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JP7517342B2 - Polyimide resin composition, polyimide varnish and polyimide film - Google Patents
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JP7517342B2 - Polyimide resin composition, polyimide varnish and polyimide film - Google Patents

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Description

本発明はポリイミド樹脂組成物、ポリイミドワニス及びポリイミドフィルムに関する。 The present invention relates to a polyimide resin composition, a polyimide varnish and a polyimide film.

一般に、ポリイミド樹脂は優れた耐熱性を有することから、電気・電子部品等の分野において様々な利用が検討されている。例えば、液晶ディスプレイやOLEDディスプレイ等の画像表示装置に用いられるガラス基板を、デバイスの軽量化やフレキシブル化を目的として、プラスチック基板へ代替することが望まれており、当該プラスチック基板として適するポリイミドフィルムの研究が進められている。このような用途のポリイミドフィルムには無色透明性が求められる。 In general, polyimide resins have excellent heat resistance, and various applications in the fields of electrical and electronic components are being considered. For example, it is desirable to replace the glass substrates used in image display devices such as liquid crystal displays and OLED displays with plastic substrates in order to make the devices lighter and more flexible, and research is being conducted on polyimide films suitable for such plastic substrates. Polyimide films for such applications are required to be colorless and transparent.

ガラス支持体やシリコンウェハ上に塗布したワニスを加熱硬化してポリイミドフィルムを形成すると、ポリイミドフィルムに残留応力が生じる。ポリイミドフィルムの残留応力が大きいと、ガラス支持体やシリコンウェハが反ってしまうという問題が生じるため、ポリイミドフィルムには残留応力の低減も求められる。When a varnish applied to a glass support or silicon wafer is heated and cured to form a polyimide film, residual stress is generated in the polyimide film. If the residual stress in the polyimide film is large, the glass support or silicon wafer may warp, so there is a demand for reducing the residual stress in the polyimide film.

ところで、ポリイミドフィルムが基板として適するためには、無色透明性及び低残留応力だけでなく、耐薬品性(例えば耐酸性、耐アルカリ性、耐溶媒性)も重要な物性である。例えば、ポリイミドフィルムをITO(Indium Tin Oxide)膜形成用の基板として用いた場合、ポリイミドフィルムにはITO膜のエッチングに用いられる酸に対する耐性が求められる。ポリイミドフィルムの耐酸性が不十分であると、フィルムが黄変して無色透明性が損なわれるおそれがある。However, for a polyimide film to be suitable as a substrate, not only colorless transparency and low residual stress but also chemical resistance (e.g., acid resistance, alkali resistance, solvent resistance) are important physical properties. For example, when a polyimide film is used as a substrate for forming an ITO (Indium Tin Oxide) film, the polyimide film must be resistant to the acid used to etch the ITO film. If the acid resistance of the polyimide film is insufficient, the film may turn yellow and lose its colorless transparency.

また、ポリイミドフィルムを製造する際に使用するガラス板等の支持体(ポリイミドワニスを塗布する支持体)の洗浄には、水酸化ナトリウム水溶液や水酸化カリウム水溶液等のアルカリ水溶液が主に使用される。アルカリ水溶液による洗浄は、ガラス板等の支持体上にポリイミドフィルムが製膜された状態でも行われる可能性がある。したがって、ポリイミドフィルムにはアルカリに対する耐性も求められる。 In addition, alkaline aqueous solutions such as aqueous sodium hydroxide and aqueous potassium hydroxide are mainly used to clean supports such as glass plates used in the production of polyimide films (supports on which polyimide varnish is applied). Cleaning with an aqueous alkaline solution may also be performed when a polyimide film has been formed on a support such as a glass plate. Therefore, polyimide films are also required to be resistant to alkali.

さらには、ポリイミドフィルム上に各種TFT等の電子回路を形成する過程では、NMP等の有機溶媒が使用されることがあり、ポリイミドフィルムには有機溶媒に対する耐性も求められている。 Furthermore, organic solvents such as NMP may be used in the process of forming various electronic circuits such as TFTs on polyimide films, and polyimide films are also required to be resistant to organic solvents.

一方で、ポリイミド樹脂組成物をポリイミドフィルムに加工した後には、塗布等に使用した配管や装置を洗浄する必要がある。装置を十分に洗浄するためには、ポリイミド樹脂組成物は使用する洗浄液(例えば、東京応化工業株式会社製の「OK73シンナー」や、NMP等の各種有機溶媒)に対する溶解性も求められ、耐溶媒性と洗浄性という相反する性能が求められている。On the other hand, after the polyimide resin composition is processed into a polyimide film, it is necessary to clean the pipes and equipment used for coating, etc. In order to thoroughly clean the equipment, the polyimide resin composition is also required to be soluble in the cleaning solution used (for example, "OK73 Thinner" manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd., various organic solvents such as NMP), and the conflicting properties of solvent resistance and cleanability are required.

特許文献1には、低残留応力のフィルムを与えるポリイミド樹脂として、テトラカルボン酸成分として4,4’-オキシジフタル酸二無水物を用い、ジアミン成分として数平均分子量1000のα,ω-アミノプロピルポリジメチルシロキサン及び4,4’-ジアミノジフェニルエーテルを用いて合成されたポリイミド樹脂が開示されている。Patent Document 1 discloses a polyimide resin that provides a film with low residual stress, which is synthesized using 4,4'-oxydiphthalic dianhydride as the tetracarboxylic acid component and α,ω-aminopropylpolydimethylsiloxane having a number average molecular weight of 1000 and 4,4'-diaminodiphenyl ether as the diamine components.

特許文献2には、カルボキシル基を有するポリイミド樹脂と少なくとも2つのオキサゾリル基を有する架橋剤とを含むポリイミド樹脂組成物が開示され、当該ポリイミド樹脂組成物によって、良好な透明性と高硬度を有する膜の形成が可能であると記載されている。Patent Document 2 discloses a polyimide resin composition containing a polyimide resin having a carboxyl group and a crosslinking agent having at least two oxazolyl groups, and states that the polyimide resin composition makes it possible to form a film having good transparency and high hardness.

しかし、特許文献1では、耐薬品性及び洗浄性について何ら記載されていない。また、特許文献2では、溶剤(N,N-ジメチルアセトアミド)に対する耐性は評価されておらず、洗浄性や残留応力も何ら検討されていない。However, Patent Document 1 does not mention anything about chemical resistance or cleanability. Furthermore, Patent Document 2 does not evaluate resistance to solvents (N,N-dimethylacetamide), and does not consider cleanability or residual stress.

特開2005-232383号公報JP 2005-232383 A 特開2016-222797号公報JP 2016-222797 A

上述のように、ポリイミドフィルムには無色透明性や低残留応力、耐薬品性が要求されるが、優れた耐熱性を維持しながら、それら特性を向上させることは容易ではない。
本発明が解決しようとする課題は、耐熱性、無色透明性、耐薬品性及び洗浄性に優れ、更に残留応力が低いフィルムの形成が可能なポリイミド樹脂組成物、並びに該ポリイミド樹脂組成物を含むポリイミドワニス及びポリイミドフィルムを提供することにある。
As described above, polyimide films are required to be colorless and transparent, have low residual stress, and are chemically resistant. However, it is not easy to improve these properties while maintaining excellent heat resistance.
An object of the present invention is to provide a polyimide resin composition which is excellent in heat resistance, colorless transparency, chemical resistance and cleanability and is capable of forming a film having low residual stress, as well as a polyimide varnish and a polyimide film each containing the polyimide resin composition.

本発明者らは、特定の構成単位の組み合わせを含むポリイミド樹脂と特定の架橋剤とを含むポリイミド樹脂組成物が上記課題を解決できることを見出し、発明を完成させるに至った。The inventors discovered that a polyimide resin composition containing a polyimide resin having a specific combination of structural units and a specific crosslinking agent can solve the above problems, and thus completed the invention.

即ち、本発明は、下記の<1>~<11>に関する。
<1> ポリイミド樹脂と、少なくとも2つのオキサゾリル基を有する架橋剤とを含むポリイミド樹脂組成物であって、
前記ポリイミド樹脂が、テトラカルボン酸二無水物に由来する構成単位A及びジアミンに由来する構成単位Bを有するポリイミド樹脂であり、構成単位Aが下記式(a-1)で表される化合物に由来する構成単位(A-1)を含み、構成単位Bが下記式(b-1)で表される化合物に由来する構成単位(B-1)と、下記式(b-2)で表される化合物に由来する構成単位(B-2)とを含む、ポリイミド樹脂組成物。

Figure 0007517342000001

(式(b-2)中、Xは単結合、置換若しくは無置換のアルキレン基、カルボニル基、エーテル基、下記式(b-2-i)で表される基、又は下記式(b-2-ii)で表される基であり、pは0~2の整数であり、m1は0~4の整数であり、m2は0~4の整数である。ただし、pが0の場合、m1は1~4の整数である。)
Figure 0007517342000002

(式(b-2-i)中、m3は0~5の整数であり;式(b-2-ii)中、m4は0~5の整数である。なお、m1+m2+m3+m4は1以上であり、pが2の場合、2つのX及び2つのm2~m4のそれぞれは独立して選択される。)
<2> 構成単位(B-2)が、下記式(b-21)で表される化合物に由来する構成単位(B-21)である、上記<1>に記載のポリイミド樹脂組成物。
Figure 0007517342000003

<3> 構成単位A中における構成単位(A-1)の比率が40モル%以上である、上記<1>又は<2>に記載のポリイミド樹脂組成物。
<4> 構成単位B中における構成単位(B-1)の比率が35~95モル%であり、
構成単位B中における構成単位(B-2)の比率が5~65モル%である、上記<1>~<3>のいずれか1つに記載のポリイミド樹脂組成物。
<5> 構成単位Aが、下記式(a-2)で表される化合物に由来する構成単位(A-2)を更に含む、上記<1>~<4>のいずれか1つに記載のポリイミド樹脂組成物。
Figure 0007517342000004

<6> 構成単位Aが、両末端酸無水物変性シリコーンに由来する構成単位(A-3)を更に含む、上記<1>~<5>のいずれか1つに記載のポリイミド樹脂組成物。
<7> 前記架橋剤が、少なくとも2つのオキサゾリル基が結合した芳香環又は芳香族複素環を含む化合物である、上記<1>~<6>のいずれか1つに記載のポリイミド樹脂組成物。
<8> 前記架橋剤が、少なくとも2つのオキサゾリル基が結合したベンゼン環を含む化合物である、上記<1>~<7>のいずれか1つに記載のポリイミド樹脂組成物。
<9> 前記架橋剤が、1,3-ビス(4,5-ジヒドロ-2-オキサゾリル)ベンゼンである、上記<1>~<8>のいずれか1つに記載のポリイミド樹脂組成物。
<10> 上記<1>~<9>のいずれか1つに記載のポリイミド樹脂組成物が有機溶媒に溶解してなるポリイミドワニス。
<11> 上記<1>~<9>のいずれか1つに記載のポリイミド樹脂組成物中の前記ポリイミド樹脂が前記架橋剤により架橋されてなる、ポリイミドフィルム。 That is, the present invention relates to the following <1> to <11>.
<1> A polyimide resin composition comprising a polyimide resin and a crosslinking agent having at least two oxazolyl groups,
The polyimide resin composition is a polyimide resin having a structural unit A derived from a tetracarboxylic dianhydride and a structural unit B derived from a diamine, wherein the structural unit A includes a structural unit (A-1) derived from a compound represented by the following formula (a-1), and the structural unit B includes a structural unit (B-1) derived from a compound represented by the following formula (b-1), and a structural unit (B-2) derived from a compound represented by the following formula (b-2).
Figure 0007517342000001

(In formula (b-2), X is a single bond, a substituted or unsubstituted alkylene group, a carbonyl group, an ether group, a group represented by the following formula (b-2-i), or a group represented by the following formula (b-2-ii); p is an integer of 0 to 2, m1 is an integer of 0 to 4, and m2 is an integer of 0 to 4. However, when p is 0, m1 is an integer of 1 to 4.)
Figure 0007517342000002

(In formula (b-2-i), m3 is an integer of 0 to 5; in formula (b-2-ii), m4 is an integer of 0 to 5. Note that, m1+m2+m3+m4 is 1 or more, and when p is 2, each of the two Xs and the two m2 to m4 is independently selected.)
<2> The polyimide resin composition according to the above <1>, in which the structural unit (B-2) is a structural unit (B-21) derived from a compound represented by the following formula (b-21):
Figure 0007517342000003

<3> The polyimide resin composition according to the above <1> or <2>, wherein the ratio of the structural unit (A-1) in the structural unit A is 40 mol % or more.
<4> The ratio of the structural unit (B-1) in the structural unit B is 35 to 95 mol %,
The polyimide resin composition according to any one of the above <1> to <3>, wherein the ratio of the structural unit (B-2) in the structural unit B is 5 to 65 mol %.
<5> The polyimide resin composition according to any one of the above <1> to <4>, in which the structural unit A further contains a structural unit (A-2) derived from a compound represented by the following formula (a-2):
Figure 0007517342000004

<6> The polyimide resin composition according to any one of the above <1> to <5>, in which the structural unit A further contains a structural unit (A-3) derived from a silicone modified with an acid anhydride at both ends.
<7> The polyimide resin composition according to any one of <1> to <6> above, wherein the crosslinking agent is a compound containing an aromatic ring or an aromatic heterocycle having at least two oxazolyl groups bonded thereto.
<8> The polyimide resin composition according to any one of <1> to <7> above, wherein the crosslinking agent is a compound containing a benzene ring having at least two oxazolyl groups bonded thereto.
<9> The polyimide resin composition according to any one of <1> to <8> above, wherein the crosslinking agent is 1,3-bis(4,5-dihydro-2-oxazolyl)benzene.
<10> A polyimide varnish obtained by dissolving the polyimide resin composition according to any one of <1> to <9> above in an organic solvent.
<11> A polyimide film obtained by crosslinking the polyimide resin in the polyimide resin composition according to any one of <1> to <9> above with the crosslinking agent.

本発明によれば、耐熱性、無色透明性、耐薬品性及び洗浄性に優れ、更に残留応力が低いフィルムを形成することができる。According to the present invention, it is possible to form a film that has excellent heat resistance, colorless transparency, chemical resistance and cleanability, and also has low residual stress.

[ポリイミド樹脂組成物]
本発明のポリイミド樹脂組成物はポリイミド樹脂と架橋剤とを含む。以下、本発明におけるポリイミド樹脂及び架橋剤について説明する。
[Polyimide resin composition]
The polyimide resin composition of the present invention contains a polyimide resin and a crosslinking agent. The polyimide resin and the crosslinking agent in the present invention will be described below.

<ポリイミド樹脂>
本発明のポリイミド樹脂は、テトラカルボン酸二無水物に由来する構成単位A及びジアミンに由来する構成単位Bを有し、構成単位Aが下記式(a-1)で表される化合物に由来する構成単位(A-1)を含み、構成単位Bが下記式(b-1)で表される化合物に由来する構成単位(B-1)と、下記式(b-2)で表される化合物に由来する構成単位(B-2)とを含む。

Figure 0007517342000005

(式(b-2)中、Xは単結合、置換若しくは無置換のアルキレン基、カルボニル基、エーテル基、下記式(b-2-i)で表される基、又は下記式(b-2-ii)で表される基であり、pは0~2の整数であり、m1は0~4の整数であり、m2は0~4の整数である。ただし、pが0の場合、m1は1~4の整数である。)
Figure 0007517342000006

(式(b-2-i)中、m3は0~5の整数であり;式(b-2-ii)中、m4は0~5の整数である。なお、m1+m2+m3+m4は1以上であり、pが2の場合、2つのX及び2つのm2~m4のそれぞれは独立して選択される。) <Polyimide resin>
The polyimide resin of the present invention has a structural unit A derived from a tetracarboxylic dianhydride and a structural unit B derived from a diamine, in which the structural unit A contains a structural unit (A-1) derived from a compound represented by the following formula (a-1), and the structural unit B contains a structural unit (B-1) derived from a compound represented by the following formula (b-1), and a structural unit (B-2) derived from a compound represented by the following formula (b-2):
Figure 0007517342000005

(In formula (b-2), X is a single bond, a substituted or unsubstituted alkylene group, a carbonyl group, an ether group, a group represented by the following formula (b-2-i), or a group represented by the following formula (b-2-ii); p is an integer of 0 to 2, m1 is an integer of 0 to 4, and m2 is an integer of 0 to 4. However, when p is 0, m1 is an integer of 1 to 4.)
Figure 0007517342000006

(In formula (b-2-i), m3 is an integer of 0 to 5; in formula (b-2-ii), m4 is an integer of 0 to 5. Note that, m1+m2+m3+m4 is 1 or more, and when p is 2, each of the two Xs and the two m2 to m4 is independently selected.)

