JP7514066B2

JP7514066B2 - Air pressure control system

Info

Publication number: JP7514066B2
Application number: JP2019124693A
Authority: JP
Inventors: 文俊佐藤; 達今井; 公康森重; 尚也小吹
Original assignee: Taikisha Ltd
Current assignee: Taikisha Ltd
Priority date: 2019-07-03
Filing date: 2019-07-03
Publication date: 2024-07-10
Anticipated expiration: 2039-07-03
Also published as: JP2021011956A

Description

本発明は、気圧制御システムに関する。 The present invention relates to an air pressure control system.

部屋の気圧と当該部屋の外の基準域の気圧である基準圧との差圧（室圧ともいう）に基づいて前記部屋の気圧を制御する気圧制御システムが知られている（例えば、特許文献１）。従来の気圧制御システムでは、前記の差圧を、差圧センサにより検出することが一般的であり、前記部屋の気圧及び基準域の基準圧それぞれを、ナイロンチューブなどの中空管により差圧センサまで導いている。 There is known an air pressure control system that controls the air pressure in a room based on the pressure difference (also called room pressure) between the air pressure in the room and a reference pressure, which is the air pressure in a reference area outside the room (for example, Patent Document 1). In conventional air pressure control systems, the pressure difference is generally detected by a differential pressure sensor, and the air pressure in the room and the reference pressure in the reference area are each guided to the differential pressure sensor by hollow tubes such as nylon tubes.

特開平８－８７６９３号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 8-87693

従来の気圧制御システムでは、中空管にねじれ又は曲げが生じていると、部屋の気圧と基準圧との差圧の検出誤差が大きくなってしまう場合がある。このようなねじれ又は曲げが生じないように中空管を配置するには特別の注意及び工夫が必要となり、気圧制御システムの施工費用がかさんでしまう。このような不都合は、部屋又は基準域と差圧センサとの距離が離れているときなど、中空管の長さが長いときに、顕著である。 In conventional air pressure control systems, if the hollow tube is twisted or bent, the detection error of the pressure difference between the air pressure in the room and the reference pressure may become large. Special care and ingenuity are required to arrange the hollow tube so that such twists or bends do not occur, which increases the construction costs of the air pressure control system. This inconvenience is more noticeable when the hollow tube is long, such as when the differential pressure sensor is far away from the room or reference area.

本発明は、施工費用が少ない気圧制御システムを提供することを目的とする。 The present invention aims to provide an air pressure control system with low construction costs.

本発明に係る気圧制御システムは、第１の部屋に配され当該第１の部屋の絶対圧を検出する第１の絶対圧センサと、第２の部屋に配され当該第２の部屋の絶対圧を検出する第２の絶対圧センサと、前記第１の部屋及び前記第２の部屋の外の基準域に配され、当該基準域の絶対圧を検出する基準絶対圧センサと、前記第１の絶対圧センサ、前記第２の絶対圧センサ、前記基準絶対圧センサに気圧の検出を指示する１つの制御信号を無線通信により送信し、前記第１の絶対圧センサ、前記第２の絶対圧センサ、前記基準絶対圧センサから絶対圧の情報を無線通信により受信する通信部と、前記通信部が受信した前記第１の部屋の絶対圧の情報及び前記基準域の絶対圧の情報に基づいて、予め設定された第１の目標値に基づくフィードバック制御により前記第１の部屋の差圧を制御する第１の気圧制御装置と、前記通信部が受信した前記第２の部屋の絶対圧の情報及び前記基準域の絶対圧の情報に基づいて、予め設定された第２の目標値に基づくフィードバック制御により前記第２の部屋の差圧を制御する第２の気圧制御装置と、を備える。 The air pressure control system according to the present invention comprises a first absolute pressure sensor disposed in a first room and detecting an absolute pressure in the first room, a second absolute pressure sensor disposed in a second room and detecting the absolute pressure in the second room, a reference absolute pressure sensor disposed in a reference zone outside the first room and the second room and detecting the absolute pressure in the reference zone, a communication unit that transmits via wireless communication one control signal instructing the first absolute pressure sensor, the second absolute pressure sensor, and the reference absolute pressure sensor to detect air pressure, and receives via wireless communication absolute pressure information from the first absolute pressure sensor, the second absolute pressure sensor, and the reference absolute pressure sensor, a first air pressure control device that controls the differential pressure in the first room by feedback control based on a preset first target value, based on the information on the absolute pressure of the first room and the information on the absolute pressure of the reference zone received by the communication unit, and a second air pressure control device that controls the differential pressure in the second room by feedback control based on a preset second target value, based on the information on the absolute pressure of the second room and the information on the absolute pressure of the reference zone received by the communication unit.

本発明によれば、部屋の気圧を検出する気圧センサは、当該部屋に配置され、基準域の気圧である基準圧を検出する基準圧センサは、当該基準域に配置されるので、従来の中空管が必要でなく、気圧制御システムの施工費用を少なくできる。 According to the present invention, an air pressure sensor that detects the air pressure in a room is placed in the room, and a reference pressure sensor that detects the reference pressure, which is the air pressure in a reference area, is placed in the reference area, so that a conventional hollow tube is not required, and the construction costs of the air pressure control system can be reduced.

本発明の一実施の形態に係る気圧制御システムの構成図FIG. 1 is a block diagram of an air pressure control system according to an embodiment of the present invention. 気圧制御システムの主制御盤の構成図Diagram of the main control panel for the air pressure control system 気圧制御システムの動作の様子を示す概念図Conceptual diagram showing how the air pressure control system works

本発明の一実施の形態に係る気圧制御システム１００を、図面を参照して説明する。 An air pressure control system 100 according to one embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

（気圧制御システム１００の構成）
気圧制御システム１００は、図１に示すように、給気機構１１０と、排気機構１２０と、気圧センサ１３１～１３４と、基準圧センサ１３５と、主制御盤１５１と、コントローラ１５５Ａ～１５５Ｄと、を備え、施設Ｆに設けられた４つの部屋Ｒ１～Ｒ４それぞれの気圧Ｐ１～Ｐ４を制御するように構成されている。 (Configuration of air pressure control system 100)
As shown in FIG. 1, the air pressure control system 100 includes an air supply mechanism 110, an exhaust mechanism 120, air pressure sensors 131-134, a reference pressure sensor 135, a main control panel 151, and controllers 155A-155D, and is configured to control the air pressures P1-P4 of four rooms R1-R4 provided in a facility F.

施設Ｆとしては、例えば、製薬工場、食品製造工場、半導体集積回路などの電子機器の製造工場、再生医療設備が挙げられる。部屋Ｒ１～Ｒ４としては、例えば、クリーンルームが挙げられる。部屋Ｒ１～Ｒ４のうち、部屋Ｒ１と部屋Ｒ２とが隣り合っており、部屋Ｒ２と部屋Ｒ３とが隣り合っており、部屋Ｒ３と部屋Ｒ４とが隣り合っている。部屋Ｒ１～Ｒ４のうちの隣り合う部屋は、開閉可能なドアを介して繋がっているものとする。さらに、部屋Ｒ１～Ｒ４それぞれは、部屋Ｒ１～Ｒ４の外の領域である部屋外領域（施設Ｆの廊下、施設Ｆの他の部屋、施設Ｆの屋外など）とも開閉可能なドアそれぞれを介して繋がっているものとする。 Examples of facility F include pharmaceutical factories, food manufacturing factories, factories for manufacturing electronic devices such as semiconductor integrated circuits, and regenerative medicine facilities. Examples of rooms R1 to R4 include clean rooms. Of rooms R1 to R4, rooms R1 and R2 are adjacent to each other, rooms R2 and R3 are adjacent to each other, and rooms R3 and R4 are adjacent to each other. Adjacent rooms among rooms R1 to R4 are connected via doors that can be opened and closed. Furthermore, each of rooms R1 to R4 is also connected to areas outside rooms R1 to R4 (such as the hallways of facility F, other rooms in facility F, or the outdoors of facility F) via doors that can be opened and closed.

前記の部屋外領域は、気圧が制御されない領域であり、その気圧Ｐ５は、大気圧である。一方、部屋Ｒ１の気圧Ｐ１、部屋Ｒ２の気圧Ｐ２、部屋Ｒ３の気圧Ｐ３、及び、部屋Ｒ４の気圧Ｐ４は、気圧制御システム１００により、部屋外領域の気圧Ｐ５（より具体的には部屋外領域のうちの基準域Ｒ５（詳細は後述）の気圧Ｐ５）よりも、高くなるように制御される。気圧Ｐ５は、前記のように大気圧であり、気圧Ｐ１～Ｐ４に対して基準となるので、基準圧ともいう。気圧Ｐ１～Ｐ４それぞれを気圧Ｐ５よりも高くすることで、例えば、部屋Ｒ１と部屋外領域との間のドアが開いたとしても、部屋外領域の空気が部屋Ｒ１に流れ込むことを防止する。部屋Ｒ１の気圧Ｐ１は、部屋Ｒ２の気圧Ｐ２よりも低く設定されている。これにより、部屋Ｒ１と部屋Ｒ２との間のドアが開いたとしても部屋Ｒ１の空気が部屋Ｒ２に流れ込むことを防止する。同様に、部屋Ｒ２の気圧Ｐ２は、部屋Ｒ３の気圧Ｐ３よりも低く設定されており、部屋Ｒ３の気圧Ｐ３は、部屋Ｒ４の気圧Ｐ４よりも低く設定されている。 The outside-room area is an area where the air pressure is not controlled, and the air pressure P5 is atmospheric pressure. On the other hand, the air pressure P1 in room R1, the air pressure P2 in room R2, the air pressure P3 in room R3, and the air pressure P4 in room R4 are controlled by the air pressure control system 100 to be higher than the air pressure P5 in the outside-room area (more specifically, the air pressure P5 in the reference area R5 (details will be described later) of the outside-room area). As described above, the air pressure P5 is atmospheric pressure and serves as a reference for the air pressures P1 to P4, so it is also called the reference pressure. By making each of the air pressures P1 to P4 higher than the air pressure P5, for example, even if a door between room R1 and the outside-room area is opened, air from the outside-room area is prevented from flowing into room R1. The air pressure P1 in room R1 is set lower than the air pressure P2 in room R2. This prevents air from room R1 from flowing into room R2 even if a door between room R1 and room R2 is opened. Similarly, the air pressure P2 in room R2 is set lower than the air pressure P3 in room R3, and the air pressure P3 in room R3 is set lower than the air pressure P4 in room R4.

