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JP7572264B2 - Optical semiconductor element encapsulation sheet and method for producing optical semiconductor device - Google Patents
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JP7572264B2 - Optical semiconductor element encapsulation sheet and method for producing optical semiconductor device - Google Patents

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Description

本発明は、光半導体素子封止用シートに関する。より具体的には、基板上に配置された1以上の光半導体素子を封止するためのシートに関する。また、本発明は、光半導体装置の製造方法に関する。 The present invention relates to a sheet for encapsulating optical semiconductor elements. More specifically, the present invention relates to a sheet for encapsulating one or more optical semiconductor elements arranged on a substrate. The present invention also relates to a method for manufacturing an optical semiconductor device.

例えば液晶表示装置に使用されるバックライトは、基板上に複数のLEDが配置されており、上記複数のLEDが封止樹脂により封止された構造を有するものが知られている。上記封止樹脂を用いて上記複数のLEDを一括して封止する方法としては、複数のLEDが配置された領域に液状樹脂を流し込み、上記複数のLEDを埋没させた後、熱や紫外線照射により液状樹脂を硬化する方法が知られている(例えば特許文献1参照)。 For example, backlights used in liquid crystal display devices are known to have a structure in which multiple LEDs are arranged on a substrate, and the multiple LEDs are sealed with sealing resin. A method for sealing the multiple LEDs collectively using the sealing resin is known in which liquid resin is poured into the area where the multiple LEDs are arranged, the multiple LEDs are buried, and the liquid resin is then hardened by exposure to heat or ultraviolet light (see, for example, Patent Document 1).

特開2017-66390号公報JP 2017-66390 A

しかしながら、液状樹脂を用いてLEDなどの光半導体素子を封止する方法では、液状樹脂を塗布する際に液だれが起こる、意図しない領域に液状樹脂が付着するなど、取り扱い性に劣るという問題があった。 However, the method of using liquid resin to seal optical semiconductor elements such as LEDs has problems with poor handling, such as dripping when applying the liquid resin and adhesion to unintended areas.

これに対し、液状樹脂を用いるのではなく、光半導体素子を封止するための封止層を備える封止用シートの形式とすることで、容易であり、簡易な工程且つ短時間で光半導体素子を封止することが考えられる。ここで、上記封止用シートは、光半導体素子の封止性に優れ、光半導体素子を充分に封止すべく、光半導体素子や、光半導体素子を備える基板に対する密着性に優れることが重要である。 In response to this, by using an encapsulating sheet having an encapsulating layer for encapsulating the optical semiconductor element, rather than using a liquid resin, it is possible to encapsulate the optical semiconductor element in a simple process and in a short time. Here, it is important that the encapsulating sheet has excellent encapsulation properties for the optical semiconductor element and excellent adhesion to the optical semiconductor element and the substrate having the optical semiconductor element in order to encapsulate the optical semiconductor element sufficiently.

ところで、4K、8Kなどの高画質化に伴い、より大画面の画像表示装置の需要が伸びている。また、屋外、公共施設等における広告表示や掲示板などのサイネージへの大画面の画像表示装置の利用も進んでいる。しかしながら、大画面の画像表示装置を製造すると歩留まりが低下し、製造コストが上昇するという問題が生じる。大画面画像表示装置をより低コストで製造するために、画像表示装置等の光半導体装置を複数、タイル状に並べる、タイリングディスプレイが検討されている。複数の光半導体装置をタイル状に並べる、すなわちタイリングの際、隣接して配置された光半導体装置同士で位置ずれなどが起こった場合や並び替えが必要となった場合に位置修正が行われる。 Demand for larger-screen image display devices is growing with the trend toward higher image quality, such as 4K and 8K. Large-screen image display devices are also increasingly being used for signage, such as advertising displays and bulletin boards, outdoors and in public facilities. However, manufacturing large-screen image display devices poses problems of lower yields and higher manufacturing costs. In order to manufacture large-screen image display devices at lower cost, tiling displays, in which multiple optical semiconductor devices such as image display devices are arranged in a tiled pattern, are being considered. When multiple optical semiconductor devices are arranged in a tiled pattern, that is, when tiling, if there is a positional shift between adjacent optical semiconductor devices or if rearrangement is required, position correction is performed.

ここで、封止用シートにより光半導体素子が封止された状態の光半導体装置をタイリングする場合において、タイリング時に位置修正をするために隣接する光半導体装置を一旦引き離す必要がある。しかしながら、引き離す際、一方の光半導体装置における封止用シートと隣接する他方の光半導体装置における封止用シートとが密着して引き合い、一方の光半導体装置における封止用シートに欠損が生じる、他方の光半導体装置に一方の封止用シートの一部が転写して付着するといった不具合が生じる場合がある。光半導体素子や基板に対し密着性に優れる封止用シートは、このような不具合が特に生じやすい。 Here, when tiling optical semiconductor devices in which optical semiconductor elements are encapsulated with an encapsulating sheet, it is necessary to temporarily separate adjacent optical semiconductor devices in order to correct the position during tiling. However, when separating them, the encapsulating sheet of one optical semiconductor device and the encapsulating sheet of the other adjacent optical semiconductor device may come into close contact with each other and attract each other, resulting in defects such as defects in the encapsulating sheet of one optical semiconductor device or a part of the encapsulating sheet being transferred and attached to the other optical semiconductor device. Such defects are particularly likely to occur with encapsulating sheets that have excellent adhesion to optical semiconductor elements and substrates.

本発明は、このような事情のもとで考え出されたものであって、その目的は、光半導体素子の封止性に優れながら、隣接した光半導体装置同士を引き離す際、シートの欠損や隣接する光半導体装置のシートの付着が起こりにくい光半導体素子封止用シートを提供することにある。 The present invention was conceived under these circumstances, and its purpose is to provide a sheet for sealing optical semiconductor elements that has excellent sealing properties for optical semiconductor elements, while preventing damage to the sheet or adhesion of adjacent optical semiconductor devices when separating the sheets from each other.

本発明者らは、上記目的を達成するため鋭意検討した結果、放射線非硬化性粘着剤層と放射線硬化性樹脂層とを有する封止部を備え、放射線非硬化性粘着剤層を封止部の光半導体素子側の表面に位置する光半導体素子封止用シートによれば、光半導体素子の封止性に優れながら、隣接した光半導体装置同士を引き離す際、シートの欠損や隣接する光半導体装置のシートの付着が起こりにくいことを見出した。本発明は、これらの知見に基づいて完成されたものである。 As a result of intensive research conducted by the present inventors to achieve the above object, they have found that a sheet for sealing optical semiconductor elements, which has a sealing portion having a non-radiation curable adhesive layer and a radiation curable resin layer, with the non-radiation curable adhesive layer located on the surface of the sealing portion facing the optical semiconductor element, has excellent sealing properties for optical semiconductor elements, while being less susceptible to damage to the sheet or adhesion of the sheets of adjacent optical semiconductor devices when the devices are separated from each other. The present invention has been completed based on these findings.

すなわち、本発明は、基板上に配置された1以上の光半導体素子を封止するためのシートであって、
基材部と、上記基材部の一方の面に設けられた、上記光半導体素子を封止するための封止部とを備え、
上記封止部は、光半導体素子を封止した際に光半導体素子側の表面に位置する放射線非硬化性粘着剤層と、上記放射線非硬化性粘着剤層に積層された、放射線硬化性樹脂層とを有する、光半導体素子封止用シートを提供する。
That is, the present invention provides a sheet for encapsulating one or more optical semiconductor elements disposed on a substrate, comprising:
a substrate and a sealing portion provided on one surface of the substrate for sealing the optical semiconductor element;
The present invention provides a sheet for encapsulating optical semiconductor elements, wherein the encapsulating portion has a non-radiation-curable pressure-sensitive adhesive layer that is located on the surface facing the optical semiconductor element when the optical semiconductor element is encapsulated, and a radiation-curable resin layer that is laminated on the non-radiation-curable pressure-sensitive adhesive layer.

上記光半導体素子封止用シートは、上述のように、放射線非硬化性粘着剤層と放射線硬化性樹脂層とが積層した封止部を備える。上記封止部は、上記光半導体素子封止用シートにおいて、光半導体素子を封止する領域である。そして、放射線非硬化性粘着剤層は、光半導体素子を封止する際において光半導体素子側となる封止部表面に位置する。上記放射線非硬化性粘着剤層が上記表面に位置することにより、上記光半導体素子封止用シートが光半導体素子を封止した際に、上記放射線非硬化性粘着剤層の光半導体素子および基板に対する密着性が優れ、光半導体素子の封止性に優れる。そして、封止後は放射線照射により上記放射線硬化性樹脂層が硬化して、封止用シート側面の密着性が低下する。これにより、タイリング状態において隣接する光半導体装置における封止部同士の密着性が低く、隣接した光半導体装置同士を引き離す際、シートの欠損や隣接する光半導体装置のシートの付着が起こりにくい。また、上記基材部は、上記封止部の支持体となり、上記基材部を備えることにより上記光半導体素子封止用シートは取り扱い性に優れる。また、光半導体素子封止用シートで光半導体素子を封止して光半導体装置を作製した後にダイシングする際において、ダイシング部分のべとつきをよりいっそう抑制でき、見栄えが良い光半導体装置を作製することができる。 As described above, the sheet for sealing optical semiconductor elements includes a sealing portion in which a non-radiation curable adhesive layer and a radiation curable resin layer are laminated. The sealing portion is an area in the sheet for sealing optical semiconductor elements that seals the optical semiconductor elements. The non-radiation curable adhesive layer is located on the surface of the sealing portion that is on the optical semiconductor element side when sealing the optical semiconductor element. By having the non-radiation curable adhesive layer located on the surface, when the sheet for sealing optical semiconductor elements seals the optical semiconductor element, the adhesion of the non-radiation curable adhesive layer to the optical semiconductor element and the substrate is excellent, and the sealing performance of the optical semiconductor element is excellent. After sealing, the radiation curable resin layer is cured by irradiation with radiation, and the adhesion of the side surface of the sealing sheet is reduced. As a result, the adhesion between the sealing portions of adjacent optical semiconductor devices in a tiling state is low, and when adjacent optical semiconductor devices are separated from each other, the sheet is less likely to be damaged or the sheets of adjacent optical semiconductor devices are less likely to adhere to each other. In addition, the substrate portion serves as a support for the sealing portion, and the sheet for sealing optical semiconductor elements is excellent in handleability due to the substrate portion. In addition, when dicing after encapsulating an optical semiconductor element with the sheet for encapsulating optical semiconductor elements to produce an optical semiconductor device, stickiness at the diced portion can be further suppressed, making it possible to produce an optical semiconductor device with a good appearance.

上記放射線硬化性樹脂層は上記放射線非硬化性粘着剤層よりも厚いことが好ましい。このような構成を有することにより、タイリング状態において隣接する光半導体装置における放射線非硬化性粘着剤層同士の高い密着性よりも、隣接する光半導体装置における放射線硬化性樹脂層の硬化後の低い密着性が支配的となるため、封止部同士の密着性がよりいっそう低く、隣接する光半導体装置同士を引き離す際、シートの欠損や隣接する光半導体装置のシートの付着がよりいっそう起こりにくい。また、光半導体素子封止用シートで光半導体素子を封止して光半導体装置を作製した後にダイシングする際において、ダイシング部分のべとつきをよりいっそう抑制でき、見栄えが良い光半導体装置を作製することができる。 The radiation curable resin layer is preferably thicker than the non-radiation curable adhesive layer. With this configuration, the low adhesion of the radiation curable resin layer after curing in adjacent optical semiconductor devices becomes dominant over the high adhesion between the non-radiation curable adhesive layers in adjacent optical semiconductor devices in a tiling state, so that the adhesion between the sealing portions is even lower, and when adjacent optical semiconductor devices are separated from each other, the sheet is less likely to be damaged or the sheets of adjacent optical semiconductor devices are less likely to adhere to each other. In addition, when dicing after sealing an optical semiconductor device with a sheet for sealing an optical semiconductor device, stickiness of the diced portion can be further suppressed, and an optical semiconductor device with a good appearance can be produced.

上記封止部は着色剤を含む層を含んでいてもよい。このような構成を有することにより、上記光半導体装置をタイリングしてディスプレイに適用した際において、光半導体装置の使用時においては各光半導体素子が発する光の混色を抑制し、光半導体装置の不使用時においてはディスプレイの見栄えを調整することができる。 The sealing portion may include a layer containing a colorant. With this configuration, when the optical semiconductor device is tiled and applied to a display, it is possible to suppress color mixing of the light emitted by each optical semiconductor element when the optical semiconductor device is in use, and to adjust the appearance of the display when the optical semiconductor device is not in use.

上記光半導体素子封止用シートは、アンチグレア性および/または反射防止性を有する層を備えることが好ましい。このような構成を有することにより、上記光半導体装置をタイリングしてディスプレイに適用した際において、ディスプレイの光沢や光の反射を抑制し、ディスプレイの見栄えを良くすることができる。 The optical semiconductor element encapsulation sheet preferably has a layer having anti-glare and/or anti-reflection properties. With such a configuration, when the optical semiconductor device is tiled and applied to a display, the gloss and light reflection of the display can be suppressed, improving the appearance of the display.

上記光半導体素子封止用シートは、ポリエステル系樹脂および/またはポリイミド系樹脂を主成分とする層を備えることが好ましい。このような構成を有することにより、上記光半導体素子封止用シートは耐熱性に優れ、高温環境下において光半導体素子封止用シートの熱膨張が抑制でき、寸法安定性が向上する。また、シートとしての剛性を付与することができるため、取り扱い性や保持性が向上する。 The optical semiconductor element encapsulation sheet preferably has a layer mainly composed of a polyester resin and/or a polyimide resin. With such a configuration, the optical semiconductor element encapsulation sheet has excellent heat resistance, and the thermal expansion of the optical semiconductor element encapsulation sheet in a high-temperature environment can be suppressed, improving dimensional stability. In addition, the sheet can be given rigidity, improving handling and retention.

上記放射線硬化性樹脂層の硬化後断面における、温度23℃におけるナノインデンテーション法による硬さは1.4MPa以上であることが好ましい。このような構成を有することにより、上記放射線硬化性樹脂層は硬化後において適度な硬さを有することとなり、タイリング状態において隣接する光半導体装置同士を引き離す際、シートの欠損や隣接する光半導体装置のシートの付着がよりいっそう起こりにくい。 The hardness of the cross section of the radiation curable resin layer after curing, measured by nanoindentation at a temperature of 23°C, is preferably 1.4 MPa or more. With this configuration, the radiation curable resin layer has an appropriate hardness after curing, and when adjacent optical semiconductor devices are separated in a tiling state, damage to the sheet and adhesion of the sheets of adjacent optical semiconductor devices are even less likely to occur.

また、本発明は、基板と、上記基板上に配置された光半導体素子と、上記光半導体素子を封止する上記光半導体素子封止用シートの上記放射線硬化性樹脂層が硬化した硬化物と、を備える光半導体装置を提供する。このような光半導体装置は、上記放射線硬化性樹脂の硬化後において、隣接する光半導体装置同士を引き離す際、シートの欠損や隣接する光半導体装置のシートの付着が起こりにくい。また、ダイシングする際、ダイシング部分のべとつきを抑制でき、見栄えが良い光半導体装置を作製することができる。 The present invention also provides an optical semiconductor device comprising a substrate, an optical semiconductor element disposed on the substrate, and a cured product formed by curing the radiation curable resin layer of the optical semiconductor element encapsulation sheet that encapsulates the optical semiconductor element. After the radiation curable resin is cured, such an optical semiconductor device is less likely to suffer damage to the sheet or adhesion of the sheets of adjacent optical semiconductor devices when adjacent optical semiconductor devices are separated from each other. In addition, stickiness of the diced portion can be suppressed during dicing, making it possible to produce an optical semiconductor device with a good appearance.

上記光半導体装置は液晶画面のバックライトであってもよい。また、上記光半導体装置は自発光型表示装置であってもよい。上記光半導体装置は、ディスプレイを有する光半導体装置に適用した際に見栄えが良いため、液晶画面のバックライトや自発光型表示装置として好ましく適用される。 The optical semiconductor device may be a backlight for a liquid crystal screen. The optical semiconductor device may also be a self-luminous display device. The optical semiconductor device has a good appearance when applied to an optical semiconductor device having a display, and is therefore preferably applied as a backlight for a liquid crystal screen or a self-luminous display device.

また、本発明は、上記バックライトと表示パネルとを備える画像表示装置を提供する。 The present invention also provides an image display device that includes the above-mentioned backlight and a display panel.

また、本発明は、上記自発光型表示装置を備える画像表示装置を提供する。 The present invention also provides an image display device that includes the above-mentioned self-luminous display device.

また、本発明は、基板と、上記基板上に配置された光半導体素子と、上記光半導体素子を封止する、上記光半導体素子封止用シートの上記放射線硬化性樹脂層が硬化した硬化物と、を備える積層体をダイシングして光半導体装置を得るダイシング工程を備える、光半導体装置の製造方法を提供する。 The present invention also provides a method for producing an optical semiconductor device, comprising a dicing step of dicing a laminate comprising a substrate, an optical semiconductor element disposed on the substrate, and a cured product of the radiation-curable resin layer of the optical semiconductor element encapsulation sheet, which encapsulates the optical semiconductor element, to obtain an optical semiconductor device.

放射線硬化性樹脂層を放射線照射して硬化する際、酸素が存在する側面においては硬化が阻害され、硬化が不充分となりやすい。これに対し、上記ダイシング工程を備える上記製造方法によれば、放射線照射により上記放射線硬化性樹脂層を硬化させた硬化封止層を含む光半導体素子封止用シートの硬化物を備える積層体について、上記ダイシング工程において硬化が不充分である側端部を切り落として除去することにより、充分に硬化して密着性が低下した領域が側面に露出した光半導体装置を得ることができる。このようにして製造された光半導体装置は、硬化後の放射線硬化性樹脂層側面の密着性が充分に低下しているため、タイリング状態において隣接する光半導体装置同士を引き離す際、シートの欠損や隣接する光半導体装置のシートの付着が起こりにくい。 When the radiation-curable resin layer is irradiated with radiation and cured, curing is inhibited on the side where oxygen is present, and curing is likely to be insufficient. In contrast, according to the above-mentioned manufacturing method including the above-mentioned dicing step, for a laminate including a cured product of a sheet for encapsulating optical semiconductor elements, including a cured encapsulating layer obtained by curing the radiation-curable resin layer by radiation irradiation, the side end portion that is insufficiently cured in the dicing step can be cut off and removed to obtain an optical semiconductor device in which an area that has been sufficiently cured and has reduced adhesion is exposed on the side. In the optical semiconductor device manufactured in this way, the adhesion of the side surface of the radiation-curable resin layer after curing is sufficiently reduced, so that when adjacent optical semiconductor devices are separated in a tiling state, the sheet is less likely to be damaged or the sheets of adjacent optical semiconductor devices are less likely to adhere to each other.

上記製造方法は、さらに、上記基板と、上記基板上に配置された光半導体素子と、上記光半導体素子を封止する上記光半導体素子封止用シートと、を備える積層体に放射線を照射して上記放射線硬化性樹脂層を硬化させて上記硬化物を得る放射線照射工程を備えていてもよい。 The manufacturing method may further include a radiation exposure step of irradiating radiation to a laminate including the substrate, an optical semiconductor element disposed on the substrate, and the optical semiconductor element encapsulation sheet that encapsulates the optical semiconductor element, thereby curing the radiation curable resin layer and obtaining the cured product.

上記製造方法は、上記光半導体素子封止用シートを、上記基板上に設けられた上記光半導体素子に貼り合わせて上記光半導体素子を上記封止部により封止する封止工程を備え、その後上記放射線照射工程を行ってもよい。 The manufacturing method may include a sealing step of bonding the sheet for sealing an optical semiconductor element to the optical semiconductor element provided on the substrate to seal the optical semiconductor element with the sealing portion, and then the radiation irradiation step may be performed.

上記製造方法は、さらに、上記ダイシング工程で得られた複数の光半導体装置を平面方向に接触するように並べるタイリング工程を備えていてもよい。 The manufacturing method may further include a tiling step of arranging the multiple optical semiconductor devices obtained in the dicing step so that they are in contact with each other in a planar direction.

