン、タンタル、アルミニウム、金、銀、ニッケル、パラジウム等の金属、これらの金属から選択される少なくとも1つを含む合金、あるいは酸化インジウム錫(ITO)、酸化インジウム亜鉛(IZO)等の金属酸化物を用いることができる。導電性が高い銅やアルミニウムを用いることで、抵抗の増大を抑制することができる。また、比較的硬度が低い銅を用いることで、より信頼性が高い電気的接続が構築可能な配線基板を提供することができる。 The material for the wiring layer is not particularly limited as long as it has conductivity, and conductive materials commonly used for wiring layers can be used. Examples of the conductive material used in the wiring layer include metals such as copper, molybdenum, titanium, tungsten, tantalum, aluminum, gold, silver, nickel, and palladium; alloys containing at least one selected from these metals; Alternatively, metal oxides such as indium tin oxide (ITO) and indium zinc oxide (IZO) can be used. By using highly conductive copper or aluminum, it is possible to suppress an increase in resistance. Furthermore, by using copper, which has relatively low hardness, it is possible to provide a wiring board on which more reliable electrical connections can be established.

配線層は、単層であってもよく、複数の層が積層された多層であってもよい。 The wiring layer may be a single layer or a multilayer in which a plurality of layers are laminated.

配線層の厚さとしては、一般的な配線基板における配線層の厚さと同様とすることができる。配線層の厚さは、例えば、0.05μm以上100μm以下とすることができ、0.1μm以上50μm以下であってもよく、0.2μm以上10μm以下であってもよい。これにより、十分な導電性を得ることができる。 The thickness of the wiring layer can be the same as the thickness of the wiring layer in a general wiring board. The thickness of the wiring layer may be, for example, 0.05 μm or more and 100 μm or less, 0.1 μm or more and 50 μm or less, or 0.2 μm or more and 10 μm or less. Thereby, sufficient conductivity can be obtained.

配線層の形成方法としては、一般的な配線層の形成方法を用いることができ、例えば、CVD法やスパッタリング法等のPVD法の乾式成膜法、めっき法等により導電膜を形成した後、フォトリソグラフィ法により導電膜をパターニングする方法、金属箔をフォトリソグラフィ法によりパターニングする方法等が挙げられる。 As a method for forming the wiring layer, a general method for forming a wiring layer can be used. For example, after forming a conductive film by a dry film forming method of a PVD method such as a CVD method or a sputtering method, or a plating method, Examples include a method of patterning a conductive film using a photolithography method, a method of patterning a metal foil using a photolithography method, and the like.

4.基材
本開示における基材は、第1面および上記第1面に対向する第2面を有しており、上記の絶縁層、配線層および導電層を支持する部材である。
4. Base Material The base material in the present disclosure has a first surface and a second surface opposite to the first surface, and is a member that supports the above-mentioned insulating layer, wiring layer, and conductive layer.

基材としては、絶縁性を有するものであれば特に限定されず、一般的に配線基板に用いられる絶縁性基材を用いることができる。例えば、ガラス基材、ガラスエポキシ基材、ガラスコンポジット基材、アルミナ基材等のセラミックス基材、フッ素樹脂基材、ポリイミド基材等の樹脂基材、紙フェノール基材等が挙げられる。 The base material is not particularly limited as long as it has insulating properties, and insulating base materials commonly used for wiring boards can be used. Examples include glass substrates, glass epoxy substrates, glass composite substrates, ceramic substrates such as alumina substrates, resin substrates such as fluororesin substrates and polyimide substrates, and paper phenol substrates.

後述するように、本開示における配線基板が、基材の貫通孔に配置された貫通配線を有する場合、基材は貫通孔を有する。 As described later, when the wiring board according to the present disclosure has through wiring arranged in a through hole of a base material, the base material has the through hole.

貫通孔の径の大きさは、配線基板の用途に応じて適宜選択することができ、特に限定されないが、例えば、10μm以上1000μm以下であってもよく、20μm以上500μm以下であってもよい。 The diameter of the through hole can be appropriately selected depending on the use of the wiring board, and is not particularly limited, but may be, for example, 10 μm or more and 1000 μm or less, or 20 μm or more and 500 μm or less.

貫通孔の形成方法としては、例えば、プラズマエッチングやウェットエッチング等のエッチング、レーザ照射、またはサンドブラストや超音波ドリル等の機械的な加工法が挙げられる。 Examples of methods for forming the through holes include etching such as plasma etching and wet etching, laser irradiation, and mechanical processing methods such as sandblasting and ultrasonic drilling.

