JP7490966B2 - シリコーンゴム系硬化性組成物、及びアクチュエータ - Google Patents

Description

本発明は、シリコーンゴム系硬化性組成物、及びアクチュエータに関する。

アクチュエータやウェアラブルデバイス等を構成する可動部材の一部を形成するために用いられるシリコーンゴムについて様々な開発がなされてきた。この種の技術として、例えば、特許文献１に記載の技術が知られている。特許文献１には、アクチュエータ中のチューブ状弾性体にシリコーンゴムを使用することが記載されている（特許文献１の請求項６等）。

特開２０１５－１８０８２９号公報

しかしながら、本発明者が検討した結果、上記特許文献１に記載のシリコーンゴムにおいて、高硬度、変形容易性及び伸縮耐久性の点で改善の余地があることが判明した。

本発明者はさらに検討したところ、シリカ粒子（Ｃ）を含むシリコーンゴム系硬化性組成物において、ビニル基含有オルガノポリシロキサン（Ａ）として、ビニル基量が０．４モル％以下の第１のビニル基含有直鎖状オルガノポリシロキサン（Ａ１－１）を単独で使用すること、かつ、シランカップリング剤（Ｄ）として、ビニル基を有するシランカップリング剤を使用することによって、その硬化物について、硬度を高めつつ、変形容易性を向上できること、さらに伸縮耐久性を向上できることを見出し、本発明を完成するに至った。

本発明によれば、
ビニル基含有オルガノポリシロキサン（Ａ）と、
シリカ粒子（Ｃ）と、
シランカップリング剤（Ｄ）と、を含む、シリコーンゴム系硬化性組成物であって、
前記ビニル基含有オルガノポリシロキサン（Ａ）が、ビニル基量が０．４モル％以下の第１のビニル基含有直鎖状オルガノポリシロキサン（Ａ１－１）を含み、ビニル基含有量が０．４モル％超えの第２のビニル基含有直鎖状オルガノポリシロキサン（Ａ１－２）を含まず、
前記シランカップリング剤（Ｄ）が、ビニル基を有するシランカップリング剤を含む、
シリコーンゴム系硬化性組成物が提供される。

また本発明によれば、
上記のシリコーンゴム系硬化性組成物の硬化物を有する、アクチュエータが提供される。

本発明によれば、高硬度、変形容易性及び伸縮耐久性に優れたシリコーンゴム系硬化性組成物、及びそれを用いたアクチュエータが提供される。

本実施形態の流体駆動型アクチュエータの構成の一例を示す図である。 （ａ）は図１のＡ－Ａ断面図、（ｂ）は図１のＢ－Ｂ断面図、（ｃ）は図１のＣ－Ｃ断である。

以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。なお、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。また、図は概略図であり、実際の寸法比率とは一致していない。

本実施形態のシリコーンゴム系硬化性組成物について説明する。

本実施形態のシリコーンゴム系硬化性組成物は、ビニル基含有オルガノポリシロキサン（Ａ）と、シリカ粒子（Ｃ）と、シランカップリング剤（Ｄ）と、を含む。
シリコーンゴム系硬化性組成物中、ビニル基含有オルガノポリシロキサン（Ａ）が、ビニル基量が０．４モル％以下の第１のビニル基含有直鎖状オルガノポリシロキサン（Ａ１－１）を含み、ビニル基含有量が０．４モル％超えの第２のビニル基含有直鎖状オルガノポリシロキサン（Ａ１－２）を含まず、シランカップリング剤（Ｄ）が、ビニル基を有するシランカップリング剤を含むものである。

本発明者の知見によれば、シリカ粒子（Ｃ）を含むシリコーンゴム系硬化性組成物において、ビニル基含有オルガノポリシロキサン（Ａ）として、ビニル基含有量が０．４モル％超えの第２のビニル基含有直鎖状オルガノポリシロキサン（Ａ１－２）を使用せずに、ビニル基量が０．４モル％以下の第１のビニル基含有直鎖状オルガノポリシロキサン（Ａ１－１）を使用すること、そして、シランカップリング剤（Ｄ）として、ビニル基を有するシランカップリング剤を使用することによって、得られる硬化物（シリコーンゴム）について、硬度を高めつつ、変形容易性を向上できること、さらに伸縮耐久性を向上できることが見出された。

詳細なメカニズムは定かではないが、第２のビニル基含有直鎖状オルガノポリシロキサン（Ａ１－２）を使用せずに、ビニル基量が０．４モル％以下の第１のビニル基含有直鎖状オルガノポリシロキサン（Ａ１－１）を使用することによって、これらを併用した場合と比較してシリコーンゴム中の架橋点間における分子量を増大させることが可能となり、ビニル基を有するシランカップリング剤を使用することによって、ゴムとシリカ粒子（Ｃ）との結合を増大させることが可能となるため、強度を高めつつも、破断強度や破断伸びを高め、３００％モジュラスを低く抑えられるので、変形容易性や伸縮耐久性を向上できると考えられる。

また、このようなシリコーンゴム系硬化性組成物に対して、シリカ粒子（Ｃ）の含有量を増加させることや、ビニル基を有するシランカップリング剤の含有量を増加させることによって、３００％モジュラスを低くしつつも、さらに硬度を高めることも可能である。

シリコーンゴム系硬化性組成物の硬化物からなるシリコーンゴムについては、様々な用途に適用することができるが、例えば、アクチュエータやウェアラブルデバイスを構成する一部に用いる適用できる。

アクチュエータは、流体などのエネルギーを機械的運動エネルギーへ変換する駆動装置であれば特に限定されない。アクチュエータは、介護・福祉、医療、製造、農業、建築、スポーツなどの様々な場面での活用されている。

シリコーンゴムは、アクチュエータの中でも、流体駆動型アクチュエータを構成する一部に適用してもよい。

流体駆動型アクチュエータとは、気体や液体などの流体を用いてチューブ部材を膨張または収縮させ、それを機械的運動に変換させる駆動装置である。具体的な流体として、空気、窒素等の気体、水、油等の液体が挙げられる。

流体駆動型アクチュエータは、各種の様々な用途に用いることができるが、例えば、介護・福祉・医療・生活・スポーツなどの日常生活や医療現場で使用する人工筋肉、農業・製造・建築等の仕事現場での作業を支援する人工筋肉、ロボットの人工筋肉や間接構造などの駆動装置に用いることができる。

シリコーンゴムは、３００％モジュラスを低く抑えられる。このため、シリコーンゴムで構成されるチューブ部材は、流体圧力によるエネルギーが小さいときでも、膨らみやすいため、より大きな膨張力を発揮でき、機械的運動エネルギーへ変換効率を高められる。

このように、シリコーンゴム系硬化性組成物は、流体駆動型アクチュエータ中のチューブ部材を形成するために用いることができる。

図１、図２は、流体駆動型アクチュエータ（アクチュエータ１００）の構成の一例を示す。
図１のアクチュエータ１００は、チューブ１０、及びキャップ２０を有する。

チューブ１０は、流体の圧力によって膨張および収縮する筒状弾性体で構成される。筒状弾性体は、本実施形態のシリコーンゴム系硬化性組成物の硬化物（シリコーンゴム）で構成される。

キャップ２０は、チューブ１０の軸方向の端部に設けられた蓋部材で構成される。キャップ２０は、図２（ｂ）に示す孔２２を有してもよい。孔２２を介して、チューブ１０の空間１２内に、流体を注入または排出できる。空間１２に流体が注入されると、チューブ１０は、径方向に膨張し、軸方向に収縮する（図２（ｂ）、図２（ｃ））。すなわち、アクチュエータ１００は、チューブ１０の軸方向に収縮力、径方向に膨張力を発生する。

チューブ１０は、アクチュエータ１００中や、アクチュエータ１００内が搭載された機械中における、他の部材との接触に対して膨張耐久性を高められる。このため、本実施形態のシリコーンゴム系硬化性組成物は、流体駆動型アクチュエータに適したチューブ部材を提供できる。

また、アクチュエータ１００は、チューブ１０の外周面を覆う筒状のスリーブを有してもよい。スリーブは、繊維で構成された網目状の補強構造を有する。チューブ１０およびスリーブを有するアクチュエータ１００は、マッキベン型人工筋肉となる。

上記のシリコーンゴムをチューブ１０に用いることによって、スリーブとの接触に対して容易膨張性および膨張耐久性を高められる。このため、本実施形態のシリコーンゴム系硬化性組成物は、マッキベン型人工筋肉に適したチューブ部材を提供できる。

また、ウェアラブルデバイスとしては、人間の身体等に着用可能なウェアラブルデバイスが挙げられる。シリコーンゴムは、ウェアラブルデバイス中の、伸縮性配線、伸縮性基板、筐体、カバー部材、ケーブル、センサー等の一部を構成することができる。

以下、シリコーンゴム系硬化性組成物の詳細を説明する。

下記の手順によって測定される、シリコーンゴム系硬化性組成物の硬化物のデュロメータ硬さＡの上限は、特に限定されないが、例えば、８０以下でもよく、好ましくは７０以下でもよく、より好ましくは６５以下でもよい。これにより、シリコーンゴムの硬化物性のバランスを図ることができる。これにより、シリコーンゴムにおいて、屈曲や伸張などの変形が容易となる変形容易性を高められる。
一方、上記デュロメータ硬さＡの下限は、例えば、４０以上、好ましくは４２以上、より好ましくは４８以上である。これにより、外部応力に対する変形が抑制できる。また、シリコーンゴムの機械的強度を高められる。