本発明の光半導体素子封止用シートによれば、光半導体素子の封止性に優れながら、隣接する光半導体装置同士を引き離す際、シートの欠損や隣接する光半導体装置のシートの付着が起こりにくい。このため、光半導体装置のタイリング後において、隣接する光半導体装置同士で位置ずれなどが起こった場合や並び替えが必要となった場合に不具合なく容易に位置修正を行うことができ、光半導体装置の損失を軽減でき、また見栄えが良いディスプレイを経済的に優れつつ製造することができる。 The sheet for sealing optical semiconductor elements of the present invention has excellent sealing properties for optical semiconductor elements, while being less susceptible to damage to the sheet or adhesion of the sheets of adjacent optical semiconductor devices when separating adjacent optical semiconductor devices. Therefore, after tiling of the optical semiconductor devices, if there is a positional shift between adjacent optical semiconductor devices or if rearrangement is required, the position can be easily corrected without any problems, reducing loss of optical semiconductor devices and enabling the economical production of attractive displays.

本発明の一実施形態に係る光半導体素子封止用シートの断面図である。1 is a cross-sectional view of a sheet for encapsulating an optical semiconductor element according to one embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態に係る光半導体素子封止用シートを用いた光半導体装置の断面図である。1 is a cross-sectional view of an optical semiconductor device using a sheet for encapsulating an optical semiconductor element according to one embodiment of the present invention. 図2に示す光半導体装置がタイリングして作製された光半導体装置の一実施形態を示す外観図である。3 is an external view showing one embodiment of an optical semiconductor device produced by tiling the optical semiconductor device shown in FIG. 2. 光半導体装置の製造方法の一実施形態における封止工程の様子を示す断面図を表す。4A to 4C are cross-sectional views illustrating a sealing step in one embodiment of a method for manufacturing an optical semiconductor device. 図4に示す封止工程後に得られる積層体を示す断面図を表す。5 shows a cross-sectional view of a laminate obtained after the sealing step shown in FIG. 4 . 図5に示す積層体に放射線照射工程を実施して得られる積層体を示す断面図を表す。FIG. 6 is a cross-sectional view showing a laminate obtained by carrying out a radiation exposure step on the laminate shown in FIG. 5 . 図6に示す積層体のダイシング工程におけるダイシング位置を示す断面図を表す。7 is a cross-sectional view showing a dicing position in a dicing step of the stack shown in FIG. 6;

[光半導体素子封止用シート]
本発明の光半導体素子封止用シートは、基材部と、上記基材部の一方の面に設けられた、光半導体素子を封止するための封止部とを少なくとも備える。なお、本明細書において、光半導体素子封止用シートとは、基板上に配置された1以上の光半導体素子を封止するためのシートをいうものとする。また、本明細書において、「光半導体素子を封止する」とは、光半導体素子の少なくとも一部を封止部内に埋め込むことをいう。
[Optical semiconductor element encapsulation sheet]
The sheet for encapsulating an optical semiconductor element of the present invention comprises at least a substrate and an encapsulation portion for encapsulating an optical semiconductor element, the encapsulation portion being provided on one surface of the substrate. In this specification, the sheet for encapsulating an optical semiconductor element refers to a sheet for encapsulating one or more optical semiconductor elements arranged on a substrate. In this specification, the term "encapsulating an optical semiconductor element" refers to embedding at least a portion of the optical semiconductor element in the encapsulation portion.

本発明の光半導体素子封止用シートは、上記基材部および上記封止部の他に、剥離ライナーを備えていてもよい。この場合、上記剥離ライナーは上記封止部の上記基材部とは反対側の表面に貼り合わせられる。剥離ライナーは上記封止部の保護材として用いられ、光半導体素子を封止する際に剥がされる。なお、剥離ライナーは必ずしも設けられなくてもよい。 The sheet for encapsulating optical semiconductor elements of the present invention may include a release liner in addition to the substrate and encapsulating portions. In this case, the release liner is attached to the surface of the encapsulating portion opposite the substrate. The release liner is used as a protective material for the encapsulating portion, and is peeled off when encapsulating the optical semiconductor element. The release liner is not necessarily provided.

また、本発明の光半導体素子封止用シートは、上記基材部表面(上記封止部とは反対側の表面)に、表面保護フィルムを備えていてもよい。上記基材部として例えば後述の光学フィルムを用いる場合、光学フィルムを使用時まで保護することができる。なお、表面保護フィルムは必ずしも設けられなくてもよい。 The optical semiconductor element encapsulation sheet of the present invention may also have a surface protective film on the surface of the substrate (the surface opposite to the encapsulation portion). When an optical film described below is used as the substrate, the optical film can be protected until it is used. Note that the surface protective film does not necessarily have to be provided.

以下、本発明の光半導体素子封止用シートの一実施形態について説明する。図1は、本発明の光半導体素子封止用シートの一実施形態を示す断面図である。図1に示すように、光半導体素子封止用シート1は、基板上に配置された1以上の光半導体素子を封止するために使用することのできるものであり、基材部2と、封止部3と、剥離ライナー4とを備える。封止部3は、基材部2の一方の面に設けられている。剥離ライナー4は、封止部3の表面(基材部2を有する側とは反対側の表面)に貼付されている。言い換えると、光半導体素子封止用シート1は、基材部2、封止部3、および剥離ライナー4をこの順に備える。 Hereinafter, one embodiment of the sheet for encapsulating optical semiconductor elements of the present invention will be described. FIG. 1 is a cross-sectional view showing one embodiment of the sheet for encapsulating optical semiconductor elements of the present invention. As shown in FIG. 1, the sheet for encapsulating optical semiconductor elements 1 can be used to encapsulate one or more optical semiconductor elements arranged on a substrate, and includes a substrate part 2, an encapsulating part 3, and a release liner 4. The encapsulating part 3 is provided on one side of the substrate part 2. The release liner 4 is attached to the surface of the encapsulating part 3 (the surface opposite to the side having the substrate part 2). In other words, the sheet for encapsulating optical semiconductor elements 1 includes the substrate part 2, the encapsulating part 3, and the release liner 4 in this order.

上記光半導体素子封止用シートは、アンチグレア性および/または反射防止性を有する層を備えることが好ましい。このような構成を有することにより、上記光半導体装置をタイリングしてディスプレイに適用した際において、ディスプレイの光沢や光の反射を抑制し、ディスプレイの見栄えを良くすることができる。上記アンチグレア性を有する層としてはアンチグレア処理層が挙げられる。上記反射防止性を有する層としては反射防止処理層が挙げられる。アンチグレア処理および反射防止処理は、それぞれ、公知乃至慣用の方法で実施することができる。上記アンチグレア性を有する層および上記反射防止性を有する層は、同一層であってもよいし、互いに異なる層であってもよい。上記アンチグレア性および/または反射防止性を有する層は、一層のみ有していてもよいし、二層以上を有していてもよい。 The optical semiconductor element encapsulation sheet preferably includes a layer having anti-glare and/or anti-reflection properties. With such a configuration, when the optical semiconductor device is tiled and applied to a display, the gloss of the display and light reflection can be suppressed, and the appearance of the display can be improved. An example of the layer having anti-glare properties is an anti-glare treatment layer. An example of the layer having anti-reflection properties is an anti-reflection treatment layer. The anti-glare treatment and the anti-reflection treatment can be performed by known or conventional methods. The layer having anti-glare properties and the layer having anti-reflection properties may be the same layer or different layers. The layer having anti-glare properties and/or anti-reflection properties may have only one layer, or two or more layers.

上記アンチグレア性および/または反射防止性を有する層は、上記基材部に含まれる層、上記封止部に含まれる層、あるいは上記基材部および上記封止部に含まれない他の層のいずれであってもよいが、上記基材部および/または上記封止部に含まれる層であることが好ましく、より好ましくは上記基材部に含まれる層である。 The layer having anti-glare and/or anti-reflection properties may be a layer included in the substrate, a layer included in the sealing portion, or another layer not included in the substrate or sealing portion, but is preferably a layer included in the substrate and/or sealing portion, and more preferably a layer included in the substrate.

上記光半導体素子封止用シートは、ポリエステル系樹脂および/またはポリイミド系樹脂を主成分(構成樹脂のうち最も質量割合の高い成分)とする層を備えることが好ましい。このような構成を有することにより、上記光半導体素子封止用シートは耐熱性に優れ、高温環境下において光半導体素子封止用シートの熱膨張が抑制でき、寸法安定性が向上する。また、シートとしての剛性を付与することができるため、取り扱い性や保持性が向上する。上記ポリエステル系樹脂および/またはポリイミド系樹脂を主成分とする層は、一層のみ有していてもよいし、二層以上を有していてもよい。 The optical semiconductor element encapsulation sheet preferably has a layer mainly composed of a polyester resin and/or a polyimide resin (the component with the highest mass ratio among the constituent resins). With such a configuration, the optical semiconductor element encapsulation sheet has excellent heat resistance, and the thermal expansion of the optical semiconductor element encapsulation sheet can be suppressed in a high-temperature environment, improving dimensional stability. In addition, the sheet can be given rigidity, improving handling and retention. The layer mainly composed of the polyester resin and/or the polyimide resin may have only one layer, or two or more layers.

上記ポリエステル系樹脂および/またはポリイミド系樹脂を主成分とする層は、上記基材部に含まれる層、上記封止部に含まれる層、あるいは上記基材部および上記封止部に含まれない他の層のいずれであってもよいが、上記基材部および/または上記封止部に含まれる層であることが好ましく、より好ましくは上記基材部に含まれる層である。 The layer mainly composed of the polyester resin and/or polyimide resin may be any of the layers included in the substrate, the layers included in the sealing portion, or other layers not included in the substrate or sealing portion, but is preferably a layer included in the substrate and/or sealing portion, and more preferably a layer included in the substrate.

(封止部)
上記封止部は、放射線照射により硬化する性質を有する樹脂層(放射線硬化性樹脂層)と、放射線照射により硬化する性質を有しない粘着剤層(放射線非硬化性粘着剤層)とを有する。そして、上記放射線非硬化性粘着剤層は、光半導体素子を封止する際において光半導体素子側となる封止部表面に位置する。具体的には、上記放射線非硬化性粘着剤層は、光半導体素子を封止する際において光半導体素子側となる光半導体素子封止用シート表面(剥離ライナーを備える場合は剥離ライナーを除くシート表面)に位置する。例えば、図1に示す光半導体素子封止用シート1では、封止部3は放射線硬化性樹脂層31および放射線非硬化性粘着剤層32から構成される。放射線非硬化性粘着剤層32は、剥離ライナー4を除いて光半導体素子封止用シート1の基材部2とは反対側の表面に位置する。
(Sealing part)
The encapsulating portion has a resin layer (radiation curable resin layer) having a property of being cured by irradiation with radiation, and an adhesive layer (non-radiation curable adhesive layer) not having a property of being cured by irradiation with radiation. The non-radiation curable adhesive layer is located on the surface of the encapsulating portion that faces the optical semiconductor element when encapsulating the optical semiconductor element. Specifically, the non-radiation curable adhesive layer is located on the surface of the sheet for encapsulating an optical semiconductor element that faces the optical semiconductor element when encapsulating the optical semiconductor element (the sheet surface excluding the release liner when a release liner is provided). For example, in the sheet 1 for encapsulating an optical semiconductor element shown in FIG. 1, the encapsulating portion 3 is composed of a radiation curable resin layer 31 and a non-radiation curable adhesive layer 32. The non-radiation curable adhesive layer 32 is located on the surface of the sheet 1 for encapsulating an optical semiconductor element opposite to the substrate portion 2, excluding the release liner 4.

上記放射線非硬化性粘着剤層が上記表面に位置することにより、上記光半導体素子封止用シートが光半導体素子を封止した際に、上記放射線非硬化性粘着剤層の光半導体素子および基板に対する密着性が優れ、光半導体素子の封止性に優れる。そして、封止後は放射線照射により上記放射線硬化性樹脂層が硬化して、封止用シート側面の密着性が低下する。これにより、タイリング状態において隣接する光半導体装置における封止部同士の密着性が低く、隣接した光半導体装置同士を引き離す際、シートの欠損や隣接する光半導体装置のシートの付着が起こりにくい。また、上記基材部は、上記封止部の支持体となり、上記基材部を備えることにより上記光半導体素子封止用シートは取り扱い性に優れる。また、光半導体素子封止用シートで光半導体素子を封止して光半導体装置を作製した後にダイシングする際において、ダイシング部分のべとつきをよりいっそう抑制でき、見栄えが良い光半導体装置を作製することができる。 By positioning the non-radiation curable adhesive layer on the surface, when the sheet for sealing an optical semiconductor element seals an optical semiconductor element, the non-radiation curable adhesive layer has excellent adhesion to the optical semiconductor element and the substrate, and the sheet for sealing the optical semiconductor element has excellent sealing properties. After sealing, the radiation curable resin layer is cured by irradiation with radiation, and the adhesion of the side surface of the sheet for sealing decreases. As a result, the adhesion between the sealing parts of adjacent optical semiconductor devices in a tiling state is low, and when adjacent optical semiconductor devices are separated from each other, the sheet is less likely to be damaged or the sheets of adjacent optical semiconductor devices are less likely to adhere to each other. In addition, the substrate part serves as a support for the sealing part, and the sheet for sealing an optical semiconductor element has excellent handleability by including the substrate part. In addition, when dicing after sealing an optical semiconductor device to produce an optical semiconductor device by sealing an optical semiconductor element with the sheet for sealing an optical semiconductor element, the stickiness of the diced part can be further suppressed, and an optical semiconductor device with a good appearance can be produced.

上記封止部において、上記放射線非硬化性粘着剤層と上記放射線硬化性樹脂層とは積層している。上記放射線非硬化性粘着剤層と上記放射線硬化性樹脂層とは、他の層を介さずに直接積層していてもよいし、他の層を介して積層していてもよい。上記放射線非硬化性粘着剤層および上記放射線硬化性樹脂層は、それぞれ、単層であってもよいし、同一または組成や厚さ等が異なる複層であってもよい。上記封止部が上記放射線非硬化性粘着剤層および上記放射線硬化性樹脂層のうちの少なくとも一方を複数有する場合、複数ある層は連続して積層していてもよく、他の層を介して積層していてもよい。なお、上記放射線非硬化性粘着剤層を複層有する場合、光半導体素子封止用シートの基材部とは反対側の表面に1層有していればよく、他の放射線非硬化性粘着剤層の位置は特に限定されない。 In the sealing portion, the radiation non-curable adhesive layer and the radiation curable resin layer are laminated. The radiation non-curable adhesive layer and the radiation curable resin layer may be laminated directly without any other layer, or may be laminated via another layer. The radiation non-curable adhesive layer and the radiation curable resin layer may each be a single layer, or may be multiple layers having the same composition or different thickness. When the sealing portion has at least one of the radiation non-curable adhesive layer and the radiation curable resin layer in a plurality of layers, the multiple layers may be laminated continuously or may be laminated via another layer. When the sealing portion has multiple layers of the radiation non-curable adhesive layer, it is sufficient that one layer is present on the surface opposite to the substrate of the sheet for sealing optical semiconductor elements, and the position of the other radiation non-curable adhesive layer is not particularly limited.

上記放射線非硬化性粘着剤層の厚さ(総厚さ)に対する上記放射線硬化性樹脂層の厚さ(総厚さ)の比[放射線硬化性樹脂層の厚さ/放射線非硬化性粘着剤層の厚さ]は、0.1以上であることが好ましく、より好ましくは0.8以上、さらに好ましくは1.0超、特に好ましくは4以上である。上記割合が0.1以上であると、隣接する光半導体装置同士を引き離す際、シートの欠損や隣接する光半導体装置のシートの付着がより起こりにくい。また、上記割合は、200以下であることが好ましく、より好ましくは150以下である。 The ratio of the thickness (total thickness) of the radiation curable resin layer to the thickness (total thickness) of the non-radiation curable adhesive layer [thickness of radiation curable resin layer/thickness of radiation non-curable adhesive layer] is preferably 0.1 or more, more preferably 0.8 or more, even more preferably more than 1.0, and particularly preferably 4 or more. When the ratio is 0.1 or more, damage to the sheet or adhesion of the sheets of adjacent optical semiconductor devices is less likely to occur when adjacent optical semiconductor devices are separated from each other. In addition, the ratio is preferably 200 or less, more preferably 150 or less.

上記放射線硬化性樹脂層は上記放射線非硬化性粘着剤層よりも厚いことが好ましい。このような構成を有することにより、タイリング状態において隣接する光半導体装置における放射線非硬化性粘着剤層同士の高い密着性よりも、隣接する光半導体装置における放射線硬化性樹脂層の硬化後の低い密着性が支配的となるため、封止部同士の密着性がよりいっそう低く、隣接する光半導体装置同士を引き離す際、シートの欠損や隣接する光半導体装置のシートの付着がよりいっそう起こりにくい。また、光半導体素子封止用シートで光半導体素子を封止して光半導体装置を作製した後にダイシングする際において、ダイシング部分のべとつきをよりいっそう抑制でき、見栄えが良い光半導体装置を作製することができる。なお、上記放射線硬化性樹脂層や上記放射線非硬化性粘着剤層を複数有する場合、上記厚さは、複層の合計厚さ(総厚さ)である。 The radiation curable resin layer is preferably thicker than the non-radiation curable adhesive layer. With this configuration, the low adhesion of the radiation curable resin layer after curing in adjacent optical semiconductor devices becomes dominant in the tiling state, rather than the high adhesion between the radiation non-curable adhesive layers in adjacent optical semiconductor devices, so that the adhesion between the sealing parts is even lower, and when adjacent optical semiconductor devices are separated from each other, the sheet is less likely to be damaged or the sheets of adjacent optical semiconductor devices are less likely to adhere to each other. In addition, when dicing is performed after sealing an optical semiconductor device with an optical semiconductor element sealing sheet to produce an optical semiconductor device, the stickiness of the diced part can be further suppressed, and an optical semiconductor device with a good appearance can be produced. Note that, when there are multiple radiation curable resin layers or multiple radiation non-curable adhesive layers, the above thickness is the total thickness (total thickness) of the multiple layers.

上記光半導体素子封止用シートの表面(すなわち上記封止部の表面)に位置する放射線非硬化性粘着剤層の厚さは、1μm以上であることが好ましく、より好ましくは4μm以上、さらに好ましくは15μm以上である。上記厚さが1μm以上であると、光半導体素子封止用シートの光半導体素子や基板に対する密着性により優れる。上記厚さは、500μm以下であることが好ましく、より好ましくは300μm以下、さらに好ましくは200μm以下である。上記厚さが500μm以下であると、隣接した光半導体装置同士を引き離す際、シートの欠損や隣接する光半導体装置のシートの付着がより起こりにくい。また、光半導体装置をダイシングする際において、ダイシング部分のべとつきをより抑制でき、見栄えが良い光半導体装置を作製することができる。 The thickness of the non-radiation curable adhesive layer located on the surface of the optical semiconductor element encapsulation sheet (i.e., the surface of the encapsulation portion) is preferably 1 μm or more, more preferably 4 μm or more, and even more preferably 15 μm or more. When the thickness is 1 μm or more, the adhesion of the optical semiconductor element encapsulation sheet to the optical semiconductor element and the substrate is superior. The thickness is preferably 500 μm or less, more preferably 300 μm or less, and even more preferably 200 μm or less. When the thickness is 500 μm or less, when adjacent optical semiconductor devices are separated from each other, the sheet is less likely to be damaged or the sheets of adjacent optical semiconductor devices are less likely to adhere to each other. In addition, when dicing the optical semiconductor device, stickiness of the diced portion can be further suppressed, and an optical semiconductor device with a good appearance can be produced.

上記放射線硬化性樹脂層の厚さ(総厚さ)は、20~800μmであることが好ましく、より好ましくは30~700μm、さらに好ましくは50~600μmである。上記厚さが20μm以上であると、隣接する光半導体装置同士を引き離す際、シートの欠損や隣接する光半導体装置のシートの付着がよりいっそう起こりにくい。上記厚さが800μm以下であると、封止部の厚さを薄くすることができ、光半導体装置をより薄くすることができる。 The thickness (total thickness) of the radiation curable resin layer is preferably 20 to 800 μm, more preferably 30 to 700 μm, and even more preferably 50 to 600 μm. If the thickness is 20 μm or more, damage to the sheet and adhesion of the sheets of adjacent optical semiconductor devices are less likely to occur when adjacent optical semiconductor devices are separated from each other. If the thickness is 800 μm or less, the thickness of the sealing portion can be reduced, and the optical semiconductor device can be made thinner.