気圧制御システム１００の給気機構１１０は、部屋Ｒ１～Ｒ４に当該部屋Ｒ１～Ｒ４の外の空気である外気を給気する。外気は、部屋Ｒ１～Ｒ４の外かつ前記施設Ｆ内の空気でもよいし、屋外（施設Ｆの外）の空気でもよい。給気機構１１０は、給気ファン１１１と、第１給気路１１３と、第２給気路１１５Ａ～１１５Ｄと、定風量装置１１７Ａ～１１７Ｄと、を備える。 The air supply mechanism 110 of the air pressure control system 100 supplies outside air, which is the air outside the rooms R1 to R4, to the rooms R1 to R4. The outside air may be air outside the rooms R1 to R4 and within the facility F, or it may be air outdoors (outside the facility F). The air supply mechanism 110 includes a supply fan 111, a first air supply path 113, second air supply paths 115A to 115D, and constant air volume devices 117A to 117D.

給気ファン１１１は、部屋Ｒ１～Ｒ４に外気を給気するためのファンである。第１給気路１１３は、空気の流路を形成しており、給気ファン１１１に接続されている。第２給気路１１５Ａ～１１５Ｄは、一端が第１給気路１１３に接続されている。第２給気路１１５Ａ～１１５Ｄそれぞれの他端は、部屋Ｒ１～Ｒ４それぞれに接続されている。第２給気路１１５Ａ～１１５Ｄそれぞれは、空気の流路を形成している。定風量装置１１７Ａ～１１７Ｄそれぞれは、第２給気路１１５Ａ～１１５Ｄそれぞれの途中に設けられ、第２給気路１１５Ａ～１１５Ｄそれぞれを流れる空気の流量を調整する。 The supply air fan 111 is a fan for supplying outside air to rooms R1 to R4. The first supply air passage 113 forms an air flow path and is connected to the supply air fan 111. One end of the second supply air passages 115A to 115D is connected to the first supply air passage 113. The other end of each of the second supply air passages 115A to 115D is connected to each of rooms R1 to R4. Each of the second supply air passages 115A to 115D forms an air flow path. Each of the constant air volume devices 117A to 117D is provided midway through each of the second supply air passages 115A to 115D and adjusts the flow rate of air flowing through each of the second supply air passages 115A to 115D.

給気ファン１１１は、外気を第１給気路１１３に送り込む。送り込まれた空気は、第１給気路１１３を流れ、第２給気路１１５Ａ～１１５Ｄそれぞれを介して部屋Ｒ１～Ｒ４それぞれに供給される。定風量装置１１７Ａ～１１７Ｄそれぞれは、部屋Ｒ１～Ｒ４それぞれに供給される空気の流量（給気風量）が一定となるよう第２給気路１１５Ａ～１１５Ｄそれぞれを流れる空気の流量を調整及び維持する。例えば、定風量装置１１７Ａは、第２給気路１１５Ａから部屋Ｒ１に供給される空気の流量を調整及び維持する。 The air supply fan 111 sends outside air into the first air supply path 113. The sent air flows through the first air supply path 113 and is supplied to each of the rooms R1 to R4 via the second air supply paths 115A to 115D. Each of the constant air volume devices 117A to 117D adjusts and maintains the flow rate of air flowing through each of the second air supply paths 115A to 115D so that the flow rate of air (supply air volume) supplied to each of the rooms R1 to R4 is constant. For example, the constant air volume device 117A adjusts and maintains the flow rate of air supplied to room R1 from the second air supply path 115A.

排気機構１２０は、部屋Ｒ１～Ｒ４それぞれの空気を排気する。排気機構１２０は、排気ファン１２１と、第１排気路１２３と、第２排気路１２５Ａ～１２５Ｄと、気圧制御装置１２７Ａ～１２７Ｄと、を備える。 The exhaust mechanism 120 exhausts air from each of the rooms R1 to R4. The exhaust mechanism 120 includes an exhaust fan 121, a first exhaust path 123, second exhaust paths 125A to 125D, and air pressure control devices 127A to 127D.

排気ファン１２１は、部屋Ｒ１～Ｒ４の空気を外部に排気するためのファンである。前記の外部は、例えば、部屋Ｒ１～Ｒ４の外かつ前記施設Ｆ内の領域、又は、屋外（施設Ｆの外）である。第１排気路１２３は、空気の流路を形成しており、排気ファン１２１に接続されている。第２排気路１２５Ａ～１２５Ｄは、一端が第１排気路１２３に接続されている。第２排気路１２５Ａ～１２５Ｄそれぞれの他端は、部屋Ｒ１～Ｒ４それぞれに接続されている。気圧制御装置１２７Ａ～１２７Ｄそれぞれは、室圧制御ダンパ（ＰＣＤ）等からなる。気圧制御装置１２７Ａ～１２７Ｄそれぞれは、第２排気路１２５Ａ～１２５Ｄそれぞれの途中に設けられ、第２排気路１２５Ａ～１２５Ｄを流れる空気の流量を調整する。 The exhaust fan 121 is a fan for exhausting the air in the rooms R1 to R4 to the outside. The outside is, for example, an area outside the rooms R1 to R4 and within the facility F, or outdoors (outside the facility F). The first exhaust path 123 forms an air flow path and is connected to the exhaust fan 121. One end of the second exhaust paths 125A to 125D is connected to the first exhaust path 123. The other end of each of the second exhaust paths 125A to 125D is connected to each of the rooms R1 to R4. Each of the air pressure control devices 127A to 127D is composed of a room pressure control damper (PCD) or the like. Each of the air pressure control devices 127A to 127D is provided midway along each of the second exhaust paths 125A to 125D, and adjusts the flow rate of air flowing through the second exhaust paths 125A to 125D.

排気ファン１２１の稼働により、第１排気路１２３及び第２排気路１２５Ａ～１２５Ｄを介して、部屋Ｒ１～Ｒ４それぞれの空気が部屋Ｒ１～Ｒ４の外部に排気される。気圧制御装置１２７Ａ～１２７Ｄそれぞれは、コントローラ１５５Ａ～１５５Ｄそれぞれによる制御のもとで動作し、部屋Ｒ１～Ｒ４それぞれから外部に排気される空気の量を制御する。この制御により、部屋Ｒ１～Ｒ４それぞれの気圧Ｐ１～Ｐ４が個別に制御される。例えば、気圧制御装置１２７Ａは、コントローラ１５５Ａの制御のもとで、部屋Ｒ１から第２排気路１２５Ａ及び第１排気路１２３を介して排気される空気の量を制御することで、部屋Ｒ１の気圧Ｐ１を制御する。 When the exhaust fan 121 is operated, the air in each of the rooms R1 to R4 is exhausted to the outside of the rooms R1 to R4 via the first exhaust path 123 and the second exhaust path 125A to 125D. Each of the air pressure control devices 127A to 127D operates under the control of each of the controllers 155A to 155D, and controls the amount of air exhausted to the outside from each of the rooms R1 to R4. This control individually controls the air pressures P1 to P4 of each of the rooms R1 to R4. For example, the air pressure control device 127A controls the amount of air exhausted from room R1 via the second exhaust path 125A and the first exhaust path 123 under the control of the controller 155A, thereby controlling the air pressure P1 of room R1.

