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JP7564797B2 - Resin molding device and method for manufacturing resin molded product - Google Patents
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JP7564797B2 - Resin molding device and method for manufacturing resin molded product - Google Patents

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Description

本発明は、樹脂成形装置、及び樹脂成形品の製造方法の技術に関する。 The present invention relates to a resin molding device and a manufacturing method for resin molded products.

特許文献1には、キャビティの内部の樹脂圧力(キャビティ圧力)を測定する圧力センサが設けられた樹脂成形装置が開示されている。具体的には、特許文献1には、キャビティにおけるゲート付近と、ゲートから離れた位置に圧力センサを配置する構成が開示されている。圧力センサによって測定された樹脂圧力に基づいてトランスファ機構の動作を制御することで、樹脂圧力や樹脂の充填速度を調節することができる。 Patent Document 1 discloses a resin molding device equipped with a pressure sensor that measures the resin pressure inside the cavity (cavity pressure). Specifically, Patent Document 1 discloses a configuration in which pressure sensors are placed near the gate in the cavity and at a position away from the gate. By controlling the operation of the transfer mechanism based on the resin pressure measured by the pressure sensor, it is possible to adjust the resin pressure and the resin filling speed.

特開2019-1122号公報JP 2019-1122 A

しかしながら特許文献1に記載の技術では、圧力センサがキャビティに設けられているため、樹脂材料がキャビティに到達するまでは樹脂圧力を測定することができず、樹脂圧力を詳細に測定することが困難である。樹脂圧力は、例えばトランスファ機構の制御やキュア時間の設定などに用いられるため、樹脂圧力をより詳細に把握することが可能な技術が求められている。 However, in the technology described in Patent Document 1, because the pressure sensor is installed in the cavity, the resin pressure cannot be measured until the resin material reaches the cavity, making it difficult to measure the resin pressure in detail. Because the resin pressure is used, for example, to control the transfer mechanism and set the cure time, there is a demand for technology that can grasp the resin pressure in more detail.

本発明は以上の如き状況に鑑みてなされたものであり、その解決しようとする課題は、樹脂圧力を詳細に把握することが可能な樹脂成形装置及び樹脂成形品の製造方法を提供することである。 The present invention was made in consideration of the above situation, and the problem it aims to solve is to provide a resin molding device and a method for manufacturing resin molded products that can grasp the resin pressure in detail.

本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、この課題を解決するため、本発明に係る樹脂成形装置は、樹脂材料が収容されるポットが形成された下型と、前記下型に対向して設けられ、前記ポットに対向する部分にカル部が形成された上型と、前記ポットに収容された前記樹脂材料を移送可能なプランジャと、前記上型のうち前記プランジャと対向する位置、又は、前記プランジャの先端部に設けられ、圧力に関する値を検出する第1センサと、前記プランジャのうち、前記先端部とは異なる部分に設けられ、前記プランジャに加わる力に関する値を検出する第2センサと、前記第1センサの検出値と前記第2センサの検出値を比較することで、前記プランジャの摺動抵抗を検出する制御部と、を備えるものである。 The problem that the present invention aims to solve is as described above, and in order to solve this problem, the resin molding apparatus of the present invention comprises a lower mold in which a pot is formed for containing resin material, an upper mold arranged opposite the lower mold and having a cull portion formed in a portion facing the pot, a plunger capable of transporting the resin material contained in the pot, a first sensor arranged at a position on the upper mold facing the plunger or at the tip of the plunger and detecting a value related to pressure, a second sensor arranged at a portion of the plunger other than the tip and detecting a value related to the force applied to the plunger, and a control unit that detects the sliding resistance of the plunger by comparing the detection value of the first sensor with the detection value of the second sensor .

また、本発明に係る樹脂成形品の製造方法は、前記樹脂成形装置を用いて成形対象物を樹脂成形するものである。 The method for manufacturing a resin molded product according to the present invention involves resin molding an object to be molded using the resin molding device.

本発明によれば、樹脂圧力を詳細に把握することができる。 The present invention allows for detailed understanding of resin pressure.

第1実施形態に係る樹脂成形装置の全体的な構成を示した平面模式図。1 is a schematic plan view showing an overall configuration of a resin molding apparatus according to a first embodiment; 樹脂成形品の製造方法の一例を示したフローチャート。4 is a flowchart showing an example of a method for manufacturing a resin molded product. 成形型の構成を示した正面断面図。FIG. トランスファ機構、圧力センサ及びロードセルの配置を示した模式図。FIG. 4 is a schematic diagram showing the arrangement of a transfer mechanism, a pressure sensor, and a load cell. 樹脂圧力の時間変化の一例を示した図。FIG. 4 is a diagram showing an example of a change in resin pressure over time. ポット内に汚れが付着した状態を模式的に示した正面断面図。FIG. 11 is a front cross-sectional view showing a state in which dirt has adhered to the inside of the pot. 第2実施形態に係る成形型の構成を示した正面断面図。FIG. 11 is a front cross-sectional view showing the configuration of a molding die according to a second embodiment.

以下では、図中に示した矢印U、矢印D、矢印L、矢印R、矢印F及び矢印Bで示した方向を、それぞれ上方向、下方向、左方向、右方向、前方向及び後方向と定義して説明を行う。 In the following explanation, the directions indicated by the arrows U, D, L, R, F, and B in the figure are defined as the upward direction, downward direction, leftward direction, rightward direction, forward direction, and backward direction, respectively.

<樹脂成形装置1の全体構成>
まず、図1を用いて、本発明の第1実施形態に係る樹脂成形装置1の構成について説明する。樹脂成形装置1は、半導体チップなどの電子素子(以下、単に「チップ2a」と称する)を樹脂封止し、樹脂成形品を製造するものである。特に本実施形態では、トランスファーモールド法を利用して樹脂成形を行う樹脂成形装置1を例示している。
<Overall configuration of resin molding device 1>
First, the configuration of a resin molding apparatus 1 according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to Fig. 1. The resin molding apparatus 1 resin-seals electronic elements such as semiconductor chips (hereinafter simply referred to as "chips 2a") to manufacture resin molded products. In particular, this embodiment illustrates a resin molding apparatus 1 that performs resin molding using a transfer molding method.

樹脂成形装置1は、構成要素として、供給モジュール10、樹脂成形モジュール20及び搬出モジュール30を具備する。各構成要素は、他の構成要素に対して着脱可能かつ交換可能である。 The resin molding device 1 comprises the following components: a supply module 10, a resin molding module 20, and an unloading module 30. Each component is detachable and replaceable with respect to the other components.

<供給モジュール10>
供給モジュール10は、チップ2aを装着した基板の一種であるリードフレーム(以下、単に「基板2」と称する)、及び樹脂タブレットTを樹脂成形モジュール20へと供給するものである。基板2は、本発明に係る成形対象物の実施の一形態である。なお、本実施形態では基板2としてリードフレームを例示しているが、リードフレーム以外にも、その他種々の基板(ガラスエポキシ製基板、セラミック製基板、樹脂製基板、金属製基板等)を用いることが可能である。供給モジュール10は、主としてフレーム送出部11、フレーム供給部12、樹脂送出部13、樹脂供給部14、ローダ15及び制御部16を具備する。
<Supply module 10>
The supply module 10 supplies a lead frame (hereinafter simply referred to as "substrate 2"), which is a type of substrate on which a chip 2a is mounted, and a resin tablet T to the resin molding module 20. The substrate 2 is one embodiment of a molding object according to the present invention. In this embodiment, a lead frame is exemplified as the substrate 2, but various other substrates (glass epoxy substrate, ceramic substrate, resin substrate, metal substrate, etc.) can be used in addition to the lead frame. The supply module 10 mainly includes a frame sending section 11, a frame supply section 12, a resin sending section 13, a resin supply section 14, a loader 15, and a control section 16.

