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JP7569352B2 - Anti-reflection film, its manufacturing method, and image display device - Google Patents
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JP7569352B2 - Anti-reflection film, its manufacturing method, and image display device - Google Patents

Anti-reflection film, its manufacturing method, and image display device Download PDF

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Description

本発明は、ハードコートフィルムのハードコート層上に反射防止層を備える反射防止フィルムおよびその製造方法に関する。さらに、本発明は当該反射防止フィルムを備える画像表示装置に関する。 The present invention relates to an anti-reflection film having an anti-reflection layer on a hard coat layer of a hard coat film, and a manufacturing method thereof. Furthermore, the present invention relates to an image display device having the anti-reflection film.

液晶ディスプレイや有機ELディスプレイ等の画像表示装置の視認側表面には、外光の反射による画質低下の防止、コントラスト向上等を目的として、反射防止フィルムが使用されている。反射防止フィルムは、透明フィルム上に、屈折率の異なる複数の薄膜の積層体からなる反射防止層を備える。 Anti-reflection films are used on the viewing side surfaces of image display devices such as liquid crystal displays and organic EL displays to prevent degradation of image quality due to reflection of external light and to improve contrast. Anti-reflection films have an anti-reflection layer made of a laminate of multiple thin films with different refractive indices on a transparent film.

例えば、特許文献1では、ハードコートフィルム上にSiOプライマー層を備え、その上に、高屈折率層としての酸化ニオブ(Nb)層と低屈折率層としての酸化シリコン(SiO)層との交互積層体からなる反射防止層を備える反射防止フィルムが開示されている。 For example, Patent Document 1 discloses an antireflection film having a SiO primer layer on a hard coat film, and an antireflection layer thereon consisting of an alternating laminate of a niobium oxide (Nb 2 O 5 ) layer as a high refractive index layer and a silicon oxide (SiO 2 ) layer as a low refractive index layer.

特開2009-47876号公報JP 2009-47876 A

近年では、樹脂フィルム等の折り曲げ可能な基板(フレキシブル基板)を用いた有機ELパネルを備える折り曲げ可能な画像表示装置(フォルダブルディスプレイ)が実用化されている。フォルダブルディスプレイのカバーウインドウとしては、可撓性のフィルム基板上に反射防止層を設けた反射防止フィルムが用いられる。 In recent years, foldable image display devices (foldable displays) equipped with organic EL panels using foldable substrates (flexible substrates) such as resin films have been put to practical use. An anti-reflection film with an anti-reflection layer provided on a flexible film substrate is used as the cover window for foldable displays.

フォルダブルディスプレイは、一般に折り畳んだ状態で保管される。折り畳み状態では、折り畳み箇所(屈曲箇所)の内側には圧縮応力、外側には引張応力が付与されている。表示面を内側としてディスプレイを折り畳むと、反射防止フィルムは、反射防止層形成面を内側として折り畳んだ状態となる。この状態で高温に加熱すると、反射防止層に微細なクラックが発生する場合があり、ディスプレイの視認性低下の原因となっている。 Foldable displays are generally stored in a folded state. In the folded state, compressive stress is applied to the inside of the fold (bent point) and tensile stress is applied to the outside. When the display is folded with the display surface on the inside, the anti-reflection film is folded with the surface on which the anti-reflection layer is formed on the inside. If the display is heated to a high temperature in this state, fine cracks may occur in the anti-reflection layer, causing a decrease in visibility of the display.

上記に鑑み、本発明は、折り畳み状態(屈曲状態)で高温に加熱した場合でも、反射防止層にクラックが生じ難く、耐屈曲性に優れる反射防止フィルムの提供を目的とする。 In view of the above, the present invention aims to provide an anti-reflection film that is unlikely to develop cracks in the anti-reflection layer and has excellent bending resistance, even when heated to high temperatures in a folded (bent) state.

反射防止フィルムは、透明フィルム基材の一主面上にハードコート層を備えるハードコートフィルムと、ハードコート層上に設けられた反射防止層とを備える。ハードコート層は、バインダー樹脂に加えて、平均一次粒子径が10~100nmの微粒子を含んでいてもよい。ハードコート層と反射防止層との間には、無機酸化物からなるプライマー層が設けられていてもよい。反射防止層上には、防汚層が設けられていてもよい。 The anti-reflection film comprises a hard coat film having a hard coat layer on one main surface of a transparent film substrate, and an anti-reflection layer provided on the hard coat layer. The hard coat layer may contain fine particles having an average primary particle size of 10 to 100 nm in addition to a binder resin. A primer layer made of an inorganic oxide may be provided between the hard coat layer and the anti-reflection layer. An anti-fouling layer may be provided on the anti-reflection layer.

反射防止層は、少なくとも1層の高屈折率層および少なくとも1層の低屈折率層を含む。反射防止層は、高屈折率層を2層以上含んでいてもよく、低屈折率層を2層以上含んでいてもよい。反射防止層は、好ましくは、複数の高屈折率層と複数の低屈折率層の交互積層体である。 The anti-reflection layer includes at least one high refractive index layer and at least one low refractive index layer. The anti-reflection layer may include two or more high refractive index layers, or may include two or more low refractive index layers. The anti-reflection layer is preferably an alternating laminate of multiple high refractive index layers and multiple low refractive index layers.

反射防止層の高屈折率層は、酸化ニオブを主成分とする薄膜であり、ハードコート層から最も離れて配置されている高屈折率層は、膜厚が40nm以下であり、かつ膜密度が4.47g/cm未満である。反射防止層が複数の高屈折率層(酸化ニオブ薄膜)を含む場合は、それぞれの高屈折率層の膜厚が40nm以下、かつ膜密度が4.47g/cm未満であることが好ましい。 The high refractive index layers of the antireflection layer are thin films mainly composed of niobium oxide, and the high refractive index layer disposed farthest from the hard coat layer has a thickness of 40 nm or less and a film density of less than 4.47 g/cm 3. When the antireflection layer includes a plurality of high refractive index layers (niobium oxide thin films), it is preferable that each high refractive index layer has a thickness of 40 nm or less and a film density of less than 4.47 g/cm 3 .

反射防止層の算術平均表面高さは、2.5nm以上が好ましい。反射防止層上に防汚層が設けられている場合は、防汚層の算術平均表面高さが2.5nm以上であることが好ましい。 The arithmetic mean surface height of the anti-reflection layer is preferably 2.5 nm or more. If an anti-smudge layer is provided on the anti-reflection layer, the arithmetic mean surface height of the anti-smudge layer is preferably 2.5 nm or more.

本発明の反射防止フィルムは、反射防止層形成面を内側として屈曲した状態で加熱しても反射防止層にクラックが発生し難く、フォルダブルディスプレイにも好適に使用できる。 The anti-reflection film of the present invention is less likely to develop cracks in the anti-reflection layer even when heated in a bent state with the anti-reflection layer-forming surface facing inward, and is also suitable for use in foldable displays.

反射防止フィルムの積層形態を示す断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view showing a lamination form of an anti-reflection film. 耐屈曲性試験に用いた試料の構成を示す断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view showing the configuration of a sample used in a bending resistance test.

図1は、本発明の一実施形態の反射防止フィルムの積層構成例を示す断面図である。反射防止フィルム101は、ハードコートフィルム1のハードコート層11上に、反射防止層5を備える。ハードコートフィルム1は、透明フィルム基材10の一主面上にハードコート層11を備える。反射防止層5は、屈折率の異なる2層以上の薄膜の積層体であり、少なくとも1層の高屈折率層および少なくとも1層の低屈折率層を含む。ハードコート層11と反射防止層5との間には、プライマー層3が設けられていてもよい。反射防止層5上には、防汚層7が設けられていてもよい。 Figure 1 is a cross-sectional view showing an example of a laminated structure of an anti-reflection film according to one embodiment of the present invention. The anti-reflection film 101 has an anti-reflection layer 5 on the hard coat layer 11 of the hard coat film 1. The hard coat film 1 has a hard coat layer 11 on one main surface of a transparent film substrate 10. The anti-reflection layer 5 is a laminate of two or more thin layers with different refractive indices, and includes at least one high refractive index layer and at least one low refractive index layer. A primer layer 3 may be provided between the hard coat layer 11 and the anti-reflection layer 5. An antifouling layer 7 may be provided on the anti-reflection layer 5.

[ハードコートフィルム]
ハードコートフィルム1は、透明フィルム基材10の一主面上に、ハードコート層11を備える。反射防止層5形成面側にハードコート層11が設けられることにより、反射防止フィルムの表面硬度や耐擦傷性等の機械特性を向上できる。
[Hard coat film]
The hard coat film 1 includes a hard coat layer 11 on one main surface of a transparent film substrate 10. By providing the hard coat layer 11 on the surface on which the antireflection layer 5 is formed, the mechanical properties such as surface hardness and scratch resistance of the antireflection film can be improved.

<透明フィルム基材>
透明フィルム基材10の可視光透過率は、好ましくは80%以上、より好ましくは90%以上である。透明フィルム基材10を構成する樹脂材料としては、例えば、透明性、機械強度、および熱安定性に優れる樹脂材料が好ましい。樹脂材料の具体例としては、トリアセチルセルロース等のセルロース系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリエーテルスルホン系樹脂、ポリスルホン系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリイミド系樹脂、ポリオレフィン系樹脂、(メタ)アクリル系樹脂、環状ポリオレフィン系樹脂(ノルボルネン系樹脂)、ポリアリレート系樹脂、ポリスチレン系樹脂、ポリビニルアルコール系樹脂、およびこれらの混合物が挙げられる。
<Transparent film substrate>
The visible light transmittance of the transparent film substrate 10 is preferably 80% or more, more preferably 90% or more. As the resin material constituting the transparent film substrate 10, for example, a resin material excellent in transparency, mechanical strength, and thermal stability is preferable. Specific examples of the resin material include cellulose-based resins such as triacetyl cellulose, polyester-based resins, polyethersulfone-based resins, polysulfone-based resins, polycarbonate-based resins, polyamide-based resins, polyimide-based resins, polyolefin-based resins, (meth)acrylic-based resins, cyclic polyolefin-based resins (norbornene-based resins), polyarylate-based resins, polystyrene-based resins, polyvinyl alcohol-based resins, and mixtures thereof.

