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JP7565710B2 - Assembled type reduced pressure filtration device - Google Patents
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  • Filtration Of Liquid (AREA)

Description

本願発明は、濾過装置に関し、特には組立型減圧式濾過装置に関する。 The present invention relates to a filtration device, and in particular to an assembled reduced pressure filtration device.

流体の濾過では、濾過すべき原流体が流れる流れ回路を管路で構成し、加圧手段により、その流れ回路内の上流側の圧力である原流体の背圧を高めて流動させ、フィルタを通過させて濾過を行う加圧式の濾過装置が一般的である。これに対し、たとえば特許文献1に開示されるように、濾過された後の濾過流体を貯蔵する下流側である濾過流体容器の内圧を減圧して、濾過流体容器内に流体を吸引する際にフィルタを通過させて濾過を行う減圧式の濾過装置がある。このような装置では、一般に、濾過すべき原流体を入れる原流体容器と、濾過した後の濾過流体を貯蔵する濾過流体容器と、濾過流体容器を減圧する手段とを備えている。 In the filtration of fluids, a pressurized filtration device is generally used in which a flow circuit through which the raw fluid to be filtered flows is formed by a pipe, and a pressurizing means is used to increase the back pressure of the raw fluid, which is the pressure on the upstream side of the flow circuit, to cause the raw fluid to flow and pass through a filter to perform filtration. In contrast, as disclosed in Patent Document 1, for example, there is a depressurized filtration device in which the internal pressure of a filtration fluid container, which is the downstream side that stores the filtered filtration fluid, is reduced, and the fluid is filtered by passing through a filter when it is drawn into the filtration fluid container. Such devices generally include a raw fluid container that holds the raw fluid to be filtered, a filtration fluid container that stores the filtration fluid after filtration, and a means for depressurizing the filtration fluid container.

特許文献1には、原流体容器である試料容器と濾過流体を貯蔵する濾過液貯蔵瓶との間に配置される試料フィルタを介して原流体の濾過を行い、濾過された濾過流体は濾過液貯蔵瓶の中に導入される濾過システムが開示されている。一般に、減圧式濾過装置では、大気圧以下の低い差圧で濾過を実行するコンパクトな構造となっている。 Patent Document 1 discloses a filtration system in which the raw fluid is filtered through a sample filter arranged between a sample container, which is a raw fluid container, and a filtrate storage bottle, which stores the filtrate, and the filtered filtrate is introduced into the filtrate storage bottle. In general, reduced pressure filtration devices have a compact structure that performs filtration at a low differential pressure below atmospheric pressure.

国際公開第WO2008/52642号パンフレットInternational Publication No. WO2008/52642

減圧式濾過装置では、高い密閉度を保証しながら簡易に組立または構成変更ができる組立型減圧式濾過装置が望まれる。
さらに、組立型減圧式濾過装置において、流体に接する接流体部材を洗浄する手間をも省くことができれば、作業効率の高い濾過装置とすることができる。
In a reduced-pressure filtration apparatus, an assembly-type reduced-pressure filtration apparatus that can be easily assembled or reconfigured while ensuring a high degree of airtightness is desired.
Furthermore, in an assembled reduced pressure filtration apparatus, if it were possible to eliminate the need to clean the fluid contacting members that come into contact with the fluid, the filtration apparatus would be one with high work efficiency.

内部に脱気ポンプが配置され、前記脱気ポンプの吸気孔が配置される接合部を有するポンプユニットと、一端に第1開口と、他端に第2開口と、を有する中空筒形形状の第1ケースユニットであって、流体と接しない第1ケースユニットおよび第2ケースユニットと、一端に流体入口を有し、流体を保持する保持部を有する第1インナー容器と、一端に流体入口と、他端に前記流体入口よりも大きさの小さい流体出口と、を有し、前記流体入口と前記流体出口との間に流体を保持する保持部を有する第2インナー容器と、を備える組立型減圧式濾過装置であって、前記第1ケースユニットは、前記第1ケースユニットの第1開口と前記ポンプユニットの前記吸気孔とが流体的に連通するように前記ポンプユニットと接合可能であって、前記第2ケースユニットの前記第1開口は、前記第1ケースユニットの第2開口と第1シール部材を挟持し、かつ前記第1ケースユニットの第2開口が前記第1インナー容器の前記流体入口となるように前記第1シール部材と前記第1インナー容器の前記流体入口の縁部を挟持して、前記第1ケースユニットの前記第2開口と接合可能であって、前記第2インナー容器は、前記第2ケースユニットの前記第2開口が前記第2インナー容器の前記流体入口となるように前記第2インナー容器の前記流体入口の縁部と前記第2ケースユニットの前記第2開口とで第2シール部材を挟持するように接合可能である組立型減圧式濾過装置により解決する。 An assembled reduced pressure filtration device comprising: a pump unit in which a degassing pump is disposed and which has a joint where an intake hole of the degassing pump is disposed; a first case unit having a hollow cylindrical shape with a first opening at one end and a second opening at the other end, which does not come into contact with fluid; a first inner container having a fluid inlet at one end and a holding portion for holding a fluid; and a second inner container having a fluid inlet at one end and a fluid outlet at the other end that is smaller than the fluid inlet and has a holding portion for holding a fluid between the fluid inlet and the fluid outlet, wherein the first case unit is arranged so that the first opening of the first case unit and the intake hole of the pump unit are fluidically connected. The problem is solved by an assembled reduced pressure filtration device in which the first opening of the second case unit can be joined to the pump unit by sandwiching a first seal member between the second opening of the first case unit and the edge of the fluid inlet of the first inner container between the first seal member and the second opening of the first case unit so that the second opening of the first case unit becomes the fluid inlet of the first inner container, and the second inner container can be joined to sandwich a second seal member between the edge of the fluid inlet of the second inner container and the second opening of the second case unit so that the second opening of the second case unit becomes the fluid inlet of the second inner container.

本発明により、簡易な構造で組立または構成変更ができ、接流体部材を容易に交換可能な組立型減圧式濾過装置が実現できる。 The present invention makes it possible to realize an assembly-type reduced pressure filtration device that can be assembled or reconfigured with a simple structure and allows for easy replacement of fluid-contacting parts.

本発明の実施の形態である組立型減圧式濾過装置の斜視図を示している。1 is a perspective view of an assembled reduced pressure filtration device according to an embodiment of the present invention; 本発明の一の実施の形態である組立型減圧式濾過装置であって、図1Aの断面A-Aを示した断面図を示している。FIG. 1B shows a cross-sectional view of an assembled reduced pressure filtration device according to one embodiment of the present invention, taken along line AA of FIG. 1A. 本発明の他の実施の形態である組立型減圧式濾過装置の断面図を示している。1 shows a cross-sectional view of an assembled vacuum filtration device according to another embodiment of the present invention. 本発明の更なる実施の形態である組立型減圧式濾過装置の断面図を示している。3 shows a cross-sectional view of a further embodiment of an assembled vacuum filtration apparatus according to the present invention; 本発明の実施例1である組立型減圧式濾過装置の全体(結合状態)を示した斜視図を示している。1 is a perspective view showing the entire assembly type reduced pressure filtration device (assembled state) according to a first embodiment of the present invention; 本発明の実施例1である組立型減圧式濾過装置の全体(分離状態)を示した斜視図を示している。1 is a perspective view showing the entire assembly type reduced pressure filtration device (separated state) according to a first embodiment of the present invention; 図2Aの断面B-Bを示した図であって、本発明の実施例1である組立型減圧式濾過装置の結合状態の断面図である。FIG. 2B is a cross-sectional view showing the cross section BB of FIG. 2A, which is a cross-sectional view showing the assembled reduced pressure filtration device according to the first embodiment of the present invention in a connected state. 本発明の実施例3である組立型減圧式濾過装置の結合状態の断面図である。FIG. 11 is a cross-sectional view of an assembled reduced pressure filtration device according to a third embodiment of the present invention in an assembled state. 本発明の実施例4である組立型減圧式濾過装置の結合状態の断面図である。FIG. 11 is a cross-sectional view of an assembled reduced pressure filtration device according to a fourth embodiment of the present invention in an assembled state.

図1Aから図1Dを参照して、本発明の実施の形態としての組立型減圧式濾過装置(以下、単に濾過装置)1について説明する。図1Aは基本的な実施の形態である濾過装置1の結合状態を示した斜視図である。図1Bは、図1Aの断面A-Aを示した図である。図1Cは他の実施の形態の濾過装置1であって、ユニット間の結合方法が異なる濾過装置1の図である。図1Dは、濾過装置1として、多数のユニットを重ねる態様の濾過装置1を示した図である。 With reference to Figures 1A to 1D, an assembly-type reduced pressure filtration device (hereinafter simply referred to as filtration device) 1 according to an embodiment of the present invention will be described. Figure 1A is a perspective view showing the assembled state of filtration device 1 according to a basic embodiment. Figure 1B is a view showing cross section A-A of Figure 1A. Figure 1C is a view of filtration device 1 according to another embodiment, in which the method of joining units is different. Figure 1D is a view showing a filtration device 1 in which multiple units are stacked.

(濾過装置の概略構成)
濾過装置1は、内部に脱気ポンプ2aが配置され、脱気ポンプの吸気孔2bが配置される接合部を有するポンプユニット2と、複数のケースユニット3と、複数のインナー容器4と、複数のシール部材5と、を備えている。濾過する対象は、液体、気体のいずれをも含む流体である。
(Schematic configuration of the filtration device)
The filtration device 1 includes a pump unit 2 having a joint in which a degassing pump 2a is disposed and an intake hole 2b of the degassing pump is disposed, a plurality of case units 3, a plurality of inner containers 4, and a plurality of sealing members 5. The object to be filtered is a fluid including both liquid and gas.

複数のケースユニット3は、それぞれ、一端に第1開口と、他端に第2開口と、を有する中空の筒形形状を有している。複数のケースユニット3は、それぞれを重ねて使用する構造となっている。代表的には中空の円筒形状であるが、断面は四角である中空の四角柱など多角形を断面とする角柱であってもよい。複数のケースユニット3のそれぞれの形状は、代表的には、同じ形状とすることができる。同じ形状とすることで形状の標準化が可能となる。ここでは、複数のケースユニット3は、それぞれ、中空部の断面が円である円筒形状であって、その断面の中心軸をCLと仮定して説明する。円筒形状でない場合においても、複数のケースユニット3はそれぞれにおいて、第1開口と第2開口とは互いに中心が画定され、その中心軸を結ぶ中心軸CLが定義できる形状であることが望ましい。 Each of the multiple case units 3 has a hollow cylindrical shape with a first opening at one end and a second opening at the other end. The multiple case units 3 are structured to be used by stacking them one on top of the other. A typical shape is a hollow cylinder, but it may be a prism with a polygonal cross section, such as a hollow rectangular prism with a square cross section. The shapes of the multiple case units 3 can typically be the same. By making them the same shape, it is possible to standardize the shapes. Here, the multiple case units 3 are each cylindrical with a circular cross section of the hollow part, and the central axis of the cross section is assumed to be CL. Even if the shape is not cylindrical, it is desirable that the first opening and the second opening of each of the multiple case units 3 have mutually defined centers, and that a central axis CL connecting the central axes can be defined.

複数のケースユニット3は、第1ケースユニット3a,第2ケースユニット3bを少なくとも有している。複数のケースユニット3の個数は、必要に応じて、2以上個数で設定することができる。たとえば、ケースユニット3の個数を3個で構成させる場合には、第1ケースユニット3a、第2ケースユニット3bに加えて、第3ケースユニット3cで構成させることができる。複数のケースユニット3の個数が、それぞれ、4個の場合にはさらに第4ケースユニット3dを、5個の場合にはさらに第5ケースユニット3eを、6個の場合にはさらに第6ケースユニット3fをそれぞれ加えるように構成させることができる。また、さらに必要に応じて、ケースユニット3の個数を増やすこともできる。ケースユニット3は、それぞれ、その内面が流体と接しないように構成される。 The multiple case units 3 have at least a first case unit 3a and a second case unit 3b. The number of multiple case units 3 can be set to two or more as necessary. For example, when the number of case units 3 is three, the first case unit 3a, the second case unit 3b, and the third case unit 3c can be added. When the number of multiple case units 3 is four, a fourth case unit 3d can be added, when the number is five, a fifth case unit 3e can be added, and when the number is six, a sixth case unit 3f can be added. Furthermore, the number of case units 3 can be increased as necessary. Each case unit 3 is configured so that its inner surface does not come into contact with the fluid.

複数のインナー容器4は、それぞれ、一端に流体入口を有する容器であって、他端に流体を保持する保持部を有している容器である。インナー容器4は、流体を保持する保持部を、複数のケースユニット3の第2開口から複数のケースユニット3の中空部に挿入し、インナー容器4の流体入口がケースユニット3の第1開口となるように、インナー容器4の流体入口の縁部が複数のケースユニット3の第2開口で支持されるように接合して使用される。複数のケースユニット3のそれぞれを重ねる多段式構造とすることで、複数のインナー容器4のそれぞれも重ねられた多段式構造となっている。複数のケースユニット3のそれぞれが重ねられた際において、中心軸CLが鉛直方向に指向するようになっている。 Each of the multiple inner containers 4 has a fluid inlet at one end and a holding portion for holding fluid at the other end. The inner container 4 is used by inserting the holding portion for holding fluid into the hollow portion of the multiple case units 3 from the second openings of the multiple case units 3, and joining the multiple case units 3 so that the fluid inlet of the inner container 4 becomes the first opening of the case unit 3 and the edge of the fluid inlet of the inner container 4 is supported by the second openings of the multiple case units 3. By stacking the multiple case units 3 in a multi-stage structure, each of the multiple inner containers 4 also has a multi-stage structure in which the multiple case units 3 are stacked. When the multiple case units 3 are stacked, the central axis CL is oriented vertically.

インナー容器4は多段式構造であっても、その剛性はケースユニット3が担っているため、インナー容器4はケースユニット3の剛性より低く剛性を設定することができる。また、インナー容器4は接流体部材であるため、一般に使い捨て部材とすることが好ましい。そのため、低廉であること、および流体に対して耐食性、耐薬品性を有することが望ましい。低廉および耐食性、耐薬品性の観点からは、たとえば、熱可塑性樹脂(結晶性)であるところのオレフィン系(ポリプロピレン(PP)・ポリエチレン(HDPE・LDPE・HMPE)),ポリアミド(PA66・PA6・PA12),フッ素系(PFA・PTFE・ETFE・ECTFE)や,熱可塑性樹脂(非晶性)であるところのポリエチレンテレフタレート(PET)・ポリスチレン(PS),ポリカーボネート(PC),サルフォン系(ポリサルフォン・ポリエーテルサルフォン・ポリフェニルサルフォン)その他ステンレス(SUS316L・SUS316・SUS304)などの金属やガラスなどが選択可能である。これにより、ケースユニット3は繰り返し使用を目的にし、インナー容器4は濾過処理の実行の完了の度に、交換して廃棄可能とする使い捨て使用を目的に構成することができる。 Even if the inner container 4 has a multi-stage structure, its rigidity is borne by the case unit 3, so the rigidity of the inner container 4 can be set lower than that of the case unit 3. In addition, since the inner container 4 is a fluid-contacting member, it is generally preferable to use it as a disposable member. Therefore, it is desirable that it is inexpensive and has corrosion resistance and chemical resistance against fluids. From the viewpoint of inexpensiveness and corrosion resistance and chemical resistance, for example, olefin-based thermoplastic resins (crystalline) (polypropylene (PP), polyethylene (HDPE, LDPE, HMPE)), polyamide (PA66, PA6, PA12), fluorine-based (PFA, PTFE, ETFE, ECTFE), polyethylene terephthalate (PET), polystyrene (PS), polycarbonate (PC), sulfone-based (polysulfone, polyethersulfone, polyphenylsulfone), and other metals and glasses such as stainless steel (SUS316L, SUS316, SUS304) can be selected. This allows the case unit 3 to be designed for repeated use, while the inner container 4 can be designed for disposable use, so that it can be replaced and discarded each time a filtration process is completed.

