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JP7528035B2 - Vibration monitoring device for machinery and equipment - Google Patents
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Description

本発明は、回転部を有する機械設備などに使用する機械設備の振動監視装置に関する。 The present invention relates to a vibration monitoring device for machinery and equipment used in machinery and equipment with rotating parts.

従来、回転部を有する機械設備においては、機械の異常を検知するため、回転部の駆動に伴う機械設備の振動を監視する場合がある。このような振動監視を行う振動監視装置は、回転部の近傍に設置される振動センサの出力信号をデータ処理・分析して異常振動の有無を判定する。上記のような振動監視装置の一例が、例えば特許文献1、2に開示されている。 Conventionally, in machinery and equipment with rotating parts, the vibration of the machinery and equipment caused by the operation of the rotating parts may be monitored to detect mechanical abnormalities. A vibration monitoring device that performs such vibration monitoring processes and analyzes the output signal of a vibration sensor installed near the rotating part to determine the presence or absence of abnormal vibration. Examples of such a vibration monitoring device are disclosed in, for example, Patent Documents 1 and 2.

特許第5293300号Patent No. 5293300 特許第6283591号Patent No. 6283591

特許文献1、2のような従来の振動監視装置は、振動監視を行う専用機であるので、基本的に外部機器を制御する機能を有していない。そのため、振動に異常が有ると判定された際に、例えば異常を知らせるブザーや警告ランプやパソコンなどの外部機器を動作させようとする場合には、振動診断に基づいて外部機器を制御する制御装置を別途作成する必要があり、開発コストがかかる。 Conventional vibration monitoring devices such as those described in Patent Documents 1 and 2 are dedicated machines for vibration monitoring, and so do not essentially have the functionality to control external devices. Therefore, when it is determined that there is an abnormality in the vibration, if one wishes to operate external devices such as a buzzer, warning lamp, or computer to notify of the abnormality, it is necessary to create a separate control device that controls the external devices based on the vibration diagnosis, which incurs development costs.

一方で、外部機器を制御する汎用機としてPLC(プログラマブル・ロジック・コントローラ)がある。例えば、PLCに振動診断を行うプログラムを設定し、入力機器として振動センサ、出力機器としてブザーや警告ランプなどの警報装置を接続すれば、振動センサの信号に基づいてPLCが振動診断を行い、その診断結果に基づいて警報装置などを動作させることができる。
しかし、汎用機であるPLCのみを用いた振動診断では、PLC入力信号にサンプリング周波数の半分以上の高周波が含まれていると、実際の信号より低い周波数の信号として現れるエイリアシング(折り返し現象)が発生してしまう為、前述した専用機のような高精度の診断ができないという問題があった。
On the other hand, there is a PLC (Programmable Logic Controller) as a general-purpose machine that controls external devices. For example, if a program for vibration diagnosis is set in the PLC and a vibration sensor is connected as an input device and an alarm device such as a buzzer or warning lamp is connected as an output device, the PLC will perform vibration diagnosis based on the signal from the vibration sensor and activate the alarm device based on the diagnosis result.
However, in vibration diagnosis using only a general-purpose PLC, if the PLC input signal contains high frequencies that are more than half the sampling frequency, aliasing (folding back phenomenon) occurs, in which the signal appears as a lower frequency signal than the actual signal, and so there is a problem that it is not possible to perform a diagnosis with the same high accuracy as with the dedicated machine mentioned above.

本発明は、かかる課題を解決するためになされたものであり、低コストで、精度の高い振動診断ができ、振動診断の結果に基づいて警報装置などの外部機器を制御可能な機械設備の振動監視装置を提供することを目的としている。 The present invention has been made to solve these problems, and aims to provide a vibration monitoring device for mechanical equipment that can perform vibration diagnosis with high accuracy at low cost and control external devices such as alarm devices based on the results of the vibration diagnosis.

発明者は、PLCによる振動診断において、専用機と同様の診断精度が得られれば、PLCの持っている機能を生かして他の機器との連携などが可能になるとの着想を得た。
本発明はかかる着想に基づくものであり、具体的には以下の構成からなるものである。
The inventors came up with the idea that if vibration diagnosis using a PLC could achieve the same diagnostic accuracy as a dedicated machine, it would be possible to utilize the functions of the PLC to link it with other equipment.
The present invention is based on this idea, and specifically comprises the following configuration.