(構成単位A)
構成単位Aは、ポリイミド樹脂に占めるテトラカルボン酸二無水物に由来する構成単位であって、下記式(a-1)で表される化合物に由来する構成単位(A-1)を含む。

Figure 0007517342000007
(Structural unit A)
The structural unit A is a structural unit derived from a tetracarboxylic dianhydride contained in a polyimide resin, and includes a structural unit (A-1) derived from a compound represented by the following formula (a-1).
Figure 0007517342000007

式(a-1)で表される化合物は、ノルボルナン-2-スピロ-α-シクロペンタノン-α’-スピロ-2”-ノルボルナン-5,5”,6,6”-テトラカルボン酸二無水物である。構成単位Aが構成単位(A-1)を含むことによって、フィルムの無色透明性及び耐熱性が向上する。The compound represented by formula (a-1) is norbornane-2-spiro-α-cyclopentanone-α'-spiro-2"-norbornane-5,5",6,6"-tetracarboxylic dianhydride. When structural unit A contains structural unit (A-1), the colorless transparency and heat resistance of the film are improved.

構成単位A中における構成単位(A-1)の比率は、好ましくは40モル%以上であり、より好ましくは50モル%以上であり、更に好ましくは60モル%以上である。構成単位(A-1)の比率の上限値は特に限定されず、即ち、100モル%である。構成単位Aは構成単位(A-1)のみからなっていてもよい。The ratio of structural unit (A-1) in structural unit A is preferably 40 mol% or more, more preferably 50 mol% or more, and even more preferably 60 mol% or more. The upper limit of the ratio of structural unit (A-1) is not particularly limited, that is, it is 100 mol%. Structural unit A may consist of only structural unit (A-1).

構成単位Aは、構成単位(A-1)以外の構成単位を含んでもよい。
構成単位Aは、構成単位(A-1)に加えて、下記式(a-2)で表される化合物に由来する構成単位(A-2)を更に含むことが好ましい。

Figure 0007517342000008
The structural unit A may contain a structural unit other than the structural unit (A-1).
It is preferable that the structural unit A further contains, in addition to the structural unit (A-1), a structural unit (A-2) derived from a compound represented by the following formula (a-2).
Figure 0007517342000008

式(a-2)で表される化合物は、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(BPDA)であり、その具体例としては、下記式(a-2s)で表される3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(s-BPDA)、下記式(a-2a)で表される2,3,3’,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(a-BPDA)、下記式(a-2i)で表される2,2’,3,3’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(i-BPDA)が挙げられる。3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物は、本発明のポリイミドフィルムの残留応力を低下させることができるため好ましい。

Figure 0007517342000009
The compound represented by formula (a-2) is biphenyltetracarboxylic dianhydride (BPDA), and specific examples thereof include 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride (s-BPDA) represented by the following formula (a-2s), 2,3,3',4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride (a-BPDA) represented by the following formula (a-2a), and 2,2',3,3'-biphenyltetracarboxylic dianhydride (i-BPDA) represented by the following formula (a-2i). 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride is preferred because it can reduce the residual stress of the polyimide film of the present invention.
Figure 0007517342000009

構成単位Aが構成単位(A-1)及び構成単位(A-2)を含む場合、構成単位A中における構成単位(A-1)の比率は、好ましくは40~95モル%であり、より好ましくは50~90モル%であり、更に好ましくは55~85モル%であり、構成単位A中における構成単位(A-2)の比率は、好ましくは5~60モル%であり、より好ましくは10~50モル%であり、更に好ましくは15~45モル%である。
構成単位A中における構成単位(A-1)及び(A-2)の合計の比率は、好ましくは50モル%以上であり、より好ましくは70モル%以上であり、更に好ましくは90モル%以上であり、特に好ましくは99モル%以上である。構成単位(A-1)及び(A-2)の合計の比率の上限値は特に限定されず、即ち、100モル%である。構成単位Aは構成単位(A-1)と構成単位(A-2)とのみからなっていてもよい。
When the structural unit A contains the structural unit (A-1) and the structural unit (A-2), the ratio of the structural unit (A-1) in the structural unit A is preferably 40 to 95 mol %, more preferably 50 to 90 mol %, and even more preferably 55 to 85 mol %, and the ratio of the structural unit (A-2) in the structural unit A is preferably 5 to 60 mol %, more preferably 10 to 50 mol %, and even more preferably 15 to 45 mol %.
The total ratio of the structural units (A-1) and (A-2) in the structural unit A is preferably 50 mol% or more, more preferably 70 mol% or more, even more preferably 90 mol% or more, and particularly preferably 99 mol% or more. There is no particular upper limit to the total ratio of the structural units (A-1) and (A-2), that is, it is 100 mol%. The structural unit A may be composed of only the structural unit (A-1) and the structural unit (A-2).

構成単位Aが構成単位(A-2)を更に含むことによって、残留応力が更に低下する。
また、構成単位Aが構成単位(A-2)を更に含むことによって、フィルムの波長308nmにおける光線透過率が小さくなる。近年、樹脂フィルムが積層された支持体における当該支持体と当該樹脂フィルムを剥離する方法として、レーザーリフトオフ(LLO)と呼ばれるレーザー剥離加工が注目を浴びている。波長308nmにおける光線透過率が小さいほど、波長308nmのXeClエキシマレーザーによるレーザー剥離性に優れる。
When the structural unit A further contains the structural unit (A-2), the residual stress is further reduced.
Furthermore, by further including the structural unit (A-2) in the structural unit A, the light transmittance of the film at a wavelength of 308 nm is reduced. In recent years, a laser peeling process called laser lift-off (LLO) has been attracting attention as a method for peeling a resin film from a support on which a resin film is laminated. The smaller the light transmittance at a wavelength of 308 nm, the better the laser peelability with a XeCl excimer laser at a wavelength of 308 nm.

構成単位Aは、構成単位(A-1)に加えて、両末端酸無水物変性シリコーンに由来する構成単位(A-3)を更に含むことが好ましい。
前記両末端酸無水物変性シリコーンとしては、下記式(a-3)で表される化合物が好ましい。

Figure 0007517342000010

(式(a-3)中、
1~R6は、それぞれ独立して、炭素数1~20の一価の炭化水素基であり、
1及びL2は、それぞれ独立して、単結合又は炭素数1~20の二価の炭化水素基であり、
1及びZ2は、それぞれ独立して、炭素数1~20の三価の炭化水素基であり、
nは、1~200である。) In addition to the structural unit (A-1), the structural unit A preferably further contains a structural unit (A-3) derived from a silicone modified with an acid anhydride at both ends.
The silicone modified with acid anhydrides at both ends is preferably a compound represented by the following formula (a-3).
Figure 0007517342000010

(In formula (a-3),
R 1 to R 6 are each independently a monovalent hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms;
L 1 and L 2 each independently represent a single bond or a divalent hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms;
Z1 and Z2 each independently represent a trivalent hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms;
n is 1 to 200.

式(a-3)におけるR1~R6は、それぞれ独立して、炭素数1~20の一価の炭化水素基である。
炭素数1~20の一価の炭化水素基としては、炭素数1~20のアルキル基、炭素数3~20のシクロアルキル基、炭素数6~20のアリール基、炭素数7~20のアラルキル基、炭素数2~20のアルケニル基等が挙げられる。
炭素数1~20のアルキル基としては、炭素数1~10のアルキル基が好ましく、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、t-ブチル基、ペンチル基、及びヘキシル基が挙げられる。炭素数3~20のシクロアルキル基としては、炭素数3~10のシクロアルキル基が好ましく、例えば、シクロペンチル基及びシクロヘキシル基が挙げられる。炭素数6~20のアリール基としては、炭素数6~10のアリール基が好ましく、例えば、フェニル基及びナフチル基が挙げられる。炭素数7~20のアラルキル基としては、炭素数7~10のアラルキル基が好ましく、例えば、ベンジル基及びフェネチル基が挙げられる。炭素数2~20のアルケニル基としては、炭素数2~10のアルケニル基が好ましく、例えば、ビニル基、アリル基、プロペニル基、イソプロペニル基、及びブテニル基が挙げられる。
In formula (a-3), R 1 to R 6 are each independently a monovalent hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms.
Examples of the monovalent hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms include an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, a cycloalkyl group having 3 to 20 carbon atoms, an aryl group having 6 to 20 carbon atoms, an aralkyl group having 7 to 20 carbon atoms, and an alkenyl group having 2 to 20 carbon atoms.
The alkyl group having 1 to 20 carbon atoms is preferably an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, and examples thereof include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, an isopropyl group, a butyl group, an isobutyl group, a t-butyl group, a pentyl group, and a hexyl group. The cycloalkyl group having 3 to 20 carbon atoms is preferably a cycloalkyl group having 3 to 10 carbon atoms, and examples thereof include a cyclopentyl group and a cyclohexyl group. The aryl group having 6 to 20 carbon atoms is preferably an aryl group having 6 to 10 carbon atoms, and examples thereof include a phenyl group and a naphthyl group. The aralkyl group having 7 to 20 carbon atoms is preferably an aralkyl group having 7 to 10 carbon atoms, and examples thereof include a benzyl group and a phenethyl group. The alkenyl group having 2 to 20 carbon atoms is preferably an alkenyl group having 2 to 10 carbon atoms, and examples thereof include a vinyl group, an allyl group, a propenyl group, an isopropenyl group, and a butenyl group.

1~R6は、それぞれ独立して、好ましくは、炭素数1~20のアルキル基、炭素数3~20のシクロアルキル基、炭素数6~20のアリール基、炭素数7~20のアラルキル基、及び炭素数2~20のアルケニル基からなる群より選ばれ;より好ましくは、炭素数1~10のアルキル基、炭素数3~10のシクロアルキル基、炭素数6~10のアリール基、炭素数7~10のアラルキル基、及び炭素数2~10のアルケニル基からなる群より選ばれ;更に好ましくは、炭素数1~10のアルキル基、炭素数6~10のアリール基、及び炭素数2~10のアルケニル基からなる群より選ばれ;特に好ましくは、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、t-ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、フェニル基、ナフチル基、ビニル基、アリル基、プロペニル基、イソプロペニル基、及びブテニル基からなる群より選ばれ;最も好ましくはメチル基、エチル基、フェニル基、及びビニル基からなる群より選ばれる。 R 1 to R 6 are each independently preferably selected from the group consisting of an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, a cycloalkyl group having 3 to 20 carbon atoms, an aryl group having 6 to 20 carbon atoms, an aralkyl group having 7 to 20 carbon atoms, and an alkenyl group having 2 to 20 carbon atoms; more preferably selected from the group consisting of an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, a cycloalkyl group having 3 to 10 carbon atoms, an aryl group having 6 to 10 carbon atoms, an aralkyl group having 7 to 10 carbon atoms, and an alkenyl group having 2 to 10 carbon atoms; and even more preferably selected from the group consisting of an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, a cycloalkyl group having 3 to 10 carbon atoms, an aryl group having 6 to 10 carbon atoms, an aralkyl group having 7 to 10 carbon atoms, and an alkenyl group having 2 to 10 carbon atoms. It is particularly preferably selected from the group consisting of a methyl group, an ethyl group, a propyl group, an isopropyl group, a butyl group, an isobutyl group, a t-butyl group, a pentyl group, a hexyl group, a phenyl group, a naphthyl group, a vinyl group, an allyl group, a propenyl group, an isopropenyl group, and a butenyl group; and it is most preferably selected from the group consisting of a methyl group, an ethyl group, a phenyl group, and a vinyl group.

式(a-3)におけるL1及びL2は、それぞれ独立して、単結合又は炭素数1~20の二価の炭化水素基である。
炭素数1~20の二価の炭化水素基としては、炭素数1~20のアルキレン基、炭素数3~20のシクロアルキレン基、炭素数6~20のアリーレン基等が挙げられる。
炭素数1~20のアルキレン基としては、炭素数1~10のアルキレン基が好ましく、例えば、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、ブチレン基、ペンチレン基、及びヘキシレン基が挙げられる。
炭素数3~20のシクロアルキレン基としては、炭素数3~10のシクロアルキレン基が好ましく、例えば、シクロブチレン基、シクロペンチレン基、シクロヘキシレン基、及びシクロヘプチレン基が挙げられる。
炭素数6~20のアリーレン基としては、炭素数6~10のアリーレン基が好ましく、例えば、フェニレン基及びナフチレン基が挙げられる。
In formula (a-3), L 1 and L 2 each independently represent a single bond or a divalent hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms.
Examples of the divalent hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms include an alkylene group having 1 to 20 carbon atoms, a cycloalkylene group having 3 to 20 carbon atoms, and an arylene group having 6 to 20 carbon atoms.
As the alkylene group having 1 to 20 carbon atoms, an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms is preferable, and examples thereof include a methylene group, an ethylene group, a propylene group, a butylene group, a pentylene group, and a hexylene group.
As the cycloalkylene group having 3 to 20 carbon atoms, a cycloalkylene group having 3 to 10 carbon atoms is preferable, and examples thereof include a cyclobutylene group, a cyclopentylene group, a cyclohexylene group, and a cycloheptylene group.
As the arylene group having 6 to 20 carbon atoms, an arylene group having 6 to 10 carbon atoms is preferable, and examples thereof include a phenylene group and a naphthylene group.

1及びL2は、それぞれ独立して、好ましくは、単結合、炭素数1~20のアルキレン基、炭素数3~20のシクロアルキレン基、及び炭素数6~20のアリーレン基からなる群より選ばれ;より好ましくは、単結合、炭素数1~10のアルキレン基、炭素数3~10のシクロアルキレン基、及び炭素数6~10のアリーレン基からなる群より選ばれ;更に好ましくは、単結合、炭素数1~10のアルキレン基、及び炭素数6~10のアリーレン基からなる群より選ばれ;特に好ましくは、単結合、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、ブチレン基、ペンチレン基、ヘキシレン基、フェニレン基及びナフチレン基からなる群より選ばれ;最も好ましくは、単結合、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、及びフェニレン基からなる群より選ばれる。 L 1 and L 2 are each independently preferably selected from the group consisting of a single bond, an alkylene group having 1 to 20 carbon atoms, a cycloalkylene group having 3 to 20 carbon atoms, and an arylene group having 6 to 20 carbon atoms; more preferably selected from the group consisting of a single bond, an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms, a cycloalkylene group having 3 to 10 carbon atoms, and an arylene group having 6 to 10 carbon atoms; even more preferably selected from the group consisting of a single bond, an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms, and an arylene group having 6 to 10 carbon atoms; particularly preferably selected from the group consisting of a single bond, a methylene group, an ethylene group, a propylene group, a butylene group, a pentylene group, a hexylene group, a phenylene group, and a naphthylene group; most preferably selected from the group consisting of a single bond, a methylene group, an ethylene group, a propylene group, and a phenylene group.

式(a-3)におけるZ1及びZ2は、それぞれ独立して、炭素数1~20の三価の炭化水素基である。
1及びZ2は、それぞれ独立して、好ましくは、下記式(a-3-i)で表される基、下記式(a-3-ii)で表される基、下記式(a-3-iii)で表される基、及び下記式(a-3-iv)で表される基からなる群より選ばれる。

Figure 0007517342000011
In formula (a-3), Z 1 and Z 2 are each independently a trivalent hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms.
Z1 and Z2 are each independently preferably selected from the group consisting of a group represented by the following formula (a-3-i), a group represented by the following formula (a-3-ii), a group represented by the following formula (a-3-iii), and a group represented by the following formula (a-3-iv).
Figure 0007517342000011

式(a-3-i)で表される基はコハク酸残基であり、式(a-3-ii)で表される基フタル酸残基であり、式(a-3-iii)で表される基は2,3-ノルボルナンジカルボン酸残基であり、(a-3-iv)で表される基は5-ノルボルネン-2,3-ジカルボン酸残基である。なお、式(a-3-i)~(a-3-iv)中、「*」は結合位置を示す。The group represented by formula (a-3-i) is a succinic acid residue, the group represented by formula (a-3-ii) is a phthalic acid residue, the group represented by formula (a-3-iii) is a 2,3-norbornanedicarboxylic acid residue, and the group represented by formula (a-3-iv) is a 5-norbornene-2,3-dicarboxylic acid residue. In formulas (a-3-i) to (a-3-iv), "*" indicates the bond position.