（デュロメータ硬さＡの測定手順）
シリコーンゴム系硬化性組成物の硬化物を用いて、シート状試験片を作製し、ＪＩＳ Ｋ６２５３（１９９７）に準拠して、２５℃における、得られたシート状試験片のデュロメータ硬さＡを測定する。

下記の手順で測定される、シリコーンゴム系硬化性組成物の硬化物の、３０％伸張時における引張応力をＭ_３０、３００％伸張時における引張応力をＭ_３００とする。
（引張応力の測定手順）
シリコーンゴム系硬化性組成物の硬化物を用いて、ＪＩＳ Ｋ６２５１（２００４）に準拠して、ダンベル状３号形試験片を作製し、２５℃における、得られたダンベル状３号形試験片の、３０％及び３００％伸張時における引張応力を測定する。

Ｍ_３００の上限は、例えば、３．０ＭＰａ以下、好ましくは２．５ＭＰａ以下、より好ましくは２．０ＭＰａ以下である。これにより、シリコーンゴムの容易膨張性性や伸縮耐久性を向上できる。
一方、Ｍ_３００の下限は、特に限定されないが、例えば、０．１ＭＰａ以上、０．６ＭＰａ以上、１．０ＭＰａ以上としてもよい。

Ｍ_３０の上限は、特に限定されないが、例えば、２．０ＭＰａ以下、１．５ＭＰａ以下、１．２ＭＰａ以下としてもよい。
一方、Ｍ_３０の下限は、例えば、０．３ＭＰａ以上、好ましくは０．４ＭＰａ以上、より好ましくは０．５ＭＰａ以上である。これにより、外部応力に対する変形抵抗力や、機械的強度を高められる。

下記の手順で測定される、当該シリコーンゴム系硬化性組成物の硬化物の引張強度の下限は、例えば、１２．０ＭＰａ以上、好ましくは１２．５ＭＰａ以上であり、より好ましくは１３．０ＭＰａ以上である。これにより、繰り返しの伸長変形時の伸長耐久性に優れた構造体を実現できる。
一方、上記引張強度の上限としては、特に限定されないが、例えば、２５ＭＰａ以下としてもよい。これにより、シリコーンゴムの諸特性のバランスをとることができる。

（引張強度の測定手順）
シリコーンゴム系硬化性組成物の硬化物を用いて、ＪＩＳ Ｋ６２５１（２００４）に準拠して、ダンベル状３号形試験片を作製し、２５℃における、ダンベル状３号形試験片の引張強度を測定する。

下記の手順で測定される、シリコーンゴム系硬化性組成物の硬化物の、破断伸びの下限は、例えば、６００％以上であり、好ましくは７００％以上であり、より好ましくは８００％以上である。これにより、繰り返しの伸長変形時の伸長耐久性を向上させることができる。
一方、上記破断伸びの上限は、特に限定されないが、例えば、２０００％以下としてもよく、１８００％以下としてもよい。これにより、シリコーンゴムの諸特性のバランスをとることができる。

（破断伸びの測定条件）
シリコーンゴム系硬化性組成物の硬化物を用いて、ＪＩＳ Ｋ６２５１（２００４）に準拠して、ダンベル状３号形試験片を作製し、得られたダンベル状３号形試験片について、２５℃における破断伸びを測定する。破断伸びは、［標線間移動距離（ｍｍ）］÷［初期標線間距離（２０ｍｍ）］×１００で計算する。

下記の手順で測定される、シリコーンゴム系硬化性組成物の硬化物の３００％伸長時の引張永久伸びの上限は、例えば、１５．０％以下、好ましくは１３．０％以下、より好ましくは８．０％以下である。これにより、繰り返しの伸長や屈曲などの変形後においても、シリコーンゴムを適用した可動部材の使用安定性を高めることができる。
一方、上記３００％伸長時の引張永久伸びの下限は、特に限定されないが、例えば、０％以上、０．１％以上としてもよい。

（引張永久伸びの測定手順）
シリコーンゴム系硬化性組成物の硬化物を用いて、長さ６０ｍｍ×幅５ｍｍの大きさで厚さ方向に打ち抜くことで短冊状をなす試験片を作製する。
チャック間距離（初期値）を１００％（４０ｍｍ）としたとき、チャック間距離が４００％（１６０ｍｍ）となるまで、２５℃、速度５００ｍｍ／ｍｉｎの速さの条件で、長さ６０ｍｍの短冊状試験片を３００％伸長させ、１分間保持し、その後、除力により収縮させて１０分間放置後に、チャック間距離（延伸後長さ）を測定する。
チャック間距離（初期値）およびチャック間距離（延伸後長さ）を用いて、次の式から、引張永久伸びを求める。
引張永久伸び（％）＝［（延伸後長さ－初期値）／初期値］×１００

下記の手順で測定される、シリコーンゴム系硬化性組成物の硬化物の、引裂強度の下限は、例えば、２５Ｎ／ｍｍ以上、好ましくは２８Ｎ／ｍｍ以上、より好ましくは３０Ｎ／ｍｍ以上、さらに好ましくは３３Ｎ／ｍｍ以上、一層好ましくは３４Ｎ／ｍｍ以上である。これにより、シリコーンゴムの繰り返し使用時における耐久性を向上できる。また、シリコーンゴムの耐傷付き性や機械的強度を向上できる。
一方、上記引裂強度の上限は、特に限定されないが、例えば、８０Ｎ／ｍｍ以下としてもよく、７０Ｎ／ｍｍ以下としてもよい。これにより、シリコーンゴムの諸特性のバランスをとることができる。

（引裂強度の測定手順）
シリコーンゴム系硬化性組成物の硬化物を用いて、ＪＩＳ Ｋ６２５２（２００１）に準拠して、クレセント形試験片を作製し、２５℃における、得られたクレセント形試験片の引裂強度を測定する。

本実施形態では、たとえばシリコーンゴム系硬化性組成物中に含まれる各成分の種類や配合量、シリコーンゴム系硬化性組成物の調製方法等を適切に選択することにより、上記硬度、３０％及び３００％伸張時における引張応力、引張強度、破断伸び、引張永久伸び、及び引裂強度を制御することが可能である。これらの中でも、たとえば、シリコーンゴムを構成する樹脂の種類や配合比率、樹脂の架橋密度や架橋構造等を適切に制御すること、無機充填材の配合比率や無機充填材のゴムとの結合を向上させること、具体的には、ビニル基含有量が０．４モル％超えの第２のビニル基含有直鎖状オルガノポリシロキサン（Ａ１－２）を使用せず、分子内の末端のみに２個のビニル基を有するビニル基量が０．４モル％以下の第１のビニル基含有直鎖状オルガノポリシロキサン（Ａ１－１）を使用すること、ビニル基を有するシランカップリング剤を使用すること、シリカ粒子（Ｃ）の含有量やシランカップリング剤の含有量を適当に調整すること等が、上記硬度、３０％及び３００％伸張時における引張応力、引張強度、破断伸び、引張永久伸び、及び引裂強度を所望の数値範囲とするための要素として挙げられる。

次に、シリコーンゴム系硬化性組成物の組成成分について説明する。

本実施形態のシリコーンゴム系硬化性組成物は、ビニル基含有オルガノポリシロキサン（Ａ）を含むことができる。ビニル基含有オルガノポリシロキサン（Ａ）は、シリコーンゴム系硬化性組成物の主成分となる重合物である。

上記ビニル基含有オルガノポリシロキサン（Ａ）は、直鎖構造を有するビニル基含有直鎖状オルガノポリシロキサン（Ａ１）を含む。上記ビニル基含有直鎖状オルガノポリシロキサン（Ａ１）は、直鎖構造を有し、かつ、ビニル基を含有しており、かかるビニル基が硬化時の架橋点となる。

ビニル基含有直鎖状オルガノポリシロキサン（Ａ１）は、ビニル基量が０．４モル％以下の第１のビニル基含有直鎖状オルガノポリシロキサン（Ａ１－１）を含み、ビニル基含有量が０．４モル％超えの第２のビニル基含有直鎖状オルガノポリシロキサン（Ａ１－２）を含まない。
すなわち、上記ビニル基含有オルガノポリシロキサン（Ａ）は、第１のビニル基含有直鎖状オルガノポリシロキサン（Ａ１－１）の１種または２種以上を含む。

なお、本明細書中において、ビニル基含有量とは、ビニル基含有直鎖状オルガノポリシロキサン（Ａ１）を構成する全ユニットを１００モル％としたときのビニル基含有シロキサンユニットのモル％である。ただし、ビニル基含有シロキサンユニット１つに対して、ビニル基１つであると考える。

また、ビニル基含有オルガノポリシロキサン（Ａ）の重量平均分子量Ｍｗは、たとえば、５．０×１０^４以上１．０×１０^６以下、好ましくは１．０×１０^５以上９．０×１０^５以下、より好ましくは３．０×１０^５以上８．０×１０^５以下としてもよい。

ビニル基含有直鎖状オルガノポリシロキサン（Ａ１）のＭｗ（重量平均分子量）／Ｍｎ（数平均分子量）は、たとえば１．２以上４．０以下、好ましくは１．４以上３．５以下、より好ましくは１．６以上２．８以下としてもよい。なお、Ｍｗ／Ｍｎは、分子量分布の幅を示す分散度である。

重量平均分子量や数平均分子量は、例えばクロロホルムを展開溶媒としたＧＰＣ（ゲル透過クロマトグラフィー）におけるポリスチレン換算により測定することができる。

さらに、ビニル基含有オルガノポリシロキサン（Ａ）の比重は、特に限定されないが、０．９～１．１程度の範囲であるのが好ましい。

ビニル基含有オルガノポリシロキサン（Ａ）として、上記のような範囲内の重合度および比重を有するものを用いることにより、得られるシリコーンゴムの耐熱性、難燃性、化学的安定性等の向上を図ることができる。