気圧センサ１３１～１３４それぞれは、部屋Ｒ１～Ｒ４それぞれに配置されている。気圧センサ１３１～１３４それぞれは、部屋Ｒ１の気圧Ｐ１～部屋Ｒ４の気圧Ｐ４それぞれを検出する。気圧センサ１３１は、従来の、検出対象の気圧Ｐ１と当該気圧Ｐ１以外の気圧（大気圧）との差圧を検出する差圧センサではなく、検出対象の気圧Ｐ１以外の気圧（例えば、気圧Ｐ５）が当該気圧センサ１３１の外部から供給されることを必要とせずに、当該気圧Ｐ１を検出可能な非差圧センサである。気圧センサ１３２～１３４それぞれも、気圧センサ１３１と同じ非差圧センサである。非差圧センサとしては、例えば、絶対圧センサ（絶対圧を検出するセンサ）、シールドゲージ圧センサ（大気圧等の所定の気圧が背圧として封入されたセンサ）が挙げられる。気圧センサ１３１～１３４それぞれは、主制御盤１５１と通信可能である。 The atmospheric pressure sensors 131 to 134 are disposed in the rooms R1 to R4, respectively. The atmospheric pressure sensors 131 to 134 detect the atmospheric pressure P1 in the room R1 to the atmospheric pressure P4 in the room R4, respectively. The atmospheric pressure sensor 131 is not a conventional differential pressure sensor that detects the difference between the atmospheric pressure P1 to be detected and an atmospheric pressure other than the atmospheric pressure P1 (atmospheric pressure), but a non-differential pressure sensor that can detect the atmospheric pressure P1 without requiring an atmospheric pressure other than the atmospheric pressure P1 to be detected (for example, atmospheric pressure P5) to be supplied from outside the atmospheric pressure sensor 131. The atmospheric pressure sensors 132 to 134 are also non-differential pressure sensors like the atmospheric pressure sensor 131. Examples of non-differential pressure sensors include absolute pressure sensors (sensors that detect absolute pressure) and shielded gauge pressure sensors (sensors in which a predetermined atmospheric pressure such as atmospheric pressure is sealed as a back pressure). The atmospheric pressure sensors 131 to 134 can each communicate with the main control panel 151.

基準圧センサ１３５は、部屋外領域の気圧Ｐ５を基準圧として検出する。基準圧センサ１３５は、部屋外領域内に配置されている。部屋外領域内のうち基準圧センサ１３５が配置される領域を基準域Ｒ５ともいう。基準域Ｒ５は、風等の影響を受けて、実際の部屋外領域の気圧Ｐ５とは異なる気圧が基準圧センサ１３５により誤検出されてしまわないよう、風等の動圧の影響を受けにくく、気圧Ｐ５を精度良く検出できる領域であることが望ましい。このような基準域Ｒ５は、例えば、施設Ｆの屋内メンテナンススペースである。当該屋内メンテナンススペースとしては、例えば、ＩＳＳ（Interstitial Space System）内の空間等の天井裏のスペースが挙げられる。基準域Ｒ５は、前記屋内メンテナンススペース又はその他の場所に設置された、風等の動圧の影響は受けないかつ密閉度が低い基準圧タンク内であってもよい。基準圧センサ１３５は、気圧センサ１３１～１３４と同じ、非差圧センサ（絶対圧センサ、シールドゲージ圧センサなど）である。基準圧センサ１３５は、主制御盤１５１と通信可能である。 The reference pressure sensor 135 detects the atmospheric pressure P5 in the outside-room area as the reference pressure. The reference pressure sensor 135 is disposed in the outside-room area. The area in the outside-room area where the reference pressure sensor 135 is disposed is also referred to as the reference area R5. It is desirable that the reference area R5 is an area that is not easily affected by dynamic pressure such as wind, so that the reference pressure sensor 135 does not erroneously detect an atmospheric pressure different from the actual atmospheric pressure P5 in the outside-room area due to the influence of wind, etc., and can accurately detect the atmospheric pressure P5. Such a reference area R5 is, for example, an indoor maintenance space of the facility F. An example of the indoor maintenance space is a space above the ceiling, such as a space in an ISS (Interstitial Space System). The reference area R5 may be a reference pressure tank that is not affected by dynamic pressure such as wind and has a low degree of sealing, and is installed in the indoor maintenance space or other places. The reference pressure sensor 135 is a non-differential pressure sensor (absolute pressure sensor, shield gauge pressure sensor, etc.) like the atmospheric pressure sensors 131 to 134. The reference pressure sensor 135 can communicate with the main control panel 151.

主制御盤１５１は、各種コンピュータを含んで構成され、気圧制御システム１００全体を制御する。主制御盤１５１は、気圧センサ１３１～１３４及び基準圧センサ１３５に加えてコントローラ１５５Ａ～１５５Ｄとも通信可能である。主制御盤１５１は、図２に示すように、記憶部１５１Ａと、処理実行部１５１Ｂと、操作部１５１Ｃと、表示部１５１Ｄと、通信部１５１Ｅと、を備える。 The main control panel 151 is configured to include various computers and controls the entire air pressure control system 100. The main control panel 151 can communicate with the air pressure sensors 131-134 and the reference pressure sensor 135 as well as with the controllers 155A-155D. As shown in FIG. 2, the main control panel 151 includes a memory unit 151A, a processing execution unit 151B, an operation unit 151C, a display unit 151D, and a communication unit 151E.

記憶部１５１Ａは、処理実行部１５１Ｂにより実行されるプログラム、処理実行部１５１Ｂが各種処理（特に、部屋Ｒ１～Ｒ４の気圧を制御する処理）を行うときに使用されるデータなどが記憶されている。処理実行部１５１Ｂは、ＣＰＵ（Central Processing Unit）等のプロセッサからなり、記憶部１５１Ａに記憶されているプログラムを実行することで、主制御盤１５１の後述の動作を実現する処理を実行する。 The memory unit 151A stores programs executed by the process execution unit 151B, data used when the process execution unit 151B performs various processes (particularly processes for controlling the air pressure in rooms R1 to R4), and the like. The process execution unit 151B is made up of a processor such as a CPU (Central Processing Unit), and executes the programs stored in the memory unit 151A to perform processes that realize the operations of the main control panel 151, which will be described later.

操作部１５１Ｃは、操作スイッチ、テンキー等からなり、ユーザによる操作を受け付ける。表示部１５１Ｄは、液晶表示装置等からなり、各種情報を表示する。操作部１５１Ｃと表示部１５１Ｄとは、タッチパネルにより構成されてもよい。通信部１５１Ｅは、処理実行部１５１Ｂ（主制御盤１５１）が、気圧センサ１３１～１３４、基準圧センサ１３５、及び、コントローラ１５５Ａ～１５５Ｄと通信するときに使用される。当該通信は、ここでは、無線とする。通信部１５１Ｅは、アンテナ、通信モジュール等を含んで構成されている。 The operation unit 151C is made up of operation switches, a numeric keypad, etc., and accepts operations by the user. The display unit 151D is made up of a liquid crystal display device, etc., and displays various information. The operation unit 151C and the display unit 151D may be made up of a touch panel. The communication unit 151E is used when the process execution unit 151B (main control panel 151) communicates with the air pressure sensors 131-134, the reference pressure sensor 135, and the controllers 155A-155D. This communication is assumed to be wireless here. The communication unit 151E is made up of an antenna, a communication module, etc.

詳細は後述するが、主制御盤１５１（処理実行部１５１Ｂ）は、通信部１５１Ｅを介して気圧センサ１３１～１３４及び基準圧センサ１３５から部屋Ｒ１～Ｒ４及び基準域Ｒ５の気圧Ｐ１～Ｐ５を取得する。そして、主制御盤１５１は、取得した気圧Ｐ１～Ｐ５に基づいて部屋Ｒ１～Ｒ４の室圧Ｄ１～Ｄ４を特定する。部屋Ｒ１の室圧Ｄ１は、気圧Ｐ１と気圧Ｐ５（基準圧）との差圧である。部屋Ｒ２の室圧Ｄ２は、気圧Ｐ２と気圧Ｐ５との差圧である。部屋Ｒ３の室圧Ｄ３は、気圧Ｐ３と気圧Ｐ５との差圧である。部屋Ｒ４の室圧Ｄ４は、気圧Ｐ４と気圧Ｐ５との差圧である。主制御盤１５１は、特定した室圧Ｄ１～Ｄ４それぞれを、コントローラ１５５Ａ～１５５Ｄそれぞれに供給する。気圧Ｐ１～Ｐ５の取得から室圧Ｄ１～Ｄ４の供給までの処理は定期的に実行される。 As will be described in more detail below, the main control panel 151 (processing execution unit 151B) acquires the atmospheric pressures P1 to P5 of rooms R1 to R4 and reference range R5 from the atmospheric pressure sensors 131 to 134 and reference pressure sensor 135 via the communication unit 151E. The main control panel 151 then identifies the room pressures D1 to D4 of rooms R1 to R4 based on the acquired atmospheric pressures P1 to P5. The room pressure D1 of room R1 is the differential pressure between atmospheric pressure P1 and atmospheric pressure P5 (reference pressure). The room pressure D2 of room R2 is the differential pressure between atmospheric pressure P2 and atmospheric pressure P5. The room pressure D3 of room R3 is the differential pressure between atmospheric pressure P3 and atmospheric pressure P5. The room pressure D4 of room R4 is the differential pressure between atmospheric pressure P4 and atmospheric pressure P5. The main control panel 151 supplies the identified room pressures D1 to D4 to the controllers 155A to 155D, respectively. The process from obtaining air pressures P1 to P5 to supplying room pressures D1 to D4 is performed periodically.