(1)本発明に係る機械設備の振動監視装置は、機械設備の振動を検出する振動センサから取得した振動波形に基づいて前記振動の異常の有無を判定し、該判定結果に基づいて警報を報知する警報装置を制御するものであって、前記振動センサから出力されるアナログの振動波形を入力してノイズ除去を行う振動入力ユニットと、該振動入力ユニットでノイズ除去されたアナログの振動波形を入力してデジタルの振動波形に変換し、該変換した振動波形のノイズ除去を行い、該ノイズ除去された振動波形に基づいて異常の有無を判定し、該判定結果に基づいて前記警報装置を制御するPLCとを備えたことを特徴とするものである。 (1) The vibration monitoring device for mechanical equipment according to the present invention determines whether or not there is an abnormality in the vibration based on a vibration waveform acquired from a vibration sensor that detects the vibration of the mechanical equipment, and controls an alarm device that issues an alarm based on the determination result, and is characterized in that it includes a vibration input unit that receives an analog vibration waveform output from the vibration sensor and performs noise removal, and a PLC that receives the analog vibration waveform from which noise has been removed by the vibration input unit, converts it into a digital vibration waveform, removes noise from the converted vibration waveform, determines whether or not there is an abnormality based on the noise-removed vibration waveform, and controls the alarm device based on the determination result.

(2)また、上記(1)に記載のものにおいて、前記振動入力ユニットは、利得調整するアナログ回路を含むことを特徴とするものである。 (2) Also, in the above (1), the vibration input unit is characterized by including an analog circuit that adjusts the gain.

本発明に係る機械設備の振動監視装置においては、振動センサから出力されるアナログの振動波形を入力してノイズ除去を行う振動入力ユニットと、振動入力ユニットでノイズ除去されたアナログの振動波形を入力してデジタルの振動波形に変換し、該変換した振動波形のノイズ除去を行い、該ノイズ除去された振動波形に基づいて異常の有無を判定し、該判定結果に基づいて警報装置を制御するPLCとを備えたことにより、開発コストが安価で、振動診断の精度が高く、警報装置などの外部機器との連携を容易に実現できる。 The vibration monitoring device for mechanical equipment according to the present invention includes a vibration input unit that receives an analog vibration waveform output from a vibration sensor and performs noise removal, and a PLC that receives the analog vibration waveform from which noise has been removed by the vibration input unit, converts it into a digital vibration waveform, removes noise from the converted vibration waveform, determines whether or not there is an abnormality based on the noise-removed vibration waveform, and controls an alarm device based on the determination result. This allows for low development costs, high accuracy in vibration diagnosis, and easy integration with external devices such as alarm devices.

本発明の一実施の形態に係る機械設備の振動監視装置の説明図である。1 is an explanatory diagram of a vibration monitoring device for mechanical equipment according to an embodiment of the present invention;

本発明の一実施の形態に係る機械設備の振動監視装置1(以下、単に「振動監視装置1」という)は、振動センサ3から出力されるアナログの振動波形に基づいて振動の異常の有無を判定し、該判定結果に基づいて警報装置7を制御するものであって、図1に示すように、振動センサ3から出力されるアナログの振動波形を入力してノイズ除去を行う振動入力ユニット5と、振動入力ユニット5でノイズ除去されたアナログの振動波形を入力して、異常の有無を判定し、該判定結果に基づいて警報装置7を制御するPLC9とを備えている。ここに記すノイズ除去とは、必要な周波数を抽出することである。
振動監視装置1の各構成について以下詳細に説明する。なお下記においては、振動センサ3として、振動加速度のアナログ波形を出力する加速度センサを用いた場合を例に説明する。
A vibration monitoring device 1 for mechanical equipment according to one embodiment of the present invention (hereinafter simply referred to as "vibration monitoring device 1") determines the presence or absence of an abnormality in vibration based on an analog vibration waveform output from a vibration sensor 3, and controls an alarm device 7 based on the determination result, and as shown in Figure 1, is equipped with a vibration input unit 5 which receives as input the analog vibration waveform output from the vibration sensor 3 and performs noise removal, and a PLC 9 which receives as input the analog vibration waveform from which noise has been removed by the vibration input unit 5, determines the presence or absence of an abnormality, and controls the alarm device 7 based on the determination result. Noise removal as described here refers to extracting necessary frequencies.
A detailed description will now be given of each component of the vibration monitoring device 1. In the following, an example will be described in which an acceleration sensor that outputs an analog waveform of vibration acceleration is used as the vibration sensor 3.

