JP7458824B2 - Printed wiring board and method for manufacturing printed wiring board - Google Patents
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Description
本開示は、印刷配線板及び印刷配線板の製造方法に関する。 The present disclosure relates to a printed wiring board and a method of manufacturing the printed wiring board.
従来、絶縁層により隔てられた複数の回路層を有し、この複数の回路層がビアやスルーホールによって電気的に接続されることで立体的な回路を形成している印刷配線板がある(例えば、特許文献1)。このような多層の印刷配線板を形成する方法としては、回路層が形成されたコア層の表面に、絶縁層及び導体層を有するビルドアップ層を積層させていく方法が知られている。ビルドアップ層の絶縁層としては、ガラスクロス等の基材に樹脂を含浸させたものが広く用いられている。 Conventionally, there are printed wiring boards that have multiple circuit layers separated by insulating layers, and these multiple circuit layers are electrically connected by vias or through holes to form a three-dimensional circuit (for example, Patent Document 1). A method for forming such a multilayer printed wiring board is known in which a build-up layer having an insulating layer and a conductor layer is laminated on the surface of a core layer on which a circuit layer is formed. A widely used insulating layer for the build-up layer is a base material such as glass cloth impregnated with resin.
また、高周波信号を伝送するためのアンテナ回路を印刷配線板に形成する場合などにおいて、小型で低損失の伝送線路である導波管を印刷配線板の内部に形成する技術がある。導波管は、印刷配線板の厚さ方向に延びる管状の導体と、この導体の内部を埋める誘電体により構成される。上述したコア層及びビルドアップ層を有する多層の印刷配線板では、コア層に管状のスルーホールを形成するとともに、ビルドアップ層には平面視でスルーホールを囲む位置に複数のビアを形成することで、スルーホール、複数のビア、及びこれらの内部の誘電体により導波管を形成することができる。 Furthermore, when an antenna circuit for transmitting high-frequency signals is formed on a printed wiring board, there is a technique of forming a waveguide, which is a small, low-loss transmission line, inside the printed wiring board. A waveguide is composed of a tubular conductor extending in the thickness direction of a printed wiring board and a dielectric material filling the inside of this conductor. In the multilayer printed wiring board having the core layer and buildup layer described above, a tubular through hole is formed in the core layer, and a plurality of vias are formed in the buildup layer at positions surrounding the through hole in plan view. In this case, a waveguide can be formed by a through hole, a plurality of vias, and a dielectric inside these.
本開示の一態様に係る印刷配線板は、
コア層と、該コア層の第1面に積層された一又は二以上のビルドアップ層と、を備えており、
前記コア層は、コア絶縁層と、スルーホールと、を有し、
前記スルーホールは、管状をなし、前記コア絶縁層を貫通し、前記コア絶縁層の両面に設けられた導体間を電気的に接続するように設けられており、
前記ビルドアップ層は、層間絶縁層と、複数のビアと、を有し、
前記層間絶縁層は、誘電体からなる基材を含有しており、
前記複数のビアは、前記スルーホールに電気的に接続され、前記層間絶縁層を貫通しており、かつ、前記第1面に垂直な方向から見て前記スルーホールを囲む位置に設けられており、
前記層間絶縁層のうち前記複数のビアにより囲まれている領域を第1領域とし、該第1領域を除いた領域を第2領域としたときに、前記第1領域は、前記第2領域よりも前記基材の体積割合が少なく、
前記複数のビアは、前記第1面に垂直な方向から見て各ビアの周縁部の一部が前記スルーホールの内壁に沿うように配置されている。
A printed wiring board according to one embodiment of the present disclosure includes:
The laminated ...
The core layer has a core insulating layer and a through hole,
the through hole is tubular, passes through the core insulating layer, and electrically connects between the conductors provided on both sides of the core insulating layer;
the build-up layer includes an interlayer insulating layer and a plurality of vias;
the interlayer insulating layer contains a base material made of a dielectric,
the vias are electrically connected to the through holes, penetrate the interlayer insulating layer, and are provided at positions surrounding the through holes when viewed from a direction perpendicular to the first surface;
a region of the interlayer insulating layer that is surrounded by the plurality of vias is defined as a first region, and a region excluding the first region is defined as a second region, the first region having a smaller volume ratio of the base material than the second region;
The vias are arranged such that a portion of the periphery of each via runs along the inner wall of the through hole when viewed from a direction perpendicular to the first surface .
また、本開示の他の一の態様に係る印刷配線板の製造方法は、
誘電体からなる基材を含有する第1プリプレグに第1開口を形成する工程と、
コア絶縁層と、前記コア絶縁層を貫通する管状のスルーホールと、を有するコア層に対し、前記コア層の第1面に垂直な方向から見て前記スルーホールと前記第1開口とが重なる位置に前記第1プリプレグを積層させ、前記第1プリプレグに金属箔を積層させて、第1積層体を形成する工程と、
前記第1積層体を加熱及び加圧して、前記第1プリプレグの溶融材料を前記第1開口の内側に充填しつつ前記溶融材料を固化させて、前記コア層上に第1層間絶縁層を形成する工程と、
前記第1面に垂直な方向から見て前記スルーホールを囲む位置に、前記スルーホールのランドから延びて前記スルーホールに電気的に接続され、かつ前記第1層間絶縁層を貫通する複数の第1ビアを形成する工程と、
を含み、
前記複数の第1ビアを形成する工程では、前記第1面に垂直な方向から見て各第1ビアの周縁部の一部が前記スルーホールの内壁に沿う位置に各第1ビアを形成する。
In addition, a method for producing a printed wiring board according to another aspect of the present disclosure includes:
forming a first opening in a first prepreg containing a base material made of a dielectric;
a step of laminating the first prepreg on a core layer having a core insulation layer and a tubular through hole penetrating the core insulation layer at a position where the through hole and the first opening overlap when viewed from a direction perpendicular to a first surface of the core layer, and laminating a metal foil on the first prepreg to form a first laminate;
a step of heating and pressurizing the first laminate to fill the inside of the first opening with a molten material of the first prepreg while solidifying the molten material, thereby forming a first interlayer insulating layer on the core layer;
forming a plurality of first vias extending from lands of the through holes, electrically connected to the through holes, and penetrating the first interlayer insulating layer at positions surrounding the through holes when viewed in a direction perpendicular to the first surface;
Including,
In the step of forming the plurality of first vias, each of the first vias is formed at a position where a portion of a periphery of each of the first vias is along an inner wall of the through hole when viewed in a direction perpendicular to the first surface .
