Deprecated: The each() function is deprecated. This message will be suppressed on further calls in /home/zhenxiangba/zhenxiangba.com/public_html/phproxy-improved-master/index.php on line 456
JP7508993B2 - Roll mold manufacturing method - Google Patents
[go: Go Back, main page]

JP7508993B2 - Roll mold manufacturing method - Google Patents

Roll mold manufacturing method Download PDF

Info

Publication number
JP7508993B2
JP7508993B2 JP2020177797A JP2020177797A JP7508993B2 JP 7508993 B2 JP7508993 B2 JP 7508993B2 JP 2020177797 A JP2020177797 A JP 2020177797A JP 2020177797 A JP2020177797 A JP 2020177797A JP 7508993 B2 JP7508993 B2 JP 7508993B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
mold
sleeve portion
roll mold
roll
shape
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2020177797A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2022068949A (en
Inventor
博 関口
正浩 後藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dai Nippon Printing Co Ltd
Original Assignee
Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dai Nippon Printing Co Ltd filed Critical Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority to JP2020177797A priority Critical patent/JP7508993B2/en
Publication of JP2022068949A publication Critical patent/JP2022068949A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP7508993B2 publication Critical patent/JP7508993B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
  • Shaping Of Tube Ends By Bending Or Straightening (AREA)

Description

本発明は、ロール型の製造方法に関するものである。 The present invention relates to a method for manufacturing a roll type.

マイクロレンズアレイシート、フレネルレンズシート、回折光学シート等は、表面に微細形状が形成されており、その製造には、成形型を利用することが一般的である。
上述のような表面に微細形状を有するシートを作製することにおいて、表面に微細形状の逆形状を有するロール型によりシート表面に、熱成形、紫外線硬化成型等により、微細形状を形成する方法は、連続的に微細形状を形成できるので生産性の優れた方法である。
しかし、円筒状のロール表面にミクロンオーダーや、ナノオーダー等の微細かつ、マイクロレンズのような3次元形状を多数形成することは難しく、精度の高いロール型の作製は、非常に困難であった。
Microlens array sheets, Fresnel lens sheets, diffractive optical sheets, and the like have fine patterns formed on their surfaces, and their production generally involves the use of a molding die.
In producing a sheet having a microstructure on its surface as described above, a method of forming a microstructure on the sheet surface by thermoforming, ultraviolet curing molding, or the like using a roll mold having an inverse shape of the microstructure on its surface is a highly productive method because it can form the microstructure continuously.
However, it is difficult to form many fine three-dimensional shapes, such as microlenses, on the micron or nano order on the surface of a cylindrical roll, and it has been extremely difficult to manufacture a highly accurate roll mold.

特許文献1には、レーザー描画装置により円筒状金型にサブミクロンサイズのパターンを描画する技術が開示されている。しかし、特許文献1の手法では、ロール表面が円筒状なので、ロール上の位置により、描画装置とロール表面の距離が異なり、そのため、1つの形状を形成することにおいて、曲面等を精度よく描画することが難しい。また、ロールを回転させることによって、ロールの真円度等の影響により、やはり、描画装置とロールの表面の距離が変わるが、そのため、ロール上の異なる位置で、同じ形状を形成することが難しい等の、問題点がある。 Patent Document 1 discloses a technique for drawing a submicron-sized pattern on a cylindrical mold using a laser drawing device. However, in the method of Patent Document 1, because the roll surface is cylindrical, the distance between the drawing device and the roll surface varies depending on the position on the roll, making it difficult to draw curved surfaces with high precision when forming a single shape. In addition, by rotating the roll, the distance between the drawing device and the roll surface also changes due to the influence of the roundness of the roll, etc., which creates problems such as making it difficult to form the same shape at different positions on the roll.

特開2010-152253号公報JP 2010-152253 A

本発明の課題は、所望する型形状を精度よく、かつ、容易に作製することができるロール型の製造方法を提供することである。 The objective of the present invention is to provide a method for manufacturing a roll mold that can accurately and easily produce the desired mold shape.

本発明は、以下のような解決手段により、前記課題を解決する。なお、理解を容易にするために、本発明の実施形態に対応する符号を付して説明するが、これに限定されるものではない。 The present invention solves the above problems by the following means. Note that, for ease of understanding, the following description will use symbols corresponding to the embodiments of the present invention, but the present invention is not limited to these.

