JP7517269B2 - 真空ポンプおよび固定構造 - Google Patents

Description

本発明は、真空ポンプおよび固定構造に関する。

半導体製造装置等の分野において、高真空雰囲気にするために真空ポンプの一種であるターボ分子ポンプが用いられている。ターボ分子ポンプでは、ロータがケーシング内で高速回転するため、ロータが破壊した際のエネルギーが、ターボ分子ポンプを接続する装置側に伝わりにくいようにすることを目的として、フランジ部の変形によって吸収する構造が開示されている（例えば、特許文献１参照）。

特許文献１に示すターボ分子ポンプには、排気対象装置にボルトで締結するためのボルト孔が吸気口フランジの薄肉部に設けられている。フランジ部には、ボルト孔に繋がりボルト孔よりも幅の狭いスリット状の長孔が形成されている。ロータ破壊によって吸気口フランジが回転した場合、ボルトがスリット孔を移動しながら吸気口フランジの薄肉部を変形させることで、ロータ破壊時のエネルギーを消費させて、排気対象装置側に伝わる急停止トルクを低減させる。

また、ロータ破壊時における排気対象装置側に伝わる急停止トルクを低減させる別の構造として、特殊座金をターボ分子ポンプの吸気口フランジのボルト孔に取り付けた構造が開示されている（例えば、特許文献２参照。）。

特許文献２に示すターボ分子ポンプでは、特殊座金をターボ分子ポンプの吸気口フランジの固定ボルト孔に取り付けることによって吸気口フランジのボルト孔とボルトとの間に隙間が生じる。ロータ破壊によって吸気口フランジが回転した場合、ボルトの軸部が隙間分だけ変形することが可能となり、ロータ破壊時のエネルギーがボルトの歪みエネルギーで消費され、排気対象装置側に伝わる急停止トルクを低減させている。

特開２００９－１８０１４７号公報 特開２０１１―１４９４３７号公報

しかしながら、上記特許文献１に示す構造では、ボルトがスリット孔の入口付近で停止し、十分にスリット孔を移動しない場合があった。この場合、ロータが破壊した際に、吸気口フランジの薄肉部を変形させることによるエネルギー消費が少なくなり、排気対象装置側に伝わる急停止トルクを十分に低減させることができなかった。

また、特許文献１に示す構造に対して、特許文献２に示す特殊座金を用いることも考えられるが、この場合も、ボルトおよび特殊座金がスリット孔の入口付近で停止し、十分にスリット孔を移動しない場合があった。すなわち、ロータ破壊時から排気対象装置にロータ破壊時のエネルギーが伝わる時間が短くなり、排気対象装置に伝わる急停止トルクを低減することができなかった。

本発明は、ロータが破壊した場合に排気対象装置側に伝わる急停止トルクを十分に低減することが可能な真空ポンプおよび固定構造を提供することを目的とする。

本発明の一態様に係る真空ポンプは、ハウジングと、ロータと、固定フランジと、ボルトと、ブッシュと、を備える。ロータは、ハウジング内に配置されている。固定フランジは、フランジ本体と、薄肉部と、ボルト孔と、スリット孔と、を含む。フランジ本体は、ハウジングから突出している。薄肉部は、フランジ本体に形成されている。ボルト孔は、薄肉部に形成されている。スリット孔は、ボルト孔からロータの回転方向である第１方向とは反対の第２方向に延び、薄肉部に形成されている。ボルトは、ボルト孔に通される。ブッシュは、ボルトが通され、ボルト孔に配置される。スリット孔は、第１端部と、第２端部を有する。第１端部は、ボルト孔と繋がる。第２端部は、第１端部より第２方向側に配置されている。スリット孔は、第１端部から第２端部に向かって幅が狭くなる。ブッシュは、第１方向側に配置された第１ブッシュ部と、第２方向側に配置された第２ブッシュ部と、を有する。第２ブッシュ部の少なくとも１部分の肉厚が、第１ブッシュ部の最も薄い肉厚よりも薄く形成されている。

本発明の他の一態様に係る固定構造は、固定フランジと、ボルトと、ブッシュと、を備える。固定フランジは、フランジ本体と、薄肉部と、ボルト孔と、スリット孔と、を含む。薄肉部は、フランジ本体に形成されている。ボルト孔は、薄肉部に形成されている。スリット孔は、ボルト孔からロータの回転方向である第１方向とは反対の第２方向に延び、薄肉部に形成されている。スリット孔は、ボルト孔からロータの回転方向である第１方向とは反対の第２方向に延び、薄肉部に形成されている。ボルトは、ボルト孔に通される。ブッシュは、ボルトが通され、ボルト孔に配置される。スリット孔は、第１端部と、第２端部を有する。第１端部は、ボルト孔と繋がる。第２端部は、第１端部より第２方向側に配置されている。スリット孔は、第１端部から第２端部に向かって幅が狭くなる。ブッシュは、第１方向側に配置された第１ブッシュ部と、第２方向側に配置された第２ブッシュ部と、を有する。第２ブッシュ部の少なくとも１部分の肉厚が、第１ブッシュ部の最も薄い肉厚よりも薄く形成されている。

本発明の他の一態様に係る真空ポンプは、ハウジングと、ロータと、固定フランジと、ボルトと、を備える。ロータは、ハウジング内に配置されている。固定フランジは、フランジ本体と、薄肉部と、ボルト孔と、スリット孔と、を含む。フランジ本体は、ハウジングから突出している。薄肉部は、フランジ本体に形成されている。ボルト孔は、薄肉部に形成されている。スリット孔は、ボルト孔からロータの回転方向である第１方向とは反対の第２方向に延び、薄肉部に形成されている。ボルトは、ボルト孔に通される。スリット孔は、ボルト孔と繋がる第１端部と、第１端部より第２方向側に配置された第２端部と、を有する。スリット孔は、第１端部から第２端部に向かって幅が狭くなる。第１端部におけるスリット孔の幅は、ボルト孔の直径と一致する。

上述した本発明の態様によれば、ロータが破壊した場合に排気対象装置側に伝わる急停止トルクを十分に低減することが可能な真空ポンプおよび固定構造を提供することができる。

実施形態１に係る真空ポンプの断面図である。 実施形態１に係る真空ポンプの排気対象装置への固定状態を示す図である。 実施形態１に係る真空ポンプのケーシングの上面図である。 実施形態１に係る真空ポンプの固定部の拡大図である。 図４のＶ１－Ｖ１間の断面図である。 図４から座金およびボルトをとり除いた状態を示す図である。 実施形態１に係る真空ポンプの座金の斜視図である。 （ａ）実施形態１に係る真空ポンプの座金の平面図である。（ｂ）図８（ａ）のＶ２－Ｖ２間の断面図である。 ロータの破壊時のボルトと座金の移動を示す上面図である。 実施形態２に係る真空ポンプの固定部の拡大図である。 図１０のＶ６－Ｖ６間の断面図である。 図１０からボルトを取り除いた状態を示す図である。 （ａ）実施形態１の変形例に係る座金の平面図である。（ｂ）図１３（ａ）のＶ３－Ｖ３間の断面図である。 （ａ）実施形態１の変形例に係る座金の平面図である。（ｂ）図１４（ａ）のＶ４－Ｖ４間の断面図である。 実施形態１の変形例に係る座金の平面図である。 （ａ）実施形態１の変形例に係る座金の平面図である。（ｂ）図１６（ａ）のＶ５－Ｖ５間の断面図である。 実施形態１の変形例に係るスリット孔の形状を示す平面図である。 実施形態２の変形例に係る固定部を示す平面図である。 実施形態１、２の変形例に係るスリット孔の形状を示す平面図である。 実施形態２の変形例に係る固定部を示す平面図である。 （ａ）実施形態２の変形例に用いられる座金を示す平面図である、（ｂ）図２１（ａ）のＶ７－Ｖ７間の断面図である。

以下、図面を参照して一実施形態に係る真空ポンプについて説明する。

（実施形態１）
図１は、実施形態１に係る真空ポンプ１の断面図である。図２は、真空ポンプ１の取り付け状態を示す図である。図２に示すように、真空ポンプ１は、排気対象装置１００にボルト２０で締結されて固定される。排気対象装置１００は、例えば半導体製造装置である。ただし、排気対象装置１００は、半導体製造装置以外の装置であってもよい。

真空ポンプ１は、図１に示すように、筐体２（ハウジングの一例）と、ロータ３と、モータ４と、複数のステータ翼ユニット５と、ステータ円筒部６と、座金７と、を有する。筐体２は、ロータ３と、モータ４と、複数のステータ翼ユニット５と、ステータ円筒部６とを収容する。