式(a-3)におけるnは、1~200である。nは好ましくは3~150であり、より好ましくは5~120である。In formula (a-3), n is 1 to 200. n is preferably 3 to 150, and more preferably 5 to 120.

両末端酸無水物変性シリコーンの市販品として入手できるものとしては、信越化学工業株式会社製の「X22-168AS」、「X22-168A」、「X22-168B」、及び「X22-168-P5-8」、並びにゲレスト社製の「DMS-Z21」等が挙げられる。Commercially available silicones modified with acid anhydrides at both ends include "X22-168AS", "X22-168A", "X22-168B", and "X22-168-P5-8" manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., and "DMS-Z21" manufactured by Gelest Pharmaceuticals.

構成単位Aが構成単位(A-1)及び構成単位(A-3)を含む場合、構成単位A中における構成単位(A-1)の比率は、好ましくは50~99モル%であり、より好ましくは60~98モル%であり、更に好ましく70~97モル%であり、構成単位A中における構成単位(A-3)の比率は、好ましくは1~50モル%であり、より好ましくは2~40モル%であり、更に好ましく3~30モル%である。
構成単位A中における構成単位(A-1)及び(A-3)の合計の比率は、好ましくは50モル%以上であり、より好ましくは70モル%以上であり、更に好ましくは90モル%以上であり、特に好ましくは99モル%以上である。構成単位(A-1)及び(A-3)の合計の比率の上限値は特に限定されず、即ち、100モル%である。構成単位Aは構成単位(A-1)と構成単位(A-3)とのみからなっていてもよい。
When the structural unit A contains the structural unit (A-1) and the structural unit (A-3), the ratio of the structural unit (A-1) in the structural unit A is preferably 50 to 99 mol %, more preferably 60 to 98 mol %, and even more preferably 70 to 97 mol %, and the ratio of the structural unit (A-3) in the structural unit A is preferably 1 to 50 mol %, more preferably 2 to 40 mol %, and even more preferably 3 to 30 mol %.
The total ratio of the structural units (A-1) and (A-3) in the structural unit A is preferably 50 mol% or more, more preferably 70 mol% or more, even more preferably 90 mol% or more, and particularly preferably 99 mol% or more. There is no particular upper limit to the total ratio of the structural units (A-1) and (A-3), that is, it is 100 mol%. The structural unit A may be composed of only the structural unit (A-1) and the structural unit (A-3).

構成単位Aが構成単位(A-3)を更に含むことによって、フィルムの残留応力を低く維持しながら、無色透明性を向上することができる。By including structural unit A further containing structural unit (A-3), the colorless transparency of the film can be improved while maintaining low residual stress.

また、構成単位Aは、構成単位(A-1)に加えて、構成単位(A-2)及び構成単位(A-3)の両方を更に含むことも好ましい。
構成単位Aが構成単位(A-1)、構成単位(A-2)、及び構成単位(A-3)を含む場合、構成単位A中における構成単位(A-1)の比率は、好ましくは50~90モル%であり、より好ましくは60~85モル%、更に好ましくは65~80モル%であり、構成単位A中における構成単位(A-2)の比率は、好ましくは5~30モル%であり、より好ましくは5~25モル%であり、更に好ましくは5~20モル%であり、構成単位A中における構成単位(A-3)の比率は、好ましくは1~25モル%であり、より好ましくは2~20モル%であり、更に好ましくは3~15モル%である。
構成単位A中における構成単位(A-1)~(A-3)の合計の比率は、好ましくは50モル%以上であり、より好ましくは70モル%以上であり、更に好ましくは90モル%以上であり、特に好ましくは99モル%以上である。構成単位(A-1)~(A-3)の合計の比率の上限値は特に限定されず、即ち、100モル%である。構成単位Aは構成単位(A-1)と構成単位(A-2)と構成単位(A-3)とのみからなっていてもよい。
It is also preferable that the structural unit A further contains both the structural unit (A-2) and the structural unit (A-3) in addition to the structural unit (A-1).
When the structural unit A contains the structural unit (A-1), the structural unit (A-2), and the structural unit (A-3), the ratio of the structural unit (A-1) in the structural unit A is preferably 50 to 90 mol%, more preferably 60 to 85 mol%, and even more preferably 65 to 80 mol%, the ratio of the structural unit (A-2) in the structural unit A is preferably 5 to 30 mol%, more preferably 5 to 25 mol%, and even more preferably 5 to 20 mol%, and the ratio of the structural unit (A-3) in the structural unit A is preferably 1 to 25 mol%, more preferably 2 to 20 mol%, and even more preferably 3 to 15 mol%.
The total ratio of the structural units (A-1) to (A-3) in the structural unit A is preferably 50 mol% or more, more preferably 70 mol% or more, even more preferably 90 mol% or more, and particularly preferably 99 mol% or more. There is no particular upper limit to the total ratio of the structural units (A-1) to (A-3), that is, it is 100 mol%. The structural unit A may be composed of only the structural unit (A-1), the structural unit (A-2), and the structural unit (A-3).

構成単位Aに任意に含まれる構成単位(A-1)以外の構成単位は、構成単位(A-2)及び(A-3)に限定されない。そのような任意の構成単位を与えるテトラカルボン酸二無水物としては、特に限定されないが、ピロメリット酸二無水物、9,9’-ビス(3,4-ジカルボキシフェニル)フルオレン二無水物、及び4,4’-(ヘキサフルオロイソプロピリデン)ジフタル酸無水物等の芳香族テトラカルボン酸二無水物;1,2,3,4-シクロブタンテトラカルボン酸二無水物及び1,2,4,5-シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物等の脂環式テトラカルボン酸二無水物(ただし、式(a-1)で表される化合物を除く);並びに1,2,3,4-ブタンテトラカルボン酸二無水物等の脂肪族テトラカルボン酸二無水物が挙げられる。
なお、本明細書において、芳香族テトラカルボン酸二無水物とは芳香環を1つ以上含むテトラカルボン酸二無水物を意味し、脂環式テトラカルボン酸二無水物とは脂環を1つ以上含み、かつ芳香環を含まないテトラカルボン酸二無水物を意味し、脂肪族テトラカルボン酸二無水物とは芳香環も脂環も含まないテトラカルボン酸二無水物を意味する。
構成単位Aに任意に含まれる構成単位(A-1)以外の構成単位は、1種でもよいし、2種以上であってもよい。
The structural units other than the structural unit (A-1) optionally contained in the structural unit A are not limited to the structural units (A-2) and (A-3). The tetracarboxylic acid dianhydride that gives such an optional structural unit is not particularly limited, but examples thereof include aromatic tetracarboxylic acid dianhydrides such as pyromellitic dianhydride, 9,9'-bis(3,4-dicarboxyphenyl)fluorene dianhydride, and 4,4'-(hexafluoroisopropylidene)diphthalic anhydride; alicyclic tetracarboxylic acid dianhydrides such as 1,2,3,4-cyclobutane tetracarboxylic acid dianhydride and 1,2,4,5-cyclohexane tetracarboxylic acid dianhydride (excluding the compound represented by formula (a-1)); and aliphatic tetracarboxylic acid dianhydrides such as 1,2,3,4-butane tetracarboxylic acid dianhydride.
In this specification, the term "aromatic tetracarboxylic acid dianhydride" refers to a tetracarboxylic acid dianhydride containing one or more aromatic rings, the term "alicyclic tetracarboxylic acid dianhydride" refers to a tetracarboxylic acid dianhydride containing one or more alicyclic rings but no aromatic rings, and the term "aliphatic tetracarboxylic acid dianhydride" refers to a tetracarboxylic acid dianhydride containing neither an aromatic ring nor an alicyclic ring.
The structural unit other than the structural unit (A-1) optionally contained in the structural unit A may be of one type, or of two or more types.

(構成単位B)
構成単位Bは、ポリイミド樹脂に占めるジアミンに由来する構成単位であって、下記式(b-1)で表される化合物に由来する構成単位(B-1)と、下記式(b-2)で表される化合物に由来する構成単位(B-2)とを含む。

Figure 0007517342000012

(式(b-2)中、Xは単結合、置換若しくは無置換のアルキレン基、カルボニル基、エーテル基、下記式(b-2-i)で表される基、又は下記式(b-2-ii)で表される基であり、pは0~2の整数であり、m1は0~4の整数であり、m2は0~4の整数である。ただし、pが0の場合、m1は1~4の整数である。)
Figure 0007517342000013

(式(b-2-i)中、m3は0~5の整数であり;式(b-2-ii)中、m4は0~5の整数である。なお、m1+m2+m3+m4は1以上であり、pが2の場合、2つのX及び2つのm2~m4のそれぞれは独立して選択される。)
なお、式(b-2-i)及び(b-2-ii)中、「*」は結合位置を示す。 (Structural unit B)
The structural unit B is a structural unit derived from a diamine contained in a polyimide resin, and includes a structural unit (B-1) derived from a compound represented by the following formula (b-1) and a structural unit (B-2) derived from a compound represented by the following formula (b-2).
Figure 0007517342000012

(In formula (b-2), X is a single bond, a substituted or unsubstituted alkylene group, a carbonyl group, an ether group, a group represented by the following formula (b-2-i), or a group represented by the following formula (b-2-ii); p is an integer of 0 to 2, m1 is an integer of 0 to 4, and m2 is an integer of 0 to 4. However, when p is 0, m1 is an integer of 1 to 4.)
Figure 0007517342000013

(In formula (b-2-i), m3 is an integer of 0 to 5; in formula (b-2-ii), m4 is an integer of 0 to 5. Note that, m1+m2+m3+m4 is 1 or more, and when p is 2, each of the two Xs and the two m2 to m4 is independently selected.)
In the formulae (b-2-i) and (b-2-ii), "*" indicates the bond position.

式(b-1)で表される化合物は、2,2’-ビス(トリフルオロメチル)ベンジジンである。構成単位Bが構成単位(B-1)を含むことによって、フィルムの無色透明性が向上し、残留応力が低下する。The compound represented by formula (b-1) is 2,2'-bis(trifluoromethyl)benzidine. When structural unit B contains structural unit (B-1), the colorless transparency of the film is improved and residual stress is reduced.

式(b-2)で表される化合物の具体例としては、下記式(b-21)~(b-27)で表される化合物が挙げられる。Specific examples of the compound represented by formula (b-2) include the compounds represented by the following formulas (b-21) to (b-27).

Figure 0007517342000014
Figure 0007517342000014

式(b-21)で表される化合物の具体例としては、下記式(b-211)で表される化合物、即ち、3,5-ジアミノ安息香酸が挙げられる。

Figure 0007517342000015
A specific example of the compound represented by formula (b-21) is the compound represented by the following formula (b-211), that is, 3,5-diaminobenzoic acid.
Figure 0007517342000015

構成単位(B-2)は、式(b-21)で表される化合物に由来する構成単位(B-21)であることが好ましく、式(b-211)で表される化合物に由来する構成単位(B-211)であることがより好ましい。The structural unit (B-2) is preferably a structural unit (B-21) derived from a compound represented by formula (b-21), and more preferably a structural unit (B-211) derived from a compound represented by formula (b-211).

構成単位Bが構成単位(B-2)を含むことによって、フィルムの耐熱性が向上する。 When structural unit B contains structural unit (B-2), the heat resistance of the film is improved.

構成単位B中における構成単位(B-1)の比率は、好ましくは35~95モル%であり、より好ましくは40~90モル%であり、更に好ましくは45~85モル%である。
構成単位B中における構成単位(B-2)の比率は、好ましくは5~65モル%であり、より好ましくは10~60モル%であり、更に好ましくは15~55モル%である。
構成単位B中における構成単位(B-1)及び(B-2)の合計の比率は、好ましくは50モル%以上であり、より好ましくは70モル%以上であり、更に好ましくは90モル%以上であり、特に好ましくは99モル%以上である。構成単位(B-1)及び(B-2)の合計の比率の上限値は特に限定されず、即ち、100モル%である。構成単位Bは構成単位(B-1)と構成単位(B-2)とのみからなっていてもよい。
The proportion of the structural unit (B-1) in the structural unit B is preferably from 35 to 95 mol %, more preferably from 40 to 90 mol %, and even more preferably from 45 to 85 mol %.
The proportion of the structural unit (B-2) in the structural unit B is preferably from 5 to 65 mol %, more preferably from 10 to 60 mol %, and even more preferably from 15 to 55 mol %.
The total ratio of the structural units (B-1) and (B-2) in the structural unit B is preferably 50 mol% or more, more preferably 70 mol% or more, even more preferably 90 mol% or more, and particularly preferably 99 mol% or more. There is no particular upper limit to the total ratio of the structural units (B-1) and (B-2), that is, it is 100 mol%. The structural unit B may be composed of only the structural unit (B-1) and the structural unit (B-2).

構成単位Bは、構成単位(B-1)及び(B-2)以外の構成単位を含んでもよい。そのような構成単位を与えるジアミンとしては、特に限定されないが、1,4-フェニレンジアミン、p-キシリレンジアミン、1,5-ジアミノナフタレン、2,2’-ジメチルビフェニル-4,4’-ジアミン、4,4’-ジアミノジフェニルエーテル、4,4’-ジアミノジフェニルメタン、2,2-ビス(4-アミノフェニル)ヘキサフルオロプロパン、4,4’-ジアミノジフェニルスルホン、4,4’-ジアミノベンズアニリド、1-(4-アミノフェニル)-2,3-ジヒドロ-1,3,3-トリメチル-1H-インデン-5-アミン、α,α’-ビス(4-アミノフェニル)-1,4-ジイソプロピルベンゼン、N,N’-ビス(4-アミノフェニル)テレフタルアミド、4,4’-ビス(4-アミノフェノキシ)ビフェニル、2,2-ビス〔4-(4-アミノフェノキシ)フェニル〕プロパン、2,2-ビス(4-(4-アミノフェノキシ)フェニル)ヘキサフルオロプロパン、及び9,9-ビス(4-アミノフェニル)フルオレン等の芳香族ジアミン(ただし、式(b-1)で表される化合物及び式(b-2)で表される化合物を除く);1,3-ビス(アミノメチル)シクロヘキサン及び1,4-ビス(アミノメチル)シクロヘキサン等の脂環式ジアミン;並びにエチレンジアミン及びヘキサメチレンジアミン等の脂肪族ジアミンが挙げられる。
なお、本明細書において、芳香族ジアミンとは芳香環を1つ以上含むジアミンを意味し、脂環式ジアミンとは脂環を1つ以上含み、かつ芳香環を含まないジアミンを意味し、脂肪族ジアミンとは芳香環も脂環も含まないジアミンを意味する。
構成単位Bに任意に含まれる構成単位(B-1)及び(B-2)以外の構成単位は、1種でもよいし、2種以上であってもよい。
The structural unit B may contain a structural unit other than the structural units (B-1) and (B-2). Diamines that provide such structural units are not particularly limited, but include 1,4-phenylenediamine, p-xylylenediamine, 1,5-diaminonaphthalene, 2,2'-dimethylbiphenyl-4,4'-diamine, 4,4'-diaminodiphenyl ether, 4,4'-diaminodiphenylmethane, 2,2-bis(4-aminophenyl)hexafluoropropane, 4,4'-diaminodiphenyl sulfone, 4,4'-diaminobenzanilide, 1-(4-aminophenyl)-2,3-dihydro-1,3,3-trimethyl-1H-inden-5-amine, α,α'-bis(4-aminophenyl)-1,4-diisopropylbenzene, N, Examples of the diamine include aromatic diamines (excluding the compounds represented by formula (b-1) and formula (b-2)) such as N'-bis(4-aminophenyl)terephthalamide, 4,4'-bis(4-aminophenoxy)biphenyl, 2,2-bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]propane, 2,2-bis(4-(4-aminophenoxy)phenyl)hexafluoropropane, and 9,9-bis(4-aminophenyl)fluorene; alicyclic diamines such as 1,3-bis(aminomethyl)cyclohexane and 1,4-bis(aminomethyl)cyclohexane; and aliphatic diamines such as ethylenediamine and hexamethylenediamine.
In this specification, an aromatic diamine means a diamine containing one or more aromatic rings, an alicyclic diamine means a diamine containing one or more alicyclic rings but no aromatic rings, and an aliphatic diamine means a diamine containing neither an aromatic ring nor an alicyclic ring.
The structural units other than the structural units (B-1) and (B-2) optionally contained in the structural unit B may be of one type, or of two or more types.