フレーム送出部11は、インマガジンユニット(不図示)に収容された樹脂封止されていない基板2を、フレーム供給部12に送り出すものである。フレーム供給部12は、フレーム送出部11から基板2を受け取り、受け取った基板2を適宜整列させてローダ15に受け渡すものである。 The frame sending section 11 sends out the boards 2 that are not resin-sealed and are stored in an in-magazine unit (not shown) to the frame supplying section 12. The frame supplying section 12 receives the boards 2 from the frame sending section 11, aligns the received boards 2 appropriately, and passes them to the loader 15.

樹脂送出部13は、ストッカ(不図示)から樹脂タブレットTを受け取り、樹脂供給部14に樹脂タブレットTを送り出すものである。樹脂供給部14は、樹脂送出部13から樹脂タブレットTを受け取り、受け取った樹脂タブレットTを適宜整列させてローダ15に受け渡すものである。 The resin delivery unit 13 receives the resin tablets T from a stocker (not shown) and delivers the resin tablets T to the resin supply unit 14. The resin supply unit 14 receives the resin tablets T from the resin delivery unit 13, aligns the received resin tablets T appropriately, and delivers them to the loader 15.

ローダ15は、フレーム供給部12及び樹脂供給部14から受け取った基板2及び樹脂タブレットTを、樹脂成形モジュール20に搬送するものである。 The loader 15 transports the substrate 2 and resin tablet T received from the frame supply unit 12 and resin supply unit 14 to the resin molding module 20.

制御部16は、樹脂成形装置1の各モジュールの動作を制御するものである。制御部16によって、供給モジュール10、樹脂成形モジュール20及び搬出モジュール30の動作が制御される。また、制御部16を用いて、各モジュールの動作を任意に変更(調整)することができる。 The control unit 16 controls the operation of each module of the resin molding device 1. The control unit 16 controls the operation of the supply module 10, the resin molding module 20, and the discharge module 30. The control unit 16 can also be used to arbitrarily change (adjust) the operation of each module.

なお本実施形態においては、制御部16を供給モジュール10に設けた例を示しているが、制御部16をその他のモジュールに設けることも可能である。また、制御部16を複数設けることも可能である。例えば、制御部16をモジュールごとや装置ごとに設け、各モジュール等の動作を互いに連動させながら個別に制御することも可能である。 In this embodiment, an example is shown in which the control unit 16 is provided in the supply module 10, but the control unit 16 can also be provided in other modules. It is also possible to provide multiple control units 16. For example, it is possible to provide a control unit 16 for each module or device, and to control the operations of each module individually while linking them together.

<樹脂成形モジュール20>
樹脂成形モジュール20は、基板2に装着されたチップ2aを樹脂封止するものである。本実施形態においては、樹脂成形モジュール20は2つ並べて配置される。2つの樹脂成形モジュール20によって基板2の樹脂封止を並行して行うことで、樹脂成形品の製造効率を向上させることができる。樹脂成形モジュール20は、主として成形型(下型110及び上型120)及び型締め機構21を具備する。
<Resin Molded Module 20>
The resin molding module 20 resin-seals the chip 2a mounted on the substrate 2. In this embodiment, two resin molding modules 20 are arranged side by side. By performing resin sealing of the substrate 2 in parallel using the two resin molding modules 20, it is possible to improve the manufacturing efficiency of resin molded products. The resin molding module 20 mainly includes molding dies (a lower die 110 and an upper die 120) and a die clamping mechanism 21.

成形型(下型110及び上型120)は、溶融した樹脂材料を用いて、基板2に装着されたチップ2aを樹脂封止するものである。成形型は、上下一対の型、すなわち、下型110及び上型120(図3参照)を具備する。成形型には、ヒータ等の加熱部(不図示)が設けられる。 The molding dies (lower die 110 and upper die 120) use molten resin material to resin-seal the chip 2a mounted on the substrate 2. The molding dies include a pair of upper and lower dies, that is, the lower die 110 and the upper die 120 (see FIG. 3). The molding dies are provided with a heating unit (not shown) such as a heater.

型締め機構21は、下型110を上下に移動させることによって、成形型(下型110及び上型120)を型締め又は型開きするものである。 The mold clamping mechanism 21 clamps or opens the molding dies (lower die 110 and upper die 120) by moving the lower die 110 up and down.

<搬出モジュール30>
搬出モジュール30は、樹脂封止された基板2を樹脂成形モジュール20から受け取って搬出するものである。搬出モジュール30は、主としてアンローダ31及び基板収容部32を具備する。
<Exit Module 30>
The unloading module 30 receives and unloads the resin-sealed substrate 2 from the resin molding module 20. The unloading module 30 mainly includes an unloader 31 and a substrate accommodation unit 32.

アンローダ31は、樹脂封止された基板2を保持して基板収容部32へと搬出するものである。基板収容部32は、樹脂封止された基板2を収容するものである。 The unloader 31 holds the resin-sealed substrate 2 and transports it to the substrate storage section 32. The substrate storage section 32 stores the resin-sealed substrate 2.

<樹脂成形装置1の動作の概要>
次に、図1及び図2を用いて、上述の如く構成された樹脂成形装置1の動作(樹脂成形装置1を用いた樹脂成形品の製造方法)の概要について説明する。
<Outline of Operation of Resin Molding Apparatus 1>
Next, an outline of the operation of the resin molding apparatus 1 configured as described above (a method for manufacturing a resin molded product using the resin molding apparatus 1) will be described with reference to FIGS.

本実施形態に係る樹脂成形品の製造方法は、主として搬入工程S10、樹脂成形工程S20及び搬出工程S30を含む。 The method for manufacturing a resin molded product according to this embodiment mainly includes a loading process S10, a resin molding process S20, and a removal process S30.

搬入工程S10は、基板2及び樹脂タブレットTを樹脂成形モジュール20に搬入する工程である。 The loading process S10 is a process of loading the substrate 2 and the resin tablet T into the resin molding module 20.

搬入工程S10において、フレーム送出部11は、インマガジンユニット(不図示)に収容された基板2を、フレーム供給部12に送り出す。フレーム供給部12は、受け取った基板2を適宜整列させて、ローダ15に受け渡す。 In the loading step S10, the frame sending section 11 sends out the substrates 2 stored in the in-magazine unit (not shown) to the frame supplying section 12. The frame supplying section 12 properly aligns the received substrates 2 and passes them to the loader 15.

また、樹脂送出部13は、ストッカ(不図示)から受け取った樹脂タブレットTを樹脂供給部14に送り出す。樹脂供給部14は、受け取った樹脂タブレットTのうち必要な個数をローダ15に受け渡す。 The resin delivery unit 13 also sends the resin tablets T received from a stocker (not shown) to the resin supply unit 14. The resin supply unit 14 transfers the required number of the received resin tablets T to the loader 15.

ローダ15は、受け取った基板2と樹脂タブレットTを樹脂成形モジュール20の成形型に搬送する。基板2と樹脂タブレットTが成形型に搬送された後、搬入工程S10から樹脂成形工程S20に移行する。 The loader 15 transports the received substrate 2 and resin tablet T to the molding die of the resin molding module 20. After the substrate 2 and resin tablet T are transported to the molding die, the process moves from the loading step S10 to the resin molding step S20.

樹脂成形工程S20は、基板2に装着されたチップ2aを樹脂封止する工程である。 The resin molding process S20 is a process for resin-sealing the chip 2a mounted on the substrate 2.