複数のインナー容器4は、第1インナー容器4a,第2インナー容器4bを少なくとも有している。インナー容器4の個数は、ケースユニット3の個数と同じ個数で設定される。ケースユニット3の個数が2個の場合には、インナー容器4は、第1インナー容器4a、第2インナー容器4bで構成される。ケースユニット3の個数が3個の場合には、インナー容器4は、それに加えて、第3インナー容器4cで構成させることができる。ケースユニット3の個数が、それぞれ、4個の場合にはさらに第4インナー容器4dを、5個の場合には第5インナー容器4eを、6個の場合には第6インナー容器4fを、それぞれ加えるように構成させることができる。また、さらに必要に応じて、ケースユニット3の数と同じ数の範囲で増やすこともできる。インナー容器4のそれぞれは、その内面に流体が保持されるように、または流れるように構成される。 The multiple inner containers 4 include at least a first inner container 4a and a second inner container 4b. The number of inner containers 4 is set to the same number as the number of case units 3. When the number of case units 3 is two, the inner container 4 is composed of a first inner container 4a and a second inner container 4b. When the number of case units 3 is three, the inner container 4 can be composed of a third inner container 4c in addition to the first inner container 4a. When the number of case units 3 is four, a fourth inner container 4d can be added, when the number is five, a fifth inner container 4e can be added, and when the number is six, a sixth inner container 4f can be added. Furthermore, if necessary, the number can be increased to the same number as the number of case units 3. Each inner container 4 is configured to hold or flow a fluid on its inner surface.

複数のインナー容器4が重ねられたときに、一番下に位置するインナー容器4が第1インナー容器4aである。第1インナー容器4aは、濾過が完了した流体を保持する保持部を有する濾過流体容器として機能する。濾過流体容器の流体を保持する保持部には孔が配置されていない。一方、複数のインナー容器4が重ねられたときに、第1インナー容器4aの上に重ねられるインナー容器4である第2インナー容器4b、第3インナー容器4c、第4インナー容器4d、第5インナー容器4e、第6インナー容器4fには、流体入口が配置される端部と反対側の端部たる他端に流体入口よりも大きさの小さい流体出口を保持部に有している。第2インナー容器4b、第3インナー容器4c、第4インナー容器4d、第5インナー容器4e、第6インナー容器4fは、それぞれの保持部に、フィルタ、活性炭などの吸着剤、整流構造のいずれかを、選択して配置して、それぞれをフィルタユニット、吸着剤ユニット、整流ユニットとして機能するように構成する。それぞれのインナー容器4の保持部の形状は、ケースユニット3の内部に収納できる限り、保持部の内部に配置するフィルタおよび吸着剤の形状特性や、整流構造に応じて、最適な形状が選択可能であって、自由に変更することができる。すなわち、図1Bから図1Dに示される形状に拘束されない。インナー容器4の流体入口が配置される一端とその反対側の他端との距離は、ケースユニット3の第1開口と第2開口との間の距離よりも短くなるように設定される。 When multiple inner containers 4 are stacked, the inner container 4 located at the bottom is the first inner container 4a. The first inner container 4a functions as a filtration fluid container having a holding portion that holds the fluid after filtration. No holes are arranged in the holding portion that holds the fluid of the filtration fluid container. On the other hand, when multiple inner containers 4 are stacked, the second inner container 4b, the third inner container 4c, the fourth inner container 4d, the fifth inner container 4e, and the sixth inner container 4f, which are the inner containers 4 stacked on the first inner container 4a, have a fluid outlet smaller in size than the fluid inlet in the holding portion at the other end, which is the end opposite to the end where the fluid inlet is located. The second inner container 4b, the third inner container 4c, the fourth inner container 4d, the fifth inner container 4e, and the sixth inner container 4f are configured to function as a filter unit, an adsorbent unit, and a rectification unit by selecting and arranging one of a filter, an adsorbent such as activated carbon, and a rectification structure in each holding portion. The shape of the holding part of each inner container 4 can be freely changed and can be selected as the optimum shape depending on the shape characteristics of the filter and adsorbent placed inside the holding part and the flow straightening structure, as long as it can be stored inside the case unit 3. In other words, it is not restricted to the shapes shown in Figures 1B to 1D. The distance between one end where the fluid inlet of the inner container 4 is located and the other end on the opposite side is set to be shorter than the distance between the first opening and the second opening of the case unit 3.

複数のケースユニット3と複数のインナー容器4とは、シール部材5で結合される。複数のケースユニット3と複数のインナー容器4とを、シール部材5で結合し、ポンプユニット2の上に配置して組み合わせると、濾過装置1が構成される。そのとき、複数のインナー容器4をフィルタ容器、吸着剤容器、整流容器として機能を変更させることで、濾過装置1を構成させることができる。ポンプユニット2を稼働させることにより、インナー容器4の中の気体が排気され、濾過装置1は、流体に含まれる異物を濾過して除去し目的の流体を得るために必要な様々な種類の濾過形態に容易に組み換え可能な組立型減圧式濾過装置として機能する。シール部材5は、ネオプレンゴムなどの可撓性樹脂であって、変形により密閉性が高い材料を選択することが好ましい。 The multiple case units 3 and the multiple inner containers 4 are connected with a sealing member 5. The multiple case units 3 and the multiple inner containers 4 are connected with the sealing member 5 and placed on the pump unit 2 to form the filtration device 1. At that time, the multiple inner containers 4 can be configured to function as a filter container, an adsorbent container, or a flow straightening container to form the filtration device 1. By operating the pump unit 2, the gas in the inner container 4 is exhausted, and the filtration device 1 functions as an assembled reduced pressure filtration device that can be easily recombined into various types of filtration forms required to filter and remove foreign matter contained in the fluid and obtain the desired fluid. The sealing member 5 is preferably made of a flexible resin such as neoprene rubber, and is preferably made of a material that is highly airtight when deformed.

(濾過装置の詳細構成)
続いて、ポンプユニット2、ケースユニット3、インナー容器4、およびシール部材5を如何に組み合わせて濾過装置1を構成させるかについて説明する。図1Aおよび図1Bは、基本形態の濾過装置1を示している。図1Aと図1Bに示される濾過装置1の基本形態は、濾過する流体を濾過するフィルタが配置されるフィルタユニットと、濾過された濾過後の流体を保持する濾過流体ユニットと、の2段式のユニット構成が、ポンプユニット2の上に配置される形態である。ここで、本明細書においてユニット構成の段数は、ポンプユニット2の上に配置されるケースユニット3の個数に対応するものとして定義する。すなわち、ポンプユニット2の上に配置されるケースユニット3の個数が2個の場合に2段式とよび、N個の場合にN段式として定義する。また、段数の呼称「第N段」の意味するところは、最下段(ポンプユニット2の直上)を第1段とし、「第N段」はポンプユニット2の真上の第1段より上側にN段目を意味するものとして、下側より上側に向かって段数が上昇するように定義する。
(Detailed configuration of the filtration device)
Next, how to combine the pump unit 2, the case unit 3, the inner container 4, and the seal member 5 to configure the filtration device 1 will be described. FIG. 1A and FIG. 1B show the filtration device 1 in a basic form. The basic form of the filtration device 1 shown in FIG. 1A and FIG. 1B is a form in which a two-stage unit configuration, consisting of a filter unit in which a filter for filtering a fluid to be filtered is disposed, and a filtrate fluid unit for holding the filtered fluid, is disposed on the pump unit 2. Here, in this specification, the number of stages of the unit configuration is defined as corresponding to the number of case units 3 disposed on the pump unit 2. That is, when the number of case units 3 disposed on the pump unit 2 is two, it is called a two-stage type, and when the number is N, it is defined as an N-stage type. In addition, the designation "Nth stage" of the number of stages means that the lowest stage (directly above the pump unit 2) is the first stage, and "Nth stage" means the Nth stage above the first stage directly above the pump unit 2, and is defined so that the number of stages increases from the bottom to the top.

ポンプユニット2は、内部に脱気ポンプ2aが配置され、濾過装置1の最下段に配置されて、すべてのユニットを支持するハウジングを有するユニットである。ポンプユニット2の上面には脱気ポンプの内部へと吸引した気体を導入するための管路につながる吸気孔2bが配置される。 The pump unit 2 is a unit with a housing that supports all units and has a degassing pump 2a disposed inside and is located at the bottom of the filtration device 1. An intake hole 2b is disposed on the top surface of the pump unit 2, which is connected to a pipeline for introducing the sucked gas into the inside of the degassing pump.

基本形態の濾過装置1では、第1ケースユニット3aと第2ケースユニット3bとからなる2個のケースユニット3と、第1インナー容器4aと第2インナー容器4bとからなる2個のインナー容器4とを構成として有している。ポンプユニット2は、その上面に接合部2cを有している。第1ケースユニット3aと第2ケースユニット3bとは、それぞれ、一端に第1開口3a1,3b1と、その反対側の端部である他端に第2開口3a2,3b2とを有している。第1ケースユニット3aは、第1ケースユニット3aの第1開口3a1とポンプユニット2の吸気孔2bとが流体的に連通するようにポンプユニット2と接合可能である。接合の方法は問わないが、ポンプユニット2の吸気孔2bが流体的に連通し、第1ケースユニット3aで外部と隔絶される第1ケースユニット3aの内部の空間が外部から密閉可能なように接合される必要がある。たとえば、ケースユニット3同士の接合に使用するシール部材5を使用して接合してもよい。ポンプユニット2の吸気孔2bが流体的に連通し、第1ケースユニット3aで外部と隔絶される第1ケースユニット3aの内部の空間が外部から密閉可能なように接合される前提で様々な形態の接合方法をとることができる。この接合には、第1ケースユニット3aとポンプユニット2とを一体的に形成することも含む。第2ケースユニット3bの第1開口3b1の縁部は、第1ケースユニット3aの第2開口3a2の縁部と第1シール部材5aを挟持する状態で、第1ケースユニット3aの第2開口3a2の縁部と接合可能である。 The basic form of the filtration device 1 is configured with two case units 3 consisting of a first case unit 3a and a second case unit 3b, and two inner containers 4 consisting of a first inner container 4a and a second inner container 4b. The pump unit 2 has a joint 2c on its upper surface. The first case unit 3a and the second case unit 3b each have a first opening 3a1, 3b1 at one end and a second opening 3a2, 3b2 at the other end, which is the opposite end. The first case unit 3a can be joined to the pump unit 2 so that the first opening 3a1 of the first case unit 3a and the intake hole 2b of the pump unit 2 are fluidly connected. There is no restriction on the joining method, but it is necessary that the intake hole 2b of the pump unit 2 is fluidly connected and the internal space of the first case unit 3a, which is isolated from the outside by the first case unit 3a, is joined so that it can be sealed from the outside. For example, the case units 3 may be joined using a seal member 5 used to join them together. Various joining methods can be used on the premise that the intake hole 2b of the pump unit 2 is fluidly connected and the internal space of the first case unit 3a, which is isolated from the outside by the first case unit 3a, is joined so that it can be sealed from the outside. This joining also includes forming the first case unit 3a and the pump unit 2 as a single unit. The edge of the first opening 3b1 of the second case unit 3b can be joined to the edge of the second opening 3a2 of the first case unit 3a in a state in which the edge of the second opening 3a2 of the first case unit 3a and the first seal member 5a are sandwiched between them.

第2ケースユニット3bの第1開口3b1の縁部と第1ケースユニット3aの第2開口3a2の縁部との接合の際には、予め第1インナー容器4aの保持部4a3を第1ケースユニット3aの内部の中空部に第1ケースユニット3aの第2開口3a2の側から挿入し、第1インナー容器4aの流体入口4a1が第1ケースユニット3aの第2開口3a2と合致するように、第1インナー容器4aの流体入口4a1の縁部と第1ケースユニット3aの第2開口3a2の縁部とを合わせる。そして、この状態で、第1インナー容器4aの流体入口4a1の縁部を、第2ケースユニット3bの第1開口3b1の縁部と第1シール部材5aとで挟持する。たとえば、第1シール部材5aの外周側では第2ケースユニット3bの第1開口3b1の縁部と第1ケースユニット3aの第2開口3a2の縁部とで第1シール部材5aを挟持し、第1シール部材5aの内周側では第2ケースユニット3bの第1開口3b1と第1シール部材5aとで第1インナー容器4aの流体入口4a1の縁部を挟持する。上記で、「第1インナー容器4aの流体入口4a1が第1ケースユニット3aの第2開口3a2と合致する」とは、「第1ケースユニット3aの第2開口3a2が第1インナー容器4aで塞がれて第1ケースユニット3aの第2開口3a2が第1インナー容器4aの流体入口4a1となること」を技術的に意味する。本明細書では、以下、インナー容器の流体入口が対応するケースユニットの第2開口と合致するとの同義の表現を使用するが、これは上記と同様に、「ケースユニットの第2開口が対応するインナー容器で塞がれてそのケースユニットの第2開口が対応するインナー容器の流体入口となること」を共通的に意味するものである。 When joining the edge of the first opening 3b1 of the second case unit 3b and the edge of the second opening 3a2 of the first case unit 3a, the holding portion 4a3 of the first inner container 4a is inserted into the hollow inside the first case unit 3a from the side of the second opening 3a2 of the first case unit 3a in advance, and the edge of the fluid inlet 4a1 of the first inner container 4a is aligned with the edge of the second opening 3a2 of the first case unit 3a so that the fluid inlet 4a1 of the first inner container 4a matches the second opening 3a2 of the first case unit 3a. In this state, the edge of the fluid inlet 4a1 of the first inner container 4a is clamped between the edge of the first opening 3b1 of the second case unit 3b and the first seal member 5a. For example, the first seal member 5a is sandwiched between the edge of the first opening 3b1 of the second case unit 3b and the edge of the second opening 3a2 of the first case unit 3a on the outer periphery side of the first seal member 5a, and the edge of the fluid inlet 4a1 of the first inner container 4a is sandwiched between the first opening 3b1 of the second case unit 3b and the first seal member 5a on the inner periphery side of the first seal member 5a. In the above, "the fluid inlet 4a1 of the first inner container 4a matches the second opening 3a2 of the first case unit 3a" technically means that "the second opening 3a2 of the first case unit 3a is blocked by the first inner container 4a, and the second opening 3a2 of the first case unit 3a becomes the fluid inlet 4a1 of the first inner container 4a." In the rest of this specification, the synonymous expression "the fluid inlet of the inner container matches the second opening of the corresponding case unit" is used, but as above, this commonly means that "the second opening of the case unit is blocked by the corresponding inner container, and the second opening of the case unit becomes the fluid inlet of the corresponding inner container."

第2インナー容器4bは、第2インナー容器4bの保持部4b3を第2ケースユニット3bの中に挿入し、第2ケースユニット3bの第2開口3b2が第2インナー容器4bの流体入口4b1となるように第2インナー容器4bの流体入口4b1の縁部と第2ケースユニット3bの第2開口3b2の縁部とを合わせる。そして、第2インナー容器4bの流体入口4b1の縁部と第2ケースユニット3bの第2開口3b2の縁部とで第2シール部材5bを挟持する。 The second inner container 4b is inserted into the second case unit 3b by inserting the holding portion 4b3 of the second inner container 4b into the second case unit 3b, and aligning the edge of the fluid inlet 4b1 of the second inner container 4b with the edge of the second opening 3b2 of the second case unit 3b so that the second opening 3b2 of the second case unit 3b becomes the fluid inlet 4b1 of the second inner container 4b. Then, the second seal member 5b is sandwiched between the edge of the fluid inlet 4b1 of the second inner container 4b and the edge of the second opening 3b2 of the second case unit 3b.