ポリイミド樹脂の数平均分子量は、得られるポリイミドフィルムの機械的強度の観点から、好ましくは5,000~100,000である。なお、ポリイミド樹脂の数平均分子量は、例えば、ゲルろ過クロマトグラフィー測定による標準ポリメチルメタクリレート(PMMA)換算値より求めることができる。The number average molecular weight of the polyimide resin is preferably 5,000 to 100,000 from the viewpoint of the mechanical strength of the resulting polyimide film. The number average molecular weight of the polyimide resin can be determined, for example, from a standard polymethyl methacrylate (PMMA) equivalent value measured by gel filtration chromatography.

ポリイミド樹脂は、ポリイミド鎖(構成単位Aと構成単位Bとがイミド結合してなる構造)以外の構造を含んでもよい。ポリイミド樹脂中に含まれうるポリイミド鎖以外の構造としては、例えばアミド結合を含む構造等が挙げられる。
ポリイミド樹脂は、ポリイミド鎖(構成単位Aと構成単位Bとがイミド結合してなる構造)を主たる構造として含むことが好ましい。したがって、ポリイミド樹脂中に占めるポリイミド鎖の比率は、好ましくは50質量%以上であり、より好ましくは70質量%以上であり、更に好ましくは90質量%以上であり、特に好ましくは99質量%以上である。
The polyimide resin may contain a structure other than a polyimide chain (a structure formed by imide bonding between a structural unit A and a structural unit B). Examples of structures other than a polyimide chain that can be contained in the polyimide resin include a structure containing an amide bond.
The polyimide resin preferably contains, as a main structure, a polyimide chain (a structure formed by imide bonding between structural unit A and structural unit B). Therefore, the ratio of the polyimide chain in the polyimide resin is preferably 50% by mass or more, more preferably 70% by mass or more, even more preferably 90% by mass or more, and particularly preferably 99% by mass or more.

上記ポリイミド樹脂を含む本発明のポリイミド樹脂組成物は、耐熱性、無色透明性、耐薬品性及び洗浄性に優れ、更に残留応力が低いフィルムを形成することができ、当該フィルムの有する好適な物性値は以下の通りである。The polyimide resin composition of the present invention containing the above polyimide resin can form a film that is excellent in heat resistance, colorless transparency, chemical resistance and cleanability, and further has low residual stress, and the preferred physical properties of the film are as follows:

ガラス転移温度(Tg)は、好ましくは380℃以上であり、より好ましくは400℃以上であり、更に好ましくは450℃以上である。
全光線透過率は、厚さ10μmのフィルムとした際に、好ましくは88%以上であり、より好ましくは89%以上であり、更に好ましくは90%以上である。
イエローインデックス(YI)は、厚さ10μmのフィルムとした際に、好ましくは5.0以下であり、より好ましくは4.0以下であり、更に好ましくは3.0以下である。
残留応力は、好ましくは25.0MPa以下であり、より好ましくは24.0MPa以下であり、更に好ましくは22.0MPa以下である。
The glass transition temperature (Tg) is preferably 380° C. or higher, more preferably 400° C. or higher, and even more preferably 450° C. or higher.
The total light transmittance, when made into a film having a thickness of 10 μm, is preferably 88% or more, more preferably 89% or more, and further preferably 90% or more.
The yellow index (YI) when made into a film having a thickness of 10 μm is preferably 5.0 or less, more preferably 4.0 or less, and further preferably 3.0 or less.
The residual stress is preferably 25.0 MPa or less, more preferably 24.0 MPa or less, and further preferably 22.0 MPa or less.

また、上記ポリイミド樹脂の一態様である、構成単位Aが構成単位(A-2)を更に含むポリイミド樹脂を用いることで、更にレーザー剥離性にも優れるフィルムを形成することができ、当該フィルムの有する好適な物性値は以下の通りである。
波長308nmにおける光線透過率は、厚さ10μmのフィルムとした際に、好ましくは0.8%以下であり、より好ましくは0.6%以下であり、更に好ましくは0.4%以下である。
Furthermore, by using a polyimide resin in which the structural unit A further contains the structural unit (A-2), which is one embodiment of the polyimide resin, a film that is even more excellent in laser peelability can be formed, and the suitable physical property values of the film are as follows:
The light transmittance at a wavelength of 308 nm is preferably 0.8% or less, more preferably 0.6% or less, and even more preferably 0.4% or less, when made into a film having a thickness of 10 μm.

また、上記ポリイミド樹脂を用いて形成することができるフィルムは機械的特性も良好であり、以下のような好適な物性値を有する。
引張弾性率は、好ましくは2.0GPa以上であり、より好ましくは3.0GPa以上であり、更に好ましくは4.0GPa以上である。
引張強度は、好ましくは80MPa以上であり、より好ましくは100MPa以上であり、更に好ましくは120MPa以上である。
なお、本発明における上述の物性値は、具体的には実施例に記載の方法で測定することができる。
Furthermore, a film that can be formed using the polyimide resin has good mechanical properties and the following preferable physical properties.
The tensile modulus is preferably 2.0 GPa or more, more preferably 3.0 GPa or more, and even more preferably 4.0 GPa or more.
The tensile strength is preferably 80 MPa or more, more preferably 100 MPa or more, and further preferably 120 MPa or more.
The above-mentioned physical properties in the present invention can be specifically measured by the methods described in the Examples.

<ポリイミド樹脂の製造方法>
本発明において、ポリイミド樹脂は、上述の構成単位(A-1)を与える化合物を含むテトラカルボン酸成分と、上述の構成単位(B-1)を与える化合物及び上述の構成単位(B-2)を与える化合物を含むジアミン成分とを反応させることにより製造することができる。
<Method of producing polyimide resin>
In the present invention, the polyimide resin can be produced by reacting a tetracarboxylic acid component containing a compound that provides the above-mentioned structural unit (A-1) with a diamine component containing a compound that provides the above-mentioned structural unit (B-1) and a compound that provides the above-mentioned structural unit (B-2).

構成単位(A-1)を与える化合物としては、式(a-1)で表される化合物が挙げられるが、それに限られず、同じ構成単位を与える範囲でその誘導体であってもよい。当該誘導体としては、式(a-1)で表されるテトラカルボン酸二無水物に対応するテトラカルボン酸(即ち、ノルボルナン-2-スピロ-α-シクロペンタノン-α’-スピロ-2”-ノルボルナン-5,5”,6,6”-テトラカルボン酸)、及び当該テトラカルボン酸のアルキルエステルが挙げられる。構成単位(A-1)を与える化合物としては、式(a-1)で表される化合物(即ち、二無水物)が好ましい。 Compounds that provide the structural unit (A-1) include, but are not limited to, compounds represented by formula (a-1), and may be derivatives thereof as long as they provide the same structural unit. Such derivatives include tetracarboxylic acids corresponding to the tetracarboxylic dianhydride represented by formula (a-1) (i.e., norbornane-2-spiro-α-cyclopentanone-α'-spiro-2"-norbornane-5,5",6,6"-tetracarboxylic acid), and alkyl esters of the tetracarboxylic acid. Compounds that provide the structural unit (A-1) are preferably compounds represented by formula (a-1) (i.e., dianhydrides).

テトラカルボン酸成分は、構成単位(A-1)を与える化合物を、好ましくは40モル%以上含み、より好ましくは50モル%以上含み、更に好ましくは60モル%以上含む。構成単位(A-1)を与える化合物の含有量の上限値は特に限定されず、即ち、100モル%である。テトラカルボン酸成分は構成単位(A-1)を与える化合物のみからなっていてもよい。The tetracarboxylic acid component preferably contains 40 mol% or more of the compound that gives the structural unit (A-1), more preferably 50 mol% or more, and even more preferably 60 mol% or more. The upper limit of the content of the compound that gives the structural unit (A-1) is not particularly limited, that is, it is 100 mol%. The tetracarboxylic acid component may consist only of the compound that gives the structural unit (A-1).

テトラカルボン酸成分は、構成単位(A-1)を与える化合物以外の化合物を含んでもよい。
テトラカルボン酸成分は、構成単位(A-1)を与える化合物に加えて、構成単位(A-2)を与える化合物を更に含むことが好ましい。
構成単位(A-2)を与える化合物としては、式(a-2)で表される化合物が挙げられるが、それに限られず、同じ構成単位を与える範囲でその誘導体であってもよい。当該誘導体としては、式(a-2)で表されるテトラカルボン酸二無水物に対応するテトラカルボン酸及び当該テトラカルボン酸のアルキルエステルが挙げられる。構成単位(A-2)を与える化合物としては、式(a-2)で表される化合物(即ち、二無水物)が好ましい。
The tetracarboxylic acid component may contain a compound other than the compound that provides the structural unit (A-1).
It is preferred that the tetracarboxylic acid component further contains a compound that provides the structural unit (A-2), in addition to the compound that provides the structural unit (A-1).
Compounds that provide the structural unit (A-2) include, but are not limited to, compounds represented by formula (a-2), and may be derivatives thereof as long as they provide the same structural unit. Examples of such derivatives include tetracarboxylic acids corresponding to the tetracarboxylic dianhydride represented by formula (a-2) and alkyl esters of the tetracarboxylic acid. Compounds that provide the structural unit (A-2) are preferably compounds represented by formula (a-2) (i.e., dianhydrides).

テトラカルボン酸成分が構成単位(A-1)を与える化合物及び構成単位(A-2)を与える化合物を含む場合、テトラカルボン酸成分は、構成単位(A-1)を与える化合物を、好ましくは40~95モル%含み、より好ましくは50~90モル%含み、更に好ましくは55~85モル%含み、構成単位(A-2)を与える化合物を、好ましくは5~60モル%含み、より好ましくは10~50モル%含み、更に好ましくは15~45モル%含む。
テトラカルボン酸成分は、構成単位(A-1)を与える化合物及び構成単位(A-2)を与える化合物を合計で、好ましくは50モル%以上含み、より好ましくは70モル%以上含み、更に好ましくは90モル%以上含み、特に好ましくは99モル%以上含む。構成単位(A-1)を与える化合物及び構成単位(A-2)を与える化合物の合計の含有量の上限値は特に限定されず、即ち、100モル%である。テトラカルボン酸成分は構成単位(A-1)を与える化合物と構成単位(A-2)を与える化合物とのみからなっていてもよい。
When the tetracarboxylic acid component contains a compound that provides the structural unit (A-1) and a compound that provides the structural unit (A-2), the tetracarboxylic acid component preferably contains 40 to 95 mol %, more preferably 50 to 90 mol %, and even more preferably 55 to 85 mol %, of the compound that provides the structural unit (A-1), and preferably contains 5 to 60 mol %, more preferably 10 to 50 mol %, and even more preferably 15 to 45 mol % of the compound that provides the structural unit (A-2).
The tetracarboxylic acid component contains, in total, the compound that gives the structural unit (A-1) and the compound that gives the structural unit (A-2), preferably at least 50 mol%, more preferably at least 70 mol%, even more preferably at least 90 mol%, and particularly preferably at least 99 mol%. There is no particular upper limit on the total content of the compound that gives the structural unit (A-1) and the compound that gives the structural unit (A-2), that is, it is 100 mol%. The tetracarboxylic acid component may consist only of the compound that gives the structural unit (A-1) and the compound that gives the structural unit (A-2).

テトラカルボン酸成分は、構成単位(A-1)を与える化合物に加えて、構成単位(A-3)を与える化合物を更に含むことが好ましい。
構成単位(A-3)を与える化合物としては、両末端酸無水物変性シリコーン(例えば、式(a-3)で表される化合物)が挙げられるが、それに限られず、同じ構成単位を与える範囲でその誘導体であってもよい。当該誘導体としては、両末端酸無水物変性シリコーンに対応するテトラカルボン酸及び当該テトラカルボン酸のアルキルエステルが挙げられる。構成単位(A-3)を与える化合物としては、両末端酸無水物変性シリコーン(即ち、二無水物)が好ましい。
It is preferred that the tetracarboxylic acid component further contains a compound that provides the structural unit (A-3), in addition to the compound that provides the structural unit (A-1).
Examples of compounds that provide the structural unit (A-3) include silicones modified with acid anhydrides at both ends (for example, compounds represented by formula (a-3)), but are not limited thereto, and may also be derivatives thereof as long as they provide the same structural unit. Examples of such derivatives include tetracarboxylic acids corresponding to the silicones modified with acid anhydrides at both ends and alkyl esters of the tetracarboxylic acids. Examples of compounds that provide the structural unit (A-3) are silicones modified with acid anhydrides at both ends (i.e., dianhydrides).

テトラカルボン酸成分が構成単位(A-1)を与える化合物及び構成単位(A-3)を与える化合物を含む場合、テトラカルボン酸成分は、構成単位(A-1)を与える化合物を、好ましくは50~99モル%含み、より好ましくは60~98モル%含み、更に好ましくは70~97モル%含み、構成単位(A-3)を与える化合物を、好ましくは1~50モル%含み、より好ましくは2~40モル%含み、更に好ましくは3~30モル%含む。
テトラカルボン酸成分は、構成単位(A-1)を与える化合物及び構成単位(A-3)を与える化合物を合計で、好ましくは50モル%以上含み、より好ましくは70モル%以上含み、更に好ましくは90モル%以上含み、特に好ましくは99モル%以上含む。構成単位(A-1)を与える化合物及び構成単位(A-3)を与える化合物の合計の含有量の上限値は特に限定されず、即ち、100モル%である。テトラカルボン酸成分は構成単位(A-1)を与える化合物と構成単位(A-3)を与える化合物とのみからなっていてもよい。
When the tetracarboxylic acid component contains a compound that provides the structural unit (A-1) and a compound that provides the structural unit (A-3), the tetracarboxylic acid component preferably contains 50 to 99 mol %, more preferably 60 to 98 mol %, and even more preferably 70 to 97 mol %, of the compound that provides the structural unit (A-1), and preferably contains 1 to 50 mol %, more preferably 2 to 40 mol %, and even more preferably 3 to 30 mol %, of the compound that provides the structural unit (A-3).
The tetracarboxylic acid component preferably contains at least 50 mol %, more preferably at least 70 mol %, even more preferably at least 90 mol %, and particularly preferably at least 99 mol % of the compound that provides the structural unit (A-1) and the compound that provides the structural unit (A-3). There is no particular upper limit on the total content of the compound that provides the structural unit (A-1) and the compound that provides the structural unit (A-3), that is, it is 100 mol %. The tetracarboxylic acid component may consist only of the compound that provides the structural unit (A-1) and the compound that provides the structural unit (A-3).