以下、実施の形態を図面に基づいて説明する。但し、各図中の部材の寸法は、実際の構成部材の寸法及び寸法比率などを忠実に表したものではない。 Hereinafter, embodiments will be described based on the drawings. However, the dimensions of the members in each figure do not faithfully represent the dimensions and dimensional ratios of the actual constituent members.
〔印刷配線板の構成〕
図1は、本実施形態に係る印刷配線板1の断面図である。
印刷配線板1は、ミリ波レーダーなどに用いられるアンテナ、及び該アンテナにより受信された信号を伝送する伝送線路が内蔵された基板である。印刷配線板1は、コア層Cと、コア層Cの第1面S1に順に積層された第1ビルドアップ層B1及び第2ビルドアップ層B2と、コア層Cの第2面S2に順に積層された第1ビルドアップ層B1及び第2ビルドアップ層B2と、を備えている。ここで、コア層Cにおいて、第2面S2は第1面S1の反対側に位置する面である。以下では、第1ビルドアップ層B1及び第2ビルドアップ層B2のうち任意の1つを指す場合には「ビルドアップ層B」と記す。本実施形態では、コア層Cの表裏にそれぞれ2層のビルドアップ層Bが積層されている。
また、以下では、印刷配線板1の厚さ方向をZ方向とするXYZ直交座標系で印刷配線板1の各部の向きを説明する。コア層Cの第1面S1及び第2面S2は、XY平面と平行である。図1は、印刷配線板1のY方向と垂直な断面を示す図である。以下では、印刷配線板1を構成する各層の+Z方向を向く面を「上面」とも記し、-Z方向を向く面を「下面」とも記す。
[Configuration of printed wiring board]
FIG. 1 is a cross-sectional view of a printed
The printed
Further, hereinafter, the orientation of each part of the printed
コア層Cは、コア絶縁層20と、コア導体層30と、スルーホール50、51と、を有する。
The core layer C has a
コア絶縁層20は、ここでは3層の層間絶縁層からなる。ただし、これに限られず、2層以下又は4層以上であってもよい。コア絶縁層20の材質は、絶縁性を有するものであれば、特には限られない。コア絶縁層20の材質としては、例えば、エポキシ樹脂、ビスマレイミド-トリアジン樹脂、ポリイミド樹脂、ポリフェニレンエーテル(PPE)樹脂などの有機樹脂などが挙げられる。これらの有機樹脂は2種以上を混合して用いてもよい。層間絶縁層として有機樹脂を使用する場合、有機樹脂に、補強材を配合して使用するのが好ましい。補強材としては、例えば、ガラス繊維及びガラス不織布等のガラスクロス、アラミド不織布及びアラミド繊維等のアラミドクロス、ポリエステル繊維などが挙げられる。これらの補強材は2種以上を併用してもよい。コア絶縁層20は、好ましくはガラスクロスなどのガラス材入り有機樹脂から形成される。さらに、コア絶縁層20には、シリカ、硫酸バリウム、タルク、クレー、ガラス、炭酸カルシウム、酸化チタンなどの無機充填材が含まれていてもよい。
The
コア導体層30は、4層の導体層からなる。すなわち、コア導体層30は、コア絶縁層20の上面に形成された第1層、層間絶縁層間の2つの界面に設けられた第2層及び第3層、コア絶縁層20の下面に形成された第4層からなる。コア導体層30の各導体層は、それぞれ配線パターンをなしている。コア導体層30の材質は、特には限られないが、例えば銅である。コア導体層30における導体層の数は、4層に限られず、コア絶縁層20に含まれる層間絶縁層の数等に応じて3層以下又は5層以上としてもよい。
The
スルーホール50、51は、コア絶縁層20を貫通する貫通孔の内壁面に設けられた管状の導体である。スルーホール50、51は、IVH(Interstitial Via Hole)とも呼ばれる。スルーホール50、51は、コア導体層30の第1層~第4層のうちスルーホール50、51に繋がっている部分同士を電気的に接続する。また、コア導体層30のうち第1層及び第4層の一部により、スルーホール50、51のランドが構成されている。スルーホール50、51の内側は、第1層間絶縁層21と一体的に繋がる絶縁体により埋められている。スルーホール50、51の材質は、特には限られないが、例えば銅である。
スルーホール50は、後述する導波管2の一部を構成する。スルーホール50は、第1面S1に垂直な方向(Z方向)から見て矩形をなしている(図5参照)。
スルーホール51は、コア導体層30の各層間を電気的に接続する目的で設けられている。スルーホール51は、Z方向から見て円形をなしている。
The through
The through
The through
第1ビルドアップ層B1は、コア層Cの第1面S1及び第2面S2にそれぞれ積層されている。第1ビルドアップ層B1は、平板状の第1層間絶縁層21と、導体層31と、ビア41(第1ビア)とを有する。
The first buildup layer B1 is laminated on the first surface S1 and the second surface S2 of the core layer C. The first buildup layer B1 has a flat first
第1層間絶縁層21は、誘電体からなる基材としてのガラスクロスG1を含有する。ガラスクロスG1は、例えば、ガラス繊維である。ガラスクロスG1は、例えば、第1層間絶縁層21の厚さ方向の中心部においてXY平面に沿って面状(平板状)に分布している。ガラスクロスG1は、第1層間絶縁層21を補強する補強材として機能する。第1層間絶縁層21のうちガラスクロスG1を除いた部分は、樹脂R1からなる。樹脂R1は、ガラスクロスG1の繊維内にも含浸されている。樹脂R1の材質は、絶縁性を有するものであれば特には限られない。樹脂R1の材質としては、例えば、エポキシ樹脂、ビスマレイミド-トリアジン樹脂、ポリイミド樹脂、ポリフェニレンエーテル(PPE)樹脂、フェノール樹脂、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)樹脂、ケイ素樹脂、ポリブタジエン樹脂、ポリエステル樹脂、メラミン樹脂、ユリア樹脂、ポリフェニレンサルファイド(PPS)樹脂、ポリフェニレンオキシド(PPO)樹脂などが挙げられる。これらの樹脂は2種以上を混合してもよい。第2層間絶縁層22には、上述の無機充填材、フェノール樹脂やメタクリル樹脂からなる有機充填材が含まれていてもよい。
The first
導体層31は、第1層間絶縁層21のコア層C側とは反対側の面に形成されており、配線パターンをなしている。ビア41は、第1層間絶縁層21を貫通するビア下穴を埋める導体からなり、導体層31と、コア導体層30のうちスルーホール50のランドを形成している部分とを電気的に接続している。導体層31及びビア41は、ビア下穴が空けられた第1層間絶縁層21に対して電解めっきを施すことにより形成される。導体層31の下面と第1層間絶縁層21の上面との間には銅箔70(図8(b)参照)が介在しているが、図1では記載が省略されている。
The
第2ビルドアップ層B2は、2つの第1ビルドアップ層B1の、コア層C側とは反対側にそれぞれ積層されている。第2ビルドアップ層B2は、平板状の第2層間絶縁層22と、導体層32と、ビア42(第2ビア)と、を有する。アンテナ導体は、導体層32で構成される。