第1ケースユニット3aの第2開口3a2と第2ケースユニット3bの第1開口3a1との接合は、たとえば、図1Bのように、第1ケースユニット3aの第2開口3a2と第2ケースユニット3bの第1開口3a1とのそれぞれに、第1ケースユニット3aと第2ケースユニット3bとの外面から外側に延出するフランジを配置して、そのフランジで第1シール部材5aを挟持する形状としてもよい。一方、図1Cのように、第1ケースユニット3aの第2開口3a2の縁部と第2ケースユニット3bの第1開口3a1の縁部とのそれぞれに、第1ケースユニット3aと第2ケースユニット3bとのそれぞれの内面側の中心軸CLに沿った長さと外面側の中心軸CLに沿った長さを違えて、第1ケースユニット3aの第2開口3a2の縁部と第2ケースユニット3bの第1開口3a1の縁部とのそれぞれにおいて円周方向に連なる座を形成させる。その座にシール部材6を嵌め込んで、第1ケースユニット3aの第2開口3a2の縁部の座と第2ケースユニット3bの第1開口3a1の縁部の座とでシール部材6aを挟持する形態とすることもできる。本発明の濾過装置1では、フランジを配置して第1シール部材5aを挟持する形態と、座を形成してシール部材6aを挟持する形態との、いずれの態様をも採用することができる。 The joint between the second opening 3a2 of the first case unit 3a and the first opening 3a1 of the second case unit 3b may be, for example, as shown in Fig. 1B, in which a flange extending outward from the outer surface of the first case unit 3a and the second case unit 3b is disposed in each of the second opening 3a2 of the first case unit 3a and the first opening 3a1 of the second case unit 3b, and the first seal member 5a is sandwiched between the flanges. On the other hand, as shown in Fig. 1C, the edge of the second opening 3a2 of the first case unit 3a and the edge of the first opening 3a1 of the second case unit 3b are formed with a seat that is continuous in the circumferential direction at each of the edge of the second opening 3a2 of the first case unit 3a and the edge of the first opening 3a1 of the second case unit 3b, with the length along the central axis CL of the inner surface side of the first case unit 3a and the length along the central axis CL of the outer surface side being different from each other. The seal member 6 can be fitted into the seat, and the seal member 6a can be sandwiched between the seat on the edge of the second opening 3a2 of the first case unit 3a and the seat on the edge of the first opening 3a1 of the second case unit 3b. The filtration device 1 of the present invention can adopt either a form in which a flange is arranged to sandwich the first seal member 5a, or a form in which a seat is formed to sandwich the seal member 6a.

第1インナー容器4aの保持部4a3は流体入口4a1を上側にした場合に底部側に設けられる内容物の支持部である。同様に、第2インナー容器4bの保持部4b3は流体入口4b1を上側にした場合に底部側に設けられる内容物の支持部である。上側に位置する第2インナー容器4bの保持部4b3には、保持部4b3の底部に流体出口4b2が配置される。基本形態の場合には、上側に位置する第2インナー容器4bの保持部4b3に、流体入口4b1と流体出口4b2との間にフィルタが配置されて、第2インナー容器4bはフィルタユニットとして機能する。ポンプユニット2より上側において最下部にあたる位置に配置される第1インナー容器4aは第2インナー容器4bのフィルタを通過した流体を保持部4a3で保持する濾過流体ユニットして機能する。第1インナー容器4aの保持部4a3では濾過した流体を保持するため、保持部4b3の底部には流体出口は配置されない。第1インナー容器4aは保持部4b3の流体が保持される予定高さより上側の側部に、第1インナー容器4aの内外を貫通する通気孔4a2を有している。 The holding portion 4a3 of the first inner container 4a is a support portion for the contents provided on the bottom side when the fluid inlet 4a1 is placed on the upper side. Similarly, the holding portion 4b3 of the second inner container 4b is a support portion for the contents provided on the bottom side when the fluid inlet 4b1 is placed on the upper side. The holding portion 4b3 of the second inner container 4b located on the upper side has a fluid outlet 4b2 arranged at the bottom of the holding portion 4b3. In the case of the basic form, a filter is arranged between the fluid inlet 4b1 and the fluid outlet 4b2 in the holding portion 4b3 of the second inner container 4b located on the upper side, and the second inner container 4b functions as a filter unit. The first inner container 4a, which is arranged at the position corresponding to the bottom part above the pump unit 2, functions as a filtered fluid unit that holds the fluid that has passed through the filter of the second inner container 4b in the holding portion 4a3. Since the holding portion 4a3 of the first inner container 4a holds the filtered fluid, no fluid outlet is arranged at the bottom of the holding portion 4b3. The first inner container 4a has an air hole 4a2 that penetrates the inside and outside of the first inner container 4a on the side above the planned height at which the fluid in the holding portion 4b3 is held.

(濾過装置の作用)
上記の構成に組み立てられた濾過装置1は以下のように作用する。ポンプユニット2の脱気ポンプ2aを動作させると、ポンプユニット2の吸気孔2bと連通し外部と密閉された第1ケースユニット3aの内部の気体が吸気孔2bから排気されて第1ケースユニット3aの内部の気圧が減少する。第1ケースユニット3aの内部の気圧の減少により、通気孔4a2を介して第1インナー容器4aの内部の気圧が減少する。第1インナー容器4aの上側の第2インナー容器4bには、流体入口4b1から濾過したい流体(たとえば、濾過したい原流体)を入れる。そうすると、第1インナー容器4aの内部の気圧の減少により、第2インナー容器4bの流体出口4b2と流体入口4b1との間に差圧が生じ、濾過したい流体は第2インナー容器4bの流体出口4b2から吸い出されるように第2インナー容器4bの保持部4b3のフィルタを通過して第1インナー容器4aの内部へと流れ出る。第2インナー容器4bの流体出口4b2から排出された濾過された流体は、第1インナー容器4aの保持部4a3で保持される。
(Function of the Filtration Device)
The filtration device 1 assembled in the above configuration works as follows. When the degassing pump 2a of the pump unit 2 is operated, the gas inside the first case unit 3a, which is connected to the intake hole 2b of the pump unit 2 and sealed from the outside, is exhausted from the intake hole 2b, and the air pressure inside the first case unit 3a decreases. Due to the decrease in the air pressure inside the first case unit 3a, the air pressure inside the first inner container 4a decreases through the air vent 4a2. The second inner container 4b above the first inner container 4a is filled with a fluid to be filtered (for example, a raw fluid to be filtered) from the fluid inlet 4b1. Then, due to the decrease in the air pressure inside the first inner container 4a, a pressure difference is generated between the fluid outlet 4b2 and the fluid inlet 4b1 of the second inner container 4b, and the fluid to be filtered passes through the filter of the holding part 4b3 of the second inner container 4b as if it is sucked out from the fluid outlet 4b2 of the second inner container 4b and flows into the inside of the first inner container 4a. The filtered fluid discharged from the fluid outlet 4b2 of the second inner container 4b is held in the holding portion 4a3 of the first inner container 4a.

(濾過装置の応用構成)
基本形態の濾過装置1は、上記説明したとおりケースユニット3とインナー容器4の個数をそれぞれ2個としたケースユニットを2段式とした形態であるが、図1Dに示すように、ケースユニット3およびインナー容器4の個数とシール部材5の個数とを増やして、さらに3段式以上の多段式の構成にすることができる。図1DはN段式の構成とした図である。そして、インナー容器4の保持部において、フィルタ、吸着剤、整流構造を配置して、その組み合わせの構成を変えることで、流体の様々な濾過処理プロセスに適するように変更する応用形態として構成することが可能である。以下、3段式以上の応用形態について説明する。
(Application configuration of filtration device)
The basic form of the filtration device 1 is a two-stage type in which the number of case units 3 and the number of inner containers 4 are two, as described above, but as shown in FIG. 1D, the number of case units 3 and inner containers 4 and the number of sealing members 5 can be increased to form a multi-stage configuration of three or more stages. FIG. 1D is a diagram showing an N-stage configuration. In addition, by arranging a filter, an adsorbent, and a straightening structure in the holding portion of the inner container 4 and changing the configuration of the combination, it is possible to configure an application form that can be modified to suit various filtration processing processes of fluids. Below, an application form of three or more stages will be described.

ここで、応用形態の説明において、第3ケースユニット3c,第4ケースユニット3d,第5ケースユニット3e,第6ケースユニット3fは、前記の基本形態のケースユニット3の第1ケースユニット3aおよび第2ケースユニット3bと同じ形態および構成である。第3インナー容器4c,第4インナー容器4d,第5インナー容器4e,第6インナー容器4fは、前記の基本形態のインナー容器4の第2インナー容器4bと同じ形態および構成である。第3シール部材5cから第6シール部材5fも第1シール部材5aと同じ構成である。また、ケースユニット3同士およびケースユニット3とインナー容器4との結合は前記のケースユニット3にフランジを配置してシール部材5を使用する例によって説明するが、基本形態と同様に、ケースユニット3にフランジを配置することなくシール部材6による前記の接合を適用することは可能である。したがって、接合については、フランジを配置することなくシール部材6による接合も含むものとして理解される。 Here, in the description of the applied form, the third case unit 3c, the fourth case unit 3d, the fifth case unit 3e, and the sixth case unit 3f have the same shape and configuration as the first case unit 3a and the second case unit 3b of the case unit 3 of the basic form. The third inner container 4c, the fourth inner container 4d, the fifth inner container 4e, and the sixth inner container 4f have the same shape and configuration as the second inner container 4b of the inner container 4 of the basic form. The third seal member 5c to the sixth seal member 5f also have the same configuration as the first seal member 5a. In addition, the connection between the case units 3 and between the case unit 3 and the inner container 4 will be described using an example in which a flange is placed on the case unit 3 and a seal member 5 is used, but as in the basic form, it is possible to apply the above-mentioned joining by the seal member 6 without placing a flange on the case unit 3. Therefore, the joining is understood to include joining by the seal member 6 without placing a flange.

(3段式の応用構成)
3段式の応用形態では、前記の基本形態に加えて、さらに、第3ケースユニット3cと第3インナー容器4cと第3シール部材5cを有している。基本形態の状態では、すでに第2インナー容器4bの保持部4b3が第2ケースユニット3bの中に第2ケースユニット3bの第2開口3b2の側から挿入され、第2インナー容器4bの流体入口4b1の縁部は第2シール部材5bと第2ケースユニット3bの第2開口3b2の縁部とにより挟持されている。この状態で、第3ケースユニット3cの第1開口3c1は、第2インナー容器4bの流体入口4b1の縁部を第2シール部材5bとで挟持する状態で、かつ第2ケースユニット3bの第2開口3b2の縁部とで第2シール部材5bを挟持するように接合される。そして、その接合の際に、第3インナー容器4cの保持部4c3が第3ケースユニット3cの中に第3ケースユニット3cの第2開口3c2の側から挿入され、第3インナー容器4cの流体入口4c1の縁部は第3シール部材5cと第3ケースユニット3cの第2開口3c2の縁部とにより挟持される。これにより、基本形態の上に、第3ケースユニット3cと第3インナー容器4cとが重ねられた3段の応用形態が完成する。
(3-stage application configuration)
In the three-stage applied form, in addition to the basic form, a third case unit 3c, a third inner container 4c, and a third seal member 5c are further provided. In the basic form, the holding portion 4b3 of the second inner container 4b is already inserted into the second case unit 3b from the side of the second opening 3b2 of the second case unit 3b, and the edge of the fluid inlet 4b1 of the second inner container 4b is sandwiched between the second seal member 5b and the edge of the second opening 3b2 of the second case unit 3b. In this state, the first opening 3c1 of the third case unit 3c is joined so that the edge of the fluid inlet 4b1 of the second inner container 4b is sandwiched between the second seal member 5b and the edge of the second opening 3b2 of the second case unit 3b, and the second seal member 5b is sandwiched between the second seal member 5b and the edge of the second opening 3b2 of the second case unit 3b. During this joining, the holding portion 4c3 of the third inner container 4c is inserted into the third case unit 3c from the side of the second opening 3c2 of the third case unit 3c, and the edge of the fluid inlet 4c1 of the third inner container 4c is clamped between the third seal member 5c and the edge of the second opening 3c2 of the third case unit 3c. This completes a three-tiered applied form in which the third case unit 3c and the third inner container 4c are stacked on top of the basic form.

(N段式の応用形態の濾過装置の構成)
同様に4段式はもとより、N段式の応用形態を構成することができる。以下、図1Dを参照してN段式の応用形態として説明する。図1Dは3段式よりも多い段数において、一部を省略して、一般化して図である。一般的には、N=1から6(段)である。N=1~6に対して、符号n=a~fをそれぞれ割り振るものとする。N段式の応用形態について一般化して説明すると、(N-1)段式の形態に加えて、さらに、第Nケースユニット3nと第Nインナー容器4nと第Nシール部材5nを有している(n=dからf)。(N-1)段式の応用形態の状態では、すでに第(N-1)インナー容器4(n-1)の保持部4(n-1)3が第(N-1)ケースユニット3(n-1)の中に第(N-1)ケースユニット3(n-1)の第2開口3(n-1)2の側から挿入され、第(N-1)インナー容器4(n-1)の流体入口4(n-1)1の縁部は第(N-1)シール部材5(n-1)と第(N-1)ケースユニット3(n-1)の第2開口3(n-1)2の縁部とにより挟持されている。この状態で、第Nケースユニット3nの第1開口3n1は、第(N-1)インナー容器4(n-1)の流体入口4(n-1)1の縁部を第(N-1)シール部材5(n-1)とで挟持する状態で、かつ第(N-1)ケースユニット3(n-1)の第2開口3(n-1)2の縁部とで第(N-1)シール部材5(n-1)を挟持するように接合される。そして、その接合の際に、第Nインナー容器4nの保持部4n3が第Nケースユニット3nの中に第Nケースユニット3nの第2開口3n2の側から挿入され、第Nインナー容器4nの流体入口4n1の縁部は第Nシール部材5nと第Nケースユニット3nの第2開口3n2の縁部とにより挟持される。これにより、(N-1)段式の応用形態の上に、第Nケースユニット3nと第Nインナー容器4nが重ねられたN段式の応用形態が完成する。
(Configuration of a filtration device in an N-stage application)
Similarly, not only a four-stage type but also an N-stage type application can be configured. Hereinafter, an N-stage type application will be described with reference to FIG. 1D. FIG. 1D is a generalized diagram with some omissions for a number of stages greater than three stages. Generally, N=1 to 6 (stages). The symbols n=a to f are assigned to N=1 to 6, respectively. To generalize the N-stage type application, in addition to the (N-1) stage type, an Nth case unit 3n, an Nth inner container 4n, and an Nth seal member 5n (n=d to f) are further provided. In the applied form of the (N-1) stage, the holding portion 4(n-1)3 of the (N-1) inner container 4(n-1) has already been inserted into the (N-1) case unit 3(n-1) from the side of the second opening 3(n-1)2 of the (N-1) case unit 3(n-1), and the edge of the fluid inlet 4(n-1)1 of the (N-1) inner container 4(n-1) is clamped between the (N-1) sealing member 5(n-1) and the edge of the second opening 3(n-1)2 of the (N-1) case unit 3(n-1). In this state, the first opening 3n1 of the Nth case unit 3n is joined so that the edge of the fluid inlet 4(n-1)1 of the (N-1) inner container 4(n-1) is sandwiched between the (N-1) seal member 5(n-1) and the edge of the second opening 3(n-1)2 of the (N-1) case unit 3(n-1) and the (N-1) seal member 5(n-1) are sandwiched between the first opening 3n1 of the Nth case unit 3n and the edge of the second opening 3n2 of the (N-1) case unit 3n. During this joining, the holding portion 4n3 of the Nth inner container 4n is inserted into the Nth case unit 3n from the side of the second opening 3n2 of the Nth case unit 3n, and the edge of the fluid inlet 4n1 of the Nth inner container 4n is sandwiched between the Nth seal member 5n and the edge of the second opening 3n2 of the Nth case unit 3n. This completes the N-stage application form in which the Nth case unit 3n and the Nth inner container 4n are stacked on top of the (N-1) stage application form.