コントローラ１５５Ａ～１５５Ｄそれぞれは、気圧制御装置１２７Ａ～１２７Ｄそれぞれを制御する。コントローラ１５５Ａ～１５５Ｄそれぞれは、ＰＬＣ（Programmable Logic Controller）等の各種コンピュータからなる。コントローラ１５５Ａ～１５５Ｄそれぞれには、室圧Ｄ１～Ｄ４それぞれの目標値Ｎ１～Ｎ４が設定されている。目標値Ｎ１～Ｎ４それぞれは、正の値であり、かつ、Ｎ４＞Ｎ３＞Ｎ２＞Ｎ１の大小関係となる値、つまり、気圧Ｐ１～Ｐ５の各値が、Ｐ４＞Ｐ３＞Ｐ２＞Ｐ１＞Ｐ５となる値に設定されている。コントローラ１５５Ａ～１５５Ｄそれぞれには、主制御盤１５１から室圧Ｄ１～Ｄ４それぞれが定期的に供給される。コントローラ１５５Ａ～１５５Ｄそれぞれは、定期的に供給される室圧Ｄ１～Ｄ４（フィードバック値）それぞれと目標値Ｎ１～Ｎ４それぞれとに基づいて、ＰＩＤ（Proportional-Integral-Differential）制御等のフィードバック制御を行い、部屋Ｒ１～Ｒ４それぞれの室圧Ｄ１～Ｄ４（その後の室圧Ｄ１～Ｄ４）それぞれが目標値Ｎ１～Ｎ４それぞれとなるよう、気圧制御装置１２７Ａ～１２７Ｄそれぞれ（換言すると第２排気路１２５Ａ～１２５Ｄそれぞれを通る空気の流量それぞれ）を制御する。 Each of the controllers 155A to 155D controls the air pressure control devices 127A to 127D. Each of the controllers 155A to 155D is composed of various computers such as a PLC (Programmable Logic Controller). Each of the controllers 155A to 155D is set with a target value N1 to N4 for each of the room pressures D1 to D4. Each of the target values N1 to N4 is set to a positive value such that the magnitude relationship is N4>N3>N2>N1, that is, the values of the air pressures P1 to P5 are set to P4>P3>P2>P1>P5. Each of the controllers 155A to 155D is periodically supplied with each of the room pressures D1 to D4 from the main control panel 151. Each of the controllers 155A-155D performs feedback control such as proportional-integral-differential (PID) control based on the periodically supplied room pressures D1-D4 (feedback values) and the target values N1-N4, and controls the air pressure control devices 127A-127D (in other words, the air flow rates passing through the second exhaust paths 125A-125D) so that the room pressures D1-D4 (subsequent room pressures D1-D4) of the respective rooms R1-R4 become the target values N1-N4, respectively.

（気圧制御システム１００の動作）
（動作１）
主制御盤１５１及びコントローラ１５５Ａ～１５５Ｄ等の動作、つまり、気圧制御システム１００の動作を、図３を参照して説明する。主制御盤１５１は、処理実行部１５１Ｂが記憶部１５１Ａに記憶されているプログラムを実行することで、下記の動作を行う。また、主制御盤１５１による通信は、処理実行部１５１Ｂが通信部１５１Ｅを介して行う。 (Operation of the air pressure control system 100)
(Action 1)
The operation of the main control panel 151 and the controllers 155A to 155D, i.e., the operation of the air pressure control system 100, will be described with reference to Fig. 3. The main control panel 151 performs the following operations by the process execution unit 151B executing a program stored in the memory unit 151A. Furthermore, communication by the main control panel 151 is performed by the process execution unit 151B via the communication unit 151E.

主制御盤１５１は、気圧センサ１３１～１３４及び基準圧センサ１３５それぞれと定期的に通信し、気圧センサ１３１～１３４及び基準圧センサ１３５それぞれに気圧Ｐ１～Ｐ５それぞれの検出を指示する制御信号Ｓ１～Ｓ５それぞれを送信する。主制御盤１５１は、気圧Ｐ１～Ｐ５の各検出タイミングが同じ（気圧制御の技術分野において実質的に同じといえる場合を含む）となるよう、制御信号Ｓ１～Ｓ５を一度に送信する（例えば、１回のタイマ割り込み内にて送信する）。 The main control panel 151 periodically communicates with each of the air pressure sensors 131-134 and the reference pressure sensor 135, and transmits control signals S1-S5 to the air pressure sensors 131-134 and the reference pressure sensor 135, respectively, to instruct them to detect air pressures P1-P5, respectively. The main control panel 151 transmits the control signals S1-S5 at once (for example, within one timer interrupt) so that the detection timing of the air pressures P1-P5 is the same (including cases where the detection timing can be said to be substantially the same in the technical field of air pressure control).

気圧センサ１３１は、制御信号Ｓ１の受信をトリガとして、気圧Ｐ１を検出し、検出した気圧Ｐ１を示す信号を主制御盤１５１に返信する。気圧センサ１３２は、制御信号Ｓ２の受信をトリガとして、気圧Ｐ２を検出し、検出した気圧Ｐ２を示す信号を主制御盤１５１に返信する。気圧センサ１３３は、制御信号Ｓ３の受信をトリガとして、気圧Ｐ３を検出し、検出した気圧Ｐ３を示す信号を主制御盤１５１に返信する。気圧センサ１３４は、制御信号Ｓ４の受信をトリガとして、気圧Ｐ４を検出し、検出した気圧Ｐ４を示す信号を主制御盤１５１に返信する。基準圧センサ１３５は、制御信号Ｓ５の受信をトリガとして、気圧Ｐ５を検出し、検出した気圧Ｐ５を示す信号を主制御盤１５１に返信する。 The air pressure sensor 131 detects air pressure P1 when it receives the control signal S1, and sends a signal indicating the detected air pressure P1 back to the main control panel 151. The air pressure sensor 132 detects air pressure P2 when it receives the control signal S2, and sends a signal indicating the detected air pressure P2 back to the main control panel 151. The air pressure sensor 133 detects air pressure P3 when it receives the control signal S3, and sends a signal indicating the detected air pressure P3 back to the main control panel 151. The air pressure sensor 134 detects air pressure P4 when it receives the control signal S4, and sends a signal indicating the detected air pressure P4 back to the main control panel 151. The reference pressure sensor 135 detects air pressure P5 when it receives the control signal S5, and sends a signal indicating the detected air pressure P5 back to the main control panel 151.

気圧センサ１３１～１３４及び基準圧センサ１３５は、前記制御信号Ｓ１～Ｓ５に依存しないで気圧を例えば連続的に検出し、前記制御信号Ｓ１～Ｓ５が供給されたことをトリガとして、検出した最新の気圧を主制御盤１５１に返信するようにしてもよい。 The air pressure sensors 131-134 and the reference pressure sensor 135 may, for example, continuously detect air pressure without depending on the control signals S1-S5, and may be triggered by the supply of the control signals S1-S5 to send back the most recently detected air pressure to the main control panel 151.

主制御盤１５１は、気圧センサ１３１～１３４及び基準圧センサ１３５それぞれからの気圧Ｐ１～Ｐ５それぞれを示す各信号を受信すると、当該気圧Ｐ１～Ｐ５に基づいて、室圧Ｄ１～Ｄ４を特定する。例えば、主制御盤１５１は、気圧Ｐ１の値から気圧Ｐ５の値を減じて室圧Ｄ１を算出し、気圧Ｐ２の値から気圧Ｐ５の値を減じて室圧Ｄ２を算出する。主制御盤１５１は、気圧Ｐ３の値から気圧Ｐ５の値を減じて室圧Ｄ３を算出し、気圧Ｐ４の値から気圧Ｐ５の値を減じて室圧Ｄ４を算出する。室圧Ｄ１～Ｄ４は、記憶部１５１Ａに格納されたテーブルを参照して特定されてもよい。当該テーブルとしては、例えば、気圧Ｐ１～Ｐ４が取り得る第１の値と気圧Ｐ５が取り得る第２の値との組合せそれぞれと、当該組合せそれぞれに対応した差圧それぞれであって、対応する組合せの第１の値から第２の値を減じた差圧と、を対応付けたテーブルが挙げられる。 When the main control panel 151 receives signals indicating the atmospheric pressures P1 to P5 from the atmospheric pressure sensors 131 to 134 and the reference pressure sensor 135, it determines the room pressures D1 to D4 based on the atmospheric pressures P1 to P5. For example, the main control panel 151 calculates the room pressure D1 by subtracting the value of the atmospheric pressure P5 from the value of the atmospheric pressure P1, and calculates the room pressure D2 by subtracting the value of the atmospheric pressure P5 from the value of the atmospheric pressure P2. The main control panel 151 calculates the room pressure D3 by subtracting the value of the atmospheric pressure P5 from the value of the atmospheric pressure P3, and calculates the room pressure D4 by subtracting the value of the atmospheric pressure P5 from the value of the atmospheric pressure P4. The room pressures D1 to D4 may be determined by referring to a table stored in the memory unit 151A. An example of such a table is one that associates each combination of a first value that the atmospheric pressures P1 to P4 can take and a second value that the atmospheric pressure P5 can take with a differential pressure corresponding to each of the combinations, the differential pressure being the first value minus the second value of the corresponding combination.

主制御盤１５１は、算出した室圧Ｄ１～Ｄ４それぞれを示す信号を、コントローラ１５５Ａ～１５５Ｄそれぞれに送信する。 The main control panel 151 sends signals indicating the calculated room pressures D1 to D4 to the controllers 155A to 155D.