透明フィルム基材の厚みは特に限定されないが、強度や取扱性等の作業性、薄層性等の観点から、5~300μm程度が好ましく、10~250μmがより好ましく、20~200μmがさらに好ましい。 The thickness of the transparent film substrate is not particularly limited, but from the viewpoints of workability such as strength and handling, thin layer property, etc., it is preferably about 5 to 300 μm, more preferably 10 to 250 μm, and even more preferably 20 to 200 μm.

<ハードコート層>
透明フィルム基材10の主面上にハードコート層11を設けることによりハードコートフィルム1が形成される。ハードコート層は硬化樹脂層であり、硬化性樹脂を含む組成物を透明フィルム基材上に塗布し、樹脂成分を硬化することにより形成される。ハードコート層は、硬化樹脂に加えて微粒子を含んでいてもよい。
<Hard Coat Layer>
A hard coat film 1 is formed by providing a hard coat layer 11 on the main surface of a transparent film substrate 10. The hard coat layer is a cured resin layer, and is formed by applying a composition containing a curable resin onto the transparent film substrate and curing the resin component. The hard coat layer may contain fine particles in addition to the cured resin.

(硬化性樹脂)
ハードコート層11の硬化性樹脂(バインダー樹脂)としては、熱硬化性樹脂、光硬化性樹脂、電子線硬化性樹脂等の硬化性樹脂が好ましく用いられる。硬化性樹脂の種類としてはポリエステル系、アクリル系、ウレタン系、アクリルウレタン系、アミド系、シリコーン系、シリケート系、エポキシ系、メラミン系、オキセタン系、アクリルウレタン系等が挙げられる。これらの中でも、硬度が高く、光硬化が可能であることから、アクリル系樹脂、アクリルウレタン系樹脂、およびエポキシ系樹脂が好ましく、中でもアクリルウレタン系樹脂が好ましい。
(Hardening Resin)
As the curable resin (binder resin) of the hard coat layer 11, a curable resin such as a thermosetting resin, a photocurable resin, or an electron beam curable resin is preferably used. The types of curable resin include polyester-based, acrylic-based, urethane-based, acryl urethane-based, amide-based, silicone-based, silicate-based, epoxy-based, melamine-based, oxetane-based, and acryl urethane-based resins. Among these, acrylic-based resins, acryl urethane-based resins, and epoxy-based resins are preferred because of their high hardness and the ability to be photocured, and among these, acryl urethane-based resins are preferred.

光硬化性樹脂組成物は、2個以上の光重合性(好ましくは紫外線重合性)の官能基を有する多官能化合物を含む。多官能化合物はモノマーでもオリゴマーでもよい。光重合性の多官能化合物としては、1分子中に2個以上の(メタ)アクリロイル基を含む化合物が好ましく用いられる。 The photocurable resin composition contains a polyfunctional compound having two or more photopolymerizable (preferably ultraviolet-polymerizable) functional groups. The polyfunctional compound may be a monomer or an oligomer. As the photopolymerizable polyfunctional compound, a compound containing two or more (meth)acryloyl groups in one molecule is preferably used.

1分子中に2個以上の(メタ)アクリロイル基を有する多官能化合物の具体例としては、トリシクロデカンジメタノールジアクリレート、ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジメチロールプロパントテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、1,6-ヘキサンジオール(メタ)アクリレート、1,9-ノナンジオールジアクリレート、1,10-デカンジオール(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジプロピレングリコールジアクリレート、イソシアヌル酸トリ(メタ)アクリレート、エトキシ化グリセリントリアクリレート、エトキシ化ペンタエリスリトールテトラアクリレートおよびこれらのオリゴマーまたはプレポリマー等が挙げられる。なお、本明細書において、「(メタ)アクリル」とはアクリルおよび/またはメタクリルを意味する。 Specific examples of polyfunctional compounds having two or more (meth)acryloyl groups in one molecule include tricyclodecane dimethanol diacrylate, pentaerythritol di(meth)acrylate, pentaerythritol tri(meth)acrylate, trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol tetra(meth)acrylate, dimethylolpropane tetraacrylate, dipentaerythritol hexa(meth)acrylate, 1,6-hexanediol (meth)acrylate, 1,9-nonanediol diacrylate, 1,10-decanediol (meth)acrylate, polyethylene glycol di(meth)acrylate, polypropylene glycol di(meth)acrylate, dipropylene glycol diacrylate, isocyanuric acid tri(meth)acrylate, ethoxylated glycerin triacrylate, ethoxylated pentaerythritol tetraacrylate, and oligomers or prepolymers thereof. In this specification, "(meth)acrylic" means acrylic and/or methacrylic.

1分子中に2個以上の(メタ)アクリロイル基を有する多官能化合物は、水酸基を有していてもよい。水酸基を含む多官能化合物を用いることにより、透明フィルム基材とハードコート層との密着性が向上する傾向がある。1分子中に水酸基および2個以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物としては、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート等が挙げられる。 A polyfunctional compound having two or more (meth)acryloyl groups in one molecule may have a hydroxyl group. By using a polyfunctional compound containing a hydroxyl group, the adhesion between the transparent film substrate and the hard coat layer tends to be improved. Examples of compounds having a hydroxyl group and two or more (meth)acryloyl groups in one molecule include pentaerythritol tri(meth)acrylate and dipentaerythritol penta(meth)acrylate.

アクリルウレタン樹脂は、多官能化合物として、ウレタン(メタ)アクリレートのモノマーまたはオリゴマーを含む。ウレタン(メタ)アクリレートが有する(メタ)アクリロイル基の数は、3以上が好ましく、4~15がより好ましく、6~12がさらに好ましい。ウレタン(メタ)アクリレートオリゴマーの分子量は、例えば3000以下であり、500~2500が好ましく、800~2000がより好ましい。ウレタン(メタ)アクリレートは、例えば、(メタ)アクリル酸または(メタ)アクリル酸エステルとポリオールとから得られるヒドロキシ(メタ)アクリレートを、ジイソシアネートと反応させることにより得られる。 The acrylic urethane resin contains a urethane (meth)acrylate monomer or oligomer as a polyfunctional compound. The number of (meth)acryloyl groups in the urethane (meth)acrylate is preferably 3 or more, more preferably 4 to 15, and even more preferably 6 to 12. The molecular weight of the urethane (meth)acrylate oligomer is, for example, 3,000 or less, preferably 500 to 2,500, and more preferably 800 to 2,000. The urethane (meth)acrylate is obtained, for example, by reacting a hydroxy (meth)acrylate obtained from (meth)acrylic acid or a (meth)acrylic acid ester and a polyol with a diisocyanate.

ハードコート層形成用組成物中の多官能化合物の含有量は、樹脂成分(硬化によりバインダー樹脂を形成するモノマー、オリゴマーおよびプレポリマー)の合計100重量部に対して、50重量部以上が好ましく、60重量部以上がより好ましく、70重量部以上がさらに好ましい。多官能モノマーの含有量が上記範囲であれば、ハードコート層の硬度が高められる傾向がある。 The content of the polyfunctional compound in the composition for forming the hard coat layer is preferably 50 parts by weight or more, more preferably 60 parts by weight or more, and even more preferably 70 parts by weight or more, per 100 parts by weight of the total of the resin components (monomers, oligomers, and prepolymers that form the binder resin upon curing). If the content of the polyfunctional monomer is within the above range, the hardness of the hard coat layer tends to be increased.

(微粒子)
ハードコート層11が微粒子を含むことにより、表面に微細な凹凸が形成され、反射防止層の密着性や耐屈曲性が向上する傾向がある。
(Microparticles)
When the hard coat layer 11 contains fine particles, fine irregularities are formed on the surface, which tends to improve the adhesion and flex resistance of the antireflection layer.

微粒子としては、シリカ、アルミナ、チタニア、ジルコニア、酸化カルシウム、酸化スズ、酸化インジウム、酸化カドミウム、酸化アンチモン等の無機酸化物微粒子、ガラス微粒子、ポリメチルメタクリレート、ポリスチレン、ポリウレタン、アクリル-スチレン共重合体、ベンゾグアナミン、メラミン、ポリカーボネート等の透明ポリマーからなる架橋又は未架橋の有機系微粒子を特に制限なく使用できる。 As the fine particles, inorganic oxide fine particles such as silica, alumina, titania, zirconia, calcium oxide, tin oxide, indium oxide, cadmium oxide, and antimony oxide, glass fine particles, and crosslinked or uncrosslinked organic fine particles made of transparent polymers such as polymethyl methacrylate, polystyrene, polyurethane, acrylic-styrene copolymer, benzoguanamine, melamine, and polycarbonate can be used without any particular restrictions.

微粒子の平均粒子径(平均一次粒子径)は、10nm~10μm程度が好ましい。平均一次粒子径は、コールターカウント法により測定される重量平均粒子径である。微粒子は、粒径に応じて、0.5μm~10μm程度のサブミクロンまたはμmオーダーの粒子径を有する微粒子(以下「マイクロ粒子」と記載する場合がある)、10nm~100nm程度の粒子径を有する微粒子(以下「ナノ粒子」と記載する場合がある)、およびマイクロ粒子とナノ粒子の中間の粒子径を有する微粒子に大別できる。 The average particle size (average primary particle size) of the microparticles is preferably about 10 nm to 10 μm. The average primary particle size is the weight average particle size measured by the Coulter count method. Depending on the particle size, the microparticles can be broadly classified into microparticles having a particle size of about 0.5 μm to 10 μm, or on the order of μm (hereinafter sometimes referred to as "microparticles"), microparticles having a particle size of about 10 nm to 100 nm (hereinafter sometimes referred to as "nanoparticles"), and microparticles having a particle size intermediate between microparticles and nanoparticles.

ハードコート層11がナノ粒子を含むことにより、表面に微細な凹凸が形成され、ハードコート層11とプライマー層3および反射防止層5との密着性が向上する傾向がある。ナノ粒子としては、無機微粒子が好ましく、中でも無機酸化物微粒子が好ましい。中でも、屈折率が低く、バインダー樹脂との屈折率差を小さくできることから、シリカ粒子が好ましい。 When the hard coat layer 11 contains nanoparticles, fine irregularities are formed on the surface, which tends to improve the adhesion between the hard coat layer 11 and the primer layer 3 and the anti-reflection layer 5. As the nanoparticles, inorganic fine particles are preferred, and inorganic oxide fine particles are particularly preferred. Among these, silica particles are preferred because they have a low refractive index and can reduce the difference in refractive index with the binder resin.

