JP7537626B2

JP7537626B2 - フェライト焼結体および積層コイル部品

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Publication number: JP7537626B2
Application number: JP2023552802A
Authority: JP
Inventors: 一星杉井
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2021-10-07
Filing date: 2022-09-26
Publication date: 2024-08-21
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Description

本発明は、フェライト焼結体および積層コイル部品に関する。

特許文献１には、フェライト組成物と、珪酸亜鉛とを含む複合磁性材料であって、上記フェライト組成物は、スピネル系フェライトおよび該スピネル系フェライト中に存在する酸化ビスマスで構成され、上記複合磁性材料全体の重量に対する上記酸化ビスマスの重量の割合が０．０２５重量％以上０．２３１重量％以下であり、上記珪酸亜鉛の重量と上記スピネル系フェライトの重量の合計に対する上記珪酸亜鉛の重量の割合は、８重量％以上７６重量％以下である、複合磁性材料が開示されている。

特開２０１９－２１０２０４号公報

特許文献１によれば、複合磁性材料全体の重量に対する酸化ビスマスの重量の割合が０．０２５重量％以上０．２３１重量％以下であると、複合磁性材料の焼結性が向上し、かつ、高い比抵抗を確保することができるとされている。さらに、珪酸亜鉛の重量とスピネル系フェライトの重量の合計に対する珪酸亜鉛の重量の割合が８重量％以上７６重量％以下であると、高い透磁率と良好な直流重畳特性を両立することができるとされている。

しかしながら、特許文献１に記載の複合磁性材料において、直流重畳特性の向上のために珪酸亜鉛の含有量を増やすと、焼結性が低下するおそれがある。一方、焼結性の改善のために酸化ビスマスの含有量を増やすと、積層コイル部品などの電子部品の外部電極を構成するめっき電極が下地電極に対して伸びる「めっき伸び」と呼ばれる不具合が発生することにより、電子部品の信頼性が低下する懸念がある。

本発明は、上記の問題を解決するためになされたものであり、直流重畳特性および焼結性が良好で、かつ、めっき伸びが抑制されたフェライト焼結体を提供することを目的とする。さらに、本発明は、上記フェライト焼結体から構成される絶縁層を備える積層コイル部品を提供することを目的とする。

本発明のフェライト焼結体は、主成分および副成分を含む。上記主成分は、ＦｅをＦｅ_２Ｏ_３に換算して４ｍｏｌ％以上、１３ｍｏｌ％以下、ＺｎをＺｎＯに換算して４７ｍｏｌ％以上、５８ｍｏｌ％以下、ＣｕをＣｕＯに換算して１ｍｏｌ％以上、４ｍｏｌ％以下、ＮｉをＮｉＯに換算して２ｍｏｌ％以上、８ｍｏｌ％以下、ＳｉをＳｉＯ_２に換算して２８ｍｏｌ％以上、３６ｍｏｌ％以下含有する。上記副成分は、上記主成分１００重量部に対し、ＢｉをＢｉ_２Ｏ_３に換算して０．８重量部以上、３重量部以下、ＭｎをＭｎ_２Ｏ_３に換算して０．００３重量部以上、０．１重量部以下、ＣｒをＣｒ_２Ｏ_３に換算して０．００３重量部以上、０．１重量部以下含有する。

本発明の積層コイル部品は、本発明のフェライト焼結体から構成される絶縁層と、コイル導体とが交互に積層された積層体を備える。

本発明によれば、直流重畳特性および焼結性が良好で、かつ、めっき伸びが抑制されたフェライト焼結体を提供することができる。さらに、本発明によれば、上記フェライト焼結体から構成される絶縁層を備える積層コイル部品を提供することができる。

図１は、本発明の積層コイル部品の一例を模式的に示す斜視図である。図２は、図１に示す積層コイル部品を構成する積層体の内部構造の一例を模式的に示す分解平面図である。図３は、図２に示す積層体を備える積層コイル部品の一例を模式的に示す断面図である。図４は、図３においてＩＶで示す部分の拡大図である。