The second buildup layer B2 is laminated on the side opposite to the core layer C side of the two first buildup layers B1. The second buildup layer B2 includes a flat second
第2層間絶縁層22の構成は、第1層間絶縁層21と同様、誘電体からなる基材としてのガラスクロスG2と、ガラスクロスG2を除いた部分を埋める樹脂R2とからなる。ガラスクロスG2は、例えば、ガラス繊維である。ガラスクロスG2は、例えば、第2層間絶縁層22の厚さ方向の中心部においてXY平面に沿って面状(平板状)に分布している。ガラスクロスG2は、第2層間絶縁層22を補強する補強材として機能する。ガラスクロスG2の材質は、ガラスクロスG1と同一の材質とすることができるが、これに限られない。樹脂R2の材質は、絶縁性を有するものであれば特には限られない。樹脂R2の材質としては、樹脂R1と同様、例えば、エポキシ樹脂、ビスマレイミド-トリアジン樹脂、ポリイミド樹脂、ポリフェニレンエーテル(PPE)樹脂、フェノール樹脂、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)樹脂、ケイ素樹脂、ポリブタジエン樹脂、ポリエステル樹脂、メラミン樹脂、ユリア樹脂、ポリフェニレンサルファイド(PPS)樹脂、ポリフェニレンオキシド(PPO)樹脂などが挙げられる。これらの樹脂は2種以上を混合してもよい。第2層間絶縁層22には、上述の無機充填材、フェノール樹脂やメタクリル樹脂からなる有機充填材が含まれていてもよい。本実施形態では、樹脂R2の材質として、樹脂R1の材質よりも比誘電率が小さいものが用いられている。ただし、これに限られず、樹脂R1及び樹脂R2の材質が同一であってもよい。
The structure of the second
導体層32は、第2層間絶縁層22の第1ビルドアップ層B1側とは反対側の面に形成されており、配線パターンをなしている。ビア42は、第2層間絶縁層22を貫通するビア下穴を埋める導体からなり、導体層32と、導体層31のうちビア41のランドを形成している部分とを電気的に接続している。よって、ビア42は、ビア41を介してスルーホール50に電気的に接続されている。導体層32及びビア42は、ビア下穴が空けられた第2層間絶縁層22に対して電解めっきを施すことにより形成される。アンテナ導体は、導体層32で形成されている。導体層32の下面と第2層間絶縁層22の上面との間には銅箔70(図8(b)参照)が介在しているが、図1では記載が省略されている。
The
また、印刷配線板1には、コア層C、一対の第1ビルドアップ層B1、及び一対の第2ビルドアップ層B2を貫通するスルーホール52が設けられている。スルーホール52は、印刷配線板1の全体を貫通する貫通孔の内壁面に設けられた管状の導体であり、スルーホール52の内部は絶縁体23により埋められている。
Further, the printed
印刷配線板1では、スルーホール50、複数のビア41及び複数のビア42によって導波管2が形成されている。以下、導波管2の構成について説明する。
In the printed
図2は、スルーホール50及びビア42の位置関係を示す平面図である。
図2は、印刷配線板1を+Z方向から見たときの、スルーホール50の開口及びビア42の下穴の開口の位置を示したものである。図2に示すように、第2ビルドアップ層B2においては、スルーホール50を囲む位置に複数のビア42が設けられている。すなわち、スルーホール50の開口がなす矩形の各辺に沿って複数のビア42が並ぶように、ビア42の形成位置が定められている。ここで、ビア42は、導波管としての特性を高めるためには、互いに接している方が良いが、互いに離間した状態でも良い。この場合、ビア42の間の距離は伝送する信号の波長の1/4以下の長さであればよい。
また、印刷配線板1を平面視したときに、複数のビア42は、各ビア42の周縁部の一部がスルーホール50の内壁に沿うように配置されている方が良い。例えば、スルーホール50が正確な矩形状(長方形または正方形)ではなく、内壁となる辺が湾曲している場合にも各ビア42の周縁部の一部はその湾曲した辺(内壁)に沿うように配置されているのが良い。特に、すべてのビア42においてそれらの周縁部の一部がスルーホール50の湾曲した辺に沿うように配置されているのがよい。
また、図2には示されていないが、第1ビルドアップ層B1においては、スルーホール50を囲む位置に複数のビア41が設けられている。すなわち、スルーホール50の開口がなす矩形の各辺に沿って複数のビア41が並ぶように、ビア41の形成位置が定められている。
FIG. 2 is a plan view showing the positional relationship between the through
FIG. 2 shows the positions of the openings of the through
Further, when the printed
Although not shown in FIG. 2, a plurality of
印刷配線板1では、スルーホール50、複数のビア41及び複数のビア42がこのように配置されることで、導波管2(図1参照)が形成されている。すなわち、導波管2は、管状のスルーホール50、複数のビア41及び複数のビア42と、これらの導体により囲まれた誘電体とから構成されている。この導波管2により、アンテナ導体で受信した信号を印刷配線板1の上面から下面に低損失で伝送することができる。
In the printed
ここで、第1層間絶縁層21のうち導波管2の内部に相当する部分は、ガラスクロスG1を含有しておらず、また、第2層間絶縁層22のうち導波管2の内部に相当する部分は、ガラスクロスG2を含有していない。以下、これについて説明する。
Here, the part of the first
図3は、第1ビルドアップ層B1の断面を示す図である。
図3に示すように、第1層間絶縁層21のうちビア41により囲まれている部分を第1領域ra1とし、第1領域ra1を除いた領域(複数のビア41の外側の領域)を第2領域ra2としたときに、第2領域ra2のみがガラスクロスG1を含有しており、第1領域ra1はガラスクロスG1を含有していない。すなわち、第1領域ra1は、第2領域ra2よりもガラスクロスG1の体積割合が少ない。ここで、ガラスクロスG1の体積割合とは、各領域の全体の体積のうち、ガラスクロスG1が占める部分の体積の割合である。図3では、第1領域ra1においてガラスクロスG1の体積割合が0となっている。よって、第1領域ra1は、樹脂R1のみからなる。ただし、これに限られず、第1領域ra1におけるガラスクロスG1の体積割合が、第2領域ra2におけるガラスクロスG1の体積割合よりも少なくなる範囲内で、第1領域ra1にガラスクロスG2が含まれていてもよい。
この場合、第1領域ra1及び第2領域ra2は、基材を除いた材質が同一であってもよい。第1領域ra1と第2領域ra2との間で基材を除いた部分の材質が同じであれば、第1領域ra1と第2領域ra2との間で基材を除いた部分の材質の連続した相が形成されるため、第1領域ra1と第2領域ra2との間におけるあらゆる特性の変化およびそのばらつきを小さくすることができる。
FIG. 3 is a diagram showing a cross section of the first buildup layer B1.