第1の発明は、可撓性を有する筒状のスリーブ部(10)の一部を平面に保持する平面化工程と、前記スリーブ部(10)の平面に保持された領域に型形状(11)を形成する型形状形成工程と、前記型形状(11)が形成された前記スリーブ部(10)を円柱状のシリンダー部(20)の外周に嵌めて固定する固定工程と、を備えるロール型の製造方法である。 The first invention is a method for manufacturing a roll mold, which includes a planarizing step of holding a part of a flexible cylindrical sleeve portion (10) on a flat surface, a mold shape forming step of forming a mold shape (11) in the area of the sleeve portion (10) held on the flat surface, and a fixing step of fitting and fixing the sleeve portion (10) with the mold shape (11) formed thereon to the outer periphery of a cylindrical cylinder portion (20).

第2の発明は、第1の発明に記載のロール型の製造方法において、前記平面化工程と前記型形状形成工程とは、平面に保持する領域を変えて複数回行われること、を特徴とするロール型の製造方法である。 The second invention is the method for manufacturing a roll mold described in the first invention, characterized in that the planarization process and the mold shape formation process are performed multiple times by changing the area to be held on the flat surface.

第3の発明は、第2の発明に記載のロール型の製造方法において、前記型形状形成工程は、少なくとも前記スリーブ部(10)の周方向において前記型形状が連続して配置されるように行われること、を特徴とするロール型の製造方法である。 The third invention is the method for manufacturing a roll mold described in the second invention, characterized in that the mold shape forming process is performed so that the mold shape is continuously arranged at least in the circumferential direction of the sleeve portion (10).

本発明によれば、所望する型形状を精度よく、かつ、容易に作製することができるロール型の製造方法を提供することができる。 The present invention provides a method for manufacturing a roll mold that can accurately and easily produce the desired mold shape.

本発明によるロール型の製造方法により作製したロール型1を示す図である。1 is a diagram showing a roll mold 1 produced by a roll mold manufacturing method according to the present invention. FIG. 本実施形態のロール型1の製造方法の流れを示すフローチャートである。3 is a flowchart showing the flow of a method for manufacturing the roll mold 1 of the present embodiment. 露光工程を示す図である。FIG. スリーブ部10をシリンダー部20の外周に嵌める工程を示す図である。4A to 4C are diagrams showing a process of fitting the sleeve portion 10 onto the outer periphery of the cylinder portion 20.

以下、本発明を実施するための最良の形態について図面等を参照して説明する。 The best mode for carrying out the present invention will be described below with reference to the drawings.

(第1実施形態)
図1は、本発明によるロール型の製造方法により作製したロール型1を示す図である。
なお、図1を含め、以下に示す各図は、模式的に示した図であり、各部の大きさ、形状は、理解を容易にするために、適宜誇張したり、省略したりして示している。
また、以下の説明では、具体的な数値、形状、材料等を示して説明を行うが、これらは、適宜変更することができる。
First Embodiment
FIG. 1 is a diagram showing a roll mold 1 produced by a method for producing a roll mold according to the present invention.
Note that the figures shown below, including FIG. 1, are schematic diagrams, and the size and shape of each part are exaggerated or omitted as appropriate to facilitate understanding.
In the following description, specific numerical values, shapes, materials, etc. are given, but these can be changed as appropriate.

ロール型1は、スリーブ部10と、シリンダー部20とを備えている。
スリーブ部10は、可撓性を有する筒状の部材により形成されている。図1に示すロール型1の構成においては、スリーブ部10は、シリンダー部20の円筒面にはめられていることから、円筒状に形成されている。
The roll mold 1 includes a sleeve portion 10 and a cylinder portion 20 .
The sleeve portion 10 is formed of a flexible tubular member. In the configuration of the roll mold 1 shown in Fig. 1, the sleeve portion 10 is fitted onto the cylindrical surface of the cylinder portion 20, and is therefore formed into a cylindrical shape.