テトラカルボン酸成分は、構成単位(A-1)を与える化合物に加えて、構成単位(A-2)を与える化合物及び構成単位(A-3)を与える化合物の両方を更に含むことも好ましい。
テトラカルボン酸成分が構成単位(A-1)を与える化合物、構成単位(A-2)を与える化合物、及び構成単位(A-3)を与える化合物を含む場合、テトラカルボン酸成分は、構成単位(A-1)を与える化合物を、好ましくは50~90モル%含み、より好ましくは60~85モル%含み、更に好ましくは65~80モル%含み、構成単位(A-2)を与える化合物を、好ましくは5~30モル%含み、より好ましくは5~25モル%含み、更に好ましくは5~20モル%含み、構成単位(A-3)を与える化合物を、好ましくは1~25モル%含み、より好ましくは2~20モル%含み、更に好ましくは3~15モル%含む。
テトラカルボン酸成分は、構成単位(A-1)を与える化合物、構成単位(A-2)を与える化合物、及び構成単位(A-3)を与える化合物を合計で、好ましくは50モル%以上含み、より好ましくは70モル%以上含み、更に好ましくは90モル%以上含み、特に好ましくは99モル%以上含む。構成単位(A-1)を与える化合物、構成単位(A-2)を与える化合物、及び構成単位(A-3)を与える化合物の合計の含有量の上限値は特に限定されず、即ち、100モル%である。テトラカルボン酸成分は構成単位(A-1)を与える化合物と構成単位(A-2)を与える化合物と構成単位(A-3)を与える化合物とのみからなっていてもよい。
It is also preferred that the tetracarboxylic acid component further contains, in addition to the compound that provides the structural unit (A-1), both a compound that provides the structural unit (A-2) and a compound that provides the structural unit (A-3).
When the tetracarboxylic acid component contains a compound which provides the structural unit (A-1), a compound which provides the structural unit (A-2), and a compound which provides the structural unit (A-3), the tetracarboxylic acid component preferably contains 50 to 90 mol %, more preferably 60 to 85 mol %, and even more preferably 65 to 80 mol %, of the compound which provides the structural unit (A-1), preferably contains 5 to 30 mol %, more preferably 5 to 25 mol %, and even more preferably 5 to 20 mol %, of the compound which provides the structural unit (A-3), and preferably contains 1 to 25 mol %, more preferably 2 to 20 mol %, and even more preferably 3 to 15 mol % of the compound which provides the structural unit (A-3).
The tetracarboxylic acid component preferably contains at least 50 mol%, more preferably at least 70 mol%, even more preferably at least 90 mol%, and particularly preferably at least 99 mol% of the compound that gives the structural unit (A-1), the compound that gives the structural unit (A-2), and the compound that gives the structural unit (A-3). There is no particular upper limit to the total content of the compound that gives the structural unit (A-1), the compound that gives the structural unit (A-2), and the compound that gives the structural unit (A-3), that is, it is 100 mol%. The tetracarboxylic acid component may be composed only of the compound that gives the structural unit (A-1), the compound that gives the structural unit (A-2), and the compound that gives the structural unit (A-3).

テトラカルボン酸成分に任意に含まれる構成単位(A-1)を与える化合物以外の化合物は、構成単位(A-2)を与える化合物及び構成単位(A-3)を与える化合物に限定されない。そのような任意の化合物としては、上述の芳香族テトラカルボン酸二無水物、脂環式テトラカルボン酸二無水物、及び脂肪族テトラカルボン酸二無水物、並びにそれらの誘導体(テトラカルボン酸、テトラカルボン酸のアルキルエステル等)が挙げられる。
テトラカルボン酸成分に任意に含まれる構成単位(A-1)を与える化合物以外の化合物は、1種でもよいし、2種以上であってもよい。
Compounds other than the compound that provides the structural unit (A-1) that are optionally contained in the tetracarboxylic acid component are not limited to the compounds that provide the structural unit (A-2) and the compounds that provide the structural unit (A-3). Examples of such optional compounds include the above-mentioned aromatic tetracarboxylic acid dianhydrides, alicyclic tetracarboxylic acid dianhydrides, and aliphatic tetracarboxylic acid dianhydrides, as well as derivatives thereof (tetracarboxylic acids, alkyl esters of tetracarboxylic acids, etc.).
The compound other than the compound which gives the structural unit (A-1) optionally contained in the tetracarboxylic acid component may be one type or two or more types.

構成単位(B-1)を与える化合物としては、式(b-1)で表される化合物が挙げられるが、それに限られず、同じ構成単位を与える範囲でその誘導体であってもよい。当該誘導体としては、式(b-1)で表されるジアミンに対応するジイソシアネートが挙げられる。構成単位(B-1)を与える化合物としては、式(b-1)で表される化合物(即ち、ジアミン)が好ましい。
同様に、構成単位(B-2)を与える化合物としては、式(b-2)で表される化合物が挙げられるが、それに限られず、同じ構成単位を与える範囲でその誘導体であってもよい。当該誘導体としては、式(b-2)で表されるジアミンに対応するジイソシアネートが挙げられる。構成単位(B-2)を与える化合物としては、式(b-2)で表される化合物(即ち、ジアミン)が好ましい。
Compounds that provide the structural unit (B-1) include, but are not limited to, compounds represented by formula (b-1), and may be derivatives thereof as long as they provide the same structural unit. Examples of such derivatives include diisocyanates corresponding to the diamines represented by formula (b-1). Compounds that provide the structural unit (B-1) are preferably compounds represented by formula (b-1) (i.e., diamines).
Similarly, examples of compounds that provide the structural unit (B-2) include, but are not limited to, compounds represented by formula (b-2), and may be derivatives thereof as long as they provide the same structural unit. Examples of such derivatives include diisocyanates corresponding to the diamines represented by formula (b-2). Compounds that provide the structural unit (B-2) are preferably compounds represented by formula (b-2) (i.e., diamines).

ジアミン成分は、構成単位(B-1)を与える化合物を、好ましくは35~95モル%含み、より好ましくは40~90モル%含み、更に好ましくは45~85モル%含む。
ジアミン成分は、構成単位(B-2)を与える化合物を、好ましくは5~65モル%含み、より好ましくは10~60モル%含み、更に好ましくは15~55モル%含む。
ジアミン成分は、構成単位(B-1)を与える化合物及び構成単位(B-2)を与える化合物を合計で、好ましくは50モル%以上含み、より好ましくは70モル%以上含み、更に好ましくは90モル%以上含み、特に好ましくは99モル%以上含む。構成単位(B-1)を与える化合物及び構成単位(B-2)を与える化合物の合計の含有量の上限値は特に限定されず、即ち、100モル%である。ジアミン成分は構成単位(B-1)を与える化合物と構成単位(B-2)を与える化合物とのみからなっていてもよい。
The diamine component contains the compound that provides the structural unit (B-1) in an amount of preferably 35 to 95 mol %, more preferably 40 to 90 mol %, and even more preferably 45 to 85 mol %.
The diamine component contains the compound that provides the structural unit (B-2) in an amount of preferably 5 to 65 mol %, more preferably 10 to 60 mol %, and even more preferably 15 to 55 mol %.
The diamine component contains, in total, the compound that gives the structural unit (B-1) and the compound that gives the structural unit (B-2), preferably at least 50 mol%, more preferably at least 70 mol%, even more preferably at least 90 mol%, and particularly preferably at least 99 mol%. The upper limit of the total content of the compound that gives the structural unit (B-1) and the compound that gives the structural unit (B-2) is not particularly limited, that is, it is 100 mol%. The diamine component may consist only of the compound that gives the structural unit (B-1) and the compound that gives the structural unit (B-2).

ジアミン成分は構成単位(B-1)を与える化合物及び構成単位(B-2)を与える化合物以外の化合物を含んでもよく、当該化合物としては、上述の芳香族ジアミン、脂環式ジアミン、及び脂肪族ジアミン、並びにそれらの誘導体(ジイソシアネート等)が挙げられる。
ジアミン成分に任意に含まれる構成単位(B-1)を与える化合物及び構成単位(B-2)を与える化合物以外の化合物は、1種でもよいし、2種以上であってもよい。
The diamine component may contain a compound other than the compound that provides the structural unit (B-1) and the compound that provides the structural unit (B-2). Examples of such compounds include the above-mentioned aromatic diamines, alicyclic diamines, and aliphatic diamines, as well as derivatives thereof (diisocyanates, etc.).
The compound optionally contained in the diamine component other than the compound providing the structural unit (B-1) and the compound providing the structural unit (B-2) may be one type or two or more types.

本発明において、ポリイミド樹脂の製造に用いるテトラカルボン酸成分とジアミン成分の仕込み量比は、テトラカルボン酸成分1モルに対してジアミン成分が0.9~1.1モルであることが好ましい。In the present invention, the ratio of the amount of the tetracarboxylic acid component and the diamine component used in the production of the polyimide resin is preferably 0.9 to 1.1 moles of the diamine component per mole of the tetracarboxylic acid component.

また、本発明において、ポリイミド樹脂の製造には、前述のテトラカルボン酸成分及びジアミン成分の他に、末端封止剤を用いてもよい。末端封止剤としてはモノアミン類あるいはジカルボン酸類が好ましい。導入される末端封止剤の仕込み量としては、テトラカルボン酸成分1モルに対して0.0001~0.1モルが好ましく、特に0.001~0.06モルが好ましい。モノアミン類末端封止剤としては、例えば、メチルアミン、エチルアミン、プロピルアミン、ブチルアミン、ベンジルアミン、4-メチルベンジルアミン、4-エチルベンジルアミン、4-ドデシルベンジルアミン、3-メチルベンジルアミン、3-エチルベンジルアミン、アニリン、3-メチルアニリン、4-メチルアニリン等が推奨される。これらのうち、ベンジルアミン、アニリンが好適に使用できる。ジカルボン酸類末端封止剤としては、ジカルボン酸類が好ましく、その一部を閉環していてもよい。例えば、フタル酸、無水フタル酸、4-クロロフタル酸、テトラフルオロフタル酸、2,3-ベンゾフェノンジカルボン酸、3,4-ベンゾフェノンジカルボン酸、シクロヘキサン-1,2-ジカルボン酸、シクロペンタン-1,2-ジカルボン酸、4-シクロヘキセン-1,2-ジカルボン酸等が推奨される。これらのうち、フタル酸、無水フタル酸が好適に使用できる。In addition, in the present invention, in addition to the above-mentioned tetracarboxylic acid component and diamine component, a terminal blocking agent may be used in the production of the polyimide resin. As the terminal blocking agent, monoamines or dicarboxylic acids are preferred. The amount of the terminal blocking agent to be introduced is preferably 0.0001 to 0.1 moles per mole of the tetracarboxylic acid component, and particularly preferably 0.001 to 0.06 moles. As the monoamine terminal blocking agent, for example, methylamine, ethylamine, propylamine, butylamine, benzylamine, 4-methylbenzylamine, 4-ethylbenzylamine, 4-dodecylbenzylamine, 3-methylbenzylamine, 3-ethylbenzylamine, aniline, 3-methylaniline, 4-methylaniline, etc. are recommended. Of these, benzylamine and aniline are preferably used. As the dicarboxylic acid terminal blocking agent, dicarboxylic acids are preferred, and a part of them may be ring-closed. For example, phthalic acid, phthalic anhydride, 4-chlorophthalic acid, tetrafluorophthalic acid, 2,3-benzophenonedicarboxylic acid, 3,4-benzophenonedicarboxylic acid, cyclohexane-1,2-dicarboxylic acid, cyclopentane-1,2-dicarboxylic acid, 4-cyclohexene-1,2-dicarboxylic acid, etc. are recommended. Of these, phthalic acid and phthalic anhydride are preferably used.

前述のテトラカルボン酸成分とジアミン成分とを反応させる方法には特に制限はなく、公知の方法を用いることができる。
具体的な反応方法としては、(1)テトラカルボン酸成分、ジアミン成分、及び反応溶剤を反応器に仕込み、室温~80℃で0.5~30時間撹拌し、その後に昇温してイミド化反応を行う方法、(2)ジアミン成分及び反応溶剤を反応器に仕込んで溶解させた後、テトラカルボン酸成分を仕込み、必要に応じて室温~80℃で0.5~30時間撹拌し、その後に昇温してイミド化反応を行う方法、(3)テトラカルボン酸成分、ジアミン成分、及び反応溶剤を反応器に仕込み、直ちに昇温してイミド化反応を行う方法等が挙げられる。
The method for reacting the tetracarboxylic acid component and the diamine component is not particularly limited, and any known method can be used.
Specific reaction methods include: (1) a method in which a tetracarboxylic acid component, a diamine component, and a reaction solvent are charged into a reactor, and the mixture is stirred at room temperature to 80° C. for 0.5 to 30 hours, and then the temperature is raised to carry out the imidization reaction; (2) a method in which a diamine component and a reaction solvent are charged into a reactor and dissolved, and then a tetracarboxylic acid component is charged, and the mixture is stirred at room temperature to 80° C. for 0.5 to 30 hours as necessary, and then the temperature is raised to carry out the imidization reaction; and (3) a method in which a tetracarboxylic acid component, a diamine component, and a reaction solvent are charged into a reactor, and the temperature is immediately raised to carry out the imidization reaction.

ポリイミド樹脂の製造に用いられる反応溶剤は、イミド化反応を阻害せず、生成するポリイミドを溶解できるものであればよい。例えば、非プロトン性溶剤、フェノール系溶剤、エーテル系溶剤、カーボネート系溶剤等が挙げられる。The reaction solvent used in the production of polyimide resins may be any solvent that does not inhibit the imidization reaction and can dissolve the resulting polyimide. Examples include aprotic solvents, phenolic solvents, ether solvents, and carbonate solvents.

非プロトン性溶剤の具体例としては、N,N-ジメチルホルムアミド、N,N-ジメチルアセトアミド、N-メチル-2-ピロリドン(NMP)、N-メチルカプロラクタム、1,3-ジメチルイミダゾリジノン、テトラメチル尿素等のアミド系溶剤、γ-ブチロラクトン(GBL)、γ-バレロラクトン等のラクトン系溶剤、ヘキサメチルホスホリックアミド、ヘキサメチルホスフィントリアミド等の含リン系アミド系溶剤、ジメチルスルホン、ジメチルスルホキシド、スルホラン等の含硫黄系溶剤、アセトン、シクロヘキサノン、メチルシクロヘキサノン等のケトン系溶剤、ピコリン、ピリジン等のアミン系溶剤、酢酸(2-メトキシ-1-メチルエチル)等のエステル系溶剤等が挙げられる。 Specific examples of aprotic solvents include amide-based solvents such as N,N-dimethylformamide, N,N-dimethylacetamide, N-methyl-2-pyrrolidone (NMP), N-methylcaprolactam, 1,3-dimethylimidazolidinone, and tetramethylurea; lactone-based solvents such as γ-butyrolactone (GBL) and γ-valerolactone; phosphorus-containing amide-based solvents such as hexamethylphosphoric amide and hexamethylphosphine triamide; sulfur-containing solvents such as dimethyl sulfone, dimethyl sulfoxide, and sulfolane; ketone-based solvents such as acetone, cyclohexanone, and methylcyclohexanone; amine-based solvents such as picoline and pyridine; and ester-based solvents such as 2-methoxy-1-methylethyl acetate.

フェノール系溶剤の具体例としては、フェノール、o-クレゾール、m-クレゾール、p-クレゾール、2,3-キシレノール、2,4-キシレノール、2,5-キシレノール、2,6-キシレノール、3,4-キシレノール、3,5-キシレノール等が挙げられる。
エーテル系溶剤の具体例としては、1,2-ジメトキシエタン、ビス(2-メトキシエチル)エーテル、1,2-ビス(2-メトキシエトキシ)エタン、ビス〔2-(2-メトキシエトキシ)エチル〕エーテル、テトラヒドロフラン、1,4-ジオキサン等が挙げられる。
また、カーボネート系溶剤の具体的な例としては、ジエチルカーボネート、メチルエチルカーボネート、エチレンカーボネート、プロピレンカーボネート等が挙げられる。
上記反応溶剤の中でも、アミド系溶剤又はラクトン系溶剤が好ましい。また、上記の反応溶剤は単独で又は2種以上混合して用いてもよい。
Specific examples of phenol-based solvents include phenol, o-cresol, m-cresol, p-cresol, 2,3-xylenol, 2,4-xylenol, 2,5-xylenol, 2,6-xylenol, 3,4-xylenol, and 3,5-xylenol.
Specific examples of ether solvents include 1,2-dimethoxyethane, bis(2-methoxyethyl)ether, 1,2-bis(2-methoxyethoxy)ethane, bis[2-(2-methoxyethoxy)ethyl]ether, tetrahydrofuran, and 1,4-dioxane.
Specific examples of carbonate solvents include diethyl carbonate, methyl ethyl carbonate, ethylene carbonate, and propylene carbonate.
Among the above reaction solvents, amide-based solvents and lactone-based solvents are preferred. The above reaction solvents may be used alone or in combination of two or more.

イミド化反応では、ディーンスターク装置などを用いて、製造時に生成する水を除去しながら反応を行うことが好ましい。このような操作を行うことで、重合度及びイミド化率をより上昇させることができる。In the imidization reaction, it is preferable to carry out the reaction while removing the water generated during production using a Dean-Stark apparatus or the like. By carrying out such an operation, it is possible to further increase the degree of polymerization and the imidization rate.

