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JP7492836B2 - Polyimide film manufacturing method - Google Patents
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Description

本発明は、例えば、回路基板などの材料として利用可能なポリイミド又はその前駆体を製造するために有用な有機溶剤、この有機溶剤とテトラカルボン酸無水物成分とジアミン成分とを含んだ混合溶液、及び、この混合溶液を用いたポリイミドフィルムの製造方法に関するものである。 The present invention relates to an organic solvent useful for producing polyimide or its precursor that can be used as a material for, for example, circuit boards, a mixed solution containing this organic solvent, a tetracarboxylic anhydride component, and a diamine component, and a method for producing a polyimide film using this mixed solution.

ポリイミドは、優れた耐熱性、機械特性、電気特性を備えている。このポリイミドを使用したポリイミドフィルムは、フレキシブルプリント配線板(FPC;Flexible Printed Circuits)に代表される回路配線基板(単に回路基板ともいう)の基材のほか、種々の用途で幅広く利用されている。 Polyimide has excellent heat resistance, mechanical properties, and electrical properties. Polyimide films made from this polyimide are used widely for a variety of purposes, including as the base material for circuit boards (also simply called circuit boards) such as flexible printed circuits (FPCs).

ポリイミドフィルムを製造する方法として、代表的には、テンター法とキャスト法が知られている。このうち、テンター法は、ポリイミド前駆体(ポリアミド酸)の溶液を回転ドラムに流延し、ゲルフィルムの状態で回転ドラムから剥離して、テンター炉で加熱して硬化させてポリイミドフィルムとする方法である(例えば特許文献1参照)。また、キャスト法は、銅箔等の任意の支持基材にポリイミド前駆体の溶液を塗布し、熱処理により乾燥及び硬化してポリイミドフィルムを得る方法である(例えば特許文献2参照)。 Typical methods for producing polyimide films include the tenter method and the cast method. The tenter method involves casting a solution of a polyimide precursor (polyamic acid) onto a rotating drum, peeling it off from the rotating drum in the form of a gel film, and heating and curing it in a tenter furnace to produce a polyimide film (see, for example, Patent Document 1). The cast method involves applying a solution of a polyimide precursor to any supporting substrate such as copper foil, and drying and curing it by heat treatment to obtain a polyimide film (see, for example, Patent Document 2).

ポリイミドの調製にあたっては、通常、テトラカルボン酸二無水物とジアミンとを反応させて前駆体であるポリアミド酸とする。この状態では有機溶剤に可溶であるが、これを200℃以上の高温で熱処理すると、分子内で脱水閉環が起こり、有機溶剤に不溶のポリイミドとなる。そのため、テンター法やキャスト法のいずれの場合にも有機溶剤を含んだポリイミド前駆体を用いて、これを熱処理してイミド化させる(硬化させる)ことで、ポリイミドを調製する。 To prepare polyimide, a tetracarboxylic dianhydride is usually reacted with a diamine to produce a precursor polyamic acid. In this state, it is soluble in organic solvents, but when it is heat-treated at a high temperature of 200°C or higher, dehydration and ring closure occurs within the molecule, resulting in a polyimide that is insoluble in organic solvents. Therefore, in both the tenter method and the casting method, a polyimide precursor containing an organic solvent is used, and this is heat-treated to imidize (cure) it, thereby preparing polyimide.

ポリイミド前駆体は熱や水に対し不安定な場合が多いが、保存安定性を向上させる観点から、水分含有量を1重量%以下とすることが提案されている(例えば特許文献3参照)。 Polyimide precursors are often unstable to heat and water, but in order to improve storage stability, it has been proposed to limit the moisture content to 1% by weight or less (see, for example, Patent Document 3).

特開2000-191806号公報JP 2000-191806 A 特開2004-322441号公報JP 2004-322441 A 特開2009-263646号公報JP 2009-263646 A

本発明は、最終的に得られるポリイミドの化学構造を問わず、保存安定性が高いポリアミド酸の溶液を調製でき、また、そのポリアミド酸の溶液を用いてポリイミドフィルム(又はポリイミド層)を得た場合に、得られるポリイミドフィルム(又はポリイミド層)の視認性を向上させることができる有機溶剤を提供することを目的とする。更には、上記の有機溶剤を用いることで、ヘイズの上昇を抑えて視認性に優れたポリイミドフィルム(又はポリイミド層)を得ることができるポリイミドフィルムの製造方法を提供することを目的とする。 The present invention aims to provide an organic solvent that can prepare a polyamic acid solution with high storage stability, regardless of the chemical structure of the polyimide that is ultimately obtained, and that can improve the visibility of the polyimide film (or polyimide layer) obtained when the polyamic acid solution is used to obtain the polyimide film (or polyimide layer). The present invention also aims to provide a method for producing a polyimide film that can suppress an increase in haze and obtain a polyimide film (or polyimide layer) with excellent visibility by using the above organic solvent.

本発明者らは、上記課題を解決するために鋭意検討した結果、テトラカルボン酸無水物成分とジアミン成分とを含む混合溶液を形成する有機溶剤に関して、その沸点が、得られるポリイミドフィルムやポリイミド層のヘイズ(Haze)に影響を及ぼすことに着目し、有機溶剤の水分量を適度に制御することによって、ポリイミド前駆体のイミド化温度を高温化することによりイミド化後の溶剤の残存を低減させることができることを見出し、ひいてはヘイズの上昇を抑制し得ることから、本発明を完成するに至った。 As a result of intensive research to solve the above problems, the present inventors have focused on the fact that the boiling point of the organic solvent forming the mixed solution containing the tetracarboxylic anhydride component and the diamine component affects the haze of the resulting polyimide film or polyimide layer, and have discovered that by appropriately controlling the water content of the organic solvent, the imidization temperature of the polyimide precursor can be increased, thereby reducing the amount of solvent remaining after imidization, and thus suppressing an increase in haze, which has led to the completion of the present invention.

すなわち、本発明の要旨は、次のとおりである。
(1)下記の成分A及びB;
A)1気圧下での沸点が200℃以下である非プロトン性極性溶剤;
B)水;
を含有し、ガスクロマトグラフィーにより測定される前記成分Aの含有量が50%以上であり、カールフィッシャー法により測定される前記成分Bの含有量が40~500ppmの範囲内であることを特徴とする有機溶剤。
(2)前記成分Aが、N,N-ジメチルホルムアミド、N,N-ジメチルアセトアミド及びジメチルスルホキシドからなる群から選ばれる少なくとも1種であることを特徴とする(1)に記載の有機溶剤。
(3)テトラカルボン酸無水物成分と、ジアミン成分と、を混合し、重合させてポリアミド酸を得るために用いられる溶剤であることを特徴とする(1)又は(2)に記載の有機溶剤。
(4)(1)~(3)のいずれか1項に記載の有機溶剤と、テトラカルボン酸無水物成分と、ジアミン成分と、を含有する混合溶液。
(5)前記テトラカルボン酸無水物成分及び前記ジアミン成分に由来する全モノマー成分のうち、ビフェニル骨格を有するモノマーを50モル%以上含有することを特徴とする(4)に記載の混合溶液。
(6)前記ジアミン成分が、下記一般式(1)で表されるジアミン化合物を20モル%以上含有することを特徴とする(4)又は(5)に記載の混合溶液。

Figure 0007492836000001
[一般式(1)において、連結基Zは単結合若しくは-COO-を示し、Yは独立にハロゲン若しくはフェニル基で置換されてもよい炭素数1~3の1価の炭化水素あるいは炭素数1~3のアルコキシ基又は炭素数1~3のパーフルオロアルキル基若しくはアルケニル基を示し、nは1~2の整数を示し、p及びqは独立に0~4の整数を示す。]
(7)下記の工程a~d;
a)(1)~(3)のいずれか1項に記載の有機溶剤と、テトラカルボン酸無水物成分と、ジアミン成分と、を含有する混合溶液を準備する工程;
b)前記混合溶液中で、前記テトラカルボン酸無水物成分と前記ジアミン成分とを反応させて、ポリアミド酸の溶液を得る工程;
c)基材上に前記ポリアミド酸の溶液を塗布し、乾燥することによって、前記ポリアミド酸の樹脂膜を形成する工程;
d)前記樹脂膜を熱処理し、前記ポリアミド酸をイミド化することによって、ポリイミドフィルムを得る工程;
を備えることを特徴とするポリイミドフィルムの製造方法。
(8)前記工程cで発生した溶剤蒸気から有機溶剤を回収して、前記混合溶液の有機溶剤として再利用することを特徴とする請求項7に記載のポリイミドフィルムの製造方法。
(9)前記工程aの有機溶剤が、前記工程cで発生した溶剤蒸気を回収する工程を経由して得られたものであることを特徴とする(7)に記載のポリイミドフィルムの製造方法。 That is, the gist of the present invention is as follows.
(1) Components A and B below;
A) an aprotic polar solvent having a boiling point of 200° C. or lower at 1 atmospheric pressure;
B) water;
wherein the content of component A measured by gas chromatography is 50% or more, and the content of component B measured by the Karl Fischer method is within the range of 40 to 500 ppm.
(2) The organic solvent according to (1), wherein the component A is at least one selected from the group consisting of N,N-dimethylformamide, N,N-dimethylacetamide, and dimethylsulfoxide.
(3) The organic solvent according to (1) or (2), which is used for mixing a tetracarboxylic anhydride component and a diamine component and polymerizing them to obtain a polyamic acid.
(4) A mixed solution containing the organic solvent according to any one of (1) to (3), a tetracarboxylic acid anhydride component, and a diamine component.
(5) The mixed solution according to (4), characterized in that, of all monomer components derived from the tetracarboxylic acid anhydride component and the diamine component, monomers having a biphenyl skeleton account for 50 mol % or more.
(6) The mixed solution according to (4) or (5), wherein the diamine component contains 20 mol % or more of a diamine compound represented by the following general formula (1):
Figure 0007492836000001
[In general formula (1), the linking group Z represents a single bond or -COO-, Y independently represents a monovalent hydrocarbon having 1 to 3 carbon atoms which may be substituted with a halogen or a phenyl group, an alkoxy group having 1 to 3 carbon atoms, or a perfluoroalkyl group or alkenyl group having 1 to 3 carbon atoms, n represents an integer of 1 to 2, and p and q independently represent integers of 0 to 4.]
(7) the following steps a to d;
a) preparing a mixed solution containing the organic solvent according to any one of (1) to (3), a tetracarboxylic acid anhydride component, and a diamine component;
b) reacting the tetracarboxylic anhydride component with the diamine component in the mixed solution to obtain a polyamic acid solution;
c) applying a solution of the polyamic acid onto a substrate and drying the solution to form a resin film of the polyamic acid;
d) heat-treating the resin film to imidize the polyamic acid, thereby obtaining a polyimide film;
A method for producing a polyimide film, comprising:
(8) The method for producing a polyimide film according to claim 7, further comprising recovering the organic solvent from the solvent vapor generated in the step (c) and reusing the organic solvent as the organic solvent for the mixed solution.
(9) The method for producing a polyimide film according to (7), wherein the organic solvent in the step (a) is obtained via a step of recovering the solvent vapor generated in the step (c).

本発明の有機溶剤は、例えばポリアミド酸の溶液として適用したときの保存安定性を担保するとともに、ポリアミド酸の低温でのイミド化を抑制し、イミド化後の残存溶剤量を低減することができる。また、本発明の有機溶剤は特定範囲の沸点を有するとともに水分量が制御されているので、ポリイミドフィルムの物性を低下させずにポリイミドフィルムを製造することができる。更に、使用済みの有機溶剤を繰り返し再利用することが可能であるので、製造コストを大幅に削減でき、環境面でも優れており、例えばロール・トウ・ロール方式などの連続生産において高い歩留まりでの製造が可能であり、工業的に利用価値が高い。金属張積層板を製造するにあたってポリイミド層のヘイズの上昇を抑制することができるので、例えばFPCの実装工程等でポリイミド層に光を透過させた際の拡散を抑制し、カメラで認識できるポリイミド層とすることができる。 The organic solvent of the present invention can ensure storage stability when applied as a solution of polyamic acid, for example, and can suppress imidization of polyamic acid at low temperatures, thereby reducing the amount of solvent remaining after imidization. In addition, since the organic solvent of the present invention has a boiling point in a specific range and the water content is controlled, a polyimide film can be produced without deteriorating the physical properties of the polyimide film. Furthermore, since the used organic solvent can be repeatedly reused, the production cost can be significantly reduced, and it is also excellent in terms of the environment, and it is possible to produce with a high yield in continuous production such as a roll-to-roll method, and it has high industrial utility value. Since it is possible to suppress an increase in haze of the polyimide layer when producing a metal-clad laminate, it is possible to suppress diffusion when light is transmitted through the polyimide layer in, for example, an FPC mounting process, and to make the polyimide layer recognizable by a camera.

次に、本発明の実施の形態について説明する。 Next, we will explain the embodiment of the present invention.

[有機溶剤]
本実施の形態の有機溶剤は、下記の成分A及びB;
A)1気圧下での沸点が200℃以下である非プロトン性極性溶剤;
B)水;
を含有する。
[Organic solvent]
The organic solvent of the present embodiment is composed of the following components A and B;
A) an aprotic polar solvent having a boiling point of 200° C. or lower at 1 atmospheric pressure;
B) water;
Contains:

<成分A>
成分Aは、1気圧下での沸点が200℃以下の非プロトン性極性溶剤であるが、水との相溶性と含水量の制御のしやすさから、沸点の下限値が120℃以上であるものが好ましい。沸点が200℃以下であれば、例えばポリアミド酸をイミド化する過程で系外へ放出されやすく、イミド化後のポリイミドフィルムに含まれる非プロトン性極性溶剤の含有量を低減することができる。非プロトン性極性溶剤の残存量は、ポリアミド酸のイミド化の割合と密接な関係があり、非プロトン性極性溶剤の割合がイミド化の割合に対して多いと、非プロトン性極性溶剤が可塑剤として機能し、分子鎖の再コンフォメーション化が起こることで、フィルム化したときのヘイズが上昇すると考えられる。従って、沸点が200℃を超える非プロトン性極性溶剤はイミド化の際に残存しやすく、ヘイズが高くなるので、非プロトン性極性溶剤の沸点を200℃以下とし、ヘイズの上昇を抑制する。
<Component A>
Component A is an aprotic polar solvent having a boiling point of 200° C. or less under 1 atmosphere, but from the viewpoint of compatibility with water and ease of control of water content, the lower limit of the boiling point is preferably 120° C. or more. If the boiling point is 200° C. or less, for example, it is easily released outside the system during the process of imidizing polyamic acid, and the content of the aprotic polar solvent contained in the polyimide film after imidization can be reduced. The remaining amount of the aprotic polar solvent is closely related to the imidization ratio of the polyamic acid, and it is considered that if the ratio of the aprotic polar solvent is high compared to the imidization ratio, the aprotic polar solvent functions as a plasticizer, and reconformation of the molecular chain occurs, thereby increasing the haze when the film is made. Therefore, since aprotic polar solvents with a boiling point exceeding 200° C. tend to remain during imidization and the haze increases, the boiling point of the aprotic polar solvent is set to 200° C. or less to suppress the increase in haze.