As shown in FIG. 3, the portion of the first
In this case, the first region ra1 and the second region ra2 may be made of the same material except for the base material. If the material of the part excluding the base material is the same between the first area ra1 and the second area ra2, the material of the part excluding the base material is continuous between the first area ra1 and the second area ra2. Since such a phase is formed, it is possible to reduce all changes and variations in characteristics between the first region ra1 and the second region ra2.
図4は、第2ビルドアップ層B2の断面を示す図である。
図4に示すように、第2層間絶縁層22のうちビア42により囲まれている部分を第1領域rb1とし、第1領域rb1を除いた領域(複数のビア42の外側の領域)を第2領域rb2としたときに、第2領域rb2のみがガラスクロスG2を含有しており、第1領域rb1はガラスクロスG2を含有していない。すなわち、第1領域rb1は、第2領域rb2よりもガラスクロスG2の体積割合が少ない。図4では、第1領域rb1においてガラスクロスG2の体積割合が0となっている。よって、第1領域rb1は、樹脂R2のみからなる。ただし、これに限られず、第1領域rb1におけるガラスクロスG2の体積割合が、第2領域rb2におけるガラスクロスG2の体積割合よりも少なくなる範囲内で、第1領域rb1にガラスクロスG2が含まれていてもよい。ガラスクロスG1、G2の体積割合は、印刷配線板1の断面を電子顕微鏡により観察し、その断面に見られるガラスクロスG1、G2の単位面積あたりの面積比を求めることにより求める。
FIG. 4 is a diagram showing a cross section of the second buildup layer B2.
As shown in FIG. 4, the portion of the second
また、図1に示すように、スルーホール50の内部は第1層間絶縁層21と一体的に繋がる樹脂R1が充填されており、ガラスクロスを含有しない。よって、導波管2の内部の誘電体は、樹脂R1、R2からなり、ガラスクロスG1、G2を含有しない。
なお、本実施形態の印刷配線板1において、コア層Cの第1面S1に2層以上のビルドアップ層が積層されている場合には、最上層のビルドアップ層を除いたビルドアップ層の層間絶縁層、及びスルーホール50の内側を埋める絶縁体は基材を除いた材質が同一であり、最上層のビルドアップ層の層間絶縁層と、最上層のビルドアップ層に隣接するビルドアップ層の層間絶縁層とは基材を除いた材質が互いに異なる構成であってもよい。このような構成は、印刷配線板1の表層側と内層側との間で求められる特性を異ならせた方が全体の電気特性、全体の機械的特性、熱的特性の向上が図れる場合に好適である。アンテナ用途の他、高い耐熱性、高い機械的強度が求められる車載用の印刷配線板1を例示することができる。
Further, as shown in FIG. 1, the inside of the through
In addition, in the printed
〔印刷配線板の製造方法〕
次に、印刷配線板1の製造方法について説明する。
図5は、印刷配線板1の製造方法を説明する模式斜視図である。
図6~図8は、印刷配線板1の製造方法を説明する断面図である。
[Manufacturing method of printed wiring board]
Next, a method for manufacturing printed
FIG. 5 is a schematic perspective view illustrating a method of manufacturing printed
6 to 8 are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing printed
本実施形態に係る印刷配線板1の製造方法は、第1工程~第6工程を含む。
第1工程では、図5及び図6(a)に示すように、スルーホール50が形成されたコア層Cを用意する。この段階では、スルーホール50の内側は絶縁体で満たされておらず、中空の状態となっている。
The method for manufacturing printed
In the first step, as shown in FIGS. 5 and 6(a), a core layer C in which through
また、第1工程では、後の第2工程で第1層間絶縁層21となる第1プリプレグ21Pに第1開口21Aを形成する。ここで、第1プリプレグ21Pは、ガラスクロスG1に樹脂R1を含浸させて半硬化させた部材である。第1プリプレグ21Pの第1開口21Aは、第1プリプレグ21Pをコア層Cと重ねたときにZ方向から見てスルーホール50の開口範囲を包含する位置及び大きさで形成する。次いで、図5に示すように、コア層Cの上面及び下面の各々に第1プリプレグ21P及び金属箔としての銅箔70をレイアップする。すなわち、コア層Cの上面及び下面の各々に対し、Z方向から見てスルーホール50と第1開口21Aとが重なる位置に第1プリプレグ21Pを積層させ、第1プリプレグ21Pに銅箔70を積層させる。これにより、コア層C、第1プリプレグ21P及び銅箔70を有する第1積層体81を形成する。
Furthermore, in the first step, a