上記光半導体素子封止用シートは、1層の厚さが上記封止部を構成する全ての層の中で最も厚い放射線硬化性樹脂層を備えることが好ましい。なお、同一組成の複数の層を直接積層した層は1つの層として考えられる。また、最も厚い層を2以上有する場合、いずれの層も最も厚い層に該当する。 The optical semiconductor element encapsulation sheet preferably includes a radiation curable resin layer that is the thickest of all layers constituting the encapsulation portion. Note that a layer in which multiple layers of the same composition are directly laminated is considered to be one layer. In addition, when there are two or more thickest layers, all of the layers correspond to the thickest layer.

上記放射線硬化性樹脂層の厚さ(総厚さ)の、光半導体素子封止用シートの総厚さ(但し、剥離ライナーおよび表面保護フィルムを除く)100%に対する割合は、5~90%が好ましく、より好ましくは10~85%、さらに好ましくは40~80%である。上記割合が5%以上であると、隣接する光半導体装置同士を引き離す際、シートの欠損や隣接する光半導体装置のシートの付着がよりいっそう起こりにくい。上記厚さが90%以下であると、封止部の厚さを薄くすることができ、光半導体装置をより薄くすることができる。 The ratio of the thickness (total thickness) of the radiation curable resin layer to the total thickness (excluding the release liner and surface protective film) of the sheet for encapsulating optical semiconductor elements (100%) is preferably 5 to 90%, more preferably 10 to 85%, and even more preferably 40 to 80%. If the ratio is 5% or more, damage to the sheet or adhesion of the sheets of adjacent optical semiconductor devices is less likely to occur when adjacent optical semiconductor devices are separated from each other. If the thickness is 90% or less, the thickness of the encapsulation portion can be reduced, allowing the optical semiconductor device to be made thinner.

上記放射線硬化性樹脂層は、硬化後において、層断面における、温度23℃におけるナノインデンテーション法による硬さが1.4MPa以上であることが好ましく、より好ましくは11.0MPa以上、さらに好ましくは63.0MPa以上である。上記ナノインデンテーション法による硬さは、圧子を対象表面に押し込んだときの、圧子への負荷荷重と押し込み深さとを、負荷時および除荷時に渡り連続的に測定し、得られた負荷荷重-押し込み深さ曲線から求められる。上記硬さが1.4MPa以上であると、上記放射線硬化性樹脂層は硬化後において適度な硬さを有することとなり、タイリング状態において隣接する光半導体装置同士を引き離す際、シートの欠損や隣接する光半導体装置のシートの付着がよりいっそう起こりにくい。 After curing, the radiation curable resin layer preferably has a hardness of 1.4 MPa or more at a layer cross section measured by nanoindentation at a temperature of 23°C, more preferably 11.0 MPa or more, and even more preferably 63.0 MPa or more. The hardness by nanoindentation is determined by continuously measuring the load and indentation depth on the indenter when the indenter is pressed into the target surface, both during loading and unloading, and from the load-indentation depth curve obtained. If the hardness is 1.4 MPa or more, the radiation curable resin layer has an appropriate hardness after curing, and when adjacent optical semiconductor devices are separated from each other in a tiling state, damage to the sheet and adhesion of the sheets of adjacent optical semiconductor devices are even less likely to occur.

上記放射線硬化性樹脂層は、放射線硬化性を有する。上記放射線としては、例えば、電子線、紫外線、α線、β線、γ線、またはX線などが挙げられる。 The radiation-curable resin layer has radiation curing properties. Examples of the radiation include electron beams, ultraviolet rays, α rays, β rays, γ rays, and X-rays.

上記放射線硬化性樹脂層は、例えば、ベースポリマーと放射線重合性の炭素-炭素二重結合等の官能基を有する放射線重合性のモノマー成分やオリゴマー成分とを含有する層、放射線重合性の官能基を有するポリマーをベースポリマーして含む層などが挙げられる。 Examples of the radiation-curable resin layer include a layer containing a base polymer and a radiation-polymerizable monomer component or oligomer component having a functional group such as a radiation-polymerizable carbon-carbon double bond, and a layer containing a polymer having a radiation-polymerizable functional group as a base polymer.

上記放射線硬化性樹脂層を構成する樹脂としては、公知乃至慣用の放射線硬化性を有する樹脂が挙げられ、例えば、アクリル系樹脂、ウレタンアクリレート系樹脂、エポキシ系樹脂、エポキシアクリレート系樹脂、オキセタン系樹脂、シリコーン樹脂、シリコーンアクリル系樹脂、ポリエステル系樹脂などが挙げられる。上記樹脂は、一種のみを使用してもよいし、二種以上を使用してもよい。 The resin constituting the radiation-curable resin layer may be a known or commonly used radiation-curable resin, such as an acrylic resin, a urethane acrylate resin, an epoxy resin, an epoxy acrylate resin, an oxetane resin, a silicone resin, a silicone acrylic resin, or a polyester resin. Only one of the above resins may be used, or two or more of them may be used.

上記放射線硬化性樹脂層は、粘着性を有する樹脂層、すなわち、放射線硬化性粘着剤層であることが好ましい。このような構成を有することにより、光半導体素子を封止する際、光半導体素子を容易に埋め込むことができ、また、放射線硬化前において基材部と、光半導体素子側表面に位置する放射線非硬化性粘着剤層との密着性に優れ、光半導体素子の封止性により優れる。 The radiation-curable resin layer is preferably a resin layer having adhesive properties, i.e., a radiation-curable adhesive layer. With such a configuration, the optical semiconductor element can be easily embedded when sealing the optical semiconductor element, and the adhesion between the substrate and the non-radiation-curable adhesive layer located on the surface of the optical semiconductor element side before radiation curing is excellent, resulting in superior sealing of the optical semiconductor element.

上記放射線非硬化性粘着剤層を形成する粘着剤としては、放射線硬化性を有しない、すなわち放射線硬化性を有する化合物を含有しない、公知乃至慣用の感圧型の粘着剤を用いることができる。但し、積層した他の層から移行して侵入する不可避の放射線硬化性を有する化合物を少量含み得る。上記粘着剤としては、例えば、アクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤(天然ゴム系、合成ゴム系、これらの混合系等)、シリコーン系粘着剤、ポリエステル系粘着剤、ウレタン系粘着剤、ポリエーテル系粘着剤、ポリアミド系粘着剤、フッ素系粘着剤などが挙げられる。上記粘着剤は、一種のみを使用してもよいし、二種以上を使用してもよい。 The adhesive forming the non-radiation curable adhesive layer can be a known or conventional pressure-sensitive adhesive that is not radiation curable, i.e. does not contain a compound having radiation curability. However, it may contain a small amount of a compound having radiation curability that is unavoidably transferred from another laminated layer. Examples of the adhesive include acrylic adhesives, rubber adhesives (natural rubber, synthetic rubber, a mixture of these, etc.), silicone adhesives, polyester adhesives, urethane adhesives, polyether adhesives, polyamide adhesives, and fluorine adhesives. Only one type of the adhesives may be used, or two or more types may be used.

上記封止部は、上記放射線硬化性樹脂層および上記放射線非硬化性粘着剤層以外のその他の層を有していてもよい。但し、上記封止部の厚さ100%に対する、上記放射線硬化性樹脂層および上記放射線非硬化性粘着剤層の合計の厚さの割合は、70%以上であることが好ましく、より好ましくは80%以上、さらに好ましくは90%以上、特に好ましくは96%以上である。 The sealing portion may have layers other than the radiation curable resin layer and the non-radiation curable adhesive layer. However, the ratio of the total thickness of the radiation curable resin layer and the non-radiation curable adhesive layer to the thickness of the sealing portion (100%) is preferably 70% or more, more preferably 80% or more, even more preferably 90% or more, and particularly preferably 96% or more.

上記封止部は、着色剤を含む層を含んでいてもよい。このような構成を有することにより、上記光半導体装置をタイリングしてディスプレイに適用した際において、光半導体装置の使用時においては各光半導体素子が発する光の混色を抑制し、光半導体装置の不使用時においてはディスプレイの見栄えを調整することができる。上記着色剤を含む層は、一層のみ有していてもよいし、二層以上を有していてもよい。 The sealing portion may include a layer containing a colorant. With this configuration, when the optical semiconductor device is tiled and applied to a display, it is possible to suppress color mixing of light emitted by each optical semiconductor element when the optical semiconductor device is in use, and to adjust the appearance of the display when the optical semiconductor device is not in use. The layer containing the colorant may be only one layer, or may have two or more layers.

上記着色剤を含む層は、上記放射線硬化性樹脂層、上記放射線非硬化性粘着剤層、およびこれら以外のその他の層であってもよいが、上記放射線硬化性樹脂層および/または上記放射線非硬化性粘着剤層が着色剤を含む層であることが好ましく、上記放射線非硬化性粘着剤層が着色剤を含む層であることがより好ましい。 The layer containing the colorant may be the radiation curable resin layer, the non-radiation curable adhesive layer, or any other layer other than these, but it is preferable that the radiation curable resin layer and/or the non-radiation curable adhesive layer is a layer containing a colorant, and it is more preferable that the non-radiation curable adhesive layer is a layer containing a colorant.

上記着色剤としては、黒系着色剤が好ましい。上記黒系着色剤としては、公知乃至慣用の黒色を呈するための着色剤(顔料、染料等)を用いることができ、例えば、カーボンブラック(ファーネスブラック、チャンネルブラック、アセチレンブラック、サーマルブラック、ランプブラック、松煙等)、グラファイト、酸化銅、二酸化マンガン、アニリンブラック、ペリレンブラック、チタンブラック、シアニンブラック、活性炭、フェライト(非磁性フェライト、磁性フェライト等)、マグネタイト、酸化クロム、酸化鉄、二硫化モリブデン、クロム錯体、アントラキノン系着色剤、窒化ジルコニウムなどが挙げられる。黒系着色剤は一種のみを用いてもよいし、二種以上を用いてもよい。また、黒色以外の色を呈する着色剤を組み合わせて配合して黒系着色剤として機能する着色剤を用いてもよい。 As the above-mentioned colorant, a black-based colorant is preferable. As the above-mentioned black-based colorant, a colorant (pigment, dye, etc.) for presenting a known or conventional black color can be used, for example, carbon black (furnace black, channel black, acetylene black, thermal black, lamp black, pine smoke, etc.), graphite, copper oxide, manganese dioxide, aniline black, perylene black, titanium black, cyanine black, activated carbon, ferrite (non-magnetic ferrite, magnetic ferrite, etc.), magnetite, chromium oxide, iron oxide, molybdenum disulfide, chromium complex, anthraquinone-based colorant, zirconium nitride, etc. Only one type of black-based colorant may be used, or two or more types may be used. In addition, a colorant that functions as a black-based colorant may be used by combining and blending colorants that present a color other than black.

(基材部)
上記基材部は、上記封止部の支持体となり、上記基材部を備えることにより上記光半導体素子封止用シートは取り扱い性に優れる。上記基材部は、単層であってもよいし、同一または組成や厚さ等が異なる複層であってもよい。上記基材部が複層である場合、各層は粘着剤層などの他の層により貼り合わせられていてもよい。なお、基材部に使用される基材層は、光半導体素子封止用シートを用いて光半導体素子を封止する際には、封止部とともに光半導体素子を備える基板に貼付される部分であり、光半導体素子封止用シートの使用時(貼付時)に剥離される剥離ライナーや、基材部表面を保護するに過ぎない表面保護フィルムは「基材部」には含まない。
(Base material)
The substrate serves as a support for the encapsulation portion, and the substrate provides the sheet for encapsulating optical semiconductor elements with excellent handling properties. The substrate may be a single layer, or may be a multilayer having the same or different compositions, thicknesses, etc. When the substrate is a multilayer, each layer may be bonded to another layer such as a pressure-sensitive adhesive layer. The substrate layer used in the substrate is a portion that is attached to a substrate having an optical semiconductor element together with the encapsulation portion when the sheet for encapsulating optical semiconductor elements is used to encapsulate the optical semiconductor element, and the release liner that is peeled off when the sheet for encapsulating optical semiconductor elements is used (attached) and the surface protection film that merely protects the surface of the substrate are not included in the "substrate".

上記基材部を構成する基材層としては、例えば、ガラスやプラスチック基材(特に、プラスチックフィルム)などが挙げられる。上記プラスチック基材を構成する樹脂としては、例えば、低密度ポリエチレン、直鎖状低密度ポリエチレン、中密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、超低密度ポリエチレン、ランダム共重合ポリプロピレン、ブロック共重合ポリプロピレン、ホモポリプロレン、ポリブテン、ポリメチルペンテン、アイオノマー、エチレン-(メタ)アクリル酸共重合体、エチレン-(メタ)アクリル酸エステル(ランダム、交互)共重合体、エチレン-酢酸ビニル共重合体(EVA)、エチレン-プロピレン共重合体、環状オレフィン系ポリマー、エチレン-ブテン共重合体、エチレン-ヘキセン共重合体等のポリオレフィン樹脂;ポリウレタン;ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート、ポリブチレンテレフタレート(PBT)等のポリエステル;ポリカーボネート;ポリイミド系樹脂;ポリエーテルエーテルケトン;ポリエーテルイミド;アラミド、全芳香族ポリアミド等のポリアミド;ポリフェニルスルフィド;フッ素樹脂;ポリ塩化ビニル;ポリ塩化ビニリデン;トリアセチルセルロース(TAC)等のセルロース樹脂;シリコーン樹脂;ポリメチルメタクリレート(PMMA)等のアクリル系樹脂;ポリサルフォン;ポリアリレート;ポリ酢酸ビニルなどが挙げられる。上記樹脂は、一種のみを使用してもよいし、二種以上を使用してもよい。 Examples of the substrate layer constituting the substrate part include glass and plastic substrates (particularly plastic films). Examples of the resin constituting the plastic substrate include low-density polyethylene, linear low-density polyethylene, medium-density polyethylene, high-density polyethylene, very low-density polyethylene, random copolymer polypropylene, block copolymer polypropylene, homopolypropylene, polybutene, polymethylpentene, ionomers, ethylene-(meth)acrylic acid copolymers, ethylene-(meth)acrylic acid ester (random, alternating) copolymers, ethylene-vinyl acetate copolymers (EVA), ethylene-propylene copolymers, cyclic olefin polymers, ethylene-butene copolymers, ethylene-hexene copolymers, etc. Examples of the resin include polyolefin resins, polyurethanes, polyesters such as polyethylene terephthalate (PET), polyethylene naphthalate, and polybutylene terephthalate (PBT), polycarbonates, polyimide resins, polyether ether ketones, polyetherimides, polyamides such as aramids and fully aromatic polyamides, polyphenyl sulfides, fluororesins, polyvinyl chloride, polyvinylidene chloride, cellulose resins such as triacetyl cellulose (TAC), silicone resins, acrylic resins such as polymethyl methacrylate (PMMA), polysulfones, polyarylates, and polyvinyl acetates. Only one of the above resins may be used, or two or more of them may be used.

上記基材層は、反射防止(AR)フィルム、偏光板、位相差板等の各種光学フィルムであってもよい。上記基材部が光学フィルムを有する場合、上記光半導体素子封止用シートは光学部材にそのまま適用することができる。 The substrate layer may be an anti-reflection (AR) film, a polarizing plate, a retardation plate, or any other optical film. When the substrate portion has an optical film, the optical semiconductor element encapsulation sheet can be applied directly to an optical member.

上記プラスチックフィルムは、ポリエステル系樹脂および/またはポリイミド系樹脂を主成分(構成樹脂のうち最も質量割合の高い成分)として含むことが好ましい。このような構成を有することにより、上記光半導体素子封止用シートは耐熱性に優れ、高温環境下において光半導体素子封止用シートの熱膨張が抑制でき、寸法安定性が向上する。また、シートとしての剛性を付与することができるため、取り扱い性や保持性が向上する。 The plastic film preferably contains a polyester resin and/or a polyimide resin as the main component (the component with the highest mass ratio among the constituent resins). With such a configuration, the sheet for encapsulating optical semiconductor elements has excellent heat resistance, and the thermal expansion of the sheet for encapsulating optical semiconductor elements in a high-temperature environment can be suppressed, improving dimensional stability. In addition, the rigidity of the sheet can be imparted, improving handling and retention.

上記プラスチックフィルムの厚さは、20~200μmであることが好ましく、より好ましくは40~150μmである。上記厚さが20μm以上であると、光半導体素子封止用シートの支持性および取り扱い性がより向上する。上記厚さが200μm以下であると、光半導体素子封止用シートの厚さを薄くすることができ、光半導体装置をより薄くすることができる。 The thickness of the plastic film is preferably 20 to 200 μm, and more preferably 40 to 150 μm. If the thickness is 20 μm or more, the supportability and handleability of the sheet for encapsulating optical semiconductor elements are further improved. If the thickness is 200 μm or less, the thickness of the sheet for encapsulating optical semiconductor elements can be reduced, and the optical semiconductor device can be made thinner.

上記基材部は、ポリエステル系樹脂および/またはポリイミド系樹脂を主成分とするプラスチックフィルムと、光学フィルムとを含むことが好ましい。偏光板等の光学フィルムは一般的に支持性や取り扱い性に劣る傾向があり、上記プラスチックフィルムと組み合わせて用いることで、双方の長所を活かすことができる。この場合、特に、上記基材部において、上記プラスチックフィルムが上記封止部側であることが好ましい。 The substrate preferably includes a plastic film mainly composed of a polyester resin and/or a polyimide resin, and an optical film. Optical films such as polarizing plates generally tend to be poor in support and handling, and by using them in combination with the plastic film, the advantages of both can be utilized. In this case, it is particularly preferable that the plastic film is on the sealing portion side of the substrate.

上記基材部は、アンチグレア性および/または反射防止性を有する層を備えることが好ましい。上記アンチグレア性および/または反射防止性を有する層は、例えば、上記基材層の少なくとも一方の面に、アンチグレア処理および/または反射防止処理を施すことで、上記アンチグレア処理層や反射防止処理層として得られる。上記アンチグレア処理層および上記反射防止処理層は、同一層であってもよいし、互いに異なる層であってもよい。アンチグレア処理および反射防止処理は、それぞれ、公知乃至慣用の方法で実施することができる。 The substrate preferably includes a layer having antiglare and/or antireflection properties. The layer having antiglare and/or antireflection properties is obtained as the antiglare treatment layer or antireflection treatment layer by, for example, performing antiglare treatment and/or antireflection treatment on at least one surface of the substrate layer. The antiglare treatment layer and the antireflection treatment layer may be the same layer or different layers. The antiglare treatment and the antireflection treatment can be performed by known or conventional methods.

上記基材部の上記封止部を備える側の表面は、封止部との密着性、保持性等を高める目的で、例えば、コロナ放電処理、プラズマ処理、サンドマット加工処理、オゾン暴露処理、火炎暴露処理、高圧電撃暴露処理、イオン化放射線処理等の物理的処理;クロム酸処理等の化学的処理;コーティング剤(下塗り剤)による易接着処理等の表面処理が施されていてもよい。密着性を高めるための表面処理は、基材部における封止部側の表面全体に施されていることが好ましい。 The surface of the substrate on the side having the sealing portion may be subjected to a surface treatment such as physical treatment such as corona discharge treatment, plasma treatment, sand mat processing treatment, ozone exposure treatment, flame exposure treatment, high-voltage shock exposure treatment, and ionizing radiation treatment; chemical treatment such as chromate treatment; and adhesion-enhancing treatment using a coating agent (primer). The surface treatment for enhancing adhesion is preferably applied to the entire surface of the substrate on the sealing portion side.

図1に示す光半導体素子封止用シート1において、基材部2は、光学フィルム21と、プラスチックフィルム23とを有する複層であり、光学フィルム21とプラスチックフィルム23とは粘着剤層22を介して貼り合わせられている。また、光学フィルム21のプラスチックフィルム23と対向する面には、アンチグレア処理および反射防止処理が施されている。 In the sheet 1 for sealing optical semiconductor elements shown in FIG. 1, the substrate 2 is a multilayer having an optical film 21 and a plastic film 23, and the optical film 21 and the plastic film 23 are bonded together via an adhesive layer 22. In addition, the surface of the optical film 21 facing the plastic film 23 is treated with an anti-glare treatment and an anti-reflection treatment.