成分Aである非プロトン性極性溶剤の具体例としては、例えばN,N-ジメチルホルムアミド(沸点;153℃)、N,N-ジメチルアセトアミド(沸点;166℃)、ジメチルスルホキシド(沸点;189℃)、N,N-ジエチルアセトアミド(沸点;168℃)、2-ブタノン(沸点;79℃)、N-メチルカプロラクタム(沸点;106℃)、シクロヘキサノン(沸点;155℃)、ジオキサン(沸点;101℃)、テトラヒドロフラン(沸点;66℃)、ジグライム(沸点;162℃)等が挙げられる。これらの中でも、ポリアミド酸の樹脂膜の物性制御のしやすさの観点から、N,N-ジメチルホルムアミド、N,N-ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホキシドが好ましく、N,N-ジメチルアセトアミドがより好ましい。 Specific examples of the aprotic polar solvent, component A, include N,N-dimethylformamide (boiling point: 153°C), N,N-dimethylacetamide (boiling point: 166°C), dimethylsulfoxide (boiling point: 189°C), N,N-diethylacetamide (boiling point: 168°C), 2-butanone (boiling point: 79°C), N-methylcaprolactam (boiling point: 106°C), cyclohexanone (boiling point: 155°C), dioxane (boiling point: 101°C), tetrahydrofuran (boiling point: 66°C), and diglyme (boiling point: 162°C). Among these, from the viewpoint of ease of controlling the physical properties of the polyamic acid resin film, N,N-dimethylformamide, N,N-dimethylacetamide, and dimethylsulfoxide are preferred, and N,N-dimethylacetamide is more preferred.

非プロトン性極性溶剤は本発明に係る有機溶剤の主成分として含有し、ガスクロマトグラフィーにより測定される濃度が50%以上である。水分量の制御のしやすさの観点から、好ましくは99%以上、より好ましくは99.5%以上、更に好ましくは99.99%以上であるのがよい。なお、ここでの濃度を示す%は、特に断りのない限り重量%を表す。 The aprotic polar solvent is contained as the main component of the organic solvent of the present invention, and has a concentration of 50% or more as measured by gas chromatography. From the viewpoint of ease of controlling the moisture content, it is preferably 99% or more, more preferably 99.5% or more, and even more preferably 99.99% or more. Note that the percentages indicating the concentrations here represent weight percentages unless otherwise specified.

本発明の有機溶剤では、成分A以外の溶剤を含むようにしてもよい。このような成分A以外の溶剤として、例えば、N-メチル-2-ピロリドン、ヘキサメチルホスホルアミド、硫酸ジメチル、トリグライム、クレゾール等が挙げられる。これらの溶剤が2種以上混合していてもよく、更にはキシレン、トルエンのような芳香族炭化水素が混合していてもよい。 The organic solvent of the present invention may contain a solvent other than component A. Examples of such solvents other than component A include N-methyl-2-pyrrolidone, hexamethylphosphoramide, dimethyl sulfate, triglyme, cresol, etc. Two or more of these solvents may be mixed, and aromatic hydrocarbons such as xylene and toluene may also be mixed.

<成分B>
本発明の有機溶剤において、成分Bの水は、カールフィッシャー法により測定される含有量が40~500ppmの範囲内であり、好ましくは40~450ppmの範囲内、より好ましくは40~400ppmの範囲内がよい。このような範囲内に制御することで、例えばポリアミド酸をイミド化する過程で、ポリアミド酸の加水分解が生じにくくなり、またポリアミド酸のアミド基に配位可能な水分子が存在することで、ポリアミド酸の低温での閉環反応が阻害されやすくなるので、結果としてイミド化温度を高くすることができると考えられる。このため、ポリアミド酸のイミド化の進行に伴って非プロトン性極性溶剤の残存量を低減でき、フィルム化したときのヘイズの上昇を抑制できると考えられる。
<Component B>
In the organic solvent of the present invention, the content of water in component B is within the range of 40 to 500 ppm, preferably within the range of 40 to 450 ppm, more preferably within the range of 40 to 400 ppm, as measured by the Karl Fischer method. By controlling the content within such a range, for example, during the process of imidizing polyamic acid, hydrolysis of polyamic acid is unlikely to occur, and the presence of water molecules capable of coordinating with the amide group of polyamic acid makes it easier to inhibit the ring-closing reaction of polyamic acid at low temperatures, which is considered to result in a higher imidization temperature. Therefore, it is considered that the remaining amount of aprotic polar solvent can be reduced as the imidization of polyamic acid progresses, and the increase in haze when the film is formed can be suppressed.

本実施の形態の有機溶剤は、テトラカルボン酸無水物成分と、ジアミン成分と、を混合し、重合させてポリアミド酸を得るために用いられる溶剤として好適に使用され、ポリアミド酸をイミド化してポリイミドとなす。すなわち、本発明に係る有機溶剤と、テトラカルボン酸無水物成分と、ジアミン成分とを含有して、混合溶液を形成し、このような実施の形態の有機溶剤は、テトラカルボン酸無水物成分から誘導されるテトラカルボン酸無水物残基及びジアミン成分から誘導されるジアミン残基なる全モノマー残基に対し、ビフェニル骨格を有するモノマー残基(以下、「ビフェニル骨格含有残基」と記すことがある)の割合が高いポリイミドからなるポリイミド層を有するポリイミドフィルムの製造に好適に使用できる。 The organic solvent of the present embodiment is preferably used as a solvent used for mixing and polymerizing a tetracarboxylic anhydride component and a diamine component to obtain a polyamic acid, and imidizing the polyamic acid to obtain a polyimide. That is, a mixed solution is formed by containing the organic solvent of the present invention, a tetracarboxylic anhydride component, and a diamine component, and such an organic solvent of the present embodiment can be preferably used for producing a polyimide film having a polyimide layer made of a polyimide having a high ratio of monomer residues having a biphenyl skeleton (hereinafter, sometimes referred to as "biphenyl skeleton-containing residues") to the total monomer residues consisting of tetracarboxylic anhydride residues derived from the tetracarboxylic anhydride component and diamine residues derived from the diamine component.

なかでも、テトラカルボン酸無水物成分及びジアミン成分に由来する全モノマー成分のうち、ビフェニル骨格を有するモノマーを40モル%以上含有するのが好ましく、50モル%以上含有するのがより好ましい。すなわち、ポリイミドを構成する全モノマー成分から誘導される全モノマー残基に対し、ビフェニル骨格含有残基の割合が好ましくは40モル%以上、より好ましくは50モル%以上がよい。ここで、「酸無水物残基」とは、テトラカルボン酸無水物から誘導された4価の基を意味し、「ジアミン残基」とは、ジアミン化合物から誘導された2価の基を意味する。 Among them, among all the monomer components derived from the tetracarboxylic anhydride component and the diamine component, it is preferable that the monomer having a biphenyl skeleton is contained in an amount of 40 mol% or more, and more preferably 50 mol% or more. In other words, the ratio of biphenyl skeleton-containing residues to all monomer residues derived from all the monomer components constituting the polyimide is preferably 40 mol% or more, and more preferably 50 mol% or more. Here, "acid anhydride residue" means a tetravalent group derived from a tetracarboxylic anhydride, and "diamine residue" means a divalent group derived from a diamine compound.

ビフェニル骨格含有残基の割合が高いポリイミドは秩序構造を形成しやすく、このようなポリイミドからなるポリイミド層を有するポリイミドフィルムはヘイズが上昇しやすく、視認性が低下しやすい。また、ポリアミド酸をイミド化する工程における非プロトン性極性溶剤の残存量が多いほど秩序構造が形成されやすいと考えられる。この理由として、非プロトン性極性溶剤が可塑剤として機能し、ビフェニル骨格部分の再コンフォメーション化が起こることが影響しているものと推察する。このため、イミド化後の非プロトン性極性溶剤の残存量を制御することは、ポリイミドフィルムのヘイズを制御するうえで重要である。 Polyimides with a high proportion of biphenyl skeleton-containing residues tend to form an ordered structure, and polyimide films having a polyimide layer made of such polyimides tend to have increased haze and reduced visibility. It is also believed that the greater the amount of aprotic polar solvent remaining in the process of imidizing polyamic acid, the more likely it is that an ordered structure will form. The reason for this is believed to be that the aprotic polar solvent functions as a plasticizer, influencing the reconformation of the biphenyl skeleton portion. For this reason, controlling the amount of aprotic polar solvent remaining after imidization is important in controlling the haze of the polyimide film.

ビフェニル骨格含有残基の割合が高いポリイミドからなるポリイミド層は、例えば金属張積層板を製造するにあたってのポリイミド層において、主たる層としてポリイミドフィルムを構成することが好ましい。ここで、「主たる」とは、ポリイミドフィルムを構成する複数のポリイミド層において最も大きな厚みを有することを意味し、好ましくは、ポリイミドフィルムの全厚みに対して50%以上、より好ましくは60%以上の厚みを有することをいう。 The polyimide layer made of polyimide with a high ratio of biphenyl skeleton-containing residues preferably constitutes a polyimide film as a main layer in, for example, a polyimide layer for manufacturing a metal-clad laminate. Here, "main" means that it has the greatest thickness among the multiple polyimide layers constituting the polyimide film, and preferably has a thickness of 50% or more, more preferably 60% or more of the total thickness of the polyimide film.

また、ビフェニル骨格とは、下記の式(a)に示すように、2つのフェニル基が単結合した骨格である。従って、ビフェニル骨格含有残基とは、例えば、ビフェニルジイル基、ビフェニルテトライル基などを挙げることができる。これらの残基に含まれる芳香環は、任意の置換基を有していてもよい。
ビフェニルジイル基の代表例としては、下記の式(b)で表されるものを挙げることができる。ビフェニルテトライル基の代表例としては、下記の式(c)で表されるものを挙げることができる。なお、ビフェニルジイル基及びビフェニルテトライル基において、芳香環における結合手は、式(b)及び式(c)に示す位置に限定されるものではなく、また、上記のとおり、これらの残基に含まれる芳香環は、任意の置換基を有していてもよい。
The biphenyl skeleton is a skeleton in which two phenyl groups are single-bonded, as shown in the following formula (a). Therefore, examples of biphenyl skeleton-containing residues include a biphenyldiyl group and a biphenyltetrayl group. The aromatic rings contained in these residues may have any substituent.
Representative examples of biphenyldiyl groups include those represented by the following formula (b). Representative examples of biphenyltetrayl groups include those represented by the following formula (c). In the biphenyldiyl group and the biphenyltetrayl group, the bonds in the aromatic ring are not limited to the positions shown in formulas (b) and (c), and as described above, the aromatic rings contained in these residues may have any substituent.

Figure 0007492836000002
Figure 0007492836000002

ビフェニル骨格含有残基は、原料モノマーに由来する構造であり、テトラカルボン酸無水物から誘導されるものでもよいし、ジアミン化合物から誘導されるものでもよく、両者からビフェニル骨格含有残基が誘導されてもよい。 The biphenyl skeleton-containing residue is a structure derived from the raw material monomer, and may be derived from a tetracarboxylic acid anhydride or a diamine compound, or the biphenyl skeleton-containing residue may be derived from both.

ポリイミドに含まれるジアミン残基としては、一般式(1)で表されるジアミン化合物から誘導されるジアミン残基が好ましく挙げられる。 Preferred examples of the diamine residue contained in the polyimide include diamine residues derived from a diamine compound represented by general formula (1).

Figure 0007492836000003
Figure 0007492836000003

一般式(1)において、連結基Zは単結合若しくは-COO-を示し、Yは独立にハロゲン若しくはフェニル基で置換されてもよい炭素数1~3の1価の炭化水素あるいは炭素数1~3のアルコキシ基又は炭素数1~3のパーフルオロアルキル基若しくはアルケニル基を示し、nは1~2の整数を示し、p及びqは独立に0~4の整数を示す。ここで、「独立に」とは、上記式(1)において、複数の置換基Y、整数p、qが同一でもよいし、異なっていてもよいことを意味する。 In general formula (1), the linking group Z represents a single bond or -COO-, Y represents a monovalent hydrocarbon having 1 to 3 carbon atoms, which may be substituted with a halogen or a phenyl group, an alkoxy group having 1 to 3 carbon atoms, or a perfluoroalkyl group or alkenyl group having 1 to 3 carbon atoms, n represents an integer of 1 to 2, and p and q represent independently an integer of 0 to 4. Here, "independently" means that in the above formula (1), the multiple substituents Y and the integers p and q may be the same or different.

一般式(1)で表されるジアミン化合物から誘導されるジアミン残基(以下、「ジアミン残基(1)」と記すことがある)は、秩序構造を形成しやすく、寸法安定性を高めることができる。このような観点から、ジアミン残基(1)は、ポリイミドに含まれる全ジアミン残基の100モル部に対して、20モル部以上、好ましくは70~99モル部の範囲内、より好ましくは80~99モル部の範囲内で含有することがよい。 The diamine residue derived from the diamine compound represented by the general formula (1) (hereinafter, sometimes referred to as "diamine residue (1)") is likely to form an ordered structure and can enhance dimensional stability. From this viewpoint, the diamine residue (1) is contained in an amount of 20 parts by mol or more, preferably in the range of 70 to 99 parts by mol, and more preferably in the range of 80 to 99 parts by mol, relative to 100 parts by mol of all diamine residues contained in the polyimide.