ハードコート層11の表面に、反射防止層との密着性に優れる凹凸形状を形成する観点から、ナノ粒子の平均一次粒子径は、20~80nmが好ましく、25~70nmがより好ましく、30~60nmがさらに好ましい。 From the viewpoint of forming an uneven shape on the surface of the hard coat layer 11 that has excellent adhesion to the anti-reflection layer, the average primary particle diameter of the nanoparticles is preferably 20 to 80 nm, more preferably 25 to 70 nm, and even more preferably 30 to 60 nm.

ハードコート層11におけるナノ粒子の量は、バインダー樹脂100重量部に対して、1~150重量部程度であってもよい。ハードコート層11の表面に、反射防止層との密着性に優れた表面形状を形成する観点から、ハードコート層11におけるナノ粒子の含有量は、バインダー樹脂100重量部に対して、20~100重量部が好ましく、25~90重量部がより好ましく、30~80重量部がさらに好ましい。 The amount of nanoparticles in the hard coat layer 11 may be about 1 to 150 parts by weight per 100 parts by weight of the binder resin. From the viewpoint of forming a surface shape on the surface of the hard coat layer 11 that has excellent adhesion to the anti-reflection layer, the content of nanoparticles in the hard coat layer 11 is preferably 20 to 100 parts by weight, more preferably 25 to 90 parts by weight, and even more preferably 30 to 80 parts by weight per 100 parts by weight of the binder resin.

(ハードコート層の形成)
ハードコート層形成用組成物は、上記のバインダー樹脂成分を含み、必要に応じてバインダー樹脂成分を溶解可能な溶媒を含む。上記の通り、ハードコート層形成用組成物は微粒子を含んでいてもよい。バインダー樹脂成分が光硬化型樹脂である場合には、組成物中に光重合開始剤が含まれることが好ましい。ハードコート層形成用組成物は、上記の他に、レベリング剤、チクソトロピー剤、帯電防止剤、ブロッキング防止剤、分散剤、分散安定剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、消泡剤、増粘剤、界面活性剤、滑剤等の添加剤を含んでいてもよい。
(Formation of hard coat layer)
The hard coat layer forming composition contains the above-mentioned binder resin component, and if necessary, contains a solvent capable of dissolving the binder resin component. As described above, the hard coat layer forming composition may contain fine particles. When the binder resin component is a photocurable resin, it is preferable that a photopolymerization initiator is contained in the composition. In addition to the above, the hard coat layer forming composition may contain additives such as a leveling agent, a thixotropic agent, an antistatic agent, an antiblocking agent, a dispersant, a dispersion stabilizer, an antioxidant, an ultraviolet absorber, an antifoaming agent, a thickener, a surfactant, and a lubricant.

透明フィルム基材上にハードコート層形成用組成物を塗布し、必要に応じて溶媒の除去および樹脂の硬化を行うことにより、ハードコート層が形成される。ハードコート層形成用組成物の塗布方法としては、バーコート法、ロールコート法、グラビアコート法、ロッドコート法、スロットオリフィスコート法、カーテンコート法、ファウンテンコート法、コンマコート法等の任意の適切な方法を採用し得る。塗布後の加熱温度は、ハードコート層形成用組成物の組成等に応じて、適切な温度に設定すればよく、例えば、50℃~150℃程度である。バインダー樹脂成分が光硬化性樹脂である場合は、紫外線等の活性エネルギー線を照射することにより光硬化が行われる。照射光の積算光量は、好ましくは100~500mJ/cm程度である。 A hard coat layer is formed by applying a composition for forming a hard coat layer on a transparent film substrate, and removing the solvent and curing the resin as necessary. Any suitable method such as a bar coating method, a roll coating method, a gravure coating method, a rod coating method, a slot orifice coating method, a curtain coating method, a fountain coating method, or a comma coating method can be adopted as a method for applying the composition for forming a hard coat layer. The heating temperature after application may be set to an appropriate temperature depending on the composition of the composition for forming a hard coat layer, and is, for example, about 50°C to 150°C. When the binder resin component is a photocurable resin, photocuring is performed by irradiating it with active energy rays such as ultraviolet rays. The integrated light amount of the irradiated light is preferably about 100 to 500 mJ/ cm2 .

ハードコート層11の厚みは特に限定されないが、高い硬度を実現するとともに、表面形状を適切に制御する観点から、1~10μm程度が好ましく、2~9μmがより好ましく、3~8μmがさらに好ましい。 The thickness of the hard coat layer 11 is not particularly limited, but from the viewpoint of achieving high hardness and appropriately controlling the surface shape, a thickness of about 1 to 10 μm is preferable, 2 to 9 μm is more preferable, and 3 to 8 μm is even more preferable.

(ハードコート層の表面処理)
ハードコート層11上に反射防止層5を形成する前に、ハードコート層11の表面処理が行われてもよい。表面処理としては、コロナ処理、プラズマ処理、フレーム処理、オゾン処理、グロー処理、アルカリ処理、酸処理、カップリング剤による処理等の表面改質処理が挙げられる。表面処理として真空プラズマ処理を行ってもよい。真空プラズマ処理により、ハードコート層の表面粗さを調整することもできる。例えば、ハードコート層11が、バインダー樹脂成分(樹脂硬化物)に加えて無機微粒子を含む場合は、真空プラズマ処理によってハードコート層表面の樹脂成分が選択的にエッチングされやすく、無機粒子はほとんどエッチングされずに残存するため、ハードコート層表面およびその近傍における無機酸化物粒子の存在比率が高くなり、ハードコート層表面の算術平均高さSaが大きくなる傾向がある。
(Surface treatment of hard coat layer)
Before forming the anti-reflection layer 5 on the hard coat layer 11, the hard coat layer 11 may be subjected to a surface treatment. Examples of the surface treatment include surface modification treatments such as corona treatment, plasma treatment, frame treatment, ozone treatment, glow treatment, alkali treatment, acid treatment, and treatment with a coupling agent. Vacuum plasma treatment may be performed as the surface treatment. The surface roughness of the hard coat layer can also be adjusted by the vacuum plasma treatment. For example, when the hard coat layer 11 contains inorganic fine particles in addition to the binder resin component (resin cured product), the resin component on the hard coat layer surface is easily selectively etched by the vacuum plasma treatment, and the inorganic particles are hardly etched and remain, so that the ratio of inorganic oxide particles present on the hard coat layer surface and its vicinity is increased, and the arithmetic average height Sa 1 of the hard coat layer surface tends to be large.

真空プラズマ処理における雰囲気ガスとしては、ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン、キセノン、ラドン等の不活性ガスが好ましく、中でもアルゴンが好ましい。真空プラズマ処理における実効パワー密度は、0.01W・min/m・cm以上が好ましく、0.03W・min/m・cm以上、0.05W・min/m・cm以上、0.07W・min/m・cm以上または0.1W・min/m・cm以上であってもよい。実効パワー密度とは、プラズマ出力のパワー密度(W/cm)を搬送速度(m/min)で割った値である。実効パワー密度が大きいほど、ハードコート層表面の算術平均高さSaが大きくなり、これに伴って、ハードコート層上に形成される反射防止層の密着性および耐屈曲性が向上する傾向がある。 The atmospheric gas in the vacuum plasma treatment is preferably an inert gas such as helium, neon, argon, krypton, xenon, radon, etc., and argon is particularly preferred. The effective power density in the vacuum plasma treatment is preferably 0.01 W·min/m·cm 2 or more, and may be 0.03 W·min/m·cm 2 or more, 0.05 W·min/m·cm 2 or more, 0.07 W·min/m·cm 2 or more, or 0.1 W·min/m·cm 2 or more. The effective power density is the value obtained by dividing the power density (W/cm 2 ) of the plasma output by the transport speed (m/min). The higher the effective power density, the larger the arithmetic mean height Sa 1 of the hard coat layer surface becomes, and the adhesion and bending resistance of the antireflection layer formed on the hard coat layer tend to improve accordingly.

一方、実効パワー密度が過度に高いと、バインダー樹脂のエッチングが過度に進行して、ハードコート層表面の凹凸の粗大化や、微粒子の脱落による密着性の低下を招く場合がある。そのため、実効パワー密度は、0.6W・min/m・cm以下が好ましく、0.43W・min/m・cm以下または0.22W・min/m・cm以下であってもよい。 On the other hand, if the effective power density is too high, the etching of the binder resin proceeds excessively, which may lead to the roughness of the hard coat layer surface becoming larger or the adhesion being reduced due to the falling off of fine particles. Therefore, the effective power density is preferably 0.6 W·min/m·cm2 or less , and may be 0.43 W·min/m· cm2 or less or 0.22 W·min/m· cm2 or less.

(ハードコート層の表面形状)
上記の様に、ハードコート層11が微粒子(ナノ粒子)を含むことにより、表面に微細な凹凸が形成される。また、微粒子を含むハードコート層に、プラズマ処理等の表面処理を実施することにより、凹凸が大きくなり、算術平均高さSaが大きくなる傾向がある。算術平均高さSaは、原子間力顕微鏡(AFM)を用いた1μm四方の観察像から、ISO 25178に準じて算出される。
(Surface shape of hard coat layer)
As described above, the hard coat layer 11 contains fine particles (nanoparticles), so that fine irregularities are formed on the surface. In addition, by carrying out a surface treatment such as a plasma treatment on the hard coat layer containing fine particles, the irregularities tend to become large, and the arithmetic mean height Sa 1 tends to become large. The arithmetic mean height Sa is calculated according to ISO 25178 from an observation image of 1 μm square using an atomic force microscope (AFM).