基材の厚さは、上記の絶縁層、配線層および導電層を支持することができれば特に限定されず、配線基板の用途に応じて適宜選択することができる。基材の厚さは、例えば、10μm以上1000μm以下とすることができ、100μm以上800μm以下であってもよく、200μm以上600μm以下であってもよい。 The thickness of the base material is not particularly limited as long as it can support the above-mentioned insulating layer, wiring layer, and conductive layer, and can be appropriately selected depending on the use of the wiring board. The thickness of the base material may be, for example, 10 μm or more and 1000 μm or less, 100 μm or more and 800 μm or less, or 200 μm or more and 600 μm or less.

5.保護層
本開示における配線基板は、上記配線層の上記パッド部の上記基材側の面とは反対の面側に配置された保護層をさらに有していてもよい。保護層が配置されていることにより、配線層の酸化等の腐食を抑制し、配線層を保護することができる。例えば、図4および図6においては、配線層3のパッド部13の基材2側の面とは反対の面側に、保護層6が配置されている。
5. Protective Layer The wiring board according to the present disclosure may further include a protective layer disposed on a surface of the wiring layer opposite to the surface of the pad portion on the base material side. By disposing the protective layer, corrosion such as oxidation of the wiring layer can be suppressed and the wiring layer can be protected. For example, in FIGS. 4 and 6, the protective layer 6 is disposed on the surface of the pad portion 13 of the wiring layer 3 opposite to the surface on the base material 2 side.

保護層の材料としては、配線層のパッド部の腐食を抑制することができる材料であればよく、一般的に配線基板において配線層の保護層に用いられる材料を使用することができる。保護層の材料としては、例えば、はんだ、フラックス、金等が挙げられる。 The material for the protective layer may be any material that can suppress corrosion of the pad portion of the wiring layer, and materials that are generally used for the protective layer of the wiring layer in wiring boards can be used. Examples of the material for the protective layer include solder, flux, and gold.

中でも、保護層の材料は、上記導電層の材料と同一であることが好ましい。導電層および保護層を同時に形成することができるため、製造工程を簡略化することができるともに、製造コストを削減することができる。導電層および保護層の材料が同一である場合、保護層の材料としては、上記導電層の材料を用いることができる。 Among these, the material of the protective layer is preferably the same as the material of the conductive layer. Since the conductive layer and the protective layer can be formed simultaneously, the manufacturing process can be simplified and manufacturing costs can be reduced. When the materials of the conductive layer and the protective layer are the same, the material of the conductive layer described above can be used as the material of the protective layer.

保護層の厚さとしては、一般的な配線基板における配線層の保護層の厚さと同様とすることができる。また、導電層および保護層の材料が同一である場合には、保護層の厚さは、上記導電層の厚さと同様とすることができる。 The thickness of the protective layer can be the same as the thickness of the protective layer of the wiring layer in a general wiring board. Further, when the conductive layer and the protective layer are made of the same material, the thickness of the protective layer can be the same as the thickness of the conductive layer described above.

保護層の形成方法としては、一般的な配線層の保護層の形成方法を用いることができ、保護層の材料に応じて適宜選択される。例えば、はんだレベラー処理、プリフラックス処理、めっき処理等の表面処理法が挙げられる。また、導電層および保護層の材料が同一である場合には、保護層の形成方法は、上記導電層の形成方法と同様とすることができる。 As a method for forming the protective layer, a general method for forming a protective layer for a wiring layer can be used, and is appropriately selected depending on the material of the protective layer. Examples include surface treatment methods such as solder leveler treatment, preflux treatment, and plating treatment. Further, when the materials of the conductive layer and the protective layer are the same, the method of forming the protective layer can be the same as the method of forming the conductive layer described above.

6.その他の構成
本開示における配線基板は、基材の第1面側のみに配線層が配置されている、片面配線基板または多層配線基板であってもよく、基材の第1面側および第2面側に配線層が配置されている、両面配線基板または多層配線基板であってもよい。
6. Other Configurations The wiring board according to the present disclosure may be a single-sided wiring board or a multilayer wiring board in which a wiring layer is arranged only on the first surface side of the base material, or a wiring board on the first surface side and the second It may be a double-sided wiring board or a multilayer wiring board in which a wiring layer is arranged on the surface side.

本開示における配線基板が、基材の第1面側のみに配線層が配置されている多層配線基板である場合、基材の第1面側に配置された複数の配線層および複数の絶縁層を有することができる。配線基板が、基材の第1面側に配置された複数の配線層および複数の絶縁層を有する場合には、最外の絶縁層の基材側の面とは反対の面側の、パッド開口部以外の領域に導電層が配置される。 When the wiring board according to the present disclosure is a multilayer wiring board in which wiring layers are arranged only on the first surface side of the base material, a plurality of wiring layers and a plurality of insulating layers are arranged on the first surface side of the base material. can have. When the wiring board has a plurality of wiring layers and a plurality of insulating layers arranged on the first surface side of the base material, a pad on the side of the outermost insulating layer opposite to the surface on the base material side. A conductive layer is arranged in a region other than the opening.