以下、本発明のフェライト焼結体および積層コイル部品について説明する。
しかしながら、本発明は、以下の構成に限定されるものではなく、本発明の要旨を変更しない範囲において適宜変更して適用することができる。なお、以下において記載する本発明の個々の望ましい構成を２つ以上組み合わせたものもまた本発明である。

［フェライト焼結体］
本発明のフェライト焼結体は、主成分および副成分を含む。

主成分は、ＦｅをＦｅ_２Ｏ_３に換算して４ｍｏｌ％以上、１３ｍｏｌ％以下、ＺｎをＺｎＯに換算して４７ｍｏｌ％以上、５８ｍｏｌ％以下、ＣｕをＣｕＯに換算して１ｍｏｌ％以上、４ｍｏｌ％以下、ＮｉをＮｉＯに換算して２ｍｏｌ％以上、８ｍｏｌ％以下、ＳｉをＳｉＯ_２に換算して２８ｍｏｌ％以上、３６ｍｏｌ％以下含有する。ただし、Ｆｅ_２Ｏ_３、ＺｎＯ、ＣｕＯ、ＮｉＯおよびＳｉＯ_２の合計が１００ｍｏｌ％である。

副成分は、主成分１００重量部に対し、ＢｉをＢｉ_２Ｏ_３に換算して０．８重量部以上、３重量部以下、ＭｎをＭｎ_２Ｏ_３に換算して０．００３重量部以上、０．１重量部以下、ＣｒをＣｒ_２Ｏ_３に換算して０．００３重量部以上、０．１重量部以下含有する。

フェライト焼結体の組成を上記の範囲とすることで、直流重畳特性および焼結性が良好で、かつ、めっき伸びが抑制された磁器組成物を得ることができる。例えば、初期の透磁率から－１０％となる印加磁界が１５０００Ａ／ｍ以上であり、９２０℃での３時間の焼成でも充分に焼結し、かつ、めっき伸びが抑制された磁器組成物を得ることができる。

各元素の含有量は、誘導結合プラズマ発光／質量分光法（ＩＣＰ－ＡＥＳ／ＭＳ）を用いて、焼結体の組成を分析することにより求めることができる。

本発明のフェライト焼結体では、主成分は、ＦｅをＦｅ_２Ｏ_３に換算して４ｍｏｌ％以上、９ｍｏｌ％以下、ＺｎをＺｎＯに換算して５２ｍｏｌ％以上、５８ｍｏｌ％以下、ＣｕをＣｕＯに換算して１ｍｏｌ％以上、３ｍｏｌ％以下、ＮｉをＮｉＯに換算して２ｍｏｌ％以上、５ｍｏｌ％以下、ＳｉをＳｉＯ_２に換算して３１ｍｏｌ％以上、３６ｍｏｌ％以下含有することが好ましい。ただし、Ｆｅ_２Ｏ_３、ＺｎＯ、ＣｕＯ、ＮｉＯおよびＳｉＯ_２の合計が１００ｍｏｌ％である。

Ｆｅ、Ｚｎ、Ｃｕ、ＮｉおよびＳｉの含有量を上記の範囲とすることで、直流重畳特性をさらに高めることができる。例えば、初期の透磁率から－１０％となる印加磁界が１８０００Ａ／ｍ以上である磁器組成物を得ることができる。

本発明のフェライト焼結体では、平均結晶粒径が０．２μｍ以上、０．８μｍ以下であることが好ましい。

フェライト焼結体の平均結晶粒径が小さいほど、結晶粒子に対する粒界の割合が大きくなる。例えば、フェライト焼結体に非磁性相が含まれている場合には、磁気飽和が抑制されやすくなるため、直流重畳特性が向上し得る。したがって、フェライト焼結体の平均結晶粒径が上記の範囲にあると、非磁性相が粒界に入りやすくなるため、直流重畳特性がさらに向上し得る。

本明細書において、フェライト焼結体の平均結晶粒径とは、結晶粒子の面積円相当径の累積分布において個数基準で累積５０％となる面積円相当径（Ｄ５０）を意味する。結晶粒子の面積円相当径は、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）を用いてフェライト焼結体の断面を観察することにより測定することができる。