コントローラ１５５Ａは、室圧Ｄ１の信号を受信すると、当該室圧Ｄ１と、当該コントローラ１５５Ａに設定されている目標値と、に基づくフィードバック制御により、部屋Ｐ１の室圧Ｄ１が目標値となるように、気圧制御装置１２７Ａ（換言すると第２排気路１２５Ａを通る空気の流量）を制御する。コントローラ１５５Ｂは、室圧Ｄ２の信号を受信すると、当該室圧Ｄ２と、当該コントローラ１５５Ｂに設定されている目標値と、に基づくフィードバック制御により、部屋Ｐ２の室圧Ｄ２が目標値となるように、気圧制御装置１２７Ｂ（換言すると第２排気路１２５Ｂを通る空気の流量）を制御する。 When the controller 155A receives a signal of the room pressure D1, it controls the air pressure control device 127A (in other words, the flow rate of air passing through the second exhaust path 125A) by feedback control based on the room pressure D1 and the target value set in the controller 155A so that the room pressure D1 in the room P1 becomes the target value. When the controller 155B receives a signal of the room pressure D2, it controls the air pressure control device 127B (in other words, the flow rate of air passing through the second exhaust path 125B) by feedback control based on the room pressure D2 and the target value set in the controller 155B so that the room pressure D2 in the room P2 becomes the target value.

コントローラ１５５Ｃは、主制御盤１５１から供給される室圧Ｄ３と、当該コントローラ１５５Ｃに設定されている目標値と、に基づくフィードバック制御により、部屋Ｐ３の室圧Ｄ３が目標値となるように、気圧制御装置１２７Ｃ（換言すると第２排気路１２５Ｃを通る空気の流量）を制御する。コントローラ１５５Ｄは、主制御盤１５１から供給される室圧Ｄ４と、当該コントローラ１５５Ｄに設定されている目標値と、に基づくＰＩＤ制御等のフィードバック制御により、部屋Ｐ４の室圧Ｄ４が目標値となるように、気圧制御装置１２７Ｄ（換言すると第２排気路１２５Ｄを通る空気の流量）を制御する。 The controller 155C controls the air pressure control device 127C (in other words, the air flow rate through the second exhaust path 125C) so that the room pressure D3 in room P3 becomes the target value through feedback control based on the room pressure D3 supplied from the main control panel 151 and the target value set in the controller 155C. The controller 155D controls the air pressure control device 127D (in other words, the air flow rate through the second exhaust path 125D) so that the room pressure D4 in room P4 becomes the target value through feedback control such as PID control based on the room pressure D4 supplied from the main control panel 151 and the target value set in the controller 155D.

上記のようなコントローラ１５５Ａ～１５５Ｄによる室圧Ｄ１～Ｄ４に基づく制御により、部屋Ｒ１～Ｒ４の気圧Ｐ１～Ｐ４及び室圧Ｄ１～Ｄ４が所望の気圧ないし差圧となり、気圧の高低の逆転が防止される。 By controlling the room pressures D1 to D4 using the controllers 155A to 155D as described above, the air pressures P1 to P4 and the room pressures D1 to D4 in the rooms R1 to R4 become the desired air pressures or differential pressures, preventing reversals of high and low air pressures.

（動作２）
上記のように、主制御盤１５１は、１組の信号Ｓ１～Ｓ５の定期的な送信により、気圧Ｐ１～Ｐ５及び室圧Ｄ１～Ｄ４を定期的に順次得る。主制御盤１５１は、１組の信号Ｓ１～Ｓ５の送信ごとに順次得られる気圧Ｐ１～Ｐ５及び室圧Ｄ１～Ｄ４（気圧Ｐ１～Ｐ５と室圧Ｄ１～Ｄ４とのいずれか一方であってもよい。以下同じ）それぞれを示すデータの組を時系列順に当該組ごとに記憶部１５１Ａに順次格納する。このとき、主制御盤１５１は、１組における気圧Ｐ１～Ｐ５及び室圧Ｄ１～Ｄ４それぞれを示す各データを互いに対応付けて記憶部１５１Ａに格納する。 (Action 2)
As described above, the main control panel 151 periodically transmits a set of signals S1 to S5 to sequentially obtain the atmospheric pressures P1 to P5 and the room pressures D1 to D4. The main control panel 151 sequentially stores sets of data indicating the atmospheric pressures P1 to P5 and the room pressures D1 to D4 (which may be either the atmospheric pressures P1 to P5 or the room pressures D1 to D4; the same applies below) sequentially obtained for each transmission of a set of signals S1 to S5 in the memory unit 151A in chronological order for each set. At this time, the main control panel 151 stores each set of data indicating the atmospheric pressures P1 to P5 and the room pressures D1 to D4 in the memory unit 151A in association with each other.

主制御盤１５１は、記憶部１５１Ａに格納した気圧Ｐ１～Ｐ５及び室圧Ｄ１～Ｄ４のデータに基づいて、気圧Ｐ１～Ｐ５及び室圧Ｄ１～Ｄ４の時系列に沿った推移を表示部１５１Ｄに表示する。当該表示は、例えば、ユーザによる操作部１５１Ｃへの操作（例えば、気圧Ｐ１～Ｐ５及び室圧Ｄ１～Ｄ４の推移の表示を要求する操作）を契機として行われる。 The main control panel 151 displays the time series trends of the atmospheric pressures P1 to P5 and the room pressures D1 to D4 on the display unit 151D based on the data of the atmospheric pressures P1 to P5 and the room pressures D1 to D4 stored in the memory unit 151A. The display is triggered, for example, by a user's operation on the operation unit 151C (for example, an operation requesting the display of the trends of the atmospheric pressures P1 to P5 and the room pressures D1 to D4).

主制御盤１５１は、１組の気圧Ｐ１～Ｐ５及び室圧Ｄ１～Ｄ４を記憶部１５１Ａに格納するときに、これら情報を受信した又は記憶部１５１Ａに格納したタイミングの時刻の情報（例えば、タイムスタンプ）も格納する。主制御盤１５１は、気圧Ｐ１～Ｐ５及び室圧Ｄ１～Ｄ４の推移を表示する際、当該時刻も表示部１５１Ｄに表示するとよい。主制御盤１５１は、例えば、時刻を横軸にし、気圧及び室圧を縦軸としたグラフにより、気圧Ｐ１～Ｐ５及び室圧Ｄ１～Ｄ４の推移を表示する。 When the main control panel 151 stores a set of atmospheric pressures P1 to P5 and room pressures D1 to D4 in the memory unit 151A, it also stores information on the time when this information was received or stored in the memory unit 151A (e.g., a time stamp). When the main control panel 151 displays the trends in the atmospheric pressures P1 to P5 and room pressures D1 to D4, it is preferable that the main control panel 151 also displays the time on the display unit 151D. For example, the main control panel 151 displays the trends in the atmospheric pressures P1 to P5 and room pressures D1 to D4 using a graph with time on the horizontal axis and atmospheric pressure and room pressure on the vertical axis.

主制御盤１５１は、気圧Ｐ１～Ｐ５又は室圧Ｄ１～Ｄ４に基づき、部屋Ｒ１の気圧と部屋Ｒ２の気圧との差圧、部屋Ｒ２の気圧と部屋Ｒ３の気圧との差圧、及び、部屋Ｒ３の気圧と部屋Ｒ４の気圧との差圧、を表示部１５１Ｄに表示してもよい。 The main control panel 151 may display on the display unit 151D the pressure difference between the air pressure in room R1 and the air pressure in room R2, the pressure difference between the air pressure in room R2 and the air pressure in room R3, and the pressure difference between the air pressure in room R3 and the air pressure in room R4 based on the air pressures P1 to P5 or the room pressures D1 to D4.

気圧センサ１３１は、検出した気圧Ｐ１を示す信号とともに、当該気圧Ｐ１の検出時刻の情報（例えば、タイムスタンプ）を示す信号を送信してもよい。同様に、気圧センサ１３２～１３４及び基準圧センサ１３５それぞれは、検出した気圧Ｐ２～Ｐ５それぞれを示す信号とともに、当該気圧Ｐ２～Ｐ５それぞれの検出時刻の情報（例えば、タイムスタンプ）を示す信号を送信してもよい。主制御盤１５１は、当該検出時刻の情報も、気圧Ｐ１～Ｐ５に対応付けて格納してもよい。この場合、主制御盤１５１は、気圧Ｐ１～Ｐ５及び室圧Ｄ１～Ｄ４の推移を表示する際、当該検出時刻も表示部１５１Ｄに表示するとよい。主制御盤１５１は、例えば、検出時刻を横軸にし、気圧及び室圧を縦軸としたグラフにより、気圧Ｐ１～Ｐ５及び室圧Ｄ１～Ｄ４の推移を表示する。 The atmospheric pressure sensor 131 may transmit a signal indicating the detected atmospheric pressure P1 together with a signal indicating information on the detection time of the atmospheric pressure P1 (e.g., a timestamp). Similarly, the atmospheric pressure sensors 132-134 and the reference pressure sensor 135 may transmit a signal indicating the detected atmospheric pressure P2-P5 together with a signal indicating the detected atmospheric pressure P2-P5 (e.g., a timestamp). The main control panel 151 may also store the detection time information in association with the atmospheric pressures P1-P5. In this case, when the main control panel 151 displays the trends in the atmospheric pressures P1-P5 and the room pressures D1-D4, it is preferable that the main control panel 151 also displays the detection times on the display unit 151D. For example, the main control panel 151 displays the trends in the atmospheric pressures P1-P5 and the room pressures D1-D4 using a graph with the detection time on the horizontal axis and the atmospheric pressure and room pressure on the vertical axis.