上記基材部の厚さは、支持体としての機能および表面の耐擦傷性に優れる観点から、5μm以上が好ましく、より好ましくは10μm以上である。上記基材部の厚さは、透明性により優れる観点から、300μm以下が好ましく、より好ましくは200μm以下である。 The thickness of the substrate is preferably 5 μm or more, more preferably 10 μm or more, from the viewpoint of excellent support function and surface scratch resistance. The thickness of the substrate is preferably 300 μm or less, more preferably 200 μm or less, from the viewpoint of excellent transparency.

(剥離ライナー)
上記剥離ライナーは、上記封止部表面を被覆して保護するための要素であり、光半導体素子が配置された基板に光半導体素子封止用シートを貼り合わせる際には当該シートから剥がされる。
(Release Liner)
The release liner is an element for covering and protecting the surface of the encapsulating portion, and is peeled off from the sheet when the optical semiconductor element encapsulating sheet is attached to a substrate on which an optical semiconductor element is arranged.

上記剥離ライナーとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、フッ素系剥離剤や長鎖アルキルアクリレート系剥離剤等の剥離剤により表面コートされたプラスチックフィルムや紙類などが挙げられる。 Examples of the release liners include polyethylene terephthalate (PET) films, polyethylene films, polypropylene films, plastic films and papers whose surfaces are coated with a release agent such as a fluorine-based release agent or a long-chain alkyl acrylate-based release agent.

上記剥離ライナーの厚さは、例えば10~200μm、好ましくは15~150μm、より好ましくは20~100μmである。上記厚さが10μm以上であると、剥離ライナーの加工時に切り込みにより破断しにくい。上記厚さが200μm以下であると、使用時に上記封止部から剥離ライナーをより剥離しやすい。 The thickness of the release liner is, for example, 10 to 200 μm, preferably 15 to 150 μm, and more preferably 20 to 100 μm. If the thickness is 10 μm or more, the release liner is less likely to break due to cuts during processing. If the thickness is 200 μm or less, the release liner is more easily peeled off from the sealing portion during use.

(光半導体素子封止用シート)
上記光半導体素子封止用シートにおける上記基材部および上記封止部の合計の厚さの割合は、上記光半導体素子封止用シートの厚さ(但し、剥離ライナーおよび表面保護フィルムを除く)100%に対し、80%以上であることが好ましく、より好ましくは90%以上である。また、基材部および封止部を含む、基材部表面から封止部表面までの厚さの割合が上記範囲内であることが好ましい。
(Optical semiconductor element encapsulation sheet)
The ratio of the total thickness of the substrate and the encapsulating portion in the optical semiconductor element encapsulation sheet is preferably 80% or more, more preferably 90% or more, relative to 100% of the thickness of the optical semiconductor element encapsulation sheet (excluding the release liner and the surface protective film). In addition, it is preferable that the ratio of the thickness from the substrate surface to the encapsulating portion surface, including the substrate and the encapsulating portion, is within the above range.

上記光半導体素子封止用シートにおける上記基材部および上記封止部の合計の厚さは、100~900μmであることが好ましく、より好ましくは200~800μmである。また、基材部および封止部を含む、基材部表面から封止部表面までの厚さが上記範囲内であることが好ましい。 The total thickness of the substrate and sealing portion in the optical semiconductor element encapsulation sheet is preferably 100 to 900 μm, and more preferably 200 to 800 μm. In addition, it is preferable that the thickness from the substrate surface to the sealing portion surface, including the substrate and sealing portion, is within the above range.

本発明の光半導体素子封止用シートの製造方法の一実施形態について説明する。例えば、図1に示す光半導体素子封止用シート1は、下記の方法で作製することができる。まず、基材部2を構成するプラスチックフィルム23に、放射線硬化性樹脂層31を形成する。上記放射線硬化性樹脂層31は、放射線硬化性樹脂層31を形成する樹脂組成物をプラスチックフィルム23の一方の面に塗布して樹脂組成物層を形成した後、加熱による脱溶媒や熱硬化等の放射線照射以外の硬化を行い、該樹脂組成物層を固化させることによって作製することができる。放射線硬化性樹脂層31の厚さを厚くする場合、別途剥離ライナーの剥離処理面上に同様にして作製された放射線硬化性樹脂層を、上記プラスチックフィルム23上に形成された放射線硬化性樹脂層上に重ね合わせて積層してもよい。 One embodiment of the method for producing a sheet for encapsulating optical semiconductor elements of the present invention will be described. For example, the sheet for encapsulating optical semiconductor elements 1 shown in FIG. 1 can be produced by the following method. First, a radiation curable resin layer 31 is formed on the plastic film 23 constituting the substrate portion 2. The radiation curable resin layer 31 can be produced by applying a resin composition for forming the radiation curable resin layer 31 to one side of the plastic film 23 to form a resin composition layer, and then performing curing other than radiation irradiation, such as desolvation by heating or heat curing, to solidify the resin composition layer. When the thickness of the radiation curable resin layer 31 is to be increased, a radiation curable resin layer produced in the same manner on the release-treated surface of a release liner may be laminated on the radiation curable resin layer formed on the plastic film 23.

上記放射線硬化性樹脂層を形成する樹脂組成物は、上記放射線硬化性樹脂層の放射線硬化性を損なわない限り、いずれの形態であってもよい。例えば、粘着剤組成物は、エマルジョン型、溶剤型(溶液型)、熱溶融型(ホットメルト型)などであってもよい。中でも、生産性に優れる粘着剤層が得やすい点より、溶剤型が好ましい。 The resin composition forming the radiation-curable resin layer may be in any form as long as it does not impair the radiation curability of the radiation-curable resin layer. For example, the adhesive composition may be an emulsion type, a solvent type (solution type), a hot melt type, etc. Among these, the solvent type is preferred because it is easy to obtain an adhesive layer with excellent productivity.

一方、別途準備した剥離ライナー4の剥離処理面上に放射線非硬化性粘着剤層32を形成する。上記放射線非硬化性粘着剤層32は、放射線非硬化性粘着剤層32を形成する粘着剤組成物を剥離ライナー4の剥離処理面上に塗布して粘着剤組成物層を形成した後、加熱による脱溶媒や硬化を行い、該粘着剤組成物層を固化させることによって作製することができる。そして、上記放射線非硬化性粘着剤層を上記放射線硬化性樹脂層上に積層する。このようにして、[プラスチックフィルム23/放射線硬化性樹脂層31/放射線非硬化性粘着剤層32/剥離ライナー4]の構成を有する積層体が得られる。 On the other hand, a radiation non-curable adhesive layer 32 is formed on the release-treated surface of a release liner 4 prepared separately. The radiation non-curable adhesive layer 32 can be produced by applying the adhesive composition that forms the radiation non-curable adhesive layer 32 onto the release-treated surface of the release liner 4 to form an adhesive composition layer, and then heating to remove the solvent and harden the adhesive composition layer to solidify it. The radiation non-curable adhesive layer is then laminated on the radiation curable resin layer. In this way, a laminate having a configuration of [plastic film 23/radiation curable resin layer 31/radiation non-curable adhesive layer 32/release liner 4] is obtained.

上記放射線非硬化性粘着剤層を形成する粘着剤組成物はいずれの形態であってもよい。例えば、粘着剤組成物は、エマルジョン型、溶剤型(溶液型)、活性エネルギー線硬化型、熱溶融型(ホットメルト型)などであってもよい。中でも、生産性に優れる粘着剤層が得やすい点より、溶剤型、活性エネルギー線硬化型の粘着剤組成物が好ましい。 The adhesive composition forming the non-radiation curable adhesive layer may be in any form. For example, the adhesive composition may be an emulsion type, a solvent type (solution type), an active energy ray curable type, a hot melt type, or the like. Among these, solvent type and active energy ray curable adhesive compositions are preferred because they are easy to obtain an adhesive layer with excellent productivity.

他方、光学フィルム21と粘着剤層22の積層体を作製する。具体的には、例えば、別途準備した剥離ライナーの剥離処理面上に、放射線非硬化性粘着剤層32と同様にして粘着剤層22を形成し、次いで光学フィルム21を粘着剤層22上に貼り合わせて作製することができる。そして、上記剥離ライナーを剥離して粘着剤層22を露出させ、上記積層体のプラスチックフィルム23の、放射線硬化性樹脂層31が形成されていない表面に貼り合わせる。上記樹脂組成物や粘着剤組成物の塗布手法としては、例えば、公知乃至慣用の塗布手法を採用でき、ロール塗工、スクリーン塗工、グラビア塗工など挙げられる。また、各種層の積層は、公知のローラーやラミネーターを用いて行うことができる。このようにして、図1に示す光半導体素子封止用シート1を作製することができる。 On the other hand, a laminate of the optical film 21 and the adhesive layer 22 is prepared. Specifically, for example, the adhesive layer 22 is formed on the release-treated surface of a separately prepared release liner in the same manner as the radiation-non-curable adhesive layer 32, and then the optical film 21 is laminated on the adhesive layer 22 to produce the laminate. The release liner is then peeled off to expose the adhesive layer 22, which is then laminated to the surface of the plastic film 23 of the laminate on which the radiation-curable resin layer 31 is not formed. For example, known or conventional coating methods can be used to apply the resin composition or adhesive composition, and examples of such methods include roll coating, screen coating, and gravure coating. In addition, the lamination of various layers can be performed using known rollers or laminators. In this manner, the optical semiconductor element encapsulation sheet 1 shown in FIG. 1 can be produced.

なお、本発明の光半導体素子封止用シートは、上述の方法に限定されず、基材部が複層で構成される場合はまず基材部を作製し、基材部に、放射線硬化性樹脂層および放射線非硬化性粘着剤層を適宜組み合わせて順次積層し、表面に放射線非硬化性粘着剤層が位置するように作製することができる。 The method for producing the optical semiconductor element encapsulation sheet of the present invention is not limited to the above-mentioned method. When the substrate portion is composed of multiple layers, the substrate portion can be produced first, and then a radiation curable resin layer and a non-radiation curable adhesive layer can be laminated in appropriate combinations on the substrate portion, so that the non-radiation curable adhesive layer is located on the surface.

本発明の光半導体装置封止用シートを用いて、光半導体素子が配置された基板上に放射線非硬化性粘着剤層を貼り合わせて封止部により光半導体素子を封止することで、光半導体装置を得ることができる。具体的には、まず、本発明の光半導体素子封止用シートから剥離ライナーを剥離して放射線非硬化性粘着剤層を露出させる。そして、基板と、上記基板上に配置された光半導体素子(好ましくは複数の光半導体素子)とを備える光学部材の、光半導体素子が配置された基板面に、本発明の光半導体素子封止用シートの露出面である放射線非硬化性粘着剤層面を貼り合わせ、上記光学部材が複数の光半導体素子を備える場合はさらに複数の光半導体素子間の隙間を放射線非硬化性粘着剤層が充填するように配置し、複数の光半導体素子を一括して封止する。このようにして、本発明の光半導体装置封止用シートを用いて光半導体素子を封止することができる。また、本発明の光半導体装置封止用シートを用いて、減圧環境下あるいは加圧しつつ貼り合わせることにより光半導体素子を封止してもよい。このような方法としては、例えば、特開2016-29689号公報や特開平6-97268に開示の方法が挙げられる。 Using the sheet for sealing an optical semiconductor device of the present invention, a non-radiation curable adhesive layer is laminated on a substrate on which an optical semiconductor element is arranged, and the optical semiconductor element is sealed by the sealing portion, thereby obtaining an optical semiconductor device. Specifically, first, the release liner is peeled off from the sheet for sealing an optical semiconductor element of the present invention to expose the non-radiation curable adhesive layer. Then, the exposed surface of the sheet for sealing an optical semiconductor element of the present invention is laminated to the substrate surface on which the optical semiconductor element is arranged of an optical member comprising a substrate and an optical semiconductor element (preferably a plurality of optical semiconductor elements) arranged on the substrate, and when the optical member comprises a plurality of optical semiconductor elements, the non-radiation curable adhesive layer is further arranged so as to fill the gaps between the plurality of optical semiconductor elements, and the plurality of optical semiconductor elements are sealed together. In this way, the sheet for sealing an optical semiconductor device of the present invention can be used to seal the optical semiconductor element. The sheet for sealing an optical semiconductor device of the present invention may also be used to seal the optical semiconductor element by laminating the sheet under reduced pressure or while applying pressure. Examples of such methods include those disclosed in JP 2016-29689 A and JP 6-97268 A.

[光半導体装置]
本発明の光半導体素子封止用シートを用いて光半導体装置を作製することができる。本発明の光半導体素子封止用シートを用いて製造される光半導体装置は、基板と、上記基板上に配置された光半導体素子と、上記光半導体素子を封止する本発明の光半導体素子封止用シートが硬化した硬化物と、を備える。上記硬化物は、本発明の光半導体素子封止用シートが放射線照射により硬化した硬化物であり、具体的には、本発明の光半導体素子封止用シートにおける放射線硬化性樹脂層が放射線照射により硬化した硬化封止層を備える。
[Optical semiconductor device]
An optical semiconductor device can be produced using the sheet for encapsulating an optical semiconductor element of the present invention. The optical semiconductor device produced using the sheet for encapsulating an optical semiconductor element of the present invention comprises a substrate, an optical semiconductor element disposed on the substrate, and a cured product obtained by curing the sheet for encapsulating an optical semiconductor element of the present invention, which encapsulates the optical semiconductor element. The cured product is a cured product obtained by curing the sheet for encapsulating an optical semiconductor element of the present invention by irradiation with radiation, and specifically comprises a cured encapsulating layer obtained by curing the radiation-curable resin layer in the sheet for encapsulating an optical semiconductor element of the present invention by irradiation with radiation.

上記光半導体素子としては、例えば、青色発光ダイオード、緑色発光ダイオード、赤色発光ダイオード、紫外線発光ダイオード等の発光ダイオード(LED)が挙げられる。 Examples of the optical semiconductor elements include light-emitting diodes (LEDs), such as blue light-emitting diodes, green light-emitting diodes, red light-emitting diodes, and ultraviolet light-emitting diodes.

上記光半導体装置において、本発明の光半導体素子封止用シートは、光半導体素子を凸部、複数の光半導体素子間の隙間を凹部としたときの凹凸への追従性に優れ光半導体素子の埋め込み性に優れるため、複数の光半導体素子を一括して封止していることが好ましい。 In the above optical semiconductor device, the optical semiconductor element encapsulation sheet of the present invention has excellent conformability to irregularities when the optical semiconductor elements are convex portions and the gaps between multiple optical semiconductor elements are concave portions, and has excellent embedding properties for the optical semiconductor elements, so it is preferable that multiple optical semiconductor elements are encapsulated together.

図2に、図1に示す光半導体素子封止用シート1を用いた光半導体装置の一実施形態を示す。図2に示す光半導体装置10は、基板5と、基板5の一方の面に配置された複数の光半導体素子6と、光半導体素子6を封止する光半導体素子封止用シートの硬化物1’とを備える。光半導体素子封止用シートの硬化物1’は光半導体素子封止用シート1から剥離ライナー4が剥離され、放射線硬化性樹脂層31が放射線照射により硬化して形成された硬化封止層31’が形成されたものである。複数の光半導体素子6は、一括して封止部に封止されている。封止部における放射線非硬化性粘着剤層32は、複数の光半導体素子6で形成された凹凸形状に追従して光半導体素子6および基板5に密着し、光半導体素子6を埋め込んでいる。 Figure 2 shows one embodiment of an optical semiconductor device using the optical semiconductor element encapsulation sheet 1 shown in Figure 1. The optical semiconductor device 10 shown in Figure 2 includes a substrate 5, a plurality of optical semiconductor elements 6 arranged on one side of the substrate 5, and a cured product 1' of the optical semiconductor element encapsulation sheet that encapsulates the optical semiconductor elements 6. The cured product 1' of the optical semiconductor element encapsulation sheet is formed by peeling the release liner 4 from the optical semiconductor element encapsulation sheet 1 and curing the radiation curable resin layer 31 by radiation irradiation to form a cured encapsulation layer 31'. The multiple optical semiconductor elements 6 are encapsulated together in the encapsulation section. The radiation non-curable adhesive layer 32 in the encapsulation section adheres closely to the optical semiconductor elements 6 and the substrate 5, following the uneven shape formed by the multiple optical semiconductor elements 6, and embeds the optical semiconductor elements 6.

なお、図2に示す光半導体装置10において、光半導体素子6は、放射線非硬化性粘着剤層32内に完全に埋め込まれて封止されており、且つ、硬化封止層31’により間接的に封止されている。上記光半導体装置は、このような態様に限定されず、光半導体素子6の一部が放射線非硬化性粘着剤層32から突出しており、当該一部が硬化封止層31’内に埋め込まれており、放射線非硬化性粘着剤層32と硬化封止層31’とで光半導体素子6が完全に埋め込まれて封止されている態様であってもよい。 In the optical semiconductor device 10 shown in FIG. 2, the optical semiconductor element 6 is completely embedded and sealed in the non-radiation curable adhesive layer 32, and is indirectly sealed by the cured sealing layer 31'. The optical semiconductor device is not limited to this embodiment, and may be an embodiment in which a part of the optical semiconductor element 6 protrudes from the non-radiation curable adhesive layer 32, the part is embedded in the cured sealing layer 31', and the optical semiconductor element 6 is completely embedded and sealed between the non-radiation curable adhesive layer 32 and the cured sealing layer 31'.

上記光半導体装置は、上述のように、放射線非硬化性粘着剤層と、放射線硬化性樹脂層の硬化物である硬化封止層とにより光半導体素子を封止している。このため、光半導体素子は放射線非硬化性粘着剤層に密着しており、光半導体素子の封止性に優れ、且つ、硬化封止層の側面の粘着性が低いため、タイリングされた状態において、隣接する光半導体装置同士を引き離す際、容易に引き離すことができ、シートの欠損や隣接する光半導体装置のシートの付着が起こりにくい。 As described above, the optical semiconductor device seals the optical semiconductor element with a non-radiation curable adhesive layer and a cured sealing layer that is a cured product of the radiation curable resin layer. Therefore, the optical semiconductor element is in close contact with the non-radiation curable adhesive layer, which provides excellent sealing properties for the optical semiconductor element, and the side surface of the cured sealing layer has low adhesion, so that when adjacent optical semiconductor devices are separated from each other in a tiled state, they can be easily separated, and sheet damage and adhesion of adjacent optical semiconductor device sheets are unlikely to occur.

上記光半導体装置は、個々の光半導体装置がタイリングされたものであってもよい。すなわち、上記光半導体装置は、複数の光半導体装置が平面方向にタイル状に配置されたものであってもよい。 The optical semiconductor device may be a tiled arrangement of individual optical semiconductor devices. In other words, the optical semiconductor device may be a tiled arrangement of multiple optical semiconductor devices in a planar direction.

図3に複数の光半導体装置が配置されて作製された光半導体装置の一実施形態を示す。図3に示す光半導体装置20は、複数の光半導体装置10が縦方向に4個、横方向に4個の計16個が平面方向にタイル状に配置(タイリング)されたものである。隣接する2つの光半導体装置10間の境界20aでは、光半導体装置10同士が隣接しているが、これらは容易に引き離すことができ、封止部側面の欠損や、隣接する光半導体装置の一方から他方に、上記封止部側面において欠損した樹脂の付着が起こりにくい。 Figure 3 shows one embodiment of an optical semiconductor device fabricated by arranging multiple optical semiconductor devices. The optical semiconductor device 20 shown in Figure 3 is a tiled arrangement (tiling) of multiple optical semiconductor devices 10 in the planar direction, with four in the vertical direction and four in the horizontal direction, for a total of 16 devices. At the boundary 20a between two adjacent optical semiconductor devices 10, the optical semiconductor devices 10 are adjacent to each other, but they can be easily separated, and there is little risk of damage to the side of the sealing portion or adhesion of the resin that has been lost on the side of the sealing portion from one adjacent optical semiconductor device to the other.