上記のイミド化反応においては、公知のイミド化触媒を用いることができる。イミド化触媒としては、塩基触媒又は酸触媒が挙げられる。
塩基触媒としては、ピリジン、キノリン、イソキノリン、α-ピコリン、β-ピコリン、2,4-ルチジン、2,6-ルチジン、トリメチルアミン、トリエチルアミン(TEA)、トリプロピルアミン、トリブチルアミン、トリエチレンジアミン、イミダゾール、N,N-ジメチルアニリン、N,N-ジエチルアニリン等の有機塩基触媒、水酸化カリウムや水酸化ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素カリウム、炭酸水素ナトリウム等の無機塩基触媒が挙げられる。
また、酸触媒としては、クロトン酸、アクリル酸、トランス-3-ヘキセノイック酸、桂皮酸、安息香酸、メチル安息香酸、オキシ安息香酸、テレフタル酸、ベンゼンスルホン酸、パラトルエンスルホン酸、ナフタレンスルホン酸等が挙げられる。上記のイミド化触媒は単独で又は2種以上を組み合わせて用いてもよい。
上記のうち、取り扱い性の観点から、塩基触媒を用いることが好ましく、有機塩基触媒を用いることがより好ましく、トリエチルアミンを用いることが更に好ましく、トリエチルアミンとトリエチレンジアミンを組み合わせて用いることが特に好ましい。
In the above imidization reaction, a known imidization catalyst can be used, such as a base catalyst or an acid catalyst.
Examples of the base catalyst include organic base catalysts such as pyridine, quinoline, isoquinoline, α-picoline, β-picoline, 2,4-lutidine, 2,6-lutidine, trimethylamine, triethylamine (TEA), tripropylamine, tributylamine, triethylenediamine, imidazole, N,N-dimethylaniline, and N,N-diethylaniline; and inorganic base catalysts such as potassium hydroxide, sodium hydroxide, potassium carbonate, sodium carbonate, potassium hydrogencarbonate, and sodium hydrogencarbonate.
Examples of the acid catalyst include crotonic acid, acrylic acid, trans-3-hexenoic acid, cinnamic acid, benzoic acid, methylbenzoic acid, oxybenzoic acid, terephthalic acid, benzenesulfonic acid, paratoluenesulfonic acid, naphthalenesulfonic acid, etc. The above imidization catalysts may be used alone or in combination of two or more kinds.
Among the above, from the viewpoint of handleability, it is preferable to use a base catalyst, it is more preferable to use an organic base catalyst, it is even more preferable to use triethylamine, and it is particularly preferable to use a combination of triethylamine and triethylenediamine.

イミド化反応の温度は、反応率及びゲル化等の抑制の観点から、好ましくは120~250℃、より好ましくは160~200℃である。また、反応時間は、生成水の留出開始後、好ましくは0.5~10時間である。The temperature of the imidization reaction is preferably 120 to 250°C, more preferably 160 to 200°C, from the viewpoint of the reaction rate and suppression of gelation, etc. The reaction time is preferably 0.5 to 10 hours after the start of distillation of the produced water.

<架橋剤>
本発明において、架橋剤は少なくとも2つのオキサゾリル基を有する。即ち、本発明における架橋剤は、分子内に2以上のオキサゾリル基(オキサゾリン環)を有する多官能オキサゾリン化合物である。
オキサゾリル基はカルボキシル基との反応性を有しており、カルボキシル基とオキサゾリル基とが反応すると、以下に示すようにアミドエステル結合が形成される。この反応は、80℃以上に加熱すると特に進行しやすい。

Figure 0007517342000016
<Crosslinking Agent>
In the present invention, the crosslinking agent has at least two oxazolyl groups, that is, the crosslinking agent in the present invention is a polyfunctional oxazoline compound having two or more oxazolyl groups (oxazoline rings) in the molecule.
The oxazolyl group has reactivity with a carboxyl group, and when the carboxyl group reacts with the oxazolyl group, an amide ester bond is formed as shown below. This reaction is particularly likely to proceed when heated to 80° C. or higher.
Figure 0007517342000016

本発明のポリイミド樹脂組成物に含まれるポリイミド樹脂はカルボキシル基を有することから、本発明のポリイミド樹脂組成物を加熱すると、架橋剤を介してポリイミド樹脂同士が架橋して、架橋ポリイミド樹脂が形成される。このような理由から、フィルムの耐薬品性が向上する。 Since the polyimide resin contained in the polyimide resin composition of the present invention has a carboxyl group, when the polyimide resin composition of the present invention is heated, the polyimide resins crosslink with each other via the crosslinking agent to form a crosslinked polyimide resin. For this reason, the chemical resistance of the film is improved.

架橋剤は、分子内に2以上のオキサゾリル基を有する多官能オキサゾリン化合物であれば特に限定されず、その具体例としては、1,3-ビス(4,5-ジヒドロ-2-オキサゾリル)ベンゼン、1,4-ビス(4,5-ジヒドロ-2-オキサゾリル)ベンゼン、2,2’-ビス(2-オキサゾリン)、株式会社日本触媒製のK-2010E、K-2020E、K-2030E、2,6-ビス(4-イソプロピル-2-オキサゾリン-2-イル)ピリジン、2,6-ビス(4-フェニル-2-オキサゾリン-2-イル)ピリジン、2,2’-イソプロピリデンビス(4-フェニル-2-オキサゾリン)、2,2’-イソプロピリデンビス(4-ターシャルブチル-2-オキサゾリン)などが挙げられる。The crosslinking agent is not particularly limited as long as it is a polyfunctional oxazoline compound having two or more oxazolyl groups in the molecule. Specific examples include 1,3-bis(4,5-dihydro-2-oxazolyl)benzene, 1,4-bis(4,5-dihydro-2-oxazolyl)benzene, 2,2'-bis(2-oxazoline), K-2010E, K-2020E, K-2030E, 2,6-bis(4-isopropyl-2-oxazolin-2-yl)pyridine, 2,6-bis(4-phenyl-2-oxazolin-2-yl)pyridine, 2,2'-isopropylidenebis(4-phenyl-2-oxazoline), and 2,2'-isopropylidenebis(4-tert-butyl-2-oxazoline) manufactured by Nippon Shokubai Co., Ltd.

架橋剤は、好ましくは少なくとも2つのオキサゾリル基が結合した芳香環又は芳香族複素環を含む化合物であり、より好ましくは少なくとも2つのオキサゾリル基が結合したベンゼン環又はピリジン環を含む化合物であり、更に好ましくは少なくとも2つのオキサゾリル基が結合したベンゼン環を含む化合物であり、特に好ましくは1,3-ビス(4,5-ジヒドロ-2-オキサゾリル)ベンゼンである。
架橋剤は、単独で用いてもよいし、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。
The crosslinking agent is preferably a compound containing an aromatic ring or aromatic heterocycle to which at least two oxazolyl groups are bonded, more preferably a compound containing a benzene ring or pyridine ring to which at least two oxazolyl groups are bonded, still more preferably a compound containing a benzene ring to which at least two oxazolyl groups are bonded, and particularly preferably 1,3-bis(4,5-dihydro-2-oxazolyl)benzene.
The crosslinking agent may be used alone or in combination of two or more kinds.

本発明のポリイミド樹脂組成物は、架橋剤中のオキサゾリル基とポリイミド樹脂中のカルボキシル基とのモル比(オキサゾリル基/カルボキシル基)が1/8~1/0.5の範囲となるような比率で、ポリイミド樹脂と架橋剤とを含むことが好ましい。前記モル比は、より好ましくは1/6~1/1であり、更に好ましくは1/4~1/2である。
なお、上記のモル比は、架橋剤に含まれるオキサゾリル基と、ポリイミド樹脂の製造に用いる構成単位(B-1)を与える化合物に含まれるカルボキシル基とのモル比を意味し、架橋剤の添加量と構成単位(B-1)を与える化合物の添加量に基づいて計算される。
The polyimide resin composition of the present invention preferably contains a polyimide resin and a crosslinking agent in such a ratio that the molar ratio of the oxazolyl groups in the crosslinking agent to the carboxyl groups in the polyimide resin (oxazolyl groups/carboxyl groups) is in the range of 1/8 to 1/0.5, more preferably 1/6 to 1/1, and even more preferably 1/4 to 1/2.
The above molar ratio means the molar ratio between the oxazolyl group contained in the crosslinking agent and the carboxyl group contained in the compound that provides the structural unit (B-1) used in the production of the polyimide resin, and is calculated based on the amount of the crosslinking agent added and the amount of the compound that provides the structural unit (B-1) added.

[ポリイミドワニス]
本発明のポリイミド樹脂組成物の好適な一態様として、上述のポリイミド樹脂及び上述の架橋剤に加えて、有機溶媒を更に含み、当該ポリイミド樹脂が当該有機溶媒に溶解しているポリイミド樹脂組成物(以後、“ポリイミドワニス”とも呼称する)が挙げられる。
有機溶媒はポリイミド樹脂が溶解するものであればよく、特に限定されないが、ポリイミド樹脂の製造に用いられる反応溶剤として上述した化合物を、単独又は2種以上を混合して用いることが好ましい。
ポリイミドワニスは、重合法により得られるポリイミド樹脂が反応溶剤に溶解した溶液そのものに対して架橋剤を添加したものであってもよいし、又は当該溶液に対して希釈溶剤及び架橋剤を添加したものであってもよい。
[Polyimide varnish]
A preferred embodiment of the polyimide resin composition of the present invention is a polyimide resin composition (hereinafter, also referred to as a "polyimide varnish") which further contains an organic solvent in addition to the above-mentioned polyimide resin and the above-mentioned crosslinking agent, and in which the polyimide resin is dissolved in the organic solvent.
The organic solvent is not particularly limited as long as it dissolves the polyimide resin. However, it is preferable to use the above-mentioned compounds as reaction solvents used in the production of the polyimide resin, either alone or in combination of two or more kinds.
The polyimide varnish may be prepared by adding a crosslinking agent to a solution in which a polyimide resin obtained by polymerization is dissolved in a reaction solvent, or by adding a dilution solvent and a crosslinking agent to the solution.

ポリイミドワニスは、ポリイミド樹脂を5~40質量%含むことが好ましく、7~30質量%含むことがより好ましく、8~20質量%含むことが更に好ましい。ポリイミドワニスの粘度は50~5000Pa・sが好ましく、100~4000Pa・sがより好ましく、300~3500Pa・sが更に好ましい。ポリイミドワニスの粘度は、E型粘度計を用いて25℃で測定された値である。 The polyimide varnish preferably contains 5 to 40% by mass of polyimide resin, more preferably 7 to 30% by mass, and even more preferably 8 to 20% by mass. The viscosity of the polyimide varnish is preferably 50 to 5000 Pa·s, more preferably 100 to 4000 Pa·s, and even more preferably 300 to 3500 Pa·s. The viscosity of the polyimide varnish is measured at 25°C using an E-type viscometer.

また、本発明のポリイミドワニスは、ポリイミドフィルムの要求特性を損なわない範囲で、無機フィラー、接着促進剤、剥離剤、難燃剤、紫外線安定剤、界面活性剤、レベリング剤、消泡剤、蛍光増白剤、架橋剤、重合開始剤、感光剤等各種添加剤を含んでもよい。
本発明のポリイミドワニスの製造方法は特に限定されず、公知の方法を適用することができる。
In addition, the polyimide varnish of the present invention may contain various additives such as inorganic fillers, adhesion promoters, release agents, flame retardants, UV stabilizers, surfactants, leveling agents, defoamers, fluorescent brightening agents, crosslinking agents, polymerization initiators, and photosensitizers, as long as the additives do not impair the required properties of the polyimide film.
The method for producing the polyimide varnish of the present invention is not particularly limited, and any known method can be applied.

[ポリイミドフィルム]
本発明のポリイミドフィルムは、本発明のポリイミド樹脂組成物中に含まれる上述のポリイミド樹脂が上述の架橋剤により架橋されてなる。即ち、本発明のポリイミドフィルムは、架橋剤を介したポリイミド樹脂同士の架橋物である架橋ポリイミド樹脂を含む。したがって、本発明のポリイミドフィルムは、耐熱性、無色透明性及び耐薬品性に優れ、更に残留応力が低い。本発明のポリイミドフィルムが有する好適な物性値は上述の通りである。
[Polyimide film]
The polyimide film of the present invention is obtained by crosslinking the above-mentioned polyimide resin contained in the polyimide resin composition of the present invention with the above-mentioned crosslinking agent. That is, the polyimide film of the present invention contains a crosslinked polyimide resin which is a crosslinked product of polyimide resins via a crosslinking agent. Therefore, the polyimide film of the present invention is excellent in heat resistance, colorless transparency, and chemical resistance, and further has low residual stress. The preferable physical properties of the polyimide film of the present invention are as described above.

本発明のポリイミドフィルムの製造方法には、ポリイミド樹脂と架橋剤との架橋反応が進行する温度(好ましくは80℃以上、より好ましくは100℃以上、更に好ましくは150℃以上)で架橋する工程を含めば、特に制限はない。例えば、上述のポリイミドワニスを、ガラス板、金属板、プラスチックなどの平滑な支持体上に塗布、又はフィルム状に成形した後、加熱する方法が挙げられる。この加熱処理により、ポリイミドワニス中のポリイミド樹脂と架橋剤との架橋反応を進行させながら、ポリイミドワニス中に含まれる反応溶剤や希釈溶剤等の有機溶媒を除去することができる。前記支持体の表面には、必要に応じて、予め離形剤を塗布しておいてもよい。There are no particular limitations on the method for producing the polyimide film of the present invention, so long as it includes a step of crosslinking at a temperature at which the crosslinking reaction between the polyimide resin and the crosslinking agent proceeds (preferably 80°C or higher, more preferably 100°C or higher, and even more preferably 150°C or higher). For example, the above-mentioned polyimide varnish can be applied to a smooth support such as a glass plate, a metal plate, or a plastic, or formed into a film, and then heated. This heat treatment can remove organic solvents such as reaction solvents and dilution solvents contained in the polyimide varnish while proceeding with the crosslinking reaction between the polyimide resin in the polyimide varnish and the crosslinking agent. If necessary, a release agent may be applied in advance to the surface of the support.

加熱処理としては、以下の方法が好ましい。すなわち、まず120℃以下の温度で有機溶媒を蒸発させた後、更に有機溶媒の沸点以上の温度で乾燥してポリイミドフィルムを製造することが好ましい。また、窒素雰囲気下で乾燥することが好ましい。乾燥雰囲気の圧力は、減圧、常圧、加圧のいずれでもよい。2段階の温度で乾燥することでフィルム表面が滑らかで欠陥の無いフィルムを得ることができる。また、2段階目の乾燥温度は、特に限定されないが、200~450℃が好ましく、300~430℃がより好ましく、特に好ましくは350~400℃である。この温度範囲で乾燥することで、フィルムの透明性・黄色度が良好となり、更に良好な耐溶媒性が得られる。The following method is preferred for the heat treatment. That is, it is preferable to first evaporate the organic solvent at a temperature of 120°C or less, and then further dry at a temperature equal to or higher than the boiling point of the organic solvent to produce a polyimide film. It is also preferable to dry under a nitrogen atmosphere. The pressure of the drying atmosphere may be reduced pressure, normal pressure, or pressurized pressure. By drying at two temperatures, a film with a smooth surface and no defects can be obtained. The drying temperature in the second stage is not particularly limited, but is preferably 200 to 450°C, more preferably 300 to 430°C, and particularly preferably 350 to 400°C. Drying within this temperature range improves the transparency and yellowness of the film, and further improves solvent resistance.