本開示における配線基板が、基材の第1面側および第2面側に配線層が配置されている両面配線基板である場合、配線基板は、上記基材の貫通孔に配置された貫通配線と、上記基材の上記第2面側に配置され、第2パッド部を含む第2配線層と、上記基材の上記第2面側に配置され、上記第2パッド部上に位置する第2パッド開口部を有する第2絶縁層と、上記第2絶縁層の上記基材側の面とは反対の面側の、上記第2パッド開口部以外の領域に配置された第2導電層と、をさらに有することができる。上記第2導電層は、配線として機能せず、接地されていない。 When the wiring board according to the present disclosure is a double-sided wiring board in which wiring layers are arranged on the first surface side and the second surface side of the base material, the wiring board includes through-hole wiring arranged in the through hole of the base material. a second wiring layer disposed on the second surface side of the base material and including a second pad portion; and a second wiring layer disposed on the second surface side of the base material and located on the second pad portion. a second insulating layer having two pad openings; and a second conductive layer disposed in a region other than the second pad opening on the side of the second insulating layer opposite to the base material side. , may further have. The second conductive layer does not function as a wiring and is not grounded.

図7は、本開示における配線基板の他の例を示す概略断面図である。図7に示すように、配線基板1は、第1面2aおよび第1面2aに対向する第2面2bを有する基材2と、基材2の第1面2a側に配置され、第1パッド部13aを含む第1配線層3aと、基材2の第1面2a側に配置され、第1パッド部13a上に位置する第1パッド開口部14aを有する第1絶縁層4aと、第1絶縁層4aの基材2側の面とは反対の面側の、第1パッド開口部14a以外の領域に配置された第1導電層5aと、基材2の貫通孔2cに配置された貫通配線10と、基材2の第2面2b側に配置され、第2パッド部13bを含む第2配線層3bと、基材2の第2面2b側に配置され、第2パッド部13b上に位置する第2パッド開口部14bを有する第2絶縁層4bと、第2絶縁層4bの基材2側の面とは反対の面側の、第2パッド開口部14b以外の領域に配置された第2導電層5bと、を有する。第1導電層5aおよび第2導電層5bは、配線として機能せず、接地されていない。 FIG. 7 is a schematic cross-sectional view showing another example of the wiring board according to the present disclosure. As shown in FIG. 7, the wiring board 1 includes a base material 2 having a first surface 2a and a second surface 2b opposite to the first surface 2a; a first wiring layer 3a including a pad portion 13a; a first insulating layer 4a disposed on the first surface 2a side of the base material 2 and having a first pad opening 14a located above the first pad portion 13a; The first conductive layer 5a is disposed in a region other than the first pad opening 14a on the side of the first insulating layer 4a opposite to the base material 2 side, and the first conductive layer 5a is disposed in the through hole 2c of the base material 2. a second wiring layer 3b disposed on the second surface 2b side of the base material 2 and including a second pad portion 13b; A second insulating layer 4b having a second pad opening 14b located above, and a region other than the second pad opening 14b on the side of the second insulating layer 4b opposite to the surface on the base material 2 side. and a second conductive layer 5b. The first conductive layer 5a and the second conductive layer 5b do not function as wiring and are not grounded.

なお、本明細書において、基材の第1面側に配置された配線層を第1配線層と称し、基材の第1面側に配置されたパッド部を第1パッド部と称し、基材の第1面側に配置された絶縁層を第1絶縁層と称し、基材の第1面側に配置されたパッド開口部を第1パッド開口部と称する場合がある。また、基材の第2面側に配置された配線層を第2配線層と称し、基材の第2面側に配置されたパッド部を第2パッド部と称し、基材の第2面側に配置された絶縁層を第2絶縁層と称し、基材の第2面側に配置されたパッド開口部を第2パッド開口部と称する。 In this specification, the wiring layer disposed on the first surface side of the base material is referred to as a first wiring layer, the pad section disposed on the first surface side of the base material is referred to as a first pad section, and The insulating layer disposed on the first surface side of the substrate may be referred to as a first insulating layer, and the pad opening disposed on the first surface side of the base material may be referred to as a first pad opening. Further, the wiring layer disposed on the second surface side of the base material is referred to as a second wiring layer, the pad section disposed on the second surface side of the base material is referred to as a second pad section, and the second surface side of the base material The insulating layer disposed on the side is referred to as a second insulating layer, and the pad opening disposed on the second surface side of the base material is referred to as a second pad opening.