上記光半導体装置は、液晶画面のバックライトであることが好ましく、特に全面直下型のバックライトであることが好ましい。また、上記バックライトと表示パネルとを組み合わせることで画像表示装置とすることができる。上記光半導体装置が液晶画面のバックライトである場合の光半導体素子はLED素子である。例えば、上記バックライトにおいて、上記基板上には、各LED素子に発光制御信号を送るための金属配線層が積層されている。赤色(R)、緑色(G)、青色(B)の各色の光を発する各LED素子は、表示パネルの基板上に金属配線層を介して交互に配列されている。金属配線層は、銅などの金属によって形成されており、各LED素子の発光を反射して、画像の視認性を低下させる。また、RGBの各色の各LED素子が発する光が混色し、コントラストが低下する。 The optical semiconductor device is preferably a backlight for a liquid crystal screen, and particularly preferably a full-surface direct-light type backlight. In addition, the backlight can be combined with a display panel to form an image display device. When the optical semiconductor device is a backlight for a liquid crystal screen, the optical semiconductor element is an LED element. For example, in the backlight, a metal wiring layer for sending a light emission control signal to each LED element is laminated on the substrate. Each LED element emitting light of each color, red (R), green (G), and blue (B), is alternately arranged on the substrate of the display panel via a metal wiring layer. The metal wiring layer is formed of a metal such as copper, and reflects the light emitted by each LED element, thereby reducing the visibility of the image. In addition, the light emitted by each LED element of each color of RGB is mixed, reducing the contrast.

また、上記光半導体装置は、自発光型表示装置であることが好ましい。また、上記自発光型表示装置と、必要に応じて表示パネルとを組み合わせることで画像表示装置とすることができる。上記光半導体装置が自発光型表示装置である場合の光半導体素子はLED素子である。上記自発光型表示装置としては、有機エレクトロルミネッセンス(有機EL)表示装置などが挙げられる。例えば、上記自発光型表示装置において、上記基板上には、各LED素子に発光制御信号を送るための金属配線層が積層されている。赤色(R)、緑色(G)、青色(B)の各色の光を発する各LED素子は、基板上に金属配線層を介して交互に配列されている。金属配線層は、銅などの金属によって形成されており、各LED素子の発光度合いを調整して各色を表示させる。 The optical semiconductor device is preferably a self-luminous display device. The self-luminous display device can be combined with a display panel as necessary to form an image display device. When the optical semiconductor device is a self-luminous display device, the optical semiconductor element is an LED element. Examples of the self-luminous display device include an organic electroluminescence (organic EL) display device. For example, in the self-luminous display device, a metal wiring layer for sending a light emission control signal to each LED element is laminated on the substrate. Each LED element emitting light of each color, red (R), green (G), and blue (B), is alternately arranged on the substrate via a metal wiring layer. The metal wiring layer is formed of a metal such as copper, and the light emission degree of each LED element is adjusted to display each color.

本発明の光半導体素子封止用シートは、折り曲げて使用される光半導体装置、例えば、折り曲げ可能な画像表示装置(フレキシブルディスプレイ)(特に、折り畳み可能な画像表示装置(フォルダブルディスプレイ))を有する光半導体装置に用いることができる。具体的には、折り畳み可能なバックライトおよび折り畳み可能な自発光型表示装置などに使用することができる。 The optical semiconductor element encapsulation sheet of the present invention can be used in optical semiconductor devices that are folded when used, such as optical semiconductor devices having a foldable image display device (flexible display) (particularly, a foldable image display device (foldable display)). Specifically, it can be used in foldable backlights and foldable self-luminous display devices.

本発明の光半導体素子封止用シートは、光半導体素子の埋め込み性に優れるため、上記光半導体装置がミニLED表示装置である場合およびマイクロLED表示装置である場合のいずれにも好ましく使用することができる。 The optical semiconductor element encapsulation sheet of the present invention has excellent embeddability for optical semiconductor elements, and can therefore be preferably used when the optical semiconductor device is a mini LED display device or a micro LED display device.

[光半導体装置の製造方法]
上記光半導体装置は、例えば、基板と、上記基板上に配置された光半導体素子と、上記光半導体素子を封止する、本発明の光半導体素子封止用シートの上記放射線硬化性樹脂層が硬化した硬化物と、を備える積層体をダイシングして光半導体装置を得るダイシング工程とを少なくとも備える製造方法により製造することができる。上記硬化物は、本発明の光半導体素子封止用シートが放射線照射により硬化した硬化物であり、具体的には、本発明の光半導体素子封止用シートにおける放射線硬化性樹脂層が放射線照射により硬化した硬化封止層を備える。
[Method of manufacturing optical semiconductor device]
The optical semiconductor device can be produced, for example, by a production method including at least a dicing step of dicing a laminate including a substrate, an optical semiconductor element disposed on the substrate, and a cured product obtained by curing the radiation-curable resin layer of the sheet for encapsulating an optical semiconductor element of the present invention, which encapsulates the optical semiconductor element, to obtain an optical semiconductor device. The cured product is a cured product obtained by curing the sheet for encapsulating an optical semiconductor element of the present invention by irradiation with radiation, and specifically includes a cured encapsulating layer obtained by curing the radiation-curable resin layer in the sheet for encapsulating an optical semiconductor element of the present invention by irradiation with radiation.

放射線硬化性樹脂層を放射線照射して硬化する際、酸素が存在する側面においては硬化が阻害され、硬化が不充分となりやすい。これに対し、上記ダイシング工程を備える上記製造方法によれば、放射線照射により上記放射線硬化性樹脂層を硬化させた硬化封止層を含む光半導体素子封止用シートの硬化物を備える積層体について、上記ダイシング工程において硬化が不充分である側端部を切り落として除去することにより、充分に硬化して密着性が低下した領域が側面に露出した光半導体装置を得ることができる。このようにして製造された光半導体装置は、硬化後の放射線硬化性樹脂層側面の密着性が充分に低下しているため、タイリング状態において隣接する光半導体装置同士を引き離す際、シートの欠損や隣接する光半導体装置のシートの付着が起こりにくい。 When the radiation-curable resin layer is irradiated with radiation and cured, curing is inhibited on the side where oxygen is present, and curing is likely to be insufficient. In contrast, according to the above-mentioned manufacturing method including the above-mentioned dicing step, for a laminate including a cured product of a sheet for encapsulating optical semiconductor elements, including a cured encapsulating layer obtained by curing the radiation-curable resin layer by radiation irradiation, the side end portion that is insufficiently cured in the dicing step can be cut off and removed to obtain an optical semiconductor device in which an area that has been sufficiently cured and has reduced adhesion is exposed on the side. In the optical semiconductor device manufactured in this way, the adhesion of the side surface of the radiation-curable resin layer after curing is sufficiently reduced, so that when adjacent optical semiconductor devices are separated in a tiling state, the sheet is less likely to be damaged or the sheets of adjacent optical semiconductor devices are less likely to adhere to each other.

上記製造方法は、さらに、上記基板と、上記基板上に配置された光半導体素子と、上記光半導体素子を封止する上記光半導体素子封止用シートと、を備える積層体に放射線を照射して上記放射線硬化性樹脂層を硬化させて上記硬化物を得る放射線照射工程を備えていてもよい。 The manufacturing method may further include a radiation exposure step of irradiating radiation to a laminate including the substrate, an optical semiconductor element disposed on the substrate, and the optical semiconductor element encapsulation sheet that encapsulates the optical semiconductor element, thereby curing the radiation curable resin layer and obtaining the cured product.

上記製造方法は、上記放射線照射工程の前に、上記光半導体素子封止用シートを、上記基板上に設けられた上記光半導体素子に貼り合わせて上記光半導体素子を上記封止部により封止する封止工程を備えていてもよい。 The manufacturing method may include a sealing step of bonding the sheet for sealing an optical semiconductor element to the optical semiconductor element provided on the substrate and sealing the optical semiconductor element with the sealing portion before the radiation irradiation step.

また、上記製造方法は、さらに、上記ダイシング工程で得られた複数の光半導体装置を平面方向に接触するように並べるタイリング工程を備えていてもよい。以下、図2に示す光半導体装置10および図3に示す光半導体装置20の製造方法を適宜参酌して説明する。 The above manufacturing method may further include a tiling step in which multiple optical semiconductor devices obtained in the dicing step are arranged in contact with each other in a planar direction. Below, the manufacturing method of the optical semiconductor device 10 shown in FIG. 2 and the optical semiconductor device 20 shown in FIG. 3 will be described with appropriate reference.

(封止工程)
上記封止工程では、本発明の光半導体素子封止用シートを、光半導体素子が配置された基板に貼り合わせ、封止部により光半導体素子を封止する。上記封止工程では、具体的には、図4に示すように、剥離ライナー4を剥離した光半導体素子封止用シート1の放射線非硬化性粘着剤層32を、基板5の光半導体素子6が配置された面に対向するように配置し、光半導体素子封止用シート1を基板5の光半導体素子6が配置された面に貼り合わせ、図5に示すように光半導体素子6を封止部3に埋め込む。図4に示すように、貼り合わせに使用される基板5は、図2に示す光半導体装置10における基板5よりも平面方向に広く延びており、基板5の端部付近には光半導体素子6が配置されていない。また、貼り合わせる光半導体素子封止用シート1は、貼り合わせに使用される基板5よりも平面方向に広く延びている。すなわち、封止工程において貼り合わせられる光半導体素子封止用シート1の基板5に対向する面の面積は、封止工程において貼り合わせられる基板5の光半導体素子封止用シート1に対向する面の面積よりも大きい。これは、光半導体素子封止用シート1および基板5の積層体において光半導体装置に使用される領域においては後の放射線照射工程において充分に硬化を進行させ、光半導体素子封止用シート1および基板5の、硬化が不充分である可能性のある端部付近は後のダイシング工程においてダイシングされて除去されるためである。
(Sealing process)
In the above-mentioned encapsulation step, the sheet for encapsulating optical semiconductor elements of the present invention is attached to a substrate on which an optical semiconductor element is arranged, and the optical semiconductor element is encapsulated by the encapsulation part. In the above-mentioned encapsulation step, specifically, as shown in FIG. 4, the radiation non-curable adhesive layer 32 of the sheet for encapsulating optical semiconductor elements 1 from which the release liner 4 has been peeled is arranged so as to face the surface of the substrate 5 on which the optical semiconductor element 6 is arranged, and the sheet for encapsulating optical semiconductor elements 1 is attached to the surface of the substrate 5 on which the optical semiconductor element 6 is arranged, and the optical semiconductor element 6 is embedded in the encapsulation part 3 as shown in FIG. 5. As shown in FIG. 4, the substrate 5 used for encapsulation extends wider in the planar direction than the substrate 5 in the optical semiconductor device 10 shown in FIG. 2, and the optical semiconductor element 6 is not arranged near the end of the substrate 5. In addition, the sheet for encapsulating optical semiconductor elements 1 to be affixed extends wider in the planar direction than the substrate 5 to be affixed. That is, the area of the surface of the sheet for encapsulating optical semiconductor elements 1 to be affixed in the encapsulation step facing the substrate 5 is larger than the area of the surface of the substrate 5 to be affixed in the encapsulation step facing the sheet for encapsulating optical semiconductor elements 1. This is because the area of the laminate of the sheet 1 for encapsulating an optical semiconductor element and the substrate 5 that is to be used for the optical semiconductor device is sufficiently cured in the subsequent radiation exposure process, while the areas near the edges of the sheet 1 for encapsulating an optical semiconductor element and the substrate 5 that may not be sufficiently cured are diced and removed in the subsequent dicing process.

上記貼り合わせの際の温度は、例えば室温から110℃の範囲内である。また、上記貼り合わせの際、減圧または加圧してもよい。減圧や加圧により封止部と基板または光半導体素子との間に空隙が形成されるのを抑制することができる。また、上記封止工程では、減圧下で光半導体素子封止用シートを貼り合わせ、その後加圧することが好ましい。減圧する場合の圧力は例えば1~100Paであり、減圧時間は例えば5~600秒である。また、加圧する場合の圧力は例えば0.05~0.5MPaであり、減圧時間は例えば5~600秒である。 The temperature during the lamination is, for example, within the range of room temperature to 110°C. In addition, the pressure may be reduced or pressurized during the lamination. By reducing the pressure or applying pressure, it is possible to prevent the formation of voids between the sealing portion and the substrate or the optical semiconductor element. In the sealing step, it is preferable to laminate the optical semiconductor element sealing sheet under reduced pressure and then apply pressure. When reducing the pressure, the pressure is, for example, 1 to 100 Pa, and the depressurization time is, for example, 5 to 600 seconds. When applying pressure, the pressure is, for example, 0.05 to 0.5 MPa, and the depressurization time is, for example, 5 to 600 seconds.

(放射線照射工程)
上記放射線照射工程では、上記光半導体素子が配置された上記基板に上記光半導体素子封止用シートが貼り合わせられた積層体(例えば、上記封止工程で得られた積層体)に対し、放射線を照射して、上記放射線硬化性樹脂層を硬化させる。上記放射線照射工程では、具体的には、図6に示すように、放射線硬化性樹脂層31を硬化させて硬化封止層31’が形成され、光半導体素子封止用シート1の硬化物1’が得られる。上記放射線としては上述のように、電子線、紫外線、α線、β線、γ線、X線などが挙げられる。中でも、紫外線が好ましい。放射線照射時の温度は、例えば室温から100℃の範囲内であり、照射時間は例えば1分~1時間である。
(Radiation Irradiation Step)
In the radiation irradiation step, radiation is irradiated to a laminate (e.g., a laminate obtained in the encapsulation step) in which the sheet for encapsulating an optical semiconductor element is attached to the substrate on which the optical semiconductor element is disposed, to cure the radiation curable resin layer. Specifically, in the radiation irradiation step, as shown in FIG. 6, the radiation curable resin layer 31 is cured to form a cured encapsulation layer 31', and a cured product 1' of the sheet for encapsulating an optical semiconductor element 1 is obtained. As described above, examples of the radiation include electron beams, ultraviolet rays, α rays, β rays, γ rays, and X-rays. Among these, ultraviolet rays are preferred. The temperature during radiation irradiation is, for example, within the range of room temperature to 100° C., and the irradiation time is, for example, 1 minute to 1 hour.

(ダイシング工程)
上記ダイシング工程では、基板と、上記基板上に配置された光半導体素子と、上記光半導体素子を封止する、本発明の光半導体素子封止用シートの硬化物と、を備える積層体(例えば、上記放射線照射工程を経た積層体)をダイシングする。ここで、ダイシング工程に付す積層体において、光半導体素子封止用シートの硬化物1’および基板5は、上述のように、最終的に得られる光半導体装置10よりも平面方向に広く延びている。そして、上記ダイシング工程では、光半導体素子封止用シートの硬化物および基板の側端部をダイシングして除去する。具体的には、図7に示す鎖線の位置でダイシングを行い、側端部を除去する。上記ダイシングは、公知乃至慣用の方法により行うことができ、例えば、ダイシングブレードを用いた方法や、レーザー照射により行うことができる。このようにして、例えば図2に示す光半導体装置10を製造することができる。
(Dicing process)
In the dicing step, a laminate (e.g., a laminate having undergone the radiation irradiation step) including a substrate, an optical semiconductor element disposed on the substrate, and a cured product of the optical semiconductor element encapsulation sheet of the present invention that encapsulates the optical semiconductor element is diced. Here, in the laminate to be subjected to the dicing step, the cured product 1' of the optical semiconductor element encapsulation sheet and the substrate 5 extend wider in the planar direction than the optical semiconductor device 10 finally obtained, as described above. Then, in the dicing step, the side end portions of the cured product of the optical semiconductor element encapsulation sheet and the substrate are diced and removed. Specifically, dicing is performed at the position of the dashed line shown in FIG. 7 to remove the side end portions. The dicing can be performed by a known or conventional method, for example, a method using a dicing blade or laser irradiation. In this manner, for example, the optical semiconductor device 10 shown in FIG. 2 can be manufactured.

ここで、上記製造方法においては、例えば、上記放射線照射工程を経ること等により得られる、放射線硬化性樹脂層が硬化した状態においてダイシングを行うことが重要である。放射線硬化性樹脂層が硬化していない状態でダイシングを行った場合、ダイシング後に光半導体素子封止用シートの側端部を引き離して除去しようとする際、除去される側端部および残される光半導体装置における放射線硬化性樹脂層同士の粘着性が高く、密着して引き合い、残される光半導体装置中の放射線硬化性樹脂層に欠損が生じる、残される光半導体装置に除去される側端部の放射線硬化性樹脂層の一部が転写して付着するといった不具合が生じる場合がある。これに対し、放射線硬化性樹脂層が硬化した状態でダイシングを行う、上記ダイシング工程を備えることにより、放射線硬化性樹脂層は硬化して硬化封止層となっているため、ダイシング部分の側面の密着性が低く、上記不具合の発生を抑制することができる。 Here, in the above manufacturing method, it is important to perform dicing in a state where the radiation curable resin layer is cured, for example, by undergoing the above radiation irradiation step. If dicing is performed in a state where the radiation curable resin layer is not cured, when the side end of the sheet for sealing optical semiconductor elements is to be pulled apart and removed after dicing, the adhesion between the radiation curable resin layers in the side end to be removed and the remaining optical semiconductor device is high, and they may adhere to each other and attract each other, resulting in defects in the radiation curable resin layer in the remaining optical semiconductor device, or a part of the radiation curable resin layer of the side end to be removed may be transferred and attached to the remaining optical semiconductor device. In contrast, by providing the above dicing step in which dicing is performed in a state where the radiation curable resin layer is cured, the radiation curable resin layer is cured to become a cured sealing layer, so that the adhesion of the side of the diced part is low, and the occurrence of the above defects can be suppressed.

また、放射線硬化性樹脂層を放射線照射して硬化する際、酸素が存在する側面においては硬化が阻害され、硬化が不充分となりやすい。これに対し、上記ダイシング工程を備える上記製造方法によれば、上記放射線硬化性樹脂層が硬化した状態で、上記ダイシング工程において硬化が不充分である端部を切り落として除去することにより、側面が充分に硬化して密着性が低下した光半導体装置を得ることができる。このようにして製造された光半導体装置は、放射線硬化性樹脂層の硬化後において側面の密着性が充分に低下しているため、タイリング状態において隣接する光半導体装置同士を引き離す際、シートの欠損や隣接する光半導体装置のシートの付着が起こりにくい。一方、上記ダイシング工程を備えない場合、タイリングの際、硬化が不充分である側面が隣接する光半導体装置と接触することになるため、隣接する光半導体装置同士を引き離そうとする際、側面同士が密着して引き合い、一方の光半導体装置中の放射線硬化性樹脂層に欠損が生じたり、一方の光半導体装置に他方の光半導体装置における放射線硬化性樹脂層の一部が転写して付着したりするといった不具合が生じやすい。 In addition, when the radiation curable resin layer is irradiated with radiation and cured, curing is inhibited on the side where oxygen is present, and curing is likely to be insufficient. In contrast, according to the manufacturing method including the dicing step, in a state where the radiation curable resin layer is cured, the end portion where the curing is insufficient in the dicing step is cut off and removed, thereby obtaining an optical semiconductor device with sufficiently cured side and reduced adhesion. In the optical semiconductor device manufactured in this way, the adhesion of the side is sufficiently reduced after the radiation curable resin layer is cured, so that when adjacent optical semiconductor devices are separated in a tiling state, the sheet is unlikely to be damaged or the sheets of the adjacent optical semiconductor devices are unlikely to adhere to each other. On the other hand, if the dicing step is not included, the side where the curing is insufficient comes into contact with the adjacent optical semiconductor device during tiling, so that when adjacent optical semiconductor devices are separated from each other, the side surfaces are likely to adhere to each other and attract each other, causing defects such as damage to the radiation curable resin layer in one optical semiconductor device or a part of the radiation curable resin layer in the other optical semiconductor device being transferred and attached to one optical semiconductor device.

(タイリング工程)
上記タイリング工程では、上記ダイシング工程で得られた複数の光半導体装置を平面方向に接触するように並べてタイリングする。このようにして、例えば図3に示す光半導体装置20を製造することができる。タイリングして得られた光半導体装置は、光半導体素子の封止性に優れながら、隣接する光半導体装置同士を引き離す際、シートの欠損や隣接する光半導体装置のシートの付着が起こりにくい。
(Tiling process)
In the tiling step, the multiple optical semiconductor devices obtained in the dicing step are arranged in a tiled manner so as to be in contact with each other in a planar direction. In this manner, for example, the optical semiconductor device 20 shown in Fig. 3 can be manufactured. The optical semiconductor device obtained by tiling has excellent sealing properties for optical semiconductor elements, and is less likely to suffer from sheet damage or adhesion of the sheets of adjacent optical semiconductor devices when the adjacent optical semiconductor devices are separated from each other.