（筐体２）
筐体２は、ケーシング８と、ベース９と、固定フランジ１０と、を有する。筐体２は、アルミニウム合金または鉄等の金属によって形成されている。ケーシング８は、一端に固定フランジ１０を有する筒状の部材である。

ケーシング８は、複数のステータ翼ユニット５と、ロータ３に設けられた複数段のロータ翼ユニット２２と、を収容する。ケーシング８は、第１端部１１と、第２端部１２と、側面部１３と、を有する。

第１端部１１は、排気対象装置１００に取り付けられる。第１端部１１には、吸気口１４が設けられている。第２端部１２は、ロータ３の軸線方向Ａ１において、固定フランジ１０と反対側に位置している。第２端部１２は、ベース９に接続される。側面部１３は、第１端部１１と第２端部１２を繋ぐ。ケーシング８の内側には、第１内部空間Ｓ１が形成される。

ベース９は、ケーシング８の第２端部１２側の開口を塞ぐように配置されている。ベース９に、ステータ円筒部６と、ロータ３に設けられているロータ円筒部２３と、を収納する。ベース９は、ベース端部１５と、排気口１６と、を有する。ベース端部１５は、ケーシング８の第２端部１２に接続される。ベース９の内側には、第２内部空間Ｓ２が形成される。第２内部空間Ｓ２は、第１内部空間Ｓ１と連通している。排気口１６は、第２内部空間Ｓ２と連通している。

固定フランジ１０は、ケーシング８に接続されている。固定フランジ１０は、ケーシング８から突出している。図２に示すように、固定フランジ１０は、ボルト２０によって排気対象装置１００に固定される。なお、「接続」とは、互いに別体の部材が接合されることを含むものとする。また、「接続」とは、一体の部材において別々の部分が連なっていることを含むものとする。

（ロータ３）
ロータ３は、シャフト２１と、複数段のロータ翼ユニット２２と、ロータ円筒部２３と、を有する。

シャフト２１は、ロータ３の軸線方向Ａ１に延びている。以下の説明では、軸線方向Ａ１において、ケーシング８からベース９に向かう方向が下方と定義され、その反対方向が上方と定義される。

真空ポンプ１は、複数の軸受２４Ａ－２４Ｄと、を含む。複数の軸受２４Ａ－２４Ｄは、ロータ３を回転可能に支持する。複数の軸受２４Ａ－２４Ｄは、ベース９に取り付けられている。複数の軸受２４Ａ－２４Ｄは、例えば磁気軸受を含む。ただし、複数の軸受２４Ａ－２４Ｄは、ボールベアリングなどの他の種類の軸受を含んでもよい。

複数段のロータ翼ユニット２２は、それぞれシャフト２１に接続されている。複数段のロータ翼ユニット２２は、軸線方向Ａ１に互いに間隔をおいて配置されている。各々のロータ翼ユニット２２は、複数のロータ翼２５を含む、図示を省略するが、複数のロータ翼２５の各々は、シャフト２１を中心にして放射状に延びている。なお、図面においては、複数段のロータ翼ユニット２２の１つ、および複数のロータ翼２５の１つのみに符号が付されており、他のロータ翼ユニット２２および他のロータ翼２５の符号は省略されている。

ロータ円筒部２３は、シャフト２１に接続されている。ロータ円筒部２３は、ロータ翼ユニット２２の下方に配置されている。ロータ円筒部２３は、円筒状であり、軸線方向Ａ１に延びている。ロータ円筒部２３は、シャフト２１の外周側においてシャフト２１を囲むように配置されている。

（モータ４）
モータ４は、ロータ３を回転駆動する。モータ４としては、例えばＤＣブラシレスモータが用いられる。モータ４は、モータロータ２６と、モータステータ２７と、を有する。モータロータ２６は、シャフト２１に取り付けられている。モータステータ２７は、ベース９に取り付けられている。モータステータ２７は、モータロータ２６と向かい合って配置されている。

（複数段のステータ翼ユニット５）
複数段のステータ翼ユニット５は、ケーシング８の内面に接続されている。複数段のステータ翼ユニット５は、軸線方向Ａ１において、互いに間隔を空けて配置されている。複数段のステータ翼ユニット５の各々は、複数段のロータ翼ユニット２２の間に配置されている。各々のステータ翼ユニット５は、複数のステータ翼２８を含む。図示を省略するが、複数のステータ翼２８は、それぞれシャフト２１を中心として放射状に延びている。

複数段のロータ翼ユニット２２と複数段のステータ翼ユニット５とは、ターボ分子ポンプを構成する。なお、図面においては、複数のステータ翼ユニット５の１つ、および複数のステータ翼２８の１つのみに符号が付されており、他のステータ翼ユニット５および他のステータ翼２８の符号は省略されている。

（ステータ円筒部６）
ステータ円筒部６は、ロータ円筒部２３の径方向外側に配置されている。ステータ円筒部６は、ベース９に接続されている。ステータ円筒部６は、ロータ円筒部２３の径方向において、ロータ円筒部２３と向かい合って配置されている。ステータ円筒部６の内周面には、らせん状溝が設けられている。ロータ円筒部２３とステータ円筒部６は、ネジ溝ポンプを構成する。なお、図１には、径方向Ｂのうち外側方向がＢ１で示され、径方向Ｂのうち内側方向がＢ２で示されている。

真空ポンプ１では、モータ４によってロータ３が回転することで、吸気口１４から排気対象装置１００内のガス分子が流入する。ガス分子は、筐体２の第１内部空間Ｓ１とベース９の第２内部空間Ｓ２とを通って、排気口１６から排気される。それにより吸気口１４に取り付けられた排気対象装置１００の内部が、高真空状態となる。

（固定フランジ１０、座金７、ボルト２０）
次に、固定フランジ１０、座金７およびボルト２０の構成について説明するとともに、固定フランジ１０を排気対象装置１００に固定するための固定構造についても同時に述べる。

固定フランジ１０、座金７およびボルト２０は、ステンレスや鉄などによって形成することができる。図３は、ケーシング８の上面図である。図３に示すように、固定フランジ１０は、フランジ本体３１と、複数の固定部３２と、を有する。なお、図３において、ロータ３の回転方向Ｃ１（第１方向の一例）が図示され、回転方向Ｃ１とは反対方向の反回転方向Ｃ２（第２方向の一例）が図示されている。

図面においては、複数の固定部３２の１つのみに符号が付されており、他の固定部３２の符号は省略されている。

フランジ本体３１は、ケーシング８に接続されている。フランジ本体３１は、ケーシング８から径方向外方へ突出している。フランジ本体３１は、円形の外形を有している。複数の固定部３２は、固定フランジ１０の周方向に互いに間隔をおいて配置されている。複数の固定部３２は、それぞれボルト２０によって排気対象装置１００に固定される。

図４は、固定部３２の拡大図である。図５は、図４におけるＶ１－Ｖ１断面図である。図６は、図４からボルト２０と座金７を取り除いた状態を示す図である。

図５に示すように、固定部３２は、フランジ本体３１に形成されている薄肉部３３と、ボルト孔３４と、スリット孔３５と、を含む。フランジ本体３１は、排気対象装置１００に取り付けられた際に、排気対象装置１００側に配置される表面３１ａと、軸線方向Ａ１において表面３１ａとは反対側の表面３１ｂと、を有する。薄肉部３３は、フランジ本体３１よりも小さい厚さを有する。ここで厚さは、薄肉部３３とフランジ本体３１との軸線方向Ａ１における寸法である。薄肉部３３は、フランジ本体３１よりも薄い板状の形状を有している。薄肉部３３は、ロータ３の回転方向Ｃ１に延びている。

薄肉部３３は、図５に示すように、表面３１ａから凹んだ凹部３６によって形成される。薄肉部３３は、フランジ本体３１のうち凹部３６の底面３６ａから軸線方向Ａ１における厚み部分である。凹部３６もロータ３の回転方向Ｃ１に延びている。

図５及び図６に示すように、ボルト孔３４とスリット孔３５とは、薄肉部３３に設けられている。ボルト孔３４とスリット孔３５とは、軸線方向Ａ１に薄肉部３３を貫通している。スリット孔３５は、ボルト孔３４からロータ３の回転方向Ｃ１と反対の方向である反回転方向Ｃ２に延びている。スリット孔３５は、図６に示すように、ボルト孔３４と繋がる第１端部３５ａと、反回転方向Ｃ２側の第２端部３５ｂと、を有する。スリット孔３５の幅Ｗは、第１端部３５ａから第２端部３５ｂに向かって狭くなっている。スリット孔３５は、反回転方向Ｃ２に向かうに従って間隔が狭くなる２本の直線状の縁部３５ｅを有している。第１端部３５ａは、スリット孔３５のボルト孔３４と連通する部分であり、２本の縁部３５ｅの回転方向Ｃ１側の端を含む部分である。