樹脂成形工程S20において、型締め機構21は、下型110を上昇させて成形型を型締めする。そして、成形型の加熱部(不図示)によって樹脂タブレットTを加熱して溶融させ、生成された溶融樹脂を用いて基板2を樹脂封止する。樹脂材料が硬化するまでの所定時間(キュア時間)が経過した後、樹脂成形工程S20から搬出工程S30に移行する。具体的には、キュア時間とは、後述するトランスファ軸131の上昇を停止してから、少なくとも型開きした場合に樹脂成形品を適切に離型できる程度に樹脂材料が硬化するまでの時間のことをいう。 In the resin molding process S20, the mold clamping mechanism 21 raises the lower mold 110 to clamp the mold. Then, the resin tablet T is heated and melted by a heating section (not shown) of the mold, and the resulting molten resin is used to resin seal the substrate 2. After a predetermined time (cure time) has elapsed until the resin material hardens, the process moves from the resin molding process S20 to the unloading process S30. Specifically, the cure time refers to the time from when the rise of the transfer shaft 131, which will be described later, stops until the resin material hardens to an extent that at least the resin molded product can be properly released when the mold is opened.

搬出工程S30は、樹脂封止された基板2を樹脂成形モジュール20から受け取って搬出する工程である。 The unloading process S30 is a process of receiving the resin-sealed substrate 2 from the resin molding module 20 and unloading it.

搬出工程S30において、型締め機構21は、成形型を型開きする。そして、樹脂封止された基板2を離型させる。その後、アンローダ31は、基板2を成形型から搬出し、搬出モジュール30の基板収容部32に収容する。この際、樹脂成形された基板2の不要部分(カル、ランナー等)は適宜除去される。 In the removal step S30, the mold clamping mechanism 21 opens the mold. Then, the resin-sealed substrate 2 is released. The unloader 31 then removes the substrate 2 from the mold and stores it in the substrate storage section 32 of the removal module 30. At this time, unnecessary parts of the resin-molded substrate 2 (culls, runners, etc.) are appropriately removed.

<樹脂成形モジュール20の詳細な構成>
次に、樹脂成形モジュール20の構成について、より詳細に説明する。図3に示すように、樹脂成形モジュール20は、主として下型110、上型120、トランスファ機構130、圧力センサ140、ロードセル150及び型締め機構21を具備する。
<Detailed Configuration of Resin Molded Module 20>
Next, a more detailed description will be given of the configuration of the resin molding module 20. As shown in Fig. 3, the resin molding module 20 mainly includes a lower mold 110, an upper mold 120, a transfer mechanism 130, a pressure sensor 140, a load cell 150, and a mold clamping mechanism 21.

<下型110>
下型110は、成形型の下部を形成するものである。下型110は、主としてポットブロック111及び下型キャビティブロック112を具備する。
<Lower die 110>
The lower die 110 forms the lower part of the molding die and mainly includes a pot block 111 and a lower die cavity block 112.

ポットブロック111は、供給モジュール10から供給された樹脂タブレットTが収容される部分である。ポットブロック111には、樹脂タブレットTを収容するための貫通孔(ポット111a)が前後に並ぶように複数(本実施形態では、5つ)形成される(図1参照)。 The pot block 111 is a portion in which the resin tablets T supplied from the supply module 10 are stored. The pot block 111 has a plurality of through holes (pots 111a) arranged in a front-to-back arrangement (five in this embodiment) for storing the resin tablets T (see FIG. 1).

下型キャビティブロック112は、キャビティCの底面を形成するものである。下型キャビティブロック112は、ポットブロック111の左右にそれぞれ配置される。下型キャビティブロック112の上面には、基板2に応じた形状の凹部が適宜形成される。下型キャビティブロック112の凹部には、基板2を配置することができる。 The lower die cavity block 112 forms the bottom surface of the cavity C. The lower die cavity blocks 112 are arranged on the left and right sides of the pot block 111. A recess having a shape corresponding to the substrate 2 is appropriately formed on the upper surface of the lower die cavity block 112. The substrate 2 can be placed in the recess of the lower die cavity block 112.

<上型120>
上型120は、成形型の上部を形成するものである。上型120は、主としてカルブロック121及び上型キャビティブロック122を具備する。
<Upper mold 120>
The upper mold 120 forms the upper part of the molding die and mainly includes a cull block 121 and an upper mold cavity block 122.

カルブロック121は、下型110のポットブロック111に対向する位置に配置されるものである。カルブロック121の下面には、樹脂材料をキャビティCへと案内するための溝状のカル部121a及びランナ部121bが形成される。カル部121aは、下型110の各ポット111aと上下に対向する位置に形成される。 The cull block 121 is disposed in a position opposite the pot block 111 of the lower mold 110. The lower surface of the cull block 121 is formed with a groove-shaped cull portion 121a and a runner portion 121b for guiding the resin material to the cavity C. The cull portion 121a is formed in a position opposite each pot 111a of the lower mold 110 in the vertical direction.

上型キャビティブロック122は、キャビティCの上面を形成するものである。上型キャビティブロック122は、カルブロック121の左右にそれぞれ配置される。上型キャビティブロック122は、下型キャビティブロック112に対向する位置に配置される。上型キャビティブロック122の底面には、樹脂成形品に応じた形状の凹部が適宜形成される。 The upper die cavity block 122 forms the top surface of cavity C. The upper die cavity blocks 122 are disposed on the left and right sides of the cull block 121. The upper die cavity block 122 is disposed opposite the lower die cavity block 112. A recess having a shape corresponding to the resin molded product is appropriately formed on the bottom surface of the upper die cavity block 122.

なお、本実施形態では上型120にランナ部121bやキャビティCの上面が形成された例を示しているが、本発明はこれに限るものではない。例えば、下型110の下型キャビティブロック112等に、ランナ部やキャビティCの下面が形成されてもよい。 In this embodiment, the runner portion 121b and the upper surface of the cavity C are formed on the upper mold 120, but the present invention is not limited to this. For example, the lower surface of the runner portion and the cavity C may be formed on the lower mold cavity block 112 of the lower mold 110, etc.

このように構成された上下一対の下型110及び上型120の間に、樹脂成形品に応じた形状のキャビティCが形成される。また、下型110は、型締め機構21によって上下に移動させることができる。 A cavity C having a shape corresponding to the resin molded product is formed between the pair of upper and lower dies 110 and 120 configured in this way. In addition, the lower die 110 can be moved up and down by the die clamping mechanism 21.

<トランスファ機構130>
図3及び図4に示すトランスファ機構130は、キャビティCへと樹脂材料を供給するものである。トランスファ機構130は、主としてトランスファ軸131、取付部132、プランジャ133及びロードセル134を具備する。
<Transfer mechanism 130>
3 and 4 serves to supply the resin material to the cavity C. The transfer mechanism 130 mainly includes a transfer shaft 131, a mounting portion 132, a plunger 133, and a load cell 134.

トランスファ軸131は、上下に移動可能な部材である。トランスファ軸131は、例えばサーボモータやエアシリンダ等の駆動源(不図示)から伝達される動力によって、上下に任意に移動させることができる。トランスファ軸131は、1つの成形型(下型110)に対して、前後方向に並ぶように複数(本実施形態では、2つ)設けられる(図4参照)。 The transfer shaft 131 is a member that can move up and down. The transfer shaft 131 can be moved up and down as desired by power transmitted from a drive source (not shown), such as a servo motor or an air cylinder. Multiple transfer shafts 131 (two in this embodiment) are provided for one molding die (lower die 110) so as to be aligned in the front-to-rear direction (see FIG. 4).

取付部132は、トランスファ軸131にプランジャ133を取り付けるためのものである。取付部132は、略直方体状に形成される。取付部132は、複数のトランスファ軸131の上部に亘って設けられる。 The mounting portion 132 is for mounting the plunger 133 to the transfer shaft 131. The mounting portion 132 is formed in a substantially rectangular parallelepiped shape. The mounting portion 132 is provided across the upper portions of the multiple transfer shafts 131.