本発明のフェライト焼結体は、少なくともＦｅ、Ｎｉ、ＺｎおよびＣｕを含有する磁性相と、少なくともＳｉおよびＺｎを含有する非磁性相とを含むことが好ましい。

フェライト焼結体に非磁性相が含まれていると、上述したように磁気飽和が抑制されやすくなるため、直流重畳特性が向上し得る。

磁性相および非磁性相は、以下のようにして区別される。まず、フェライト焼結体の断面に対して、走査型透過電子顕微鏡－エネルギー分散型Ｘ線分析（ＳＴＥＭ－ＥＤＸ）で元素マッピングを行う。そして、Ｆｅが存在する領域を磁性相、Ｓｉが存在する領域を非磁性相として、両相を区別することができる。

［積層コイル部品］
本発明の積層コイル部品は、本発明のフェライト焼結体から構成される絶縁層と、コイル導体とが交互に積層された積層体を備える。

図１は、本発明の積層コイル部品の一例を模式的に示す斜視図である。

図１に示す積層コイル部品１は、積層体１０を備える。積層コイル部品１は、さらに、積層体１０の外表面に設けられた外部電極２１および２２を備える。積層コイル部品の種類によって、外部電極の数、外部電極が設けられる位置などは適宜変更される。

積層体１０は、例えば、直方体状または略直方体状である。図１には、長さ方向Ｌ、幅方向Ｗおよび高さ方向Ｔを示している。長さ方向Ｌと幅方向Ｗと高さ方向Ｔとは、互いに直交している。

図２は、図１に示す積層コイル部品を構成する積層体の内部構造の一例を模式的に示す分解平面図である。図３は、図２に示す積層体を備える積層コイル部品の一例を模式的に示す断面図である。なお、図３は、図１に示す積層コイル部品のＩＩＩ－ＩＩＩ線に沿った断面図に対応する。

図２および図３に示す例では、積層体１０は、絶縁層１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄ、１１ｅ、１１ｆ、１１ｇおよび１１ｈと、コイル導体１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１２ｅ、１２ｆおよび１２ｇとが交互に積層されている。コイル導体１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１２ｅ、１２ｆおよび１２ｇがビア導体１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄ、１３ｅおよび１３ｆを介して電気的に接続されることでコイルが形成されている。図２および図３に示す例では、積層コイル部品１は、コイル導体が高さ方向Ｔに積層された縦巻き構造を有するが、コイル導体が長さ方向Ｌまたは幅方向Ｗに積層された横巻き構造を有してもよい。

絶縁層１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄ、１１ｅ、１１ｆ、１１ｇおよび１１ｈは、各々、本発明のフェライト焼結体から構成される。

コイル導体１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１２ｅ、１２ｆおよび１２ｇは、各々、例えば、Ａｇ等により構成される。同様に、ビア導体１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄ、１３ｅおよび１３ｆは、各々、例えば、Ａｇ等により構成される。

図３に示す例では、外部電極２１は、積層体１０側から順に、下地電極２１ａと、下地電極２１ａ上に設けられためっき電極２１ｂ、とを含む。同様に、外部電極２２は、積層体１０側から順に、下地電極２２ａと、下地電極２２ａ上に設けられためっき電極２２ｂ、とを含む。

下地電極２１ａおよび２２ａは、各々、Ａｇを含むことが好ましい。

めっき電極２１ｂおよび２２ｂは、各々、単層構造であってもよく、複層構造であってもよい。めっき電極２１ｂが複層構造である場合、めっき電極２１ｂは、下地電極２１ａ側から順に、Ｎｉめっき電極と、Ｓｎめっき電極と、を含むことが好ましい。同様に、めっき電極２２ｂが複層構造である場合、めっき電極２２ｂは、下地電極２２ａ側から順に、Ｎｉめっき電極と、Ｓｎめっき電極と、を含むことが好ましい。

図４は、図３においてＩＶで示す部分の拡大図である。

外部電極２１では、下地電極２１ａの先端から伸びているめっき電極２１ｂの長さ（図４中、ａで示す寸法）が３０μｍ以下であることが好ましい。下地電極２１ａの先端から伸びているめっき電極２１ｂの長さは、０μｍであってもよく、０μｍより大きくてもよい。