ボルト孔３４の縁は、半周を超えて形成されており、その反回転方向Ｃ２側の端から２本の縁部３５ｅが反回転方向Ｃ２に向かって延びている。第２端部３５ｂの縁は、２本の縁部３５ｅの反回転方向Ｃ２側の端と、２つの端を繋ぐ湾曲部を含む。湾曲部は、反回転方向Ｃ２側に凸な半円周の円弧に形成されている。

なお、スリット孔３５の幅は、スリット孔３５が延びる方向に対して垂直な方向におけるスリット孔３５の寸法である。言い換えれば、スリット孔３５の幅は、固定フランジ１０の径方向におけるスリット孔３５の寸法である。

ここで、スリット孔３５の第１端部３５ａにおける幅をＷ１とし、第２端部３５ｂにおける最大の幅をＷ２とすると、スリット孔３５の幅は、第１端部３５ａから第２端部３５ｂに向かって徐々に小さくなっているため、Ｗ２はＷ１よりも小さくなっている。また、本実施形態では、ボルト孔３４の直径をＤ１とすると、Ｗ１はＤ１よりも小さく形成されている。第２端部３５ｂにおけるスリット孔３５の幅Ｗ２は、第２端部３５ｂの湾曲部を形成する円弧の直径である。

図５に示すように、ボルト２０は、軸部４１と、ヘッド部４２と、を有する。軸部４１は、ボルト孔３４に通される。軸部４１には、ネジ溝が設けられている。軸部４１は、フランジ本体３１から上方へ突出している。軸部４１は、排気対象装置１００に固定される。ヘッド部４２は、軸部４１に接続されている。ヘッド部４２は、軸部４１よりも大きな外形を有する。ヘッド部４２は、フランジ本体３１の下方に配置される。図４に示すように、ボルト２０の軸部４１の径をＤ２とすると、本実施形態では例えばＷ２はＤ２以上の大きさに形成されている。

座金７は、図５に示すように、ボルト孔３４に挿入されている。例えば、座金７は、圧入によってボルト孔３４に固定されてもよい。図７は、座金７の斜視図である。座金７は、貫通孔４３を含む。貫通孔４３は、軸線方向Ａ１に沿って座金７を貫通するように形成されている。貫通孔４３には、ボルト２０の軸部４１が通される。

図７に示すように、座金７にはスリット４４が形成されている。スリット４４は、貫通孔４３に連通している。

座金７は、ブッシュ４５と、座金フランジ４６と、を有する。ブッシュ４５は、筒状である。ブッシュ４５は、ボルト孔３４に通される。ブッシュ４５には、ボルト２０の軸部４１が通される。座金フランジ４６は、ブッシュ４５の表面３１ａとは反対側の端からブッシュ４５の径方向外側に向かって突出する。座金フランジ４６は、ブッシュ４５よりも大径である。図５に示すように、座金フランジ４６は、薄肉部３３の下方に配置される。座金フランジ４６は、ヘッド部４２の上方に配置される。

スリット４４は、ブッシュ４５と座金フランジ４６を通って延びている。スリット４４は、座金７のスリット孔３５とは反対側の部分において、回転方向Ｃ１に向かって延びている。スリット４４は、ブッシュ４５に形成された第１スリット部４７と、座金フランジ４６に形成された第２スリット部４８と、を有する。第１スリット部４７は、軸線方向Ａ１に沿ってブッシュ４５の下端から上端まで全体に亘って形成されている。第２スリット部４８は、第１スリット部４７の下端と繋がっている。第２スリット部４８は、回転方向Ｃ１に向かって貫通孔４３から外周端まで座金フランジ４６の全体に亘って形成されている。

図８（ａ）は、座金７の平面図である。図８（ｂ）は、図８（ａ）のＶ２－Ｖ２間の断面図である。ブッシュ４５の外側面４５ａおよび内側面４５ｂは、軸線方向Ａ１に沿って設けられている。

図に示すように、ブッシュ４５は、ロータ３の回転方向である回転方向Ｃ１側の第１ブッシュ部５１と、反回転方向Ｃ２側の第２ブッシュ部５２と、を有する。ブッシュ４５の内側面４５ｂは、軸線方向Ａ１に対して垂直な平面視において、同一円周上に配置されている。この平面視における内側面４５ｂの中心を４５ｏとする。中心４５ｏを通り径方向Ｂに沿った直線をＬ０とすると、直線Ｌ０を基準としてブッシュ４５の回転方向Ｃ１側の部分が第１ブッシュ部５１であり、反回転方向Ｃ２側の部分が第２ブッシュ部５２である。

また、第２ブッシュ部５２は、ブッシュ４５のスリット孔３５側の部分ともいえ、第１ブッシュ部５１は、ブッシュ４５のスリット孔３５とは反対側の部分ともいえる。

軸線方向Ａ１に対して垂直な平面視において、ブッシュ４５の外側面４５ａのうち第１ブッシュ部５１の外側面５１ａは、中心４５ｏを中心とする同一円周上に配置されている。ブッシュ４５の外側面４５ａのうち第２ブッシュ部５２の外側面５２ａは、最も第２端部３５ｂ側の位置する部分５２ｐ（図８（ａ）参照）から周方向に沿って肉厚が徐々に厚くなるように湾曲している。第２ブッシュ部５２は、部分５２ｐから径外側方向Ｂ１に向かう方向においてブッシュ４５の周方向に沿って徐々に肉厚が厚くなっている。また、第２ブッシュ部５２では、部分５２ｐから径内側方向Ｂ２に向かう方向においてブッシュ４５の周方向に沿って徐々に肉厚が厚くなっている。第２ブッシュ部５２は、径外側方向Ｂ１側の端と径内側方向Ｂ２側の端で第１ブッシュ部５１に繋がっている。

第１ブッシュ部５１は、外側面５１ａと内側面５１ｂの双方とも、中心４５ｏを中心とする円周上に位置しているため、第１ブッシュ部５１の肉厚は一定となっている。

図８（ａ）の第２ブッシュ部５２の外側には、第１ブッシュ部５１の外側面５１ａと同一円周上の位置が二点鎖線Ｆ１で示されている。本実施形態の第２ブッシュ部５２は、全体的に第１ブッシュ部５１よりも肉厚が薄くなっており、部分５２ｐにおいて、最も厚みが薄くなっている。なお、本明細書では、第１ブッシュ部５１の肉厚は、ゼロを含まないものとする。すなわち、第１ブッシュ部５１の肉厚は、スリット４４の部分を含まない。

本実施形態の座金７のブッシュ４５は、平面視において内側面および外側面のそれぞれが同心円上に配置された筒状部の側壁の一部を外側から切除した形状ともいえる。

ここで、図８（ａ）に示すように、ボルト孔３４に圧力される前の状態におけるブッシュ４５の径方向Ｂに沿った外径（最大径）をＤ３とすると、Ｄ３は、Ｄ１よりも大きくなるように形成されている。また、ボルト孔３４に圧力される前の状態におけるブッシュ４５の内径をＤ４とすると、Ｄ４はＤ２よりも大きくなるように形成されている。

本実施形態におけるボルト孔３４とスリット孔３５とボルト２０とブッシュ４５の寸法関係について、まとめると、Ｗ１＞Ｗ２、Ｄ１＞Ｗ１、Ｄ３＞Ｄ１、Ｄ４＞Ｄ２、およびＷ２≧Ｄ２が成立している。また、ロータ３の破壊時に座金７のブッシュ４５が変形しながらスリット孔３５内を移動するために、Ｄ３＞Ｗ２に設定されている。

以上、複数の固定部３２のうちの１つについて説明した。他の固定部３２も同様の構造を有しており、詳細な説明を省略する。

以上説明した本実施形態に係る真空ポンプ１では、高速回転中のロータ３が破壊すると、遠心力によってロータ３が周囲に飛散する。その飛散したロータ３により、ケーシング８には、ロータ３の回転方向Ｃ１へのトルクが作用する。その場合、図９に示すように、ボルト２０と座金７は、スリット孔３５に食い込んでスリット孔３５に沿って移動する。その際、座金７のブッシュ４５のスリット孔３５側に位置する第２ブッシュ部５２の肉厚が薄いため、ブッシュ４５が変形しやすくなり、スリット孔３５に食い込み易い。このため、ボルト２０および座金７は、スリット孔３５の第１端部３５ａ付近で止まらず、少なくともスリット孔３５の中央付近まで移動することができる。座金７およびスリット孔３５が変形しながら、座金７およびボルト２０がスリット孔３５内を移動するが、スリット孔３５内を長い距離移動することができるため、ロータ３の破壊のエネルギーが効率よく吸収される。また、ボルト２０は座金７によって覆われているため、座金７によってボルト２０が保護される。このため、ボルト２０にスリット孔35が当たることで生じるせん断力によるネジ山部やネジ溝部における応力集中の発生を抑制につながり、ボルト20の折損を防ぐことができる。なお、座金７およびボルト２０は、スリット孔３５の中央から第２端部３５ｂの間で停止する方が好ましい。