上記のN段式の応用構成の濾過装置1においては、第Nインナー容器4n(N=2~6、n=b~f)の保持部4n3に、フィルタ部材、吸着剤、または整流構造を任意に選択して配置することで、第Nインナー容器4n(N=2~6、n=b~f)をフィルタユニット、吸着剤ユニット、整流ユニットとすることができる。これにより、濾過装置1の機能を濾過すべき流体の濾過処理プロセスに応じて自由に変更することができる。 In the filtration device 1 with the above-mentioned N-stage applied configuration, a filter member, adsorbent, or rectifying structure can be arbitrarily selected and arranged in the holding portion 4n3 of the Nth inner container 4n (N=2-6, n=b-f), so that the Nth inner container 4n (N=2-6, n=b-f) can be a filter unit, adsorbent unit, or rectifying unit. This allows the function of the filtration device 1 to be freely changed according to the filtration process of the fluid to be filtered.

たとえば、以下の表1から表3に示すように、第Nインナー容器4n(N=2~6、n=b~f)の保持部4n3に、フィルタ部材、吸着剤、または整流構造のいずれかを任意に選択した実施例を選択することができる。表1は2段式の基本形態のインナー容器の保持部の代表的構成例を示している。表2は3段式の応用形態のインナー容器の保持部の代表的構成例を、表3は4段式の応用形態のインナー容器の保持部の代表的構成例を、それぞれ示している。ここに示して例はあくまでも例示であって、それぞれの個数等を変更することにより、変更追加が可能である。たとえば、表1でいえば、最左カラムは下側から第N段のインナー容器の保持部を示している。そして、それぞれのカラムに対応する右側のカラムは、そのインナー容器の保持部に配置される部材を示している。表1から表3に示す実施例は、それぞれについて後述する実施例に対応する。 For example, as shown in Tables 1 to 3 below, an embodiment can be selected in which a filter member, an adsorbent, or a flow straightening structure is arbitrarily selected for the holding portion 4n3 of the Nth inner container 4n (N=2 to 6, n=b to f). Table 1 shows a representative example of the configuration of the holding portion of an inner container in a basic form of a two-stage type. Table 2 shows a representative example of the configuration of the holding portion of an inner container in an applied form of a three-stage type, and Table 3 shows a representative example of the configuration of the holding portion of an inner container in an applied form of a four-stage type. The examples shown here are merely illustrative, and modifications and additions can be made by changing the number of each component, etc. For example, in Table 1, the leftmost column shows the holding portion of the inner container in the Nth stage from the bottom. The right column corresponding to each column shows the components to be placed in the holding portion of that inner container. The embodiments shown in Tables 1 to 3 correspond to the embodiments described below.

Figure 0007565710000001
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Figure 0007565710000002
Figure 0007565710000002

Figure 0007565710000003
Figure 0007565710000003

たとえば、表1から表3について、応用形態である3段式の例を示した表2を代表例として説明すると、実施例2では、最上段にあたる第3段の第3インナー容器4cの保持部4c3にはフィルタ部材Aが配置され、その直下の第2段の第2インナー容器4bの保持部4b3にはフィルタ部材Aまたはフィルタ部材Bが配置されることを意味している。フィルタ部材Aとフィルタ部材Bは異なる種類のフィルタ部材であって、たとえばフィルタ部材の孔径、空隙の大きさ、厚み、または材料等が異なるフィルタ部材である。すなわち、フィルタ部材Aとフィルタ部材Bとにおいて、濾過の際に除去する対象とする不純物の大きさが異なることから、フィルタ部材の種類を自由に設定することができる。吸着剤は、たとえば活性炭など、物質を付着させて吸収する部材一般である。フィルタおよび吸着剤はインナー容器の内部に配置されるものである。一方、整流構造は、たとえば、吸着剤に均等に原流体を流し込むために、容器の底部に配置される同心円状などの環状で等間隔に配置される複数の孔からなるインナー容器の底部の構造である。 For example, Table 2 showing an example of a three-stage application form of Tables 1 to 3 is used as a representative example. In Example 2, filter member A is placed in the holding portion 4c3 of the third inner container 4c in the top third stage, and filter member A or filter member B is placed in the holding portion 4b3 of the second inner container 4b in the second stage immediately below. Filter member A and filter member B are different types of filter members, for example, filter members with different pore sizes, void sizes, thicknesses, or materials. In other words, since the sizes of impurities to be removed during filtration differ between filter member A and filter member B, the type of filter member can be freely set. The adsorbent is a general material that absorbs substances by adhering to them, such as activated carbon. The filter and adsorbent are placed inside the inner container. On the other hand, the rectifying structure is, for example, a structure of the bottom of the inner container consisting of multiple holes arranged at equal intervals in a ring shape such as a concentric circle arranged at the bottom of the container in order to evenly flow the raw fluid into the adsorbent.

(N段式の応用形態の濾過装置の作用)
上記のN段式の応用構成の濾過装置1は以下のように作用する。ポンプユニット2の脱気ポンプ2aを動作させると、ポンプユニット2の吸気孔2bと連通し外部と密閉された最下段の第1ケースユニット3aの内部の気体が吸気孔2bから排気されて第1ケースユニット3aの内部の気圧が減少する。第1ケースユニット3aの内部の気圧の減少により、通気孔4a2を介して第1インナー容器4aの内部の気圧が減少する。第1インナー容器4aの内部の気圧の減少により、第2インナー容器4bの流体出口4b2と流体入口4b1との間に差圧が生じ、第2インナー容器4bの流体出口4b2に第1インナー容器4aの内部に向かっての吸引圧が生じる。そして、同様にその連鎖で、第Nインナー容器4nの流体出口4n2に第(N-1)インナー容器4(n-1)の内部に向かっての吸引圧が生じる。第Nインナー容器4nの流体入口4n1は代表的には大気開放とすれば、第Nインナー容器4nの流体入口4n1から第1インナー容器4aの内部に至るまで、途中のインナー容器において段階的に圧力勾配を生じる。この圧力差により、第Nインナー容器4nの流体入口4n1から導入された濾過すべき流体は第Nインナー容器4nの流体出口4n2に生じる第(N-1)インナー容器4(n-1)の内部への吸引力で第Nインナー容器4nの流体出口4n2から第(N-1)インナー容器4(n-1)の流体入口4(n-1)1へと排出される。すべてのインナー容器4を通過した流体は、最終的に第1インナー容器4aの保持部4a3へと吸引されて流れ出て、第1インナー容器4aの保持部4a3で保持される。
(Function of the filtration device in the N-stage application)
The filtration device 1 of the above-mentioned N-stage application configuration works as follows. When the degassing pump 2a of the pump unit 2 is operated, the gas inside the first case unit 3a at the bottom stage, which is connected to the intake hole 2b of the pump unit 2 and sealed from the outside, is exhausted from the intake hole 2b, and the air pressure inside the first case unit 3a decreases. Due to the decrease in the air pressure inside the first case unit 3a, the air pressure inside the first inner container 4a decreases through the air vent 4a2. Due to the decrease in the air pressure inside the first inner container 4a, a pressure difference occurs between the fluid outlet 4b2 and the fluid inlet 4b1 of the second inner container 4b, and a suction pressure toward the inside of the first inner container 4a is generated at the fluid outlet 4b2 of the second inner container 4b. Similarly, a suction pressure toward the inside of the (N-1)th inner container 4(n-1) is generated at the fluid outlet 4n2 of the Nth inner container 4n in a chain reaction. If the fluid inlet 4n1 of the Nth inner container 4n is typically open to the atmosphere, a pressure gradient is generated in stages in the intermediate inner containers from the fluid inlet 4n1 of the Nth inner container 4n to the inside of the first inner container 4a. Due to this pressure difference, the fluid to be filtered introduced from the fluid inlet 4n1 of the Nth inner container 4n is discharged from the fluid outlet 4n2 of the Nth inner container 4n to the fluid inlet 4(n-1)1 of the (N-1)th inner container 4(n-1) by the suction force toward the inside of the (N-1)th inner container 4(n-1) generated at the fluid outlet 4n2 of the Nth inner container 4n. The fluid that has passed through all the inner containers 4 is finally sucked into the holding portion 4a3 of the first inner container 4a and flows out, and is held by the holding portion 4a3 of the first inner container 4a.

たとえば、表2の実施例2を読み取ることにより、3段式の応用形態の濾過装置1では以下の作用がある。ポンプユニット2の脱気ポンプ2aを動作させると、ポンプユニット2の吸気孔2bと連通し外部と密閉された第1ケースユニット3aの内部の気体が吸気孔2bから排気されて第1ケースユニット3aの内部の気圧が減少する。第1ケースユニット3aの内部の気圧の減少により、通気孔4a2を介して第1インナー容器4aの内部の気圧が減少する。第1インナー容器4aの内部の気圧の減少により、第2インナー容器4bの流体出口4b2と流体入口4b1との間に差圧が生じ、第2インナー容器4bの流体出口4b2に第1インナー容器4aの内部に向かっての吸引圧が生じる。そして、その連鎖で、さらに第2インナー容器4bの内部の気圧が減少して、第3インナー容器4cの流体出口4c2と流体入口4c1との間に差圧が生じ、第3インナー容器4cの流体出口4c2に第2インナー容器4bの内部に向かっての吸引圧が生じる。最上段の第3インナー容器4cの保持部4c3には、流体入口4c1から濾過したい流体(たとえば、濾過したい原流体)を入れる。そうすると、第2インナー容器4bの内部の気圧の減少により、濾過したい流体は第3インナー容器4cの流体出口4c2から第2インナー容器4bの内部へと吸引されてフィルタ部材Aを通過して第2インナー容器4bの保持部4b3に落下し、さらに、第2インナー容器4bの流体出口4b2から吸引されて、第2インナー容器4bの保持部4b3のフィルタ部材Bを通過して流体出口4b2から第1インナー容器4aの保持部4a3へと吸引されて流れ出て、第1インナー容器4aの保持部4a3で保持される。続いて、本実施の形態の代表的な実施例として表1から表3に列挙した実施例のそれぞれについて、以下説明する。なお、以下の実施例はあくまでも代表例であって、ここに列挙する実施例には限られない。特に、実施例2の2つのフィルタを重ねた実施例のように、たとえば、異なるフィルタが配置される複数のインナー容器を重ねたり、異なる吸着剤がそれぞれ配置される複数のインナー容器を重ねるなど、複数の同一種類のインナー容器を重ねて配置することは当然に可能である。 For example, by reading Example 2 of Table 2, the filtration device 1 in the three-stage application form has the following action. When the degassing pump 2a of the pump unit 2 is operated, the gas inside the first case unit 3a, which is connected to the intake hole 2b of the pump unit 2 and sealed from the outside, is exhausted from the intake hole 2b, and the air pressure inside the first case unit 3a decreases. Due to the decrease in the air pressure inside the first case unit 3a, the air pressure inside the first inner container 4a decreases through the air vent 4a2. Due to the decrease in the air pressure inside the first inner container 4a, a pressure difference occurs between the fluid outlet 4b2 and the fluid inlet 4b1 of the second inner container 4b, and a suction pressure toward the inside of the first inner container 4a is generated at the fluid outlet 4b2 of the second inner container 4b. Then, the air pressure inside the second inner container 4b is further decreased by this chain reaction, and a pressure difference occurs between the fluid outlet 4c2 and the fluid inlet 4c1 of the third inner container 4c, and a suction pressure toward the inside of the second inner container 4b is generated in the fluid outlet 4c2 of the third inner container 4c. The fluid to be filtered (for example, the raw fluid to be filtered) is placed in the holding part 4c3 of the top third inner container 4c from the fluid inlet 4c1. Then, due to the decrease in the air pressure inside the second inner container 4b, the fluid to be filtered is sucked from the fluid outlet 4c2 of the third inner container 4c into the inside of the second inner container 4b, passes through the filter member A, falls into the holding part 4b3 of the second inner container 4b, is sucked from the fluid outlet 4b2 of the second inner container 4b, passes through the filter member B of the holding part 4b3 of the second inner container 4b, is sucked from the fluid outlet 4b2 of the second inner container 4b, flows out from the fluid outlet 4b2 to the holding part 4a3 of the first inner container 4a, and is held by the holding part 4a3 of the first inner container 4a. Next, the examples listed in Tables 1 to 3 will be described below as representative examples of this embodiment. Note that the following examples are merely representative examples, and are not limited to the examples listed here. In particular, as in the example in Example 2 in which two filters are stacked, it is of course possible to stack multiple inner containers of the same type, for example, stacking multiple inner containers in which different filters are placed, or stacking multiple inner containers in which different adsorbents are placed.

(実施例1)
まず、図2Aから図3を参照して、本発明の実施例1としての濾過装置1について説明する。実施例1は2段式の基本形態の濾過装置1の実施例である。図2Aは実施例1の濾過装置1の結合状態を示した斜視図である。図2Bは濾過装置1の分離状態を示した斜視図である。図3は図2Aの断面B-Bを示した図である。本明細書では、濾過すべき濾過を行う前の流体を「原流体」とよび、その濾過された後の流体を「濾過流体」とよぶ。また、以下の実施例の説明では、前記実施の形態のうち、フランジを配置する例で説明するが、前記の実施の形態のとおり、フランジを配置しない態様も適用可能である。
Example 1
First, a filtration device 1 as a first embodiment of the present invention will be described with reference to Figs. 2A to 3. The first embodiment is an example of a filtration device 1 having a basic two-stage structure. Fig. 2A is a perspective view showing a combined state of the filtration device 1 of the first embodiment. Fig. 2B is a perspective view showing a separated state of the filtration device 1. Fig. 3 is a view showing a cross section B-B of Fig. 2A. In this specification, the fluid to be filtered before the filtration is called the "raw fluid", and the fluid after the filtration is called the "filtered fluid". In addition, in the following description of the embodiment, an example in which a flange is disposed will be described among the above-mentioned embodiments, but as in the above-mentioned embodiment, a form in which a flange is not disposed can also be applied.

濾過装置1は、ポンプユニット10と、第2ケースユニットとしての濾過流体ユニット31と、第1ケースユニットとしての原流体ユニット32とを備えている。ポンプユニット10は、内部に脱気ポンプ10aが配置され、排気対象の空間の気体を吸気する吸気孔10bを有している。 The filtration device 1 includes a pump unit 10, a filtered fluid unit 31 as a second case unit, and a raw fluid unit 32 as a first case unit. The pump unit 10 has a degassing pump 10a disposed therein and an intake hole 10b that draws in gas from the space to be evacuated.