<振動入力ユニット>
振動入力ユニット5は、振動センサ3から出力されるアナログの振動加速度波形に対してノイズ除去などのアナログ信号処理を行い、該処理後の振動加速度波形をPLC9に入力するものである。また振動入力ユニット5は、振動センサ3に対する電源の供給を行うこともできる。
<Vibration input unit>
The vibration input unit 5 performs analog signal processing such as noise removal on the analog vibration acceleration waveform output from the vibration sensor 3, and inputs the processed vibration acceleration waveform to the PLC 9. The vibration input unit 5 can also supply power to the vibration sensor 3.

振動加速度波形に対するアナログ信号処理は、振動入力ユニット5の振動波形処理部11によって行われる。
振動波形処理部11はアナログ回路から構成されるものであり、振動加速度波形に対し、AC結合(HPF:ハイパスフィルタ)やエイリアシングフィルタ(LPF:ローパスフィルタ)などの処理を行い、ノイズ成分を除去する。
このようにアナログ信号の振動加速度波形に対してノイズ除去を行うことにより、PLC9のデジタル処理によるノイズ除去では対応できないノイズ成分を除去することができる。
Analog signal processing of the vibration acceleration waveform is performed by a vibration waveform processing section 11 of the vibration input unit 5 .
The vibration waveform processing unit 11 is composed of an analog circuit, and performs processing such as AC coupling (HPF: high pass filter) and aliasing filter (LPF: low pass filter) on the vibration acceleration waveform to remove noise components.
By performing noise removal on the vibration acceleration waveform of the analog signal in this manner, it is possible to remove noise components that cannot be removed by the noise removal using the digital processing of the PLC 9 .

さらに、振動波形処理部11は、利得(ゲイン)調整(振動波形の振幅にあわせて増幅)するアナログ回路を含んでいる。振動入力ユニット5においてアナログの振動加速度波形に利得調整を行うことで、PLC9によるA/D変換の分解能をフルスケールで活用できるようになり好ましい。 Furthermore, the vibration waveform processing unit 11 includes an analog circuit that adjusts the gain (amplifies according to the amplitude of the vibration waveform). By adjusting the gain of the analog vibration acceleration waveform in the vibration input unit 5, it is possible to utilize the full-scale resolution of the A/D conversion by the PLC 9, which is preferable.

<PLC>
PLC(プログラマブル・ロジック・コントローラ)9は、振動入力ユニット5でノイズ除去されたアナログの振動波形(本例では振動加速度波形)を入力して、デジタルの振動波形に変換し、該変換した振動波形のノイズ除去を行い、該ノイズ除去された振動波形に基づいて異常の有無を判定し、該判定結果に基づいて警報装置7を制御するものであり、A/D変換処理部13と、積分処理部15と、デジタルフィルタ処理部17と、解析・演算処理部19と、記憶部21と、制御部23と、通信部25とを備えている。
各構成について以下詳細に説明する。
<PLC>
The PLC (programmable logic controller) 9 inputs the analog vibration waveform (vibration acceleration waveform in this example) from which noise has been removed by the vibration input unit 5, converts it into a digital vibration waveform, removes noise from the converted vibration waveform, determines whether or not there is an abnormality based on the noise-removed vibration waveform, and controls the alarm device 7 based on the determination result, and is equipped with an A/D conversion processing unit 13, an integration processing unit 15, a digital filter processing unit 17, an analysis/calculation processing unit 19, a memory unit 21, a control unit 23, and a communication unit 25.
Each component will be described in detail below.

≪A/D変換処理部≫
A/D変換処理部13は、振動入力ユニット5から出力されるアナログの振動加速度波形をデジタルの振動加速度波形に変換するものである。前述したように、本実施の形態においては、振動入力ユニット5で振動加速度波形を利得調整(増幅)している為、A/D変換処理部13の分解能をフルスケールで活用でき、解析・演算処理部19における演算の精度が向上する(詳しくは後述)。
<A/D conversion processing section>
The A/D conversion processing section 13 converts the analog vibration acceleration waveform output from the vibration input unit 5 into a digital vibration acceleration waveform. As described above, in this embodiment, the vibration input unit 5 adjusts (amplifies) the gain of the vibration acceleration waveform, so that the resolution of the A/D conversion processing section 13 can be utilized at full scale, improving the accuracy of calculations in the analysis and calculation processing section 19 (described in detail later).