また、本発明のポリイミドフィルムは、ポリアミド酸及び架橋剤が有機溶媒に溶解してなるポリアミド酸ワニスを用いて製造することもできる。
前記ポリアミド酸ワニスに含まれるポリアミド酸は、本発明におけるポリイミド樹脂の前駆体であって、上述の構成単位(A-1)を与える化合物を含むテトラカルボン酸成分と、上述の構成単位(B-1)を与える化合物及び上述の構成単位(B-2)を与える化合物を含むジアミン成分との重付加反応の生成物である。このポリアミド酸をイミド化(脱水閉環)することで、ポリイミド樹脂が得られる。
前記ポリアミド酸ワニスに含まれる有機溶媒としては、本発明のポリイミドワニスに含まれる有機溶媒を用いることができる。
本発明において、ポリアミド酸ワニスは、上述の構成単位(A-1)を与える化合物を含むテトラカルボン酸成分と上述の構成単位(B-1)を与える化合物及び上述の構成単位(B-2)を与える化合物を含むジアミン成分とを反応溶剤中で重付加反応させて得られるポリアミド酸溶液そのものであってもよいし、又は当該ポリアミド酸溶液に対して更に希釈溶剤を追加したものであってもよい。
The polyimide film of the present invention can also be produced by using a polyamic acid varnish prepared by dissolving a polyamic acid and a crosslinking agent in an organic solvent.
The polyamic acid contained in the polyamic acid varnish is a precursor of the polyimide resin of the present invention, and is a product of a polyaddition reaction between a tetracarboxylic acid component containing a compound that gives the above-mentioned structural unit (A-1) and a diamine component containing a compound that gives the above-mentioned structural unit (B-1) and a compound that gives the above-mentioned structural unit (B-2). The polyamic acid is imidized (dehydration ring closure) to obtain a polyimide resin.
As the organic solvent contained in the polyamic acid varnish, the organic solvent contained in the polyimide varnish of the present invention can be used.
In the present invention, the polyamic acid varnish may be a polyamic acid solution itself obtained by subjecting a tetracarboxylic acid component containing a compound which gives the above-mentioned structural unit (A-1) to a polyaddition reaction in a reaction solvent with a diamine component containing a compound which gives the above-mentioned structural unit (B-1) and a compound which gives the above-mentioned structural unit (B-2), or may be a polyamic acid solution to which a dilution solvent has been further added.

ポリアミド酸ワニスを用いてポリイミドフィルムを製造する方法には、ポリイミド樹脂と架橋剤との架橋反応が進行する温度(好ましくは80℃以上、より好ましくは100℃以上、更に好ましくは150℃以上)で架橋する工程を含めば特に制限はなく、公知の方法を用いることができる。例えば、ポリアミド酸ワニスを、ガラス板、金属板、プラスチックなどの平滑な支持体上に塗布、又はフィルム状に成形し、該ワニス中に含まれる反応溶剤や希釈溶剤等の有機溶媒を加熱により除去してポリアミド酸フィルムを得て、該ポリアミド酸フィルム中のポリアミド酸を加熱によりイミド化し、更にポリイミド樹脂と架橋剤とを反応させて架橋することで、ポリイミドフィルムを製造することができる。
ポリアミド酸ワニスを乾燥させてポリアミド酸フィルムを得る際の加熱温度としては、好ましくは50~120℃である。ポリアミド酸を加熱によりイミド化する際の加熱温度としては好ましくは200~400℃である。
なお、イミド化の方法は熱イミド化に限定されず、化学イミド化を適用することもできる。
The method for producing a polyimide film using a polyamic acid varnish is not particularly limited as long as it includes a step of crosslinking at a temperature at which the crosslinking reaction between the polyimide resin and the crosslinking agent proceeds (preferably 80° C. or higher, more preferably 100° C. or higher, and even more preferably 150° C. or higher), and a known method can be used. For example, the polyamic acid varnish is applied to a smooth support such as a glass plate, a metal plate, or a plastic, or formed into a film, and organic solvents such as reaction solvents and dilution solvents contained in the varnish are removed by heating to obtain a polyamic acid film, and the polyamic acid in the polyamic acid film is imidized by heating, and further the polyimide resin is reacted with a crosslinking agent to crosslink, thereby producing a polyimide film.
The heating temperature when the polyamic acid varnish is dried to obtain a polyamic acid film is preferably 50 to 120° C. The heating temperature when the polyamic acid is imidized by heating is preferably 200 to 400° C.
The imidization method is not limited to thermal imidization, and chemical imidization can also be applied.

本発明のポリイミドフィルムの厚みは用途等に応じて適宜選択することができるが、好ましくは1~250μm、より好ましくは5~100μm、更に好ましくは10~80μmの範囲である。厚みが1~250μmであることで、自立膜としての実用的な使用が可能となる。
ポリイミドフィルムの厚みは、ポリイミドワニスの固形分濃度や粘度を調整することにより、容易に制御することができる。
The thickness of the polyimide film of the present invention can be appropriately selected depending on the application, etc., but is preferably in the range of 1 to 250 μm, more preferably 5 to 100 μm, and even more preferably 10 to 80 μm. When the thickness is 1 to 250 μm, practical use as a free-standing film becomes possible.
The thickness of the polyimide film can be easily controlled by adjusting the solids concentration and viscosity of the polyimide varnish.

本発明のポリイミドフィルムは、カラーフィルター、フレキシブルディスプレイ、半導体部品、光学部材等の各種部材用のフィルムとして好適に用いられる。本発明のポリイミドフィルムは、液晶ディスプレイやOLEDディスプレイ等の画像表示装置の基板として、特に好適に用いられる。The polyimide film of the present invention is suitable for use as a film for various components such as color filters, flexible displays, semiconductor parts, and optical components. The polyimide film of the present invention is particularly suitable for use as a substrate for image display devices such as liquid crystal displays and OLED displays.

以下に、実施例により本発明を具体的に説明する。但し、本発明はこれらの実施例により何ら制限されるものではない。
実施例及び比較例で得たワニスの固形分濃度及びフィルムの各物性は以下に示す方法によって測定した。
The present invention will be described in detail below with reference to examples, although the present invention is not limited to these examples in any way.
The solids concentration of the varnishes and the physical properties of the films obtained in the examples and comparative examples were measured by the methods described below.

(1)固形分濃度
ワニスの固形分濃度の測定は、アズワン株式会社製の小型電気炉「MMF-1」で試料を320℃×120minで加熱し、加熱前後の試料の質量差から算出した。
(1) Solid Content Concentration The solid content concentration of the varnish was measured by heating a sample at 320° C. for 120 min in a small electric furnace “MMF-1” manufactured by AS ONE Corporation, and calculating from the mass difference of the sample before and after heating.

(2)フィルム厚さ
フィルム厚さは、株式会社ミツトヨ製のマイクロメーターを用いて測定した。
(2) Film Thickness The film thickness was measured using a micrometer manufactured by Mitutoyo Corporation.

(3)全光線透過率、イエローインデックス(YI)
全光線透過率及びYIは、JIS K7105:1997に準拠し、日本電色工業株式会社製の色彩・濁度同時測定器「COH7700」を用いて測定した。
(3) Total light transmittance, yellow index (YI)
The total light transmittance and YI were measured in accordance with JIS K7105:1997 using a color and turbidity simultaneous measuring instrument "COH7700" manufactured by Nippon Denshoku Industries Co., Ltd.

(4)ガラス転移温度(Tg)
株式会社日立ハイテクサイエンス製の熱機械的分析装置「TMA/SS6100」を用いて、引張モードで試料サイズ2mm×20mm、荷重0.1N、昇温速度10℃/minの条件で、残留応力を取り除くのに十分な温度まで昇温して残留応力を取り除き、その後室温まで冷却した。その後、前記残留応力を取り除くための処理と同じ条件で試験片伸びの測定を行い、伸びの変曲点が見られたところをガラス転移温度として求めた。
(4) Glass transition temperature (Tg)
Using a thermomechanical analyzer "TMA/SS6100" manufactured by Hitachi High-Tech Science Corp., the specimen was heated to a temperature sufficient to remove the residual stress under the conditions of a sample size of 2 mm x 20 mm, a load of 0.1 N, and a heating rate of 10°C/min in tensile mode, and then cooled to room temperature. The test piece elongation was then measured under the same conditions as in the treatment for removing the residual stress, and the point at which an inflection point in the elongation was observed was determined as the glass transition temperature.

(5)残留応力
ケーエルエー・テンコール社製の残留応力測定装置「FLX-2320」を用いて、予め「反り量」を測定しておいた、厚み525μm±25μmの4インチシリコンウェハ上に、ポリイミドワニスあるいはポリアミド酸ワニスを、スピンコーターを用いて塗布し、プリベークした。その後、熱風乾燥器を用いて、窒素雰囲気下、350~400℃30分の加熱硬化処理を施し、硬化後膜厚8~15μmのポリイミドフィルムのついたシリコンウェハを作製した。このウェハの反り量を前述の残留応力測定装置を用いて測定し、シリコンウェハとポリイミドフィルムの間に生じた残留応力を評価した。
(5) Residual Stress Polyimide varnish or polyamic acid varnish was applied using a spin coater onto a 4-inch silicon wafer with a thickness of 525 μm ± 25 μm, the "warpage" of which had been measured in advance using a residual stress measuring device "FLX-2320" manufactured by KLA-Tencor Corporation, and the wafer was pre-baked. After that, a heat curing treatment was performed at 350 to 400°C for 30 minutes in a nitrogen atmosphere using a hot air dryer, and a silicon wafer with a polyimide film having a thickness of 8 to 15 μm after curing was produced. The warpage of this wafer was measured using the aforementioned residual stress measuring device, and the residual stress generated between the silicon wafer and the polyimide film was evaluated.

(6)引張弾性率、引張強度
引張弾性率及び引張強度は、JIS K7127に準拠し、東洋精機株式会社製の引張試験機「ストログラフVG-1E」を用いて測定した。チャック間距離は50mm、試験片サイズは10mm×50mm、試験速度は20mm/minとした。
(6) Tensile Modulus and Tensile Strength The tensile modulus and tensile strength were measured in accordance with JIS K7127 using a tensile tester "Strograph VG-1E" manufactured by Toyo Seiki Co., Ltd. The chuck distance was 50 mm, the test piece size was 10 mm × 50 mm, and the test speed was 20 mm/min.

(7)耐溶媒性1(PGMEA)
ガラス板上に製膜したポリイミドフィルムに、室温で溶剤を滴下し、フィルム表面に変化がないかを確認した。なお、溶剤としては、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)を使用した。
耐溶剤性の評価基準は、以下の通りとした。
○:フィルム表面に変化がなかった。
△:フィルム表面にわずかにクラックが入った。
×:フィルム表面にクラックが入った、又はフィルム表面が溶解した。
(7) Solvent resistance 1 (PGMEA)
A solvent was dropped onto the polyimide film formed on a glass plate at room temperature, and the film surface was checked for any changes. Propylene glycol monomethyl ether acetate (PGMEA) was used as the solvent.
The evaluation criteria for solvent resistance were as follows.
A: No change was observed on the film surface.
Δ: Slight cracks occurred on the film surface.
×: The film surface was cracked or dissolved.

(8)耐溶剤性2(NMP)
ガラス板上に製膜したポリイミドフィルムを剥離し、室温でN-メチル-2-ピロリドン(NMP)中に60分浸漬した。評価基準は以下の通りとした。
〇:フィルムは溶解せずに形状を維持していた。
×:フィルムが溶解し形状を維持できなかった。
(8) Solvent resistance 2 (NMP)
The polyimide film formed on the glass plate was peeled off and immersed in N-methyl-2-pyrrolidone (NMP) at room temperature for 60 minutes. The evaluation criteria were as follows:
◯: The film did not dissolve and maintained its shape.
×: The film was dissolved and could not maintain its shape.

(9)洗浄性
N-メチル-2-ピロリドンとポリイミドワニスを混合し、室温で均一に混ざるかどうかを確認した。洗浄性の評価基準は、以下の通りとした。
〇:ポリイミドワニスとNMP混合液が均一に混合した。
×:ポリイミドワニスとNMP混合液が均一に混合せず、析出物が生じた。
(9) Cleaning Ability N-methyl-2-pyrrolidone and polyimide varnish were mixed and checked for uniform mixing at room temperature. The evaluation criteria for cleaning ability were as follows:
◯: The polyimide varnish and the NMP mixed solution were mixed uniformly.
×: The polyimide varnish and the NMP mixed solution were not mixed uniformly, and a precipitate was formed.

実施例及び比較例にて使用したテトラカルボン酸成分及びジアミン成分、並びにその略号は以下の通りである。The tetracarboxylic acid components and diamine components used in the examples and comparative examples, as well as their abbreviations, are as follows:

<テトラカルボン酸成分>
CpODA:ノルボルナン-2-スピロ-α-シクロペンタノン-α’-スピロ-2”-ノルボルナン-5,5”,6,6”-テトラカルボン酸二無水物(JXエネルギー株式会社製;式(a-1)で表される化合物)
s-BPDA:3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(三菱化学株式会社製;式(a-2)で表される化合物)
<Tetracarboxylic acid component>
CpODA: norbornane-2-spiro-α-cyclopentanone-α'-spiro-2″-norbornane-5,5″,6,6″-tetracarboxylic dianhydride (manufactured by JX Nippon Oil & Energy Corporation; compound represented by formula (a-1))
s-BPDA: 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation; compound represented by formula (a-2))

<ジアミン>
TFMB:2,2’-ビス(トリフルオロメチル)ベンジジン(和歌山精化工業株式会社製;式(b-1)で表される化合物)
3,5-DABA:3,5-ジアミノ安息香酸(日本純良薬品株式会社製;式(b-2)で表される化合物)
<Diamine>
TFMB: 2,2'-bis(trifluoromethyl)benzidine (manufactured by Wakayama Seika Kogyo Co., Ltd.; compound represented by formula (b-1))
3,5-DABA: 3,5-diaminobenzoic acid (manufactured by Nippon Junryo Pharmaceutical Co., Ltd.; compound represented by formula (b-2))

<架橋剤>
1,3-PBO:1,3-ビス(4,5-ジヒドロ-2-オキサゾリル)ベンゼン(三國製薬工業株式会社製)
<Crosslinking Agent>
1,3-PBO: 1,3-bis(4,5-dihydro-2-oxazolyl)benzene (manufactured by Mikuni Pharmaceutical Co., Ltd.)

<その他>
GBL:γ-ブチロラクトン(三菱ケミカル株式会社製)
TEA:トリエチルアミン(関東化学株式会社製)
<Other>
GBL: γ-butyrolactone (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation)
TEA: Triethylamine (Kanto Chemical Co., Ltd.)

実施例1
ステンレス製半月型撹拌翼、窒素導入管、冷却管を取り付けたディーンスターク、温度計、ガラス製エンドキャップを備えた1Lの5つ口丸底フラスコに、TFMBを25.619g(0.080モル)、3,5-DABAを3.043g(0.020モル)とGBLを161.040g投入し、系内温度70℃、窒素雰囲気下、回転数150rpmで撹拌して溶液を得た。
この溶液に、CpODAを38.438g(0.100モル)とGBLを20.130gとを一括で添加した後、イミド化触媒としてTEAを0.506g、トリエチレンジアミン(東京化成工業株式会社製)0.056g投入し、マントルヒーターで加熱し、約20分かけて反応系内温度を190℃まで上げた。留去される成分を捕集し、回転数を粘度上昇に合わせて調整しつつ、反応系内温度を190℃に保持して2時間還流した。
その後、固形分濃度が10質量%になるようGBLを添加して、反応系内温度を120℃まで冷却した後、更に約1時間撹拌して均一化した。続いて、得られたワニス100gに1,3-PBOを0.167g(3,5-DABA 1モル%に対して0.25モル%)投入し30分間撹拌して均一化しポリイミドワニスを得た。
続いてガラス板上、シリコンウェハへ、得られたポリイミドワニスをスピンコートにより塗布し、ホットプレートで80℃、20分間保持し、その後、窒素雰囲気下、熱風乾燥機中400℃で30分加熱し溶媒を蒸発させ、厚み10μmのフィルムを得た。
Example 1
25.619 g (0.080 mol) of TFMB, 3.043 g (0.020 mol) of 3,5-DABA, and 161.040 g of GBL were placed in a 1 L five-neck round-bottom flask equipped with a stainless steel half-moon shaped stirring blade, a nitrogen inlet tube, a Dean-Stark equipped with a cooling tube, a thermometer, and a glass end cap, and the mixture was stirred at a system temperature of 70° C. under a nitrogen atmosphere at a rotation speed of 150 rpm to obtain a solution.
To this solution, 38.438 g (0.100 mol) of CpODA and 20.130 g of GBL were added all at once, and then 0.506 g of TEA and 0.056 g of triethylenediamine (Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) were added as imidization catalysts, and the mixture was heated with a mantle heater, and the temperature in the reaction system was raised to 190° C. over about 20 minutes. The components distilled off were collected, and the temperature in the reaction system was maintained at 190° C. and refluxed for 2 hours while adjusting the rotation speed according to the increase in viscosity.
Thereafter, GBL was added so that the solid content concentration became 10 mass %, and the temperature in the reaction system was cooled to 120° C., and then the mixture was further stirred for about 1 hour to be homogenized. Next, 0.167 g of 1,3-PBO (0.25 mol % relative to 1 mol % of 3,5-DABA) was added to 100 g of the obtained varnish, and the mixture was stirred for 30 minutes to be homogenized, thereby obtaining a polyimide varnish.
Next, the obtained polyimide varnish was applied by spin coating onto a glass plate and a silicon wafer, and then held on a hot plate at 80°C for 20 minutes. Thereafter, the solution was heated in a hot air dryer at 400°C for 30 minutes under a nitrogen atmosphere to evaporate the solvent, thereby obtaining a film having a thickness of 10 µm.