スリーブ部10は、その表面に型形状部11を有している。型形状部11は、ロール型1が成形する成形部材の形状の反転形状(型形状)を備えている。ロール型1の型形状部11により成形される成形部材としては、例えば、マイクロレンズアレイシート、フレネルレンズシート、回折光学シート等が例示できる。これら微細形状を成形する成形型として用いるために、型形状部11には、ミクロンオーダーや、ナノオーダー等の微細な凹凸形状が多数配列されている。 The sleeve portion 10 has a mold-shaped portion 11 on its surface. The mold-shaped portion 11 has an inverted shape (mold shape) of the shape of the molded member molded by the roll mold 1. Examples of molded members molded by the mold-shaped portion 11 of the roll mold 1 include a microlens array sheet, a Fresnel lens sheet, and a diffractive optical sheet. In order to be used as a mold for molding these fine shapes, the mold-shaped portion 11 has a large number of fine uneven shapes on the order of microns or nanometers.

型形状部11は、スリーブ部を構成する金属の表面に凹凸形状を設けてもよいし、樹脂層をさらに積層して構成し、この樹脂層に凹凸形状を設けてもよい。 The molded portion 11 may be formed by providing an uneven surface on the metal surface that constitutes the sleeve portion, or may be formed by further laminating a resin layer and providing an uneven surface on this resin layer.

スリーブ部10は、例えば、厚さ0.2mmのステンレス鋼により構成することができ、全周で切れ目がなく構成されている。なお、スリーブ部10は、ステンレス鋼に限らず、例えば、銅、ニッケル等でもよく、また、厚さは、0.1mm以上0.5mm以下が好ましい。 The sleeve portion 10 can be made of, for example, stainless steel having a thickness of 0.2 mm, and is configured without any gaps around the entire circumference. Note that the sleeve portion 10 is not limited to stainless steel, and may be made of, for example, copper, nickel, etc., and the thickness is preferably 0.1 mm or more and 0.5 mm or less.

シリンダー部20は、ロール型1の芯部分であり、ステンレス鋼等により円柱形状に構成されている。 The cylinder section 20 is the core of the roll mold 1 and is made of stainless steel or the like in a cylindrical shape.

図2は、本実施形態のロール型1の製造方法の流れを示すフローチャートである。
ステップ(以下、単にSとする)10では、スリーブ部10の表面にレジスト層を形成する。このとき、スリーブ部10は、可撓性を有するので形態が安定しない場合があるので、均一にレジスト層を形成しにくい場合には、シリンダー部20と同様な形状の治具にスリーブ部10を仮固定した状態でレジスト層を形成するとよい。
FIG. 2 is a flowchart showing a flow of a method for manufacturing the roll mold 1 of this embodiment.
In step (hereinafter simply referred to as S) 10, a resist layer is formed on the surface of the sleeve portion 10. At this time, since the sleeve portion 10 has flexibility, the shape may not be stable. Therefore, if it is difficult to form a uniform resist layer, it is preferable to form the resist layer in a state where the sleeve portion 10 is temporarily fixed to a jig having a similar shape to the cylinder portion 20.

S20では、吸着板100に対するスリーブ部10の位置合わせを行う。
吸着板100は、平面状の吸着面100aを有しており、スリーブ部10の内周側に挿入されて、スリーブ部10の内壁の一部を吸着する装置である(後述の図3参照)。
このS20では、露光する領域の裏面が吸着面100aに対向する位置となるように位置合わせを行う。また、2回目以降の露光前の位置合わせでは、隣接する露光済み領域との境界位置に間隔が空かず、かつ、重なり合わないように位置合わせを行う。これにより、露光領域が連続して、後に形成される型形状が連続して配置されることとなる。なお、図1、図4では、型形状部11が連続して配置されている様子を、露光領域毎に破線で示しているが、実際には、このような領域の境界は、全く見えないか、又は、拡大して観察して判断できる程度であり、実質的には、境界は存在しない。
In S20, the sleeve portion 10 is aligned with the suction plate 100.
The suction plate 100 has a flat suction surface 100a, and is inserted into the inner periphery of the sleeve portion 10 to suction a part of the inner wall of the sleeve portion 10 (see FIG. 3 described later).
In S20, the back surface of the area to be exposed is aligned so that it faces the suction surface 100a. In the alignment before the second and subsequent exposures, the areas are aligned so that there is no gap at the boundary between adjacent exposed areas and that they do not overlap. This results in the exposed areas being continuous, and the mold shapes to be formed later being continuously arranged. Note that in Figures 1 and 4, the continuous arrangement of the mold shape portions 11 is shown by dashed lines for each exposed area, but in reality, the boundaries of such areas are completely invisible or can only be seen by observing under magnification, and there are essentially no boundaries.