以下に実施例を挙げて本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例により何ら限定されるものではない。 The present invention will be described in more detail below with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples in any way.

実施例1
<TACフィルム/バインダー粘着剤層>
モノマー成分として、アクリル酸2-エチルヘキシル(2EHA)69.7質量部、アクリル酸2-メトキシエチル(MEA)10質量部、アクリル酸2-ヒドロキシエチル(HEA)13質量部、N-ビニル-2-ピロリドン(NVP)6質量部、N-ヒドロキシエチルアクリルアミド(HEAA)1.3質量部、重合開始剤として2,2’-アゾビスイソブチロニトリル0.1質量部、および重合溶媒として酢酸エチル200質量部を、セパラブルフラスコに投入し、窒素ガスを導入しながら、1時間撹拌した。このようにして、重合系内の酸素を除去した後、63℃に昇温し、10時間反応させて、酢酸エチルを加え、固形分濃度30質量%のアクリル系ポリマー溶液を得た。上記アクリル系ポリマー100質量部に対して、架橋剤としてイソシアネート系架橋剤(商品名「タケネートD110N」、三井化学株式会社製)を0.2質量部、シランカップリング剤としてγ-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン(商品名「KBM-403」、信越化学工業株式会社製)0.15質量部、架橋促進剤としてエチレンジアミンにプロピレンオキシドを付加したポリオール(商品名「EDP-300」、株式会社ADEKA製)0.2質量部を加え、粘着剤組成物(溶液)を調製した。次に、上記粘着剤組成物(溶液)を、剥離ライナー(セパレータ)(商品名「MRF38」、三菱ケミカル株式会社製)の剥離処理面上に、乾燥後の厚さが25μmとなるように塗布し、常圧下、60℃で1分間および155℃で1分間加熱乾燥し、バインダー粘着剤層としての両面粘着シートを得た。そして、トリアセチルセルロース(TAC)フィルム(商品名「DSR3-LR」、大日本印刷株式会社製、総厚45μm、アンチグレア/反射防止処理)の非処理面に対して、ハンドローラーを用いて、バインダー粘着剤層の粘着面を気泡が入らないように貼り合わせた。このようにして、[TACフィルム/バインダー粘着剤層/剥離ライナー]の構成を有する積層体を作製した。
Example 1
<TAC film/binder adhesive layer>
As monomer components, 2-ethylhexyl acrylate (2EHA) 69.7 parts by mass, 2-methoxyethyl acrylate (MEA) 10 parts by mass, 2-hydroxyethyl acrylate (HEA) 13 parts by mass, N-vinyl-2-pyrrolidone (NVP) 6 parts by mass, N-hydroxyethyl acrylamide (HEAA) 1.3 parts by mass, 2,2'-azobisisobutyronitrile 0.1 parts by mass as a polymerization initiator, and ethyl acetate 200 parts by mass as a polymerization solvent were charged into a separable flask and stirred for 1 hour while introducing nitrogen gas. In this way, after removing oxygen from the polymerization system, the temperature was raised to 63 ° C., reacted for 10 hours, and ethyl acetate was added to obtain an acrylic polymer solution with a solid content concentration of 30% by mass. To 100 parts by mass of the acrylic polymer, 0.2 parts by mass of an isocyanate-based crosslinking agent (product name "Takenate D110N", manufactured by Mitsui Chemicals, Inc.) as a crosslinking agent, 0.15 parts by mass of γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane (product name "KBM-403", manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) as a silane coupling agent, and 0.2 parts by mass of a polyol obtained by adding propylene oxide to ethylenediamine as a crosslinking accelerator (product name "EDP-300", manufactured by ADEKA Corporation) were added to prepare a pressure-sensitive adhesive composition (solution). Next, the pressure-sensitive adhesive composition (solution) was applied to the release-treated surface of a release liner (separator) (product name "MRF38", manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) so that the thickness after drying was 25 μm, and the mixture was heated and dried at normal pressure at 60 ° C. for 1 minute and at 155 ° C. for 1 minute to obtain a double-sided pressure-sensitive adhesive sheet as a binder pressure-sensitive adhesive layer. Then, the adhesive surface of the binder adhesive layer was laminated to the untreated surface of a triacetyl cellulose (TAC) film (product name "DSR3-LR", manufactured by Dai Nippon Printing Co., Ltd., total thickness 45 μm, anti-glare/anti-reflection treatment) using a hand roller so as to avoid trapping air bubbles. In this way, a laminate having a configuration of [TAC film/binder adhesive layer/release liner] was produced.

<PETフィルム/紫外線硬化性粘着剤層/放射線非硬化性粘着剤層>
(紫外線硬化性粘着剤層)
アクリル酸ブチルアクリレート(BA)189.77質量部、アクリル酸シクロヘキシル(CHA)38.04質量部、アクリル酸2-ヒドロキシエチル(HEA)85.93質量部、重合開始剤として2,2’-アゾビスイソブチロニトリル0.94質量部、および重合溶媒としてメチルエチルケトン379.31質量部を、1L丸底セパラブルフラスコに、セパラブルカバー、分液ロート、温度計、窒素導入管、リービッヒ冷却器、バキュームシール、撹拌棒、撹拌羽が装備された重合用実験装置に投入し、撹拌しながら、常温で6時間、窒素置換した。その後、窒素を流入下、撹拌しながら、65℃下で4時間そして75℃下で2時間保持して重合し、樹脂溶液を得た。
次いで、得られた樹脂溶液を室温まで冷却した。その後、上記樹脂溶液に、重合性炭素-炭素二重結合を有する化合物として、2-イソシアナトエチルメタクリレート(商品名「カレンズMOI」、昭和電工株式会社製)57.43質量部を加えた。さらにジラウリン酸ジブチルスズ(IV)(富士フイルム和光純薬株式会社製)0.29質量部を添加し、空気雰囲気下、50℃で24時間撹拌して、ベースポリマーを得た。
得られたベースポリマーの固形分100質量部に対して、イソシアネート化合物(商品名「コロネートL」、東ソー株式会社製、固形分75質量%)1.5質量部、および、2,2-ジメトキシ-1,2-ジフェニル-1-オン(商品名「omnirad 651」、IGM Resins Italia Srl社製)1質量部を混合した。トルエンを希釈溶剤として用いて、固形分率20~40質量%となるように調整し、粘着剤溶液(1)を得た。
<PET film/UV-curable adhesive layer/non-radiation-curable adhesive layer>
(UV curable adhesive layer)
189.77 parts by mass of butyl acrylate (BA), 38.04 parts by mass of cyclohexyl acrylate (CHA), 85.93 parts by mass of 2-hydroxyethyl acrylate (HEA), 0.94 parts by mass of 2,2'-azobisisobutyronitrile as a polymerization initiator, and 379.31 parts by mass of methyl ethyl ketone as a polymerization solvent were placed in a 1L round-bottom separable flask, a separable cover, a separating funnel, a thermometer, a nitrogen inlet tube, a Liebig condenser, a vacuum seal, a stirring rod, and a stirring blade in a polymerization experimental apparatus equipped with the stirring rod and the stirring blade, and the mixture was substituted with nitrogen at room temperature for 6 hours while stirring. Thereafter, the mixture was polymerized by holding at 65°C for 4 hours and at 75°C for 2 hours while stirring under nitrogen inflow, to obtain a resin solution.
The resin solution was then cooled to room temperature. Thereafter, 57.43 parts by mass of 2-isocyanatoethyl methacrylate (product name "Karenz MOI", manufactured by Showa Denko K.K.) was added to the resin solution as a compound having a polymerizable carbon-carbon double bond. Furthermore, 0.29 parts by mass of dibutyltin(IV) dilaurate (manufactured by Fujifilm Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) was added, and the mixture was stirred at 50°C for 24 hours in an air atmosphere to obtain a base polymer.
1.5 parts by mass of an isocyanate compound (product name "Coronate L", manufactured by Tosoh Corporation, solid content 75% by mass) and 1 part by mass of 2,2-dimethoxy-1,2-diphenyl-1-one (product name "Omnirad 651", manufactured by IGM Resins Italia Srl) were mixed with 100 parts by mass of the solid content of the obtained base polymer. The solid content was adjusted to 20 to 40% by mass using toluene as a dilution solvent, to obtain a pressure-sensitive adhesive solution (1).

この粘着剤溶液(1)を、PETフィルム(商品名「T912E75(UE80-)」、三菱ケミカル株式会社製、厚さ75μm)の処理面上に、乾燥後の厚さが112.5μmとなるように塗布し、常圧下、50℃で1分間および125℃で5分間加熱乾燥させ、紫外線硬化性粘着剤層(1)を形成した。他方、上記で得られた粘着剤溶液(1)を、剥離ライナー(商品名「MRF38」、三菱ケミカル株式会社製)の剥離処理面上に、乾燥後の厚さが112.5μmとなるように塗布し、常圧下、50℃で1分間および125℃で5分間加熱乾燥させ、紫外線硬化性粘着剤層(2)を形成した。 This adhesive solution (1) was applied to the treated surface of a PET film (product name "T912E75 (UE80-)", manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, thickness 75 μm) so that the thickness after drying would be 112.5 μm, and the film was heated and dried at normal pressure at 50°C for 1 minute and at 125°C for 5 minutes to form an ultraviolet-curable adhesive layer (1). On the other hand, the adhesive solution (1) obtained above was applied to the release-treated surface of a release liner (product name "MRF38", manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) so that the thickness after drying would be 112.5 μm, and the film was heated and dried at normal pressure at 50°C for 1 minute and at 125°C for 5 minutes to form an ultraviolet-curable adhesive layer (2).

そして、PETフィルム上に形成した紫外線硬化性粘着剤層(1)と剥離ライナー上に形成した紫外線硬化性粘着剤層(2)の粘着剤層面同士をハンドローラーを用いて気泡が入らないように貼り合わせ、1つの紫外線硬化性粘着剤層を形成した。その後剥離ライナーを剥離した。このようにして、[PETフィルム/紫外線硬化性粘着剤層]の構成を有する積層体を作製した。 Then, the adhesive layer surfaces of the ultraviolet-curable adhesive layer (1) formed on the PET film and the ultraviolet-curable adhesive layer (2) formed on the release liner were bonded together using a hand roller while being careful not to trap air bubbles, to form one ultraviolet-curable adhesive layer. The release liner was then peeled off. In this way, a laminate having a configuration of [PET film/ultraviolet-curable adhesive layer] was produced.

(放射線非硬化性粘着剤層)
アクリル酸ブチルアクリレート(BA)189.77質量部、アクリル酸シクロヘキシル(CHA)38.04質量部、アクリル酸2-ヒドロキシエチル(HEA)85.93質量部、重合開始剤として2,2’-アゾビスイソブチロニトリル0.94質量部、および重合溶媒としてメチルエチルケトン379.31質量部を、1L丸底セパラブルフラスコに、セパラブルカバー、分液ロート、温度計、窒素導入管、リービッヒ冷却器、バキュームシール、撹拌棒、撹拌羽が装備された重合用実験装置に投入し、撹拌しながら、常温で6時間、窒素置換した。その後、窒素を流入下、撹拌しながら、65℃下で4時間そして75℃下で2時間保持して重合し、樹脂溶液を得た。
得られた樹脂溶液に、ベースポリマーの固形分100質量部に対して、イソシアネート化合物(商品名「コロネートL」、東ソー株式会社製、固形分75質量%)1.5質量部を混合した。トルエンを希釈溶剤として用いて、固形分率20~40質量%となるように調整し、粘着剤溶液(2)を得た。
(Radiation non-curable adhesive layer)
Acrylic acid butyl acrylate (BA) 189.77 parts by mass, cyclohexyl acrylate (CHA) 38.04 parts by mass, 2-hydroxyethyl acrylate (HEA) 85.93 parts by mass, 2,2'-azo as a polymerization initiator 0.94 parts by mass of bisisobutyronitrile and 379.31 parts by mass of methyl ethyl ketone as a polymerization solvent were placed in a 1 L round-bottom separable flask equipped with a separable cover, a separating funnel, a thermometer, a nitrogen inlet tube, a Liebig condenser, and The mixture was placed in a polymerization experiment apparatus equipped with a vacuum seal, a stirring rod, and a stirring blade, and the mixture was purged with nitrogen at room temperature for 6 hours while stirring. After that, the mixture was purged with nitrogen at 65°C for 4 hours while stirring. The mixture was then kept at 75° C. for 2 hours to polymerize, yielding a resin solution.
The obtained resin solution was mixed with 1.5 parts by mass of an isocyanate compound (product name "Coronate L", manufactured by Tosoh Corporation, solid content 75% by mass) per 100 parts by mass of the solid content of the base polymer. As a dilution solvent, the solid content was adjusted to 20 to 40 mass %, to obtain a pressure-sensitive adhesive solution (2).

この粘着剤溶液(2)を、剥離ライナー(商品名「MRF38」、三菱ケミカル株式会社製)の剥離処理面上に、乾燥後の厚さが25μmとなるように塗布し、常圧下、125℃で2分間加熱乾燥させ、放射線非硬化性粘着剤層を形成した。 This adhesive solution (2) was applied to the release-treated surface of a release liner (product name "MRF38", manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) so that the thickness after drying would be 25 μm, and the solution was dried by heating at 125°C for 2 minutes under normal pressure to form a non-radiation-curable adhesive layer.

(PETフィルム/紫外線硬化性粘着剤層/放射線非硬化性粘着剤層)
上記放射線非硬化性粘着剤層を、[PETフィルム/紫外線硬化性粘着剤層]の構成を有する積層体の紫外線硬化性粘着剤層面に対して、ハンドローラーを用いて気泡が入らないように貼り合わせた。このようにして、[PETフィルム/紫外線硬化性粘着剤層/放射線非硬化性粘着剤層/剥離ライナー]の構成を有する積層体を作製した。
(PET film/UV-curable adhesive layer/non-radiation-curable adhesive layer)
The non-radiation-curable adhesive layer was attached to the surface of the ultraviolet-curable adhesive layer of a laminate having a structure of [PET film/ultraviolet-curable adhesive layer] using a hand roller so as to avoid air bubbles being trapped in. In this way, a laminate having a structure of [PET film/ultraviolet-curable adhesive layer/non-radiation-curable adhesive layer/release liner] was produced.

<光半導体素子封止用シート>
[TACフィルム/バインダー粘着剤層/剥離ライナー]の構成を有する積層体から剥離ライナーを剥がし、露出したバインダー粘着剤層面を、[PETフィルム/紫外線硬化性粘着剤層/放射線非硬化性粘着剤層/剥離ライナー]の構成を有する積層体のPETフィルム面に対して、ハンドローラーを用いて気泡が入らないように貼り合わせた。その後、50℃で48時間エージングを行い、[TACフィルム/バインダー粘着剤層/PETフィルム/紫外線硬化性粘着剤層/放射線非硬化性粘着剤層/剥離ライナー]の層構成を有する、実施例1の光半導体素子封止用シートを作製した。
<Optical semiconductor element encapsulation sheet>
The release liner was peeled off from the laminate having the structure of [TAC film/binder adhesive layer/release liner], and the exposed binder adhesive layer surface was attached to the PET film surface of the laminate having the structure of [PET film/ultraviolet ray curable adhesive layer/non-radiation curable adhesive layer/release liner] using a hand roller so as not to trap air bubbles. After that, aging was performed at 50° C. for 48 hours, and the optical semiconductor element encapsulation sheet of Example 1 having the layer structure of [TAC film/binder adhesive layer/PET film/ultraviolet ray curable adhesive layer/non-radiation curable adhesive layer/release liner] was produced.

実施例2
紫外線硬化性粘着剤層(1)の厚さを100μm、紫外線硬化性粘着剤層(2)の厚さを100μm(紫外線硬化性粘着剤層の総厚さ:200μm)とし、放射線非硬化性粘着剤層の厚さを50μmとしたこと以外は、実施例1と同様にして、実施例2の光半導体素子封止用シートを作製した。
Example 2
An optical semiconductor element encapsulation sheet of Example 2 was produced in the same manner as in Example 1, except that the thickness of the ultraviolet-curable pressure-sensitive adhesive layer (1) was 100 μm, the thickness of the ultraviolet-curable pressure-sensitive adhesive layer (2) was 100 μm (total thickness of the ultraviolet-curable pressure-sensitive adhesive layers: 200 μm), and the thickness of the non-radiation-curable pressure-sensitive adhesive layer was 50 μm.

実施例3
<PETフィルム/紫外線硬化性粘着剤層/放射線非硬化性粘着剤層>
(紫外線硬化性粘着剤層)
実施例1で作製した粘着剤溶液(1)を、PETフィルム(商品名「T912E75(UE80-)」、三菱ケミカル株式会社製、厚さ75μm)の処理面上に、乾燥後の厚さが125μmとなるように塗布し、常圧下、50℃で1分間および125℃で5分間加熱乾燥させ、紫外線硬化性粘着剤層を形成した。
Example 3
<PET film/UV-curable adhesive layer/non-radiation-curable adhesive layer>
(UV curable adhesive layer)
The adhesive solution (1) prepared in Example 1 was applied onto a treated surface of a PET film (product name "T912E75 (UE80-)", manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, thickness 75 μm) so that the thickness after drying would be 125 μm, and the applied solution was heated and dried at normal pressure at 50° C. for 1 minute and at 125° C. for 5 minutes to form an ultraviolet-curable adhesive layer.

(放射線非硬化性粘着剤層)
実施例1で作製した粘着剤溶液(2)を、剥離ライナー(商品名「MRF38」、三菱ケミカル株式会社製)の剥離処理面上に、乾燥後の厚さが125μmとなるように塗布し、常圧下、50℃で1分間および125℃で5分間加熱乾燥させ、放射線非硬化性粘着剤層を形成した。
(Radiation non-curable adhesive layer)
The adhesive solution (2) prepared in Example 1 was applied onto the release-treated surface of a release liner (product name "MRF38", manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) so that the thickness after drying would be 125 μm. The coating was dried by heating at normal pressure at 50° C. for 1 minute and at 125° C. for 5 minutes to form a non-radiation curable pressure-sensitive adhesive layer.

<光半導体素子封止用シート>
上記で得られた放射線非硬化性粘着剤層および紫外線硬化性粘着剤層を用いたこと以外は実施例1と同様にして、実施例3の光半導体素子封止用シートを作製した。
<Optical semiconductor element encapsulation sheet>
An optical semiconductor element encapsulation sheet of Example 3 was produced in the same manner as in Example 1, except that the non-radiation-curable pressure-sensitive adhesive layer and the ultraviolet-curable pressure-sensitive adhesive layer obtained above were used.

実施例4
実施例1で作製した粘着剤溶液(1)を、PETフィルム(商品名「T912E75(UE80-)」、三菱ケミカル株式会社製、厚さ75μm)の処理面上に、乾燥後の厚さが125μmとなるように塗布し、常圧下、50℃で1分間および125℃で5分間加熱乾燥させ、紫外線硬化性粘着剤層(1)を形成した。他方、実施例1で作製した粘着剤溶液(1)を、剥離ライナー(商品名「MRF38」、三菱ケミカル株式会社製)の剥離処理面上に、乾燥後の厚さが125μmとなるように塗布し、常圧下、50℃で1分間および125℃で5分間加熱乾燥させ、紫外線硬化性粘着剤層(2)を形成した。
そして、上記紫外線硬化性粘着剤層(1)に、別途作製した上記紫外線硬化性粘着剤層(2)を順次3層積層し、総厚さ500μmの紫外線硬化性粘着剤層を作製した。
Example 4
The adhesive solution (1) prepared in Example 1 was applied onto the treated surface of a PET film (product name "T912E75 (UE80-)", manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, thickness 75 μm) so as to have a thickness of 125 μm after drying, and heated and dried at normal pressure at 50° C. for 1 minute and at 125° C. for 5 minutes to form an ultraviolet-curable adhesive layer (1). On the other hand, the adhesive solution (1) prepared in Example 1 was applied onto the release-treated surface of a release liner (product name "MRF38", manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) so as to have a thickness of 125 μm after drying, and heated and dried at normal pressure at 50° C. for 1 minute and at 125° C. for 5 minutes to form an ultraviolet-curable adhesive layer (2).
Then, three layers of the above-mentioned ultraviolet-curable adhesive layer (2) prepared separately were laminated on the above-mentioned ultraviolet-curable adhesive layer (1) to prepare an ultraviolet-curable adhesive layer having a total thickness of 500 μm.