（実施形態２）
次に、実施形態２の真空ポンプについて説明する。実施形態２の真空ポンプは、実施形態１の真空ポンプと比べて、スリット孔３５の形状が異なっている。また、実施形態２の真空ポンプには、実施形態１で説明した座金７が設けられていない。実施形態２では、実施形態１との相違点を中心に説明し、実施形態１と同じ構成については同じ符号を用いて説明を省略する。

図１０は、本実施形態２における真空ポンプの固定部１０３２を示す拡大図である。図１１は、図１０のＶ６－Ｖ６間の断面図である。図１２は、図１０からボルト２０を除いた状態を示す図である。

固定部１０３２は、薄肉部３３と、ボルト孔３４と、スリット孔１０３５と、を含む。スリット孔１０３５は、図１２に示すように、ボルト孔３４と繋がる第１端部１０３５ａと、反回転方向Ｃ２側の第２端部１０３５ｂと、を有する。スリット孔１０３５の幅Ｗは、第１端部１０３５ａから第２端部１０３５ｂに向かって狭くなっている。スリット孔１０３５は、反回転方向Ｃ２に向かうに従って間隔が狭くなる２本の直線状の縁部３５ｅを有している。第１端部１０３５ａは、スリット孔１０３５のボルト孔３４と連通する部分であり、２本の縁部３５ｅの回転方向Ｃ１側の端を含む部分である。

ボルト孔３４の縁は、回転方向Ｃ１側に凸に半周分形成されており、その反回転方向Ｃ２側の端から２本の縁部３５ｅが反回転方向Ｃ２に向かって延びている。第２端部１０３５ｂは、２本の縁部３５ｅの反回転方向Ｃ２側の端と、２つの端を繋ぐ湾曲部を含む。湾曲部は、反回転方向Ｃ２側に凸な半円周状に形成されている。

実施形態２では、ボルト孔３４の直径Ｄ１と第１端部１０３５ａにおけるスリット孔１０３５の幅Ｗ１が同じ（Ｄ１＝Ｗ１）である。すなわち、ボルト孔３４の直径部分が、スリット孔１０３５の第１端部１０３５ａとなっている。

また、図１０に示すように、ボルト孔の直径Ｄ１は、ボルト２０の外径Ｄ２よりも大きく形成されており、Ｄ１＞Ｄ２が満たされている。更に、第２端部１０３５ｂにおけるスリット孔１０３５の最大幅Ｗ２は、ボルト２０の直径Ｄ２よりも小さく形成されており、Ｗ２＜Ｄ２が満たされている。

本実施形態２の真空ポンプでは、高速回転中のロータ３が破壊すると、遠心力によってロータ３が周囲に飛散する。その飛散したロータ３により、ケーシング８には、ロータ３の回転方向Ｃ１へのトルクが作用する。その場合、ボルト２０は、スリット孔１０３５に食い込んでスリット孔１０３５に沿って移動する。その際、Ｄ１＝Ｗ１に設定されているため、ボルト２０がスリット孔１０３５に入り込みやすい。このため、ボルト２０は、スリット孔１０３５の第１端部３５ａ付近で止まらず、少なくともスリット孔１０３５の中央付近まで移動することができる。スリット孔３５を変形させながら、ボルト２０はスリット孔３５内を移動するが、スリット孔３５内を長い距離移動することができるため、ロータ３の破壊のエネルギーを効率よく吸収することができる。

（他の実施形態）
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。

（Ａ）
上記実施の形態１の座金７では、ブッシュ４５の第２ブッシュ部５２の外側面５２ａは、図８（ａ）の平面図に示すように湾曲して形成されているが、平面状の外側面部分を有してもよい。

図１３（ａ）は、変形例の座金１０７を示す平面図である。図１３（ｂ）は、図１３（ａ）のＶ３－Ｖ３間の矢視断面図である。

座金１０７は、上記実施の形態の座金７とは、第２ブッシュ部５２の外側面の形状が異なる。座金７と同じ構成については同一の符号を付して説明を省略する。

座金１０７のブッシュ１４５は、軸線方向Ａ１に沿って形成されている。ブッシュ１４５の内側面１４５ｂの中心が１４５ｏで示されている。また、ブッシュ１４５の外側面が１４５ａで示されている。ブッシュ１４５は、回転方向Ｃ１側に配置された第１ブッシュ部５１と、反回転方向Ｃ２側に配置された第２ブッシュ部１５２と、を有する。

中心１４５ｏを通り径方向Ｂに沿った直線Ｌ０を基準としてブッシュ１４５の回転方向Ｃ１側の部分が第１ブッシュ部５１であり、反回転方向Ｃ２側の部分が第２ブッシュ部１５２である。

座金１０７の第２ブッシュ部１５２は、平面状に形成された外側面部分を有する。軸線方向Ａ１に対して垂直な平面視において、外側面１５２ａが、直線状に形成された外側面部分を有しているともいえる。

第２ブッシュ部１５２の外側面１５２ａの最も反回転方向Ｃ２側に位置する部分を１５２ｐとする。外側面１５２ａは、平面状の外側面部分１５２ｃ、１５２ｄと、湾曲した外側面部分１５２ｅ、１５２ｆと、を有する。外側面部分１５２ｃは、部分１５２ｐから径外側方向Ｂ１側に向かうに従って回転方向Ｃ１側に位置するように、径外側方向Ｂ１に対して傾斜して設けられている。外側面部分１５２ｅは、外側面部分１５２ｃの径外側方向Ｂ１側の端と第１ブッシュ部５１の外側面５１ａとの間に配置されている。外側面部分１５２ｄは、部分１５２ｐから径内側方向Ｂ２側に向かうに従って回転方向Ｃ１側に位置するように、径内側方向Ｂ２に対して傾斜して設けられている。外側面部分１５２ｆは、外側面部分１５２ｄの径内側方向Ｂ２側の端と第１ブッシュ部５１の外側面５１ａとの間に配置されている。

このように、第２ブッシュ部１５２に平面状の外側面部分１５２ｃ、１５２ｄを設けることによって外側面部分１５２ｃ、１５２ｄの径方向Ｂにおける中央付近において第２ブッシュ部１５２の肉厚が最も小さくなる。これにより、第２ブッシュ部１５２に、第１ブッシュ部５１の最も薄い部分の肉厚よりも肉厚が薄い部分を形成することができる。

なお、図１３（ａ）および図１３（ｂ）では第２ブッシュ部１５２に平面状の外側面部分が２つ設けられているが、２つに限らなくてもよく、１つ若しくは３つ以上設けられていてもよい。第２ブッシュ部に平面状の外側面部分が１つ設けられている場合、その外側面部分は、径外側方向Ｂ１および軸線方向Ａ１の夫々と平行に設けられていてもよい。

（Ｂ）
上記実施の形態１の座金７では、平面視においてブッシュ４５の内側面４５ｂが同一円周上に配置され、ブッシュ４５の外側面４５ａの形状を同一円周上から変形することによって、第２ブッシュ部５２の少なくとも一部分の肉厚を第１ブッシュ部５１の最小の肉厚よりも薄くしている。しかしながら、これに限らず、ブッシュの内側面が同一円周上から変形されていてもよい。

図１４（ａ）は、変形例の座金２０７の平面図である。図１４（ｂ）は、図１４（ａ）のＶ４－Ｖ４間の矢視断面図である。

座金２０７は、上記実施の形態の座金７とブッシュ４５の外側面の形状が異なる。座金７と同じ構成については同一の符号を付して説明を省略する。

座金２０７のブッシュ２４５は、軸線方向Ａ１に沿って形成されている。座金２０７のブッシュ２４５は、平面視において外側面２４５ａが、同一円周上に位置する。この同一円の中心が２４５ｏで示されている。ブッシュ２４５に形成された貫通孔２４３は、軸線方向Ａ１に対して垂直な平面視において楕円状である。