実施例2
TFMBの量を27.220g(0.085モル)、3,5-DABAの量を2.282g(0.015モル)に変更した以外は、実施例1と同様の方法によりポリイミドワニスを作製し、固形分濃度10質量%のポリイミドワニスを得た。
得られたポリイミドワニスを用いて、2段階目の乾燥温度を表1記載の条件に変更した以外は、実施例1と同様の方法によりフィルムを作製し、厚み9μmのフィルムを得た。
Example 2
A polyimide varnish with a solid content concentration of 10 mass % was obtained by the same method as in Example 1, except that the amount of TFMB was changed to 27.220 g (0.085 mol) and the amount of 3,5-DABA was changed to 2.282 g (0.015 mol).
Using the obtained polyimide varnish, a film having a thickness of 9 μm was produced in the same manner as in Example 1, except that the drying temperature in the second stage was changed to the conditions shown in Table 1.

実施例3
ステンレス製半月型撹拌翼、窒素導入管、冷却管を取り付けたディーンスターク、温度計、ガラス製エンドキャップを備えた1Lの5つ口丸底フラスコに、TFMBを25.619g(0.080モル)、3,5-DABAを3.043g(0.020モル)とGBLを156.713g投入し、系内温度70℃、窒素雰囲気下、回転数150rpmで撹拌して溶液を得た。
この溶液に、CpODAを30.750g(0.08モル)とs-BPDA5.884g(0.02モル)とGBLを39.178gとを一括で添加した後、イミド化触媒としてTEAを0.506g、トリエチレンジアミン(東京化成工業株式会社製)0.056g投入し、マントルヒーターで加熱し、約20分かけて反応系内温度を190℃まで上げた。留去される成分を捕集し、回転数を粘度上昇に合わせて調整しつつ、反応系内温度を190℃に保持して2時間還流した。
その後、固形分濃度が10質量%になるようGBLを添加して、反応系内温度を120℃まで冷却した後、更に約1時間撹拌して均一化した。続いて、1,3-PBOを0.173g(3,5-DABA 1モル%に対して0.25モル%)投入し30分間攪拌して均一化し、固形分濃度10質量%のポリイミドワニスを得た。
続いてガラス板上、シリコンウェハへ、得られたポリイミドワニスをスピンコートにより塗布し、ホットプレートで80℃、30分間保持し、その後、窒素雰囲気下、熱風乾燥機中350℃で20分加熱し溶媒を蒸発させ、厚み10μmのフィルムを得た。
Example 3
25.619 g (0.080 mol) of TFMB, 3.043 g (0.020 mol) of 3,5-DABA, and 156.713 g of GBL were placed in a 1 L five-neck round-bottom flask equipped with a stainless steel half-moon shaped stirring blade, a nitrogen inlet tube, a Dean-Stark equipped with a cooling tube, a thermometer, and a glass end cap, and the mixture was stirred at a system temperature of 70° C. under a nitrogen atmosphere at a rotation speed of 150 rpm to obtain a solution.
To this solution, 30.750 g (0.08 mol) of CpODA, 5.884 g (0.02 mol) of s-BPDA, and 39.178 g of GBL were added all at once, and then 0.506 g of TEA as an imidization catalyst and 0.056 g of triethylenediamine (Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) were added, and the mixture was heated with a mantle heater, and the temperature in the reaction system was raised to 190° C. over about 20 minutes. The components distilled off were collected, and the temperature in the reaction system was maintained at 190° C. and refluxed for 2 hours while adjusting the rotation speed according to the increase in viscosity.
Thereafter, GBL was added so that the solid content concentration became 10% by mass, and the temperature in the reaction system was cooled to 120° C., and then the mixture was further stirred for about 1 hour to be homogenized. Then, 0.173 g of 1,3-PBO (0.25 mol % relative to 1 mol % of 3,5-DABA) was added, and the mixture was stirred for 30 minutes to be homogenized, thereby obtaining a polyimide varnish having a solid content concentration of 10% by mass.
Next, the obtained polyimide varnish was applied by spin coating onto a glass plate and a silicon wafer, and then held on a hot plate at 80°C for 30 minutes. Thereafter, the solution was heated in a hot air dryer at 350°C for 20 minutes under a nitrogen atmosphere to evaporate the solvent, thereby obtaining a film having a thickness of 10 µm.

実施例4
TFMBの量を28.822g(0.090モル)、3,5-DABAの量を1.522g(0.010モル)に変更した以外は、実施例3と同様の方法によりポリイミドワニスを作製し、固形分濃度10質量%のポリイミドワニスを得た。
得られたポリイミドワニスを用いて、実施例3と同様の方法によりフィルムを作製し、厚み10μmのフィルムを得た。
Example 4
A polyimide varnish was prepared in the same manner as in Example 3, except that the amount of TFMB was changed to 28.822 g (0.090 mol) and the amount of 3,5-DABA was changed to 1.522 g (0.010 mol), to obtain a polyimide varnish having a solid content concentration of 10 mass %.
The obtained polyimide varnish was used to prepare a film in the same manner as in Example 3, to obtain a film having a thickness of 10 μm.

実施例5
TFMBの量を17.933g(0.070モル)、3,5-DABAの量を3.652g(0.030モル)に変更した以外は、実施例1と同様の方法によりポリイミドワニスを作製し、固形分濃度10質量%のポリイミドワニスを得た。
得られたポリイミドワニスを用いて、実施例3と同様の方法によりフィルムを作製し、厚み9μmのフィルムを得た。
Example 5
A polyimide varnish with a solid content concentration of 10 mass % was obtained by the same method as in Example 1, except that the amount of TFMB was changed to 17.933 g (0.070 mol) and the amount of 3,5-DABA was changed to 3.652 g (0.030 mol).
The obtained polyimide varnish was used to prepare a film in the same manner as in Example 3, to obtain a film having a thickness of 9 μm.

比較例1
1,3-PBOを添加しなかった以外は、実施例1と同様の方法によりポリイミドワニスを作製し、固形分濃度10質量%のポリイミドワニスを得た。得られたポリイミドワニスを用いて、実施例1と同様の方法によりフィルムを作製し、厚み10μmのフィルムを得た。
Comparative Example 1
A polyimide varnish having a solid content concentration of 10 mass % was prepared in the same manner as in Example 1, except that 1,3-PBO was not added. A film having a thickness of 10 μm was prepared using the obtained polyimide varnish in the same manner as in Example 1.

比較例2
1,3-PBOを添加しなかった以外は、実施例2と同様の方法によりポリイミドワニスを作製し、固形分濃度10質量%のポリイミドワニスを得た。得られたポリイミドワニスを用いて、実施例1と同様の方法によりフィルムを作製し、厚み10μmのフィルムを得た。
Comparative Example 2
A polyimide varnish having a solid content concentration of 10 mass % was prepared in the same manner as in Example 2, except that 1,3-PBO was not added. A film having a thickness of 10 μm was prepared using the obtained polyimide varnish in the same manner as in Example 1.

比較例3
1,3-PBOを添加しなかった以外は、実施例3と同様の方法によりポリイミドワニスを作製し、固形分濃度10質量%のポリイミドワニスを得た。得られたポリイミドワニスを用いて、実施例1と同様の方法によりフィルムを作製し、厚み10μmのフィルムを得た。
Comparative Example 3
A polyimide varnish having a solid content concentration of 10 mass % was prepared in the same manner as in Example 3, except that 1,3-PBO was not added. A film having a thickness of 10 μm was prepared using the obtained polyimide varnish in the same manner as in Example 1.

得られたフィルムについて上記の評価を行った。結果を表1に示す。The obtained films were evaluated as described above. The results are shown in Table 1.

Figure 0007517342000017
Figure 0007517342000017

表1に示すように、実施例1~5のポリイミドフィルムは、耐熱性及び無色透明性に優れ、残留応力が低く、耐薬品性に優れ、洗浄性も良好なものであった。一方、比較例のポリイミドフィルムは耐溶媒性に劣るものであった。As shown in Table 1, the polyimide films of Examples 1 to 5 had excellent heat resistance and colorless transparency, low residual stress, excellent chemical resistance, and good washability. On the other hand, the polyimide film of the comparative example had poor solvent resistance.

Claims (10)

ポリイミド樹脂と、少なくとも2つのオキサゾリル基を有する架橋剤とを含むポリイミド樹脂組成物であって、
前記ポリイミド樹脂が、テトラカルボン酸二無水物に由来する構成単位A及びジアミンに由来する構成単位Bを有するポリイミド樹脂であり、構成単位Aが下記式(a-1)で表される化合物に由来する構成単位(A-1)を含み、構成単位Bが下記式(b-1)で表される化合物に由来する構成単位(B-1)と、下記式(b-2)で表される化合物に由来する構成単位(B-2)とを含み、
構成単位B中における構成単位(B-1)の比率が80~95モル%であり、
構成単位B中における構成単位(B-2)の比率が5~20モル%である、ポリイミド樹脂組成物。

(式(b-2)中、Xは単結合、置換若しくは無置換のアルキレン基、カルボニル基、エーテル基、下記式(b-2-i)で表される基、又は下記式(b-2-ii)で表される基であり、pは0~2の整数であり、m1は0~4の整数であり、m2は0~4の整数である。ただし、pが0の場合、m1は1~4の整数である。)

(式(b-2-i)中、m3は0~5の整数であり;式(b-2-ii)中、m4は0~5の整数である。なお、m1+m2+m3+m4は1以上であり、pが2の場合、2つのX及び2つのm2~m4のそれぞれは独立して選択される。)
A polyimide resin composition comprising a polyimide resin and a crosslinking agent having at least two oxazolyl groups,
The polyimide resin is a polyimide resin having a structural unit A derived from a tetracarboxylic dianhydride and a structural unit B derived from a diamine, the structural unit A including a structural unit (A-1) derived from a compound represented by the following formula (a-1), the structural unit B including a structural unit (B-1) derived from a compound represented by the following formula (b-1) and a structural unit (B-2) derived from a compound represented by the following formula (b-2),
the ratio of the structural unit (B-1) in the structural unit B is 80 to 95 mol %,
A polyimide resin composition , wherein the ratio of the structural unit (B-2) in the structural unit B is 5 to 20 mol % .

(In formula (b-2), X is a single bond, a substituted or unsubstituted alkylene group, a carbonyl group, an ether group, a group represented by the following formula (b-2-i), or a group represented by the following formula (b-2-ii); p is an integer of 0 to 2, m1 is an integer of 0 to 4, and m2 is an integer of 0 to 4. However, when p is 0, m1 is an integer of 1 to 4.)

(In formula (b-2-i), m3 is an integer of 0 to 5; in formula (b-2-ii), m4 is an integer of 0 to 5. Note that, m1+m2+m3+m4 is 1 or more, and when p is 2, each of the two Xs and the two m2 to m4 is independently selected.)
構成単位(B-2)が、下記式(b-21)で表される化合物に由来する構成単位(B-21)である、請求項1に記載のポリイミド樹脂組成物。
The polyimide resin composition according to claim 1, wherein the structural unit (B-2) is a structural unit (B-21) derived from a compound represented by the following formula (b-21):
構成単位A中における構成単位(A-1)の比率が40モル%以上である、請求項1又は2に記載のポリイミド樹脂組成物。 The polyimide resin composition according to claim 1 or 2, in which the ratio of structural unit (A-1) in structural unit A is 40 mol % or more. 構成単位Aが、下記式(a-2)で表される化合物に由来する構成単位(A-2)を更に含む、請求項1~のいずれか1つに記載のポリイミド樹脂組成物。
The polyimide resin composition according to any one of claims 1 to 3 , wherein the structural unit A further contains a structural unit (A-2) derived from a compound represented by the following formula (a-2):
構成単位Aが、両末端酸無水物変性シリコーンに由来する構成単位(A-3)を更に含む、請求項1~のいずれか1つに記載のポリイミド樹脂組成物。 5. The polyimide resin composition according to claim 1 , wherein the structural unit A further comprises a structural unit (A-3) derived from a silicone modified with an acid anhydride at both ends. 前記架橋剤が、少なくとも2つのオキサゾリル基が結合した芳香環又は芳香族複素環を含む化合物である、請求項1~のいずれか1つに記載のポリイミド樹脂組成物。 6. The polyimide resin composition according to claim 1, wherein the crosslinking agent is a compound containing an aromatic ring or an aromatic heterocycle to which at least two oxazolyl groups are bonded. 前記架橋剤が、少なくとも2つのオキサゾリル基が結合したベンゼン環を含む化合物である、請求項1~のいずれか1つに記載のポリイミド樹脂組成物。 7. The polyimide resin composition according to claim 1 , wherein the crosslinking agent is a compound containing a benzene ring to which at least two oxazolyl groups are bonded. 前記架橋剤が、1,3-ビス(4,5-ジヒドロ-2-オキサゾリル)ベンゼンである、請求項1~のいずれか1つに記載のポリイミド樹脂組成物。 8. The polyimide resin composition according to claim 1, wherein the crosslinking agent is 1,3-bis(4,5-dihydro-2-oxazolyl)benzene. 請求項1~のいずれか1つに記載のポリイミド樹脂組成物が有機溶媒に溶解してなるポリイミドワニス。 A polyimide varnish obtained by dissolving the polyimide resin composition according to any one of claims 1 to 8 in an organic solvent. 請求項1~のいずれか1つに記載のポリイミド樹脂組成物中の前記ポリイミド樹脂が前記架橋剤により架橋されてなる、ポリイミドフィルム。
A polyimide film obtained by crosslinking the polyimide resin in the polyimide resin composition according to any one of claims 1 to 8 with the crosslinking agent.
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Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013040301A (en) 2011-08-18 2013-02-28 Kaneka Corp Polyimide film and method for producing the same
JP2016222797A (en) 2015-05-29 2016-12-28 三菱瓦斯化学株式会社 Polyimide resin composition
JP2017071193A (en) 2015-10-09 2017-04-13 Jxエネルギー株式会社 Metal-clad laminate, printed wiring board using the same, and electronic device
WO2017169646A1 (en) 2016-03-30 2017-10-05 コニカミノルタ株式会社 Polyimide film and production method therefor
WO2017221776A1 (en) 2016-06-24 2017-12-28 東レ株式会社 Polyimide resin, polyimide resin composition, touch panel using same, method for producing said touch panel, color filter, method for producing color filter, liquid crystal element, method for producing liquid crystal element, organic el element, and method for producing organic el element
WO2019151336A1 (en) 2018-02-05 2019-08-08 三菱瓦斯化学株式会社 Polyimide resin composition and polyimide film
WO2019211972A1 (en) 2018-05-01 2019-11-07 三菱瓦斯化学株式会社 Polyimide resin, polyimide varnish, and polyimide film

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005232383A (en) 2004-02-20 2005-09-02 Asahi Kasei Electronics Co Ltd Polyamic acid derivative
JP6551640B1 (en) * 2018-02-05 2019-07-31 三菱瓦斯化学株式会社 Asymmetric membrane

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013040301A (en) 2011-08-18 2013-02-28 Kaneka Corp Polyimide film and method for producing the same
JP2016222797A (en) 2015-05-29 2016-12-28 三菱瓦斯化学株式会社 Polyimide resin composition
JP2017071193A (en) 2015-10-09 2017-04-13 Jxエネルギー株式会社 Metal-clad laminate, printed wiring board using the same, and electronic device
WO2017169646A1 (en) 2016-03-30 2017-10-05 コニカミノルタ株式会社 Polyimide film and production method therefor
WO2017221776A1 (en) 2016-06-24 2017-12-28 東レ株式会社 Polyimide resin, polyimide resin composition, touch panel using same, method for producing said touch panel, color filter, method for producing color filter, liquid crystal element, method for producing liquid crystal element, organic el element, and method for producing organic el element
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