JP7493837B2 - Metal mask for printing - Google Patents
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Description
この発明は、コンデンサー内部電極を印刷するための印刷用メタルマスクに関するものである。The present invention relates to a printing metal mask for printing internal electrodes of a capacitor.
従来、積層セラミックコンデンサーは、スクリーン印刷版を用いてセラミックグリーンシート上に内部電極となる導電性ペーストを印刷し、このセラミックグリーンシートを複数枚積層して焼成した後に、この積層体を個々に切断することによって製造される。セラッミクグリーンシート上には複数個分の内部電極が一度に印刷され、スクリーン印刷版には同一形状の印刷孔が多数形成されている(例えば、特許文献1参照)。また、スクリーン印刷を行った場合、印刷パターンの両端部が盛り上がってサドル状になる現象が発生するため、印刷パターンが形成されたセラミックグリーンシートを積層、圧着した場合、耐圧不良率が高くなるので、これを改善するために、印刷パターンの両端部に大きな盛り上がりは形成されず、ほぼ平坦な印刷パターンを形成する印刷パターン形成材が知られている(特許文献2参照)。また、所定の矩形領域の中央部には菱形の孔が規則的に形成され、矩形領域の端部(周辺部)には菱形の一部の辺と矩形領域を成す辺の一部とを含む五角形の孔が規則的に形成された印刷パターン開口用のメッシュを有するマスクであって、矩形領域の角(四隅)を除く端部には、ホームベース状の五角形の孔が形成されており、矩形領域の角には、ダイヤモンド状の五角形の孔が形成されているマスクが知られている(特許文献3参照)。Conventionally, multilayer ceramic capacitors are manufactured by printing conductive paste to be internal electrodes on ceramic green sheets using a screen printing plate, stacking and firing a plurality of these ceramic green sheets, and then cutting the stack into individual pieces. A plurality of internal electrodes are printed on the ceramic green sheets at once, and a large number of printing holes of the same shape are formed on the screen printing plate (see, for example, Patent Document 1). In addition, when screen printing is performed, a phenomenon occurs in which both ends of the printed pattern are raised and saddle-shaped, so that when the ceramic green sheets on which the printed pattern is formed are stacked and pressed, the withstand voltage failure rate increases. In order to improve this, a printed pattern forming material is known that does not form a large rise at both ends of the printed pattern and forms a nearly flat printed pattern (see Patent Document 2). Also known is a mask having a mesh for printing pattern openings in which diamond-shaped holes are regularly formed in the center of a specified rectangular area, and pentagonal holes including some of the sides of the diamonds and some of the sides that form the rectangular area are regularly formed at the ends (periphery) of the rectangular area, and in which home plate-shaped pentagonal holes are formed at the ends excluding the corners (four corners) of the rectangular area, and diamond-shaped pentagonal holes are formed at the corners of the rectangular area (see Patent Document 3).
従来の特許文献2又は特許文献3に記載の印刷パターン形成材又はマスクでは、昨今より薄く印刷することを目的にマスクの薄膜化と印刷パターンのメッシュ孔の微細化に伴い、印刷パターンの両端部が盛り上がってサドル状になる現象(外周部が内部と比べて導電性ペーストの厚みが厚くなる現象)が目立つようになっており、それが顕著になってきているので、マスクの薄膜化と印刷パターンのメッシュ孔の微細化に伴う印刷パターンのサドル現象の更なる低減化を図ることが必須となっている。In the conventional printing pattern forming materials or masks described in
この発明は、上述のような課題を解決するためになされたもので、印刷パターンの外周部に配列されるメッシュ孔の面積を中央部に配列されるメッシュ孔の面積に比べて小さくして、マスクの薄膜化と印刷パターンのメッシュ孔の微細化に伴う印刷パターンのサドル現象を低減することが可能な印刷用メタルマスクを提供するものである。 The present invention has been made to solve the problems described above, and provides a printing metal mask in which the area of mesh holes arranged on the periphery of the printing pattern is smaller than the area of mesh holes arranged in the center, thereby making it possible to reduce the saddle phenomenon in the printing pattern that occurs with thinner masks and finer mesh holes in the printing pattern.