(1)第2導電層
本開示における第2導電層は、第2絶縁層の基材側の面とは反対の面側の、第2パッド開口部以外の領域に配置され、配線として機能せず、接地されていない部材である。
(1) Second conductive layer The second conductive layer in the present disclosure is disposed in a region other than the second pad opening on the side of the second insulating layer opposite to the base material side, and functions as a wiring. First, it is a member that is not grounded.

なお、第2導電層が、配線として機能せず、接地されていないことについては、第1導電層と同様とすることができる。 Note that the second conductive layer may be the same as the first conductive layer in that it does not function as a wiring and is not grounded.

また、第2導電層の配置、シート抵抗、材料、厚さ、形成方法等は、第1導電層の配置、シート抵抗、材料、厚さ、形成方法等と同様とすることができる。 Further, the arrangement, sheet resistance, material, thickness, formation method, etc. of the second conductive layer can be the same as the arrangement, sheet resistance, material, thickness, formation method, etc. of the first conductive layer.

(2)貫通配線
本開示における貫通配線は、上記基材の貫通孔に配置される部材である。
(2) Penetrating Wiring The penetrating wiring in the present disclosure is a member disposed in the through hole of the base material.

貫通配線としては、基材の第1面および第2面を電気的に接続することができる配線であればよく、その形態としては特に限定されない。貫通配線の形態としては、例えば、基材の貫通孔を充填する貫通配線、いわゆるフィルドビアであってもよく、基材の貫通孔の側壁のみに配置された貫通配線、いわゆるコンフォーマルビアであってもよい。また、貫通配線がコンフォーマルビアである場合、貫通孔内に中空部が配置されていてもよく、貫通孔内が樹脂部で充填されていてもよい。 The through wiring may be any wiring that can electrically connect the first surface and the second surface of the base material, and its form is not particularly limited. The form of the through wiring may be, for example, a through wiring that fills a through hole in a base material, a so-called filled via, or a through wiring that is placed only on the side wall of a through hole in a base material, a so-called conformal via. Good too. Further, when the through wiring is a conformal via, a hollow portion may be disposed within the through hole, and the inside of the through hole may be filled with a resin portion.

貫通配線がコンフォーマルビアである場合において、貫通孔内に中空部が配置されている場合、貫通配線は、第1配線層や第2配線層と一体として形成することができる。 When the through wiring is a conformal via and a hollow portion is arranged in the through hole, the through wiring can be formed integrally with the first wiring layer and the second wiring layer.

貫通配線の材料としては、導電性を有する材料であれば特に限定されず、一般的な貫通配線に用いられる導電性材料を使用することができ、貫通配線の形態や形成方法等に応じて適宜選択される。貫通配線の材料としては、例えば、銅、金、銀、白金、ロジウム、スズ、アルミニウム、ニッケル、クロム等の金属、またはこれらの金属を含む合金等を挙げることができる。 The material for the through wiring is not particularly limited as long as it is a conductive material, and any conductive material used for general through wiring can be used. selected. Examples of the material for the through wiring include metals such as copper, gold, silver, platinum, rhodium, tin, aluminum, nickel, and chromium, and alloys containing these metals.

貫通配線は、単層であってもよく、複数の層が積層された多層であってもよい。例えば、貫通配線は、基材の貫通孔の側壁に配置されたシード層と、シード層の貫通孔の側壁側とは反対側の面に配置されためっき層とを有していてもよい。シード層の材料としては、一般的なめっき法におけるシード層に用いられる材料から適宜選択することができる。シード層の材料は、基材に対して密着性を有する導電性材料であることが好ましく、例えば、チタン、モリブデン、タングステン、タンタル、ニッケル、クロム、アルミニウム、これらの化合物、これらの合金等を挙げることができる。めっき層が銅を含む場合、シード層の材料は、銅が基材の内部に拡散するのを抑制することができる材料であることが好ましく、例えば、窒化チタン、窒化モリブデン、窒化タンタル等を挙げることができる。めっき層の材料としては、シード層に対して密着性を有する導電性材料であることが好ましく、例えば、上述した貫通配線の材料を挙げることができる。 The through wiring may be a single layer or may be a multilayer structure in which a plurality of layers are laminated. For example, the through wiring may include a seed layer disposed on the side wall of the through hole of the base material, and a plating layer disposed on the surface of the seed layer opposite to the side wall of the through hole. The material for the seed layer can be appropriately selected from materials used for seed layers in general plating methods. The material of the seed layer is preferably a conductive material that has adhesiveness to the base material, such as titanium, molybdenum, tungsten, tantalum, nickel, chromium, aluminum, compounds thereof, alloys thereof, etc. be able to. When the plating layer contains copper, the material of the seed layer is preferably a material that can suppress diffusion of copper into the interior of the base material, such as titanium nitride, molybdenum nitride, tantalum nitride, etc. be able to. The material for the plating layer is preferably a conductive material that has adhesion to the seed layer, and examples thereof include the above-mentioned through-wiring material.