プランジャ133は、ポットブロック111のポット111aに収容された樹脂タブレットT(樹脂材料)を射出してキャビティCへと移送するものである。プランジャ133は、ポット111a内に上下に移動(昇降)可能となるように配置される。プランジャ133の下部は、後述するロードセル150を介して、取付部132の上部に取り付けられる。プランジャ133は、前後方向に並ぶように複数(本実施形態では、5つ)設けられる(図4参照)。 The plunger 133 injects the resin tablet T (resin material) contained in the pot 111a of the pot block 111 and transfers it to the cavity C. The plunger 133 is arranged so that it can move up and down (raise and lower) within the pot 111a. The lower part of the plunger 133 is attached to the upper part of the attachment part 132 via the load cell 150 described later. Multiple plungers 133 (five in this embodiment) are provided so as to be aligned in the front-to-rear direction (see FIG. 4).

ロードセル134は、トランスファ軸131に加わる荷重を検出するためのものである。ロードセル134は、トランスファ軸131の上部(トランスファ軸131と取付部132との間)に設けられる。本実施形態のロードセル134は、複数のトランスファ軸131のうち、1つのトランスファ軸131に設けられる。ロードセル134を用いてトランスファ軸131に加わる荷重を検出することで、トランスファ機構130による樹脂材料の注入力(トランスファ出力)を検出することができる。この検出値に基づいて、トランスファ出力や、プランジャ133の移動速度等を制御することができる。 The load cell 134 is for detecting the load applied to the transfer shaft 131. The load cell 134 is provided on the upper part of the transfer shaft 131 (between the transfer shaft 131 and the mounting portion 132). In this embodiment, the load cell 134 is provided on one of the multiple transfer shafts 131. By detecting the load applied to the transfer shaft 131 using the load cell 134, it is possible to detect the injection force of the resin material by the transfer mechanism 130 (transfer output). Based on this detection value, the transfer output, the movement speed of the plunger 133, etc. can be controlled.

<圧力センサ140>
圧力センサ140は、キャビティCへと移送される樹脂材料の圧力を検出するためのものである。圧力センサ140は、本発明に係る圧力に関する値を検出する第1センサの実施の一形態である。圧力センサ140は、端面に設けられた弾性変形可能な検出面(ダイヤフラム)の変形量に基づいて、検出面に加わる圧力を検出することができる。圧力センサ140としては、例えば、日本キスラー株式会社製の熱硬化性樹脂用・型内圧センサ(型式:6167A)を用いることができる。
<Pressure Sensor 140>
The pressure sensor 140 is for detecting the pressure of the resin material being transferred to the cavity C. The pressure sensor 140 is one embodiment of a first sensor for detecting a value related to pressure according to the present invention. The pressure sensor 140 can detect the pressure applied to a detection surface (diaphragm) that is elastically deformable and provided on an end face, based on the amount of deformation of the detection surface. As the pressure sensor 140, for example, a mold pressure sensor for thermosetting resin (model: 6167A) manufactured by Kistler Japan Ltd. can be used.

圧力センサ140は、カルブロック121のカル部121aのうち、プランジャ133と対向する位置に設けられる。より詳細には、圧力センサ140は、プランジャ133の移動方向(本実施形態では上下方向)から見て、プランジャ133と重複する位置に設けられる。本実施形態においては、圧力センサ140は、プランジャ133と同軸上に設けられる。すなわち、圧力センサ140は、図3に示す断面視において、プランジャ133の中心を通る上下方向の直線上に位置する。このとき、圧力センサ140は、プランジャ133の直上に位置することになる。圧力センサ140は、検出面を下方に向けた状態で、カルブロック121に埋め込まれるように設けられる。圧力センサ140の下端面(検出面)は、カル部121aの下面と概ね同一平面上に配置される。このように配置されることで、圧力センサ140の検出面は、キャビティCへと移送される樹脂材料に直接触れることができる。すなわち、圧力センサ140は、他の部材を介することなく、樹脂材料の圧力を直接検出することができる。 The pressure sensor 140 is provided in the cull portion 121a of the cull block 121 at a position facing the plunger 133. More specifically, the pressure sensor 140 is provided at a position overlapping the plunger 133 when viewed from the movement direction of the plunger 133 (the vertical direction in this embodiment). In this embodiment, the pressure sensor 140 is provided coaxially with the plunger 133. That is, the pressure sensor 140 is located on a vertical line passing through the center of the plunger 133 in the cross-sectional view shown in FIG. 3. At this time, the pressure sensor 140 is located directly above the plunger 133. The pressure sensor 140 is provided so as to be embedded in the cull block 121 with the detection surface facing downward. The lower end surface (detection surface) of the pressure sensor 140 is arranged on approximately the same plane as the lower surface of the cull portion 121a. By being arranged in this manner, the detection surface of the pressure sensor 140 can directly contact the resin material transferred to the cavity C. In other words, the pressure sensor 140 can directly detect the pressure of the resin material without going through other components.

図4に示すように、圧力センサ140は、複数のプランジャ133に対応するように複数設けられる。本実施形態では、5つのプランジャ133それぞれの上方に、圧力センサ140が1つずつ設けられる。このように、各プランジャ133に対応する圧力センサ140をカルブロック121に設けることで、プランジャ133ごとの樹脂圧力を個別に検出することができ、この検出結果を樹脂成形装置1の動作の制御や樹脂成形時の状態把握等に活用することができる。 As shown in FIG. 4, multiple pressure sensors 140 are provided to correspond to multiple plungers 133. In this embodiment, one pressure sensor 140 is provided above each of the five plungers 133. In this way, by providing a pressure sensor 140 corresponding to each plunger 133 in the cull block 121, the resin pressure for each plunger 133 can be detected individually, and this detection result can be used to control the operation of the resin molding device 1 and to understand the state during resin molding.

ロードセル150は、プランジャ133に加わる荷重を検出するためのものである。ロードセル150は、本発明に係る力に関する値を検出する第2センサの実施の一形態である。ロードセル150は、プランジャ133の下部(プランジャ133と取付部132との間)に設けられる。本実施形態のロードセル150は、複数のプランジャ133に対応するように複数設けられる。本実施形態では、5つのプランジャ133それぞれの下部に、ロードセル150が1つずつ設けられる。 The load cell 150 is for detecting the load applied to the plunger 133. The load cell 150 is one embodiment of the second sensor for detecting a value related to a force according to the present invention. The load cell 150 is provided below the plunger 133 (between the plunger 133 and the mounting portion 132). In this embodiment, multiple load cells 150 are provided to correspond to the multiple plungers 133. In this embodiment, one load cell 150 is provided below each of the five plungers 133.

<キュア時間の決定方法>
次に、圧力センサ140の検出値に基づいて、キュア時間を決定する方法について説明する。
<How to determine the cure time>
Next, a method for determining the cure time based on the detection value of the pressure sensor 140 will be described.

図5には、樹脂成形工程S20(図2参照)において、樹脂材料がキャビティCへと移送されて、基板2が樹脂封止される際の圧力センサ140の検出値の時間変化の一例を示している。図5の横軸は、トランスファ機構130による樹脂材料の移送が開始した時点から経過した時間を示している。図5の縦軸は、圧力センサ140の検出値(すなわち、樹脂材料の圧力)を示している。なお、以下では説明の便宜上、圧力センサ140により検出された樹脂材料の圧力を、「樹脂圧力」と称する。 Figure 5 shows an example of the change over time in the detection value of the pressure sensor 140 when the resin material is transferred to the cavity C and the substrate 2 is resin-sealed in the resin molding process S20 (see Figure 2). The horizontal axis of Figure 5 indicates the time that has elapsed since the transfer of the resin material by the transfer mechanism 130 began. The vertical axis of Figure 5 indicates the detection value of the pressure sensor 140 (i.e., the pressure of the resin material). For ease of explanation, the pressure of the resin material detected by the pressure sensor 140 will be referred to as the "resin pressure" below.