濾過流体ユニット31は、中空部31aを有する筒状形状であって、代表的には円筒形である。濾過流体ユニット31は両端に開口端である濾過流体ユニット開口31b,31cを有している。濾過流体ユニット31の鉛直方向上方には、濾過流体ユニット31の一方の濾過流体ユニット開口31bが載置可能な形状、すなわち断面形状が濾過流体ユニット31と同じ形状を有している。代表的には、濾過流体ユニット31は円筒形であって、ポンプユニット10も同じ径の円筒形である。ポンプユニット10の上方は、濾過流体ユニット31の一方の濾過流体ユニット開口31bの縁部と嵌合可能な形状を有している。濾過流体ユニット31の一方の濾過流体ユニット開口31bはポンプユニット10の吸気孔10bと連通するようにポンプユニット10の上側に取付部材50で着脱可能に取付け可能である。 The filtrate unit 31 has a tubular shape with a hollow portion 31a, and is typically cylindrical. The filtrate unit 31 has filtrate unit openings 31b, 31c, which are open ends, at both ends. The filtrate unit 31 has a shape in which one of the filtrate unit openings 31b of the filtrate unit 31 can be placed, i.e., the cross-sectional shape is the same as that of the filtrate unit 31, at the vertical upper portion. Typically, the filtrate unit 31 is cylindrical, and the pump unit 10 is also cylindrical with the same diameter. The upper portion of the pump unit 10 has a shape that can be fitted with the edge of one of the filtrate unit openings 31b of the filtrate unit 31. One of the filtrate unit openings 31b of the filtrate unit 31 can be detachably attached to the upper side of the pump unit 10 with an attachment member 50 so as to communicate with the intake hole 10b of the pump unit 10.

原流体ユニット32は、中空部32aを有する筒状形状であって、代表的には円筒形である。濾過流体ユニット31と原流体ユニット32は相互互換が可能な完全同一形状にすることが好ましい。原流体ユニット32は両端に開口端である原流体ユニット開口32c,12cを有している。原流体ユニット32の原流体ユニット開口の一方の開口32cは濾過流体ユニット31の濾過流体ユニット開口の他方の開口31cと対応する形状を有していて、第1取付構造51により着脱可能に接合可能である。第1取付構造51により、濾過流体ユニット31の濾過流体ユニット開口の他方の開口31cと原流体ユニット32の原流体ユニット開口の一方の開口32cとが接合されると、濾過流体ユニット31の中空部31aと原流体ユニット32の中空部32aとが連通する。 The raw fluid unit 32 has a tubular shape with a hollow portion 32a, and is typically cylindrical. It is preferable that the filtered fluid unit 31 and the raw fluid unit 32 have completely the same shape so that they can be interchangeable. The raw fluid unit 32 has raw fluid unit openings 32c, 12c, which are open ends, at both ends. One opening 32c of the raw fluid unit openings of the raw fluid unit 32 has a shape corresponding to the other opening 31c of the filtered fluid unit 31, and can be detachably joined by the first mounting structure 51. When the other opening 31c of the filtered fluid unit 31 and one opening 32c of the raw fluid unit openings of the raw fluid unit 32 are joined by the first mounting structure 51, the hollow portion 31a of the filtered fluid unit 31 and the hollow portion 32a of the raw fluid unit 32 are connected.

第1取付構造51は第1シール部材51aを有し、濾過流体ユニット31の濾過流体ユニット開口の他方の開口31cの開口周縁と原流体ユニット32の原流体ユニット開口の一方の開口32cの開口周縁とが第1シール部材51aに密着して、第1シール部材51aを挟持する構造となっている。 The first mounting structure 51 has a first seal member 51a, and the opening periphery of the other opening 31c of the filtered fluid unit opening of the filtered fluid unit 31 and the opening periphery of one opening 32c of the raw fluid unit opening of the raw fluid unit 32 are in close contact with the first seal member 51a, so that the first seal member 51a is sandwiched between them.

濾過流体ユニット31には濾過流体が入り込む開口21aを有する接流体部材としての第1インナー容器たるインナー濾過流体容器41が取り付けられる。インナー濾過流体容器41は、開口41aが濾過流体ユニット開口の他方の開口31cとなるように第1取付構造51により濾過流体ユニット開口の他方の開口31cに着脱可能に支持される。具体的には、たとえば、インナー濾過流体容器41は、第1シール部材51aと原流体ユニット開口の他方の開口31cの開口周縁とが、インナー濾過流体容器41の開口41aの縁部41eを密着するように挟持して支持される。インナー濾過流体容器41の本体は、濾過流体ユニット31の中空部31a内に入り込む形で固定されていて、濾過流体ユニット31の中空部31a内の位置で、インナー濾過流体容器41の開口41aから入り込んだ濾過流体をインナー濾過流体容器41の本体で保持可能である。 The filtrate fluid unit 31 is fitted with an inner filtration fluid container 41, which is a first inner container having an opening 21a through which the filtrate fluid enters, as a fluid-contacting member. The inner filtration fluid container 41 is detachably supported by the first mounting structure 51 at the other opening 31c of the filtrate fluid unit opening so that the opening 41a becomes the other opening 31c of the filtrate fluid unit opening. Specifically, for example, the inner filtration fluid container 41 is supported by the first seal member 51a and the opening periphery of the other opening 31c of the raw fluid unit opening, so as to clamp the edge 41e of the opening 41a of the inner filtration fluid container 41 in close contact. The main body of the inner filtration fluid container 41 is fixed in a manner that it enters the hollow portion 31a of the filtrate fluid unit 31, and the filtrate that enters from the opening 41a of the inner filtration fluid container 41 can be held by the main body of the inner filtration fluid container 41 at a position within the hollow portion 31a of the filtrate fluid unit 31.

濾過流体ユニット31の濾過流体ユニット開口の他方の開口31cの開口周縁はフランジ31dを有し、原流体ユニット32の原流体ユニット開口の一方の開口32cの開口周縁はフランジ32dを有するように構成することもできる。このとき、第1シール部材51aは、濾過流体ユニット開口の他方の開口31cの開口周縁のフランジ31dの外形の形状に合致するように嵌合可能な濾過流体ユニット側窪み51bと、原流体ユニット開口の一方の開口32cの開口周縁のフランジ32dの外形の形状に合致するようにフランジ32dが嵌合可能な原流体ユニット側窪み51cと、を有する環状形状とするのが好ましい。 The periphery of the other opening 31c of the filtered fluid unit opening of the filtered fluid unit 31 may have a flange 31d, and the periphery of one opening 32c of the raw fluid unit opening of the raw fluid unit 32 may have a flange 32d. In this case, the first seal member 51a is preferably annular in shape having a filtered fluid unit side recess 51b that can be fitted to match the outer shape of the flange 31d of the opening periphery of the other opening 31c of the filtered fluid unit opening, and a raw fluid unit side recess 51c into which the flange 32d can be fitted to match the outer shape of the flange 32d of the opening periphery of one opening 32c of the raw fluid unit opening.

第1シール部材51aは、濾過流体ユニット側窪み51bと原流体ユニット側窪み51cとの間に、第1シール部材51aの外側の側面から第1シール部材51aの内面に向かって延在する溝51dを有している。溝51dはフランジ31dとフランジ32dのそれぞれに平行に延在する。第1シール部材51aの径方向における溝51dの先端はインナー濾過流体容器41の開口41aの縁部41eに至っておらず、溝51dの先端と縁部41eとの間にある程度の距離が確保されている。 The first seal member 51a has a groove 51d extending from the outer side surface of the first seal member 51a toward the inner surface of the first seal member 51a between the filtrate fluid unit side recess 51b and the raw fluid unit side recess 51c. The groove 51d extends parallel to each of the flanges 31d and 32d. The tip of the groove 51d in the radial direction of the first seal member 51a does not reach the edge 41e of the opening 41a of the inner filtrate fluid container 41, and a certain distance is secured between the tip of the groove 51d and the edge 41e.

原流体ユニット32には原流体が入り込む開口42aを有する接流体部材としてのインナーフィルタ容器42が取り付けられる。インナーフィルタ容器42は、開口42aが原流体ユニット開口の他方の開口32cとなるように第2取付構造52により原流体ユニット開口の他方の開口32cに着脱可能に支持される。第2取付構造52は第2シール部材52aを有し、第2シール部材52aが原流体ユニット32の原流体ユニット開口の他方の開口32cに取り付けられ、インナーフィルタ容器42の開口42aの縁部が第2シール部材52aによって原流体ユニット32の他方の開口32cに支持されるように取り付けられる。 An inner filter container 42 is attached to the raw fluid unit 32 as a fluid-contacting member having an opening 42a through which the raw fluid enters. The inner filter container 42 is detachably supported by a second mounting structure 52 at the other opening 32c of the raw fluid unit opening so that the opening 42a becomes the other opening 32c of the raw fluid unit opening. The second mounting structure 52 has a second seal member 52a, which is attached to the other opening 32c of the raw fluid unit opening of the raw fluid unit 32, and is attached so that the edge of the opening 42a of the inner filter container 42 is supported by the second seal member 52a at the other opening 32c of the raw fluid unit 32.

インナー濾過流体容器41の側部41bにはインナー濾過流体容器41の内部41cと濾過流体ユニット31の内部の中空部31aとを連通する連通孔41dを備えている。 The side portion 41b of the inner filtration fluid container 41 is provided with a communication hole 41d that connects the interior 41c of the inner filtration fluid container 41 to the hollow portion 31a inside the filtration fluid unit 31.

インナーフィルタ容器42の下部42bには濾過のためのフィルタ部材61を備えている。インナーフィルタ容器42は、インナーフィルタ容器42の内部42cがフィルタ部材61を介してインナー濾過流体容器41の内部41cと連通する濾過孔42dを備える。 The lower part 42b of the inner filter container 42 is provided with a filter member 61 for filtering. The inner filter container 42 is provided with a filter hole 42d through which the interior 42c of the inner filter container 42 communicates with the interior 41c of the inner filtration fluid container 41 via the filter member 61.

続いて、実施例1の濾過装置1が、組み立てられた状態において、どのように機能するかを説明する。まず、濾過すべき原流体をインナーフィルタ容器42の開口42aからインナーフィルタ容器42の内部に入れる。続いて、ポンプユニット10の脱気ポンプ10aを作動させると、吸気孔10bを介して、濾過流体ユニット31の中空部31aが脱気される。濾過流体ユニット31の中空部31aが脱気されて圧力が減じられると、濾過流体ユニット31の中空部31aと連通するインナー濾過流体容器41の側部41bの連通孔41dからインナー濾過流体容器41の内部41cが脱気されてインナー濾過流体容器41の内部41c圧力が減じられる。 Next, we will explain how the filtration device 1 of Example 1 functions in an assembled state. First, the raw fluid to be filtered is introduced into the inner filter container 42 through the opening 42a of the inner filter container 42. Next, when the degassing pump 10a of the pump unit 10 is operated, the hollow portion 31a of the filtrate fluid unit 31 is degassed through the intake hole 10b. When the hollow portion 31a of the filtrate fluid unit 31 is degassed and the pressure is reduced, the inside 41c of the inner filtrate fluid container 41 is degassed through the communication hole 41d of the side portion 41b of the inner filtrate fluid container 41 that communicates with the hollow portion 31a of the filtrate fluid unit 31, and the pressure of the inside 41c of the inner filtrate fluid container 41 is reduced.

これにより、インナー濾過流体容器41の内部41cの圧力がインナーフィルタ容器42の内部42cの圧力より低下し、インナー濾過流体容器41の内部41cとインナーフィルタ容器42の内部42cとの間に差圧が生じる。この差圧により、インナーフィルタ容器42の内部42cに入れられている原流体がフィルタ部材61を通過して濾過され、インナー濾過流体容器41の内部41cへと導入され、インナー濾過流体容器41の内部41cで濾過流体として回収される。すべての量の原流体が濾過されたのちに、脱気ポンプ10aを停止させる。原流体ユニット32をインナーフィルタ容器42とともに濾過流体ユニット31と第1シール部材51aとから分離する。そして、インナーフィルタ容器42を原流体ユニット32から分離する。インナー濾過流体容器41の内部41cの濾過流体を回収した後には、濾過流体ユニット31とインナー濾過流体容器41と第1シール部材51aとを分離する。濾過流体ユニット31と第1シール部材51aとは原則、流体に接触しないので、洗浄することなく、再利用することが可能である。 As a result, the pressure in the inside 41c of the inner filtration fluid container 41 becomes lower than the pressure in the inside 42c of the inner filter container 42, and a pressure difference occurs between the inside 41c of the inner filtration fluid container 41 and the inside 42c of the inner filter container 42. Due to this pressure difference, the raw fluid contained in the inside 42c of the inner filter container 42 passes through the filter member 61 and is filtered, introduced into the inside 41c of the inner filtration fluid container 41, and collected as a filtered fluid in the inside 41c of the inner filtration fluid container 41. After all the raw fluid has been filtered, the degassing pump 10a is stopped. The raw fluid unit 32 is separated from the filtration fluid unit 31 and the first seal member 51a together with the inner filter container 42. Then, the inner filter container 42 is separated from the raw fluid unit 32. After the filtration fluid in the inside 41c of the inner filtration fluid container 41 is collected, the filtration fluid unit 31, the inner filtration fluid container 41, and the first seal member 51a are separated. In principle, the filtration fluid unit 31 and the first seal member 51a do not come into contact with the fluid, so they can be reused without cleaning.

(実施例2および実施例3)
続いて、本発明の実施例2および実施例3の3段式の濾過装置1について説明する。ここでは、図4を参照して、実施例3を代表例として説明する。図4は実施例3の濾過装置1の結合状態の断面図である。実施例3は実施例1に加えて、第3インナー容器としての吸着剤ユニット33を重ねて、原流体の前に不純物を活性炭などの吸着剤62により吸着させるための実施例である。濾過流体ユニット31と、原流体ユニット32と、インナー濾過流体容器41と、インナーフィルタ容器42が組み立てられた実施例1の部分は同じである。以下、原流体ユニット32の上に、吸着剤ユニット33を組み合わせる部分から説明する。また、以下の実施例の説明では、前記実施例1と同様に、前記実施の形態のうち、フランジを配置する例で説明するが、前記の実施の形態のとおり、フランジを配置しない態様も適用可能であることは言うまでもない。
(Examples 2 and 3)
Next, the three-stage filtration device 1 of the second and third embodiments of the present invention will be described. Here, the third embodiment will be described as a representative example with reference to FIG. 4. FIG. 4 is a cross-sectional view of the filtration device 1 of the third embodiment in a combined state. In addition to the first embodiment, the third embodiment is an embodiment in which the adsorbent unit 33 as the third inner container is stacked, and impurities are adsorbed by the adsorbent 62 such as activated carbon before the raw fluid. The part in which the filtrate fluid unit 31, the raw fluid unit 32, the inner filtrate fluid container 41, and the inner filter container 42 are assembled is the same as that of the first embodiment. Hereinafter, the part in which the adsorbent unit 33 is assembled on the raw fluid unit 32 will be described. In addition, in the following description of the embodiment, an example in which a flange is arranged among the above-mentioned embodiments will be described as in the first embodiment, but it goes without saying that a form in which a flange is not arranged can also be applied as in the above-mentioned embodiment.

吸着剤ユニット33は中空部13aを有する筒形形状であって、代表的には円筒形である。吸着剤ユニット33は原流体ユニット32と同じ形状とすることもできる。吸着剤ユニット33は、両端に開口端である吸着剤ユニット開口33b,33cを備える。吸着剤ユニット33は吸着剤ユニット開口の一方の開口33bと原流体ユニット開口の他方の開口32cとを連通するように吸着剤ユニット33の上側に取り付けられる。吸着剤ユニット33の一方の開口33bと原流体ユニット32の他方の開口32cとは、実施例1で説明した第2取付構造52により脱着可能に接合される。 The adsorbent unit 33 has a tubular shape with a hollow portion 13a, and is typically cylindrical. The adsorbent unit 33 may also have the same shape as the raw fluid unit 32. The adsorbent unit 33 has adsorbent unit openings 33b, 33c, which are open ends at both ends. The adsorbent unit 33 is attached to the upper side of the adsorbent unit 33 so as to communicate one opening 33b of the adsorbent unit opening with the other opening 32c of the raw fluid unit opening. One opening 33b of the adsorbent unit 33 and the other opening 32c of the raw fluid unit 32 are detachably joined by the second mounting structure 52 described in Example 1.