この発明に係る印刷用メタルマスクにおいては、ペーストを印刷するためのものであって、互いに平行な上下二面を有する平板状のマスク本体部と、マスク本体部の下面側の被印刷物と対向する面に形成され、マスク本体部の上面側に向かって凹んでいる凹部と、マスク本体部の上面側に形成される印刷パターン領域内に形成された菱形を基本とする多数のメッシュ孔と、を備える。多数のメッシュ孔は、印刷パターン領域の中央部に多数配置される大型の菱形メッシュ孔と、大型の菱形メッシュ孔の外周部に配置され、中央部の大型の菱形メッシュ孔の面積よりも小さいメッシュ孔面積を有する外周部の小型の菱形メッシュ孔と、印刷パターン領域の隅角部を除く最外周部に配置され、外周部の小型の菱形メッシュ孔と同じ面積を有するホームベース状の五角形のメッシュ孔と、印刷パターン領域の隅角部に配置され、中央部の大型の菱形メッシュ孔の面積よりも小さいメッシュ孔面積を有するダイヤモンド状の五角形のメッシュ孔とからなるものである。 The printing metal mask according to the present invention is used for printing a paste and comprises a flat mask body having two parallel upper and lower surfaces, a recess formed on the lower surface of the mask body facing the printed material and recessed toward the upper surface of the mask body, and a large number of diamond-shaped mesh holes formed in a printing pattern area formed on the upper surface of the mask body . The large number of mesh holes include large diamond-shaped mesh holes arranged in large numbers in the center of the printing pattern area, small diamond-shaped mesh holes arranged on the outer periphery of the large diamond-shaped mesh holes and having a mesh hole area smaller than that of the large diamond-shaped mesh holes in the center, home plate-shaped pentagonal mesh holes arranged on the outermost periphery excluding the corners of the printing pattern area and having the same area as the small diamond-shaped mesh holes in the outer periphery, and diamond-shaped pentagonal mesh holes arranged on the corners of the printing pattern area and having a mesh hole area smaller than that of the large diamond-shaped mesh holes in the center .
この発明によれば、印刷パターンの外周部に配列されるメッシュ孔の面積を印刷パターンの中央部に配列されるメッシュ孔の面積に比べて小さくしたので、マスクの薄膜化と印刷パターンのメッシュ孔の微細化に伴う印刷パターンのサドル現象を著しく低減することができる。
According to this invention, the area of the mesh holes arranged on the outer periphery of the printing pattern is made smaller than the area of the mesh holes arranged in the center of the printing pattern, thereby significantly reducing the saddle phenomenon of the printing pattern that occurs when the mask is made thinner and the mesh holes of the printing pattern are made finer.
実施例1.
図1はこの発明の実施例1における印刷用メタルマスクの一部を下方から見た底面図、図2は図1のA-A線に沿った断面図、図3は図1のB-B線に沿った断面図、図4は同じく印刷用メタルマスクの一部を上方から見た平面図、図5は印刷用メタルマスクを用いて印刷を行った場合の印刷パターンを示す断面図、図6は比較例として従来の印刷用メタルマスクを用いて印刷を行った場合の印刷パターンを示す断面図である。