S30では、吸着板100でスリーブ部10を吸着して、スリーブ部10の一部を平面に保持する(平面化工程)。 In S30, the sleeve portion 10 is adsorbed by the suction plate 100 to hold a portion of the sleeve portion 10 flat (flattening process).

S40では、スリーブ部10の平面に保持された領域にマスクMを重ねて配置し、レジスト層を露光する。
図3は、露光工程を示す図である。
なお、マスクMを用いずに、レーザー描画によって、レジスト層を直接描画して露光してもよい。なお、露光時には露光を行う以外の領域は、露光に用いる光が当たらないように遮光等が行われる。
In S40, a mask M is placed over the area held on the flat surface of the sleeve portion 10, and the resist layer is exposed to light.
FIG. 3 is a diagram showing an exposure process.
The resist layer may be directly exposed by laser writing without using the mask M. During exposure, areas other than those to be exposed are shielded from light so that they are not exposed to the light used for exposure.

S50では、他領域の露光を行うか否かを判断し、他領域の露光を行う場合には、
20へ戻り、他領域の露光を行わない場合には、S60へ進む。
In S50, it is determined whether or not to expose other areas. If it is determined that the other areas are to be exposed,
If exposure of other areas is not to be performed, the process proceeds to S60.

S60では、露光されたレジスト層を現像して露光された部位、又は、露光されなかった部位を除去する。
また、S60では、必要に応じてスリーブ部10の金属面のエッチング処理を行い、金属面に凹凸形状を構成する。
In S60, the exposed resist layer is developed to remove either the exposed or unexposed portions.
In S60, if necessary, the metal surface of the sleeve portion 10 is etched to form an uneven shape on the metal surface.

上記S40からS60を行うことにより、スリーブ部10の平面に保持された領域に型形状が形成される(型形状形成工程)。この型形状形成工程は、スリーブ部10の一部を平面に保持した状態で行われる。したがって、円筒面で加工する場合のような位置による加工精度の低下がなく、全ての位置において精度の高い加工を行うことができる。 By carrying out steps S40 to S60 above, a mold shape is formed in the area of the sleeve portion 10 that is held on a flat surface (mold shape forming process). This mold shape forming process is carried out while a portion of the sleeve portion 10 is held on a flat surface. Therefore, there is no decrease in machining accuracy depending on the position, as occurs when machining on a cylindrical surface, and machining can be performed with high accuracy at all positions.

S70では、型形状が形成されたスリーブ部10をシリンダー部20の外周に嵌めて固定する(固定工程)。
図4は、スリーブ部10をシリンダー部20の外周に嵌める工程を示す図である。
このとき、シリンダー部20を冷却して外周を小さくした状態で、常温のスリーブ部10を嵌めて、その後、シリンダー部20が常温に戻ることによりスリーブ部10がシリンダー部20に固定される冷やしばめ法を用いるとよい。
In S70, the sleeve portion 10 having the die shape formed thereon is fitted onto the outer periphery of the cylinder portion 20 and fixed thereto (fixing step).
FIG. 4 is a diagram showing a process of fitting the sleeve portion 10 onto the outer periphery of the cylinder portion 20. As shown in FIG.
At this time, it is advisable to use a cold fitting method in which the cylinder portion 20 is cooled to reduce its outer circumference, and then the sleeve portion 10 at room temperature is fitted into the cylinder portion 20, and then the sleeve portion 10 is fixed to the cylinder portion 20 as the cylinder portion 20 returns to room temperature.

以上説明したように、本実施形態のロール型の製造方法によれば、スリーブ部10の一部を平面に保持する平面化工程と、スリーブ部10の平面に保持された領域に型形状を形成する型形状形成工程とを備える。よって、所望する型形状を精度よく、かつ、容易に作製することができる。 As described above, the manufacturing method of the roll mold of this embodiment includes a planarization process for holding a part of the sleeve portion 10 flat, and a mold shape formation process for forming a mold shape in the area of the sleeve portion 10 held flat. Therefore, the desired mold shape can be produced accurately and easily.

(変形形態)
以上説明した実施形態に限定されることなく、種々の変形や変更が可能であって、それらも本発明の範囲内である。
(Modifications)
The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications and variations are possible, and these are also within the scope of the present invention.