実施例1では第2取付構造52は、インナーフィルタ容器42を原流体ユニット32に支持させるための部材として構成したが、実施例3においては、実施例1における第1取付構造と同じ構造として、吸着剤ユニット33と原流体ユニット32との接合とともに、インナーフィルタ容器42を原流体ユニット32が支持する構造である。 In the first embodiment, the second mounting structure 52 is configured as a member for supporting the inner filter container 42 on the raw fluid unit 32, but in the third embodiment, the second mounting structure 52 has the same structure as the first mounting structure in the first embodiment, in which the adsorbent unit 33 and the raw fluid unit 32 are joined together and the raw fluid unit 32 supports the inner filter container 42.

第2取付構造52は第2シール部材52aを有し、原流体ユニット32の原流体ユニット開口の他方の開口32cの開口周縁と吸着剤ユニット33の吸着剤ユニット開口の一方の開口33bの開口周縁とが第2シール部材52aに密着して、第2シール部材52aを挟持する構造となっている。そして、インナーフィルタ容器42は、その開口42aが原流体ユニット32の原流体ユニット開口の他方の開口32cとなるように第2取付構造52により原流体ユニット開口の他方の開口32cに着脱可能に支持される。具体的には、たとえば、インナーフィルタ容器42は、第2シール部材52aと原流体ユニット開口の他方の開口32cの開口周縁とが、インナーフィルタ容器42の開口42aの縁部42eを密着するように挟持して支持される。インナーフィルタ容器42の本体は、原流体ユニット32の中空部32a内に入り込む形で固定されていて、原流体ユニット32の中空部32a内の位置で、インナーフィルタ容器42の開口42aから導入した原流体をインナーフィルタ容器42の本体で保持可能である。 The second mounting structure 52 has a second seal member 52a, and the opening periphery of the other opening 32c of the raw fluid unit opening of the raw fluid unit 32 and the opening periphery of one opening 33b of the adsorbent unit opening of the adsorbent unit 33 are in close contact with the second seal member 52a to sandwich the second seal member 52a. The inner filter container 42 is detachably supported by the second mounting structure 52 at the other opening 32c of the raw fluid unit opening so that its opening 42a becomes the other opening 32c of the raw fluid unit opening of the raw fluid unit 32. Specifically, for example, the inner filter container 42 is supported by the second seal member 52a and the opening periphery of the other opening 32c of the raw fluid unit opening so as to sandwich the edge portion 42e of the opening 42a of the inner filter container 42 so as to be in close contact with the edge portion 42e of the opening 42a of the inner filter container 42. The main body of the inner filter container 42 is fixed in a manner that fits into the hollow portion 32a of the raw fluid unit 32, and the raw fluid introduced from the opening 42a of the inner filter container 42 can be held by the main body of the inner filter container 42 at a position within the hollow portion 32a of the raw fluid unit 32.

原流体ユニット32の他方の開口32cの開口周縁はフランジ32eを有し、吸着剤ユニット33の原流体ユニット開口の一方の開口33bの開口周縁はフランジ33dを有するように構成することもできる。このとき、第2シール部材52aは、原流体ユニット開口の他方の開口32cの開口周縁のフランジ32eの外形の形状に合致するように嵌合可能な原流体ユニット側窪み52bと、吸着剤ユニット開口の一方の開口33bの開口周縁のフランジ33dの外形の形状に合致するようにフランジ33dが嵌合可能な吸着剤ユニット側窪み52cと、を有する環状形状とするのが好ましい。 The opening periphery of the other opening 32c of the raw fluid unit 32 can also be configured to have a flange 32e, and the opening periphery of one opening 33b of the raw fluid unit opening of the adsorbent unit 33 can also be configured to have a flange 33d. In this case, it is preferable that the second seal member 52a has an annular shape having a raw fluid unit side recess 52b that can be fitted to match the outer shape of the flange 32e on the opening periphery of the other opening 32c of the raw fluid unit opening, and an adsorbent unit side recess 52c into which the flange 33d can be fitted to match the outer shape of the flange 33d on the opening periphery of one opening 33b of the adsorbent unit opening.

第2シール部材52aは、原流体ユニット側窪み52bと吸着剤ユニット側窪み52cとの間に、第2シール部材52aの外側の側面から第2シール部材52aの内面に向かって延在する溝52dを有している。溝52dはフランジ32eとフランジ33dのそれぞれに平行に延在する。第2シール部材52aの径方向における溝52dの先端はインナーフィルタ容器42の開口42aの縁部42eに至っておらず、溝52dの先端と縁部42eとの間にある程度の距離が確保されている。 The second seal member 52a has a groove 52d extending from the outer side surface of the second seal member 52a toward the inner surface of the second seal member 52a between the raw fluid unit side recess 52b and the adsorbent unit side recess 52c. The groove 52d extends parallel to each of the flanges 32e and 33d. The tip of the groove 52d in the radial direction of the second seal member 52a does not reach the edge 42e of the opening 42a of the inner filter container 42, and a certain distance is secured between the tip of the groove 52d and the edge 42e.

吸着剤ユニット33には不純物の吸着前の原流体が入り込む開口43aを有する接流体部材としての第3インナー容器たるインナー吸着剤容器43が取り付けられる。インナー吸着剤容器43は、その開口43aが吸着剤ユニット開口の他方の開口33cとなるように第3取付構造53により吸着剤ユニット開口の他方の開口33cに着脱可能に支持される。第3取付構造53は第3シール部材53aを有し、第3シール部材53aが吸着剤ユニット33の吸着剤ユニット開口の他方の開口33cに取り付けられ、インナー吸着剤容器43の開口43aの縁部が第3シール部材53aによって吸着剤ユニット開口の他方の開口33cに支持されるように取り付けられる。 The adsorbent unit 33 is fitted with an inner adsorbent container 43, which is a third inner container serving as a fluid-contacting member having an opening 43a through which the raw fluid before impurities are adsorbed enters. The inner adsorbent container 43 is detachably supported by a third mounting structure 53 on the other opening 33c of the adsorbent unit opening so that its opening 43a becomes the other opening 33c of the adsorbent unit opening. The third mounting structure 53 has a third seal member 53a, which is attached to the other opening 33c of the adsorbent unit opening of the adsorbent unit 33, and is attached so that the edge of the opening 43a of the inner adsorbent container 43 is supported by the third seal member 53a on the other opening 33c of the adsorbent unit opening.

インナー吸着剤容器43は吸着剤ユニット33の剛性より低い材料でできている。たとえばインナー濾過流体容器41と同じ材料が選択できる。これにより、吸着剤ユニット33は繰り返し使用を目的にし、インナー吸着剤容器43は濾過処理プロセスの度に、交換して廃棄可能とする使い捨て使用を目的に構成することができる。インナー吸着剤容器43の下部43bには吸着剤62を保持してインナー吸着剤容器43の内部43cとインナーフィルタ容器42の内部42cと連通する連通孔43dとを備える。 The inner adsorbent container 43 is made of a material with lower rigidity than the adsorbent unit 33. For example, the same material as the inner filtration fluid container 41 can be selected. This allows the adsorbent unit 33 to be designed for repeated use, while the inner adsorbent container 43 can be designed for disposable use, so that it can be replaced and disposed of after each filtration process. The lower part 43b of the inner adsorbent container 43 holds the adsorbent 62 and has a communication hole 43d that communicates with the interior 43c of the inner adsorbent container 43 and the interior 42c of the inner filter container 42.

続いて、実施例3の濾過装置1が、組み立てられた状態において、どのように機能するかを説明する。まず、濾過すべき原流体であって吸着処理を行う前の原流体をインナー吸着剤容器43の開口43aからインナー吸着剤容器43の内部43cに入れる。ここから脱気ポンプ10aを作動させて、インナー濾過流体容器41の内部41cの圧力がインナーフィルタ容器42の内部42cの圧力より低下し、インナー濾過流体容器41の内部41cとインナーフィルタ容器42の内部42cとの間に差圧が生じる時点までは実施例1と同じである。ここから、実施例3では、インナーフィルタ容器42の内部42cの圧力が下がることにより、インナー吸着剤容器43の内部43cとインナーフィルタ容器42の内部42cとの間にさらに差圧が生じ、この差圧と、インナー吸着剤容器43の内部43cに入れられた原流体が重力とにより、インナー吸着剤容器43の内部43cから吸着剤62を通過した原流体が連通孔43dを通過して、インナーフィルタ容器42の内部42cへと導入される。インナーフィルタ容器42の内部42cへと導入された原流体は、実施例1と同様に濾過されてインナー濾過流体容器41の内部41cで濾過流体として回収される。すべての量の原流体が濾過されたのちに、脱気ポンプ10aを停止させ、実施例1で説明した分離に加えて、吸着剤ユニット33とインナー吸着剤容器43とを分離する。実施例1と同様に、吸着剤ユニット33は洗浄することなく再利用することができる。 Next, we will explain how the filtration device 1 of Example 3 functions in an assembled state. First, the raw fluid to be filtered before the adsorption process is put into the inside 43c of the inner adsorbent container 43 through the opening 43a of the inner adsorbent container 43. From this point, the degassing pump 10a is operated, and the pressure in the inside 41c of the inner filtration fluid container 41 drops below the pressure in the inside 42c of the inner filter container 42, and the process is the same as in Example 1 until a pressure difference occurs between the inside 41c of the inner filtration fluid container 41 and the inside 42c of the inner filter container 42. From this point, in Example 3, the pressure in the inside 42c of the inner filter container 42 drops, and a further pressure difference occurs between the inside 43c of the inner adsorbent container 43 and the inside 42c of the inner filter container 42, and due to this pressure difference and the gravity of the raw fluid put into the inside 43c of the inner adsorbent container 43, the raw fluid that has passed through the adsorbent 62 from the inside 43c of the inner adsorbent container 43 passes through the communication hole 43d and is introduced into the inside 42c of the inner filter container 42. The raw fluid introduced into the interior 42c of the inner filter vessel 42 is filtered in the same manner as in Example 1 and is collected as a filtered fluid in the interior 41c of the inner filtration fluid vessel 41. After all the raw fluid has been filtered, the degassing pump 10a is stopped, and in addition to the separation described in Example 1, the adsorbent unit 33 and the inner adsorbent vessel 43 are separated. As in Example 1, the adsorbent unit 33 can be reused without cleaning.

以上が実施例3の説明であるが、実施例2は、実施例3のインナー吸着剤容器43を、実施例1の下部42bに濾過のためのフィルタ部材61を備えたインナーフィルタ容器42と入れ替えた実施例である。すなわち、実施例2は、実施例2の吸着剤の代わりに、2つのフィルタを有している実施例である。異なる種類のフィルタ部材を備える複数のインナー容器を配置する、たとえばフィルタ部材の目付け量、または材料等が異なるフィルタ部材を有するインナー容器を配置する。これにより、濾過の際に除去する対象とする不純物の大きさが異なることから、フィルタ部材の種類を自由に設定することができる。実施例2は、実施例3のインナー吸着剤容器43をインナーフィルタ容器42に交換しただけの例であり、その他の違いはないので、詳細な説明は割愛する。 The above is an explanation of Example 3, but Example 2 is an example in which the inner adsorbent container 43 of Example 3 is replaced with an inner filter container 42 equipped with a filter member 61 for filtration in the lower part 42b of Example 1. In other words, Example 2 is an example having two filters instead of the adsorbent of Example 2. A plurality of inner containers equipped with different types of filter members are arranged, for example, inner containers having filter members with different mesh weights or materials are arranged. This allows the type of filter member to be freely set since the size of the impurities to be removed during filtration differs. Example 2 is an example in which the inner adsorbent container 43 of Example 3 is simply replaced with the inner filter container 42, and there are no other differences, so a detailed explanation will be omitted.

(実施例4から実施例6)
続いて、本発明の実施例4から実施例6の濾過装置1について説明する。まず、図5を参照して、実施例4について説明する。実施例5および実施例6は実施例4からの変形として後述する。図5は実施例4の濾過装置1の結合状態の断面図である。実施例4は実施例2の構成に加えて、吸着剤ユニット33の上に、整流ユニット34を重ねて、濾過処理の初期工程として流れを整える工程を含める実施例である。濾過流体ユニット31と、原流体ユニット32と、吸着剤ユニット33と、インナー濾過流体容器41と、インナーフィルタ容器42と、インナー吸着剤容器43とが組み立てられた実施例3の部分は同じである。以下、実施例3の吸着剤ユニット33の上に、整流ユニット34を組み合わせる部分から説明する。また、以下の実施例の説明では、前記実施例1および2と同様に、前記実施の形態のうち、フランジを配置する例で説明するが、前記の実施の形態のとおり、フランジを配置しない態様も適用可能であることは言うまでもない。
(Examples 4 to 6)
Next, the filtration device 1 of the fourth to sixth embodiments of the present invention will be described. First, the fourth embodiment will be described with reference to FIG. 5. The fifth and sixth embodiments will be described later as modifications of the fourth embodiment. FIG. 5 is a cross-sectional view of the filtration device 1 of the fourth embodiment in a combined state. The fourth embodiment is an embodiment in which, in addition to the configuration of the second embodiment, the rectifying unit 34 is stacked on the adsorbent unit 33 to adjust the flow as an initial step of the filtration process. The part of the third embodiment in which the filtrate fluid unit 31, the raw fluid unit 32, the adsorbent unit 33, the inner filtrate fluid container 41, the inner filter container 42, and the inner adsorbent container 43 are assembled is the same. Hereinafter, the part in which the rectifying unit 34 is combined on the adsorbent unit 33 of the third embodiment will be described. In addition, in the following description of the embodiments, as in the first and second embodiments, an example in which a flange is arranged will be described among the above-mentioned embodiments, but it goes without saying that a form in which a flange is not arranged can also be applied as in the above-mentioned embodiment.

整流ユニット34は中空部34aを有する筒形形状であって、代表的には円筒形である。整流ユニット34は吸着剤ユニット33と同じ形状とすることもできる。整流ユニット34は、両端に開口端である整流ユニット開口34b,34cを備える。整流ユニット開口の一方の開口14bと吸着剤ユニット開口の他方の開口33cと連通するように吸着剤ユニット33の上側に取り付けられる。整流ユニット34の一方の開口34bと吸着剤ユニット33の他方の開口33cとは、実施例2で説明した第3取付構造53により脱着可能に接合される。 The rectifying unit 34 has a tubular shape with a hollow portion 34a, and is typically cylindrical. The rectifying unit 34 may have the same shape as the adsorbent unit 33. The rectifying unit 34 has rectifying unit openings 34b, 34c, which are open ends at both ends. It is attached to the upper side of the adsorbent unit 33 so as to communicate with one opening 14b of the rectifying unit opening and the other opening 33c of the adsorbent unit opening. One opening 34b of the rectifying unit 34 and the other opening 33c of the adsorbent unit 33 are detachably joined by the third mounting structure 53 described in Example 2.

実施例2では、第3取付構造53は、インナー吸着剤容器43を吸着剤ユニット33に支持させるための部材として構成したが、実施例4においては、実施例1の第1取付構造51および実施例2の第2取付構造52のそれぞれと同じ構造として、整流ユニット34と吸着剤ユニット33との接合とともに、インナー吸着剤容器43を吸着剤ユニット33に支持する構造でもある。 In Example 2, the third mounting structure 53 is configured as a member for supporting the inner adsorbent container 43 on the adsorbent unit 33, but in Example 4, it has the same structure as the first mounting structure 51 in Example 1 and the second mounting structure 52 in Example 2, and in addition to joining the rectifying unit 34 and the adsorbent unit 33, it also supports the inner adsorbent container 43 on the adsorbent unit 33.