第2工程では、図6(b)に示すように、第1積層体81を加熱するとともにZ方向に加圧する。これにより、第1プリプレグ21Pを溶融させる。そして、第1プリプレグの溶融材料を第1開口21A及びスルーホール50の内側に充填しつつ溶融材料を固化させて、コア層C上に第1層間絶縁層21を形成する。これにより、Z方向から見てスルーホール50と重なる部分にガラスクロスG1を含まない第1層間絶縁層21が得られる。また、スルーホール50の内側が第1層間絶縁層21と一繋がりになっている樹脂R1により埋められた状態となる。スルーホール50と第1層間絶縁層21との層間を樹脂R1が占めることになる。特に、コア層Cの両面に第1ビルドアップ層B1および第2ビルドアップ層B2が設けられている構造において、樹脂R1はスルーホール50、第1開口21Aに一繋がりになって充填されることになる。これによりスルーホール50と第1層間絶縁層21との層間が樹脂R1により強固につながるため層間を剥離しにくくすることができる。一繋がりになっている樹脂R1は、第1層間絶縁層21からスルーホール50の方に方向性を有している。樹脂R1が方向性を有していることは、この部分を観察したときに、樹脂R1もしくは樹脂R1に含まれる物質(無機フィラー、難燃剤、酸化防止剤、耐候安定剤などから選ばれる少なくとも1種)が線状に並んでいることから判断できる。
In the second step, as shown in FIG. 6(b), the
第3工程では、図7(a)に示すように、第1層間絶縁層21上に導体層31を形成するとともに、Z方向から見てスルーホール50を囲む位置に、スルーホール50のランドから延びてスルーホール50に電気的に接続され、かつ第1層間絶縁層21を貫通する複数の第1ビア41を形成する。詳しくは、第1層間絶縁層21及び銅箔70にレーザ又はドリルによりビア下穴を形成し、電解パネルめっきにより導体層31及びビア41となるめっき層を形成する。その後、サブトラクティブ法により導体層31の一部を除去して回路パターンを形成する。あるいは、MSAP(Modified Semi-Additive Process)により導体層31の回路パターン及びビア41を選択的に形成してもよい。
In the third step, as shown in FIG. 7A, a
第4工程では、図7(b)に示すように、後の第5工程で第2層間絶縁層22となる第2プリプレグ22Pに第2開口22Aを形成する。ここで、第2プリプレグ22Pは、ガラスクロスG2に樹脂R2を含浸させて半硬化させた部材である。第2プリプレグ22Pの第2開口22Aは、第2プリプレグ22Pを第1層間絶縁層21と重ねたときにZ方向から見てスルーホール50の開口範囲を包含する位置及び大きさで形成する。次いで、各第1層間絶縁層21のコア層C側とは反対側に第2プリプレグ22P及び銅箔70をレイアップする。すなわち、第1層間絶縁層21のコア層C側とは反対側に、Z方向から見てスルーホール50と第2開口22Aとが重なる位置に第2プリプレグ22Pを積層させ、第2プリプレグ22Pに銅箔70を積層させる。これにより、コア層C、第1ビルドアップ層B1、第2プリプレグ22P及び銅箔70を有する第2積層体82を形成する。
In the fourth step, as shown in FIG. 7B, a
第5工程では、図8(a)に示すように、第2積層体82を加熱するとともにZ方向に加圧する。これにより、第2プリプレグ22Pを溶融させる。そして、第2プリプレグの溶融材料を第2開口22Aの内側に充填しつつ溶融材料を固化させて、第1層間絶縁層21のコア層C側とは反対側に第2層間絶縁層22を形成する。これにより、Z方向から見てスルーホール50と重なる部分にガラスクロスG2を含まない第2層間絶縁層22が得られる。
In the fifth step, as shown in FIG. 8(a), the second laminate 82 is heated and pressurized in the Z direction. Thereby, the
第6工程では、図8(b)に示すように、第2層間絶縁層22上に導体層32を形成するとともに、Z方向から見てスルーホール50を囲む位置に、複数のビア41を介してスルーホール50に電気的に接続され、かつ第2層間絶縁層22を貫通する複数の第2ビア42を形成する。また、導体層32で、にアンテナ導体を形成する。詳しくは、第2層間絶縁層22及び銅箔70にレーザ又はドリルによりビア下穴を形成し、電解パネルめっきにより導体層32及びビア42となるめっき層を形成する。その後、サブトラクティブ法により導体層32の一部を除去して回路パターンを形成する。あるいは、MSAPにより導体層32の回路パターン及びビア42を選択的に形成してもよい。アンテナ導体は、サブトラクティブ法又はMSAPにより導体層32の回路パターン及びビア42と同時に形成する。
以上の工程を経て印刷配線板1が完成する。
In the sixth step, as shown in FIG. 8(b), a
The printed
〔変形例〕
次に、上記実施形態の変形例について説明する。
図9は、変形例に係る印刷配線板1の断面図である。
本変形例の印刷配線板1は、コア層Cの第1面S1及び第2面S2にそれぞれ1層の第1ビルドアップ層B1のみが積層され、第2ビルドアップ層B2が省略されている点で上記実施形態と異なる。また、第1ビルドアップ層B1の最表面に導体層31によるアンテナ導体が形成されている。本変形例では、導波管2は、管状のスルーホール50及び複数のビア41と、これらの導体により囲まれた誘電体とから構成されている。また、本変形例では、スルーホール50の内部に、第1層間絶縁層21の樹脂R1とは材質の異なる絶縁体24が埋められている。詳しくは、スルーホール50の内部には、樹脂R1よりも比誘電率が小さい絶縁体24が埋められている。ただし、これに限られず、上記実施形態と同様に、第1層間絶縁層21と一体的に繋がる樹脂R1によりスルーホール50の内部が埋められていてもよい。
この場合、導波管2として所望の機能および特性を満足する限りにおいて、スルーホール50の内側を埋める絶縁体及び層間絶縁層は、基材を除いた材質が互いに異なっていてもよい。また、第1層間絶縁層21の樹脂R1は、第1ビルドアップ層B1からコア層Cの表面に形成されたコア導体層30の部分まで滲入していても良い。もしくは、樹脂R1は、第1ビルドアップ層B1からコア層Cの表面に形成されたコア導体層30の部分のところを越えてスルーホール50内まで滲入していてもよい。
[Modifications]
Next, a modification of the above embodiment will be described.