ハードコート層11の表面の算術平均高さSaは、2.5nm以上が好ましく、3.0nm以上がより好ましく、3.5nm以上、4.0nm以上、4.5nm以上、5.0nm以上、5.3nm以上または5.5nm以上であってもよい。ハードコート層11の算術平均高さSaが大きいほど、反射防止層の密着性が向上する傾向がある。また、反射防止層5の成膜下地となるハードコート層の算術平均高さSaが大きい場合、反射防止層5のスパッタ成膜時に柱状成長しやすく、耐屈曲性が向上する傾向がある。 The arithmetic mean height Sa1 of the surface of the hard coat layer 11 is preferably 2.5 nm or more, more preferably 3.0 nm or more, and may be 3.5 nm or more, 4.0 nm or more, 4.5 nm or more, 5.0 nm or more, 5.3 nm or more, or 5.5 nm or more. The larger the arithmetic mean height Sa1 of the hard coat layer 11, the more the adhesion of the antireflection layer tends to improve. In addition, when the arithmetic mean height Sa1 of the hard coat layer that is the film formation base of the antireflection layer 5 is large, the antireflection layer 5 is easily grown in a columnar shape during sputtering film formation, and the bending resistance tends to improve.

一方、ハードコート層の表面凹凸が粗大になると、十分な密着性を実現できない場合がある。そのため、ハードコート層表面の算術平均高さSaは、10nm以下が好ましく、8.0nm以下がより好ましく、7.5nm以下がさらに好ましく、7.0nm以下または6.5nm以下であってもよい。 On the other hand, if the surface irregularities of the hard coat layer become too large, sufficient adhesion may not be achieved. Therefore, the arithmetic mean height Sa1 of the hard coat layer surface is preferably 10 nm or less, more preferably 8.0 nm or less, and even more preferably 7.5 nm or less, and may be 7.0 nm or less or 6.5 nm or less.

[反射防止フィルム]
ハードコートフィルム1のハードコート層11上に、必要に応じてプライマー層3を介して、反射防止層5を形成することにより、反射防止フィルムが形成される。
[Anti-reflection film]
An antireflection layer 5 is formed on the hard coat layer 11 of the hard coat film 1, optionally with a primer layer 3 interposed therebetween, thereby forming an antireflection film.

<プライマー層>
ハードコートフィルム1のハードコート層11と反射防止層5との間には、プライマー層3が設けられることが好ましい。プライマー層3の材料としては、シリコン、ニッケル、クロム、スズ、金、銀、白金、亜鉛、チタン、インジウム、タングステン、アルミニウム、ジルコニウム、パラジウム等の金属;これらの金属の合金;これらの金属の酸化物、フッ化物、硫化物または窒化物;等が挙げられる。中でも、プライマー層の材料は無機酸化物が好ましく、酸化シリコンまたは酸化インジウムが特に好ましい。プライマー層3を構成する無機酸化物は、酸化インジウム錫(ITO)等の複合酸化物でもよい。
<Primer layer>
A primer layer 3 is preferably provided between the hard coat layer 11 and the anti-reflection layer 5 of the hard coat film 1. Examples of materials for the primer layer 3 include metals such as silicon, nickel, chromium, tin, gold, silver, platinum, zinc, titanium, indium, tungsten, aluminum, zirconium, and palladium; alloys of these metals; oxides, fluorides, sulfides, or nitrides of these metals; and the like. Among these, the material for the primer layer is preferably an inorganic oxide, and silicon oxide or indium oxide is particularly preferred. The inorganic oxide constituting the primer layer 3 may be a composite oxide such as indium tin oxide (ITO).

プライマー層3の膜厚は、例えば、1~20nm程度であり、好ましくは3~15nmである。プライマー層の膜厚が上記範囲であれば、ハードコート層11との密着性と高い光透過性とを両立できる。 The thickness of the primer layer 3 is, for example, about 1 to 20 nm, and preferably 3 to 15 nm. If the thickness of the primer layer is within the above range, it is possible to achieve both adhesion to the hard coat layer 11 and high light transmittance.

<反射防止層>
反射防止層5は、屈折率の異なる複数の薄膜の積層体であり、少なくとも1層の高屈折率層と少なくとも1層の低屈折率層を含む。一般に、反射防止層は、入射光と反射光の逆転した位相が互いに打ち消し合うように、薄膜の光学膜厚(屈折率と膜厚の積)が調整される。屈折率の異なる複数の薄膜の多層積層体により、可視光の広帯域の波長範囲において、反射率を小さくできる。
<Anti-reflection layer>
The antireflection layer 5 is a laminate of multiple thin films with different refractive indices, and includes at least one high refractive index layer and at least one low refractive index layer. In general, the optical thickness (product of refractive index and film thickness) of the thin films of the antireflection layer is adjusted so that the inverted phases of the incident light and the reflected light cancel each other out. The multi-layer laminate of multiple thin films with different refractive indices can reduce the reflectance in a wide wavelength range of visible light.

図1に示す反射防止フィルム101において、反射防止層5は、ハードコートフィルム1側から、高屈折率層51,低屈折率層52,高屈折率層53および低屈折率層54の4層を順に備える。この反射防止層5は、2層の高屈折率層と2層の低屈折率層の交互積層体である。空気界面での反射を低減するために、反射防止層5の最外層(ハードコートフィルム1から最も離れた層)として設けられる薄膜54は、低屈折率層であることが好ましい。 In the antireflection film 101 shown in Fig. 1, the antireflection layer 5 includes four layers, namely, a high refractive index layer 51, a low refractive index layer 52, a high refractive index layer 53, and a low refractive index layer 54, in this order from the hard coat film 1 side . The antireflection layer 5 is an alternating laminate of two high refractive index layers and two low refractive index layers. In order to reduce reflection at the air interface, the thin film 54 provided as the outermost layer (the layer farthest from the hard coat film 1) of the antireflection layer 5 is preferably a low refractive index layer.

高屈折率層51,53は、酸化ニオブを主成分とする薄膜である。酸化ニオブは屈折率が高いため、低屈折率層との積層によって、効率的に反射光を低減可能である。高屈折率層の屈折率は2.0以上であり、好ましくは、2.2以上である。高屈折率層は、酸化ニオブ以外の金属酸化物を含んでいてもよいが、酸化ニオブの含有量が90重量%以上であり、好ましくは99重量%以上である。 The high refractive index layers 51 and 53 are thin films mainly composed of niobium oxide. Niobium oxide has a high refractive index, so by laminating it with a low refractive index layer, it is possible to efficiently reduce reflected light. The refractive index of the high refractive index layer is 2.0 or more, preferably 2.2 or more. The high refractive index layer may contain a metal oxide other than niobium oxide, but the niobium oxide content is 90% by weight or more, preferably 99% by weight or more.

高屈折率層としての酸化ニオブ薄膜の膜厚は40nm以下が好ましい。反射防止層が複数の酸化ニオブ薄膜51,53を含む場合は、少なくとも、ハードコート層から最も離れて配置されている高屈折率層53としての酸化ニオブ薄膜の膜厚が40nm以下であり、全ての高屈折率層(酸化ニオブ薄膜)の膜厚が40nm以下であることが好ましい。酸化ニオブ薄膜の膜厚が小さいことにより、反射防止層は耐屈曲性に優れ、反射防止フィルムを屈曲した状態で加熱しても、反射防止層へのクラックが発生し難い。酸化ニオブ薄膜の膜厚は、35nm以下がより好ましく、32nm以下または30nm以下であってもよい。 The thickness of the niobium oxide thin film as the high refractive index layer is preferably 40 nm or less. When the anti-reflection layer includes multiple niobium oxide thin films 51, 53, it is preferable that at least the thickness of the niobium oxide thin film as the high refractive index layer 53 arranged farthest from the hard coat layer is 40 nm or less, and the thickness of all the high refractive index layers (niobium oxide thin films) is 40 nm or less. Since the thickness of the niobium oxide thin film is small, the anti-reflection layer has excellent bending resistance, and cracks are unlikely to occur in the anti-reflection layer even if the anti-reflection film is heated in a bent state. The thickness of the niobium oxide thin film is more preferably 35 nm or less, and may be 32 nm or less or 30 nm or less.

酸化ニオブ薄膜の密度は、4.47g/cm以下が好ましく、4.40g/cm以下がより好ましく、4.35g/cm以下または4.33g/cm以下であってもよい。反射防止層が複数の酸化ニオブ薄膜51,53を含む場合は、少なくとも、ハードコート層11から最も離れて配置されている高屈折率層53としての酸化ニオブ薄膜は、膜密度が上記範囲であることが好ましく、複数の酸化ニオブ薄膜51,53の全ての膜密度が上記範囲であることが特に好ましい。酸化ニオブ薄膜の膜密度は、一般に、4.0g/cm以上であり、4.1g/cm以上または4.2g/cm以上であってもよい。膜密度は、ラザフォード後方散乱(RBS)法による測定値であり、断面観察から求めた膜厚を用いて、密度を算出する。 The density of the niobium oxide thin film is preferably 4.47 g/cm 3 or less, more preferably 4.40 g/cm 3 or less, and may be 4.35 g/cm 3 or less or 4.33 g/cm 3 or less. When the antireflection layer includes a plurality of niobium oxide thin films 51, 53, at least the niobium oxide thin film as the high refractive index layer 53 arranged farthest from the hard coat layer 11 preferably has a film density in the above range, and it is particularly preferable that all the film densities of the plurality of niobium oxide thin films 51, 53 are in the above range. The film density of the niobium oxide thin film is generally 4.0 g/cm 3 or more, and may be 4.1 g/cm 3 or more or 4.2 g/cm 3 or more. The film density is a value measured by the Rutherford backscattering (RBS) method, and the density is calculated using the film thickness obtained from cross-sectional observation.

酸化ニオブ薄膜の膜厚が大きいほど膜密度が大きくなる傾向がある。上記のように、酸化ニオブ薄膜の膜厚が40nm以下であることにより、酸化ニオブ薄膜の膜密度が過度に大きくならず、屈曲時のクラックの発生が抑制される傾向がある。また、酸化ニオブ薄膜の下地の表面凹凸が大きい(Saが大きい)ほど、酸化ニオブ薄膜の膜密度が小さく、クラックの発生が抑制される傾向がある。 The thicker the niobium oxide thin film, the greater the film density tends to be. As described above, by making the thickness of the niobium oxide thin film 40 nm or less, the film density of the niobium oxide thin film does not become excessively large, and the occurrence of cracks during bending tends to be suppressed. In addition, the greater the surface unevenness of the base of the niobium oxide thin film (the larger Sa), the smaller the film density of the niobium oxide thin film, and the more likely it is that cracks will be suppressed.