≪積分処理部≫
積分処理部15は、A/D変換処理部13が生成した振動加速度波形に対して積分処理を行い、振動速度波形を生成するものである。
振動加速度波形から振動速度波形を生成することで、振動の状態を振動加速度と振動速度の両観点から解析することができる。これにより、回転部の破損及び潤滑不良など衝撃的な振動(加速度波形による判定が好適)や機械設備のガタ及びアンバランスなど動的な振動(速度波形による判定が好適)など、異なる挙動を示す異常振動も同時に判定できるようになり好ましい。
<Integration processing section>
The integration processing section 15 performs integration processing on the vibration acceleration waveform generated by the A/D conversion processing section 13 to generate a vibration velocity waveform.
By generating a vibration velocity waveform from the vibration acceleration waveform, the vibration state can be analyzed from the viewpoints of both vibration acceleration and vibration velocity. This is preferable because it allows simultaneous judgment of abnormal vibrations that exhibit different behaviors, such as shock vibrations caused by damage to rotating parts and poor lubrication (preferably judged by acceleration waveforms) and dynamic vibrations caused by backlash and imbalance in mechanical equipment (preferably judged by velocity waveforms).

≪デジタルフィルタ処理部≫
デジタルフィルタ処理部17は、A/D変換処理部13が生成した振動加速度波形と、積分処理部15が生成した振動速度波形に対し、デジタルフィルタ処理を行ってノイズ成分を除去するもので、デジタルフィルタ処理時間が振動測定時間の0.25倍以下で終了(0.25倍の具体例として、1点あたりの振動測定時間1.0秒間に対して、デジタルフィルタ処理時間は0.25秒間)する機能を有し、係る機能は所定のプログラムを実行することで実現される。
<Digital filter processing section>
The digital filter processing unit 17 performs digital filter processing on the vibration acceleration waveform generated by the A/D conversion processing unit 13 and the vibration velocity waveform generated by the integration processing unit 15 to remove noise components, and has a function of completing the digital filter processing time within 0.25 times the vibration measurement time (as a specific example of 0.25 times, the digital filter processing time is 0.25 seconds for a vibration measurement time of 1.0 second per point), and this function is realized by executing a specified program.

≪解析・演算処理部≫
解析・演算処理部19は、デジタルフィルタ処理部17によってノイズが除去された振動加速度波形と振動速度波形について、振動診断に必要な演算を実施し、異常の有無を判定するものである。なお、解析・演算処理部19で振動診断される振動加速度波形と振動速度波形は記憶部21に保存される。
<Analysis and calculation processing section>
The analysis/calculation processing section 19 performs calculations required for vibration diagnosis on the vibration acceleration waveform and vibration velocity waveform from which noise has been removed by the digital filter processing section 17, and judges the presence or absence of an abnormality. The vibration acceleration waveform and vibration velocity waveform subjected to the vibration diagnosis by the analysis/calculation processing section 19 are stored in the memory section 21.

異常の有無を判定する方法は限定しないが、例えば、予め記憶部21に通常時の振動波形(振動加速度波形及び振動速度波形)における最大値、実効値、波高率(以下、「レベル値」ともいう)などを振動解析パラメータとして保存しておき、該振動解析パラメータと診断対象のレベル値に基づいて異常の有無を判定すればよい。 The method for determining whether or not there is an abnormality is not limited, but for example, the maximum value, effective value, crest factor (hereinafter also referred to as "level value"), etc. of the normal vibration waveform (vibration acceleration waveform and vibration velocity waveform) can be stored in advance in the memory unit 21 as vibration analysis parameters, and the presence or absence of an abnormality can be determined based on the vibration analysis parameters and the level value of the diagnosis target.