実施例1で作製した粘着剤溶液(2)を、剥離ライナー(商品名「MRF38」、三菱ケミカル株式会社製)の剥離処理面上に、乾燥後の厚さが5μmとなるように塗布し、常圧下、125℃で2分間加熱乾燥させ、放射線非硬化性粘着剤層を形成した。 The adhesive solution (2) prepared in Example 1 was applied to the release-treated surface of a release liner (product name "MRF38", manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) so that the thickness after drying would be 5 μm, and the solution was dried by heating at 125°C for 2 minutes under normal pressure to form a non-radiation-curable adhesive layer.

上記で得られた放射線非硬化性粘着剤層および紫外線硬化性粘着剤層を用いたこと以外は実施例1と同様にして、実施例4の光半導体素子封止用シートを作製した。 The optical semiconductor element encapsulation sheet of Example 4 was produced in the same manner as in Example 1, except that the non-radiation curable adhesive layer and the ultraviolet-curable adhesive layer obtained above were used.

実施例5
実施例1で作製した粘着剤溶液(1)を、PETフィルム(商品名「T912E75(UE80-)」、三菱ケミカル株式会社製、厚さ75μm)の処理面上に、乾燥後の厚さが25μmとなるように塗布し、常圧下、50℃で1分間および125℃で2分間加熱乾燥させ、紫外線硬化性粘着剤層を形成した。
Example 5
The adhesive solution (1) prepared in Example 1 was applied onto a treated surface of a PET film (product name "T912E75 (UE80-)", manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, thickness 75 μm) so that the thickness after drying would be 25 μm, and the applied solution was dried by heating at normal pressure at 50° C. for 1 minute and at 125° C. for 2 minutes to form an ultraviolet-curable adhesive layer.

実施例1で作製した粘着剤溶液(2)を、剥離ライナー(商品名「MRF38」、三菱ケミカル株式会社製)の剥離処理面上に、乾燥後の厚さが112.5μmとなるように塗布し、常圧下、50℃で1分間および125℃で5分間加熱乾燥させ、放射線非硬化性粘着剤層(1)を形成した。 The adhesive solution (2) prepared in Example 1 was applied to the release-treated surface of a release liner (product name "MRF38", manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) so that the thickness after drying would be 112.5 μm, and the solution was dried by heating at normal pressure at 50°C for 1 minute and at 125°C for 5 minutes to form a non-radiation-curable adhesive layer (1).

そして、PETフィルム上に形成した紫外線硬化性粘着剤層と剥離ライナー上に形成した放射線非硬化性粘着剤層(1)の粘着剤層面同士をハンドローラーを用いて気泡が入らないように貼り合わせ、その後剥離ライナーを剥離した。このようにして、[PETフィルム/紫外線硬化性粘着剤層/放射線非硬化性粘着剤層(1)]の構成を有する積層体を作製した。 Then, the adhesive layer surfaces of the ultraviolet-curable adhesive layer formed on the PET film and the non-radiation-curable adhesive layer (1) formed on the release liner were attached to each other using a hand roller while being careful not to trap air bubbles, and then the release liner was peeled off. In this way, a laminate having a configuration of [PET film/ultraviolet-curable adhesive layer/non-radiation-curable adhesive layer (1)] was produced.

他方、実施例1で作製した粘着剤溶液(2)を、剥離ライナー(商品名「MRF38」、三菱ケミカル株式会社製)の剥離処理面上に、乾燥後の厚さが112.5μmとなるように塗布し、常圧下、50℃で1分間および125℃で5分間加熱乾燥させ、放射線非硬化性粘着剤層(2)を形成した。 On the other hand, the adhesive solution (2) prepared in Example 1 was applied to the release-treated surface of a release liner (product name "MRF38", manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) so that the thickness after drying would be 112.5 μm, and the solution was dried by heating at normal pressure at 50°C for 1 minute and at 125°C for 5 minutes to form a non-radiation-curable adhesive layer (2).

そして、[PETフィルム/紫外線硬化性粘着剤層/放射線非硬化性粘着剤層(1)]の構成を有する積層体における放射線非硬化性粘着剤層(1)と剥離ライナー上に形成した放射線非硬化性粘着剤層(2)の粘着剤層面同士をハンドローラーを用いて気泡が入らないように貼り合わせ、1つの放射線非硬化性粘着剤層を形成した。このようにして、[PETフィルム/紫外線硬化性粘着剤層/放射線非硬化性粘着剤層/剥離ライナー]の構成を有する積層体を作製した。 Then, the adhesive layer surfaces of the radiation non-curable adhesive layer (1) in the laminate having the configuration of [PET film/UV-curable adhesive layer/non-radiation-curable adhesive layer (1)] and the radiation non-curable adhesive layer (2) formed on the release liner were bonded together using a hand roller to avoid the inclusion of air bubbles, forming one non-radiation-curable adhesive layer. In this way, a laminate having the configuration of [PET film/UV-curable adhesive layer/non-radiation-curable adhesive layer/release liner] was produced.

実施例1で作製した[TACフィルム/バインダー粘着剤層/剥離ライナー]の構成を有する積層体から剥離ライナーを剥がし、露出したバインダー粘着剤層面を、[PETフィルム/紫外線硬化性粘着剤層/放射線非硬化性粘着剤層/剥離ライナー]の構成を有する積層体のPETフィルム面に対して、ハンドローラーを用いて気泡が入らないように貼り合わせた。その後、50℃で48時間エージングを行い、[TACフィルム/バインダー粘着剤層/PETフィルム/紫外線硬化性粘着剤層/放射線非硬化性粘着剤層/剥離ライナー]の層構成を有する、実施例5の光半導体素子封止用シートを作製した。 The release liner was peeled off from the laminate having the structure of [TAC film/binder adhesive layer/release liner] prepared in Example 1, and the exposed binder adhesive layer surface was attached to the PET film surface of the laminate having the structure of [PET film/UV-curable adhesive layer/non-radiation-curable adhesive layer/release liner] using a hand roller, taking care not to introduce air bubbles. After that, aging was performed at 50°C for 48 hours, and the optical semiconductor element encapsulation sheet of Example 5 having the layer structure of [TAC film/binder adhesive layer/PET film/UV-curable adhesive layer/non-radiation-curable adhesive layer/release liner] was prepared.

比較例1
実施例1で作製した粘着剤溶液(2)を、PETフィルム(商品名「T912E75(UE80-)」、三菱ケミカル株式会社製、厚さ75μm)の処理面上に、乾燥後の厚さが125μmとなるように塗布し、常圧下、50℃で1分間および125℃で5分間加熱乾燥させ放射線非硬化性粘着剤層(1)を形成した。他方、実施例1で作製した粘着剤溶液(2)を、剥離ライナー(商品名「MRF38」、三菱ケミカル株式会社製)の剥離処理面上に、乾燥後の厚さが125μmとなるように塗布し、常圧下、50℃で1分間および125℃で5分間加熱乾燥させ、放射線非硬化性粘着剤層(2)を形成した。
Comparative Example 1
The adhesive solution (2) prepared in Example 1 was applied onto the treated surface of a PET film (product name "T912E75 (UE80-)", manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, thickness 75 μm) to a thickness of 125 μm after drying, and heated and dried at normal pressure at 50° C. for 1 minute and at 125° C. for 5 minutes to form a non-radiation-curable adhesive layer (1). On the other hand, the adhesive solution (2) prepared in Example 1 was applied onto the release-treated surface of a release liner (product name "MRF38", manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) to a thickness of 125 μm after drying, and heated and dried at normal pressure at 50° C. for 1 minute and at 125° C. for 5 minutes to form a non-radiation-curable adhesive layer (2).

そして、PETフィルム上に形成した放射線非硬化性粘着剤層(1)と剥離ライナー上に形成した放射線非硬化性粘着剤層(2)の粘着剤層面同士をハンドローラーを用いて気泡が入らないように貼り合わせ、1つの放射線非硬化性粘着剤層を形成した。このようにして、[PETフィルム/放射線非硬化性粘着剤層/剥離ライナー]の構成を有する積層体を作製した。 Then, the adhesive layer surfaces of the non-radiation-curable adhesive layer (1) formed on the PET film and the non-radiation-curable adhesive layer (2) formed on the release liner were bonded together using a hand roller while being careful not to trap air bubbles, to form one non-radiation-curable adhesive layer. In this way, a laminate having a configuration of [PET film/non-radiation-curable adhesive layer/release liner] was produced.

実施例1で作製した[TACフィルム/バインダー粘着剤層/剥離ライナー]の構成を有する積層体から剥離ライナーを剥がし、露出したバインダー粘着剤層面を、[PETフィルム/放射線非硬化性粘着剤層/剥離ライナー]の構成を有する積層体のPETフィルム面に対して、ハンドローラーを用いて気泡が入らないように貼り合わせた。その後、50℃で48時間エージングを行い、[TACフィルム/バインダー粘着剤層/PETフィルム/放射線非硬化性粘着剤層/剥離ライナー]の層構成を有する、比較例1の光半導体素子封止用シートを作製した。 The release liner was peeled off from the laminate having the structure of [TAC film/binder adhesive layer/release liner] prepared in Example 1, and the exposed binder adhesive layer surface was attached to the PET film surface of the laminate having the structure of [PET film/non-radiation curable adhesive layer/release liner] using a hand roller while being careful not to introduce air bubbles. After that, aging was performed at 50°C for 48 hours, and a sheet for encapsulating optical semiconductor elements of Comparative Example 1 having a layer structure of [TAC film/binder adhesive layer/PET film/non-radiation curable adhesive layer/release liner] was prepared.

比較例2
実施例1で作製した粘着剤溶液(1)を、PETフィルム(商品名「T912E75(UE80-)」、三菱ケミカル株式会社製、厚さ75μm)の処理面上に、乾燥後の厚さが125μmとなるように塗布し、常圧下、50℃で1分間および125℃で5分間加熱乾燥させ紫外線硬化性粘着剤層(1)を形成した。他方、実施例1で作製した粘着剤溶液(1)を、剥離ライナー(商品名「MRF38」、三菱ケミカル株式会社製)の剥離処理面上に、乾燥後の厚さが125μmとなるように塗布し、常圧下、50℃で1分間および125℃で5分間加熱乾燥させ、紫外線硬化性粘着剤層(2)を形成した。
Comparative Example 2
The adhesive solution (1) prepared in Example 1 was applied onto the treated surface of a PET film (product name "T912E75 (UE80-)", manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, thickness 75 μm) so as to have a thickness of 125 μm after drying, and heated and dried at normal pressure at 50° C. for 1 minute and at 125° C. for 5 minutes to form an ultraviolet-curable adhesive layer (1). On the other hand, the adhesive solution (1) prepared in Example 1 was applied onto the release-treated surface of a release liner (product name "MRF38", manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) so as to have a thickness of 125 μm after drying, and heated and dried at normal pressure at 50° C. for 1 minute and at 125° C. for 5 minutes to form an ultraviolet-curable adhesive layer (2).

そして、PETフィルム上に形成した紫外線硬化性粘着剤層(1)と剥離ライナー上に形成した紫外線硬化性粘着剤層(2)の粘着剤層面同士をハンドローラーを用いて気泡が入らないように貼り合わせ、1つの紫外線硬化性粘着剤層を形成した。このようにして、[PETフィルム/紫外線硬化性粘着剤層/剥離ライナー]の構成を有する積層体を作製した。 Then, the adhesive layer surfaces of the ultraviolet-curable adhesive layer (1) formed on the PET film and the ultraviolet-curable adhesive layer (2) formed on the release liner were bonded together using a hand roller while being careful not to trap air bubbles, to form one ultraviolet-curable adhesive layer. In this way, a laminate having a configuration of [PET film/ultraviolet-curable adhesive layer/release liner] was produced.

実施例1で作製した[TACフィルム/バインダー粘着剤層/剥離ライナー]の構成を有する積層体から剥離ライナーを剥がし、露出したバインダー粘着剤層面を、[PETフィルム/紫外線硬化性粘着剤層/剥離ライナー]の構成を有する積層体のPETフィルム面に対して、ハンドローラーを用いて気泡が入らないように貼り合わせた。その後、50℃で48時間エージングを行い、[TACフィルム/バインダー粘着剤層/PETフィルム/紫外線硬化性粘着剤層/剥離ライナー]の層構成を有する、比較例2の光半導体素子封止用シートを作製した。 The release liner was peeled off from the laminate having the structure of [TAC film/binder adhesive layer/release liner] prepared in Example 1, and the exposed binder adhesive layer surface was attached to the PET film surface of the laminate having the structure of [PET film/UV-curable adhesive layer/release liner] using a hand roller, taking care not to introduce air bubbles. After that, aging was performed at 50°C for 48 hours, and a sheet for encapsulating optical semiconductor elements of Comparative Example 2 having a layer structure of [TAC film/binder adhesive layer/PET film/UV-curable adhesive layer/release liner] was prepared.

比較例3
実施例1で作製した粘着剤溶液(2)を、PETフィルム(商品名「T912E75(UE80-)」、三菱ケミカル株式会社製、厚さ75μm)の処理面上に、乾燥後の厚さが25μmとなるように塗布し、常圧下、50℃で1分間および125℃で2分間加熱乾燥させ、放射線非硬化性粘着剤層を形成した。
Comparative Example 3
The adhesive solution (2) prepared in Example 1 was applied onto a treated surface of a PET film (product name "T912E75 (UE80-)", manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, thickness 75 μm) so as to give a dried thickness of 25 μm, and then heated and dried at normal pressure at 50° C. for 1 minute and at 125° C. for 2 minutes to form a non-radiation curable adhesive layer.

実施例1で作製した粘着剤溶液(1)を、剥離ライナー(商品名「MRF38」、三菱ケミカル株式会社製)の剥離処理面上に、乾燥後の厚さが112.5μmとなるように塗布し、常圧下、50℃で1分間および125℃で5分間加熱乾燥させ、紫外線硬化性粘着剤層(1)を形成した。 The adhesive solution (1) prepared in Example 1 was applied to the release-treated surface of a release liner (product name "MRF38", manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) so that the thickness after drying would be 112.5 μm, and the solution was dried by heating at normal pressure at 50°C for 1 minute and at 125°C for 5 minutes to form an ultraviolet-curable adhesive layer (1).

そして、PETフィルム上に形成した放射線非硬化性粘着剤層と剥離ライナー上に形成した紫外線硬化性粘着剤層(1)の粘着剤層面同士をハンドローラーを用いて気泡が入らないように貼り合わせ、その後剥離ライナーを剥離した。このようにして、[PETフィルム/放射線非硬化性粘着剤層/紫外線硬化性粘着剤層(1)]の構成を有する積層体を作製した。 Then, the adhesive layer surfaces of the non-radiation curable adhesive layer formed on the PET film and the ultraviolet-curable adhesive layer (1) formed on the release liner were attached to each other using a hand roller while being careful not to trap air bubbles, and then the release liner was peeled off. In this way, a laminate having a configuration of [PET film/non-radiation curable adhesive layer/ultraviolet-curable adhesive layer (1)] was produced.

他方、実施例1で作製した粘着剤溶液(1)を、剥離ライナー(商品名「MRF38」、三菱ケミカル株式会社製)の剥離処理面上に、乾燥後の厚さが112.5μmとなるように塗布し、常圧下、50℃で1分間および125℃で5分間加熱乾燥させ、紫外線硬化性粘着剤層(2)を形成した。 On the other hand, the adhesive solution (1) prepared in Example 1 was applied to the release-treated surface of a release liner (product name "MRF38", manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) so that the thickness after drying would be 112.5 μm, and the solution was dried by heating at normal pressure at 50°C for 1 minute and at 125°C for 5 minutes to form an ultraviolet-curable adhesive layer (2).

そして、[PETフィルム/放射線非硬化性粘着剤層/紫外線硬化性粘着剤層(1)]の構成を有する積層体における紫外線硬化性粘着剤層(1)と剥離ライナー上に形成した紫外線硬化性粘着剤層(2)の粘着剤層面同士をハンドローラーを用いて気泡が入らないように貼り合わせ、1つの紫外線硬化性粘着剤層を形成した。このようにして、[PETフィルム/放射線非硬化性粘着剤層/紫外線硬化性粘着剤層/剥離ライナー]の構成を有する積層体を作製した。 Then, the adhesive layer surfaces of the ultraviolet-curable adhesive layer (1) in the laminate having the configuration of [PET film/non-radiation-curable adhesive layer/ultraviolet-curable adhesive layer (1)] and the ultraviolet-curable adhesive layer (2) formed on the release liner were bonded together using a hand roller so as to avoid the inclusion of air bubbles, forming one ultraviolet-curable adhesive layer. In this way, a laminate having the configuration of [PET film/non-radiation-curable adhesive layer/ultraviolet-curable adhesive layer/release liner] was produced.

実施例1で作製した[TACフィルム/バインダー粘着剤層/剥離ライナー]の構成を有する積層体から剥離ライナーを剥がし、露出したバインダー粘着剤層面を、[PETフィルム/放射線非硬化性粘着剤層/紫外線硬化性粘着剤層/剥離ライナー]の構成を有する積層体のPETフィルム面に対して、ハンドローラーを用いて気泡が入らないように貼り合わせた。その後、50℃で48時間エージングを行い、[TACフィルム/バインダー粘着剤層/PETフィルム/放射線非硬化性粘着剤層/紫外線硬化性粘着剤層/剥離ライナー]の層構成を有する、比較例3の光半導体素子封止用シートを作製した。 The release liner was peeled off from the laminate having the structure of [TAC film/binder adhesive layer/release liner] prepared in Example 1, and the exposed binder adhesive layer surface was attached to the PET film surface of the laminate having the structure of [PET film/non-radiation curable adhesive layer/UV curable adhesive layer/release liner] using a hand roller so as not to introduce air bubbles. After that, aging was performed at 50°C for 48 hours, and a sheet for encapsulating optical semiconductor elements of Comparative Example 3 was prepared, having a layer structure of [TAC film/binder adhesive layer/PET film/non-radiation curable adhesive layer/UV curable adhesive layer/release liner].

<評価>
実施例および比較例で得られた紫外線硬化性粘着剤層および光半導体素子封止用シートについて、以下の評価を行った。結果を表に示す。
<Evaluation>
The ultraviolet-curable pressure-sensitive adhesive layers and the sheets for encapsulating optical semiconductor elements obtained in the examples and comparative examples were evaluated as follows. The results are shown in the table below.