第3取付構造53は第3シール部材53aを有し、吸着剤ユニット33の吸着剤ユニット開口の他方の開口33cの開口周縁と整流ユニット34の整流ユニット開口の開口34bの開口周縁とが第3シール部材53aに密着して、第3シール部材53aを挟持する構造となっている。そして、インナー吸着剤容器43は、その開口43aが吸着剤ユニット33の吸着剤ユニット開口の他方の開口33cとなるように第3取付構造53により吸着剤ユニット開口の他方の開口33cに着脱可能に支持される。具体的には、たとえば、インナー吸着剤容器43は、第3シール部材53aと吸着剤ユニット開口の他方の開口33cの開口周縁とが、インナー吸着剤容器43の開口43aの縁部43eを密着するように挟持して支持される。インナー吸着剤容器43の本体は、吸着剤ユニット33の中空部33a内に入り込む形で固定されていて、吸着剤ユニット33の中空部33a内の位置で、インナー吸着剤容器43の開口23aから導入した吸着処理前の原流体をインナー吸着剤容器43の本体で保持可能である。 The third mounting structure 53 has a third seal member 53a, and the opening periphery of the other opening 33c of the adsorbent unit opening of the adsorbent unit 33 and the opening periphery of the opening 34b of the rectifying unit opening of the rectifying unit 34 are in close contact with the third seal member 53a, so that the third seal member 53a is sandwiched between the third mounting structure 53. The inner adsorbent container 43 is detachably supported by the third mounting structure 53 at the other opening 33c of the adsorbent unit opening so that its opening 43a becomes the other opening 33c of the adsorbent unit opening of the adsorbent unit 33. Specifically, for example, the inner adsorbent container 43 is supported by the third seal member 53a and the opening periphery of the other opening 33c of the adsorbent unit opening so as to be in close contact with the edge portion 43e of the opening 43a of the inner adsorbent container 43. The main body of the inner adsorbent container 43 is fixed in a manner that fits into the hollow portion 33a of the adsorbent unit 33, and the raw fluid before adsorption treatment introduced from the opening 23a of the inner adsorbent container 43 can be held by the main body of the inner adsorbent container 43 at a position within the hollow portion 33a of the adsorbent unit 33.

吸着剤ユニット33の吸着剤ユニット開口の他方の開口33cの開口周縁はフランジ33eを有し、整流ユニット34の整流ユニット開口の一方の開口34bの開口周縁はフランジ34dを有するように構成することもできる。このとき、第3シール部材53aは、吸着剤ユニット開口の他方の開口33cの開口周縁のフランジ33eの外形の形状に合致するように嵌合可能な吸着剤ユニット側窪み53bと、整流ユニット開口の一方の開口34bの開口周縁のフランジ34dの外形の形状に合致するようにフランジ34dが嵌合可能な整流ユニット側窪み53cと、を有する環状形状とするのが好ましい。 The periphery of the other opening 33c of the adsorbent unit opening of the adsorbent unit 33 can be configured to have a flange 33e, and the periphery of one opening 34b of the rectifier unit opening of the rectifier unit 34 can be configured to have a flange 34d. In this case, it is preferable that the third seal member 53a has an annular shape having an adsorbent unit side recess 53b that can be fitted to match the outer shape of the flange 33e on the opening periphery of the other opening 33c of the adsorbent unit opening, and a rectifier unit side recess 53c into which the flange 34d can be fitted to match the outer shape of the flange 34d on the opening periphery of one opening 34b of the rectifier unit opening.

第3シール部材53aは、吸着剤ユニット側窪み53bと整流ユニット側窪み53cとの間に、第3シール部材53aの外側の側面から第3シール部材53aの内面に向かって延在する溝53dを有している。溝53dはフランジ33eとフランジ34dのそれぞれに平行に延在する。第3シール部材53aの径方向における溝53dの先端はインナー吸着剤容器43の開口43aの縁部43eに至っておらず、溝53dの先端と縁部43eとの間にある程度の距離が確保されている。 The third seal member 53a has a groove 53d between the adsorbent unit side recess 53b and the rectification unit side recess 53c, which extends from the outer side surface of the third seal member 53a toward the inner surface of the third seal member 53a. The groove 53d extends parallel to each of the flanges 33e and 34d. The tip of the groove 53d in the radial direction of the third seal member 53a does not reach the edge 43e of the opening 43a of the inner adsorbent container 43, and a certain distance is maintained between the tip of the groove 53d and the edge 43e.

整流ユニット34には濾過処理の初期工程として吸着剤ユニット33に均一に原流体を流し込む開口44aを有する接流体部材としての第4インナー容器としてのインナー整流容器44が取り付けられる。インナー整流容器44は、開口44aが整流ユニット34の整流ユニット開口の他方の開口34cとなるように第4取付構造54により整流ユニット開口の他方の開口34cに着脱可能に支持される。第4取付構造54は第4シール部材54aを有し、第4シール部材54aが整流ユニット34の整流ユニット開口の他方の開口34cに取り付けられ、インナー整流容器44の開口44aの縁部が第4シール部材54aによって整流ユニット開口の他方の開口34cに支持されるように取り付けられる。 The rectification unit 34 is fitted with an inner rectification vessel 44 as a fourth inner vessel serving as a fluid-contacting member having an opening 44a for uniformly pouring the raw fluid into the adsorbent unit 33 as an initial step of the filtration process. The inner rectification vessel 44 is detachably supported by a fourth mounting structure 54 on the other opening 34c of the rectification unit opening so that the opening 44a becomes the other opening 34c of the rectification unit opening of the rectification unit 34. The fourth mounting structure 54 has a fourth seal member 54a, which is attached to the other opening 34c of the rectification unit opening of the rectification unit 34, and is attached so that the edge of the opening 44a of the inner rectification vessel 44 is supported by the fourth seal member 54a on the other opening 34c of the rectification unit opening.

インナー整流容器44は整流ユニット34の剛性より低い材料でできている。たとえばインナー濾過流体容器41と同じ材料が選択できる。これにより、整流ユニット34は繰り返し使用を目的にし、インナー整流容器44は濾過処理プロセスの度に、交換して廃棄可能とする使い捨て使用を目的に構成することができる。インナー整流容器44には、インナー整流容器44の内部44cとインナー吸着剤容器43の内部43cと連通する整流孔44dを備える。整流孔44dは、たとえば、同心円状などの環状で等間隔に配置される複数の孔で構成される。整流孔44dを構成する複数の孔は、インナー整流容器44の開口44aの上方からみたときに、インナー吸着剤容器43の中の吸着剤62の充填部分の投影部分において、単位面積あたりの孔密度が同じになるように配置される。整流孔44dの複数の孔のそれぞれの断面形状は、たとえば、丸や多角形など様々な形がとれる。インナー整流容器44の整流構造である整流孔44dは、インナー整流容器44の下側に配置されるインナー吸着剤容器43の内部に配置される吸着剤に満遍なく均等に原流体をゆっくり供給することができる限り、その孔の構造は限定されない。代表的には、整流孔44dの複数の孔は、すべて同じ径(大きさ)であって、インナー整流容器44の下側が減圧された時(原流体が流れる出るとき)に整流孔44dの複数の孔のすべての内部が流体で満たされる程度の大きさを有している。 The inner rectifier container 44 is made of a material having a lower rigidity than the rectifier unit 34. For example, the same material as the inner filtration fluid container 41 can be selected. This allows the rectifier unit 34 to be configured for repeated use, while the inner rectifier container 44 can be configured for disposable use, in which it can be replaced and disposed of after each filtration process. The inner rectifier container 44 has a rectifier hole 44d that communicates with the interior 44c of the inner rectifier container 44 and the interior 43c of the inner adsorbent container 43. The rectifier hole 44d is configured, for example, of a plurality of holes arranged at equal intervals in a ring shape such as a concentric circle. The plurality of holes that make up the rectifier hole 44d are arranged so that the hole density per unit area is the same in the projected portion of the adsorbent 62-filled portion in the inner adsorbent container 43 when viewed from above the opening 44a of the inner rectifier container 44. The cross-sectional shape of each of the plurality of holes in the rectifier hole 44d can be various shapes, such as a circle or a polygon. The structure of the rectification holes 44d, which are the rectification structure of the inner rectification vessel 44, is not limited as long as the raw fluid can be slowly and evenly supplied to the adsorbent placed inside the inner adsorbent vessel 43 placed below the inner rectification vessel 44. Typically, the multiple holes of the rectification holes 44d all have the same diameter (size) and are large enough that the insides of all the multiple holes of the rectification holes 44d are filled with fluid when the pressure below the inner rectification vessel 44 is reduced (when the raw fluid flows out).

続いて、実施例4の濾過装置1が、組み立てられた状態において、どのように機能するかを説明する。まず、濾過処理の初期工程として流れを整えるための不純物の吸着前の原流体をインナー整流容器44の開口44aからインナー整流容器44の内部44cに入れる。ここから脱気ポンプ10aを作動させて、インナー濾過流体容器41の内部41cの圧力がインナーフィルタ容器42の内部42cの圧力より低下し、インナー濾過流体容器41の内部41cとインナーフィルタ容器42の内部42cとの間に差圧が、またインナー吸着剤容器43の内部43cとインナーフィルタ容器42の内部42cとの間にさらに差圧が生じる点は実施例2と同じである。 Next, we will explain how the filtration device 1 of Example 4 functions in an assembled state. First, as an initial step in the filtration process, the raw fluid before adsorption of impurities is introduced into the interior 44c of the inner rectification vessel 44 through the opening 44a of the inner rectification vessel 44 to regulate the flow. From this point, the degassing pump 10a is operated, and the pressure in the interior 41c of the inner filtration fluid vessel 41 drops below the pressure in the interior 42c of the inner filter vessel 42, creating a pressure difference between the interior 41c of the inner filtration fluid vessel 41 and the interior 42c of the inner filter vessel 42, and a further pressure difference between the interior 43c of the inner adsorbent vessel 43 and the interior 42c of the inner filter vessel 42, which is the same as in Example 2.

実施例4では、さらに、インナーフィルタ容器42の内部42cの圧力の低下により、インナー吸着剤容器43の内部43cの圧力が低下して、インナーフィルタ容器42の内部42cの圧力とインナー吸着剤容器43の内部43cの圧力との間に差圧が生じる。この差圧と重力とにより、インナー整流容器44に入れられた原流体がインナー吸着剤容器43の内部43cへと導入される。インナー吸着剤容器43の内部43cへと導入された以降の原流体の挙動は実施例1と実施例2と同様である。インナーフィルタ容器42の内部42cへと導入された原流体は、実施例1と同様に濾過されてインナー濾過流体容器41の内部41cで濾過流体として回収される。すべての量の原流体が濾過されたのちに、脱気ポンプ10aを停止させ、実施例1から実施例3で説明した分離に加えて、整流ユニット34とインナー整流容器44とを分離する。実施例1および実施例2と同様に、整流ユニット34は洗浄することなく再利用することができる。 In Example 4, the pressure in the inner 43c of the inner adsorbent container 43 is reduced due to the pressure drop in the inner 42c of the inner filter container 42, and a pressure difference occurs between the pressure in the inner 42c of the inner filter container 42 and the pressure in the inner 43c of the inner adsorbent container 43. Due to this pressure difference and gravity, the raw fluid placed in the inner rectifying container 44 is introduced into the inner 43c of the inner adsorbent container 43. The behavior of the raw fluid after being introduced into the inner 43c of the inner adsorbent container 43 is the same as in Examples 1 and 2. The raw fluid introduced into the inner 42c of the inner filter container 42 is filtered in the same manner as in Example 1 and is collected as a filtered fluid in the inner 41c of the inner filtrate fluid container 41. After all the raw fluid has been filtered, the degassing pump 10a is stopped, and in addition to the separation described in Examples 1 to 3, the rectifying unit 34 and the inner rectifying container 44 are separated. As in Examples 1 and 2, the rectifying unit 34 can be reused without cleaning.

以上が実施例4の説明であるが、実施例5は、実施例4のインナー整流容器44を実施例3のインナー吸着剤容器43と入れ替えた実施例である。すなわち、実施例5は、実施例3の整流を目的とする容器の代わりに、2つの種類の吸着剤を段階的に使用するように複数のインナー吸着剤容器を有している実施例である。異なる種類の吸着剤を備える複数のインナー容器を配置する、たとえば異なる種類の物質を段階的に除去するために、または吸着効率の低いものから吸着効率の高いものへと段階的に除去するためなど、吸着剤の種類を自由に設定することができる。実施例5は、実施例4のインナー整流容器44をインナー吸着剤容器43に交換しただけの例であり、その他の違いはないので、詳細な説明は割愛する。 The above is an explanation of Example 4, but Example 5 is an example in which the inner straightening vessel 44 of Example 4 is replaced with the inner adsorbent vessel 43 of Example 3. In other words, Example 5 is an example in which, instead of the vessel for straightening of Example 3, multiple inner adsorbent vessels are provided so that two types of adsorbents are used in stages. By arranging multiple inner vessels equipped with different types of adsorbents, for example, in order to gradually remove different types of substances, or to gradually remove substances with low adsorption efficiency to substances with high adsorption efficiency, the type of adsorbent can be freely set. Example 5 is an example in which the inner straightening vessel 44 of Example 4 is simply replaced with the inner adsorbent vessel 43, and there are no other differences, so a detailed explanation will be omitted.

また、実施例6は、実施例4のインナーフィルタ容器42の位置を変更した実施例である。すなわち、実施例4では、インナー吸着剤容器43の下にインナーフィルタ容器42を配置していたが、実施例6ではインナー整流容器44の上にインナーフィルタ容器42を配置するように、インナーフィルタ容器42の位置を変更した実施例である。濾過する流体の特性により、吸着剤による吸着と、フィルタによる濾過の順序を逆転する必要がある場合には、このように自由に変更することが可能である。実施例6は、実施例4のインナー整流容器44とインナーフィルタ容器42の位置を交換しただけの例であり、その他の違いはないので、詳細な説明は割愛する。 Moreover, Example 6 is an example in which the position of the inner filter container 42 of Example 4 is changed. That is, in Example 4, the inner filter container 42 is placed below the inner adsorbent container 43, but in Example 6, the position of the inner filter container 42 is changed so that the inner filter container 42 is placed above the inner flow straightening container 44. If the order of adsorption by the adsorbent and filtration by the filter needs to be reversed due to the characteristics of the fluid to be filtered, it is possible to freely change it in this way. Example 6 is an example in which the positions of the inner flow straightening container 44 and the inner filter container 42 of Example 4 are simply exchanged, and there are no other differences, so a detailed description will be omitted.