トランスファ機構130によるトランスファ軸131の上昇が開始されて、樹脂材料の移送が開始される。すると、プランジャ133によってポットブロック111から押し出された樹脂材料が、その直後にプランジャ133の真上に位置する圧力センサ140に接することになる(図3参照)。したがって圧力センサ140は、図5に示すように樹脂材料の移送の開始直後から、樹脂圧力を検出することができる。なお、図5に示す3本の線は、5つ設けられた圧力センサ140のうち、3つの圧力センサ140による検出結果を一例として示したものである。 The transfer mechanism 130 starts to raise the transfer shaft 131, and the transfer of the resin material begins. Then, the resin material pushed out of the pot block 111 by the plunger 133 immediately comes into contact with the pressure sensor 140 located directly above the plunger 133 (see FIG. 3). Therefore, as shown in FIG. 5, the pressure sensor 140 can detect the resin pressure immediately after the transfer of the resin material begins. Note that the three lines shown in FIG. 5 are examples of the detection results from three of the five pressure sensors 140 provided.

トランスファ機構130による樹脂材料の移送が開始されると、樹脂材料はカル部121a及びランナ部121bを通過してキャビティCへと供給される。図5に示すように、樹脂材料の移送開始から時間t1まで、樹脂材料がランナ部121b等を流動する際の流動抵抗に応じて、樹脂圧力は上下に変動しながらも徐々に上昇する。 When the transfer mechanism 130 starts transferring the resin material, the resin material passes through the cull portion 121a and the runner portion 121b and is supplied to the cavity C. As shown in FIG. 5, from the start of the transfer of the resin material to time t1, the resin pressure fluctuates up and down and gradually increases depending on the flow resistance when the resin material flows through the runner portion 121b, etc.

時間t1においてキャビティCへの樹脂材料の注入が完了すると、時間t1以降、キュア時間が経過するまで、トランスファ機構130は注入された樹脂材料に対して所定の圧力を加えた状態でトランスファ軸131の上昇を停止し、この状態を維持する。キュア時間が経過した後(図5の例では、時間t2に達した後)、搬出工程S30(図2参照)に移行し、樹脂封止された基板2が成形型から搬出される。 When the injection of the resin material into the cavity C is completed at time t1, the transfer mechanism 130 stops raising the transfer shaft 131 while applying a predetermined pressure to the injected resin material and maintains this state until the curing time has elapsed after time t1. After the curing time has elapsed (after time t2 has been reached in the example of FIG. 5), the process moves to the unloading step S30 (see FIG. 2), and the resin-sealed substrate 2 is unloaded from the molding die.

ここで、キュア時間をどのような値に決定するかは、樹脂成形品の品質向上、及び、生産の効率化の観点から重要である。本実施形態では、圧力センサ140によって検出された樹脂圧力に基づいて、キュア時間を適切な値に決定することができる。 Here, the value of the cure time that is determined is important from the standpoint of improving the quality of the resin molded product and increasing production efficiency. In this embodiment, the cure time can be determined to an appropriate value based on the resin pressure detected by the pressure sensor 140.

図5に示したように、キャビティCへの樹脂材料の注入が完了した後(時間t1以降)、樹脂圧力は徐々に低下する。これは、樹脂材料が徐々に硬化して収縮し、圧力センサ140に加わる圧力が低下するためである。さらにある程度の時間が経過した後(時間t2以降)、樹脂圧力は概ね一定になる。これは、樹脂材料の硬化が概ね完了し、樹脂材料の収縮が終了するためである。 As shown in FIG. 5, after the injection of the resin material into cavity C is completed (after time t1), the resin pressure gradually decreases. This is because the resin material gradually hardens and shrinks, causing a decrease in the pressure applied to the pressure sensor 140. After a certain amount of time has passed (after time t2), the resin pressure becomes roughly constant. This is because the hardening of the resin material is roughly completed and the shrinkage of the resin material has stopped.

したがって、樹脂圧力の低下が終了し、樹脂圧力が概ね一定となる時間t2をキュア時間に決定することで、樹脂材料の硬化の完了後、無駄に長時間待機することなく、搬出工程S30へと移行することができる。キュア時間は、実際の樹脂成形品の製造を開始するよりも前に、試験的に樹脂成形を行い、樹脂圧力の時間変化を検出することで、予め決定することができる。 Therefore, by determining the time t2 when the resin pressure stops decreasing and becomes roughly constant as the cure time, it is possible to move to the unloading process S30 after the resin material has hardened without having to wait for a long time unnecessarily. The cure time can be determined in advance by performing test resin molding and detecting the change in resin pressure over time before starting the production of the actual resin molded product.

また、キュア時間の決定は、制御部16によって自動的に行うことも可能である。例えば制御部16は、図5に示す圧力センサ140の検出結果に基づいて、キャビティCへの樹脂材料の注入が完了した時間t1から、樹脂圧力が概ね一定となった時間t2までをキュア時間として自動的に決定することができる。 The cure time can also be determined automatically by the control unit 16. For example, based on the detection result of the pressure sensor 140 shown in FIG. 5, the control unit 16 can automatically determine the cure time to be the time from time t1 when the injection of the resin material into the cavity C is completed to time t2 when the resin pressure becomes approximately constant.

<ポット111aの汚れの検出方法>
次に、圧力センサ140及びロードセル150の検出値を比較して、ポット111a内の汚れの有無を検出する方法について説明する。
<Method of detecting dirt on pot 111a>
Next, a method for detecting the presence or absence of dirt in the pot 111a by comparing the detection values of the pressure sensor 140 and the load cell 150 will be described.

図6には、ポット111a内(ポット111aの内側面)に汚れAが付着した状態を模式的に示している。樹脂成形を繰り返し行うことで、図6に示すようにポット111a内には樹脂材料による汚れAが付着することが考えられる。ポット111a内に汚れAが付着すると、プランジャ133の摺動が阻害され、キャビティCへの樹脂材料の移送が正常に行われなくなる可能性がある。そこで、ポット111a内の汚れAの有無を検出し、適切なタイミングでクリーニングを行うことが望ましい。 Figure 6 shows a schematic diagram of the state in which dirt A has adhered to the inside of pot 111a (the inner surface of pot 111a). It is conceivable that by repeatedly performing resin molding, dirt A made of resin material will adhere to the inside of pot 111a as shown in Figure 6. If dirt A adheres to the inside of pot 111a, it may hinder the sliding of plunger 133, preventing normal transfer of resin material to cavity C. Therefore, it is desirable to detect the presence or absence of dirt A in pot 111a and perform cleaning at an appropriate time.

本実施形態では、圧力センサ140及びロードセル150の検出値を比較してポット111a内の汚れAの有無を検出することができる。具体的には、ポット111a内に汚れAが付着していない場合、プランジャ133を上昇させてキャビティCへの樹脂材料の注入を行う際(図5における時間t1まで)の圧力センサ140の検出値と、この圧力センサ140に対応するロードセル150の検出値は、一定の関係を有する。 In this embodiment, the presence or absence of dirt A in the pot 111a can be detected by comparing the detection values of the pressure sensor 140 and the load cell 150. Specifically, when dirt A is not attached to the pot 111a, there is a certain relationship between the detection value of the pressure sensor 140 when the plunger 133 is raised to inject the resin material into the cavity C (up to time t1 in FIG. 5) and the detection value of the load cell 150 corresponding to this pressure sensor 140.