ビニル基含有オルガノポリシロキサン（Ａ）が、下記一般式（１－１）で表される第１のビニル基含有直鎖状オルガノポリシロキサン（Ａ１－１）を含むことが好ましい。

上記一般式（１－１）中、Ｒ^１はビニル基であり、Ｒ^２は、メチル基またはビニル基、好ましくはメチル基である。すなわち、第１のビニル基含有直鎖状オルガノポリシロキサン（Ａ１－１）は、ビニル基量が０．４モル％以下であり、分子内の末端のみに２個のビニル基を有するものを含むことが好ましい。

ｍ、ｎは、式（１－１）で表される第１のビニル基含有直鎖状オルガノポリシロキサン（Ａ１－１）を構成する繰り返し単位の数であり、ｍは０～２０００の整数、ｎは１０００～１００００の整数である。ｍは、好ましくは０～１０００であり、ｎは、好ましくは２０００～５０００である。
ｍ、ｎは、数平均分子量Ｍｎを用いて算出される重合度を表す。
本明細書中、「～」は、特に明示しない限り、上限値と下限値を含むことを表す。

第１のビニル基含有直鎖状オルガノポリシロキサン（Ａ１－１）のビニル基量は、０．４モル％以下、好ましくは０．２モル％以下、より好ましくは０．１モル％以下、さらに好ましくは０．０８モル％以下である。これらを単独で用いても２種以上を組み合わせて用いてもよい。

なお、ビニル基含有オルガノポリシロキサン（Ａ）は、分岐構造を有するビニル基含有分岐状オルガノポリシロキサン（Ａ２）を含んでもよい。

＜＜オルガノハイドロジェンポリシロキサン（Ｂ）＞＞
シリコーンゴム系硬化性組成物は、オルガノハイドロジェンポリシロキサン（Ｂ）を含むことができる。
オルガノハイドロジェンポリシロキサン（Ｂ）は、直鎖構造を有する直鎖状オルガノハイドロジェンポリシロキサン（Ｂ１）と分岐構造を有する分岐状オルガノハイドロジェンポリシロキサン（Ｂ２）とに分類され、これらのうちのいずれか一方または双方を含むことができる。

直鎖状オルガノハイドロジェンポリシロキサン（Ｂ１）は、直鎖構造を有し、かつ、Ｓｉに水素が直接結合した構造（≡Ｓｉ－Ｈ）を有し、ビニル基含有オルガノポリシロキサン（Ａ）のビニル基の他、シリコーンゴム系硬化性組成物に配合される成分が有するビニル基とヒドロシリル化反応し、これらの成分を架橋する重合体である。

直鎖状オルガノハイドロジェンポリシロキサン（Ｂ１）の分子量は特に限定されないが、例えば、重量平均分子量が２００００以下であるのが好ましく、１０００以上、１００００以下であることがより好ましい。

なお、直鎖状オルガノハイドロジェンポリシロキサン（Ｂ１）の重量平均分子量は、例えばクロロホルムを展開溶媒としたＧＰＣ（ゲル透過クロマトグラフィー）におけるポリスチレン換算により測定することができる。

また、直鎖状オルガノハイドロジェンポリシロキサン（Ｂ１）は、通常、ビニル基を有しないものであるのが好ましい。これにより、直鎖状オルガノハイドロジェンポリシロキサン（Ｂ１）の分子内において架橋反応が進行するのを的確に防止することができる。

以上のような直鎖状オルガノハイドロジェンポリシロキサン（Ｂ１）としては、例えば、下記式（２）で表される構造を有するものが好ましく用いられる。

式（２）中、Ｒ^４は炭素数１～１０の置換または非置換のアルキル基、アルケニル基、アリール基、これらを組み合わせた炭化水素基、またはヒドリド基である。炭素数１～１０のアルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基等が挙げられ、中でも、メチル基が好ましい。炭素数１～１０のアルケニル基としては、例えば、ビニル基、アリル基、ブテニル基等が挙げられる。炭素数１～１０のアリール基としては、例えば、フェニル基が挙げられる。

また、Ｒ^５は炭素数１～１０の置換または非置換のアルキル基、アルケニル基、アリール基、これらを組み合わせた炭化水素基、またはヒドリド基である。炭素数１～１０のアルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基が挙げられ、中でも、メチル基が好ましい。炭素数１～１０のアルケニル基としては、例えば、ビニル基、アリル基、ブテニル基等が挙げられる。炭素数１～１０のアリール基としては、例えば、フェニル基が挙げられる。

なお、式（２）中、複数のＲ^４は互いに独立したものであり、互いに異なっていてもよいし、同じであってもよい。Ｒ^５についても同様である。ただし、複数のＲ^４およびＲ^５のうち、少なくとも２つ以上がヒドリド基である。

また、Ｒ^６は炭素数１～８の置換または非置換のアルキル基、アリール基、またはこれらを組み合わせた炭化水素基である。炭素数１～８のアルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基等が挙げられ、中でも、メチル基が好ましい。炭素数１～８のアリール基としては、例えば、フェニル基が挙げられる。複数のＲ^６は互いに独立したものであり、互いに異なっていてもよいし、同じであってもよい。

なお、式（２）中のＲ^４，Ｒ^５，Ｒ^６の置換基としては、例えば、メチル基、ビニル基等が挙げられ、分子内の架橋反応を防止する観点から、メチル基が好ましい。

さらに、ｍ、ｎは、式（２）で表される直鎖状オルガノハイドロジェンポリシロキサン（Ｂ１）を構成する繰り返し単位の数であり、ｍは２～１５０整数、ｎは２～１５０の整数である。好ましくは、ｍは２～１００の整数、ｎは２～１００の整数である。

なお、直鎖状オルガノハイドロジェンポリシロキサン（Ｂ１）は、１種のみを単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。

分岐状オルガノハイドロジェンポリシロキサン（Ｂ２）は、分岐構造を有するため、架橋密度が高い領域を形成し、シリコーンゴムの系中の架橋密度の疎密構造形成に大きく寄与する成分である。また、上記直鎖状オルガノハイドロジェンポリシロキサン（Ｂ１）同様、Ｓｉに水素が直接結合した構造（≡Ｓｉ－Ｈ）を有し、ビニル基含有オルガノポリシロキサン（Ａ）のビニル基の他、シリコーンゴム系硬化性組成物に配合される成分のビニル基とヒドロシリル化反応し、これら成分を架橋する重合体である。

また、分岐状オルガノハイドロジェンポリシロキサン（Ｂ２）の比重は、０．９～０．９５の範囲である。

さらに、分岐状オルガノハイドロジェンポリシロキサン（Ｂ２）は、通常、ビニル基を有しないものであるのが好ましい。これにより、分岐状オルガノハイドロジェンポリシロキサン（Ｂ２）の分子内において架橋反応が進行するのを的確に防止することができる。

また、分岐状オルガノハイドロジェンポリシロキサン（Ｂ２）としては、下記平均組成式（ｃ）で示されるものが好ましい。

平均組成式（ｃ）
（Ｈ_ａ（Ｒ^７）_３－ａＳｉＯ_１／２）_ｍ（ＳｉＯ_４／２）_ｎ
（式（ｃ）において、Ｒ^７は一価の有機基、ａは１～３の範囲の整数、ｍはＨ_ａ（Ｒ^７）_３－ａＳｉＯ_１／２単位の数、ｎはＳｉＯ_４／２単位の数である）

式（ｃ）において、Ｒ^７は一価の有機基であり、好ましくは、炭素数１～１０の置換または非置換のアルキル基、アリール基、またはこれらを組み合わせた炭化水素基である。炭素数１～１０のアルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基等が挙げられ、中でも、メチル基が好ましい。炭素数１～１０のアリール基としては、例えば、フェニル基が挙げられる。

式（ｃ）において、ａは、ヒドリド基（Ｓｉに直接結合する水素原子）の数であり、１～３の範囲の整数、好ましくは１である。

また、式（ｃ）において、ｍはＨ_ａ（Ｒ^７）_３－ａＳｉＯ_１／２単位の数、ｎはＳｉＯ_４／２単位の数である。

分岐状オルガノハイドロジェンポリシロキサン（Ｂ２）は分岐状構造を有する。直鎖状オルガノハイドロジェンポリシロキサン（Ｂ１）と分岐状オルガノハイドロジェンポリシロキサン（Ｂ２）は、その構造が直鎖状か分岐状かという点で異なり、Ｓｉの数を１とした時のＳｉに結合するアルキル基Ｒの数（Ｒ／Ｓｉ）が、直鎖状オルガノハイドロジェンポリシロキサン（Ｂ１）では１．８～２．１、分岐状オルガノハイドロジェンポリシロキサン（Ｂ２）では０．８～１．７の範囲となる。

なお、分岐状オルガノハイドロジェンポリシロキサン（Ｂ２）は、分岐構造を有しているため、例えば、窒素雰囲気下、１０００℃まで昇温速度１０℃／分で加熱した際の残渣量が５％以上となる。これに対して、直鎖状オルガノハイドロジェンポリシロキサン（Ｂ１）は、直鎖状であるため、上記条件で加熱した後の残渣量はほぼゼロとなる。