また、貫通配線がコンフォーマルビアである場合において、貫通孔内が樹脂部で充填されている場合、樹脂部の材料としては、例えば、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、ポリイミド、ポリアミド、ポリエステル等を挙げることができる。 In addition, when the through wiring is a conformal via and the through hole is filled with a resin part, examples of the material of the resin part include epoxy resin, acrylic resin, polyimide, polyamide, polyester, etc. I can do it.

貫通配線の形成方法としては、一般的な貫通配線の形成方法を用いることができ、貫通配線の形態等に応じて適宜選択される。貫通配線の形成方法としては、例えば、真空蒸着法やスパッタリング法等のPVD法、CVD法、めっき法等が挙げられる。 As the method for forming the through wiring, a general method for forming a through wiring can be used, and is appropriately selected depending on the form of the through wiring and the like. Examples of methods for forming the through wiring include PVD methods such as vacuum evaporation and sputtering, CVD, and plating.

(3)第2配線層
本開示における第2配線層は、基材の第2面側に配置され、第2パッド部を含む部材である。
(3) Second Wiring Layer The second wiring layer in the present disclosure is a member that is disposed on the second surface side of the base material and includes a second pad portion.

第2配線層は、単層であってもよく、複数の層が積層された多層であってもよい。 The second wiring layer may be a single layer or a multilayer in which a plurality of layers are laminated.

第2配線層の材料、厚さ、形成方法等は、第1配線層の材料、厚さ、形成方法等と同様とすることができる。 The material, thickness, formation method, etc. of the second wiring layer can be the same as the material, thickness, formation method, etc. of the first wiring layer.

第2配線層の第2パッド部のピッチおよび大きさは、特に限定されず、例えば第1配線層の第1パッド部のピッチおよび大きさと同じであってもよく、異なっていてもよい。 The pitch and size of the second pad portions of the second wiring layer are not particularly limited, and may be, for example, the same as or different from the pitch and size of the first pad portions of the first wiring layer.

(4)第2絶縁層
本開示における第2絶縁層は、基材の第2面側に配置され、第2パッド部上に位置する第2パッド開口部を有する部材である。
(4) Second Insulating Layer The second insulating layer in the present disclosure is a member that is disposed on the second surface side of the base material and has a second pad opening located above the second pad portion.

第2絶縁層の材料、厚さ、形成方法等は、第1絶縁層の材料、厚さ、形成方法等と同様とすることができる。 The material, thickness, forming method, etc. of the second insulating layer can be the same as the material, thickness, forming method, etc. of the first insulating layer.

B.実装基板
本開示における実装基板は、上述の配線基板と、上記配線基板のパッド部に実装された素子と、を有する。
B. Mounting Board The mounting board in the present disclosure includes the above-described wiring board and an element mounted on a pad portion of the wiring board.

図8は、本開示における実装基板の一例を示す概略断面図である。図8に示すように、実装基板20は、配線基板1と、配線基板1のパッド部13に接合部材22を介して実装された素子21と、を有する。なお、配線基板1の構成は、上述の図1に示す配線基板1と同様である。 FIG. 8 is a schematic cross-sectional view showing an example of a mounting board according to the present disclosure. As shown in FIG. 8, the mounting board 20 includes a wiring board 1 and an element 21 mounted on the pad portion 13 of the wiring board 1 via a bonding member 22. Note that the configuration of the wiring board 1 is similar to the wiring board 1 shown in FIG. 1 described above.

本開示によれば、上述の配線基板を有することにより、簡素な構成で、素子の実装時の静電破壊を抑制することが可能である。 According to the present disclosure, by having the above-described wiring board, it is possible to suppress electrostatic damage during mounting of elements with a simple configuration.

以下、本開示における実装基板について説明する。 The mounting board in the present disclosure will be described below.

本開示における実装基板を構成する配線基板は、上述の配線基板と同様であるので、ここでの説明は省略する。 The wiring board constituting the mounting board in the present disclosure is the same as the wiring board described above, so a description thereof will be omitted here.

本開示における素子としては、例えば、IC、トランジスタ、ダイオード等の能動素子や、抵抗、コンデンサ、インダクタ等の受動素子等が挙げられる。また、素子として、例えば、ICチップ、LSIチップ、MEMSチップ等を挙げることもできる。 Examples of elements in the present disclosure include active elements such as ICs, transistors, and diodes, and passive elements such as resistors, capacitors, and inductors. Further, examples of the element include an IC chip, an LSI chip, a MEMS chip, and the like.