これに対して、ポット111a内に汚れAが付着すると、プランジャ133の摺動抵抗が増加するため、圧力センサ140の検出値に対して、ロードセル150の検出値が増加することになる。このような圧力センサ140とロードセル150の検出値の関係の変化を検出することで、ポット111a内に汚れAが付着したことを検出することができる。また圧力センサ140の検出値に対するロードセル150の検出値の増加量を検出することで、汚れAの有無だけでなく、汚れAの量(汚れ具合)を検出することもできる。 In contrast, when dirt A adheres to pot 111a, the sliding resistance of plunger 133 increases, causing the detection value of load cell 150 to increase relative to the detection value of pressure sensor 140. By detecting this change in the relationship between the detection values of pressure sensor 140 and load cell 150, it is possible to detect that dirt A has adhered to pot 111a. Furthermore, by detecting the increase in the detection value of load cell 150 relative to the detection value of pressure sensor 140, it is possible to detect not only the presence or absence of dirt A, but also the amount of dirt A (degree of dirtiness).

本実施形態では、樹脂成形品の製造時に、制御部16が圧力センサ140とロードセル150の検出値を比較し、プランジャ133の摺動抵抗の変化を検出することで、ポット111aの汚れAを速やかに検出し、適切なタイミングでポット111aのクリーニングを実施することができる。ここで、樹脂成形品の製造時とは、例えば、プランジャ133を上昇させてキャビティCへの樹脂材料の注入を行うときである。 In this embodiment, when a resin molded product is manufactured, the control unit 16 compares the detection values of the pressure sensor 140 and the load cell 150 and detects changes in the sliding resistance of the plunger 133, thereby quickly detecting contamination A in the pot 111a and cleaning the pot 111a at an appropriate timing. Here, the time of manufacturing a resin molded product refers to, for example, the time when the plunger 133 is raised to inject resin material into the cavity C.

特に本実施形態では、圧力センサ140はプランジャ133の真上(プランジャ133の摺動方向の延長線上)に配置されているため、プランジャ133により押し出された樹脂材料の圧力は、ランナ部121b等を介することなく圧力センサ140によって検出される。このため、圧力センサ140の検出値が樹脂材料の流動抵抗の影響を受けにくく、圧力センサ140と、ロードセル150の検出値と、の関係を明確に把握することができる。したがって、汚れAを精度良く検出することができる。 In particular, in this embodiment, the pressure sensor 140 is positioned directly above the plunger 133 (on an extension of the sliding direction of the plunger 133), so the pressure of the resin material pushed out by the plunger 133 is detected by the pressure sensor 140 without passing through the runner portion 121b or the like. Therefore, the detection value of the pressure sensor 140 is less affected by the flow resistance of the resin material, and the relationship between the detection value of the pressure sensor 140 and that of the load cell 150 can be clearly understood. Therefore, the dirt A can be detected with high accuracy.

なお、各プランジャ133に設けられたロードセル150ではなく、トランスファ軸131に設けられたロードセル134(図4参照)の検出値を用いてポット111a内の汚れAの有無を検出することも可能である。この場合、トランスファ機構130に設けられたロードセル134の検出値の合計と、このトランスファ機構130によって移送される樹脂の圧力を検出する圧力センサ140の検出値の合計と、を比較することで、ポット111aの汚れAを検出することができる。例えば本実施形態(図4参照)では、トランスファ軸131に設けられた1つのロードセル134の検出値と、5つの圧力センサ140の検出値の合計値と、を比較することで、ポット111aの汚れAを検出することができる。 It is also possible to detect the presence or absence of dirt A in the pot 111a using the detection value of the load cell 134 (see FIG. 4) provided on the transfer shaft 131, instead of the load cell 150 provided on each plunger 133. In this case, dirt A in the pot 111a can be detected by comparing the sum of the detection values of the load cells 134 provided on the transfer mechanism 130 with the sum of the detection values of the pressure sensor 140 that detects the pressure of the resin transferred by the transfer mechanism 130. For example, in this embodiment (see FIG. 4), dirt A in the pot 111a can be detected by comparing the detection value of one load cell 134 provided on the transfer shaft 131 with the sum of the detection values of the five pressure sensors 140.

<第2実施形態>
以下では、圧力センサ140の配置の変形例(第2実施形態)について説明する。
Second Embodiment
A modified example (second embodiment) of the arrangement of the pressure sensor 140 will be described below.

上述の第1実施形態(図3等参照)では、圧力センサ140をカルブロック121のカル部121aに設けた例を示したが、圧力センサ140の配置はこれに限るものではない。第2実施形態(図7参照)では、圧力センサ140をプランジャ133の先端部に設けた例を示している。 In the above-mentioned first embodiment (see FIG. 3, etc.), an example is shown in which the pressure sensor 140 is provided in the cull portion 121a of the cull block 121, but the arrangement of the pressure sensor 140 is not limited to this. In the second embodiment (see FIG. 7), an example is shown in which the pressure sensor 140 is provided at the tip of the plunger 133.

図7に示すように、第2実施形態に係る圧力センサ140は、プランジャ133の中心(プランジャ133の軸線上)に配置される。圧力センサ140は、検出面を上に向けた状態で、プランジャ133に埋め込まれるように設けられる。圧力センサ140の上端面(検出面)は、プランジャ133の上面と概ね同一平面上に配置される。このように配置されることで、圧力センサ140の検出面は、キャビティCへと移送される樹脂材料に直接触れることができる。 As shown in FIG. 7, the pressure sensor 140 according to the second embodiment is disposed at the center of the plunger 133 (on the axis of the plunger 133). The pressure sensor 140 is embedded in the plunger 133 with the detection surface facing upwards. The upper end surface (detection surface) of the pressure sensor 140 is disposed on approximately the same plane as the upper surface of the plunger 133. By being disposed in this manner, the detection surface of the pressure sensor 140 can directly contact the resin material being transferred to the cavity C.

第2実施形態に係る圧力センサ140を用いることで、第1実施形態と同様に、トランスファ機構130による樹脂材料の移送の開始直後から、樹脂圧力を検出することができる。また第1実施形態と同様に、圧力センサ140を用いて、キュア時間の決定、及び、ポット111a内の汚れAの検出を行うことができる。 By using the pressure sensor 140 according to the second embodiment, the resin pressure can be detected immediately after the transfer mechanism 130 starts transferring the resin material, as in the first embodiment. Also, as in the first embodiment, the pressure sensor 140 can be used to determine the cure time and detect dirt A in the pot 111a.

以上の如く、上記実施形態に係る樹脂成形装置1は、樹脂材料が収容されるポット111aが形成された下型110と、前記下型110に対向して設けられ、前記ポット111aに対向する部分にカル部121aが形成された上型120と、前記ポット111aに収容された前記樹脂材料を移送可能なプランジャ133と、前記上型120のうち前記プランジャ133と対向する位置(図3参照)、又は、前記プランジャ133の先端部(図7参照)に設けられ、圧力に関する値を検出する圧力センサ140(第1センサ)と、を備えるものである。 As described above, the resin molding device 1 according to the above embodiment includes a lower mold 110 in which a pot 111a for containing a resin material is formed, an upper mold 120 that is disposed opposite the lower mold 110 and has a cull portion 121a formed in a portion that faces the pot 111a, a plunger 133 that can transfer the resin material contained in the pot 111a, and a pressure sensor 140 (first sensor) that is disposed at a position on the upper mold 120 that faces the plunger 133 (see FIG. 3) or at the tip of the plunger 133 (see FIG. 7) and detects a value related to pressure.

このように構成することにより、樹脂圧力を詳細に把握することができる。具体的には、プランジャ133と対向する位置、又は、プランジャ133の先端部に設けられた圧力センサ140によって、プランジャ133による樹脂材料の移送直後から、樹脂圧力の検出が可能となる。このようにして検出された樹脂圧力に基づいて、キュア時間の決定やポット111aのクリーニング時期の決定等を行うことができる。 This configuration allows the resin pressure to be grasped in detail. Specifically, the pressure sensor 140, which is provided at a position opposite the plunger 133 or at the tip of the plunger 133, makes it possible to detect the resin pressure immediately after the plunger 133 transfers the resin material. Based on the resin pressure detected in this way, it is possible to determine the cure time and the timing for cleaning the pot 111a, etc.