低屈折率層52,54は、屈折率が1.6以下、好ましくは1.5以下である。低屈折率材料としては、酸化シリコン、窒化チタン、フッ化マグネシウム、フッ化バリウム、フッ化カルシウム、フッ化ハフニウム、フッ化ランタン等が挙げられる。中でも、屈折率が低く、硬度が高く、酸化ニオブ高屈折率層との積層によって、効率的に反射率を低減可能であることから、酸化シリコンが好ましい。低屈折率層52,54は、好ましくは、酸化シリコンの含有量が90重量%以上であり、より好ましくは99重量%以上である。酸化シリコン薄膜の膜密度は、2.20g/cm以下が好ましく、2.15g/cm以下または2.10g/cm以下であってもよい。 The low refractive index layers 52 and 54 have a refractive index of 1.6 or less, preferably 1.5 or less. Examples of low refractive index materials include silicon oxide, titanium nitride, magnesium fluoride, barium fluoride, calcium fluoride, hafnium fluoride, and lanthanum fluoride. Among them, silicon oxide is preferred because it has a low refractive index, high hardness, and can efficiently reduce the reflectance by laminating with a niobium oxide high refractive index layer. The low refractive index layers 52 and 54 preferably have a silicon oxide content of 90% by weight or more, more preferably 99% by weight or more. The film density of the silicon oxide thin film is preferably 2.20 g/cm 3 or less, and may be 2.15 g/cm 3 or less, or 2.10 g/cm 3 or less.

反射防止層の最外層である低屈折率層54が酸化シリコン層である場合、その膜厚は、85nmよりも大きいことが好ましい。反射防止層5の最外層としての低屈折率層54が、85nmよりも大きい膜厚を有する酸化シリコン層であることにより、反射防止層5の表面硬度が高められ、反射防止層の耐擦傷性が高められるとともに、その上に形成される防汚層7の耐摩耗性が向上する傾向がある。 When the low refractive index layer 54, which is the outermost layer of the antireflection layer, is a silicon oxide layer, its thickness is preferably greater than 85 nm. By making the low refractive index layer 54, which is the outermost layer of the antireflection layer 5, a silicon oxide layer having a thickness greater than 85 nm, the surface hardness of the antireflection layer 5 is increased, the scratch resistance of the antireflection layer is increased, and the abrasion resistance of the antifouling layer 7 formed thereon tends to be improved.

低屈折率層54の膜厚は、87nm以上が好ましく、90nm以上がより好ましく、92nm以上、94nm以上または95nm以上であってもよい。低屈折率層54の膜厚が過度に大きいと、クラック発生の原因となったり、反射防止性特性に優れる低反射率の光学設計が困難となる場合がある。そのため、低屈折率層54の膜厚は、200nm以下が好ましく、150nm以下がより好ましく、130nm以下、120nm以下、115nm以下、110nm以下または105nm以下であってもよい。 The thickness of the low refractive index layer 54 is preferably 87 nm or more, more preferably 90 nm or more, and may be 92 nm or more, 94 nm or more, or 95 nm or more. If the thickness of the low refractive index layer 54 is excessively large, it may cause cracks to occur or make it difficult to achieve an optical design with low reflectance and excellent anti-reflection properties. Therefore, the thickness of the low refractive index layer 54 is preferably 200 nm or less, more preferably 150 nm or less, and may be 130 nm or less, 120 nm or less, 115 nm or less, 110 nm or less, or 105 nm or less.

一実施形態において、反射防止層5は、ハードコートフィルム1側から、第1層:高屈折率層51としての酸化ニオブ薄膜、第2層:低屈折率層52としての酸化シリコン薄膜、第3層:高屈折率層53としての酸化ニオブ薄膜、および第4層:低屈折率層54としての酸化シリコン薄膜の計4層の交互積層体である。他の実施形態において、反射防止層は、高屈折率層としての酸化ニオブ薄膜と低屈折率層としての酸化シリコン薄膜を3層ずつ含む計6層の交互積層体である。 In one embodiment, the anti-reflection layer 5 is an alternating laminate of four layers, from the hard coat film 1 side, including a first layer: a niobium oxide thin film as a high refractive index layer 51, a second layer: a silicon oxide thin film as a low refractive index layer 52, a third layer: a niobium oxide thin film as a high refractive index layer 53, and a fourth layer: a silicon oxide thin film as a low refractive index layer 54. In another embodiment, the anti-reflection layer is an alternating laminate of six layers, including three layers each of niobium oxide thin films as high refractive index layers and silicon oxide thin films as low refractive index layers.

反射防止層5が、2層の高屈折率層51,53および2層の低屈折率層52,54からなる合計4層の交互積層体である場合、ハードコートフィルム1側から、膜厚10~20nmの酸化ニオブ薄膜51,膜厚35~45nmの酸化シリコン薄膜52,膜厚25~35nmの酸化ニオブ薄膜53、および膜厚90~105nmの酸化シリコン薄膜54を順に備える構成が挙げられる。 When the anti-reflection layer 5 is an alternating laminate of a total of four layers consisting of two high refractive index layers 51, 53 and two low refractive index layers 52, 54, the anti-reflection layer 5 may have a configuration in which, from the hard coat film 1 side, a niobium oxide thin film 51 having a thickness of 10 to 20 nm, a silicon oxide thin film 52 having a thickness of 35 to 45 nm, a niobium oxide thin film 53 having a thickness of 25 to 35 nm, and a silicon oxide thin film 54 having a thickness of 90 to 105 nm are arranged in this order.

(プライマー層および反射防止層の成膜)
プライマー層3および反射防止層5を構成する薄膜の成膜方法は特に限定されず、ウェットコーティング法、ドライコーティング法のいずれでもよい。膜厚が均一な薄膜を形成できることから、真空蒸着、CVD,スパッタ、電子線蒸等のドライコーティング法が好ましい。中でも、膜厚の均一性に優れ、かつ緻密な膜を形成しやすいことから、スパッタ法が好ましい。
(Deposition of primer layer and anti-reflection layer)
The method for forming the thin films constituting the primer layer 3 and the anti-reflection layer 5 is not particularly limited, and may be either a wet coating method or a dry coating method. Dry coating methods such as vacuum deposition, CVD, sputtering, and electron beam vapor deposition are preferred because they can form thin films with a uniform thickness. Among these, sputtering is preferred because it has excellent uniformity in thickness and is easy to form dense films.

スパッタ法では、ロールトゥーロール方式により、長尺のハードコートフィルムを一方向(長手方向)に搬送しながら、薄膜を連続成膜できるため、反射防止フィルムの生産性を向上できる。反射防止フィルムの生産性を向上するためには、反射防止層5を構成する全ての薄膜をスパッタ法により成膜することが好ましい。 In the sputtering method, a long hard coat film can be transported in one direction (longitudinal direction) using a roll-to-roll method while thin films are continuously formed, improving the productivity of anti-reflective films. In order to improve the productivity of anti-reflective films, it is preferable to form all of the thin films that make up the anti-reflective layer 5 by the sputtering method.

スパッタ法では、アルゴン等の不活性ガス、および必要に応じて酸素等の反応性ガスをチャンバー内に導入しながら成膜が行われる。スパッタ法による酸化物層の成膜は、酸化物ターゲットを用いる方法、および金属ターゲットを用いた反応性スパッタのいずれでも実施できる。高レートで金属酸化物を成膜するためには、金属ターゲットを用いた反応性スパッタが好ましい。 In the sputtering method, deposition is performed while introducing an inert gas such as argon, and if necessary, a reactive gas such as oxygen, into the chamber. Deposition of an oxide layer by sputtering can be performed using either an oxide target or reactive sputtering using a metal target. To deposit a metal oxide film at a high rate, reactive sputtering using a metal target is preferred.

スパッタ成膜条件を調整することにより、反射防止層の膜密度を調整できる。例えば、スパッタ成膜時の放電電圧が小さい場合は、スパッタ粒子の運動エネルギーが小さく、基板表面での拡散が抑制されるため、柱状成長が促進され、膜密度が小さくなりやすい。 The film density of the anti-reflective layer can be adjusted by adjusting the sputtering deposition conditions. For example, when the discharge voltage during sputtering deposition is low, the kinetic energy of the sputtered particles is low and diffusion on the substrate surface is suppressed, which promotes columnar growth and tends to reduce the film density.

また、成膜時の圧力が高いと、スパッタ粒子の平均自由行程が小さくなり、スパッタ粒子の指向性が低下して拡散されやすくなるため、膜密度が小さくなる傾向がある。膜密度の小さい酸化ニオブ薄膜を形成するためには、スパッタ成膜時の圧力は、0.5Pa以上が好ましく、0.55Pa以上または0.6Pa以上であってもよい。一方、成膜圧力が過度に高い場合は、成膜レートが低く生産性に劣るため、成膜圧力は1.5Pa以下が好ましく、1Pa以下または0.9Pa以下であってもよい。 In addition, if the pressure during film formation is high, the mean free path of the sputtered particles becomes smaller, and the directionality of the sputtered particles decreases, making them more likely to diffuse, which tends to result in a lower film density. In order to form a niobium oxide thin film with a low film density, the pressure during sputtering film formation is preferably 0.5 Pa or more, and may be 0.55 Pa or more or 0.6 Pa or more. On the other hand, if the film formation pressure is excessively high, the film formation rate is low and productivity is poor, so the film formation pressure is preferably 1.5 Pa or less, and may be 1 Pa or less or 0.9 Pa or less.

スパッタ法等のドライプロセスにより薄膜を形成する場合、膜厚が小さいもの(成膜初期)は下地の影響を強く受け、膜厚が大きくなるにつれてバルク的な特性を有する傾向がある。特に、ハードコート層11が表面凹凸を有し、Saが大きい場合、成膜初期は下地の凹凸の影響を受けて膜密度が小さくなりやすいが、膜厚が大きくなるにつれて、バルクの特性に近付き、膜密度が大きくなる傾向がある。 When a thin film is formed by a dry process such as a sputtering method, a thin film (initially formed) is strongly influenced by the base, and as the film thickness increases, it tends to have bulk-like characteristics. In particular, when the hard coat layer 11 has surface irregularities and Sa1 is large, the film density tends to be small in the initial stage of film formation due to the influence of the base irregularities, but as the film thickness increases, it approaches the bulk characteristics and the film density tends to increase.