FIG. 9 is a cross-sectional view of a printed
The printed
In this case, the insulator filling the inside of the through
なお、コア層Cの片面に積層させるビルドアップ層の数は、1層(本変形例)又は2層(上記実施形態)に限られず、3層以上としてもよい。この場合にも、各ビルドアップ層Bに、Z方向から見てスルーホール50を囲む位置に複数のビアを設けることで、導波管2を形成することができる。また、各ビルドアップ層Bの層間絶縁層のうち、複数のビアで囲まれた領域におけるガラスクロスの体積割合を、残りの領域におけるガラスクロスの体積割合よりも少なくすればよい。
Note that the number of buildup layers stacked on one side of the core layer C is not limited to one layer (this modification) or two layers (the above embodiment), but may be three or more layers. In this case as well, the
〔効果〕
以上のように、本実施形態の印刷配線板1は、コア層Cと、コア層Cの第1面S1に積層された第1ビルドアップ層B1及び第2ビルドアップ層B2を備えており、コア層Cは、コア絶縁層20と、スルーホール50と、を有し、スルーホール50は、管状をなし、コア絶縁層20を貫通し、コア絶縁層20の両面に設けられたコア導体層30間を電気的に接続するように設けられており、第1ビルドアップ層B1は、第1層間絶縁層21と、複数のビア41と、を有し、第1層間絶縁層21は、ガラスクロスG1を含有しており、複数のビア41は、スルーホール50に電気的に接続され、第1層間絶縁層21を貫通しており、かつ、第1面S1に垂直な方向から見てスルーホール50を囲む位置に設けられており、第1層間絶縁層21のうち複数のビア41により囲まれている領域を第1領域ra1とし、該第1領域ra1を除いた領域を第2領域ra2としたときに、第1領域ra1は、第2領域ra2よりもガラスクロスG1の体積割合が少ない。また、第2ビルドアップ層B2は、第2層間絶縁層22と、複数のビア42と、を有し、第2層間絶縁層22は、ガラスクロスG2を含有しており、複数のビア42は、スルーホール50に電気的に接続され、第2層間絶縁層22を貫通しており、かつ、第1面S1に垂直な方向から見てスルーホール50を囲む位置に設けられており、第2層間絶縁層22のうち複数のビア42により囲まれている領域を第1領域rb1とし、該第1領域rb1を除いた領域を第2領域rb2としたときに、第1領域rb1は、第2領域rb2よりもガラスクロスG2の体積割合が少ない。
〔effect〕
As described above, the printed
ビルドアップ層Bのうち複数のビアに囲まれた領域に、他の領域と同様のガラスクロスが含まれる従来の構成では、導波管内を伝送される信号がビルドアップ層Bのガラスクロスを通過し、この通過のたびにガラスクロスにより信号の乱れが発生していた。このため、従来の構成では、導波管における信号の伝送損失が大きくなるという課題があった。 In a conventional configuration in which a region of buildup layer B surrounded by multiple vias includes glass cloth similar to other regions, the signal transmitted in the waveguide passes through the glass cloth of buildup layer B. However, each time it passed, signal disturbances occurred due to the glass cloth. Therefore, in the conventional configuration, there was a problem that signal transmission loss in the waveguide became large.
これに対し、上記実施形態のように、第1層間絶縁層21のうち導波管2の内部に相当する第1領域ra1におけるガラスクロスG1の体積割合を第2領域ra1より少なくし、また、第2層間絶縁層22のうち導波管2の内部に相当する第2領域rb1におけるガラスクロスG2の体積割合を第2領域rb2より少なくすることで、ガラスクロスによる信号の乱れを低減させ、信号特性を安定させることができる。よって、導波管2の外部ではガラスクロスによりビルドアップ層Bを補強しつつ、導波管2における信号の伝送損失を低減させることができる。
On the other hand, as in the above embodiment, the volume ratio of the glass cloth G1 in the first region ra1 corresponding to the inside of the
また、第1領域ra1及び第1領域rb1がガラスクロスG1、G2を含有しない構成とすることで、導波管2の内部の比誘電率を顕著に低下させて信号の乱れを抑えることができる。よって、信号の伝送損失をより効果的に低減させることができる。
Furthermore, by having a configuration in which the first region ra1 and the first region rb1 do not contain the glass cloths G1 and G2, it is possible to significantly reduce the relative dielectric constant inside the
また、第1領域ra1及び第2領域ra2は、基材を除いた材質(樹脂R1)が同一であるのがよい。また、第1領域rb1及び第2領域rb2は、基材を除いた材質(樹脂R2)が同一であるのがよい。この場合、第1領域ra1、rb1から第2領域ra2、rb2にかけてビア41、42が存在しても第1ビルドアップ層B1および第2ビルドアップ層B2を強固にできる。また、第1ビルドアップ層B1の第1開口21Aからスルーホール50に至る積層方向の層間の接着強度を高めることができる。
Further, it is preferable that the first region ra1 and the second region ra2 are made of the same material (resin R1) except for the base material. Further, it is preferable that the first region rb1 and the second region rb2 are made of the same material (resin R2) except for the base material. In this case, even if the
また、変形例に係る印刷配線板1では、コア層Cの第1面S1に一の第1ビルドアップ層B1が積層されており、スルーホール50の内側を埋める絶縁体24及び第1層間絶縁層21は、ガラスクロスG1を除いた材質が互いに異なる。これにより、例えば第1層間絶縁層21を構成する樹脂R1の比誘電率を、スルーホール50内の絶縁体24の比誘電率より低くすることで、より高いアンテナ特性を有し、伝送特性に優れた印刷配線板1を得ることができる。
Further, in the printed
また、上記実施形態の印刷配線板1では、コア層Cの第1面S1に二つのビルドアップ層B(第1ビルドアップ層B1及び第2ビルドアップ層B2)が積層されている。これによれば、導波管2における信号の伝送損失を抑えつつ、ビルドアップ層Bの厚さの増大に応じて導波管2をより長くすることができる。
Furthermore, in the printed
また、最上層の第2ビルドアップ層B2を除いた第1ビルドアップ層B1の第1層間絶縁層21、及びスルーホール50の内側を埋める絶縁体は、基材を除いた材質(樹脂R1)が同一であり、最上層の第2ビルドアップ層B2の第2層間絶縁層22と、最上層の第2ビルドアップ層B2に隣接する第1ビルドアップ層B1の第1層間絶縁層21とは、基材を除いた材質(樹脂R2、樹脂R1)が互いに異なる。これにより、例えば第2層間絶縁層22を構成する樹脂R2の比誘電率を、第1層間絶縁層21を構成する樹脂R1の比誘電率より低くすることで、より高いアンテナ特性を有し、伝送特性に優れた印刷配線板1を得ることができる。
In addition, the first
また、基材としてガラスクロスを用いることで、低コストで効果的にビルドアップ層Bを補強することができる。 Furthermore, by using glass cloth as the base material, the buildup layer B can be effectively reinforced at low cost.