（効果等）
従来の気圧制御システムにより部屋Ｒ１～Ｒ４の各気圧Ｐ１～Ｐ４を制御する場合、コントローラ１５５Ａ～１５５Ｄそれぞれに差圧センサが設けられ、各差圧センサに、気圧Ｐ１～Ｐ４それぞれが４つの第１の中空管それぞれにより導かれ、基準圧が４つの第２の中空管それぞれにより導かれる。このような場合、外気温などの影響により第１の中空管又は第２の中空管にねじれ又は曲げが生じるとそれにより差圧の検出誤差が大きくなってしまう不都合が生じ得る。このようなねじれ又は曲げを生じないように第１の中空管又は第２の中空管を配置しようとすると、第１の中空管又は第２の中空管の配置に特別な注意及び工夫が必要となりその費用が増大する。この実施の形態では、気圧センサ１３１～１３４それぞれを部屋Ｒ１～Ｒ４それぞれに配置し、基準圧センサ１３５を基準域Ｒ５に配置したので、気圧Ｐ１～Ｐ５を従来の気圧制御装置で使用される中空管を用いずに検出できる。従って、気圧制御システムの施工費用を、中空管が使用される場合よりも、少なくすることができる。 (Effects, etc.)
When controlling the atmospheric pressures P1 to P4 of the rooms R1 to R4 using a conventional air pressure control system, each of the controllers 155A to 155D is provided with a differential pressure sensor, and the atmospheric pressures P1 to P4 are introduced to each differential pressure sensor through four first hollow tubes, and the reference pressure is introduced through four second hollow tubes. In such a case, if the first hollow tube or the second hollow tube is twisted or bent due to the influence of the outside air temperature, etc., this may cause a problem that the detection error of the differential pressure becomes large. If the first hollow tube or the second hollow tube is arranged so as not to cause such twisting or bending, special care and ingenuity are required for the arrangement of the first hollow tube or the second hollow tube, which increases the cost. In this embodiment, the air pressure sensors 131 to 134 are arranged in the rooms R1 to R4, respectively, and the reference pressure sensor 135 is arranged in the reference region R5, so that the atmospheric pressures P1 to P5 can be detected without using hollow tubes used in conventional air pressure control devices. Therefore, the construction cost of the air pressure control system can be reduced compared to the case where hollow tubes are used.

従来の気圧制御システムにより部屋Ｒ１～Ｒ４の各気圧Ｐ１～Ｐ４を制御する場合、上記のように第１の中空管及び第２の中空管が使用されるので、差圧センサが、部屋Ｒ１～Ｒ４及び基準域Ｒ５から離れれば離れるほど、気圧の変動が差圧センサに伝達されるまでに時間差が生じ（気圧の変動の伝搬速度が音速のため）、差圧の検出に遅延が生じる不都合が生じ得る。上記実施の形態では、気圧センサ１３１～１３４及び基準圧センサ１３５それぞれにより、気圧Ｐ１～Ｐ５を、中空管を用いることなく検出し、かつ、検出された気圧Ｐ１～Ｐ５は、気圧センサ１３１～１３４及び基準圧センサ１３５それぞれから無線通信により主制御部１５１に供給される。そして、主制御部１５１では、気圧Ｐ１～Ｐ５に基づく計算により室圧Ｄ１～Ｄ４が特定される。これにより、気圧Ｐ１～Ｐ５が検出されてから時間がかからずに室圧Ｄ１～Ｄ４が特定されるので、前記遅延が軽減される。 When controlling the atmospheric pressures P1 to P4 of the rooms R1 to R4 using a conventional air pressure control system, the first and second hollow tubes are used as described above. As the differential pressure sensor is farther away from the rooms R1 to R4 and the reference zone R5, the more time lag occurs before the fluctuation in the atmospheric pressure is transmitted to the differential pressure sensor (because the propagation speed of the fluctuation in the atmospheric pressure is the speed of sound), which may cause a delay in the detection of the differential pressure. In the above embodiment, the atmospheric pressure sensors 131 to 134 and the reference pressure sensor 135 detect the atmospheric pressures P1 to P5 without using hollow tubes, and the detected atmospheric pressures P1 to P5 are supplied to the main control unit 151 by wireless communication from the atmospheric pressure sensors 131 to 134 and the reference pressure sensor 135. The main control unit 151 then determines the room pressures D1 to D4 by calculation based on the atmospheric pressures P1 to P5. As a result, the room pressures D1 to D4 are determined quickly after the atmospheric pressures P1 to P5 are detected, thereby reducing the delay.

上記実施の形態の、気圧センサ１３１～１３４及び基準圧センサ１３５による気圧Ｐ１～Ｐ５の検出、主制御盤１５１と気圧センサ１３１～１３４及び基準圧センサ１３５との無線通信、主制御盤１５１とコントローラ１５５Ａ～１５５Ｄとの無線通信により、気圧Ｐ１～Ｐ５の検出指示のタイミングから、検出された気圧Ｐ１～Ｐ５に基づく室圧Ｄ１～Ｄ４の特定ないしコントローラ１５５Ａ～１５５Ｄへの供給のタイムラグを極力無くすことができ、精度の良いリアルタイムでの室圧Ｄ１～Ｄ４の特定、及び、精度の良いフィードバック制御等が可能となる。 In the above embodiment, the detection of atmospheric pressures P1 to P5 by the atmospheric pressure sensors 131 to 134 and the reference pressure sensor 135, the wireless communication between the main control panel 151 and the atmospheric pressure sensors 131 to 134 and the reference pressure sensor 135, and the wireless communication between the main control panel 151 and the controllers 155A to 155D make it possible to minimize the time lag between the timing of the detection command for the atmospheric pressures P1 to P5 and the determination of the room pressures D1 to D4 based on the detected atmospheric pressures P1 to P5 or the supply of the same to the controllers 155A to 155D, making it possible to determine the room pressures D1 to D4 in accurate real time and to perform accurate feedback control.

さらに、従来の気圧制御システムでは、第１中空管の長さと第２中空管の長さとが異なる場合（差圧センサから部屋までの距離と基準域までの距離とを同じにすることが困難なので、略全ての場合で両者の長さは異なる）、気圧の伝達時間が異なってしまう。この場合、検出する差圧が同じタイミングにおける気圧の差とはいえないので、当該差圧は正確なものとはならない不都合が生じる。上記実施の形態では、主制御盤１５１が、気圧Ｐ１～Ｐ５の検出タイミングが同じとなるよう制御信号Ｓ１～Ｓ５を供給することで気圧センサ１３１～１３４及び基準圧センサ１３５を制御する。従って、精度の良い差圧（つまり室圧Ｄ１～Ｄ４）が得られる。 Furthermore, in conventional air pressure control systems, if the length of the first hollow tube is different from the length of the second hollow tube (because it is difficult to make the distance from the differential pressure sensor to the room the same as the distance to the reference area, the lengths of the two are different in almost all cases), the transmission time of the air pressure will be different. In this case, the detected differential pressure cannot be said to be the difference in air pressure at the same timing, and the differential pressure will not be accurate, which is an inconvenience. In the above embodiment, the main control panel 151 controls the air pressure sensors 131-134 and the reference pressure sensor 135 by supplying control signals S1-S5 so that the detection timing of the air pressures P1-P5 is the same. Therefore, a highly accurate differential pressure (i.e., room pressures D1-D4) can be obtained.

従来の気圧制御システムの差圧センサを、上記実施の形態のように、気圧センサ及び基準圧センサに変更する場合（ただし、従来は差圧センサを使用することが技術常識であったので、当該変更は容易なものではない）、気圧センサ１３１及び基準圧センサ１３５により検出される気圧Ｐ１及び気圧Ｐ５をコントローラ１５５Ａに供給し、コントローラ１５５Ａにて室圧Ｄ１を計算することになる。同様に、気圧センサ１３２及び基準圧センサ１３５により検出される気圧Ｐ２及び気圧Ｐ５をコントローラ１５５Ｂに供給し、コントローラ１５５Ｂにて室圧Ｄ２を計算することになる。気圧センサ１３３（又は１３４）及び基準圧センサ１３５により検出される気圧Ｐ３（又はＰ４）及び気圧Ｐ５をコントローラ１５５Ｃ（又は１５５Ｄ）に供給し、コントローラ１５５Ｃ（又は１５５Ｄ）にて室圧Ｄ３（又はＤ４）を計算することになる。このような場合、基準圧センサ１３５は、コントローラ１５５Ａ～１５５Ｄそれぞれに基準圧を供給しなければならず、処理負担が大きい。上記実施の形態では、コントローラ１５５Ａ～１５５Ｄの上位の主制御盤１５１に基準圧センサ１３５から基準圧を供給するので、処理負担が少なくなっている。また、主制御盤１５１にて、気圧センサ１３１～１３４及び基準圧センサ１３５により検出した気圧Ｐ１～Ｐ５及び室圧Ｄ１～Ｄ４を記憶及び管理できる。 When changing the differential pressure sensor of the conventional air pressure control system to an air pressure sensor and a reference pressure sensor as in the above embodiment (however, since the use of a differential pressure sensor was conventionally common technical knowledge, such a change is not easy), the air pressure P1 and the air pressure P5 detected by the air pressure sensor 131 and the reference pressure sensor 135 are supplied to the controller 155A, and the room pressure D1 is calculated by the controller 155A. Similarly, the air pressure P2 and the air pressure P5 detected by the air pressure sensor 132 and the reference pressure sensor 135 are supplied to the controller 155B, and the room pressure D2 is calculated by the controller 155B. The air pressure P3 (or P4) and the air pressure P5 detected by the air pressure sensor 133 (or 134) and the reference pressure sensor 135 are supplied to the controller 155C (or 155D), and the room pressure D3 (or D4) is calculated by the controller 155C (or 155D). In such a case, the reference pressure sensor 135 must supply the reference pressure to each of the controllers 155A-155D, which places a large processing burden. In the above embodiment, the reference pressure is supplied from the reference pressure sensor 135 to the main control panel 151, which is higher than the controllers 155A-155D, so the processing burden is reduced. In addition, the main control panel 151 can store and manage the air pressures P1-P5 and room pressures D1-D4 detected by the air pressure sensors 131-134 and the reference pressure sensor 135.