また、分岐状オルガノハイドロジェンポリシロキサン（Ｂ２）の具体例としては、下記式（３）で表される構造を有するものが挙げられる。

式（３）中、Ｒ^７は炭素数１～８の置換または非置換のアルキル基、アリール基、またはこれらを組み合わせた炭化水素基、もしくは水素原子である。炭素数１～８のアルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基等が挙げられ、中でも、メチル基が好ましい。炭素数１～８のアリール基としては、例えば、フェニル基が挙げられる。Ｒ^７の置換基としては、例えば、メチル基等が挙げられる。

なお、式（３）中、複数のＲ^７は互いに独立したものであり、互いに異なっていてもよいし、同じであってもよい。

また、式（３）中、「－Ｏ－Ｓｉ≡」は、Ｓｉが三次元に広がる分岐構造を有することを表している。

なお、分岐状オルガノハイドロジェンポリシロキサン（Ｂ２）は、１種のみを単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。

また、直鎖状オルガノハイドロジェンポリシロキサン（Ｂ１）と分岐状オルガノハイドロジェンポリシロキサン（Ｂ２）において、Ｓｉに直接結合する水素原子（ヒドリド基）の量は、それぞれ、特に限定されない。ただし、シリコーンゴム系硬化性組成物において、ビニル基含有直鎖状オルガノポリシロキサン（Ａ１）中のビニル基１モルに対し、直鎖状オルガノハイドロジェンポリシロキサン（Ｂ１）と分岐状オルガノハイドロジェンポリシロキサン（Ｂ２）の合計のヒドリド基量が、０．５～５モルとなる量が好ましく、１～３．５モルとなる量がより好ましい。これにより、直鎖状オルガノハイドロジェンポリシロキサン（Ｂ１）および分岐状オルガノハイドロジェンポリシロキサン（Ｂ２）と、ビニル基含有直鎖状オルガノポリシロキサン（Ａ１）との間で、架橋ネットワークを確実に形成させることができる。

＜＜シリカ粒子（Ｃ）＞＞
シリコーンゴム系硬化性組成物は、シリカ粒子（Ｃ）を含む。

シリカ粒子（Ｃ）としては、特に限定されないが、例えば、ヒュームドシリカ、焼成シリカ、沈降シリカ等が用いられる。これらを単独で用いても２種以上を組み合わせて用いてもよい。

シリカ粒子（Ｃ）は、例えば、ＢＥＴ法による比表面積は、例えば、５０ｍ^２／ｇ～４００ｍ^２／ｇ、好ましくは１００ｍ^２／ｇ～４００ｍ^２／ｇ、より好ましくは２００ｍ^２／ｇ～４００ｍ^２／ｇである。

シリカ粒子（Ｃ）の平均一次粒径は、例えば、１ｎｍ～１００ｎｍであるのが好ましく、５ｎｍ～２０ｎｍ程度であるのがより好ましい。

シリカ粒子（Ｃ）として、かかる比表面積および平均粒径の範囲内であるものを用いることにより、形成されるシリコーンゴムの硬さや機械的強度の向上、特に引張強度の向上をさせることができる。

＜＜シランカップリング剤（Ｄ）＞＞
シリコーンゴム系硬化性組成物は、シランカップリング剤（Ｄ）を含む。

シランカップリング剤（Ｄ）は、加水分解性基を有することができる。加水分解基が水により加水分解されて水酸基になり、この水酸基がシリカ粒子（Ｃ）表面の水酸基と脱水縮合反応することで、シリカ粒子（Ｃ）の表面改質を行うことができる。

シランカップリング剤（Ｄ）は、ビニル基を有するシランカップリング剤を含む。
これにより、シリカ粒子（Ｃ）の表面にビニル基が導入される。そのため、シリコーンゴム系硬化性組成物の硬化の際、すなわち、ビニル基含有オルガノポリシロキサン（Ａ）が有するビニル基と、オルガノハイドロジェンポリシロキサン（Ｂ）が有するヒドリド基とがヒドロシリル化反応して、これらによるネットワーク（架橋構造）が形成される際に、シリカ粒子（Ｃ）が有するビニル基も、オルガノハイドロジェンポリシロキサン（Ｂ）が有するヒドリド基とのヒドロシリル化反応に関与するため、ネットワーク中にシリカ粒子（Ｃ）も取り込まれるようになる。これにより、形成されるシリコーンゴムの低硬度化および高モジュラス化を図ることができる。

また、このシランカップリング剤（Ｄ）は、疎水性基を有するシランカップリング剤を含むことができる。これにより、シリカ粒子（Ｃ）の表面にこの疎水性基が付与されるため、シリコーンゴム系硬化性組成物中ひいてはシリコーンゴム中において、シリカ粒子（Ｃ）の凝集力が低下（シラノール基による水素結合による凝集が少なくなる）し、その結果、シリコーンゴム系硬化性組成物中のシリカ粒子の分散性が向上すると推測される。これにより、シリカ粒子とゴムマトリックスとの界面が増加し、シリカ粒子の補強効果が増大する。さらに、ゴムのマトリックス変形の際、マトリックス内でのシリカ粒子の滑り性が向上すると推測される。そして、シリカ粒子（Ｃ）の分散性の向上及び滑り性の向上によって、シリカ粒子（Ｃ）によるシリコーンゴムの機械的強度（例えば、引張強度や引裂強度など）が向上する。

シランカップリング剤（Ｄ）は、ビニル基を有するシランカップリング剤と疎水性基を有するシランカップリング剤とを含んでもよい。

シランカップリング剤（Ｄ）としては、例えば、下記式（４）で表わされるものが挙げられる。

Ｙ_ｎ－Ｓｉ－（Ｘ）_４－ｎ・・・（４）
上記式（４）中、ｎは１～３の整数を表わす。Ｙは、疎水性基、親水性基またはビニル基を有するもののうちのいずれかの官能基を表わし、ｎが１の時は疎水性基であり、ｎが２または３の時はその少なくとも１つが疎水性基である。Ｘは、加水分解性基を表わす。

疎水性基は、炭素数１～６のアルキル基、アリール基、またはこれらを組み合わせた炭化水素基であり、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、フェニル基等が挙げられ、中でも、特に、メチル基が好ましい。

また、親水性基は、例えば、水酸基、スルホン酸基、カルボキシル基またはカルボニル基等が挙げられ、中でも、特に、水酸基が好ましい。なお、親水性基は、官能基として含まれていてもよいが、シランカップリング剤（Ｄ）に疎水性を付与するという観点からは含まれていないのが好ましい。

さらに、加水分解性基は、メトキシ基、エトキシ基のようなアルコキシ基、クロロ基またはシラザン基等が挙げられ、中でも、シリカ粒子（Ｃ）との反応性が高いことから、シラザン基が好ましい。なお、加水分解性基としてシラザン基を有するものは、その構造上の特性から、上記式（４）中の（Ｙ_ｎ－Ｓｉ－）の構造を２つ有するものとなる。

上記式（４）で表されるシランカップリング剤（Ｄ）の具体例は、例えば、官能基として疎水性基を有するものとして、メチルトリメトキシシラン、ジメチルジメトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、ｎ－プロピルトリメトキシシラン、ｎ－プロピルトリエトキシシラン、ヘキシルトリメトキシシラン、ヘキシルトリエトキシシラン、デシルトリメトキシシランのようなアルコキシシラン；メチルトリクロロシラン、ジメチルジクロロシラン、トリメチルクロロシラン、フェニルトリクロロシランのようなクロロシラン；ヘキサメチルジシラザンが挙げられ、官能基としてビニル基を有するものとして、メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン、メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、メタクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン、メタクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、ビニルメチルジメトキシシランのようなアルコキシシラン；ビニルトリクロロシラン、ビニルメチルジクロロシランのようなクロロシラン；ジビニルテトラメチルジシラザンが挙げられるが、中でも、上記記載を考慮すると、特に、疎水性基を有するものとしてはヘキサメチルジシラザン、ビニル基を有するものとしてはジビニルテトラメチルジシラザンであるのが好ましい。

＜＜白金または白金化合物（Ｅ）＞＞
シリコーンゴム系硬化性組成物は、白金または白金化合物（Ｅ）を含むことができる。
白金または白金化合物（Ｅ）は、硬化の際の触媒として作用する触媒成分である。白金または白金化合物（Ｅ）の添加量は触媒量である。

白金または白金化合物（Ｅ）としては、公知のものを使用することができ、例えば、白金黒、白金をシリカやカーボンブラック等に担持させたもの、塩化白金酸または塩化白金酸のアルコール溶液、塩化白金酸とオレフィンの錯塩、塩化白金酸とビニルシロキサンとの錯塩等が挙げられる。

なお、白金または白金化合物（Ｅ）は、１種のみを単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。

＜＜水（Ｆ）＞＞
また、シリコーンゴム系硬化性組成物には、上記成分（Ａ）～（Ｅ）以外に、水（Ｆ）が含まれていてもよい。

水（Ｆ）は、シリコーンゴム系硬化性組成物に含まれる各成分を分散させる分散媒として機能するとともに、シリカ粒子（Ｃ）とシランカップリング剤（Ｄ）との反応に寄与する成分である。そのため、シリコーンゴム中において、シリカ粒子（Ｃ）とシランカップリング剤（Ｄ）とを、より確実に互いに連結したものとすることができ、全体として均一な特性を発揮することができる。

さらに、本実施形態のシリコーンゴム系硬化性組成物は、上記（Ａ）～（Ｆ）成分の他、シリコーンゴム系硬化性組成物に配合される公知の添加成分を含有していてもよい。例えば、珪藻土、酸化鉄、酸化亜鉛、酸化チタン、酸化バリウム、酸化マグネシウム、酸化セリウム、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、炭酸亜鉛、ガラスウール、マイカ等が挙げられる。その他、分散剤、顔料、染料、帯電防止剤、酸化防止剤、難燃剤、熱伝導性向上剤等を適宜配合することができる。