高屈折率層として膜厚の大きい酸化ニオブ薄膜を含む反射防止フィルムを、反射防止層形成面側を内側として屈曲させた状態で加熱すると、反射防止層にクラックが生じる場合がある。酸化シリコン等の低屈折率層の膜厚が大きい場合でも、酸化ニオブ薄膜の膜厚が小さい場合はクラックの発生が抑制されることから、クラックの発生は膜厚の大きい酸化ニオブ薄膜に起因すると考えられる。 When an anti-reflection film containing a thick niobium oxide thin film as a high refractive index layer is heated while bent with the anti-reflection layer side facing inward, cracks may occur in the anti-reflection layer. Even when the thickness of a low refractive index layer such as silicon oxide is thick, the occurrence of cracks is suppressed if the thickness of the niobium oxide thin film is small, so it is thought that the occurrence of cracks is caused by the thick niobium oxide thin film.

反射防止層形成面側を内側として反射防止フィルムを屈曲させると、反射防止層には圧縮方向の歪が生じる。この状態で加熱すると、フィルム基材は熱膨張するため、薄膜のハードコート層側の面には引張方向の歪(膜を伸ばそうとする力)が生じる。酸化ニオブ薄膜の膜厚が大きい場合は、薄膜の表裏の歪の差が大きくなる上に、膜密度が高いために膜内で歪が緩和され難いことが、反射防止層へのクラック発生の一因であると考えられる。 When an anti-reflective film is bent so that the surface on which the anti-reflective layer is formed is on the inside, a compressive strain is generated in the anti-reflective layer. When heated in this state, the film substrate thermally expands, generating a tensile strain (a force that tries to stretch the film) on the surface of the thin film facing the hard coat layer. When the niobium oxide thin film is thick, the difference in strain between the front and back of the thin film becomes large, and the high film density makes it difficult to alleviate the strain within the film, which is thought to be one of the causes of cracks in the anti-reflective layer.

特に、反射防止層5の表面側の酸化ニオブ薄膜53は、ハードコート層11に近い側に位置する酸化ニオブ薄膜51よりも、屈曲時の歪が大きいため、クラック発生の原因となりやすい。高屈折率層としての酸化ニオブ薄膜と低屈折率層としての酸化シリコン薄膜を交互積層した反射防止フィルムでは、反射率を低下させるための光学設計として、反射防止層の表面側の酸化ニオブ薄膜の膜厚が大きい構成が採用されている。 In particular, the niobium oxide thin film 53 on the surface side of the anti-reflection layer 5 is more susceptible to cracking due to its greater distortion when bent than the niobium oxide thin film 51 located closer to the hard coat layer 11. In an anti-reflection film in which a niobium oxide thin film as a high refractive index layer and a silicon oxide thin film as a low refractive index layer are alternately laminated, a configuration in which the niobium oxide thin film on the surface side of the anti-reflection layer is made thick is adopted as an optical design for reducing reflectance.

これに対して、本発明では、酸化ニオブ薄膜53の膜厚が40nm以下であるため、反射防止フィルムを屈曲させた状態で加熱しても、酸化ニオブ薄膜の歪が小さく、クラックの発生が抑制されると考えられる。また、ハードコート層が微粒子を含み、ハードコート層の表面に微細な凹凸が形成されているため、その上に薄膜を形成する際に、柱状成長が促進され、酸化ニオブ薄膜の膜密度が小さくなることも、耐屈曲性の向上(クラックの抑制)に寄与していると考えられる。 In contrast, in the present invention, the thickness of the niobium oxide thin film 53 is 40 nm or less, so even if the anti-reflection film is heated in a bent state, the distortion of the niobium oxide thin film is small, and it is believed that the occurrence of cracks is suppressed. In addition, since the hard coat layer contains fine particles and fine irregularities are formed on the surface of the hard coat layer, columnar growth is promoted when a thin film is formed thereon, and the film density of the niobium oxide thin film is reduced, which is also believed to contribute to improved bending resistance (suppression of cracks).

反射防止層5の表面の算術平均高さSaは、2.5nm以上が好ましく、2.8nm以上がより好ましく、3.0nm以上がさらに好ましく、3.5nm以上または4.0nm以上であってもよい。反射防止層5の算術平均高さSaは、8nm以下が好ましく、7.5nm以下がより好ましく、7nm以下がさらに好ましく、6nm以下または5.5nm以下であってもよい。 The arithmetic mean height Sa of the surface of the anti-reflection layer 5 is preferably 2.5 nm or more, more preferably 2.8 nm or more, even more preferably 3.0 nm or more, and may be 3.5 nm or more or 4.0 nm or more. The arithmetic mean height Sa of the anti-reflection layer 5 is preferably 8 nm or less, more preferably 7.5 nm or less, even more preferably 7 nm or less, and may be 6 nm or less or 5.5 nm or less.

<防汚層>
反射防止フィルムは、反射防止層5上に、最表面層(トップコート層)として防汚層7を備えることが好ましい。最表面に防汚層が設けられることにより、外部環境からの汚染(指紋、手垢、埃等)の影響を低減できるとともに、表面に付着した汚染物質の除去が容易となる。
<Anti-stain layer>
The antireflection film preferably has an antifouling layer 7 as an outermost layer (topcoat layer) on the antireflection layer 5. By providing the antifouling layer on the outermost surface, the influence of contamination (fingerprints, hand dirt, dust, etc.) from the external environment can be reduced and contaminants attached to the surface can be easily removed.

反射防止層5の反射防止特性を維持するために、防汚層7は、反射防止層5の最外層である低屈折率層54との屈折率差が小さいことが好ましい。防汚層7の屈折率は、1.6以下が好ましく、1.55以下がより好ましい。 In order to maintain the anti-reflection properties of the anti-reflection layer 5, it is preferable that the anti-smudge layer 7 has a small difference in refractive index from the low refractive index layer 54, which is the outermost layer of the anti-reflection layer 5. The refractive index of the anti-smudge layer 7 is preferably 1.6 or less, and more preferably 1.55 or less.

防汚層7の材料としては、フッ素含有化合物が好ましい。フッ素含有化合物は、防汚性を付与するとともに、低屈折率化にも寄与し得る。中でも、撥水性に優れ、高い防汚性を発揮できることから、パーフルオロポリエーテル骨格を含有するフッ素系ポリマーが好ましい。防汚性を高める観点から、剛直に並列可能な主鎖構造を有するパーフルオロポリエーテルが特に好ましい。パーフルオロポリエーテルの主鎖骨格の構造単位としては、炭素数1~4の分枝を有していてもよいパーフルオロアルキレンオキシドが好ましく、例えば、パーフルオロメチレンオキシド、(-CFO-)、パーフルオロエチレンオキシド(-CFCFO-)、パーフルオロプロピレンオキシド(-CFCFCFO-)、パーフルオロイソプロピレンオキシド(-CF(CF)CFO-)等が挙げられる。 As the material of the antifouling layer 7, a fluorine-containing compound is preferred. The fluorine-containing compound can impart antifouling properties and also contribute to lowering the refractive index. Among them, a fluorine-based polymer containing a perfluoropolyether skeleton is preferred because it has excellent water repellency and can exhibit high antifouling properties. From the viewpoint of enhancing antifouling properties, perfluoropolyethers having a main chain structure that can be rigidly arranged in parallel are particularly preferred. As the structural unit of the main chain skeleton of perfluoropolyether, a perfluoroalkylene oxide having 1 to 4 carbon atoms that may have a branch is preferred, and examples thereof include perfluoromethylene oxide (-CF 2 O-), perfluoroethylene oxide (-CF 2 CF 2 O-), perfluoropropylene oxide (-CF 2 CF 2 CF 2 O-), and perfluoroisopropylene oxide (-CF(CF 3 )CF 2 O-).

防汚層7は、リバースコート法、ダイコート法、グラビアコート法等のウエット法や、CVD法等のドライ法等により形成できる。防汚層の膜厚は、通常、2~50nm程度である。防汚層7の膜厚が大きいほど、防汚性が向上する傾向がある。また、防汚層7の膜厚が大きいほど摩耗による防汚特定の低下が抑制される傾向がある。防汚層の膜厚は、5nm以上が好ましく、7nm以上がより好ましく、8nm以上がさらに好ましい。一方、防汚層の表面に、ハードコート層表面の凹凸形状を反映した表面形状を形成し、滑り性を付与する観点から、防汚層の膜厚は30nm以下が好ましく、20nm以下がより好ましい。 The antifouling layer 7 can be formed by a wet method such as reverse coating, die coating, or gravure coating, or a dry method such as CVD. The thickness of the antifouling layer is usually about 2 to 50 nm. The larger the thickness of the antifouling layer 7, the more the antifouling properties tend to improve. In addition, the larger the thickness of the antifouling layer 7, the more the deterioration of the antifouling properties due to wear tends to be suppressed. The thickness of the antifouling layer is preferably 5 nm or more, more preferably 7 nm or more, and even more preferably 8 nm or more. On the other hand, from the viewpoint of forming a surface shape on the surface of the antifouling layer that reflects the uneven shape of the hard coat layer surface and imparting slipperiness, the thickness of the antifouling layer is preferably 30 nm or less, and more preferably 20 nm or less.

防汚層7の表面の算術平均高さSaは、2.5nm以上が好ましく、2.8nm以上がより好ましく、3.0nm以上がさらに好ましく、3.5nm以上、3.7nm以上、3.9nm以上または4.0nm以上であってもよい。防汚層7の算術平均高さSaは、8nm以下が好ましく、7.5nm以下がより好ましく、7nm以下がさらに好ましく、6.5nm以下、6nm以下または5.5nm以下であってもよい。 The arithmetic mean height Sa2 of the surface of the antifouling layer 7 is preferably 2.5 nm or more, more preferably 2.8 nm or more, even more preferably 3.0 nm or more, and may be 3.5 nm or more, 3.7 nm or more, 3.9 nm or more, or 4.0 nm or more. The arithmetic mean height Sa2 of the antifouling layer 7 is preferably 8 nm or less, more preferably 7.5 nm or less, even more preferably 7 nm or less, and may be 6.5 nm or less, 6 nm or less, or 5.5 nm or less.