同様に、外部電極２２では、下地電極２２ａの先端から伸びているめっき電極２２ｂの長さが３０μｍ以下であることが好ましい。下地電極２２ａの先端から伸びているめっき電極２２ｂの長さは０μｍであってもよく、０μｍより大きくてもよい。

本発明のフェライト焼結体から構成される絶縁層を備える積層コイル部品は、好ましくは、以下のように製造される。

＜磁性材料作製工程＞
Ｆｅ_２Ｏ_３、ＺｎＯ、ＣｕＯおよびＮｉＯを所定の組成になるように秤量する。この配合原料を純水およびＰＳＺ（部分安定化ジルコニア）ボールとともにボールミルに入れ、湿式で所定の時間（例えば、４時間以上、８時間以下）混合粉砕する。水分を蒸発乾燥させた後、所定の温度（例えば、７００℃以上、８００℃以下）で所定の時間（例えば、２時間以上、５時間以下）仮焼する。これにより、磁性材料、具体的にはＮｉ－Ｃｕ－Ｚｎ系フェライト粉末を作製する。

仮焼物である磁性材料については、再度、平均粒径Ｄ５０が０．１μｍ以上、０．２μｍ以下程度になるように粉砕することが好ましい。

仮焼後に得られるＮｉ－Ｃｕ－Ｚｎ系フェライト粉末は、ＦｅをＦｅ_２Ｏ_３換算で４０ｍｏｌ％以上、４９．５ｍｏｌ％以下、ＺｎをＺｎＯ換算で２ｍｏｌ％以上、３５ｍｏｌ％以下、ＣｕをＣｕＯ換算で６ｍｏｌ％以上、１３ｍｏｌ％以下、ＮｉをＮｉＯ換算で１０ｍｏｌ％以上、４５ｍｏｌ％以下含有することが好ましい。Ｎｉ－Ｃｕ－Ｚｎ系フェライト粉末は、Ｃｏ、Ｂｉ、Ｓｎ、Ｍｎ等の添加物や、不可避不純物などを含有してもよい。

＜非磁性材料作製工程＞
ＳｉＯ_２およびＺｎＯを所定の組成になるように秤量する。その際、ＳｉＯ_２に対するＺｎＯのモル比が１．８以上、２．２以下になるように配合することが好ましい。この配合原料を純水およびＰＳＺボールとともにボールミルに入れ、湿式で所定の時間（例えば、４時間以上、８時間以下）混合粉砕する。水分を蒸発乾燥させた後、所定の温度（例えば、１０００℃以上、１３００℃以下）で所定の時間（例えば、２時間以上、５時間以下）仮焼する。これにより、非磁性材料、具体的には珪酸亜鉛粉末を作製する。

仮焼物である非磁性材料については、再度、平均粒径Ｄ５０が０．１μｍ以上、０．２μｍ以下程度になるように粉砕することが好ましい。

別途、非磁性材料として、平均粒径Ｄ５０が０．１μｍ以上、０．２μｍ以下程度のＳｉＯ_２粉末を準備する。

上述した磁性材料および非磁性材料の平均粒径Ｄ５０は、レーザー回折散乱式粒度分布測定法を用いて得られる体積累積５０％相当径である。

＜グリーンシート作製工程＞
上記の工程で作製した磁性材料および非磁性材料を所定の割合になるように配合する。さらに、所定量のＢｉ_２Ｏ_３、Ｍｎ_２Ｏ_３およびＣｒ_２Ｏ_３を添加する。これらの配合物をＰＳＺメディアとともにボールミルに入れ、さらに、ポリビニルブチラール系樹脂等の有機バインダと、エタノール、トルエン等の有機溶剤と、可塑剤と、等を入れて混合することにより、スラリーを作製する。得られたスラリーを、ドクターブレード法等で、所定の厚み（例えば、２０μｍ以上、３０μｍ以下）のシート状に成形加工する。その後、所定の形状（例えば、矩形状）に打ち抜くことにより、グリーンシートを作製する。