(1)実施形態において、型形状を形成する型形状形成工程として、上述のようにレジスト層の露光を行う例を挙げて説明した。これに限らず、例えば、レジスト層を設けずにレーザー光でスリーブ部10の表面を直接加工するレーザーアブレーションを利用して型形状形成工程としてもよい。 (1) In the embodiment, an example of exposing a resist layer to light as described above has been described as the mold shape forming process for forming the mold shape. However, the present invention is not limited to this. For example, the mold shape forming process may be performed by using laser ablation, in which the surface of the sleeve portion 10 is directly processed with laser light without providing a resist layer.

(2)実施形態において、マイクロレンズアレイシート、フレネルレンズシート、回折光学シート等の光学部材の成形に用いるロール型を例に挙げてロール型の製造方法を説明した。これに限らず、微細な型形状を備えるロール型であれば、成形対象は、どのような部材であってもよい。 (2) In the embodiment, the manufacturing method of the roll mold has been described using a roll mold used for molding optical components such as a microlens array sheet, a Fresnel lens sheet, and a diffractive optical sheet as an example. However, the present invention is not limited to this, and any component may be molded as long as the roll mold has a fine mold shape.

(3)実施形態において、全周及びロールの軸方向で型形状部11が連続している例を挙げて説明した。これに限らず、例えば、型形状部11が間隔を空けて複数の領域に設けられていてもよい。 (3) In the embodiment, an example has been described in which the mold-shaped portion 11 is continuous around the entire circumference and in the axial direction of the roll. However, this is not limiting, and for example, the mold-shaped portion 11 may be provided in multiple regions with intervals between them.

なお、各実施形態及び変形形態は、適宜組み合わせて用いることもできるが、詳細な説明は省略する。また、本発明は以上説明した各実施形態によって限定されることはない。 The embodiments and variations may be used in any suitable combination, but detailed explanations will be omitted. Furthermore, the present invention is not limited to the embodiments described above.

1 ロール型
10 スリーブ部
11 型形状部
20 シリンダー部
100 吸着板
100a 吸着面
1 Roll mold 10 Sleeve portion 11 Mold shape portion 20 Cylinder portion 100 Suction plate 100a Suction surface

Claims (5)

可撓性を有する筒状のスリーブ部の一部を平面状の吸着面を有した吸着板によって吸着して平面に保持する平面化工程と、
前記スリーブ部の平面に保持された領域に型形状を形成する型形状形成工程と、
前記型形状が形成された前記スリーブ部を円柱状のシリンダー部の外周に嵌めて固定する固定工程と、
を備えるロール型の製造方法。
a planarizing step of adsorbing a portion of the flexible cylindrical sleeve portion with an adsorption plate having a planar adsorption surface to hold the portion flat;
a die shape forming step of forming a die shape in an area held on the plane of the sleeve portion;
a fixing step of fitting and fixing the sleeve portion having the mold shape to an outer periphery of a cylindrical cylinder portion;
A method for manufacturing a roll mold comprising the steps of:
請求項1に記載のロール型の製造方法において、The method for producing a roll mold according to claim 1,
前記型形状形成工程は、前記スリーブ部の平面に保持された領域にレジスト層を形成し、前記レジスト層を露光し、露光された前記レジスト層を現像し、露光された部位、又は、露光されなかった部位を除去して型形状を形成すること、the die shape forming step includes forming a resist layer in an area held on the flat surface of the sleeve portion, exposing the resist layer, developing the exposed resist layer, and removing the exposed portion or the unexposed portion to form a die shape;
を特徴とするロール型の製造方法。A roll mold manufacturing method comprising the steps of:
請求項1に記載のロール型の製造方法において、The method for producing a roll mold according to claim 1,
前記型形状形成工程は、前記スリーブ部の平面に保持された領域を直接加工するレーザーアブレーションを利用して型形状を形成すること、The mold shape forming step forms a mold shape by utilizing laser ablation that directly processes an area held on the flat surface of the sleeve portion;
を特徴とするロール型の製造方法。A roll mold manufacturing method comprising the steps of:
請求項1から請求項3までのいずれかに記載のロール型の製造方法において、
前記平面化工程と前記型形状形成工程とは、平面に保持する領域を変えて複数回行われること、
を特徴とするロール型の製造方法。
The method for producing a roll mold according to any one of claims 1 to 3 ,
The planarizing step and the mold shape forming step are performed multiple times by changing the area to be held on the flat surface;
A roll mold manufacturing method characterized by the above.
請求項に記載のロール型の製造方法において、
前記型形状形成工程は、少なくとも前記スリーブ部の周方向において前記型形状が連続して配置されるように行われること、
を特徴とするロール型の製造方法。
The method for producing a roll mold according to claim 4 ,
the die shape forming step is performed such that the die shapes are continuously arranged at least in a circumferential direction of the sleeve portion;
A roll mold manufacturing method comprising the steps of:
JP2020177797A 2020-10-23 2020-10-23 Roll mold manufacturing method Active JP7508993B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020177797A JP7508993B2 (en) 2020-10-23 2020-10-23 Roll mold manufacturing method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020177797A JP7508993B2 (en) 2020-10-23 2020-10-23 Roll mold manufacturing method