防汚層7の表面形状は、ハードコート層11およびその上に設けられた反射防止層5の表面形状を反映するため、ハードコート層11の算術平均高さSaが大きいほど、防汚層7の算術平均高さSaが大きくなる傾向がある。また、反射防止層5の成膜時に膜が柱状成長すると、凹凸が大きくなるため、防汚層7の算術平均高さSaが大きくなる傾向がある。 Since the surface shape of the antifouling layer 7 reflects the surface shapes of the hard coat layer 11 and the antireflection layer 5 provided thereon, the larger the arithmetic mean height Sa1 of the hard coat layer 11, the larger the arithmetic mean height Sa2 of the antifouling layer 7 tends to be. In addition, if the antireflection layer 5 grows columnarly during deposition, the unevenness increases, and therefore the arithmetic mean height Sa2 of the antifouling layer 7 tends to be larger.

[反射防止フィルムの使用形態]
反射防止フィルムは、例えば液晶ディスプレイや有機ELディスプレイ等の画像表示装置の表面に配置して用いられる。例えば、液晶セルや有機ELセル等の画像表示媒体を含むパネルの視認側表面に反射防止フィルムを配置することにより、外光の反射を低減して、画像表示装置の視認性を向上できる。
[Usage of anti-reflection film]
Antireflection films are used by being disposed on the surface of image display devices such as liquid crystal displays, organic EL displays, etc. For example, by disposing an antireflection film on the viewing side surface of a panel including an image display medium such as a liquid crystal cell or an organic EL cell, reflection of external light can be reduced and visibility of the image display device can be improved.

本発明の反射防止フィルムは耐屈曲性に優れ、反射防止層形成面側を内側として屈曲させた状態で保持しても、屈曲箇所での反射防止層のクラックが発生し難いため、フォルダブルディスプレイにも好適に使用できる。 The anti-reflection film of the present invention has excellent bending resistance, and even if it is held in a bent state with the anti-reflection layer-forming surface on the inside, cracks in the anti-reflection layer are unlikely to occur at the bent portion, so it can also be suitably used for foldable displays.

以下に実施例を挙げて本発明をより詳細に説明するが、本発明は以下の具体例に限定されるものではない。 The present invention will be described in more detail below with reference to examples, but the present invention is not limited to the following specific examples.

[ハードコートフィルムの作製]
紫外線硬化性アクリル系樹脂組成物(DIC製、商品名「GRANDIC PC-1070」)に、樹脂成分100重量部に対するシリカ粒子の量が40重量部となるように、オルガノシリカゾル(日産化学社製「MEK-ST-L」、シリカ粒子の平均一次粒子径:50nm、シリカ粒子の粒子径分布:30nm~130nm、固形分30重量%)を添加して混合し、ハードコート層形成用組成物を調製した。
[Preparation of hard coat film]
An organosilica sol ("MEK-ST-L" manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd., average primary particle size of silica particles: 50 nm, particle size distribution of silica particles: 30 nm to 130 nm, solid content 30 wt%) was added to an ultraviolet-curable acrylic resin composition (manufactured by DIC, product name "GRANDIC PC-1070") so that the amount of silica particles was 40 parts by weight relative to 100 parts by weight of the resin component, and mixed to prepare a composition for forming a hard coat layer.

厚み80μmのトリアセチルセルロースフィルム(富士フイルム製「フジタック」)の片面に、上記の組成物を、乾燥後の厚みが4μmとなるように塗布し、80℃で3分間乾燥した。その後、高圧水銀ランプを用いて、積算光量200mJ/cmの紫外線を照射し、塗布層を硬化させハードコート層を形成した。 The above composition was applied to one side of a triacetyl cellulose film (FUJITAC, manufactured by FUJIFILM Corporation) having a thickness of 80 μm so that the thickness after drying would be 4 μm, and dried for 3 minutes at 80° C. Thereafter, the coating layer was cured by irradiating it with ultraviolet light at an integrated light quantity of 200 mJ/cm 2 using a high-pressure mercury lamp to form a hard coat layer.

[実施例1]
(ハードコート層の表面処理)
0.5Paの真空雰囲気下でハードコートフィルムを搬送しながら、実効パワー密度0.014W・min/m・cmにてハードコート層の表面にアルゴンプラズマ処理を行った。アルゴンプラズマ処理後のハードコート層の算術平均高さSaは4.9nmであった。
[Example 1]
(Surface treatment of hard coat layer)
While the hard coat film was transported under a vacuum atmosphere of 0.5 Pa, an argon plasma treatment was performed on the surface of the hard coat layer at an effective power density of 0.014 W·min/m·cm 2. The arithmetic mean height Sa 1 of the hard coat layer after the argon plasma treatment was 4.9 nm.

(プライマー層の形成)
プラズマ処理後のハードコートフィルムをロールトゥートール方式のスパッタ成膜装置に導入し、槽内を1×10-4Paまで減圧した後、フィルムを走行させながら、圧力が0.5Paとなるように、アルゴンガスと酸素ガスを98:2の体積比で導入し、電源:MFAC、投入電力:6kWの条件で、スパッタ法により膜厚2nmのITOプライマー層を形成した。ITOプライマー層の形成には、ターゲット材料として、酸化インジウムと酸化スズとを90:10の重量比で含有する焼結ターゲットを用いた。
(Formation of primer layer)
The hard coat film after the plasma treatment was introduced into a roll-to-toll sputtering deposition apparatus, and the pressure inside the chamber was reduced to 1×10 −4 Pa. Then, while the film was running, argon gas and oxygen gas were introduced in a volume ratio of 98:2 so that the pressure became 0.5 Pa, and an ITO primer layer with a thickness of 2 nm was formed by sputtering under the conditions of a power source: MFAC and input power: 6 kW. For the formation of the ITO primer layer, a sintered target containing indium oxide and tin oxide in a weight ratio of 90:10 was used as the target material.

(反射防止層の形成)
ITOプライマー層の形成に続いて、反応性スパッタにより、第1層:14nmのNb層(屈折率:2.32)、第2層:40nmのSiO層(屈折率:1.46)、第3層:29nmのNb層、および第4層:94nmのSiO層を順に成膜して、反射防止層を形成した。Nb層(第1層および第3層)の成膜には、Nbターゲットを用い、圧力が0.6Paとなるように、アルゴンガスと酸素ガスを90:10の体積比で導入し、投入電力:30kWでスパッタを実施した。SiO層(第2層および第4層)の成膜には、Siターゲットを用い、圧力が0.5Paとなるように、アルゴンガスと酸素ガスを70:30の体積比で導入し、投入電力:20kWでスパッタを実施した。
(Formation of Antireflection Layer)
Following the formation of the ITO primer layer, a first layer: a 14 nm Nb 2 O 5 layer (refractive index: 2.32), a second layer: a 40 nm SiO 2 layer (refractive index: 1.46), a third layer: a 29 nm Nb 2 O 5 layer, and a fourth layer: a 94 nm SiO 2 layer were sequentially formed by reactive sputtering to form an anti-reflection layer. For the formation of the Nb 2 O 5 layer (first and third layers), a Nb target was used, argon gas and oxygen gas were introduced in a volume ratio of 90:10 so that the pressure was 0.6 Pa, and sputtering was performed with an input power of 30 kW. For the formation of the SiO 2 layer (second and fourth layers), a Si target was used, argon gas and oxygen gas were introduced in a volume ratio of 70:30 so that the pressure was 0.5 Pa, and sputtering was performed with an input power of 20 kW.

(防汚層の形成)
フッ素系防汚コーティング剤(信越化学工業製「SHIN-ETSU SUBELYN KY1903―1」)を乾燥して固化したものを蒸着源として、加熱温度260℃で、真空蒸着法により、反射防止層上に膜厚7nmの防汚層を形成した。
(Formation of antifouling layer)
A fluorine-based antifouling coating agent ("SHIN-ETSU SUBELYN KY1903-1" manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) that had been dried and solidified was used as a deposition source to form an antifouling layer with a thickness of 7 nm on the antireflection layer by vacuum deposition at a heating temperature of 260°C.

[実施例2]
プラズマ処理時の放電電力を変更し、実効パワー密度を0.14W・min/m・cmとした。それ以外は実施例1と同様にして、ハードコート層のプラズマ処理、反射防止層の形成および防汚層の形成を行い、反射防止フィルムを作製した。アルゴンプラズマ処理後のハードコート層の算術平均高さSaは、5.7nmであった。
[Example 2]
The discharge power during the plasma treatment was changed to an effective power density of 0.14 W·min/m·cm 2. Otherwise, the plasma treatment of the hard coat layer, the formation of the antireflection layer, and the formation of the antifouling layer were performed in the same manner as in Example 1 to produce an antireflection film. The arithmetic mean height Sa 1 of the hard coat layer after the argon plasma treatment was 5.7 nm.

[比較例1]
反射防止層の形成において、各層の膜厚を表1に示す様に変更した。それ以外は実施例1と同様にして、ハードコート層のプラズマ処理、反射防止層の形成および防汚層の形成を行い、反射防止フィルムを作製した。
[Comparative Example 1]
In forming the antireflection layer, the film thickness of each layer was changed as shown in Table 1. Otherwise, the plasma treatment of the hard coat layer, the formation of the antireflection layer, and the formation of the antifouling layer were carried out in the same manner as in Example 1 to prepare an antireflection film.

[比較例2]
反射防止層の形成において、第1層および第3層のNb層の成膜時の圧力を0.4Paに変更した。それ以外は実施例1と同様にして、ハードコート層のプラズマ処理、反射防止層の形成および防汚層の形成を行い、反射防止フィルムを作製した。
[Comparative Example 2]
In forming the antireflection layer, the pressure during deposition of the first and third Nb 2 O 5 layers was changed to 0.4 Pa. Otherwise, the plasma treatment of the hard coat layer, the formation of the antireflection layer, and the formation of the antifouling layer were performed in the same manner as in Example 1 to prepare an antireflection film.