＜コイル導体パターン形成工程＞
作製したグリーンシートにレーザー照射を行うことにより、所定の箇所にビアホールを形成する。次に、Ａｇ等を主成分とする導電性ペーストを、スクリーン印刷法等により、ビアホールに充填するとともに、グリーンシートの表面に塗工する。これにより、グリーンシートにコイル導体パターンを形成する。

＜積層体ブロック作製工程＞
コイル導体パターンが形成されたグリーンシートおよびコイル導体パターンが形成されていないグリーンシートを、所定の順序（例えば、図２に示す順序）で積層する。積層したグリーンシートを熱圧着することにより、積層体ブロックを作製する。

＜個片化工程＞
必要に応じて、積層体ブロックをダイサー等で所定の大きさに切断することにより、個片化されたチップを作製する。

＜焼成工程＞
個片化されたチップに対して、所定の温度（例えば、９００℃以上、９２０℃以下）で所定の時間（例えば、２時間以上、４時間以下）焼成する。

焼成により、グリーンシートは、フェライト焼結体から構成される絶縁層となり、コイル導体パターンは、コイル導体またはビア導体となる。その結果、絶縁層とコイル導体とが交互に積層された積層体が作製される。

＜研磨工程＞
焼成後の積層体に対しては、例えば、バレル研磨を施すことにより、積層体の角部および稜線部に丸みを付けてもよい。角部は、積層体の３面が交わる部分であり、稜線部は、積層体の２面が交わる部分である。

＜外部電極形成工程＞
積層体の側面でコイル導体が引き出されている端面に、導電性ペーストを塗布する。導電性ペーストは、例えば、Ａｇおよびガラスを含む。所定の温度（例えば、８００℃以上、８２０℃以下）で導電性ペーストの焼き付けを行うことにより、外部電極の下地電極を形成する。下地電極の厚みは、例えば、５μｍ程度である。

その後、電解めっき等により、下地電極の上に、例えばＮｉめっき電極とＳｎめっき電極とを順に形成する。このようにして、外部電極を形成する。

以上により、積層コイル部品が製造される。積層コイル部品のサイズは、例えば、長さ方向Ｌの寸法が０．６ｍｍ、幅方向Ｗの寸法が０．３ｍｍ、高さ方向Ｔの寸法が０．３ｍｍである。

以下、本発明のフェライト焼結体および積層コイル部品をより具体的に開示した実施例を示す。なお、本発明は、これらの実施例のみに限定されるものではない。

（試料の作製）
Ｆｅ_２Ｏ_３を４８ｍｏｌ％、ＺｎＯを１０ｍｏｌ％、ＮｉＯを２８ｍｏｌ％、ＣｕＯを１４ｍｏｌ％の割合で配合した。この配合物を湿式で混合、粉砕した後、乾燥することで水分を除去した。得られた乾燥物を８００℃の温度で２時間仮焼した。得られた仮焼物を湿式で平均粒径Ｄ５０が０．２μｍになるまで粉砕した。このようにして、磁性材料としてのフェライト粉末を作製した。

また、ＺｎＯ：ＳｉＯ_２のモル比が２：１の割合でＺｎＯとＳｉＯ_２を配合した。この配合物を湿式で混合、粉砕した後、乾燥することで水分を除去した。得られた乾燥物を１１００℃の温度で２時間仮焼した。得られた仮焼物を湿式で平均粒径Ｄ５０が０．２μｍになるまで粉砕した。このようにして、珪酸亜鉛粉末を作製した。さらに、平均粒径Ｄ５０が０．２μｍのＳｉＯ_２粉末を準備した。これらの珪酸亜鉛粉末およびＳｉＯ_２粉末を非磁性材料とした。

上記の磁性材料および非磁性材料を、磁性材料：非磁性材料の体積比で３５：６５～５：９５の比率になるように秤量し、さらに所定量のＢｉ_２Ｏ_３、Ｍｎ_２Ｏ_３およびＣｒ_２Ｏ_３を添加した。所定量の有機バインダ、有機溶剤および可塑剤をボールミルに入れて混合することにより、スラリーを作製した。得られたスラリーを、ドクターブレード法で、厚みが約２５μｍのシート状に成形加工した後、矩形状に打ち抜くことにより、グリーンシートを作製した。