配線基板のパッド部に素子を実装する方法としては、例えば、表面実装、フリップチップ実装、ワイヤーボンディング等を用いることができる。 As a method for mounting the element on the pad portion of the wiring board, for example, surface mounting, flip chip mounting, wire bonding, etc. can be used.

配線基板のパッド部には接合部材を介して素子を実装することができる。接合部材としては、一般的に素子の実装に用いられる接合部材を使用することができる。接合部材の材料としては、例えば、はんだ、金や金合金、導電性ペースト、異方性導電ペースト、異方性導電膜等が挙げられる。 Elements can be mounted on the pad portions of the wiring board via bonding members. As the bonding member, a bonding member generally used for mounting elements can be used. Examples of the material for the joining member include solder, gold or gold alloy, conductive paste, anisotropic conductive paste, anisotropic conductive film, and the like.

また、配線基板と素子との間にアンダーフィル樹脂が充填されることで、アンダーフィル樹脂部が配置されていてもよい。また、素子がモールド樹脂で封止されることで、素子を覆うようにモールド樹脂部が配置されていてもよい。 Further, an underfill resin portion may be arranged by filling an underfill resin between the wiring board and the element. Further, the element may be sealed with mold resin, so that the mold resin portion may be disposed to cover the element.

本開示においては、配線基板の表面に素子が実装されるだけではなく、素子内蔵基板(部品内蔵基板)にも適用することができる。 The present disclosure can be applied not only to devices mounted on the surface of a wiring board but also to an element-embedded board (component-embedded board).

C.配線基板の製造方法
本開示における配線基板の製造方法は、第1面および上記第1面に対向する第2面を有する基材の上記第1面に、パッド部を含む配線層を形成する配線層形成工程と、上記基材の上記第1面に、上記パッド部上に位置するパッド開口部を有する絶縁層を形成する絶縁層形成工程と、上記絶縁層の上記基材側の面とは反対の面の、上記パッド開口部以外の領域に、導電層を形成する導電層形成工程と、上記配線層の上記パッド部の上記基材側の面とは反対の面に、保護層を形成する保護層形成工程と、を有する配線基板の製造方法であって、上記導電層は、配線として機能せず、接地されていなく、上記絶縁層形成工程では、オーバーハング形状を有する上記絶縁層を形成し、上記導電層形成工程および上記保護層形成工程では、同一の材料を用いて、乾式成膜法により、上記導電層および上記保護層を同時に形成する。
C. Method for Manufacturing a Wiring Board A method for manufacturing a wiring board according to the present disclosure includes wiring that forms a wiring layer including a pad portion on the first surface of a base material having a first surface and a second surface opposite to the first surface. A layer forming step, an insulating layer forming step of forming an insulating layer having a pad opening located on the pad portion on the first surface of the base material, and a surface of the insulating layer on the base material side. A conductive layer forming step of forming a conductive layer in a region other than the pad opening on the opposite surface, and forming a protective layer on a surface of the wiring layer opposite to the surface of the pad portion on the base material side. a protective layer forming step, wherein the conductive layer does not function as a wiring and is not grounded, and the insulating layer forming step includes forming the insulating layer having an overhang shape. In the conductive layer forming step and the protective layer forming step, the conductive layer and the protective layer are simultaneously formed using the same material by a dry film forming method.

図5(a)~(c)は、本開示における配線基板の製造方法の一例を示す工程図である。まず、図5(a)に示すように、基材2の第1面2aに配線層3を形成する。次いで、図5(b)に示すように、基材2の第1面2aに、配線層3のパッド部13上に位置するパッド開口部14を有し、オーバーハング形状を有する絶縁層4を形成する。次に、図5(c)に示すように、配線層3のパッド部13および絶縁層4上に導電性材料をスパッタリング法等により蒸着して、絶縁層4上に導電層5を形成するとともに配線層3のパッド部13上に保護層6を形成する。 FIGS. 5A to 5C are process diagrams illustrating an example of a method for manufacturing a wiring board according to the present disclosure. First, as shown in FIG. 5(a), the wiring layer 3 is formed on the first surface 2a of the base material 2. Next, as shown in FIG. 5(b), an insulating layer 4 having an overhang shape and having a pad opening 14 located above the pad portion 13 of the wiring layer 3 is formed on the first surface 2a of the base material 2. Form. Next, as shown in FIG. 5C, a conductive material is deposited on the pad portion 13 of the wiring layer 3 and the insulating layer 4 by sputtering or the like to form a conductive layer 5 on the insulating layer 4. A protective layer 6 is formed on the pad portion 13 of the wiring layer 3.