ジアミン残基(1)の好ましい具体例としては、2,2’-ジメチル-4,4’-ジアミノビフェニル(m-TB)、2,2’-ジエチル-4,4’-ジアミノビフェニル(m-EB)、2,2’-ジエトキシ-4,4’-ジアミノビフェニル(m-EOB)、2,2’-ジプロポキシ-4,4’-ジアミノビフェニル(m-POB)、2,2’-n-プロピル-4,4’-ジアミノビフェニル(m-NPB)、2,2’-ジビニル-4,4’-ジアミノビフェニル(VAB)、4,4’-ジアミノビフェニル、4,4’-ジアミノ-2,2’-ビス(トリフルオロメチル)ビフェニル(TFMB)等のジアミン化合物から誘導されるジアミン残基が挙げられる。これらの中でも特に、2,2’-ジメチル-4,4’-ジアミノビフェニル(m-TB)は、秩序構造を形成しやすいので特に好ましい。 Specific examples of preferred diamine residues (1) include diamine residues derived from diamine compounds such as 2,2'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl (m-TB), 2,2'-diethyl-4,4'-diaminobiphenyl (m-EB), 2,2'-diethoxy-4,4'-diaminobiphenyl (m-EOB), 2,2'-dipropoxy-4,4'-diaminobiphenyl (m-POB), 2,2'-n-propyl-4,4'-diaminobiphenyl (m-NPB), 2,2'-divinyl-4,4'-diaminobiphenyl (VAB), 4,4'-diaminobiphenyl, and 4,4'-diamino-2,2'-bis(trifluoromethyl)biphenyl (TFMB). Among these, 2,2'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl (m-TB) is particularly preferred because it is easy to form an ordered structure.

また、ポリイミドフィルムの弾性率を下げ、伸度及び折り曲げ耐性等を向上させるため、ポリイミドが、下記の一般式(2)及び(3)で表されるジアミン残基からなる群より選ばれる少なくとも1種のジアミン残基を含むことが好ましい。 In addition, in order to reduce the elastic modulus of the polyimide film and improve the elongation and bending resistance, etc., it is preferable that the polyimide contains at least one diamine residue selected from the group consisting of diamine residues represented by the following general formulas (2) and (3).

Figure 0007492836000004
Figure 0007492836000004

上記式(2)及び式(3)において、R、R、R及びRはそれぞれ独立にハロゲン原子あるいは炭素数1~4のハロゲン原子で置換されてもよいアルキル基若しくはアルコキシ基又は炭素数1~4のアルケニル基を示し、Xは独立に-O-、-S-、-CH-、-CH(CH)-、-C(CH)-、-CO-、-COO-、-SO-、-NH-又は-NHCO-から選ばれる2価の基を示し、X及びXはそれぞれ独立に単結合、-O-、-S-、-CH-、-CH(CH)-、-C(CH)-、-CO-、-COO-、-SO-、-NH-又は-NHCO-から選ばれる2価の基を示すが、X及びXの両方が単結合である場合を除くものとし、j、k、l及びmは独立に0~4の整数を示す。
なお、「独立に」とは、上記式(2)、(3)の内の一つにおいて、または両方において、複数の連結基X、連結基XとX、複数の置換基R、R、R、R、さらに、整数j、k、l、mが、同一でもよいし、異なっていてもよいことを意味する。
In the above formula (2) and formula (3), R 5 , R 6 , R 7 and R 8 each independently represent a halogen atom, an alkyl group or alkoxy group which may be substituted with a halogen atom having 1 to 4 carbon atoms, or an alkenyl group having 1 to 4 carbon atoms; X independently represents a divalent group selected from -O-, -S-, -CH 2 -, -CH(CH 3 )-, -C(CH 3 ) 2 -, -CO-, -COO-, -SO 2 -, -NH- or -NHCO-; X 1 and X 2 each independently represent a divalent group selected from a single bond, -O-, -S-, -CH 2 -, -CH(CH 3 )-, -C(CH 3 ) 2 -, -CO-, -COO-, -SO 2 -, -NH- or -NHCO-; Except for the case where both of 2 are single bonds, j, k, l and m independently represent an integer of 0 to 4.
In addition, "independently" means that in one or both of the above formulas (2) and (3), the multiple linking groups X, the linking groups X1 and X2 , the multiple substituents R5 , R6 , R7 , and R8 , and further the integers j, k, l, and m may be the same or different.

一般式(2)及び(3)で表されるジアミン残基は、屈曲性の部位を有するので、ポリイミドに柔軟性を付与することができる。ここで、一般式(3)で表されるジアミン残基は、ベンゼン環が4個であるので、熱膨張係数(CTE)の増加を抑制するために、ベンゼン環に結合する末端基はパラ位とすることが好ましい。また、ポリイミドに柔軟性を付与しながら熱膨張係数(CTE)の増加を抑制する観点から、一般式(2)及び(3)で表されるジアミン残基は、ポリイミドに含まれる全ジアミン残基の100モル部に対して、好ましくは2~30モル部の範囲内で含有することがよい。 The diamine residues represented by general formulas (2) and (3) have a flexible site, and therefore can impart flexibility to the polyimide. Here, since the diamine residue represented by general formula (3) has four benzene rings, it is preferable that the terminal group bonded to the benzene ring is in the para position in order to suppress an increase in the coefficient of thermal expansion (CTE). In addition, from the viewpoint of suppressing an increase in the coefficient of thermal expansion (CTE) while imparting flexibility to the polyimide, it is preferable that the diamine residues represented by general formulas (2) and (3) are contained in a range of preferably 2 to 30 molar parts per 100 molar parts of all diamine residues contained in the polyimide.

一般式(2)で表されるジアミン残基は、m、n及びoの一つ以上が0であるものが好ましく、また、基R、R及びRの好ましい例としては、炭素数1~4のハロゲン原子で置換されてもよいアルキル基あるいは炭素数1~3のアルコキシ基又は炭素数2~3のアルケニル基を挙げることができる。また、一般式(2)において、連結基Xの好ましい例としては、-O-、-S-、-CH-、-CH(CH)-、-SO-又は-CO-を挙げることができる。一般式(2)で表されるジアミン残基の好ましい具体例としては、1,3-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼン(TPE-R)、1,4-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼン(TPE-Q)、ビス(4‐アミノフェノキシ)-2,5-ジ-tert-ブチルベンゼン(DTBAB)、4,4-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゾフェノン(BAPK)、1,3-ビス[2-(4-アミノフェニル)-2-プロピル]ベンゼン、1,4-ビス[2-(4-アミノフェニル)-2-プロピル]ベンゼン等のジアミン化合物から誘導されるジアミン残基が挙げられる。 The diamine residue represented by formula (2) is preferably one in which at least one of m, n and o is 0, and preferred examples of groups R 5 , R 6 and R 7 include an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms which may be substituted with a halogen atom, an alkoxy group having 1 to 3 carbon atoms, or an alkenyl group having 2 to 3 carbon atoms. In formula (2), preferred examples of the linking group X include -O-, -S-, -CH 2 -, -CH(CH 3 )-, -SO 2 - and -CO-. Preferred specific examples of the diamine residue represented by general formula (2) include diamine residues derived from diamine compounds such as 1,3-bis(4-aminophenoxy)benzene (TPE-R), 1,4-bis(4-aminophenoxy)benzene (TPE-Q), bis(4-aminophenoxy)-2,5-di-tert-butylbenzene (DTBAB), 4,4-bis(4-aminophenoxy)benzophenone (BAPK), 1,3-bis[2-(4-aminophenyl)-2-propyl]benzene, and 1,4-bis[2-(4-aminophenyl)-2-propyl]benzene.

一般式(3)で表されるジアミン残基は、m、n、o及びの一つ以上が0であるものが好ましく、また、基R、R、R及びRの好ましい例としては、炭素数1~4のハロゲン原子で置換されてもよいアルキル基、あるいは炭素数1~3のアルコキシ基、又は炭素数2~3のアルケニル基を挙げることができる。また、一般式(3)において、連結基X及びXの好ましい例としては、単結合、-O-、-S-、-CH-、-CH(CH)-、-SO-又は-CO-を挙げることができる。但し、屈曲部位を付与する観点から、連結基X及びXの両方が単結合である場合を除くものとする。一般式(3)で表されるジアミン残基の好ましい具体例としては、4,4’-ビス(4-アミノフェノキシ)ビフェニル(BAPB)、2,2’-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]プロパン(BAPP)、2,2’-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]エーテル(BAPE)、ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]スルホン等のジアミン化合物から誘導されるジアミン残基が挙げられる。 The diamine residue represented by formula (3) is preferably one in which at least one of m, n, o and p is 0, and preferred examples of groups R 5 , R 6 , R 7 and R 8 include an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms which may be substituted with a halogen atom, an alkoxy group having 1 to 3 carbon atoms, or an alkenyl group having 2 to 3 carbon atoms. In formula (3), preferred examples of linking groups X 1 and X 2 include a single bond, -O-, -S-, -CH 2 -, -CH(CH 3 )-, -SO 2 - or -CO-. However, from the viewpoint of imparting a bending portion, cases in which both linking groups X 1 and X 2 are single bonds are excluded. Preferred specific examples of the diamine residue represented by general formula (3) include diamine residues derived from diamine compounds such as 4,4'-bis(4-aminophenoxy)biphenyl (BAPB), 2,2'-bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]propane (BAPP), 2,2'-bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]ether (BAPE), and bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]sulfone.

一般式(2)で表されるジアミン残基の中でも、1,3-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼン(TPE-R)から誘導されるジアミン残基(「TPE-R残基」と記すことがある)が特に好ましく、一般式(3)で表されるジアミン残基の中でも、2,2’-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]プロパン(BAPP)から誘導されるジアミン残基(「BAPP残基」と記すことがある)が特に好ましい。TPE-R残基及びBAPP残基は、屈曲性の部位を有するので、ポリイミドフィルムの弾性率を低下させ、柔軟性を付与することができる。また、BAPP残基は分子量が大きいため、ポリイミドのイミド基濃度を下げ、ポリイミドフィルムの吸湿を抑制する効果も期待できる。 Among the diamine residues represented by general formula (2), the diamine residue derived from 1,3-bis(4-aminophenoxy)benzene (TPE-R) (sometimes referred to as "TPE-R residue") is particularly preferred, and among the diamine residues represented by general formula (3), the diamine residue derived from 2,2'-bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]propane (BAPP) (sometimes referred to as "BAPP residue") is particularly preferred. TPE-R residues and BAPP residues have flexible sites, so they can reduce the elastic modulus of the polyimide film and impart flexibility. In addition, since the BAPP residue has a large molecular weight, it is expected to have the effect of reducing the imide group concentration of the polyimide and suppressing the moisture absorption of the polyimide film.

ポリイミドに含まれる他のジアミン残基としては、例えば、m‐フェニレンジアミン(m-PDA)、4,4'-ジアミノジフェニルエーテル(4,4'-DAPE)、3,3'-ジアミノジフェニルエーテル、3,4'-ジアミノジフェニルエーテル、4,4'-ジアミノジフェニルメタン、3,3'-ジアミノジフェニルメタン、3,4'-ジアミノジフェニルメタン、4,4'-ジアミノジフェニルプロパン、3,3'-ジアミノジフェニルプロパン、3,4'-ジアミノジフェニルプロパン、4,4'-ジアミノジフェニルスルフィド、3,3'-ジアミノジフェニルスルフィド、3,4'-ジアミノジフェニルスルフィド、4,4'-ジアミノジフェニルスルホン、3,3'-ジアミノジフェニルスルホン、4,4'-ジアミノベンゾフェノン、3,4'-ジアミノベンゾフェノン、3,3'-ジアミノベンゾフェノン、2,2-ビス-[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、ビス[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、ビス[4-(3-アミノフェノキシ)ビフェニル、ビス[1-(3-アミノフェノキシ)]ビフェニル、ビス[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]メタン、ビス[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]エーテル、ビス[4-(3-アミノフェノキシ)]ベンゾフェノン、9,9-ビス[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]フルオレン、2,2-ビス-[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]ヘキサフルオロプロパン、2,2-ビス-[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]ヘキサフルオロプロパン、3,3’-ジメチル-4,4’-ジアミノビフェニル、4,4’-メチレンジ-o-トルイジン、4,4’-メチレンジ-2,6-キシリジン、4,4’-メチレン-2,6-ジエチルアニリン、3,3’-ジアミノジフェニルエタン、3,3’-ジアミノビフェニル、3,3’-ジメトキシベンジジン、3,3''-ジアミノ-p-テルフェニル、4,4'-[1,4-フェニレンビス(1-メチルエチリデン)]ビスアニリン、4,4'-[1,3-フェニレンビス(1-メチルエチリデン)]ビスアニリン、ビス(p-アミノシクロヘキシル)メタン、ビス(p-β-アミノ-t-ブチルフェニル)エーテル、ビス(p-β-メチル-δ-アミノペンチル)ベンゼン、p-ビス(2-メチル-4-アミノペンチル)ベンゼン、p-ビス(1,1-ジメチル-5-アミノペンチル)ベンゼン、1,5-ジアミノナフタレン、2,6-ジアミノナフタレン、2,4-ビス(β-アミノ-t-ブチル)トルエン、2,4-ジアミノトルエン、m-キシレン-2,5-ジアミン、p-キシレン-2,5-ジアミン、m-キシリレンジアミン、p-キシリレンジアミン、2,6-ジアミノピリジン、2,5-ジアミノピリジン、2,5-ジアミノ-1,3,4-オキサジアゾール、ピペラジン等の芳香族ジアミン化合物から誘導されるジアミン残基が挙げられる。 Other diamine residues contained in polyimide include, for example, m-phenylenediamine (m-PDA), 4,4'-diaminodiphenyl ether (4,4'-DAPE), 3,3'-diaminodiphenyl ether, 3,4'-diaminodiphenyl ether, 4,4'-diaminodiphenyl methane, 3,3'-diaminodiphenyl methane, 3,4'-diaminodiphenyl methane, 4,4'-diaminodiphenyl propane, 3,3'-diaminodiphenyl propane, 3,4'-diaminodiphenyl propane, 4,4'-diaminodiphenyl sulfide, 3,3'-diaminodiphenyl sulfide, 3,4'-diaminodiphenyl sulfide, 4,4'-diaminodiphenyl sulfone, 3,3'- Diaminodiphenyl sulfone, 4,4'-diaminobenzophenone, 3,4'-diaminobenzophenone, 3,3'-diaminobenzophenone, 2,2-bis-[4-(3-aminophenoxy)phenyl]propane, bis[4-(3-aminophenoxy)phenyl]sulfone, bis[4-(3-aminophenoxy)biphenyl, bis[1-(3-aminophenoxy)]biphenyl, bis[4-(3-aminophenoxy)phenyl]methane, bis[4-(3-aminophenoxy)phenyl]ether, bis[4-(3-aminophenoxy)]benzophenone, 9,9-bis[4-(3-aminophenoxy)phenyl]fluorene, 2,2-bis-[4-(4-aminophenoxy)phenyl] Hexafluoropropane, 2,2-bis-[4-(3-aminophenoxy)phenyl]hexafluoropropane, 3,3'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl, 4,4'-methylenedi-o-toluidine, 4,4'-methylenedi-2,6-xylidine, 4,4'-methylene-2,6-diethylaniline, 3,3'-diaminodiphenylethane, 3,3'-diaminobiphenyl, 3,3'-dimethoxybenzidine, 3,3''-diamino-p-terphenyl, 4,4'-[1,4-phenylenebis(1-methylethylidene)]bisaniline, 4,4'-[1,3-phenylenebis(1-methylethylidene)]bisaniline, bis(p-aminocyclohexyl)methane, bis(p-β- Examples of diamine residues derived from aromatic diamine compounds such as amino-t-butylphenyl) ether, bis(p-β-methyl-δ-aminopentyl)benzene, p-bis(2-methyl-4-aminopentyl)benzene, p-bis(1,1-dimethyl-5-aminopentyl)benzene, 1,5-diaminonaphthalene, 2,6-diaminonaphthalene, 2,4-bis(β-amino-t-butyl)toluene, 2,4-diaminotoluene, m-xylene-2,5-diamine, p-xylene-2,5-diamine, m-xylylenediamine, p-xylylenediamine, 2,6-diaminopyridine, 2,5-diaminopyridine, 2,5-diamino-1,3,4-oxadiazole, and piperazine.