ブッシュ２４５は、第１ブッシュ部２５１と、第２ブッシュ部２５２と、を有する。中心２４５ｏを通り径方向Ｂに沿った直線Ｌ０を基準としてブッシュ２４５の回転方向Ｃ１側の部分が第１ブッシュ部２５１であり、反回転方向Ｃ２側の部分が第２ブッシュ部２５２である。

ブッシュ２４５の内側面２４５ｂは、同一楕円周上に位置する。内側面２４５ｂが周上に位置する楕円は、外側面２４５ａの内側の中央から反回転方向Ｃ２側よりに位置している。詳しくは、内側面２４５ｂが周上に位置する楕円の長軸２４５ｘは、中心２４５ｏを通り回転方向Ｃ１に沿っている。楕円の短軸２４５ｙは、径方向Ｂに沿っている。楕円の長軸２４５ｘの中心位置２４５ｍは、中心２４５ｏよりも反回転方向Ｃ２側に位置している。また、楕円の短軸２４５ｙは、中心２４５ｏよりも反回転方向Ｃ２側に位置している。

このように、外側面２４５ａの内側の中央から、内側面２４５ｂが周上に位置する楕円形状を反回転方向Ｃ２よりに配置することによって、ブッシュ２４５の第２ブッシュ部２５２の少なくとも一部の肉厚を、第１ブッシュ部２５１の最も薄い部分の肉厚より薄く形成することができる。第１ブッシュ部２５１では、例えば最も回転方向Ｃ１側に位置する部分２５１ｐにおいて、肉厚が最も薄くなっている。第２ブッシュ部２５２では、最も反回転方向C２側に位置する部分２５２ｐの肉厚が最も薄くなっている。第２ブッシュ部２５２の部分２５２ｐにおける肉厚は、第１ブッシュ部２５１の部分２５１ｐにおける肉厚よりも薄く形成されている。

（Ｃ）
上記図１４（ａ）および図１４（ｂ）に示す座金２０７では、ブッシュ２４５の内側面２４５ｂが、楕円周上に配置されているが、長孔の周上に配置されていてもよい。図１５は、変形例の座金３０７の平面図である。

座金３０７のブッシュ３４５は、平面視において外側面３４５ａが、同一円周上に位置する。この同一円の中心が３４５ｏで示されている。ブッシュ３４５は、第１ブッシュ部３５１と、第２ブッシュ部３５２と、を有する。中心３４５ｏを通り径方向Ｂに沿った直線Ｌ０を基準としてブッシュ３４５の回転方向Ｃ１側の部分が第１ブッシュ部３５１であり、反回転方向Ｃ２側の部分が第２ブッシュ部３５２である。

ブッシュ３４５の内側面３４５ｂは、平面視において同一の長孔周上に位置する。内側面３４５ｂが周上に配置されている長孔形状は、外側面３４５ａの内側において中央から反回転方向Ｃ２側よりに位置している。

内側面３４５ｂは、外側面３４５ａの内側において、ドリル等を回転方向Ｃ１または反回転方向Ｃ２に移動させることによって形成することができる。

詳しくは、内側面３４５ｂが周上に位置する長孔形状は、平面視において直線上に位置する内側面部分３４５ｃ、３４５ｄと、平面視において半円周上に位置する内側面部分３４５ｅ、３４５ｆを有する。内側面部分３４５ｃ、３４５ｄは、回転方向Ｃ１に沿って配置されている。内側面部分３４５ｃは、内側面部分３４５ｄよりも径外側方向Ｂ１側に位置している。内側面部分３４５ｃと内側面部分３４５ｄは、径方向Ｂにおいて中心３４５ｏから等距離で互いに平行に配置されている。内側面部分３４５ｅは、回転方向Ｃ１側に凸に湾曲し、内側面部分３４５ｃと内側面部分３４５ｄの回転方向Ｃ１側の端の間に配置されている。なお、内側面部分３４５ｅは、スリット４４によって途切れている。内側面部分３４５ｆは、反回転方向Ｃ２側に凸に湾曲し、内側面部分３４５ｃと内側面部分３４５ｄの反回転方向Ｃ２側の端の間に配置されている。内側面部分３４５ｅと内側面部分３４５ｆの半径は同じである。内側面部分３４５ｃ、３４５ｄの回転方向Ｃ１に沿った中央位置３４５ｐ、３４５ｑは、中心３４５ｏよりも反回転方向Ｃ２側に位置している。

このように、内側面３４５ｂが周上に位置する長孔形状を外側面３４５ａの内側において中央よりも反回転方向Ｃ２よりに配置することによって、ブッシュ３４５の第２ブッシュ部３５２の少なくとも一部の肉厚を、第１ブッシュ部３５１の最も薄い部分より薄く形成することができる。

第１ブッシュ部３５１では、例えば最も回転方向Ｃ１側に位置する部分３５１ｐにおいて、肉厚が最も薄くなっている。第２ブッシュ部３５２では、最も反回転方向Ｃ２側に位置する部分３５２ｐの肉厚が最も薄くなっている。第２ブッシュ部３５２の部分３５２ｐにおける肉厚は、第１ブッシュ部３５１の部分３５１ｐにおける肉厚よりも薄く形成されている。

（Ｄ）
上記実施の形態１の座金７では、平面視においてブッシュ４５の内側面４５ｂが同一円周上に配置され、ブッシュ４５の外側面４５ａの形状を同一円周上から変形することによって、第２ブッシュ部５２の少なくとも一部の肉厚を第１ブッシュ部５１の最小の肉厚よりも薄くしている。しかしながら、これに限らず、ブッシュの外側面も同一円周上に配置され、内側面に溝部を形成することによって、第２ブッシュ部の少なくとも一部の肉厚を、第１ブッシュ部の最も薄い部分の肉厚より薄く形成してもよい。

図１６（ａ）は、変形例の座金４０７の平面図である。図１６（ｂ）は、図１６（ａ）のＶ５－Ｖ５間の矢視断面図である。

座金４０７のブッシュ４４５は、軸線方向Ａ１と垂直な平面視において外側面４４５ａが同一円周上に配置されている。外側面４４５ａの中心を４４５ｏとする。ブッシュ４４５の内側面４４５ｂも中心４４５ｏを中心とする同一円周上に配置されている。内側面４４５ｂには、溝部４４５ｃが形成されている。溝部４４５ｃは、内側面４４５ｂのうち最も反回転方向Ｃ２側に位置する部分に軸線方向Ａ１に沿って形成されている。

ブッシュ４４５は、第１ブッシュ部４５１と、第２ブッシュ部４５２と、を有する。中心４４５ｏを通り径方向Ｂに沿った直線Ｌ０を基準としてブッシュ４４５の回転方向Ｃ１側の部分が第１ブッシュ部４５１であり、反回転方向Ｃ２側の部分が第２ブッシュ部４５２である。

溝部４４５ｃは、ブッシュ４４５の第２ブッシュ部４５２に形成されているため、ブッシュ４４５の第２ブッシュ部４５２の少なくとも一部の肉厚を、第１ブッシュ部４５１の最も薄い部分より薄く形成することができる。ブッシュ４４５では、第１ブッシュ部４５１の肉厚は全て同じ厚さに形成されている。図１６（ａ）には、第２ブッシュ部４５２の最も薄い肉厚の部分が４５２ｐで示されている。第２ブッシュ部４５２の部分４５２ｐにおける肉厚は、第１ブッシュ部４５１における肉厚よりも薄い。

なお、溝部は、内側面４４５ｂに限らず外側面４４５ａに形成されてもよい。

（Ｆ）
上記実施の形態１では、スリット孔３５の第１端部３５ａの幅Ｗ１は、ボルト孔３４の径Ｄ１よりも小さく形成されているが、実施の形態２のスリット孔１０３５と同様に、ボルト孔３４の径Ｄ１と同じでもよい。図１７は、変形例のスリット孔５３５を示す平面図である。図１７に示すスリット孔５３５は、ボルト孔３４の直径部分を第１端部５３５ａとして、反回転方向Ｃ２側の第２端部５３５ｂに向かって幅が徐々に狭くなるように形成されている。このように、ボルト孔３４の直径部分を第１端部５３５ａとしているため、Ｄ１とＷ１が同じ長さとなっている。なお、図１７に示すスリット孔５３５では、実施の形態１のスリット孔３５と同様に、第２端部５３５ｂにおけるスリット孔５３５の最大幅Ｗ２は、ボルト２０の軸部４１の外径Ｄ２以上の大きさに形成されている。

（Ｇ）
上記実施の形態１では、スリット孔３５の第１端部３５ａにおける幅Ｗ１が、ボルト２０の外径Ｄ２よりも大きく形成されているが、ボルト２０の外径以下に形成されていてもよい。