なお、シリコーンゴム系硬化性組成物において、各成分の含有割合は特に限定されないが、例えば、以下のように設定される。

シリコーンゴム系硬化性組成物中のシリカ粒子（Ｃ）の含有量の上限は、ビニル基含有オルガノポリシロキサン（Ａ）の合計量１００重量部に対し、例えば、８０重量部以下、７５重量部以下、７０重量部以下でもよい。これにより、硬度と、引張強度等の機械的強度のバランスを図ることができる。
上記シリカ粒子（Ｃ）の含有量の下限は、ビニル基含有オルガノポリシロキサン（Ａ）の合計量１００重量部に対し、例えば、３０重量部以上、好ましくは３５重量部以上、より好ましくは４０重量部以上である。これにより、硬度を高めることが可能になる。

シランカップリング剤（Ｄ）は、ビニル基含有オルガノポリシロキサン（Ａ）１００重量部に対し、例えば、シランカップリング剤（Ｄ）が５重量部以上１００重量部以下の割合で含有するのが好ましく、５重量部以上４０重量部以下の割合で含有するのがより好ましい。これにより、シリカ粒子（Ｃ）のシリコーンゴム系硬化性組成物中における分散性を確実に向上させることができる。

ビニル基を有するシランカップリング剤の含有量の下限は、ビニル基含有オルガノポリシロキサン（Ａ）の１００重量部に対して、例えば、０．５重量部以上、好ましくは１重量部以上、より好ましくは３重量部以上である。これにより、硬度を高めつつも、３００％モジュラスを低減できる。
一方、上記ビニル基を有するシランカップリング剤の含有量の上限は、ビニル基含有オルガノポリシロキサン（Ａ）の１００重量部に対して、例えば、１０重量部以下、８重量部以下でもよい。

疎水性基を有するシランカップリング剤とビニル基を有するシランカップリング剤との配合比率は、重量比で、例えば、１：０．０１以上１：１．５以下、好ましくは１：０．１以上１：１以下、より好ましくは１：０．２以上１：０．９５以下である。このような範囲内とすることによって、諸物性のバランスを図ることができる。

オルガノハイドロジェンポリシロキサン（Ｂ）の含有量は、具体的にビニル基含有オルガノポリシロキサン（Ａ）及びシリカ粒子（Ｃ）及びシランカップリング剤（Ｄ）の合計量１００重量部に対して、例えば、０．５重量部以上２０重量部以下の割合で含有することが好ましく、０．８重量部以上１５重量部以下の割合で含有するのがより好ましい。（Ｂ）の含有量が前記範囲内であることで、より効果的な硬化反応ができる可能性がある。

白金または白金化合物（Ｅ）の含有量は、触媒量を意味し、適宜設定することができるが、具体的にビニル基含有オルガノポリシロキサン（Ａ）、シリカ粒子（Ｃ）、シランカップリング剤（Ｄ）の合計量に対して、本成分中の白金族金属が重量単位で０．０１～１０００ｐｐｍとなる量であり、好ましくは、０．１～５００ｐｐｍとなる量である。白金または白金化合物（Ｅ）の含有量を上記下限値以上とすることにより、得られるシリコーンゴム組成物を十分硬化させることができる。白金または白金化合物（Ｅ）の含有量を上記上限値以下とすることにより、得られるシリコーンゴム組成物の硬化速度を向上させることができる。

さらに、水（Ｆ）を含有する場合、その含有量は、適宜設定することができるが、具体的には、シランカップリング剤（Ｄ）１００重量部に対して、例えば、１０～１００重量部の範囲であるのが好ましく、３０～７０重量部の範囲であるのがより好ましい。これにより、シランカップリング剤（Ｄ）とシリカ粒子（Ｃ）との反応をより確実に進行させることができる。

＜シリコーンゴムの製造方法＞
次に、本実施形態のシリコーンゴムの製造方法について説明する。
本実施形態のシリコーンゴムの製造方法としては、シリコーンゴム系硬化性組成物を調製し、このシリコーンゴム系硬化性組成物を硬化させることによりシリコーンゴムを得ることができる。
以下、詳述する。

まず、シリコーンゴム系硬化性組成物の各成分を、任意の混練装置により、均一に混合してシリコーンゴム系硬化性組成物を調製する。

［１］たとえば、ビニル基含有オルガノポリシロキサン（Ａ）と、シリカ粒子（Ｃ）と、シランカップリング剤（Ｄ）とを所定量秤量し、その後、任意の混練装置により、混練することで、これら各成分（Ａ）、（Ｃ）、（Ｄ）を含有する混練物を得る。

なお、この混練物は、予めビニル基含有オルガノポリシロキサン（Ａ）とシランカップリング剤（Ｄ）とを混練し、その後、シリカ粒子（Ｃ）を混練（混合）して得るのが好ましい。これにより、ビニル基含有オルガノポリシロキサン（Ａ）中におけるシリカ粒子（Ｃ）の分散性がより向上する。

また、この混練物を得る際には、水（Ｆ）を必要に応じて、各成分（Ａ）、（Ｃ）、および（Ｄ）の混練物に添加するようにしてもよい。これにより、シランカップリング剤（Ｄ）とシリカ粒子（Ｃ）との反応をより確実に進行させることができる。

さらに、各成分（Ａ）、（Ｃ）、（Ｄ）の混練は、第１温度で加熱する第１ステップと、第２温度で加熱する第２ステップとを経るようにするのが好ましい。これにより、第１ステップにおいて、シリカ粒子（Ｃ）の表面をカップリング剤（Ｄ）で表面処理することができるとともに、第２ステップにおいて、シリカ粒子（Ｃ）とカップリング剤（Ｄ）との反応で生成した副生成物を混練物中から確実に除去することができる。その後、必要に応じて、得られた混練物に対して、成分（Ａ）を添加し、更に混練してもよい。これにより、混練物の成分のなじみを向上させることができる。

第１温度は、例えば、４０～１２０℃程度であるのが好ましく、例えば、６０～９０℃程度であるのがより好ましい。第２温度は、例えば、１３０～２１０℃程度であるのが好ましく、例えば、１６０～１８０℃程度であるのがより好ましい。

また、第１ステップにおける雰囲気は、窒素雰囲気下のような不活性雰囲気下であるのが好ましく、第２ステップにおける雰囲気は、減圧雰囲気下であるのが好ましい。

さらに、第１ステップの時間は、例えば、０．３～１．５時間程度であるのが好ましく、０．５～１．２時間程度であるのがより好ましい。第２ステップの時間は、例えば、０．７～３．０時間程度であるのが好ましく、１．０～２．０時間程度であるのがより好ましい。

第１ステップおよび第２ステップを、上記のような条件とすることで、前記効果をより顕著に得ることができる。

［２］次に、オルガノハイドロジェンポリシロキサン（Ｂ）と、白金または白金化合物（Ｅ）とを所定量秤量し、その後、任意の混練装置を用いて、上記工程［１］で調製した混練物に、各成分（Ｂ）、（Ｅ）を混練することで、シリコーンゴム系硬化性組成物を得る。得られたシリコーンゴム系硬化性組成物は溶剤を含むペーストであってもよい。

なお、この各成分（Ｂ）、（Ｅ）の混練の際には、予め上記工程［１］で調製した混練物とオルガノハイドロジェンポリシロキサン（Ｂ）とを、上記工程［１］で調製した混練物と白金または白金化合物（Ｅ）とを混練し、その後、それぞれの混練物を混練するのが好ましい。これにより、ビニル基含有オルガノポリシロキサン（Ａ）とオルガノハイドロジェンポリシロキサン（Ｂ）との反応を進行させることなく、各成分（Ａ）～（Ｅ）をシリコーンゴム系硬化性組成物中に確実に分散させることができる。

各成分（Ｂ）、（Ｅ）を混練する際の温度は、ロール設定温度として、例えば、１０～７０℃程度であるのが好ましく、２５～３０℃程度であるのがより好ましい。

さらに、混練する時間は、例えば、５分～１時間程度であるのが好ましく、１０～４０分程度であるのがより好ましい。

上記工程［１］および上記工程［２］において、温度を上記範囲内とすることにより、ビニル基含有オルガノポリシロキサン（Ａ）とオルガノハイドロジェンポリシロキサン（Ｂ）との反応の進行をより的確に防止または抑制することができる。また、上記工程［１］および上記工程［２］において、混練時間を上記範囲内とすることにより、各成分（Ａ）～（Ｅ）をシリコーンゴム系硬化性組成物中により確実に分散させることができる。

なお、各工程［１］、［２］において使用される混練装置としては、特に限定されないが、例えば、ニーダー、２本ロール、バンバリーミキサー（連続ニーダー）、加圧ニーダー等を用いることができる。

また、本工程［２］において、混練物中に１－エチニルシクロヘキサノールのような反応抑制剤を添加するようにしてもよい。これにより、混練物の温度が比較的高い温度に設定されたとしても、ビニル基含有オルガノポリシロキサン（Ａ）とオルガノハイドロジェンポリシロキサン（Ｂ）との反応の進行をより的確に防止または抑制することができる。