無線通信及び非差圧センサの採用により、有線通信を採用する場合及び差圧センサを採用する場合よりも、コスト的に有利となる。通信線及び前記中空管が必要なくなるからである。なお、上記実施の形態における無線通信を適宜有線通信に変更してもよい。有線通信の場合でも、従来の気圧制御システムにおける差圧の検出の遅延等を軽減できるが、信号を伝送する配線の浮遊容量等により信号の遅延が生じ得るので、このような遅延が生じない無線通信の方が有線通信よりも有利である。 The adoption of wireless communication and a non-differential pressure sensor is more cost-effective than the adoption of wired communication and the adoption of a differential pressure sensor. This is because the communication wire and the hollow tube are not required. Note that the wireless communication in the above embodiment may be changed to wired communication as appropriate. Even in the case of wired communication, delays in the detection of differential pressure in conventional air pressure control systems can be reduced, but signal delays can occur due to stray capacitance of the wiring that transmits the signals, and wireless communication, which does not cause such delays, is more advantageous than wired communication.

気圧センサ１３１～１３４及び基準圧センサ１３５を絶対圧センサとすることで、部屋Ｒ１～Ｒ４及び基準域Ｒ５の絶対圧を把握でき、各絶対圧に基づき室圧Ｄ１～Ｄ４を特定できる。気圧センサ１３１～１３４及び基準圧センサ１３５は、シールドゲージ圧センサよりも絶対圧センサであることが好ましい。気圧センサ１３１～１３４及び基準圧センサ１３５がシールドゲージ圧センサである場合、正確な室圧Ｄ１～Ｄ４の特定には、シールドゲージ圧センサに封入された大気圧の値が同じである必要がある。しかし、当該大気圧は、当該シールドゲージ圧センサの配置箇所の温度などの周囲の環境によって変動し得るので、例えば部屋Ｒ１～Ｒ４及び基準域Ｒ５それぞれの温度が異なる場合に、正確な室圧Ｄ１～Ｄ４の特定に影響が生じ得る。絶対圧センサでは、大気圧の封入がなく、このような不都合が生じない。従って、気圧センサ１３１～１３４及び基準圧センサ１３５は、絶対圧センサであることが好ましい。 By using the air pressure sensors 131-134 and the reference pressure sensor 135 as absolute pressure sensors, the absolute pressures of the rooms R1-R4 and the reference zone R5 can be grasped, and the room pressures D1-D4 can be determined based on each absolute pressure. It is preferable that the air pressure sensors 131-134 and the reference pressure sensor 135 are absolute pressure sensors rather than shielded gauge pressure sensors. If the air pressure sensors 131-134 and the reference pressure sensor 135 are shielded gauge pressure sensors, the atmospheric pressure enclosed in the shielded gauge pressure sensor must be the same in order to accurately determine the room pressures D1-D4. However, since the atmospheric pressure can vary depending on the surrounding environment, such as the temperature at the location where the shielded gauge pressure sensor is placed, for example, if the temperatures of the rooms R1-R4 and the reference zone R5 are different, this can affect the accurate determination of the room pressures D1-D4. With absolute pressure sensors, there is no atmospheric pressure enclosed, and such inconvenience does not occur. Therefore, it is preferable that the air pressure sensors 131-134 and the reference pressure sensor 135 are absolute pressure sensors.

上記構成によれば、既存の給気機構及び排気機構を利用して、気圧制御システム１００を構築できるので、気圧制御システム１００の導入のコストを抑えることができる。 With the above configuration, the air pressure control system 100 can be constructed using existing air intake and exhaust mechanisms, which reduces the cost of introducing the air pressure control system 100.

気圧Ｐ１～Ｐ５又は室圧Ｄ１～Ｄ４の推移を表示することで、これらのモニタリングが可能となる。さらに、上記のような従来の気圧制御システムで生じ得る遅延の不都合は、気圧制御システム１００では軽減されるので、主制御盤１５１が気圧Ｐ１～Ｐ５及び室圧Ｄ１～Ｄ４等をリアルタイムで表示部１５１Ｄに表示することもでき、リアルタイムでの気圧Ｐ１～Ｐ５又は室圧Ｄ１～Ｄ４のモニタリングも可能となる。 By displaying the trends in air pressures P1 to P5 or room pressures D1 to D4, these can be monitored. Furthermore, the inconvenience of delays that can occur in conventional air pressure control systems as described above is reduced in the air pressure control system 100, so the main control panel 151 can display the air pressures P1 to P5 and room pressures D1 to D4, etc. in real time on the display unit 151D, making it possible to monitor the air pressures P1 to P5 or room pressures D1 to D4 in real time.

（変形例）
本願発明は、上記実施の形態に限定されない。上記実施の形態に種々の変形を施してもよい。 (Modification)
The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications may be made to the above-described embodiment.

（変形例１）
部屋Ｒ１～Ｒ４の気圧Ｐ１～Ｐ４は、基準圧である気圧Ｐ５よりも低く設定されてもよい。例えば、施設Ｆは、ウィルスを保管する管理施設などであってもよく、この場合、部屋Ｒ１～Ｒ４は、ウィルスを保管する部屋として使用される。部屋Ｒ１～Ｒ４内それぞれの気圧Ｐ１～Ｐ４を、基準域Ｒ５の気圧Ｐ５よりも低くし、気圧Ｐ１～Ｐ４の大小をＰ１＞Ｐ２＞Ｐ３＞Ｐ４とすることで、部屋Ｒ１～Ｒ４それぞれの空気（ウィルスを含む空気）が他に漏れ出すこと（バイオハザードなど）を防止できる。 (Variation 1)
The air pressures P1 to P4 in the rooms R1 to R4 may be set lower than the air pressure P5, which is the reference pressure. For example, the facility F may be a management facility for storing viruses, in which case the rooms R1 to R4 are used as rooms for storing viruses. By setting the air pressures P1 to P4 in the rooms R1 to R4 lower than the air pressure P5 in the reference range R5 and setting the order of the air pressures P1 to P4 to P1>P2>P3>P4, it is possible to prevent the air (air containing viruses) in each of the rooms R1 to R4 from leaking out (such as a biohazard).

（変形例２）
主制御盤１５１は、制御信号Ｓ１～Ｓ５の代わりに、気圧の検出を指示する１つの制御信号を気圧センサ１３１～１３４及び基準圧センサ１３５全てに送信してもよい。気圧センサ１３１～１３４及び基準圧センサ１３５それぞれは、当該制御信号をトリガとして、気圧Ｐ１～Ｐ５それぞれを検出して主制御盤１５１に供給してもよい。これにより、気圧Ｐ１～Ｐ５それぞれが同時に検出される。 (Variation 2)
Instead of the control signals S1 to S5, the main control panel 151 may transmit one control signal instructing detection of atmospheric pressure to all of the atmospheric pressure sensors 131 to 134 and the reference pressure sensor 135. Each of the atmospheric pressure sensors 131 to 134 and the reference pressure sensor 135 may use the control signal as a trigger to detect the atmospheric pressures P1 to P5, respectively, and supply the detected values to the main control panel 151. This allows the atmospheric pressures P1 to P5 to be detected simultaneously.

（変形例３）
主制御盤１５１に目標値Ｎ１～Ｎ４を設定し、主制御盤１５１が、室圧Ｄ１～Ｄ４それぞれと目標値Ｎ１～Ｎ４それぞれとに基づくフィードバック制御を行ってもよい。この場合、主制御盤１５１が、コントローラ１５５Ａ～１５５Ｄを介して気圧制御装置１２７Ａ～１２７Ｄの動作を制御してもよいし、コントローラ１５５Ａ～１５５Ｄを介さず直接気圧制御装置１２７Ａ～１２７Ｄを制御してもよい。これらにより、主制御盤１５１により、室圧Ｄ１～Ｄ４を一括で制御できる。また、主制御盤１５１が、直接、気圧制御装置１２７Ａ～１２７Ｄを制御することで、コントローラ１５５Ａ～１５５Ｄを削減できる。 (Variation 3)
The target values N1 to N4 may be set in the main control panel 151, and the main control panel 151 may perform feedback control based on each of the room pressures D1 to D4 and each of the target values N1 to N4. In this case, the main control panel 151 may control the operation of the air pressure control devices 127A to 127D via the controllers 155A to 155D, or may control the air pressure control devices 127A to 127D directly without the controllers 155A to 155D. In this way, the room pressures D1 to D4 can be collectively controlled by the main control panel 151. Also, by having the main control panel 151 directly control the air pressure control devices 127A to 127D, the controllers 155A to 155D can be reduced.