また、第1層間絶縁層21のうちガラスクロスG1を除いた材質である樹脂R1が第1領域ra1からスルーホール50まで一繋がりであるのがよい。これによれば、スルーホール50と第1層間絶縁層21との層間が樹脂R1により強固につながるため層間を剥離しにくくすることができる。
Further, it is preferable that the resin R1, which is the material of the first
また、上記実施形態に係る印刷配線板1の製造方法は、ガラスクロスG1を含有する第1プリプレグ21Pに第1開口21Aを形成する工程と、コア絶縁層20と、コア絶縁層20を貫通する管状のスルーホール50と、を有するコア層Cに対し、コア層Cの第1面S1に垂直な方向から見てスルーホール50と第1開口21Aとが重なる位置に第1プリプレグ21Pを積層させ、第1プリプレグ21Pに銅箔70を積層させて、第1積層体81を形成する工程と、第1積層体81を加熱及び加圧して、第1プリプレグ21Pの溶融材料を第1開口21Aの内側に充填しつつ溶融材料を固化させて、コア層C上に第1層間絶縁層21を形成する工程と、第1面S1に垂直な方向から見てスルーホール50を囲む位置に、スルーホール50のランドから延びてスルーホール50に電気的に接続され、かつ第1層間絶縁層21を貫通する複数のビア41を形成する工程と、を含む。このような方法によれば、第1層間絶縁層21のうち導波管2の内部に相当する第1領域ra1におけるガラスクロスG1の体積割合を第2領域ra2より少なくすることができる。よって、ガラスクロスG1による信号の乱れを低減させ、信号特性を安定させることができる。これにより、導波管2の外部ではガラスクロスG1により第1ビルドアップ層B1を補強しつつ、導波管2における信号の伝送損失を低減させることができる。
Further, the method for manufacturing the printed
また、上記実施形態に係る印刷配線板1の製造方法は、ガラスクロスG2を含有する第2プリプレグP2に第2開口22Aを形成する工程と、第1層間絶縁層21のコア層C側とは反対側に、第1面S1に垂直な方向から見てスルーホール50と第2開口22Aとが重なる位置に第2プリプレグ22Pを積層させ、第2プリプレグ22Pに銅箔70を積層させて、第2積層体82を形成する工程と、第2積層体82を加熱及び加圧して、第2プリプレグ22Pの溶融材料を第2開口22Aの内側に充填しつつ溶融材料を固化させて、第1層間絶縁層21のコア層C側とは反対側に第2層間絶縁層22を形成する工程と、コア層Cの第1面S1に垂直な方向から見てスルーホール50を囲む位置に、複数のビア41を介してスルーホール50に電気的に接続され、かつ第2層間絶縁層22を貫通する複数のビア42を形成する工程と、を含む。このような方法によれば、さらに、第2層間絶縁層22のうち導波管2の内部に相当する第1領域rb1におけるガラスクロスG2の体積割合を第2領域rb2より少なくすることができる。よって、ガラスクロスG2による信号の乱れを低減させ、信号特性を安定させることができる。これにより、導波管2の外部ではガラスクロスG2によりビルドアップ層B2を補強しつつ、導波管2における信号の伝送損失を低減させることができる。
Further, the method for manufacturing the printed
なお、上記実施の形態は例示であり、様々な変更が可能である。
例えば、第1層間絶縁層21、第2層間絶縁層22の基材として、ガラスクロスG1、G2を例示したが、これに限られない。第1層間絶縁層21、第2層間絶縁層22の基材としては、例えば、アラミド不織布及びアラミド繊維等のアラミドクロスや、ポリエステル繊維といった各種の誘電体を用いることができる。
Note that the above embodiment is an example, and various changes are possible.
For example, although glass cloth G1 and G2 are illustrated as base materials for the first
また、上記実施形態では、印刷配線板1の全体を貫通する導波管2を例に挙げて説明したが、これに限られず、厚さ方向について印刷配線板1の一部に亘って導波管2が設けられていてもよい。また、このような導波管2を複数設け、導波管2同士を同軸線路などにより電気的に接続してもよい。
Further, in the above embodiment, the
また、導波管2を構成するビア41、42以外に、回路層同士を電気的に接続する目的のビアがさらに設けられていてもよい。
Further, in addition to the
また、コア層Cの片側の面のみにビルドアップ層Bが設けられていてもよい。 Further, the buildup layer B may be provided only on one side of the core layer C.
その他、上記実施の形態で示した構成、構造、位置関係及び形状などの具体的な細部は、本開示の趣旨を逸脱しない範囲において適宜変更可能である。また、本開示の趣旨を逸脱しない範囲において、上記実施の形態で示した構成、構造、位置関係及び形状を適宜組み合わせ可能である。 In addition, specific details such as the configuration, structure, positional relationship, and shape shown in the above embodiments can be changed as appropriate without departing from the spirit of the present disclosure. Furthermore, the configurations, structures, positional relationships, and shapes shown in the above embodiments can be combined as appropriate without departing from the spirit of the present disclosure.
1 印刷配線板
2 導波管
20 コア絶縁層
21 第1層間絶縁層
22 第2層間絶縁層
23、24 絶縁体
30 コア導体層
31、32 導体層
41 ビア(第1ビア)
42 ビア(第2ビア)
50~52 スルーホール
60 アンテナ導体
70 銅箔(金属箔)
81 第1積層体
82 第2積層体
B ビルドアップ層
B1 第1ビルドアップ層
B2 第2ビルドアップ層
C コア層
G1、G2 ガラスクロス(基材)
21P 第1プリプレグ
21A 第1開口
22P 第2プリプレグ
22A 第2開口
R1、R2 樹脂
S1 第1面
S2 第2面
1 Printed
42 Via (second via)
50-52 Through hole 60
81 First laminate 82 Second laminate B Buildup layer B1 First buildup layer B2 Second buildup layer C Core layer G1, G2 Glass cloth (base material)
Claims (10)
前記コア層は、コア絶縁層と、スルーホールと、を有し、
前記スルーホールは、管状をなし、前記コア絶縁層を貫通し、前記コア絶縁層の両面に設けられた導体間を電気的に接続するように設けられており、
前記ビルドアップ層は、層間絶縁層と、複数のビアと、を有し、
前記層間絶縁層は、誘電体からなる基材を含有しており、
前記複数のビアは、前記スルーホールに電気的に接続され、前記層間絶縁層を貫通しており、かつ、前記第1面に垂直な方向から見て前記スルーホールを囲む位置に設けられており、
前記層間絶縁層のうち前記複数のビアにより囲まれている領域を第1領域とし、該第1領域を除いた領域を第2領域としたときに、前記第1領域は、前記第2領域よりも前記基材の体積割合が少なく、
前記複数のビアは、前記第1面に垂直な方向から見て各ビアの周縁部の一部が前記スルーホールの内壁に沿うように配置されている、
印刷配線板。 Comprising a core layer and one or more buildup layers laminated on the first surface of the core layer,
The core layer has a core insulating layer and a through hole,
The through hole has a tubular shape, penetrates the core insulating layer, and is provided to electrically connect conductors provided on both sides of the core insulating layer,
The buildup layer includes an interlayer insulating layer and a plurality of vias,
The interlayer insulating layer contains a base material made of a dielectric material,
The plurality of vias are electrically connected to the through hole, penetrate the interlayer insulating layer, and are provided at positions surrounding the through hole when viewed from a direction perpendicular to the first surface. ,
When a region of the interlayer insulating layer surrounded by the plurality of vias is defined as a first region, and a region excluding the first region is defined as a second region, the first region is larger than the second region. Also, the volume percentage of the base material is small ,
The plurality of vias are arranged such that a portion of the peripheral edge of each via is along an inner wall of the through hole when viewed from a direction perpendicular to the first surface.