作製したグリーンシートを複数枚重ね合わせて圧着することで積層体ブロックを作製した。この積層体ブロックをリング形状に打ち抜いた後、９２０℃にて３時間の焼成をすることにより、外径が２０ｍｍ、内径が１２ｍｍ、厚みが１．５ｍｍのリング状の試料を作製した。

同じく作製したグリーンシートを用いて、上述の＜コイル導体パターン形成工程＞から＜外部電極形成工程＞で説明した手順により積層コイル部品を作製した。

（組成）
リング状の試料について、誘導結合プラズマ発光／質量分光法（ＩＣＰ－ＡＥＳ／ＭＳ）を用いて組成を分析した。結果を表１に示す。

（透磁率）
リング状の試料をアジレント・テクノロジー社製の磁性体測定冶具（型番１６４５４Ａ）にセットし、アジレント・テクノロジー社製のインピーダンスアナライザ（型番Ｅ４９９１Ａ）を用いて、１０ＭＨｚでの透磁率μ’を測定した。結果を表１に示す。

（直流重畳特性）
リング状の試料に６０ターンの巻線を施し、Ａｇｉｌｅｎｔ社製のＬＣＲメータ４２８４Ａを用いて直流電流を印加し、算出される印加磁界およびそのときの透磁率を測定し、初期の透磁率から－１０％となる印加磁界を求めた。結果を表１に示す。

（めっき伸び）
各試料について、積層コイル部品５個を樹脂で固め、研磨機により試料の幅方向（Ｗ方向）に研磨を行った。試料の略中央部が露出する深さで研磨を終了した。その断面に集束イオンビーム（ＦＩＢ）加工を行うことにより、ＳＥＭ観察用の断面を得た。ＦＩＢ加工は、エスアイアイ・ナノテクノロジー社製のＦＩＢ加工装置ＳＭＩ３０５０Ｒを用いた。下地電極の先端部のＳＥＭ写真を撮り、そのＳＥＭ写真から、下地電極の先端から伸びているめっき電極の長さ（図４中、ａで示す寸法）を測定した。下地電極の先端から伸びているめっき電極の長さが３０μｍを超えた試料が５個中１個でもある場合を×（不良）、０個である場合を○（良）と評価した。結果を表１に示す。

（平均結晶粒径）
各試料について、積層コイル部品の略中央部のＳＥＭ写真を撮り、フェライト焼結体の平均結晶粒径Ｄ５０を測定した。観察領域は８μｍ×８μｍとした。平均結晶粒径Ｄ５０は、測定した結晶粒子の面積円相当径の累積分布において個数基準で累積５０％となる面積円相当径である。結果を表１に示す。

表１において、＊印を付した試料は、本発明の範囲外となる比較例である。

表１より、主成分がＦｅをＦｅ_２Ｏ_３に換算して４ｍｏｌ％以上、１３ｍｏｌ％以下、ＺｎをＺｎＯに換算して４７ｍｏｌ％以上、５８ｍｏｌ％以下、ＣｕをＣｕＯに換算して１ｍｏｌ％以上、４ｍｏｌ％以下、ＮｉをＮｉＯに換算して２ｍｏｌ％以上、８ｍｏｌ％以下、ＳｉをＳｉＯ_２に換算して２８ｍｏｌ％以上、３６ｍｏｌ％以下含有し、副成分が主成分１００重量部に対し、ＢｉをＢｉ_２Ｏ_３に換算して０．８重量部以上、３重量部以下、ＭｎをＭｎ_２Ｏ_３に換算して０．００３重量部以上、０．１重量部以下、ＣｒをＣｒ_２Ｏ_３に換算して０．００３重量部以上、０．１重量部以下含有する試料２～６、９～１１、１４～１７および２０～２２では、透磁率μ’が１．２以上、直流重畳特性が１５０００Ａ／ｍ以上であり、９２０℃での３時間の焼成でも充分に焼結し、かつ、めっき伸びが抑制されたフェライト焼結体が得られている。