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2022068949A JP2022068949A (en) 2022-05-11
JP7508993B2 true JP7508993B2 (en) 2024-07-02

Family

ID=81521824

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2020177797A Active JP7508993B2 (en) 2020-10-23 2020-10-23 Roll mold manufacturing method

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP7508993B2 (en)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005035099A (en) 2003-07-17 2005-02-10 Fuji Photo Film Co Ltd Method for producing emboss roll and method for producing transfer sheet using the emboss roll
JP2013000961A (en) 2011-06-16 2013-01-07 Panasonic Corp Method for manufacturing roller mold and method for producing optical film as well as roller mold and optical film

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005035099A (en) 2003-07-17 2005-02-10 Fuji Photo Film Co Ltd Method for producing emboss roll and method for producing transfer sheet using the emboss roll
JP2013000961A (en) 2011-06-16 2013-01-07 Panasonic Corp Method for manufacturing roller mold and method for producing optical film as well as roller mold and optical film

Also Published As

Publication number Publication date
JP2022068949A (en) 2022-05-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20070177116A1 (en) Method and apparatus for manufacturing microstructure and device manufactured thereby
TW200426495A (en) Exposing mask, production method therefor and exposing method
JP5942551B2 (en) Manufacturing method of master template and replica template for nanoimprint
CN1705915A (en) Binary half tone photomasks and microscopic three-dimensional devices and method of fabricating the same
JP2004310077A (en) Microlens manufacturing method, microlens and exposure apparatus
JP7508993B2 (en) Roll mold manufacturing method
JP4712857B2 (en) Inclined structure manufacturing method, lens mold manufacturing method, and lens manufacturing method
US20080229950A1 (en) Seamless imprint roller and method of making
JP2006171753A (en) Microlens array sheet using microfabrication technology and method for manufacturing the same
JP6281592B2 (en) Manufacturing method of replica template
EP1449014A1 (en) Processes using gray scale exposure processes to make microoptical elements and corresponding molds
US6558878B1 (en) Microlens manufacturing method
JP5310065B2 (en) Method for forming uneven shape, method for manufacturing optical element array, optical element array, and microlens array
JP4595548B2 (en) Manufacturing method of mask substrate and microlens
DE102012020363B4 (en) Production of microstructured casting molds
JP2002258490A (en) Manufacturing method of fine precision parts or optical parts using X-rays or ultraviolet rays and products thereof
JP6664345B2 (en) Method of manufacturing flat mold master, manufacturing method of molding die, and manufacturing method of roll mold
JP4296277B2 (en) Method for manufacturing inclined structure and die for mold manufactured by this method
KR100701355B1 (en) Microlens array and fabrication method of the intaglio frame for replicating the microlens array
JP5164176B2 (en) Light projection exposure apparatus and light projection exposure method using stereoscopic projection
JP5565788B2 (en) Method for producing electroformed mold pattern
JP4506264B2 (en) Photoresist lens manufacturing method, lens manufacturing method, mold manufacturing method, optical apparatus, and projection exposure apparatus
KR20080062154A (en) Micro lens manufacturing method and master manufacturing method for micro lens
JP2008070556A (en) Optical member manufacturing method and optical member molding die manufacturing method
CN111679555A (en) Preparation method of metal roller-shaped die

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20230829

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20240305

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20240312

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20240415

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20240521

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20240603