［３］次に、シリコーンゴム系硬化性組成物を硬化させることによりシリコーンゴムを形成する。

本実施形態において、シリコーンゴム系硬化性組成物の硬化工程は、例えば、１００～２５０℃で１～３０分間加熱（１次硬化）した後、２００℃で１～４時間ポストベーク（２次硬化）することによって行われる。
以上のような工程を経ることで、本実施形態のシリコーンゴム系硬化性組成物を用いてシリコーンゴムが得られる。

本実施形態のアクチュエータは、シリコーンゴム系硬化性組成物の硬化物を有するものである。

また、アクチュエータの中でも、流体駆動型アクチュエータ（アクチュエータ１００）は、シリコーンゴム系硬化性組成物の硬化物で形成されたチューブ部材を備える。

アクチュエータ１００は、軸方向に対して１本または２本以上のチューブ１０を有してもよい。

チューブ１０の製造方法は、シリコーンゴム系硬化性組成物を用いた押出成形によって、チューブ状のシリコーンゴムを形成する方法や、圧縮成形によって、チューブ状のシリコーンゴムを形成する方法を用いてもよい。

チューブ１０は、軸方向に延在する筒状構造でもよく、全体または一部が湾曲した湾曲構造を有してもよい。

チューブ１０は、内部に１または２以上の空間１２を有してもよい。具体的には、チューブ１０は、１または２以上のリングによって、あるいは、シリコーンゴム層の内面が互いに接着することによって、複数に区分された空間１２を有してもよい。この複数の空間１２は、チューブ１０の軸方向に並ぶように配置される。

チューブ１０のシリコーンゴム層は、単層でもよく、２以上の複数層で構成されてもよい。各シリコーンゴム層は、１種または２種以上のシリコーンゴム層で構成されてもよい。例えば、２つのシリコーンゴム層の間に繊維層を有してもよい。また、チューブ１０は、少なくとも一部に伸縮率が異なる２以上のシリコーンゴム層やシリコーンゴム以外の層を有してもよい。

キャップ２０は、チューブ１０の内周面に設置されてもよいが、チューブ１０の外周面に設置されてもよい。キャップ２０は、他の機構や部材と連結するための連結機構を有してもよい。
以下、参考形態の例を付記する。
１． ビニル基含有オルガノポリシロキサン（Ａ）と、
シリカ粒子（Ｃ）と、
シランカップリング剤（Ｄ）と、を含む、シリコーンゴム系硬化性組成物であって、
前記ビニル基含有オルガノポリシロキサン（Ａ）が、ビニル基量が０．４モル％以下の第１のビニル基含有直鎖状オルガノポリシロキサン（Ａ１－１）を含み、ビニル基含有量が０．４モル％超えの第２のビニル基含有直鎖状オルガノポリシロキサン（Ａ１－２）を含まず、
前記シランカップリング剤（Ｄ）が、ビニル基を有するシランカップリング剤を含む、
シリコーンゴム系硬化性組成物。
２． １．に記載のシリコーンゴム系硬化性組成物であって、
前記シリカ粒子（Ｃ）の含有量が、前記ビニル基含有オルガノポリシロキサン（Ａ）の１００重量部に対して、３０重量部以上８０重量部以下である、シリコーンゴム系硬化性組成物。
３． １．又は２．に記載のシリコーンゴム系硬化性組成物であって、
前記ビニル基を有するシランカップリング剤の含有量が、前記ビニル基含有オルガノポリシロキサン（Ａ）の１００重量部に対して、０．５重量部以上１０重量部以下である、シリコーンゴム系硬化性組成物。
４． １．～３．のいずれか一つに記載のシリコーンゴム系硬化性組成物であって、
前記シランカップリング剤（Ｄ）が、前記ビニル基を有するシランカップリング剤、及び疎水性基を有するシランカップリング剤を含む、シリコーンゴム系硬化性組成物。
５． １．～４．のいずれか一つに記載のシリコーンゴム系硬化性組成物であって、
疎水性基を有するシランカップリング剤とビニル基を有するシランカップリング剤との配合比率が、重量比で、１：０．０１以上１：１．５以下である、シリコーンゴム系硬化性組成物。
６． １．～５．のいずれか一つに記載のシリコーンゴム系硬化性組成物であって、
前記ビニル基含有オルガノポリシロキサン（Ａ）の重量平均分子量Ｍｗが、５．０×１０ ^４ 以上１．０×１０ ^６ 以下である、シリコーンゴム系硬化性組成物。
７． １．～６．のいずれか一つに記載のシリコーンゴム系硬化性組成物であって、
前記ビニル基含有オルガノポリシロキサン（Ａ）が、下記一般式（１－１）であわらされる前記第１のビニル基含有直鎖状オルガノポリシロキサン（Ａ１－１）を含む、シリコーンゴム系硬化性組成物。
（上記一般式（１－１）中、Ｒ ^１ はビニル基、Ｒ ^２ は、メチル基またはビニル基である。）
８． ７．に記載のシリコーンゴム系硬化性組成物であって、
上記一般式（１－１）中、ｍは、０～２０００の整数、ｎは１０００～１００００の整数である、シリコーンゴム系硬化性組成物。
９． １．～８．のいずれか一つに記載のシリコーンゴム系硬化性組成物であって、
前記シリカ粒子（Ｃ）が、ヒュームドシリカ、焼成シリカ、及び沈降シリカからなる群から選ばれる一または二以上を含む、シリコーンゴム系硬化性組成物。
１０． １．～９．のいずれか一つに記載のシリコーンゴム系硬化性組成物であって、
前記シリカ粒子（Ｃ）の平均一次粒径が、１ｎｍ以上１００ｎｍ以下である、シリコーンゴム系硬化性組成物。
１１． １．～１０．のいずれか一つに記載のシリコーンゴム系硬化性組成物であって、
前記シリカ粒子（Ｃ）のＢＥＴ法による比表面積が、２００ｍ ^２ ／ｇ以上５００ｍ ^２ ／ｇ以下である、シリコーンゴム系硬化性組成物。
１２． １．～１１．のいずれか一つに記載のシリコーンゴム系硬化性組成物であって、
オルガノハイドロジェンポリシロキサン（Ｂ）を含む、シリコーンゴム系硬化性組成物。
１３． １．～１２．のいずれか一つに記載のシリコーンゴム系硬化性組成物であって、
触媒として白金または白金化合物（Ｅ）を含む、シリコーンゴム系硬化性組成物。
１４． １．～１３．のいずれか一つに記載のシリコーンゴム系硬化性組成物であって、
下記の手順で測定される、当該シリコーンゴム系硬化性組成物の硬化物の、デュロメータ硬さＡが、４０以上８０以下である、シリコーンゴム系硬化性組成物。
（デュロメータ硬さＡの測定手順）
当該シリコーンゴム系硬化性組成物の硬化物を用いて、シート状試験片を作製し、ＪＩＳ Ｋ６２５３（１９９７）に準拠して、２５℃における、得られたシート状試験片のデュロメータ硬さＡを測定する。
１５． １．～１４．のいずれか一つに記載のシリコーンゴム系硬化性組成物であって、
下記の手順で測定される、当該シリコーンゴム系硬化性組成物の硬化物の、３００％伸長時の引張永久伸びが、１５．０％以下である、シリコーンゴム系硬化性組成物。
（引張永久伸びの測定手順）
当該シリコーンゴム系硬化性組成物の硬化物を用いて、長さ６０ｍｍ×幅５ｍｍの大きさで厚さ方向に打ち抜くことで短冊状をなす試験片を作製する。
チャック間距離（初期値）を１００％（４０ｍｍ）としたとき、チャック間距離が４００％（１６０ｍｍ）となるまで、２５℃、速度５００ｍｍ／ｍｉｎの速さの条件で、長さ６０ｍｍの短冊状試験片を３００％伸長させ、１分間保持し、その後、除力により収縮させて１０分間放置後に、チャック間距離（延伸後長さ）を測定する。
チャック間距離（初期値）およびチャック間距離（延伸後長さ）を用いて、次の式から、引張永久伸びを求める。
引張永久伸び（％）＝［（延伸後長さ－初期値）／初期値］×１００
１６． １．～１５．のいずれか一つに記載のシリコーンゴム系硬化性組成物であって、
下記の手順で測定される、当該シリコーンゴム系硬化性組成物の硬化物の引張強度が、１２．０ＭＰａ以上である、シリコーンゴム系硬化性組成物。
（引張強度の測定手順）
当該シリコーンゴム系硬化性組成物の硬化物を用いて、ＪＩＳ Ｋ６２５１（２００４）に準拠して、ダンベル状３号形試験片を作製し、２５℃における、ダンベル状３号形試験片の引張強度を測定する。
１７． １．～１６．のいずれか一つに記載のシリコーンゴム系硬化性組成物であって、
下記の手順で測定される、当該シリコーンゴム系硬化性組成物の硬化物の、引裂強度が、２５Ｎ／ｍｍ以上である、シリコーンゴム系硬化性組成物。
（引裂強度の測定手順）
当該シリコーンゴム系硬化性組成物の硬化物を用いて、ＪＩＳ Ｋ６２５２（２００１）に準拠して、クレセント形試験片を作製し、２５℃における、得られたクレセント形試験片の引裂強度を測定する。
１８． １．～１７．のいずれか一つに記載のシリコーンゴム系硬化性組成物であって、
アクチュエータまたはウェアラブルデバイスを構成する一部を形成するために用いる、シリコーンゴム系硬化性組成物。
１９． １．～１８．のいずれか一つに記載のシリコーンゴム系硬化性組成物であって、
流体駆動型アクチュエータを構成する一部を形成するために用いる、シリコーンゴム系硬化性組成物。
２０． １９．に記載のシリコーンゴム系硬化性組成物であって、
前記流体駆動型アクチュエータ中のチューブ部材を形成するために用いる、シリコーンゴム系硬化性組成物。
２１． １．～２０．のいずれか一つに記載のシリコーンゴム系硬化性組成物の硬化物を有する、アクチュエータ。