（変形例４）
上記のように、気圧センサ１３１及び基準圧センサ１３５により検出される気圧Ｐ１及び気圧Ｐ５をコントローラ１５５Ａに供給し、コントローラ１５５Ａにて室圧Ｄ１を特定し、特定した室圧Ｄ１に基づいて、気圧制御装置１２７Ａを制御してもよい（他の気圧センサ１３２～１３４、コントローラ１５５Ｂ～１５５Ｄについても同様）。 (Variation 4)
As described above, the atmospheric pressure P1 and atmospheric pressure P5 detected by the atmospheric pressure sensor 131 and the reference pressure sensor 135 may be supplied to the controller 155A, the room pressure D1 may be determined by the controller 155A, and the atmospheric pressure control device 127A may be controlled based on the determined room pressure D1 (the same applies to the other atmospheric pressure sensors 132 to 134 and controllers 155B to 155D).

（変形例５）
基準圧センサ１３５から、気圧センサ１３１～１３４それぞれに対して気圧の検出を指示する制御信号を供給し、気圧センサ１３１～１３４それぞれは、当該制御信号に基づいて、気圧Ｐ１～Ｐ４それぞれを検出し、検出した気圧Ｐ１～Ｐ４を基準圧センサ１３５に供給するようにしてもよい。この場合、基準圧センサ１３５が、室圧Ｄ１～Ｄ４それぞれを特定してコントローラ１５５Ａ～１５５Ｄそれぞれに供給する。 (Variation 5)
The reference pressure sensor 135 may supply each of the air pressure sensors 131-134 with a control signal instructing them to detect air pressure, and each of the air pressure sensors 131-134 may detect air pressures P1-P4 based on the control signal and supply the detected air pressures P1-P4 to the reference pressure sensor 135. In this case, the reference pressure sensor 135 identifies each of the room pressures D1-D4 and supplies them to the controllers 155A-155D, respectively.

（変形例６）
主制御盤１５１と気圧センサ１３１～１３４及び基準圧センサ１３５それぞれとの間の各無線通信、及び、主制御盤１５１とコントローラ１５５Ａ～１５５Ｄそれぞれとの間の各無線通信は、同じ情報（気圧Ｐ１～Ｐ５、室圧Ｄ１～Ｄ４等の各種情報）を複数種類の伝送媒体を利用して伝送する通信であるとよい。つまり、１回の無線通信において、複数種類の伝送媒体を利用するとよい。例えば、伝送媒体として、電波を用いる場合、気圧センサ１３１等は、第１の電波を搬送波として気圧Ｐ１を示す信号を送信するとともに、当該第１の電波とは異なる第２の電波を搬送波として前記気圧Ｐ１を示す信号を送信する。このように、複数種類の伝送媒体を利用することで、電波干渉又は定在波等による悪影響、又は、データ欠損等の不都合を防止できる。なお、無線通信状況が良好であれば、複数種類の伝送媒体を利用する必要がないので、上記各無線通信のうちの少なくとも１つについて、１種類のみの伝送媒体を利用してもよい。 (Variation 6)
Each wireless communication between the main control panel 151 and each of the air pressure sensors 131 to 134 and the reference pressure sensor 135, and each wireless communication between the main control panel 151 and each of the controllers 155A to 155D may be a communication that transmits the same information (various information such as air pressure P1 to P5, room pressure D1 to D4, etc.) using multiple types of transmission media. In other words, multiple types of transmission media may be used in one wireless communication. For example, when radio waves are used as the transmission medium, the air pressure sensor 131 etc. transmits a signal indicating the air pressure P1 using a first radio wave as a carrier wave, and transmits a signal indicating the air pressure P1 using a second radio wave different from the first radio wave as a carrier wave. In this way, by using multiple types of transmission media, adverse effects due to radio wave interference or standing waves, or inconveniences such as data loss can be prevented. Note that if the wireless communication situation is good, there is no need to use multiple types of transmission media, so only one type of transmission medium may be used for at least one of the above wireless communications.

（変形例７）
気圧センサ１３１～１３４、基準圧センサ１３５のうちの一部のセンサを絶対圧センサとする一方、残りのセンサをシールドゲージ圧センサとしてもよい。この場合、主制御盤１５１等は、絶対圧センサが検出した気圧について、当該シールドゲージ圧センサに封入された背圧を減じ、室圧を計算するとよい。又は、主制御盤１５１等は、シールドゲージ圧センサが検出した気圧について、当該シールドゲージ圧センサに封入された背圧を足し、室圧を計算するとよい。 (Variation 7)
Some of the air pressure sensors 131-134 and the reference pressure sensor 135 may be absolute pressure sensors, while the remaining sensors may be shield gauge pressure sensors. In this case, the main control panel 151 etc. may subtract the back pressure sealed in the shield gauge pressure sensor from the air pressure detected by the absolute pressure sensor to calculate the room pressure. Alternatively, the main control panel 151 etc. may add the back pressure sealed in the shield gauge pressure sensor to the air pressure detected by the shield gauge pressure sensor to calculate the room pressure.

（変形例８）
気圧センサ１３１～１３４及び又は基準圧センサ１３５に、気温、及び、湿度等の気圧以外の１種類以上の物理量を検出するセンサ機能を付加し、気圧Ｐ１～Ｐ４に加え、前記物理量を検出して、主制御盤１５１に供給してもよい。主制御盤１５１は、供給された物理量に基づき部屋Ｒ１～Ｒ４それぞれに設けられた空調設備を制御してもよいし、これら物理量を表示部１５１Ｄに表示してもよい。 (Variation 8)
The atmospheric pressure sensors 131 to 134 and/or the reference pressure sensor 135 may be provided with a sensor function for detecting one or more types of physical quantities other than atmospheric pressure, such as temperature and humidity, to detect these physical quantities in addition to the atmospheric pressures P1 to P4 and supply them to the main control panel 151. The main control panel 151 may control the air conditioning equipment provided in each of the rooms R1 to R4 based on the supplied physical quantities, or may display these physical quantities on the display unit 151D.

（変形例９）
気圧を制御する対象の部屋の数は、任意であり、１つであってもよいし、複数であってもよい。なお、上記「効果等」で説明した不都合は、制御対象の部屋の数が多くなればなるほど顕著となるが、上記気圧制御システム１００は、制御対象の部屋の数が多くなっても、上記不都合を解消できる。 (Variation 9)
The number of rooms to be controlled for air pressure is arbitrary and may be one or more. Note that the inconveniences described in the "Effects, etc." section above become more pronounced as the number of rooms to be controlled increases, but the air pressure control system 100 can eliminate the above inconveniences even when the number of rooms to be controlled increases.

１００気圧制御システム
１１０給気機構
１１１給気ファン
１１３第１給気路
１１５Ａ～１１５Ｄ第２給気路
１１７Ａ～１１７Ｄ定風量装置
１２０排気機構
１２１排気ファン
１２３第１排気路
１２５Ａ～１２５Ｄ第２排気路
１２７Ａ～１２７Ｄ気圧制御装置
１３１～１３４気圧センサ
１３５基準圧センサ
１５１主制御盤
１５５Ａ～１５５Ｄコントローラ
Ｆ施設
Ｐ１～Ｐ５気圧
Ｒ１～Ｒ４部屋
Ｒ５基準域
Ｄ１～Ｄ４室圧
Ｓ１～Ｓ５制御信号 100 Air pressure control system 110 Air supply mechanism 111 Air supply fan 113 First air supply passage 115A to 115D Second air supply passage 117A to 117D Constant air volume device 120 Exhaust mechanism 121 Exhaust fan 123 First exhaust passage 125A to 125D Second exhaust passage 127A to 127D Air pressure control device 131 to 134 Air pressure sensor 135 Reference pressure sensor 151 Main control panel 155A to 155D Controller F Facility P1 to P5 Air pressure R1 to R4 Room R5 Reference area D1 to D4 Room pressure S1 to S5 Control signal

Claims

a first absolute pressure sensor disposed in the first chamber and configured to detect an absolute pressure in the first chamber;
a second absolute pressure sensor disposed in the second chamber and configured to detect the absolute pressure of the second chamber;
a reference absolute pressure sensor disposed in a reference area outside the first chamber and the second chamber and configured to detect an absolute pressure in the reference area;
a communication unit that transmits, via wireless communication, one control signal instructing the first absolute pressure sensor, the second absolute pressure sensor, and the reference absolute pressure sensor to detect air pressure, and receives, via wireless communication, information on absolute pressure from the first absolute pressure sensor, the second absolute pressure sensor, and the reference absolute pressure sensor;
a first air pressure control device that controls the differential pressure of the first room by feedback control based on a preset first target value, based on information on the absolute pressure of the first room and information on the absolute pressure of the reference zone received by the communication unit;
and a second air pressure control device that controls the differential pressure in the second room by feedback control based on a predetermined second target value, based on the information on the absolute pressure of the second room and the information on the absolute pressure of the reference range received by the communication unit.

a first absolute pressure sensor disposed in the first room and configured to detect an absolute pressure in the first room;
a reference absolute pressure sensor disposed in a reference area outside the first chamber and configured to detect an absolute pressure in the reference area;
a communication unit that transmits, via wireless communication, one control signal to instruct the first absolute pressure sensor and the reference absolute pressure sensor to detect air pressure, and receives, via wireless communication, information on absolute pressure from the first absolute pressure sensor and the reference absolute pressure sensor;
a first air pressure control device that controls the differential pressure in the first room by feedback control based on a predetermined first target value, based on the information on the absolute pressure of the first room and the information on the absolute pressure of the reference range received by the communication unit.