印刷用メタルマスク1は、互いに平行な上下二面を有する平板状のマスク本体部2と、このマスク本体部2の下面側の被印刷物と対向する面に形成された横長矩形状の凹部3と、マスク本体部2の上面側の横長矩形状の印刷パターン領域4内に形成された菱形を基本形とする多数のメッシュ孔5とを備えている。マスク本体部2は薄型化が図られており、全体の厚さは約10~25μm程度であり、横長矩形状の凹部3は深さ約1~5μmの範囲で上面側に向かって凹んで形成されている。この横長矩形状の凹部3の外周側壁は、横長矩形状の印刷パターン領域4の周囲を取り囲むように形成されており、横長矩形状の印刷パターン領域4の形成領域は、横長矩形状の凹部3の外周側壁の内側に形成されている。なお、印刷用メタルマスク1は、図示ではマスク本体部2、横長矩形状の凹部3及び横長矩形状の印刷パターン領域4の一部のみを示しているが、実際には、マスク本体部2、横長矩形状の凹部3及び横長矩形状の印刷パターン領域4は上下、左右に連続して配置される。横長矩形状の印刷パターン領域4内に形成される菱形を基本形とする多数のメッシュ孔5のうち、大部分が印刷パターン領域4内の中央部に配置される大型の菱形メッシュ孔5aは、この実施例では縦方向に3~4個、横方向に20~21個、計143個が配列されており、例えばメッシュ孔開口が約19~25μm、メッシュ線径D1が約16~10μmであり、そのメッシュ孔面積をS1とする。また、横長矩形状の印刷パターン領域4内に形成される菱形を基本形とする多数のメッシュ孔5のうち、大型の菱形メッシュ孔5aの左右両側端部に隣接して縦1列に配置される菱形を基本形とする大型の菱形メッシュ孔5aよりも小型で小さ目の菱形メッシュ孔5bは、この実施例では縦方向に各4個、計8個が配列されており、例えばメッシュ孔開口が約18~23μm、メッシュ線径D2が約17~12μmであり、そのメッシュ孔面積をS2とすると、メッシュ面積の相関関係はS1>S2の関係にある。また、メッシュ線径の相関関係はD1<Dの関係にある。なお、この小型で小さ目の菱形メッシュ孔5bは、少なくとも左右両側端部のいずれか一方に隣接して縦2列又は縦3列に配置しても良い。横長矩形状の印刷パターン領域4内に形成される菱形を基本形とする多数のメッシュ孔5のうち、横長矩形状の印刷パターン領域4の各隅角部を除く左右両側端部及び上下両側端部に配置されるホームベース状の五角形のメッシュ孔5cは、この実施例では縦方向に6個、横方向に42個、計48個が配列されており、例えばメッシュ孔開口が約18~23μm、メッシュ線径D3が約17~12μmであり、そのメッシュ孔面積をS3とすると、メッシュ面積の相関関係はS1>S2≒S3の関係にあり、小さ目のメッシュ孔である。また、メッシュ線径の相関関係はD1<D2≒D3の関係である。また、横長矩形状の印刷パターン領域4内に形成される菱形を基本形とする多数のメッシュ孔5のうち、横長矩形状の印刷パターン領域4の各隅角部に配置されるダイヤモンド状の五角形のメッシュ孔5dは、この実施例では四隅に各1個、計4個が配列されており、例えばメッシュ孔開口が約17~21μm、メッシュ線径D4が約18~14μmとしているが、例えばホームベース状の五角形のメッシュ孔5cと同等の大きさであるメッシュ孔開口が約18~23μm、メッシュ線径D4が約17~12μmとしても良い。そして、そのメッシュ孔面積をS4とすると、メッシュ面積の相関関係はS1>S2≒S3>S4の関係、又はS1>D2≒S3≒S4の関係にあり、ホームベース状の五角形のメッシュ孔5cよりも小型で小さ目のメッシュ孔、又はホームベース状の五角形のメッシュ孔5cと同等の大きさのメッシュ孔である。また、メッシュ線径の相関関係はD1<D2≒D3<D4、又はD1<D2≒D3≒D4の関係にある。なお、ダイヤモンド状の五角形のメッシュ孔5dは、横長矩形状の印刷パターン領域4の全ての隅角部(4隅)に配置されなくても良く、例えば、対角線上に対向する2箇所(2隅)であっても良い。
横長矩形状の印刷パターン領域4内に形成される菱形を基本形とする多数のメッシュ孔5のうち、横長矩形状の印刷パターン領域4の外周部の1~4列目に配置される小型で小さ目の菱形メッシュ孔5bの面積S2と、ホームベース状の五角形のメッシュ孔5cの面積S3と、ダイヤモンド状の五角形のメッシュ孔5dの面積S4を、中央に配置される大型のメッシュ孔5aの面積S1に比べて約5~30%程度小さくすることにより、図5に示すように、マスクの薄膜化と印刷パターンのメッシュ孔の微細化に伴う印刷パターン(導電性ペースト等)の両端部が盛り上がってサドル状になる現象を避けることができ、サドル現象を著しく低減することが可能となり、マスク本体の板厚が約10~25μm程度のマスクでは顕著な効果を期待できる。なお、比較例として従来の印刷用メタルマスクを用いて印刷を行った場合は、図6に示すように、印刷パターンの両端部が盛り上がってサドル状になる現象が発生することは避けられないものであった。Example 1.
FIG. 1 is a bottom view of a portion of a printing metal mask in Example 1 of the present invention, as viewed from below, FIG. 2 is a cross-sectional view along line A-A in FIG. 1, FIG. 3 is a cross-sectional view along line B-B in FIG. 1, FIG. 4 is a plan view of the same portion of the printing metal mask, as viewed from above, FIG. 5 is a cross-sectional view showing a printed pattern when printing is performed using a printing metal mask, and FIG. 6 is a cross-sectional view showing a printed pattern when printing is performed using a conventional printing metal mask as a comparative example.
The
Among the many mesh holes 5 having a diamond shape as a basic shape formed in the horizontally elongated rectangular
実施例2.