ポリイミドに含まれるテトラカルボン酸残基としては、特に制限はないが、例えば、ピロメリット酸二無水物(PMDA)から誘導されるテトラカルボン酸残基(以下、PMDA残基ともいう。)、3,3',4,4'-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(BPDA)から誘導されるテトラカルボン酸残基(以下、BPDA残基ともいう。)が好ましく挙げられる。これらのテトラカルボン酸残基は、秩序構造を形成しやすい。また、PMDA残基は、熱膨張係数の制御とガラス転移温度の制御の役割を担う残基である。更に、BPDA残基は、テトラカルボン酸残基の中でも極性基がなく比較的分子量が大きいため、ポリイミドのイミド基濃度を下げ、ポリイミドフィルムの吸湿を抑制する効果も期待できる。このような観点から、PMDA残基及び/又はBPDA残基の合計量が、ポリイミドに含まれる全テトラカルボン酸残基の100モル部に対して、好ましくは50モル部以上、より好ましくは50~100モル部の範囲内、最も好ましくは70~100モル部の範囲内であることがよい。 The tetracarboxylic acid residue contained in the polyimide is not particularly limited, but for example, a tetracarboxylic acid residue derived from pyromellitic dianhydride (PMDA) (hereinafter also referred to as PMDA residue) and a tetracarboxylic acid residue derived from 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride (BPDA) (hereinafter also referred to as BPDA residue) are preferred. These tetracarboxylic acid residues tend to form an ordered structure. In addition, the PMDA residue is a residue that plays a role in controlling the thermal expansion coefficient and the glass transition temperature. Furthermore, since the BPDA residue has no polar group and a relatively large molecular weight among tetracarboxylic acid residues, it is expected to have the effect of lowering the imide group concentration of the polyimide and suppressing the moisture absorption of the polyimide film. From this perspective, the total amount of the PMDA residue and/or the BPDA residue is preferably 50 molar parts or more, more preferably in the range of 50 to 100 molar parts, and most preferably in the range of 70 to 100 molar parts, relative to 100 molar parts of all tetracarboxylic acid residues contained in the polyimide.

ポリイミドに含まれる他のテトラカルボン酸残基としては、例えば、2,3',3,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2',3,3'-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’-ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、4,4’-オキシジフタル酸無水物、2,2',3,3'-、2,3,3',4'-又は3,3',4,4'-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,3',3,4'-ジフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、ビス(2,3-ジカルボキシフェニル)エーテル二無水物、3,3'',4,4''-、2,3,3'',4''-又は2,2'',3,3''-p-テルフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2-ビス(2,3-又は3,4-ジカルボキシフェニル)-プロパン二無水物、ビス(2,3-又は3.4-ジカルボキシフェニル)メタン二無水物、ビス(2,3-又は3,4-ジカルボキシフェニル)スルホン二無水物、1,1-ビス(2,3-又は3,4-ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、1,2,7,8-、1,2,6,7-又は1,2,9,10-フェナンスレン-テトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7-アントラセンテトラカルボン酸二無水物、2,2-ビス(3,4-ジカルボキシフェニル)テトラフルオロプロパン二無水物、2,3,5,6-シクロヘキサン二無水物、1,2,5,6-ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1,4,5,8-ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7-ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、4,8-ジメチル-1,2,3,5,6,7-ヘキサヒドロナフタレン-1,2,5,6-テトラカルボン酸二無水物、2,6-又は2,7-ジクロロナフタレン-1,4,5,8-テトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7-(又は1,4,5,8-)テトラクロロナフタレン-1,4,5,8-(又は2,3,6,7-)テトラカルボン酸二無水物、2,3,8,9-、3,4,9,10-、4,5,10,11-又は5,6,11,12-ペリレン-テトラカルボン酸二無水物、シクロペンタン-1,2,3,4-テトラカルボン酸二無水物、ピラジン-2,3,5,6-テトラカルボン酸二無水物、ピロリジン-2,3,4,5-テトラカルボン酸二無水物、チオフェン-2,3,4,5-テトラカルボン酸二無水物、4,4’-ビス(2,3-ジカルボキシフェノキシ)ジフェニルメタン二無水物等の芳香族テトラカルボン酸二無水物から誘導されるテトラカルボン酸残基が挙げられる。 Other tetracarboxylic acid residues contained in polyimide include, for example, 2,3',3,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,2',3,3'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 3,3',4,4'-diphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride, 4,4'-oxydiphthalic anhydride, 2,2',3,3'-, 2,3,3',4'- or 3,3',4,4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 2,3',3,4'-diphenylethertetracarboxylic dianhydride, bis(2,3-dicarboxyphenyl)ether dianhydride, 3,3'',4,4''-, 2,3,3 2,2-bis(2,3- or 3,4-dicarboxyphenyl)-propane dianhydride, bis(2,3- or 3,4-dicarboxyphenyl)methane dianhydride, bis(2,3- or 3,4-dicarboxyphenyl)sulfone dianhydride, 1,1-bis(2,3- or 3,4-dicarboxyphenyl)ethane dianhydride, 1,2,7,8-, 1,2,6,7- or 1,2,9,10-phenanthrene-tetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7-anthracene tetracarboxylic dianhydride, 2,2-bis(3, 4-dicarboxyphenyl)tetrafluoropropane dianhydride, 2,3,5,6-cyclohexane dianhydride, 1,2,5,6-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 1,4,5,8-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 4,8-dimethyl-1,2,3,5,6,7-hexahydronaphthalene-1,2,5,6-tetracarboxylic dianhydride, 2,6- or 2,7-dichloronaphthalene-1,4,5,8-tetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7-(or 1,4,5,8-)tetrachloronaphthalene-1,4,5,8-(or 2 ,3,6,7-) tetracarboxylic acid dianhydride, 2,3,8,9-, 3,4,9,10-, 4,5,10,11- or 5,6,11,12-perylene-tetracarboxylic acid dianhydride, cyclopentane-1,2,3,4-tetracarboxylic acid dianhydride, pyrazine-2,3,5,6-tetracarboxylic acid dianhydride, pyrrolidine-2,3,4,5-tetracarboxylic acid dianhydride, thiophene-2,3,4,5-tetracarboxylic acid dianhydride, 4,4'-bis(2,3-dicarboxyphenoxy)diphenylmethane dianhydride, and other aromatic tetracarboxylic acid dianhydrides are included.

ポリイミドにおいて、上記テトラカルボン酸残基及びジアミン残基の種類や、2種以上のテトラカルボン酸残基又はジアミン残基を適用する場合のそれぞれのモル比を選定することにより、熱膨張係数、貯蔵弾性率、引張弾性率等を制御することができる。また、ポリイミドの構造単位を複数有する場合は、ブロックとして存在しても、ランダムに存在していてもよいが、面内のばらつきを抑制する観点から、ランダムに存在することが好ましい。 In polyimide, the thermal expansion coefficient, storage modulus, tensile modulus, etc. can be controlled by selecting the types of the tetracarboxylic acid residues and diamine residues, or the molar ratios of two or more types of tetracarboxylic acid residues or diamine residues. In addition, when a polyimide has multiple structural units, they may exist as blocks or randomly, but from the viewpoint of suppressing in-plane variations, they are preferably present randomly.

[ポリイミドフィルムの製造方法]
本実施の形態のポリイミドフィルムの製造方法は、下記の工程a~d;
a)本発明に係る有機溶剤と、テトラカルボン酸無水物成分と、ジアミン成分と、を含有する混合溶液を準備する工程と、
b)前記混合溶液中で、前記テトラカルボン酸無水物成分と前記ジアミン成分とを反応させて、ポリアミド酸の溶液を得る工程と、
c)基材上に前記ポリアミド酸の溶液を塗布し、乾燥することによって、前記ポリアミド酸の樹脂膜を形成する工程と、
d)前記樹脂膜を熱処理し、前記ポリアミド酸をイミド化することによって、ポリイミドフィルムを得る工程と、
を備えることができる。
[Method of manufacturing polyimide film]
The method for producing a polyimide film according to the present embodiment includes the following steps a to d:
a) preparing a mixed solution containing an organic solvent according to the present invention, a tetracarboxylic acid anhydride component, and a diamine component;
b) reacting the tetracarboxylic anhydride component with the diamine component in the mixed solution to obtain a polyamic acid solution;
c) applying a solution of the polyamic acid onto a substrate and drying the solution to form a resin film of the polyamic acid;
d) heat-treating the resin film to imidize the polyamic acid to obtain a polyimide film;
It can be provided with:

<工程a>
工程aで使用する有機溶剤は、前記成分A及びBを含有するものである。
<Step a>
The organic solvent used in the step a contains the components A and B.

<工程b>
工程bでは、例えばテトラカルボン酸無水物とジアミン化合物をほぼ等モルで有機溶剤に溶解して、0~100℃の範囲内の温度で30分~24時間撹拌し重合反応させて、ポリアミド酸の溶液を得る。反応にあたっては、生成するポリアミド酸が溶媒中に5~30質量%の範囲内、好ましくは10~20質量%の範囲内となるように反応成分を溶解する。
<Step b>
In step b, for example, a tetracarboxylic anhydride and a diamine compound are dissolved in an organic solvent in approximately equimolar amounts and stirred for 30 minutes to 24 hours at a temperature in the range of 0 to 100° C. to cause a polymerization reaction, thereby obtaining a polyamic acid solution. In the reaction, the reaction components are dissolved in the solvent so that the resulting polyamic acid is in the range of 5 to 30% by mass, preferably 10 to 20% by mass.

ポリアミド酸の溶液の粘度は、500cps~100,000cpsの範囲内であることが好ましい。この範囲を外れると、コーター等による塗工作業の際にフィルムに厚みムラ、スジ等の不良が発生し易くなる。 The viscosity of the polyamic acid solution is preferably within the range of 500 cps to 100,000 cps. If it is outside this range, defects such as uneven thickness and streaks are likely to occur in the film during coating operations using a coater, etc.

<工程c及び工程d>
工程bで得られたポリアミド酸の溶液を基材上に塗布し、その後の熱処理で乾燥及びイミド化(又は硬化)される。熱処理の方法は、一般的には、例えば80~400℃の範囲内の温度条件で1~60分間の範囲内の時間加熱するといった熱処理が好適に採用される。その際、ポリアミド酸のイミド化を進行させるためには、溶解又は混和する有機溶剤を蒸発させる熱処理と、ポリアミド酸に配位した有機溶剤を系外へ放出させる熱処理とが必要となる。
<Step c and step d>
The solution of polyamic acid obtained in step b is applied onto a substrate, and then dried and imidized (or cured) by heat treatment. The heat treatment is generally preferably performed by heating for 1 to 60 minutes at a temperature of 80 to 400° C. In this case, in order to advance the imidization of polyamic acid, heat treatment for evaporating the organic solvent that dissolves or is mixed with the polyamic acid and heat treatment for releasing the organic solvent coordinated to the polyamic acid to the outside of the system are required.

工程cでポリアミド酸の樹脂膜を形成した後、基材上でイミド化してもよいし、基材から樹脂膜を剥がし、イミド化してもよい。また、ポリイミドフィルムが、複数層のポリイミド層からなるポリイミドフィルムである場合、その製造方法の態様としては、例えば基材上に、ポリアミド酸の溶液を塗布・乾燥することを複数回繰り返した後、イミド化を行う方法(以下、キャスト法)、多層押出により、同時にポリアミド酸を多層に積層した状態で塗布・乾燥した後、イミド化を行う方法(以下、多層押出法)などが挙げられる。 After forming the polyamic acid resin film in step c, it may be imidized on the substrate, or the resin film may be peeled off from the substrate and imidized. In addition, when the polyimide film is a polyimide film consisting of multiple polyimide layers, the manufacturing method may be, for example, a method in which a solution of polyamic acid is repeatedly applied and dried on the substrate multiple times, followed by imidization (hereinafter, the casting method), or a method in which polyamic acid is simultaneously applied and dried in a multi-layer laminated state by multi-layer extrusion, followed by imidization (hereinafter, the multi-layer extrusion method).

ポリイミドフィルムが単層又は複数層のいずれの場合であっても、基材上でポリアミド酸のイミド化を完結させることが好ましい。ポリアミド酸の樹脂膜が基材に固定された状態でイミド化されるので、イミド化過程におけるポリイミド層の伸縮変化を抑制して、ポリイミドフィルムの厚みや寸法精度を維持することができる。 Whether the polyimide film is a single layer or multiple layers, it is preferable to complete the imidization of the polyamic acid on the substrate. Since the polyamic acid resin film is imidized while fixed to the substrate, it is possible to suppress changes in the expansion and contraction of the polyimide layer during the imidization process and maintain the thickness and dimensional accuracy of the polyimide film.