また、仮に樹脂圧力を検出するためにキャビティCに直接圧力センサを設ける場合、樹脂成形後の製品表面に圧力センサの跡が成形される。樹脂封止された製品が個片化され、最終製品となった場合に、外観に圧力センサの跡があるものと無いものがあると、これらが同じ品質の製品と認められない可能性があり、好ましくない。これに対して、本実施形態(第1実施形態および第2実施形態)ではキャビティCに直接圧力センサ140を設ける構成ではないため、製品の品質に影響を与えることがない。 Furthermore, if a pressure sensor were provided directly in cavity C to detect the resin pressure, a trace of the pressure sensor would be formed on the surface of the product after resin molding. When the resin-sealed product is divided into individual pieces to become the final product, if some of the products have traces of the pressure sensor on the outside and some do not, these products may not be recognized as being of the same quality, which is undesirable. In contrast, in this embodiment (first and second embodiments), the pressure sensor 140 is not provided directly in cavity C, so there is no impact on the quality of the product.

また、樹脂圧力を把握するために、キャビティCに対向して設けられたエジェクタピンに圧力センサを設け、エジェクタピンに加わる圧力を検出することで樹脂圧力を検出する構成も想定される。しかし、エジェクタピンの摺動抵抗によって、実際の樹脂圧力と圧力センサの検出値には誤差が生じるため、正確な樹脂圧力を検出することは困難である。これに対して、本実施形態(第1実施形態および第2実施形態)では直接樹脂材料と接する部分(プランジャ133の先端部等)に圧力センサ140を設けるため、誤差が生じることがなく、樹脂圧力を精度良く検出することができる。 In addition, in order to grasp the resin pressure, a pressure sensor is provided on the ejector pin provided opposite cavity C, and the resin pressure is detected by detecting the pressure applied to the ejector pin. However, due to the sliding resistance of the ejector pin, an error occurs between the actual resin pressure and the detection value of the pressure sensor, making it difficult to detect the resin pressure accurately. In contrast, in this embodiment (first and second embodiments), the pressure sensor 140 is provided in the part that directly contacts the resin material (such as the tip of plunger 133), so no error occurs and the resin pressure can be detected with high accuracy.

また、一般的に、キャビティCに圧力センサやエジェクタピンが設けられない製品(樹脂成形装置1)もある。このような製品には、本実施形態(第1実施形態および第2実施形態)のようにプランジャ133の先端部等に圧力センサ140を設ける構成が有用である。 In addition, there are also products (resin molding devices 1) that do not generally have a pressure sensor or ejector pin in cavity C. For such products, a configuration in which a pressure sensor 140 is provided at the tip of plunger 133, as in this embodiment (first and second embodiments), is useful.

また、前記圧力センサ140は、複数設けられた前記プランジャ133に対応して複数設けられるものである。 In addition, multiple pressure sensors 140 are provided corresponding to the multiple plungers 133.

このように構成することにより、各プランジャ133によって移送される樹脂の圧力を個別に検出することができ、樹脂圧力をより詳細に把握することができる。 By configuring it in this way, the pressure of the resin transferred by each plunger 133 can be detected individually, allowing for a more detailed understanding of the resin pressure.

また、樹脂成形装置1は、前記圧力センサ140の検出値に基づいて、キュア時間を決定する制御部16をさらに具備するものである。 The resin molding device 1 further includes a control unit 16 that determines the cure time based on the detection value of the pressure sensor 140.

このように構成することにより、キュア時間の決定を容易に行うことができる。特に上記実施形態のように、圧力センサ140によって詳細に検出された樹脂圧力を用いてキュア時間を決定できるため、適切なキュア時間を設定することができる。 This configuration makes it easy to determine the cure time. In particular, as in the above embodiment, the cure time can be determined using the resin pressure detected in detail by the pressure sensor 140, so that an appropriate cure time can be set.

また、樹脂成形装置1は、前記プランジャ133のうち、前記先端部とは異なる部分に設けられ、前記プランジャ133に加わる力に関する値を検出するロードセル150(第2センサ)をさらに具備し、前記制御部16は、前記圧力センサ140の検出値と前記ロードセル150の検出値を比較するものである。 The resin molding device 1 further includes a load cell 150 (second sensor) that is provided at a portion of the plunger 133 different from the tip portion and detects a value related to the force applied to the plunger 133, and the control unit 16 compares the detection value of the pressure sensor 140 with the detection value of the load cell 150.

このように構成することにより、プランジャ133に加わる荷重に対して樹脂圧力がどのような値をとっているか比較して把握することができる。また、この比較結果を、樹脂成形装置1の状態(例えば、樹脂圧力の異常の有無等)を把握する情報として利用することができる。 By configuring it in this way, it is possible to compare and understand what value the resin pressure takes in relation to the load applied to the plunger 133. In addition, this comparison result can be used as information to understand the state of the resin molding device 1 (e.g., whether or not there is an abnormality in the resin pressure, etc.).

また、前記制御部16は、前記圧力センサ140の検出値と前記ロードセル150の検出値を比較することで、前記プランジャ133の摺動抵抗を検出するものである。 The control unit 16 also detects the sliding resistance of the plunger 133 by comparing the detection value of the pressure sensor 140 with the detection value of the load cell 150.

このように構成することにより、プランジャ133が設けられたポット111a内の汚れの有無を検出することができる。これによって、適切なタイミングでポット111aのクリーニングを行うことができる。 This configuration makes it possible to detect the presence or absence of dirt inside the pot 111a in which the plunger 133 is provided. This allows cleaning of the pot 111a at the appropriate time.

また、前記ロードセル150は、複数設けられた前記プランジャ133に対応して複数設けられるものである。 Furthermore, the load cells 150 are provided in multiple numbers corresponding to the multiple plungers 133.

このように構成することにより、各プランジャ133に加わる荷重を個別に検出することができる。これによって、各ポット111aの汚れの有無を個別に検出することができる。 By configuring it in this way, the load applied to each plunger 133 can be detected individually. This makes it possible to individually detect whether or not each pot 111a is dirty.

また、本実施形態に係る樹脂成形品の製造方法は、樹脂成形装置1を用いて成形対象物を樹脂成形するものである。 The method for manufacturing a resin molded product according to this embodiment uses a resin molding device 1 to resin mold the object to be molded.

このように構成することにより、樹脂圧力を詳細に把握することができる。また、適切なキュア時間を決定したり、ポット111aの汚れの有無を検出することができるため、樹脂成形品の品質向上や生産効率の向上を図ることができる。 This configuration allows the resin pressure to be monitored in detail. It also allows the appropriate curing time to be determined and the presence or absence of dirt on the pot 111a to be detected, improving the quality of the resin molded product and increasing production efficiency.

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された発明の技術的思想の範囲内で適宜の変更が可能である。 Although the embodiment of the present invention has been described above, the present invention is not limited to the above embodiment, and appropriate modifications are possible within the scope of the technical concept of the invention described in the claims.

例えば、上記実施形態の樹脂成形装置1に用いた構成要素(供給モジュール10等)は一例であり、適宜着脱や交換することが可能である。例えば、樹脂成形モジュール20の個数を変更することが可能である。また、本実施形態の樹脂成形装置1に用いた構成要素(供給モジュール10等)の構成や動作は一例であり、適宜変更することが可能である。 For example, the components (such as the supply module 10) used in the resin molding apparatus 1 of the above embodiment are examples, and can be attached, detached, or replaced as appropriate. For example, the number of resin molding modules 20 can be changed. In addition, the configurations and operations of the components (such as the supply module 10) used in the resin molding apparatus 1 of this embodiment are examples, and can be changed as appropriate.