(1)ナノインデンテーション法による硬さ
実施例および比較例でそれぞれ得られた光半導体素子封止用シートについて、TACフィルム側から下記の紫外線照射条件にて紫外線照射を行い、紫外線硬化性粘着剤層を硬化させた。その後、-40℃~-30℃で10~15分間凍結させた後、当該凍結条件下でウルトラミクロトームを用いて厚さ方向に切断して硬化後の紫外線硬化性粘着剤層の断面を露出させた。そして、装置に付属している金属製ステージに、断面が露出した光半導体素子封止用シートを、Pentel修正液(品番「XEZL1-W」)を固めることで固定した後、装置の窓等にポリイミドフィルムを貼り遮光した上で評価を行った。ナノインデンター(商品名「TriboIndenter」、HYSITRON Inc.社製)を用い、下記のナノインデンテーション測定条件で、硬化後の紫外線硬化性粘着剤層の表面のナノインデンテーション測定を行った。そして、得られた硬さを表1に示す。
<紫外線照射条件>
紫外線照射装置:商品名「UM810」、日東精機株式会社製
光源:高圧水銀灯
照射強度:50mW/cm2(測定機器:商品名「紫外線照度計UT-101」、ウシオ電機株式会社製)
照射時間:100秒
積算光量:5000mJ/cm2
<ナノインデンテーション測定条件>
使用圧子:Berkovich(三角錐型)
測定方法:単一押し込み測定
測定温度:23℃
押し込み深さ設定:3.0μm
負荷速度:500nm/s
除荷速度:500nm/s
(1) Hardness by nanoindentation method The optical semiconductor element encapsulation sheets obtained in the examples and comparative examples were irradiated with ultraviolet light from the TAC film side under the following ultraviolet irradiation conditions to cure the ultraviolet curable adhesive layer. After that, the sheets were frozen at -40°C to -30°C for 10 to 15 minutes, and then cut in the thickness direction using an ultramicrotome under the frozen conditions to expose the cross section of the cured ultraviolet curable adhesive layer. Then, the optical semiconductor element encapsulation sheet with the exposed cross section was fixed to a metal stage attached to the device by solidifying Pentel correction fluid (product number "XEZL1-W"), and then a polyimide film was attached to the window of the device to block light and then evaluation was performed. Using a nanoindenter (product name "Tribolindenter", manufactured by HYSITRON Inc.), nanoindentation measurement was performed on the surface of the cured ultraviolet curable adhesive layer under the following nanoindentation measurement conditions. The obtained hardness is shown in Table 1.
<Ultraviolet ray irradiation conditions>
Ultraviolet irradiation device: Product name "UM810", manufactured by Nitto Seiki Co., Ltd. Light source: High pressure mercury lamp Irradiation intensity: 50 mW/cm 2 (Measuring device: Product name "Ultraviolet illuminometer UT-101", manufactured by Ushio Inc.)
Irradiation time: 100 seconds Accumulated light quantity: 5000 mJ/ cm2
<Nanoindentation measurement conditions>
Indenter used: Berkovich (triangular pyramid type)
Measurement method: Single indentation measurement Measurement temperature: 23°C
Press depth setting: 3.0 μm
Load speed: 500nm/s
Unloading speed: 500nm/s

(2)ダイシング評価
実施例および比較例で得られた光半導体素子封止用シートについて、基板(商品名「鉛フリーユニバーサル基板ICB93SGPBF」、サンハヤト株式会社製)のパターン面に対して、剥離ライナーを剥離して露出した粘着剤層面全面をハンドローラーで貼り合わせ、試験サンプルを作製した。なお、光半導体素子封止用シートの粘着剤層面積は、貼り合わせられる基板の面積よりも大きい。貼り合わせは、温度22℃、湿度50%の環境下で、気泡が入らないようにして行った。その後、上記試験サンプルについてTACフィルム側から下記の紫外線照射条件(1)にて紫外線照射を行い、紫外線硬化性粘着剤層を硬化させた。なお、紫外線硬化性粘着剤層を有しない比較例1の光半導体素子封止用シートを用いた試験サンプルについては紫外線照射を行わなかった。
<紫外線照射条件(1)>
紫外線照射装置:商品名「UM810」、日東精機株式会社製
光源:高圧水銀灯
照射強度:50mW/cm2(測定機器:商品名「紫外線照度計UT-101」、ウシオ電機株式会社製)
照射時間:100秒
積算光量:5000mJ/cm2
(2) Dicing Evaluation For the optical semiconductor element encapsulation sheets obtained in the examples and comparative examples, the entire surface of the adhesive layer exposed by peeling off the release liner was attached to the pattern surface of a substrate (product name "Lead-free universal substrate ICB93SGPBF", manufactured by Sanhayato Co., Ltd.) with a hand roller to prepare a test sample. The adhesive layer area of the optical semiconductor element encapsulation sheet is larger than the area of the substrate to be attached. The lamination was performed in an environment of a temperature of 22°C and a humidity of 50% so as not to introduce air bubbles. Thereafter, the above test sample was irradiated with ultraviolet light from the TAC film side under the following ultraviolet light irradiation conditions (1) to cure the ultraviolet-curable adhesive layer. The test sample using the optical semiconductor element encapsulation sheet of Comparative Example 1, which does not have an ultraviolet-curable adhesive layer, was not irradiated with ultraviolet light.
<Ultraviolet irradiation conditions (1)>
Ultraviolet irradiation device: Product name "UM810", manufactured by Nitto Seiki Co., Ltd. Light source: High pressure mercury lamp Irradiation intensity: 50 mW/cm 2 (Measuring device: Product name "Ultraviolet illuminometer UT-101", manufactured by Ushio Inc.)
Irradiation time: 100 seconds Accumulated light quantity: 5000 mJ/ cm2

紫外線照射後、試験サンプルの光半導体素子封止用シートを貼付していない側である基板表面にダイシングテープ(商品名「NBD-5172K」、日東電工株式会社製)を貼付した。ダイシングテープの粘着剤面にはダイシングするためのダイシングリングを貼付した。貼付後、遮光下および温度22℃の環境下で30分放置した。その後、下記のダイシング条件で、試験サンプルおよびダイシングテープの積層体について、基板の側端から内側に向かって5mmの位置のブレードダイシングを行った。
<ダイシング条件>
ダイシング装置:商品名「DFD-6450」、株式会社ディスコ製
カット方式:シングルカット
ダイシング速度:30mm/秒
ダイシングブレード:商品名「P1A861 SDC400N75BR597」、株式会社ディスコ製
ダイシングブレード回転数:30,000rpm
ブレード高さ:85μm
水量:1.5L/分
ダイシング間隔:10mm
1回のダイシングの距離:試験サンプルの全長分
After the ultraviolet irradiation, a dicing tape (product name "NBD-5172K", manufactured by Nitto Denko Corporation) was attached to the surface of the substrate on the side of the test sample on which the optical semiconductor element encapsulation sheet was not attached. A dicing ring for dicing was attached to the adhesive surface of the dicing tape. After attachment, the sample was left for 30 minutes in a light-shielded environment at a temperature of 22°C. Then, the laminate of the test sample and the dicing tape was subjected to blade dicing at a position 5 mm inward from the side edge of the substrate under the following dicing conditions.
<Dicing conditions>
Dicing device: Product name "DFD-6450", manufactured by Disco Corporation Cutting method: Single cut Dicing speed: 30 mm/sec Dicing blade: Product name "P1A861 SDC400N75BR597", manufactured by Disco Corporation Dicing blade rotation speed: 30,000 rpm
Blade height: 85 μm
Water volume: 1.5 L/min Dicing interval: 10 mm
Distance of one dicing: Full length of test sample

なお、ダイシングに用いたブレードは、以下の方法でドレスダイシングを行ったものを用いた。
ダイシングテープ(商品名「NBD-7163K」、日東電工株式会社製)の粘着剤層に、ダイシングリングと、ボード(商品名「DRESSER BOARD BGCA0172」、株式会社ディスコ製)とを貼り付け、処理用のワークを作製した。次いで、得られたワークを下記のドレスダイシング条件でダイシングし、上記ブレードダイシング用のブレードを得た。
<ドレスダイシング条件>
ダイシング装置:製品名「DFD-6450」、株式会社ディスコ製
カット方式:シングルカット
ダイシング速度:55mm/秒
ダイシングブレード:商品名「P1A861 SDC400N75BR597」(新品)、株式会社ディスコ製
ダイシングブレード回転数:35,000rpm
ブレード高さ:500μm
水量:1.5L/分
1回のダイシングの距離:ボードの全長
ダイシング間隔:1mm刻み
ダイシング回数:100回
The blade used for dicing was one that had been dress diced using the following method.
A dicing ring and a board (product name "DRESSER BOARD BGCA0172", manufactured by Disco Corporation) were attached to the adhesive layer of a dicing tape (product name "NBD-7163K", manufactured by Nitto Denko Corporation) to prepare a workpiece for processing. The obtained workpiece was then diced under the following dress dicing conditions to obtain a blade for the blade dicing.
<Dress dicing conditions>
Dicing equipment: Product name "DFD-6450", manufactured by Disco Corporation Cutting method: Single cut Dicing speed: 55 mm/sec Dicing blade: Product name "P1A861 SDC400N75BR597" (new), manufactured by Disco Corporation Dicing blade rotation speed: 35,000 rpm
Blade height: 500 μm
Water volume: 1.5 L/min. Dicing distance per time: Total length of board. Dicing interval: 1 mm interval. Dicing times: 100 times.

ブレードダイシング後、ダイシングテープ基材側からの下記の紫外線照射条件(2)で紫外線を照射し、基板に対するダイシングテープの剥離強度を低下させた。
<紫外線照射条件(2)>
紫外線照射装置:商品名「UM810」、日東精機株式会社製
光源:高圧水銀灯
照射強度:50mW/cm2(測定機器:商品名「紫外線照度計UT-101」、ウシオ電機株式会社製)
照射時間:10秒
積算光量:500mJ/cm2
After the blade dicing, ultraviolet light was irradiated from the dicing tape base material side under the ultraviolet light irradiation conditions (2) described below to reduce the peel strength of the dicing tape to the substrate.
<Ultraviolet irradiation conditions (2)>
Ultraviolet irradiation device: Product name "UM810", manufactured by Nitto Seiki Co., Ltd. Light source: High pressure mercury lamp Irradiation intensity: 50 mW/cm 2 (Measuring device: Product name "Ultraviolet illuminometer UT-101", manufactured by Ushio Inc.)
Irradiation time: 10 seconds Accumulated light quantity: 500 mJ/ cm2

その後、ブレードダイシングによって短冊状に切断された、試験サンプルおよび基板の積層体をダイシングテープから剥離して、ダイシング中に試験サンプルの基板からの剥がれが確認されたものを「B」とし、剥がれが確認できかったものを「A」として評価した。 Then, the laminate of the test sample and the substrate, cut into strips by blade dicing, was peeled off from the dicing tape, and those in which peeling of the test sample from the substrate was confirmed during dicing were rated as "B," and those in which peeling was not confirmed were rated as "A."

(3)糸曳き評価
上記ダイシング評価において短冊状に切断された、試験サンプルおよび基板の積層体を2枚、ダイシングテープから剥離した。次いで、上記2枚の積層体を、ダイシングにより露出した切断面同士を接着させ、その状態で温度50℃の環境下で24時間放置した。その後、接着させた上記2枚の短冊を取り出し、温度22℃、湿度50%の環境下に3時間放置した。その後、接着させた切断面同士を手で引き剥がすことを試み、引き剥がせなかった、または、引き剥がせたが粘着剤層の糸曳きが顕著に確認できたものを「D」とし、引き剥がせたが粘着剤層の糸曳きがわずかに確認できたものを「C」とし、引き剥がすのに力は必要としたが粘着剤層の糸曳きなく引き剥がせたものを「B」とし、引き剥がすのに特に力を必要とせず粘着剤層の糸曳きなく引き剥がせたものを「A」として評価した。
(3) Stringiness evaluation Two laminates of the test sample and the substrate cut into strips in the above dicing evaluation were peeled off from the dicing tape. Next, the two laminates were bonded together with the cut surfaces exposed by dicing, and left in that state for 24 hours in an environment at a temperature of 50°C. The two bonded strips were then removed and left in an environment at a temperature of 22°C and humidity of 50% for 3 hours. Then, an attempt was made to peel the bonded cut surfaces off by hand, and those that could not be peeled off or could be peeled off but had noticeable stringiness of the adhesive layer were rated as "D", those that could be peeled off but had slight stringiness of the adhesive layer were rated as "C", those that required force to peel off but could be peeled off without stringiness of the adhesive layer were rated as "B", and those that did not require any particular force to peel off and could be peeled off without stringiness of the adhesive layer were rated as "A".

Figure 0007572264000001
Figure 0007572264000001

表1に示すように、本発明の光半導体素子封止用シート(実施例)は、ダイシング評価の結果が良好であり、光半導体素子および基板に対するシートの密着性に優れ、光半導体素子の封止性に優れると評価された。また、糸曳き評価の結果が良好であり、封止部側面の密着性が低く、隣接する光半導体装置同士を引き離す際、シートの欠損や隣接する光半導体装置のシートの付着が起こりにくいと評価された。 As shown in Table 1, the optical semiconductor element encapsulation sheet (Example) of the present invention had good results in the dicing evaluation, and was evaluated as having excellent adhesion of the sheet to the optical semiconductor element and the substrate, and excellent encapsulation of the optical semiconductor element. In addition, the stringiness evaluation had good results, and it was evaluated that the adhesion of the encapsulation side surface was low, and that when adjacent optical semiconductor devices were pulled apart, the sheet was unlikely to be damaged or the sheets of adjacent optical semiconductor devices were unlikely to adhere to each other.

一方、紫外線硬化性粘着剤層を有しない場合(比較例1)、糸曳き評価の結果が劣っていた。また、放射線非硬化性粘着剤層を有しない場合(比較例2)、および、光半導体素子側の表面に位置する層が紫外線硬化性粘着剤層である場合(比較例3)、ダイシング評価の結果が劣っており、光半導体素子の封止性に劣ると評価された。 On the other hand, when there was no UV-curable adhesive layer (Comparative Example 1), the results of the stringiness evaluation were poor. Also, when there was no radiation-non-curable adhesive layer (Comparative Example 2), and when the layer located on the surface on the optical semiconductor element side was an UV-curable adhesive layer (Comparative Example 3), the results of the dicing evaluation were poor, and the sealing ability of the optical semiconductor element was evaluated to be poor.

1 光半導体素子封止用シート
1’ 光半導体素子封止用シートの硬化物
2 基材部
21 光学フィルム
22 粘着剤層
23 プラスチックフィルム
3 封止部
31 放射線硬化性樹脂層
31’ 硬化封止層
32 放射線非硬化性粘着剤層
4 剥離ライナー
5 基板
6 光半導体装置
10,20 光半導体装置
Reference Signs List 1 Optical semiconductor element encapsulation sheet 1' Cured product of optical semiconductor element encapsulation sheet 2 Substrate portion 21 Optical film 22 Pressure-sensitive adhesive layer 23 Plastic film 3 Sealing portion 31 Radiation-curable resin layer 31' Cured sealing layer 32 Non-radiation-curable pressure-sensitive adhesive layer 4 Release liner 5 Substrate 6 Optical semiconductor device 10, 20 Optical semiconductor device

Claims (16)

基板上に配置された1以上の光半導体素子を封止するためのシートであって、
基材部と、前記基材部の一方の面に設けられた、前記光半導体素子を封止するための封
止部とを備え、
前記封止部は、光半導体素子を封止した際に光半導体素子側の表面に位置する放射線非
硬化性粘着剤層と、前記放射線非硬化性粘着剤層に積層された、放射線硬化性樹脂層とを
有し、
前記基材部と、前記放射線硬化性樹脂層と、前記放射線非硬化性粘着剤層とがこの順に積層され、
前記放射線は、電子線、紫外線、α線、β線、γ線、およびX線からなる群より選択される少なくとも1種であり、
前記放射線非硬化性粘着剤層は、感圧型の粘着剤によって形成される、光半導体素子封止用シート。
A sheet for encapsulating one or more optical semiconductor elements disposed on a substrate, comprising:
a substrate and a sealing portion provided on one surface of the substrate for sealing the optical semiconductor element;
the encapsulating portion has a non-radiation-curable pressure-sensitive adhesive layer located on a surface facing the optical semiconductor element when the optical semiconductor element is encapsulated, and a radiation-curable resin layer laminated on the non-radiation-curable pressure-sensitive adhesive layer,
the substrate, the radiation curable resin layer, and the non-radiation curable pressure-sensitive adhesive layer are laminated in this order;
the radiation is at least one selected from the group consisting of an electron beam, an ultraviolet ray, an α-ray, a β-ray, a γ-ray, and an X-ray;
The non-radiation-curable pressure-sensitive adhesive layer is formed of a pressure-sensitive adhesive,
前記放射線硬化性樹脂層は前記放射線非硬化性粘着剤層よりも厚い、請求項1に記載の
光半導体素子封止用シート。
The sheet for encapsulating an optical semiconductor element according to claim 1 , wherein the radiation curable resin layer is thicker than the non-radiation curable pressure-sensitive adhesive layer.
前記封止部は着色剤を含む層を含む、請求項1または2に記載の光半導体素子封止用シ
ート。
The sheet for encapsulating an optical semiconductor element according to claim 1 , wherein the encapsulating portion includes a layer containing a colorant.
アンチグレア性および/または反射防止性を有する層を備える、請求項1~3のいずれ
か1項に記載の光半導体素子封止用シート。
The sheet for encapsulating an optical semiconductor element according to any one of claims 1 to 3, comprising a layer having antiglare properties and/or antireflection properties.
ポリエステル系樹脂および/またはポリイミド系樹脂を主成分とする層を備える、請求
項1~4のいずれか1項に記載の光半導体素子封止用シート。
5. The sheet for encapsulating an optical semiconductor element according to claim 1, further comprising a layer containing a polyester resin and/or a polyimide resin as a main component.
前記放射線硬化性樹脂層の硬化後断面における、温度23℃におけるナノインデンテー
ション法による硬さが1.4MPa以上である、請求項1~5のいずれか1項に記載の光
半導体素子封止用シート。
6. The sheet for encapsulating optical semiconductor elements according to claim 1, wherein a cross section of the radiation curable resin layer after curing has a hardness of 1.4 MPa or more at a temperature of 23° C. as measured by a nanoindentation method.
前記放射線非硬化性粘着剤層と前記放射線硬化性樹脂層とは、他の層を介さずに直接積層する、請求項1~6のいずれか1項に記載の光半導体素子封止用シート。 The sheet for encapsulating optical semiconductor elements according to any one of claims 1 to 6, wherein the non-radiation curable adhesive layer and the radiation curable resin layer are directly laminated without any other layer therebetween. 基板と、前記基板上に配置された光半導体素子と、前記光半導体素子を封止する、請求
項1~7のいずれか1項に記載の光半導体素子封止用シートの前記放射線硬化性樹脂層が
硬化した硬化物と、を備える光半導体装置。
8. An optical semiconductor device comprising: a substrate; an optical semiconductor element disposed on the substrate; and a cured product obtained by curing the radiation-curable resin layer of the optical semiconductor element encapsulation sheet according to claim 1, which encapsulates the optical semiconductor element.
液晶画面のバックライトである請求項8に記載の光半導体装置。 The optical semiconductor device according to claim 8, which is a backlight for a liquid crystal display. 請求項9に記載のバックライトと表示パネルとを備える画像表示装置。 An image display device comprising the backlight and a display panel according to claim 9. 自発光型表示装置である請求項8に記載の光半導体装置。 The optical semiconductor device according to claim 8, which is a self-luminous display device. 請求項11に記載の自発光型表示装置を備える画像表示装置。 An image display device comprising the self-luminous display device according to claim 11. 基板と、前記基板上に配置された光半導体素子と、前記光半導体素子を封止する、請求
項1~7のいずれか1項に記載の光半導体素子封止用シートの前記放射線硬化性樹脂層が
硬化した硬化物と、を備える積層体をダイシングして光半導体装置を得るダイシング工程
を備える、光半導体装置の製造方法。
8. A method for producing an optical semiconductor device, comprising: a dicing step of dicing a laminate comprising a substrate, an optical semiconductor element disposed on the substrate, and a cured product obtained by curing the radiation-curable resin layer of the sheet for encapsulating an optical semiconductor element according to claim 1, which encapsulates the optical semiconductor element, to obtain an optical semiconductor device.
さらに、前記基板と、前記基板上に配置された光半導体素子と、前記光半導体素子を封
止する前記光半導体素子封止用シートと、を備える積層体に放射線を照射して前記放射線
硬化性樹脂層を硬化させて前記硬化物を得る放射線照射工程を備える、請求項13に記載
の光半導体装置の製造方法。
14. The method for producing an optical semiconductor device according to claim 13, further comprising a radiation exposure step of irradiating a laminate including the substrate, an optical semiconductor element disposed on the substrate, and the optical semiconductor element encapsulation sheet that encapsulates the optical semiconductor element with radiation to cure the radiation curable resin layer and obtain the cured product.
前記光半導体素子封止用シートを、前記基板上に設けられた前記光半導体素子に貼り合
わせて前記光半導体素子を前記封止部により封止する封止工程を備え、その後前記放射線
照射工程を行う、請求項14に記載の光半導体装置の製造方法。
15. The method for producing an optical semiconductor device according to claim 14, further comprising a sealing step of bonding the sheet for sealing an optical semiconductor element to the optical semiconductor element provided on the substrate to seal the optical semiconductor element with the sealing portion, and then performing the radiation irradiation step.
さらに、前記ダイシング工程で得られた複数の光半導体装置を平面方向に接触するよう
に並べるタイリング工程を備える、請求項13~15のいずれか1項に記載の光半導体装
置の製造方法。

The method for producing an optical semiconductor device according to any one of claims 13 to 15, further comprising a tiling step of arranging a plurality of optical semiconductor devices obtained in the dicing step so as to be in contact with each other in a planar direction.

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