特に、主成分がＦｅをＦｅ_２Ｏ_３に換算して４ｍｏｌ％以上、９ｍｏｌ％以下、ＺｎをＺｎＯに換算して５２ｍｏｌ％以上、５８ｍｏｌ％以下、ＣｕをＣｕＯに換算して１ｍｏｌ％以上、３ｍｏｌ％以下、ＮｉをＮｉＯに換算して２ｍｏｌ％以上、５ｍｏｌ％以下、ＳｉをＳｉＯ_２に換算して３１ｍｏｌ％以上、３６ｍｏｌ％以下含有する試料４～６、９～１１、１４～１７および２０～２２では、直流重畳特性が１８０００Ａ／ｍ以上であるフェライト焼結体が得られている。

試料１では、直流重畳特性が１４０００Ａ／ｍであり、１５０００Ａ／ｍを下回った。

試料７および８では、焼結性が劣り、９２０℃での３時間の焼成では充分に焼結しなかった。

Ｂｉ_２Ｏ_３の添加量が多い試料１２、Ｍｎ_２Ｏ_３が添加されていない試料１３、および、Ｃｒ_２Ｏ_３が添加されていない試料１９では、めっき伸びが発生した。

Ｍｎ_２Ｏ_３の添加量が多い試料１８、および、Ｃｒ_２Ｏ_３の添加量が多い試料２３では、焼結性が劣り、９２０℃での３時間の焼成では充分に焼結しなかった。

１積層コイル部品
１０積層体
１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄ、１１ｅ、１１ｆ、１１ｇ、１１ｈ絶縁層
１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１２ｅ、１２ｆ、１２ｇコイル導体
１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄ、１３ｅ、１３ｆビア導体
２１、２２外部電極
２１ａ、２２ａ下地電極
２１ｂ、２２ｂめっき電極
ａ下地電極の先端から伸びているめっき電極の長さ
Ｌ長さ方向
Ｔ高さ方向
Ｗ幅方向

Claims

主成分および副成分を含むフェライト焼結体であって、
前記主成分は、
ＦｅをＦｅ_２Ｏ_３に換算して４ｍｏｌ％以上、１３ｍｏｌ％以下、
ＺｎをＺｎＯに換算して４７ｍｏｌ％以上、５８ｍｏｌ％以下、
ＣｕをＣｕＯに換算して１ｍｏｌ％以上、４ｍｏｌ％以下、
ＮｉをＮｉＯに換算して２ｍｏｌ％以上、８ｍｏｌ％以下、
ＳｉをＳｉＯ_２に換算して２８ｍｏｌ％以上、３６ｍｏｌ％以下含有し、
前記副成分は、前記主成分１００重量部に対し、
ＢｉをＢｉ_２Ｏ_３に換算して０．８重量部以上、３重量部以下、
ＭｎをＭｎ_２Ｏ_３に換算して０．００３重量部以上、０．１重量部以下、
ＣｒをＣｒ_２Ｏ_３に換算して０．００３重量部以上、０．１重量部以下含有する、フェライト焼結体。
前記主成分は、
ＦｅをＦｅ_２Ｏ_３に換算して４ｍｏｌ％以上、９ｍｏｌ％以下、
ＺｎをＺｎＯに換算して５２ｍｏｌ％以上、５８ｍｏｌ％以下、
ＣｕをＣｕＯに換算して１ｍｏｌ％以上、３ｍｏｌ％以下、
ＮｉをＮｉＯに換算して２ｍｏｌ％以上、５ｍｏｌ％以下、
ＳｉをＳｉＯ_２に換算して３１ｍｏｌ％以上、３６ｍｏｌ％以下含有する、請求項１に記載のフェライト焼結体。
平均結晶粒径が０．２μｍ以上、０．８μｍ以下である、請求項１または２に記載のフェライト焼結体。
少なくともＦｅ、Ｎｉ、ＺｎおよびＣｕを含有する磁性相と、少なくともＳｉおよびＺｎを含有する非磁性相とを含む、請求項１または２に記載のフェライト焼結体。
請求項１または２に記載のフェライト焼結体から構成される絶縁層と、コイル導体とが交互に積層された積層体を備える、積層コイル部品。