<基材>
工程cで使用される基材については、ポリイミドフィルム(又はポリイミド層)を補強する目的と、ポリイミドフィルムの伸縮変化を抑制して、寸法精度を維持する目的で使用されるものである。また、基材は、ポリアミド酸の溶液が塗布される対象となり、カットシート状、ロール状又はエンドレスベルト状などの形状を使用できる。生産性を得るためには、ロール状又はエンドレスベルト状の形態とし、連続生産可能な形式とすることが効率的である。さらに、ポリイミドフィルムの寸法精度の改善効果をより大きく発現させる観点から、支持基材は長尺に形成されたロール状のものが好ましい。
<Substrate>
The substrate used in step c is used for the purpose of reinforcing the polyimide film (or polyimide layer) and for the purpose of suppressing the expansion and contraction change of the polyimide film to maintain dimensional accuracy. The substrate is the object to which the polyamic acid solution is applied, and can be in the form of a cut sheet, a roll, an endless belt, or the like. In order to obtain productivity, it is efficient to use a roll or an endless belt form that allows continuous production. Furthermore, from the viewpoint of more significantly improving the dimensional accuracy of the polyimide film, the supporting substrate is preferably a long roll.

基材の材質としては、金属、セラミックス、樹脂、炭素など耐熱性があるものが挙げられるが、熱伝導性や柔軟性の観点から、金属が好ましい。従って、基材としては、金属のフィルム、例えば銅箔、アルミニウム箔、ステンレス箔、鉄箔、銀箔、金箔、亜鉛箔、インジウム箔、スズ箔、ジルコニウム箔、タンタル箔、チタン箔、コバルト箔及びこれら合金箔が挙げられる。ポリイミドフィルムを回路配線基板の絶縁層として適用し、また基材を回路配線基板の配線層として適用する場合には、基材は、銅箔又は銅合金箔が好ましい。また、ポリイミドフィルムを基材から剥離して使用する場合には、基材としては、平滑なステンレスベルトやステンレスドラムなどが好適に使用可能である。 Materials for the substrate include heat-resistant materials such as metals, ceramics, resins, and carbon, but metals are preferred from the viewpoint of thermal conductivity and flexibility. Therefore, examples of the substrate include metal films, such as copper foil, aluminum foil, stainless steel foil, iron foil, silver foil, gold foil, zinc foil, indium foil, tin foil, zirconium foil, tantalum foil, titanium foil, cobalt foil, and alloy foils thereof. When the polyimide film is used as an insulating layer of a circuit wiring board and the substrate is used as a wiring layer of a circuit wiring board, the substrate is preferably copper foil or copper alloy foil. In addition, when the polyimide film is to be peeled off from the substrate for use, a smooth stainless steel belt or stainless steel drum can be suitably used as the substrate.

基材としての金属箔の厚みは、例えば5~35μmの範囲内が好ましく、9~18μmの範囲内がより好ましい。金属箔が35μmより厚いと、ポリイミド層及び金属箔層からなる積層体としての屈曲性や折り曲げ性が悪くなる。一方、金属箔が5μmより薄いと、積層体としての製造工程において、張力等の調整が困難となり、皺等の不良が発生し易くなる。また、これらの金属箔は、接着力等の向上を目的として、その表面に化学的あるいは機械的な表面処理を施してもよく、防錆を目的とする化学的な表面処理を施してもよい。 The thickness of the metal foil as the substrate is preferably within the range of 5 to 35 μm, and more preferably within the range of 9 to 18 μm. If the metal foil is thicker than 35 μm, the flexibility and foldability of the laminate consisting of the polyimide layer and the metal foil layer will be poor. On the other hand, if the metal foil is thinner than 5 μm, it will be difficult to adjust the tension during the manufacturing process of the laminate, and defects such as wrinkles will be more likely to occur. In addition, the surfaces of these metal foils may be subjected to chemical or mechanical surface treatments to improve adhesion, etc., or chemical surface treatments for rust prevention.

<有機溶剤の回収・再利用>
工程cで発生した溶剤蒸気から有機溶剤を回収する工程を有することが好ましい。有機溶剤の回収は、ポリアミド酸の溶液を塗布した後の乾燥によって発生した溶剤蒸気から有機溶剤を回収することによって行うが、工程dの熱処理工程で発生した溶剤蒸気からも有機溶剤を回収してもよい。このように回収した溶剤は、工程aの有機溶剤として再利用する。
<Recovery and reuse of organic solvents>
It is preferable to have a step of recovering the organic solvent from the solvent vapor generated in step c. The organic solvent is recovered by recovering the organic solvent from the solvent vapor generated by drying after coating the polyamic acid solution, but the organic solvent may also be recovered from the solvent vapor generated in the heat treatment step of step d. The solvent thus recovered is reused as the organic solvent in step a.

溶剤蒸気を回収・再利用する方法としては、特に制限されることはないが、例えば冷却法、活性炭・ゼオライト等の固体吸着剤を使用する吸着法、液体状難揮発性溶剤を使用する吸着法、水を使用する吸収法などが挙げられる。また、一般的な溶剤回収装置を使用することができ、例えば多重効用蒸気式溶剤回収装置、ヒートポンプ式溶剤回収装置、ヒートポンプ式多重効用型濃縮装置、蒸発濃縮装置などが挙げられる。 Methods for recovering and reusing solvent vapor are not particularly limited, but include, for example, a cooling method, an adsorption method using a solid adsorbent such as activated carbon or zeolite, an adsorption method using a liquid, hardly volatile solvent, and an absorption method using water. In addition, general solvent recovery equipment can be used, such as a multi-effect steam type solvent recovery equipment, a heat pump type solvent recovery equipment, a heat pump type multi-effect concentrator, and an evaporation concentrator.

溶剤蒸気は、親水性であり水に溶解しやすく、水よりも高沸点であり水の蒸気圧より小さいので水より蒸発しやすく、水と共沸点を有しないという観点から、溶剤蒸気から溶剤を回収する工程は溶剤蒸気に含まれる水溶性物質を水に溶解させる工程を含むことが好ましい。回収液は、外部から供給される熱エネルギーによって、蒸気圧が高い水を蒸発させ、回収液を濃縮することができる。熱エネルギーは、溶剤蒸気の熱を利用することが好ましいが、溶剤蒸気が低温の場合は、加熱器等による熱を利用してもよい。濃縮した回収液は、必要に応じ、酸処理やアルカリ処理、活性炭処理などを行ってもよい。 From the viewpoints that the solvent vapor is hydrophilic and easily dissolves in water, has a higher boiling point than water and a lower vapor pressure than water, so evaporates more easily than water, and does not have an azeotropic point with water, it is preferable that the process of recovering the solvent from the solvent vapor includes a process of dissolving the water-soluble substance contained in the solvent vapor in water. The recovered liquid can be concentrated by evaporating water with high vapor pressure using thermal energy supplied from the outside. The thermal energy used is preferably the heat of the solvent vapor, but if the solvent vapor is at a low temperature, heat from a heater or the like may be used. The concentrated recovered liquid may be treated with an acid, an alkali, activated carbon, or the like as necessary.

また、濃縮した回収液は、例えば蒸留等の精製によって、工程aでの原料の有機溶剤として再生し、再利用することができる。 The concentrated recovered liquid can be regenerated and reused as the raw organic solvent in step a by purification such as distillation.

再利用した溶剤を含む有機溶剤を使用する場合、原料となる有機溶剤の50体積%以上が再利用の溶剤であることが好ましい。原料となる有機溶剤に占める再利用の溶剤の割合は50体積%以上とすることで、コストメリットが増大する。 When using an organic solvent containing recycled solvent, it is preferable that 50% by volume or more of the raw organic solvent is recycled solvent. By making the ratio of recycled solvent to the raw organic solvent 50% by volume or more, the cost merit is increased.

以下に実施例を示し、本発明の特徴をより具体的に説明する。ただし、本発明の範囲は、実施例に限定されない。なお、以下の実施例において、特にことわりのない限り各種測定、評価は下記によるものである。 The following examples are provided to more specifically explain the features of the present invention. However, the scope of the present invention is not limited to these examples. In the following examples, unless otherwise specified, the various measurements and evaluations were performed as follows.

[水分量の評価]
再生溶剤の水分量は、カールフィッシャー水分測定装置(微量水分測定装置AQ-300、平沼産業社製)を用いて測定を行った。
[Evaluation of moisture content]
The water content of the recycled solvent was measured using a Karl Fischer water content meter (trace water content meter AQ-300, manufactured by Hiranuma Sangyo Co., Ltd.).

[溶剤純度の測定]
ガスクロマトグラフ(カラム:G-100)を用い、溶剤純度を測定した。得られた全ピーク面積における溶剤の主ピーク面積の割合を百分率で表した値である。
[Measurement of Solvent Purity]
The purity of the solvent was measured using a gas chromatograph (column: G-100) and is expressed as a percentage of the main peak area of the solvent in the total peak area obtained.

[粘度の測定]
E型粘度計(ブルックフィールド社製、商品名;DV-II+Pro)を用いて、25℃における粘度を測定した。トルクが10%~90%になるよう回転数を設定し、測定を開始してから2分経過後、粘度が安定した時の値を読み取った。
[Viscosity measurement]
The viscosity was measured at 25° C. using an E-type viscometer (manufactured by Brookfield, product name: DV-II+Pro). The rotation speed was set so that the torque was 10% to 90%, and the value was read when the viscosity stabilized 2 minutes after the start of the measurement.

[銅箔の表面粗度の測定]
銅箔の表面粗度は、AFM(ブルカー・エイエックスエス社製、商品名;Dimension Icon型SPM)、プローブ(ブルカー・エイエックスエス社製、商品名;TESPA(NCHV)、先端曲率半径10nm、ばね定数42N/m)を用いて、タッピングモードで、銅箔表面の80μm×80μmの範囲で測定し、十点平均粗さ(Rzjis)を求めた。
[Measurement of copper foil surface roughness]
The surface roughness of the copper foil was measured in a tapping mode using an AFM (manufactured by Bruker AXS, product name: Dimension Icon type SPM) and a probe (manufactured by Bruker AXS, product name: TESPA (NCHV), tip curvature radius 10 nm, spring constant 42 N/m) in an area of 80 μm × 80 μm on the copper foil surface, and the ten-point average roughness (Rzjis) was calculated.

[ヘイズ(HAZE)の評価]
ヘイズ測定装置(濁度計:日本電色工業社製、商品名;NDH5000)を用い、5cm×5cmのサイズのポリイミドフィルムについて、ASTM D 1003に記載の測定方法により行った。
[Evaluation of Haze]
The haze was measured by the method described in ASTM D 1003 using a haze measuring device (turbidity meter: Nippon Denshoku Industries Co., Ltd., product name: NDH5000) on a polyimide film having a size of 5 cm x 5 cm.

[熱膨張係数(CTE)の測定]
3mm(塗工幅方向)×20mm(塗工長さ方向)のサイズのポリイミドフィルムを、サーモメカニカルアナライザー(Bruker社製、商品名;4000SA)を用い、5.0gの荷重を加えながら一定の昇温速度で30℃から260℃まで昇温させ、更にその温度で10分保持した後、5℃/分の速度で冷却し、250℃から100℃までの平均熱膨張係数(熱膨張係数)を求めた。
[Measurement of coefficient of thermal expansion (CTE)]
A polyimide film measuring 3 mm (coating width direction) x 20 mm (coating length direction) was heated from 30°C to 260°C at a constant heating rate while applying a load of 5.0 g using a thermomechanical analyzer (manufactured by Bruker, product name: 4000SA), and then held at that temperature for 10 minutes. The film was then cooled at a rate of 5°C/min to determine the average thermal expansion coefficient (thermal expansion coefficient) from 250°C to 100°C.

実施例及び参考例に用いた略号は、以下の化合物を示す。
PMDA:ピロメリット酸二無水物
BPDA:3,3',4,4'‐ビフェニルテトラカルボン酸二無水物
m‐TB:2,2'‐ジメチル‐4,4'‐ジアミノビフェニル
TPE-Q:1,4-ビス(4‐アミノフェノキシ)ベンゼン
BAPP:2,2-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]プロパン
ビスアニリン-P:1,4-ビス[2-(4-アミノフェニル)-2-プロピル]ベンゼン(三井化学ファイン社製、商品名;ビスアニリン-P)
DMAc:N,N‐ジメチルアセトアミド
DMF:N,N-ジメチルホルムアミド
The abbreviations used in the Examples and Reference Examples represent the following compounds.
PMDA: pyromellitic dianhydride BPDA: 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride m-TB: 2,2'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl TPE-Q: 1,4-bis(4-aminophenoxy)benzene BAPP: 2,2-bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]propane Bisaniline-P: 1,4-bis[2-(4-aminophenyl)-2-propyl]benzene (manufactured by Mitsui Chemicals Fine Co., Ltd., product name: Bisaniline-P)
DMAc: N,N-dimethylacetamide DMF: N,N-dimethylformamide

[合成例1]
反応槽に14.20質量部のm-TB(0.067モル部)及び3.45質量部のTPE-Q(0.012モル部)並びに重合後の固形分濃度が15重量%となる量の新規品のDMAc(含水率10 wt ppm、純度99.9%以上)を投入し、室温で撹拌して溶解させた。次に、12.66質量部のPMDA(0.058モル部)及び5.69質量部のBPDA(0.019モル部)を添加した後、室温で3時間撹拌を続けて重合反応を行い、ポリアミド酸溶液a-1を得た。ポリアミド酸溶液a-1の粘度は34,900cpsであった。また23℃,50%RHで20日間保存した際の粘度は30,100cpsであった。
[Synthesis Example 1]
14.20 parts by mass of m-TB (0.067 mol parts), 3.45 parts by mass of TPE-Q (0.012 mol parts), and a new DMAc (water content 10 wt ppm, purity 99.9% or more) in an amount such that the solid content concentration after polymerization is 15% by weight were charged into the reaction vessel, and the mixture was stirred at room temperature to dissolve. Next, 12.66 parts by mass of PMDA (0.058 mol parts) and 5.69 parts by mass of BPDA (0.019 mol parts) were added, and the mixture was stirred at room temperature for 3 hours to carry out a polymerization reaction, thereby obtaining a polyamic acid solution a-1. The viscosity of the polyamic acid solution a-1 was 34,900 cps. The viscosity when stored for 20 days at 23°C and 50% RH was 30,100 cps.