[評価]
<表面形状>
原子間力顕微鏡(AFM)を用い、下記の条件によりハードコート層および反射防止フィルム(防汚層)の表面形状を測定し、ISO 25178に準じて算術平均表面高さSaを測定した。
装置:Bruker製Dimemsion3100、コントローラ:NanoscopeV
測定モード:タッピングモード
カンチレバー:Si単結晶
測定視野:1μm×1μm
[evaluation]
<Surface shape>
Using an atomic force microscope (AFM), the surface shapes of the hard coat layer and the antireflection film (antifouling layer) were measured under the following conditions, and the arithmetic mean surface height Sa was measured in accordance with ISO 25178.
Apparatus: Bruker Dimension 3100, Controller: Nanoscope V
Measurement mode: Tapping mode Cantilever: Si single crystal Measurement field of view: 1 μm x 1 μm

<薄膜の膜厚および膜密度>
集束イオンビーム加工装置(日立ハイテク製「FB2200」)により反射防止フィルムを加工して断面観察用試料を作製し、電界放射型透過電子顕微鏡(日本電子製「JEM-2800)により断面を観察して、反射防止層を構成する薄膜の膜厚を測定した。反射防止層を構成する薄膜の膜密度は、ラザフォード後方散乱(RBS)法により測定した。膜密度の算出においては、断面観察から求めた膜厚を用いた。
<Thickness and density of thin film>
The antireflection film was processed using a focused ion beam processing device ("FB2200" manufactured by Hitachi High-Technologies) to prepare a sample for cross-sectional observation, and the cross-section was observed using a field emission transmission electron microscope ("JEM-2800" manufactured by JEOL Ltd.) to measure the film thickness of the thin film constituting the antireflection layer. The film density of the thin film constituting the antireflection layer was measured by Rutherford backscattering (RBS) method. The film density was calculated using the film thickness obtained from the cross-sectional observation.

<耐屈曲試験>
反射防止フィルムを、幅10mm×長さ100mmのサイズに切り出し、反射防止層側の面が内側となるように180°湾曲させ、図2に示す様に、屈曲半径がD/2で一定となるように、長さ方向の両端を厚みDのスペーサに貼り合わせた。この試料を100℃のオーブン中で30分加熱した後に取り出し、目視にて湾曲部分のクラック(反射防止層の白濁)の有無を確認した。スペーサの厚みDが、9.2mm、7.8mm、5.2mm(屈曲半径D/2が、4.6mm、3.9mm、2.6mm)の場合で評価を行い、クラックが発生していなかった屈曲半径の最小値を耐屈曲半径とした。
<Bending resistance test>
The anti-reflection film was cut into a size of 10 mm wide x 100 mm long, curved 180° so that the surface on the anti-reflection layer side was on the inside, and both ends in the length direction were attached to a spacer of thickness D so that the bending radius was constant at D/2, as shown in Figure 2. The sample was heated in an oven at 100 ° C for 30 minutes, then removed and visually confirmed for the presence or absence of cracks (opacity of the anti-reflection layer) in the curved portion. Evaluation was performed when the spacer thickness D was 9.2 mm, 7.8 mm, and 5.2 mm (bending radius D/2 was 4.6 mm, 3.9 mm, and 2.6 mm), and the minimum bending radius at which no cracks occurred was taken as the bending resistance radius.

実施例および比較例の反射防止フィルムのハードコート層のプラズマ処理の実効パワー密度、およびプラズマ処理後の算術平均高さSa、反射防止層を構成する各層の膜厚、第3層のNb層の膜密度、防汚層表面の算術平均高さSa、ならびに反射防止フィルムの耐屈曲半径を、表1に示す。 Table 1 shows the effective power density of the plasma treatment of the hard coat layer of the antireflective films of the examples and comparative examples, the arithmetic mean height Sa 1 after plasma treatment, the film thickness of each layer constituting the antireflective layer , the film density of the third Nb 2 O 5 layer, the arithmetic mean height Sa 2 of the antifouling layer surface, and the bending resistance radius of the antireflective films.

Figure 0007569352000001
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第3層の膜厚が95nmである比較例1では、耐屈曲半径が4.6mmであったのに対して、Nb層(第1層および第3層)の膜厚がいずれも40nm以下である実施例1,2は、比較例1よりも耐屈曲半径が小さく、耐屈曲性に優れていた。実施例1,2では、比較例1に比べて、第3層の膜密度が小さく、膜密度の低下が耐屈曲性向上に寄与していると考えられる。 In Comparative Example 1, in which the film thickness of the third layer was 95 nm, the bending radius was 4.6 mm, whereas Examples 1 and 2, in which the film thicknesses of the Nb 2 O 5 layers (first and third layers) were all 40 nm or less, had a smaller bending radius and better bending resistance than Comparative Example 1. In Examples 1 and 2, the film density of the third layer was smaller than that of Comparative Example 1, and it is believed that the decrease in film density contributed to the improvement of bending resistance.

比較例2では、第3層の膜厚が、実施例1,2と同等であるにも関わらず、耐屈曲性が劣っていた。比較例2では、Nb層成膜時の圧力が低く、膜密度が高いために、実施例1,2に比べて耐屈曲性が低下したと考えられる。 In Comparative Example 2, the bending resistance was inferior even though the film thickness of the third layer was equivalent to that of Examples 1 and 2. It is considered that the bending resistance of Comparative Example 2 was lower than that of Examples 1 and 2 because the pressure during deposition of the five Nb 2 O layers was low and the film density was high.

実施例1と実施例2との対比では、ハードコート層のプラズマ処理時の電力が大きい実施例2の方が耐屈曲半径が小さく、耐屈曲性に優れていた。放電電力が大きい実施例2では、ハードコート層の表面凹凸(算術平均高さSa)が大きいために柱状成長が促進され、膜密度が上昇し難いことが、耐屈曲性向上に寄与していると考えられる。 In comparison between Example 1 and Example 2, Example 2, in which the power during the plasma treatment of the hard coat layer was high, had a smaller bending radius and better bending resistance. In Example 2, in which the discharge power was high, the surface unevenness (arithmetic mean height Sa 1 ) of the hard coat layer was large, which promoted columnar growth and made it difficult for the film density to increase, which is thought to contribute to the improvement of bending resistance.

1 ハードコートフィルム
10 透明フィルム基材
11 ハードコート層
3 プライマー層
5 反射防止層
51,53 高屈折率層(酸化ニオブ層)
52,54 低屈折率層(酸化シリコン層)
7 防汚層
101 反射防止フィルム

REFERENCE SIGNS LIST 1 Hard coat film 10 Transparent film substrate 11 Hard coat layer 3 Primer layer 5 Anti-reflection layer 51, 53 High refractive index layer (niobium oxide layer)
52, 54 Low refractive index layer (silicon oxide layer)
7 Antifouling layer 101 Antireflection film

Claims (10)

折り曲げ可能な可撓性の透明樹脂フィルム基材の一主面上にハードコート層を備えるハードコートフィルム;および
前記ハードコートフィルムのハードコート層上に設けられた反射防止層を備える反射防止フィルムであって、
前記反射防止層は、2層の高屈折率層と2層の低屈折率層の交互積層体からなる計4層の構成であり、
前記高屈折率層は、酸化ニオブを主成分とする薄膜であり、
前記ハードコート層から最も離れて配置されている高屈折率層は、膜厚が40nm以下であり、かつ膜密度が4.47g/cm未満である、
反射防止フィルム。
A hard coat film having a hard coat layer on one main surface of a foldable, flexible transparent resin film substrate; and an antireflection layer provided on the hard coat layer of the hard coat film,
The antireflection layer is composed of a total of four layers including two high refractive index layers and two low refractive index layers alternately laminated together,
the high refractive index layer is a thin film containing niobium oxide as a main component,
the high refractive index layer disposed farthest from the hard coat layer has a thickness of 40 nm or less and a film density of less than 4.47 g/ cm3 ;
Anti-reflective film.
前記2層の高屈折率層が、いずれも、酸化ニオブを主成分とする膜厚が40nm以下の薄膜である、請求項1に記載の反射防止フィルム。 The anti-reflection film according to claim 1, wherein the two high refractive index layers are both thin films having a thickness of 40 nm or less and made mainly of niobium oxide. 前記反射防止層の算術平均表面高さが、2.5nm以上である、請求項1または2に記載の反射防止フィルム。 The anti-reflection film according to claim 1 or 2, wherein the arithmetic mean surface height of the anti-reflection layer is 2.5 nm or more. 前記ハードコート層と前記反射防止層との間に、無機酸化物からなるプライマー層を備える、請求項1または2に記載の反射防止フィルム。 The anti-reflection film according to claim 1 or 2, comprising a primer layer made of an inorganic oxide between the hard coat layer and the anti-reflection layer. 前記ハードコート層は、バインダー樹脂および平均一次粒子径が10~100nmの微粒子を含む、請求項1または2に記載の反射防止フィルム。 The anti-reflection film according to claim 1 or 2, wherein the hard coat layer contains a binder resin and fine particles having an average primary particle size of 10 to 100 nm. 前記反射防止層上に、防汚層を備える、請求項1または2に記載の反射防止フィルム。 The anti-reflection film according to claim 1 or 2, comprising an anti-fouling layer on the anti-reflection layer. 前記防汚層の算術平均表面高さが2.5nm以上である、請求項6に記載の反射防止フィルム。 The anti-reflection film according to claim 6, wherein the arithmetic mean surface height of the antifouling layer is 2.5 nm or more. 請求項1または2に記載の反射防止フィルムを製造する方法であって、
前記反射防止層をスパッタ法により成膜する、反射防止フィルムの製造方法。
A method for producing the anti-reflection film according to claim 1 or 2, comprising the steps of:
The method for producing an antireflection film comprises forming the antireflection layer by a sputtering method.
前記反射防止層の高屈折率層をスパッタ成膜する際の圧力が0.5Pa以上である、請求項8に記載の反射防止フィルムの製造方法。 The method for producing an anti-reflection film according to claim 8, wherein the pressure when forming the high refractive index layer of the anti-reflection layer by sputtering is 0.5 Pa or more. 画像表示媒体の視認側表面に、請求項1または2に記載の反射防止フィルムが配置されている、画像表示装置。 An image display device in which the anti-reflection film according to claim 1 or 2 is disposed on the viewing side surface of an image display medium.
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