本開示によれば、絶縁層の基材側の面とは反対の面側の、パッド開口部以外の領域に導電層を形成し、配線基板の最表面に導電層を配置するため、本開示における配線基板に素子を実装する際に、静電破壊が起きるのを抑制することが可能である。 According to the present disclosure, the conductive layer is formed in a region other than the pad opening on the side of the insulating layer opposite to the base material side, and the conductive layer is disposed on the outermost surface of the wiring board. It is possible to suppress electrostatic damage from occurring when mounting elements on a wiring board.

また、本開示によれば、導電層は、絶縁層の基材側の面とは反対の面側の、パッド開口部以外の領域に形成するため、従来の保護素子のように複雑な設計やスペースを要することがないことから、簡素な構成で静電破壊を抑制することができ、簡便な工程で製造可能であり、製造コストを削減することができる。 Further, according to the present disclosure, the conductive layer is formed in a region other than the pad opening on the side of the insulating layer opposite to the base material side. Since no space is required, electrostatic damage can be suppressed with a simple configuration, and it can be manufactured using a simple process, and manufacturing costs can be reduced.

また、本開示においては、絶縁層がオーバーハング形状を有することにより、導電層および保護層の形成時に、導電層および保護層がつながって形成されるのを防ぎ、導電層および保護層が電気的に接続されるのを防ぐことができる。また、フォトリソグラフィ法のようにエッチングを行う必要がないことから、エッチング残渣がなく、エッチング残渣による信頼性の低下を回避することができ、信頼性を高めることができる。 Further, in the present disclosure, the insulating layer has an overhang shape, so that the conductive layer and the protective layer are prevented from being connected to each other when the conductive layer and the protective layer are formed, and the conductive layer and the protective layer are electrically can be prevented from being connected to. Further, since there is no need to perform etching as in the case of photolithography, there is no etching residue, and a decrease in reliability due to etching residue can be avoided and reliability can be improved.

さらに、本開示によれば、絶縁層がオーバーハング形状を有することにより、本開示における配線基板のパッド部に接合部材を介して素子を実装した場合に、絶縁層のオーバーハング部分に接合部材がひっかかることで、素子を外れにくくすることができる。 Further, according to the present disclosure, since the insulating layer has an overhang shape, when an element is mounted on the pad portion of the wiring board according to the present disclosure via the bonding member, the bonding member is attached to the overhang portion of the insulating layer. By being caught, it is possible to prevent the element from coming off.

なお、各工程における各層の形成方法については、上記「A.配線基板」の項に記載したので、ここでの説明は省略する。 Note that the method for forming each layer in each step was described in the section "A. Wiring board" above, so the explanation here will be omitted.

なお、本開示は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり、本開示の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本開示の技術的範囲に包含される。 Note that the present disclosure is not limited to the above embodiments. The above-mentioned embodiments are illustrative, and any embodiment that has substantially the same configuration as the technical idea stated in the claims of the present disclosure and provides similar effects is the present invention. within the technical scope of the disclosure.

1 … 配線基板
2 … 基材
2a … 基材の第1面
2b … 基材の第2面
3 … 配線層
4 … 絶縁層
5 … 導電層
6 … 保護層
13 … パッド部
14 … パッド開口部
20 … 実装基板
21 … 素子
1... Wiring board 2... Base material 2a... First surface of base material 2b... Second surface of base material 3... Wiring layer 4... Insulating layer 5... Conductive layer 6... Protective layer 13... Pad portion 14... Pad opening 20 ... Mounting board 21 ... Element

Claims (9)