1 濾過装置
2,10 ポンプユニット
2a,10a 脱気ポンプ
2b,10b 吸気孔
3 ケースユニット
4 インナー容器
5,6 シール部材
31 濾過流体ユニット
32 原流体ユニット
33 吸着剤ユニット
34 整流ユニット
41 インナー濾過流体容器
42 インナー原流体容器
43 インナー吸着剤容器
44 インナー整流容器
51 第1取付構造
51a 第1シール部材
52 第2取付構造
52a 第2シール部材
53 第3取付構造
53a 第3シール部材
54 第4取付構造
54a 第4シール部材
61 フィルタ部材
62 吸着剤
Reference Signs List 1 Filtration device 2, 10 Pump unit 2a, 10a Degassing pump 2b, 10b Intake hole 3 Case unit 4 Inner container 5, 6 Seal member 31 Filtration fluid unit 32 Raw fluid unit 33 Adsorbent unit 34 Rectification unit 41 Inner Filtration fluid container 42 Inner raw fluid container 43 Inner adsorbent container 44 Inner rectification container 51 First mounting structure 51a First seal member 52 Second mounting structure 52a Second seal member 53 Third mounting structure 53a Third seal member 54 Fourth mounting structure 54a Fourth seal member 61 Filter member 62 Adsorbent

Claims (10)

内部に脱気ポンプが配置され、前記脱気ポンプの吸気孔が配置される接合部を有するポンプユニットと、
一端に第1開口と、他端に第2開口と、を有する中空筒形形状の第1ケースユニットおよび第2ケースユニットであって、流体と接しない第1ケースユニットおよび第2ケースユニットと、
一端に流体入口を有し、流体を保持する保持部を有する第1インナー容器であって、前記第1インナー容器の内外を貫通する通気孔を有する第1インナー容器と、
一端に流体入口と、他端に前記流体入口よりも大きさの小さい流体出口と、を有し、前記流体入口と前記流体出口との間に流体を保持する保持部を有する第2インナー容器と、を備える組立型減圧式濾過装置であって、
前記第1ケースユニットは、前記第1ケースユニットの第1開口と前記ポンプユニットの前記吸気孔とが流体的に連通するように前記ポンプユニットと接合可能であって、
前記通気孔は前記第1インナー容器の前記保持部の前記流体が保持される予定高さより上側に配置されており、
前記第2ケースユニットの前記第1開口は、前記第1ケースユニットの第2開口と第1シール部材を挟持し、かつ前記第1ケースユニットの第2開口が前記第1インナー容器の前記流体入口となるように前記第1シール部材と前記第1インナー容器の前記流体入口の縁部を挟持して、前記第1ケースユニットの前記第2開口と接合可能であって、
前記第2インナー容器は、前記第2ケースユニットの前記第2開口が前記第2インナー容器の前記流体入口となるように前記第2インナー容器の前記流体入口の縁部と前記第2ケースユニットの前記第2開口とで第2シール部材を挟持するように接合可能であって、
前記第2インナー容器は、前記第2インナー容器の前記流体入口と前記流体出口との間に、フィルタ、吸着剤または整流構造のうちのいずれかを有する組立型減圧式濾過装置。
A pump unit having a degassing pump disposed therein and a joint at which an intake port of the degassing pump is disposed;
a first case unit and a second case unit each having a hollow cylindrical shape and each having a first opening at one end and a second opening at the other end, the first case unit and the second case unit not coming into contact with a fluid;
a first inner container having a fluid inlet at one end and a holding portion for holding a fluid, the first inner container having an air hole penetrating the inside and outside of the first inner container ;
An assembled reduced pressure filtration device comprising: a second inner container having a fluid inlet at one end and a fluid outlet at the other end, the fluid outlet being smaller than the fluid inlet, the second inner container having a holding portion between the fluid inlet and the fluid outlet for holding a fluid,
the first case unit is connectable to the pump unit such that a first opening of the first case unit and the intake hole of the pump unit are in fluid communication with each other,
the vent hole is disposed above a planned height at which the fluid is held in the holding portion of the first inner container,
the first opening of the second case unit is joinable to the second opening of the first case unit by sandwiching a first seal member between the second opening of the first case unit and the first seal member, and by sandwiching an edge of the fluid inlet of the first inner container between the first seal member and the second opening of the first case unit so that the second opening of the first case unit becomes the fluid inlet of the first inner container,
the second inner container can be joined so that a second seal member is sandwiched between an edge of the fluid inlet of the second inner container and the second opening of the second case unit, such that the second opening of the second case unit becomes the fluid inlet of the second inner container ,
The second inner container is an assembled reduced pressure filtration device having any one of a filter, an adsorbent, or a flow straightening structure between the fluid inlet and the fluid outlet of the second inner container .
請求項1に記載の組立型減圧式濾過装置であって
前記第1インナー容器は前記第2インナー容器の前記フィルタを通過した流体を保持する濾過流体容器である組立型減圧式濾過装置。
2. The assembled reduced pressure filtration apparatus according to claim 1 ,
The first inner container is a filtrate fluid container that holds fluid that has passed through the filter of the second inner container.
請求項1に記載の組立型減圧式濾過装置であって、
一端に第1開口と、他端に第2開口と、を有する中空筒形形状であって、流体と接しない第3ケースユニットと、
一端に流体入口と、他端に前記流体入口よりも大きさの小さい流体出口と、を有し、前記流体入口と前記流体出口との間に流体を保持する保持部を有する第3インナー容器と、を備え、
前記第3ケースユニットの前記第1開口は、前記第2ケースユニットの第2開口と第2シール部材を挟持し、かつ前記第2ケースユニットの第2開口が前記第2インナー容器の前記流体入口となるように前記第2シール部材と前記第2インナー容器の前記流体入口の縁部を挟持して前記第2ケースユニットの前記第2開口と接合可能であって、
前記第3インナー容器は、前記第3ケースユニットの前記第2開口が前記第3インナー容器の前記流体入口となるように前記第3インナー容器の前記流体入口の縁部と前記第3ケースユニットの前記第2開口とで第3シール部材を挟持するように接合可能であって、
前記第3インナー容器は、前記第3インナー容器の前記流体入口と前記流体出口との間に、フィルタ、吸着剤または整流構造のうちのいずれかを有する組立型減圧式濾過装置。
2. The assembled reduced pressure filtration apparatus according to claim 1,
a third case unit having a hollow cylindrical shape with a first opening at one end and a second opening at the other end, the third case unit not in contact with the fluid;
a third inner container having a fluid inlet at one end and a fluid outlet at the other end, the fluid outlet being smaller than the fluid inlet, and having a holding portion between the fluid inlet and the fluid outlet for holding a fluid;
the first opening of the third case unit is capable of being joined to the second opening of the second case unit by sandwiching a second seal member between the second opening of the second case unit and the second seal member and by sandwiching an edge of the fluid inlet of the second inner container between the second seal member and the second opening of the second case unit so that the second opening of the second case unit becomes the fluid inlet of the second inner container,
the third inner container can be joined so that a third seal member is sandwiched between an edge of the fluid inlet of the third inner container and the second opening of the third case unit, such that the second opening of the third case unit becomes the fluid inlet of the third inner container,
The third inner container is an assembled reduced pressure filtration device having any one of a filter, an adsorbent, or a flow straightening structure between the fluid inlet and the fluid outlet of the third inner container .
請求項3に記載の組立型減圧式濾過装置であって、
前記第3インナー容器は、前記第3インナー容器の前記流体入口と前記流体出口との間に第1フィルタを有する第1フィルタ容器であって、
前記第2インナー容器は、前記第2インナー容器の前記流体入口と前記流体出口との間に前記第1フィルタまたは前記第1フィルタと異なる第2フィルタを有する第2フィルタ容器であって、
前記第1インナー容器は前記第2インナー容器の前記第2フィルタを通過した流体を保持する濾過流体容器である組立型減圧式濾過装置。
4. The assembled reduced pressure filtration device according to claim 3,
The third inner container is a first filter container having a first filter between the fluid inlet and the fluid outlet of the third inner container,
The second inner container is a second filter container having the first filter or a second filter different from the first filter between the fluid inlet and the fluid outlet of the second inner container,
The first inner container is a filtrate fluid container that holds fluid that has passed through the second filter of the second inner container.
請求項3に記載の組立型減圧式濾過装置であって、
前記第3インナー容器は、前記第3インナー容器の前記流体入口と前記流体出口との間に吸着剤を有する吸着剤容器であって、
前記第2インナー容器は、前記第2インナー容器の前記流体入口と前記流体出口との間にフィルタを有するフィルタ容器であって、
前記第1インナー容器は前記第2インナー容器の前記フィルタを通過した流体を保持する濾過流体容器である組立型減圧式濾過装置。
4. The assembled reduced pressure filtration device according to claim 3,
The third inner container is an adsorbent container having an adsorbent between the fluid inlet and the fluid outlet of the third inner container,
The second inner container is a filter container having a filter between the fluid inlet and the fluid outlet of the second inner container,
The first inner container is a filtrate fluid container that holds fluid that has passed through the filter of the second inner container.
請求項3に記載の組立型減圧式濾過装置であって、
一端に第1開口と、他端に第2開口と、を有する中空筒形形状であって、流体と接しない第4ケースユニットと、
一端に流体入口と、他端に前記流体入口よりも大きさの小さい流体出口と、を有し、前記流体入口と前記流体出口との間に流体を保持する保持部を有する第4インナー容器と、を備え、
前記第4ケースユニットの前記第1開口は、前記第3ケースユニットの第2開口と第3シール部材を挟持し、かつ前記第3ケースユニットの第2開口が前記第3インナー容器の前記流体入口となるように前記第3シール部材と前記第3インナー容器の前記流体入口の縁部を挟持して、前記第3ケースユニットの前記第2開口と接合可能であって、
前記第4インナー容器は、前記第4ケースユニットの前記第2開口が前記第4インナー容器の前記流体入口となるように前記第4インナー容器の前記流体入口の縁部と前記第4ケースユニットの前記第2開口とで第4シール部材を挟持するように接合可能であって、
前記第4インナー容器は、前記第4インナー容器の前記流体入口と前記流体出口との間に、フィルタ、吸着剤または整流構造のうちのいずれかを有する組立型減圧式濾過装置。
4. The assembled reduced pressure filtration device according to claim 3,
a fourth case unit having a hollow cylindrical shape with a first opening at one end and a second opening at the other end, the fourth case unit not in contact with the fluid;
a fourth inner container having a fluid inlet at one end and a fluid outlet at the other end, the fluid outlet being smaller than the fluid inlet, and having a holding portion between the fluid inlet and the fluid outlet for holding a fluid;
the first opening of the fourth case unit is joinable to the second opening of the third case unit by sandwiching a third seal member with the second opening of the third case unit and by sandwiching an edge of the fluid inlet of the third inner container between the third seal member and the second opening of the third case unit, the second opening of the third case unit being the fluid inlet of the third inner container;
the fourth inner container can be joined so that a fourth seal member is sandwiched between an edge of the fluid inlet of the fourth inner container and the second opening of the fourth case unit, such that the second opening of the fourth case unit becomes the fluid inlet of the fourth inner container,
The fourth inner container is an assembled reduced pressure filtration device having any one of a filter, an adsorbent, or a flow straightening structure between the fluid inlet and the fluid outlet of the fourth inner container .
請求項6に記載の組立型減圧式濾過装置であって、
前記第4インナー容器は、底部に環状で等間隔に配置される複数の孔を有する整流容器であって、
前記第3インナー容器は、前記第3インナー容器の前記流体入口と前記流体出口との間に吸着剤を有する吸着剤容器であって、
前記第2インナー容器は前記第3インナー容器の前記吸着剤を通過した流体の濾過を行うフィルタを備えるフィルタ容器であり、
前記第1インナー容器は、前記第2インナー容器の前記フィルタを通過した流体を保持する濾過流体容器である組立型減圧式濾過装置。
7. The assembled reduced pressure filtration device according to claim 6,
The fourth inner container is a flow straightening container having a plurality of holes arranged at equal intervals in a circular shape on a bottom portion,
The third inner container is an adsorbent container having an adsorbent between the fluid inlet and the fluid outlet of the third inner container,
the second inner container is a filter container including a filter for filtering a fluid that has passed through the adsorbent of the third inner container,
The first inner container is a filtrate fluid container that holds fluid that has passed through the filter of the second inner container.
請求項6に記載の組立型減圧式濾過装置であって、
前記第4インナー容器は、前記第4インナー容器の前記流体入口と前記流体出口との間に第1吸着剤を有する吸着剤容器であって、
前記第3インナー容器は、前記第3インナー容器の前記流体入口と前記流体出口との間に前記第1吸着剤と異なる第2吸着剤を有する吸着剤容器であって、
前記第2インナー容器は前記第3インナー容器の前記第2吸着剤を通過した流体の濾過を行うフィルタを備えるフィルタ容器であり、
前記第1インナー容器は、前記第2インナー容器の前記フィルタを通過した流体を保持する濾過流体容器である組立型減圧式濾過装置。
7. The assembled reduced pressure filtration device according to claim 6,
The fourth inner vessel is an adsorbent vessel having a first adsorbent between the fluid inlet and the fluid outlet of the fourth inner vessel,
The third inner container is an adsorbent container having a second adsorbent different from the first adsorbent between the fluid inlet and the fluid outlet of the third inner container,
the second inner container is a filter container including a filter for filtering the fluid that has passed through the second adsorbent of the third inner container,
The first inner container is a filtrate fluid container that holds fluid that has passed through the filter of the second inner container.
請求項6に記載の組立型減圧式濾過装置であって、
前記第4インナー容器は、前記第4インナー容器の前記流体入口と前記流体出口との間にフィルタを有するフィルタ容器であって、
前記第3インナー容器は、前記フィルタを通過した流体の流れを前記第3インナー容器の前記流体出口において整えるように底部に環状で等間隔に配置される複数の孔を有する整流容器であって、
前記第2インナー容器は、前記第2インナー容器の前記流体入口と前記流体出口との間に吸着剤を有する吸着剤容器であって、
前記第1インナー容器は、前記第2インナー容器の前記吸着剤を通過した流体を保持する濾過流体容器である組立型減圧式濾過装置。
7. The assembled reduced pressure filtration device according to claim 6,
The fourth inner container is a filter container having a filter between the fluid inlet and the fluid outlet of the fourth inner container,
The third inner container is a straightening container having a plurality of holes arranged at equal intervals in a circular shape on a bottom portion so as to straighten the flow of the fluid that has passed through the filter at the fluid outlet of the third inner container,
The second inner container is an adsorbent container having an adsorbent between the fluid inlet and the fluid outlet of the second inner container,
The first inner container is a filtrate fluid container that holds fluid that has passed through the adsorbent of the second inner container.
請求項6に記載の組立型減圧式濾過装置であって、
一端に第1開口と、他端に第2開口と、を有する中空筒形形状であって、流体と接しない第nケースユニット(n=5以上の自然数、以下同じ)と、
一端に流体入口と、他端に前記流体入口よりも大きさの小さい流体出口と、を有し、前記流体入口と前記流体出口との間に流体を保持する保持部を有する第nインナー容器と、を、さらに備え、
前記第nケースユニットの前記第1開口は、前記第(n-1)ケースユニットの第2開口と第(n-1)シール部材を挟持し、かつ前記第(n-1)ケースユニットの第2開口が前記第(n-1)インナー容器の前記流体入口となるように前記第(n-1)シール部材と前記第(n-1)インナー容器の前記流体入口の縁部を挟持して、前記第(n-1)ケースユニットの前記第2開口と接合可能であって、
前記第nインナー容器は、前記第nケースユニットの前記第2開口が前記第nインナー容器の前記流体入口となるように、前記第nインナー容器の前記流体入口の縁部と前記第nケースユニットの前記第2開口とで第nシール部材を挟持するように接合可能であって、
前記第nインナー容器は、前記第nインナー容器の前記流体入口と前記流体出口との間に、フィルタ、吸着剤または整流構造のうちのいずれかを有する組立型減圧式濾過装置
7. The assembled reduced pressure filtration device according to claim 6,
An nth case unit (n=a natural number equal to or greater than 5, hereinafter the same) having a hollow cylindrical shape with a first opening at one end and a second opening at the other end and not in contact with the fluid;
an n-th inner container having a fluid inlet at one end and a fluid outlet at the other end, the fluid outlet being smaller than the fluid inlet, and a holding portion for holding a fluid between the fluid inlet and the fluid outlet;
the first opening of the nth case unit is joinable to the second opening of the (n-1)th case unit by sandwiching the second opening of the (n-1)th case unit and the (n-1)th seal member, and by sandwiching an edge of the fluid inlet of the (n-1)th inner container between the (n-1) seal member and the (n-1)th case unit such that the second opening of the (n-1)th case unit becomes the fluid inlet of the (n-1)th inner container,
the nth inner container can be joined so that an nth seal member is sandwiched between an edge of the fluid inlet of the nth inner container and the second opening of the nth case unit, such that the second opening of the nth case unit becomes the fluid inlet of the nth inner container,
The nth inner container is an assembled reduced pressure filtration device having any one of a filter, an adsorbent, or a flow straightening structure between the fluid inlet and the fluid outlet of the nth inner container .
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