以下、本発明について実施例を参照して詳細に説明するが、本発明は、これらの実施例の記載に何ら限定されるものではない。

表１に示す実施例および比較例で用いた原料成分を以下に示す。
（ビニル基含有オルガノポリシロキサン（Ａ））
・低ビニル基含有直鎖状オルガノポリシロキサン（Ａ１－１）：合成スキーム１により合成したビニル基含有ジメチルポリシロキサン（式（１－１）で表わされる構造でＲ^１（末端）のみがビニル基である構造）
・高ビニル基含有直鎖状オルガノポリシロキサン（Ａ１－２）：合成スキーム２により合成したビニル基含有ジメチルポリシロキサン（式（１－１）で表わされる構造でＲ^１およびＲ^２がビニル基である構造）

（オルガノハイドロジェンポリシロキサン（Ｂ））
・モメンティブ社製：「ＴＣ－２５Ｄ」

（シリカ粒子（Ｃ））
・シリカ粒子（Ｃ－１）：シリカ微粒子（粒径７ｎｍ、比表面積３００ｍ^２／ｇ）、日本アエロジル社製、「ＡＥＲＯＳＩＬ３００」

（シランカップリング剤（Ｄ））
・シランカップリング剤（Ｄ－１）：ヘキサメチルジシラザン（ＨＭＤＺ）、Ｇｅｌｅｓｔ社製、「ＨＥＸＡＭＥＴＨＹＬＤＩＳＩＬＡＺＡＮＥ（ＳＩＨ６１１０．１）」
・シランカップリング剤（Ｄ－２）：ジビニルテトラメチルジシラザン、Ｇｅｌｅｓｔ社製、「１，３－ＤＩＶＩＮＹＬＴＥＴＲＡＭＥＴＨＹＬＤＩＳＩＬＡＺＡＮＥ（ＳＩＤ４６１２．０）」

（白金または白金化合物（Ｅ））
・モメンティブ社製：「ＴＣ－２５Ａ」

（ビニル基含有オルガノポリシロキサン（Ａ）の合成）
［合成スキーム１：低ビニル基含有直鎖状オルガノポリシロキサン（Ａ１－１）の合成］
下記式（５）にしたがって、低ビニル基含有直鎖状オルガノポリシロキサン（Ａ１－１）を合成した。
すなわち、Ａｒガス置換した、冷却管および攪拌翼を有する３００ｍＬセパラブルフラスコに、オクタメチルシクロテトラシロキサン７４．７ｇ（２５２ｍｍｏｌ）、カリウムシリコネート０．１ｇを入れ、昇温し、１２０℃で３０分間攪拌した。なお、この際、粘度の上昇が確認できた。
その後、１５５℃まで昇温し、３時間攪拌を続けた。そして、３時間後、１，３－ジビニルテトラメチルジシロキサン０．１ｇ（０．６ｍｍｏｌ）を添加し、さらに、１５５℃で４時間攪拌した。
さらに、４時間後、トルエン２５０ｍＬで希釈した後、水で３回洗浄した。洗浄後の有機層をメタノール１．５Ｌで数回洗浄することで、再沈精製し、オリゴマーとポリマーを分離した。得られたポリマーを６０℃で一晩減圧乾燥し、低ビニル基含有直鎖状オルガノポリシロキサン（Ａ１－１）を得た（Ｍｎ＝２．２×１０^５、Ｍｗ＝４．８×１０^５）。また、Ｈ－ＮＭＲスペクトル測定により算出したビニル基含有量は０．０４モル％であった。

［合成スキーム２：高ビニル基含有直鎖状オルガノポリシロキサン（Ａ１－２）の合成］
上記（Ａ１－１）の合成工程において、オクタメチルシクロテトラシロキサン７４．７ｇ（２５２ｍｍｏｌ）に加えて２，４，６，８－テトラメチル２，４，６，８－テトラビニルシクロテトラシロキサン０．８６ｇ（２．５ｍｍｏｌ）を用いたこと以外は、（Ａ１－１）の合成工程と同様にすることで、下記式（６）のように、高ビニル基含有直鎖状オルガノポリシロキサン（Ａ１－２）を合成した。（Ｍｎ＝２．３×１０^５、Ｍｗ＝５．０×１０^５）。また、Ｈ－ＮＭＲスペクトル測定により算出したビニル基含有量は０．９３モル％であった。

（実施例１～３、比較例１～３：シリコーンゴム系硬化性組成物の調製）
次のようにしてシリコーンゴム系硬化性組成物を調整した。
まず、下記の表１に示す割合で、９０％のビニル基含有オルガノポリシロキサン（Ａ）、シランカップリング剤（Ｄ）および水（Ｆ）の混合物を予め混練し、その後、混合物にシリカ粒子（Ｃ）を加えてさらに混練し、混練物（シリコーンゴムコンパウンド）を得た。
ここで、シリカ粒子（Ｃ）添加後の混練は、カップリング反応のために窒素雰囲気下、６０～９０℃の条件下で１時間混練する第１ステップと、副生成物（アンモニア）の除去のために減圧雰囲気下、１６０～１８０℃の条件下で２時間混練する第２ステップとを経ることで行い、その後、冷却し、残り１０％のビニル基含有オルガノポリシロキサン（Ａ）を２回に分けて添加し、２０分間混練した。
続いて、得られた混練物（シリコーンゴムコンパウンド）１００重量部に、下記の表１に示す割合で、オルガノハイドロジェンポリシロキサン（Ｂ）（ＴＣ－２５Ｄ）および白金または白金化合物（Ｅ）（ＴＣ－２５Ａ）を加えて、ロールで混練し、シリコーンゴム系硬化性組成物を得た。

（評価用シリコーンゴムの作製）
実施例１、２、比較例１、２において、得られたシリコーンゴム系硬化性組成物を、１７０℃、１０ＭＰａで１０分間プレスし、厚さ１ｍｍのシート状に成形すると共に、１次硬化した。続いて、２００℃で４時間加熱し、２次硬化した。以上により、シート状シリコーンゴム（シリコーンゴム系硬化性組成物の硬化物）を得た。

得られたシート状シリコーンゴム（シート状のエラストマー）に対して、下記の評価項目に基づいて評価を行った。
引張強度、破断伸び、３０％モジュラス、３００％モジュラス、引張永久伸びについては、３つのサンプルで行い、３つの平均値を測定値とした。
引裂強度については、５つのサンプルで行い、５つの平均値を測定値とした。
硬度については、ｎ＝５で測定を行い、その平均値を測定値とした。それぞれの平均値を表２に示す。

表２中、「＞」は、引張試験機のストローク限界のため、破断まで至らなかったことを示す。

＜硬度：デュロメータ硬さ＞
得られた厚さ１ｍｍのシート状シリコーンゴムを６枚積層し、６ｍｍの試験片を作製した。得られた試験片に対して、２５℃において、ＪＩＳ Ｋ６２５３（１９９７）に準拠してタイプＡデュロメータ硬さを測定した。

＜引裂強度＞
得られた厚さ１ｍｍのシート状シリコーンゴムを用いて、ＪＩＳ Ｋ６２５２（２００１）に準拠して、クレセント形試験片を作製し、得られたクレセント形試験片について、２５℃における引裂強度（ＴＳ）を測定した。単位は、Ｎ／ｍｍである。

＜引張強度＞
得られた厚さ１ｍｍのシート状シリコーンゴムを用いて、ＪＩＳ Ｋ６２５１（２００４）に準拠して、ダンベル状３号形試験片を作製し、得られたダンベル状３号形試験片について、２５℃における引張強度を測定した。単位はＭＰａである。

＜破断伸び＞
得られた厚さ１ｍｍのシート状シリコーンゴムを用いて、ＪＩＳ Ｋ６２５１（２００４）に準拠して、ダンベル状３号形試験片を作製し、得られたダンベル状３号形試験片について、２５℃における破断伸びを測定した。破断伸びは、［標線間移動距離（ｍｍ）］÷［初期標線間距離（２０ｍｍ）］×１００で計算した。単位は％である。

＜３０％モジュラス、３００％モジュラス＞
当該シリコーンゴム系硬化性組成物の硬化物を用いて、ＪＩＳ Ｋ６２５１（２００４）に準拠して、ダンベル状３号形試験片を作製し、２５℃において、引張速度：５００ｍｍ／分で、３０％伸長したとき、３００％伸長したときの、ダンベル状３号形試験片における伸張時の引張応力（３０％モジュラス：Ｍ３０、３００％モジュラス：Ｍ３００）を測定した。単位はＭＰａである。

＜引張永久伸び＞
得られた厚さ１ｍｍのシート状シリコーンゴムを用いて、長さ６０ｍｍ×幅５ｍｍの大きさで厚さ方向に打ち抜くことで短冊状をなす試験片を作製した。
チャック間距離（初期値）を１００％（４０ｍｍ）としたとき、チャック間距離が４００％（１６０ｍｍ）となるまで、２５℃、速度５００ｍｍ／ｍｉｎの速さの条件で、長さ６０ｍｍの短冊状試験片を３００％伸長させ、１分間保持し、その後、除力により収縮させて１０分間放置後に、チャック間距離（延伸後長さ）を測定した。
チャック間距離（初期値）およびチャック間距離（延伸後長さ）を用いて、次の式から、引張永久伸びを求めた。単位は％である。
引張永久伸び（％）＝［（延伸後長さ－初期値）／初期値］×１００