（Ｈ）
上記実施の形態１のスリット孔３５では、第２端部３５ｂにおけるスリット孔３５の最大幅Ｗ２は、ボルト２０の軸部４１の外径Ｄ２以上の大きさに形成されているが、これに限らなくてもよい。

図１８は、スリット孔３５の変形例であるスリット孔６３５を示す図である。
図１８に示すスリット孔６３５のように、第２端部６３５ｂにおけるスリット孔６３５の幅Ｗ２が、ボルト２０の軸部４１の外径Ｄ２よりも小さく形成されていてもよい。なお、スリット孔６３５の第１端部３５ａは、スリット孔３５と同様に構成されてもよいし、図１７に示したスリット孔５３５の第１端部５３５ａのように、Ｄ１＝Ｗ１になるように構成されていてもよい。

（Ｉ）
上記実施形態の座金７には、スリット４４が形成されているが、スリット４４が形成されていなくてもよい。

（Ｊ）
座金７の構造は、上記の実施形態のものに限らず、変更されてもよい。例えば、ブッシュ４５と座金フランジ４６とは、一体に限らず、互いに別体であってもよい。座金フランジ４６が省略されても良い。

（Ｋ）
上記実施の形態１、２では、スリット孔３５、１０３５の第２端部３５ｂ、１０３５ｂは、半円周形状に湾曲して形成されているが、これに限らなくてもよい。図１９は、スリット孔３５の変形例であるスリット孔７３５を示す図である。図１９に示すように、スリット孔７３５の第２端部７３５ｂが、径方向Ｂに沿った直線上に形成されていてもよい。すなわち、第２端部７３５ｂが、一対の縁部３５ｅの反回転方向Ｃ２側の端を結ぶように直線上に形成されていてもよい。

（Ｌ）
上記実施の形態２では、第２端部３５ｂにおけるスリット孔３５の最大幅Ｗ２は、ボルト２０の軸部４１の外径よりも小さく形成されているが、これに限らなくてもよい。

図２０は、スリット孔１０３５の変形例であるスリット孔１１３５を示す図である。図２０に示すスリット孔１１３５のように、第２端部１１３５ｂにおけるスリット孔１１３５の幅Ｗ２が、ボルト１２０の軸部４１の外径Ｄ２以上の大きさに形成されていてもよい。

（Ｍ）
上記実施の形態２の真空ポンプでは、ボルト２０と固定フランジ１０の間（図４および図５に示す座金７の位置）に座金が設けられていないが、座金が設けられていてもよい。その場合、上述した座金７、１０７、２０７、３０７、４０７のいずれかを用いてもよいが、これらの座金の形状に限らなくてもよい。例えば、図２１（ａ）および図２１（ｂ）に示す座金５０７が用いられてもよい。

図２１（ａ）は、座金５０７の平面図である。図２１（ｂ）は、図２１（ａ）のＶ７－Ｖ７間の断面図である。座金５０７は、ブッシュ５４５と、座金フランジ５４６と、を有する。ブッシュ５４５は、筒状である。座金フランジ５４６は、ブッシュ５４５の一端からブッシュ５４５の径方向外側に向かって突出する。座金フランジ５４６は、ブッシュ５４５よりも大径である。座金フランジ５４６は、薄肉部３３の下方に配置される。座金フランジ５４６は、ヘッド部４２の上方に配置される（図５のブッシュ４５と座金フランジ４６参照）。

座金５０７のブッシュ５４５には、ボルト２０の軸部４１が挿入される貫通孔５４３が形成されている。軸線方向Ａ１に対して垂直な平面視において、ブッシュ５４５の外側面５４５ａは、中心５４５ｏを中心とする同一円周上に配置されている。ブッシュ５４５の内側面５４５ｂも中心５４５ｏを中心とする同一円周上に配置されている。座金５０７のブッシュ５４５は、全周において肉厚が一定に形成されている。また、座金５０７のブッシュ５４５は、座金７と異なり、中心５４５ｏを通り径方向Ｂに沿った直線Ｌ０を基準として線対称に形成されている。なお、座金５０７の圧入前の外径をＤ３とし、内径をＤ４とすると、Ｄ４＞Ｄ２かつＤ３＞Ｄ１が満たされている。

また、図２１（ａ）および図２１（ｂ）に示す座金５０７には、座金７と異なり、スリット４４が形成されていないが、形成されていてもよい。

（Ｎ）
上記実施形態１、２におけるスリット孔３５、１０３５の縁部３５ｅ、１０３５ｅは直線状に形成されているが、直線に限らなくてもよく、曲線で形成されていてもよい。
（Ｏ）
上記の実施形態に係る真空ポンプ１は、ターボ分子ポンプとネジ溝ポンプとが一体化されたポンプである。しかし、ネジ溝ポンプは省略されてもよい。すなわち、真空ポンプ１は、ターボ分子ポンプであってもよい。或いは、ターボ分子ポンプは省略されてもよい。すなわち、真空ポンプ１は、ネジ溝ポンプであってもよい。或いは、真空ポンプ１は、ターボ分子ポンプ及びネジ溝ポンプと異なる種類のポンプであってもよい。

（態様）
上述した複数の例示的な実施形態は、以下の態様の具体例であることが当業者により理解される。

（第１態様）真空ポンプは、ハウジングと、ロータと、固定フランジと、ボルトと、ブッシュと、を備える。ロータは、ハウジング内に配置されている。固定フランジは、フランジ本体と、薄肉部と、ボルト孔と、スリット孔と、を含む。フランジ本体は、ハウジングから突出している。薄肉部は、フランジ本体に形成されている。ボルト孔は、薄肉部に形成されている。スリット孔は、ボルト孔からロータの回転方向である第１方向とは反対の第２方向に延び、薄肉部に形成されている。ボルトは、ボルト孔に通される。ブッシュは、ボルトが通され、ボルト孔に配置される。スリット孔は、第１端部と、第２端部を有する。第１端部は、ボルト孔と繋がる。第２端部は、第１端部より第２方向側に配置されている。スリット孔は、第１端部から第２端部に向かって幅が狭くなる。ブッシュは、第１方向側に配置された第１ブッシュ部と、第２方向側に配置された第２ブッシュ部と、を有する。第２ブッシュ部の少なくとも１部分の肉厚が、第１ブッシュ部の最も薄い肉厚よりも薄く形成されている。

第１態様に係る真空ポンプでは、第２ブッシュ部の少なくとも１部分の肉厚が、第１ブッシュ部の最も薄い肉厚よりも薄く形成されている。これによって、ロータ破壊時のボルトの衝撃力により、ブッシュ部が変形し外径が縮小しやすくなる。すなわち、従来の特許文献１の構成に特許文献２に示す座金を単に用いた場合より、スリット孔側の第２ブッシュ部がより変形しやすくなる。これにより、ボルトとブッシュが、吸気口フランジのスリット孔に入り込みやすくなり、スリット孔の内側を十分に移動することが可能となる。

そのため、吸気口フランジの凹部の底面である薄肉部の変形量が多くなり、この部分においてロータ破壊時のエネルギー消費量が増加するとともに、ボルトまたはボルトと座金が、スリット孔内を移動することで、ロータ破壊時のエネルギーが排気対象装置側に伝わる時間を長くすることができ、排気対象装置側に伝わる急停止トルクを低減することができる。

（第２態様）第１態様にかかる真空ポンプにおいて、第１端部におけるスリット孔の幅は、ブッシュの外径以下である。

第２態様に係る真空ポンプでは、ブッシュの外径よりも第１端部におけるスリット孔の幅が小さく形成されているため、ロータ破壊時にブッシュおよびボルトがスリット孔に入り込む際に、スリット孔入口部を変形させる必要が生じるため、エネルギー消費量を大きくすることができる

（第３態様）第１態様にかかる真空ポンプにおいて、第１端部におけるスリット孔の幅は、ボルト孔の直径と一致する。

第３態様に係る真空ポンプでは、ボルト孔の直径と一致しているため、ロータ破壊時にブッシュおよびボルトがスムーズにスリット孔に入り込むことができる。そのため、ロータ破壊時にブッシュおよびボルトがスリット孔を長い距離移動でき、移動する際のエネルギー消費量を増加することができる。

（第４態様）第１～３のいずれかの態様にかかる真空ポンプにおいて、第２端部の縁は、円弧状に形成されている。第２端部の直径は、ボルトの外径以上であり、ブッシュの外径以下である。

第４態様に係る真空ポンプでは、第２端部におけるスリット孔の幅に対応する直径が、ボルトの外径以上に設定されているため、ロータ破壊時にブッシュおよびボルトがスリット孔をスムーズに第２端部に向かって移動することができる。そのため、ロータ破壊時にブッシュおよびボルトがスリット孔を長い距離移動でき、移動する際のエネルギー消費量を増加することができる。