[合成例2]
反応槽に14.49質量部のm-TB(0.068モル部)、1.11質量部のTPE-Q(0.004モル部)及び1.31質量部のビスアニリン-P(0.004モル部)並びに重合後の固形分濃度が15重量%となる量の新規品のDMAc(含水率10 wt ppm、純度99.9%以上)を投入し、室温で撹拌して溶解させた。次に、8.13質量部のPMDA(0.037モル部)及び10.97質量部のBPDA(0.037モル部)を添加した後、室温で3時間撹拌を続けて重合反応を行い、ポリアミド酸溶液b-1を得た。ポリアミド酸溶液b-1の粘度は35,500cpsであった。また23℃,50%RHで20日間保存した際の粘度は32,800cpsであった。
[Synthesis Example 2]
14.49 parts by mass of m-TB (0.068 mol), 1.11 parts by mass of TPE-Q (0.004 mol), and 1.31 parts by mass of bisaniline-P (0.004 mol) were added to the reaction vessel, and a new product of DMAc (water content 10 wt ppm, purity 99.9% or more) was added in an amount such that the solid content concentration after polymerization was 15% by weight, and the mixture was stirred at room temperature to dissolve. Next, 8.13 parts by mass of PMDA (0.037 mol) and 10.97 parts by mass of BPDA (0.037 mol) were added, and the mixture was stirred at room temperature for 3 hours to carry out a polymerization reaction, thereby obtaining a polyamic acid solution b-1. The viscosity of the polyamic acid solution b-1 was 35,500 cps. The viscosity when stored at 23°C and 50% RH for 20 days was 32,800 cps.

[合成例3]
反応槽に14.20質量部のm-TB(0.067モル部)及び3.45質量部のTPE-Q(0.012モル部)並びに重合後の固形分濃度が15重量%となる量の新規品のDMF(含水率15 wt ppm、純度99.9%以上)を投入し、室温で撹拌して溶解させた。次に、12.66質量部のPMDA(0.058モル部)及び5.69質量部のBPDA(0.019モル部)を添加した後、室温で3時間撹拌を続けて重合反応を行い、ポリアミド酸溶液a-2を得た。ポリアミド酸溶液a-2の粘度は32,700cpsであった。また23℃,50%RHで20日間保存した際の粘度は28,900cpsであった。
[Synthesis Example 3]
14.20 parts by mass of m-TB (0.067 mol parts), 3.45 parts by mass of TPE-Q (0.012 mol parts), and a new DMF (water content 15 wt ppm, purity 99.9% or more) in an amount such that the solid content concentration after polymerization is 15% by weight were charged into the reaction vessel, and the mixture was stirred at room temperature to dissolve. Next, 12.66 parts by mass of PMDA (0.058 mol parts) and 5.69 parts by mass of BPDA (0.019 mol parts) were added, and the mixture was stirred at room temperature for 3 hours to carry out a polymerization reaction, thereby obtaining a polyamic acid solution a-2. The viscosity of the polyamic acid solution a-2 was 32,700 cps. The viscosity when stored for 20 days at 23°C and 50% RH was 28,900 cps.

[合成例4]
反応槽に18.71質量部のBAPP(0.046モル部)並びに重合後の固形分濃度が12重量%となる量の新規品のDMAc(含水率10 wt ppm、純度99.9%以上)を投入し、室温で撹拌して溶解させた。次に、10.09質量部のPMDA(0.046モル部)を添加した後、室温で3時間撹拌を続けて重合反応を行い、ポリアミド酸溶液c-1を得た。ポリアミド酸溶液c-1の粘度は2,100cpsであった。
[Synthesis Example 4]
18.71 parts by mass of BAPP (0.046 mol parts) and a new DMAc (water content 10 wt ppm, purity 99.9% or more) in an amount that makes the solid content concentration after polymerization 12% by weight are charged into a reaction vessel, and dissolved by stirring at room temperature. Next, 10.09 parts by mass of PMDA (0.046 mol parts) are added, and then polymerization reaction is performed by continuing stirring at room temperature for 3 hours, to obtain polyamic acid solution c-1. The viscosity of polyamic acid solution c-1 is 2,100 cps.

[合成例5]
反応槽に18.71質量部のBAPP(0.046モル部)並びに重合後の固形分濃度が12重量%となる量の新規品のDMF(含水率15 wt ppm、純度99.9%以上)を投入し、室温で撹拌して溶解させた。次に、10.09質量部のPMDA(0.046モル部)を添加した後、室温で3時間撹拌を続けて重合反応を行い、ポリアミド酸溶液c-2を得た。ポリアミド酸溶液c-2の粘度は1,600cpsであった。
[Synthesis Example 5]
18.71 parts by mass of BAPP (0.046 mol parts) and a new DMF (water content 15 wt ppm, purity 99.9% or more) in an amount that makes the solid content concentration after polymerization 12% by weight are charged into a reaction vessel, and dissolved by stirring at room temperature. Next, 10.09 parts by mass of PMDA (0.046 mol parts) are added, and then polymerization reaction is performed by continuing stirring at room temperature for 3 hours, to obtain polyamic acid solution c-2. The viscosity of polyamic acid solution c-2 is 1,600 cps.

[製造例1]
厚さ18μmで幅1,080mmの長尺状の圧延銅箔(Rzjis=0.88μm)の片面に合成例4で調製したポリアミド酸溶液c-1を硬化後の厚みが2.5μmとなるように均一に塗布した後、130℃で加熱乾燥し、溶剤を除去した。次に、乾燥したポリアミド酸溶液cの上に合成例1で調製したポリアミド酸溶液a-1を硬化後厚みが20μmとなるように均一に塗布した後、130℃で加熱乾燥し、溶剤を除去した。更に、乾燥したポリアミド酸溶液a-1の上に合成例4で調製したポリアミド酸溶液c-1を硬化後厚みが2.5μmとなるように均一に塗布した後、130℃で加熱乾燥し、溶剤を除去した。この際、ポリアミド酸溶液c-1、ポリアミド酸溶液a-1及びポリアミド酸溶液c-1の塗布、加熱処理に用いた上記工程を第1の熱処理工程とした。その後、160℃から360℃まで昇温してイミド化させる第2の熱処理工程を得て、厚み25μmの多層のポリイミド樹脂層からなる銅張積層体1得た。得られた銅張積層板A-1について、塩化第二鉄水溶液を用いて銅箔をエッチング除去して、多層ポリイミドフィルムA-1を調製した。この多層ポリイミドフィルムA-1のヘイズは75.30%、CTEは21ppm/Kであった。
[Production Example 1]
The polyamic acid solution c-1 prepared in Synthesis Example 4 was uniformly applied to one side of a long rolled copper foil (Rzjis=0.88 μm) having a thickness of 18 μm and a width of 1,080 mm so that the thickness after curing was 2.5 μm, and then heated and dried at 130 ° C. to remove the solvent. Next, the polyamic acid solution a-1 prepared in Synthesis Example 1 was uniformly applied on the dried polyamic acid solution c so that the thickness after curing was 20 μm, and then heated and dried at 130 ° C. to remove the solvent. Furthermore, the polyamic acid solution c-1 prepared in Synthesis Example 4 was uniformly applied on the dried polyamic acid solution a-1 so that the thickness after curing was 2.5 μm, and then heated and dried at 130 ° C. to remove the solvent. At this time, the above process used for applying and heating the polyamic acid solution c-1, the polyamic acid solution a-1 and the polyamic acid solution c-1 was defined as the first heat treatment process. Thereafter, the second heat treatment step was performed by increasing the temperature from 160°C to 360°C to imidize the laminate, thereby obtaining a copper-clad laminate 1 consisting of a multi-layer polyimide resin layer having a thickness of 25 μm. The copper foil of the obtained copper-clad laminate A-1 was removed by etching using an aqueous ferric chloride solution to prepare a multi-layer polyimide film A-1. The haze of this multi-layer polyimide film A-1 was 75.30%, and the CTE was 21 ppm/K.

(溶剤を回収し再生する工程)
このとき第1の熱処理工程で発生した溶剤蒸気は、水と気液接触させて溶解させ溶剤回収液とした後、蒸留により溶剤と水に分離して再生DMAc1を得た。
この際、再生DMAc1の純度は99.99(%)、含水率は41(wt ppm)であった。
(Solvent recovery and regeneration process)
The solvent vapor generated in the first heat treatment step was dissolved in water by gas-liquid contact to obtain a solvent recovery liquid, and then the solvent and water were separated by distillation to obtain regenerated DMAc1.
At this time, the purity of the regenerated DMAc1 was 99.99(%) and the water content was 41 (wt ppm).

[製造例2]
厚さ18μmで幅1,080mmの長尺状の圧延銅箔(Rzjis=0.88μm)の片面に合成例4で調製したポリアミド酸溶液c-1を硬化後の厚みが2.5μmとなるように均一に塗布した後、130℃で加熱乾燥し、溶剤を除去した。次に、乾燥したポリアミド酸溶液c-1の上に合成例2で調製したポリアミド酸溶液b-1を硬化後厚みが20μmとなるように均一に塗布した後、130℃で加熱乾燥し、溶剤を除去した。更に、乾燥したポリアミド酸溶液b-1の上に合成例4で調製したポリアミド酸溶液c-1を硬化後厚みが2.5μmとなるように均一に塗布した後、130℃で加熱乾燥し、溶剤を除去した。この際、ポリアミド酸溶液c-1、ポリアミド酸溶液b-1及びポリアミド酸溶液c-1の塗布、加熱処理に用いた上記工程を第1の熱処理工程とした。その後、160℃から360℃まで昇温してイミド化させる第2の熱処理工程を得て、厚み25μmの多層のポリイミド樹脂層からなる銅張積層体B-1得た。得られた銅張積層板B-1について、塩化第二鉄水溶液を用いて銅箔をエッチング除去して、多層ポリイミドフィルムB-1を調製した。この多層ポリイミドフィルムB-1のヘイズは81.83%、CTEは23ppm/Kであった。
[Production Example 2]
The polyamic acid solution c-1 prepared in Synthesis Example 4 was uniformly applied to one side of a long rolled copper foil (Rzjis=0.88 μm) having a thickness of 18 μm and a width of 1,080 mm so that the thickness after curing was 2.5 μm, and then heated and dried at 130 ° C. to remove the solvent. Next, the polyamic acid solution b-1 prepared in Synthesis Example 2 was uniformly applied on the dried polyamic acid solution c-1 so that the thickness after curing was 20 μm, and then heated and dried at 130 ° C. to remove the solvent. Furthermore, the polyamic acid solution c-1 prepared in Synthesis Example 4 was uniformly applied on the dried polyamic acid solution b-1 so that the thickness after curing was 2.5 μm, and then heated and dried at 130 ° C. to remove the solvent. At this time, the above process used for applying and heating the polyamic acid solution c-1, polyamic acid solution b-1 and polyamic acid solution c-1 was defined as the first heat treatment process. Thereafter, the second heat treatment step was performed by increasing the temperature from 160°C to 360°C to imidize the laminate, thereby obtaining a copper-clad laminate B-1 consisting of a multi-layer polyimide resin layer having a thickness of 25 μm. The copper foil of the obtained copper-clad laminate B-1 was removed by etching using an aqueous ferric chloride solution to prepare a multi-layer polyimide film B-1. The haze of this multi-layer polyimide film B-1 was 81.83%, and the CTE was 23 ppm/K.

第1の熱処理工程で発生した溶剤蒸気について、製造例1と同様に水と気液接触させて溶解させ溶剤回収液とした後、蒸留により溶剤と水に分離して再生DMAc2を得た。また製造例2と同様の製造を2回行い、その際に第1の熱処理工程で発生した溶剤蒸気について、回収及び水との分離を実施し再生DMAc3、再生DMAc4を得た。
このとき得られた再生DMAcの純度の測定および含水率を実施した結果を表1に示す。
The solvent vapor generated in the first heat treatment step was dissolved by gas-liquid contact with water to obtain a solvent recovery liquid in the same manner as in Production Example 1, and then separated into the solvent and water by distillation to obtain regenerated DMAc 2. In addition, the same production as in Production Example 2 was carried out twice, and the solvent vapor generated in the first heat treatment step was recovered and separated from water to obtain regenerated DMAc 3 and regenerated DMAc 4.
The purity and water content of the regenerated DMAc thus obtained were measured, and the results are shown in Table 1.

Figure 0007492836000005
Figure 0007492836000005

[製造例3]
厚さ18μmで幅1,080mmの長尺状の圧延銅箔(Rzjis=0.88μm)の片面に合成例5で調製したポリアミド酸溶液c-2を硬化後の厚みが2.5μmとなるように均一に塗布した後、130℃で加熱乾燥し、溶剤を除去した。次に、乾燥したポリアミド酸溶液c-2の上に合成例3で調製したポリアミド酸溶液a-2を硬化後厚みが20μmとなるように均一に塗布した後、130℃で加熱乾燥し、溶剤を除去した。更に、乾燥したポリアミド酸溶液a-2の上に合成例5で調製したポリアミド酸溶液c-2を硬化後厚みが2.5μmとなるように均一に塗布した後、130℃で加熱乾燥し、溶剤を除去した。この際、ポリアミド酸溶液c-2、ポリアミド酸溶液a-2及びポリアミド酸溶液c-2の塗布、加熱処理に用いた上記工程を第1の熱処理工程とした。その後、160℃から360℃まで昇温してイミド化させる第2の熱処理工程を得て、厚み25μmの多層のポリイミド樹脂層からなる銅張積層体A-2得た。得られた銅張積層板A-2について、塩化第二鉄水溶液を用いて銅箔をエッチング除去して、多層ポリイミドフィルムA-2を調製した。この多層ポリイミドフィルムA-2のヘイズは72.16%、CTEは20ppm/Kであった。
[Production Example 3]
The polyamic acid solution c-2 prepared in Synthesis Example 5 was uniformly applied to one side of a long rolled copper foil (Rzjis = 0.88 μm) having a thickness of 18 μm and a width of 1,080 mm so that the thickness after curing was 2.5 μm, and then heated and dried at 130 ° C. to remove the solvent. Next, the polyamic acid solution a-2 prepared in Synthesis Example 3 was uniformly applied on the dried polyamic acid solution c-2 so that the thickness after curing was 20 μm, and then heated and dried at 130 ° C. to remove the solvent. Furthermore, the polyamic acid solution c-2 prepared in Synthesis Example 5 was uniformly applied on the dried polyamic acid solution a-2 so that the thickness after curing was 2.5 μm, and then heated and dried at 130 ° C. to remove the solvent. At this time, the above process used for applying and heating the polyamic acid solution c-2, polyamic acid solution a-2 and polyamic acid solution c-2 was defined as the first heat treatment process. Thereafter, the second heat treatment step was performed by increasing the temperature from 160°C to 360°C to imidize the laminate, thereby obtaining a copper-clad laminate A-2 consisting of a multi-layer polyimide resin layer having a thickness of 25 μm. The copper foil of the obtained copper-clad laminate A-2 was removed by etching using an aqueous ferric chloride solution to prepare a multi-layer polyimide film A-2. The haze of this multi-layer polyimide film A-2 was 72.16%, and the CTE was 20 ppm/K.