また、上記実施形態においては、タブレット状の樹脂材料(樹脂タブレットT)を用いる例を示したが、本発明はこれに限るものではない。すなわち、樹脂材料としては、タブレット状のものだけでなく、粉粒体状(顆粒状、粉末状を含む)、液状など任意の形態のものを用いることが可能である。 In the above embodiment, an example is shown in which a tablet-shaped resin material (resin tablet T) is used, but the present invention is not limited to this. In other words, the resin material can be in any form, such as a powder (including granules and powder), liquid, or not just a tablet.

また、上記実施形態において例示したトランスファ軸131、プランジャ133、ポット111a等の個数は限定するものではなく、任意に変更することが可能である。また、各種センサ(ロードセル134、圧力センサ140及びロードセル150)の個数も特に限定するものではなく、任意に変更することが可能である。 The number of transfer shafts 131, plungers 133, pots 111a, etc., as exemplified in the above embodiment, is not limited and can be changed as desired. The number of various sensors (load cells 134, pressure sensors 140, and load cells 150) is also not particularly limited and can be changed as desired.

また、上記実施形態においては、複数のプランジャ133に対応するように、複数の圧力センサ140を設けた例を示したが、本発明はこれに限るものではない。すなわち、プランジャ133と同数の圧力センサ140を設ける必要はなく、圧力センサ140の個数を、プランジャ133の個数よりも少なくすることや、多くすることが可能である。例えば、いずれか1つのプランジャ133に対応するように1つだけ圧力センサ140を設けることも可能である。また、ロードセル150についても同様に、複数のプランジャ133と同数設ける必要はなく、個数を任意に設定することが可能である。 In addition, in the above embodiment, an example was shown in which multiple pressure sensors 140 were provided to correspond to multiple plungers 133, but the present invention is not limited to this. In other words, it is not necessary to provide the same number of pressure sensors 140 as the plungers 133, and the number of pressure sensors 140 can be less than or greater than the number of plungers 133. For example, it is possible to provide only one pressure sensor 140 to correspond to any one of the plungers 133. Similarly, it is not necessary to provide the same number of load cells 150 as the multiple plungers 133, and the number can be set arbitrarily.

また、上記第1実施形態においては、圧力センサ140をカルブロック121(カル部121a)に設けた例を示したが、本発明はこれに限るものではない。圧力センサ140は、プランジャ133と対向する位置、又は、プランジャ133の先端部に設けられ、樹脂の移送開始直後から樹脂圧力を検出できるものであればよく、取り付けられる部材を限定するものではない。 In the above first embodiment, the pressure sensor 140 is provided in the cull block 121 (cull portion 121a), but the present invention is not limited to this. The pressure sensor 140 may be provided in a position facing the plunger 133 or at the tip of the plunger 133, and may be capable of detecting the resin pressure immediately after the transfer of the resin begins. There are no limitations on the member to which the pressure sensor 140 can be attached.

また、上記実施形態においては、圧力センサ140をプランジャ133と対向する位置(カルブロック121)に設けた例(図3参照)、及び、圧力センサ140をプランジャ133の先端部に設けた例(図7参照)をそれぞれ示したが、本発明はこれに限るものではない。すなわち、カルブロック121又はプランジャ133のいずれか一方のみに圧力センサ140を設けるのではなく、両方に設けることも可能である。 In addition, in the above embodiment, an example in which the pressure sensor 140 is provided at a position facing the plunger 133 (cull block 121) (see FIG. 3) and an example in which the pressure sensor 140 is provided at the tip of the plunger 133 (see FIG. 7) are shown, but the present invention is not limited to this. In other words, it is also possible to provide the pressure sensor 140 not only on the cull block 121 or the plunger 133, but on both.

また、上記実施形態においては、制御部16がキュア時間の決定やプランジャ133の摺動抵抗(汚れAの有無)を検出する例を示したが、本発明はこれに限るものではなく、キュア時間等は人の判断によって決定するものであってもよい。この場合、例えば制御部16は、圧力センサ140等の検出値や、圧力センサ140とロードセル150の検出値の比較結果等をディスプレイ等の出力装置に出力することで、キュア時間の決定等に必要な情報を人に報知する構成とすることも可能である。 In the above embodiment, the control unit 16 determines the cure time and detects the sliding resistance of the plunger 133 (presence or absence of dirt A), but the present invention is not limited to this, and the cure time, etc. may be determined by human judgment. In this case, for example, the control unit 16 can be configured to notify a person of information necessary for determining the cure time, etc., by outputting the detection values of the pressure sensor 140, etc., and the comparison results between the detection values of the pressure sensor 140 and the load cell 150, etc., to an output device such as a display.

また、上記実施形態においては、圧力センサ140を用いたが、力を検出するセンサを用いて検出された値と面積とから圧力を算出することも可能である。
また、上記実施形態においては、荷重を検出するロードセル134を用いたが、これに代えて力を検出するセンサを用いることも可能である。
Furthermore, in the above embodiment, the pressure sensor 140 is used, but it is also possible to calculate the pressure from the area and a value detected by a sensor that detects force.
Furthermore, in the above embodiment, the load cell 134 for detecting the load is used, but instead of this, a sensor for detecting a force can also be used.

1 樹脂成形装置
16 制御部
110 下型
111a ポット
120 上型
121a カル部
133 プランジャ
140 圧力センサ
150 ロードセル
REFERENCE SIGNS LIST 1 Resin molding device 16 Control unit 110 Lower die 111a Pot 120 Upper die 121a Cul portion 133 Plunger 140 Pressure sensor 150 Load cell

Claims (5)

樹脂材料が収容されるポットが形成された下型と、
前記下型に対向して設けられ、前記ポットに対向する部分にカル部が形成された上型と、
前記ポットに収容された前記樹脂材料を移送可能なプランジャと、
前記上型のうち前記プランジャと対向する位置、又は、前記プランジャの先端部に設けられ、圧力に関する値を検出する第1センサと、
前記プランジャのうち、前記先端部とは異なる部分に設けられ、前記プランジャに加わる力に関する値を検出する第2センサと、
前記第1センサの検出値と前記第2センサの検出値を比較することで、前記プランジャの摺動抵抗を検出する制御部と、
を備える樹脂成形装置。
a lower mold in which a pot for accommodating a resin material is formed;
an upper die provided opposite the lower die and having a cull portion formed in a portion opposite the pot;
a plunger capable of transferring the resin material contained in the pot;
a first sensor provided at a position of the upper die facing the plunger or at a tip of the plunger, the first sensor detecting a value related to pressure;
a second sensor provided at a portion of the plunger different from the tip portion and configured to detect a value related to a force applied to the plunger;
a control unit that detects a sliding resistance of the plunger by comparing a detection value of the first sensor with a detection value of the second sensor;
A resin molding apparatus comprising:
前記第1センサは、複数設けられた前記プランジャに対応して複数設けられる、
請求項1に記載の樹脂成形装置。
The first sensor is provided in a plurality of sensors corresponding to the plurality of plungers.
The resin molding apparatus according to claim 1 .
前記制御部は、前記第1センサの検出値に基づいて、キュア時間を決定する、
請求項1又は請求項2に記載の樹脂成形装置。
The control unit determines a cure time based on the detection value of the first sensor .
The resin molding apparatus according to claim 1 or 2.
前記第2センサは、複数設けられた前記プランジャに対応して複数設けられる、
請求項1から請求項3までのいずれか一項に記載の樹脂成形装置。
The second sensor is provided in a plurality of sensors corresponding to the plurality of plungers.
The resin molding apparatus according to any one of claims 1 to 3 .
請求項1から請求項4までのいずれか一項に記載の樹脂成形装置を用いて成形対象物を樹脂成形する、A resin molding apparatus according to any one of claims 1 to 4 is used to resin mold a molding object.
樹脂成形品の製造方法。A method for manufacturing a resin molded product.
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