図7はこの発明の実施例2における印刷用メタルマスクの一部を下方から見た底面図である。
上記実施例1では、中央部に配置される大型の菱形メッシュ孔5aの左右両側端部に隣接して縦1列に配置される菱形を基本形とする大型の菱形メッシュ孔5aよりも小型で小さ目の菱形メッシュ孔5bを配列した例を示したが、この実施例2においては、中央部に配置される大型のメッシュ孔5aの左右両側端部だけでなく、上下両側端部に隣接して横1列に配置される菱形を基本形とする大型の菱形メッシュ孔5aよりも小型で小さ目の菱形メッシュ孔5bを追加したものである。なお、この小型で小さ目の菱形メッシュ孔5bは、少なくとも左右両側端部のいずれか一方及び少なくとも上下両側端部のいずれか一方に隣接して縦2列又は縦3列に配置しても良い。なお、メッシュ面積の相関関係は、実施例1と同様に、S1>S2≒S3>S4の関係、又はS1>D2≒S3≒S4の関係にあり、メッシュ線径の相関関係は、実施例1と同様に、D1<D2≒D3<D4、又はD1<D2≒D3≒D4の関係にある。Example 2.
FIG. 7 is a bottom view of a portion of a printing metal mask according to a second embodiment of the present invention, as viewed from below.
In the
実施例3.
上記実施例1、2では、マスク本体部2の上面側の横長矩形状の印刷パターン領域4内に形成される菱形を基本形とする多数のメッシュ孔5を備えた印刷用メタルマスクについて説明したが、多数のメッシュ孔5の形状は、菱形、ホームベース状、ダイヤモンド状に限らず、例えば、三角形、四角形、その他の多角形や丸形等であっても良い。要は、横長矩形状の印刷パターン領域4の外周部の1~4列目に配置される小型又は小さ目のメッシュ孔5b~5dの面積S2~S4を、中央部に配置される大型のメッシュ孔5aの面積S1に比べて約5~30%程度小さくすることにより、マスクの薄膜化と印刷パターンのメッシュ孔の微細化に伴う印刷パターン(導電性ペースト等)の両端部が盛り上がってサドル状になる現象を避けることができ、サドル現象を著しく低減することが可能となるものであれば多少の変更は構わない。Example 3.
In the above-mentioned Examples 1 and 2, the printing metal mask having a large number of mesh holes 5 with a basic shape of a rhombus formed in the horizontally elongated rectangular
1 印刷用メタルマスク
2 マスク本体部
3 横長矩形状の凹部
4 横長矩形状の印刷パターン領域
5 多数のメッシュ孔
5a 中央部に配置される大型の菱形メッシュ孔
5b 左右両側端部又は上下両側端部に配置される小型で小さ目の菱形メッシュ孔
5c ホームベース状の五角形のメッシュ孔
5d ダイヤモンド状の五角形のメッシュ孔1 Metal mask for
Claims (4)
互いに平行な上下二面を有する平板状のマスク本体部と、
前記マスク本体部の下面側の被印刷物と対向する面に形成され、前記マスク本体部の上面側に向かって凹んでいる凹部と、
前記マスク本体部の上面側に形成される印刷パターン領域内に形成された菱形を基本とする多数のメッシュ孔と、を備え、
前記多数のメッシュ孔は、前記印刷パターン領域の中央部に多数配置される大型の菱形メッシュ孔と、前記大型の菱形メッシュ孔の外周部に配置され、前記中央部の大型の菱形メッシュ孔の面積よりも小さいメッシュ孔面積を有する外周部の小型の菱形メッシュ孔と、前記印刷パターン領域の隅角部を除く最外周部に配置され、前記外周部の小型の菱形メッシュ孔と同じ面積を有するホームベース状の五角形のメッシュ孔と、前記印刷パターン領域の隅角部に配置され、前記中央部の大型の菱形メッシュ孔の面積よりも小さいメッシュ孔面積を有するダイヤモンド状の五角形のメッシュ孔とからなることを特徴とする印刷用メタルマスク。 A printing metal mask for printing a paste,
A flat mask body having two parallel upper and lower surfaces;
A recess is formed on a surface of the mask body facing a print substrate on the lower surface side thereof and recessed toward an upper surface side of the mask body.
a plurality of mesh holes, each of which is basically a diamond shape, formed within a print pattern area formed on the upper surface side of the mask body;
a metal mask for printing characterized in that the numerous mesh holes comprise large diamond-shaped mesh holes arranged in a large number in the center of the printing pattern area; small diamond-shaped mesh holes arranged on the outer periphery of the large diamond-shaped mesh holes and having a mesh hole area smaller than the area of the large diamond-shaped mesh holes in the center; home plate-shaped pentagonal mesh holes arranged on the outermost periphery excluding the corners of the printing pattern area and having the same area as the small diamond-shaped mesh holes in the outer periphery; and diamond-shaped pentagonal mesh holes arranged in the corners of the printing pattern area and having a mesh hole area smaller than the area of the large diamond-shaped mesh holes in the center .
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