第1の熱処理工程で発生した溶剤蒸気について、製造例1と同様に水と気液接触させて溶解させ溶剤回収液とした後、蒸留により溶剤と水に分離して再生DMF1を得た。
この際、再生DMF1の純度は99.98(%)、含水率は246(wt ppm)であった。
The solvent vapor generated in the first heat treatment step was dissolved in water by gas-liquid contact in the same manner as in Production Example 1 to obtain a solvent recovery liquid, which was then separated into the solvent and water by distillation to obtain regenerated DMF1.
At this time, the purity of the regenerated DMF1 was 99.98(%), and the water content was 246 (wt ppm).

[製造例4]
厚さ18μmで幅1,080mmの長尺状の圧延銅箔(Rzjis=0.88μm)の片面に合成例4で調製したポリアミド酸溶液c-1を硬化後の厚みが2.5μmとなるように均一に塗布した後、130℃で加熱乾燥し、溶剤を除去した。次に、乾燥したポリアミド酸溶液c-1の上に合成例3で調製したポリアミド酸溶液a-2を硬化後厚みが20μmとなるように均一に塗布した後、130℃で加熱乾燥し、溶剤を除去した。更に、乾燥したポリアミド酸溶液a-2の上に合成例4で調製したポリアミド酸溶液c-1を硬化後厚みが2.5μmとなるように均一に塗布した後、130℃で加熱乾燥し、溶剤を除去した。この際、ポリアミド酸溶液c-1、ポリアミド酸溶液a-2及びポリアミド酸溶液c-1の塗布、加熱処理に用いた上記工程を第1の熱処理工程とした。その後、160℃から360℃まで昇温してイミド化させる第2の熱処理工程を得て、厚み25μmの多層のポリイミド樹脂層からなる銅張積層体A-3得た。得られた銅張積層板A-3について、塩化第二鉄水溶液を用いて銅箔をエッチング除去して、多層ポリイミドフィルムA-3を調製した。この多層ポリイミドフィルムA-3のヘイズは72.52%、CTEは20ppm/Kであった。
[Production Example 4]
The polyamic acid solution c-1 prepared in Synthesis Example 4 was uniformly applied to one side of a long rolled copper foil (Rzjis=0.88 μm) having a thickness of 18 μm and a width of 1,080 mm so that the thickness after curing was 2.5 μm, and then heated and dried at 130 ° C. to remove the solvent. Next, the polyamic acid solution a-2 prepared in Synthesis Example 3 was uniformly applied on the dried polyamic acid solution c-1 so that the thickness after curing was 20 μm, and then heated and dried at 130 ° C. to remove the solvent. Furthermore, the polyamic acid solution c-1 prepared in Synthesis Example 4 was uniformly applied on the dried polyamic acid solution a-2 so that the thickness after curing was 2.5 μm, and then heated and dried at 130 ° C. to remove the solvent. At this time, the above process used for applying and heating the polyamic acid solution c-1, the polyamic acid solution a-2, and the polyamic acid solution c-1 was defined as the first heat treatment process. Thereafter, the second heat treatment step was performed by increasing the temperature from 160°C to 360°C to imidize the laminate, thereby obtaining a copper-clad laminate A-3 consisting of a multi-layer polyimide resin layer having a thickness of 25 μm. The copper foil of the obtained copper-clad laminate A-3 was removed by etching using an aqueous ferric chloride solution to prepare a multi-layer polyimide film A-3. The haze of this multi-layer polyimide film A-3 was 72.52%, and the CTE was 20 ppm/K.

第1の熱処理工程で発生した溶剤蒸気について、製造例1と同様に水と気液接触させて溶解させ溶剤回収液とした後、蒸留により溶剤と水に分離して再生DMF/DMAc混合溶液1を得た。
この際、再生DMF/DMAc混合溶液1の純度は99.98(%)、含水率は121(wt ppm)であった。
The solvent vapor generated in the first heat treatment step was dissolved in water by gas-liquid contact in the same manner as in Production Example 1 to obtain a solvent recovery liquid, and then the solvent and water were separated by distillation to obtain a regenerated DMF/DMAc mixed solution 1.
At this time, the purity of the regenerated DMF/DMAc mixed solution 1 was 99.98(%), and the water content was 121 (wt ppm).

[実施例1]
反応槽に14.20質量部のm-TB(0.067モル部)及び3.45質量部のTPE-Q(0.012モル部)並びに重合後の固形分濃度が15重量%となる量の再生DMAc1を投入し、室温で撹拌して溶解させた。次に、12.66質量部のPMDA(0.058モル部)及び5.69質量部のBPDA(0.019モル部)を添加した後、室温で3時間撹拌を続けて重合反応を行い、ポリアミド酸溶液a-3を得た。ポリアミド酸溶液a-3の粘度は31,200cpsであった。また23℃,50%RHで20日間保存した際の粘度は26,500cpsであった。
[Example 1]
14.20 parts by mass of m-TB (0.067 mol parts) and 3.45 parts by mass of TPE-Q (0.012 mol parts) and an amount of recycled DMAc1 such that the solid content concentration after polymerization is 15% by weight were added to the reaction vessel, and the mixture was stirred at room temperature to dissolve. Next, 12.66 parts by mass of PMDA (0.058 mol parts) and 5.69 parts by mass of BPDA (0.019 mol parts) were added, and the mixture was stirred at room temperature for 3 hours to carry out a polymerization reaction, thereby obtaining a polyamic acid solution a-3. The viscosity of the polyamic acid solution a-3 was 31,200 cps. The viscosity when stored for 20 days at 23 ° C. and 50% RH was 26,500 cps.

次に、厚さ18μmで幅1,080mmの長尺状の圧延銅箔(Rzjis=0.88μm)の片面に合成例4で調製したポリアミド酸溶液c-1を硬化後の厚みが2.5μmとなるように均一に塗布した後、130℃で加熱乾燥し、溶剤を除去した。次に、乾燥したポリアミド酸溶液c-1の上にポリアミド酸溶液a-3を硬化後厚みが20μmとなるように均一に塗布した後、130℃で加熱乾燥し、溶剤を除去した。更に、乾燥したポリアミド酸溶液a-3の上に合成例4で調製したポリアミド酸溶液c-1を硬化後厚みが2.5にμmとなるように均一に塗布した後、130℃で加熱乾燥し、溶剤を除去した。その後、160℃から360℃まで昇温してイミド化させる第2の熱処理工程を得て、厚み25μmの多層のポリイミド樹脂層からなる銅張積層体A-3得た。得られた銅張積層板A-3について、塩化第二鉄水溶液を用いて銅箔をエッチング除去して、多層ポリイミドフィルムA-3を調製した。この多層ポリイミドフィルムA-3のヘイズは71.78%、CTEは21ppm/Kであった。 Next, the polyamic acid solution c-1 prepared in Synthesis Example 4 was uniformly applied to one side of a long rolled copper foil (Rzjis = 0.88 μm) having a thickness of 18 μm and a width of 1,080 mm so that the thickness after curing was 2.5 μm, and then heated and dried at 130 ° C. to remove the solvent. Next, the polyamic acid solution a-3 was uniformly applied on the dried polyamic acid solution c-1 so that the thickness after curing was 20 μm, and then heated and dried at 130 ° C. to remove the solvent. Furthermore, the polyamic acid solution c-1 prepared in Synthesis Example 4 was uniformly applied on the dried polyamic acid solution a-3 so that the thickness after curing was 2.5 μm, and then heated and dried at 130 ° C. to remove the solvent. Then, a second heat treatment process was performed in which the temperature was raised from 160 ° C. to 360 ° C. to imidize, and a copper-clad laminate A-3 consisting of a multi-layer polyimide resin layer having a thickness of 25 μm was obtained. The copper foil of the obtained copper-clad laminate A-3 was etched away using an aqueous ferric chloride solution to prepare a multi-layer polyimide film A-3, which had a haze of 71.78% and a CTE of 21 ppm/K.

[実施例2]
使用したDMAcを再生DMAc2に変更した以外は、実施例1と同様にしてポリアミド酸溶液a-4、銅張積層板A-4、多層ポリイミドフィルムA-4を得た。
得られたポリアミド酸溶液a-4の粘度は28,700cpsであった。また23℃,50%RHで20日間保存した際の粘度は19,100cpsであった。また多層ポリイミドフィルムA-4のヘイズは65.20%、CTEは22ppm/Kであった。
[Example 2]
A polyamic acid solution a-4, a copper-clad laminate A-4 and a multilayer polyimide film A-4 were obtained in the same manner as in Example 1, except that the DMAc used was changed to recycled DMAc2.
The viscosity of the obtained polyamic acid solution a-4 was 28,700 cps. The viscosity after storage for 20 days at 23° C. and 50% RH was 19,100 cps. The haze of the multilayer polyimide film A-4 was 65.20%, and the CTE was 22 ppm/K.

[実施例3]
使用したDMAcを再生DMAc3に変更した以外は、実施例1と同様にしてポリアミド酸溶液a-5、銅張積層板A-5、多層ポリイミドフィルムA-5を得た。
得られたポリアミド酸溶液a-5の粘度は26,500cpsであった。また23℃,50%RHで20日間保存した際の粘度は15,500cpsであった。また多層ポリイミドフィルムA-5のヘイズは61.71%、CTEは22ppm/Kであった。
[Example 3]
A polyamic acid solution a-5, a copper-clad laminate A-5 and a multi-layer polyimide film A-5 were obtained in the same manner as in Example 1, except that the DMAc used was changed to recycled DMAc3.
The viscosity of the obtained polyamic acid solution a-5 was 26,500 cps. The viscosity after storage for 20 days at 23° C. and 50% RH was 15,500 cps. The haze of the multilayer polyimide film A-5 was 61.71%, and the CTE was 22 ppm/K.

[実施例4]
使用したDMAcを再生DMF1に変更したこと、及びポリアミド酸溶液c-1をポリアミド酸溶液c-2に変更したこと以外は、実施例1と同様にしてポリアミド酸溶液a-6、銅張積層板A-6、多層ポリイミドフィルムA-6を得た。
得られたポリアミド酸溶液a-6の粘度は26,100cpsであった。また23℃,50%RHで20日間保存した際の粘度は13,700cpsであった。また多層ポリイミドフィルムA-6のヘイズは60.08%、CTEは21ppm/Kであった。
[Example 4]
Except for changing the DMAc used to recycled DMF1 and changing the polyamic acid solution c-1 to polyamic acid solution c-2, the same procedure as in Example 1 was followed to obtain polyamic acid solution a-6, copper-clad laminate A-6, and multilayer polyimide film A-6.
The viscosity of the obtained polyamic acid solution a-6 was 26,100 cps. The viscosity after storage for 20 days at 23° C. and 50% RH was 13,700 cps. The haze of the multilayer polyimide film A-6 was 60.08%, and the CTE was 21 ppm/K.

[実施例5]
反応槽に14.49質量部のm-TB(0.068モル部)、1.11質量部のTPE-Q(0.004モル部)及び1.31質量部のビスアニリン-P(0.004モル部)並びに重合後の固形分濃度が15重量%となる量の再生DMAc2を投入し、室温で撹拌して溶解させた。次に、8.13質量部のPMDA(0.037モル部)及び10.97質量部のBPDA(0.037モル部)を添加した後、室温で3時間撹拌を続けて重合反応を行い、ポリアミド酸溶液b-2を得た。ポリアミド酸溶液b-2の粘度は29,900cpsであった。また23℃,50%RHで20日間保存した際の粘度は22,500cpsであった。
[Example 5]
Into the reaction vessel, 14.49 parts by mass of m-TB (0.068 mol), 1.11 parts by mass of TPE-Q (0.004 mol), and 1.31 parts by mass of bisaniline-P (0.004 mol) and an amount of regenerated DMAc2 such that the solid content concentration after polymerization becomes 15% by weight were charged and dissolved by stirring at room temperature. Next, 8.13 parts by mass of PMDA (0.037 mol) and 10.97 parts by mass of BPDA (0.037 mol) were added, and the polymerization reaction was carried out by continuing stirring at room temperature for 3 hours to obtain a polyamic acid solution b-2. The viscosity of the polyamic acid solution b-2 was 29,900 cps. The viscosity when stored for 20 days at 23 ° C. and 50% RH was 22,500 cps.

次に、厚さ18μmで幅1,080mmの長尺状の圧延銅箔(Rzjis=0.88μm)の片面に合成例4で調製したポリアミド酸溶液cを硬化後の厚みが2.5μmとなるように均一に塗布した後、130℃で加熱乾燥し、溶剤を除去した。次に、乾燥したポリアミド酸溶液cの上にポリアミド酸溶液b-2を硬化後厚みが20μmとなるように均一に塗布した後、130℃で加熱乾燥し、溶剤を除去した。更に、乾燥したポリアミド酸溶液b-2の上に合成例4で調製したポリアミド酸溶液cを硬化後厚みが2.5にμmとなるように均一に塗布した後、130℃で加熱乾燥し、溶剤を除去した。その後、160℃から360℃まで昇温してイミド化させる第2の熱処理工程を得て、厚み25μmの多層のポリイミド樹脂層からなる銅張積層体B-2得た。得られた銅張積層板B-2について、塩化第二鉄水溶液を用いて銅箔をエッチング除去して、多層ポリイミドフィルムB-2を調製した。この多層ポリイミドフィルムB-2のヘイズは78.67%、CTEは23ppm/Kであった。 Next, the polyamic acid solution c prepared in Synthesis Example 4 was uniformly applied to one side of a long rolled copper foil (Rzjis = 0.88 μm) having a thickness of 18 μm and a width of 1,080 mm so that the thickness after curing was 2.5 μm, and then heated and dried at 130 ° C. to remove the solvent. Next, the polyamic acid solution b-2 was uniformly applied on the dried polyamic acid solution c so that the thickness after curing was 20 μm, and then heated and dried at 130 ° C. to remove the solvent. Furthermore, the polyamic acid solution c prepared in Synthesis Example 4 was uniformly applied on the dried polyamic acid solution b-2 so that the thickness after curing was 2.5 μm, and then heated and dried at 130 ° C. to remove the solvent. Then, a second heat treatment process was performed in which the temperature was raised from 160 ° C. to 360 ° C. to imidize, and a copper-clad laminate B-2 consisting of a multi-layer polyimide resin layer having a thickness of 25 μm was obtained. The copper foil of the obtained copper-clad laminate B-2 was etched away using an aqueous ferric chloride solution to prepare a multi-layer polyimide film B-2, which had a haze of 78.67% and a CTE of 23 ppm/K.