（機械的強度、変形容易性、伸縮耐久性）
得られた各実施例、比較例のシリコーンゴムについて、次のようにして機械的強度、変形容易性、伸縮耐久性を評価した。
硬度が４０以上の場合、シリコーンゴムの機械的強度が良好であると判断し、○と記し、４０未満の場合を不良と判断し、×と記した。
３００％モジュラスが３．０ＭＰａ以下の場合、シリコーンゴムの変形容易性が良好であると判断して○と記し、３．０ＭＰａ超えの場合を不良と判断して×と記した。
引張強度が１２．０ＭＰａ以上の場合、シリコーンゴムの伸縮耐久性が良好であると判断して○と記し、１２．０ＭＰａ未満の場合を不良と判断して×と記した。

（チューブ部材の製造）
各実施例、比較例のシリコーンゴム系硬化性組成物を使用し、押出機を用いてチューブ状に押出成形して、チューブ部材を得た。
得られたチューブ部材を用いて、次のようにして、容易膨張性について評価を行った。
得られたチューブ部材中に対して、一定圧力の空気を注入し、その膨張率を評価した。実施例１～３のチューブ部材は、比較例１、３と比べて径方向の膨張率が大きいことが分かった。

実施例１～３のシリコーンゴム系硬化性組成物は、比較例２と比べて硬度を高めつつも、比較例１、３と比べて変形容易性及び伸縮耐久性に優れる結果を示した。このような高硬度かつ低３００％モジュラスを示すシリコーンゴムを形成できるシリコーンゴム系硬化性組成物は、アクチュエータ等の可動部材に好適に使用することができる。
また、実施例１～３のシリコーンゴム系硬化性組成物を用いて形成されたチューブ部材は、膨張容易性に優れることが分かった。このようなシリコーンゴム系硬化性組成物は、流体駆動型アクチュエータに好適に使用することができる。

１０ チューブ
１２ 空間
２０ キャップ
２２ 孔
１００ アクチュエータ

Claims (18)

1. 流体駆動型アクチュエータを構成する一部を形成するために用いる、シリコーンゴム系硬化性組成物であって、
   ビニル基含有オルガノポリシロキサン（Ａ）と、
   シリカ粒子（Ｃ）と、
   シランカップリング剤（Ｄ）と、を含む、シリコーンゴム系硬化性組成物であって、
   前記ビニル基含有オルガノポリシロキサン（Ａ）が、ビニル基量が０．４モル％以下の第１のビニル基含有直鎖状オルガノポリシロキサン（Ａ１－１）を含み、ビニル基含有量が０．４モル％超えの第２のビニル基含有直鎖状オルガノポリシロキサン（Ａ１－２）を含まず、
   前記シランカップリング剤（Ｄ）が、ビニル基を有するシランカップリング剤を含む、
   シリコーンゴム系硬化性組成物。
2. 請求項１に記載のシリコーンゴム系硬化性組成物であって、
   前記シリカ粒子（Ｃ）の含有量が、前記ビニル基含有オルガノポリシロキサン（Ａ）の１００重量部に対して、３０重量部以上８０重量部以下である、シリコーンゴム系硬化性組成物。
3. 請求項１又は２に記載のシリコーンゴム系硬化性組成物であって、
   前記ビニル基を有するシランカップリング剤の含有量が、前記ビニル基含有オルガノポリシロキサン（Ａ）の１００重量部に対して、０．５重量部以上１０重量部以下である、シリコーンゴム系硬化性組成物。
4. 請求項１～３のいずれか一項に記載のシリコーンゴム系硬化性組成物であって、
   前記シランカップリング剤（Ｄ）が、前記ビニル基を有するシランカップリング剤、及び疎水性基を有するシランカップリング剤を含む、シリコーンゴム系硬化性組成物。
5. 請求項４に記載のシリコーンゴム系硬化性組成物であって、
   疎水性基を有するシランカップリング剤とビニル基を有するシランカップリング剤との配合比率が、重量比で、１：０．０１以上１：１．５以下である、シリコーンゴム系硬化性組成物。
6. 請求項１～５のいずれか一項に記載のシリコーンゴム系硬化性組成物であって、
   前記ビニル基含有オルガノポリシロキサン（Ａ）の重量平均分子量Ｍｗが、５．０×１０^４以上１．０×１０^６以下である、シリコーンゴム系硬化性組成物。
7. 請求項１～６のいずれか一項に記載のシリコーンゴム系硬化性組成物であって、
   前記ビニル基含有オルガノポリシロキサン（Ａ）が、下記一般式（１－１）で表される前記第１のビニル基含有直鎖状オルガノポリシロキサン（Ａ１－１）を含む、シリコーンゴム系硬化性組成物。
   

   

   （上記一般式（１－１）中、Ｒ^１はビニル基、Ｒ^２は、メチル基またはビニル基である。ｍは、０～２０００の整数、ｎは１０００～１００００の整数である。）
8. 請求項１～７のいずれか一項に記載のシリコーンゴム系硬化性組成物であって、
   前記シリカ粒子（Ｃ）が、ヒュームドシリカ、焼成シリカ、及び沈降シリカからなる群から選ばれる一または二以上を含む、シリコーンゴム系硬化性組成物。
9. 請求項１～８のいずれか一項に記載のシリコーンゴム系硬化性組成物であって、
   前記シリカ粒子（Ｃ）の平均一次粒径が、１ｎｍ以上１００ｎｍ以下である、シリコーンゴム系硬化性組成物。
10. 請求項１～９のいずれか一項に記載のシリコーンゴム系硬化性組成物であって、
    前記シリカ粒子（Ｃ）のＢＥＴ法による比表面積が、２００ｍ^２／ｇ以上５００ｍ^２／ｇ以下である、シリコーンゴム系硬化性組成物。
11. 請求項１～１０のいずれか一項に記載のシリコーンゴム系硬化性組成物であって、
    オルガノハイドロジェンポリシロキサン（Ｂ）を含む、シリコーンゴム系硬化性組成物。
12. 請求項１～１１のいずれか一項に記載のシリコーンゴム系硬化性組成物であって、
    触媒として白金または白金化合物（Ｅ）を含む、シリコーンゴム系硬化性組成物。
13. 請求項１～１２のいずれか一項に記載のシリコーンゴム系硬化性組成物であって、
    下記の手順で測定される、当該シリコーンゴム系硬化性組成物の硬化物の、デュロメータ硬さＡが、４０以上８０以下である、シリコーンゴム系硬化性組成物。
    （デュロメータ硬さＡの測定手順）
    当該シリコーンゴム系硬化性組成物の硬化物を用いて、シート状試験片を作製し、ＪＩＳ Ｋ６２５３（１９９７）に準拠して、２５℃における、得られたシート状試験片のデュロメータ硬さＡを測定する。
14. 請求項１～１３のいずれか一項に記載のシリコーンゴム系硬化性組成物であって、
    下記の手順で測定される、当該シリコーンゴム系硬化性組成物の硬化物の、３００％伸長時の引張永久伸びが、１５．０％以下である、シリコーンゴム系硬化性組成物。
    （引張永久伸びの測定手順）
    当該シリコーンゴム系硬化性組成物の硬化物を用いて、長さ６０ｍｍ×幅５ｍｍの大きさで厚さ方向に打ち抜くことで短冊状をなす試験片を作製する。
    チャック間距離（初期値）を１００％（４０ｍｍ）としたとき、チャック間距離が４００％（１６０ｍｍ）となるまで、２５℃、速度５００ｍｍ／ｍｉｎの速さの条件で、長さ６０ｍｍの短冊状試験片を３００％伸長させ、１分間保持し、その後、除力により収縮させて１０分間放置後に、チャック間距離（延伸後長さ）を測定する。
    チャック間距離（初期値）およびチャック間距離（延伸後長さ）を用いて、次の式から、引張永久伸びを求める。
    引張永久伸び（％）＝［（延伸後長さ－初期値）／初期値］×１００
15. 請求項１～１４のいずれか一項に記載のシリコーンゴム系硬化性組成物であって、
    下記の手順で測定される、当該シリコーンゴム系硬化性組成物の硬化物の引張強度が、１２．０ＭＰａ以上である、シリコーンゴム系硬化性組成物。
    （引張強度の測定手順）
    当該シリコーンゴム系硬化性組成物の硬化物を用いて、ＪＩＳ Ｋ６２５１（２００４）に準拠して、ダンベル状３号形試験片を作製し、２５℃における、ダンベル状３号形試験片の引張強度を測定する。
16. 請求項１～１５のいずれか一項に記載のシリコーンゴム系硬化性組成物であって、
    下記の手順で測定される、当該シリコーンゴム系硬化性組成物の硬化物の、引裂強度が、２５Ｎ／ｍｍ以上である、シリコーンゴム系硬化性組成物。
    （引裂強度の測定手順）
    当該シリコーンゴム系硬化性組成物の硬化物を用いて、ＪＩＳ Ｋ６２５２（２００１）に準拠して、クレセント形試験片を作製し、２５℃における、得られたクレセント形試験片の引裂強度を測定する。
17. 請求項１～１６のいずれか一項に記載のシリコーンゴム系硬化性組成物であって、
    前記流体駆動型アクチュエータ中のチューブ部材を形成するために用いる、シリコーンゴム系硬化性組成物。
18. 請求項１～１７のいずれか一項に記載のシリコーンゴム系硬化性組成物の硬化物を有する、アクチュエータ。

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