（第５態様）第１態様にかかる真空ポンプにおいて、第１端部におけるスリット孔の幅は、ボルトの外径以下である。

第５態様に係る真空ポンプでは、ロータ破壊時にブッシュおよびボルトがスリット孔を移動する際のエネルギー消費量を増加させるとともに、ボルトまたはボルトと座金が、スリット孔内を移動することで、ロータ破壊時のエネルギーが排気対象装置側に伝わる時間を長くすることができる。

（第６態様）第１～５のいずれかの態様にかかる真空ポンプにおいて、ボルトは、軸部と、ヘッド部と、を有する。軸部は、ブッシュに通される。ヘッド部は、軸部に接続されている。真空ポンプは、座金フランジを更に備える。座金フランジは、ブッシュの端から外側に広がるように形成され、ヘッド部と固定フランジの間に配置される。ブッシュおよび座金フランジに亘ってスリットが形成されている。スリットは、第１スリット部分と、第２スリット部分と、を有する。第１スリット部分は、ブッシュの軸方向に沿って第１ブッシュ部に形成されている。第２スリット部分は、第１スリット部分と繋がり、繋がった部分から回転方向側に向かって座金フランジに形成されている。

第６態様に係る真空ポンプでは、ブッシュおよび座金フランジにスリットを形成することによって、ブッシュを変形しやすくできるため、スリット孔にブッシュおよびボルトを入り込みやすくできる。

（第７態様）第１～第６のいずれかの態様にかかる真空ポンプにおいて、第２ブッシュ部の肉厚は、スリット孔の第２端部側に位置する部分から周方向に沿って徐々に厚くなるように、第２ブッシュ部の外側面が湾曲して形成されている。

第７態様に係る真空ポンプでは、第２ブッシュ部の外側面を湾曲することによって、第２ブッシュ部に、第１ブッシュ部の最も薄い肉厚よりも薄い肉厚の部分を形成することができる。このため、ブッシュのスリット孔側に配置されている第２ブッシュ部をより変形しやすくでき、スリット孔にブッシュおよびボルトを入り込みやすくできる。

（第８態様）第１～第６のいずれかの態様にかかる真空ポンプにおいて、第２ブッシュの外側面は、第２端部側に位置する部分からブッシュの周方向の両方に向かって平面状に形成された外側面部分を有する。

第８態様に係る真空ポンプでは、第２ブッシュ部の外側面の少なくとも一部分を平面状に形成することにより、第２ブッシュ部の少なくとも１部分の肉厚を、第１ブッシュ部の最も薄い肉厚よりも薄くすることができる。このため、ブッシュのスリット孔側に配置されている第２ブッシュ部をより変形しやすくでき、スリット孔にブッシュおよびボルトを入り込みやすくできる。

（第９態様）第１～第６のいずれかの態様にかかる真空ポンプにおいて、ブッシュの軸方向に対して垂直な平面視においてブッシュの外側面は、同一円周上に配置されている。平面視において、ブッシュの内側面は、同一円周上に配置されている。第２ブッシュ部には、軸方向に沿って溝部が形成されている。

第９態様に係る真空ポンプでは、第２ブッシュ部の内側面に溝部を形成することにより、第２ブッシュ部の少なくとも１部分の肉厚を、第１ブッシュ部の最も薄い肉厚よりも薄くすることができる。このため、ブッシュのスリット孔側に配置されている第２ブッシュ部をより変形しやすくでき、スリット孔にブッシュおよびボルトを入り込みやすくできる。

（第１０態様）第１～第６のいずれかの態様にかかる真空ポンプにおいて、ブッシュの軸方向に対して垂直な平面視において、ブッシュの外側面は、同一円周上に配置されている。平面視において、ブッシュの内側面は、楕円または長孔の外周上に配置されている。内側面が周上に配置されている楕円または長孔は、ブッシュの外形の内側の中央からスリット孔よりに形成されている

第１０態様に係る真空ポンプでは、内側面をスリット孔よりに形成することにより、第２ブッシュ部の少なくとも１部分の肉厚を、第１ブッシュ部の最も薄い肉厚よりも薄くすることができる。このため、ブッシュ部のスリット孔側に配置されている第２ブッシュ部をより変形しやすくでき、スリット孔にブッシュおよびボルトを入り込みやすくできる。

（第１１態様）第１１態様にかかる固定構造は、固定フランジと、ボルトと、ブッシュと、を備える。固定フランジは、フランジ本体と、薄肉部と、ボルト孔と、スリット孔と、を含む。薄肉部は、フランジ本体の表面に形成されている。ボルト孔は、薄肉部に形成されている。スリット孔は、ボルト孔からロータの回転方向である第１方向とは反対の第２方向に延び、薄肉部に形成されている。ボルトは、ボルト孔に通される。ブッシュは、ボルトが通され、ボルト孔に配置される。スリット孔は、第１端部と、第２端部を有する。第１端部は、ボルト孔と繋がる。第２端部は、第１端部より第２方向側に配置されている。スリット孔は、第１端部から第２端部に向かって幅が狭くなる。ブッシュは、第１方向側に配置された第１ブッシュ部と、第２方向側に配置された第２ブッシュ部と、を有する。第２ブッシュ部の少なくとも１部分の肉厚が、第１ブッシュ部の最も薄い肉厚よりも薄く形成されている。

第１１態様に係る固定構造では、このように、第２ブッシュ部の少なくとも１部分の肉厚が、第１ブッシュ部の最も薄い肉厚よりも薄く形成することによって、ロータ破壊時のボルトの衝撃力により、ブッシュ部が変形し外径が縮小しやすくなる。また、スリット孔側の第２ブッシュ部がより変形しやすくなる。これにより、ボルトとブッシュ部が、吸気口フランジのスリット孔に入り込みやすくなり、スリット孔の内側を十分な距離分移動することが可能となる。

そのため、吸気口フランジの凹部の底面である薄肉部の変形量が多くなり、この部分においてロータは開示のエネルギー消費量が増加するとともに、ボルトまたはボルトと座金が、スリット孔内を移動することで、ロータ破壊時のエネルギーが排気対象装置側に伝わる時間を長くすることができ、排気対象装置側に伝わる急停止トルクを低減することができる。

（第１２態様）第１２態様にかかる真空ポンプは、ハウジングと、ロータと、固定フランジと、ボルトと、を備える。ロータは、ハウジング内に配置されている。固定フランジは、フランジ本体と、薄肉部と、ボルト孔と、スリット孔と、を含む。フランジ本体は、ハウジングから突出している。薄肉部は、フランジ本体に形成されている。ボルト孔は、薄肉部に形成されている。スリット孔は、ボルト孔からロータの回転方向である第１方向とは反対の第２方向に延び、薄肉部に形成されている。ボルトは、ボルト孔に通される。スリット孔は、第１端部と、第２端部を有する。第１端部は、ボルト孔と繋がる。第２端部は、第１端部より第２方向側に配置されている。スリット孔は、第１端部から第２端部に向かって幅が狭くなる。第１端部における前記スリット孔の幅は、ボルト孔の直径と一致する。

第１２態様にかかる真空ポンプでは、第１端部におけるスリット孔の幅が、ボルト孔の直径と一致するように形成されているため、ロータ破壊時にボルトがスムーズにスリット孔に入り込むことができる。そのため、ロータ破壊時にブッシュおよびボルトがスリット孔を長い距離移動でき、移動する際のエネルギー消費量を増加することができる。

（第１３態様）第１３態様にかかる真空ポンプでは、第２端部の縁は、円弧状に形成されている。第２端部の直径は、ボルトの外径以上である。

第１３態様にかかる真空ポンプでは、第２端部におけるスリット孔の幅に対応する直径が、ボルトの外径以上に設定されているため、ロータ破壊時にブッシュおよびボルトがスリット孔をスムーズに第２端部に向かって移動することができる。そのため、ロータ破壊時にブッシュおよびボルトがスリット孔を長い距離移動でき、移動する際のエネルギー消費量を増加することができる。

（第１４態様）第１４態様にかかる真空ポンプは、ボルトが通され、ボルト孔に配置されるブッシュを更に備える。

第１４態様にかかる真空ポンプでは、ボルトの周囲にブッシュが配置され、ロータ破壊時にはブッシュおよび薄肉部が変形しながらスリット孔に挿入されるため、ボルトの破損を低減することができる。すなわち、ロータ破壊時にボルトがスリット孔の薄肉部を変形しながら移動する場合、ボルトのネジ山部やネジ溝部に応力集中が起こる場合があるが、本態様のようにブッシュを配置することによって、ボルトにおける応力集中の発生を低減できる。