[実施例6]
反応槽に14.49質量部のm-TB(0.068モル部)、1.11質量部のTPE-Q(0.004モル部)及び1.31質量部のビスアニリン-P(0.004モル部)並びに重合後の固形分濃度が15重量%となる量の再生DMF/DMAc混合溶液1を投入し、室温で撹拌して溶解させた。次に、8.13質量部のPMDA(0.037モル部)及び10.97質量部のBPDA(0.037モル部)を添加した後、室温で3時間撹拌を続けて重合反応を行い、ポリアミド酸溶液a-7を得た。ポリアミド酸溶液a-7の粘度は25,900cpsであった。また23℃,50%RHで20日間保存した際の粘度は17,700cpsであった。
[Example 6]
Into the reaction vessel, 14.49 parts by mass of m-TB (0.068 mol), 1.11 parts by mass of TPE-Q (0.004 mol), and 1.31 parts by mass of bisaniline-P (0.004 mol), as well as an amount of regenerated DMF/DMAc mixed solution 1 such that the solid content concentration after polymerization is 15% by weight, were charged and dissolved by stirring at room temperature. Next, 8.13 parts by mass of PMDA (0.037 mol) and 10.97 parts by mass of BPDA (0.037 mol) were added, and the polymerization reaction was continued by stirring at room temperature for 3 hours to obtain polyamic acid solution a-7. The viscosity of polyamic acid solution a-7 was 25,900 cps. The viscosity when stored for 20 days at 23°C and 50% RH was 17,700 cps.

次に、厚さ18μmで幅1,080mmの長尺状の圧延銅箔(Rzjis=0.88μm)の片面に合成例4で調製したポリアミド酸溶液c-1を硬化後の厚みが2.5μmとなるように均一に塗布した後、130℃で加熱乾燥し、溶剤を除去した。次に、乾燥したポリアミド酸溶液c-1の上にポリアミド酸溶液a-7を硬化後厚みが20μmとなるように均一に塗布した後、130℃で加熱乾燥し、溶剤を除去した。更に、乾燥したポリアミド酸溶液a-7の上に合成例4で調製したポリアミド酸溶液c-1を硬化後厚みが2.5にμmとなるように均一に塗布した後、130℃で加熱乾燥し、溶剤を除去した。その後、160℃から360℃まで昇温してイミド化させる第2の熱処理工程を得て、厚み25μmの多層のポリイミド樹脂層からなる銅張積層体A-7得た。得られた銅張積層板A-7について、塩化第二鉄水溶液を用いて銅箔をエッチング除去して、多層ポリイミドフィルムA-7を調製した。この多層ポリイミドフィルムA-7のヘイズは63.87%、CTEは21ppm/Kであった。 Next, the polyamic acid solution c-1 prepared in Synthesis Example 4 was uniformly applied to one side of a long rolled copper foil (Rzjis = 0.88 μm) having a thickness of 18 μm and a width of 1,080 mm so that the thickness after curing was 2.5 μm, and then heated and dried at 130 ° C. to remove the solvent. Next, the polyamic acid solution a-7 was uniformly applied on the dried polyamic acid solution c-1 so that the thickness after curing was 20 μm, and then heated and dried at 130 ° C. to remove the solvent. Furthermore, the polyamic acid solution c-1 prepared in Synthesis Example 4 was uniformly applied on the dried polyamic acid solution a-7 so that the thickness after curing was 2.5 μm, and then heated and dried at 130 ° C. to remove the solvent. Then, a second heat treatment process was performed in which the temperature was raised from 160 ° C. to 360 ° C. to imidize, and a copper-clad laminate A-7 consisting of a multi-layer polyimide resin layer having a thickness of 25 μm was obtained. The copper foil of the obtained copper-clad laminate A-7 was etched away using an aqueous ferric chloride solution to prepare a multi-layer polyimide film A-7, which had a haze of 63.87% and a CTE of 21 ppm/K.

[参考例1]
使用したDMAcを再生DMAc4に変更した以外は、実施例1と同様にしてポリアミド酸溶液a-8、銅張積層板A-7、多層ポリイミドフィルムA-8を得た。
得られたポリアミド酸溶液a-7の粘度は21,900cpsであった。また23℃,50%RHで20日間保存した際の粘度は9,100cpsであった。また多層ポリイミドフィルムA-8のヘイズは59.55%、CTEは23ppm/Kであった。
[Reference Example 1]
A polyamic acid solution a-8, a copper-clad laminate A-7, and a multilayer polyimide film A-8 were obtained in the same manner as in Example 1, except that the DMAc used was changed to recycled DMAc4.
The viscosity of the obtained polyamic acid solution a-7 was 21,900 cps. The viscosity after storage for 20 days at 23° C. and 50% RH was 9,100 cps. The haze of the multilayer polyimide film A-8 was 59.55% and the CTE was 23 ppm/K.

[参考例2]
使用したDMAcを再生DMAc4に変更した以外は、実施例5と同様にしてポリアミド酸溶液b-3、銅張積層板B-3、多層ポリイミドフィルムB-3を得た。
得られたポリアミド酸溶液b-3の粘度は22,100cpsであった。また23℃,50%RHで20日間保存した際の粘度は9,800cpsであった。また多層ポリイミドフィルムB-3のヘイズは72.22%、CTEは24ppm/Kであった。
[Reference Example 2]
A polyamic acid solution b-3, a copper-clad laminate B-3 and a multilayer polyimide film B-3 were obtained in the same manner as in Example 5, except that the DMAc used was changed to recycled DMAc4.
The viscosity of the obtained polyamic acid solution b-3 was 22,100 cps. The viscosity after storage for 20 days at 23° C. and 50% RH was 9,800 cps. The haze of the multilayer polyimide film B-3 was 72.22%, and the CTE was 24 ppm/K.

以上、本発明の実施の形態を例示の目的で詳細に説明したが、本発明は上記実施の形態に制約されることはなく、種々の変形が可能である。
Although the embodiment of the present invention has been described in detail above for the purpose of illustration, the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications are possible.

Claims (8)

下記の工程a~d;The following steps a to d:
a)下記の成分A及びB;a) components A and B below;
A)1気圧下での沸点が200℃以下である非プロトン性極性溶剤;A) an aprotic polar solvent having a boiling point of 200° C. or lower at 1 atmospheric pressure;
B)水;B) water;
を含有し、ガスクロマトグラフィーにより測定される前記成分Aの含有量が50%以上であり、カールフィッシャー法により測定される前記成分Bの含有量が40~500ppmの範囲内である有機溶剤と、テトラカルボン酸無水物成分と、ジアミン成分と、を含有する混合溶液を準備する工程;preparing a mixed solution containing an organic solvent having a content of component A of 50% or more as measured by gas chromatography and a content of component B of 40 to 500 ppm as measured by a Karl Fischer method, a tetracarboxylic anhydride component, and a diamine component;
b)前記混合溶液中で、前記テトラカルボン酸無水物成分と前記ジアミン成分とを反応させて、ポリアミド酸の溶液を得る工程;b) reacting the tetracarboxylic anhydride component with the diamine component in the mixed solution to obtain a polyamic acid solution;
c)基材上に前記ポリアミド酸の溶液を塗布し、乾燥することによって、前記ポリアミド酸の樹脂膜を形成する工程;c) applying a solution of the polyamic acid onto a substrate and drying the solution to form a resin film of the polyamic acid;
d)前記樹脂膜を熱処理し、前記ポリアミド酸をイミド化することによって、ポリイミドフィルムを得る工程;d) heat-treating the resin film to imidize the polyamic acid, thereby obtaining a polyimide film;
を備え、Equipped with
前記工程cで発生した溶剤蒸気から有機溶剤を回収して、前記混合溶液の有機溶剤として再利用することを特徴とするポリイミドフィルムの製造方法。A method for producing a polyimide film, comprising recovering an organic solvent from the solvent vapor generated in the step (c) and reusing the organic solvent as the organic solvent for the mixed solution.
前記成分Aが、N,N-ジメチルホルムアミド、N,N-ジメチルアセトアミド及びジメチルスルホキシドからなる群から選ばれる少なくとも1種であることを特徴とする請求項1に記載のポリイミドフィルムの製造方法。2. The method for producing a polyimide film according to claim 1, wherein the component A is at least one selected from the group consisting of N,N-dimethylformamide, N,N-dimethylacetamide, and dimethylsulfoxide. 前記テトラカルボン酸無水物成分及び前記ジアミン成分に由来する全モノマー成分のうち、ビフェニル骨格を有するモノマーを50モル%以上含有することを特徴とする請求項1又は2に記載のポリイミドフィルムの製造方法。3. The method for producing a polyimide film according to claim 1, wherein the total monomer components derived from the tetracarboxylic anhydride component and the diamine component contain monomers having a biphenyl skeleton in an amount of 50 mol % or more. 前記ジアミン成分が、下記一般式(1)で表されるジアミン化合物を20モル%以上含有することを特徴とする請求項1又は2に記載のポリイミドフィルムの製造方法
Figure 0007492836000006
[一般式(1)において、連結基Zは単結合若しくは-COO-を示し、Yは独立にハロゲン若しくはフェニル基で置換されてもよい炭素数1~3の1価の炭化水素あるいは炭素数1~3のアルコキシ基又は炭素数1~3のパーフルオロアルキル基若しくはアルケニル基を示し、nは1~2の整数を示し、p及びqは独立に0~4の整数を示す。]
3. The method for producing a polyimide film according to claim 1, wherein the diamine component contains 20 mol % or more of a diamine compound represented by the following general formula (1) :
Figure 0007492836000006
[In general formula (1), the linking group Z represents a single bond or -COO-, Y independently represents a monovalent hydrocarbon having 1 to 3 carbon atoms which may be substituted with a halogen or a phenyl group, an alkoxy group having 1 to 3 carbon atoms, or a perfluoroalkyl group or alkenyl group having 1 to 3 carbon atoms, n represents an integer of 1 to 2, and p and q independently represent integers of 0 to 4.]
下記の工程a~d;The following steps a to d:
a)下記の成分A及びB;a) components A and B below;
A)1気圧下での沸点が200℃以下である非プロトン性極性溶剤;A) an aprotic polar solvent having a boiling point of 200° C. or lower at 1 atmospheric pressure;
B)水;B) Water;
を含有し、ガスクロマトグラフィーにより測定される前記成分Aの含有量が50%以上であり、カールフィッシャー法により測定される前記成分Bの含有量が40~500ppmの範囲内である有機溶剤と、テトラカルボン酸無水物成分と、ジアミン成分と、を含有する混合溶液を準備する工程;preparing a mixed solution containing an organic solvent having a content of component A of 50% or more as measured by gas chromatography and a content of component B of 40 to 500 ppm as measured by a Karl Fischer method, a tetracarboxylic anhydride component, and a diamine component;
b)前記混合溶液中で、前記テトラカルボン酸無水物成分と前記ジアミン成分とを反応させて、ポリアミド酸の溶液を得る工程;b) reacting the tetracarboxylic anhydride component with the diamine component in the mixed solution to obtain a polyamic acid solution;
c)基材上に前記ポリアミド酸の溶液を塗布し、乾燥することによって、前記ポリアミド酸の樹脂膜を形成する工程;c) applying a solution of the polyamic acid onto a substrate and drying the solution to form a resin film of the polyamic acid;
d)前記樹脂膜を熱処理し、前記ポリアミド酸をイミド化することによって、ポリイミドフィルムを得る工程;d) heat-treating the resin film to imidize the polyamic acid, thereby obtaining a polyimide film;
を備え、Equipped with
前記工程aの有機溶剤が、前記工程cで発生した溶剤蒸気を回収する工程を経由して得られたものであることを特徴とするポリイミドフィルムの製造方法。2. A method for producing a polyimide film, wherein the organic solvent in the step (a) is obtained via a step of recovering the solvent vapor generated in the step (c).
前記成分Aが、N,N-ジメチルホルムアミド、N,N-ジメチルアセトアミド及びジメチルスルホキシドからなる群から選ばれる少なくとも1種であることを特徴とする請求項5に記載のポリイミドフィルムの製造方法。6. The method for producing a polyimide film according to claim 5, wherein the component A is at least one selected from the group consisting of N,N-dimethylformamide, N,N-dimethylacetamide, and dimethylsulfoxide. 前記テトラカルボン酸無水物成分及び前記ジアミン成分に由来する全モノマー成分のうち、ビフェニル骨格を有するモノマーを50モル%以上含有することを特徴とする請求項5又は6に記載のポリイミドフィルムの製造方法。7. The method for producing a polyimide film according to claim 5, wherein the total monomer components derived from the tetracarboxylic anhydride component and the diamine component contain monomers having a biphenyl skeleton in an amount of 50 mol % or more. 前記ジアミン成分が、下記一般式(1)で表されるジアミン化合物を20モル%以上含有することを特徴とする請求項5又は6に記載のポリイミドフィルムの製造方法。7. The method for producing a polyimide film according to claim 5, wherein the diamine component contains 20 mol % or more of a diamine compound represented by the following general formula (1):
Figure 0007492836000007
Figure 0007492836000007
[一般式(1)において、連結基Zは単結合若しくは-COO-を示し、Yは独立にハロゲン若しくはフェニル基で置換されてもよい炭素数1~3の1価の炭化水素あるいは炭素数1~3のアルコキシ基又は炭素数1~3のパーフルオロアルキル基若しくはアルケニル基を示し、nは1~2の整数を示し、p及びqは独立に0~4の整数を示す。][In general formula (1), the linking group Z represents a single bond or -COO-, Y independently represents a monovalent hydrocarbon having 1 to 3 carbon atoms which may be substituted with a halogen or a phenyl group, an alkoxy group having 1 to 3 carbon atoms, or a perfluoroalkyl group or alkenyl group having 1 to 3 carbon atoms, n represents an integer of 1 to 2, and p and q independently represent integers of 0 to 4.]
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