第1面および前記第1面に対向する第2面を有する基材と、
前記基材の前記第1面側に配置され、パッド部を含む配線層と、
前記基材の前記第1面側に配置され、前記パッド部上に位置するパッド開口部を有する絶縁層と、
前記絶縁層の前記基材側の面とは反対の面側の、前記パッド開口部以外の領域に配置された導電層と、
を有し、
前記配線層の前記パッド部の前記基材側の面とは反対の面側に配置された保護層をさらに有し、前記導電層および前記保護層の材料が同一であり、
前記導電層は、配線として機能せず、接地されていない、配線基板。
a base material having a first surface and a second surface opposite to the first surface;
a wiring layer disposed on the first surface side of the base material and including a pad portion;
an insulating layer disposed on the first surface side of the base material and having a pad opening located above the pad portion;
a conductive layer disposed in a region other than the pad opening on the side of the insulating layer opposite to the surface on the base material side;
has
further comprising a protective layer disposed on a surface of the pad portion of the wiring layer opposite to the surface on the base material side, the conductive layer and the protective layer are made of the same material;
A wiring board in which the conductive layer does not function as a wiring and is not grounded.
前記導電層が、前記絶縁層の前記基材側の面とは反対の面側の、前記パッド開口部以外の領域であって、前記配線基板の端部に配置されている、請求項1に記載の配線基板。 2. The conductive layer according to claim 1, wherein the conductive layer is disposed at an end of the wiring board in a region other than the pad opening on a side of the insulating layer opposite to the base material side. The wiring board described. 前記導電層が、前記絶縁層の前記基材側の面とは反対の面側の、前記パッド開口部以外の領域であって、前記パッド開口部の周囲に配置されている、請求項1または請求項2に記載の配線基板。 2. The conductive layer is disposed around the pad opening in a region other than the pad opening on a side of the insulating layer opposite to the base material side. The wiring board according to claim 2. 前記導電層が、前記絶縁層の前記基材側の面とは反対の面側の、前記パッド開口部以外の領域に全体的に配置されている、請求項1から請求項3までのいずれかの請求項に記載
の配線基板。
Any one of claims 1 to 3, wherein the conductive layer is entirely disposed in a region other than the pad opening on a side of the insulating layer opposite to the base material side. A wiring board according to claim 1.
前記導電層が、金属膜または金属酸化物膜である、請求項1から請求項4までのいずれかの請求項に記載の配線基板。 The wiring board according to any one of claims 1 to 4, wherein the conductive layer is a metal film or a metal oxide film. 前記絶縁層が、オーバーハング形状を有する、請求項1から請求項5までのいずれかの請求項に記載の配線基板。 The wiring board according to any one of claims 1 to 5, wherein the insulating layer has an overhang shape. 前記基材の貫通孔に配置された貫通配線と、
前記基材の前記第2面側に配置され、第2パッド部を含む第2配線層と、
前記基材の前記第2面側に配置され、前記第2パッド部上に位置する第2パッド開口部を有する第2絶縁層と、
前記第2絶縁層の前記基材側の面とは反対の面側の、前記第2パッド開口部以外の領域に配置された第2導電層と、
をさらに有し、前記第2導電層は、配線として機能せず、接地されていない、請求項1から請求項6までのいずれかの請求項に記載の配線基板。
a through wiring arranged in the through hole of the base material;
a second wiring layer disposed on the second surface side of the base material and including a second pad portion;
a second insulating layer disposed on the second surface side of the base material and having a second pad opening located above the second pad portion;
a second conductive layer disposed in a region other than the second pad opening on the side of the second insulating layer opposite to the surface on the base material side;
The wiring board according to any one of claims 1 to 6 , further comprising: the second conductive layer does not function as a wiring and is not grounded.
請求項1から請求項7までのいずれかの請求項に記載の配線基板と、
前記配線基板のパッド部に実装された素子と、
を有する、実装基板。
A wiring board according to any one of claims 1 to 7 ,
an element mounted on a pad portion of the wiring board;
A mounting board with.
第1面および前記第1面に対向する第2面を有する基材の前記第1面に、パッド部を含む配線層を形成する配線層形成工程と、
前記基材の前記第1面に、前記パッド部上に位置するパッド開口部を有する絶縁層を形成する絶縁層形成工程と、
前記絶縁層の前記基材側の面とは反対の面の、前記パッド開口部以外の領域に、導電層を形成する導電層形成工程と、
前記配線層の前記パッド部の前記基材側の面とは反対の面に、保護層を形成する保護層形成工程と、
を有する配線基板の製造方法であって、
前記導電層は、配線として機能せず、接地されていなく、
前記絶縁層形成工程では、オーバーハング形状を有する前記絶縁層を形成し、
前記導電層形成工程および前記保護層形成工程では、同一の材料を用いて、乾式成膜法により、前記導電層および前記保護層を同時に形成する、配線基板の製造方法。
a wiring layer forming step of forming a wiring layer including a pad portion on the first surface of a base material having a first surface and a second surface opposite to the first surface;
an insulating layer forming step of forming an insulating layer on the first surface of the base material, the insulating layer having a pad opening located above the pad portion;
a conductive layer forming step of forming a conductive layer in a region other than the pad opening on a surface of the insulating layer opposite to the base material side;
a protective layer forming step of forming a protective layer on a surface of the pad portion of the wiring layer opposite to the surface on the base material side;
A method for manufacturing a wiring board, comprising:
The conductive layer does not function as a wiring and is not grounded,
In the insulating layer forming step, forming the insulating layer having an overhang shape,
In the conductive layer forming step and the protective layer forming step, the conductive layer and the protective layer are simultaneously formed using the same material by a dry film forming method.
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