本実施の形態においては、振動センサ3から出力されるアナログの振動加速度波形に対しアナログ回路によるノイズ除去を行ってからPLC9に入力している為、従来のようにPLC9のデジタルフィルタ処理のみでノイズ除去していた場合と比べて、エイリアシングにより含まれるノイズ成分が除去される分だけ精度が向上する。
また、振動入力ユニット5の利得調整(増幅)によって、A/D変換処理部13の分解能をフルスケールで活用している為、例えば、絶対精度(A/D変換分解能では無く、監視装置全体の誤差精度)で、振動加速度では0.05[m/s2]以下の単位(測定周波数範囲:1000~15000Hz)、振動速度では0.5[mm/s]以下の単位(測定周波数範囲:10~1000Hz)での高精度な演算が可能となる。
したがって、従来のPLCによる振動診断よりも、信頼性の高い振動診断が可能である。
In this embodiment, the analog vibration acceleration waveform output from the vibration sensor 3 is subjected to noise removal by an analog circuit before being input to the PLC 9. Therefore, compared to the conventional case in which noise is removed only by the digital filter processing of the PLC 9, the accuracy is improved by the amount of noise components contained due to aliasing that are removed.
In addition, by adjusting the gain (amplification) of the vibration input unit 5, the resolution of the A/D conversion processing unit 13 is utilized at full scale, making it possible to perform highly accurate calculations, for example, with absolute accuracy (not the A/D conversion resolution, but the error accuracy of the entire monitoring device) in units of 0.05 [m/ s2 ] or less for vibration acceleration (measurement frequency range: 1000 to 15000 Hz) and in units of 0.5 [mm/s] or less for vibration velocity (measurement frequency range: 10 to 1000 Hz).
Therefore, it is possible to perform vibration diagnosis with higher reliability than vibration diagnosis using a conventional PLC.

≪記憶部≫
記憶部21は、各種データを保存するものであり、上述した振動解析パラメータ、監視対象の各振動波形(振動加速度波形、振動速度波形)、監視対象の過去のレベル値、警報を報知した異常振動の履歴データなどが保存される。
<Memory section>
The memory unit 21 stores various types of data, such as the vibration analysis parameters described above, each vibration waveform of the monitored object (vibration acceleration waveform, vibration velocity waveform), past level values of the monitored object, and historical data of abnormal vibrations that have triggered an alarm.

≪制御部≫
制御部23は、解析・演算処理部19の判定結果に基づいて警報装置7を制御するものである。
警報装置7としては、例えばブザーや回転ランプなどが挙げられる。
解析・演算処理部19によって振動に異常が有ると判定された場合、制御部23は、警報装置7を動作させて警報を報知する。
なお、制御部23による制御は、PLC9の外部機器である操作画面27(タッチパネルなど)を介してオペレータが操作することもできる。
<Control Unit>
The control unit 23 controls the alarm device 7 based on the determination result of the analysis and calculation processing unit 19 .
The warning device 7 may be, for example, a buzzer or a rotating lamp.
When the analysis and calculation processing unit 19 determines that there is an abnormality in the vibration, the control unit 23 operates the alarm device 7 to issue an alarm.
The control by the control unit 23 can also be performed by an operator via an operation screen 27 (such as a touch panel) which is an external device of the PLC 9 .

≪通信部≫
通信部25は、他の機器29とネットワークを介してデータを送受信するものである。他の機器29はネットワークと通信部25を介してPLC9の記憶部21に保存されたデータにアクセスできる。
これにより、ネットワーク上のパソコンから各振動波形をリアルタイムで監視することが可能である。さらに1台のパソコンで複数のPLCから情報を取得することも可能である為、振動以外の操業情報も同時に監視できるようになり、設備の状態を効率的に監視できる。
また、他の機器29(パソコンや他PLCなど)が記憶部21から振動波形を取得して、さらに詳細な振動解析(周波数解析など)を行うことも可能である。
Communications Department
The communication unit 25 transmits and receives data to and from other devices 29 via a network. The other devices 29 can access the data stored in the storage unit 21 of the PLC 9 via the network and the communication unit 25.
This makes it possible to monitor each vibration waveform in real time from a computer on the network.Furthermore, since it is possible to obtain information from multiple PLCs with one computer, it becomes possible to simultaneously monitor operational information other than vibration, enabling efficient monitoring of equipment status.
In addition, other equipment 29 (such as a personal computer or another PLC) can acquire the vibration waveform from the storage unit 21 and perform more detailed vibration analysis (such as frequency analysis).