Printed wiring board.
前記スルーホールの内側を埋める絶縁体及び前記層間絶縁層は、前記基材を除いた材質が互いに異なる、請求項1~3のいずれか一項に記載の印刷配線板。 one of the buildup layers is laminated on the first surface of the core layer;
4. The printed wiring board according to claim 1, wherein the insulator filling the inside of the through hole and the interlayer insulating layer are made of different materials except for the base material.
前記最上層のビルドアップ層の前記層間絶縁層と、前記最上層のビルドアップ層に隣接するビルドアップ層の前記層間絶縁層とは、前記基材を除いた材質が互いに異なる、請求項5に記載の印刷配線板。 The interlayer insulating layer of each of the buildup layers excluding the buildup layer of the uppermost layer and the insulator filling the inside of the through hole are made of the same material except for the base material,
6. The interlayer insulating layer of the uppermost buildup layer and the interlayer insulation layer of a buildup layer adjacent to the uppermost buildup layer are made of different materials except for the base material. Printed wiring board as described.
コア絶縁層と、前記コア絶縁層を貫通する管状のスルーホールと、を有するコア層に対し、前記コア層の第1面に垂直な方向から見て前記スルーホールと前記第1開口とが重なる位置に前記第1プリプレグを積層させ、前記第1プリプレグに金属箔を積層させて、第1積層体を形成する工程と、
前記第1積層体を加熱及び加圧して、前記第1プリプレグの溶融材料を前記第1開口の内側に充填しつつ前記溶融材料を固化させて、前記コア層上に第1層間絶縁層を形成する工程と、
前記第1面に垂直な方向から見て前記スルーホールを囲む位置に、前記スルーホールのランドから延びて前記スルーホールに電気的に接続され、かつ前記第1層間絶縁層を貫通する複数の第1ビアを形成する工程と、
を含み、
前記複数の第1ビアを形成する工程では、前記第1面に垂直な方向から見て各第1ビアの周縁部の一部が前記スルーホールの内壁に沿う位置に各第1ビアを形成する、
印刷配線板の製造方法。 forming a first opening in a first prepreg containing a base material made of a dielectric;
For a core layer having a core insulating layer and a tubular through hole penetrating the core insulating layer, the through hole and the first opening overlap when viewed from a direction perpendicular to a first surface of the core layer. laminating the first prepreg at a position and laminating a metal foil on the first prepreg to form a first laminate;
Heating and pressurizing the first laminate to fill the inside of the first opening with the molten material of the first prepreg and solidifying the molten material to form a first interlayer insulating layer on the core layer. The process of
At positions surrounding the through hole when viewed from a direction perpendicular to the first surface, a plurality of holes extend from lands of the through hole, are electrically connected to the through hole, and penetrate the first interlayer insulating layer. a step of forming one via;
including;
In the step of forming the plurality of first vias, each first via is formed at a position where a portion of a peripheral edge of each first via is along an inner wall of the through hole when viewed from a direction perpendicular to the first surface. ,
A method for manufacturing printed wiring boards.
前記第1層間絶縁層の前記コア層側とは反対側に、前記第1面に垂直な方向から見て前記スルーホールと前記第2開口とが重なる位置に前記第2プリプレグを積層させ、前記第2プリプレグに金属箔を積層させて、第2積層体を形成する工程と、
前記第2積層体を加熱及び加圧して、前記第2プリプレグの溶融材料を前記第2開口の内側に充填しつつ前記溶融材料を固化させて、前記第1層間絶縁層の前記コア層側とは反対側に第2層間絶縁層を形成する工程と、
前記コア層の第1面に垂直な方向から見て前記スルーホールを囲む位置に、前記複数の第1ビアを介して前記スルーホールに電気的に接続され、かつ前記第2層間絶縁層を貫通する複数の第2ビアを形成する工程と、
を含み、
前記複数の第2ビアを形成する工程では、前記第1面に垂直な方向から見て各第2ビアの周縁部の一部が前記スルーホールの内壁に沿う位置に各第2ビアを形成する、
請求項9に記載の印刷配線板の製造方法。 forming a second opening in a second prepreg containing a base material made of a dielectric;
The second prepreg is laminated on the side of the first interlayer insulating layer opposite to the core layer at a position where the through hole and the second opening overlap when viewed from a direction perpendicular to the first surface, and a step of laminating metal foil on the second prepreg to form a second laminate;
The second laminate is heated and pressurized to fill the inside of the second opening with the molten material of the second prepreg and solidify the molten material, so that the core layer side of the first interlayer insulating layer and the molten material are solidified. forming a second interlayer insulating layer on the opposite side;
electrically connected to the through hole via the plurality of first vias and penetrating the second interlayer insulating layer at a position surrounding the through hole when viewed from a direction perpendicular to the first surface of the core layer. forming a plurality of second vias;
including ;
In the step of forming the plurality of second vias, each second via is formed at a position where a part of the peripheral edge of each second via is along an inner wall of the through hole when viewed from a direction perpendicular to the first surface. ,
The method for manufacturing a printed wiring board according to claim 9.
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