（第１５態様）第１５態様にかかる真空ポンプでは、ブッシュは、第１方向側に配置された第１ブッシュ部と、第２方向側に配置された第２ブッシュ部と、を有する。第２ブッシュ部の少なくとも１部分の肉厚が、第１ブッシュ部の最も薄い肉厚よりも薄く形成されている。

第１５態様にかかる真空ポンプでは、第２ブッシュ部の少なくとも１部分の肉厚が、第１ブッシュ部の最も薄い肉厚よりも薄く形成されている。これによって、ロータ破壊時のボルトの衝撃力により、ブッシュ部が変形し外径が縮小しやすくなる。これにより、ボルトとブッシュが、吸気口フランジのスリット孔に入り込みやすくなり、スリット孔の内側を十分に移動することが可能となる。

そのため、吸気口フランジの凹部の底面である薄肉部の変形量が多くなり、この部分においてロータ破壊時のエネルギー消費量が増加するとともに、ボルトまたはボルトと座金が、スリット孔内を移動することで、ロータ破壊時のエネルギーが排気対象装置側に伝わる時間を長くすることができ、排気対象装置側に伝わる急停止トルクを低減することができる。

１：真空ポンプ、２：筐体、３：ロータ、４：モータ、５：ステータ翼ユニット、６：ステータ円筒部、７：座金、８：ケーシング、９：ベース、１０：固定フランジ、１１：第１端部、１２：第２端部、１３：側面部、１４：吸気口、１５：ベース端部、１６：排気口、２０：ボルト、２１：シャフト、２２：ロータ翼ユニット、２３：ロータ円筒部、２４Ａ－２４Ｄ：軸受、２５：ロータ翼、２６：モータロータ、２７：モータステータ、２８：ステータ翼、３１：フランジ本体、３１ａ：表面、３１ｂ：表面、３２：固定部、３３：薄肉部、３４：ボルト孔、３５：スリット孔、３５ａ：第１端部、３５ｂ：第２端部、３５ｅ：縁部、３６：凹部、３６ａ：底面、４１：軸部、４２：ヘッド部、４３：貫通孔、４４：スリット、４５：ブッシュ、４５ａ：外側面、４５ｂ：内側面、４５ｏ：中心、４６：座金フランジ、５１：第１ブッシュ部、５１ａ：外側面、５２：第２ブッシュ部、５２ａ：外側面、５２ｐ：部分、１００：排気対象装置、１０７：座金、１５２：第２ブッシュ部、１５２ａ：外側面、１５２ｃ：側面部分、１５２ｄ：側面部分、１５２ｅ：側面部分、１５２ｆ：側面部分、１５２ｐ：部分、２０７：座金、２４５：ブッシュ、２４５ａ：外側面、２４５ｂ：内側面、２４５ｍ：中心位置、２４５ｏ：中心、２４５ｘ：長軸、２４５ｙ：短軸、２５１：第１ブッシュ部、２５１ｐ：部分、２５２：第２ブッシュ部、２５２ｐ：部分、３０７：座金、３４５：ブッシュ、３４５ａ：外側面、３４５ｂ：内側面、３４５ｃ：内側面部分、３４５ｄ：内側面部分、３４５ｅ：内側面部分、３４５ｆ：内側面部分、３４５ｏ：中心、３４５ｐ：中央位置、３４５ｑ：中央位置、３５１：第１ブッシュ部、３５１ｐ：部分、３５２：第２ブッシュ部、３５２ｐ：部分、４０７：座金、４４５：ブッシュ、４４５ａ：外側面、４４５ｂ：内側面、４４５ｃ：溝部、４４５ｏ：中心、４５１：第１ブッシュ部、４５２：第２ブッシュ部、４５２ｐ：部分、５３５：スリット孔、５３５ａ：第１端部、５３５ｂ：第２端部

Claims (11)

1. ハウジングと、
   前記ハウジング内に配置されたロータと、
   前記ハウジングから突出したフランジ本体と、前記フランジ本体に形成された薄肉部と、前記薄肉部に形成されたボルト孔と、前記ボルト孔から前記ロータの回転方向である第１方向とは反対の第２方向に延び、前記薄肉部に形成されたスリット孔と、を含む固定フランジと、
   前記ボルト孔に通されるボルトと、
   前記ボルトが通され、前記ボルト孔に配置されるブッシュと、を備え、
   前記スリット孔は、前記ボルト孔と繋がる第１端部と、前記第１端部より前記第２方向側に配置された第２端部と、を有し、
   前記スリット孔は、前記第１端部から前記第２端部に向かって幅が狭くなり、
   前記ブッシュは、前記第１方向側に配置された第１ブッシュ部と、前記第２方向側に配置された第２ブッシュ部と、を有し、
   前記第２ブッシュ部の少なくとも１部分の肉厚が、前記第１ブッシュ部の最も薄い肉厚よりも薄く形成されている、
   真空ポンプ。
2. 前記第１端部における前記スリット孔の幅は、前記ブッシュの外径以下である、
   請求項１に記載の真空ポンプ。
3. 前記第１端部における前記スリット孔の幅は、前記ボルト孔の直径と一致する、
   請求項１に記載の真空ポンプ。
4. 前記第２端部の縁は、円弧状に形成されており、
   前記第２端部の直径は、前記ボルトの外径以上であり、前記ブッシュの外径以下である、
   請求項１～３のいずれか１項に記載の真空ポンプ。
5. 前記第１端部における前記スリット孔の幅は、前記ボルトの外径以下である、
   請求項１に記載の真空ポンプ。
6. 前記ボルトは、前記ブッシュに通される軸部と、前記軸部に接続されたヘッド部と、を有し、
   前記ブッシュの端から外側に広がるように形成され、前記ヘッド部と前記固定フランジの間に配置される座金フランジを更に備え、
   前記ブッシュおよび前記座金フランジに亘ってスリットが形成されており、
   前記スリットは、
   前記ブッシュの軸方向に沿って前記第１ブッシュ部に形成された第１スリット部と、
   前記第１スリット部と繋がり、繋がった部分から前記回転方向側に向かって前記座金フランジに形成された第２スリット部と、を有する、
   請求項１～５のいずれか１項に記載の真空ポンプ。
7. 前記第２ブッシュ部の肉厚が、前記第２端部側に位置する部分から周方向に沿って徐々に厚くなるように、前記第２ブッシュ部の外側面が湾曲して形成されている、
   請求項１～６のいずれか１項に記載の真空ポンプ。
8. 前記第２ブッシュ部の外側面は、前記第２端部側に位置する部分から前記ブッシュの周方向の両方に向かって平面状に形成された外側面部分を有する、
   請求項１～６のいずれか１項に記載の真空ポンプ。
9. 前記ブッシュの軸方向に対して垂直な平面視において、前記ブッシュの外側面は、同一円周上に配置されており、
   前記平面視において、前記ブッシュの内側面は、同一円周上に配置されており、
   前記第２ブッシュ部には、前記軸方向に沿って溝部が形成されている、
   請求項１～６のいずれか１項に記載の真空ポンプ。
10. 前記ブッシュの軸方向に対して垂直な平面視において、前記ブッシュの外側面は、同一円周上に配置されており、
    前記平面視において、前記ブッシュの内側面は、楕円または長孔の外周上に配置されており、
    前記内側面が周上に配置されている前記楕円または前記長孔は、前記ブッシュの外形の内側において中央から前記スリット孔よりに形成されている、
    請求項１～６のいずれか１項に記載の真空ポンプ。
11. ロータを備えた真空ポンプを排気対象装置に締結する固定構造であって、
    フランジ本体と、前記フランジ本体に形成された薄肉部と、前記薄肉部に形成されたボルト孔と、前記ボルト孔から前記ロータの回転方向である第１方向とは反対の第２方向に延び、前記薄肉部に形成されたスリット孔と、を含む固定フランジと、
    前記ボルト孔に通されるボルトと、
    前記ボルトが通され、前記ボルト孔に配置されるブッシュと、を備え、
    前記スリット孔は、前記ボルト孔と繋がる第１端部と、前記第１端部より前記第２方向側に配置された第２端部と、を有し、
    前記スリット孔は、前記第１端部から前記第２端部に向かって幅が狭くなり、
    前記ブッシュは、前記第１方向側に配置された第１ブッシュ部と、前記第２方向側に配置された第２ブッシュ部と、を有し、
    前記第２ブッシュ部の少なくとも１部分の肉厚が、前記第１ブッシュ部の最も薄い肉厚よりも薄く形成されている、
    固定構造。

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