上記のように本実施の形態によれば、振動センサ3から出力されるアナログの振動波形を、振動入力ユニット5を介してPLC9に入力することにより、PLC9のデジタル信号処理では対応できないノイズ成分が除去され、かつ、PLC9におけるA/D変換の分解能をフルスケールで活用できる為、PLC9による振動診断の精度が向上する。 As described above, according to this embodiment, the analog vibration waveform output from the vibration sensor 3 is input to the PLC 9 via the vibration input unit 5, which removes noise components that cannot be handled by the digital signal processing of the PLC 9, and the A/D conversion resolution of the PLC 9 can be utilized at full scale, improving the accuracy of vibration diagnosis by the PLC 9.

また、汎用機であるPLC9が有する外部機器の制御機能や通信機能を利用することにより、警報装置7の制御やネットワークを介した他の機器29との連携を低コストで実現できる。 In addition, by utilizing the control functions and communication functions of external devices that the general-purpose PLC 9 has, it is possible to control the alarm device 7 and link with other devices 29 via a network at low cost.

なお、前述したように本実施の形態では、振動センサ3として加速度センサを用いた場合を例に説明したが、本発明はこれに限定されず、他の種類の振動センサを用いることもできる。例えば、振動センサ3として、振動速度のアナログ波形を出力する速度センサを用いてもよく、その場合には、A/D変換処理部13でデジタルの振動速度波形データを生成した後、該データに微分処理を行って振動加速度波形データを生成すればよい。 As described above, in this embodiment, an acceleration sensor is used as the vibration sensor 3, but the present invention is not limited to this, and other types of vibration sensors can be used. For example, a velocity sensor that outputs an analog waveform of the vibration velocity can be used as the vibration sensor 3. In this case, digital vibration velocity waveform data can be generated by the A/D conversion processing unit 13, and then the data can be differentiated to generate vibration acceleration waveform data.

1 振動監視装置
3 振動センサ
5 振動入力ユニット
7 警報装置
9 PLC
11 振動波形処理部
13 A/D変換処理部
15 積分処理部
17 デジタルフィルタ処理部
19 解析・演算処理部
21 記憶部
23 制御部
25 通信部
27 操作画面
29 他の機器
1 Vibration monitoring device 3 Vibration sensor 5 Vibration input unit 7 Alarm device 9 PLC
REFERENCE SIGNS LIST 11 vibration waveform processing section 13 A/D conversion processing section 15 integration processing section 17 digital filter processing section 19 analysis/calculation processing section 21 storage section 23 control section 25 communication section 27 operation screen 29 other devices

Claims (2)

機械設備の振動を検出する振動センサから取得した振動波形に基づいて前記振動の異常の有無を判定し、該判定結果に基づいて警報を報知する警報装置を制御する機械設備の振動監視装置であって、
前記振動センサから出力されるアナログの振動波形を入力し、エイリアシングフィルタ処理を含むノイズ除去処理を行う振動入力ユニットと、
該振動入力ユニットから振動波形の入力並びに警報装置の制御を行うPLCとを備え、
該PLCは、振動診断を行うプログラムが設定されており、前記振動入力ユニットでノイズ除去されたアナログの振動波形を入力してデジタルの振動波形に変換し、該変換した振動波形のノイズ除去を行い、該ノイズ除去された振動波形に基づいて異常の有無を判定し、該判定結果に基づいて前記警報装置を制御する機能を備えたことを特徴とする機械設備の振動監視装置。
A vibration monitoring device for a mechanical equipment, the device determining whether or not there is an abnormality in vibration based on a vibration waveform acquired from a vibration sensor that detects vibration of the mechanical equipment, and controlling an alarm device that issues an alarm based on the determination result,
a vibration input unit that receives an analog vibration waveform output from the vibration sensor and performs noise removal processing including aliasing filtering;
a PLC that inputs a vibration waveform from the vibration input unit and controls an alarm device,
The PLC is configured with a program for vibration diagnosis, and has the functions of inputting an analog vibration waveform from which noise has been removed by the vibration input unit, converting it into a digital vibration waveform, removing noise from the converted vibration waveform, determining whether or not there is an abnormality based on the noise-removed vibration waveform, and controlling the alarm device based on the determination result.
前記振動入力ユニットは、利得調整するアナログ回路を含むことを特徴とする請求項1記載の機械設備の振動監視装置。 The vibration monitoring device for mechanical equipment according to claim 1, characterized in that the vibration input unit includes an analog circuit for gain adjustment.
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